0.000000e+00,1.010101e+00,1.333333e+00,2.020202e+00,2.666667e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,5.333333e+00,6.060606e+00,6.666667e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,9.333333e+00,1.010101e+01,1.066667e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.333333e+01,1.414141e+01,1.466667e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.733333e+01,1.818182e+01,1.866667e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.133333e+01,2.222222e+01,2.266667e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.533333e+01,2.626263e+01,2.666667e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,2.933333e+01,3.030303e+01,3.066667e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.434343e+01,3.466667e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.733333e+01,3.737374e+01,3.838384e+01,3.866667e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.133333e+01,4.141414e+01,4.242424e+01,4.266667e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.533333e+01,4.545455e+01,4.646465e+01,4.666667e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.933333e+01,4.949495e+01,5.050505e+01,5.066667e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.333333e+01,5.353535e+01,5.454545e+01,5.466667e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.733333e+01,5.757576e+01,5.858586e+01,5.866667e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.133333e+01,6.161616e+01,6.262626e+01,6.266667e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.533333e+01,6.565657e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.933333e+01,6.969697e+01,7.066667e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.333333e+01,7.373737e+01,7.466667e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.733333e+01,7.777778e+01,7.866667e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.133333e+01,8.181818e+01,8.266667e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.533333e+01,8.585859e+01,8.666667e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.933333e+01,8.989899e+01,9.066667e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.333333e+01,9.393939e+01,9.466667e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.733333e+01,9.797980e+01,9.866667e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.013333e+02,1.026667e+02,1.040000e+02,1.053333e+02,1.066667e+02,1.080000e+02,1.093333e+02,1.106667e+02,1.120000e+02,1.133333e+02,1.146667e+02,1.160000e+02,1.173333e+02,1.186667e+02,1.200000e+02,1.213333e+02,1.226667e+02,1.240000e+02,1.253333e+02,1.266667e+02,1.280000e+02,1.293333e+02,1.306667e+02,1.320000e+02
0.000000e+00,2.322694e-09,6.809070e-09,3.337801e-08,9.490269e-08,1.527000e-07,4.233431e-07,4.391078e-07,9.826772e-07,1.194223e-06,1.882422e-06,2.637890e-06,3.246598e-06,5.011257e-06,5.190875e-06,7.826053e-06,8.571087e-06,1.122962e-05,1.347991e-05,1.541732e-05,1.971496e-05,2.034224e-05,2.591818e-05,2.710266e-05,3.204402e-05,3.541283e-05,3.861805e-05,4.441587e-05,4.554387e-05,5.273199e-05,5.390081e-05,6.009970e-05,6.367735e-05,6.757070e-05,7.357464e-05,7.507502e-05,8.254899e-05,8.344105e-05,8.993549e-05,9.314461e-05,9.718410e-05,1.025738e-04,1.042512e-04,1.111001e-04,1.116377e-04,1.177007e-04,1.202658e-04,1.240290e-04,1.284066e-04,1.300673e-04,1.358027e-04,1.360257e-04,1.412277e-04,1.431039e-04,1.463386e-04,1.496346e-04,1.511356e-04,1.556218e-04,1.598028e-04,1.610775e-04,1.636862e-04,1.660197e-04,1.672813e-04,1.704710e-04,1.705985e-04,1.736489e-04,1.744568e-04,1.764444e-04,1.780042e-04,1.789968e-04,1.811409e-04,1.813185e-04,1.834215e-04,1.838951e-04,1.853181e-04,1.862944e-04,1.870200e-04,1.883657e-04,1.885387e-04,1.898854e-04,1.901351e-04,1.910709e-04,1.916270e-04,1.921053e-04,1.928649e-04,1.929987e-04,1.937604e-04,1.938707e-04,1.943993e-04,1.946649e-04,1.949239e-04,1.952666e-04,1.953422e-04,1.956617e-04,1.956938e-04,1.958897e-04,1.959628e-04,1.960329e-04,1.960889e-04,1.960976e-04,1.960899e-04,1.960863e-04,1.960153e-04,1.959680e-04,1.958792e-04,1.957459e-04,1.956865e-04,1.954418e-04,1.954310e-04,1.951495e-04,1.950334e-04,1.948137e-04,1.945624e-04,1.944382e-04,1.940266e-04,1.935822e-04,1.934335e-04,1.931081e-04,1.927905e-04,1.926073e-04,1.921039e-04,1.920825e-04,1.915362e-04,1.913797e-04,1.909708e-04,1.906233e-04,1.903884e-04,1.898395e-04,1.897913e-04,1.891811e-04,1.890330e-04,1.885599e-04,1.882077e-04,1.879291e-04,1.873674e-04,1.872903e-04,1.866450e-04,1.865153e-04,1.859945e-04,1.856546e-04,1.853400e-04,1.847879e-04,1.846826e-04,1.840234e-04,1.839178e-04,1.833633e-04,1.830465e-04,1.827033e-04,1.821759e-04,1.820442e-04,1.813866e-04,1.813079e-04,1.807315e-04,1.804441e-04,1.800792e-04,1.795859e-04,1.794305e-04,1.787860e-04,1.787346e-04,1.781459e-04,1.778913e-04,1.775109e-04,1.770571e-04,1.768814e-04,1.762576e-04,1.762328e-04,1.756399e-04,1.754191e-04,1.750287e-04,1.746169e-04,1.744242e-04,1.738266e-04,1.730487e-04,1.722837e-04,1.715319e-04,1.707936e-04,1.700690e-04,1.693583e-04,1.686617e-04,1.679791e-04,1.673108e-04,1.666566e-04,1.660166e-04,1.653908e-04,1.647790e-04,1.641812e-04,1.635972e-04,1.630269e-04,1.624703e-04,1.619270e-04,1.613970e-04,1.608801e-04,1.603761e-04,1.598847e-04,1.594058e-04,1.589392e-04
0.000000e+00,4.647621e-11,1.072644e-10,3.720676e-10,8.502980e-10,1.242978e-09,2.833791e-09,2.919676e-09,5.675233e-09,6.680544e-09,9.813809e-09,1.310277e-08,1.568008e-08,2.291606e-08,2.363751e-08,3.398233e-08,3.683657e-08,4.680986e-08,5.502713e-08,6.196293e-08,7.697839e-08,7.913454e-08,9.800122e-08,1.019524e-07,1.182829e-07,1.293094e-07,1.397456e-07,1.585387e-07,1.621875e-07,1.854257e-07,1.892061e-07,2.092882e-07,2.209154e-07,2.336105e-07,2.532931e-07,2.582347e-07,2.830102e-07,2.859867e-07,3.077955e-07,3.186698e-07,3.324592e-07,3.510482e-07,3.568816e-07,3.809558e-07,3.828637e-07,4.045873e-07,4.138975e-07,4.276953e-07,4.439702e-07,4.502117e-07,4.720812e-07,4.729419e-07,4.932595e-07,5.007071e-07,5.137105e-07,5.271888e-07,5.334095e-07,5.523398e-07,5.704914e-07,5.761348e-07,5.878611e-07,5.985681e-07,6.044509e-07,6.196492e-07,6.202671e-07,6.353197e-07,6.393993e-07,6.496216e-07,6.578486e-07,6.631881e-07,6.750349e-07,6.760368e-07,6.881865e-07,6.910007e-07,6.996573e-07,7.057920e-07,7.104697e-07,7.194571e-07,7.206453e-07,7.302054e-07,7.320455e-07,7.391719e-07,7.436071e-07,7.475664e-07,7.541914e-07,7.554104e-07,7.627250e-07,7.638476e-07,7.695312e-07,7.726236e-07,7.758494e-07,7.805661e-07,7.816997e-07,7.871015e-07,7.877205e-07,7.920739e-07,7.941305e-07,7.966353e-07,7.998381e-07,8.008036e-07,8.045961e-07,8.048838e-07,8.080297e-07,8.093063e-07,8.111205e-07,8.131425e-07,8.138843e-07,8.163360e-07,8.164278e-07,8.184903e-07,8.191958e-07,8.203612e-07,8.214785e-07,8.219622e-07,8.233064e-07,8.244061e-07,8.247084e-07,8.252734e-07,8.257119e-07,8.259200e-07,8.263432e-07,8.263567e-07,8.265944e-07,8.266267e-07,8.266432e-07,8.265859e-07,8.265129e-07,8.262429e-07,8.262129e-07,8.257522e-07,8.256187e-07,8.251395e-07,8.247330e-07,8.243830e-07,8.236046e-07,8.234906e-07,8.224700e-07,8.222512e-07,8.213284e-07,8.206893e-07,8.200728e-07,8.189348e-07,8.187098e-07,8.172458e-07,8.170026e-07,8.156868e-07,8.149065e-07,8.140387e-07,8.126598e-07,8.123071e-07,8.104972e-07,8.102750e-07,8.086142e-07,8.077637e-07,8.066628e-07,8.051370e-07,8.046478e-07,8.025736e-07,8.024052e-07,8.004443e-07,7.995781e-07,7.982640e-07,7.966648e-07,7.960366e-07,7.937656e-07,7.936739e-07,7.914547e-07,7.906136e-07,7.891071e-07,7.874914e-07,7.867260e-07,7.843145e-07,7.810895e-07,7.778226e-07,7.745198e-07,7.711866e-07,7.678280e-07,7.644489e-07,7.610538e-07,7.576468e-07,7.542318e-07,7.508126e-07,7.473925e-07,7.439747e-07,7.405621e-07,7.371574e-07,7.337632e-07,7.303819e-07,7.270155e-07,7.236661e-07,7.203356e-07,7.170256e-07,7.137378e-07,7.104735e-07,7.072342e-07,7.040209e-07
0.000000e+00,3.161400e-11,7.242692e-11,2.498176e-10,5.713017e-10,8.368621e-10,1.928013e-09,1.987607e-09,3.934021e-09,4.659444e-09,6.964583e-09,9.440948e-09,1.140855e-08,1.697610e-08,1.753026e-08,2.536658e-08,2.748323e-08,3.471984e-08,4.051910e-08,4.532203e-08,5.550407e-08,5.694699e-08,6.942344e-08,7.200855e-08,8.261546e-08,8.971850e-08,9.640490e-08,1.083689e-07,1.106815e-07,1.253386e-07,1.277120e-07,1.402724e-07,1.475093e-07,1.553828e-07,1.675344e-07,1.705750e-07,1.857604e-07,1.875782e-07,2.008584e-07,2.074549e-07,2.157966e-07,2.270033e-07,2.305114e-07,2.449487e-07,2.460902e-07,2.590626e-07,2.646089e-07,2.728156e-07,2.824772e-07,2.861776e-07,2.991251e-07,2.996341e-07,3.116402e-07,3.160373e-07,3.237107e-07,3.316603e-07,3.353284e-07,3.464891e-07,3.571916e-07,3.605199e-07,3.674376e-07,3.737570e-07,3.772307e-07,3.862111e-07,3.865764e-07,3.954819e-07,3.978976e-07,4.039551e-07,4.088352e-07,4.120050e-07,4.190456e-07,4.196415e-07,4.268749e-07,4.285520e-07,4.337157e-07,4.373791e-07,4.401749e-07,4.455522e-07,4.462637e-07,4.519933e-07,4.530971e-07,4.573749e-07,4.600395e-07,4.624197e-07,4.664053e-07,4.671390e-07,4.715437e-07,4.722200e-07,4.756448e-07,4.775086e-07,4.794530e-07,4.822958e-07,4.829789e-07,4.862328e-07,4.866055e-07,4.892249e-07,4.904611e-07,4.919652e-07,4.938853e-07,4.944632e-07,4.967286e-07,4.969001e-07,4.987705e-07,4.995267e-07,5.005979e-07,5.017858e-07,5.022196e-07,5.036440e-07,5.036970e-07,5.048794e-07,5.052795e-07,5.059339e-07,5.065516e-07,5.068152e-07,5.075308e-07,5.080881e-07,5.082341e-07,5.084941e-07,5.086777e-07,5.087556e-07,5.088770e-07,5.088794e-07,5.088717e-07,5.088469e-07,5.087388e-07,5.086015e-07,5.084867e-07,5.081544e-07,5.081211e-07,5.076477e-07,5.075186e-07,5.070717e-07,5.067063e-07,5.063984e-07,5.057294e-07,5.056328e-07,5.047796e-07,5.045989e-07,5.038436e-07,5.033256e-07,5.028292e-07,5.019197e-07,5.017407e-07,5.005823e-07,5.003907e-07,4.993578e-07,4.987478e-07,4.980713e-07,4.969998e-07,4.967262e-07,4.953263e-07,4.951548e-07,4.938749e-07,4.932207e-07,4.923752e-07,4.912050e-07,4.908303e-07,4.892434e-07,4.891147e-07,4.876173e-07,4.869564e-07,4.859547e-07,4.847365e-07,4.842583e-07,4.825306e-07,4.824609e-07,4.807741e-07,4.801352e-07,4.789912e-07,4.777648e-07,4.771839e-07,4.753546e-07,4.729095e-07,4.704338e-07,4.679319e-07,4.654076e-07,4.628646e-07,4.603065e-07,4.577366e-07,4.551579e-07,4.525733e-07,4.499855e-07,4.473970e-07,4.448103e-07,4.422275e-07,4.396507e-07,4.370817e-07,4.345224e-07,4.319745e-07,4.294394e-07,4.269186e-07,4.244133e-07,4.219249e-07,4.194543e-07,4.170027e-07,4.145709e-07
0.000000e+00,1.221265e-09,3.513068e-09,1.660365e-08,4.582497e-08,7.265300e-08,1.950081e-07,2.020419e-07,4.420567e-07,5.348441e-07,8.364564e-07,1.168612e-06,1.437585e-06,2.224432e-06,2.305058e-06,3.495964e-06,3.834488e-06,5.043993e-06,6.064914e-06,6.938422e-06,8.848670e-06,9.123735e-06,1.152124e-05,1.201912e-05,1.405256e-05,1.539931e-05,1.665204e-05,1.885101e-05,1.926930e-05,2.186700e-05,2.227887e-05,2.441771e-05,2.561919e-05,2.690116e-05,2.882925e-05,2.930232e-05,3.161016e-05,3.188043e-05,3.381680e-05,3.475421e-05,3.591693e-05,3.743981e-05,3.790744e-05,3.978702e-05,3.993260e-05,4.155585e-05,4.223265e-05,4.321533e-05,4.434378e-05,4.476788e-05,4.621657e-05,4.627241e-05,4.756505e-05,4.802675e-05,4.881739e-05,4.961625e-05,4.997788e-05,5.105096e-05,5.204113e-05,5.234121e-05,5.295290e-05,5.349734e-05,5.379070e-05,5.452940e-05,5.455884e-05,5.526147e-05,5.544702e-05,5.590259e-05,5.625933e-05,5.648601e-05,5.697493e-05,5.701538e-05,5.749412e-05,5.760185e-05,5.792549e-05,5.814752e-05,5.831257e-05,5.861885e-05,5.865823e-05,5.896521e-05,5.902219e-05,5.923605e-05,5.936340e-05,5.947314e-05,5.964788e-05,5.967874e-05,5.985496e-05,5.988056e-05,6.000375e-05,6.006598e-05,6.012698e-05,6.020832e-05,6.022637e-05,6.030353e-05,6.031137e-05,6.035999e-05,6.037864e-05,6.039716e-05,6.041332e-05,6.041636e-05,6.041885e-05,6.041836e-05,6.040577e-05,6.039642e-05,6.037821e-05,6.034998e-05,6.033720e-05,6.028368e-05,6.028129e-05,6.021854e-05,6.019241e-05,6.014262e-05,6.008523e-05,6.005669e-05,5.996149e-05,5.985770e-05,5.982278e-05,5.974597e-05,5.967057e-05,5.962688e-05,5.950617e-05,5.950102e-05,5.936889e-05,5.933084e-05,5.923100e-05,5.914569e-05,5.908780e-05,5.895176e-05,5.893974e-05,5.878722e-05,5.875000e-05,5.863063e-05,5.854129e-05,5.847031e-05,5.832642e-05,5.830661e-05,5.813984e-05,5.810615e-05,5.797030e-05,5.788114e-05,5.779826e-05,5.765201e-05,5.762399e-05,5.744773e-05,5.741936e-05,5.726970e-05,5.718369e-05,5.709013e-05,5.694550e-05,5.690922e-05,5.672715e-05,5.670523e-05,5.654411e-05,5.646330e-05,5.636025e-05,5.622008e-05,5.617575e-05,5.599075e-05,5.597593e-05,5.580537e-05,5.573115e-05,5.561977e-05,5.548605e-05,5.543405e-05,5.524833e-05,5.524090e-05,5.506271e-05,5.499594e-05,5.487731e-05,5.475140e-05,5.469221e-05,5.450750e-05,5.426442e-05,5.402234e-05,5.378142e-05,5.354181e-05,5.330365e-05,5.306706e-05,5.283214e-05,5.259901e-05,5.236775e-05,5.213846e-05,5.191120e-05,5.168604e-05,5.146304e-05,5.124227e-05,5.102376e-05,5.080757e-05,5.059372e-05,5.038226e-05,5.017321e-05,4.996659e-05,4.976243e-05,4.956074e-05,4.936153e-05,4.916482e-05
0.000000e+00,1.449018e-08,4.311977e-08,2.179070e-07,6.364332e-07,1.038790e-06,2.983181e-06,3.098521e-06,7.157910e-06,8.768693e-06,1.408378e-05,2.000846e-05,2.482893e-05,3.896499e-05,4.041488e-05,6.189903e-05,6.804845e-05,9.029985e-05,1.095536e-04,1.264667e-04,1.651526e-04,1.709358e-04,2.238552e-04,2.354399e-04,2.850131e-04,3.199180e-04,3.539234e-04,4.173126e-04,4.299159e-04,5.122058e-04,5.259004e-04,5.999433e-04,6.437343e-04,6.922480e-04,7.687844e-04,7.882339e-04,8.870288e-04,8.990325e-04,9.877899e-04,1.032540e-03,1.089716e-03,1.167497e-03,1.192060e-03,1.294130e-03,1.302265e-03,1.395304e-03,1.435396e-03,1.495025e-03,1.565647e-03,1.592804e-03,1.688220e-03,1.691983e-03,1.780920e-03,1.813568e-03,1.870609e-03,1.929756e-03,1.957053e-03,2.040069e-03,2.119524e-03,2.144181e-03,2.195326e-03,2.241896e-03,2.267422e-03,2.333130e-03,2.335794e-03,2.400448e-03,2.417890e-03,2.461419e-03,2.496255e-03,2.518760e-03,2.568367e-03,2.572540e-03,2.622844e-03,2.634411e-03,2.669767e-03,2.694605e-03,2.713412e-03,2.749195e-03,2.753889e-03,2.791312e-03,2.798441e-03,2.825799e-03,2.842611e-03,2.857468e-03,2.881980e-03,2.886439e-03,2.912832e-03,2.916823e-03,2.936764e-03,2.947412e-03,2.958352e-03,2.974012e-03,2.977710e-03,2.994950e-03,2.996882e-03,3.010180e-03,3.016272e-03,3.023506e-03,3.032423e-03,3.035029e-03,3.044849e-03,3.045564e-03,3.053059e-03,3.055913e-03,3.059752e-03,3.063680e-03,3.065014e-03,3.068932e-03,3.069061e-03,3.071584e-03,3.072244e-03,3.073048e-03,3.073403e-03,3.073398e-03,3.072705e-03,3.071035e-03,3.070305e-03,3.068453e-03,3.066350e-03,3.065020e-03,3.060978e-03,3.060794e-03,3.055830e-03,3.054315e-03,3.050181e-03,3.046483e-03,3.043896e-03,3.037593e-03,3.037023e-03,3.029607e-03,3.027751e-03,3.021690e-03,3.017053e-03,3.013313e-03,3.005592e-03,3.004515e-03,2.995330e-03,2.993450e-03,2.985794e-03,2.980708e-03,2.975939e-03,2.967437e-03,2.965796e-03,2.955392e-03,2.953705e-03,2.944756e-03,2.939576e-03,2.933914e-03,2.925107e-03,2.922889e-03,2.911704e-03,2.910352e-03,2.900381e-03,2.895360e-03,2.888939e-03,2.880177e-03,2.877399e-03,2.865778e-03,2.864845e-03,2.854092e-03,2.849403e-03,2.842357e-03,2.833886e-03,2.830588e-03,2.818799e-03,2.818327e-03,2.807003e-03,2.802757e-03,2.795211e-03,2.787201e-03,2.783435e-03,2.771685e-03,2.756232e-03,2.740862e-03,2.725594e-03,2.710444e-03,2.695429e-03,2.680562e-03,2.665854e-03,2.651316e-03,2.636959e-03,2.622791e-03,2.608818e-03,2.595048e-03,2.581486e-03,2.568136e-03,2.555003e-03,2.542089e-03,2.529397e-03,2.516929e-03,2.504686e-03,2.492669e-03,2.480879e-03,2.469315e-03,2.457977e-03,2.446864e-03
0.000000e+00,1.030411e-09,2.963417e-09,1.399461e-08,3.855446e-08,6.102042e-08,1.624636e-07,1.682450e-07,3.624287e-07,4.359792e-07,6.698538e-07,9.193504e-07,1.116145e-06,1.670850e-06,1.726260e-06,2.523960e-06,2.745727e-06,3.529931e-06,4.189913e-06,4.758371e-06,6.027295e-06,6.213842e-06,7.890971e-06,8.251967e-06,9.777051e-06,1.083491e-05,1.185529e-05,1.373589e-05,1.410704e-05,1.651284e-05,1.691074e-05,1.905289e-05,2.031392e-05,2.170716e-05,2.389931e-05,2.445556e-05,2.727811e-05,2.762086e-05,3.015520e-05,3.143348e-05,3.306787e-05,3.529416e-05,3.599808e-05,3.892890e-05,3.916292e-05,4.184476e-05,4.300370e-05,4.473153e-05,4.678486e-05,4.757662e-05,5.036902e-05,5.047948e-05,5.309924e-05,5.406532e-05,5.575930e-05,5.752465e-05,5.834261e-05,6.084391e-05,6.325909e-05,6.401325e-05,6.558516e-05,6.702608e-05,6.782004e-05,6.987861e-05,6.996253e-05,7.201211e-05,7.256935e-05,7.396893e-05,7.509875e-05,7.583364e-05,7.746875e-05,7.760733e-05,7.929148e-05,7.968254e-05,8.088784e-05,8.174421e-05,8.239844e-05,8.365856e-05,8.382546e-05,8.517125e-05,8.543087e-05,8.643824e-05,8.706677e-05,8.762896e-05,8.857210e-05,8.874597e-05,8.979187e-05,8.995279e-05,9.076925e-05,9.121481e-05,9.168069e-05,9.236409e-05,9.252875e-05,9.331596e-05,9.340645e-05,9.404479e-05,9.434761e-05,9.471768e-05,9.519312e-05,9.533700e-05,9.590507e-05,9.594837e-05,9.642414e-05,9.661855e-05,9.689641e-05,9.720866e-05,9.732400e-05,9.770895e-05,9.772349e-05,9.805328e-05,9.816766e-05,9.835889e-05,9.854554e-05,9.862764e-05,9.886133e-05,9.906168e-05,9.911902e-05,9.923036e-05,9.932243e-05,9.936896e-05,9.947515e-05,9.947902e-05,9.956203e-05,9.958062e-05,9.961941e-05,9.964210e-05,9.965252e-05,9.966267e-05,9.966267e-05,9.965112e-05,9.964526e-05,9.961908e-05,9.959261e-05,9.956770e-05,9.950736e-05,9.949808e-05,9.941130e-05,9.939197e-05,9.930836e-05,9.924877e-05,9.919024e-05,9.907997e-05,9.905787e-05,9.891213e-05,9.888763e-05,9.875388e-05,9.867371e-05,9.858392e-05,9.844005e-05,9.840304e-05,9.821197e-05,9.818839e-05,9.801143e-05,9.792036e-05,9.780208e-05,9.763748e-05,9.758457e-05,9.735952e-05,9.734120e-05,9.712750e-05,9.703287e-05,9.688908e-05,9.671375e-05,9.664479e-05,9.639512e-05,9.638503e-05,9.614058e-05,9.604783e-05,9.588160e-05,9.570318e-05,9.561862e-05,9.535206e-05,9.499539e-05,9.463400e-05,9.426870e-05,9.390023e-05,9.352927e-05,9.315646e-05,9.278241e-05,9.240766e-05,9.203272e-05,9.165808e-05,9.128417e-05,9.091140e-05,9.054014e-05,9.017074e-05,8.980351e-05,8.943874e-05,8.907670e-05,8.871763e-05,8.836175e-05,8.800926e-05,8.766035e-05,8.731516e-05,8.697385e-05,8.663656e-05
0.000000e+00,1.320164e-11,3.023325e-11,1.041365e-10,2.376159e-10,3.474665e-10,7.953260e-10,8.196362e-10,1.606350e-09,1.896431e-09,2.809890e-09,3.782190e-09,4.552328e-09,6.745007e-09,6.965628e-09,1.015613e-08,1.104282e-08,1.415232e-08,1.672013e-08,1.888742e-08,2.357043e-08,2.424139e-08,3.009246e-08,3.131301e-08,3.633946e-08,3.971711e-08,4.290228e-08,4.861104e-08,4.971561e-08,5.672332e-08,5.785915e-08,6.387478e-08,6.734461e-08,7.112293e-08,7.696123e-08,7.842350e-08,8.573475e-08,8.661093e-08,9.301764e-08,9.620376e-08,1.002363e-07,1.056593e-07,1.073581e-07,1.143540e-07,1.149075e-07,1.211988e-07,1.238894e-07,1.278707e-07,1.325570e-07,1.343514e-07,1.406264e-07,1.408729e-07,1.466837e-07,1.488093e-07,1.525147e-07,1.563473e-07,1.581132e-07,1.634752e-07,1.685988e-07,1.701879e-07,1.734837e-07,1.764853e-07,1.781312e-07,1.823716e-07,1.825436e-07,1.867245e-07,1.878543e-07,1.906782e-07,1.929433e-07,1.944095e-07,1.976507e-07,1.979240e-07,2.012275e-07,2.019896e-07,2.043263e-07,2.059745e-07,2.072266e-07,2.096201e-07,2.099352e-07,2.124585e-07,2.129415e-07,2.148031e-07,2.159540e-07,2.169758e-07,2.186727e-07,2.189830e-07,2.208313e-07,2.211127e-07,2.225270e-07,2.232886e-07,2.240763e-07,2.252146e-07,2.254855e-07,2.267604e-07,2.269047e-07,2.279069e-07,2.283722e-07,2.289307e-07,2.296300e-07,2.298372e-07,2.306318e-07,2.306907e-07,2.313197e-07,2.315660e-07,2.319058e-07,2.322675e-07,2.323950e-07,2.327919e-07,2.328059e-07,2.331011e-07,2.331918e-07,2.333269e-07,2.334350e-07,2.334735e-07,2.335449e-07,2.335450e-07,2.335306e-07,2.334776e-07,2.334007e-07,2.333462e-07,2.331631e-07,2.331543e-07,2.329051e-07,2.328256e-07,2.326020e-07,2.323954e-07,2.322478e-07,2.318796e-07,2.318457e-07,2.313983e-07,2.312845e-07,2.309083e-07,2.306164e-07,2.303785e-07,2.298811e-07,2.298111e-07,2.292086e-07,2.290841e-07,2.285732e-07,2.282306e-07,2.279071e-07,2.273255e-07,2.272125e-07,2.264911e-07,2.263734e-07,2.257451e-07,2.253787e-07,2.249760e-07,2.243455e-07,2.241858e-07,2.233760e-07,2.232775e-07,2.225481e-07,2.221785e-07,2.217038e-07,2.210519e-07,2.208443e-07,2.199712e-07,2.199007e-07,2.190856e-07,2.187281e-07,2.181888e-07,2.175368e-07,2.172819e-07,2.163662e-07,2.163294e-07,2.154426e-07,2.151084e-07,2.145122e-07,2.138761e-07,2.135759e-07,2.126346e-07,2.113859e-07,2.101319e-07,2.088744e-07,2.076149e-07,2.063549e-07,2.050958e-07,2.038390e-07,2.025855e-07,2.013366e-07,2.000932e-07,1.988563e-07,1.976268e-07,1.964053e-07,1.951927e-07,1.939896e-07,1.927966e-07,1.916142e-07,1.904430e-07,1.892834e-07,1.881357e-07,1.870004e-07,1.858777e-07,1.847680e-07,1.836715e-07
0.000000e+00,2.973353e-09,8.803852e-09,4.408363e-08,1.279399e-07,2.083278e-07,5.974104e-07,6.205754e-07,1.444300e-06,1.775965e-06,2.889533e-06,4.163010e-06,5.221168e-06,8.412164e-06,8.745125e-06,1.374399e-05,1.518517e-05,2.038631e-05,2.483623e-05,2.869091e-05,3.730035e-05,3.856295e-05,4.984818e-05,5.225948e-05,6.237126e-05,6.931357e-05,7.595546e-05,8.806147e-05,9.043060e-05,1.056352e-04,1.081253e-04,1.214164e-04,1.291535e-04,1.376297e-04,1.508192e-04,1.541382e-04,1.708133e-04,1.728197e-04,1.875348e-04,1.948780e-04,2.041918e-04,2.167454e-04,2.206833e-04,2.369188e-04,2.382042e-04,2.528189e-04,2.590693e-04,2.683149e-04,2.791889e-04,2.833489e-04,2.978736e-04,2.984435e-04,3.118519e-04,3.167447e-04,3.252557e-04,3.340317e-04,3.380652e-04,3.502684e-04,3.618597e-04,3.654396e-04,3.728392e-04,3.795468e-04,3.832111e-04,3.926039e-04,3.929834e-04,4.021678e-04,4.046359e-04,4.107784e-04,4.156759e-04,4.188314e-04,4.257635e-04,4.263453e-04,4.333408e-04,4.349450e-04,4.398396e-04,4.432698e-04,4.458628e-04,4.507871e-04,4.514322e-04,4.565687e-04,4.575460e-04,4.612934e-04,4.635942e-04,4.656265e-04,4.689784e-04,4.695881e-04,4.731973e-04,4.737433e-04,4.764727e-04,4.779316e-04,4.794321e-04,4.815839e-04,4.820930e-04,4.844716e-04,4.847389e-04,4.865840e-04,4.874330e-04,4.884452e-04,4.897005e-04,4.900695e-04,4.914707e-04,4.915736e-04,4.926618e-04,4.930823e-04,4.936553e-04,4.942548e-04,4.944629e-04,4.950958e-04,4.951177e-04,4.955647e-04,4.956953e-04,4.958796e-04,4.960107e-04,4.960501e-04,4.960852e-04,4.959935e-04,4.959387e-04,4.957830e-04,4.955895e-04,4.954614e-04,4.950550e-04,4.950361e-04,4.945138e-04,4.943510e-04,4.939010e-04,4.934924e-04,4.932038e-04,4.924930e-04,4.924282e-04,4.915794e-04,4.913654e-04,4.906628e-04,4.901216e-04,4.896831e-04,4.887725e-04,4.886450e-04,4.875529e-04,4.873284e-04,4.864108e-04,4.857985e-04,4.852227e-04,4.841918e-04,4.839923e-04,4.827229e-04,4.825164e-04,4.814178e-04,4.807796e-04,4.800802e-04,4.789886e-04,4.787129e-04,4.773187e-04,4.771497e-04,4.759002e-04,4.752690e-04,4.744597e-04,4.733518e-04,4.729997e-04,4.715222e-04,4.714034e-04,4.700294e-04,4.694284e-04,4.685231e-04,4.674312e-04,4.670051e-04,4.654772e-04,4.654159e-04,4.639409e-04,4.633861e-04,4.623979e-04,4.613454e-04,4.608494e-04,4.592969e-04,4.572434e-04,4.551878e-04,4.531324e-04,4.510796e-04,4.490314e-04,4.469897e-04,4.449564e-04,4.429330e-04,4.409210e-04,4.389218e-04,4.369365e-04,4.349663e-04,4.330122e-04,4.310752e-04,4.291560e-04,4.272553e-04,4.253739e-04,4.235124e-04,4.216712e-04,4.198509e-04,4.180517e-04,4.162742e-04,4.145186e-04,4.127851e-04
0.000000e+00,1.561633e-09,4.560051e-09,2.217386e-08,6.259244e-08,1.003201e-07,2.754177e-07,2.855633e-07,6.332741e-07,7.678036e-07,1.203497e-06,1.679210e-06,2.060861e-06,3.158560e-06,3.269484e-06,4.877328e-06,5.325142e-06,6.900671e-06,8.210966e-06,9.325777e-06,1.176801e-05,1.212195e-05,1.525233e-05,1.591517e-05,1.867902e-05,2.056554e-05,2.236453e-05,2.563311e-05,2.627159e-05,3.036275e-05,3.103189e-05,3.460010e-05,3.667473e-05,3.894538e-05,4.247357e-05,4.336030e-05,4.780715e-05,4.834117e-05,5.224950e-05,5.419374e-05,5.665288e-05,5.995363e-05,6.098536e-05,6.521811e-05,6.555164e-05,6.932576e-05,7.092882e-05,7.328665e-05,7.603742e-05,7.708288e-05,8.070029e-05,8.084111e-05,8.412833e-05,8.531458e-05,8.735978e-05,8.944263e-05,9.039047e-05,9.321897e-05,9.584622e-05,9.664486e-05,9.827515e-05,9.972766e-05,1.005104e-04,1.024795e-04,1.025578e-04,1.044246e-04,1.049159e-04,1.061184e-04,1.070550e-04,1.076475e-04,1.089163e-04,1.090207e-04,1.102467e-04,1.105200e-04,1.113343e-04,1.118863e-04,1.122924e-04,1.130352e-04,1.131295e-04,1.138539e-04,1.139859e-04,1.144735e-04,1.147568e-04,1.149959e-04,1.153649e-04,1.154284e-04,1.157778e-04,1.158265e-04,1.160507e-04,1.161562e-04,1.162529e-04,1.163677e-04,1.163902e-04,1.164680e-04,1.164735e-04,1.164910e-04,1.164850e-04,1.164639e-04,1.164123e-04,1.163908e-04,1.162759e-04,1.162650e-04,1.161226e-04,1.160513e-04,1.159344e-04,1.157790e-04,1.157143e-04,1.154653e-04,1.154548e-04,1.151900e-04,1.150849e-04,1.148907e-04,1.146748e-04,1.145699e-04,1.142296e-04,1.138716e-04,1.137536e-04,1.134978e-04,1.132510e-04,1.131098e-04,1.127253e-04,1.127090e-04,1.122970e-04,1.121797e-04,1.118749e-04,1.116173e-04,1.114439e-04,1.110405e-04,1.110051e-04,1.105596e-04,1.104518e-04,1.101082e-04,1.098532e-04,1.096518e-04,1.092467e-04,1.091912e-04,1.087272e-04,1.086340e-04,1.082603e-04,1.080166e-04,1.077912e-04,1.073960e-04,1.073206e-04,1.068488e-04,1.067732e-04,1.063764e-04,1.061496e-04,1.059039e-04,1.055261e-04,1.054316e-04,1.049600e-04,1.049035e-04,1.044894e-04,1.042827e-04,1.040201e-04,1.036645e-04,1.035524e-04,1.030867e-04,1.030495e-04,1.026230e-04,1.024382e-04,1.021618e-04,1.018312e-04,1.017031e-04,1.012472e-04,1.012290e-04,1.007943e-04,1.006320e-04,1.003445e-04,1.000405e-04,9.989795e-05,9.945484e-05,9.887537e-05,9.830230e-05,9.773586e-05,9.717624e-05,9.662360e-05,9.607809e-05,9.553982e-05,9.500888e-05,9.448536e-05,9.396932e-05,9.346080e-05,9.295984e-05,9.246645e-05,9.198065e-05,9.150243e-05,9.103177e-05,9.056866e-05,9.011307e-05,8.966495e-05,8.922427e-05,8.879096e-05,8.836499e-05,8.794628e-05,8.753478e-05
0.000000e+00,1.194385e-08,3.555880e-08,1.800956e-07,5.281961e-07,8.651145e-07,2.519372e-06,2.618732e-06,6.191450e-06,7.645841e-06,1.256798e-05,1.823214e-05,2.293940e-05,3.701225e-05,3.846600e-05,5.995164e-05,6.604321e-05,8.776061e-05,1.061218e-04,1.219391e-04,1.571733e-04,1.623426e-04,2.087087e-04,2.186684e-04,2.606922e-04,2.898088e-04,3.178796e-04,3.695948e-04,3.797989e-04,4.459279e-04,4.568620e-04,5.157037e-04,5.503186e-04,5.885351e-04,6.485926e-04,6.638152e-04,7.409350e-04,7.502844e-04,8.192963e-04,8.540194e-04,8.983243e-04,9.584964e-04,9.774769e-04,1.056253e-03,1.062525e-03,1.134196e-03,1.165048e-03,1.210902e-03,1.265162e-03,1.286014e-03,1.359228e-03,1.362113e-03,1.430288e-03,1.455300e-03,1.498984e-03,1.544260e-03,1.565150e-03,1.628658e-03,1.689418e-03,1.708270e-03,1.747370e-03,1.782969e-03,1.802481e-03,1.852707e-03,1.854743e-03,1.904170e-03,1.917504e-03,1.950789e-03,1.977432e-03,1.994647e-03,2.032604e-03,2.035798e-03,2.074308e-03,2.083165e-03,2.110249e-03,2.129284e-03,2.143701e-03,2.171146e-03,2.174747e-03,2.203472e-03,2.208946e-03,2.229964e-03,2.242886e-03,2.254311e-03,2.273170e-03,2.276602e-03,2.296926e-03,2.300001e-03,2.315369e-03,2.323579e-03,2.332018e-03,2.344102e-03,2.346956e-03,2.360267e-03,2.361758e-03,2.372029e-03,2.376733e-03,2.382320e-03,2.389203e-03,2.391215e-03,2.398786e-03,2.399337e-03,2.405104e-03,2.407296e-03,2.410236e-03,2.413233e-03,2.414247e-03,2.417198e-03,2.417295e-03,2.419149e-03,2.419618e-03,2.420158e-03,2.420333e-03,2.420278e-03,2.419563e-03,2.418062e-03,2.417424e-03,2.415823e-03,2.414024e-03,2.412892e-03,2.409466e-03,2.409311e-03,2.405122e-03,2.403846e-03,2.400366e-03,2.397254e-03,2.395078e-03,2.389775e-03,2.389295e-03,2.383051e-03,2.381488e-03,2.376378e-03,2.372466e-03,2.369307e-03,2.362779e-03,2.361867e-03,2.354086e-03,2.352491e-03,2.345990e-03,2.341664e-03,2.337604e-03,2.330352e-03,2.328951e-03,2.320054e-03,2.318609e-03,2.310934e-03,2.306483e-03,2.301612e-03,2.294020e-03,2.292105e-03,2.282433e-03,2.281262e-03,2.272613e-03,2.268249e-03,2.262659e-03,2.255015e-03,2.252589e-03,2.242415e-03,2.241597e-03,2.232152e-03,2.228024e-03,2.221812e-03,2.214326e-03,2.211407e-03,2.200950e-03,2.200530e-03,2.190449e-03,2.186661e-03,2.179917e-03,2.172741e-03,2.169361e-03,2.158791e-03,2.144832e-03,2.130881e-03,2.116954e-03,2.103066e-03,2.089232e-03,2.075463e-03,2.061772e-03,2.048169e-03,2.034664e-03,2.021264e-03,2.007978e-03,1.994813e-03,1.981774e-03,1.968869e-03,1.956101e-03,1.943475e-03,1.930994e-03,1.918663e-03,1.906484e-03,1.894459e-03,1.882590e-03,1.870880e-03,1.859329e-03,1.847938e-03
0.000000e+00,2.378267e-09,6.864123e-09,3.268649e-08,9.092500e-08,1.448586e-07,3.946041e-07,4.091145e-07,9.119597e-07,1.109776e-06,1.763284e-06,2.497961e-06,3.101744e-06,4.897597e-06,5.083204e-06,7.834502e-06,8.615728e-06,1.139084e-05,1.371066e-05,1.568093e-05,1.995885e-05,2.057292e-05,2.592702e-05,2.704221e-05,3.162218e-05,3.468529e-05,3.756112e-05,4.268117e-05,4.366648e-05,4.987518e-05,5.087449e-05,5.613399e-05,5.914225e-05,6.239679e-05,6.738250e-05,6.862305e-05,7.477717e-05,7.550930e-05,8.082816e-05,8.345090e-05,8.674937e-05,9.114878e-05,9.251844e-05,9.811710e-05,9.855718e-05,1.035309e-04,1.056422e-04,1.087490e-04,1.123802e-04,1.137634e-04,1.185691e-04,1.187569e-04,1.231633e-04,1.247653e-04,1.275456e-04,1.304050e-04,1.317170e-04,1.356800e-04,1.394379e-04,1.405979e-04,1.429953e-04,1.451690e-04,1.463571e-04,1.494055e-04,1.495288e-04,1.525162e-04,1.533205e-04,1.553255e-04,1.569281e-04,1.579628e-04,1.602426e-04,1.604344e-04,1.627466e-04,1.632785e-04,1.649057e-04,1.660501e-04,1.669177e-04,1.685715e-04,1.687887e-04,1.705247e-04,1.708562e-04,1.721315e-04,1.729177e-04,1.736145e-04,1.747687e-04,1.749794e-04,1.762313e-04,1.764215e-04,1.773754e-04,1.778878e-04,1.784167e-04,1.791788e-04,1.793598e-04,1.802094e-04,1.803053e-04,1.809699e-04,1.812774e-04,1.816456e-04,1.821048e-04,1.822405e-04,1.827585e-04,1.827968e-04,1.832035e-04,1.833618e-04,1.835790e-04,1.838083e-04,1.838886e-04,1.841355e-04,1.841441e-04,1.843229e-04,1.843764e-04,1.844539e-04,1.845123e-04,1.845314e-04,1.845583e-04,1.845371e-04,1.845206e-04,1.844705e-04,1.844052e-04,1.843609e-04,1.842174e-04,1.842107e-04,1.840220e-04,1.839626e-04,1.837971e-04,1.836456e-04,1.835380e-04,1.832710e-04,1.832466e-04,1.829248e-04,1.828432e-04,1.825744e-04,1.823663e-04,1.821971e-04,1.818440e-04,1.817944e-04,1.813681e-04,1.812801e-04,1.809195e-04,1.806779e-04,1.804500e-04,1.800406e-04,1.799611e-04,1.794539e-04,1.793711e-04,1.789297e-04,1.786724e-04,1.783897e-04,1.779470e-04,1.778350e-04,1.772666e-04,1.771975e-04,1.766855e-04,1.764261e-04,1.760927e-04,1.756350e-04,1.754892e-04,1.748757e-04,1.748263e-04,1.742532e-04,1.740018e-04,1.736223e-04,1.731634e-04,1.729840e-04,1.723387e-04,1.723128e-04,1.716873e-04,1.714514e-04,1.710304e-04,1.705809e-04,1.703686e-04,1.697025e-04,1.688175e-04,1.679272e-04,1.670326e-04,1.661347e-04,1.652347e-04,1.643333e-04,1.634314e-04,1.625298e-04,1.616292e-04,1.607303e-04,1.598337e-04,1.589400e-04,1.580498e-04,1.571635e-04,1.562816e-04,1.554045e-04,1.545326e-04,1.536662e-04,1.528058e-04,1.519515e-04,1.511038e-04,1.502627e-04,1.494286e-04,1.486016e-04
0.000000e+00,6.078818e-10,1.735164e-09,8.073342e-09,2.196053e-08,3.452684e-08,9.046320e-08,9.362464e-08,1.988467e-07,2.383534e-07,3.631800e-07,4.954206e-07,5.992666e-07,8.905457e-07,9.195562e-07,1.336098e-06,1.451628e-06,1.859547e-06,2.202266e-06,2.497051e-06,3.153308e-06,3.249518e-06,4.110027e-06,4.293980e-06,5.064955e-06,5.593166e-06,6.097082e-06,7.010695e-06,7.188634e-06,8.323081e-06,8.507567e-06,9.485769e-06,1.005006e-05,1.066389e-05,1.160991e-05,1.184622e-05,1.302292e-05,1.316333e-05,1.418535e-05,1.469031e-05,1.532595e-05,1.617417e-05,1.643822e-05,1.751664e-05,1.760131e-05,1.855669e-05,1.896112e-05,1.955475e-05,2.024578e-05,2.050808e-05,2.141476e-05,2.145003e-05,2.227357e-05,2.257091e-05,2.308397e-05,2.360735e-05,2.384593e-05,2.455991e-05,2.522676e-05,2.543038e-05,2.584766e-05,2.622156e-05,2.642402e-05,2.693692e-05,2.695746e-05,2.744972e-05,2.758042e-05,2.790263e-05,2.815628e-05,2.831809e-05,2.866886e-05,2.869799e-05,2.904425e-05,2.912255e-05,2.935874e-05,2.952166e-05,2.964330e-05,2.987035e-05,2.989969e-05,3.012963e-05,3.017259e-05,3.033476e-05,3.043214e-05,3.051663e-05,3.065253e-05,3.067674e-05,3.081649e-05,3.083705e-05,3.093722e-05,3.098878e-05,3.104018e-05,3.111055e-05,3.112655e-05,3.119744e-05,3.120496e-05,3.125391e-05,3.127444e-05,3.129693e-05,3.132120e-05,3.132743e-05,3.134626e-05,3.134729e-05,3.135424e-05,3.135456e-05,3.135212e-05,3.134474e-05,3.134061e-05,3.132036e-05,3.131938e-05,3.129201e-05,3.127993e-05,3.125612e-05,3.122769e-05,3.121324e-05,3.116388e-05,3.110850e-05,3.108959e-05,3.104756e-05,3.100582e-05,3.098146e-05,3.091351e-05,3.091059e-05,3.083532e-05,3.081350e-05,3.075598e-05,3.070656e-05,3.067290e-05,3.059340e-05,3.058636e-05,3.049665e-05,3.047468e-05,3.040403e-05,3.035098e-05,3.030874e-05,3.022286e-05,3.021101e-05,3.011106e-05,3.009082e-05,3.000909e-05,2.995532e-05,2.990528e-05,2.981679e-05,2.979981e-05,2.969284e-05,2.967560e-05,2.958454e-05,2.953212e-05,2.947504e-05,2.938668e-05,2.936449e-05,2.925301e-05,2.923958e-05,2.914072e-05,2.909109e-05,2.902774e-05,2.894147e-05,2.891417e-05,2.880010e-05,2.879096e-05,2.868564e-05,2.863976e-05,2.857087e-05,2.848809e-05,2.845587e-05,2.834072e-05,2.833611e-05,2.822549e-05,2.818400e-05,2.811024e-05,2.803191e-05,2.799505e-05,2.787997e-05,2.772833e-05,2.757710e-05,2.742639e-05,2.727630e-05,2.712691e-05,2.697832e-05,2.683060e-05,2.668382e-05,2.653804e-05,2.639331e-05,2.624970e-05,2.610725e-05,2.596600e-05,2.582599e-05,2.568726e-05,2.554983e-05,2.541373e-05,2.527899e-05,2.514562e-05,2.501365e-05,2.488309e-05,2.475395e-05,2.462625e-05,2.450000e-05
0.000000e+00,3.213255e-07,9.595863e-07,4.884696e-06,1.435962e-05,2.351987e-05,6.813211e-05,7.079035e-05,1.648264e-04,2.023199e-04,3.264702e-04,4.653714e-04,5.786356e-04,9.115118e-04,9.456920e-04,1.452499e-03,1.597606e-03,2.122615e-03,2.576788e-03,2.975744e-03,3.888913e-03,4.025568e-03,5.279049e-03,5.554354e-03,6.737033e-03,7.574770e-03,8.395278e-03,9.936955e-03,1.024543e-02,1.227581e-02,1.261647e-02,1.447210e-02,1.558050e-02,1.681792e-02,1.879028e-02,1.929542e-02,2.188574e-02,2.220325e-02,2.456959e-02,2.577512e-02,2.732762e-02,2.946164e-02,3.014086e-02,3.299102e-02,3.322011e-02,3.586081e-02,3.701056e-02,3.873408e-02,4.079662e-02,4.159602e-02,4.443319e-02,4.454599e-02,4.723363e-02,4.823072e-02,4.998679e-02,5.182721e-02,5.268352e-02,5.531603e-02,5.787779e-02,5.868171e-02,6.036344e-02,6.191230e-02,6.276871e-02,6.499908e-02,6.509030e-02,6.732581e-02,6.793608e-02,6.947361e-02,7.071977e-02,7.153277e-02,7.334864e-02,7.350298e-02,7.538446e-02,7.582288e-02,7.717789e-02,7.814413e-02,7.888433e-02,8.031511e-02,8.050514e-02,8.204200e-02,8.233945e-02,8.349675e-02,8.422145e-02,8.487146e-02,8.596594e-02,8.616829e-02,8.738955e-02,8.757809e-02,8.853759e-02,8.906335e-02,8.961483e-02,9.042728e-02,9.062370e-02,9.156668e-02,9.167553e-02,9.244621e-02,9.281373e-02,9.326473e-02,9.384749e-02,9.402465e-02,9.472835e-02,9.478229e-02,9.537815e-02,9.562349e-02,9.597634e-02,9.637632e-02,9.652514e-02,9.702672e-02,9.704583e-02,9.748319e-02,9.763687e-02,9.789659e-02,9.815412e-02,9.826891e-02,9.860207e-02,9.889790e-02,9.898498e-02,9.915820e-02,9.930694e-02,9.938469e-02,9.957185e-02,9.957903e-02,9.974280e-02,9.978340e-02,9.987755e-02,9.994508e-02,9.998475e-02,1.000602e-01,1.000658e-01,1.001221e-01,1.001320e-01,1.001548e-01,1.001634e-01,1.001654e-01,1.001572e-01,1.001549e-01,1.001245e-01,1.001161e-01,1.000753e-01,1.000426e-01,1.000083e-01,9.993902e-02,9.992454e-02,9.982498e-02,9.980765e-02,9.971053e-02,9.965056e-02,9.958206e-02,9.946975e-02,9.944040e-02,9.928634e-02,9.926706e-02,9.912066e-02,9.904426e-02,9.894406e-02,9.880298e-02,9.875725e-02,9.856088e-02,9.854478e-02,9.835559e-02,9.827110e-02,9.814196e-02,9.798332e-02,9.792058e-02,9.769198e-02,9.768270e-02,9.745669e-02,9.737044e-02,9.721520e-02,9.704768e-02,9.696797e-02,9.671546e-02,9.637477e-02,9.602654e-02,9.567163e-02,9.531085e-02,9.494496e-02,9.457466e-02,9.420061e-02,9.382344e-02,9.344371e-02,9.306195e-02,9.267868e-02,9.229436e-02,9.190941e-02,9.152425e-02,9.113924e-02,9.075473e-02,9.037104e-02,8.998848e-02,8.960731e-02,8.922779e-02,8.885016e-02,8.847462e-02,8.810139e-02,8.773065e-02
0.000000e+00,4.024558e-11,9.225731e-11,3.164913e-10,7.164426e-10,1.041555e-09,2.336382e-09,2.405417e-09,4.581174e-09,5.358097e-09,7.730369e-09,1.015109e-08,1.200579e-08,1.705494e-08,1.754782e-08,2.446738e-08,2.634015e-08,3.281110e-08,3.809065e-08,4.252722e-08,5.209841e-08,5.347007e-08,6.544539e-08,6.794661e-08,7.825388e-08,8.518130e-08,9.170999e-08,1.033891e-07,1.056441e-07,1.198999e-07,1.222008e-07,1.343320e-07,1.412821e-07,1.488057e-07,1.603313e-07,1.631976e-07,1.773960e-07,1.790820e-07,1.913026e-07,1.973067e-07,2.048325e-07,2.148193e-07,2.179150e-07,2.304926e-07,2.314756e-07,2.425208e-07,2.471705e-07,2.539668e-07,2.618350e-07,2.648091e-07,2.750357e-07,2.754319e-07,2.846427e-07,2.879500e-07,2.936334e-07,2.993994e-07,3.020169e-07,3.098070e-07,3.170213e-07,3.192116e-07,3.236802e-07,3.276607e-07,3.298061e-07,3.352077e-07,3.354229e-07,3.405551e-07,3.419087e-07,3.452280e-07,3.478217e-07,3.494666e-07,3.530041e-07,3.532960e-07,3.567405e-07,3.575125e-07,3.598238e-07,3.614012e-07,3.625687e-07,3.647218e-07,3.649972e-07,3.671305e-07,3.675234e-07,3.689884e-07,3.698520e-07,3.705900e-07,3.717505e-07,3.719533e-07,3.730953e-07,3.732586e-07,3.740321e-07,3.744133e-07,3.747787e-07,3.752487e-07,3.753494e-07,3.757573e-07,3.757959e-07,3.760150e-07,3.760839e-07,3.761342e-07,3.761389e-07,3.761258e-07,3.759999e-07,3.759851e-07,3.757662e-07,3.756445e-07,3.754335e-07,3.751373e-07,3.750101e-07,3.745038e-07,3.744819e-07,3.739217e-07,3.736950e-07,3.732707e-07,3.727918e-07,3.725569e-07,3.717863e-07,3.709641e-07,3.706910e-07,3.700956e-07,3.695175e-07,3.691853e-07,3.682763e-07,3.682377e-07,3.672568e-07,3.669767e-07,3.662463e-07,3.656273e-07,3.652098e-07,3.642360e-07,3.641505e-07,3.630715e-07,3.628098e-07,3.619754e-07,3.613552e-07,3.608650e-07,3.598778e-07,3.597425e-07,3.586104e-07,3.583829e-07,3.574705e-07,3.568753e-07,3.563248e-07,3.553592e-07,3.551750e-07,3.540229e-07,3.538384e-07,3.528698e-07,3.523164e-07,3.517172e-07,3.507963e-07,3.505664e-07,3.494184e-07,3.492809e-07,3.482745e-07,3.477727e-07,3.471355e-07,3.462738e-07,3.460024e-07,3.448760e-07,3.447862e-07,3.437571e-07,3.433118e-07,3.426463e-07,3.418520e-07,3.415444e-07,3.404518e-07,3.404083e-07,3.393690e-07,3.389818e-07,3.382967e-07,3.375736e-07,3.372350e-07,3.361846e-07,3.348156e-07,3.334672e-07,3.321401e-07,3.308347e-07,3.295513e-07,3.282904e-07,3.270520e-07,3.258365e-07,3.246439e-07,3.234742e-07,3.223275e-07,3.212038e-07,3.201029e-07,3.190248e-07,3.179693e-07,3.169363e-07,3.159256e-07,3.149369e-07,3.139701e-07,3.130248e-07,3.121008e-07,3.111979e-07,3.103158e-07,3.094540e-07
0.000000e+00,3.134938e-11,7.262540e-11,2.523821e-10,5.758180e-10,8.402230e-10,1.901892e-09,1.958815e-09,3.766603e-09,4.418057e-09,6.424803e-09,8.498093e-09,1.010276e-08,1.453324e-08,1.496994e-08,2.115835e-08,2.284703e-08,2.870876e-08,3.351323e-08,3.756402e-08,4.635348e-08,4.761997e-08,5.877023e-08,6.112302e-08,7.091940e-08,7.760257e-08,8.398005e-08,9.559304e-08,9.786690e-08,1.124927e-07,1.148953e-07,1.277659e-07,1.352991e-07,1.435906e-07,1.565803e-07,1.598667e-07,1.764915e-07,1.785050e-07,1.933610e-07,2.008343e-07,2.103717e-07,2.233323e-07,2.274230e-07,2.444181e-07,2.457725e-07,2.612657e-07,2.679443e-07,2.778815e-07,2.896577e-07,2.941884e-07,3.101178e-07,3.107462e-07,3.256094e-07,3.310690e-07,3.406116e-07,3.505112e-07,3.550812e-07,3.689832e-07,3.822906e-07,3.864200e-07,3.949837e-07,4.027788e-07,4.070496e-07,4.180354e-07,4.184803e-07,4.292733e-07,4.321812e-07,4.394307e-07,4.452227e-07,4.489591e-07,4.571781e-07,4.578683e-07,4.661711e-07,4.680753e-07,4.738831e-07,4.779501e-07,4.810216e-07,4.868442e-07,4.876057e-07,4.936554e-07,4.948030e-07,4.991918e-07,5.018750e-07,5.042364e-07,5.081102e-07,5.088116e-07,5.129408e-07,5.135616e-07,5.166472e-07,5.182823e-07,5.199517e-07,5.223195e-07,5.228746e-07,5.254365e-07,5.257206e-07,5.276571e-07,5.285310e-07,5.295554e-07,5.307938e-07,5.311497e-07,5.324580e-07,5.325509e-07,5.334974e-07,5.338416e-07,5.342843e-07,5.347032e-07,5.348341e-07,5.351618e-07,5.351705e-07,5.352816e-07,5.352765e-07,5.352071e-07,5.350520e-07,5.349511e-07,5.345259e-07,5.339432e-07,5.337253e-07,5.332139e-07,5.326751e-07,5.323485e-07,5.313988e-07,5.313568e-07,5.302480e-07,5.299178e-07,5.290310e-07,5.282523e-07,5.277140e-07,5.264208e-07,5.263048e-07,5.248109e-07,5.244405e-07,5.232392e-07,5.223275e-07,5.215963e-07,5.200966e-07,5.198884e-07,5.181212e-07,5.177612e-07,5.163003e-07,5.153339e-07,5.144308e-07,5.128263e-07,5.125174e-07,5.105648e-07,5.102490e-07,5.085772e-07,5.076119e-07,5.065586e-07,5.049239e-07,5.045128e-07,5.024432e-07,5.021934e-07,5.003532e-07,4.994280e-07,4.982459e-07,4.966345e-07,4.961241e-07,4.939906e-07,4.938195e-07,4.918479e-07,4.909887e-07,4.896983e-07,4.881476e-07,4.875441e-07,4.853873e-07,4.853010e-07,4.832298e-07,4.824533e-07,4.810735e-07,4.796086e-07,4.789199e-07,4.767707e-07,4.739429e-07,4.711282e-07,4.683294e-07,4.655490e-07,4.627892e-07,4.600520e-07,4.573393e-07,4.546526e-07,4.519934e-07,4.493628e-07,4.467622e-07,4.441923e-07,4.416541e-07,4.391482e-07,4.366754e-07,4.342360e-07,4.318306e-07,4.294594e-07,4.271227e-07,4.248207e-07,4.225535e-07,4.203212e-07,4.181239e-07,4.159613e-07
0.000000e+00,1.100548e-09,3.017169e-09,1.310841e-08,3.404634e-08,5.250801e-08,1.334202e-07,1.379889e-07,2.920954e-07,3.513102e-07,5.438705e-07,7.566164e-07,9.292764e-07,1.432942e-06,1.484192e-06,2.226999e-06,2.432467e-06,3.145419e-06,3.724238e-06,4.206012e-06,5.228524e-06,5.373201e-06,6.618728e-06,6.875310e-06,7.921931e-06,8.617086e-06,9.267242e-06,1.042055e-05,1.064203e-05,1.203529e-05,1.225924e-05,1.343704e-05,1.411017e-05,1.483809e-05,1.595274e-05,1.623002e-05,1.760518e-05,1.776875e-05,1.895683e-05,1.954256e-05,2.027909e-05,2.126129e-05,2.156703e-05,2.281660e-05,2.291480e-05,2.402457e-05,2.449555e-05,2.518854e-05,2.599835e-05,2.630676e-05,2.737811e-05,2.741998e-05,2.840201e-05,2.875896e-05,2.937830e-05,3.001509e-05,3.030722e-05,3.118930e-05,3.202532e-05,3.228327e-05,3.281628e-05,3.329937e-05,3.356332e-05,3.424035e-05,3.426772e-05,3.493080e-05,3.510925e-05,3.555396e-05,3.590929e-05,3.613864e-05,3.664378e-05,3.668626e-05,3.719829e-05,3.731604e-05,3.767616e-05,3.792938e-05,3.812130e-05,3.848705e-05,3.853509e-05,3.891891e-05,3.899220e-05,3.927409e-05,3.944790e-05,3.960193e-05,3.985711e-05,3.990369e-05,4.018058e-05,4.022265e-05,4.043378e-05,4.054724e-05,4.066443e-05,4.083345e-05,4.087362e-05,4.106241e-05,4.108374e-05,4.123181e-05,4.130045e-05,4.138279e-05,4.148580e-05,4.151630e-05,4.163322e-05,4.164188e-05,4.173441e-05,4.177068e-05,4.182071e-05,4.187406e-05,4.189290e-05,4.195173e-05,4.195381e-05,4.199793e-05,4.201160e-05,4.203219e-05,4.204900e-05,4.205516e-05,4.206749e-05,4.206977e-05,4.206848e-05,4.206258e-05,4.205327e-05,4.204647e-05,4.202310e-05,4.202197e-05,4.198956e-05,4.197914e-05,4.194974e-05,4.192247e-05,4.190295e-05,4.185413e-05,4.184963e-05,4.179020e-05,4.177507e-05,4.172504e-05,4.168619e-05,4.165453e-05,4.158834e-05,4.157903e-05,4.149888e-05,4.148231e-05,4.141439e-05,4.136885e-05,4.132588e-05,4.124864e-05,4.123365e-05,4.113796e-05,4.112234e-05,4.103908e-05,4.099056e-05,4.093726e-05,4.085386e-05,4.083275e-05,4.072576e-05,4.071277e-05,4.061652e-05,4.056779e-05,4.050522e-05,4.041938e-05,4.039206e-05,4.027723e-05,4.026797e-05,4.016089e-05,4.011397e-05,4.004321e-05,3.995774e-05,3.992435e-05,3.980446e-05,3.979964e-05,3.968367e-05,3.964000e-05,3.956212e-05,3.947910e-05,3.943994e-05,3.931724e-05,3.915466e-05,3.899163e-05,3.882834e-05,3.866502e-05,3.850186e-05,3.833902e-05,3.817667e-05,3.801497e-05,3.785405e-05,3.769403e-05,3.753503e-05,3.737716e-05,3.722051e-05,3.706517e-05,3.691122e-05,3.675874e-05,3.660778e-05,3.645841e-05,3.631067e-05,3.616462e-05,3.602030e-05,3.587773e-05,3.573696e-05,3.559801e-05
0.000000e+00,1.894474e-09,5.489994e-09,2.632221e-08,7.350536e-08,1.172162e-07,3.185455e-07,3.301725e-07,7.279853e-07,8.818698e-07,1.381053e-06,1.928133e-06,2.368927e-06,3.647984e-06,3.778269e-06,5.689860e-06,6.229828e-06,8.152082e-06,9.771642e-06,1.115958e-05,1.421647e-05,1.466022e-05,1.858030e-05,1.940794e-05,2.284480e-05,2.517562e-05,2.738596e-05,3.137070e-05,3.214443e-05,3.706780e-05,3.786764e-05,4.210899e-05,4.455785e-05,4.722502e-05,5.134519e-05,5.237657e-05,5.752782e-05,5.814438e-05,6.264654e-05,6.488099e-05,6.770419e-05,7.149176e-05,7.267597e-05,7.754081e-05,7.792483e-05,8.228123e-05,8.413929e-05,8.688311e-05,9.010440e-05,9.133546e-05,9.563007e-05,9.579848e-05,9.976119e-05,1.012076e-04,1.037252e-04,1.063243e-04,1.075203e-04,1.111463e-04,1.146040e-04,1.156752e-04,1.178954e-04,1.199160e-04,1.210235e-04,1.238759e-04,1.239916e-04,1.268038e-04,1.275638e-04,1.294643e-04,1.309897e-04,1.319778e-04,1.341645e-04,1.343491e-04,1.365830e-04,1.370993e-04,1.386846e-04,1.398056e-04,1.406588e-04,1.422947e-04,1.425106e-04,1.442449e-04,1.445780e-04,1.458664e-04,1.466665e-04,1.473798e-04,1.485709e-04,1.487897e-04,1.501005e-04,1.503013e-04,1.513165e-04,1.518678e-04,1.524420e-04,1.532800e-04,1.534811e-04,1.544378e-04,1.545473e-04,1.553159e-04,1.556783e-04,1.561191e-04,1.566815e-04,1.568508e-04,1.575146e-04,1.575649e-04,1.581137e-04,1.583359e-04,1.586512e-04,1.590017e-04,1.591301e-04,1.595533e-04,1.595692e-04,1.599237e-04,1.600446e-04,1.602438e-04,1.604341e-04,1.605163e-04,1.607435e-04,1.609279e-04,1.609782e-04,1.610717e-04,1.611434e-04,1.611770e-04,1.612438e-04,1.612459e-04,1.612803e-04,1.612840e-04,1.612822e-04,1.612685e-04,1.612533e-04,1.612011e-04,1.611955e-04,1.611102e-04,1.610858e-04,1.609991e-04,1.609262e-04,1.608637e-04,1.607256e-04,1.607054e-04,1.605256e-04,1.604872e-04,1.603256e-04,1.602140e-04,1.601066e-04,1.599089e-04,1.598699e-04,1.596165e-04,1.595745e-04,1.593475e-04,1.592132e-04,1.590640e-04,1.588275e-04,1.587670e-04,1.584574e-04,1.584194e-04,1.581360e-04,1.579911e-04,1.578037e-04,1.575445e-04,1.574614e-04,1.571098e-04,1.570813e-04,1.567496e-04,1.566033e-04,1.563816e-04,1.561121e-04,1.560063e-04,1.556245e-04,1.556091e-04,1.552367e-04,1.550957e-04,1.548434e-04,1.545732e-04,1.544453e-04,1.540429e-04,1.535058e-04,1.529630e-04,1.524155e-04,1.518642e-04,1.513099e-04,1.507536e-04,1.501958e-04,1.496373e-04,1.490787e-04,1.485206e-04,1.479636e-04,1.474082e-04,1.468548e-04,1.463039e-04,1.457559e-04,1.452111e-04,1.446699e-04,1.441325e-04,1.435994e-04,1.430706e-04,1.425466e-04,1.420274e-04,1.415133e-04,1.410044e-04
0.000000e+00,3.454185e-11,7.922019e-11,2.728558e-10,6.218780e-10,9.087514e-10,2.077323e-09,2.140749e-09,4.194865e-09,4.953238e-09,7.344801e-09,9.895143e-09,1.191755e-08,1.767885e-08,1.825828e-08,2.661494e-08,2.892571e-08,3.697011e-08,4.353105e-08,4.900529e-08,6.063300e-08,6.227698e-08,7.639340e-08,7.929085e-08,9.106391e-08,9.883949e-08,1.060785e-07,1.188391e-07,1.212779e-07,1.365332e-07,1.389717e-07,1.517345e-07,1.589833e-07,1.667857e-07,1.786612e-07,1.816020e-07,1.961091e-07,1.978260e-07,2.102434e-07,2.163302e-07,2.239514e-07,2.340572e-07,2.371896e-07,2.499237e-07,2.509199e-07,2.621285e-07,2.668579e-07,2.737861e-07,2.818347e-07,2.848861e-07,2.954238e-07,2.958336e-07,3.053998e-07,3.088544e-07,3.148189e-07,3.209100e-07,3.236896e-07,3.320232e-07,3.398331e-07,3.422242e-07,3.471347e-07,3.515485e-07,3.539445e-07,3.600352e-07,3.602797e-07,3.661585e-07,3.677253e-07,3.715991e-07,3.746609e-07,3.766200e-07,3.808843e-07,3.812395e-07,3.854757e-07,3.864373e-07,3.893464e-07,3.913610e-07,3.928693e-07,3.956951e-07,3.960612e-07,3.989388e-07,3.994780e-07,4.015181e-07,4.027467e-07,4.038147e-07,4.055362e-07,4.058434e-07,4.076187e-07,4.078802e-07,4.091544e-07,4.098104e-07,4.104638e-07,4.113569e-07,4.115595e-07,4.124538e-07,4.125482e-07,4.131583e-07,4.134111e-07,4.136842e-07,4.139708e-07,4.140419e-07,4.142418e-07,4.142512e-07,4.142934e-07,4.142746e-07,4.142060e-07,4.140619e-07,4.139883e-07,4.136487e-07,4.136327e-07,4.131951e-07,4.130054e-07,4.126351e-07,4.121972e-07,4.119759e-07,4.112242e-07,4.103866e-07,4.101014e-07,4.094691e-07,4.088428e-07,4.084777e-07,4.074615e-07,4.074179e-07,4.062949e-07,4.059698e-07,4.051136e-07,4.043788e-07,4.038788e-07,4.026993e-07,4.025949e-07,4.012661e-07,4.009410e-07,3.998965e-07,3.991130e-07,3.984897e-07,3.972239e-07,3.970494e-07,3.955788e-07,3.952814e-07,3.940812e-07,3.932928e-07,3.925596e-07,3.912649e-07,3.910168e-07,3.894554e-07,3.892040e-07,3.878779e-07,3.871158e-07,3.862868e-07,3.850055e-07,3.846842e-07,3.830722e-07,3.828782e-07,3.814528e-07,3.807384e-07,3.798278e-07,3.785901e-07,3.781990e-07,3.765679e-07,3.764373e-07,3.749361e-07,3.742835e-07,3.733049e-07,3.721317e-07,3.716759e-07,3.700501e-07,3.699851e-07,3.684287e-07,3.678463e-07,3.668128e-07,3.657176e-07,3.652034e-07,3.636015e-07,3.614998e-07,3.594144e-07,3.573470e-07,3.552990e-07,3.532718e-07,3.512666e-07,3.492843e-07,3.473260e-07,3.453924e-07,3.434843e-07,3.416023e-07,3.397469e-07,3.379185e-07,3.361176e-07,3.343443e-07,3.325989e-07,3.308817e-07,3.291926e-07,3.275319e-07,3.258994e-07,3.242951e-07,3.227190e-07,3.211710e-07,3.196510e-07
0.000000e+00,8.039614e-12,1.839351e-11,6.311675e-11,1.432493e-10,2.086742e-10,4.712839e-10,4.853661e-10,9.327899e-10,1.094101e-09,1.591124e-09,2.104653e-09,2.502075e-09,3.599743e-09,3.708039e-09,5.247577e-09,5.669931e-09,7.145554e-09,8.365977e-09,9.401258e-09,1.165912e-08,1.198497e-08,1.484826e-08,1.544979e-08,1.793855e-08,1.961895e-08,2.120762e-08,2.406095e-08,2.461354e-08,2.811983e-08,2.868794e-08,3.169412e-08,3.342523e-08,3.530716e-08,3.820757e-08,3.893240e-08,4.254574e-08,4.297749e-08,4.612557e-08,4.768505e-08,4.965272e-08,5.228780e-08,5.311056e-08,5.648491e-08,5.675088e-08,5.976399e-08,6.104674e-08,6.293831e-08,6.515474e-08,6.600050e-08,6.894499e-08,6.906026e-08,7.176800e-08,7.275408e-08,7.446728e-08,7.623152e-08,7.704175e-08,7.949147e-08,8.181741e-08,8.253583e-08,8.402132e-08,8.536883e-08,8.610553e-08,8.799637e-08,8.807286e-08,8.992650e-08,9.042562e-08,9.166996e-08,9.266468e-08,9.330693e-08,9.472219e-08,9.484125e-08,9.627677e-08,9.660703e-08,9.761740e-08,9.832815e-08,9.886703e-08,9.989452e-08,1.000296e-07,1.011088e-07,1.013149e-07,1.021084e-07,1.025979e-07,1.030320e-07,1.037518e-07,1.038832e-07,1.046655e-07,1.047844e-07,1.053820e-07,1.057035e-07,1.060360e-07,1.065162e-07,1.066306e-07,1.071687e-07,1.072296e-07,1.076532e-07,1.078501e-07,1.080868e-07,1.083840e-07,1.084722e-07,1.088118e-07,1.088371e-07,1.091080e-07,1.092149e-07,1.093632e-07,1.095227e-07,1.095795e-07,1.097589e-07,1.097654e-07,1.099036e-07,1.099476e-07,1.100154e-07,1.100736e-07,1.100961e-07,1.101475e-07,1.101712e-07,1.101732e-07,1.101688e-07,1.101542e-07,1.101418e-07,1.100940e-07,1.100915e-07,1.100195e-07,1.099956e-07,1.099269e-07,1.098620e-07,1.098150e-07,1.096961e-07,1.096850e-07,1.095380e-07,1.095003e-07,1.093751e-07,1.092772e-07,1.091972e-07,1.090290e-07,1.090053e-07,1.088003e-07,1.087578e-07,1.085831e-07,1.084656e-07,1.083546e-07,1.081543e-07,1.081154e-07,1.078664e-07,1.078257e-07,1.076082e-07,1.074812e-07,1.073416e-07,1.071225e-07,1.070670e-07,1.067853e-07,1.067510e-07,1.064969e-07,1.063680e-07,1.062023e-07,1.059747e-07,1.059022e-07,1.055969e-07,1.055722e-07,1.052869e-07,1.051618e-07,1.049728e-07,1.047442e-07,1.046548e-07,1.043334e-07,1.043205e-07,1.040090e-07,1.038916e-07,1.036820e-07,1.034582e-07,1.033525e-07,1.030211e-07,1.025810e-07,1.021385e-07,1.016943e-07,1.012489e-07,1.008028e-07,1.003565e-07,9.991050e-08,9.946513e-08,9.902079e-08,9.857785e-08,9.813662e-08,9.769742e-08,9.726050e-08,9.682612e-08,9.639452e-08,9.596590e-08,9.554046e-08,9.511838e-08,9.469982e-08,9.428492e-08,9.387380e-08,9.346660e-08,9.306342e-08,9.266435e-08
0.000000e+00,3.467103e-11,7.952558e-11,2.733600e-10,6.204293e-10,9.035992e-10,2.039337e-09,2.100222e-09,4.034757e-09,4.732434e-09,6.882682e-09,9.103350e-09,1.081869e-08,1.552070e-08,1.598043e-08,2.240300e-08,2.412411e-08,2.999755e-08,3.470576e-08,3.861055e-08,4.690655e-08,4.808386e-08,5.827256e-08,6.038416e-08,6.904174e-08,7.482785e-08,8.026139e-08,8.994081e-08,9.180421e-08,1.035462e-07,1.054354e-07,1.153687e-07,1.210392e-07,1.271608e-07,1.365043e-07,1.388214e-07,1.502609e-07,1.516150e-07,1.614024e-07,1.661932e-07,1.721817e-07,1.800995e-07,1.825472e-07,1.924592e-07,1.932317e-07,2.018890e-07,2.055214e-07,2.108175e-07,2.169292e-07,2.192339e-07,2.271348e-07,2.274402e-07,2.345230e-07,2.370585e-07,2.414059e-07,2.458034e-07,2.477950e-07,2.537047e-07,2.591516e-07,2.607998e-07,2.641539e-07,2.671310e-07,2.687310e-07,2.727434e-07,2.729027e-07,2.766893e-07,2.776833e-07,2.801110e-07,2.819972e-07,2.831878e-07,2.857305e-07,2.859391e-07,2.883842e-07,2.889274e-07,2.905413e-07,2.916301e-07,2.924282e-07,2.938788e-07,2.940621e-07,2.954591e-07,2.957114e-07,2.966347e-07,2.971635e-07,2.976037e-07,2.982684e-07,2.983802e-07,2.989774e-07,2.990571e-07,2.994078e-07,2.995587e-07,2.996834e-07,2.997999e-07,2.998153e-07,2.998141e-07,2.998055e-07,2.996897e-07,2.995984e-07,2.994516e-07,2.991999e-07,2.991084e-07,2.986685e-07,2.986294e-07,2.981397e-07,2.979049e-07,2.975292e-07,2.970430e-07,2.968439e-07,2.960903e-07,2.960588e-07,2.952742e-07,2.949663e-07,2.944014e-07,2.937782e-07,2.934771e-07,2.925063e-07,2.914935e-07,2.911612e-07,2.904431e-07,2.897529e-07,2.893590e-07,2.882902e-07,2.882451e-07,2.871049e-07,2.867814e-07,2.859416e-07,2.852338e-07,2.847583e-07,2.836544e-07,2.835578e-07,2.823427e-07,2.820492e-07,2.811156e-07,2.804239e-07,2.798786e-07,2.787836e-07,2.786339e-07,2.773835e-07,2.771329e-07,2.761292e-07,2.754760e-07,2.748727e-07,2.738167e-07,2.736155e-07,2.723592e-07,2.721583e-07,2.711049e-07,2.705040e-07,2.698540e-07,2.688565e-07,2.686076e-07,2.673668e-07,2.672183e-07,2.661324e-07,2.655916e-07,2.649054e-07,2.639783e-07,2.636865e-07,2.624766e-07,2.623802e-07,2.612762e-07,2.607988e-07,2.600859e-07,2.592355e-07,2.589064e-07,2.577381e-07,2.576916e-07,2.565814e-07,2.561679e-07,2.554368e-07,2.546655e-07,2.543045e-07,2.531850e-07,2.517272e-07,2.502925e-07,2.488814e-07,2.474943e-07,2.461315e-07,2.447930e-07,2.434792e-07,2.421899e-07,2.409254e-07,2.396855e-07,2.384701e-07,2.372792e-07,2.361125e-07,2.349700e-07,2.338514e-07,2.327565e-07,2.316850e-07,2.306367e-07,2.296112e-07,2.286082e-07,2.276276e-07,2.266688e-07,2.257315e-07,2.248155e-07
0.000000e+00,4.187949e-11,9.608525e-11,3.309215e-10,7.527869e-10,1.097771e-09,2.485252e-09,2.559745e-09,4.929780e-09,5.785505e-09,8.425380e-09,1.115731e-08,1.327419e-08,1.913066e-08,1.970910e-08,2.793985e-08,3.019932e-08,3.809385e-08,4.462125e-08,5.015709e-08,6.223308e-08,6.397707e-08,7.932961e-08,8.256334e-08,9.598303e-08,1.050857e-07,1.137257e-07,1.293324e-07,1.323684e-07,1.517387e-07,1.548945e-07,1.716755e-07,1.814014e-07,1.920267e-07,2.085088e-07,2.126480e-07,2.334031e-07,2.358966e-07,2.541652e-07,2.632722e-07,2.748174e-07,2.903741e-07,2.952541e-07,3.153814e-07,3.169757e-07,3.351173e-07,3.428859e-07,3.543916e-07,3.679498e-07,3.731455e-07,3.913309e-07,3.920460e-07,4.089100e-07,4.150841e-07,4.258536e-07,4.370013e-07,4.421409e-07,4.577584e-07,4.726985e-07,4.773358e-07,4.869593e-07,4.957308e-07,5.005434e-07,5.129533e-07,5.134571e-07,5.257099e-07,5.290239e-07,5.373141e-07,5.439712e-07,5.482839e-07,5.578294e-07,5.586351e-07,5.683848e-07,5.706372e-07,5.775510e-07,5.824362e-07,5.861525e-07,5.932698e-07,5.942083e-07,6.017378e-07,6.031823e-07,6.087603e-07,6.122181e-07,6.152953e-07,6.204218e-07,6.213617e-07,6.269786e-07,6.278369e-07,6.321646e-07,6.345061e-07,6.369377e-07,6.404710e-07,6.413159e-07,6.453164e-07,6.457719e-07,6.489561e-07,6.504475e-07,6.522513e-07,6.545350e-07,6.552179e-07,6.578712e-07,6.580704e-07,6.602260e-07,6.610876e-07,6.622968e-07,6.636195e-07,6.640972e-07,6.656406e-07,6.656972e-07,6.669399e-07,6.673502e-07,6.680073e-07,6.686067e-07,6.688547e-07,6.694936e-07,6.699348e-07,6.700360e-07,6.701889e-07,6.702581e-07,6.702661e-07,6.701826e-07,6.701759e-07,6.699276e-07,6.698310e-07,6.695301e-07,6.692236e-07,6.689920e-07,6.683797e-07,6.683213e-07,6.675259e-07,6.673173e-07,6.666133e-07,6.660536e-07,6.655904e-07,6.646047e-07,6.644643e-07,6.632413e-07,6.629857e-07,6.619278e-07,6.612109e-07,6.605295e-07,6.592937e-07,6.590523e-07,6.575015e-07,6.572469e-07,6.558823e-07,6.550822e-07,6.541995e-07,6.528108e-07,6.524580e-07,6.506621e-07,6.504431e-07,6.488160e-07,6.479890e-07,6.469240e-07,6.454576e-07,6.449897e-07,6.430169e-07,6.428575e-07,6.410091e-07,6.401969e-07,6.389695e-07,6.374832e-07,6.369014e-07,6.348077e-07,6.347235e-07,6.326912e-07,6.319243e-07,6.305547e-07,6.290918e-07,6.284008e-07,6.262317e-07,6.233494e-07,6.204497e-07,6.175374e-07,6.146167e-07,6.116916e-07,6.087657e-07,6.058425e-07,6.029251e-07,6.000165e-07,5.971193e-07,5.942360e-07,5.913689e-07,5.885200e-07,5.856913e-07,5.828845e-07,5.801012e-07,5.773428e-07,5.746106e-07,5.719058e-07,5.692294e-07,5.665824e-07,5.639657e-07,5.613799e-07,5.588257e-07
0.000000e+00,5.027049e-10,1.277153e-09,4.961279e-09,1.203474e-08,1.803006e-08,4.324024e-08,4.463226e-08,9.047700e-08,1.076684e-07,1.624407e-07,2.214184e-07,2.683978e-07,4.024170e-07,4.158761e-07,6.089338e-07,6.618981e-07,8.447743e-07,9.923304e-07,1.114515e-06,1.371839e-06,1.408024e-06,1.717247e-06,1.780445e-06,2.036507e-06,2.205092e-06,2.361728e-06,2.637218e-06,2.689789e-06,3.018165e-06,3.070590e-06,3.344759e-06,3.500363e-06,3.667816e-06,3.922734e-06,3.985890e-06,4.297802e-06,4.334770e-06,4.602614e-06,4.734289e-06,4.899602e-06,5.119738e-06,5.188220e-06,5.468076e-06,5.490078e-06,5.738908e-06,5.844674e-06,6.000554e-06,6.183207e-06,6.252940e-06,6.496060e-06,6.505593e-06,6.729961e-06,6.811924e-06,6.954731e-06,7.102420e-06,7.170493e-06,7.377396e-06,7.575609e-06,7.637232e-06,7.765317e-06,7.882358e-06,7.946718e-06,8.113238e-06,8.120017e-06,8.285425e-06,8.330354e-06,8.443155e-06,8.534198e-06,8.593424e-06,8.725268e-06,8.736448e-06,8.872446e-06,8.904064e-06,9.001633e-06,9.071081e-06,9.124219e-06,9.226796e-06,9.240408e-06,9.350417e-06,9.371697e-06,9.454462e-06,9.506275e-06,9.552743e-06,9.630986e-06,9.645453e-06,9.732790e-06,9.746278e-06,9.814946e-06,9.852595e-06,9.892105e-06,9.950357e-06,9.964449e-06,1.003215e-05,1.003998e-05,1.009539e-05,1.012185e-05,1.015434e-05,1.019636e-05,1.020915e-05,1.025998e-05,1.026388e-05,1.030700e-05,1.032477e-05,1.035035e-05,1.037937e-05,1.039017e-05,1.042662e-05,1.042800e-05,1.045981e-05,1.047100e-05,1.048990e-05,1.050865e-05,1.051700e-05,1.054125e-05,1.056276e-05,1.056908e-05,1.058164e-05,1.059241e-05,1.059802e-05,1.061149e-05,1.061200e-05,1.062369e-05,1.062657e-05,1.063319e-05,1.063788e-05,1.064060e-05,1.064564e-05,1.064600e-05,1.064951e-05,1.065008e-05,1.065120e-05,1.065138e-05,1.065115e-05,1.064975e-05,1.064946e-05,1.064620e-05,1.064537e-05,1.064145e-05,1.063841e-05,1.063527e-05,1.062905e-05,1.062776e-05,1.061896e-05,1.061744e-05,1.060895e-05,1.060373e-05,1.059779e-05,1.058808e-05,1.058555e-05,1.057227e-05,1.057061e-05,1.055802e-05,1.055146e-05,1.054286e-05,1.053075e-05,1.052683e-05,1.050998e-05,1.050860e-05,1.049237e-05,1.048512e-05,1.047404e-05,1.046042e-05,1.045503e-05,1.043539e-05,1.043459e-05,1.041516e-05,1.040774e-05,1.039438e-05,1.037995e-05,1.037308e-05,1.035130e-05,1.032188e-05,1.029177e-05,1.026103e-05,1.022974e-05,1.019796e-05,1.016574e-05,1.013316e-05,1.010025e-05,1.006707e-05,1.003368e-05,1.000010e-05,9.966397e-06,9.932598e-06,9.898741e-06,9.864863e-06,9.830996e-06,9.797171e-06,9.763416e-06,9.729758e-06,9.696222e-06,9.662831e-06,9.629607e-06,9.596569e-06,9.563737e-06
0.000000e+00,2.142683e-11,4.903354e-11,1.681754e-10,3.813071e-10,5.550713e-10,1.250872e-09,1.288120e-09,2.468931e-09,2.893572e-09,4.199062e-09,5.544068e-09,6.582748e-09,9.443327e-09,9.724979e-09,1.371948e-08,1.481246e-08,1.862209e-08,2.176268e-08,2.441986e-08,3.019407e-08,3.102517e-08,3.830597e-08,3.983079e-08,4.612331e-08,5.035784e-08,5.435117e-08,6.149945e-08,6.288028e-08,7.161534e-08,7.302628e-08,8.047177e-08,8.474335e-08,8.937352e-08,9.648123e-08,9.825201e-08,1.070457e-07,1.080926e-07,1.157000e-07,1.194513e-07,1.241677e-07,1.304530e-07,1.324081e-07,1.403876e-07,1.410138e-07,1.480789e-07,1.510699e-07,1.554611e-07,1.605758e-07,1.625185e-07,1.692405e-07,1.695023e-07,1.756211e-07,1.778340e-07,1.816579e-07,1.855668e-07,1.873517e-07,1.927062e-07,1.977271e-07,1.992646e-07,2.024221e-07,2.052600e-07,2.068001e-07,2.107142e-07,2.108713e-07,2.146464e-07,2.156519e-07,2.181368e-07,2.200992e-07,2.213542e-07,2.240835e-07,2.243106e-07,2.270179e-07,2.276319e-07,2.294879e-07,2.307718e-07,2.317322e-07,2.335297e-07,2.337624e-07,2.355895e-07,2.359316e-07,2.372246e-07,2.380023e-07,2.386779e-07,2.397658e-07,2.399597e-07,2.410797e-07,2.412446e-07,2.420473e-07,2.424602e-07,2.428714e-07,2.434331e-07,2.435605e-07,2.441229e-07,2.441823e-07,2.445664e-07,2.447258e-07,2.448984e-07,2.450806e-07,2.451260e-07,2.452559e-07,2.452623e-07,2.452946e-07,2.452858e-07,2.452480e-07,2.451650e-07,2.451220e-07,2.449220e-07,2.449126e-07,2.446533e-07,2.445406e-07,2.443206e-07,2.440603e-07,2.439287e-07,2.434819e-07,2.429843e-07,2.428151e-07,2.424400e-07,2.420688e-07,2.418526e-07,2.412514e-07,2.412256e-07,2.405623e-07,2.403705e-07,2.398658e-07,2.394332e-07,2.391390e-07,2.384460e-07,2.383847e-07,2.376056e-07,2.374151e-07,2.368039e-07,2.363461e-07,2.359822e-07,2.352441e-07,2.351424e-07,2.342867e-07,2.341139e-07,2.334170e-07,2.329598e-07,2.325351e-07,2.317860e-07,2.316426e-07,2.307411e-07,2.305961e-07,2.298321e-07,2.293935e-07,2.289170e-07,2.281814e-07,2.279971e-07,2.270736e-07,2.269626e-07,2.261476e-07,2.257397e-07,2.252202e-07,2.245151e-07,2.242924e-07,2.233651e-07,2.232909e-07,2.224390e-07,2.220692e-07,2.215152e-07,2.208517e-07,2.205942e-07,2.196767e-07,2.196401e-07,2.187634e-07,2.184358e-07,2.178549e-07,2.172402e-07,2.169518e-07,2.160544e-07,2.148795e-07,2.137165e-07,2.125662e-07,2.114294e-07,2.103067e-07,2.091987e-07,2.081060e-07,2.070288e-07,2.059677e-07,2.049229e-07,2.038947e-07,2.028832e-07,2.018887e-07,2.009111e-07,1.999508e-07,1.990075e-07,1.980814e-07,1.971725e-07,1.962807e-07,1.954059e-07,1.945480e-07,1.937069e-07,1.928825e-07,1.920746e-07
0.000000e+00,4.002545e-09,1.137104e-08,5.243456e-08,1.418957e-07,2.229272e-07,5.887870e-07,6.097801e-07,1.329882e-06,1.610908e-06,2.533811e-06,3.560290e-06,4.392263e-06,6.781714e-06,7.020268e-06,1.035550e-05,1.123481e-05,1.413683e-05,1.632608e-05,1.803899e-05,2.136611e-05,2.180491e-05,2.528398e-05,2.593855e-05,2.841149e-05,2.989368e-05,3.117581e-05,3.322825e-05,3.359266e-05,3.568948e-05,3.599734e-05,3.749729e-05,3.827145e-05,3.904680e-05,4.012004e-05,4.036707e-05,4.148493e-05,4.160666e-05,4.242493e-05,4.278801e-05,4.320937e-05,4.371399e-05,4.385840e-05,4.438985e-05,4.442778e-05,4.481965e-05,4.496631e-05,4.516181e-05,4.536084e-05,4.542857e-05,4.563057e-05,4.563744e-05,4.577691e-05,4.581750e-05,4.587535e-05,4.591837e-05,4.593255e-05,4.595416e-05,4.594496e-05,4.593619e-05,4.590903e-05,4.587363e-05,4.584984e-05,4.577388e-05,4.577034e-05,4.567307e-05,4.564295e-05,4.556019e-05,4.548577e-05,4.543359e-05,4.530638e-05,4.529487e-05,4.514548e-05,4.510817e-05,4.498664e-05,4.489398e-05,4.481945e-05,4.466621e-05,4.464490e-05,4.446385e-05,4.442692e-05,4.427706e-05,4.417791e-05,4.408526e-05,4.392071e-05,4.388905e-05,4.368901e-05,4.365669e-05,4.348567e-05,4.338703e-05,4.327948e-05,4.311279e-05,4.307089e-05,4.286029e-05,4.283490e-05,4.264804e-05,4.255421e-05,4.243446e-05,4.227145e-05,4.221987e-05,4.200453e-05,4.198728e-05,4.178872e-05,4.170232e-05,4.157266e-05,4.141707e-05,4.135658e-05,4.114067e-05,4.113204e-05,4.092511e-05,4.084763e-05,4.071008e-05,4.056425e-05,4.049574e-05,4.028222e-05,4.006967e-05,4.000187e-05,3.985819e-05,3.972346e-05,3.964791e-05,3.944725e-05,3.943892e-05,3.923132e-05,3.917345e-05,3.902519e-05,3.890225e-05,3.882061e-05,3.863384e-05,3.861766e-05,3.841640e-05,3.836835e-05,3.821688e-05,3.810593e-05,3.801916e-05,3.784669e-05,3.782328e-05,3.762930e-05,3.759073e-05,3.743724e-05,3.733814e-05,3.724715e-05,3.708900e-05,3.705904e-05,3.687295e-05,3.684336e-05,3.668890e-05,3.660129e-05,3.650691e-05,3.636281e-05,3.632699e-05,3.614916e-05,3.612797e-05,3.597343e-05,3.589678e-05,3.579981e-05,3.566927e-05,3.562830e-05,3.545891e-05,3.544545e-05,3.529163e-05,3.522532e-05,3.512648e-05,3.500887e-05,3.496344e-05,3.480251e-05,3.479611e-05,3.464369e-05,3.458703e-05,3.448697e-05,3.438160e-05,3.433234e-05,3.417980e-05,3.398162e-05,3.378703e-05,3.359600e-05,3.340849e-05,3.322448e-05,3.304393e-05,3.286680e-05,3.269305e-05,3.252264e-05,3.235553e-05,3.219167e-05,3.203103e-05,3.187355e-05,3.171920e-05,3.156793e-05,3.141968e-05,3.127441e-05,3.113208e-05,3.099264e-05,3.085604e-05,3.072224e-05,3.059118e-05,3.046282e-05,3.033712e-05
0.000000e+00,2.877617e-09,8.360717e-09,4.026810e-08,1.127728e-07,1.800051e-07,4.891412e-07,5.069492e-07,1.112543e-06,1.344821e-06,2.090948e-06,2.896790e-06,3.538114e-06,5.367070e-06,5.551233e-06,8.226300e-06,8.976917e-06,1.165140e-05,1.392350e-05,1.589381e-05,2.032762e-05,2.098276e-05,2.689610e-05,2.817205e-05,3.356130e-05,3.728955e-05,4.087118e-05,4.742077e-05,4.870415e-05,5.693983e-05,5.828733e-05,6.546733e-05,6.963480e-05,7.418819e-05,8.124574e-05,8.301616e-05,9.187631e-05,9.293851e-05,1.007038e-04,1.045628e-04,1.094427e-04,1.159954e-04,1.180453e-04,1.264714e-04,1.271368e-04,1.346876e-04,1.379090e-04,1.426667e-04,1.482526e-04,1.503872e-04,1.578328e-04,1.581247e-04,1.649913e-04,1.674965e-04,1.718549e-04,1.763511e-04,1.784188e-04,1.846812e-04,1.906427e-04,1.924872e-04,1.963059e-04,1.997756e-04,2.016749e-04,2.065576e-04,2.067553e-04,2.115536e-04,2.128476e-04,2.160771e-04,2.186626e-04,2.203337e-04,2.240212e-04,2.243318e-04,2.280798e-04,2.289431e-04,2.315867e-04,2.334485e-04,2.348613e-04,2.375577e-04,2.379124e-04,2.407488e-04,2.412911e-04,2.433793e-04,2.446687e-04,2.458125e-04,2.477100e-04,2.480567e-04,2.501201e-04,2.504341e-04,2.520109e-04,2.528594e-04,2.537367e-04,2.550036e-04,2.553051e-04,2.567234e-04,2.568839e-04,2.579988e-04,2.585164e-04,2.591380e-04,2.599169e-04,2.601477e-04,2.610343e-04,2.611001e-04,2.618038e-04,2.620802e-04,2.624622e-04,2.628706e-04,2.630152e-04,2.634681e-04,2.634842e-04,2.638264e-04,2.639331e-04,2.640949e-04,2.642287e-04,2.642785e-04,2.643818e-04,2.644094e-04,2.644029e-04,2.643653e-04,2.643014e-04,2.642537e-04,2.640867e-04,2.640785e-04,2.638434e-04,2.637673e-04,2.635519e-04,2.633514e-04,2.632074e-04,2.628466e-04,2.628133e-04,2.623726e-04,2.622602e-04,2.618882e-04,2.615990e-04,2.613631e-04,2.608694e-04,2.607998e-04,2.602011e-04,2.600773e-04,2.595692e-04,2.592283e-04,2.589066e-04,2.583279e-04,2.582155e-04,2.574980e-04,2.573809e-04,2.567562e-04,2.563920e-04,2.559919e-04,2.553655e-04,2.552070e-04,2.544032e-04,2.543056e-04,2.535822e-04,2.532159e-04,2.527456e-04,2.521002e-04,2.518947e-04,2.510312e-04,2.509616e-04,2.501562e-04,2.498033e-04,2.492711e-04,2.486283e-04,2.483771e-04,2.474753e-04,2.474391e-04,2.465668e-04,2.462383e-04,2.456527e-04,2.450283e-04,2.447338e-04,2.438112e-04,2.425890e-04,2.413636e-04,2.401367e-04,2.389100e-04,2.376848e-04,2.364626e-04,2.352446e-04,2.340320e-04,2.328258e-04,2.316270e-04,2.304364e-04,2.292550e-04,2.280835e-04,2.269224e-04,2.257724e-04,2.246341e-04,2.235079e-04,2.223943e-04,2.212937e-04,2.202064e-04,2.191326e-04,2.180728e-04,2.170270e-04,2.159955e-04
0.000000e+00,1.578822e-10,3.663352e-10,1.278145e-09,2.928997e-09,4.285689e-09,9.781046e-09,1.007751e-08,1.956791e-08,2.301795e-08,3.372190e-08,4.487552e-08,5.355894e-08,7.771627e-08,8.011083e-08,1.143199e-07,1.237539e-07,1.568708e-07,1.844467e-07,2.079725e-07,2.596715e-07,2.671708e-07,3.333343e-07,3.472683e-07,4.048935e-07,4.436854e-07,4.802057e-07,5.453014e-07,5.578241e-07,6.365912e-07,6.492377e-07,7.156150e-07,7.534303e-07,7.942110e-07,8.564179e-07,8.718467e-07,9.481034e-07,9.571451e-07,1.022650e-06,1.054840e-06,1.095228e-06,1.148943e-06,1.165634e-06,1.233717e-06,1.239060e-06,1.299367e-06,1.324928e-06,1.362509e-06,1.406392e-06,1.423098e-06,1.481113e-06,1.483380e-06,1.536556e-06,1.555888e-06,1.589441e-06,1.623958e-06,1.639801e-06,1.687675e-06,1.733114e-06,1.747149e-06,1.776172e-06,1.802508e-06,1.816910e-06,1.853897e-06,1.855394e-06,1.891688e-06,1.901468e-06,1.925862e-06,1.945378e-06,1.957985e-06,1.985787e-06,1.988127e-06,2.016357e-06,2.022855e-06,2.042744e-06,2.056741e-06,2.067357e-06,2.087601e-06,2.090262e-06,2.111527e-06,2.115589e-06,2.131216e-06,2.140853e-06,2.149393e-06,2.163538e-06,2.166119e-06,2.181455e-06,2.183784e-06,2.195460e-06,2.201727e-06,2.208192e-06,2.217497e-06,2.219705e-06,2.230053e-06,2.231219e-06,2.239289e-06,2.243014e-06,2.247464e-06,2.252996e-06,2.254625e-06,2.260822e-06,2.261277e-06,2.266098e-06,2.267961e-06,2.270499e-06,2.273149e-06,2.274067e-06,2.276843e-06,2.276938e-06,2.278866e-06,2.279418e-06,2.280175e-06,2.280677e-06,2.280807e-06,2.280797e-06,2.280178e-06,2.279857e-06,2.278984e-06,2.277933e-06,2.277246e-06,2.275094e-06,2.274994e-06,2.272257e-06,2.271408e-06,2.269064e-06,2.266939e-06,2.265439e-06,2.261747e-06,2.261411e-06,2.257002e-06,2.255889e-06,2.252236e-06,2.249420e-06,2.247136e-06,2.242389e-06,2.241724e-06,2.236019e-06,2.234845e-06,2.230043e-06,2.226834e-06,2.223814e-06,2.218398e-06,2.217349e-06,2.210666e-06,2.209578e-06,2.203783e-06,2.200412e-06,2.196713e-06,2.190934e-06,2.189473e-06,2.182077e-06,2.181180e-06,2.174538e-06,2.171180e-06,2.166870e-06,2.160964e-06,2.159085e-06,2.151195e-06,2.150559e-06,2.143211e-06,2.139993e-06,2.135143e-06,2.129289e-06,2.127003e-06,2.118799e-06,2.118470e-06,2.110541e-06,2.107557e-06,2.102238e-06,2.096570e-06,2.093897e-06,2.085528e-06,2.074448e-06,2.063345e-06,2.052236e-06,2.041134e-06,2.030052e-06,2.019001e-06,2.007993e-06,1.997038e-06,1.986145e-06,1.975323e-06,1.964579e-06,1.953922e-06,1.943356e-06,1.932890e-06,1.922527e-06,1.912272e-06,1.902131e-06,1.892107e-06,1.882203e-06,1.872423e-06,1.862769e-06,1.853244e-06,1.843849e-06,1.834587e-06
0.000000e+00,1.733764e-11,3.992548e-11,1.378481e-10,3.133855e-10,4.564943e-10,1.028183e-09,1.058707e-09,2.021527e-09,2.365385e-09,3.414525e-09,4.483087e-09,5.300102e-09,7.516459e-09,7.732216e-09,1.075182e-08,1.156666e-08,1.437785e-08,1.667012e-08,1.859808e-08,2.276988e-08,2.336963e-08,2.863042e-08,2.973523e-08,3.431131e-08,3.740813e-08,4.034232e-08,4.562851e-08,4.665459e-08,5.318101e-08,5.424075e-08,5.985686e-08,6.309612e-08,6.662057e-08,7.205601e-08,7.341467e-08,8.018659e-08,8.099543e-08,8.688926e-08,8.980567e-08,9.348150e-08,9.839585e-08,9.992808e-08,1.061997e-07,1.066931e-07,1.122726e-07,1.146417e-07,1.181281e-07,1.222016e-07,1.237525e-07,1.291361e-07,1.293463e-07,1.342726e-07,1.360607e-07,1.391593e-07,1.423393e-07,1.437958e-07,1.481838e-07,1.523269e-07,1.536018e-07,1.562301e-07,1.586049e-07,1.598994e-07,1.632082e-07,1.633417e-07,1.665645e-07,1.674287e-07,1.695759e-07,1.712847e-07,1.723841e-07,1.747952e-07,1.749973e-07,1.774242e-07,1.779798e-07,1.796730e-07,1.808577e-07,1.817521e-07,1.834478e-07,1.836696e-07,1.854336e-07,1.857686e-07,1.870517e-07,1.878380e-07,1.885316e-07,1.896731e-07,1.898804e-07,1.911051e-07,1.912900e-07,1.922125e-07,1.927042e-07,1.932089e-07,1.939303e-07,1.941006e-07,1.948934e-07,1.949822e-07,1.955930e-07,1.958728e-07,1.962049e-07,1.966143e-07,1.967340e-07,1.971853e-07,1.972182e-07,1.975636e-07,1.976954e-07,1.978731e-07,1.980558e-07,1.981182e-07,1.983027e-07,1.983089e-07,1.984307e-07,1.984635e-07,1.985055e-07,1.985279e-07,1.985307e-07,1.985096e-07,1.984452e-07,1.984159e-07,1.983403e-07,1.982533e-07,1.981979e-07,1.980282e-07,1.980205e-07,1.978105e-07,1.977463e-07,1.975704e-07,1.974128e-07,1.973024e-07,1.970329e-07,1.970085e-07,1.966907e-07,1.966111e-07,1.963509e-07,1.961517e-07,1.959910e-07,1.956588e-07,1.956124e-07,1.952169e-07,1.951359e-07,1.948059e-07,1.945865e-07,1.943808e-07,1.940138e-07,1.939429e-07,1.934936e-07,1.934207e-07,1.930339e-07,1.928099e-07,1.925649e-07,1.921838e-07,1.920878e-07,1.916035e-07,1.915449e-07,1.911128e-07,1.908952e-07,1.906168e-07,1.902366e-07,1.901161e-07,1.896116e-07,1.895710e-07,1.891039e-07,1.889001e-07,1.885937e-07,1.882253e-07,1.880818e-07,1.875685e-07,1.875480e-07,1.870546e-07,1.868695e-07,1.865405e-07,1.861911e-07,1.860267e-07,1.855137e-07,1.848383e-07,1.841658e-07,1.834971e-07,1.828328e-07,1.821736e-07,1.815201e-07,1.808728e-07,1.802323e-07,1.795989e-07,1.789731e-07,1.783551e-07,1.777452e-07,1.771438e-07,1.765510e-07,1.759670e-07,1.753921e-07,1.748262e-07,1.742695e-07,1.737222e-07,1.731842e-07,1.726557e-07,1.721365e-07,1.716269e-07,1.711266e-07
0.000000e+00,4.764349e-08,1.421387e-07,7.220712e-07,2.118896e-06,3.467371e-06,1.002333e-05,1.041365e-05,2.421332e-05,2.971452e-05,4.793791e-05,6.834839e-05,8.501114e-05,1.340698e-04,1.391128e-04,2.139260e-04,2.353373e-04,3.126657e-04,3.793103e-04,4.376258e-04,5.702828e-04,5.900395e-04,7.702062e-04,8.095419e-04,9.776804e-04,1.096035e-03,1.211425e-03,1.426973e-03,1.469921e-03,1.751250e-03,1.798236e-03,2.053172e-03,2.204684e-03,2.373191e-03,2.640438e-03,2.708625e-03,3.056682e-03,3.099162e-03,3.414518e-03,3.574333e-03,3.779306e-03,4.059496e-03,4.148292e-03,4.518840e-03,4.548475e-03,4.888472e-03,5.035550e-03,5.254902e-03,5.515572e-03,5.616050e-03,5.970061e-03,5.984049e-03,6.315308e-03,6.437175e-03,6.650391e-03,6.871833e-03,6.974133e-03,7.285568e-03,7.583929e-03,7.676543e-03,7.868632e-03,8.043477e-03,8.139265e-03,8.385590e-03,8.395564e-03,8.637405e-03,8.702525e-03,8.864778e-03,8.994294e-03,9.077780e-03,9.261208e-03,9.276597e-03,9.461487e-03,9.503823e-03,9.632773e-03,9.722889e-03,9.790829e-03,9.919304e-03,9.936070e-03,1.006894e-02,1.009407e-02,1.018992e-02,1.024828e-02,1.029948e-02,1.038305e-02,1.039812e-02,1.048636e-02,1.049954e-02,1.056468e-02,1.059890e-02,1.063358e-02,1.068226e-02,1.069357e-02,1.074512e-02,1.075076e-02,1.078871e-02,1.080548e-02,1.082479e-02,1.084747e-02,1.085382e-02,1.087622e-02,1.087773e-02,1.089240e-02,1.089722e-02,1.090276e-02,1.090684e-02,1.090769e-02,1.090755e-02,1.090744e-02,1.090269e-02,1.089984e-02,1.089343e-02,1.088479e-02,1.088009e-02,1.086298e-02,1.084238e-02,1.083509e-02,1.081854e-02,1.080172e-02,1.079174e-02,1.076343e-02,1.076220e-02,1.073016e-02,1.072077e-02,1.069582e-02,1.067420e-02,1.065940e-02,1.062420e-02,1.062107e-02,1.058101e-02,1.057116e-02,1.053940e-02,1.051547e-02,1.049639e-02,1.045749e-02,1.045212e-02,1.040673e-02,1.039754e-02,1.036036e-02,1.033590e-02,1.031313e-02,1.027286e-02,1.026514e-02,1.021650e-02,1.020866e-02,1.016731e-02,1.014353e-02,1.011766e-02,1.007767e-02,1.006765e-02,1.001733e-02,1.001128e-02,9.966803e-03,9.944519e-03,9.916123e-03,9.877545e-03,9.865357e-03,9.814564e-03,9.810501e-03,9.763800e-03,9.743513e-03,9.713114e-03,9.676696e-03,9.662555e-03,9.612164e-03,9.610153e-03,9.561984e-03,9.543977e-03,9.512049e-03,9.478252e-03,9.462394e-03,9.413051e-03,9.348440e-03,9.284479e-03,9.221219e-03,9.158706e-03,9.096978e-03,9.036070e-03,8.976013e-03,8.916830e-03,8.858544e-03,8.801170e-03,8.744724e-03,8.689216e-03,8.634655e-03,8.581044e-03,8.528388e-03,8.476688e-03,8.425942e-03,8.376149e-03,8.327304e-03,8.279402e-03,8.232436e-03,8.186399e-03,8.141281e-03,8.097074e-03
0.000000e+00,6.804162e-10,1.938550e-09,8.992256e-09,2.441779e-08,3.837046e-08,1.005510e-07,1.040706e-07,2.215923e-07,2.659094e-07,4.066047e-07,5.567040e-07,6.752731e-07,1.010783e-06,1.044415e-06,1.531065e-06,1.667158e-06,2.150997e-06,2.561002e-06,2.915861e-06,3.711908e-06,3.829203e-06,4.883185e-06,5.109334e-06,6.058619e-06,6.709170e-06,7.328979e-06,8.448638e-06,8.665899e-06,1.004331e-05,1.026592e-05,1.143921e-05,1.211044e-05,1.283581e-05,1.394398e-05,1.421895e-05,1.557737e-05,1.573827e-05,1.690209e-05,1.747239e-05,1.818597e-05,1.913088e-05,1.942337e-05,2.060993e-05,2.070256e-05,2.174244e-05,2.217978e-05,2.281864e-05,2.355782e-05,2.383712e-05,2.479717e-05,2.483435e-05,2.569873e-05,2.600904e-05,2.654226e-05,2.708315e-05,2.732864e-05,2.805914e-05,2.873526e-05,2.894041e-05,2.935874e-05,2.973103e-05,2.993150e-05,3.043547e-05,3.045553e-05,3.093292e-05,3.105853e-05,3.136581e-05,3.160507e-05,3.175633e-05,3.208001e-05,3.210661e-05,3.241873e-05,3.248820e-05,3.269477e-05,3.283434e-05,3.293673e-05,3.312301e-05,3.314656e-05,3.332613e-05,3.335857e-05,3.347726e-05,3.354519e-05,3.360169e-05,3.368680e-05,3.370109e-05,3.377706e-05,3.378714e-05,3.383111e-05,3.384970e-05,3.386471e-05,3.387778e-05,3.387922e-05,3.387597e-05,3.387445e-05,3.385620e-05,3.384258e-05,3.382110e-05,3.378485e-05,3.377177e-05,3.370929e-05,3.370376e-05,3.363466e-05,3.360161e-05,3.354882e-05,3.348057e-05,3.345266e-05,3.334704e-05,3.334263e-05,3.323275e-05,3.318962e-05,3.311053e-05,3.302326e-05,3.298110e-05,3.284512e-05,3.270322e-05,3.265665e-05,3.255597e-05,3.245919e-05,3.240395e-05,3.225398e-05,3.224765e-05,3.208757e-05,3.204213e-05,3.192416e-05,3.182470e-05,3.175785e-05,3.160263e-05,3.158904e-05,3.141809e-05,3.137679e-05,3.124537e-05,3.114798e-05,3.107118e-05,3.091693e-05,3.089584e-05,3.071963e-05,3.068430e-05,3.054280e-05,3.045069e-05,3.036561e-05,3.021665e-05,3.018828e-05,3.001102e-05,2.998268e-05,2.983402e-05,2.974921e-05,2.965747e-05,2.951666e-05,2.948153e-05,2.930636e-05,2.928540e-05,2.913209e-05,2.905573e-05,2.895886e-05,2.882797e-05,2.878678e-05,2.861596e-05,2.860235e-05,2.844651e-05,2.837913e-05,2.827850e-05,2.815849e-05,2.811203e-05,2.794717e-05,2.794061e-05,2.778399e-05,2.772566e-05,2.762253e-05,2.751376e-05,2.746286e-05,2.730503e-05,2.709957e-05,2.689746e-05,2.669876e-05,2.650353e-05,2.631180e-05,2.612362e-05,2.593899e-05,2.575794e-05,2.558045e-05,2.540653e-05,2.523616e-05,2.506933e-05,2.490601e-05,2.474617e-05,2.458978e-05,2.443681e-05,2.428721e-05,2.414094e-05,2.399796e-05,2.385821e-05,2.372166e-05,2.358824e-05,2.345791e-05,2.333061e-05
0.000000e+00,2.877774e-08,8.571047e-08,4.338386e-07,1.268637e-06,2.071804e-06,5.955279e-06,6.185660e-06,1.429034e-05,1.750355e-05,2.809294e-05,3.987237e-05,4.943786e-05,7.740069e-05,8.026194e-05,1.225345e-04,1.345973e-04,1.781441e-04,2.157298e-04,2.486997e-04,3.240232e-04,3.352775e-04,4.382376e-04,4.607748e-04,5.572124e-04,6.251063e-04,6.912351e-04,8.144335e-04,8.389134e-04,9.985820e-04,1.025121e-03,1.168418e-03,1.252996e-03,1.346528e-03,1.493692e-03,1.531006e-03,1.719987e-03,1.742881e-03,1.911678e-03,1.996442e-03,2.104393e-03,2.250576e-03,2.296572e-03,2.486795e-03,2.501889e-03,2.673796e-03,2.747441e-03,2.856467e-03,2.984768e-03,3.033855e-03,3.205163e-03,3.211879e-03,3.369740e-03,3.427237e-03,3.527074e-03,3.629723e-03,3.676781e-03,3.818595e-03,3.952352e-03,3.993439e-03,4.077983e-03,4.154123e-03,4.195496e-03,4.300744e-03,4.304970e-03,4.406543e-03,4.433591e-03,4.500397e-03,4.553098e-03,4.586758e-03,4.659810e-03,4.665880e-03,4.738040e-03,4.754356e-03,4.803535e-03,4.837414e-03,4.862669e-03,4.909696e-03,4.915758e-03,4.963118e-03,4.971930e-03,5.005064e-03,5.024840e-03,5.041908e-03,5.069138e-03,5.073956e-03,5.101508e-03,5.105519e-03,5.124853e-03,5.134647e-03,5.144272e-03,5.157160e-03,5.160032e-03,5.172390e-03,5.173657e-03,5.181593e-03,5.184704e-03,5.187874e-03,5.190829e-03,5.191454e-03,5.192541e-03,5.192527e-03,5.191335e-03,5.190253e-03,5.188022e-03,5.184430e-03,5.182776e-03,5.175763e-03,5.175448e-03,5.167136e-03,5.163664e-03,5.157041e-03,5.149406e-03,5.145612e-03,5.132975e-03,5.119248e-03,5.114643e-03,5.104540e-03,5.094661e-03,5.088955e-03,5.073254e-03,5.072586e-03,5.055521e-03,5.050630e-03,5.037844e-03,5.026974e-03,5.019628e-03,5.002456e-03,5.000946e-03,4.981862e-03,4.977228e-03,4.962435e-03,4.951428e-03,4.942723e-03,4.925180e-03,4.922776e-03,4.902641e-03,4.898596e-03,4.882363e-03,4.871775e-03,4.861981e-03,4.844807e-03,4.841533e-03,4.821052e-03,4.817774e-03,4.800569e-03,4.790746e-03,4.780115e-03,4.763788e-03,4.759713e-03,4.739388e-03,4.736956e-03,4.719163e-03,4.710301e-03,4.699057e-03,4.683866e-03,4.679087e-03,4.659271e-03,4.657692e-03,4.639622e-03,4.631813e-03,4.620155e-03,4.606258e-03,4.600881e-03,4.581811e-03,4.581053e-03,4.562955e-03,4.556220e-03,4.544320e-03,4.531780e-03,4.525916e-03,4.507747e-03,4.484136e-03,4.460958e-03,4.438221e-03,4.415932e-03,4.394097e-03,4.372718e-03,4.351799e-03,4.331340e-03,4.311340e-03,4.291799e-03,4.272713e-03,4.254081e-03,4.235898e-03,4.218160e-03,4.200862e-03,4.183998e-03,4.167563e-03,4.151550e-03,4.135953e-03,4.120764e-03,4.105977e-03,4.091584e-03,4.077579e-03,4.063952e-03
0.000000e+00,7.119501e-11,1.635414e-10,5.647021e-10,1.288464e-09,1.882809e-09,4.292749e-09,4.422958e-09,8.604779e-09,1.013182e-08,1.489241e-08,1.988647e-08,2.379392e-08,3.471540e-08,3.579921e-08,5.120816e-08,5.541148e-08,6.992336e-08,8.167940e-08,9.147106e-08,1.123066e-07,1.152619e-07,1.407824e-07,1.460566e-07,1.676249e-07,1.819931e-07,1.954572e-07,2.193913e-07,2.239936e-07,2.529789e-07,2.576425e-07,2.821827e-07,2.962163e-07,3.113974e-07,3.346526e-07,3.404390e-07,3.691471e-07,3.725629e-07,3.973846e-07,4.096298e-07,4.250371e-07,4.456035e-07,4.520112e-07,4.782327e-07,4.802961e-07,5.036444e-07,5.135725e-07,5.282043e-07,5.453430e-07,5.518829e-07,5.746616e-07,5.755539e-07,5.965312e-07,6.041811e-07,6.174896e-07,6.312227e-07,6.375410e-07,6.566945e-07,6.749634e-07,6.806251e-07,6.923637e-07,7.030527e-07,7.089142e-07,7.240222e-07,7.246353e-07,7.395490e-07,7.435832e-07,7.536780e-07,7.617885e-07,7.670459e-07,7.786927e-07,7.796766e-07,7.915945e-07,7.943515e-07,8.028239e-07,8.088205e-07,8.133888e-07,8.221554e-07,8.233133e-07,8.326211e-07,8.344107e-07,8.413356e-07,8.456403e-07,8.494797e-07,8.558964e-07,8.570759e-07,8.641461e-07,8.652300e-07,8.707120e-07,8.736906e-07,8.767943e-07,8.813258e-07,8.824136e-07,8.875896e-07,8.881818e-07,8.923416e-07,8.943030e-07,8.966883e-07,8.997318e-07,9.006477e-07,9.042375e-07,9.045092e-07,9.074745e-07,9.086743e-07,9.103753e-07,9.122644e-07,9.129555e-07,9.152306e-07,9.153155e-07,9.172154e-07,9.178616e-07,9.189240e-07,9.199353e-07,9.203704e-07,9.215676e-07,9.225284e-07,9.227880e-07,9.232652e-07,9.236246e-07,9.237897e-07,9.241040e-07,9.241133e-07,9.242469e-07,9.242517e-07,9.242010e-07,9.240915e-07,9.239856e-07,9.236462e-07,9.236105e-07,9.230849e-07,9.229373e-07,9.224176e-07,9.219853e-07,9.216173e-07,9.208095e-07,9.206921e-07,9.196498e-07,9.194279e-07,9.184978e-07,9.178579e-07,9.172435e-07,9.161157e-07,9.158935e-07,9.144545e-07,9.142164e-07,9.129328e-07,9.121747e-07,9.113342e-07,9.100039e-07,9.096646e-07,9.079293e-07,9.077170e-07,9.061337e-07,9.053257e-07,9.042825e-07,9.028415e-07,9.023807e-07,9.004326e-07,9.002749e-07,8.984425e-07,8.976357e-07,8.964146e-07,8.949333e-07,8.943527e-07,8.922606e-07,8.921763e-07,8.901416e-07,8.893728e-07,8.879991e-07,8.865305e-07,8.858364e-07,8.836563e-07,8.807569e-07,8.778385e-07,8.749066e-07,8.719666e-07,8.690235e-07,8.660818e-07,8.631455e-07,8.602188e-07,8.573050e-07,8.544075e-07,8.515293e-07,8.486731e-07,8.458415e-07,8.430367e-07,8.402608e-07,8.375157e-07,8.348031e-07,8.321244e-07,8.294811e-07,8.268743e-07,8.243050e-07,8.217742e-07,8.192827e-07,8.168310e-07
0.000000e+00,3.766769e-10,1.068022e-09,4.908894e-09,1.322890e-08,2.070674e-08,5.374736e-08,5.560786e-08,1.173475e-07,1.404794e-07,2.135214e-07,2.909170e-07,3.517405e-07,5.225948e-07,5.396278e-07,7.842491e-07,8.520278e-07,1.090597e-06,1.289664e-06,1.459592e-06,1.833100e-06,1.887298e-06,2.366272e-06,2.467452e-06,2.887764e-06,3.172875e-06,3.443221e-06,3.930331e-06,4.024854e-06,4.625668e-06,4.723146e-06,5.239320e-06,5.536712e-06,5.860010e-06,6.358036e-06,6.482414e-06,7.101682e-06,7.175571e-06,7.713446e-06,7.979233e-06,8.313849e-06,8.760489e-06,8.899561e-06,9.467779e-06,9.512408e-06,1.001622e-05,1.022965e-05,1.054311e-05,1.090836e-05,1.104712e-05,1.152736e-05,1.154607e-05,1.198329e-05,1.214142e-05,1.241467e-05,1.269400e-05,1.282155e-05,1.320421e-05,1.356310e-05,1.367302e-05,1.389883e-05,1.410188e-05,1.421213e-05,1.449254e-05,1.450380e-05,1.477470e-05,1.484695e-05,1.502574e-05,1.516722e-05,1.525785e-05,1.545548e-05,1.547197e-05,1.566903e-05,1.571389e-05,1.584995e-05,1.594454e-05,1.601560e-05,1.614945e-05,1.616687e-05,1.630459e-05,1.633057e-05,1.642955e-05,1.648974e-05,1.654252e-05,1.662870e-05,1.664424e-05,1.673540e-05,1.674905e-05,1.681666e-05,1.685233e-05,1.688864e-05,1.693995e-05,1.695194e-05,1.700712e-05,1.701322e-05,1.705469e-05,1.707335e-05,1.709517e-05,1.712148e-05,1.712902e-05,1.715667e-05,1.715863e-05,1.717855e-05,1.718577e-05,1.719504e-05,1.720378e-05,1.720651e-05,1.721330e-05,1.721348e-05,1.721574e-05,1.721561e-05,1.721412e-05,1.721086e-05,1.720874e-05,1.719986e-05,1.718773e-05,1.718320e-05,1.717258e-05,1.716141e-05,1.715465e-05,1.713499e-05,1.713412e-05,1.711121e-05,1.710439e-05,1.708609e-05,1.707002e-05,1.705892e-05,1.703227e-05,1.702988e-05,1.699912e-05,1.699149e-05,1.696677e-05,1.694801e-05,1.693296e-05,1.690211e-05,1.689782e-05,1.686148e-05,1.685407e-05,1.682403e-05,1.680415e-05,1.678557e-05,1.675257e-05,1.674621e-05,1.670604e-05,1.669954e-05,1.666514e-05,1.664527e-05,1.662358e-05,1.658992e-05,1.658145e-05,1.653882e-05,1.653367e-05,1.649574e-05,1.647666e-05,1.645228e-05,1.641903e-05,1.640849e-05,1.636444e-05,1.636090e-05,1.632017e-05,1.630241e-05,1.627572e-05,1.624364e-05,1.623115e-05,1.618649e-05,1.618470e-05,1.614178e-05,1.612568e-05,1.609706e-05,1.606666e-05,1.605236e-05,1.600772e-05,1.594892e-05,1.589032e-05,1.583198e-05,1.577396e-05,1.571630e-05,1.565904e-05,1.560223e-05,1.554589e-05,1.549006e-05,1.543477e-05,1.538004e-05,1.532589e-05,1.527235e-05,1.521943e-05,1.516714e-05,1.511551e-05,1.506454e-05,1.501425e-05,1.496464e-05,1.491571e-05,1.486748e-05,1.481994e-05,1.477311e-05,1.472698e-05
0.000000e+00,3.254668e-09,9.524249e-09,4.647991e-08,1.314924e-07,2.109045e-07,5.791270e-07,6.004318e-07,1.328035e-06,1.608177e-06,2.510444e-06,3.487755e-06,4.266961e-06,6.492443e-06,6.716569e-06,9.963629e-06,1.086944e-05,1.406459e-05,1.672805e-05,1.899324e-05,2.392985e-05,2.464045e-05,3.084781e-05,3.214136e-05,3.744408e-05,4.097336e-05,4.426720e-05,5.006814e-05,5.117338e-05,5.803913e-05,5.912669e-05,6.476034e-05,6.790917e-05,7.125060e-05,7.622884e-05,7.743971e-05,8.327236e-05,8.394621e-05,8.870698e-05,9.096423e-05,9.371465e-05,9.722387e-05,9.827801e-05,1.023900e-04,1.026994e-04,1.060524e-04,1.073935e-04,1.092748e-04,1.113310e-04,1.120728e-04,1.144667e-04,1.145544e-04,1.164804e-04,1.171173e-04,1.181403e-04,1.190809e-04,1.194739e-04,1.205092e-04,1.212741e-04,1.214662e-04,1.217957e-04,1.220138e-04,1.220998e-04,1.222098e-04,1.222108e-04,1.221515e-04,1.221073e-04,1.219428e-04,1.217539e-04,1.216038e-04,1.211918e-04,1.211519e-04,1.206028e-04,1.204581e-04,1.199704e-04,1.195846e-04,1.192672e-04,1.185987e-04,1.185043e-04,1.176915e-04,1.175237e-04,1.168373e-04,1.163794e-04,1.159494e-04,1.151823e-04,1.150343e-04,1.140979e-04,1.139465e-04,1.131452e-04,1.126834e-04,1.121806e-04,1.114029e-04,1.112078e-04,1.102303e-04,1.101128e-04,1.092509e-04,1.088200e-04,1.082720e-04,1.075298e-04,1.072958e-04,1.063243e-04,1.062468e-04,1.053589e-04,1.049747e-04,1.044010e-04,1.037167e-04,1.034518e-04,1.025124e-04,1.024751e-04,1.015836e-04,1.012519e-04,1.006660e-04,1.000489e-04,9.976040e-05,9.886717e-05,9.798677e-05,9.770781e-05,9.711954e-05,9.657154e-05,9.626574e-05,9.545892e-05,9.542558e-05,9.459922e-05,9.437033e-05,9.378678e-05,9.330602e-05,9.298832e-05,9.226612e-05,9.220388e-05,9.143344e-05,9.125062e-05,9.067700e-05,9.025948e-05,8.993448e-05,8.929254e-05,8.920583e-05,8.849093e-05,8.834959e-05,8.778968e-05,8.743039e-05,8.710196e-05,8.653463e-05,8.642762e-05,8.576652e-05,8.566196e-05,8.511848e-05,8.481202e-05,8.448335e-05,8.398441e-05,8.386094e-05,8.325107e-05,8.317872e-05,8.265356e-05,8.239452e-05,8.206820e-05,8.163135e-05,8.149481e-05,8.093319e-05,8.088876e-05,8.038313e-05,8.016630e-05,7.984443e-05,7.946349e-05,7.931689e-05,7.880030e-05,7.877986e-05,7.829446e-05,7.811495e-05,7.779917e-05,7.746829e-05,7.731422e-05,7.683941e-05,7.622786e-05,7.563317e-05,7.505489e-05,7.449258e-05,7.394580e-05,7.341412e-05,7.289711e-05,7.239437e-05,7.190548e-05,7.143004e-05,7.096768e-05,7.051800e-05,7.008064e-05,6.965524e-05,6.924145e-05,6.883891e-05,6.844731e-05,6.806631e-05,6.769559e-05,6.733486e-05,6.698381e-05,6.664215e-05,6.630960e-05,6.598589e-05
0.000000e+00,3.559249e-13,8.114740e-13,2.768298e-12,6.249857e-12,9.075556e-12,2.029921e-11,2.089632e-11,3.965014e-11,4.631647e-11,6.657543e-11,8.710531e-11,1.027438e-10,1.449705e-10,1.490692e-10,2.063095e-10,2.217408e-10,2.750550e-10,3.187329e-10,3.556955e-10,4.366101e-10,4.483617e-10,5.528486e-10,5.751192e-10,6.685634e-10,7.328660e-10,7.945471e-10,9.074195e-10,9.295770e-10,1.072295e-09,1.095750e-09,1.221309e-09,1.294667e-09,1.375247e-09,1.501052e-09,1.532787e-09,1.692668e-09,1.711953e-09,1.853696e-09,1.924621e-09,2.014755e-09,2.136541e-09,2.174812e-09,2.332926e-09,2.345466e-09,2.488255e-09,2.549436e-09,2.640053e-09,2.746799e-09,2.787681e-09,2.930598e-09,2.936210e-09,3.068362e-09,3.116625e-09,3.200624e-09,3.287282e-09,3.327122e-09,3.447677e-09,3.562177e-09,3.597529e-09,3.670577e-09,3.736753e-09,3.772885e-09,3.865424e-09,3.869160e-09,3.959499e-09,3.983747e-09,4.044034e-09,4.092033e-09,4.122922e-09,4.190666e-09,4.196343e-09,4.264493e-09,4.280088e-09,4.327579e-09,4.360775e-09,4.385815e-09,4.433226e-09,4.439422e-09,4.488619e-09,4.497949e-09,4.533627e-09,4.555448e-09,4.574664e-09,4.606222e-09,4.611943e-09,4.645673e-09,4.650754e-09,4.676054e-09,4.689506e-09,4.703282e-09,4.722920e-09,4.727544e-09,4.749018e-09,4.751416e-09,4.767877e-09,4.775388e-09,4.784282e-09,4.795206e-09,4.798390e-09,4.810348e-09,4.811215e-09,4.820294e-09,4.823739e-09,4.828360e-09,4.833075e-09,4.834672e-09,4.839347e-09,4.839501e-09,4.842495e-09,4.843274e-09,4.844220e-09,4.844632e-09,4.844622e-09,4.843792e-09,4.841817e-09,4.840957e-09,4.838779e-09,4.836312e-09,4.834754e-09,4.830029e-09,4.829815e-09,4.824028e-09,4.822264e-09,4.817457e-09,4.813163e-09,4.810161e-09,4.802857e-09,4.802196e-09,4.793615e-09,4.791469e-09,4.784466e-09,4.779112e-09,4.774795e-09,4.765888e-09,4.764646e-09,4.754058e-09,4.751891e-09,4.743070e-09,4.737209e-09,4.731716e-09,4.721921e-09,4.720030e-09,4.708044e-09,4.706100e-09,4.695786e-09,4.689813e-09,4.683283e-09,4.673123e-09,4.670562e-09,4.657646e-09,4.656084e-09,4.644558e-09,4.638750e-09,4.631319e-09,4.621167e-09,4.617947e-09,4.604463e-09,4.603380e-09,4.590883e-09,4.585427e-09,4.577223e-09,4.567346e-09,4.563498e-09,4.549722e-09,4.549170e-09,4.535909e-09,4.530930e-09,4.522072e-09,4.512653e-09,4.508220e-09,4.494366e-09,4.476092e-09,4.457851e-09,4.439664e-09,4.421549e-09,4.403521e-09,4.385595e-09,4.367785e-09,4.350102e-09,4.332558e-09,4.315163e-09,4.297924e-09,4.280852e-09,4.263951e-09,4.247229e-09,4.230691e-09,4.214343e-09,4.198187e-09,4.182229e-09,4.166472e-09,4.150917e-09,4.135568e-09,4.120427e-09,4.105494e-09,4.090771e-09
0.000000e+00,1.352763e-09,3.866337e-09,1.805145e-08,4.932818e-08,7.781427e-08,2.063969e-07,2.137448e-07,4.628180e-07,5.584887e-07,8.679499e-07,1.206768e-06,1.479885e-06,2.272177e-06,2.352724e-06,3.525945e-06,3.853477e-06,5.003226e-06,5.952731e-06,6.753986e-06,8.485662e-06,8.733898e-06,1.090111e-05,1.135388e-05,1.322141e-05,1.447914e-05,1.566733e-05,1.780200e-05,1.821576e-05,2.084587e-05,2.127293e-05,2.353780e-05,2.484619e-05,2.627217e-05,2.847738e-05,2.902989e-05,3.179233e-05,3.212329e-05,3.454164e-05,3.574280e-05,3.726101e-05,3.929817e-05,3.993502e-05,4.254982e-05,4.275607e-05,4.509328e-05,4.608830e-05,4.755504e-05,4.927206e-05,4.992657e-05,5.220115e-05,5.229004e-05,5.437370e-05,5.513012e-05,5.644069e-05,5.778482e-05,5.840001e-05,6.025079e-05,6.199324e-05,6.252810e-05,6.362847e-05,6.461960e-05,6.515838e-05,6.653034e-05,6.658549e-05,6.791279e-05,6.826701e-05,6.914369e-05,6.983746e-05,7.028184e-05,7.125035e-05,7.133112e-05,7.229550e-05,7.251477e-05,7.317904e-05,7.364002e-05,7.398579e-05,7.463539e-05,7.471975e-05,7.538485e-05,7.550995e-05,7.598492e-05,7.627250e-05,7.652369e-05,7.693151e-05,7.700474e-05,7.743153e-05,7.749501e-05,7.780737e-05,7.797060e-05,7.813539e-05,7.836541e-05,7.841860e-05,7.865985e-05,7.868611e-05,7.886185e-05,7.893895e-05,7.902714e-05,7.912972e-05,7.915816e-05,7.925718e-05,7.926378e-05,7.932636e-05,7.934613e-05,7.936772e-05,7.938136e-05,7.938318e-05,7.937453e-05,7.937371e-05,7.934346e-05,7.932710e-05,7.929156e-05,7.924514e-05,7.922032e-05,7.913115e-05,7.902535e-05,7.898818e-05,7.890416e-05,7.881906e-05,7.876874e-05,7.862635e-05,7.862017e-05,7.845948e-05,7.841245e-05,7.828762e-05,7.817952e-05,7.810549e-05,7.792958e-05,7.791393e-05,7.771372e-05,7.766447e-05,7.750561e-05,7.738587e-05,7.729028e-05,7.709535e-05,7.706839e-05,7.684055e-05,7.679432e-05,7.660732e-05,7.648409e-05,7.636924e-05,7.616587e-05,7.612681e-05,7.588050e-05,7.584076e-05,7.563074e-05,7.550976e-05,7.537796e-05,7.517381e-05,7.512253e-05,7.486481e-05,7.483375e-05,7.460515e-05,7.449037e-05,7.434386e-05,7.414437e-05,7.408123e-05,7.381754e-05,7.379641e-05,7.355305e-05,7.344709e-05,7.328800e-05,7.309695e-05,7.302262e-05,7.275711e-05,7.274649e-05,7.249168e-05,7.239617e-05,7.222650e-05,7.204641e-05,7.196175e-05,7.169759e-05,7.135005e-05,7.100411e-05,7.066005e-05,7.031813e-05,6.997859e-05,6.964165e-05,6.930748e-05,6.897627e-05,6.864817e-05,6.832332e-05,6.800183e-05,6.768382e-05,6.736938e-05,6.705860e-05,6.675156e-05,6.644830e-05,6.614889e-05,6.585337e-05,6.556178e-05,6.527414e-05,6.499048e-05,6.471082e-05,6.443516e-05,6.416351e-05
0.000000e+00,1.510921e-11,3.475407e-11,1.200399e-10,2.733834e-10,3.987405e-10,9.018132e-10,9.287624e-10,1.782572e-09,2.089094e-09,3.028887e-09,3.992620e-09,4.733661e-09,6.761259e-09,6.959964e-09,9.765198e-09,1.052995e-08,1.319368e-08,1.539464e-08,1.726551e-08,2.137238e-08,2.196906e-08,2.726519e-08,2.839086e-08,3.309933e-08,3.632591e-08,3.941176e-08,4.503993e-08,4.614252e-08,5.323258e-08,5.439644e-08,6.062389e-08,6.426192e-08,6.825938e-08,7.450600e-08,7.608320e-08,8.404125e-08,8.500275e-08,9.208176e-08,9.563300e-08,1.001559e-07,1.062868e-07,1.082184e-07,1.162279e-07,1.168652e-07,1.241472e-07,1.272821e-07,1.319433e-07,1.374640e-07,1.395877e-07,1.470559e-07,1.473507e-07,1.543277e-07,1.568941e-07,1.613862e-07,1.660575e-07,1.682185e-07,1.748143e-07,1.811665e-07,1.831469e-07,1.872702e-07,1.910448e-07,1.931227e-07,1.985041e-07,1.987233e-07,2.040727e-07,2.055258e-07,2.091732e-07,2.121153e-07,2.140279e-07,2.182807e-07,2.186410e-07,2.230175e-07,2.240332e-07,2.271628e-07,2.293854e-07,2.310830e-07,2.343515e-07,2.347844e-07,2.382735e-07,2.389465e-07,2.415573e-07,2.431859e-07,2.446425e-07,2.470857e-07,2.475361e-07,2.502450e-07,2.506617e-07,2.527761e-07,2.539299e-07,2.551363e-07,2.569059e-07,2.573323e-07,2.593707e-07,2.596050e-07,2.612579e-07,2.620421e-07,2.630005e-07,2.642318e-07,2.646044e-07,2.660758e-07,2.661879e-07,2.674204e-07,2.679241e-07,2.686440e-07,2.694532e-07,2.697521e-07,2.707499e-07,2.707876e-07,2.716426e-07,2.719392e-07,2.724352e-07,2.729194e-07,2.731325e-07,2.737390e-07,2.742593e-07,2.744083e-07,2.746977e-07,2.749372e-07,2.750583e-07,2.753349e-07,2.753450e-07,2.755616e-07,2.756103e-07,2.757120e-07,2.757718e-07,2.757994e-07,2.758274e-07,2.758275e-07,2.757993e-07,2.757846e-07,2.757181e-07,2.756505e-07,2.755868e-07,2.754320e-07,2.754082e-07,2.751852e-07,2.751355e-07,2.749203e-07,2.747668e-07,2.746160e-07,2.743318e-07,2.742748e-07,2.738989e-07,2.738357e-07,2.734906e-07,2.732838e-07,2.730520e-07,2.726806e-07,2.725850e-07,2.720917e-07,2.720308e-07,2.715737e-07,2.713384e-07,2.710329e-07,2.706076e-07,2.704709e-07,2.698894e-07,2.698421e-07,2.692898e-07,2.690452e-07,2.686736e-07,2.682204e-07,2.680422e-07,2.673968e-07,2.673707e-07,2.667388e-07,2.664990e-07,2.660693e-07,2.656080e-07,2.653894e-07,2.647002e-07,2.637781e-07,2.628437e-07,2.618992e-07,2.609465e-07,2.599874e-07,2.590236e-07,2.580565e-07,2.570878e-07,2.561185e-07,2.551502e-07,2.541837e-07,2.532203e-07,2.522609e-07,2.513064e-07,2.503576e-07,2.494153e-07,2.484801e-07,2.475527e-07,2.466337e-07,2.457236e-07,2.448229e-07,2.439320e-07,2.430512e-07,2.421809e-07
0.000000e+00,1.112736e-09,3.258482e-09,1.593884e-08,4.523648e-08,7.271860e-08,2.011684e-07,2.086429e-07,4.661095e-07,5.662254e-07,8.917473e-07,1.248833e-06,1.536298e-06,2.367350e-06,2.451668e-06,3.680677e-06,4.025173e-06,5.244058e-06,6.264936e-06,7.137873e-06,9.061726e-06,9.341651e-06,1.182725e-05,1.235549e-05,1.456385e-05,1.607561e-05,1.751990e-05,2.014927e-05,2.066354e-05,2.396261e-05,2.450272e-05,2.738471e-05,2.906148e-05,3.089740e-05,3.375123e-05,3.446865e-05,3.806733e-05,3.849959e-05,4.166377e-05,4.323828e-05,4.523029e-05,4.790517e-05,4.874160e-05,5.217520e-05,5.244592e-05,5.551150e-05,5.681497e-05,5.873394e-05,6.097586e-05,6.182895e-05,6.478590e-05,6.490118e-05,6.759689e-05,6.857201e-05,7.025655e-05,7.197697e-05,7.276170e-05,7.511116e-05,7.730547e-05,7.797517e-05,7.934660e-05,8.057388e-05,8.123756e-05,8.291529e-05,8.298233e-05,8.458567e-05,8.500997e-05,8.605287e-05,8.687019e-05,8.738961e-05,8.850932e-05,8.860186e-05,8.969575e-05,8.994136e-05,9.067743e-05,9.118045e-05,9.155303e-05,9.224059e-05,9.232857e-05,9.300999e-05,9.313549e-05,9.360304e-05,9.387835e-05,9.411326e-05,9.448176e-05,9.454601e-05,9.490639e-05,9.495766e-05,9.519928e-05,9.531727e-05,9.542932e-05,9.557108e-05,9.560093e-05,9.571826e-05,9.572888e-05,9.578525e-05,9.579974e-05,9.580561e-05,9.579207e-05,9.578285e-05,9.572025e-05,9.571362e-05,9.562091e-05,9.557154e-05,9.548773e-05,9.537242e-05,9.532343e-05,9.513055e-05,9.512228e-05,9.491150e-05,9.482666e-05,9.466849e-05,9.449064e-05,9.440363e-05,9.411886e-05,9.381601e-05,9.371556e-05,9.349678e-05,9.328462e-05,9.316276e-05,9.282957e-05,9.281544e-05,9.245619e-05,9.235364e-05,9.208630e-05,9.185977e-05,9.170698e-05,9.135063e-05,9.131933e-05,9.092440e-05,9.082864e-05,9.052316e-05,9.029604e-05,9.011649e-05,8.975481e-05,8.970524e-05,8.929019e-05,8.920678e-05,8.887204e-05,8.865360e-05,8.845147e-05,8.809677e-05,8.802909e-05,8.760548e-05,8.753762e-05,8.718116e-05,8.697738e-05,8.675662e-05,8.641714e-05,8.633232e-05,8.590867e-05,8.585790e-05,8.548605e-05,8.530052e-05,8.506483e-05,8.474582e-05,8.464531e-05,8.422781e-05,8.419451e-05,8.381259e-05,8.364720e-05,8.339991e-05,8.310448e-05,8.298999e-05,8.258304e-05,8.256683e-05,8.217925e-05,8.203470e-05,8.177880e-05,8.150847e-05,8.138183e-05,8.098849e-05,8.047504e-05,7.996839e-05,7.946874e-05,7.897628e-05,7.849117e-05,7.801352e-05,7.754344e-05,7.708100e-05,7.662626e-05,7.617925e-05,7.573999e-05,7.530850e-05,7.488475e-05,7.446873e-05,7.406040e-05,7.365972e-05,7.326663e-05,7.288108e-05,7.250299e-05,7.213230e-05,7.176891e-05,7.141276e-05,7.106374e-05,7.072176e-05
0.000000e+00,1.100317e-10,2.603848e-10,9.277099e-10,2.145929e-09,3.149996e-09,7.222721e-09,7.442464e-09,1.447245e-08,1.702576e-08,2.494214e-08,3.318734e-08,3.960697e-08,5.747586e-08,5.924763e-08,8.454034e-08,9.149892e-08,1.158131e-07,1.358828e-07,1.528621e-07,1.897455e-07,1.950543e-07,2.416087e-07,2.513765e-07,2.917878e-07,3.190964e-07,3.449480e-07,3.914902e-07,4.005227e-07,4.579978e-07,4.673378e-07,5.168938e-07,5.455347e-07,5.767580e-07,6.250588e-07,6.371637e-07,6.977119e-07,7.049695e-07,7.580349e-07,7.844185e-07,8.177993e-07,8.626626e-07,8.767082e-07,9.345023e-07,9.390708e-07,9.909599e-07,1.013126e-06,1.045895e-06,1.084420e-06,1.099158e-06,1.150627e-06,1.152647e-06,1.200213e-06,1.217590e-06,1.247851e-06,1.279109e-06,1.293497e-06,1.337130e-06,1.378743e-06,1.391634e-06,1.418344e-06,1.442641e-06,1.455952e-06,1.490208e-06,1.491597e-06,1.525316e-06,1.534417e-06,1.557151e-06,1.575369e-06,1.587152e-06,1.613177e-06,1.615370e-06,1.641860e-06,1.647966e-06,1.666677e-06,1.679866e-06,1.689880e-06,1.709010e-06,1.711527e-06,1.731675e-06,1.735530e-06,1.750384e-06,1.759562e-06,1.767710e-06,1.781236e-06,1.783710e-06,1.798439e-06,1.800682e-06,1.811953e-06,1.818024e-06,1.824304e-06,1.833382e-06,1.835544e-06,1.845722e-06,1.846874e-06,1.854887e-06,1.858612e-06,1.863088e-06,1.868703e-06,1.870369e-06,1.876774e-06,1.877250e-06,1.882347e-06,1.884352e-06,1.887128e-06,1.890102e-06,1.891157e-06,1.894472e-06,1.894590e-06,1.897109e-06,1.897900e-06,1.899105e-06,1.900113e-06,1.900493e-06,1.901304e-06,1.901572e-06,1.901548e-06,1.901325e-06,1.900911e-06,1.900593e-06,1.899459e-06,1.899403e-06,1.897781e-06,1.897253e-06,1.895753e-06,1.894351e-06,1.893342e-06,1.890807e-06,1.890573e-06,1.887466e-06,1.886673e-06,1.884044e-06,1.881997e-06,1.880326e-06,1.876825e-06,1.876332e-06,1.872079e-06,1.871200e-06,1.867587e-06,1.865162e-06,1.862871e-06,1.858748e-06,1.857947e-06,1.852831e-06,1.851996e-06,1.847538e-06,1.844938e-06,1.842080e-06,1.837605e-06,1.836472e-06,1.830725e-06,1.830027e-06,1.824852e-06,1.822231e-06,1.818864e-06,1.814243e-06,1.812772e-06,1.806585e-06,1.806087e-06,1.800315e-06,1.797785e-06,1.793969e-06,1.789359e-06,1.787558e-06,1.781088e-06,1.780828e-06,1.774568e-06,1.772210e-06,1.768006e-06,1.763523e-06,1.761408e-06,1.754781e-06,1.745999e-06,1.737192e-06,1.728372e-06,1.719550e-06,1.710738e-06,1.701944e-06,1.693179e-06,1.684451e-06,1.675768e-06,1.667136e-06,1.658562e-06,1.650053e-06,1.641613e-06,1.633248e-06,1.624962e-06,1.616759e-06,1.608642e-06,1.600615e-06,1.592681e-06,1.584842e-06,1.577100e-06,1.569457e-06,1.561916e-06,1.554477e-06
0.000000e+00,8.359812e-10,2.349334e-09,1.061168e-08,2.818300e-08,4.378650e-08,1.117166e-07,1.155107e-07,2.404579e-07,2.869714e-07,4.333373e-07,5.880072e-07,7.094169e-07,1.049863e-06,1.083731e-06,1.567184e-06,1.699749e-06,2.159522e-06,2.533630e-06,2.845534e-06,3.507095e-06,3.600453e-06,4.398933e-06,4.561915e-06,5.219942e-06,5.650241e-06,6.047325e-06,6.738111e-06,6.868699e-06,7.674293e-06,7.801173e-06,8.456207e-06,8.821184e-06,9.208037e-06,9.784372e-06,9.924683e-06,1.060227e-05,1.068081e-05,1.123805e-05,1.150409e-05,1.183036e-05,1.225095e-05,1.237845e-05,1.288241e-05,1.292084e-05,1.334301e-05,1.351539e-05,1.376157e-05,1.403785e-05,1.413981e-05,1.447973e-05,1.449256e-05,1.478356e-05,1.488455e-05,1.505361e-05,1.521915e-05,1.529223e-05,1.550174e-05,1.568441e-05,1.573756e-05,1.584242e-05,1.593157e-05,1.597784e-05,1.608839e-05,1.609261e-05,1.618856e-05,1.621229e-05,1.626738e-05,1.630710e-05,1.633063e-05,1.637630e-05,1.637974e-05,1.641602e-05,1.642295e-05,1.644066e-05,1.644979e-05,1.645477e-05,1.645925e-05,1.645933e-05,1.645524e-05,1.645346e-05,1.644333e-05,1.643429e-05,1.642433e-05,1.640340e-05,1.639894e-05,1.636775e-05,1.636226e-05,1.633133e-05,1.631215e-05,1.629020e-05,1.625421e-05,1.624481e-05,1.619558e-05,1.618943e-05,1.614289e-05,1.611871e-05,1.608711e-05,1.604283e-05,1.602853e-05,1.596747e-05,1.596248e-05,1.590417e-05,1.587828e-05,1.583889e-05,1.579078e-05,1.577184e-05,1.570324e-05,1.570046e-05,1.563326e-05,1.560776e-05,1.556208e-05,1.551307e-05,1.548985e-05,1.541673e-05,1.534284e-05,1.531905e-05,1.526830e-05,1.522031e-05,1.519323e-05,1.512076e-05,1.511773e-05,1.504190e-05,1.502062e-05,1.496583e-05,1.492010e-05,1.488959e-05,1.481936e-05,1.481326e-05,1.473690e-05,1.471858e-05,1.466060e-05,1.461790e-05,1.458439e-05,1.451745e-05,1.450834e-05,1.443249e-05,1.441735e-05,1.435689e-05,1.431770e-05,1.428159e-05,1.421859e-05,1.420662e-05,1.413201e-05,1.412011e-05,1.405781e-05,1.402235e-05,1.398404e-05,1.392535e-05,1.391073e-05,1.383789e-05,1.382919e-05,1.376557e-05,1.373391e-05,1.369377e-05,1.363957e-05,1.362252e-05,1.355184e-05,1.354621e-05,1.348174e-05,1.345386e-05,1.341223e-05,1.336255e-05,1.334332e-05,1.327504e-05,1.327232e-05,1.320739e-05,1.318319e-05,1.314037e-05,1.309517e-05,1.307400e-05,1.300828e-05,1.292254e-05,1.283797e-05,1.275456e-05,1.267232e-05,1.259126e-05,1.251139e-05,1.243270e-05,1.235519e-05,1.227885e-05,1.220370e-05,1.212971e-05,1.205689e-05,1.198523e-05,1.191472e-05,1.184535e-05,1.177711e-05,1.170999e-05,1.164398e-05,1.157908e-05,1.151526e-05,1.145252e-05,1.139084e-05,1.133022e-05,1.127063e-05
0.000000e+00,1.264992e-10,2.921633e-10,1.013566e-09,2.317601e-09,3.390894e-09,7.770464e-09,8.008455e-09,1.572901e-08,1.858527e-08,2.761057e-08,3.726146e-08,4.493152e-08,6.685613e-08,6.906721e-08,1.010884e-07,1.099895e-07,1.411392e-07,1.667148e-07,1.881466e-07,2.338367e-07,2.403053e-07,2.958168e-07,3.071887e-07,3.532565e-07,3.835304e-07,4.115877e-07,4.607176e-07,4.700568e-07,5.280951e-07,5.373100e-07,5.852540e-07,6.122678e-07,6.411671e-07,6.847947e-07,6.955307e-07,7.480941e-07,7.542706e-07,7.986526e-07,8.202203e-07,8.470460e-07,8.823019e-07,8.931544e-07,9.368917e-07,9.402865e-07,9.782064e-07,9.940480e-07,1.017076e-06,1.043548e-06,1.053503e-06,1.087511e-06,1.088822e-06,1.119143e-06,1.129959e-06,1.148454e-06,1.167095e-06,1.175514e-06,1.200397e-06,1.223188e-06,1.230053e-06,1.243974e-06,1.256266e-06,1.262844e-06,1.279243e-06,1.279891e-06,1.295206e-06,1.299196e-06,1.308878e-06,1.316331e-06,1.320998e-06,1.330851e-06,1.331651e-06,1.340922e-06,1.342951e-06,1.348894e-06,1.352820e-06,1.355644e-06,1.360635e-06,1.361249e-06,1.365781e-06,1.366565e-06,1.369309e-06,1.370769e-06,1.371899e-06,1.373397e-06,1.373615e-06,1.374516e-06,1.374588e-06,1.374659e-06,1.374474e-06,1.374097e-06,1.373175e-06,1.372883e-06,1.371063e-06,1.370806e-06,1.368685e-06,1.367472e-06,1.365790e-06,1.363270e-06,1.362420e-06,1.358614e-06,1.358291e-06,1.354406e-06,1.352619e-06,1.349833e-06,1.346331e-06,1.344924e-06,1.339712e-06,1.339497e-06,1.334223e-06,1.332185e-06,1.328485e-06,1.324453e-06,1.322523e-06,1.316359e-06,1.310017e-06,1.307953e-06,1.303516e-06,1.299281e-06,1.296876e-06,1.290388e-06,1.290115e-06,1.283250e-06,1.281311e-06,1.276296e-06,1.272087e-06,1.269268e-06,1.262748e-06,1.262179e-06,1.255043e-06,1.253325e-06,1.247871e-06,1.243844e-06,1.240675e-06,1.234329e-06,1.233464e-06,1.226247e-06,1.224804e-06,1.219035e-06,1.215288e-06,1.211834e-06,1.205799e-06,1.204652e-06,1.197496e-06,1.196354e-06,1.190373e-06,1.186967e-06,1.183288e-06,1.177651e-06,1.176247e-06,1.169254e-06,1.168418e-06,1.162314e-06,1.159279e-06,1.155432e-06,1.150242e-06,1.148610e-06,1.141853e-06,1.141315e-06,1.135162e-06,1.132505e-06,1.128542e-06,1.123820e-06,1.121994e-06,1.115520e-06,1.115263e-06,1.109123e-06,1.106839e-06,1.102803e-06,1.098551e-06,1.096563e-06,1.090404e-06,1.082400e-06,1.074539e-06,1.066825e-06,1.059258e-06,1.051838e-06,1.044565e-06,1.037441e-06,1.030463e-06,1.023632e-06,1.016947e-06,1.010407e-06,1.004010e-06,9.977545e-07,9.916394e-07,9.856629e-07,9.798230e-07,9.741177e-07,9.685451e-07,9.631031e-07,9.577894e-07,9.526019e-07,9.475383e-07,9.425962e-07,9.377735e-07
0.000000e+00,3.032713e-09,8.279045e-09,3.572866e-08,9.237540e-08,1.421559e-07,3.592557e-07,3.714727e-07,7.815532e-07,9.382426e-07,1.445190e-06,2.001876e-06,2.451991e-06,3.762023e-06,3.895367e-06,5.835686e-06,6.375853e-06,8.263852e-06,9.812244e-06,1.111107e-05,1.389493e-05,1.429157e-05,1.773116e-05,1.844488e-05,2.137277e-05,2.333120e-05,2.517219e-05,2.845898e-05,2.909316e-05,3.310409e-05,3.375224e-05,3.717637e-05,3.914506e-05,4.128373e-05,4.457862e-05,4.540209e-05,4.950961e-05,5.000083e-05,5.358658e-05,5.536628e-05,5.761587e-05,6.063701e-05,6.158263e-05,6.547440e-05,6.578218e-05,6.928087e-05,7.077763e-05,7.299365e-05,7.560508e-05,7.660617e-05,8.011343e-05,8.025148e-05,8.351183e-05,8.470809e-05,8.679889e-05,8.896974e-05,8.997319e-05,9.303410e-05,9.598171e-05,9.690111e-05,9.881667e-05,1.005724e-04,1.015401e-04,1.040510e-04,1.041535e-04,1.066586e-04,1.073409e-04,1.090575e-04,1.104468e-04,1.113525e-04,1.133740e-04,1.135457e-04,1.156398e-04,1.161279e-04,1.176373e-04,1.187146e-04,1.195407e-04,1.211399e-04,1.213526e-04,1.230757e-04,1.234099e-04,1.247127e-04,1.255307e-04,1.262661e-04,1.275082e-04,1.277385e-04,1.291325e-04,1.293484e-04,1.304506e-04,1.310571e-04,1.316954e-04,1.326400e-04,1.328692e-04,1.339746e-04,1.341028e-04,1.350138e-04,1.354508e-04,1.359893e-04,1.366893e-04,1.369031e-04,1.377576e-04,1.378235e-04,1.385549e-04,1.388583e-04,1.392972e-04,1.397986e-04,1.399863e-04,1.406244e-04,1.406489e-04,1.412134e-04,1.414138e-04,1.417551e-04,1.420975e-04,1.422515e-04,1.427042e-04,1.431150e-04,1.432379e-04,1.434856e-04,1.437024e-04,1.438176e-04,1.441015e-04,1.441126e-04,1.443720e-04,1.444385e-04,1.445975e-04,1.447170e-04,1.447904e-04,1.449402e-04,1.449520e-04,1.450838e-04,1.451111e-04,1.451870e-04,1.452328e-04,1.452630e-04,1.453081e-04,1.453128e-04,1.453377e-04,1.453398e-04,1.453388e-04,1.453303e-04,1.453172e-04,1.452823e-04,1.452739e-04,1.452100e-04,1.451980e-04,1.451265e-04,1.450797e-04,1.450243e-04,1.449297e-04,1.449043e-04,1.447674e-04,1.447499e-04,1.446145e-04,1.445423e-04,1.444463e-04,1.443088e-04,1.442637e-04,1.440675e-04,1.440512e-04,1.438583e-04,1.437711e-04,1.436368e-04,1.434702e-04,1.434038e-04,1.431600e-04,1.431500e-04,1.429058e-04,1.428119e-04,1.426420e-04,1.424574e-04,1.423691e-04,1.420876e-04,1.417040e-04,1.413077e-04,1.408997e-04,1.404812e-04,1.400531e-04,1.396165e-04,1.391722e-04,1.387210e-04,1.382638e-04,1.378014e-04,1.373344e-04,1.368635e-04,1.363894e-04,1.359128e-04,1.354340e-04,1.349538e-04,1.344725e-04,1.339907e-04,1.335088e-04,1.330273e-04,1.325465e-04,1.320668e-04,1.315884e-04,1.311119e-04
0.000000e+00,1.876429e-10,4.448213e-10,1.584384e-09,3.657069e-09,5.360037e-09,1.223610e-08,1.260602e-08,2.440408e-08,2.867640e-08,4.189664e-08,5.564041e-08,6.633140e-08,9.607027e-08,9.901822e-08,1.410869e-07,1.526527e-07,1.930075e-07,2.262143e-07,2.542074e-07,3.146208e-07,3.232668e-07,3.985038e-07,4.141531e-07,4.783870e-07,5.213300e-07,5.616421e-07,6.334029e-07,6.472105e-07,7.341857e-07,7.481775e-07,8.217658e-07,8.638043e-07,9.092283e-07,9.786721e-07,9.959196e-07,1.081252e-06,1.091375e-06,1.164706e-06,1.200712e-06,1.245830e-06,1.305689e-06,1.324243e-06,1.399633e-06,1.405526e-06,1.471755e-06,1.499645e-06,1.540425e-06,1.587658e-06,1.605518e-06,1.666961e-06,1.669342e-06,1.724724e-06,1.744620e-06,1.778820e-06,1.813531e-06,1.829291e-06,1.876210e-06,1.919668e-06,1.932861e-06,1.959775e-06,1.983742e-06,1.996656e-06,2.029147e-06,2.030441e-06,2.061269e-06,2.069391e-06,2.089283e-06,2.104799e-06,2.114625e-06,2.135702e-06,2.137437e-06,2.157862e-06,2.162425e-06,2.176038e-06,2.185284e-06,2.192099e-06,2.204586e-06,2.206175e-06,2.218392e-06,2.220622e-06,2.228869e-06,2.233669e-06,2.237723e-06,2.243985e-06,2.245062e-06,2.250990e-06,2.251814e-06,2.255607e-06,2.257384e-06,2.259005e-06,2.260906e-06,2.261273e-06,2.262495e-06,2.262575e-06,2.262749e-06,2.262574e-06,2.262109e-06,2.261068e-06,2.260645e-06,2.258421e-06,2.258212e-06,2.255499e-06,2.254148e-06,2.251937e-06,2.249007e-06,2.247789e-06,2.243104e-06,2.242907e-06,2.237931e-06,2.235958e-06,2.232313e-06,2.228261e-06,2.226292e-06,2.219907e-06,2.213192e-06,2.210980e-06,2.206183e-06,2.201556e-06,2.198909e-06,2.191706e-06,2.191402e-06,2.183687e-06,2.181493e-06,2.175790e-06,2.170974e-06,2.167735e-06,2.160203e-06,2.159543e-06,2.151236e-06,2.149227e-06,2.142831e-06,2.138089e-06,2.134347e-06,2.126828e-06,2.125800e-06,2.117204e-06,2.115481e-06,2.108575e-06,2.104078e-06,2.099924e-06,2.092649e-06,2.091263e-06,2.082605e-06,2.081220e-06,2.073958e-06,2.069815e-06,2.065333e-06,2.058453e-06,2.056737e-06,2.048179e-06,2.047155e-06,2.039666e-06,2.035936e-06,2.031204e-06,2.024811e-06,2.022800e-06,2.014458e-06,2.013794e-06,2.006185e-06,2.002896e-06,1.997984e-06,1.992127e-06,1.989860e-06,1.981817e-06,1.981497e-06,1.973857e-06,1.971012e-06,1.965983e-06,1.960680e-06,1.958199e-06,1.950506e-06,1.940495e-06,1.930652e-06,1.920978e-06,1.911478e-06,1.902152e-06,1.893002e-06,1.884030e-06,1.875235e-06,1.866618e-06,1.858178e-06,1.849915e-06,1.841828e-06,1.833915e-06,1.826176e-06,1.818609e-06,1.811212e-06,1.803982e-06,1.796919e-06,1.790020e-06,1.783281e-06,1.776702e-06,1.770280e-06,1.764011e-06,1.757894e-06
0.000000e+00,9.295108e-10,2.467042e-09,1.019357e-08,2.568295e-08,3.914750e-08,9.780517e-08,1.011218e-07,2.139967e-07,2.579256e-07,4.026130e-07,5.646898e-07,6.969316e-07,1.079994e-06,1.118451e-06,1.660696e-06,1.805627e-06,2.293713e-06,2.676036e-06,2.986835e-06,3.629493e-06,3.718905e-06,4.476606e-06,4.630381e-06,5.250898e-06,5.657712e-06,6.034763e-06,6.696142e-06,6.822119e-06,7.607396e-06,7.732497e-06,8.385438e-06,8.754929e-06,9.151543e-06,9.752988e-06,9.901506e-06,1.063168e-05,1.071781e-05,1.133900e-05,1.164234e-05,1.202104e-05,1.252131e-05,1.267593e-05,1.330235e-05,1.335120e-05,1.389953e-05,1.413008e-05,1.446693e-05,1.485694e-05,1.500442e-05,1.551220e-05,1.553190e-05,1.599074e-05,1.615597e-05,1.644067e-05,1.673066e-05,1.686275e-05,1.725789e-05,1.762703e-05,1.773984e-05,1.797121e-05,1.817885e-05,1.829144e-05,1.857733e-05,1.858880e-05,1.886432e-05,1.893770e-05,1.911905e-05,1.926233e-05,1.935401e-05,1.955356e-05,1.957019e-05,1.976854e-05,1.981360e-05,1.995002e-05,2.004460e-05,2.011550e-05,2.024858e-05,2.026586e-05,2.040191e-05,2.042747e-05,2.052444e-05,2.058307e-05,2.063421e-05,2.071708e-05,2.073194e-05,2.081830e-05,2.083111e-05,2.089395e-05,2.092664e-05,2.095951e-05,2.100508e-05,2.101556e-05,2.106265e-05,2.106773e-05,2.110133e-05,2.111581e-05,2.113209e-05,2.115046e-05,2.115540e-05,2.117171e-05,2.117273e-05,2.118146e-05,2.118361e-05,2.118505e-05,2.118403e-05,2.118285e-05,2.117523e-05,2.117482e-05,2.116254e-05,2.115679e-05,2.114509e-05,2.113067e-05,2.112320e-05,2.109715e-05,2.106722e-05,2.105687e-05,2.103367e-05,2.101041e-05,2.099674e-05,2.095833e-05,2.095667e-05,2.091367e-05,2.090114e-05,2.086795e-05,2.083930e-05,2.081971e-05,2.077326e-05,2.076914e-05,2.071639e-05,2.070343e-05,2.066165e-05,2.063019e-05,2.060507e-05,2.055387e-05,2.054679e-05,2.048696e-05,2.047482e-05,2.042570e-05,2.039333e-05,2.036314e-05,2.030967e-05,2.029940e-05,2.023458e-05,2.022412e-05,2.016879e-05,2.013690e-05,2.010214e-05,2.004824e-05,2.003470e-05,1.996657e-05,1.995835e-05,1.989783e-05,1.986742e-05,1.982857e-05,1.977561e-05,1.975884e-05,1.968873e-05,1.968310e-05,1.961829e-05,1.959004e-05,1.954759e-05,1.949656e-05,1.947669e-05,1.940563e-05,1.940279e-05,1.933448e-05,1.930885e-05,1.926328e-05,1.921485e-05,1.919206e-05,1.912089e-05,1.902706e-05,1.893345e-05,1.884014e-05,1.874719e-05,1.865468e-05,1.856266e-05,1.847120e-05,1.838033e-05,1.829011e-05,1.820057e-05,1.811176e-05,1.802371e-05,1.793645e-05,1.785001e-05,1.776440e-05,1.767967e-05,1.759582e-05,1.751287e-05,1.743084e-05,1.734974e-05,1.726958e-05,1.719037e-05,1.711212e-05,1.703484e-05
0.000000e+00,2.642353e-09,7.743026e-09,3.794471e-08,1.079577e-07,1.738568e-07,4.841380e-07,5.022958e-07,1.133635e-06,1.381922e-06,2.198603e-06,3.109178e-06,3.852232e-06,6.045587e-06,6.271661e-06,9.635136e-06,1.059923e-05,1.407364e-05,1.704473e-05,1.961658e-05,2.534163e-05,2.617768e-05,3.359089e-05,3.515861e-05,4.166036e-05,4.605182e-05,5.019560e-05,5.760096e-05,5.902789e-05,6.801431e-05,6.945820e-05,7.703621e-05,8.134991e-05,8.599581e-05,9.306413e-05,9.481276e-05,1.034214e-04,1.044377e-04,1.117684e-04,1.153469e-04,1.198113e-04,1.257001e-04,1.275174e-04,1.348622e-04,1.354336e-04,1.418286e-04,1.445067e-04,1.484063e-04,1.528985e-04,1.545903e-04,1.603806e-04,1.606041e-04,1.657813e-04,1.676315e-04,1.707997e-04,1.739989e-04,1.754458e-04,1.797315e-04,1.836703e-04,1.848598e-04,1.872769e-04,1.894178e-04,1.905665e-04,1.934408e-04,1.935548e-04,1.962575e-04,1.969652e-04,1.986903e-04,2.000269e-04,2.008687e-04,2.026610e-04,2.028076e-04,2.045217e-04,2.049012e-04,2.060250e-04,2.067799e-04,2.073310e-04,2.083272e-04,2.084525e-04,2.094017e-04,2.095720e-04,2.101904e-04,2.105407e-04,2.108294e-04,2.112583e-04,2.113293e-04,2.116998e-04,2.117477e-04,2.119502e-04,2.120302e-04,2.120891e-04,2.121256e-04,2.121248e-04,2.120650e-04,2.120518e-04,2.119169e-04,2.118255e-04,2.116872e-04,2.114619e-04,2.113822e-04,2.110080e-04,2.109752e-04,2.105700e-04,2.103782e-04,2.100736e-04,2.096826e-04,2.095235e-04,2.089242e-04,2.088993e-04,2.082802e-04,2.080381e-04,2.075952e-04,2.071080e-04,2.068731e-04,2.061173e-04,2.053310e-04,2.050735e-04,2.045173e-04,2.039834e-04,2.036790e-04,2.028534e-04,2.028186e-04,2.019388e-04,2.016892e-04,2.010416e-04,2.004959e-04,2.001293e-04,1.992784e-04,1.992039e-04,1.982671e-04,1.980408e-04,1.973207e-04,1.967872e-04,1.963664e-04,1.955211e-04,1.954054e-04,1.944394e-04,1.942457e-04,1.934694e-04,1.929639e-04,1.924968e-04,1.916785e-04,1.915226e-04,1.905478e-04,1.903918e-04,1.895734e-04,1.891060e-04,1.886002e-04,1.878231e-04,1.876291e-04,1.866608e-04,1.865448e-04,1.856959e-04,1.852727e-04,1.847352e-04,1.840082e-04,1.837792e-04,1.828284e-04,1.827526e-04,1.818833e-04,1.815070e-04,1.809445e-04,1.802725e-04,1.800122e-04,1.790869e-04,1.790500e-04,1.781689e-04,1.778402e-04,1.772585e-04,1.766439e-04,1.763559e-04,1.754616e-04,1.742939e-04,1.731413e-04,1.720041e-04,1.708826e-04,1.697772e-04,1.686881e-04,1.676154e-04,1.665594e-04,1.655200e-04,1.644973e-04,1.634914e-04,1.625023e-04,1.615299e-04,1.605743e-04,1.596353e-04,1.587128e-04,1.578068e-04,1.569170e-04,1.560435e-04,1.551860e-04,1.543444e-04,1.535185e-04,1.527081e-04,1.519130e-04
0.000000e+00,8.573900e-10,2.412572e-09,1.095628e-08,2.933938e-08,4.585555e-08,1.194162e-07,1.235950e-07,2.647302e-07,3.188278e-07,4.935401e-07,6.837413e-07,8.355273e-07,1.264749e-06,1.307389e-06,1.910127e-06,2.073382e-06,2.635268e-06,3.091127e-06,3.473088e-06,4.297038e-06,4.415391e-06,5.455082e-06,5.674099e-06,6.585178e-06,7.206082e-06,7.798125e-06,8.874892e-06,9.085501e-06,1.043803e-05,1.065982e-05,1.184575e-05,1.253803e-05,1.329830e-05,1.448556e-05,1.478518e-05,1.629604e-05,1.647848e-05,1.782095e-05,1.849393e-05,1.935057e-05,2.051094e-05,2.087635e-05,2.239054e-05,2.251097e-05,2.388631e-05,2.447811e-05,2.535777e-05,2.639934e-05,2.679994e-05,2.820866e-05,2.826426e-05,2.958058e-05,3.006494e-05,3.091307e-05,3.179560e-05,3.220414e-05,3.345234e-05,3.465673e-05,3.503279e-05,3.581680e-05,3.653590e-05,3.693240e-05,3.796169e-05,3.800370e-05,3.903099e-05,3.931082e-05,4.001485e-05,4.058463e-05,4.095603e-05,4.178494e-05,4.185537e-05,4.271384e-05,4.291391e-05,4.353250e-05,4.397396e-05,4.431243e-05,4.496761e-05,4.505474e-05,4.576061e-05,4.589751e-05,4.643119e-05,4.676633e-05,4.706765e-05,4.757678e-05,4.767117e-05,4.824290e-05,4.833150e-05,4.878397e-05,4.903313e-05,4.929551e-05,4.968421e-05,4.977860e-05,5.023433e-05,5.028723e-05,5.066374e-05,5.084461e-05,5.106785e-05,5.135867e-05,5.144765e-05,5.180410e-05,5.183164e-05,5.213814e-05,5.226568e-05,5.245065e-05,5.266283e-05,5.274253e-05,5.301461e-05,5.302509e-05,5.326770e-05,5.335432e-05,5.350260e-05,5.365233e-05,5.372007e-05,5.392084e-05,5.410561e-05,5.416148e-05,5.427508e-05,5.437580e-05,5.442988e-05,5.456529e-05,5.457066e-05,5.469802e-05,5.473136e-05,5.481255e-05,5.487535e-05,5.491481e-05,5.499853e-05,5.500535e-05,5.508468e-05,5.510210e-05,5.515330e-05,5.518723e-05,5.521170e-05,5.525500e-05,5.526033e-05,5.529965e-05,5.530643e-05,5.533008e-05,5.534253e-05,5.535203e-05,5.536420e-05,5.536589e-05,5.537204e-05,5.537233e-05,5.537085e-05,5.536777e-05,5.536266e-05,5.535130e-05,5.534781e-05,5.532662e-05,5.532367e-05,5.529940e-05,5.528559e-05,5.526644e-05,5.523774e-05,5.522804e-05,5.518445e-05,5.518075e-05,5.513595e-05,5.511523e-05,5.508278e-05,5.504174e-05,5.502518e-05,5.496340e-05,5.496084e-05,5.489764e-05,5.487303e-05,5.482811e-05,5.477880e-05,5.475504e-05,5.467860e-05,5.457287e-05,5.446201e-05,5.434643e-05,5.422648e-05,5.410250e-05,5.397484e-05,5.384380e-05,5.370967e-05,5.357272e-05,5.343323e-05,5.329143e-05,5.314757e-05,5.300185e-05,5.285450e-05,5.270570e-05,5.255564e-05,5.240449e-05,5.225243e-05,5.209960e-05,5.194615e-05,5.179222e-05,5.163793e-05,5.148342e-05,5.132880e-05
0.000000e+00,1.529257e-09,4.400930e-09,2.079580e-08,5.728368e-08,9.063876e-08,2.410778e-07,2.496461e-07,5.373382e-07,6.463252e-07,9.932065e-07,1.364030e-06,1.657167e-06,2.486279e-06,2.569287e-06,3.765708e-06,4.098073e-06,5.268465e-06,6.243945e-06,7.074951e-06,8.894906e-06,9.158234e-06,1.147776e-05,1.196616e-05,1.398993e-05,1.535853e-05,1.665343e-05,1.898010e-05,1.943064e-05,2.228717e-05,2.274943e-05,2.519133e-05,2.659352e-05,2.811369e-05,3.044627e-05,3.102697e-05,3.390620e-05,3.424833e-05,3.672896e-05,3.794790e-05,3.947553e-05,4.150147e-05,4.212903e-05,4.467549e-05,4.487424e-05,4.710387e-05,4.804020e-05,4.940582e-05,5.098161e-05,5.157558e-05,5.360970e-05,5.368822e-05,5.550678e-05,5.615620e-05,5.726716e-05,5.838701e-05,5.889267e-05,6.038635e-05,6.175221e-05,6.216305e-05,6.299499e-05,6.372819e-05,6.411996e-05,6.509435e-05,6.513278e-05,6.603933e-05,6.627494e-05,6.684561e-05,6.728374e-05,6.755761e-05,6.813450e-05,6.818128e-05,6.872242e-05,6.884064e-05,6.918666e-05,6.941507e-05,6.957942e-05,6.987003e-05,6.990587e-05,7.017095e-05,7.021702e-05,7.037933e-05,7.046675e-05,7.053541e-05,7.062915e-05,7.064335e-05,7.070703e-05,7.071337e-05,7.073012e-05,7.072778e-05,7.071600e-05,7.068006e-05,7.066786e-05,7.058866e-05,7.057720e-05,7.048115e-05,7.042555e-05,7.034790e-05,7.023088e-05,7.019128e-05,7.001349e-05,6.999842e-05,6.981657e-05,6.973288e-05,6.960241e-05,6.943853e-05,6.937276e-05,6.912924e-05,6.911923e-05,6.887334e-05,6.877845e-05,6.860644e-05,6.841932e-05,6.832981e-05,6.804464e-05,6.775200e-05,6.765695e-05,6.745290e-05,6.725852e-05,6.714826e-05,6.685138e-05,6.683893e-05,6.652568e-05,6.643737e-05,6.620924e-05,6.601812e-05,6.589027e-05,6.559510e-05,6.556937e-05,6.524709e-05,6.516960e-05,6.492396e-05,6.474280e-05,6.460043e-05,6.431574e-05,6.427694e-05,6.395388e-05,6.388935e-05,6.363160e-05,6.346443e-05,6.331043e-05,6.304173e-05,6.299068e-05,6.267260e-05,6.262188e-05,6.235645e-05,6.220545e-05,6.204245e-05,6.179293e-05,6.173080e-05,6.142167e-05,6.138476e-05,6.111524e-05,6.098131e-05,6.081165e-05,6.058291e-05,6.051104e-05,6.021351e-05,6.018984e-05,5.991916e-05,5.980234e-05,5.962811e-05,5.942062e-05,5.934041e-05,5.905614e-05,5.904484e-05,5.877536e-05,5.867514e-05,5.849811e-05,5.831163e-05,5.822445e-05,5.795440e-05,5.760352e-05,5.725902e-05,5.692094e-05,5.658929e-05,5.626407e-05,5.594526e-05,5.563283e-05,5.532675e-05,5.502697e-05,5.473344e-05,5.444610e-05,5.416488e-05,5.388972e-05,5.362054e-05,5.335725e-05,5.309977e-05,5.284802e-05,5.260191e-05,5.236134e-05,5.212622e-05,5.189647e-05,5.167197e-05,5.145265e-05,5.123840e-05
0.000000e+00,4.413958e-10,1.048608e-09,3.743734e-09,8.651033e-09,1.268504e-08,2.898093e-08,2.985782e-08,5.782285e-08,6.794575e-08,9.924259e-08,1.317189e-07,1.569310e-07,2.268246e-07,2.337356e-07,3.321403e-07,3.591599e-07,4.535097e-07,5.313627e-07,5.971836e-07,7.396958e-07,7.601181e-07,9.376398e-07,9.744496e-07,1.124784e-06,1.224432e-06,1.317235e-06,1.480478e-06,1.511587e-06,1.705235e-06,1.736013e-06,1.896183e-06,1.986410e-06,2.082882e-06,2.228360e-06,2.264124e-06,2.438970e-06,2.459486e-06,2.606707e-06,2.678118e-06,2.766811e-06,2.883158e-06,2.918922e-06,3.062819e-06,3.073972e-06,3.198401e-06,3.250302e-06,3.325665e-06,3.412186e-06,3.444690e-06,3.555619e-06,3.559890e-06,3.658647e-06,3.693848e-06,3.754010e-06,3.814611e-06,3.841970e-06,3.922813e-06,3.996837e-06,4.019134e-06,4.064346e-06,4.104276e-06,4.125650e-06,4.178951e-06,4.181058e-06,4.230874e-06,4.243861e-06,4.275397e-06,4.299692e-06,4.314920e-06,4.347109e-06,4.349726e-06,4.380090e-06,4.386746e-06,4.406275e-06,4.419209e-06,4.428536e-06,4.445073e-06,4.447116e-06,4.462247e-06,4.464880e-06,4.474153e-06,4.479139e-06,4.483044e-06,4.488331e-06,4.489123e-06,4.492581e-06,4.492904e-06,4.493601e-06,4.493276e-06,4.492355e-06,4.489838e-06,4.489008e-06,4.483713e-06,4.482953e-06,4.476617e-06,4.472961e-06,4.467860e-06,4.460174e-06,4.457572e-06,4.445877e-06,4.444884e-06,4.432891e-06,4.427360e-06,4.418724e-06,4.407851e-06,4.403479e-06,4.387255e-06,4.386587e-06,4.370141e-06,4.363780e-06,4.352225e-06,4.339625e-06,4.333588e-06,4.314304e-06,4.294445e-06,4.287979e-06,4.274077e-06,4.260804e-06,4.253264e-06,4.232918e-06,4.232063e-06,4.210529e-06,4.204446e-06,4.188712e-06,4.175507e-06,4.166661e-06,4.146205e-06,4.144419e-06,4.122028e-06,4.116637e-06,4.099526e-06,4.086890e-06,4.076949e-06,4.057046e-06,4.054330e-06,4.031699e-06,4.027175e-06,4.009086e-06,3.997342e-06,3.986515e-06,3.967607e-06,3.964012e-06,3.941599e-06,3.938023e-06,3.919296e-06,3.908636e-06,3.897123e-06,3.879488e-06,3.875095e-06,3.853230e-06,3.850618e-06,3.831542e-06,3.822059e-06,3.810044e-06,3.793839e-06,3.788747e-06,3.767663e-06,3.765985e-06,3.746800e-06,3.738519e-06,3.726168e-06,3.711461e-06,3.705775e-06,3.685626e-06,3.684826e-06,3.665729e-06,3.658629e-06,3.646088e-06,3.632881e-06,3.626708e-06,3.607592e-06,3.582770e-06,3.558420e-06,3.534547e-06,3.511152e-06,3.488239e-06,3.465806e-06,3.443853e-06,3.422379e-06,3.401380e-06,3.380853e-06,3.360794e-06,3.341199e-06,3.322062e-06,3.303377e-06,3.285138e-06,3.267339e-06,3.249973e-06,3.233033e-06,3.216511e-06,3.200400e-06,3.184693e-06,3.169381e-06,3.154457e-06,3.139913e-06
0.000000e+00,4.544933e-08,1.356048e-07,6.897451e-07,2.030083e-06,3.330817e-06,9.736208e-06,1.012146e-05,2.398829e-05,2.963819e-05,4.878729e-05,7.092345e-05,8.945007e-05,1.457934e-04,1.517028e-04,2.408978e-04,2.667549e-04,3.605531e-04,4.414005e-04,5.118847e-04,6.708325e-04,6.943183e-04,9.061736e-04,9.518798e-04,1.145144e-03,1.279252e-03,1.408572e-03,1.646661e-03,1.693594e-03,1.997225e-03,2.047330e-03,2.316418e-03,2.474256e-03,2.648103e-03,2.920401e-03,2.989240e-03,3.336854e-03,3.378865e-03,3.688081e-03,3.843059e-03,4.040204e-03,4.306850e-03,4.390689e-03,4.737210e-03,4.764695e-03,5.077664e-03,5.211723e-03,5.410191e-03,5.643784e-03,5.733172e-03,6.045234e-03,6.057473e-03,6.345243e-03,6.450114e-03,6.632291e-03,6.819716e-03,6.905681e-03,7.164915e-03,7.409672e-03,7.484907e-03,7.639793e-03,7.779373e-03,7.855254e-03,8.048396e-03,8.056155e-03,8.242698e-03,8.292396e-03,8.415176e-03,8.512060e-03,8.573952e-03,8.708286e-03,8.719448e-03,8.852135e-03,8.882128e-03,8.972514e-03,9.034746e-03,9.081113e-03,9.167370e-03,9.178479e-03,9.265164e-03,9.281269e-03,9.341726e-03,9.377721e-03,9.408718e-03,9.457995e-03,9.466686e-03,9.516167e-03,9.523331e-03,9.557683e-03,9.574930e-03,9.591740e-03,9.613944e-03,9.618827e-03,9.639413e-03,9.641468e-03,9.653949e-03,9.658539e-03,9.662863e-03,9.666130e-03,9.666564e-03,9.665441e-03,9.665154e-03,9.659861e-03,9.656460e-03,9.650173e-03,9.640838e-03,9.636703e-03,9.619762e-03,9.619016e-03,9.599638e-03,9.591668e-03,9.576606e-03,9.559413e-03,9.550920e-03,9.522819e-03,9.492528e-03,9.482406e-03,9.460255e-03,9.438651e-03,9.426195e-03,9.391986e-03,9.390531e-03,9.353430e-03,9.342807e-03,9.315052e-03,9.291472e-03,9.275541e-03,9.238309e-03,9.235034e-03,9.193658e-03,9.183611e-03,9.151528e-03,9.127648e-03,9.108754e-03,9.070660e-03,9.065436e-03,9.021666e-03,9.012866e-03,8.977531e-03,8.954462e-03,8.933109e-03,8.895627e-03,8.888473e-03,8.843692e-03,8.836517e-03,8.798826e-03,8.777277e-03,8.753933e-03,8.718034e-03,8.709065e-03,8.664271e-03,8.658902e-03,8.619594e-03,8.599984e-03,8.575075e-03,8.541369e-03,8.530751e-03,8.486656e-03,8.483139e-03,8.442820e-03,8.425364e-03,8.399271e-03,8.368109e-03,8.356035e-03,8.313135e-03,8.311427e-03,8.270592e-03,8.255367e-03,8.228424e-03,8.199972e-03,8.186648e-03,8.145278e-03,8.091317e-03,8.038115e-03,7.985695e-03,7.934075e-03,7.883271e-03,7.833295e-03,7.784157e-03,7.735863e-03,7.688418e-03,7.641825e-03,7.596084e-03,7.551195e-03,7.507154e-03,7.463959e-03,7.421605e-03,7.380085e-03,7.339393e-03,7.299521e-03,7.260460e-03,7.222201e-03,7.184734e-03,7.148050e-03,7.112137e-03,7.076985e-03
0.000000e+00,1.070091e-09,3.109634e-09,1.498768e-08,4.203080e-08,6.716815e-08,1.834632e-07,1.901971e-07,4.213517e-07,5.110869e-07,8.031406e-07,1.124655e-06,1.384633e-06,2.142708e-06,2.220176e-06,3.360385e-06,3.683329e-06,4.834696e-06,5.805901e-06,6.638496e-06,8.471762e-06,8.737719e-06,1.108402e-05,1.157846e-05,1.362734e-05,1.501233e-05,1.632200e-05,1.867311e-05,1.912810e-05,2.201107e-05,2.247741e-05,2.494068e-05,2.635550e-05,2.789023e-05,3.024820e-05,3.083601e-05,3.375704e-05,3.410500e-05,3.663492e-05,3.788334e-05,3.945378e-05,4.154828e-05,4.220018e-05,4.486303e-05,4.507216e-05,4.743348e-05,4.843422e-05,4.990480e-05,5.161994e-05,5.227208e-05,5.453211e-05,5.462025e-05,5.668314e-05,5.743071e-05,5.872472e-05,6.005069e-05,6.065732e-05,6.248227e-05,6.420162e-05,6.472992e-05,6.581795e-05,6.679972e-05,6.733429e-05,6.869900e-05,6.875398e-05,7.008055e-05,7.043580e-05,7.131766e-05,7.201855e-05,7.246906e-05,7.345589e-05,7.353852e-05,7.452981e-05,7.475651e-05,7.544665e-05,7.592891e-05,7.629266e-05,7.698140e-05,7.707142e-05,7.778636e-05,7.792199e-05,7.844085e-05,7.875836e-05,7.903809e-05,7.949780e-05,7.958117e-05,8.007309e-05,8.014723e-05,8.051666e-05,8.071322e-05,8.091463e-05,8.120191e-05,8.126958e-05,8.158399e-05,8.161911e-05,8.186023e-05,8.197026e-05,8.210053e-05,8.226045e-05,8.230704e-05,8.248179e-05,8.249445e-05,8.262669e-05,8.267671e-05,8.274359e-05,8.281139e-05,8.283421e-05,8.290021e-05,8.290236e-05,8.294313e-05,8.295323e-05,8.296448e-05,8.296737e-05,8.296563e-05,8.294792e-05,8.291260e-05,8.289777e-05,8.286086e-05,8.281965e-05,8.279382e-05,8.271606e-05,8.271255e-05,8.261804e-05,8.258934e-05,8.251125e-05,8.244166e-05,8.239307e-05,8.227502e-05,8.226436e-05,8.212590e-05,8.209130e-05,8.197845e-05,8.189222e-05,8.182273e-05,8.167939e-05,8.165941e-05,8.148912e-05,8.145428e-05,8.131246e-05,8.121827e-05,8.113000e-05,8.097264e-05,8.094227e-05,8.074977e-05,8.071856e-05,8.055297e-05,8.045711e-05,8.035231e-05,8.018929e-05,8.014822e-05,7.994108e-05,7.991604e-05,7.973127e-05,7.963820e-05,7.951914e-05,7.935656e-05,7.930501e-05,7.908918e-05,7.907185e-05,7.887196e-05,7.878474e-05,7.865360e-05,7.849583e-05,7.843437e-05,7.821449e-05,7.820569e-05,7.799420e-05,7.791484e-05,7.777371e-05,7.762375e-05,7.755320e-05,7.733286e-05,7.704256e-05,7.675322e-05,7.646517e-05,7.617870e-05,7.589410e-05,7.561160e-05,7.533144e-05,7.505381e-05,7.477890e-05,7.450687e-05,7.423786e-05,7.397200e-05,7.370941e-05,7.345018e-05,7.319440e-05,7.294215e-05,7.269350e-05,7.244848e-05,7.220716e-05,7.196956e-05,7.173571e-05,7.150563e-05,7.127934e-05,7.105684e-05
0.000000e+00,2.601383e-10,7.061112e-10,3.008832e-09,7.674637e-09,1.170888e-08,2.878158e-08,2.972105e-08,6.021745e-08,7.141568e-08,1.062970e-07,1.427175e-07,1.710673e-07,2.497779e-07,2.575623e-07,3.682749e-07,3.986051e-07,5.041774e-07,5.908597e-07,6.638702e-07,8.214238e-07,8.439816e-07,1.040489e-06,1.081421e-06,1.249663e-06,1.362355e-06,1.468293e-06,1.657201e-06,1.693592e-06,1.923069e-06,1.960019e-06,2.154459e-06,2.265591e-06,2.385697e-06,2.569323e-06,2.614926e-06,2.840505e-06,2.867260e-06,3.061021e-06,3.156130e-06,3.275289e-06,3.433358e-06,3.482353e-06,3.681467e-06,3.697035e-06,3.872085e-06,3.945865e-06,4.053838e-06,4.179084e-06,4.226510e-06,4.390016e-06,4.396366e-06,4.544383e-06,4.597739e-06,4.689732e-06,4.783513e-06,4.826253e-06,4.954193e-06,5.073840e-06,5.110428e-06,5.185515e-06,5.252958e-06,5.289555e-06,5.382575e-06,5.386310e-06,5.476134e-06,5.500092e-06,5.559384e-06,5.606323e-06,5.636408e-06,5.702066e-06,5.707549e-06,5.773141e-06,5.788093e-06,5.833504e-06,5.865139e-06,5.888947e-06,5.933902e-06,5.939766e-06,5.986241e-06,5.995038e-06,6.028640e-06,6.049161e-06,6.067217e-06,6.096844e-06,6.102212e-06,6.133852e-06,6.138617e-06,6.162351e-06,6.174975e-06,6.187911e-06,6.206372e-06,6.210723e-06,6.230965e-06,6.233229e-06,6.248805e-06,6.255935e-06,6.264401e-06,6.274846e-06,6.277903e-06,6.289449e-06,6.290292e-06,6.299171e-06,6.302576e-06,6.307190e-06,6.311976e-06,6.313623e-06,6.318579e-06,6.318747e-06,6.322157e-06,6.323127e-06,6.324454e-06,6.325329e-06,6.325558e-06,6.325554e-06,6.324520e-06,6.323984e-06,6.322529e-06,6.320786e-06,6.319652e-06,6.316115e-06,6.315952e-06,6.311490e-06,6.310112e-06,6.306324e-06,6.302909e-06,6.300507e-06,6.294623e-06,6.294088e-06,6.287116e-06,6.285365e-06,6.279634e-06,6.275237e-06,6.271683e-06,6.264330e-06,6.263303e-06,6.254529e-06,6.252730e-06,6.245397e-06,6.240516e-06,6.235937e-06,6.227760e-06,6.226180e-06,6.216154e-06,6.214527e-06,6.205886e-06,6.200879e-06,6.195400e-06,6.186871e-06,6.184720e-06,6.173867e-06,6.172554e-06,6.162862e-06,6.157976e-06,6.151723e-06,6.143180e-06,6.140470e-06,6.129119e-06,6.128207e-06,6.117684e-06,6.113091e-06,6.106183e-06,6.097867e-06,6.094627e-06,6.083030e-06,6.082565e-06,6.071404e-06,6.067214e-06,6.059761e-06,6.051838e-06,6.048110e-06,6.036462e-06,6.021107e-06,6.005791e-06,5.990534e-06,5.975352e-06,5.960258e-06,5.945268e-06,5.930392e-06,5.915642e-06,5.901027e-06,5.886557e-06,5.872240e-06,5.858082e-06,5.844090e-06,5.830269e-06,5.816625e-06,5.803162e-06,5.789883e-06,5.776792e-06,5.763892e-06,5.751183e-06,5.738669e-06,5.726351e-06,5.714229e-06,5.702305e-06
0.000000e+00,8.224595e-10,2.356336e-09,1.103202e-08,3.013328e-08,4.745756e-08,1.246917e-07,1.290582e-07,2.743068e-07,3.287811e-07,5.006515e-07,6.823243e-07,8.246977e-07,1.222530e-06,1.262012e-06,1.825081e-06,1.979709e-06,2.518963e-06,2.963089e-06,3.338357e-06,4.152745e-06,4.269914e-06,5.297081e-06,5.512515e-06,6.403332e-06,7.004668e-06,7.573232e-06,8.594565e-06,8.792362e-06,1.004700e-05,1.025014e-05,1.132388e-05,1.194091e-05,1.261019e-05,1.363773e-05,1.389362e-05,1.516257e-05,1.531336e-05,1.640638e-05,1.694318e-05,1.761546e-05,1.850598e-05,1.878150e-05,1.989751e-05,1.998446e-05,2.095789e-05,2.136546e-05,2.195837e-05,2.263993e-05,2.289601e-05,2.376903e-05,2.380259e-05,2.457673e-05,2.485154e-05,2.531938e-05,2.578771e-05,2.599799e-05,2.661427e-05,2.717043e-05,2.733612e-05,2.766907e-05,2.795935e-05,2.811310e-05,2.849084e-05,2.850559e-05,2.884974e-05,2.893788e-05,2.914878e-05,2.930788e-05,2.940591e-05,2.960815e-05,2.962426e-05,2.980689e-05,2.984573e-05,2.995670e-05,3.002730e-05,3.007646e-05,3.015908e-05,3.016879e-05,3.023615e-05,3.024682e-05,3.028081e-05,3.029579e-05,3.030492e-05,3.031073e-05,3.031044e-05,3.029919e-05,3.029594e-05,3.027284e-05,3.025528e-05,3.023292e-05,3.019216e-05,3.018084e-05,3.011788e-05,3.010965e-05,3.004522e-05,3.001045e-05,2.996391e-05,2.989694e-05,2.987493e-05,2.977916e-05,2.977123e-05,2.967740e-05,2.963519e-05,2.957038e-05,2.949044e-05,2.945875e-05,2.934312e-05,2.933842e-05,2.922403e-05,2.918041e-05,2.910198e-05,2.901751e-05,2.897740e-05,2.885070e-05,2.872226e-05,2.868084e-05,2.859239e-05,2.850868e-05,2.846142e-05,2.833488e-05,2.832959e-05,2.819718e-05,2.816003e-05,2.806439e-05,2.798463e-05,2.793144e-05,2.780913e-05,2.779850e-05,2.766574e-05,2.763392e-05,2.753331e-05,2.745935e-05,2.740136e-05,2.728572e-05,2.726999e-05,2.713932e-05,2.711328e-05,2.700946e-05,2.694228e-05,2.688049e-05,2.677290e-05,2.675249e-05,2.662553e-05,2.660532e-05,2.649968e-05,2.643969e-05,2.637500e-05,2.627613e-05,2.625154e-05,2.612935e-05,2.611477e-05,2.600845e-05,2.595568e-05,2.588890e-05,2.579895e-05,2.577071e-05,2.565393e-05,2.564464e-05,2.553856e-05,2.549281e-05,2.542462e-05,2.534349e-05,2.531215e-05,2.520114e-05,2.519673e-05,2.509161e-05,2.505254e-05,2.498356e-05,2.491094e-05,2.487700e-05,2.477194e-05,2.463556e-05,2.450177e-05,2.437059e-05,2.424199e-05,2.411597e-05,2.399251e-05,2.387159e-05,2.375318e-05,2.363725e-05,2.352379e-05,2.341276e-05,2.330413e-05,2.319787e-05,2.309394e-05,2.299232e-05,2.289295e-05,2.279582e-05,2.270088e-05,2.260809e-05,2.251742e-05,2.242883e-05,2.234228e-05,2.225774e-05,2.217516e-05
0.000000e+00,8.793847e-10,2.562738e-09,1.240045e-08,3.480594e-08,5.557815e-08,1.507461e-07,1.562084e-07,3.406553e-07,4.107566e-07,6.337388e-07,8.711566e-07,1.057836e-06,1.580588e-06,1.632509e-06,2.373949e-06,2.578101e-06,3.293439e-06,3.887900e-06,4.394693e-06,5.509576e-06,5.671651e-06,7.108827e-06,7.413619e-06,8.684092e-06,9.549388e-06,1.037192e-05,1.185729e-05,1.214581e-05,1.397975e-05,1.427708e-05,1.584895e-05,1.675180e-05,1.773021e-05,1.922953e-05,1.960225e-05,2.144587e-05,2.166436e-05,2.324409e-05,2.401709e-05,2.498234e-05,2.625573e-05,2.664846e-05,2.823275e-05,2.835572e-05,2.972789e-05,3.029978e-05,3.112882e-05,3.207740e-05,3.243255e-05,3.363797e-05,3.368414e-05,3.474556e-05,3.512067e-05,3.575718e-05,3.639172e-05,3.667576e-05,3.750508e-05,3.824956e-05,3.847066e-05,3.891406e-05,3.929971e-05,3.950368e-05,4.000413e-05,4.002366e-05,4.047920e-05,4.059591e-05,4.087545e-05,4.108679e-05,4.121733e-05,4.148791e-05,4.150957e-05,4.175662e-05,4.180966e-05,4.196266e-05,4.206158e-05,4.213157e-05,4.225235e-05,4.226693e-05,4.237203e-05,4.238969e-05,4.244986e-05,4.248048e-05,4.250316e-05,4.253079e-05,4.253440e-05,4.254581e-05,4.254594e-05,4.253943e-05,4.253058e-05,4.251706e-05,4.248877e-05,4.248036e-05,4.243078e-05,4.242403e-05,4.236967e-05,4.233943e-05,4.229820e-05,4.223763e-05,4.221746e-05,4.212841e-05,4.212095e-05,4.203192e-05,4.199142e-05,4.192877e-05,4.185078e-05,4.181968e-05,4.170528e-05,4.170060e-05,4.158615e-05,4.154221e-05,4.146282e-05,4.137680e-05,4.133576e-05,4.120541e-05,4.107216e-05,4.102897e-05,4.093638e-05,4.084830e-05,4.079839e-05,4.066411e-05,4.065848e-05,4.051695e-05,4.047707e-05,4.037404e-05,4.028773e-05,4.022998e-05,4.009662e-05,4.008499e-05,3.993927e-05,3.990420e-05,3.979299e-05,3.971089e-05,3.964632e-05,3.951705e-05,3.949942e-05,3.935242e-05,3.932303e-05,3.920547e-05,3.912911e-05,3.905868e-05,3.893558e-05,3.891216e-05,3.876602e-05,3.874268e-05,3.862035e-05,3.855063e-05,3.847525e-05,3.835962e-05,3.833078e-05,3.818704e-05,3.816984e-05,3.804408e-05,3.798144e-05,3.790197e-05,3.779457e-05,3.776077e-05,3.762053e-05,3.760936e-05,3.748131e-05,3.742592e-05,3.734315e-05,3.724435e-05,3.720608e-05,3.707016e-05,3.706474e-05,3.693540e-05,3.688719e-05,3.680185e-05,3.671174e-05,3.666954e-05,3.653848e-05,3.636744e-05,3.619869e-05,3.603225e-05,3.586815e-05,3.570644e-05,3.554712e-05,3.539021e-05,3.523573e-05,3.508368e-05,3.493407e-05,3.478690e-05,3.464216e-05,3.449985e-05,3.435997e-05,3.422249e-05,3.408742e-05,3.395472e-05,3.382440e-05,3.369641e-05,3.357076e-05,3.344741e-05,3.332635e-05,3.320754e-05,3.309097e-05
0.000000e+00,1.540669e-09,4.416548e-09,2.069120e-08,5.651426e-08,8.897982e-08,2.334024e-07,2.415526e-07,5.118197e-07,6.127820e-07,9.300050e-07,1.263285e-06,1.523127e-06,2.243846e-06,2.315008e-06,3.325323e-06,3.601926e-06,4.566850e-06,5.364125e-06,6.040579e-06,7.517009e-06,7.730133e-06,9.599584e-06,9.990745e-06,1.159804e-05,1.266946e-05,1.366915e-05,1.542608e-05,1.575999e-05,1.782608e-05,1.815190e-05,1.983263e-05,2.076674e-05,2.175383e-05,2.321681e-05,2.357135e-05,2.527284e-05,2.546882e-05,2.685075e-05,2.750480e-05,2.830132e-05,2.931805e-05,2.962382e-05,3.081994e-05,3.091027e-05,3.189325e-05,3.228926e-05,3.284874e-05,3.346709e-05,3.369244e-05,3.443110e-05,3.445856e-05,3.507186e-05,3.527998e-05,3.562206e-05,3.594821e-05,3.608902e-05,3.647993e-05,3.680171e-05,3.689116e-05,3.706093e-05,3.719687e-05,3.726377e-05,3.741081e-05,3.741599e-05,3.752293e-05,3.754544e-05,3.758948e-05,3.761190e-05,3.762011e-05,3.762006e-05,3.761888e-05,3.758947e-05,3.757860e-05,3.753522e-05,3.749511e-05,3.745911e-05,3.737619e-05,3.736383e-05,3.725179e-05,3.722756e-05,3.712515e-05,3.705418e-05,3.698585e-05,3.686031e-05,3.683560e-05,3.667595e-05,3.664963e-05,3.650827e-05,3.642529e-05,3.633378e-05,3.619003e-05,3.615358e-05,3.596864e-05,3.594617e-05,3.577982e-05,3.569572e-05,3.558791e-05,3.544041e-05,3.539358e-05,3.519745e-05,3.518170e-05,3.500007e-05,3.492088e-05,3.480192e-05,3.465902e-05,3.460343e-05,3.440500e-05,3.439707e-05,3.420695e-05,3.413581e-05,3.400960e-05,3.387593e-05,3.381321e-05,3.361802e-05,3.342424e-05,3.336256e-05,3.323206e-05,3.310998e-05,3.304165e-05,3.286064e-05,3.285314e-05,3.266666e-05,3.261483e-05,3.248233e-05,3.237280e-05,3.230023e-05,3.213475e-05,3.212046e-05,3.194307e-05,3.190086e-05,3.176813e-05,3.167125e-05,3.159568e-05,3.144603e-05,3.142578e-05,3.125844e-05,3.122529e-05,3.109370e-05,3.100907e-05,3.093158e-05,3.079743e-05,3.077208e-05,3.061522e-05,3.059037e-05,3.046101e-05,3.038792e-05,3.030942e-05,3.019006e-05,3.016048e-05,3.001415e-05,2.999677e-05,2.987044e-05,2.980803e-05,2.972933e-05,2.962381e-05,2.959079e-05,2.945482e-05,2.944405e-05,2.932139e-05,2.926872e-05,2.919047e-05,2.909775e-05,2.906204e-05,2.893608e-05,2.893109e-05,2.881255e-05,2.876868e-05,2.869143e-05,2.861043e-05,2.857269e-05,2.845630e-05,2.830619e-05,2.816005e-05,2.801779e-05,2.787933e-05,2.774460e-05,2.761353e-05,2.748602e-05,2.736201e-05,2.724141e-05,2.712414e-05,2.701013e-05,2.689931e-05,2.679158e-05,2.668689e-05,2.658514e-05,2.648628e-05,2.639022e-05,2.629690e-05,2.620624e-05,2.611817e-05,2.603264e-05,2.594956e-05,2.586887e-05,2.579051e-05
0.000000e+00,7.136946e-12,1.627617e-11,5.567062e-11,1.264318e-10,1.845477e-10,4.217479e-10,4.346567e-10,8.549671e-10,1.011153e-09,1.505651e-09,2.031834e-09,2.444113e-09,3.574347e-09,3.683795e-09,5.180860e-09,5.571789e-09,6.877609e-09,7.898148e-09,8.730460e-09,1.046559e-08,1.070877e-08,1.278822e-08,1.321428e-08,1.494666e-08,1.609307e-08,1.716243e-08,1.905219e-08,1.941395e-08,2.167996e-08,2.204248e-08,2.394000e-08,2.501703e-08,2.617497e-08,2.793319e-08,2.836755e-08,3.050254e-08,3.075423e-08,3.256702e-08,3.345026e-08,3.455046e-08,3.599850e-08,3.644458e-08,3.824321e-08,3.838284e-08,3.994214e-08,4.059319e-08,4.153889e-08,4.262469e-08,4.303249e-08,4.442317e-08,4.447667e-08,4.571226e-08,4.615185e-08,4.690187e-08,4.765539e-08,4.799479e-08,4.899428e-08,4.990397e-08,5.017673e-08,5.072772e-08,5.121167e-08,5.146955e-08,5.210843e-08,5.213355e-08,5.272382e-08,5.287643e-08,5.324443e-08,5.352503e-08,5.369939e-08,5.406332e-08,5.409260e-08,5.442783e-08,5.450007e-08,5.470871e-08,5.484356e-08,5.493871e-08,5.510169e-08,5.512118e-08,5.525930e-08,5.528187e-08,5.535608e-08,5.539104e-08,5.541441e-08,5.543569e-08,5.543701e-08,5.542644e-08,5.542184e-08,5.538516e-08,5.535511e-08,5.531544e-08,5.524067e-08,5.521947e-08,5.509927e-08,5.508331e-08,5.495678e-08,5.488748e-08,5.479378e-08,5.465724e-08,5.461198e-08,5.441297e-08,5.439635e-08,5.419824e-08,5.410827e-08,5.396919e-08,5.379615e-08,5.372713e-08,5.347329e-08,5.346291e-08,5.320881e-08,5.311121e-08,5.293478e-08,5.274349e-08,5.265218e-08,5.236197e-08,5.206501e-08,5.196869e-08,5.176212e-08,5.156551e-08,5.145406e-08,5.115411e-08,5.114153e-08,5.082521e-08,5.073604e-08,5.050569e-08,5.031269e-08,5.018356e-08,4.988534e-08,4.985933e-08,4.953351e-08,4.945512e-08,4.920653e-08,4.902309e-08,4.887884e-08,4.859018e-08,4.855081e-08,4.822281e-08,4.815724e-08,4.789517e-08,4.772504e-08,4.756819e-08,4.729426e-08,4.724217e-08,4.691735e-08,4.686551e-08,4.659398e-08,4.643934e-08,4.627228e-08,4.601625e-08,4.595244e-08,4.563464e-08,4.559665e-08,4.531906e-08,4.518095e-08,4.500585e-08,4.476947e-08,4.469513e-08,4.438703e-08,4.436250e-08,4.408167e-08,4.396032e-08,4.377915e-08,4.356313e-08,4.347954e-08,4.318293e-08,4.317113e-08,4.288939e-08,4.278448e-08,4.259898e-08,4.240331e-08,4.231174e-08,4.202774e-08,4.165784e-08,4.129371e-08,4.093537e-08,4.058287e-08,4.023623e-08,3.989545e-08,3.956053e-08,3.923146e-08,3.890820e-08,3.859073e-08,3.827900e-08,3.797297e-08,3.767257e-08,3.737776e-08,3.708846e-08,3.680461e-08,3.652613e-08,3.625296e-08,3.598501e-08,3.572220e-08,3.546446e-08,3.521169e-08,3.496383e-08,3.472077e-08
0.000000e+00,8.401513e-12,1.917474e-11,6.566158e-11,1.491755e-10,2.177053e-10,4.964842e-10,5.116082e-10,1.001259e-09,1.181857e-09,1.749048e-09,2.345588e-09,2.808813e-09,4.067059e-09,4.188423e-09,5.848710e-09,6.283481e-09,7.742269e-09,8.890192e-09,9.831573e-09,1.180822e-08,1.208669e-08,1.448059e-08,1.497368e-08,1.698662e-08,1.832512e-08,1.957778e-08,2.180028e-08,2.222693e-08,2.490742e-08,2.533749e-08,2.759384e-08,2.887844e-08,3.026269e-08,3.237085e-08,3.289288e-08,3.546606e-08,3.577024e-08,3.796666e-08,3.904055e-08,4.038194e-08,4.215425e-08,4.270191e-08,4.491902e-08,4.509178e-08,4.702798e-08,4.784047e-08,4.902543e-08,5.039355e-08,5.090969e-08,5.268046e-08,5.274894e-08,5.433859e-08,5.490825e-08,5.588584e-08,5.687587e-08,5.732469e-08,5.865819e-08,5.988978e-08,6.026297e-08,6.102320e-08,6.169888e-08,6.206239e-08,6.297514e-08,6.301142e-08,6.387440e-08,6.410118e-08,6.465544e-08,6.508642e-08,6.535858e-08,6.594011e-08,6.598782e-08,6.654707e-08,6.667130e-08,6.704012e-08,6.728868e-08,6.747064e-08,6.780060e-08,6.784218e-08,6.815817e-08,6.821499e-08,6.842187e-08,6.853938e-08,6.863643e-08,6.878088e-08,6.880485e-08,6.893001e-08,6.894620e-08,6.901464e-08,6.904163e-08,6.906134e-08,6.907307e-08,6.907260e-08,6.905078e-08,6.904605e-08,6.899811e-08,6.896572e-08,6.891672e-08,6.883690e-08,6.880862e-08,6.867572e-08,6.866408e-08,6.851983e-08,6.845142e-08,6.834265e-08,6.820282e-08,6.814581e-08,6.793082e-08,6.792186e-08,6.769913e-08,6.761190e-08,6.745210e-08,6.727602e-08,6.719102e-08,6.691709e-08,6.663145e-08,6.653775e-08,6.633518e-08,6.614046e-08,6.602929e-08,6.572746e-08,6.571472e-08,6.539238e-08,6.530085e-08,6.506310e-08,6.486252e-08,6.472766e-08,6.441426e-08,6.438681e-08,6.404124e-08,6.395767e-08,6.369159e-08,6.349425e-08,6.333849e-08,6.302534e-08,6.298249e-08,6.262413e-08,6.255222e-08,6.226390e-08,6.207600e-08,6.190227e-08,6.159774e-08,6.153967e-08,6.117651e-08,6.111838e-08,6.081315e-08,6.063878e-08,6.044996e-08,6.015973e-08,6.008725e-08,5.972532e-08,5.968195e-08,5.936445e-08,5.920607e-08,5.900490e-08,5.873268e-08,5.864691e-08,5.829070e-08,5.826229e-08,5.793648e-08,5.779538e-08,5.758441e-08,5.733237e-08,5.723469e-08,5.688746e-08,5.687362e-08,5.654286e-08,5.641948e-08,5.620103e-08,5.597023e-08,5.586209e-08,5.552613e-08,5.508741e-08,5.465427e-08,5.422685e-08,5.380532e-08,5.338978e-08,5.298034e-08,5.257706e-08,5.218001e-08,5.178923e-08,5.140476e-08,5.102659e-08,5.065474e-08,5.028920e-08,4.992994e-08,4.957695e-08,4.923018e-08,4.888958e-08,4.855512e-08,4.822673e-08,4.790435e-08,4.758792e-08,4.727736e-08,4.697261e-08,4.667358e-08
0.000000e+00,1.382084e-09,3.757700e-09,1.608431e-08,4.128164e-08,6.327401e-08,1.582659e-07,1.635798e-07,3.407354e-07,4.079748e-07,6.244750e-07,8.610757e-07,1.051926e-06,1.606873e-06,1.663393e-06,2.487718e-06,2.717841e-06,3.523446e-06,4.184126e-06,4.737094e-06,5.915015e-06,6.081796e-06,7.514821e-06,7.808969e-06,9.003389e-06,9.791132e-06,1.052342e-05,1.181116e-05,1.205676e-05,1.358905e-05,1.383329e-05,1.510833e-05,1.582991e-05,1.660440e-05,1.777856e-05,1.806843e-05,1.949292e-05,1.966088e-05,2.087152e-05,2.146219e-05,2.219906e-05,2.317130e-05,2.347147e-05,2.468574e-05,2.478030e-05,2.583979e-05,2.628426e-05,2.693243e-05,2.768082e-05,2.796320e-05,2.893228e-05,2.896977e-05,2.984041e-05,3.015263e-05,3.068876e-05,3.123225e-05,3.147883e-05,3.221241e-05,3.289148e-05,3.309761e-05,3.351816e-05,3.389276e-05,3.409466e-05,3.460299e-05,3.462324e-05,3.510619e-05,3.523355e-05,3.554577e-05,3.578963e-05,3.594422e-05,3.627636e-05,3.630374e-05,3.662647e-05,3.669868e-05,3.691447e-05,3.706133e-05,3.716975e-05,3.736884e-05,3.739421e-05,3.758971e-05,3.762548e-05,3.775799e-05,3.783531e-05,3.790075e-05,3.800210e-05,3.801957e-05,3.811598e-05,3.812943e-05,3.819143e-05,3.822060e-05,3.824728e-05,3.827872e-05,3.828483e-05,3.830532e-05,3.830668e-05,3.830990e-05,3.830716e-05,3.829968e-05,3.828265e-05,3.827569e-05,3.823892e-05,3.823545e-05,3.819029e-05,3.816772e-05,3.813068e-05,3.808142e-05,3.806091e-05,3.798176e-05,3.797840e-05,3.789395e-05,3.786035e-05,3.779818e-05,3.772883e-05,3.769509e-05,3.758529e-05,3.746936e-05,3.743105e-05,3.734783e-05,3.726735e-05,3.722121e-05,3.709531e-05,3.708998e-05,3.695457e-05,3.691597e-05,3.681542e-05,3.673029e-05,3.667291e-05,3.653915e-05,3.652741e-05,3.637926e-05,3.634335e-05,3.622880e-05,3.614363e-05,3.607631e-05,3.594068e-05,3.592209e-05,3.576639e-05,3.573510e-05,3.560948e-05,3.552747e-05,3.545157e-05,3.531831e-05,3.529288e-05,3.513362e-05,3.510809e-05,3.497397e-05,3.489725e-05,3.481410e-05,3.468616e-05,3.465418e-05,3.449437e-05,3.447520e-05,3.433479e-05,3.426469e-05,3.417559e-05,3.405491e-05,3.401687e-05,3.385876e-05,3.384614e-05,3.370136e-05,3.363862e-05,3.354476e-05,3.343255e-05,3.338905e-05,3.323431e-05,3.322814e-05,3.308062e-05,3.302556e-05,3.292804e-05,3.282495e-05,3.277664e-05,3.262647e-05,3.243023e-05,3.223633e-05,3.204487e-05,3.185594e-05,3.166959e-05,3.148589e-05,3.130489e-05,3.112663e-05,3.095114e-05,3.077845e-05,3.060858e-05,3.044153e-05,3.027732e-05,3.011594e-05,2.995740e-05,2.980169e-05,2.964880e-05,2.949871e-05,2.935141e-05,2.920687e-05,2.906508e-05,2.892600e-05,2.878962e-05,2.865590e-05
0.000000e+00,7.765589e-10,1.892216e-09,6.945941e-09,1.625078e-08,2.392668e-08,5.494947e-08,5.661677e-08,1.095891e-07,1.286575e-07,1.872359e-07,2.474352e-07,2.937784e-07,4.206313e-07,4.330557e-07,6.079761e-07,6.554280e-07,8.195207e-07,9.533273e-07,1.065517e-06,1.305988e-06,1.340211e-06,1.635641e-06,1.696496e-06,1.943849e-06,2.106899e-06,2.258188e-06,2.523147e-06,2.573481e-06,2.885704e-06,2.935153e-06,3.191680e-06,3.335565e-06,3.488878e-06,3.718960e-06,3.775303e-06,4.049415e-06,4.081424e-06,4.310087e-06,4.420315e-06,4.556549e-06,4.734063e-06,4.788341e-06,5.005268e-06,5.021979e-06,5.207357e-06,5.284078e-06,5.394810e-06,5.520903e-06,5.567972e-06,5.727294e-06,5.733386e-06,5.873303e-06,5.922719e-06,6.006583e-06,6.090256e-06,6.127751e-06,6.237440e-06,6.336291e-06,6.365738e-06,6.424937e-06,6.476603e-06,6.504001e-06,6.571452e-06,6.574090e-06,6.635796e-06,6.651649e-06,6.689683e-06,6.718487e-06,6.736289e-06,6.773174e-06,6.776124e-06,6.809674e-06,6.816843e-06,6.837400e-06,6.850543e-06,6.859731e-06,6.875245e-06,6.877076e-06,6.889816e-06,6.891843e-06,6.898309e-06,6.901160e-06,6.902892e-06,6.903950e-06,6.903878e-06,6.901562e-06,6.900903e-06,6.896217e-06,6.892652e-06,6.888101e-06,6.879773e-06,6.877452e-06,6.864492e-06,6.862792e-06,6.849430e-06,6.842188e-06,6.832460e-06,6.818396e-06,6.813759e-06,6.793497e-06,6.791813e-06,6.771828e-06,6.762800e-06,6.748898e-06,6.731682e-06,6.724839e-06,6.699777e-06,6.698755e-06,6.673827e-06,6.664289e-06,6.647097e-06,6.628525e-06,6.619684e-06,6.591682e-06,6.563175e-06,6.553960e-06,6.534242e-06,6.515535e-06,6.504956e-06,6.476570e-06,6.475383e-06,6.445585e-06,6.437209e-06,6.415620e-06,6.397582e-06,6.385540e-06,6.357806e-06,6.355393e-06,6.325223e-06,6.317984e-06,6.295073e-06,6.278210e-06,6.264978e-06,6.238567e-06,6.234973e-06,6.205089e-06,6.199129e-06,6.175355e-06,6.159961e-06,6.145797e-06,6.121121e-06,6.116438e-06,6.087300e-06,6.082659e-06,6.058402e-06,6.044622e-06,6.029762e-06,6.007046e-06,6.001395e-06,5.973316e-06,5.969967e-06,5.945538e-06,5.933413e-06,5.918070e-06,5.897409e-06,5.890923e-06,5.864106e-06,5.861976e-06,5.837627e-06,5.827131e-06,5.811491e-06,5.792889e-06,5.785705e-06,5.760272e-06,5.759262e-06,5.735197e-06,5.726258e-06,5.710483e-06,5.693884e-06,5.686131e-06,5.662145e-06,5.631043e-06,5.600580e-06,5.570754e-06,5.541565e-06,5.513009e-06,5.485082e-06,5.457780e-06,5.431096e-06,5.405024e-06,5.379558e-06,5.354688e-06,5.330408e-06,5.306708e-06,5.283579e-06,5.261013e-06,5.238999e-06,5.217529e-06,5.196591e-06,5.176177e-06,5.156276e-06,5.136878e-06,5.117973e-06,5.099550e-06,5.081600e-06
0.000000e+00,1.012157e-11,2.312946e-11,7.930301e-11,1.801296e-10,2.626899e-10,5.965281e-10,6.145438e-10,1.192958e-09,1.404294e-09,2.064290e-09,2.759266e-09,3.305385e-09,4.845647e-09,4.999786e-09,7.221529e-09,7.838275e-09,1.000424e-08,1.179799e-08,1.331480e-08,1.659376e-08,1.706302e-08,2.114003e-08,2.198596e-08,2.544837e-08,2.775372e-08,2.991075e-08,3.373392e-08,3.446718e-08,3.906974e-08,3.980767e-08,4.367852e-08,4.588268e-08,4.825914e-08,5.188295e-08,5.278141e-08,5.721871e-08,5.774433e-08,6.154774e-08,6.341293e-08,6.574845e-08,6.884468e-08,6.980398e-08,7.370059e-08,7.400511e-08,7.742749e-08,7.886886e-08,8.097670e-08,8.341897e-08,8.434280e-08,8.752265e-08,8.764594e-08,9.051510e-08,9.154658e-08,9.332077e-08,9.512294e-08,9.594174e-08,9.838137e-08,1.006440e-07,1.013315e-07,1.027348e-07,1.039852e-07,1.046593e-07,1.063563e-07,1.064239e-07,1.080349e-07,1.084593e-07,1.094990e-07,1.103097e-07,1.108229e-07,1.119230e-07,1.120135e-07,1.130774e-07,1.133146e-07,1.140212e-07,1.144997e-07,1.148515e-07,1.154932e-07,1.155745e-07,1.161963e-07,1.163091e-07,1.167230e-07,1.169611e-07,1.171601e-07,1.174621e-07,1.175131e-07,1.177874e-07,1.178243e-07,1.179878e-07,1.180592e-07,1.181192e-07,1.181777e-07,1.181861e-07,1.181929e-07,1.181899e-07,1.181437e-07,1.181053e-07,1.180424e-07,1.179329e-07,1.178927e-07,1.176982e-07,1.176808e-07,1.174621e-07,1.173567e-07,1.171876e-07,1.169679e-07,1.168777e-07,1.165352e-07,1.165209e-07,1.161628e-07,1.160218e-07,1.157629e-07,1.154764e-07,1.153379e-07,1.148900e-07,1.144213e-07,1.142673e-07,1.139339e-07,1.136129e-07,1.134294e-07,1.129308e-07,1.129097e-07,1.123765e-07,1.122249e-07,1.118311e-07,1.114987e-07,1.112751e-07,1.107554e-07,1.107099e-07,1.101366e-07,1.099979e-07,1.095564e-07,1.092289e-07,1.089705e-07,1.084509e-07,1.083798e-07,1.077854e-07,1.076662e-07,1.071882e-07,1.068767e-07,1.065888e-07,1.060844e-07,1.059883e-07,1.053871e-07,1.052910e-07,1.047862e-07,1.044979e-07,1.041859e-07,1.037067e-07,1.035870e-07,1.029900e-07,1.029185e-07,1.023953e-07,1.021345e-07,1.018034e-07,1.013557e-07,1.012148e-07,1.006297e-07,1.005831e-07,1.000486e-07,9.981739e-08,9.947184e-08,9.905936e-08,9.889962e-08,9.833225e-08,9.830966e-08,9.776997e-08,9.756884e-08,9.721300e-08,9.683739e-08,9.666153e-08,9.611575e-08,9.540429e-08,9.470333e-08,9.401312e-08,9.333390e-08,9.266584e-08,9.200909e-08,9.136374e-08,9.072987e-08,9.010753e-08,8.949674e-08,8.889749e-08,8.830975e-08,8.773349e-08,8.716863e-08,8.661511e-08,8.607282e-08,8.554167e-08,8.502153e-08,8.451229e-08,8.401381e-08,8.352594e-08,8.304855e-08,8.258147e-08,8.212456e-08
0.000000e+00,3.746583e-10,1.064902e-09,4.916767e-09,1.329600e-08,2.084530e-08,5.427661e-08,5.616071e-08,1.186826e-07,1.420890e-07,2.158762e-07,2.938122e-07,3.548510e-07,5.251539e-07,5.420290e-07,7.821581e-07,8.479687e-07,1.077467e-06,1.267021e-06,1.428004e-06,1.781219e-06,1.832561e-06,2.289255e-06,2.386649e-06,2.795688e-06,3.077741e-06,3.348933e-06,3.847296e-06,3.945497e-06,4.581334e-06,4.686414e-06,5.251890e-06,5.584645e-06,5.952201e-06,6.530342e-06,6.677002e-06,7.420856e-06,7.511139e-06,8.178284e-06,8.514456e-06,8.943887e-06,9.527999e-06,9.712458e-06,1.047907e-05,1.054018e-05,1.123917e-05,1.154044e-05,1.198859e-05,1.251948e-05,1.272365e-05,1.344110e-05,1.346940e-05,1.413821e-05,1.438373e-05,1.481267e-05,1.525741e-05,1.546264e-05,1.608669e-05,1.668377e-05,1.686901e-05,1.725316e-05,1.760286e-05,1.779449e-05,1.828763e-05,1.830762e-05,1.879266e-05,1.892347e-05,1.924991e-05,1.951112e-05,1.967985e-05,2.005179e-05,2.008309e-05,2.046033e-05,2.054709e-05,2.081238e-05,2.099885e-05,2.114012e-05,2.140912e-05,2.144443e-05,2.172628e-05,2.178004e-05,2.198662e-05,2.211381e-05,2.222640e-05,2.241265e-05,2.244660e-05,2.264815e-05,2.267873e-05,2.283200e-05,2.291422e-05,2.299904e-05,2.312117e-05,2.315016e-05,2.328623e-05,2.330158e-05,2.340805e-05,2.345735e-05,2.351643e-05,2.359028e-05,2.361213e-05,2.369588e-05,2.370208e-05,2.376837e-05,2.379436e-05,2.383026e-05,2.386862e-05,2.388219e-05,2.392476e-05,2.392628e-05,2.395854e-05,2.396865e-05,2.398407e-05,2.399698e-05,2.400186e-05,2.401241e-05,2.401616e-05,2.401600e-05,2.401357e-05,2.400876e-05,2.400503e-05,2.399161e-05,2.399095e-05,2.397168e-05,2.396540e-05,2.394758e-05,2.393094e-05,2.391897e-05,2.388895e-05,2.388617e-05,2.384947e-05,2.384011e-05,2.380915e-05,2.378508e-05,2.376545e-05,2.372442e-05,2.371864e-05,2.366894e-05,2.365868e-05,2.361658e-05,2.358836e-05,2.356175e-05,2.351393e-05,2.350465e-05,2.344547e-05,2.343582e-05,2.338437e-05,2.335442e-05,2.332153e-05,2.327010e-05,2.325709e-05,2.319119e-05,2.318320e-05,2.312398e-05,2.309403e-05,2.305559e-05,2.300288e-05,2.298612e-05,2.291570e-05,2.291003e-05,2.284443e-05,2.281571e-05,2.277241e-05,2.272015e-05,2.269974e-05,2.262651e-05,2.262357e-05,2.255279e-05,2.252615e-05,2.247867e-05,2.242808e-05,2.240423e-05,2.232952e-05,2.223062e-05,2.213152e-05,2.203235e-05,2.193322e-05,2.183424e-05,2.173552e-05,2.163714e-05,2.153918e-05,2.144172e-05,2.134483e-05,2.124857e-05,2.115300e-05,2.105817e-05,2.096412e-05,2.087090e-05,2.077855e-05,2.068710e-05,2.059658e-05,2.050702e-05,2.041844e-05,2.033086e-05,2.024430e-05,2.015878e-05,2.007430e-05
0.000000e+00,1.390961e-11,3.180147e-11,1.092896e-10,2.493070e-10,3.648498e-10,8.399865e-10,8.659765e-10,1.717664e-09,2.036348e-09,3.051392e-09,4.140470e-09,5.000080e-09,7.384054e-09,7.616865e-09,1.082769e-08,1.167240e-08,1.450592e-08,1.672909e-08,1.854581e-08,2.233975e-08,2.287201e-08,2.742730e-08,2.836147e-08,3.216273e-08,3.468115e-08,3.703273e-08,4.119536e-08,4.199340e-08,4.700250e-08,4.780574e-08,5.202003e-08,5.442045e-08,5.700904e-08,6.095725e-08,6.193631e-08,6.677280e-08,6.734587e-08,7.149389e-08,7.352921e-08,7.607918e-08,7.946302e-08,8.051240e-08,8.478119e-08,8.511530e-08,8.887659e-08,9.046477e-08,9.279264e-08,9.549919e-08,9.652602e-08,1.000755e-07,1.002137e-07,1.034418e-07,1.046092e-07,1.066269e-07,1.086909e-07,1.096341e-07,1.124675e-07,1.151319e-07,1.159496e-07,1.176325e-07,1.191497e-07,1.199752e-07,1.220810e-07,1.221657e-07,1.242102e-07,1.247572e-07,1.261145e-07,1.271924e-07,1.278848e-07,1.294003e-07,1.295271e-07,1.310471e-07,1.313943e-07,1.324506e-07,1.331878e-07,1.337432e-07,1.347933e-07,1.349303e-07,1.360172e-07,1.362230e-07,1.370088e-07,1.374884e-07,1.379101e-07,1.386007e-07,1.387256e-07,1.394599e-07,1.395702e-07,1.401174e-07,1.404068e-07,1.407020e-07,1.411199e-07,1.412177e-07,1.416684e-07,1.417182e-07,1.420575e-07,1.422101e-07,1.423886e-07,1.426033e-07,1.426648e-07,1.428893e-07,1.429052e-07,1.430652e-07,1.431225e-07,1.431951e-07,1.432617e-07,1.432818e-07,1.433279e-07,1.433289e-07,1.433358e-07,1.433297e-07,1.433077e-07,1.432693e-07,1.432460e-07,1.431527e-07,1.430298e-07,1.429846e-07,1.428792e-07,1.427691e-07,1.427027e-07,1.425104e-07,1.425019e-07,1.422785e-07,1.422121e-07,1.420340e-07,1.418778e-07,1.417699e-07,1.415108e-07,1.414876e-07,1.411883e-07,1.411141e-07,1.408733e-07,1.406905e-07,1.405438e-07,1.402427e-07,1.402009e-07,1.398456e-07,1.397731e-07,1.394789e-07,1.392840e-07,1.391018e-07,1.387776e-07,1.387151e-07,1.383197e-07,1.382557e-07,1.379165e-07,1.377203e-07,1.375061e-07,1.371731e-07,1.370892e-07,1.366666e-07,1.366156e-07,1.362389e-07,1.360493e-07,1.358067e-07,1.354755e-07,1.353705e-07,1.349309e-07,1.348956e-07,1.344884e-07,1.343107e-07,1.340434e-07,1.337218e-07,1.335965e-07,1.331480e-07,1.331300e-07,1.326983e-07,1.325362e-07,1.322478e-07,1.319413e-07,1.317969e-07,1.313459e-07,1.307510e-07,1.301570e-07,1.295647e-07,1.289746e-07,1.283872e-07,1.278029e-07,1.272223e-07,1.266456e-07,1.260734e-07,1.255058e-07,1.249431e-07,1.243858e-07,1.238339e-07,1.232876e-07,1.227473e-07,1.222130e-07,1.216849e-07,1.211631e-07,1.206477e-07,1.201389e-07,1.196367e-07,1.191412e-07,1.186524e-07,1.181704e-07
0.000000e+00,5.788051e-10,1.531169e-09,6.277239e-09,1.564673e-08,2.365389e-08,5.725124e-08,5.909490e-08,1.189645e-07,1.410059e-07,2.099755e-07,2.825462e-07,3.394300e-07,4.989696e-07,5.148582e-07,7.423589e-07,8.050568e-07,1.024136e-06,1.204904e-06,1.357853e-06,1.690636e-06,1.738639e-06,2.161265e-06,2.250384e-06,2.620990e-06,2.873285e-06,3.113565e-06,3.549791e-06,3.634999e-06,4.181386e-06,4.270863e-06,4.748807e-06,5.027480e-06,5.333309e-06,5.810548e-06,5.930934e-06,6.537769e-06,6.611026e-06,7.150006e-06,7.420156e-06,7.764004e-06,8.229709e-06,8.376346e-06,8.983870e-06,9.032176e-06,9.583709e-06,9.820910e-06,1.017331e-05,1.059021e-05,1.075042e-05,1.131314e-05,1.133532e-05,1.185983e-05,1.205245e-05,1.238917e-05,1.273866e-05,1.290011e-05,1.339183e-05,1.386376e-05,1.401053e-05,1.431550e-05,1.459392e-05,1.474684e-05,1.514169e-05,1.515773e-05,1.554823e-05,1.565394e-05,1.591852e-05,1.613111e-05,1.626889e-05,1.657392e-05,1.659967e-05,1.691128e-05,1.698327e-05,1.720419e-05,1.736024e-05,1.747890e-05,1.770602e-05,1.773595e-05,1.797588e-05,1.802186e-05,1.819928e-05,1.830910e-05,1.840671e-05,1.856903e-05,1.859875e-05,1.877599e-05,1.880302e-05,1.893901e-05,1.901238e-05,1.908838e-05,1.919842e-05,1.922466e-05,1.934840e-05,1.936244e-05,1.946016e-05,1.950566e-05,1.956044e-05,1.962932e-05,1.964979e-05,1.972868e-05,1.973456e-05,1.979762e-05,1.982252e-05,1.985708e-05,1.989427e-05,1.990750e-05,1.994934e-05,1.995085e-05,1.998303e-05,1.999324e-05,2.000896e-05,2.002238e-05,2.002755e-05,2.003917e-05,2.004420e-05,2.004447e-05,2.004298e-05,2.003908e-05,2.003586e-05,2.002377e-05,2.002316e-05,2.000521e-05,1.999928e-05,1.998229e-05,1.996628e-05,1.995470e-05,1.992544e-05,1.992272e-05,1.988661e-05,1.987736e-05,1.984663e-05,1.982264e-05,1.980301e-05,1.976181e-05,1.975600e-05,1.970581e-05,1.969541e-05,1.965265e-05,1.962391e-05,1.959674e-05,1.954777e-05,1.953825e-05,1.947738e-05,1.946744e-05,1.941431e-05,1.938330e-05,1.934920e-05,1.929575e-05,1.928221e-05,1.921349e-05,1.920514e-05,1.914320e-05,1.911180e-05,1.907146e-05,1.901605e-05,1.899841e-05,1.892418e-05,1.891819e-05,1.884888e-05,1.881849e-05,1.877263e-05,1.871720e-05,1.869553e-05,1.861769e-05,1.861456e-05,1.853920e-05,1.851080e-05,1.846015e-05,1.840613e-05,1.838064e-05,1.830074e-05,1.819481e-05,1.808850e-05,1.798198e-05,1.787538e-05,1.776885e-05,1.766250e-05,1.755644e-05,1.745078e-05,1.734562e-05,1.724105e-05,1.713713e-05,1.703396e-05,1.693159e-05,1.683009e-05,1.672951e-05,1.662991e-05,1.653131e-05,1.643378e-05,1.633733e-05,1.624201e-05,1.614784e-05,1.605484e-05,1.596304e-05,1.587245e-05
0.000000e+00,4.931418e-09,1.468514e-08,7.430189e-08,2.171690e-07,3.545359e-07,1.017832e-06,1.057140e-06,2.437496e-06,2.983547e-06,4.778835e-06,6.768999e-06,8.380369e-06,1.307006e-05,1.354838e-05,2.058836e-05,2.258966e-05,2.979511e-05,3.599919e-05,4.143749e-05,5.387632e-05,5.573885e-05,7.286106e-05,7.663351e-05,9.289902e-05,1.044839e-04,1.158844e-04,1.374536e-04,1.417930e-04,1.705525e-04,1.754114e-04,2.020483e-04,2.180951e-04,2.361289e-04,2.651317e-04,2.726101e-04,3.112792e-04,3.160555e-04,3.518995e-04,3.703250e-04,3.942144e-04,4.273406e-04,4.379526e-04,4.828325e-04,4.864637e-04,5.285671e-04,5.470357e-04,5.748685e-04,6.083970e-04,6.214531e-04,6.680448e-04,6.699049e-04,7.143795e-04,7.309484e-04,7.602075e-04,7.909621e-04,8.052969e-04,8.494352e-04,8.924306e-04,9.059194e-04,9.341133e-04,9.600323e-04,9.743359e-04,1.011459e-03,1.012973e-03,1.049921e-03,1.059952e-03,1.085098e-03,1.105327e-03,1.118440e-03,1.147458e-03,1.149905e-03,1.179466e-03,1.186275e-03,1.207111e-03,1.221756e-03,1.232843e-03,1.253919e-03,1.256680e-03,1.278649e-03,1.282821e-03,1.298785e-03,1.308547e-03,1.317135e-03,1.331207e-03,1.333751e-03,1.348690e-03,1.350929e-03,1.362015e-03,1.367856e-03,1.373791e-03,1.382142e-03,1.384086e-03,1.392971e-03,1.393945e-03,1.400516e-03,1.403429e-03,1.406791e-03,1.410756e-03,1.411869e-03,1.415820e-03,1.416089e-03,1.418711e-03,1.419585e-03,1.420609e-03,1.421398e-03,1.421580e-03,1.421686e-03,1.421673e-03,1.420988e-03,1.420551e-03,1.419544e-03,1.418164e-03,1.417409e-03,1.414637e-03,1.411278e-03,1.410086e-03,1.407379e-03,1.404622e-03,1.402987e-03,1.398345e-03,1.398144e-03,1.392890e-03,1.391350e-03,1.387264e-03,1.383724e-03,1.381301e-03,1.375547e-03,1.375036e-03,1.368499e-03,1.366893e-03,1.361721e-03,1.357829e-03,1.354728e-03,1.348418e-03,1.347547e-03,1.340201e-03,1.338714e-03,1.332713e-03,1.328770e-03,1.325104e-03,1.318633e-03,1.317393e-03,1.309597e-03,1.308344e-03,1.301734e-03,1.297941e-03,1.293819e-03,1.287458e-03,1.285865e-03,1.277886e-03,1.276927e-03,1.269894e-03,1.266376e-03,1.261899e-03,1.255828e-03,1.253913e-03,1.245944e-03,1.245307e-03,1.238000e-03,1.234832e-03,1.230090e-03,1.224420e-03,1.222221e-03,1.214398e-03,1.214086e-03,1.206628e-03,1.203845e-03,1.198917e-03,1.193709e-03,1.191268e-03,1.183687e-03,1.173789e-03,1.164022e-03,1.154392e-03,1.144907e-03,1.135569e-03,1.126384e-03,1.117353e-03,1.108480e-03,1.099765e-03,1.091211e-03,1.082818e-03,1.074585e-03,1.066514e-03,1.058603e-03,1.050851e-03,1.043258e-03,1.035823e-03,1.028543e-03,1.021417e-03,1.014443e-03,1.007619e-03,1.000943e-03,9.944125e-04,9.880257e-04
0.000000e+00,1.204507e-10,2.773865e-10,9.619307e-10,2.203189e-09,3.226695e-09,7.406383e-09,7.633407e-09,1.498093e-08,1.768870e-08,2.619991e-08,3.521108e-08,4.229159e-08,6.205064e-08,6.400127e-08,9.145398e-08,9.886194e-08,1.242960e-07,1.448738e-07,1.620846e-07,1.991351e-07,2.044501e-07,2.510852e-07,2.608991e-07,3.016997e-07,3.294920e-07,3.559895e-07,4.041909e-07,4.136220e-07,4.742324e-07,4.841805e-07,5.374281e-07,5.685599e-07,6.027970e-07,6.563729e-07,6.699164e-07,7.383641e-07,7.466473e-07,8.077271e-07,8.384340e-07,8.776099e-07,9.308391e-07,9.476414e-07,1.017479e-06,1.023048e-06,1.086812e-06,1.114341e-06,1.155364e-06,1.204098e-06,1.222889e-06,1.289178e-06,1.291801e-06,1.354051e-06,1.377030e-06,1.417361e-06,1.459455e-06,1.478985e-06,1.538826e-06,1.596809e-06,1.614962e-06,1.652880e-06,1.687744e-06,1.707001e-06,1.757096e-06,1.759144e-06,1.809297e-06,1.822983e-06,1.857459e-06,1.885403e-06,1.903636e-06,1.944380e-06,1.947845e-06,1.990107e-06,1.999964e-06,2.030456e-06,2.052230e-06,2.068930e-06,2.101269e-06,2.105569e-06,2.140411e-06,2.147167e-06,2.173497e-06,2.190023e-06,2.204872e-06,2.229935e-06,2.234578e-06,2.262662e-06,2.267008e-06,2.289170e-06,2.301348e-06,2.314149e-06,2.333061e-06,2.337643e-06,2.359699e-06,2.362252e-06,2.380363e-06,2.389025e-06,2.399679e-06,2.413486e-06,2.417693e-06,2.434449e-06,2.435737e-06,2.449991e-06,2.455877e-06,2.464361e-06,2.474005e-06,2.477601e-06,2.489751e-06,2.490215e-06,2.500853e-06,2.504601e-06,2.510946e-06,2.517251e-06,2.520067e-06,2.528254e-06,2.535544e-06,2.537694e-06,2.541973e-06,2.545651e-06,2.547574e-06,2.552205e-06,2.552383e-06,2.556430e-06,2.557432e-06,2.559749e-06,2.561403e-06,2.562370e-06,2.564191e-06,2.564323e-06,2.565637e-06,2.565861e-06,2.566341e-06,2.566478e-06,2.566461e-06,2.566106e-06,2.566025e-06,2.565057e-06,2.564802e-06,2.563583e-06,2.562625e-06,2.561627e-06,2.559628e-06,2.559212e-06,2.556360e-06,2.555865e-06,2.553093e-06,2.551384e-06,2.549432e-06,2.546234e-06,2.545398e-06,2.541009e-06,2.540459e-06,2.536285e-06,2.534105e-06,2.531243e-06,2.527211e-06,2.525902e-06,2.520279e-06,2.519817e-06,2.514388e-06,2.511961e-06,2.508247e-06,2.503679e-06,2.501870e-06,2.495272e-06,2.495004e-06,2.488467e-06,2.485969e-06,2.481468e-06,2.476604e-06,2.474288e-06,2.466940e-06,2.457002e-06,2.446818e-06,2.436413e-06,2.425809e-06,2.415029e-06,2.404095e-06,2.393025e-06,2.381839e-06,2.370555e-06,2.359189e-06,2.347756e-06,2.336273e-06,2.324752e-06,2.313207e-06,2.301649e-06,2.290092e-06,2.278544e-06,2.267017e-06,2.255519e-06,2.244060e-06,2.232648e-06,2.221290e-06,2.209993e-06,2.198764e-06
0.000000e+00,6.576460e-11,1.559842e-10,5.569974e-10,1.288874e-09,1.891230e-09,4.323962e-09,4.454707e-09,8.609264e-09,1.010489e-08,1.469924e-08,1.942085e-08,2.305687e-08,3.302544e-08,3.400383e-08,4.784519e-08,5.162883e-08,6.484896e-08,7.582814e-08,8.520549e-08,1.059432e-07,1.089735e-07,1.360449e-07,1.418350e-07,1.661627e-07,1.829154e-07,1.989834e-07,2.283721e-07,2.341388e-07,2.712700e-07,2.773715e-07,3.100390e-07,3.291358e-07,3.501278e-07,3.829465e-07,3.912356e-07,4.330773e-07,4.381347e-07,4.753829e-07,4.940783e-07,5.178985e-07,5.502046e-07,5.603876e-07,6.026327e-07,6.059957e-07,6.444361e-07,6.609936e-07,6.856213e-07,7.148039e-07,7.260331e-07,7.655374e-07,7.670970e-07,8.040201e-07,8.176050e-07,8.413863e-07,8.661176e-07,8.775590e-07,9.124784e-07,9.460996e-07,9.565787e-07,9.783913e-07,9.983510e-07,1.009334e-06,1.037763e-06,1.038920e-06,1.067149e-06,1.074811e-06,1.094029e-06,1.109516e-06,1.119576e-06,1.141919e-06,1.143810e-06,1.166757e-06,1.172076e-06,1.188444e-06,1.200052e-06,1.208905e-06,1.225923e-06,1.228174e-06,1.246285e-06,1.249772e-06,1.263277e-06,1.271683e-06,1.279187e-06,1.291744e-06,1.294054e-06,1.307916e-06,1.310043e-06,1.320812e-06,1.326669e-06,1.332779e-06,1.341710e-06,1.343856e-06,1.354079e-06,1.355250e-06,1.363486e-06,1.367375e-06,1.372110e-06,1.378164e-06,1.379988e-06,1.387153e-06,1.387696e-06,1.393637e-06,1.396048e-06,1.399473e-06,1.403291e-06,1.404692e-06,1.409322e-06,1.409496e-06,1.413394e-06,1.414728e-06,1.416934e-06,1.419051e-06,1.419969e-06,1.422526e-06,1.424629e-06,1.425210e-06,1.426302e-06,1.427157e-06,1.427567e-06,1.428420e-06,1.428448e-06,1.428965e-06,1.429047e-06,1.429138e-06,1.429085e-06,1.428987e-06,1.428578e-06,1.428530e-06,1.427786e-06,1.427567e-06,1.426771e-06,1.426091e-06,1.425502e-06,1.424188e-06,1.423995e-06,1.422263e-06,1.421892e-06,1.420323e-06,1.419235e-06,1.418186e-06,1.416250e-06,1.415868e-06,1.413378e-06,1.412965e-06,1.410731e-06,1.409407e-06,1.407936e-06,1.405602e-06,1.405006e-06,1.401949e-06,1.401574e-06,1.398776e-06,1.397345e-06,1.395496e-06,1.392937e-06,1.392118e-06,1.388651e-06,1.388370e-06,1.385102e-06,1.383661e-06,1.381479e-06,1.378829e-06,1.377789e-06,1.374040e-06,1.373889e-06,1.370237e-06,1.368856e-06,1.366387e-06,1.363746e-06,1.362496e-06,1.358569e-06,1.353340e-06,1.348069e-06,1.342766e-06,1.337442e-06,1.332105e-06,1.326765e-06,1.321428e-06,1.316101e-06,1.310792e-06,1.305506e-06,1.300249e-06,1.295026e-06,1.289841e-06,1.284699e-06,1.279604e-06,1.274558e-06,1.269566e-06,1.264629e-06,1.259751e-06,1.254934e-06,1.250179e-06,1.245489e-06,1.240864e-06,1.236307e-06
0.000000e+00,1.186656e-10,3.035010e-10,1.185853e-09,2.871429e-09,4.286698e-09,1.010072e-08,1.041562e-08,2.047451e-08,2.410851e-08,3.528046e-08,4.675285e-08,5.557159e-08,7.965399e-08,8.200945e-08,1.151742e-07,1.241907e-07,1.555469e-07,1.814389e-07,2.034698e-07,2.520073e-07,2.590862e-07,3.222820e-07,3.358013e-07,3.926755e-07,4.319338e-07,4.696741e-07,5.389354e-07,5.525619e-07,6.405717e-07,6.550765e-07,7.329244e-07,7.785689e-07,8.288474e-07,9.076467e-07,9.275832e-07,1.028396e-06,1.040599e-06,1.130579e-06,1.175799e-06,1.233460e-06,1.311729e-06,1.336412e-06,1.438854e-06,1.447011e-06,1.540260e-06,1.580425e-06,1.640161e-06,1.710923e-06,1.738143e-06,1.833851e-06,1.837628e-06,1.926986e-06,1.959835e-06,2.017300e-06,2.076999e-06,2.104595e-06,2.188718e-06,2.269560e-06,2.294723e-06,2.347044e-06,2.394851e-06,2.421128e-06,2.489036e-06,2.491797e-06,2.559063e-06,2.577290e-06,2.622953e-06,2.659687e-06,2.683517e-06,2.736349e-06,2.740815e-06,2.794920e-06,2.807439e-06,2.845914e-06,2.873145e-06,2.893886e-06,2.933677e-06,2.938931e-06,2.981145e-06,2.989257e-06,3.020630e-06,3.040117e-06,3.057487e-06,3.086490e-06,3.091817e-06,3.123724e-06,3.128610e-06,3.153306e-06,3.166709e-06,3.180664e-06,3.201014e-06,3.205894e-06,3.229093e-06,3.231745e-06,3.250352e-06,3.259115e-06,3.269762e-06,3.283331e-06,3.287411e-06,3.303382e-06,3.304590e-06,3.317758e-06,3.323079e-06,3.330617e-06,3.338979e-06,3.342035e-06,3.352085e-06,3.352460e-06,3.360838e-06,3.363684e-06,3.368360e-06,3.372806e-06,3.374717e-06,3.379970e-06,3.384179e-06,3.385314e-06,3.387399e-06,3.388968e-06,3.389687e-06,3.391053e-06,3.391093e-06,3.391667e-06,3.391685e-06,3.391457e-06,3.390974e-06,3.390508e-06,3.389019e-06,3.388863e-06,3.386564e-06,3.385919e-06,3.383649e-06,3.381762e-06,3.380157e-06,3.376634e-06,3.376122e-06,3.371580e-06,3.370613e-06,3.366562e-06,3.363775e-06,3.361100e-06,3.356189e-06,3.355222e-06,3.348958e-06,3.347921e-06,3.342332e-06,3.339032e-06,3.335372e-06,3.329579e-06,3.328100e-06,3.320541e-06,3.319615e-06,3.312715e-06,3.309192e-06,3.304643e-06,3.298356e-06,3.296345e-06,3.287839e-06,3.287150e-06,3.279144e-06,3.275616e-06,3.270276e-06,3.263792e-06,3.261250e-06,3.252083e-06,3.251714e-06,3.242788e-06,3.239413e-06,3.233379e-06,3.226922e-06,3.223869e-06,3.214270e-06,3.201482e-06,3.188583e-06,3.175598e-06,3.162546e-06,3.149449e-06,3.136324e-06,3.123188e-06,3.110058e-06,3.096947e-06,3.083869e-06,3.070837e-06,3.057861e-06,3.044953e-06,3.032121e-06,3.019374e-06,3.006721e-06,2.994169e-06,2.981724e-06,2.969392e-06,2.957179e-06,2.945090e-06,2.933128e-06,2.921298e-06,2.909603e-06
0.000000e+00,1.305551e-07,3.905055e-07,1.995295e-06,5.889923e-06,9.672947e-06,2.826198e-05,2.937668e-05,6.921162e-05,8.528467e-05,1.391595e-04,2.004720e-04,2.511689e-04,4.031363e-04,4.189514e-04,6.567512e-04,7.256950e-04,9.770246e-04,1.195863e-03,1.388620e-03,1.830467e-03,1.896606e-03,2.503032e-03,2.636146e-03,3.207716e-03,3.612414e-03,4.008768e-03,4.753763e-03,4.902910e-03,5.885672e-03,6.050784e-03,6.951550e-03,7.490846e-03,8.094145e-03,9.058678e-03,9.306314e-03,1.058033e-02,1.073698e-02,1.190803e-02,1.250706e-02,1.328101e-02,1.434954e-02,1.469078e-02,1.612891e-02,1.624493e-02,1.758713e-02,1.817426e-02,1.905753e-02,2.011951e-02,2.053258e-02,2.200522e-02,2.206399e-02,2.346895e-02,2.399255e-02,2.491782e-02,2.589180e-02,2.634647e-02,2.775013e-02,2.912462e-02,2.955768e-02,3.046631e-02,3.130634e-02,3.177212e-02,3.298956e-02,3.303949e-02,3.426631e-02,3.460232e-02,3.545093e-02,3.614090e-02,3.659208e-02,3.760278e-02,3.768888e-02,3.874074e-02,3.898647e-02,3.974741e-02,4.029138e-02,4.070885e-02,4.151767e-02,4.162527e-02,4.249709e-02,4.266614e-02,4.332486e-02,4.373814e-02,4.410932e-02,4.473540e-02,4.485130e-02,4.555174e-02,4.566002e-02,4.621166e-02,4.651436e-02,4.683217e-02,4.730096e-02,4.741440e-02,4.795954e-02,4.802252e-02,4.846880e-02,4.868182e-02,4.894340e-02,4.928169e-02,4.938459e-02,4.979361e-02,4.982497e-02,5.017168e-02,5.031452e-02,5.052004e-02,5.075314e-02,5.083990e-02,5.113245e-02,5.114360e-02,5.139885e-02,5.148858e-02,5.164026e-02,5.179072e-02,5.185780e-02,5.205255e-02,5.222557e-02,5.227652e-02,5.237790e-02,5.246499e-02,5.251053e-02,5.262022e-02,5.262443e-02,5.272054e-02,5.274438e-02,5.279974e-02,5.283952e-02,5.286293e-02,5.290763e-02,5.291093e-02,5.294455e-02,5.295056e-02,5.296456e-02,5.297010e-02,5.297171e-02,5.296794e-02,5.296673e-02,5.295028e-02,5.294568e-02,5.292304e-02,5.290482e-02,5.288563e-02,5.284679e-02,5.283866e-02,5.278271e-02,5.277296e-02,5.271832e-02,5.268458e-02,5.264603e-02,5.258285e-02,5.256635e-02,5.247975e-02,5.246891e-02,5.238669e-02,5.234382e-02,5.228762e-02,5.220857e-02,5.218296e-02,5.207310e-02,5.206410e-02,5.195842e-02,5.191128e-02,5.183929e-02,5.175095e-02,5.171605e-02,5.158903e-02,5.158388e-02,5.145854e-02,5.141077e-02,5.132488e-02,5.123233e-02,5.118833e-02,5.104916e-02,5.086187e-02,5.067100e-02,5.047706e-02,5.028054e-02,5.008188e-02,4.988150e-02,4.967977e-02,4.947705e-02,4.927368e-02,4.906996e-02,4.886617e-02,4.866258e-02,4.845943e-02,4.825693e-02,4.805529e-02,4.785471e-02,4.765534e-02,4.745735e-02,4.726088e-02,4.706606e-02,4.687301e-02,4.668183e-02,4.649262e-02,4.630547e-02
0.000000e+00,2.789731e-11,6.412068e-11,2.215265e-10,5.071994e-10,7.441560e-10,1.730656e-09,1.785160e-09,3.594114e-09,4.276629e-09,6.429393e-09,8.654023e-09,1.033548e-08,1.472674e-08,1.514002e-08,2.068921e-08,2.212151e-08,2.689872e-08,3.064445e-08,3.371588e-08,4.017997e-08,4.109312e-08,4.897694e-08,5.060914e-08,5.730456e-08,6.178679e-08,6.600413e-08,7.354140e-08,7.499643e-08,8.419806e-08,8.568408e-08,9.352445e-08,9.802100e-08,1.028929e-07,1.103651e-07,1.122250e-07,1.214488e-07,1.225453e-07,1.305001e-07,1.344133e-07,1.393232e-07,1.458471e-07,1.478715e-07,1.561074e-07,1.567518e-07,1.640017e-07,1.670588e-07,1.715333e-07,1.767234e-07,1.786882e-07,1.854585e-07,1.857212e-07,1.918418e-07,1.940453e-07,1.978403e-07,2.017023e-07,2.034598e-07,2.087091e-07,2.135993e-07,2.150904e-07,2.181432e-07,2.208760e-07,2.223548e-07,2.260991e-07,2.262489e-07,2.298408e-07,2.307945e-07,2.331459e-07,2.349978e-07,2.361797e-07,2.387440e-07,2.389571e-07,2.414930e-07,2.420673e-07,2.438017e-07,2.450004e-07,2.458969e-07,2.475746e-07,2.477919e-07,2.494991e-07,2.498191e-07,2.510306e-07,2.517612e-07,2.523975e-07,2.534265e-07,2.536107e-07,2.546801e-07,2.548385e-07,2.556152e-07,2.560190e-07,2.564249e-07,2.569881e-07,2.571177e-07,2.577013e-07,2.577644e-07,2.581831e-07,2.583647e-07,2.585701e-07,2.588046e-07,2.588685e-07,2.590846e-07,2.590985e-07,2.592239e-07,2.592593e-07,2.592917e-07,2.592991e-07,2.592930e-07,2.592325e-07,2.592288e-07,2.591144e-07,2.590585e-07,2.589427e-07,2.587974e-07,2.587214e-07,2.584539e-07,2.581436e-07,2.580357e-07,2.577935e-07,2.575500e-07,2.574067e-07,2.570032e-07,2.569857e-07,2.565332e-07,2.564012e-07,2.560516e-07,2.557495e-07,2.555430e-07,2.550532e-07,2.550097e-07,2.544535e-07,2.543168e-07,2.538763e-07,2.535446e-07,2.532799e-07,2.527404e-07,2.526659e-07,2.520357e-07,2.519079e-07,2.513909e-07,2.510502e-07,2.507327e-07,2.501705e-07,2.500625e-07,2.493814e-07,2.492715e-07,2.486905e-07,2.483557e-07,2.479908e-07,2.474255e-07,2.472834e-07,2.465692e-07,2.464831e-07,2.458490e-07,2.455304e-07,2.451236e-07,2.445693e-07,2.443938e-07,2.436604e-07,2.436016e-07,2.429239e-07,2.426286e-07,2.421850e-07,2.416519e-07,2.414444e-07,2.407025e-07,2.406728e-07,2.399599e-07,2.396925e-07,2.392170e-07,2.387120e-07,2.384745e-07,2.377325e-07,2.367549e-07,2.357801e-07,2.348087e-07,2.338416e-07,2.328795e-07,2.319229e-07,2.309723e-07,2.300284e-07,2.290916e-07,2.281622e-07,2.272407e-07,2.263273e-07,2.254226e-07,2.245266e-07,2.236396e-07,2.227619e-07,2.218937e-07,2.210352e-07,2.201864e-07,2.193476e-07,2.185188e-07,2.177001e-07,2.168916e-07,2.160935e-07
0.000000e+00,1.276550e-07,3.817563e-07,1.950352e-06,5.759498e-06,9.463405e-06,2.771815e-05,2.881553e-05,6.821049e-05,8.419589e-05,1.381022e-04,1.999784e-04,2.515019e-04,4.075064e-04,4.238538e-04,6.715134e-04,7.438217e-04,1.008630e-03,1.240162e-03,1.444438e-03,1.912769e-03,1.982808e-03,2.623391e-03,2.763527e-03,3.362949e-03,3.784981e-03,4.196332e-03,4.964192e-03,5.117090e-03,6.117854e-03,6.284871e-03,7.190584e-03,7.728572e-03,8.326771e-03,9.275493e-03,9.517601e-03,1.075411e-02,1.090514e-02,1.202734e-02,1.259691e-02,1.332846e-02,1.433068e-02,1.464891e-02,1.598050e-02,1.608727e-02,1.731551e-02,1.784883e-02,1.864674e-02,1.959916e-02,1.996760e-02,2.127209e-02,2.132385e-02,2.255487e-02,2.301043e-02,2.381122e-02,2.464833e-02,2.503705e-02,2.622888e-02,2.738378e-02,2.774515e-02,2.849939e-02,2.919187e-02,2.957383e-02,3.056522e-02,3.060566e-02,3.159390e-02,3.186269e-02,3.253789e-02,3.308291e-02,3.343733e-02,3.422546e-02,3.429222e-02,3.510279e-02,3.529078e-02,3.586952e-02,3.627996e-02,3.659304e-02,3.719465e-02,3.727418e-02,3.791388e-02,3.803694e-02,3.851320e-02,3.880926e-02,3.907327e-02,3.951428e-02,3.959530e-02,4.008056e-02,4.015487e-02,4.053034e-02,4.073403e-02,4.094597e-02,4.125478e-02,4.132878e-02,4.168011e-02,4.172022e-02,4.200128e-02,4.213339e-02,4.229362e-02,4.249731e-02,4.255842e-02,4.279696e-02,4.281495e-02,4.301049e-02,4.308917e-02,4.320022e-02,4.332275e-02,4.336733e-02,4.351299e-02,4.351838e-02,4.363828e-02,4.367862e-02,4.374430e-02,4.380591e-02,4.383207e-02,4.390259e-02,4.395681e-02,4.397087e-02,4.399566e-02,4.401286e-02,4.402001e-02,4.403053e-02,4.403070e-02,4.402855e-02,4.402575e-02,4.401431e-02,4.400028e-02,4.398873e-02,4.395578e-02,4.395250e-02,4.390630e-02,4.389379e-02,4.385075e-02,4.381578e-02,4.378646e-02,4.372311e-02,4.371400e-02,4.363393e-02,4.361705e-02,4.354676e-02,4.349879e-02,4.345298e-02,4.336944e-02,4.335306e-02,4.324745e-02,4.323005e-02,4.313655e-02,4.308157e-02,4.302078e-02,4.292490e-02,4.290051e-02,4.277609e-02,4.276089e-02,4.264786e-02,4.259031e-02,4.251614e-02,4.241389e-02,4.238124e-02,4.224343e-02,4.223229e-02,4.210300e-02,4.204614e-02,4.196018e-02,4.185602e-02,4.181523e-02,4.166837e-02,4.166246e-02,4.151982e-02,4.146597e-02,4.136978e-02,4.126699e-02,4.121843e-02,4.106596e-02,4.086326e-02,4.065927e-02,4.045431e-02,4.024869e-02,4.004271e-02,3.983661e-02,3.963065e-02,3.942504e-02,3.921998e-02,3.901567e-02,3.881227e-02,3.860993e-02,3.840881e-02,3.820903e-02,3.801070e-02,3.781393e-02,3.761883e-02,3.742546e-02,3.723392e-02,3.704426e-02,3.685656e-02,3.667086e-02,3.648722e-02,3.630567e-02
0.000000e+00,2.008638e-11,4.595558e-11,1.578917e-10,3.591615e-10,5.241009e-10,1.191152e-09,1.227136e-09,2.380867e-09,2.801501e-09,4.111704e-09,5.485863e-09,6.562110e-09,9.584511e-09,9.886218e-09,1.423113e-08,1.543872e-08,1.969793e-08,2.325599e-08,2.629053e-08,3.293086e-08,3.388940e-08,4.228500e-08,4.403908e-08,5.124633e-08,5.606085e-08,6.057088e-08,6.856616e-08,7.009890e-08,7.970813e-08,8.124652e-08,8.930396e-08,9.388255e-08,9.881128e-08,1.063121e-07,1.081692e-07,1.173277e-07,1.184113e-07,1.262460e-07,1.300851e-07,1.348907e-07,1.412615e-07,1.432358e-07,1.512609e-07,1.518886e-07,1.589514e-07,1.619316e-07,1.662974e-07,1.713698e-07,1.732931e-07,1.799363e-07,1.801947e-07,1.862277e-07,1.884071e-07,1.921706e-07,1.960153e-07,1.977702e-07,2.030336e-07,2.079688e-07,2.094803e-07,2.125852e-07,2.153769e-07,2.168926e-07,2.207469e-07,2.209016e-07,2.246229e-07,2.256148e-07,2.280676e-07,2.300062e-07,2.312467e-07,2.339464e-07,2.341713e-07,2.368525e-07,2.374609e-07,2.393010e-07,2.405745e-07,2.415275e-07,2.433116e-07,2.435426e-07,2.453562e-07,2.456957e-07,2.469784e-07,2.477494e-07,2.484186e-07,2.494946e-07,2.496862e-07,2.507902e-07,2.509523e-07,2.517393e-07,2.521422e-07,2.525417e-07,2.530834e-07,2.532055e-07,2.537384e-07,2.537939e-07,2.541479e-07,2.542908e-07,2.544410e-07,2.545902e-07,2.546247e-07,2.547053e-07,2.547075e-07,2.546893e-07,2.546572e-07,2.545826e-07,2.544528e-07,2.543908e-07,2.541196e-07,2.541071e-07,2.537740e-07,2.536324e-07,2.533591e-07,2.530398e-07,2.528796e-07,2.523401e-07,2.517448e-07,2.515432e-07,2.510978e-07,2.506585e-07,2.504032e-07,2.496948e-07,2.496645e-07,2.488852e-07,2.486603e-07,2.480688e-07,2.475625e-07,2.472185e-07,2.464087e-07,2.463371e-07,2.454276e-07,2.452054e-07,2.444927e-07,2.439590e-07,2.435349e-07,2.426751e-07,2.425567e-07,2.415603e-07,2.413591e-07,2.405480e-07,2.400159e-07,2.395217e-07,2.386503e-07,2.384834e-07,2.374349e-07,2.372663e-07,2.363779e-07,2.358680e-07,2.353140e-07,2.344590e-07,2.342447e-07,2.331716e-07,2.330426e-07,2.320957e-07,2.316219e-07,2.310186e-07,2.301998e-07,2.299413e-07,2.288648e-07,2.287788e-07,2.277904e-07,2.273613e-07,2.267188e-07,2.259496e-07,2.256510e-07,2.245879e-07,2.245454e-07,2.235301e-07,2.231508e-07,2.224785e-07,2.217672e-07,2.214336e-07,2.203961e-07,2.190390e-07,2.176968e-07,2.163708e-07,2.150618e-07,2.137706e-07,2.124981e-07,2.112447e-07,2.100111e-07,2.087977e-07,2.076049e-07,2.064329e-07,2.052822e-07,2.041527e-07,2.030448e-07,2.019584e-07,2.008936e-07,1.998503e-07,1.988287e-07,1.978285e-07,1.968496e-07,1.958920e-07,1.949554e-07,1.940397e-07,1.931446e-07
0.000000e+00,1.183393e-10,2.750058e-10,9.627864e-10,2.217361e-09,3.257224e-09,7.548841e-09,7.783908e-09,1.548861e-08,1.837056e-08,2.755131e-08,3.743244e-08,4.528146e-08,6.739215e-08,6.958045e-08,1.002059e-07,1.083710e-07,1.359588e-07,1.577352e-07,1.755741e-07,2.128806e-07,2.181164e-07,2.629192e-07,2.721036e-07,3.094613e-07,3.341997e-07,3.572933e-07,3.981684e-07,4.060055e-07,4.552189e-07,4.631158e-07,5.045856e-07,5.282425e-07,5.537918e-07,5.928538e-07,6.025606e-07,6.506527e-07,6.563683e-07,6.978665e-07,7.183183e-07,7.440358e-07,7.783427e-07,7.890272e-07,8.327364e-07,8.361752e-07,8.750849e-07,8.916301e-07,9.160164e-07,9.445877e-07,9.554929e-07,9.934925e-07,9.949816e-07,1.030006e-06,1.042787e-06,1.065035e-06,1.088011e-06,1.098589e-06,1.130685e-06,1.161345e-06,1.170857e-06,1.190595e-06,1.208589e-06,1.218465e-06,1.243953e-06,1.244988e-06,1.270198e-06,1.277026e-06,1.294130e-06,1.307890e-06,1.316820e-06,1.336630e-06,1.338306e-06,1.358626e-06,1.363333e-06,1.377817e-06,1.388085e-06,1.395916e-06,1.410970e-06,1.412961e-06,1.428987e-06,1.432073e-06,1.444031e-06,1.451478e-06,1.458129e-06,1.469266e-06,1.471316e-06,1.483625e-06,1.485515e-06,1.495091e-06,1.500304e-06,1.505745e-06,1.513706e-06,1.515620e-06,1.524747e-06,1.525793e-06,1.533156e-06,1.536636e-06,1.540877e-06,1.546302e-06,1.547937e-06,1.554366e-06,1.554854e-06,1.560190e-06,1.562356e-06,1.565434e-06,1.568866e-06,1.570125e-06,1.574287e-06,1.574443e-06,1.577943e-06,1.579140e-06,1.581116e-06,1.583010e-06,1.583829e-06,1.586103e-06,1.587959e-06,1.588467e-06,1.589415e-06,1.590147e-06,1.590493e-06,1.591187e-06,1.591209e-06,1.591583e-06,1.591629e-06,1.591631e-06,1.591510e-06,1.591370e-06,1.590870e-06,1.590815e-06,1.589983e-06,1.589744e-06,1.588888e-06,1.588165e-06,1.587544e-06,1.586166e-06,1.585964e-06,1.584162e-06,1.583776e-06,1.582151e-06,1.581027e-06,1.579942e-06,1.577943e-06,1.577548e-06,1.574979e-06,1.574552e-06,1.572245e-06,1.570878e-06,1.569358e-06,1.566945e-06,1.566327e-06,1.563162e-06,1.562773e-06,1.559871e-06,1.558385e-06,1.556463e-06,1.553800e-06,1.552946e-06,1.549329e-06,1.549035e-06,1.545618e-06,1.544110e-06,1.541822e-06,1.539039e-06,1.537946e-06,1.533999e-06,1.533839e-06,1.529984e-06,1.528524e-06,1.525910e-06,1.523109e-06,1.521782e-06,1.517605e-06,1.512024e-06,1.506380e-06,1.500681e-06,1.494938e-06,1.489161e-06,1.483357e-06,1.477536e-06,1.471704e-06,1.465870e-06,1.460039e-06,1.454218e-06,1.448413e-06,1.442628e-06,1.436869e-06,1.431141e-06,1.425446e-06,1.419790e-06,1.414177e-06,1.408608e-06,1.403087e-06,1.397617e-06,1.392201e-06,1.386840e-06,1.381537e-06
0.000000e+00,5.772405e-12,1.315812e-11,4.484938e-11,1.012281e-10,1.470451e-10,3.299572e-10,3.397374e-10,6.498128e-10,7.614647e-10,1.105578e-09,1.461682e-09,1.737785e-09,2.502216e-09,2.577710e-09,3.649146e-09,3.941696e-09,4.955567e-09,5.782334e-09,6.474698e-09,7.957442e-09,8.168591e-09,9.997759e-09,1.037671e-08,1.192806e-08,1.296223e-08,1.393130e-08,1.565296e-08,1.598378e-08,1.806480e-08,1.839914e-08,2.015577e-08,2.115793e-08,2.223973e-08,2.389141e-08,2.430121e-08,2.632624e-08,2.656619e-08,2.830242e-08,2.915362e-08,3.021897e-08,3.163003e-08,3.206682e-08,3.383859e-08,3.397687e-08,3.552852e-08,3.618058e-08,3.713239e-08,3.823227e-08,3.864742e-08,4.007216e-08,4.012726e-08,4.140635e-08,4.186457e-08,4.265053e-08,4.344582e-08,4.380606e-08,4.487511e-08,4.586028e-08,4.615832e-08,4.676464e-08,4.730256e-08,4.759154e-08,4.831580e-08,4.834455e-08,4.902733e-08,4.920643e-08,4.964362e-08,4.998304e-08,5.019718e-08,5.065424e-08,5.069172e-08,5.113086e-08,5.122841e-08,5.151814e-08,5.171363e-08,5.185694e-08,5.211760e-08,5.215055e-08,5.240207e-08,5.244759e-08,5.261447e-08,5.271039e-08,5.279056e-08,5.291235e-08,5.293298e-08,5.304426e-08,5.305933e-08,5.312673e-08,5.315673e-08,5.318260e-08,5.320954e-08,5.321394e-08,5.322268e-08,5.322230e-08,5.321064e-08,5.319920e-08,5.317950e-08,5.314402e-08,5.313083e-08,5.306609e-08,5.306026e-08,5.298666e-08,5.295106e-08,5.289381e-08,5.281930e-08,5.278871e-08,5.267246e-08,5.266759e-08,5.254609e-08,5.249830e-08,5.241054e-08,5.231357e-08,5.226669e-08,5.211536e-08,5.195730e-08,5.190542e-08,5.179323e-08,5.168536e-08,5.162378e-08,5.145663e-08,5.144958e-08,5.127117e-08,5.122053e-08,5.108907e-08,5.097825e-08,5.090377e-08,5.073085e-08,5.071572e-08,5.052532e-08,5.047932e-08,5.033295e-08,5.022450e-08,5.013898e-08,4.996720e-08,4.994371e-08,4.974747e-08,4.970813e-08,4.955052e-08,4.944792e-08,4.935313e-08,4.918715e-08,4.915553e-08,4.895793e-08,4.892633e-08,4.876055e-08,4.866593e-08,4.856356e-08,4.840637e-08,4.836713e-08,4.817143e-08,4.814801e-08,4.797660e-08,4.789118e-08,4.778277e-08,4.763620e-08,4.759005e-08,4.739857e-08,4.738331e-08,4.720842e-08,4.713275e-08,4.701969e-08,4.688473e-08,4.683246e-08,4.664681e-08,4.663942e-08,4.646282e-08,4.639699e-08,4.628053e-08,4.615758e-08,4.610001e-08,4.592130e-08,4.568825e-08,4.545854e-08,4.523221e-08,4.500935e-08,4.478999e-08,4.457418e-08,4.436194e-08,4.415330e-08,4.394826e-08,4.374684e-08,4.354903e-08,4.335482e-08,4.316421e-08,4.297717e-08,4.279369e-08,4.261374e-08,4.243729e-08,4.226432e-08,4.209477e-08,4.192863e-08,4.176585e-08,4.160639e-08,4.145021e-08,4.129727e-08
0.000000e+00,5.120205e-11,1.180273e-10,4.106851e-10,9.462088e-10,1.392435e-09,3.256014e-09,3.359043e-09,6.783548e-09,8.085582e-09,1.229691e-08,1.692133e-08,2.065283e-08,3.140417e-08,3.248580e-08,4.790393e-08,5.208983e-08,6.640217e-08,7.783309e-08,8.725456e-08,1.070603e-07,1.098474e-07,1.337412e-07,1.386468e-07,1.586214e-07,1.718666e-07,1.842456e-07,2.061960e-07,2.104114e-07,2.369402e-07,2.412075e-07,2.636701e-07,2.765282e-07,2.904541e-07,3.118305e-07,3.171594e-07,3.436683e-07,3.468311e-07,3.698774e-07,3.812910e-07,3.956982e-07,4.150165e-07,4.210571e-07,4.458938e-07,4.478566e-07,4.701595e-07,4.796971e-07,4.938164e-07,5.104561e-07,5.168361e-07,5.391986e-07,5.400793e-07,5.608906e-07,5.685336e-07,5.819030e-07,5.958015e-07,6.022326e-07,6.218802e-07,6.408500e-07,6.467782e-07,6.591487e-07,6.705117e-07,6.767852e-07,6.931028e-07,6.937698e-07,7.101144e-07,7.145780e-07,7.258319e-07,7.349671e-07,7.409359e-07,7.543020e-07,7.554407e-07,7.693606e-07,7.726161e-07,7.827108e-07,7.899437e-07,7.955063e-07,8.063195e-07,8.077622e-07,8.194938e-07,8.217785e-07,8.307160e-07,8.363553e-07,8.414439e-07,8.500843e-07,8.516924e-07,8.614761e-07,8.629993e-07,8.708094e-07,8.751336e-07,8.797066e-07,8.865197e-07,8.881816e-07,8.962482e-07,8.971894e-07,9.039197e-07,9.071735e-07,9.112094e-07,9.165020e-07,9.181300e-07,9.246941e-07,9.252042e-07,9.309140e-07,9.333082e-07,9.368015e-07,9.408414e-07,9.423684e-07,9.476260e-07,9.478301e-07,9.525853e-07,9.542998e-07,9.572571e-07,9.602751e-07,9.616518e-07,9.657796e-07,9.696503e-07,9.708363e-07,9.732736e-07,9.754669e-07,9.766587e-07,9.796926e-07,9.798146e-07,9.827501e-07,9.835337e-07,9.854737e-07,9.870096e-07,9.879937e-07,9.901390e-07,9.903180e-07,9.924543e-07,9.929399e-07,9.944101e-07,9.954293e-07,9.961927e-07,9.976237e-07,9.978091e-07,9.992661e-07,9.995389e-07,1.000570e-06,1.001190e-06,1.001728e-06,1.002591e-06,1.002745e-06,1.003628e-06,1.003757e-06,1.004382e-06,1.004700e-06,1.005013e-06,1.005433e-06,1.005526e-06,1.005927e-06,1.005968e-06,1.006220e-06,1.006317e-06,1.006411e-06,1.006490e-06,1.006503e-06,1.006502e-06,1.006498e-06,1.006411e-06,1.006351e-06,1.006236e-06,1.006059e-06,1.005979e-06,1.005646e-06,1.005631e-06,1.005239e-06,1.005075e-06,1.004762e-06,1.004400e-06,1.004219e-06,1.003613e-06,1.002722e-06,1.001735e-06,1.000658e-06,9.994968e-07,9.982586e-07,9.969488e-07,9.955730e-07,9.941365e-07,9.926442e-07,9.911009e-07,9.895111e-07,9.878791e-07,9.862089e-07,9.845044e-07,9.827691e-07,9.810065e-07,9.792199e-07,9.774122e-07,9.755865e-07,9.737454e-07,9.718915e-07,9.700273e-07,9.681551e-07,9.662770e-07
0.000000e+00,3.639191e-10,8.698184e-10,3.135108e-09,7.300865e-09,1.075182e-08,2.486946e-08,2.563602e-08,5.038813e-08,5.947852e-08,8.795735e-08,1.180263e-07,1.416732e-07,2.082650e-07,2.149112e-07,3.101154e-07,3.363140e-07,4.274856e-07,5.020982e-07,5.646906e-07,6.989774e-07,7.181254e-07,8.842851e-07,9.187787e-07,1.060283e-06,1.154903e-06,1.243803e-06,1.402361e-06,1.432926e-06,1.625987e-06,1.657141e-06,1.821499e-06,1.915814e-06,2.018115e-06,2.175382e-06,2.214620e-06,2.409924e-06,2.433233e-06,2.603069e-06,2.687149e-06,2.793221e-06,2.935295e-06,2.979673e-06,3.161835e-06,3.176207e-06,3.339213e-06,3.408738e-06,3.511431e-06,3.632061e-06,3.678190e-06,3.839275e-06,3.845598e-06,3.994540e-06,4.048991e-06,4.143893e-06,4.242052e-06,4.287290e-06,4.424730e-06,4.556245e-06,4.597088e-06,4.681895e-06,4.759270e-06,4.801761e-06,4.911483e-06,4.915943e-06,5.024554e-06,5.053984e-06,5.127721e-06,5.187062e-06,5.225575e-06,5.311028e-06,5.318256e-06,5.405908e-06,5.426212e-06,5.488677e-06,5.532951e-06,5.566712e-06,5.631586e-06,5.640162e-06,5.709176e-06,5.722459e-06,5.773901e-06,5.805913e-06,5.834486e-06,5.882282e-06,5.891074e-06,5.943808e-06,5.951897e-06,5.992829e-06,6.015081e-06,6.038275e-06,6.072149e-06,6.080281e-06,6.118978e-06,6.123406e-06,6.154496e-06,6.169149e-06,6.186959e-06,6.209664e-06,6.216491e-06,6.243210e-06,6.245229e-06,6.267231e-06,6.276110e-06,6.288669e-06,6.302564e-06,6.307630e-06,6.324222e-06,6.324838e-06,6.338547e-06,6.343168e-06,6.350704e-06,6.357782e-06,6.360789e-06,6.368896e-06,6.375115e-06,6.376720e-06,6.379531e-06,6.381452e-06,6.382231e-06,6.383282e-06,6.383294e-06,6.382799e-06,6.382391e-06,6.380821e-06,6.378953e-06,6.377433e-06,6.373132e-06,6.372707e-06,6.366708e-06,6.365086e-06,6.359503e-06,6.354964e-06,6.351154e-06,6.342908e-06,6.341721e-06,6.331263e-06,6.329053e-06,6.319836e-06,6.313528e-06,6.307493e-06,6.296455e-06,6.294286e-06,6.280264e-06,6.277948e-06,6.265476e-06,6.258119e-06,6.249967e-06,6.237071e-06,6.233782e-06,6.216961e-06,6.214902e-06,6.199546e-06,6.191706e-06,6.181576e-06,6.167570e-06,6.163088e-06,6.144117e-06,6.142579e-06,6.124697e-06,6.116812e-06,6.104862e-06,6.090341e-06,6.084643e-06,6.064069e-06,6.063239e-06,6.043170e-06,6.035571e-06,6.021972e-06,6.007401e-06,6.000502e-06,5.978785e-06,5.949781e-06,5.920441e-06,5.890813e-06,5.860944e-06,5.830876e-06,5.800651e-06,5.770307e-06,5.739880e-06,5.709402e-06,5.678904e-06,5.648417e-06,5.617967e-06,5.587580e-06,5.557278e-06,5.527085e-06,5.497020e-06,5.467102e-06,5.437348e-06,5.407776e-06,5.378398e-06,5.349230e-06,5.320283e-06,5.291569e-06,5.263099e-06
0.000000e+00,6.256591e-12,1.429729e-11,4.898776e-11,1.111301e-10,1.619053e-10,3.663121e-10,3.773041e-10,7.282956e-10,8.556722e-10,1.250783e-09,1.662839e-09,1.984028e-09,2.878790e-09,2.967490e-09,4.230669e-09,4.576617e-09,5.777664e-09,6.758575e-09,7.580508e-09,9.340892e-09,9.591517e-09,1.176127e-08,1.221040e-08,1.404758e-08,1.527089e-08,1.641620e-08,1.844864e-08,1.883886e-08,2.129146e-08,2.168521e-08,2.375286e-08,2.493188e-08,2.620437e-08,2.814730e-08,2.862949e-08,3.101380e-08,3.129657e-08,3.334497e-08,3.435113e-08,3.561271e-08,3.728854e-08,3.780863e-08,3.992622e-08,4.009209e-08,4.196060e-08,4.275025e-08,4.390838e-08,4.525596e-08,4.576750e-08,4.753701e-08,4.760592e-08,4.921690e-08,4.979985e-08,5.080796e-08,5.183983e-08,5.231159e-08,5.372973e-08,5.506468e-08,5.547471e-08,5.631904e-08,5.708082e-08,5.749560e-08,5.855464e-08,5.859731e-08,5.962719e-08,5.990309e-08,6.058828e-08,6.113320e-08,6.148366e-08,6.225197e-08,6.231635e-08,6.308933e-08,6.326628e-08,6.380550e-08,6.418281e-08,6.446771e-08,6.500797e-08,6.507867e-08,6.564106e-08,6.574793e-08,6.615740e-08,6.640851e-08,6.663014e-08,6.699526e-08,6.706162e-08,6.745410e-08,6.751342e-08,6.780970e-08,6.796790e-08,6.813047e-08,6.836333e-08,6.841837e-08,6.867523e-08,6.870405e-08,6.890283e-08,6.899414e-08,6.910284e-08,6.923739e-08,6.927687e-08,6.942641e-08,6.943736e-08,6.955292e-08,6.959738e-08,6.965775e-08,6.972053e-08,6.974220e-08,6.980749e-08,6.980972e-08,6.985479e-08,6.986763e-08,6.988521e-08,6.989678e-08,6.989978e-08,6.989949e-08,6.988529e-08,6.987796e-08,6.985806e-08,6.983419e-08,6.981865e-08,6.977007e-08,6.976783e-08,6.970638e-08,6.968736e-08,6.963500e-08,6.958769e-08,6.955436e-08,6.947255e-08,6.946511e-08,6.936784e-08,6.934337e-08,6.926313e-08,6.920144e-08,6.915151e-08,6.904799e-08,6.903350e-08,6.890958e-08,6.888412e-08,6.878020e-08,6.871090e-08,6.864579e-08,6.852929e-08,6.850675e-08,6.836349e-08,6.834019e-08,6.821634e-08,6.814444e-08,6.806567e-08,6.794280e-08,6.791179e-08,6.775500e-08,6.773600e-08,6.759560e-08,6.752470e-08,6.743385e-08,6.730952e-08,6.727002e-08,6.710434e-08,6.709102e-08,6.693705e-08,6.686973e-08,6.676835e-08,6.664614e-08,6.659845e-08,6.642755e-08,6.642070e-08,6.625582e-08,6.619382e-08,6.608342e-08,6.596590e-08,6.591053e-08,6.573728e-08,6.550830e-08,6.527925e-08,6.505041e-08,6.482203e-08,6.459435e-08,6.436758e-08,6.414192e-08,6.391755e-08,6.369463e-08,6.347332e-08,6.325374e-08,6.303602e-08,6.282027e-08,6.260660e-08,6.239509e-08,6.218582e-08,6.197887e-08,6.177430e-08,6.157216e-08,6.137251e-08,6.117539e-08,6.098083e-08,6.078887e-08,6.059952e-08
0.000000e+00,1.363665e-09,3.972219e-09,1.921925e-08,5.401325e-08,8.636606e-08,2.357270e-07,2.443543e-07,5.389392e-07,6.524819e-07,1.018964e-06,1.417159e-06,1.735157e-06,2.641997e-06,2.732964e-06,4.037680e-06,4.396620e-06,5.645428e-06,6.668821e-06,7.529738e-06,9.387330e-06,9.653508e-06,1.197682e-05,1.246193e-05,1.446016e-05,1.580199e-05,1.706530e-05,1.932075e-05,1.975541e-05,2.249527e-05,2.293600e-05,2.525154e-05,2.657118e-05,2.799327e-05,3.015722e-05,3.069240e-05,3.332419e-05,3.363444e-05,3.586758e-05,3.695408e-05,3.830530e-05,4.007885e-05,4.062386e-05,4.281346e-05,4.298284e-05,4.486766e-05,4.565056e-05,4.678301e-05,4.807552e-05,4.855867e-05,5.019599e-05,5.025865e-05,5.169809e-05,5.220657e-05,5.306945e-05,5.393009e-05,5.431561e-05,5.544286e-05,5.645797e-05,5.676025e-05,5.736785e-05,5.789817e-05,5.817948e-05,5.887264e-05,5.889978e-05,5.953553e-05,5.969929e-05,6.009327e-05,6.039307e-05,6.057922e-05,6.096796e-05,6.099927e-05,6.135893e-05,6.143685e-05,6.166338e-05,6.181155e-05,6.191740e-05,6.210275e-05,6.212542e-05,6.229153e-05,6.232006e-05,6.241949e-05,6.247211e-05,6.251276e-05,6.256662e-05,6.257450e-05,6.260762e-05,6.261044e-05,6.261476e-05,6.260968e-05,6.259834e-05,6.256974e-05,6.256058e-05,6.250350e-05,6.249544e-05,6.242893e-05,6.239102e-05,6.233857e-05,6.226028e-05,6.223394e-05,6.211646e-05,6.210655e-05,6.198741e-05,6.193281e-05,6.184794e-05,6.174169e-05,6.169914e-05,6.154199e-05,6.153554e-05,6.137737e-05,6.131645e-05,6.120612e-05,6.108626e-05,6.102898e-05,6.084663e-05,6.065972e-05,6.059905e-05,6.046883e-05,6.034481e-05,6.027448e-05,6.008511e-05,6.007716e-05,5.987733e-05,5.982098e-05,5.967539e-05,5.955337e-05,5.947172e-05,5.928312e-05,5.926667e-05,5.906057e-05,5.901098e-05,5.885370e-05,5.873762e-05,5.864633e-05,5.846364e-05,5.843873e-05,5.823110e-05,5.818960e-05,5.802368e-05,5.791596e-05,5.781664e-05,5.764317e-05,5.761018e-05,5.740444e-05,5.737160e-05,5.719958e-05,5.710160e-05,5.699574e-05,5.683348e-05,5.679304e-05,5.659160e-05,5.656752e-05,5.639153e-05,5.630395e-05,5.619291e-05,5.604299e-05,5.599584e-05,5.580040e-05,5.578484e-05,5.560666e-05,5.552965e-05,5.541468e-05,5.527758e-05,5.522453e-05,5.503625e-05,5.502876e-05,5.484990e-05,5.478329e-05,5.466551e-05,5.454127e-05,5.448313e-05,5.430278e-05,5.406789e-05,5.383665e-05,5.360910e-05,5.338529e-05,5.316524e-05,5.294896e-05,5.273648e-05,5.252778e-05,5.232287e-05,5.212174e-05,5.192438e-05,5.173078e-05,5.154089e-05,5.135471e-05,5.117221e-05,5.099334e-05,5.081809e-05,5.064640e-05,5.047824e-05,5.031357e-05,5.015235e-05,4.999452e-05,4.984005e-05,4.968889e-05
0.000000e+00,4.505049e-10,1.297412e-09,6.140940e-09,1.694146e-08,2.682596e-08,7.143610e-08,7.397635e-08,1.591192e-07,1.912731e-07,2.931591e-07,4.012603e-07,4.861089e-07,7.233929e-07,7.469504e-07,1.083445e-06,1.176185e-06,1.501711e-06,1.773158e-06,2.005428e-06,2.519740e-06,2.594932e-06,3.266915e-06,3.410698e-06,4.015130e-06,4.431707e-06,4.831554e-06,5.563586e-06,5.707320e-06,6.633257e-06,6.785447e-06,7.600163e-06,8.076158e-06,8.598966e-06,9.415045e-06,9.620861e-06,1.065744e-05,1.078244e-05,1.170081e-05,1.216015e-05,1.274371e-05,1.353193e-05,1.377957e-05,1.480258e-05,1.488370e-05,1.580766e-05,1.620369e-05,1.679053e-05,1.748242e-05,1.774763e-05,1.867605e-05,1.871256e-05,1.957354e-05,1.988872e-05,2.043841e-05,2.100725e-05,2.126944e-05,2.206589e-05,2.282736e-05,2.306362e-05,2.355377e-05,2.400036e-05,2.424532e-05,2.487678e-05,2.490241e-05,2.552563e-05,2.569416e-05,2.611570e-05,2.645418e-05,2.667346e-05,2.715886e-05,2.719983e-05,2.769579e-05,2.781040e-05,2.816235e-05,2.841117e-05,2.860056e-05,2.896360e-05,2.901150e-05,2.939623e-05,2.947012e-05,2.975581e-05,2.993320e-05,3.009129e-05,3.035523e-05,3.040371e-05,3.069408e-05,3.073856e-05,3.096339e-05,3.108546e-05,3.121261e-05,3.139814e-05,3.144267e-05,3.165447e-05,3.167871e-05,3.184891e-05,3.192917e-05,3.202681e-05,3.215147e-05,3.218900e-05,3.233627e-05,3.234743e-05,3.246936e-05,3.251878e-05,3.258899e-05,3.266720e-05,3.269588e-05,3.279068e-05,3.279423e-05,3.287403e-05,3.290135e-05,3.294654e-05,3.298996e-05,3.300880e-05,3.306138e-05,3.310480e-05,3.311684e-05,3.313957e-05,3.315752e-05,3.316620e-05,3.318452e-05,3.318513e-05,3.319683e-05,3.319886e-05,3.320170e-05,3.320152e-05,3.320017e-05,3.319342e-05,3.319260e-05,3.317938e-05,3.317541e-05,3.316085e-05,3.314829e-05,3.313735e-05,3.311281e-05,3.310920e-05,3.307668e-05,3.306968e-05,3.304011e-05,3.301957e-05,3.299974e-05,3.296308e-05,3.295583e-05,3.290865e-05,3.290081e-05,3.285841e-05,3.283328e-05,3.280534e-05,3.276100e-05,3.274966e-05,3.269157e-05,3.268445e-05,3.263126e-05,3.260406e-05,3.256890e-05,3.252025e-05,3.250468e-05,3.243874e-05,3.243340e-05,3.237126e-05,3.234386e-05,3.230237e-05,3.225197e-05,3.223221e-05,3.216091e-05,3.215804e-05,3.208861e-05,3.206235e-05,3.201540e-05,3.196517e-05,3.194141e-05,3.186674e-05,3.176731e-05,3.166707e-05,3.156624e-05,3.146498e-05,3.136347e-05,3.126186e-05,3.116030e-05,3.105892e-05,3.095784e-05,3.085718e-05,3.075702e-05,3.065748e-05,3.055863e-05,3.046054e-05,3.036330e-05,3.026696e-05,3.017158e-05,3.007722e-05,2.998391e-05,2.989171e-05,2.980064e-05,2.971074e-05,2.962205e-05,2.953457e-05
0.000000e+00,3.507755e-10,1.023271e-09,4.966147e-09,1.399126e-08,2.239581e-08,6.120119e-08,6.344027e-08,1.395986e-07,1.687754e-07,2.622439e-07,3.626780e-07,4.422006e-07,6.670356e-07,6.895214e-07,1.013301e-06,1.103287e-06,1.421354e-06,1.688991e-06,1.919638e-06,2.435576e-06,2.511606e-06,3.197922e-06,3.346382e-06,3.976727e-06,4.417048e-06,4.844187e-06,5.637521e-06,5.794999e-06,6.822742e-06,6.993844e-06,7.920127e-06,8.469287e-06,9.079174e-06,1.004511e-05,1.029138e-05,1.154791e-05,1.170124e-05,1.283973e-05,1.341699e-05,1.415783e-05,1.517171e-05,1.549336e-05,1.683781e-05,1.694550e-05,1.818310e-05,1.871975e-05,1.952173e-05,2.047754e-05,2.084683e-05,2.215225e-05,2.220398e-05,2.343252e-05,2.388633e-05,2.468293e-05,2.551407e-05,2.589945e-05,2.707878e-05,2.821822e-05,2.857406e-05,2.931569e-05,2.999532e-05,3.036966e-05,3.133958e-05,3.137909e-05,3.234337e-05,3.260524e-05,3.326228e-05,3.379188e-05,3.413592e-05,3.490003e-05,3.496469e-05,3.574922e-05,3.593101e-05,3.649032e-05,3.688674e-05,3.718901e-05,3.776963e-05,3.784638e-05,3.846365e-05,3.858241e-05,3.904212e-05,3.932804e-05,3.958314e-05,4.000966e-05,4.008808e-05,4.055834e-05,4.063046e-05,4.099534e-05,4.119370e-05,4.140048e-05,4.170258e-05,4.177515e-05,4.212070e-05,4.216028e-05,4.243850e-05,4.256987e-05,4.272984e-05,4.293436e-05,4.299601e-05,4.323823e-05,4.325661e-05,4.345771e-05,4.353940e-05,4.365561e-05,4.378536e-05,4.383303e-05,4.399106e-05,4.399699e-05,4.413072e-05,4.417669e-05,4.425299e-05,4.432669e-05,4.435883e-05,4.444915e-05,4.452480e-05,4.454605e-05,4.458662e-05,4.461929e-05,4.463540e-05,4.467066e-05,4.467190e-05,4.469683e-05,4.470183e-05,4.471088e-05,4.471436e-05,4.471470e-05,4.470973e-05,4.470893e-05,4.469414e-05,4.468932e-05,4.467091e-05,4.465441e-05,4.463977e-05,4.460623e-05,4.460123e-05,4.455577e-05,4.454589e-05,4.450385e-05,4.447445e-05,4.444592e-05,4.439290e-05,4.438238e-05,4.431363e-05,4.430217e-05,4.424003e-05,4.420310e-05,4.416196e-05,4.409650e-05,4.407974e-05,4.399368e-05,4.398311e-05,4.390410e-05,4.386363e-05,4.381127e-05,4.373871e-05,4.371546e-05,4.361694e-05,4.360895e-05,4.351595e-05,4.347491e-05,4.341271e-05,4.333710e-05,4.330743e-05,4.320033e-05,4.319602e-05,4.309160e-05,4.305210e-05,4.298143e-05,4.290577e-05,4.286997e-05,4.275740e-05,4.260737e-05,4.245598e-05,4.230357e-05,4.215039e-05,4.199672e-05,4.184279e-05,4.168883e-05,4.153503e-05,4.138159e-05,4.122867e-05,4.107644e-05,4.092503e-05,4.077457e-05,4.062519e-05,4.047700e-05,4.033008e-05,4.018454e-05,4.004044e-05,3.989786e-05,3.975688e-05,3.961753e-05,3.947987e-05,3.934395e-05,3.920981e-05
0.000000e+00,1.560505e-12,3.560718e-12,1.217207e-11,2.754515e-11,4.006090e-11,9.006017e-11,9.273205e-11,1.772109e-10,2.074914e-10,3.002813e-10,3.954436e-10,4.686645e-10,6.693504e-10,6.890493e-10,9.678231e-10,1.044046e-09,1.310276e-09,1.531045e-09,1.719158e-09,2.132926e-09,2.193067e-09,2.725933e-09,2.838786e-09,3.308337e-09,3.627252e-09,3.929722e-09,4.474424e-09,4.580037e-09,5.250391e-09,5.358976e-09,5.933061e-09,6.263110e-09,6.621323e-09,7.171962e-09,7.309264e-09,7.991654e-09,8.072942e-09,8.663872e-09,8.955362e-09,9.321869e-09,9.810267e-09,9.962152e-09,1.058176e-08,1.063035e-08,1.117823e-08,1.140989e-08,1.174963e-08,1.214465e-08,1.229445e-08,1.281162e-08,1.283173e-08,1.330047e-08,1.346944e-08,1.376063e-08,1.405712e-08,1.419207e-08,1.459498e-08,1.496981e-08,1.508391e-08,1.531713e-08,1.552533e-08,1.563771e-08,1.592108e-08,1.593239e-08,1.620212e-08,1.627331e-08,1.644791e-08,1.658432e-08,1.667080e-08,1.685657e-08,1.687188e-08,1.705222e-08,1.709253e-08,1.721290e-08,1.729470e-08,1.735500e-08,1.746551e-08,1.747957e-08,1.758764e-08,1.760736e-08,1.768021e-08,1.772254e-08,1.775824e-08,1.781323e-08,1.782266e-08,1.787437e-08,1.788152e-08,1.791421e-08,1.792937e-08,1.794301e-08,1.795862e-08,1.796154e-08,1.797054e-08,1.797102e-08,1.797071e-08,1.796816e-08,1.796271e-08,1.795156e-08,1.794717e-08,1.792469e-08,1.792261e-08,1.789581e-08,1.788259e-08,1.786108e-08,1.783272e-08,1.782098e-08,1.777599e-08,1.777409e-08,1.772653e-08,1.770772e-08,1.767303e-08,1.763453e-08,1.761586e-08,1.755540e-08,1.749198e-08,1.747111e-08,1.742591e-08,1.738238e-08,1.735750e-08,1.728987e-08,1.728701e-08,1.721471e-08,1.719418e-08,1.714085e-08,1.709586e-08,1.706563e-08,1.699542e-08,1.698927e-08,1.691197e-08,1.689330e-08,1.683390e-08,1.678992e-08,1.675524e-08,1.668564e-08,1.667613e-08,1.659672e-08,1.658082e-08,1.651715e-08,1.647575e-08,1.643753e-08,1.637070e-08,1.635798e-08,1.627860e-08,1.626592e-08,1.619949e-08,1.616164e-08,1.612073e-08,1.605804e-08,1.604241e-08,1.596460e-08,1.595530e-08,1.588736e-08,1.585357e-08,1.581075e-08,1.575300e-08,1.573484e-08,1.565967e-08,1.565369e-08,1.558528e-08,1.555575e-08,1.551172e-08,1.545928e-08,1.543901e-08,1.536720e-08,1.536435e-08,1.529631e-08,1.527102e-08,1.522636e-08,1.517935e-08,1.515738e-08,1.508938e-08,1.500116e-08,1.491470e-08,1.483004e-08,1.474717e-08,1.466612e-08,1.458689e-08,1.450948e-08,1.443387e-08,1.436007e-08,1.428806e-08,1.421781e-08,1.414933e-08,1.408258e-08,1.401754e-08,1.395419e-08,1.389250e-08,1.383245e-08,1.377400e-08,1.371713e-08,1.366182e-08,1.360801e-08,1.355570e-08,1.350484e-08,1.345541e-08
0.000000e+00,2.865443e-11,6.583792e-11,2.266927e-10,5.147284e-10,7.495829e-10,1.689585e-09,1.739881e-09,3.332977e-09,3.905249e-09,5.662648e-09,7.470419e-09,8.864760e-09,1.269895e-08,1.307613e-08,1.842290e-08,1.988610e-08,2.499167e-08,2.921033e-08,3.278804e-08,4.058912e-08,4.171468e-08,5.159848e-08,5.367277e-08,6.224384e-08,6.801919e-08,7.346939e-08,8.323225e-08,8.511891e-08,9.705850e-08,9.898775e-08,1.091714e-07,1.150163e-07,1.213540e-07,1.310876e-07,1.335135e-07,1.455665e-07,1.470022e-07,1.574395e-07,1.625896e-07,1.690680e-07,1.777077e-07,1.803967e-07,1.913795e-07,1.922420e-07,2.019790e-07,2.061046e-07,2.121658e-07,2.192322e-07,2.219181e-07,2.312208e-07,2.315834e-07,2.400650e-07,2.431358e-07,2.484468e-07,2.538825e-07,2.563669e-07,2.638296e-07,2.708424e-07,2.729931e-07,2.774153e-07,2.813964e-07,2.835600e-07,2.890685e-07,2.892899e-07,2.946196e-07,2.960422e-07,2.995641e-07,3.023524e-07,3.041391e-07,3.080354e-07,3.083605e-07,3.122443e-07,3.131279e-07,3.158061e-07,3.176659e-07,3.190616e-07,3.216852e-07,3.220261e-07,3.247146e-07,3.252204e-07,3.271415e-07,3.283047e-07,3.293207e-07,3.309698e-07,3.312658e-07,3.329897e-07,3.332458e-07,3.345047e-07,3.351613e-07,3.358228e-07,3.367432e-07,3.369554e-07,3.379131e-07,3.380168e-07,3.387063e-07,3.390058e-07,3.393449e-07,3.397326e-07,3.398382e-07,3.401951e-07,3.402180e-07,3.404239e-07,3.404814e-07,3.405327e-07,3.405409e-07,3.405290e-07,3.404199e-07,3.404135e-07,3.402123e-07,3.401147e-07,3.399126e-07,3.396593e-07,3.395269e-07,3.390610e-07,3.385202e-07,3.383322e-07,3.379098e-07,3.374849e-07,3.372347e-07,3.365299e-07,3.364994e-07,3.357083e-07,3.354774e-07,3.348656e-07,3.343367e-07,3.339750e-07,3.331166e-07,3.330403e-07,3.320649e-07,3.318252e-07,3.310522e-07,3.304699e-07,3.300051e-07,3.290576e-07,3.289267e-07,3.278195e-07,3.275949e-07,3.266863e-07,3.260876e-07,3.255295e-07,3.245412e-07,3.243513e-07,3.231540e-07,3.229608e-07,3.219395e-07,3.213510e-07,3.207098e-07,3.197163e-07,3.194667e-07,3.182118e-07,3.180606e-07,3.169469e-07,3.163875e-07,3.156734e-07,3.147006e-07,3.143926e-07,3.131060e-07,3.130028e-07,3.118147e-07,3.112972e-07,3.105200e-07,3.095863e-07,3.092229e-07,3.079245e-07,3.078726e-07,3.066258e-07,3.061583e-07,3.053275e-07,3.044455e-07,3.040307e-07,3.027360e-07,3.010316e-07,2.993338e-07,2.976441e-07,2.959637e-07,2.942939e-07,2.926357e-07,2.909901e-07,2.893580e-07,2.877402e-07,2.861374e-07,2.845501e-07,2.829791e-07,2.814247e-07,2.798875e-07,2.783677e-07,2.768658e-07,2.753820e-07,2.739165e-07,2.724696e-07,2.710414e-07,2.696321e-07,2.682417e-07,2.668702e-07,2.655178e-07
0.000000e+00,1.478165e-10,3.414910e-10,1.184739e-09,2.705977e-09,3.953982e-09,9.002142e-09,9.274339e-09,1.798571e-08,2.115189e-08,3.097161e-08,4.119393e-08,4.914193e-08,7.118976e-08,7.336947e-08,1.043877e-07,1.129022e-07,1.426700e-07,1.673368e-07,1.883185e-07,2.343205e-07,2.409892e-07,2.998744e-07,3.122961e-07,3.637574e-07,3.984618e-07,4.311447e-07,4.893011e-07,5.004577e-07,5.702325e-07,5.813543e-07,6.392610e-07,6.718530e-07,7.066395e-07,7.589262e-07,7.717427e-07,8.341644e-07,8.414618e-07,8.936573e-07,9.188681e-07,9.500849e-07,9.908812e-07,1.003388e-06,1.053563e-06,1.057442e-06,1.100642e-06,1.118621e-06,1.144689e-06,1.174570e-06,1.185785e-06,1.224024e-06,1.225496e-06,1.259512e-06,1.271635e-06,1.292359e-06,1.313244e-06,1.322678e-06,1.350585e-06,1.376194e-06,1.383923e-06,1.399619e-06,1.413517e-06,1.420971e-06,1.439619e-06,1.440358e-06,1.457885e-06,1.462474e-06,1.473654e-06,1.482312e-06,1.487761e-06,1.499354e-06,1.500301e-06,1.511363e-06,1.513808e-06,1.521034e-06,1.525872e-06,1.529394e-06,1.535729e-06,1.536522e-06,1.542492e-06,1.543554e-06,1.547376e-06,1.549509e-06,1.551240e-06,1.553745e-06,1.554149e-06,1.556162e-06,1.556405e-06,1.557339e-06,1.557622e-06,1.557732e-06,1.557519e-06,1.557395e-06,1.556376e-06,1.556210e-06,1.554721e-06,1.553803e-06,1.552475e-06,1.550398e-06,1.549679e-06,1.546371e-06,1.546086e-06,1.542590e-06,1.540953e-06,1.538371e-06,1.535080e-06,1.533746e-06,1.528746e-06,1.528539e-06,1.523402e-06,1.521399e-06,1.517741e-06,1.513724e-06,1.511789e-06,1.505572e-06,1.499111e-06,1.496996e-06,1.492430e-06,1.488047e-06,1.485548e-06,1.478772e-06,1.478486e-06,1.471261e-06,1.469212e-06,1.463891e-06,1.459406e-06,1.456392e-06,1.449392e-06,1.448779e-06,1.441066e-06,1.439202e-06,1.433267e-06,1.428866e-06,1.425394e-06,1.418413e-06,1.417458e-06,1.409471e-06,1.407869e-06,1.401444e-06,1.397256e-06,1.393385e-06,1.386598e-06,1.385304e-06,1.377208e-06,1.375912e-06,1.369107e-06,1.365218e-06,1.361007e-06,1.354532e-06,1.352915e-06,1.344837e-06,1.343869e-06,1.336779e-06,1.333242e-06,1.328748e-06,1.322664e-06,1.320746e-06,1.312781e-06,1.312145e-06,1.304855e-06,1.301697e-06,1.296973e-06,1.291327e-06,1.289138e-06,1.281355e-06,1.281044e-06,1.273625e-06,1.270856e-06,1.265952e-06,1.260768e-06,1.258339e-06,1.250788e-06,1.240918e-06,1.231165e-06,1.221531e-06,1.212021e-06,1.202637e-06,1.193382e-06,1.184257e-06,1.175264e-06,1.166404e-06,1.157679e-06,1.149089e-06,1.140635e-06,1.132316e-06,1.124132e-06,1.116084e-06,1.108171e-06,1.100391e-06,1.092746e-06,1.085233e-06,1.077851e-06,1.070600e-06,1.063478e-06,1.056484e-06,1.049616e-06
0.000000e+00,1.925367e-10,4.564497e-10,1.628099e-09,3.764900e-09,5.523958e-09,1.264255e-08,1.302595e-08,2.525878e-08,2.968683e-08,4.336798e-08,5.754444e-08,6.853425e-08,9.893713e-08,1.019394e-07,1.446597e-07,1.563944e-07,1.974658e-07,2.315437e-07,2.605417e-07,3.240512e-07,3.332408e-07,4.140918e-07,4.310715e-07,5.011428e-07,5.481942e-07,5.924162e-07,6.710863e-07,6.861999e-07,7.811222e-07,7.963402e-07,8.761101e-07,9.214732e-07,9.703215e-07,1.044678e-06,1.063088e-06,1.153877e-06,1.164617e-06,1.242264e-06,1.280306e-06,1.327920e-06,1.391032e-06,1.410589e-06,1.490089e-06,1.496308e-06,1.566293e-06,1.595833e-06,1.639123e-06,1.689452e-06,1.708546e-06,1.774560e-06,1.777130e-06,1.837195e-06,1.858925e-06,1.896500e-06,1.934960e-06,1.952544e-06,2.005411e-06,2.055193e-06,2.070487e-06,2.101988e-06,2.130419e-06,2.145904e-06,2.185452e-06,2.187046e-06,2.225526e-06,2.235838e-06,2.261451e-06,2.281827e-06,2.294933e-06,2.323669e-06,2.326077e-06,2.354989e-06,2.361608e-06,2.381773e-06,2.395879e-06,2.406528e-06,2.426711e-06,2.429351e-06,2.450337e-06,2.454322e-06,2.469576e-06,2.478919e-06,2.487155e-06,2.500701e-06,2.503159e-06,2.517668e-06,2.519856e-06,2.530760e-06,2.536563e-06,2.542509e-06,2.550988e-06,2.552985e-06,2.562258e-06,2.563293e-06,2.570392e-06,2.573626e-06,2.577449e-06,2.582128e-06,2.583488e-06,2.588567e-06,2.588934e-06,2.592739e-06,2.594166e-06,2.596057e-06,2.597943e-06,2.598568e-06,2.600320e-06,2.600375e-06,2.601358e-06,2.601565e-06,2.601724e-06,2.601609e-06,2.601458e-06,2.600599e-06,2.599184e-06,2.598619e-06,2.597247e-06,2.595749e-06,2.594821e-06,2.592062e-06,2.591938e-06,2.588628e-06,2.587629e-06,2.584919e-06,2.582513e-06,2.580838e-06,2.576777e-06,2.576411e-06,2.571661e-06,2.570476e-06,2.566613e-06,2.563663e-06,2.561287e-06,2.556387e-06,2.555704e-06,2.549885e-06,2.548695e-06,2.543848e-06,2.540628e-06,2.537610e-06,2.532227e-06,2.531188e-06,2.524598e-06,2.523529e-06,2.517855e-06,2.514568e-06,2.510973e-06,2.505377e-06,2.503966e-06,2.496846e-06,2.495985e-06,2.489625e-06,2.486419e-06,2.482315e-06,2.476706e-06,2.474926e-06,2.467469e-06,2.466870e-06,2.459952e-06,2.456931e-06,2.452386e-06,2.446911e-06,2.444777e-06,2.437136e-06,2.436830e-06,2.429468e-06,2.426703e-06,2.421781e-06,2.416547e-06,2.414083e-06,2.406378e-06,2.396208e-06,2.386051e-06,2.375919e-06,2.365821e-06,2.355768e-06,2.345768e-06,2.335830e-06,2.325962e-06,2.316169e-06,2.306459e-06,2.296836e-06,2.287307e-06,2.277874e-06,2.268543e-06,2.259317e-06,2.250199e-06,2.241192e-06,2.232298e-06,2.223520e-06,2.214859e-06,2.206317e-06,2.197895e-06,2.189595e-06,2.181416e-06
0.000000e+00,1.422422e-10,3.318054e-10,1.165394e-09,2.681427e-09,3.930817e-09,9.011559e-09,9.286404e-09,1.811883e-08,2.134488e-08,3.139891e-08,4.193154e-08,5.015268e-08,7.297643e-08,7.522628e-08,1.069255e-07,1.154997e-07,1.450159e-07,1.689798e-07,1.890734e-07,2.324628e-07,2.387002e-07,2.935428e-07,3.051069e-07,3.532529e-07,3.861029e-07,4.174555e-07,4.745544e-07,4.857345e-07,5.576315e-07,5.694381e-07,6.326516e-07,6.696183e-07,7.102743e-07,7.738882e-07,7.899666e-07,8.711968e-07,8.810229e-07,9.534478e-07,9.898334e-07,1.036226e-06,1.099203e-06,1.119067e-06,1.201544e-06,1.208115e-06,1.283272e-06,1.315675e-06,1.363908e-06,1.421118e-06,1.443150e-06,1.520741e-06,1.523807e-06,1.596463e-06,1.623229e-06,1.670135e-06,1.718983e-06,1.741606e-06,1.810747e-06,1.877472e-06,1.898303e-06,1.941720e-06,1.981521e-06,2.003453e-06,2.060334e-06,2.062653e-06,2.119315e-06,2.134726e-06,2.173449e-06,2.204725e-06,2.225077e-06,2.270390e-06,2.274232e-06,2.320951e-06,2.331807e-06,2.365281e-06,2.389080e-06,2.407271e-06,2.442331e-06,2.446977e-06,2.484456e-06,2.491689e-06,2.519767e-06,2.537293e-06,2.552973e-06,2.579285e-06,2.584136e-06,2.613319e-06,2.617809e-06,2.640586e-06,2.653013e-06,2.666001e-06,2.685041e-06,2.689626e-06,2.711524e-06,2.714039e-06,2.731758e-06,2.740148e-06,2.750387e-06,2.763508e-06,2.767471e-06,2.783070e-06,2.784255e-06,2.797241e-06,2.802522e-06,2.810039e-06,2.818436e-06,2.821521e-06,2.831739e-06,2.832122e-06,2.840745e-06,2.843701e-06,2.848591e-06,2.853289e-06,2.855326e-06,2.860997e-06,2.865652e-06,2.866934e-06,2.869334e-06,2.871202e-06,2.872089e-06,2.873900e-06,2.873959e-06,2.874984e-06,2.875125e-06,2.875204e-06,2.874966e-06,2.874658e-06,2.873510e-06,2.873382e-06,2.871413e-06,2.870841e-06,2.868786e-06,2.867039e-06,2.865533e-06,2.862178e-06,2.861687e-06,2.857279e-06,2.856332e-06,2.852338e-06,2.849569e-06,2.846895e-06,2.841954e-06,2.840976e-06,2.834608e-06,2.833549e-06,2.827817e-06,2.824415e-06,2.820629e-06,2.814607e-06,2.813065e-06,2.805151e-06,2.804178e-06,2.796906e-06,2.793180e-06,2.788353e-06,2.781659e-06,2.779512e-06,2.770403e-06,2.769663e-06,2.761043e-06,2.757233e-06,2.751450e-06,2.744410e-06,2.741643e-06,2.731637e-06,2.731233e-06,2.721448e-06,2.717738e-06,2.711091e-06,2.703960e-06,2.700581e-06,2.689930e-06,2.675680e-06,2.661238e-06,2.646630e-06,2.631884e-06,2.617021e-06,2.602065e-06,2.587037e-06,2.571956e-06,2.556841e-06,2.541708e-06,2.526575e-06,2.511456e-06,2.496364e-06,2.481314e-06,2.466317e-06,2.451383e-06,2.436525e-06,2.421750e-06,2.407068e-06,2.392487e-06,2.378015e-06,2.363657e-06,2.349422e-06,2.335313e-06
0.000000e+00,7.879321e-12,1.808573e-11,6.231351e-11,1.417479e-10,2.066719e-10,4.674050e-10,4.813852e-10,9.251863e-10,1.084956e-09,1.576314e-09,2.082449e-09,2.473033e-09,3.546480e-09,3.651940e-09,5.141753e-09,5.547273e-09,6.953354e-09,8.104760e-09,9.074797e-09,1.117572e-08,1.147785e-08,1.412856e-08,1.468542e-08,1.699322e-08,1.855671e-08,2.003981e-08,2.271703e-08,2.323760e-08,2.655688e-08,2.709730e-08,2.996884e-08,3.163132e-08,3.344579e-08,3.625648e-08,3.696153e-08,4.049166e-08,4.091516e-08,4.401394e-08,4.555605e-08,4.750851e-08,5.013505e-08,5.095796e-08,5.434729e-08,5.461545e-08,5.766394e-08,5.896787e-08,6.089764e-08,6.316987e-08,6.404020e-08,6.708533e-08,6.720504e-08,7.002843e-08,7.106232e-08,7.286635e-08,7.473505e-08,7.559720e-08,7.822018e-08,8.073534e-08,8.151754e-08,8.314350e-08,8.462920e-08,8.544607e-08,8.755891e-08,8.764490e-08,8.974223e-08,9.031163e-08,9.174057e-08,9.289319e-08,9.364266e-08,9.531002e-08,9.545135e-08,9.716963e-08,9.756889e-08,9.880051e-08,9.967677e-08,1.003470e-07,1.016406e-07,1.018123e-07,1.031992e-07,1.034675e-07,1.045109e-07,1.051642e-07,1.057502e-07,1.067374e-07,1.069200e-07,1.080230e-07,1.081935e-07,1.090621e-07,1.095389e-07,1.100398e-07,1.107795e-07,1.109587e-07,1.118213e-07,1.119211e-07,1.126299e-07,1.129692e-07,1.133869e-07,1.139290e-07,1.140944e-07,1.147546e-07,1.148055e-07,1.153697e-07,1.156034e-07,1.159414e-07,1.163274e-07,1.164718e-07,1.169627e-07,1.169815e-07,1.174158e-07,1.175700e-07,1.178328e-07,1.180966e-07,1.182153e-07,1.185649e-07,1.188831e-07,1.189785e-07,1.191713e-07,1.193405e-07,1.194307e-07,1.196541e-07,1.196629e-07,1.198690e-07,1.199222e-07,1.200501e-07,1.201474e-07,1.202076e-07,1.203324e-07,1.203424e-07,1.204556e-07,1.204797e-07,1.205483e-07,1.205915e-07,1.206213e-07,1.206702e-07,1.206757e-07,1.207123e-07,1.207176e-07,1.207320e-07,1.207358e-07,1.207356e-07,1.207266e-07,1.207238e-07,1.206974e-07,1.206918e-07,1.206571e-07,1.206330e-07,1.206036e-07,1.205518e-07,1.205376e-07,1.204597e-07,1.204495e-07,1.203704e-07,1.203277e-07,1.202704e-07,1.201875e-07,1.201602e-07,1.200403e-07,1.200303e-07,1.199113e-07,1.198572e-07,1.197735e-07,1.196692e-07,1.196276e-07,1.194738e-07,1.194675e-07,1.193127e-07,1.192530e-07,1.191446e-07,1.190266e-07,1.189700e-07,1.187892e-07,1.185416e-07,1.182846e-07,1.180189e-07,1.177452e-07,1.174642e-07,1.171764e-07,1.168826e-07,1.165831e-07,1.162786e-07,1.159695e-07,1.156563e-07,1.153394e-07,1.150192e-07,1.146961e-07,1.143705e-07,1.140428e-07,1.137132e-07,1.133820e-07,1.130496e-07,1.127162e-07,1.123821e-07,1.120475e-07,1.117126e-07,1.113777e-07
0.000000e+00,1.080897e-10,2.569643e-10,9.221944e-10,2.148033e-09,3.167560e-09,7.379652e-09,7.610263e-09,1.515658e-08,1.797293e-08,2.691855e-08,3.648773e-08,4.403342e-08,6.502884e-08,6.709064e-08,9.586672e-08,1.035616e-07,1.298029e-07,1.508743e-07,1.684141e-07,2.059758e-07,2.113461e-07,2.583159e-07,2.681710e-07,3.090560e-07,3.368381e-07,3.632833e-07,4.113009e-07,4.206845e-07,4.809138e-07,4.907883e-07,5.435972e-07,5.744412e-07,6.083388e-07,6.613405e-07,6.747313e-07,7.423654e-07,7.505456e-07,8.108388e-07,8.411326e-07,8.797641e-07,9.322230e-07,9.487748e-07,1.017534e-06,1.023014e-06,1.085736e-06,1.112799e-06,1.153108e-06,1.200966e-06,1.219410e-06,1.284435e-06,1.287007e-06,1.348009e-06,1.370511e-06,1.409985e-06,1.451155e-06,1.470247e-06,1.528702e-06,1.585280e-06,1.602981e-06,1.639934e-06,1.673886e-06,1.692630e-06,1.741362e-06,1.743353e-06,1.792099e-06,1.805394e-06,1.838876e-06,1.866004e-06,1.883702e-06,1.923239e-06,1.926601e-06,1.967606e-06,1.977169e-06,2.006753e-06,2.027879e-06,2.044083e-06,2.075465e-06,2.079640e-06,2.113470e-06,2.120033e-06,2.145622e-06,2.161694e-06,2.176145e-06,2.200563e-06,2.205090e-06,2.232506e-06,2.236755e-06,2.258445e-06,2.270386e-06,2.282957e-06,2.301572e-06,2.306091e-06,2.327897e-06,2.330427e-06,2.348423e-06,2.357061e-06,2.367716e-06,2.381582e-06,2.385822e-06,2.402788e-06,2.404097e-06,2.418657e-06,2.424707e-06,2.433472e-06,2.443510e-06,2.447275e-06,2.460107e-06,2.460601e-06,2.472007e-06,2.476070e-06,2.483013e-06,2.490006e-06,2.493163e-06,2.502491e-06,2.511034e-06,2.513606e-06,2.518823e-06,2.523428e-06,2.525892e-06,2.532029e-06,2.532271e-06,2.537991e-06,2.539479e-06,2.543081e-06,2.545845e-06,2.547569e-06,2.551189e-06,2.551482e-06,2.554845e-06,2.555574e-06,2.557685e-06,2.559055e-06,2.560024e-06,2.561688e-06,2.561887e-06,2.563295e-06,2.563524e-06,2.564271e-06,2.564614e-06,2.564834e-06,2.565003e-06,2.565005e-06,2.564803e-06,2.564737e-06,2.564246e-06,2.563858e-06,2.563352e-06,2.562405e-06,2.562138e-06,2.560620e-06,2.560418e-06,2.558814e-06,2.557931e-06,2.556734e-06,2.554980e-06,2.554396e-06,2.551813e-06,2.551596e-06,2.548999e-06,2.547811e-06,2.545965e-06,2.543653e-06,2.542726e-06,2.539291e-06,2.539150e-06,2.535673e-06,2.534327e-06,2.531882e-06,2.529210e-06,2.527928e-06,2.523822e-06,2.518184e-06,2.512318e-06,2.506244e-06,2.499978e-06,2.493540e-06,2.486946e-06,2.480211e-06,2.473350e-06,2.466376e-06,2.459303e-06,2.452144e-06,2.444909e-06,2.437610e-06,2.430256e-06,2.422857e-06,2.415423e-06,2.407962e-06,2.400482e-06,2.392990e-06,2.385493e-06,2.377997e-06,2.370510e-06,2.363036e-06,2.355582e-06
0.000000e+00,3.555621e-12,8.146972e-12,2.809211e-11,6.411068e-11,9.370694e-11,2.137272e-10,2.202097e-10,4.281879e-10,5.040269e-10,7.401809e-10,9.877165e-10,1.181488e-09,1.725146e-09,1.779363e-09,2.558445e-09,2.774248e-09,3.532430e-09,4.162720e-09,4.699024e-09,5.874034e-09,6.044330e-09,7.550977e-09,7.870202e-09,9.202732e-09,1.011419e-08,1.098534e-08,1.257444e-08,1.288596e-08,1.489244e-08,1.522250e-08,1.699282e-08,1.803083e-08,1.917509e-08,2.097178e-08,2.142721e-08,2.373710e-08,2.401760e-08,2.609285e-08,2.714090e-08,2.848285e-08,3.031528e-08,3.089596e-08,3.332162e-08,3.351592e-08,3.574999e-08,3.672004e-08,3.817201e-08,3.990729e-08,4.057946e-08,4.296494e-08,4.305981e-08,4.532193e-08,4.616235e-08,4.764473e-08,4.920215e-08,4.992839e-08,5.216870e-08,5.436211e-08,5.505360e-08,5.650570e-08,5.785035e-08,5.859712e-08,6.055408e-08,6.063452e-08,6.261646e-08,6.316132e-08,6.454193e-08,6.566982e-08,6.641026e-08,6.807831e-08,6.822105e-08,6.997419e-08,7.038637e-08,7.166977e-08,7.259426e-08,7.330809e-08,7.470280e-08,7.488960e-08,7.641489e-08,7.671327e-08,7.788469e-08,7.862732e-08,7.929979e-08,8.044683e-08,8.066106e-08,8.196943e-08,8.217393e-08,8.322592e-08,8.381090e-08,8.443154e-08,8.536015e-08,8.558739e-08,8.669454e-08,8.682418e-08,8.775411e-08,8.820553e-08,8.876721e-08,8.950680e-08,8.973499e-08,9.065857e-08,9.073058e-08,9.153909e-08,9.187949e-08,9.237768e-08,9.295613e-08,9.317546e-08,9.393355e-08,9.396306e-08,9.465305e-08,9.490284e-08,9.533506e-08,9.577796e-08,9.598065e-08,9.659089e-08,9.716683e-08,9.734405e-08,9.770949e-08,9.803980e-08,9.821989e-08,9.868045e-08,9.869903e-08,9.914788e-08,9.926826e-08,9.956739e-08,9.980541e-08,9.995851e-08,1.002941e-07,1.003222e-07,1.006592e-07,1.007363e-07,1.009706e-07,1.011341e-07,1.012572e-07,1.014894e-07,1.015197e-07,1.017591e-07,1.018042e-07,1.019761e-07,1.020803e-07,1.021715e-07,1.023195e-07,1.023461e-07,1.025006e-07,1.025235e-07,1.026357e-07,1.026939e-07,1.027522e-07,1.028324e-07,1.028507e-07,1.029320e-07,1.029406e-07,1.029965e-07,1.030199e-07,1.030451e-07,1.030717e-07,1.030783e-07,1.030967e-07,1.030975e-07,1.031009e-07,1.030987e-07,1.030914e-07,1.030765e-07,1.030689e-07,1.030338e-07,1.030321e-07,1.029866e-07,1.029668e-07,1.029279e-07,1.028817e-07,1.028582e-07,1.027779e-07,1.026565e-07,1.025186e-07,1.023650e-07,1.021967e-07,1.020147e-07,1.018198e-07,1.016128e-07,1.013946e-07,1.011658e-07,1.009273e-07,1.006797e-07,1.004237e-07,1.001599e-07,9.988888e-08,9.961132e-08,9.932773e-08,9.903863e-08,9.874454e-08,9.844593e-08,9.814327e-08,9.783700e-08,9.752752e-08,9.721523e-08,9.690051e-08
0.000000e+00,9.008786e-10,2.367401e-09,9.612614e-09,2.381976e-08,3.591511e-08,8.640249e-08,8.916306e-08,1.783364e-07,2.109521e-07,3.123290e-07,4.179711e-07,5.001118e-07,7.278415e-07,7.503374e-07,1.069734e-06,1.157072e-06,1.460857e-06,1.710623e-06,1.921777e-06,2.381703e-06,2.448164e-06,3.035133e-06,3.159367e-06,3.677799e-06,4.032354e-06,4.371188e-06,4.989018e-06,5.110072e-06,5.888897e-06,6.016828e-06,6.701809e-06,7.102338e-06,7.542742e-06,8.231533e-06,8.405550e-06,9.284133e-06,9.390340e-06,1.017257e-05,1.056514e-05,1.106523e-05,1.174323e-05,1.195686e-05,1.284264e-05,1.291312e-05,1.371826e-05,1.406479e-05,1.457989e-05,1.518972e-05,1.542421e-05,1.624841e-05,1.628093e-05,1.705015e-05,1.733289e-05,1.782751e-05,1.834141e-05,1.857899e-05,1.930346e-05,2.000009e-05,2.021704e-05,2.066835e-05,2.108100e-05,2.130795e-05,2.189495e-05,2.191883e-05,2.250110e-05,2.265904e-05,2.305502e-05,2.337393e-05,2.358099e-05,2.404061e-05,2.407950e-05,2.455113e-05,2.466039e-05,2.499653e-05,2.523477e-05,2.541641e-05,2.576538e-05,2.581151e-05,2.618260e-05,2.625400e-05,2.653047e-05,2.670245e-05,2.685592e-05,2.711256e-05,2.715976e-05,2.744279e-05,2.748620e-05,2.770583e-05,2.782521e-05,2.794965e-05,2.813140e-05,2.817504e-05,2.838277e-05,2.840655e-05,2.857359e-05,2.865238e-05,2.874824e-05,2.887059e-05,2.890742e-05,2.905185e-05,2.906278e-05,2.918218e-05,2.923052e-05,2.929909e-05,2.937531e-05,2.940321e-05,2.949514e-05,2.949858e-05,2.957550e-05,2.960170e-05,2.964485e-05,2.968600e-05,2.970374e-05,2.975271e-05,2.979227e-05,2.980303e-05,2.982293e-05,2.983809e-05,2.984515e-05,2.985897e-05,2.985940e-05,2.986610e-05,2.986669e-05,2.986570e-05,2.986221e-05,2.985859e-05,2.984645e-05,2.984515e-05,2.982577e-05,2.982028e-05,2.980080e-05,2.978451e-05,2.977058e-05,2.973991e-05,2.973545e-05,2.969570e-05,2.968722e-05,2.965164e-05,2.962713e-05,2.960357e-05,2.956027e-05,2.955174e-05,2.949643e-05,2.948727e-05,2.943787e-05,2.940869e-05,2.937632e-05,2.932507e-05,2.931200e-05,2.924511e-05,2.923692e-05,2.917587e-05,2.914472e-05,2.910448e-05,2.904890e-05,2.903112e-05,2.895597e-05,2.894988e-05,2.887919e-05,2.884806e-05,2.880095e-05,2.874380e-05,2.872140e-05,2.864068e-05,2.863743e-05,2.855894e-05,2.852928e-05,2.847629e-05,2.841964e-05,2.839287e-05,2.830879e-05,2.819698e-05,2.808446e-05,2.797143e-05,2.785811e-05,2.774469e-05,2.763134e-05,2.751822e-05,2.740548e-05,2.729325e-05,2.718167e-05,2.707084e-05,2.696086e-05,2.685185e-05,2.674387e-05,2.663701e-05,2.653134e-05,2.642692e-05,2.632381e-05,2.622206e-05,2.612170e-05,2.602279e-05,2.592534e-05,2.582940e-05,2.573498e-05
0.000000e+00,1.805373e-10,4.540408e-10,1.736612e-09,4.160471e-09,6.188125e-09,1.451311e-08,1.496462e-08,2.945228e-08,3.472197e-08,5.105283e-08,6.802957e-08,8.121640e-08,1.177525e-07,1.213605e-07,1.725669e-07,1.865620e-07,2.352245e-07,2.752300e-07,3.090622e-07,3.828373e-07,3.935112e-07,4.879629e-07,5.080017e-07,5.918293e-07,6.493649e-07,7.045174e-07,8.055334e-07,8.253970e-07,9.537811e-07,9.749697e-07,1.088919e-06,1.155949e-06,1.230002e-06,1.346574e-06,1.376173e-06,1.526543e-06,1.544827e-06,1.680208e-06,1.748632e-06,1.836266e-06,1.955926e-06,1.993834e-06,2.152061e-06,2.164723e-06,2.310142e-06,2.373164e-06,2.467329e-06,2.579561e-06,2.622934e-06,2.776339e-06,2.782422e-06,2.926994e-06,2.980462e-06,3.074420e-06,3.172613e-06,3.218207e-06,3.358009e-06,3.493545e-06,3.535977e-06,3.624591e-06,3.706022e-06,3.750975e-06,3.867806e-06,3.872578e-06,3.989318e-06,4.021128e-06,4.101156e-06,4.165902e-06,4.208085e-06,4.302143e-06,4.310127e-06,4.407328e-06,4.429943e-06,4.499756e-06,4.549462e-06,4.587496e-06,4.660906e-06,4.670646e-06,4.749317e-06,4.764524e-06,4.823629e-06,4.860591e-06,4.893709e-06,4.949402e-06,4.959688e-06,5.021700e-06,5.031263e-06,5.079882e-06,5.106489e-06,5.134370e-06,5.175395e-06,5.185304e-06,5.232818e-06,5.238296e-06,5.277047e-06,5.295502e-06,5.318125e-06,5.347316e-06,5.356181e-06,5.391342e-06,5.394033e-06,5.423731e-06,5.435939e-06,5.453471e-06,5.473308e-06,5.480677e-06,5.505463e-06,5.506406e-06,5.527939e-06,5.535485e-06,5.548210e-06,5.560787e-06,5.566379e-06,5.582544e-06,5.596800e-06,5.600974e-06,5.609239e-06,5.616287e-06,5.619949e-06,5.628681e-06,5.629013e-06,5.636513e-06,5.638343e-06,5.642527e-06,5.645452e-06,5.647128e-06,5.650177e-06,5.650390e-06,5.652380e-06,5.652675e-06,5.653163e-06,5.653099e-06,5.652804e-06,5.651590e-06,5.651362e-06,5.648894e-06,5.648282e-06,5.645456e-06,5.643303e-06,5.641101e-06,5.636771e-06,5.635879e-06,5.629839e-06,5.628799e-06,5.623026e-06,5.619494e-06,5.615484e-06,5.608955e-06,5.607257e-06,5.598383e-06,5.597276e-06,5.588902e-06,5.584547e-06,5.578849e-06,5.570850e-06,5.568261e-06,5.557171e-06,5.556263e-06,5.545610e-06,5.540861e-06,5.533609e-06,5.524713e-06,5.521198e-06,5.508403e-06,5.507884e-06,5.495252e-06,5.490435e-06,5.481769e-06,5.472423e-06,5.467978e-06,5.453903e-06,5.434926e-06,5.415538e-06,5.395784e-06,5.375706e-06,5.355344e-06,5.334733e-06,5.313909e-06,5.292903e-06,5.271746e-06,5.250465e-06,5.229088e-06,5.207637e-06,5.186137e-06,5.164609e-06,5.143072e-06,5.121545e-06,5.100046e-06,5.078590e-06,5.057193e-06,5.035867e-06,5.014627e-06,4.993484e-06,4.972449e-06,4.951532e-06
0.000000e+00,2.003886e-08,5.975441e-08,3.036396e-07,8.932050e-07,1.465360e-06,4.285798e-06,4.455614e-06,1.058099e-05,1.308228e-05,2.156595e-05,3.134309e-05,3.946776e-05,6.372393e-05,6.622702e-05,1.032079e-04,1.136989e-04,1.511713e-04,1.829700e-04,2.104667e-04,2.720977e-04,2.811857e-04,3.632405e-04,3.809934e-04,4.563956e-04,5.091051e-04,5.602795e-04,6.554682e-04,6.743882e-04,7.980903e-04,8.187244e-04,9.306359e-04,9.971510e-04,1.071168e-03,1.188711e-03,1.218741e-03,1.372343e-03,1.391130e-03,1.530915e-03,1.601983e-03,1.693376e-03,1.818784e-03,1.858648e-03,2.025671e-03,2.039078e-03,2.193426e-03,2.260514e-03,2.360946e-03,2.480908e-03,2.527333e-03,2.691761e-03,2.698287e-03,2.853487e-03,2.910916e-03,3.011848e-03,3.117315e-03,3.166269e-03,3.316256e-03,3.461395e-03,3.506758e-03,3.601347e-03,3.688069e-03,3.735846e-03,3.859647e-03,3.864690e-03,3.987735e-03,4.021136e-03,4.104894e-03,4.172344e-03,4.216123e-03,4.313217e-03,4.321424e-03,4.420832e-03,4.443820e-03,4.514415e-03,4.564312e-03,4.602268e-03,4.674929e-03,4.684505e-03,4.761262e-03,4.775968e-03,4.832687e-03,4.867774e-03,4.898940e-03,4.950721e-03,4.960192e-03,5.016616e-03,5.025209e-03,5.068394e-03,5.091651e-03,5.115708e-03,5.150468e-03,5.158741e-03,5.197675e-03,5.202081e-03,5.232694e-03,5.246908e-03,5.263975e-03,5.285358e-03,5.291696e-03,5.316028e-03,5.317833e-03,5.337139e-03,5.344719e-03,5.355194e-03,5.366390e-03,5.370351e-03,5.382764e-03,5.383206e-03,5.392581e-03,5.395508e-03,5.399946e-03,5.403623e-03,5.404996e-03,5.407863e-03,5.408676e-03,5.408522e-03,5.407555e-03,5.405877e-03,5.404618e-03,5.400194e-03,5.399977e-03,5.393737e-03,5.391718e-03,5.386002e-03,5.380684e-03,5.376869e-03,5.367311e-03,5.366430e-03,5.354773e-03,5.351804e-03,5.341984e-03,5.334357e-03,5.328142e-03,5.315150e-03,5.313322e-03,5.297599e-03,5.294351e-03,5.281039e-03,5.272120e-03,5.263710e-03,5.248603e-03,5.245671e-03,5.226983e-03,5.223937e-03,5.207701e-03,5.198250e-03,5.187877e-03,5.171662e-03,5.167562e-03,5.146802e-03,5.144284e-03,5.125643e-03,5.116217e-03,5.104126e-03,5.087559e-03,5.082291e-03,5.060176e-03,5.058396e-03,5.037817e-03,5.028812e-03,5.015246e-03,4.998882e-03,4.992496e-03,4.969596e-03,4.968677e-03,4.946573e-03,4.938261e-03,4.923455e-03,4.907693e-03,4.900266e-03,4.877030e-03,4.846321e-03,4.815613e-03,4.784948e-03,4.754366e-03,4.723902e-03,4.693589e-03,4.663455e-03,4.633528e-03,4.603833e-03,4.574390e-03,4.545219e-03,4.516339e-03,4.487765e-03,4.459510e-03,4.431587e-03,4.404007e-03,4.376779e-03,4.349912e-03,4.323411e-03,4.297282e-03,4.271531e-03,4.246161e-03,4.221175e-03,4.196574e-03
0.000000e+00,2.542544e-10,6.416223e-10,2.463243e-09,5.910232e-09,8.794932e-09,2.064460e-08,2.128754e-08,4.193451e-08,4.945296e-08,7.278195e-08,9.708224e-08,1.159962e-07,1.686335e-07,1.738550e-07,2.485820e-07,2.692387e-07,3.419163e-07,4.025935e-07,4.544353e-07,5.684821e-07,5.850326e-07,7.311280e-07,7.619252e-07,8.895106e-07,9.756873e-07,1.057105e-06,1.203073e-06,1.231292e-06,1.409915e-06,1.438782e-06,1.591180e-06,1.678668e-06,1.773559e-06,1.919371e-06,1.955731e-06,2.136539e-06,2.158095e-06,2.314974e-06,2.392504e-06,2.490163e-06,2.620674e-06,2.661362e-06,2.827951e-06,2.841063e-06,2.989423e-06,3.052486e-06,3.145380e-06,3.254083e-06,3.295522e-06,3.439637e-06,3.445274e-06,3.577589e-06,3.625728e-06,3.709309e-06,3.795312e-06,3.834787e-06,3.954061e-06,4.067206e-06,4.102136e-06,4.174333e-06,4.239796e-06,4.275575e-06,4.367375e-06,4.371088e-06,4.461040e-06,4.485255e-06,4.545613e-06,4.593852e-06,4.624993e-06,4.693603e-06,4.699374e-06,4.768947e-06,4.784951e-06,4.833908e-06,4.868343e-06,4.894449e-06,4.944220e-06,4.950761e-06,5.003030e-06,5.013015e-06,5.051440e-06,5.075147e-06,5.096167e-06,5.131018e-06,5.137384e-06,5.175257e-06,5.181017e-06,5.209948e-06,5.225516e-06,5.241612e-06,5.264865e-06,5.270399e-06,5.296451e-06,5.299400e-06,5.319907e-06,5.329440e-06,5.340900e-06,5.355284e-06,5.359555e-06,5.375994e-06,5.377217e-06,5.390333e-06,5.395506e-06,5.402683e-06,5.410403e-06,5.413150e-06,5.421835e-06,5.422146e-06,5.428834e-06,5.430959e-06,5.434241e-06,5.437052e-06,5.438142e-06,5.440622e-06,5.441761e-06,5.441854e-06,5.441634e-06,5.440923e-06,5.440315e-06,5.437991e-06,5.437872e-06,5.434372e-06,5.433211e-06,5.429877e-06,5.426728e-06,5.424447e-06,5.418675e-06,5.418139e-06,5.411006e-06,5.409177e-06,5.403100e-06,5.398354e-06,5.394470e-06,5.386314e-06,5.385163e-06,5.375222e-06,5.373162e-06,5.364690e-06,5.358993e-06,5.353606e-06,5.343898e-06,5.342010e-06,5.329935e-06,5.327961e-06,5.317418e-06,5.311261e-06,5.304489e-06,5.293872e-06,5.291182e-06,5.277523e-06,5.275862e-06,5.263542e-06,5.257295e-06,5.249265e-06,5.238232e-06,5.234717e-06,5.219921e-06,5.218727e-06,5.204900e-06,5.198834e-06,5.189676e-06,5.178600e-06,5.174269e-06,5.158698e-06,5.158072e-06,5.142981e-06,5.137290e-06,5.127135e-06,5.116295e-06,5.111177e-06,5.095122e-06,5.073806e-06,5.052379e-06,5.030868e-06,5.009303e-06,4.987707e-06,4.966104e-06,4.944517e-06,4.922964e-06,4.901465e-06,4.880036e-06,4.858694e-06,4.837452e-06,4.816325e-06,4.795324e-06,4.774461e-06,4.753746e-06,4.733188e-06,4.712795e-06,4.692577e-06,4.672539e-06,4.652688e-06,4.633030e-06,4.613569e-06,4.594311e-06
0.000000e+00,1.463306e-09,3.801679e-09,1.520231e-08,3.739428e-08,5.626200e-08,1.352874e-07,1.396271e-07,2.810438e-07,3.333760e-07,4.980042e-07,6.723036e-07,8.092975e-07,1.192506e-06,1.230443e-06,1.766686e-06,1.912075e-06,2.412969e-06,2.819691e-06,3.160552e-06,3.895646e-06,4.001189e-06,4.927579e-06,5.122532e-06,5.932707e-06,6.484090e-06,7.009282e-06,7.963123e-06,8.149496e-06,9.345008e-06,9.540842e-06,1.058707e-05,1.119717e-05,1.186674e-05,1.291152e-05,1.317506e-05,1.450331e-05,1.466364e-05,1.584319e-05,1.643440e-05,1.718694e-05,1.820636e-05,1.852742e-05,1.985823e-05,1.996410e-05,2.117369e-05,2.169445e-05,2.246888e-05,2.338648e-05,2.373959e-05,2.498230e-05,2.503138e-05,2.619411e-05,2.662234e-05,2.737271e-05,2.815425e-05,2.851629e-05,2.962352e-05,3.069345e-05,3.102784e-05,3.172549e-05,3.236596e-05,3.271934e-05,3.363747e-05,3.367496e-05,3.459253e-05,3.484267e-05,3.547239e-05,3.598242e-05,3.631505e-05,3.705798e-05,3.712114e-05,3.789137e-05,3.807097e-05,3.862653e-05,3.902322e-05,3.932748e-05,3.991672e-05,3.999511e-05,4.063035e-05,4.075360e-05,4.123416e-05,4.153604e-05,4.180750e-05,4.226628e-05,4.235135e-05,4.286668e-05,4.294655e-05,4.335446e-05,4.357909e-05,4.381565e-05,4.416610e-05,4.425120e-05,4.466206e-05,4.470975e-05,4.504913e-05,4.521214e-05,4.541333e-05,4.567535e-05,4.575552e-05,4.607658e-05,4.610138e-05,4.637735e-05,4.649216e-05,4.665864e-05,4.684955e-05,4.692125e-05,4.716595e-05,4.717537e-05,4.739349e-05,4.747135e-05,4.760461e-05,4.773915e-05,4.780001e-05,4.798038e-05,4.814637e-05,4.819655e-05,4.829862e-05,4.838914e-05,4.843776e-05,4.855955e-05,4.856438e-05,4.867906e-05,4.870911e-05,4.878236e-05,4.883909e-05,4.887481e-05,4.895072e-05,4.895693e-05,4.902922e-05,4.904516e-05,4.909216e-05,4.912350e-05,4.914622e-05,4.918680e-05,4.919184e-05,4.922945e-05,4.923604e-05,4.925945e-05,4.927219e-05,4.928226e-05,4.929613e-05,4.929825e-05,4.930778e-05,4.930873e-05,4.931120e-05,4.931078e-05,4.930886e-05,4.930306e-05,4.930108e-05,4.928816e-05,4.928628e-05,4.927041e-05,4.926115e-05,4.924811e-05,4.922829e-05,4.922154e-05,4.919095e-05,4.918834e-05,4.915660e-05,4.914186e-05,4.911873e-05,4.908941e-05,4.907756e-05,4.903332e-05,4.903149e-05,4.898622e-05,4.896860e-05,4.893646e-05,4.890120e-05,4.888423e-05,4.882971e-05,4.875453e-05,4.867606e-05,4.859465e-05,4.851063e-05,4.842431e-05,4.833600e-05,4.824598e-05,4.815449e-05,4.806178e-05,4.796808e-05,4.787359e-05,4.777851e-05,4.768303e-05,4.758731e-05,4.749152e-05,4.739578e-05,4.730025e-05,4.720504e-05,4.711027e-05,4.701605e-05,4.692246e-05,4.682961e-05,4.673756e-05,4.664640e-05
0.000000e+00,2.633899e-10,6.452077e-10,2.392772e-09,5.648711e-09,8.357752e-09,1.944165e-08,2.004215e-08,3.931241e-08,4.632717e-08,6.809401e-08,9.077115e-08,1.084235e-07,1.575328e-07,1.624006e-07,2.319043e-07,2.510433e-07,3.180538e-07,3.736080e-07,4.208402e-07,5.243568e-07,5.393721e-07,6.724242e-07,7.006681e-07,8.187749e-07,8.997514e-07,9.772829e-07,1.119026e-06,1.146857e-06,1.326410e-06,1.355991e-06,1.514832e-06,1.608092e-06,1.710983e-06,1.872684e-06,1.913695e-06,2.121789e-06,2.147066e-06,2.334091e-06,2.428540e-06,2.549452e-06,2.714490e-06,2.766766e-06,2.984986e-06,3.002453e-06,3.203135e-06,3.290170e-06,3.420315e-06,3.575630e-06,3.635719e-06,3.848608e-06,3.857062e-06,4.058347e-06,4.132972e-06,4.264379e-06,4.402120e-06,4.466233e-06,4.663514e-06,4.855895e-06,4.916378e-06,5.043116e-06,5.160134e-06,5.224974e-06,5.394372e-06,5.401319e-06,5.572044e-06,5.618831e-06,5.737085e-06,5.833367e-06,5.896412e-06,6.037944e-06,6.050023e-06,6.197944e-06,6.232603e-06,6.340222e-06,6.417456e-06,6.476920e-06,6.592663e-06,6.608119e-06,6.733911e-06,6.758429e-06,6.854397e-06,6.914989e-06,6.969687e-06,7.062601e-06,7.079898e-06,7.185150e-06,7.201539e-06,7.285568e-06,7.332088e-06,7.381278e-06,7.454543e-06,7.472409e-06,7.559089e-06,7.569198e-06,7.641448e-06,7.676349e-06,7.719612e-06,7.776291e-06,7.793711e-06,7.863869e-06,7.869315e-06,7.930212e-06,7.955708e-06,7.992862e-06,8.035751e-06,8.051939e-06,8.107562e-06,8.109717e-06,8.159846e-06,8.177873e-06,8.208905e-06,8.240479e-06,8.254849e-06,8.297786e-06,8.337823e-06,8.350039e-06,8.375061e-06,8.397472e-06,8.409602e-06,8.440313e-06,8.441541e-06,8.470975e-06,8.478780e-06,8.497995e-06,8.513086e-06,8.522691e-06,8.543433e-06,8.545149e-06,8.565455e-06,8.570017e-06,8.583689e-06,8.593025e-06,8.599932e-06,8.612639e-06,8.614260e-06,8.626748e-06,8.629031e-06,8.637468e-06,8.642368e-06,8.646491e-06,8.652808e-06,8.653884e-06,8.659712e-06,8.660504e-06,8.664040e-06,8.665602e-06,8.666928e-06,8.668242e-06,8.668436e-06,8.668623e-06,8.668559e-06,8.667542e-06,8.666679e-06,8.665248e-06,8.662726e-06,8.661794e-06,8.657228e-06,8.656816e-06,8.651600e-06,8.649062e-06,8.644956e-06,8.639569e-06,8.637342e-06,8.628802e-06,8.628441e-06,8.619377e-06,8.615775e-06,8.609108e-06,8.601663e-06,8.598034e-06,8.586194e-06,8.569453e-06,8.551520e-06,8.532473e-06,8.512384e-06,8.491324e-06,8.469358e-06,8.446551e-06,8.422962e-06,8.398649e-06,8.373667e-06,8.348067e-06,8.321899e-06,8.295210e-06,8.268044e-06,8.240444e-06,8.212450e-06,8.184100e-06,8.155431e-06,8.126477e-06,8.097271e-06,8.067843e-06,8.038224e-06,8.008440e-06,7.978519e-06
0.000000e+00,4.265376e-09,1.256971e-08,6.231464e-08,1.791507e-07,2.901521e-07,8.199140e-07,8.511739e-07,1.949550e-06,2.386268e-06,3.836447e-06,5.472233e-06,6.817672e-06,1.081874e-05,1.123216e-05,1.736460e-05,1.911012e-05,2.534290e-05,3.060793e-05,3.512945e-05,4.513013e-05,4.658778e-05,5.954438e-05,6.229971e-05,7.382077e-05,8.170858e-05,8.924476e-05,1.029674e-04,1.056521e-04,1.228848e-04,1.257084e-04,1.407899e-04,1.495793e-04,1.592182e-04,1.742399e-04,1.780247e-04,1.970696e-04,1.993646e-04,2.162199e-04,2.246469e-04,2.353506e-04,2.498055e-04,2.543464e-04,2.731029e-04,2.745902e-04,2.915269e-04,2.987850e-04,3.095376e-04,3.222101e-04,3.270658e-04,3.440540e-04,3.447216e-04,3.604557e-04,3.662096e-04,3.762350e-04,3.865954e-04,3.913651e-04,4.058277e-04,4.196121e-04,4.238790e-04,4.327140e-04,4.407415e-04,4.451348e-04,4.564234e-04,4.568804e-04,4.679606e-04,4.709456e-04,4.783886e-04,4.843388e-04,4.881801e-04,4.966411e-04,4.973526e-04,5.059253e-04,5.078958e-04,5.139185e-04,5.181493e-04,5.213531e-04,5.274506e-04,5.282507e-04,5.346328e-04,5.358493e-04,5.405212e-04,5.433952e-04,5.459373e-04,5.501375e-04,5.509025e-04,5.554376e-04,5.561247e-04,5.595630e-04,5.614034e-04,5.632984e-04,5.660190e-04,5.666632e-04,5.696760e-04,5.700147e-04,5.723548e-04,5.734322e-04,5.747170e-04,5.763108e-04,5.767792e-04,5.785576e-04,5.786881e-04,5.800676e-04,5.805997e-04,5.813239e-04,5.820793e-04,5.823406e-04,5.831314e-04,5.831586e-04,5.837092e-04,5.838675e-04,5.840863e-04,5.842342e-04,5.842746e-04,5.842853e-04,5.841291e-04,5.840456e-04,5.838163e-04,5.835384e-04,5.833566e-04,5.827858e-04,5.827594e-04,5.820334e-04,5.818082e-04,5.811871e-04,5.806249e-04,5.802284e-04,5.792537e-04,5.791649e-04,5.780039e-04,5.777116e-04,5.767522e-04,5.760141e-04,5.754163e-04,5.741760e-04,5.740024e-04,5.725163e-04,5.722109e-04,5.709636e-04,5.701316e-04,5.693495e-04,5.679499e-04,5.676790e-04,5.659569e-04,5.656769e-04,5.641877e-04,5.633229e-04,5.623755e-04,5.608975e-04,5.605244e-04,5.586381e-04,5.584095e-04,5.567203e-04,5.558673e-04,5.547743e-04,5.532784e-04,5.528033e-04,5.508104e-04,5.506501e-04,5.487983e-04,5.479888e-04,5.467699e-04,5.453006e-04,5.447275e-04,5.426737e-04,5.425913e-04,5.406106e-04,5.398660e-04,5.385403e-04,5.371295e-04,5.364650e-04,5.343863e-04,5.316404e-04,5.288957e-04,5.261555e-04,5.234230e-04,5.207012e-04,5.179927e-04,5.152999e-04,5.126250e-04,5.099700e-04,5.073368e-04,5.047269e-04,5.021419e-04,4.995830e-04,4.970515e-04,4.945484e-04,4.920746e-04,4.896310e-04,4.872182e-04,4.848370e-04,4.824877e-04,4.801709e-04,4.778869e-04,4.756360e-04,4.734184e-04
0.000000e+00,2.369337e-11,5.422586e-11,1.842693e-10,4.126544e-10,5.963313e-10,1.318664e-09,1.356911e-09,2.555582e-09,2.981798e-09,4.281340e-09,5.607222e-09,6.623933e-09,9.396824e-09,9.667878e-09,1.347817e-08,1.451050e-08,1.807794e-08,2.098517e-08,2.342154e-08,2.863480e-08,2.937483e-08,3.572215e-08,3.701656e-08,4.221010e-08,4.556018e-08,4.860661e-08,5.378126e-08,5.473980e-08,6.050397e-08,6.138788e-08,6.584636e-08,6.825490e-08,7.074980e-08,7.435905e-08,7.521878e-08,7.927019e-08,7.972937e-08,8.292761e-08,8.441895e-08,8.621803e-08,8.849066e-08,8.916969e-08,9.181094e-08,9.200967e-08,9.416944e-08,9.503964e-08,9.627159e-08,9.764043e-08,9.814224e-08,9.980450e-08,9.986696e-08,1.012796e-07,1.017686e-07,1.025870e-07,1.033892e-07,1.037441e-07,1.047668e-07,1.056691e-07,1.059346e-07,1.064638e-07,1.069210e-07,1.071619e-07,1.077504e-07,1.077733e-07,1.083069e-07,1.084434e-07,1.087703e-07,1.090175e-07,1.091704e-07,1.094877e-07,1.095131e-07,1.098039e-07,1.098665e-07,1.100475e-07,1.101648e-07,1.102479e-07,1.103916e-07,1.104090e-07,1.105340e-07,1.105549e-07,1.106259e-07,1.106615e-07,1.106873e-07,1.107170e-07,1.107206e-07,1.107279e-07,1.107267e-07,1.107111e-07,1.106950e-07,1.106720e-07,1.106258e-07,1.106122e-07,1.105332e-07,1.105224e-07,1.104362e-07,1.103881e-07,1.103224e-07,1.102255e-07,1.101931e-07,1.100491e-07,1.100370e-07,1.098916e-07,1.098250e-07,1.097213e-07,1.095913e-07,1.095391e-07,1.093458e-07,1.093378e-07,1.091420e-07,1.090662e-07,1.089285e-07,1.087781e-07,1.087059e-07,1.084747e-07,1.082355e-07,1.081574e-07,1.079889e-07,1.078274e-07,1.077354e-07,1.074858e-07,1.074753e-07,1.072092e-07,1.071336e-07,1.069374e-07,1.067718e-07,1.066603e-07,1.064012e-07,1.063784e-07,1.060920e-07,1.060226e-07,1.058013e-07,1.056369e-07,1.055068e-07,1.052447e-07,1.052087e-07,1.049073e-07,1.048467e-07,1.046029e-07,1.044435e-07,1.042957e-07,1.040357e-07,1.039860e-07,1.036740e-07,1.036239e-07,1.033600e-07,1.032086e-07,1.030441e-07,1.027902e-07,1.027266e-07,1.024076e-07,1.023692e-07,1.020873e-07,1.019460e-07,1.017659e-07,1.015210e-07,1.014436e-07,1.011205e-07,1.010946e-07,1.007968e-07,1.006672e-07,1.004726e-07,1.002390e-07,1.001481e-07,9.982330e-08,9.981031e-08,9.949845e-08,9.938150e-08,9.917362e-08,9.895281e-08,9.884893e-08,9.852449e-08,9.809677e-08,9.766987e-08,9.724401e-08,9.681937e-08,9.639614e-08,9.597448e-08,9.555457e-08,9.513653e-08,9.472052e-08,9.430665e-08,9.389506e-08,9.348585e-08,9.307912e-08,9.267497e-08,9.227350e-08,9.187477e-08,9.147887e-08,9.108587e-08,9.069583e-08,9.030881e-08,8.992487e-08,8.954404e-08,8.916638e-08,8.879193e-08
0.000000e+00,4.998852e-10,1.398454e-09,6.276276e-09,1.662131e-08,2.580946e-08,6.593510e-08,6.818281e-08,1.425565e-07,1.703933e-07,2.583495e-07,3.515563e-07,4.246154e-07,6.274676e-07,6.474256e-07,9.276582e-07,1.003178e-06,1.262428e-06,1.472189e-06,1.647594e-06,2.024767e-06,2.078794e-06,2.551462e-06,2.650545e-06,3.060660e-06,3.338112e-06,3.601015e-06,4.074803e-06,4.166792e-06,4.752051e-06,4.847101e-06,5.350838e-06,5.641354e-06,5.957378e-06,6.444529e-06,6.566242e-06,7.172471e-06,7.244826e-06,7.771665e-06,8.032081e-06,8.360026e-06,8.797951e-06,8.934366e-06,9.492100e-06,9.535936e-06,1.003120e-05,1.024126e-05,1.055014e-05,1.091069e-05,1.104787e-05,1.152370e-05,1.154227e-05,1.197730e-05,1.213514e-05,1.240861e-05,1.268924e-05,1.281779e-05,1.320517e-05,1.357126e-05,1.368400e-05,1.391664e-05,1.412712e-05,1.424198e-05,1.453613e-05,1.454801e-05,1.483548e-05,1.491276e-05,1.510519e-05,1.525881e-05,1.535792e-05,1.557611e-05,1.559445e-05,1.581557e-05,1.586642e-05,1.602202e-05,1.613151e-05,1.621455e-05,1.637303e-05,1.639388e-05,1.656068e-05,1.659260e-05,1.671563e-05,1.679173e-05,1.685935e-05,1.697185e-05,1.699246e-05,1.711552e-05,1.713432e-05,1.722909e-05,1.728039e-05,1.733370e-05,1.741127e-05,1.742984e-05,1.751798e-05,1.752804e-05,1.759857e-05,1.763175e-05,1.767204e-05,1.772336e-05,1.773879e-05,1.779919e-05,1.780376e-05,1.785362e-05,1.787379e-05,1.790241e-05,1.793423e-05,1.794588e-05,1.798435e-05,1.798578e-05,1.801809e-05,1.802914e-05,1.804739e-05,1.806490e-05,1.807250e-05,1.809367e-05,1.811112e-05,1.811596e-05,1.812509e-05,1.813229e-05,1.813576e-05,1.814311e-05,1.814335e-05,1.814803e-05,1.814885e-05,1.814998e-05,1.814991e-05,1.814937e-05,1.814668e-05,1.814635e-05,1.814107e-05,1.813948e-05,1.813366e-05,1.812864e-05,1.812427e-05,1.811446e-05,1.811302e-05,1.810002e-05,1.809722e-05,1.808539e-05,1.807717e-05,1.806923e-05,1.805455e-05,1.805165e-05,1.803273e-05,1.802959e-05,1.801258e-05,1.800249e-05,1.799127e-05,1.797344e-05,1.796888e-05,1.794550e-05,1.794263e-05,1.792119e-05,1.791021e-05,1.789602e-05,1.787635e-05,1.787005e-05,1.784336e-05,1.784119e-05,1.781599e-05,1.780486e-05,1.778800e-05,1.776749e-05,1.775944e-05,1.773036e-05,1.772919e-05,1.770082e-05,1.769007e-05,1.767084e-05,1.765023e-05,1.764048e-05,1.760977e-05,1.756877e-05,1.752731e-05,1.748546e-05,1.744331e-05,1.740090e-05,1.735831e-05,1.731558e-05,1.727278e-05,1.722994e-05,1.718711e-05,1.714434e-05,1.710166e-05,1.705911e-05,1.701672e-05,1.697452e-05,1.693254e-05,1.689080e-05,1.684933e-05,1.680815e-05,1.676728e-05,1.672674e-05,1.668654e-05,1.664670e-05,1.660724e-05
0.000000e+00,1.274242e-09,3.438838e-09,1.457130e-08,3.729144e-08,5.722551e-08,1.449920e-07,1.499853e-07,3.210413e-07,3.878814e-07,6.066362e-07,8.449585e-07,1.032075e-06,1.539138e-06,1.587732e-06,2.246509e-06,2.417467e-06,2.987991e-06,3.434890e-06,3.800854e-06,4.569823e-06,4.678354e-06,5.615075e-06,5.809041e-06,6.605374e-06,7.139401e-06,7.642803e-06,8.545300e-06,8.719994e-06,9.828801e-06,1.000857e-05,1.096055e-05,1.150931e-05,1.210631e-05,1.302704e-05,1.325722e-05,1.440472e-05,1.454180e-05,1.554080e-05,1.603515e-05,1.665816e-05,1.749082e-05,1.775032e-05,1.881172e-05,1.889516e-05,1.983770e-05,2.023730e-05,2.082451e-05,2.150911e-05,2.176927e-05,2.266991e-05,2.270499e-05,2.352506e-05,2.382163e-05,2.433403e-05,2.485765e-05,2.509666e-05,2.581324e-05,2.648449e-05,2.668987e-05,2.711140e-05,2.748993e-05,2.769524e-05,2.821653e-05,2.823744e-05,2.873958e-05,2.887323e-05,2.920333e-05,2.946388e-05,2.963042e-05,2.999246e-05,3.002259e-05,3.038159e-05,3.046300e-05,3.070915e-05,3.087948e-05,3.100696e-05,3.124574e-05,3.127667e-05,3.151989e-05,3.156548e-05,3.173813e-05,3.184223e-05,3.193286e-05,3.207931e-05,3.210550e-05,3.225736e-05,3.227982e-05,3.238973e-05,3.244669e-05,3.250379e-05,3.258263e-05,3.260069e-05,3.268149e-05,3.269016e-05,3.274721e-05,3.277160e-05,3.279880e-05,3.282912e-05,3.283716e-05,3.286313e-05,3.286470e-05,3.287752e-05,3.288019e-05,3.288105e-05,3.287728e-05,3.287445e-05,3.285837e-05,3.285754e-05,3.283343e-05,3.282239e-05,3.280021e-05,3.277317e-05,3.275926e-05,3.271110e-05,3.265621e-05,3.263730e-05,3.259505e-05,3.255281e-05,3.252803e-05,3.245857e-05,3.245558e-05,3.237805e-05,3.235548e-05,3.229581e-05,3.224434e-05,3.220918e-05,3.212589e-05,3.211850e-05,3.202403e-05,3.200083e-05,3.192608e-05,3.186980e-05,3.182489e-05,3.173336e-05,3.172071e-05,3.161378e-05,3.159208e-05,3.150431e-05,3.144645e-05,3.139250e-05,3.129692e-05,3.127855e-05,3.116264e-05,3.114393e-05,3.104495e-05,3.098787e-05,3.092563e-05,3.082910e-05,3.080483e-05,3.068270e-05,3.066797e-05,3.055938e-05,3.050477e-05,3.043499e-05,3.033981e-05,3.030965e-05,3.018347e-05,3.017334e-05,3.005656e-05,3.000561e-05,2.992902e-05,2.983685e-05,2.980094e-05,2.967242e-05,2.966728e-05,2.954354e-05,2.949707e-05,2.941438e-05,2.932643e-05,2.928501e-05,2.915550e-05,2.898445e-05,2.881343e-05,2.864255e-05,2.847194e-05,2.830172e-05,2.813199e-05,2.796285e-05,2.779437e-05,2.762665e-05,2.745976e-05,2.729377e-05,2.712873e-05,2.696472e-05,2.680177e-05,2.663994e-05,2.647927e-05,2.631980e-05,2.616158e-05,2.600462e-05,2.584896e-05,2.569462e-05,2.554164e-05,2.539002e-05,2.523979e-05
0.000000e+00,4.860695e-11,1.123681e-10,3.920778e-10,9.035160e-10,1.328692e-09,3.093750e-09,3.190862e-09,6.395495e-09,7.603629e-09,1.147572e-08,1.565893e-08,1.897387e-08,2.821185e-08,2.911805e-08,4.172855e-08,4.508952e-08,5.652609e-08,6.569147e-08,7.331509e-08,8.964040e-08,9.197544e-08,1.124199e-07,1.167156e-07,1.345652e-07,1.467228e-07,1.583185e-07,1.794345e-07,1.835706e-07,2.101957e-07,2.145740e-07,2.380535e-07,2.518189e-07,2.669923e-07,2.908149e-07,2.968531e-07,3.274733e-07,3.311911e-07,3.586915e-07,3.725761e-07,3.903499e-07,4.146118e-07,4.222979e-07,4.543939e-07,4.569640e-07,4.865068e-07,4.993294e-07,5.185166e-07,5.414389e-07,5.503157e-07,5.818088e-07,5.830610e-07,6.129128e-07,6.240008e-07,6.435554e-07,6.640969e-07,6.736748e-07,7.032191e-07,7.321452e-07,7.412652e-07,7.604190e-07,7.781590e-07,7.880127e-07,8.138407e-07,8.149026e-07,8.410726e-07,8.482697e-07,8.665117e-07,8.814208e-07,8.912119e-07,9.132804e-07,9.151697e-07,9.383845e-07,9.438456e-07,9.608583e-07,9.731214e-07,9.825952e-07,1.001119e-06,1.003601e-06,1.023883e-06,1.027853e-06,1.043450e-06,1.053346e-06,1.062313e-06,1.077621e-06,1.080482e-06,1.097969e-06,1.100704e-06,1.114786e-06,1.122624e-06,1.130946e-06,1.143410e-06,1.146462e-06,1.161348e-06,1.163093e-06,1.175617e-06,1.181703e-06,1.189283e-06,1.199274e-06,1.202360e-06,1.214862e-06,1.215837e-06,1.226802e-06,1.231424e-06,1.238195e-06,1.246067e-06,1.249055e-06,1.259395e-06,1.259798e-06,1.269229e-06,1.272648e-06,1.278570e-06,1.284648e-06,1.287432e-06,1.295828e-06,1.303771e-06,1.306219e-06,1.311274e-06,1.315850e-06,1.318349e-06,1.324750e-06,1.325008e-06,1.331265e-06,1.332946e-06,1.337130e-06,1.340466e-06,1.342616e-06,1.347337e-06,1.347734e-06,1.352495e-06,1.353586e-06,1.356911e-06,1.359236e-06,1.360991e-06,1.364314e-06,1.364748e-06,1.368191e-06,1.368843e-06,1.371330e-06,1.372846e-06,1.374176e-06,1.376346e-06,1.376737e-06,1.379024e-06,1.379365e-06,1.381045e-06,1.381923e-06,1.382809e-06,1.384042e-06,1.384326e-06,1.385604e-06,1.385742e-06,1.386651e-06,1.387041e-06,1.387475e-06,1.387958e-06,1.388085e-06,1.388487e-06,1.388511e-06,1.388690e-06,1.388717e-06,1.388701e-06,1.388594e-06,1.388527e-06,1.388174e-06,1.388157e-06,1.387650e-06,1.387421e-06,1.386961e-06,1.386402e-06,1.386114e-06,1.385114e-06,1.383571e-06,1.381787e-06,1.379774e-06,1.377545e-06,1.375111e-06,1.372485e-06,1.369676e-06,1.366697e-06,1.363556e-06,1.360264e-06,1.356830e-06,1.353263e-06,1.349571e-06,1.345764e-06,1.341848e-06,1.337831e-06,1.333721e-06,1.329525e-06,1.325249e-06,1.320900e-06,1.316483e-06,1.312005e-06,1.307471e-06,1.302887e-06
0.000000e+00,5.479651e-10,1.580485e-09,7.496355e-09,2.069912e-08,3.278238e-08,8.729847e-08,9.040241e-08,1.944862e-07,2.338401e-07,3.588080e-07,4.919344e-07,5.968455e-07,8.921076e-07,9.215532e-07,1.343745e-06,1.460325e-06,1.868597e-06,2.206423e-06,2.492639e-06,3.114992e-06,3.204573e-06,3.989023e-06,4.153190e-06,4.829928e-06,5.284453e-06,5.712231e-06,6.475368e-06,6.622333e-06,7.548002e-06,7.696800e-06,8.478175e-06,8.923273e-06,9.402818e-06,1.013244e-05,1.031289e-05,1.120037e-05,1.130501e-05,1.205829e-05,1.242485e-05,1.288077e-05,1.347921e-05,1.366309e-05,1.440160e-05,1.445870e-05,1.509375e-05,1.535724e-05,1.573796e-05,1.617170e-05,1.633356e-05,1.688063e-05,1.690151e-05,1.737992e-05,1.754821e-05,1.783273e-05,1.811494e-05,1.824076e-05,1.860609e-05,1.893100e-05,1.902683e-05,1.921789e-05,1.938268e-05,1.946921e-05,1.967934e-05,1.968747e-05,1.987513e-05,1.992252e-05,2.003459e-05,2.011770e-05,2.016817e-05,2.027010e-05,2.027807e-05,2.036638e-05,2.038458e-05,2.043504e-05,2.046558e-05,2.048586e-05,2.051717e-05,2.052053e-05,2.054060e-05,2.054299e-05,2.054751e-05,2.054634e-05,2.054256e-05,2.053013e-05,2.052696e-05,2.050180e-05,2.049695e-05,2.046807e-05,2.044911e-05,2.042669e-05,2.038862e-05,2.037847e-05,2.032417e-05,2.031728e-05,2.026446e-05,2.023664e-05,2.019996e-05,2.014808e-05,2.013123e-05,2.005876e-05,2.005281e-05,1.998302e-05,1.995190e-05,1.990442e-05,1.984627e-05,1.982334e-05,1.974011e-05,1.973674e-05,1.965505e-05,1.962403e-05,1.956843e-05,1.950877e-05,1.948051e-05,1.939152e-05,1.930166e-05,1.927276e-05,1.921113e-05,1.915292e-05,1.912010e-05,1.903237e-05,1.902871e-05,1.893712e-05,1.891146e-05,1.884546e-05,1.879047e-05,1.875383e-05,1.866965e-05,1.866234e-05,1.857110e-05,1.854924e-05,1.848018e-05,1.842943e-05,1.838966e-05,1.831040e-05,1.829962e-05,1.821012e-05,1.819229e-05,1.812122e-05,1.807525e-05,1.803298e-05,1.795938e-05,1.794543e-05,1.785861e-05,1.784480e-05,1.777258e-05,1.773157e-05,1.768736e-05,1.761979e-05,1.760298e-05,1.751947e-05,1.750951e-05,1.743685e-05,1.740078e-05,1.735514e-05,1.729367e-05,1.727437e-05,1.719454e-05,1.718819e-05,1.711566e-05,1.708439e-05,1.703776e-05,1.698228e-05,1.696084e-05,1.688491e-05,1.688189e-05,1.680997e-05,1.678323e-05,1.673602e-05,1.668631e-05,1.666308e-05,1.659114e-05,1.649771e-05,1.640603e-05,1.631608e-05,1.622787e-05,1.614138e-05,1.605661e-05,1.597353e-05,1.589213e-05,1.581239e-05,1.573431e-05,1.565785e-05,1.558300e-05,1.550973e-05,1.543803e-05,1.536787e-05,1.529922e-05,1.523208e-05,1.516640e-05,1.510217e-05,1.503936e-05,1.497795e-05,1.491791e-05,1.485922e-05,1.480185e-05
0.000000e+00,6.275972e-09,1.858936e-08,9.321458e-08,2.711966e-07,4.424752e-07,1.278644e-06,1.328752e-06,3.129255e-06,3.862893e-06,6.354337e-06,9.246257e-06,1.167712e-05,1.913191e-05,1.991931e-05,3.192550e-05,3.544344e-05,4.830040e-05,5.944408e-05,6.915898e-05,9.091667e-05,9.410349e-05,1.224058e-04,1.283948e-04,1.532170e-04,1.699515e-04,1.857062e-04,2.137458e-04,2.191285e-04,2.528464e-04,2.582318e-04,2.863300e-04,3.021887e-04,3.191477e-04,3.446875e-04,3.509538e-04,3.814776e-04,3.850438e-04,4.105124e-04,4.227752e-04,4.379070e-04,4.575648e-04,4.635580e-04,4.874028e-04,4.892313e-04,5.094129e-04,5.177025e-04,5.295891e-04,5.429936e-04,5.479563e-04,5.645587e-04,5.651869e-04,5.794561e-04,5.844152e-04,5.927199e-04,6.008467e-04,6.044300e-04,6.146722e-04,6.235351e-04,6.260947e-04,6.311087e-04,6.353207e-04,6.374827e-04,6.425552e-04,6.427455e-04,6.469829e-04,6.479970e-04,6.502778e-04,6.518353e-04,6.527092e-04,6.542481e-04,6.543523e-04,6.552786e-04,6.554018e-04,6.555554e-04,6.554504e-04,6.552456e-04,6.545336e-04,6.544068e-04,6.530921e-04,6.527764e-04,6.513504e-04,6.502912e-04,6.492271e-04,6.471789e-04,6.467635e-04,6.439971e-04,6.435287e-04,6.409624e-04,6.394198e-04,6.376908e-04,6.349224e-04,6.342111e-04,6.305492e-04,6.300987e-04,6.267288e-04,6.250032e-04,6.227712e-04,6.196838e-04,6.186960e-04,6.145208e-04,6.141829e-04,6.102615e-04,6.085376e-04,6.059328e-04,6.027804e-04,6.015476e-04,5.971177e-04,5.969398e-04,5.926539e-04,5.910405e-04,5.881657e-04,5.851043e-04,5.836618e-04,5.791501e-04,5.746375e-04,5.731943e-04,5.701304e-04,5.672513e-04,5.656344e-04,5.613335e-04,5.611547e-04,5.566958e-04,5.554517e-04,5.522619e-04,5.496149e-04,5.478564e-04,5.438314e-04,5.434827e-04,5.391436e-04,5.381077e-04,5.348417e-04,5.324497e-04,5.305792e-04,5.268624e-04,5.263581e-04,5.221801e-04,5.213498e-04,5.180467e-04,5.159154e-04,5.139592e-04,5.105620e-04,5.099187e-04,5.059263e-04,5.052920e-04,5.019825e-04,5.001071e-04,4.980882e-04,4.950087e-04,4.942439e-04,4.904499e-04,4.899980e-04,4.867066e-04,4.850756e-04,4.830141e-04,4.802419e-04,4.793726e-04,4.757822e-04,4.754972e-04,4.722428e-04,4.708414e-04,4.687544e-04,4.662742e-04,4.653167e-04,4.619297e-04,4.617952e-04,4.585930e-04,4.574040e-04,4.553063e-04,4.530998e-04,4.520694e-04,4.488819e-04,4.447492e-04,4.407010e-04,4.367360e-04,4.328533e-04,4.290515e-04,4.253296e-04,4.216863e-04,4.181203e-04,4.146303e-04,4.112150e-04,4.078731e-04,4.046031e-04,4.014038e-04,3.982739e-04,3.952119e-04,3.922165e-04,3.892864e-04,3.864202e-04,3.836167e-04,3.808745e-04,3.781923e-04,3.755688e-04,3.730028e-04,3.704931e-04
0.000000e+00,3.986766e-12,9.153791e-12,3.158562e-11,7.198857e-11,1.050935e-10,2.386164e-10,2.457985e-10,4.748224e-10,5.577217e-10,8.140259e-10,1.080049e-09,1.286664e-09,1.860176e-09,1.916954e-09,2.726841e-09,2.949671e-09,3.729351e-09,4.375101e-09,4.923613e-09,6.124017e-09,6.297940e-09,7.837041e-09,8.163321e-09,9.526314e-09,1.045968e-08,1.135263e-08,1.298364e-08,1.330370e-08,1.536744e-08,1.570727e-08,1.753153e-08,1.860221e-08,1.978324e-08,2.163890e-08,2.210947e-08,2.449691e-08,2.478688e-08,2.693221e-08,2.801550e-08,2.940222e-08,3.129478e-08,3.189419e-08,3.439600e-08,3.459622e-08,3.689627e-08,3.789356e-08,3.938449e-08,4.116317e-08,4.185114e-08,4.428769e-08,4.438442e-08,4.668663e-08,4.753975e-08,4.904144e-08,5.061466e-08,5.134661e-08,5.359752e-08,5.579040e-08,5.647936e-08,5.792228e-08,5.925359e-08,5.999089e-08,6.191573e-08,6.199462e-08,6.393240e-08,6.446307e-08,6.580366e-08,6.689441e-08,6.760826e-08,6.920981e-08,6.934643e-08,7.101872e-08,7.141035e-08,7.262591e-08,7.349789e-08,7.416904e-08,7.547494e-08,7.564929e-08,7.706801e-08,7.734449e-08,7.842663e-08,7.910987e-08,7.972670e-08,8.077467e-08,8.096980e-08,8.215758e-08,8.234261e-08,8.329171e-08,8.381753e-08,8.437386e-08,8.520328e-08,8.540571e-08,8.638893e-08,8.650373e-08,8.732517e-08,8.772266e-08,8.821607e-08,8.886382e-08,8.906323e-08,8.986823e-08,8.993086e-08,9.063261e-08,9.092733e-08,9.135787e-08,9.185665e-08,9.204547e-08,9.269683e-08,9.272215e-08,9.331333e-08,9.352700e-08,9.389632e-08,9.427426e-08,9.444708e-08,9.496688e-08,9.545692e-08,9.560764e-08,9.591838e-08,9.619924e-08,9.635240e-08,9.674424e-08,9.676006e-08,9.714242e-08,9.724508e-08,9.750049e-08,9.770409e-08,9.783527e-08,9.812350e-08,9.814769e-08,9.843866e-08,9.850540e-08,9.870906e-08,9.885181e-08,9.895973e-08,9.916465e-08,9.919149e-08,9.940511e-08,9.944573e-08,9.960135e-08,9.969677e-08,9.978094e-08,9.991943e-08,9.994457e-08,1.000929e-07,1.001153e-07,1.002266e-07,1.002857e-07,1.003463e-07,1.004323e-07,1.004525e-07,1.005459e-07,1.005562e-07,1.006269e-07,1.006588e-07,1.006962e-07,1.007413e-07,1.007543e-07,1.008015e-07,1.008048e-07,1.008384e-07,1.008504e-07,1.008655e-07,1.008792e-07,1.008832e-07,1.008918e-07,1.008920e-07,1.008919e-07,1.008899e-07,1.008837e-07,1.008737e-07,1.008677e-07,1.008442e-07,1.008023e-07,1.007487e-07,1.006841e-07,1.006092e-07,1.005246e-07,1.004309e-07,1.003288e-07,1.002188e-07,1.001013e-07,9.997693e-08,9.984610e-08,9.970927e-08,9.956686e-08,9.941926e-08,9.926687e-08,9.911003e-08,9.894909e-08,9.878438e-08,9.861620e-08,9.844484e-08,9.827058e-08,9.809368e-08,9.791439e-08,9.773294e-08
0.000000e+00,4.738407e-11,1.087027e-10,3.754416e-10,8.583710e-10,1.256386e-09,2.881557e-09,2.969836e-09,5.827357e-09,6.880492e-09,1.018986e-08,1.369013e-08,1.643622e-08,2.406998e-08,2.482079e-08,3.532968e-08,3.814739e-08,4.776873e-08,5.549913e-08,6.193173e-08,7.568838e-08,7.765232e-08,9.479010e-08,9.837604e-08,1.132123e-07,1.232549e-07,1.327842e-07,1.500116e-07,1.533669e-07,1.748181e-07,1.783214e-07,1.969955e-07,2.078574e-07,2.197596e-07,2.383036e-07,2.429773e-07,2.665239e-07,2.693661e-07,2.902847e-07,3.007802e-07,3.141561e-07,3.323150e-07,3.380456e-07,3.618720e-07,3.637732e-07,3.855645e-07,3.949901e-07,4.090623e-07,4.258306e-07,4.323133e-07,4.552735e-07,4.561853e-07,4.779061e-07,4.859676e-07,5.001804e-07,5.151092e-07,5.220711e-07,5.435576e-07,5.646234e-07,5.712733e-07,5.852552e-07,5.982270e-07,6.054429e-07,6.243981e-07,6.251788e-07,6.444574e-07,6.497729e-07,6.632750e-07,6.743434e-07,6.816296e-07,6.981062e-07,6.995204e-07,7.169480e-07,7.210618e-07,7.339137e-07,7.432136e-07,7.504199e-07,7.645678e-07,7.664698e-07,7.820670e-07,7.851325e-07,7.972160e-07,8.049178e-07,8.119215e-07,8.239352e-07,8.261887e-07,8.400233e-07,8.421971e-07,8.534313e-07,8.597173e-07,8.664187e-07,8.765102e-07,8.789921e-07,8.911581e-07,8.925909e-07,9.029234e-07,9.079751e-07,9.142951e-07,9.226787e-07,9.252802e-07,9.358859e-07,9.367181e-07,9.461192e-07,9.501100e-07,9.559877e-07,9.628710e-07,9.654984e-07,9.746588e-07,9.750180e-07,9.834762e-07,9.865679e-07,9.919579e-07,9.975374e-07,1.000111e-06,1.007943e-06,1.015462e-06,1.017803e-06,1.022673e-06,1.027131e-06,1.029586e-06,1.035946e-06,1.036205e-06,1.042540e-06,1.044263e-06,1.048596e-06,1.052098e-06,1.054380e-06,1.059467e-06,1.059899e-06,1.065161e-06,1.066386e-06,1.070171e-06,1.072869e-06,1.074936e-06,1.078931e-06,1.079462e-06,1.083757e-06,1.084588e-06,1.087825e-06,1.089853e-06,1.091674e-06,1.094741e-06,1.095308e-06,1.098735e-06,1.099265e-06,1.101961e-06,1.103439e-06,1.104989e-06,1.107275e-06,1.107828e-06,1.110481e-06,1.110787e-06,1.112954e-06,1.113987e-06,1.115253e-06,1.116887e-06,1.117383e-06,1.119349e-06,1.119500e-06,1.121156e-06,1.121835e-06,1.122809e-06,1.123906e-06,1.124312e-06,1.125671e-06,1.125722e-06,1.126890e-06,1.127295e-06,1.127973e-06,1.128634e-06,1.128925e-06,1.129750e-06,1.130652e-06,1.131350e-06,1.131852e-06,1.132168e-06,1.132307e-06,1.132276e-06,1.132083e-06,1.131737e-06,1.131244e-06,1.130612e-06,1.129849e-06,1.128960e-06,1.127953e-06,1.126833e-06,1.125607e-06,1.124281e-06,1.122861e-06,1.121351e-06,1.119757e-06,1.118084e-06,1.116337e-06,1.114521e-06,1.112641e-06,1.110699e-06
0.000000e+00,7.468002e-12,1.723927e-11,5.973222e-11,1.362049e-10,1.987691e-10,4.503922e-10,4.638995e-10,8.935190e-10,1.048587e-09,1.526821e-09,2.021395e-09,2.404176e-09,3.458806e-09,3.562457e-09,5.022987e-09,5.418710e-09,6.784082e-09,7.895894e-09,8.830018e-09,1.085174e-08,1.114281e-08,1.370586e-08,1.424710e-08,1.650314e-08,1.804474e-08,1.951774e-08,2.220436e-08,2.273101e-08,2.612230e-08,2.667994e-08,2.966906e-08,3.141971e-08,3.334724e-08,3.636759e-08,3.713179e-08,4.099728e-08,4.146537e-08,4.491843e-08,4.665500e-08,4.887067e-08,5.188074e-08,5.283064e-08,5.677649e-08,5.709094e-08,6.068825e-08,6.223931e-08,6.454795e-08,6.728575e-08,6.833980e-08,7.205014e-08,7.219669e-08,7.566746e-08,7.694505e-08,7.918231e-08,8.150996e-08,8.258715e-08,8.587622e-08,8.904538e-08,9.003371e-08,9.209192e-08,9.397664e-08,9.501439e-08,9.770290e-08,9.781244e-08,1.004867e-07,1.012134e-07,1.030384e-07,1.045115e-07,1.054697e-07,1.076023e-07,1.077831e-07,1.099815e-07,1.104924e-07,1.120683e-07,1.131894e-07,1.140469e-07,1.157016e-07,1.159211e-07,1.176945e-07,1.180375e-07,1.193712e-07,1.202061e-07,1.209549e-07,1.222161e-07,1.224494e-07,1.238587e-07,1.240765e-07,1.251863e-07,1.257957e-07,1.264360e-07,1.273820e-07,1.276112e-07,1.287154e-07,1.288433e-07,1.297519e-07,1.301874e-07,1.307239e-07,1.314213e-07,1.316344e-07,1.324864e-07,1.325521e-07,1.332826e-07,1.335861e-07,1.340258e-07,1.345295e-07,1.347185e-07,1.353633e-07,1.353881e-07,1.359623e-07,1.361672e-07,1.365179e-07,1.368719e-07,1.370321e-07,1.375070e-07,1.379445e-07,1.380769e-07,1.383465e-07,1.385858e-07,1.387146e-07,1.390377e-07,1.390505e-07,1.393558e-07,1.394360e-07,1.396320e-07,1.397843e-07,1.398805e-07,1.400858e-07,1.401026e-07,1.402997e-07,1.403434e-07,1.404729e-07,1.405599e-07,1.406234e-07,1.407380e-07,1.407523e-07,1.408607e-07,1.408800e-07,1.409496e-07,1.409884e-07,1.410198e-07,1.410651e-07,1.410724e-07,1.411081e-07,1.411123e-07,1.411279e-07,1.411319e-07,1.411324e-07,1.411255e-07,1.411224e-07,1.410986e-07,1.410948e-07,1.410617e-07,1.410415e-07,1.410123e-07,1.409669e-07,1.409511e-07,1.408787e-07,1.408724e-07,1.407955e-07,1.407593e-07,1.407021e-07,1.406288e-07,1.405990e-07,1.404868e-07,1.404821e-07,1.403658e-07,1.403202e-07,1.402365e-07,1.401440e-07,1.400993e-07,1.399547e-07,1.397530e-07,1.395398e-07,1.393158e-07,1.390819e-07,1.388387e-07,1.385869e-07,1.383271e-07,1.380599e-07,1.377859e-07,1.375055e-07,1.372194e-07,1.369278e-07,1.366314e-07,1.363305e-07,1.360255e-07,1.357168e-07,1.354047e-07,1.350896e-07,1.347719e-07,1.344517e-07,1.341294e-07,1.338053e-07,1.334796e-07,1.331525e-07
0.000000e+00,1.164666e-09,3.217717e-09,1.413337e-08,3.685676e-08,5.682761e-08,1.430620e-07,1.478645e-07,3.059593e-07,3.648878e-07,5.508005e-07,7.480038e-07,9.031468e-07,1.338064e-06,1.381223e-06,1.993890e-06,2.160933e-06,2.739687e-06,3.213393e-06,3.612984e-06,4.482716e-06,4.608481e-06,5.721932e-06,5.958434e-06,6.949407e-06,7.631342e-06,8.286548e-06,9.490674e-06,9.728086e-06,1.126762e-05,1.152256e-05,1.289760e-05,1.370960e-05,1.460934e-05,1.603114e-05,1.639318e-05,1.823867e-05,1.846375e-05,2.013472e-05,2.098206e-05,2.206988e-05,2.355960e-05,2.403251e-05,2.601107e-05,2.616971e-05,2.799424e-05,2.878633e-05,2.997110e-05,3.138472e-05,3.193135e-05,3.386535e-05,3.394204e-05,3.576427e-05,3.643773e-05,3.762013e-05,3.885386e-05,3.942584e-05,4.117523e-05,4.286306e-05,4.338942e-05,4.448494e-05,4.548668e-05,4.603736e-05,4.745981e-05,4.751761e-05,4.892372e-05,4.930395e-05,5.025441e-05,5.101633e-05,5.150904e-05,5.259602e-05,5.268750e-05,5.379021e-05,5.404367e-05,5.481799e-05,5.536125e-05,5.577204e-05,5.655183e-05,5.665389e-05,5.746533e-05,5.761934e-05,5.820835e-05,5.856840e-05,5.888513e-05,5.940412e-05,5.949797e-05,6.004929e-05,6.013195e-05,6.054155e-05,6.075760e-05,6.097727e-05,6.128685e-05,6.135900e-05,6.168925e-05,6.172554e-05,6.197055e-05,6.207946e-05,6.220539e-05,6.235429e-05,6.239619e-05,6.254535e-05,6.255555e-05,6.265519e-05,6.268862e-05,6.272797e-05,6.275865e-05,6.276586e-05,6.277100e-05,6.277055e-05,6.274539e-05,6.272903e-05,6.269100e-05,6.263853e-05,6.260970e-05,6.250328e-05,6.237345e-05,6.232723e-05,6.222186e-05,6.211414e-05,6.205006e-05,6.186751e-05,6.185955e-05,6.165173e-05,6.159062e-05,6.142794e-05,6.128654e-05,6.118946e-05,6.095813e-05,6.093750e-05,6.067320e-05,6.060805e-05,6.039764e-05,6.023879e-05,6.011184e-05,5.985264e-05,5.981677e-05,5.951334e-05,5.945173e-05,5.920241e-05,5.903804e-05,5.888479e-05,5.861338e-05,5.856125e-05,5.823249e-05,5.817945e-05,5.789919e-05,5.773779e-05,5.756199e-05,5.728982e-05,5.722148e-05,5.687822e-05,5.683687e-05,5.653273e-05,5.638013e-05,5.618549e-05,5.592070e-05,5.583696e-05,5.548757e-05,5.545959e-05,5.513772e-05,5.499773e-05,5.478777e-05,5.453594e-05,5.443807e-05,5.408894e-05,5.407499e-05,5.374067e-05,5.361557e-05,5.339355e-05,5.315830e-05,5.304783e-05,5.270375e-05,5.225242e-05,5.180478e-05,5.136122e-05,5.092210e-05,5.048775e-05,5.005844e-05,4.963442e-05,4.921591e-05,4.880309e-05,4.839611e-05,4.799510e-05,4.760017e-05,4.721141e-05,4.682888e-05,4.645264e-05,4.608271e-05,4.571911e-05,4.536184e-05,4.501091e-05,4.466628e-05,4.432794e-05,4.399584e-05,4.366994e-05,4.335018e-05
0.000000e+00,5.229233e-10,1.304548e-09,4.933088e-09,1.173444e-08,1.739832e-08,4.053850e-08,4.179019e-08,8.185355e-08,9.639258e-08,1.413789e-07,1.880689e-07,2.243084e-07,3.247797e-07,3.347203e-07,4.766401e-07,5.158027e-07,6.536285e-07,7.690378e-07,8.681198e-07,1.088323e-06,1.120575e-06,1.408724e-06,1.470228e-06,1.727403e-06,1.902812e-06,2.069338e-06,2.368703e-06,2.426573e-06,2.791763e-06,2.850506e-06,3.158845e-06,3.334292e-06,3.523129e-06,3.810145e-06,3.881097e-06,4.230137e-06,4.271323e-06,4.568314e-06,4.713291e-06,4.894213e-06,5.133040e-06,5.206807e-06,5.505387e-06,5.528653e-06,5.789496e-06,5.899026e-06,6.058885e-06,6.243682e-06,6.313477e-06,6.553337e-06,6.562627e-06,6.778646e-06,6.856245e-06,6.989679e-06,7.125203e-06,7.186786e-06,7.370375e-06,7.540895e-06,7.592779e-06,7.698827e-06,7.793530e-06,7.844676e-06,7.973799e-06,7.978955e-06,8.102185e-06,8.134780e-06,8.214886e-06,8.277667e-06,8.317573e-06,8.403638e-06,8.410754e-06,8.494925e-06,8.513839e-06,8.570567e-06,8.609377e-06,8.638150e-06,8.691314e-06,8.698124e-06,8.750924e-06,8.760661e-06,8.796970e-06,8.818378e-06,8.836662e-06,8.865374e-06,8.870383e-06,8.898501e-06,8.902503e-06,8.921364e-06,8.930571e-06,8.939307e-06,8.950332e-06,8.952646e-06,8.961683e-06,8.962492e-06,8.966704e-06,8.967712e-06,8.967982e-06,8.966608e-06,8.965773e-06,8.960323e-06,8.959754e-06,8.951863e-06,8.947686e-06,8.940612e-06,8.930900e-06,8.926778e-06,8.910555e-06,8.909859e-06,8.892129e-06,8.884991e-06,8.871675e-06,8.856693e-06,8.849358e-06,8.825333e-06,8.799747e-06,8.791253e-06,8.772738e-06,8.754765e-06,8.744435e-06,8.716162e-06,8.714963e-06,8.684434e-06,8.675712e-06,8.652958e-06,8.633660e-06,8.620637e-06,8.590236e-06,8.587565e-06,8.553832e-06,8.545647e-06,8.519522e-06,8.500086e-06,8.484714e-06,8.453730e-06,8.449482e-06,8.413894e-06,8.406739e-06,8.378015e-06,8.359263e-06,8.341904e-06,8.311434e-06,8.305619e-06,8.269212e-06,8.263378e-06,8.232731e-06,8.215207e-06,8.196221e-06,8.167022e-06,8.159726e-06,8.123284e-06,8.118916e-06,8.086931e-06,8.070973e-06,8.050702e-06,8.023269e-06,8.014626e-06,7.978734e-06,7.975871e-06,7.943050e-06,7.928841e-06,7.907600e-06,7.882234e-06,7.872407e-06,7.837490e-06,7.836099e-06,7.802868e-06,7.790479e-06,7.768558e-06,7.745414e-06,7.734576e-06,7.700936e-06,7.657075e-06,7.613857e-06,7.571305e-06,7.529435e-06,7.488265e-06,7.447807e-06,7.408072e-06,7.369066e-06,7.330797e-06,7.293268e-06,7.256481e-06,7.220436e-06,7.185133e-06,7.150570e-06,7.116742e-06,7.083646e-06,7.051276e-06,7.019624e-06,6.988686e-06,6.958451e-06,6.928913e-06,6.900061e-06,6.871888e-06,6.844381e-06
0.000000e+00,5.512838e-11,1.319289e-10,4.746216e-10,1.099674e-09,1.613026e-09,3.677528e-09,3.788146e-09,7.289642e-09,8.544909e-09,1.238787e-08,1.632118e-08,1.934154e-08,2.759389e-08,2.840204e-08,3.980973e-08,4.292119e-08,5.377278e-08,6.276126e-08,7.041957e-08,8.728393e-08,8.973908e-08,1.115614e-07,1.162026e-07,1.356081e-07,1.488881e-07,1.615686e-07,1.846370e-07,1.891468e-07,2.180725e-07,2.228088e-07,2.480976e-07,2.628312e-07,2.789887e-07,3.041742e-07,3.105216e-07,3.424793e-07,3.463327e-07,3.746515e-07,3.888230e-07,4.068366e-07,4.311872e-07,4.388425e-07,4.704897e-07,4.730009e-07,5.016128e-07,5.138811e-07,5.320619e-07,5.534928e-07,5.617044e-07,5.904251e-07,5.915533e-07,6.181263e-07,6.278333e-07,6.447281e-07,6.621562e-07,6.701670e-07,6.943957e-07,7.173817e-07,7.244712e-07,7.391057e-07,7.523431e-07,7.595607e-07,7.780070e-07,7.787504e-07,7.966877e-07,8.014883e-07,8.133934e-07,8.228370e-07,8.288952e-07,8.421218e-07,8.432261e-07,8.564234e-07,8.594266e-07,8.685281e-07,8.748455e-07,8.795834e-07,8.884799e-07,8.896345e-07,8.987276e-07,9.004354e-07,9.069094e-07,9.108193e-07,9.142266e-07,9.197388e-07,9.207255e-07,9.264518e-07,9.272992e-07,9.314498e-07,9.336030e-07,9.357630e-07,9.387487e-07,9.394334e-07,9.425014e-07,9.428310e-07,9.450062e-07,9.459396e-07,9.469850e-07,9.481591e-07,9.484734e-07,9.495051e-07,9.495689e-07,9.501124e-07,9.502434e-07,9.503258e-07,9.502518e-07,9.501742e-07,9.496849e-07,9.496587e-07,9.488837e-07,9.485236e-07,9.477948e-07,9.469017e-07,9.464410e-07,9.448438e-07,9.430234e-07,9.423968e-07,9.409986e-07,9.396037e-07,9.387872e-07,9.365040e-07,9.364057e-07,9.338697e-07,9.331339e-07,9.311936e-07,9.295264e-07,9.283911e-07,9.257121e-07,9.254748e-07,9.224566e-07,9.217184e-07,9.193475e-07,9.175706e-07,9.161578e-07,9.132917e-07,9.128970e-07,9.095741e-07,9.089028e-07,9.061973e-07,9.044227e-07,9.027744e-07,8.998688e-07,8.993126e-07,8.958185e-07,8.952569e-07,8.922983e-07,8.906010e-07,8.887577e-07,8.859142e-07,8.852021e-07,8.816364e-07,8.812081e-07,8.780651e-07,8.764931e-07,8.744924e-07,8.717787e-07,8.709223e-07,8.673583e-07,8.670735e-07,8.638036e-07,8.623851e-07,8.602615e-07,8.577204e-07,8.567345e-07,8.532254e-07,8.530854e-07,8.497364e-07,8.484857e-07,8.462697e-07,8.439262e-07,8.428274e-07,8.394110e-07,8.349442e-07,8.305288e-07,8.261681e-07,8.218643e-07,8.176197e-07,8.134362e-07,8.093153e-07,8.052583e-07,8.012663e-07,7.973401e-07,7.934804e-07,7.896876e-07,7.859621e-07,7.823040e-07,7.787133e-07,7.751899e-07,7.717336e-07,7.683441e-07,7.650210e-07,7.617639e-07,7.585721e-07,7.554451e-07,7.523823e-07,7.493828e-07
0.000000e+00,5.931925e-12,1.359425e-11,4.693744e-11,1.074285e-10,1.574094e-10,3.625621e-10,3.737508e-10,7.380235e-10,8.731919e-10,1.300827e-09,1.758034e-09,2.120754e-09,3.151443e-09,3.254730e-09,4.733967e-09,5.139496e-09,6.541534e-09,7.677721e-09,8.623897e-09,1.063735e-08,1.092305e-08,1.339283e-08,1.390407e-08,1.599868e-08,1.739824e-08,1.871327e-08,2.106039e-08,2.151323e-08,2.437746e-08,2.484039e-08,2.728653e-08,2.869348e-08,3.022249e-08,3.257953e-08,3.316893e-08,3.611113e-08,3.646327e-08,3.903605e-08,4.031457e-08,4.193239e-08,4.410848e-08,4.479048e-08,4.760223e-08,4.782496e-08,5.036097e-08,5.144838e-08,5.306132e-08,5.496696e-08,5.569899e-08,5.827070e-08,5.837216e-08,6.077401e-08,6.165810e-08,6.320717e-08,6.482105e-08,6.556904e-08,6.785898e-08,7.007676e-08,7.077121e-08,7.222248e-08,7.355811e-08,7.429656e-08,7.622084e-08,7.629960e-08,7.823243e-08,7.876117e-08,8.009601e-08,8.118136e-08,8.189142e-08,8.348400e-08,8.361984e-08,8.528253e-08,8.567195e-08,8.688082e-08,8.774824e-08,8.841607e-08,8.971605e-08,8.988968e-08,9.130308e-08,9.157866e-08,9.265772e-08,9.333939e-08,9.395504e-08,9.500157e-08,9.519651e-08,9.638358e-08,9.656856e-08,9.751770e-08,9.804369e-08,9.860031e-08,9.943027e-08,9.963284e-08,1.006167e-07,1.007316e-07,1.015533e-07,1.019508e-07,1.024440e-07,1.030911e-07,1.032902e-07,1.040933e-07,1.041557e-07,1.048544e-07,1.051474e-07,1.055750e-07,1.060694e-07,1.062562e-07,1.068994e-07,1.069244e-07,1.075058e-07,1.077153e-07,1.080765e-07,1.084447e-07,1.086126e-07,1.091155e-07,1.095861e-07,1.097301e-07,1.100256e-07,1.102910e-07,1.104349e-07,1.108006e-07,1.108153e-07,1.111676e-07,1.112613e-07,1.114928e-07,1.116754e-07,1.117920e-07,1.120449e-07,1.120659e-07,1.123157e-07,1.123721e-07,1.125421e-07,1.126589e-07,1.127459e-07,1.129074e-07,1.129281e-07,1.130895e-07,1.131193e-07,1.132308e-07,1.132966e-07,1.133528e-07,1.134409e-07,1.134563e-07,1.135419e-07,1.135540e-07,1.136105e-07,1.136375e-07,1.136626e-07,1.136929e-07,1.136989e-07,1.137201e-07,1.137217e-07,1.137268e-07,1.137253e-07,1.137196e-07,1.137053e-07,1.136992e-07,1.136659e-07,1.136627e-07,1.136205e-07,1.135990e-07,1.135634e-07,1.135154e-07,1.134952e-07,1.134163e-07,1.134129e-07,1.133272e-07,1.132928e-07,1.132285e-07,1.131560e-07,1.131205e-07,1.130037e-07,1.128368e-07,1.126562e-07,1.124629e-07,1.122576e-07,1.120413e-07,1.118146e-07,1.115783e-07,1.113332e-07,1.110799e-07,1.108191e-07,1.105514e-07,1.102773e-07,1.099975e-07,1.097124e-07,1.094226e-07,1.091285e-07,1.088306e-07,1.085294e-07,1.082253e-07,1.079186e-07,1.076097e-07,1.072990e-07,1.069868e-07,1.066734e-07
0.000000e+00,3.428079e-11,7.956888e-11,2.772644e-10,6.337932e-10,9.256854e-10,2.099905e-09,2.162931e-09,4.166417e-09,4.888916e-09,7.114937e-09,9.414596e-09,1.119436e-08,1.611357e-08,1.659944e-08,2.352749e-08,2.543753e-08,3.215637e-08,3.777818e-08,4.259967e-08,5.328843e-08,5.485010e-08,6.875577e-08,7.171413e-08,8.406312e-08,9.248341e-08,1.004926e-07,1.149735e-07,1.177901e-07,1.357410e-07,1.386614e-07,1.541657e-07,1.631318e-07,1.729098e-07,1.880425e-07,1.918363e-07,2.108214e-07,2.130980e-07,2.297517e-07,2.380366e-07,2.485236e-07,2.626259e-07,2.670427e-07,2.852247e-07,2.866624e-07,3.029948e-07,3.099727e-07,3.202885e-07,3.324138e-07,3.370510e-07,3.532374e-07,3.538723e-07,3.688118e-07,3.742633e-07,3.837471e-07,3.935278e-07,3.980239e-07,4.116302e-07,4.245602e-07,4.285549e-07,4.368139e-07,4.443033e-07,4.483959e-07,4.588908e-07,4.593150e-07,4.695834e-07,4.723439e-07,4.792161e-07,4.846977e-07,4.882304e-07,4.959937e-07,4.966453e-07,5.044812e-07,5.062779e-07,5.117592e-07,5.155995e-07,5.185014e-07,5.240089e-07,5.247300e-07,5.304672e-07,5.315577e-07,5.357355e-07,5.382969e-07,5.405566e-07,5.442767e-07,5.449523e-07,5.489436e-07,5.495461e-07,5.525514e-07,5.541528e-07,5.557957e-07,5.581426e-07,5.586960e-07,5.612710e-07,5.615590e-07,5.635386e-07,5.644435e-07,5.655162e-07,5.668355e-07,5.672204e-07,5.686671e-07,5.687722e-07,5.698715e-07,5.702887e-07,5.708481e-07,5.714179e-07,5.716106e-07,5.721724e-07,5.721908e-07,5.725457e-07,5.726364e-07,5.727427e-07,5.727817e-07,5.727747e-07,5.726523e-07,5.723857e-07,5.722716e-07,5.719847e-07,5.716617e-07,5.714584e-07,5.708433e-07,5.708154e-07,5.700640e-07,5.698353e-07,5.692120e-07,5.686556e-07,5.682667e-07,5.673206e-07,5.672350e-07,5.661236e-07,5.658457e-07,5.649387e-07,5.642452e-07,5.636861e-07,5.625323e-07,5.623714e-07,5.609999e-07,5.607192e-07,5.595764e-07,5.588172e-07,5.581056e-07,5.568368e-07,5.565919e-07,5.550395e-07,5.547878e-07,5.534522e-07,5.526791e-07,5.518338e-07,5.505189e-07,5.501876e-07,5.485170e-07,5.483150e-07,5.468249e-07,5.460744e-07,5.451143e-07,5.438035e-07,5.433878e-07,5.416481e-07,5.415084e-07,5.398974e-07,5.391946e-07,5.381380e-07,5.368670e-07,5.363720e-07,5.346013e-07,5.345304e-07,5.328279e-07,5.321890e-07,5.310533e-07,5.298467e-07,5.292791e-07,5.275070e-07,5.251732e-07,5.228482e-07,5.205347e-07,5.182352e-07,5.159518e-07,5.136866e-07,5.114414e-07,5.092178e-07,5.070171e-07,5.048408e-07,5.026899e-07,5.005655e-07,4.984684e-07,4.963994e-07,4.943592e-07,4.923483e-07,4.903672e-07,4.884163e-07,4.864959e-07,4.846062e-07,4.827475e-07,4.809198e-07,4.791232e-07,4.773577e-07
0.000000e+00,1.229117e-09,3.458166e-09,1.565783e-08,4.167193e-08,6.481235e-08,1.657383e-07,1.713798e-07,3.572105e-07,4.263682e-07,6.437994e-07,8.732187e-07,1.053093e-06,1.557184e-06,1.607367e-06,2.326714e-06,2.525519e-06,3.222905e-06,3.801201e-06,4.291589e-06,5.356747e-06,5.509699e-06,6.841895e-06,7.118657e-06,8.250495e-06,9.001820e-06,9.702074e-06,1.093451e-05,1.116939e-05,1.263085e-05,1.286295e-05,1.406930e-05,1.474742e-05,1.547092e-05,1.655812e-05,1.682455e-05,1.812125e-05,1.827268e-05,1.935409e-05,1.987490e-05,2.051787e-05,2.135396e-05,2.160911e-05,2.262577e-05,2.270385e-05,2.356712e-05,2.392263e-05,2.443357e-05,2.501178e-05,2.522649e-05,2.594799e-05,2.597540e-05,2.660080e-05,2.681959e-05,2.718808e-05,2.755176e-05,2.771329e-05,2.818011e-05,2.859226e-05,2.871322e-05,2.895351e-05,2.915970e-05,2.926755e-05,2.952794e-05,2.953796e-05,2.976820e-05,2.982592e-05,2.996154e-05,3.006113e-05,3.012108e-05,3.024051e-05,3.024974e-05,3.035021e-05,3.037042e-05,3.042504e-05,3.045662e-05,3.047656e-05,3.050433e-05,3.050693e-05,3.051812e-05,3.051823e-05,3.051198e-05,3.050249e-05,3.049016e-05,3.046085e-05,3.045421e-05,3.040552e-05,3.039664e-05,3.034538e-05,3.031280e-05,3.027496e-05,3.021194e-05,3.019532e-05,3.010745e-05,3.009639e-05,3.001221e-05,2.996819e-05,2.991043e-05,2.982916e-05,2.980285e-05,2.969013e-05,2.968091e-05,2.957289e-05,2.952485e-05,2.945168e-05,2.936225e-05,2.932703e-05,2.919938e-05,2.919422e-05,2.906916e-05,2.902173e-05,2.893677e-05,2.884568e-05,2.880255e-05,2.866682e-05,2.852988e-05,2.848584e-05,2.839198e-05,2.830335e-05,2.825339e-05,2.811987e-05,2.811431e-05,2.797494e-05,2.793590e-05,2.783548e-05,2.775183e-05,2.769609e-05,2.756805e-05,2.755693e-05,2.741813e-05,2.738488e-05,2.727981e-05,2.720261e-05,2.714210e-05,2.702149e-05,2.700509e-05,2.686889e-05,2.684175e-05,2.673357e-05,2.666358e-05,2.659922e-05,2.648715e-05,2.646589e-05,2.633367e-05,2.631262e-05,2.620259e-05,2.614010e-05,2.607272e-05,2.596972e-05,2.594409e-05,2.581675e-05,2.580156e-05,2.569074e-05,2.563572e-05,2.556607e-05,2.547225e-05,2.544279e-05,2.532091e-05,2.531122e-05,2.520045e-05,2.515267e-05,2.508144e-05,2.499664e-05,2.496388e-05,2.484778e-05,2.484317e-05,2.473316e-05,2.469226e-05,2.462003e-05,2.454394e-05,2.450838e-05,2.439822e-05,2.425510e-05,2.411458e-05,2.397664e-05,2.384129e-05,2.370851e-05,2.357829e-05,2.345059e-05,2.332541e-05,2.320272e-05,2.308249e-05,2.296470e-05,2.284931e-05,2.273629e-05,2.262562e-05,2.251726e-05,2.241118e-05,2.230733e-05,2.220570e-05,2.210624e-05,2.200892e-05,2.191371e-05,2.182056e-05,2.172944e-05,2.164031e-05
0.000000e+00,5.125269e-09,1.522389e-08,7.663993e-08,2.230554e-07,3.633761e-07,1.038518e-06,1.078466e-06,2.480336e-06,3.035093e-06,4.862035e-06,6.894321e-06,8.545745e-06,1.338153e-05,1.387704e-05,2.120937e-05,2.330426e-05,3.086657e-05,3.738297e-05,4.308310e-05,5.602721e-05,5.795050e-05,7.540557e-05,7.919226e-05,9.526027e-05,1.064457e-04,1.172452e-04,1.371302e-04,1.410470e-04,1.663347e-04,1.704963e-04,1.927762e-04,2.057828e-04,2.200494e-04,2.422612e-04,2.478493e-04,2.758925e-04,2.792615e-04,3.039208e-04,3.161880e-04,3.317031e-04,3.525270e-04,3.590362e-04,3.857456e-04,3.878508e-04,4.116842e-04,4.218160e-04,4.367317e-04,4.541596e-04,4.607927e-04,4.837949e-04,4.846921e-04,5.056862e-04,5.132882e-04,5.264333e-04,5.398784e-04,5.460191e-04,5.644401e-04,5.817049e-04,5.869882e-04,5.978316e-04,6.075673e-04,6.128465e-04,6.262447e-04,6.267819e-04,6.396750e-04,6.431038e-04,6.515667e-04,6.582391e-04,6.625004e-04,6.717518e-04,6.725209e-04,6.816739e-04,6.837466e-04,6.900053e-04,6.943289e-04,6.975605e-04,7.036025e-04,7.043842e-04,7.105199e-04,7.116683e-04,7.160099e-04,7.186231e-04,7.208949e-04,7.245594e-04,7.252139e-04,7.290042e-04,7.295640e-04,7.323013e-04,7.337187e-04,7.351389e-04,7.370996e-04,7.375488e-04,7.395612e-04,7.397773e-04,7.412044e-04,7.418174e-04,7.425052e-04,7.432803e-04,7.434886e-04,7.441783e-04,7.442214e-04,7.445962e-04,7.446920e-04,7.447631e-04,7.447386e-04,7.446982e-04,7.444196e-04,7.444043e-04,7.439443e-04,7.437280e-04,7.432879e-04,7.427457e-04,7.424652e-04,7.414898e-04,7.403746e-04,7.399902e-04,7.391315e-04,7.382740e-04,7.377716e-04,7.363658e-04,7.363052e-04,7.347420e-04,7.342881e-04,7.330909e-04,7.320615e-04,7.313602e-04,7.297045e-04,7.295578e-04,7.276909e-04,7.272340e-04,7.257662e-04,7.246655e-04,7.237899e-04,7.220128e-04,7.217680e-04,7.197057e-04,7.192888e-04,7.176081e-04,7.165050e-04,7.154800e-04,7.136718e-04,7.133255e-04,7.111489e-04,7.107988e-04,7.089538e-04,7.078946e-04,7.067437e-04,7.049671e-04,7.045219e-04,7.022914e-04,7.020233e-04,7.000549e-04,6.990696e-04,6.978150e-04,6.961118e-04,6.955741e-04,6.933344e-04,6.931553e-04,6.910980e-04,6.902047e-04,6.888667e-04,6.872644e-04,6.866424e-04,6.844265e-04,6.843381e-04,6.822208e-04,6.814294e-04,6.800264e-04,6.785413e-04,6.778446e-04,6.756767e-04,6.728380e-04,6.700275e-04,6.672471e-04,6.644985e-04,6.617833e-04,6.591028e-04,6.564582e-04,6.538504e-04,6.512804e-04,6.487487e-04,6.462561e-04,6.438030e-04,6.413899e-04,6.390169e-04,6.366842e-04,6.343921e-04,6.321406e-04,6.299295e-04,6.277590e-04,6.256288e-04,6.235387e-04,6.214886e-04,6.194782e-04,6.175071e-04
0.000000e+00,1.146201e-11,2.616646e-11,8.947445e-11,2.025588e-10,2.947335e-10,6.642503e-10,6.840601e-10,1.313940e-09,1.541398e-09,2.243807e-09,2.972066e-09,3.537201e-09,5.101945e-09,5.256383e-09,7.444303e-09,8.040161e-09,1.009985e-08,1.177423e-08,1.317396e-08,1.616842e-08,1.659484e-08,2.029270e-08,2.106010e-08,2.420808e-08,2.631305e-08,2.829060e-08,3.181643e-08,3.249580e-08,3.678307e-08,3.747409e-08,4.111458e-08,4.319895e-08,4.545502e-08,4.891181e-08,4.977180e-08,5.403531e-08,5.454207e-08,5.821924e-08,6.002895e-08,6.230077e-08,6.532227e-08,6.626064e-08,7.008314e-08,7.038261e-08,7.375592e-08,7.518095e-08,7.726978e-08,7.969770e-08,8.061838e-08,8.379792e-08,8.392156e-08,8.680680e-08,8.784822e-08,8.964529e-08,9.147903e-08,9.231524e-08,9.481976e-08,9.716299e-08,9.787954e-08,9.934983e-08,1.006699e-07,1.013858e-07,1.032039e-07,1.032768e-07,1.050290e-07,1.054956e-07,1.066487e-07,1.075596e-07,1.081423e-07,1.094106e-07,1.095163e-07,1.107767e-07,1.110631e-07,1.119299e-07,1.125311e-07,1.129818e-07,1.138282e-07,1.139381e-07,1.148045e-07,1.149674e-07,1.155862e-07,1.159610e-07,1.162884e-07,1.168203e-07,1.169159e-07,1.174733e-07,1.175563e-07,1.179651e-07,1.181790e-07,1.183952e-07,1.186977e-07,1.187678e-07,1.190865e-07,1.191212e-07,1.193547e-07,1.194576e-07,1.195759e-07,1.197144e-07,1.197531e-07,1.198893e-07,1.198985e-07,1.199872e-07,1.200163e-07,1.200495e-07,1.200736e-07,1.200785e-07,1.200767e-07,1.200760e-07,1.200461e-07,1.200284e-07,1.199888e-07,1.199356e-07,1.199067e-07,1.198017e-07,1.196754e-07,1.196307e-07,1.195293e-07,1.194262e-07,1.193650e-07,1.191915e-07,1.191840e-07,1.189874e-07,1.189297e-07,1.187765e-07,1.186436e-07,1.185525e-07,1.183358e-07,1.183165e-07,1.180695e-07,1.180087e-07,1.178125e-07,1.176645e-07,1.175462e-07,1.173051e-07,1.172717e-07,1.169897e-07,1.169324e-07,1.167008e-07,1.165482e-07,1.164059e-07,1.161540e-07,1.161056e-07,1.158004e-07,1.157511e-07,1.154909e-07,1.153410e-07,1.151778e-07,1.149249e-07,1.148614e-07,1.145422e-07,1.145038e-07,1.142208e-07,1.140787e-07,1.138974e-07,1.136506e-07,1.135725e-07,1.132465e-07,1.132204e-07,1.129197e-07,1.127888e-07,1.125923e-07,1.123565e-07,1.122647e-07,1.119372e-07,1.119241e-07,1.116100e-07,1.114924e-07,1.112834e-07,1.110617e-07,1.109575e-07,1.106326e-07,1.102056e-07,1.097810e-07,1.093593e-07,1.089406e-07,1.085255e-07,1.081140e-07,1.077066e-07,1.073033e-07,1.069043e-07,1.065099e-07,1.061202e-07,1.057354e-07,1.053554e-07,1.049805e-07,1.046108e-07,1.042462e-07,1.038868e-07,1.035328e-07,1.031841e-07,1.028408e-07,1.025028e-07,1.021703e-07,1.018431e-07,1.015213e-07
0.000000e+00,9.882553e-10,2.881982e-09,1.397748e-08,3.937781e-08,6.306258e-08,1.730197e-07,1.793980e-07,3.987274e-07,4.840060e-07,7.618793e-07,1.068248e-06,1.316335e-06,2.042153e-06,2.116584e-06,3.219912e-06,3.535550e-06,4.673708e-06,5.649162e-06,6.495286e-06,8.381583e-06,8.656966e-06,1.109048e-05,1.160210e-05,1.370705e-05,1.511014e-05,1.641794e-05,1.871166e-05,1.914683e-05,2.183399e-05,2.225694e-05,2.443573e-05,2.564488e-05,2.692169e-05,2.881336e-05,2.927185e-05,3.147388e-05,3.172781e-05,3.352107e-05,3.437199e-05,3.541080e-05,3.674184e-05,3.714347e-05,3.872172e-05,3.884143e-05,4.014990e-05,4.068039e-05,4.143367e-05,4.227227e-05,4.257968e-05,4.359529e-05,4.363331e-05,4.448834e-05,4.478139e-05,4.526693e-05,4.573520e-05,4.593931e-05,4.651364e-05,4.699793e-05,4.713517e-05,4.739994e-05,4.761747e-05,4.772706e-05,4.797715e-05,4.798630e-05,4.818421e-05,4.822948e-05,4.832692e-05,4.838841e-05,4.842006e-05,4.846644e-05,4.846882e-05,4.847794e-05,4.847471e-05,4.845172e-05,4.842307e-05,4.839407e-05,4.832014e-05,4.830850e-05,4.819820e-05,4.817343e-05,4.806600e-05,4.798947e-05,4.791447e-05,4.777392e-05,4.774589e-05,4.756230e-05,4.753165e-05,4.736552e-05,4.726687e-05,4.715720e-05,4.698321e-05,4.693878e-05,4.671158e-05,4.668378e-05,4.647674e-05,4.637127e-05,4.623532e-05,4.604802e-05,4.598825e-05,4.573636e-05,4.571602e-05,4.548040e-05,4.537703e-05,4.522104e-05,4.503253e-05,4.495888e-05,4.469447e-05,4.468385e-05,4.442829e-05,4.433213e-05,4.416080e-05,4.397836e-05,4.389239e-05,4.362341e-05,4.335420e-05,4.326806e-05,4.308505e-05,4.291295e-05,4.281623e-05,4.255868e-05,4.254797e-05,4.228050e-05,4.220577e-05,4.201401e-05,4.185467e-05,4.174869e-05,4.150577e-05,4.148470e-05,4.122219e-05,4.115942e-05,4.096129e-05,4.081593e-05,4.070212e-05,4.047557e-05,4.044479e-05,4.018941e-05,4.013857e-05,3.993605e-05,3.980513e-05,3.968480e-05,3.947544e-05,3.943574e-05,3.918892e-05,3.914964e-05,3.894440e-05,3.882786e-05,3.870223e-05,3.851022e-05,3.846246e-05,3.822512e-05,3.819681e-05,3.799026e-05,3.788771e-05,3.775789e-05,3.758297e-05,3.752804e-05,3.730073e-05,3.728266e-05,3.707598e-05,3.698680e-05,3.685381e-05,3.669544e-05,3.663421e-05,3.641720e-05,3.640857e-05,3.620278e-05,3.612623e-05,3.599096e-05,3.584839e-05,3.578172e-05,3.557507e-05,3.530625e-05,3.504192e-05,3.478204e-05,3.452659e-05,3.427555e-05,3.402887e-05,3.378652e-05,3.354845e-05,3.331463e-05,3.308500e-05,3.285951e-05,3.263812e-05,3.242077e-05,3.220741e-05,3.199799e-05,3.179245e-05,3.159073e-05,3.139278e-05,3.119853e-05,3.100794e-05,3.082094e-05,3.063747e-05,3.045748e-05,3.028091e-05
0.000000e+00,7.010288e-10,2.002755e-09,9.323113e-09,2.533611e-08,3.979174e-08,1.037958e-07,1.073984e-07,2.265508e-07,2.709542e-07,4.102383e-07,5.563206e-07,6.701000e-07,9.854286e-07,1.016556e-06,1.458696e-06,1.579901e-06,2.003725e-06,2.355600e-06,2.655777e-06,3.317635e-06,3.414052e-06,4.270719e-06,4.452597e-06,5.209906e-06,5.723615e-06,6.209192e-06,7.076575e-06,7.243361e-06,8.288418e-06,8.455222e-06,9.324132e-06,9.813170e-06,1.033478e-05,1.111736e-05,1.130880e-05,1.223811e-05,1.234634e-05,1.311725e-05,1.348725e-05,1.394285e-05,1.453333e-05,1.471309e-05,1.542741e-05,1.548214e-05,1.608620e-05,1.633441e-05,1.669063e-05,1.709314e-05,1.724248e-05,1.774393e-05,1.776297e-05,1.819753e-05,1.834963e-05,1.860601e-05,1.885948e-05,1.897226e-05,1.929916e-05,1.958963e-05,1.967534e-05,1.984648e-05,1.999449e-05,2.007245e-05,2.026275e-05,2.027014e-05,2.044200e-05,2.048581e-05,2.059033e-05,2.066893e-05,2.071726e-05,2.081685e-05,2.082478e-05,2.091468e-05,2.093383e-05,2.098863e-05,2.102365e-05,2.104815e-05,2.108968e-05,2.109461e-05,2.112928e-05,2.113490e-05,2.115331e-05,2.116194e-05,2.116773e-05,2.117310e-05,2.117347e-05,2.117138e-05,2.117038e-05,2.116224e-05,2.115554e-05,2.114672e-05,2.113015e-05,2.112546e-05,2.109903e-05,2.109554e-05,2.106793e-05,2.105290e-05,2.103264e-05,2.100326e-05,2.099356e-05,2.095108e-05,2.094755e-05,2.090555e-05,2.088656e-05,2.085729e-05,2.082100e-05,2.080657e-05,2.075365e-05,2.075149e-05,2.069878e-05,2.067859e-05,2.064216e-05,2.060276e-05,2.058399e-05,2.052446e-05,2.046371e-05,2.044405e-05,2.040192e-05,2.036188e-05,2.033921e-05,2.027827e-05,2.027572e-05,2.021156e-05,2.019349e-05,2.014684e-05,2.010778e-05,2.008166e-05,2.002136e-05,2.001611e-05,1.995028e-05,1.993444e-05,1.988424e-05,1.984719e-05,1.981807e-05,1.975978e-05,1.975183e-05,1.968559e-05,1.967235e-05,1.961941e-05,1.958503e-05,1.955333e-05,1.949794e-05,1.948741e-05,1.942169e-05,1.941120e-05,1.935621e-05,1.932488e-05,1.929101e-05,1.923908e-05,1.922613e-05,1.916160e-05,1.915388e-05,1.909745e-05,1.906935e-05,1.903370e-05,1.898554e-05,1.897039e-05,1.890753e-05,1.890252e-05,1.884515e-05,1.882034e-05,1.878327e-05,1.873903e-05,1.872190e-05,1.866106e-05,1.865864e-05,1.860077e-05,1.857920e-05,1.854104e-05,1.850075e-05,1.848188e-05,1.842331e-05,1.834689e-05,1.827153e-05,1.819724e-05,1.812403e-05,1.805192e-05,1.798090e-05,1.791099e-05,1.784220e-05,1.777452e-05,1.770796e-05,1.764252e-05,1.757819e-05,1.751497e-05,1.745286e-05,1.739185e-05,1.733194e-05,1.727312e-05,1.721537e-05,1.715870e-05,1.710309e-05,1.704853e-05,1.699501e-05,1.694252e-05,1.689105e-05
0.000000e+00,2.873539e-12,6.510520e-12,2.195446e-11,4.919945e-11,7.128204e-11,1.597394e-10,1.644956e-10,3.171566e-10,3.730445e-10,5.480204e-10,7.322190e-10,8.759683e-10,1.270200e-09,1.308428e-09,1.830411e-09,1.965827e-09,2.412988e-09,2.755488e-09,3.029675e-09,3.585793e-09,3.662065e-09,4.298023e-09,4.424850e-09,4.929000e-09,5.252883e-09,5.548345e-09,6.055514e-09,6.150497e-09,6.730689e-09,6.821203e-09,7.284909e-09,7.540725e-09,7.809906e-09,8.207192e-09,8.303234e-09,8.763256e-09,8.816172e-09,9.189104e-09,9.365587e-09,9.580617e-09,9.855458e-09,9.938239e-09,1.026291e-08,1.028750e-08,1.055595e-08,1.066465e-08,1.081893e-08,1.099069e-08,1.105368e-08,1.126215e-08,1.126997e-08,1.144631e-08,1.150703e-08,1.160809e-08,1.170630e-08,1.174940e-08,1.187209e-08,1.197785e-08,1.200837e-08,1.206820e-08,1.211856e-08,1.214449e-08,1.220570e-08,1.220801e-08,1.225996e-08,1.227258e-08,1.230143e-08,1.232174e-08,1.233356e-08,1.235594e-08,1.235759e-08,1.237427e-08,1.237727e-08,1.238435e-08,1.238734e-08,1.238844e-08,1.238753e-08,1.238710e-08,1.238085e-08,1.237905e-08,1.237014e-08,1.236296e-08,1.235540e-08,1.234018e-08,1.233701e-08,1.231528e-08,1.231152e-08,1.229054e-08,1.227767e-08,1.226305e-08,1.223926e-08,1.223307e-08,1.220083e-08,1.219682e-08,1.216652e-08,1.215082e-08,1.213034e-08,1.210170e-08,1.209247e-08,1.205305e-08,1.204984e-08,1.201224e-08,1.199555e-08,1.197016e-08,1.193916e-08,1.192695e-08,1.188270e-08,1.188091e-08,1.183754e-08,1.182107e-08,1.179154e-08,1.175984e-08,1.174481e-08,1.169742e-08,1.164945e-08,1.163399e-08,1.160098e-08,1.156972e-08,1.155206e-08,1.150474e-08,1.150276e-08,1.145314e-08,1.143919e-08,1.140324e-08,1.137320e-08,1.135313e-08,1.130687e-08,1.130284e-08,1.125242e-08,1.124031e-08,1.120191e-08,1.117360e-08,1.115135e-08,1.110684e-08,1.110077e-08,1.105021e-08,1.104010e-08,1.099969e-08,1.097345e-08,1.094925e-08,1.090695e-08,1.089890e-08,1.084868e-08,1.084066e-08,1.079861e-08,1.077464e-08,1.074872e-08,1.070893e-08,1.069901e-08,1.064951e-08,1.064359e-08,1.060024e-08,1.057864e-08,1.055121e-08,1.051413e-08,1.050245e-08,1.045395e-08,1.045008e-08,1.040574e-08,1.038654e-08,1.035783e-08,1.032353e-08,1.031023e-08,1.026294e-08,1.026106e-08,1.021599e-08,1.019917e-08,1.016937e-08,1.013787e-08,1.012310e-08,1.007718e-08,1.001712e-08,9.957696e-09,9.898924e-09,9.840815e-09,9.783376e-09,9.726616e-09,9.670540e-09,9.615154e-09,9.560461e-09,9.506465e-09,9.453167e-09,9.400569e-09,9.348672e-09,9.297474e-09,9.246974e-09,9.197171e-09,9.148063e-09,9.099647e-09,9.051919e-09,9.004876e-09,8.958513e-09,8.912826e-09,8.867810e-09,8.823459e-09
0.000000e+00,1.392247e-09,3.995922e-09,1.881005e-08,5.174490e-08,8.189086e-08,2.186353e-07,2.264646e-07,4.918788e-07,5.936653e-07,9.218497e-07,1.279273e-06,1.566220e-06,2.396260e-06,2.480703e-06,3.720031e-06,4.070644e-06,5.322405e-06,6.382488e-06,7.295481e-06,9.322124e-06,9.618178e-06,1.225458e-05,1.281609e-05,1.516639e-05,1.677761e-05,1.831872e-05,2.113000e-05,2.168090e-05,2.522549e-05,2.580783e-05,2.892695e-05,3.075213e-05,3.276066e-05,3.590654e-05,3.670237e-05,4.072812e-05,4.121573e-05,4.481428e-05,4.662535e-05,4.893778e-05,5.208294e-05,5.307647e-05,5.720931e-05,5.753908e-05,6.131671e-05,6.294846e-05,6.538070e-05,6.827071e-05,6.938505e-05,7.331534e-05,7.347083e-05,7.715899e-05,7.851936e-05,8.090522e-05,8.339234e-05,8.454502e-05,8.807104e-05,9.147744e-05,9.254146e-05,9.475975e-05,9.679379e-05,9.791478e-05,1.008219e-04,1.009404e-04,1.038356e-04,1.046229e-04,1.066001e-04,1.081962e-04,1.092344e-04,1.115438e-04,1.117395e-04,1.141172e-04,1.146691e-04,1.163695e-04,1.175769e-04,1.184989e-04,1.202733e-04,1.205081e-04,1.224002e-04,1.227648e-04,1.241782e-04,1.250588e-04,1.258455e-04,1.271630e-04,1.274055e-04,1.288616e-04,1.290852e-04,1.302174e-04,1.308336e-04,1.314763e-04,1.324161e-04,1.326419e-04,1.337177e-04,1.338409e-04,1.347070e-04,1.351158e-04,1.356133e-04,1.362486e-04,1.364399e-04,1.371900e-04,1.372468e-04,1.378670e-04,1.381180e-04,1.384739e-04,1.388692e-04,1.390138e-04,1.394895e-04,1.395073e-04,1.399041e-04,1.400390e-04,1.402604e-04,1.404706e-04,1.405609e-04,1.408084e-04,1.410054e-04,1.410581e-04,1.411543e-04,1.412255e-04,1.412576e-04,1.413159e-04,1.413175e-04,1.413363e-04,1.413345e-04,1.413161e-04,1.412861e-04,1.412589e-04,1.411754e-04,1.411667e-04,1.410415e-04,1.410068e-04,1.408851e-04,1.407845e-04,1.406992e-04,1.405126e-04,1.404856e-04,1.402458e-04,1.401948e-04,1.399814e-04,1.398348e-04,1.396940e-04,1.394358e-04,1.393850e-04,1.390558e-04,1.390013e-04,1.387076e-04,1.385341e-04,1.383418e-04,1.380372e-04,1.379595e-04,1.375620e-04,1.375133e-04,1.371503e-04,1.369650e-04,1.367256e-04,1.363946e-04,1.362887e-04,1.358408e-04,1.358045e-04,1.353826e-04,1.351967e-04,1.349152e-04,1.345734e-04,1.344393e-04,1.339558e-04,1.339363e-04,1.334654e-04,1.332873e-04,1.329689e-04,1.326280e-04,1.324669e-04,1.319600e-04,1.312848e-04,1.306036e-04,1.299178e-04,1.292286e-04,1.285370e-04,1.278441e-04,1.271509e-04,1.264582e-04,1.257668e-04,1.250776e-04,1.243912e-04,1.237083e-04,1.230294e-04,1.223552e-04,1.216861e-04,1.210225e-04,1.203649e-04,1.197137e-04,1.190692e-04,1.184317e-04,1.178015e-04,1.171789e-04,1.165640e-04,1.159570e-04
0.000000e+00,5.734421e-12,1.312816e-11,4.518640e-11,1.030088e-10,1.505260e-10,3.436517e-10,3.541082e-10,6.911257e-10,8.147598e-10,1.202084e-09,1.611423e-09,1.933844e-09,2.845342e-09,2.936662e-09,4.253244e-09,4.618544e-09,5.900112e-09,6.960062e-09,7.855962e-09,9.794519e-09,1.007243e-08,1.249568e-08,1.300088e-08,1.507926e-08,1.647347e-08,1.778614e-08,2.013325e-08,2.058652e-08,2.345539e-08,2.391927e-08,2.637076e-08,2.778076e-08,2.931279e-08,3.167340e-08,3.226340e-08,3.520613e-08,3.555801e-08,3.812618e-08,3.940036e-08,4.101038e-08,4.317129e-08,4.384727e-08,4.662705e-08,4.684671e-08,4.934151e-08,5.040747e-08,5.198399e-08,5.383898e-08,5.454919e-08,5.703311e-08,5.713073e-08,5.943284e-08,6.027574e-08,6.174648e-08,6.327000e-08,6.397295e-08,6.611190e-08,6.816359e-08,6.880181e-08,7.012877e-08,7.134160e-08,7.200859e-08,7.373428e-08,7.380453e-08,7.551834e-08,7.598374e-08,7.715195e-08,7.809448e-08,7.870744e-08,8.007140e-08,8.018703e-08,8.159296e-08,8.191969e-08,8.292757e-08,8.364466e-08,8.419318e-08,8.525170e-08,8.539213e-08,8.652675e-08,8.674615e-08,8.759933e-08,8.813332e-08,8.861216e-08,8.941839e-08,8.956746e-08,9.046742e-08,9.060642e-08,9.131417e-08,9.170233e-08,9.210980e-08,9.271086e-08,9.285633e-08,9.355572e-08,9.363657e-08,9.420987e-08,9.448385e-08,9.482065e-08,9.525693e-08,9.538983e-08,9.591916e-08,9.595983e-08,9.641028e-08,9.659640e-08,9.686483e-08,9.717034e-08,9.728436e-08,9.767037e-08,9.768513e-08,9.802431e-08,9.814414e-08,9.834757e-08,9.855055e-08,9.864149e-08,9.890738e-08,9.914647e-08,9.921752e-08,9.935996e-08,9.948369e-08,9.954900e-08,9.970851e-08,9.971471e-08,9.985813e-08,9.989444e-08,9.998030e-08,1.000438e-07,1.000822e-07,1.001589e-07,1.001648e-07,1.002289e-07,1.002417e-07,1.002755e-07,1.002943e-07,1.003054e-07,1.003185e-07,1.003194e-07,1.003182e-07,1.003162e-07,1.003027e-07,1.002891e-07,1.002734e-07,1.002387e-07,1.002311e-07,1.001765e-07,1.001666e-07,1.001101e-07,1.000742e-07,1.000326e-07,9.996295e-08,9.994452e-08,9.984644e-08,9.983402e-08,9.973888e-08,9.968868e-08,9.962235e-08,9.952808e-08,9.949733e-08,9.936429e-08,9.935331e-08,9.922368e-08,9.916541e-08,9.907592e-08,9.896533e-08,9.892142e-08,9.876057e-08,9.875401e-08,9.859375e-08,9.853231e-08,9.842133e-08,9.830105e-08,9.824363e-08,9.806100e-08,9.781290e-08,9.755743e-08,9.729525e-08,9.702697e-08,9.675317e-08,9.647440e-08,9.619117e-08,9.590396e-08,9.561324e-08,9.531943e-08,9.502294e-08,9.472416e-08,9.442343e-08,9.412110e-08,9.381749e-08,9.351289e-08,9.320758e-08,9.290184e-08,9.259589e-08,9.228998e-08,9.198432e-08,9.167912e-08,9.137456e-08,9.107082e-08
0.000000e+00,4.163362e-12,9.507450e-12,3.253971e-11,7.373303e-11,1.073383e-10,2.421949e-10,2.494285e-10,4.795277e-10,5.626422e-10,8.193130e-10,1.085411e-09,1.291906e-09,1.864006e-09,1.920529e-09,2.723427e-09,2.942979e-09,3.705438e-09,4.329338e-09,4.853450e-09,5.981064e-09,6.142220e-09,7.544229e-09,7.835995e-09,9.035010e-09,9.838309e-09,1.059389e-08,1.194291e-08,1.220309e-08,1.384676e-08,1.411196e-08,1.551044e-08,1.631215e-08,1.718080e-08,1.851365e-08,1.884562e-08,2.049384e-08,2.069003e-08,2.211559e-08,2.281853e-08,2.370231e-08,2.488026e-08,2.524672e-08,2.674282e-08,2.686026e-08,2.818578e-08,2.874724e-08,2.957198e-08,3.053340e-08,3.089881e-08,3.216454e-08,3.221388e-08,3.336824e-08,3.378633e-08,3.450971e-08,3.525052e-08,3.558930e-08,3.660786e-08,3.756659e-08,3.786100e-08,3.846705e-08,3.901357e-08,3.931099e-08,4.006980e-08,4.010036e-08,4.083721e-08,4.103440e-08,4.152368e-08,4.191230e-08,4.216198e-08,4.270856e-08,4.275430e-08,4.330285e-08,4.342823e-08,4.380977e-08,4.407626e-08,4.427718e-08,4.465745e-08,4.470714e-08,4.510162e-08,4.517644e-08,4.546257e-08,4.563763e-08,4.579184e-08,4.604523e-08,4.609118e-08,4.636231e-08,4.640318e-08,4.660685e-08,4.671524e-08,4.682634e-08,4.698489e-08,4.702225e-08,4.719599e-08,4.721542e-08,4.734889e-08,4.740988e-08,4.748220e-08,4.757115e-08,4.759712e-08,4.769478e-08,4.770188e-08,4.777626e-08,4.780456e-08,4.784258e-08,4.788147e-08,4.789469e-08,4.793349e-08,4.793478e-08,4.795986e-08,4.796646e-08,4.797459e-08,4.797836e-08,4.797846e-08,4.797218e-08,4.795644e-08,4.794951e-08,4.793189e-08,4.791182e-08,4.789912e-08,4.786047e-08,4.785872e-08,4.781122e-08,4.779672e-08,4.775713e-08,4.772172e-08,4.769694e-08,4.763657e-08,4.763110e-08,4.756003e-08,4.754224e-08,4.748414e-08,4.743967e-08,4.740380e-08,4.732971e-08,4.731938e-08,4.723120e-08,4.721315e-08,4.713960e-08,4.709070e-08,4.704486e-08,4.696306e-08,4.694726e-08,4.684707e-08,4.683082e-08,4.674455e-08,4.669457e-08,4.663991e-08,4.655484e-08,4.653339e-08,4.642519e-08,4.641210e-08,4.631550e-08,4.626681e-08,4.620451e-08,4.611939e-08,4.609239e-08,4.597929e-08,4.597021e-08,4.586538e-08,4.581962e-08,4.575079e-08,4.566794e-08,4.563566e-08,4.552011e-08,4.551548e-08,4.540426e-08,4.536250e-08,4.528822e-08,4.520925e-08,4.517209e-08,4.505596e-08,4.490284e-08,4.475008e-08,4.459786e-08,4.444633e-08,4.429564e-08,4.414592e-08,4.399729e-08,4.384986e-08,4.370373e-08,4.355898e-08,4.341570e-08,4.327395e-08,4.313379e-08,4.299529e-08,4.285850e-08,4.272344e-08,4.259017e-08,4.245872e-08,4.232910e-08,4.220135e-08,4.207549e-08,4.195151e-08,4.182945e-08,4.170930e-08
0.000000e+00,5.450718e-12,1.247880e-11,4.306337e-11,9.875533e-11,1.450398e-10,3.377669e-10,3.484021e-10,7.005544e-10,8.334636e-10,1.256832e-09,1.705438e-09,2.052722e-09,2.985108e-09,3.074201e-09,4.281910e-09,4.595546e-09,5.642685e-09,6.462557e-09,7.132964e-09,8.536408e-09,8.733747e-09,1.042727e-08,1.077554e-08,1.219577e-08,1.313910e-08,1.402144e-08,1.558638e-08,1.588680e-08,1.777526e-08,1.807851e-08,1.967149e-08,2.058036e-08,2.156182e-08,2.306178e-08,2.343436e-08,2.527904e-08,2.549812e-08,2.708757e-08,2.787008e-08,2.885321e-08,3.016317e-08,3.057077e-08,3.223638e-08,3.236730e-08,3.384724e-08,3.447580e-08,3.540145e-08,3.648475e-08,3.689789e-08,3.833607e-08,3.839238e-08,3.971605e-08,4.019865e-08,4.103813e-08,4.190438e-08,4.230296e-08,4.351149e-08,4.466481e-08,4.502242e-08,4.576419e-08,4.644012e-08,4.681101e-08,4.776783e-08,4.780669e-08,4.875268e-08,4.900886e-08,4.965050e-08,5.016671e-08,5.050168e-08,5.124488e-08,5.130774e-08,5.207022e-08,5.224690e-08,5.279063e-08,5.317624e-08,5.347046e-08,5.403633e-08,5.411120e-08,5.471429e-08,5.483051e-08,5.528113e-08,5.556204e-08,5.581313e-08,5.623407e-08,5.631164e-08,5.677796e-08,5.684967e-08,5.721339e-08,5.741179e-08,5.761916e-08,5.792325e-08,5.799650e-08,5.834657e-08,5.838680e-08,5.867051e-08,5.880505e-08,5.896942e-08,5.918051e-08,5.924436e-08,5.949637e-08,5.951557e-08,5.972644e-08,5.981253e-08,5.993552e-08,6.007359e-08,6.012455e-08,6.029442e-08,6.030083e-08,6.044599e-08,6.049624e-08,6.058010e-08,6.066172e-08,6.069753e-08,6.079907e-08,6.088546e-08,6.091002e-08,6.095740e-08,6.099619e-08,6.101559e-08,6.105913e-08,6.106069e-08,6.109333e-08,6.110032e-08,6.111412e-08,6.112115e-08,6.112364e-08,6.112295e-08,6.112247e-08,6.111114e-08,6.110697e-08,6.109017e-08,6.107440e-08,6.106006e-08,6.102638e-08,6.102128e-08,6.097430e-08,6.096396e-08,6.091956e-08,6.088816e-08,6.085747e-08,6.079994e-08,6.078844e-08,6.071287e-08,6.070019e-08,6.063111e-08,6.058978e-08,6.054353e-08,6.046950e-08,6.045047e-08,6.035225e-08,6.034013e-08,6.024919e-08,6.020238e-08,6.014158e-08,6.005694e-08,6.002971e-08,5.991387e-08,5.990443e-08,5.979430e-08,5.974548e-08,5.967126e-08,5.958065e-08,5.954498e-08,5.941571e-08,5.941048e-08,5.928365e-08,5.923547e-08,5.914902e-08,5.905611e-08,5.901202e-08,5.887283e-08,5.868607e-08,5.849622e-08,5.830366e-08,5.810873e-08,5.791176e-08,5.771307e-08,5.751295e-08,5.731167e-08,5.710948e-08,5.690662e-08,5.670332e-08,5.649978e-08,5.629620e-08,5.609276e-08,5.588963e-08,5.568698e-08,5.548494e-08,5.528365e-08,5.508324e-08,5.488384e-08,5.468554e-08,5.448845e-08,5.429266e-08,5.409826e-08
0.000000e+00,2.501132e-09,7.397609e-09,3.692052e-08,1.066522e-07,1.730689e-07,4.901282e-07,5.088095e-07,1.161787e-06,1.419376e-06,2.266371e-06,3.207482e-06,3.971588e-06,6.202315e-06,6.429992e-06,9.768162e-06,1.070934e-05,1.405564e-05,1.687643e-05,1.930070e-05,2.468042e-05,2.546713e-05,3.249165e-05,3.399275e-05,4.029492e-05,4.463093e-05,4.878728e-05,5.638267e-05,5.787184e-05,6.744662e-05,6.901707e-05,7.740643e-05,8.229268e-05,8.764498e-05,9.596565e-05,9.805696e-05,1.085403e-04,1.097984e-04,1.189982e-04,1.235683e-04,1.293410e-04,1.370743e-04,1.394876e-04,1.493662e-04,1.501430e-04,1.589156e-04,1.626313e-04,1.680845e-04,1.744273e-04,1.768323e-04,1.851280e-04,1.854500e-04,1.929498e-04,1.956469e-04,2.002844e-04,2.049903e-04,2.071258e-04,2.134744e-04,2.193361e-04,2.211106e-04,2.247215e-04,2.279245e-04,2.296445e-04,2.339512e-04,2.341219e-04,2.381726e-04,2.392331e-04,2.418170e-04,2.438174e-04,2.450763e-04,2.477534e-04,2.479723e-04,2.505269e-04,2.510917e-04,2.527619e-04,2.538817e-04,2.546983e-04,2.561718e-04,2.563569e-04,2.577573e-04,2.580081e-04,2.589185e-04,2.594337e-04,2.598583e-04,2.604892e-04,2.605939e-04,2.611410e-04,2.612121e-04,2.615147e-04,2.616367e-04,2.617291e-04,2.617946e-04,2.617971e-04,2.617310e-04,2.617145e-04,2.615419e-04,2.614225e-04,2.612405e-04,2.609422e-04,2.608363e-04,2.603384e-04,2.602948e-04,2.597551e-04,2.594996e-04,2.590940e-04,2.585738e-04,2.583621e-04,2.575661e-04,2.575330e-04,2.567119e-04,2.563912e-04,2.558050e-04,2.551609e-04,2.548506e-04,2.538535e-04,2.528178e-04,2.524789e-04,2.517477e-04,2.510465e-04,2.506468e-04,2.495642e-04,2.495186e-04,2.483661e-04,2.480395e-04,2.471924e-04,2.464790e-04,2.460000e-04,2.448886e-04,2.447914e-04,2.435689e-04,2.432737e-04,2.423346e-04,2.416389e-04,2.410904e-04,2.399888e-04,2.398381e-04,2.385794e-04,2.383271e-04,2.373158e-04,2.366573e-04,2.360487e-04,2.349825e-04,2.347793e-04,2.335090e-04,2.333057e-04,2.322387e-04,2.316293e-04,2.309695e-04,2.299556e-04,2.297024e-04,2.284382e-04,2.282867e-04,2.271776e-04,2.266243e-04,2.259215e-04,2.249703e-04,2.246706e-04,2.234253e-04,2.233260e-04,2.221864e-04,2.216927e-04,2.209543e-04,2.200717e-04,2.197295e-04,2.185124e-04,2.184639e-04,2.173035e-04,2.168704e-04,2.161031e-04,2.152918e-04,2.149115e-04,2.137291e-04,2.121827e-04,2.106532e-04,2.091412e-04,2.076470e-04,2.061710e-04,2.047135e-04,2.032747e-04,2.018549e-04,2.004541e-04,1.990725e-04,1.977102e-04,1.963672e-04,1.950436e-04,1.937393e-04,1.924543e-04,1.911886e-04,1.899420e-04,1.887144e-04,1.875058e-04,1.863161e-04,1.851450e-04,1.839925e-04,1.828583e-04,1.817423e-04
0.000000e+00,1.351110e-10,3.337260e-10,1.248332e-09,2.956112e-09,4.376804e-09,1.017858e-08,1.049236e-08,2.053340e-08,2.417585e-08,3.544019e-08,4.712104e-08,5.618041e-08,8.126407e-08,8.374299e-08,1.190572e-07,1.287697e-07,1.627922e-07,1.910436e-07,2.150963e-07,2.678533e-07,2.755029e-07,3.431301e-07,3.574334e-07,4.169744e-07,4.575101e-07,4.960821e-07,5.659675e-07,5.795918e-07,6.667193e-07,6.809460e-07,7.567342e-07,8.007629e-07,8.489458e-07,9.238537e-07,9.426966e-07,1.037363e-06,1.048757e-06,1.132361e-06,1.174124e-06,1.227148e-06,1.298738e-06,1.321229e-06,1.414163e-06,1.421536e-06,1.505559e-06,1.541610e-06,1.595080e-06,1.658213e-06,1.682442e-06,1.767410e-06,1.770756e-06,1.849793e-06,1.878789e-06,1.929444e-06,1.981989e-06,2.006254e-06,2.080149e-06,2.151082e-06,2.173151e-06,2.219034e-06,2.260960e-06,2.284009e-06,2.343602e-06,2.346026e-06,2.405123e-06,2.421154e-06,2.461350e-06,2.493732e-06,2.514765e-06,2.561482e-06,2.565436e-06,2.613437e-06,2.624568e-06,2.658846e-06,2.683173e-06,2.701744e-06,2.737483e-06,2.742214e-06,2.780342e-06,2.787694e-06,2.816212e-06,2.834001e-06,2.849909e-06,2.876597e-06,2.881517e-06,2.911119e-06,2.915674e-06,2.938795e-06,2.951420e-06,2.964626e-06,2.984015e-06,2.988690e-06,3.011061e-06,3.013635e-06,3.031813e-06,3.040449e-06,3.051017e-06,3.064619e-06,3.068741e-06,3.085053e-06,3.086299e-06,3.100016e-06,3.105638e-06,3.113693e-06,3.122776e-06,3.126142e-06,3.137420e-06,3.137848e-06,3.147584e-06,3.150980e-06,3.156686e-06,3.162294e-06,3.164776e-06,3.171904e-06,3.178117e-06,3.179919e-06,3.183458e-06,3.186440e-06,3.187972e-06,3.191565e-06,3.191700e-06,3.194680e-06,3.195386e-06,3.196952e-06,3.197990e-06,3.198551e-06,3.199458e-06,3.199512e-06,3.199868e-06,3.199867e-06,3.199651e-06,3.199290e-06,3.198891e-06,3.197796e-06,3.197617e-06,3.195858e-06,3.195450e-06,3.193639e-06,3.192312e-06,3.190986e-06,3.188440e-06,3.187924e-06,3.184475e-06,3.183889e-06,3.180662e-06,3.178708e-06,3.176505e-06,3.172947e-06,3.172026e-06,3.167243e-06,3.166650e-06,3.162175e-06,3.159859e-06,3.156839e-06,3.152615e-06,3.151252e-06,3.145430e-06,3.144955e-06,3.139389e-06,3.136914e-06,3.133142e-06,3.128526e-06,3.126705e-06,3.120089e-06,3.119821e-06,3.113308e-06,3.110829e-06,3.106374e-06,3.101578e-06,3.099299e-06,3.092092e-06,3.082397e-06,3.072515e-06,3.062467e-06,3.052273e-06,3.041953e-06,3.031522e-06,3.020998e-06,3.010396e-06,2.999731e-06,2.989016e-06,2.978263e-06,2.967483e-06,2.956689e-06,2.945890e-06,2.935096e-06,2.924315e-06,2.913556e-06,2.902827e-06,2.892133e-06,2.881483e-06,2.870882e-06,2.860336e-06,2.849850e-06,2.839428e-06
0.000000e+00,2.213380e-11,5.127456e-11,1.784175e-10,4.078228e-10,5.957738e-10,1.352880e-09,1.393557e-09,2.688347e-09,3.155992e-09,4.598731e-09,6.091529e-09,7.247809e-09,1.044287e-08,1.075801e-08,1.522939e-08,1.645182e-08,2.070328e-08,2.419565e-08,2.714311e-08,3.353764e-08,3.445813e-08,4.254197e-08,4.424192e-08,5.129327e-08,5.607664e-08,6.061922e-08,6.883345e-08,7.043296e-08,8.065093e-08,8.231784e-08,9.119162e-08,9.634235e-08,1.019755e-07,1.107260e-07,1.129257e-07,1.239691e-07,1.252973e-07,1.350372e-07,1.398986e-07,1.460672e-07,1.543893e-07,1.570022e-07,1.677921e-07,1.686477e-07,1.783933e-07,1.825725e-07,1.887690e-07,1.960824e-07,1.988886e-07,2.087273e-07,2.091148e-07,2.182661e-07,2.216237e-07,2.274905e-07,2.335781e-07,2.363904e-07,2.449594e-07,2.531946e-07,2.557592e-07,2.610956e-07,2.659777e-07,2.686644e-07,2.756217e-07,2.759051e-07,2.828229e-07,2.847029e-07,2.894246e-07,2.932371e-07,2.957178e-07,3.012422e-07,3.017108e-07,3.074125e-07,3.087385e-07,3.128320e-07,3.157472e-07,3.179788e-07,3.222899e-07,3.228624e-07,3.274924e-07,3.283888e-07,3.318783e-07,3.340656e-07,3.360295e-07,3.393419e-07,3.399553e-07,3.436647e-07,3.442387e-07,3.471666e-07,3.487763e-07,3.504696e-07,3.529743e-07,3.535820e-07,3.565119e-07,3.568516e-07,3.592671e-07,3.604261e-07,3.618553e-07,3.637150e-07,3.642836e-07,3.665590e-07,3.667347e-07,3.686884e-07,3.695007e-07,3.706782e-07,3.720279e-07,3.725346e-07,3.742636e-07,3.743302e-07,3.758710e-07,3.764209e-07,3.773622e-07,3.783125e-07,3.787425e-07,3.800170e-07,3.811905e-07,3.815454e-07,3.822676e-07,3.829085e-07,3.832529e-07,3.841162e-07,3.841504e-07,3.849644e-07,3.851779e-07,3.856987e-07,3.861026e-07,3.863570e-07,3.868987e-07,3.869430e-07,3.874599e-07,3.875741e-07,3.879111e-07,3.881362e-07,3.882997e-07,3.885922e-07,3.886286e-07,3.889008e-07,3.889487e-07,3.891190e-07,3.892119e-07,3.892857e-07,3.893878e-07,3.894034e-07,3.894747e-07,3.894819e-07,3.895016e-07,3.894995e-07,3.894865e-07,3.894455e-07,3.894314e-07,3.893383e-07,3.893247e-07,3.892091e-07,3.891413e-07,3.890456e-07,3.888996e-07,3.888497e-07,3.886229e-07,3.886034e-07,3.883668e-07,3.882565e-07,3.880830e-07,3.878624e-07,3.877730e-07,3.874381e-07,3.874242e-07,3.870797e-07,3.869451e-07,3.866990e-07,3.864281e-07,3.862973e-07,3.858758e-07,3.852909e-07,3.846757e-07,3.840327e-07,3.833639e-07,3.826715e-07,3.819573e-07,3.812232e-07,3.804709e-07,3.797020e-07,3.789181e-07,3.781206e-07,3.773108e-07,3.764901e-07,3.756596e-07,3.748205e-07,3.739738e-07,3.731206e-07,3.722619e-07,3.713985e-07,3.705312e-07,3.696609e-07,3.687883e-07,3.679142e-07,3.670391e-07
0.000000e+00,4.134748e-12,9.467725e-12,3.258141e-11,7.418920e-11,1.082887e-10,2.459831e-10,2.533978e-10,4.903025e-10,5.762688e-10,8.426934e-10,1.120021e-09,1.335748e-09,1.934295e-09,1.993420e-09,2.831405e-09,3.059819e-09,3.851294e-09,4.498601e-09,5.043684e-09,6.225332e-09,6.395545e-09,7.894136e-09,8.210401e-09,9.527486e-09,1.042618e-08,1.128379e-08,1.284521e-08,1.315087e-08,1.511594e-08,1.543856e-08,1.716560e-08,1.817543e-08,1.928600e-08,2.102383e-08,2.146312e-08,2.368301e-08,2.395162e-08,2.593211e-08,2.692762e-08,2.819751e-08,2.992262e-08,3.046709e-08,3.272971e-08,3.291011e-08,3.497531e-08,3.586675e-08,3.719495e-08,3.877256e-08,3.938078e-08,4.152610e-08,4.161098e-08,4.362524e-08,4.436870e-08,4.567353e-08,4.703536e-08,4.766720e-08,4.960327e-08,5.147952e-08,5.206701e-08,5.329437e-08,5.442315e-08,5.504679e-08,5.666985e-08,5.673622e-08,5.836254e-08,5.880662e-08,5.992595e-08,6.083400e-08,6.142697e-08,6.275343e-08,6.286633e-08,6.424498e-08,6.456695e-08,6.556403e-08,6.627711e-08,6.682469e-08,6.788684e-08,6.802831e-08,6.917627e-08,6.939932e-08,7.027005e-08,7.081789e-08,7.131112e-08,7.214601e-08,7.230101e-08,7.324126e-08,7.338719e-08,7.413339e-08,7.454496e-08,7.497892e-08,7.562282e-08,7.577938e-08,7.653626e-08,7.662422e-08,7.725103e-08,7.755256e-08,7.792514e-08,7.841114e-08,7.856001e-08,7.915704e-08,7.920321e-08,7.971758e-08,7.993187e-08,8.024295e-08,8.060018e-08,8.073446e-08,8.119335e-08,8.121105e-08,8.162085e-08,8.176730e-08,8.201815e-08,8.227164e-08,8.238639e-08,8.272670e-08,8.304016e-08,8.313497e-08,8.332783e-08,8.349886e-08,8.359071e-08,8.382068e-08,8.382980e-08,8.404604e-08,8.410262e-08,8.424036e-08,8.434680e-08,8.441365e-08,8.455524e-08,8.456677e-08,8.470054e-08,8.472986e-08,8.481579e-08,8.487252e-08,8.491327e-08,8.498495e-08,8.499374e-08,8.505791e-08,8.506886e-08,8.510650e-08,8.512582e-08,8.514016e-08,8.515738e-08,8.515955e-08,8.516529e-08,8.516498e-08,8.515798e-08,8.515002e-08,8.513821e-08,8.511380e-08,8.510654e-08,8.506349e-08,8.505759e-08,8.500960e-08,8.498258e-08,8.494536e-08,8.488991e-08,8.487125e-08,8.478775e-08,8.478067e-08,8.469528e-08,8.465588e-08,8.459429e-08,8.451653e-08,8.448519e-08,8.436837e-08,8.436354e-08,8.424422e-08,8.419780e-08,8.411310e-08,8.402015e-08,8.397538e-08,8.383139e-08,8.363227e-08,8.342353e-08,8.320584e-08,8.297985e-08,8.274618e-08,8.250541e-08,8.225810e-08,8.200477e-08,8.174593e-08,8.148204e-08,8.121356e-08,8.094091e-08,8.066449e-08,8.038468e-08,8.010185e-08,7.981632e-08,7.952843e-08,7.923848e-08,7.894676e-08,7.865354e-08,7.835908e-08,7.806362e-08,7.776739e-08,7.747061e-08
0.000000e+00,1.342123e-11,3.071982e-11,1.053115e-10,2.385440e-10,3.470173e-10,7.803438e-10,8.035008e-10,1.535845e-09,1.798458e-09,2.603630e-09,3.429940e-09,4.065855e-09,5.806588e-09,5.977063e-09,8.374428e-09,9.023319e-09,1.126103e-08,1.308013e-08,1.460442e-08,1.788407e-08,1.835360e-08,2.245481e-08,2.331275e-08,2.685705e-08,2.924905e-08,3.151192e-08,3.558281e-08,3.637238e-08,4.139215e-08,4.220704e-08,4.652570e-08,4.901716e-08,5.172877e-08,5.591279e-08,5.695908e-08,6.217700e-08,6.280056e-08,6.734623e-08,6.959673e-08,7.243422e-08,7.622912e-08,7.741255e-08,8.225695e-08,8.263809e-08,8.694734e-08,8.877664e-08,9.146762e-08,9.460982e-08,9.580544e-08,9.995185e-08,1.001136e-07,1.039009e-07,1.052736e-07,1.076494e-07,1.100833e-07,1.111965e-07,1.145432e-07,1.176921e-07,1.186586e-07,1.206473e-07,1.224392e-07,1.234137e-07,1.258973e-07,1.259972e-07,1.284041e-07,1.290473e-07,1.306413e-07,1.319050e-07,1.327157e-07,1.344868e-07,1.346347e-07,1.364056e-07,1.368094e-07,1.380355e-07,1.388893e-07,1.395316e-07,1.407430e-07,1.409009e-07,1.421502e-07,1.423862e-07,1.432860e-07,1.438340e-07,1.443148e-07,1.451007e-07,1.452426e-07,1.460754e-07,1.462002e-07,1.468186e-07,1.471451e-07,1.474776e-07,1.479476e-07,1.480575e-07,1.485630e-07,1.486189e-07,1.489989e-07,1.491697e-07,1.493694e-07,1.496097e-07,1.496786e-07,1.499304e-07,1.499482e-07,1.501285e-07,1.501934e-07,1.502763e-07,1.503535e-07,1.503772e-07,1.504341e-07,1.504356e-07,1.504502e-07,1.504465e-07,1.504280e-07,1.503924e-07,1.503702e-07,1.502793e-07,1.501575e-07,1.501123e-07,1.500070e-07,1.498966e-07,1.498298e-07,1.496365e-07,1.496280e-07,1.494032e-07,1.493364e-07,1.491573e-07,1.490002e-07,1.488917e-07,1.486314e-07,1.486081e-07,1.483078e-07,1.482334e-07,1.479922e-07,1.478093e-07,1.476626e-07,1.473618e-07,1.473200e-07,1.469657e-07,1.468936e-07,1.466007e-07,1.464070e-07,1.462260e-07,1.459043e-07,1.458424e-07,1.454509e-07,1.453876e-07,1.450523e-07,1.448586e-07,1.446473e-07,1.443192e-07,1.442367e-07,1.438211e-07,1.437709e-07,1.434012e-07,1.432152e-07,1.429775e-07,1.426534e-07,1.425507e-07,1.421212e-07,1.420868e-07,1.416896e-07,1.415165e-07,1.412563e-07,1.409435e-07,1.408217e-07,1.403863e-07,1.403688e-07,1.399503e-07,1.397934e-07,1.395143e-07,1.392179e-07,1.390784e-07,1.386431e-07,1.380697e-07,1.374983e-07,1.369295e-07,1.363637e-07,1.358015e-07,1.352432e-07,1.346893e-07,1.341400e-07,1.335957e-07,1.330567e-07,1.325232e-07,1.319953e-07,1.314735e-07,1.309577e-07,1.304481e-07,1.299450e-07,1.294483e-07,1.289582e-07,1.284748e-07,1.279981e-07,1.275282e-07,1.270651e-07,1.266088e-07,1.261595e-07
0.000000e+00,1.242573e-10,2.979978e-10,1.078427e-09,2.514389e-09,3.701716e-09,8.524593e-09,8.784719e-09,1.708487e-08,2.008628e-08,2.934029e-08,3.889436e-08,4.627613e-08,6.659777e-08,6.859766e-08,9.696414e-08,1.047371e-07,1.319388e-07,1.545665e-07,1.739123e-07,2.167434e-07,2.230065e-07,2.789858e-07,2.909594e-07,3.412278e-07,3.757665e-07,4.087970e-07,4.688740e-07,4.806017e-07,5.555573e-07,5.677755e-07,6.326898e-07,6.702375e-07,7.111695e-07,7.744547e-07,7.903053e-07,8.695234e-07,8.790116e-07,9.483474e-07,9.828003e-07,1.026381e-06,1.084952e-06,1.103294e-06,1.178817e-06,1.184791e-06,1.252728e-06,1.281801e-06,1.324852e-06,1.375595e-06,1.395050e-06,1.463219e-06,1.465902e-06,1.529281e-06,1.552537e-06,1.593185e-06,1.635390e-06,1.654900e-06,1.714413e-06,1.771726e-06,1.789602e-06,1.826849e-06,1.860990e-06,1.879808e-06,1.928638e-06,1.930631e-06,1.979355e-06,1.992628e-06,2.026023e-06,2.053055e-06,2.070679e-06,2.110027e-06,2.113372e-06,2.154152e-06,2.163660e-06,2.193071e-06,2.214072e-06,2.230181e-06,2.261385e-06,2.265537e-06,2.299190e-06,2.305721e-06,2.331195e-06,2.347203e-06,2.361603e-06,2.385951e-06,2.390468e-06,2.417841e-06,2.422086e-06,2.443772e-06,2.455722e-06,2.468312e-06,2.486975e-06,2.491509e-06,2.513411e-06,2.515955e-06,2.534065e-06,2.542769e-06,2.553516e-06,2.567522e-06,2.571809e-06,2.588987e-06,2.590314e-06,2.605092e-06,2.611242e-06,2.620164e-06,2.630400e-06,2.634245e-06,2.647372e-06,2.647878e-06,2.659582e-06,2.663761e-06,2.670913e-06,2.678133e-06,2.681399e-06,2.691075e-06,2.699972e-06,2.702661e-06,2.708125e-06,2.712965e-06,2.715562e-06,2.722058e-06,2.722315e-06,2.728412e-06,2.730005e-06,2.733881e-06,2.736872e-06,2.738748e-06,2.742719e-06,2.743042e-06,2.746785e-06,2.747604e-06,2.750003e-06,2.751584e-06,2.752719e-06,2.754712e-06,2.754955e-06,2.756734e-06,2.757037e-06,2.758077e-06,2.758609e-06,2.759003e-06,2.759474e-06,2.759533e-06,2.759685e-06,2.759675e-06,2.759477e-06,2.759254e-06,2.758927e-06,2.758251e-06,2.758051e-06,2.756866e-06,2.756704e-06,2.755387e-06,2.754648e-06,2.753630e-06,2.752117e-06,2.751608e-06,2.749336e-06,2.749144e-06,2.746827e-06,2.745760e-06,2.744094e-06,2.741994e-06,2.741148e-06,2.738003e-06,2.737873e-06,2.734669e-06,2.733424e-06,2.731157e-06,2.728672e-06,2.727477e-06,2.723640e-06,2.718351e-06,2.712827e-06,2.707086e-06,2.701148e-06,2.695031e-06,2.688752e-06,2.682327e-06,2.675771e-06,2.669098e-06,2.662323e-06,2.655457e-06,2.648513e-06,2.641502e-06,2.634434e-06,2.627321e-06,2.620170e-06,2.612991e-06,2.605792e-06,2.598582e-06,2.591367e-06,2.584154e-06,2.576949e-06,2.569760e-06,2.562590e-06
0.000000e+00,9.648459e-12,2.207767e-11,7.586405e-11,1.724675e-10,2.514720e-10,5.691963e-10,5.862504e-10,1.128367e-09,1.323810e-09,1.925474e-09,2.545772e-09,3.024572e-09,4.339873e-09,4.468997e-09,6.290350e-09,6.785094e-09,8.496783e-09,9.893877e-09,1.106760e-08,1.359909e-08,1.396194e-08,1.713282e-08,1.779615e-08,2.053518e-08,2.238203e-08,2.412768e-08,2.726438e-08,2.787224e-08,3.173343e-08,3.235980e-08,3.567823e-08,3.759238e-08,3.967616e-08,4.289400e-08,4.369945e-08,4.772321e-08,4.820503e-08,5.172558e-08,5.347487e-08,5.568766e-08,5.866196e-08,5.959346e-08,6.342969e-08,6.373325e-08,6.718554e-08,6.866338e-08,7.085242e-08,7.343367e-08,7.442366e-08,7.789432e-08,7.803100e-08,8.126088e-08,8.244688e-08,8.452104e-08,8.667648e-08,8.767351e-08,9.071784e-08,9.365429e-08,9.457128e-08,9.648363e-08,9.823876e-08,9.920712e-08,1.017236e-07,1.018263e-07,1.043432e-07,1.050298e-07,1.067597e-07,1.081624e-07,1.090782e-07,1.111267e-07,1.113011e-07,1.134307e-07,1.139282e-07,1.154697e-07,1.165728e-07,1.174205e-07,1.190664e-07,1.192858e-07,1.210681e-07,1.214149e-07,1.227700e-07,1.236241e-07,1.243940e-07,1.256998e-07,1.259427e-07,1.274184e-07,1.276479e-07,1.288237e-07,1.294739e-07,1.301608e-07,1.311831e-07,1.314323e-07,1.326402e-07,1.327810e-07,1.337869e-07,1.342726e-07,1.348745e-07,1.356628e-07,1.359051e-07,1.368808e-07,1.369566e-07,1.378037e-07,1.381584e-07,1.386756e-07,1.392728e-07,1.394984e-07,1.402739e-07,1.403040e-07,1.410041e-07,1.412561e-07,1.416905e-07,1.421331e-07,1.423348e-07,1.429387e-07,1.435037e-07,1.436765e-07,1.440313e-07,1.443501e-07,1.445231e-07,1.449627e-07,1.449804e-07,1.454045e-07,1.455175e-07,1.457969e-07,1.460176e-07,1.461588e-07,1.464658e-07,1.464914e-07,1.467959e-07,1.468649e-07,1.470734e-07,1.472175e-07,1.473252e-07,1.475262e-07,1.475522e-07,1.477555e-07,1.477934e-07,1.479361e-07,1.480213e-07,1.480949e-07,1.482121e-07,1.482329e-07,1.483509e-07,1.483680e-07,1.484499e-07,1.484908e-07,1.485306e-07,1.485826e-07,1.485939e-07,1.486405e-07,1.486450e-07,1.486712e-07,1.486798e-07,1.486866e-07,1.486886e-07,1.486876e-07,1.486747e-07,1.486730e-07,1.486485e-07,1.486345e-07,1.486097e-07,1.485744e-07,1.485590e-07,1.484967e-07,1.484940e-07,1.484236e-07,1.483947e-07,1.483401e-07,1.482776e-07,1.482467e-07,1.481440e-07,1.479948e-07,1.478311e-07,1.476539e-07,1.474641e-07,1.472627e-07,1.470504e-07,1.468280e-07,1.465963e-07,1.463561e-07,1.461079e-07,1.458525e-07,1.455904e-07,1.453223e-07,1.450486e-07,1.447699e-07,1.444867e-07,1.441995e-07,1.439087e-07,1.436147e-07,1.433179e-07,1.430187e-07,1.427174e-07,1.424144e-07,1.421100e-07
0.000000e+00,3.597121e-10,9.499339e-10,3.884457e-09,9.663893e-09,1.459261e-08,3.517733e-08,3.630248e-08,7.259077e-08,8.583080e-08,1.268636e-07,1.694379e-07,2.024277e-07,2.935496e-07,3.025374e-07,4.303730e-07,4.655152e-07,5.888731e-07,6.919274e-07,7.803370e-07,9.769926e-07,1.005850e-06,1.264871e-06,1.320537e-06,1.555362e-06,1.717891e-06,1.874365e-06,2.161955e-06,2.218590e-06,2.584764e-06,2.645176e-06,2.969737e-06,3.160311e-06,3.370491e-06,3.700500e-06,3.784119e-06,4.207804e-06,4.259192e-06,4.638822e-06,4.830115e-06,5.074555e-06,5.407322e-06,5.512504e-06,5.950315e-06,5.985267e-06,6.385798e-06,6.558882e-06,6.816942e-06,7.123650e-06,7.241928e-06,7.659135e-06,7.675641e-06,8.067143e-06,8.211532e-06,8.464728e-06,8.728597e-06,8.850856e-06,9.224674e-06,9.585501e-06,9.698131e-06,9.932808e-06,1.014781e-05,1.026621e-05,1.057295e-05,1.058545e-05,1.089038e-05,1.097319e-05,1.118096e-05,1.134843e-05,1.145722e-05,1.169884e-05,1.171929e-05,1.196734e-05,1.202481e-05,1.220160e-05,1.232687e-05,1.242235e-05,1.260569e-05,1.262991e-05,1.282461e-05,1.286204e-05,1.300681e-05,1.309675e-05,1.317690e-05,1.331071e-05,1.333527e-05,1.348233e-05,1.350483e-05,1.361846e-05,1.368005e-05,1.374409e-05,1.383730e-05,1.385961e-05,1.396544e-05,1.397750e-05,1.406196e-05,1.410158e-05,1.414957e-05,1.421044e-05,1.422866e-05,1.429960e-05,1.430493e-05,1.436276e-05,1.438593e-05,1.441850e-05,1.445423e-05,1.446716e-05,1.450909e-05,1.451063e-05,1.454461e-05,1.455589e-05,1.457404e-05,1.459073e-05,1.459769e-05,1.461585e-05,1.462881e-05,1.463190e-05,1.463684e-05,1.463952e-05,1.464022e-05,1.463930e-05,1.463918e-05,1.463399e-05,1.463182e-05,1.462487e-05,1.461761e-05,1.461205e-05,1.459718e-05,1.459576e-05,1.457619e-05,1.457103e-05,1.455355e-05,1.453960e-05,1.452802e-05,1.450333e-05,1.449980e-05,1.446906e-05,1.446262e-05,1.443596e-05,1.441787e-05,1.440066e-05,1.436943e-05,1.436333e-05,1.432410e-05,1.431765e-05,1.428311e-05,1.426285e-05,1.424049e-05,1.420532e-05,1.419638e-05,1.415090e-05,1.414535e-05,1.410415e-05,1.408322e-05,1.405626e-05,1.401915e-05,1.400732e-05,1.395743e-05,1.395340e-05,1.390669e-05,1.388617e-05,1.385518e-05,1.381767e-05,1.380300e-05,1.375022e-05,1.374810e-05,1.369692e-05,1.367762e-05,1.364317e-05,1.360640e-05,1.358904e-05,1.353460e-05,1.346235e-05,1.338980e-05,1.331707e-05,1.324426e-05,1.317148e-05,1.309883e-05,1.302641e-05,1.295428e-05,1.288254e-05,1.281124e-05,1.274045e-05,1.267022e-05,1.260062e-05,1.253168e-05,1.246345e-05,1.239597e-05,1.232926e-05,1.226338e-05,1.219833e-05,1.213414e-05,1.207083e-05,1.200843e-05,1.194694e-05,1.188638e-05
0.000000e+00,1.627642e-11,3.737416e-11,1.287870e-10,2.928935e-10,4.269606e-10,9.649115e-10,9.937373e-10,1.907941e-09,2.236681e-09,3.246600e-09,4.285475e-09,5.086484e-09,7.287113e-09,7.503413e-09,1.056653e-08,1.140395e-08,1.432488e-08,1.673955e-08,1.879049e-08,2.328154e-08,2.393243e-08,2.968948e-08,3.090837e-08,3.598928e-08,3.945566e-08,4.275998e-08,4.876159e-08,4.993381e-08,5.744659e-08,5.867594e-08,6.523668e-08,6.905679e-08,7.324425e-08,7.976779e-08,8.141121e-08,8.968153e-08,9.067835e-08,9.800178e-08,1.016654e-07,1.063217e-07,1.126159e-07,1.145949e-07,1.227790e-07,1.234287e-07,1.308363e-07,1.340162e-07,1.387337e-07,1.443047e-07,1.464427e-07,1.539394e-07,1.542345e-07,1.612040e-07,1.637594e-07,1.682211e-07,1.728451e-07,1.749788e-07,1.814684e-07,1.876843e-07,1.896151e-07,1.936237e-07,1.972794e-07,1.992858e-07,2.044617e-07,2.046719e-07,2.097847e-07,2.111679e-07,2.146285e-07,2.174078e-07,2.192086e-07,2.231947e-07,2.235312e-07,2.276032e-07,2.285440e-07,2.314320e-07,2.334729e-07,2.350255e-07,2.379995e-07,2.383917e-07,2.415389e-07,2.421428e-07,2.444754e-07,2.459219e-07,2.472095e-07,2.493559e-07,2.497496e-07,2.521037e-07,2.524637e-07,2.542800e-07,2.552638e-07,2.562864e-07,2.577742e-07,2.581304e-07,2.598197e-07,2.600123e-07,2.613614e-07,2.619949e-07,2.627627e-07,2.637378e-07,2.640302e-07,2.651706e-07,2.652565e-07,2.661902e-07,2.665655e-07,2.670950e-07,2.676788e-07,2.678910e-07,2.685837e-07,2.686093e-07,2.691784e-07,2.693696e-07,2.696805e-07,2.699715e-07,2.700948e-07,2.704260e-07,2.706788e-07,2.707438e-07,2.708573e-07,2.709345e-07,2.709658e-07,2.710077e-07,2.710082e-07,2.709883e-07,2.709720e-07,2.709097e-07,2.708357e-07,2.707758e-07,2.706066e-07,2.705899e-07,2.703552e-07,2.702919e-07,2.700746e-07,2.698985e-07,2.697509e-07,2.694327e-07,2.693870e-07,2.689853e-07,2.689006e-07,2.685483e-07,2.683079e-07,2.680783e-07,2.676597e-07,2.675776e-07,2.670483e-07,2.669611e-07,2.664924e-07,2.662167e-07,2.659118e-07,2.654307e-07,2.653083e-07,2.646836e-07,2.646073e-07,2.640395e-07,2.637503e-07,2.633773e-07,2.628630e-07,2.626987e-07,2.620051e-07,2.619490e-07,2.612976e-07,2.610111e-07,2.605777e-07,2.600524e-07,2.598465e-07,2.591052e-07,2.590754e-07,2.583548e-07,2.580826e-07,2.575963e-07,2.570765e-07,2.568308e-07,2.560590e-07,2.550324e-07,2.539983e-07,2.529585e-07,2.519147e-07,2.508683e-07,2.498207e-07,2.487731e-07,2.477268e-07,2.466828e-07,2.456422e-07,2.446057e-07,2.435744e-07,2.425488e-07,2.415299e-07,2.405182e-07,2.395142e-07,2.385186e-07,2.375319e-07,2.365544e-07,2.355866e-07,2.346288e-07,2.336813e-07,2.327445e-07,2.318186e-07
0.000000e+00,1.435180e-09,4.163597e-09,2.000792e-08,5.599343e-08,8.940577e-08,2.439326e-07,2.528836e-07,5.606397e-07,6.804106e-07,1.071438e-06,1.503972e-06,1.855129e-06,2.884610e-06,2.990163e-06,4.547724e-06,4.989602e-06,6.565645e-06,7.895463e-06,9.036117e-06,1.155252e-05,1.191841e-05,1.515931e-05,1.584581e-05,1.870636e-05,2.065601e-05,2.251267e-05,2.588007e-05,2.653706e-05,3.074260e-05,3.142998e-05,3.509506e-05,3.722680e-05,3.956182e-05,4.319632e-05,4.411137e-05,4.871317e-05,4.926748e-05,5.333778e-05,5.537258e-05,5.795729e-05,6.144851e-05,6.254550e-05,6.707826e-05,6.743781e-05,7.153381e-05,7.329001e-05,7.589289e-05,7.896225e-05,8.013886e-05,8.425766e-05,8.441959e-05,8.823772e-05,8.963474e-05,9.206988e-05,9.458770e-05,9.574731e-05,9.926522e-05,1.026206e-04,1.036597e-04,1.058121e-04,1.077686e-04,1.088397e-04,1.115932e-04,1.117047e-04,1.144093e-04,1.151382e-04,1.169564e-04,1.184106e-04,1.193498e-04,1.214194e-04,1.215935e-04,1.236923e-04,1.241749e-04,1.256509e-04,1.266883e-04,1.274744e-04,1.289714e-04,1.291680e-04,1.307369e-04,1.310362e-04,1.321865e-04,1.328948e-04,1.335219e-04,1.345592e-04,1.347483e-04,1.358707e-04,1.360410e-04,1.368942e-04,1.373517e-04,1.378235e-04,1.385023e-04,1.386633e-04,1.394181e-04,1.395032e-04,1.400922e-04,1.403644e-04,1.406900e-04,1.410956e-04,1.412153e-04,1.416721e-04,1.417058e-04,1.420641e-04,1.422036e-04,1.423949e-04,1.425970e-04,1.426678e-04,1.428860e-04,1.428937e-04,1.430528e-04,1.431008e-04,1.431710e-04,1.432251e-04,1.432434e-04,1.432728e-04,1.432617e-04,1.432500e-04,1.432126e-04,1.431622e-04,1.431277e-04,1.430146e-04,1.430092e-04,1.428593e-04,1.428119e-04,1.426799e-04,1.425589e-04,1.424729e-04,1.422597e-04,1.422402e-04,1.419834e-04,1.419184e-04,1.417041e-04,1.415385e-04,1.414040e-04,1.411236e-04,1.410843e-04,1.407466e-04,1.406770e-04,1.403920e-04,1.402015e-04,1.400220e-04,1.397000e-04,1.396376e-04,1.392399e-04,1.391752e-04,1.388301e-04,1.386293e-04,1.384091e-04,1.380648e-04,1.379778e-04,1.375372e-04,1.374837e-04,1.370881e-04,1.368880e-04,1.366313e-04,1.362794e-04,1.361675e-04,1.356976e-04,1.356597e-04,1.352220e-04,1.350304e-04,1.347416e-04,1.343930e-04,1.342569e-04,1.337684e-04,1.337488e-04,1.332768e-04,1.330991e-04,1.327824e-04,1.324450e-04,1.322859e-04,1.317876e-04,1.311278e-04,1.304667e-04,1.298050e-04,1.291434e-04,1.284828e-04,1.278238e-04,1.271670e-04,1.265129e-04,1.258620e-04,1.252149e-04,1.245719e-04,1.239334e-04,1.232997e-04,1.226713e-04,1.220483e-04,1.214311e-04,1.208198e-04,1.202147e-04,1.196160e-04,1.190237e-04,1.184382e-04,1.178594e-04,1.172876e-04,1.167227e-04
0.000000e+00,1.114422e-09,3.194881e-09,1.499396e-08,4.110360e-08,6.490722e-08,1.721592e-07,1.782721e-07,3.842344e-07,4.626909e-07,7.141122e-07,9.856594e-07,1.202106e-06,1.820418e-06,1.882648e-06,2.780992e-06,3.030095e-06,3.902837e-06,4.624264e-06,5.234938e-06,6.563204e-06,6.754678e-06,8.438203e-06,8.792598e-06,1.026368e-05,1.126246e-05,1.221152e-05,1.392891e-05,1.426350e-05,1.640199e-05,1.675101e-05,1.860944e-05,1.968832e-05,2.086816e-05,2.270013e-05,2.316041e-05,2.546867e-05,2.574591e-05,2.777583e-05,2.878640e-05,3.006558e-05,3.178471e-05,3.232267e-05,3.453323e-05,3.470768e-05,3.668489e-05,3.752659e-05,3.876689e-05,4.021764e-05,4.077016e-05,4.268733e-05,4.276214e-05,4.451260e-05,4.514634e-05,4.624174e-05,4.736115e-05,4.787192e-05,4.940158e-05,5.083029e-05,5.126623e-05,5.215863e-05,5.295670e-05,5.338798e-05,5.447698e-05,5.452045e-05,5.555870e-05,5.583294e-05,5.650585e-05,5.703184e-05,5.736535e-05,5.808188e-05,5.814093e-05,5.883644e-05,5.899190e-05,5.945589e-05,5.977104e-05,6.000328e-05,6.042857e-05,6.048263e-05,6.089791e-05,6.097362e-05,6.125300e-05,6.141512e-05,6.155169e-05,6.176168e-05,6.179763e-05,6.199436e-05,6.202149e-05,6.214524e-05,6.220233e-05,6.225350e-05,6.231148e-05,6.232220e-05,6.235427e-05,6.235579e-05,6.235244e-05,6.234158e-05,6.231932e-05,6.227474e-05,6.225737e-05,6.216888e-05,6.216072e-05,6.205603e-05,6.200453e-05,6.192085e-05,6.181077e-05,6.176525e-05,6.159100e-05,6.158366e-05,6.139977e-05,6.132708e-05,6.119313e-05,6.104455e-05,6.097252e-05,6.073929e-05,6.049472e-05,6.041425e-05,6.023997e-05,6.007209e-05,5.997613e-05,5.971526e-05,5.970424e-05,5.942522e-05,5.934594e-05,5.913996e-05,5.896615e-05,5.884927e-05,5.857769e-05,5.855391e-05,5.825457e-05,5.818221e-05,5.795191e-05,5.778119e-05,5.764652e-05,5.737596e-05,5.733896e-05,5.702974e-05,5.696774e-05,5.671933e-05,5.655760e-05,5.640818e-05,5.614652e-05,5.609667e-05,5.578519e-05,5.573538e-05,5.547408e-05,5.532496e-05,5.516364e-05,5.491597e-05,5.485416e-05,5.454591e-05,5.450902e-05,5.423913e-05,5.410467e-05,5.393404e-05,5.370342e-05,5.363083e-05,5.332969e-05,5.330569e-05,5.303078e-05,5.291187e-05,5.273425e-05,5.252231e-05,5.244025e-05,5.214888e-05,5.213728e-05,5.186025e-05,5.175704e-05,5.157448e-05,5.138182e-05,5.129163e-05,5.101179e-05,5.064711e-05,5.028791e-05,4.993431e-05,4.958637e-05,4.924418e-05,4.890777e-05,4.857717e-05,4.825241e-05,4.793349e-05,4.762039e-05,4.731311e-05,4.701161e-05,4.671586e-05,4.642581e-05,4.614143e-05,4.586265e-05,4.558941e-05,4.532165e-05,4.505930e-05,4.480229e-05,4.455055e-05,4.430399e-05,4.406254e-05,4.382612e-05
0.000000e+00,6.467032e-12,1.478629e-11,5.073719e-11,1.152149e-10,1.679009e-10,3.796170e-10,3.909780e-10,7.522009e-10,8.825205e-10,1.284212e-09,1.699351e-09,2.020613e-09,2.907381e-09,2.994796e-09,4.235206e-09,4.574556e-09,5.756187e-09,6.728371e-09,7.549443e-09,9.329759e-09,9.585666e-09,1.182581e-08,1.229484e-08,1.423124e-08,1.553580e-08,1.676762e-08,1.897726e-08,1.940486e-08,2.211620e-08,2.255523e-08,2.487734e-08,2.621379e-08,2.766610e-08,2.990335e-08,3.046228e-08,3.324765e-08,3.358038e-08,3.600605e-08,3.720749e-08,3.872335e-08,4.075350e-08,4.138747e-08,4.398829e-08,4.419336e-08,4.651754e-08,4.750768e-08,4.896866e-08,5.068221e-08,5.133662e-08,5.361774e-08,5.370714e-08,5.580954e-08,5.657641e-08,5.791056e-08,5.928706e-08,5.992020e-08,6.183852e-08,6.366618e-08,6.423207e-08,6.540437e-08,6.647056e-08,6.705464e-08,6.855788e-08,6.861882e-08,7.009902e-08,7.049872e-08,7.149748e-08,7.229832e-08,7.281661e-08,7.396229e-08,7.405890e-08,7.522688e-08,7.549643e-08,7.632313e-08,7.690666e-08,7.735024e-08,7.819895e-08,7.831079e-08,7.920734e-08,7.937919e-08,8.004240e-08,8.045314e-08,8.081842e-08,8.142642e-08,8.153782e-08,8.220295e-08,8.230448e-08,8.281611e-08,8.309262e-08,8.337954e-08,8.379594e-08,8.389542e-08,8.436584e-08,8.441933e-08,8.479285e-08,8.496749e-08,8.517842e-08,8.544491e-08,8.552446e-08,8.583280e-08,8.585590e-08,8.610524e-08,8.620454e-08,8.634347e-08,8.649474e-08,8.654915e-08,8.672386e-08,8.673023e-08,8.686914e-08,8.691452e-08,8.698646e-08,8.705099e-08,8.707723e-08,8.714280e-08,8.718448e-08,8.719298e-08,8.720352e-08,8.720438e-08,8.720112e-08,8.717972e-08,8.717844e-08,8.713656e-08,8.712155e-08,8.707656e-08,8.703229e-08,8.699945e-08,8.691423e-08,8.690619e-08,8.679772e-08,8.676952e-08,8.667492e-08,8.660022e-08,8.653865e-08,8.640822e-08,8.638971e-08,8.622889e-08,8.619536e-08,8.605692e-08,8.596333e-08,8.587452e-08,8.571375e-08,8.568237e-08,8.548112e-08,8.544811e-08,8.527137e-08,8.516785e-08,8.505373e-08,8.487431e-08,8.482875e-08,8.459698e-08,8.456873e-08,8.435891e-08,8.425230e-08,8.411505e-08,8.392613e-08,8.386586e-08,8.361178e-08,8.359125e-08,8.335322e-08,8.324864e-08,8.309060e-08,8.289921e-08,8.282430e-08,8.255467e-08,8.254382e-08,8.228206e-08,8.218325e-08,8.200680e-08,8.181827e-08,8.172920e-08,8.144956e-08,8.107778e-08,8.070354e-08,8.032740e-08,7.994990e-08,7.957151e-08,7.919271e-08,7.881391e-08,7.843551e-08,7.805787e-08,7.768132e-08,7.730619e-08,7.693275e-08,7.656128e-08,7.619201e-08,7.582518e-08,7.546097e-08,7.509959e-08,7.474120e-08,7.438596e-08,7.403401e-08,7.368547e-08,7.334046e-08,7.299908e-08,7.266142e-08
0.000000e+00,1.006427e-09,2.764797e-09,1.202105e-08,3.110031e-08,4.775990e-08,1.190582e-07,1.230064e-07,2.520498e-07,2.997710e-07,4.493181e-07,6.067497e-07,7.301440e-07,1.076622e-06,1.111208e-06,1.609928e-06,1.748945e-06,2.241676e-06,2.657060e-06,3.014622e-06,3.809190e-06,3.925360e-06,4.959734e-06,5.179753e-06,6.098199e-06,6.724703e-06,7.321007e-06,8.400460e-06,8.610651e-06,9.952199e-06,1.017078e-05,1.133278e-05,1.200593e-05,1.274098e-05,1.388036e-05,1.416633e-05,1.559909e-05,1.577108e-05,1.703009e-05,1.765693e-05,1.845071e-05,1.951846e-05,1.985290e-05,2.122925e-05,2.133804e-05,2.257303e-05,2.310006e-05,2.387825e-05,2.479117e-05,2.513969e-05,2.635292e-05,2.640040e-05,2.751429e-05,2.791910e-05,2.862088e-05,2.934094e-05,2.967052e-05,3.066171e-05,3.159357e-05,3.187917e-05,3.246581e-05,3.299284e-05,3.327865e-05,3.400365e-05,3.403270e-05,3.472890e-05,3.491363e-05,3.536853e-05,3.572581e-05,3.595319e-05,3.644402e-05,3.648462e-05,3.696475e-05,3.707257e-05,3.739564e-05,3.761622e-05,3.777942e-05,3.807992e-05,3.811828e-05,3.841443e-05,3.846873e-05,3.867009e-05,3.878776e-05,3.888747e-05,3.904207e-05,3.906873e-05,3.921602e-05,3.923657e-05,3.933140e-05,3.937604e-05,3.941688e-05,3.946505e-05,3.947442e-05,3.950586e-05,3.950797e-05,3.951303e-05,3.950893e-05,3.949761e-05,3.947182e-05,3.946127e-05,3.940555e-05,3.940030e-05,3.933193e-05,3.929779e-05,3.924182e-05,3.916748e-05,3.913656e-05,3.901739e-05,3.901235e-05,3.888551e-05,3.883513e-05,3.874203e-05,3.863838e-05,3.858801e-05,3.842444e-05,3.825224e-05,3.819546e-05,3.807230e-05,3.795345e-05,3.788543e-05,3.770022e-05,3.769239e-05,3.749390e-05,3.743744e-05,3.729063e-05,3.716664e-05,3.708321e-05,3.688921e-05,3.687221e-05,3.665819e-05,3.660643e-05,3.644164e-05,3.631944e-05,3.622303e-05,3.602931e-05,3.600281e-05,3.578137e-05,3.573697e-05,3.555909e-05,3.544328e-05,3.533631e-05,3.514903e-05,3.511336e-05,3.489053e-05,3.485491e-05,3.466809e-05,3.456154e-05,3.444630e-05,3.426948e-05,3.422538e-05,3.400554e-05,3.397924e-05,3.378698e-05,3.369126e-05,3.356987e-05,3.340593e-05,3.335437e-05,3.314062e-05,3.312360e-05,3.292877e-05,3.284458e-05,3.271891e-05,3.256912e-05,3.251117e-05,3.230564e-05,3.229746e-05,3.210239e-05,3.202980e-05,3.190151e-05,3.176630e-05,3.170307e-05,3.150711e-05,3.125233e-05,3.100207e-05,3.075639e-05,3.051536e-05,3.027901e-05,3.004737e-05,2.982044e-05,2.959822e-05,2.938071e-05,2.916788e-05,2.895970e-05,2.875613e-05,2.855714e-05,2.836266e-05,2.817264e-05,2.798703e-05,2.780575e-05,2.762875e-05,2.745595e-05,2.728728e-05,2.712267e-05,2.696204e-05,2.680532e-05,2.665242e-05
0.000000e+00,1.160440e-09,3.231694e-09,1.439857e-08,3.796235e-08,5.885064e-08,1.500514e-07,1.551644e-07,3.247850e-07,3.885208e-07,5.909831e-07,8.077911e-07,9.798717e-07,1.470905e-06,1.520444e-06,2.242427e-06,2.445664e-06,3.170508e-06,3.785055e-06,4.315329e-06,5.494363e-06,5.666578e-06,7.195261e-06,7.519011e-06,8.863824e-06,9.774453e-06,1.063583e-05,1.218154e-05,1.248049e-05,1.437319e-05,1.467910e-05,1.629425e-05,1.722161e-05,1.822763e-05,1.977415e-05,2.015996e-05,2.207987e-05,2.230894e-05,2.397764e-05,2.480345e-05,2.584497e-05,2.723944e-05,2.767487e-05,2.946148e-05,2.960239e-05,3.120005e-05,3.188114e-05,3.288677e-05,3.406744e-05,3.451873e-05,3.609374e-05,3.615553e-05,3.761033e-05,3.814182e-05,3.906762e-05,4.002447e-05,4.046520e-05,4.180310e-05,4.308173e-05,4.347847e-05,4.430174e-05,4.505219e-05,4.546404e-05,4.652657e-05,4.656973e-05,4.762008e-05,4.790445e-05,4.861645e-05,4.918896e-05,4.956027e-05,5.038346e-05,5.045304e-05,5.129629e-05,5.149147e-05,5.209159e-05,5.251660e-05,5.284052e-05,5.346247e-05,5.354466e-05,5.420556e-05,5.433269e-05,5.482478e-05,5.513081e-05,5.540385e-05,5.586035e-05,5.594428e-05,5.644756e-05,5.652473e-05,5.691513e-05,5.712730e-05,5.734841e-05,5.767128e-05,5.774879e-05,5.811761e-05,5.815981e-05,5.845619e-05,5.859591e-05,5.876579e-05,5.898248e-05,5.904766e-05,5.930299e-05,5.932230e-05,5.953293e-05,5.961806e-05,5.973863e-05,5.987232e-05,5.992116e-05,6.008157e-05,6.008754e-05,6.022089e-05,6.026607e-05,6.034008e-05,6.041013e-05,6.044011e-05,6.052187e-05,6.058625e-05,6.060332e-05,6.063410e-05,6.065643e-05,6.066624e-05,6.068303e-05,6.068344e-05,6.068648e-05,6.068489e-05,6.067607e-05,6.066366e-05,6.065291e-05,6.062093e-05,6.061768e-05,6.057103e-05,6.055820e-05,6.051358e-05,6.047691e-05,6.044591e-05,6.037838e-05,6.036862e-05,6.028223e-05,6.026391e-05,6.018729e-05,6.013471e-05,6.008430e-05,5.999191e-05,5.997373e-05,5.985606e-05,5.983661e-05,5.973174e-05,5.966982e-05,5.960117e-05,5.949251e-05,5.946479e-05,5.932296e-05,5.930560e-05,5.917608e-05,5.910993e-05,5.902448e-05,5.890634e-05,5.886853e-05,5.870854e-05,5.869557e-05,5.854482e-05,5.847836e-05,5.837768e-05,5.825537e-05,5.820739e-05,5.803423e-05,5.802725e-05,5.785846e-05,5.779459e-05,5.768032e-05,5.755796e-05,5.750006e-05,5.731788e-05,5.707485e-05,5.682934e-05,5.658178e-05,5.633257e-05,5.608210e-05,5.583072e-05,5.557876e-05,5.532654e-05,5.507434e-05,5.482242e-05,5.457104e-05,5.432043e-05,5.407081e-05,5.382236e-05,5.357527e-05,5.332971e-05,5.308584e-05,5.284380e-05,5.260371e-05,5.236570e-05,5.212988e-05,5.189634e-05,5.166517e-05,5.143646e-05
0.000000e+00,1.370297e-08,4.081881e-08,2.071827e-07,6.098195e-07,1.001588e-06,2.947118e-06,3.064949e-06,7.358459e-06,9.132872e-06,1.523006e-05,2.239895e-05,2.846784e-05,4.713424e-05,4.910159e-05,7.881384e-05,8.740452e-05,1.183971e-04,1.448681e-04,1.677600e-04,2.187857e-04,2.262596e-04,2.929970e-04,3.072466e-04,3.669858e-04,4.079947e-04,4.472307e-04,5.187581e-04,5.327584e-04,6.226288e-04,6.373501e-04,7.159381e-04,7.616927e-04,8.118217e-04,8.898272e-04,9.094562e-04,1.008064e-03,1.019927e-03,1.106919e-03,1.150317e-03,1.205347e-03,1.279488e-03,1.302736e-03,1.398536e-03,1.406117e-03,1.492263e-03,1.529076e-03,1.583496e-03,1.647439e-03,1.671882e-03,1.757127e-03,1.760468e-03,1.838999e-03,1.867610e-03,1.917316e-03,1.968475e-03,1.991951e-03,2.062819e-03,2.129876e-03,2.150528e-03,2.193115e-03,2.231593e-03,2.252556e-03,2.306091e-03,2.308247e-03,2.360257e-03,2.374171e-03,2.408671e-03,2.436035e-03,2.453591e-03,2.491928e-03,2.495130e-03,2.533407e-03,2.542123e-03,2.568550e-03,2.586910e-03,2.600689e-03,2.626592e-03,2.629957e-03,2.656487e-03,2.661476e-03,2.680413e-03,2.691869e-03,2.701866e-03,2.718070e-03,2.720975e-03,2.737868e-03,2.740373e-03,2.752666e-03,2.759060e-03,2.765488e-03,2.774402e-03,2.776450e-03,2.785662e-03,2.786655e-03,2.793230e-03,2.796065e-03,2.799255e-03,2.802862e-03,2.803834e-03,2.807060e-03,2.807262e-03,2.809021e-03,2.809469e-03,2.809799e-03,2.809672e-03,2.809475e-03,2.808123e-03,2.808049e-03,2.805816e-03,2.804764e-03,2.802620e-03,2.799971e-03,2.798598e-03,2.793812e-03,2.788318e-03,2.786420e-03,2.782170e-03,2.777915e-03,2.775417e-03,2.768411e-03,2.768108e-03,2.760288e-03,2.758012e-03,2.751998e-03,2.746815e-03,2.743278e-03,2.734908e-03,2.734166e-03,2.724696e-03,2.722374e-03,2.714902e-03,2.709287e-03,2.704814e-03,2.695717e-03,2.694461e-03,2.683871e-03,2.681727e-03,2.673069e-03,2.667377e-03,2.662080e-03,2.652719e-03,2.650924e-03,2.639624e-03,2.637804e-03,2.628199e-03,2.622677e-03,2.616668e-03,2.607378e-03,2.605047e-03,2.593354e-03,2.591946e-03,2.581602e-03,2.576416e-03,2.569805e-03,2.560819e-03,2.557978e-03,2.546132e-03,2.545184e-03,2.534279e-03,2.529537e-03,2.522428e-03,2.513903e-03,2.510591e-03,2.498775e-03,2.498303e-03,2.486991e-03,2.482757e-03,2.475245e-03,2.467283e-03,2.463544e-03,2.451897e-03,2.436613e-03,2.421445e-03,2.406404e-03,2.391502e-03,2.376747e-03,2.362147e-03,2.347711e-03,2.333444e-03,2.319352e-03,2.305441e-03,2.291713e-03,2.278174e-03,2.264825e-03,2.251669e-03,2.238708e-03,2.225944e-03,2.213377e-03,2.201009e-03,2.188839e-03,2.176867e-03,2.165094e-03,2.153518e-03,2.142139e-03,2.130956e-03
0.000000e+00,1.609910e-09,4.649179e-09,2.212381e-08,6.134088e-08,9.742633e-08,2.620071e-07,2.714551e-07,5.924598e-07,7.157883e-07,1.113837e-06,1.547718e-06,1.896133e-06,2.903371e-06,3.005727e-06,4.503325e-06,4.924947e-06,6.420548e-06,7.673648e-06,8.742043e-06,1.107609e-05,1.141264e-05,1.436016e-05,1.497653e-05,1.751398e-05,1.921484e-05,2.081318e-05,2.365973e-05,2.420738e-05,2.765484e-05,2.820894e-05,3.112011e-05,3.278051e-05,3.457212e-05,3.730539e-05,3.798304e-05,4.132771e-05,4.172351e-05,4.458344e-05,4.598250e-05,4.773005e-05,5.003759e-05,5.074998e-05,5.362842e-05,5.385220e-05,5.635336e-05,5.739820e-05,5.891561e-05,6.065596e-05,6.130870e-05,6.352872e-05,6.361390e-05,6.557406e-05,6.626765e-05,6.744517e-05,6.861912e-05,6.914437e-05,7.067565e-05,7.204427e-05,7.244887e-05,7.325647e-05,7.395339e-05,7.431923e-05,7.520591e-05,7.524012e-05,7.602711e-05,7.622459e-05,7.668837e-05,7.702813e-05,7.723196e-05,7.763500e-05,7.766586e-05,7.799798e-05,7.806340e-05,7.823599e-05,7.833091e-05,7.838723e-05,7.845417e-05,7.845878e-05,7.845735e-05,7.844887e-05,7.838931e-05,7.832959e-05,7.826060e-05,7.810970e-05,7.807681e-05,7.784312e-05,7.780143e-05,7.756440e-05,7.741596e-05,7.724517e-05,7.696345e-05,7.688962e-05,7.650161e-05,7.645304e-05,7.608470e-05,7.589297e-05,7.564219e-05,7.529063e-05,7.517711e-05,7.469222e-05,7.465266e-05,7.419010e-05,7.398495e-05,7.367307e-05,7.329278e-05,7.314326e-05,7.260264e-05,7.258081e-05,7.205299e-05,7.185322e-05,7.149594e-05,7.111369e-05,7.093298e-05,7.036547e-05,6.979463e-05,6.961144e-05,6.922158e-05,6.885414e-05,6.864733e-05,6.809578e-05,6.807281e-05,6.749884e-05,6.733833e-05,6.692617e-05,6.658348e-05,6.635548e-05,6.583272e-05,6.578738e-05,6.522242e-05,6.508735e-05,6.466108e-05,6.434848e-05,6.410380e-05,6.361707e-05,6.355098e-05,6.300296e-05,6.289395e-05,6.246004e-05,6.217983e-05,6.192249e-05,6.147528e-05,6.139056e-05,6.086444e-05,6.078082e-05,6.034432e-05,6.009684e-05,5.983035e-05,5.942368e-05,5.932265e-05,5.882134e-05,5.876161e-05,5.832649e-05,5.811082e-05,5.783818e-05,5.747146e-05,5.735645e-05,5.688136e-05,5.684364e-05,5.641292e-05,5.622741e-05,5.595115e-05,5.562280e-05,5.549604e-05,5.504759e-05,5.502979e-05,5.460579e-05,5.444836e-05,5.417060e-05,5.387844e-05,5.374200e-05,5.331994e-05,5.277276e-05,5.223679e-05,5.171189e-05,5.119791e-05,5.069470e-05,5.020210e-05,4.971994e-05,4.924803e-05,4.878621e-05,4.833428e-05,4.789205e-05,4.745934e-05,4.703595e-05,4.662169e-05,4.621638e-05,4.581981e-05,4.543180e-05,4.505217e-05,4.468071e-05,4.431725e-05,4.396161e-05,4.361359e-05,4.327303e-05,4.293974e-05
0.000000e+00,1.253329e-09,3.442147e-09,1.497722e-08,3.882778e-08,5.972429e-08,1.497458e-07,1.547550e-07,3.195910e-07,3.810188e-07,5.748166e-07,7.805317e-07,9.427053e-07,1.401074e-06,1.447002e-06,2.110996e-06,2.296336e-06,2.952837e-06,3.504870e-06,3.978504e-06,5.024725e-06,5.176903e-06,6.522677e-06,6.806793e-06,7.984890e-06,8.781411e-06,9.534419e-06,1.088545e-05,1.114678e-05,1.280198e-05,1.306963e-05,1.448338e-05,1.529552e-05,1.617680e-05,1.753185e-05,1.786991e-05,1.955185e-05,1.975246e-05,2.121313e-05,2.193539e-05,2.284553e-05,2.406248e-05,2.444203e-05,2.599677e-05,2.611919e-05,2.750496e-05,2.809432e-05,2.896282e-05,2.997967e-05,3.036748e-05,3.171683e-05,3.176964e-05,3.300943e-05,3.346071e-05,3.424452e-05,3.505136e-05,3.542181e-05,3.654146e-05,3.760401e-05,3.793210e-05,3.861028e-05,3.922521e-05,3.956128e-05,4.042339e-05,4.045825e-05,4.130256e-05,4.152973e-05,4.209569e-05,4.254765e-05,4.283920e-05,4.348077e-05,4.353468e-05,4.418381e-05,4.433288e-05,4.478822e-05,4.510779e-05,4.534960e-05,4.580934e-05,4.586961e-05,4.634988e-05,4.644130e-05,4.679203e-05,4.700742e-05,4.719767e-05,4.751133e-05,4.756835e-05,4.790560e-05,4.795656e-05,4.821092e-05,4.834655e-05,4.848574e-05,4.868458e-05,4.873147e-05,4.894948e-05,4.897384e-05,4.914109e-05,4.921737e-05,4.930758e-05,4.941807e-05,4.945019e-05,4.957011e-05,4.957875e-05,4.966849e-05,4.970206e-05,4.974644e-05,4.979052e-05,4.980504e-05,4.984531e-05,4.984655e-05,4.986824e-05,4.987244e-05,4.987479e-05,4.987036e-05,4.986588e-05,4.984236e-05,4.980511e-05,4.979041e-05,4.975491e-05,4.971635e-05,4.969254e-05,4.962191e-05,4.961875e-05,4.953425e-05,4.950877e-05,4.943972e-05,4.937845e-05,4.933580e-05,4.923245e-05,4.922313e-05,4.910229e-05,4.907213e-05,4.897385e-05,4.889881e-05,4.883835e-05,4.871369e-05,4.869632e-05,4.854824e-05,4.851794e-05,4.839459e-05,4.831264e-05,4.823581e-05,4.809879e-05,4.807233e-05,4.790456e-05,4.787735e-05,4.773288e-05,4.764920e-05,4.755767e-05,4.741518e-05,4.737926e-05,4.719799e-05,4.717606e-05,4.701418e-05,4.693258e-05,4.682813e-05,4.668540e-05,4.664011e-05,4.645041e-05,4.643516e-05,4.625926e-05,4.618245e-05,4.606691e-05,4.592781e-05,4.587360e-05,4.567953e-05,4.567175e-05,4.548490e-05,4.541474e-05,4.528992e-05,4.515721e-05,4.509475e-05,4.489957e-05,4.464219e-05,4.438541e-05,4.412955e-05,4.387489e-05,4.362171e-05,4.337023e-05,4.312070e-05,4.287330e-05,4.262821e-05,4.238561e-05,4.214564e-05,4.190844e-05,4.167412e-05,4.144278e-05,4.121453e-05,4.098943e-05,4.076756e-05,4.054898e-05,4.033373e-05,4.012187e-05,3.991341e-05,3.970839e-05,3.950682e-05,3.930872e-05
0.000000e+00,1.329417e-08,3.975395e-08,2.030022e-07,5.988539e-07,9.830796e-07,2.868447e-06,2.981392e-06,7.011181e-06,8.634162e-06,1.406384e-05,2.022607e-05,2.530890e-05,4.048190e-05,4.205576e-05,6.561810e-05,7.241877e-05,9.712945e-05,1.185800e-04,1.374514e-04,1.807115e-04,1.871930e-04,2.467631e-04,2.598810e-04,3.164100e-04,3.566502e-04,3.962429e-04,4.711642e-04,4.862431e-04,5.862692e-04,6.031880e-04,6.960617e-04,7.521260e-04,8.152487e-04,9.170455e-04,9.433538e-04,1.079807e-03,1.096712e-03,1.223955e-03,1.289636e-03,1.375081e-03,1.494130e-03,1.532414e-03,1.695146e-03,1.708374e-03,1.862454e-03,1.930472e-03,2.033505e-03,2.158516e-03,2.207476e-03,2.383563e-03,2.390639e-03,2.560993e-03,2.625054e-03,2.739032e-03,2.860091e-03,2.916989e-03,3.094223e-03,3.270147e-03,3.326077e-03,3.444227e-03,3.554446e-03,3.615983e-03,3.778289e-03,3.784992e-03,3.950880e-03,3.996725e-03,4.113326e-03,4.209025e-03,4.272055e-03,4.414606e-03,4.426838e-03,4.577488e-03,4.613011e-03,4.723854e-03,4.803905e-03,4.865823e-03,4.987051e-03,5.003311e-03,5.136264e-03,5.162308e-03,5.264654e-03,5.329609e-03,5.388472e-03,5.488956e-03,5.507733e-03,5.622466e-03,5.640406e-03,5.732716e-03,5.784060e-03,5.838541e-03,5.920061e-03,5.940010e-03,6.037199e-03,6.048578e-03,6.130194e-03,6.169807e-03,6.219086e-03,6.283959e-03,6.303971e-03,6.384949e-03,6.391261e-03,6.462121e-03,6.491948e-03,6.535593e-03,6.586261e-03,6.605470e-03,6.671859e-03,6.674443e-03,6.734865e-03,6.756739e-03,6.794595e-03,6.833393e-03,6.851153e-03,6.904644e-03,6.955170e-03,6.970729e-03,7.002832e-03,7.031879e-03,7.047729e-03,7.088318e-03,7.089957e-03,7.129611e-03,7.140266e-03,7.166785e-03,7.187935e-03,7.201567e-03,7.231530e-03,7.234045e-03,7.264306e-03,7.271248e-03,7.292431e-03,7.307279e-03,7.318502e-03,7.339807e-03,7.342596e-03,7.364790e-03,7.369007e-03,7.385155e-03,7.395047e-03,7.403764e-03,7.418088e-03,7.420684e-03,7.435983e-03,7.438285e-03,7.449724e-03,7.455785e-03,7.461969e-03,7.470729e-03,7.472779e-03,7.482210e-03,7.483252e-03,7.490318e-03,7.493481e-03,7.497158e-03,7.501540e-03,7.502781e-03,7.507237e-03,7.507545e-03,7.510575e-03,7.511608e-03,7.512841e-03,7.513834e-03,7.514080e-03,7.514334e-03,7.514325e-03,7.513647e-03,7.513176e-03,7.512057e-03,7.510480e-03,7.509604e-03,7.506324e-03,7.500790e-03,7.493957e-03,7.485901e-03,7.476693e-03,7.466401e-03,7.455089e-03,7.442818e-03,7.429649e-03,7.415635e-03,7.400829e-03,7.385282e-03,7.369042e-03,7.352153e-03,7.334660e-03,7.316602e-03,7.298019e-03,7.278948e-03,7.259424e-03,7.239480e-03,7.219148e-03,7.198458e-03,7.177439e-03,7.156118e-03,7.134520e-03
0.000000e+00,2.575845e-10,6.448849e-10,2.451335e-09,5.852105e-09,8.692346e-09,2.034586e-08,2.097807e-08,4.129404e-08,4.870125e-08,7.171884e-08,9.573538e-08,1.144358e-07,1.663032e-07,1.714191e-07,2.435962e-07,2.631286e-07,3.302307e-07,3.844066e-07,4.295396e-07,5.259333e-07,5.396639e-07,6.589991e-07,6.838450e-07,7.861316e-07,8.548793e-07,9.197321e-07,1.036003e-06,1.058500e-06,1.201155e-06,1.224257e-06,1.346449e-06,1.416774e-06,1.493188e-06,1.610871e-06,1.640263e-06,1.786658e-06,1.804136e-06,1.931473e-06,1.994486e-06,2.073926e-06,2.180197e-06,2.213353e-06,2.349206e-06,2.359906e-06,2.481048e-06,2.532582e-06,2.608537e-06,2.697491e-06,2.731425e-06,2.849536e-06,2.854160e-06,2.962766e-06,3.002323e-06,3.071066e-06,3.141890e-06,3.174432e-06,3.272900e-06,3.366538e-06,3.395496e-06,3.455437e-06,3.509897e-06,3.539709e-06,3.616375e-06,3.619481e-06,3.694888e-06,3.715239e-06,3.766075e-06,3.806824e-06,3.833192e-06,3.891475e-06,3.896391e-06,3.955823e-06,3.969544e-06,4.011643e-06,4.041380e-06,4.064000e-06,4.107330e-06,4.113045e-06,4.158923e-06,4.167731e-06,4.201775e-06,4.222908e-06,4.241740e-06,4.273176e-06,4.278950e-06,4.313537e-06,4.318836e-06,4.345624e-06,4.360174e-06,4.375333e-06,4.397466e-06,4.402779e-06,4.428074e-06,4.430970e-06,4.451325e-06,4.460934e-06,4.472634e-06,4.487591e-06,4.492100e-06,4.509817e-06,4.511162e-06,4.525876e-06,4.531855e-06,4.540363e-06,4.549867e-06,4.553360e-06,4.564947e-06,4.565382e-06,4.575198e-06,4.578575e-06,4.584185e-06,4.589610e-06,4.591978e-06,4.598642e-06,4.604238e-06,4.605814e-06,4.608828e-06,4.611263e-06,4.612467e-06,4.615116e-06,4.615209e-06,4.617107e-06,4.617493e-06,4.618208e-06,4.618507e-06,4.618561e-06,4.618262e-06,4.618209e-06,4.617195e-06,4.616857e-06,4.615559e-06,4.614385e-06,4.613339e-06,4.610932e-06,4.610572e-06,4.607292e-06,4.606578e-06,4.603533e-06,4.601399e-06,4.599326e-06,4.595467e-06,4.594700e-06,4.589684e-06,4.588847e-06,4.584304e-06,4.581601e-06,4.578587e-06,4.573786e-06,4.572556e-06,4.566235e-06,4.565457e-06,4.559644e-06,4.556665e-06,4.552806e-06,4.547455e-06,4.545739e-06,4.538462e-06,4.537872e-06,4.530994e-06,4.527956e-06,4.523349e-06,4.517746e-06,4.515546e-06,4.507598e-06,4.507277e-06,4.499520e-06,4.496582e-06,4.491325e-06,4.485692e-06,4.483026e-06,4.474635e-06,4.463438e-06,4.452125e-06,4.440719e-06,4.429242e-06,4.417713e-06,4.406150e-06,4.394570e-06,4.382988e-06,4.371420e-06,4.359878e-06,4.348374e-06,4.336920e-06,4.325525e-06,4.314200e-06,4.302952e-06,4.291790e-06,4.280721e-06,4.269752e-06,4.258888e-06,4.248134e-06,4.237496e-06,4.226977e-06,4.216583e-06,4.206315e-06
0.000000e+00,1.510283e-08,4.504523e-08,2.286906e-07,6.706306e-07,1.096933e-06,3.166164e-06,3.289207e-06,7.630391e-06,9.356538e-06,1.505862e-05,2.141899e-05,2.659364e-05,4.175488e-05,4.330842e-05,6.629262e-05,7.285997e-05,9.659136e-05,1.170994e-04,1.351072e-04,1.763172e-04,1.824835e-04,2.390236e-04,2.514330e-04,3.046834e-04,3.423279e-04,3.791238e-04,4.480307e-04,4.617792e-04,5.519213e-04,5.669839e-04,6.487089e-04,6.972608e-04,7.512272e-04,8.367257e-04,8.585194e-04,9.696141e-04,9.831550e-04,1.083547e-03,1.134334e-03,1.199382e-03,1.288136e-03,1.316225e-03,1.433237e-03,1.442581e-03,1.549646e-03,1.595881e-03,1.664751e-03,1.746464e-03,1.777926e-03,1.888622e-03,1.892991e-03,1.996366e-03,2.034353e-03,2.100760e-03,2.169663e-03,2.201474e-03,2.298243e-03,2.390864e-03,2.419600e-03,2.479187e-03,2.533410e-03,2.563112e-03,2.639488e-03,2.642581e-03,2.717577e-03,2.737776e-03,2.788114e-03,2.828312e-03,2.854234e-03,2.911220e-03,2.916003e-03,2.973509e-03,2.986688e-03,3.026856e-03,3.054956e-03,3.076159e-03,3.116302e-03,3.121546e-03,3.163153e-03,3.171033e-03,3.201121e-03,3.219473e-03,3.235593e-03,3.261956e-03,3.266717e-03,3.294642e-03,3.298822e-03,3.319513e-03,3.330410e-03,3.341478e-03,3.357055e-03,3.360681e-03,3.377264e-03,3.379084e-03,3.391364e-03,3.396817e-03,3.403117e-03,3.410560e-03,3.412653e-03,3.420098e-03,3.420607e-03,3.425576e-03,3.427242e-03,3.429203e-03,3.430732e-03,3.431092e-03,3.431352e-03,3.431330e-03,3.430088e-03,3.429279e-03,3.427398e-03,3.424803e-03,3.423377e-03,3.418116e-03,3.411702e-03,3.409419e-03,3.404216e-03,3.398898e-03,3.395736e-03,3.386729e-03,3.386337e-03,3.376088e-03,3.373076e-03,3.365058e-03,3.358090e-03,3.353308e-03,3.341914e-03,3.340898e-03,3.327886e-03,3.324679e-03,3.314324e-03,3.306508e-03,3.300263e-03,3.287514e-03,3.285750e-03,3.270831e-03,3.267802e-03,3.255548e-03,3.247470e-03,3.239940e-03,3.226606e-03,3.224045e-03,3.207897e-03,3.205293e-03,3.191531e-03,3.183607e-03,3.174977e-03,3.161618e-03,3.158264e-03,3.141419e-03,3.139390e-03,3.124469e-03,3.116983e-03,3.107436e-03,3.094449e-03,3.090343e-03,3.073211e-03,3.071839e-03,3.056059e-03,3.049197e-03,3.038906e-03,3.026564e-03,3.021768e-03,3.004661e-03,3.003977e-03,2.987599e-03,2.981470e-03,2.970596e-03,2.959074e-03,2.953664e-03,2.936815e-03,2.914719e-03,2.892807e-03,2.871100e-03,2.849616e-03,2.828369e-03,2.807373e-03,2.786642e-03,2.766184e-03,2.746009e-03,2.726125e-03,2.706538e-03,2.687253e-03,2.668274e-03,2.649605e-03,2.631249e-03,2.613206e-03,2.595478e-03,2.578065e-03,2.560967e-03,2.544183e-03,2.527711e-03,2.511550e-03,2.495697e-03,2.480150e-03
0.000000e+00,9.357214e-10,2.752467e-09,1.359373e-08,3.895494e-08,6.299168e-08,1.774564e-07,1.842059e-07,4.214272e-07,5.158160e-07,8.292766e-07,1.181820e-06,1.469855e-06,2.310049e-06,2.395266e-06,3.624603e-06,3.963652e-06,5.142059e-06,6.104782e-06,6.912013e-06,8.644942e-06,8.892259e-06,1.104053e-05,1.148677e-05,1.331676e-05,1.453847e-05,1.568361e-05,1.771629e-05,1.810632e-05,2.055274e-05,2.094436e-05,2.299337e-05,2.415488e-05,2.540159e-05,2.728895e-05,2.775394e-05,3.003033e-05,3.029757e-05,3.221418e-05,3.314227e-05,3.429244e-05,3.579526e-05,3.625549e-05,3.809693e-05,3.823887e-05,3.981327e-05,4.046448e-05,4.140353e-05,4.247106e-05,4.286892e-05,4.421241e-05,4.426367e-05,4.543832e-05,4.585187e-05,4.655203e-05,4.724834e-05,4.755962e-05,4.846764e-05,4.928282e-05,4.952518e-05,5.001195e-05,5.043653e-05,5.066171e-05,5.121678e-05,5.123853e-05,5.174857e-05,5.188022e-05,5.219764e-05,5.244008e-05,5.259114e-05,5.290841e-05,5.293410e-05,5.323113e-05,5.329606e-05,5.348647e-05,5.361269e-05,5.370396e-05,5.386684e-05,5.388711e-05,5.403910e-05,5.406601e-05,5.416278e-05,5.421677e-05,5.426074e-05,5.432486e-05,5.433531e-05,5.438860e-05,5.439528e-05,5.442249e-05,5.443237e-05,5.443869e-05,5.443995e-05,5.443874e-05,5.442403e-05,5.442133e-05,5.439581e-05,5.437942e-05,5.435523e-05,5.431676e-05,5.430331e-05,5.424100e-05,5.423559e-05,5.416915e-05,5.413791e-05,5.408854e-05,5.402547e-05,5.399988e-05,5.390383e-05,5.389984e-05,5.380099e-05,5.376241e-05,5.369191e-05,5.361443e-05,5.357710e-05,5.345703e-05,5.333214e-05,5.329122e-05,5.320283e-05,5.311792e-05,5.306947e-05,5.293798e-05,5.293243e-05,5.279201e-05,5.275214e-05,5.264854e-05,5.256110e-05,5.250227e-05,5.236548e-05,5.235350e-05,5.220245e-05,5.216588e-05,5.204936e-05,5.196283e-05,5.189446e-05,5.175680e-05,5.173794e-05,5.158000e-05,5.154826e-05,5.142082e-05,5.133761e-05,5.126056e-05,5.112523e-05,5.109939e-05,5.093745e-05,5.091148e-05,5.077490e-05,5.069668e-05,5.061184e-05,5.048113e-05,5.044842e-05,5.028475e-05,5.026510e-05,5.012094e-05,5.004884e-05,4.995708e-05,4.983259e-05,4.979329e-05,4.962965e-05,4.961657e-05,4.946625e-05,4.940097e-05,4.930316e-05,4.918598e-05,4.914047e-05,4.897825e-05,4.897177e-05,4.881656e-05,4.875849e-05,4.865546e-05,4.854628e-05,4.849502e-05,4.833529e-05,4.812561e-05,4.791738e-05,4.771068e-05,4.750561e-05,4.730226e-05,4.710069e-05,4.690098e-05,4.670319e-05,4.650737e-05,4.631358e-05,4.612186e-05,4.593225e-05,4.574478e-05,4.555948e-05,4.537639e-05,4.519551e-05,4.501688e-05,4.484049e-05,4.466638e-05,4.449454e-05,4.432498e-05,4.415771e-05,4.399272e-05,4.383002e-05
0.000000e+00,1.983803e-11,4.553724e-11,1.569659e-10,3.578912e-10,5.231162e-10,1.197055e-09,1.233680e-09,2.422411e-09,2.862517e-09,4.253991e-09,5.741717e-09,6.922118e-09,1.027217e-08,1.060718e-08,1.538224e-08,1.668287e-08,2.115099e-08,2.474114e-08,2.771142e-08,3.397731e-08,3.486059e-08,4.243903e-08,4.399523e-08,5.032804e-08,5.452186e-08,5.843585e-08,6.535987e-08,6.668685e-08,7.501539e-08,7.635114e-08,8.336269e-08,8.736028e-08,9.167573e-08,9.826935e-08,9.990694e-08,1.080142e-07,1.089769e-07,1.159609e-07,1.193985e-07,1.237163e-07,1.294667e-07,1.312550e-07,1.385568e-07,1.391302e-07,1.456062e-07,1.483527e-07,1.523924e-07,1.571113e-07,1.589081e-07,1.651486e-07,1.653924e-07,1.711128e-07,1.731924e-07,1.768017e-07,1.805144e-07,1.822183e-07,1.873672e-07,1.922541e-07,1.937636e-07,1.968856e-07,1.997190e-07,2.012689e-07,2.052509e-07,2.054121e-07,2.093232e-07,2.103779e-07,2.130107e-07,2.151193e-07,2.164830e-07,2.194947e-07,2.197486e-07,2.228159e-07,2.235235e-07,2.256934e-07,2.272248e-07,2.283889e-07,2.306170e-07,2.309106e-07,2.332662e-07,2.337180e-07,2.354631e-07,2.365452e-07,2.375087e-07,2.391150e-07,2.394098e-07,2.411733e-07,2.414431e-07,2.428057e-07,2.435444e-07,2.443131e-07,2.454332e-07,2.457017e-07,2.469771e-07,2.471228e-07,2.481448e-07,2.486259e-07,2.492102e-07,2.499545e-07,2.501782e-07,2.510537e-07,2.511199e-07,2.518414e-07,2.521329e-07,2.525456e-07,2.530033e-07,2.531705e-07,2.537202e-07,2.537407e-07,2.541986e-07,2.543540e-07,2.546092e-07,2.548515e-07,2.549555e-07,2.552410e-07,2.554688e-07,2.555300e-07,2.556420e-07,2.557254e-07,2.557633e-07,2.558337e-07,2.558357e-07,2.558617e-07,2.558610e-07,2.558438e-07,2.558130e-07,2.557844e-07,2.556951e-07,2.556859e-07,2.555503e-07,2.555124e-07,2.553797e-07,2.552696e-07,2.551761e-07,2.549712e-07,2.549414e-07,2.546774e-07,2.546213e-07,2.543858e-07,2.542238e-07,2.540681e-07,2.537823e-07,2.537260e-07,2.533609e-07,2.533004e-07,2.529742e-07,2.527813e-07,2.525672e-07,2.522279e-07,2.521413e-07,2.516975e-07,2.516431e-07,2.512372e-07,2.510296e-07,2.507613e-07,2.503898e-07,2.502709e-07,2.497670e-07,2.497261e-07,2.492506e-07,2.490407e-07,2.487225e-07,2.483355e-07,2.481836e-07,2.476347e-07,2.476126e-07,2.470767e-07,2.468737e-07,2.465102e-07,2.461205e-07,2.459359e-07,2.453546e-07,2.445774e-07,2.437904e-07,2.429948e-07,2.421918e-07,2.413826e-07,2.405682e-07,2.397497e-07,2.389279e-07,2.381037e-07,2.372779e-07,2.364513e-07,2.356246e-07,2.347983e-07,2.339733e-07,2.331499e-07,2.323288e-07,2.315104e-07,2.306952e-07,2.298835e-07,2.290759e-07,2.282727e-07,2.274742e-07,2.266807e-07,2.258925e-07
0.000000e+00,3.436886e-10,1.004024e-09,4.886952e-09,1.380530e-08,2.213209e-08,6.074190e-08,6.297612e-08,1.392882e-07,1.686670e-07,2.632408e-07,3.655655e-07,4.470579e-07,6.795242e-07,7.029307e-07,1.042852e-06,1.138218e-06,1.478044e-06,1.766903e-06,2.017609e-06,2.582849e-06,2.666523e-06,3.424023e-06,3.588072e-06,4.283701e-06,4.767766e-06,5.235170e-06,6.096317e-06,6.266066e-06,7.363506e-06,7.544422e-06,8.514890e-06,9.083163e-06,9.708213e-06,1.068546e-05,1.093218e-05,1.217624e-05,1.232640e-05,1.343056e-05,1.398335e-05,1.468609e-05,1.563599e-05,1.593457e-05,1.716856e-05,1.726645e-05,1.838149e-05,1.885945e-05,1.956762e-05,2.040227e-05,2.072208e-05,2.184082e-05,2.188478e-05,2.292056e-05,2.329921e-05,2.395877e-05,2.464005e-05,2.495358e-05,2.590370e-05,2.680841e-05,2.708827e-05,2.766742e-05,2.819324e-05,2.848085e-05,2.921927e-05,2.924914e-05,2.997302e-05,3.016787e-05,3.065343e-05,3.104127e-05,3.129150e-05,3.184221e-05,3.188849e-05,3.244576e-05,3.257375e-05,3.296474e-05,3.323919e-05,3.344691e-05,3.384198e-05,3.389379e-05,3.430687e-05,3.438557e-05,3.468768e-05,3.487344e-05,3.503769e-05,3.530898e-05,3.535838e-05,3.565116e-05,3.569551e-05,3.591744e-05,3.603623e-05,3.615855e-05,3.633419e-05,3.637580e-05,3.657043e-05,3.659233e-05,3.674367e-05,3.681341e-05,3.689666e-05,3.700007e-05,3.703050e-05,3.714627e-05,3.715478e-05,3.724497e-05,3.727989e-05,3.732756e-05,3.737758e-05,3.739498e-05,3.744809e-05,3.744993e-05,3.748774e-05,3.749886e-05,3.751471e-05,3.752619e-05,3.752976e-05,3.753361e-05,3.752694e-05,3.752269e-05,3.751040e-05,3.749492e-05,3.748461e-05,3.745168e-05,3.745014e-05,3.740755e-05,3.739424e-05,3.735737e-05,3.732382e-05,3.730009e-05,3.724152e-05,3.723618e-05,3.716609e-05,3.714839e-05,3.709024e-05,3.704540e-05,3.700903e-05,3.693344e-05,3.692285e-05,3.683204e-05,3.681336e-05,3.673696e-05,3.668593e-05,3.663791e-05,3.655188e-05,3.653522e-05,3.642916e-05,3.641189e-05,3.632000e-05,3.626658e-05,3.620801e-05,3.611653e-05,3.609342e-05,3.597646e-05,3.596228e-05,3.585737e-05,3.580433e-05,3.573632e-05,3.564315e-05,3.561353e-05,3.548918e-05,3.547917e-05,3.536343e-05,3.531278e-05,3.523645e-05,3.514435e-05,3.510840e-05,3.497941e-05,3.497423e-05,3.484963e-05,3.480274e-05,3.471918e-05,3.463016e-05,3.458819e-05,3.445676e-05,3.428281e-05,3.410851e-05,3.393410e-05,3.375976e-05,3.358568e-05,3.341201e-05,3.323892e-05,3.306654e-05,3.289499e-05,3.272440e-05,3.255488e-05,3.238651e-05,3.221939e-05,3.205360e-05,3.188921e-05,3.172628e-05,3.156487e-05,3.140504e-05,3.124683e-05,3.109029e-05,3.093544e-05,3.078233e-05,3.063097e-05,3.048140e-05
0.000000e+00,5.371207e-10,1.525508e-09,7.032558e-09,1.899044e-08,2.974859e-08,7.727637e-08,7.995037e-08,1.684597e-07,2.014936e-07,3.053129e-07,4.145111e-07,4.997671e-07,7.368854e-07,7.603540e-07,1.094791e-06,1.186801e-06,1.509546e-06,1.778606e-06,2.008869e-06,2.518912e-06,2.593491e-06,3.259818e-06,3.402285e-06,4.000408e-06,4.411658e-06,4.805458e-06,5.523721e-06,5.664313e-06,6.566412e-06,6.714082e-06,7.501714e-06,7.959662e-06,8.460798e-06,9.239262e-06,9.434878e-06,1.041582e-05,1.053363e-05,1.139613e-05,1.182549e-05,1.236903e-05,1.309972e-05,1.332845e-05,1.426908e-05,1.434338e-05,1.518635e-05,1.554583e-05,1.607644e-05,1.669870e-05,1.693624e-05,1.776334e-05,1.779571e-05,1.855592e-05,1.883255e-05,1.931276e-05,1.980659e-05,2.003310e-05,2.071662e-05,2.136337e-05,2.156262e-05,2.197373e-05,2.234555e-05,2.254834e-05,2.306709e-05,2.308802e-05,2.359378e-05,2.372946e-05,2.406674e-05,2.433529e-05,2.450814e-05,2.488744e-05,2.491925e-05,2.530139e-05,2.538895e-05,2.565591e-05,2.584288e-05,2.598415e-05,2.625233e-05,2.628745e-05,2.656711e-05,2.662032e-05,2.682442e-05,2.694979e-05,2.706060e-05,2.724356e-05,2.727687e-05,2.747436e-05,2.750430e-05,2.765420e-05,2.773456e-05,2.781742e-05,2.793673e-05,2.796505e-05,2.809803e-05,2.811305e-05,2.821727e-05,2.826561e-05,2.832364e-05,2.839638e-05,2.841796e-05,2.850099e-05,2.850717e-05,2.857347e-05,2.859966e-05,2.863609e-05,2.867543e-05,2.868949e-05,2.873428e-05,2.873590e-05,2.877105e-05,2.878243e-05,2.880034e-05,2.881624e-05,2.882266e-05,2.883848e-05,2.884826e-05,2.885019e-05,2.885243e-05,2.885233e-05,2.885138e-05,2.884581e-05,2.884549e-05,2.883511e-05,2.883144e-05,2.882057e-05,2.880998e-05,2.880218e-05,2.878212e-05,2.878024e-05,2.875501e-05,2.874850e-05,2.872676e-05,2.870971e-05,2.869572e-05,2.866628e-05,2.866212e-05,2.862618e-05,2.861873e-05,2.858809e-05,2.856749e-05,2.854803e-05,2.851300e-05,2.850619e-05,2.846272e-05,2.845563e-05,2.841779e-05,2.839574e-05,2.837152e-05,2.833365e-05,2.832407e-05,2.827556e-05,2.826967e-05,2.822610e-05,2.820406e-05,2.817580e-05,2.813708e-05,2.812477e-05,2.807311e-05,2.806895e-05,2.802090e-05,2.799988e-05,2.796823e-05,2.793008e-05,2.791519e-05,2.786184e-05,2.785970e-05,2.780825e-05,2.778892e-05,2.775449e-05,2.771787e-05,2.770062e-05,2.764670e-05,2.757552e-05,2.750446e-05,2.743359e-05,2.736303e-05,2.729285e-05,2.722313e-05,2.715393e-05,2.708532e-05,2.701735e-05,2.695007e-05,2.688352e-05,2.681774e-05,2.675278e-05,2.668864e-05,2.662538e-05,2.656299e-05,2.650152e-05,2.644096e-05,2.638135e-05,2.632268e-05,2.626496e-05,2.620821e-05,2.615243e-05,2.609762e-05
0.000000e+00,3.906534e-08,1.167000e-07,5.957221e-07,1.762220e-06,2.902104e-06,8.598824e-06,8.945201e-06,2.163013e-05,2.689573e-05,4.500548e-05,6.617820e-05,8.390111e-05,1.370466e-04,1.425353e-04,2.234959e-04,2.464000e-04,3.279493e-04,3.968380e-04,4.561884e-04,5.885420e-04,6.079848e-04,7.827529e-04,8.203906e-04,9.796140e-04,1.090343e-03,1.197422e-03,1.395553e-03,1.434779e-03,1.690053e-03,1.732439e-03,1.961407e-03,2.096786e-03,2.246840e-03,2.483897e-03,2.544225e-03,2.851363e-03,2.888770e-03,3.166028e-03,3.306295e-03,3.486013e-03,3.731435e-03,3.809171e-03,4.133453e-03,4.159386e-03,4.456937e-03,4.585704e-03,4.777847e-03,5.006398e-03,5.094573e-03,5.405676e-03,5.417985e-03,5.709894e-03,5.817511e-03,6.006136e-03,6.202549e-03,6.293484e-03,6.571177e-03,6.838609e-03,6.921939e-03,7.095310e-03,7.253805e-03,7.340940e-03,7.566117e-03,7.575271e-03,7.798180e-03,7.858541e-03,8.009632e-03,8.131020e-03,8.209672e-03,8.383723e-03,8.398410e-03,8.576015e-03,8.617007e-03,8.742704e-03,8.831376e-03,8.898733e-03,9.027450e-03,9.044391e-03,9.179992e-03,9.205934e-03,9.305868e-03,9.367596e-03,9.422367e-03,9.513241e-03,9.529847e-03,9.628669e-03,9.643702e-03,9.719200e-03,9.759816e-03,9.801803e-03,9.862422e-03,9.876842e-03,9.944672e-03,9.952345e-03,1.000565e-02,1.003039e-02,1.006011e-02,1.009734e-02,1.010839e-02,1.015081e-02,1.015396e-02,1.018769e-02,1.020096e-02,1.021934e-02,1.023904e-02,1.024604e-02,1.026807e-02,1.026886e-02,1.028571e-02,1.029104e-02,1.029922e-02,1.030616e-02,1.030883e-02,1.031480e-02,1.031733e-02,1.031746e-02,1.031666e-02,1.031464e-02,1.031298e-02,1.030680e-02,1.030649e-02,1.029738e-02,1.029438e-02,1.028581e-02,1.027777e-02,1.027197e-02,1.025735e-02,1.025600e-02,1.023805e-02,1.023347e-02,1.021828e-02,1.020646e-02,1.019681e-02,1.017661e-02,1.017377e-02,1.014928e-02,1.014422e-02,1.012346e-02,1.010954e-02,1.009641e-02,1.007282e-02,1.006824e-02,1.003903e-02,1.003427e-02,1.000889e-02,9.994117e-03,9.977898e-03,9.952543e-03,9.946132e-03,9.913669e-03,9.909730e-03,9.880581e-03,9.865842e-03,9.846935e-03,9.821030e-03,9.812795e-03,9.778219e-03,9.775436e-03,9.743264e-03,9.729188e-03,9.707983e-03,9.682407e-03,9.672425e-03,9.636636e-03,9.635200e-03,9.600660e-03,9.587670e-03,9.564537e-03,9.539909e-03,9.528306e-03,9.492002e-03,9.444027e-03,9.396055e-03,9.348151e-03,9.300375e-03,9.252781e-03,9.205418e-03,9.158332e-03,9.111562e-03,9.065145e-03,9.019115e-03,8.973501e-03,8.928330e-03,8.883626e-03,8.839408e-03,8.795698e-03,8.752509e-03,8.709858e-03,8.667756e-03,8.626213e-03,8.585239e-03,8.544841e-03,8.505025e-03,8.465795e-03,8.427155e-03
0.000000e+00,2.012084e-09,5.867529e-09,2.849339e-08,8.051316e-08,1.292641e-07,3.581531e-07,3.715462e-07,8.386078e-07,1.023232e-06,1.634285e-06,2.320858e-06,2.883232e-06,4.538372e-06,4.707655e-06,7.176960e-06,7.865727e-06,1.027869e-05,1.226639e-05,1.394108e-05,1.755390e-05,1.807110e-05,2.257765e-05,2.351682e-05,2.737959e-05,2.996944e-05,3.240600e-05,3.675565e-05,3.759427e-05,4.288807e-05,4.374138e-05,4.823613e-05,5.080856e-05,5.359168e-05,5.785292e-05,5.891237e-05,6.416029e-05,6.478354e-05,6.930237e-05,7.152390e-05,7.431036e-05,7.801220e-05,7.916089e-05,8.383519e-05,8.420106e-05,8.831894e-05,9.005668e-05,9.260192e-05,9.555747e-05,9.667746e-05,1.005420e-04,1.006922e-04,1.041948e-04,1.054581e-04,1.076371e-04,1.098592e-04,1.108721e-04,1.139045e-04,1.167398e-04,1.176065e-04,1.193846e-04,1.209806e-04,1.218460e-04,1.240434e-04,1.241315e-04,1.262488e-04,1.268125e-04,1.282056e-04,1.293059e-04,1.300097e-04,1.315412e-04,1.316687e-04,1.331902e-04,1.335358e-04,1.345816e-04,1.353065e-04,1.358497e-04,1.368693e-04,1.370016e-04,1.380436e-04,1.382394e-04,1.389822e-04,1.394313e-04,1.398232e-04,1.404584e-04,1.405723e-04,1.412351e-04,1.413334e-04,1.418165e-04,1.420682e-04,1.423216e-04,1.426738e-04,1.427549e-04,1.431209e-04,1.431604e-04,1.434236e-04,1.435377e-04,1.436670e-04,1.438146e-04,1.438548e-04,1.439905e-04,1.439992e-04,1.440774e-04,1.440992e-04,1.441187e-04,1.441218e-04,1.441172e-04,1.440758e-04,1.440734e-04,1.439971e-04,1.439601e-04,1.438836e-04,1.437877e-04,1.437375e-04,1.435612e-04,1.433566e-04,1.432855e-04,1.431258e-04,1.429651e-04,1.428705e-04,1.426040e-04,1.425925e-04,1.422935e-04,1.422062e-04,1.419749e-04,1.417750e-04,1.416383e-04,1.413138e-04,1.412849e-04,1.409162e-04,1.408255e-04,1.405333e-04,1.403131e-04,1.401373e-04,1.397789e-04,1.397293e-04,1.393104e-04,1.392254e-04,1.388815e-04,1.386548e-04,1.384435e-04,1.380691e-04,1.379972e-04,1.375435e-04,1.374702e-04,1.370830e-04,1.368599e-04,1.366166e-04,1.362396e-04,1.361448e-04,1.356683e-04,1.356109e-04,1.351877e-04,1.349751e-04,1.347035e-04,1.343335e-04,1.342163e-04,1.337265e-04,1.336873e-04,1.332347e-04,1.330374e-04,1.327411e-04,1.323850e-04,1.322463e-04,1.317506e-04,1.317308e-04,1.312544e-04,1.310757e-04,1.307581e-04,1.304206e-04,1.302618e-04,1.297660e-04,1.291126e-04,1.284611e-04,1.278119e-04,1.271656e-04,1.265226e-04,1.258833e-04,1.252482e-04,1.246174e-04,1.239914e-04,1.233705e-04,1.227548e-04,1.221447e-04,1.215403e-04,1.209418e-04,1.203494e-04,1.197632e-04,1.191834e-04,1.186100e-04,1.180432e-04,1.174830e-04,1.169296e-04,1.163828e-04,1.158430e-04,1.153099e-04
0.000000e+00,9.873363e-12,2.263877e-11,7.829163e-11,1.795930e-10,2.635819e-10,6.107776e-10,6.298191e-10,1.254814e-09,1.488748e-09,2.232358e-09,3.025971e-09,3.648919e-09,5.366795e-09,5.534357e-09,7.856844e-09,8.473821e-09,1.056866e-08,1.224251e-08,1.363116e-08,1.659235e-08,1.701438e-08,2.069155e-08,2.145990e-08,2.463562e-08,2.678257e-08,2.881789e-08,3.249279e-08,3.320784e-08,3.777373e-08,3.851846e-08,4.248348e-08,4.478593e-08,4.730548e-08,5.122350e-08,5.220946e-08,5.716705e-08,5.776430e-08,6.215225e-08,6.434836e-08,6.714164e-08,7.092354e-08,7.211450e-08,7.705275e-08,7.744583e-08,8.194078e-08,8.387890e-08,8.676541e-08,9.019362e-08,9.151564e-08,9.618249e-08,9.636732e-08,1.007585e-07,1.023824e-07,1.052375e-07,1.082255e-07,1.096149e-07,1.138871e-07,1.180512e-07,1.193606e-07,1.221055e-07,1.246420e-07,1.260487e-07,1.297288e-07,1.298799e-07,1.335991e-07,1.346203e-07,1.372063e-07,1.393170e-07,1.407020e-07,1.438203e-07,1.440871e-07,1.473624e-07,1.481323e-07,1.505292e-07,1.522557e-07,1.535889e-07,1.561939e-07,1.565428e-07,1.593927e-07,1.599503e-07,1.621401e-07,1.635289e-07,1.647869e-07,1.669338e-07,1.673349e-07,1.697860e-07,1.701693e-07,1.721420e-07,1.732397e-07,1.744050e-07,1.761497e-07,1.765769e-07,1.786597e-07,1.789037e-07,1.806553e-07,1.815064e-07,1.825659e-07,1.839623e-07,1.843934e-07,1.861398e-07,1.862761e-07,1.878071e-07,1.884523e-07,1.893973e-07,1.904955e-07,1.909122e-07,1.923540e-07,1.924102e-07,1.937245e-07,1.942008e-07,1.950256e-07,1.958717e-07,1.962592e-07,1.974272e-07,1.985313e-07,1.988715e-07,1.995735e-07,2.002087e-07,2.005554e-07,2.014429e-07,2.014788e-07,2.023454e-07,2.025782e-07,2.031570e-07,2.036182e-07,2.039151e-07,2.045668e-07,2.046215e-07,2.052776e-07,2.054278e-07,2.058851e-07,2.062046e-07,2.064455e-07,2.069008e-07,2.069602e-07,2.074308e-07,2.075198e-07,2.078587e-07,2.080648e-07,2.082453e-07,2.085391e-07,2.085919e-07,2.089000e-07,2.089458e-07,2.091707e-07,2.092878e-07,2.094054e-07,2.095681e-07,2.096054e-07,2.097718e-07,2.097895e-07,2.099058e-07,2.099548e-07,2.100086e-07,2.100666e-07,2.100814e-07,2.101252e-07,2.101275e-07,2.101411e-07,2.101398e-07,2.101301e-07,2.101061e-07,2.100933e-07,2.100316e-07,2.100286e-07,2.099460e-07,2.099096e-07,2.098375e-07,2.097511e-07,2.097070e-07,2.095553e-07,2.093241e-07,2.090595e-07,2.087633e-07,2.084373e-07,2.080832e-07,2.077027e-07,2.072973e-07,2.068686e-07,2.064179e-07,2.059468e-07,2.054566e-07,2.049485e-07,2.044238e-07,2.038837e-07,2.033293e-07,2.027618e-07,2.021820e-07,2.015911e-07,2.009901e-07,2.003797e-07,1.997609e-07,1.991346e-07,1.985015e-07,1.978623e-07
0.000000e+00,1.094468e-11,2.510382e-11,8.667832e-11,1.981854e-10,2.901574e-10,6.666336e-10,6.871312e-10,1.353422e-09,1.600348e-09,2.380762e-09,3.212585e-09,3.868739e-09,5.702626e-09,5.883455e-09,8.417254e-09,9.096883e-09,1.141711e-08,1.328081e-08,1.483157e-08,1.814916e-08,1.862304e-08,2.276249e-08,2.362982e-08,2.722346e-08,2.966121e-08,3.197852e-08,3.617835e-08,3.699790e-08,4.224913e-08,4.310856e-08,4.769757e-08,5.037230e-08,5.330711e-08,5.788615e-08,5.904117e-08,6.486357e-08,6.556651e-08,7.073933e-08,7.333298e-08,7.663541e-08,8.111108e-08,8.252118e-08,8.836879e-08,8.883419e-08,9.415338e-08,9.644457e-08,9.985312e-08,1.038937e-07,1.054492e-07,1.109259e-07,1.111422e-07,1.162698e-07,1.181590e-07,1.214704e-07,1.249207e-07,1.265194e-07,1.314103e-07,1.361387e-07,1.376169e-07,1.407016e-07,1.435341e-07,1.450973e-07,1.491593e-07,1.493252e-07,1.533860e-07,1.544932e-07,1.572808e-07,1.595388e-07,1.610116e-07,1.643012e-07,1.645809e-07,1.679916e-07,1.687869e-07,1.712469e-07,1.730034e-07,1.743505e-07,1.769591e-07,1.773061e-07,1.801176e-07,1.806630e-07,1.827890e-07,1.841241e-07,1.853244e-07,1.873520e-07,1.877279e-07,1.900036e-07,1.903561e-07,1.921557e-07,1.931459e-07,1.941882e-07,1.957308e-07,1.961051e-07,1.979105e-07,1.981199e-07,1.996082e-07,2.003221e-07,2.012021e-07,2.023463e-07,2.026959e-07,2.040933e-07,2.042010e-07,2.053978e-07,2.058944e-07,2.066129e-07,2.074344e-07,2.077421e-07,2.087886e-07,2.088288e-07,2.097556e-07,2.100849e-07,2.106463e-07,2.112100e-07,2.114637e-07,2.122107e-07,2.128901e-07,2.130937e-07,2.135047e-07,2.138653e-07,2.140572e-07,2.145315e-07,2.145501e-07,2.149859e-07,2.150980e-07,2.153670e-07,2.155704e-07,2.156958e-07,2.159540e-07,2.159745e-07,2.162052e-07,2.162537e-07,2.163902e-07,2.164744e-07,2.165313e-07,2.166207e-07,2.166305e-07,2.166897e-07,2.166969e-07,2.167108e-07,2.167072e-07,2.166954e-07,2.166556e-07,2.166453e-07,2.165620e-07,2.165458e-07,2.164472e-07,2.163814e-07,2.163024e-07,2.161659e-07,2.161289e-07,2.159283e-07,2.159024e-07,2.157018e-07,2.155942e-07,2.154507e-07,2.152442e-07,2.151762e-07,2.148797e-07,2.148550e-07,2.145621e-07,2.144295e-07,2.142247e-07,2.139700e-07,2.138684e-07,2.134944e-07,2.134791e-07,2.131036e-07,2.129589e-07,2.126968e-07,2.124117e-07,2.122752e-07,2.118394e-07,2.112440e-07,2.106274e-07,2.099912e-07,2.093371e-07,2.086667e-07,2.079814e-07,2.072827e-07,2.065719e-07,2.058501e-07,2.051186e-07,2.043786e-07,2.036309e-07,2.028767e-07,2.021169e-07,2.013523e-07,2.005838e-07,1.998122e-07,1.990382e-07,1.982625e-07,1.974857e-07,1.967085e-07,1.959314e-07,1.951550e-07,1.943798e-07
0.000000e+00,2.275496e-12,5.214796e-12,1.800891e-11,4.122788e-11,6.041747e-11,1.392210e-10,1.435206e-10,2.836093e-10,3.356429e-10,5.004027e-10,6.766291e-10,8.163095e-10,1.211407e-09,1.250797e-09,1.810435e-09,1.962559e-09,2.485760e-09,2.908212e-09,3.259952e-09,4.010427e-09,4.117250e-09,5.045131e-09,5.238258e-09,6.033481e-09,6.568370e-09,7.073504e-09,7.981075e-09,8.157039e-09,9.276268e-09,9.458149e-09,1.042366e-08,1.098228e-08,1.159200e-08,1.253720e-08,1.277452e-08,1.396495e-08,1.410805e-08,1.515757e-08,1.568169e-08,1.634730e-08,1.724679e-08,1.752967e-08,1.870081e-08,1.879392e-08,1.985742e-08,2.031536e-08,2.099674e-08,2.180504e-08,2.211648e-08,2.321476e-08,2.325822e-08,2.429006e-08,2.467131e-08,2.534122e-08,2.604174e-08,2.636732e-08,2.736770e-08,2.834190e-08,2.864806e-08,2.928961e-08,2.988217e-08,3.021068e-08,3.106980e-08,3.110506e-08,3.197283e-08,3.221105e-08,3.281413e-08,3.330628e-08,3.362916e-08,3.435604e-08,3.441821e-08,3.518159e-08,3.536102e-08,3.591965e-08,3.632205e-08,3.663278e-08,3.724002e-08,3.732137e-08,3.798588e-08,3.811593e-08,3.862673e-08,3.895079e-08,3.924440e-08,3.974567e-08,3.983936e-08,4.041208e-08,4.050168e-08,4.096304e-08,4.121992e-08,4.149273e-08,4.190151e-08,4.200165e-08,4.249027e-08,4.254757e-08,4.295909e-08,4.315922e-08,4.340859e-08,4.373758e-08,4.383925e-08,4.425155e-08,4.428376e-08,4.464598e-08,4.479884e-08,4.502299e-08,4.528391e-08,4.538304e-08,4.572661e-08,4.574002e-08,4.605414e-08,4.616821e-08,4.636607e-08,4.656950e-08,4.666284e-08,4.694489e-08,4.721263e-08,4.729536e-08,4.746649e-08,4.762185e-08,4.770686e-08,4.792531e-08,4.793415e-08,4.814875e-08,4.820662e-08,4.835105e-08,4.846668e-08,4.854142e-08,4.870634e-08,4.872023e-08,4.888783e-08,4.892643e-08,4.904459e-08,4.912776e-08,4.919084e-08,4.931111e-08,4.932692e-08,4.945315e-08,4.947725e-08,4.956987e-08,4.962691e-08,4.967738e-08,4.976080e-08,4.977599e-08,4.986600e-08,4.987962e-08,4.994769e-08,4.998403e-08,5.002135e-08,5.007468e-08,5.008725e-08,5.014567e-08,5.015219e-08,5.019687e-08,5.021717e-08,5.024109e-08,5.027019e-08,5.027859e-08,5.030961e-08,5.031182e-08,5.033439e-08,5.034260e-08,5.035315e-08,5.036306e-08,5.036612e-08,5.037351e-08,5.037369e-08,5.037553e-08,5.037498e-08,5.037239e-08,5.036741e-08,5.036428e-08,5.035141e-08,5.032742e-08,5.029587e-08,5.025714e-08,5.021163e-08,5.015971e-08,5.010173e-08,5.003804e-08,4.996896e-08,4.989481e-08,4.981589e-08,4.973250e-08,4.964490e-08,4.955338e-08,4.945818e-08,4.935955e-08,4.925773e-08,4.915294e-08,4.904539e-08,4.893530e-08,4.882285e-08,4.870825e-08,4.859166e-08,4.847327e-08,4.835323e-08
0.000000e+00,1.543439e-09,4.415730e-09,2.061441e-08,5.618169e-08,8.840232e-08,2.321382e-07,2.402781e-07,5.123827e-07,6.151996e-07,9.426154e-07,1.293809e-06,1.572656e-06,2.367730e-06,2.447828e-06,3.610255e-06,3.935140e-06,5.081763e-06,6.036022e-06,6.844490e-06,8.590144e-06,8.839134e-06,1.098502e-05,1.142520e-05,1.320353e-05,1.436397e-05,1.543085e-05,1.727394e-05,1.762021e-05,1.973919e-05,2.007011e-05,2.176572e-05,2.270102e-05,2.368483e-05,2.513583e-05,2.548637e-05,2.716360e-05,2.735630e-05,2.871241e-05,2.935264e-05,3.013087e-05,3.112163e-05,3.141894e-05,3.257826e-05,3.266553e-05,3.361197e-05,3.399122e-05,3.452445e-05,3.510940e-05,3.532116e-05,3.600842e-05,3.603373e-05,3.659309e-05,3.677984e-05,3.708240e-05,3.736445e-05,3.748377e-05,3.780462e-05,3.805220e-05,3.811711e-05,3.823355e-05,3.831796e-05,3.835536e-05,3.842215e-05,3.842395e-05,3.844518e-05,3.844339e-05,3.842450e-05,3.839407e-05,3.836690e-05,3.828521e-05,3.827692e-05,3.815870e-05,3.812654e-05,3.801593e-05,3.792653e-05,3.785197e-05,3.769252e-05,3.766979e-05,3.747205e-05,3.743085e-05,3.726112e-05,3.714693e-05,3.703909e-05,3.684538e-05,3.680783e-05,3.656895e-05,3.653012e-05,3.632392e-05,3.620449e-05,3.607399e-05,3.587128e-05,3.582029e-05,3.556379e-05,3.553287e-05,3.530537e-05,3.519125e-05,3.504577e-05,3.484810e-05,3.478566e-05,3.452562e-05,3.450484e-05,3.426615e-05,3.416262e-05,3.400769e-05,3.382245e-05,3.375064e-05,3.349532e-05,3.348515e-05,3.324203e-05,3.315139e-05,3.299102e-05,3.282175e-05,3.274251e-05,3.249669e-05,3.225373e-05,3.217660e-05,3.201375e-05,3.186178e-05,3.177687e-05,3.155249e-05,3.154320e-05,3.131281e-05,3.124890e-05,3.108577e-05,3.095118e-05,3.086213e-05,3.065943e-05,3.064194e-05,3.042522e-05,3.037373e-05,3.021200e-05,3.009412e-05,3.000228e-05,2.982064e-05,2.979608e-05,2.959339e-05,2.955328e-05,2.939421e-05,2.929202e-05,2.919853e-05,2.903684e-05,2.900632e-05,2.881758e-05,2.878769e-05,2.863226e-05,2.854452e-05,2.845035e-05,2.830725e-05,2.827182e-05,2.809662e-05,2.807582e-05,2.792474e-05,2.785014e-05,2.775612e-05,2.763013e-05,2.759072e-05,2.742852e-05,2.741568e-05,2.726946e-05,2.720671e-05,2.711351e-05,2.700311e-05,2.696061e-05,2.681072e-05,2.680479e-05,2.666381e-05,2.661163e-05,2.651981e-05,2.642354e-05,2.637869e-05,2.624040e-05,2.606211e-05,2.588856e-05,2.571964e-05,2.555524e-05,2.539526e-05,2.523960e-05,2.508814e-05,2.494079e-05,2.479743e-05,2.465798e-05,2.452232e-05,2.439037e-05,2.426203e-05,2.413719e-05,2.401578e-05,2.389769e-05,2.378284e-05,2.367114e-05,2.356250e-05,2.345685e-05,2.335410e-05,2.325417e-05,2.315699e-05,2.306247e-05
0.000000e+00,2.859452e-08,8.462389e-08,4.231990e-07,1.226388e-06,1.995037e-06,5.703876e-06,5.924224e-06,1.373454e-05,1.686718e-05,2.733361e-05,3.918456e-05,4.891085e-05,7.746398e-05,8.037520e-05,1.227408e-04,1.345618e-04,1.761743e-04,2.108262e-04,2.403635e-04,3.053220e-04,3.147690e-04,3.987275e-04,4.166005e-04,4.914832e-04,5.429163e-04,5.921926e-04,6.822575e-04,6.999262e-04,8.136753e-04,8.323624e-04,9.323670e-04,9.907681e-04,1.054886e-03,1.154895e-03,1.180099e-03,1.306884e-03,1.322152e-03,1.434154e-03,1.490039e-03,1.560881e-03,1.656245e-03,1.686119e-03,1.809014e-03,1.818721e-03,1.928815e-03,1.975721e-03,2.044880e-03,2.125831e-03,2.156678e-03,2.263782e-03,2.267964e-03,2.365869e-03,2.401344e-03,2.462706e-03,2.525480e-03,2.554149e-03,2.640124e-03,2.720627e-03,2.745239e-03,2.795706e-03,2.840952e-03,2.865455e-03,2.927523e-03,2.930007e-03,2.989524e-03,3.005310e-03,3.044188e-03,3.074741e-03,3.094202e-03,3.136287e-03,3.139774e-03,3.181124e-03,3.190444e-03,3.218472e-03,3.237720e-03,3.252036e-03,3.278617e-03,3.282036e-03,3.308683e-03,3.313628e-03,3.332183e-03,3.343226e-03,3.352735e-03,3.367862e-03,3.370531e-03,3.385753e-03,3.387961e-03,3.398574e-03,3.403923e-03,3.409158e-03,3.416119e-03,3.417660e-03,3.424229e-03,3.424893e-03,3.429000e-03,3.430564e-03,3.432105e-03,3.433424e-03,3.433664e-03,3.433792e-03,3.433743e-03,3.432595e-03,3.431768e-03,3.430173e-03,3.427723e-03,3.426619e-03,3.422020e-03,3.421815e-03,3.416457e-03,3.414233e-03,3.410007e-03,3.405149e-03,3.402739e-03,3.394720e-03,3.386011e-03,3.383088e-03,3.376669e-03,3.370383e-03,3.366748e-03,3.356725e-03,3.356298e-03,3.345364e-03,3.342222e-03,3.333991e-03,3.326972e-03,3.322217e-03,3.311065e-03,3.310081e-03,3.297618e-03,3.294582e-03,3.284861e-03,3.277599e-03,3.271839e-03,3.260183e-03,3.258581e-03,3.245113e-03,3.242397e-03,3.231461e-03,3.224296e-03,3.217646e-03,3.205932e-03,3.203690e-03,3.189614e-03,3.187352e-03,3.175435e-03,3.168598e-03,3.161171e-03,3.149710e-03,3.146838e-03,3.132452e-03,3.130722e-03,3.118025e-03,3.111668e-03,3.103571e-03,3.092576e-03,3.089102e-03,3.074630e-03,3.073472e-03,3.060164e-03,3.054382e-03,3.045716e-03,3.035328e-03,3.031292e-03,3.016903e-03,3.016328e-03,3.002556e-03,2.997403e-03,2.988258e-03,2.978567e-03,2.974015e-03,2.959835e-03,2.941222e-03,2.922739e-03,2.904397e-03,2.886206e-03,2.868175e-03,2.850311e-03,2.832621e-03,2.815112e-03,2.797788e-03,2.780655e-03,2.763716e-03,2.746976e-03,2.730436e-03,2.714100e-03,2.697970e-03,2.682047e-03,2.666332e-03,2.650827e-03,2.635531e-03,2.620446e-03,2.605571e-03,2.590905e-03,2.576450e-03,2.562203e-03
0.000000e+00,5.380787e-10,1.266581e-09,4.492742e-09,1.042917e-08,1.539223e-08,3.626948e-08,3.743068e-08,7.640223e-08,9.138886e-08,1.403740e-07,1.949119e-07,2.394114e-07,3.698571e-07,3.831529e-07,5.754082e-07,6.282301e-07,8.092886e-07,9.529484e-07,1.069803e-06,1.308886e-06,1.341709e-06,1.614055e-06,1.667933e-06,1.880202e-06,2.014826e-06,2.136400e-06,2.342367e-06,2.380571e-06,2.611578e-06,2.647272e-06,2.828826e-06,2.928133e-06,3.032060e-06,3.184540e-06,3.221263e-06,3.396595e-06,3.416716e-06,3.558351e-06,3.625325e-06,3.706943e-06,3.811377e-06,3.842876e-06,3.966714e-06,3.976116e-06,4.079067e-06,4.120935e-06,4.180574e-06,4.247307e-06,4.271884e-06,4.353644e-06,4.356725e-06,4.426495e-06,4.450660e-06,4.491057e-06,4.530531e-06,4.547929e-06,4.597684e-06,4.640863e-06,4.653376e-06,4.677978e-06,4.698773e-06,4.709511e-06,4.734949e-06,4.735912e-06,4.757601e-06,4.762884e-06,4.774969e-06,4.783468e-06,4.788379e-06,4.797510e-06,4.798168e-06,4.804647e-06,4.805742e-06,4.808104e-06,4.808820e-06,4.808806e-06,4.807340e-06,4.806998e-06,4.802908e-06,4.801834e-06,4.796742e-06,4.792781e-06,4.788695e-06,4.780611e-06,4.778943e-06,4.767650e-06,4.765710e-06,4.754965e-06,4.748423e-06,4.741026e-06,4.729059e-06,4.725962e-06,4.709888e-06,4.707897e-06,4.692913e-06,4.685183e-06,4.675134e-06,4.661142e-06,4.656644e-06,4.637525e-06,4.635970e-06,4.617854e-06,4.609847e-06,4.597702e-06,4.582931e-06,4.577133e-06,4.556207e-06,4.555364e-06,4.534979e-06,4.527273e-06,4.513498e-06,4.498770e-06,4.491811e-06,4.469959e-06,4.447981e-06,4.440927e-06,4.425913e-06,4.411757e-06,4.403787e-06,4.382519e-06,4.381633e-06,4.359478e-06,4.353278e-06,4.337347e-06,4.324089e-06,4.315262e-06,4.295003e-06,4.293244e-06,4.271312e-06,4.266063e-06,4.249483e-06,4.237310e-06,4.227773e-06,4.208777e-06,4.206195e-06,4.184763e-06,4.180495e-06,4.163488e-06,4.152491e-06,4.142381e-06,4.124788e-06,4.121451e-06,4.100706e-06,4.097405e-06,4.080155e-06,4.070361e-06,4.059803e-06,4.043670e-06,4.039657e-06,4.019722e-06,4.017345e-06,4.000003e-06,3.991396e-06,3.980504e-06,3.965834e-06,3.961228e-06,3.942179e-06,3.940665e-06,3.923358e-06,3.915895e-06,3.904769e-06,3.891528e-06,3.886412e-06,3.868289e-06,3.867569e-06,3.850401e-06,3.844019e-06,3.832748e-06,3.820880e-06,3.815332e-06,3.798152e-06,3.775835e-06,3.753929e-06,3.732432e-06,3.711341e-06,3.690655e-06,3.670370e-06,3.650483e-06,3.630990e-06,3.611888e-06,3.593171e-06,3.574836e-06,3.556877e-06,3.539290e-06,3.522070e-06,3.505212e-06,3.488710e-06,3.472559e-06,3.456754e-06,3.441289e-06,3.426158e-06,3.411356e-06,3.396878e-06,3.382717e-06,3.368869e-06
0.000000e+00,8.477262e-12,1.936258e-11,6.633920e-11,1.505978e-10,2.195564e-10,4.982036e-10,5.132346e-10,9.956216e-10,1.171801e-09,1.721792e-09,2.300474e-09,2.754676e-09,4.031163e-09,4.158394e-09,5.977578e-09,6.476949e-09,8.209714e-09,9.621219e-09,1.080039e-08,1.331425e-08,1.367089e-08,1.674663e-08,1.738084e-08,1.996722e-08,2.168297e-08,2.328505e-08,2.611866e-08,2.666140e-08,3.006337e-08,3.060809e-08,3.346215e-08,3.508480e-08,3.683216e-08,3.949216e-08,4.015079e-08,4.339826e-08,4.378235e-08,4.655768e-08,4.791621e-08,4.961497e-08,5.186313e-08,5.255878e-08,5.538038e-08,5.560062e-08,5.807338e-08,5.911356e-08,6.063355e-08,6.239325e-08,6.305856e-08,6.534772e-08,6.543647e-08,6.750170e-08,6.824436e-08,6.952230e-08,7.082148e-08,7.141224e-08,7.317495e-08,7.481442e-08,7.531372e-08,7.633502e-08,7.724797e-08,7.774142e-08,7.898862e-08,7.903847e-08,8.023108e-08,8.054697e-08,8.132422e-08,8.193441e-08,8.232282e-08,8.316220e-08,8.323173e-08,8.405569e-08,8.424132e-08,8.479935e-08,8.518238e-08,8.546716e-08,8.599553e-08,8.606344e-08,8.659235e-08,8.669040e-08,8.705786e-08,8.727613e-08,8.746376e-08,8.776132e-08,8.781369e-08,8.811112e-08,8.815405e-08,8.835932e-08,8.846189e-08,8.856142e-08,8.869190e-08,8.872038e-08,8.883903e-08,8.885069e-08,8.892002e-08,8.894438e-08,8.896588e-08,8.897870e-08,8.897898e-08,8.896158e-08,8.895894e-08,8.891582e-08,8.889003e-08,8.884371e-08,8.877653e-08,8.874713e-08,8.862788e-08,8.862267e-08,8.848766e-08,8.843235e-08,8.832804e-08,8.820920e-08,8.815054e-08,8.795655e-08,8.774741e-08,8.767749e-08,8.752437e-08,8.737488e-08,8.728861e-08,8.705134e-08,8.704123e-08,8.678327e-08,8.670928e-08,8.651571e-08,8.635095e-08,8.623947e-08,8.597839e-08,8.595540e-08,8.566432e-08,8.559350e-08,8.536698e-08,8.519800e-08,8.506409e-08,8.479349e-08,8.475632e-08,8.444430e-08,8.438144e-08,8.412861e-08,8.396318e-08,8.380979e-08,8.353994e-08,8.348836e-08,8.316479e-08,8.311285e-08,8.283954e-08,8.268294e-08,8.251301e-08,8.225113e-08,8.218560e-08,8.185767e-08,8.181830e-08,8.152956e-08,8.138521e-08,8.120158e-08,8.095258e-08,8.087402e-08,8.054716e-08,8.052105e-08,8.022124e-08,8.009119e-08,7.989651e-08,7.966355e-08,7.957317e-08,7.925143e-08,7.923860e-08,7.893147e-08,7.881676e-08,7.861347e-08,7.839842e-08,7.829757e-08,7.798392e-08,7.757358e-08,7.716766e-08,7.676641e-08,7.637003e-08,7.597873e-08,7.559264e-08,7.521192e-08,7.483668e-08,7.446703e-08,7.410303e-08,7.374476e-08,7.339226e-08,7.304558e-08,7.270473e-08,7.236974e-08,7.204060e-08,7.171731e-08,7.139985e-08,7.108820e-08,7.078234e-08,7.048222e-08,7.018780e-08,6.989905e-08,6.961589e-08
0.000000e+00,3.034913e-10,8.341897e-10,3.634808e-09,9.432273e-09,1.451450e-08,3.641565e-08,3.763436e-08,7.772932e-08,9.266666e-08,1.397830e-07,1.897990e-07,2.292466e-07,3.409326e-07,3.521455e-07,5.149184e-07,5.606261e-07,7.237589e-07,8.626659e-07,9.832741e-07,1.254709e-06,1.294775e-06,1.655315e-06,1.732781e-06,2.058456e-06,2.282286e-06,2.496228e-06,2.885005e-06,2.960859e-06,3.445607e-06,3.524645e-06,3.944879e-06,4.188299e-06,4.454045e-06,4.865861e-06,4.969204e-06,5.486995e-06,5.549164e-06,6.004480e-06,6.231397e-06,6.519069e-06,6.906809e-06,7.028485e-06,7.530737e-06,7.570555e-06,8.024106e-06,8.218631e-06,8.507131e-06,8.847814e-06,8.978599e-06,9.437521e-06,9.455605e-06,9.883123e-06,1.004016e-05,1.031482e-05,1.060022e-05,1.073220e-05,1.113499e-05,1.152305e-05,1.164412e-05,1.189637e-05,1.212758e-05,1.225501e-05,1.258564e-05,1.259912e-05,1.292892e-05,1.301874e-05,1.324469e-05,1.342753e-05,1.354672e-05,1.381275e-05,1.383536e-05,1.411099e-05,1.417525e-05,1.437399e-05,1.451590e-05,1.462476e-05,1.483566e-05,1.486372e-05,1.509126e-05,1.513544e-05,1.530780e-05,1.541618e-05,1.551372e-05,1.567880e-05,1.570944e-05,1.589534e-05,1.592420e-05,1.607180e-05,1.615326e-05,1.623920e-05,1.636683e-05,1.639789e-05,1.654822e-05,1.656571e-05,1.669053e-05,1.675069e-05,1.682515e-05,1.692252e-05,1.695241e-05,1.707261e-05,1.708192e-05,1.718603e-05,1.722958e-05,1.729298e-05,1.736612e-05,1.739372e-05,1.748852e-05,1.749219e-05,1.757763e-05,1.760836e-05,1.766129e-05,1.771519e-05,1.773974e-05,1.781321e-05,1.788191e-05,1.790292e-05,1.794604e-05,1.798478e-05,1.800581e-05,1.805926e-05,1.806141e-05,1.811301e-05,1.812677e-05,1.816080e-05,1.818772e-05,1.820495e-05,1.824248e-05,1.824561e-05,1.828293e-05,1.829141e-05,1.831707e-05,1.833486e-05,1.834817e-05,1.837313e-05,1.837637e-05,1.840178e-05,1.840654e-05,1.842455e-05,1.843538e-05,1.844478e-05,1.845991e-05,1.846260e-05,1.847811e-05,1.848038e-05,1.849141e-05,1.849704e-05,1.850261e-05,1.851013e-05,1.851181e-05,1.851909e-05,1.851984e-05,1.852455e-05,1.852640e-05,1.852827e-05,1.852998e-05,1.853033e-05,1.853081e-05,1.853078e-05,1.852978e-05,1.852896e-05,1.852731e-05,1.852469e-05,1.852348e-05,1.851835e-05,1.851812e-05,1.851198e-05,1.850939e-05,1.850443e-05,1.849865e-05,1.849576e-05,1.848602e-05,1.847163e-05,1.845559e-05,1.843801e-05,1.841899e-05,1.839864e-05,1.837705e-05,1.835430e-05,1.833047e-05,1.830565e-05,1.827991e-05,1.825332e-05,1.822595e-05,1.819785e-05,1.816909e-05,1.813972e-05,1.810981e-05,1.807938e-05,1.804851e-05,1.801722e-05,1.798556e-05,1.795358e-05,1.792130e-05,1.788878e-05,1.785603e-05
0.000000e+00,3.691645e-10,1.081257e-09,5.291133e-09,1.502066e-08,2.414666e-08,6.676219e-08,6.923949e-08,1.543775e-07,1.873779e-07,2.942798e-07,4.109214e-07,5.044420e-07,7.738224e-07,8.011374e-07,1.201196e-06,1.314451e-06,1.721081e-06,2.069963e-06,2.374789e-06,3.067631e-06,3.170749e-06,4.109230e-06,4.313443e-06,5.182118e-06,5.788553e-06,6.375128e-06,7.457394e-06,7.670867e-06,9.051267e-06,9.278813e-06,1.049900e-05,1.121308e-05,1.199810e-05,1.322458e-05,1.353408e-05,1.509394e-05,1.528216e-05,1.666600e-05,1.735884e-05,1.823982e-05,1.943135e-05,1.980612e-05,2.135673e-05,2.147988e-05,2.288453e-05,2.348786e-05,2.438342e-05,2.544180e-05,2.584826e-05,2.727483e-05,2.733105e-05,2.865976e-05,2.914761e-05,3.000044e-05,3.088583e-05,3.129497e-05,3.254211e-05,3.374111e-05,3.411458e-05,3.489175e-05,3.560283e-05,3.599416e-05,3.700754e-05,3.704882e-05,3.805649e-05,3.833034e-05,3.901813e-05,3.957350e-05,3.993491e-05,4.073980e-05,4.080808e-05,4.163904e-05,4.183235e-05,4.242922e-05,4.285446e-05,4.318010e-05,4.380955e-05,4.389318e-05,4.456996e-05,4.470110e-05,4.521195e-05,4.553251e-05,4.582060e-05,4.630718e-05,4.639738e-05,4.694368e-05,4.702835e-05,4.746087e-05,4.769917e-05,4.795027e-05,4.832264e-05,4.841315e-05,4.885071e-05,4.890158e-05,4.926414e-05,4.943869e-05,4.965454e-05,4.993652e-05,5.002300e-05,5.037054e-05,5.039747e-05,5.069814e-05,5.082380e-05,5.100672e-05,5.121763e-05,5.129718e-05,5.157037e-05,5.158095e-05,5.182708e-05,5.191562e-05,5.206809e-05,5.222339e-05,5.229413e-05,5.250590e-05,5.270405e-05,5.276468e-05,5.288921e-05,5.300118e-05,5.306198e-05,5.321672e-05,5.322294e-05,5.337262e-05,5.341258e-05,5.351153e-05,5.358992e-05,5.364017e-05,5.374985e-05,5.375901e-05,5.386848e-05,5.389340e-05,5.396901e-05,5.402155e-05,5.406100e-05,5.413520e-05,5.414484e-05,5.422088e-05,5.423519e-05,5.428949e-05,5.432233e-05,5.435098e-05,5.439736e-05,5.440567e-05,5.445386e-05,5.446099e-05,5.449584e-05,5.451387e-05,5.453189e-05,5.455663e-05,5.456226e-05,5.458720e-05,5.458984e-05,5.460696e-05,5.461406e-05,5.462175e-05,5.462980e-05,5.463179e-05,5.463729e-05,5.463754e-05,5.463845e-05,5.463774e-05,5.463546e-05,5.463084e-05,5.462850e-05,5.461773e-05,5.461723e-05,5.460334e-05,5.459729e-05,5.458546e-05,5.457140e-05,5.456426e-05,5.453989e-05,5.450308e-05,5.446127e-05,5.441477e-05,5.436383e-05,5.430871e-05,5.424966e-05,5.418692e-05,5.412069e-05,5.405119e-05,5.397862e-05,5.390315e-05,5.382498e-05,5.374426e-05,5.366116e-05,5.357583e-05,5.348841e-05,5.339905e-05,5.330787e-05,5.321500e-05,5.312056e-05,5.302466e-05,5.292741e-05,5.282890e-05,5.272925e-05
0.000000e+00,4.195040e-10,1.050507e-09,4.027272e-09,9.776054e-09,1.471241e-08,3.615489e-08,3.737028e-08,7.904863e-08,9.541156e-08,1.495579e-07,2.100191e-07,2.587478e-07,3.958624e-07,4.093244e-07,5.955560e-07,6.447169e-07,8.102740e-07,9.410317e-07,1.048548e-06,1.275256e-06,1.307314e-06,1.584425e-06,1.641886e-06,1.878059e-06,2.036695e-06,2.186457e-06,2.455610e-06,2.507826e-06,2.840335e-06,2.894447e-06,3.182145e-06,3.348985e-06,3.531451e-06,3.815128e-06,3.886525e-06,4.245747e-06,4.289061e-06,4.607633e-06,4.767356e-06,4.970842e-06,5.247025e-06,5.334178e-06,5.696589e-06,5.725514e-06,6.057166e-06,6.200703e-06,6.415123e-06,6.670851e-06,6.769792e-06,7.120609e-06,7.134555e-06,7.467099e-06,7.590698e-06,7.808868e-06,8.038404e-06,8.145588e-06,8.476991e-06,8.802861e-06,8.905942e-06,9.123023e-06,9.324866e-06,9.437339e-06,9.733484e-06,9.745703e-06,1.004804e-05,1.013160e-05,1.034428e-05,1.051909e-05,1.063440e-05,1.089589e-05,1.091838e-05,1.119620e-05,1.126197e-05,1.146788e-05,1.161734e-05,1.173343e-05,1.196207e-05,1.199288e-05,1.224627e-05,1.229622e-05,1.249363e-05,1.261989e-05,1.273501e-05,1.293319e-05,1.297047e-05,1.320007e-05,1.323626e-05,1.342386e-05,1.352924e-05,1.364192e-05,1.381229e-05,1.385432e-05,1.406112e-05,1.408557e-05,1.426241e-05,1.434925e-05,1.445825e-05,1.460351e-05,1.464874e-05,1.483394e-05,1.484853e-05,1.501394e-05,1.508451e-05,1.518883e-05,1.531163e-05,1.535868e-05,1.552359e-05,1.553008e-05,1.568363e-05,1.574006e-05,1.583888e-05,1.594177e-05,1.598945e-05,1.613541e-05,1.627684e-05,1.632116e-05,1.641383e-05,1.649922e-05,1.654647e-05,1.666979e-05,1.667484e-05,1.679903e-05,1.683306e-05,1.691911e-05,1.698923e-05,1.703518e-05,1.713848e-05,1.714731e-05,1.725558e-05,1.728100e-05,1.736008e-05,1.741698e-05,1.746088e-05,1.754660e-05,1.755807e-05,1.765173e-05,1.767004e-05,1.774192e-05,1.778748e-05,1.782874e-05,1.789910e-05,1.791225e-05,1.799252e-05,1.800507e-05,1.806964e-05,1.810555e-05,1.814367e-05,1.820072e-05,1.821469e-05,1.828276e-05,1.829074e-05,1.834797e-05,1.837576e-05,1.841036e-05,1.845595e-05,1.847002e-05,1.852701e-05,1.853146e-05,1.858139e-05,1.860243e-05,1.863323e-05,1.866902e-05,1.868259e-05,1.872954e-05,1.873137e-05,1.877413e-05,1.878962e-05,1.881643e-05,1.884390e-05,1.885648e-05,1.889436e-05,1.894112e-05,1.898432e-05,1.902406e-05,1.906048e-05,1.909370e-05,1.912383e-05,1.915098e-05,1.917527e-05,1.919679e-05,1.921565e-05,1.923196e-05,1.924581e-05,1.925730e-05,1.926652e-05,1.927356e-05,1.927850e-05,1.928144e-05,1.928245e-05,1.928161e-05,1.927901e-05,1.927472e-05,1.926881e-05,1.926135e-05,1.925241e-05
0.000000e+00,4.332984e-10,1.226648e-09,5.619999e-09,1.510339e-08,2.360729e-08,6.108200e-08,6.318942e-08,1.330655e-07,1.592393e-07,2.419360e-07,3.297022e-07,3.988042e-07,5.935990e-07,6.130773e-07,8.940412e-07,9.723016e-07,1.249164e-06,1.481718e-06,1.681144e-06,2.121350e-06,2.185330e-06,2.750120e-06,2.869035e-06,3.360394e-06,3.690672e-06,4.001192e-06,4.553569e-06,4.659654e-06,5.325406e-06,5.432027e-06,5.990201e-06,6.306967e-06,6.647413e-06,7.164062e-06,7.291645e-06,7.918468e-06,7.992337e-06,8.524261e-06,8.783375e-06,9.106119e-06,9.530913e-06,9.661786e-06,1.018960e-05,1.023059e-05,1.068845e-05,1.087972e-05,1.115770e-05,1.147710e-05,1.159714e-05,1.200694e-05,1.202272e-05,1.238755e-05,1.251756e-05,1.273970e-05,1.296336e-05,1.306429e-05,1.336238e-05,1.363512e-05,1.371724e-05,1.388374e-05,1.403079e-05,1.410952e-05,1.430595e-05,1.431372e-05,1.449764e-05,1.454566e-05,1.466250e-05,1.475279e-05,1.480955e-05,1.493010e-05,1.493995e-05,1.505483e-05,1.508021e-05,1.515526e-05,1.520558e-05,1.524227e-05,1.530849e-05,1.531680e-05,1.537978e-05,1.539107e-05,1.543205e-05,1.545527e-05,1.547441e-05,1.550288e-05,1.550760e-05,1.553233e-05,1.553554e-05,1.554923e-05,1.555475e-05,1.555893e-05,1.556187e-05,1.556197e-05,1.555889e-05,1.555814e-05,1.555018e-05,1.554467e-05,1.553627e-05,1.552250e-05,1.551761e-05,1.549457e-05,1.549255e-05,1.546751e-05,1.545565e-05,1.543679e-05,1.541256e-05,1.540269e-05,1.536553e-05,1.536398e-05,1.532556e-05,1.531053e-05,1.528303e-05,1.525277e-05,1.523818e-05,1.519122e-05,1.514235e-05,1.512634e-05,1.509175e-05,1.505855e-05,1.503960e-05,1.498823e-05,1.498606e-05,1.493127e-05,1.491573e-05,1.487537e-05,1.484136e-05,1.481849e-05,1.476540e-05,1.476075e-05,1.470226e-05,1.468812e-05,1.464311e-05,1.460974e-05,1.458341e-05,1.453049e-05,1.452324e-05,1.446269e-05,1.445054e-05,1.440183e-05,1.437008e-05,1.434072e-05,1.428926e-05,1.427944e-05,1.421805e-05,1.420822e-05,1.415661e-05,1.412711e-05,1.409515e-05,1.404602e-05,1.403375e-05,1.397243e-05,1.396508e-05,1.391124e-05,1.388436e-05,1.385022e-05,1.380397e-05,1.378940e-05,1.372882e-05,1.372398e-05,1.366851e-05,1.364446e-05,1.360849e-05,1.356548e-05,1.354880e-05,1.348944e-05,1.348708e-05,1.343046e-05,1.340932e-05,1.337186e-05,1.333225e-05,1.331367e-05,1.325590e-05,1.318031e-05,1.310552e-05,1.303155e-05,1.295842e-05,1.288616e-05,1.281479e-05,1.274431e-05,1.267475e-05,1.260612e-05,1.253841e-05,1.247165e-05,1.240583e-05,1.234095e-05,1.227703e-05,1.221406e-05,1.215204e-05,1.209097e-05,1.203084e-05,1.197165e-05,1.191340e-05,1.185609e-05,1.179970e-05,1.174423e-05,1.168967e-05
0.000000e+00,2.563520e-11,5.889516e-11,2.029929e-10,4.619708e-10,6.740332e-10,1.530791e-09,1.576989e-09,3.058387e-09,3.598805e-09,5.283192e-09,7.048906e-09,8.427505e-09,1.224997e-08,1.262598e-08,1.790062e-08,1.931902e-08,2.417353e-08,2.808375e-08,3.134243e-08,3.832317e-08,3.932094e-08,4.803981e-08,4.986701e-08,5.743803e-08,6.257374e-08,6.745552e-08,7.630258e-08,7.802894e-08,8.909009e-08,9.090031e-08,1.005658e-07,1.061987e-07,1.123786e-07,1.220179e-07,1.244485e-07,1.366945e-07,1.381720e-07,1.490360e-07,1.544763e-07,1.613950e-07,1.707536e-07,1.736972e-07,1.858734e-07,1.868401e-07,1.978600e-07,2.025885e-07,2.096000e-07,2.178719e-07,2.210437e-07,2.321479e-07,2.325845e-07,2.428770e-07,2.466418e-07,2.532017e-07,2.599796e-07,2.630992e-07,2.725530e-07,2.815514e-07,2.843336e-07,2.900881e-07,2.953080e-07,2.981608e-07,3.054753e-07,3.057708e-07,3.129230e-07,3.148445e-07,3.196245e-07,3.234330e-07,3.258850e-07,3.312648e-07,3.317157e-07,3.371295e-07,3.383682e-07,3.421400e-07,3.447752e-07,3.467619e-07,3.505198e-07,3.510104e-07,3.549010e-07,3.556375e-07,3.584492e-07,3.601642e-07,3.616707e-07,3.641354e-07,3.645807e-07,3.671946e-07,3.675863e-07,3.695271e-07,3.705511e-07,3.715928e-07,3.730627e-07,3.734057e-07,3.749793e-07,3.751526e-07,3.763267e-07,3.768512e-07,3.774605e-07,3.781869e-07,3.783929e-07,3.791353e-07,3.791868e-07,3.796988e-07,3.798765e-07,3.800940e-07,3.802799e-07,3.803308e-07,3.804190e-07,3.804195e-07,3.803675e-07,3.803164e-07,3.801850e-07,3.799903e-07,3.798797e-07,3.794595e-07,3.789317e-07,3.787413e-07,3.783034e-07,3.778516e-07,3.775811e-07,3.768052e-07,3.767712e-07,3.758796e-07,3.756161e-07,3.749120e-07,3.742971e-07,3.738736e-07,3.728601e-07,3.727695e-07,3.716044e-07,3.713163e-07,3.703830e-07,3.696759e-07,3.691093e-07,3.679486e-07,3.677875e-07,3.664213e-07,3.661431e-07,3.650143e-07,3.642677e-07,3.635699e-07,3.623300e-07,3.620913e-07,3.605814e-07,3.603371e-07,3.590431e-07,3.582955e-07,3.574792e-07,3.562112e-07,3.558920e-07,3.542840e-07,3.540898e-07,3.526575e-07,3.519365e-07,3.510145e-07,3.497560e-07,3.493570e-07,3.476869e-07,3.475528e-07,3.460059e-07,3.453309e-07,3.443158e-07,3.430941e-07,3.426181e-07,3.409141e-07,3.408459e-07,3.392054e-07,3.385894e-07,3.374933e-07,3.363276e-07,3.357788e-07,3.340632e-07,3.317986e-07,3.295363e-07,3.272781e-07,3.250262e-07,3.227822e-07,3.205477e-07,3.183242e-07,3.161130e-07,3.139154e-07,3.117325e-07,3.095652e-07,3.074145e-07,3.052811e-07,3.031659e-07,3.010693e-07,2.989921e-07,2.969348e-07,2.948977e-07,2.928814e-07,2.908860e-07,2.889120e-07,2.869595e-07,2.850288e-07,2.831200e-07
0.000000e+00,8.566332e-08,2.558545e-07,1.303395e-06,3.837502e-06,6.293774e-06,1.833156e-05,1.905244e-05,4.478218e-05,5.515495e-05,8.991259e-05,1.294651e-04,1.621677e-04,2.601211e-04,2.703031e-04,4.229469e-04,4.670129e-04,6.268590e-04,7.650440e-04,8.860416e-04,1.161126e-03,1.202055e-03,1.574702e-03,1.655920e-03,2.002558e-03,2.246113e-03,2.483278e-03,2.925704e-03,3.013786e-03,3.590390e-03,3.686650e-03,4.208882e-03,4.519289e-03,4.864629e-03,5.412732e-03,5.552682e-03,6.267871e-03,6.355268e-03,7.004923e-03,7.334788e-03,7.758555e-03,8.339204e-03,8.523576e-03,9.294971e-03,9.356814e-03,1.006798e-02,1.037663e-02,1.083815e-02,1.138860e-02,1.160139e-02,1.235398e-02,1.238381e-02,1.309261e-02,1.335454e-02,1.381439e-02,1.429427e-02,1.451680e-02,1.519774e-02,1.585546e-02,1.606080e-02,1.648858e-02,1.688035e-02,1.709601e-02,1.765426e-02,1.767698e-02,1.823097e-02,1.838121e-02,1.875770e-02,1.906062e-02,1.925711e-02,1.969253e-02,1.972932e-02,2.017459e-02,2.027750e-02,2.059335e-02,2.081646e-02,2.098611e-02,2.131071e-02,2.135348e-02,2.169616e-02,2.176180e-02,2.201490e-02,2.217144e-02,2.231049e-02,2.254151e-02,2.258377e-02,2.283559e-02,2.287395e-02,2.306682e-02,2.317075e-02,2.327833e-02,2.343392e-02,2.347099e-02,2.364566e-02,2.366546e-02,2.380321e-02,2.386732e-02,2.394446e-02,2.404142e-02,2.407023e-02,2.418133e-02,2.418961e-02,2.427852e-02,2.431367e-02,2.436255e-02,2.441531e-02,2.443414e-02,2.449399e-02,2.449615e-02,2.454277e-02,2.455774e-02,2.458111e-02,2.460153e-02,2.460962e-02,2.462891e-02,2.463951e-02,2.464116e-02,2.464197e-02,2.463951e-02,2.463680e-02,2.462509e-02,2.462447e-02,2.460545e-02,2.459898e-02,2.458017e-02,2.456217e-02,2.454905e-02,2.451560e-02,2.451248e-02,2.447083e-02,2.446011e-02,2.442445e-02,2.439654e-02,2.437368e-02,2.432562e-02,2.431883e-02,2.426020e-02,2.424804e-02,2.419807e-02,2.416447e-02,2.413271e-02,2.407550e-02,2.406437e-02,2.399329e-02,2.398167e-02,2.391968e-02,2.388352e-02,2.384377e-02,2.378151e-02,2.376575e-02,2.368581e-02,2.367609e-02,2.360412e-02,2.356767e-02,2.352086e-02,2.345662e-02,2.343617e-02,2.335021e-02,2.334328e-02,2.326312e-02,2.322799e-02,2.317502e-02,2.311104e-02,2.308604e-02,2.299630e-02,2.299269e-02,2.290590e-02,2.287322e-02,2.281495e-02,2.275284e-02,2.272354e-02,2.263177e-02,2.251020e-02,2.238832e-02,2.226630e-02,2.214428e-02,2.202241e-02,2.190081e-02,2.177960e-02,2.165888e-02,2.153876e-02,2.141932e-02,2.130063e-02,2.118279e-02,2.106584e-02,2.094986e-02,2.083489e-02,2.072097e-02,2.060817e-02,2.049650e-02,2.038601e-02,2.027673e-02,2.016868e-02,2.006188e-02,1.995635e-02,1.985211e-02
0.000000e+00,5.354724e-10,1.400909e-09,5.649089e-09,1.394226e-08,2.099422e-08,5.048828e-08,5.210575e-08,1.046999e-07,1.241124e-07,1.850352e-07,2.493488e-07,2.998027e-07,4.406598e-07,4.545851e-07,6.508445e-07,7.037987e-07,8.850681e-07,1.030736e-06,1.151695e-06,1.409068e-06,1.445638e-06,1.762709e-06,1.828572e-06,2.099242e-06,2.280771e-06,2.451752e-06,2.757683e-06,2.816789e-06,3.190907e-06,3.251381e-06,3.570716e-06,3.754079e-06,3.952948e-06,4.258410e-06,4.334538e-06,4.712684e-06,4.757709e-06,5.084890e-06,5.246209e-06,5.448992e-06,5.719157e-06,5.803169e-06,6.145933e-06,6.172824e-06,6.476112e-06,6.604453e-06,6.792824e-06,7.012162e-06,7.095451e-06,7.383599e-06,7.394820e-06,7.657072e-06,7.751920e-06,7.915840e-06,8.083451e-06,8.160008e-06,8.389792e-06,8.605499e-06,8.671611e-06,8.807500e-06,8.929782e-06,8.996219e-06,9.165323e-06,9.172119e-06,9.335685e-06,9.379341e-06,9.487418e-06,9.572990e-06,9.627829e-06,9.747445e-06,9.757427e-06,9.876719e-06,9.903871e-06,9.986204e-06,1.004341e-05,1.008637e-05,1.016718e-05,1.017769e-05,1.026063e-05,1.027625e-05,1.033563e-05,1.037163e-05,1.040312e-05,1.045431e-05,1.046351e-05,1.051720e-05,1.052519e-05,1.056456e-05,1.058515e-05,1.060596e-05,1.063501e-05,1.064174e-05,1.067222e-05,1.067554e-05,1.069773e-05,1.070745e-05,1.071855e-05,1.073142e-05,1.073498e-05,1.074727e-05,1.074809e-05,1.075570e-05,1.075803e-05,1.076048e-05,1.076181e-05,1.076187e-05,1.076007e-05,1.075994e-05,1.075529e-05,1.075288e-05,1.074773e-05,1.074109e-05,1.073757e-05,1.072499e-05,1.071015e-05,1.070495e-05,1.069321e-05,1.068133e-05,1.067431e-05,1.065447e-05,1.065361e-05,1.063122e-05,1.062467e-05,1.060728e-05,1.059222e-05,1.058191e-05,1.055739e-05,1.055521e-05,1.052729e-05,1.052042e-05,1.049825e-05,1.048154e-05,1.046819e-05,1.044096e-05,1.043719e-05,1.040534e-05,1.039887e-05,1.037271e-05,1.035546e-05,1.033938e-05,1.031090e-05,1.030542e-05,1.027090e-05,1.026533e-05,1.023588e-05,1.021891e-05,1.020041e-05,1.017175e-05,1.016455e-05,1.012836e-05,1.012399e-05,1.009187e-05,1.007574e-05,1.005515e-05,1.002710e-05,1.001822e-05,9.981133e-06,9.978160e-06,9.943924e-06,9.929014e-06,9.906628e-06,9.879740e-06,9.869279e-06,9.831908e-06,9.830413e-06,9.794543e-06,9.781098e-06,9.757212e-06,9.731859e-06,9.719940e-06,9.682752e-06,9.633828e-06,9.585135e-06,9.536715e-06,9.488608e-06,9.440848e-06,9.393468e-06,9.346496e-06,9.299959e-06,9.253878e-06,9.208276e-06,9.163171e-06,9.118577e-06,9.074511e-06,9.030984e-06,8.988007e-06,8.945588e-06,8.903737e-06,8.862458e-06,8.821757e-06,8.781638e-06,8.742104e-06,8.703157e-06,8.664798e-06,8.627026e-06
0.000000e+00,8.079813e-09,2.392241e-08,1.195843e-07,3.456318e-07,5.607652e-07,1.583974e-06,1.644051e-06,3.729176e-06,4.544127e-06,7.196173e-06,1.009889e-05,1.242699e-05,1.911628e-05,1.979247e-05,2.964100e-05,3.240975e-05,4.228357e-05,5.068025e-05,5.796935e-05,7.441352e-05,7.684983e-05,9.894332e-05,1.037388e-04,1.241217e-04,1.383526e-04,1.521284e-04,1.775861e-04,1.826142e-04,2.151750e-04,2.205487e-04,2.493806e-04,2.662556e-04,2.847962e-04,3.137136e-04,3.209967e-04,3.575773e-04,3.619743e-04,3.941604e-04,4.101676e-04,4.304012e-04,4.575241e-04,4.659913e-04,5.006610e-04,5.033877e-04,5.341804e-04,5.472222e-04,5.663591e-04,5.886107e-04,5.970449e-04,6.261222e-04,6.272506e-04,6.535093e-04,6.629441e-04,6.791549e-04,6.955862e-04,7.030355e-04,7.251510e-04,7.455219e-04,7.516778e-04,7.641856e-04,7.752576e-04,7.811932e-04,7.960198e-04,7.966066e-04,8.104957e-04,8.141217e-04,8.229362e-04,8.297381e-04,8.340074e-04,8.430533e-04,8.437905e-04,8.523671e-04,8.542550e-04,8.598183e-04,8.635290e-04,8.662232e-04,8.710550e-04,8.716586e-04,8.761982e-04,8.770048e-04,8.799123e-04,8.815397e-04,8.828677e-04,8.848100e-04,8.851272e-04,8.867498e-04,8.869540e-04,8.877905e-04,8.880985e-04,8.883006e-04,8.883587e-04,8.883277e-04,8.879156e-04,8.878386e-04,8.871050e-04,8.866318e-04,8.859331e-04,8.848221e-04,8.844343e-04,8.826401e-04,8.824847e-04,8.805795e-04,8.796867e-04,8.782789e-04,8.764876e-04,8.757626e-04,8.730527e-04,8.729405e-04,8.701694e-04,8.690926e-04,8.671314e-04,8.649858e-04,8.639555e-04,8.606572e-04,8.572507e-04,8.561399e-04,8.537488e-04,8.514631e-04,8.501635e-04,8.466530e-04,8.465054e-04,8.427844e-04,8.417326e-04,8.390097e-04,8.367225e-04,8.351894e-04,8.316409e-04,8.313310e-04,8.274416e-04,8.265043e-04,8.235275e-04,8.213270e-04,8.195945e-04,8.161220e-04,8.156478e-04,8.116925e-04,8.109008e-04,8.077330e-04,8.056737e-04,8.037733e-04,8.004498e-04,7.998172e-04,7.958681e-04,7.952372e-04,7.919293e-04,7.900431e-04,7.880035e-04,7.848741e-04,7.840935e-04,7.802016e-04,7.797359e-04,7.763301e-04,7.746336e-04,7.724809e-04,7.695717e-04,7.686560e-04,7.648570e-04,7.645542e-04,7.610854e-04,7.595847e-04,7.573426e-04,7.546663e-04,7.536298e-04,7.499483e-04,7.498017e-04,7.462990e-04,7.449933e-04,7.426828e-04,7.402432e-04,7.391006e-04,7.355531e-04,7.309247e-04,7.263591e-04,7.218574e-04,7.174206e-04,7.130493e-04,7.087441e-04,7.045052e-04,7.003332e-04,6.962279e-04,6.921895e-04,6.882179e-04,6.843129e-04,6.804742e-04,6.767016e-04,6.729946e-04,6.693528e-04,6.657755e-04,6.622624e-04,6.588127e-04,6.554259e-04,6.521011e-04,6.488378e-04,6.456352e-04,6.424925e-04
0.000000e+00,6.910578e-11,1.600883e-10,5.570485e-10,1.274299e-09,1.863373e-09,4.251698e-09,4.380742e-09,8.526916e-09,1.004222e-08,1.477200e-08,1.974400e-08,2.364162e-08,3.456874e-08,3.565568e-08,5.115787e-08,5.540255e-08,7.010924e-08,8.207863e-08,9.208103e-08,1.134438e-07,1.164808e-07,1.427561e-07,1.481948e-07,1.704561e-07,1.852997e-07,1.992165e-07,2.239686e-07,2.287298e-07,2.587249e-07,2.635521e-07,2.889562e-07,3.034844e-07,3.191992e-07,3.432639e-07,3.492495e-07,3.789238e-07,3.824515e-07,4.080605e-07,4.206737e-07,4.365204e-07,4.576245e-07,4.641865e-07,4.909632e-07,4.930645e-07,5.167752e-07,5.268167e-07,5.415659e-07,5.587598e-07,5.652954e-07,5.879382e-07,5.888211e-07,6.094819e-07,6.169680e-07,6.299248e-07,6.432006e-07,6.492742e-07,6.675446e-07,6.847568e-07,6.900453e-07,7.009361e-07,7.107620e-07,7.161114e-07,7.297645e-07,7.303143e-07,7.435784e-07,7.471288e-07,7.559383e-07,7.629349e-07,7.674294e-07,7.772646e-07,7.780875e-07,7.879481e-07,7.901999e-07,7.970468e-07,8.018222e-07,8.054184e-07,8.122111e-07,8.130970e-07,8.201160e-07,8.214435e-07,8.265075e-07,8.295936e-07,8.323030e-07,8.367327e-07,8.375327e-07,8.422258e-07,8.429288e-07,8.464104e-07,8.482464e-07,8.501135e-07,8.527467e-07,8.533610e-07,8.561777e-07,8.564879e-07,8.585875e-07,8.595248e-07,8.606130e-07,8.619089e-07,8.622761e-07,8.635974e-07,8.636889e-07,8.645967e-07,8.649106e-07,8.652930e-07,8.656167e-07,8.657041e-07,8.658473e-07,8.658477e-07,8.657389e-07,8.656413e-07,8.653944e-07,8.650329e-07,8.648287e-07,8.640557e-07,8.630889e-07,8.627407e-07,8.619409e-07,8.611168e-07,8.606239e-07,8.592110e-07,8.591492e-07,8.575277e-07,8.570488e-07,8.557698e-07,8.546537e-07,8.538852e-07,8.520476e-07,8.518833e-07,8.497728e-07,8.492511e-07,8.475620e-07,8.462832e-07,8.452590e-07,8.431618e-07,8.428710e-07,8.404052e-07,8.399034e-07,8.378684e-07,8.365233e-07,8.352668e-07,8.330358e-07,8.326064e-07,8.298929e-07,8.294541e-07,8.271316e-07,8.257907e-07,8.243276e-07,8.220569e-07,8.214857e-07,8.186103e-07,8.182632e-07,8.157057e-07,8.144194e-07,8.127759e-07,8.105347e-07,8.098246e-07,8.068555e-07,8.066173e-07,8.038718e-07,8.026750e-07,8.008768e-07,7.987149e-07,7.978733e-07,7.948641e-07,7.947437e-07,7.918519e-07,7.907672e-07,7.888391e-07,7.867912e-07,7.858279e-07,7.828207e-07,7.788603e-07,7.749144e-07,7.709869e-07,7.670814e-07,7.632011e-07,7.593490e-07,7.555277e-07,7.517397e-07,7.479872e-07,7.442721e-07,7.405962e-07,7.369611e-07,7.333680e-07,7.298182e-07,7.263128e-07,7.228527e-07,7.194386e-07,7.160713e-07,7.127512e-07,7.094788e-07,7.062544e-07,7.030783e-07,6.999507e-07,6.968717e-07
0.000000e+00,3.434059e-11,7.960231e-11,2.766513e-10,6.311437e-10,9.210607e-10,2.087454e-09,2.150114e-09,4.147141e-09,4.870124e-09,7.107612e-09,9.434050e-09,1.124336e-08,1.626844e-08,1.676552e-08,2.382605e-08,2.575429e-08,3.243416e-08,3.787805e-08,4.243609e-08,5.220273e-08,5.359484e-08,6.567736e-08,6.818675e-08,7.848691e-08,8.537989e-08,9.185987e-08,1.034244e-07,1.056544e-07,1.197416e-07,1.220145e-07,1.340010e-07,1.408731e-07,1.483192e-07,1.597442e-07,1.625896e-07,1.767140e-07,1.783947e-07,1.906033e-07,1.966195e-07,2.041790e-07,2.142445e-07,2.173731e-07,2.301291e-07,2.311293e-07,2.424018e-07,2.471674e-07,2.541561e-07,2.622836e-07,2.653666e-07,2.760171e-07,2.764313e-07,2.860990e-07,2.895887e-07,2.956106e-07,3.017548e-07,3.045563e-07,3.129448e-07,3.207891e-07,3.231869e-07,3.281051e-07,3.325184e-07,3.349110e-07,3.409832e-07,3.412267e-07,3.470733e-07,3.486292e-07,3.524725e-07,3.555065e-07,3.574466e-07,3.616662e-07,3.620175e-07,3.662073e-07,3.671585e-07,3.700372e-07,3.720325e-07,3.735280e-07,3.763353e-07,3.766998e-07,3.795718e-07,3.801119e-07,3.821625e-07,3.834044e-07,3.844896e-07,3.862528e-07,3.865696e-07,3.884186e-07,3.886939e-07,3.900513e-07,3.907624e-07,3.914821e-07,3.924902e-07,3.927241e-07,3.937900e-07,3.939067e-07,3.946916e-07,3.950391e-07,3.954399e-07,3.959126e-07,3.960454e-07,3.965177e-07,3.965501e-07,3.968662e-07,3.969728e-07,3.970993e-07,3.972002e-07,3.972250e-07,3.972509e-07,3.972500e-07,3.971841e-07,3.971386e-07,3.970311e-07,3.968809e-07,3.967980e-07,3.964908e-07,3.961148e-07,3.959808e-07,3.956750e-07,3.953623e-07,3.951763e-07,3.946461e-07,3.946230e-07,3.940192e-07,3.938417e-07,3.933690e-07,3.929581e-07,3.926760e-07,3.920034e-07,3.919434e-07,3.911747e-07,3.909851e-07,3.903727e-07,3.899101e-07,3.895402e-07,3.887845e-07,3.886799e-07,3.877942e-07,3.876143e-07,3.868855e-07,3.864046e-07,3.859559e-07,3.851604e-07,3.850075e-07,3.840420e-07,3.838861e-07,3.830614e-07,3.825859e-07,3.820673e-07,3.812634e-07,3.810613e-07,3.800447e-07,3.799221e-07,3.790191e-07,3.785652e-07,3.779856e-07,3.771956e-07,3.769455e-07,3.758999e-07,3.758160e-07,3.748498e-07,3.744288e-07,3.737964e-07,3.730363e-07,3.727404e-07,3.716828e-07,3.716404e-07,3.706243e-07,3.702432e-07,3.695658e-07,3.688463e-07,3.685079e-07,3.674514e-07,3.660598e-07,3.646730e-07,3.632920e-07,3.619181e-07,3.605521e-07,3.591952e-07,3.578480e-07,3.565113e-07,3.551859e-07,3.538722e-07,3.525710e-07,3.512827e-07,3.500076e-07,3.487463e-07,3.474991e-07,3.462663e-07,3.450482e-07,3.438449e-07,3.426568e-07,3.414839e-07,3.403264e-07,3.391844e-07,3.380581e-07,3.369474e-07
0.000000e+00,3.040540e-11,7.073509e-11,2.473569e-10,5.667378e-10,8.285134e-10,1.881560e-09,1.938036e-09,3.728822e-09,4.372109e-09,6.344760e-09,8.367511e-09,9.922474e-09,1.417479e-08,1.459133e-08,2.046874e-08,2.207015e-08,2.764604e-08,3.225165e-08,3.616613e-08,4.476141e-08,4.601083e-08,5.711445e-08,5.947869e-08,6.938928e-08,7.620390e-08,8.274116e-08,9.471840e-08,9.707336e-08,1.122860e-07,1.147949e-07,1.282753e-07,1.361944e-07,1.449332e-07,1.586668e-07,1.621493e-07,1.798117e-07,1.819558e-07,1.978094e-07,2.058065e-07,2.160341e-07,2.299726e-07,2.343820e-07,2.527552e-07,2.542234e-07,2.710630e-07,2.783490e-07,2.892225e-07,3.021633e-07,3.071591e-07,3.248070e-07,3.255060e-07,3.421087e-07,3.482429e-07,3.590152e-07,3.702645e-07,3.754852e-07,3.914849e-07,4.069871e-07,4.118392e-07,4.219710e-07,4.312814e-07,4.364212e-07,4.497814e-07,4.503271e-07,4.636825e-07,4.673230e-07,4.764852e-07,4.839017e-07,4.887360e-07,4.995222e-07,5.004383e-07,5.115982e-07,5.141967e-07,5.222235e-07,5.279436e-07,5.323237e-07,5.407860e-07,5.419096e-07,5.509929e-07,5.527504e-07,5.595864e-07,5.638658e-07,5.677032e-07,5.741631e-07,5.753572e-07,5.825623e-07,5.836744e-07,5.893328e-07,5.924324e-07,5.956829e-07,6.004700e-07,6.016270e-07,6.071793e-07,6.078200e-07,6.123540e-07,6.145147e-07,6.171648e-07,6.205862e-07,6.216256e-07,6.257498e-07,6.260656e-07,6.295506e-07,6.309833e-07,6.330409e-07,6.353686e-07,6.362331e-07,6.391397e-07,6.392502e-07,6.417725e-07,6.426555e-07,6.441430e-07,6.456110e-07,6.462626e-07,6.481422e-07,6.497923e-07,6.502735e-07,6.512232e-07,6.520284e-07,6.524447e-07,6.534292e-07,6.534664e-07,6.542976e-07,6.544974e-07,6.549472e-07,6.552534e-07,6.554238e-07,6.557167e-07,6.557358e-07,6.558911e-07,6.559059e-07,6.558974e-07,6.558387e-07,6.557623e-07,6.555320e-07,6.554928e-07,6.550959e-07,6.550018e-07,6.545781e-07,6.542633e-07,6.539460e-07,6.533310e-07,6.532055e-07,6.523626e-07,6.522186e-07,6.514229e-07,6.509391e-07,6.503919e-07,6.495049e-07,6.492749e-07,6.480767e-07,6.479277e-07,6.468022e-07,6.462184e-07,6.454560e-07,6.443877e-07,6.440425e-07,6.425660e-07,6.424453e-07,6.410305e-07,6.404007e-07,6.394399e-07,6.382627e-07,6.377980e-07,6.361081e-07,6.360396e-07,6.343739e-07,6.337393e-07,6.325985e-07,6.313693e-07,6.307851e-07,6.289366e-07,6.264477e-07,6.239088e-07,6.213258e-07,6.187043e-07,6.160493e-07,6.133656e-07,6.106579e-07,6.079304e-07,6.051871e-07,6.024317e-07,5.996677e-07,5.968983e-07,5.941267e-07,5.913556e-07,5.885878e-07,5.858255e-07,5.830712e-07,5.803270e-07,5.775948e-07,5.748765e-07,5.721736e-07,5.694878e-07,5.668205e-07,5.641730e-07
0.000000e+00,2.668791e-10,6.487007e-10,2.370841e-09,5.533506e-09,8.143995e-09,1.876030e-08,1.933471e-08,3.782253e-08,4.459368e-08,6.576109e-08,8.800660e-08,1.053744e-07,1.532629e-07,1.579369e-07,2.224434e-07,2.393990e-07,2.960490e-07,3.401199e-07,3.758182e-07,4.493345e-07,4.595309e-07,5.455799e-07,5.629562e-07,6.327191e-07,6.781106e-07,7.199066e-07,7.925157e-07,8.062371e-07,8.909221e-07,9.042723e-07,9.732887e-07,1.011834e-06,1.052783e-06,1.114016e-06,1.128972e-06,1.201538e-06,1.209991e-06,1.270269e-06,1.299263e-06,1.335050e-06,1.381618e-06,1.395847e-06,1.452693e-06,1.457073e-06,1.505676e-06,1.525814e-06,1.554920e-06,1.588146e-06,1.600579e-06,1.642827e-06,1.644449e-06,1.681850e-06,1.695146e-06,1.717838e-06,1.740674e-06,1.750982e-06,1.781469e-06,1.809481e-06,1.817951e-06,1.835192e-06,1.850515e-06,1.858766e-06,1.879531e-06,1.880358e-06,1.900116e-06,1.905338e-06,1.918173e-06,1.928245e-06,1.934657e-06,1.948532e-06,1.949683e-06,1.963360e-06,1.966453e-06,1.975786e-06,1.982233e-06,1.987054e-06,1.996078e-06,1.997247e-06,2.006445e-06,2.008171e-06,2.014717e-06,2.018675e-06,2.022131e-06,2.027739e-06,2.028746e-06,2.034619e-06,2.035494e-06,2.039802e-06,2.042058e-06,2.044341e-06,2.047539e-06,2.048281e-06,2.051663e-06,2.052033e-06,2.054523e-06,2.055626e-06,2.056897e-06,2.058396e-06,2.058816e-06,2.060311e-06,2.060414e-06,2.061410e-06,2.061743e-06,2.062137e-06,2.062444e-06,2.062516e-06,2.062571e-06,2.062567e-06,2.062322e-06,2.062161e-06,2.061788e-06,2.061271e-06,2.060987e-06,2.059936e-06,2.058651e-06,2.058193e-06,2.057147e-06,2.056076e-06,2.055438e-06,2.053615e-06,2.053536e-06,2.051454e-06,2.050841e-06,2.049204e-06,2.047778e-06,2.046796e-06,2.044451e-06,2.044241e-06,2.041548e-06,2.040882e-06,2.038726e-06,2.037092e-06,2.035784e-06,2.033101e-06,2.032729e-06,2.029570e-06,2.028927e-06,2.026314e-06,2.024585e-06,2.022968e-06,2.020091e-06,2.019537e-06,2.016028e-06,2.015460e-06,2.012448e-06,2.010705e-06,2.008801e-06,2.005839e-06,2.005092e-06,2.001327e-06,2.000872e-06,1.997510e-06,1.995816e-06,1.993646e-06,1.990681e-06,1.989739e-06,1.985793e-06,1.985476e-06,1.981811e-06,1.980210e-06,1.977798e-06,1.974891e-06,1.973757e-06,1.969691e-06,1.969528e-06,1.965603e-06,1.964126e-06,1.961496e-06,1.958694e-06,1.957373e-06,1.953237e-06,1.947761e-06,1.942271e-06,1.936774e-06,1.931273e-06,1.925773e-06,1.920278e-06,1.914792e-06,1.909319e-06,1.903863e-06,1.898426e-06,1.893011e-06,1.887622e-06,1.882260e-06,1.876928e-06,1.871629e-06,1.866364e-06,1.861135e-06,1.855945e-06,1.850794e-06,1.845684e-06,1.840617e-06,1.835593e-06,1.830615e-06,1.825682e-06
0.000000e+00,1.427181e-09,4.175561e-09,2.038273e-08,5.772142e-08,9.266024e-08,2.552350e-07,2.646652e-07,5.879295e-07,7.129188e-07,1.117059e-06,1.557108e-06,1.909437e-06,2.922236e-06,3.024758e-06,4.521453e-06,4.943099e-06,6.446861e-06,7.721938e-06,8.823015e-06,1.127841e-05,1.163829e-05,1.485204e-05,1.553770e-05,1.840682e-05,2.036914e-05,2.223951e-05,2.562812e-05,2.628790e-05,3.049365e-05,3.117752e-05,3.480315e-05,3.689403e-05,3.916752e-05,4.266857e-05,4.354240e-05,4.788779e-05,4.840551e-05,5.216795e-05,5.402229e-05,5.635142e-05,5.944932e-05,6.041103e-05,6.432384e-05,6.462993e-05,6.807107e-05,6.952017e-05,7.163796e-05,7.408813e-05,7.501349e-05,7.819011e-05,7.831297e-05,8.116339e-05,8.218360e-05,8.393168e-05,8.569732e-05,8.649572e-05,8.885837e-05,9.102415e-05,9.167653e-05,9.299881e-05,9.416539e-05,9.478915e-05,9.634154e-05,9.640280e-05,9.784794e-05,9.822353e-05,9.913308e-05,9.983099e-05,1.002670e-04,1.011841e-04,1.012583e-04,1.021159e-04,1.023028e-04,1.028483e-04,1.032068e-04,1.034637e-04,1.039149e-04,1.039702e-04,1.043756e-04,1.044451e-04,1.046871e-04,1.048144e-04,1.049119e-04,1.050386e-04,1.050566e-04,1.051275e-04,1.051324e-04,1.051305e-04,1.051096e-04,1.050713e-04,1.049826e-04,1.049551e-04,1.047867e-04,1.047632e-04,1.045707e-04,1.044617e-04,1.043115e-04,1.040880e-04,1.040129e-04,1.036789e-04,1.036507e-04,1.033126e-04,1.031579e-04,1.029175e-04,1.026168e-04,1.024965e-04,1.020523e-04,1.020340e-04,1.015874e-04,1.014155e-04,1.011044e-04,1.007666e-04,1.006052e-04,1.000921e-04,9.956683e-05,9.939646e-05,9.903114e-05,9.868357e-05,9.848662e-05,9.795696e-05,9.793476e-05,9.737689e-05,9.721979e-05,9.681427e-05,9.647489e-05,9.624804e-05,9.572482e-05,9.567924e-05,9.510885e-05,9.497182e-05,9.453774e-05,9.421792e-05,9.396673e-05,9.346491e-05,9.339655e-05,9.282787e-05,9.271437e-05,9.226132e-05,9.196773e-05,9.169744e-05,9.122622e-05,9.113674e-05,9.057968e-05,9.049092e-05,9.002668e-05,8.976278e-05,8.947810e-05,8.904265e-05,8.893428e-05,8.839553e-05,8.833123e-05,8.786211e-05,8.762915e-05,8.733426e-05,8.693694e-05,8.681218e-05,8.629607e-05,8.625504e-05,8.578608e-05,8.558383e-05,8.528235e-05,8.492361e-05,8.478500e-05,8.429413e-05,8.427464e-05,8.380983e-05,8.363710e-05,8.333215e-05,8.301115e-05,8.286116e-05,8.239689e-05,8.179439e-05,8.120368e-05,8.062476e-05,8.005761e-05,7.950218e-05,7.895840e-05,7.842618e-05,7.790541e-05,7.739598e-05,7.689775e-05,7.641058e-05,7.593432e-05,7.546881e-05,7.501388e-05,7.456936e-05,7.413507e-05,7.371083e-05,7.329646e-05,7.289177e-05,7.249657e-05,7.211068e-05,7.173390e-05,7.136606e-05,7.100695e-05
0.000000e+00,6.535597e-11,1.502840e-10,5.181260e-10,1.179358e-09,1.721399e-09,3.919599e-09,4.038544e-09,7.875216e-09,9.285268e-09,1.371323e-08,1.840743e-08,2.211136e-08,3.258035e-08,3.362689e-08,4.860391e-08,5.271007e-08,6.689942e-08,7.835992e-08,8.784866e-08,1.077836e-07,1.105778e-07,1.343188e-07,1.391352e-07,1.585049e-07,1.711201e-07,1.827372e-07,2.029154e-07,2.067282e-07,2.302618e-07,2.339729e-07,2.531694e-07,2.639025e-07,2.753182e-07,2.924202e-07,2.966043e-07,3.169489e-07,3.193241e-07,3.362955e-07,3.444817e-07,3.546072e-07,3.678194e-07,3.718646e-07,3.880629e-07,3.893132e-07,4.032101e-07,4.089782e-07,4.173237e-07,4.268598e-07,4.304298e-07,4.425603e-07,4.430257e-07,4.537512e-07,4.575574e-07,4.640420e-07,4.705468e-07,4.734743e-07,4.820899e-07,4.899313e-07,4.922839e-07,4.970407e-07,5.012258e-07,5.034596e-07,5.090094e-07,5.092281e-07,5.143855e-07,5.157252e-07,5.189694e-07,5.214597e-07,5.230162e-07,5.262945e-07,5.265603e-07,5.296346e-07,5.303060e-07,5.322699e-07,5.335650e-07,5.344956e-07,5.361375e-07,5.363395e-07,5.378278e-07,5.380850e-07,5.389853e-07,5.394642e-07,5.398353e-07,5.403276e-07,5.403995e-07,5.406987e-07,5.407233e-07,5.407521e-07,5.406958e-07,5.405779e-07,5.402861e-07,5.401931e-07,5.396137e-07,5.395318e-07,5.388546e-07,5.384673e-07,5.379299e-07,5.371245e-07,5.368527e-07,5.356353e-07,5.355322e-07,5.342893e-07,5.337173e-07,5.328253e-07,5.317040e-07,5.312536e-07,5.295834e-07,5.295147e-07,5.278236e-07,5.271698e-07,5.259825e-07,5.246880e-07,5.240677e-07,5.220864e-07,5.200454e-07,5.193806e-07,5.179508e-07,5.165849e-07,5.158086e-07,5.137123e-07,5.136242e-07,5.114026e-07,5.107746e-07,5.091487e-07,5.077826e-07,5.068667e-07,5.047462e-07,5.045610e-07,5.022352e-07,5.016744e-07,4.998929e-07,4.985752e-07,4.975374e-07,4.954562e-07,4.951719e-07,4.927992e-07,4.923240e-07,4.904219e-07,4.891848e-07,4.880426e-07,4.860439e-07,4.856634e-07,4.832865e-07,4.829066e-07,4.809140e-07,4.797772e-07,4.785475e-07,4.766599e-07,4.761888e-07,4.738395e-07,4.735583e-07,4.715009e-07,4.704756e-07,4.691743e-07,4.674150e-07,4.668610e-07,4.645621e-07,4.643788e-07,4.622786e-07,4.613696e-07,4.600113e-07,4.583895e-07,4.577612e-07,4.555290e-07,4.554401e-07,4.533154e-07,4.525232e-07,4.511211e-07,4.496403e-07,4.489466e-07,4.467924e-07,4.439808e-07,4.412063e-07,4.384697e-07,4.357716e-07,4.331125e-07,4.304929e-07,4.279132e-07,4.253734e-07,4.228738e-07,4.204145e-07,4.179954e-07,4.156165e-07,4.132778e-07,4.109789e-07,4.087198e-07,4.065001e-07,4.043196e-07,4.021780e-07,4.000750e-07,3.980101e-07,3.959830e-07,3.939932e-07,3.920404e-07,3.901240e-07
0.000000e+00,8.026192e-10,2.237508e-09,9.978916e-09,2.629389e-08,4.072007e-08,1.032775e-07,1.067644e-07,2.212992e-07,2.638013e-07,3.970838e-07,5.372077e-07,6.467389e-07,9.523001e-07,9.826145e-07,1.415330e-06,1.534379e-06,1.950651e-06,2.295039e-06,2.587308e-06,3.226167e-06,3.318643e-06,4.135949e-06,4.308946e-06,5.030409e-06,5.523171e-06,5.993460e-06,6.849211e-06,7.016596e-06,8.091151e-06,8.267261e-06,9.208244e-06,9.756907e-06,1.035884e-05,1.129736e-05,1.153390e-05,1.272455e-05,1.286806e-05,1.392227e-05,1.444941e-05,1.511903e-05,1.602337e-05,1.630746e-05,1.748088e-05,1.757392e-05,1.863338e-05,1.908735e-05,1.975985e-05,2.055233e-05,2.085596e-05,2.191814e-05,2.195987e-05,2.294352e-05,2.330320e-05,2.392989e-05,2.457750e-05,2.487564e-05,2.577967e-05,2.664136e-05,2.690811e-05,2.746047e-05,2.796239e-05,2.823710e-05,2.894307e-05,2.897165e-05,2.966475e-05,2.985149e-05,3.031721e-05,3.068958e-05,3.093001e-05,3.145969e-05,3.150423e-05,3.204107e-05,3.216448e-05,3.254176e-05,3.280684e-05,3.300760e-05,3.338975e-05,3.343990e-05,3.384000e-05,3.391627e-05,3.420923e-05,3.438947e-05,3.454892e-05,3.481237e-05,3.486036e-05,3.514485e-05,3.518795e-05,3.540363e-05,3.551908e-05,3.563794e-05,3.580857e-05,3.584896e-05,3.603785e-05,3.605908e-05,3.620571e-05,3.627319e-05,3.635364e-05,3.645336e-05,3.648265e-05,3.659375e-05,3.660190e-05,3.668791e-05,3.672104e-05,3.676604e-05,3.681287e-05,3.682903e-05,3.687772e-05,3.687938e-05,3.691291e-05,3.692243e-05,3.693540e-05,3.694381e-05,3.694591e-05,3.694516e-05,3.693381e-05,3.692805e-05,3.691252e-05,3.689395e-05,3.688189e-05,3.684425e-05,3.684251e-05,3.679495e-05,3.678023e-05,3.673972e-05,3.670312e-05,3.667734e-05,3.661404e-05,3.660829e-05,3.653301e-05,3.651407e-05,3.645196e-05,3.640420e-05,3.636553e-05,3.628535e-05,3.627413e-05,3.617812e-05,3.615840e-05,3.607786e-05,3.602416e-05,3.597368e-05,3.588338e-05,3.586590e-05,3.575483e-05,3.573677e-05,3.564073e-05,3.558498e-05,3.552390e-05,3.542863e-05,3.540458e-05,3.528301e-05,3.526828e-05,3.515942e-05,3.510447e-05,3.503404e-05,3.493767e-05,3.490706e-05,3.477868e-05,3.476836e-05,3.464909e-05,3.459695e-05,3.451844e-05,3.442382e-05,3.438691e-05,3.425465e-05,3.424935e-05,3.412180e-05,3.407386e-05,3.398851e-05,3.389767e-05,3.385488e-05,3.372106e-05,3.354428e-05,3.336759e-05,3.319121e-05,3.301533e-05,3.284014e-05,3.266582e-05,3.249252e-05,3.232037e-05,3.214951e-05,3.198006e-05,3.181212e-05,3.164578e-05,3.148113e-05,3.131824e-05,3.115718e-05,3.099802e-05,3.084079e-05,3.068556e-05,3.053235e-05,3.038120e-05,3.023213e-05,3.008518e-05,2.994035e-05,2.979766e-05
0.000000e+00,8.530539e-10,2.336101e-09,1.010476e-08,2.605304e-08,3.995032e-08,9.931955e-08,1.026046e-07,2.099127e-07,2.495751e-07,3.737903e-07,5.043726e-07,6.065337e-07,8.920742e-07,9.204432e-07,1.325915e-06,1.437547e-06,1.827535e-06,2.149062e-06,2.420564e-06,3.007895e-06,3.092096e-06,3.826161e-06,3.979120e-06,4.607775e-06,5.028689e-06,5.424188e-06,6.128923e-06,6.264601e-06,7.119625e-06,7.257214e-06,7.980912e-06,8.394329e-06,8.840990e-06,9.523686e-06,9.693210e-06,1.053176e-05,1.063122e-05,1.135165e-05,1.170540e-05,1.214875e-05,1.273721e-05,1.291970e-05,1.366193e-05,1.372001e-05,1.437353e-05,1.464928e-05,1.505321e-05,1.552237e-05,1.570022e-05,1.631425e-05,1.633812e-05,1.689535e-05,1.709655e-05,1.744389e-05,1.779861e-05,1.796048e-05,1.844592e-05,1.890113e-05,1.904059e-05,1.932717e-05,1.958503e-05,1.972513e-05,2.008184e-05,2.009618e-05,2.044148e-05,2.053371e-05,2.076223e-05,2.094338e-05,2.105959e-05,2.131351e-05,2.133473e-05,2.158875e-05,2.164670e-05,2.182276e-05,2.194546e-05,2.203781e-05,2.221217e-05,2.223491e-05,2.241504e-05,2.244911e-05,2.257913e-05,2.265842e-05,2.272807e-05,2.284209e-05,2.286271e-05,2.298385e-05,2.300203e-05,2.309226e-05,2.314000e-05,2.318868e-05,2.325765e-05,2.327380e-05,2.334828e-05,2.335653e-05,2.341274e-05,2.343808e-05,2.346777e-05,2.350364e-05,2.351394e-05,2.355177e-05,2.355445e-05,2.358176e-05,2.359167e-05,2.360439e-05,2.361638e-05,2.362011e-05,2.362934e-05,2.362958e-05,2.363249e-05,2.363220e-05,2.362992e-05,2.362510e-05,2.362201e-05,2.360908e-05,2.359147e-05,2.358489e-05,2.356946e-05,2.355321e-05,2.354336e-05,2.351469e-05,2.351342e-05,2.347991e-05,2.346991e-05,2.344305e-05,2.341944e-05,2.340309e-05,2.336377e-05,2.336024e-05,2.331470e-05,2.330339e-05,2.326665e-05,2.323873e-05,2.321629e-05,2.317019e-05,2.316378e-05,2.310929e-05,2.309817e-05,2.305297e-05,2.302300e-05,2.299495e-05,2.294502e-05,2.293539e-05,2.287440e-05,2.286452e-05,2.281211e-05,2.278178e-05,2.274863e-05,2.269706e-05,2.268407e-05,2.261853e-05,2.261060e-05,2.255211e-05,2.252263e-05,2.248490e-05,2.243335e-05,2.241699e-05,2.234845e-05,2.234295e-05,2.227937e-05,2.225160e-05,2.220981e-05,2.215947e-05,2.213985e-05,2.206954e-05,2.206672e-05,2.199895e-05,2.197348e-05,2.192813e-05,2.187988e-05,2.185715e-05,2.178604e-05,2.169208e-05,2.159808e-05,2.150416e-05,2.141039e-05,2.131686e-05,2.122364e-05,2.113079e-05,2.103839e-05,2.094648e-05,2.085512e-05,2.076436e-05,2.067424e-05,2.058480e-05,2.049608e-05,2.040810e-05,2.032091e-05,2.023453e-05,2.014897e-05,2.006427e-05,1.998044e-05,1.989750e-05,1.981547e-05,1.973435e-05,1.965415e-05
0.000000e+00,1.035952e-09,2.984871e-09,1.411842e-08,3.886192e-08,6.142883e-08,1.626845e-07,1.684292e-07,3.602455e-07,4.324629e-07,6.610838e-07,9.038759e-07,1.094908e-06,1.632129e-06,1.685715e-06,2.455118e-06,2.668043e-06,3.415452e-06,4.035569e-06,4.561629e-06,5.705325e-06,5.869722e-06,7.304139e-06,7.602799e-06,8.826894e-06,9.641987e-06,1.040356e-05,1.174843e-05,1.200540e-05,1.360923e-05,1.386473e-05,1.519636e-05,1.594764e-05,1.675147e-05,1.796388e-05,1.826183e-05,1.971673e-05,1.988715e-05,2.110716e-05,2.169657e-05,2.242573e-05,2.337610e-05,2.366656e-05,2.482533e-05,2.491440e-05,2.589921e-05,2.630462e-05,2.688673e-05,2.754413e-05,2.778773e-05,2.860327e-05,2.863414e-05,2.933541e-05,2.957909e-05,2.998704e-05,3.038599e-05,3.056177e-05,3.106371e-05,3.149732e-05,3.162240e-05,3.186726e-05,3.207280e-05,3.217829e-05,3.242587e-05,3.243516e-05,3.264252e-05,3.269232e-05,3.280484e-05,3.288240e-05,3.292639e-05,3.300566e-05,3.301119e-05,3.306298e-05,3.307090e-05,3.308525e-05,3.308603e-05,3.308120e-05,3.305818e-05,3.305374e-05,3.300554e-05,3.299363e-05,3.293902e-05,3.289792e-05,3.285635e-05,3.277584e-05,3.275946e-05,3.265010e-05,3.263155e-05,3.252983e-05,3.246864e-05,3.240004e-05,3.229020e-05,3.226198e-05,3.211675e-05,3.209889e-05,3.196534e-05,3.189699e-05,3.180862e-05,3.168644e-05,3.164737e-05,3.148229e-05,3.146893e-05,3.131399e-05,3.124590e-05,3.114303e-05,3.101857e-05,3.096991e-05,3.079505e-05,3.078802e-05,3.061885e-05,3.055516e-05,3.044167e-05,3.032079e-05,3.026382e-05,3.008558e-05,2.990720e-05,2.985013e-05,2.972892e-05,2.961496e-05,2.955093e-05,2.938051e-05,2.937342e-05,2.919656e-05,2.914717e-05,2.902049e-05,2.891528e-05,2.884535e-05,2.868514e-05,2.867125e-05,2.849831e-05,2.845699e-05,2.832662e-05,2.823105e-05,2.815627e-05,2.800753e-05,2.798733e-05,2.781988e-05,2.778658e-05,2.765398e-05,2.756834e-05,2.748968e-05,2.735294e-05,2.732703e-05,2.716607e-05,2.714048e-05,2.700684e-05,2.693104e-05,2.684938e-05,2.672469e-05,2.669370e-05,2.653984e-05,2.652150e-05,2.638782e-05,2.632151e-05,2.623764e-05,2.612475e-05,2.608933e-05,2.594289e-05,2.593126e-05,2.579833e-05,2.574104e-05,2.565566e-05,2.555411e-05,2.551488e-05,2.537599e-05,2.537047e-05,2.523898e-05,2.519012e-05,2.510386e-05,2.501305e-05,2.497061e-05,2.483924e-05,2.466868e-05,2.450135e-05,2.433721e-05,2.417625e-05,2.401842e-05,2.386370e-05,2.371205e-05,2.356343e-05,2.341781e-05,2.327513e-05,2.313536e-05,2.299846e-05,2.286437e-05,2.273306e-05,2.260449e-05,2.247860e-05,2.235534e-05,2.223468e-05,2.211657e-05,2.200095e-05,2.188779e-05,2.177704e-05,2.166865e-05,2.156258e-05
0.000000e+00,4.370820e-10,1.102956e-09,4.235786e-09,1.016805e-08,1.513474e-08,3.554243e-08,3.664971e-08,7.219382e-08,8.512743e-08,1.252171e-07,1.668961e-07,1.992684e-07,2.889438e-07,2.977983e-07,4.234389e-07,4.577603e-07,5.769412e-07,6.745968e-07,7.568439e-07,9.347962e-07,9.603633e-07,1.184441e-06,1.231465e-06,1.426193e-06,1.557992e-06,1.682935e-06,1.908310e-06,1.952110e-06,2.231222e-06,2.276638e-06,2.517833e-06,2.657370e-06,2.809574e-06,3.045135e-06,3.104182e-06,3.399529e-06,3.434926e-06,3.693661e-06,3.822234e-06,3.984819e-06,4.203148e-06,4.271452e-06,4.552226e-06,4.574400e-06,4.826020e-06,4.933370e-06,5.091914e-06,5.278051e-06,5.349181e-06,5.597265e-06,5.606991e-06,5.835765e-06,5.919224e-06,6.064415e-06,6.214191e-06,6.283067e-06,6.491669e-06,6.690256e-06,6.751703e-06,6.878928e-06,6.994546e-06,7.057844e-06,7.220608e-06,7.227202e-06,7.387238e-06,7.430412e-06,7.538211e-06,7.624560e-06,7.680400e-06,7.803706e-06,7.814097e-06,7.939601e-06,7.968536e-06,8.057215e-06,8.119747e-06,8.167246e-06,8.258039e-06,8.269995e-06,8.365762e-06,8.384103e-06,8.454842e-06,8.498616e-06,8.537522e-06,8.602234e-06,8.614084e-06,8.684801e-06,8.695590e-06,8.749936e-06,8.779294e-06,8.809747e-06,8.853928e-06,8.864480e-06,8.914374e-06,8.920047e-06,8.959658e-06,8.978180e-06,9.000553e-06,9.028829e-06,9.037271e-06,9.070016e-06,9.072470e-06,9.098982e-06,9.109553e-06,9.124357e-06,9.140505e-06,9.146320e-06,9.165043e-06,9.165727e-06,9.180689e-06,9.185599e-06,9.193416e-06,9.200480e-06,9.203374e-06,9.210707e-06,9.215551e-06,9.216597e-06,9.218037e-06,9.218450e-06,9.218292e-06,9.216547e-06,9.216434e-06,9.212577e-06,9.211153e-06,9.206830e-06,9.202518e-06,9.199297e-06,9.190874e-06,9.190077e-06,9.179264e-06,9.176443e-06,9.166950e-06,9.159430e-06,9.153219e-06,9.140029e-06,9.138153e-06,9.121831e-06,9.118423e-06,9.104328e-06,9.094783e-06,9.085713e-06,9.069268e-06,9.066056e-06,9.045419e-06,9.042030e-06,9.023865e-06,9.013210e-06,9.001452e-06,8.982940e-06,8.978236e-06,8.954269e-06,8.951345e-06,8.929603e-06,8.918541e-06,8.904285e-06,8.884636e-06,8.878362e-06,8.851876e-06,8.849734e-06,8.824870e-06,8.813930e-06,8.797382e-06,8.777314e-06,8.769451e-06,8.741112e-06,8.739970e-06,8.712399e-06,8.701977e-06,8.683345e-06,8.663409e-06,8.653980e-06,8.624333e-06,8.584816e-06,8.544917e-06,8.504693e-06,8.464196e-06,8.423476e-06,8.382579e-06,8.341547e-06,8.300421e-06,8.259238e-06,8.218033e-06,8.176839e-06,8.135684e-06,8.094599e-06,8.053608e-06,8.012737e-06,7.972006e-06,7.931438e-06,7.891052e-06,7.850865e-06,7.810894e-06,7.771154e-06,7.731660e-06,7.692423e-06,7.653456e-06
0.000000e+00,3.069517e-11,7.071170e-11,2.435545e-10,5.517388e-10,8.019855e-10,1.796468e-09,1.849405e-09,3.514437e-09,4.107672e-09,5.915879e-09,7.757301e-09,9.166410e-09,1.299878e-08,1.337280e-08,1.862742e-08,2.005179e-08,2.498404e-08,2.902160e-08,3.242353e-08,3.978642e-08,4.084384e-08,5.009430e-08,5.203009e-08,6.001934e-08,6.539975e-08,7.047887e-08,7.958704e-08,8.134917e-08,9.251849e-08,9.432631e-08,1.038832e-07,1.093788e-07,1.153459e-07,1.245252e-07,1.268155e-07,1.382072e-07,1.395652e-07,1.494438e-07,1.543207e-07,1.604563e-07,1.686387e-07,1.711847e-07,1.815779e-07,1.823936e-07,1.915943e-07,1.954876e-07,2.012008e-07,2.078498e-07,2.103732e-07,2.190945e-07,2.194338e-07,2.273551e-07,2.302152e-07,2.351513e-07,2.401880e-07,2.424847e-07,2.493613e-07,2.557908e-07,2.577559e-07,2.617859e-07,2.654016e-07,2.673615e-07,2.723345e-07,2.725339e-07,2.773211e-07,2.785949e-07,2.817413e-07,2.842252e-07,2.858136e-07,2.892689e-07,2.895567e-07,2.929894e-07,2.937691e-07,2.961301e-07,2.977681e-07,2.989967e-07,3.013063e-07,3.016065e-07,3.039760e-07,3.044225e-07,3.061211e-07,3.071528e-07,3.080567e-07,3.095313e-07,3.097972e-07,3.113560e-07,3.115893e-07,3.127456e-07,3.133561e-07,3.139780e-07,3.148583e-07,3.150644e-07,3.160152e-07,3.161207e-07,3.168402e-07,3.171657e-07,3.175485e-07,3.180139e-07,3.181485e-07,3.186482e-07,3.186840e-07,3.190549e-07,3.191931e-07,3.193755e-07,3.195566e-07,3.196164e-07,3.197836e-07,3.197888e-07,3.198824e-07,3.199023e-07,3.199182e-07,3.199089e-07,3.198956e-07,3.198191e-07,3.196928e-07,3.196425e-07,3.195205e-07,3.193878e-07,3.193058e-07,3.190630e-07,3.190521e-07,3.187624e-07,3.186753e-07,3.184396e-07,3.182312e-07,3.180864e-07,3.177367e-07,3.177053e-07,3.172985e-07,3.171973e-07,3.168683e-07,3.166179e-07,3.164167e-07,3.160030e-07,3.159455e-07,3.154565e-07,3.153567e-07,3.149514e-07,3.146828e-07,3.144316e-07,3.139848e-07,3.138987e-07,3.133538e-07,3.132657e-07,3.127984e-07,3.125283e-07,3.122335e-07,3.117755e-07,3.116602e-07,3.110795e-07,3.110094e-07,3.104924e-07,3.102323e-07,3.098998e-07,3.094462e-07,3.093025e-07,3.087012e-07,3.086530e-07,3.080968e-07,3.078542e-07,3.074897e-07,3.070515e-07,3.068808e-07,3.062706e-07,3.062462e-07,3.056596e-07,3.054396e-07,3.050484e-07,3.046329e-07,3.044374e-07,3.038271e-07,3.030232e-07,3.022221e-07,3.014247e-07,3.006316e-07,2.998435e-07,2.990610e-07,2.982847e-07,2.975151e-07,2.967526e-07,2.959976e-07,2.952505e-07,2.945116e-07,2.937812e-07,2.930596e-07,2.923470e-07,2.916435e-07,2.909494e-07,2.902648e-07,2.895898e-07,2.889245e-07,2.882690e-07,2.876233e-07,2.869876e-07,2.863619e-07
0.000000e+00,5.847273e-10,1.625314e-09,7.209287e-09,1.891084e-08,2.921632e-08,7.363349e-08,7.609893e-08,1.566078e-07,1.862737e-07,2.786560e-07,3.748140e-07,4.493525e-07,6.547917e-07,6.749990e-07,9.609764e-07,1.039083e-06,1.311446e-06,1.536865e-06,1.728800e-06,2.151365e-06,2.212905e-06,2.760487e-06,2.877107e-06,3.365185e-06,3.699415e-06,4.018458e-06,4.597841e-06,4.710865e-06,5.433072e-06,5.550799e-06,6.176398e-06,6.538352e-06,6.932970e-06,7.543005e-06,7.695744e-06,8.458467e-06,8.549721e-06,9.215634e-06,9.545770e-06,9.962464e-06,1.052060e-05,1.069486e-05,1.140940e-05,1.146570e-05,1.210325e-05,1.237447e-05,1.277416e-05,1.324202e-05,1.342040e-05,1.404070e-05,1.406496e-05,1.463420e-05,1.484120e-05,1.520040e-05,1.556969e-05,1.573906e-05,1.625024e-05,1.673418e-05,1.688335e-05,1.719128e-05,1.747000e-05,1.762211e-05,1.801159e-05,1.802731e-05,1.840763e-05,1.850976e-05,1.876385e-05,1.896636e-05,1.909681e-05,1.938334e-05,1.940738e-05,1.969643e-05,1.976270e-05,1.996484e-05,2.010647e-05,2.021351e-05,2.041668e-05,2.044329e-05,2.065505e-05,2.069531e-05,2.084963e-05,2.094428e-05,2.102783e-05,2.116546e-05,2.119046e-05,2.133829e-05,2.136062e-05,2.147206e-05,2.153149e-05,2.159249e-05,2.167969e-05,2.170026e-05,2.179606e-05,2.180678e-05,2.188050e-05,2.191423e-05,2.195422e-05,2.200343e-05,2.201779e-05,2.207177e-05,2.207569e-05,2.211671e-05,2.213227e-05,2.215311e-05,2.217432e-05,2.218148e-05,2.220227e-05,2.220295e-05,2.221593e-05,2.221918e-05,2.222289e-05,2.222400e-05,2.222355e-05,2.221830e-05,2.220752e-05,2.220295e-05,2.219154e-05,2.217874e-05,2.217070e-05,2.214642e-05,2.214532e-05,2.211571e-05,2.210669e-05,2.208213e-05,2.206020e-05,2.204488e-05,2.200757e-05,2.200419e-05,2.196033e-05,2.194936e-05,2.191352e-05,2.188610e-05,2.186398e-05,2.181829e-05,2.181192e-05,2.175754e-05,2.174640e-05,2.170102e-05,2.167085e-05,2.164255e-05,2.159204e-05,2.158228e-05,2.152039e-05,2.151035e-05,2.145702e-05,2.142611e-05,2.139230e-05,2.133966e-05,2.132638e-05,2.125939e-05,2.125128e-05,2.119144e-05,2.116126e-05,2.112264e-05,2.106985e-05,2.105310e-05,2.098293e-05,2.097729e-05,2.091221e-05,2.088380e-05,2.084104e-05,2.078957e-05,2.076950e-05,2.069767e-05,2.069480e-05,2.062563e-05,2.059965e-05,2.055344e-05,2.050430e-05,2.048116e-05,2.040887e-05,2.031351e-05,2.021835e-05,2.012348e-05,2.002902e-05,1.993506e-05,1.984169e-05,1.974898e-05,1.965700e-05,1.956582e-05,1.947549e-05,1.938608e-05,1.929761e-05,1.921014e-05,1.912370e-05,1.903832e-05,1.895404e-05,1.887087e-05,1.878883e-05,1.870795e-05,1.862824e-05,1.854970e-05,1.847236e-05,1.839621e-05,1.832126e-05
0.000000e+00,1.052348e-08,3.133708e-08,1.586326e-07,4.642650e-07,7.588451e-07,2.189962e-06,2.275193e-06,5.295090e-06,6.503212e-06,1.052394e-05,1.505963e-05,1.878457e-05,2.983420e-05,3.097491e-05,4.794098e-05,5.280129e-05,7.033834e-05,8.542100e-05,9.859487e-05,1.285040e-04,1.329540e-04,1.735277e-04,1.823911e-04,2.203321e-04,2.471152e-04,2.733059e-04,3.224784e-04,3.323191e-04,3.971767e-04,4.080800e-04,4.676210e-04,5.033273e-04,5.433335e-04,6.074462e-04,6.239389e-04,7.090101e-04,7.194967e-04,7.980742e-04,8.383969e-04,8.906206e-04,9.629539e-04,9.861102e-04,1.083985e-03,1.091901e-03,1.183676e-03,1.223934e-03,1.284617e-03,1.357753e-03,1.386247e-03,1.488026e-03,1.492093e-03,1.589434e-03,1.625755e-03,1.689982e-03,1.757632e-03,1.789218e-03,1.886725e-03,1.982127e-03,2.012156e-03,2.075091e-03,2.133173e-03,2.165327e-03,2.249153e-03,2.252583e-03,2.336653e-03,2.359597e-03,2.417365e-03,2.464125e-03,2.494588e-03,2.562465e-03,2.568222e-03,2.638200e-03,2.654446e-03,2.704485e-03,2.739986e-03,2.767065e-03,2.819078e-03,2.825951e-03,2.881174e-03,2.891783e-03,2.932785e-03,2.958215e-03,2.980847e-03,3.018535e-03,3.025440e-03,3.066651e-03,3.072937e-03,3.104577e-03,3.121646e-03,3.139324e-03,3.164905e-03,3.171000e-03,3.199719e-03,3.202972e-03,3.225598e-03,3.236115e-03,3.248754e-03,3.264605e-03,3.269306e-03,3.287371e-03,3.288713e-03,3.303068e-03,3.308709e-03,3.316511e-03,3.324858e-03,3.327813e-03,3.337087e-03,3.337417e-03,3.344439e-03,3.346636e-03,3.349976e-03,3.352756e-03,3.353799e-03,3.356006e-03,3.356693e-03,3.356607e-03,3.355951e-03,3.354767e-03,3.353867e-03,3.350683e-03,3.350527e-03,3.346009e-03,3.344544e-03,3.340392e-03,3.336525e-03,3.333749e-03,3.326792e-03,3.326150e-03,3.317662e-03,3.315500e-03,3.308349e-03,3.302796e-03,3.298271e-03,3.288816e-03,3.287486e-03,3.276048e-03,3.273686e-03,3.264009e-03,3.257527e-03,3.251417e-03,3.240448e-03,3.238321e-03,3.224762e-03,3.222553e-03,3.210784e-03,3.203937e-03,3.196425e-03,3.184688e-03,3.181722e-03,3.166710e-03,3.164889e-03,3.151422e-03,3.144617e-03,3.135890e-03,3.123940e-03,3.120143e-03,3.104208e-03,3.102925e-03,3.088111e-03,3.081632e-03,3.071876e-03,3.060115e-03,3.055527e-03,3.039085e-03,3.038425e-03,3.022569e-03,3.016610e-03,3.006000e-03,2.994711e-03,2.989394e-03,2.972769e-03,2.950818e-03,2.928893e-03,2.907022e-03,2.885234e-03,2.863552e-03,2.841999e-03,2.820595e-03,2.799358e-03,2.778306e-03,2.757451e-03,2.736807e-03,2.716387e-03,2.696198e-03,2.676252e-03,2.656555e-03,2.637114e-03,2.617934e-03,2.599021e-03,2.580378e-03,2.562008e-03,2.543914e-03,2.526097e-03,2.508559e-03,2.491299e-03
0.000000e+00,6.891390e-10,1.933637e-09,8.733443e-09,2.327073e-08,3.626343e-08,9.357635e-08,9.680884e-08,2.047872e-07,2.456540e-07,3.762801e-07,5.173108e-07,6.299739e-07,9.544264e-07,9.873708e-07,1.470763e-06,1.607666e-06,2.097485e-06,2.513581e-06,2.872641e-06,3.670546e-06,3.787077e-06,4.822807e-06,5.042743e-06,5.960052e-06,6.585547e-06,7.181125e-06,8.260731e-06,8.471261e-06,9.818092e-06,1.003811e-05,1.121086e-05,1.189282e-05,1.263983e-05,1.380296e-05,1.409593e-05,1.557062e-05,1.574845e-05,1.705582e-05,1.771065e-05,1.854391e-05,1.967244e-05,2.002785e-05,2.150116e-05,2.161839e-05,2.295801e-05,2.353495e-05,2.439319e-05,2.541054e-05,2.580219e-05,2.718110e-05,2.723558e-05,2.852667e-05,2.900238e-05,2.983620e-05,3.070498e-05,3.110755e-05,3.233905e-05,3.352949e-05,3.390160e-05,3.467802e-05,3.539084e-05,3.578415e-05,3.680596e-05,3.684768e-05,3.786867e-05,3.814695e-05,3.884737e-05,3.941447e-05,3.978423e-05,4.060968e-05,4.067983e-05,4.153488e-05,4.173415e-05,4.235019e-05,4.278974e-05,4.312665e-05,4.377854e-05,4.386519e-05,4.456680e-05,4.470279e-05,4.523251e-05,4.556483e-05,4.586335e-05,4.636709e-05,4.646038e-05,4.702467e-05,4.711199e-05,4.755727e-05,4.780197e-05,4.805924e-05,4.843946e-05,4.853162e-05,4.897544e-05,4.902682e-05,4.939172e-05,4.956641e-05,4.978145e-05,5.006049e-05,5.014561e-05,5.048515e-05,5.051128e-05,5.080101e-05,5.092093e-05,5.109410e-05,5.129152e-05,5.136530e-05,5.161546e-05,5.162504e-05,5.184544e-05,5.192344e-05,5.205603e-05,5.218857e-05,5.224804e-05,5.242222e-05,5.257932e-05,5.262610e-05,5.272005e-05,5.280185e-05,5.284510e-05,5.295104e-05,5.295516e-05,5.305087e-05,5.307519e-05,5.313286e-05,5.317572e-05,5.320173e-05,5.325402e-05,5.325808e-05,5.330246e-05,5.331139e-05,5.333542e-05,5.334909e-05,5.335749e-05,5.336831e-05,5.336918e-05,5.337098e-05,5.337020e-05,5.336336e-05,5.335582e-05,5.334677e-05,5.332622e-05,5.332165e-05,5.328842e-05,5.328238e-05,5.324749e-05,5.322523e-05,5.319926e-05,5.315566e-05,5.314408e-05,5.308234e-05,5.307450e-05,5.301437e-05,5.298257e-05,5.294050e-05,5.288063e-05,5.286107e-05,5.277638e-05,5.276939e-05,5.268672e-05,5.264953e-05,5.259239e-05,5.252172e-05,5.249364e-05,5.239076e-05,5.238656e-05,5.228398e-05,5.224464e-05,5.217356e-05,5.209650e-05,5.205971e-05,5.194268e-05,5.178366e-05,5.161991e-05,5.145188e-05,5.127998e-05,5.110460e-05,5.092612e-05,5.074489e-05,5.056124e-05,5.037549e-05,5.018791e-05,4.999880e-05,4.980842e-05,4.961699e-05,4.942477e-05,4.923196e-05,4.903877e-05,4.884538e-05,4.865198e-05,4.845872e-05,4.826577e-05,4.807328e-05,4.788137e-05,4.769017e-05,4.749980e-05
0.000000e+00,3.051015e-10,7.837187e-10,3.077257e-09,7.469032e-09,1.116287e-08,2.640350e-08,2.723231e-08,5.391130e-08,6.365199e-08,9.395086e-08,1.256161e-07,1.503210e-07,2.191984e-07,2.260296e-07,3.233607e-07,3.500326e-07,4.427053e-07,5.185246e-07,5.821925e-07,7.191290e-07,7.386999e-07,9.090405e-07,9.445168e-07,1.090444e-06,1.188349e-06,1.280547e-06,1.445425e-06,1.477263e-06,1.678668e-06,1.711205e-06,1.882952e-06,1.981525e-06,2.088404e-06,2.252519e-06,2.293411e-06,2.496483e-06,2.520655e-06,2.696263e-06,2.782808e-06,2.891550e-06,3.036318e-06,3.081305e-06,3.264654e-06,3.279023e-06,3.440886e-06,3.509256e-06,3.609446e-06,3.725828e-06,3.769933e-06,3.922075e-06,3.927985e-06,4.065731e-06,4.115358e-06,4.200848e-06,4.287861e-06,4.327456e-06,4.445671e-06,4.555664e-06,4.589160e-06,4.657659e-06,4.718858e-06,4.751917e-06,4.835393e-06,4.838727e-06,4.918394e-06,4.939464e-06,4.991240e-06,5.031808e-06,5.057590e-06,5.113180e-06,5.117776e-06,5.172122e-06,5.184333e-06,5.220953e-06,5.246006e-06,5.264582e-06,5.298917e-06,5.303317e-06,5.337452e-06,5.343753e-06,5.367274e-06,5.381167e-06,5.393054e-06,5.411777e-06,5.415053e-06,5.433517e-06,5.436159e-06,5.448683e-06,5.454857e-06,5.460774e-06,5.468376e-06,5.470002e-06,5.476566e-06,5.477184e-06,5.480655e-06,5.481717e-06,5.482447e-06,5.482375e-06,5.482109e-06,5.479797e-06,5.479532e-06,5.475661e-06,5.473527e-06,5.469839e-06,5.464677e-06,5.462462e-06,5.453651e-06,5.453271e-06,5.443523e-06,5.439575e-06,5.432184e-06,5.423834e-06,5.419735e-06,5.406271e-06,5.391880e-06,5.387093e-06,5.376645e-06,5.366487e-06,5.360642e-06,5.344625e-06,5.343945e-06,5.326621e-06,5.321666e-06,5.308733e-06,5.297754e-06,5.290339e-06,5.273019e-06,5.271496e-06,5.252254e-06,5.247582e-06,5.232662e-06,5.221554e-06,5.212763e-06,5.195033e-06,5.192601e-06,5.172212e-06,5.168111e-06,5.151635e-06,5.140871e-06,5.130901e-06,5.113388e-06,5.110044e-06,5.089091e-06,5.085731e-06,5.068069e-06,5.057962e-06,5.047005e-06,5.030138e-06,5.025921e-06,5.004838e-06,5.002309e-06,4.983777e-06,4.974522e-06,4.962756e-06,4.946817e-06,4.941792e-06,4.920901e-06,4.919234e-06,4.900098e-06,4.891804e-06,4.879396e-06,4.864559e-06,4.858807e-06,4.838342e-06,4.837526e-06,4.818013e-06,4.810729e-06,4.797827e-06,4.784189e-06,4.777796e-06,4.757925e-06,4.731954e-06,4.706291e-06,4.680948e-06,4.655937e-06,4.631267e-06,4.606947e-06,4.582983e-06,4.559380e-06,4.536144e-06,4.513277e-06,4.490782e-06,4.468661e-06,4.446915e-06,4.425545e-06,4.404549e-06,4.383927e-06,4.363678e-06,4.343799e-06,4.324289e-06,4.305145e-06,4.286364e-06,4.267942e-06,4.249876e-06,4.232162e-06
0.000000e+00,1.129239e-11,2.588719e-11,8.916334e-11,2.031356e-10,2.966371e-10,6.753364e-10,6.957849e-10,1.352197e-09,1.591830e-09,2.338989e-09,3.123136e-09,3.736883e-09,5.451966e-09,5.622032e-09,8.035152e-09,8.691876e-09,1.095661e-08,1.279211e-08,1.432437e-08,1.760284e-08,1.807029e-08,2.213640e-08,2.298369e-08,2.647458e-08,2.882369e-08,3.104224e-08,3.502709e-08,3.579934e-08,4.070700e-08,4.150363e-08,4.572714e-08,4.816588e-08,5.082290e-08,5.493026e-08,5.595913e-08,6.110304e-08,6.171938e-08,6.622463e-08,6.846398e-08,7.129690e-08,7.510419e-08,7.629623e-08,8.120233e-08,8.159026e-08,8.599812e-08,8.788232e-08,9.066962e-08,9.394979e-08,9.520570e-08,9.959776e-08,9.977035e-08,1.038395e-07,1.053289e-07,1.079267e-07,1.106162e-07,1.118566e-07,1.156282e-07,1.192415e-07,1.203645e-07,1.226976e-07,1.248279e-07,1.259985e-07,1.290236e-07,1.291466e-07,1.321451e-07,1.329584e-07,1.349975e-07,1.366404e-07,1.377077e-07,1.400788e-07,1.402796e-07,1.427174e-07,1.432830e-07,1.450254e-07,1.462628e-07,1.472080e-07,1.490283e-07,1.492695e-07,1.512141e-07,1.515894e-07,1.530463e-07,1.539560e-07,1.547702e-07,1.561377e-07,1.563900e-07,1.579098e-07,1.581439e-07,1.593335e-07,1.599838e-07,1.606649e-07,1.616662e-07,1.619079e-07,1.630662e-07,1.631996e-07,1.641432e-07,1.645922e-07,1.651423e-07,1.658517e-07,1.660670e-07,1.669204e-07,1.669857e-07,1.677057e-07,1.680013e-07,1.684257e-07,1.689054e-07,1.690834e-07,1.696816e-07,1.697043e-07,1.702229e-07,1.704044e-07,1.707099e-07,1.710114e-07,1.711452e-07,1.715310e-07,1.718696e-07,1.719684e-07,1.721634e-07,1.723288e-07,1.724143e-07,1.726168e-07,1.726244e-07,1.727958e-07,1.728370e-07,1.729301e-07,1.729937e-07,1.730293e-07,1.730910e-07,1.730950e-07,1.731290e-07,1.731326e-07,1.731327e-07,1.731222e-07,1.731078e-07,1.730633e-07,1.730557e-07,1.729777e-07,1.729591e-07,1.728752e-07,1.728127e-07,1.727496e-07,1.726270e-07,1.726019e-07,1.724335e-07,1.724047e-07,1.722454e-07,1.721485e-07,1.720387e-07,1.718607e-07,1.718145e-07,1.715736e-07,1.715437e-07,1.713172e-07,1.711996e-07,1.710460e-07,1.708306e-07,1.707610e-07,1.704630e-07,1.704386e-07,1.701527e-07,1.700253e-07,1.698310e-07,1.695926e-07,1.694985e-07,1.691559e-07,1.691420e-07,1.688040e-07,1.686751e-07,1.684433e-07,1.681933e-07,1.680744e-07,1.676980e-07,1.671904e-07,1.666718e-07,1.661433e-07,1.656059e-07,1.650607e-07,1.645087e-07,1.639506e-07,1.633873e-07,1.628196e-07,1.622483e-07,1.616739e-07,1.610973e-07,1.605189e-07,1.599393e-07,1.593591e-07,1.587788e-07,1.581988e-07,1.576195e-07,1.570414e-07,1.564648e-07,1.558901e-07,1.553176e-07,1.547476e-07,1.541804e-07
0.000000e+00,3.348232e-09,9.907242e-09,4.947427e-08,1.429078e-07,2.318145e-07,6.548134e-07,6.796611e-07,1.543025e-06,1.880978e-06,2.982727e-06,4.191939e-06,5.164174e-06,7.968836e-06,8.253223e-06,1.241199e-05,1.358644e-05,1.779149e-05,2.138588e-05,2.451816e-05,3.162026e-05,3.267633e-05,4.229548e-05,4.439324e-05,5.334982e-05,5.964307e-05,6.576810e-05,7.717800e-05,7.944615e-05,9.425778e-05,9.672360e-05,1.100626e-04,1.179582e-04,1.267117e-04,1.405356e-04,1.440514e-04,1.619267e-04,1.641005e-04,1.801842e-04,1.882997e-04,1.986740e-04,2.127931e-04,2.172527e-04,2.357846e-04,2.372613e-04,2.541441e-04,2.614136e-04,2.722166e-04,2.849928e-04,2.898992e-04,3.071020e-04,3.077789e-04,3.237473e-04,3.295903e-04,3.397705e-04,3.502836e-04,3.551189e-04,3.697516e-04,3.836382e-04,3.879207e-04,3.967582e-04,4.047472e-04,4.091004e-04,4.202137e-04,4.206611e-04,4.314437e-04,4.343244e-04,4.414572e-04,4.471019e-04,4.507160e-04,4.585832e-04,4.592384e-04,4.670463e-04,4.688166e-04,4.741640e-04,4.778583e-04,4.806181e-04,4.857708e-04,4.864364e-04,4.916479e-04,4.926200e-04,4.962822e-04,4.984739e-04,5.003691e-04,5.034006e-04,5.039381e-04,5.070184e-04,5.074678e-04,5.096386e-04,5.107412e-04,5.118268e-04,5.132846e-04,5.136101e-04,5.150145e-04,5.151588e-04,5.160654e-04,5.164220e-04,5.167867e-04,5.171287e-04,5.172015e-04,5.173317e-04,5.173305e-04,5.171983e-04,5.170756e-04,5.168211e-04,5.164091e-04,5.162188e-04,5.154091e-04,5.153726e-04,5.144088e-04,5.140050e-04,5.132336e-04,5.123422e-04,5.118984e-04,5.104171e-04,5.088029e-04,5.082603e-04,5.070680e-04,5.058997e-04,5.052240e-04,5.033610e-04,5.032815e-04,5.012508e-04,5.006677e-04,4.991412e-04,4.978412e-04,4.969614e-04,4.949012e-04,4.947198e-04,4.924239e-04,4.918656e-04,4.900808e-04,4.887506e-04,4.876972e-04,4.855711e-04,4.852793e-04,4.828327e-04,4.823404e-04,4.803627e-04,4.790708e-04,4.778743e-04,4.757731e-04,4.753720e-04,4.728600e-04,4.724575e-04,4.703422e-04,4.691327e-04,4.678222e-04,4.658068e-04,4.653033e-04,4.627884e-04,4.624871e-04,4.602806e-04,4.591800e-04,4.577822e-04,4.558912e-04,4.552956e-04,4.528230e-04,4.526259e-04,4.503663e-04,4.493885e-04,4.479274e-04,4.461832e-04,4.455078e-04,4.431090e-04,4.430135e-04,4.407323e-04,4.398823e-04,4.383789e-04,4.367924e-04,4.360498e-04,4.337461e-04,4.307453e-04,4.277917e-04,4.248867e-04,4.220315e-04,4.192270e-04,4.164738e-04,4.137725e-04,4.111234e-04,4.085268e-04,4.059826e-04,4.034909e-04,4.010514e-04,3.986640e-04,3.963282e-04,3.940436e-04,3.918098e-04,3.896262e-04,3.874921e-04,3.854070e-04,3.833702e-04,3.813808e-04,3.794382e-04,3.775417e-04,3.756903e-04
0.000000e+00,2.912307e-10,7.209832e-10,2.708117e-09,6.443389e-09,9.572871e-09,2.255210e-08,2.326301e-08,4.647836e-08,5.511419e-08,8.246729e-08,1.116814e-07,1.347461e-07,1.991867e-07,2.055329e-07,2.941926e-07,3.178772e-07,3.984118e-07,4.627467e-07,5.160491e-07,6.294194e-07,6.455424e-07,7.856636e-07,8.148637e-07,9.352842e-07,1.016462e-06,1.093256e-06,1.231525e-06,1.258372e-06,1.429366e-06,1.457184e-06,1.604943e-06,1.690467e-06,1.783808e-06,1.928418e-06,1.964700e-06,2.146423e-06,2.168232e-06,2.327869e-06,2.407354e-06,2.508031e-06,2.643544e-06,2.686019e-06,2.861056e-06,2.874912e-06,3.032486e-06,3.099921e-06,3.199760e-06,3.317373e-06,3.362438e-06,3.520171e-06,3.526374e-06,3.672696e-06,3.726292e-06,3.819826e-06,3.916728e-06,3.961438e-06,4.097469e-06,4.227898e-06,4.268455e-06,4.352748e-06,4.429747e-06,4.472072e-06,4.581501e-06,4.585953e-06,4.694490e-06,4.723940e-06,4.797805e-06,4.857341e-06,4.896029e-06,4.982020e-06,4.989303e-06,5.077778e-06,5.098314e-06,5.161605e-06,5.206576e-06,5.240941e-06,5.307165e-06,5.315942e-06,5.386766e-06,5.400443e-06,5.453569e-06,5.486769e-06,5.516505e-06,5.566495e-06,5.575726e-06,5.631382e-06,5.639965e-06,5.683616e-06,5.707515e-06,5.732572e-06,5.769468e-06,5.778386e-06,5.821194e-06,5.826135e-06,5.861125e-06,5.877815e-06,5.898304e-06,5.924795e-06,5.932854e-06,5.964891e-06,5.967349e-06,5.994529e-06,6.005738e-06,6.021878e-06,6.040210e-06,6.047042e-06,6.070123e-06,6.071004e-06,6.091218e-06,6.098344e-06,6.110421e-06,6.122444e-06,6.127822e-06,6.143507e-06,6.157560e-06,6.161725e-06,6.170061e-06,6.177281e-06,6.181085e-06,6.190348e-06,6.190706e-06,6.198996e-06,6.201087e-06,6.206020e-06,6.209654e-06,6.211843e-06,6.216194e-06,6.216529e-06,6.220135e-06,6.220846e-06,6.222718e-06,6.223739e-06,6.224334e-06,6.224996e-06,6.225033e-06,6.224866e-06,6.224733e-06,6.223880e-06,6.223059e-06,6.222121e-06,6.220077e-06,6.219631e-06,6.216453e-06,6.215884e-06,6.212627e-06,6.210571e-06,6.208190e-06,6.204225e-06,6.203178e-06,6.197627e-06,6.196926e-06,6.191569e-06,6.188751e-06,6.185036e-06,6.179771e-06,6.178058e-06,6.170663e-06,6.170054e-06,6.162880e-06,6.159663e-06,6.154734e-06,6.148658e-06,6.146250e-06,6.137452e-06,6.137094e-06,6.128363e-06,6.125024e-06,6.119004e-06,6.112497e-06,6.109396e-06,6.099559e-06,6.086254e-06,6.072622e-06,6.058701e-06,6.044527e-06,6.030133e-06,6.015550e-06,6.000808e-06,5.985933e-06,5.970951e-06,5.955886e-06,5.940759e-06,5.925591e-06,5.910402e-06,5.895209e-06,5.880028e-06,5.864876e-06,5.849765e-06,5.834711e-06,5.819724e-06,5.804815e-06,5.789997e-06,5.775276e-06,5.760664e-06,5.746167e-06
0.000000e+00,8.479129e-10,2.413057e-09,1.117237e-08,3.030375e-08,4.760349e-08,1.247709e-07,1.291442e-07,2.755871e-07,3.310357e-07,5.079166e-07,6.979996e-07,8.490765e-07,1.279999e-06,1.323395e-06,1.952291e-06,2.127746e-06,2.746602e-06,3.262749e-06,3.702445e-06,4.665730e-06,4.805218e-06,6.036583e-06,6.296696e-06,7.378819e-06,8.115259e-06,8.816058e-06,1.008629e-05,1.033403e-05,1.191945e-05,1.217851e-05,1.355949e-05,1.436241e-05,1.524158e-05,1.660919e-05,1.695333e-05,1.868260e-05,1.889073e-05,2.041767e-05,2.118004e-05,2.214739e-05,2.345198e-05,2.386137e-05,2.555009e-05,2.568383e-05,2.720500e-05,2.785579e-05,2.881862e-05,2.995120e-05,3.038451e-05,3.189730e-05,3.195664e-05,3.335264e-05,3.386183e-05,3.474717e-05,3.565942e-05,3.607841e-05,3.734467e-05,3.854500e-05,3.891511e-05,3.967909e-05,4.037023e-05,4.074717e-05,4.171107e-05,4.174994e-05,4.268847e-05,4.293994e-05,4.356419e-05,4.406015e-05,4.437875e-05,4.507573e-05,4.513401e-05,4.583201e-05,4.599124e-05,4.647486e-05,4.681159e-05,4.706477e-05,4.754188e-05,4.760399e-05,4.809478e-05,4.818733e-05,4.853941e-05,4.875312e-05,4.894012e-05,4.924439e-05,4.929911e-05,4.961855e-05,4.966613e-05,4.990054e-05,5.002320e-05,5.014712e-05,5.032023e-05,5.036028e-05,5.054192e-05,5.056168e-05,5.069387e-05,5.075178e-05,5.081790e-05,5.089454e-05,5.091570e-05,5.098889e-05,5.099372e-05,5.103900e-05,5.105291e-05,5.106750e-05,5.107544e-05,5.107581e-05,5.106525e-05,5.106445e-05,5.103709e-05,5.102288e-05,5.099254e-05,5.095347e-05,5.093274e-05,5.085877e-05,5.077166e-05,5.074117e-05,5.067238e-05,5.060289e-05,5.056186e-05,5.044598e-05,5.044095e-05,5.031049e-05,5.027236e-05,5.017126e-05,5.008381e-05,5.002397e-05,4.988196e-05,4.986933e-05,4.970799e-05,4.966834e-05,4.954056e-05,4.944436e-05,4.936763e-05,4.921132e-05,4.918973e-05,4.900737e-05,4.897041e-05,4.882105e-05,4.872275e-05,4.863121e-05,4.846935e-05,4.843829e-05,4.824267e-05,4.821114e-05,4.804473e-05,4.794900e-05,4.784483e-05,4.768371e-05,4.764329e-05,4.744042e-05,4.741600e-05,4.723651e-05,4.714653e-05,4.703183e-05,4.687591e-05,4.682663e-05,4.662114e-05,4.660469e-05,4.641558e-05,4.633338e-05,4.621015e-05,4.606244e-05,4.600505e-05,4.580045e-05,4.579228e-05,4.559652e-05,4.552329e-05,4.539339e-05,4.525581e-05,4.519123e-05,4.499014e-05,4.472657e-05,4.446534e-05,4.420668e-05,4.395078e-05,4.369782e-05,4.344795e-05,4.320130e-05,4.295801e-05,4.271815e-05,4.248183e-05,4.224912e-05,4.202006e-05,4.179472e-05,4.157312e-05,4.135531e-05,4.114128e-05,4.093106e-05,4.072465e-05,4.052204e-05,4.032322e-05,4.012819e-05,3.993691e-05,3.974937e-05,3.956553e-05
0.000000e+00,4.551711e-10,1.143084e-09,4.383871e-09,1.059871e-08,1.589168e-08,3.851034e-08,3.977705e-08,8.243998e-08,9.882165e-08,1.516150e-07,2.080622e-07,2.519002e-07,3.700973e-07,3.814448e-07,5.366400e-07,5.774346e-07,7.153382e-07,8.252724e-07,9.165168e-07,1.111634e-06,1.139526e-06,1.383674e-06,1.434964e-06,1.648039e-06,1.793108e-06,1.931410e-06,2.183033e-06,2.232278e-06,2.548873e-06,2.600858e-06,2.879220e-06,3.042051e-06,3.221196e-06,3.501673e-06,3.572602e-06,3.931220e-06,3.974635e-06,4.294871e-06,4.455928e-06,4.661461e-06,4.940818e-06,5.029020e-06,5.395726e-06,5.424975e-06,5.759928e-06,5.904571e-06,6.120152e-06,6.376316e-06,6.475104e-06,6.823671e-06,6.837467e-06,7.164909e-06,7.285804e-06,7.498033e-06,7.719594e-06,7.822410e-06,8.137537e-06,8.443033e-06,8.538711e-06,8.738625e-06,8.922517e-06,9.024129e-06,9.288630e-06,9.299446e-06,9.564543e-06,9.636941e-06,9.819447e-06,9.967526e-06,1.006423e-05,1.028060e-05,1.029902e-05,1.052395e-05,1.057649e-05,1.073922e-05,1.085561e-05,1.094500e-05,1.111843e-05,1.114154e-05,1.132904e-05,1.136547e-05,1.150775e-05,1.159729e-05,1.167792e-05,1.181444e-05,1.183979e-05,1.199362e-05,1.201751e-05,1.213966e-05,1.220707e-05,1.227817e-05,1.238372e-05,1.240939e-05,1.253357e-05,1.254801e-05,1.265095e-05,1.270051e-05,1.276178e-05,1.284176e-05,1.286628e-05,1.296469e-05,1.297231e-05,1.305724e-05,1.309266e-05,1.314413e-05,1.320332e-05,1.322559e-05,1.330183e-05,1.330477e-05,1.337303e-05,1.339747e-05,1.343940e-05,1.348188e-05,1.350114e-05,1.355841e-05,1.361141e-05,1.362749e-05,1.366030e-05,1.368951e-05,1.370525e-05,1.374485e-05,1.374642e-05,1.378397e-05,1.379386e-05,1.381805e-05,1.383690e-05,1.384881e-05,1.387429e-05,1.387638e-05,1.390091e-05,1.390635e-05,1.392251e-05,1.393339e-05,1.394133e-05,1.395568e-05,1.395748e-05,1.397107e-05,1.397350e-05,1.398223e-05,1.398711e-05,1.399106e-05,1.399676e-05,1.399767e-05,1.400216e-05,1.400269e-05,1.400462e-05,1.400511e-05,1.400515e-05,1.400425e-05,1.400384e-05,1.400078e-05,1.400030e-05,1.399605e-05,1.399346e-05,1.398973e-05,1.398391e-05,1.398190e-05,1.397263e-05,1.397183e-05,1.396200e-05,1.395738e-05,1.395007e-05,1.394072e-05,1.393691e-05,1.392259e-05,1.392199e-05,1.390716e-05,1.390134e-05,1.389068e-05,1.387891e-05,1.387322e-05,1.385482e-05,1.382918e-05,1.380212e-05,1.377375e-05,1.374415e-05,1.371345e-05,1.368171e-05,1.364904e-05,1.361551e-05,1.358120e-05,1.354619e-05,1.351054e-05,1.347432e-05,1.343759e-05,1.340042e-05,1.336285e-05,1.332494e-05,1.328674e-05,1.324830e-05,1.320965e-05,1.317084e-05,1.313191e-05,1.309289e-05,1.305382e-05,1.301473e-05
0.000000e+00,1.305366e-10,3.023703e-10,1.053838e-09,2.422809e-09,3.559299e-09,8.282817e-09,8.543256e-09,1.717820e-08,2.045451e-08,3.103820e-08,4.264053e-08,5.198333e-08,7.874426e-08,8.141975e-08,1.191498e-07,1.292567e-07,1.633877e-07,1.902077e-07,2.120479e-07,2.572641e-07,2.635576e-07,3.168850e-07,3.277040e-07,3.713420e-07,3.999339e-07,4.264226e-07,4.728651e-07,4.817089e-07,5.368253e-07,5.456044e-07,5.914198e-07,6.173414e-07,6.451602e-07,6.873283e-07,6.977365e-07,7.488676e-07,7.548940e-07,7.983038e-07,8.194626e-07,8.458329e-07,8.805719e-07,8.912820e-07,9.345151e-07,9.378748e-07,9.754341e-07,9.911389e-07,1.013977e-06,1.040239e-06,1.050114e-06,1.083843e-06,1.085142e-06,1.115186e-06,1.125893e-06,1.144188e-06,1.162603e-06,1.170911e-06,1.195427e-06,1.217818e-06,1.224549e-06,1.238174e-06,1.250179e-06,1.256592e-06,1.272539e-06,1.273168e-06,1.288004e-06,1.291859e-06,1.301197e-06,1.308365e-06,1.312845e-06,1.322280e-06,1.323045e-06,1.331889e-06,1.333820e-06,1.339465e-06,1.343186e-06,1.345859e-06,1.350573e-06,1.351152e-06,1.355422e-06,1.356160e-06,1.358742e-06,1.360116e-06,1.361181e-06,1.362598e-06,1.362805e-06,1.363675e-06,1.363748e-06,1.363848e-06,1.363699e-06,1.363378e-06,1.362574e-06,1.362317e-06,1.360711e-06,1.360484e-06,1.358605e-06,1.357530e-06,1.356039e-06,1.353807e-06,1.353054e-06,1.349684e-06,1.349399e-06,1.345963e-06,1.344383e-06,1.341922e-06,1.338831e-06,1.337591e-06,1.332996e-06,1.332807e-06,1.328162e-06,1.326368e-06,1.323114e-06,1.319569e-06,1.317872e-06,1.312457e-06,1.306888e-06,1.305076e-06,1.301182e-06,1.297466e-06,1.295356e-06,1.289663e-06,1.289424e-06,1.283400e-06,1.281698e-06,1.277297e-06,1.273603e-06,1.271128e-06,1.265403e-06,1.264903e-06,1.258633e-06,1.257122e-06,1.252327e-06,1.248783e-06,1.245994e-06,1.240405e-06,1.239642e-06,1.233278e-06,1.232005e-06,1.226911e-06,1.223600e-06,1.220545e-06,1.215204e-06,1.214187e-06,1.207843e-06,1.206829e-06,1.201517e-06,1.198488e-06,1.195214e-06,1.190191e-06,1.188938e-06,1.182693e-06,1.181946e-06,1.176483e-06,1.173763e-06,1.170311e-06,1.165648e-06,1.164180e-06,1.158093e-06,1.157608e-06,1.152051e-06,1.149648e-06,1.146058e-06,1.141774e-06,1.140115e-06,1.134224e-06,1.133989e-06,1.128387e-06,1.126299e-06,1.122605e-06,1.118705e-06,1.116879e-06,1.111211e-06,1.103819e-06,1.096531e-06,1.089349e-06,1.082274e-06,1.075307e-06,1.068448e-06,1.061699e-06,1.055059e-06,1.048529e-06,1.042108e-06,1.035796e-06,1.029593e-06,1.023498e-06,1.017511e-06,1.011630e-06,1.005855e-06,1.000185e-06,9.946187e-07,9.891553e-07,9.837935e-07,9.785321e-07,9.733700e-07,9.683057e-07,9.633380e-07
0.000000e+00,3.740053e-08,1.118249e-07,5.708163e-07,1.683097e-06,2.762070e-06,8.050376e-06,8.366915e-06,1.964618e-05,2.418220e-05,3.933677e-05,5.650860e-05,7.066031e-05,1.129048e-04,1.172903e-04,1.831128e-04,2.021784e-04,2.717087e-04,3.323448e-04,3.858556e-04,5.089157e-04,5.273852e-04,6.973156e-04,7.347533e-04,8.960365e-04,1.010733e-03,1.123448e-03,1.336289e-03,1.379048e-03,1.661977e-03,1.709708e-03,1.971061e-03,2.128291e-03,2.304833e-03,2.588469e-03,2.661560e-03,3.039281e-03,3.085917e-03,3.435838e-03,3.615700e-03,3.848920e-03,4.172426e-03,4.276103e-03,4.714891e-03,4.750420e-03,5.162767e-03,5.343899e-03,5.617225e-03,5.947130e-03,6.075811e-03,6.536158e-03,6.554577e-03,6.996010e-03,7.161022e-03,7.453245e-03,7.761661e-03,7.905897e-03,8.352163e-03,8.790413e-03,8.928717e-03,9.219193e-03,9.488045e-03,9.637226e-03,1.002740e-02,1.004341e-02,1.043681e-02,1.054456e-02,1.081665e-02,1.103777e-02,1.118230e-02,1.150576e-02,1.153329e-02,1.186925e-02,1.194762e-02,1.218996e-02,1.236285e-02,1.249529e-02,1.275123e-02,1.278521e-02,1.305977e-02,1.311285e-02,1.331911e-02,1.344801e-02,1.356342e-02,1.375722e-02,1.379296e-02,1.400802e-02,1.404111e-02,1.420896e-02,1.430049e-02,1.439613e-02,1.453623e-02,1.456995e-02,1.473083e-02,1.474928e-02,1.487921e-02,1.494065e-02,1.501554e-02,1.511137e-02,1.514027e-02,1.525387e-02,1.526249e-02,1.535679e-02,1.539507e-02,1.544949e-02,1.551015e-02,1.553241e-02,1.560601e-02,1.560877e-02,1.567073e-02,1.569193e-02,1.572698e-02,1.576062e-02,1.577520e-02,1.581578e-02,1.584912e-02,1.585832e-02,1.587560e-02,1.588913e-02,1.589560e-02,1.590903e-02,1.590947e-02,1.591755e-02,1.591882e-02,1.592018e-02,1.591926e-02,1.591766e-02,1.591107e-02,1.591031e-02,1.589842e-02,1.589492e-02,1.588226e-02,1.587145e-02,1.586211e-02,1.584127e-02,1.583821e-02,1.581081e-02,1.580493e-02,1.578015e-02,1.576298e-02,1.574643e-02,1.571592e-02,1.570989e-02,1.567070e-02,1.566420e-02,1.562907e-02,1.560827e-02,1.558518e-02,1.554854e-02,1.553919e-02,1.549126e-02,1.548539e-02,1.544157e-02,1.541917e-02,1.539024e-02,1.535022e-02,1.533742e-02,1.528324e-02,1.527885e-02,1.522782e-02,1.520534e-02,1.517129e-02,1.512995e-02,1.511375e-02,1.505530e-02,1.505295e-02,1.499605e-02,1.497455e-02,1.493609e-02,1.489496e-02,1.487552e-02,1.481440e-02,1.473303e-02,1.465103e-02,1.456854e-02,1.448573e-02,1.440271e-02,1.431960e-02,1.423653e-02,1.415358e-02,1.407087e-02,1.398846e-02,1.390643e-02,1.382487e-02,1.374383e-02,1.366337e-02,1.358354e-02,1.350440e-02,1.342598e-02,1.334833e-02,1.327147e-02,1.319544e-02,1.312026e-02,1.304596e-02,1.297256e-02,1.290007e-02
0.000000e+00,3.951008e-11,9.112967e-11,3.171994e-10,7.303044e-10,1.073754e-09,2.499713e-09,2.578153e-09,5.163493e-09,6.136268e-09,9.249814e-09,1.261931e-08,1.530633e-08,2.292236e-08,2.368022e-08,3.437960e-08,3.726397e-08,4.711281e-08,5.499800e-08,6.152775e-08,7.537898e-08,7.734347e-08,9.435327e-08,9.788373e-08,1.123944e-07,1.221355e-07,1.313238e-07,1.478118e-07,1.510060e-07,1.713070e-07,1.746037e-07,1.920944e-07,2.022068e-07,2.132383e-07,2.303262e-07,2.346141e-07,2.561039e-07,2.586850e-07,2.775991e-07,2.870329e-07,2.990013e-07,3.151504e-07,3.202228e-07,3.411869e-07,3.428509e-07,3.618281e-07,3.699814e-07,3.820910e-07,3.964200e-07,4.019299e-07,4.213077e-07,4.220728e-07,4.401954e-07,4.468705e-07,4.585706e-07,4.707643e-07,4.764168e-07,4.937228e-07,5.104817e-07,5.157285e-07,5.266905e-07,5.367752e-07,5.423489e-07,5.568652e-07,5.574591e-07,5.720257e-07,5.760077e-07,5.860548e-07,5.942173e-07,5.995538e-07,6.115123e-07,6.125315e-07,6.249974e-07,6.279141e-07,6.369615e-07,6.434463e-07,6.484348e-07,6.581340e-07,6.594283e-07,6.699533e-07,6.720032e-07,6.800217e-07,6.850806e-07,6.896449e-07,6.973931e-07,6.988349e-07,7.076034e-07,7.089681e-07,7.159622e-07,7.198324e-07,7.239230e-07,7.300127e-07,7.314972e-07,7.386964e-07,7.395356e-07,7.455317e-07,7.484268e-07,7.520143e-07,7.567119e-07,7.581551e-07,7.639648e-07,7.644156e-07,7.694540e-07,7.715622e-07,7.746328e-07,7.781751e-07,7.795115e-07,7.840997e-07,7.842774e-07,7.884073e-07,7.898911e-07,7.924436e-07,7.950380e-07,7.962177e-07,7.997387e-07,8.030152e-07,8.040134e-07,8.060557e-07,8.078816e-07,8.088686e-07,8.113622e-07,8.114618e-07,8.138432e-07,8.144731e-07,8.160204e-07,8.172319e-07,8.180009e-07,8.196553e-07,8.197918e-07,8.214001e-07,8.217597e-07,8.228326e-07,8.235605e-07,8.240959e-07,8.250726e-07,8.251963e-07,8.261401e-07,8.263106e-07,8.269333e-07,8.272882e-07,8.275818e-07,8.280187e-07,8.280911e-07,8.284667e-07,8.285148e-07,8.287141e-07,8.287887e-07,8.288382e-07,8.288521e-07,8.288441e-07,8.287366e-07,8.287163e-07,8.285204e-07,8.283920e-07,8.282000e-07,8.278895e-07,8.277798e-07,8.272639e-07,8.272187e-07,8.266566e-07,8.263889e-07,8.259617e-07,8.254094e-07,8.251831e-07,8.243245e-07,8.242886e-07,8.233895e-07,8.230348e-07,8.223815e-07,8.216561e-07,8.213039e-07,8.201598e-07,8.185533e-07,8.168434e-07,8.150367e-07,8.131395e-07,8.111578e-07,8.090974e-07,8.069636e-07,8.047617e-07,8.024967e-07,8.001734e-07,7.977961e-07,7.953693e-07,7.928970e-07,7.903831e-07,7.878314e-07,7.852453e-07,7.826281e-07,7.799832e-07,7.773135e-07,7.746219e-07,7.719112e-07,7.691838e-07,7.664424e-07,7.636893e-07
0.000000e+00,1.375549e-07,4.103567e-07,2.086609e-06,6.139437e-06,1.007108e-05,2.941656e-05,3.057931e-05,7.237538e-05,8.937356e-05,1.468541e-04,2.130594e-04,2.682810e-04,4.352396e-04,4.526684e-04,7.139833e-04,7.891621e-04,1.059987e-03,1.291348e-03,1.491731e-03,1.939871e-03,2.005705e-03,2.595861e-03,2.722398e-03,3.254788e-03,3.621916e-03,3.974314e-03,4.619260e-03,4.745835e-03,5.560527e-03,5.694291e-03,6.409532e-03,6.826671e-03,7.284124e-03,7.996537e-03,8.175866e-03,9.076746e-03,9.185105e-03,9.979296e-03,1.037516e-02,1.087668e-02,1.155143e-02,1.176275e-02,1.263208e-02,1.270076e-02,1.347999e-02,1.381225e-02,1.430252e-02,1.487715e-02,1.509638e-02,1.585897e-02,1.588879e-02,1.658826e-02,1.684235e-02,1.728279e-02,1.773469e-02,1.794157e-02,1.856408e-02,1.915013e-02,1.932999e-02,1.969989e-02,2.003288e-02,2.021378e-02,2.067400e-02,2.069248e-02,2.113684e-02,2.125524e-02,2.154786e-02,2.177894e-02,2.192667e-02,2.224776e-02,2.227447e-02,2.259254e-02,2.266460e-02,2.288220e-02,2.303250e-02,2.314479e-02,2.335453e-02,2.338164e-02,2.359411e-02,2.363379e-02,2.378351e-02,2.387332e-02,2.395115e-02,2.407607e-02,2.409828e-02,2.422614e-02,2.424489e-02,2.433592e-02,2.438252e-02,2.442875e-02,2.449155e-02,2.450573e-02,2.456791e-02,2.457443e-02,2.461629e-02,2.463345e-02,2.465181e-02,2.467077e-02,2.467539e-02,2.468786e-02,2.468841e-02,2.469005e-02,2.468821e-02,2.468271e-02,2.467193e-02,2.466656e-02,2.464228e-02,2.464115e-02,2.461051e-02,2.459735e-02,2.457184e-02,2.454190e-02,2.452684e-02,2.447603e-02,2.441991e-02,2.440090e-02,2.435893e-02,2.431755e-02,2.429353e-02,2.422696e-02,2.422411e-02,2.415105e-02,2.412999e-02,2.407470e-02,2.402745e-02,2.399539e-02,2.392008e-02,2.391343e-02,2.382910e-02,2.380853e-02,2.374266e-02,2.369343e-02,2.365437e-02,2.357531e-02,2.356444e-02,2.347311e-02,2.345469e-02,2.338056e-02,2.333202e-02,2.328699e-02,2.320772e-02,2.319256e-02,2.309743e-02,2.308215e-02,2.300175e-02,2.295566e-02,2.290565e-02,2.282857e-02,2.280927e-02,2.271273e-02,2.270113e-02,2.261612e-02,2.257362e-02,2.251955e-02,2.244624e-02,2.242311e-02,2.232690e-02,2.231921e-02,2.223098e-02,2.219271e-02,2.213543e-02,2.206691e-02,2.204032e-02,2.194571e-02,2.194194e-02,2.185166e-02,2.181794e-02,2.175820e-02,2.169503e-02,2.166541e-02,2.157331e-02,2.145287e-02,2.133379e-02,2.121614e-02,2.109999e-02,2.098538e-02,2.087237e-02,2.076099e-02,2.065127e-02,2.054324e-02,2.043692e-02,2.033233e-02,2.022947e-02,2.012837e-02,2.002901e-02,1.993141e-02,1.983555e-02,1.974145e-02,1.964908e-02,1.955844e-02,1.946952e-02,1.938231e-02,1.929679e-02,1.921294e-02,1.913076e-02
0.000000e+00,5.632457e-10,1.636237e-09,7.878980e-09,2.206933e-08,3.523990e-08,9.599928e-08,9.951033e-08,2.196667e-07,2.661435e-07,4.167936e-07,5.813936e-07,7.132823e-07,1.089999e-06,1.127777e-06,1.669023e-06,1.817881e-06,2.336866e-06,2.764679e-06,3.127200e-06,3.920039e-06,4.035010e-06,5.055163e-06,5.272206e-06,6.182219e-06,6.808535e-06,7.410034e-06,8.514056e-06,8.731441e-06,1.013811e-05,1.037047e-05,1.162056e-05,1.235600e-05,1.316829e-05,1.444590e-05,1.476999e-05,1.641382e-05,1.661333e-05,1.808763e-05,1.883049e-05,1.977933e-05,2.106970e-05,2.147711e-05,2.316970e-05,2.330456e-05,2.484657e-05,2.551073e-05,2.649811e-05,2.766666e-05,2.811570e-05,2.969182e-05,2.975391e-05,3.122003e-05,3.175740e-05,3.269502e-05,3.366539e-05,3.411252e-05,3.546929e-05,3.676300e-05,3.716341e-05,3.799218e-05,3.874464e-05,3.915613e-05,4.021207e-05,4.025477e-05,4.128861e-05,4.156660e-05,4.225865e-05,4.281061e-05,4.316627e-05,4.394761e-05,4.401318e-05,4.480131e-05,4.498195e-05,4.553281e-05,4.591856e-05,4.620996e-05,4.676275e-05,4.683510e-05,4.741066e-05,4.752003e-05,4.793904e-05,4.819596e-05,4.842266e-05,4.879604e-05,4.886389e-05,4.926504e-05,4.932566e-05,4.962838e-05,4.978998e-05,4.995607e-05,5.019396e-05,5.025021e-05,5.051280e-05,5.054228e-05,5.074576e-05,5.083934e-05,5.095090e-05,5.108926e-05,5.112995e-05,5.128454e-05,5.129590e-05,5.141622e-05,5.146281e-05,5.152645e-05,5.159330e-05,5.161660e-05,5.168796e-05,5.169045e-05,5.174176e-05,5.175705e-05,5.177914e-05,5.179572e-05,5.180116e-05,5.180884e-05,5.180312e-05,5.179861e-05,5.178489e-05,5.176704e-05,5.175498e-05,5.171601e-05,5.171418e-05,5.166321e-05,5.164721e-05,5.160276e-05,5.156221e-05,5.153347e-05,5.146244e-05,5.145595e-05,5.137076e-05,5.134923e-05,5.127843e-05,5.122380e-05,5.117947e-05,5.108726e-05,5.107433e-05,5.096347e-05,5.094064e-05,5.084728e-05,5.078489e-05,5.072616e-05,5.062087e-05,5.060047e-05,5.047055e-05,5.044939e-05,5.033672e-05,5.027119e-05,5.019929e-05,5.008694e-05,5.005854e-05,4.991473e-05,4.989728e-05,4.976812e-05,4.970279e-05,4.961894e-05,4.950399e-05,4.946743e-05,4.931378e-05,4.930140e-05,4.915819e-05,4.909546e-05,4.900085e-05,4.888659e-05,4.884195e-05,4.868163e-05,4.867519e-05,4.852006e-05,4.846161e-05,4.835738e-05,4.824620e-05,4.819373e-05,4.802925e-05,4.781106e-05,4.759190e-05,4.737200e-05,4.715160e-05,4.693090e-05,4.671010e-05,4.648938e-05,4.626890e-05,4.604883e-05,4.582930e-05,4.561045e-05,4.539239e-05,4.517525e-05,4.495912e-05,4.474410e-05,4.453029e-05,4.431775e-05,4.410656e-05,4.389680e-05,4.368853e-05,4.348179e-05,4.327666e-05,4.307316e-05,4.287134e-05
0.000000e+00,1.730552e-09,5.023824e-09,2.417367e-08,6.772488e-08,1.081930e-07,2.954557e-07,3.063032e-07,6.789640e-07,8.237424e-07,1.294845e-06,1.811942e-06,2.227574e-06,3.419307e-06,3.539116e-06,5.260014e-06,5.734436e-06,7.390896e-06,8.758128e-06,9.917239e-06,1.245203e-05,1.281944e-05,1.607600e-05,1.676781e-05,1.966348e-05,2.165121e-05,2.355579e-05,2.703964e-05,2.772374e-05,3.213516e-05,3.286130e-05,3.675548e-05,3.903684e-05,4.154852e-05,4.548260e-05,4.647752e-05,5.150613e-05,5.211457e-05,5.659919e-05,5.885194e-05,6.172357e-05,6.562010e-05,6.684864e-05,7.194666e-05,7.235258e-05,7.699301e-05,7.899216e-05,8.196619e-05,8.549114e-05,8.684783e-05,9.162251e-05,9.181109e-05,9.627756e-05,9.792207e-05,1.008028e-04,1.038018e-04,1.051904e-04,1.094344e-04,1.135307e-04,1.148098e-04,1.174765e-04,1.199223e-04,1.212706e-04,1.247698e-04,1.249126e-04,1.284031e-04,1.293534e-04,1.317434e-04,1.336763e-04,1.349355e-04,1.377434e-04,1.379818e-04,1.408851e-04,1.415610e-04,1.436486e-04,1.451363e-04,1.462757e-04,1.484774e-04,1.487698e-04,1.511346e-04,1.515924e-04,1.533740e-04,1.544901e-04,1.554917e-04,1.571793e-04,1.574915e-04,1.593772e-04,1.596686e-04,1.611527e-04,1.619669e-04,1.628218e-04,1.640829e-04,1.643881e-04,1.658554e-04,1.660249e-04,1.672271e-04,1.678013e-04,1.685069e-04,1.694202e-04,1.696982e-04,1.708044e-04,1.708893e-04,1.718287e-04,1.722162e-04,1.727744e-04,1.734083e-04,1.736445e-04,1.744421e-04,1.744725e-04,1.751702e-04,1.754158e-04,1.758315e-04,1.762445e-04,1.764289e-04,1.769650e-04,1.774424e-04,1.775832e-04,1.778636e-04,1.781049e-04,1.782311e-04,1.785355e-04,1.785472e-04,1.788142e-04,1.788804e-04,1.790342e-04,1.791446e-04,1.792094e-04,1.793327e-04,1.793418e-04,1.794334e-04,1.794495e-04,1.794860e-04,1.794992e-04,1.795016e-04,1.794860e-04,1.794818e-04,1.794284e-04,1.794138e-04,1.793430e-04,1.792865e-04,1.792272e-04,1.791075e-04,1.790824e-04,1.789102e-04,1.788802e-04,1.787119e-04,1.786079e-04,1.784890e-04,1.782937e-04,1.782426e-04,1.779740e-04,1.779404e-04,1.776845e-04,1.775508e-04,1.773752e-04,1.771275e-04,1.770471e-04,1.767014e-04,1.766730e-04,1.763390e-04,1.761896e-04,1.759610e-04,1.756796e-04,1.755682e-04,1.751617e-04,1.751451e-04,1.747421e-04,1.745881e-04,1.743104e-04,1.740103e-04,1.738674e-04,1.734138e-04,1.728000e-04,1.721706e-04,1.715272e-04,1.708710e-04,1.702035e-04,1.695260e-04,1.688396e-04,1.681453e-04,1.674444e-04,1.667378e-04,1.660263e-04,1.653110e-04,1.645925e-04,1.638718e-04,1.631494e-04,1.624262e-04,1.617026e-04,1.609794e-04,1.602571e-04,1.595361e-04,1.588171e-04,1.581003e-04,1.573863e-04,1.566755e-04
0.000000e+00,1.375464e-08,4.098396e-08,2.076915e-07,6.082233e-07,9.942689e-07,2.867362e-06,2.978758e-06,6.913149e-06,8.480292e-06,1.366982e-05,1.948246e-05,2.423046e-05,3.823876e-05,3.968221e-05,6.120572e-05,6.741139e-05,9.002791e-05,1.097976e-04,1.273138e-04,1.678895e-04,1.740146e-04,2.307491e-04,2.433289e-04,2.977775e-04,3.366948e-04,3.750527e-04,4.476849e-04,4.622975e-04,5.590724e-04,5.754051e-04,6.648247e-04,7.185914e-04,7.789222e-04,8.757466e-04,9.006749e-04,1.029350e-03,1.045220e-03,1.164185e-03,1.225262e-03,1.304397e-03,1.414067e-03,1.449194e-03,1.597784e-03,1.609811e-03,1.749383e-03,1.810694e-03,1.903227e-03,2.014968e-03,2.058576e-03,2.214722e-03,2.220975e-03,2.370999e-03,2.427170e-03,2.526783e-03,2.632136e-03,2.681494e-03,2.834604e-03,2.985635e-03,3.033455e-03,3.134159e-03,3.227722e-03,3.279798e-03,3.416590e-03,3.422222e-03,3.561148e-03,3.599388e-03,3.696339e-03,3.775576e-03,3.827595e-03,3.944739e-03,3.954758e-03,4.077702e-03,4.106571e-03,4.196337e-03,4.260864e-03,4.310597e-03,4.407498e-03,4.420446e-03,4.525870e-03,4.546424e-03,4.626874e-03,4.677657e-03,4.723483e-03,4.801266e-03,4.815736e-03,4.903686e-03,4.917363e-03,4.987398e-03,5.026096e-03,5.066946e-03,5.127640e-03,5.142411e-03,5.213882e-03,5.222195e-03,5.281454e-03,5.309976e-03,5.345226e-03,5.391212e-03,5.405298e-03,5.461774e-03,5.466140e-03,5.514761e-03,5.535002e-03,5.564364e-03,5.598044e-03,5.610692e-03,5.653850e-03,5.655512e-03,5.693946e-03,5.707651e-03,5.731085e-03,5.754704e-03,5.765371e-03,5.796907e-03,5.825795e-03,5.834497e-03,5.852135e-03,5.867699e-03,5.876022e-03,5.896737e-03,5.897554e-03,5.916824e-03,5.921826e-03,5.933921e-03,5.943175e-03,5.948937e-03,5.960986e-03,5.961956e-03,5.973063e-03,5.975453e-03,5.982339e-03,5.986764e-03,5.989865e-03,5.995100e-03,5.995717e-03,5.999970e-03,6.000635e-03,6.002696e-03,6.003533e-03,6.003966e-03,6.003956e-03,6.003847e-03,6.002405e-03,6.002056e-03,5.999704e-03,5.997978e-03,5.995805e-03,5.991864e-03,5.990768e-03,5.984649e-03,5.983845e-03,5.977504e-03,5.974049e-03,5.969386e-03,5.962598e-03,5.960347e-03,5.950436e-03,5.949607e-03,5.939701e-03,5.935187e-03,5.928188e-03,5.919442e-03,5.915941e-03,5.903003e-03,5.902472e-03,5.889415e-03,5.884372e-03,5.875216e-03,5.865231e-03,5.860444e-03,5.845135e-03,5.824166e-03,5.802399e-03,5.779907e-03,5.756759e-03,5.733021e-03,5.708753e-03,5.684014e-03,5.658859e-03,5.633339e-03,5.607503e-03,5.581397e-03,5.555064e-03,5.528545e-03,5.501878e-03,5.475098e-03,5.448240e-03,5.421335e-03,5.394412e-03,5.367499e-03,5.340621e-03,5.313803e-03,5.287066e-03,5.260431e-03,5.233918e-03
0.000000e+00,7.587628e-10,2.203057e-09,1.059382e-08,2.961536e-08,4.721594e-08,1.278116e-07,1.324402e-07,2.890914e-07,3.488268e-07,5.395684e-07,7.438138e-07,9.051755e-07,1.360132e-06,1.405540e-06,2.057340e-06,2.237716e-06,2.871910e-06,3.400884e-06,3.852970e-06,4.851076e-06,4.996625e-06,6.293364e-06,6.569983e-06,7.730204e-06,8.527784e-06,9.292071e-06,1.068869e-05,1.096256e-05,1.272443e-05,1.301364e-05,1.456002e-05,1.546209e-05,1.645165e-05,1.799366e-05,1.838203e-05,2.033465e-05,2.056971e-05,2.229409e-05,2.315473e-05,2.424627e-05,2.571728e-05,2.617861e-05,2.808012e-05,2.823062e-05,2.994140e-05,3.067285e-05,3.175462e-05,3.302676e-05,3.351342e-05,3.521279e-05,3.527947e-05,3.684897e-05,3.742198e-05,3.841928e-05,3.944854e-05,3.992198e-05,4.135615e-05,4.272158e-05,4.314404e-05,4.401861e-05,4.481318e-05,4.524807e-05,4.636588e-05,4.641115e-05,4.750935e-05,4.780545e-05,4.854441e-05,4.913594e-05,4.951825e-05,5.036186e-05,5.043290e-05,5.129049e-05,5.148807e-05,5.209321e-05,5.251957e-05,5.284324e-05,5.346147e-05,5.354282e-05,5.419414e-05,5.431881e-05,5.479937e-05,5.509658e-05,5.536064e-05,5.579966e-05,5.588003e-05,5.635958e-05,5.643275e-05,5.680126e-05,5.700037e-05,5.720696e-05,5.750687e-05,5.757854e-05,5.791776e-05,5.795637e-05,5.822634e-05,5.835283e-05,5.850591e-05,5.869996e-05,5.875806e-05,5.898429e-05,5.900131e-05,5.918604e-05,5.926021e-05,5.936471e-05,5.947980e-05,5.952161e-05,5.965801e-05,5.966306e-05,5.977511e-05,5.981276e-05,5.987406e-05,5.993154e-05,5.995595e-05,6.002183e-05,6.007269e-05,6.008595e-05,6.010948e-05,6.012605e-05,6.013309e-05,6.014415e-05,6.014438e-05,6.014416e-05,6.014214e-05,6.013320e-05,6.012177e-05,6.011223e-05,6.008469e-05,6.008194e-05,6.004301e-05,6.003244e-05,5.999603e-05,5.996644e-05,5.994162e-05,5.988803e-05,5.988033e-05,5.981268e-05,5.979843e-05,5.973918e-05,5.969881e-05,5.966031e-05,5.959023e-05,5.957651e-05,5.948821e-05,5.947369e-05,5.939580e-05,5.935010e-05,5.929966e-05,5.922031e-05,5.920016e-05,5.909762e-05,5.908513e-05,5.899236e-05,5.894527e-05,5.888469e-05,5.880141e-05,5.877487e-05,5.866318e-05,5.865418e-05,5.854987e-05,5.850414e-05,5.843516e-05,5.835183e-05,5.831928e-05,5.820243e-05,5.819774e-05,5.808480e-05,5.804230e-05,5.796658e-05,5.788593e-05,5.784793e-05,5.772902e-05,5.757189e-05,5.741486e-05,5.725822e-05,5.710223e-05,5.694711e-05,5.679310e-05,5.664037e-05,5.648910e-05,5.633944e-05,5.619153e-05,5.604550e-05,5.590144e-05,5.575947e-05,5.561965e-05,5.548206e-05,5.534677e-05,5.521381e-05,5.508324e-05,5.495509e-05,5.482938e-05,5.470613e-05,5.458536e-05,5.446707e-05,5.435127e-05
0.000000e+00,1.726702e-08,5.147036e-08,2.610899e-07,7.655298e-07,1.252496e-06,3.623307e-06,3.764671e-06,8.779561e-06,1.078782e-05,1.747539e-05,2.502463e-05,3.122963e-05,4.968619e-05,5.159738e-05,8.018505e-05,8.843146e-05,1.183662e-04,1.442783e-04,1.669841e-04,2.185971e-04,2.262696e-04,2.959626e-04,3.111025e-04,3.754741e-04,4.204422e-04,4.640089e-04,5.446769e-04,5.606415e-04,6.643644e-04,6.815478e-04,7.741204e-04,8.286292e-04,8.888290e-04,9.834345e-04,1.007409e-03,1.128797e-03,1.143503e-03,1.251969e-03,1.306477e-03,1.375953e-03,1.470162e-03,1.499841e-03,1.622804e-03,1.632578e-03,1.744092e-03,1.791987e-03,1.863042e-03,1.946910e-03,1.979076e-03,2.091702e-03,2.096130e-03,2.200511e-03,2.238682e-03,2.305170e-03,2.373832e-03,2.405418e-03,2.501061e-03,2.591965e-03,2.620038e-03,2.678047e-03,2.730592e-03,2.759274e-03,2.832689e-03,2.835652e-03,2.907221e-03,2.926407e-03,2.974052e-03,3.011916e-03,3.036241e-03,3.089454e-03,3.093903e-03,3.147170e-03,3.159316e-03,3.196187e-03,3.221836e-03,3.241106e-03,3.277374e-03,3.282090e-03,3.319302e-03,3.326307e-03,3.352911e-03,3.369020e-03,3.383086e-03,3.405902e-03,3.409994e-03,3.433802e-03,3.437335e-03,3.454673e-03,3.463696e-03,3.472768e-03,3.485349e-03,3.488241e-03,3.501245e-03,3.502647e-03,3.511927e-03,3.515927e-03,3.520426e-03,3.525510e-03,3.526879e-03,3.531416e-03,3.531700e-03,3.534162e-03,3.534785e-03,3.535236e-03,3.535038e-03,3.534751e-03,3.532817e-03,3.532711e-03,3.529536e-03,3.528044e-03,3.525005e-03,3.521259e-03,3.519319e-03,3.512563e-03,3.504823e-03,3.502151e-03,3.496176e-03,3.490200e-03,3.486696e-03,3.476878e-03,3.476455e-03,3.465517e-03,3.462338e-03,3.453945e-03,3.446722e-03,3.441798e-03,3.430162e-03,3.429131e-03,3.415995e-03,3.412778e-03,3.402440e-03,3.394683e-03,3.388510e-03,3.375977e-03,3.374250e-03,3.359698e-03,3.356756e-03,3.344892e-03,3.337104e-03,3.329868e-03,3.317102e-03,3.314657e-03,3.299292e-03,3.296821e-03,3.283800e-03,3.276327e-03,3.268208e-03,3.255679e-03,3.252541e-03,3.236822e-03,3.234933e-03,3.221072e-03,3.214137e-03,3.205311e-03,3.193337e-03,3.189558e-03,3.173829e-03,3.172572e-03,3.158141e-03,3.151880e-03,3.142508e-03,3.131294e-03,3.126944e-03,3.111460e-03,3.110843e-03,3.096069e-03,3.090553e-03,3.080780e-03,3.070448e-03,3.065604e-03,3.050548e-03,3.030874e-03,3.011440e-03,2.992260e-03,2.973348e-03,2.954714e-03,2.936367e-03,2.918314e-03,2.900562e-03,2.883116e-03,2.865979e-03,2.849155e-03,2.832647e-03,2.816454e-03,2.800578e-03,2.785018e-03,2.769775e-03,2.754845e-03,2.740228e-03,2.725922e-03,2.711923e-03,2.698229e-03,2.684836e-03,2.671740e-03,2.658939e-03
0.000000e+00,1.066824e-09,2.876479e-09,1.213504e-08,3.079291e-08,4.691540e-08,1.154759e-07,1.192698e-07,2.438207e-07,2.902524e-07,4.372228e-07,5.941679e-07,7.184631e-07,1.070564e-06,1.105761e-06,1.608211e-06,1.745475e-06,2.218733e-06,2.600950e-06,2.918411e-06,3.591346e-06,3.686522e-06,4.505753e-06,4.674483e-06,5.362478e-06,5.819021e-06,6.245533e-06,7.000494e-06,7.145178e-06,8.052543e-06,8.197880e-06,8.959412e-06,9.392280e-06,9.858201e-06,1.056676e-05,1.074203e-05,1.160478e-05,1.170664e-05,1.244119e-05,1.279971e-05,1.324687e-05,1.383642e-05,1.401828e-05,1.475273e-05,1.480983e-05,1.544831e-05,1.571536e-05,1.610378e-05,1.655052e-05,1.671854e-05,1.729251e-05,1.731462e-05,1.782605e-05,1.800835e-05,1.831986e-05,1.863347e-05,1.877497e-05,1.919259e-05,1.957412e-05,1.968884e-05,1.992109e-05,2.012575e-05,2.023509e-05,2.050703e-05,2.051775e-05,2.077074e-05,2.083649e-05,2.099572e-05,2.111793e-05,2.119429e-05,2.135504e-05,2.136806e-05,2.151858e-05,2.155140e-05,2.164732e-05,2.171044e-05,2.175571e-05,2.183537e-05,2.184514e-05,2.191689e-05,2.192923e-05,2.197221e-05,2.199487e-05,2.201227e-05,2.203495e-05,2.203819e-05,2.205101e-05,2.205191e-05,2.205173e-05,2.204805e-05,2.204127e-05,2.202546e-05,2.202053e-05,2.199031e-05,2.198608e-05,2.195139e-05,2.193171e-05,2.190451e-05,2.186397e-05,2.185033e-05,2.178950e-05,2.178437e-05,2.172262e-05,2.169429e-05,2.165022e-05,2.159499e-05,2.157285e-05,2.149098e-05,2.148762e-05,2.140506e-05,2.137322e-05,2.131552e-05,2.125277e-05,2.122276e-05,2.112713e-05,2.102898e-05,2.099710e-05,2.092863e-05,2.086339e-05,2.082637e-05,2.072666e-05,2.072248e-05,2.061720e-05,2.058751e-05,2.051078e-05,2.044647e-05,2.040344e-05,2.030403e-05,2.029536e-05,2.018675e-05,2.016062e-05,2.007777e-05,2.001665e-05,1.996859e-05,1.987245e-05,1.985935e-05,1.975018e-05,1.972837e-05,1.964121e-05,1.958466e-05,1.953256e-05,1.944161e-05,1.942432e-05,1.931660e-05,1.929942e-05,1.920949e-05,1.915831e-05,1.910305e-05,1.901845e-05,1.899737e-05,1.889252e-05,1.887999e-05,1.878854e-05,1.874308e-05,1.868550e-05,1.860784e-05,1.858344e-05,1.848240e-05,1.847436e-05,1.838243e-05,1.834275e-05,1.828356e-05,1.821308e-05,1.818582e-05,1.808924e-05,1.808540e-05,1.799383e-05,1.795978e-05,1.789963e-05,1.783626e-05,1.780663e-05,1.771487e-05,1.759565e-05,1.747860e-05,1.736375e-05,1.725109e-05,1.714064e-05,1.703239e-05,1.692633e-05,1.682244e-05,1.672073e-05,1.662116e-05,1.652372e-05,1.642839e-05,1.633513e-05,1.624394e-05,1.615476e-05,1.606759e-05,1.598238e-05,1.589911e-05,1.581774e-05,1.573824e-05,1.566058e-05,1.558472e-05,1.551063e-05,1.543828e-05
0.000000e+00,4.199535e-10,1.018888e-09,3.731695e-09,8.744797e-09,1.289731e-08,2.980639e-08,3.072020e-08,5.998202e-08,7.061529e-08,1.035759e-07,1.378590e-07,1.644825e-07,2.379903e-07,2.452142e-07,3.467483e-07,3.741521e-07,4.683399e-07,5.446584e-07,6.085533e-07,7.462322e-07,7.659913e-07,9.393694e-07,9.758457e-07,1.127399e-06,1.230510e-06,1.328697e-06,1.506938e-06,1.541750e-06,1.764926e-06,1.801459e-06,1.996497e-06,2.110112e-06,2.234685e-06,2.428800e-06,2.477706e-06,2.723812e-06,2.753471e-06,2.971329e-06,3.080275e-06,3.218687e-06,3.405678e-06,3.464441e-06,3.707294e-06,3.726561e-06,3.946094e-06,4.040251e-06,4.179846e-06,4.344541e-06,4.407704e-06,4.628968e-06,4.637673e-06,4.843070e-06,4.918305e-06,5.049569e-06,5.185472e-06,5.248133e-06,5.438532e-06,5.620622e-06,5.677123e-06,5.794336e-06,5.901113e-06,5.959670e-06,6.110556e-06,6.116677e-06,6.265456e-06,6.305657e-06,6.406142e-06,6.486737e-06,6.538901e-06,6.654202e-06,6.663924e-06,6.781421e-06,6.808524e-06,6.891614e-06,6.950220e-06,6.994739e-06,7.079833e-06,7.091036e-06,7.180751e-06,7.197925e-06,7.264129e-06,7.305064e-06,7.341419e-06,7.401817e-06,7.412866e-06,7.478712e-06,7.488744e-06,7.539197e-06,7.566394e-06,7.594553e-06,7.635300e-06,7.645011e-06,7.690791e-06,7.695981e-06,7.732112e-06,7.748935e-06,7.769183e-06,7.794641e-06,7.802209e-06,7.831385e-06,7.833559e-06,7.856903e-06,7.866126e-06,7.878945e-06,7.892763e-06,7.897688e-06,7.913304e-06,7.913866e-06,7.925954e-06,7.929813e-06,7.935797e-06,7.940964e-06,7.942983e-06,7.947658e-06,7.949960e-06,7.950217e-06,7.950022e-06,7.948945e-06,7.947971e-06,7.944129e-06,7.943931e-06,7.938017e-06,7.936040e-06,7.930341e-06,7.924934e-06,7.921009e-06,7.911051e-06,7.910125e-06,7.897785e-06,7.894617e-06,7.884082e-06,7.875846e-06,7.869105e-06,7.854938e-06,7.852938e-06,7.835662e-06,7.832080e-06,7.817353e-06,7.807449e-06,7.798086e-06,7.781211e-06,7.777929e-06,7.756949e-06,7.753520e-06,7.735209e-06,7.724522e-06,7.712770e-06,7.694353e-06,7.689687e-06,7.666016e-06,7.663139e-06,7.641808e-06,7.630999e-06,7.617111e-06,7.598044e-06,7.591973e-06,7.566437e-06,7.564378e-06,7.540544e-06,7.530096e-06,7.514335e-06,7.495290e-06,7.487847e-06,7.461116e-06,7.460042e-06,7.434174e-06,7.424430e-06,7.407054e-06,7.388526e-06,7.379785e-06,7.352397e-06,7.316106e-06,7.279710e-06,7.243262e-06,7.206811e-06,7.170403e-06,7.134079e-06,7.097878e-06,7.061836e-06,7.025983e-06,6.990351e-06,6.954966e-06,6.919852e-06,6.885032e-06,6.850527e-06,6.816353e-06,6.782529e-06,6.749068e-06,6.715983e-06,6.683286e-06,6.650987e-06,6.619094e-06,6.587616e-06,6.556559e-06,6.525928e-06
0.000000e+00,1.353427e-11,3.092853e-11,1.058781e-10,2.397639e-10,3.488267e-10,7.851250e-10,8.084693e-10,1.548230e-09,1.814203e-09,2.631973e-09,3.474848e-09,4.126104e-09,5.921270e-09,6.098123e-09,8.606722e-09,9.292801e-09,1.168080e-08,1.364398e-08,1.530071e-08,1.888896e-08,1.940434e-08,2.391272e-08,2.485612e-08,2.874990e-08,3.137262e-08,3.384898e-08,3.829136e-08,3.915110e-08,4.460299e-08,4.548584e-08,5.015519e-08,5.284214e-08,5.576125e-08,6.025542e-08,6.137749e-08,6.696325e-08,6.762968e-08,7.248121e-08,7.487882e-08,7.789773e-08,8.192805e-08,8.318316e-08,8.831190e-08,8.871476e-08,9.326251e-08,9.518885e-08,9.801757e-08,1.013124e-07,1.025635e-07,1.068902e-07,1.070586e-07,1.109910e-07,1.124112e-07,1.148621e-07,1.173624e-07,1.185020e-07,1.219115e-07,1.250932e-07,1.260639e-07,1.280513e-07,1.298297e-07,1.307913e-07,1.332224e-07,1.333196e-07,1.356433e-07,1.362583e-07,1.377701e-07,1.389551e-07,1.397082e-07,1.413317e-07,1.414659e-07,1.430517e-07,1.434077e-07,1.444742e-07,1.452026e-07,1.457418e-07,1.467358e-07,1.468629e-07,1.478455e-07,1.480262e-07,1.486977e-07,1.490918e-07,1.494271e-07,1.499503e-07,1.500411e-07,1.505468e-07,1.506181e-07,1.509510e-07,1.511110e-07,1.512604e-07,1.514437e-07,1.514810e-07,1.516189e-07,1.516301e-07,1.516796e-07,1.516833e-07,1.516686e-07,1.516153e-07,1.515908e-07,1.514512e-07,1.514375e-07,1.512542e-07,1.511604e-07,1.510042e-07,1.507937e-07,1.507052e-07,1.503611e-07,1.503464e-07,1.499754e-07,1.498270e-07,1.495515e-07,1.492431e-07,1.490927e-07,1.486020e-07,1.480821e-07,1.479100e-07,1.475357e-07,1.471733e-07,1.469654e-07,1.463975e-07,1.463734e-07,1.457620e-07,1.455876e-07,1.451332e-07,1.447483e-07,1.444889e-07,1.438840e-07,1.438309e-07,1.431610e-07,1.429986e-07,1.424807e-07,1.420957e-07,1.417914e-07,1.411785e-07,1.410945e-07,1.403913e-07,1.402500e-07,1.396831e-07,1.393131e-07,1.389708e-07,1.383702e-07,1.382556e-07,1.375383e-07,1.374235e-07,1.368200e-07,1.364751e-07,1.361014e-07,1.355268e-07,1.353832e-07,1.346663e-07,1.345803e-07,1.339511e-07,1.336372e-07,1.332385e-07,1.326988e-07,1.325288e-07,1.318226e-07,1.317663e-07,1.311205e-07,1.308408e-07,1.304227e-07,1.299233e-07,1.297298e-07,1.290420e-07,1.290146e-07,1.283597e-07,1.281155e-07,1.276832e-07,1.272267e-07,1.270128e-07,1.263487e-07,1.254821e-07,1.246274e-07,1.237848e-07,1.229547e-07,1.221374e-07,1.213331e-07,1.205419e-07,1.197640e-07,1.189995e-07,1.182484e-07,1.175108e-07,1.167866e-07,1.160759e-07,1.153785e-07,1.146945e-07,1.140237e-07,1.133660e-07,1.127214e-07,1.120896e-07,1.114705e-07,1.108641e-07,1.102701e-07,1.096883e-07,1.091187e-07
0.000000e+00,5.991404e-10,1.682970e-09,7.605001e-09,2.022598e-08,3.145305e-08,8.040335e-08,8.313765e-08,1.729958e-07,2.063083e-07,3.105034e-07,4.195049e-07,5.042917e-07,7.389895e-07,7.621424e-07,1.090864e-06,1.180951e-06,1.495995e-06,1.757741e-06,1.981308e-06,2.475827e-06,2.548117e-06,3.194501e-06,3.332890e-06,3.914696e-06,4.315309e-06,4.699082e-06,5.398410e-06,5.535062e-06,6.408622e-06,6.550942e-06,7.305955e-06,7.741388e-06,8.214585e-06,8.942408e-06,9.123871e-06,1.002504e-05,1.013229e-05,1.091102e-05,1.129454e-05,1.177617e-05,1.241699e-05,1.261607e-05,1.342734e-05,1.349092e-05,1.420745e-05,1.451034e-05,1.495460e-05,1.547148e-05,1.566764e-05,1.634593e-05,1.637233e-05,1.698925e-05,1.721230e-05,1.759776e-05,1.799188e-05,1.817190e-05,1.871236e-05,1.921998e-05,1.937565e-05,1.969577e-05,1.998407e-05,2.014082e-05,2.054023e-05,2.055629e-05,2.094340e-05,2.104687e-05,2.130336e-05,2.150683e-05,2.163742e-05,2.192294e-05,2.194681e-05,2.223273e-05,2.229799e-05,2.249636e-05,2.263469e-05,2.273885e-05,2.293566e-05,2.296134e-05,2.316490e-05,2.320344e-05,2.335058e-05,2.344039e-05,2.351936e-05,2.364878e-05,2.367221e-05,2.381003e-05,2.383075e-05,2.393372e-05,2.398830e-05,2.404408e-05,2.412332e-05,2.414192e-05,2.422798e-05,2.423755e-05,2.430298e-05,2.433265e-05,2.436760e-05,2.441016e-05,2.442248e-05,2.446822e-05,2.447151e-05,2.450541e-05,2.451802e-05,2.453459e-05,2.455093e-05,2.455628e-05,2.457096e-05,2.457141e-05,2.457910e-05,2.458051e-05,2.458113e-05,2.457923e-05,2.457746e-05,2.456848e-05,2.455457e-05,2.454913e-05,2.453606e-05,2.452195e-05,2.451328e-05,2.448770e-05,2.448655e-05,2.445616e-05,2.444703e-05,2.442238e-05,2.440059e-05,2.438546e-05,2.434894e-05,2.434566e-05,2.430320e-05,2.429264e-05,2.425831e-05,2.423217e-05,2.421117e-05,2.416800e-05,2.416200e-05,2.411097e-05,2.410055e-05,2.405824e-05,2.403021e-05,2.400399e-05,2.395734e-05,2.394836e-05,2.389148e-05,2.388228e-05,2.383351e-05,2.380532e-05,2.377455e-05,2.372676e-05,2.371474e-05,2.365417e-05,2.364686e-05,2.359295e-05,2.356584e-05,2.353119e-05,2.348393e-05,2.346896e-05,2.340636e-05,2.340134e-05,2.334347e-05,2.331825e-05,2.328035e-05,2.323482e-05,2.321709e-05,2.315375e-05,2.315121e-05,2.309038e-05,2.306757e-05,2.302704e-05,2.298402e-05,2.296379e-05,2.290068e-05,2.281766e-05,2.273505e-05,2.265295e-05,2.257144e-05,2.249058e-05,2.241045e-05,2.233109e-05,2.225257e-05,2.217492e-05,2.209820e-05,2.202244e-05,2.194766e-05,2.187390e-05,2.180118e-05,2.172953e-05,2.165895e-05,2.158947e-05,2.152109e-05,2.145382e-05,2.138767e-05,2.132264e-05,2.125874e-05,2.119597e-05,2.113432e-05
0.000000e+00,1.602693e-09,4.762471e-09,2.399896e-08,6.992710e-08,1.140015e-07,3.265800e-07,3.391796e-07,7.825072e-07,9.584827e-07,1.539808e-06,2.189315e-06,2.719065e-06,4.279272e-06,4.439840e-06,6.829271e-06,7.516199e-06,1.000977e-05,1.217418e-05,1.407830e-05,1.843688e-05,1.908843e-05,2.504701e-05,2.635035e-05,3.192327e-05,3.584372e-05,3.966126e-05,4.677527e-05,4.818971e-05,5.742851e-05,5.896700e-05,6.729263e-05,7.222384e-05,7.769445e-05,8.634355e-05,8.854542e-05,9.975722e-05,1.011227e-04,1.112429e-04,1.163615e-04,1.229179e-04,1.318675e-04,1.347011e-04,1.465156e-04,1.474599e-04,1.582896e-04,1.629729e-04,1.699571e-04,1.782580e-04,1.814584e-04,1.927402e-04,1.931862e-04,2.037559e-04,2.076486e-04,2.144657e-04,2.215563e-04,2.248362e-04,2.348403e-04,2.444567e-04,2.474493e-04,2.536695e-04,2.593486e-04,2.624677e-04,2.705181e-04,2.708450e-04,2.787988e-04,2.809500e-04,2.863300e-04,2.906474e-04,2.934425e-04,2.996217e-04,3.001427e-04,3.064392e-04,3.078914e-04,3.123421e-04,3.154801e-04,3.178630e-04,3.224155e-04,3.230146e-04,3.278103e-04,3.287279e-04,3.322640e-04,3.344495e-04,3.363900e-04,3.396132e-04,3.402028e-04,3.437169e-04,3.442524e-04,3.469466e-04,3.484000e-04,3.499060e-04,3.520882e-04,3.526089e-04,3.550688e-04,3.553483e-04,3.572987e-04,3.582102e-04,3.593111e-04,3.607027e-04,3.611183e-04,3.627318e-04,3.628528e-04,3.641627e-04,3.646863e-04,3.654217e-04,3.662274e-04,3.665189e-04,3.674638e-04,3.674986e-04,3.682658e-04,3.685212e-04,3.689334e-04,3.693149e-04,3.694750e-04,3.698983e-04,3.702108e-04,3.702885e-04,3.704193e-04,3.705013e-04,3.705306e-04,3.705517e-04,3.705508e-04,3.704859e-04,3.704532e-04,3.703414e-04,3.702187e-04,3.701226e-04,3.698598e-04,3.698343e-04,3.694813e-04,3.693875e-04,3.690680e-04,3.688117e-04,3.685985e-04,3.681419e-04,3.680767e-04,3.675062e-04,3.673866e-04,3.668906e-04,3.665538e-04,3.662331e-04,3.656507e-04,3.655369e-04,3.648047e-04,3.646844e-04,3.640393e-04,3.636609e-04,3.632433e-04,3.625861e-04,3.624191e-04,3.615690e-04,3.614653e-04,3.606951e-04,3.603036e-04,3.597995e-04,3.591054e-04,3.588840e-04,3.579505e-04,3.578751e-04,3.570006e-04,3.566165e-04,3.560360e-04,3.553331e-04,3.550581e-04,3.540683e-04,3.540285e-04,3.530680e-04,3.527055e-04,3.520584e-04,3.513671e-04,3.510406e-04,3.500159e-04,3.486543e-04,3.472846e-04,3.459087e-04,3.445287e-04,3.431462e-04,3.417628e-04,3.403801e-04,3.389994e-04,3.376220e-04,3.362490e-04,3.348816e-04,3.335205e-04,3.321669e-04,3.308214e-04,3.294849e-04,3.281579e-04,3.268412e-04,3.255352e-04,3.242406e-04,3.229577e-04,3.216869e-04,3.204287e-04,3.191833e-04,3.179511e-04
0.000000e+00,2.628934e-08,7.867453e-08,4.022137e-07,1.186861e-06,1.947826e-06,5.668768e-06,5.890956e-06,1.376684e-05,1.691185e-05,2.733149e-05,3.898754e-05,4.848520e-05,7.634617e-05,7.920234e-05,1.214638e-04,1.335398e-04,1.771884e-04,2.149475e-04,2.481596e-04,3.244779e-04,3.359450e-04,4.418074e-04,4.652333e-04,5.666139e-04,6.391520e-04,7.107624e-04,8.467335e-04,8.741498e-04,1.056196e-03,1.086994e-03,1.255915e-03,1.357684e-03,1.472002e-03,1.655633e-03,1.702925e-03,1.947000e-03,1.977089e-03,2.202458e-03,2.318000e-03,2.467494e-03,2.674224e-03,2.740317e-03,3.019176e-03,3.041694e-03,3.302393e-03,3.416541e-03,3.588381e-03,3.795173e-03,3.875660e-03,4.162866e-03,4.174335e-03,4.448756e-03,4.551135e-03,4.732211e-03,4.923055e-03,5.012233e-03,5.287944e-03,5.558580e-03,5.644002e-03,5.823486e-03,5.989757e-03,6.082104e-03,6.324032e-03,6.333973e-03,6.578715e-03,6.645923e-03,6.816031e-03,6.954758e-03,7.045692e-03,7.250076e-03,7.267532e-03,7.481440e-03,7.531590e-03,7.687356e-03,7.799170e-03,7.885262e-03,8.052811e-03,8.075181e-03,8.257164e-03,8.292616e-03,8.431296e-03,8.518776e-03,8.597683e-03,8.731555e-03,8.756452e-03,8.907749e-03,8.931273e-03,9.051732e-03,9.118296e-03,9.188573e-03,9.293025e-03,9.318452e-03,9.441557e-03,9.455884e-03,9.558081e-03,9.607317e-03,9.668220e-03,9.747780e-03,9.772176e-03,9.870147e-03,9.877732e-03,9.962336e-03,9.997638e-03,1.004894e-02,1.010796e-02,1.013017e-02,1.020621e-02,1.020914e-02,1.027725e-02,1.030164e-02,1.034350e-02,1.038590e-02,1.040513e-02,1.046234e-02,1.051529e-02,1.053137e-02,1.056418e-02,1.059340e-02,1.060916e-02,1.064882e-02,1.065040e-02,1.068807e-02,1.069800e-02,1.072232e-02,1.074129e-02,1.075331e-02,1.077905e-02,1.078117e-02,1.080606e-02,1.081161e-02,1.082812e-02,1.083928e-02,1.084747e-02,1.086236e-02,1.086424e-02,1.087857e-02,1.088115e-02,1.089056e-02,1.089592e-02,1.090034e-02,1.090692e-02,1.090801e-02,1.091369e-02,1.091442e-02,1.091747e-02,1.091864e-02,1.091946e-02,1.091982e-02,1.091975e-02,1.091842e-02,1.091816e-02,1.091558e-02,1.091387e-02,1.091131e-02,1.090714e-02,1.090567e-02,1.089876e-02,1.089816e-02,1.089065e-02,1.088709e-02,1.088141e-02,1.087409e-02,1.087110e-02,1.085979e-02,1.085932e-02,1.084755e-02,1.084293e-02,1.083444e-02,1.082505e-02,1.082051e-02,1.080581e-02,1.078534e-02,1.076373e-02,1.074112e-02,1.071759e-02,1.069324e-02,1.066816e-02,1.064243e-02,1.061614e-02,1.058935e-02,1.056214e-02,1.053457e-02,1.050670e-02,1.047858e-02,1.045028e-02,1.042183e-02,1.039329e-02,1.036470e-02,1.033609e-02,1.030750e-02,1.027897e-02,1.025053e-02,1.022221e-02,1.019403e-02,1.016602e-02
0.000000e+00,2.871793e-10,7.072663e-10,2.630070e-09,6.196618e-09,9.150630e-09,2.115141e-08,2.179862e-08,4.245857e-08,4.993876e-08,7.305357e-08,9.701660e-08,1.156060e-07,1.671094e-07,1.722018e-07,2.447702e-07,2.647281e-07,3.345817e-07,3.924481e-07,4.415499e-07,5.484583e-07,5.638469e-07,6.983464e-07,7.264016e-07,8.415795e-07,9.184590e-07,9.904444e-07,1.117987e-06,1.142426e-06,1.295532e-06,1.320022e-06,1.448168e-06,1.520874e-06,1.599029e-06,1.717708e-06,1.747035e-06,1.891286e-06,1.908308e-06,2.031043e-06,2.090954e-06,2.165710e-06,2.264361e-06,2.294820e-06,2.418034e-06,2.427628e-06,2.535116e-06,2.580199e-06,2.645932e-06,2.721808e-06,2.750431e-06,2.848636e-06,2.852435e-06,2.940629e-06,2.972250e-06,3.026541e-06,3.081573e-06,3.106542e-06,3.180831e-06,3.249629e-06,3.270522e-06,3.313170e-06,3.351190e-06,3.371699e-06,3.423402e-06,3.425464e-06,3.474714e-06,3.487729e-06,3.519695e-06,3.544735e-06,3.560648e-06,3.594967e-06,3.597805e-06,3.631394e-06,3.638949e-06,3.661631e-06,3.677177e-06,3.688723e-06,3.710119e-06,3.712867e-06,3.734252e-06,3.738213e-06,3.753054e-06,3.761866e-06,3.769441e-06,3.781456e-06,3.783572e-06,3.795595e-06,3.797333e-06,3.805652e-06,3.809820e-06,3.813874e-06,3.819213e-06,3.820384e-06,3.825300e-06,3.825788e-06,3.828730e-06,3.829796e-06,3.830777e-06,3.831467e-06,3.831537e-06,3.831099e-06,3.831015e-06,3.829548e-06,3.828634e-06,3.826963e-06,3.824502e-06,3.823417e-06,3.818980e-06,3.818784e-06,3.813716e-06,3.811630e-06,3.807686e-06,3.803177e-06,3.800947e-06,3.793552e-06,3.785552e-06,3.782871e-06,3.776991e-06,3.771240e-06,3.767916e-06,3.758756e-06,3.758365e-06,3.748378e-06,3.745508e-06,3.737990e-06,3.731579e-06,3.727236e-06,3.717045e-06,3.716146e-06,3.704750e-06,3.701973e-06,3.693076e-06,3.686427e-06,3.681150e-06,3.670466e-06,3.668997e-06,3.656638e-06,3.654143e-06,3.644095e-06,3.637507e-06,3.631389e-06,3.620602e-06,3.618537e-06,3.605558e-06,3.603471e-06,3.592468e-06,3.586150e-06,3.579283e-06,3.568675e-06,3.566016e-06,3.552682e-06,3.551078e-06,3.539292e-06,3.533387e-06,3.525860e-06,3.515630e-06,3.512396e-06,3.498911e-06,3.497831e-06,3.485413e-06,3.480013e-06,3.471913e-06,3.462197e-06,3.458419e-06,3.444939e-06,3.444401e-06,3.431481e-06,3.426642e-06,3.418050e-06,3.408937e-06,3.404655e-06,3.391301e-06,3.373745e-06,3.356283e-06,3.338924e-06,3.321680e-06,3.304559e-06,3.287570e-06,3.270719e-06,3.254014e-06,3.237459e-06,3.221062e-06,3.204826e-06,3.188756e-06,3.172855e-06,3.157127e-06,3.141575e-06,3.126201e-06,3.111007e-06,3.095994e-06,3.081165e-06,3.066521e-06,3.052062e-06,3.037788e-06,3.023701e-06,3.009801e-06
0.000000e+00,2.140761e-09,6.203125e-09,2.971312e-08,8.280733e-08,1.318263e-07,3.558342e-07,3.686902e-07,8.039605e-07,9.701707e-07,1.502208e-06,2.074483e-06,2.528638e-06,3.819117e-06,3.948723e-06,5.824535e-06,6.348388e-06,8.204024e-06,9.764920e-06,1.110553e-05,1.407692e-05,1.451081e-05,1.837397e-05,1.919647e-05,2.263644e-05,2.499049e-05,2.723740e-05,3.132066e-05,3.211801e-05,3.722233e-05,3.805617e-05,4.249693e-05,4.507412e-05,4.789065e-05,5.225843e-05,5.335456e-05,5.884226e-05,5.950029e-05,6.431039e-05,6.669976e-05,6.971911e-05,7.376779e-05,7.503258e-05,8.021925e-05,8.062786e-05,8.525203e-05,8.721684e-05,9.010830e-05,9.348509e-05,9.476978e-05,9.922229e-05,9.939588e-05,1.034555e-04,1.049243e-04,1.074623e-04,1.100556e-04,1.112390e-04,1.147842e-04,1.180989e-04,1.191114e-04,1.211861e-04,1.230445e-04,1.240501e-04,1.265949e-04,1.266967e-04,1.291325e-04,1.297778e-04,1.313650e-04,1.326101e-04,1.334020e-04,1.351107e-04,1.352520e-04,1.369234e-04,1.372989e-04,1.384249e-04,1.391947e-04,1.397650e-04,1.408177e-04,1.409525e-04,1.419955e-04,1.421875e-04,1.429024e-04,1.433229e-04,1.436812e-04,1.442420e-04,1.443395e-04,1.448849e-04,1.449621e-04,1.453244e-04,1.454998e-04,1.456649e-04,1.458705e-04,1.459130e-04,1.460749e-04,1.460888e-04,1.461566e-04,1.461685e-04,1.461636e-04,1.461224e-04,1.461015e-04,1.459752e-04,1.459625e-04,1.457896e-04,1.456997e-04,1.455491e-04,1.453446e-04,1.452583e-04,1.449209e-04,1.449065e-04,1.445410e-04,1.443945e-04,1.441221e-04,1.438167e-04,1.436675e-04,1.431805e-04,1.426641e-04,1.424931e-04,1.421210e-04,1.417607e-04,1.415539e-04,1.409892e-04,1.409653e-04,1.403575e-04,1.401842e-04,1.397327e-04,1.393504e-04,1.390928e-04,1.384925e-04,1.384398e-04,1.377755e-04,1.376145e-04,1.371015e-04,1.367204e-04,1.364193e-04,1.358134e-04,1.357304e-04,1.350362e-04,1.348968e-04,1.343378e-04,1.339734e-04,1.336364e-04,1.330458e-04,1.329332e-04,1.322290e-04,1.321163e-04,1.315248e-04,1.311870e-04,1.308214e-04,1.302599e-04,1.301197e-04,1.294204e-04,1.293367e-04,1.287241e-04,1.284188e-04,1.280314e-04,1.275077e-04,1.273428e-04,1.266590e-04,1.266045e-04,1.259804e-04,1.257104e-04,1.253073e-04,1.248264e-04,1.246402e-04,1.239794e-04,1.239531e-04,1.233253e-04,1.230915e-04,1.226780e-04,1.222420e-04,1.220380e-04,1.214053e-04,1.205818e-04,1.197719e-04,1.189760e-04,1.181942e-04,1.174268e-04,1.166739e-04,1.159356e-04,1.152120e-04,1.145032e-04,1.138090e-04,1.131296e-04,1.124647e-04,1.118143e-04,1.111783e-04,1.105565e-04,1.099489e-04,1.093552e-04,1.087753e-04,1.082089e-04,1.076559e-04,1.071161e-04,1.065892e-04,1.060750e-04,1.055733e-04
0.000000e+00,1.452821e-09,4.052272e-09,1.805968e-08,4.749412e-08,7.346017e-08,1.858353e-07,1.920979e-07,3.983369e-07,4.752573e-07,7.182192e-07,9.766860e-07,1.180839e-06,1.758792e-06,1.816686e-06,2.649438e-06,2.879497e-06,3.681454e-06,4.337177e-06,4.885044e-06,6.047654e-06,6.211567e-06,7.609478e-06,7.893651e-06,9.035884e-06,9.777921e-06,1.045898e-05,1.163499e-05,1.185604e-05,1.321070e-05,1.342265e-05,1.451086e-05,1.511283e-05,1.574748e-05,1.668639e-05,1.691377e-05,1.800490e-05,1.813062e-05,1.901771e-05,1.943806e-05,1.995057e-05,2.060584e-05,2.080317e-05,2.157641e-05,2.163489e-05,2.227217e-05,2.252936e-05,2.289317e-05,2.329589e-05,2.344282e-05,2.392491e-05,2.394285e-05,2.434350e-05,2.447947e-05,2.470288e-05,2.491565e-05,2.500738e-05,2.526137e-05,2.546907e-05,2.552643e-05,2.563457e-05,2.572016e-05,2.576177e-05,2.585126e-05,2.585435e-05,2.591574e-05,2.592778e-05,2.594914e-05,2.595699e-05,2.595752e-05,2.594547e-05,2.594360e-05,2.590987e-05,2.589909e-05,2.585861e-05,2.582303e-05,2.579190e-05,2.572190e-05,2.571161e-05,2.561943e-05,2.559971e-05,2.551692e-05,2.545999e-05,2.540544e-05,2.530580e-05,2.528626e-05,2.516048e-05,2.513982e-05,2.502912e-05,2.496436e-05,2.489309e-05,2.478143e-05,2.475317e-05,2.461010e-05,2.459276e-05,2.446453e-05,2.439984e-05,2.431703e-05,2.420395e-05,2.416811e-05,2.401823e-05,2.400621e-05,2.386781e-05,2.380756e-05,2.371719e-05,2.360882e-05,2.356671e-05,2.341665e-05,2.341066e-05,2.326726e-05,2.321369e-05,2.311876e-05,2.301839e-05,2.297135e-05,2.282520e-05,2.268047e-05,2.263447e-05,2.253727e-05,2.244649e-05,2.239573e-05,2.226151e-05,2.225595e-05,2.211800e-05,2.207972e-05,2.198197e-05,2.190129e-05,2.184790e-05,2.172635e-05,2.171586e-05,2.158588e-05,2.155499e-05,2.145799e-05,2.138730e-05,2.133223e-05,2.122332e-05,2.120860e-05,2.108713e-05,2.106310e-05,2.096782e-05,2.090663e-05,2.085067e-05,2.075394e-05,2.073568e-05,2.062285e-05,2.060500e-05,2.051217e-05,2.045980e-05,2.040362e-05,2.031831e-05,2.029720e-05,2.019288e-05,2.018050e-05,2.009065e-05,2.004632e-05,1.999048e-05,1.991572e-05,1.989236e-05,1.979625e-05,1.978865e-05,1.970214e-05,1.966505e-05,1.961000e-05,1.954487e-05,1.951981e-05,1.943152e-05,1.942803e-05,1.934512e-05,1.931448e-05,1.926058e-05,1.920414e-05,1.917787e-05,1.909695e-05,1.899284e-05,1.889174e-05,1.879358e-05,1.869829e-05,1.860580e-05,1.851604e-05,1.842895e-05,1.834444e-05,1.826246e-05,1.818294e-05,1.810581e-05,1.803101e-05,1.795847e-05,1.788814e-05,1.781994e-05,1.775382e-05,1.768973e-05,1.762759e-05,1.756736e-05,1.750898e-05,1.745240e-05,1.739756e-05,1.734441e-05,1.729290e-05
0.000000e+00,1.030296e-08,3.080912e-08,1.572852e-07,4.636911e-07,7.607601e-07,2.214367e-06,2.301251e-06,5.388603e-06,6.625715e-06,1.074152e-05,1.537521e-05,1.917183e-05,3.039924e-05,3.155652e-05,4.876864e-05,5.370595e-05,7.156529e-05,8.698563e-05,1.004978e-04,1.312994e-04,1.358943e-04,1.778874e-04,1.870775e-04,2.264473e-04,2.542433e-04,2.814076e-04,3.323165e-04,3.424853e-04,4.092981e-04,4.204904e-04,4.813821e-04,5.177017e-04,5.582093e-04,6.227014e-04,6.392055e-04,7.237679e-04,7.341259e-04,8.112813e-04,8.505638e-04,9.011329e-04,9.706151e-04,9.927247e-04,1.085484e-03,1.092938e-03,1.178870e-03,1.216287e-03,1.272383e-03,1.339532e-03,1.365564e-03,1.457998e-03,1.461675e-03,1.549317e-03,1.581855e-03,1.639196e-03,1.699346e-03,1.727353e-03,1.813547e-03,1.897576e-03,1.923980e-03,1.979272e-03,2.030270e-03,2.058501e-03,2.132141e-03,2.135156e-03,2.209160e-03,2.229398e-03,2.280456e-03,2.321919e-03,2.349010e-03,2.409644e-03,2.414806e-03,2.477843e-03,2.492562e-03,2.538134e-03,2.570707e-03,2.595705e-03,2.644145e-03,2.650591e-03,2.702835e-03,2.712971e-03,2.752489e-03,2.777303e-03,2.799608e-03,2.837275e-03,2.844255e-03,2.886494e-03,2.893033e-03,2.926392e-03,2.944733e-03,2.964021e-03,2.992537e-03,2.999450e-03,3.032752e-03,3.036609e-03,3.064000e-03,3.077117e-03,3.093267e-03,3.114228e-03,3.120623e-03,3.146140e-03,3.148105e-03,3.169890e-03,3.178910e-03,3.191941e-03,3.206803e-03,3.212360e-03,3.231215e-03,3.231938e-03,3.248570e-03,3.254463e-03,3.264489e-03,3.274524e-03,3.279032e-03,3.292259e-03,3.304228e-03,3.307802e-03,3.314995e-03,3.321281e-03,3.324615e-03,3.332818e-03,3.333138e-03,3.340616e-03,3.342529e-03,3.347097e-03,3.350527e-03,3.352629e-03,3.356918e-03,3.357256e-03,3.361021e-03,3.361801e-03,3.363966e-03,3.365273e-03,3.366132e-03,3.367424e-03,3.367557e-03,3.368278e-03,3.368341e-03,3.368330e-03,3.368104e-03,3.367747e-03,3.366791e-03,3.366563e-03,3.364807e-03,3.364475e-03,3.362510e-03,3.361224e-03,3.359702e-03,3.357104e-03,3.356408e-03,3.352656e-03,3.352176e-03,3.348471e-03,3.346498e-03,3.343876e-03,3.340125e-03,3.338896e-03,3.333551e-03,3.333108e-03,3.327862e-03,3.325496e-03,3.321851e-03,3.317334e-03,3.315536e-03,3.308935e-03,3.308666e-03,3.302067e-03,3.299532e-03,3.294947e-03,3.289971e-03,3.287593e-03,3.280018e-03,3.269708e-03,3.259072e-03,3.248140e-03,3.236940e-03,3.225499e-03,3.213841e-03,3.201990e-03,3.189968e-03,3.177795e-03,3.165490e-03,3.153072e-03,3.140557e-03,3.127962e-03,3.115300e-03,3.102587e-03,3.089835e-03,3.077056e-03,3.064262e-03,3.051463e-03,3.038669e-03,3.025890e-03,3.013134e-03,3.000409e-03,2.987723e-03
0.000000e+00,3.189905e-11,7.333504e-11,2.540811e-10,5.837265e-10,8.580533e-10,2.004534e-09,2.068027e-09,4.187522e-09,4.997799e-09,7.627829e-09,1.051064e-08,1.281416e-08,1.926706e-08,1.990018e-08,2.866524e-08,3.098108e-08,3.878306e-08,4.494568e-08,5.001223e-08,6.069366e-08,6.220407e-08,7.526427e-08,7.797416e-08,8.912294e-08,9.662417e-08,1.037173e-07,1.164980e-07,1.189828e-07,1.348489e-07,1.374382e-07,1.512385e-07,1.592669e-07,1.680674e-07,1.817873e-07,1.852468e-07,2.026840e-07,2.047894e-07,2.202856e-07,2.280583e-07,2.379585e-07,2.513819e-07,2.556124e-07,2.731614e-07,2.745583e-07,2.905248e-07,2.974014e-07,3.076287e-07,3.197452e-07,3.244066e-07,3.407994e-07,3.414464e-07,3.567562e-07,3.623853e-07,3.722337e-07,3.824661e-07,3.871962e-07,4.016154e-07,4.154694e-07,4.197806e-07,4.287427e-07,4.369280e-07,4.414252e-07,4.530400e-07,4.535120e-07,4.650024e-07,4.681132e-07,4.758996e-07,4.821557e-07,4.862100e-07,4.951852e-07,4.959428e-07,5.051096e-07,5.072269e-07,5.137238e-07,5.183118e-07,5.218002e-07,5.284753e-07,5.293549e-07,5.364048e-07,5.377558e-07,5.429675e-07,5.461935e-07,5.490609e-07,5.538300e-07,5.547032e-07,5.599126e-07,5.607072e-07,5.647072e-07,5.668666e-07,5.691050e-07,5.723494e-07,5.731237e-07,5.767804e-07,5.771957e-07,5.800923e-07,5.814444e-07,5.830755e-07,5.851329e-07,5.857462e-07,5.881197e-07,5.882972e-07,5.902110e-07,5.909717e-07,5.920344e-07,5.931892e-07,5.936038e-07,5.949326e-07,5.949809e-07,5.960334e-07,5.963763e-07,5.969186e-07,5.974034e-07,5.975999e-07,5.980885e-07,5.983952e-07,5.984566e-07,5.985302e-07,5.985311e-07,5.985033e-07,5.983340e-07,5.983240e-07,5.980010e-07,5.978860e-07,5.975430e-07,5.972067e-07,5.969580e-07,5.963143e-07,5.962537e-07,5.954376e-07,5.952259e-07,5.945166e-07,5.939575e-07,5.934973e-07,5.925242e-07,5.923862e-07,5.911892e-07,5.909400e-07,5.899120e-07,5.892180e-07,5.885602e-07,5.873707e-07,5.871388e-07,5.856528e-07,5.854094e-07,5.841069e-07,5.833448e-07,5.825054e-07,5.811871e-07,5.808527e-07,5.791526e-07,5.789456e-07,5.774089e-07,5.766289e-07,5.756253e-07,5.742452e-07,5.738052e-07,5.719517e-07,5.718021e-07,5.700680e-07,5.693066e-07,5.681568e-07,5.667654e-07,5.662210e-07,5.642632e-07,5.641845e-07,5.622858e-07,5.615696e-07,5.602911e-07,5.589259e-07,5.582813e-07,5.562585e-07,5.535719e-07,5.508702e-07,5.481574e-07,5.454372e-07,5.427128e-07,5.399875e-07,5.372640e-07,5.345450e-07,5.318330e-07,5.291303e-07,5.264388e-07,5.237605e-07,5.210971e-07,5.184502e-07,5.158213e-07,5.132117e-07,5.106226e-07,5.080551e-07,5.055102e-07,5.029888e-07,5.004916e-07,4.980195e-07,4.955729e-07,4.931525e-07
0.000000e+00,1.141172e-09,3.348632e-09,1.645966e-08,4.697257e-08,7.578372e-08,2.121820e-07,2.201941e-07,5.002953e-07,6.111018e-07,9.771864e-07,1.386358e-06,1.719307e-06,2.687158e-06,2.785227e-06,4.202469e-06,4.594901e-06,5.966795e-06,7.098454e-06,8.055811e-06,1.013929e-05,1.043992e-05,1.308723e-05,1.364540e-05,1.596493e-05,1.754129e-05,1.903951e-05,2.174927e-05,2.227673e-05,2.564180e-05,2.618975e-05,2.909996e-05,3.078287e-05,3.261706e-05,3.545109e-05,3.616033e-05,3.969906e-05,4.012204e-05,4.320519e-05,4.473100e-05,4.665371e-05,4.922257e-05,5.002291e-05,5.329447e-05,5.355150e-05,5.645336e-05,5.768263e-05,5.948778e-05,6.159041e-05,6.238887e-05,6.515043e-05,6.525793e-05,6.776863e-05,6.867567e-05,7.024163e-05,7.184022e-05,7.256934e-05,7.475310e-05,7.679535e-05,7.741950e-05,7.869936e-05,7.984716e-05,8.046905e-05,8.204573e-05,8.210889e-05,8.362372e-05,8.402617e-05,8.501871e-05,8.580048e-05,8.629940e-05,8.738149e-05,8.747137e-05,8.854007e-05,8.878180e-05,8.951091e-05,9.001380e-05,9.038914e-05,9.108942e-05,9.117985e-05,9.188800e-05,9.202014e-05,9.251837e-05,9.281695e-05,9.307553e-05,9.349019e-05,9.356387e-05,9.398755e-05,9.404960e-05,9.435057e-05,9.450440e-05,9.465674e-05,9.486320e-05,9.490970e-05,9.511286e-05,9.513405e-05,9.526949e-05,9.532447e-05,9.538268e-05,9.544146e-05,9.545536e-05,9.549031e-05,9.549155e-05,9.549013e-05,9.548078e-05,9.545729e-05,9.541475e-05,9.539414e-05,9.530286e-05,9.529865e-05,9.518553e-05,9.513729e-05,9.504409e-05,9.493510e-05,9.488041e-05,9.469620e-05,9.449310e-05,9.442437e-05,9.427264e-05,9.412311e-05,9.403627e-05,9.379564e-05,9.378534e-05,9.352113e-05,9.344493e-05,9.324482e-05,9.307371e-05,9.295756e-05,9.268450e-05,9.266038e-05,9.235429e-05,9.227960e-05,9.204019e-05,9.186114e-05,9.171898e-05,9.143107e-05,9.139146e-05,9.105839e-05,9.099117e-05,9.072048e-05,9.054308e-05,9.037841e-05,9.008830e-05,9.003279e-05,8.968421e-05,8.962819e-05,8.933320e-05,8.916401e-05,8.898029e-05,8.869690e-05,8.862594e-05,8.827058e-05,8.822790e-05,8.791464e-05,8.775794e-05,8.755850e-05,8.728791e-05,8.720250e-05,8.684698e-05,8.681857e-05,8.649224e-05,8.635063e-05,8.613858e-05,8.588474e-05,8.578624e-05,8.543547e-05,8.542147e-05,8.508649e-05,8.496134e-05,8.473952e-05,8.450482e-05,8.439474e-05,8.405232e-05,8.360422e-05,8.316084e-05,8.272249e-05,8.228941e-05,8.186183e-05,8.143996e-05,8.102395e-05,8.061395e-05,8.021008e-05,7.981244e-05,7.942110e-05,7.903615e-05,7.865761e-05,7.828552e-05,7.791991e-05,7.756078e-05,7.720812e-05,7.686192e-05,7.652215e-05,7.618879e-05,7.586179e-05,7.554111e-05,7.522670e-05,7.491849e-05
0.000000e+00,6.532435e-10,1.849731e-09,8.486436e-09,2.285969e-08,3.579185e-08,9.315879e-08,9.640078e-08,2.046955e-07,2.456167e-07,3.759821e-07,5.158024e-07,6.266626e-07,9.408040e-07,9.722229e-07,1.422197e-06,1.545933e-06,1.976805e-06,2.330774e-06,2.629472e-06,3.277896e-06,3.371334e-06,4.193639e-06,4.367025e-06,5.088189e-06,5.579267e-06,6.047035e-06,6.896289e-06,7.062152e-06,8.125259e-06,8.299243e-06,9.227825e-06,9.768524e-06,1.036117e-05,1.128418e-05,1.151663e-05,1.268575e-05,1.282658e-05,1.386047e-05,1.437714e-05,1.503321e-05,1.591890e-05,1.619707e-05,1.734585e-05,1.743694e-05,1.847413e-05,1.891862e-05,1.957722e-05,2.035364e-05,2.065123e-05,2.169295e-05,2.173391e-05,2.269986e-05,2.305344e-05,2.367004e-05,2.430807e-05,2.460213e-05,2.549524e-05,2.634889e-05,2.661369e-05,2.716297e-05,2.766330e-05,2.793769e-05,2.864475e-05,2.867343e-05,2.937083e-05,2.955934e-05,3.003069e-05,3.040897e-05,3.065394e-05,3.119587e-05,3.124160e-05,3.179476e-05,3.192252e-05,3.231460e-05,3.259158e-05,3.280227e-05,3.320578e-05,3.325899e-05,3.368595e-05,3.376788e-05,3.408436e-05,3.428065e-05,3.445541e-05,3.474681e-05,3.480028e-05,3.512010e-05,3.516902e-05,3.541600e-05,3.554985e-05,3.568906e-05,3.589177e-05,3.594034e-05,3.617086e-05,3.619718e-05,3.638162e-05,3.646834e-05,3.657356e-05,3.670741e-05,3.674760e-05,3.690462e-05,3.691648e-05,3.704548e-05,3.709747e-05,3.717097e-05,3.725226e-05,3.728190e-05,3.737899e-05,3.738260e-05,3.746297e-05,3.749013e-05,3.753453e-05,3.757643e-05,3.759432e-05,3.764296e-05,3.768105e-05,3.769110e-05,3.770917e-05,3.772218e-05,3.772786e-05,3.773741e-05,3.773764e-05,3.773901e-05,3.773795e-05,3.773245e-05,3.772489e-05,3.771840e-05,3.769924e-05,3.769730e-05,3.766956e-05,3.766196e-05,3.763557e-05,3.761395e-05,3.759571e-05,3.755605e-05,3.755032e-05,3.749975e-05,3.748904e-05,3.744432e-05,3.741368e-05,3.738434e-05,3.733065e-05,3.732009e-05,3.725187e-05,3.724060e-05,3.717992e-05,3.714414e-05,3.710450e-05,3.704184e-05,3.702586e-05,3.694422e-05,3.693423e-05,3.685979e-05,3.682181e-05,3.677278e-05,3.670505e-05,3.668338e-05,3.659179e-05,3.658437e-05,3.649817e-05,3.646020e-05,3.640270e-05,3.633290e-05,3.630553e-05,3.620682e-05,3.620284e-05,3.610670e-05,3.607034e-05,3.600531e-05,3.593571e-05,3.590279e-05,3.579925e-05,3.566122e-05,3.552186e-05,3.538143e-05,3.524012e-05,3.509814e-05,3.495569e-05,3.481293e-05,3.467002e-05,3.452712e-05,3.438437e-05,3.424189e-05,3.409980e-05,3.395822e-05,3.381724e-05,3.367695e-05,3.353745e-05,3.339882e-05,3.326112e-05,3.312441e-05,3.298877e-05,3.285425e-05,3.272089e-05,3.258875e-05,3.245786e-05
0.000000e+00,1.469325e-10,3.430165e-10,1.203140e-09,2.761216e-09,4.041323e-09,9.225596e-09,9.505350e-09,1.847316e-08,2.174125e-08,3.191462e-08,4.257190e-08,5.090529e-08,7.419592e-08,7.650806e-08,1.094202e-07,1.184155e-07,1.495470e-07,1.748607e-07,1.960097e-07,2.411942e-07,2.476214e-07,3.032826e-07,3.148179e-07,3.620862e-07,3.936519e-07,4.232806e-07,4.760528e-07,4.862143e-07,5.502998e-07,5.606236e-07,6.149962e-07,6.461192e-07,6.798037e-07,7.314207e-07,7.442647e-07,8.079671e-07,8.155426e-07,8.705473e-07,8.976446e-07,9.316924e-07,9.770389e-07,9.911387e-07,1.048670e-06,1.053185e-06,1.104119e-06,1.125686e-06,1.157360e-06,1.194274e-06,1.208303e-06,1.256894e-06,1.258788e-06,1.303106e-06,1.319159e-06,1.346937e-06,1.375390e-06,1.388405e-06,1.427544e-06,1.464403e-06,1.475726e-06,1.499039e-06,1.520070e-06,1.531519e-06,1.560735e-06,1.561912e-06,1.590295e-06,1.597893e-06,1.616746e-06,1.631722e-06,1.641344e-06,1.662406e-06,1.664169e-06,1.685299e-06,1.690127e-06,1.704813e-06,1.715064e-06,1.722788e-06,1.737392e-06,1.739298e-06,1.754416e-06,1.757279e-06,1.768213e-06,1.774888e-06,1.780757e-06,1.790373e-06,1.792113e-06,1.802344e-06,1.803881e-06,1.811511e-06,1.815551e-06,1.819672e-06,1.825513e-06,1.826882e-06,1.833194e-06,1.833893e-06,1.838658e-06,1.840807e-06,1.843324e-06,1.846364e-06,1.847236e-06,1.850439e-06,1.850666e-06,1.852975e-06,1.853811e-06,1.854883e-06,1.855889e-06,1.856200e-06,1.856964e-06,1.856983e-06,1.857207e-06,1.857173e-06,1.856962e-06,1.856532e-06,1.856260e-06,1.855130e-06,1.853600e-06,1.853030e-06,1.851695e-06,1.850292e-06,1.849442e-06,1.846972e-06,1.846863e-06,1.843980e-06,1.843121e-06,1.840815e-06,1.838789e-06,1.837388e-06,1.834020e-06,1.833718e-06,1.829823e-06,1.828856e-06,1.825719e-06,1.823336e-06,1.821424e-06,1.817497e-06,1.816951e-06,1.812316e-06,1.811370e-06,1.807531e-06,1.804989e-06,1.802611e-06,1.798382e-06,1.797567e-06,1.792410e-06,1.791575e-06,1.787151e-06,1.784594e-06,1.781801e-06,1.777461e-06,1.776368e-06,1.770863e-06,1.770198e-06,1.765294e-06,1.762825e-06,1.759668e-06,1.755360e-06,1.753994e-06,1.748278e-06,1.747820e-06,1.742528e-06,1.740220e-06,1.736749e-06,1.732575e-06,1.730948e-06,1.725131e-06,1.724898e-06,1.719301e-06,1.717201e-06,1.713465e-06,1.709496e-06,1.707628e-06,1.701792e-06,1.694100e-06,1.686428e-06,1.678784e-06,1.671176e-06,1.663609e-06,1.656090e-06,1.648625e-06,1.641218e-06,1.633875e-06,1.626598e-06,1.619392e-06,1.612260e-06,1.605206e-06,1.598230e-06,1.591337e-06,1.584528e-06,1.577804e-06,1.571167e-06,1.564619e-06,1.558160e-06,1.551792e-06,1.545514e-06,1.539328e-06,1.533234e-06
0.000000e+00,6.969467e-10,1.786190e-09,6.991685e-09,1.695914e-08,2.536502e-08,6.037792e-08,6.229883e-08,1.250951e-07,1.484731e-07,2.225355e-07,3.016049e-07,3.639757e-07,5.378333e-07,5.549112e-07,7.921262e-07,8.549279e-07,1.066129e-06,1.231933e-06,1.367214e-06,1.648577e-06,1.687894e-06,2.022540e-06,2.090732e-06,2.366587e-06,2.547864e-06,2.716033e-06,3.011051e-06,3.067214e-06,3.416754e-06,3.472319e-06,3.761586e-06,3.924619e-06,4.098989e-06,4.361981e-06,4.426630e-06,4.742585e-06,4.779638e-06,5.045338e-06,5.174063e-06,5.333763e-06,5.542902e-06,5.607097e-06,5.864894e-06,5.884840e-06,6.106988e-06,6.199436e-06,6.333443e-06,6.486938e-06,6.544504e-06,6.740560e-06,6.748097e-06,6.922114e-06,6.984034e-06,7.089749e-06,7.196112e-06,7.244098e-06,7.385828e-06,7.515623e-06,7.554748e-06,7.634165e-06,7.704439e-06,7.742129e-06,7.836434e-06,7.840174e-06,7.928934e-06,7.952207e-06,8.009022e-06,8.053155e-06,8.081019e-06,8.140586e-06,8.145477e-06,8.202915e-06,8.215711e-06,8.253823e-06,8.279652e-06,8.298660e-06,8.333440e-06,8.337859e-06,8.371823e-06,8.378021e-06,8.400929e-06,8.414261e-06,8.425527e-06,8.442947e-06,8.445946e-06,8.462491e-06,8.464797e-06,8.475445e-06,8.480466e-06,8.485074e-06,8.490549e-06,8.491623e-06,8.495322e-06,8.495585e-06,8.496384e-06,8.496067e-06,8.495006e-06,8.492441e-06,8.491373e-06,8.485657e-06,8.485115e-06,8.478017e-06,8.474456e-06,8.468602e-06,8.460802e-06,8.457549e-06,8.444989e-06,8.444457e-06,8.431039e-06,8.425699e-06,8.415813e-06,8.404783e-06,8.399414e-06,8.381939e-06,8.363477e-06,8.357375e-06,8.344114e-06,8.331285e-06,8.323928e-06,8.303842e-06,8.302991e-06,8.281373e-06,8.275206e-06,8.259136e-06,8.245522e-06,8.236340e-06,8.214922e-06,8.213041e-06,8.189290e-06,8.183528e-06,8.165135e-06,8.151450e-06,8.140623e-06,8.118790e-06,8.115795e-06,8.090691e-06,8.085640e-06,8.065346e-06,8.052084e-06,8.039796e-06,8.018199e-06,8.014073e-06,7.988207e-06,7.984056e-06,7.962224e-06,7.949720e-06,7.936153e-06,7.915248e-06,7.910016e-06,7.883838e-06,7.880695e-06,7.857639e-06,7.846109e-06,7.831438e-06,7.811537e-06,7.805256e-06,7.779108e-06,7.777018e-06,7.753011e-06,7.742590e-06,7.726980e-06,7.708287e-06,7.701029e-06,7.675172e-06,7.674139e-06,7.649419e-06,7.640176e-06,7.623783e-06,7.606422e-06,7.598274e-06,7.572901e-06,7.539633e-06,7.506638e-06,7.473933e-06,7.441532e-06,7.409450e-06,7.377699e-06,7.346290e-06,7.315233e-06,7.284536e-06,7.254205e-06,7.224249e-06,7.194672e-06,7.165479e-06,7.136674e-06,7.108260e-06,7.080239e-06,7.052613e-06,7.025383e-06,6.998551e-06,6.972116e-06,6.946078e-06,6.920437e-06,6.895191e-06,6.870339e-06
0.000000e+00,4.963039e-09,1.477913e-08,7.509362e-08,2.219032e-07,3.658368e-07,1.094091e-06,1.138830e-06,2.805140e-06,3.508283e-06,5.947361e-06,8.798670e-06,1.116560e-05,1.812663e-05,1.883448e-05,2.908103e-05,3.192419e-05,4.189459e-05,5.016650e-05,5.720470e-05,7.266536e-05,7.491336e-05,9.490452e-05,9.916524e-05,1.170448e-04,1.293575e-04,1.411824e-04,1.628776e-04,1.671472e-04,1.947522e-04,1.993080e-04,2.237971e-04,2.381888e-04,2.540724e-04,2.790349e-04,2.853644e-04,3.174599e-04,3.213553e-04,3.501503e-04,3.646707e-04,3.832362e-04,4.085305e-04,4.165307e-04,4.498616e-04,4.525248e-04,4.830725e-04,4.962914e-04,5.160238e-04,5.395185e-04,5.485929e-04,5.806734e-04,5.819451e-04,6.121747e-04,6.233584e-04,6.430208e-04,6.635895e-04,6.731491e-04,7.025091e-04,7.310614e-04,7.400224e-04,7.587761e-04,7.760637e-04,7.856317e-04,8.105919e-04,8.116143e-04,8.367161e-04,8.435864e-04,8.609349e-04,8.750430e-04,8.842728e-04,9.049710e-04,9.067360e-04,9.283339e-04,9.333899e-04,9.490784e-04,9.603278e-04,9.689838e-04,9.858189e-04,9.880659e-04,1.006342e-03,1.009902e-03,1.023831e-03,1.032620e-03,1.040551e-03,1.054017e-03,1.056523e-03,1.071767e-03,1.074140e-03,1.086304e-03,1.093037e-03,1.100154e-03,1.110754e-03,1.113338e-03,1.125877e-03,1.127339e-03,1.137791e-03,1.142840e-03,1.149100e-03,1.157304e-03,1.159825e-03,1.169986e-03,1.170775e-03,1.179602e-03,1.183300e-03,1.188691e-03,1.194921e-03,1.197274e-03,1.205367e-03,1.205681e-03,1.212989e-03,1.215621e-03,1.220157e-03,1.224781e-03,1.226889e-03,1.233200e-03,1.239108e-03,1.240915e-03,1.244627e-03,1.247962e-03,1.249773e-03,1.254375e-03,1.254560e-03,1.259004e-03,1.260188e-03,1.263117e-03,1.265433e-03,1.266914e-03,1.270139e-03,1.270408e-03,1.273610e-03,1.274337e-03,1.276534e-03,1.278055e-03,1.279192e-03,1.281319e-03,1.281594e-03,1.283753e-03,1.284156e-03,1.285678e-03,1.286590e-03,1.287380e-03,1.288645e-03,1.288869e-03,1.290155e-03,1.290342e-03,1.291247e-03,1.291705e-03,1.292154e-03,1.292753e-03,1.292885e-03,1.293448e-03,1.293505e-03,1.293852e-03,1.293981e-03,1.294103e-03,1.294197e-03,1.294210e-03,1.294180e-03,1.294172e-03,1.294020e-03,1.293921e-03,1.293736e-03,1.293459e-03,1.293335e-03,1.292823e-03,1.292801e-03,1.292207e-03,1.291960e-03,1.291491e-03,1.290950e-03,1.290681e-03,1.289783e-03,1.288471e-03,1.287026e-03,1.285456e-03,1.283774e-03,1.281988e-03,1.280107e-03,1.278139e-03,1.276094e-03,1.273978e-03,1.271798e-03,1.269561e-03,1.267275e-03,1.264943e-03,1.262573e-03,1.260170e-03,1.257738e-03,1.255283e-03,1.252808e-03,1.250319e-03,1.247818e-03,1.245309e-03,1.242796e-03,1.240282e-03,1.237770e-03
0.000000e+00,9.658520e-11,2.246910e-10,7.864792e-10,1.806949e-09,2.648386e-09,6.082123e-09,6.268531e-09,1.229824e-08,1.451933e-08,2.149927e-08,2.888794e-08,3.469272e-08,5.088000e-08,5.247633e-08,7.488446e-08,8.090773e-08,1.014961e-07,1.180437e-07,1.318075e-07,1.612097e-07,1.654029e-07,2.019471e-07,2.095833e-07,2.411423e-07,2.624749e-07,2.826969e-07,3.192071e-07,3.263110e-07,3.716727e-07,3.790713e-07,4.184604e-07,4.413295e-07,4.663489e-07,5.052359e-07,5.150166e-07,5.641513e-07,5.700646e-07,6.134583e-07,6.351367e-07,6.626646e-07,6.998405e-07,7.115223e-07,7.598100e-07,7.636424e-07,8.073347e-07,8.260930e-07,8.539310e-07,8.868265e-07,8.994600e-07,9.438080e-07,9.455560e-07,9.868844e-07,1.002067e-06,1.028619e-06,1.056206e-06,1.068962e-06,1.107877e-06,1.145344e-06,1.157026e-06,1.181354e-06,1.203636e-06,1.215909e-06,1.247721e-06,1.249018e-06,1.280699e-06,1.289317e-06,1.310975e-06,1.328478e-06,1.339873e-06,1.365269e-06,1.367424e-06,1.393662e-06,1.399767e-06,1.418621e-06,1.432055e-06,1.442341e-06,1.462218e-06,1.464858e-06,1.486211e-06,1.490346e-06,1.506440e-06,1.516528e-06,1.525583e-06,1.540853e-06,1.543679e-06,1.560766e-06,1.563409e-06,1.576882e-06,1.584283e-06,1.592062e-06,1.603558e-06,1.606344e-06,1.619762e-06,1.621316e-06,1.632350e-06,1.637635e-06,1.644142e-06,1.652592e-06,1.655170e-06,1.665466e-06,1.666258e-06,1.675058e-06,1.678705e-06,1.683978e-06,1.689998e-06,1.692252e-06,1.699909e-06,1.700202e-06,1.706974e-06,1.709378e-06,1.713473e-06,1.717582e-06,1.719431e-06,1.724872e-06,1.729817e-06,1.731298e-06,1.734289e-06,1.736912e-06,1.738309e-06,1.741762e-06,1.741897e-06,1.745073e-06,1.745891e-06,1.747855e-06,1.749343e-06,1.750261e-06,1.752158e-06,1.752309e-06,1.754016e-06,1.754376e-06,1.755396e-06,1.756032e-06,1.756466e-06,1.757162e-06,1.757240e-06,1.757732e-06,1.757798e-06,1.757956e-06,1.757971e-06,1.757925e-06,1.757711e-06,1.757651e-06,1.757146e-06,1.757045e-06,1.756422e-06,1.756000e-06,1.755490e-06,1.754601e-06,1.754359e-06,1.753041e-06,1.752871e-06,1.751545e-06,1.750833e-06,1.749881e-06,1.748508e-06,1.748056e-06,1.746080e-06,1.745916e-06,1.743961e-06,1.743075e-06,1.741706e-06,1.740004e-06,1.739324e-06,1.736821e-06,1.736719e-06,1.734204e-06,1.733236e-06,1.731481e-06,1.729570e-06,1.728656e-06,1.725736e-06,1.721747e-06,1.717615e-06,1.713353e-06,1.708971e-06,1.704481e-06,1.699892e-06,1.695214e-06,1.690456e-06,1.685625e-06,1.680731e-06,1.675781e-06,1.670781e-06,1.665738e-06,1.660658e-06,1.655548e-06,1.650413e-06,1.645257e-06,1.640087e-06,1.634906e-06,1.629719e-06,1.624529e-06,1.619342e-06,1.614159e-06,1.608985e-06
0.000000e+00,2.233397e-08,6.651677e-08,3.369016e-07,9.869336e-07,1.614409e-06,4.673871e-06,4.856605e-06,1.136429e-05,1.398412e-05,2.276260e-05,3.276529e-05,4.105338e-05,6.600260e-05,6.860773e-05,1.079316e-04,1.193711e-04,1.611220e-04,1.974387e-04,2.293252e-04,3.018428e-04,3.126151e-04,4.102400e-04,4.313804e-04,5.209426e-04,5.831768e-04,6.432004e-04,7.536285e-04,7.753735e-04,9.157893e-04,9.389095e-04,1.062791e-03,1.135215e-03,1.214767e-03,1.338888e-03,1.370172e-03,1.527548e-03,1.546499e-03,1.685530e-03,1.754907e-03,1.842865e-03,1.961303e-03,1.998417e-03,2.151174e-03,2.163247e-03,2.300254e-03,2.358682e-03,2.444898e-03,2.545935e-03,2.584474e-03,2.718470e-03,2.723708e-03,2.846489e-03,2.891053e-03,2.968238e-03,3.047341e-03,3.083519e-03,3.192221e-03,3.294310e-03,3.325585e-03,3.389816e-03,3.447523e-03,3.478825e-03,3.558284e-03,3.561469e-03,3.637919e-03,3.658242e-03,3.708375e-03,3.747864e-03,3.773062e-03,3.827687e-03,3.832223e-03,3.886110e-03,3.898288e-03,3.934987e-03,3.960268e-03,3.979118e-03,4.014237e-03,4.018767e-03,4.054197e-03,4.060800e-03,4.085667e-03,4.100550e-03,4.113427e-03,4.134056e-03,4.137720e-03,4.158779e-03,4.161863e-03,4.176827e-03,4.184484e-03,4.192079e-03,4.202403e-03,4.204737e-03,4.214993e-03,4.216071e-03,4.223028e-03,4.225905e-03,4.229015e-03,4.232293e-03,4.233112e-03,4.235470e-03,4.235588e-03,4.236231e-03,4.236118e-03,4.235526e-03,4.234179e-03,4.233477e-03,4.230199e-03,4.230043e-03,4.225798e-03,4.223958e-03,4.220373e-03,4.216146e-03,4.214016e-03,4.206813e-03,4.198841e-03,4.196140e-03,4.190175e-03,4.184296e-03,4.180882e-03,4.171429e-03,4.171025e-03,4.160661e-03,4.157676e-03,4.149845e-03,4.143159e-03,4.138626e-03,4.127987e-03,4.127049e-03,4.115157e-03,4.112261e-03,4.102989e-03,4.096068e-03,4.090582e-03,4.079490e-03,4.077967e-03,4.065176e-03,4.062599e-03,4.052237e-03,4.045459e-03,4.039176e-03,4.028128e-03,4.026016e-03,4.012781e-03,4.010658e-03,3.999490e-03,3.993096e-03,3.986162e-03,3.975485e-03,3.972815e-03,3.959463e-03,3.957861e-03,3.946122e-03,3.940259e-03,3.932805e-03,3.922707e-03,3.919524e-03,3.906290e-03,3.905234e-03,3.893114e-03,3.887862e-03,3.880005e-03,3.870613e-03,3.866971e-03,3.854021e-03,3.853505e-03,3.841162e-03,3.836556e-03,3.828399e-03,3.819779e-03,3.815740e-03,3.803189e-03,3.786796e-03,3.770609e-03,3.754639e-03,3.738891e-03,3.723372e-03,3.708087e-03,3.693042e-03,3.678238e-03,3.663680e-03,3.649369e-03,3.635307e-03,3.621495e-03,3.607933e-03,3.594622e-03,3.581561e-03,3.568749e-03,3.556185e-03,3.543868e-03,3.531796e-03,3.519968e-03,3.508380e-03,3.497032e-03,3.485920e-03,3.475042e-03
0.000000e+00,1.661774e-09,4.724543e-09,2.184333e-08,5.922420e-08,9.305530e-08,2.444762e-07,2.530845e-07,5.429706e-07,6.535060e-07,1.008477e-06,1.392856e-06,1.699439e-06,2.572002e-06,2.659337e-06,3.906533e-06,4.247740e-06,5.428852e-06,6.391038e-06,7.197630e-06,8.933319e-06,9.181835e-06,1.135329e-05,1.180778e-05,1.368650e-05,1.495563e-05,1.615721e-05,1.832123e-05,1.874130e-05,2.141435e-05,2.184865e-05,2.415180e-05,2.548148e-05,2.692933e-05,2.916437e-05,2.972343e-05,3.251188e-05,3.284513e-05,3.527426e-05,3.647664e-05,3.799224e-05,4.001825e-05,4.064978e-05,4.323327e-05,4.343640e-05,4.573146e-05,4.670476e-05,4.813532e-05,4.980374e-05,5.043795e-05,5.263444e-05,5.272005e-05,5.472164e-05,5.544591e-05,5.669783e-05,5.797796e-05,5.856257e-05,6.031649e-05,6.196110e-05,6.246462e-05,6.349858e-05,6.442762e-05,6.493173e-05,6.621237e-05,6.626375e-05,6.749801e-05,6.782655e-05,6.863797e-05,6.927819e-05,6.968728e-05,7.057595e-05,7.064986e-05,7.152990e-05,7.172929e-05,7.233149e-05,7.274754e-05,7.305846e-05,7.363955e-05,7.371468e-05,7.430384e-05,7.441394e-05,7.482947e-05,7.507884e-05,7.529503e-05,7.564214e-05,7.570388e-05,7.605920e-05,7.611129e-05,7.636403e-05,7.649328e-05,7.662131e-05,7.679481e-05,7.683388e-05,7.700445e-05,7.702222e-05,7.713558e-05,7.718142e-05,7.722971e-05,7.727792e-05,7.728914e-05,7.731610e-05,7.731691e-05,7.731267e-05,7.730324e-05,7.728084e-05,7.724140e-05,7.722250e-05,7.713943e-05,7.713562e-05,7.703332e-05,7.698979e-05,7.690576e-05,7.680756e-05,7.675828e-05,7.659231e-05,7.640920e-05,7.634720e-05,7.621024e-05,7.607515e-05,7.599665e-05,7.577888e-05,7.576955e-05,7.553003e-05,7.546088e-05,7.527911e-05,7.512349e-05,7.501775e-05,7.476885e-05,7.474684e-05,7.446725e-05,7.439895e-05,7.417978e-05,7.401563e-05,7.388517e-05,7.362059e-05,7.358416e-05,7.327739e-05,7.321540e-05,7.296551e-05,7.280150e-05,7.264910e-05,7.238022e-05,7.232872e-05,7.200489e-05,7.195279e-05,7.167810e-05,7.152033e-05,7.134882e-05,7.108388e-05,7.101747e-05,7.068445e-05,7.064439e-05,7.035015e-05,7.020274e-05,7.001492e-05,6.975972e-05,6.967908e-05,6.934296e-05,6.931607e-05,6.900684e-05,6.887245e-05,6.867098e-05,6.842947e-05,6.833564e-05,6.800105e-05,6.798769e-05,6.766743e-05,6.754760e-05,6.733498e-05,6.710968e-05,6.700389e-05,6.667433e-05,6.624193e-05,6.581282e-05,6.538730e-05,6.496564e-05,6.454809e-05,6.413486e-05,6.372614e-05,6.332210e-05,6.292288e-05,6.252862e-05,6.213942e-05,6.175537e-05,6.137655e-05,6.100302e-05,6.063483e-05,6.027202e-05,5.991461e-05,5.956263e-05,5.921607e-05,5.887494e-05,5.853923e-05,5.820893e-05,5.788400e-05,5.756443e-05
0.000000e+00,5.337369e-10,1.368943e-09,5.374732e-09,1.307448e-08,1.957757e-08,4.662124e-08,4.810058e-08,9.612474e-08,1.138343e-07,1.694219e-07,2.281647e-07,2.743107e-07,4.034972e-07,4.163024e-07,5.976505e-07,6.469180e-07,8.168827e-07,9.550724e-07,1.070965e-06,1.321078e-06,1.357007e-06,1.672576e-06,1.739039e-06,2.015484e-06,2.203881e-06,2.383549e-06,2.710472e-06,2.774450e-06,3.185675e-06,3.253178e-06,3.614518e-06,3.825785e-06,4.058118e-06,4.421631e-06,4.513509e-06,4.977689e-06,5.033839e-06,5.447679e-06,5.655568e-06,5.920596e-06,6.280278e-06,6.393699e-06,6.864428e-06,6.901912e-06,7.330437e-06,7.515038e-06,7.789617e-06,8.114944e-06,8.240107e-06,8.680290e-06,8.697663e-06,9.108798e-06,9.259977e-06,9.524495e-06,9.799376e-06,9.926468e-06,1.031403e-05,1.068662e-05,1.080263e-05,1.104388e-05,1.126437e-05,1.138559e-05,1.169891e-05,1.171166e-05,1.202211e-05,1.210625e-05,1.231706e-05,1.248666e-05,1.259670e-05,1.284067e-05,1.286129e-05,1.311116e-05,1.316897e-05,1.334664e-05,1.347238e-05,1.356814e-05,1.375183e-05,1.377607e-05,1.397087e-05,1.400829e-05,1.415297e-05,1.424280e-05,1.432284e-05,1.445640e-05,1.448093e-05,1.462769e-05,1.465016e-05,1.476359e-05,1.482510e-05,1.488908e-05,1.498226e-05,1.500458e-05,1.511055e-05,1.512264e-05,1.520739e-05,1.524722e-05,1.529553e-05,1.535693e-05,1.537536e-05,1.544727e-05,1.545269e-05,1.551164e-05,1.553535e-05,1.556883e-05,1.560576e-05,1.561919e-05,1.566306e-05,1.566469e-05,1.570077e-05,1.571290e-05,1.573263e-05,1.575111e-05,1.575894e-05,1.577999e-05,1.579606e-05,1.580020e-05,1.580742e-05,1.581233e-05,1.581431e-05,1.581696e-05,1.581699e-05,1.581569e-05,1.581465e-05,1.581064e-05,1.580589e-05,1.580204e-05,1.579117e-05,1.579010e-05,1.577502e-05,1.577096e-05,1.575699e-05,1.574567e-05,1.573618e-05,1.571571e-05,1.571277e-05,1.568692e-05,1.568147e-05,1.565878e-05,1.564329e-05,1.562850e-05,1.560151e-05,1.559622e-05,1.556208e-05,1.555646e-05,1.552621e-05,1.550841e-05,1.548873e-05,1.545766e-05,1.544975e-05,1.540938e-05,1.540445e-05,1.536774e-05,1.534904e-05,1.532492e-05,1.529164e-05,1.528101e-05,1.523611e-05,1.523248e-05,1.519030e-05,1.517174e-05,1.514366e-05,1.510962e-05,1.509628e-05,1.504822e-05,1.504629e-05,1.499956e-05,1.498190e-05,1.495036e-05,1.491662e-05,1.490068e-05,1.485059e-05,1.478392e-05,1.471675e-05,1.464918e-05,1.458133e-05,1.451329e-05,1.444515e-05,1.437700e-05,1.430890e-05,1.424094e-05,1.417318e-05,1.410568e-05,1.403849e-05,1.397167e-05,1.390526e-05,1.383931e-05,1.377386e-05,1.370894e-05,1.364458e-05,1.358082e-05,1.351768e-05,1.345518e-05,1.339334e-05,1.333219e-05,1.327174e-05
0.000000e+00,3.799295e-11,8.719099e-11,3.003469e-10,6.849528e-10,1.001857e-09,2.302066e-09,2.373077e-09,4.693717e-09,5.557884e-09,8.284742e-09,1.114741e-08,1.335094e-08,1.922082e-08,1.977829e-08,2.727941e-08,2.921123e-08,3.561675e-08,4.058759e-08,4.462516e-08,5.300335e-08,5.417367e-08,6.414218e-08,6.617594e-08,7.441361e-08,7.983639e-08,8.487380e-08,9.372651e-08,9.541409e-08,1.059345e-07,1.076099e-07,1.163463e-07,1.212825e-07,1.265733e-07,1.345791e-07,1.365526e-07,1.462339e-07,1.473737e-07,1.555792e-07,1.595772e-07,1.645609e-07,1.711323e-07,1.731608e-07,1.813684e-07,1.820079e-07,1.891797e-07,1.921933e-07,1.965957e-07,2.016931e-07,2.036214e-07,2.102649e-07,2.105229e-07,2.165366e-07,2.187056e-07,2.224483e-07,2.262693e-07,2.280131e-07,2.332446e-07,2.381569e-07,2.396637e-07,2.427640e-07,2.455589e-07,2.470800e-07,2.509623e-07,2.511187e-07,2.548937e-07,2.559052e-07,2.584179e-07,2.604175e-07,2.617042e-07,2.645279e-07,2.647647e-07,2.676109e-07,2.682634e-07,2.702542e-07,2.716497e-07,2.727051e-07,2.747110e-07,2.749739e-07,2.770703e-07,2.774697e-07,2.790034e-07,2.799470e-07,2.807820e-07,2.821628e-07,2.824145e-07,2.839087e-07,2.841355e-07,2.852722e-07,2.858822e-07,2.865119e-07,2.874192e-07,2.876347e-07,2.886469e-07,2.887613e-07,2.895546e-07,2.899224e-07,2.903635e-07,2.909154e-07,2.910789e-07,2.917060e-07,2.917525e-07,2.922497e-07,2.924449e-07,2.927146e-07,2.930029e-07,2.931050e-07,2.934249e-07,2.934363e-07,2.936784e-07,2.937542e-07,2.938692e-07,2.939648e-07,2.940006e-07,2.940761e-07,2.940987e-07,2.940953e-07,2.940714e-07,2.940291e-07,2.939971e-07,2.938840e-07,2.938784e-07,2.937179e-07,2.936658e-07,2.935179e-07,2.933799e-07,2.932807e-07,2.930315e-07,2.930084e-07,2.927032e-07,2.926253e-07,2.923669e-07,2.921657e-07,2.920014e-07,2.916570e-07,2.916085e-07,2.911897e-07,2.911029e-07,2.907466e-07,2.905071e-07,2.902808e-07,2.898730e-07,2.897937e-07,2.892865e-07,2.892036e-07,2.887606e-07,2.885019e-07,2.882173e-07,2.877707e-07,2.876575e-07,2.870825e-07,2.870125e-07,2.864933e-07,2.862298e-07,2.858908e-07,2.854247e-07,2.852761e-07,2.846499e-07,2.845994e-07,2.840132e-07,2.837558e-07,2.833668e-07,2.828958e-07,2.827114e-07,2.820477e-07,2.820210e-07,2.813765e-07,2.811332e-07,2.806984e-07,2.802337e-07,2.800141e-07,2.793241e-07,2.784056e-07,2.774795e-07,2.765468e-07,2.756088e-07,2.746665e-07,2.737206e-07,2.727723e-07,2.718222e-07,2.708712e-07,2.699200e-07,2.689692e-07,2.680196e-07,2.670716e-07,2.661260e-07,2.651831e-07,2.642434e-07,2.633074e-07,2.623756e-07,2.614483e-07,2.605258e-07,2.596086e-07,2.586968e-07,2.577909e-07,2.568911e-07
0.000000e+00,3.456584e-12,7.903841e-12,2.713671e-11,6.167261e-11,8.992352e-11,2.036692e-10,2.097818e-10,4.045444e-10,4.749917e-10,6.926901e-10,9.184888e-10,1.093737e-09,1.579348e-09,1.627340e-09,2.309711e-09,2.496659e-09,3.147916e-09,3.684026e-09,4.137255e-09,5.122970e-09,5.265142e-09,6.516812e-09,6.780744e-09,7.878234e-09,8.625237e-09,9.336529e-09,1.062746e-08,1.087955e-08,1.249542e-08,1.275993e-08,1.417233e-08,1.499544e-08,1.589843e-08,1.730683e-08,1.766198e-08,1.945145e-08,1.966740e-08,2.125574e-08,2.205158e-08,2.306431e-08,2.443561e-08,2.486734e-08,2.665588e-08,2.679809e-08,2.842187e-08,2.912034e-08,3.015825e-08,3.138658e-08,3.185880e-08,3.351828e-08,3.358374e-08,3.513242e-08,3.570171e-08,3.669770e-08,3.773277e-08,3.821142e-08,3.967156e-08,4.107671e-08,4.151459e-08,4.242603e-08,4.326010e-08,4.371913e-08,4.490765e-08,4.495605e-08,4.613716e-08,4.645794e-08,4.726308e-08,4.791250e-08,4.833470e-08,4.927357e-08,4.935311e-08,5.031953e-08,5.054388e-08,5.123530e-08,5.172654e-08,5.210185e-08,5.282489e-08,5.292069e-08,5.369334e-08,5.384247e-08,5.442138e-08,5.478286e-08,5.510639e-08,5.564968e-08,5.574993e-08,5.635356e-08,5.644655e-08,5.691884e-08,5.717700e-08,5.744729e-08,5.784452e-08,5.794038e-08,5.839958e-08,5.845248e-08,5.882630e-08,5.900413e-08,5.922192e-08,5.950262e-08,5.958778e-08,5.992518e-08,5.995098e-08,6.023536e-08,6.035208e-08,6.051954e-08,6.070871e-08,6.077889e-08,6.101454e-08,6.102348e-08,6.122756e-08,6.129892e-08,6.141902e-08,6.153740e-08,6.158991e-08,6.174120e-08,6.187383e-08,6.191247e-08,6.198867e-08,6.205324e-08,6.208660e-08,6.216545e-08,6.216843e-08,6.223495e-08,6.225093e-08,6.228692e-08,6.231142e-08,6.232506e-08,6.234854e-08,6.235007e-08,6.236262e-08,6.236385e-08,6.236334e-08,6.235881e-08,6.235285e-08,6.233480e-08,6.233173e-08,6.230053e-08,6.229313e-08,6.225980e-08,6.223502e-08,6.221005e-08,6.216165e-08,6.215177e-08,6.208542e-08,6.207409e-08,6.201147e-08,6.197339e-08,6.193033e-08,6.186052e-08,6.184241e-08,6.174812e-08,6.173639e-08,6.164782e-08,6.160187e-08,6.154187e-08,6.145778e-08,6.143061e-08,6.131438e-08,6.130488e-08,6.119348e-08,6.114388e-08,6.106821e-08,6.097547e-08,6.093886e-08,6.080569e-08,6.080029e-08,6.066898e-08,6.061894e-08,6.052896e-08,6.043198e-08,6.038587e-08,6.023994e-08,6.004332e-08,5.984258e-08,5.963818e-08,5.943052e-08,5.921998e-08,5.900694e-08,5.879174e-08,5.857468e-08,5.835608e-08,5.813620e-08,5.791533e-08,5.769369e-08,5.747152e-08,5.724904e-08,5.702644e-08,5.680391e-08,5.658163e-08,5.635975e-08,5.613844e-08,5.591782e-08,5.569803e-08,5.547920e-08,5.526143e-08,5.504483e-08
0.000000e+00,8.047944e-10,2.259291e-09,1.019570e-08,2.708570e-08,4.209963e-08,1.075586e-07,1.112170e-07,2.316679e-07,2.764528e-07,4.170462e-07,5.649811e-07,6.806469e-07,1.003321e-06,1.035333e-06,1.492630e-06,1.618664e-06,2.060647e-06,2.428043e-06,2.740949e-06,3.426685e-06,3.525934e-06,4.399253e-06,4.582678e-06,5.339669e-06,5.847976e-06,6.325667e-06,7.175138e-06,7.338254e-06,8.361764e-06,8.525659e-06,9.383577e-06,9.870387e-06,1.039356e-05,1.118749e-05,1.138356e-05,1.234708e-05,1.246067e-05,1.327900e-05,1.367798e-05,1.417539e-05,1.483110e-05,1.503340e-05,1.585109e-05,1.591473e-05,1.662732e-05,1.692607e-05,1.736159e-05,1.786432e-05,1.805400e-05,1.870506e-05,1.873026e-05,1.931566e-05,1.952578e-05,1.988693e-05,2.025363e-05,2.042024e-05,2.091708e-05,2.137902e-05,2.151974e-05,2.180770e-05,2.206536e-05,2.220477e-05,2.255773e-05,2.257186e-05,2.291061e-05,2.300059e-05,2.322258e-05,2.339755e-05,2.350930e-05,2.375205e-05,2.377224e-05,2.401281e-05,2.406737e-05,2.423235e-05,2.434658e-05,2.443214e-05,2.459257e-05,2.461338e-05,2.477722e-05,2.480800e-05,2.492475e-05,2.499536e-05,2.505699e-05,2.515697e-05,2.517491e-05,2.527941e-05,2.529494e-05,2.537134e-05,2.541124e-05,2.545151e-05,2.550768e-05,2.552067e-05,2.557954e-05,2.558594e-05,2.562878e-05,2.564756e-05,2.566901e-05,2.569393e-05,2.570083e-05,2.572478e-05,2.572638e-05,2.574139e-05,2.574609e-05,2.575114e-05,2.575416e-05,2.575448e-05,2.575185e-05,2.575162e-05,2.574364e-05,2.573940e-05,2.573024e-05,2.571834e-05,2.571200e-05,2.568925e-05,2.566230e-05,2.565284e-05,2.563145e-05,2.560978e-05,2.559697e-05,2.556070e-05,2.555913e-05,2.551816e-05,2.550616e-05,2.547430e-05,2.544668e-05,2.542775e-05,2.538274e-05,2.537873e-05,2.532742e-05,2.531478e-05,2.527400e-05,2.524322e-05,2.521863e-05,2.516843e-05,2.516148e-05,2.510269e-05,2.509075e-05,2.504241e-05,2.501051e-05,2.498076e-05,2.492800e-05,2.491786e-05,2.485384e-05,2.484350e-05,2.478880e-05,2.475725e-05,2.472285e-05,2.466950e-05,2.465608e-05,2.458858e-05,2.458044e-05,2.452044e-05,2.449028e-05,2.445174e-05,2.439920e-05,2.438256e-05,2.431296e-05,2.430737e-05,2.424301e-05,2.421495e-05,2.417278e-05,2.412207e-05,2.410233e-05,2.403170e-05,2.402887e-05,2.396096e-05,2.393548e-05,2.389016e-05,2.384199e-05,2.381933e-05,2.374852e-05,2.365516e-05,2.356200e-05,2.346912e-05,2.337658e-05,2.328447e-05,2.319284e-05,2.310175e-05,2.301124e-05,2.292138e-05,2.283219e-05,2.274373e-05,2.265602e-05,2.256910e-05,2.248300e-05,2.239774e-05,2.231335e-05,2.222984e-05,2.214725e-05,2.206557e-05,2.198483e-05,2.190504e-05,2.182622e-05,2.174836e-05,2.167147e-05
0.000000e+00,1.097950e-09,3.157396e-09,1.488886e-08,4.090920e-08,6.462376e-08,1.710178e-07,1.770553e-07,3.787381e-07,4.547021e-07,6.951966e-07,9.504521e-07,1.151050e-06,1.713172e-06,1.769025e-06,2.565191e-06,2.783385e-06,3.541784e-06,4.163106e-06,4.685815e-06,5.813720e-06,5.975340e-06,7.386093e-06,7.680701e-06,8.894621e-06,9.710339e-06,1.047891e-05,1.185299e-05,1.211813e-05,1.379227e-05,1.406208e-05,1.548216e-05,1.629349e-05,1.716953e-05,1.850611e-05,1.883733e-05,2.047003e-05,2.066292e-05,2.205391e-05,2.273225e-05,2.357724e-05,2.468850e-05,2.503043e-05,2.640601e-05,2.651253e-05,2.769857e-05,2.819151e-05,2.890463e-05,2.971840e-05,3.002246e-05,3.105182e-05,3.109116e-05,3.199379e-05,3.231188e-05,3.285048e-05,3.338581e-05,3.362486e-05,3.432051e-05,3.494147e-05,3.512511e-05,3.549207e-05,3.580960e-05,3.597679e-05,3.638436e-05,3.640017e-05,3.676671e-05,3.685976e-05,3.708079e-05,3.724583e-05,3.734665e-05,3.755211e-05,3.756831e-05,3.774959e-05,3.778750e-05,3.789408e-05,3.796018e-05,3.800512e-05,3.807764e-05,3.808582e-05,3.813903e-05,3.814661e-05,3.816741e-05,3.817316e-05,3.817337e-05,3.816269e-05,3.815914e-05,3.812675e-05,3.812001e-05,3.807805e-05,3.804938e-05,3.801472e-05,3.795456e-05,3.793829e-05,3.785016e-05,3.783886e-05,3.775159e-05,3.770521e-05,3.764372e-05,3.755617e-05,3.752760e-05,3.740416e-05,3.739399e-05,3.727427e-05,3.722068e-05,3.713870e-05,3.703797e-05,3.699815e-05,3.685328e-05,3.684740e-05,3.670464e-05,3.665032e-05,3.655279e-05,3.644793e-05,3.639819e-05,3.624127e-05,3.608244e-05,3.603127e-05,3.592206e-05,3.581875e-05,3.576045e-05,3.560442e-05,3.559790e-05,3.543470e-05,3.538892e-05,3.527109e-05,3.517281e-05,3.510728e-05,3.495659e-05,3.494349e-05,3.477990e-05,3.474069e-05,3.461668e-05,3.452550e-05,3.445399e-05,3.431135e-05,3.429195e-05,3.413070e-05,3.409856e-05,3.397036e-05,3.388737e-05,3.381103e-05,3.367803e-05,3.365279e-05,3.349574e-05,3.347073e-05,3.333996e-05,3.326565e-05,3.318550e-05,3.306294e-05,3.303244e-05,3.288083e-05,3.286273e-05,3.273071e-05,3.266515e-05,3.258214e-05,3.247028e-05,3.243514e-05,3.228976e-05,3.227820e-05,3.214603e-05,3.208900e-05,3.200396e-05,3.190271e-05,3.186358e-05,3.172491e-05,3.171940e-05,3.158797e-05,3.153909e-05,3.145276e-05,3.136182e-05,3.131930e-05,3.118759e-05,3.101643e-05,3.084833e-05,3.068331e-05,3.052134e-05,3.036243e-05,3.020655e-05,3.005369e-05,2.990383e-05,2.975694e-05,2.961299e-05,2.947196e-05,2.933381e-05,2.919851e-05,2.906602e-05,2.893630e-05,2.880932e-05,2.868504e-05,2.856341e-05,2.844440e-05,2.832797e-05,2.821406e-05,2.810265e-05,2.799369e-05,2.788712e-05
0.000000e+00,8.424369e-10,2.402200e-09,1.113716e-08,3.015107e-08,4.725547e-08,1.226297e-07,1.268607e-07,2.664236e-07,3.183171e-07,4.809324e-07,6.514334e-07,7.842985e-07,1.153040e-06,1.189478e-06,1.707173e-06,1.848878e-06,2.341983e-06,2.746736e-06,3.087386e-06,3.820277e-06,3.924812e-06,4.828942e-06,5.015482e-06,5.774335e-06,6.274805e-06,6.739102e-06,7.551491e-06,7.705646e-06,8.660058e-06,8.810866e-06,9.591278e-06,1.002735e-05,1.049043e-05,1.118184e-05,1.135041e-05,1.216569e-05,1.226030e-05,1.293211e-05,1.325308e-05,1.364684e-05,1.415443e-05,1.430826e-05,1.491580e-05,1.496208e-05,1.546987e-05,1.567676e-05,1.597163e-05,1.630152e-05,1.642291e-05,1.682603e-05,1.684119e-05,1.718364e-05,1.730180e-05,1.749865e-05,1.769006e-05,1.777407e-05,1.801294e-05,1.821824e-05,1.827733e-05,1.839290e-05,1.848989e-05,1.853970e-05,1.865685e-05,1.866125e-05,1.876002e-05,1.878391e-05,1.883828e-05,1.887626e-05,1.889811e-05,1.893853e-05,1.894143e-05,1.896997e-05,1.897480e-05,1.898532e-05,1.898869e-05,1.898891e-05,1.898335e-05,1.898201e-05,1.896578e-05,1.896150e-05,1.894124e-05,1.892550e-05,1.890931e-05,1.887740e-05,1.887083e-05,1.882653e-05,1.881895e-05,1.877708e-05,1.875169e-05,1.872306e-05,1.867691e-05,1.866500e-05,1.860338e-05,1.859576e-05,1.853861e-05,1.850922e-05,1.847109e-05,1.841815e-05,1.840116e-05,1.832913e-05,1.832329e-05,1.825529e-05,1.822530e-05,1.817988e-05,1.812474e-05,1.810313e-05,1.802525e-05,1.802212e-05,1.794643e-05,1.791786e-05,1.786685e-05,1.781237e-05,1.778665e-05,1.770597e-05,1.762495e-05,1.759897e-05,1.754369e-05,1.749162e-05,1.746232e-05,1.738418e-05,1.738092e-05,1.729959e-05,1.727683e-05,1.721840e-05,1.716978e-05,1.713742e-05,1.706318e-05,1.705674e-05,1.697640e-05,1.695718e-05,1.689647e-05,1.685190e-05,1.681699e-05,1.674746e-05,1.673801e-05,1.665957e-05,1.664395e-05,1.658172e-05,1.654148e-05,1.650448e-05,1.644010e-05,1.642789e-05,1.635198e-05,1.633989e-05,1.627676e-05,1.624092e-05,1.620228e-05,1.614322e-05,1.612853e-05,1.605555e-05,1.604685e-05,1.598335e-05,1.595183e-05,1.591194e-05,1.585821e-05,1.584134e-05,1.577155e-05,1.576601e-05,1.570259e-05,1.567524e-05,1.563446e-05,1.558593e-05,1.556717e-05,1.550073e-05,1.549809e-05,1.543513e-05,1.541172e-05,1.537038e-05,1.532684e-05,1.530649e-05,1.524344e-05,1.516153e-05,1.508111e-05,1.500216e-05,1.492469e-05,1.484868e-05,1.477412e-05,1.470101e-05,1.462933e-05,1.455907e-05,1.449021e-05,1.442274e-05,1.435664e-05,1.429189e-05,1.422848e-05,1.416638e-05,1.410559e-05,1.404607e-05,1.398781e-05,1.393079e-05,1.387499e-05,1.382039e-05,1.376697e-05,1.371471e-05,1.366358e-05
0.000000e+00,6.326228e-12,1.449511e-11,5.002342e-11,1.143573e-10,1.673788e-10,3.837344e-10,3.954776e-10,7.749965e-10,9.145963e-10,1.352736e-09,1.816470e-09,2.181763e-09,3.211685e-09,3.314482e-09,4.785246e-09,5.189337e-09,6.594853e-09,7.746883e-09,8.716773e-09,1.081480e-08,1.111631e-08,1.376205e-08,1.431835e-08,1.662760e-08,1.819684e-08,1.968994e-08,2.239864e-08,2.292758e-08,2.631951e-08,2.687514e-08,2.984479e-08,3.157814e-08,3.348248e-08,3.645965e-08,3.721189e-08,4.101284e-08,4.147284e-08,4.486601e-08,4.657321e-08,4.875319e-08,5.171973e-08,5.265746e-08,5.656341e-08,5.687553e-08,6.045711e-08,6.200834e-08,6.432619e-08,6.709054e-08,6.815981e-08,7.194853e-08,7.209903e-08,7.568429e-08,7.701485e-08,7.936026e-08,8.182280e-08,8.297071e-08,8.651094e-08,8.997713e-08,9.107016e-08,9.336625e-08,9.549373e-08,9.667596e-08,9.977692e-08,9.990449e-08,1.030506e-07,1.039166e-07,1.061135e-07,1.079111e-07,1.090927e-07,1.117597e-07,1.119882e-07,1.148001e-07,1.154626e-07,1.175288e-07,1.190208e-07,1.201749e-07,1.224358e-07,1.227392e-07,1.252225e-07,1.257095e-07,1.276258e-07,1.288444e-07,1.299504e-07,1.318430e-07,1.321973e-07,1.343679e-07,1.347082e-07,1.364634e-07,1.374430e-07,1.384852e-07,1.400506e-07,1.404348e-07,1.423134e-07,1.425341e-07,1.441226e-07,1.448970e-07,1.458637e-07,1.471425e-07,1.475384e-07,1.491480e-07,1.492740e-07,1.506939e-07,1.512949e-07,1.521778e-07,1.532085e-07,1.536010e-07,1.549649e-07,1.550183e-07,1.562711e-07,1.567274e-07,1.575209e-07,1.583393e-07,1.587158e-07,1.598572e-07,1.609464e-07,1.612842e-07,1.619849e-07,1.626235e-07,1.629739e-07,1.638781e-07,1.639148e-07,1.648090e-07,1.650512e-07,1.656577e-07,1.661456e-07,1.664621e-07,1.671643e-07,1.672236e-07,1.679434e-07,1.681100e-07,1.686225e-07,1.689856e-07,1.692624e-07,1.697937e-07,1.698640e-07,1.704285e-07,1.705370e-07,1.709571e-07,1.712181e-07,1.714507e-07,1.718393e-07,1.719106e-07,1.723377e-07,1.724031e-07,1.727331e-07,1.729119e-07,1.730977e-07,1.733680e-07,1.734326e-07,1.737386e-07,1.737735e-07,1.740168e-07,1.741306e-07,1.742680e-07,1.744414e-07,1.744931e-07,1.746930e-07,1.747079e-07,1.748685e-07,1.749321e-07,1.750205e-07,1.751158e-07,1.751497e-07,1.752570e-07,1.752609e-07,1.753431e-07,1.753691e-07,1.754088e-07,1.754422e-07,1.754548e-07,1.754818e-07,1.754895e-07,1.754668e-07,1.754153e-07,1.753363e-07,1.752313e-07,1.751015e-07,1.749484e-07,1.747730e-07,1.745767e-07,1.743605e-07,1.741255e-07,1.738729e-07,1.736036e-07,1.733187e-07,1.730190e-07,1.727056e-07,1.723792e-07,1.720407e-07,1.716909e-07,1.713306e-07,1.709605e-07,1.705813e-07,1.701938e-07,1.697985e-07
0.000000e+00,2.493277e-10,5.893691e-10,2.096788e-09,4.851138e-09,7.127759e-09,1.644418e-08,1.695093e-08,3.339386e-08,3.947558e-08,5.867123e-08,7.911306e-08,9.523888e-08,1.403209e-07,1.447638e-07,2.068093e-07,2.233520e-07,2.794017e-07,3.239012e-07,3.605626e-07,4.378976e-07,4.488255e-07,5.430875e-07,5.625758e-07,6.424078e-07,6.957555e-07,7.458899e-07,8.353756e-07,8.526373e-07,9.617424e-07,9.793573e-07,1.072299e-06,1.125621e-06,1.183423e-06,1.272160e-06,1.294269e-06,1.404056e-06,1.417125e-06,1.512078e-06,1.558885e-06,1.617713e-06,1.696068e-06,1.720428e-06,1.819783e-06,1.827575e-06,1.915422e-06,1.952573e-06,2.007073e-06,2.070478e-06,2.094538e-06,2.177688e-06,2.180923e-06,2.256450e-06,2.283726e-06,2.330805e-06,2.378857e-06,2.400772e-06,2.466408e-06,2.527799e-06,2.546565e-06,2.585052e-06,2.619579e-06,2.638292e-06,2.685755e-06,2.687657e-06,2.733293e-06,2.745424e-06,2.775355e-06,2.798941e-06,2.813998e-06,2.846666e-06,2.849381e-06,2.881660e-06,2.888962e-06,2.910992e-06,2.926187e-06,2.937528e-06,2.958687e-06,2.961419e-06,2.982809e-06,2.986799e-06,3.001838e-06,3.010844e-06,3.018640e-06,3.031128e-06,3.033346e-06,3.046079e-06,3.047941e-06,3.056959e-06,3.061557e-06,3.066099e-06,3.072232e-06,3.073608e-06,3.079588e-06,3.080208e-06,3.084139e-06,3.085712e-06,3.087352e-06,3.088954e-06,3.089316e-06,3.090115e-06,3.090131e-06,3.089828e-06,3.089427e-06,3.088532e-06,3.087012e-06,3.086296e-06,3.083187e-06,3.083046e-06,3.079271e-06,3.077674e-06,3.074605e-06,3.071034e-06,3.069248e-06,3.063252e-06,3.056668e-06,3.054445e-06,3.049544e-06,3.044721e-06,3.041923e-06,3.034180e-06,3.033849e-06,3.025361e-06,3.022915e-06,3.016496e-06,3.011010e-06,3.007289e-06,2.998545e-06,2.997773e-06,2.987979e-06,2.985591e-06,2.977937e-06,2.972215e-06,2.967673e-06,2.958478e-06,2.957214e-06,2.946582e-06,2.944437e-06,2.935801e-06,2.930143e-06,2.924892e-06,2.915644e-06,2.913874e-06,2.902767e-06,2.900982e-06,2.891586e-06,2.886198e-06,2.880348e-06,2.871327e-06,2.869068e-06,2.857761e-06,2.856402e-06,2.846438e-06,2.841455e-06,2.835113e-06,2.826511e-06,2.823797e-06,2.812500e-06,2.811597e-06,2.801231e-06,2.796734e-06,2.790000e-06,2.781943e-06,2.778816e-06,2.767685e-06,2.767241e-06,2.756616e-06,2.752647e-06,2.745614e-06,2.738174e-06,2.734686e-06,2.723836e-06,2.709645e-06,2.695611e-06,2.681744e-06,2.668051e-06,2.654541e-06,2.641218e-06,2.628088e-06,2.615156e-06,2.602426e-06,2.589900e-06,2.577581e-06,2.565471e-06,2.553571e-06,2.541882e-06,2.530405e-06,2.519139e-06,2.508084e-06,2.497240e-06,2.486605e-06,2.476179e-06,2.465959e-06,2.455945e-06,2.446135e-06,2.436526e-06
0.000000e+00,5.808983e-11,1.344441e-10,4.680666e-10,1.071987e-09,1.568375e-09,3.579947e-09,3.688514e-09,7.166952e-09,8.433118e-09,1.236776e-08,1.647728e-08,1.968165e-08,2.859666e-08,2.947861e-08,4.198538e-08,4.539244e-08,5.717240e-08,6.676275e-08,7.480012e-08,9.208856e-08,9.456306e-08,1.161753e-07,1.206969e-07,1.393839e-07,1.520061e-07,1.639580e-07,1.854950e-07,1.896785e-07,2.163331e-07,2.206707e-07,2.437161e-07,2.570604e-07,2.716303e-07,2.942186e-07,2.998895e-07,3.283208e-07,3.317365e-07,3.567667e-07,3.692507e-07,3.850865e-07,4.064484e-07,4.131564e-07,4.408696e-07,4.430684e-07,4.681354e-07,4.788990e-07,4.948783e-07,5.137742e-07,5.210365e-07,5.465607e-07,5.475679e-07,5.714125e-07,5.801887e-07,5.955632e-07,6.115744e-07,6.189923e-07,6.416864e-07,6.636381e-07,6.705054e-07,6.848452e-07,6.980276e-07,7.053095e-07,7.242616e-07,7.250367e-07,7.440350e-07,7.492253e-07,7.623150e-07,7.729433e-07,7.798892e-07,7.954460e-07,7.967715e-07,8.129771e-07,8.167674e-07,8.285217e-07,8.369443e-07,8.434221e-07,8.560151e-07,8.576953e-07,8.713587e-07,8.740197e-07,8.844297e-07,8.909983e-07,8.969259e-07,9.069914e-07,9.088650e-07,9.202642e-07,9.220392e-07,9.311411e-07,9.361815e-07,9.415127e-07,9.494574e-07,9.513957e-07,9.608069e-07,9.619053e-07,9.697624e-07,9.735626e-07,9.782782e-07,9.844658e-07,9.863700e-07,9.940528e-07,9.946502e-07,1.001342e-06,1.004150e-06,1.008251e-06,1.012999e-06,1.014795e-06,1.020988e-06,1.021228e-06,1.026842e-06,1.028869e-06,1.032371e-06,1.035952e-06,1.037588e-06,1.042504e-06,1.047132e-06,1.048554e-06,1.051483e-06,1.054127e-06,1.055568e-06,1.059250e-06,1.059399e-06,1.062985e-06,1.063946e-06,1.066336e-06,1.068239e-06,1.069464e-06,1.072151e-06,1.072376e-06,1.075082e-06,1.075702e-06,1.077592e-06,1.078914e-06,1.079913e-06,1.081806e-06,1.082054e-06,1.084023e-06,1.084397e-06,1.085827e-06,1.086703e-06,1.087475e-06,1.088742e-06,1.088972e-06,1.090326e-06,1.090530e-06,1.091544e-06,1.092082e-06,1.092632e-06,1.093413e-06,1.093597e-06,1.094443e-06,1.094537e-06,1.095177e-06,1.095466e-06,1.095804e-06,1.096213e-06,1.096330e-06,1.096760e-06,1.096791e-06,1.097099e-06,1.097209e-06,1.097350e-06,1.097480e-06,1.097520e-06,1.097611e-06,1.097613e-06,1.097629e-06,1.097618e-06,1.097577e-06,1.097504e-06,1.097459e-06,1.097280e-06,1.096953e-06,1.096532e-06,1.096023e-06,1.095434e-06,1.094772e-06,1.094042e-06,1.093251e-06,1.092403e-06,1.091504e-06,1.090559e-06,1.089572e-06,1.088548e-06,1.087491e-06,1.086404e-06,1.085292e-06,1.084157e-06,1.083003e-06,1.081832e-06,1.080648e-06,1.079452e-06,1.078248e-06,1.077038e-06,1.075823e-06,1.074606e-06
0.000000e+00,5.801656e-12,1.328219e-11,4.576209e-11,1.045166e-10,1.529534e-10,3.511467e-10,3.619361e-10,7.126356e-10,8.426025e-10,1.253385e-09,1.691385e-09,2.037184e-09,3.006267e-09,3.102069e-09,4.448494e-09,4.810548e-09,6.047447e-09,7.040377e-09,7.865259e-09,9.624051e-09,9.874514e-09,1.205345e-08,1.250791e-08,1.438307e-08,1.564797e-08,1.684512e-08,1.900207e-08,1.942110e-08,2.209200e-08,2.252687e-08,2.483845e-08,2.617788e-08,2.764108e-08,2.991089e-08,3.048094e-08,3.333976e-08,3.368327e-08,3.620061e-08,3.745593e-08,3.904784e-08,4.119397e-08,4.186748e-08,4.464714e-08,4.486745e-08,4.737610e-08,4.845141e-08,5.004533e-08,5.192596e-08,5.264739e-08,5.517624e-08,5.527580e-08,5.762712e-08,5.848963e-08,5.999648e-08,6.155973e-08,6.228175e-08,6.448128e-08,6.659416e-08,6.725192e-08,6.862013e-08,6.987124e-08,7.055946e-08,7.234040e-08,7.241290e-08,7.418154e-08,7.466174e-08,7.586678e-08,7.683856e-08,7.747025e-08,7.887481e-08,7.899380e-08,8.043937e-08,8.077494e-08,8.180906e-08,8.254374e-08,8.310502e-08,8.418623e-08,8.432946e-08,8.548461e-08,8.570752e-08,8.657273e-08,8.711282e-08,8.759609e-08,8.840729e-08,8.855691e-08,8.945742e-08,8.959605e-08,9.029981e-08,9.068416e-08,9.108625e-08,9.167653e-08,9.181884e-08,9.249967e-08,9.257799e-08,9.313076e-08,9.339319e-08,9.371408e-08,9.412665e-08,9.425157e-08,9.474510e-08,9.478274e-08,9.519649e-08,9.536565e-08,9.560753e-08,9.587945e-08,9.597992e-08,9.631533e-08,9.632800e-08,9.661537e-08,9.671503e-08,9.688161e-08,9.704412e-08,9.711556e-08,9.731868e-08,9.749237e-08,9.754196e-08,9.763801e-08,9.771710e-08,9.775690e-08,9.784706e-08,9.785032e-08,9.791949e-08,9.793467e-08,9.796558e-08,9.798263e-08,9.798973e-08,9.799352e-08,9.799305e-08,9.797657e-08,9.796978e-08,9.794131e-08,9.791373e-08,9.788825e-08,9.782758e-08,9.781833e-08,9.773244e-08,9.771343e-08,9.763146e-08,9.757326e-08,9.751621e-08,9.740896e-08,9.738749e-08,9.724607e-08,9.722231e-08,9.709268e-08,9.701502e-08,9.692804e-08,9.678867e-08,9.675281e-08,9.656765e-08,9.654479e-08,9.637318e-08,9.628481e-08,9.616999e-08,9.601009e-08,9.595866e-08,9.573973e-08,9.572190e-08,9.551372e-08,9.542145e-08,9.528114e-08,9.510988e-08,9.504247e-08,9.479815e-08,9.478827e-08,9.454864e-08,9.445763e-08,9.429435e-08,9.411890e-08,9.403567e-08,9.377300e-08,9.342076e-08,9.306298e-08,9.270041e-08,9.233373e-08,9.196362e-08,9.159068e-08,9.121549e-08,9.083859e-08,9.046049e-08,9.008165e-08,8.970252e-08,8.932349e-08,8.894497e-08,8.856729e-08,8.819078e-08,8.781576e-08,8.744251e-08,8.707129e-08,8.670233e-08,8.633586e-08,8.597208e-08,8.561119e-08,8.525334e-08,8.489871e-08
0.000000e+00,7.397906e-10,2.092697e-09,9.582512e-09,2.577234e-08,4.032268e-08,1.047973e-07,1.084393e-07,2.300683e-07,2.760284e-07,4.225080e-07,5.798447e-07,7.049198e-07,1.062285e-06,1.098357e-06,1.624029e-06,1.771907e-06,2.298565e-06,2.743861e-06,3.127016e-06,3.975156e-06,4.098609e-06,5.190034e-06,5.420239e-06,6.373380e-06,7.016203e-06,7.622502e-06,8.706496e-06,8.915572e-06,1.023502e-05,1.044759e-05,1.156658e-05,1.220646e-05,1.289835e-05,1.395703e-05,1.422014e-05,1.552307e-05,1.567778e-05,1.679936e-05,1.735071e-05,1.804226e-05,1.896098e-05,1.924605e-05,2.040592e-05,2.049669e-05,2.151806e-05,2.194886e-05,2.257951e-05,2.331115e-05,2.358816e-05,2.454262e-05,2.457966e-05,2.544221e-05,2.575259e-05,2.628683e-05,2.682997e-05,2.707690e-05,2.781325e-05,2.849708e-05,2.870504e-05,2.912985e-05,2.950879e-05,2.971324e-05,3.022856e-05,3.024911e-05,3.073940e-05,3.086880e-05,3.118616e-05,3.143418e-05,3.159145e-05,3.192948e-05,3.195735e-05,3.228593e-05,3.235946e-05,3.257921e-05,3.272877e-05,3.283918e-05,3.304194e-05,3.306777e-05,3.326684e-05,3.330328e-05,3.343819e-05,3.351691e-05,3.358353e-05,3.368672e-05,3.370450e-05,3.380267e-05,3.381636e-05,3.387953e-05,3.390927e-05,3.393649e-05,3.396863e-05,3.397489e-05,3.399601e-05,3.399744e-05,3.400104e-05,3.399845e-05,3.399111e-05,3.397423e-05,3.396730e-05,3.393062e-05,3.392716e-05,3.388200e-05,3.385942e-05,3.382235e-05,3.377305e-05,3.375251e-05,3.367327e-05,3.366991e-05,3.358536e-05,3.355173e-05,3.348949e-05,3.342008e-05,3.338631e-05,3.327643e-05,3.316044e-05,3.312212e-05,3.303887e-05,3.295838e-05,3.291223e-05,3.278633e-05,3.278100e-05,3.264561e-05,3.260701e-05,3.250649e-05,3.242138e-05,3.236402e-05,3.223031e-05,3.221857e-05,3.207048e-05,3.203458e-05,3.192007e-05,3.183494e-05,3.176763e-05,3.163204e-05,3.161345e-05,3.145778e-05,3.142649e-05,3.130086e-05,3.121885e-05,3.114293e-05,3.100963e-05,3.098418e-05,3.082482e-05,3.079928e-05,3.066503e-05,3.058823e-05,3.050498e-05,3.037685e-05,3.034482e-05,3.018470e-05,3.016550e-05,3.002476e-05,2.995448e-05,2.986512e-05,2.974407e-05,2.970591e-05,2.954721e-05,2.953454e-05,2.938915e-05,2.932612e-05,2.923180e-05,2.911900e-05,2.907525e-05,2.891959e-05,2.891338e-05,2.876487e-05,2.870942e-05,2.861118e-05,2.850727e-05,2.845856e-05,2.830707e-05,2.810893e-05,2.791294e-05,2.771921e-05,2.752781e-05,2.733881e-05,2.715226e-05,2.696821e-05,2.678671e-05,2.660778e-05,2.643145e-05,2.625775e-05,2.608668e-05,2.591826e-05,2.575248e-05,2.558935e-05,2.542886e-05,2.527101e-05,2.511578e-05,2.496315e-05,2.481313e-05,2.466567e-05,2.452077e-05,2.437839e-05,2.423852e-05
0.000000e+00,6.672081e-10,1.970737e-09,9.806229e-09,2.824105e-08,4.574386e-08,1.288463e-07,1.337248e-07,3.033361e-07,3.698470e-07,5.873418e-07,8.273361e-07,1.021267e-06,1.584815e-06,1.642225e-06,2.484256e-06,2.722102e-06,3.570028e-06,4.287438e-06,4.905597e-06,6.281119e-06,6.482584e-06,8.283508e-06,8.668652e-06,1.028601e-05,1.139879e-05,1.246525e-05,1.441328e-05,1.479507e-05,1.724863e-05,1.765088e-05,1.979885e-05,2.104935e-05,2.241875e-05,2.454706e-05,2.508191e-05,2.776289e-05,2.808464e-05,3.043761e-05,3.160669e-05,3.308378e-05,3.506325e-05,3.568118e-05,3.821192e-05,3.841102e-05,4.066061e-05,4.161416e-05,4.301442e-05,4.464450e-05,4.526300e-05,4.739846e-05,4.748144e-05,4.941518e-05,5.011140e-05,5.130964e-05,5.252711e-05,5.308016e-05,5.472670e-05,5.625063e-05,5.671278e-05,5.765452e-05,5.849158e-05,5.894183e-05,6.007183e-05,6.011672e-05,6.118394e-05,6.146416e-05,6.214861e-05,6.268041e-05,6.301611e-05,6.373315e-05,6.379198e-05,6.448178e-05,6.463514e-05,6.509101e-05,6.539902e-05,6.562509e-05,6.603707e-05,6.608925e-05,6.648853e-05,6.656103e-05,6.682774e-05,6.698191e-05,6.711144e-05,6.731000e-05,6.734393e-05,6.752928e-05,6.755482e-05,6.767128e-05,6.772509e-05,6.777348e-05,6.782879e-05,6.783916e-05,6.787139e-05,6.787314e-05,6.787300e-05,6.786469e-05,6.784661e-05,6.780934e-05,6.779466e-05,6.771939e-05,6.771242e-05,6.762285e-05,6.757871e-05,6.750694e-05,6.741248e-05,6.737341e-05,6.722388e-05,6.721759e-05,6.705983e-05,6.699747e-05,6.688260e-05,6.675521e-05,6.669347e-05,6.649357e-05,6.628398e-05,6.621503e-05,6.606567e-05,6.592179e-05,6.583953e-05,6.561584e-05,6.560639e-05,6.536702e-05,6.529897e-05,6.512211e-05,6.497277e-05,6.487231e-05,6.463869e-05,6.461821e-05,6.436038e-05,6.429800e-05,6.409931e-05,6.395187e-05,6.383547e-05,6.360134e-05,6.356929e-05,6.330117e-05,6.324735e-05,6.303148e-05,6.289074e-05,6.276056e-05,6.253227e-05,6.248873e-05,6.221627e-05,6.217263e-05,6.194345e-05,6.181245e-05,6.167053e-05,6.145226e-05,6.139772e-05,6.112525e-05,6.109259e-05,6.085331e-05,6.073387e-05,6.058208e-05,6.037651e-05,6.031171e-05,6.004238e-05,6.002088e-05,5.977421e-05,5.966730e-05,5.950735e-05,5.931608e-05,5.924190e-05,5.897798e-05,5.896746e-05,5.871569e-05,5.862169e-05,5.845513e-05,5.827897e-05,5.819637e-05,5.793950e-05,5.760344e-05,5.727093e-05,5.694210e-05,5.661708e-05,5.629594e-05,5.597878e-05,5.566567e-05,5.535666e-05,5.505181e-05,5.475116e-05,5.445474e-05,5.416256e-05,5.387465e-05,5.359102e-05,5.331167e-05,5.303659e-05,5.276577e-05,5.249922e-05,5.223689e-05,5.197878e-05,5.172487e-05,5.147511e-05,5.122949e-05,5.098796e-05
0.000000e+00,6.603700e-12,1.513181e-11,5.207278e-11,1.184343e-10,1.726834e-10,3.905135e-10,4.021889e-10,7.724238e-10,9.054820e-10,1.313797e-09,1.732836e-09,2.055028e-09,2.934689e-09,3.020628e-09,4.225621e-09,4.550951e-09,5.672463e-09,6.586043e-09,7.354430e-09,9.020319e-09,9.260445e-09,1.137706e-08,1.182433e-08,1.368867e-08,1.496192e-08,1.617739e-08,1.839025e-08,1.882329e-08,2.160475e-08,2.206086e-08,2.449912e-08,2.592174e-08,2.748330e-08,2.991993e-08,3.053444e-08,3.363041e-08,3.400393e-08,3.675033e-08,3.812563e-08,3.987487e-08,4.224176e-08,4.298652e-08,4.606968e-08,4.631468e-08,4.911072e-08,5.031267e-08,5.209796e-08,5.420987e-08,5.502156e-08,5.787343e-08,5.798591e-08,6.064698e-08,6.162525e-08,6.333707e-08,6.511664e-08,6.593984e-08,6.845257e-08,7.087346e-08,7.162857e-08,7.320152e-08,7.464261e-08,7.543648e-08,7.749471e-08,7.757863e-08,7.962874e-08,8.018643e-08,8.158799e-08,8.272053e-08,8.345787e-08,8.510072e-08,8.524012e-08,8.693670e-08,8.733136e-08,8.854971e-08,8.941732e-08,9.008138e-08,9.136378e-08,9.153400e-08,9.290994e-08,9.317614e-08,9.421161e-08,9.485992e-08,9.544140e-08,9.642065e-08,9.660174e-08,9.769502e-08,9.786388e-08,9.872361e-08,9.919506e-08,9.968988e-08,1.004196e-07,1.005961e-07,1.014446e-07,1.015426e-07,1.022375e-07,1.025694e-07,1.029771e-07,1.035048e-07,1.036654e-07,1.043045e-07,1.043536e-07,1.048964e-07,1.051204e-07,1.054430e-07,1.058097e-07,1.059464e-07,1.064081e-07,1.064258e-07,1.068302e-07,1.069727e-07,1.072142e-07,1.074544e-07,1.075618e-07,1.078747e-07,1.081544e-07,1.082372e-07,1.084024e-07,1.085452e-07,1.086202e-07,1.088021e-07,1.088092e-07,1.089706e-07,1.090111e-07,1.091059e-07,1.091750e-07,1.092162e-07,1.092967e-07,1.093028e-07,1.093668e-07,1.093789e-07,1.094094e-07,1.094242e-07,1.094316e-07,1.094351e-07,1.094344e-07,1.094190e-07,1.094138e-07,1.093861e-07,1.093624e-07,1.093368e-07,1.092833e-07,1.092719e-07,1.091922e-07,1.091781e-07,1.090986e-07,1.090490e-07,1.089919e-07,1.088976e-07,1.088728e-07,1.087420e-07,1.087255e-07,1.086002e-07,1.085345e-07,1.084481e-07,1.083260e-07,1.082863e-07,1.081154e-07,1.081013e-07,1.079359e-07,1.078619e-07,1.077486e-07,1.076090e-07,1.075538e-07,1.073520e-07,1.073438e-07,1.071439e-07,1.070674e-07,1.069297e-07,1.067809e-07,1.067101e-07,1.064853e-07,1.061815e-07,1.058704e-07,1.055528e-07,1.052295e-07,1.049013e-07,1.045688e-07,1.042327e-07,1.038935e-07,1.035519e-07,1.032084e-07,1.028634e-07,1.025175e-07,1.021711e-07,1.018245e-07,1.014781e-07,1.011324e-07,1.007876e-07,1.004439e-07,1.001018e-07,9.976141e-08,9.942302e-08,9.908683e-08,9.875305e-08,9.842186e-08
0.000000e+00,3.618009e-10,1.037575e-09,4.875893e-09,1.339629e-08,2.119174e-08,5.659698e-08,5.862769e-08,1.277304e-07,1.543426e-07,2.402219e-07,3.330416e-07,4.063689e-07,6.102251e-07,6.302388e-07,9.100665e-07,9.851385e-07,1.242069e-06,1.449315e-06,1.622323e-06,1.993732e-06,2.046881e-06,2.511450e-06,2.608749e-06,3.011169e-06,3.283124e-06,3.540580e-06,4.003895e-06,4.093742e-06,4.664438e-06,4.756957e-06,5.246407e-06,5.527961e-06,5.833576e-06,6.303214e-06,6.420254e-06,7.001281e-06,7.070402e-06,7.572130e-06,7.819063e-06,8.128954e-06,8.540792e-06,8.668595e-06,9.188562e-06,9.229250e-06,9.686986e-06,9.880012e-06,1.016255e-05,1.049033e-05,1.061444e-05,1.104223e-05,1.105884e-05,1.144587e-05,1.158530e-05,1.182557e-05,1.207031e-05,1.218177e-05,1.251509e-05,1.282626e-05,1.292129e-05,1.311612e-05,1.329085e-05,1.338555e-05,1.362584e-05,1.363548e-05,1.386685e-05,1.392843e-05,1.408060e-05,1.420077e-05,1.427765e-05,1.444498e-05,1.445892e-05,1.462529e-05,1.466310e-05,1.477761e-05,1.485707e-05,1.491668e-05,1.502873e-05,1.504329e-05,1.515818e-05,1.517981e-05,1.526205e-05,1.531194e-05,1.535558e-05,1.542660e-05,1.543938e-05,1.551407e-05,1.552521e-05,1.558020e-05,1.560906e-05,1.563830e-05,1.567934e-05,1.568887e-05,1.573239e-05,1.573716e-05,1.576929e-05,1.578354e-05,1.579999e-05,1.581942e-05,1.582489e-05,1.584435e-05,1.584568e-05,1.585871e-05,1.586311e-05,1.586831e-05,1.587245e-05,1.587345e-05,1.587442e-05,1.587438e-05,1.587148e-05,1.586952e-05,1.586490e-05,1.585845e-05,1.585490e-05,1.584171e-05,1.582555e-05,1.581979e-05,1.580662e-05,1.579313e-05,1.578509e-05,1.576215e-05,1.576115e-05,1.573496e-05,1.572724e-05,1.570667e-05,1.568875e-05,1.567643e-05,1.564702e-05,1.564439e-05,1.561066e-05,1.560233e-05,1.557537e-05,1.555497e-05,1.553864e-05,1.550521e-05,1.550057e-05,1.546127e-05,1.545327e-05,1.542083e-05,1.539938e-05,1.537934e-05,1.534374e-05,1.533689e-05,1.529355e-05,1.528654e-05,1.524941e-05,1.522796e-05,1.520454e-05,1.516815e-05,1.515900e-05,1.511285e-05,1.510727e-05,1.506615e-05,1.504545e-05,1.501897e-05,1.498282e-05,1.497136e-05,1.492336e-05,1.491950e-05,1.487502e-05,1.485560e-05,1.482639e-05,1.479122e-05,1.477751e-05,1.472842e-05,1.472645e-05,1.467916e-05,1.466139e-05,1.462976e-05,1.459610e-05,1.458025e-05,1.453067e-05,1.446517e-05,1.439965e-05,1.433418e-05,1.426881e-05,1.420359e-05,1.413857e-05,1.407379e-05,1.400929e-05,1.394510e-05,1.388126e-05,1.381780e-05,1.375475e-05,1.369214e-05,1.362998e-05,1.356829e-05,1.350711e-05,1.344644e-05,1.338630e-05,1.332670e-05,1.326767e-05,1.320920e-05,1.315131e-05,1.309402e-05,1.303732e-05
0.000000e+00,4.755345e-10,1.257341e-09,5.156011e-09,1.286312e-08,1.945439e-08,4.709552e-08,4.861032e-08,9.761392e-08,1.155494e-07,1.712688e-07,2.292422e-07,2.742459e-07,3.987895e-07,4.110864e-07,5.860703e-07,6.341676e-07,8.028276e-07,9.433989e-07,1.063687e-06,1.330164e-06,1.369146e-06,1.717981e-06,1.792762e-06,2.107888e-06,2.325954e-06,2.536077e-06,2.923164e-06,2.999567e-06,3.495248e-06,3.577330e-06,4.019888e-06,4.281023e-06,4.570140e-06,5.026469e-06,5.142559e-06,5.733654e-06,5.805674e-06,6.339938e-06,6.610629e-06,6.957987e-06,7.433534e-06,7.584496e-06,8.216324e-06,8.267011e-06,8.850524e-06,9.104251e-06,9.484375e-06,9.939132e-06,1.011540e-05,1.074138e-05,1.076629e-05,1.136035e-05,1.158111e-05,1.197056e-05,1.237974e-05,1.257054e-05,1.315902e-05,1.373493e-05,1.391642e-05,1.429739e-05,1.464998e-05,1.484570e-05,1.535825e-05,1.537931e-05,1.589779e-05,1.604021e-05,1.640084e-05,1.669518e-05,1.688827e-05,1.732282e-05,1.735998e-05,1.781593e-05,1.792301e-05,1.825616e-05,1.849586e-05,1.868078e-05,1.904164e-05,1.908993e-05,1.948379e-05,1.956074e-05,1.986258e-05,2.005367e-05,2.022655e-05,2.052102e-05,2.057596e-05,2.091110e-05,2.096342e-05,2.123228e-05,2.138158e-05,2.153981e-05,2.177622e-05,2.183401e-05,2.211520e-05,2.214809e-05,2.238372e-05,2.249794e-05,2.263991e-05,2.282656e-05,2.288409e-05,2.311660e-05,2.313470e-05,2.333777e-05,2.342314e-05,2.354794e-05,2.369262e-05,2.374742e-05,2.393656e-05,2.394391e-05,2.411565e-05,2.417773e-05,2.428503e-05,2.439481e-05,2.444499e-05,2.459585e-05,2.473789e-05,2.478154e-05,2.487142e-05,2.495254e-05,2.499672e-05,2.510952e-05,2.511406e-05,2.522373e-05,2.525310e-05,2.532599e-05,2.538389e-05,2.542110e-05,2.550250e-05,2.550931e-05,2.559088e-05,2.560950e-05,2.566605e-05,2.570544e-05,2.573506e-05,2.579086e-05,2.579812e-05,2.585548e-05,2.586628e-05,2.590734e-05,2.593221e-05,2.595392e-05,2.598911e-05,2.599542e-05,2.603205e-05,2.603747e-05,2.606399e-05,2.607771e-05,2.609144e-05,2.611029e-05,2.611458e-05,2.613358e-05,2.613560e-05,2.614863e-05,2.615404e-05,2.615988e-05,2.616600e-05,2.616750e-05,2.617165e-05,2.617184e-05,2.617248e-05,2.617191e-05,2.617013e-05,2.616655e-05,2.616475e-05,2.615647e-05,2.615608e-05,2.614544e-05,2.614081e-05,2.613177e-05,2.612104e-05,2.611560e-05,2.609704e-05,2.606909e-05,2.603745e-05,2.600235e-05,2.596405e-05,2.592276e-05,2.587869e-05,2.583206e-05,2.578306e-05,2.573186e-05,2.567866e-05,2.562362e-05,2.556689e-05,2.550863e-05,2.544899e-05,2.538810e-05,2.532609e-05,2.526309e-05,2.519921e-05,2.513457e-05,2.506926e-05,2.500340e-05,2.493706e-05,2.487035e-05,2.480335e-05
0.000000e+00,1.571941e-10,3.680981e-10,1.296743e-09,2.985421e-09,4.376637e-09,1.003417e-08,1.034032e-08,2.019031e-08,2.379458e-08,3.505290e-08,4.689161e-08,5.616531e-08,8.205242e-08,8.461329e-08,1.207464e-07,1.305052e-07,1.639190e-07,1.907637e-07,2.130440e-07,2.604139e-07,2.671409e-07,3.254355e-07,3.375399e-07,3.872797e-07,4.206430e-07,4.520783e-07,5.083694e-07,5.192536e-07,5.882353e-07,5.994024e-07,6.584649e-07,6.924596e-07,7.294053e-07,7.863285e-07,8.005511e-07,8.714372e-07,8.799057e-07,9.416456e-07,9.722260e-07,1.010809e-06,1.062477e-06,1.078610e-06,1.144786e-06,1.150003e-06,1.209117e-06,1.234293e-06,1.271431e-06,1.314972e-06,1.331595e-06,1.389513e-06,1.391781e-06,1.445116e-06,1.464558e-06,1.498366e-06,1.533222e-06,1.549246e-06,1.597756e-06,1.643916e-06,1.658195e-06,1.687754e-06,1.714610e-06,1.729311e-06,1.767104e-06,1.768635e-06,1.805781e-06,1.815799e-06,1.840808e-06,1.860833e-06,1.873779e-06,1.902353e-06,1.904760e-06,1.933817e-06,1.940512e-06,1.961018e-06,1.975465e-06,1.986431e-06,2.007370e-06,2.010125e-06,2.032165e-06,2.036381e-06,2.052620e-06,2.062651e-06,2.071554e-06,2.086329e-06,2.089030e-06,2.105113e-06,2.107561e-06,2.119863e-06,2.126486e-06,2.133339e-06,2.143241e-06,2.145599e-06,2.156699e-06,2.157956e-06,2.166694e-06,2.170755e-06,2.175635e-06,2.181758e-06,2.183575e-06,2.190561e-06,2.191080e-06,2.196641e-06,2.198830e-06,2.201861e-06,2.205111e-06,2.206264e-06,2.209894e-06,2.210023e-06,2.212789e-06,2.213659e-06,2.214990e-06,2.216109e-06,2.216534e-06,2.217457e-06,2.217793e-06,2.217782e-06,2.217576e-06,2.217161e-06,2.216837e-06,2.215665e-06,2.215606e-06,2.213914e-06,2.213361e-06,2.211787e-06,2.210313e-06,2.209252e-06,2.206582e-06,2.206336e-06,2.203061e-06,2.202224e-06,2.199452e-06,2.197293e-06,2.195530e-06,2.191838e-06,2.191318e-06,2.186834e-06,2.185906e-06,2.182099e-06,2.179543e-06,2.177130e-06,2.172789e-06,2.171946e-06,2.166563e-06,2.165684e-06,2.160997e-06,2.158264e-06,2.155262e-06,2.150564e-06,2.149374e-06,2.143347e-06,2.142615e-06,2.137192e-06,2.134447e-06,2.130923e-06,2.126089e-06,2.124551e-06,2.118087e-06,2.117566e-06,2.111542e-06,2.108903e-06,2.104925e-06,2.100123e-06,2.098247e-06,2.091516e-06,2.091246e-06,2.084741e-06,2.082292e-06,2.077929e-06,2.073280e-06,2.071089e-06,2.064227e-06,2.055147e-06,2.046056e-06,2.036967e-06,2.027893e-06,2.018843e-06,2.009830e-06,2.000863e-06,1.991950e-06,1.983099e-06,1.974319e-06,1.965615e-06,1.956993e-06,1.948459e-06,1.940018e-06,1.931674e-06,1.923431e-06,1.915292e-06,1.907261e-06,1.899340e-06,1.891532e-06,1.883838e-06,1.876260e-06,1.868799e-06,1.861457e-06
0.000000e+00,1.988646e-11,4.557767e-11,1.563882e-10,3.544581e-10,5.159512e-10,1.163878e-09,1.198642e-09,2.305814e-09,2.706553e-09,3.947362e-09,5.239413e-09,6.246331e-09,9.057575e-09,9.337200e-09,1.335124e-08,1.446381e-08,1.838160e-08,2.164950e-08,2.443427e-08,3.052285e-08,3.140125e-08,3.909021e-08,4.069558e-08,4.728749e-08,5.168677e-08,5.580443e-08,6.309520e-08,6.449148e-08,7.323393e-08,7.463164e-08,8.194295e-08,8.609009e-08,9.054778e-08,9.731733e-08,9.899045e-08,1.072226e-07,1.081944e-07,1.152039e-07,1.186273e-07,1.229008e-07,1.285432e-07,1.302861e-07,1.373387e-07,1.378880e-07,1.440431e-07,1.466249e-07,1.503890e-07,1.547327e-07,1.563707e-07,1.619871e-07,1.622041e-07,1.672403e-07,1.690435e-07,1.721359e-07,1.752648e-07,1.766822e-07,1.808894e-07,1.847694e-07,1.859440e-07,1.883355e-07,1.904594e-07,1.916016e-07,1.944684e-07,1.945823e-07,1.972925e-07,1.980050e-07,1.997472e-07,2.011034e-07,2.019610e-07,2.037974e-07,2.039484e-07,2.057235e-07,2.061195e-07,2.072999e-07,2.081008e-07,2.086907e-07,2.097709e-07,2.099082e-07,2.109644e-07,2.111573e-07,2.118705e-07,2.122858e-07,2.126370e-07,2.131803e-07,2.132739e-07,2.137908e-07,2.138629e-07,2.141962e-07,2.143537e-07,2.144986e-07,2.146714e-07,2.147056e-07,2.148244e-07,2.148330e-07,2.148617e-07,2.148539e-07,2.148238e-07,2.147484e-07,2.147166e-07,2.145455e-07,2.145293e-07,2.143156e-07,2.142082e-07,2.140316e-07,2.137960e-07,2.136978e-07,2.133183e-07,2.133022e-07,2.128970e-07,2.127357e-07,2.124373e-07,2.121045e-07,2.119426e-07,2.114158e-07,2.108599e-07,2.106763e-07,2.102774e-07,2.098918e-07,2.096708e-07,2.090679e-07,2.090424e-07,2.083942e-07,2.082095e-07,2.077283e-07,2.073211e-07,2.070466e-07,2.064067e-07,2.063505e-07,2.056419e-07,2.054701e-07,2.049221e-07,2.045147e-07,2.041925e-07,2.035434e-07,2.034544e-07,2.027090e-07,2.025591e-07,2.019573e-07,2.015643e-07,2.012004e-07,2.005613e-07,2.004392e-07,1.996747e-07,1.995521e-07,1.989076e-07,1.985387e-07,1.981387e-07,1.975228e-07,1.973687e-07,1.965983e-07,1.965059e-07,1.958281e-07,1.954894e-07,1.950586e-07,1.944746e-07,1.942904e-07,1.935240e-07,1.934627e-07,1.927597e-07,1.924548e-07,1.919982e-07,1.914517e-07,1.912396e-07,1.904844e-07,1.904543e-07,1.897330e-07,1.894634e-07,1.889856e-07,1.884798e-07,1.882424e-07,1.875039e-07,1.865364e-07,1.855778e-07,1.846285e-07,1.836889e-07,1.827593e-07,1.818401e-07,1.809316e-07,1.800339e-07,1.791472e-07,1.782718e-07,1.774078e-07,1.765553e-07,1.757143e-07,1.748850e-07,1.740674e-07,1.732615e-07,1.724674e-07,1.716850e-07,1.709144e-07,1.701555e-07,1.694084e-07,1.686729e-07,1.679489e-07,1.672365e-07
0.000000e+00,1.634672e-10,3.921419e-10,1.404840e-09,3.226797e-09,4.705761e-09,1.054656e-08,1.085566e-08,2.049033e-08,2.388500e-08,3.412257e-08,4.439465e-08,5.216041e-08,7.291115e-08,7.490978e-08,1.025596e-07,1.099329e-07,1.351496e-07,1.555092e-07,1.725232e-07,2.090524e-07,2.142731e-07,2.596976e-07,2.691405e-07,3.078035e-07,3.334835e-07,3.573894e-07,3.992683e-07,4.072054e-07,4.561227e-07,4.638024e-07,5.032430e-07,5.250249e-07,5.479246e-07,5.816280e-07,5.897514e-07,6.284861e-07,6.329203e-07,6.640241e-07,6.786432e-07,6.963572e-07,7.188226e-07,7.255466e-07,7.517023e-07,7.536678e-07,7.749684e-07,7.835026e-07,7.955118e-07,8.087181e-07,8.135128e-07,8.291586e-07,8.297381e-07,8.426373e-07,8.469950e-07,8.541338e-07,8.609104e-07,8.638263e-07,8.718848e-07,8.784698e-07,8.802904e-07,8.837304e-07,8.864665e-07,8.878049e-07,8.907183e-07,8.908200e-07,8.928918e-07,8.933175e-07,8.941255e-07,8.945035e-07,8.946164e-07,8.944861e-07,8.944505e-07,8.937052e-07,8.934479e-07,8.924499e-07,8.915476e-07,8.907467e-07,8.889216e-07,8.886511e-07,8.862126e-07,8.856876e-07,8.834750e-07,8.819466e-07,8.804779e-07,8.777855e-07,8.772563e-07,8.738414e-07,8.732789e-07,8.702610e-07,8.684910e-07,8.665398e-07,8.634764e-07,8.626999e-07,8.587608e-07,8.582823e-07,8.547402e-07,8.529494e-07,8.506536e-07,8.475123e-07,8.465149e-07,8.423365e-07,8.420009e-07,8.381295e-07,8.364410e-07,8.339038e-07,8.308546e-07,8.296681e-07,8.254303e-07,8.252609e-07,8.211975e-07,8.196761e-07,8.169758e-07,8.141143e-07,8.127709e-07,8.085876e-07,8.044306e-07,8.031065e-07,8.003035e-07,7.976796e-07,7.962101e-07,7.923147e-07,7.921532e-07,7.881357e-07,7.870182e-07,7.841599e-07,7.817954e-07,7.802280e-07,7.766509e-07,7.763417e-07,7.725027e-07,7.715885e-07,7.687123e-07,7.666114e-07,7.649717e-07,7.617220e-07,7.612820e-07,7.576439e-07,7.569225e-07,7.540581e-07,7.522144e-07,7.505252e-07,7.475988e-07,7.470456e-07,7.436197e-07,7.430765e-07,7.402475e-07,7.386481e-07,7.369293e-07,7.343137e-07,7.336651e-07,7.304549e-07,7.300733e-07,7.272985e-07,7.259266e-07,7.241957e-07,7.218734e-07,7.211464e-07,7.181502e-07,7.179128e-07,7.152068e-07,7.140442e-07,7.123159e-07,7.102667e-07,7.094770e-07,7.066897e-07,7.065793e-07,7.039535e-07,7.029809e-07,7.012679e-07,6.994704e-07,6.986324e-07,6.960464e-07,6.927077e-07,6.894528e-07,6.862805e-07,6.831892e-07,6.801775e-07,6.772439e-07,6.743869e-07,6.716049e-07,6.688965e-07,6.662600e-07,6.636940e-07,6.611968e-07,6.587671e-07,6.564032e-07,6.541038e-07,6.518671e-07,6.496919e-07,6.475766e-07,6.455198e-07,6.435201e-07,6.415760e-07,6.396863e-07,6.378494e-07,6.360642e-07
0.000000e+00,1.272576e-11,2.925388e-11,1.014570e-10,2.330246e-10,3.421276e-10,7.930178e-10,8.177408e-10,1.629467e-09,1.933722e-09,2.904345e-09,3.948797e-09,4.776209e-09,7.092680e-09,7.321129e-09,1.052442e-08,1.138527e-08,1.433330e-08,1.671369e-08,1.870375e-08,2.299122e-08,2.360704e-08,2.902296e-08,3.016607e-08,3.493330e-08,3.819557e-08,4.131806e-08,4.703066e-08,4.815350e-08,5.541140e-08,5.660975e-08,6.305916e-08,6.685798e-08,7.106031e-08,7.768922e-08,7.937537e-08,8.796274e-08,8.900950e-08,9.677972e-08,1.007209e-07,1.057834e-07,1.127250e-07,1.149316e-07,1.241834e-07,1.249268e-07,1.335000e-07,1.372365e-07,1.428449e-07,1.495719e-07,1.521846e-07,1.614882e-07,1.618591e-07,1.707279e-07,1.740337e-07,1.798791e-07,1.860401e-07,1.889200e-07,1.978316e-07,2.065975e-07,2.093695e-07,2.152038e-07,2.206227e-07,2.236389e-07,2.315665e-07,2.318931e-07,2.399587e-07,2.421823e-07,2.478294e-07,2.524563e-07,2.555006e-07,2.623789e-07,2.629688e-07,2.702318e-07,2.719442e-07,2.772882e-07,2.811493e-07,2.841375e-07,2.899938e-07,2.907800e-07,2.972166e-07,2.984793e-07,3.034486e-07,3.066089e-07,3.094778e-07,3.143874e-07,3.153066e-07,3.209376e-07,3.218204e-07,3.263735e-07,3.289143e-07,3.316173e-07,3.356763e-07,3.366724e-07,3.415421e-07,3.421142e-07,3.462299e-07,3.482358e-07,3.507393e-07,3.540495e-07,3.550741e-07,3.592380e-07,3.595639e-07,3.632348e-07,3.647875e-07,3.670681e-07,3.697290e-07,3.707418e-07,3.742597e-07,3.743972e-07,3.776255e-07,3.788007e-07,3.808430e-07,3.829480e-07,3.839158e-07,3.868478e-07,3.896425e-07,3.905085e-07,3.923036e-07,3.939382e-07,3.948346e-07,3.971453e-07,3.972391e-07,3.995204e-07,4.001376e-07,4.016821e-07,4.029231e-07,4.037275e-07,4.055094e-07,4.056599e-07,4.074825e-07,4.079039e-07,4.091985e-07,4.101141e-07,4.108111e-07,4.121470e-07,4.123232e-07,4.137380e-07,4.140096e-07,4.150584e-07,4.157086e-07,4.162872e-07,4.172507e-07,4.174272e-07,4.184813e-07,4.186422e-07,4.194521e-07,4.198893e-07,4.203423e-07,4.209981e-07,4.211544e-07,4.218910e-07,4.219744e-07,4.225545e-07,4.228239e-07,4.231473e-07,4.235520e-07,4.236718e-07,4.241303e-07,4.241642e-07,4.245249e-07,4.246654e-07,4.248579e-07,4.250608e-07,4.251315e-07,4.253475e-07,4.253550e-07,4.255082e-07,4.255528e-07,4.256154e-07,4.256587e-07,4.256710e-07,4.256770e-07,4.256118e-07,4.254673e-07,4.252473e-07,4.249556e-07,4.245958e-07,4.241714e-07,4.236858e-07,4.231422e-07,4.225438e-07,4.218934e-07,4.211941e-07,4.204486e-07,4.196595e-07,4.188295e-07,4.179610e-07,4.170563e-07,4.161178e-07,4.151475e-07,4.141477e-07,4.131203e-07,4.120673e-07,4.109904e-07,4.098915e-07,4.087723e-07
0.000000e+00,5.621769e-10,1.554446e-09,6.842841e-09,1.790047e-08,2.766557e-08,7.028617e-08,7.268044e-08,1.526279e-07,1.829602e-07,2.804063e-07,3.865019e-07,4.718505e-07,7.196237e-07,7.448752e-07,1.114892e-06,1.219002e-06,1.586986e-06,1.893070e-06,2.152209e-06,2.712740e-06,2.792996e-06,3.491082e-06,3.636186e-06,4.231452e-06,4.629240e-06,5.002662e-06,5.667797e-06,5.795881e-06,6.603935e-06,6.734178e-06,7.420672e-06,7.814160e-06,8.240610e-06,8.895503e-06,9.058769e-06,9.870631e-06,9.967432e-06,1.067211e-05,1.102051e-05,1.145956e-05,1.204669e-05,1.222983e-05,1.298020e-05,1.303930e-05,1.370841e-05,1.399307e-05,1.441265e-05,1.490404e-05,1.509149e-05,1.574391e-05,1.576945e-05,1.636921e-05,1.658759e-05,1.696699e-05,1.735768e-05,1.753712e-05,1.807966e-05,1.859489e-05,1.875405e-05,1.908319e-05,1.938181e-05,1.954509e-05,1.996426e-05,1.998122e-05,2.039227e-05,2.050297e-05,2.077898e-05,2.099966e-05,2.114215e-05,2.145617e-05,2.148259e-05,2.180113e-05,2.187442e-05,2.209861e-05,2.225631e-05,2.237587e-05,2.260378e-05,2.263372e-05,2.287300e-05,2.291870e-05,2.309450e-05,2.320291e-05,2.329900e-05,2.345821e-05,2.348727e-05,2.366006e-05,2.368631e-05,2.381807e-05,2.388887e-05,2.396201e-05,2.406748e-05,2.409254e-05,2.421033e-05,2.422363e-05,2.431598e-05,2.435878e-05,2.441010e-05,2.447427e-05,2.449327e-05,2.456603e-05,2.457142e-05,2.462893e-05,2.465144e-05,2.468246e-05,2.471549e-05,2.472712e-05,2.476338e-05,2.476466e-05,2.479167e-05,2.480000e-05,2.481244e-05,2.482246e-05,2.482608e-05,2.483298e-05,2.483353e-05,2.483242e-05,2.482808e-05,2.482159e-05,2.481695e-05,2.480125e-05,2.480050e-05,2.477901e-05,2.477213e-05,2.475278e-05,2.473490e-05,2.472211e-05,2.469019e-05,2.468725e-05,2.464847e-05,2.463860e-05,2.460600e-05,2.458069e-05,2.456008e-05,2.451699e-05,2.451092e-05,2.445875e-05,2.444798e-05,2.440376e-05,2.437412e-05,2.434615e-05,2.429585e-05,2.428608e-05,2.422375e-05,2.421357e-05,2.415930e-05,2.412766e-05,2.409290e-05,2.403847e-05,2.402469e-05,2.395482e-05,2.394633e-05,2.388342e-05,2.385156e-05,2.381062e-05,2.375443e-05,2.373654e-05,2.366129e-05,2.365522e-05,2.358498e-05,2.355419e-05,2.350772e-05,2.345156e-05,2.342961e-05,2.335073e-05,2.334756e-05,2.327117e-05,2.324238e-05,2.319103e-05,2.313623e-05,2.311037e-05,2.302927e-05,2.292168e-05,2.281360e-05,2.270518e-05,2.259654e-05,2.248782e-05,2.237913e-05,2.227056e-05,2.216223e-05,2.205421e-05,2.194659e-05,2.183945e-05,2.173285e-05,2.162687e-05,2.152156e-05,2.141698e-05,2.131317e-05,2.121018e-05,2.110805e-05,2.100683e-05,2.090653e-05,2.080720e-05,2.070885e-05,2.061152e-05,2.051523e-05
0.000000e+00,1.025855e-11,2.346489e-11,8.078667e-11,1.846368e-10,2.704756e-10,6.240067e-10,6.433561e-10,1.277477e-09,1.514727e-09,2.270726e-09,3.084093e-09,3.729320e-09,5.541367e-09,5.720354e-09,8.225608e-09,8.895271e-09,1.116914e-08,1.297931e-08,1.447347e-08,1.763273e-08,1.807991e-08,2.194480e-08,2.274556e-08,2.603221e-08,2.823459e-08,3.030904e-08,3.402399e-08,3.474252e-08,3.929943e-08,4.003775e-08,4.394613e-08,4.619856e-08,4.864905e-08,5.242977e-08,5.337539e-08,5.809382e-08,5.865809e-08,6.277513e-08,6.481617e-08,6.739264e-08,7.084452e-08,7.192255e-08,7.634411e-08,7.669260e-08,8.063965e-08,8.231921e-08,8.479453e-08,8.769222e-08,8.879695e-08,9.263777e-08,9.278794e-08,9.631027e-08,9.759023e-08,9.980987e-08,1.020894e-07,1.031339e-07,1.062812e-07,1.092523e-07,1.101660e-07,1.120485e-07,1.137474e-07,1.146723e-07,1.170320e-07,1.171270e-07,1.194165e-07,1.200286e-07,1.215452e-07,1.227471e-07,1.235177e-07,1.251989e-07,1.253392e-07,1.270148e-07,1.273958e-07,1.285499e-07,1.293503e-07,1.299500e-07,1.310747e-07,1.312205e-07,1.323668e-07,1.325817e-07,1.333944e-07,1.338835e-07,1.343085e-07,1.349924e-07,1.351143e-07,1.358170e-07,1.359202e-07,1.364216e-07,1.366783e-07,1.369328e-07,1.372778e-07,1.373555e-07,1.376941e-07,1.377293e-07,1.379532e-07,1.380430e-07,1.381369e-07,1.382286e-07,1.382494e-07,1.382946e-07,1.382955e-07,1.382765e-07,1.382523e-07,1.381987e-07,1.381076e-07,1.380646e-07,1.378777e-07,1.378692e-07,1.376413e-07,1.375446e-07,1.373584e-07,1.371410e-07,1.370320e-07,1.366651e-07,1.362603e-07,1.361232e-07,1.358202e-07,1.355212e-07,1.353473e-07,1.348648e-07,1.348441e-07,1.343127e-07,1.341592e-07,1.337553e-07,1.334093e-07,1.331740e-07,1.326198e-07,1.325708e-07,1.319475e-07,1.317951e-07,1.313058e-07,1.309391e-07,1.306475e-07,1.300557e-07,1.299741e-07,1.292872e-07,1.291484e-07,1.285882e-07,1.282204e-07,1.278785e-07,1.272749e-07,1.271592e-07,1.264318e-07,1.263147e-07,1.256972e-07,1.253424e-07,1.249566e-07,1.243605e-07,1.242111e-07,1.234615e-07,1.233713e-07,1.227088e-07,1.223769e-07,1.219539e-07,1.213791e-07,1.211975e-07,1.204404e-07,1.203798e-07,1.196833e-07,1.193806e-07,1.189269e-07,1.183831e-07,1.181718e-07,1.174186e-07,1.173886e-07,1.166679e-07,1.163983e-07,1.159201e-07,1.154135e-07,1.151756e-07,1.144351e-07,1.134641e-07,1.125014e-07,1.115477e-07,1.106038e-07,1.096702e-07,1.087476e-07,1.078363e-07,1.069368e-07,1.060494e-07,1.051746e-07,1.043125e-07,1.034634e-07,1.026275e-07,1.018048e-07,1.009956e-07,1.001999e-07,9.941775e-08,9.864915e-08,9.789411e-08,9.715260e-08,9.642457e-08,9.570997e-08,9.500869e-08,9.432065e-08
0.000000e+00,8.656698e-10,2.501388e-09,1.191344e-08,3.304845e-08,5.250313e-08,1.413148e-07,1.464176e-07,3.201133e-07,3.870204e-07,6.036072e-07,8.406480e-07,1.031506e-06,1.583853e-06,1.639902e-06,2.454387e-06,2.681179e-06,3.475108e-06,4.127642e-06,4.675505e-06,5.848598e-06,6.015353e-06,7.453870e-06,7.750208e-06,8.956044e-06,9.752746e-06,1.049375e-05,1.179640e-05,1.204465e-05,1.359060e-05,1.383644e-05,1.511645e-05,1.583784e-05,1.660921e-05,1.777196e-05,1.805760e-05,1.945188e-05,1.961515e-05,2.078383e-05,2.134836e-05,2.204675e-05,2.295718e-05,2.323550e-05,2.434647e-05,2.443192e-05,2.537753e-05,2.576736e-05,2.632788e-05,2.696234e-05,2.719793e-05,2.798914e-05,2.801918e-05,2.870382e-05,2.894293e-05,2.934497e-05,2.974072e-05,2.991610e-05,3.042112e-05,3.086418e-05,3.099355e-05,3.124943e-05,3.146760e-05,3.158108e-05,3.185289e-05,3.186328e-05,3.210003e-05,3.215871e-05,3.229521e-05,3.239391e-05,3.245250e-05,3.256670e-05,3.257533e-05,3.266690e-05,3.268455e-05,3.273015e-05,3.275425e-05,3.276785e-05,3.278189e-05,3.278251e-05,3.277644e-05,3.277292e-05,3.275172e-05,3.273214e-05,3.271026e-05,3.266376e-05,3.265378e-05,3.258386e-05,3.257152e-05,3.250192e-05,3.245869e-05,3.240922e-05,3.232812e-05,3.230695e-05,3.219613e-05,3.218231e-05,3.207772e-05,3.202344e-05,3.195257e-05,3.185342e-05,3.182145e-05,3.168506e-05,3.167394e-05,3.154403e-05,3.148645e-05,3.139894e-05,3.129224e-05,3.125029e-05,3.109856e-05,3.109244e-05,3.094418e-05,3.088803e-05,3.078753e-05,3.067990e-05,3.062897e-05,3.046881e-05,3.030734e-05,3.025544e-05,3.014484e-05,3.004040e-05,2.998154e-05,2.982422e-05,2.981766e-05,2.965341e-05,2.960738e-05,2.948897e-05,2.939028e-05,2.932450e-05,2.917331e-05,2.916017e-05,2.899611e-05,2.895679e-05,2.883245e-05,2.874101e-05,2.866930e-05,2.852625e-05,2.850678e-05,2.834499e-05,2.831272e-05,2.818400e-05,2.810064e-05,2.802391e-05,2.789018e-05,2.786479e-05,2.770670e-05,2.768151e-05,2.754971e-05,2.747476e-05,2.739388e-05,2.727007e-05,2.723924e-05,2.708586e-05,2.706754e-05,2.693377e-05,2.686727e-05,2.678301e-05,2.666933e-05,2.663360e-05,2.648559e-05,2.647381e-05,2.633899e-05,2.628075e-05,2.619383e-05,2.609021e-05,2.605012e-05,2.590790e-05,2.590224e-05,2.576716e-05,2.571686e-05,2.562793e-05,2.553411e-05,2.549021e-05,2.535401e-05,2.517657e-05,2.500180e-05,2.482972e-05,2.466031e-05,2.449358e-05,2.432952e-05,2.416812e-05,2.400936e-05,2.385324e-05,2.369974e-05,2.354883e-05,2.340049e-05,2.325471e-05,2.311144e-05,2.297068e-05,2.283239e-05,2.269653e-05,2.256309e-05,2.243203e-05,2.230332e-05,2.217693e-05,2.205283e-05,2.193098e-05,2.181134e-05
0.000000e+00,3.577314e-09,9.868704e-09,4.336807e-08,1.136942e-07,1.762115e-07,4.535516e-07,4.693368e-07,1.007501e-06,1.216745e-06,1.904624e-06,2.675817e-06,3.309289e-06,5.192754e-06,5.387263e-06,8.262012e-06,9.074243e-06,1.194058e-05,1.431220e-05,1.630905e-05,2.059472e-05,2.120489e-05,2.648158e-05,2.757231e-05,3.202894e-05,3.499328e-05,3.776766e-05,4.269260e-05,4.363886e-05,4.959582e-05,5.055418e-05,5.559910e-05,5.848678e-05,6.161396e-05,6.641317e-05,6.760927e-05,7.355694e-05,7.426624e-05,7.943203e-05,8.198828e-05,8.521242e-05,8.953029e-05,9.087897e-05,9.641547e-05,9.685235e-05,1.018085e-04,1.039230e-04,1.070471e-04,1.107185e-04,1.121229e-04,1.170294e-04,1.172221e-04,1.217623e-04,1.234230e-04,1.263186e-04,1.293153e-04,1.306970e-04,1.348971e-04,1.389198e-04,1.401698e-04,1.427664e-04,1.451369e-04,1.464393e-04,1.498043e-04,1.499411e-04,1.532750e-04,1.541789e-04,1.564445e-04,1.582688e-04,1.594533e-04,1.620829e-04,1.623054e-04,1.650049e-04,1.656305e-04,1.675559e-04,1.689213e-04,1.699628e-04,1.719651e-04,1.722299e-04,1.743613e-04,1.747717e-04,1.763614e-04,1.773510e-04,1.782345e-04,1.797129e-04,1.799848e-04,1.816164e-04,1.818668e-04,1.831335e-04,1.838222e-04,1.845400e-04,1.855884e-04,1.858400e-04,1.870373e-04,1.871743e-04,1.881357e-04,1.885886e-04,1.891389e-04,1.898399e-04,1.900506e-04,1.908742e-04,1.909364e-04,1.916133e-04,1.918860e-04,1.922711e-04,1.926963e-04,1.928510e-04,1.933561e-04,1.933748e-04,1.937895e-04,1.939285e-04,1.941541e-04,1.943643e-04,1.944530e-04,1.946889e-04,1.948645e-04,1.949085e-04,1.949826e-04,1.950291e-04,1.950456e-04,1.950566e-04,1.950561e-04,1.950164e-04,1.949966e-04,1.949289e-04,1.948543e-04,1.947958e-04,1.946350e-04,1.946193e-04,1.944015e-04,1.943433e-04,1.941445e-04,1.939841e-04,1.938501e-04,1.935617e-04,1.935203e-04,1.931569e-04,1.930803e-04,1.927616e-04,1.925441e-04,1.923362e-04,1.919568e-04,1.918823e-04,1.914015e-04,1.913221e-04,1.908952e-04,1.906435e-04,1.903649e-04,1.899244e-04,1.898121e-04,1.892380e-04,1.891678e-04,1.886441e-04,1.883768e-04,1.880315e-04,1.875542e-04,1.874014e-04,1.867550e-04,1.867027e-04,1.860935e-04,1.858248e-04,1.854178e-04,1.849231e-04,1.847289e-04,1.840280e-04,1.839997e-04,1.833158e-04,1.830569e-04,1.825934e-04,1.820967e-04,1.818616e-04,1.811211e-04,1.801319e-04,1.791309e-04,1.781196e-04,1.770997e-04,1.760725e-04,1.750395e-04,1.740019e-04,1.729610e-04,1.719179e-04,1.708736e-04,1.698292e-04,1.687856e-04,1.677436e-04,1.667042e-04,1.656679e-04,1.646357e-04,1.636080e-04,1.625856e-04,1.615690e-04,1.605587e-04,1.595552e-04,1.585590e-04,1.575705e-04,1.565900e-04
0.000000e+00,1.898437e-09,5.582026e-09,2.751686e-08,7.857256e-08,1.266703e-07,3.523945e-07,3.655492e-07,8.186007e-07,9.944781e-07,1.564478e-06,2.186155e-06,2.683961e-06,4.111958e-06,4.256098e-06,6.348017e-06,6.932722e-06,9.001533e-06,1.073823e-05,1.222820e-05,1.553185e-05,1.601499e-05,2.033278e-05,2.125673e-05,2.514232e-05,2.782258e-05,3.039766e-05,3.511948e-05,3.604782e-05,4.203777e-05,4.302384e-05,4.830934e-05,5.140204e-05,5.480211e-05,6.011422e-05,6.145451e-05,6.820497e-05,6.901873e-05,7.499318e-05,7.797691e-05,8.176123e-05,8.685782e-05,8.845470e-05,9.502354e-05,9.554228e-05,1.014228e-04,1.039260e-04,1.076131e-04,1.119217e-04,1.135610e-04,1.192388e-04,1.194599e-04,1.246247e-04,1.264890e-04,1.297026e-04,1.329737e-04,1.344613e-04,1.388946e-04,1.430003e-04,1.442451e-04,1.467801e-04,1.490300e-04,1.502384e-04,1.532629e-04,1.533827e-04,1.562224e-04,1.569644e-04,1.587686e-04,1.601606e-04,1.610337e-04,1.628810e-04,1.630312e-04,1.647751e-04,1.651575e-04,1.662796e-04,1.670229e-04,1.675591e-04,1.685104e-04,1.686280e-04,1.695002e-04,1.696523e-04,1.701896e-04,1.704802e-04,1.707093e-04,1.710241e-04,1.710721e-04,1.712901e-04,1.713124e-04,1.713749e-04,1.713715e-04,1.713373e-04,1.712262e-04,1.711877e-04,1.709357e-04,1.708991e-04,1.705904e-04,1.704110e-04,1.701601e-04,1.697812e-04,1.696528e-04,1.690758e-04,1.690268e-04,1.684359e-04,1.681637e-04,1.677394e-04,1.672062e-04,1.669921e-04,1.661995e-04,1.661669e-04,1.653665e-04,1.650576e-04,1.644976e-04,1.638886e-04,1.635973e-04,1.626692e-04,1.617171e-04,1.614079e-04,1.607443e-04,1.601121e-04,1.597536e-04,1.587885e-04,1.587480e-04,1.577300e-04,1.574431e-04,1.567019e-04,1.560811e-04,1.556659e-04,1.547074e-04,1.546239e-04,1.535777e-04,1.533261e-04,1.525289e-04,1.519410e-04,1.514790e-04,1.505553e-04,1.504294e-04,1.493814e-04,1.491720e-04,1.483359e-04,1.477937e-04,1.472942e-04,1.464226e-04,1.462570e-04,1.452252e-04,1.450607e-04,1.441997e-04,1.437098e-04,1.431810e-04,1.423714e-04,1.421697e-04,1.411665e-04,1.410467e-04,1.401718e-04,1.397370e-04,1.391861e-04,1.384431e-04,1.382097e-04,1.372429e-04,1.371660e-04,1.362862e-04,1.359063e-04,1.353397e-04,1.346647e-04,1.344036e-04,1.334782e-04,1.334414e-04,1.325637e-04,1.322371e-04,1.316601e-04,1.310519e-04,1.307675e-04,1.298861e-04,1.287399e-04,1.276133e-04,1.265064e-04,1.254192e-04,1.243516e-04,1.233036e-04,1.222751e-04,1.212659e-04,1.202759e-04,1.193048e-04,1.183525e-04,1.174187e-04,1.165033e-04,1.156059e-04,1.147262e-04,1.138641e-04,1.130192e-04,1.121913e-04,1.113800e-04,1.105851e-04,1.098063e-04,1.090433e-04,1.082957e-04,1.075633e-04
0.000000e+00,3.262339e-11,7.501780e-11,2.588733e-10,5.899341e-10,8.616265e-10,1.964698e-09,2.024413e-09,3.950704e-09,4.658493e-09,6.880214e-09,9.234292e-09,1.109139e-08,1.634222e-08,1.686749e-08,2.439833e-08,2.646903e-08,3.365278e-08,3.949478e-08,4.436422e-08,5.470546e-08,5.616798e-08,6.873420e-08,7.131528e-08,8.180842e-08,8.874243e-08,9.519947e-08,1.065826e-07,1.087578e-07,1.223595e-07,1.245325e-07,1.358976e-07,1.423450e-07,1.492773e-07,1.598104e-07,1.624148e-07,1.752368e-07,1.767511e-07,1.876800e-07,1.930211e-07,1.996918e-07,2.085058e-07,2.112298e-07,2.222615e-07,2.231214e-07,2.327633e-07,2.368120e-07,2.427198e-07,2.495463e-07,2.521233e-07,2.609723e-07,2.613148e-07,2.692704e-07,2.721243e-07,2.770257e-07,2.819953e-07,2.842502e-07,2.909586e-07,2.971677e-07,2.990521e-07,3.028960e-07,3.063188e-07,3.081631e-07,3.128045e-07,3.129894e-07,3.173953e-07,3.185565e-07,3.214018e-07,3.236226e-07,3.250295e-07,3.280498e-07,3.282986e-07,3.312289e-07,3.318839e-07,3.338394e-07,3.351686e-07,3.361488e-07,3.379460e-07,3.381748e-07,3.399344e-07,3.402559e-07,3.414442e-07,3.421357e-07,3.427195e-07,3.436206e-07,3.437754e-07,3.446257e-07,3.447437e-07,3.452841e-07,3.455357e-07,3.457632e-07,3.460254e-07,3.460749e-07,3.462306e-07,3.462393e-07,3.462411e-07,3.462024e-07,3.461166e-07,3.459375e-07,3.458665e-07,3.455000e-07,3.454659e-07,3.450255e-07,3.448073e-07,3.444510e-07,3.439798e-07,3.437841e-07,3.430319e-07,3.430002e-07,3.422011e-07,3.418840e-07,3.412979e-07,3.406454e-07,3.403283e-07,3.392977e-07,3.382115e-07,3.378529e-07,3.370744e-07,3.363222e-07,3.358912e-07,3.347158e-07,3.346660e-07,3.334030e-07,3.330431e-07,3.321059e-07,3.313128e-07,3.307783e-07,3.295327e-07,3.294234e-07,3.280444e-07,3.277102e-07,3.266443e-07,3.258520e-07,3.252257e-07,3.239641e-07,3.237912e-07,3.223431e-07,3.220521e-07,3.208838e-07,3.201212e-07,3.194152e-07,3.181759e-07,3.179394e-07,3.164580e-07,3.162206e-07,3.149729e-07,3.142591e-07,3.134855e-07,3.122950e-07,3.119973e-07,3.105098e-07,3.103314e-07,3.090240e-07,3.083712e-07,3.075413e-07,3.064171e-07,3.060627e-07,3.045891e-07,3.044715e-07,3.031216e-07,3.025365e-07,3.016610e-07,3.006141e-07,3.002081e-07,2.987635e-07,2.987059e-07,2.973281e-07,2.968136e-07,2.959023e-07,2.949386e-07,2.944868e-07,2.930820e-07,2.912450e-07,2.894286e-07,2.876336e-07,2.858607e-07,2.841105e-07,2.823837e-07,2.806807e-07,2.790019e-07,2.773475e-07,2.757178e-07,2.741131e-07,2.725334e-07,2.709788e-07,2.694495e-07,2.679453e-07,2.664662e-07,2.650121e-07,2.635831e-07,2.621788e-07,2.607992e-07,2.594441e-07,2.581133e-07,2.568066e-07,2.555236e-07
0.000000e+00,2.776352e-08,8.308287e-08,4.250087e-07,1.256322e-06,2.065163e-06,6.052790e-06,6.292483e-06,1.489110e-05,1.837617e-05,3.011118e-05,4.355102e-05,5.472146e-05,8.845977e-05,9.198974e-05,1.454013e-04,1.609835e-04,2.180516e-04,2.679872e-04,3.120955e-04,4.134511e-04,4.286396e-04,5.679517e-04,5.985260e-04,7.297086e-04,8.224607e-04,9.131729e-04,1.083302e-03,1.117301e-03,1.340806e-03,1.378269e-03,1.582207e-03,1.703959e-03,1.839862e-03,2.056503e-03,2.112001e-03,2.396766e-03,2.431696e-03,2.692241e-03,2.825144e-03,2.996488e-03,3.232396e-03,3.307580e-03,3.623631e-03,3.649075e-03,3.942822e-03,4.070986e-03,4.263421e-03,4.494208e-03,4.583804e-03,4.902464e-03,4.915154e-03,5.218019e-03,5.330614e-03,5.529220e-03,5.737776e-03,5.834953e-03,6.134231e-03,6.426199e-03,6.517962e-03,6.710123e-03,6.887322e-03,6.985384e-03,7.241012e-03,7.251474e-03,7.507984e-03,7.578045e-03,7.754597e-03,7.897715e-03,7.991082e-03,8.199566e-03,8.217281e-03,8.433106e-03,8.483357e-03,8.638530e-03,8.749031e-03,8.833576e-03,8.996688e-03,9.018317e-03,9.192863e-03,9.226562e-03,9.357363e-03,9.438989e-03,9.511991e-03,9.634398e-03,9.656951e-03,9.792462e-03,9.813283e-03,9.918766e-03,9.976195e-03,1.003611e-02,1.012372e-02,1.014477e-02,1.024501e-02,1.025649e-02,1.033710e-02,1.037512e-02,1.042134e-02,1.048027e-02,1.049800e-02,1.056736e-02,1.057260e-02,1.062971e-02,1.065275e-02,1.068533e-02,1.072137e-02,1.073450e-02,1.077749e-02,1.077909e-02,1.081457e-02,1.082652e-02,1.084600e-02,1.086428e-02,1.087204e-02,1.089295e-02,1.090896e-02,1.091309e-02,1.092033e-02,1.092526e-02,1.092727e-02,1.092998e-02,1.093001e-02,1.092878e-02,1.092775e-02,1.092378e-02,1.091906e-02,1.091522e-02,1.090437e-02,1.090329e-02,1.088819e-02,1.088411e-02,1.087009e-02,1.085871e-02,1.084918e-02,1.082857e-02,1.082561e-02,1.079956e-02,1.079406e-02,1.077118e-02,1.075555e-02,1.074061e-02,1.071336e-02,1.070801e-02,1.067351e-02,1.066783e-02,1.063725e-02,1.061925e-02,1.059934e-02,1.056791e-02,1.055991e-02,1.051907e-02,1.051408e-02,1.047694e-02,1.045802e-02,1.043362e-02,1.039996e-02,1.038920e-02,1.034380e-02,1.034012e-02,1.029748e-02,1.027872e-02,1.025035e-02,1.021596e-02,1.020248e-02,1.015396e-02,1.015201e-02,1.010485e-02,1.008705e-02,1.005523e-02,1.002123e-02,1.000517e-02,9.954722e-03,9.887650e-03,9.820148e-03,9.752336e-03,9.684326e-03,9.616224e-03,9.548123e-03,9.480115e-03,9.412279e-03,9.344693e-03,9.277424e-03,9.210537e-03,9.144089e-03,9.078133e-03,9.012718e-03,8.947886e-03,8.883678e-03,8.820128e-03,8.757267e-03,8.695126e-03,8.633727e-03,8.573093e-03,8.513243e-03,8.454194e-03,8.395959e-03
0.000000e+00,7.282988e-12,1.665937e-11,5.720623e-11,1.301456e-10,1.900091e-10,4.332213e-10,4.463947e-10,8.714479e-10,1.027501e-09,1.515377e-09,2.025698e-09,2.420681e-09,3.490588e-09,3.593655e-09,5.002723e-09,5.371598e-09,6.609382e-09,7.583627e-09,8.382740e-09,1.006096e-08,1.029739e-08,1.232979e-08,1.274835e-08,1.445667e-08,1.559230e-08,1.665493e-08,1.854012e-08,1.890205e-08,2.117677e-08,2.154195e-08,2.345963e-08,2.455316e-08,2.573343e-08,2.753590e-08,2.798335e-08,3.019707e-08,3.045979e-08,3.236462e-08,3.330163e-08,3.447821e-08,3.604479e-08,3.653199e-08,3.852180e-08,3.867813e-08,4.044490e-08,4.119506e-08,4.229969e-08,4.359248e-08,4.408557e-08,4.580266e-08,4.586993e-08,4.745169e-08,4.802889e-08,4.903382e-08,5.007222e-08,5.055057e-08,5.200368e-08,5.339508e-08,5.382763e-08,5.472681e-08,5.554876e-08,5.600095e-08,5.717192e-08,5.721963e-08,5.838498e-08,5.870201e-08,5.949910e-08,6.014384e-08,6.056406e-08,6.150214e-08,6.158188e-08,6.255453e-08,6.278146e-08,6.348392e-08,6.398617e-08,6.437188e-08,6.512044e-08,6.522020e-08,6.603058e-08,6.618825e-08,6.680466e-08,6.719336e-08,6.754402e-08,6.813935e-08,6.825016e-08,6.892452e-08,6.902956e-08,6.956849e-08,6.986719e-08,7.018338e-08,7.065521e-08,7.077046e-08,7.133092e-08,7.139644e-08,7.186591e-08,7.209352e-08,7.237653e-08,7.274895e-08,7.286382e-08,7.332879e-08,7.336505e-08,7.377237e-08,7.394403e-08,7.419549e-08,7.448794e-08,7.459899e-08,7.498372e-08,7.499872e-08,7.535044e-08,7.547820e-08,7.569992e-08,7.592808e-08,7.603287e-08,7.634997e-08,7.665187e-08,7.674537e-08,7.693919e-08,7.711570e-08,7.721253e-08,7.746230e-08,7.747245e-08,7.771949e-08,7.778643e-08,7.795417e-08,7.808925e-08,7.817699e-08,7.837190e-08,7.838840e-08,7.858887e-08,7.863540e-08,7.877881e-08,7.888074e-08,7.895866e-08,7.910887e-08,7.912878e-08,7.928957e-08,7.932064e-08,7.944138e-08,7.951689e-08,7.958456e-08,7.969840e-08,7.971943e-08,7.984632e-08,7.986590e-08,7.996552e-08,8.002009e-08,8.007733e-08,8.016164e-08,8.018202e-08,8.027986e-08,8.029115e-08,8.037111e-08,8.040923e-08,8.045601e-08,8.051643e-08,8.053480e-08,8.060770e-08,8.061328e-08,8.067493e-08,8.070028e-08,8.073670e-08,8.077791e-08,8.079321e-08,8.084466e-08,8.084661e-08,8.089122e-08,8.090682e-08,8.093308e-08,8.095895e-08,8.097041e-08,8.100337e-08,8.104045e-08,8.107056e-08,8.109402e-08,8.111114e-08,8.112223e-08,8.112758e-08,8.112747e-08,8.112214e-08,8.111187e-08,8.109687e-08,8.107738e-08,8.105363e-08,8.102581e-08,8.099412e-08,8.095876e-08,8.091991e-08,8.087774e-08,8.083243e-08,8.078412e-08,8.073297e-08,8.067914e-08,8.062275e-08,8.056395e-08,8.050287e-08
0.000000e+00,1.860370e-10,4.420681e-10,1.580776e-09,3.661903e-09,5.379099e-09,1.236733e-08,1.274554e-08,2.491283e-08,2.936344e-08,4.324956e-08,5.779442e-08,6.911511e-08,1.002184e-07,1.032514e-07,1.453100e-07,1.564829e-07,1.943848e-07,2.246116e-07,2.496388e-07,3.028388e-07,3.104011e-07,3.760740e-07,3.897458e-07,4.460605e-07,4.839515e-07,5.197339e-07,5.839884e-07,5.964366e-07,6.754915e-07,6.883131e-07,7.562204e-07,7.953699e-07,8.379630e-07,9.036647e-07,9.200932e-07,1.002033e-06,1.011827e-06,1.083261e-06,1.118655e-06,1.163319e-06,1.223137e-06,1.241814e-06,1.318417e-06,1.324455e-06,1.392860e-06,1.421983e-06,1.464930e-06,1.515261e-06,1.534469e-06,1.601361e-06,1.603980e-06,1.665531e-06,1.687957e-06,1.726939e-06,1.767110e-06,1.785571e-06,1.841439e-06,1.894574e-06,1.911007e-06,1.945020e-06,1.975922e-06,1.992837e-06,2.036329e-06,2.038091e-06,2.080857e-06,2.092396e-06,2.121213e-06,2.144305e-06,2.159244e-06,2.192249e-06,2.195032e-06,2.228663e-06,2.236423e-06,2.260223e-06,2.277024e-06,2.289797e-06,2.314246e-06,2.317469e-06,2.343319e-06,2.348278e-06,2.367429e-06,2.379305e-06,2.389877e-06,2.407503e-06,2.410737e-06,2.430084e-06,2.433044e-06,2.447988e-06,2.456089e-06,2.464517e-06,2.476794e-06,2.479736e-06,2.493708e-06,2.495304e-06,2.506494e-06,2.511759e-06,2.518152e-06,2.526292e-06,2.528738e-06,2.538304e-06,2.539027e-06,2.546902e-06,2.550081e-06,2.554580e-06,2.559565e-06,2.561385e-06,2.567361e-06,2.567584e-06,2.572552e-06,2.574236e-06,2.576996e-06,2.579613e-06,2.580735e-06,2.583803e-06,2.586237e-06,2.586888e-06,2.588071e-06,2.588944e-06,2.589335e-06,2.590043e-06,2.590062e-06,2.590280e-06,2.590253e-06,2.590017e-06,2.589639e-06,2.589299e-06,2.588259e-06,2.588152e-06,2.586599e-06,2.586169e-06,2.584665e-06,2.583423e-06,2.582370e-06,2.580069e-06,2.579735e-06,2.576780e-06,2.576153e-06,2.573525e-06,2.571719e-06,2.569986e-06,2.566808e-06,2.566182e-06,2.562128e-06,2.561457e-06,2.557839e-06,2.555702e-06,2.553331e-06,2.549577e-06,2.548618e-06,2.543713e-06,2.543112e-06,2.538629e-06,2.536338e-06,2.533377e-06,2.529282e-06,2.527970e-06,2.522419e-06,2.521968e-06,2.516733e-06,2.514423e-06,2.510922e-06,2.506667e-06,2.504997e-06,2.498966e-06,2.498723e-06,2.492838e-06,2.490609e-06,2.486620e-06,2.482345e-06,2.480321e-06,2.473947e-06,2.465432e-06,2.456816e-06,2.448111e-06,2.439332e-06,2.430491e-06,2.421599e-06,2.412667e-06,2.403705e-06,2.394723e-06,2.385729e-06,2.376731e-06,2.367738e-06,2.358755e-06,2.349790e-06,2.340849e-06,2.331937e-06,2.323060e-06,2.314222e-06,2.305428e-06,2.296683e-06,2.287989e-06,2.279351e-06,2.270772e-06,2.262255e-06
0.000000e+00,2.387414e-09,6.980771e-09,3.404941e-08,9.643213e-08,1.548796e-07,4.280241e-07,4.439301e-07,9.932950e-07,1.207796e-06,1.908822e-06,2.683811e-06,3.311705e-06,5.141877e-06,5.328469e-06,8.057304e-06,8.823433e-06,1.153150e-05,1.379242e-05,1.571847e-05,1.993660e-05,2.054719e-05,2.593400e-05,2.707097e-05,3.179615e-05,3.500636e-05,3.805611e-05,4.356893e-05,4.464164e-05,5.148450e-05,5.259883e-05,5.851922e-05,6.194537e-05,6.568248e-05,7.146441e-05,7.291304e-05,8.015215e-05,8.101874e-05,8.734422e-05,9.048035e-05,9.443757e-05,9.973337e-05,1.013852e-04,1.081452e-04,1.086768e-04,1.146816e-04,1.172265e-04,1.209639e-04,1.253160e-04,1.269678e-04,1.326742e-04,1.328961e-04,1.380699e-04,1.399345e-04,1.431462e-04,1.464135e-04,1.478991e-04,1.523283e-04,1.564369e-04,1.576848e-04,1.602307e-04,1.624973e-04,1.637181e-04,1.667869e-04,1.669089e-04,1.698147e-04,1.705789e-04,1.724478e-04,1.739021e-04,1.748212e-04,1.767872e-04,1.769486e-04,1.788436e-04,1.792653e-04,1.805198e-04,1.813679e-04,1.819906e-04,1.831254e-04,1.832691e-04,1.843681e-04,1.845675e-04,1.852999e-04,1.857222e-04,1.860761e-04,1.866161e-04,1.867079e-04,1.872059e-04,1.872738e-04,1.875800e-04,1.877183e-04,1.878395e-04,1.879707e-04,1.879935e-04,1.880500e-04,1.880507e-04,1.880170e-04,1.879760e-04,1.879016e-04,1.877629e-04,1.877105e-04,1.874501e-04,1.874264e-04,1.871262e-04,1.869800e-04,1.867441e-04,1.864360e-04,1.863091e-04,1.858257e-04,1.858055e-04,1.852984e-04,1.850985e-04,1.847311e-04,1.843244e-04,1.841275e-04,1.834913e-04,1.828255e-04,1.826067e-04,1.821331e-04,1.816774e-04,1.814170e-04,1.807095e-04,1.806796e-04,1.799233e-04,1.797085e-04,1.791504e-04,1.786794e-04,1.783628e-04,1.776268e-04,1.775624e-04,1.767509e-04,1.765547e-04,1.759300e-04,1.754667e-04,1.751012e-04,1.743663e-04,1.742657e-04,1.734249e-04,1.732562e-04,1.725800e-04,1.721394e-04,1.717320e-04,1.710180e-04,1.708819e-04,1.700307e-04,1.698945e-04,1.691792e-04,1.687706e-04,1.683282e-04,1.676482e-04,1.674784e-04,1.666305e-04,1.665289e-04,1.657851e-04,1.654140e-04,1.649427e-04,1.643049e-04,1.641039e-04,1.632692e-04,1.632026e-04,1.624389e-04,1.621082e-04,1.616136e-04,1.610226e-04,1.607935e-04,1.599790e-04,1.599465e-04,1.591703e-04,1.588807e-04,1.583679e-04,1.578259e-04,1.575718e-04,1.567824e-04,1.557509e-04,1.547317e-04,1.537252e-04,1.527317e-04,1.517515e-04,1.507846e-04,1.498315e-04,1.488920e-04,1.479664e-04,1.470548e-04,1.461571e-04,1.452734e-04,1.444037e-04,1.435480e-04,1.427062e-04,1.418783e-04,1.410642e-04,1.402638e-04,1.394770e-04,1.387037e-04,1.379438e-04,1.371972e-04,1.364637e-04,1.357433e-04
0.000000e+00,2.402569e-09,6.941459e-09,3.307983e-08,9.190464e-08,1.461839e-07,3.951378e-07,4.094888e-07,9.001300e-07,1.089976e-06,1.706643e-06,2.384032e-06,2.930718e-06,4.517997e-06,4.679504e-06,7.037653e-06,7.698408e-06,1.002670e-05,1.195767e-05,1.359019e-05,1.711681e-05,1.762125e-05,2.200130e-05,2.290943e-05,2.662293e-05,2.909124e-05,3.139663e-05,3.547019e-05,3.624931e-05,4.112070e-05,4.189837e-05,4.596029e-05,4.825913e-05,5.072514e-05,5.445850e-05,5.537877e-05,5.989050e-05,6.042112e-05,6.423510e-05,6.608843e-05,6.839251e-05,7.141745e-05,7.234758e-05,7.608973e-05,7.637968e-05,7.961245e-05,8.095934e-05,8.291283e-05,8.515142e-05,8.599104e-05,8.884996e-05,8.895982e-05,9.149433e-05,9.239496e-05,9.393050e-05,9.547201e-05,9.616606e-05,9.820948e-05,1.000699e-04,1.006281e-04,1.017567e-04,1.027496e-04,1.032795e-04,1.045959e-04,1.046478e-04,1.058710e-04,1.061888e-04,1.069583e-04,1.075491e-04,1.079184e-04,1.086968e-04,1.087600e-04,1.094910e-04,1.096509e-04,1.101192e-04,1.104288e-04,1.106518e-04,1.110469e-04,1.110957e-04,1.114575e-04,1.115205e-04,1.117431e-04,1.118634e-04,1.119583e-04,1.120885e-04,1.121083e-04,1.121983e-04,1.122074e-04,1.122328e-04,1.122309e-04,1.122162e-04,1.121688e-04,1.121525e-04,1.120455e-04,1.120300e-04,1.118988e-04,1.118225e-04,1.117156e-04,1.115539e-04,1.114990e-04,1.112518e-04,1.112308e-04,1.109766e-04,1.108593e-04,1.106759e-04,1.104449e-04,1.103520e-04,1.100070e-04,1.099928e-04,1.096429e-04,1.095075e-04,1.092615e-04,1.089931e-04,1.088645e-04,1.084534e-04,1.080299e-04,1.078919e-04,1.075951e-04,1.073116e-04,1.071505e-04,1.067153e-04,1.066970e-04,1.062360e-04,1.061057e-04,1.057683e-04,1.054849e-04,1.052949e-04,1.048551e-04,1.048167e-04,1.043345e-04,1.042182e-04,1.038490e-04,1.035759e-04,1.033609e-04,1.029298e-04,1.028709e-04,1.023795e-04,1.022811e-04,1.018874e-04,1.016313e-04,1.013949e-04,1.009814e-04,1.009027e-04,1.004110e-04,1.003324e-04,9.992040e-05,9.968537e-05,9.943117e-05,9.904100e-05,9.894365e-05,9.845818e-05,9.840008e-05,9.797504e-05,9.776326e-05,9.749448e-05,9.713114e-05,9.701675e-05,9.654208e-05,9.650424e-05,9.607066e-05,9.588305e-05,9.560268e-05,9.526796e-05,9.513831e-05,9.467770e-05,9.465936e-05,9.422099e-05,9.405755e-05,9.376830e-05,9.346282e-05,9.331974e-05,9.287541e-05,9.229554e-05,9.172337e-05,9.115906e-05,9.060273e-05,9.005449e-05,8.951441e-05,8.898255e-05,8.845895e-05,8.794364e-05,8.743663e-05,8.693792e-05,8.644749e-05,8.596532e-05,8.549137e-05,8.502560e-05,8.456796e-05,8.411839e-05,8.367681e-05,8.324317e-05,8.281738e-05,8.239937e-05,8.198904e-05,8.158631e-05,8.119109e-05
0.000000e+00,1.663685e-11,3.813791e-11,1.313082e-10,2.989042e-10,4.361815e-10,9.902357e-10,1.020067e-09,1.973197e-09,2.319043e-09,3.389930e-09,4.500471e-09,5.358833e-09,7.702830e-09,7.931013e-09,1.110427e-08,1.195235e-08,1.485133e-08,1.718960e-08,1.914364e-08,2.334993e-08,2.395346e-08,2.925010e-08,3.036476e-08,3.499727e-08,3.814997e-08,4.115245e-08,4.660296e-08,4.766740e-08,5.448952e-08,5.560588e-08,6.156340e-08,6.503172e-08,6.883262e-08,7.475104e-08,7.624131e-08,8.373561e-08,8.463823e-08,9.126480e-08,9.457649e-08,9.878215e-08,1.044613e-07,1.062455e-07,1.136176e-07,1.142024e-07,1.208661e-07,1.237246e-07,1.279635e-07,1.329671e-07,1.348870e-07,1.416180e-07,1.418830e-07,1.481419e-07,1.504375e-07,1.544475e-07,1.586064e-07,1.605268e-07,1.663745e-07,1.719875e-07,1.737339e-07,1.773647e-07,1.806826e-07,1.825068e-07,1.872236e-07,1.874156e-07,1.920942e-07,1.933635e-07,1.965466e-07,1.991114e-07,2.007775e-07,2.044787e-07,2.047921e-07,2.085960e-07,2.094783e-07,2.121954e-07,2.141239e-07,2.155963e-07,2.184300e-07,2.188052e-07,2.218284e-07,2.224113e-07,2.246724e-07,2.260827e-07,2.273437e-07,2.294587e-07,2.298486e-07,2.321933e-07,2.325541e-07,2.343842e-07,2.353829e-07,2.364272e-07,2.379591e-07,2.383282e-07,2.400932e-07,2.402961e-07,2.417276e-07,2.424069e-07,2.432370e-07,2.443039e-07,2.446268e-07,2.459019e-07,2.459992e-07,2.470676e-07,2.475042e-07,2.481285e-07,2.488301e-07,2.490893e-07,2.499546e-07,2.499873e-07,2.507286e-07,2.509858e-07,2.514157e-07,2.518353e-07,2.520198e-07,2.525448e-07,2.529945e-07,2.531230e-07,2.533724e-07,2.535782e-07,2.536821e-07,2.539182e-07,2.539268e-07,2.541098e-07,2.541504e-07,2.542342e-07,2.542819e-07,2.543028e-07,2.543192e-07,2.543186e-07,2.542843e-07,2.542689e-07,2.542024e-07,2.541367e-07,2.540755e-07,2.539285e-07,2.539059e-07,2.536961e-07,2.536495e-07,2.534481e-07,2.533048e-07,2.531641e-07,2.528992e-07,2.528461e-07,2.524961e-07,2.524372e-07,2.521158e-07,2.519231e-07,2.517072e-07,2.513609e-07,2.512718e-07,2.508113e-07,2.507544e-07,2.503273e-07,2.501072e-07,2.498212e-07,2.494226e-07,2.492944e-07,2.487484e-07,2.487039e-07,2.481844e-07,2.479540e-07,2.476036e-07,2.471757e-07,2.470072e-07,2.463965e-07,2.463717e-07,2.457723e-07,2.455445e-07,2.451358e-07,2.446965e-07,2.444880e-07,2.438297e-07,2.429464e-07,2.420483e-07,2.411375e-07,2.402155e-07,2.392839e-07,2.383444e-07,2.373982e-07,2.364466e-07,2.354910e-07,2.345324e-07,2.335720e-07,2.326106e-07,2.316494e-07,2.306890e-07,2.297303e-07,2.287742e-07,2.278212e-07,2.268720e-07,2.259272e-07,2.249873e-07,2.240529e-07,2.231245e-07,2.222024e-07,2.212871e-07
0.000000e+00,2.332659e-11,5.356413e-11,1.886219e-10,4.499702e-10,6.818741e-10,1.774305e-09,1.839895e-09,4.252165e-09,5.256170e-09,8.647399e-09,1.237803e-08,1.526708e-08,2.279214e-08,2.348811e-08,3.250368e-08,3.472287e-08,4.180620e-08,4.703894e-08,5.113878e-08,5.927091e-08,6.037061e-08,6.942580e-08,7.121076e-08,7.825149e-08,8.273586e-08,8.680542e-08,9.375374e-08,9.505100e-08,1.029575e-07,1.041893e-07,1.104996e-07,1.139845e-07,1.176578e-07,1.230983e-07,1.244182e-07,1.307735e-07,1.315087e-07,1.367213e-07,1.392098e-07,1.422642e-07,1.462097e-07,1.474084e-07,1.521634e-07,1.525274e-07,1.565412e-07,1.581897e-07,1.605554e-07,1.632290e-07,1.642212e-07,1.675545e-07,1.676811e-07,1.705715e-07,1.715833e-07,1.732887e-07,1.749735e-07,1.757225e-07,1.778889e-07,1.798037e-07,1.803658e-07,1.814821e-07,1.824390e-07,1.829387e-07,1.841413e-07,1.841874e-07,1.852418e-07,1.855040e-07,1.861146e-07,1.865561e-07,1.868178e-07,1.873250e-07,1.873631e-07,1.877612e-07,1.878360e-07,1.880224e-07,1.881126e-07,1.881566e-07,1.881767e-07,1.881727e-07,1.880795e-07,1.880484e-07,1.878850e-07,1.877465e-07,1.875970e-07,1.872880e-07,1.872225e-07,1.867684e-07,1.866887e-07,1.862409e-07,1.859633e-07,1.856459e-07,1.851252e-07,1.849892e-07,1.842758e-07,1.841866e-07,1.835106e-07,1.831588e-07,1.826983e-07,1.820521e-07,1.818432e-07,1.809491e-07,1.808760e-07,1.800200e-07,1.796393e-07,1.790592e-07,1.783497e-07,1.780701e-07,1.770557e-07,1.770146e-07,1.760188e-07,1.756405e-07,1.749622e-07,1.742336e-07,1.738882e-07,1.727993e-07,1.716975e-07,1.713425e-07,1.705849e-07,1.698680e-07,1.694633e-07,1.683797e-07,1.683344e-07,1.671999e-07,1.668814e-07,1.660612e-07,1.653766e-07,1.649198e-07,1.638684e-07,1.637769e-07,1.626337e-07,1.623594e-07,1.614913e-07,1.608522e-07,1.603507e-07,1.593492e-07,1.592128e-07,1.580785e-07,1.578522e-07,1.569487e-07,1.563631e-07,1.558239e-07,1.548836e-07,1.547050e-07,1.535925e-07,1.534151e-07,1.524870e-07,1.519589e-07,1.513889e-07,1.505162e-07,1.502988e-07,1.492171e-07,1.490878e-07,1.481441e-07,1.476749e-07,1.470802e-07,1.462780e-07,1.460258e-07,1.449810e-07,1.448978e-07,1.439462e-07,1.435351e-07,1.429215e-07,1.421901e-07,1.419072e-07,1.409034e-07,1.408634e-07,1.399102e-07,1.395553e-07,1.389278e-07,1.382660e-07,1.379564e-07,1.369958e-07,1.357449e-07,1.345133e-07,1.333011e-07,1.321083e-07,1.309350e-07,1.297812e-07,1.286466e-07,1.275313e-07,1.264351e-07,1.253579e-07,1.242995e-07,1.232598e-07,1.222385e-07,1.212356e-07,1.202506e-07,1.192835e-07,1.183340e-07,1.174019e-07,1.164869e-07,1.155887e-07,1.147072e-07,1.138420e-07,1.129929e-07,1.121596e-07
0.000000e+00,8.039839e-12,1.838836e-11,6.319336e-11,1.438933e-10,2.101574e-10,4.792957e-10,4.938649e-10,9.635033e-10,1.135825e-09,1.675399e-09,2.243746e-09,2.688494e-09,3.922113e-09,4.043336e-09,5.739410e-09,6.194004e-09,7.745340e-09,8.990282e-09,1.002491e-08,1.223302e-08,1.254772e-08,1.528819e-08,1.586030e-08,1.822255e-08,1.981715e-08,2.132692e-08,2.404783e-08,2.457646e-08,2.794539e-08,2.849373e-08,3.140729e-08,3.309425e-08,3.493574e-08,3.778905e-08,3.850495e-08,4.209033e-08,4.252055e-08,4.566887e-08,4.723578e-08,4.921959e-08,5.188789e-08,5.272372e-08,5.616484e-08,5.643697e-08,5.952887e-08,6.085019e-08,6.280402e-08,6.510160e-08,6.598065e-08,6.905112e-08,6.917164e-08,7.200959e-08,7.304636e-08,7.485183e-08,7.671669e-08,7.757505e-08,8.017763e-08,8.265905e-08,8.342755e-08,8.501964e-08,8.646747e-08,8.726046e-08,8.930052e-08,8.938319e-08,9.138999e-08,9.193146e-08,9.328343e-08,9.436626e-08,9.506636e-08,9.661172e-08,9.674188e-08,9.831325e-08,9.867525e-08,9.978384e-08,1.005646e-07,1.011571e-07,1.022878e-07,1.024365e-07,1.036256e-07,1.038529e-07,1.047279e-07,1.052679e-07,1.057468e-07,1.065407e-07,1.066857e-07,1.075479e-07,1.076790e-07,1.083369e-07,1.086905e-07,1.090557e-07,1.095824e-07,1.097076e-07,1.102954e-07,1.103618e-07,1.108223e-07,1.110356e-07,1.112911e-07,1.116101e-07,1.117044e-07,1.120651e-07,1.120918e-07,1.123757e-07,1.124864e-07,1.126386e-07,1.127998e-07,1.128564e-07,1.130313e-07,1.130374e-07,1.131655e-07,1.132042e-07,1.132611e-07,1.133053e-07,1.133204e-07,1.133451e-07,1.133373e-07,1.133282e-07,1.132987e-07,1.132587e-07,1.132312e-07,1.131405e-07,1.131362e-07,1.130156e-07,1.129774e-07,1.128708e-07,1.127729e-07,1.127032e-07,1.125302e-07,1.125143e-07,1.123054e-07,1.122525e-07,1.120779e-07,1.119427e-07,1.118329e-07,1.116037e-07,1.115715e-07,1.112950e-07,1.112380e-07,1.110044e-07,1.108481e-07,1.107007e-07,1.104362e-07,1.103849e-07,1.100578e-07,1.100045e-07,1.097205e-07,1.095551e-07,1.093736e-07,1.090898e-07,1.090181e-07,1.086546e-07,1.086105e-07,1.082839e-07,1.081187e-07,1.079067e-07,1.076160e-07,1.075235e-07,1.071352e-07,1.071039e-07,1.067421e-07,1.065837e-07,1.063450e-07,1.060568e-07,1.059442e-07,1.055403e-07,1.055241e-07,1.051339e-07,1.049870e-07,1.047252e-07,1.044463e-07,1.043148e-07,1.039030e-07,1.033580e-07,1.028121e-07,1.022661e-07,1.017206e-07,1.011762e-07,1.006337e-07,1.000934e-07,9.955601e-08,9.902184e-08,9.849134e-08,9.796491e-08,9.744288e-08,9.692556e-08,9.641324e-08,9.590617e-08,9.540458e-08,9.490867e-08,9.441861e-08,9.393458e-08,9.345670e-08,9.298509e-08,9.251986e-08,9.206110e-08,9.160886e-08
0.000000e+00,4.927246e-12,1.125227e-11,3.858813e-11,8.779655e-11,1.282347e-10,2.930079e-10,3.019537e-10,5.916895e-10,6.986148e-10,1.035365e-09,1.393338e-09,1.676110e-09,2.475034e-09,2.554783e-09,3.691730e-09,4.001751e-09,5.067281e-09,5.922345e-09,6.627747e-09,8.106646e-09,8.313944e-09,1.007921e-08,1.043864e-08,1.189038e-08,1.284209e-08,1.372335e-08,1.526603e-08,1.555932e-08,1.738285e-08,1.767256e-08,1.918089e-08,2.003157e-08,2.094236e-08,2.231895e-08,2.265803e-08,2.432036e-08,2.451596e-08,2.592342e-08,2.660879e-08,2.746274e-08,2.858802e-08,2.893518e-08,3.033873e-08,3.044800e-08,3.167236e-08,3.218616e-08,3.293587e-08,3.380240e-08,3.412970e-08,3.525486e-08,3.529846e-08,3.631274e-08,3.667744e-08,3.730508e-08,3.794343e-08,3.823384e-08,3.910113e-08,3.990921e-08,4.015566e-08,4.066037e-08,4.111231e-08,4.135694e-08,4.197648e-08,4.200128e-08,4.259570e-08,4.275351e-08,4.314250e-08,4.344866e-08,4.364393e-08,4.406705e-08,4.410217e-08,4.451935e-08,4.461360e-08,4.489754e-08,4.509304e-08,4.523872e-08,4.550989e-08,4.554484e-08,4.581772e-08,4.586847e-08,4.605916e-08,4.617284e-08,4.627084e-08,4.642685e-08,4.645440e-08,4.661139e-08,4.663414e-08,4.674331e-08,4.679814e-08,4.685158e-08,4.692209e-08,4.693756e-08,4.700256e-08,4.700901e-08,4.704781e-08,4.706177e-08,4.707449e-08,4.708304e-08,4.708372e-08,4.707657e-08,4.707532e-08,4.705407e-08,4.704098e-08,4.701717e-08,4.698221e-08,4.696680e-08,4.690383e-08,4.690107e-08,4.682910e-08,4.679947e-08,4.674339e-08,4.667922e-08,4.664745e-08,4.654199e-08,4.642768e-08,4.638933e-08,4.630516e-08,4.622272e-08,4.617503e-08,4.604349e-08,4.603788e-08,4.589424e-08,4.585292e-08,4.574462e-08,4.565218e-08,4.558951e-08,4.544236e-08,4.542937e-08,4.526464e-08,4.522447e-08,4.509573e-08,4.499946e-08,4.492302e-08,4.476819e-08,4.474689e-08,4.456767e-08,4.453149e-08,4.438570e-08,4.429009e-08,4.420128e-08,4.404470e-08,4.401471e-08,4.382626e-08,4.379595e-08,4.363619e-08,4.354445e-08,4.344473e-08,4.329073e-08,4.325213e-08,4.305859e-08,4.303531e-08,4.286432e-08,4.277865e-08,4.266950e-08,4.252119e-08,4.247433e-08,4.227895e-08,4.226332e-08,4.208354e-08,4.200540e-08,4.188823e-08,4.174776e-08,4.169317e-08,4.149849e-08,4.149071e-08,4.130430e-08,4.123453e-08,4.111071e-08,4.097947e-08,4.091784e-08,4.072577e-08,4.047364e-08,4.022327e-08,3.997483e-08,3.972848e-08,3.948436e-08,3.924260e-08,3.900330e-08,3.876658e-08,3.853252e-08,3.830119e-08,3.807267e-08,3.784701e-08,3.762427e-08,3.740448e-08,3.718768e-08,3.697390e-08,3.676316e-08,3.655547e-08,3.635086e-08,3.614931e-08,3.595084e-08,3.575543e-08,3.556310e-08,3.537381e-08
0.000000e+00,5.028315e-12,1.147342e-11,3.923783e-11,8.892028e-11,1.295003e-10,2.928984e-10,3.016893e-10,5.827132e-10,6.848582e-10,1.002184e-09,1.333631e-09,1.592048e-09,2.309847e-09,2.380689e-09,3.379768e-09,3.649762e-09,4.574897e-09,5.318072e-09,5.933984e-09,7.238195e-09,7.422652e-09,9.011553e-09,9.339163e-09,1.067653e-08,1.156543e-08,1.239693e-08,1.387136e-08,1.415432e-08,1.593177e-08,1.621697e-08,1.771373e-08,1.856644e-08,1.948599e-08,2.088821e-08,2.123583e-08,2.295213e-08,2.315536e-08,2.462541e-08,2.534595e-08,2.624784e-08,2.744299e-08,2.781318e-08,2.931668e-08,2.943417e-08,3.075489e-08,3.131135e-08,3.212557e-08,3.306993e-08,3.342752e-08,3.466044e-08,3.470832e-08,3.582481e-08,3.622737e-08,3.692155e-08,3.762937e-08,3.795202e-08,3.891805e-08,3.982168e-08,4.009803e-08,4.066516e-08,4.117452e-08,4.145087e-08,4.215307e-08,4.218125e-08,4.285877e-08,4.303934e-08,4.348590e-08,4.383901e-08,4.406508e-08,4.455764e-08,4.459871e-08,4.508914e-08,4.520067e-08,4.553863e-08,4.577329e-08,4.594938e-08,4.628046e-08,4.632349e-08,4.666299e-08,4.672690e-08,4.696980e-08,4.711705e-08,4.724579e-08,4.745509e-08,4.749271e-08,4.771224e-08,4.774493e-08,4.790598e-08,4.799025e-08,4.807543e-08,4.819448e-08,4.822204e-08,4.834716e-08,4.836080e-08,4.845210e-08,4.849220e-08,4.853807e-08,4.859144e-08,4.860624e-08,4.865769e-08,4.866112e-08,4.869347e-08,4.870362e-08,4.871456e-08,4.872116e-08,4.872187e-08,4.871630e-08,4.871582e-08,4.869866e-08,4.868951e-08,4.866974e-08,4.864401e-08,4.863028e-08,4.858097e-08,4.852247e-08,4.850191e-08,4.845541e-08,4.840827e-08,4.838037e-08,4.830134e-08,4.829791e-08,4.820855e-08,4.818236e-08,4.811278e-08,4.805244e-08,4.801107e-08,4.791263e-08,4.790386e-08,4.779157e-08,4.776390e-08,4.767458e-08,4.760715e-08,4.755326e-08,4.744320e-08,4.742797e-08,4.729903e-08,4.727283e-08,4.716675e-08,4.709674e-08,4.703142e-08,4.691559e-08,4.689332e-08,4.675271e-08,4.672999e-08,4.660983e-08,4.654051e-08,4.646491e-08,4.634765e-08,4.631817e-08,4.616982e-08,4.615192e-08,4.602004e-08,4.595374e-08,4.586903e-08,4.575353e-08,4.571694e-08,4.556395e-08,4.555167e-08,4.541020e-08,4.534851e-08,4.525583e-08,4.514438e-08,4.510098e-08,4.494577e-08,4.493956e-08,4.479033e-08,4.473434e-08,4.463477e-08,4.452896e-08,4.447918e-08,4.432367e-08,4.411867e-08,4.391415e-08,4.371031e-08,4.350731e-08,4.330529e-08,4.310439e-08,4.290475e-08,4.270648e-08,4.250967e-08,4.231444e-08,4.212085e-08,4.192899e-08,4.173894e-08,4.155074e-08,4.136447e-08,4.118016e-08,4.099786e-08,4.081761e-08,4.063945e-08,4.046339e-08,4.028948e-08,4.011772e-08,3.994813e-08,3.978072e-08
0.000000e+00,6.613362e-11,1.544597e-10,5.389021e-10,1.226169e-09,1.784193e-09,3.998699e-09,4.116441e-09,7.814305e-09,9.129783e-09,1.313486e-08,1.720822e-08,2.032229e-08,2.877770e-08,2.960158e-08,4.114029e-08,4.425363e-08,5.497465e-08,6.367643e-08,7.095642e-08,8.656594e-08,8.879301e-08,1.081448e-07,1.121681e-07,1.286906e-07,1.397500e-07,1.501442e-07,1.686784e-07,1.722489e-07,1.947686e-07,1.983953e-07,2.174824e-07,2.283928e-07,2.401838e-07,2.582062e-07,2.626806e-07,2.847976e-07,2.874185e-07,3.063786e-07,3.156688e-07,3.272881e-07,3.426593e-07,3.474123e-07,3.666598e-07,3.681596e-07,3.849610e-07,3.920047e-07,4.022659e-07,4.140909e-07,4.185444e-07,4.337833e-07,4.343712e-07,4.479829e-07,4.528425e-07,4.611562e-07,4.695395e-07,4.733268e-07,4.845262e-07,4.947922e-07,4.978870e-07,5.041671e-07,5.097202e-07,5.126962e-07,5.201322e-07,5.204267e-07,5.274064e-07,5.292327e-07,5.336832e-07,5.371316e-07,5.393042e-07,5.439355e-07,5.443149e-07,5.487592e-07,5.497462e-07,5.526788e-07,5.546596e-07,5.561135e-07,5.587645e-07,5.591005e-07,5.616746e-07,5.621428e-07,5.638685e-07,5.648693e-07,5.657126e-07,5.670118e-07,5.672348e-07,5.684614e-07,5.686318e-07,5.694161e-07,5.697845e-07,5.701213e-07,5.705195e-07,5.705973e-07,5.708628e-07,5.708813e-07,5.709351e-07,5.709098e-07,5.708300e-07,5.706405e-07,5.705621e-07,5.701447e-07,5.701053e-07,5.695902e-07,5.693326e-07,5.689098e-07,5.683478e-07,5.681139e-07,5.672120e-07,5.671739e-07,5.662130e-07,5.658311e-07,5.651249e-07,5.643379e-07,5.639551e-07,5.627107e-07,5.613978e-07,5.609642e-07,5.600224e-07,5.591119e-07,5.585899e-07,5.571657e-07,5.571053e-07,5.555734e-07,5.551365e-07,5.539983e-07,5.530342e-07,5.523840e-07,5.508676e-07,5.507344e-07,5.490529e-07,5.486449e-07,5.473426e-07,5.463734e-07,5.456065e-07,5.440598e-07,5.438476e-07,5.420682e-07,5.417101e-07,5.402709e-07,5.393300e-07,5.384580e-07,5.369245e-07,5.366315e-07,5.347933e-07,5.344983e-07,5.329455e-07,5.320555e-07,5.310896e-07,5.296001e-07,5.292272e-07,5.273600e-07,5.271357e-07,5.254894e-07,5.246655e-07,5.236165e-07,5.221925e-07,5.217427e-07,5.198692e-07,5.197193e-07,5.179969e-07,5.172486e-07,5.161270e-07,5.147827e-07,5.142604e-07,5.123979e-07,5.123235e-07,5.105404e-07,5.098731e-07,5.086887e-07,5.074332e-07,5.068435e-07,5.050055e-07,5.025914e-07,5.001923e-07,4.978093e-07,4.954437e-07,4.930965e-07,4.907685e-07,4.884606e-07,4.861735e-07,4.839080e-07,4.816646e-07,4.794439e-07,4.772464e-07,4.750725e-07,4.729225e-07,4.707968e-07,4.686956e-07,4.666193e-07,4.645679e-07,4.625417e-07,4.605407e-07,4.585650e-07,4.566148e-07,4.546900e-07,4.527907e-07
0.000000e+00,1.844530e-11,4.227403e-11,1.458631e-10,3.339270e-10,4.897174e-10,1.134366e-09,1.169778e-09,2.336243e-09,2.775070e-09,4.179232e-09,5.696176e-09,6.901861e-09,1.028887e-08,1.062300e-08,1.527917e-08,1.651511e-08,2.067737e-08,2.394952e-08,2.662174e-08,3.218648e-08,3.296491e-08,3.960046e-08,4.095515e-08,4.644631e-08,5.006609e-08,5.343373e-08,5.936806e-08,6.050213e-08,6.759709e-08,6.873142e-08,7.466994e-08,7.804423e-08,8.167779e-08,8.721223e-08,8.858367e-08,9.535649e-08,9.615902e-08,1.019707e-07,1.048254e-07,1.084062e-07,1.131677e-07,1.146471e-07,1.206822e-07,1.211559e-07,1.265035e-07,1.287710e-07,1.321061e-07,1.360031e-07,1.374876e-07,1.426474e-07,1.428492e-07,1.475869e-07,1.493116e-07,1.523086e-07,1.553966e-07,1.568159e-07,1.611133e-07,1.652055e-07,1.664726e-07,1.690980e-07,1.714870e-07,1.727964e-07,1.761697e-07,1.763065e-07,1.796344e-07,1.805343e-07,1.827859e-07,1.845948e-07,1.857673e-07,1.883650e-07,1.885845e-07,1.912435e-07,1.918587e-07,1.937501e-07,1.950894e-07,1.961102e-07,1.980703e-07,1.983294e-07,2.004132e-07,2.008142e-07,2.023670e-07,2.033334e-07,2.041961e-07,2.056398e-07,2.059055e-07,2.075003e-07,2.077451e-07,2.089852e-07,2.096602e-07,2.103648e-07,2.113957e-07,2.116437e-07,2.128261e-07,2.129617e-07,2.139164e-07,2.143679e-07,2.149185e-07,2.156235e-07,2.158363e-07,2.166736e-07,2.167373e-07,2.174341e-07,2.177176e-07,2.181212e-07,2.185724e-07,2.187383e-07,2.192886e-07,2.193093e-07,2.197753e-07,2.199355e-07,2.202013e-07,2.204578e-07,2.205695e-07,2.208826e-07,2.211434e-07,2.212162e-07,2.213543e-07,2.214643e-07,2.215179e-07,2.216325e-07,2.216364e-07,2.217121e-07,2.217260e-07,2.217472e-07,2.217496e-07,2.217438e-07,2.217082e-07,2.217037e-07,2.216290e-07,2.216062e-07,2.215215e-07,2.214476e-07,2.213829e-07,2.212365e-07,2.212148e-07,2.210190e-07,2.209766e-07,2.207968e-07,2.206714e-07,2.205499e-07,2.203243e-07,2.202795e-07,2.199871e-07,2.199384e-07,2.196739e-07,2.195166e-07,2.193412e-07,2.190618e-07,2.189901e-07,2.186218e-07,2.185765e-07,2.182374e-07,2.180634e-07,2.178378e-07,2.175246e-07,2.174241e-07,2.169972e-07,2.169625e-07,2.165580e-07,2.163791e-07,2.161074e-07,2.157763e-07,2.156462e-07,2.151751e-07,2.151561e-07,2.146949e-07,2.145200e-07,2.142064e-07,2.138698e-07,2.137102e-07,2.132070e-07,2.125329e-07,2.118491e-07,2.111566e-07,2.104568e-07,2.097507e-07,2.090394e-07,2.083239e-07,2.076050e-07,2.068836e-07,2.061606e-07,2.054366e-07,2.047124e-07,2.039887e-07,2.032660e-07,2.025449e-07,2.018259e-07,2.011095e-07,2.003962e-07,1.996865e-07,1.989806e-07,1.982789e-07,1.975818e-07,1.968897e-07,1.962027e-07
0.000000e+00,7.694790e-10,1.925893e-09,7.354420e-09,1.774328e-08,2.658617e-08,6.438099e-08,6.649852e-08,1.379645e-07,1.655568e-07,2.557334e-07,3.553204e-07,4.352565e-07,6.598571e-07,6.818957e-07,9.861586e-07,1.066197e-06,1.334620e-06,1.545322e-06,1.717701e-06,2.078676e-06,2.129455e-06,2.565757e-06,2.655655e-06,3.023150e-06,3.268224e-06,3.498300e-06,3.908673e-06,3.987820e-06,4.488242e-06,4.569089e-06,4.996088e-06,5.241485e-06,5.507950e-06,5.918138e-06,6.020576e-06,6.530947e-06,6.591907e-06,7.036325e-06,7.256473e-06,7.534285e-06,7.906472e-06,8.022731e-06,8.499892e-06,8.537532e-06,8.964313e-06,9.146244e-06,9.414827e-06,9.730068e-06,9.850527e-06,1.027074e-05,1.028722e-05,1.067500e-05,1.081657e-05,1.106303e-05,1.131753e-05,1.143468e-05,1.178993e-05,1.212890e-05,1.223395e-05,1.245174e-05,1.265001e-05,1.275871e-05,1.303874e-05,1.305010e-05,1.332627e-05,1.340092e-05,1.358759e-05,1.373742e-05,1.383446e-05,1.404918e-05,1.406731e-05,1.428655e-05,1.433720e-05,1.449264e-05,1.460246e-05,1.468601e-05,1.484600e-05,1.486710e-05,1.503635e-05,1.506881e-05,1.519419e-05,1.527191e-05,1.534106e-05,1.545626e-05,1.547738e-05,1.560355e-05,1.562282e-05,1.571998e-05,1.577253e-05,1.582707e-05,1.590628e-05,1.592521e-05,1.601475e-05,1.602494e-05,1.609608e-05,1.612934e-05,1.616953e-05,1.622031e-05,1.623546e-05,1.629419e-05,1.629859e-05,1.634605e-05,1.636494e-05,1.639135e-05,1.642007e-05,1.643038e-05,1.646344e-05,1.646464e-05,1.649081e-05,1.649932e-05,1.651275e-05,1.652470e-05,1.652952e-05,1.654138e-05,1.654857e-05,1.654992e-05,1.655132e-05,1.655086e-05,1.654986e-05,1.654468e-05,1.654439e-05,1.653513e-05,1.653188e-05,1.652227e-05,1.651291e-05,1.650601e-05,1.648820e-05,1.648652e-05,1.646399e-05,1.645815e-05,1.643859e-05,1.642317e-05,1.641047e-05,1.638361e-05,1.637980e-05,1.634671e-05,1.633982e-05,1.631136e-05,1.629213e-05,1.627388e-05,1.624085e-05,1.623440e-05,1.619305e-05,1.618627e-05,1.614994e-05,1.612866e-05,1.610520e-05,1.606830e-05,1.605893e-05,1.601124e-05,1.600543e-05,1.596223e-05,1.594027e-05,1.591199e-05,1.587305e-05,1.586062e-05,1.580820e-05,1.580396e-05,1.575482e-05,1.573322e-05,1.570056e-05,1.566099e-05,1.564549e-05,1.558969e-05,1.558744e-05,1.553323e-05,1.551275e-05,1.547617e-05,1.543705e-05,1.541857e-05,1.536050e-05,1.528321e-05,1.520533e-05,1.512695e-05,1.504820e-05,1.496916e-05,1.488995e-05,1.481064e-05,1.473132e-05,1.465206e-05,1.457293e-05,1.449401e-05,1.441534e-05,1.433700e-05,1.425903e-05,1.418148e-05,1.410439e-05,1.402781e-05,1.395177e-05,1.387631e-05,1.380145e-05,1.372724e-05,1.365368e-05,1.358082e-05,1.350866e-05
0.000000e+00,9.732859e-10,2.728861e-09,1.231941e-08,3.287378e-08,5.132233e-08,1.336555e-07,1.383456e-07,2.976977e-07,3.592606e-07,5.597324e-07,7.803911e-07,9.578457e-07,1.463185e-06,1.513507e-06,2.223545e-06,2.414953e-06,3.069419e-06,3.595059e-06,4.031777e-06,4.962845e-06,5.095414e-06,6.248361e-06,6.488729e-06,7.480054e-06,8.148226e-06,8.780135e-06,9.917262e-06,1.013794e-05,1.154245e-05,1.177075e-05,1.298247e-05,1.368302e-05,1.444691e-05,1.562883e-05,1.592507e-05,1.740688e-05,1.758449e-05,1.888312e-05,1.952873e-05,2.034551e-05,2.144317e-05,2.178681e-05,2.320082e-05,2.331259e-05,2.458232e-05,2.512484e-05,2.592707e-05,2.687061e-05,2.723170e-05,2.849361e-05,2.854317e-05,2.971093e-05,3.013797e-05,3.088234e-05,3.165227e-05,3.200709e-05,3.308482e-05,3.411557e-05,3.443554e-05,3.509967e-05,3.570527e-05,3.603769e-05,3.689554e-05,3.693039e-05,3.777870e-05,3.800842e-05,3.858367e-05,3.904632e-05,3.934644e-05,4.001194e-05,4.006820e-05,4.075022e-05,4.090813e-05,4.139376e-05,4.173783e-05,4.200015e-05,4.250406e-05,4.257068e-05,4.310666e-05,4.320982e-05,4.360938e-05,4.385808e-05,4.408013e-05,4.445178e-05,4.452017e-05,4.493073e-05,4.499376e-05,4.531302e-05,4.548683e-05,4.566822e-05,4.593366e-05,4.599749e-05,4.630194e-05,4.633686e-05,4.658266e-05,4.669893e-05,4.684070e-05,4.702228e-05,4.707709e-05,4.729281e-05,4.730920e-05,4.748882e-05,4.756191e-05,4.766604e-05,4.778250e-05,4.782536e-05,4.796764e-05,4.797299e-05,4.809371e-05,4.813528e-05,4.820437e-05,4.827120e-05,4.830037e-05,4.838247e-05,4.845138e-05,4.847075e-05,4.850776e-05,4.853758e-05,4.855229e-05,4.858446e-05,4.858558e-05,4.860825e-05,4.861277e-05,4.862086e-05,4.862384e-05,4.862399e-05,4.861894e-05,4.861816e-05,4.860387e-05,4.859924e-05,4.858163e-05,4.856587e-05,4.855190e-05,4.851989e-05,4.851512e-05,4.847172e-05,4.846229e-05,4.842212e-05,4.839401e-05,4.836670e-05,4.831594e-05,4.830585e-05,4.823991e-05,4.822891e-05,4.816923e-05,4.813371e-05,4.809413e-05,4.803108e-05,4.801493e-05,4.793192e-05,4.792172e-05,4.784539e-05,4.780627e-05,4.775560e-05,4.768534e-05,4.766281e-05,4.756727e-05,4.755951e-05,4.746920e-05,4.742932e-05,4.736884e-05,4.729527e-05,4.726638e-05,4.716204e-05,4.715783e-05,4.705600e-05,4.701744e-05,4.694844e-05,4.687452e-05,4.683953e-05,4.672944e-05,4.658257e-05,4.643423e-05,4.628474e-05,4.613440e-05,4.598345e-05,4.583217e-05,4.568076e-05,4.552946e-05,4.537846e-05,4.522793e-05,4.507804e-05,4.492896e-05,4.478081e-05,4.463374e-05,4.448785e-05,4.434326e-05,4.420005e-05,4.405833e-05,4.391817e-05,4.377964e-05,4.364280e-05,4.350771e-05,4.337443e-05,4.324299e-05
0.000000e+00,6.227920e-12,1.425487e-11,4.892957e-11,1.110647e-10,1.618100e-10,3.657008e-10,3.766449e-10,7.249953e-10,8.508968e-10,1.239856e-09,1.643323e-09,1.956609e-09,2.826028e-09,2.912091e-09,4.139533e-09,4.477146e-09,5.657365e-09,6.632099e-09,7.456535e-09,9.243456e-09,9.499914e-09,1.173714e-08,1.220345e-08,1.411984e-08,1.540262e-08,1.660765e-08,1.875444e-08,1.916773e-08,2.177273e-08,2.219209e-08,2.439918e-08,2.566133e-08,2.702642e-08,2.911644e-08,2.963620e-08,3.221246e-08,3.251867e-08,3.474125e-08,3.583574e-08,3.721069e-08,3.904164e-08,3.961093e-08,4.193400e-08,4.211632e-08,4.417373e-08,4.504521e-08,4.632556e-08,4.781865e-08,4.838637e-08,5.035433e-08,5.043111e-08,5.222868e-08,5.288053e-08,5.400956e-08,5.516761e-08,5.569790e-08,5.729521e-08,5.880352e-08,5.926776e-08,6.022522e-08,6.109087e-08,6.156297e-08,6.277092e-08,6.281967e-08,6.399832e-08,6.431477e-08,6.510201e-08,6.572956e-08,6.613389e-08,6.702249e-08,6.709709e-08,6.799471e-08,6.820072e-08,6.882981e-08,6.927127e-08,6.960537e-08,7.024094e-08,7.032432e-08,7.098946e-08,7.111627e-08,7.160352e-08,7.190352e-08,7.216913e-08,7.260864e-08,7.268880e-08,7.316496e-08,7.323726e-08,7.359992e-08,7.379472e-08,7.399590e-08,7.428605e-08,7.435503e-08,7.467932e-08,7.471598e-08,7.497069e-08,7.508894e-08,7.523097e-08,7.540908e-08,7.546192e-08,7.566519e-08,7.568030e-08,7.584236e-08,7.590626e-08,7.599493e-08,7.609034e-08,7.612432e-08,7.623188e-08,7.623575e-08,7.631891e-08,7.634545e-08,7.638661e-08,7.642220e-08,7.643614e-08,7.646860e-08,7.648503e-08,7.648707e-08,7.648641e-08,7.647983e-08,7.647368e-08,7.644899e-08,7.644771e-08,7.640936e-08,7.639650e-08,7.635940e-08,7.632417e-08,7.629860e-08,7.623370e-08,7.622767e-08,7.614728e-08,7.612665e-08,7.605807e-08,7.600449e-08,7.596065e-08,7.586858e-08,7.585559e-08,7.574342e-08,7.572019e-08,7.562468e-08,7.556049e-08,7.549983e-08,7.539058e-08,7.536934e-08,7.523365e-08,7.521148e-08,7.509315e-08,7.502413e-08,7.494825e-08,7.482941e-08,7.479931e-08,7.464668e-08,7.462813e-08,7.449068e-08,7.442105e-08,7.433162e-08,7.420887e-08,7.416980e-08,7.400549e-08,7.399225e-08,7.383896e-08,7.377178e-08,7.367046e-08,7.354804e-08,7.350020e-08,7.332842e-08,7.332152e-08,7.315533e-08,7.309273e-08,7.298111e-08,7.286210e-08,7.280596e-08,7.263004e-08,7.239694e-08,7.216314e-08,7.192897e-08,7.169473e-08,7.146070e-08,7.122712e-08,7.099424e-08,7.076226e-08,7.053139e-08,7.030180e-08,7.007366e-08,6.984712e-08,6.962232e-08,6.939938e-08,6.917841e-08,6.895952e-08,6.874280e-08,6.852833e-08,6.831619e-08,6.810644e-08,6.789914e-08,6.769434e-08,6.749208e-08,6.729241e-08
0.000000e+00,1.325798e-09,3.280609e-09,1.246670e-08,3.044688e-08,4.621163e-08,1.179260e-07,1.221301e-07,2.726984e-07,3.340882e-07,5.395652e-07,7.649256e-07,9.403023e-07,1.406024e-06,1.449994e-06,2.037582e-06,2.187968e-06,2.685194e-06,3.070585e-06,3.383992e-06,4.037208e-06,4.128897e-06,4.915902e-06,5.078008e-06,5.740996e-06,6.183649e-06,6.599763e-06,7.343616e-06,7.487357e-06,8.398573e-06,8.546198e-06,9.327970e-06,9.778941e-06,1.027013e-05,1.102955e-05,1.121985e-05,1.217217e-05,1.228640e-05,1.312253e-05,1.353900e-05,1.406683e-05,1.477818e-05,1.500142e-05,1.592313e-05,1.599623e-05,1.682926e-05,1.718683e-05,1.771754e-05,1.834499e-05,1.858611e-05,1.943345e-05,1.946689e-05,2.025838e-05,2.054969e-05,2.106000e-05,2.159143e-05,2.183764e-05,2.259084e-05,2.331933e-05,2.354721e-05,2.402299e-05,2.446028e-05,2.470179e-05,2.533016e-05,2.535585e-05,2.598536e-05,2.615725e-05,2.659056e-05,2.694215e-05,2.717178e-05,2.768563e-05,2.772938e-05,2.826376e-05,2.838860e-05,2.877535e-05,2.905206e-05,2.926461e-05,2.967707e-05,2.973203e-05,3.017808e-05,3.026477e-05,3.060327e-05,3.081629e-05,3.100811e-05,3.133283e-05,3.139312e-05,3.175880e-05,3.181556e-05,3.210569e-05,3.226567e-05,3.243429e-05,3.268435e-05,3.274512e-05,3.303868e-05,3.307277e-05,3.331549e-05,3.343211e-05,3.357604e-05,3.376349e-05,3.382083e-05,3.405035e-05,3.406806e-05,3.426506e-05,3.434691e-05,3.446545e-05,3.460113e-05,3.465198e-05,3.482511e-05,3.483176e-05,3.498527e-05,3.503984e-05,3.513291e-05,3.522636e-05,3.526845e-05,3.539231e-05,3.550491e-05,3.553862e-05,3.560663e-05,3.566621e-05,3.569788e-05,3.577598e-05,3.577903e-05,3.585046e-05,3.586877e-05,3.591253e-05,3.594542e-05,3.596559e-05,3.600674e-05,3.600998e-05,3.604604e-05,3.605349e-05,3.607410e-05,3.608644e-05,3.609447e-05,3.610629e-05,3.610747e-05,3.611338e-05,3.611374e-05,3.611251e-05,3.610947e-05,3.610514e-05,3.609411e-05,3.609153e-05,3.607196e-05,3.606829e-05,3.604669e-05,3.603260e-05,3.601596e-05,3.598762e-05,3.598002e-05,3.593911e-05,3.593388e-05,3.589345e-05,3.587192e-05,3.584327e-05,3.580224e-05,3.578878e-05,3.573018e-05,3.572532e-05,3.566768e-05,3.564163e-05,3.560147e-05,3.555161e-05,3.553175e-05,3.545868e-05,3.545569e-05,3.538245e-05,3.535427e-05,3.530324e-05,3.524774e-05,3.522119e-05,3.513647e-05,3.502082e-05,3.490111e-05,3.477769e-05,3.465084e-05,3.452087e-05,3.438805e-05,3.425265e-05,3.411492e-05,3.397511e-05,3.383343e-05,3.369012e-05,3.354536e-05,3.339937e-05,3.325232e-05,3.310438e-05,3.295574e-05,3.280653e-05,3.265692e-05,3.250705e-05,3.235704e-05,3.220701e-05,3.205710e-05,3.190741e-05,3.175804e-05
0.000000e+00,6.117702e-08,1.827417e-07,9.309248e-07,2.739558e-06,4.490741e-06,1.304783e-05,1.355902e-05,3.172429e-05,3.900743e-05,6.327030e-05,9.065946e-05,1.131673e-04,1.801249e-04,1.870630e-04,2.911313e-04,3.212967e-04,4.315739e-04,5.281724e-04,6.137606e-04,8.116247e-04,8.414223e-04,1.116367e-03,1.177065e-03,1.438700e-03,1.624683e-03,1.807221e-03,2.150934e-03,2.219798e-03,2.673629e-03,2.749856e-03,3.165432e-03,3.413931e-03,3.691582e-03,4.134634e-03,4.248205e-03,4.831272e-03,4.902822e-03,5.436669e-03,5.709052e-03,6.060264e-03,6.543850e-03,6.697973e-03,7.345817e-03,7.397966e-03,7.999970e-03,8.262578e-03,8.656804e-03,9.129465e-03,9.312919e-03,9.965172e-03,9.991140e-03,1.061069e-02,1.084092e-02,1.124689e-02,1.167300e-02,1.187147e-02,1.248241e-02,1.307796e-02,1.326504e-02,1.365665e-02,1.401758e-02,1.421723e-02,1.473743e-02,1.475871e-02,1.528030e-02,1.542270e-02,1.578140e-02,1.607205e-02,1.626161e-02,1.668472e-02,1.672067e-02,1.715847e-02,1.726038e-02,1.757503e-02,1.779908e-02,1.797049e-02,1.830121e-02,1.834507e-02,1.869907e-02,1.876743e-02,1.903287e-02,1.919861e-02,1.934691e-02,1.959580e-02,1.964169e-02,1.991773e-02,1.996019e-02,2.017558e-02,2.029305e-02,2.041582e-02,2.059572e-02,2.063903e-02,2.084582e-02,2.086956e-02,2.103679e-02,2.111596e-02,2.121254e-02,2.133631e-02,2.137368e-02,2.152080e-02,2.153198e-02,2.165449e-02,2.170433e-02,2.177533e-02,2.185470e-02,2.188389e-02,2.198072e-02,2.198436e-02,2.206637e-02,2.209456e-02,2.214136e-02,2.218652e-02,2.220620e-02,2.226139e-02,2.230741e-02,2.232027e-02,2.234471e-02,2.236423e-02,2.237376e-02,2.239428e-02,2.239498e-02,2.240878e-02,2.241137e-02,2.241557e-02,2.241643e-02,2.241572e-02,2.241033e-02,2.240962e-02,2.239760e-02,2.239387e-02,2.238001e-02,2.236784e-02,2.235717e-02,2.233298e-02,2.232940e-02,2.229698e-02,2.228997e-02,2.226022e-02,2.223947e-02,2.221937e-02,2.218209e-02,2.217469e-02,2.212644e-02,2.211840e-02,2.207485e-02,2.204897e-02,2.202014e-02,2.197428e-02,2.196254e-02,2.190223e-02,2.189483e-02,2.183943e-02,2.181105e-02,2.177431e-02,2.172339e-02,2.170706e-02,2.163783e-02,2.163221e-02,2.156679e-02,2.153790e-02,2.149409e-02,2.144080e-02,2.141988e-02,2.134429e-02,2.134124e-02,2.126745e-02,2.123950e-02,2.118948e-02,2.113588e-02,2.111051e-02,2.103064e-02,2.092401e-02,2.081623e-02,2.070750e-02,2.059803e-02,2.048799e-02,2.037755e-02,2.026687e-02,2.015609e-02,2.004534e-02,1.993476e-02,1.982445e-02,1.971451e-02,1.960505e-02,1.949615e-02,1.938789e-02,1.928034e-02,1.917358e-02,1.906766e-02,1.896263e-02,1.885856e-02,1.875547e-02,1.865342e-02,1.855244e-02,1.845255e-02
0.000000e+00,1.187748e-09,3.418921e-09,1.617458e-08,4.464867e-08,7.076613e-08,1.894541e-07,1.962546e-07,4.268676e-07,5.153087e-07,8.003104e-07,1.110120e-06,1.358033e-06,2.067918e-06,2.139340e-06,3.166349e-06,3.449406e-06,4.434831e-06,5.242801e-06,5.922891e-06,7.392771e-06,7.603799e-06,9.452142e-06,9.839830e-06,1.144470e-05,1.253051e-05,1.355952e-05,1.541466e-05,1.577501e-05,1.806948e-05,1.844246e-05,2.042108e-05,2.156378e-05,2.280819e-05,2.472927e-05,2.520977e-05,2.760591e-05,2.789219e-05,2.997820e-05,3.101010e-05,3.231005e-05,3.404619e-05,3.458694e-05,3.679652e-05,3.697006e-05,3.892860e-05,3.975786e-05,4.097510e-05,4.239204e-05,4.292984e-05,4.478848e-05,4.486079e-05,4.654826e-05,4.715727e-05,4.820779e-05,4.927888e-05,4.976689e-05,5.122635e-05,5.258779e-05,5.300310e-05,5.385346e-05,5.461449e-05,5.502613e-05,5.606733e-05,5.610896e-05,5.710537e-05,5.736937e-05,5.801897e-05,5.852892e-05,5.885348e-05,5.955462e-05,5.961267e-05,6.030033e-05,6.045514e-05,6.092019e-05,6.123908e-05,6.147594e-05,6.191481e-05,6.197115e-05,6.240930e-05,6.249038e-05,6.279373e-05,6.297348e-05,6.312767e-05,6.337142e-05,6.341420e-05,6.365628e-05,6.369108e-05,6.385672e-05,6.393894e-05,6.401820e-05,6.412105e-05,6.414326e-05,6.423432e-05,6.424307e-05,6.429365e-05,6.431028e-05,6.432344e-05,6.432757e-05,6.432571e-05,6.430240e-05,6.429949e-05,6.425535e-05,6.423026e-05,6.418625e-05,6.412378e-05,6.409675e-05,6.398836e-05,6.398365e-05,6.386252e-05,6.381321e-05,6.372058e-05,6.361553e-05,6.356383e-05,6.339344e-05,6.321056e-05,6.314957e-05,6.301622e-05,6.288630e-05,6.281143e-05,6.260586e-05,6.259712e-05,6.237415e-05,6.231029e-05,6.214335e-05,6.200144e-05,6.190549e-05,6.168103e-05,6.166128e-05,6.141139e-05,6.135064e-05,6.115646e-05,6.101172e-05,6.089707e-05,6.066557e-05,6.063379e-05,6.036711e-05,6.031341e-05,6.009753e-05,5.995636e-05,5.982550e-05,5.959541e-05,5.955143e-05,5.927573e-05,5.923149e-05,5.899874e-05,5.886544e-05,5.872082e-05,5.849803e-05,5.844228e-05,5.816342e-05,5.812995e-05,5.788450e-05,5.776183e-05,5.760579e-05,5.739426e-05,5.732752e-05,5.704991e-05,5.702774e-05,5.677316e-05,5.666274e-05,5.649746e-05,5.629970e-05,5.622297e-05,5.594987e-05,5.593898e-05,5.567830e-05,5.558093e-05,5.540839e-05,5.522587e-05,5.514027e-05,5.487405e-05,5.452572e-05,5.418109e-05,5.384036e-05,5.350369e-05,5.317123e-05,5.284308e-05,5.251937e-05,5.220018e-05,5.188559e-05,5.157565e-05,5.127041e-05,5.096991e-05,5.067416e-05,5.038320e-05,5.009701e-05,4.981561e-05,4.953898e-05,4.926710e-05,4.899995e-05,4.873752e-05,4.847975e-05,4.822663e-05,4.797811e-05,4.773414e-05
0.000000e+00,1.460105e-09,4.267194e-09,2.081122e-08,5.900933e-08,9.489359e-08,2.636978e-07,2.735790e-07,6.177664e-07,7.534905e-07,1.201119e-06,1.701256e-06,2.108952e-06,3.301120e-06,3.422574e-06,5.189517e-06,5.681892e-06,7.409594e-06,8.838976e-06,1.004922e-05,1.268200e-05,1.306152e-05,1.639779e-05,1.709976e-05,2.001136e-05,2.198526e-05,2.385808e-05,2.723860e-05,2.789578e-05,3.208396e-05,3.276541e-05,3.638373e-05,3.847632e-05,4.075814e-05,4.428806e-05,4.517258e-05,4.959525e-05,5.012513e-05,5.399753e-05,5.592147e-05,5.835425e-05,6.162140e-05,6.264370e-05,6.684760e-05,6.717975e-05,7.095096e-05,7.256137e-05,7.494178e-05,7.774017e-05,7.881078e-05,8.255109e-05,8.269795e-05,8.615792e-05,8.742308e-05,8.962826e-05,9.190928e-05,9.296056e-05,9.615454e-05,9.921089e-05,1.001601e-04,1.021311e-04,1.039296e-04,1.049174e-04,1.074687e-04,1.075724e-04,1.100991e-04,1.107840e-04,1.125008e-04,1.138833e-04,1.147811e-04,1.167748e-04,1.169436e-04,1.189920e-04,1.194670e-04,1.209301e-04,1.219687e-04,1.227617e-04,1.242884e-04,1.244906e-04,1.261205e-04,1.264349e-04,1.276551e-04,1.284166e-04,1.290980e-04,1.302418e-04,1.304528e-04,1.317228e-04,1.319184e-04,1.329115e-04,1.334542e-04,1.340222e-04,1.348566e-04,1.350579e-04,1.360218e-04,1.361328e-04,1.369169e-04,1.372897e-04,1.377461e-04,1.383338e-04,1.385120e-04,1.392175e-04,1.392714e-04,1.398652e-04,1.401086e-04,1.404574e-04,1.408509e-04,1.409967e-04,1.414854e-04,1.415039e-04,1.419256e-04,1.420727e-04,1.423197e-04,1.425623e-04,1.426695e-04,1.429772e-04,1.432446e-04,1.433220e-04,1.434736e-04,1.436008e-04,1.436660e-04,1.438177e-04,1.438234e-04,1.439474e-04,1.439764e-04,1.440397e-04,1.440805e-04,1.441018e-04,1.441333e-04,1.441350e-04,1.441408e-04,1.441382e-04,1.441204e-04,1.440981e-04,1.440753e-04,1.440160e-04,1.440065e-04,1.439153e-04,1.438944e-04,1.438027e-04,1.437361e-04,1.436699e-04,1.435435e-04,1.435179e-04,1.433477e-04,1.433188e-04,1.431601e-04,1.430642e-04,1.429562e-04,1.427818e-04,1.427367e-04,1.425026e-04,1.424736e-04,1.422546e-04,1.421413e-04,1.419935e-04,1.417867e-04,1.417199e-04,1.414347e-04,1.414114e-04,1.411384e-04,1.410170e-04,1.408318e-04,1.406049e-04,1.405154e-04,1.401898e-04,1.401766e-04,1.398555e-04,1.397332e-04,1.395132e-04,1.392761e-04,1.391634e-04,1.388064e-04,1.383252e-04,1.378335e-04,1.373322e-04,1.368224e-04,1.363048e-04,1.357803e-04,1.352497e-04,1.347136e-04,1.341727e-04,1.336278e-04,1.330793e-04,1.325278e-04,1.319740e-04,1.314182e-04,1.308609e-04,1.303027e-04,1.297438e-04,1.291848e-04,1.286259e-04,1.280675e-04,1.275100e-04,1.269536e-04,1.263985e-04,1.258452e-04
0.000000e+00,1.523032e-09,4.387130e-09,2.074517e-08,5.711287e-08,9.030903e-08,2.396379e-07,2.481295e-07,5.328687e-07,6.406723e-07,9.840328e-07,1.351894e-06,1.643370e-06,2.470087e-06,2.552933e-06,3.744147e-06,4.073175e-06,5.221737e-06,6.165554e-06,6.959776e-06,8.669973e-06,8.914388e-06,1.103913e-05,1.148079e-05,1.329355e-05,1.450603e-05,1.564522e-05,1.767692e-05,1.806857e-05,2.054271e-05,2.094205e-05,2.304948e-05,2.425934e-05,2.557203e-05,2.759046e-05,2.809404e-05,3.059934e-05,3.089809e-05,3.307189e-05,3.414537e-05,3.549597e-05,3.729654e-05,3.785649e-05,4.013927e-05,4.031814e-05,4.233143e-05,4.318033e-05,4.442168e-05,4.585813e-05,4.640049e-05,4.826017e-05,4.833199e-05,4.999495e-05,5.058810e-05,5.160097e-05,5.261840e-05,5.307618e-05,5.442021e-05,5.563423e-05,5.599564e-05,5.672079e-05,5.735098e-05,5.768363e-05,5.849586e-05,5.852739e-05,5.925723e-05,5.944196e-05,5.987906e-05,6.020294e-05,6.039921e-05,6.079353e-05,6.082418e-05,6.116061e-05,6.122893e-05,6.141520e-05,6.152447e-05,6.159448e-05,6.169499e-05,6.170478e-05,6.175217e-05,6.175462e-05,6.174246e-05,6.171668e-05,6.168115e-05,6.159355e-05,6.157338e-05,6.142396e-05,6.139649e-05,6.123733e-05,6.113575e-05,6.101760e-05,6.082053e-05,6.076854e-05,6.049359e-05,6.045901e-05,6.019589e-05,6.005844e-05,5.987829e-05,5.962520e-05,5.954337e-05,5.919345e-05,5.916487e-05,5.883064e-05,5.868234e-05,5.845683e-05,5.818185e-05,5.807373e-05,5.768285e-05,5.766708e-05,5.728556e-05,5.714120e-05,5.688307e-05,5.660698e-05,5.647648e-05,5.606676e-05,5.565479e-05,5.552261e-05,5.524133e-05,5.497627e-05,5.482709e-05,5.442924e-05,5.441267e-05,5.399863e-05,5.388283e-05,5.358545e-05,5.333815e-05,5.317358e-05,5.279615e-05,5.276341e-05,5.235526e-05,5.225765e-05,5.194947e-05,5.172335e-05,5.154628e-05,5.119384e-05,5.114596e-05,5.074870e-05,5.066963e-05,5.035470e-05,5.015116e-05,4.996412e-05,4.963878e-05,4.957710e-05,4.919379e-05,4.913281e-05,4.881428e-05,4.863349e-05,4.843867e-05,4.814105e-05,4.806704e-05,4.769947e-05,4.765564e-05,4.733601e-05,4.717740e-05,4.697671e-05,4.670644e-05,4.662160e-05,4.627073e-05,4.624284e-05,4.592410e-05,4.578665e-05,4.558175e-05,4.533790e-05,4.524367e-05,4.490988e-05,4.489662e-05,4.458037e-05,4.446279e-05,4.425514e-05,4.403641e-05,4.393416e-05,4.361745e-05,4.320585e-05,4.280159e-05,4.240459e-05,4.201479e-05,4.163212e-05,4.125650e-05,4.088783e-05,4.052605e-05,4.017104e-05,3.982273e-05,3.948100e-05,3.914575e-05,3.881689e-05,3.849431e-05,3.817790e-05,3.786755e-05,3.756317e-05,3.726464e-05,3.697186e-05,3.668471e-05,3.640310e-05,3.612692e-05,3.585605e-05,3.559040e-05
0.000000e+00,1.283536e-11,2.948693e-11,1.015969e-10,2.308573e-10,3.362829e-10,7.578901e-10,7.804213e-10,1.492090e-09,1.746701e-09,2.524959e-09,3.319844e-09,3.929163e-09,5.589377e-09,5.751602e-09,8.034777e-09,8.655354e-09,1.081281e-08,1.259244e-08,1.410424e-08,1.742291e-08,1.790525e-08,2.218950e-08,2.310084e-08,2.691540e-08,2.953144e-08,3.203456e-08,3.660199e-08,3.749698e-08,4.325282e-08,4.419768e-08,4.925279e-08,5.220518e-08,5.544823e-08,6.051307e-08,6.179120e-08,6.823488e-08,6.901272e-08,7.473406e-08,7.760008e-08,8.124563e-08,8.617774e-08,8.772919e-08,9.414742e-08,9.465701e-08,1.004664e-07,1.029594e-07,1.066560e-07,1.110174e-07,1.126897e-07,1.185450e-07,1.187752e-07,1.242028e-07,1.261882e-07,1.296478e-07,1.332225e-07,1.348679e-07,1.398542e-07,1.446004e-07,1.460678e-07,1.491028e-07,1.518557e-07,1.533600e-07,1.572165e-07,1.573723e-07,1.611419e-07,1.621543e-07,1.646722e-07,1.666774e-07,1.679678e-07,1.707974e-07,1.710345e-07,1.738785e-07,1.745287e-07,1.765069e-07,1.778874e-07,1.789272e-07,1.808909e-07,1.811469e-07,1.831743e-07,1.835574e-07,1.850173e-07,1.859056e-07,1.866842e-07,1.879542e-07,1.881831e-07,1.895220e-07,1.897219e-07,1.907089e-07,1.912269e-07,1.917515e-07,1.924869e-07,1.926576e-07,1.934344e-07,1.935193e-07,1.940892e-07,1.943404e-07,1.946288e-07,1.949661e-07,1.950601e-07,1.953893e-07,1.954114e-07,1.956227e-07,1.956906e-07,1.957663e-07,1.958172e-07,1.958256e-07,1.958062e-07,1.958039e-07,1.957132e-07,1.956627e-07,1.955515e-07,1.954048e-07,1.953260e-07,1.950410e-07,1.947008e-07,1.945809e-07,1.943094e-07,1.940340e-07,1.938709e-07,1.934087e-07,1.933886e-07,1.928663e-07,1.927132e-07,1.923070e-07,1.919550e-07,1.917139e-07,1.911410e-07,1.910900e-07,1.904379e-07,1.902776e-07,1.897604e-07,1.893708e-07,1.890599e-07,1.884263e-07,1.883387e-07,1.875991e-07,1.874491e-07,1.868429e-07,1.864439e-07,1.860724e-07,1.854152e-07,1.852891e-07,1.844950e-07,1.843670e-07,1.836915e-07,1.833029e-07,1.828801e-07,1.822264e-07,1.820624e-07,1.812397e-07,1.811406e-07,1.804130e-07,1.800484e-07,1.795838e-07,1.789524e-07,1.787529e-07,1.779214e-07,1.778549e-07,1.770903e-07,1.767582e-07,1.762604e-07,1.756642e-07,1.754326e-07,1.746076e-07,1.745747e-07,1.737861e-07,1.734913e-07,1.729687e-07,1.724155e-07,1.721560e-07,1.713486e-07,1.702918e-07,1.692461e-07,1.682125e-07,1.671917e-07,1.661846e-07,1.651916e-07,1.642135e-07,1.632505e-07,1.623032e-07,1.613719e-07,1.604568e-07,1.595581e-07,1.586760e-07,1.578106e-07,1.569619e-07,1.561301e-07,1.553150e-07,1.545167e-07,1.537351e-07,1.529700e-07,1.522215e-07,1.514892e-07,1.507732e-07,1.500731e-07
0.000000e+00,2.785064e-10,7.374475e-10,3.025306e-09,7.535319e-09,1.138046e-08,2.741870e-08,2.829437e-08,5.648914e-08,6.675579e-08,9.851441e-08,1.313818e-07,1.567963e-07,2.267674e-07,2.336513e-07,3.312123e-07,3.579118e-07,4.511823e-07,5.285133e-07,5.943927e-07,7.393310e-07,7.604128e-07,9.476179e-07,9.874034e-07,1.153697e-06,1.267488e-06,1.376156e-06,1.573893e-06,1.612557e-06,1.860566e-06,1.901173e-06,2.117937e-06,2.244160e-06,2.382496e-06,2.597897e-06,2.652132e-06,2.924817e-06,2.957651e-06,3.198622e-06,3.318981e-06,3.471743e-06,3.677831e-06,3.742521e-06,4.009455e-06,4.030603e-06,4.271219e-06,4.374213e-06,4.526659e-06,4.706103e-06,4.774795e-06,5.014819e-06,5.024242e-06,5.246081e-06,5.327089e-06,5.468079e-06,5.613555e-06,5.680448e-06,5.882944e-06,6.075430e-06,6.134902e-06,6.257864e-06,6.369359e-06,6.430280e-06,6.586469e-06,6.592780e-06,6.745523e-06,6.786569e-06,6.888713e-06,6.970142e-06,7.022594e-06,7.137774e-06,7.147435e-06,7.263528e-06,7.290123e-06,7.371182e-06,7.427901e-06,7.470717e-06,7.551849e-06,7.562457e-06,7.646731e-06,7.662719e-06,7.723868e-06,7.761267e-06,7.794194e-06,7.848239e-06,7.858029e-06,7.915691e-06,7.924365e-06,7.967487e-06,7.990354e-06,8.013718e-06,8.046892e-06,8.054675e-06,8.090639e-06,8.094632e-06,8.121879e-06,8.134196e-06,8.148657e-06,8.166178e-06,8.171223e-06,8.189818e-06,8.191141e-06,8.204672e-06,8.209617e-06,8.216008e-06,8.222109e-06,8.224035e-06,8.228955e-06,8.229090e-06,8.230960e-06,8.231004e-06,8.230234e-06,8.228269e-06,8.226950e-06,8.221276e-06,8.213370e-06,8.210393e-06,8.203381e-06,8.195961e-06,8.191453e-06,8.178302e-06,8.177720e-06,8.162312e-06,8.157715e-06,8.145351e-06,8.134478e-06,8.126953e-06,8.108851e-06,8.107226e-06,8.086276e-06,8.081077e-06,8.064199e-06,8.051379e-06,8.041090e-06,8.019969e-06,8.017035e-06,7.992119e-06,7.987039e-06,7.966419e-06,7.952771e-06,7.940010e-06,7.917330e-06,7.912962e-06,7.885340e-06,7.880872e-06,7.857208e-06,7.843540e-06,7.828623e-06,7.805466e-06,7.799640e-06,7.770313e-06,7.766773e-06,7.740689e-06,7.727572e-06,7.710815e-06,7.687969e-06,7.680733e-06,7.650484e-06,7.648058e-06,7.620107e-06,7.607928e-06,7.589637e-06,7.567659e-06,7.559107e-06,7.528548e-06,7.527325e-06,7.497990e-06,7.486994e-06,7.467459e-06,7.446728e-06,7.436982e-06,7.406582e-06,7.366609e-06,7.326855e-06,7.287363e-06,7.248170e-06,7.209311e-06,7.170817e-06,7.132716e-06,7.095033e-06,7.057789e-06,7.021004e-06,6.984694e-06,6.948875e-06,6.913558e-06,6.878756e-06,6.844476e-06,6.810726e-06,6.777513e-06,6.744840e-06,6.712711e-06,6.681129e-06,6.650094e-06,6.619606e-06,6.589666e-06,6.560271e-06
0.000000e+00,1.293975e-09,3.783244e-09,1.844540e-08,5.219145e-08,8.375404e-08,2.305938e-07,2.391124e-07,5.313136e-07,6.444110e-07,1.010610e-06,1.410243e-06,1.730841e-06,2.654862e-06,2.748541e-06,4.116933e-06,4.502214e-06,5.873606e-06,7.032509e-06,8.030582e-06,1.025061e-05,1.057570e-05,1.348155e-05,1.410304e-05,1.671377e-05,1.851140e-05,2.023587e-05,2.339169e-05,2.401128e-05,2.800381e-05,2.866037e-05,3.217770e-05,3.423515e-05,3.649747e-05,4.003473e-05,4.092805e-05,4.543496e-05,4.597931e-05,4.998467e-05,5.199177e-05,5.454505e-05,5.799932e-05,5.908573e-05,6.357849e-05,6.393505e-05,6.799757e-05,6.973932e-05,7.231993e-05,7.536074e-05,7.652548e-05,8.059705e-05,8.075692e-05,8.452039e-05,8.589421e-05,8.828403e-05,9.074749e-05,9.187916e-05,9.529942e-05,9.854067e-05,9.953966e-05,1.016008e-04,1.034639e-04,1.044793e-04,1.070730e-04,1.071775e-04,1.096976e-04,1.103718e-04,1.120432e-04,1.133686e-04,1.142187e-04,1.160743e-04,1.162292e-04,1.180801e-04,1.185013e-04,1.197777e-04,1.206637e-04,1.213282e-04,1.225760e-04,1.227380e-04,1.240138e-04,1.242535e-04,1.251622e-04,1.257111e-04,1.261897e-04,1.269641e-04,1.271027e-04,1.279077e-04,1.280269e-04,1.286108e-04,1.289139e-04,1.292180e-04,1.296386e-04,1.297351e-04,1.301676e-04,1.302140e-04,1.305208e-04,1.306524e-04,1.307999e-04,1.309654e-04,1.310097e-04,1.311549e-04,1.311639e-04,1.312399e-04,1.312580e-04,1.312689e-04,1.312574e-04,1.312459e-04,1.311746e-04,1.311708e-04,1.310586e-04,1.310065e-04,1.309012e-04,1.307722e-04,1.307057e-04,1.304749e-04,1.302118e-04,1.301212e-04,1.299190e-04,1.297171e-04,1.295989e-04,1.292683e-04,1.292540e-04,1.288864e-04,1.287797e-04,1.284982e-04,1.282562e-04,1.280913e-04,1.277021e-04,1.276676e-04,1.272287e-04,1.271213e-04,1.267763e-04,1.265176e-04,1.263118e-04,1.258942e-04,1.258367e-04,1.253522e-04,1.252543e-04,1.248596e-04,1.246006e-04,1.243599e-04,1.239356e-04,1.238544e-04,1.233438e-04,1.232618e-04,1.228293e-04,1.225811e-04,1.223116e-04,1.218956e-04,1.217915e-04,1.212697e-04,1.212070e-04,1.207470e-04,1.205169e-04,1.202241e-04,1.198267e-04,1.197013e-04,1.191795e-04,1.191378e-04,1.186589e-04,1.184512e-04,1.181402e-04,1.177680e-04,1.176236e-04,1.171097e-04,1.170892e-04,1.165988e-04,1.164156e-04,1.160912e-04,1.157480e-04,1.155872e-04,1.150871e-04,1.144333e-04,1.137873e-04,1.131495e-04,1.125203e-04,1.119000e-04,1.112890e-04,1.106874e-04,1.100955e-04,1.095134e-04,1.089414e-04,1.083793e-04,1.078275e-04,1.072858e-04,1.067543e-04,1.062331e-04,1.057220e-04,1.052211e-04,1.047304e-04,1.042497e-04,1.037789e-04,1.033181e-04,1.028670e-04,1.024256e-04,1.019937e-04
0.000000e+00,3.014959e-11,6.953016e-11,2.408942e-10,5.500915e-10,8.038665e-10,1.831738e-09,1.887233e-09,3.668207e-09,4.318144e-09,6.343441e-09,8.465734e-09,1.012292e-08,1.472534e-08,1.517897e-08,2.156194e-08,2.328389e-08,2.918932e-08,3.395409e-08,3.792694e-08,4.643484e-08,4.765002e-08,5.825306e-08,6.047084e-08,6.964121e-08,7.584258e-08,8.172167e-08,9.233477e-08,9.439929e-08,1.075754e-07,1.097230e-07,1.211483e-07,1.277740e-07,1.350153e-07,1.462526e-07,1.490752e-07,1.632300e-07,1.649306e-07,1.773879e-07,1.835957e-07,1.914625e-07,2.020558e-07,2.053768e-07,2.190626e-07,2.201458e-07,2.324611e-07,2.377286e-07,2.455225e-07,2.546946e-07,2.582058e-07,2.704784e-07,2.709604e-07,2.823152e-07,2.864662e-07,2.936982e-07,3.011730e-07,3.046152e-07,3.150594e-07,3.250284e-07,3.281183e-07,3.345238e-07,3.403545e-07,3.435505e-07,3.517817e-07,3.521156e-07,3.602287e-07,3.624209e-07,3.679009e-07,3.722977e-07,3.751445e-07,3.814416e-07,3.819729e-07,3.884001e-07,3.898845e-07,3.944404e-07,3.976595e-07,4.001086e-07,4.048003e-07,4.054192e-07,4.103870e-07,4.113408e-07,4.150266e-07,4.173142e-07,4.193521e-07,4.227531e-07,4.233776e-07,4.271166e-07,4.276892e-07,4.305825e-07,4.321529e-07,4.337881e-07,4.361734e-07,4.367457e-07,4.394673e-07,4.397786e-07,4.419645e-07,4.429950e-07,4.442483e-07,4.458479e-07,4.463294e-07,4.482180e-07,4.483610e-07,4.499238e-07,4.505571e-07,4.514563e-07,4.524573e-07,4.528243e-07,4.540365e-07,4.540818e-07,4.551010e-07,4.554495e-07,4.560256e-07,4.565783e-07,4.568178e-07,4.574848e-07,4.580332e-07,4.581848e-07,4.584697e-07,4.586931e-07,4.588002e-07,4.590235e-07,4.590309e-07,4.591671e-07,4.591891e-07,4.592143e-07,4.592020e-07,4.591775e-07,4.590738e-07,4.590617e-07,4.588713e-07,4.588150e-07,4.586108e-07,4.584359e-07,4.582844e-07,4.579457e-07,4.578959e-07,4.574492e-07,4.573532e-07,4.569480e-07,4.566668e-07,4.563955e-07,4.558942e-07,4.557950e-07,4.551497e-07,4.550424e-07,4.544624e-07,4.541184e-07,4.537359e-07,4.531284e-07,4.529730e-07,4.521761e-07,4.520782e-07,4.513475e-07,4.509735e-07,4.504897e-07,4.498194e-07,4.496047e-07,4.486945e-07,4.486207e-07,4.477612e-07,4.473818e-07,4.468066e-07,4.461071e-07,4.458324e-07,4.448403e-07,4.448003e-07,4.438319e-07,4.434652e-07,4.428087e-07,4.421052e-07,4.417721e-07,4.407234e-07,4.393228e-07,4.379062e-07,4.364762e-07,4.350351e-07,4.335852e-07,4.321285e-07,4.306670e-07,4.292025e-07,4.277366e-07,4.262709e-07,4.248068e-07,4.233456e-07,4.218885e-07,4.204367e-07,4.189912e-07,4.175530e-07,4.161230e-07,4.147019e-07,4.132906e-07,4.118896e-07,4.104998e-07,4.091215e-07,4.077553e-07,4.064017e-07
0.000000e+00,3.738199e-10,9.128616e-10,3.372327e-09,7.959296e-09,1.179352e-08,2.770926e-08,2.858278e-08,5.723118e-08,6.794497e-08,1.020360e-07,1.386211e-07,1.675673e-07,2.484016e-07,2.563427e-07,3.665540e-07,3.957128e-07,4.938264e-07,5.710195e-07,6.341844e-07,7.662441e-07,7.847823e-07,9.435049e-07,9.760648e-07,1.108574e-06,1.196369e-06,1.278345e-06,1.423429e-06,1.451238e-06,1.625732e-06,1.653702e-06,1.800389e-06,1.883887e-06,1.973880e-06,2.111029e-06,2.145016e-06,2.312758e-06,2.332615e-06,2.476230e-06,2.546615e-06,2.634714e-06,2.751471e-06,2.787641e-06,2.934580e-06,2.946067e-06,3.075229e-06,3.129679e-06,3.209390e-06,3.301909e-06,3.336963e-06,3.457923e-06,3.462624e-06,3.572311e-06,3.611898e-06,3.680219e-06,3.749962e-06,3.781780e-06,3.877158e-06,3.966541e-06,3.993910e-06,4.050133e-06,4.100694e-06,4.128152e-06,4.198015e-06,4.200822e-06,4.268368e-06,4.286394e-06,4.331018e-06,4.366353e-06,4.388999e-06,4.438407e-06,4.442532e-06,4.491834e-06,4.503061e-06,4.537119e-06,4.560800e-06,4.578590e-06,4.612090e-06,4.616448e-06,4.650884e-06,4.657377e-06,4.682082e-06,4.697085e-06,4.710219e-06,4.731613e-06,4.735465e-06,4.757981e-06,4.761341e-06,4.777923e-06,4.786624e-06,4.795438e-06,4.807799e-06,4.810668e-06,4.823747e-06,4.825179e-06,4.834803e-06,4.839059e-06,4.843958e-06,4.849715e-06,4.851327e-06,4.857020e-06,4.857406e-06,4.861142e-06,4.862373e-06,4.863792e-06,4.864841e-06,4.865064e-06,4.865047e-06,4.865020e-06,4.863825e-06,4.863106e-06,4.861479e-06,4.859280e-06,4.858085e-06,4.853714e-06,4.848434e-06,4.846564e-06,4.842311e-06,4.837977e-06,4.835404e-06,4.828090e-06,4.827771e-06,4.819467e-06,4.817029e-06,4.810543e-06,4.804912e-06,4.801048e-06,4.791848e-06,4.791028e-06,4.780525e-06,4.777938e-06,4.769582e-06,4.763275e-06,4.758236e-06,4.747947e-06,4.746523e-06,4.734478e-06,4.732033e-06,4.722134e-06,4.715607e-06,4.709521e-06,4.698738e-06,4.696667e-06,4.683599e-06,4.681490e-06,4.670343e-06,4.663921e-06,4.656923e-06,4.646084e-06,4.643361e-06,4.629678e-06,4.628029e-06,4.615894e-06,4.609802e-06,4.602027e-06,4.591444e-06,4.588096e-06,4.574115e-06,4.572995e-06,4.560101e-06,4.554490e-06,4.546069e-06,4.535961e-06,4.532030e-06,4.517998e-06,4.517437e-06,4.503985e-06,4.498947e-06,4.490001e-06,4.480514e-06,4.476056e-06,4.462161e-06,4.443909e-06,4.425776e-06,4.407779e-06,4.389934e-06,4.372253e-06,4.354750e-06,4.337435e-06,4.320318e-06,4.303407e-06,4.286711e-06,4.270236e-06,4.253988e-06,4.237971e-06,4.222190e-06,4.206648e-06,4.191349e-06,4.176293e-06,4.161485e-06,4.146923e-06,4.132610e-06,4.118545e-06,4.104728e-06,4.091160e-06,4.077839e-06
0.000000e+00,2.857820e-08,8.520715e-08,4.323034e-07,1.267114e-06,2.072204e-06,5.980594e-06,6.213076e-06,1.442353e-05,1.769294e-05,2.851320e-05,4.061928e-05,5.049651e-05,7.957421e-05,8.256491e-05,1.270355e-04,1.398140e-04,1.862210e-04,2.265754e-04,2.621646e-04,3.440048e-04,3.562858e-04,4.691335e-04,4.939359e-04,6.003935e-04,6.756177e-04,7.490777e-04,8.863917e-04,9.137436e-04,1.092667e-03,1.122493e-03,1.283959e-03,1.379596e-03,1.485649e-03,1.653144e-03,1.695737e-03,1.912241e-03,1.938560e-03,2.133226e-03,2.231399e-03,2.356842e-03,2.527469e-03,2.581339e-03,2.805093e-03,2.822916e-03,3.026617e-03,3.114297e-03,3.244572e-03,3.398620e-03,3.457775e-03,3.665196e-03,3.673360e-03,3.865961e-03,3.936462e-03,4.059342e-03,4.186321e-03,4.244757e-03,4.421752e-03,4.589997e-03,4.641949e-03,4.749273e-03,4.846444e-03,4.899461e-03,5.035059e-03,5.040527e-03,5.172518e-03,5.207863e-03,5.295544e-03,5.365123e-03,5.409771e-03,5.507271e-03,5.515412e-03,5.612719e-03,5.634863e-03,5.701973e-03,5.748549e-03,5.783476e-03,5.849043e-03,5.857550e-03,5.924527e-03,5.937100e-03,5.984745e-03,6.013501e-03,6.038546e-03,6.079029e-03,6.086271e-03,6.128256e-03,6.134463e-03,6.164833e-03,6.180564e-03,6.196325e-03,6.218069e-03,6.223046e-03,6.245301e-03,6.247686e-03,6.263383e-03,6.270090e-03,6.277572e-03,6.285918e-03,6.288137e-03,6.295333e-03,6.295771e-03,6.299405e-03,6.300210e-03,6.300582e-03,6.299762e-03,6.299085e-03,6.295119e-03,6.294911e-03,6.288878e-03,6.286111e-03,6.280548e-03,6.273778e-03,6.270299e-03,6.258295e-03,6.244685e-03,6.240015e-03,6.229614e-03,6.219263e-03,6.213213e-03,6.196333e-03,6.195607e-03,6.176912e-03,6.171497e-03,6.157235e-03,6.145001e-03,6.136678e-03,6.117069e-03,6.115335e-03,6.093292e-03,6.087907e-03,6.070632e-03,6.057700e-03,6.047428e-03,6.026616e-03,6.023752e-03,5.999668e-03,5.994807e-03,5.975236e-03,5.962412e-03,5.950512e-03,5.929555e-03,5.925547e-03,5.900389e-03,5.896349e-03,5.875083e-03,5.862895e-03,5.849668e-03,5.829283e-03,5.824182e-03,5.798660e-03,5.795597e-03,5.773134e-03,5.761909e-03,5.747632e-03,5.728284e-03,5.722183e-03,5.696809e-03,5.694783e-03,5.671534e-03,5.661457e-03,5.646379e-03,5.628352e-03,5.621362e-03,5.596501e-03,5.595510e-03,5.571812e-03,5.562968e-03,5.547308e-03,5.530758e-03,5.523002e-03,5.498907e-03,5.467441e-03,5.436380e-03,5.405743e-03,5.375547e-03,5.345803e-03,5.316524e-03,5.287718e-03,5.259392e-03,5.231552e-03,5.204203e-03,5.177347e-03,5.150985e-03,5.125119e-03,5.099748e-03,5.074871e-03,5.050485e-03,5.026588e-03,5.003176e-03,4.980246e-03,4.957792e-03,4.935811e-03,4.914296e-03,4.893241e-03,4.872642e-03
0.000000e+00,5.676000e-08,1.696018e-07,8.649906e-07,2.550414e-06,4.187068e-06,1.223812e-05,1.272157e-05,3.005155e-05,3.707106e-05,6.067971e-05,8.760972e-05,1.098429e-04,1.758202e-04,1.826098e-04,2.827863e-04,3.111939e-04,4.127156e-04,4.989664e-04,5.736275e-04,7.411979e-04,7.659280e-04,9.893421e-04,1.037691e-03,1.242986e-03,1.386370e-03,1.525420e-03,1.783516e-03,1.834717e-03,2.168531e-03,2.224042e-03,2.524194e-03,2.701829e-03,2.898809e-03,3.210109e-03,3.289341e-03,3.692714e-03,3.741837e-03,4.105884e-03,4.290018e-03,4.525905e-03,4.847979e-03,4.949986e-03,5.375528e-03,5.409561e-03,5.800147e-03,5.969246e-03,6.221694e-03,6.522224e-03,6.638260e-03,7.048172e-03,7.064408e-03,7.449989e-03,7.592419e-03,7.842489e-03,8.103540e-03,8.224655e-03,8.595661e-03,8.954850e-03,9.067210e-03,9.301724e-03,9.517088e-03,9.635921e-03,9.944601e-03,9.957202e-03,1.026544e-02,1.034940e-02,1.056058e-02,1.073141e-02,1.084269e-02,1.109080e-02,1.111186e-02,1.136827e-02,1.142793e-02,1.161213e-02,1.174330e-02,1.184370e-02,1.203754e-02,1.206326e-02,1.227113e-02,1.231133e-02,1.246765e-02,1.256546e-02,1.265316e-02,1.280074e-02,1.282802e-02,1.299260e-02,1.301800e-02,1.314727e-02,1.321809e-02,1.329239e-02,1.340187e-02,1.342834e-02,1.355548e-02,1.357017e-02,1.367418e-02,1.372382e-02,1.378479e-02,1.386365e-02,1.388764e-02,1.398309e-02,1.399042e-02,1.407147e-02,1.410491e-02,1.415309e-02,1.420784e-02,1.422826e-02,1.429729e-02,1.429992e-02,1.436046e-02,1.438182e-02,1.441805e-02,1.445417e-02,1.447035e-02,1.451759e-02,1.456005e-02,1.457266e-02,1.459794e-02,1.461991e-02,1.463151e-02,1.465988e-02,1.466098e-02,1.468655e-02,1.469305e-02,1.470844e-02,1.471988e-02,1.472682e-02,1.474081e-02,1.474190e-02,1.475384e-02,1.475626e-02,1.476281e-02,1.476660e-02,1.476898e-02,1.477222e-02,1.477250e-02,1.477352e-02,1.477344e-02,1.477218e-02,1.477059e-02,1.476861e-02,1.476398e-02,1.476294e-02,1.475529e-02,1.475389e-02,1.474577e-02,1.474058e-02,1.473451e-02,1.472431e-02,1.472160e-02,1.470714e-02,1.470531e-02,1.469123e-02,1.468380e-02,1.467396e-02,1.465998e-02,1.465542e-02,1.463569e-02,1.463406e-02,1.461484e-02,1.460621e-02,1.459296e-02,1.457660e-02,1.457011e-02,1.454636e-02,1.454539e-02,1.452177e-02,1.451273e-02,1.449641e-02,1.447875e-02,1.447033e-02,1.444359e-02,1.440737e-02,1.437020e-02,1.433219e-02,1.429343e-02,1.425402e-02,1.421405e-02,1.417359e-02,1.413273e-02,1.409152e-02,1.405004e-02,1.400835e-02,1.396650e-02,1.392455e-02,1.388254e-02,1.384052e-02,1.379853e-02,1.375662e-02,1.371481e-02,1.367314e-02,1.363164e-02,1.359035e-02,1.354928e-02,1.350846e-02,1.346791e-02
0.000000e+00,2.732895e-10,6.678837e-10,2.464910e-09,5.794167e-09,8.553573e-09,1.978843e-08,2.039536e-08,3.981210e-08,4.685787e-08,6.865951e-08,9.127051e-08,1.087852e-07,1.569751e-07,1.616996e-07,2.278953e-07,2.456806e-07,3.064365e-07,3.551358e-07,3.954787e-07,4.809577e-07,4.930575e-07,5.974129e-07,6.189571e-07,7.069849e-07,7.655470e-07,8.203494e-07,9.175360e-07,9.361838e-07,1.053262e-06,1.072034e-06,1.170467e-06,1.226473e-06,1.286801e-06,1.378653e-06,1.401396e-06,1.513520e-06,1.526779e-06,1.622572e-06,1.669455e-06,1.728074e-06,1.805653e-06,1.829661e-06,1.927068e-06,1.934674e-06,2.020117e-06,2.056092e-06,2.108706e-06,2.169702e-06,2.192792e-06,2.272382e-06,2.275472e-06,2.347523e-06,2.373499e-06,2.418294e-06,2.463975e-06,2.484799e-06,2.547158e-06,2.605506e-06,2.623353e-06,2.659985e-06,2.692890e-06,2.710745e-06,2.756116e-06,2.757937e-06,2.801716e-06,2.813384e-06,2.842236e-06,2.865046e-06,2.879647e-06,2.911448e-06,2.914099e-06,2.945736e-06,2.952926e-06,2.974701e-06,2.989804e-06,3.001129e-06,3.022394e-06,3.025154e-06,3.046903e-06,3.050991e-06,3.066500e-06,3.075878e-06,3.084061e-06,3.097323e-06,3.099701e-06,3.113528e-06,3.115579e-06,3.125645e-06,3.130883e-06,3.136151e-06,3.143460e-06,3.145142e-06,3.152707e-06,3.153523e-06,3.158932e-06,3.161268e-06,3.163899e-06,3.166882e-06,3.167687e-06,3.170369e-06,3.170538e-06,3.172016e-06,3.172400e-06,3.172695e-06,3.172620e-06,3.172469e-06,3.171399e-06,3.171340e-06,3.169542e-06,3.168692e-06,3.166953e-06,3.164800e-06,3.163682e-06,3.159779e-06,3.155289e-06,3.153736e-06,3.150256e-06,3.146770e-06,3.144723e-06,3.138975e-06,3.138727e-06,3.132305e-06,3.130436e-06,3.125493e-06,3.121232e-06,3.118324e-06,3.111439e-06,3.110828e-06,3.103034e-06,3.101123e-06,3.094972e-06,3.090349e-06,3.086666e-06,3.079174e-06,3.078141e-06,3.069420e-06,3.067654e-06,3.060525e-06,3.055838e-06,3.051477e-06,3.043772e-06,3.042294e-06,3.032995e-06,3.031498e-06,3.023597e-06,3.019056e-06,3.014116e-06,3.006481e-06,3.004566e-06,2.994962e-06,2.993807e-06,2.985317e-06,2.981063e-06,2.975642e-06,2.968277e-06,2.965950e-06,2.956251e-06,2.955475e-06,2.946554e-06,2.942679e-06,2.936871e-06,2.929911e-06,2.927208e-06,2.917574e-06,2.917190e-06,2.907977e-06,2.904533e-06,2.898424e-06,2.891956e-06,2.888920e-06,2.879473e-06,2.867097e-06,2.854839e-06,2.842710e-06,2.830718e-06,2.818873e-06,2.807180e-06,2.795647e-06,2.784278e-06,2.773079e-06,2.762053e-06,2.751204e-06,2.740534e-06,2.730046e-06,2.719741e-06,2.709620e-06,2.699685e-06,2.689936e-06,2.680373e-06,2.670995e-06,2.661802e-06,2.652794e-06,2.643970e-06,2.635327e-06,2.626865e-06
0.000000e+00,3.710607e-09,1.074048e-08,5.191395e-08,1.487881e-07,2.430697e-07,7.299118e-07,7.604975e-07,1.941835e-06,2.454640e-06,4.230797e-06,6.225316e-06,7.787479e-06,1.190704e-05,1.229056e-05,1.726400e-05,1.848319e-05,2.233842e-05,2.513803e-05,2.729675e-05,3.148013e-05,3.203556e-05,3.651734e-05,3.738203e-05,4.073578e-05,4.282661e-05,4.469516e-05,4.782468e-05,4.840063e-05,5.185482e-05,5.238420e-05,5.505788e-05,5.650590e-05,5.800902e-05,6.018846e-05,6.070820e-05,6.315744e-05,6.343476e-05,6.536166e-05,6.625584e-05,6.732883e-05,6.867192e-05,6.906979e-05,7.059767e-05,7.071114e-05,7.192736e-05,7.240729e-05,7.307476e-05,7.379716e-05,7.405616e-05,7.488772e-05,7.491809e-05,7.558503e-05,7.580605e-05,7.616277e-05,7.649432e-05,7.663454e-05,7.701274e-05,7.730853e-05,7.738743e-05,7.753184e-05,7.764083e-05,7.769146e-05,7.779193e-05,7.779509e-05,7.784945e-05,7.785666e-05,7.786040e-05,7.784827e-05,7.783301e-05,7.777773e-05,7.777167e-05,7.768019e-05,7.765414e-05,7.756191e-05,7.748505e-05,7.741969e-05,7.727676e-05,7.725607e-05,7.707325e-05,7.703456e-05,7.687319e-05,7.676293e-05,7.665761e-05,7.646566e-05,7.642804e-05,7.618586e-05,7.614602e-05,7.593228e-05,7.580685e-05,7.566843e-05,7.545062e-05,7.539530e-05,7.511380e-05,7.507950e-05,7.482478e-05,7.469543e-05,7.452900e-05,7.430011e-05,7.422714e-05,7.391987e-05,7.389507e-05,7.360777e-05,7.348171e-05,7.329140e-05,7.306125e-05,7.297126e-05,7.264783e-05,7.263483e-05,7.232154e-05,7.220345e-05,7.199280e-05,7.176806e-05,7.166200e-05,7.132949e-05,7.099559e-05,7.088850e-05,7.066062e-05,7.044580e-05,7.032485e-05,7.000203e-05,6.998857e-05,6.965202e-05,6.955776e-05,6.931543e-05,6.911354e-05,6.897902e-05,6.866985e-05,6.864299e-05,6.830754e-05,6.822713e-05,6.797283e-05,6.778579e-05,6.763905e-05,6.734619e-05,6.730633e-05,6.697482e-05,6.690867e-05,6.664465e-05,6.647354e-05,6.631596e-05,6.604108e-05,6.598885e-05,6.566343e-05,6.561153e-05,6.533980e-05,6.518512e-05,6.501806e-05,6.476207e-05,6.469828e-05,6.438055e-05,6.434256e-05,6.406494e-05,6.392676e-05,6.375152e-05,6.351482e-05,6.344035e-05,6.313148e-05,6.310687e-05,6.282497e-05,6.270304e-05,6.252086e-05,6.230342e-05,6.221921e-05,6.192003e-05,6.190812e-05,6.162338e-05,6.151721e-05,6.132929e-05,6.113077e-05,6.103777e-05,6.074886e-05,6.037152e-05,5.999881e-05,5.963075e-05,5.926737e-05,5.890869e-05,5.855473e-05,5.820549e-05,5.786098e-05,5.752120e-05,5.718613e-05,5.685576e-05,5.653008e-05,5.620907e-05,5.589271e-05,5.558097e-05,5.527382e-05,5.497123e-05,5.467317e-05,5.437961e-05,5.409050e-05,5.380580e-05,5.352548e-05,5.324949e-05,5.297779e-05
0.000000e+00,5.749098e-08,1.722642e-07,8.842776e-07,2.625805e-06,4.330343e-06,1.283916e-05,1.335535e-05,3.215280e-05,3.990215e-05,6.639899e-05,9.723625e-05,1.230407e-04,2.007513e-04,2.088154e-04,3.286745e-04,3.628855e-04,4.856946e-04,5.905621e-04,6.816603e-04,8.870589e-04,9.174730e-04,1.193332e-03,1.253282e-03,1.508804e-03,1.688185e-03,1.862858e-03,2.188926e-03,2.253896e-03,2.679812e-03,2.751030e-03,3.138053e-03,3.368645e-03,3.625702e-03,4.034860e-03,4.139572e-03,4.676290e-03,4.742068e-03,5.232391e-03,5.482318e-03,5.804395e-03,6.247642e-03,6.388876e-03,6.982522e-03,7.030314e-03,7.582179e-03,7.823055e-03,8.184886e-03,8.619174e-03,8.787899e-03,9.388702e-03,9.412655e-03,9.985017e-03,1.019819e-02,1.057480e-02,1.097120e-02,1.115626e-02,1.172779e-02,1.228802e-02,1.246472e-02,1.283580e-02,1.317937e-02,1.337012e-02,1.386966e-02,1.389018e-02,1.439531e-02,1.453399e-02,1.488499e-02,1.517122e-02,1.535884e-02,1.578055e-02,1.581657e-02,1.625803e-02,1.636154e-02,1.668311e-02,1.691400e-02,1.709182e-02,1.743799e-02,1.748422e-02,1.786044e-02,1.793375e-02,1.822065e-02,1.840171e-02,1.856508e-02,1.884239e-02,1.889399e-02,1.920766e-02,1.925646e-02,1.950643e-02,1.964464e-02,1.979063e-02,2.000774e-02,2.006062e-02,2.031677e-02,2.034659e-02,2.055946e-02,2.066208e-02,2.078909e-02,2.095511e-02,2.100605e-02,2.121074e-02,2.122660e-02,2.140355e-02,2.147744e-02,2.158489e-02,2.170857e-02,2.175515e-02,2.191471e-02,2.192088e-02,2.206397e-02,2.211525e-02,2.220330e-02,2.229256e-02,2.233307e-02,2.245366e-02,2.256541e-02,2.259936e-02,2.266868e-02,2.273048e-02,2.276381e-02,2.284779e-02,2.285113e-02,2.293096e-02,2.295202e-02,2.300362e-02,2.304390e-02,2.306941e-02,2.312412e-02,2.312862e-02,2.318155e-02,2.319335e-02,2.322846e-02,2.325220e-02,2.326963e-02,2.330131e-02,2.330531e-02,2.333575e-02,2.334123e-02,2.336120e-02,2.337253e-02,2.338188e-02,2.339574e-02,2.339802e-02,2.340984e-02,2.341134e-02,2.341754e-02,2.341984e-02,2.342133e-02,2.342167e-02,2.342139e-02,2.341792e-02,2.341727e-02,2.341108e-02,2.340706e-02,2.340106e-02,2.339141e-02,2.338801e-02,2.337210e-02,2.337071e-02,2.335348e-02,2.334530e-02,2.333228e-02,2.331551e-02,2.330866e-02,2.328274e-02,2.328166e-02,2.325466e-02,2.324404e-02,2.322454e-02,2.320295e-02,2.319249e-02,2.315863e-02,2.311135e-02,2.306134e-02,2.300882e-02,2.295402e-02,2.289712e-02,2.283833e-02,2.277780e-02,2.271572e-02,2.265224e-02,2.258751e-02,2.252166e-02,2.245484e-02,2.238716e-02,2.231875e-02,2.224970e-02,2.218012e-02,2.211012e-02,2.203977e-02,2.196916e-02,2.189838e-02,2.182750e-02,2.175657e-02,2.168568e-02,2.161488e-02
0.000000e+00,2.469616e-08,7.275705e-08,3.612239e-07,1.043769e-06,1.698733e-06,4.904461e-06,5.097464e-06,1.211241e-05,1.501067e-05,2.495695e-05,3.653471e-05,4.615655e-05,7.445460e-05,7.732336e-05,1.184269e-04,1.296564e-04,1.683369e-04,1.995800e-04,2.255667e-04,2.808266e-04,2.886635e-04,3.563322e-04,3.703124e-04,4.274411e-04,4.654410e-04,5.009896e-04,5.639911e-04,5.760723e-04,6.518550e-04,6.639925e-04,7.275608e-04,7.636579e-04,8.024669e-04,8.613671e-04,8.759083e-04,9.472841e-04,9.556845e-04,1.016065e-03,1.045388e-03,1.081800e-03,1.129490e-03,1.144118e-03,1.202730e-03,1.207252e-03,1.257431e-03,1.278184e-03,1.308091e-03,1.342029e-03,1.354652e-03,1.397117e-03,1.398731e-03,1.435545e-03,1.448410e-03,1.470038e-03,1.491315e-03,1.500734e-03,1.527800e-03,1.551423e-03,1.558288e-03,1.571804e-03,1.583241e-03,1.589149e-03,1.603139e-03,1.603668e-03,1.615570e-03,1.618461e-03,1.625059e-03,1.629678e-03,1.632336e-03,1.637239e-03,1.637589e-03,1.640999e-03,1.641562e-03,1.642737e-03,1.643039e-03,1.642960e-03,1.642023e-03,1.641818e-03,1.639448e-03,1.638837e-03,1.635975e-03,1.633773e-03,1.631516e-03,1.627088e-03,1.626179e-03,1.620059e-03,1.619013e-03,1.613247e-03,1.609754e-03,1.605822e-03,1.599491e-03,1.597859e-03,1.589424e-03,1.588383e-03,1.580577e-03,1.576568e-03,1.571374e-03,1.564171e-03,1.561863e-03,1.552090e-03,1.551298e-03,1.542095e-03,1.538044e-03,1.531915e-03,1.524490e-03,1.521583e-03,1.511128e-03,1.510708e-03,1.500577e-03,1.496760e-03,1.489955e-03,1.482702e-03,1.479283e-03,1.468580e-03,1.457865e-03,1.454437e-03,1.447154e-03,1.440307e-03,1.436460e-03,1.426223e-03,1.425797e-03,1.415176e-03,1.412211e-03,1.404608e-03,1.398295e-03,1.394101e-03,1.384496e-03,1.383663e-03,1.373304e-03,1.370829e-03,1.363027e-03,1.357312e-03,1.352841e-03,1.343955e-03,1.342749e-03,1.332757e-03,1.330771e-03,1.322868e-03,1.317767e-03,1.313085e-03,1.304953e-03,1.303413e-03,1.293852e-03,1.292333e-03,1.284407e-03,1.279914e-03,1.275078e-03,1.267700e-03,1.265867e-03,1.256776e-03,1.255693e-03,1.247804e-03,1.243895e-03,1.238954e-03,1.232310e-03,1.230226e-03,1.221619e-03,1.220936e-03,1.213135e-03,1.209775e-03,1.204773e-03,1.198827e-03,1.196532e-03,1.188414e-03,1.188091e-03,1.180416e-03,1.177566e-03,1.172539e-03,1.167251e-03,1.164782e-03,1.157144e-03,1.147243e-03,1.137547e-03,1.128052e-03,1.118756e-03,1.109657e-03,1.100751e-03,1.092037e-03,1.083510e-03,1.075168e-03,1.067007e-03,1.059025e-03,1.051217e-03,1.043582e-03,1.036115e-03,1.028813e-03,1.021673e-03,1.014691e-03,1.007865e-03,1.001190e-03,9.946646e-04,9.882843e-04,9.820462e-04,9.759471e-04,9.699840e-04
0.000000e+00,4.839394e-12,1.104004e-11,3.767512e-11,8.510090e-11,1.236559e-10,2.775627e-10,2.857891e-10,5.463372e-10,6.400088e-10,9.281598e-10,1.225448e-09,1.455311e-09,2.088837e-09,2.151176e-09,3.031654e-09,3.270741e-09,4.095435e-09,4.764171e-09,5.322204e-09,6.513149e-09,6.682432e-09,8.147257e-09,8.450521e-09,9.691882e-09,1.051948e-08,1.129513e-08,1.267340e-08,1.293826e-08,1.460415e-08,1.487172e-08,1.627688e-08,1.707784e-08,1.794170e-08,1.925870e-08,1.958505e-08,2.119476e-08,2.138514e-08,2.276013e-08,2.343243e-08,2.427202e-08,2.538061e-08,2.572291e-08,2.710684e-08,2.721452e-08,2.841934e-08,2.892360e-08,2.965732e-08,3.050146e-08,3.081896e-08,3.190352e-08,3.194530e-08,3.291122e-08,3.325535e-08,3.384307e-08,3.443421e-08,3.470070e-08,3.548625e-08,3.620228e-08,3.641718e-08,3.685163e-08,3.723362e-08,3.743734e-08,3.794270e-08,3.796259e-08,3.843063e-08,3.855187e-08,3.884470e-08,3.906858e-08,3.920803e-08,3.950021e-08,3.952379e-08,3.979506e-08,3.985388e-08,4.002484e-08,4.013646e-08,4.021599e-08,4.035443e-08,4.037125e-08,4.049323e-08,4.051384e-08,4.058437e-08,4.062036e-08,4.064702e-08,4.067924e-08,4.068338e-08,4.069553e-08,4.069536e-08,4.068541e-08,4.067317e-08,4.065483e-08,4.061678e-08,4.060549e-08,4.053900e-08,4.052994e-08,4.045684e-08,4.041609e-08,4.036040e-08,4.027836e-08,4.025098e-08,4.012979e-08,4.011962e-08,3.999795e-08,3.994246e-08,3.985649e-08,3.974924e-08,3.970640e-08,3.954856e-08,3.954210e-08,3.938383e-08,3.932299e-08,3.921296e-08,3.909365e-08,3.903669e-08,3.885567e-08,3.867052e-08,3.861050e-08,3.848181e-08,3.835941e-08,3.829007e-08,3.810359e-08,3.809577e-08,3.789938e-08,3.784407e-08,3.770130e-08,3.758181e-08,3.750192e-08,3.731764e-08,3.730158e-08,3.710062e-08,3.705233e-08,3.689932e-08,3.678655e-08,3.669796e-08,3.652091e-08,3.649679e-08,3.629604e-08,3.625596e-08,3.609592e-08,3.599216e-08,3.589661e-08,3.572996e-08,3.569830e-08,3.550114e-08,3.546971e-08,3.530528e-08,3.521176e-08,3.511084e-08,3.495640e-08,3.491795e-08,3.472671e-08,3.470388e-08,3.453721e-08,3.445441e-08,3.434955e-08,3.420820e-08,3.416379e-08,3.398001e-08,3.396540e-08,3.379826e-08,3.372615e-08,3.361860e-08,3.349057e-08,3.344108e-08,3.326572e-08,3.325875e-08,3.309257e-08,3.303078e-08,3.292165e-08,3.280671e-08,3.275299e-08,3.258660e-08,3.237046e-08,3.215834e-08,3.195023e-08,3.174614e-08,3.154606e-08,3.134998e-08,3.115788e-08,3.096972e-08,3.078548e-08,3.060512e-08,3.042860e-08,3.025587e-08,3.008688e-08,2.992158e-08,2.975993e-08,2.960186e-08,2.944731e-08,2.929624e-08,2.914857e-08,2.900425e-08,2.886323e-08,2.872543e-08,2.859080e-08,2.845927e-08
0.000000e+00,6.481597e-10,1.585064e-09,5.871748e-09,1.388751e-08,2.059684e-08,4.847110e-08,5.000113e-08,1.001618e-07,1.189117e-07,1.785877e-07,2.427976e-07,2.938716e-07,4.386391e-07,4.530675e-07,6.573696e-07,7.126046e-07,9.014180e-07,1.052536e-06,1.177465e-06,1.441416e-06,1.478710e-06,1.799906e-06,1.866161e-06,2.136906e-06,2.317207e-06,2.486187e-06,2.786736e-06,2.844563e-06,3.209069e-06,3.267771e-06,3.576927e-06,3.753923e-06,3.945556e-06,4.239421e-06,4.312597e-06,4.675940e-06,4.719202e-06,5.033734e-06,5.188987e-06,5.384393e-06,5.645295e-06,5.726589e-06,6.059241e-06,6.085414e-06,6.381495e-06,6.507332e-06,6.692696e-06,6.909646e-06,6.992372e-06,7.280203e-06,7.291467e-06,7.556004e-06,7.652329e-06,7.819697e-06,7.992100e-06,8.071302e-06,8.310912e-06,8.538680e-06,8.609097e-06,8.754812e-06,8.887140e-06,8.959549e-06,9.145630e-06,9.153165e-06,9.335955e-06,9.385238e-06,9.508230e-06,9.606682e-06,9.670314e-06,9.810715e-06,9.822537e-06,9.965235e-06,9.998103e-06,1.009874e-05,1.016962e-05,1.022340e-05,1.032604e-05,1.033953e-05,1.044748e-05,1.046811e-05,1.054755e-05,1.059659e-05,1.064008e-05,1.071220e-05,1.072537e-05,1.080373e-05,1.081564e-05,1.087545e-05,1.090761e-05,1.094083e-05,1.098875e-05,1.100014e-05,1.105366e-05,1.105970e-05,1.110165e-05,1.112108e-05,1.114436e-05,1.117346e-05,1.118206e-05,1.121497e-05,1.121740e-05,1.124333e-05,1.125345e-05,1.126736e-05,1.128210e-05,1.128727e-05,1.130328e-05,1.130385e-05,1.131559e-05,1.131915e-05,1.132439e-05,1.132846e-05,1.132985e-05,1.133218e-05,1.133152e-05,1.133071e-05,1.132805e-05,1.132443e-05,1.132193e-05,1.131370e-05,1.131331e-05,1.130234e-05,1.129886e-05,1.128914e-05,1.128022e-05,1.127387e-05,1.125809e-05,1.125664e-05,1.123758e-05,1.123275e-05,1.121680e-05,1.120446e-05,1.119443e-05,1.117350e-05,1.117056e-05,1.114530e-05,1.114009e-05,1.111874e-05,1.110446e-05,1.109099e-05,1.106682e-05,1.106213e-05,1.103224e-05,1.102737e-05,1.100141e-05,1.098629e-05,1.096971e-05,1.094378e-05,1.093722e-05,1.090401e-05,1.089998e-05,1.087014e-05,1.085505e-05,1.083568e-05,1.080914e-05,1.080070e-05,1.076524e-05,1.076238e-05,1.072936e-05,1.071490e-05,1.069312e-05,1.066682e-05,1.065656e-05,1.061972e-05,1.061825e-05,1.058267e-05,1.056928e-05,1.054543e-05,1.052002e-05,1.050804e-05,1.047055e-05,1.042095e-05,1.037131e-05,1.032169e-05,1.027216e-05,1.022277e-05,1.017359e-05,1.012466e-05,1.007603e-05,1.002775e-05,9.979848e-06,9.932364e-06,9.885331e-06,9.838777e-06,9.792730e-06,9.747212e-06,9.702245e-06,9.657848e-06,9.614037e-06,9.570827e-06,9.528230e-06,9.486258e-06,9.444918e-06,9.404219e-06,9.364166e-06
0.000000e+00,3.704712e-10,8.708509e-10,3.078006e-09,7.092377e-09,1.039844e-08,2.383459e-08,2.456145e-08,4.794654e-08,5.650679e-08,8.327467e-08,1.115020e-07,1.337033e-07,1.963616e-07,2.026322e-07,2.929114e-07,3.179164e-07,4.054592e-07,4.776108e-07,5.383862e-07,6.691477e-07,6.878041e-07,8.494641e-07,8.829313e-07,1.019736e-06,1.110708e-06,1.195770e-06,1.346441e-06,1.375327e-06,1.556584e-06,1.585636e-06,1.737995e-06,1.824727e-06,1.918220e-06,2.060749e-06,2.096081e-06,2.270549e-06,2.291214e-06,2.440736e-06,2.514062e-06,2.605888e-06,2.727651e-06,2.765386e-06,2.918739e-06,2.930729e-06,3.065568e-06,3.122410e-06,3.205607e-06,3.302132e-06,3.338687e-06,3.464722e-06,3.469617e-06,3.583702e-06,3.624815e-06,3.695675e-06,3.767865e-06,3.800744e-06,3.899050e-06,3.990767e-06,4.018758e-06,4.076096e-06,4.127455e-06,4.155256e-06,4.225659e-06,4.228476e-06,4.295999e-06,4.313917e-06,4.358067e-06,4.392793e-06,4.414928e-06,4.462852e-06,4.466827e-06,4.514006e-06,4.524653e-06,4.556703e-06,4.578743e-06,4.595150e-06,4.625648e-06,4.629574e-06,4.660191e-06,4.665876e-06,4.687213e-06,4.699912e-06,4.710843e-06,4.728214e-06,4.731276e-06,4.748698e-06,4.751218e-06,4.763288e-06,4.769335e-06,4.775216e-06,4.782951e-06,4.784644e-06,4.791729e-06,4.792429e-06,4.796617e-06,4.798109e-06,4.799449e-06,4.800308e-06,4.800358e-06,4.799470e-06,4.799325e-06,4.796907e-06,4.795437e-06,4.792780e-06,4.788903e-06,4.787200e-06,4.780267e-06,4.779963e-06,4.772079e-06,4.768841e-06,4.762726e-06,4.755746e-06,4.752297e-06,4.740872e-06,4.728529e-06,4.724397e-06,4.715341e-06,4.706489e-06,4.701376e-06,4.687301e-06,4.686701e-06,4.671376e-06,4.666976e-06,4.655459e-06,4.645647e-06,4.639004e-06,4.623436e-06,4.622064e-06,4.604685e-06,4.600454e-06,4.586914e-06,4.576807e-06,4.568794e-06,4.552590e-06,4.550363e-06,4.531661e-06,4.527892e-06,4.512723e-06,4.502793e-06,4.493582e-06,4.477369e-06,4.474268e-06,4.454812e-06,4.451688e-06,4.435241e-06,4.425813e-06,4.415579e-06,4.399802e-06,4.395853e-06,4.376082e-06,4.373708e-06,4.356289e-06,4.347579e-06,4.336494e-06,4.321458e-06,4.316713e-06,4.296965e-06,4.295387e-06,4.277264e-06,4.269401e-06,4.257626e-06,4.243533e-06,4.238064e-06,4.218591e-06,4.217814e-06,4.199218e-06,4.192270e-06,4.179956e-06,4.166926e-06,4.160815e-06,4.141804e-06,4.116922e-06,4.092300e-06,4.067952e-06,4.043891e-06,4.020130e-06,3.996680e-06,3.973549e-06,3.950745e-06,3.928275e-06,3.906144e-06,3.884356e-06,3.862916e-06,3.841824e-06,3.821085e-06,3.800698e-06,3.780663e-06,3.760982e-06,3.741653e-06,3.722675e-06,3.704046e-06,3.685765e-06,3.667828e-06,3.650235e-06,3.632980e-06
0.000000e+00,2.324902e-10,5.641731e-10,2.071307e-09,4.872972e-09,7.207154e-09,1.681619e-08,1.733978e-08,3.430883e-08,4.056415e-08,6.022157e-08,8.106250e-08,9.751000e-08,1.441047e-07,1.487786e-07,2.162368e-07,2.349739e-07,3.007772e-07,3.553016e-07,4.014796e-07,5.017654e-07,5.161888e-07,6.425029e-07,6.689661e-07,7.783186e-07,8.521135e-07,9.219149e-07,1.047496e-06,1.071862e-06,1.226919e-06,1.252126e-06,1.385966e-06,1.463420e-06,1.547970e-06,1.679052e-06,1.711967e-06,1.877063e-06,1.896909e-06,2.042438e-06,2.115096e-06,2.207344e-06,2.331945e-06,2.371114e-06,2.533158e-06,2.546032e-06,2.692969e-06,2.756167e-06,2.850109e-06,2.961391e-06,3.004218e-06,3.154990e-06,3.160947e-06,3.302179e-06,3.354253e-06,3.445600e-06,3.540898e-06,3.585107e-06,3.720599e-06,3.852008e-06,3.893190e-06,3.979297e-06,4.058592e-06,4.102451e-06,4.216796e-06,4.221478e-06,4.336404e-06,4.367854e-06,4.447270e-06,4.511861e-06,4.554127e-06,4.648948e-06,4.657038e-06,4.756071e-06,4.779271e-06,4.851304e-06,4.903004e-06,4.942817e-06,5.020338e-06,5.030694e-06,5.115021e-06,5.131469e-06,5.195889e-06,5.236602e-06,5.273385e-06,5.335944e-06,5.347603e-06,5.418631e-06,5.429705e-06,5.486561e-06,5.518093e-06,5.551482e-06,5.601313e-06,5.613484e-06,5.672656e-06,5.679570e-06,5.729083e-06,5.753064e-06,5.782852e-06,5.821990e-06,5.834046e-06,5.882749e-06,5.886540e-06,5.929040e-06,5.946900e-06,5.973001e-06,6.003252e-06,6.014707e-06,6.054234e-06,6.055771e-06,6.091657e-06,6.104628e-06,6.127047e-06,6.149988e-06,6.160476e-06,6.192010e-06,6.221718e-06,6.230849e-06,6.249663e-06,6.266653e-06,6.275909e-06,6.299564e-06,6.300518e-06,6.323549e-06,6.329722e-06,6.345059e-06,6.357259e-06,6.365105e-06,6.382302e-06,6.383742e-06,6.401023e-06,6.404975e-06,6.416999e-06,6.425394e-06,6.431720e-06,6.443674e-06,6.445233e-06,6.457587e-06,6.459923e-06,6.468826e-06,6.474244e-06,6.478994e-06,6.486739e-06,6.488134e-06,6.496287e-06,6.497503e-06,6.503493e-06,6.506626e-06,6.509789e-06,6.514198e-06,6.515215e-06,6.519805e-06,6.520302e-06,6.523595e-06,6.525018e-06,6.526618e-06,6.528423e-06,6.528908e-06,6.530494e-06,6.530592e-06,6.531409e-06,6.531593e-06,6.531681e-06,6.531495e-06,6.531339e-06,6.530410e-06,6.530361e-06,6.528921e-06,6.528253e-06,6.526898e-06,6.525229e-06,6.524364e-06,6.521344e-06,6.516653e-06,6.511206e-06,6.505050e-06,6.498234e-06,6.490799e-06,6.482788e-06,6.474242e-06,6.465197e-06,6.455691e-06,6.445757e-06,6.435429e-06,6.424736e-06,6.413709e-06,6.402377e-06,6.390764e-06,6.378898e-06,6.366801e-06,6.354497e-06,6.342007e-06,6.329352e-06,6.316551e-06,6.303623e-06,6.290585e-06,6.277453e-06
0.000000e+00,3.411643e-11,7.923245e-11,2.760681e-10,6.303901e-10,9.198410e-10,2.078753e-09,2.140717e-09,4.098561e-09,4.799191e-09,6.941095e-09,9.129070e-09,1.080636e-08,1.537584e-08,1.582220e-08,2.209768e-08,2.380011e-08,2.970174e-08,3.454535e-08,3.864043e-08,4.756810e-08,4.885917e-08,6.026937e-08,6.268565e-08,7.277105e-08,7.966908e-08,8.626086e-08,9.827801e-08,1.006321e-07,1.157738e-07,1.182602e-07,1.315700e-07,1.393497e-07,1.479013e-07,1.612701e-07,1.646463e-07,1.816838e-07,1.837423e-07,1.988951e-07,2.064935e-07,2.161661e-07,2.292657e-07,2.333895e-07,2.504658e-07,2.518228e-07,2.673049e-07,2.739558e-07,2.838265e-07,2.954857e-07,2.999605e-07,3.156473e-07,3.162648e-07,3.308372e-07,3.361758e-07,3.454899e-07,3.551307e-07,3.595743e-07,3.730674e-07,3.859537e-07,3.899476e-07,3.982242e-07,4.057524e-07,4.098756e-07,4.204801e-07,4.209096e-07,4.313324e-07,4.341425e-07,4.411537e-07,4.467628e-07,4.503860e-07,4.583724e-07,4.590443e-07,4.671455e-07,4.690089e-07,4.747080e-07,4.787149e-07,4.817512e-07,4.875355e-07,4.882951e-07,4.943604e-07,4.955178e-07,4.999677e-07,5.027094e-07,5.051378e-07,5.091580e-07,5.098915e-07,5.142489e-07,5.149107e-07,5.182301e-07,5.200130e-07,5.218542e-07,5.245092e-07,5.251402e-07,5.281063e-07,5.284416e-07,5.307700e-07,5.318506e-07,5.331482e-07,5.347748e-07,5.352573e-07,5.371127e-07,5.372506e-07,5.387292e-07,5.393122e-07,5.401212e-07,5.409919e-07,5.413020e-07,5.422846e-07,5.423199e-07,5.430812e-07,5.433248e-07,5.437036e-07,5.440329e-07,5.441627e-07,5.444692e-07,5.446329e-07,5.446567e-07,5.446633e-07,5.446169e-07,5.445693e-07,5.443698e-07,5.443593e-07,5.440414e-07,5.439341e-07,5.436231e-07,5.433270e-07,5.431116e-07,5.425645e-07,5.425136e-07,5.418356e-07,5.416616e-07,5.410834e-07,5.406319e-07,5.402627e-07,5.394883e-07,5.393791e-07,5.384374e-07,5.382425e-07,5.374424e-07,5.369055e-07,5.363987e-07,5.354873e-07,5.353104e-07,5.341815e-07,5.339973e-07,5.330158e-07,5.324442e-07,5.318167e-07,5.308357e-07,5.305877e-07,5.293317e-07,5.291794e-07,5.280518e-07,5.274818e-07,5.267507e-07,5.257493e-07,5.254310e-07,5.240951e-07,5.239876e-07,5.227452e-07,5.222018e-07,5.213835e-07,5.203970e-07,5.200121e-07,5.186327e-07,5.185774e-07,5.172471e-07,5.167471e-07,5.158570e-07,5.149100e-07,5.144639e-07,5.130693e-07,5.112282e-07,5.093895e-07,5.075559e-07,5.057297e-07,5.039130e-07,5.021077e-07,5.003157e-07,4.985384e-07,4.967773e-07,4.950337e-07,4.933088e-07,4.916034e-07,4.899186e-07,4.882551e-07,4.866136e-07,4.849947e-07,4.833990e-07,4.818267e-07,4.802784e-07,4.787543e-07,4.772546e-07,4.757796e-07,4.743293e-07,4.729038e-07
0.000000e+00,1.453805e-09,4.135050e-09,1.912313e-08,5.181261e-08,8.133920e-08,2.127963e-07,2.202364e-07,4.688950e-07,5.628355e-07,8.618695e-07,1.182318e-06,1.436464e-06,2.159442e-06,2.232131e-06,3.284191e-06,3.577460e-06,4.611797e-06,5.474864e-06,6.210602e-06,7.824436e-06,8.058363e-06,1.012600e-05,1.056335e-05,1.238486e-05,1.362630e-05,1.480894e-05,1.695553e-05,1.737464e-05,2.005975e-05,2.049901e-05,2.284277e-05,2.420714e-05,2.570241e-05,2.803110e-05,2.861757e-05,3.156746e-05,3.192281e-05,3.453185e-05,3.583574e-05,3.749136e-05,3.972607e-05,4.042778e-05,4.332430e-05,4.355383e-05,4.616571e-05,4.728377e-05,4.893855e-05,5.088591e-05,5.163114e-05,5.423364e-05,5.433575e-05,5.673796e-05,5.761420e-05,5.913770e-05,6.070725e-05,6.142800e-05,6.360545e-05,6.566795e-05,6.630349e-05,6.761457e-05,6.879958e-05,6.944537e-05,7.109481e-05,7.116125e-05,7.276390e-05,7.319264e-05,7.425556e-05,7.509842e-05,7.563901e-05,7.681891e-05,7.691739e-05,7.809417e-05,7.836188e-05,7.917303e-05,7.973585e-05,8.015782e-05,8.094977e-05,8.105251e-05,8.186109e-05,8.201282e-05,8.258755e-05,8.293419e-05,8.323589e-05,8.372299e-05,8.381002e-05,8.431382e-05,8.438815e-05,8.475104e-05,8.493834e-05,8.512535e-05,8.538188e-05,8.544028e-05,8.569928e-05,8.572676e-05,8.590563e-05,8.598058e-05,8.606252e-05,8.615055e-05,8.617299e-05,8.623994e-05,8.624350e-05,8.626615e-05,8.626583e-05,8.625428e-05,8.622358e-05,8.620686e-05,8.612629e-05,8.612241e-05,8.601485e-05,8.596760e-05,8.587472e-05,8.576410e-05,8.570796e-05,8.551652e-05,8.530224e-05,8.522914e-05,8.506689e-05,8.490597e-05,8.481211e-05,8.455070e-05,8.453947e-05,8.425045e-05,8.416678e-05,8.394644e-05,8.375739e-05,8.362876e-05,8.332549e-05,8.329865e-05,8.295727e-05,8.287379e-05,8.260573e-05,8.240482e-05,8.224507e-05,8.192091e-05,8.187625e-05,8.150019e-05,8.142419e-05,8.111775e-05,8.091663e-05,8.072974e-05,8.040006e-05,8.033691e-05,7.993997e-05,7.987613e-05,7.953959e-05,7.934637e-05,7.913639e-05,7.881218e-05,7.873094e-05,7.832379e-05,7.827485e-05,7.791546e-05,7.773553e-05,7.750640e-05,7.719530e-05,7.709706e-05,7.668785e-05,7.665513e-05,7.627915e-05,7.611590e-05,7.587132e-05,7.557840e-05,7.546468e-05,7.505954e-05,7.504337e-05,7.465617e-05,7.451145e-05,7.425485e-05,7.398323e-05,7.385580e-05,7.345924e-05,7.293995e-05,7.242579e-05,7.191712e-05,7.141427e-05,7.091754e-05,7.042717e-05,6.994338e-05,6.946635e-05,6.899625e-05,6.853319e-05,6.807730e-05,6.762864e-05,6.718729e-05,6.675329e-05,6.632667e-05,6.590744e-05,6.549559e-05,6.509112e-05,6.469400e-05,6.430419e-05,6.392165e-05,6.354632e-05,6.317815e-05,6.281706e-05
0.000000e+00,2.413978e-10,5.720934e-10,2.041993e-09,4.727263e-09,6.940212e-09,1.590420e-08,1.638716e-08,3.179471e-08,3.736950e-08,5.458034e-08,7.238471e-08,8.615577e-08,1.240093e-07,1.277208e-07,1.798356e-07,1.939013e-07,2.422926e-07,2.815748e-07,3.145165e-07,3.856581e-07,3.958847e-07,4.857713e-07,5.047130e-07,5.835047e-07,6.371823e-07,6.883376e-07,7.812810e-07,7.994434e-07,9.159301e-07,9.350053e-07,1.036863e-06,1.096211e-06,1.161292e-06,1.262719e-06,1.288275e-06,1.416906e-06,1.432411e-06,1.546328e-06,1.603318e-06,1.675751e-06,1.773669e-06,1.804459e-06,1.931816e-06,1.941930e-06,2.057270e-06,2.106809e-06,2.180345e-06,2.267261e-06,2.300645e-06,2.417842e-06,2.422461e-06,2.531675e-06,2.571791e-06,2.641941e-06,2.714806e-06,2.748490e-06,2.851215e-06,2.950050e-06,2.980850e-06,3.044963e-06,3.103645e-06,3.135948e-06,3.219617e-06,3.223026e-06,3.306236e-06,3.328849e-06,3.385634e-06,3.431472e-06,3.461290e-06,3.527656e-06,3.533283e-06,3.601699e-06,3.617598e-06,3.666635e-06,3.701514e-06,3.728186e-06,3.779634e-06,3.786456e-06,3.841549e-06,3.852195e-06,3.893568e-06,3.919438e-06,3.942619e-06,3.981606e-06,3.988808e-06,4.032239e-06,4.038939e-06,4.073014e-06,4.091673e-06,4.111235e-06,4.140040e-06,4.147002e-06,4.180413e-06,4.184268e-06,4.211562e-06,4.224575e-06,4.240543e-06,4.261174e-06,4.267446e-06,4.292360e-06,4.294270e-06,4.315370e-06,4.324060e-06,4.336559e-06,4.350733e-06,4.356008e-06,4.373794e-06,4.374472e-06,4.389993e-06,4.395450e-06,4.404677e-06,4.413834e-06,4.417918e-06,4.429781e-06,4.440334e-06,4.443445e-06,4.449639e-06,4.454968e-06,4.457757e-06,4.464488e-06,4.464747e-06,4.470664e-06,4.472136e-06,4.475563e-06,4.478036e-06,4.479496e-06,4.482305e-06,4.482514e-06,4.484663e-06,4.485055e-06,4.485991e-06,4.486393e-06,4.486542e-06,4.486418e-06,4.486358e-06,4.485480e-06,4.485225e-06,4.483948e-06,4.482905e-06,4.481798e-06,4.479542e-06,4.479067e-06,4.475790e-06,4.475217e-06,4.471998e-06,4.470005e-06,4.467724e-06,4.463978e-06,4.462998e-06,4.457849e-06,4.457204e-06,4.452304e-06,4.449746e-06,4.446390e-06,4.441664e-06,4.440132e-06,4.433554e-06,4.433015e-06,4.426679e-06,4.423851e-06,4.419529e-06,4.414223e-06,4.412125e-06,4.404487e-06,4.404176e-06,4.396633e-06,4.393757e-06,4.388582e-06,4.383004e-06,4.380352e-06,4.371958e-06,4.360655e-06,4.349128e-06,4.337409e-06,4.325528e-06,4.313513e-06,4.301389e-06,4.289181e-06,4.276911e-06,4.264599e-06,4.252266e-06,4.239928e-06,4.227603e-06,4.215307e-06,4.203052e-06,4.190853e-06,4.178721e-06,4.166667e-06,4.154702e-06,4.142835e-06,4.131074e-06,4.119427e-06,4.107901e-06,4.096502e-06,4.085235e-06
0.000000e+00,1.406831e-09,4.061763e-09,1.933095e-08,5.364062e-08,8.525738e-08,2.299158e-07,2.382401e-07,5.221372e-07,6.317005e-07,9.868862e-07,1.376317e-06,1.690360e-06,2.602059e-06,2.694854e-06,4.051171e-06,4.431926e-06,5.777825e-06,6.901172e-06,7.857641e-06,9.950294e-06,1.025298e-05,1.292148e-05,1.348441e-05,1.582380e-05,1.741375e-05,1.892531e-05,2.166186e-05,2.219515e-05,2.560479e-05,2.616147e-05,2.912695e-05,3.084970e-05,3.273495e-05,3.566547e-05,3.640251e-05,4.010387e-05,4.054911e-05,4.381405e-05,4.544311e-05,4.750916e-05,5.029353e-05,5.116682e-05,5.476643e-05,5.505132e-05,5.828935e-05,5.967329e-05,6.171913e-05,6.412287e-05,6.504161e-05,6.824489e-05,6.837040e-05,7.131928e-05,7.239299e-05,7.425723e-05,7.617414e-05,7.705308e-05,7.970301e-05,8.220479e-05,8.297390e-05,8.455760e-05,8.598538e-05,8.676189e-05,8.873965e-05,8.881914e-05,9.073176e-05,9.124178e-05,9.250287e-05,9.349914e-05,9.413620e-05,9.552080e-05,9.563597e-05,9.700674e-05,9.731706e-05,9.825335e-05,9.889909e-05,9.938084e-05,1.002786e-04,1.003943e-04,1.012991e-04,1.014674e-04,1.021002e-04,1.024776e-04,1.028029e-04,1.033209e-04,1.034123e-04,1.039334e-04,1.040089e-04,1.043710e-04,1.045528e-04,1.047299e-04,1.049635e-04,1.050147e-04,1.052299e-04,1.052512e-04,1.053797e-04,1.054259e-04,1.054682e-04,1.054969e-04,1.054993e-04,1.054769e-04,1.054730e-04,1.054046e-04,1.053624e-04,1.052857e-04,1.051732e-04,1.051236e-04,1.049214e-04,1.049125e-04,1.046820e-04,1.045872e-04,1.044082e-04,1.042038e-04,1.041028e-04,1.037682e-04,1.034069e-04,1.032860e-04,1.030211e-04,1.027623e-04,1.026130e-04,1.022020e-04,1.021845e-04,1.017376e-04,1.016094e-04,1.012740e-04,1.009886e-04,1.007955e-04,1.003435e-04,1.003037e-04,9.980004e-05,9.967755e-05,9.928592e-05,9.899395e-05,9.876268e-05,9.829566e-05,9.823155e-05,9.769369e-05,9.758541e-05,9.715020e-05,9.686569e-05,9.660207e-05,9.613877e-05,9.605028e-05,9.549569e-05,9.540675e-05,9.493913e-05,9.467151e-05,9.438138e-05,9.393480e-05,9.382314e-05,9.326509e-05,9.319817e-05,9.270784e-05,9.246305e-05,9.215195e-05,9.173072e-05,9.159796e-05,9.104636e-05,9.100235e-05,9.049758e-05,9.027896e-05,8.995206e-05,8.956150e-05,8.941015e-05,8.887222e-05,8.885079e-05,8.833858e-05,8.814757e-05,8.780951e-05,8.745249e-05,8.728528e-05,8.676612e-05,8.608897e-05,8.542146e-05,8.476396e-05,8.411680e-05,8.348022e-05,8.285445e-05,8.223966e-05,8.163597e-05,8.104349e-05,8.046228e-05,7.989236e-05,7.933375e-05,7.878644e-05,7.825037e-05,7.772549e-05,7.721173e-05,7.670899e-05,7.621717e-05,7.573614e-05,7.526577e-05,7.480593e-05,7.435647e-05,7.391722e-05,7.348804e-05
0.000000e+00,1.018124e-11,2.317616e-11,7.888949e-11,1.780713e-10,2.588147e-10,5.827452e-10,6.001402e-10,1.155515e-09,1.357249e-09,1.984207e-09,2.640126e-09,3.152715e-09,4.584458e-09,4.726521e-09,6.746300e-09,7.297072e-09,9.195568e-09,1.072655e-08,1.199394e-08,1.465802e-08,1.503164e-08,1.820794e-08,1.885260e-08,2.144526e-08,2.313323e-08,2.468666e-08,2.738123e-08,2.788970e-08,3.102154e-08,3.151420e-08,3.405605e-08,3.547172e-08,3.697230e-08,3.920889e-08,3.975373e-08,4.238770e-08,4.269340e-08,4.486513e-08,4.590401e-08,4.718022e-08,4.882923e-08,4.933007e-08,5.131432e-08,5.146595e-08,5.313478e-08,5.381785e-08,5.479500e-08,5.589386e-08,5.629991e-08,5.765561e-08,5.770683e-08,5.886903e-08,5.927246e-08,5.994763e-08,6.060801e-08,6.089915e-08,6.173150e-08,6.245258e-08,6.266110e-08,6.307017e-08,6.341462e-08,6.359185e-08,6.400921e-08,6.402492e-08,6.437640e-08,6.446110e-08,6.465292e-08,6.478549e-08,6.486079e-08,6.499649e-08,6.500593e-08,6.509390e-08,6.510709e-08,6.512989e-08,6.512917e-08,6.511875e-08,6.507354e-08,6.506498e-08,6.497274e-08,6.495002e-08,6.484591e-08,6.476749e-08,6.468807e-08,6.453393e-08,6.450250e-08,6.429225e-08,6.425651e-08,6.406011e-08,6.394167e-08,6.380865e-08,6.359517e-08,6.354024e-08,6.325703e-08,6.322215e-08,6.296101e-08,6.282718e-08,6.265400e-08,6.241434e-08,6.233765e-08,6.201347e-08,6.198724e-08,6.168285e-08,6.154908e-08,6.134705e-08,6.110270e-08,6.100720e-08,6.066436e-08,6.065060e-08,6.031946e-08,6.019496e-08,5.997336e-08,5.973773e-08,5.962684e-08,5.928059e-08,5.893524e-08,5.882501e-08,5.859136e-08,5.837228e-08,5.824945e-08,5.792350e-08,5.790998e-08,5.757334e-08,5.747964e-08,5.723989e-08,5.704149e-08,5.690996e-08,5.660977e-08,5.658382e-08,5.626172e-08,5.618505e-08,5.594388e-08,5.576782e-08,5.563048e-08,5.535849e-08,5.532168e-08,5.501762e-08,5.495738e-08,5.471840e-08,5.456476e-08,5.442413e-08,5.418081e-08,5.413487e-08,5.385068e-08,5.380569e-08,5.357161e-08,5.343949e-08,5.329769e-08,5.308227e-08,5.302893e-08,5.276534e-08,5.273405e-08,5.250691e-08,5.239483e-08,5.225363e-08,5.206457e-08,5.200548e-08,5.176243e-08,5.174321e-08,5.152445e-08,5.143066e-08,5.129149e-08,5.112683e-08,5.106350e-08,5.084043e-08,5.083161e-08,5.062222e-08,5.054485e-08,5.040883e-08,5.026643e-08,5.020017e-08,4.999619e-08,4.973399e-08,4.947965e-08,4.923302e-08,4.899392e-08,4.876218e-08,4.853762e-08,4.832007e-08,4.810936e-08,4.790531e-08,4.770773e-08,4.751647e-08,4.733134e-08,4.715217e-08,4.697880e-08,4.681107e-08,4.664880e-08,4.649184e-08,4.634003e-08,4.619322e-08,4.605125e-08,4.591399e-08,4.578127e-08,4.565297e-08,4.552894e-08
0.000000e+00,1.127451e-09,3.046048e-09,1.293650e-08,3.312246e-08,5.077533e-08,1.275251e-07,1.318415e-07,2.768849e-07,3.323975e-07,5.120648e-07,7.085123e-07,8.658209e-07,1.312011e-06,1.356379e-06,1.983085e-06,2.152560e-06,2.734817e-06,3.206167e-06,3.600563e-06,4.450287e-06,4.572277e-06,5.643881e-06,5.869710e-06,6.809931e-06,7.451742e-06,8.064757e-06,9.182837e-06,9.402068e-06,1.081484e-05,1.104738e-05,1.229541e-05,1.302778e-05,1.383561e-05,1.510502e-05,1.542698e-05,1.706098e-05,1.725952e-05,1.872918e-05,1.947192e-05,2.042346e-05,2.172378e-05,2.213610e-05,2.385989e-05,2.399808e-05,2.558823e-05,2.627947e-05,2.731510e-05,2.855450e-05,2.903513e-05,3.074358e-05,3.081162e-05,3.243628e-05,3.304108e-05,3.410962e-05,3.523483e-05,3.576050e-05,3.738631e-05,3.898482e-05,3.949028e-05,4.055421e-05,4.154261e-05,4.209295e-05,4.354019e-05,4.359984e-05,4.507390e-05,4.548065e-05,4.651440e-05,4.736236e-05,4.792079e-05,4.918421e-05,4.929268e-05,5.062984e-05,5.094557e-05,5.193213e-05,5.264618e-05,5.319955e-05,5.428609e-05,5.443217e-05,5.563016e-05,5.586562e-05,5.679373e-05,5.738528e-05,5.792317e-05,5.884575e-05,5.901879e-05,6.008098e-05,6.024785e-05,6.111013e-05,6.159252e-05,6.210669e-05,6.288077e-05,6.307111e-05,6.400388e-05,6.411371e-05,6.490549e-05,6.529247e-05,6.577648e-05,6.641826e-05,6.661736e-05,6.742867e-05,6.749231e-05,6.821096e-05,6.851588e-05,6.896478e-05,6.949022e-05,6.969070e-05,7.038926e-05,7.041664e-05,7.106103e-05,7.129642e-05,7.170658e-05,7.213085e-05,7.232646e-05,7.292123e-05,7.349146e-05,7.366884e-05,7.403769e-05,7.437494e-05,7.456048e-05,7.504081e-05,7.506037e-05,7.553791e-05,7.566769e-05,7.599363e-05,7.625681e-05,7.642806e-05,7.680938e-05,7.684173e-05,7.723515e-05,7.732661e-05,7.760884e-05,7.780967e-05,7.796330e-05,7.825971e-05,7.829902e-05,7.861651e-05,7.867786e-05,7.891623e-05,7.906523e-05,7.919867e-05,7.942291e-05,7.946429e-05,7.971356e-05,7.975195e-05,7.994691e-05,8.005340e-05,8.016480e-05,8.032827e-05,8.036766e-05,8.055591e-05,8.057754e-05,8.072999e-05,8.080219e-05,8.089028e-05,8.100315e-05,8.103721e-05,8.117117e-05,8.118133e-05,8.129253e-05,8.133764e-05,8.140169e-05,8.147293e-05,8.149901e-05,8.158485e-05,8.158805e-05,8.165957e-05,8.168382e-05,8.172352e-05,8.176103e-05,8.177704e-05,8.182046e-05,8.186287e-05,8.188897e-05,8.189947e-05,8.189507e-05,8.187642e-05,8.184416e-05,8.179892e-05,8.174131e-05,8.167189e-05,8.159125e-05,8.149992e-05,8.139843e-05,8.128730e-05,8.116700e-05,8.103803e-05,8.090083e-05,8.075586e-05,8.060353e-05,8.044426e-05,8.027844e-05,8.010647e-05,7.992871e-05,7.974551e-05,7.955722e-05
0.000000e+00,1.393047e-08,4.144723e-08,2.098180e-07,6.159990e-07,1.010305e-06,2.962592e-06,3.080652e-06,7.374730e-06,9.144429e-06,1.518358e-05,2.215215e-05,2.791025e-05,4.481659e-05,4.653591e-05,7.144820e-05,7.836881e-05,1.026597e-04,1.228297e-04,1.399969e-04,1.777026e-04,1.831825e-04,2.318612e-04,2.422198e-04,2.856065e-04,3.153948e-04,3.439241e-04,3.960402e-04,4.062594e-04,4.720080e-04,4.828022e-04,5.405301e-04,5.742126e-04,6.111666e-04,6.687540e-04,6.832571e-04,7.561561e-04,7.649287e-04,8.292480e-04,8.613201e-04,9.019596e-04,9.566428e-04,9.737690e-04,1.044212e-03,1.049776e-03,1.112886e-03,1.139781e-03,1.179449e-03,1.225909e-03,1.243622e-03,1.305183e-03,1.307588e-03,1.363962e-03,1.384418e-03,1.419843e-03,1.456145e-03,1.472749e-03,1.522645e-03,1.569529e-03,1.583899e-03,1.613426e-03,1.639974e-03,1.654385e-03,1.691006e-03,1.692475e-03,1.727780e-03,1.737178e-03,1.760394e-03,1.778714e-03,1.790422e-03,1.815857e-03,1.817973e-03,1.843162e-03,1.848868e-03,1.866103e-03,1.878011e-03,1.886912e-03,1.903552e-03,1.905705e-03,1.922593e-03,1.925753e-03,1.937689e-03,1.944865e-03,1.951097e-03,1.961132e-03,1.962921e-03,1.973260e-03,1.974783e-03,1.982209e-03,1.986037e-03,1.989857e-03,1.995096e-03,1.996290e-03,2.001589e-03,2.002152e-03,2.005831e-03,2.007381e-03,2.009088e-03,2.010946e-03,2.011428e-03,2.012916e-03,2.013000e-03,2.013611e-03,2.013680e-03,2.013571e-03,2.013117e-03,2.012848e-03,2.011493e-03,2.011426e-03,2.009551e-03,2.008717e-03,2.007067e-03,2.005089e-03,2.004081e-03,2.000631e-03,1.996753e-03,1.995428e-03,1.992481e-03,1.989554e-03,1.987845e-03,1.983080e-03,1.982875e-03,1.977598e-03,1.976069e-03,1.972039e-03,1.968578e-03,1.966222e-03,1.960662e-03,1.960169e-03,1.953902e-03,1.952367e-03,1.947438e-03,1.943740e-03,1.940797e-03,1.934819e-03,1.933995e-03,1.927047e-03,1.925642e-03,1.919970e-03,1.916243e-03,1.912776e-03,1.906653e-03,1.905479e-03,1.898089e-03,1.896899e-03,1.890620e-03,1.887009e-03,1.883080e-03,1.877005e-03,1.875481e-03,1.867830e-03,1.866909e-03,1.860137e-03,1.856741e-03,1.852410e-03,1.846519e-03,1.844656e-03,1.836882e-03,1.836259e-03,1.829095e-03,1.825977e-03,1.821300e-03,1.815687e-03,1.813504e-03,1.805711e-03,1.805400e-03,1.797927e-03,1.795128e-03,1.790156e-03,1.784882e-03,1.782403e-03,1.774671e-03,1.764504e-03,1.754389e-03,1.744333e-03,1.734342e-03,1.724422e-03,1.714579e-03,1.704817e-03,1.695141e-03,1.685554e-03,1.676059e-03,1.666660e-03,1.657360e-03,1.648161e-03,1.639064e-03,1.630072e-03,1.621185e-03,1.612406e-03,1.603736e-03,1.595174e-03,1.586723e-03,1.578381e-03,1.570150e-03,1.562031e-03,1.554021e-03
0.000000e+00,9.558295e-09,2.806804e-08,1.379775e-07,3.928874e-07,6.323164e-07,1.749939e-06,1.814820e-06,4.035804e-06,4.891690e-06,7.644532e-06,1.061453e-05,1.297156e-05,1.964911e-05,2.031753e-05,2.994322e-05,3.261696e-05,4.205492e-05,4.997566e-05,5.678286e-05,7.193852e-05,7.416305e-05,9.413687e-05,9.843191e-05,1.165665e-04,1.291367e-04,1.412541e-04,1.635607e-04,1.679578e-04,1.964033e-04,2.010965e-04,2.262930e-04,2.410619e-04,2.573150e-04,2.827338e-04,2.891507e-04,3.214826e-04,3.253809e-04,3.540022e-04,3.682941e-04,3.864165e-04,4.108127e-04,4.184536e-04,4.498673e-04,4.523468e-04,4.804403e-04,4.923912e-04,5.099858e-04,5.305341e-04,5.383487e-04,5.654046e-04,5.664583e-04,5.910589e-04,5.999377e-04,6.152447e-04,6.308299e-04,6.379201e-04,6.590660e-04,6.786827e-04,6.846394e-04,6.967872e-04,7.075943e-04,7.134106e-04,7.280146e-04,7.285949e-04,7.423914e-04,7.460134e-04,7.548576e-04,7.617246e-04,7.660560e-04,7.752952e-04,7.760522e-04,7.849135e-04,7.868788e-04,7.927075e-04,7.966312e-04,7.995017e-04,8.047059e-04,8.053620e-04,8.103529e-04,8.112522e-04,8.145362e-04,8.164124e-04,8.179716e-04,8.203209e-04,8.207157e-04,8.228222e-04,8.231035e-04,8.243417e-04,8.248767e-04,8.253219e-04,8.257480e-04,8.258076e-04,8.258406e-04,8.258160e-04,8.254598e-04,8.251706e-04,8.247015e-04,8.238937e-04,8.235995e-04,8.221851e-04,8.220593e-04,8.204871e-04,8.197345e-04,8.185323e-04,8.169799e-04,8.163456e-04,8.139499e-04,8.138500e-04,8.113661e-04,8.103937e-04,8.086138e-04,8.066552e-04,8.057109e-04,8.026739e-04,7.995180e-04,7.984853e-04,7.962571e-04,7.941211e-04,7.929043e-04,7.896099e-04,7.894711e-04,7.859687e-04,7.849769e-04,7.824068e-04,7.802450e-04,7.787947e-04,7.754345e-04,7.751409e-04,7.714529e-04,7.705636e-04,7.677381e-04,7.656484e-04,7.640027e-04,7.607034e-04,7.602528e-04,7.564939e-04,7.557415e-04,7.527309e-04,7.507741e-04,7.489684e-04,7.458114e-04,7.452106e-04,7.414612e-04,7.408623e-04,7.377238e-04,7.359351e-04,7.340015e-04,7.310366e-04,7.302973e-04,7.266136e-04,7.261731e-04,7.229530e-04,7.213502e-04,7.193175e-04,7.165726e-04,7.157092e-04,7.121297e-04,7.118446e-04,7.085806e-04,7.071699e-04,7.050634e-04,7.025515e-04,7.015794e-04,6.981296e-04,6.979923e-04,6.947150e-04,6.934946e-04,6.913366e-04,6.890603e-04,6.879951e-04,6.846912e-04,6.803885e-04,6.761533e-04,6.719866e-04,6.678889e-04,6.638607e-04,6.599023e-04,6.560138e-04,6.521952e-04,6.484463e-04,6.447670e-04,6.411568e-04,6.376153e-04,6.341420e-04,6.307363e-04,6.273976e-04,6.241251e-04,6.209181e-04,6.177758e-04,6.146974e-04,6.116820e-04,6.087287e-04,6.058367e-04,6.030049e-04,6.002324e-04
0.000000e+00,8.076950e-10,2.361889e-09,1.150839e-08,3.250568e-08,5.208592e-08,1.425941e-07,1.478190e-07,3.256449e-07,3.938293e-07,6.125258e-07,8.480537e-07,1.034984e-06,1.565749e-06,1.619016e-06,2.389501e-06,2.604680e-06,3.367994e-06,4.012365e-06,4.568021e-06,5.807112e-06,5.988800e-06,7.611193e-06,7.956948e-06,9.399486e-06,1.038000e-05,1.130811e-05,1.296932e-05,1.328928e-05,1.529843e-05,1.561983e-05,1.729714e-05,1.824332e-05,1.925399e-05,2.077254e-05,2.114431e-05,2.294941e-05,2.315960e-05,2.465577e-05,2.537277e-05,2.625416e-05,2.739316e-05,2.773896e-05,2.910749e-05,2.921192e-05,3.035947e-05,3.082796e-05,3.149662e-05,3.224603e-05,3.252218e-05,3.344063e-05,3.347522e-05,3.425733e-05,3.452757e-05,3.497825e-05,3.541701e-05,3.560976e-05,3.615845e-05,3.663089e-05,3.676704e-05,3.703359e-05,3.725763e-05,3.737282e-05,3.764434e-05,3.765458e-05,3.788452e-05,3.794035e-05,3.806792e-05,3.815767e-05,3.820967e-05,3.830715e-05,3.831425e-05,3.838575e-05,3.839841e-05,3.842789e-05,3.843993e-05,3.844402e-05,3.843910e-05,3.843715e-05,3.840998e-05,3.840232e-05,3.836491e-05,3.833513e-05,3.830410e-05,3.824225e-05,3.822945e-05,3.814265e-05,3.812774e-05,3.804521e-05,3.799505e-05,3.793846e-05,3.784715e-05,3.782358e-05,3.770162e-05,3.768655e-05,3.757351e-05,3.751541e-05,3.744007e-05,3.733555e-05,3.730204e-05,3.716008e-05,3.714857e-05,3.701475e-05,3.695580e-05,3.686659e-05,3.675842e-05,3.671606e-05,3.656357e-05,3.655743e-05,3.640950e-05,3.635371e-05,3.625418e-05,3.614801e-05,3.609792e-05,3.594099e-05,3.578363e-05,3.573322e-05,3.562607e-05,3.552522e-05,3.546851e-05,3.531742e-05,3.531113e-05,3.515409e-05,3.511021e-05,3.499756e-05,3.490393e-05,3.484165e-05,3.469888e-05,3.468650e-05,3.453222e-05,3.449533e-05,3.437890e-05,3.429351e-05,3.422665e-05,3.409361e-05,3.407554e-05,3.392565e-05,3.389582e-05,3.377704e-05,3.370029e-05,3.362978e-05,3.350716e-05,3.348392e-05,3.333951e-05,3.331654e-05,3.319660e-05,3.312854e-05,3.305521e-05,3.294324e-05,3.291540e-05,3.277718e-05,3.276070e-05,3.264058e-05,3.258100e-05,3.250563e-05,3.240418e-05,3.237235e-05,3.224074e-05,3.223029e-05,3.211083e-05,3.205934e-05,3.198262e-05,3.189137e-05,3.185613e-05,3.173135e-05,3.172639e-05,3.160829e-05,3.156441e-05,3.148696e-05,3.140544e-05,3.136735e-05,3.124947e-05,3.109649e-05,3.094649e-05,3.079946e-05,3.065537e-05,3.051421e-05,3.037595e-05,3.024057e-05,3.010802e-05,2.997828e-05,2.985133e-05,2.972711e-05,2.960559e-05,2.948675e-05,2.937053e-05,2.925690e-05,2.914581e-05,2.903724e-05,2.893113e-05,2.882744e-05,2.872613e-05,2.862716e-05,2.853049e-05,2.843607e-05,2.834387e-05
0.000000e+00,6.596661e-10,1.834136e-09,8.142944e-09,2.140436e-08,3.313593e-08,8.432316e-08,8.719530e-08,1.828340e-07,2.189874e-07,3.346964e-07,4.600145e-07,5.603983e-07,8.500246e-07,8.794097e-07,1.307646e-06,1.427416e-06,1.848462e-06,2.196055e-06,2.488481e-06,3.115057e-06,3.204088e-06,3.971139e-06,4.128903e-06,4.770014e-06,5.192985e-06,5.586089e-06,6.276857e-06,6.408499e-06,7.228826e-06,7.359409e-06,8.040201e-06,8.424744e-06,8.836816e-06,9.460094e-06,9.613667e-06,1.036646e-05,1.045500e-05,1.109157e-05,1.140107e-05,1.178606e-05,1.229194e-05,1.244761e-05,1.307454e-05,1.312316e-05,1.366575e-05,1.389208e-05,1.422065e-05,1.459764e-05,1.473918e-05,1.522164e-05,1.524020e-05,1.566871e-05,1.582116e-05,1.608131e-05,1.634278e-05,1.646060e-05,1.680792e-05,1.712472e-05,1.721989e-05,1.741247e-05,1.758209e-05,1.767270e-05,1.789808e-05,1.790697e-05,1.811682e-05,1.817141e-05,1.830376e-05,1.840555e-05,1.846928e-05,1.860387e-05,1.861481e-05,1.874170e-05,1.876953e-05,1.885127e-05,1.890551e-05,1.894473e-05,1.901460e-05,1.902327e-05,1.908799e-05,1.909936e-05,1.913991e-05,1.916218e-05,1.918001e-05,1.920523e-05,1.920920e-05,1.922832e-05,1.923050e-05,1.923817e-05,1.923982e-05,1.923948e-05,1.923485e-05,1.923295e-05,1.921921e-05,1.921711e-05,1.919886e-05,1.918795e-05,1.917245e-05,1.914864e-05,1.914049e-05,1.910346e-05,1.910029e-05,1.906181e-05,1.904394e-05,1.901594e-05,1.898051e-05,1.896623e-05,1.891304e-05,1.891085e-05,1.885670e-05,1.883570e-05,1.879751e-05,1.875577e-05,1.873575e-05,1.867168e-05,1.860554e-05,1.858398e-05,1.853757e-05,1.849319e-05,1.846796e-05,1.839978e-05,1.839691e-05,1.832460e-05,1.830415e-05,1.825119e-05,1.820669e-05,1.817684e-05,1.810773e-05,1.810169e-05,1.802587e-05,1.800758e-05,1.794949e-05,1.790653e-05,1.787269e-05,1.780481e-05,1.779554e-05,1.771816e-05,1.770267e-05,1.764064e-05,1.760029e-05,1.756304e-05,1.749787e-05,1.748546e-05,1.740796e-05,1.739557e-05,1.733060e-05,1.729353e-05,1.725344e-05,1.719190e-05,1.717655e-05,1.709996e-05,1.709079e-05,1.702372e-05,1.699030e-05,1.694789e-05,1.689054e-05,1.687249e-05,1.679756e-05,1.679159e-05,1.672314e-05,1.669352e-05,1.664925e-05,1.659639e-05,1.657592e-05,1.650318e-05,1.650028e-05,1.643105e-05,1.640523e-05,1.635954e-05,1.631128e-05,1.628868e-05,1.621848e-05,1.612686e-05,1.603645e-05,1.594727e-05,1.585935e-05,1.577269e-05,1.568732e-05,1.560324e-05,1.552047e-05,1.543900e-05,1.535883e-05,1.527998e-05,1.520244e-05,1.512619e-05,1.505125e-05,1.497760e-05,1.490524e-05,1.483416e-05,1.476434e-05,1.469578e-05,1.462846e-05,1.456238e-05,1.449751e-05,1.443385e-05,1.437139e-05
0.000000e+00,4.928746e-10,1.416000e-09,6.662009e-09,1.826382e-08,2.881595e-08,7.604409e-08,7.872114e-08,1.681155e-07,2.018037e-07,3.086471e-07,4.224942e-07,5.123716e-07,7.666631e-07,7.921604e-07,1.161266e-06,1.264498e-06,1.631049e-06,1.940372e-06,2.206482e-06,2.795801e-06,2.881589e-06,3.638980e-06,3.798247e-06,4.454414e-06,4.892957e-06,5.302833e-06,6.024931e-06,6.162466e-06,7.016285e-06,7.151467e-06,7.851824e-06,8.243690e-06,8.660275e-06,9.283352e-06,9.435519e-06,1.017333e-05,1.025920e-05,1.087081e-05,1.116439e-05,1.152601e-05,1.199496e-05,1.213778e-05,1.270553e-05,1.274904e-05,1.322924e-05,1.342648e-05,1.370936e-05,1.402853e-05,1.414676e-05,1.454270e-05,1.455769e-05,1.489871e-05,1.501745e-05,1.521662e-05,1.541205e-05,1.549842e-05,1.574627e-05,1.596236e-05,1.602518e-05,1.614897e-05,1.625396e-05,1.630833e-05,1.643771e-05,1.644263e-05,1.655400e-05,1.658135e-05,1.664446e-05,1.668951e-05,1.671594e-05,1.676649e-05,1.677024e-05,1.680903e-05,1.681621e-05,1.683387e-05,1.684222e-05,1.684617e-05,1.684767e-05,1.684725e-05,1.683829e-05,1.683539e-05,1.682037e-05,1.680783e-05,1.679446e-05,1.676716e-05,1.676143e-05,1.672209e-05,1.671526e-05,1.667714e-05,1.665377e-05,1.662723e-05,1.658412e-05,1.657293e-05,1.651474e-05,1.650752e-05,1.645312e-05,1.642503e-05,1.638848e-05,1.633755e-05,1.632117e-05,1.625153e-05,1.624587e-05,1.617986e-05,1.615069e-05,1.610643e-05,1.605259e-05,1.603146e-05,1.595518e-05,1.595210e-05,1.587777e-05,1.584967e-05,1.579942e-05,1.574568e-05,1.572028e-05,1.564050e-05,1.556021e-05,1.553443e-05,1.547952e-05,1.542773e-05,1.539855e-05,1.532064e-05,1.531739e-05,1.523613e-05,1.521337e-05,1.515485e-05,1.510611e-05,1.507363e-05,1.499902e-05,1.499254e-05,1.491163e-05,1.489225e-05,1.483097e-05,1.478593e-05,1.475061e-05,1.468017e-05,1.467058e-05,1.459095e-05,1.457507e-05,1.451174e-05,1.447074e-05,1.443300e-05,1.436724e-05,1.435475e-05,1.427703e-05,1.426465e-05,1.419987e-05,1.416303e-05,1.412328e-05,1.406245e-05,1.404730e-05,1.397193e-05,1.396293e-05,1.389721e-05,1.386454e-05,1.382314e-05,1.376730e-05,1.374975e-05,1.367704e-05,1.367125e-05,1.360502e-05,1.357642e-05,1.353372e-05,1.348282e-05,1.346313e-05,1.339326e-05,1.339048e-05,1.332412e-05,1.329941e-05,1.325572e-05,1.320963e-05,1.318806e-05,1.312114e-05,1.303396e-05,1.294808e-05,1.286351e-05,1.278025e-05,1.269830e-05,1.261765e-05,1.253830e-05,1.246025e-05,1.238348e-05,1.230799e-05,1.223377e-05,1.216081e-05,1.208909e-05,1.201861e-05,1.194935e-05,1.188131e-05,1.181446e-05,1.174879e-05,1.168429e-05,1.162094e-05,1.155873e-05,1.149764e-05,1.143766e-05,1.137877e-05
0.000000e+00,4.922790e-12,1.124153e-11,3.847830e-11,8.722595e-11,1.270342e-10,2.871720e-10,2.957794e-10,5.704663e-10,6.700861e-10,9.789083e-10,1.300691e-09,1.551317e-09,2.248565e-09,2.317606e-09,3.299076e-09,3.567277e-09,4.496368e-09,5.252953e-09,5.885567e-09,7.237179e-09,7.429314e-09,9.090589e-09,9.434112e-09,1.083848e-08,1.177314e-08,1.264801e-08,1.420032e-08,1.449834e-08,1.637144e-08,1.667215e-08,1.825125e-08,1.915166e-08,2.012339e-08,2.160692e-08,2.197505e-08,2.379506e-08,2.401086e-08,2.557384e-08,2.634132e-08,2.730339e-08,2.858089e-08,2.897725e-08,3.059045e-08,3.071677e-08,3.213933e-08,3.274028e-08,3.362142e-08,3.464633e-08,3.503530e-08,3.638042e-08,3.643280e-08,3.765700e-08,3.809993e-08,3.886584e-08,3.964981e-08,4.000824e-08,4.108585e-08,4.210063e-08,4.241243e-08,4.305472e-08,4.363455e-08,4.395043e-08,4.475757e-08,4.479011e-08,4.557620e-08,4.578703e-08,4.631111e-08,4.672850e-08,4.699725e-08,4.758747e-08,4.763699e-08,4.823263e-08,4.836927e-08,4.878639e-08,4.907901e-08,4.930044e-08,4.972159e-08,4.977684e-08,5.021758e-08,5.030161e-08,5.062455e-08,5.082344e-08,5.099958e-08,5.129117e-08,5.134438e-08,5.166059e-08,5.170863e-08,5.194977e-08,5.207942e-08,5.221340e-08,5.240686e-08,5.245289e-08,5.266956e-08,5.269409e-08,5.286467e-08,5.294400e-08,5.303942e-08,5.315930e-08,5.319492e-08,5.333226e-08,5.334249e-08,5.345243e-08,5.349591e-08,5.355640e-08,5.362173e-08,5.364506e-08,5.371928e-08,5.372196e-08,5.377986e-08,5.379848e-08,5.382757e-08,5.385302e-08,5.386312e-08,5.388721e-08,5.390047e-08,5.390253e-08,5.390353e-08,5.390040e-08,5.389696e-08,5.388210e-08,5.388130e-08,5.385709e-08,5.384884e-08,5.382480e-08,5.380174e-08,5.378490e-08,5.374185e-08,5.373784e-08,5.368402e-08,5.367015e-08,5.362385e-08,5.358752e-08,5.355770e-08,5.349482e-08,5.348592e-08,5.340885e-08,5.339283e-08,5.332681e-08,5.328228e-08,5.324009e-08,5.316385e-08,5.314899e-08,5.305377e-08,5.303817e-08,5.295470e-08,5.290585e-08,5.285202e-08,5.276742e-08,5.274595e-08,5.263673e-08,5.262342e-08,5.252455e-08,5.247431e-08,5.240962e-08,5.232055e-08,5.229213e-08,5.217225e-08,5.216256e-08,5.205015e-08,5.200073e-08,5.192600e-08,5.183543e-08,5.179995e-08,5.167215e-08,5.166700e-08,5.154272e-08,5.149576e-08,5.141182e-08,5.132202e-08,5.127955e-08,5.114605e-08,5.096812e-08,5.078847e-08,5.060733e-08,5.042492e-08,5.024144e-08,5.005707e-08,4.987201e-08,4.968640e-08,4.950041e-08,4.931418e-08,4.912784e-08,4.894152e-08,4.875535e-08,4.856943e-08,4.838386e-08,4.819875e-08,4.801417e-08,4.783023e-08,4.764698e-08,4.746452e-08,4.728290e-08,4.710220e-08,4.692246e-08,4.674375e-08
0.000000e+00,4.591479e-12,1.047537e-11,3.578268e-11,8.093173e-11,1.176929e-10,2.647638e-10,2.726355e-10,5.222805e-10,6.121295e-10,8.886248e-10,1.173858e-09,1.394306e-09,2.001574e-09,2.061332e-09,2.906686e-09,3.136957e-09,3.934661e-09,4.585688e-09,5.131632e-09,6.303405e-09,6.470548e-09,7.921025e-09,8.222025e-09,9.455744e-09,1.027929e-08,1.105165e-08,1.242502e-08,1.268905e-08,1.435051e-08,1.461750e-08,1.602026e-08,1.682040e-08,1.768391e-08,1.900162e-08,1.932841e-08,2.094212e-08,2.113320e-08,2.251486e-08,2.319161e-08,2.403798e-08,2.515793e-08,2.550436e-08,2.690834e-08,2.701782e-08,2.824570e-08,2.876128e-08,2.951346e-08,3.038208e-08,3.070979e-08,3.183389e-08,3.187735e-08,3.288584e-08,3.324702e-08,3.386644e-08,3.449318e-08,3.477707e-08,3.561957e-08,3.639617e-08,3.663116e-08,3.710935e-08,3.753373e-08,3.776179e-08,3.833357e-08,3.835628e-08,3.889568e-08,3.903723e-08,3.938287e-08,3.965133e-08,3.982073e-08,4.018240e-08,4.021206e-08,4.055963e-08,4.063683e-08,4.086610e-08,4.102073e-08,4.113404e-08,4.133992e-08,4.136592e-08,4.156410e-08,4.159989e-08,4.173083e-08,4.180582e-08,4.186825e-08,4.196251e-08,4.197838e-08,4.206313e-08,4.207446e-08,4.212432e-08,4.214582e-08,4.216365e-08,4.218044e-08,4.218271e-08,4.218303e-08,4.218187e-08,4.216601e-08,4.215338e-08,4.213300e-08,4.209797e-08,4.208523e-08,4.202388e-08,4.201841e-08,4.195004e-08,4.191723e-08,4.186473e-08,4.179676e-08,4.176893e-08,4.166352e-08,4.165912e-08,4.154935e-08,4.150625e-08,4.142720e-08,4.133995e-08,4.129779e-08,4.116182e-08,4.101993e-08,4.097337e-08,4.087270e-08,4.077593e-08,4.072070e-08,4.057076e-08,4.056443e-08,4.040439e-08,4.035896e-08,4.024101e-08,4.014157e-08,4.007473e-08,3.991951e-08,3.990592e-08,3.973495e-08,3.969364e-08,3.956216e-08,3.946471e-08,3.938785e-08,3.923344e-08,3.921232e-08,3.903583e-08,3.900044e-08,3.885864e-08,3.876630e-08,3.868097e-08,3.853153e-08,3.850305e-08,3.832506e-08,3.829659e-08,3.814720e-08,3.806191e-08,3.796962e-08,3.782788e-08,3.779249e-08,3.761596e-08,3.759482e-08,3.744014e-08,3.736304e-08,3.726517e-08,3.713283e-08,3.709116e-08,3.691820e-08,3.690441e-08,3.674639e-08,3.667801e-08,3.657582e-08,3.645382e-08,3.640656e-08,3.623869e-08,3.623200e-08,3.607226e-08,3.601271e-08,3.590734e-08,3.579608e-08,3.574398e-08,3.558222e-08,3.537123e-08,3.516318e-08,3.495815e-08,3.475620e-08,3.455738e-08,3.436171e-08,3.416924e-08,3.397998e-08,3.379394e-08,3.361113e-08,3.343155e-08,3.325519e-08,3.308205e-08,3.291211e-08,3.274535e-08,3.258175e-08,3.242128e-08,3.226392e-08,3.210963e-08,3.195839e-08,3.181015e-08,3.166488e-08,3.152255e-08,3.138311e-08
0.000000e+00,3.361523e-12,7.675197e-12,2.623414e-11,5.930828e-11,8.618567e-11,1.931691e-10,1.988698e-10,3.783255e-10,4.422965e-10,6.372421e-10,8.355692e-10,9.871300e-10,1.398262e-09,1.438301e-09,1.999477e-09,2.151284e-09,2.676772e-09,3.107677e-09,3.471972e-09,4.266099e-09,4.380880e-09,5.393213e-09,5.606867e-09,6.494600e-09,7.097254e-09,7.669186e-09,8.700964e-09,8.901366e-09,1.017647e-08,1.038355e-08,1.148086e-08,1.211362e-08,1.280190e-08,1.386287e-08,1.412795e-08,1.544835e-08,1.560596e-08,1.675353e-08,1.732076e-08,1.803501e-08,1.898851e-08,1.928543e-08,2.049859e-08,2.059388e-08,2.166941e-08,2.212495e-08,2.279386e-08,2.357302e-08,2.386891e-08,2.489243e-08,2.493228e-08,2.586307e-08,2.619942e-08,2.678021e-08,2.737327e-08,2.764383e-08,2.845440e-08,2.921284e-08,2.944472e-08,2.992037e-08,3.034717e-08,3.057851e-08,3.116543e-08,3.118896e-08,3.175356e-08,3.190369e-08,3.227426e-08,3.256644e-08,3.275307e-08,3.315832e-08,3.319202e-08,3.359315e-08,3.368402e-08,3.395847e-08,3.414814e-08,3.428994e-08,3.455517e-08,3.458949e-08,3.485897e-08,3.490942e-08,3.510019e-08,3.521502e-08,3.531484e-08,3.547584e-08,3.550459e-08,3.567099e-08,3.569555e-08,3.581554e-08,3.587758e-08,3.593964e-08,3.602511e-08,3.604465e-08,3.613182e-08,3.614114e-08,3.620235e-08,3.622841e-08,3.625737e-08,3.628948e-08,3.629795e-08,3.632508e-08,3.632670e-08,3.633971e-08,3.634227e-08,3.634273e-08,3.633818e-08,3.633496e-08,3.631719e-08,3.631628e-08,3.629015e-08,3.627829e-08,3.625454e-08,3.622575e-08,3.621100e-08,3.616012e-08,3.610250e-08,3.608272e-08,3.603865e-08,3.599475e-08,3.596908e-08,3.589734e-08,3.589425e-08,3.581460e-08,3.579149e-08,3.573055e-08,3.567817e-08,3.564248e-08,3.555821e-08,3.555074e-08,3.545569e-08,3.543241e-08,3.535762e-08,3.530150e-08,3.525684e-08,3.516613e-08,3.515363e-08,3.504823e-08,3.502691e-08,3.494090e-08,3.488440e-08,3.483186e-08,3.473910e-08,3.472132e-08,3.460948e-08,3.459148e-08,3.449652e-08,3.444196e-08,3.438262e-08,3.429093e-08,3.426793e-08,3.415261e-08,3.413874e-08,3.403679e-08,3.398571e-08,3.392061e-08,3.383215e-08,3.380419e-08,3.368764e-08,3.367831e-08,3.357106e-08,3.352445e-08,3.345456e-08,3.337078e-08,3.333823e-08,3.322215e-08,3.321751e-08,3.310640e-08,3.306482e-08,3.299105e-08,3.291288e-08,3.287617e-08,3.276183e-08,3.261181e-08,3.246294e-08,3.231533e-08,3.216907e-08,3.202427e-08,3.188098e-08,3.173929e-08,3.159924e-08,3.146090e-08,3.132432e-08,3.118952e-08,3.105655e-08,3.092542e-08,3.079618e-08,3.066883e-08,3.054338e-08,3.041986e-08,3.029827e-08,3.017860e-08,3.006088e-08,2.994508e-08,2.983121e-08,2.971926e-08,2.960923e-08
0.000000e+00,9.732375e-11,2.236701e-10,7.720187e-10,1.758837e-09,2.566867e-09,5.823249e-09,5.998326e-09,1.157835e-08,1.359685e-08,1.983247e-08,2.629417e-08,3.130369e-08,4.515753e-08,4.652457e-08,6.593052e-08,7.123884e-08,8.970630e-08,1.048714e-07,1.176532e-07,1.452724e-07,1.492312e-07,1.837599e-07,1.909611e-07,2.205909e-07,2.404641e-07,2.591666e-07,2.925706e-07,2.990143e-07,3.397253e-07,3.462945e-07,3.809392e-07,4.008050e-07,4.223354e-07,4.553914e-07,4.636296e-07,5.045720e-07,5.094508e-07,5.449464e-07,5.624827e-07,5.845690e-07,6.140842e-07,6.232869e-07,6.609752e-07,6.639426e-07,6.975350e-07,7.118252e-07,7.328903e-07,7.575681e-07,7.669851e-07,7.997808e-07,8.010652e-07,8.312535e-07,8.422572e-07,8.613915e-07,8.811219e-07,8.901935e-07,9.176668e-07,9.438251e-07,9.519211e-07,9.686879e-07,9.839309e-07,9.922787e-07,1.013754e-06,1.014625e-06,1.035756e-06,1.041459e-06,1.055704e-06,1.067118e-06,1.074501e-06,1.090809e-06,1.092184e-06,1.108785e-06,1.112613e-06,1.124342e-06,1.132610e-06,1.138888e-06,1.150883e-06,1.152461e-06,1.165094e-06,1.167511e-06,1.176822e-06,1.182575e-06,1.187680e-06,1.196152e-06,1.197700e-06,1.206916e-06,1.208318e-06,1.215360e-06,1.219148e-06,1.223064e-06,1.228714e-06,1.230057e-06,1.236371e-06,1.237085e-06,1.242035e-06,1.244328e-06,1.247076e-06,1.250508e-06,1.251522e-06,1.255401e-06,1.255687e-06,1.258737e-06,1.259925e-06,1.261556e-06,1.263279e-06,1.263882e-06,1.265739e-06,1.265804e-06,1.267149e-06,1.267552e-06,1.268135e-06,1.268573e-06,1.268717e-06,1.268915e-06,1.268750e-06,1.268624e-06,1.268241e-06,1.267742e-06,1.267405e-06,1.266312e-06,1.266260e-06,1.264823e-06,1.264371e-06,1.263111e-06,1.261958e-06,1.261139e-06,1.259107e-06,1.258921e-06,1.256473e-06,1.255852e-06,1.253808e-06,1.252225e-06,1.250939e-06,1.248256e-06,1.247879e-06,1.244641e-06,1.243973e-06,1.241236e-06,1.239403e-06,1.237675e-06,1.234571e-06,1.233969e-06,1.230128e-06,1.229502e-06,1.226162e-06,1.224217e-06,1.222080e-06,1.218738e-06,1.217892e-06,1.213605e-06,1.213085e-06,1.209229e-06,1.207277e-06,1.204770e-06,1.201331e-06,1.200237e-06,1.195636e-06,1.195265e-06,1.190974e-06,1.189094e-06,1.186258e-06,1.182832e-06,1.181493e-06,1.176686e-06,1.176493e-06,1.171842e-06,1.170090e-06,1.166966e-06,1.163635e-06,1.162064e-06,1.157139e-06,1.150613e-06,1.144067e-06,1.137508e-06,1.130947e-06,1.124391e-06,1.117846e-06,1.111320e-06,1.104819e-06,1.098349e-06,1.091915e-06,1.085522e-06,1.079174e-06,1.072875e-06,1.066629e-06,1.060440e-06,1.054310e-06,1.048243e-06,1.042240e-06,1.036304e-06,1.030437e-06,1.024641e-06,1.018917e-06,1.013266e-06,1.007691e-06
0.000000e+00,1.878140e-09,5.549149e-09,2.763336e-08,7.965785e-08,1.291137e-07,3.645460e-07,3.783946e-07,8.615192e-07,1.051768e-06,1.676684e-06,2.370761e-06,2.934760e-06,4.587848e-06,4.757340e-06,7.263510e-06,7.977610e-06,1.054171e-05,1.272933e-05,1.462440e-05,1.886399e-05,1.948675e-05,2.506387e-05,2.625769e-05,3.126960e-05,3.471373e-05,3.800941e-05,4.401333e-05,4.518732e-05,5.270930e-05,5.393863e-05,6.048468e-05,6.428128e-05,6.842689e-05,7.484555e-05,7.645399e-05,8.448913e-05,8.545044e-05,9.246114e-05,9.593187e-05,1.003051e-04,1.061449e-04,1.079629e-04,1.153835e-04,1.159655e-04,1.225233e-04,1.252923e-04,1.293463e-04,1.340463e-04,1.358238e-04,1.419343e-04,1.421708e-04,1.476627e-04,1.496295e-04,1.530003e-04,1.564047e-04,1.579437e-04,1.624946e-04,1.666585e-04,1.679107e-04,1.704447e-04,1.726750e-04,1.738651e-04,1.768179e-04,1.769341e-04,1.796676e-04,1.803752e-04,1.820829e-04,1.833867e-04,1.841977e-04,1.858935e-04,1.860302e-04,1.875986e-04,1.879378e-04,1.889211e-04,1.895609e-04,1.900153e-04,1.908030e-04,1.908984e-04,1.915867e-04,1.917024e-04,1.920961e-04,1.922952e-04,1.924413e-04,1.926146e-04,1.926363e-04,1.926943e-04,1.926917e-04,1.926275e-04,1.925545e-04,1.924474e-04,1.922287e-04,1.921644e-04,1.917885e-04,1.917376e-04,1.913287e-04,1.911019e-04,1.907932e-04,1.903405e-04,1.901898e-04,1.895256e-04,1.894700e-04,1.888069e-04,1.885055e-04,1.880396e-04,1.874602e-04,1.872293e-04,1.863807e-04,1.863461e-04,1.854985e-04,1.851735e-04,1.845868e-04,1.839518e-04,1.836492e-04,1.826894e-04,1.817103e-04,1.813934e-04,1.807148e-04,1.800704e-04,1.797056e-04,1.787261e-04,1.786851e-04,1.776553e-04,1.773655e-04,1.766182e-04,1.759933e-04,1.755757e-04,1.746132e-04,1.745294e-04,1.734807e-04,1.732288e-04,1.724310e-04,1.718432e-04,1.713815e-04,1.704591e-04,1.703334e-04,1.692876e-04,1.690788e-04,1.682452e-04,1.677047e-04,1.672068e-04,1.663383e-04,1.661733e-04,1.651454e-04,1.649815e-04,1.641237e-04,1.636357e-04,1.631087e-04,1.623020e-04,1.621010e-04,1.611010e-04,1.609816e-04,1.601091e-04,1.596753e-04,1.591257e-04,1.583841e-04,1.581511e-04,1.571855e-04,1.571087e-04,1.562293e-04,1.558495e-04,1.552827e-04,1.546071e-04,1.543458e-04,1.534188e-04,1.533820e-04,1.525020e-04,1.521744e-04,1.515953e-04,1.509847e-04,1.506989e-04,1.498130e-04,1.486595e-04,1.475244e-04,1.464076e-04,1.453093e-04,1.442295e-04,1.431680e-04,1.421248e-04,1.410999e-04,1.400931e-04,1.391043e-04,1.381333e-04,1.371800e-04,1.362442e-04,1.353258e-04,1.344244e-04,1.335399e-04,1.326721e-04,1.318207e-04,1.309855e-04,1.301664e-04,1.293629e-04,1.285750e-04,1.278022e-04,1.270445e-04
0.000000e+00,1.910650e-09,5.617028e-09,2.767652e-08,7.897124e-08,1.272380e-07,3.531054e-07,3.662369e-07,8.165144e-07,9.903214e-07,1.550047e-06,2.154779e-06,2.635156e-06,3.997700e-06,4.134203e-06,6.102213e-06,6.649702e-06,8.586007e-06,1.021674e-05,1.162349e-05,1.477703e-05,1.524273e-05,1.946075e-05,2.037686e-05,2.428246e-05,2.702630e-05,2.970034e-05,3.469844e-05,3.569533e-05,4.223838e-05,4.333372e-05,4.929203e-05,5.284637e-05,5.681199e-05,6.313030e-05,6.474832e-05,7.304666e-05,7.406407e-05,8.164926e-05,8.551538e-05,9.049607e-05,9.734530e-05,9.952583e-05,1.086771e-04,1.094126e-04,1.178893e-04,1.215779e-04,1.271036e-04,1.337076e-04,1.362640e-04,1.453178e-04,1.456770e-04,1.542164e-04,1.573733e-04,1.629158e-04,1.686973e-04,1.713767e-04,1.795650e-04,1.874518e-04,1.899079e-04,1.950132e-04,1.996727e-04,2.022301e-04,2.088211e-04,2.090884e-04,2.155781e-04,2.173283e-04,2.216935e-04,2.251820e-04,2.274324e-04,2.323807e-04,2.327960e-04,2.377883e-04,2.389319e-04,2.424158e-04,2.448509e-04,2.466870e-04,2.501591e-04,2.506123e-04,2.542034e-04,2.548826e-04,2.574731e-04,2.590508e-04,2.604349e-04,2.626953e-04,2.631030e-04,2.654920e-04,2.658492e-04,2.676163e-04,2.685462e-04,2.694906e-04,2.708197e-04,2.711293e-04,2.725466e-04,2.727024e-04,2.737563e-04,2.742263e-04,2.747718e-04,2.754216e-04,2.756060e-04,2.762712e-04,2.763174e-04,2.767792e-04,2.769409e-04,2.771413e-04,2.773176e-04,2.773681e-04,2.774697e-04,2.774713e-04,2.774555e-04,2.774239e-04,2.773346e-04,2.771957e-04,2.771153e-04,2.768055e-04,2.764125e-04,2.762703e-04,2.759432e-04,2.756058e-04,2.754040e-04,2.748262e-04,2.748010e-04,2.741395e-04,2.739446e-04,2.734249e-04,2.729727e-04,2.726620e-04,2.719212e-04,2.718551e-04,2.710085e-04,2.707998e-04,2.701259e-04,2.696173e-04,2.692110e-04,2.683818e-04,2.682671e-04,2.672971e-04,2.671003e-04,2.663040e-04,2.657794e-04,2.652904e-04,2.644249e-04,2.642587e-04,2.632111e-04,2.630421e-04,2.621497e-04,2.616359e-04,2.610764e-04,2.602105e-04,2.599931e-04,2.589013e-04,2.587698e-04,2.578026e-04,2.573173e-04,2.566984e-04,2.558563e-04,2.555900e-04,2.544786e-04,2.543895e-04,2.533652e-04,2.529196e-04,2.522511e-04,2.514488e-04,2.511370e-04,2.500238e-04,2.499793e-04,2.489124e-04,2.485129e-04,2.478035e-04,2.470513e-04,2.466978e-04,2.455960e-04,2.441483e-04,2.427096e-04,2.412808e-04,2.398630e-04,2.384570e-04,2.370636e-04,2.356834e-04,2.343171e-04,2.329653e-04,2.316282e-04,2.303065e-04,2.290003e-04,2.277100e-04,2.264359e-04,2.251781e-04,2.239368e-04,2.227122e-04,2.215043e-04,2.203133e-04,2.191391e-04,2.179817e-04,2.168413e-04,2.157177e-04,2.146109e-04
0.000000e+00,3.679839e-10,9.163235e-10,3.466754e-09,8.270288e-09,1.228756e-08,2.880693e-08,2.970426e-08,5.856916e-08,6.909992e-08,1.018247e-07,1.359651e-07,1.625537e-07,2.364577e-07,2.437701e-07,3.476960e-07,3.761226e-07,4.749489e-07,5.561279e-07,6.247150e-07,7.740567e-07,7.956387e-07,9.863546e-07,1.026758e-06,1.195554e-06,1.311205e-06,1.421910e-06,1.624279e-06,1.664012e-06,1.920338e-06,1.962564e-06,2.189270e-06,2.322339e-06,2.469111e-06,2.699674e-06,2.758128e-06,3.054584e-06,3.090577e-06,3.356779e-06,3.491139e-06,3.663080e-06,3.897662e-06,3.971945e-06,4.281942e-06,4.306750e-06,4.591761e-06,4.715371e-06,4.900224e-06,5.120884e-06,5.206282e-06,5.509014e-06,5.521043e-06,5.807624e-06,5.913978e-06,6.101425e-06,6.298167e-06,6.389845e-06,6.672405e-06,6.948715e-06,7.035762e-06,7.218465e-06,7.387549e-06,7.481414e-06,7.727278e-06,7.737381e-06,7.986239e-06,8.054633e-06,8.227906e-06,8.369436e-06,8.462341e-06,8.671627e-06,8.689537e-06,8.909515e-06,8.961240e-06,9.122320e-06,9.238382e-06,9.328019e-06,9.503219e-06,9.526692e-06,9.718438e-06,9.755965e-06,9.903364e-06,9.996869e-06,1.008159e-05,1.022621e-05,1.025324e-05,1.041844e-05,1.044428e-05,1.057733e-05,1.065140e-05,1.073005e-05,1.084789e-05,1.087675e-05,1.101756e-05,1.103407e-05,1.115264e-05,1.121029e-05,1.128212e-05,1.137688e-05,1.140616e-05,1.152490e-05,1.153417e-05,1.163847e-05,1.168249e-05,1.174704e-05,1.182218e-05,1.185073e-05,1.194969e-05,1.195355e-05,1.204405e-05,1.207692e-05,1.213395e-05,1.219261e-05,1.221953e-05,1.230091e-05,1.237823e-05,1.240213e-05,1.245161e-05,1.249656e-05,1.252117e-05,1.258447e-05,1.258704e-05,1.264933e-05,1.266615e-05,1.270817e-05,1.274186e-05,1.276366e-05,1.281185e-05,1.281591e-05,1.286504e-05,1.287638e-05,1.291115e-05,1.293570e-05,1.295435e-05,1.299003e-05,1.299472e-05,1.303238e-05,1.303960e-05,1.306742e-05,1.308463e-05,1.309992e-05,1.312534e-05,1.312999e-05,1.315770e-05,1.316192e-05,1.318315e-05,1.319458e-05,1.320641e-05,1.322351e-05,1.322758e-05,1.324672e-05,1.324888e-05,1.326391e-05,1.327087e-05,1.327923e-05,1.328966e-05,1.329275e-05,1.330453e-05,1.330540e-05,1.331466e-05,1.331826e-05,1.332319e-05,1.332837e-05,1.333018e-05,1.333570e-05,1.333590e-05,1.333982e-05,1.334096e-05,1.334258e-05,1.334371e-05,1.334404e-05,1.334426e-05,1.334274e-05,1.333926e-05,1.333395e-05,1.332690e-05,1.331821e-05,1.330800e-05,1.329634e-05,1.328334e-05,1.326908e-05,1.325364e-05,1.323709e-05,1.321953e-05,1.320101e-05,1.318160e-05,1.316138e-05,1.314039e-05,1.311872e-05,1.309640e-05,1.307349e-05,1.305005e-05,1.302612e-05,1.300175e-05,1.297699e-05,1.295187e-05
0.000000e+00,7.610762e-10,2.019056e-09,8.318072e-09,2.080745e-08,3.150629e-08,7.648632e-08,7.895605e-08,1.591058e-07,1.885634e-07,2.804903e-07,3.767703e-07,4.519187e-07,6.613706e-07,6.821407e-07,9.784118e-07,1.059844e-06,1.344350e-06,1.579595e-06,1.779296e-06,2.216533e-06,2.279946e-06,2.842193e-06,2.961666e-06,3.461863e-06,3.805394e-06,4.134749e-06,4.737889e-06,4.856453e-06,5.622278e-06,5.748574e-06,6.427208e-06,6.825919e-06,7.265950e-06,7.957606e-06,8.133020e-06,9.022854e-06,9.130900e-06,9.929921e-06,1.033309e-05,1.084883e-05,1.155193e-05,1.177442e-05,1.270184e-05,1.277598e-05,1.362662e-05,1.399486e-05,1.454466e-05,1.519942e-05,1.545233e-05,1.634640e-05,1.638184e-05,1.722409e-05,1.753556e-05,1.808297e-05,1.865524e-05,1.892106e-05,1.973669e-05,2.052854e-05,2.077673e-05,2.129557e-05,2.177308e-05,2.203701e-05,2.272422e-05,2.275232e-05,2.344118e-05,2.362929e-05,2.410340e-05,2.448795e-05,2.473900e-05,2.530032e-05,2.534807e-05,2.593086e-05,2.606686e-05,2.648769e-05,2.678832e-05,2.701895e-05,2.746567e-05,2.752510e-05,2.800665e-05,2.810005e-05,2.846413e-05,2.869270e-05,2.889813e-05,2.924497e-05,2.930924e-05,2.969809e-05,2.975828e-05,3.006530e-05,3.023406e-05,3.041151e-05,3.067378e-05,3.073735e-05,3.104347e-05,3.107891e-05,3.133050e-05,3.145091e-05,3.159908e-05,3.179124e-05,3.184983e-05,3.208336e-05,3.210132e-05,3.230029e-05,3.238255e-05,3.250121e-05,3.263629e-05,3.268671e-05,3.285736e-05,3.286388e-05,3.301372e-05,3.306661e-05,3.315633e-05,3.324574e-05,3.328574e-05,3.340246e-05,3.350701e-05,3.353797e-05,3.359986e-05,3.365338e-05,3.368151e-05,3.374978e-05,3.375242e-05,3.381304e-05,3.382823e-05,3.386381e-05,3.388972e-05,3.390516e-05,3.393523e-05,3.393749e-05,3.396122e-05,3.396568e-05,3.397672e-05,3.398195e-05,3.398437e-05,3.398490e-05,3.398454e-05,3.397757e-05,3.397535e-05,3.396380e-05,3.395406e-05,3.394356e-05,3.392179e-05,3.391717e-05,3.388492e-05,3.387924e-05,3.384712e-05,3.382709e-05,3.380405e-05,3.376599e-05,3.375599e-05,3.370318e-05,3.369654e-05,3.364590e-05,3.361934e-05,3.358438e-05,3.353494e-05,3.351887e-05,3.344958e-05,3.344388e-05,3.337673e-05,3.334665e-05,3.330055e-05,3.324374e-05,3.322122e-05,3.313895e-05,3.313560e-05,3.305391e-05,3.302266e-05,3.296630e-05,3.290533e-05,3.287627e-05,3.278400e-05,3.265904e-05,3.253079e-05,3.239958e-05,3.226573e-05,3.212952e-05,3.199125e-05,3.185115e-05,3.170949e-05,3.156650e-05,3.142240e-05,3.127738e-05,3.113165e-05,3.098539e-05,3.083876e-05,3.069193e-05,3.054505e-05,3.039825e-05,3.025168e-05,3.010544e-05,2.995966e-05,2.981443e-05,2.966987e-05,2.952606e-05,2.938308e-05
0.000000e+00,6.181056e-10,1.717765e-09,7.611992e-09,1.994851e-08,3.081091e-08,7.772984e-08,8.034147e-08,1.661856e-07,1.981205e-07,2.986955e-07,4.052318e-07,4.891095e-07,7.259258e-07,7.496470e-07,1.092781e-06,1.188693e-06,1.529202e-06,1.816685e-06,2.064270e-06,2.613940e-06,2.694145e-06,3.404503e-06,3.554396e-06,4.173752e-06,4.589256e-06,4.978691e-06,5.667342e-06,5.798886e-06,6.618381e-06,6.748603e-06,7.425503e-06,7.805983e-06,8.211938e-06,8.822178e-06,8.971805e-06,9.700934e-06,9.786214e-06,1.039640e-05,1.069121e-05,1.105623e-05,1.153308e-05,1.167919e-05,1.226464e-05,1.230985e-05,1.281250e-05,1.302117e-05,1.332309e-05,1.366801e-05,1.379711e-05,1.423555e-05,1.425236e-05,1.463965e-05,1.477698e-05,1.501081e-05,1.524516e-05,1.535057e-05,1.566056e-05,1.594244e-05,1.602698e-05,1.619789e-05,1.634828e-05,1.642858e-05,1.662826e-05,1.663614e-05,1.682214e-05,1.687057e-05,1.698812e-05,1.707870e-05,1.713551e-05,1.725588e-05,1.726569e-05,1.737995e-05,1.740514e-05,1.747950e-05,1.752925e-05,1.756547e-05,1.763073e-05,1.763892e-05,1.770083e-05,1.771191e-05,1.775210e-05,1.777485e-05,1.779359e-05,1.782145e-05,1.782607e-05,1.785025e-05,1.785340e-05,1.786681e-05,1.787222e-05,1.787634e-05,1.787930e-05,1.787943e-05,1.787658e-05,1.787586e-05,1.786827e-05,1.786300e-05,1.785495e-05,1.784172e-05,1.783701e-05,1.781484e-05,1.781290e-05,1.778878e-05,1.777734e-05,1.775915e-05,1.773576e-05,1.772623e-05,1.769031e-05,1.768881e-05,1.765162e-05,1.763707e-05,1.761041e-05,1.758105e-05,1.756688e-05,1.752124e-05,1.747365e-05,1.745805e-05,1.742431e-05,1.739187e-05,1.737335e-05,1.732306e-05,1.732094e-05,1.726719e-05,1.725192e-05,1.721225e-05,1.717875e-05,1.715622e-05,1.710380e-05,1.709921e-05,1.704133e-05,1.702732e-05,1.698266e-05,1.694950e-05,1.692331e-05,1.687056e-05,1.686334e-05,1.680283e-05,1.679067e-05,1.674186e-05,1.671000e-05,1.668049e-05,1.662868e-05,1.661879e-05,1.655680e-05,1.654686e-05,1.649459e-05,1.646466e-05,1.643221e-05,1.638220e-05,1.636969e-05,1.630709e-05,1.629958e-05,1.624445e-05,1.621689e-05,1.618181e-05,1.613422e-05,1.611920e-05,1.605665e-05,1.605165e-05,1.599420e-05,1.596925e-05,1.593188e-05,1.588710e-05,1.586971e-05,1.580772e-05,1.580524e-05,1.574593e-05,1.572374e-05,1.568437e-05,1.564265e-05,1.562306e-05,1.556201e-05,1.548187e-05,1.540226e-05,1.532323e-05,1.524479e-05,1.516699e-05,1.508984e-05,1.501337e-05,1.493760e-05,1.486256e-05,1.478825e-05,1.471469e-05,1.464190e-05,1.456989e-05,1.449866e-05,1.442823e-05,1.435861e-05,1.428979e-05,1.422179e-05,1.415460e-05,1.408824e-05,1.402270e-05,1.395798e-05,1.389409e-05,1.383102e-05
0.000000e+00,3.037706e-09,8.832278e-09,4.252852e-08,1.188237e-07,1.892526e-07,5.098865e-07,5.282172e-07,1.144242e-06,1.377214e-06,2.115293e-06,2.897350e-06,3.510150e-06,5.218597e-06,5.387780e-06,7.795717e-06,8.456398e-06,1.076424e-05,1.267376e-05,1.429546e-05,1.784133e-05,1.835418e-05,2.287057e-05,2.382096e-05,2.775364e-05,3.040526e-05,3.290566e-05,3.737158e-05,3.823173e-05,4.364408e-05,4.451265e-05,4.906358e-05,5.164647e-05,5.441977e-05,5.861717e-05,5.965062e-05,6.470233e-05,6.529424e-05,6.952924e-05,7.157188e-05,7.409375e-05,7.736878e-05,7.836625e-05,8.232492e-05,8.262757e-05,8.595531e-05,8.731364e-05,8.924986e-05,9.141302e-05,9.220724e-05,9.483155e-05,9.492970e-05,9.713148e-05,9.788236e-05,9.911952e-05,1.003010e-04,1.008110e-04,1.022236e-04,1.033761e-04,1.036932e-04,1.042884e-04,1.047553e-04,1.049803e-04,1.054558e-04,1.054719e-04,1.057823e-04,1.058393e-04,1.059302e-04,1.059481e-04,1.059329e-04,1.058214e-04,1.058069e-04,1.055674e-04,1.054947e-04,1.052285e-04,1.050000e-04,1.048028e-04,1.043658e-04,1.043021e-04,1.037366e-04,1.036166e-04,1.031160e-04,1.027742e-04,1.024484e-04,1.018570e-04,1.017415e-04,1.010018e-04,1.008808e-04,1.002352e-04,9.985922e-05,9.944687e-05,9.880365e-05,9.864138e-05,9.782270e-05,9.772375e-05,9.699433e-05,9.662757e-05,9.615930e-05,9.552188e-05,9.532028e-05,9.447957e-05,9.441230e-05,9.363919e-05,9.330353e-05,9.280090e-05,9.219949e-05,9.196622e-05,9.113646e-05,9.110339e-05,9.031276e-05,9.001790e-05,8.949608e-05,8.894518e-05,8.868726e-05,8.788702e-05,8.709597e-05,8.684487e-05,8.631463e-05,8.581987e-05,8.554343e-05,8.481294e-05,8.478272e-05,8.403280e-05,8.382480e-05,8.329392e-05,8.285595e-05,8.256624e-05,8.190681e-05,8.184993e-05,8.114508e-05,8.097763e-05,8.045176e-05,8.006856e-05,7.977002e-05,7.917967e-05,7.909986e-05,7.844128e-05,7.831095e-05,7.779423e-05,7.746232e-05,7.715868e-05,7.663365e-05,7.653455e-05,7.592176e-05,7.582476e-05,7.532021e-05,7.503543e-05,7.472980e-05,7.426541e-05,7.415041e-05,7.358191e-05,7.351442e-05,7.302417e-05,7.278214e-05,7.247705e-05,7.206826e-05,7.194042e-05,7.141410e-05,7.137244e-05,7.089797e-05,7.069433e-05,7.039185e-05,7.003356e-05,6.989560e-05,6.940904e-05,6.938978e-05,6.893202e-05,6.876260e-05,6.846438e-05,6.815165e-05,6.800594e-05,6.755655e-05,6.697693e-05,6.641240e-05,6.586260e-05,6.532714e-05,6.480567e-05,6.429781e-05,6.380321e-05,6.332152e-05,6.285238e-05,6.239546e-05,6.195041e-05,6.151692e-05,6.109466e-05,6.068332e-05,6.028258e-05,5.989215e-05,5.951174e-05,5.914106e-05,5.877982e-05,5.842777e-05,5.808463e-05,5.775015e-05,5.742408e-05,5.710617e-05
0.000000e+00,1.137040e-09,3.306063e-09,1.594898e-08,4.473955e-08,7.148474e-08,1.948703e-07,2.019953e-07,4.452453e-07,5.389920e-07,8.416269e-07,1.170804e-06,1.434281e-06,2.191213e-06,2.267757e-06,3.381585e-06,3.693677e-06,4.798922e-06,5.726149e-06,6.520002e-06,8.271806e-06,8.526867e-06,1.079250e-05,1.127407e-05,1.328716e-05,1.466499e-05,1.598107e-05,1.837661e-05,1.884510e-05,2.185075e-05,2.234293e-05,2.497015e-05,2.649987e-05,2.817619e-05,3.078587e-05,3.144284e-05,3.474545e-05,3.514307e-05,3.806110e-05,3.951866e-05,4.136892e-05,4.386603e-05,4.465021e-05,4.788860e-05,4.814538e-05,5.107004e-05,5.232394e-05,5.418270e-05,5.637572e-05,5.721690e-05,6.016488e-05,6.028092e-05,6.302067e-05,6.402528e-05,6.577982e-05,6.759924e-05,6.843928e-05,7.099714e-05,7.345250e-05,7.421653e-05,7.580527e-05,7.725747e-05,7.805607e-05,8.012198e-05,8.020606e-05,8.225686e-05,8.281357e-05,8.421046e-05,8.533688e-05,8.606909e-05,8.769728e-05,8.783523e-05,8.951147e-05,8.990069e-05,9.110054e-05,9.195337e-05,9.260521e-05,9.386176e-05,9.402832e-05,9.537268e-05,9.563236e-05,9.664113e-05,9.727165e-05,9.783646e-05,9.878606e-05,9.896144e-05,1.000188e-04,1.001818e-04,1.010111e-04,1.014651e-04,1.019411e-04,1.026419e-04,1.028112e-04,1.036239e-04,1.037177e-04,1.043817e-04,1.046983e-04,1.050868e-04,1.055888e-04,1.057414e-04,1.063479e-04,1.063944e-04,1.069081e-04,1.071198e-04,1.074243e-04,1.077698e-04,1.078984e-04,1.083322e-04,1.083487e-04,1.087275e-04,1.088608e-04,1.090862e-04,1.093101e-04,1.094100e-04,1.097003e-04,1.099589e-04,1.100352e-04,1.101872e-04,1.103181e-04,1.103867e-04,1.105523e-04,1.105587e-04,1.107045e-04,1.107409e-04,1.108256e-04,1.108868e-04,1.109230e-04,1.109928e-04,1.109980e-04,1.110517e-04,1.110616e-04,1.110852e-04,1.110955e-04,1.110995e-04,1.110970e-04,1.110956e-04,1.110745e-04,1.110683e-04,1.110371e-04,1.110115e-04,1.109842e-04,1.109285e-04,1.109167e-04,1.108355e-04,1.108213e-04,1.107412e-04,1.106915e-04,1.106346e-04,1.105409e-04,1.105164e-04,1.103873e-04,1.103711e-04,1.102479e-04,1.101835e-04,1.100989e-04,1.099795e-04,1.099408e-04,1.097741e-04,1.097605e-04,1.095995e-04,1.095276e-04,1.094175e-04,1.092821e-04,1.092285e-04,1.090329e-04,1.090250e-04,1.088313e-04,1.087574e-04,1.086241e-04,1.084802e-04,1.084117e-04,1.081944e-04,1.079009e-04,1.076004e-04,1.072936e-04,1.069814e-04,1.066644e-04,1.063431e-04,1.060183e-04,1.056904e-04,1.053599e-04,1.050274e-04,1.046932e-04,1.043579e-04,1.040217e-04,1.036852e-04,1.033485e-04,1.030121e-04,1.026762e-04,1.023411e-04,1.020071e-04,1.016744e-04,1.013432e-04,1.010137e-04,1.006862e-04,1.003607e-04
0.000000e+00,3.214637e-10,8.891444e-10,3.907674e-09,1.018270e-08,1.569056e-08,3.945174e-08,4.077521e-08,8.441101e-08,1.007111e-07,1.521714e-07,2.065336e-07,2.488935e-07,3.647274e-07,3.759630e-07,5.306411e-07,5.713943e-07,7.086445e-07,8.170227e-07,9.060432e-07,1.093133e-06,1.119491e-06,1.345926e-06,1.392507e-06,1.582339e-06,1.708214e-06,1.825708e-06,2.033318e-06,2.073035e-06,2.321429e-06,2.361088e-06,2.568203e-06,2.685360e-06,2.810950e-06,3.000847e-06,3.047602e-06,3.276454e-06,3.303325e-06,3.496172e-06,3.589690e-06,3.705776e-06,3.857897e-06,3.904611e-06,4.092305e-06,4.106834e-06,4.268730e-06,4.336154e-06,4.433953e-06,4.546100e-06,4.588201e-06,4.731817e-06,4.737347e-06,4.865233e-06,4.910857e-06,4.988934e-06,5.067769e-06,5.103445e-06,5.209304e-06,5.307053e-06,5.336707e-06,5.397223e-06,5.451194e-06,5.480331e-06,5.553929e-06,5.556870e-06,5.627309e-06,5.645999e-06,5.692087e-06,5.728410e-06,5.751618e-06,5.802081e-06,5.806284e-06,5.856443e-06,5.867847e-06,5.902422e-06,5.926460e-06,5.944528e-06,5.978598e-06,5.983039e-06,6.018213e-06,6.024869e-06,6.050289e-06,6.065817e-06,6.079484e-06,6.101928e-06,6.105998e-06,6.130017e-06,6.133640e-06,6.151710e-06,6.161343e-06,6.171234e-06,6.185388e-06,6.188733e-06,6.204338e-06,6.206090e-06,6.218174e-06,6.223731e-06,6.230353e-06,6.238566e-06,6.240980e-06,6.250152e-06,6.250826e-06,6.257959e-06,6.260719e-06,6.264485e-06,6.268434e-06,6.269807e-06,6.273997e-06,6.274142e-06,6.277122e-06,6.277998e-06,6.279245e-06,6.280147e-06,6.280425e-06,6.280717e-06,6.280171e-06,6.279828e-06,6.278837e-06,6.277589e-06,6.276758e-06,6.274102e-06,6.273978e-06,6.270536e-06,6.269459e-06,6.266470e-06,6.263746e-06,6.261816e-06,6.257042e-06,6.256606e-06,6.250872e-06,6.249422e-06,6.244645e-06,6.240952e-06,6.237952e-06,6.231698e-06,6.230820e-06,6.223274e-06,6.221717e-06,6.215338e-06,6.211066e-06,6.207036e-06,6.199794e-06,6.198388e-06,6.189416e-06,6.187951e-06,6.180138e-06,6.175581e-06,6.170573e-06,6.162726e-06,6.160738e-06,6.150652e-06,6.149425e-06,6.140328e-06,6.135715e-06,6.129784e-06,6.121631e-06,6.119033e-06,6.108089e-06,6.107206e-06,6.096966e-06,6.092469e-06,6.085676e-06,6.077450e-06,6.074230e-06,6.062642e-06,6.062175e-06,6.050920e-06,6.046670e-06,6.039077e-06,6.030959e-06,6.027122e-06,6.015064e-06,5.999006e-06,5.982805e-06,5.966480e-06,5.950050e-06,5.933529e-06,5.916934e-06,5.900281e-06,5.883582e-06,5.866850e-06,5.850099e-06,5.833340e-06,5.816583e-06,5.799840e-06,5.783119e-06,5.766430e-06,5.749782e-06,5.733181e-06,5.716637e-06,5.700156e-06,5.683744e-06,5.667408e-06,5.651154e-06,5.634987e-06,5.618912e-06
0.000000e+00,9.546053e-11,2.314082e-10,8.450287e-10,1.975351e-09,2.910725e-09,6.725975e-09,6.932677e-09,1.358670e-08,1.602160e-08,2.362191e-08,3.160266e-08,3.784876e-08,5.531249e-08,5.704666e-08,8.176287e-08,8.853332e-08,1.120171e-07,1.311351e-07,1.470743e-07,1.808173e-07,1.855655e-07,2.259543e-07,2.341397e-07,2.669512e-07,2.881917e-07,3.076384e-07,3.411252e-07,3.474086e-07,3.858668e-07,3.918798e-07,4.227567e-07,4.398560e-07,4.579148e-07,4.847274e-07,4.912440e-07,5.226965e-07,5.263439e-07,5.522628e-07,5.646786e-07,5.799628e-07,5.997920e-07,6.058389e-07,6.299506e-07,6.318054e-07,6.523690e-07,6.608798e-07,6.731733e-07,6.871997e-07,6.924470e-07,7.102760e-07,7.109603e-07,7.267461e-07,7.323590e-07,7.419418e-07,7.515889e-07,7.559451e-07,7.688348e-07,7.806859e-07,7.842707e-07,7.915697e-07,7.980588e-07,8.015531e-07,8.103486e-07,8.106991e-07,8.190666e-07,8.212776e-07,8.267105e-07,8.309710e-07,8.336821e-07,8.395433e-07,8.400292e-07,8.457960e-07,8.470983e-07,8.510238e-07,8.537302e-07,8.557507e-07,8.595244e-07,8.600123e-07,8.638414e-07,8.645581e-07,8.672686e-07,8.689013e-07,8.703220e-07,8.726174e-07,8.730280e-07,8.754108e-07,8.757636e-07,8.774930e-07,8.783919e-07,8.792956e-07,8.805494e-07,8.808379e-07,8.821381e-07,8.822787e-07,8.832129e-07,8.836184e-07,8.840777e-07,8.846035e-07,8.847470e-07,8.852343e-07,8.852658e-07,8.855519e-07,8.856341e-07,8.857116e-07,8.857349e-07,8.857242e-07,8.855998e-07,8.855921e-07,8.853478e-07,8.852275e-07,8.849769e-07,8.846610e-07,8.844953e-07,8.839107e-07,8.832302e-07,8.829933e-07,8.824605e-07,8.819239e-07,8.816078e-07,8.807166e-07,8.806780e-07,8.796765e-07,8.793840e-07,8.786086e-07,8.779379e-07,8.774789e-07,8.763890e-07,8.762920e-07,8.750522e-07,8.747471e-07,8.737633e-07,8.730215e-07,8.724291e-07,8.712204e-07,8.710532e-07,8.696387e-07,8.693515e-07,8.681889e-07,8.674219e-07,8.667065e-07,8.654382e-07,8.651944e-07,8.636551e-07,8.634064e-07,8.620910e-07,8.613322e-07,8.605045e-07,8.592206e-07,8.588977e-07,8.572726e-07,8.570765e-07,8.556312e-07,8.549043e-07,8.539753e-07,8.527081e-07,8.523065e-07,8.506265e-07,8.504916e-07,8.489368e-07,8.482585e-07,8.472388e-07,8.460119e-07,8.455339e-07,8.438234e-07,8.437549e-07,8.421085e-07,8.414903e-07,8.403903e-07,8.392206e-07,8.386699e-07,8.369483e-07,8.346756e-07,8.324046e-07,8.301372e-07,8.278752e-07,8.256201e-07,8.233736e-07,8.211369e-07,8.189116e-07,8.166986e-07,8.144992e-07,8.123143e-07,8.101449e-07,8.079919e-07,8.058560e-07,8.037379e-07,8.016384e-07,7.995580e-07,7.974972e-07,7.954565e-07,7.934365e-07,7.914374e-07,7.894597e-07,7.875036e-07,7.855695e-07
0.000000e+00,4.485568e-10,1.233319e-09,5.369165e-09,1.391051e-08,2.138824e-08,5.362998e-08,5.542740e-08,1.148817e-07,1.372083e-07,2.082480e-07,2.844797e-07,3.449385e-07,5.156174e-07,5.325858e-07,7.723693e-07,8.370957e-07,1.058182e-06,1.234994e-06,1.381090e-06,1.689576e-06,1.733144e-06,2.108251e-06,2.185603e-06,2.501647e-06,2.712078e-06,2.909272e-06,3.259912e-06,3.327357e-06,3.752245e-06,3.820618e-06,4.180355e-06,4.385968e-06,4.608218e-06,4.948108e-06,5.032539e-06,5.450273e-06,5.499825e-06,5.858688e-06,6.034814e-06,6.255412e-06,6.547866e-06,6.638458e-06,7.006231e-06,7.034954e-06,7.357514e-06,7.493205e-06,7.691442e-06,7.920813e-06,8.007483e-06,8.305415e-06,8.316955e-06,8.585269e-06,8.681630e-06,8.847275e-06,9.015442e-06,9.091833e-06,9.319487e-06,9.530895e-06,9.595230e-06,9.726767e-06,9.844301e-06,9.907823e-06,1.006843e-05,1.007485e-05,1.022864e-05,1.026944e-05,1.036998e-05,1.044913e-05,1.049965e-05,1.060928e-05,1.061839e-05,1.072693e-05,1.075154e-05,1.082596e-05,1.087750e-05,1.091611e-05,1.098861e-05,1.099802e-05,1.107226e-05,1.108623e-05,1.113937e-05,1.117162e-05,1.119986e-05,1.124589e-05,1.125419e-05,1.130282e-05,1.131009e-05,1.134614e-05,1.136516e-05,1.138453e-05,1.141193e-05,1.141834e-05,1.144791e-05,1.145118e-05,1.147352e-05,1.148361e-05,1.149545e-05,1.150982e-05,1.151396e-05,1.152930e-05,1.153039e-05,1.154167e-05,1.154583e-05,1.155128e-05,1.155660e-05,1.155832e-05,1.156296e-05,1.156310e-05,1.156538e-05,1.156573e-05,1.156570e-05,1.156481e-05,1.156409e-05,1.156066e-05,1.155554e-05,1.155357e-05,1.154885e-05,1.154378e-05,1.154067e-05,1.153153e-05,1.153112e-05,1.152029e-05,1.151703e-05,1.150825e-05,1.150049e-05,1.149509e-05,1.148207e-05,1.148089e-05,1.146572e-05,1.146194e-05,1.144963e-05,1.144025e-05,1.143270e-05,1.141714e-05,1.141497e-05,1.139651e-05,1.139274e-05,1.137737e-05,1.136716e-05,1.135758e-05,1.134051e-05,1.133721e-05,1.131629e-05,1.131290e-05,1.129486e-05,1.128441e-05,1.127296e-05,1.125513e-05,1.125063e-05,1.122790e-05,1.122514e-05,1.120479e-05,1.119452e-05,1.118135e-05,1.116333e-05,1.115761e-05,1.113358e-05,1.113164e-05,1.110929e-05,1.109951e-05,1.108477e-05,1.106699e-05,1.106005e-05,1.103513e-05,1.103413e-05,1.101006e-05,1.100099e-05,1.098483e-05,1.096761e-05,1.095948e-05,1.093402e-05,1.090027e-05,1.086640e-05,1.083243e-05,1.079840e-05,1.076435e-05,1.073029e-05,1.069625e-05,1.066226e-05,1.062834e-05,1.059452e-05,1.056080e-05,1.052721e-05,1.049376e-05,1.046048e-05,1.042737e-05,1.039445e-05,1.036173e-05,1.032922e-05,1.029694e-05,1.026489e-05,1.023308e-05,1.020153e-05,1.017023e-05,1.013920e-05
0.000000e+00,5.989493e-10,1.610809e-09,6.772089e-09,1.714220e-08,2.607590e-08,6.376009e-08,6.583017e-08,1.328791e-07,1.574313e-07,2.336798e-07,3.129354e-07,3.743943e-07,5.441628e-07,5.608999e-07,7.985764e-07,8.637428e-07,1.091682e-06,1.280956e-06,1.442398e-06,1.798343e-06,1.850221e-06,2.312368e-06,2.410970e-06,2.824765e-06,3.109558e-06,3.382832e-06,3.883432e-06,3.981822e-06,4.616888e-06,4.721519e-06,5.283102e-06,5.612481e-06,5.975462e-06,6.544798e-06,6.688944e-06,7.418567e-06,7.506974e-06,8.159473e-06,8.487838e-06,8.907004e-06,9.476840e-06,9.656761e-06,1.040466e-05,1.046430e-05,1.114698e-05,1.144159e-05,1.188039e-05,1.240124e-05,1.260192e-05,1.330901e-05,1.333697e-05,1.399949e-05,1.424363e-05,1.467152e-05,1.511719e-05,1.532362e-05,1.595459e-05,1.656354e-05,1.675364e-05,1.714981e-05,1.751290e-05,1.771295e-05,1.823160e-05,1.825274e-05,1.876909e-05,1.890947e-05,1.926206e-05,1.954670e-05,1.973185e-05,2.014382e-05,2.017874e-05,2.060311e-05,2.070166e-05,2.100541e-05,2.122123e-05,2.138612e-05,2.170372e-05,2.174579e-05,2.208499e-05,2.215043e-05,2.240433e-05,2.256274e-05,2.270442e-05,2.294208e-05,2.298589e-05,2.324939e-05,2.328992e-05,2.349554e-05,2.360772e-05,2.372499e-05,2.389695e-05,2.393837e-05,2.413629e-05,2.415904e-05,2.431939e-05,2.439541e-05,2.448826e-05,2.460745e-05,2.464349e-05,2.478566e-05,2.479649e-05,2.491535e-05,2.496385e-05,2.503309e-05,2.511077e-05,2.513942e-05,2.523486e-05,2.523846e-05,2.531992e-05,2.534810e-05,2.539509e-05,2.544078e-05,2.546082e-05,2.551759e-05,2.556584e-05,2.557954e-05,2.560597e-05,2.562760e-05,2.563842e-05,2.566270e-05,2.566358e-05,2.568181e-05,2.568573e-05,2.569350e-05,2.569752e-05,2.569900e-05,2.569887e-05,2.569863e-05,2.569274e-05,2.569054e-05,2.568163e-05,2.567325e-05,2.566561e-05,2.564767e-05,2.564496e-05,2.561996e-05,2.561446e-05,2.559087e-05,2.557421e-05,2.555795e-05,2.552751e-05,2.552144e-05,2.548158e-05,2.547490e-05,2.543858e-05,2.541689e-05,2.539267e-05,2.535397e-05,2.534404e-05,2.529289e-05,2.528659e-05,2.523940e-05,2.521517e-05,2.518375e-05,2.514013e-05,2.512612e-05,2.506666e-05,2.506183e-05,2.500553e-05,2.498064e-05,2.494287e-05,2.489689e-05,2.487882e-05,2.481352e-05,2.481089e-05,2.474709e-05,2.472293e-05,2.467966e-05,2.463329e-05,2.461133e-05,2.454222e-05,2.444996e-05,2.435673e-05,2.426274e-05,2.416819e-05,2.407325e-05,2.397809e-05,2.388286e-05,2.378770e-05,2.369275e-05,2.359812e-05,2.350394e-05,2.341030e-05,2.331729e-05,2.322500e-05,2.313351e-05,2.304290e-05,2.295321e-05,2.286453e-05,2.277688e-05,2.269033e-05,2.260491e-05,2.252066e-05,2.243761e-05,2.235579e-05
0.000000e+00,8.481750e-10,2.416029e-09,1.120857e-08,3.046260e-08,4.790921e-08,1.259831e-07,1.304168e-07,2.792361e-07,3.357063e-07,5.160581e-07,7.099837e-07,8.640738e-07,1.303198e-06,1.347399e-06,1.988417e-06,2.167640e-06,2.801955e-06,3.333635e-06,3.788012e-06,4.785099e-06,4.929377e-06,6.197704e-06,6.463878e-06,7.562447e-06,8.300966e-06,8.996300e-06,1.023741e-05,1.047656e-05,1.198452e-05,1.222728e-05,1.350448e-05,1.423430e-05,1.502299e-05,1.622887e-05,1.652840e-05,1.801069e-05,1.818659e-05,1.946129e-05,2.008764e-05,2.087309e-05,2.191648e-05,2.224028e-05,2.355831e-05,2.366152e-05,2.482379e-05,2.531470e-05,2.603433e-05,2.687103e-05,2.718843e-05,2.828537e-05,2.832805e-05,2.932504e-05,2.968537e-05,3.030787e-05,3.094415e-05,3.123471e-05,3.210676e-05,3.292543e-05,3.317640e-05,3.369237e-05,3.415687e-05,3.440934e-05,3.505233e-05,3.507818e-05,3.570082e-05,3.586714e-05,3.627918e-05,3.660575e-05,3.681520e-05,3.727259e-05,3.731079e-05,3.776785e-05,3.787202e-05,3.818822e-05,3.840827e-05,3.857369e-05,3.888544e-05,3.892602e-05,3.924690e-05,3.930744e-05,3.953794e-05,3.967801e-05,3.980071e-05,4.000070e-05,4.003673e-05,4.024741e-05,4.027887e-05,4.043416e-05,4.051568e-05,4.059827e-05,4.071412e-05,4.074102e-05,4.086361e-05,4.087702e-05,4.096718e-05,4.100700e-05,4.105282e-05,4.110656e-05,4.112157e-05,4.117443e-05,4.117800e-05,4.121234e-05,4.122351e-05,4.123618e-05,4.124513e-05,4.124682e-05,4.124506e-05,4.124475e-05,4.123167e-05,4.122415e-05,4.120738e-05,4.118499e-05,4.117288e-05,4.112882e-05,4.107583e-05,4.105708e-05,4.101450e-05,4.097113e-05,4.094539e-05,4.087221e-05,4.086902e-05,4.078591e-05,4.076150e-05,4.069653e-05,4.064007e-05,4.060132e-05,4.050895e-05,4.050072e-05,4.039512e-05,4.036908e-05,4.028492e-05,4.022133e-05,4.017047e-05,4.006651e-05,4.005211e-05,3.993018e-05,3.990538e-05,3.980496e-05,3.973865e-05,3.967675e-05,3.956695e-05,3.954584e-05,3.941246e-05,3.939091e-05,3.927687e-05,3.921106e-05,3.913929e-05,3.902794e-05,3.899994e-05,3.885904e-05,3.884203e-05,3.871676e-05,3.865377e-05,3.857329e-05,3.846357e-05,3.842881e-05,3.828347e-05,3.827181e-05,3.813743e-05,3.807884e-05,3.799082e-05,3.788499e-05,3.784379e-05,3.769645e-05,3.769055e-05,3.754894e-05,3.749581e-05,3.740135e-05,3.730100e-05,3.725380e-05,3.710638e-05,3.691214e-05,3.671848e-05,3.652560e-05,3.633364e-05,3.614276e-05,3.595310e-05,3.576478e-05,3.557791e-05,3.539260e-05,3.520893e-05,3.502699e-05,3.484686e-05,3.466859e-05,3.449225e-05,3.431789e-05,3.414556e-05,3.397530e-05,3.380713e-05,3.364109e-05,3.347720e-05,3.331549e-05,3.315596e-05,3.299864e-05,3.284351e-05
0.000000e+00,4.667681e-09,1.368981e-08,6.719142e-08,1.913528e-07,3.082415e-07,8.580146e-07,8.901460e-07,2.004148e-06,2.440580e-06,3.869906e-06,5.452983e-06,6.736786e-06,1.048297e-05,1.086529e-05,1.646800e-05,1.804582e-05,2.364411e-05,2.834575e-05,3.237202e-05,4.125784e-05,4.255175e-05,5.404801e-05,5.649246e-05,6.671496e-05,7.371571e-05,8.040605e-05,9.259204e-05,9.497650e-05,1.102833e-04,1.127912e-04,1.261849e-04,1.339878e-04,1.425415e-04,1.558622e-04,1.592162e-04,1.760767e-04,1.781063e-04,1.929965e-04,2.004292e-04,2.098574e-04,2.225650e-04,2.265507e-04,2.429785e-04,2.442785e-04,2.590542e-04,2.653688e-04,2.747032e-04,2.856705e-04,2.898626e-04,3.044806e-04,3.050535e-04,3.185166e-04,3.234208e-04,3.319396e-04,3.407056e-04,3.447277e-04,3.568672e-04,3.683513e-04,3.718875e-04,3.791794e-04,3.857670e-04,3.893560e-04,3.985208e-04,3.988900e-04,4.077940e-04,4.101762e-04,4.160832e-04,4.207689e-04,4.237753e-04,4.303412e-04,4.308896e-04,4.374467e-04,4.389398e-04,4.434681e-04,4.466142e-04,4.489758e-04,4.534154e-04,4.539921e-04,4.585395e-04,4.593946e-04,4.626400e-04,4.646031e-04,4.663158e-04,4.690908e-04,4.695882e-04,4.724783e-04,4.729066e-04,4.750066e-04,4.760974e-04,4.771928e-04,4.787085e-04,4.790562e-04,4.806152e-04,4.807827e-04,4.818877e-04,4.823612e-04,4.828907e-04,4.834828e-04,4.836406e-04,4.841530e-04,4.841842e-04,4.844429e-04,4.844998e-04,4.845247e-04,4.844623e-04,4.844118e-04,4.841175e-04,4.841021e-04,4.836539e-04,4.834478e-04,4.830328e-04,4.825262e-04,4.822654e-04,4.813623e-04,4.803336e-04,4.799794e-04,4.791886e-04,4.783991e-04,4.779366e-04,4.766418e-04,4.765860e-04,4.751448e-04,4.747261e-04,4.736208e-04,4.726697e-04,4.720212e-04,4.704885e-04,4.703526e-04,4.686217e-04,4.681977e-04,4.668344e-04,4.658110e-04,4.649965e-04,4.633414e-04,4.631132e-04,4.611898e-04,4.608007e-04,4.592309e-04,4.581998e-04,4.572410e-04,4.555487e-04,4.552244e-04,4.531849e-04,4.528567e-04,4.511262e-04,4.501323e-04,4.490519e-04,4.473833e-04,4.469651e-04,4.448689e-04,4.446168e-04,4.427661e-04,4.418394e-04,4.406593e-04,4.390570e-04,4.385511e-04,4.364436e-04,4.362751e-04,4.343391e-04,4.334986e-04,4.322395e-04,4.307319e-04,4.301467e-04,4.280624e-04,4.279792e-04,4.259880e-04,4.252440e-04,4.239252e-04,4.225298e-04,4.218752e-04,4.198393e-04,4.171754e-04,4.145402e-04,4.119360e-04,4.093645e-04,4.068274e-04,4.043260e-04,4.018616e-04,3.994352e-04,3.970475e-04,3.946994e-04,3.923915e-04,3.901240e-04,3.878975e-04,3.857121e-04,3.835678e-04,3.814649e-04,3.794031e-04,3.773824e-04,3.754027e-04,3.734636e-04,3.715648e-04,3.697061e-04,3.678871e-04,3.661072e-04
0.000000e+00,2.127415e-10,5.008539e-10,1.779139e-09,4.130077e-09,6.088968e-09,1.424039e-08,1.468950e-08,2.953049e-08,3.513224e-08,5.310194e-08,7.255335e-08,8.800984e-08,1.312881e-07,1.355442e-07,1.947107e-07,2.104071e-07,2.634032e-07,3.053215e-07,3.397798e-07,4.123042e-07,4.225386e-07,5.107283e-07,5.289470e-07,6.035594e-07,6.534215e-07,7.002975e-07,7.840451e-07,8.002155e-07,9.025818e-07,9.191389e-07,1.006670e-06,1.057035e-06,1.111770e-06,1.196119e-06,1.217201e-06,1.322327e-06,1.334893e-06,1.426567e-06,1.472016e-06,1.529403e-06,1.606338e-06,1.630382e-06,1.729116e-06,1.736908e-06,1.825280e-06,1.862964e-06,1.918607e-06,1.983929e-06,2.008894e-06,2.095989e-06,2.099405e-06,2.179784e-06,2.209128e-06,2.260209e-06,2.312952e-06,2.337226e-06,2.410831e-06,2.481037e-06,2.502790e-06,2.547879e-06,2.588916e-06,2.611409e-06,2.669341e-06,2.671691e-06,2.728799e-06,2.744231e-06,2.782808e-06,2.813756e-06,2.833792e-06,2.878112e-06,2.881851e-06,2.927089e-06,2.937536e-06,2.969594e-06,2.992241e-06,3.009466e-06,3.042452e-06,3.046801e-06,3.081689e-06,3.088382e-06,3.114226e-06,3.130247e-06,3.144504e-06,3.168256e-06,3.172611e-06,3.198636e-06,3.202613e-06,3.222666e-06,3.233516e-06,3.244784e-06,3.261158e-06,3.265073e-06,3.283612e-06,3.285723e-06,3.300478e-06,3.307388e-06,3.315745e-06,3.326322e-06,3.329484e-06,3.341765e-06,3.342686e-06,3.352655e-06,3.356636e-06,3.362219e-06,3.368319e-06,3.370519e-06,3.377616e-06,3.377876e-06,3.383568e-06,3.385441e-06,3.388430e-06,3.391141e-06,3.392255e-06,3.395095e-06,3.396999e-06,3.397419e-06,3.398015e-06,3.398220e-06,3.398188e-06,3.397603e-06,3.397563e-06,3.396180e-06,3.395663e-06,3.394080e-06,3.392493e-06,3.391302e-06,3.388179e-06,3.387883e-06,3.383857e-06,3.382805e-06,3.379259e-06,3.376447e-06,3.374122e-06,3.369179e-06,3.368475e-06,3.362350e-06,3.361070e-06,3.355774e-06,3.352186e-06,3.348775e-06,3.342588e-06,3.341379e-06,3.333610e-06,3.332334e-06,3.325493e-06,3.321479e-06,3.317049e-06,3.310074e-06,3.308302e-06,3.299270e-06,3.298168e-06,3.289975e-06,3.285806e-06,3.280435e-06,3.273031e-06,3.270667e-06,3.260690e-06,3.259883e-06,3.250519e-06,3.246401e-06,3.240171e-06,3.232618e-06,3.229659e-06,3.218999e-06,3.218570e-06,3.208203e-06,3.204286e-06,3.197285e-06,3.189797e-06,3.186257e-06,3.175130e-06,3.160310e-06,3.145361e-06,3.130307e-06,3.115167e-06,3.099962e-06,3.084710e-06,3.069428e-06,3.054132e-06,3.038836e-06,3.023555e-06,3.008301e-06,2.993086e-06,2.977921e-06,2.962817e-06,2.947782e-06,2.932826e-06,2.917956e-06,2.903180e-06,2.888504e-06,2.873935e-06,2.859479e-06,2.845140e-06,2.830923e-06,2.816833e-06
0.000000e+00,1.227780e-08,3.641023e-08,1.826339e-07,5.295699e-07,8.607531e-07,2.443091e-06,2.536260e-06,5.781730e-06,7.055039e-06,1.121246e-05,1.578210e-05,1.945899e-05,3.007170e-05,3.114798e-05,4.688502e-05,5.132783e-05,6.722852e-05,8.081217e-05,9.264454e-05,1.194638e-04,1.234515e-04,1.597866e-04,1.677164e-04,2.016116e-04,2.254740e-04,2.487426e-04,2.922183e-04,3.008822e-04,3.576459e-04,3.671277e-04,4.185806e-04,4.491638e-04,4.831799e-04,5.371310e-04,5.508964e-04,6.211538e-04,6.297274e-04,6.933586e-04,7.255912e-04,7.669114e-04,8.233471e-04,8.412182e-04,9.157010e-04,9.216505e-04,9.898075e-04,1.019227e-03,1.063020e-03,1.114909e-03,1.134860e-03,1.204897e-03,1.207655e-03,1.272750e-03,1.296577e-03,1.338089e-03,1.380941e-03,1.400638e-03,1.460172e-03,1.516515e-03,1.533848e-03,1.569540e-03,1.601694e-03,1.619164e-03,1.663563e-03,1.665344e-03,1.708073e-03,1.719422e-03,1.747377e-03,1.769337e-03,1.783309e-03,1.813455e-03,1.815946e-03,1.845385e-03,1.851986e-03,1.871737e-03,1.885193e-03,1.895129e-03,1.913370e-03,1.915694e-03,1.933573e-03,1.936840e-03,1.948913e-03,1.955936e-03,1.961862e-03,1.970998e-03,1.972565e-03,1.981172e-03,1.982363e-03,1.987824e-03,1.990364e-03,1.992662e-03,1.995319e-03,1.995823e-03,1.997437e-03,1.997533e-03,1.997629e-03,1.997295e-03,1.996520e-03,1.994875e-03,1.994221e-03,1.990841e-03,1.990527e-03,1.986480e-03,1.984483e-03,1.981233e-03,1.976957e-03,1.975189e-03,1.968430e-03,1.968146e-03,1.961034e-03,1.958230e-03,1.953073e-03,1.947370e-03,1.944612e-03,1.935714e-03,1.926434e-03,1.923393e-03,1.916826e-03,1.910527e-03,1.906937e-03,1.897221e-03,1.896812e-03,1.886490e-03,1.883570e-03,1.876010e-03,1.869660e-03,1.865404e-03,1.855563e-03,1.854705e-03,1.843939e-03,1.841348e-03,1.833132e-03,1.827071e-03,1.822307e-03,1.812784e-03,1.811486e-03,1.800687e-03,1.798531e-03,1.789927e-03,1.784353e-03,1.779222e-03,1.770281e-03,1.768584e-03,1.758028e-03,1.756347e-03,1.747562e-03,1.742574e-03,1.737197e-03,1.728984e-03,1.726942e-03,1.716804e-03,1.715595e-03,1.706789e-03,1.702423e-03,1.696903e-03,1.689480e-03,1.687152e-03,1.677539e-03,1.676776e-03,1.668067e-03,1.664319e-03,1.658741e-03,1.652117e-03,1.649561e-03,1.640531e-03,1.640173e-03,1.631651e-03,1.628491e-03,1.622922e-03,1.617073e-03,1.614346e-03,1.605922e-03,1.595035e-03,1.584414e-03,1.574057e-03,1.563960e-03,1.554123e-03,1.544542e-03,1.535213e-03,1.526133e-03,1.517298e-03,1.508703e-03,1.500344e-03,1.492217e-03,1.484316e-03,1.476637e-03,1.469175e-03,1.461925e-03,1.454883e-03,1.448042e-03,1.441399e-03,1.434947e-03,1.428684e-03,1.422602e-03,1.416699e-03,1.410969e-03
0.000000e+00,1.897484e-10,4.470806e-10,1.605520e-09,3.811245e-09,5.721625e-09,1.430879e-08,1.480878e-08,3.248054e-08,3.953151e-08,6.241699e-08,8.645839e-08,1.046473e-07,1.517429e-07,1.561334e-07,2.143065e-07,2.290882e-07,2.777453e-07,3.152601e-07,3.456485e-07,4.086404e-07,4.174442e-07,4.926081e-07,5.079976e-07,5.705939e-07,6.120692e-07,6.508179e-07,7.194898e-07,7.326701e-07,8.155337e-07,8.288450e-07,8.988054e-07,9.387517e-07,9.819151e-07,1.047933e-06,1.064340e-06,1.145615e-06,1.155271e-06,1.225338e-06,1.259834e-06,1.303169e-06,1.360881e-06,1.378829e-06,1.452097e-06,1.457850e-06,1.522808e-06,1.550349e-06,1.590844e-06,1.638126e-06,1.656124e-06,1.718606e-06,1.721047e-06,1.778273e-06,1.799066e-06,1.835135e-06,1.872212e-06,1.889219e-06,1.940568e-06,1.989239e-06,2.004259e-06,2.035299e-06,2.063436e-06,2.078813e-06,2.118263e-06,2.119858e-06,2.158515e-06,2.168921e-06,2.194863e-06,2.215599e-06,2.228986e-06,2.258486e-06,2.260968e-06,2.290889e-06,2.297773e-06,2.318832e-06,2.333646e-06,2.344878e-06,2.366291e-06,2.369105e-06,2.391591e-06,2.395886e-06,2.412411e-06,2.422603e-06,2.431637e-06,2.446608e-06,2.449341e-06,2.465592e-06,2.468062e-06,2.480455e-06,2.487115e-06,2.493995e-06,2.503916e-06,2.506273e-06,2.517350e-06,2.518601e-06,2.527282e-06,2.531304e-06,2.536125e-06,2.542149e-06,2.543931e-06,2.550753e-06,2.551257e-06,2.556638e-06,2.558741e-06,2.561634e-06,2.564707e-06,2.565787e-06,2.569138e-06,2.569256e-06,2.571731e-06,2.572486e-06,2.573603e-06,2.574485e-06,2.574795e-06,2.575341e-06,2.575276e-06,2.575133e-06,2.574635e-06,2.573937e-06,2.573449e-06,2.571826e-06,2.571748e-06,2.569562e-06,2.568867e-06,2.566918e-06,2.565123e-06,2.563843e-06,2.560656e-06,2.560363e-06,2.556501e-06,2.555520e-06,2.552281e-06,2.549769e-06,2.547725e-06,2.543454e-06,2.542853e-06,2.537687e-06,2.536620e-06,2.532244e-06,2.529311e-06,2.526544e-06,2.521570e-06,2.520604e-06,2.514441e-06,2.513435e-06,2.508069e-06,2.504942e-06,2.501505e-06,2.496125e-06,2.494763e-06,2.487855e-06,2.487016e-06,2.480796e-06,2.477646e-06,2.473598e-06,2.468041e-06,2.466272e-06,2.458830e-06,2.458230e-06,2.451281e-06,2.448235e-06,2.443637e-06,2.438080e-06,2.435907e-06,2.428100e-06,2.427787e-06,2.420225e-06,2.417375e-06,2.412289e-06,2.406863e-06,2.404301e-06,2.396268e-06,2.385608e-06,2.374897e-06,2.364148e-06,2.353376e-06,2.342593e-06,2.331809e-06,2.321035e-06,2.310281e-06,2.299557e-06,2.288870e-06,2.278228e-06,2.267638e-06,2.257106e-06,2.246640e-06,2.236244e-06,2.225923e-06,2.215682e-06,2.205525e-06,2.195456e-06,2.185478e-06,2.175595e-06,2.165810e-06,2.156124e-06,2.146540e-06
0.000000e+00,1.985940e-11,4.607375e-11,1.607211e-10,3.681940e-10,5.385966e-10,1.228005e-09,1.265166e-09,2.453790e-09,2.885657e-09,4.225829e-09,5.623664e-09,6.713009e-09,9.744480e-09,1.004463e-08,1.431129e-08,1.547823e-08,1.953458e-08,2.286680e-08,2.568323e-08,3.182225e-08,3.271041e-08,4.057311e-08,4.224258e-08,4.923423e-08,5.404201e-08,5.865897e-08,6.713953e-08,6.881118e-08,7.965098e-08,8.144623e-08,9.113345e-08,9.685874e-08,1.032083e-07,1.132576e-07,1.158201e-07,1.289091e-07,1.305089e-07,1.424120e-07,1.484675e-07,1.562629e-07,1.669810e-07,1.703947e-07,1.847401e-07,1.858950e-07,1.992330e-07,2.050570e-07,2.138090e-07,2.243205e-07,2.284065e-07,2.429675e-07,2.435484e-07,2.574380e-07,2.626155e-07,2.717684e-07,2.814099e-07,2.859137e-07,2.998341e-07,3.134943e-07,3.178055e-07,3.268638e-07,3.352557e-07,3.399169e-07,3.521302e-07,3.526321e-07,3.649916e-07,3.683865e-07,3.769812e-07,3.839930e-07,3.885905e-07,3.989289e-07,3.998123e-07,4.106423e-07,4.131829e-07,4.210785e-07,4.267508e-07,4.311211e-07,4.396348e-07,4.407724e-07,4.500363e-07,4.518431e-07,4.589183e-07,4.633881e-07,4.674247e-07,4.742854e-07,4.755631e-07,4.833417e-07,4.845535e-07,4.907695e-07,4.942130e-07,4.978561e-07,5.032868e-07,5.046120e-07,5.110476e-07,5.117988e-07,5.171729e-07,5.197722e-07,5.229975e-07,5.272292e-07,5.285314e-07,5.337846e-07,5.341930e-07,5.387670e-07,5.406864e-07,5.434884e-07,5.467315e-07,5.479582e-07,5.521857e-07,5.523499e-07,5.561800e-07,5.575625e-07,5.599499e-07,5.623897e-07,5.635041e-07,5.668511e-07,5.699989e-07,5.709654e-07,5.729554e-07,5.747506e-07,5.757281e-07,5.782238e-07,5.783243e-07,5.807511e-07,5.814011e-07,5.830152e-07,5.842983e-07,5.851231e-07,5.869301e-07,5.870814e-07,5.888959e-07,5.893106e-07,5.905726e-07,5.914534e-07,5.921171e-07,5.933712e-07,5.935348e-07,5.948309e-07,5.950760e-07,5.960104e-07,5.965792e-07,5.970780e-07,5.978918e-07,5.980384e-07,5.988961e-07,5.990241e-07,5.996552e-07,5.999858e-07,6.003198e-07,6.007862e-07,6.008940e-07,6.013813e-07,6.014341e-07,6.017854e-07,6.019378e-07,6.021099e-07,6.023052e-07,6.023579e-07,6.025328e-07,6.025437e-07,6.026375e-07,6.026604e-07,6.026750e-07,6.026621e-07,6.026482e-07,6.025598e-07,6.025550e-07,6.024123e-07,6.023452e-07,6.022083e-07,6.020385e-07,6.019501e-07,6.016401e-07,6.011554e-07,6.005890e-07,5.999457e-07,5.992298e-07,5.984455e-07,5.975966e-07,5.966871e-07,5.957203e-07,5.946997e-07,5.936285e-07,5.925097e-07,5.913463e-07,5.901409e-07,5.888961e-07,5.876145e-07,5.862984e-07,5.849500e-07,5.835715e-07,5.821649e-07,5.807322e-07,5.792751e-07,5.777955e-07,5.762949e-07,5.747750e-07
0.000000e+00,2.918618e-06,8.621679e-06,4.290314e-05,1.235180e-04,1.999897e-04,5.621179e-04,5.833271e-04,1.317431e-03,1.603613e-03,2.533233e-03,3.548823e-03,4.362493e-03,6.698174e-03,6.934177e-03,1.037106e-02,1.133734e-02,1.478396e-02,1.771575e-02,2.026115e-02,2.600378e-02,2.685458e-02,3.457092e-02,3.624636e-02,4.337316e-02,4.835685e-02,5.318997e-02,6.215115e-02,6.392637e-02,7.547217e-02,7.738672e-02,8.770785e-02,9.378948e-02,1.005086e-01,1.110706e-01,1.137473e-01,1.272972e-01,1.289382e-01,1.410339e-01,1.471061e-01,1.548374e-01,1.653027e-01,1.685942e-01,1.821987e-01,1.832775e-01,1.955543e-01,2.008072e-01,2.085750e-01,2.176996e-01,2.211852e-01,2.333208e-01,2.337956e-01,2.449288e-01,2.489699e-01,2.559666e-01,2.631301e-01,2.664025e-01,2.762141e-01,2.853876e-01,2.881873e-01,2.939176e-01,2.990394e-01,3.018053e-01,3.087800e-01,3.090581e-01,3.156883e-01,3.174353e-01,3.217125e-01,3.250445e-01,3.271509e-01,3.316563e-01,3.320261e-01,3.363628e-01,3.373264e-01,3.401871e-01,3.421149e-01,3.435259e-01,3.460843e-01,3.464067e-01,3.488569e-01,3.492977e-01,3.509038e-01,3.518177e-01,3.525741e-01,3.537052e-01,3.538939e-01,3.548883e-01,3.550189e-01,3.555816e-01,3.558143e-01,3.559970e-01,3.561440e-01,3.561565e-01,3.560810e-01,3.560571e-01,3.557904e-01,3.555992e-01,3.553033e-01,3.548125e-01,3.546371e-01,3.538084e-01,3.537356e-01,3.528325e-01,3.524041e-01,3.517236e-01,3.508504e-01,3.504951e-01,3.491593e-01,3.491039e-01,3.477279e-01,3.471912e-01,3.462114e-01,3.451367e-01,3.446197e-01,3.429619e-01,3.412464e-01,3.406866e-01,3.394810e-01,3.383283e-01,3.376728e-01,3.359028e-01,3.358284e-01,3.339538e-01,3.334242e-01,3.320545e-01,3.309052e-01,3.301356e-01,3.283569e-01,3.282018e-01,3.262572e-01,3.257894e-01,3.243058e-01,3.232114e-01,3.223511e-01,3.206308e-01,3.203963e-01,3.184443e-01,3.180545e-01,3.164979e-01,3.154887e-01,3.145593e-01,3.129385e-01,3.126307e-01,3.107142e-01,3.104088e-01,3.088114e-01,3.079035e-01,3.069240e-01,3.054261e-01,3.050534e-01,3.032008e-01,3.029797e-01,3.013673e-01,3.005669e-01,2.995539e-01,2.981898e-01,2.977615e-01,2.959909e-01,2.958502e-01,2.942426e-01,2.935497e-01,2.925173e-01,2.912895e-01,2.908154e-01,2.891373e-01,2.890707e-01,2.874834e-01,2.868939e-01,2.858538e-01,2.847598e-01,2.842489e-01,2.826687e-01,2.806209e-01,2.786164e-01,2.766552e-01,2.747373e-01,2.728622e-01,2.710299e-01,2.692398e-01,2.674915e-01,2.657844e-01,2.641181e-01,2.624920e-01,2.609054e-01,2.593576e-01,2.578481e-01,2.563760e-01,2.549407e-01,2.535414e-01,2.521775e-01,2.508481e-01,2.495526e-01,2.482902e-01,2.470601e-01,2.458617e-01,2.446942e-01
0.000000e+00,7.381058e-10,2.121456e-09,1.000612e-08,2.753872e-08,4.356531e-08,1.158974e-07,1.200197e-07,2.585613e-07,3.110962e-07,4.784152e-07,6.573915e-07,7.989157e-07,1.199425e-06,1.239552e-06,1.819296e-06,1.981043e-06,2.554358e-06,3.037772e-06,3.454221e-06,4.381981e-06,4.517995e-06,5.734357e-06,5.994411e-06,7.085161e-06,7.833857e-06,8.549730e-06,9.852903e-06,1.010764e-05,1.173982e-05,1.200668e-05,1.342879e-05,1.425489e-05,1.515846e-05,1.656153e-05,1.691405e-05,1.868195e-05,1.889432e-05,2.044975e-05,2.122461e-05,2.220623e-05,2.352739e-05,2.394141e-05,2.564657e-05,2.578145e-05,2.731424e-05,2.796937e-05,2.893816e-05,3.007736e-05,3.051320e-05,3.203532e-05,3.209506e-05,3.350147e-05,3.401513e-05,3.490943e-05,3.583286e-05,3.625779e-05,3.754577e-05,3.877320e-05,3.915322e-05,3.994035e-05,4.065599e-05,4.104791e-05,4.205603e-05,4.209688e-05,4.308852e-05,4.335610e-05,4.402430e-05,4.455962e-05,4.490583e-05,4.567042e-05,4.573485e-05,4.651315e-05,4.669261e-05,4.724261e-05,4.763046e-05,4.792509e-05,4.848831e-05,4.856248e-05,4.915668e-05,4.927050e-05,4.970954e-05,4.998130e-05,5.022290e-05,5.062490e-05,5.069854e-05,5.113821e-05,5.120533e-05,5.154361e-05,5.172652e-05,5.191640e-05,5.219221e-05,5.225815e-05,5.257041e-05,5.260597e-05,5.285466e-05,5.297122e-05,5.311232e-05,5.329120e-05,5.334476e-05,5.355330e-05,5.356899e-05,5.373920e-05,5.380749e-05,5.390366e-05,5.400944e-05,5.404783e-05,5.417283e-05,5.417745e-05,5.427971e-05,5.431394e-05,5.436947e-05,5.442122e-05,5.444308e-05,5.450145e-05,5.454548e-05,5.455667e-05,5.457598e-05,5.458878e-05,5.459377e-05,5.459958e-05,5.459959e-05,5.459417e-05,5.459074e-05,5.457821e-05,5.456384e-05,5.455234e-05,5.452035e-05,5.451721e-05,5.447340e-05,5.446166e-05,5.442148e-05,5.438905e-05,5.436197e-05,5.430375e-05,5.429540e-05,5.422224e-05,5.420686e-05,5.414296e-05,5.409946e-05,5.405799e-05,5.398253e-05,5.396775e-05,5.387262e-05,5.385698e-05,5.377299e-05,5.372367e-05,5.366920e-05,5.358341e-05,5.356159e-05,5.345049e-05,5.343693e-05,5.333617e-05,5.328494e-05,5.321895e-05,5.312807e-05,5.309907e-05,5.297681e-05,5.296693e-05,5.285239e-05,5.280207e-05,5.272605e-05,5.263402e-05,5.259801e-05,5.246846e-05,5.246325e-05,5.233761e-05,5.229021e-05,5.220562e-05,5.211532e-05,5.207268e-05,5.193895e-05,5.176146e-05,5.158318e-05,5.140441e-05,5.122542e-05,5.104648e-05,5.086782e-05,5.068966e-05,5.051219e-05,5.033560e-05,5.016005e-05,4.998571e-05,4.981270e-05,4.964114e-05,4.947117e-05,4.930287e-05,4.913633e-05,4.897165e-05,4.880889e-05,4.864812e-05,4.848940e-05,4.833277e-05,4.817828e-05,4.802597e-05,4.787587e-05
0.000000e+00,5.967516e-09,1.776630e-08,8.985030e-08,2.625193e-07,4.285012e-07,1.229831e-06,1.277318e-06,2.945188e-06,3.605189e-06,5.776131e-06,8.184560e-06,1.013591e-05,1.582038e-05,1.640049e-05,2.493986e-05,2.736627e-05,3.608863e-05,4.357266e-05,5.010681e-05,6.494537e-05,6.715373e-05,8.728834e-05,9.168475e-05,1.104838e-04,1.237252e-04,1.366429e-04,1.607947e-04,1.656103e-04,1.971817e-04,2.024589e-04,2.311122e-04,2.481564e-04,2.671245e-04,2.972310e-04,3.049167e-04,3.441709e-04,3.489642e-04,3.845611e-04,4.026085e-04,4.257614e-04,4.574184e-04,4.674523e-04,5.093277e-04,5.126769e-04,5.510993e-04,5.677185e-04,5.925010e-04,6.219445e-04,6.332912e-04,6.732553e-04,6.748339e-04,7.122060e-04,7.259485e-04,7.499834e-04,7.749329e-04,7.864545e-04,8.215119e-04,8.550721e-04,8.654845e-04,8.870737e-04,9.067171e-04,9.174757e-04,9.451348e-04,9.462547e-04,9.734032e-04,9.807132e-04,9.989277e-04,1.013470e-03,1.022846e-03,1.043457e-03,1.045186e-03,1.065985e-03,1.070752e-03,1.085285e-03,1.095455e-03,1.103133e-03,1.117681e-03,1.119583e-03,1.134690e-03,1.137555e-03,1.148509e-03,1.155206e-03,1.161100e-03,1.170769e-03,1.172520e-03,1.182830e-03,1.184380e-03,1.192085e-03,1.196170e-03,1.200344e-03,1.206270e-03,1.207661e-03,1.214091e-03,1.214806e-03,1.219686e-03,1.221897e-03,1.224497e-03,1.227658e-03,1.228571e-03,1.231956e-03,1.232198e-03,1.234694e-03,1.235619e-03,1.236830e-03,1.238016e-03,1.238402e-03,1.239448e-03,1.239480e-03,1.240006e-03,1.240094e-03,1.240108e-03,1.239935e-03,1.239788e-03,1.239076e-03,1.237999e-03,1.237583e-03,1.236587e-03,1.235518e-03,1.234863e-03,1.232938e-03,1.232852e-03,1.230576e-03,1.229895e-03,1.228057e-03,1.226438e-03,1.225315e-03,1.222610e-03,1.222367e-03,1.219232e-03,1.218453e-03,1.215925e-03,1.214005e-03,1.212463e-03,1.209299e-03,1.208859e-03,1.205127e-03,1.204366e-03,1.201279e-03,1.199237e-03,1.197328e-03,1.193936e-03,1.193283e-03,1.189156e-03,1.188489e-03,1.184956e-03,1.182917e-03,1.180692e-03,1.177240e-03,1.176372e-03,1.172004e-03,1.171477e-03,1.167595e-03,1.165644e-03,1.163153e-03,1.159758e-03,1.158683e-03,1.154191e-03,1.153831e-03,1.149683e-03,1.147876e-03,1.145164e-03,1.141906e-03,1.140638e-03,1.136110e-03,1.135929e-03,1.131585e-03,1.129957e-03,1.127065e-03,1.123997e-03,1.122555e-03,1.118057e-03,1.112145e-03,1.106266e-03,1.100426e-03,1.094630e-03,1.088884e-03,1.083191e-03,1.077554e-03,1.071977e-03,1.066463e-03,1.061014e-03,1.055632e-03,1.050320e-03,1.045078e-03,1.039909e-03,1.034813e-03,1.029791e-03,1.024844e-03,1.019973e-03,1.015178e-03,1.010459e-03,1.005816e-03,1.001249e-03,9.967589e-04,9.923446e-04
0.000000e+00,6.503062e-11,1.516476e-10,5.320240e-10,1.223855e-09,1.795049e-09,4.132901e-09,4.260130e-09,8.392029e-09,9.921842e-09,1.475733e-08,1.992902e-08,2.403938e-08,3.578643e-08,3.697070e-08,5.410621e-08,5.886366e-08,7.549647e-08,8.914856e-08,1.006004e-07,1.251052e-07,1.285889e-07,1.586826e-07,1.648977e-07,1.902767e-07,2.071446e-07,2.229217e-07,2.509011e-07,2.562725e-07,2.900465e-07,2.954728e-07,3.239985e-07,3.402933e-07,3.579081e-07,3.848689e-07,3.915732e-07,4.248100e-07,4.287615e-07,4.574517e-07,4.715869e-07,4.893514e-07,5.130204e-07,5.203825e-07,5.504362e-07,5.527955e-07,5.794247e-07,5.907057e-07,6.072789e-07,6.266023e-07,6.339478e-07,6.593966e-07,6.603889e-07,6.836054e-07,6.920152e-07,7.065663e-07,7.214686e-07,7.282834e-07,7.487712e-07,7.680515e-07,7.739706e-07,7.861524e-07,7.971333e-07,8.031072e-07,8.183399e-07,8.189529e-07,8.337297e-07,8.376813e-07,8.474794e-07,8.552540e-07,8.602449e-07,8.711574e-07,8.720698e-07,8.829976e-07,8.854916e-07,8.930716e-07,8.983561e-07,9.023345e-07,9.098480e-07,9.108279e-07,9.185924e-07,9.200612e-07,9.256670e-07,9.290859e-07,9.320899e-07,9.370080e-07,9.378973e-07,9.431244e-07,9.439091e-07,9.478044e-07,9.498661e-07,9.519696e-07,9.549515e-07,9.556503e-07,9.588755e-07,9.592333e-07,9.616730e-07,9.627751e-07,9.640689e-07,9.656365e-07,9.660880e-07,9.677541e-07,9.678728e-07,9.690895e-07,9.695358e-07,9.701152e-07,9.706734e-07,9.708514e-07,9.713170e-07,9.713303e-07,9.715299e-07,9.715480e-07,9.715070e-07,9.713650e-07,9.712643e-07,9.708169e-07,9.701790e-07,9.699368e-07,9.693640e-07,9.687554e-07,9.683846e-07,9.673009e-07,9.672528e-07,9.659799e-07,9.655996e-07,9.645763e-07,9.636757e-07,9.630523e-07,9.615518e-07,9.614171e-07,9.596796e-07,9.592484e-07,9.578483e-07,9.567847e-07,9.559310e-07,9.541784e-07,9.539350e-07,9.518674e-07,9.514459e-07,9.497347e-07,9.486020e-07,9.475431e-07,9.456608e-07,9.452983e-07,9.430058e-07,9.426349e-07,9.406708e-07,9.395362e-07,9.382979e-07,9.363755e-07,9.358918e-07,9.334567e-07,9.331627e-07,9.309965e-07,9.299070e-07,9.285149e-07,9.266169e-07,9.260156e-07,9.235016e-07,9.233000e-07,9.209761e-07,9.199634e-07,9.184420e-07,9.166137e-07,9.159020e-07,9.133585e-07,9.132567e-07,9.108139e-07,9.098980e-07,9.082704e-07,9.065424e-07,9.057300e-07,9.031946e-07,8.998586e-07,8.965382e-07,8.932369e-07,8.899577e-07,8.867034e-07,8.834765e-07,8.802794e-07,8.771140e-07,8.739821e-07,8.708854e-07,8.678253e-07,8.648031e-07,8.618198e-07,8.588763e-07,8.559737e-07,8.531124e-07,8.502931e-07,8.475163e-07,8.447824e-07,8.420916e-07,8.394441e-07,8.368402e-07,8.342797e-07,8.317628e-07
0.000000e+00,1.023404e-11,2.330634e-11,7.926562e-11,1.784947e-10,2.589117e-10,5.784001e-10,5.954204e-10,1.132137e-09,1.324110e-09,1.911881e-09,2.514514e-09,2.978328e-09,4.250349e-09,4.375243e-09,6.141456e-09,6.623336e-09,8.299073e-09,9.675948e-09,1.083716e-08,1.334523e-08,1.370414e-08,1.682114e-08,1.746711e-08,2.010551e-08,2.185526e-08,2.348594e-08,2.635775e-08,2.690555e-08,3.031946e-08,3.086263e-08,3.369142e-08,3.528609e-08,3.699157e-08,3.956309e-08,4.019498e-08,4.328091e-08,4.364248e-08,4.623244e-08,4.748498e-08,4.903625e-08,5.106208e-08,5.168233e-08,5.416378e-08,5.435504e-08,5.647658e-08,5.735408e-08,5.861930e-08,6.005707e-08,6.059267e-08,6.239939e-08,6.246825e-08,6.404368e-08,6.459688e-08,6.553100e-08,6.645597e-08,6.686779e-08,6.806116e-08,6.911872e-08,6.942973e-08,7.004831e-08,7.057979e-08,7.085793e-08,7.152966e-08,7.155551e-08,7.214890e-08,7.229741e-08,7.264570e-08,7.290051e-08,7.305329e-08,7.335553e-08,7.337870e-08,7.362863e-08,7.367809e-08,7.380938e-08,7.388263e-08,7.392693e-08,7.398251e-08,7.398683e-08,7.399431e-08,7.398995e-08,7.395421e-08,7.391606e-08,7.387103e-08,7.377093e-08,7.374895e-08,7.359181e-08,7.356366e-08,7.340319e-08,7.330243e-08,7.318635e-08,7.299461e-08,7.294432e-08,7.267988e-08,7.264676e-08,7.239557e-08,7.226479e-08,7.209374e-08,7.185394e-08,7.177652e-08,7.144586e-08,7.141889e-08,7.110358e-08,7.096378e-08,7.075130e-08,7.049231e-08,7.039051e-08,7.002260e-08,7.000775e-08,6.964880e-08,6.951301e-08,6.927024e-08,6.901064e-08,6.888796e-08,6.850290e-08,6.811591e-08,6.799179e-08,6.772776e-08,6.747907e-08,6.733916e-08,6.696627e-08,6.695074e-08,6.656308e-08,6.645474e-08,6.617668e-08,6.594566e-08,6.579203e-08,6.544005e-08,6.540954e-08,6.502959e-08,6.493881e-08,6.465251e-08,6.444271e-08,6.427861e-08,6.395241e-08,6.390815e-08,6.354138e-08,6.346849e-08,6.317850e-08,6.299141e-08,6.281971e-08,6.252159e-08,6.246515e-08,6.211497e-08,6.205936e-08,6.176930e-08,6.160500e-08,6.142822e-08,6.115874e-08,6.109184e-08,6.076021e-08,6.072074e-08,6.043341e-08,6.029116e-08,6.011147e-08,5.987007e-08,5.979443e-08,5.948232e-08,5.945756e-08,5.917514e-08,5.905365e-08,5.887290e-08,5.865835e-08,5.857561e-08,5.828325e-08,5.827166e-08,5.799581e-08,5.789353e-08,5.771327e-08,5.752392e-08,5.743559e-08,5.716276e-08,5.680997e-08,5.646546e-08,5.612914e-08,5.580088e-08,5.548058e-08,5.516812e-08,5.486335e-08,5.456616e-08,5.427641e-08,5.399395e-08,5.371865e-08,5.345037e-08,5.318896e-08,5.293428e-08,5.268619e-08,5.244454e-08,5.220919e-08,5.198000e-08,5.175683e-08,5.153953e-08,5.132797e-08,5.112202e-08,5.092153e-08,5.072638e-08
0.000000e+00,4.761449e-12,1.087138e-11,3.720624e-11,8.429614e-11,1.226908e-10,2.765020e-10,2.847391e-10,5.460044e-10,6.400124e-10,9.291195e-10,1.227000e-09,1.456947e-09,2.089103e-09,2.151209e-09,3.027937e-09,3.266202e-09,4.090166e-09,4.761529e-09,5.324254e-09,6.532793e-09,6.705380e-09,8.206417e-09,8.518781e-09,9.802647e-09,1.066302e-08,1.147245e-08,1.291783e-08,1.319662e-08,1.495774e-08,1.524187e-08,1.673989e-08,1.759846e-08,1.852851e-08,1.995519e-08,2.031048e-08,2.207418e-08,2.228410e-08,2.380954e-08,2.456185e-08,2.550799e-08,2.676974e-08,2.716249e-08,2.876736e-08,2.889346e-08,3.031824e-08,3.092272e-08,3.181191e-08,3.285063e-08,3.324613e-08,3.461953e-08,3.467319e-08,3.593148e-08,3.638872e-08,3.718197e-08,3.799742e-08,3.837148e-08,3.950088e-08,4.057139e-08,4.090175e-08,4.158445e-08,4.220341e-08,4.254170e-08,4.340978e-08,4.344489e-08,4.429590e-08,4.452509e-08,4.509664e-08,4.555376e-08,4.584904e-08,4.650025e-08,4.655507e-08,4.721666e-08,4.736905e-08,4.783573e-08,4.816453e-08,4.841414e-08,4.889098e-08,4.895374e-08,4.945631e-08,4.955253e-08,4.992357e-08,5.015316e-08,5.035721e-08,5.069666e-08,5.075883e-08,5.112999e-08,5.118666e-08,5.147220e-08,5.162659e-08,5.178687e-08,5.201973e-08,5.207541e-08,5.233911e-08,5.236915e-08,5.257925e-08,5.267777e-08,5.279705e-08,5.294834e-08,5.299365e-08,5.317016e-08,5.318344e-08,5.332763e-08,5.338552e-08,5.346708e-08,5.355687e-08,5.358947e-08,5.369571e-08,5.369963e-08,5.378667e-08,5.381584e-08,5.386319e-08,5.390739e-08,5.392607e-08,5.397606e-08,5.401387e-08,5.402352e-08,5.404021e-08,5.405133e-08,5.405571e-08,5.406097e-08,5.406099e-08,5.405666e-08,5.405380e-08,5.404327e-08,5.403111e-08,5.402136e-08,5.399411e-08,5.399143e-08,5.395397e-08,5.394391e-08,5.390944e-08,5.388158e-08,5.385828e-08,5.380810e-08,5.380090e-08,5.373769e-08,5.372439e-08,5.366904e-08,5.363131e-08,5.359530e-08,5.352967e-08,5.351680e-08,5.343388e-08,5.342022e-08,5.334682e-08,5.330366e-08,5.325594e-08,5.318065e-08,5.316149e-08,5.306375e-08,5.305181e-08,5.296296e-08,5.291770e-08,5.285935e-08,5.277887e-08,5.275315e-08,5.264458e-08,5.263580e-08,5.253383e-08,5.248896e-08,5.242109e-08,5.233879e-08,5.230655e-08,5.219037e-08,5.218569e-08,5.207273e-08,5.203004e-08,5.195376e-08,5.187219e-08,5.183363e-08,5.171247e-08,5.155117e-08,5.138858e-08,5.122497e-08,5.106058e-08,5.089564e-08,5.073035e-08,5.056492e-08,5.039951e-08,5.023431e-08,5.006947e-08,4.990512e-08,4.974141e-08,4.957844e-08,4.941635e-08,4.925522e-08,4.909515e-08,4.893624e-08,4.877855e-08,4.862217e-08,4.846715e-08,4.831356e-08,4.816146e-08,4.801088e-08,4.786188e-08
0.000000e+00,2.152474e-06,6.351080e-06,3.153076e-05,9.059371e-05,1.465250e-04,4.107628e-04,4.262175e-04,9.602899e-04,1.168167e-03,1.842605e-03,2.578389e-03,3.167335e-03,4.856154e-03,5.026695e-03,7.509436e-03,8.207482e-03,1.069915e-02,1.282279e-02,1.467128e-02,1.886357e-02,1.948770e-02,2.518869e-02,2.643653e-02,3.178436e-02,3.556079e-02,3.924973e-02,4.615073e-02,4.752623e-02,5.652877e-02,5.802987e-02,6.615493e-02,7.096451e-02,7.629355e-02,8.469699e-02,8.683095e-02,9.765536e-02,9.896842e-02,1.086596e-01,1.135321e-01,1.197426e-01,1.281606e-01,1.308109e-01,1.417788e-01,1.426495e-01,1.525688e-01,1.568193e-01,1.631123e-01,1.705169e-01,1.733492e-01,1.832279e-01,1.836150e-01,1.927055e-01,1.960123e-01,2.017470e-01,2.076320e-01,2.103252e-01,2.184201e-01,2.260183e-01,2.283435e-01,2.331125e-01,2.373872e-01,2.397009e-01,2.455523e-01,2.457861e-01,2.513751e-01,2.528524e-01,2.564782e-01,2.593123e-01,2.611087e-01,2.649646e-01,2.652821e-01,2.690157e-01,2.698484e-01,2.723284e-01,2.740069e-01,2.752398e-01,2.774860e-01,2.777702e-01,2.799403e-01,2.803329e-01,2.817707e-01,2.825952e-01,2.832822e-01,2.843200e-01,2.844947e-01,2.854281e-01,2.855528e-01,2.861016e-01,2.863379e-01,2.865335e-01,2.867172e-01,2.867417e-01,2.867432e-01,2.867302e-01,2.865540e-01,2.864143e-01,2.861895e-01,2.858042e-01,2.856642e-01,2.849919e-01,2.849321e-01,2.841853e-01,2.838278e-01,2.832566e-01,2.825188e-01,2.822172e-01,2.810777e-01,2.810302e-01,2.798480e-01,2.793851e-01,2.785374e-01,2.776044e-01,2.771545e-01,2.757072e-01,2.742031e-01,2.737109e-01,2.726491e-01,2.716313e-01,2.710515e-01,2.694824e-01,2.694163e-01,2.677490e-01,2.672770e-01,2.660545e-01,2.650268e-01,2.643377e-01,2.627420e-01,2.626027e-01,2.608535e-01,2.604320e-01,2.590938e-01,2.581050e-01,2.573269e-01,2.557685e-01,2.555558e-01,2.537834e-01,2.534289e-01,2.520121e-01,2.510923e-01,2.502444e-01,2.487637e-01,2.484823e-01,2.467277e-01,2.464478e-01,2.449825e-01,2.441486e-01,2.432482e-01,2.418696e-01,2.415263e-01,2.398179e-01,2.396139e-01,2.381243e-01,2.373841e-01,2.364465e-01,2.351826e-01,2.347855e-01,2.331420e-01,2.330113e-01,2.315167e-01,2.308718e-01,2.299103e-01,2.287657e-01,2.283233e-01,2.267563e-01,2.266940e-01,2.252095e-01,2.246577e-01,2.236834e-01,2.226576e-01,2.221782e-01,2.206941e-01,2.187678e-01,2.168788e-01,2.150274e-01,2.132135e-01,2.114371e-01,2.096981e-01,2.079963e-01,2.063313e-01,2.047029e-01,2.031106e-01,2.015539e-01,2.000324e-01,1.985457e-01,1.970930e-01,1.956740e-01,1.942879e-01,1.929343e-01,1.916124e-01,1.903217e-01,1.890616e-01,1.878314e-01,1.866305e-01,1.854582e-01,1.843140e-01
0.000000e+00,1.978273e-10,5.198116e-10,2.107337e-09,5.209439e-09,7.842672e-09,1.878639e-08,1.938314e-08,3.860195e-08,4.561094e-08,6.735411e-08,8.997018e-08,1.075399e-07,1.562326e-07,1.610430e-07,2.293583e-07,2.480393e-07,3.129690e-07,3.662415e-07,4.111631e-07,5.085685e-07,5.225908e-07,6.458419e-07,6.717959e-07,7.796340e-07,8.529758e-07,9.227791e-07,1.049397e-06,1.074112e-06,1.232449e-06,1.258351e-06,1.396567e-06,1.477030e-06,1.565215e-06,1.702546e-06,1.737130e-06,1.911059e-06,1.932007e-06,2.085786e-06,2.162618e-06,2.260154e-06,2.391767e-06,2.433085e-06,2.603596e-06,2.617105e-06,2.770809e-06,2.836596e-06,2.933958e-06,3.048537e-06,3.092389e-06,3.245561e-06,3.251572e-06,3.393040e-06,3.444672e-06,3.534493e-06,3.627112e-06,3.669678e-06,3.798440e-06,3.920693e-06,3.958435e-06,4.036421e-06,4.107076e-06,4.145658e-06,4.244497e-06,4.248488e-06,4.345033e-06,4.370959e-06,4.435445e-06,4.486821e-06,4.519901e-06,4.592509e-06,4.598597e-06,4.671743e-06,4.688497e-06,4.739558e-06,4.775289e-06,4.802266e-06,4.853405e-06,4.860094e-06,4.913271e-06,4.923368e-06,4.962021e-06,4.985695e-06,5.006566e-06,5.040893e-06,5.047123e-06,5.083902e-06,5.089450e-06,5.117109e-06,5.131837e-06,5.146939e-06,5.168499e-06,5.173582e-06,5.197218e-06,5.199861e-06,5.218023e-06,5.226322e-06,5.236160e-06,5.248257e-06,5.251787e-06,5.265056e-06,5.266020e-06,5.276107e-06,5.279938e-06,5.285077e-06,5.290319e-06,5.292094e-06,5.297278e-06,5.297449e-06,5.300746e-06,5.301595e-06,5.302605e-06,5.303003e-06,5.302958e-06,5.301902e-06,5.299530e-06,5.298507e-06,5.295927e-06,5.293013e-06,5.291175e-06,5.285604e-06,5.285351e-06,5.278529e-06,5.276449e-06,5.270776e-06,5.265705e-06,5.262158e-06,5.253516e-06,5.252734e-06,5.242564e-06,5.240018e-06,5.231700e-06,5.225333e-06,5.220195e-06,5.209577e-06,5.208095e-06,5.195447e-06,5.192856e-06,5.182294e-06,5.175267e-06,5.168674e-06,5.156903e-06,5.154628e-06,5.140190e-06,5.137845e-06,5.125393e-06,5.118173e-06,5.110271e-06,5.097958e-06,5.094852e-06,5.079164e-06,5.077265e-06,5.063235e-06,5.056156e-06,5.047089e-06,5.034687e-06,5.030749e-06,5.014238e-06,5.012910e-06,4.997576e-06,4.990874e-06,4.980784e-06,4.968622e-06,4.963879e-06,4.946878e-06,4.946196e-06,4.929798e-06,4.923633e-06,4.912655e-06,4.900968e-06,4.895462e-06,4.878233e-06,4.855458e-06,4.832669e-06,4.809892e-06,4.787149e-06,4.764462e-06,4.741850e-06,4.719330e-06,4.696919e-06,4.674632e-06,4.652481e-06,4.630480e-06,4.608639e-06,4.586968e-06,4.565477e-06,4.544174e-06,4.523066e-06,4.502161e-06,4.481463e-06,4.460978e-06,4.440711e-06,4.420666e-06,4.400847e-06,4.381256e-06,4.361896e-06
0.000000e+00,1.066869e-09,3.116750e-09,1.518370e-08,4.298877e-08,6.905759e-08,1.912010e-07,1.983301e-07,4.455777e-07,5.426015e-07,8.611464e-07,1.214872e-06,1.501708e-06,2.333548e-06,2.417783e-06,3.635818e-06,3.973545e-06,5.156507e-06,6.135556e-06,6.966451e-06,8.784144e-06,9.047570e-06,1.138085e-05,1.187607e-05,1.394692e-05,1.536661e-05,1.672555e-05,1.920815e-05,1.969519e-05,2.283267e-05,2.334862e-05,2.611337e-05,2.773146e-05,2.951157e-05,3.229708e-05,3.300099e-05,3.655541e-05,3.698509e-05,4.014926e-05,4.173671e-05,4.375816e-05,4.649692e-05,4.735937e-05,5.093214e-05,5.121616e-05,5.445791e-05,5.585133e-05,5.792040e-05,6.036630e-05,6.130567e-05,6.460206e-05,6.473193e-05,6.780010e-05,6.892583e-05,7.089235e-05,7.293172e-05,7.387320e-05,7.673867e-05,7.948624e-05,8.034033e-05,8.211464e-05,8.373415e-05,8.462368e-05,8.692074e-05,8.701410e-05,8.928734e-05,8.990310e-05,9.144534e-05,9.268585e-05,9.349061e-05,9.527518e-05,9.542604e-05,9.725477e-05,9.767816e-05,9.898019e-05,9.990261e-05,1.006058e-04,1.019568e-04,1.021353e-04,1.035723e-04,1.038490e-04,1.049205e-04,1.055876e-04,1.061834e-04,1.071810e-04,1.073647e-04,1.084679e-04,1.086374e-04,1.094965e-04,1.099647e-04,1.104538e-04,1.111706e-04,1.113431e-04,1.121676e-04,1.122624e-04,1.129303e-04,1.132471e-04,1.136342e-04,1.141316e-04,1.142821e-04,1.148767e-04,1.149221e-04,1.154207e-04,1.156247e-04,1.159165e-04,1.162451e-04,1.163667e-04,1.167734e-04,1.167888e-04,1.171389e-04,1.172608e-04,1.174653e-04,1.176660e-04,1.177547e-04,1.180090e-04,1.182299e-04,1.182939e-04,1.184193e-04,1.185248e-04,1.185789e-04,1.187055e-04,1.187102e-04,1.188148e-04,1.188395e-04,1.188941e-04,1.189302e-04,1.189496e-04,1.189806e-04,1.189825e-04,1.189941e-04,1.189938e-04,1.189855e-04,1.189724e-04,1.189581e-04,1.189191e-04,1.189128e-04,1.188506e-04,1.188362e-04,1.187726e-04,1.187261e-04,1.186797e-04,1.185908e-04,1.185728e-04,1.184528e-04,1.184324e-04,1.183204e-04,1.182527e-04,1.181764e-04,1.180534e-04,1.180216e-04,1.178567e-04,1.178362e-04,1.176822e-04,1.176026e-04,1.174989e-04,1.173541e-04,1.173074e-04,1.171082e-04,1.170919e-04,1.169018e-04,1.168174e-04,1.166889e-04,1.165317e-04,1.164698e-04,1.162450e-04,1.162359e-04,1.160150e-04,1.159310e-04,1.157802e-04,1.156180e-04,1.155410e-04,1.152977e-04,1.149711e-04,1.146388e-04,1.143017e-04,1.139603e-04,1.136154e-04,1.132675e-04,1.129171e-04,1.125648e-04,1.122111e-04,1.118564e-04,1.115010e-04,1.111455e-04,1.107901e-04,1.104352e-04,1.100810e-04,1.097279e-04,1.093762e-04,1.090260e-04,1.086776e-04,1.083312e-04,1.079870e-04,1.076452e-04,1.073059e-04,1.069692e-04
0.000000e+00,4.910121e-09,1.446339e-08,7.158092e-08,2.051881e-07,3.315324e-07,9.279665e-07,9.628556e-07,2.170317e-06,2.641484e-06,4.175361e-06,5.857977e-06,7.211426e-06,1.112036e-05,1.151699e-05,1.731435e-05,1.894800e-05,2.477082e-05,2.970504e-05,3.396734e-05,4.349774e-05,4.489945e-05,5.750013e-05,6.021160e-05,7.166264e-05,7.960147e-05,8.725553e-05,1.013511e-04,1.041308e-04,1.221286e-04,1.251013e-04,1.410805e-04,1.504653e-04,1.608124e-04,1.770409e-04,1.811478e-04,2.019113e-04,2.044235e-04,2.229316e-04,2.322193e-04,2.440448e-04,2.600579e-04,2.650971e-04,2.859470e-04,2.876023e-04,3.064667e-04,3.145563e-04,3.265434e-04,3.406688e-04,3.460793e-04,3.649921e-04,3.657346e-04,3.832139e-04,3.895937e-04,4.006907e-04,4.121280e-04,4.173816e-04,4.332572e-04,4.482987e-04,4.529341e-04,4.624966e-04,4.711395e-04,4.758493e-04,4.878774e-04,4.883619e-04,5.000456e-04,5.031705e-04,5.109160e-04,5.170560e-04,5.209928e-04,5.295819e-04,5.302985e-04,5.388582e-04,5.408044e-04,5.466985e-04,5.507852e-04,5.538474e-04,5.595893e-04,5.603337e-04,5.661864e-04,5.672835e-04,5.714348e-04,5.739349e-04,5.761081e-04,5.796102e-04,5.802350e-04,5.838437e-04,5.843749e-04,5.869620e-04,5.882925e-04,5.896167e-04,5.914243e-04,5.918340e-04,5.936390e-04,5.938291e-04,5.950561e-04,5.955628e-04,5.961088e-04,5.966789e-04,5.968194e-04,5.972097e-04,5.972277e-04,5.973001e-04,5.972568e-04,5.971104e-04,5.968110e-04,5.966594e-04,5.959650e-04,5.959324e-04,5.950443e-04,5.946605e-04,5.939134e-04,5.930323e-04,5.925878e-04,5.910822e-04,5.894103e-04,5.888423e-04,5.875853e-04,5.863428e-04,5.856197e-04,5.836113e-04,5.835252e-04,5.813130e-04,5.806739e-04,5.789935e-04,5.775545e-04,5.765767e-04,5.742753e-04,5.740719e-04,5.714880e-04,5.708570e-04,5.688332e-04,5.673185e-04,5.661154e-04,5.636774e-04,5.633418e-04,5.605195e-04,5.599498e-04,5.576549e-04,5.561506e-04,5.547541e-04,5.522936e-04,5.518227e-04,5.488662e-04,5.483911e-04,5.458894e-04,5.444548e-04,5.428971e-04,5.404950e-04,5.398936e-04,5.368831e-04,5.365215e-04,5.338692e-04,5.325429e-04,5.308555e-04,5.285672e-04,5.278452e-04,5.248415e-04,5.246016e-04,5.218471e-04,5.206525e-04,5.188646e-04,5.167259e-04,5.158964e-04,5.129448e-04,5.128271e-04,5.100117e-04,5.089607e-04,5.070991e-04,5.051310e-04,5.042086e-04,5.013419e-04,4.975965e-04,4.938979e-04,4.902486e-04,4.866508e-04,4.831064e-04,4.796171e-04,4.761843e-04,4.728089e-04,4.694920e-04,4.662343e-04,4.630362e-04,4.598981e-04,4.568201e-04,4.538024e-04,4.508448e-04,4.479472e-04,4.451093e-04,4.423306e-04,4.396107e-04,4.369491e-04,4.343452e-04,4.317983e-04,4.293077e-04,4.268726e-04
0.000000e+00,3.745570e-09,1.096128e-08,5.376683e-08,1.540195e-07,2.497398e-07,7.168812e-07,7.450064e-07,1.770135e-06,2.195408e-06,3.660892e-06,5.374931e-06,6.804017e-06,1.102550e-05,1.145488e-05,1.763568e-05,1.933413e-05,2.522037e-05,3.001934e-05,3.404431e-05,4.271408e-05,4.395665e-05,5.483147e-05,5.711237e-05,6.656308e-05,7.297077e-05,7.905787e-05,9.007877e-05,9.222776e-05,1.059863e-04,1.082365e-04,1.202468e-04,1.272447e-04,1.349227e-04,1.469048e-04,1.499282e-04,1.651796e-04,1.670225e-04,1.805972e-04,1.874141e-04,1.961062e-04,2.079115e-04,2.116377e-04,2.271291e-04,2.283650e-04,2.425251e-04,2.486456e-04,2.577769e-04,2.686449e-04,2.728422e-04,2.876852e-04,2.882739e-04,3.022759e-04,3.074619e-04,3.165897e-04,3.261544e-04,3.306063e-04,3.443101e-04,3.576887e-04,3.618996e-04,3.707331e-04,3.789030e-04,3.834368e-04,3.953079e-04,3.957956e-04,4.078075e-04,4.111086e-04,4.194719e-04,4.263039e-04,4.307894e-04,4.408970e-04,4.417622e-04,4.523931e-04,4.548940e-04,4.626857e-04,4.683034e-04,4.726444e-04,4.811357e-04,4.822741e-04,4.915800e-04,4.934028e-04,5.005677e-04,5.051176e-04,5.092432e-04,5.162938e-04,5.176126e-04,5.256821e-04,5.269458e-04,5.334581e-04,5.370883e-04,5.409471e-04,5.467362e-04,5.481558e-04,5.550905e-04,5.559046e-04,5.617579e-04,5.646086e-04,5.681647e-04,5.728634e-04,5.743172e-04,5.802220e-04,5.806839e-04,5.858856e-04,5.880849e-04,5.913143e-04,5.950810e-04,5.965144e-04,6.014921e-04,6.016867e-04,6.062536e-04,6.079160e-04,6.108050e-04,6.137829e-04,6.151521e-04,6.193008e-04,6.232569e-04,6.244831e-04,6.270260e-04,6.293427e-04,6.306137e-04,6.338922e-04,6.340253e-04,6.372662e-04,6.381438e-04,6.403416e-04,6.421095e-04,6.432566e-04,6.458010e-04,6.460161e-04,6.486251e-04,6.492293e-04,6.510882e-04,6.524056e-04,6.534102e-04,6.553404e-04,6.555955e-04,6.576487e-04,6.580439e-04,6.595740e-04,6.605261e-04,6.613757e-04,6.627966e-04,6.630579e-04,6.646245e-04,6.648647e-04,6.660796e-04,6.667395e-04,6.674268e-04,6.684295e-04,6.686700e-04,6.698127e-04,6.699432e-04,6.708584e-04,6.712887e-04,6.718106e-04,6.724737e-04,6.726725e-04,6.734475e-04,6.735059e-04,6.741387e-04,6.743924e-04,6.747491e-04,6.751403e-04,6.752818e-04,6.757395e-04,6.757563e-04,6.761251e-04,6.762469e-04,6.764414e-04,6.766183e-04,6.766910e-04,6.768765e-04,6.770274e-04,6.770764e-04,6.770290e-04,6.768902e-04,6.766650e-04,6.763581e-04,6.759741e-04,6.755172e-04,6.749918e-04,6.744018e-04,6.737510e-04,6.730432e-04,6.722819e-04,6.714705e-04,6.706121e-04,6.697100e-04,6.687671e-04,6.677862e-04,6.667700e-04,6.657212e-04,6.646422e-04,6.635354e-04,6.624031e-04,6.612473e-04
0.000000e+00,2.266125e-10,5.428433e-10,1.956995e-09,4.544548e-09,6.675916e-09,1.529492e-08,1.575871e-08,3.053405e-08,3.587293e-08,5.234345e-08,6.937987e-08,8.257048e-08,1.189967e-07,1.225880e-07,1.735272e-07,1.874473e-07,2.358142e-07,2.754412e-07,3.087623e-07,3.804968e-07,3.907483e-07,4.798537e-07,4.983704e-07,5.743322e-07,6.250880e-07,6.727188e-07,7.574758e-07,7.737795e-07,8.764429e-07,8.929527e-07,9.797569e-07,1.029325e-06,1.082870e-06,1.164703e-06,1.185024e-06,1.285553e-06,1.297479e-06,1.383882e-06,1.426323e-06,1.479529e-06,1.550181e-06,1.572099e-06,1.661279e-06,1.668259e-06,1.746832e-06,1.779998e-06,1.828589e-06,1.885040e-06,1.906440e-06,1.980328e-06,1.983201e-06,2.050241e-06,2.074441e-06,2.116206e-06,2.158833e-06,2.178275e-06,2.236520e-06,2.291038e-06,2.307715e-06,2.341941e-06,2.372676e-06,2.389348e-06,2.431689e-06,2.433387e-06,2.474194e-06,2.485059e-06,2.511903e-06,2.533098e-06,2.546650e-06,2.576119e-06,2.578572e-06,2.607804e-06,2.614434e-06,2.634478e-06,2.648346e-06,2.658723e-06,2.678150e-06,2.680666e-06,2.700429e-06,2.704130e-06,2.718129e-06,2.726556e-06,2.733880e-06,2.745686e-06,2.747793e-06,2.759971e-06,2.761765e-06,2.770516e-06,2.775025e-06,2.779523e-06,2.785684e-06,2.787085e-06,2.793289e-06,2.793947e-06,2.798220e-06,2.800006e-06,2.801956e-06,2.804044e-06,2.804574e-06,2.806146e-06,2.806229e-06,2.806741e-06,2.806719e-06,2.806423e-06,2.805663e-06,2.805254e-06,2.803293e-06,2.803199e-06,2.800596e-06,2.799455e-06,2.797215e-06,2.794551e-06,2.793201e-06,2.788599e-06,2.783455e-06,2.781702e-06,2.777811e-06,2.773955e-06,2.771707e-06,2.765450e-06,2.765181e-06,2.758267e-06,2.756267e-06,2.751000e-06,2.746484e-06,2.743412e-06,2.736171e-06,2.735531e-06,2.727386e-06,2.725395e-06,2.719003e-06,2.714215e-06,2.710408e-06,2.702687e-06,2.701623e-06,2.692672e-06,2.690863e-06,2.683573e-06,2.678790e-06,2.674347e-06,2.666512e-06,2.665012e-06,2.655584e-06,2.654068e-06,2.646081e-06,2.641496e-06,2.636516e-06,2.628829e-06,2.626904e-06,2.617258e-06,2.616098e-06,2.607589e-06,2.603331e-06,2.597911e-06,2.590554e-06,2.588232e-06,2.578563e-06,2.577790e-06,2.568912e-06,2.565060e-06,2.559290e-06,2.552383e-06,2.549703e-06,2.540159e-06,2.539778e-06,2.530664e-06,2.527259e-06,2.521225e-06,2.514841e-06,2.511847e-06,2.502537e-06,2.490357e-06,2.478313e-06,2.466413e-06,2.454665e-06,2.443075e-06,2.431650e-06,2.420395e-06,2.409315e-06,2.398413e-06,2.387691e-06,2.377154e-06,2.366801e-06,2.356636e-06,2.346658e-06,2.336869e-06,2.327268e-06,2.317856e-06,2.308631e-06,2.299594e-06,2.290742e-06,2.282075e-06,2.273591e-06,2.265289e-06,2.257167e-06
0.000000e+00,9.792079e-10,2.862665e-09,1.394000e-08,3.934743e-08,6.302090e-08,1.722690e-07,1.785678e-07,3.924897e-07,4.742989e-07,7.359638e-07,1.016608e-06,1.238550e-06,1.865147e-06,1.927749e-06,2.827639e-06,3.077071e-06,3.955179e-06,4.688422e-06,5.315149e-06,6.696875e-06,6.897958e-06,8.682415e-06,9.061120e-06,1.064069e-05,1.171765e-05,1.274246e-05,1.459652e-05,1.495726e-05,1.725562e-05,1.762922e-05,1.960950e-05,2.075124e-05,2.199241e-05,2.390289e-05,2.437952e-05,2.674778e-05,2.702968e-05,2.907609e-05,3.008294e-05,3.134552e-05,3.302058e-05,3.353943e-05,3.564365e-05,3.580775e-05,3.764654e-05,3.841721e-05,3.953901e-05,4.082938e-05,4.131440e-05,4.296845e-05,4.303205e-05,4.449900e-05,4.501968e-05,4.590586e-05,4.679257e-05,4.719052e-05,4.835587e-05,4.940599e-05,4.971848e-05,5.034583e-05,5.089204e-05,5.118103e-05,5.189000e-05,5.191765e-05,5.256209e-05,5.272689e-05,5.312081e-05,5.341760e-05,5.360029e-05,5.397688e-05,5.400687e-05,5.434668e-05,5.441896e-05,5.462559e-05,5.475727e-05,5.484916e-05,5.500428e-05,5.502261e-05,5.515078e-05,5.517138e-05,5.523818e-05,5.526890e-05,5.528894e-05,5.530607e-05,5.530688e-05,5.529543e-05,5.529109e-05,5.525776e-05,5.523121e-05,5.519670e-05,5.513275e-05,5.511483e-05,5.501445e-05,5.500126e-05,5.489765e-05,5.484155e-05,5.476632e-05,5.465783e-05,5.462213e-05,5.446661e-05,5.445372e-05,5.430110e-05,5.423237e-05,5.412681e-05,5.399652e-05,5.394485e-05,5.375619e-05,5.374851e-05,5.356170e-05,5.349042e-05,5.336218e-05,5.322400e-05,5.315835e-05,5.295083e-05,5.274021e-05,5.267224e-05,5.252700e-05,5.238941e-05,5.231169e-05,5.210339e-05,5.209468e-05,5.187638e-05,5.181507e-05,5.165713e-05,5.152525e-05,5.143724e-05,5.123463e-05,5.121701e-05,5.099670e-05,5.094383e-05,5.077654e-05,5.065340e-05,5.055675e-05,5.036380e-05,5.033753e-05,5.011907e-05,5.007548e-05,4.990152e-05,4.978880e-05,4.968503e-05,4.950411e-05,4.946975e-05,4.925579e-05,4.922168e-05,4.904326e-05,4.894179e-05,4.883228e-05,4.866466e-05,4.862292e-05,4.841528e-05,4.839048e-05,4.820943e-05,4.811944e-05,4.800544e-05,4.785169e-05,4.780337e-05,4.760328e-05,4.758736e-05,4.740521e-05,4.732656e-05,4.720920e-05,4.706938e-05,4.701531e-05,4.682355e-05,4.681593e-05,4.663396e-05,4.656625e-05,4.644657e-05,4.632040e-05,4.626139e-05,4.607844e-05,4.584040e-05,4.560630e-05,4.537615e-05,4.514997e-05,4.492776e-05,4.470952e-05,4.449523e-05,4.428488e-05,4.407845e-05,4.387592e-05,4.367725e-05,4.348242e-05,4.329139e-05,4.310412e-05,4.292057e-05,4.274070e-05,4.256448e-05,4.239184e-05,4.222275e-05,4.205715e-05,4.189500e-05,4.173624e-05,4.158083e-05,4.142872e-05
0.000000e+00,3.879092e-10,1.111867e-09,5.218519e-09,1.431868e-08,2.263257e-08,6.030135e-08,6.245841e-08,1.357311e-07,1.639270e-07,2.552016e-07,3.550685e-07,4.353545e-07,6.661678e-07,6.894140e-07,1.023005e-06,1.114564e-06,1.431597e-06,1.689443e-06,1.905036e-06,2.366812e-06,2.432672e-06,3.005408e-06,3.124683e-06,3.615707e-06,3.945708e-06,4.257012e-06,4.815195e-06,4.923214e-06,5.608357e-06,5.719342e-06,6.306524e-06,6.644549e-06,7.011871e-06,7.577497e-06,7.718725e-06,8.421701e-06,8.505557e-06,9.115828e-06,9.417269e-06,9.796640e-06,1.030274e-05,1.046025e-05,1.110337e-05,1.115385e-05,1.172336e-05,1.196439e-05,1.231814e-05,1.272992e-05,1.288623e-05,1.342666e-05,1.344769e-05,1.393889e-05,1.411636e-05,1.442280e-05,1.473577e-05,1.487858e-05,1.530672e-05,1.570790e-05,1.583072e-05,1.608299e-05,1.630979e-05,1.643295e-05,1.674628e-05,1.675887e-05,1.706186e-05,1.714275e-05,1.734308e-05,1.750185e-05,1.760369e-05,1.782622e-05,1.784482e-05,1.806761e-05,1.811848e-05,1.827315e-05,1.838111e-05,1.846249e-05,1.861650e-05,1.863663e-05,1.879652e-05,1.882687e-05,1.894308e-05,1.901430e-05,1.907715e-05,1.918071e-05,1.919954e-05,1.931101e-05,1.932788e-05,1.941226e-05,1.945743e-05,1.950396e-05,1.957086e-05,1.958672e-05,1.966113e-05,1.966952e-05,1.972772e-05,1.975467e-05,1.978699e-05,1.982744e-05,1.983942e-05,1.988544e-05,1.988885e-05,1.992545e-05,1.993986e-05,1.995985e-05,1.998133e-05,1.998898e-05,2.001316e-05,2.001403e-05,2.003272e-05,2.003869e-05,2.004794e-05,2.005595e-05,2.005909e-05,2.006641e-05,2.007014e-05,2.007061e-05,2.007050e-05,2.006906e-05,2.006770e-05,2.006222e-05,2.006193e-05,2.005337e-05,2.005049e-05,2.004218e-05,2.003428e-05,2.002853e-05,2.001392e-05,2.001256e-05,1.999442e-05,1.998976e-05,1.997424e-05,1.996208e-05,1.995213e-05,1.993118e-05,1.992822e-05,1.990262e-05,1.989730e-05,1.987542e-05,1.986068e-05,1.984673e-05,1.982155e-05,1.981664e-05,1.978524e-05,1.978010e-05,1.975261e-05,1.973653e-05,1.971882e-05,1.969101e-05,1.968395e-05,1.964808e-05,1.964371e-05,1.961126e-05,1.959477e-05,1.957355e-05,1.954435e-05,1.953503e-05,1.949574e-05,1.949257e-05,1.945574e-05,1.943955e-05,1.941508e-05,1.938542e-05,1.937380e-05,1.933196e-05,1.933027e-05,1.928959e-05,1.927421e-05,1.924674e-05,1.921734e-05,1.920344e-05,1.915974e-05,1.910150e-05,1.904269e-05,1.898338e-05,1.892365e-05,1.886356e-05,1.880316e-05,1.874251e-05,1.868168e-05,1.862069e-05,1.855961e-05,1.849848e-05,1.843733e-05,1.837621e-05,1.831516e-05,1.825419e-05,1.819336e-05,1.813268e-05,1.807218e-05,1.801190e-05,1.795185e-05,1.789207e-05,1.783256e-05,1.777335e-05,1.771446e-05
0.000000e+00,3.579912e-12,8.138430e-12,2.760112e-11,6.210537e-11,9.013856e-11,2.025394e-10,2.085798e-10,4.019864e-10,4.725499e-10,6.929573e-10,9.252086e-10,1.107712e-09,1.620690e-09,1.671754e-09,2.398177e-09,2.595856e-09,3.273870e-09,3.815754e-09,4.260656e-09,5.184901e-09,5.313369e-09,6.394844e-09,6.612138e-09,7.479210e-09,8.038278e-09,8.549314e-09,9.428565e-09,9.593529e-09,1.060356e-08,1.076156e-08,1.157320e-08,1.202282e-08,1.249766e-08,1.320225e-08,1.337334e-08,1.419761e-08,1.429298e-08,1.496884e-08,1.529113e-08,1.568620e-08,1.619531e-08,1.634964e-08,1.695984e-08,1.700638e-08,1.751801e-08,1.772709e-08,1.802591e-08,1.836163e-08,1.848563e-08,1.889956e-08,1.891520e-08,1.927027e-08,1.939367e-08,1.960046e-08,1.980322e-08,1.989282e-08,2.015005e-08,2.037479e-08,2.044028e-08,2.056964e-08,2.067980e-08,2.073706e-08,2.087411e-08,2.087935e-08,2.099870e-08,2.102829e-08,2.109715e-08,2.114697e-08,2.117657e-08,2.123434e-08,2.123872e-08,2.128518e-08,2.129417e-08,2.131744e-08,2.132980e-08,2.133683e-08,2.134424e-08,2.134459e-08,2.134183e-08,2.134010e-08,2.132957e-08,2.131975e-08,2.130873e-08,2.128522e-08,2.128016e-08,2.124463e-08,2.123834e-08,2.120282e-08,2.118071e-08,2.115537e-08,2.111373e-08,2.110285e-08,2.104578e-08,2.103865e-08,2.098464e-08,2.095656e-08,2.091986e-08,2.086844e-08,2.085183e-08,2.078091e-08,2.077512e-08,2.070741e-08,2.067737e-08,2.063165e-08,2.057585e-08,2.055389e-08,2.047437e-08,2.047115e-08,2.039332e-08,2.036381e-08,2.031095e-08,2.025428e-08,2.022745e-08,2.014298e-08,2.005772e-08,2.003029e-08,1.997179e-08,1.991652e-08,1.988535e-08,1.980198e-08,1.979850e-08,1.971136e-08,1.968692e-08,1.962403e-08,1.957159e-08,1.953661e-08,1.945618e-08,1.944919e-08,1.936183e-08,1.934089e-08,1.927463e-08,1.922588e-08,1.918763e-08,1.911131e-08,1.910092e-08,1.901453e-08,1.899730e-08,1.892852e-08,1.888397e-08,1.884295e-08,1.877143e-08,1.875785e-08,1.867326e-08,1.865978e-08,1.858923e-08,1.854910e-08,1.850578e-08,1.843946e-08,1.842294e-08,1.834074e-08,1.833092e-08,1.825921e-08,1.822355e-08,1.817837e-08,1.811740e-08,1.809823e-08,1.801883e-08,1.801251e-08,1.794017e-08,1.790892e-08,1.786227e-08,1.780665e-08,1.778514e-08,1.770879e-08,1.770575e-08,1.763324e-08,1.760623e-08,1.755848e-08,1.750812e-08,1.748454e-08,1.741142e-08,1.731615e-08,1.722233e-08,1.712995e-08,1.703902e-08,1.694955e-08,1.686152e-08,1.677495e-08,1.668983e-08,1.660614e-08,1.652389e-08,1.644307e-08,1.636366e-08,1.628565e-08,1.620904e-08,1.613380e-08,1.605993e-08,1.598742e-08,1.591624e-08,1.584639e-08,1.577784e-08,1.571059e-08,1.564460e-08,1.557988e-08,1.551639e-08
0.000000e+00,1.120061e-10,2.719819e-10,9.969318e-10,2.335531e-09,3.442469e-09,7.928596e-09,8.170007e-09,1.584316e-08,1.860431e-08,2.707677e-08,3.576586e-08,4.244358e-08,6.068955e-08,6.247552e-08,8.765324e-08,9.450820e-08,1.183737e-07,1.381002e-07,1.548879e-07,1.918410e-07,1.972232e-07,2.451454e-07,2.553633e-07,2.982030e-07,3.276348e-07,3.558241e-07,4.073073e-07,4.174003e-07,4.823296e-07,4.929903e-07,5.500300e-07,5.833453e-07,6.199417e-07,6.771015e-07,6.915277e-07,7.642751e-07,7.730595e-07,8.376990e-07,8.701017e-07,9.113458e-07,9.672075e-07,9.847969e-07,1.057672e-06,1.063467e-06,1.129631e-06,1.158089e-06,1.200374e-06,1.250408e-06,1.269641e-06,1.337213e-06,1.339878e-06,1.402906e-06,1.426066e-06,1.466572e-06,1.508647e-06,1.528096e-06,1.587389e-06,1.644389e-06,1.662138e-06,1.699058e-06,1.732813e-06,1.751377e-06,1.799389e-06,1.801342e-06,1.848967e-06,1.861885e-06,1.894275e-06,1.920362e-06,1.937301e-06,1.974906e-06,1.978088e-06,2.016686e-06,2.025630e-06,2.053150e-06,2.072659e-06,2.087538e-06,2.116133e-06,2.119914e-06,2.150342e-06,2.156199e-06,2.178887e-06,2.193009e-06,2.205618e-06,2.226717e-06,2.230599e-06,2.253900e-06,2.257476e-06,2.275585e-06,2.285440e-06,2.295721e-06,2.310758e-06,2.314373e-06,2.331603e-06,2.333579e-06,2.347474e-06,2.354042e-06,2.362046e-06,2.372287e-06,2.375376e-06,2.387522e-06,2.388444e-06,2.398539e-06,2.402642e-06,2.408481e-06,2.415002e-06,2.417399e-06,2.425343e-06,2.425642e-06,2.432362e-06,2.434671e-06,2.438501e-06,2.442196e-06,2.443806e-06,2.448318e-06,2.452081e-06,2.453133e-06,2.455133e-06,2.456731e-06,2.457513e-06,2.459199e-06,2.459257e-06,2.460401e-06,2.460618e-06,2.460978e-06,2.461065e-06,2.461020e-06,2.460613e-06,2.460559e-06,2.459623e-06,2.459331e-06,2.458242e-06,2.457284e-06,2.456443e-06,2.454533e-06,2.454250e-06,2.451690e-06,2.451136e-06,2.448785e-06,2.447147e-06,2.445559e-06,2.442616e-06,2.442033e-06,2.438226e-06,2.437593e-06,2.434160e-06,2.432122e-06,2.429853e-06,2.426245e-06,2.425321e-06,2.420583e-06,2.420002e-06,2.415655e-06,2.413430e-06,2.410551e-06,2.406565e-06,2.405287e-06,2.399876e-06,2.399438e-06,2.394332e-06,2.392080e-06,2.388667e-06,2.384519e-06,2.382892e-06,2.377020e-06,2.376783e-06,2.371060e-06,2.368895e-06,2.365023e-06,2.360879e-06,2.358919e-06,2.352757e-06,2.344548e-06,2.336271e-06,2.327943e-06,2.319580e-06,2.311196e-06,2.302806e-06,2.294422e-06,2.286056e-06,2.277718e-06,2.269418e-06,2.261165e-06,2.252967e-06,2.244832e-06,2.236766e-06,2.228777e-06,2.220868e-06,2.213046e-06,2.205314e-06,2.197677e-06,2.190139e-06,2.182702e-06,2.175369e-06,2.168143e-06,2.161026e-06
0.000000e+00,2.090141e-09,6.151093e-09,3.039643e-08,8.708300e-08,1.407297e-07,3.949795e-07,4.099091e-07,9.306450e-07,1.135948e-06,1.812050e-06,2.566151e-06,3.180936e-06,4.987606e-06,5.172843e-06,7.899312e-06,8.669730e-06,1.140574e-05,1.370109e-05,1.566154e-05,1.996258e-05,2.058539e-05,2.607440e-05,2.723059e-05,3.202193e-05,3.526155e-05,3.832541e-05,4.382501e-05,4.488890e-05,5.162350e-05,5.271135e-05,5.844731e-05,6.173213e-05,6.528534e-05,7.072019e-05,7.206978e-05,7.874029e-05,7.953051e-05,8.524417e-05,8.804127e-05,9.153663e-05,9.615447e-05,9.758070e-05,1.033471e-04,1.037957e-04,1.088137e-04,1.109128e-04,1.139652e-04,1.174738e-04,1.187923e-04,1.232910e-04,1.234641e-04,1.274618e-04,1.288837e-04,1.313091e-04,1.337442e-04,1.348404e-04,1.380658e-04,1.409969e-04,1.418749e-04,1.436471e-04,1.452021e-04,1.460303e-04,1.480806e-04,1.481611e-04,1.500546e-04,1.505442e-04,1.517254e-04,1.526271e-04,1.531882e-04,1.543626e-04,1.544573e-04,1.555464e-04,1.557824e-04,1.564686e-04,1.569168e-04,1.572365e-04,1.577940e-04,1.578619e-04,1.583561e-04,1.584402e-04,1.587297e-04,1.588795e-04,1.589923e-04,1.591341e-04,1.591534e-04,1.592214e-04,1.592242e-04,1.592043e-04,1.591681e-04,1.591097e-04,1.589827e-04,1.589443e-04,1.587145e-04,1.586829e-04,1.584263e-04,1.582824e-04,1.580851e-04,1.577935e-04,1.576960e-04,1.572636e-04,1.572272e-04,1.567922e-04,1.565936e-04,1.562858e-04,1.559016e-04,1.557480e-04,1.551823e-04,1.551591e-04,1.545917e-04,1.543735e-04,1.539791e-04,1.535513e-04,1.533471e-04,1.526981e-04,1.520345e-04,1.518193e-04,1.513581e-04,1.509195e-04,1.506710e-04,1.500029e-04,1.499749e-04,1.492713e-04,1.490731e-04,1.485617e-04,1.481336e-04,1.478475e-04,1.471873e-04,1.471298e-04,1.464099e-04,1.462369e-04,1.456888e-04,1.452847e-04,1.449673e-04,1.443329e-04,1.442465e-04,1.435270e-04,1.433833e-04,1.428095e-04,1.424375e-04,1.420949e-04,1.414971e-04,1.413836e-04,1.406762e-04,1.405634e-04,1.399731e-04,1.396374e-04,1.392750e-04,1.387202e-04,1.385821e-04,1.378948e-04,1.378127e-04,1.372134e-04,1.369156e-04,1.365383e-04,1.360296e-04,1.358697e-04,1.352079e-04,1.351553e-04,1.345530e-04,1.342931e-04,1.339053e-04,1.334434e-04,1.332649e-04,1.326319e-04,1.326067e-04,1.320064e-04,1.317832e-04,1.313887e-04,1.309731e-04,1.307787e-04,1.301765e-04,1.293937e-04,1.286248e-04,1.278697e-04,1.271286e-04,1.264013e-04,1.256880e-04,1.249884e-04,1.243027e-04,1.236306e-04,1.229721e-04,1.223270e-04,1.216952e-04,1.210766e-04,1.204710e-04,1.198782e-04,1.192981e-04,1.187305e-04,1.181752e-04,1.176321e-04,1.171009e-04,1.165814e-04,1.160734e-04,1.155768e-04,1.150914e-04
0.000000e+00,6.840185e-10,1.914704e-09,8.594769e-09,2.274261e-08,3.528758e-08,8.990257e-08,9.295531e-08,1.936928e-07,2.312991e-07,3.500004e-07,4.760143e-07,5.753386e-07,8.558509e-07,8.839278e-07,1.288572e-06,1.400897e-06,1.795460e-06,2.122308e-06,2.398680e-06,2.995645e-06,3.080984e-06,3.820857e-06,3.973949e-06,4.598737e-06,5.012939e-06,5.399074e-06,6.079845e-06,6.209855e-06,7.021520e-06,7.150921e-06,7.826147e-06,8.207842e-06,8.616966e-06,9.235734e-06,9.388148e-06,1.013472e-05,1.022245e-05,1.085254e-05,1.115840e-05,1.153831e-05,1.203647e-05,1.218950e-05,1.280436e-05,1.285194e-05,1.338182e-05,1.360221e-05,1.392143e-05,1.428654e-05,1.442327e-05,1.488789e-05,1.490571e-05,1.531617e-05,1.546167e-05,1.570930e-05,1.595725e-05,1.606867e-05,1.639586e-05,1.669249e-05,1.678124e-05,1.696029e-05,1.711734e-05,1.720097e-05,1.740811e-05,1.741626e-05,1.760782e-05,1.765744e-05,1.777730e-05,1.786904e-05,1.792626e-05,1.804645e-05,1.805618e-05,1.816849e-05,1.819298e-05,1.826453e-05,1.831168e-05,1.834555e-05,1.840537e-05,1.841274e-05,1.846720e-05,1.847665e-05,1.850994e-05,1.852787e-05,1.854194e-05,1.856116e-05,1.856407e-05,1.857715e-05,1.857846e-05,1.858195e-05,1.858151e-05,1.857915e-05,1.857188e-05,1.856940e-05,1.855329e-05,1.855095e-05,1.853136e-05,1.852001e-05,1.850417e-05,1.848028e-05,1.847219e-05,1.843585e-05,1.843276e-05,1.839554e-05,1.837839e-05,1.835165e-05,1.831802e-05,1.830452e-05,1.825446e-05,1.825240e-05,1.820175e-05,1.818219e-05,1.814667e-05,1.810799e-05,1.808946e-05,1.803035e-05,1.796956e-05,1.794978e-05,1.790726e-05,1.786670e-05,1.784366e-05,1.778151e-05,1.777890e-05,1.771315e-05,1.769458e-05,1.764654e-05,1.760622e-05,1.757920e-05,1.751672e-05,1.751127e-05,1.744284e-05,1.742635e-05,1.737401e-05,1.733534e-05,1.730490e-05,1.724390e-05,1.723557e-05,1.716612e-05,1.715222e-05,1.709662e-05,1.706048e-05,1.702713e-05,1.696882e-05,1.695772e-05,1.688845e-05,1.687738e-05,1.681937e-05,1.678629e-05,1.675053e-05,1.669566e-05,1.668197e-05,1.661374e-05,1.660558e-05,1.654588e-05,1.651614e-05,1.647841e-05,1.642743e-05,1.641138e-05,1.634481e-05,1.633951e-05,1.627873e-05,1.625244e-05,1.621316e-05,1.616628e-05,1.614813e-05,1.608365e-05,1.608108e-05,1.601974e-05,1.599688e-05,1.595643e-05,1.591371e-05,1.589371e-05,1.583161e-05,1.575061e-05,1.567072e-05,1.559197e-05,1.551437e-05,1.543794e-05,1.536268e-05,1.528860e-05,1.521571e-05,1.514401e-05,1.507350e-05,1.500418e-05,1.493605e-05,1.486910e-05,1.480333e-05,1.473873e-05,1.467529e-05,1.461301e-05,1.455188e-05,1.449188e-05,1.443300e-05,1.437523e-05,1.431857e-05,1.426299e-05,1.420849e-05
0.000000e+00,1.215605e-10,2.851666e-10,1.006914e-09,2.323876e-09,3.413346e-09,7.886937e-09,8.130993e-09,1.608542e-08,1.904190e-08,2.840420e-08,3.839126e-08,4.625743e-08,6.811167e-08,7.025349e-08,9.999301e-08,1.078839e-07,1.345613e-07,1.557118e-07,1.731333e-07,2.098985e-07,2.150965e-07,2.599711e-07,2.692574e-07,3.073298e-07,3.327998e-07,3.567555e-07,3.995610e-07,4.078248e-07,4.601079e-07,4.685570e-07,5.131752e-07,5.388024e-07,5.666078e-07,6.093487e-07,6.200079e-07,6.730072e-07,6.793240e-07,7.252734e-07,7.479617e-07,7.765152e-07,8.146188e-07,8.264833e-07,8.749708e-07,8.787806e-07,9.218118e-07,9.400573e-07,9.668781e-07,9.981733e-07,1.010076e-06,1.051344e-06,1.052954e-06,1.090644e-06,1.104307e-06,1.127964e-06,1.152212e-06,1.163309e-06,1.196701e-06,1.228174e-06,1.237848e-06,1.257773e-06,1.275756e-06,1.285549e-06,1.310552e-06,1.311559e-06,1.335866e-06,1.342375e-06,1.358533e-06,1.371374e-06,1.379626e-06,1.397699e-06,1.399212e-06,1.417356e-06,1.421504e-06,1.434125e-06,1.442939e-06,1.449583e-06,1.462152e-06,1.463793e-06,1.476816e-06,1.479284e-06,1.488712e-06,1.494472e-06,1.499538e-06,1.507846e-06,1.509350e-06,1.518199e-06,1.519530e-06,1.526138e-06,1.529640e-06,1.533215e-06,1.538287e-06,1.539477e-06,1.544967e-06,1.545576e-06,1.549729e-06,1.551604e-06,1.553803e-06,1.556463e-06,1.557227e-06,1.560039e-06,1.560239e-06,1.562273e-06,1.563013e-06,1.563963e-06,1.564860e-06,1.565139e-06,1.565833e-06,1.565851e-06,1.566072e-06,1.566052e-06,1.565884e-06,1.565525e-06,1.565295e-06,1.564328e-06,1.563007e-06,1.562513e-06,1.561354e-06,1.560131e-06,1.559389e-06,1.557229e-06,1.557133e-06,1.554604e-06,1.553850e-06,1.551821e-06,1.550035e-06,1.548798e-06,1.545821e-06,1.545554e-06,1.542102e-06,1.541244e-06,1.538457e-06,1.536337e-06,1.534633e-06,1.531130e-06,1.530643e-06,1.526498e-06,1.525651e-06,1.522210e-06,1.519927e-06,1.517790e-06,1.513982e-06,1.513248e-06,1.508594e-06,1.507840e-06,1.503838e-06,1.501521e-06,1.498987e-06,1.495045e-06,1.494051e-06,1.489037e-06,1.488431e-06,1.483952e-06,1.481695e-06,1.478804e-06,1.474853e-06,1.473599e-06,1.468343e-06,1.467921e-06,1.463043e-06,1.460911e-06,1.457703e-06,1.453837e-06,1.452329e-06,1.446926e-06,1.446710e-06,1.441499e-06,1.439541e-06,1.436052e-06,1.432339e-06,1.430590e-06,1.425115e-06,1.417877e-06,1.410633e-06,1.403391e-06,1.396156e-06,1.388936e-06,1.381736e-06,1.374561e-06,1.367417e-06,1.360307e-06,1.353237e-06,1.346209e-06,1.339228e-06,1.332295e-06,1.325415e-06,1.318590e-06,1.311822e-06,1.305113e-06,1.298466e-06,1.291881e-06,1.285361e-06,1.278906e-06,1.272518e-06,1.266199e-06,1.259948e-06
0.000000e+00,2.799227e-10,7.565923e-10,3.203604e-09,8.141341e-09,1.240293e-08,3.041053e-08,3.140076e-08,6.352482e-08,7.531358e-08,1.120184e-07,1.503298e-07,1.801543e-07,2.630697e-07,2.712859e-07,3.887231e-07,4.211534e-07,5.352435e-07,6.305909e-07,7.122109e-07,8.925867e-07,9.188826e-07,1.152695e-06,1.202420e-06,1.410280e-06,1.552501e-06,1.688306e-06,1.935440e-06,1.983774e-06,2.294007e-06,2.344848e-06,2.616543e-06,2.775041e-06,2.949047e-06,3.220710e-06,3.289265e-06,3.635011e-06,3.676771e-06,3.984172e-06,4.138362e-06,4.334731e-06,4.600915e-06,4.684785e-06,5.032569e-06,5.060244e-06,5.376472e-06,5.512618e-06,5.715053e-06,5.954817e-06,6.047044e-06,6.371354e-06,6.384153e-06,6.687067e-06,6.798470e-06,6.993433e-06,7.196114e-06,7.289859e-06,7.575897e-06,7.851231e-06,7.937043e-06,8.115666e-06,8.279137e-06,8.369108e-06,8.602067e-06,8.611554e-06,8.843079e-06,8.905967e-06,9.063824e-06,9.191174e-06,9.273981e-06,9.458179e-06,9.473789e-06,9.663520e-06,9.707589e-06,9.843474e-06,9.940095e-06,1.001397e-05,1.015644e-05,1.017534e-05,1.032792e-05,1.035741e-05,1.047206e-05,1.054380e-05,1.060811e-05,1.071639e-05,1.073641e-05,1.085730e-05,1.087598e-05,1.097112e-05,1.102333e-05,1.107818e-05,1.115918e-05,1.117881e-05,1.127330e-05,1.128424e-05,1.136197e-05,1.139920e-05,1.144508e-05,1.150470e-05,1.152292e-05,1.159574e-05,1.160135e-05,1.166380e-05,1.168974e-05,1.172733e-05,1.177040e-05,1.178657e-05,1.184173e-05,1.184386e-05,1.189302e-05,1.191058e-05,1.194064e-05,1.197102e-05,1.198478e-05,1.202561e-05,1.206331e-05,1.207474e-05,1.209804e-05,1.211877e-05,1.212994e-05,1.215805e-05,1.215917e-05,1.218587e-05,1.219290e-05,1.221016e-05,1.222363e-05,1.223217e-05,1.225050e-05,1.225201e-05,1.226981e-05,1.227379e-05,1.228566e-05,1.229373e-05,1.229968e-05,1.231056e-05,1.231194e-05,1.232255e-05,1.232448e-05,1.233159e-05,1.233570e-05,1.233915e-05,1.234440e-05,1.234529e-05,1.235010e-05,1.235075e-05,1.235365e-05,1.235492e-05,1.235599e-05,1.235705e-05,1.235721e-05,1.235734e-05,1.235729e-05,1.235647e-05,1.235577e-05,1.235462e-05,1.235261e-05,1.235187e-05,1.234826e-05,1.234793e-05,1.234383e-05,1.234184e-05,1.233863e-05,1.233444e-05,1.233271e-05,1.232609e-05,1.232582e-05,1.231883e-05,1.231607e-05,1.231096e-05,1.230527e-05,1.230251e-05,1.229351e-05,1.228085e-05,1.226737e-05,1.225313e-05,1.223819e-05,1.222261e-05,1.220643e-05,1.218971e-05,1.217250e-05,1.215485e-05,1.213678e-05,1.211834e-05,1.209958e-05,1.208051e-05,1.206118e-05,1.204162e-05,1.202185e-05,1.200190e-05,1.198179e-05,1.196156e-05,1.194121e-05,1.192078e-05,1.190029e-05,1.187974e-05,1.185917e-05
0.000000e+00,1.482125e-11,3.398441e-11,1.169344e-10,2.657131e-10,3.871578e-10,8.735682e-10,8.995913e-10,1.722717e-09,2.017665e-09,2.920383e-09,3.843816e-09,4.552427e-09,6.485634e-09,6.674693e-09,9.338182e-09,1.006305e-08,1.258709e-08,1.467544e-08,1.645549e-08,2.038771e-08,2.096241e-08,2.610580e-08,2.720883e-08,3.185681e-08,3.506939e-08,3.815775e-08,4.381604e-08,4.492663e-08,5.206757e-08,5.323806e-08,5.948294e-08,6.311271e-08,6.708182e-08,7.323872e-08,7.478393e-08,8.252011e-08,8.344784e-08,9.023136e-08,9.360320e-08,9.786751e-08,1.035943e-07,1.053860e-07,1.127509e-07,1.133325e-07,1.199322e-07,1.227476e-07,1.269052e-07,1.317855e-07,1.336501e-07,1.401512e-07,1.404060e-07,1.463968e-07,1.485810e-07,1.523787e-07,1.562929e-07,1.580915e-07,1.635325e-07,1.687012e-07,1.702979e-07,1.735991e-07,1.765929e-07,1.782290e-07,1.824258e-07,1.825955e-07,1.867037e-07,1.878085e-07,1.905599e-07,1.927554e-07,1.941709e-07,1.972829e-07,1.975441e-07,2.006873e-07,2.014083e-07,2.036084e-07,2.051502e-07,2.063155e-07,2.085272e-07,2.088167e-07,2.111204e-07,2.115581e-07,2.132346e-07,2.142618e-07,2.151674e-07,2.166565e-07,2.169266e-07,2.185201e-07,2.187602e-07,2.199555e-07,2.205905e-07,2.212401e-07,2.221641e-07,2.223812e-07,2.233856e-07,2.234973e-07,2.242602e-07,2.246055e-07,2.250114e-07,2.255038e-07,2.256456e-07,2.261689e-07,2.262062e-07,2.265871e-07,2.267262e-07,2.269058e-07,2.270767e-07,2.271304e-07,2.272662e-07,2.272698e-07,2.273181e-07,2.273172e-07,2.272909e-07,2.272296e-07,2.271892e-07,2.270174e-07,2.267798e-07,2.266904e-07,2.264802e-07,2.262578e-07,2.261226e-07,2.257281e-07,2.257106e-07,2.252477e-07,2.251095e-07,2.247374e-07,2.244097e-07,2.241827e-07,2.236359e-07,2.235868e-07,2.229525e-07,2.227949e-07,2.222827e-07,2.218930e-07,2.215799e-07,2.209361e-07,2.208466e-07,2.200853e-07,2.199298e-07,2.192981e-07,2.188794e-07,2.184874e-07,2.177896e-07,2.176550e-07,2.168030e-07,2.166650e-07,2.159333e-07,2.155100e-07,2.150474e-07,2.143283e-07,2.141472e-07,2.132342e-07,2.131238e-07,2.123098e-07,2.118999e-07,2.113755e-07,2.106597e-07,2.104327e-07,2.094825e-07,2.094062e-07,2.085261e-07,2.081421e-07,2.075648e-07,2.068701e-07,2.065995e-07,2.056313e-07,2.055925e-07,2.046610e-07,2.043114e-07,2.036896e-07,2.030288e-07,2.027179e-07,2.017467e-07,2.004667e-07,1.991904e-07,1.979192e-07,1.966545e-07,1.953973e-07,1.941490e-07,1.929103e-07,1.916823e-07,1.904657e-07,1.892612e-07,1.880696e-07,1.868914e-07,1.857271e-07,1.845772e-07,1.834420e-07,1.823220e-07,1.812174e-07,1.801284e-07,1.790553e-07,1.779982e-07,1.769573e-07,1.759326e-07,1.749242e-07,1.739321e-07
0.000000e+00,1.319958e-09,3.896633e-09,1.939514e-08,5.600482e-08,9.096311e-08,2.594292e-07,2.694394e-07,6.249047e-07,7.678653e-07,1.246640e-06,1.789279e-06,2.233785e-06,3.529889e-06,3.661219e-06,5.556823e-06,6.081174e-06,7.914508e-06,9.429086e-06,1.071326e-05,1.352015e-05,1.392673e-05,1.752619e-05,1.828972e-05,2.148064e-05,2.366617e-05,2.575634e-05,2.956928e-05,3.031638e-05,3.512075e-05,3.590930e-05,4.012669e-05,4.258806e-05,4.528949e-05,4.950200e-05,5.056351e-05,5.590330e-05,5.654637e-05,6.126465e-05,6.361958e-05,6.660566e-05,7.062720e-05,7.188751e-05,7.707511e-05,7.748509e-05,8.213757e-05,8.412142e-05,8.704839e-05,9.047775e-05,9.178555e-05,9.633140e-05,9.650905e-05,1.006725e-04,1.021831e-04,1.047991e-04,1.074794e-04,1.087051e-04,1.123875e-04,1.158459e-04,1.169056e-04,1.190823e-04,1.210387e-04,1.221004e-04,1.247975e-04,1.249057e-04,1.275046e-04,1.281963e-04,1.299047e-04,1.312528e-04,1.321142e-04,1.339860e-04,1.341417e-04,1.359959e-04,1.364162e-04,1.376860e-04,1.385640e-04,1.392208e-04,1.404499e-04,1.406091e-04,1.418596e-04,1.420939e-04,1.429807e-04,1.435152e-04,1.439804e-04,1.447320e-04,1.448665e-04,1.456463e-04,1.457616e-04,1.463268e-04,1.466201e-04,1.469147e-04,1.473225e-04,1.474162e-04,1.478373e-04,1.478827e-04,1.481835e-04,1.483135e-04,1.484601e-04,1.486267e-04,1.486719e-04,1.488235e-04,1.488332e-04,1.489192e-04,1.489428e-04,1.489631e-04,1.489647e-04,1.489588e-04,1.489099e-04,1.489071e-04,1.488197e-04,1.487777e-04,1.486911e-04,1.485833e-04,1.485271e-04,1.483304e-04,1.481033e-04,1.480246e-04,1.478482e-04,1.476712e-04,1.475672e-04,1.472751e-04,1.472625e-04,1.469358e-04,1.468406e-04,1.465889e-04,1.463717e-04,1.462234e-04,1.458722e-04,1.458410e-04,1.454429e-04,1.453452e-04,1.450306e-04,1.447940e-04,1.446053e-04,1.442212e-04,1.441681e-04,1.437202e-04,1.436294e-04,1.432626e-04,1.430211e-04,1.427961e-04,1.423982e-04,1.423218e-04,1.418404e-04,1.417628e-04,1.413527e-04,1.411166e-04,1.408595e-04,1.404613e-04,1.403614e-04,1.398590e-04,1.397985e-04,1.393530e-04,1.391294e-04,1.388440e-04,1.384553e-04,1.383323e-04,1.378186e-04,1.377775e-04,1.373033e-04,1.370969e-04,1.367868e-04,1.364145e-04,1.362696e-04,1.357519e-04,1.357312e-04,1.352341e-04,1.350478e-04,1.347167e-04,1.343651e-04,1.341998e-04,1.336837e-04,1.330044e-04,1.323275e-04,1.316537e-04,1.309834e-04,1.303171e-04,1.296551e-04,1.289979e-04,1.283456e-04,1.276987e-04,1.270574e-04,1.264218e-04,1.257923e-04,1.251690e-04,1.245521e-04,1.239418e-04,1.233380e-04,1.227411e-04,1.221510e-04,1.215679e-04,1.209918e-04,1.204228e-04,1.198610e-04,1.193063e-04,1.187588e-04
0.000000e+00,3.221625e-10,7.654182e-10,2.743747e-09,6.387104e-09,9.417669e-09,2.194733e-08,2.263365e-08,4.509570e-08,5.347834e-08,8.012885e-08,1.087975e-07,1.316453e-07,1.969841e-07,2.035631e-07,2.983650e-07,3.245275e-07,4.153993e-07,4.893038e-07,5.508519e-07,6.813110e-07,6.997300e-07,8.576551e-07,8.900199e-07,1.021353e-06,1.107941e-06,1.188441e-06,1.330082e-06,1.357113e-06,1.525918e-06,1.552855e-06,1.693640e-06,1.773450e-06,1.859235e-06,1.989572e-06,2.021805e-06,2.180588e-06,2.199356e-06,2.334946e-06,2.401325e-06,2.484365e-06,2.594369e-06,2.628442e-06,2.766877e-06,2.777701e-06,2.899459e-06,2.950823e-06,3.026064e-06,3.113484e-06,3.146635e-06,3.261177e-06,3.265634e-06,3.369743e-06,3.407378e-06,3.472410e-06,3.538912e-06,3.569295e-06,3.660541e-06,3.746305e-06,3.772620e-06,3.826760e-06,3.875547e-06,3.902085e-06,3.969746e-06,3.972468e-06,4.038095e-06,4.055644e-06,4.099155e-06,4.133677e-06,4.155837e-06,4.204276e-06,4.208325e-06,4.256804e-06,4.267862e-06,4.301451e-06,4.324844e-06,4.342440e-06,4.375620e-06,4.379941e-06,4.414118e-06,4.420568e-06,4.445129e-06,4.460054e-06,4.473127e-06,4.494426e-06,4.498261e-06,4.520672e-06,4.524015e-06,4.540497e-06,4.549134e-06,4.557867e-06,4.570081e-06,4.572908e-06,4.585741e-06,4.587138e-06,4.596481e-06,4.600573e-06,4.605239e-06,4.610636e-06,4.612122e-06,4.617230e-06,4.617565e-06,4.620660e-06,4.621583e-06,4.622506e-06,4.622903e-06,4.622855e-06,4.621792e-06,4.621721e-06,4.619398e-06,4.618225e-06,4.615750e-06,4.612590e-06,4.610921e-06,4.604981e-06,4.597996e-06,4.595551e-06,4.590031e-06,4.584447e-06,4.581146e-06,4.571805e-06,4.571399e-06,4.560844e-06,4.557751e-06,4.549533e-06,4.542405e-06,4.537517e-06,4.525880e-06,4.524843e-06,4.511555e-06,4.508280e-06,4.497697e-06,4.489702e-06,4.483309e-06,4.470240e-06,4.468430e-06,4.453096e-06,4.449978e-06,4.437342e-06,4.428996e-06,4.421202e-06,4.407369e-06,4.404708e-06,4.387887e-06,4.385168e-06,4.370770e-06,4.362457e-06,4.353383e-06,4.339296e-06,4.335751e-06,4.317899e-06,4.315743e-06,4.299850e-06,4.291851e-06,4.281624e-06,4.267667e-06,4.263243e-06,4.244726e-06,4.243239e-06,4.226092e-06,4.218609e-06,4.207357e-06,4.193815e-06,4.188539e-06,4.169652e-06,4.168895e-06,4.150712e-06,4.143883e-06,4.131733e-06,4.118811e-06,4.112727e-06,4.093706e-06,4.068598e-06,4.043510e-06,4.018465e-06,3.993486e-06,3.968591e-06,3.943799e-06,3.919126e-06,3.894588e-06,3.870198e-06,3.845969e-06,3.821914e-06,3.798041e-06,3.774361e-06,3.750883e-06,3.727615e-06,3.704563e-06,3.681733e-06,3.659132e-06,3.636763e-06,3.614633e-06,3.592743e-06,3.571097e-06,3.549699e-06,3.528550e-06
0.000000e+00,2.056372e-09,6.047014e-09,2.981068e-08,8.511496e-08,1.372060e-07,3.816054e-07,3.958465e-07,8.862973e-07,1.076710e-06,1.693967e-06,2.367465e-06,2.906913e-06,4.454031e-06,4.610083e-06,6.869746e-06,7.499082e-06,9.716036e-06,1.156460e-05,1.314137e-05,1.660838e-05,1.711218e-05,2.158056e-05,2.252915e-05,2.649105e-05,2.919949e-05,3.178380e-05,3.647922e-05,3.739598e-05,4.326268e-05,4.422057e-05,4.931784e-05,5.227179e-05,5.549528e-05,6.048153e-05,6.173001e-05,6.795958e-05,6.870395e-05,7.412534e-05,7.680404e-05,8.017366e-05,8.466224e-05,8.605682e-05,9.173367e-05,9.217783e-05,9.717001e-05,9.927089e-05,1.023387e-04,1.058827e-04,1.072194e-04,1.117982e-04,1.119750e-04,1.160675e-04,1.175279e-04,1.200245e-04,1.225378e-04,1.236713e-04,1.270140e-04,1.300615e-04,1.309762e-04,1.328255e-04,1.344517e-04,1.353193e-04,1.374729e-04,1.375577e-04,1.395562e-04,1.400749e-04,1.413306e-04,1.422943e-04,1.428968e-04,1.441673e-04,1.442705e-04,1.454669e-04,1.457293e-04,1.465005e-04,1.470134e-04,1.473852e-04,1.480509e-04,1.481340e-04,1.487591e-04,1.488702e-04,1.492716e-04,1.494972e-04,1.496822e-04,1.499552e-04,1.500003e-04,1.502347e-04,1.502650e-04,1.503934e-04,1.504449e-04,1.504837e-04,1.505112e-04,1.505123e-04,1.504850e-04,1.504782e-04,1.504074e-04,1.503585e-04,1.502842e-04,1.501630e-04,1.501201e-04,1.499189e-04,1.499013e-04,1.496843e-04,1.495818e-04,1.494195e-04,1.492118e-04,1.491275e-04,1.488110e-04,1.487979e-04,1.484724e-04,1.483455e-04,1.481139e-04,1.478598e-04,1.477375e-04,1.473450e-04,1.469380e-04,1.468050e-04,1.465182e-04,1.462434e-04,1.460868e-04,1.456630e-04,1.456451e-04,1.451944e-04,1.450667e-04,1.447355e-04,1.444568e-04,1.442696e-04,1.438355e-04,1.437975e-04,1.433200e-04,1.432048e-04,1.428380e-04,1.425663e-04,1.423521e-04,1.419218e-04,1.418630e-04,1.413712e-04,1.412726e-04,1.408775e-04,1.406201e-04,1.403822e-04,1.399653e-04,1.398858e-04,1.393889e-04,1.393093e-04,1.388918e-04,1.386532e-04,1.383949e-04,1.379977e-04,1.378985e-04,1.374031e-04,1.373437e-04,1.369089e-04,1.366919e-04,1.364162e-04,1.360429e-04,1.359253e-04,1.354364e-04,1.353974e-04,1.349497e-04,1.347557e-04,1.344655e-04,1.341186e-04,1.339840e-04,1.335054e-04,1.334863e-04,1.330298e-04,1.328593e-04,1.325573e-04,1.322379e-04,1.320882e-04,1.316225e-04,1.310133e-04,1.304106e-04,1.298146e-04,1.292255e-04,1.286436e-04,1.280688e-04,1.275014e-04,1.269415e-04,1.263892e-04,1.258446e-04,1.253076e-04,1.247785e-04,1.242571e-04,1.237436e-04,1.232378e-04,1.227400e-04,1.222500e-04,1.217678e-04,1.212933e-04,1.208267e-04,1.203678e-04,1.199165e-04,1.194729e-04,1.190369e-04
0.000000e+00,2.413071e-09,6.567155e-09,2.812994e-08,7.210499e-08,1.103294e-07,2.735848e-07,2.826284e-07,5.790343e-07,6.891175e-07,1.035715e-06,1.402890e-06,1.691971e-06,2.507307e-06,2.588840e-06,3.762884e-06,4.088604e-06,5.233072e-06,6.182407e-06,6.986603e-06,8.729558e-06,8.979451e-06,1.115445e-05,1.160648e-05,1.345878e-05,1.469367e-05,1.585006e-05,1.790139e-05,1.829502e-05,2.076669e-05,2.116307e-05,2.324225e-05,2.442598e-05,2.570186e-05,2.764630e-05,2.812813e-05,3.050602e-05,3.078748e-05,3.282262e-05,3.381967e-05,3.506718e-05,3.671943e-05,3.723099e-05,3.930724e-05,3.946940e-05,4.129091e-05,4.205762e-05,4.317852e-05,4.447691e-05,4.496801e-05,4.665846e-05,4.672401e-05,4.824997e-05,4.879886e-05,4.974348e-05,5.070388e-05,5.114057e-05,5.244333e-05,5.365429e-05,5.402288e-05,5.477633e-05,5.544919e-05,5.581254e-05,5.672957e-05,5.676617e-05,5.764052e-05,5.787160e-05,5.843900e-05,5.888307e-05,5.916498e-05,5.977174e-05,5.982183e-05,6.041285e-05,6.054527e-05,6.094131e-05,6.121110e-05,6.141037e-05,6.177646e-05,6.182311e-05,6.218253e-05,6.224827e-05,6.249152e-05,6.263319e-05,6.275286e-05,6.293753e-05,6.296923e-05,6.314321e-05,6.316728e-05,6.327727e-05,6.332813e-05,6.337376e-05,6.342544e-05,6.343496e-05,6.346302e-05,6.346426e-05,6.346001e-05,6.344935e-05,6.342790e-05,6.338518e-05,6.336855e-05,6.328377e-05,6.327594e-05,6.317524e-05,6.312554e-05,6.304458e-05,6.293768e-05,6.289334e-05,6.272296e-05,6.271577e-05,6.253484e-05,6.246302e-05,6.233028e-05,6.218243e-05,6.211053e-05,6.187677e-05,6.163012e-05,6.154864e-05,6.137163e-05,6.120044e-05,6.110230e-05,6.083443e-05,6.082308e-05,6.053486e-05,6.045266e-05,6.023849e-05,6.005708e-05,5.993475e-05,5.964946e-05,5.962440e-05,5.930815e-05,5.923145e-05,5.898667e-05,5.880458e-05,5.866057e-05,5.837026e-05,5.833046e-05,5.799688e-05,5.792979e-05,5.766035e-05,5.748436e-05,5.732138e-05,5.703508e-05,5.698040e-05,5.663787e-05,5.658294e-05,5.629417e-05,5.612889e-05,5.594969e-05,5.567378e-05,5.560477e-05,5.525976e-05,5.521837e-05,5.491495e-05,5.476338e-05,5.457064e-05,5.430945e-05,5.422708e-05,5.388453e-05,5.385718e-05,5.354323e-05,5.340710e-05,5.320337e-05,5.295968e-05,5.286516e-05,5.252879e-05,5.251538e-05,5.219442e-05,5.207457e-05,5.186221e-05,5.163761e-05,5.153230e-05,5.120482e-05,5.077648e-05,5.035282e-05,4.993408e-05,4.952044e-05,4.911206e-05,4.870910e-05,4.831166e-05,4.791985e-05,4.753375e-05,4.715343e-05,4.677894e-05,4.641031e-05,4.604756e-05,4.569072e-05,4.533977e-05,4.499471e-05,4.465552e-05,4.432218e-05,4.399465e-05,4.367289e-05,4.335685e-05,4.304650e-05,4.274176e-05,4.244258e-05
0.000000e+00,1.466967e-10,3.447488e-10,1.217461e-09,2.800431e-09,4.099604e-09,9.336752e-09,9.618122e-09,1.856878e-08,2.179832e-08,3.175059e-08,4.203151e-08,4.998475e-08,7.192852e-08,7.409114e-08,1.047700e-07,1.131607e-07,1.423724e-07,1.664082e-07,1.867185e-07,2.308317e-07,2.371847e-07,2.929720e-07,3.046978e-07,3.532976e-07,3.862218e-07,4.174505e-07,4.738192e-07,4.847798e-07,5.546719e-07,5.660528e-07,6.265370e-07,6.615644e-07,6.998031e-07,7.590529e-07,7.739181e-07,8.483554e-07,8.572857e-07,9.226206e-07,9.551237e-07,9.962572e-07,1.051544e-06,1.068850e-06,1.140032e-06,1.145656e-06,1.209483e-06,1.236717e-06,1.276932e-06,1.324127e-06,1.342153e-06,1.404966e-06,1.407427e-06,1.465233e-06,1.486285e-06,1.522852e-06,1.560485e-06,1.577756e-06,1.629906e-06,1.679291e-06,1.694511e-06,1.725920e-06,1.754330e-06,1.769823e-06,1.809445e-06,1.811043e-06,1.849637e-06,1.859981e-06,1.885670e-06,1.906093e-06,1.919219e-06,1.947957e-06,1.950362e-06,1.979184e-06,1.985765e-06,2.005772e-06,2.019718e-06,2.030214e-06,2.050020e-06,2.052600e-06,2.073019e-06,2.076875e-06,2.091559e-06,2.100487e-06,2.108307e-06,2.121054e-06,2.123349e-06,2.136767e-06,2.138769e-06,2.148643e-06,2.153819e-06,2.159055e-06,2.166383e-06,2.168080e-06,2.175791e-06,2.176631e-06,2.182258e-06,2.184728e-06,2.187550e-06,2.190826e-06,2.191732e-06,2.194867e-06,2.195074e-06,2.197014e-06,2.197610e-06,2.198232e-06,2.198564e-06,2.198575e-06,2.198096e-06,2.198060e-06,2.196844e-06,2.196214e-06,2.194869e-06,2.193135e-06,2.192214e-06,2.188924e-06,2.185041e-06,2.183679e-06,2.180602e-06,2.177488e-06,2.175647e-06,2.170435e-06,2.170209e-06,2.164324e-06,2.162600e-06,2.158023e-06,2.154055e-06,2.151336e-06,2.144869e-06,2.144294e-06,2.136922e-06,2.135106e-06,2.129246e-06,2.124825e-06,2.121293e-06,2.114082e-06,2.113084e-06,2.104642e-06,2.102928e-06,2.095988e-06,2.091411e-06,2.087142e-06,2.079575e-06,2.078121e-06,2.068945e-06,2.067463e-06,2.059629e-06,2.055112e-06,2.050189e-06,2.042558e-06,2.040640e-06,2.030996e-06,2.029833e-06,2.021270e-06,2.016968e-06,2.011475e-06,2.003992e-06,2.001622e-06,1.991723e-06,1.990929e-06,1.981787e-06,1.977805e-06,1.971824e-06,1.964640e-06,1.961844e-06,1.951855e-06,1.951456e-06,1.941865e-06,1.938270e-06,1.931882e-06,1.925101e-06,1.921912e-06,1.911962e-06,1.898870e-06,1.885837e-06,1.872874e-06,1.859992e-06,1.847202e-06,1.834512e-06,1.821930e-06,1.809463e-06,1.797117e-06,1.784899e-06,1.772813e-06,1.760863e-06,1.749054e-06,1.737389e-06,1.725871e-06,1.714502e-06,1.703284e-06,1.692219e-06,1.681309e-06,1.670553e-06,1.659953e-06,1.649510e-06,1.639223e-06,1.629092e-06
0.000000e+00,8.101080e-11,1.875360e-10,6.522437e-10,1.490856e-09,2.178051e-09,4.946737e-09,5.095500e-09,9.830328e-09,1.154003e-08,1.681285e-08,2.226578e-08,2.648809e-08,3.815700e-08,3.930872e-08,5.568957e-08,6.018612e-08,7.590682e-08,8.892459e-08,9.998259e-08,1.241647e-07,1.276637e-07,1.585295e-07,1.650442e-07,1.921216e-07,2.105227e-07,2.280108e-07,2.596492e-07,2.658107e-07,3.051691e-07,3.115889e-07,3.457584e-07,3.655872e-07,3.872698e-07,4.209459e-07,4.294111e-07,4.719068e-07,4.770177e-07,5.145002e-07,5.332106e-07,5.569551e-07,5.889955e-07,5.990572e-07,6.406150e-07,6.439109e-07,6.814604e-07,6.975660e-07,7.214491e-07,7.496408e-07,7.604583e-07,7.983861e-07,7.998795e-07,8.351503e-07,8.480876e-07,8.706863e-07,8.941239e-07,9.049456e-07,9.378936e-07,9.695081e-07,9.793410e-07,9.997777e-07,1.018443e-06,1.028700e-06,1.055203e-06,1.056281e-06,1.082532e-06,1.089646e-06,1.107471e-06,1.121813e-06,1.131119e-06,1.151758e-06,1.153502e-06,1.174649e-06,1.179543e-06,1.194588e-06,1.205240e-06,1.213354e-06,1.228922e-06,1.230978e-06,1.247495e-06,1.250669e-06,1.262941e-06,1.270560e-06,1.277349e-06,1.288676e-06,1.290756e-06,1.303195e-06,1.305098e-06,1.314703e-06,1.319906e-06,1.325313e-06,1.333177e-06,1.335059e-06,1.343975e-06,1.344990e-06,1.352092e-06,1.355420e-06,1.359444e-06,1.364539e-06,1.366062e-06,1.371975e-06,1.372419e-06,1.377214e-06,1.379128e-06,1.381808e-06,1.384732e-06,1.385784e-06,1.389171e-06,1.389294e-06,1.391994e-06,1.392877e-06,1.394279e-06,1.395538e-06,1.396051e-06,1.397334e-06,1.398152e-06,1.398319e-06,1.398527e-06,1.398544e-06,1.398480e-06,1.398059e-06,1.398033e-06,1.397206e-06,1.396909e-06,1.396018e-06,1.395141e-06,1.394489e-06,1.392795e-06,1.392636e-06,1.390476e-06,1.389914e-06,1.388028e-06,1.386536e-06,1.385306e-06,1.382696e-06,1.382326e-06,1.379103e-06,1.378431e-06,1.375652e-06,1.373772e-06,1.371986e-06,1.368751e-06,1.368119e-06,1.364063e-06,1.363398e-06,1.359831e-06,1.357740e-06,1.355433e-06,1.351804e-06,1.350882e-06,1.346187e-06,1.345614e-06,1.341360e-06,1.339196e-06,1.336409e-06,1.332570e-06,1.331345e-06,1.326176e-06,1.325758e-06,1.320911e-06,1.318780e-06,1.315558e-06,1.311653e-06,1.310125e-06,1.304619e-06,1.304397e-06,1.299047e-06,1.297027e-06,1.293417e-06,1.289558e-06,1.287734e-06,1.282006e-06,1.274383e-06,1.266703e-06,1.258977e-06,1.251217e-06,1.243434e-06,1.235635e-06,1.227832e-06,1.220032e-06,1.212243e-06,1.204472e-06,1.196727e-06,1.189012e-06,1.181335e-06,1.173700e-06,1.166113e-06,1.158577e-06,1.151097e-06,1.143677e-06,1.136319e-06,1.129028e-06,1.121805e-06,1.114654e-06,1.107577e-06,1.100575e-06
0.000000e+00,3.655454e-10,9.828077e-10,4.116669e-09,1.037504e-08,1.575197e-08,3.849440e-08,3.975044e-08,8.099790e-08,9.640543e-08,1.453299e-07,1.978106e-07,2.394981e-07,3.577763e-07,3.695884e-07,5.371780e-07,5.824613e-07,7.362800e-07,8.575069e-07,9.559946e-07,1.158082e-06,1.185945e-06,1.418820e-06,1.465309e-06,1.650066e-06,1.768683e-06,1.876839e-06,2.062445e-06,2.097210e-06,2.309726e-06,2.342917e-06,2.513205e-06,2.607373e-06,2.706676e-06,2.853718e-06,2.889362e-06,3.060685e-06,3.080461e-06,3.220278e-06,3.286733e-06,3.367975e-06,3.472279e-06,3.503804e-06,3.627963e-06,3.637400e-06,3.740794e-06,3.782854e-06,3.842756e-06,3.909741e-06,3.934394e-06,4.016312e-06,4.019395e-06,4.089150e-06,4.113275e-06,4.153562e-06,4.192882e-06,4.210199e-06,4.259698e-06,4.302668e-06,4.315135e-06,4.339687e-06,4.360508e-06,4.371297e-06,4.397019e-06,4.397999e-06,4.420256e-06,4.425750e-06,4.438490e-06,4.447662e-06,4.453088e-06,4.463606e-06,4.464397e-06,4.472734e-06,4.474325e-06,4.478383e-06,4.480469e-06,4.481600e-06,4.482603e-06,4.482615e-06,4.481636e-06,4.481217e-06,4.478848e-06,4.476739e-06,4.474418e-06,4.469540e-06,4.468498e-06,4.461222e-06,4.459941e-06,4.452713e-06,4.448224e-06,4.443081e-06,4.434634e-06,4.432425e-06,4.420837e-06,4.419387e-06,4.408397e-06,4.402673e-06,4.395181e-06,4.384660e-06,4.381257e-06,4.366687e-06,4.365495e-06,4.351527e-06,4.345310e-06,4.335831e-06,4.324224e-06,4.319645e-06,4.303015e-06,4.302341e-06,4.285980e-06,4.279756e-06,4.268579e-06,4.256554e-06,4.250846e-06,4.232813e-06,4.214511e-06,4.208602e-06,4.195967e-06,4.183984e-06,4.177207e-06,4.159017e-06,4.158256e-06,4.139135e-06,4.133753e-06,4.119866e-06,4.108241e-06,4.100468e-06,4.082525e-06,4.080961e-06,4.061360e-06,4.056644e-06,4.041682e-06,4.030635e-06,4.021943e-06,4.004532e-06,4.002156e-06,3.982334e-06,3.978367e-06,3.962490e-06,3.952167e-06,3.942636e-06,3.925958e-06,3.922782e-06,3.902938e-06,3.899765e-06,3.883114e-06,3.873609e-06,3.863320e-06,3.847511e-06,3.843563e-06,3.823852e-06,3.821490e-06,3.804193e-06,3.795562e-06,3.784594e-06,3.769743e-06,3.765062e-06,3.745601e-06,3.744048e-06,3.726219e-06,3.718489e-06,3.706920e-06,3.693079e-06,3.687709e-06,3.668591e-06,3.667829e-06,3.649571e-06,3.642748e-06,3.630651e-06,3.617846e-06,3.611837e-06,3.593131e-06,3.568610e-06,3.544291e-06,3.520179e-06,3.496280e-06,3.472598e-06,3.449139e-06,3.425906e-06,3.402901e-06,3.380129e-06,3.357591e-06,3.335290e-06,3.313228e-06,3.291405e-06,3.269823e-06,3.248483e-06,3.227385e-06,3.206529e-06,3.185917e-06,3.165546e-06,3.145418e-06,3.125531e-06,3.105885e-06,3.086479e-06,3.067312e-06
0.000000e+00,7.717069e-10,2.064907e-09,8.590301e-09,2.153454e-08,3.258012e-08,7.851980e-08,8.102001e-08,1.610587e-07,1.899892e-07,2.788167e-07,3.697670e-07,4.394654e-07,6.287819e-07,6.472161e-07,9.051357e-07,9.747058e-07,1.214660e-06,1.410285e-06,1.574783e-06,1.930362e-06,1.981405e-06,2.427718e-06,2.521033e-06,2.905582e-06,3.163809e-06,3.406832e-06,3.840385e-06,3.923883e-06,4.449842e-06,4.534397e-06,4.978486e-06,5.231524e-06,5.504228e-06,5.919387e-06,6.022123e-06,6.527883e-06,6.587580e-06,7.017883e-06,7.227702e-06,7.489153e-06,7.833334e-06,7.939360e-06,8.366756e-06,8.399923e-06,8.770137e-06,8.924587e-06,9.148772e-06,9.405873e-06,9.502343e-06,9.830879e-06,9.843503e-06,1.013470e-05,1.023812e-05,1.041435e-05,1.059107e-05,1.067055e-05,1.090418e-05,1.111618e-05,1.117962e-05,1.130758e-05,1.141976e-05,1.147945e-05,1.162706e-05,1.163285e-05,1.176888e-05,1.180399e-05,1.188858e-05,1.195301e-05,1.199301e-05,1.207646e-05,1.208317e-05,1.216001e-05,1.217658e-05,1.222449e-05,1.225552e-05,1.227747e-05,1.231526e-05,1.231980e-05,1.235227e-05,1.235765e-05,1.237564e-05,1.238443e-05,1.239061e-05,1.239718e-05,1.239784e-05,1.239797e-05,1.239737e-05,1.239157e-05,1.238634e-05,1.237919e-05,1.236533e-05,1.236135e-05,1.233850e-05,1.233545e-05,1.231110e-05,1.229771e-05,1.227957e-05,1.225307e-05,1.224428e-05,1.220559e-05,1.220236e-05,1.216384e-05,1.214635e-05,1.211933e-05,1.208573e-05,1.207235e-05,1.202316e-05,1.202115e-05,1.197202e-05,1.195318e-05,1.191915e-05,1.188232e-05,1.186477e-05,1.180906e-05,1.175221e-05,1.173381e-05,1.169439e-05,1.165695e-05,1.163575e-05,1.157882e-05,1.157643e-05,1.151657e-05,1.149973e-05,1.145629e-05,1.141996e-05,1.139569e-05,1.133976e-05,1.133489e-05,1.127397e-05,1.125934e-05,1.121302e-05,1.117890e-05,1.115212e-05,1.109863e-05,1.109134e-05,1.103076e-05,1.101867e-05,1.097042e-05,1.093916e-05,1.091039e-05,1.086023e-05,1.085071e-05,1.079143e-05,1.078199e-05,1.073260e-05,1.070453e-05,1.067424e-05,1.062793e-05,1.061640e-05,1.055910e-05,1.055226e-05,1.050237e-05,1.047759e-05,1.044623e-05,1.040397e-05,1.039070e-05,1.033581e-05,1.033144e-05,1.028156e-05,1.026005e-05,1.022798e-05,1.018982e-05,1.017507e-05,1.012285e-05,1.012077e-05,1.007132e-05,1.005294e-05,1.002049e-05,9.986330e-06,9.970368e-06,9.920955e-06,9.856821e-06,9.793934e-06,9.732292e-06,9.671894e-06,9.612734e-06,9.554807e-06,9.498102e-06,9.442609e-06,9.388317e-06,9.335212e-06,9.283279e-06,9.232503e-06,9.182868e-06,9.134356e-06,9.086950e-06,9.040631e-06,8.995381e-06,8.951182e-06,8.908013e-06,8.865855e-06,8.824689e-06,8.784496e-06,8.745255e-06,8.706947e-06
0.000000e+00,1.013139e-11,2.321339e-11,8.017493e-11,1.836836e-10,2.693792e-10,6.228037e-10,6.421574e-10,1.276615e-09,1.514112e-09,2.272084e-09,3.091646e-09,3.746685e-09,5.618678e-09,5.806463e-09,8.486410e-09,9.216919e-09,1.172943e-08,1.375463e-08,1.543680e-08,1.901126e-08,1.951834e-08,2.390508e-08,2.481420e-08,2.854410e-08,3.104135e-08,3.339166e-08,3.759612e-08,3.840872e-08,4.355888e-08,4.439293e-08,4.880758e-08,5.135226e-08,5.412205e-08,5.840027e-08,5.947159e-08,6.482791e-08,6.546988e-08,7.016541e-08,7.250196e-08,7.546129e-08,7.944599e-08,8.069567e-08,8.585146e-08,8.626009e-08,9.091431e-08,9.291066e-08,9.587220e-08,9.937135e-08,1.007154e-07,1.054363e-07,1.056225e-07,1.100289e-07,1.116499e-07,1.144886e-07,1.174436e-07,1.188122e-07,1.229978e-07,1.270442e-07,1.283095e-07,1.309509e-07,1.333781e-07,1.347184e-07,1.382051e-07,1.383476e-07,1.418397e-07,1.427931e-07,1.451964e-07,1.471463e-07,1.484198e-07,1.512694e-07,1.515120e-07,1.544755e-07,1.551679e-07,1.573128e-07,1.588475e-07,1.600266e-07,1.623147e-07,1.626196e-07,1.650947e-07,1.655759e-07,1.674549e-07,1.686376e-07,1.697029e-07,1.715068e-07,1.718418e-07,1.738744e-07,1.741900e-07,1.758038e-07,1.766940e-07,1.776328e-07,1.790256e-07,1.793643e-07,1.810012e-07,1.811915e-07,1.825465e-07,1.831980e-07,1.840028e-07,1.850518e-07,1.853729e-07,1.866596e-07,1.867590e-07,1.878656e-07,1.883260e-07,1.889935e-07,1.897587e-07,1.900459e-07,1.910253e-07,1.910630e-07,1.919342e-07,1.922446e-07,1.927751e-07,1.933093e-07,1.935503e-07,1.942622e-07,1.949130e-07,1.951088e-07,1.955050e-07,1.958540e-07,1.960404e-07,1.965029e-07,1.965211e-07,1.969494e-07,1.970602e-07,1.973272e-07,1.975305e-07,1.976565e-07,1.979182e-07,1.979391e-07,1.981770e-07,1.982276e-07,1.983719e-07,1.984629e-07,1.985256e-07,1.986280e-07,1.986397e-07,1.987160e-07,1.987268e-07,1.987560e-07,1.987630e-07,1.987613e-07,1.987400e-07,1.987334e-07,1.986737e-07,1.986614e-07,1.985838e-07,1.985303e-07,1.984649e-07,1.983498e-07,1.983184e-07,1.981456e-07,1.981231e-07,1.979477e-07,1.978530e-07,1.977260e-07,1.975422e-07,1.974816e-07,1.972156e-07,1.971934e-07,1.969292e-07,1.968091e-07,1.966234e-07,1.963918e-07,1.962992e-07,1.959577e-07,1.959437e-07,1.955997e-07,1.954670e-07,1.952262e-07,1.949638e-07,1.948381e-07,1.944363e-07,1.938862e-07,1.933154e-07,1.927256e-07,1.921185e-07,1.914957e-07,1.908587e-07,1.902089e-07,1.895477e-07,1.888762e-07,1.881959e-07,1.875077e-07,1.868128e-07,1.861123e-07,1.854071e-07,1.846981e-07,1.839863e-07,1.832723e-07,1.825571e-07,1.818414e-07,1.811257e-07,1.804109e-07,1.796974e-07,1.789859e-07,1.782769e-07
0.000000e+00,2.236223e-11,5.147461e-11,1.781742e-10,4.068842e-10,5.945598e-10,1.353195e-09,1.394065e-09,2.700070e-09,3.173954e-09,4.642116e-09,6.169129e-09,7.355662e-09,1.063866e-08,1.096205e-08,1.552583e-08,1.676388e-08,2.103979e-08,2.452721e-08,2.746182e-08,3.382885e-08,3.474733e-08,4.285520e-08,4.457184e-08,5.174361e-08,5.665886e-08,6.136602e-08,6.997733e-08,7.166919e-08,8.259291e-08,8.439393e-08,9.407077e-08,9.975622e-08,1.060316e-07,1.158982e-07,1.184012e-07,1.311041e-07,1.326473e-07,1.440654e-07,1.498312e-07,1.572118e-07,1.672839e-07,1.704737e-07,1.837855e-07,1.848507e-07,1.970865e-07,2.023914e-07,2.103217e-07,2.197822e-07,2.234415e-07,2.364021e-07,2.369167e-07,2.491654e-07,2.537054e-07,2.616985e-07,2.700752e-07,2.739736e-07,2.859676e-07,2.976617e-07,3.013379e-07,3.090408e-07,3.161526e-07,3.200933e-07,3.303886e-07,3.308108e-07,3.411874e-07,3.440312e-07,3.512195e-07,3.570728e-07,3.609058e-07,3.695117e-07,3.702463e-07,3.792427e-07,3.813509e-07,3.878980e-07,3.925973e-07,3.962160e-07,4.032608e-07,4.042017e-07,4.118604e-07,4.133535e-07,4.191984e-07,4.228895e-07,4.262221e-07,4.318842e-07,4.329385e-07,4.393547e-07,4.403539e-07,4.454782e-07,4.483157e-07,4.513165e-07,4.557869e-07,4.568772e-07,4.621681e-07,4.627852e-07,4.671968e-07,4.693284e-07,4.719712e-07,4.754342e-07,4.764987e-07,4.807870e-07,4.811200e-07,4.848436e-07,4.864030e-07,4.886759e-07,4.913003e-07,4.922911e-07,4.956965e-07,4.958285e-07,4.988990e-07,5.000036e-07,5.019056e-07,5.038416e-07,5.047230e-07,5.073578e-07,5.098164e-07,5.105670e-07,5.121052e-07,5.134838e-07,5.142303e-07,5.161219e-07,5.161976e-07,5.180131e-07,5.184950e-07,5.196823e-07,5.206160e-07,5.212109e-07,5.224975e-07,5.226041e-07,5.238673e-07,5.241517e-07,5.250054e-07,5.255900e-07,5.260235e-07,5.268239e-07,5.269263e-07,5.277183e-07,5.278639e-07,5.284043e-07,5.287205e-07,5.289884e-07,5.294035e-07,5.294749e-07,5.298680e-07,5.299225e-07,5.301716e-07,5.302866e-07,5.303895e-07,5.305046e-07,5.305254e-07,5.305830e-07,5.305848e-07,5.305657e-07,5.305353e-07,5.304769e-07,5.303636e-07,5.303199e-07,5.300977e-07,5.300772e-07,5.298134e-07,5.296830e-07,5.294700e-07,5.291877e-07,5.290703e-07,5.286170e-07,5.285978e-07,5.281127e-07,5.279192e-07,5.275601e-07,5.271579e-07,5.269615e-07,5.263193e-07,5.254089e-07,5.244315e-07,5.233920e-07,5.222950e-07,5.211447e-07,5.199454e-07,5.187010e-07,5.174152e-07,5.160915e-07,5.147333e-07,5.133438e-07,5.119261e-07,5.104829e-07,5.090170e-07,5.075311e-07,5.060275e-07,5.045085e-07,5.029763e-07,5.014330e-07,4.998805e-07,4.983206e-07,4.967552e-07,4.951858e-07,4.936139e-07
0.000000e+00,5.815784e-10,1.461433e-09,5.588043e-09,1.339388e-08,1.992891e-08,4.678282e-08,4.823975e-08,9.498160e-08,1.119729e-07,1.645711e-07,2.191442e-07,2.614624e-07,3.784709e-07,3.900140e-07,5.538376e-07,5.986527e-07,7.547293e-07,8.833454e-07,9.923068e-07,1.230387e-06,1.264876e-06,1.570379e-06,1.635248e-06,1.906728e-06,2.093114e-06,2.271782e-06,2.598943e-06,2.663254e-06,3.078666e-06,3.147177e-06,3.515344e-06,3.731676e-06,3.970455e-06,4.345840e-06,4.441056e-06,4.924159e-06,4.982830e-06,5.416790e-06,5.635816e-06,5.916050e-06,6.298209e-06,6.419165e-06,6.923523e-06,6.963852e-06,7.426711e-06,7.627159e-06,7.926529e-06,8.283195e-06,8.421004e-06,8.908394e-06,8.927720e-06,9.387180e-06,9.557181e-06,9.856065e-06,1.016869e-05,1.031396e-05,1.075995e-05,1.119333e-05,1.132924e-05,1.161351e-05,1.187530e-05,1.202008e-05,1.239730e-05,1.241273e-05,1.279128e-05,1.289473e-05,1.315562e-05,1.336741e-05,1.350575e-05,1.381537e-05,1.384173e-05,1.416366e-05,1.423885e-05,1.447171e-05,1.463824e-05,1.476610e-05,1.501405e-05,1.504707e-05,1.531488e-05,1.536688e-05,1.556982e-05,1.569741e-05,1.581220e-05,1.600634e-05,1.604235e-05,1.626060e-05,1.629444e-05,1.646728e-05,1.656248e-05,1.666274e-05,1.681125e-05,1.684731e-05,1.702135e-05,1.704154e-05,1.718519e-05,1.725413e-05,1.733917e-05,1.744981e-05,1.748363e-05,1.761890e-05,1.762934e-05,1.774531e-05,1.779346e-05,1.786317e-05,1.794291e-05,1.797280e-05,1.807450e-05,1.807841e-05,1.816857e-05,1.820063e-05,1.825531e-05,1.831025e-05,1.833500e-05,1.840791e-05,1.847432e-05,1.849424e-05,1.853449e-05,1.856984e-05,1.858868e-05,1.863529e-05,1.863712e-05,1.868007e-05,1.869114e-05,1.871775e-05,1.873793e-05,1.875040e-05,1.877617e-05,1.877822e-05,1.880143e-05,1.880634e-05,1.882024e-05,1.882892e-05,1.883484e-05,1.884436e-05,1.884542e-05,1.885217e-05,1.885308e-05,1.885527e-05,1.885550e-05,1.885490e-05,1.885201e-05,1.885120e-05,1.884436e-05,1.884298e-05,1.883451e-05,1.882877e-05,1.882182e-05,1.880971e-05,1.880642e-05,1.878846e-05,1.878614e-05,1.876806e-05,1.875835e-05,1.874536e-05,1.872665e-05,1.872048e-05,1.869354e-05,1.869130e-05,1.866466e-05,1.865258e-05,1.863393e-05,1.861074e-05,1.860148e-05,1.856740e-05,1.856600e-05,1.853179e-05,1.851861e-05,1.849474e-05,1.846878e-05,1.845635e-05,1.841670e-05,1.836257e-05,1.830658e-05,1.824889e-05,1.818967e-05,1.812907e-05,1.806724e-05,1.800432e-05,1.794044e-05,1.787571e-05,1.781026e-05,1.774419e-05,1.767761e-05,1.761060e-05,1.754327e-05,1.747569e-05,1.740795e-05,1.734012e-05,1.727226e-05,1.720445e-05,1.713675e-05,1.706921e-05,1.700188e-05,1.693482e-05,1.686807e-05
0.000000e+00,1.855896e-10,4.341801e-10,1.526622e-09,3.514303e-09,5.157134e-09,1.190659e-08,1.227518e-08,2.431362e-08,2.880037e-08,4.305959e-08,5.839217e-08,7.060004e-08,1.053646e-07,1.088464e-07,1.584285e-07,1.718826e-07,2.177587e-07,2.541106e-07,2.837820e-07,3.450976e-07,3.536007e-07,4.251673e-07,4.395641e-07,4.971515e-07,5.344398e-07,5.686576e-07,6.278710e-07,6.390328e-07,7.077693e-07,7.185866e-07,7.744591e-07,8.056446e-07,8.387759e-07,8.883479e-07,9.004659e-07,9.593425e-07,9.662121e-07,1.015281e-06,1.038944e-06,1.068212e-06,1.106414e-06,1.118114e-06,1.165007e-06,1.168629e-06,1.208941e-06,1.225703e-06,1.249994e-06,1.277824e-06,1.288265e-06,1.323865e-06,1.325235e-06,1.356913e-06,1.368210e-06,1.387537e-06,1.407042e-06,1.415865e-06,1.442025e-06,1.466145e-06,1.473452e-06,1.488347e-06,1.501605e-06,1.508750e-06,1.526750e-06,1.527468e-06,1.544610e-06,1.549141e-06,1.560279e-06,1.569013e-06,1.574572e-06,1.586585e-06,1.587581e-06,1.599392e-06,1.602058e-06,1.610086e-06,1.615616e-06,1.619740e-06,1.627430e-06,1.628423e-06,1.636203e-06,1.637656e-06,1.643141e-06,1.646435e-06,1.649294e-06,1.653897e-06,1.654718e-06,1.659461e-06,1.660160e-06,1.663571e-06,1.665332e-06,1.667091e-06,1.669510e-06,1.670063e-06,1.672523e-06,1.672785e-06,1.674507e-06,1.675238e-06,1.676048e-06,1.676942e-06,1.677177e-06,1.677922e-06,1.677966e-06,1.678311e-06,1.678371e-06,1.678366e-06,1.678214e-06,1.678114e-06,1.677573e-06,1.677546e-06,1.676766e-06,1.676414e-06,1.675711e-06,1.674861e-06,1.674425e-06,1.672926e-06,1.671228e-06,1.670645e-06,1.669346e-06,1.668052e-06,1.667294e-06,1.665176e-06,1.665084e-06,1.662729e-06,1.662045e-06,1.660238e-06,1.658684e-06,1.657623e-06,1.655116e-06,1.654894e-06,1.652059e-06,1.651364e-06,1.649127e-06,1.647445e-06,1.646106e-06,1.643380e-06,1.643003e-06,1.639826e-06,1.639183e-06,1.636582e-06,1.634870e-06,1.633276e-06,1.630456e-06,1.629915e-06,1.626503e-06,1.625953e-06,1.623047e-06,1.621373e-06,1.619550e-06,1.616727e-06,1.616018e-06,1.612455e-06,1.612025e-06,1.608865e-06,1.607277e-06,1.605251e-06,1.602491e-06,1.601617e-06,1.597967e-06,1.597675e-06,1.594304e-06,1.592836e-06,1.590631e-06,1.587981e-06,1.586949e-06,1.583263e-06,1.583116e-06,1.579575e-06,1.578247e-06,1.575886e-06,1.573379e-06,1.572200e-06,1.568517e-06,1.563666e-06,1.558830e-06,1.554011e-06,1.549215e-06,1.544444e-06,1.539701e-06,1.534989e-06,1.530309e-06,1.525666e-06,1.521059e-06,1.516492e-06,1.511966e-06,1.507483e-06,1.503043e-06,1.498649e-06,1.494301e-06,1.490000e-06,1.485748e-06,1.481544e-06,1.477390e-06,1.473286e-06,1.469233e-06,1.465231e-06,1.461281e-06
0.000000e+00,5.951108e-09,1.757558e-08,8.742246e-08,2.516407e-07,4.074447e-07,1.145986e-06,1.189284e-06,2.690984e-06,3.277972e-06,5.190328e-06,7.288411e-06,8.975232e-06,1.384125e-05,1.433460e-05,2.154558e-05,2.358013e-05,3.085523e-05,3.706045e-05,4.245722e-05,5.465712e-05,5.646695e-05,7.289978e-05,7.647054e-05,9.165739e-05,1.022633e-04,1.125253e-04,1.314535e-04,1.351832e-04,1.592263e-04,1.631716e-04,1.841956e-04,1.963689e-04,2.096116e-04,2.299511e-04,2.350075e-04,2.599572e-04,2.629030e-04,2.840945e-04,2.943786e-04,3.071232e-04,3.237432e-04,3.288193e-04,3.490260e-04,3.505749e-04,3.676467e-04,3.746391e-04,3.846354e-04,3.958528e-04,3.999874e-04,4.137298e-04,4.142467e-04,4.259143e-04,4.299322e-04,4.366097e-04,4.430730e-04,4.458970e-04,4.538643e-04,4.606037e-04,4.625162e-04,4.662083e-04,4.692423e-04,4.707701e-04,4.742514e-04,4.743785e-04,4.771193e-04,4.777425e-04,4.790740e-04,4.799017e-04,4.803194e-04,4.809002e-04,4.809269e-04,4.809630e-04,4.808936e-04,4.804892e-04,4.800224e-04,4.795620e-04,4.784121e-04,4.782330e-04,4.765496e-04,4.761743e-04,4.745549e-04,4.734077e-04,4.722879e-04,4.701992e-04,4.697840e-04,4.670755e-04,4.666251e-04,4.641911e-04,4.627519e-04,4.611570e-04,4.586378e-04,4.579967e-04,4.547313e-04,4.543333e-04,4.513797e-04,4.498821e-04,4.479589e-04,4.453222e-04,4.444840e-04,4.409687e-04,4.406861e-04,4.374250e-04,4.360020e-04,4.338637e-04,4.312940e-04,4.302943e-04,4.267254e-04,4.265827e-04,4.231644e-04,4.218857e-04,4.196180e-04,4.172178e-04,4.160920e-04,4.125917e-04,4.091214e-04,4.080179e-04,4.056851e-04,4.035053e-04,4.022863e-04,3.990613e-04,3.989278e-04,3.956121e-04,3.946917e-04,3.923416e-04,3.904016e-04,3.891178e-04,3.861947e-04,3.859425e-04,3.828169e-04,3.820742e-04,3.797418e-04,3.780422e-04,3.767182e-04,3.741003e-04,3.737465e-04,3.708273e-04,3.702498e-04,3.679607e-04,3.664910e-04,3.651470e-04,3.628243e-04,3.623861e-04,3.596779e-04,3.592495e-04,3.570223e-04,3.557662e-04,3.544189e-04,3.523735e-04,3.518674e-04,3.493673e-04,3.490707e-04,3.469182e-04,3.458567e-04,3.445196e-04,3.427300e-04,3.421708e-04,3.398713e-04,3.396895e-04,3.376204e-04,3.367335e-04,3.354175e-04,3.338606e-04,3.332617e-04,3.311525e-04,3.310691e-04,3.290891e-04,3.283573e-04,3.270707e-04,3.257235e-04,3.250965e-04,3.231659e-04,3.206828e-04,3.182723e-04,3.159328e-04,3.136623e-04,3.114592e-04,3.093217e-04,3.072480e-04,3.052364e-04,3.032853e-04,3.013929e-04,2.995576e-04,2.977777e-04,2.960518e-04,2.943783e-04,2.927555e-04,2.911822e-04,2.896567e-04,2.881777e-04,2.867438e-04,2.853537e-04,2.840060e-04,2.826995e-04,2.814329e-04,2.802050e-04
0.000000e+00,3.447178e-10,8.279685e-10,3.017436e-09,7.139885e-09,1.064611e-08,2.581038e-08,2.666997e-08,5.623771e-08,6.789432e-08,1.066300e-07,1.501532e-07,1.854255e-07,2.853131e-07,2.951413e-07,4.305506e-07,4.659570e-07,5.836255e-07,6.746220e-07,7.480914e-07,8.990399e-07,9.199628e-07,1.096713e-06,1.132484e-06,1.276572e-06,1.370854e-06,1.458139e-06,1.611083e-06,1.640199e-06,1.821643e-06,1.850548e-06,2.001451e-06,2.086900e-06,2.178691e-06,2.318071e-06,2.352531e-06,2.522247e-06,2.542305e-06,2.687218e-06,2.758166e-06,2.846935e-06,2.964573e-06,3.001024e-06,3.149206e-06,3.160799e-06,3.291286e-06,3.346384e-06,3.427158e-06,3.521115e-06,3.556779e-06,3.680165e-06,3.684971e-06,3.797379e-06,3.838084e-06,3.908521e-06,3.980686e-06,4.013707e-06,4.113103e-06,4.206880e-06,4.235731e-06,4.295221e-06,4.348993e-06,4.378314e-06,4.453325e-06,4.456352e-06,4.529531e-06,4.549177e-06,4.598046e-06,4.636997e-06,4.662091e-06,4.717228e-06,4.721856e-06,4.777528e-06,4.790300e-06,4.829288e-06,4.856631e-06,4.877314e-06,4.916623e-06,4.921776e-06,4.962841e-06,4.970661e-06,5.000668e-06,5.019109e-06,5.035410e-06,5.062317e-06,5.067215e-06,5.096225e-06,5.100616e-06,5.122576e-06,5.134318e-06,5.146398e-06,5.163720e-06,5.167817e-06,5.186952e-06,5.189100e-06,5.203917e-06,5.210723e-06,5.218822e-06,5.228835e-06,5.231770e-06,5.242862e-06,5.243673e-06,5.252194e-06,5.255454e-06,5.259855e-06,5.264386e-06,5.265933e-06,5.270509e-06,5.270662e-06,5.273665e-06,5.274467e-06,5.275473e-06,5.275971e-06,5.276007e-06,5.275334e-06,5.273520e-06,5.272709e-06,5.270627e-06,5.268236e-06,5.266713e-06,5.262049e-06,5.261836e-06,5.256049e-06,5.254272e-06,5.249403e-06,5.245023e-06,5.241946e-06,5.234410e-06,5.233726e-06,5.224785e-06,5.222537e-06,5.215168e-06,5.209501e-06,5.204912e-06,5.195390e-06,5.194057e-06,5.182639e-06,5.180291e-06,5.170692e-06,5.164281e-06,5.158249e-06,5.147436e-06,5.145341e-06,5.131999e-06,5.129826e-06,5.118250e-06,5.111514e-06,5.104122e-06,5.092563e-06,5.089640e-06,5.074829e-06,5.073030e-06,5.059711e-06,5.052968e-06,5.044310e-06,5.032428e-06,5.028646e-06,5.012738e-06,5.011456e-06,4.996608e-06,4.990097e-06,4.980271e-06,4.968391e-06,4.963746e-06,4.947049e-06,4.946378e-06,4.930195e-06,4.924093e-06,4.913200e-06,4.901570e-06,4.896078e-06,4.878841e-06,4.855935e-06,4.832880e-06,4.809703e-06,4.786426e-06,4.763072e-06,4.739664e-06,4.716219e-06,4.692758e-06,4.669296e-06,4.645851e-06,4.622436e-06,4.599065e-06,4.575752e-06,4.552509e-06,4.529347e-06,4.506276e-06,4.483305e-06,4.460444e-06,4.437702e-06,4.415084e-06,4.392599e-06,4.370254e-06,4.348053e-06,4.326003e-06
0.000000e+00,8.650260e-10,2.370078e-09,1.028571e-08,2.670930e-08,4.121178e-08,1.051373e-07,1.087661e-07,2.323393e-07,2.803749e-07,4.382895e-07,6.150126e-07,7.595321e-07,1.182978e-06,1.226036e-06,1.845598e-06,2.015006e-06,2.595220e-06,3.057613e-06,3.436843e-06,4.226020e-06,4.336066e-06,5.268253e-06,5.457082e-06,6.216833e-06,6.712616e-06,7.170287e-06,7.968597e-06,8.120000e-06,9.059074e-06,9.207942e-06,9.981767e-06,1.041739e-05,1.088323e-05,1.158636e-05,1.175940e-05,1.260695e-05,1.270660e-05,1.342327e-05,1.377204e-05,1.420643e-05,1.477859e-05,1.495506e-05,1.566834e-05,1.572386e-05,1.634591e-05,1.660694e-05,1.698782e-05,1.742811e-05,1.759443e-05,1.816636e-05,1.818853e-05,1.870442e-05,1.889002e-05,1.920959e-05,1.953486e-05,1.968294e-05,2.012563e-05,2.053887e-05,2.066508e-05,2.092388e-05,2.115604e-05,2.128189e-05,2.160133e-05,2.161414e-05,2.192185e-05,2.200376e-05,2.220618e-05,2.236605e-05,2.246830e-05,2.269080e-05,2.270933e-05,2.293034e-05,2.298052e-05,2.313237e-05,2.323759e-05,2.331642e-05,2.346427e-05,2.348345e-05,2.363436e-05,2.366268e-05,2.377003e-05,2.383483e-05,2.389129e-05,2.398260e-05,2.399894e-05,2.409373e-05,2.410775e-05,2.417638e-05,2.421194e-05,2.424757e-05,2.429670e-05,2.430795e-05,2.435813e-05,2.436350e-05,2.439871e-05,2.441366e-05,2.443023e-05,2.444846e-05,2.445323e-05,2.446820e-05,2.446907e-05,2.447562e-05,2.447657e-05,2.447593e-05,2.447200e-05,2.446957e-05,2.445693e-05,2.445630e-05,2.443840e-05,2.443035e-05,2.441433e-05,2.439498e-05,2.438508e-05,2.435096e-05,2.431228e-05,2.429899e-05,2.426934e-05,2.423975e-05,2.422241e-05,2.417385e-05,2.417175e-05,2.411761e-05,2.410186e-05,2.406021e-05,2.402431e-05,2.399979e-05,2.394171e-05,2.393655e-05,2.387069e-05,2.385452e-05,2.380240e-05,2.376316e-05,2.373185e-05,2.366804e-05,2.365921e-05,2.358465e-05,2.356952e-05,2.350830e-05,2.346795e-05,2.343032e-05,2.336365e-05,2.335083e-05,2.326997e-05,2.325691e-05,2.318786e-05,2.314803e-05,2.310460e-05,2.303724e-05,2.302031e-05,2.293508e-05,2.292480e-05,2.284902e-05,2.281091e-05,2.276221e-05,2.269580e-05,2.267475e-05,2.258670e-05,2.257964e-05,2.249816e-05,2.246261e-05,2.240918e-05,2.234489e-05,2.231984e-05,2.223021e-05,2.222662e-05,2.214034e-05,2.210794e-05,2.205030e-05,2.198899e-05,2.196013e-05,2.186989e-05,2.175074e-05,2.163166e-05,2.151273e-05,2.139404e-05,2.127568e-05,2.115772e-05,2.104024e-05,2.092329e-05,2.080694e-05,2.069124e-05,2.057623e-05,2.046197e-05,2.034850e-05,2.023584e-05,2.012405e-05,2.001314e-05,1.990315e-05,1.979410e-05,1.968601e-05,1.957891e-05,1.947281e-05,1.936773e-05,1.926368e-05,1.916067e-05
0.000000e+00,1.501765e-09,4.218559e-09,1.909199e-08,5.100148e-08,7.964887e-08,2.075480e-07,2.148371e-07,4.628061e-07,5.587894e-07,8.722469e-07,1.219393e-06,1.500683e-06,2.313407e-06,2.395221e-06,3.560084e-06,3.875579e-06,4.950556e-06,5.803818e-06,6.502760e-06,7.957232e-06,8.160158e-06,9.880745e-06,1.022963e-05,1.163427e-05,1.255138e-05,1.339802e-05,1.487412e-05,1.515387e-05,1.688667e-05,1.716090e-05,1.858366e-05,1.938226e-05,2.023408e-05,2.151492e-05,2.182915e-05,2.336194e-05,2.354142e-05,2.482729e-05,2.544970e-05,2.622164e-05,2.723253e-05,2.754290e-05,2.879013e-05,2.888671e-05,2.996339e-05,3.041218e-05,3.106367e-05,3.181161e-05,3.209266e-05,3.305252e-05,3.308951e-05,3.394579e-05,3.425160e-05,3.477525e-05,3.530431e-05,3.554381e-05,3.625449e-05,3.691029e-05,3.710905e-05,3.751421e-05,3.787484e-05,3.806916e-05,3.855848e-05,3.857798e-05,3.904338e-05,3.916628e-05,3.946799e-05,3.970421e-05,3.985429e-05,4.017788e-05,4.020464e-05,4.052129e-05,4.059250e-05,4.080635e-05,4.095294e-05,4.106183e-05,4.126367e-05,4.128960e-05,4.149144e-05,4.152884e-05,4.166901e-05,4.175228e-05,4.182388e-05,4.193749e-05,4.195751e-05,4.207128e-05,4.208772e-05,4.216648e-05,4.220593e-05,4.224432e-05,4.229486e-05,4.230594e-05,4.235240e-05,4.235700e-05,4.238469e-05,4.239466e-05,4.240376e-05,4.240995e-05,4.241048e-05,4.240567e-05,4.240481e-05,4.239010e-05,4.238102e-05,4.236449e-05,4.234022e-05,4.232952e-05,4.228582e-05,4.228389e-05,4.223398e-05,4.221344e-05,4.217457e-05,4.213011e-05,4.210811e-05,4.203508e-05,4.195596e-05,4.192942e-05,4.187117e-05,4.181412e-05,4.178112e-05,4.169008e-05,4.168619e-05,4.158674e-05,4.155813e-05,4.148311e-05,4.141906e-05,4.137562e-05,4.127356e-05,4.126455e-05,4.115020e-05,4.112229e-05,4.103282e-05,4.096586e-05,4.091266e-05,4.080481e-05,4.078996e-05,4.066494e-05,4.063967e-05,4.053779e-05,4.047090e-05,4.040872e-05,4.029895e-05,4.027791e-05,4.014553e-05,4.012421e-05,4.001174e-05,3.994706e-05,3.987669e-05,3.976785e-05,3.974054e-05,3.960340e-05,3.958689e-05,3.946542e-05,3.940447e-05,3.932671e-05,3.922088e-05,3.918739e-05,3.904755e-05,3.903635e-05,3.890731e-05,3.885112e-05,3.876676e-05,3.866541e-05,3.862598e-05,3.848506e-05,3.847942e-05,3.834408e-05,3.829332e-05,3.820311e-05,3.810729e-05,3.806222e-05,3.792148e-05,3.773604e-05,3.755110e-05,3.736678e-05,3.718320e-05,3.700045e-05,3.681864e-05,3.663785e-05,3.645817e-05,3.627965e-05,3.610238e-05,3.592642e-05,3.575181e-05,3.557861e-05,3.540687e-05,3.523663e-05,3.506793e-05,3.490079e-05,3.473525e-05,3.457134e-05,3.440908e-05,3.424848e-05,3.408957e-05,3.393236e-05,3.377687e-05
0.000000e+00,2.056379e-10,4.939046e-10,1.791045e-09,4.183328e-09,6.166114e-09,1.426270e-08,1.470133e-08,2.880141e-08,3.394927e-08,4.997883e-08,6.675658e-08,7.985373e-08,1.163084e-07,1.199139e-07,1.710109e-07,1.849289e-07,2.331241e-07,2.725270e-07,3.057185e-07,3.777659e-07,3.881584e-07,4.798484e-07,4.992463e-07,5.802178e-07,6.356458e-07,6.886764e-07,7.855667e-07,8.045845e-07,9.272407e-07,9.474418e-07,1.055884e-06,1.119523e-06,1.189705e-06,1.299925e-06,1.327861e-06,1.469493e-06,1.486681e-06,1.613745e-06,1.677829e-06,1.759782e-06,1.871472e-06,1.906806e-06,2.054064e-06,2.065834e-06,2.200861e-06,2.259306e-06,2.346562e-06,2.450467e-06,2.490600e-06,2.632472e-06,2.638096e-06,2.771745e-06,2.821173e-06,2.908047e-06,2.998874e-06,3.041067e-06,3.170550e-06,3.296292e-06,3.335712e-06,3.418135e-06,3.494013e-06,3.535963e-06,3.645225e-06,3.649695e-06,3.759282e-06,3.789220e-06,3.864704e-06,3.925958e-06,3.965964e-06,4.055466e-06,4.063084e-06,4.156104e-06,4.177824e-06,4.245078e-06,4.293160e-06,4.330072e-06,4.401633e-06,4.411160e-06,4.488426e-06,4.503428e-06,4.561958e-06,4.598750e-06,4.631850e-06,4.687816e-06,4.698197e-06,4.761100e-06,4.770852e-06,4.820659e-06,4.848089e-06,4.876974e-06,4.919760e-06,4.930149e-06,4.980283e-06,4.986099e-06,5.027477e-06,5.047337e-06,5.071832e-06,5.103702e-06,5.113444e-06,5.152411e-06,5.155417e-06,5.188828e-06,5.202701e-06,5.222786e-06,5.245766e-06,5.254378e-06,5.283691e-06,5.284818e-06,5.310813e-06,5.320056e-06,5.335827e-06,5.351675e-06,5.358816e-06,5.379860e-06,5.399036e-06,5.404790e-06,5.416419e-06,5.426637e-06,5.432082e-06,5.445567e-06,5.446097e-06,5.458532e-06,5.461739e-06,5.469453e-06,5.475306e-06,5.478924e-06,5.486412e-06,5.487009e-06,5.493767e-06,5.495197e-06,5.499256e-06,5.501796e-06,5.503532e-06,5.506336e-06,5.506651e-06,5.508663e-06,5.508938e-06,5.509621e-06,5.509718e-06,5.509572e-06,5.508788e-06,5.508564e-06,5.506643e-06,5.506254e-06,5.503852e-06,5.502215e-06,5.500232e-06,5.496769e-06,5.495826e-06,5.490672e-06,5.490006e-06,5.484808e-06,5.482013e-06,5.478271e-06,5.472873e-06,5.471094e-06,5.463312e-06,5.462664e-06,5.454957e-06,5.451462e-06,5.446061e-06,5.439337e-06,5.436652e-06,5.426761e-06,5.426356e-06,5.416414e-06,5.412583e-06,5.405639e-06,5.398079e-06,5.394460e-06,5.382902e-06,5.367105e-06,5.350741e-06,5.333857e-06,5.316501e-06,5.298717e-06,5.280544e-06,5.262024e-06,5.243192e-06,5.224083e-06,5.204731e-06,5.185166e-06,5.165417e-06,5.145513e-06,5.125480e-06,5.105341e-06,5.085119e-06,5.064837e-06,5.044514e-06,5.024169e-06,5.003821e-06,4.983486e-06,4.963179e-06,4.942915e-06,4.922709e-06
0.000000e+00,2.290521e-09,6.416488e-09,2.890292e-08,7.688164e-08,1.197278e-07,3.087029e-07,3.193648e-07,6.758828e-07,8.109837e-07,1.242960e-06,1.708018e-06,2.076874e-06,3.115715e-06,3.218832e-06,4.678975e-06,5.075790e-06,6.447343e-06,7.567326e-06,8.510943e-06,1.056246e-05,1.085889e-05,1.348093e-05,1.403722e-05,1.636514e-05,1.796376e-05,1.949669e-05,2.230509e-05,2.285734e-05,2.642566e-05,2.701429e-05,3.017757e-05,3.203611e-05,3.408706e-05,3.730988e-05,3.812698e-05,4.226986e-05,4.277263e-05,4.648858e-05,4.836206e-05,5.075700e-05,5.401899e-05,5.505044e-05,5.934606e-05,5.968916e-05,6.362306e-05,6.532441e-05,6.786286e-05,7.088321e-05,7.204910e-05,7.616762e-05,7.633077e-05,8.020636e-05,8.163879e-05,8.415527e-05,8.678495e-05,8.800610e-05,9.175220e-05,9.538839e-05,9.652810e-05,9.891085e-05,1.011043e-04,1.023169e-04,1.054757e-04,1.056049e-04,1.087740e-04,1.096400e-04,1.118240e-04,1.135970e-04,1.147554e-04,1.173484e-04,1.175692e-04,1.202668e-04,1.208971e-04,1.228500e-04,1.242473e-04,1.253207e-04,1.274038e-04,1.276814e-04,1.299343e-04,1.303721e-04,1.320820e-04,1.331582e-04,1.341273e-04,1.357681e-04,1.360728e-04,1.379213e-04,1.382083e-04,1.396757e-04,1.404852e-04,1.413387e-04,1.426053e-04,1.429133e-04,1.444021e-04,1.445751e-04,1.458080e-04,1.464010e-04,1.471336e-04,1.480892e-04,1.483818e-04,1.495552e-04,1.496459e-04,1.506563e-04,1.510771e-04,1.516878e-04,1.523887e-04,1.526521e-04,1.535517e-04,1.535863e-04,1.543889e-04,1.546755e-04,1.551662e-04,1.556616e-04,1.558857e-04,1.565497e-04,1.571603e-04,1.573448e-04,1.577197e-04,1.580517e-04,1.582298e-04,1.586749e-04,1.586926e-04,1.591100e-04,1.592190e-04,1.594839e-04,1.596880e-04,1.598160e-04,1.600862e-04,1.601081e-04,1.603620e-04,1.604174e-04,1.605791e-04,1.606853e-04,1.607612e-04,1.608935e-04,1.609096e-04,1.610260e-04,1.610455e-04,1.611117e-04,1.611446e-04,1.611680e-04,1.611937e-04,1.611964e-04,1.611982e-04,1.611960e-04,1.611744e-04,1.611543e-04,1.611264e-04,1.610714e-04,1.610553e-04,1.609623e-04,1.609497e-04,1.608483e-04,1.607918e-04,1.607144e-04,1.606000e-04,1.605617e-04,1.603910e-04,1.603766e-04,1.602034e-04,1.601238e-04,1.599997e-04,1.598435e-04,1.597807e-04,1.595472e-04,1.595376e-04,1.593002e-04,1.592081e-04,1.590403e-04,1.588566e-04,1.587683e-04,1.584849e-04,1.580944e-04,1.576867e-04,1.572632e-04,1.568252e-04,1.563741e-04,1.559109e-04,1.554369e-04,1.549531e-04,1.544606e-04,1.539603e-04,1.534531e-04,1.529399e-04,1.524214e-04,1.518986e-04,1.513720e-04,1.508424e-04,1.503104e-04,1.497766e-04,1.492415e-04,1.487057e-04,1.481698e-04,1.476341e-04,1.470991e-04,1.465652e-04
0.000000e+00,3.131056e-10,8.555884e-10,3.689662e-09,9.496924e-09,1.455201e-08,3.610358e-08,3.729398e-08,7.604565e-08,9.030120e-08,1.347099e-07,1.810246e-07,2.170175e-07,3.167075e-07,3.265543e-07,4.667372e-07,5.052991e-07,6.407146e-07,7.539278e-07,8.511586e-07,1.068018e-06,1.099927e-06,1.387620e-06,1.449767e-06,1.713166e-06,1.896521e-06,2.073692e-06,2.400405e-06,2.464837e-06,2.881417e-06,2.950070e-06,3.318088e-06,3.533327e-06,3.769804e-06,4.138926e-06,4.232004e-06,4.700644e-06,4.757140e-06,5.172156e-06,5.379706e-06,5.643389e-06,5.999615e-06,6.111562e-06,6.574229e-06,6.610939e-06,7.029259e-06,7.208711e-06,7.474812e-06,7.788853e-06,7.909323e-06,8.331486e-06,8.348100e-06,8.740237e-06,8.883936e-06,9.134734e-06,9.394515e-06,9.514336e-06,9.878583e-06,1.022718e-05,1.033539e-05,1.055996e-05,1.076463e-05,1.087691e-05,1.116633e-05,1.117807e-05,1.146363e-05,1.154082e-05,1.173380e-05,1.188864e-05,1.198888e-05,1.221053e-05,1.222922e-05,1.245519e-05,1.250733e-05,1.266721e-05,1.278000e-05,1.286570e-05,1.302954e-05,1.305112e-05,1.322392e-05,1.325701e-05,1.338457e-05,1.346345e-05,1.353353e-05,1.364996e-05,1.367126e-05,1.379823e-05,1.381757e-05,1.391488e-05,1.396735e-05,1.402167e-05,1.410029e-05,1.411903e-05,1.420737e-05,1.421739e-05,1.428712e-05,1.431959e-05,1.435868e-05,1.440782e-05,1.442243e-05,1.447875e-05,1.448295e-05,1.452801e-05,1.454582e-05,1.457056e-05,1.459723e-05,1.460673e-05,1.463686e-05,1.463795e-05,1.466126e-05,1.466870e-05,1.468023e-05,1.469017e-05,1.469405e-05,1.470302e-05,1.470739e-05,1.470786e-05,1.470742e-05,1.470528e-05,1.470336e-05,1.469583e-05,1.469544e-05,1.468389e-05,1.468004e-05,1.466893e-05,1.465839e-05,1.465075e-05,1.463136e-05,1.462955e-05,1.460554e-05,1.459937e-05,1.457887e-05,1.456285e-05,1.454973e-05,1.452217e-05,1.451828e-05,1.448467e-05,1.447771e-05,1.444906e-05,1.442979e-05,1.441158e-05,1.437876e-05,1.437237e-05,1.433156e-05,1.432489e-05,1.428928e-05,1.426849e-05,1.424563e-05,1.420980e-05,1.420072e-05,1.415468e-05,1.414908e-05,1.410759e-05,1.408656e-05,1.405954e-05,1.402245e-05,1.401064e-05,1.396096e-05,1.395696e-05,1.391059e-05,1.389027e-05,1.385960e-05,1.382255e-05,1.380807e-05,1.375607e-05,1.375398e-05,1.370366e-05,1.368470e-05,1.365090e-05,1.361486e-05,1.359785e-05,1.354458e-05,1.347398e-05,1.340319e-05,1.333229e-05,1.326140e-05,1.319059e-05,1.311996e-05,1.304957e-05,1.297949e-05,1.290979e-05,1.284053e-05,1.277176e-05,1.270352e-05,1.263587e-05,1.256884e-05,1.250246e-05,1.243677e-05,1.237180e-05,1.230757e-05,1.224411e-05,1.218144e-05,1.211956e-05,1.205851e-05,1.199829e-05,1.193890e-05
0.000000e+00,1.155846e-09,3.227813e-09,1.443492e-08,3.811659e-08,5.910620e-08,1.506288e-07,1.557545e-07,3.255921e-07,3.893449e-07,5.917750e-07,8.084951e-07,9.804518e-07,1.470045e-06,1.519270e-06,2.229870e-06,2.426828e-06,3.115052e-06,3.679817e-06,4.153521e-06,5.166642e-06,5.310563e-06,6.551980e-06,6.807835e-06,7.850162e-06,8.540411e-06,9.183906e-06,1.031939e-05,1.053646e-05,1.189384e-05,1.211064e-05,1.324391e-05,1.388613e-05,1.457588e-05,1.562199e-05,1.588024e-05,1.714873e-05,1.729820e-05,1.837437e-05,1.889856e-05,1.955147e-05,2.041084e-05,2.067561e-05,2.174360e-05,2.182654e-05,2.275332e-05,2.314062e-05,2.370369e-05,2.435105e-05,2.459449e-05,2.542618e-05,2.545823e-05,2.619983e-05,2.646442e-05,2.691700e-05,2.737339e-05,2.757961e-05,2.818985e-05,2.875007e-05,2.891919e-05,2.926278e-05,2.956715e-05,2.973052e-05,3.013961e-05,3.015584e-05,3.054128e-05,3.064240e-05,3.088932e-05,3.108119e-05,3.120236e-05,3.146144e-05,3.148272e-05,3.173262e-05,3.178831e-05,3.195418e-05,3.206661e-05,3.214938e-05,3.230084e-05,3.232009e-05,3.246810e-05,3.249512e-05,3.259505e-05,3.265327e-05,3.270251e-05,3.277879e-05,3.279194e-05,3.286469e-05,3.287487e-05,3.292203e-05,3.294443e-05,3.296514e-05,3.299013e-05,3.299512e-05,3.301300e-05,3.301438e-05,3.301973e-05,3.301939e-05,3.301620e-05,3.300715e-05,3.300321e-05,3.298156e-05,3.297947e-05,3.295193e-05,3.293799e-05,3.291499e-05,3.288422e-05,3.287136e-05,3.282160e-05,3.281949e-05,3.276624e-05,3.274503e-05,3.270577e-05,3.266196e-05,3.264065e-05,3.257129e-05,3.249811e-05,3.247393e-05,3.242144e-05,3.237072e-05,3.234165e-05,3.226239e-05,3.225904e-05,3.217390e-05,3.214964e-05,3.208650e-05,3.203309e-05,3.199711e-05,3.191329e-05,3.190594e-05,3.181322e-05,3.179076e-05,3.171915e-05,3.166595e-05,3.162392e-05,3.153929e-05,3.152770e-05,3.143065e-05,3.141116e-05,3.133293e-05,3.128189e-05,3.123467e-05,3.115181e-05,3.113600e-05,3.103704e-05,3.102119e-05,3.093790e-05,3.089028e-05,3.083869e-05,3.075933e-05,3.073950e-05,3.064041e-05,3.062854e-05,3.054152e-05,3.049809e-05,3.044289e-05,3.036816e-05,3.034460e-05,3.024671e-05,3.023890e-05,3.014928e-05,3.011044e-05,3.005236e-05,2.998292e-05,2.995600e-05,2.986025e-05,2.985644e-05,2.976516e-05,2.973109e-05,2.967076e-05,2.960698e-05,2.957708e-05,2.948416e-05,2.936273e-05,2.924273e-05,2.912422e-05,2.900724e-05,2.889184e-05,2.877805e-05,2.866590e-05,2.855541e-05,2.844660e-05,2.833949e-05,2.823409e-05,2.813041e-05,2.802844e-05,2.792821e-05,2.782969e-05,2.773290e-05,2.763783e-05,2.754447e-05,2.745281e-05,2.736284e-05,2.727456e-05,2.718793e-05,2.710297e-05,2.701963e-05
0.000000e+00,1.186729e-09,3.470628e-09,1.694277e-08,4.805029e-08,7.725191e-08,2.142287e-07,2.222260e-07,4.994316e-07,6.080808e-07,9.643387e-07,1.359939e-06,1.681787e-06,2.628512e-06,2.725917e-06,4.174425e-06,4.590042e-06,6.091988e-06,7.382858e-06,8.505479e-06,1.102103e-05,1.139016e-05,1.468089e-05,1.538061e-05,1.829581e-05,2.027666e-05,2.215454e-05,2.553220e-05,2.618634e-05,3.033163e-05,3.100197e-05,3.454068e-05,3.657112e-05,3.877158e-05,4.214779e-05,4.298852e-05,4.716061e-05,4.765693e-05,5.126108e-05,5.303654e-05,5.526688e-05,5.823576e-05,5.915836e-05,6.291915e-05,6.321395e-05,6.653597e-05,6.793997e-05,6.999847e-05,7.239153e-05,7.329902e-05,7.643248e-05,7.655429e-05,7.939593e-05,8.042091e-05,8.218841e-05,8.398996e-05,8.481067e-05,8.726485e-05,8.955429e-05,9.025279e-05,9.168327e-05,9.296389e-05,9.365680e-05,9.541032e-05,9.548046e-05,9.716022e-05,9.760561e-05,9.870231e-05,9.956414e-05,1.001131e-04,1.013006e-04,1.013991e-04,1.025665e-04,1.028298e-04,1.036219e-04,1.041663e-04,1.045714e-04,1.053240e-04,1.054209e-04,1.061764e-04,1.063167e-04,1.068434e-04,1.071571e-04,1.074274e-04,1.078576e-04,1.079335e-04,1.083667e-04,1.084295e-04,1.087315e-04,1.088837e-04,1.090326e-04,1.092303e-04,1.092741e-04,1.094599e-04,1.094787e-04,1.095940e-04,1.096375e-04,1.096798e-04,1.097148e-04,1.097207e-04,1.097200e-04,1.097182e-04,1.096805e-04,1.096546e-04,1.096052e-04,1.095302e-04,1.094966e-04,1.093573e-04,1.093511e-04,1.091896e-04,1.091227e-04,1.089956e-04,1.088499e-04,1.087776e-04,1.085373e-04,1.082767e-04,1.081892e-04,1.079973e-04,1.078095e-04,1.077009e-04,1.074017e-04,1.073890e-04,1.070628e-04,1.069692e-04,1.067239e-04,1.065148e-04,1.063733e-04,1.060415e-04,1.060122e-04,1.056418e-04,1.055516e-04,1.052630e-04,1.050475e-04,1.048768e-04,1.045314e-04,1.044840e-04,1.040855e-04,1.040052e-04,1.036821e-04,1.034706e-04,1.032745e-04,1.029293e-04,1.028633e-04,1.024492e-04,1.023827e-04,1.020327e-04,1.018322e-04,1.016145e-04,1.012790e-04,1.011950e-04,1.007746e-04,1.007242e-04,1.003539e-04,1.001688e-04,9.993322e-05,9.961375e-05,9.951294e-05,9.909341e-05,9.905990e-05,9.867498e-05,9.850797e-05,9.825792e-05,9.795866e-05,9.784253e-05,9.742906e-05,9.741257e-05,9.701775e-05,9.687025e-05,9.660881e-05,9.633220e-05,9.620246e-05,9.579886e-05,9.527063e-05,9.474785e-05,9.423083e-05,9.371986e-05,9.321516e-05,9.271694e-05,9.222539e-05,9.174065e-05,9.126285e-05,9.079210e-05,9.032848e-05,8.987207e-05,8.942291e-05,8.898104e-05,8.854648e-05,8.811924e-05,8.769931e-05,8.728669e-05,8.688135e-05,8.648325e-05,8.609235e-05,8.570862e-05,8.533199e-05,8.496240e-05
0.000000e+00,3.869598e-12,8.824820e-12,3.014575e-11,6.823011e-11,9.928511e-11,2.239363e-10,2.306262e-10,4.437302e-10,5.208628e-10,7.596106e-10,1.008001e-09,1.201363e-09,1.739926e-09,1.793374e-09,2.557721e-09,2.768507e-09,3.506629e-09,4.117159e-09,4.633740e-09,5.752274e-09,5.912530e-09,7.305573e-09,7.594558e-09,8.776112e-09,9.561053e-09,1.029379e-08,1.158766e-08,1.183504e-08,1.338161e-08,1.362854e-08,1.491891e-08,1.564994e-08,1.643502e-08,1.762593e-08,1.792002e-08,1.936566e-08,1.953615e-08,2.076515e-08,2.136486e-08,2.211307e-08,2.310037e-08,2.340522e-08,2.463855e-08,2.473461e-08,2.581107e-08,2.626277e-08,2.692164e-08,2.768268e-08,2.796994e-08,2.895637e-08,2.899455e-08,2.988179e-08,3.020025e-08,3.074753e-08,3.130299e-08,3.155528e-08,3.230701e-08,3.300486e-08,3.321716e-08,3.365112e-08,3.403874e-08,3.424816e-08,3.477723e-08,3.479837e-08,3.530417e-08,3.543817e-08,3.576796e-08,3.602704e-08,3.619207e-08,3.654918e-08,3.657879e-08,3.693032e-08,3.700969e-08,3.724878e-08,3.741343e-08,3.753620e-08,3.776499e-08,3.779451e-08,3.802557e-08,3.806866e-08,3.823111e-08,3.832846e-08,3.841279e-08,3.854812e-08,3.857219e-08,3.871076e-08,3.873110e-08,3.882992e-08,3.888060e-08,3.893096e-08,3.899958e-08,3.901511e-08,3.908355e-08,3.909076e-08,3.913735e-08,3.915665e-08,3.917754e-08,3.919957e-08,3.920507e-08,3.922085e-08,3.922163e-08,3.922572e-08,3.922479e-08,3.922047e-08,3.921084e-08,3.920584e-08,3.918253e-08,3.918142e-08,3.915118e-08,3.913804e-08,3.911240e-08,3.908209e-08,3.906677e-08,3.901482e-08,3.895705e-08,3.893741e-08,3.889393e-08,3.885093e-08,3.882589e-08,3.875633e-08,3.875335e-08,3.867669e-08,3.865453e-08,3.859626e-08,3.854634e-08,3.851242e-08,3.843252e-08,3.842546e-08,3.833568e-08,3.831375e-08,3.824336e-08,3.819065e-08,3.814876e-08,3.806381e-08,3.805212e-08,3.795365e-08,3.793376e-08,3.785358e-08,3.780097e-08,3.775209e-08,3.766589e-08,3.764938e-08,3.754561e-08,3.752892e-08,3.744095e-08,3.739044e-08,3.733554e-08,3.725077e-08,3.722952e-08,3.712303e-08,3.711022e-08,3.701618e-08,3.696908e-08,3.690909e-08,3.682761e-08,3.680187e-08,3.669460e-08,3.668602e-08,3.658740e-08,3.654455e-08,3.648033e-08,3.640337e-08,3.637348e-08,3.626692e-08,3.626266e-08,3.616072e-08,3.612259e-08,3.605494e-08,3.598329e-08,3.594965e-08,3.584489e-08,3.570752e-08,3.557128e-08,3.543626e-08,3.530254e-08,3.517021e-08,3.503933e-08,3.490996e-08,3.478214e-08,3.465594e-08,3.453138e-08,3.440851e-08,3.428734e-08,3.416791e-08,3.405023e-08,3.393432e-08,3.382020e-08,3.370786e-08,3.359732e-08,3.348859e-08,3.338165e-08,3.327651e-08,3.317317e-08,3.307161e-08,3.297183e-08
0.000000e+00,6.383463e-12,1.458286e-11,5.011613e-11,1.145588e-10,1.680096e-10,3.905081e-10,4.028022e-10,8.123113e-10,9.686699e-10,1.477258e-09,2.040318e-09,2.497377e-09,3.821420e-09,3.954838e-09,5.852114e-09,6.364499e-09,8.104207e-09,9.478856e-09,1.060168e-08,1.293257e-08,1.325745e-08,1.601278e-08,1.657211e-08,1.882862e-08,2.030727e-08,2.167721e-08,2.407932e-08,2.453681e-08,2.738878e-08,2.784325e-08,3.021627e-08,3.156012e-08,3.300362e-08,3.519480e-08,3.573632e-08,3.840118e-08,3.871583e-08,4.098626e-08,4.209569e-08,4.348124e-08,4.531181e-08,4.587751e-08,4.816808e-08,4.834659e-08,5.034765e-08,5.118749e-08,5.241243e-08,5.382666e-08,5.436014e-08,5.618991e-08,5.626065e-08,5.790205e-08,5.848980e-08,5.949759e-08,6.051696e-08,6.097858e-08,6.234778e-08,6.360841e-08,6.398949e-08,6.476422e-08,6.545074e-08,6.581917e-08,6.674099e-08,6.677752e-08,6.764367e-08,6.787028e-08,6.842207e-08,6.884884e-08,6.911716e-08,6.968685e-08,6.973335e-08,7.027500e-08,7.039438e-08,7.074637e-08,7.098117e-08,7.115158e-08,7.145661e-08,7.149462e-08,7.177936e-08,7.182964e-08,7.200947e-08,7.210872e-08,7.218849e-08,7.230185e-08,7.231979e-08,7.240657e-08,7.241652e-08,7.245187e-08,7.245973e-08,7.245858e-08,7.243802e-08,7.242945e-08,7.236706e-08,7.235745e-08,7.227385e-08,7.222368e-08,7.215214e-08,7.204192e-08,7.200410e-08,7.183178e-08,7.181700e-08,7.163711e-08,7.155340e-08,7.142191e-08,7.125521e-08,7.118788e-08,7.093663e-08,7.092624e-08,7.066966e-08,7.056997e-08,7.038838e-08,7.018962e-08,7.009413e-08,6.978813e-08,6.947156e-08,6.936820e-08,6.914550e-08,6.893231e-08,6.881097e-08,6.848273e-08,6.846892e-08,6.812025e-08,6.802154e-08,6.776578e-08,6.755064e-08,6.740629e-08,6.707175e-08,6.704250e-08,6.667510e-08,6.658646e-08,6.630471e-08,6.609620e-08,6.593191e-08,6.560229e-08,6.555724e-08,6.518123e-08,6.510590e-08,6.480432e-08,6.460813e-08,6.442697e-08,6.410994e-08,6.404957e-08,6.367250e-08,6.361222e-08,6.329610e-08,6.311577e-08,6.292070e-08,6.262130e-08,6.254660e-08,6.217405e-08,6.212946e-08,6.180332e-08,6.164084e-08,6.143464e-08,6.115594e-08,6.106821e-08,6.070423e-08,6.067522e-08,6.034287e-08,6.019909e-08,5.998429e-08,5.972792e-08,5.962864e-08,5.927605e-08,5.926202e-08,5.892664e-08,5.880166e-08,5.858052e-08,5.834708e-08,5.823778e-08,5.789850e-08,5.745609e-08,5.702000e-08,5.659035e-08,5.616724e-08,5.575076e-08,5.534096e-08,5.493788e-08,5.454155e-08,5.415198e-08,5.376917e-08,5.339312e-08,5.302379e-08,5.266115e-08,5.230517e-08,5.195578e-08,5.161295e-08,5.127661e-08,5.094668e-08,5.062310e-08,5.030580e-08,4.999468e-08,4.968968e-08,4.939070e-08,4.909765e-08
0.000000e+00,8.177629e-12,1.866777e-11,6.415641e-11,1.470292e-10,2.161857e-10,5.076506e-10,5.238979e-10,1.070776e-09,1.281579e-09,1.970876e-09,2.736736e-09,3.359033e-09,5.162551e-09,5.344282e-09,7.922480e-09,8.614552e-09,1.093948e-08,1.274140e-08,1.418641e-08,1.710445e-08,1.750234e-08,2.079154e-08,2.144105e-08,2.400149e-08,2.562900e-08,2.710270e-08,2.961047e-08,3.007739e-08,3.291406e-08,3.335456e-08,3.560509e-08,3.684359e-08,3.814581e-08,4.006854e-08,4.053392e-08,4.276923e-08,4.302726e-08,4.485339e-08,4.572329e-08,4.678954e-08,4.816470e-08,4.858209e-08,5.023639e-08,5.036294e-08,5.175850e-08,5.233178e-08,5.315492e-08,5.408631e-08,5.443241e-08,5.559784e-08,5.564222e-08,5.665802e-08,5.701521e-08,5.761964e-08,5.822056e-08,5.848918e-08,5.927287e-08,5.997662e-08,6.018586e-08,6.060605e-08,6.097233e-08,6.116644e-08,6.164409e-08,6.166277e-08,6.209968e-08,6.221196e-08,6.248150e-08,6.268585e-08,6.281229e-08,6.307479e-08,6.309581e-08,6.333557e-08,6.338697e-08,6.353482e-08,6.362984e-08,6.369658e-08,6.381013e-08,6.382363e-08,6.391858e-08,6.393394e-08,6.398384e-08,6.400679e-08,6.402163e-08,6.403366e-08,6.403402e-08,6.402292e-08,6.401909e-08,6.399012e-08,6.396714e-08,6.393724e-08,6.388152e-08,6.386582e-08,6.377728e-08,6.376557e-08,6.367292e-08,6.362231e-08,6.355397e-08,6.345450e-08,6.342155e-08,6.327671e-08,6.326462e-08,6.312043e-08,6.305492e-08,6.295361e-08,6.282744e-08,6.277709e-08,6.259165e-08,6.258405e-08,6.239802e-08,6.232644e-08,6.219688e-08,6.205613e-08,6.198885e-08,6.177453e-08,6.155445e-08,6.148290e-08,6.132913e-08,6.118240e-08,6.109905e-08,6.087409e-08,6.086464e-08,6.062631e-08,6.055893e-08,6.038446e-08,6.023781e-08,6.013944e-08,5.991151e-08,5.989159e-08,5.964122e-08,5.958078e-08,5.938862e-08,5.924629e-08,5.913407e-08,5.890865e-08,5.887782e-08,5.862012e-08,5.856843e-08,5.836119e-08,5.822613e-08,5.810123e-08,5.788223e-08,5.784046e-08,5.757903e-08,5.753716e-08,5.731714e-08,5.719132e-08,5.705494e-08,5.684506e-08,5.679259e-08,5.653021e-08,5.649873e-08,5.626795e-08,5.615262e-08,5.600593e-08,5.580702e-08,5.574426e-08,5.548305e-08,5.546218e-08,5.522241e-08,5.511833e-08,5.496243e-08,5.477570e-08,5.470319e-08,5.444479e-08,5.443447e-08,5.418729e-08,5.409483e-08,5.393077e-08,5.375694e-08,5.367530e-08,5.342095e-08,5.308699e-08,5.275521e-08,5.242569e-08,5.209856e-08,5.177390e-08,5.145180e-08,5.113233e-08,5.081556e-08,5.050156e-08,5.019038e-08,4.988206e-08,4.957664e-08,4.927418e-08,4.897469e-08,4.867821e-08,4.838476e-08,4.809435e-08,4.780701e-08,4.752274e-08,4.724156e-08,4.696347e-08,4.668847e-08,4.641656e-08,4.614775e-08
0.000000e+00,6.187467e-10,1.604142e-09,6.394414e-09,1.569965e-08,2.360505e-08,5.671408e-08,5.853283e-08,1.178481e-07,1.398223e-07,2.090510e-07,2.825998e-07,3.407058e-07,5.056036e-07,5.221749e-07,7.623484e-07,8.294755e-07,1.066949e-06,1.265767e-06,1.435432e-06,1.806819e-06,1.860453e-06,2.331002e-06,2.429584e-06,2.836146e-06,3.109392e-06,3.366789e-06,3.826932e-06,3.915744e-06,4.477230e-06,4.567897e-06,5.046397e-06,5.321062e-06,5.619007e-06,6.077016e-06,6.191273e-06,6.759783e-06,6.827603e-06,7.321472e-06,7.565740e-06,7.873618e-06,8.285392e-06,8.413844e-06,8.940117e-06,8.981563e-06,9.450734e-06,9.650276e-06,9.944307e-06,1.028851e-05,1.041975e-05,1.087626e-05,1.089412e-05,1.131325e-05,1.146571e-05,1.173037e-05,1.200257e-05,1.212745e-05,1.250448e-05,1.286157e-05,1.297166e-05,1.319895e-05,1.340468e-05,1.351695e-05,1.380437e-05,1.381598e-05,1.409648e-05,1.417176e-05,1.435896e-05,1.450803e-05,1.460397e-05,1.481443e-05,1.483207e-05,1.504385e-05,1.509232e-05,1.523990e-05,1.534304e-05,1.542081e-05,1.556796e-05,1.558717e-05,1.573958e-05,1.576844e-05,1.587863e-05,1.594584e-05,1.600488e-05,1.610146e-05,1.611890e-05,1.622125e-05,1.623657e-05,1.631245e-05,1.635242e-05,1.639303e-05,1.645019e-05,1.646350e-05,1.652434e-05,1.653102e-05,1.657604e-05,1.659601e-05,1.661906e-05,1.664621e-05,1.665383e-05,1.668079e-05,1.668262e-05,1.670034e-05,1.670618e-05,1.671290e-05,1.671781e-05,1.671883e-05,1.671850e-05,1.671836e-05,1.671227e-05,1.670865e-05,1.670048e-05,1.668945e-05,1.668345e-05,1.666149e-05,1.663490e-05,1.662546e-05,1.660396e-05,1.658201e-05,1.656896e-05,1.653176e-05,1.653014e-05,1.648776e-05,1.647529e-05,1.644206e-05,1.641314e-05,1.639327e-05,1.634583e-05,1.634160e-05,1.628726e-05,1.627384e-05,1.623045e-05,1.619762e-05,1.617135e-05,1.611761e-05,1.611016e-05,1.604703e-05,1.603418e-05,1.598213e-05,1.594773e-05,1.591561e-05,1.585860e-05,1.584763e-05,1.577832e-05,1.576711e-05,1.570781e-05,1.567358e-05,1.563623e-05,1.557828e-05,1.556370e-05,1.549034e-05,1.548148e-05,1.541624e-05,1.538344e-05,1.534152e-05,1.528437e-05,1.526626e-05,1.519056e-05,1.518449e-05,1.511451e-05,1.508400e-05,1.503818e-05,1.498309e-05,1.496165e-05,1.488499e-05,1.488192e-05,1.480827e-05,1.478065e-05,1.473156e-05,1.467943e-05,1.465491e-05,1.457839e-05,1.447765e-05,1.437732e-05,1.427751e-05,1.417832e-05,1.407982e-05,1.398210e-05,1.388523e-05,1.378927e-05,1.369427e-05,1.360030e-05,1.350740e-05,1.341560e-05,1.332495e-05,1.323547e-05,1.314720e-05,1.306015e-05,1.297434e-05,1.288980e-05,1.280653e-05,1.272455e-05,1.264386e-05,1.256447e-05,1.248637e-05,1.240958e-05
0.000000e+00,1.167311e-11,2.674955e-11,9.217311e-11,2.101081e-10,3.068594e-10,6.981189e-10,7.192084e-10,1.393791e-09,1.638858e-09,2.398857e-09,3.190013e-09,3.804821e-09,5.504002e-09,5.671139e-09,8.024316e-09,8.660935e-09,1.085444e-08,1.263789e-08,1.413499e-08,1.737205e-08,1.783777e-08,2.193550e-08,2.280000e-08,2.640005e-08,2.885655e-08,3.120081e-08,3.546867e-08,3.630402e-08,4.167303e-08,4.255416e-08,4.726892e-08,5.002376e-08,5.305153e-08,5.778492e-08,5.898049e-08,6.501616e-08,6.574578e-08,7.112048e-08,7.381882e-08,7.725771e-08,8.192361e-08,8.339488e-08,8.950212e-08,8.998859e-08,9.555285e-08,9.795199e-08,1.015238e-07,1.057620e-07,1.073948e-07,1.131489e-07,1.133764e-07,1.187720e-07,1.207620e-07,1.242526e-07,1.278932e-07,1.295814e-07,1.347513e-07,1.397570e-07,1.413236e-07,1.445950e-07,1.476021e-07,1.492628e-07,1.535828e-07,1.537594e-07,1.580847e-07,1.592651e-07,1.622394e-07,1.646509e-07,1.662249e-07,1.697439e-07,1.700433e-07,1.736971e-07,1.745498e-07,1.771890e-07,1.790751e-07,1.805225e-07,1.833275e-07,1.837008e-07,1.867276e-07,1.873152e-07,1.896068e-07,1.910468e-07,1.923420e-07,1.945314e-07,1.949374e-07,1.973968e-07,1.977780e-07,1.997243e-07,2.007958e-07,2.019239e-07,2.035941e-07,2.039995e-07,2.059551e-07,2.061819e-07,2.077947e-07,2.085683e-07,2.095220e-07,2.107621e-07,2.111410e-07,2.126552e-07,2.127720e-07,2.140685e-07,2.146063e-07,2.153844e-07,2.162735e-07,2.166064e-07,2.177379e-07,2.177814e-07,2.187824e-07,2.191378e-07,2.197432e-07,2.203502e-07,2.206233e-07,2.214260e-07,2.221542e-07,2.223720e-07,2.228110e-07,2.231951e-07,2.233991e-07,2.239018e-07,2.239215e-07,2.243807e-07,2.244984e-07,2.247795e-07,2.249908e-07,2.251203e-07,2.253848e-07,2.254057e-07,2.256379e-07,2.256861e-07,2.258195e-07,2.258998e-07,2.259525e-07,2.260312e-07,2.260392e-07,2.260817e-07,2.260851e-07,2.260820e-07,2.260661e-07,2.260420e-07,2.259788e-07,2.259638e-07,2.258490e-07,2.258274e-07,2.256995e-07,2.256159e-07,2.255170e-07,2.253483e-07,2.253031e-07,2.250594e-07,2.250282e-07,2.247875e-07,2.246593e-07,2.244888e-07,2.242448e-07,2.241648e-07,2.238168e-07,2.237880e-07,2.234462e-07,2.232919e-07,2.230542e-07,2.227595e-07,2.226421e-07,2.222110e-07,2.221934e-07,2.217621e-07,2.215964e-07,2.212965e-07,2.209709e-07,2.208152e-07,2.203192e-07,2.196437e-07,2.189464e-07,2.182293e-07,2.174944e-07,2.167435e-07,2.159782e-07,2.152003e-07,2.144112e-07,2.136123e-07,2.128050e-07,2.119906e-07,2.111703e-07,2.103453e-07,2.095165e-07,2.086851e-07,2.078519e-07,2.070178e-07,2.061837e-07,2.053503e-07,2.045184e-07,2.036887e-07,2.028616e-07,2.020380e-07,2.012182e-07
0.000000e+00,1.370706e-10,3.793245e-10,1.666428e-09,4.332449e-09,6.661514e-09,1.660041e-08,1.714916e-08,3.499603e-08,4.155699e-08,6.200066e-08,8.334272e-08,9.993751e-08,1.457857e-07,1.502922e-07,2.136003e-07,2.306618e-07,2.891315e-07,3.362378e-07,3.754455e-07,4.591377e-07,4.710574e-07,5.746711e-07,5.962516e-07,6.851393e-07,7.449293e-07,8.013714e-07,9.026599e-07,9.222717e-07,1.046715e-06,1.066877e-06,1.173548e-06,1.234935e-06,1.301610e-06,1.404177e-06,1.429760e-06,1.556904e-06,1.572044e-06,1.682020e-06,1.736187e-06,1.804184e-06,1.894550e-06,1.922583e-06,2.036528e-06,2.045434e-06,2.145457e-06,2.187523e-06,2.248935e-06,2.319883e-06,2.346649e-06,2.438398e-06,2.441942e-06,2.524087e-06,2.553447e-06,2.603707e-06,2.654415e-06,2.677329e-06,2.745086e-06,2.807164e-06,2.825865e-06,2.863787e-06,2.897279e-06,2.915208e-06,2.959932e-06,2.961701e-06,3.003551e-06,3.014476e-06,3.041047e-06,3.061575e-06,3.074478e-06,3.101889e-06,3.104129e-06,3.130275e-06,3.136058e-06,3.153181e-06,3.164687e-06,3.173098e-06,3.188343e-06,3.190266e-06,3.204906e-06,3.207550e-06,3.217229e-06,3.222785e-06,3.227427e-06,3.234484e-06,3.235681e-06,3.242156e-06,3.243037e-06,3.247005e-06,3.248796e-06,3.250367e-06,3.252073e-06,3.252371e-06,3.253135e-06,3.253149e-06,3.252766e-06,3.252271e-06,3.251363e-06,3.249660e-06,3.249014e-06,3.245803e-06,3.245511e-06,3.241804e-06,3.239999e-06,3.237085e-06,3.233276e-06,3.231708e-06,3.225731e-06,3.225480e-06,3.219206e-06,3.216732e-06,3.212181e-06,3.207140e-06,3.204699e-06,3.196801e-06,3.188524e-06,3.185801e-06,3.179902e-06,3.174217e-06,3.170965e-06,3.162118e-06,3.161744e-06,3.152263e-06,3.149566e-06,3.142549e-06,3.136618e-06,3.132624e-06,3.123324e-06,3.122508e-06,3.112221e-06,3.109729e-06,3.101783e-06,3.095876e-06,3.091208e-06,3.081802e-06,3.080513e-06,3.069713e-06,3.067541e-06,3.058820e-06,3.053124e-06,3.047849e-06,3.038580e-06,3.036809e-06,3.025714e-06,3.023934e-06,3.014572e-06,3.009210e-06,3.003393e-06,2.994430e-06,2.992187e-06,2.980961e-06,2.979613e-06,2.969724e-06,2.964778e-06,2.958483e-06,2.949942e-06,2.947245e-06,2.936016e-06,2.935118e-06,2.924802e-06,2.920322e-06,2.913609e-06,2.905566e-06,2.902443e-06,2.891307e-06,2.890862e-06,2.880207e-06,2.876221e-06,2.869147e-06,2.861652e-06,2.858132e-06,2.847164e-06,2.832765e-06,2.818463e-06,2.804265e-06,2.790177e-06,2.776203e-06,2.762351e-06,2.748622e-06,2.735023e-06,2.721557e-06,2.708226e-06,2.695034e-06,2.681983e-06,2.669076e-06,2.656314e-06,2.643700e-06,2.631233e-06,2.618917e-06,2.606751e-06,2.594736e-06,2.582872e-06,2.571161e-06,2.559602e-06,2.548195e-06,2.536941e-06
0.000000e+00,1.388334e-11,3.199710e-11,1.109345e-10,2.537330e-10,3.711934e-10,8.486136e-10,8.744523e-10,1.706380e-09,2.011144e-09,2.964444e-09,3.969202e-09,4.758054e-09,6.969955e-09,7.189681e-09,1.031147e-08,1.116210e-08,1.409969e-08,1.648685e-08,1.848508e-08,2.277975e-08,2.339435e-08,2.876512e-08,2.988987e-08,3.454422e-08,3.769449e-08,4.068294e-08,4.608253e-08,4.713363e-08,5.384827e-08,5.494386e-08,6.077818e-08,6.416665e-08,6.787455e-08,7.363909e-08,7.508923e-08,8.237571e-08,8.325279e-08,8.968992e-08,9.290629e-08,9.699097e-08,1.025079e-07,1.042416e-07,1.114086e-07,1.119775e-07,1.184629e-07,1.212473e-07,1.253794e-07,1.302620e-07,1.321371e-07,1.387185e-07,1.389779e-07,1.451099e-07,1.473621e-07,1.513004e-07,1.553910e-07,1.572820e-07,1.630491e-07,1.685984e-07,1.703279e-07,1.739282e-07,1.772240e-07,1.790384e-07,1.837387e-07,1.839302e-07,1.886061e-07,1.898770e-07,1.930690e-07,1.956463e-07,1.973231e-07,2.010561e-07,2.013726e-07,2.052226e-07,2.061174e-07,2.088782e-07,2.108424e-07,2.123449e-07,2.152439e-07,2.156284e-07,2.187345e-07,2.193349e-07,2.216689e-07,2.231289e-07,2.244375e-07,2.266394e-07,2.270462e-07,2.295007e-07,2.298795e-07,2.318067e-07,2.328624e-07,2.339697e-07,2.356009e-07,2.359953e-07,2.378889e-07,2.381075e-07,2.396557e-07,2.403943e-07,2.413008e-07,2.424729e-07,2.428293e-07,2.442459e-07,2.443546e-07,2.455554e-07,2.460502e-07,2.467623e-07,2.475702e-07,2.478709e-07,2.488857e-07,2.489244e-07,2.498107e-07,2.501225e-07,2.506498e-07,2.511734e-07,2.514070e-07,2.520860e-07,2.526903e-07,2.528685e-07,2.532234e-07,2.535288e-07,2.536886e-07,2.540744e-07,2.540892e-07,2.544282e-07,2.545125e-07,2.547086e-07,2.548499e-07,2.549332e-07,2.550930e-07,2.551049e-07,2.552262e-07,2.552481e-07,2.552997e-07,2.553208e-07,2.553278e-07,2.553168e-07,2.553128e-07,2.552571e-07,2.552413e-07,2.551628e-07,2.550992e-07,2.550319e-07,2.548952e-07,2.548665e-07,2.546684e-07,2.546338e-07,2.544395e-07,2.543192e-07,2.541816e-07,2.539554e-07,2.538962e-07,2.535850e-07,2.535460e-07,2.532496e-07,2.530947e-07,2.528915e-07,2.526049e-07,2.525119e-07,2.521124e-07,2.520796e-07,2.516941e-07,2.515219e-07,2.512584e-07,2.509345e-07,2.508064e-07,2.503392e-07,2.503202e-07,2.498579e-07,2.496814e-07,2.493636e-07,2.490205e-07,2.488572e-07,2.483396e-07,2.476410e-07,2.469264e-07,2.461978e-07,2.454569e-07,2.447053e-07,2.439446e-07,2.431760e-07,2.424011e-07,2.416210e-07,2.408369e-07,2.400498e-07,2.392609e-07,2.384710e-07,2.376811e-07,2.368919e-07,2.361042e-07,2.353188e-07,2.345362e-07,2.337572e-07,2.329822e-07,2.322118e-07,2.314465e-07,2.306866e-07,2.299327e-07
0.000000e+00,5.802698e-10,1.431939e-09,5.369105e-09,1.279856e-08,1.905485e-08,4.528501e-08,4.673387e-08,9.464894e-08,1.127418e-07,1.708933e-07,2.343391e-07,2.854114e-07,4.329316e-07,4.478471e-07,6.626532e-07,7.217284e-07,9.260655e-07,1.091619e-06,1.229433e-06,1.522562e-06,1.564143e-06,1.923516e-06,1.997891e-06,2.302595e-06,2.506192e-06,2.697514e-06,3.039090e-06,3.105011e-06,3.522164e-06,3.589621e-06,3.946259e-06,4.151537e-06,4.374753e-06,4.719113e-06,4.805270e-06,5.235608e-06,5.287140e-06,5.663774e-06,5.851011e-06,6.087983e-06,6.406765e-06,6.506671e-06,6.918491e-06,6.951105e-06,7.322315e-06,7.481389e-06,7.717199e-06,7.995538e-06,8.102368e-06,8.477213e-06,8.491985e-06,8.841279e-06,8.969637e-06,9.194233e-06,9.427774e-06,9.535847e-06,9.865988e-06,1.018460e-05,1.028412e-05,1.049170e-05,1.068222e-05,1.078734e-05,1.106048e-05,1.107163e-05,1.134472e-05,1.141920e-05,1.160677e-05,1.175879e-05,1.185799e-05,1.207972e-05,1.209858e-05,1.232877e-05,1.238250e-05,1.254881e-05,1.266769e-05,1.275894e-05,1.293586e-05,1.295942e-05,1.315049e-05,1.318760e-05,1.333242e-05,1.342349e-05,1.350546e-05,1.364414e-05,1.366988e-05,1.382592e-05,1.385013e-05,1.397386e-05,1.404205e-05,1.411392e-05,1.422048e-05,1.424637e-05,1.437145e-05,1.438598e-05,1.448940e-05,1.453910e-05,1.460045e-05,1.468038e-05,1.470484e-05,1.480279e-05,1.481036e-05,1.489453e-05,1.492953e-05,1.498026e-05,1.503840e-05,1.506021e-05,1.513458e-05,1.513744e-05,1.520356e-05,1.522711e-05,1.526736e-05,1.530788e-05,1.532617e-05,1.538016e-05,1.542953e-05,1.544438e-05,1.547445e-05,1.550094e-05,1.551509e-05,1.555023e-05,1.555161e-05,1.558418e-05,1.559261e-05,1.561294e-05,1.562844e-05,1.563806e-05,1.565808e-05,1.565968e-05,1.567795e-05,1.568185e-05,1.569299e-05,1.570006e-05,1.570494e-05,1.571302e-05,1.571394e-05,1.572011e-05,1.572102e-05,1.572357e-05,1.572434e-05,1.572443e-05,1.572324e-05,1.572282e-05,1.571884e-05,1.571799e-05,1.571259e-05,1.570882e-05,1.570418e-05,1.569596e-05,1.569371e-05,1.568127e-05,1.567965e-05,1.566696e-05,1.566010e-05,1.565087e-05,1.563750e-05,1.563308e-05,1.561367e-05,1.561205e-05,1.559273e-05,1.558394e-05,1.557033e-05,1.555334e-05,1.554655e-05,1.552146e-05,1.552043e-05,1.549513e-05,1.548536e-05,1.546762e-05,1.544828e-05,1.543901e-05,1.540935e-05,1.536869e-05,1.532645e-05,1.528274e-05,1.523768e-05,1.519140e-05,1.514399e-05,1.509556e-05,1.504621e-05,1.499602e-05,1.494509e-05,1.489350e-05,1.484132e-05,1.478863e-05,1.473550e-05,1.468199e-05,1.462817e-05,1.457410e-05,1.451983e-05,1.446542e-05,1.441092e-05,1.435636e-05,1.430180e-05,1.424729e-05,1.419284e-05
0.000000e+00,2.387501e-11,5.462348e-11,1.868930e-10,4.224449e-10,6.138386e-10,1.376699e-09,1.417421e-09,2.704500e-09,3.166032e-09,4.582293e-09,6.038754e-09,7.162341e-09,1.025254e-08,1.055642e-08,1.485448e-08,1.602554e-08,2.008588e-08,2.340675e-08,2.619916e-08,3.222480e-08,3.308857e-08,4.063667e-08,4.221568e-08,4.873669e-08,5.313549e-08,5.729558e-08,6.477849e-08,6.622998e-08,7.546192e-08,7.696159e-08,8.491612e-08,8.951138e-08,9.451883e-08,1.022592e-07,1.041977e-07,1.138823e-07,1.150416e-07,1.235053e-07,1.277034e-07,1.330032e-07,1.401018e-07,1.423176e-07,1.513956e-07,1.521101e-07,1.601905e-07,1.636202e-07,1.686628e-07,1.745442e-07,1.767793e-07,1.845135e-07,1.848146e-07,1.918455e-07,1.943837e-07,1.987614e-07,2.032221e-07,2.052529e-07,2.113167e-07,2.169540e-07,2.186685e-07,2.221696e-07,2.252901e-07,2.269719e-07,2.312033e-07,2.313717e-07,2.353821e-07,2.364372e-07,2.390177e-07,2.410257e-07,2.422944e-07,2.450065e-07,2.452291e-07,2.478391e-07,2.484192e-07,2.501420e-07,2.513041e-07,2.521555e-07,2.537018e-07,2.538970e-07,2.553835e-07,2.556517e-07,2.566318e-07,2.571920e-07,2.576576e-07,2.583588e-07,2.584765e-07,2.591033e-07,2.591867e-07,2.595519e-07,2.597079e-07,2.598357e-07,2.599525e-07,2.599672e-07,2.599582e-07,2.599483e-07,2.598201e-07,2.597210e-07,2.595631e-07,2.592945e-07,2.591972e-07,2.587315e-07,2.586902e-07,2.581745e-07,2.579280e-07,2.575342e-07,2.570259e-07,2.568181e-07,2.560330e-07,2.560003e-07,2.551854e-07,2.548661e-07,2.542812e-07,2.536368e-07,2.533259e-07,2.523247e-07,2.512824e-07,2.509408e-07,2.502032e-07,2.494952e-07,2.490914e-07,2.479968e-07,2.479506e-07,2.467844e-07,2.464537e-07,2.455959e-07,2.448734e-07,2.443882e-07,2.432625e-07,2.431640e-07,2.419258e-07,2.416269e-07,2.406760e-07,2.399719e-07,2.394167e-07,2.383023e-07,2.381500e-07,2.368776e-07,2.366226e-07,2.356013e-07,2.349365e-07,2.343225e-07,2.332476e-07,2.330428e-07,2.317634e-07,2.315589e-07,2.304856e-07,2.298732e-07,2.292105e-07,2.281930e-07,2.279390e-07,2.266722e-07,2.265205e-07,2.254108e-07,2.248578e-07,2.241557e-07,2.232064e-07,2.229075e-07,2.216669e-07,2.215680e-07,2.204346e-07,2.199440e-07,2.192109e-07,2.183355e-07,2.179964e-07,2.167916e-07,2.167437e-07,2.155969e-07,2.151693e-07,2.144125e-07,2.136132e-07,2.132388e-07,2.120762e-07,2.105587e-07,2.090612e-07,2.075843e-07,2.061281e-07,2.046931e-07,2.032793e-07,2.018869e-07,2.005161e-07,1.991669e-07,1.978394e-07,1.965334e-07,1.952489e-07,1.939860e-07,1.927444e-07,1.915240e-07,1.903247e-07,1.891463e-07,1.879886e-07,1.868514e-07,1.857345e-07,1.846377e-07,1.835607e-07,1.825033e-07,1.814652e-07
0.000000e+00,1.237264e-11,2.829033e-11,9.723985e-11,2.216453e-10,3.240300e-10,7.420760e-10,7.648052e-10,1.502640e-09,1.775763e-09,2.638826e-09,3.560600e-09,4.291131e-09,6.360101e-09,6.566652e-09,9.505128e-09,1.030430e-08,1.304953e-08,1.525854e-08,1.709051e-08,2.097310e-08,2.152267e-08,2.626335e-08,2.724267e-08,3.124901e-08,3.392088e-08,3.642789e-08,4.089448e-08,4.175507e-08,4.718981e-08,4.806680e-08,5.269450e-08,5.535127e-08,5.823437e-08,6.267013e-08,6.377763e-08,6.929557e-08,6.995478e-08,7.476274e-08,7.714639e-08,8.015698e-08,8.419603e-08,8.545930e-08,9.065381e-08,9.106431e-08,9.572745e-08,9.772063e-08,1.006697e-07,1.041422e-07,1.054725e-07,1.101296e-07,1.103128e-07,1.146367e-07,1.162219e-07,1.189909e-07,1.218635e-07,1.231905e-07,1.272350e-07,1.311249e-07,1.323371e-07,1.348611e-07,1.371724e-07,1.384454e-07,1.417454e-07,1.418800e-07,1.451673e-07,1.460618e-07,1.483104e-07,1.501283e-07,1.513123e-07,1.539522e-07,1.541763e-07,1.569059e-07,1.575413e-07,1.595045e-07,1.609040e-07,1.619760e-07,1.640485e-07,1.643238e-07,1.665517e-07,1.669832e-07,1.686632e-07,1.697165e-07,1.706621e-07,1.722567e-07,1.725519e-07,1.743363e-07,1.746122e-07,1.760186e-07,1.767910e-07,1.776025e-07,1.788010e-07,1.790913e-07,1.804884e-07,1.806500e-07,1.817969e-07,1.823455e-07,1.830202e-07,1.838949e-07,1.841614e-07,1.852235e-07,1.853052e-07,1.862095e-07,1.865832e-07,1.871223e-07,1.877358e-07,1.879647e-07,1.887395e-07,1.887691e-07,1.894493e-07,1.896895e-07,1.900968e-07,1.905027e-07,1.906844e-07,1.912147e-07,1.916899e-07,1.918307e-07,1.921123e-07,1.923561e-07,1.924843e-07,1.927959e-07,1.928079e-07,1.930852e-07,1.931549e-07,1.933183e-07,1.934378e-07,1.935091e-07,1.936489e-07,1.936595e-07,1.937713e-07,1.937926e-07,1.938463e-07,1.938728e-07,1.938861e-07,1.938934e-07,1.938924e-07,1.938669e-07,1.938581e-07,1.938109e-07,1.937703e-07,1.937261e-07,1.936335e-07,1.936138e-07,1.934753e-07,1.934508e-07,1.933121e-07,1.932253e-07,1.931253e-07,1.929598e-07,1.929163e-07,1.926861e-07,1.926571e-07,1.924360e-07,1.923199e-07,1.921669e-07,1.919505e-07,1.918800e-07,1.915763e-07,1.915513e-07,1.912567e-07,1.911247e-07,1.909222e-07,1.906726e-07,1.905737e-07,1.902120e-07,1.901972e-07,1.898379e-07,1.897004e-07,1.894523e-07,1.891839e-07,1.890559e-07,1.886494e-07,1.880987e-07,1.875332e-07,1.869543e-07,1.863636e-07,1.857622e-07,1.851514e-07,1.845323e-07,1.839060e-07,1.832736e-07,1.826361e-07,1.819943e-07,1.813490e-07,1.807012e-07,1.800515e-07,1.794007e-07,1.787494e-07,1.780983e-07,1.774479e-07,1.767988e-07,1.761514e-07,1.755063e-07,1.748640e-07,1.742247e-07,1.735889e-07
0.000000e+00,1.962094e-10,4.980459e-10,1.923893e-09,4.624386e-09,6.881745e-09,1.612008e-08,1.661975e-08,3.258337e-08,3.835865e-08,5.615897e-08,7.451890e-08,8.868902e-08,1.276176e-07,1.314415e-07,1.855213e-07,2.002830e-07,2.517177e-07,2.942071e-07,3.302953e-07,4.093243e-07,4.207734e-07,5.218021e-07,5.430979e-07,6.312677e-07,6.906907e-07,7.466492e-07,8.463078e-07,8.654519e-07,9.855097e-07,1.004713e-06,1.105086e-06,1.161907e-06,1.222847e-06,1.315062e-06,1.337784e-06,1.449147e-06,1.462242e-06,1.556383e-06,1.602153e-06,1.659097e-06,1.733966e-06,1.757020e-06,1.849989e-06,1.857210e-06,1.937925e-06,1.971686e-06,2.020820e-06,2.077407e-06,2.098721e-06,2.171719e-06,2.174539e-06,2.239943e-06,2.263363e-06,2.303543e-06,2.344238e-06,2.362692e-06,2.417572e-06,2.468375e-06,2.483802e-06,2.515295e-06,2.543377e-06,2.558528e-06,2.596742e-06,2.598267e-06,2.634701e-06,2.644336e-06,2.668015e-06,2.686579e-06,2.698386e-06,2.723875e-06,2.725985e-06,2.750976e-06,2.756604e-06,2.773516e-06,2.785124e-06,2.793754e-06,2.809771e-06,2.811831e-06,2.827882e-06,2.830860e-06,2.842032e-06,2.848680e-06,2.854403e-06,2.863503e-06,2.865108e-06,2.874252e-06,2.875578e-06,2.881938e-06,2.885136e-06,2.888259e-06,2.892393e-06,2.893304e-06,2.897158e-06,2.897544e-06,2.899899e-06,2.900772e-06,2.901602e-06,2.902245e-06,2.902337e-06,2.902168e-06,2.902117e-06,2.901157e-06,2.900530e-06,2.899362e-06,2.897615e-06,2.896837e-06,2.893634e-06,2.893493e-06,2.889800e-06,2.888275e-06,2.885381e-06,2.882063e-06,2.880418e-06,2.874951e-06,2.869018e-06,2.867027e-06,2.862653e-06,2.858369e-06,2.855890e-06,2.849051e-06,2.848759e-06,2.841289e-06,2.839141e-06,2.833508e-06,2.828701e-06,2.825441e-06,2.817787e-06,2.817112e-06,2.808544e-06,2.806454e-06,2.799757e-06,2.794749e-06,2.790773e-06,2.782717e-06,2.781609e-06,2.772282e-06,2.770399e-06,2.762811e-06,2.757833e-06,2.753209e-06,2.745053e-06,2.743491e-06,2.733672e-06,2.732092e-06,2.723763e-06,2.718979e-06,2.713778e-06,2.705741e-06,2.703726e-06,2.693619e-06,2.692403e-06,2.683466e-06,2.678987e-06,2.673277e-06,2.665515e-06,2.663061e-06,2.652825e-06,2.652006e-06,2.642578e-06,2.638477e-06,2.632326e-06,2.624946e-06,2.622076e-06,2.611835e-06,2.611426e-06,2.601608e-06,2.597931e-06,2.591401e-06,2.584475e-06,2.581219e-06,2.571067e-06,2.557719e-06,2.544440e-06,2.531239e-06,2.518123e-06,2.505100e-06,2.492176e-06,2.479358e-06,2.466649e-06,2.454056e-06,2.441582e-06,2.429231e-06,2.417007e-06,2.404912e-06,2.392949e-06,2.381120e-06,2.369428e-06,2.357873e-06,2.346458e-06,2.335183e-06,2.324050e-06,2.313059e-06,2.302210e-06,2.291504e-06,2.280941e-06
0.000000e+00,1.031127e-10,2.481919e-10,8.993933e-10,2.093135e-09,3.076775e-09,7.052117e-09,7.265860e-09,1.406443e-08,1.651585e-08,2.406271e-08,3.184726e-08,3.786279e-08,5.444542e-08,5.607958e-08,7.929589e-08,8.566466e-08,1.079337e-07,1.263841e-07,1.420640e-07,1.763574e-07,1.813177e-07,2.250259e-07,2.342362e-07,2.724484e-07,2.983471e-07,3.229065e-07,3.672014e-07,3.758074e-07,4.306258e-07,4.395420e-07,4.868804e-07,5.142592e-07,5.441194e-07,5.903303e-07,6.019137e-07,6.598563e-07,6.668009e-07,7.175642e-07,7.427888e-07,7.746825e-07,8.174978e-07,8.308877e-07,8.858908e-07,8.902313e-07,9.394389e-07,9.604012e-07,9.913164e-07,1.027532e-06,1.041345e-06,1.089380e-06,1.091259e-06,1.135314e-06,1.151320e-06,1.179068e-06,1.207549e-06,1.220592e-06,1.259860e-06,1.296869e-06,1.308237e-06,1.331636e-06,1.352725e-06,1.364193e-06,1.393410e-06,1.394584e-06,1.422866e-06,1.430416e-06,1.449103e-06,1.463893e-06,1.473366e-06,1.494009e-06,1.495730e-06,1.516275e-06,1.520944e-06,1.535081e-06,1.544884e-06,1.552231e-06,1.566018e-06,1.567806e-06,1.581887e-06,1.584531e-06,1.594554e-06,1.600608e-06,1.605885e-06,1.614426e-06,1.615955e-06,1.624839e-06,1.626154e-06,1.632605e-06,1.635956e-06,1.639323e-06,1.643986e-06,1.645057e-06,1.649870e-06,1.650388e-06,1.653820e-06,1.655300e-06,1.656964e-06,1.658848e-06,1.659356e-06,1.661046e-06,1.661153e-06,1.662082e-06,1.662324e-06,1.662511e-06,1.662466e-06,1.662373e-06,1.661712e-06,1.661675e-06,1.660563e-06,1.660038e-06,1.658965e-06,1.657638e-06,1.656950e-06,1.654551e-06,1.651798e-06,1.650846e-06,1.648718e-06,1.646589e-06,1.645339e-06,1.641837e-06,1.641686e-06,1.637782e-06,1.636647e-06,1.633649e-06,1.631068e-06,1.629308e-06,1.625147e-06,1.624778e-06,1.620077e-06,1.618925e-06,1.615222e-06,1.612442e-06,1.610229e-06,1.605733e-06,1.605113e-06,1.599888e-06,1.598831e-06,1.594566e-06,1.591765e-06,1.589161e-06,1.584564e-06,1.583683e-06,1.578144e-06,1.577252e-06,1.572552e-06,1.569852e-06,1.566917e-06,1.562384e-06,1.561248e-06,1.555552e-06,1.554867e-06,1.549838e-06,1.547320e-06,1.544112e-06,1.539756e-06,1.538380e-06,1.532649e-06,1.532191e-06,1.526925e-06,1.524637e-06,1.521211e-06,1.517107e-06,1.515513e-06,1.509836e-06,1.509610e-06,1.504183e-06,1.502155e-06,1.498559e-06,1.494752e-06,1.492966e-06,1.487409e-06,1.480131e-06,1.472924e-06,1.465795e-06,1.458749e-06,1.451788e-06,1.444917e-06,1.438139e-06,1.431456e-06,1.424872e-06,1.418387e-06,1.412004e-06,1.405724e-06,1.399547e-06,1.393475e-06,1.387507e-06,1.381645e-06,1.375889e-06,1.370237e-06,1.364691e-06,1.359249e-06,1.353911e-06,1.348676e-06,1.343544e-06,1.338514e-06
0.000000e+00,5.769060e-11,1.330978e-10,4.595838e-10,1.044938e-09,1.523546e-09,3.456852e-09,3.561203e-09,6.918605e-09,8.149755e-09,1.201085e-08,1.609746e-08,1.931545e-08,2.835156e-08,2.924811e-08,4.190312e-08,4.531338e-08,5.692593e-08,6.615572e-08,7.373339e-08,8.956880e-08,9.178628e-08,1.106784e-07,1.145300e-07,1.301134e-07,1.403565e-07,1.498629e-07,1.665561e-07,1.697373e-07,1.895692e-07,1.927281e-07,2.092074e-07,2.185237e-07,2.285135e-07,2.436357e-07,2.473638e-07,2.656500e-07,2.678018e-07,2.832802e-07,2.908099e-07,3.001801e-07,3.124996e-07,3.162922e-07,3.315768e-07,3.327630e-07,3.460097e-07,3.515417e-07,3.595805e-07,3.688182e-07,3.722909e-07,3.841529e-07,3.846100e-07,3.951879e-07,3.989634e-07,4.054235e-07,4.119419e-07,4.148895e-07,4.236218e-07,4.316575e-07,4.340882e-07,4.390358e-07,4.434312e-07,4.457961e-07,4.517408e-07,4.519774e-07,4.576176e-07,4.591049e-07,4.627536e-07,4.656079e-07,4.674206e-07,4.713291e-07,4.716524e-07,4.754804e-07,4.763424e-07,4.789345e-07,4.807159e-07,4.820426e-07,4.845121e-07,4.848306e-07,4.873228e-07,4.877878e-07,4.895416e-07,4.905942e-07,4.915076e-07,4.929778e-07,4.932401e-07,4.947567e-07,4.949804e-07,4.960737e-07,4.966394e-07,4.972061e-07,4.979885e-07,4.981679e-07,4.989717e-07,4.990581e-07,4.996293e-07,4.998752e-07,5.001516e-07,5.004641e-07,5.005484e-07,5.008290e-07,5.008467e-07,5.010018e-07,5.010425e-07,5.010747e-07,5.010694e-07,5.010549e-07,5.009490e-07,5.009430e-07,5.007632e-07,5.006779e-07,5.005033e-07,5.002869e-07,5.001745e-07,4.997817e-07,4.993296e-07,4.991730e-07,4.988223e-07,4.984704e-07,4.982637e-07,4.976827e-07,4.976576e-07,4.970073e-07,4.968178e-07,4.963161e-07,4.958830e-07,4.955870e-07,4.948850e-07,4.948226e-07,4.940256e-07,4.938297e-07,4.931984e-07,4.927229e-07,4.923434e-07,4.915696e-07,4.914626e-07,4.905581e-07,4.903745e-07,4.896318e-07,4.891420e-07,4.886853e-07,4.878760e-07,4.877205e-07,4.867388e-07,4.865803e-07,4.857418e-07,4.852581e-07,4.847307e-07,4.839127e-07,4.837070e-07,4.826718e-07,4.825469e-07,4.816263e-07,4.811634e-07,4.805717e-07,4.797647e-07,4.795089e-07,4.784390e-07,4.783531e-07,4.773628e-07,4.769308e-07,4.762813e-07,4.754998e-07,4.751952e-07,4.741054e-07,4.740618e-07,4.730126e-07,4.726186e-07,4.719175e-07,4.711718e-07,4.708207e-07,4.697229e-07,4.682732e-07,4.668240e-07,4.653765e-07,4.639319e-07,4.624910e-07,4.610549e-07,4.596245e-07,4.582005e-07,4.567837e-07,4.553749e-07,4.539746e-07,4.525835e-07,4.512020e-07,4.498308e-07,4.484702e-07,4.471207e-07,4.457827e-07,4.444566e-07,4.431426e-07,4.418410e-07,4.405522e-07,4.392763e-07,4.380136e-07,4.367642e-07
0.000000e+00,1.784553e-07,5.274105e-07,2.627599e-06,7.575878e-06,1.227873e-05,3.463767e-05,3.595119e-05,8.165108e-05,9.958080e-05,1.582189e-04,2.229089e-04,2.751601e-04,4.268796e-04,4.423286e-04,6.689390e-04,7.330030e-04,9.618088e-04,1.156048e-03,1.323956e-03,1.699414e-03,1.754611e-03,2.250209e-03,2.356675e-03,2.805422e-03,3.115608e-03,3.413890e-03,3.961083e-03,4.068659e-03,4.762443e-03,4.876572e-03,5.487799e-03,5.844993e-03,6.237277e-03,6.849296e-03,7.003550e-03,7.779542e-03,7.872991e-03,8.558543e-03,8.900631e-03,9.334318e-03,9.918234e-03,1.010119e-02,1.085410e-02,1.091359e-02,1.158863e-02,1.187644e-02,1.230105e-02,1.279855e-02,1.298829e-02,1.364791e-02,1.367369e-02,1.427809e-02,1.449748e-02,1.487755e-02,1.526721e-02,1.544550e-02,1.598162e-02,1.648594e-02,1.664066e-02,1.695882e-02,1.724525e-02,1.740089e-02,1.779707e-02,1.781299e-02,1.819611e-02,1.829834e-02,1.855139e-02,1.875169e-02,1.888004e-02,1.915997e-02,1.918333e-02,1.946257e-02,1.952616e-02,1.971907e-02,1.985327e-02,1.995413e-02,2.014427e-02,2.016903e-02,2.036500e-02,2.040203e-02,2.054324e-02,2.062931e-02,2.070491e-02,2.082870e-02,2.085109e-02,2.098282e-02,2.100263e-02,2.110110e-02,2.115336e-02,2.120683e-02,2.128299e-02,2.130091e-02,2.138413e-02,2.139343e-02,2.145728e-02,2.148645e-02,2.152105e-02,2.156366e-02,2.157612e-02,2.162310e-02,2.162653e-02,2.166258e-02,2.167639e-02,2.169509e-02,2.171447e-02,2.172113e-02,2.174117e-02,2.174186e-02,2.175564e-02,2.175956e-02,2.176494e-02,2.176850e-02,2.176944e-02,2.176950e-02,2.176542e-02,2.176330e-02,2.175752e-02,2.175059e-02,2.174608e-02,2.173199e-02,2.173134e-02,2.171356e-02,2.170807e-02,2.169296e-02,2.167933e-02,2.166975e-02,2.164626e-02,2.164412e-02,2.161626e-02,2.160926e-02,2.158634e-02,2.156874e-02,2.155452e-02,2.152506e-02,2.152094e-02,2.148575e-02,2.147853e-02,2.144907e-02,2.142946e-02,2.141104e-02,2.137812e-02,2.137175e-02,2.133133e-02,2.132476e-02,2.128986e-02,2.126961e-02,2.124744e-02,2.121289e-02,2.120417e-02,2.116011e-02,2.115478e-02,2.111536e-02,2.109547e-02,2.106999e-02,2.103512e-02,2.102405e-02,2.097762e-02,2.097389e-02,2.093076e-02,2.091190e-02,2.088352e-02,2.084930e-02,2.083596e-02,2.078812e-02,2.078620e-02,2.074006e-02,2.072271e-02,2.069182e-02,2.065893e-02,2.064343e-02,2.059495e-02,2.053086e-02,2.046673e-02,2.040264e-02,2.033867e-02,2.027485e-02,2.021126e-02,2.014795e-02,2.008496e-02,2.002234e-02,1.996013e-02,1.989836e-02,1.983707e-02,1.977628e-02,1.971603e-02,1.965634e-02,1.959723e-02,1.953873e-02,1.948084e-02,1.942360e-02,1.936700e-02,1.931107e-02,1.925581e-02,1.920124e-02,1.914736e-02
0.000000e+00,4.055178e-08,1.203172e-07,6.046582e-07,1.758912e-06,2.866232e-06,8.217410e-06,8.535315e-06,1.978075e-05,2.427673e-05,3.925217e-05,5.618919e-05,7.014580e-05,1.118634e-04,1.162004e-04,1.814138e-04,2.003294e-04,2.692842e-04,3.292176e-04,3.818165e-04,5.012933e-04,5.190155e-04,6.791723e-04,7.137267e-04,8.595234e-04,9.602208e-04,1.056837e-03,1.233253e-03,1.267786e-03,1.489150e-03,1.525330e-03,1.717905e-03,1.829505e-03,1.951264e-03,2.139553e-03,2.186690e-03,2.421892e-03,2.450002e-03,2.654831e-03,2.756136e-03,2.883710e-03,3.053975e-03,3.106971e-03,3.323290e-03,3.340261e-03,3.531566e-03,3.612419e-03,3.730912e-03,3.868517e-03,3.920639e-03,4.100239e-03,4.107207e-03,4.269375e-03,4.327661e-03,4.427857e-03,4.529505e-03,4.575628e-03,4.712746e-03,4.839362e-03,4.877697e-03,4.955710e-03,5.024918e-03,5.062087e-03,5.155150e-03,5.158840e-03,5.246350e-03,5.269251e-03,5.325024e-03,5.368165e-03,5.395289e-03,5.452881e-03,5.457582e-03,5.512342e-03,5.524412e-03,5.560011e-03,5.583773e-03,5.601032e-03,5.631984e-03,5.635848e-03,5.664885e-03,5.670034e-03,5.688548e-03,5.698859e-03,5.707228e-03,5.719340e-03,5.721296e-03,5.731102e-03,5.732298e-03,5.736979e-03,5.738497e-03,5.739239e-03,5.738642e-03,5.738178e-03,5.734070e-03,5.733385e-03,5.727175e-03,5.723322e-03,5.717736e-03,5.708999e-03,5.705977e-03,5.692111e-03,5.690917e-03,5.676334e-03,5.669529e-03,5.658828e-03,5.645248e-03,5.639762e-03,5.619295e-03,5.618449e-03,5.597572e-03,5.589471e-03,5.574730e-03,5.558621e-03,5.550893e-03,5.526177e-03,5.500690e-03,5.492387e-03,5.474530e-03,5.457478e-03,5.447790e-03,5.421650e-03,5.420552e-03,5.392896e-03,5.385087e-03,5.364891e-03,5.347950e-03,5.336605e-03,5.310385e-03,5.308098e-03,5.279425e-03,5.272524e-03,5.250637e-03,5.234483e-03,5.221781e-03,5.196366e-03,5.192900e-03,5.164033e-03,5.158265e-03,5.135216e-03,5.120262e-03,5.106481e-03,5.082430e-03,5.077859e-03,5.049375e-03,5.044832e-03,5.021055e-03,5.007526e-03,4.992921e-03,4.970561e-03,4.964992e-03,4.937288e-03,4.933980e-03,4.909825e-03,4.897821e-03,4.882616e-03,4.862117e-03,4.855676e-03,4.829015e-03,4.826895e-03,4.802645e-03,4.792180e-03,4.776573e-03,4.757992e-03,4.750809e-03,4.725358e-03,4.724347e-03,4.700228e-03,4.691260e-03,4.675421e-03,4.658741e-03,4.650944e-03,4.626800e-03,4.595442e-03,4.564673e-03,4.534494e-03,4.504909e-03,4.475915e-03,4.447512e-03,4.419697e-03,4.392467e-03,4.365818e-03,4.339743e-03,4.314238e-03,4.289297e-03,4.264911e-03,4.241074e-03,4.217779e-03,4.195016e-03,4.172779e-03,4.151057e-03,4.129843e-03,4.109127e-03,4.088901e-03,4.069155e-03,4.049880e-03,4.031068e-03
0.000000e+00,3.247626e-10,7.762685e-10,2.781033e-09,6.419537e-09,9.401547e-09,2.140362e-08,2.204828e-08,4.258908e-08,5.002496e-08,7.304356e-08,9.699343e-08,1.156350e-07,1.675080e-07,1.726494e-07,2.459474e-07,2.660631e-07,3.360572e-07,3.933385e-07,4.413199e-07,5.435995e-07,5.580700e-07,6.819363e-07,7.072079e-07,8.090646e-07,8.754595e-07,9.365501e-07,1.042390e-06,1.062336e-06,1.184973e-06,1.204229e-06,1.303419e-06,1.358552e-06,1.416910e-06,1.503752e-06,1.524884e-06,1.626938e-06,1.638772e-06,1.722800e-06,1.762974e-06,1.812315e-06,1.876064e-06,1.895427e-06,1.972165e-06,1.978031e-06,2.042633e-06,2.069101e-06,2.106998e-06,2.149676e-06,2.165467e-06,2.218287e-06,2.220286e-06,2.265733e-06,2.281553e-06,2.308095e-06,2.334151e-06,2.345675e-06,2.378776e-06,2.407703e-06,2.416126e-06,2.432751e-06,2.446880e-06,2.454209e-06,2.471686e-06,2.472351e-06,2.487441e-06,2.491153e-06,2.499726e-06,2.505848e-06,2.509439e-06,2.516292e-06,2.516799e-06,2.522008e-06,2.522960e-06,2.525256e-06,2.526284e-06,2.526717e-06,2.526655e-06,2.526555e-06,2.524917e-06,2.524425e-06,2.521943e-06,2.519911e-06,2.517759e-06,2.513394e-06,2.512480e-06,2.506216e-06,2.505128e-06,2.499062e-06,2.495340e-06,2.491110e-06,2.484230e-06,2.482443e-06,2.473135e-06,2.471978e-06,2.463256e-06,2.458745e-06,2.452869e-06,2.444672e-06,2.442033e-06,2.430801e-06,2.429886e-06,2.419221e-06,2.414501e-06,2.407337e-06,2.398617e-06,2.395192e-06,2.382821e-06,2.382322e-06,2.370259e-06,2.365697e-06,2.357538e-06,2.348810e-06,2.344685e-06,2.331727e-06,2.318687e-06,2.314501e-06,2.305588e-06,2.297182e-06,2.292448e-06,2.279814e-06,2.279288e-06,2.266122e-06,2.262436e-06,2.252965e-06,2.245082e-06,2.239833e-06,2.227783e-06,2.226737e-06,2.213688e-06,2.210565e-06,2.200698e-06,2.193452e-06,2.187774e-06,2.176464e-06,2.174927e-06,2.162163e-06,2.159621e-06,2.149490e-06,2.142938e-06,2.136914e-06,2.126429e-06,2.124440e-06,2.112074e-06,2.110106e-06,2.099820e-06,2.093978e-06,2.087681e-06,2.078057e-06,2.075663e-06,2.063767e-06,2.062347e-06,2.051996e-06,2.046857e-06,2.040353e-06,2.031592e-06,2.028841e-06,2.017460e-06,2.016555e-06,2.006212e-06,2.001750e-06,1.995099e-06,1.987181e-06,1.984121e-06,1.973279e-06,1.972848e-06,1.962574e-06,1.958753e-06,1.952006e-06,1.944898e-06,1.941575e-06,1.931281e-06,1.917904e-06,1.904765e-06,1.891864e-06,1.879199e-06,1.866769e-06,1.854572e-06,1.842605e-06,1.830867e-06,1.819355e-06,1.808066e-06,1.796999e-06,1.786149e-06,1.775515e-06,1.765092e-06,1.754878e-06,1.744870e-06,1.735065e-06,1.725459e-06,1.716049e-06,1.706832e-06,1.697804e-06,1.688962e-06,1.680303e-06,1.671823e-06
0.000000e+00,1.526954e-11,3.521844e-11,1.218943e-10,2.776258e-10,4.047807e-10,9.137354e-10,9.409431e-10,1.800247e-09,2.107542e-09,3.046073e-09,4.003201e-09,4.735767e-09,6.726510e-09,6.920610e-09,9.644545e-09,1.038247e-08,1.294046e-08,1.504272e-08,1.682398e-08,2.072329e-08,2.128913e-08,2.631103e-08,2.737915e-08,3.185338e-08,3.492725e-08,3.787406e-08,4.326776e-08,4.432739e-08,5.116465e-08,5.229083e-08,5.833436e-08,6.187823e-08,6.578291e-08,7.190561e-08,7.345535e-08,8.129644e-08,8.224610e-08,8.925173e-08,9.277458e-08,9.726857e-08,1.033717e-07,1.052970e-07,1.132905e-07,1.139272e-07,1.212066e-07,1.243426e-07,1.290070e-07,1.345326e-07,1.366580e-07,1.441307e-07,1.444256e-07,1.514005e-07,1.539639e-07,1.584471e-07,1.631028e-07,1.652543e-07,1.718096e-07,1.781042e-07,1.800622e-07,1.841318e-07,1.878478e-07,1.898893e-07,1.951614e-07,1.953757e-07,2.005919e-07,2.020044e-07,2.055409e-07,2.083836e-07,2.102267e-07,2.143098e-07,2.146547e-07,2.188312e-07,2.197969e-07,2.227632e-07,2.248612e-07,2.264584e-07,2.295206e-07,2.299247e-07,2.331704e-07,2.337938e-07,2.362040e-07,2.377006e-07,2.390341e-07,2.412604e-07,2.416692e-07,2.441178e-07,2.444928e-07,2.463883e-07,2.474173e-07,2.484888e-07,2.500524e-07,2.504275e-07,2.522122e-07,2.524163e-07,2.538504e-07,2.545267e-07,2.553494e-07,2.564000e-07,2.567165e-07,2.579583e-07,2.580524e-07,2.590815e-07,2.594989e-07,2.600923e-07,2.607539e-07,2.609968e-07,2.618008e-07,2.618309e-07,2.625097e-07,2.627427e-07,2.631289e-07,2.635013e-07,2.636634e-07,2.641181e-07,2.644973e-07,2.646035e-07,2.648057e-07,2.649677e-07,2.650472e-07,2.652198e-07,2.652258e-07,2.653454e-07,2.653687e-07,2.654093e-07,2.654225e-07,2.654212e-07,2.653888e-07,2.653841e-07,2.653012e-07,2.652748e-07,2.651753e-07,2.650870e-07,2.650092e-07,2.648318e-07,2.648055e-07,2.645667e-07,2.645149e-07,2.642951e-07,2.641417e-07,2.639930e-07,2.637172e-07,2.636625e-07,2.633056e-07,2.632462e-07,2.629242e-07,2.627329e-07,2.625200e-07,2.621815e-07,2.620949e-07,2.616503e-07,2.615958e-07,2.611879e-07,2.609792e-07,2.607090e-07,2.603350e-07,2.602151e-07,2.597074e-07,2.596662e-07,2.591872e-07,2.589758e-07,2.586555e-07,2.582663e-07,2.581135e-07,2.575623e-07,2.575401e-07,2.570027e-07,2.567995e-07,2.564358e-07,2.560465e-07,2.558624e-07,2.552832e-07,2.545113e-07,2.537325e-07,2.529482e-07,2.521600e-07,2.513691e-07,2.505768e-07,2.497840e-07,2.489920e-07,2.482015e-07,2.474135e-07,2.466288e-07,2.458481e-07,2.450720e-07,2.443011e-07,2.435361e-07,2.427773e-07,2.420253e-07,2.412805e-07,2.405432e-07,2.398137e-07,2.390924e-07,2.383795e-07,2.376753e-07,2.369799e-07
0.000000e+00,7.500404e-12,1.715596e-11,5.878728e-11,1.331752e-10,1.937678e-10,4.360366e-10,4.489918e-10,8.590419e-10,1.006214e-09,1.457751e-09,1.921505e-09,2.278600e-09,3.256988e-09,3.352884e-09,4.703278e-09,5.069371e-09,6.333155e-09,7.360858e-09,8.221205e-09,1.006666e-08,1.033001e-08,1.261930e-08,1.309550e-08,1.505239e-08,1.636353e-08,1.759688e-08,1.979883e-08,2.022346e-08,2.290514e-08,2.333762e-08,2.561685e-08,2.692227e-08,2.833549e-08,3.050122e-08,3.104008e-08,3.371200e-08,3.402963e-08,3.633501e-08,3.747001e-08,3.889538e-08,4.079233e-08,4.138180e-08,4.378526e-08,4.397373e-08,4.609885e-08,4.699794e-08,4.831757e-08,4.985438e-08,5.043810e-08,5.245857e-08,5.253729e-08,5.437830e-08,5.504478e-08,5.619764e-08,5.737802e-08,5.791777e-08,5.954049e-08,6.106813e-08,6.153733e-08,6.250342e-08,6.337490e-08,6.384933e-08,6.506030e-08,6.510907e-08,6.628594e-08,6.660107e-08,6.738332e-08,6.800500e-08,6.840460e-08,6.927988e-08,6.935317e-08,7.023236e-08,7.043341e-08,7.104545e-08,7.147310e-08,7.179562e-08,7.240619e-08,7.248598e-08,7.311951e-08,7.323965e-08,7.369909e-08,7.398009e-08,7.422752e-08,7.463382e-08,7.470746e-08,7.514145e-08,7.520679e-08,7.553194e-08,7.570461e-08,7.588127e-08,7.613259e-08,7.619166e-08,7.646524e-08,7.649569e-08,7.670403e-08,7.679858e-08,7.690996e-08,7.704563e-08,7.708487e-08,7.723050e-08,7.724093e-08,7.734850e-08,7.738833e-08,7.744046e-08,7.749139e-08,7.750787e-08,7.755216e-08,7.755346e-08,7.757466e-08,7.757768e-08,7.757667e-08,7.756695e-08,7.755940e-08,7.752400e-08,7.747157e-08,7.745136e-08,7.740314e-08,7.735141e-08,7.731970e-08,7.722634e-08,7.722218e-08,7.711147e-08,7.707822e-08,7.698840e-08,7.690896e-08,7.685377e-08,7.672035e-08,7.670833e-08,7.655280e-08,7.651405e-08,7.638785e-08,7.629161e-08,7.621413e-08,7.605447e-08,7.603223e-08,7.584274e-08,7.580398e-08,7.564620e-08,7.554138e-08,7.544312e-08,7.526785e-08,7.523400e-08,7.501930e-08,7.498446e-08,7.479945e-08,7.469222e-08,7.457487e-08,7.439207e-08,7.434596e-08,7.411308e-08,7.408488e-08,7.387658e-08,7.377147e-08,7.363681e-08,7.345258e-08,7.339407e-08,7.314867e-08,7.312893e-08,7.290088e-08,7.280116e-08,7.265097e-08,7.246987e-08,7.239920e-08,7.214580e-08,7.213564e-08,7.189100e-08,7.179897e-08,7.163502e-08,7.146037e-08,7.137804e-08,7.112027e-08,7.077911e-08,7.043727e-08,7.009510e-08,6.975292e-08,6.941105e-08,6.906976e-08,6.872933e-08,6.838998e-08,6.805196e-08,6.771545e-08,6.738066e-08,6.704775e-08,6.671689e-08,6.638822e-08,6.606188e-08,6.573798e-08,6.541663e-08,6.509793e-08,6.478199e-08,6.446887e-08,6.415863e-08,6.385137e-08,6.354712e-08,6.324594e-08
0.000000e+00,5.296696e-10,1.523644e-09,7.198832e-09,1.984660e-08,3.143054e-08,8.391049e-08,8.691001e-08,1.881866e-07,2.268099e-07,3.505341e-07,4.839434e-07,5.901051e-07,8.930041e-07,9.235055e-07,1.365699e-06,1.489212e-06,1.925726e-06,2.290875e-06,2.602555e-06,3.286198e-06,3.385170e-06,4.256847e-06,4.440280e-06,5.199700e-06,5.712538e-06,6.197174e-06,7.066564e-06,7.234724e-06,8.299721e-06,8.471911e-06,9.381138e-06,9.903163e-06,1.046930e-05,1.133896e-05,1.155574e-05,1.263310e-05,1.276146e-05,1.369512e-05,1.415616e-05,1.473654e-05,1.551158e-05,1.575308e-05,1.674135e-05,1.681911e-05,1.769876e-05,1.807265e-05,1.862346e-05,1.926828e-05,1.951421e-05,2.037031e-05,2.040383e-05,2.119149e-05,2.147858e-05,2.197785e-05,2.249287e-05,2.272977e-05,2.344787e-05,2.413294e-05,2.434533e-05,2.478589e-05,2.518740e-05,2.540775e-05,2.597648e-05,2.599959e-05,2.656253e-05,2.671512e-05,2.709768e-05,2.740590e-05,2.760617e-05,2.805142e-05,2.808914e-05,2.854768e-05,2.865421e-05,2.898286e-05,2.921675e-05,2.939574e-05,2.974142e-05,2.978732e-05,3.015858e-05,3.023048e-05,3.051046e-05,3.068609e-05,3.084387e-05,3.111029e-05,3.115967e-05,3.145869e-05,3.150502e-05,3.174171e-05,3.187211e-05,3.200950e-05,3.221325e-05,3.226277e-05,3.250222e-05,3.253005e-05,3.272849e-05,3.282404e-05,3.294221e-05,3.309661e-05,3.314397e-05,3.333435e-05,3.334910e-05,3.351386e-05,3.358274e-05,3.368303e-05,3.379871e-05,3.384235e-05,3.399227e-05,3.399807e-05,3.413323e-05,3.418187e-05,3.426566e-05,3.435104e-05,3.438995e-05,3.450647e-05,3.461560e-05,3.464902e-05,3.471767e-05,3.477944e-05,3.481301e-05,3.489848e-05,3.490192e-05,3.498471e-05,3.500683e-05,3.506165e-05,3.510512e-05,3.513301e-05,3.519396e-05,3.519905e-05,3.526000e-05,3.527390e-05,3.531611e-05,3.534549e-05,3.536758e-05,3.540921e-05,3.541463e-05,3.545746e-05,3.546554e-05,3.549626e-05,3.551490e-05,3.553120e-05,3.555771e-05,3.556247e-05,3.559023e-05,3.559436e-05,3.561464e-05,3.562521e-05,3.563584e-05,3.565059e-05,3.565398e-05,3.566920e-05,3.567084e-05,3.568163e-05,3.568624e-05,3.569139e-05,3.569710e-05,3.569861e-05,3.570339e-05,3.570367e-05,3.570585e-05,3.570621e-05,3.570609e-05,3.570495e-05,3.570422e-05,3.570032e-05,3.570013e-05,3.569450e-05,3.569195e-05,3.568683e-05,3.568061e-05,3.567740e-05,3.566630e-05,3.564920e-05,3.562949e-05,3.560732e-05,3.558283e-05,3.555618e-05,3.552750e-05,3.549692e-05,3.546457e-05,3.543054e-05,3.539496e-05,3.535793e-05,3.531955e-05,3.527990e-05,3.523909e-05,3.519718e-05,3.515427e-05,3.511043e-05,3.506573e-05,3.502024e-05,3.497402e-05,3.492713e-05,3.487964e-05,3.483160e-05,3.478307e-05
0.000000e+00,4.142385e-10,1.149920e-09,5.092907e-09,1.335808e-08,2.064679e-08,5.218064e-08,5.393663e-08,1.115917e-07,1.329846e-07,2.000897e-07,2.706845e-07,3.259035e-07,4.801413e-07,4.954602e-07,7.145530e-07,7.749964e-07,9.870457e-07,1.163393e-06,1.313738e-06,1.644515e-06,1.692629e-06,2.120199e-06,2.211205e-06,2.592458e-06,2.854347e-06,3.105348e-06,3.564590e-06,3.654786e-06,4.236601e-06,4.332410e-06,4.846497e-06,5.147930e-06,5.480065e-06,6.000958e-06,6.132832e-06,6.800331e-06,6.881211e-06,7.478181e-06,7.778620e-06,8.162166e-06,8.683634e-06,8.848298e-06,9.532875e-06,9.587470e-06,1.021252e-05,1.048230e-05,1.088420e-05,1.136136e-05,1.154524e-05,1.219333e-05,1.221896e-05,1.282651e-05,1.305049e-05,1.344315e-05,1.385233e-05,1.404192e-05,1.462177e-05,1.518191e-05,1.535690e-05,1.572179e-05,1.605652e-05,1.624107e-05,1.672001e-05,1.673955e-05,1.721721e-05,1.734724e-05,1.767416e-05,1.793846e-05,1.811060e-05,1.849426e-05,1.852682e-05,1.892321e-05,1.901544e-05,1.930019e-05,1.950300e-05,1.965824e-05,1.995807e-05,1.999788e-05,2.031964e-05,2.038189e-05,2.062408e-05,2.077574e-05,2.091178e-05,2.114094e-05,2.118332e-05,2.143928e-05,2.147883e-05,2.168024e-05,2.179073e-05,2.190676e-05,2.207797e-05,2.211942e-05,2.231878e-05,2.234183e-05,2.250537e-05,2.258357e-05,2.267974e-05,2.280441e-05,2.284241e-05,2.299387e-05,2.300552e-05,2.313462e-05,2.318803e-05,2.326513e-05,2.335303e-05,2.338587e-05,2.349728e-05,2.350155e-05,2.359979e-05,2.363460e-05,2.369381e-05,2.375310e-05,2.377975e-05,2.385798e-05,2.392888e-05,2.395007e-05,2.399280e-05,2.403020e-05,2.405008e-05,2.409914e-05,2.410106e-05,2.414605e-05,2.415761e-05,2.418535e-05,2.420632e-05,2.421925e-05,2.424590e-05,2.424802e-05,2.427195e-05,2.427700e-05,2.429128e-05,2.430018e-05,2.430625e-05,2.431601e-05,2.431710e-05,2.432406e-05,2.432501e-05,2.432734e-05,2.432766e-05,2.432714e-05,2.432444e-05,2.432367e-05,2.431710e-05,2.431578e-05,2.430763e-05,2.430209e-05,2.429541e-05,2.428377e-05,2.428061e-05,2.426340e-05,2.426118e-05,2.424391e-05,2.423466e-05,2.422230e-05,2.420453e-05,2.419869e-05,2.417322e-05,2.417111e-05,2.414601e-05,2.413467e-05,2.411718e-05,2.409548e-05,2.408684e-05,2.405510e-05,2.405380e-05,2.402206e-05,2.400987e-05,2.398782e-05,2.396389e-05,2.395246e-05,2.391609e-05,2.386664e-05,2.381575e-05,2.376357e-05,2.371027e-05,2.365599e-05,2.360087e-05,2.354505e-05,2.348864e-05,2.343175e-05,2.337450e-05,2.331697e-05,2.325926e-05,2.320145e-05,2.314362e-05,2.308584e-05,2.302818e-05,2.297070e-05,2.291346e-05,2.285650e-05,2.279989e-05,2.274365e-05,2.268784e-05,2.263248e-05,2.257762e-05
0.000000e+00,3.735101e-10,9.030325e-10,3.298722e-09,7.727163e-09,1.139612e-08,2.632099e-08,2.712636e-08,5.282264e-08,6.211042e-08,9.072476e-08,1.202279e-07,1.429935e-07,2.055080e-07,2.116453e-07,2.983020e-07,3.218927e-07,4.038115e-07,4.711531e-07,5.281598e-07,6.527424e-07,6.708010e-07,8.309676e-07,8.650273e-07,1.007763e-06,1.105930e-06,1.200151e-06,1.372942e-06,1.406943e-06,1.626804e-06,1.663098e-06,1.858269e-06,1.973041e-06,2.099786e-06,2.299158e-06,2.349748e-06,2.606538e-06,2.637735e-06,2.868561e-06,2.985109e-06,3.134277e-06,3.337792e-06,3.402230e-06,3.671062e-06,3.692569e-06,3.939530e-06,4.046560e-06,4.206511e-06,4.397251e-06,4.471006e-06,4.732137e-06,4.742502e-06,4.989147e-06,5.080534e-06,5.241390e-06,5.409913e-06,5.488327e-06,5.729516e-06,5.964597e-06,6.038483e-06,6.193282e-06,6.336183e-06,6.415359e-06,6.622190e-06,6.630671e-06,6.839113e-06,6.896237e-06,7.040625e-06,7.158196e-06,7.235188e-06,7.408060e-06,7.422816e-06,7.603552e-06,7.645911e-06,7.777465e-06,7.871908e-06,7.944644e-06,8.086284e-06,8.105207e-06,8.259282e-06,8.289329e-06,8.406996e-06,8.481338e-06,8.548483e-06,8.662625e-06,8.683887e-06,8.813359e-06,8.833535e-06,8.937052e-06,8.994417e-06,9.055120e-06,9.145629e-06,9.167719e-06,9.275006e-06,9.287532e-06,9.377141e-06,9.420488e-06,9.474280e-06,9.544860e-06,9.566578e-06,9.654191e-06,9.661002e-06,9.737268e-06,9.769263e-06,9.815961e-06,9.869986e-06,9.890415e-06,9.960776e-06,9.963507e-06,1.002719e-05,1.005015e-05,1.008978e-05,1.013024e-05,1.014871e-05,1.020409e-05,1.025606e-05,1.027199e-05,1.030474e-05,1.033423e-05,1.035026e-05,1.039110e-05,1.039274e-05,1.043230e-05,1.044287e-05,1.046904e-05,1.048979e-05,1.050309e-05,1.053212e-05,1.053454e-05,1.056351e-05,1.057010e-05,1.059009e-05,1.060397e-05,1.061439e-05,1.063395e-05,1.063649e-05,1.065649e-05,1.066025e-05,1.067449e-05,1.068308e-05,1.069056e-05,1.070263e-05,1.070479e-05,1.071727e-05,1.071911e-05,1.072807e-05,1.073267e-05,1.073726e-05,1.074351e-05,1.074493e-05,1.075114e-05,1.075179e-05,1.075596e-05,1.075766e-05,1.075946e-05,1.076127e-05,1.076169e-05,1.076274e-05,1.076277e-05,1.076264e-05,1.076230e-05,1.076147e-05,1.075999e-05,1.075927e-05,1.075610e-05,1.075595e-05,1.075201e-05,1.075032e-05,1.074705e-05,1.074321e-05,1.074127e-05,1.073471e-05,1.072494e-05,1.071399e-05,1.070196e-05,1.068892e-05,1.067497e-05,1.066018e-05,1.064463e-05,1.062838e-05,1.061151e-05,1.059407e-05,1.057613e-05,1.055774e-05,1.053896e-05,1.051983e-05,1.050041e-05,1.048073e-05,1.046084e-05,1.044077e-05,1.042057e-05,1.040026e-05,1.037989e-05,1.035947e-05,1.033905e-05,1.031863e-05
0.000000e+00,3.184204e-10,7.977558e-10,3.034318e-09,7.241276e-09,1.074911e-08,2.507811e-08,2.585243e-08,5.056922e-08,5.950318e-08,8.702046e-08,1.153837e-07,1.372685e-07,1.973983e-07,2.033067e-07,2.869086e-07,3.097374e-07,3.892613e-07,4.548800e-07,5.105337e-07,6.321938e-07,6.498077e-07,8.054812e-07,8.384240e-07,9.757324e-07,1.069420e-06,1.158748e-06,1.321059e-06,1.352771e-06,1.556082e-06,1.589359e-06,1.766979e-06,1.870408e-06,1.983776e-06,2.160348e-06,2.204817e-06,2.428488e-06,2.455432e-06,2.653248e-06,2.752108e-06,2.877642e-06,3.047107e-06,3.100329e-06,3.320089e-06,3.337510e-06,3.535837e-06,3.620796e-06,3.746624e-06,3.894859e-06,3.951640e-06,4.150208e-06,4.158008e-06,4.341783e-06,4.408951e-06,4.525933e-06,4.646742e-06,4.702331e-06,4.870758e-06,5.031082e-06,5.080661e-06,5.183237e-06,5.276329e-06,5.327227e-06,5.457833e-06,5.463114e-06,5.591008e-06,5.625406e-06,5.711058e-06,5.779396e-06,5.823443e-06,5.920246e-06,5.928371e-06,6.026068e-06,6.048466e-06,6.116778e-06,6.164619e-06,6.200757e-06,6.269298e-06,6.278266e-06,6.349568e-06,6.363107e-06,6.414927e-06,6.446652e-06,6.474606e-06,6.520541e-06,6.528869e-06,6.577973e-06,6.585367e-06,6.622168e-06,6.641712e-06,6.661703e-06,6.690136e-06,6.696816e-06,6.727740e-06,6.731181e-06,6.754702e-06,6.765365e-06,6.777917e-06,6.793184e-06,6.797595e-06,6.813938e-06,6.815107e-06,6.827139e-06,6.831582e-06,6.837384e-06,6.843029e-06,6.844850e-06,6.849706e-06,6.849848e-06,6.852116e-06,6.852414e-06,6.852233e-06,6.851080e-06,6.850207e-06,6.846177e-06,6.840278e-06,6.838017e-06,6.832638e-06,6.826890e-06,6.823377e-06,6.813069e-06,6.812611e-06,6.800450e-06,6.796809e-06,6.786997e-06,6.778347e-06,6.772351e-06,6.757904e-06,6.756606e-06,6.739850e-06,6.735687e-06,6.722166e-06,6.711888e-06,6.703634e-06,6.686685e-06,6.684330e-06,6.664323e-06,6.660244e-06,6.643682e-06,6.632718e-06,6.622468e-06,6.604250e-06,6.600742e-06,6.578560e-06,6.574972e-06,6.555974e-06,6.545005e-06,6.533035e-06,6.514462e-06,6.509790e-06,6.486283e-06,6.483446e-06,6.462554e-06,6.452054e-06,6.438644e-06,6.420373e-06,6.414588e-06,6.390421e-06,6.388484e-06,6.366175e-06,6.356461e-06,6.341879e-06,6.324372e-06,6.317562e-06,6.293250e-06,6.292278e-06,6.268967e-06,6.260237e-06,6.244736e-06,6.228300e-06,6.220578e-06,6.196513e-06,6.164920e-06,6.133559e-06,6.102463e-06,6.071665e-06,6.041192e-06,6.011068e-06,5.981315e-06,5.951953e-06,5.922999e-06,5.894467e-06,5.866370e-06,5.838718e-06,5.811521e-06,5.784786e-06,5.758519e-06,5.732724e-06,5.707404e-06,5.682562e-06,5.658199e-06,5.634314e-06,5.610908e-06,5.587978e-06,5.565522e-06,5.543538e-06
0.000000e+00,1.201228e-11,2.755403e-11,9.482468e-11,2.154918e-10,3.140290e-10,7.092747e-10,7.304512e-10,1.402107e-09,1.643685e-09,2.386125e-09,3.150376e-09,3.740033e-09,5.361909e-09,5.521483e-09,7.784706e-09,8.404652e-09,1.057134e-08,1.236728e-08,1.389536e-08,1.724503e-08,1.773036e-08,2.201274e-08,2.291579e-08,2.666083e-08,2.919518e-08,3.159376e-08,3.590493e-08,3.674003e-08,4.203842e-08,4.289666e-08,4.743618e-08,5.004862e-08,5.288712e-08,5.725855e-08,5.835039e-08,6.378982e-08,6.443940e-08,6.917356e-08,7.151748e-08,7.447390e-08,7.843164e-08,7.966712e-08,8.473330e-08,8.513259e-08,8.965610e-08,9.158206e-08,9.442253e-08,9.775181e-08,9.902258e-08,1.034490e-07,1.036223e-07,1.076967e-07,1.091816e-07,1.117630e-07,1.144238e-07,1.156467e-07,1.193481e-07,1.228689e-07,1.239577e-07,1.262115e-07,1.282588e-07,1.293793e-07,1.322597e-07,1.323764e-07,1.352072e-07,1.359707e-07,1.378767e-07,1.394030e-07,1.403898e-07,1.425684e-07,1.427519e-07,1.449685e-07,1.454794e-07,1.470448e-07,1.481484e-07,1.489865e-07,1.505880e-07,1.507988e-07,1.524871e-07,1.528103e-07,1.540566e-07,1.548276e-07,1.555125e-07,1.566514e-07,1.568598e-07,1.581033e-07,1.582930e-07,1.592478e-07,1.597633e-07,1.602978e-07,1.610728e-07,1.612578e-07,1.621321e-07,1.622314e-07,1.629247e-07,1.632487e-07,1.636397e-07,1.641336e-07,1.642809e-07,1.648520e-07,1.648947e-07,1.653565e-07,1.655404e-07,1.657977e-07,1.660781e-07,1.661790e-07,1.665035e-07,1.665154e-07,1.667742e-07,1.668590e-07,1.669939e-07,1.671156e-07,1.671654e-07,1.672912e-07,1.673740e-07,1.673918e-07,1.674161e-07,1.674227e-07,1.674198e-07,1.673892e-07,1.673873e-07,1.673206e-07,1.672961e-07,1.672219e-07,1.671480e-07,1.670929e-07,1.669492e-07,1.669356e-07,1.667516e-07,1.667036e-07,1.665426e-07,1.664152e-07,1.663102e-07,1.660875e-07,1.660559e-07,1.657811e-07,1.657238e-07,1.654873e-07,1.653273e-07,1.651756e-07,1.649009e-07,1.648473e-07,1.645037e-07,1.644473e-07,1.641458e-07,1.639692e-07,1.637746e-07,1.634689e-07,1.633913e-07,1.629968e-07,1.629487e-07,1.625919e-07,1.624108e-07,1.621776e-07,1.618570e-07,1.617547e-07,1.613240e-07,1.612892e-07,1.608861e-07,1.607092e-07,1.604419e-07,1.601185e-07,1.599920e-07,1.595369e-07,1.595186e-07,1.590774e-07,1.589110e-07,1.586140e-07,1.582969e-07,1.581472e-07,1.576776e-07,1.570540e-07,1.564274e-07,1.557986e-07,1.551686e-07,1.545381e-07,1.539079e-07,1.532788e-07,1.526514e-07,1.520263e-07,1.514040e-07,1.507851e-07,1.501700e-07,1.495591e-07,1.489529e-07,1.483516e-07,1.477557e-07,1.471653e-07,1.465808e-07,1.460024e-07,1.454303e-07,1.448647e-07,1.443058e-07,1.437536e-07,1.432084e-07
0.000000e+00,4.229216e-07,1.253606e-06,6.284007e-06,1.822053e-05,2.962384e-05,8.426164e-05,8.748709e-05,2.004235e-04,2.450355e-04,3.918384e-04,5.551121e-04,6.878385e-04,1.076784e-03,1.116648e-03,1.705950e-03,1.873909e-03,2.477888e-03,2.995102e-03,3.445189e-03,4.460838e-03,4.611176e-03,5.972173e-03,6.267109e-03,7.519954e-03,8.395007e-03,9.243386e-03,1.081727e-02,1.112937e-02,1.316331e-02,1.350143e-02,1.532938e-02,1.641111e-02,1.761071e-02,1.950683e-02,1.998952e-02,2.244735e-02,2.274670e-02,2.496527e-02,2.608728e-02,2.752419e-02,2.948467e-02,3.010508e-02,3.268929e-02,3.289562e-02,3.525886e-02,3.627874e-02,3.779679e-02,3.959557e-02,4.028725e-02,4.271579e-02,4.281145e-02,4.506945e-02,4.589621e-02,4.733690e-02,4.882453e-02,4.950847e-02,5.157615e-02,5.353358e-02,5.413585e-02,5.537596e-02,5.649313e-02,5.710000e-02,5.864194e-02,5.870377e-02,6.018663e-02,6.058020e-02,6.154903e-02,6.230923e-02,6.279245e-02,6.383330e-02,6.391921e-02,6.493236e-02,6.515901e-02,6.583555e-02,6.629483e-02,6.663292e-02,6.725064e-02,6.732897e-02,6.792850e-02,6.803726e-02,6.843649e-02,6.866615e-02,6.885801e-02,6.914904e-02,6.919821e-02,6.946221e-02,6.949771e-02,6.965505e-02,6.972380e-02,6.978169e-02,6.983857e-02,6.984694e-02,6.985545e-02,6.985288e-02,6.981171e-02,6.977701e-02,6.971997e-02,6.962068e-02,6.958432e-02,6.940862e-02,6.939294e-02,6.919650e-02,6.910224e-02,6.895140e-02,6.875633e-02,6.867654e-02,6.837493e-02,6.836235e-02,6.804939e-02,6.792684e-02,6.770252e-02,6.745573e-02,6.733678e-02,6.695441e-02,6.655751e-02,6.642775e-02,6.614800e-02,6.588013e-02,6.572768e-02,6.531550e-02,6.529816e-02,6.486096e-02,6.473736e-02,6.441746e-02,6.414887e-02,6.396892e-02,6.355281e-02,6.351649e-02,6.306124e-02,6.295167e-02,6.260412e-02,6.234764e-02,6.214600e-02,6.174267e-02,6.168768e-02,6.122988e-02,6.113845e-02,6.077326e-02,6.053647e-02,6.031838e-02,5.993804e-02,5.986580e-02,5.941598e-02,5.934429e-02,5.896934e-02,5.875620e-02,5.852627e-02,5.817461e-02,5.808710e-02,5.765214e-02,5.760024e-02,5.722165e-02,5.703371e-02,5.679585e-02,5.647552e-02,5.637496e-02,5.595915e-02,5.592611e-02,5.554857e-02,5.538582e-02,5.514334e-02,5.485495e-02,5.474357e-02,5.434935e-02,5.433370e-02,5.396075e-02,5.382224e-02,5.357783e-02,5.332070e-02,5.320062e-02,5.282916e-02,5.234764e-02,5.187618e-02,5.141473e-02,5.096327e-02,5.052171e-02,5.008998e-02,4.966798e-02,4.925558e-02,4.885265e-02,4.845907e-02,4.807467e-02,4.769931e-02,4.733283e-02,4.697507e-02,4.662584e-02,4.628499e-02,4.595234e-02,4.562771e-02,4.531094e-02,4.500183e-02,4.470023e-02,4.440595e-02,4.411883e-02,4.383869e-02
0.000000e+00,1.148719e-07,3.398737e-07,1.697374e-06,4.905475e-06,7.961686e-06,2.254848e-05,2.340762e-05,5.340655e-05,6.522340e-05,1.040159e-04,1.470336e-04,1.819310e-04,2.839912e-04,2.944455e-04,4.492121e-04,4.934771e-04,6.535204e-04,7.917719e-04,9.129581e-04,1.188878e-03,1.229942e-03,1.603071e-03,1.684068e-03,2.027665e-03,2.266588e-03,2.496932e-03,2.919962e-03,3.003098e-03,3.538180e-03,3.625954e-03,4.094456e-03,4.366851e-03,4.664697e-03,5.126470e-03,5.242277e-03,5.821217e-03,5.890522e-03,6.396191e-03,6.646695e-03,6.962520e-03,7.384637e-03,7.516160e-03,8.053678e-03,8.095894e-03,8.572231e-03,8.773810e-03,9.069527e-03,9.413404e-03,9.543795e-03,9.993739e-03,1.001122e-02,1.041849e-02,1.056513e-02,1.081758e-02,1.107420e-02,1.119084e-02,1.153842e-02,1.186071e-02,1.195860e-02,1.215829e-02,1.233611e-02,1.243190e-02,1.267282e-02,1.268241e-02,1.291078e-02,1.297089e-02,1.311802e-02,1.323267e-02,1.330521e-02,1.346065e-02,1.347343e-02,1.362377e-02,1.365731e-02,1.375731e-02,1.382514e-02,1.387509e-02,1.396654e-02,1.397816e-02,1.406750e-02,1.408380e-02,1.414406e-02,1.417912e-02,1.420874e-02,1.425453e-02,1.426241e-02,1.430589e-02,1.431195e-02,1.433993e-02,1.435314e-02,1.436527e-02,1.437973e-02,1.438258e-02,1.439248e-02,1.439320e-02,1.439558e-02,1.439493e-02,1.439243e-02,1.438616e-02,1.438353e-02,1.436936e-02,1.436802e-02,1.435038e-02,1.434153e-02,1.432698e-02,1.430763e-02,1.429956e-02,1.426847e-02,1.426715e-02,1.423403e-02,1.422087e-02,1.419655e-02,1.416947e-02,1.415631e-02,1.411357e-02,1.406857e-02,1.405373e-02,1.402154e-02,1.399047e-02,1.397268e-02,1.392423e-02,1.392218e-02,1.387023e-02,1.385544e-02,1.381698e-02,1.378447e-02,1.376258e-02,1.371164e-02,1.370718e-02,1.365090e-02,1.363728e-02,1.359387e-02,1.356164e-02,1.353619e-02,1.348498e-02,1.347797e-02,1.341930e-02,1.340752e-02,1.336027e-02,1.332946e-02,1.330096e-02,1.325097e-02,1.324144e-02,1.318179e-02,1.317223e-02,1.312206e-02,1.309338e-02,1.306232e-02,1.301456e-02,1.300262e-02,1.294301e-02,1.293587e-02,1.288354e-02,1.285742e-02,1.282424e-02,1.277932e-02,1.276517e-02,1.270634e-02,1.270165e-02,1.264781e-02,1.262448e-02,1.258959e-02,1.254788e-02,1.253172e-02,1.247421e-02,1.247192e-02,1.241710e-02,1.239664e-02,1.236041e-02,1.232210e-02,1.230414e-02,1.224833e-02,1.217538e-02,1.210328e-02,1.203205e-02,1.196172e-02,1.189231e-02,1.182383e-02,1.175631e-02,1.168975e-02,1.162416e-02,1.155956e-02,1.149594e-02,1.143331e-02,1.137166e-02,1.131101e-02,1.125135e-02,1.119267e-02,1.113498e-02,1.107826e-02,1.102251e-02,1.096773e-02,1.091391e-02,1.086103e-02,1.080910e-02,1.075810e-02
0.000000e+00,2.030825e-09,5.931353e-09,2.889233e-08,8.184129e-08,1.315421e-07,3.650784e-07,3.787396e-07,8.542348e-07,1.041613e-06,1.659430e-06,2.349878e-06,2.913170e-06,4.564307e-06,4.732916e-06,7.195208e-06,7.884519e-06,1.031419e-05,1.233702e-05,1.405859e-05,1.783153e-05,1.837856e-05,2.322131e-05,2.424810e-05,2.853631e-05,3.147069e-05,3.427537e-05,3.938930e-05,4.039120e-05,4.683627e-05,4.789482e-05,5.356221e-05,5.687603e-05,6.051992e-05,6.621978e-05,6.766004e-05,7.493382e-05,7.581338e-05,8.229391e-05,8.554799e-05,8.969527e-05,9.532188e-05,9.709581e-05,1.044569e-04,1.050430e-04,1.117438e-04,1.146307e-04,1.189257e-04,1.240167e-04,1.259763e-04,1.328728e-04,1.331452e-04,1.395967e-04,1.419720e-04,1.461327e-04,1.504637e-04,1.524689e-04,1.585962e-04,1.645081e-04,1.663536e-04,1.702002e-04,1.737268e-04,1.756704e-04,1.807122e-04,1.809179e-04,1.859435e-04,1.873111e-04,1.907490e-04,1.935277e-04,1.953371e-04,1.993692e-04,1.997113e-04,2.038759e-04,2.048448e-04,2.078356e-04,2.099653e-04,2.115954e-04,2.147429e-04,2.151607e-04,2.185371e-04,2.191902e-04,2.217302e-04,2.233202e-04,2.247459e-04,2.271462e-04,2.275899e-04,2.302681e-04,2.306816e-04,2.327862e-04,2.339397e-04,2.351500e-04,2.369338e-04,2.373652e-04,2.394374e-04,2.396766e-04,2.413718e-04,2.421807e-04,2.431739e-04,2.444582e-04,2.448489e-04,2.464018e-04,2.465210e-04,2.478377e-04,2.483803e-04,2.491613e-04,2.500474e-04,2.503773e-04,2.514902e-04,2.515326e-04,2.525044e-04,2.528461e-04,2.534241e-04,2.539978e-04,2.542536e-04,2.549967e-04,2.556574e-04,2.558520e-04,2.562393e-04,2.565720e-04,2.567460e-04,2.571649e-04,2.571810e-04,2.575476e-04,2.576384e-04,2.578490e-04,2.579999e-04,2.580884e-04,2.582564e-04,2.582687e-04,2.583928e-04,2.584145e-04,2.584634e-04,2.584807e-04,2.584833e-04,2.584608e-04,2.584550e-04,2.583809e-04,2.583608e-04,2.582634e-04,2.581859e-04,2.581048e-04,2.579413e-04,2.579072e-04,2.576728e-04,2.576320e-04,2.574035e-04,2.572625e-04,2.571014e-04,2.568372e-04,2.567682e-04,2.564057e-04,2.563603e-04,2.560156e-04,2.558356e-04,2.555996e-04,2.552670e-04,2.551591e-04,2.546959e-04,2.546579e-04,2.542111e-04,2.540115e-04,2.537063e-04,2.533311e-04,2.531827e-04,2.526416e-04,2.526197e-04,2.520843e-04,2.518798e-04,2.515117e-04,2.511143e-04,2.509252e-04,2.503256e-04,2.495160e-04,2.486877e-04,2.478427e-04,2.469831e-04,2.461106e-04,2.452270e-04,2.443338e-04,2.434326e-04,2.425248e-04,2.416116e-04,2.406945e-04,2.397744e-04,2.388526e-04,2.379300e-04,2.370075e-04,2.360861e-04,2.351665e-04,2.342495e-04,2.333359e-04,2.324263e-04,2.315212e-04,2.306213e-04,2.297271e-04,2.288390e-04
0.000000e+00,1.098013e-09,2.693240e-09,1.000518e-08,2.368739e-08,3.514387e-08,8.279856e-08,8.541764e-08,1.715014e-07,2.037904e-07,3.069279e-07,4.184066e-07,5.073197e-07,7.595882e-07,7.847036e-07,1.138922e-06,1.234158e-06,1.557975e-06,1.815376e-06,2.027132e-06,2.471897e-06,2.534483e-06,3.071262e-06,3.181530e-06,3.630696e-06,3.928634e-06,4.207078e-06,4.700564e-06,4.795266e-06,5.390461e-06,5.486038e-06,5.988160e-06,6.274699e-06,6.584164e-06,7.057158e-06,7.174641e-06,7.756167e-06,7.825202e-06,8.325751e-06,8.571913e-06,8.880845e-06,9.291713e-06,9.419340e-06,9.939543e-06,9.980327e-06,1.044015e-05,1.063467e-05,1.092019e-05,1.125273e-05,1.137905e-05,1.181635e-05,1.183339e-05,1.223191e-05,1.237619e-05,1.262577e-05,1.288130e-05,1.299813e-05,1.334933e-05,1.367979e-05,1.378124e-05,1.399004e-05,1.417825e-05,1.428064e-05,1.454172e-05,1.455223e-05,1.480546e-05,1.487316e-05,1.504100e-05,1.517412e-05,1.525954e-05,1.544618e-05,1.546178e-05,1.564840e-05,1.569095e-05,1.582010e-05,1.590999e-05,1.597755e-05,1.610485e-05,1.612141e-05,1.625233e-05,1.627702e-05,1.637095e-05,1.642796e-05,1.647786e-05,1.655907e-05,1.657368e-05,1.665897e-05,1.667168e-05,1.673430e-05,1.676707e-05,1.680019e-05,1.684645e-05,1.685716e-05,1.690570e-05,1.691099e-05,1.694630e-05,1.696176e-05,1.697941e-05,1.699983e-05,1.700546e-05,1.702487e-05,1.702615e-05,1.703805e-05,1.704166e-05,1.704537e-05,1.704722e-05,1.704721e-05,1.704390e-05,1.704367e-05,1.703579e-05,1.703176e-05,1.702319e-05,1.701222e-05,1.700641e-05,1.698573e-05,1.696142e-05,1.695292e-05,1.693375e-05,1.691439e-05,1.690297e-05,1.687070e-05,1.686930e-05,1.683298e-05,1.682236e-05,1.679421e-05,1.676986e-05,1.675320e-05,1.671365e-05,1.671014e-05,1.666520e-05,1.665415e-05,1.661856e-05,1.659176e-05,1.657038e-05,1.652683e-05,1.652081e-05,1.647000e-05,1.645970e-05,1.641808e-05,1.639069e-05,1.636518e-05,1.632008e-05,1.631143e-05,1.625693e-05,1.624815e-05,1.620180e-05,1.617514e-05,1.614613e-05,1.610128e-05,1.609003e-05,1.603357e-05,1.602678e-05,1.597685e-05,1.595183e-05,1.591994e-05,1.587661e-05,1.586292e-05,1.580585e-05,1.580129e-05,1.574881e-05,1.572601e-05,1.569184e-05,1.565090e-05,1.563500e-05,1.557836e-05,1.557610e-05,1.552195e-05,1.550171e-05,1.546582e-05,1.542784e-05,1.541002e-05,1.535458e-05,1.528200e-05,1.521020e-05,1.513922e-05,1.506914e-05,1.500000e-05,1.493186e-05,1.486474e-05,1.479868e-05,1.473372e-05,1.466988e-05,1.460718e-05,1.454564e-05,1.448527e-05,1.442607e-05,1.436807e-05,1.431125e-05,1.425562e-05,1.420119e-05,1.414794e-05,1.409587e-05,1.404498e-05,1.399525e-05,1.394668e-05,1.389925e-05
0.000000e+00,1.379383e-07,4.083461e-07,2.041423e-06,5.904057e-06,9.585112e-06,2.715289e-05,2.818727e-05,6.427022e-05,7.846371e-05,1.249797e-04,1.764291e-04,2.180705e-04,3.393927e-04,3.517821e-04,5.343650e-04,5.862926e-04,7.729354e-04,9.328183e-04,1.072038e-03,1.386419e-03,1.432965e-03,1.854153e-03,1.945335e-03,2.332052e-03,2.601416e-03,2.861875e-03,3.343032e-03,3.438106e-03,4.054792e-03,4.156803e-03,4.705720e-03,5.028467e-03,5.384541e-03,5.943383e-03,6.084861e-03,6.800341e-03,6.886921e-03,7.524786e-03,7.844836e-03,8.252237e-03,8.803629e-03,8.977058e-03,9.694010e-03,9.750880e-03,1.039832e-02,1.067552e-02,1.108570e-02,1.156803e-02,1.175244e-02,1.239533e-02,1.242051e-02,1.301175e-02,1.322675e-02,1.359958e-02,1.398214e-02,1.415722e-02,1.468355e-02,1.517788e-02,1.532924e-02,1.563988e-02,1.591860e-02,1.606959e-02,1.645204e-02,1.646734e-02,1.683370e-02,1.693075e-02,1.716944e-02,1.735658e-02,1.747551e-02,1.773182e-02,1.775299e-02,1.800306e-02,1.805913e-02,1.822696e-02,1.834139e-02,1.842597e-02,1.858157e-02,1.860142e-02,1.875462e-02,1.878270e-02,1.888688e-02,1.894781e-02,1.899949e-02,1.907983e-02,1.909372e-02,1.917077e-02,1.918158e-02,1.923183e-02,1.925579e-02,1.927802e-02,1.930499e-02,1.931041e-02,1.933004e-02,1.933159e-02,1.933787e-02,1.933782e-02,1.933482e-02,1.932576e-02,1.932176e-02,1.929949e-02,1.929733e-02,1.926878e-02,1.925429e-02,1.923034e-02,1.919827e-02,1.918486e-02,1.913294e-02,1.913074e-02,1.907517e-02,1.905305e-02,1.901210e-02,1.896644e-02,1.894423e-02,1.887203e-02,1.879594e-02,1.877084e-02,1.871637e-02,1.866378e-02,1.863368e-02,1.855170e-02,1.854823e-02,1.846034e-02,1.843534e-02,1.837032e-02,1.831539e-02,1.827842e-02,1.819246e-02,1.818492e-02,1.809005e-02,1.806710e-02,1.799403e-02,1.793982e-02,1.789705e-02,1.781107e-02,1.779930e-02,1.770096e-02,1.768124e-02,1.760218e-02,1.755070e-02,1.750311e-02,1.741977e-02,1.740388e-02,1.730462e-02,1.728874e-02,1.720542e-02,1.715787e-02,1.710641e-02,1.702739e-02,1.700767e-02,1.690929e-02,1.689751e-02,1.681134e-02,1.676841e-02,1.671391e-02,1.664024e-02,1.661705e-02,1.652083e-02,1.651316e-02,1.642529e-02,1.638728e-02,1.633049e-02,1.626272e-02,1.623648e-02,1.614328e-02,1.613957e-02,1.605094e-02,1.601791e-02,1.595949e-02,1.589782e-02,1.586895e-02,1.577936e-02,1.566258e-02,1.554751e-02,1.543420e-02,1.532268e-02,1.521296e-02,1.510507e-02,1.499901e-02,1.489479e-02,1.479241e-02,1.469188e-02,1.459318e-02,1.449631e-02,1.440126e-02,1.430802e-02,1.421657e-02,1.412690e-02,1.403898e-02,1.395280e-02,1.386834e-02,1.378558e-02,1.370448e-02,1.362504e-02,1.354721e-02,1.347099e-02
0.000000e+00,2.885618e-08,8.494382e-08,4.198814e-07,1.202724e-06,1.943039e-06,5.443840e-06,5.649015e-06,1.278031e-05,1.557952e-05,2.475576e-05,3.492903e-05,4.318864e-05,6.738933e-05,6.987120e-05,1.066120e-04,1.171000e-04,1.548319e-04,1.870940e-04,2.150652e-04,2.775902e-04,2.867573e-04,3.684955e-04,3.858887e-04,4.584210e-04,5.077623e-04,5.545653e-04,6.387517e-04,6.550477e-04,7.581620e-04,7.748011e-04,8.624036e-04,9.124491e-04,9.664659e-04,1.048827e-03,1.069228e-03,1.169738e-03,1.181608e-03,1.267203e-03,1.308950e-03,1.360973e-03,1.429447e-03,1.450535e-03,1.535495e-03,1.542084e-03,1.615572e-03,1.646193e-03,1.690588e-03,1.741411e-03,1.760452e-03,1.825148e-03,1.827629e-03,1.884731e-03,1.904948e-03,1.939306e-03,1.973631e-03,1.989023e-03,2.034066e-03,2.074645e-03,2.086724e-03,2.110987e-03,2.132131e-03,2.143329e-03,2.170841e-03,2.171915e-03,2.196990e-03,2.203415e-03,2.218794e-03,2.230405e-03,2.237563e-03,2.252345e-03,2.253524e-03,2.266894e-03,2.269741e-03,2.277882e-03,2.283068e-03,2.286683e-03,2.292764e-03,2.293479e-03,2.298445e-03,2.299232e-03,2.301739e-03,2.302841e-03,2.303511e-03,2.303925e-03,2.303900e-03,2.303032e-03,2.302785e-03,2.301027e-03,2.299692e-03,2.297991e-03,2.294889e-03,2.294026e-03,2.289222e-03,2.288593e-03,2.283663e-03,2.280999e-03,2.277428e-03,2.272280e-03,2.270586e-03,2.263202e-03,2.262590e-03,2.255335e-03,2.252066e-03,2.247040e-03,2.240830e-03,2.238366e-03,2.229357e-03,2.228991e-03,2.220056e-03,2.216644e-03,2.210501e-03,2.203876e-03,2.200725e-03,2.190762e-03,2.180638e-03,2.177369e-03,2.170382e-03,2.163759e-03,2.160016e-03,2.149983e-03,2.149563e-03,2.139044e-03,2.136089e-03,2.128476e-03,2.122119e-03,2.117877e-03,2.108110e-03,2.107261e-03,2.096642e-03,2.094095e-03,2.086034e-03,2.080102e-03,2.075448e-03,2.066158e-03,2.064894e-03,2.054382e-03,2.052286e-03,2.043922e-03,2.038505e-03,2.033520e-03,2.024833e-03,2.023184e-03,2.012920e-03,2.011285e-03,2.002735e-03,1.997876e-03,1.992634e-03,1.984616e-03,1.982621e-03,1.972701e-03,1.971517e-03,1.962877e-03,1.958587e-03,1.953154e-03,1.945833e-03,1.943533e-03,1.934019e-03,1.933262e-03,1.924612e-03,1.920880e-03,1.915315e-03,1.908691e-03,1.906131e-03,1.897060e-03,1.896699e-03,1.888103e-03,1.884907e-03,1.879262e-03,1.873317e-03,1.870538e-03,1.861930e-03,1.850749e-03,1.839773e-03,1.829003e-03,1.818439e-03,1.808079e-03,1.797924e-03,1.787971e-03,1.778221e-03,1.768670e-03,1.759317e-03,1.750160e-03,1.741197e-03,1.732425e-03,1.723842e-03,1.715446e-03,1.707234e-03,1.699202e-03,1.691349e-03,1.683671e-03,1.676166e-03,1.668830e-03,1.661661e-03,1.654655e-03,1.647810e-03
0.000000e+00,4.613499e-10,1.193516e-09,4.728267e-09,1.152097e-08,1.723537e-08,4.074646e-08,4.202109e-08,8.280809e-08,9.758009e-08,1.431257e-07,1.901038e-07,2.263516e-07,3.258594e-07,3.356272e-07,4.736219e-07,5.112401e-07,6.421504e-07,7.501098e-07,8.416850e-07,1.041888e-06,1.070857e-06,1.326136e-06,1.379865e-06,1.601968e-06,1.751280e-06,1.891539e-06,2.140298e-06,2.187909e-06,2.484999e-06,2.532262e-06,2.778035e-06,2.916187e-06,3.063535e-06,3.284847e-06,3.339068e-06,3.602994e-06,3.633830e-06,3.854254e-06,3.960620e-06,4.092215e-06,4.263968e-06,4.316562e-06,4.527227e-06,4.543492e-06,4.724325e-06,4.799418e-06,4.908110e-06,5.032394e-06,5.078947e-06,5.237273e-06,5.243353e-06,5.383584e-06,5.433415e-06,5.518409e-06,5.603809e-06,5.642298e-06,5.755814e-06,5.859515e-06,5.890717e-06,5.953952e-06,6.009779e-06,6.039663e-06,6.114220e-06,6.117169e-06,6.186977e-06,6.205209e-06,6.249567e-06,6.283850e-06,6.305401e-06,6.351180e-06,6.354919e-06,6.398539e-06,6.408174e-06,6.436656e-06,6.455738e-06,6.469644e-06,6.494712e-06,6.497856e-06,6.521622e-06,6.525869e-06,6.541253e-06,6.549926e-06,6.557045e-06,6.567545e-06,6.569272e-06,6.578195e-06,6.579333e-06,6.584056e-06,6.585849e-06,6.587083e-06,6.587607e-06,6.587488e-06,6.585472e-06,6.585077e-06,6.581223e-06,6.578691e-06,6.574915e-06,6.568846e-06,6.566713e-06,6.556770e-06,6.555903e-06,6.545228e-06,6.540195e-06,6.532223e-06,6.522024e-06,6.517879e-06,6.502314e-06,6.501668e-06,6.485636e-06,6.479380e-06,6.467949e-06,6.455393e-06,6.449346e-06,6.429916e-06,6.409744e-06,6.403144e-06,6.388905e-06,6.375252e-06,6.367472e-06,6.346400e-06,6.345512e-06,6.323087e-06,6.316733e-06,6.300256e-06,6.286385e-06,6.277073e-06,6.255476e-06,6.253587e-06,6.229847e-06,6.224116e-06,6.205895e-06,6.192405e-06,6.181772e-06,6.160433e-06,6.157516e-06,6.133161e-06,6.128281e-06,6.108740e-06,6.096024e-06,6.084282e-06,6.063729e-06,6.059815e-06,6.035365e-06,6.031456e-06,6.010955e-06,5.999260e-06,5.986608e-06,5.967189e-06,5.962343e-06,5.938180e-06,5.935288e-06,5.914135e-06,5.903597e-06,5.890224e-06,5.872150e-06,5.866462e-06,5.842860e-06,5.840980e-06,5.819433e-06,5.810113e-06,5.796190e-06,5.779574e-06,5.773141e-06,5.750296e-06,5.749386e-06,5.727662e-06,5.719567e-06,5.705247e-06,5.690134e-06,5.683058e-06,5.661101e-06,5.632480e-06,5.604282e-06,5.576516e-06,5.549189e-06,5.522306e-06,5.495873e-06,5.469891e-06,5.444365e-06,5.419294e-06,5.394679e-06,5.370520e-06,5.346815e-06,5.323564e-06,5.300763e-06,5.278409e-06,5.256500e-06,5.235031e-06,5.213998e-06,5.193397e-06,5.173223e-06,5.153471e-06,5.134135e-06,5.115210e-06,5.096690e-06
0.000000e+00,4.220549e-08,1.231737e-07,5.983657e-07,1.687937e-06,2.704586e-06,7.421790e-06,7.695105e-06,1.706298e-05,2.068795e-05,3.243052e-05,4.525935e-05,5.556290e-05,8.531389e-05,8.833402e-05,1.325077e-04,1.449571e-04,1.892630e-04,2.266363e-04,2.587244e-04,3.296093e-04,3.399208e-04,4.311680e-04,4.504527e-04,5.305147e-04,5.847300e-04,6.360311e-04,7.281253e-04,7.459373e-04,8.586369e-04,8.768308e-04,9.727083e-04,1.027573e-03,1.086889e-03,1.177556e-03,1.200060e-03,1.311241e-03,1.324407e-03,1.419579e-03,1.466157e-03,1.524353e-03,1.601225e-03,1.624964e-03,1.720939e-03,1.728405e-03,1.811916e-03,1.846847e-03,1.897642e-03,1.956022e-03,1.977961e-03,2.052803e-03,2.055683e-03,2.122172e-03,2.145816e-03,2.186134e-03,2.226599e-03,2.244808e-03,2.298351e-03,2.346954e-03,2.361499e-03,2.390832e-03,2.416538e-03,2.430212e-03,2.464008e-03,2.465334e-03,2.496442e-03,2.504466e-03,2.523779e-03,2.538473e-03,2.547588e-03,2.566579e-03,2.568105e-03,2.585557e-03,2.589314e-03,2.600164e-03,2.607179e-03,2.612135e-03,2.620648e-03,2.621670e-03,2.628956e-03,2.630159e-03,2.634171e-03,2.636120e-03,2.637481e-03,2.638903e-03,2.639042e-03,2.638998e-03,2.638852e-03,2.637487e-03,2.636278e-03,2.634635e-03,2.631466e-03,2.630559e-03,2.625368e-03,2.624675e-03,2.619164e-03,2.616138e-03,2.612041e-03,2.606067e-03,2.604086e-03,2.595380e-03,2.594653e-03,2.585996e-03,2.582069e-03,2.576004e-03,2.568470e-03,2.565468e-03,2.554446e-03,2.553996e-03,2.542992e-03,2.538773e-03,2.531157e-03,2.522915e-03,2.518987e-03,2.506524e-03,2.493807e-03,2.489690e-03,2.480873e-03,2.472497e-03,2.467755e-03,2.455018e-03,2.454484e-03,2.441088e-03,2.437318e-03,2.427592e-03,2.419457e-03,2.414021e-03,2.401488e-03,2.400396e-03,2.386738e-03,2.383457e-03,2.373064e-03,2.365406e-03,2.359392e-03,2.347374e-03,2.345737e-03,2.332113e-03,2.329394e-03,2.318534e-03,2.311494e-03,2.305010e-03,2.293701e-03,2.291553e-03,2.278172e-03,2.276039e-03,2.264876e-03,2.258527e-03,2.251673e-03,2.241183e-03,2.238571e-03,2.225575e-03,2.224023e-03,2.212692e-03,2.207061e-03,2.199927e-03,2.190308e-03,2.187285e-03,2.174770e-03,2.173775e-03,2.162386e-03,2.157469e-03,2.150135e-03,2.141399e-03,2.138021e-03,2.126047e-03,2.125571e-03,2.114213e-03,2.109988e-03,2.102523e-03,2.094656e-03,2.090977e-03,2.079576e-03,2.064753e-03,2.050186e-03,2.035877e-03,2.021826e-03,2.008033e-03,1.994497e-03,1.981218e-03,1.968193e-03,1.955420e-03,1.942899e-03,1.930625e-03,1.918598e-03,1.906813e-03,1.895268e-03,1.883960e-03,1.872886e-03,1.862042e-03,1.851424e-03,1.841030e-03,1.830855e-03,1.820896e-03,1.811149e-03,1.801611e-03,1.792277e-03
0.000000e+00,1.312998e-10,3.430813e-10,1.379096e-09,3.389734e-09,5.089098e-09,1.210680e-08,1.248776e-08,2.467850e-08,2.908962e-08,4.266715e-08,5.663343e-08,6.738525e-08,9.681832e-08,9.970271e-08,1.404113e-07,1.515056e-07,1.901434e-07,2.220681e-07,2.492057e-07,3.087683e-07,3.174191e-07,3.941391e-07,4.104263e-07,4.784616e-07,5.249925e-07,5.694207e-07,6.502661e-07,6.660762e-07,7.675245e-07,7.841420e-07,8.728874e-07,9.245985e-07,9.813032e-07,1.069665e-06,1.091926e-06,1.203931e-06,1.217427e-06,1.316527e-06,1.366060e-06,1.428962e-06,1.513874e-06,1.540539e-06,1.650623e-06,1.659348e-06,1.758643e-06,1.801160e-06,1.864103e-06,1.938206e-06,1.966576e-06,2.065709e-06,2.069601e-06,2.161217e-06,2.194669e-06,2.252882e-06,2.312934e-06,2.340542e-06,2.424094e-06,2.503481e-06,2.528002e-06,2.578688e-06,2.624636e-06,2.649738e-06,2.714085e-06,2.716685e-06,2.779608e-06,2.796518e-06,2.838605e-06,2.872168e-06,2.893795e-06,2.941316e-06,2.945305e-06,2.993274e-06,3.004275e-06,3.037847e-06,3.061379e-06,3.079172e-06,3.112971e-06,3.117400e-06,3.152681e-06,3.159397e-06,3.185164e-06,3.200999e-06,3.214996e-06,3.238111e-06,3.242320e-06,3.267275e-06,3.271057e-06,3.289996e-06,3.300146e-06,3.310611e-06,3.325670e-06,3.329244e-06,3.346015e-06,3.347908e-06,3.361037e-06,3.367120e-06,3.374416e-06,3.383550e-06,3.386257e-06,3.396655e-06,3.397427e-06,3.405702e-06,3.408962e-06,3.413485e-06,3.418353e-06,3.420087e-06,3.425584e-06,3.425782e-06,3.430050e-06,3.431419e-06,3.433553e-06,3.435418e-06,3.436158e-06,3.437925e-06,3.438913e-06,3.439073e-06,3.439174e-06,3.438984e-06,3.438760e-06,3.437771e-06,3.437718e-06,3.436092e-06,3.435537e-06,3.433924e-06,3.432380e-06,3.431254e-06,3.428386e-06,3.428119e-06,3.424553e-06,3.423636e-06,3.420589e-06,3.418206e-06,3.416257e-06,3.412164e-06,3.411586e-06,3.406603e-06,3.405572e-06,3.401334e-06,3.398488e-06,3.395801e-06,3.390966e-06,3.390027e-06,3.384033e-06,3.383055e-06,3.377839e-06,3.374799e-06,3.371462e-06,3.366241e-06,3.364920e-06,3.358229e-06,3.357417e-06,3.351404e-06,3.348362e-06,3.344459e-06,3.339110e-06,3.337408e-06,3.330263e-06,3.329688e-06,3.323036e-06,3.320125e-06,3.315738e-06,3.310444e-06,3.308378e-06,3.300967e-06,3.300670e-06,3.293513e-06,3.290821e-06,3.286026e-06,3.280919e-06,3.278512e-06,3.270980e-06,3.261020e-06,3.251055e-06,3.241096e-06,3.231158e-06,3.221251e-06,3.211385e-06,3.201569e-06,3.191812e-06,3.182122e-06,3.172506e-06,3.162969e-06,3.153518e-06,3.144158e-06,3.134893e-06,3.125727e-06,3.116664e-06,3.107708e-06,3.098860e-06,3.090124e-06,3.081502e-06,3.072995e-06,3.064605e-06,3.056333e-06,3.048181e-06
0.000000e+00,3.320812e-10,8.000900e-10,2.901143e-09,6.755253e-09,9.935806e-09,2.285161e-08,2.354918e-08,4.591582e-08,5.406689e-08,7.944004e-08,1.060268e-07,1.268293e-07,1.850912e-07,1.908885e-07,2.737534e-07,2.965209e-07,3.756792e-07,4.403623e-07,4.945268e-07,6.103072e-07,6.267594e-07,7.688232e-07,7.981455e-07,9.177848e-07,9.971868e-07,1.071343e-06,1.202525e-06,1.227653e-06,1.385164e-06,1.410385e-06,1.542529e-06,1.617656e-06,1.698551e-06,1.821681e-06,1.852164e-06,2.002432e-06,2.020200e-06,2.148542e-06,2.211330e-06,2.289805e-06,2.393575e-06,2.425662e-06,2.555676e-06,2.565814e-06,2.679520e-06,2.727277e-06,2.796975e-06,2.877512e-06,2.907915e-06,3.012298e-06,3.016337e-06,3.110150e-06,3.143793e-06,3.201555e-06,3.260093e-06,3.286645e-06,3.365593e-06,3.438604e-06,3.460749e-06,3.505900e-06,3.546079e-06,3.567719e-06,3.622144e-06,3.624311e-06,3.675926e-06,3.689522e-06,3.722820e-06,3.748794e-06,3.765243e-06,3.800536e-06,3.803442e-06,3.837659e-06,3.845304e-06,3.868126e-06,3.883633e-06,3.895068e-06,3.916033e-06,3.918701e-06,3.939232e-06,3.942983e-06,3.956856e-06,3.964935e-06,3.971761e-06,3.982310e-06,3.984124e-06,3.994112e-06,3.995501e-06,4.001885e-06,4.004873e-06,4.007591e-06,4.010764e-06,4.011372e-06,4.013362e-06,4.013486e-06,4.013684e-06,4.013329e-06,4.012458e-06,4.010558e-06,4.009793e-06,4.005793e-06,4.005419e-06,4.000557e-06,3.998137e-06,3.994176e-06,3.988921e-06,3.986736e-06,3.978318e-06,3.977962e-06,3.968996e-06,3.965433e-06,3.958843e-06,3.951498e-06,3.947925e-06,3.936304e-06,3.924038e-06,3.919985e-06,3.911182e-06,3.902668e-06,3.897787e-06,3.884466e-06,3.883902e-06,3.869571e-06,3.865484e-06,3.854836e-06,3.845818e-06,3.839737e-06,3.825555e-06,3.824310e-06,3.808590e-06,3.804777e-06,3.792608e-06,3.783556e-06,3.776396e-06,3.761961e-06,3.759981e-06,3.743390e-06,3.740053e-06,3.726647e-06,3.717889e-06,3.709776e-06,3.695520e-06,3.692797e-06,3.675730e-06,3.672993e-06,3.658595e-06,3.650351e-06,3.641409e-06,3.627634e-06,3.624187e-06,3.606946e-06,3.604877e-06,3.589700e-06,3.582113e-06,3.572460e-06,3.559371e-06,3.555241e-06,3.538052e-06,3.536679e-06,3.520905e-06,3.514060e-06,3.503810e-06,3.491538e-06,3.486774e-06,3.469808e-06,3.469131e-06,3.452919e-06,3.446859e-06,3.436113e-06,3.424737e-06,3.419398e-06,3.402780e-06,3.381002e-06,3.359413e-06,3.338026e-06,3.316848e-06,3.295889e-06,3.275155e-06,3.254653e-06,3.234389e-06,3.214366e-06,3.194590e-06,3.175063e-06,3.155789e-06,3.136769e-06,3.118005e-06,3.099498e-06,3.081250e-06,3.063260e-06,3.045530e-06,3.028057e-06,3.010843e-06,2.993885e-06,2.977184e-06,2.960737e-06,2.944543e-06
0.000000e+00,1.030880e-07,3.059484e-07,1.537937e-06,4.472251e-06,7.284210e-06,2.083135e-05,2.163411e-05,4.989981e-05,6.113656e-05,9.834018e-05,1.400578e-04,1.741869e-04,2.750648e-04,2.854634e-04,4.400679e-04,4.843557e-04,6.440591e-04,7.810792e-04,9.003225e-04,1.168936e-03,1.208610e-03,1.566427e-03,1.643611e-03,1.969918e-03,2.196271e-03,2.414467e-03,2.815942e-03,2.895038e-03,3.406366e-03,3.490675e-03,3.943078e-03,4.208130e-03,4.499780e-03,4.955951e-03,5.071145e-03,5.651987e-03,5.722086e-03,6.237337e-03,6.495100e-03,6.822513e-03,7.264453e-03,7.403186e-03,7.975424e-03,8.020731e-03,8.535729e-03,8.755813e-03,9.081057e-03,9.462950e-03,9.608823e-03,1.011689e-02,1.013678e-02,1.060357e-02,1.077328e-02,1.106756e-02,1.136964e-02,1.150795e-02,1.192417e-02,1.231597e-02,1.243617e-02,1.268333e-02,1.290571e-02,1.302648e-02,1.333353e-02,1.334586e-02,1.364202e-02,1.372087e-02,1.391566e-02,1.406937e-02,1.416759e-02,1.438093e-02,1.439867e-02,1.460980e-02,1.465761e-02,1.480195e-02,1.490161e-02,1.497607e-02,1.511514e-02,1.513312e-02,1.527406e-02,1.530040e-02,1.539983e-02,1.545954e-02,1.551134e-02,1.559464e-02,1.560948e-02,1.569510e-02,1.570769e-02,1.576901e-02,1.580056e-02,1.583200e-02,1.587502e-02,1.588480e-02,1.592812e-02,1.593271e-02,1.596261e-02,1.597516e-02,1.598892e-02,1.600380e-02,1.600762e-02,1.601927e-02,1.601992e-02,1.602439e-02,1.602472e-02,1.602347e-02,1.601932e-02,1.601696e-02,1.600529e-02,1.600472e-02,1.598885e-02,1.598184e-02,1.596803e-02,1.595154e-02,1.594316e-02,1.591457e-02,1.588256e-02,1.587164e-02,1.584742e-02,1.582340e-02,1.580940e-02,1.577042e-02,1.576875e-02,1.572569e-02,1.571324e-02,1.568045e-02,1.565234e-02,1.563322e-02,1.558816e-02,1.558417e-02,1.553349e-02,1.552110e-02,1.548132e-02,1.545152e-02,1.542783e-02,1.537977e-02,1.537315e-02,1.531740e-02,1.530613e-02,1.526071e-02,1.523089e-02,1.520318e-02,1.515429e-02,1.514493e-02,1.508604e-02,1.507657e-02,1.502662e-02,1.499793e-02,1.496673e-02,1.491855e-02,1.490647e-02,1.484590e-02,1.483861e-02,1.478509e-02,1.475827e-02,1.472410e-02,1.467767e-02,1.466299e-02,1.460182e-02,1.459693e-02,1.454064e-02,1.451617e-02,1.447949e-02,1.443551e-02,1.441842e-02,1.435746e-02,1.435502e-02,1.429666e-02,1.427481e-02,1.423605e-02,1.419496e-02,1.417566e-02,1.411552e-02,1.403657e-02,1.395817e-02,1.388036e-02,1.380320e-02,1.372672e-02,1.365097e-02,1.357597e-02,1.350176e-02,1.342837e-02,1.335581e-02,1.328410e-02,1.321326e-02,1.314331e-02,1.307426e-02,1.300612e-02,1.293890e-02,1.287259e-02,1.280722e-02,1.274278e-02,1.267927e-02,1.261669e-02,1.255504e-02,1.249433e-02,1.243454e-02
0.000000e+00,4.445881e-08,1.317956e-07,6.606649e-07,1.914949e-06,3.112203e-06,8.835130e-06,9.172287e-06,2.093191e-05,2.555378e-05,4.067599e-05,5.735110e-05,7.080677e-05,1.098185e-04,1.137881e-04,1.720736e-04,1.886013e-04,2.479644e-04,2.988841e-04,3.433482e-04,4.443253e-04,4.593465e-04,5.960352e-04,6.257849e-04,7.524135e-04,8.409175e-04,9.266137e-04,1.084946e-03,1.116205e-03,1.318467e-03,1.351817e-03,1.530588e-03,1.635091e-03,1.749800e-03,1.928491e-03,1.973457e-03,2.199097e-03,2.226198e-03,2.424471e-03,2.523023e-03,2.647564e-03,2.814492e-03,2.866608e-03,3.080083e-03,3.096880e-03,3.286713e-03,3.367208e-03,3.485460e-03,3.623209e-03,3.675506e-03,3.856239e-03,3.863268e-03,4.027234e-03,4.086354e-03,4.188232e-03,4.291937e-03,4.339120e-03,4.479909e-03,4.610719e-03,4.650501e-03,4.731752e-03,4.804209e-03,4.843287e-03,4.941729e-03,4.945653e-03,5.039222e-03,5.063900e-03,5.124398e-03,5.171649e-03,5.201601e-03,5.265959e-03,5.271265e-03,5.333826e-03,5.347832e-03,5.389718e-03,5.418264e-03,5.439367e-03,5.478225e-03,5.483190e-03,5.521589e-03,5.528652e-03,5.554950e-03,5.570431e-03,5.583645e-03,5.604398e-03,5.608023e-03,5.628418e-03,5.631332e-03,5.645143e-03,5.651955e-03,5.658494e-03,5.666932e-03,5.668747e-03,5.676162e-03,5.676873e-03,5.680979e-03,5.682335e-03,5.683425e-03,5.683827e-03,5.683708e-03,5.682022e-03,5.681808e-03,5.678548e-03,5.676696e-03,5.673453e-03,5.668868e-03,5.666891e-03,5.659005e-03,5.658664e-03,5.649926e-03,5.646390e-03,5.639777e-03,5.632321e-03,5.628668e-03,5.616705e-03,5.603981e-03,5.599763e-03,5.590584e-03,5.581695e-03,5.576595e-03,5.562678e-03,5.562089e-03,5.547132e-03,5.542872e-03,5.531787e-03,5.522419e-03,5.516113e-03,5.501446e-03,5.500161e-03,5.483979e-03,5.480066e-03,5.467612e-03,5.458381e-03,5.451101e-03,5.436480e-03,5.434482e-03,5.417789e-03,5.414444e-03,5.401053e-03,5.392342e-03,5.384302e-03,5.370239e-03,5.367563e-03,5.350857e-03,5.348189e-03,5.334208e-03,5.326243e-03,5.317635e-03,5.304442e-03,5.301154e-03,5.284782e-03,5.282826e-03,5.268533e-03,5.261426e-03,5.252421e-03,5.240274e-03,5.236456e-03,5.220650e-03,5.219392e-03,5.205011e-03,5.198804e-03,5.189548e-03,5.178527e-03,5.174268e-03,5.159178e-03,5.158578e-03,5.144283e-03,5.138969e-03,5.129588e-03,5.119713e-03,5.115098e-03,5.100817e-03,5.082289e-03,5.064134e-03,5.046358e-03,5.028962e-03,5.011948e-03,4.995316e-03,4.979067e-03,4.963200e-03,4.947711e-03,4.932599e-03,4.917861e-03,4.903492e-03,4.889489e-03,4.875846e-03,4.862560e-03,4.849625e-03,4.837035e-03,4.824785e-03,4.812868e-03,4.801279e-03,4.790011e-03,4.779059e-03,4.768416e-03,4.758075e-03
0.000000e+00,1.221215e-11,2.792199e-11,9.571546e-11,2.170839e-10,3.161405e-10,7.137402e-10,7.350664e-10,1.413173e-09,1.657939e-09,2.413038e-09,3.194303e-09,3.799140e-09,5.465688e-09,5.629450e-09,7.934999e-09,8.558601e-09,1.070415e-08,1.244194e-08,1.389405e-08,1.700878e-08,1.745387e-08,2.133613e-08,2.214741e-08,2.549750e-08,2.775799e-08,2.989671e-08,3.374593e-08,3.449286e-08,3.924491e-08,4.001695e-08,4.411177e-08,4.647672e-08,4.905297e-08,5.303308e-08,5.402936e-08,5.900390e-08,5.959906e-08,6.394227e-08,6.609556e-08,6.881341e-08,7.245347e-08,7.358985e-08,7.824782e-08,7.861472e-08,8.276734e-08,8.453258e-08,8.713200e-08,9.017126e-08,9.132882e-08,9.534795e-08,9.550491e-08,9.918249e-08,1.005168e-07,1.028281e-07,1.051979e-07,1.062825e-07,1.095455e-07,1.126183e-07,1.135618e-07,1.155036e-07,1.172534e-07,1.182051e-07,1.206297e-07,1.207272e-07,1.230753e-07,1.237024e-07,1.252550e-07,1.264845e-07,1.272724e-07,1.289904e-07,1.291338e-07,1.308455e-07,1.312348e-07,1.324142e-07,1.332325e-07,1.338463e-07,1.349986e-07,1.351482e-07,1.363263e-07,1.365476e-07,1.373868e-07,1.378939e-07,1.383358e-07,1.390511e-07,1.391792e-07,1.399225e-07,1.400325e-07,1.405713e-07,1.408508e-07,1.411310e-07,1.415178e-07,1.416064e-07,1.420026e-07,1.420450e-07,1.423241e-07,1.424431e-07,1.425755e-07,1.427222e-07,1.427609e-07,1.428844e-07,1.428918e-07,1.429499e-07,1.429607e-07,1.429611e-07,1.429374e-07,1.429214e-07,1.428342e-07,1.428297e-07,1.427026e-07,1.426449e-07,1.425296e-07,1.423898e-07,1.423181e-07,1.420708e-07,1.417902e-07,1.416937e-07,1.414787e-07,1.412642e-07,1.411386e-07,1.407873e-07,1.407721e-07,1.403813e-07,1.402678e-07,1.399680e-07,1.397101e-07,1.395342e-07,1.391184e-07,1.390815e-07,1.386116e-07,1.384964e-07,1.381259e-07,1.378477e-07,1.376261e-07,1.371755e-07,1.371134e-07,1.365891e-07,1.364829e-07,1.360544e-07,1.357727e-07,1.355105e-07,1.350473e-07,1.349585e-07,1.343993e-07,1.343093e-07,1.338340e-07,1.335607e-07,1.332634e-07,1.328037e-07,1.326883e-07,1.321096e-07,1.320399e-07,1.315280e-07,1.312713e-07,1.309441e-07,1.304992e-07,1.303586e-07,1.297722e-07,1.297252e-07,1.291853e-07,1.289506e-07,1.285986e-07,1.281764e-07,1.280124e-07,1.274273e-07,1.274040e-07,1.268438e-07,1.266341e-07,1.262621e-07,1.258678e-07,1.256826e-07,1.251058e-07,1.243489e-07,1.235977e-07,1.228529e-07,1.221150e-07,1.213844e-07,1.206617e-07,1.199471e-07,1.192410e-07,1.185437e-07,1.178555e-07,1.171765e-07,1.165070e-07,1.158470e-07,1.151968e-07,1.145564e-07,1.139259e-07,1.133054e-07,1.126948e-07,1.120943e-07,1.115037e-07,1.109231e-07,1.103525e-07,1.097918e-07,1.092410e-07
0.000000e+00,6.485317e-10,1.836919e-09,8.447731e-09,2.286789e-08,3.595187e-08,9.509240e-08,9.848407e-08,2.144419e-07,2.594804e-07,4.067894e-07,5.703553e-07,7.034880e-07,1.093664e-06,1.133532e-06,1.715272e-06,1.877486e-06,2.444343e-06,2.908503e-06,3.297051e-06,4.126911e-06,4.244802e-06,5.263479e-06,5.474046e-06,6.335034e-06,6.908501e-06,7.445862e-06,8.401248e-06,8.585013e-06,9.743036e-06,9.929491e-06,1.091141e-05,1.147359e-05,1.208235e-05,1.301616e-05,1.324877e-05,1.440431e-05,1.454197e-05,1.554339e-05,1.603811e-05,1.666122e-05,1.749407e-05,1.775379e-05,1.881781e-05,1.890162e-05,1.985070e-05,2.025468e-05,2.085048e-05,2.154900e-05,2.181572e-05,2.274548e-05,2.278193e-05,2.363919e-05,2.395205e-05,2.449663e-05,2.505898e-05,2.531784e-05,2.610311e-05,2.685291e-05,2.708544e-05,2.756782e-05,2.800740e-05,2.824858e-05,2.887072e-05,2.889599e-05,2.951090e-05,2.967738e-05,3.009423e-05,3.042946e-05,3.064692e-05,3.112916e-05,3.116993e-05,3.166424e-05,3.177872e-05,3.213083e-05,3.238038e-05,3.257067e-05,3.293637e-05,3.298472e-05,3.337392e-05,3.344886e-05,3.373920e-05,3.391999e-05,3.408147e-05,3.435185e-05,3.440163e-05,3.470055e-05,3.474646e-05,3.497908e-05,3.510577e-05,3.523803e-05,3.543165e-05,3.547822e-05,3.570042e-05,3.572591e-05,3.590538e-05,3.599030e-05,3.609384e-05,3.622647e-05,3.626650e-05,3.642405e-05,3.643602e-05,3.656714e-05,3.662048e-05,3.669642e-05,3.678129e-05,3.681250e-05,3.691597e-05,3.691985e-05,3.700740e-05,3.703748e-05,3.708735e-05,3.713543e-05,3.715635e-05,3.721491e-05,3.726352e-05,3.727705e-05,3.730265e-05,3.732294e-05,3.733277e-05,3.735361e-05,3.735431e-05,3.736768e-05,3.737002e-05,3.737331e-05,3.737312e-05,3.737156e-05,3.736377e-05,3.736282e-05,3.734745e-05,3.734281e-05,3.732578e-05,3.731102e-05,3.729815e-05,3.726916e-05,3.726488e-05,3.722627e-05,3.721793e-05,3.718260e-05,3.715800e-05,3.713417e-05,3.708999e-05,3.708123e-05,3.702405e-05,3.701452e-05,3.696286e-05,3.693214e-05,3.689790e-05,3.684338e-05,3.682941e-05,3.675759e-05,3.674876e-05,3.668265e-05,3.664874e-05,3.660478e-05,3.654377e-05,3.652419e-05,3.644104e-05,3.643428e-05,3.635551e-05,3.632067e-05,3.626776e-05,3.620331e-05,3.617796e-05,3.608626e-05,3.608255e-05,3.599279e-05,3.595874e-05,3.589770e-05,3.583217e-05,3.580111e-05,3.570316e-05,3.557197e-05,3.543887e-05,3.530410e-05,3.516789e-05,3.503046e-05,3.489201e-05,3.475273e-05,3.461280e-05,3.447238e-05,3.433164e-05,3.419071e-05,3.404973e-05,3.390882e-05,3.376812e-05,3.362772e-05,3.348773e-05,3.334825e-05,3.320936e-05,3.307115e-05,3.293369e-05,3.279704e-05,3.266129e-05,3.252648e-05,3.239266e-05
0.000000e+00,1.838958e-08,5.472724e-08,2.766547e-07,8.085635e-07,1.320545e-06,3.802523e-06,3.950138e-06,9.170867e-06,1.125542e-05,1.818164e-05,2.598140e-05,3.238238e-05,5.138608e-05,5.335137e-05,8.269571e-05,9.114175e-05,1.217281e-04,1.481106e-04,1.711576e-04,2.233074e-04,2.310321e-04,3.008880e-04,3.159912e-04,3.799325e-04,4.243446e-04,4.671790e-04,5.460039e-04,5.615304e-04,6.618320e-04,6.783538e-04,7.669050e-04,8.186887e-04,8.755727e-04,9.643192e-04,9.866825e-04,1.099125e-03,1.112658e-03,1.211853e-03,1.261290e-03,1.323893e-03,1.408034e-03,1.434358e-03,1.542460e-03,1.550984e-03,1.647507e-03,1.688536e-03,1.748914e-03,1.819395e-03,1.846194e-03,1.938959e-03,1.942571e-03,2.026915e-03,2.057359e-03,2.109852e-03,2.163313e-03,2.187640e-03,2.260217e-03,2.327583e-03,2.348046e-03,2.389789e-03,2.426937e-03,2.446933e-03,2.497152e-03,2.499148e-03,2.546596e-03,2.559052e-03,2.589463e-03,2.613068e-03,2.627951e-03,2.659677e-03,2.662275e-03,2.692657e-03,2.699388e-03,2.719324e-03,2.732720e-03,2.742503e-03,2.760192e-03,2.762417e-03,2.779287e-03,2.782315e-03,2.793328e-03,2.799581e-03,2.804748e-03,2.812460e-03,2.813744e-03,2.820509e-03,2.821396e-03,2.825221e-03,2.826805e-03,2.828054e-03,2.829075e-03,2.829167e-03,2.828713e-03,2.828560e-03,2.826834e-03,2.825591e-03,2.823663e-03,2.820465e-03,2.819323e-03,2.813929e-03,2.813455e-03,2.807588e-03,2.804809e-03,2.800400e-03,2.794750e-03,2.792454e-03,2.783836e-03,2.783479e-03,2.774624e-03,2.771175e-03,2.764888e-03,2.758002e-03,2.754694e-03,2.744103e-03,2.733170e-03,2.729607e-03,2.721945e-03,2.714629e-03,2.710475e-03,2.699271e-03,2.698801e-03,2.686962e-03,2.683623e-03,2.674994e-03,2.667764e-03,2.662927e-03,2.651765e-03,2.650792e-03,2.638614e-03,2.635688e-03,2.626418e-03,2.619587e-03,2.614224e-03,2.603511e-03,2.602052e-03,2.589921e-03,2.587501e-03,2.577846e-03,2.571594e-03,2.565841e-03,2.555820e-03,2.553918e-03,2.542091e-03,2.540208e-03,2.530368e-03,2.524781e-03,2.518759e-03,2.509559e-03,2.507272e-03,2.495914e-03,2.494560e-03,2.484692e-03,2.479798e-03,2.473610e-03,2.465286e-03,2.462675e-03,2.451889e-03,2.451033e-03,2.441257e-03,2.437047e-03,2.430781e-03,2.423336e-03,2.420464e-03,2.410307e-03,2.409904e-03,2.400313e-03,2.396755e-03,2.390483e-03,2.383892e-03,2.380817e-03,2.371316e-03,2.359027e-03,2.347026e-03,2.335312e-03,2.323883e-03,2.312737e-03,2.301871e-03,2.291284e-03,2.280970e-03,2.270928e-03,2.261152e-03,2.251639e-03,2.242384e-03,2.233383e-03,2.224631e-03,2.216124e-03,2.207856e-03,2.199823e-03,2.192020e-03,2.184441e-03,2.177082e-03,2.169937e-03,2.163002e-03,2.156272e-03,2.149741e-03
0.000000e+00,1.727421e-09,5.086279e-09,2.515398e-08,7.207814e-08,1.164614e-07,3.263213e-07,3.386177e-07,7.656810e-07,9.331247e-07,1.481273e-06,2.087732e-06,2.579313e-06,4.017132e-06,4.164493e-06,6.348507e-06,6.973913e-06,9.236554e-06,1.119093e-05,1.290216e-05,1.678544e-05,1.736138e-05,2.256532e-05,2.368739e-05,2.841538e-05,3.167198e-05,3.478753e-05,4.044889e-05,4.155251e-05,4.858793e-05,4.973114e-05,5.578367e-05,5.926574e-05,6.304332e-05,6.884072e-05,7.028366e-05,7.743346e-05,7.828237e-05,8.443213e-05,8.745019e-05,9.122861e-05,9.623229e-05,9.778043e-05,1.040530e-04,1.045419e-04,1.100189e-04,1.123145e-04,1.156573e-04,1.195057e-04,1.209535e-04,1.258986e-04,1.260890e-04,1.304881e-04,1.320532e-04,1.347223e-04,1.374005e-04,1.386052e-04,1.421439e-04,1.453484e-04,1.463052e-04,1.482307e-04,1.499126e-04,1.508045e-04,1.529991e-04,1.530849e-04,1.550876e-04,1.556008e-04,1.568290e-04,1.577553e-04,1.583256e-04,1.595005e-04,1.595939e-04,1.606501e-04,1.608738e-04,1.615099e-04,1.619114e-04,1.621887e-04,1.626479e-04,1.627011e-04,1.630610e-04,1.631158e-04,1.632815e-04,1.633453e-04,1.633751e-04,1.633642e-04,1.633534e-04,1.632273e-04,1.631981e-04,1.630068e-04,1.628702e-04,1.627013e-04,1.624017e-04,1.623196e-04,1.618695e-04,1.618113e-04,1.613585e-04,1.611162e-04,1.607934e-04,1.603315e-04,1.601803e-04,1.595249e-04,1.594708e-04,1.588325e-04,1.585463e-04,1.581078e-04,1.575685e-04,1.573551e-04,1.565785e-04,1.565469e-04,1.557813e-04,1.554900e-04,1.549671e-04,1.544051e-04,1.541387e-04,1.532987e-04,1.524498e-04,1.521766e-04,1.515940e-04,1.510436e-04,1.507334e-04,1.499044e-04,1.498698e-04,1.490048e-04,1.487625e-04,1.481399e-04,1.476215e-04,1.472764e-04,1.464843e-04,1.464155e-04,1.455583e-04,1.453533e-04,1.447058e-04,1.442307e-04,1.438588e-04,1.431185e-04,1.430180e-04,1.421842e-04,1.420183e-04,1.413579e-04,1.409315e-04,1.405398e-04,1.398592e-04,1.397302e-04,1.389296e-04,1.388024e-04,1.381384e-04,1.377620e-04,1.373568e-04,1.367387e-04,1.365851e-04,1.358236e-04,1.357329e-04,1.350724e-04,1.347452e-04,1.343318e-04,1.337760e-04,1.336017e-04,1.328824e-04,1.328253e-04,1.321739e-04,1.318935e-04,1.314762e-04,1.309807e-04,1.307895e-04,1.301136e-04,1.300868e-04,1.294487e-04,1.292119e-04,1.287946e-04,1.283560e-04,1.281514e-04,1.275190e-04,1.267006e-04,1.259009e-04,1.251195e-04,1.243564e-04,1.236112e-04,1.228837e-04,1.221737e-04,1.214808e-04,1.208049e-04,1.201456e-04,1.195027e-04,1.188757e-04,1.182645e-04,1.176687e-04,1.170880e-04,1.165221e-04,1.159707e-04,1.154335e-04,1.149101e-04,1.144003e-04,1.139038e-04,1.134202e-04,1.129493e-04,1.124907e-04
0.000000e+00,1.390169e-10,3.391501e-10,1.247881e-09,2.924860e-09,4.309923e-09,9.912079e-09,1.021319e-08,1.977444e-08,2.321295e-08,3.376572e-08,4.459883e-08,5.293493e-08,7.576312e-08,7.800117e-08,1.095856e-07,1.181845e-07,1.480563e-07,1.726150e-07,1.933886e-07,2.386619e-07,2.452045e-07,3.029492e-07,3.151573e-07,3.660289e-07,4.007438e-07,4.338579e-07,4.940817e-07,5.058582e-07,5.814482e-07,5.938363e-07,6.600363e-07,6.986471e-07,7.410209e-07,8.071265e-07,8.237955e-07,9.077573e-07,9.178843e-07,9.923171e-07,1.029566e-06,1.076909e-06,1.140890e-06,1.160999e-06,1.244092e-06,1.250683e-06,1.325741e-06,1.357905e-06,1.405546e-06,1.461668e-06,1.483161e-06,1.558291e-06,1.561241e-06,1.630693e-06,1.656051e-06,1.700173e-06,1.745672e-06,1.766582e-06,1.829816e-06,1.889807e-06,1.908313e-06,1.946523e-06,1.981101e-06,1.999963e-06,2.048205e-06,2.050151e-06,2.097133e-06,2.109723e-06,2.140976e-06,2.165806e-06,2.181757e-06,2.216653e-06,2.219571e-06,2.254517e-06,2.262490e-06,2.286705e-06,2.303566e-06,2.316246e-06,2.340145e-06,2.343257e-06,2.367855e-06,2.372495e-06,2.390157e-06,2.400886e-06,2.410281e-06,2.425584e-06,2.428340e-06,2.444447e-06,2.446851e-06,2.458712e-06,2.464936e-06,2.471241e-06,2.480082e-06,2.482135e-06,2.491494e-06,2.492519e-06,2.499412e-06,2.502463e-06,2.505979e-06,2.510119e-06,2.511281e-06,2.515400e-06,2.515681e-06,2.518415e-06,2.519328e-06,2.520399e-06,2.521228e-06,2.521422e-06,2.521551e-06,2.521538e-06,2.520848e-06,2.520403e-06,2.519373e-06,2.517957e-06,2.517181e-06,2.514326e-06,2.510856e-06,2.509624e-06,2.506820e-06,2.503959e-06,2.502260e-06,2.497429e-06,2.497218e-06,2.491734e-06,2.490124e-06,2.485843e-06,2.482127e-06,2.479580e-06,2.473517e-06,2.472977e-06,2.466064e-06,2.464362e-06,2.458870e-06,2.454729e-06,2.451421e-06,2.444676e-06,2.443743e-06,2.435858e-06,2.434258e-06,2.427788e-06,2.423525e-06,2.419553e-06,2.412524e-06,2.411174e-06,2.402667e-06,2.401296e-06,2.394050e-06,2.389879e-06,2.385338e-06,2.378309e-06,2.376545e-06,2.367685e-06,2.366618e-06,2.358771e-06,2.354835e-06,2.349815e-06,2.342987e-06,2.340828e-06,2.331819e-06,2.331098e-06,2.322799e-06,2.319190e-06,2.313776e-06,2.307283e-06,2.304760e-06,2.295756e-06,2.295396e-06,2.286773e-06,2.283545e-06,2.277817e-06,2.271745e-06,2.268893e-06,2.260009e-06,2.248350e-06,2.236778e-06,2.225303e-06,2.213933e-06,2.202678e-06,2.191543e-06,2.180534e-06,2.169657e-06,2.158917e-06,2.148317e-06,2.137861e-06,2.127551e-06,2.117391e-06,2.107382e-06,2.097526e-06,2.087824e-06,2.078276e-06,2.068884e-06,2.059648e-06,2.050567e-06,2.041642e-06,2.032872e-06,2.024256e-06,2.015794e-06
0.000000e+00,8.045121e-12,1.845185e-11,6.416426e-11,1.490485e-10,2.210953e-10,5.339193e-10,5.517204e-10,1.165509e-09,1.406377e-09,2.190076e-09,3.028239e-09,3.674483e-09,5.388864e-09,5.551204e-09,7.733155e-09,8.295411e-09,1.016435e-08,1.162197e-08,1.281210e-08,1.530324e-08,1.565383e-08,1.866968e-08,1.929198e-08,2.183929e-08,2.354105e-08,2.514081e-08,2.799908e-08,2.855102e-08,3.204573e-08,3.261110e-08,3.560061e-08,3.732131e-08,3.919190e-08,4.207593e-08,4.279702e-08,4.639492e-08,4.682525e-08,4.996645e-08,5.152521e-08,5.349505e-08,5.613923e-08,5.696647e-08,6.036851e-08,6.063736e-08,6.369114e-08,6.499610e-08,6.692630e-08,6.919780e-08,7.006759e-08,7.311020e-08,7.322979e-08,7.605063e-08,7.708372e-08,7.888666e-08,8.075475e-08,8.161678e-08,8.423993e-08,8.675667e-08,8.753972e-08,8.916793e-08,9.065625e-08,9.147481e-08,9.359277e-08,9.367898e-08,9.578214e-08,9.635321e-08,9.778640e-08,9.894240e-08,9.969399e-08,1.013656e-07,1.015072e-07,1.032286e-07,1.036284e-07,1.048608e-07,1.057368e-07,1.064063e-07,1.076967e-07,1.078677e-07,1.092477e-07,1.095142e-07,1.105489e-07,1.111953e-07,1.117740e-07,1.127460e-07,1.129254e-07,1.140057e-07,1.141721e-07,1.150175e-07,1.154796e-07,1.159633e-07,1.166740e-07,1.168454e-07,1.176663e-07,1.177607e-07,1.184281e-07,1.187453e-07,1.191333e-07,1.196327e-07,1.197840e-07,1.203824e-07,1.204281e-07,1.209305e-07,1.211362e-07,1.214304e-07,1.217616e-07,1.218841e-07,1.222935e-07,1.223090e-07,1.226604e-07,1.227824e-07,1.229866e-07,1.231861e-07,1.232740e-07,1.235241e-07,1.237387e-07,1.238001e-07,1.239193e-07,1.240177e-07,1.240674e-07,1.241805e-07,1.241846e-07,1.242722e-07,1.242916e-07,1.243317e-07,1.243544e-07,1.243643e-07,1.243718e-07,1.243714e-07,1.243543e-07,1.243467e-07,1.243140e-07,1.242818e-07,1.242518e-07,1.241798e-07,1.241688e-07,1.240660e-07,1.240431e-07,1.239445e-07,1.238742e-07,1.238052e-07,1.236753e-07,1.236492e-07,1.234773e-07,1.234484e-07,1.232905e-07,1.231957e-07,1.230895e-07,1.229191e-07,1.228752e-07,1.226483e-07,1.226203e-07,1.224097e-07,1.223012e-07,1.221601e-07,1.219634e-07,1.219000e-07,1.216303e-07,1.216083e-07,1.213515e-07,1.212376e-07,1.210643e-07,1.208526e-07,1.207692e-07,1.204668e-07,1.204546e-07,1.201576e-07,1.200448e-07,1.198422e-07,1.196244e-07,1.195211e-07,1.191946e-07,1.187564e-07,1.183107e-07,1.178585e-07,1.174007e-07,1.169381e-07,1.164714e-07,1.160014e-07,1.155288e-07,1.150542e-07,1.145781e-07,1.141013e-07,1.136241e-07,1.131471e-07,1.126707e-07,1.121954e-07,1.117216e-07,1.112495e-07,1.107796e-07,1.103122e-07,1.098476e-07,1.093860e-07,1.089277e-07,1.084729e-07,1.080219e-07
0.000000e+00,7.760029e-12,1.777532e-11,6.153303e-11,1.420303e-10,2.097485e-10,4.992495e-10,5.155542e-10,1.071526e-09,1.287989e-09,1.992647e-09,2.752125e-09,3.342554e-09,4.922948e-09,5.073259e-09,7.097460e-09,7.619348e-09,9.352525e-09,1.070160e-08,1.180097e-08,1.409561e-08,1.441782e-08,1.718242e-08,1.775131e-08,2.007465e-08,2.162214e-08,2.307355e-08,2.565895e-08,2.615707e-08,2.930256e-08,2.981007e-08,3.248732e-08,3.402343e-08,3.568926e-08,3.824912e-08,3.888754e-08,4.206297e-08,4.244165e-08,4.519838e-08,4.656133e-08,4.827874e-08,5.057505e-08,5.129127e-08,5.422534e-08,5.445641e-08,5.707240e-08,5.818530e-08,5.982575e-08,6.174731e-08,6.248047e-08,6.503319e-08,6.513315e-08,6.748188e-08,6.833770e-08,6.982544e-08,7.135887e-08,7.206367e-08,7.419720e-08,7.622724e-08,7.685527e-08,7.815551e-08,7.933719e-08,7.998420e-08,8.164835e-08,8.171578e-08,8.335298e-08,8.379487e-08,8.489867e-08,8.578343e-08,8.635591e-08,8.762123e-08,8.772794e-08,8.901825e-08,8.931611e-08,9.022992e-08,9.087523e-08,9.136597e-08,9.230558e-08,9.242947e-08,9.342337e-08,9.361406e-08,9.435058e-08,9.480732e-08,9.521394e-08,9.589188e-08,9.601625e-08,9.676020e-08,9.687399e-08,9.744836e-08,9.775960e-08,9.808323e-08,9.855440e-08,9.866724e-08,9.920275e-08,9.926386e-08,9.969201e-08,9.989320e-08,1.001372e-07,1.004474e-07,1.005404e-07,1.009037e-07,1.009311e-07,1.012289e-07,1.013488e-07,1.015179e-07,1.017047e-07,1.017726e-07,1.019946e-07,1.020028e-07,1.021856e-07,1.022470e-07,1.023470e-07,1.024408e-07,1.024806e-07,1.025876e-07,1.026694e-07,1.026905e-07,1.027274e-07,1.027526e-07,1.027628e-07,1.027768e-07,1.027769e-07,1.027708e-07,1.027656e-07,1.027455e-07,1.027217e-07,1.027022e-07,1.026473e-07,1.026419e-07,1.025654e-07,1.025448e-07,1.024738e-07,1.024162e-07,1.023679e-07,1.022635e-07,1.022485e-07,1.021165e-07,1.020886e-07,1.019726e-07,1.018933e-07,1.018175e-07,1.016790e-07,1.016519e-07,1.014765e-07,1.014475e-07,1.012919e-07,1.012002e-07,1.010987e-07,1.009383e-07,1.008975e-07,1.006888e-07,1.006633e-07,1.004732e-07,1.003762e-07,1.002511e-07,1.000783e-07,1.000230e-07,9.978938e-08,9.977047e-08,9.955066e-08,9.945384e-08,9.930724e-08,9.912928e-08,9.905950e-08,9.880781e-08,9.879766e-08,9.855252e-08,9.845980e-08,9.829396e-08,9.811645e-08,9.803246e-08,9.776831e-08,9.741606e-08,9.706032e-08,9.670165e-08,9.634061e-08,9.597769e-08,9.561337e-08,9.524809e-08,9.488224e-08,9.451621e-08,9.415036e-08,9.378501e-08,9.342047e-08,9.305701e-08,9.269490e-08,9.233438e-08,9.197567e-08,9.161897e-08,9.126449e-08,9.091239e-08,9.056282e-08,9.021595e-08,8.987190e-08,8.953079e-08,8.919273e-08
0.000000e+00,6.396197e-11,1.470263e-10,5.066987e-10,1.151648e-09,1.678188e-09,3.790448e-09,3.903657e-09,7.497366e-09,8.791449e-09,1.277305e-08,1.687712e-08,2.004598e-08,2.876418e-08,2.962166e-08,4.176677e-08,4.508646e-08,5.665953e-08,6.621694e-08,7.432422e-08,9.201889e-08,9.457370e-08,1.170047e-07,1.217060e-07,1.410729e-07,1.540446e-07,1.662095e-07,1.877783e-07,1.919105e-07,2.177695e-07,2.218995e-07,2.434732e-07,2.556831e-07,2.687820e-07,2.886201e-07,2.935128e-07,3.175257e-07,3.203536e-07,3.407148e-07,3.506361e-07,3.630021e-07,3.793025e-07,3.843322e-07,4.046691e-07,4.062524e-07,4.239927e-07,4.314365e-07,4.422961e-07,4.548447e-07,4.595832e-07,4.758663e-07,4.764970e-07,4.911649e-07,4.964360e-07,5.055035e-07,5.147197e-07,5.189104e-07,5.314168e-07,5.430559e-07,5.466028e-07,5.538619e-07,5.603567e-07,5.638697e-07,5.727588e-07,5.731143e-07,5.816304e-07,5.838891e-07,5.894523e-07,5.938261e-07,5.966134e-07,6.026461e-07,6.031464e-07,6.090829e-07,6.104223e-07,6.144536e-07,6.172251e-07,6.192880e-07,6.231212e-07,6.236144e-07,6.274603e-07,6.281741e-07,6.308517e-07,6.324440e-07,6.338137e-07,6.359874e-07,6.363701e-07,6.385439e-07,6.388576e-07,6.403568e-07,6.411049e-07,6.418296e-07,6.427763e-07,6.429821e-07,6.438331e-07,6.439158e-07,6.444005e-07,6.445648e-07,6.447015e-07,6.447619e-07,6.447521e-07,6.445678e-07,6.445433e-07,6.441631e-07,6.439427e-07,6.435520e-07,6.429916e-07,6.427476e-07,6.417624e-07,6.417194e-07,6.406081e-07,6.401534e-07,6.392960e-07,6.383191e-07,6.378368e-07,6.362404e-07,6.345165e-07,6.339394e-07,6.326741e-07,6.314367e-07,6.307216e-07,6.287513e-07,6.286673e-07,6.265187e-07,6.259012e-07,6.242831e-07,6.229028e-07,6.219673e-07,6.197716e-07,6.195778e-07,6.171208e-07,6.165217e-07,6.146019e-07,6.131664e-07,6.120267e-07,6.097180e-07,6.094003e-07,6.067276e-07,6.061879e-07,6.040131e-07,6.025866e-07,6.012612e-07,5.989237e-07,5.984760e-07,5.956613e-07,5.952085e-07,5.928208e-07,5.914492e-07,5.899578e-07,5.876535e-07,5.870756e-07,5.841772e-07,5.838285e-07,5.812655e-07,5.799809e-07,5.783432e-07,5.761166e-07,5.754127e-07,5.724764e-07,5.722413e-07,5.695366e-07,5.683601e-07,5.665953e-07,5.644778e-07,5.636546e-07,5.607162e-07,5.605987e-07,5.577819e-07,5.567268e-07,5.548532e-07,5.528657e-07,5.519317e-07,5.490188e-07,5.451892e-07,5.413795e-07,5.375925e-07,5.338302e-07,5.300950e-07,5.263885e-07,5.227126e-07,5.190688e-07,5.154584e-07,5.118827e-07,5.083427e-07,5.048394e-07,5.013736e-07,4.979461e-07,4.945575e-07,4.912082e-07,4.878988e-07,4.846296e-07,4.814008e-07,4.782128e-07,4.750656e-07,4.719593e-07,4.688940e-07,4.658697e-07
0.000000e+00,7.763829e-08,2.323507e-07,1.194344e-06,3.574004e-06,5.939165e-06,1.820086e-05,1.896640e-05,4.819799e-05,6.089283e-05,1.063915e-04,1.622138e-04,2.104068e-04,3.593170e-04,3.749132e-04,6.065162e-04,6.721406e-04,9.048570e-04,1.099710e-03,1.266074e-03,1.631840e-03,1.684969e-03,2.155947e-03,2.255894e-03,2.673355e-03,2.958891e-03,3.231583e-03,3.727981e-03,3.825085e-03,4.448387e-03,4.550520e-03,5.096115e-03,5.414154e-03,5.763024e-03,6.306953e-03,6.444053e-03,7.134367e-03,7.217609e-03,7.829411e-03,8.135624e-03,8.524947e-03,9.051476e-03,9.217085e-03,9.902306e-03,9.956728e-03,1.057746e-02,1.084408e-02,1.123979e-02,1.170736e-02,1.188689e-02,1.251672e-02,1.254153e-02,1.312757e-02,1.334255e-02,1.371803e-02,1.410733e-02,1.428700e-02,1.483362e-02,1.535728e-02,1.551993e-02,1.585756e-02,1.616537e-02,1.633425e-02,1.676960e-02,1.678726e-02,1.721669e-02,1.733273e-02,1.762273e-02,1.785524e-02,1.800567e-02,1.833791e-02,1.836591e-02,1.870389e-02,1.878175e-02,1.902013e-02,1.918794e-02,1.931520e-02,1.955782e-02,1.958969e-02,1.984424e-02,1.989281e-02,2.007950e-02,2.019443e-02,2.029613e-02,2.046420e-02,2.049481e-02,2.067622e-02,2.070369e-02,2.084104e-02,2.091446e-02,2.098994e-02,2.109806e-02,2.112361e-02,2.124269e-02,2.125603e-02,2.134785e-02,2.138987e-02,2.143971e-02,2.150102e-02,2.151891e-02,2.158604e-02,2.159091e-02,2.164172e-02,2.166091e-02,2.168650e-02,2.171232e-02,2.172096e-02,2.174563e-02,2.174642e-02,2.176104e-02,2.176442e-02,2.176770e-02,2.176748e-02,2.176609e-02,2.175668e-02,2.173994e-02,2.173310e-02,2.171629e-02,2.169772e-02,2.168615e-02,2.165149e-02,2.164993e-02,2.160801e-02,2.159531e-02,2.156077e-02,2.153002e-02,2.150856e-02,2.145642e-02,2.145171e-02,2.139056e-02,2.137527e-02,2.132541e-02,2.128729e-02,2.125656e-02,2.119313e-02,2.118429e-02,2.110887e-02,2.109343e-02,2.103056e-02,2.098878e-02,2.094961e-02,2.087974e-02,2.086625e-02,2.078069e-02,2.076682e-02,2.069316e-02,2.065050e-02,2.060385e-02,2.053124e-02,2.051294e-02,2.042063e-02,2.040947e-02,2.032708e-02,2.028557e-02,2.023246e-02,2.015992e-02,2.013691e-02,2.004059e-02,2.003286e-02,1.994363e-02,1.990469e-02,1.984616e-02,1.977573e-02,1.974829e-02,1.965016e-02,1.964623e-02,1.955186e-02,1.951645e-02,1.945349e-02,1.938662e-02,1.935516e-02,1.925696e-02,1.912765e-02,1.899889e-02,1.887082e-02,1.874362e-02,1.861740e-02,1.849230e-02,1.836842e-02,1.824587e-02,1.812474e-02,1.800510e-02,1.788704e-02,1.777061e-02,1.765586e-02,1.754285e-02,1.743161e-02,1.732219e-02,1.721460e-02,1.710888e-02,1.700504e-02,1.690308e-02,1.680303e-02,1.670489e-02,1.660866e-02,1.651433e-02
0.000000e+00,5.434700e-08,1.625196e-07,8.337231e-07,2.488840e-06,4.129233e-06,1.259064e-05,1.311722e-05,3.314172e-05,4.180730e-05,7.281153e-05,1.108586e-04,1.437772e-04,2.460288e-04,2.567829e-04,4.172671e-04,4.629590e-04,6.255586e-04,7.622361e-04,8.792290e-04,1.137209e-03,1.174756e-03,1.508300e-03,1.579230e-03,1.876003e-03,2.079447e-03,2.274074e-03,2.629202e-03,2.698797e-03,3.146525e-03,3.220056e-03,3.613673e-03,3.843768e-03,4.096729e-03,4.492325e-03,4.592272e-03,5.096994e-03,5.158026e-03,5.607737e-03,5.833595e-03,6.121515e-03,6.512291e-03,6.635538e-03,7.147235e-03,7.187999e-03,7.654267e-03,7.855293e-03,8.154528e-03,8.509471e-03,8.646159e-03,9.127531e-03,9.146552e-03,9.597247e-03,9.763258e-03,1.005413e-02,1.035696e-02,1.049718e-02,1.092563e-02,1.133883e-02,1.146775e-02,1.173631e-02,1.198230e-02,1.211776e-02,1.246867e-02,1.248297e-02,1.283184e-02,1.292660e-02,1.316439e-02,1.335612e-02,1.348071e-02,1.375753e-02,1.378097e-02,1.406538e-02,1.413131e-02,1.433423e-02,1.447811e-02,1.458784e-02,1.479871e-02,1.482658e-02,1.505085e-02,1.509401e-02,1.526106e-02,1.536496e-02,1.545764e-02,1.561255e-02,1.564102e-02,1.581165e-02,1.583780e-02,1.596998e-02,1.604174e-02,1.611645e-02,1.622538e-02,1.625150e-02,1.637558e-02,1.638975e-02,1.648911e-02,1.653584e-02,1.659254e-02,1.666465e-02,1.668629e-02,1.677075e-02,1.677712e-02,1.684635e-02,1.687419e-02,1.691346e-02,1.695675e-02,1.697248e-02,1.702379e-02,1.702568e-02,1.706773e-02,1.708182e-02,1.710467e-02,1.712596e-02,1.713494e-02,1.715888e-02,1.717680e-02,1.718132e-02,1.718901e-02,1.719397e-02,1.719581e-02,1.719751e-02,1.719748e-02,1.719431e-02,1.719258e-02,1.718655e-02,1.717980e-02,1.717446e-02,1.715972e-02,1.715829e-02,1.713827e-02,1.713292e-02,1.711464e-02,1.709990e-02,1.708760e-02,1.706116e-02,1.705737e-02,1.702415e-02,1.701717e-02,1.698814e-02,1.696836e-02,1.694951e-02,1.691516e-02,1.690843e-02,1.686509e-02,1.685796e-02,1.681964e-02,1.679712e-02,1.677223e-02,1.673300e-02,1.672302e-02,1.667214e-02,1.666593e-02,1.661972e-02,1.659621e-02,1.656590e-02,1.652413e-02,1.651079e-02,1.645452e-02,1.644997e-02,1.639719e-02,1.637399e-02,1.633891e-02,1.629641e-02,1.627978e-02,1.621989e-02,1.621748e-02,1.615933e-02,1.613739e-02,1.609820e-02,1.605634e-02,1.603657e-02,1.597451e-02,1.589208e-02,1.580921e-02,1.572603e-02,1.564269e-02,1.555932e-02,1.547602e-02,1.539292e-02,1.531011e-02,1.522767e-02,1.514571e-02,1.506429e-02,1.498348e-02,1.490336e-02,1.482397e-02,1.474537e-02,1.466762e-02,1.459075e-02,1.451480e-02,1.443981e-02,1.436580e-02,1.429281e-02,1.422086e-02,1.414996e-02,1.408014e-02
0.000000e+00,2.797361e-09,8.113027e-09,3.888912e-08,1.083223e-07,1.723286e-07,4.639507e-07,4.806541e-07,1.044963e-06,1.260070e-06,1.948249e-06,2.688824e-06,3.277234e-06,4.952627e-06,5.121076e-06,7.557117e-06,8.235215e-06,1.062202e-05,1.260631e-05,1.429119e-05,1.796003e-05,1.848830e-05,2.311264e-05,2.407964e-05,2.806208e-05,3.073324e-05,3.324470e-05,3.772014e-05,3.858149e-05,4.400514e-05,4.487699e-05,4.945742e-05,5.206937e-05,5.488686e-05,5.918264e-05,6.024705e-05,6.549582e-05,6.611632e-05,7.059490e-05,7.278207e-05,7.550994e-05,7.910361e-05,8.021085e-05,8.467211e-05,8.501800e-05,8.887295e-05,9.047666e-05,9.279756e-05,9.544590e-05,9.643499e-05,9.977900e-05,9.990662e-05,1.028277e-04,1.038533e-04,1.055833e-04,1.072923e-04,1.080511e-04,1.102398e-04,1.121604e-04,1.127204e-04,1.138257e-04,1.147640e-04,1.152499e-04,1.164044e-04,1.164482e-04,1.174364e-04,1.176776e-04,1.182302e-04,1.186198e-04,1.188454e-04,1.192668e-04,1.192972e-04,1.196006e-04,1.196529e-04,1.197695e-04,1.198103e-04,1.198172e-04,1.197689e-04,1.197563e-04,1.195982e-04,1.195559e-04,1.193537e-04,1.191958e-04,1.190327e-04,1.187104e-04,1.186441e-04,1.181960e-04,1.181193e-04,1.176959e-04,1.174393e-04,1.171504e-04,1.166855e-04,1.165657e-04,1.159470e-04,1.158707e-04,1.152993e-04,1.150063e-04,1.146269e-04,1.141017e-04,1.139336e-04,1.132230e-04,1.131655e-04,1.124981e-04,1.122047e-04,1.117616e-04,1.112255e-04,1.110159e-04,1.102633e-04,1.102331e-04,1.095057e-04,1.092320e-04,1.087447e-04,1.082261e-04,1.079819e-04,1.072186e-04,1.064560e-04,1.062123e-04,1.056952e-04,1.052097e-04,1.049371e-04,1.042126e-04,1.041825e-04,1.034322e-04,1.032229e-04,1.026867e-04,1.022421e-04,1.019468e-04,1.012713e-04,1.012128e-04,1.004852e-04,1.003116e-04,9.976441e-05,9.936386e-05,9.905076e-05,9.842888e-05,9.834454e-05,9.764600e-05,9.750723e-05,9.695536e-05,9.659941e-05,9.627281e-05,9.570584e-05,9.559851e-05,9.493258e-05,9.482682e-05,9.427514e-05,9.396261e-05,9.362628e-05,9.311340e-05,9.298605e-05,9.235451e-05,9.227931e-05,9.173169e-05,9.146041e-05,9.111760e-05,9.065675e-05,9.051227e-05,8.991567e-05,8.986832e-05,8.932779e-05,8.909508e-05,8.874862e-05,8.833697e-05,8.817810e-05,8.761620e-05,8.759390e-05,8.706286e-05,8.686575e-05,8.651804e-05,8.615239e-05,8.598166e-05,8.545367e-05,8.476941e-05,8.409945e-05,8.344359e-05,8.280164e-05,8.217337e-05,8.155859e-05,8.095706e-05,8.036857e-05,7.979289e-05,7.922978e-05,7.867902e-05,7.814036e-05,7.761358e-05,7.709844e-05,7.659470e-05,7.610214e-05,7.562052e-05,7.514961e-05,7.468918e-05,7.423900e-05,7.379886e-05,7.336853e-05,7.294779e-05,7.253643e-05
0.000000e+00,1.338291e-08,3.987746e-08,2.021562e-07,5.925480e-07,9.694536e-07,2.806176e-06,2.915801e-06,6.812945e-06,8.377933e-06,1.360515e-05,1.952818e-05,2.440641e-05,3.890476e-05,4.040136e-05,6.259849e-05,6.892820e-05,9.164157e-05,1.110195e-04,1.278328e-04,1.656495e-04,1.712369e-04,2.217567e-04,2.326970e-04,2.791705e-04,3.116450e-04,3.431495e-04,4.016561e-04,4.132672e-04,4.890079e-04,5.016096e-04,5.697775e-04,6.101417e-04,6.549170e-04,7.257002e-04,7.437183e-04,8.354421e-04,8.466096e-04,9.293357e-04,9.711429e-04,1.024651e-03,1.097591e-03,1.120658e-03,1.216664e-03,1.224325e-03,1.312019e-03,1.349843e-03,1.406127e-03,1.472809e-03,1.498452e-03,1.588522e-03,1.592072e-03,1.675930e-03,1.706677e-03,1.760332e-03,1.815862e-03,1.841447e-03,1.919051e-03,1.992978e-03,2.015837e-03,2.063109e-03,2.105966e-03,2.129371e-03,2.189313e-03,2.191733e-03,2.250194e-03,2.265869e-03,2.304790e-03,2.335714e-03,2.355576e-03,2.399002e-03,2.402632e-03,2.446055e-03,2.455948e-03,2.485955e-03,2.506805e-03,2.522453e-03,2.551860e-03,2.555679e-03,2.585768e-03,2.591421e-03,2.612857e-03,2.625805e-03,2.637088e-03,2.655336e-03,2.658601e-03,2.677535e-03,2.680334e-03,2.694028e-03,2.701117e-03,2.708215e-03,2.717992e-03,2.720227e-03,2.730192e-03,2.731256e-03,2.738233e-03,2.741192e-03,2.744468e-03,2.748070e-03,2.749012e-03,2.751973e-03,2.752145e-03,2.753456e-03,2.753657e-03,2.753558e-03,2.752831e-03,2.752376e-03,2.749997e-03,2.749878e-03,2.746506e-03,2.744993e-03,2.741984e-03,2.738359e-03,2.736507e-03,2.730145e-03,2.722967e-03,2.720508e-03,2.715036e-03,2.709593e-03,2.706412e-03,2.697533e-03,2.697151e-03,2.687307e-03,2.684452e-03,2.676927e-03,2.670463e-03,2.666061e-03,2.655670e-03,2.654750e-03,2.643036e-03,2.640170e-03,2.630958e-03,2.624049e-03,2.618552e-03,2.607390e-03,2.605851e-03,2.592887e-03,2.590265e-03,2.579689e-03,2.572743e-03,2.566284e-03,2.554885e-03,2.552700e-03,2.538959e-03,2.536747e-03,2.525084e-03,2.518383e-03,2.511096e-03,2.499838e-03,2.497015e-03,2.482858e-03,2.481155e-03,2.468643e-03,2.462374e-03,2.454385e-03,2.443529e-03,2.440099e-03,2.425798e-03,2.424654e-03,2.411496e-03,2.405778e-03,2.397204e-03,2.386926e-03,2.382933e-03,2.368692e-03,2.368123e-03,2.354492e-03,2.349391e-03,2.340340e-03,2.330749e-03,2.326245e-03,2.312215e-03,2.293803e-03,2.275530e-03,2.257406e-03,2.239444e-03,2.221652e-03,2.204041e-03,2.186616e-03,2.169386e-03,2.152356e-03,2.135531e-03,2.118915e-03,2.102511e-03,2.086322e-03,2.070351e-03,2.054599e-03,2.039068e-03,2.023758e-03,2.008670e-03,1.993804e-03,1.979159e-03,1.964735e-03,1.950531e-03,1.936547e-03,1.922779e-03
0.000000e+00,2.580310e-12,5.908554e-12,2.034756e-11,4.639492e-11,6.779186e-11,1.546190e-10,1.593131e-10,3.102173e-10,3.653965e-10,5.377144e-10,7.190470e-10,8.614039e-10,1.262048e-09,1.302061e-09,1.876935e-09,2.035889e-09,2.592323e-09,3.051856e-09,3.440395e-09,4.283407e-09,4.404652e-09,5.467445e-09,5.690433e-09,6.613477e-09,7.238006e-09,7.830028e-09,8.898407e-09,9.106183e-09,1.043211e-08,1.064826e-08,1.179863e-08,1.246640e-08,1.319703e-08,1.433310e-08,1.461899e-08,1.605667e-08,1.622989e-08,1.750271e-08,1.813984e-08,1.895032e-08,2.004774e-08,2.039334e-08,2.182625e-08,2.194029e-08,2.324418e-08,2.380620e-08,2.464293e-08,2.563607e-08,2.601884e-08,2.736889e-08,2.742232e-08,2.869058e-08,2.915903e-08,2.998184e-08,3.084167e-08,3.124104e-08,3.246696e-08,3.365867e-08,3.403268e-08,3.481554e-08,3.553747e-08,3.593719e-08,3.698067e-08,3.702344e-08,3.807430e-08,3.836222e-08,3.908992e-08,3.968249e-08,4.007057e-08,4.094221e-08,4.101664e-08,4.192858e-08,4.214243e-08,4.280694e-08,4.328438e-08,4.365233e-08,4.436949e-08,4.446537e-08,4.524674e-08,4.539927e-08,4.599712e-08,4.637531e-08,4.671723e-08,4.729926e-08,4.740779e-08,4.806955e-08,4.817281e-08,4.870324e-08,4.899767e-08,4.930961e-08,4.977554e-08,4.988940e-08,5.044335e-08,5.050812e-08,5.097218e-08,5.119710e-08,5.147663e-08,5.184415e-08,5.195741e-08,5.241523e-08,5.245088e-08,5.285077e-08,5.301891e-08,5.326474e-08,5.354980e-08,5.365778e-08,5.403058e-08,5.404508e-08,5.438376e-08,5.450623e-08,5.471797e-08,5.493470e-08,5.503381e-08,5.533190e-08,5.561281e-08,5.569918e-08,5.587714e-08,5.603787e-08,5.612544e-08,5.634924e-08,5.635826e-08,5.657613e-08,5.663452e-08,5.677957e-08,5.689492e-08,5.696908e-08,5.713157e-08,5.714517e-08,5.730831e-08,5.734559e-08,5.745897e-08,5.753805e-08,5.759759e-08,5.770998e-08,5.772462e-08,5.784049e-08,5.786236e-08,5.794561e-08,5.799616e-08,5.804038e-08,5.811229e-08,5.812521e-08,5.820045e-08,5.821163e-08,5.826649e-08,5.829503e-08,5.832368e-08,5.836330e-08,5.837237e-08,5.841290e-08,5.841723e-08,5.844558e-08,5.845755e-08,5.847073e-08,5.848500e-08,5.848866e-08,5.849967e-08,5.850026e-08,5.850404e-08,5.850399e-08,5.850204e-08,5.849681e-08,5.849395e-08,5.848003e-08,5.847935e-08,5.846052e-08,5.845218e-08,5.843567e-08,5.841585e-08,5.840572e-08,5.837089e-08,5.831782e-08,5.825711e-08,5.818924e-08,5.811464e-08,5.803374e-08,5.794695e-08,5.785465e-08,5.775720e-08,5.765498e-08,5.754829e-08,5.743748e-08,5.732284e-08,5.720467e-08,5.708323e-08,5.695880e-08,5.683163e-08,5.670195e-08,5.657000e-08,5.643598e-08,5.630011e-08,5.616258e-08,5.602357e-08,5.588327e-08,5.574183e-08
0.000000e+00,1.034259e-09,3.062211e-09,1.530788e-08,4.424492e-08,7.178461e-08,2.027538e-07,2.104427e-07,4.772288e-07,5.814580e-07,9.204809e-07,1.291267e-06,1.588451e-06,2.441443e-06,2.527600e-06,3.781305e-06,4.133444e-06,5.388516e-06,6.455450e-06,7.381819e-06,9.474217e-06,9.784694e-06,1.260887e-05,1.322438e-05,1.585318e-05,1.770230e-05,1.950443e-05,2.286927e-05,2.353948e-05,2.792746e-05,2.865992e-05,3.263178e-05,3.499035e-05,3.761161e-05,4.176452e-05,4.282322e-05,4.822107e-05,4.887912e-05,5.375877e-05,5.622772e-05,5.939005e-05,6.370446e-05,6.506957e-05,7.075371e-05,7.120739e-05,7.640125e-05,7.864135e-05,8.197397e-05,8.592032e-05,8.743708e-05,9.275957e-05,9.296915e-05,9.791442e-05,9.972459e-05,1.028787e-04,1.061357e-04,1.076335e-04,1.121640e-04,1.164589e-04,1.177822e-04,1.205108e-04,1.229741e-04,1.243150e-04,1.277327e-04,1.278701e-04,1.311771e-04,1.320589e-04,1.342391e-04,1.359608e-04,1.370613e-04,1.394515e-04,1.396502e-04,1.420137e-04,1.425484e-04,1.441607e-04,1.452719e-04,1.461006e-04,1.476444e-04,1.478435e-04,1.493997e-04,1.496895e-04,1.507797e-04,1.514310e-04,1.519938e-04,1.528930e-04,1.530524e-04,1.539656e-04,1.540988e-04,1.547431e-04,1.550709e-04,1.553943e-04,1.558305e-04,1.559284e-04,1.563537e-04,1.563979e-04,1.566786e-04,1.567916e-04,1.569105e-04,1.570291e-04,1.570568e-04,1.571242e-04,1.571263e-04,1.571189e-04,1.570979e-04,1.570470e-04,1.569570e-04,1.569138e-04,1.567245e-04,1.567158e-04,1.564837e-04,1.563853e-04,1.561958e-04,1.559753e-04,1.558649e-04,1.554947e-04,1.550887e-04,1.549517e-04,1.546499e-04,1.543533e-04,1.541814e-04,1.537062e-04,1.536859e-04,1.531658e-04,1.530161e-04,1.526235e-04,1.522883e-04,1.520610e-04,1.515275e-04,1.514804e-04,1.508834e-04,1.507379e-04,1.502718e-04,1.499234e-04,1.496469e-04,1.490873e-04,1.490104e-04,1.483634e-04,1.482328e-04,1.477072e-04,1.473627e-04,1.470428e-04,1.464793e-04,1.463715e-04,1.456940e-04,1.455851e-04,1.450113e-04,1.446820e-04,1.443242e-04,1.437718e-04,1.436334e-04,1.429398e-04,1.428564e-04,1.422439e-04,1.419371e-04,1.415463e-04,1.410154e-04,1.408476e-04,1.401483e-04,1.400924e-04,1.394490e-04,1.391693e-04,1.387500e-04,1.382472e-04,1.380518e-04,1.373547e-04,1.373269e-04,1.366592e-04,1.364092e-04,1.359655e-04,1.354951e-04,1.352740e-04,1.345850e-04,1.336797e-04,1.327797e-04,1.318855e-04,1.309975e-04,1.301163e-04,1.292421e-04,1.283753e-04,1.275161e-04,1.266649e-04,1.258219e-04,1.249873e-04,1.241612e-04,1.233439e-04,1.225354e-04,1.217359e-04,1.209454e-04,1.201641e-04,1.193920e-04,1.186291e-04,1.178756e-04,1.171313e-04,1.163964e-04,1.156708e-04,1.149545e-04
0.000000e+00,4.129820e-11,9.459109e-11,3.256938e-10,7.428305e-10,1.086056e-09,2.485829e-09,2.561846e-09,5.024080e-09,5.932934e-09,8.797033e-09,1.184664e-08,1.426075e-08,2.111378e-08,2.180091e-08,3.166972e-08,3.438701e-08,4.382265e-08,5.150739e-08,5.792321e-08,7.158959e-08,7.352757e-08,9.023880e-08,9.368518e-08,1.077468e-07,1.170841e-07,1.258116e-07,1.412732e-07,1.442388e-07,1.628622e-07,1.658501e-07,1.815343e-07,1.904746e-07,2.001221e-07,2.148507e-07,2.185057e-07,2.365784e-07,2.387217e-07,2.542466e-07,2.618713e-07,2.714301e-07,2.841238e-07,2.880621e-07,3.040883e-07,3.053429e-07,3.194668e-07,3.254296e-07,3.341668e-07,3.443190e-07,3.481681e-07,3.614584e-07,3.619752e-07,3.740322e-07,3.783835e-07,3.858913e-07,3.935507e-07,3.970428e-07,4.074979e-07,4.172717e-07,4.202582e-07,4.263818e-07,4.318730e-07,4.348479e-07,4.423892e-07,4.426913e-07,4.499341e-07,4.518576e-07,4.565996e-07,4.603316e-07,4.627113e-07,4.678652e-07,4.682928e-07,4.733676e-07,4.745128e-07,4.779591e-07,4.803279e-07,4.820904e-07,4.853630e-07,4.857838e-07,4.890614e-07,4.896689e-07,4.919445e-07,4.932947e-07,4.944538e-07,4.962874e-07,4.966094e-07,4.984306e-07,4.986922e-07,4.999360e-07,5.005518e-07,5.011437e-07,5.019070e-07,5.020708e-07,5.027338e-07,5.027964e-07,5.031486e-07,5.032565e-07,5.033304e-07,5.033217e-07,5.032937e-07,5.030523e-07,5.030246e-07,5.026195e-07,5.023956e-07,5.020079e-07,5.014636e-07,5.012295e-07,5.002958e-07,5.002554e-07,4.992178e-07,4.987963e-07,4.980057e-07,4.971100e-07,4.966695e-07,4.952185e-07,4.936617e-07,4.931425e-07,4.920074e-07,4.909013e-07,4.902638e-07,4.885128e-07,4.884383e-07,4.865383e-07,4.859938e-07,4.845704e-07,4.833599e-07,4.825412e-07,4.806253e-07,4.804567e-07,4.783226e-07,4.778037e-07,4.761444e-07,4.749073e-07,4.739272e-07,4.719477e-07,4.716759e-07,4.693949e-07,4.689355e-07,4.670886e-07,4.658806e-07,4.647609e-07,4.627919e-07,4.624156e-07,4.600564e-07,4.596779e-07,4.576865e-07,4.565461e-07,4.553090e-07,4.534036e-07,4.529269e-07,4.505429e-07,4.502569e-07,4.481596e-07,4.471117e-07,4.457793e-07,4.439736e-07,4.434042e-07,4.410364e-07,4.408474e-07,4.386779e-07,4.377374e-07,4.363303e-07,4.346479e-07,4.339955e-07,4.316748e-07,4.315823e-07,4.293697e-07,4.285439e-07,4.270815e-07,4.255357e-07,4.248113e-07,4.225604e-07,4.196201e-07,4.167171e-07,4.138530e-07,4.110295e-07,4.082480e-07,4.055095e-07,4.028151e-07,4.001656e-07,3.975616e-07,3.950037e-07,3.924922e-07,3.900275e-07,3.876096e-07,3.852386e-07,3.829146e-07,3.806373e-07,3.784066e-07,3.762222e-07,3.740837e-07,3.719909e-07,3.699433e-07,3.679404e-07,3.659816e-07,3.640665e-07
0.000000e+00,3.549174e-12,8.113073e-12,2.779754e-11,6.298318e-11,9.164097e-11,2.060924e-10,2.122048e-10,4.051733e-10,4.741876e-10,6.851325e-10,9.006254e-10,1.065867e-09,1.516415e-09,1.560466e-09,2.180909e-09,2.349674e-09,2.936643e-09,3.420948e-09,3.832357e-09,4.735396e-09,4.866650e-09,6.033131e-09,6.281521e-09,7.322820e-09,8.038896e-09,8.725880e-09,9.984701e-09,1.023224e-08,1.183164e-08,1.209548e-08,1.351355e-08,1.434698e-08,1.526707e-08,1.671393e-08,1.708101e-08,1.894395e-08,1.917025e-08,2.084441e-08,2.168956e-08,2.277100e-08,2.424583e-08,2.471260e-08,2.665850e-08,2.681405e-08,2.859859e-08,2.937086e-08,3.052345e-08,3.189503e-08,3.242443e-08,3.429376e-08,3.436778e-08,3.612456e-08,3.677303e-08,3.791082e-08,3.909740e-08,3.964744e-08,4.133015e-08,4.295549e-08,4.346303e-08,4.452081e-08,4.549018e-08,4.602414e-08,4.740776e-08,4.746414e-08,4.884004e-08,4.921377e-08,5.015161e-08,5.090774e-08,5.139904e-08,5.249052e-08,5.258291e-08,5.370411e-08,5.396400e-08,5.476382e-08,5.533092e-08,5.576345e-08,5.659466e-08,5.670456e-08,5.758888e-08,5.775909e-08,5.841824e-08,5.882841e-08,5.919453e-08,5.980704e-08,5.991972e-08,6.059579e-08,6.069953e-08,6.122472e-08,6.151045e-08,6.180850e-08,6.224435e-08,6.234911e-08,6.284848e-08,6.290572e-08,6.330852e-08,6.349895e-08,6.373108e-08,6.402827e-08,6.411796e-08,6.447090e-08,6.449772e-08,6.479158e-08,6.491118e-08,6.508162e-08,6.527236e-08,6.534259e-08,6.557599e-08,6.558477e-08,6.578326e-08,6.585175e-08,6.596578e-08,6.607642e-08,6.612486e-08,6.626177e-08,6.637770e-08,6.641056e-08,6.647382e-08,6.652543e-08,6.655120e-08,6.660884e-08,6.661090e-08,6.665390e-08,6.666308e-08,6.668115e-08,6.669032e-08,6.669355e-08,6.669257e-08,6.669194e-08,6.667715e-08,6.667173e-08,6.664994e-08,6.662956e-08,6.661105e-08,6.656771e-08,6.656117e-08,6.650095e-08,6.648773e-08,6.643104e-08,6.639105e-08,6.635202e-08,6.627902e-08,6.626446e-08,6.616889e-08,6.615289e-08,6.606583e-08,6.601384e-08,6.595575e-08,6.586295e-08,6.583912e-08,6.571636e-08,6.570124e-08,6.558790e-08,6.552967e-08,6.545412e-08,6.534911e-08,6.531539e-08,6.517206e-08,6.516040e-08,6.502447e-08,6.496431e-08,6.487293e-08,6.476155e-08,6.471775e-08,6.455920e-08,6.455279e-08,6.439756e-08,6.433866e-08,6.423308e-08,6.411973e-08,6.406600e-08,6.389656e-08,6.366963e-08,6.343943e-08,6.320639e-08,6.297091e-08,6.273338e-08,6.249415e-08,6.225355e-08,6.201188e-08,6.176943e-08,6.152646e-08,6.128321e-08,6.103991e-08,6.079678e-08,6.055400e-08,6.031176e-08,6.007023e-08,5.982955e-08,5.958989e-08,5.935135e-08,5.911408e-08,5.887818e-08,5.864375e-08,5.841088e-08,5.817968e-08
0.000000e+00,1.587905e-08,4.742335e-08,2.415775e-07,7.113672e-07,1.166919e-06,3.402312e-06,3.536323e-06,8.329662e-06,1.026741e-05,1.678135e-05,2.423035e-05,3.041668e-05,4.908317e-05,5.103455e-05,8.050820e-05,8.908469e-05,1.203959e-04,1.476604e-04,1.716401e-04,2.263924e-04,2.345571e-04,3.089927e-04,3.252252e-04,3.944809e-04,4.430865e-04,4.903518e-04,5.783180e-04,5.957958e-04,7.099018e-04,7.288975e-04,8.316815e-04,8.925560e-04,9.600885e-04,1.066856e-03,1.094035e-03,1.232411e-03,1.249260e-03,1.374097e-03,1.437202e-03,1.517988e-03,1.628156e-03,1.663007e-03,1.808120e-03,1.819704e-03,1.952352e-03,2.009591e-03,2.094794e-03,2.195776e-03,2.234618e-03,2.371079e-03,2.376458e-03,2.503519e-03,2.550100e-03,2.631367e-03,2.715433e-03,2.754144e-03,2.871453e-03,2.982981e-03,3.017408e-03,3.088491e-03,3.152780e-03,3.187817e-03,3.277261e-03,3.280861e-03,3.367582e-03,3.390730e-03,3.447989e-03,3.493226e-03,3.522142e-03,3.584923e-03,3.590139e-03,3.652110e-03,3.666104e-03,3.708217e-03,3.737144e-03,3.758644e-03,3.798482e-03,3.803594e-03,3.843285e-03,3.850612e-03,3.877946e-03,3.894059e-03,3.907812e-03,3.929371e-03,3.933126e-03,3.954129e-03,3.957106e-03,3.971066e-03,3.977822e-03,3.984177e-03,3.992070e-03,3.993698e-03,3.999864e-03,4.000389e-03,4.002899e-03,4.003299e-03,4.003023e-03,4.001302e-03,4.000449e-03,3.995379e-03,3.994872e-03,3.988011e-03,3.984461e-03,3.978529e-03,3.970494e-03,3.967112e-03,3.953930e-03,3.953368e-03,3.939142e-03,3.933454e-03,3.922900e-03,3.911098e-03,3.905346e-03,3.886616e-03,3.866836e-03,3.860304e-03,3.846125e-03,3.832432e-03,3.824592e-03,3.803246e-03,3.802344e-03,3.779474e-03,3.772972e-03,3.756075e-03,3.741816e-03,3.732230e-03,3.709964e-03,3.708015e-03,3.683503e-03,3.677584e-03,3.658761e-03,3.644827e-03,3.633849e-03,3.611831e-03,3.608824e-03,3.583737e-03,3.578717e-03,3.558637e-03,3.545594e-03,3.533567e-03,3.512559e-03,3.508565e-03,3.483669e-03,3.479698e-03,3.458911e-03,3.447085e-03,3.434321e-03,3.414788e-03,3.409926e-03,3.385749e-03,3.382863e-03,3.361812e-03,3.351361e-03,3.338135e-03,3.320325e-03,3.314734e-03,3.291625e-03,3.289789e-03,3.268821e-03,3.259787e-03,3.246332e-03,3.230342e-03,3.224170e-03,3.202342e-03,3.201476e-03,3.180855e-03,3.173205e-03,3.159716e-03,3.145542e-03,3.138928e-03,3.118496e-03,3.092074e-03,3.066279e-03,3.041113e-03,3.016575e-03,2.992662e-03,2.969370e-03,2.946693e-03,2.924624e-03,2.903156e-03,2.882279e-03,2.861984e-03,2.842260e-03,2.823097e-03,2.804483e-03,2.786406e-03,2.768855e-03,2.751818e-03,2.735282e-03,2.719236e-03,2.703666e-03,2.688560e-03,2.673906e-03,2.659693e-03,2.645906e-03
0.000000e+00,3.480803e-08,1.041910e-07,5.331237e-07,1.575479e-06,2.588680e-06,7.569331e-06,7.867976e-06,1.853128e-05,2.282766e-05,3.720018e-05,5.350572e-05,6.695200e-05,1.071196e-04,1.112921e-04,1.740062e-04,1.922112e-04,2.587871e-04,3.170863e-04,3.687034e-04,4.878810e-04,5.058118e-04,6.711062e-04,7.075694e-04,8.646860e-04,9.763541e-04,1.085967e-03,1.292458e-03,1.333850e-03,1.606839e-03,1.652731e-03,1.903136e-03,2.053045e-03,2.220701e-03,2.488584e-03,2.557322e-03,2.910665e-03,2.954076e-03,3.278328e-03,3.444011e-03,3.657886e-03,3.952825e-03,4.046937e-03,4.443139e-03,4.475076e-03,4.844243e-03,5.005574e-03,5.248115e-03,5.539491e-03,5.652761e-03,6.056334e-03,6.072430e-03,6.457150e-03,6.600470e-03,6.853685e-03,7.120183e-03,7.244579e-03,7.628633e-03,8.004799e-03,8.123356e-03,8.372179e-03,8.602334e-03,8.730011e-03,9.063957e-03,9.077661e-03,9.414615e-03,9.506988e-03,9.740466e-03,9.930515e-03,1.005491e-02,1.033392e-02,1.035771e-02,1.064874e-02,1.071683e-02,1.092793e-02,1.107909e-02,1.119526e-02,1.142073e-02,1.145078e-02,1.169457e-02,1.174194e-02,1.192678e-02,1.204301e-02,1.214757e-02,1.232435e-02,1.235714e-02,1.255570e-02,1.258646e-02,1.274350e-02,1.282990e-02,1.292080e-02,1.305526e-02,1.308787e-02,1.324500e-02,1.326320e-02,1.339248e-02,1.345438e-02,1.353059e-02,1.362949e-02,1.365965e-02,1.377996e-02,1.378921e-02,1.389181e-02,1.393425e-02,1.399551e-02,1.406529e-02,1.409135e-02,1.417964e-02,1.418302e-02,1.426066e-02,1.428811e-02,1.433471e-02,1.438121e-02,1.440205e-02,1.446297e-02,1.451774e-02,1.453401e-02,1.456662e-02,1.459493e-02,1.460987e-02,1.464632e-02,1.464773e-02,1.468045e-02,1.468872e-02,1.470827e-02,1.472269e-02,1.473140e-02,1.474874e-02,1.475008e-02,1.476451e-02,1.476737e-02,1.477491e-02,1.477904e-02,1.478147e-02,1.478422e-02,1.478438e-02,1.478384e-02,1.478333e-02,1.478001e-02,1.477678e-02,1.477308e-02,1.476497e-02,1.476320e-02,1.475055e-02,1.474827e-02,1.473526e-02,1.472704e-02,1.471750e-02,1.470159e-02,1.469739e-02,1.467509e-02,1.467227e-02,1.465071e-02,1.463936e-02,1.462439e-02,1.460315e-02,1.459624e-02,1.456637e-02,1.456391e-02,1.453491e-02,1.452190e-02,1.450196e-02,1.447736e-02,1.446760e-02,1.443196e-02,1.443050e-02,1.439510e-02,1.438156e-02,1.435713e-02,1.433072e-02,1.431813e-02,1.427818e-02,1.422412e-02,1.416870e-02,1.411208e-02,1.405442e-02,1.399584e-02,1.393648e-02,1.387646e-02,1.381589e-02,1.375489e-02,1.369354e-02,1.363195e-02,1.357020e-02,1.350836e-02,1.344652e-02,1.338475e-02,1.332310e-02,1.326164e-02,1.320042e-02,1.313950e-02,1.307892e-02,1.301872e-02,1.295894e-02,1.289963e-02,1.284080e-02
0.000000e+00,4.022776e-09,1.193807e-08,6.001025e-08,1.745567e-07,2.844008e-07,8.145947e-07,8.460622e-07,1.957367e-06,2.400816e-06,3.874841e-06,5.536312e-06,6.900298e-06,1.094160e-05,1.135812e-05,1.752782e-05,1.928444e-05,2.557457e-05,3.092007e-05,3.553926e-05,4.585670e-05,4.737219e-05,6.096831e-05,6.388738e-05,7.618960e-05,8.469481e-05,9.287710e-05,1.079010e-04,1.108572e-04,1.299453e-04,1.330895e-04,1.499493e-04,1.598189e-04,1.706726e-04,1.876363e-04,1.919177e-04,2.134897e-04,2.160913e-04,2.352002e-04,2.447502e-04,2.568704e-04,2.732101e-04,2.783342e-04,2.994402e-04,3.011091e-04,3.200537e-04,3.281343e-04,3.400574e-04,3.540261e-04,3.593521e-04,3.778559e-04,3.785787e-04,3.955044e-04,4.016387e-04,4.122491e-04,4.231014e-04,4.280562e-04,4.429053e-04,4.567880e-04,4.610264e-04,4.697064e-04,4.774728e-04,4.816714e-04,4.922781e-04,4.927016e-04,5.028216e-04,5.054959e-04,5.120602e-04,5.171940e-04,5.204506e-04,5.274513e-04,5.280285e-04,5.348315e-04,5.363533e-04,5.408985e-04,5.439892e-04,5.462688e-04,5.504498e-04,5.509820e-04,5.550771e-04,5.558254e-04,5.585924e-04,5.602037e-04,5.615652e-04,5.636695e-04,5.640316e-04,5.660262e-04,5.663039e-04,5.675825e-04,5.681832e-04,5.687321e-04,5.693793e-04,5.695052e-04,5.699303e-04,5.699592e-04,5.700344e-04,5.699851e-04,5.698430e-04,5.695146e-04,5.693800e-04,5.686678e-04,5.686007e-04,5.677274e-04,5.672918e-04,5.665786e-04,5.656327e-04,5.652397e-04,5.637279e-04,5.636640e-04,5.620591e-04,5.614228e-04,5.602482e-04,5.589428e-04,5.583091e-04,5.562547e-04,5.540968e-04,5.533862e-04,5.518466e-04,5.503627e-04,5.495143e-04,5.472069e-04,5.471094e-04,5.446409e-04,5.439394e-04,5.421167e-04,5.405788e-04,5.395446e-04,5.371418e-04,5.369314e-04,5.342835e-04,5.336436e-04,5.316070e-04,5.300977e-04,5.289073e-04,5.265163e-04,5.261894e-04,5.234580e-04,5.229105e-04,5.207173e-04,5.192899e-04,5.179714e-04,5.156634e-04,5.152238e-04,5.124778e-04,5.120388e-04,5.097365e-04,5.084232e-04,5.070027e-04,5.048226e-04,5.042788e-04,5.015671e-04,5.012427e-04,4.988699e-04,4.976882e-04,4.961890e-04,4.941636e-04,4.935262e-04,4.908831e-04,4.906725e-04,4.882610e-04,4.872183e-04,4.856612e-04,4.838039e-04,4.830850e-04,4.805333e-04,4.804318e-04,4.780071e-04,4.771041e-04,4.755072e-04,4.738226e-04,4.730343e-04,4.705890e-04,4.674044e-04,4.642701e-04,4.611867e-04,4.581550e-04,4.551755e-04,4.522485e-04,4.493742e-04,4.465527e-04,4.437839e-04,4.410677e-04,4.384040e-04,4.357923e-04,4.332324e-04,4.307238e-04,4.282660e-04,4.258584e-04,4.235006e-04,4.211919e-04,4.189316e-04,4.167190e-04,4.145536e-04,4.124345e-04,4.103610e-04,4.083325e-04
0.000000e+00,1.111581e-10,2.597664e-10,9.112054e-10,2.087835e-09,3.051013e-09,6.919829e-09,7.127187e-09,1.370312e-08,1.606745e-08,2.333044e-08,3.080234e-08,3.656482e-08,5.240558e-08,5.396339e-08,7.603712e-08,8.207455e-08,1.031306e-07,1.205208e-07,1.352693e-07,1.674646e-07,1.721174e-07,2.131104e-07,2.217514e-07,2.576286e-07,2.819756e-07,3.050895e-07,3.468433e-07,3.549654e-07,4.067717e-07,4.152092e-07,4.600538e-07,4.860253e-07,5.143780e-07,5.583086e-07,5.693299e-07,6.245148e-07,6.311348e-07,6.795613e-07,7.036481e-07,7.341249e-07,7.750759e-07,7.878917e-07,8.405808e-07,8.447418e-07,8.919463e-07,9.120736e-07,9.417778e-07,9.766065e-07,9.898995e-07,1.036170e-06,1.037980e-06,1.080479e-06,1.095934e-06,1.122746e-06,1.150292e-06,1.162916e-06,1.200958e-06,1.236862e-06,1.247901e-06,1.270636e-06,1.291144e-06,1.302303e-06,1.330754e-06,1.331898e-06,1.359468e-06,1.366832e-06,1.385068e-06,1.399507e-06,1.408758e-06,1.428923e-06,1.430604e-06,1.450678e-06,1.455239e-06,1.469050e-06,1.478623e-06,1.485795e-06,1.499243e-06,1.500986e-06,1.514698e-06,1.517269e-06,1.527003e-06,1.532870e-06,1.537974e-06,1.546209e-06,1.547680e-06,1.556190e-06,1.557445e-06,1.563570e-06,1.566730e-06,1.569884e-06,1.574210e-06,1.575194e-06,1.579560e-06,1.580023e-06,1.583038e-06,1.584301e-06,1.585683e-06,1.587168e-06,1.587547e-06,1.588680e-06,1.588740e-06,1.589129e-06,1.589127e-06,1.588939e-06,1.588431e-06,1.588153e-06,1.586812e-06,1.586747e-06,1.584954e-06,1.584166e-06,1.582617e-06,1.580771e-06,1.579834e-06,1.576639e-06,1.573063e-06,1.571843e-06,1.569135e-06,1.566450e-06,1.564883e-06,1.560521e-06,1.560333e-06,1.555510e-06,1.554114e-06,1.550437e-06,1.547283e-06,1.545137e-06,1.540077e-06,1.539629e-06,1.533934e-06,1.532541e-06,1.528069e-06,1.524718e-06,1.522053e-06,1.516645e-06,1.515900e-06,1.509628e-06,1.508360e-06,1.503249e-06,1.499895e-06,1.496778e-06,1.491279e-06,1.490226e-06,1.483606e-06,1.482541e-06,1.476929e-06,1.473706e-06,1.470204e-06,1.464798e-06,1.463443e-06,1.456653e-06,1.455837e-06,1.449844e-06,1.446843e-06,1.443022e-06,1.437835e-06,1.436196e-06,1.429372e-06,1.428827e-06,1.422557e-06,1.419835e-06,1.415756e-06,1.410872e-06,1.408976e-06,1.402220e-06,1.401950e-06,1.395494e-06,1.393080e-06,1.388801e-06,1.384272e-06,1.382147e-06,1.375535e-06,1.366876e-06,1.358303e-06,1.349821e-06,1.341437e-06,1.333155e-06,1.324980e-06,1.316914e-06,1.308962e-06,1.301126e-06,1.293407e-06,1.285809e-06,1.278332e-06,1.270978e-06,1.263747e-06,1.256640e-06,1.249657e-06,1.242798e-06,1.236063e-06,1.229452e-06,1.222964e-06,1.216598e-06,1.210353e-06,1.204230e-06,1.198225e-06
0.000000e+00,2.593985e-10,6.474730e-10,2.456853e-09,5.875627e-09,8.745239e-09,2.064991e-08,2.130149e-08,4.252941e-08,5.040033e-08,7.525798e-08,1.017535e-07,1.227042e-07,1.817960e-07,1.876761e-07,2.710540e-07,2.936817e-07,3.714806e-07,4.343564e-07,4.868028e-07,5.991174e-07,6.151575e-07,7.551063e-07,7.843800e-07,9.054537e-07,9.873730e-07,1.065083e-06,1.205522e-06,1.232868e-06,1.407638e-06,1.436169e-06,1.588179e-06,1.676523e-06,1.773248e-06,1.923729e-06,1.961604e-06,2.152032e-06,2.174967e-06,2.343370e-06,2.427565e-06,2.534534e-06,2.679085e-06,2.724527e-06,2.912458e-06,2.927379e-06,3.097540e-06,3.170620e-06,3.279095e-06,3.407307e-06,3.456553e-06,3.629442e-06,3.636257e-06,3.797385e-06,3.856575e-06,3.960090e-06,4.067624e-06,4.117341e-06,4.268989e-06,4.414945e-06,4.460441e-06,4.555169e-06,4.641905e-06,4.689665e-06,4.813426e-06,4.818470e-06,4.941652e-06,4.975148e-06,5.059303e-06,5.127285e-06,5.171534e-06,5.270107e-06,5.278470e-06,5.380247e-06,5.403922e-06,5.477010e-06,5.529064e-06,5.568911e-06,5.645885e-06,5.656105e-06,5.738747e-06,5.754743e-06,5.816995e-06,5.856000e-06,5.891006e-06,5.950015e-06,5.960936e-06,6.026937e-06,6.037143e-06,6.089160e-06,6.117729e-06,6.147753e-06,6.192109e-06,6.202858e-06,6.254615e-06,6.260607e-06,6.303160e-06,6.323537e-06,6.348626e-06,6.381198e-06,6.391139e-06,6.430823e-06,6.433879e-06,6.467798e-06,6.481855e-06,6.502178e-06,6.525388e-06,6.534074e-06,6.563594e-06,6.564727e-06,6.590840e-06,6.600111e-06,6.615912e-06,6.631767e-06,6.638904e-06,6.659909e-06,6.679014e-06,6.684741e-06,6.696305e-06,6.706456e-06,6.711862e-06,6.725239e-06,6.725765e-06,6.738087e-06,6.741264e-06,6.748901e-06,6.754694e-06,6.758275e-06,6.765686e-06,6.766277e-06,6.772969e-06,6.774388e-06,6.778413e-06,6.780939e-06,6.782668e-06,6.785471e-06,6.785788e-06,6.787828e-06,6.788111e-06,6.788839e-06,6.788975e-06,6.788871e-06,6.788176e-06,6.787971e-06,6.786184e-06,6.785819e-06,6.783554e-06,6.782005e-06,6.780123e-06,6.776827e-06,6.775930e-06,6.771013e-06,6.770376e-06,6.765410e-06,6.762736e-06,6.759155e-06,6.753985e-06,6.752281e-06,6.744821e-06,6.744200e-06,6.736807e-06,6.733452e-06,6.728266e-06,6.721806e-06,6.719227e-06,6.709718e-06,6.709328e-06,6.699765e-06,6.696077e-06,6.689391e-06,6.682110e-06,6.678622e-06,6.667479e-06,6.652236e-06,6.636428e-06,6.620101e-06,6.603296e-06,6.586054e-06,6.568412e-06,6.550406e-06,6.532070e-06,6.513434e-06,6.494531e-06,6.475386e-06,6.456028e-06,6.436482e-06,6.416771e-06,6.396917e-06,6.376942e-06,6.356866e-06,6.336707e-06,6.316483e-06,6.296210e-06,6.275904e-06,6.255579e-06,6.235250e-06,6.214928e-06
0.000000e+00,2.170409e-10,5.438045e-10,2.076435e-09,4.990068e-09,7.446103e-09,1.769839e-08,1.826184e-08,3.671295e-08,4.358905e-08,6.535008e-08,8.846900e-08,1.065822e-07,1.565818e-07,1.614729e-07,2.297351e-07,2.480461e-07,3.108547e-07,3.617776e-07,4.045266e-07,4.971871e-07,5.105566e-07,6.287220e-07,6.537844e-07,7.586890e-07,8.307827e-07,8.999776e-07,1.026951e-06,1.051956e-06,1.213853e-06,1.240618e-06,1.384773e-06,1.469733e-06,1.563729e-06,1.711973e-06,1.749666e-06,1.941489e-06,1.964851e-06,2.138095e-06,2.225838e-06,2.338407e-06,2.492481e-06,2.541385e-06,2.746041e-06,2.762458e-06,2.951457e-06,3.033645e-06,3.156791e-06,3.304149e-06,3.361279e-06,3.564240e-06,3.572318e-06,3.765073e-06,3.836748e-06,3.963254e-06,4.096270e-06,4.158334e-06,4.349932e-06,4.537728e-06,4.596975e-06,4.721460e-06,4.836816e-06,4.900917e-06,5.069018e-06,5.075932e-06,5.246378e-06,5.293272e-06,5.412165e-06,5.509372e-06,5.573228e-06,5.717205e-06,5.729534e-06,5.881068e-06,5.916726e-06,6.027835e-06,6.107950e-06,6.169858e-06,6.290941e-06,6.307171e-06,6.439822e-06,6.465798e-06,6.567867e-06,6.632651e-06,6.691370e-06,6.791654e-06,6.810402e-06,6.925039e-06,6.942979e-06,7.035362e-06,7.086810e-06,7.141456e-06,7.223343e-06,7.243405e-06,7.341300e-06,7.352779e-06,7.435230e-06,7.475326e-06,7.525286e-06,7.591194e-06,7.611559e-06,7.694143e-06,7.700592e-06,7.773127e-06,7.803733e-06,7.848604e-06,7.900826e-06,7.920664e-06,7.989398e-06,7.992080e-06,8.054895e-06,8.077699e-06,8.117243e-06,8.157886e-06,8.176530e-06,8.232840e-06,8.286260e-06,8.302757e-06,8.336871e-06,8.367827e-06,8.384756e-06,8.428236e-06,8.429996e-06,8.472668e-06,8.484167e-06,8.512851e-06,8.535797e-06,8.550620e-06,8.583299e-06,8.586049e-06,8.619211e-06,8.626841e-06,8.650177e-06,8.666585e-06,8.679016e-06,8.702690e-06,8.705797e-06,8.730585e-06,8.735309e-06,8.753446e-06,8.764592e-06,8.774442e-06,8.790683e-06,8.793635e-06,8.811085e-06,8.813720e-06,8.826852e-06,8.833838e-06,8.840991e-06,8.851169e-06,8.853559e-06,8.864611e-06,8.865837e-06,8.874198e-06,8.877965e-06,8.882372e-06,8.887670e-06,8.889183e-06,8.894681e-06,8.895065e-06,8.898912e-06,8.900260e-06,8.901922e-06,8.903359e-06,8.903756e-06,8.904458e-06,8.904464e-06,8.904071e-06,8.903672e-06,8.902634e-06,8.901079e-06,8.900189e-06,8.896774e-06,8.890844e-06,8.883373e-06,8.874442e-06,8.864128e-06,8.852505e-06,8.839645e-06,8.825616e-06,8.810485e-06,8.794314e-06,8.777164e-06,8.759093e-06,8.740158e-06,8.720411e-06,8.699903e-06,8.678685e-06,8.656803e-06,8.634301e-06,8.611224e-06,8.587613e-06,8.563505e-06,8.538940e-06,8.513954e-06,8.488580e-06,8.462851e-06
0.000000e+00,8.977945e-09,2.665758e-08,1.340863e-07,3.899157e-07,6.348782e-07,1.811693e-06,1.881251e-06,4.318528e-06,5.281367e-06,8.447042e-06,1.196089e-05,1.481136e-05,2.313779e-05,2.398945e-05,3.656236e-05,4.014485e-05,5.304414e-05,6.412222e-05,7.378981e-05,9.569201e-05,9.894291e-05,1.284497e-04,1.348577e-04,1.621073e-04,1.811516e-04,1.996110e-04,2.338144e-04,2.405870e-04,2.846153e-04,2.919132e-04,3.312442e-04,3.544118e-04,3.800019e-04,4.202169e-04,4.304062e-04,4.819737e-04,4.882172e-04,5.342284e-04,5.573188e-04,5.867102e-04,6.264784e-04,6.389823e-04,6.906373e-04,6.947317e-04,7.413031e-04,7.612164e-04,7.906461e-04,8.251883e-04,8.383741e-04,8.842372e-04,8.860299e-04,9.280282e-04,9.432526e-04,9.695814e-04,9.964935e-04,1.008771e-03,1.045507e-03,1.079735e-03,1.090154e-03,1.111431e-03,1.130388e-03,1.140598e-03,1.166243e-03,1.167262e-03,1.191468e-03,1.197814e-03,1.213280e-03,1.225250e-03,1.232775e-03,1.248739e-03,1.250041e-03,1.265172e-03,1.268498e-03,1.278273e-03,1.284761e-03,1.289448e-03,1.297776e-03,1.298807e-03,1.306458e-03,1.307792e-03,1.312509e-03,1.315060e-03,1.317069e-03,1.319823e-03,1.320241e-03,1.322128e-03,1.322317e-03,1.322828e-03,1.322769e-03,1.322434e-03,1.321392e-03,1.321037e-03,1.318722e-03,1.318387e-03,1.315571e-03,1.313939e-03,1.311659e-03,1.308223e-03,1.307060e-03,1.301840e-03,1.301397e-03,1.296063e-03,1.293609e-03,1.289787e-03,1.284992e-03,1.283069e-03,1.275959e-03,1.275668e-03,1.268505e-03,1.265746e-03,1.260751e-03,1.255327e-03,1.252737e-03,1.244500e-03,1.236076e-03,1.233347e-03,1.227497e-03,1.221938e-03,1.218791e-03,1.210338e-03,1.209984e-03,1.201103e-03,1.198606e-03,1.192168e-03,1.186790e-03,1.183201e-03,1.174937e-03,1.174219e-03,1.165240e-03,1.163087e-03,1.156278e-03,1.151272e-03,1.147348e-03,1.139525e-03,1.138462e-03,1.129631e-03,1.127872e-03,1.120864e-03,1.116335e-03,1.112172e-03,1.104934e-03,1.103562e-03,1.095040e-03,1.093686e-03,1.086614e-03,1.082605e-03,1.078288e-03,1.071703e-03,1.070068e-03,1.061956e-03,1.060990e-03,1.053958e-03,1.050475e-03,1.046075e-03,1.040163e-03,1.038310e-03,1.030666e-03,1.030059e-03,1.023143e-03,1.020168e-03,1.015743e-03,1.010492e-03,1.008467e-03,1.001316e-03,1.001032e-03,9.942887e-04,9.917895e-04,9.873864e-04,9.827640e-04,9.806086e-04,9.739549e-04,9.653607e-04,9.569798e-04,9.488099e-04,9.408482e-04,9.330918e-04,9.255375e-04,9.181818e-04,9.110211e-04,9.040515e-04,8.972691e-04,8.906699e-04,8.842498e-04,8.780046e-04,8.719303e-04,8.660226e-04,8.602774e-04,8.546905e-04,8.492578e-04,8.439752e-04,8.388387e-04,8.338443e-04,8.289881e-04,8.242662e-04,8.196748e-04
0.000000e+00,7.672242e-10,2.202493e-09,1.034631e-08,2.831994e-08,4.463625e-08,1.173640e-07,1.214727e-07,2.578660e-07,3.088680e-07,4.692290e-07,6.378513e-07,7.694051e-07,1.134650e-06,1.170739e-06,1.683406e-06,1.823794e-06,2.313176e-06,2.716641e-06,3.058045e-06,3.800010e-06,3.906790e-06,4.841528e-06,5.037015e-06,5.842048e-06,6.381786e-06,6.888904e-06,7.791232e-06,7.964632e-06,9.053870e-06,9.228475e-06,1.014310e-05,1.066236e-05,1.122037e-05,1.206648e-05,1.227519e-05,1.329839e-05,1.341867e-05,1.428223e-05,1.470096e-05,1.522032e-05,1.589955e-05,1.610766e-05,1.694060e-05,1.700481e-05,1.771674e-05,1.801099e-05,1.843486e-05,1.891583e-05,1.909475e-05,1.969710e-05,1.972002e-05,2.024333e-05,2.042660e-05,2.073543e-05,2.104038e-05,2.117585e-05,2.156736e-05,2.191291e-05,2.201429e-05,2.221560e-05,2.238825e-05,2.247852e-05,2.269637e-05,2.270476e-05,2.289730e-05,2.294557e-05,2.305903e-05,2.314242e-05,2.319267e-05,2.329303e-05,2.330080e-05,2.338580e-05,2.340301e-05,2.344991e-05,2.347745e-05,2.349516e-05,2.352089e-05,2.352345e-05,2.353648e-05,2.353740e-05,2.353583e-05,2.353055e-05,2.352290e-05,2.350351e-05,2.349899e-05,2.346527e-05,2.345903e-05,2.342277e-05,2.339954e-05,2.337246e-05,2.332716e-05,2.331519e-05,2.325173e-05,2.324373e-05,2.318277e-05,2.315085e-05,2.310894e-05,2.304993e-05,2.303081e-05,2.294889e-05,2.294218e-05,2.286363e-05,2.282868e-05,2.277545e-05,2.271036e-05,2.268472e-05,2.259179e-05,2.258803e-05,2.249696e-05,2.246242e-05,2.240052e-05,2.233414e-05,2.230270e-05,2.220374e-05,2.210386e-05,2.207173e-05,2.200323e-05,2.193852e-05,2.190203e-05,2.180449e-05,2.180042e-05,2.169854e-05,2.166998e-05,2.159651e-05,2.153528e-05,2.149447e-05,2.140066e-05,2.139251e-05,2.129073e-05,2.126635e-05,2.118923e-05,2.113255e-05,2.108809e-05,2.099944e-05,2.098738e-05,2.088717e-05,2.086719e-05,2.078752e-05,2.073594e-05,2.068848e-05,2.060581e-05,2.059012e-05,2.049247e-05,2.047692e-05,2.039558e-05,2.034935e-05,2.029949e-05,2.022321e-05,2.020422e-05,2.010982e-05,2.009855e-05,2.001631e-05,1.997545e-05,1.992371e-05,1.985395e-05,1.983204e-05,1.974133e-05,1.973412e-05,1.965160e-05,1.961598e-05,1.956285e-05,1.949957e-05,1.947510e-05,1.938836e-05,1.938492e-05,1.930265e-05,1.927204e-05,1.921796e-05,1.916096e-05,1.913431e-05,1.905169e-05,1.894424e-05,1.883861e-05,1.873480e-05,1.863281e-05,1.853264e-05,1.843428e-05,1.833771e-05,1.824294e-05,1.814995e-05,1.805871e-05,1.796923e-05,1.788147e-05,1.779542e-05,1.771107e-05,1.762838e-05,1.754735e-05,1.746794e-05,1.739014e-05,1.731392e-05,1.723926e-05,1.716614e-05,1.709453e-05,1.702440e-05,1.695575e-05
0.000000e+00,4.830573e-10,1.198439e-09,4.524120e-09,1.083348e-08,1.617019e-08,3.873783e-08,3.999252e-08,8.182163e-08,9.769937e-08,1.483538e-07,2.018921e-07,2.431993e-07,3.540624e-07,3.646912e-07,5.101216e-07,5.483970e-07,6.779687e-07,7.814463e-07,8.674307e-07,1.051496e-06,1.077821e-06,1.308279e-06,1.356682e-06,1.557646e-06,1.694312e-06,1.824450e-06,2.060763e-06,2.106935e-06,2.403114e-06,2.451632e-06,2.710845e-06,2.862006e-06,3.027898e-06,3.286743e-06,3.352028e-06,3.681038e-06,3.720746e-06,4.012826e-06,4.159180e-06,4.345426e-06,4.597632e-06,4.677039e-06,5.006047e-06,5.032211e-06,5.331020e-06,5.459597e-06,5.650722e-06,5.877044e-06,5.964098e-06,6.270266e-06,6.282353e-06,6.568509e-06,6.673822e-06,6.858253e-06,7.050193e-06,7.139055e-06,7.410588e-06,7.672625e-06,7.754447e-06,7.925027e-06,8.081474e-06,8.167727e-06,8.391587e-06,8.400721e-06,8.624059e-06,8.684875e-06,8.837832e-06,8.961556e-06,9.042168e-06,9.221956e-06,9.237222e-06,9.423175e-06,9.466471e-06,9.600224e-06,9.695560e-06,9.768579e-06,9.909717e-06,9.928464e-06,1.008011e-05,1.010947e-05,1.022374e-05,1.029535e-05,1.035961e-05,1.046791e-05,1.048795e-05,1.060900e-05,1.062770e-05,1.072299e-05,1.077527e-05,1.083017e-05,1.091116e-05,1.093077e-05,1.102501e-05,1.103590e-05,1.111312e-05,1.115001e-05,1.119533e-05,1.125399e-05,1.127185e-05,1.134289e-05,1.134834e-05,1.140866e-05,1.143354e-05,1.146936e-05,1.151004e-05,1.152520e-05,1.157635e-05,1.157830e-05,1.162300e-05,1.163873e-05,1.166534e-05,1.169176e-05,1.170354e-05,1.173777e-05,1.176820e-05,1.177716e-05,1.179498e-05,1.181027e-05,1.181826e-05,1.183748e-05,1.183821e-05,1.185496e-05,1.185910e-05,1.186865e-05,1.187545e-05,1.187942e-05,1.188685e-05,1.188739e-05,1.189270e-05,1.189359e-05,1.189546e-05,1.189594e-05,1.189579e-05,1.189417e-05,1.189381e-05,1.188962e-05,1.188853e-05,1.188333e-05,1.187926e-05,1.187504e-05,1.186660e-05,1.186484e-05,1.185284e-05,1.185076e-05,1.183912e-05,1.183195e-05,1.182377e-05,1.181037e-05,1.180687e-05,1.178850e-05,1.178620e-05,1.176874e-05,1.175962e-05,1.174766e-05,1.173081e-05,1.172535e-05,1.170185e-05,1.169993e-05,1.167725e-05,1.166712e-05,1.165161e-05,1.163253e-05,1.162498e-05,1.159742e-05,1.159630e-05,1.156899e-05,1.155856e-05,1.153975e-05,1.151943e-05,1.150974e-05,1.147902e-05,1.143746e-05,1.139484e-05,1.135126e-05,1.130682e-05,1.126159e-05,1.121568e-05,1.116915e-05,1.112207e-05,1.107453e-05,1.102658e-05,1.097828e-05,1.092970e-05,1.088089e-05,1.083189e-05,1.078277e-05,1.073356e-05,1.068431e-05,1.063505e-05,1.058583e-05,1.053668e-05,1.048763e-05,1.043871e-05,1.038996e-05,1.034139e-05
0.000000e+00,1.774597e-11,4.087713e-11,1.411589e-10,3.209987e-10,4.677304e-10,1.055246e-09,1.086683e-09,2.082008e-09,2.439275e-09,3.535231e-09,4.660512e-09,5.526896e-09,7.902235e-09,8.135353e-09,1.143078e-08,1.233005e-08,1.546222e-08,1.804681e-08,2.023848e-08,2.502154e-08,2.571229e-08,3.178313e-08,3.305768e-08,3.832097e-08,4.186096e-08,4.519400e-08,5.114013e-08,5.228509e-08,5.949605e-08,6.065531e-08,6.674604e-08,7.021985e-08,7.396835e-08,7.968885e-08,8.110779e-08,8.811875e-08,8.894958e-08,9.496390e-08,9.791527e-08,1.016132e-07,1.065210e-07,1.080432e-07,1.142360e-07,1.147207e-07,1.201789e-07,1.224842e-07,1.258639e-07,1.297946e-07,1.312864e-07,1.364452e-07,1.366461e-07,1.413418e-07,1.430410e-07,1.459798e-07,1.489887e-07,1.503647e-07,1.545031e-07,1.584029e-07,1.596017e-07,1.620724e-07,1.643042e-07,1.655207e-07,1.686316e-07,1.687571e-07,1.717911e-07,1.726057e-07,1.746322e-07,1.762481e-07,1.772897e-07,1.795805e-07,1.797730e-07,1.820910e-07,1.826237e-07,1.842525e-07,1.853978e-07,1.862661e-07,1.879221e-07,1.881399e-07,1.898816e-07,1.902148e-07,1.914989e-07,1.922931e-07,1.929989e-07,1.941733e-07,1.943884e-07,1.956740e-07,1.958704e-07,1.968617e-07,1.973988e-07,1.979575e-07,1.987716e-07,1.989668e-07,1.998950e-07,2.000012e-07,2.007470e-07,2.010989e-07,2.015274e-07,2.020755e-07,2.022408e-07,2.028912e-07,2.029407e-07,2.034827e-07,2.037037e-07,2.040190e-07,2.043729e-07,2.045035e-07,2.049397e-07,2.049562e-07,2.053305e-07,2.054607e-07,2.056790e-07,2.058932e-07,2.059879e-07,2.062598e-07,2.064971e-07,2.065662e-07,2.067023e-07,2.068176e-07,2.068773e-07,2.070191e-07,2.070244e-07,2.071454e-07,2.071749e-07,2.072421e-07,2.072892e-07,2.073162e-07,2.073659e-07,2.073694e-07,2.074030e-07,2.074084e-07,2.074186e-07,2.074200e-07,2.074175e-07,2.074036e-07,2.074008e-07,2.073698e-07,2.073620e-07,2.073256e-07,2.072977e-07,2.072692e-07,2.072131e-07,2.072015e-07,2.071236e-07,2.071102e-07,2.070361e-07,2.069910e-07,2.069400e-07,2.068574e-07,2.068360e-07,2.067247e-07,2.067109e-07,2.066069e-07,2.065531e-07,2.064831e-07,2.063855e-07,2.063540e-07,2.062200e-07,2.062091e-07,2.060818e-07,2.060254e-07,2.059396e-07,2.058352e-07,2.057941e-07,2.056456e-07,2.056396e-07,2.054945e-07,2.054395e-07,2.053411e-07,2.052357e-07,2.051858e-07,2.050290e-07,2.048200e-07,2.046093e-07,2.043976e-07,2.041853e-07,2.039729e-07,2.037608e-07,2.035494e-07,2.033390e-07,2.031300e-07,2.029226e-07,2.027170e-07,2.025136e-07,2.023124e-07,2.021137e-07,2.019175e-07,2.017242e-07,2.015337e-07,2.013461e-07,2.011615e-07,2.009801e-07,2.008018e-07,2.006267e-07,2.004549e-07,2.002863e-07
0.000000e+00,1.068489e-09,3.099314e-09,1.487716e-08,4.154171e-08,6.620647e-08,1.792787e-07,1.857825e-07,4.067194e-07,4.914247e-07,7.636848e-07,1.058286e-06,1.293266e-06,1.965994e-06,2.033924e-06,3.022854e-06,3.300545e-06,4.287476e-06,5.120025e-06,5.835954e-06,7.424257e-06,7.656315e-06,9.724205e-06,1.016499e-05,1.201110e-05,1.327741e-05,1.448878e-05,1.669797e-05,1.713065e-05,1.991156e-05,2.036779e-05,2.280734e-05,2.423116e-05,2.579435e-05,2.823400e-05,2.884934e-05,3.194953e-05,3.232354e-05,3.507285e-05,3.644895e-05,3.819817e-05,4.056251e-05,4.130568e-05,4.437712e-05,4.462077e-05,4.739603e-05,4.858556e-05,5.034787e-05,5.242456e-05,5.322012e-05,5.600228e-05,5.611157e-05,5.868583e-05,5.962643e-05,6.126410e-05,6.295462e-05,6.373219e-05,6.608678e-05,6.832595e-05,6.901796e-05,7.044902e-05,7.174699e-05,7.245636e-05,7.427572e-05,7.434926e-05,7.612976e-05,7.660850e-05,7.780049e-05,7.875152e-05,7.936457e-05,8.071231e-05,8.082547e-05,8.218696e-05,8.249935e-05,8.345295e-05,8.412171e-05,8.462751e-05,8.558873e-05,8.571472e-05,8.671868e-05,8.690984e-05,8.764346e-05,8.809439e-05,8.849307e-05,8.915151e-05,8.927141e-05,8.998227e-05,9.008999e-05,9.062932e-05,9.091828e-05,9.121608e-05,9.164434e-05,9.174591e-05,9.222206e-05,9.227574e-05,9.264762e-05,9.281959e-05,9.302551e-05,9.328257e-05,9.335855e-05,9.364938e-05,9.367090e-05,9.390053e-05,9.399041e-05,9.411436e-05,9.424649e-05,9.429314e-05,9.443899e-05,9.444417e-05,9.455394e-05,9.458812e-05,9.463988e-05,9.468267e-05,9.469860e-05,9.473181e-05,9.474110e-05,9.473927e-05,9.472798e-05,9.470847e-05,9.469386e-05,9.464261e-05,9.464009e-05,9.456794e-05,9.454460e-05,9.447859e-05,9.441719e-05,9.437316e-05,9.426288e-05,9.425272e-05,9.411826e-05,9.408401e-05,9.397072e-05,9.388272e-05,9.381099e-05,9.366101e-05,9.363990e-05,9.345825e-05,9.342072e-05,9.326677e-05,9.316355e-05,9.306617e-05,9.289109e-05,9.285710e-05,9.264020e-05,9.260480e-05,9.241604e-05,9.230603e-05,9.218518e-05,9.199602e-05,9.194815e-05,9.170543e-05,9.167595e-05,9.145750e-05,9.134687e-05,9.120479e-05,9.100979e-05,9.094771e-05,9.068666e-05,9.066562e-05,9.042201e-05,9.031522e-05,9.015410e-05,8.995938e-05,8.988327e-05,8.960981e-05,8.959882e-05,8.933403e-05,8.923424e-05,8.905620e-05,8.886624e-05,8.877658e-05,8.849542e-05,8.812232e-05,8.774742e-05,8.737120e-05,8.699408e-05,8.661646e-05,8.623870e-05,8.586115e-05,8.548411e-05,8.510787e-05,8.473271e-05,8.435886e-05,8.398655e-05,8.361600e-05,8.324738e-05,8.288089e-05,8.251668e-05,8.215490e-05,8.179568e-05,8.143916e-05,8.108543e-05,8.073462e-05,8.038679e-05,8.004205e-05,7.970047e-05
0.000000e+00,8.942291e-10,2.629921e-09,1.297159e-08,3.705857e-08,5.975781e-08,1.662839e-07,1.724900e-07,3.859768e-07,4.686971e-07,7.361177e-07,1.026637e-06,1.258491e-06,1.920840e-06,1.987555e-06,2.956007e-06,3.227459e-06,4.193732e-06,5.014079e-06,5.725716e-06,7.331017e-06,7.568957e-06,9.729854e-06,1.019993e-05,1.220386e-05,1.360985e-05,1.497736e-05,1.752403e-05,1.803033e-05,2.133850e-05,2.188971e-05,2.487489e-05,2.664503e-05,2.861075e-05,3.172294e-05,3.251611e-05,3.656032e-05,3.705348e-05,4.071241e-05,4.256555e-05,4.494157e-05,4.818865e-05,4.921758e-05,5.351118e-05,5.385459e-05,5.779455e-05,5.949912e-05,6.204159e-05,6.506338e-05,6.622826e-05,7.033276e-05,7.049495e-05,7.433573e-05,7.574862e-05,7.822028e-05,8.078670e-05,8.197204e-05,8.557907e-05,8.903184e-05,9.010288e-05,9.232301e-05,9.434204e-05,9.544733e-05,9.828660e-05,9.840147e-05,1.011838e-04,1.019320e-04,1.037941e-04,1.052782e-04,1.062336e-04,1.083291e-04,1.085047e-04,1.106104e-04,1.110917e-04,1.125550e-04,1.135753e-04,1.143431e-04,1.157913e-04,1.159799e-04,1.174710e-04,1.177522e-04,1.188222e-04,1.194716e-04,1.200396e-04,1.209633e-04,1.211294e-04,1.220976e-04,1.222417e-04,1.229506e-04,1.233209e-04,1.236944e-04,1.242149e-04,1.243350e-04,1.248782e-04,1.249371e-04,1.253298e-04,1.255009e-04,1.256952e-04,1.259186e-04,1.259798e-04,1.261886e-04,1.262022e-04,1.263266e-04,1.263630e-04,1.263985e-04,1.264117e-04,1.264086e-04,1.263613e-04,1.263582e-04,1.262605e-04,1.262119e-04,1.261102e-04,1.259815e-04,1.259139e-04,1.256751e-04,1.253970e-04,1.253002e-04,1.250826e-04,1.248638e-04,1.247350e-04,1.243724e-04,1.243567e-04,1.239505e-04,1.238320e-04,1.235185e-04,1.232480e-04,1.230633e-04,1.226256e-04,1.225868e-04,1.220911e-04,1.219694e-04,1.215780e-04,1.212838e-04,1.210493e-04,1.205726e-04,1.205068e-04,1.199518e-04,1.198394e-04,1.193858e-04,1.190877e-04,1.188103e-04,1.183204e-04,1.182264e-04,1.176354e-04,1.175402e-04,1.170383e-04,1.167499e-04,1.164362e-04,1.159515e-04,1.158300e-04,1.152206e-04,1.151473e-04,1.146088e-04,1.143391e-04,1.139955e-04,1.135287e-04,1.133813e-04,1.127669e-04,1.127177e-04,1.121528e-04,1.119075e-04,1.115398e-04,1.110993e-04,1.109282e-04,1.103186e-04,1.102943e-04,1.097115e-04,1.094936e-04,1.091072e-04,1.086981e-04,1.085061e-04,1.079086e-04,1.071259e-04,1.063506e-04,1.055834e-04,1.048246e-04,1.040749e-04,1.033345e-04,1.026039e-04,1.018832e-04,1.011728e-04,1.004728e-04,9.978342e-05,9.910477e-05,9.843696e-05,9.778004e-05,9.713407e-05,9.649907e-05,9.587503e-05,9.526194e-05,9.465977e-05,9.406845e-05,9.348793e-05,9.291812e-05,9.235894e-05,9.181029e-05
0.000000e+00,1.727299e-09,4.890877e-09,2.240782e-08,6.020236e-08,9.408268e-08,2.434057e-07,2.518073e-07,5.308419e-07,6.356264e-07,9.676021e-07,1.320850e-06,1.598829e-06,2.374805e-06,2.451364e-06,3.525689e-06,3.814042e-06,4.796629e-06,5.581505e-06,6.230130e-06,7.600667e-06,7.794318e-06,9.461379e-06,9.804891e-06,1.120613e-05,1.213612e-05,1.300462e-05,1.453985e-05,1.483360e-05,1.667056e-05,1.696377e-05,1.849421e-05,1.935901e-05,2.028498e-05,2.168218e-05,2.202552e-05,2.370101e-05,2.389710e-05,2.529937e-05,2.597570e-05,2.681123e-05,2.789817e-05,2.822987e-05,2.955098e-05,2.965238e-05,3.077240e-05,3.123293e-05,3.189383e-05,3.263996e-05,3.291647e-05,3.384280e-05,3.387790e-05,3.467623e-05,3.495429e-05,3.542086e-05,3.587883e-05,3.608131e-05,3.666248e-05,3.716944e-05,3.731682e-05,3.760726e-05,3.785353e-05,3.798100e-05,3.828406e-05,3.829556e-05,3.855566e-05,3.861934e-05,3.876580e-05,3.886968e-05,3.893024e-05,3.904462e-05,3.905299e-05,3.913781e-05,3.915292e-05,3.918818e-05,3.920256e-05,3.920735e-05,3.920079e-05,3.919831e-05,3.916383e-05,3.915411e-05,3.910645e-05,3.906835e-05,3.902851e-05,3.894873e-05,3.893216e-05,3.881936e-05,3.879991e-05,3.869192e-05,3.862604e-05,3.855148e-05,3.843077e-05,3.839953e-05,3.823746e-05,3.821739e-05,3.806650e-05,3.798876e-05,3.788780e-05,3.774745e-05,3.770240e-05,3.751123e-05,3.749571e-05,3.731516e-05,3.723553e-05,3.711496e-05,3.696867e-05,3.691135e-05,3.670498e-05,3.669667e-05,3.649642e-05,3.642091e-05,3.628620e-05,3.614256e-05,3.607482e-05,3.586269e-05,3.565022e-05,3.558222e-05,3.543777e-05,3.530195e-05,3.522564e-05,3.502258e-05,3.501414e-05,3.480351e-05,3.474473e-05,3.459401e-05,3.446892e-05,3.438582e-05,3.419563e-05,3.417916e-05,3.397417e-05,3.392524e-05,3.377101e-05,3.365809e-05,3.356982e-05,3.339448e-05,3.337070e-05,3.317377e-05,3.313465e-05,3.297910e-05,3.287880e-05,3.278679e-05,3.262710e-05,3.259688e-05,3.240946e-05,3.237970e-05,3.222455e-05,3.213670e-05,3.204221e-05,3.189820e-05,3.186246e-05,3.168533e-05,3.166425e-05,3.151084e-05,3.143490e-05,3.133900e-05,3.121018e-05,3.116982e-05,3.100332e-05,3.099011e-05,3.083948e-05,3.077469e-05,3.067830e-05,3.056390e-05,3.051978e-05,3.036390e-05,3.035772e-05,3.021066e-05,3.015613e-05,3.006003e-05,2.995909e-05,2.991200e-05,2.976655e-05,2.957845e-05,2.939475e-05,2.921539e-05,2.904030e-05,2.886941e-05,2.870266e-05,2.853996e-05,2.838126e-05,2.822648e-05,2.807553e-05,2.792834e-05,2.778484e-05,2.764495e-05,2.750859e-05,2.737568e-05,2.724615e-05,2.711993e-05,2.699692e-05,2.687707e-05,2.676029e-05,2.664652e-05,2.653568e-05,2.642770e-05,2.632251e-05
0.000000e+00,1.746507e-09,5.121463e-09,2.511275e-08,7.139968e-08,1.148698e-07,3.182955e-07,3.301396e-07,7.382735e-07,8.970033e-07,1.413056e-06,1.979041e-06,2.434720e-06,3.754068e-06,3.888227e-06,5.853876e-06,6.408736e-06,8.385096e-06,1.005264e-05,1.148338e-05,1.463665e-05,1.509422e-05,1.912739e-05,1.997574e-05,2.348115e-05,2.583895e-05,2.805768e-05,3.200980e-05,3.276953e-05,3.754089e-05,3.830536e-05,4.230699e-05,4.457634e-05,4.701279e-05,5.070262e-05,5.161196e-05,5.606594e-05,5.658910e-05,6.034338e-05,6.216294e-05,6.441961e-05,6.737138e-05,6.827613e-05,7.190017e-05,7.217978e-05,7.528407e-05,7.656957e-05,7.842476e-05,8.053580e-05,8.132309e-05,8.398320e-05,8.408474e-05,8.641192e-05,8.723127e-05,8.861814e-05,8.999658e-05,9.061234e-05,9.240602e-05,9.401136e-05,9.448732e-05,9.544082e-05,9.626914e-05,9.670688e-05,9.777994e-05,9.782178e-05,9.879741e-05,9.904719e-05,9.964511e-05,1.000968e-04,1.003756e-04,1.009529e-04,1.009990e-04,1.015247e-04,1.016373e-04,1.019614e-04,1.021701e-04,1.023171e-04,1.025691e-04,1.025993e-04,1.028146e-04,1.028501e-04,1.029691e-04,1.030274e-04,1.030685e-04,1.031131e-04,1.031178e-04,1.031217e-04,1.031184e-04,1.030844e-04,1.030531e-04,1.030099e-04,1.029257e-04,1.029014e-04,1.027624e-04,1.027437e-04,1.025954e-04,1.025139e-04,1.024033e-04,1.022418e-04,1.021882e-04,1.019524e-04,1.019327e-04,1.016976e-04,1.015909e-04,1.014258e-04,1.012204e-04,1.011384e-04,1.008371e-04,1.008247e-04,1.005230e-04,1.004071e-04,1.001975e-04,9.997016e-05,9.986163e-05,9.951648e-05,9.916299e-05,9.904826e-05,9.880204e-05,9.856749e-05,9.843444e-05,9.807598e-05,9.806093e-05,9.768222e-05,9.757534e-05,9.729895e-05,9.706704e-05,9.691170e-05,9.655240e-05,9.652103e-05,9.612745e-05,9.603260e-05,9.573142e-05,9.550874e-05,9.533338e-05,9.498178e-05,9.493375e-05,9.453291e-05,9.445262e-05,9.413119e-05,9.392207e-05,9.372895e-05,9.339089e-05,9.332649e-05,9.292408e-05,9.285972e-05,9.252201e-05,9.232921e-05,9.212052e-05,9.179989e-05,9.171983e-05,9.132016e-05,9.127228e-05,9.092172e-05,9.074683e-05,9.052468e-05,9.022397e-05,9.012921e-05,8.973549e-05,8.970407e-05,8.934364e-05,8.918746e-05,8.895382e-05,8.867448e-05,8.856615e-05,8.818075e-05,8.816538e-05,8.779772e-05,8.766044e-05,8.741718e-05,8.715988e-05,8.703921e-05,8.666390e-05,8.617270e-05,8.568644e-05,8.520526e-05,8.472929e-05,8.425865e-05,8.379342e-05,8.333371e-05,8.287957e-05,8.243108e-05,8.198827e-05,8.155120e-05,8.111988e-05,8.069435e-05,8.027461e-05,7.986068e-05,7.945255e-05,7.905022e-05,7.865368e-05,7.826291e-05,7.787788e-05,7.749857e-05,7.712496e-05,7.675700e-05,7.639466e-05
0.000000e+00,7.534588e-10,1.972256e-09,7.903980e-09,1.928329e-08,2.880237e-08,6.752039e-08,6.960246e-08,1.355719e-07,1.592196e-07,2.315670e-07,3.055255e-07,3.622323e-07,5.164105e-07,5.314152e-07,7.401067e-07,7.957151e-07,9.840369e-07,1.132873e-06,1.254558e-06,1.507217e-06,1.542405e-06,1.840020e-06,1.900185e-06,2.141664e-06,2.298581e-06,2.442830e-06,2.692693e-06,2.739787e-06,3.029358e-06,3.074817e-06,3.308847e-06,3.438750e-06,3.576033e-06,3.779736e-06,3.829173e-06,4.067004e-06,4.094472e-06,4.288718e-06,4.381052e-06,4.493924e-06,4.638811e-06,4.682595e-06,4.855011e-06,4.868116e-06,5.011696e-06,5.070118e-06,5.153355e-06,5.246511e-06,5.280824e-06,5.395019e-06,5.399325e-06,5.496899e-06,5.530748e-06,5.587430e-06,5.642994e-06,5.667562e-06,5.738211e-06,5.800247e-06,5.818414e-06,5.854483e-06,5.885450e-06,5.901671e-06,5.940983e-06,5.942502e-06,5.977607e-06,5.986489e-06,6.007558e-06,6.023272e-06,6.032872e-06,6.052465e-06,6.054013e-06,6.071398e-06,6.075053e-06,6.085400e-06,6.091891e-06,6.096356e-06,6.103716e-06,6.104565e-06,6.110294e-06,6.111163e-06,6.113780e-06,6.114777e-06,6.115235e-06,6.115028e-06,6.114850e-06,6.112797e-06,6.112324e-06,6.109230e-06,6.107021e-06,6.104288e-06,6.099428e-06,6.098095e-06,6.090763e-06,6.089812e-06,6.082396e-06,6.078411e-06,6.073086e-06,6.065432e-06,6.062918e-06,6.051969e-06,6.051062e-06,6.040310e-06,6.035462e-06,6.028004e-06,6.018778e-06,6.015113e-06,6.001689e-06,6.001141e-06,5.987783e-06,5.982668e-06,5.973443e-06,5.963464e-06,5.958709e-06,5.943624e-06,5.928222e-06,5.923232e-06,5.912539e-06,5.902368e-06,5.896605e-06,5.881102e-06,5.880452e-06,5.864106e-06,5.859498e-06,5.847592e-06,5.837614e-06,5.830936e-06,5.815504e-06,5.814158e-06,5.797280e-06,5.793216e-06,5.780321e-06,5.770796e-06,5.763299e-06,5.748282e-06,5.746232e-06,5.729134e-06,5.725713e-06,5.712022e-06,5.703122e-06,5.694908e-06,5.680540e-06,5.677805e-06,5.660726e-06,5.657996e-06,5.643681e-06,5.635515e-06,5.626681e-06,5.613121e-06,5.609737e-06,5.592856e-06,5.590835e-06,5.576048e-06,5.568677e-06,5.559320e-06,5.546665e-06,5.542679e-06,5.526133e-06,5.524814e-06,5.509688e-06,5.503140e-06,5.493350e-06,5.481655e-06,5.477123e-06,5.461014e-06,5.460372e-06,5.445026e-06,5.439301e-06,5.429164e-06,5.418452e-06,5.413432e-06,5.397833e-06,5.377452e-06,5.357316e-06,5.337430e-06,5.317801e-06,5.298431e-06,5.279325e-06,5.260486e-06,5.241917e-06,5.223620e-06,5.205596e-06,5.187846e-06,5.170372e-06,5.153174e-06,5.136251e-06,5.119603e-06,5.103230e-06,5.087131e-06,5.071304e-06,5.055748e-06,5.040463e-06,5.025445e-06,5.010692e-06,4.996204e-06,4.981977e-06
0.000000e+00,1.072912e-09,2.900352e-09,1.232514e-08,3.160796e-08,4.854788e-08,1.231890e-07,1.274356e-07,2.729008e-07,3.298485e-07,5.180120e-07,7.288975e-07,9.004233e-07,1.392797e-06,1.441858e-06,2.128287e-06,2.310561e-06,2.922478e-06,3.400612e-06,3.788897e-06,4.591081e-06,4.702626e-06,5.647248e-06,5.838807e-06,6.611192e-06,7.117001e-06,7.585363e-06,8.405833e-06,8.561953e-06,9.533958e-06,9.688621e-06,1.049505e-05,1.095081e-05,1.143957e-05,1.217991e-05,1.236258e-05,1.325990e-05,1.336568e-05,1.412810e-05,1.450017e-05,1.496449e-05,1.557761e-05,1.576706e-05,1.653444e-05,1.659428e-05,1.726582e-05,1.754820e-05,1.796085e-05,1.843875e-05,1.861954e-05,1.924230e-05,1.926647e-05,1.982975e-05,2.003275e-05,2.038273e-05,2.073957e-05,2.090223e-05,2.138933e-05,2.184521e-05,2.198470e-05,2.227109e-05,2.252849e-05,2.266822e-05,2.302358e-05,2.303785e-05,2.338122e-05,2.347283e-05,2.369957e-05,2.387907e-05,2.399409e-05,2.424503e-05,2.426597e-05,2.451633e-05,2.457334e-05,2.474628e-05,2.486653e-05,2.495687e-05,2.512698e-05,2.514911e-05,2.532399e-05,2.535697e-05,2.548244e-05,2.555863e-05,2.562533e-05,2.573398e-05,2.575354e-05,2.586785e-05,2.588491e-05,2.596906e-05,2.601320e-05,2.605789e-05,2.612051e-05,2.613504e-05,2.620118e-05,2.620841e-05,2.625694e-05,2.627834e-05,2.630291e-05,2.633166e-05,2.633967e-05,2.636776e-05,2.636965e-05,2.638770e-05,2.639349e-05,2.639995e-05,2.640429e-05,2.640500e-05,2.640327e-05,2.640307e-05,2.639518e-05,2.639078e-05,2.638112e-05,2.636834e-05,2.636146e-05,2.633656e-05,2.630675e-05,2.629622e-05,2.627234e-05,2.624804e-05,2.623363e-05,2.619270e-05,2.619091e-05,2.614445e-05,2.613080e-05,2.609449e-05,2.606295e-05,2.604129e-05,2.598966e-05,2.598505e-05,2.592601e-05,2.591145e-05,2.586436e-05,2.582877e-05,2.580030e-05,2.574208e-05,2.573401e-05,2.566565e-05,2.565175e-05,2.559540e-05,2.555817e-05,2.552341e-05,2.546169e-05,2.544982e-05,2.537476e-05,2.536263e-05,2.529838e-05,2.526128e-05,2.522079e-05,2.515793e-05,2.514211e-05,2.506245e-05,2.505283e-05,2.498191e-05,2.494623e-05,2.490060e-05,2.483833e-05,2.481859e-05,2.473599e-05,2.472935e-05,2.465286e-05,2.461949e-05,2.456930e-05,2.450891e-05,2.448538e-05,2.440115e-05,2.439778e-05,2.431669e-05,2.428625e-05,2.423207e-05,2.417445e-05,2.414733e-05,2.406253e-05,2.395060e-05,2.383877e-05,2.372714e-05,2.361580e-05,2.350485e-05,2.339435e-05,2.328439e-05,2.317503e-05,2.306633e-05,2.295835e-05,2.285114e-05,2.274475e-05,2.263921e-05,2.253457e-05,2.243086e-05,2.232811e-05,2.222635e-05,2.212561e-05,2.202590e-05,2.192725e-05,2.182968e-05,2.173320e-05,2.163781e-05,2.154354e-05
0.000000e+00,6.803957e-11,1.584629e-10,5.558159e-10,1.283595e-09,1.890803e-09,4.440058e-09,4.581709e-09,9.330979e-09,1.115492e-08,1.710034e-08,2.366583e-08,2.895567e-08,4.397675e-08,4.546285e-08,6.608279e-08,7.150564e-08,8.955264e-08,1.034869e-07,1.146969e-07,1.375635e-07,1.407125e-07,1.670898e-07,1.723768e-07,1.934886e-07,2.071393e-07,2.196592e-07,2.413187e-07,2.454014e-07,2.705471e-07,2.745052e-07,2.949535e-07,3.063699e-07,3.185006e-07,3.366536e-07,3.410913e-07,3.626502e-07,3.651652e-07,3.831250e-07,3.917815e-07,4.024832e-07,4.164385e-07,4.207094e-07,4.378039e-07,4.391228e-07,4.537795e-07,4.598615e-07,4.686597e-07,4.787124e-07,4.824757e-07,4.952655e-07,4.957563e-07,5.070712e-07,5.110892e-07,5.179389e-07,5.248172e-07,5.279155e-07,5.370463e-07,5.453788e-07,5.478842e-07,5.529594e-07,5.574372e-07,5.598330e-07,5.658069e-07,5.660431e-07,5.716320e-07,5.730910e-07,5.766393e-07,5.793803e-07,5.811028e-07,5.847598e-07,5.850584e-07,5.885401e-07,5.893088e-07,5.915800e-07,5.931006e-07,5.942081e-07,5.962029e-07,5.964529e-07,5.983408e-07,5.986778e-07,5.998969e-07,6.005827e-07,6.011444e-07,6.019699e-07,6.021052e-07,6.027998e-07,6.028875e-07,6.032471e-07,6.033794e-07,6.034652e-07,6.034858e-07,6.034707e-07,6.032792e-07,6.032437e-07,6.029053e-07,6.026866e-07,6.023626e-07,6.018452e-07,6.016639e-07,6.008209e-07,6.007476e-07,5.998448e-07,5.994194e-07,5.987459e-07,5.978841e-07,5.975339e-07,5.962178e-07,5.961631e-07,5.948060e-07,5.942759e-07,5.933064e-07,5.922404e-07,5.917265e-07,5.900729e-07,5.883521e-07,5.877883e-07,5.865702e-07,5.854003e-07,5.847327e-07,5.829213e-07,5.828449e-07,5.809116e-07,5.803627e-07,5.789373e-07,5.777349e-07,5.769264e-07,5.750473e-07,5.748827e-07,5.728101e-07,5.723088e-07,5.707120e-07,5.695271e-07,5.685916e-07,5.667096e-07,5.664519e-07,5.642958e-07,5.638629e-07,5.621259e-07,5.609929e-07,5.599447e-07,5.581054e-07,5.577544e-07,5.555573e-07,5.552052e-07,5.533552e-07,5.522970e-07,5.511501e-07,5.493851e-07,5.489438e-07,5.467377e-07,5.464731e-07,5.445336e-07,5.435647e-07,5.423326e-07,5.406629e-07,5.401363e-07,5.379457e-07,5.377707e-07,5.357620e-07,5.348907e-07,5.335863e-07,5.320253e-07,5.314195e-07,5.292626e-07,5.291766e-07,5.271164e-07,5.263466e-07,5.249817e-07,5.235370e-07,5.228591e-07,5.207494e-07,5.179854e-07,5.152461e-07,5.125326e-07,5.098462e-07,5.071875e-07,5.045574e-07,5.019567e-07,4.993859e-07,4.968456e-07,4.943362e-07,4.918581e-07,4.894117e-07,4.869971e-07,4.846145e-07,4.822642e-07,4.799462e-07,4.776606e-07,4.754074e-07,4.731866e-07,4.709981e-07,4.688419e-07,4.667177e-07,4.646256e-07,4.625652e-07
0.000000e+00,5.132901e-11,1.181876e-10,4.075962e-10,9.257763e-10,1.348221e-09,3.039226e-09,3.129731e-09,5.998329e-09,7.029795e-09,1.020061e-08,1.346695e-08,1.598906e-08,2.293512e-08,2.361923e-08,3.333584e-08,3.600259e-08,4.534581e-08,5.312560e-08,5.977735e-08,7.448351e-08,7.662957e-08,9.572800e-08,9.978861e-08,1.167143e-07,1.282117e-07,1.390926e-07,1.585672e-07,1.623186e-07,1.858872e-07,1.896606e-07,2.093805e-07,2.205328e-07,2.324776e-07,2.505091e-07,2.549426e-07,2.766057e-07,2.791453e-07,2.973472e-07,3.061591e-07,3.170844e-07,3.313790e-07,3.357635e-07,3.533526e-07,3.547122e-07,3.698379e-07,3.761226e-07,3.852197e-07,3.956175e-07,3.995097e-07,4.127292e-07,4.132361e-07,4.249065e-07,4.290416e-07,4.360757e-07,4.431143e-07,4.462751e-07,4.555460e-07,4.639318e-07,4.664355e-07,4.714767e-07,4.758850e-07,4.782258e-07,4.839975e-07,4.842235e-07,4.895140e-07,4.908745e-07,4.941404e-07,4.966149e-07,4.981444e-07,5.013132e-07,5.015665e-07,5.044454e-07,5.050597e-07,5.068183e-07,5.079394e-07,5.087207e-07,5.100321e-07,5.101860e-07,5.112462e-07,5.114124e-07,5.119316e-07,5.121493e-07,5.122705e-07,5.123071e-07,5.122898e-07,5.120149e-07,5.119452e-07,5.114695e-07,5.111182e-07,5.106758e-07,5.098763e-07,5.096549e-07,5.084262e-07,5.082657e-07,5.070082e-07,5.063287e-07,5.054179e-07,5.041039e-07,5.036713e-07,5.017835e-07,5.016268e-07,4.997684e-07,4.989296e-07,4.976389e-07,4.960418e-07,4.954073e-07,4.930846e-07,4.929900e-07,4.906815e-07,4.897986e-07,4.882077e-07,4.864898e-07,4.856722e-07,4.830834e-07,4.804492e-07,4.795978e-07,4.777766e-07,4.760492e-07,4.750725e-07,4.724525e-07,4.723429e-07,4.695935e-07,4.688209e-07,4.668297e-07,4.651665e-07,4.640563e-07,4.615001e-07,4.612778e-07,4.584982e-07,4.578313e-07,4.557213e-07,4.541688e-07,4.529507e-07,4.505201e-07,4.501894e-07,4.474403e-07,4.468922e-07,4.447061e-07,4.432911e-07,4.419893e-07,4.397221e-07,4.392919e-07,4.366160e-07,4.361899e-07,4.339633e-07,4.326987e-07,4.313354e-07,4.292520e-07,4.287339e-07,4.261599e-07,4.258529e-07,4.236146e-07,4.225040e-07,4.210991e-07,4.192077e-07,4.186141e-07,4.161606e-07,4.159657e-07,4.137391e-07,4.127796e-07,4.113502e-07,4.096507e-07,4.089944e-07,4.066722e-07,4.065800e-07,4.043837e-07,4.035682e-07,4.021293e-07,4.006159e-07,3.999091e-07,3.977233e-07,3.948908e-07,3.921182e-07,3.894054e-07,3.867523e-07,3.841583e-07,3.816231e-07,3.791461e-07,3.767267e-07,3.743642e-07,3.720578e-07,3.698068e-07,3.676102e-07,3.654673e-07,3.633770e-07,3.613386e-07,3.593510e-07,3.574132e-07,3.555244e-07,3.536834e-07,3.518894e-07,3.501413e-07,3.484381e-07,3.467789e-07,3.451626e-07
0.000000e+00,5.356715e-09,1.595421e-08,8.077293e-08,2.363291e-07,3.861381e-07,1.112223e-06,1.155380e-06,2.678721e-06,3.285220e-06,5.293169e-06,7.541860e-06,9.378497e-06,1.479496e-05,1.535274e-05,2.365430e-05,2.604016e-05,3.469357e-05,4.219254e-05,4.877918e-05,6.382040e-05,6.606492e-05,8.655063e-05,9.102296e-05,1.101176e-04,1.235264e-04,1.365666e-04,1.608277e-04,1.656456e-04,1.970681e-04,2.022928e-04,2.305253e-04,2.472133e-04,2.656951e-04,2.948434e-04,3.022492e-04,3.398598e-04,3.444288e-04,3.782058e-04,3.952308e-04,4.169778e-04,4.465483e-04,4.558827e-04,4.946480e-04,4.977355e-04,5.330242e-04,5.482147e-04,5.707872e-04,5.974848e-04,6.077392e-04,6.437092e-04,6.451254e-04,6.785523e-04,6.907963e-04,7.121493e-04,7.342340e-04,7.444050e-04,7.752465e-04,8.046213e-04,8.137054e-04,8.324953e-04,8.495384e-04,8.588511e-04,8.827211e-04,8.836853e-04,9.070069e-04,9.132683e-04,9.288355e-04,9.412276e-04,9.491996e-04,9.666714e-04,9.681345e-04,9.856818e-04,9.896916e-04,1.001887e-03,1.010394e-03,1.016800e-03,1.028895e-03,1.030472e-03,1.042956e-03,1.045315e-03,1.054307e-03,1.059779e-03,1.064578e-03,1.072412e-03,1.073825e-03,1.082100e-03,1.083337e-03,1.089455e-03,1.092674e-03,1.095943e-03,1.100541e-03,1.101612e-03,1.106511e-03,1.107049e-03,1.110685e-03,1.112304e-03,1.114181e-03,1.116409e-03,1.117039e-03,1.119301e-03,1.119457e-03,1.121005e-03,1.121539e-03,1.122189e-03,1.122739e-03,1.122887e-03,1.123133e-03,1.123134e-03,1.122958e-03,1.122798e-03,1.122392e-03,1.121798e-03,1.121462e-03,1.120197e-03,1.118619e-03,1.118053e-03,1.116754e-03,1.115419e-03,1.114623e-03,1.112346e-03,1.112247e-03,1.109645e-03,1.108879e-03,1.106837e-03,1.105060e-03,1.103839e-03,1.100928e-03,1.100668e-03,1.097339e-03,1.096518e-03,1.093865e-03,1.091862e-03,1.090261e-03,1.086992e-03,1.086540e-03,1.082712e-03,1.081934e-03,1.078788e-03,1.076714e-03,1.074780e-03,1.071354e-03,1.070696e-03,1.066546e-03,1.065876e-03,1.062337e-03,1.060299e-03,1.058079e-03,1.054641e-03,1.053777e-03,1.049440e-03,1.048917e-03,1.045073e-03,1.043143e-03,1.040681e-03,1.037332e-03,1.036272e-03,1.031850e-03,1.031495e-03,1.027419e-03,1.025645e-03,1.022984e-03,1.019791e-03,1.018549e-03,1.014119e-03,1.013942e-03,1.009696e-03,1.008106e-03,1.005284e-03,1.002291e-03,1.000886e-03,9.965047e-04,9.907517e-04,9.850379e-04,9.793684e-04,9.737474e-04,9.681789e-04,9.626663e-04,9.572128e-04,9.518211e-04,9.464935e-04,9.412320e-04,9.360386e-04,9.309146e-04,9.258614e-04,9.208800e-04,9.159712e-04,9.111358e-04,9.063743e-04,9.016870e-04,8.970742e-04,8.925358e-04,8.880719e-04,8.836824e-04,8.793669e-04,8.751253e-04
0.000000e+00,2.285914e-10,5.993273e-10,2.420854e-09,5.967185e-09,8.969007e-09,2.138238e-08,2.205669e-08,4.364568e-08,5.146067e-08,7.552026e-08,1.002726e-07,1.193292e-07,1.714987e-07,1.766114e-07,2.487781e-07,2.684510e-07,3.370021e-07,3.937122e-07,4.419921e-07,5.482841e-07,5.637661e-07,7.016389e-07,7.310487e-07,8.544576e-07,9.393847e-07,1.020873e-06,1.170150e-06,1.199492e-06,1.388923e-06,1.420142e-06,1.587774e-06,1.686158e-06,1.794642e-06,1.964955e-06,2.008107e-06,2.226737e-06,2.253252e-06,2.449107e-06,2.547770e-06,2.673807e-06,2.845296e-06,2.899472e-06,3.124791e-06,3.142764e-06,3.348532e-06,3.437328e-06,3.569555e-06,3.726419e-06,3.786819e-06,3.999393e-06,4.007786e-06,4.206460e-06,4.279518e-06,4.407322e-06,4.540060e-06,4.601393e-06,4.788199e-06,4.967370e-06,5.023045e-06,5.138635e-06,5.244009e-06,5.301813e-06,5.450763e-06,5.456805e-06,5.603582e-06,5.643212e-06,5.742182e-06,5.821452e-06,5.872695e-06,5.985742e-06,5.995258e-06,6.110049e-06,6.136465e-06,6.217276e-06,6.274104e-06,6.317171e-06,6.399216e-06,6.409990e-06,6.495998e-06,6.512407e-06,6.575473e-06,6.614313e-06,6.648700e-06,6.705591e-06,6.715964e-06,6.777553e-06,6.786899e-06,6.833748e-06,6.858889e-06,6.884829e-06,6.922194e-06,6.931067e-06,6.972726e-06,6.977430e-06,7.010063e-06,7.025187e-06,7.043326e-06,7.066028e-06,7.072752e-06,7.098570e-06,7.100486e-06,7.120996e-06,7.129064e-06,7.140239e-06,7.152234e-06,7.156496e-06,7.169957e-06,7.170439e-06,7.180798e-06,7.184092e-06,7.189189e-06,7.193577e-06,7.195290e-06,7.199252e-06,7.201217e-06,7.201446e-06,7.201319e-06,7.200467e-06,7.199687e-06,7.196598e-06,7.196438e-06,7.191686e-06,7.190101e-06,7.185537e-06,7.181218e-06,7.178089e-06,7.170172e-06,7.169438e-06,7.159670e-06,7.157169e-06,7.148869e-06,7.142398e-06,7.137111e-06,7.126032e-06,7.124471e-06,7.111017e-06,7.108234e-06,7.096812e-06,7.089149e-06,7.081918e-06,7.068915e-06,7.066390e-06,7.050283e-06,7.047656e-06,7.033646e-06,7.025486e-06,7.016527e-06,7.002513e-06,6.998968e-06,6.981011e-06,6.978832e-06,6.962696e-06,6.954533e-06,6.944058e-06,6.929698e-06,6.925131e-06,6.905947e-06,6.904402e-06,6.886536e-06,6.878715e-06,6.866927e-06,6.852700e-06,6.847145e-06,6.827216e-06,6.826416e-06,6.807161e-06,6.799915e-06,6.787004e-06,6.773248e-06,6.766764e-06,6.746460e-06,6.719591e-06,6.692681e-06,6.665763e-06,6.638869e-06,6.612029e-06,6.585269e-06,6.558613e-06,6.532084e-06,6.505701e-06,6.479483e-06,6.453446e-06,6.427606e-06,6.401976e-06,6.376569e-06,6.351395e-06,6.326465e-06,6.301787e-06,6.277369e-06,6.253218e-06,6.229341e-06,6.205742e-06,6.182427e-06,6.159398e-06,6.136661e-06
0.000000e+00,8.014882e-10,2.276498e-09,1.049766e-08,2.836916e-08,4.447432e-08,1.159528e-07,1.199907e-07,2.546407e-07,3.053882e-07,4.665729e-07,6.387561e-07,7.749427e-07,1.160753e-06,1.199426e-06,1.757272e-06,1.912233e-06,2.456967e-06,2.908972e-06,3.291956e-06,4.122314e-06,4.241396e-06,5.277859e-06,5.493188e-06,6.374716e-06,6.961257e-06,7.509325e-06,8.477976e-06,8.663246e-06,9.821409e-06,1.000624e-05,1.097129e-05,1.151713e-05,1.210235e-05,1.298766e-05,1.320576e-05,1.427420e-05,1.439976e-05,1.530178e-05,1.573974e-05,1.628393e-05,1.699789e-05,1.721732e-05,1.809971e-05,1.816805e-05,1.892982e-05,1.924711e-05,1.970724e-05,2.023447e-05,2.043222e-05,2.110558e-05,2.113146e-05,2.172861e-05,2.194087e-05,2.230290e-05,2.266653e-05,2.283033e-05,2.331293e-05,2.375286e-05,2.388499e-05,2.415234e-05,2.438780e-05,2.451357e-05,2.482643e-05,2.483878e-05,2.513011e-05,2.520591e-05,2.538968e-05,2.553102e-05,2.561951e-05,2.580637e-05,2.582155e-05,2.599765e-05,2.603625e-05,2.614958e-05,2.622473e-05,2.627901e-05,2.637556e-05,2.638753e-05,2.647662e-05,2.649223e-05,2.654769e-05,2.657796e-05,2.660206e-05,2.663573e-05,2.664097e-05,2.666558e-05,2.666827e-05,2.667698e-05,2.667807e-05,2.667620e-05,2.666743e-05,2.666417e-05,2.664179e-05,2.663845e-05,2.660990e-05,2.659306e-05,2.656927e-05,2.653299e-05,2.652062e-05,2.646464e-05,2.645986e-05,2.640195e-05,2.637513e-05,2.633314e-05,2.628011e-05,2.625876e-05,2.617931e-05,2.617604e-05,2.609528e-05,2.606399e-05,2.600711e-05,2.594500e-05,2.591521e-05,2.581995e-05,2.572171e-05,2.568970e-05,2.562081e-05,2.555498e-05,2.551756e-05,2.541649e-05,2.541224e-05,2.530513e-05,2.527485e-05,2.519646e-05,2.513061e-05,2.508647e-05,2.498430e-05,2.497537e-05,2.486336e-05,2.483637e-05,2.475062e-05,2.468723e-05,2.463732e-05,2.453728e-05,2.452362e-05,2.440966e-05,2.438685e-05,2.429558e-05,2.423625e-05,2.418149e-05,2.408574e-05,2.406752e-05,2.395377e-05,2.393560e-05,2.384033e-05,2.378602e-05,2.372731e-05,2.363723e-05,2.361476e-05,2.350279e-05,2.348939e-05,2.339144e-05,2.334267e-05,2.328079e-05,2.319720e-05,2.317089e-05,2.306180e-05,2.305311e-05,2.295357e-05,2.291052e-05,2.284623e-05,2.276952e-05,2.273982e-05,2.263439e-05,2.263019e-05,2.252996e-05,2.249262e-05,2.242656e-05,2.235685e-05,2.232422e-05,2.222296e-05,2.209098e-05,2.196095e-05,2.183291e-05,2.170687e-05,2.158287e-05,2.146091e-05,2.134100e-05,2.122314e-05,2.110735e-05,2.099361e-05,2.088193e-05,2.077228e-05,2.066467e-05,2.055907e-05,2.045548e-05,2.035387e-05,2.025423e-05,2.015654e-05,2.006077e-05,1.996690e-05,1.987490e-05,1.978477e-05,1.969646e-05,1.960995e-05
0.000000e+00,4.861247e-09,1.400610e-08,6.648068e-08,1.844752e-07,2.935633e-07,7.979118e-07,8.271969e-07,1.841842e-06,2.241008e-06,3.559509e-06,5.039666e-06,6.252334e-06,9.824075e-06,1.018953e-05,1.551859e-05,1.700346e-05,2.219683e-05,2.646433e-05,3.005317e-05,3.778075e-05,3.888600e-05,4.851588e-05,5.052409e-05,5.879629e-05,6.435844e-05,6.960675e-05,7.902066e-05,8.084310e-05,9.241014e-05,9.428546e-05,1.042174e-04,1.099445e-04,1.161778e-04,1.257997e-04,1.282072e-04,1.402256e-04,1.416634e-04,1.521579e-04,1.573631e-04,1.639359e-04,1.727460e-04,1.754983e-04,1.867915e-04,1.876819e-04,1.977702e-04,2.020648e-04,2.083965e-04,2.158121e-04,2.186403e-04,2.284784e-04,2.288632e-04,2.378939e-04,2.411777e-04,2.468757e-04,2.527321e-04,2.554174e-04,2.635173e-04,2.711768e-04,2.735356e-04,2.784008e-04,2.827988e-04,2.851963e-04,2.913253e-04,2.915724e-04,2.975397e-04,2.991388e-04,3.031100e-04,3.062669e-04,3.082960e-04,3.127391e-04,3.131110e-04,3.175687e-04,3.185869e-04,3.216829e-04,3.238420e-04,3.254675e-04,3.285366e-04,3.289366e-04,3.321039e-04,3.327023e-04,3.349829e-04,3.363704e-04,3.375868e-04,3.395710e-04,3.399286e-04,3.420210e-04,3.423334e-04,3.438760e-04,3.446856e-04,3.455056e-04,3.466546e-04,3.469212e-04,3.481337e-04,3.482661e-04,3.491539e-04,3.495444e-04,3.499918e-04,3.505128e-04,3.506573e-04,3.511599e-04,3.511933e-04,3.515085e-04,3.516068e-04,3.517117e-04,3.517727e-04,3.517779e-04,3.517149e-04,3.517098e-04,3.515304e-04,3.514356e-04,3.512314e-04,3.509663e-04,3.508250e-04,3.503177e-04,3.497158e-04,3.495041e-04,3.490252e-04,3.485394e-04,3.482517e-04,3.474362e-04,3.474007e-04,3.464774e-04,3.462066e-04,3.454867e-04,3.448619e-04,3.444333e-04,3.434126e-04,3.433216e-04,3.421559e-04,3.418686e-04,3.409402e-04,3.402390e-04,3.396784e-04,3.385326e-04,3.383739e-04,3.370304e-04,3.367573e-04,3.356510e-04,3.349205e-04,3.342388e-04,3.330295e-04,3.327969e-04,3.313279e-04,3.310905e-04,3.298345e-04,3.291097e-04,3.283192e-04,3.270927e-04,3.267843e-04,3.252321e-04,3.250448e-04,3.236648e-04,3.229708e-04,3.220842e-04,3.208752e-04,3.204922e-04,3.188908e-04,3.187623e-04,3.172814e-04,3.166358e-04,3.156658e-04,3.144994e-04,3.140453e-04,3.124214e-04,3.123564e-04,3.107955e-04,3.102098e-04,3.091687e-04,3.080625e-04,3.075422e-04,3.059171e-04,3.037758e-04,3.016411e-04,2.995147e-04,2.973986e-04,2.952945e-04,2.932038e-04,2.911280e-04,2.890683e-04,2.870258e-04,2.850017e-04,2.829967e-04,2.810118e-04,2.790476e-04,2.771048e-04,2.751839e-04,2.732855e-04,2.714099e-04,2.695576e-04,2.677288e-04,2.659238e-04,2.641428e-04,2.623859e-04,2.606532e-04,2.589449e-04
0.000000e+00,1.465581e-10,3.408368e-10,1.189804e-09,2.721802e-09,3.976640e-09,9.029795e-09,9.301254e-09,1.794169e-08,2.106213e-08,3.068613e-08,4.063578e-08,4.833466e-08,6.957288e-08,7.166550e-08,1.013608e-07,1.094936e-07,1.378955e-07,1.614107e-07,1.814051e-07,2.252173e-07,2.315645e-07,2.875374e-07,2.993236e-07,3.480574e-07,3.808342e-07,4.116434e-07,4.663653e-07,4.768546e-07,5.424687e-07,5.529374e-07,6.075396e-07,6.383682e-07,6.713718e-07,7.212068e-07,7.334689e-07,7.934816e-07,8.005307e-07,8.511690e-07,8.757710e-07,9.063702e-07,9.465971e-07,9.589854e-07,1.008961e-06,1.012845e-06,1.056282e-06,1.074469e-06,1.100961e-06,1.131512e-06,1.143031e-06,1.182547e-06,1.184075e-06,1.219573e-06,1.232307e-06,1.254184e-06,1.276383e-06,1.286464e-06,1.316497e-06,1.344375e-06,1.352855e-06,1.370187e-06,1.385665e-06,1.394025e-06,1.415137e-06,1.415980e-06,1.436141e-06,1.441477e-06,1.454596e-06,1.464885e-06,1.471429e-06,1.485554e-06,1.486723e-06,1.500559e-06,1.503671e-06,1.513014e-06,1.519414e-06,1.524163e-06,1.532950e-06,1.534077e-06,1.542825e-06,1.544441e-06,1.550473e-06,1.554037e-06,1.557085e-06,1.561881e-06,1.562719e-06,1.567435e-06,1.568108e-06,1.571287e-06,1.572845e-06,1.574327e-06,1.576209e-06,1.576606e-06,1.578171e-06,1.578313e-06,1.579067e-06,1.579260e-06,1.579337e-06,1.579149e-06,1.579022e-06,1.578161e-06,1.578070e-06,1.576791e-06,1.576108e-06,1.574947e-06,1.573344e-06,1.572662e-06,1.569967e-06,1.569851e-06,1.566892e-06,1.565698e-06,1.563466e-06,1.560950e-06,1.559716e-06,1.555665e-06,1.551339e-06,1.549901e-06,1.546760e-06,1.543707e-06,1.541950e-06,1.537132e-06,1.536928e-06,1.531713e-06,1.530221e-06,1.526324e-06,1.523013e-06,1.520777e-06,1.515548e-06,1.515088e-06,1.509273e-06,1.507860e-06,1.503345e-06,1.499981e-06,1.497318e-06,1.491942e-06,1.491204e-06,1.485016e-06,1.483770e-06,1.478763e-06,1.475490e-06,1.472457e-06,1.467126e-06,1.466107e-06,1.459722e-06,1.458698e-06,1.453312e-06,1.450227e-06,1.446882e-06,1.441731e-06,1.440443e-06,1.433999e-06,1.433226e-06,1.427558e-06,1.424726e-06,1.421126e-06,1.416247e-06,1.414708e-06,1.408310e-06,1.407799e-06,1.401936e-06,1.399395e-06,1.395592e-06,1.391044e-06,1.389280e-06,1.383006e-06,1.382756e-06,1.376772e-06,1.374539e-06,1.370583e-06,1.366400e-06,1.364440e-06,1.358347e-06,1.350384e-06,1.342518e-06,1.334752e-06,1.327092e-06,1.319539e-06,1.312098e-06,1.304771e-06,1.297560e-06,1.290467e-06,1.283493e-06,1.276639e-06,1.269906e-06,1.263294e-06,1.256805e-06,1.250437e-06,1.244190e-06,1.238065e-06,1.232060e-06,1.226175e-06,1.220409e-06,1.214762e-06,1.209231e-06,1.203817e-06,1.198517e-06
0.000000e+00,2.167762e-09,6.347593e-09,3.104144e-08,8.804750e-08,1.414574e-07,3.902670e-07,4.047038e-07,8.992906e-07,1.090242e-06,1.706184e-06,2.374005e-06,2.906493e-06,4.426856e-06,4.579976e-06,6.802525e-06,7.425318e-06,9.640211e-06,1.151612e-05,1.313832e-05,1.677376e-05,1.730933e-05,2.212921e-05,2.316677e-05,2.754519e-05,3.057445e-05,3.348805e-05,3.883179e-05,3.988195e-05,4.665004e-05,4.776260e-05,5.371720e-05,5.719435e-05,6.101130e-05,6.696388e-05,6.846395e-05,7.601102e-05,7.692014e-05,8.359317e-05,8.692630e-05,9.115631e-05,9.686151e-05,9.865191e-05,1.060372e-04,1.066221e-04,1.132753e-04,1.161221e-04,1.203349e-04,1.252925e-04,1.271900e-04,1.338201e-04,1.340804e-04,1.402089e-04,1.424475e-04,1.463447e-04,1.503680e-04,1.522190e-04,1.578271e-04,1.631668e-04,1.648188e-04,1.682382e-04,1.713440e-04,1.730435e-04,1.774098e-04,1.775865e-04,1.818723e-04,1.830270e-04,1.859070e-04,1.882101e-04,1.896975e-04,1.929756e-04,1.932514e-04,1.965766e-04,1.973416e-04,1.996814e-04,2.013270e-04,2.025743e-04,2.049515e-04,2.052637e-04,2.077583e-04,2.082345e-04,2.100664e-04,2.111957e-04,2.121964e-04,2.138541e-04,2.141566e-04,2.159551e-04,2.162283e-04,2.175995e-04,2.183364e-04,2.190976e-04,2.201956e-04,2.204567e-04,2.216839e-04,2.218226e-04,2.227861e-04,2.232332e-04,2.237699e-04,2.244424e-04,2.246417e-04,2.254076e-04,2.254645e-04,2.260735e-04,2.263131e-04,2.266450e-04,2.270011e-04,2.271275e-04,2.275261e-04,2.275404e-04,2.278458e-04,2.279425e-04,2.280913e-04,2.282181e-04,2.282671e-04,2.283774e-04,2.284264e-04,2.284298e-04,2.284180e-04,2.283842e-04,2.283558e-04,2.282489e-04,2.282435e-04,2.280843e-04,2.280318e-04,2.278815e-04,2.277401e-04,2.276381e-04,2.273808e-04,2.273570e-04,2.270409e-04,2.269601e-04,2.266925e-04,2.264841e-04,2.263142e-04,2.259584e-04,2.259083e-04,2.254770e-04,2.253879e-04,2.250226e-04,2.247777e-04,2.245468e-04,2.241322e-04,2.240517e-04,2.235390e-04,2.234555e-04,2.230104e-04,2.227515e-04,2.224675e-04,2.220238e-04,2.219117e-04,2.213445e-04,2.212757e-04,2.207672e-04,2.205104e-04,2.201811e-04,2.197305e-04,2.195874e-04,2.189871e-04,2.189388e-04,2.183814e-04,2.181377e-04,2.177711e-04,2.173295e-04,2.171573e-04,2.165407e-04,2.165160e-04,2.159223e-04,2.156993e-04,2.153027e-04,2.148811e-04,2.146827e-04,2.140630e-04,2.132463e-04,2.124325e-04,2.116227e-04,2.108180e-04,2.100194e-04,2.092278e-04,2.084440e-04,2.076687e-04,2.069025e-04,2.061461e-04,2.053999e-04,2.046643e-04,2.039398e-04,2.032267e-04,2.025252e-04,2.018357e-04,2.011582e-04,2.004930e-04,1.998401e-04,1.991997e-04,1.985718e-04,1.979565e-04,1.973537e-04,1.967635e-04
0.000000e+00,1.153209e-10,2.726893e-10,9.682028e-10,2.232055e-09,3.271247e-09,7.482115e-09,7.709421e-09,1.499991e-08,1.765836e-08,2.593740e-08,3.461310e-08,4.139835e-08,6.038012e-08,6.226730e-08,8.923646e-08,9.665128e-08,1.224718e-07,1.436142e-07,1.613285e-07,1.991041e-07,2.044509e-07,2.502566e-07,2.596124e-07,2.973674e-07,3.220249e-07,3.447505e-07,3.842196e-07,3.916727e-07,4.376122e-07,4.448445e-07,4.821904e-07,5.030196e-07,5.251288e-07,5.581598e-07,5.662237e-07,6.053323e-07,6.098870e-07,6.423623e-07,6.579829e-07,6.772646e-07,7.023585e-07,7.100266e-07,7.406651e-07,7.430256e-07,7.692231e-07,7.800769e-07,7.957610e-07,8.136583e-07,8.203525e-07,8.430830e-07,8.439548e-07,8.640436e-07,8.711743e-07,8.833291e-07,8.955357e-07,9.010361e-07,9.172604e-07,9.320960e-07,9.365652e-07,9.456345e-07,9.536591e-07,9.579637e-07,9.687396e-07,9.691672e-07,9.793240e-07,9.819907e-07,9.885088e-07,9.935823e-07,9.967914e-07,1.003671e-06,1.004237e-06,1.010908e-06,1.012400e-06,1.016860e-06,1.019900e-06,1.022147e-06,1.026288e-06,1.026817e-06,1.030917e-06,1.031672e-06,1.034488e-06,1.036149e-06,1.037569e-06,1.039806e-06,1.040198e-06,1.042407e-06,1.042724e-06,1.044228e-06,1.044973e-06,1.045689e-06,1.046617e-06,1.046818e-06,1.047638e-06,1.047716e-06,1.048172e-06,1.048323e-06,1.048443e-06,1.048484e-06,1.048469e-06,1.048268e-06,1.048243e-06,1.047858e-06,1.047639e-06,1.047254e-06,1.046708e-06,1.046471e-06,1.045522e-06,1.045481e-06,1.044420e-06,1.043988e-06,1.043176e-06,1.042255e-06,1.041802e-06,1.040306e-06,1.038700e-06,1.038164e-06,1.036991e-06,1.035847e-06,1.035188e-06,1.033375e-06,1.033297e-06,1.031328e-06,1.030763e-06,1.029285e-06,1.028027e-06,1.027175e-06,1.025180e-06,1.025004e-06,1.022778e-06,1.022236e-06,1.020501e-06,1.019205e-06,1.018178e-06,1.016099e-06,1.015813e-06,1.013411e-06,1.012927e-06,1.010976e-06,1.009698e-06,1.008511e-06,1.006419e-06,1.006019e-06,1.003504e-06,1.003100e-06,1.000969e-06,9.997454e-07,9.984158e-07,9.963627e-07,9.958480e-07,9.932678e-07,9.929575e-07,9.906775e-07,9.895351e-07,9.880792e-07,9.861004e-07,9.854750e-07,9.828668e-07,9.826580e-07,9.802563e-07,9.792119e-07,9.776453e-07,9.757660e-07,9.750354e-07,9.724280e-07,9.723238e-07,9.698245e-07,9.688884e-07,9.672262e-07,9.654630e-07,9.646343e-07,9.620501e-07,9.586522e-07,9.552717e-07,9.519107e-07,9.485710e-07,9.452545e-07,9.419626e-07,9.386969e-07,9.354587e-07,9.322493e-07,9.290696e-07,9.259206e-07,9.228033e-07,9.197185e-07,9.166668e-07,9.136488e-07,9.106652e-07,9.077164e-07,9.048027e-07,9.019246e-07,8.990824e-07,8.962762e-07,8.935064e-07,8.907730e-07,8.880761e-07
0.000000e+00,1.266643e-10,2.918218e-10,1.011839e-09,2.315858e-09,3.389881e-09,7.766710e-09,8.004071e-09,1.566885e-08,1.848631e-08,2.732600e-08,3.667810e-08,4.404061e-08,6.475652e-08,6.681921e-08,9.619053e-08,1.042079e-07,1.319041e-07,1.543875e-07,1.731710e-07,2.133791e-07,2.191125e-07,2.689710e-07,2.793557e-07,3.221185e-07,3.508721e-07,3.780105e-07,4.267150e-07,4.361483e-07,4.960605e-07,5.057807e-07,5.572961e-07,5.870324e-07,6.194261e-07,6.695024e-07,6.820478e-07,7.447889e-07,7.523096e-07,8.073131e-07,8.346761e-07,8.693196e-07,9.159357e-07,9.305465e-07,9.907699e-07,9.955385e-07,1.049800e-06,1.073041e-06,1.107479e-06,1.148100e-06,1.163682e-06,1.218311e-06,1.220462e-06,1.271289e-06,1.289946e-06,1.322562e-06,1.356435e-06,1.372094e-06,1.419862e-06,1.465859e-06,1.480204e-06,1.510086e-06,1.537468e-06,1.552554e-06,1.591685e-06,1.593281e-06,1.632290e-06,1.642909e-06,1.669612e-06,1.691207e-06,1.705277e-06,1.736656e-06,1.739321e-06,1.771781e-06,1.779340e-06,1.802697e-06,1.819349e-06,1.832107e-06,1.856777e-06,1.860054e-06,1.886579e-06,1.891717e-06,1.911723e-06,1.924266e-06,1.935528e-06,1.954521e-06,1.958037e-06,1.979289e-06,1.982576e-06,1.999327e-06,2.008526e-06,2.018190e-06,2.032462e-06,2.035919e-06,2.052552e-06,2.054476e-06,2.068127e-06,2.074655e-06,2.082683e-06,2.093086e-06,2.096256e-06,2.108882e-06,2.109853e-06,2.120597e-06,2.125035e-06,2.131434e-06,2.138713e-06,2.141427e-06,2.150609e-06,2.150960e-06,2.159011e-06,2.161851e-06,2.166664e-06,2.171456e-06,2.173598e-06,2.179842e-06,2.185425e-06,2.187076e-06,2.190373e-06,2.193219e-06,2.194713e-06,2.198332e-06,2.198471e-06,2.201672e-06,2.202472e-06,2.204341e-06,2.205695e-06,2.206499e-06,2.208054e-06,2.208171e-06,2.209377e-06,2.209600e-06,2.210140e-06,2.210380e-06,2.210478e-06,2.210442e-06,2.210414e-06,2.209964e-06,2.209829e-06,2.209148e-06,2.208585e-06,2.207983e-06,2.206748e-06,2.206487e-06,2.204676e-06,2.204358e-06,2.202566e-06,2.201452e-06,2.200172e-06,2.198063e-06,2.197510e-06,2.194593e-06,2.194226e-06,2.191435e-06,2.189973e-06,2.188050e-06,2.185332e-06,2.184449e-06,2.180646e-06,2.180334e-06,2.176652e-06,2.175004e-06,2.172479e-06,2.169369e-06,2.168136e-06,2.163636e-06,2.163453e-06,2.158987e-06,2.157280e-06,2.154200e-06,2.150871e-06,2.149284e-06,2.144247e-06,2.137429e-06,2.130434e-06,2.123281e-06,2.115986e-06,2.108565e-06,2.101033e-06,2.093404e-06,2.085692e-06,2.077908e-06,2.070065e-06,2.062174e-06,2.054245e-06,2.046288e-06,2.038313e-06,2.030327e-06,2.022339e-06,2.014356e-06,2.006386e-06,1.998436e-06,1.990510e-06,1.982616e-06,1.974759e-06,1.966942e-06,1.959172e-06
0.000000e+00,4.437714e-10,1.236203e-09,5.505424e-09,1.449201e-08,2.243495e-08,5.689811e-08,5.882087e-08,1.221310e-07,1.457060e-07,2.199256e-07,2.983865e-07,3.599623e-07,5.323179e-07,5.494259e-07,7.927637e-07,8.592572e-07,1.089771e-06,1.278111e-06,1.436385e-06,1.778001e-06,1.827011e-06,2.256013e-06,2.345945e-06,2.718073e-06,2.969709e-06,3.208084e-06,3.637611e-06,3.721013e-06,4.251848e-06,4.338111e-06,4.795635e-06,5.059832e-06,5.347559e-06,5.791866e-06,5.903036e-06,6.457806e-06,6.524142e-06,7.008007e-06,7.247753e-06,7.550231e-06,7.955161e-06,8.081541e-06,8.599483e-06,8.640278e-06,9.102068e-06,9.298440e-06,9.587743e-06,9.926296e-06,1.005535e-05,1.050410e-05,1.052165e-05,1.093350e-05,1.108329e-05,1.134332e-05,1.161081e-05,1.173357e-05,1.210442e-05,1.245621e-05,1.256482e-05,1.278937e-05,1.299307e-05,1.310445e-05,1.339044e-05,1.340202e-05,1.368273e-05,1.375840e-05,1.394724e-05,1.409846e-05,1.419624e-05,1.441221e-05,1.443041e-05,1.465043e-05,1.470120e-05,1.485697e-05,1.496699e-05,1.505069e-05,1.521106e-05,1.523222e-05,1.540219e-05,1.543485e-05,1.556118e-05,1.563971e-05,1.570976e-05,1.582693e-05,1.584848e-05,1.597785e-05,1.599772e-05,1.609838e-05,1.615322e-05,1.621052e-05,1.629450e-05,1.631473e-05,1.641143e-05,1.642255e-05,1.650103e-05,1.653830e-05,1.658390e-05,1.664260e-05,1.666040e-05,1.673088e-05,1.673627e-05,1.679566e-05,1.682004e-05,1.685504e-05,1.689462e-05,1.690932e-05,1.695876e-05,1.696064e-05,1.700363e-05,1.701871e-05,1.704417e-05,1.706938e-05,1.708061e-05,1.711317e-05,1.714205e-05,1.715055e-05,1.716746e-05,1.718198e-05,1.718958e-05,1.720787e-05,1.720857e-05,1.722462e-05,1.722860e-05,1.723787e-05,1.724454e-05,1.724848e-05,1.725602e-05,1.725657e-05,1.726230e-05,1.726334e-05,1.726579e-05,1.726680e-05,1.726714e-05,1.726667e-05,1.726649e-05,1.726393e-05,1.726320e-05,1.725957e-05,1.725662e-05,1.725350e-05,1.724715e-05,1.724582e-05,1.723662e-05,1.723501e-05,1.722597e-05,1.722037e-05,1.721396e-05,1.720342e-05,1.720066e-05,1.718614e-05,1.718432e-05,1.717048e-05,1.716324e-05,1.715373e-05,1.714031e-05,1.713595e-05,1.711721e-05,1.711567e-05,1.709756e-05,1.708946e-05,1.707705e-05,1.706178e-05,1.705574e-05,1.703366e-05,1.703276e-05,1.701088e-05,1.700251e-05,1.698742e-05,1.697111e-05,1.696333e-05,1.693866e-05,1.690525e-05,1.687097e-05,1.683588e-05,1.680007e-05,1.676359e-05,1.672652e-05,1.668892e-05,1.665083e-05,1.661232e-05,1.657344e-05,1.653423e-05,1.649473e-05,1.645499e-05,1.641506e-05,1.637495e-05,1.633472e-05,1.629439e-05,1.625399e-05,1.621356e-05,1.617312e-05,1.613269e-05,1.609230e-05,1.605198e-05,1.601174e-05
0.000000e+00,3.884922e-10,1.062055e-09,4.545246e-09,1.152943e-08,1.748525e-08,4.202817e-08,4.335321e-08,8.531518e-08,1.003123e-07,1.459978e-07,1.924253e-07,2.278841e-07,3.240764e-07,3.334473e-07,4.647505e-07,5.002013e-07,6.222637e-07,7.211151e-07,8.034509e-07,9.780712e-07,1.002708e-06,1.213150e-06,1.256012e-06,1.428636e-06,1.541122e-06,1.644662e-06,1.824317e-06,1.858235e-06,2.067397e-06,2.100357e-06,2.270778e-06,2.366024e-06,2.467299e-06,2.618945e-06,2.656025e-06,2.836117e-06,2.857112e-06,3.006825e-06,3.078793e-06,3.167506e-06,3.282600e-06,3.317653e-06,3.456910e-06,3.467573e-06,3.585081e-06,3.633233e-06,3.702133e-06,3.779587e-06,3.808184e-06,3.903484e-06,3.907077e-06,3.988400e-06,4.016514e-06,4.063395e-06,4.108999e-06,4.129010e-06,4.185839e-06,4.234497e-06,4.248442e-06,4.275595e-06,4.298214e-06,4.309748e-06,4.336563e-06,4.337561e-06,4.359604e-06,4.364818e-06,4.376435e-06,4.384253e-06,4.388580e-06,4.396023e-06,4.396513e-06,4.400682e-06,4.401168e-06,4.401493e-06,4.400618e-06,4.399311e-06,4.395182e-06,4.394471e-06,4.387273e-06,4.385574e-06,4.377985e-06,4.372411e-06,4.366848e-06,4.356219e-06,4.354073e-06,4.339852e-06,4.337454e-06,4.324356e-06,4.316510e-06,4.307736e-06,4.293720e-06,4.290124e-06,4.271642e-06,4.269371e-06,4.252396e-06,4.243710e-06,4.232481e-06,4.216949e-06,4.211980e-06,4.190971e-06,4.189271e-06,4.169521e-06,4.160831e-06,4.147691e-06,4.131769e-06,4.125535e-06,4.103103e-06,4.102201e-06,4.080439e-06,4.072232e-06,4.057584e-06,4.041952e-06,4.034574e-06,4.011443e-06,3.988220e-06,3.980773e-06,3.964932e-06,3.950007e-06,3.941606e-06,3.919198e-06,3.918264e-06,3.894927e-06,3.888396e-06,3.871614e-06,3.857645e-06,3.848342e-06,3.826983e-06,3.825128e-06,3.801987e-06,3.796445e-06,3.778932e-06,3.766063e-06,3.755975e-06,3.735864e-06,3.733128e-06,3.710402e-06,3.705872e-06,3.687805e-06,3.676108e-06,3.665346e-06,3.646594e-06,3.643034e-06,3.620876e-06,3.617345e-06,3.598878e-06,3.588377e-06,3.577046e-06,3.559704e-06,3.555386e-06,3.533902e-06,3.531336e-06,3.512600e-06,3.503285e-06,3.491482e-06,3.475558e-06,3.470553e-06,3.449815e-06,3.448165e-06,3.429272e-06,3.421110e-06,3.408926e-06,3.394399e-06,3.388778e-06,3.368831e-06,3.368037e-06,3.349086e-06,3.342028e-06,3.329545e-06,3.316373e-06,3.310208e-06,3.291076e-06,3.266137e-06,3.241557e-06,3.217336e-06,3.193475e-06,3.169971e-06,3.146825e-06,3.124034e-06,3.101597e-06,3.079511e-06,3.057774e-06,3.036383e-06,3.015335e-06,2.994627e-06,2.974256e-06,2.954217e-06,2.934508e-06,2.915124e-06,2.896062e-06,2.877317e-06,2.858885e-06,2.840763e-06,2.822946e-06,2.805430e-06,2.788210e-06
0.000000e+00,6.300477e-10,1.696249e-09,7.136598e-09,1.806234e-08,2.747260e-08,6.720900e-08,6.939519e-08,1.404715e-07,1.666412e-07,2.484265e-07,3.342398e-07,4.013074e-07,5.885788e-07,6.071753e-07,8.729392e-07,9.461329e-07,1.202082e-06,1.413456e-06,1.592164e-06,1.979014e-06,2.034450e-06,2.516640e-06,2.616752e-06,3.026365e-06,3.298705e-06,3.553043e-06,4.002267e-06,4.088152e-06,4.624847e-06,4.710477e-06,5.157535e-06,5.410409e-06,5.681581e-06,6.091989e-06,6.193142e-06,6.689065e-06,6.747399e-06,7.166827e-06,7.370765e-06,7.624473e-06,7.957930e-06,8.060568e-06,8.474138e-06,8.506231e-06,8.864612e-06,9.014273e-06,9.231761e-06,9.481689e-06,9.575644e-06,9.896551e-06,9.908916e-06,1.019496e-05,1.029700e-05,1.047149e-05,1.064740e-05,1.072687e-05,1.096191e-05,1.117746e-05,1.124246e-05,1.137441e-05,1.149111e-05,1.155365e-05,1.170992e-05,1.171610e-05,1.186264e-05,1.190094e-05,1.199415e-05,1.206620e-05,1.211149e-05,1.220762e-05,1.221546e-05,1.230688e-05,1.232704e-05,1.238651e-05,1.242622e-05,1.245507e-05,1.250680e-05,1.251326e-05,1.256175e-05,1.257035e-05,1.260118e-05,1.261829e-05,1.263213e-05,1.265200e-05,1.265518e-05,1.267087e-05,1.267273e-05,1.267970e-05,1.268164e-05,1.268215e-05,1.267983e-05,1.267869e-05,1.266973e-05,1.266830e-05,1.265568e-05,1.264798e-05,1.263692e-05,1.261973e-05,1.261380e-05,1.258667e-05,1.258434e-05,1.255584e-05,1.254254e-05,1.252160e-05,1.249500e-05,1.248424e-05,1.244402e-05,1.244236e-05,1.240118e-05,1.238517e-05,1.235596e-05,1.232396e-05,1.230857e-05,1.225922e-05,1.220808e-05,1.219138e-05,1.215535e-05,1.212085e-05,1.210120e-05,1.204800e-05,1.204576e-05,1.198920e-05,1.197318e-05,1.193164e-05,1.189669e-05,1.187322e-05,1.181881e-05,1.181405e-05,1.175425e-05,1.173981e-05,1.169391e-05,1.165993e-05,1.163314e-05,1.157937e-05,1.157202e-05,1.151064e-05,1.149834e-05,1.144907e-05,1.141701e-05,1.138740e-05,1.133555e-05,1.132567e-05,1.126396e-05,1.125409e-05,1.120233e-05,1.117278e-05,1.114082e-05,1.109174e-05,1.107949e-05,1.101838e-05,1.101106e-05,1.095753e-05,1.093085e-05,1.089699e-05,1.085120e-05,1.083678e-05,1.077695e-05,1.077218e-05,1.071751e-05,1.069385e-05,1.065850e-05,1.061629e-05,1.059995e-05,1.054186e-05,1.053955e-05,1.048428e-05,1.046367e-05,1.042720e-05,1.038870e-05,1.037066e-05,1.031466e-05,1.024160e-05,1.016954e-05,1.009851e-05,1.002851e-05,9.959566e-06,9.891690e-06,9.824890e-06,9.759172e-06,9.694541e-06,9.630997e-06,9.568540e-06,9.507169e-06,9.446878e-06,9.387664e-06,9.329519e-06,9.272437e-06,9.216407e-06,9.161421e-06,9.107469e-06,9.054538e-06,9.002617e-06,8.951695e-06,8.901756e-06,8.852788e-06
0.000000e+00,9.594153e-11,2.244161e-10,7.853074e-10,1.792291e-09,2.613068e-09,5.893913e-09,6.069336e-09,1.162581e-08,1.362360e-08,1.977032e-08,2.611468e-08,3.102218e-08,4.455165e-08,4.588266e-08,6.465191e-08,6.973312e-08,8.718746e-08,1.012490e-07,1.129190e-07,1.376460e-07,1.411428e-07,1.712413e-07,1.774408e-07,2.027215e-07,2.195004e-07,2.351785e-07,2.629383e-07,2.682597e-07,3.016425e-07,3.069914e-07,3.350262e-07,3.509676e-07,3.681307e-07,3.942397e-07,4.006989e-07,4.325003e-07,4.362551e-07,4.633342e-07,4.765498e-07,4.930315e-07,5.147563e-07,5.214560e-07,5.485035e-07,5.506054e-07,5.741003e-07,5.839217e-07,5.982009e-07,6.146146e-07,6.207850e-07,6.418540e-07,6.426655e-07,6.614267e-07,6.681127e-07,6.795372e-07,6.910404e-07,6.962319e-07,7.115659e-07,7.256008e-07,7.298283e-07,7.384025e-07,7.459801e-07,7.500397e-07,7.601801e-07,7.605816e-07,7.700974e-07,7.725873e-07,7.786552e-07,7.833575e-07,7.863208e-07,7.926398e-07,7.931577e-07,7.992266e-07,8.005753e-07,8.045848e-07,8.072954e-07,8.092867e-07,8.129219e-07,8.133832e-07,8.169220e-07,8.175668e-07,8.199475e-07,8.213316e-07,8.225007e-07,8.243085e-07,8.246199e-07,8.263403e-07,8.265808e-07,8.276947e-07,8.282237e-07,8.287131e-07,8.293047e-07,8.294234e-07,8.298511e-07,8.298846e-07,8.300198e-07,8.300176e-07,8.299511e-07,8.297524e-07,8.296650e-07,8.291798e-07,8.291329e-07,8.285125e-07,8.281981e-07,8.276786e-07,8.269831e-07,8.266923e-07,8.255670e-07,8.255192e-07,8.243146e-07,8.238348e-07,8.229464e-07,8.219551e-07,8.214726e-07,8.199029e-07,8.182460e-07,8.176987e-07,8.165099e-07,8.153608e-07,8.147023e-07,8.129060e-07,8.128299e-07,8.108993e-07,8.103491e-07,8.089163e-07,8.077036e-07,8.068864e-07,8.049819e-07,8.048147e-07,8.027060e-07,8.021949e-07,8.005646e-07,7.993526e-07,7.983945e-07,7.964641e-07,7.961996e-07,7.939832e-07,7.935377e-07,7.917488e-07,7.905807e-07,7.894992e-07,7.875999e-07,7.872373e-07,7.849657e-07,7.846015e-07,7.826868e-07,7.815910e-07,7.804028e-07,7.785734e-07,7.781159e-07,7.758280e-07,7.755535e-07,7.735410e-07,7.725353e-07,7.712564e-07,7.695228e-07,7.689759e-07,7.667010e-07,7.665193e-07,7.644329e-07,7.635279e-07,7.621730e-07,7.605516e-07,7.599224e-07,7.576822e-07,7.575928e-07,7.554534e-07,7.546540e-07,7.532368e-07,7.517371e-07,7.510335e-07,7.488440e-07,7.459766e-07,7.431362e-07,7.403243e-07,7.375421e-07,7.347907e-07,7.320710e-07,7.293839e-07,7.267301e-07,7.241102e-07,7.215249e-07,7.189745e-07,7.164595e-07,7.139801e-07,7.115366e-07,7.091292e-07,7.067580e-07,7.044232e-07,7.021246e-07,6.998624e-07,6.976364e-07,6.954466e-07,6.932928e-07,6.911749e-07,6.890927e-07
0.000000e+00,6.873190e-09,2.048969e-08,1.039822e-07,3.051293e-07,4.995558e-07,1.448872e-06,1.505602e-06,3.525559e-06,4.337897e-06,7.053006e-06,1.012820e-05,1.265660e-05,2.013718e-05,2.090639e-05,3.226361e-05,3.548879e-05,4.703418e-05,5.686585e-05,6.539213e-05,8.457684e-05,8.741342e-05,1.130969e-04,1.186682e-04,1.423749e-04,1.589795e-04,1.751188e-04,2.051692e-04,2.111448e-04,2.502193e-04,2.567361e-04,2.920662e-04,3.130477e-04,3.363762e-04,3.733743e-04,3.828161e-04,4.310379e-04,4.369275e-04,4.806887e-04,5.028972e-04,5.314183e-04,5.704849e-04,5.828873e-04,6.347725e-04,6.389321e-04,6.867717e-04,7.075402e-04,7.386070e-04,7.756843e-04,7.900261e-04,8.408033e-04,8.428182e-04,8.907405e-04,9.084786e-04,9.396671e-04,9.722851e-04,9.874385e-04,1.033935e-03,1.079058e-03,1.093195e-03,1.122732e-03,1.149895e-03,1.164898e-03,1.203920e-03,1.205515e-03,1.244555e-03,1.255201e-03,1.282004e-03,1.303709e-03,1.317860e-03,1.349445e-03,1.352128e-03,1.384823e-03,1.392437e-03,1.415965e-03,1.432736e-03,1.445581e-03,1.470406e-03,1.473702e-03,1.500363e-03,1.505523e-03,1.525602e-03,1.538176e-03,1.549457e-03,1.568457e-03,1.571970e-03,1.593185e-03,1.596462e-03,1.613144e-03,1.622291e-03,1.631890e-03,1.646043e-03,1.649467e-03,1.665919e-03,1.667820e-03,1.681289e-03,1.687719e-03,1.695618e-03,1.705837e-03,1.708948e-03,1.721320e-03,1.722269e-03,1.732774e-03,1.737107e-03,1.743348e-03,1.750439e-03,1.753081e-03,1.762009e-03,1.762350e-03,1.770167e-03,1.772922e-03,1.777590e-03,1.782234e-03,1.784311e-03,1.790362e-03,1.795774e-03,1.797376e-03,1.800578e-03,1.803346e-03,1.804801e-03,1.808336e-03,1.808473e-03,1.811618e-03,1.812408e-03,1.814263e-03,1.815620e-03,1.816433e-03,1.818029e-03,1.818151e-03,1.819440e-03,1.819687e-03,1.820321e-03,1.820645e-03,1.820816e-03,1.820948e-03,1.820945e-03,1.820726e-03,1.820643e-03,1.820179e-03,1.819771e-03,1.819321e-03,1.818372e-03,1.818168e-03,1.816737e-03,1.816484e-03,1.815044e-03,1.814142e-03,1.813102e-03,1.811380e-03,1.810927e-03,1.808532e-03,1.808230e-03,1.805929e-03,1.804721e-03,1.803131e-03,1.800882e-03,1.800151e-03,1.796998e-03,1.796739e-03,1.793684e-03,1.792316e-03,1.790220e-03,1.787638e-03,1.786614e-03,1.782877e-03,1.782725e-03,1.779018e-03,1.777600e-03,1.775044e-03,1.772281e-03,1.770964e-03,1.766787e-03,1.761134e-03,1.755339e-03,1.749418e-03,1.743383e-03,1.737249e-03,1.731029e-03,1.724732e-03,1.718372e-03,1.711957e-03,1.705498e-03,1.699003e-03,1.692481e-03,1.685939e-03,1.679385e-03,1.672826e-03,1.666268e-03,1.659716e-03,1.653177e-03,1.646654e-03,1.640154e-03,1.633680e-03,1.627236e-03,1.620826e-03,1.614454e-03
0.000000e+00,3.636178e-10,9.393229e-10,3.719018e-09,9.070323e-09,1.357987e-08,3.217579e-08,3.318517e-08,6.551229e-08,7.722581e-08,1.133376e-07,1.505686e-07,1.792838e-07,2.580965e-07,2.658345e-07,3.752864e-07,4.051907e-07,5.095957e-07,5.961932e-07,6.700703e-07,8.331427e-07,8.569332e-07,1.068958e-06,1.114170e-06,1.303492e-06,1.433174e-06,1.556950e-06,1.781641e-06,1.825456e-06,2.105296e-06,2.150891e-06,2.393101e-06,2.533184e-06,2.685875e-06,2.921876e-06,2.980960e-06,3.275994e-06,3.311293e-06,3.568885e-06,3.696596e-06,3.857796e-06,4.073717e-06,4.141133e-06,4.417532e-06,4.439309e-06,4.685859e-06,4.790715e-06,4.945186e-06,5.125912e-06,5.194784e-06,5.434106e-06,5.443459e-06,5.662763e-06,5.742418e-06,5.880513e-06,6.022288e-06,6.087237e-06,6.282925e-06,6.467655e-06,6.524477e-06,6.641580e-06,6.747320e-06,6.804917e-06,6.952001e-06,6.957927e-06,7.100911e-06,7.139195e-06,7.234199e-06,7.309662e-06,7.358139e-06,7.464220e-06,7.473094e-06,7.579434e-06,7.603715e-06,7.677532e-06,7.729006e-06,7.767761e-06,7.840947e-06,7.850490e-06,7.926083e-06,7.940377e-06,7.994894e-06,8.028111e-06,8.057270e-06,8.104937e-06,8.113545e-06,8.164043e-06,8.171608e-06,8.209078e-06,8.228843e-06,8.248949e-06,8.277323e-06,8.283945e-06,8.314342e-06,8.317694e-06,8.340405e-06,8.350565e-06,8.362386e-06,8.376510e-06,8.380526e-06,8.395054e-06,8.396067e-06,8.406190e-06,8.409741e-06,8.414141e-06,8.418005e-06,8.419105e-06,8.421270e-06,8.421301e-06,8.420815e-06,8.420042e-06,8.417909e-06,8.414615e-06,8.412712e-06,8.405378e-06,8.396050e-06,8.392667e-06,8.384866e-06,8.376794e-06,8.371954e-06,8.358048e-06,8.357438e-06,8.341434e-06,8.336701e-06,8.324051e-06,8.313003e-06,8.305393e-06,8.287186e-06,8.285558e-06,8.264640e-06,8.259468e-06,8.242724e-06,8.230047e-06,8.219895e-06,8.199111e-06,8.196230e-06,8.171803e-06,8.166832e-06,8.146683e-06,8.133368e-06,8.120935e-06,8.098868e-06,8.094622e-06,8.067802e-06,8.063467e-06,8.040529e-06,8.027292e-06,8.012854e-06,7.990459e-06,7.984827e-06,7.956493e-06,7.953075e-06,7.927895e-06,7.915238e-06,7.899073e-06,7.877042e-06,7.870065e-06,7.840906e-06,7.838568e-06,7.811630e-06,7.799894e-06,7.782268e-06,7.761091e-06,7.752849e-06,7.723401e-06,7.722223e-06,7.693950e-06,7.683351e-06,7.664518e-06,7.644528e-06,7.635129e-06,7.605804e-06,7.567225e-06,7.528831e-06,7.490661e-06,7.452747e-06,7.415122e-06,7.377812e-06,7.340842e-06,7.304236e-06,7.268013e-06,7.232190e-06,7.196784e-06,7.161808e-06,7.127274e-06,7.093192e-06,7.059572e-06,7.026421e-06,6.993745e-06,6.961549e-06,6.929837e-06,6.898613e-06,6.867878e-06,6.837633e-06,6.807879e-06,6.778615e-06
0.000000e+00,1.251050e-11,2.868682e-11,9.883584e-11,2.252668e-10,3.290774e-10,7.503900e-10,7.731787e-10,1.506774e-09,1.775551e-09,2.616802e-09,3.505090e-09,4.204550e-09,6.182824e-09,6.381191e-09,9.247232e-09,1.004493e-08,1.285346e-08,1.518830e-08,1.716982e-08,2.147962e-08,2.209967e-08,2.752541e-08,2.866042e-08,3.334158e-08,3.649139e-08,3.946342e-08,4.479223e-08,4.582343e-08,5.236564e-08,5.342596e-08,5.904113e-08,6.227951e-08,6.580539e-08,7.125279e-08,7.261700e-08,7.943709e-08,8.025433e-08,8.622938e-08,8.920043e-08,9.296032e-08,9.801590e-08,9.959937e-08,1.061192e-07,1.066349e-07,1.124959e-07,1.150017e-07,1.187088e-07,1.230709e-07,1.247408e-07,1.305778e-07,1.308070e-07,1.362089e-07,1.381840e-07,1.416259e-07,1.451841e-07,1.468231e-07,1.517972e-07,1.565466e-07,1.580190e-07,1.610718e-07,1.638509e-07,1.653743e-07,1.692980e-07,1.694571e-07,1.733242e-07,1.743689e-07,1.769802e-07,1.790747e-07,1.804305e-07,1.834281e-07,1.836809e-07,1.867377e-07,1.874432e-07,1.896073e-07,1.911349e-07,1.922963e-07,1.945186e-07,1.948114e-07,1.971594e-07,1.976095e-07,1.993468e-07,2.004231e-07,2.013804e-07,2.029744e-07,2.032665e-07,2.050116e-07,2.052782e-07,2.066219e-07,2.073488e-07,2.081035e-07,2.092001e-07,2.094623e-07,2.107038e-07,2.108452e-07,2.118337e-07,2.122968e-07,2.128572e-07,2.135670e-07,2.137793e-07,2.146052e-07,2.146672e-07,2.153393e-07,2.156083e-07,2.159863e-07,2.164007e-07,2.165506e-07,2.170362e-07,2.170541e-07,2.174472e-07,2.175776e-07,2.177874e-07,2.179801e-07,2.180604e-07,2.182697e-07,2.184187e-07,2.184542e-07,2.185106e-07,2.185408e-07,2.185484e-07,2.185365e-07,2.185350e-07,2.184732e-07,2.184475e-07,2.183656e-07,2.182802e-07,2.182148e-07,2.180400e-07,2.180232e-07,2.177932e-07,2.177325e-07,2.175268e-07,2.173626e-07,2.172263e-07,2.169351e-07,2.168935e-07,2.165304e-07,2.164543e-07,2.161389e-07,2.159246e-07,2.157206e-07,2.153498e-07,2.152772e-07,2.148103e-07,2.147335e-07,2.143213e-07,2.140792e-07,2.138117e-07,2.133901e-07,2.132829e-07,2.127360e-07,2.126693e-07,2.121725e-07,2.119195e-07,2.115934e-07,2.111435e-07,2.109998e-07,2.103929e-07,2.103438e-07,2.097735e-07,2.095226e-07,2.091428e-07,2.086821e-07,2.085015e-07,2.078506e-07,2.078244e-07,2.071908e-07,2.069513e-07,2.065230e-07,2.060647e-07,2.058480e-07,2.051663e-07,2.042575e-07,2.033399e-07,2.024148e-07,2.014835e-07,2.005472e-07,1.996069e-07,1.986637e-07,1.977186e-07,1.967725e-07,1.958261e-07,1.948804e-07,1.939359e-07,1.929933e-07,1.920533e-07,1.911165e-07,1.901834e-07,1.892544e-07,1.883301e-07,1.874108e-07,1.864969e-07,1.855889e-07,1.846869e-07,1.837913e-07,1.829025e-07
0.000000e+00,4.867668e-10,1.348864e-09,5.957336e-09,1.560613e-08,2.412132e-08,6.113111e-08,6.320165e-08,1.318101e-07,1.575840e-07,2.395430e-07,3.275282e-07,3.975409e-07,5.980303e-07,6.182955e-07,9.135088e-07,9.963319e-07,1.289624e-06,1.535079e-06,1.744351e-06,2.202146e-06,2.268280e-06,2.849604e-06,2.971769e-06,3.477477e-06,3.819328e-06,4.142961e-06,4.725647e-06,4.838741e-06,5.558564e-06,5.675584e-06,6.296790e-06,6.656116e-06,7.048139e-06,7.655267e-06,7.807562e-06,8.570220e-06,8.661735e-06,9.331509e-06,9.664916e-06,1.008710e-05,1.065508e-05,1.083302e-05,1.156564e-05,1.162358e-05,1.228178e-05,1.256299e-05,1.297866e-05,1.346716e-05,1.365395e-05,1.430574e-05,1.433130e-05,1.493253e-05,1.515182e-05,1.553316e-05,1.592625e-05,1.610687e-05,1.665318e-05,1.717189e-05,1.733204e-05,1.766302e-05,1.796299e-05,1.812683e-05,1.854676e-05,1.856373e-05,1.897425e-05,1.908456e-05,1.935907e-05,1.957794e-05,1.971894e-05,2.002867e-05,2.005466e-05,2.036711e-05,2.043874e-05,2.065719e-05,2.081020e-05,2.092581e-05,2.114520e-05,2.117392e-05,2.140241e-05,2.144584e-05,2.161222e-05,2.171423e-05,2.180423e-05,2.195241e-05,2.197933e-05,2.213836e-05,2.216237e-05,2.228217e-05,2.234602e-05,2.241154e-05,2.250517e-05,2.252725e-05,2.263005e-05,2.264155e-05,2.272064e-05,2.275681e-05,2.279971e-05,2.285250e-05,2.286791e-05,2.292586e-05,2.293007e-05,2.297415e-05,2.299089e-05,2.301335e-05,2.303625e-05,2.304400e-05,2.306660e-05,2.306734e-05,2.308164e-05,2.308530e-05,2.308959e-05,2.309117e-05,2.309088e-05,2.308592e-05,2.307512e-05,2.307049e-05,2.305884e-05,2.304571e-05,2.303743e-05,2.301237e-05,2.301124e-05,2.298057e-05,2.297122e-05,2.294573e-05,2.292294e-05,2.290701e-05,2.286817e-05,2.286466e-05,2.281895e-05,2.280750e-05,2.277011e-05,2.274148e-05,2.271838e-05,2.267062e-05,2.266396e-05,2.260706e-05,2.259540e-05,2.254788e-05,2.251626e-05,2.248658e-05,2.243359e-05,2.242335e-05,2.235835e-05,2.234779e-05,2.229172e-05,2.225921e-05,2.222362e-05,2.216816e-05,2.215417e-05,2.208351e-05,2.207495e-05,2.201175e-05,2.197986e-05,2.193902e-05,2.188315e-05,2.186541e-05,2.179104e-05,2.178506e-05,2.171599e-05,2.168580e-05,2.164035e-05,2.158558e-05,2.156422e-05,2.148767e-05,2.148460e-05,2.141077e-05,2.138301e-05,2.133359e-05,2.128099e-05,2.125621e-05,2.117868e-05,2.107622e-05,2.097373e-05,2.087133e-05,2.076912e-05,2.066721e-05,2.056568e-05,2.046461e-05,2.036407e-05,2.026414e-05,2.016488e-05,2.006634e-05,1.996857e-05,1.987163e-05,1.977554e-05,1.968036e-05,1.958610e-05,1.949281e-05,1.940051e-05,1.930922e-05,1.921897e-05,1.912976e-05,1.904162e-05,1.895456e-05,1.886859e-05
0.000000e+00,1.052797e-10,2.442922e-10,8.521886e-10,1.952205e-09,2.855784e-09,6.513534e-09,6.710807e-09,1.302639e-08,1.532358e-08,2.245948e-08,2.991366e-08,3.573208e-08,5.198896e-08,5.360550e-08,7.676465e-08,8.316128e-08,1.055821e-07,1.241488e-07,1.398770e-07,1.740255e-07,1.789322e-07,2.217933e-07,2.307397e-07,2.675519e-07,2.922347e-07,3.154530e-07,3.568945e-07,3.648844e-07,4.153394e-07,4.234775e-07,4.663849e-07,4.909837e-07,5.176427e-07,5.585763e-07,5.687793e-07,6.195015e-07,6.255478e-07,6.695541e-07,6.913074e-07,7.187180e-07,7.553735e-07,7.668088e-07,8.136741e-07,8.173666e-07,8.591917e-07,8.769992e-07,9.032663e-07,9.340655e-07,9.458265e-07,9.868224e-07,9.884292e-07,1.026222e-06,1.040012e-06,1.064009e-06,1.088781e-06,1.100180e-06,1.134743e-06,1.167715e-06,1.177933e-06,1.199118e-06,1.218407e-06,1.228984e-06,1.256239e-06,1.257345e-06,1.284239e-06,1.291512e-06,1.309706e-06,1.324319e-06,1.333789e-06,1.354760e-06,1.356531e-06,1.377976e-06,1.382935e-06,1.398169e-06,1.408946e-06,1.417154e-06,1.432897e-06,1.434975e-06,1.451679e-06,1.454889e-06,1.467306e-06,1.475022e-06,1.481902e-06,1.493394e-06,1.495506e-06,1.508161e-06,1.510100e-06,1.519905e-06,1.525230e-06,1.530777e-06,1.538873e-06,1.540816e-06,1.550058e-06,1.551115e-06,1.558539e-06,1.562038e-06,1.566292e-06,1.571719e-06,1.573352e-06,1.579751e-06,1.580235e-06,1.585519e-06,1.587657e-06,1.590687e-06,1.594053e-06,1.595284e-06,1.599337e-06,1.599488e-06,1.602874e-06,1.604026e-06,1.605921e-06,1.607725e-06,1.608502e-06,1.610642e-06,1.612363e-06,1.612829e-06,1.613688e-06,1.614338e-06,1.614638e-06,1.615216e-06,1.615234e-06,1.615494e-06,1.615510e-06,1.615439e-06,1.615261e-06,1.615085e-06,1.614511e-06,1.614451e-06,1.613552e-06,1.613299e-06,1.612405e-06,1.611660e-06,1.611025e-06,1.609628e-06,1.609425e-06,1.607621e-06,1.607237e-06,1.605626e-06,1.604517e-06,1.603451e-06,1.601495e-06,1.601110e-06,1.598613e-06,1.598200e-06,1.595972e-06,1.594657e-06,1.593198e-06,1.590889e-06,1.590299e-06,1.587287e-06,1.586918e-06,1.584170e-06,1.582767e-06,1.580956e-06,1.578454e-06,1.577654e-06,1.574272e-06,1.573998e-06,1.570817e-06,1.569417e-06,1.567297e-06,1.564725e-06,1.563718e-06,1.560086e-06,1.559940e-06,1.556408e-06,1.555074e-06,1.552689e-06,1.550140e-06,1.548936e-06,1.545152e-06,1.540120e-06,1.535055e-06,1.529967e-06,1.524864e-06,1.519756e-06,1.514651e-06,1.509554e-06,1.504474e-06,1.499416e-06,1.494385e-06,1.489388e-06,1.484428e-06,1.479510e-06,1.474638e-06,1.469815e-06,1.465045e-06,1.460331e-06,1.455674e-06,1.451077e-06,1.446543e-06,1.442073e-06,1.437669e-06,1.433331e-06,1.429061e-06
0.000000e+00,3.332985e-11,7.655689e-11,2.639125e-10,6.006009e-10,8.760640e-10,1.985566e-09,2.045216e-09,3.947739e-09,4.636931e-09,6.770438e-09,8.989410e-09,1.071592e-08,1.552053e-08,1.599707e-08,2.280953e-08,2.468836e-08,3.127371e-08,3.673382e-08,4.136752e-08,5.145735e-08,5.291020e-08,6.562417e-08,6.828146e-08,7.921845e-08,8.654833e-08,9.343618e-08,1.057037e-07,1.080641e-07,1.229263e-07,1.253157e-07,1.378746e-07,1.450425e-07,1.527824e-07,1.646054e-07,1.675402e-07,1.820534e-07,1.837746e-07,1.962410e-07,2.023623e-07,2.100347e-07,2.202196e-07,2.233785e-07,2.362277e-07,2.372332e-07,2.485481e-07,2.533223e-07,2.603147e-07,2.684343e-07,2.715112e-07,2.821285e-07,2.825411e-07,2.921639e-07,2.956345e-07,3.016198e-07,3.077223e-07,3.105034e-07,3.188250e-07,3.265980e-07,3.289721e-07,3.338381e-07,3.381999e-07,3.405623e-07,3.465494e-07,3.467892e-07,3.525377e-07,3.540643e-07,3.578277e-07,3.607898e-07,3.626789e-07,3.667716e-07,3.671112e-07,3.711444e-07,3.720552e-07,3.747979e-07,3.766851e-07,3.780906e-07,3.807045e-07,3.810411e-07,3.836674e-07,3.841552e-07,3.859868e-07,3.870772e-07,3.880162e-07,3.895086e-07,3.897718e-07,3.912690e-07,3.914856e-07,3.925229e-07,3.930426e-07,3.935477e-07,3.942118e-07,3.943571e-07,3.949641e-07,3.950239e-07,3.953812e-07,3.955077e-07,3.956203e-07,3.956899e-07,3.956927e-07,3.956091e-07,3.955960e-07,3.953799e-07,3.952496e-07,3.950147e-07,3.946728e-07,3.945228e-07,3.939131e-07,3.938864e-07,3.931937e-07,3.929095e-07,3.923728e-07,3.917602e-07,3.914576e-07,3.904553e-07,3.893727e-07,3.890104e-07,3.882161e-07,3.874398e-07,3.869915e-07,3.857571e-07,3.857045e-07,3.843606e-07,3.839748e-07,3.829648e-07,3.821044e-07,3.815219e-07,3.801567e-07,3.800364e-07,3.785125e-07,3.781415e-07,3.769543e-07,3.760681e-07,3.753655e-07,3.739449e-07,3.737497e-07,3.721103e-07,3.717798e-07,3.704502e-07,3.695799e-07,3.687726e-07,3.673518e-07,3.670801e-07,3.653754e-07,3.651017e-07,3.636609e-07,3.628351e-07,3.619389e-07,3.605573e-07,3.602114e-07,3.584806e-07,3.582727e-07,3.567482e-07,3.559859e-07,3.550160e-07,3.537007e-07,3.532856e-07,3.515585e-07,3.514206e-07,3.498362e-07,3.491489e-07,3.481199e-07,3.468886e-07,3.464108e-07,3.447101e-07,3.446422e-07,3.430187e-07,3.424123e-07,3.413377e-07,3.402010e-07,3.396680e-07,3.380102e-07,3.358417e-07,3.336970e-07,3.315774e-07,3.294842e-07,3.274185e-07,3.253810e-07,3.233727e-07,3.213941e-07,3.194459e-07,3.175285e-07,3.156422e-07,3.137873e-07,3.119640e-07,3.101725e-07,3.084129e-07,3.066850e-07,3.049889e-07,3.033245e-07,3.016917e-07,3.000902e-07,2.985198e-07,2.969804e-07,2.954715e-07,2.939930e-07
0.000000e+00,1.325907e-11,3.012644e-11,1.020356e-10,2.289461e-10,3.314395e-10,7.365291e-10,7.580324e-10,1.432856e-09,1.672821e-09,2.403260e-09,3.145663e-09,3.712632e-09,5.248256e-09,5.397548e-09,7.482636e-09,8.043778e-09,9.974204e-09,1.154146e-08,1.285427e-08,1.567429e-08,1.607689e-08,1.956856e-08,2.029108e-08,2.323434e-08,2.517463e-08,2.696974e-08,3.008814e-08,3.067541e-08,3.426925e-08,3.482960e-08,3.769201e-08,3.926244e-08,4.090619e-08,4.331336e-08,4.389163e-08,4.664062e-08,4.695457e-08,4.915378e-08,5.018628e-08,5.143717e-08,5.302461e-08,5.350025e-08,5.535454e-08,5.549424e-08,5.701271e-08,5.762400e-08,5.848791e-08,5.944419e-08,5.979336e-08,6.094206e-08,6.098493e-08,6.194652e-08,6.227513e-08,6.281866e-08,6.334192e-08,6.356975e-08,6.421029e-08,6.475009e-08,6.490304e-08,6.519819e-08,6.544074e-08,6.556295e-08,6.584182e-08,6.585202e-08,6.607244e-08,6.612275e-08,6.623063e-08,6.629815e-08,6.633247e-08,6.638098e-08,6.638329e-08,6.638796e-08,6.638271e-08,6.635092e-08,6.631349e-08,6.627623e-08,6.618228e-08,6.616756e-08,6.602829e-08,6.599704e-08,6.586145e-08,6.576474e-08,6.566983e-08,6.549157e-08,6.545595e-08,6.522211e-08,6.518299e-08,6.497043e-08,6.484385e-08,6.470280e-08,6.447839e-08,6.442097e-08,6.412652e-08,6.409041e-08,6.382090e-08,6.368324e-08,6.350544e-08,6.325984e-08,6.318133e-08,6.284967e-08,6.282284e-08,6.251147e-08,6.237457e-08,6.216765e-08,6.191709e-08,6.181904e-08,6.146641e-08,6.145223e-08,6.111045e-08,6.098161e-08,6.075178e-08,6.050664e-08,6.039100e-08,6.002862e-08,5.966515e-08,5.954868e-08,5.930102e-08,5.906782e-08,5.893664e-08,5.858695e-08,5.857239e-08,5.820859e-08,5.810686e-08,5.784557e-08,5.762824e-08,5.748360e-08,5.715174e-08,5.712294e-08,5.676382e-08,5.667789e-08,5.640646e-08,5.620718e-08,5.605105e-08,5.574005e-08,5.569777e-08,5.534678e-08,5.527687e-08,5.499823e-08,5.481799e-08,5.465224e-08,5.436369e-08,5.430894e-08,5.396844e-08,5.391422e-08,5.363082e-08,5.346982e-08,5.329618e-08,5.303066e-08,5.296459e-08,5.263612e-08,5.259692e-08,5.231083e-08,5.216872e-08,5.198877e-08,5.174619e-08,5.166998e-08,5.135450e-08,5.132941e-08,5.104237e-08,5.091846e-08,5.073361e-08,5.051341e-08,5.042825e-08,5.012630e-08,5.011430e-08,4.982778e-08,4.972115e-08,4.953270e-08,4.933401e-08,4.924106e-08,4.895286e-08,4.857771e-08,4.820855e-08,4.784535e-08,4.748811e-08,4.713677e-08,4.679131e-08,4.645168e-08,4.611784e-08,4.578972e-08,4.546728e-08,4.515045e-08,4.483918e-08,4.453340e-08,4.423304e-08,4.393803e-08,4.364830e-08,4.336379e-08,4.308441e-08,4.281009e-08,4.254076e-08,4.227635e-08,4.201677e-08,4.176195e-08,4.151182e-08
0.000000e+00,2.710305e-10,6.774599e-10,2.574753e-09,6.165311e-09,9.184690e-09,2.176563e-08,2.245668e-08,4.509308e-08,5.353816e-08,8.034481e-08,1.090716e-07,1.318459e-07,1.960911e-07,2.024709e-07,2.923490e-07,3.165000e-07,3.985960e-07,4.638307e-07,5.174816e-07,6.301277e-07,6.459748e-07,7.818470e-07,8.097479e-07,9.233517e-07,9.986554e-07,1.068986e-06,1.193505e-06,1.217379e-06,1.367256e-06,1.391294e-06,1.517441e-06,1.589321e-06,1.666867e-06,1.785225e-06,1.814594e-06,1.959812e-06,1.977036e-06,2.101844e-06,2.163182e-06,2.240140e-06,2.342478e-06,2.374270e-06,2.503912e-06,2.514082e-06,2.628836e-06,2.677450e-06,2.748895e-06,2.832278e-06,2.864008e-06,2.974151e-06,2.978454e-06,3.079345e-06,3.116013e-06,3.179646e-06,3.245099e-06,3.275140e-06,3.365932e-06,3.452145e-06,3.478787e-06,3.533912e-06,3.583975e-06,3.611375e-06,3.681825e-06,3.684680e-06,3.753975e-06,3.772680e-06,3.819412e-06,3.856883e-06,3.881138e-06,3.934776e-06,3.939301e-06,3.994046e-06,4.006692e-06,4.045514e-06,4.072957e-06,4.093845e-06,4.133886e-06,4.139171e-06,4.181625e-06,4.189782e-06,4.221331e-06,4.240932e-06,4.258411e-06,4.287615e-06,4.292982e-06,4.325159e-06,4.330092e-06,4.355049e-06,4.368614e-06,4.382756e-06,4.403419e-06,4.408382e-06,4.432023e-06,4.434731e-06,4.453770e-06,4.462762e-06,4.473713e-06,4.487715e-06,4.491936e-06,4.508521e-06,4.509779e-06,4.523545e-06,4.529134e-06,4.537083e-06,4.545950e-06,4.549205e-06,4.559981e-06,4.560385e-06,4.569475e-06,4.572591e-06,4.577749e-06,4.582709e-06,4.584863e-06,4.590873e-06,4.595835e-06,4.597210e-06,4.599800e-06,4.601837e-06,4.602817e-06,4.604866e-06,4.604934e-06,4.606196e-06,4.606402e-06,4.606647e-06,4.606545e-06,4.606327e-06,4.605387e-06,4.605277e-06,4.603533e-06,4.603015e-06,4.601132e-06,4.599513e-06,4.598107e-06,4.594957e-06,4.594493e-06,4.590319e-06,4.589420e-06,4.585616e-06,4.582971e-06,4.580412e-06,4.575674e-06,4.574735e-06,4.568610e-06,4.567590e-06,4.562063e-06,4.558777e-06,4.555116e-06,4.549287e-06,4.547793e-06,4.540115e-06,4.539171e-06,4.532103e-06,4.528476e-06,4.523776e-06,4.517248e-06,4.515153e-06,4.506252e-06,4.505528e-06,4.497090e-06,4.493356e-06,4.487684e-06,4.480769e-06,4.478049e-06,4.468200e-06,4.467801e-06,4.458151e-06,4.454487e-06,4.447915e-06,4.440856e-06,4.437507e-06,4.426937e-06,4.412759e-06,4.398347e-06,4.383724e-06,4.368915e-06,4.353939e-06,4.338817e-06,4.323569e-06,4.308211e-06,4.292760e-06,4.277233e-06,4.261643e-06,4.246005e-06,4.230332e-06,4.214635e-06,4.198927e-06,4.183217e-06,4.167516e-06,4.151833e-06,4.136178e-06,4.120558e-06,4.104980e-06,4.089453e-06,4.073983e-06,4.058576e-06
0.000000e+00,5.792954e-11,1.353407e-10,4.719414e-10,1.072986e-09,1.560777e-09,3.497393e-09,3.600448e-09,6.843694e-09,8.000848e-09,1.153458e-08,1.514160e-08,1.790362e-08,2.538571e-08,2.611098e-08,3.613725e-08,3.879198e-08,4.775595e-08,5.484161e-08,6.065597e-08,7.283847e-08,7.454981e-08,8.919369e-08,9.219325e-08,1.043731e-07,1.124118e-07,1.198899e-07,1.330483e-07,1.355580e-07,1.512035e-07,1.536939e-07,1.666679e-07,1.739847e-07,1.818114e-07,1.936145e-07,1.965151e-07,2.106825e-07,2.123428e-07,2.242396e-07,2.299971e-07,2.371337e-07,2.464687e-07,2.493316e-07,2.608172e-07,2.617051e-07,2.715887e-07,2.756994e-07,2.816564e-07,2.884798e-07,2.910394e-07,2.997640e-07,3.000997e-07,3.078610e-07,3.106288e-07,3.153644e-07,3.201458e-07,3.223098e-07,3.287333e-07,3.346706e-07,3.364735e-07,3.401563e-07,3.434457e-07,3.452238e-07,3.497242e-07,3.499044e-07,3.542275e-07,3.553777e-07,3.582206e-07,3.604686e-07,3.619089e-07,3.650531e-07,3.653158e-07,3.684628e-07,3.691816e-07,3.713695e-07,3.728990e-07,3.740537e-07,3.762449e-07,3.765319e-07,3.788189e-07,3.792545e-07,3.809282e-07,3.819590e-07,3.828723e-07,3.843859e-07,3.846624e-07,3.863087e-07,3.865594e-07,3.878208e-07,3.885014e-07,3.892071e-07,3.902309e-07,3.904755e-07,3.916332e-07,3.917650e-07,3.926868e-07,3.931190e-07,3.936424e-07,3.943065e-07,3.945055e-07,3.952813e-07,3.953397e-07,3.959747e-07,3.962299e-07,3.965900e-07,3.969871e-07,3.971315e-07,3.976028e-07,3.976203e-07,3.980077e-07,3.981379e-07,3.983495e-07,3.985475e-07,3.986313e-07,3.988560e-07,3.990265e-07,3.990700e-07,3.991453e-07,3.991953e-07,3.992148e-07,3.992374e-07,3.992374e-07,3.992153e-07,3.992014e-07,3.991505e-07,3.990920e-07,3.990450e-07,3.989136e-07,3.989006e-07,3.987192e-07,3.986703e-07,3.985023e-07,3.983660e-07,3.982517e-07,3.980044e-07,3.979687e-07,3.976550e-07,3.975886e-07,3.973117e-07,3.971220e-07,3.969403e-07,3.966076e-07,3.965421e-07,3.961181e-07,3.960480e-07,3.956697e-07,3.954461e-07,3.951979e-07,3.948043e-07,3.947037e-07,3.941882e-07,3.941249e-07,3.936523e-07,3.934103e-07,3.930970e-07,3.926626e-07,3.925232e-07,3.919317e-07,3.918837e-07,3.913234e-07,3.910756e-07,3.906991e-07,3.902401e-07,3.900595e-07,3.894053e-07,3.893789e-07,3.887374e-07,3.884937e-07,3.880563e-07,3.875859e-07,3.873627e-07,3.866572e-07,3.857089e-07,3.847422e-07,3.837586e-07,3.827592e-07,3.817452e-07,3.807177e-07,3.796777e-07,3.786262e-07,3.775641e-07,3.764925e-07,3.754121e-07,3.743238e-07,3.732283e-07,3.721265e-07,3.710190e-07,3.699065e-07,3.687897e-07,3.676691e-07,3.665454e-07,3.654192e-07,3.642909e-07,3.631612e-07,3.620304e-07,3.608990e-07
0.000000e+00,1.206344e-09,3.479526e-09,1.651712e-08,4.568458e-08,7.244975e-08,1.938692e-07,2.008109e-07,4.350523e-07,5.242795e-07,8.096779e-07,1.116772e-06,1.360788e-06,2.056332e-06,2.126389e-06,3.144891e-06,3.430901e-06,4.449595e-06,5.312790e-06,6.058047e-06,7.718391e-06,7.961379e-06,1.012377e-05,1.058291e-05,1.249359e-05,1.378968e-05,1.501653e-05,1.721801e-05,1.764353e-05,2.033312e-05,2.076688e-05,2.305086e-05,2.435671e-05,2.576786e-05,2.792429e-05,2.845954e-05,3.110467e-05,3.141806e-05,3.368484e-05,3.479537e-05,3.618421e-05,3.802136e-05,3.858938e-05,4.088929e-05,4.106846e-05,4.307516e-05,4.391603e-05,4.514040e-05,4.655005e-05,4.708046e-05,4.889267e-05,4.896248e-05,5.057606e-05,5.115059e-05,5.213111e-05,5.311610e-05,5.355960e-05,5.486435e-05,5.604905e-05,5.640349e-05,5.711805e-05,5.774373e-05,5.807624e-05,5.889668e-05,5.892883e-05,5.968130e-05,5.987481e-05,6.033924e-05,6.069098e-05,6.090829e-05,6.135812e-05,6.139404e-05,6.180199e-05,6.188892e-05,6.213749e-05,6.229566e-05,6.240571e-05,6.259005e-05,6.261163e-05,6.276000e-05,6.278318e-05,6.285535e-05,6.288539e-05,6.290193e-05,6.290634e-05,6.290380e-05,6.286474e-05,6.285494e-05,6.278833e-05,6.273938e-05,6.267791e-05,6.256719e-05,6.253660e-05,6.236730e-05,6.234523e-05,6.217273e-05,6.207977e-05,6.195540e-05,6.177646e-05,6.171766e-05,6.146166e-05,6.144046e-05,6.118942e-05,6.107640e-05,6.090280e-05,6.068849e-05,6.060350e-05,6.029312e-05,6.028049e-05,5.997310e-05,5.985580e-05,5.964480e-05,5.941746e-05,5.930945e-05,5.896820e-05,5.862208e-05,5.851045e-05,5.827205e-05,5.804639e-05,5.791899e-05,5.757795e-05,5.756370e-05,5.720693e-05,5.710686e-05,5.684933e-05,5.663463e-05,5.649152e-05,5.616264e-05,5.613407e-05,5.577746e-05,5.569206e-05,5.542217e-05,5.522394e-05,5.506861e-05,5.475920e-05,5.471715e-05,5.436813e-05,5.429864e-05,5.402185e-05,5.384296e-05,5.367859e-05,5.339276e-05,5.333859e-05,5.300207e-05,5.294856e-05,5.266921e-05,5.251079e-05,5.234019e-05,5.207983e-05,5.201515e-05,5.169422e-05,5.165599e-05,5.137751e-05,5.123952e-05,5.106512e-05,5.083063e-05,5.075712e-05,5.045358e-05,5.042949e-05,5.015455e-05,5.003621e-05,4.986007e-05,4.965088e-05,4.957017e-05,4.928488e-05,4.927356e-05,4.900420e-05,4.890429e-05,4.872814e-05,4.854306e-05,4.845670e-05,4.818986e-05,4.784465e-05,4.750738e-05,4.717799e-05,4.685639e-05,4.654250e-05,4.623621e-05,4.593742e-05,4.564602e-05,4.536187e-05,4.508487e-05,4.481487e-05,4.455175e-05,4.429537e-05,4.404559e-05,4.380228e-05,4.356529e-05,4.333449e-05,4.310973e-05,4.289089e-05,4.267782e-05,4.247039e-05,4.226846e-05,4.207189e-05,4.188056e-05
0.000000e+00,1.478463e-09,4.140190e-09,1.860234e-08,4.928569e-08,7.654598e-08,1.957752e-07,2.024655e-07,4.247364e-07,5.084296e-07,7.749021e-07,1.060941e-06,1.287946e-06,1.930734e-06,1.994866e-06,2.906896e-06,3.155053e-06,4.008889e-06,4.698113e-06,5.271389e-06,6.491526e-06,6.664786e-06,8.164669e-06,8.475631e-06,9.751360e-06,1.060508e-05,1.140796e-05,1.284203e-05,1.311876e-05,1.486840e-05,1.515093e-05,1.664156e-05,1.749653e-05,1.842296e-05,1.984396e-05,2.019766e-05,2.195131e-05,2.215968e-05,2.367050e-05,2.441284e-05,2.534308e-05,2.657644e-05,2.695837e-05,2.850727e-05,2.862808e-05,2.998234e-05,3.055034e-05,3.137778e-05,3.233079e-05,3.268942e-05,3.391455e-05,3.396174e-05,3.505184e-05,3.543969e-05,3.610112e-05,3.676479e-05,3.706330e-05,3.794013e-05,3.873406e-05,3.897110e-05,3.944813e-05,3.986478e-05,4.008576e-05,4.062944e-05,4.065069e-05,4.114687e-05,4.127403e-05,4.157834e-05,4.180785e-05,4.194916e-05,4.224024e-05,4.226339e-05,4.252498e-05,4.258036e-05,4.273778e-05,4.283702e-05,4.290549e-05,4.301860e-05,4.303166e-05,4.311964e-05,4.313294e-05,4.317262e-05,4.318734e-05,4.319358e-05,4.318850e-05,4.318533e-05,4.315046e-05,4.314258e-05,4.309143e-05,4.305518e-05,4.301048e-05,4.293136e-05,4.290972e-05,4.279107e-05,4.277571e-05,4.265632e-05,4.259236e-05,4.250712e-05,4.238500e-05,4.234499e-05,4.217131e-05,4.215696e-05,4.198739e-05,4.191121e-05,4.179438e-05,4.165040e-05,4.159336e-05,4.138533e-05,4.137688e-05,4.117119e-05,4.109277e-05,4.095177e-05,4.079993e-05,4.072781e-05,4.050003e-05,4.026904e-05,4.019454e-05,4.003543e-05,3.988478e-05,3.979972e-05,3.957191e-05,3.956239e-05,3.932389e-05,3.925695e-05,3.908460e-05,3.894081e-05,3.884490e-05,3.862430e-05,3.860512e-05,3.836555e-05,3.830811e-05,3.812647e-05,3.799289e-05,3.788812e-05,3.767916e-05,3.765073e-05,3.741450e-05,3.736741e-05,3.717961e-05,3.705806e-05,3.694623e-05,3.675147e-05,3.671451e-05,3.648457e-05,3.644796e-05,3.625655e-05,3.614780e-05,3.603053e-05,3.585124e-05,3.580663e-05,3.558492e-05,3.555847e-05,3.536548e-05,3.526966e-05,3.514836e-05,3.498495e-05,3.493364e-05,3.472134e-05,3.470447e-05,3.451153e-05,3.442830e-05,3.430422e-05,3.415653e-05,3.409945e-05,3.389724e-05,3.388921e-05,3.369762e-05,3.362639e-05,3.350059e-05,3.336809e-05,3.330616e-05,3.311434e-05,3.286514e-05,3.262049e-05,3.238037e-05,3.214476e-05,3.191364e-05,3.168698e-05,3.146473e-05,3.124685e-05,3.103329e-05,3.082401e-05,3.061895e-05,3.041806e-05,3.022127e-05,3.002852e-05,2.983976e-05,2.965492e-05,2.947393e-05,2.929672e-05,2.912324e-05,2.895342e-05,2.878719e-05,2.862448e-05,2.846523e-05,2.830936e-05
0.000000e+00,1.803599e-10,4.453230e-10,1.662978e-09,3.929724e-09,5.810690e-09,1.346179e-08,1.387448e-08,2.703463e-08,3.179000e-08,4.644510e-08,6.156910e-08,7.324904e-08,1.053312e-07,1.084781e-07,1.527540e-07,1.647367e-07,2.060630e-07,2.397061e-07,2.679714e-07,3.291466e-07,3.379539e-07,4.155028e-07,4.318759e-07,5.001040e-07,5.467009e-07,5.911995e-07,6.722860e-07,6.881681e-07,7.903222e-07,8.070990e-07,8.969174e-07,9.494309e-07,1.007168e-06,1.097456e-06,1.120264e-06,1.235393e-06,1.249307e-06,1.351758e-06,1.403151e-06,1.468592e-06,1.557253e-06,1.585173e-06,1.700839e-06,1.710034e-06,1.814986e-06,1.860099e-06,1.927084e-06,2.006262e-06,2.036668e-06,2.143348e-06,2.147550e-06,2.246799e-06,2.283199e-06,2.346761e-06,2.412638e-06,2.443033e-06,2.535470e-06,2.623973e-06,2.651453e-06,2.708488e-06,2.760476e-06,2.788999e-06,2.862534e-06,2.865518e-06,2.938089e-06,2.957710e-06,3.006775e-06,3.046155e-06,3.071657e-06,3.128073e-06,3.132833e-06,3.190409e-06,3.203704e-06,3.244502e-06,3.273317e-06,3.295232e-06,3.337194e-06,3.342727e-06,3.387113e-06,3.395629e-06,3.428519e-06,3.448915e-06,3.467073e-06,3.497347e-06,3.502901e-06,3.536128e-06,3.541211e-06,3.566874e-06,3.580786e-06,3.595258e-06,3.616341e-06,3.621394e-06,3.645393e-06,3.648134e-06,3.667361e-06,3.676410e-06,3.687401e-06,3.701402e-06,3.705611e-06,3.722086e-06,3.723331e-06,3.736914e-06,3.742405e-06,3.750184e-06,3.758818e-06,3.761975e-06,3.772368e-06,3.772756e-06,3.781436e-06,3.784390e-06,3.789250e-06,3.793883e-06,3.795879e-06,3.801386e-06,3.805832e-06,3.807041e-06,3.809277e-06,3.810981e-06,3.811774e-06,3.813329e-06,3.813376e-06,3.814134e-06,3.814201e-06,3.814094e-06,3.813706e-06,3.813302e-06,3.811945e-06,3.811800e-06,3.809628e-06,3.809012e-06,3.806826e-06,3.804994e-06,3.803429e-06,3.799975e-06,3.799472e-06,3.794988e-06,3.794031e-06,3.790008e-06,3.787233e-06,3.784563e-06,3.779649e-06,3.778679e-06,3.772384e-06,3.771340e-06,3.765703e-06,3.762366e-06,3.758660e-06,3.752780e-06,3.751278e-06,3.743579e-06,3.742634e-06,3.735582e-06,3.731975e-06,3.727309e-06,3.720847e-06,3.718777e-06,3.710004e-06,3.709292e-06,3.701006e-06,3.697348e-06,3.691800e-06,3.685051e-06,3.682401e-06,3.672822e-06,3.672435e-06,3.663078e-06,3.659532e-06,3.653182e-06,3.646372e-06,3.643145e-06,3.632980e-06,3.619384e-06,3.605607e-06,3.591671e-06,3.577598e-06,3.563407e-06,3.549117e-06,3.534744e-06,3.520304e-06,3.505812e-06,3.491282e-06,3.476727e-06,3.462159e-06,3.447590e-06,3.433029e-06,3.418486e-06,3.403972e-06,3.389493e-06,3.375058e-06,3.360675e-06,3.346349e-06,3.332088e-06,3.317897e-06,3.303781e-06,3.289746e-06
0.000000e+00,4.039215e-10,1.171758e-09,5.625169e-09,1.570481e-08,2.502341e-08,6.767098e-08,7.012027e-08,1.530799e-07,1.847611e-07,2.861349e-07,3.950737e-07,4.814333e-07,7.263016e-07,7.508488e-07,1.105171e-06,1.203814e-06,1.552343e-06,1.844762e-06,2.095683e-06,2.652284e-06,2.733706e-06,3.461474e-06,3.617216e-06,4.272156e-06,4.723931e-06,5.158012e-06,5.954222e-06,6.110823e-06,7.122046e-06,7.288677e-06,8.182877e-06,8.707060e-06,9.284321e-06,1.018861e-05,1.041730e-05,1.157278e-05,1.171253e-05,1.274197e-05,1.325856e-05,1.391642e-05,1.480763e-05,1.508822e-05,1.625005e-05,1.634236e-05,1.739534e-05,1.784750e-05,1.851829e-05,1.931013e-05,1.961387e-05,2.067788e-05,2.071973e-05,2.170686e-05,2.206817e-05,2.269809e-05,2.334949e-05,2.364952e-05,2.455970e-05,2.542774e-05,2.569653e-05,2.625321e-05,2.675916e-05,2.703611e-05,2.774794e-05,2.777676e-05,2.847580e-05,2.866418e-05,2.913407e-05,2.950989e-05,2.975262e-05,3.028762e-05,3.033263e-05,3.087541e-05,3.100028e-05,3.138231e-05,3.165104e-05,3.185477e-05,3.224318e-05,3.229422e-05,3.270213e-05,3.278006e-05,3.307995e-05,3.326500e-05,3.342911e-05,3.370129e-05,3.375102e-05,3.404705e-05,3.409210e-05,3.431853e-05,3.444050e-05,3.456674e-05,3.474940e-05,3.479293e-05,3.499829e-05,3.502159e-05,3.518395e-05,3.525969e-05,3.535101e-05,3.546618e-05,3.550052e-05,3.563346e-05,3.564340e-05,3.575077e-05,3.579353e-05,3.585337e-05,3.591860e-05,3.594210e-05,3.601776e-05,3.602053e-05,3.608114e-05,3.610109e-05,3.613296e-05,3.616194e-05,3.617390e-05,3.620462e-05,3.622575e-05,3.623058e-05,3.623786e-05,3.624113e-05,3.624150e-05,3.623753e-05,3.623721e-05,3.622547e-05,3.622092e-05,3.620676e-05,3.619237e-05,3.618152e-05,3.615289e-05,3.615016e-05,3.611309e-05,3.610338e-05,3.607067e-05,3.604471e-05,3.602325e-05,3.597767e-05,3.597118e-05,3.591477e-05,3.590299e-05,3.585431e-05,3.582137e-05,3.579009e-05,3.573343e-05,3.572237e-05,3.565141e-05,3.563977e-05,3.557743e-05,3.554092e-05,3.550068e-05,3.543741e-05,3.542135e-05,3.533965e-05,3.532969e-05,3.525577e-05,3.521821e-05,3.516988e-05,3.510337e-05,3.508216e-05,3.499276e-05,3.498554e-05,3.490184e-05,3.486507e-05,3.480953e-05,3.474229e-05,3.471598e-05,3.462130e-05,3.461749e-05,3.452562e-05,3.449095e-05,3.442905e-05,3.436294e-05,3.433171e-05,3.423367e-05,3.410339e-05,3.397229e-05,3.384056e-05,3.370838e-05,3.357590e-05,3.344329e-05,3.331067e-05,3.317817e-05,3.304592e-05,3.291402e-05,3.278258e-05,3.265168e-05,3.252140e-05,3.239184e-05,3.226305e-05,3.213511e-05,3.200807e-05,3.188200e-05,3.175693e-05,3.163291e-05,3.150999e-05,3.138820e-05,3.126757e-05,3.114814e-05
0.000000e+00,2.682685e-11,6.175104e-11,2.128755e-10,4.835974e-10,7.045769e-10,1.592428e-09,1.640109e-09,3.160383e-09,3.711264e-09,5.417731e-09,7.193008e-09,8.572368e-09,1.238183e-08,1.275600e-08,1.799813e-08,1.940396e-08,2.418983e-08,2.800386e-08,3.114741e-08,3.776065e-08,3.869178e-08,4.667513e-08,4.831343e-08,5.497578e-08,5.938216e-08,6.348863e-08,7.073408e-08,7.211925e-08,8.078148e-08,8.216503e-08,8.939714e-08,9.349531e-08,9.789654e-08,1.045713e-07,1.062191e-07,1.143138e-07,1.152678e-07,1.221390e-07,1.254882e-07,1.296626e-07,1.351637e-07,1.368605e-07,1.437168e-07,1.442502e-07,1.502221e-07,1.527249e-07,1.563727e-07,1.605820e-07,1.621698e-07,1.676184e-07,1.678292e-07,1.727266e-07,1.744840e-07,1.775044e-07,1.805707e-07,1.819638e-07,1.861179e-07,1.899804e-07,1.911572e-07,1.935656e-07,1.957211e-07,1.968876e-07,1.998423e-07,1.999606e-07,2.027985e-07,2.035529e-07,2.054149e-07,2.068838e-07,2.078227e-07,2.098645e-07,2.100345e-07,2.120622e-07,2.125228e-07,2.139173e-07,2.148848e-07,2.156105e-07,2.169747e-07,2.171520e-07,2.185514e-07,2.188150e-07,2.198176e-07,2.204264e-07,2.209594e-07,2.218281e-07,2.219846e-07,2.229008e-07,2.230377e-07,2.237150e-07,2.240715e-07,2.244338e-07,2.249444e-07,2.250635e-07,2.256098e-07,2.256700e-07,2.260782e-07,2.262609e-07,2.264737e-07,2.267286e-07,2.268012e-07,2.270652e-07,2.270837e-07,2.272697e-07,2.273358e-07,2.274188e-07,2.274939e-07,2.275161e-07,2.275651e-07,2.275661e-07,2.275690e-07,2.275599e-07,2.275307e-07,2.274821e-07,2.274532e-07,2.273392e-07,2.271910e-07,2.271368e-07,2.270111e-07,2.268803e-07,2.268016e-07,2.265746e-07,2.265647e-07,2.263021e-07,2.262243e-07,2.260159e-07,2.258334e-07,2.257076e-07,2.254058e-07,2.253788e-07,2.250312e-07,2.249451e-07,2.246660e-07,2.244543e-07,2.242846e-07,2.239367e-07,2.238884e-07,2.234783e-07,2.233948e-07,2.230557e-07,2.228313e-07,2.226214e-07,2.222484e-07,2.221765e-07,2.217220e-07,2.216484e-07,2.212586e-07,2.210333e-07,2.207872e-07,2.204048e-07,2.203085e-07,2.198234e-07,2.197648e-07,2.193325e-07,2.191148e-07,2.188363e-07,2.184562e-07,2.183356e-07,2.178309e-07,2.177904e-07,2.173228e-07,2.171187e-07,2.168117e-07,2.164421e-07,2.162981e-07,2.157825e-07,2.157618e-07,2.152653e-07,2.150787e-07,2.147468e-07,2.143938e-07,2.142276e-07,2.137079e-07,2.130217e-07,2.123360e-07,2.116515e-07,2.109687e-07,2.102881e-07,2.096104e-07,2.089360e-07,2.082653e-07,2.075988e-07,2.069367e-07,2.062795e-07,2.056274e-07,2.049807e-07,2.043397e-07,2.037046e-07,2.030756e-07,2.024528e-07,2.018366e-07,2.012269e-07,2.006240e-07,2.000280e-07,1.994389e-07,1.988568e-07,1.982819e-07
0.000000e+00,2.038952e-07,6.104722e-07,3.124393e-06,9.230806e-06,1.516128e-05,4.423971e-05,4.597954e-05,1.078536e-04,1.326587e-04,2.151848e-04,3.080702e-04,3.841592e-04,6.092557e-04,6.324807e-04,9.790591e-04,1.079028e-03,1.443420e-03,1.762053e-03,2.044535e-03,2.699957e-03,2.799062e-03,3.719645e-03,3.924462e-03,4.814116e-03,5.453200e-03,6.085710e-03,7.290329e-03,7.533745e-03,9.154332e-03,9.429237e-03,1.094096e-02,1.185503e-02,1.288491e-02,1.454634e-02,1.497568e-02,1.720121e-02,1.747671e-02,1.954824e-02,2.061580e-02,2.200260e-02,2.393057e-02,2.454944e-02,2.717355e-02,2.738636e-02,2.985961e-02,3.094796e-02,3.259240e-02,3.458059e-02,3.535707e-02,3.813926e-02,3.825072e-02,4.092531e-02,4.192673e-02,4.370237e-02,4.557949e-02,4.645847e-02,4.918263e-02,5.186487e-02,5.271284e-02,5.449623e-02,5.614990e-02,5.706879e-02,5.947669e-02,5.957562e-02,6.201079e-02,6.267909e-02,6.436927e-02,6.574580e-02,6.664694e-02,6.866816e-02,6.884048e-02,7.094735e-02,7.143988e-02,7.296570e-02,7.405684e-02,7.489432e-02,7.651679e-02,7.673260e-02,7.848042e-02,7.881915e-02,8.013813e-02,8.096477e-02,8.170649e-02,8.295567e-02,8.318661e-02,8.457990e-02,8.479488e-02,8.588805e-02,8.648627e-02,8.711295e-02,8.803434e-02,8.825670e-02,8.932152e-02,8.944411e-02,9.030978e-02,9.072099e-02,9.122392e-02,9.187064e-02,9.206646e-02,9.283996e-02,9.289894e-02,9.354702e-02,9.381182e-02,9.419023e-02,9.461527e-02,9.477219e-02,9.529549e-02,9.531524e-02,9.576266e-02,9.591760e-02,9.617624e-02,9.642812e-02,9.653868e-02,9.685242e-02,9.711980e-02,9.719594e-02,9.734312e-02,9.746396e-02,9.752463e-02,9.766154e-02,9.766648e-02,9.777079e-02,9.779354e-02,9.783957e-02,9.786460e-02,9.787478e-02,9.787915e-02,9.787831e-02,9.785198e-02,9.784141e-02,9.779752e-02,9.775537e-02,9.771662e-02,9.762481e-02,9.761086e-02,9.748180e-02,9.745332e-02,9.733090e-02,9.724427e-02,9.715956e-02,9.700083e-02,9.696913e-02,9.676089e-02,9.672600e-02,9.653606e-02,9.642259e-02,9.629580e-02,9.609323e-02,9.604122e-02,9.577338e-02,9.574040e-02,9.549328e-02,9.536639e-02,9.520186e-02,9.497338e-02,9.490004e-02,9.458867e-02,9.456338e-02,9.426857e-02,9.413826e-02,9.394051e-02,9.369978e-02,9.360521e-02,9.326338e-02,9.324958e-02,9.291566e-02,9.278916e-02,9.256268e-02,9.231995e-02,9.220502e-02,9.184323e-02,9.136023e-02,9.087207e-02,9.037977e-02,8.988431e-02,8.938657e-02,8.888735e-02,8.838742e-02,8.788745e-02,8.738809e-02,8.688991e-02,8.639345e-02,8.589918e-02,8.540756e-02,8.491897e-02,8.443380e-02,8.395235e-02,8.347495e-02,8.300184e-02,8.253328e-02,8.206948e-02,8.161062e-02,8.115687e-02,8.070839e-02,8.026529e-02
0.000000e+00,5.609892e-12,1.282907e-11,4.403370e-11,1.000229e-10,1.457954e-10,3.299465e-10,3.398385e-10,6.549190e-10,7.688687e-10,1.121055e-09,1.486555e-09,1.770450e-09,2.558488e-09,2.636492e-09,3.748395e-09,4.053945e-09,5.121215e-09,6.002514e-09,6.748891e-09,8.374214e-09,8.608705e-09,1.067196e-08,1.110654e-08,1.291098e-08,1.413639e-08,1.530095e-08,1.740870e-08,1.781941e-08,2.044531e-08,2.087407e-08,2.315840e-08,2.448581e-08,2.593886e-08,2.819874e-08,2.876737e-08,3.162518e-08,3.196922e-08,3.449432e-08,3.575593e-08,3.735787e-08,3.952073e-08,4.020015e-08,4.300687e-08,4.322947e-08,4.576520e-08,4.685242e-08,4.846397e-08,5.036475e-08,5.109356e-08,5.364580e-08,5.374618e-08,5.611404e-08,5.698100e-08,5.849305e-08,6.005771e-08,6.077882e-08,6.296850e-08,6.506030e-08,6.570883e-08,6.705330e-08,6.827689e-08,6.894739e-08,7.067317e-08,7.074313e-08,7.244163e-08,7.289999e-08,7.404447e-08,7.496106e-08,7.555362e-08,7.686124e-08,7.697135e-08,7.830018e-08,7.860617e-08,7.954280e-08,8.020205e-08,8.070203e-08,8.165550e-08,8.178080e-08,8.278208e-08,8.297330e-08,8.370887e-08,8.416236e-08,8.456418e-08,8.522957e-08,8.535098e-08,8.607222e-08,8.618173e-08,8.673081e-08,8.702551e-08,8.732957e-08,8.776737e-08,8.787128e-08,8.835864e-08,8.841359e-08,8.879425e-08,8.897018e-08,8.918065e-08,8.944291e-08,8.952029e-08,8.981554e-08,8.983731e-08,9.006866e-08,9.015861e-08,9.028187e-08,9.041184e-08,9.045725e-08,9.059685e-08,9.060172e-08,9.070261e-08,9.073276e-08,9.077638e-08,9.080919e-08,9.081995e-08,9.083504e-08,9.082327e-08,9.081408e-08,9.078620e-08,9.074990e-08,9.072534e-08,9.064585e-08,9.064211e-08,9.053787e-08,9.050510e-08,9.041393e-08,9.033062e-08,9.027151e-08,9.012519e-08,9.011181e-08,8.993594e-08,8.989145e-08,8.974499e-08,8.963185e-08,8.953997e-08,8.934869e-08,8.932186e-08,8.909158e-08,8.904414e-08,8.885000e-08,8.872021e-08,8.859798e-08,8.837879e-08,8.833630e-08,8.806572e-08,8.802165e-08,8.778695e-08,8.765044e-08,8.750068e-08,8.726670e-08,8.720755e-08,8.690818e-08,8.687186e-08,8.660314e-08,8.646727e-08,8.629299e-08,8.605418e-08,8.597825e-08,8.565942e-08,8.563375e-08,8.533695e-08,8.520705e-08,8.501130e-08,8.477509e-08,8.468288e-08,8.435209e-08,8.433881e-08,8.401929e-08,8.389907e-08,8.368485e-08,8.345666e-08,8.334910e-08,8.301235e-08,8.256680e-08,8.212066e-08,8.167450e-08,8.122888e-08,8.078429e-08,8.034118e-08,7.989997e-08,7.946105e-08,7.902476e-08,7.859143e-08,7.816135e-08,7.773477e-08,7.731195e-08,7.689309e-08,7.647839e-08,7.606802e-08,7.566213e-08,7.526086e-08,7.486434e-08,7.447266e-08,7.408591e-08,7.370417e-08,7.332752e-08,7.295599e-08
0.000000e+00,2.764022e-08,8.229503e-08,4.164885e-07,1.218766e-06,1.992001e-06,5.748396e-06,5.972100e-06,1.389663e-05,1.706555e-05,2.760537e-05,3.948440e-05,4.923572e-05,7.818467e-05,8.117816e-05,1.258847e-04,1.387623e-04,1.854706e-04,2.258785e-04,2.612814e-04,3.417626e-04,3.537278e-04,4.624256e-04,4.860404e-04,5.864444e-04,6.565785e-04,7.245209e-04,8.503094e-04,8.752022e-04,1.036937e-03,1.063734e-03,1.208137e-03,1.293208e-03,1.387217e-03,1.535114e-03,1.572632e-03,1.762898e-03,1.785988e-03,1.956615e-03,2.042606e-03,2.152485e-03,2.302049e-03,2.349317e-03,2.546035e-03,2.561738e-03,2.741681e-03,2.819447e-03,2.935413e-03,3.073300e-03,3.126500e-03,3.314316e-03,3.321753e-03,3.498334e-03,3.563563e-03,3.678115e-03,3.797761e-03,3.853302e-03,4.023613e-03,4.188828e-03,4.240592e-03,4.348783e-03,4.448341e-03,4.503367e-03,4.646647e-03,4.652508e-03,4.796171e-03,4.835414e-03,4.934353e-03,5.014639e-03,5.067076e-03,5.184399e-03,5.194386e-03,5.316344e-03,5.344826e-03,5.433030e-03,5.496104e-03,5.544533e-03,5.638449e-03,5.650955e-03,5.752404e-03,5.772107e-03,5.848996e-03,5.897343e-03,5.940849e-03,6.014434e-03,6.028087e-03,6.110838e-03,6.123670e-03,6.189227e-03,6.225342e-03,6.263383e-03,6.319748e-03,6.333436e-03,6.399513e-03,6.407182e-03,6.461743e-03,6.487937e-03,6.520250e-03,6.562303e-03,6.575160e-03,6.626596e-03,6.630565e-03,6.674679e-03,6.693001e-03,6.719528e-03,6.749883e-03,6.761260e-03,6.799987e-03,6.801476e-03,6.835823e-03,6.848037e-03,6.868876e-03,6.889817e-03,6.899252e-03,6.927055e-03,6.952386e-03,6.959986e-03,6.975344e-03,6.988835e-03,6.996023e-03,7.013818e-03,7.014517e-03,7.030916e-03,7.035145e-03,7.045308e-03,7.053015e-03,7.057777e-03,7.067622e-03,7.068406e-03,7.077275e-03,7.079150e-03,7.084460e-03,7.087777e-03,7.090037e-03,7.093672e-03,7.094078e-03,7.096654e-03,7.096999e-03,7.097831e-03,7.097912e-03,7.097675e-03,7.096561e-03,7.096251e-03,7.093618e-03,7.093088e-03,7.089835e-03,7.087628e-03,7.084960e-03,7.080311e-03,7.079048e-03,7.072150e-03,7.071259e-03,7.064320e-03,7.060591e-03,7.055604e-03,7.048418e-03,7.046052e-03,7.035708e-03,7.034848e-03,7.024617e-03,7.019980e-03,7.012820e-03,7.003913e-03,7.000359e-03,6.987272e-03,6.986737e-03,6.973598e-03,6.968538e-03,6.959372e-03,6.949401e-03,6.944629e-03,6.929403e-03,6.908617e-03,6.887115e-03,6.864964e-03,6.842225e-03,6.818959e-03,6.795222e-03,6.771067e-03,6.746544e-03,6.721701e-03,6.696583e-03,6.671230e-03,6.645684e-03,6.619981e-03,6.594156e-03,6.568242e-03,6.542270e-03,6.516268e-03,6.490264e-03,6.464283e-03,6.438348e-03,6.412482e-03,6.386705e-03,6.361036e-03,6.335493e-03
0.000000e+00,1.571037e-10,3.649485e-10,1.284056e-09,2.990032e-09,4.431899e-09,1.062807e-08,1.097811e-08,2.297973e-08,2.769816e-08,4.334643e-08,6.087663e-08,7.504494e-08,1.150626e-07,1.189995e-07,1.734674e-07,1.878197e-07,2.359783e-07,2.737771e-07,3.046840e-07,3.693411e-07,3.784300e-07,4.564868e-07,4.725677e-07,5.383342e-07,5.822464e-07,6.235342e-07,6.973842e-07,7.116642e-07,8.022870e-07,8.169876e-07,8.949431e-07,9.399998e-07,9.891522e-07,1.065306e-06,1.084421e-06,1.180254e-06,1.191768e-06,1.276164e-06,1.318268e-06,1.371684e-06,1.443747e-06,1.466375e-06,1.559832e-06,1.567244e-06,1.651689e-06,1.687910e-06,1.741623e-06,1.805025e-06,1.829354e-06,1.914645e-06,1.918003e-06,1.997300e-06,2.026379e-06,2.077162e-06,2.129811e-06,2.154112e-06,2.228061e-06,2.298950e-06,2.320982e-06,2.366747e-06,2.408509e-06,2.431442e-06,2.490640e-06,2.493045e-06,2.551581e-06,2.567426e-06,2.607089e-06,2.638961e-06,2.659621e-06,2.705373e-06,2.709237e-06,2.756004e-06,2.766813e-06,2.799997e-06,2.823449e-06,2.841292e-06,2.875465e-06,2.879971e-06,2.916117e-06,2.923049e-06,2.949814e-06,2.966397e-06,2.981147e-06,3.005703e-06,3.010202e-06,3.037063e-06,3.041162e-06,3.061813e-06,3.072967e-06,3.084535e-06,3.101307e-06,3.105310e-06,3.124217e-06,3.126364e-06,3.141335e-06,3.148319e-06,3.156738e-06,3.167343e-06,3.170500e-06,3.182693e-06,3.183602e-06,3.193385e-06,3.197258e-06,3.202645e-06,3.208462e-06,3.210538e-06,3.217126e-06,3.217363e-06,3.222470e-06,3.224100e-06,3.226628e-06,3.228809e-06,3.229659e-06,3.231616e-06,3.232551e-06,3.232644e-06,3.232517e-06,3.232008e-06,3.231561e-06,3.229819e-06,3.229730e-06,3.227069e-06,3.226182e-06,3.223623e-06,3.221195e-06,3.219432e-06,3.214954e-06,3.214537e-06,3.208976e-06,3.207546e-06,3.202786e-06,3.199058e-06,3.196002e-06,3.189568e-06,3.188659e-06,3.180788e-06,3.179153e-06,3.172421e-06,3.167885e-06,3.163589e-06,3.155830e-06,3.154318e-06,3.144638e-06,3.143053e-06,3.134573e-06,3.129614e-06,3.124150e-06,3.115569e-06,3.113392e-06,3.102322e-06,3.100973e-06,3.090961e-06,3.085876e-06,3.079332e-06,3.070326e-06,3.067453e-06,3.055344e-06,3.054366e-06,3.043024e-06,3.038040e-06,3.030509e-06,3.021387e-06,3.017816e-06,3.004962e-06,3.004445e-06,2.991960e-06,2.987247e-06,2.978826e-06,2.969827e-06,2.965574e-06,2.952215e-06,2.934441e-06,2.916531e-06,2.898511e-06,2.880403e-06,2.862231e-06,2.844015e-06,2.825774e-06,2.807526e-06,2.789287e-06,2.771074e-06,2.752899e-06,2.734778e-06,2.716721e-06,2.698741e-06,2.680847e-06,2.663051e-06,2.645360e-06,2.627784e-06,2.610328e-06,2.593002e-06,2.575810e-06,2.558758e-06,2.541852e-06,2.525096e-06
0.000000e+00,1.610731e-09,4.730067e-09,2.328455e-08,6.653426e-08,1.074160e-07,3.012502e-07,3.126466e-07,7.115422e-07,8.695690e-07,1.392595e-06,1.979235e-06,2.458546e-06,3.862981e-06,4.006195e-06,6.091421e-06,6.673053e-06,8.716287e-06,1.040982e-05,1.184604e-05,1.497765e-05,1.542986e-05,1.941256e-05,2.025209e-05,2.373900e-05,2.610659e-05,2.835506e-05,3.241738e-05,3.320748e-05,3.824374e-05,3.906313e-05,4.341227e-05,4.592536e-05,4.866298e-05,5.289047e-05,5.394802e-05,5.922257e-05,5.985281e-05,6.444549e-05,6.671757e-05,6.957998e-05,7.340311e-05,7.459391e-05,7.945996e-05,7.984215e-05,8.415566e-05,8.598208e-05,8.866314e-05,9.178425e-05,9.296891e-05,9.706342e-05,9.722271e-05,1.009407e-04,1.022826e-04,1.045976e-04,1.069584e-04,1.080341e-04,1.112518e-04,1.142546e-04,1.151708e-04,1.170474e-04,1.187275e-04,1.196365e-04,1.219370e-04,1.220290e-04,1.242325e-04,1.248167e-04,1.262550e-04,1.273852e-04,1.281050e-04,1.296617e-04,1.297907e-04,1.313206e-04,1.316655e-04,1.327030e-04,1.334158e-04,1.339460e-04,1.349309e-04,1.350576e-04,1.360454e-04,1.362288e-04,1.369168e-04,1.373263e-04,1.376789e-04,1.382396e-04,1.383385e-04,1.389020e-04,1.389837e-04,1.393757e-04,1.395729e-04,1.397654e-04,1.400204e-04,1.400766e-04,1.403146e-04,1.403385e-04,1.404845e-04,1.405389e-04,1.405909e-04,1.406320e-04,1.406383e-04,1.406308e-04,1.406279e-04,1.405724e-04,1.405356e-04,1.404668e-04,1.403636e-04,1.403176e-04,1.401280e-04,1.401196e-04,1.399011e-04,1.398109e-04,1.396399e-04,1.394441e-04,1.393471e-04,1.390252e-04,1.386766e-04,1.385599e-04,1.383037e-04,1.380533e-04,1.379086e-04,1.375101e-04,1.374931e-04,1.370593e-04,1.369347e-04,1.366088e-04,1.363312e-04,1.361432e-04,1.357030e-04,1.356642e-04,1.351732e-04,1.350537e-04,1.346714e-04,1.343862e-04,1.341601e-04,1.337033e-04,1.336406e-04,1.331138e-04,1.330077e-04,1.325809e-04,1.323017e-04,1.320428e-04,1.315873e-04,1.315003e-04,1.309542e-04,1.308666e-04,1.304055e-04,1.301413e-04,1.298547e-04,1.294131e-04,1.293026e-04,1.287497e-04,1.286833e-04,1.281967e-04,1.279534e-04,1.276440e-04,1.272245e-04,1.270922e-04,1.265417e-04,1.264978e-04,1.259930e-04,1.257741e-04,1.254465e-04,1.250545e-04,1.249024e-04,1.243612e-04,1.243396e-04,1.238231e-04,1.236302e-04,1.232885e-04,1.229270e-04,1.227575e-04,1.222305e-04,1.215412e-04,1.208596e-04,1.201860e-04,1.195208e-04,1.188643e-04,1.182168e-04,1.175785e-04,1.169494e-04,1.163299e-04,1.157201e-04,1.151199e-04,1.145295e-04,1.139490e-04,1.133783e-04,1.128176e-04,1.122667e-04,1.117256e-04,1.111944e-04,1.106729e-04,1.101611e-04,1.096590e-04,1.091665e-04,1.086834e-04,1.082097e-04
0.000000e+00,4.055195e-11,9.333456e-11,3.244883e-10,7.492639e-10,1.105521e-09,2.616873e-09,2.701494e-09,5.569393e-09,6.684351e-09,1.036102e-08,1.448555e-08,1.785177e-08,2.759732e-08,2.857558e-08,4.239248e-08,4.609844e-08,5.863676e-08,6.852643e-08,7.661135e-08,9.345588e-08,9.581275e-08,1.159144e-07,1.200223e-07,1.366992e-07,1.477232e-07,1.580082e-07,1.762166e-07,1.797103e-07,2.016861e-07,2.052199e-07,2.238204e-07,2.344680e-07,2.460004e-07,2.637028e-07,2.681153e-07,2.900576e-07,2.926742e-07,3.117264e-07,3.211498e-07,3.330290e-07,3.489219e-07,3.538812e-07,3.742090e-07,3.758106e-07,3.939489e-07,4.016680e-07,4.130478e-07,4.263780e-07,4.314635e-07,4.491641e-07,4.498569e-07,4.661252e-07,4.720467e-07,4.823306e-07,4.929145e-07,4.977727e-07,5.124497e-07,5.263657e-07,5.306594e-07,5.395294e-07,5.475651e-07,5.519534e-07,5.631985e-07,5.636528e-07,5.746458e-07,5.775999e-07,5.849524e-07,5.908159e-07,5.945942e-07,6.028968e-07,6.035936e-07,6.119738e-07,6.138955e-07,6.197583e-07,6.238663e-07,6.269708e-07,6.328634e-07,6.336349e-07,6.397739e-07,6.409407e-07,6.454108e-07,6.481511e-07,6.505681e-07,6.545457e-07,6.552678e-07,6.595312e-07,6.601742e-07,6.633790e-07,6.650843e-07,6.668313e-07,6.693214e-07,6.699075e-07,6.726260e-07,6.729291e-07,6.750050e-07,6.759486e-07,6.770616e-07,6.784192e-07,6.788123e-07,6.802730e-07,6.803778e-07,6.814589e-07,6.818596e-07,6.823846e-07,6.828977e-07,6.830639e-07,6.835102e-07,6.835233e-07,6.837361e-07,6.837658e-07,6.837538e-07,6.836529e-07,6.835749e-07,6.832105e-07,6.826711e-07,6.824632e-07,6.819667e-07,6.814338e-07,6.811070e-07,6.801440e-07,6.801011e-07,6.789576e-07,6.786139e-07,6.776849e-07,6.768626e-07,6.762909e-07,6.749078e-07,6.747831e-07,6.731686e-07,6.727661e-07,6.714543e-07,6.704531e-07,6.696466e-07,6.679835e-07,6.677517e-07,6.657755e-07,6.653709e-07,6.637234e-07,6.626282e-07,6.616009e-07,6.597671e-07,6.594129e-07,6.571642e-07,6.567991e-07,6.548593e-07,6.537344e-07,6.525027e-07,6.505828e-07,6.500983e-07,6.476501e-07,6.473535e-07,6.451617e-07,6.440550e-07,6.426366e-07,6.406952e-07,6.400783e-07,6.374897e-07,6.372815e-07,6.348740e-07,6.338208e-07,6.322340e-07,6.303196e-07,6.295722e-07,6.268914e-07,6.267838e-07,6.241939e-07,6.232191e-07,6.214819e-07,6.196306e-07,6.187577e-07,6.160232e-07,6.124014e-07,6.087694e-07,6.051309e-07,6.014897e-07,5.978490e-07,5.942120e-07,5.905814e-07,5.869601e-07,5.833503e-07,5.797543e-07,5.761743e-07,5.726120e-07,5.690694e-07,5.655479e-07,5.620490e-07,5.585742e-07,5.551246e-07,5.517013e-07,5.483054e-07,5.449377e-07,5.415990e-07,5.382902e-07,5.350119e-07,5.317646e-07
0.000000e+00,7.608304e-10,2.103337e-09,9.246650e-09,2.412163e-08,3.719305e-08,9.359203e-08,9.673059e-08,1.998926e-07,2.382633e-07,3.590092e-07,4.865770e-07,5.865931e-07,8.656282e-07,8.932229e-07,1.283083e-06,1.388690e-06,1.751718e-06,2.045007e-06,2.289401e-06,2.811223e-06,2.885507e-06,3.530237e-06,3.664218e-06,4.214627e-06,4.583361e-06,4.930220e-06,5.549490e-06,5.668908e-06,6.422945e-06,6.544522e-06,7.185057e-06,7.551754e-06,7.948573e-06,8.556363e-06,8.707528e-06,9.456731e-06,9.545763e-06,1.019178e-05,1.050975e-05,1.090904e-05,1.144045e-05,1.160561e-05,1.227924e-05,1.233209e-05,1.292829e-05,1.318074e-05,1.355158e-05,1.398400e-05,1.414841e-05,1.471841e-05,1.474065e-05,1.526150e-05,1.545045e-05,1.577784e-05,1.611386e-05,1.626780e-05,1.673186e-05,1.717063e-05,1.730580e-05,1.758480e-05,1.783731e-05,1.797513e-05,1.832813e-05,1.834239e-05,1.868742e-05,1.878015e-05,1.901102e-05,1.919525e-05,1.931405e-05,1.957536e-05,1.959732e-05,1.986165e-05,1.992237e-05,2.010786e-05,2.023812e-05,2.033674e-05,2.052442e-05,2.054905e-05,2.074554e-05,2.078301e-05,2.092695e-05,2.101556e-05,2.109398e-05,2.122368e-05,2.124732e-05,2.138760e-05,2.140888e-05,2.151548e-05,2.157264e-05,2.163156e-05,2.171632e-05,2.173642e-05,2.183063e-05,2.184124e-05,2.191472e-05,2.194865e-05,2.198921e-05,2.203971e-05,2.205460e-05,2.211136e-05,2.211555e-05,2.215995e-05,2.217719e-05,2.220080e-05,2.222565e-05,2.223432e-05,2.226091e-05,2.226184e-05,2.228096e-05,2.228664e-05,2.229482e-05,2.230088e-05,2.230283e-05,2.230534e-05,2.230265e-05,2.230074e-05,2.229505e-05,2.228776e-05,2.228285e-05,2.226705e-05,2.226631e-05,2.224569e-05,2.223922e-05,2.222123e-05,2.220482e-05,2.219318e-05,2.216439e-05,2.216176e-05,2.212718e-05,2.211843e-05,2.208964e-05,2.206740e-05,2.204934e-05,2.201173e-05,2.200646e-05,2.196117e-05,2.195184e-05,2.191365e-05,2.188810e-05,2.186404e-05,2.182088e-05,2.181251e-05,2.175918e-05,2.175050e-05,2.170421e-05,2.167727e-05,2.164771e-05,2.160150e-05,2.158981e-05,2.153062e-05,2.152344e-05,2.147026e-05,2.144336e-05,2.140883e-05,2.136148e-05,2.134642e-05,2.128314e-05,2.127804e-05,2.121906e-05,2.119323e-05,2.115428e-05,2.110725e-05,2.108887e-05,2.102292e-05,2.102027e-05,2.095648e-05,2.093246e-05,2.088964e-05,2.084398e-05,2.082245e-05,2.075497e-05,2.066556e-05,2.057587e-05,2.048602e-05,2.039611e-05,2.030625e-05,2.021652e-05,2.012700e-05,2.003778e-05,1.994892e-05,1.986050e-05,1.977256e-05,1.968517e-05,1.959837e-05,1.951221e-05,1.942674e-05,1.934199e-05,1.925799e-05,1.917478e-05,1.909238e-05,1.901082e-05,1.893013e-05,1.885032e-05,1.877140e-05,1.869341e-05
0.000000e+00,1.168615e-06,3.494535e-06,1.784054e-05,5.259912e-05,8.630328e-05,2.512907e-04,2.611557e-04,6.119587e-04,7.526675e-04,1.221394e-03,1.750244e-03,2.184520e-03,3.474330e-03,3.607782e-03,5.604490e-03,6.181414e-03,8.283295e-03,1.011574e-02,1.173349e-02,1.545777e-02,1.601725e-02,2.117107e-02,2.230793e-02,2.721068e-02,3.070169e-02,3.413539e-02,4.062601e-02,4.193085e-02,5.057080e-02,5.202923e-02,6.001827e-02,6.482652e-02,7.022656e-02,7.890402e-02,8.114027e-02,9.269638e-02,9.412305e-02,1.048256e-01,1.103249e-01,1.174535e-01,1.273364e-01,1.305023e-01,1.438919e-01,1.449754e-01,1.575416e-01,1.630564e-01,1.713714e-01,1.813962e-01,1.853028e-01,1.992604e-01,1.998182e-01,2.131726e-01,2.181568e-01,2.269722e-01,2.362597e-01,2.405971e-01,2.539906e-01,2.671016e-01,2.712299e-01,2.798850e-01,2.878759e-01,2.923012e-01,3.038440e-01,3.043165e-01,3.159023e-01,3.190661e-01,3.270354e-01,3.334900e-01,3.376973e-01,3.470781e-01,3.478741e-01,3.575564e-01,3.598058e-01,3.667381e-01,3.716603e-01,3.754170e-01,3.826390e-01,3.835937e-01,3.912718e-01,3.927481e-01,3.984572e-01,4.020014e-01,4.051577e-01,4.104185e-01,4.113831e-01,4.171447e-01,4.180243e-01,4.224549e-01,4.248474e-01,4.273272e-01,4.309194e-01,4.317760e-01,4.358162e-01,4.362743e-01,4.394633e-01,4.409475e-01,4.427329e-01,4.449751e-01,4.456409e-01,4.482032e-01,4.483937e-01,4.504356e-01,4.512397e-01,4.523539e-01,4.535494e-01,4.539737e-01,4.553102e-01,4.553580e-01,4.563784e-01,4.567001e-01,4.571929e-01,4.576091e-01,4.577679e-01,4.581171e-01,4.582538e-01,4.582549e-01,4.581910e-01,4.580519e-01,4.579411e-01,4.575360e-01,4.575158e-01,4.569267e-01,4.567339e-01,4.561848e-01,4.556707e-01,4.553005e-01,4.543698e-01,4.542838e-01,4.531444e-01,4.528536e-01,4.518912e-01,4.511430e-01,4.505330e-01,4.492575e-01,4.490780e-01,4.475341e-01,4.472153e-01,4.459086e-01,4.450334e-01,4.442085e-01,4.427278e-01,4.424406e-01,4.406111e-01,4.403131e-01,4.387260e-01,4.378031e-01,4.367909e-01,4.352103e-01,4.348110e-01,4.327913e-01,4.325465e-01,4.307366e-01,4.298226e-01,4.286513e-01,4.270484e-01,4.265394e-01,4.244049e-01,4.242332e-01,4.222514e-01,4.213854e-01,4.200823e-01,4.185128e-01,4.179009e-01,4.157101e-01,4.156223e-01,4.135127e-01,4.127206e-01,4.113114e-01,4.098135e-01,4.091085e-01,4.069063e-01,4.040041e-01,4.011112e-01,3.982317e-01,3.953691e-01,3.925267e-01,3.897074e-01,3.869139e-01,3.841484e-01,3.814130e-01,3.787095e-01,3.760395e-01,3.734044e-01,3.708052e-01,3.682431e-01,3.657189e-01,3.632333e-01,3.607867e-01,3.583798e-01,3.560127e-01,3.536857e-01,3.513990e-01,3.491525e-01,3.469463e-01,3.447803e-01
0.000000e+00,3.742844e-10,9.657324e-10,3.811131e-09,9.270389e-09,1.386667e-08,3.287648e-08,3.391267e-08,6.742126e-08,7.973372e-08,1.183043e-07,1.590406e-07,1.911063e-07,2.816644e-07,2.907286e-07,4.211463e-07,4.572117e-07,5.831328e-07,6.863954e-07,7.729442e-07,9.576891e-07,9.838787e-07,1.209032e-06,1.255247e-06,1.442781e-06,1.566284e-06,1.680919e-06,1.882021e-06,1.920297e-06,2.158466e-06,2.196322e-06,2.393436e-06,2.504587e-06,2.623545e-06,2.803182e-06,2.847391e-06,3.063796e-06,3.089217e-06,3.271797e-06,3.360452e-06,3.470633e-06,3.615264e-06,3.659738e-06,3.838724e-06,3.852598e-06,4.007371e-06,4.071913e-06,4.165605e-06,4.273110e-06,4.313476e-06,4.451141e-06,4.456438e-06,4.578845e-06,4.622438e-06,4.696898e-06,4.771846e-06,4.805665e-06,4.905548e-06,4.996975e-06,5.024517e-06,5.080385e-06,5.129767e-06,5.156226e-06,5.222325e-06,5.224942e-06,5.286971e-06,5.303199e-06,5.342738e-06,5.373363e-06,5.392653e-06,5.433745e-06,5.437110e-06,5.476485e-06,5.485219e-06,5.511136e-06,5.528604e-06,5.541400e-06,5.564653e-06,5.567590e-06,5.590002e-06,5.594055e-06,5.608909e-06,5.617443e-06,5.624573e-06,5.635400e-06,5.637233e-06,5.647115e-06,5.648452e-06,5.654427e-06,5.657081e-06,5.659362e-06,5.661721e-06,5.662102e-06,5.662814e-06,5.662771e-06,5.661654e-06,5.660589e-06,5.658767e-06,5.655500e-06,5.654286e-06,5.648337e-06,5.647801e-06,5.641034e-06,5.637758e-06,5.632485e-06,5.625614e-06,5.622789e-06,5.612040e-06,5.611589e-06,5.600323e-06,5.595883e-06,5.587717e-06,5.578677e-06,5.574298e-06,5.560134e-06,5.545288e-06,5.540403e-06,5.529821e-06,5.519622e-06,5.513788e-06,5.497912e-06,5.497241e-06,5.480227e-06,5.475385e-06,5.462791e-06,5.452145e-06,5.444975e-06,5.428282e-06,5.426818e-06,5.408355e-06,5.403882e-06,5.389621e-06,5.379023e-06,5.370646e-06,5.353773e-06,5.351460e-06,5.332091e-06,5.328197e-06,5.312563e-06,5.302354e-06,5.292901e-06,5.276296e-06,5.273125e-06,5.253259e-06,5.250073e-06,5.233319e-06,5.223728e-06,5.213325e-06,5.197302e-06,5.193294e-06,5.173240e-06,5.170833e-06,5.153179e-06,5.144353e-06,5.133124e-06,5.117894e-06,5.113087e-06,5.093082e-06,5.091483e-06,5.073117e-06,5.065145e-06,5.053205e-06,5.038905e-06,5.033354e-06,5.013573e-06,5.012783e-06,4.993871e-06,4.986799e-06,4.974255e-06,4.960969e-06,4.954732e-06,4.935310e-06,4.909836e-06,4.884560e-06,4.859493e-06,4.834647e-06,4.810030e-06,4.785651e-06,4.761518e-06,4.737636e-06,4.714012e-06,4.690652e-06,4.667558e-06,4.644736e-06,4.622188e-06,4.599918e-06,4.577927e-06,4.556217e-06,4.534790e-06,4.513646e-06,4.492785e-06,4.472210e-06,4.451918e-06,4.431910e-06,4.412185e-06,4.392743e-06
0.000000e+00,1.018246e-09,2.885706e-09,1.326176e-08,3.583046e-08,5.626184e-08,1.484222e-07,1.537050e-07,3.344973e-07,4.048392e-07,6.351835e-07,8.906314e-07,1.097478e-06,1.692888e-06,1.752574e-06,2.595559e-06,2.821285e-06,3.580369e-06,4.170619e-06,4.645355e-06,5.606832e-06,5.738097e-06,6.822907e-06,7.036813e-06,7.877988e-06,8.410358e-06,8.890415e-06,9.702013e-06,9.852279e-06,1.075846e-05,1.089803e-05,1.160549e-05,1.199035e-05,1.239113e-05,1.297461e-05,1.311419e-05,1.377450e-05,1.384955e-05,1.437279e-05,1.461678e-05,1.491070e-05,1.528058e-05,1.539063e-05,1.581554e-05,1.584726e-05,1.618883e-05,1.632450e-05,1.651414e-05,1.672078e-05,1.679525e-05,1.703596e-05,1.704480e-05,1.723999e-05,1.730515e-05,1.741086e-05,1.750980e-05,1.755187e-05,1.766613e-05,1.775649e-05,1.778078e-05,1.782554e-05,1.785966e-05,1.787566e-05,1.790790e-05,1.790893e-05,1.792726e-05,1.792995e-05,1.793234e-05,1.792966e-05,1.792568e-05,1.791033e-05,1.790861e-05,1.788230e-05,1.787473e-05,1.784780e-05,1.782525e-05,1.780603e-05,1.776390e-05,1.775780e-05,1.770384e-05,1.769242e-05,1.764480e-05,1.761228e-05,1.758125e-05,1.752475e-05,1.751369e-05,1.744258e-05,1.743091e-05,1.736834e-05,1.733169e-05,1.729132e-05,1.722792e-05,1.721185e-05,1.713022e-05,1.712029e-05,1.704671e-05,1.700943e-05,1.696155e-05,1.689586e-05,1.687496e-05,1.678713e-05,1.678006e-05,1.669826e-05,1.666245e-05,1.660850e-05,1.654341e-05,1.651800e-05,1.642690e-05,1.642325e-05,1.633533e-05,1.630227e-05,1.624339e-05,1.618073e-05,1.615121e-05,1.605886e-05,1.596644e-05,1.593686e-05,1.587403e-05,1.581493e-05,1.578171e-05,1.569323e-05,1.568955e-05,1.559760e-05,1.557191e-05,1.550594e-05,1.545109e-05,1.541460e-05,1.533091e-05,1.532365e-05,1.523312e-05,1.521146e-05,1.514306e-05,1.509284e-05,1.505350e-05,1.497514e-05,1.496449e-05,1.487605e-05,1.485843e-05,1.478821e-05,1.474279e-05,1.470101e-05,1.462826e-05,1.461445e-05,1.452857e-05,1.451490e-05,1.444339e-05,1.440276e-05,1.435892e-05,1.429187e-05,1.427519e-05,1.419219e-05,1.418228e-05,1.410996e-05,1.407402e-05,1.402849e-05,1.396710e-05,1.394781e-05,1.386791e-05,1.386155e-05,1.378881e-05,1.375739e-05,1.371051e-05,1.365464e-05,1.363302e-05,1.355634e-05,1.355329e-05,1.348048e-05,1.345337e-05,1.340544e-05,1.335488e-05,1.333122e-05,1.325782e-05,1.316219e-05,1.306799e-05,1.297523e-05,1.288389e-05,1.279397e-05,1.270546e-05,1.261835e-05,1.253264e-05,1.244831e-05,1.236536e-05,1.228377e-05,1.220352e-05,1.212461e-05,1.204701e-05,1.197072e-05,1.189572e-05,1.182200e-05,1.174953e-05,1.167830e-05,1.160830e-05,1.153951e-05,1.147190e-05,1.140548e-05,1.134020e-05
0.000000e+00,1.360196e-10,3.217610e-10,1.149314e-09,2.675961e-09,3.950214e-09,9.265803e-09,9.559195e-09,1.928458e-08,2.297170e-08,3.487235e-08,4.790946e-08,5.840853e-08,8.853511e-08,9.155455e-08,1.343725e-07,1.459360e-07,1.853459e-07,2.167414e-07,2.426016e-07,2.969994e-07,3.046631e-07,3.704961e-07,3.840458e-07,4.393483e-07,4.761403e-07,5.106142e-07,5.719493e-07,5.837572e-07,6.582713e-07,6.702879e-07,7.336682e-07,7.700330e-07,8.094763e-07,8.701166e-07,8.852470e-07,9.605589e-07,9.695468e-07,1.035026e-06,1.067434e-06,1.108304e-06,1.163012e-06,1.180090e-06,1.250127e-06,1.255647e-06,1.318199e-06,1.344838e-06,1.384134e-06,1.430208e-06,1.447799e-06,1.509094e-06,1.511495e-06,1.567951e-06,1.588534e-06,1.624330e-06,1.661244e-06,1.678216e-06,1.729609e-06,1.778530e-06,1.793667e-06,1.825011e-06,1.853498e-06,1.869096e-06,1.909214e-06,1.910839e-06,1.950300e-06,1.960949e-06,1.987545e-06,2.008855e-06,2.022640e-06,2.053092e-06,2.055659e-06,2.086673e-06,2.093826e-06,2.115756e-06,2.131226e-06,2.142980e-06,2.165458e-06,2.168419e-06,2.192144e-06,2.196690e-06,2.214227e-06,2.225083e-06,2.234735e-06,2.250795e-06,2.253737e-06,2.271299e-06,2.273979e-06,2.287483e-06,2.294781e-06,2.302353e-06,2.313342e-06,2.315967e-06,2.328383e-06,2.329796e-06,2.339658e-06,2.344271e-06,2.349845e-06,2.356891e-06,2.358995e-06,2.367159e-06,2.367770e-06,2.374383e-06,2.377021e-06,2.380715e-06,2.384746e-06,2.386198e-06,2.390874e-06,2.391045e-06,2.394785e-06,2.396013e-06,2.397968e-06,2.399737e-06,2.400462e-06,2.402302e-06,2.403521e-06,2.403786e-06,2.404154e-06,2.404265e-06,2.404231e-06,2.403809e-06,2.403781e-06,2.402835e-06,2.402484e-06,2.401418e-06,2.400354e-06,2.399558e-06,2.397476e-06,2.397279e-06,2.394605e-06,2.393907e-06,2.391559e-06,2.389699e-06,2.388163e-06,2.384901e-06,2.384438e-06,2.380402e-06,2.379560e-06,2.376076e-06,2.373718e-06,2.371477e-06,2.367416e-06,2.366623e-06,2.361530e-06,2.360694e-06,2.356213e-06,2.353586e-06,2.350688e-06,2.346128e-06,2.344969e-06,2.339069e-06,2.338350e-06,2.333002e-06,2.330282e-06,2.326779e-06,2.321953e-06,2.320412e-06,2.313913e-06,2.313388e-06,2.307292e-06,2.304612e-06,2.300559e-06,2.295648e-06,2.293724e-06,2.286796e-06,2.286517e-06,2.279783e-06,2.277240e-06,2.272695e-06,2.267835e-06,2.265538e-06,2.258321e-06,2.248713e-06,2.239027e-06,2.229276e-06,2.219476e-06,2.209637e-06,2.199772e-06,2.189892e-06,2.180006e-06,2.170123e-06,2.160254e-06,2.150404e-06,2.140583e-06,2.130797e-06,2.121052e-06,2.111355e-06,2.101710e-06,2.092123e-06,2.082599e-06,2.073141e-06,2.063753e-06,2.054439e-06,2.045203e-06,2.036047e-06,2.026973e-06
0.000000e+00,2.454250e-10,5.772219e-10,2.047295e-09,4.743284e-09,6.981904e-09,1.622210e-08,1.672780e-08,3.326317e-08,3.942827e-08,5.901319e-08,8.005768e-08,9.681171e-08,1.446270e-07,1.494328e-07,2.184946e-07,2.374948e-07,3.033384e-07,3.567803e-07,4.012656e-07,4.956452e-07,5.089900e-07,6.237106e-07,6.472984e-07,7.433242e-07,8.069202e-07,8.662601e-07,9.711863e-07,9.912873e-07,1.117389e-06,1.137605e-06,1.243694e-06,1.304167e-06,1.369446e-06,1.469201e-06,1.493983e-06,1.616739e-06,1.631326e-06,1.737232e-06,1.789426e-06,1.855061e-06,1.942627e-06,1.969900e-06,2.081493e-06,2.090273e-06,2.189639e-06,2.231898e-06,2.294192e-06,2.367188e-06,2.395052e-06,2.492156e-06,2.495961e-06,2.585471e-06,2.618136e-06,2.674995e-06,2.733714e-06,2.760745e-06,2.842756e-06,2.921078e-06,2.945371e-06,2.995773e-06,3.041707e-06,3.066912e-06,3.131933e-06,3.134574e-06,3.198840e-06,3.216237e-06,3.259796e-06,3.294817e-06,3.317530e-06,3.367880e-06,3.372135e-06,3.423702e-06,3.435636e-06,3.472323e-06,3.498298e-06,3.518089e-06,3.556075e-06,3.561093e-06,3.601425e-06,3.609178e-06,3.639175e-06,3.657815e-06,3.674434e-06,3.702189e-06,3.707288e-06,3.737823e-06,3.742499e-06,3.766123e-06,3.778938e-06,3.792271e-06,3.811695e-06,3.816349e-06,3.838434e-06,3.840953e-06,3.858603e-06,3.866890e-06,3.876932e-06,3.889677e-06,3.893494e-06,3.908360e-06,3.909478e-06,3.921598e-06,3.926453e-06,3.933276e-06,3.940755e-06,3.943460e-06,3.952211e-06,3.952533e-06,3.959593e-06,3.961926e-06,3.965663e-06,3.969071e-06,3.970480e-06,3.974098e-06,3.976573e-06,3.977132e-06,3.977957e-06,3.978292e-06,3.978298e-06,3.977692e-06,3.977648e-06,3.976051e-06,3.975441e-06,3.973554e-06,3.971642e-06,3.970201e-06,3.966396e-06,3.966033e-06,3.961092e-06,3.959796e-06,3.955417e-06,3.951933e-06,3.949046e-06,3.942892e-06,3.942015e-06,3.934359e-06,3.932756e-06,3.926113e-06,3.921603e-06,3.917309e-06,3.909505e-06,3.907978e-06,3.898150e-06,3.896533e-06,3.887854e-06,3.882754e-06,3.877119e-06,3.868232e-06,3.865970e-06,3.854435e-06,3.853025e-06,3.842536e-06,3.837192e-06,3.830299e-06,3.820786e-06,3.817745e-06,3.804897e-06,3.803857e-06,3.791775e-06,3.786455e-06,3.778400e-06,3.768624e-06,3.764791e-06,3.750966e-06,3.750409e-06,3.736943e-06,3.731849e-06,3.722739e-06,3.712984e-06,3.708369e-06,3.693850e-06,3.674480e-06,3.654908e-06,3.635163e-06,3.615274e-06,3.595268e-06,3.575171e-06,3.555005e-06,3.534794e-06,3.514557e-06,3.494315e-06,3.474085e-06,3.453885e-06,3.433730e-06,3.413635e-06,3.393615e-06,3.373681e-06,3.353845e-06,3.334120e-06,3.314514e-06,3.295037e-06,3.275698e-06,3.256504e-06,3.237463e-06,3.218582e-06
0.000000e+00,3.776831e-09,1.103411e-08,5.374324e-08,1.521306e-07,2.443952e-07,6.774963e-07,7.028252e-07,1.584880e-06,1.932700e-06,3.078160e-06,4.348646e-06,5.371609e-06,8.279725e-06,8.568953e-06,1.265049e-05,1.375207e-05,1.752415e-05,2.055766e-05,2.307791e-05,2.844018e-05,2.920162e-05,3.579107e-05,3.715601e-05,4.274635e-05,4.647518e-05,4.996973e-05,5.617401e-05,5.736484e-05,6.483724e-05,6.603386e-05,7.229615e-05,7.584639e-05,7.965652e-05,8.542170e-05,8.684119e-05,9.378262e-05,9.459644e-05,1.004242e-04,1.032394e-04,1.067207e-04,1.112540e-04,1.126383e-04,1.181544e-04,1.185779e-04,1.232560e-04,1.251795e-04,1.279393e-04,1.310539e-04,1.322077e-04,1.360712e-04,1.362175e-04,1.395442e-04,1.407023e-04,1.426449e-04,1.445513e-04,1.453941e-04,1.478140e-04,1.499276e-04,1.505431e-04,1.517581e-04,1.527917e-04,1.533284e-04,1.546113e-04,1.546603e-04,1.557750e-04,1.560510e-04,1.566924e-04,1.571558e-04,1.574308e-04,1.579670e-04,1.580076e-04,1.584385e-04,1.585219e-04,1.587381e-04,1.588534e-04,1.589195e-04,1.589911e-04,1.589949e-04,1.589751e-04,1.589606e-04,1.588700e-04,1.587846e-04,1.586885e-04,1.584828e-04,1.584386e-04,1.581275e-04,1.580725e-04,1.577619e-04,1.575687e-04,1.573475e-04,1.569844e-04,1.568896e-04,1.563930e-04,1.563310e-04,1.558620e-04,1.556185e-04,1.553005e-04,1.548555e-04,1.547120e-04,1.540995e-04,1.540496e-04,1.534661e-04,1.532074e-04,1.528142e-04,1.523348e-04,1.521462e-04,1.514643e-04,1.514368e-04,1.507704e-04,1.505180e-04,1.500663e-04,1.495824e-04,1.493535e-04,1.486335e-04,1.479076e-04,1.476743e-04,1.471772e-04,1.467077e-04,1.464432e-04,1.457362e-04,1.457067e-04,1.449686e-04,1.447618e-04,1.442298e-04,1.437865e-04,1.434910e-04,1.428120e-04,1.427530e-04,1.420165e-04,1.418400e-04,1.412819e-04,1.408717e-04,1.405500e-04,1.399084e-04,1.398211e-04,1.390957e-04,1.389511e-04,1.383743e-04,1.380008e-04,1.376572e-04,1.370585e-04,1.369448e-04,1.362374e-04,1.361247e-04,1.355352e-04,1.352001e-04,1.348386e-04,1.342855e-04,1.341478e-04,1.334629e-04,1.333812e-04,1.327843e-04,1.324877e-04,1.321120e-04,1.316054e-04,1.314462e-04,1.307870e-04,1.307346e-04,1.301347e-04,1.298756e-04,1.294891e-04,1.290287e-04,1.288506e-04,1.282191e-04,1.281940e-04,1.275947e-04,1.273717e-04,1.269775e-04,1.265619e-04,1.263675e-04,1.257647e-04,1.249802e-04,1.242084e-04,1.234494e-04,1.227030e-04,1.219694e-04,1.212485e-04,1.205401e-04,1.198443e-04,1.191610e-04,1.184900e-04,1.178312e-04,1.171847e-04,1.165501e-04,1.159274e-04,1.153165e-04,1.147172e-04,1.141294e-04,1.135528e-04,1.129875e-04,1.124332e-04,1.118897e-04,1.113568e-04,1.108345e-04,1.103226e-04
0.000000e+00,4.674736e-10,1.317329e-09,5.991673e-09,1.603371e-08,2.502437e-08,6.466349e-08,6.689561e-08,1.411415e-07,1.690698e-07,2.576979e-07,3.523258e-07,4.271762e-07,6.394184e-07,6.607183e-07,9.687641e-07,1.054666e-06,1.358080e-06,1.611743e-06,1.828105e-06,2.301783e-06,2.370225e-06,2.971306e-06,3.097391e-06,3.617939e-06,3.968252e-06,4.298520e-06,4.889402e-06,5.003493e-06,5.724899e-06,5.841380e-06,6.455928e-06,6.808466e-06,7.190635e-06,7.777514e-06,7.923794e-06,8.650831e-06,8.737470e-06,9.367800e-06,9.679192e-06,1.007135e-05,1.059535e-05,1.075871e-05,1.142763e-05,1.148030e-05,1.207636e-05,1.232988e-05,1.270355e-05,1.314126e-05,1.330827e-05,1.388988e-05,1.391266e-05,1.444804e-05,1.464320e-05,1.498261e-05,1.533267e-05,1.549366e-05,1.598140e-05,1.644618e-05,1.659012e-05,1.688842e-05,1.715985e-05,1.730862e-05,1.769181e-05,1.770735e-05,1.808521e-05,1.818735e-05,1.844282e-05,1.864793e-05,1.878082e-05,1.907503e-05,1.909987e-05,1.940063e-05,1.947016e-05,1.968375e-05,1.983484e-05,1.994989e-05,2.017056e-05,2.019970e-05,2.043380e-05,2.047879e-05,2.065282e-05,2.076096e-05,2.085737e-05,2.101844e-05,2.104803e-05,2.122539e-05,2.125257e-05,2.139000e-05,2.146465e-05,2.154241e-05,2.165591e-05,2.168315e-05,2.181271e-05,2.182753e-05,2.193160e-05,2.198066e-05,2.204029e-05,2.211636e-05,2.213924e-05,2.222889e-05,2.223568e-05,2.230967e-05,2.233959e-05,2.238199e-05,2.242904e-05,2.244624e-05,2.250281e-05,2.250491e-05,2.255205e-05,2.256805e-05,2.259432e-05,2.261926e-05,2.262996e-05,2.265930e-05,2.268263e-05,2.268888e-05,2.270027e-05,2.270870e-05,2.271249e-05,2.271939e-05,2.271958e-05,2.272179e-05,2.272157e-05,2.271938e-05,2.271582e-05,2.271259e-05,2.270268e-05,2.270165e-05,2.268679e-05,2.268267e-05,2.266822e-05,2.265627e-05,2.264614e-05,2.262395e-05,2.262074e-05,2.259221e-05,2.258615e-05,2.256074e-05,2.254326e-05,2.252649e-05,2.249569e-05,2.248962e-05,2.245029e-05,2.244378e-05,2.240866e-05,2.238789e-05,2.236485e-05,2.232834e-05,2.231902e-05,2.227128e-05,2.226543e-05,2.222177e-05,2.219946e-05,2.217060e-05,2.213068e-05,2.211789e-05,2.206374e-05,2.205935e-05,2.200825e-05,2.198571e-05,2.195154e-05,2.190999e-05,2.189368e-05,2.183477e-05,2.183239e-05,2.177489e-05,2.175311e-05,2.171413e-05,2.167235e-05,2.165256e-05,2.159026e-05,2.150702e-05,2.142278e-05,2.133768e-05,2.125185e-05,2.116543e-05,2.107852e-05,2.099125e-05,2.090370e-05,2.081598e-05,2.072818e-05,2.064037e-05,2.055265e-05,2.046507e-05,2.037770e-05,2.029062e-05,2.020387e-05,2.011751e-05,2.003159e-05,1.994615e-05,1.986124e-05,1.977690e-05,1.969315e-05,1.961004e-05,1.952759e-05
0.000000e+00,1.299836e-11,2.976741e-11,1.023483e-10,2.326421e-10,3.391158e-10,7.665523e-10,7.894626e-10,1.516203e-09,1.777555e-09,2.580385e-09,3.406015e-09,4.042414e-09,5.789982e-09,5.961695e-09,8.392863e-09,9.057496e-09,1.137650e-08,1.329523e-08,1.492656e-08,1.850487e-08,1.902420e-08,2.362536e-08,2.460120e-08,2.867460e-08,3.145833e-08,3.411506e-08,3.894732e-08,3.989209e-08,4.595355e-08,4.694641e-08,5.224938e-08,5.534035e-08,5.873117e-08,6.401902e-08,6.535217e-08,7.206752e-08,7.287766e-08,7.883469e-08,8.181830e-08,8.561389e-08,9.075140e-08,9.236839e-08,9.906482e-08,9.959710e-08,1.056734e-07,1.082862e-07,1.121678e-07,1.167603e-07,1.185255e-07,1.247272e-07,1.249718e-07,1.307569e-07,1.328830e-07,1.366018e-07,1.404654e-07,1.422516e-07,1.476986e-07,1.529374e-07,1.545692e-07,1.579645e-07,1.610698e-07,1.627781e-07,1.671980e-07,1.673778e-07,1.717648e-07,1.729552e-07,1.759409e-07,1.783465e-07,1.799090e-07,1.833791e-07,1.836728e-07,1.872364e-07,1.880624e-07,1.906046e-07,1.924074e-07,1.937825e-07,1.964258e-07,1.967753e-07,1.995887e-07,2.001303e-07,2.022283e-07,2.035342e-07,2.047000e-07,2.066508e-07,2.070096e-07,2.091630e-07,2.094934e-07,2.111659e-07,2.120756e-07,2.130242e-07,2.144106e-07,2.147436e-07,2.163297e-07,2.165113e-07,2.177880e-07,2.183905e-07,2.191238e-07,2.200604e-07,2.203425e-07,2.214493e-07,2.215331e-07,2.224490e-07,2.228200e-07,2.233466e-07,2.239323e-07,2.241468e-07,2.248542e-07,2.248807e-07,2.254732e-07,2.256753e-07,2.260081e-07,2.263259e-07,2.264631e-07,2.268420e-07,2.271489e-07,2.272325e-07,2.273875e-07,2.275059e-07,2.275612e-07,2.276703e-07,2.276737e-07,2.277282e-07,2.277334e-07,2.277278e-07,2.277026e-07,2.276758e-07,2.275848e-07,2.275750e-07,2.274283e-07,2.273866e-07,2.272384e-07,2.271142e-07,2.270079e-07,2.267735e-07,2.267394e-07,2.264351e-07,2.263702e-07,2.260975e-07,2.259095e-07,2.257287e-07,2.253963e-07,2.253308e-07,2.249058e-07,2.248354e-07,2.244557e-07,2.242313e-07,2.239823e-07,2.235879e-07,2.234873e-07,2.229724e-07,2.229094e-07,2.224393e-07,2.221993e-07,2.218894e-07,2.214611e-07,2.213241e-07,2.207450e-07,2.206981e-07,2.201532e-07,2.199132e-07,2.195500e-07,2.191094e-07,2.189367e-07,2.183143e-07,2.182892e-07,2.176839e-07,2.174552e-07,2.170465e-07,2.166097e-07,2.164032e-07,2.157548e-07,2.148925e-07,2.140248e-07,2.131533e-07,2.122796e-07,2.114053e-07,2.105317e-07,2.096601e-07,2.087916e-07,2.079274e-07,2.070684e-07,2.062155e-07,2.053696e-07,2.045313e-07,2.037014e-07,2.028805e-07,2.020691e-07,2.012678e-07,2.004769e-07,1.996969e-07,1.989281e-07,1.981708e-07,1.974252e-07,1.966916e-07,1.959702e-07
0.000000e+00,1.371414e-10,3.183600e-10,1.111580e-09,2.547199e-09,3.725440e-09,8.478661e-09,8.734159e-09,1.686393e-08,1.979699e-08,2.883025e-08,3.815049e-08,4.535252e-08,6.519991e-08,6.715532e-08,9.493794e-08,1.025650e-07,1.292873e-07,1.515298e-07,1.705355e-07,2.125156e-07,2.186393e-07,2.731936e-07,2.848256e-07,3.335746e-07,3.670453e-07,3.990895e-07,4.575922e-07,4.690601e-07,5.428473e-07,5.549668e-07,6.198489e-07,6.577824e-07,6.994928e-07,7.647422e-07,7.812323e-07,8.645456e-07,8.746251e-07,9.489368e-07,9.862890e-07,1.033939e-06,1.098682e-06,1.119119e-06,1.204078e-06,1.210854e-06,1.288453e-06,1.321966e-06,1.371922e-06,1.431297e-06,1.454199e-06,1.535038e-06,1.538238e-06,1.614225e-06,1.642293e-06,1.691583e-06,1.743066e-06,1.766966e-06,1.840254e-06,1.911355e-06,1.933634e-06,1.980200e-06,2.023054e-06,2.046740e-06,2.108421e-06,2.110944e-06,2.172796e-06,2.189693e-06,2.232295e-06,2.266868e-06,2.289450e-06,2.339978e-06,2.344279e-06,2.396811e-06,2.409080e-06,2.447079e-06,2.474255e-06,2.495123e-06,2.535598e-06,2.540988e-06,2.584721e-06,2.593216e-06,2.626373e-06,2.647228e-06,2.665998e-06,2.697755e-06,2.703649e-06,2.739383e-06,2.744927e-06,2.773257e-06,2.788871e-06,2.805326e-06,2.829721e-06,2.835648e-06,2.864280e-06,2.867605e-06,2.891278e-06,2.902653e-06,2.916697e-06,2.934995e-06,2.940594e-06,2.963021e-06,2.964754e-06,2.984033e-06,2.992053e-06,3.003681e-06,3.017012e-06,3.022017e-06,3.039091e-06,3.039748e-06,3.054951e-06,3.060373e-06,3.069646e-06,3.078996e-06,3.083221e-06,3.095723e-06,3.107195e-06,3.110655e-06,3.117679e-06,3.123891e-06,3.127218e-06,3.135524e-06,3.135852e-06,3.143620e-06,3.145645e-06,3.150560e-06,3.154342e-06,3.156708e-06,3.161696e-06,3.162101e-06,3.166772e-06,3.167790e-06,3.170755e-06,3.172697e-06,3.174083e-06,3.176493e-06,3.176786e-06,3.178894e-06,3.179247e-06,3.180436e-06,3.181024e-06,3.181441e-06,3.181890e-06,3.181936e-06,3.181946e-06,3.181904e-06,3.181496e-06,3.181125e-06,3.180612e-06,3.179607e-06,3.179315e-06,3.177630e-06,3.177402e-06,3.175576e-06,3.174562e-06,3.173176e-06,3.171132e-06,3.170448e-06,3.167413e-06,3.167157e-06,3.164088e-06,3.162681e-06,3.160492e-06,3.157744e-06,3.156641e-06,3.152552e-06,3.152384e-06,3.148241e-06,3.146637e-06,3.143721e-06,3.140537e-06,3.139009e-06,3.134118e-06,3.127409e-06,3.120439e-06,3.113236e-06,3.105826e-06,3.098233e-06,3.090480e-06,3.082587e-06,3.074576e-06,3.066465e-06,3.058271e-06,3.050013e-06,3.041704e-06,3.033360e-06,3.024995e-06,3.016620e-06,3.008248e-06,2.999889e-06,2.991555e-06,2.983254e-06,2.974994e-06,2.966785e-06,2.958634e-06,2.950546e-06,2.942530e-06
0.000000e+00,1.103477e-10,2.904714e-10,1.181030e-09,2.925160e-09,4.407180e-09,1.056834e-08,1.090418e-08,2.170388e-08,2.563266e-08,3.778171e-08,5.035424e-08,6.007768e-08,8.685747e-08,8.949253e-08,1.268230e-07,1.370279e-07,1.726018e-07,2.019770e-07,2.269011e-07,2.813986e-07,2.892887e-07,3.590018e-07,3.737466e-07,4.351641e-07,4.770265e-07,5.169038e-07,5.892593e-07,6.033800e-07,6.937783e-07,7.085526e-07,7.873027e-07,8.330755e-07,8.831751e-07,9.610556e-07,9.806410e-07,1.078978e-06,1.090805e-06,1.177508e-06,1.220758e-06,1.275603e-06,1.349514e-06,1.372696e-06,1.468284e-06,1.475853e-06,1.561929e-06,1.598758e-06,1.653262e-06,1.717414e-06,1.741975e-06,1.827824e-06,1.831195e-06,1.910620e-06,1.939651e-06,1.990225e-06,2.042485e-06,2.066547e-06,2.139533e-06,2.209165e-06,2.230740e-06,2.275454e-06,2.316140e-06,2.338435e-06,2.395834e-06,2.398162e-06,2.454706e-06,2.469978e-06,2.508149e-06,2.538765e-06,2.558585e-06,2.602415e-06,2.606112e-06,2.650834e-06,2.661162e-06,2.692858e-06,2.715254e-06,2.732293e-06,2.764940e-06,2.769248e-06,2.803830e-06,2.810471e-06,2.836146e-06,2.852090e-06,2.866301e-06,2.890036e-06,2.894397e-06,2.920532e-06,2.924538e-06,2.944802e-06,2.955817e-06,2.967301e-06,2.984083e-06,2.988116e-06,3.007333e-06,3.009535e-06,3.025033e-06,3.032361e-06,3.041294e-06,3.052737e-06,3.056191e-06,3.069795e-06,3.070830e-06,3.082175e-06,3.086798e-06,3.093394e-06,3.100788e-06,3.103515e-06,3.112596e-06,3.112938e-06,3.120693e-06,3.123377e-06,3.127859e-06,3.132226e-06,3.134145e-06,3.139598e-06,3.144264e-06,3.145599e-06,3.148187e-06,3.150327e-06,3.151408e-06,3.153875e-06,3.153965e-06,3.155896e-06,3.156329e-06,3.157235e-06,3.157769e-06,3.158017e-06,3.158270e-06,3.158272e-06,3.158032e-06,3.157903e-06,3.157324e-06,3.156733e-06,3.156175e-06,3.154820e-06,3.154612e-06,3.152658e-06,3.152223e-06,3.150337e-06,3.148993e-06,3.147671e-06,3.145180e-06,3.144681e-06,3.141386e-06,3.140832e-06,3.137806e-06,3.135991e-06,3.133957e-06,3.130697e-06,3.129858e-06,3.125524e-06,3.124989e-06,3.120970e-06,3.118901e-06,3.116212e-06,3.112466e-06,3.111261e-06,3.106133e-06,3.105715e-06,3.100839e-06,3.098677e-06,3.095390e-06,3.091378e-06,3.089799e-06,3.084075e-06,3.083843e-06,3.078229e-06,3.076096e-06,3.072270e-06,3.068158e-06,3.066207e-06,3.060050e-06,3.051790e-06,3.043396e-06,3.034886e-06,3.026273e-06,3.017573e-06,3.008800e-06,2.999965e-06,2.991080e-06,2.982156e-06,2.973204e-06,2.964233e-06,2.955252e-06,2.946269e-06,2.937291e-06,2.928326e-06,2.919380e-06,2.910460e-06,2.901571e-06,2.892718e-06,2.883907e-06,2.875142e-06,2.866426e-06,2.857765e-06,2.849161e-06
0.000000e+00,9.494015e-10,2.810974e-09,1.405774e-08,4.067230e-08,6.604590e-08,1.872209e-07,1.943587e-07,4.434944e-07,5.415522e-07,8.630500e-07,1.218700e-06,1.506395e-06,2.342137e-06,2.427172e-06,3.671115e-06,4.021478e-06,5.268643e-06,6.323853e-06,7.234879e-06,9.273364e-06,9.573597e-06,1.228040e-05,1.286508e-05,1.534438e-05,1.707349e-05,1.874888e-05,2.185595e-05,2.247202e-05,2.648716e-05,2.715468e-05,3.076358e-05,3.289917e-05,3.526720e-05,3.900919e-05,3.996148e-05,4.480837e-05,4.539842e-05,4.976925e-05,5.197827e-05,5.480589e-05,5.866153e-05,5.988121e-05,6.496005e-05,6.536551e-05,7.000967e-05,7.201455e-05,7.500022e-05,7.854173e-05,7.990501e-05,8.470062e-05,8.488988e-05,8.936700e-05,9.101193e-05,9.388736e-05,9.687071e-05,9.824804e-05,1.024383e-04,1.064503e-04,1.076954e-04,1.102782e-04,1.126300e-04,1.139189e-04,1.172365e-04,1.173709e-04,1.206344e-04,1.215146e-04,1.237110e-04,1.254684e-04,1.266036e-04,1.291055e-04,1.293159e-04,1.318525e-04,1.324357e-04,1.342186e-04,1.354712e-04,1.364198e-04,1.382251e-04,1.384620e-04,1.403516e-04,1.407117e-04,1.420947e-04,1.429454e-04,1.436979e-04,1.449411e-04,1.451675e-04,1.465097e-04,1.467131e-04,1.477310e-04,1.482759e-04,1.488372e-04,1.496433e-04,1.498343e-04,1.507281e-04,1.508287e-04,1.515241e-04,1.518447e-04,1.522276e-04,1.527037e-04,1.528439e-04,1.533776e-04,1.534169e-04,1.538337e-04,1.539954e-04,1.542166e-04,1.544493e-04,1.545305e-04,1.547795e-04,1.547881e-04,1.549675e-04,1.550210e-04,1.550982e-04,1.551562e-04,1.551751e-04,1.552015e-04,1.551806e-04,1.551644e-04,1.551154e-04,1.550516e-04,1.550086e-04,1.548695e-04,1.548629e-04,1.546810e-04,1.546239e-04,1.544651e-04,1.543203e-04,1.542176e-04,1.539638e-04,1.539406e-04,1.536361e-04,1.535592e-04,1.533061e-04,1.531108e-04,1.529523e-04,1.526227e-04,1.525764e-04,1.521802e-04,1.520986e-04,1.517650e-04,1.515422e-04,1.513324e-04,1.509565e-04,1.508837e-04,1.504202e-04,1.503447e-04,1.499431e-04,1.497096e-04,1.494535e-04,1.490536e-04,1.489525e-04,1.484411e-04,1.483791e-04,1.479204e-04,1.476885e-04,1.473911e-04,1.469837e-04,1.468542e-04,1.463104e-04,1.462666e-04,1.457605e-04,1.455390e-04,1.452052e-04,1.448025e-04,1.446452e-04,1.440812e-04,1.440585e-04,1.435136e-04,1.433085e-04,1.429431e-04,1.425537e-04,1.423702e-04,1.417954e-04,1.410345e-04,1.402720e-04,1.395090e-04,1.387462e-04,1.379844e-04,1.372244e-04,1.364667e-04,1.357120e-04,1.349608e-04,1.342136e-04,1.334709e-04,1.327331e-04,1.320005e-04,1.312736e-04,1.305525e-04,1.298377e-04,1.291293e-04,1.284275e-04,1.277326e-04,1.270448e-04,1.263642e-04,1.256908e-04,1.250249e-04,1.243666e-04
0.000000e+00,6.929222e-10,1.777200e-09,6.953492e-09,1.682740e-08,2.511696e-08,5.931810e-08,6.118050e-08,1.213898e-07,1.435170e-07,2.128548e-07,2.860371e-07,3.434878e-07,5.040051e-07,5.198724e-07,7.430121e-07,8.029635e-07,1.006961e-06,1.169268e-06,1.302826e-06,1.583194e-06,1.622611e-06,1.960110e-06,2.029289e-06,2.310434e-06,2.496278e-06,2.669442e-06,2.974974e-06,3.033392e-06,3.398790e-06,3.457165e-06,3.762347e-06,3.935291e-06,4.121002e-06,4.402516e-06,4.471971e-06,4.812781e-06,4.852890e-06,5.141303e-06,5.281497e-06,5.455795e-06,5.684570e-06,5.754888e-06,6.037569e-06,6.059452e-06,6.303165e-06,6.404528e-06,6.551309e-06,6.719099e-06,6.781898e-06,6.995061e-06,7.003229e-06,7.191114e-06,7.257591e-06,7.370526e-06,7.483316e-06,7.533883e-06,7.681860e-06,7.815190e-06,7.854887e-06,7.934646e-06,8.004182e-06,8.041020e-06,8.131571e-06,8.135109e-06,8.217700e-06,8.238871e-06,8.289564e-06,8.327845e-06,8.351447e-06,8.400180e-06,8.404065e-06,8.448102e-06,8.457466e-06,8.484204e-06,8.501185e-06,8.512984e-06,8.532711e-06,8.535016e-06,8.550841e-06,8.553306e-06,8.560961e-06,8.564126e-06,8.565846e-06,8.566224e-06,8.565933e-06,8.561627e-06,8.560557e-06,8.553307e-06,8.547990e-06,8.541320e-06,8.529308e-06,8.525990e-06,8.507615e-06,8.505219e-06,8.486472e-06,8.476359e-06,8.462816e-06,8.443303e-06,8.436884e-06,8.408892e-06,8.406570e-06,8.379042e-06,8.366624e-06,8.347519e-06,8.323884e-06,8.314495e-06,8.280126e-06,8.278726e-06,8.244560e-06,8.231489e-06,8.207929e-06,8.182476e-06,8.170359e-06,8.131962e-06,8.092845e-06,8.080191e-06,8.053104e-06,8.027384e-06,8.012829e-06,7.973739e-06,7.972102e-06,7.930999e-06,7.919433e-06,7.889590e-06,7.864625e-06,7.847940e-06,7.809460e-06,7.806108e-06,7.764148e-06,7.754064e-06,7.722111e-06,7.698554e-06,7.680042e-06,7.643030e-06,7.637985e-06,7.595979e-06,7.587587e-06,7.554059e-06,7.532305e-06,7.512258e-06,7.477259e-06,7.470606e-06,7.429131e-06,7.422513e-06,7.387857e-06,7.368125e-06,7.346809e-06,7.314147e-06,7.306007e-06,7.265469e-06,7.260623e-06,7.225214e-06,7.207595e-06,7.185257e-06,7.155098e-06,7.145612e-06,7.106293e-06,7.103162e-06,7.067310e-06,7.051814e-06,7.028675e-06,7.001077e-06,6.990396e-06,6.952481e-06,6.950972e-06,6.914939e-06,6.901516e-06,6.877774e-06,6.852722e-06,6.840994e-06,6.804602e-06,6.757166e-06,6.710423e-06,6.664376e-06,6.619031e-06,6.574390e-06,6.530455e-06,6.487224e-06,6.444699e-06,6.402875e-06,6.361751e-06,6.321322e-06,6.281585e-06,6.242533e-06,6.204162e-06,6.166465e-06,6.129435e-06,6.093065e-06,6.057348e-06,6.022277e-06,5.987842e-06,5.954036e-06,5.920850e-06,5.888275e-06,5.856304e-06
0.000000e+00,2.601632e-11,5.980212e-11,2.096881e-10,4.934406e-10,7.389181e-10,1.841234e-09,1.905392e-09,4.186803e-09,5.115016e-09,8.265764e-09,1.187180e-08,1.481512e-08,2.315386e-08,2.397153e-08,3.515299e-08,3.804924e-08,4.759574e-08,5.490159e-08,6.075621e-08,7.267517e-08,7.431656e-08,8.808990e-08,9.085866e-08,1.019536e-07,1.091670e-07,1.158150e-07,1.273996e-07,1.295963e-07,1.432284e-07,1.453915e-07,1.566495e-07,1.630005e-07,1.698055e-07,1.801079e-07,1.826498e-07,1.951432e-07,1.966173e-07,2.072543e-07,2.124555e-07,2.189586e-07,2.275705e-07,2.302380e-07,2.410804e-07,2.419287e-07,2.514784e-07,2.555124e-07,2.614289e-07,2.683163e-07,2.709324e-07,2.799921e-07,2.803453e-07,2.886136e-07,2.916115e-07,2.968044e-07,3.021326e-07,3.045733e-07,3.119303e-07,3.188859e-07,3.210288e-07,3.254516e-07,3.294544e-07,3.316390e-07,3.372340e-07,3.374599e-07,3.429265e-07,3.443953e-07,3.480508e-07,3.509661e-07,3.528448e-07,3.569737e-07,3.573203e-07,3.614892e-07,3.624454e-07,3.653630e-07,3.674076e-07,3.689530e-07,3.718863e-07,3.722704e-07,3.753259e-07,3.759065e-07,3.781303e-07,3.794927e-07,3.806937e-07,3.826681e-07,3.830262e-07,3.851377e-07,3.854556e-07,3.870374e-07,3.878768e-07,3.887347e-07,3.899527e-07,3.902384e-07,3.915571e-07,3.917033e-07,3.926991e-07,3.931477e-07,3.936725e-07,3.943044e-07,3.944851e-07,3.951445e-07,3.951908e-07,3.956578e-07,3.958238e-07,3.960320e-07,3.962192e-07,3.962740e-07,3.963902e-07,3.963924e-07,3.963870e-07,3.963577e-07,3.962703e-07,3.961291e-07,3.960459e-07,3.957196e-07,3.952966e-07,3.951416e-07,3.947821e-07,3.944071e-07,3.941811e-07,3.935272e-07,3.934984e-07,3.927386e-07,3.925127e-07,3.919061e-07,3.913735e-07,3.910052e-07,3.901193e-07,3.900398e-07,3.890139e-07,3.887591e-07,3.879312e-07,3.873015e-07,3.867954e-07,3.857545e-07,3.856098e-07,3.843777e-07,3.841260e-07,3.831023e-07,3.824229e-07,3.817865e-07,3.806523e-07,3.804334e-07,3.790456e-07,3.788205e-07,3.776257e-07,3.769336e-07,3.761764e-07,3.749973e-07,3.746999e-07,3.731987e-07,3.730169e-07,3.716748e-07,3.709977e-07,3.701304e-07,3.689442e-07,3.685676e-07,3.669881e-07,3.668611e-07,3.653938e-07,3.647524e-07,3.637866e-07,3.626222e-07,3.621679e-07,3.605393e-07,3.604740e-07,3.589025e-07,3.583115e-07,3.572587e-07,3.561377e-07,3.556094e-07,3.539558e-07,3.517686e-07,3.495787e-07,3.473885e-07,3.452003e-07,3.430164e-07,3.408386e-07,3.386688e-07,3.365086e-07,3.343597e-07,3.322235e-07,3.301013e-07,3.279944e-07,3.259038e-07,3.238307e-07,3.217758e-07,3.197401e-07,3.177244e-07,3.157293e-07,3.137555e-07,3.118035e-07,3.098738e-07,3.079669e-07,3.060831e-07,3.042227e-07
0.000000e+00,9.317164e-11,2.144503e-10,7.429529e-10,1.702340e-09,2.495833e-09,5.765921e-09,5.944992e-09,1.182012e-08,1.402154e-08,2.104386e-08,2.859639e-08,3.457191e-08,5.122810e-08,5.286267e-08,7.558210e-08,8.161781e-08,1.020511e-07,1.182854e-07,1.316827e-07,1.600355e-07,1.640533e-07,1.988402e-07,2.060625e-07,2.357610e-07,2.557117e-07,2.745394e-07,3.083404e-07,3.148900e-07,3.565141e-07,3.632716e-07,3.991029e-07,4.197964e-07,4.423439e-07,4.771979e-07,4.859273e-07,5.295534e-07,5.347778e-07,5.729396e-07,5.918856e-07,6.158254e-07,6.479381e-07,6.579755e-07,6.991829e-07,7.024332e-07,7.392693e-07,7.549555e-07,7.780851e-07,8.051762e-07,8.155083e-07,8.514431e-07,8.528484e-07,8.858171e-07,8.977992e-07,9.185794e-07,9.399204e-07,9.496987e-07,9.791608e-07,1.006966e-06,1.015515e-06,1.033126e-06,1.049015e-06,1.057662e-06,1.079716e-06,1.080603e-06,1.101983e-06,1.107695e-06,1.121842e-06,1.133046e-06,1.140225e-06,1.155877e-06,1.157182e-06,1.172763e-06,1.176303e-06,1.187020e-06,1.194445e-06,1.200006e-06,1.210427e-06,1.211777e-06,1.222386e-06,1.224373e-06,1.231892e-06,1.236420e-06,1.240356e-06,1.246695e-06,1.247825e-06,1.254349e-06,1.255309e-06,1.259977e-06,1.262374e-06,1.264755e-06,1.267994e-06,1.268727e-06,1.271937e-06,1.272273e-06,1.274427e-06,1.275305e-06,1.276237e-06,1.277182e-06,1.277406e-06,1.277972e-06,1.277992e-06,1.277970e-06,1.277819e-06,1.277435e-06,1.276738e-06,1.276400e-06,1.274895e-06,1.274825e-06,1.272951e-06,1.272149e-06,1.270596e-06,1.268774e-06,1.267858e-06,1.264763e-06,1.261336e-06,1.260173e-06,1.257601e-06,1.255058e-06,1.253579e-06,1.249469e-06,1.249293e-06,1.244762e-06,1.243453e-06,1.240007e-06,1.237053e-06,1.235045e-06,1.230312e-06,1.229894e-06,1.224570e-06,1.223268e-06,1.219089e-06,1.215956e-06,1.213466e-06,1.208411e-06,1.207714e-06,1.201848e-06,1.200662e-06,1.195879e-06,1.192739e-06,1.189820e-06,1.184668e-06,1.183681e-06,1.177473e-06,1.176474e-06,1.171206e-06,1.168180e-06,1.164890e-06,1.159807e-06,1.158533e-06,1.152143e-06,1.151374e-06,1.145728e-06,1.142900e-06,1.139296e-06,1.134400e-06,1.132853e-06,1.126406e-06,1.125891e-06,1.119961e-06,1.117385e-06,1.113523e-06,1.108896e-06,1.107098e-06,1.100690e-06,1.100434e-06,1.094304e-06,1.092012e-06,1.087945e-06,1.083638e-06,1.081616e-06,1.075320e-06,1.067068e-06,1.058887e-06,1.050785e-06,1.042766e-06,1.034837e-06,1.027001e-06,1.019262e-06,1.011624e-06,1.004090e-06,9.966621e-07,9.893425e-07,9.821330e-07,9.750351e-07,9.680500e-07,9.611783e-07,9.544208e-07,9.477777e-07,9.412491e-07,9.348349e-07,9.285349e-07,9.223486e-07,9.162754e-07,9.103145e-07,9.044652e-07
0.000000e+00,2.371885e-12,5.402467e-12,1.838516e-11,4.141789e-11,6.008223e-11,1.341461e-10,1.380866e-10,2.620311e-10,3.062088e-10,4.409601e-10,5.783503e-10,6.835948e-10,9.702340e-10,9.982338e-10,1.391851e-09,1.498574e-09,1.867975e-09,2.170003e-09,2.424116e-09,2.972657e-09,3.051250e-09,3.736476e-09,3.879295e-09,4.466389e-09,4.859509e-09,5.228848e-09,5.886698e-09,6.013293e-09,6.810492e-09,6.938668e-09,7.612258e-09,7.996548e-09,8.411272e-09,9.044088e-09,9.201005e-09,9.975703e-09,1.006741e-08,1.073039e-08,1.105501e-08,1.146089e-08,1.199775e-08,1.216377e-08,1.283637e-08,1.288880e-08,1.347672e-08,1.372352e-08,1.408351e-08,1.449917e-08,1.465598e-08,1.519391e-08,1.521471e-08,1.569746e-08,1.587042e-08,1.616718e-08,1.646767e-08,1.660389e-08,1.700862e-08,1.738259e-08,1.749598e-08,1.772712e-08,1.793283e-08,1.804364e-08,1.832248e-08,1.833358e-08,1.859844e-08,1.866830e-08,1.883966e-08,1.897366e-08,1.905871e-08,1.924185e-08,1.925697e-08,1.943583e-08,1.947601e-08,1.959658e-08,1.967915e-08,1.974045e-08,1.985404e-08,1.986863e-08,1.998222e-08,2.000329e-08,2.008229e-08,2.012930e-08,2.016980e-08,2.023429e-08,2.024568e-08,2.031079e-08,2.032027e-08,2.036594e-08,2.038908e-08,2.041186e-08,2.044243e-08,2.044926e-08,2.047879e-08,2.048183e-08,2.050104e-08,2.050868e-08,2.051659e-08,2.052423e-08,2.052594e-08,2.052958e-08,2.052964e-08,2.052795e-08,2.052593e-08,2.052148e-08,2.051404e-08,2.051055e-08,2.049550e-08,2.049482e-08,2.047668e-08,2.046904e-08,2.045440e-08,2.043740e-08,2.042892e-08,2.040053e-08,2.036947e-08,2.035900e-08,2.033596e-08,2.031333e-08,2.030022e-08,2.026399e-08,2.026244e-08,2.022281e-08,2.021140e-08,2.018149e-08,2.015596e-08,2.013865e-08,2.009802e-08,2.009443e-08,2.004897e-08,2.003789e-08,2.000240e-08,1.997587e-08,1.995482e-08,1.991222e-08,1.990636e-08,1.985712e-08,1.984719e-08,1.980719e-08,1.978098e-08,1.975666e-08,1.971381e-08,1.970561e-08,1.965412e-08,1.964585e-08,1.960227e-08,1.957726e-08,1.955011e-08,1.950821e-08,1.949771e-08,1.944514e-08,1.943882e-08,1.939243e-08,1.936921e-08,1.933965e-08,1.929951e-08,1.928684e-08,1.923404e-08,1.922982e-08,1.918130e-08,1.916022e-08,1.912864e-08,1.909081e-08,1.907612e-08,1.902375e-08,1.902166e-08,1.897158e-08,1.895285e-08,1.891962e-08,1.888443e-08,1.886791e-08,1.881646e-08,1.874900e-08,1.868209e-08,1.861577e-08,1.855009e-08,1.848507e-08,1.842075e-08,1.835715e-08,1.829429e-08,1.823220e-08,1.817090e-08,1.811040e-08,1.805071e-08,1.799185e-08,1.793382e-08,1.787663e-08,1.782029e-08,1.776481e-08,1.771018e-08,1.765640e-08,1.760349e-08,1.755143e-08,1.750023e-08,1.744989e-08,1.740039e-08
0.000000e+00,1.292579e-09,3.796386e-09,1.866692e-08,5.316420e-08,8.557751e-08,2.370608e-07,2.458651e-07,5.480196e-07,6.648762e-07,1.042359e-06,1.452388e-06,1.779754e-06,2.715500e-06,2.809748e-06,4.174777e-06,4.555512e-06,5.899596e-06,7.023227e-06,7.982784e-06,1.009194e-05,1.039797e-05,1.310213e-05,1.367321e-05,1.604404e-05,1.764995e-05,1.916996e-05,2.189902e-05,2.242678e-05,2.576369e-05,2.630180e-05,2.913309e-05,3.074894e-05,3.249123e-05,3.514297e-05,3.579866e-05,3.902065e-05,3.940009e-05,4.212748e-05,4.345148e-05,4.509455e-05,4.724391e-05,4.790242e-05,5.053662e-05,5.073953e-05,5.298735e-05,5.391491e-05,5.524913e-05,5.675950e-05,5.732023e-05,5.920223e-05,5.927362e-05,6.089939e-05,6.146631e-05,6.241815e-05,6.335307e-05,6.376657e-05,6.495391e-05,6.599022e-05,6.629165e-05,6.688600e-05,6.739046e-05,6.765187e-05,6.827469e-05,6.829838e-05,6.883580e-05,6.896808e-05,6.927398e-05,6.949316e-05,6.962226e-05,6.987083e-05,6.988941e-05,7.008360e-05,7.012020e-05,7.021237e-05,7.025852e-05,7.028266e-05,7.030117e-05,7.030078e-05,7.027246e-05,7.026169e-05,7.020288e-05,7.015197e-05,7.009672e-05,6.998237e-05,6.995819e-05,6.979105e-05,6.976189e-05,6.959869e-05,6.949830e-05,6.938413e-05,6.919831e-05,6.915006e-05,6.889889e-05,6.886770e-05,6.863278e-05,6.851146e-05,6.835365e-05,6.813388e-05,6.806323e-05,6.776306e-05,6.773867e-05,6.745452e-05,6.732904e-05,6.713884e-05,6.690775e-05,6.681712e-05,6.649036e-05,6.647720e-05,6.615945e-05,6.603947e-05,6.582520e-05,6.559637e-05,6.548832e-05,6.514947e-05,6.480924e-05,6.470016e-05,6.446814e-05,6.424962e-05,6.412667e-05,6.379890e-05,6.378525e-05,6.344428e-05,6.334894e-05,6.310411e-05,6.290053e-05,6.276506e-05,6.245438e-05,6.242743e-05,6.209147e-05,6.201112e-05,6.175742e-05,6.157127e-05,6.142550e-05,6.113532e-05,6.109590e-05,6.076878e-05,6.070368e-05,6.044432e-05,6.027670e-05,6.012265e-05,5.985470e-05,5.980390e-05,5.948818e-05,5.943795e-05,5.917558e-05,5.902668e-05,5.886621e-05,5.862108e-05,5.856013e-05,5.825742e-05,5.822133e-05,5.795814e-05,5.782756e-05,5.766233e-05,5.743988e-05,5.737005e-05,5.708132e-05,5.705838e-05,5.679619e-05,5.668314e-05,5.651466e-05,5.631421e-05,5.623677e-05,5.596252e-05,5.595163e-05,5.569193e-05,5.559541e-05,5.542499e-05,5.524556e-05,5.516171e-05,5.490209e-05,5.456497e-05,5.423418e-05,5.390969e-05,5.359146e-05,5.327944e-05,5.297357e-05,5.267380e-05,5.238006e-05,5.209229e-05,5.181040e-05,5.153433e-05,5.126400e-05,5.099931e-05,5.074020e-05,5.048658e-05,5.023836e-05,4.999545e-05,4.975776e-05,4.952521e-05,4.929770e-05,4.907515e-05,4.885747e-05,4.864456e-05,4.843634e-05
0.000000e+00,2.214351e-10,5.100602e-10,1.779320e-09,4.130167e-09,6.117498e-09,1.467275e-08,1.515663e-08,3.174175e-08,3.824078e-08,5.959970e-08,8.304845e-08,1.015947e-07,1.522666e-07,1.571390e-07,2.231035e-07,2.401366e-07,2.965458e-07,3.401770e-07,3.755064e-07,4.485258e-07,4.586990e-07,5.451707e-07,5.627864e-07,6.341189e-07,6.811062e-07,7.248133e-07,8.018470e-07,8.165736e-07,9.087682e-07,9.235205e-07,1.000823e-06,1.044807e-06,1.092226e-06,1.164579e-06,1.182534e-06,1.271369e-06,1.281914e-06,1.358415e-06,1.396081e-06,1.443419e-06,1.506529e-06,1.526178e-06,1.606539e-06,1.612860e-06,1.684386e-06,1.714803e-06,1.759641e-06,1.812190e-06,1.832252e-06,1.902191e-06,1.904933e-06,1.969450e-06,1.993008e-06,2.034036e-06,2.076437e-06,2.095969e-06,2.155281e-06,2.212010e-06,2.229624e-06,2.266199e-06,2.299570e-06,2.317899e-06,2.365238e-06,2.367162e-06,2.414046e-06,2.426754e-06,2.458607e-06,2.484255e-06,2.500907e-06,2.537877e-06,2.541006e-06,2.578965e-06,2.587764e-06,2.614848e-06,2.634058e-06,2.648715e-06,2.676900e-06,2.680629e-06,2.710651e-06,2.716434e-06,2.738842e-06,2.752798e-06,2.765263e-06,2.786131e-06,2.789972e-06,2.813029e-06,2.816568e-06,2.834490e-06,2.844241e-06,2.854412e-06,2.869280e-06,2.872852e-06,2.889862e-06,2.891810e-06,2.905496e-06,2.911953e-06,2.919806e-06,2.929827e-06,2.932843e-06,2.944655e-06,2.945549e-06,2.955291e-06,2.959227e-06,2.964799e-06,2.970970e-06,2.973223e-06,2.980607e-06,2.980882e-06,2.986996e-06,2.989061e-06,2.992431e-06,2.995603e-06,2.996953e-06,3.000601e-06,3.003413e-06,3.004143e-06,3.005427e-06,3.006314e-06,3.006679e-06,3.007196e-06,3.007203e-06,3.007034e-06,3.006866e-06,3.006203e-06,3.005400e-06,3.004743e-06,3.002869e-06,3.002683e-06,3.000054e-06,2.999342e-06,2.996884e-06,2.994883e-06,2.993201e-06,2.989556e-06,2.989030e-06,2.984398e-06,2.983419e-06,2.979330e-06,2.976529e-06,2.973848e-06,2.968941e-06,2.967977e-06,2.961738e-06,2.960707e-06,2.955152e-06,2.951874e-06,2.948240e-06,2.942490e-06,2.941023e-06,2.933518e-06,2.932598e-06,2.925744e-06,2.922242e-06,2.917718e-06,2.911461e-06,2.909458e-06,2.900980e-06,2.900293e-06,2.892300e-06,2.888774e-06,2.883431e-06,2.876937e-06,2.874389e-06,2.865187e-06,2.864816e-06,2.855839e-06,2.852440e-06,2.846357e-06,2.839839e-06,2.836753e-06,2.827039e-06,2.814066e-06,2.800946e-06,2.787699e-06,2.774348e-06,2.760914e-06,2.747415e-06,2.733869e-06,2.720293e-06,2.706702e-06,2.693112e-06,2.679536e-06,2.665986e-06,2.652476e-06,2.639016e-06,2.625616e-06,2.612286e-06,2.599036e-06,2.585872e-06,2.572804e-06,2.559838e-06,2.546980e-06,2.534236e-06,2.521613e-06,2.509114e-06
0.000000e+00,8.375824e-08,2.490436e-07,1.256337e-06,3.663190e-06,5.973407e-06,1.711099e-05,1.777069e-05,4.094668e-05,5.012618e-05,8.037122e-05,1.140276e-04,1.413786e-04,2.214505e-04,2.296524e-04,3.509160e-04,3.855193e-04,5.102631e-04,6.175715e-04,7.113543e-04,9.243427e-04,9.560225e-04,1.244423e-03,1.307269e-03,1.575413e-03,1.763694e-03,1.946897e-03,2.288207e-03,2.356077e-03,2.799622e-03,2.873533e-03,3.273791e-03,3.511092e-03,3.774542e-03,4.191431e-03,4.297626e-03,4.838684e-03,4.904611e-03,5.393339e-03,5.640579e-03,5.957280e-03,6.389519e-03,6.526347e-03,7.096596e-03,7.142155e-03,7.664357e-03,7.890003e-03,8.226280e-03,8.625546e-03,8.779357e-03,9.320950e-03,9.342341e-03,9.848786e-03,1.003506e-02,1.036096e-02,1.069948e-02,1.085591e-02,1.133243e-02,1.178958e-02,1.193167e-02,1.222674e-02,1.249583e-02,1.264351e-02,1.302429e-02,1.303974e-02,1.341545e-02,1.351700e-02,1.377084e-02,1.397445e-02,1.410623e-02,1.439751e-02,1.442207e-02,1.471888e-02,1.478735e-02,1.499727e-02,1.514537e-02,1.525790e-02,1.547311e-02,1.550146e-02,1.572867e-02,1.577221e-02,1.594026e-02,1.604435e-02,1.613696e-02,1.629122e-02,1.631951e-02,1.648863e-02,1.651449e-02,1.664502e-02,1.671577e-02,1.678937e-02,1.689662e-02,1.692234e-02,1.704457e-02,1.705854e-02,1.715667e-02,1.720293e-02,1.725922e-02,1.733112e-02,1.735279e-02,1.743790e-02,1.744436e-02,1.751505e-02,1.754378e-02,1.758471e-02,1.763049e-02,1.764734e-02,1.770336e-02,1.770547e-02,1.775317e-02,1.776965e-02,1.779714e-02,1.782389e-02,1.783563e-02,1.786896e-02,1.789746e-02,1.790561e-02,1.792141e-02,1.793449e-02,1.794110e-02,1.795622e-02,1.795677e-02,1.796868e-02,1.797137e-02,1.797704e-02,1.798045e-02,1.798209e-02,1.798396e-02,1.798400e-02,1.798299e-02,1.798233e-02,1.797922e-02,1.797596e-02,1.797285e-02,1.796524e-02,1.796406e-02,1.795298e-02,1.795050e-02,1.793975e-02,1.793207e-02,1.792451e-02,1.791024e-02,1.790738e-02,1.788847e-02,1.788529e-02,1.786789e-02,1.785745e-02,1.784575e-02,1.782698e-02,1.782214e-02,1.779716e-02,1.779407e-02,1.777089e-02,1.775894e-02,1.774341e-02,1.772176e-02,1.771479e-02,1.768513e-02,1.768271e-02,1.765447e-02,1.764195e-02,1.762289e-02,1.759962e-02,1.759046e-02,1.755721e-02,1.755587e-02,1.752323e-02,1.751082e-02,1.748854e-02,1.746459e-02,1.745322e-02,1.741729e-02,1.736903e-02,1.731991e-02,1.727001e-02,1.721942e-02,1.716822e-02,1.711648e-02,1.706428e-02,1.701167e-02,1.695872e-02,1.690549e-02,1.685203e-02,1.679838e-02,1.674460e-02,1.669073e-02,1.663680e-02,1.658287e-02,1.652896e-02,1.647510e-02,1.642134e-02,1.636769e-02,1.631419e-02,1.626086e-02,1.620773e-02,1.615481e-02
0.000000e+00,2.935443e-07,8.770242e-07,4.469078e-06,1.315245e-05,2.155775e-05,6.258664e-05,6.503532e-05,1.518802e-04,1.866111e-04,3.019746e-04,4.316271e-04,5.377589e-04,8.515873e-04,8.839634e-04,1.367090e-03,1.506431e-03,2.014111e-03,2.457499e-03,2.849934e-03,3.757312e-03,3.894070e-03,5.158089e-03,5.437692e-03,6.645113e-03,7.505357e-03,8.350980e-03,9.946041e-03,1.026596e-02,1.237636e-02,1.273109e-02,1.466568e-02,1.582277e-02,1.711556e-02,1.917794e-02,1.970642e-02,2.241805e-02,2.275059e-02,2.522998e-02,2.649376e-02,2.812192e-02,3.036111e-02,3.107409e-02,3.406746e-02,3.430816e-02,3.708399e-02,3.829326e-02,4.010681e-02,4.227833e-02,4.312033e-02,4.611035e-02,4.622927e-02,4.906408e-02,5.011631e-02,5.197017e-02,5.391396e-02,5.481866e-02,5.760099e-02,6.030987e-02,6.116017e-02,6.293924e-02,6.457800e-02,6.548420e-02,6.784435e-02,6.794088e-02,7.030638e-02,7.095208e-02,7.257865e-02,7.389670e-02,7.475641e-02,7.667598e-02,7.683909e-02,7.882667e-02,7.928959e-02,8.071968e-02,8.173881e-02,8.251911e-02,8.402625e-02,8.422630e-02,8.584292e-02,8.615555e-02,8.737093e-02,8.813118e-02,8.881248e-02,8.995827e-02,9.016991e-02,9.144568e-02,9.164240e-02,9.264238e-02,9.318949e-02,9.376266e-02,9.460566e-02,9.480920e-02,9.578473e-02,9.589715e-02,9.669197e-02,9.707022e-02,9.753363e-02,9.813110e-02,9.831242e-02,9.903098e-02,9.908595e-02,9.969193e-02,9.994076e-02,1.002978e-01,1.007014e-01,1.008512e-01,1.013544e-01,1.013735e-01,1.018099e-01,1.019626e-01,1.022199e-01,1.024738e-01,1.025866e-01,1.029123e-01,1.031990e-01,1.032828e-01,1.034486e-01,1.035899e-01,1.036632e-01,1.038379e-01,1.038445e-01,1.039944e-01,1.040310e-01,1.041145e-01,1.041730e-01,1.042065e-01,1.042677e-01,1.042720e-01,1.043124e-01,1.043185e-01,1.043291e-01,1.043287e-01,1.043236e-01,1.043014e-01,1.042972e-01,1.042511e-01,1.042396e-01,1.041865e-01,1.041460e-01,1.041045e-01,1.040231e-01,1.040063e-01,1.038928e-01,1.038733e-01,1.037651e-01,1.036990e-01,1.036241e-01,1.035023e-01,1.034706e-01,1.033056e-01,1.032850e-01,1.031298e-01,1.030492e-01,1.029440e-01,1.027966e-01,1.027490e-01,1.025454e-01,1.025287e-01,1.023338e-01,1.022471e-01,1.021150e-01,1.019533e-01,1.018895e-01,1.016578e-01,1.016485e-01,1.014206e-01,1.013339e-01,1.011782e-01,1.010108e-01,1.009313e-01,1.006802e-01,1.003430e-01,1.000003e-01,9.965289e-02,9.930154e-02,9.894702e-02,9.859001e-02,9.823114e-02,9.787101e-02,9.751016e-02,9.714909e-02,9.678827e-02,9.642812e-02,9.606904e-02,9.571139e-02,9.535549e-02,9.500166e-02,9.465016e-02,9.430125e-02,9.395517e-02,9.361211e-02,9.327227e-02,9.293581e-02,9.260290e-02,9.227366e-02
0.000000e+00,2.363973e-10,5.662727e-10,2.050804e-09,4.797204e-09,7.082272e-09,1.648747e-08,1.700014e-08,3.363059e-08,3.976885e-08,5.908506e-08,7.960936e-08,9.584278e-08,1.420403e-07,1.466942e-07,2.143721e-07,2.333581e-07,3.007430e-07,3.574050e-07,4.059364e-07,5.127932e-07,5.283025e-07,6.653137e-07,6.942473e-07,8.144758e-07,8.961330e-07,9.737046e-07,1.113996e-06,1.141318e-06,1.315922e-06,1.344425e-06,1.496303e-06,1.584612e-06,1.681359e-06,1.832075e-06,1.870059e-06,2.061433e-06,2.084533e-06,2.254559e-06,2.339865e-06,2.448575e-06,2.596127e-06,2.642680e-06,2.836139e-06,2.851567e-06,3.028285e-06,3.104640e-06,3.218524e-06,3.354017e-06,3.406330e-06,3.591246e-06,3.598577e-06,3.772879e-06,3.837398e-06,3.950898e-06,4.069745e-06,4.125030e-06,4.295053e-06,4.460791e-06,4.512898e-06,4.622105e-06,4.722975e-06,4.778891e-06,4.925073e-06,4.931072e-06,5.078599e-06,5.119069e-06,5.221450e-06,5.304913e-06,5.359621e-06,5.482619e-06,5.493129e-06,5.622003e-06,5.652247e-06,5.746286e-06,5.813899e-06,5.866032e-06,5.967707e-06,5.981306e-06,6.092187e-06,6.113844e-06,6.198769e-06,6.252520e-06,6.301134e-06,6.383920e-06,6.399362e-06,6.493542e-06,6.508241e-06,6.583760e-06,6.625684e-06,6.670106e-06,6.736457e-06,6.752672e-06,6.831548e-06,6.840770e-06,6.906828e-06,6.938836e-06,6.978604e-06,7.030865e-06,7.046965e-06,7.112004e-06,7.117066e-06,7.173810e-06,7.197648e-06,7.232475e-06,7.272818e-06,7.288087e-06,7.340734e-06,7.342779e-06,7.390503e-06,7.407732e-06,7.437479e-06,7.467871e-06,7.481747e-06,7.523388e-06,7.562485e-06,7.574471e-06,7.599116e-06,7.621302e-06,7.633360e-06,7.664060e-06,7.665294e-06,7.694993e-06,7.702918e-06,7.722531e-06,7.738046e-06,7.747980e-06,7.769608e-06,7.771410e-06,7.792891e-06,7.797764e-06,7.812489e-06,7.822667e-06,7.830271e-06,7.844468e-06,7.846301e-06,7.860640e-06,7.863311e-06,7.873352e-06,7.879338e-06,7.884494e-06,7.892684e-06,7.894126e-06,7.902303e-06,7.903480e-06,7.909081e-06,7.911853e-06,7.914513e-06,7.917926e-06,7.918652e-06,7.921549e-06,7.921815e-06,7.923252e-06,7.923636e-06,7.923810e-06,7.923497e-06,7.923269e-06,7.921675e-06,7.921504e-06,7.919072e-06,7.917758e-06,7.915503e-06,7.912358e-06,7.911009e-06,7.905631e-06,7.905398e-06,7.899407e-06,7.896966e-06,7.892375e-06,7.887152e-06,7.884573e-06,7.876037e-06,7.863701e-06,7.850222e-06,7.835673e-06,7.820124e-06,7.803643e-06,7.786294e-06,7.768139e-06,7.749238e-06,7.729647e-06,7.709421e-06,7.688609e-06,7.667263e-06,7.645429e-06,7.623152e-06,7.600475e-06,7.577438e-06,7.554080e-06,7.530438e-06,7.506547e-06,7.482441e-06,7.458151e-06,7.433707e-06,7.409138e-06,7.384471e-06
0.000000e+00,2.049658e-10,4.730156e-10,1.637448e-09,3.741464e-09,5.476999e-09,1.261663e-08,1.300748e-08,2.583732e-08,3.064713e-08,4.598219e-08,6.242656e-08,7.537171e-08,1.109783e-07,1.144264e-07,1.613636e-07,1.735137e-07,2.136709e-07,2.445546e-07,2.694068e-07,3.202630e-07,3.272907e-07,3.864308e-07,3.983457e-07,4.461239e-07,4.771773e-07,5.057579e-07,5.553962e-07,5.647762e-07,6.226719e-07,6.318000e-07,6.789939e-07,7.053527e-07,7.333528e-07,7.752073e-07,7.854260e-07,8.349612e-07,8.407254e-07,8.817736e-07,9.014750e-07,9.257419e-07,9.572143e-07,9.668019e-07,1.004939e-06,1.007864e-06,1.040179e-06,1.053476e-06,1.072581e-06,1.094201e-06,1.102232e-06,1.129236e-06,1.130263e-06,1.153711e-06,1.161926e-06,1.175782e-06,1.189486e-06,1.195585e-06,1.213255e-06,1.228925e-06,1.233540e-06,1.242729e-06,1.250642e-06,1.254793e-06,1.264852e-06,1.265240e-06,1.274186e-06,1.276438e-06,1.281743e-06,1.285654e-06,1.288015e-06,1.292735e-06,1.293100e-06,1.297091e-06,1.297895e-06,1.300073e-06,1.301332e-06,1.302126e-06,1.303224e-06,1.303325e-06,1.303741e-06,1.303735e-06,1.303436e-06,1.303013e-06,1.302472e-06,1.301193e-06,1.300904e-06,1.298783e-06,1.298395e-06,1.296157e-06,1.294730e-06,1.293070e-06,1.290296e-06,1.289563e-06,1.285675e-06,1.285184e-06,1.281439e-06,1.279474e-06,1.276889e-06,1.273239e-06,1.272054e-06,1.266963e-06,1.266545e-06,1.261640e-06,1.259451e-06,1.256109e-06,1.252011e-06,1.250393e-06,1.244511e-06,1.244272e-06,1.238482e-06,1.236279e-06,1.232324e-06,1.228071e-06,1.226053e-06,1.219682e-06,1.213227e-06,1.211146e-06,1.206700e-06,1.202489e-06,1.200111e-06,1.193739e-06,1.193473e-06,1.186795e-06,1.184919e-06,1.180085e-06,1.176048e-06,1.173354e-06,1.167147e-06,1.166607e-06,1.159853e-06,1.158232e-06,1.153099e-06,1.149318e-06,1.146349e-06,1.140418e-06,1.139610e-06,1.132888e-06,1.131546e-06,1.126186e-06,1.122711e-06,1.119509e-06,1.113923e-06,1.112862e-06,1.106247e-06,1.105192e-06,1.099668e-06,1.096524e-06,1.093129e-06,1.087927e-06,1.086631e-06,1.080178e-06,1.079407e-06,1.073771e-06,1.070968e-06,1.067414e-06,1.062616e-06,1.061107e-06,1.054853e-06,1.054355e-06,1.048652e-06,1.046187e-06,1.042507e-06,1.038118e-06,1.036419e-06,1.030387e-06,1.030147e-06,1.024415e-06,1.022279e-06,1.018502e-06,1.014515e-06,1.012649e-06,1.006856e-06,9.993039e-07,9.918590e-07,9.845222e-07,9.772940e-07,9.701746e-07,9.631641e-07,9.562622e-07,9.494688e-07,9.427835e-07,9.362057e-07,9.297348e-07,9.233700e-07,9.171105e-07,9.109555e-07,9.049038e-07,8.989545e-07,8.931065e-07,8.873585e-07,8.817095e-07,8.761582e-07,8.707033e-07,8.653435e-07,8.600776e-07,8.549041e-07
0.000000e+00,2.950227e-10,7.633559e-10,3.036640e-09,7.456652e-09,1.122092e-08,2.708986e-08,2.796639e-08,5.680655e-08,6.760610e-08,1.019768e-07,1.389663e-07,1.684451e-07,2.527236e-07,2.612066e-07,3.833590e-07,4.170510e-07,5.341498e-07,6.296740e-07,7.095950e-07,8.806147e-07,9.049729e-07,1.116363e-06,1.160289e-06,1.340808e-06,1.461893e-06,1.575991e-06,1.780392e-06,1.819935e-06,2.070816e-06,2.111483e-06,2.326877e-06,2.451121e-06,2.586401e-06,2.795390e-06,2.847719e-06,3.109227e-06,3.140549e-06,3.369418e-06,3.483120e-06,3.626898e-06,3.819991e-06,3.880411e-06,4.128844e-06,4.148469e-06,4.371236e-06,4.466316e-06,4.606781e-06,4.771758e-06,4.834818e-06,5.054814e-06,5.063441e-06,5.266375e-06,5.340414e-06,5.469217e-06,5.602072e-06,5.663157e-06,5.848105e-06,6.024045e-06,6.078450e-06,6.191029e-06,6.293244e-06,6.349160e-06,6.492778e-06,6.498590e-06,6.639504e-06,6.677462e-06,6.772117e-06,6.847800e-06,6.896669e-06,7.004355e-06,7.013413e-06,7.122613e-06,7.147729e-06,7.224541e-06,7.278546e-06,7.319470e-06,7.397440e-06,7.407680e-06,7.489446e-06,7.505050e-06,7.565041e-06,7.602001e-06,7.634734e-06,7.688909e-06,7.698790e-06,7.757466e-06,7.766372e-06,7.811013e-06,7.834965e-06,7.859674e-06,7.895245e-06,7.903686e-06,7.943277e-06,7.947741e-06,7.978666e-06,7.992960e-06,8.010065e-06,8.031385e-06,8.037678e-06,8.061702e-06,8.063474e-06,8.082324e-06,8.089662e-06,8.099726e-06,8.110359e-06,8.114081e-06,8.125553e-06,8.125954e-06,8.134303e-06,8.136815e-06,8.140481e-06,8.143287e-06,8.144232e-06,8.145696e-06,8.145005e-06,8.144349e-06,8.142285e-06,8.139535e-06,8.137656e-06,8.131524e-06,8.131234e-06,8.123129e-06,8.120572e-06,8.113444e-06,8.106917e-06,8.102280e-06,8.090784e-06,8.089732e-06,8.075888e-06,8.072383e-06,8.060837e-06,8.051911e-06,8.044658e-06,8.029551e-06,8.027431e-06,8.009229e-06,8.005478e-06,7.990122e-06,7.979851e-06,7.970177e-06,7.952823e-06,7.949458e-06,7.928025e-06,7.924533e-06,7.905934e-06,7.895114e-06,7.883241e-06,7.864687e-06,7.859997e-06,7.836250e-06,7.833369e-06,7.812047e-06,7.801264e-06,7.787431e-06,7.768473e-06,7.762445e-06,7.737127e-06,7.735088e-06,7.711515e-06,7.701196e-06,7.685644e-06,7.666875e-06,7.659547e-06,7.633257e-06,7.632201e-06,7.606801e-06,7.597242e-06,7.580209e-06,7.562063e-06,7.553508e-06,7.526721e-06,7.491273e-06,7.455769e-06,7.420255e-06,7.384775e-06,7.349368e-06,7.314071e-06,7.278918e-06,7.243939e-06,7.209162e-06,7.174614e-06,7.140317e-06,7.106294e-06,7.072562e-06,7.039141e-06,7.006046e-06,6.973290e-06,6.940887e-06,6.908848e-06,6.877183e-06,6.845900e-06,6.815007e-06,6.784511e-06,6.754417e-06,6.724729e-06
0.000000e+00,9.224243e-11,2.261312e-10,8.393364e-10,1.983047e-09,2.935945e-09,6.847751e-09,7.060292e-09,1.391272e-08,1.642188e-08,2.425359e-08,3.247908e-08,3.892270e-08,5.699782e-08,5.879898e-08,8.462280e-08,9.175085e-08,1.166817e-07,1.372584e-07,1.546554e-07,1.924248e-07,1.978616e-07,2.455960e-07,2.556322e-07,2.972677e-07,3.255276e-07,3.523864e-07,4.010307e-07,4.105167e-07,4.712436e-07,4.811734e-07,5.341555e-07,5.650079e-07,5.988387e-07,6.515821e-07,6.648789e-07,7.318671e-07,7.399503e-07,7.994060e-07,8.291993e-07,8.671172e-07,9.184738e-07,9.346463e-07,1.001668e-06,1.006999e-06,1.067889e-06,1.094094e-06,1.133049e-06,1.179179e-06,1.196922e-06,1.259317e-06,1.261780e-06,1.320072e-06,1.341517e-06,1.379058e-06,1.418103e-06,1.436171e-06,1.491334e-06,1.544492e-06,1.561073e-06,1.595609e-06,1.627244e-06,1.644667e-06,1.689822e-06,1.691663e-06,1.736604e-06,1.748822e-06,1.779511e-06,1.804290e-06,1.820412e-06,1.856299e-06,1.859341e-06,1.896341e-06,1.904939e-06,1.931456e-06,1.950315e-06,1.964735e-06,1.992543e-06,1.996230e-06,2.025995e-06,2.031745e-06,2.054083e-06,2.068045e-06,2.080550e-06,2.101571e-06,2.105452e-06,2.128844e-06,2.132451e-06,2.150781e-06,2.160810e-06,2.171317e-06,2.186772e-06,2.190505e-06,2.208397e-06,2.210460e-06,2.225046e-06,2.231990e-06,2.240501e-06,2.251477e-06,2.254810e-06,2.268020e-06,2.269031e-06,2.280179e-06,2.284758e-06,2.291330e-06,2.298759e-06,2.301517e-06,2.310781e-06,2.311133e-06,2.319162e-06,2.321971e-06,2.326700e-06,2.331363e-06,2.333432e-06,2.339395e-06,2.344623e-06,2.346146e-06,2.349150e-06,2.351694e-06,2.353009e-06,2.356113e-06,2.356230e-06,2.358844e-06,2.359472e-06,2.360881e-06,2.361836e-06,2.362366e-06,2.363270e-06,2.363328e-06,2.363792e-06,2.363832e-06,2.363782e-06,2.363579e-06,2.363322e-06,2.362564e-06,2.362436e-06,2.361144e-06,2.360839e-06,2.359467e-06,2.358450e-06,2.357427e-06,2.355445e-06,2.355041e-06,2.352328e-06,2.351865e-06,2.349307e-06,2.347752e-06,2.345993e-06,2.343143e-06,2.342404e-06,2.338555e-06,2.338076e-06,2.334460e-06,2.332584e-06,2.330134e-06,2.326701e-06,2.325591e-06,2.320844e-06,2.320455e-06,2.315904e-06,2.313878e-06,2.310785e-06,2.306994e-06,2.305498e-06,2.300053e-06,2.299832e-06,2.294461e-06,2.292414e-06,2.288732e-06,2.284763e-06,2.282876e-06,2.276901e-06,2.268849e-06,2.260625e-06,2.252247e-06,2.243732e-06,2.235096e-06,2.226355e-06,2.217521e-06,2.208608e-06,2.199629e-06,2.190594e-06,2.181516e-06,2.172403e-06,2.163266e-06,2.154114e-06,2.144954e-06,2.135795e-06,2.126644e-06,2.117507e-06,2.108392e-06,2.099303e-06,2.090247e-06,2.081228e-06,2.072251e-06,2.063321e-06
0.000000e+00,1.489354e-09,4.434605e-09,2.243424e-08,6.556719e-08,1.070406e-07,3.073178e-07,3.191873e-07,7.360189e-07,9.009127e-07,1.443002e-06,2.043805e-06,2.530126e-06,3.944735e-06,4.088949e-06,6.210168e-06,6.812769e-06,8.981275e-06,1.084766e-05,1.248367e-05,1.622773e-05,1.678876e-05,2.195349e-05,2.309336e-05,2.801687e-05,3.153235e-05,3.499889e-05,4.157560e-05,4.290147e-05,5.171042e-05,5.320226e-05,6.139755e-05,6.634788e-05,7.192257e-05,8.091215e-05,8.323485e-05,9.527508e-05,9.676574e-05,1.079768e-04,1.137567e-04,1.212680e-04,1.317169e-04,1.350727e-04,1.493124e-04,1.504680e-04,1.639075e-04,1.698273e-04,1.787788e-04,1.896134e-04,1.938486e-04,2.090417e-04,2.096510e-04,2.242866e-04,2.297743e-04,2.395159e-04,2.498307e-04,2.546669e-04,2.696822e-04,2.845099e-04,2.892074e-04,2.991033e-04,3.083011e-04,3.134216e-04,3.268752e-04,3.274291e-04,3.410953e-04,3.448571e-04,3.543949e-04,3.621898e-04,3.673069e-04,3.788295e-04,3.798150e-04,3.919065e-04,3.947454e-04,4.035725e-04,4.099174e-04,4.148074e-04,4.243352e-04,4.256083e-04,4.359752e-04,4.379966e-04,4.459100e-04,4.509066e-04,4.554167e-04,4.630757e-04,4.645011e-04,4.731702e-04,4.745193e-04,4.814324e-04,4.852564e-04,4.892969e-04,4.953089e-04,4.967737e-04,5.038736e-04,5.047008e-04,5.106078e-04,5.134579e-04,5.169877e-04,5.216067e-04,5.230250e-04,5.287317e-04,5.291743e-04,5.341197e-04,5.361883e-04,5.392007e-04,5.426757e-04,5.439867e-04,5.484893e-04,5.486636e-04,5.527198e-04,5.541785e-04,5.566897e-04,5.592460e-04,5.604099e-04,5.638912e-04,5.671438e-04,5.681381e-04,5.701782e-04,5.720101e-04,5.730039e-04,5.755293e-04,5.756306e-04,5.780675e-04,5.787171e-04,5.803234e-04,5.815937e-04,5.824070e-04,5.841786e-04,5.843263e-04,5.860894e-04,5.864901e-04,5.877039e-04,5.885458e-04,5.891770e-04,5.903621e-04,5.905159e-04,5.917272e-04,5.919548e-04,5.928175e-04,5.933387e-04,5.937929e-04,5.945277e-04,5.946593e-04,5.954224e-04,5.955353e-04,5.960877e-04,5.963738e-04,5.966602e-04,5.970549e-04,5.971451e-04,5.975470e-04,5.975899e-04,5.978705e-04,5.979892e-04,5.981199e-04,5.982625e-04,5.982994e-04,5.984128e-04,5.984191e-04,5.984640e-04,5.984678e-04,5.984565e-04,5.984167e-04,5.983938e-04,5.982791e-04,5.982735e-04,5.981156e-04,5.980454e-04,5.979063e-04,5.977392e-04,5.976539e-04,5.973612e-04,5.969174e-04,5.964133e-04,5.958543e-04,5.952452e-04,5.945905e-04,5.938947e-04,5.931617e-04,5.923953e-04,5.915990e-04,5.907761e-04,5.899296e-04,5.890624e-04,5.881773e-04,5.872766e-04,5.863627e-04,5.854378e-04,5.845038e-04,5.835627e-04,5.826161e-04,5.816657e-04,5.807129e-04,5.797592e-04,5.788058e-04,5.778539e-04
0.000000e+00,2.339351e-10,6.398232e-10,2.750546e-09,7.026347e-09,1.070533e-08,2.606648e-08,2.690247e-08,5.358013e-08,6.317428e-08,9.246361e-08,1.222037e-07,1.448380e-07,2.057121e-07,2.115967e-07,2.932539e-07,3.150893e-07,3.899090e-07,4.504586e-07,5.011496e-07,6.102668e-07,6.258944e-07,7.622494e-07,7.906894e-07,9.075416e-07,9.855888e-07,1.058631e-06,1.187713e-06,1.212367e-06,1.365941e-06,1.390335e-06,1.517026e-06,1.588103e-06,1.663772e-06,1.777073e-06,1.804750e-06,1.938880e-06,1.954476e-06,2.065384e-06,2.118486e-06,2.183738e-06,2.268044e-06,2.293642e-06,2.394985e-06,2.402723e-06,2.487816e-06,2.522601e-06,2.572313e-06,2.628146e-06,2.648759e-06,2.717513e-06,2.720109e-06,2.778988e-06,2.799422e-06,2.833632e-06,2.867128e-06,2.881915e-06,2.924306e-06,2.961272e-06,2.972029e-06,2.993264e-06,3.011330e-06,3.020715e-06,3.043172e-06,3.044030e-06,3.063592e-06,3.068445e-06,3.079752e-06,3.087953e-06,3.092838e-06,3.102417e-06,3.103146e-06,3.110948e-06,3.112476e-06,3.116491e-06,3.118692e-06,3.119997e-06,3.121558e-06,3.121668e-06,3.121685e-06,3.121505e-06,3.120215e-06,3.118913e-06,3.117406e-06,3.114109e-06,3.113391e-06,3.108289e-06,3.107379e-06,3.102208e-06,3.098971e-06,3.095247e-06,3.089104e-06,3.087494e-06,3.079027e-06,3.077967e-06,3.069919e-06,3.065725e-06,3.060234e-06,3.052525e-06,3.050032e-06,3.039366e-06,3.038494e-06,3.028284e-06,3.023745e-06,3.016831e-06,3.008378e-06,3.005047e-06,2.992970e-06,2.992481e-06,2.980633e-06,2.976133e-06,2.968066e-06,2.959404e-06,2.955298e-06,2.942354e-06,2.929259e-06,2.925040e-06,2.916034e-06,2.907512e-06,2.902700e-06,2.889814e-06,2.889276e-06,2.875778e-06,2.871988e-06,2.862223e-06,2.854069e-06,2.848626e-06,2.836090e-06,2.834999e-06,2.821357e-06,2.818081e-06,2.807709e-06,2.800068e-06,2.794068e-06,2.782077e-06,2.780443e-06,2.766843e-06,2.764127e-06,2.753278e-06,2.746240e-06,2.739755e-06,2.728433e-06,2.726281e-06,2.712864e-06,2.710723e-06,2.699509e-06,2.693122e-06,2.686222e-06,2.675645e-06,2.673009e-06,2.659874e-06,2.658304e-06,2.646823e-06,2.641107e-06,2.633858e-06,2.624066e-06,2.620985e-06,2.608206e-06,2.607187e-06,2.595524e-06,2.590480e-06,2.582943e-06,2.573949e-06,2.570466e-06,2.558094e-06,2.557601e-06,2.545829e-06,2.541441e-06,2.533675e-06,2.525473e-06,2.521631e-06,2.509701e-06,2.494128e-06,2.478756e-06,2.463588e-06,2.448626e-06,2.433871e-06,2.419324e-06,2.404985e-06,2.390855e-06,2.376933e-06,2.363220e-06,2.349715e-06,2.336417e-06,2.323326e-06,2.310440e-06,2.297758e-06,2.285279e-06,2.273001e-06,2.260923e-06,2.249042e-06,2.237357e-06,2.225865e-06,2.214566e-06,2.203456e-06,2.192534e-06
0.000000e+00,5.618332e-10,1.572790e-09,7.059872e-09,1.866983e-08,2.894646e-08,7.345035e-08,7.592597e-08,1.568899e-07,1.867550e-07,2.797935e-07,3.766549e-07,4.517421e-07,6.587123e-07,6.790729e-07,9.673255e-07,1.046099e-06,1.320988e-06,1.548762e-06,1.742897e-06,2.170904e-06,2.233297e-06,2.788991e-06,2.907428e-06,3.403263e-06,3.742819e-06,4.066851e-06,4.654810e-06,4.769409e-06,5.500675e-06,5.619691e-06,6.251088e-06,6.615510e-06,7.011991e-06,7.623028e-06,7.775633e-06,8.535125e-06,8.625688e-06,9.284388e-06,9.609430e-06,1.001812e-05,1.056255e-05,1.073178e-05,1.142156e-05,1.147561e-05,1.208434e-05,1.234133e-05,1.271770e-05,1.315445e-05,1.331980e-05,1.388939e-05,1.391149e-05,1.442571e-05,1.461057e-05,1.492845e-05,1.525115e-05,1.539767e-05,1.583376e-05,1.623737e-05,1.635980e-05,1.660936e-05,1.683130e-05,1.695075e-05,1.725078e-05,1.726270e-05,1.754646e-05,1.762103e-05,1.780332e-05,1.794507e-05,1.803461e-05,1.822598e-05,1.824169e-05,1.842590e-05,1.846685e-05,1.858856e-05,1.867072e-05,1.873096e-05,1.884053e-05,1.885438e-05,1.896001e-05,1.897911e-05,1.904904e-05,1.908915e-05,1.912258e-05,1.917316e-05,1.918169e-05,1.922739e-05,1.923352e-05,1.926063e-05,1.927244e-05,1.928234e-05,1.929196e-05,1.929335e-05,1.929449e-05,1.929400e-05,1.928650e-05,1.928029e-05,1.927012e-05,1.925245e-05,1.924599e-05,1.921477e-05,1.921198e-05,1.917702e-05,1.916023e-05,1.913332e-05,1.909844e-05,1.908416e-05,1.903003e-05,1.902777e-05,1.897139e-05,1.894925e-05,1.890864e-05,1.886384e-05,1.884219e-05,1.877240e-05,1.869960e-05,1.867573e-05,1.862412e-05,1.857454e-05,1.854625e-05,1.846949e-05,1.846625e-05,1.838440e-05,1.836118e-05,1.830092e-05,1.825014e-05,1.821603e-05,1.813687e-05,1.812994e-05,1.804284e-05,1.802180e-05,1.795490e-05,1.790535e-05,1.786628e-05,1.778786e-05,1.777714e-05,1.768761e-05,1.766967e-05,1.759782e-05,1.755107e-05,1.750790e-05,1.743233e-05,1.741794e-05,1.732805e-05,1.731369e-05,1.723833e-05,1.719535e-05,1.714886e-05,1.707751e-05,1.705971e-05,1.697096e-05,1.696034e-05,1.688268e-05,1.684399e-05,1.679491e-05,1.672860e-05,1.670773e-05,1.662118e-05,1.661428e-05,1.653530e-05,1.650114e-05,1.645013e-05,1.638927e-05,1.636571e-05,1.628208e-05,1.627875e-05,1.619926e-05,1.616965e-05,1.611728e-05,1.606203e-05,1.603617e-05,1.595594e-05,1.585142e-05,1.574851e-05,1.564724e-05,1.554763e-05,1.544969e-05,1.535344e-05,1.525889e-05,1.516604e-05,1.507489e-05,1.498545e-05,1.489769e-05,1.481162e-05,1.472722e-05,1.464449e-05,1.456340e-05,1.448394e-05,1.440610e-05,1.432985e-05,1.425517e-05,1.418205e-05,1.411046e-05,1.404038e-05,1.397179e-05,1.390466e-05
0.000000e+00,3.867611e-09,1.147583e-08,5.763838e-08,1.673694e-07,2.722842e-07,7.749722e-07,8.046292e-07,1.840769e-06,2.248676e-06,3.585026e-06,5.060812e-06,6.252890e-06,9.713331e-06,1.006572e-05,1.524310e-05,1.671184e-05,2.198692e-05,2.650950e-05,3.045630e-05,3.941324e-05,4.074543e-05,5.287859e-05,5.552426e-05,6.682016e-05,7.475893e-05,8.248887e-05,9.690211e-05,9.976992e-05,1.185237e-04,1.216507e-04,1.385923e-04,1.486423e-04,1.598042e-04,1.774758e-04,1.819790e-04,2.049314e-04,2.077291e-04,2.284753e-04,2.389745e-04,2.524271e-04,2.707937e-04,2.766092e-04,3.008528e-04,3.027901e-04,3.250003e-04,3.345996e-04,3.489072e-04,3.658974e-04,3.724431e-04,3.954926e-04,3.964030e-04,4.179554e-04,4.258815e-04,4.397462e-04,4.541433e-04,4.607941e-04,4.810422e-04,5.004463e-04,5.064718e-04,5.189740e-04,5.303613e-04,5.366035e-04,5.526712e-04,5.533224e-04,5.691268e-04,5.733885e-04,5.840200e-04,5.925222e-04,5.980114e-04,6.100995e-04,6.111156e-04,6.233517e-04,6.261615e-04,6.347420e-04,6.407605e-04,6.453118e-04,6.539563e-04,6.550886e-04,6.641012e-04,6.658146e-04,6.723797e-04,6.764045e-04,6.799548e-04,6.857970e-04,6.868575e-04,6.931190e-04,6.940634e-04,6.987702e-04,7.012748e-04,7.038414e-04,7.075009e-04,7.083625e-04,7.123629e-04,7.128093e-04,7.158707e-04,7.172653e-04,7.189137e-04,7.209318e-04,7.215183e-04,7.237101e-04,7.238684e-04,7.255139e-04,7.261320e-04,7.269531e-04,7.277763e-04,7.280504e-04,7.288274e-04,7.288521e-04,7.293047e-04,7.294070e-04,7.295020e-04,7.294858e-04,7.294380e-04,7.291305e-04,7.285963e-04,7.283801e-04,7.278515e-04,7.272714e-04,7.269114e-04,7.258384e-04,7.257902e-04,7.245017e-04,7.241127e-04,7.230587e-04,7.221239e-04,7.214734e-04,7.198992e-04,7.197574e-04,7.179215e-04,7.174642e-04,7.159760e-04,7.148422e-04,7.139305e-04,7.120550e-04,7.117942e-04,7.095756e-04,7.091227e-04,7.072828e-04,7.060637e-04,7.049234e-04,7.028953e-04,7.025046e-04,7.000330e-04,6.996330e-04,6.975149e-04,6.962915e-04,6.949563e-04,6.928839e-04,6.923627e-04,6.897392e-04,6.894226e-04,6.870908e-04,6.859187e-04,6.844219e-04,6.823825e-04,6.817368e-04,6.790395e-04,6.788233e-04,6.763337e-04,6.752498e-04,6.736228e-04,6.716696e-04,6.709100e-04,6.681984e-04,6.680900e-04,6.654906e-04,6.645173e-04,6.627893e-04,6.609573e-04,6.600968e-04,6.574154e-04,6.538963e-04,6.504043e-04,6.469431e-04,6.435163e-04,6.401269e-04,6.367775e-04,6.334705e-04,6.302080e-04,6.269918e-04,6.238235e-04,6.207043e-04,6.176354e-04,6.146176e-04,6.116518e-04,6.087385e-04,6.058781e-04,6.030709e-04,6.003170e-04,5.976165e-04,5.949694e-04,5.923755e-04,5.898345e-04,5.873463e-04,5.849104e-04
0.000000e+00,1.458570e-08,4.343881e-08,2.198558e-07,6.429070e-07,1.049970e-06,3.018878e-06,3.135717e-06,7.248464e-06,8.880282e-06,1.426282e-05,2.025827e-05,2.513257e-05,3.940714e-05,4.086964e-05,6.250696e-05,6.868892e-05,9.101764e-05,1.102895e-04,1.271839e-04,1.657199e-04,1.714693e-04,2.239705e-04,2.354412e-04,2.844567e-04,3.189133e-04,3.524472e-04,4.148825e-04,4.272862e-04,5.082002e-04,5.216543e-04,5.943409e-04,6.372844e-04,6.848178e-04,7.597120e-04,7.787242e-04,8.751589e-04,8.868590e-04,9.732448e-04,1.016708e-03,1.072144e-03,1.147365e-03,1.171069e-03,1.269298e-03,1.277106e-03,1.366173e-03,1.404411e-03,1.461111e-03,1.527979e-03,1.553604e-03,1.643216e-03,1.646736e-03,1.729586e-03,1.759826e-03,1.812419e-03,1.866606e-03,1.891487e-03,1.966619e-03,2.037702e-03,2.059580e-03,2.104666e-03,2.145350e-03,2.167490e-03,2.223915e-03,2.226184e-03,2.280794e-03,2.295363e-03,2.331392e-03,2.359863e-03,2.378072e-03,2.417652e-03,2.420945e-03,2.460139e-03,2.469013e-03,2.495790e-03,2.514262e-03,2.528045e-03,2.553741e-03,2.557056e-03,2.582976e-03,2.587803e-03,2.605962e-03,2.616807e-03,2.626170e-03,2.641111e-03,2.643755e-03,2.658869e-03,2.661068e-03,2.671661e-03,2.677019e-03,2.682276e-03,2.689295e-03,2.690854e-03,2.697530e-03,2.698210e-03,2.702434e-03,2.704063e-03,2.705692e-03,2.707139e-03,2.707420e-03,2.707733e-03,2.707701e-03,2.706739e-03,2.705998e-03,2.704539e-03,2.702262e-03,2.701229e-03,2.696902e-03,2.696709e-03,2.691642e-03,2.689536e-03,2.685531e-03,2.680929e-03,2.678646e-03,2.671057e-03,2.662832e-03,2.660076e-03,2.654033e-03,2.648128e-03,2.644720e-03,2.635346e-03,2.634946e-03,2.624765e-03,2.621847e-03,2.614222e-03,2.607743e-03,2.603364e-03,2.593131e-03,2.592231e-03,2.580861e-03,2.578101e-03,2.569291e-03,2.562737e-03,2.557554e-03,2.547111e-03,2.545680e-03,2.533697e-03,2.531290e-03,2.521633e-03,2.515335e-03,2.509511e-03,2.499300e-03,2.497353e-03,2.485181e-03,2.483233e-03,2.473012e-03,2.467178e-03,2.460865e-03,2.451174e-03,2.448755e-03,2.436697e-03,2.435254e-03,2.424704e-03,2.419451e-03,2.412788e-03,2.403790e-03,2.400960e-03,2.389229e-03,2.388295e-03,2.377606e-03,2.372988e-03,2.366097e-03,2.357886e-03,2.354711e-03,2.343453e-03,2.343006e-03,2.332329e-03,2.328359e-03,2.321345e-03,2.313958e-03,2.310505e-03,2.299812e-03,2.285929e-03,2.272316e-03,2.258977e-03,2.245916e-03,2.233135e-03,2.220637e-03,2.208423e-03,2.196491e-03,2.184842e-03,2.173474e-03,2.162386e-03,2.151574e-03,2.141036e-03,2.130769e-03,2.120769e-03,2.111033e-03,2.101556e-03,2.092334e-03,2.083362e-03,2.074637e-03,2.066153e-03,2.057905e-03,2.049889e-03,2.042099e-03
0.000000e+00,1.134801e-10,2.798287e-10,1.040049e-09,2.444548e-09,3.603328e-09,8.278975e-09,8.529888e-09,1.648534e-08,1.934297e-08,2.810978e-08,3.711125e-08,4.404251e-08,6.305583e-08,6.492293e-08,9.134262e-08,9.856011e-08,1.237174e-07,1.444857e-07,1.620925e-07,2.004746e-07,2.060114e-07,2.546032e-07,2.647913e-07,3.068335e-07,3.350995e-07,3.617186e-07,4.092495e-07,4.184110e-07,4.761999e-07,4.855063e-07,5.344816e-07,5.624754e-07,5.927317e-07,6.389952e-07,6.504858e-07,7.073295e-07,7.140717e-07,7.628948e-07,7.868535e-07,8.168583e-07,8.566268e-07,8.689425e-07,9.189155e-07,9.228162e-07,9.665912e-07,9.849850e-07,1.011828e-06,1.042831e-06,1.054527e-06,1.094627e-06,1.096176e-06,1.132104e-06,1.144954e-06,1.166965e-06,1.189193e-06,1.199244e-06,1.228996e-06,1.256294e-06,1.264525e-06,1.281228e-06,1.295991e-06,1.303897e-06,1.323628e-06,1.324409e-06,1.342875e-06,1.347695e-06,1.359412e-06,1.368455e-06,1.374134e-06,1.386174e-06,1.387156e-06,1.398591e-06,1.401111e-06,1.408547e-06,1.413516e-06,1.417130e-06,1.423627e-06,1.424441e-06,1.430576e-06,1.431670e-06,1.435625e-06,1.437849e-06,1.439671e-06,1.442353e-06,1.442794e-06,1.445066e-06,1.445356e-06,1.446558e-06,1.447016e-06,1.447333e-06,1.447477e-06,1.447450e-06,1.446965e-06,1.446869e-06,1.445927e-06,1.445308e-06,1.444384e-06,1.442901e-06,1.442380e-06,1.439953e-06,1.439742e-06,1.437142e-06,1.435918e-06,1.433981e-06,1.431505e-06,1.430499e-06,1.426728e-06,1.426571e-06,1.422692e-06,1.421180e-06,1.418418e-06,1.415386e-06,1.413926e-06,1.409239e-06,1.404375e-06,1.402784e-06,1.399352e-06,1.396062e-06,1.394187e-06,1.389108e-06,1.388894e-06,1.383488e-06,1.381956e-06,1.377981e-06,1.374633e-06,1.372385e-06,1.367168e-06,1.366711e-06,1.360970e-06,1.359583e-06,1.355170e-06,1.351900e-06,1.349321e-06,1.344138e-06,1.343429e-06,1.337504e-06,1.336315e-06,1.331551e-06,1.328447e-06,1.325577e-06,1.320547e-06,1.319588e-06,1.313590e-06,1.312629e-06,1.307586e-06,1.304705e-06,1.301583e-06,1.296783e-06,1.295584e-06,1.289594e-06,1.288875e-06,1.283615e-06,1.280989e-06,1.277652e-06,1.273132e-06,1.271708e-06,1.265785e-06,1.265312e-06,1.259886e-06,1.257534e-06,1.254015e-06,1.249805e-06,1.248172e-06,1.242361e-06,1.242129e-06,1.236583e-06,1.234511e-06,1.230840e-06,1.226955e-06,1.225133e-06,1.219465e-06,1.212044e-06,1.204695e-06,1.197420e-06,1.190222e-06,1.183102e-06,1.176063e-06,1.169106e-06,1.162232e-06,1.155441e-06,1.148736e-06,1.142117e-06,1.135584e-06,1.129137e-06,1.122777e-06,1.116505e-06,1.110319e-06,1.104221e-06,1.098209e-06,1.092284e-06,1.086446e-06,1.080693e-06,1.075026e-06,1.069444e-06,1.063946e-06
0.000000e+00,2.345699e-11,5.391522e-11,1.865092e-10,4.262502e-10,6.233343e-10,1.422750e-09,1.465928e-09,2.850754e-09,3.355407e-09,4.925254e-09,6.567526e-09,7.850279e-09,1.143291e-08,1.178869e-08,1.686588e-08,1.825989e-08,2.311436e-08,2.710184e-08,3.046416e-08,3.774807e-08,3.879556e-08,4.798859e-08,4.992107e-08,5.793787e-08,6.337895e-08,6.854966e-08,7.791136e-08,7.973634e-08,9.141295e-08,9.332108e-08,1.034961e-07,1.094164e-07,1.159042e-07,1.260117e-07,1.285586e-07,1.413844e-07,1.429316e-07,1.543117e-07,1.600151e-07,1.672764e-07,1.771187e-07,1.802205e-07,1.930927e-07,1.941180e-07,2.058478e-07,2.109081e-07,2.184469e-07,2.274029e-07,2.308569e-07,2.430500e-07,2.435329e-07,2.550032e-07,2.592439e-07,2.666978e-07,2.744946e-07,2.781189e-07,2.892549e-07,3.000972e-07,3.035036e-07,3.106395e-07,3.172270e-07,3.208775e-07,3.304175e-07,3.308089e-07,3.404328e-07,3.430724e-07,3.497495e-07,3.551927e-07,3.587606e-07,3.667828e-07,3.674683e-07,3.758756e-07,3.778491e-07,3.839863e-07,3.884001e-07,3.918043e-07,3.984459e-07,3.993344e-07,4.065814e-07,4.079973e-07,4.135505e-07,4.170664e-07,4.202471e-07,4.256656e-07,4.266767e-07,4.328450e-07,4.338081e-07,4.387579e-07,4.415070e-07,4.444210e-07,4.487758e-07,4.498405e-07,4.550220e-07,4.556281e-07,4.599717e-07,4.620776e-07,4.646953e-07,4.681376e-07,4.691987e-07,4.734877e-07,4.738218e-07,4.775682e-07,4.791433e-07,4.814459e-07,4.841153e-07,4.851263e-07,4.886151e-07,4.887508e-07,4.919179e-07,4.930623e-07,4.950399e-07,4.970624e-07,4.979866e-07,5.007632e-07,5.033749e-07,5.041766e-07,5.058267e-07,5.073143e-07,5.081237e-07,5.101875e-07,5.102706e-07,5.122722e-07,5.128073e-07,5.141333e-07,5.151843e-07,5.158583e-07,5.173291e-07,5.174518e-07,5.189182e-07,5.192517e-07,5.202616e-07,5.209618e-07,5.214864e-07,5.224691e-07,5.225964e-07,5.235958e-07,5.237828e-07,5.244884e-07,5.249116e-07,5.252780e-07,5.258643e-07,5.259682e-07,5.265627e-07,5.266492e-07,5.270649e-07,5.272742e-07,5.274783e-07,5.277473e-07,5.278062e-07,5.280517e-07,5.280758e-07,5.282181e-07,5.282670e-07,5.283083e-07,5.283278e-07,5.283254e-07,5.282723e-07,5.282651e-07,5.281516e-07,5.280851e-07,5.279663e-07,5.277942e-07,5.277188e-07,5.274118e-07,5.273983e-07,5.270478e-07,5.269032e-07,5.266291e-07,5.263145e-07,5.261582e-07,5.256373e-07,5.248769e-07,5.240381e-07,5.231256e-07,5.221440e-07,5.210975e-07,5.199904e-07,5.188265e-07,5.176097e-07,5.163437e-07,5.150318e-07,5.136775e-07,5.122840e-07,5.108541e-07,5.093910e-07,5.078974e-07,5.063758e-07,5.048289e-07,5.032590e-07,5.016685e-07,5.000596e-07,4.984343e-07,4.967946e-07,4.951424e-07,4.934794e-07
0.000000e+00,9.335156e-10,2.568608e-09,1.120573e-08,2.908879e-08,4.476297e-08,1.122875e-07,1.160444e-07,2.396369e-07,2.856767e-07,4.308501e-07,5.847908e-07,7.060031e-07,1.047733e-06,1.081895e-06,1.573944e-06,1.710645e-06,2.192478e-06,2.594692e-06,2.937586e-06,3.687618e-06,3.795849e-06,4.743292e-06,4.941087e-06,5.753092e-06,6.294826e-06,6.801762e-06,7.699152e-06,7.870997e-06,8.946963e-06,9.118997e-06,1.001903e-05,1.052969e-05,1.107877e-05,1.191309e-05,1.211941e-05,1.313544e-05,1.325549e-05,1.412246e-05,1.454663e-05,1.507699e-05,1.577907e-05,1.599641e-05,1.687882e-05,1.694777e-05,1.772293e-05,1.804968e-05,1.852803e-05,1.908335e-05,1.929380e-05,2.002032e-05,2.004857e-05,2.070796e-05,2.094610e-05,2.135732e-05,2.177741e-05,2.196918e-05,2.254448e-05,2.308423e-05,2.324963e-05,2.358955e-05,2.389541e-05,2.406158e-05,2.448450e-05,2.450149e-05,2.491048e-05,2.501962e-05,2.528974e-05,2.550352e-05,2.564047e-05,2.593895e-05,2.596384e-05,2.626101e-05,2.632857e-05,2.653314e-05,2.667500e-05,2.678132e-05,2.698077e-05,2.700664e-05,2.721016e-05,2.724834e-05,2.739290e-05,2.748005e-05,2.755586e-05,2.767817e-05,2.770001e-05,2.782627e-05,2.784487e-05,2.793552e-05,2.798218e-05,2.802863e-05,2.809204e-05,2.810641e-05,2.816966e-05,2.817631e-05,2.821914e-05,2.823673e-05,2.825558e-05,2.827499e-05,2.827969e-05,2.829213e-05,2.829264e-05,2.829355e-05,2.829118e-05,2.828457e-05,2.827200e-05,2.826578e-05,2.823774e-05,2.823644e-05,2.820100e-05,2.818574e-05,2.815606e-05,2.812108e-05,2.810343e-05,2.804358e-05,2.797694e-05,2.795426e-05,2.790397e-05,2.785412e-05,2.782505e-05,2.774406e-05,2.774058e-05,2.765094e-05,2.762496e-05,2.755647e-05,2.749762e-05,2.745752e-05,2.736280e-05,2.735441e-05,2.724743e-05,2.722122e-05,2.713689e-05,2.707353e-05,2.702306e-05,2.692037e-05,2.690619e-05,2.678655e-05,2.676231e-05,2.666436e-05,2.659990e-05,2.653986e-05,2.643364e-05,2.641325e-05,2.628474e-05,2.626401e-05,2.615451e-05,2.609145e-05,2.602276e-05,2.591637e-05,2.588965e-05,2.575535e-05,2.573916e-05,2.562001e-05,2.556017e-05,2.548377e-05,2.537972e-05,2.534679e-05,2.520917e-05,2.519814e-05,2.507106e-05,2.501570e-05,2.493256e-05,2.483267e-05,2.479379e-05,2.465484e-05,2.464928e-05,2.451583e-05,2.446578e-05,2.437683e-05,2.428236e-05,2.423793e-05,2.409922e-05,2.391653e-05,2.373446e-05,2.355316e-05,2.337276e-05,2.319338e-05,2.301516e-05,2.283817e-05,2.266253e-05,2.248832e-05,2.231561e-05,2.214447e-05,2.197496e-05,2.180715e-05,2.164107e-05,2.147677e-05,2.131429e-05,2.115366e-05,2.099491e-05,2.083806e-05,2.068313e-05,2.053014e-05,2.037909e-05,2.023000e-05,2.008287e-05
0.000000e+00,7.562742e-09,2.248873e-08,1.135995e-07,3.322671e-07,5.432940e-07,1.573910e-06,1.635580e-06,3.840401e-06,4.732351e-06,7.736249e-06,1.118212e-05,1.405177e-05,2.274631e-05,2.365792e-05,3.747651e-05,4.151190e-05,5.627754e-05,6.915097e-05,8.046398e-05,1.061892e-04,1.100076e-04,1.445474e-04,1.520085e-04,1.835351e-04,2.053603e-04,2.263471e-04,2.648013e-04,2.723509e-04,3.209388e-04,3.289142e-04,3.715433e-04,3.963947e-04,4.236425e-04,4.660781e-04,4.767626e-04,5.304769e-04,5.369440e-04,5.844051e-04,6.081133e-04,6.382116e-04,6.788413e-04,6.916033e-04,7.443275e-04,7.485099e-04,7.961689e-04,8.166166e-04,8.469467e-04,8.827635e-04,8.965121e-04,9.447448e-04,9.466449e-04,9.915500e-04,1.008036e-03,1.036856e-03,1.066780e-03,1.080610e-03,1.122778e-03,1.163340e-03,1.175979e-03,1.202288e-03,1.226369e-03,1.239625e-03,1.273964e-03,1.275363e-03,1.309521e-03,1.318806e-03,1.342125e-03,1.360953e-03,1.373203e-03,1.400478e-03,1.402791e-03,1.430923e-03,1.437463e-03,1.457640e-03,1.471998e-03,1.482982e-03,1.504178e-03,1.506989e-03,1.529705e-03,1.534097e-03,1.551172e-03,1.561855e-03,1.571432e-03,1.587549e-03,1.590528e-03,1.608501e-03,1.611276e-03,1.625394e-03,1.633130e-03,1.641246e-03,1.653205e-03,1.656097e-03,1.669987e-03,1.671591e-03,1.682953e-03,1.688376e-03,1.695033e-03,1.703644e-03,1.706263e-03,1.716678e-03,1.717477e-03,1.726312e-03,1.729954e-03,1.735198e-03,1.741150e-03,1.743367e-03,1.750852e-03,1.751137e-03,1.757681e-03,1.759984e-03,1.763883e-03,1.767758e-03,1.769488e-03,1.774520e-03,1.779007e-03,1.780332e-03,1.782974e-03,1.785250e-03,1.786444e-03,1.789329e-03,1.789440e-03,1.791986e-03,1.792621e-03,1.794103e-03,1.795175e-03,1.795811e-03,1.797038e-03,1.797130e-03,1.798080e-03,1.798255e-03,1.798678e-03,1.798866e-03,1.798943e-03,1.798914e-03,1.798892e-03,1.798540e-03,1.798435e-03,1.797904e-03,1.797466e-03,1.796998e-03,1.796040e-03,1.795838e-03,1.794436e-03,1.794190e-03,1.792806e-03,1.791946e-03,1.790961e-03,1.789338e-03,1.788913e-03,1.786673e-03,1.786392e-03,1.784254e-03,1.783135e-03,1.781665e-03,1.779590e-03,1.778917e-03,1.776019e-03,1.775781e-03,1.772982e-03,1.771730e-03,1.769814e-03,1.767457e-03,1.766524e-03,1.763120e-03,1.762981e-03,1.759609e-03,1.758321e-03,1.756000e-03,1.753494e-03,1.752300e-03,1.748516e-03,1.743402e-03,1.738167e-03,1.732824e-03,1.727386e-03,1.721864e-03,1.716271e-03,1.710616e-03,1.704910e-03,1.699161e-03,1.693379e-03,1.687571e-03,1.681744e-03,1.675907e-03,1.670065e-03,1.664226e-03,1.658393e-03,1.652574e-03,1.646773e-03,1.640994e-03,1.635241e-03,1.629520e-03,1.623833e-03,1.618183e-03,1.612575e-03
0.000000e+00,7.785610e-08,2.328781e-07,1.189747e-06,3.510713e-06,5.763551e-06,1.681252e-05,1.747404e-05,4.104425e-05,5.051901e-05,8.214448e-05,1.179168e-04,1.473458e-04,2.349517e-04,2.440292e-04,3.800493e-04,4.194052e-04,5.629195e-04,6.881294e-04,7.986767e-04,1.052968e-03,1.091126e-03,1.441851e-03,1.518997e-03,1.850655e-03,2.085726e-03,2.316023e-03,2.748837e-03,2.835452e-03,3.405688e-03,3.501392e-03,4.022894e-03,4.334593e-03,4.682788e-03,5.238354e-03,5.380768e-03,6.112028e-03,6.201784e-03,6.871669e-03,7.213638e-03,7.654794e-03,8.262712e-03,8.456596e-03,9.272432e-03,9.338171e-03,1.009788e-02,1.042981e-02,1.092879e-02,1.152826e-02,1.176132e-02,1.259192e-02,1.262505e-02,1.341739e-02,1.371274e-02,1.423485e-02,1.478483e-02,1.504175e-02,1.583583e-02,1.661515e-02,1.686114e-02,1.737804e-02,1.785699e-02,1.812307e-02,1.882039e-02,1.884905e-02,1.955503e-02,1.974901e-02,2.024024e-02,2.064113e-02,2.090407e-02,2.149554e-02,2.154609e-02,2.216600e-02,2.231147e-02,2.276363e-02,2.308855e-02,2.333892e-02,2.382671e-02,2.389189e-02,2.442266e-02,2.452617e-02,2.493141e-02,2.518734e-02,2.541839e-02,2.581085e-02,2.588390e-02,2.632828e-02,2.639744e-02,2.675190e-02,2.694799e-02,2.715519e-02,2.746348e-02,2.753858e-02,2.790253e-02,2.794492e-02,2.824752e-02,2.839343e-02,2.857403e-02,2.881012e-02,2.888255e-02,2.917360e-02,2.919614e-02,2.944767e-02,2.955266e-02,2.970528e-02,2.988084e-02,2.994692e-02,3.017312e-02,3.018185e-02,3.038436e-02,3.045684e-02,3.058115e-02,3.070695e-02,3.076396e-02,3.093330e-02,3.108962e-02,3.113697e-02,3.123340e-02,3.131905e-02,3.136510e-02,3.148058e-02,3.148516e-02,3.159402e-02,3.162256e-02,3.169211e-02,3.174598e-02,3.177986e-02,3.185179e-02,3.185766e-02,3.192591e-02,3.194092e-02,3.198501e-02,3.201424e-02,3.203533e-02,3.207263e-02,3.207723e-02,3.211107e-02,3.211690e-02,3.213720e-02,3.214785e-02,3.215595e-02,3.216624e-02,3.216765e-02,3.217261e-02,3.217280e-02,3.217114e-02,3.216824e-02,3.216353e-02,3.215322e-02,3.215008e-02,3.213104e-02,3.212840e-02,3.210670e-02,3.209438e-02,3.207732e-02,3.205176e-02,3.204313e-02,3.200439e-02,3.200110e-02,3.196132e-02,3.194294e-02,3.191416e-02,3.187778e-02,3.186311e-02,3.180839e-02,3.180613e-02,3.175020e-02,3.172844e-02,3.168874e-02,3.164517e-02,3.162418e-02,3.155672e-02,3.146350e-02,3.136590e-02,3.126428e-02,3.115898e-02,3.105033e-02,3.093863e-02,3.082419e-02,3.070727e-02,3.058815e-02,3.046707e-02,3.034426e-02,3.021995e-02,3.009435e-02,2.996765e-02,2.984005e-02,2.971171e-02,2.958280e-02,2.945348e-02,2.932389e-02,2.919417e-02,2.906444e-02,2.893483e-02,2.880545e-02,2.867640e-02
0.000000e+00,3.804021e-07,1.118326e-06,5.512514e-06,1.574625e-05,2.539550e-05,7.078425e-05,7.343448e-05,1.650255e-04,2.007392e-04,3.170515e-04,4.448602e-04,5.479017e-04,8.469386e-04,8.774107e-04,1.325634e-03,1.452875e-03,1.909382e-03,2.299223e-03,2.637577e-03,3.397116e-03,3.508984e-03,4.513842e-03,4.729573e-03,5.637291e-03,6.262736e-03,6.862330e-03,7.957160e-03,8.171601e-03,9.548259e-03,9.773695e-03,1.097630e-02,1.167554e-02,1.244064e-02,1.362872e-02,1.392715e-02,1.542261e-02,1.560208e-02,1.691481e-02,1.756741e-02,1.839251e-02,1.949958e-02,1.984556e-02,2.126492e-02,2.137677e-02,2.264270e-02,2.318064e-02,2.397221e-02,2.489639e-02,2.524788e-02,2.646528e-02,2.651272e-02,2.762108e-02,2.802159e-02,2.871288e-02,2.941798e-02,2.973925e-02,3.069953e-02,3.159381e-02,3.186614e-02,3.242280e-02,3.291963e-02,3.318771e-02,3.386324e-02,3.389016e-02,3.453211e-02,3.470131e-02,3.511576e-02,3.543896e-02,3.564351e-02,3.608184e-02,3.611789e-02,3.654151e-02,3.663592e-02,3.691704e-02,3.710733e-02,3.724715e-02,3.750219e-02,3.753450e-02,3.778169e-02,3.782654e-02,3.799131e-02,3.808632e-02,3.816591e-02,3.828731e-02,3.830794e-02,3.841970e-02,3.843491e-02,3.850335e-02,3.853414e-02,3.856098e-02,3.858965e-02,3.859453e-02,3.860582e-02,3.860576e-02,3.859660e-02,3.858646e-02,3.856847e-02,3.853540e-02,3.852297e-02,3.846150e-02,3.845594e-02,3.838542e-02,3.835117e-02,3.829596e-02,3.822392e-02,3.819429e-02,3.808150e-02,3.807677e-02,3.795860e-02,3.791207e-02,3.782654e-02,3.773195e-02,3.768618e-02,3.753835e-02,3.738382e-02,3.733306e-02,3.722327e-02,3.711768e-02,3.705738e-02,3.689365e-02,3.688675e-02,3.671193e-02,3.666231e-02,3.653347e-02,3.642484e-02,3.635184e-02,3.618232e-02,3.616748e-02,3.598082e-02,3.593573e-02,3.579225e-02,3.568594e-02,3.560210e-02,3.543374e-02,3.541072e-02,3.521841e-02,3.517986e-02,3.502544e-02,3.492493e-02,3.483208e-02,3.466952e-02,3.463856e-02,3.444510e-02,3.441417e-02,3.425190e-02,3.415932e-02,3.405915e-02,3.390539e-02,3.386702e-02,3.367565e-02,3.365275e-02,3.348521e-02,3.340173e-02,3.329580e-02,3.315262e-02,3.310755e-02,3.292057e-02,3.290567e-02,3.273496e-02,3.266112e-02,3.255081e-02,3.241916e-02,3.236819e-02,3.218717e-02,3.217997e-02,3.200783e-02,3.194369e-02,3.183022e-02,3.171045e-02,3.165438e-02,3.148038e-02,3.125355e-02,3.103006e-02,3.080996e-02,3.059330e-02,3.038013e-02,3.017048e-02,2.996436e-02,2.976179e-02,2.956277e-02,2.936730e-02,2.917536e-02,2.898696e-02,2.880206e-02,2.862064e-02,2.844268e-02,2.826814e-02,2.809699e-02,2.792919e-02,2.776470e-02,2.760349e-02,2.744550e-02,2.729069e-02,2.713903e-02,2.699044e-02
0.000000e+00,6.363524e-10,1.791513e-09,8.130278e-09,2.171308e-08,3.385644e-08,8.737214e-08,9.038776e-08,1.910070e-07,2.290486e-07,3.505288e-07,4.813451e-07,5.853477e-07,8.801785e-07,9.096019e-07,1.328218e-06,1.442281e-06,1.835950e-06,2.155714e-06,2.423433e-06,2.999431e-06,3.081962e-06,3.804617e-06,3.956330e-06,4.585702e-06,5.013214e-06,5.419965e-06,6.157929e-06,6.302043e-06,7.226173e-06,7.377525e-06,8.186092e-06,8.657607e-06,9.175077e-06,9.982446e-06,1.018605e-05,1.121174e-05,1.133546e-05,1.224481e-05,1.269985e-05,1.327809e-05,1.405927e-05,1.430468e-05,1.531810e-05,1.539842e-05,1.631240e-05,1.670354e-05,1.728223e-05,1.796270e-05,1.822291e-05,1.913048e-05,1.916604e-05,2.000162e-05,2.030579e-05,2.083373e-05,2.137625e-05,2.162485e-05,2.237362e-05,2.307921e-05,2.329582e-05,2.374133e-05,2.414231e-05,2.436008e-05,2.491374e-05,2.493596e-05,2.546978e-05,2.561185e-05,2.596259e-05,2.623912e-05,2.641567e-05,2.679866e-05,2.683047e-05,2.720853e-05,2.729398e-05,2.755150e-05,2.772887e-05,2.786108e-05,2.810725e-05,2.813899e-05,2.838694e-05,2.843309e-05,2.860665e-05,2.871030e-05,2.879979e-05,2.894270e-05,2.896801e-05,2.911286e-05,2.913398e-05,2.923589e-05,2.928762e-05,2.933855e-05,2.940694e-05,2.942222e-05,2.948824e-05,2.949504e-05,2.953786e-05,2.955480e-05,2.957225e-05,2.958890e-05,2.959255e-05,2.959978e-05,2.959983e-05,2.959496e-05,2.958986e-05,2.957898e-05,2.956107e-05,2.955274e-05,2.951702e-05,2.951540e-05,2.947259e-05,2.945460e-05,2.942015e-05,2.938025e-05,2.936036e-05,2.929382e-05,2.922112e-05,2.919664e-05,2.914278e-05,2.908992e-05,2.905930e-05,2.897474e-05,2.897113e-05,2.887870e-05,2.885211e-05,2.878241e-05,2.872293e-05,2.868262e-05,2.858803e-05,2.857969e-05,2.847392e-05,2.844815e-05,2.836562e-05,2.830396e-05,2.825505e-05,2.815609e-05,2.814248e-05,2.802814e-05,2.800508e-05,2.791225e-05,2.785144e-05,2.779501e-05,2.769564e-05,2.767662e-05,2.755725e-05,2.753808e-05,2.743707e-05,2.737914e-05,2.731622e-05,2.721916e-05,2.719485e-05,2.707309e-05,2.705846e-05,2.695106e-05,2.689731e-05,2.682887e-05,2.673597e-05,2.670663e-05,2.658443e-05,2.657466e-05,2.646236e-05,2.641359e-05,2.634051e-05,2.625295e-05,2.621895e-05,2.609775e-05,2.609291e-05,2.597698e-05,2.593362e-05,2.585669e-05,2.577521e-05,2.573696e-05,2.561782e-05,2.546154e-05,2.530649e-05,2.515274e-05,2.500037e-05,2.484947e-05,2.470008e-05,2.455226e-05,2.440606e-05,2.426152e-05,2.411867e-05,2.397755e-05,2.383818e-05,2.370058e-05,2.356477e-05,2.343077e-05,2.329857e-05,2.316820e-05,2.303965e-05,2.291292e-05,2.278802e-05,2.266494e-05,2.254368e-05,2.242423e-05,2.230658e-05
0.000000e+00,2.488285e-11,5.738411e-11,1.989012e-10,4.543731e-10,6.640526e-10,1.512561e-09,1.558325e-09,3.024016e-09,3.557487e-09,5.216085e-09,6.951270e-09,8.307771e-09,1.210936e-08,1.248843e-08,1.794444e-08,1.946086e-08,2.481369e-08,2.929429e-08,3.312510e-08,4.154984e-08,4.277176e-08,5.355217e-08,5.582423e-08,6.524073e-08,7.160854e-08,7.763326e-08,8.846134e-08,9.055923e-08,1.038775e-07,1.060366e-07,1.174683e-07,1.240575e-07,1.312270e-07,1.422920e-07,1.450605e-07,1.588847e-07,1.605393e-07,1.726237e-07,1.786241e-07,1.862097e-07,1.963954e-07,1.995825e-07,2.126901e-07,2.137258e-07,2.254874e-07,2.305107e-07,2.379369e-07,2.466679e-07,2.500082e-07,2.616771e-07,2.621352e-07,2.729248e-07,2.768683e-07,2.837384e-07,2.908392e-07,2.941094e-07,3.040332e-07,3.135090e-07,3.164468e-07,3.225386e-07,3.280855e-07,3.311267e-07,3.389619e-07,3.392798e-07,3.470060e-07,3.490942e-07,3.543151e-07,3.585046e-07,3.612174e-07,3.672183e-07,3.677246e-07,3.738486e-07,3.752628e-07,3.796020e-07,3.826666e-07,3.849972e-07,3.894588e-07,3.900469e-07,3.947639e-07,3.956684e-07,3.991608e-07,4.013248e-07,4.032501e-07,4.064566e-07,4.070443e-07,4.105555e-07,4.110918e-07,4.137955e-07,4.152578e-07,4.167759e-07,4.189809e-07,4.195080e-07,4.220027e-07,4.222866e-07,4.242707e-07,4.251995e-07,4.263223e-07,4.277430e-07,4.281675e-07,4.298159e-07,4.299395e-07,4.312768e-07,4.318107e-07,4.325591e-07,4.333768e-07,4.336716e-07,4.346225e-07,4.346573e-07,4.354199e-07,4.356709e-07,4.360715e-07,4.364350e-07,4.365846e-07,4.369663e-07,4.372236e-07,4.372808e-07,4.373630e-07,4.373932e-07,4.373907e-07,4.373179e-07,4.373128e-07,4.371351e-07,4.370682e-07,4.368631e-07,4.366568e-07,4.365021e-07,4.360957e-07,4.360572e-07,4.355332e-07,4.353962e-07,4.349348e-07,4.345689e-07,4.342665e-07,4.336239e-07,4.335324e-07,4.327368e-07,4.325706e-07,4.318834e-07,4.314180e-07,4.309759e-07,4.301745e-07,4.300180e-07,4.290129e-07,4.288479e-07,4.279639e-07,4.274458e-07,4.268742e-07,4.259749e-07,4.257465e-07,4.245838e-07,4.244421e-07,4.233887e-07,4.228532e-07,4.221637e-07,4.212142e-07,4.209113e-07,4.196337e-07,4.195305e-07,4.183332e-07,4.178071e-07,4.170119e-07,4.160487e-07,4.156716e-07,4.143144e-07,4.142598e-07,4.129420e-07,4.124446e-07,4.115562e-07,4.106069e-07,4.101584e-07,4.087504e-07,4.068784e-07,4.049941e-07,4.031004e-07,4.012001e-07,3.992957e-07,3.973895e-07,3.954838e-07,3.935806e-07,3.916817e-07,3.897889e-07,3.879039e-07,3.860280e-07,3.841626e-07,3.823090e-07,3.804684e-07,3.786417e-07,3.768300e-07,3.750341e-07,3.732548e-07,3.714928e-07,3.697488e-07,3.680232e-07,3.663167e-07,3.646297e-07
0.000000e+00,1.569663e-08,4.673630e-08,2.364331e-07,6.910884e-07,1.128389e-06,3.242190e-06,3.367571e-06,7.777917e-06,9.526306e-06,1.528789e-05,2.169631e-05,2.689971e-05,4.210783e-05,4.366375e-05,6.664832e-05,7.320713e-05,9.689101e-05,1.173495e-04,1.353150e-04,1.764489e-04,1.826067e-04,2.390905e-04,2.514892e-04,3.046714e-04,3.422237e-04,3.788754e-04,4.473249e-04,4.609486e-04,5.499610e-04,5.647792e-04,6.448867e-04,6.922390e-04,7.446602e-04,8.272523e-04,8.482153e-04,9.545119e-04,9.674039e-04,1.062556e-03,1.110405e-03,1.171413e-03,1.254154e-03,1.280220e-03,1.388194e-03,1.396775e-03,1.494634e-03,1.536639e-03,1.598923e-03,1.672378e-03,1.700530e-03,1.799007e-03,1.802876e-03,1.893986e-03,1.927262e-03,1.985169e-03,2.044888e-03,2.072332e-03,2.155308e-03,2.233989e-03,2.258249e-03,2.308316e-03,2.353591e-03,2.378273e-03,2.441338e-03,2.443880e-03,2.505189e-03,2.521595e-03,2.562279e-03,2.594549e-03,2.615251e-03,2.660447e-03,2.664221e-03,2.709320e-03,2.719584e-03,2.750691e-03,2.772284e-03,2.788481e-03,2.818896e-03,2.822844e-03,2.853936e-03,2.859776e-03,2.881916e-03,2.895288e-03,2.906941e-03,2.925791e-03,2.929165e-03,2.948742e-03,2.951639e-03,2.965822e-03,2.973176e-03,2.980549e-03,2.990732e-03,2.993065e-03,3.003503e-03,3.004623e-03,3.011996e-03,3.015148e-03,3.018667e-03,3.022593e-03,3.023637e-03,3.027019e-03,3.027224e-03,3.028922e-03,3.029292e-03,3.029449e-03,3.029032e-03,3.028698e-03,3.026763e-03,3.026662e-03,3.023730e-03,3.022386e-03,3.019683e-03,3.016392e-03,3.014701e-03,3.008857e-03,3.002221e-03,2.999941e-03,2.994859e-03,2.989795e-03,2.986833e-03,2.978556e-03,2.978200e-03,2.969015e-03,2.966351e-03,2.959329e-03,2.953298e-03,2.949191e-03,2.939502e-03,2.938644e-03,2.927732e-03,2.925063e-03,2.916494e-03,2.910071e-03,2.904965e-03,2.894609e-03,2.893182e-03,2.881176e-03,2.878751e-03,2.868977e-03,2.862566e-03,2.856613e-03,2.846119e-03,2.844110e-03,2.831492e-03,2.829464e-03,2.818783e-03,2.812656e-03,2.806002e-03,2.795740e-03,2.793170e-03,2.780305e-03,2.778760e-03,2.767423e-03,2.761754e-03,2.754540e-03,2.744757e-03,2.741671e-03,2.728828e-03,2.727802e-03,2.716024e-03,2.710915e-03,2.703270e-03,2.694124e-03,2.690577e-03,2.677953e-03,2.677450e-03,2.665409e-03,2.660914e-03,2.652952e-03,2.644534e-03,2.640589e-03,2.628326e-03,2.612304e-03,2.596481e-03,2.580867e-03,2.565472e-03,2.550303e-03,2.535367e-03,2.520671e-03,2.506218e-03,2.492013e-03,2.478059e-03,2.464357e-03,2.450908e-03,2.437715e-03,2.424777e-03,2.412093e-03,2.399664e-03,2.387487e-03,2.375562e-03,2.363886e-03,2.352457e-03,2.341273e-03,2.330332e-03,2.319630e-03,2.309164e-03
0.000000e+00,7.736519e-07,2.254281e-06,1.091676e-05,3.071110e-05,4.913631e-05,1.343343e-04,1.392602e-04,3.076485e-04,3.726280e-04,5.826298e-04,8.113959e-04,9.947357e-04,1.522525e-03,1.575984e-03,2.355621e-03,2.574622e-03,3.351804e-03,4.005218e-03,4.565163e-03,5.800599e-03,5.980302e-03,7.572562e-03,7.909832e-03,9.314167e-03,1.026965e-02,1.117766e-02,1.281821e-02,1.313718e-02,1.516865e-02,1.549885e-02,1.724971e-02,1.826004e-02,1.935948e-02,2.105490e-02,2.147858e-02,2.358913e-02,2.384103e-02,2.567485e-02,2.658089e-02,2.772121e-02,2.924221e-02,2.971547e-02,3.164683e-02,3.179834e-02,3.350630e-02,3.422831e-02,3.528675e-02,3.651664e-02,3.698277e-02,3.859054e-02,3.865297e-02,4.010770e-02,4.063145e-02,4.153317e-02,4.245009e-02,4.286698e-02,4.411006e-02,4.526415e-02,4.561503e-02,4.633158e-02,4.697054e-02,4.731517e-02,4.818350e-02,4.821811e-02,4.904384e-02,4.926169e-02,4.979595e-02,5.021343e-02,5.047816e-02,5.104726e-02,5.109420e-02,5.164778e-02,5.177176e-02,5.214256e-02,5.239528e-02,5.258209e-02,5.292592e-02,5.296983e-02,5.330909e-02,5.337141e-02,5.360306e-02,5.373904e-02,5.385477e-02,5.403565e-02,5.406709e-02,5.424277e-02,5.426765e-02,5.438438e-02,5.444097e-02,5.449436e-02,5.456110e-02,5.457499e-02,5.462843e-02,5.463311e-02,5.465669e-02,5.466165e-02,5.466168e-02,5.465100e-02,5.464517e-02,5.460881e-02,5.460509e-02,5.455416e-02,5.452751e-02,5.448267e-02,5.442153e-02,5.439569e-02,5.429449e-02,5.429016e-02,5.418025e-02,5.413614e-02,5.405406e-02,5.396196e-02,5.391696e-02,5.376990e-02,5.361378e-02,5.356204e-02,5.344942e-02,5.334027e-02,5.327760e-02,5.310631e-02,5.309905e-02,5.291442e-02,5.286172e-02,5.272435e-02,5.260795e-02,5.252943e-02,5.234627e-02,5.233018e-02,5.212713e-02,5.207788e-02,5.192072e-02,5.180384e-02,5.171141e-02,5.152514e-02,5.149960e-02,5.128567e-02,5.124265e-02,5.106995e-02,5.095719e-02,5.085280e-02,5.066949e-02,5.063449e-02,5.041532e-02,5.038019e-02,5.019555e-02,5.008991e-02,4.997541e-02,4.979918e-02,4.975513e-02,4.953491e-02,4.950850e-02,4.931496e-02,4.921830e-02,4.909544e-02,4.892900e-02,4.887652e-02,4.865835e-02,4.864093e-02,4.844107e-02,4.835444e-02,4.822482e-02,4.806981e-02,4.800970e-02,4.779583e-02,4.778730e-02,4.758330e-02,4.750714e-02,4.737221e-02,4.722953e-02,4.716264e-02,4.695467e-02,4.668272e-02,4.641381e-02,4.614807e-02,4.588561e-02,4.562652e-02,4.537089e-02,4.511878e-02,4.487025e-02,4.462534e-02,4.438409e-02,4.414652e-02,4.391267e-02,4.368253e-02,4.345612e-02,4.323343e-02,4.301446e-02,4.279920e-02,4.258764e-02,4.237975e-02,4.217551e-02,4.197490e-02,4.177789e-02,4.158444e-02,4.139452e-02
0.000000e+00,6.052221e-10,1.701915e-09,7.710568e-09,2.056289e-08,3.202991e-08,8.227125e-08,8.508706e-08,1.780448e-07,2.126845e-07,3.215455e-07,4.361560e-07,5.257561e-07,7.755268e-07,8.002888e-07,1.153686e-06,1.251000e-06,1.592175e-06,1.875940e-06,2.118023e-06,2.651180e-06,2.728772e-06,3.418200e-06,3.564823e-06,4.178108e-06,4.598180e-06,4.999647e-06,5.730876e-06,5.873949e-06,6.792297e-06,6.942749e-06,7.746195e-06,8.214265e-06,8.727415e-06,9.526758e-06,9.728084e-06,1.074078e-05,1.086278e-05,1.175862e-05,1.220647e-05,1.277536e-05,1.354387e-05,1.378539e-05,1.478383e-05,1.486307e-05,1.576646e-05,1.615426e-05,1.672972e-05,1.740961e-05,1.767068e-05,1.858697e-05,1.862308e-05,1.947673e-05,1.979027e-05,2.033857e-05,2.090815e-05,2.117149e-05,2.197485e-05,2.274828e-05,2.298943e-05,2.349168e-05,2.395173e-05,2.420514e-05,2.486215e-05,2.488894e-05,2.554348e-05,2.572157e-05,2.616928e-05,2.653122e-05,2.676696e-05,2.729256e-05,2.733719e-05,2.788068e-05,2.800723e-05,2.839822e-05,2.867699e-05,2.889058e-05,2.930368e-05,2.935857e-05,2.980301e-05,2.988914e-05,3.022470e-05,3.043526e-05,3.062446e-05,3.094390e-05,3.100310e-05,3.136140e-05,3.141689e-05,3.170014e-05,3.185602e-05,3.202009e-05,3.226302e-05,3.232199e-05,3.260658e-05,3.263960e-05,3.287455e-05,3.298737e-05,3.312659e-05,3.330791e-05,3.336338e-05,3.358555e-05,3.360272e-05,3.379374e-05,3.387324e-05,3.398855e-05,3.412086e-05,3.417057e-05,3.434035e-05,3.434690e-05,3.449845e-05,3.455261e-05,3.464539e-05,3.473919e-05,3.478168e-05,3.490779e-05,3.502421e-05,3.505949e-05,3.513139e-05,3.519533e-05,3.522975e-05,3.531628e-05,3.531972e-05,3.540170e-05,3.542327e-05,3.547607e-05,3.551719e-05,3.554320e-05,3.559888e-05,3.560345e-05,3.565716e-05,3.566911e-05,3.570465e-05,3.572865e-05,3.574625e-05,3.577821e-05,3.578224e-05,3.581292e-05,3.581845e-05,3.583857e-05,3.585001e-05,3.585945e-05,3.587348e-05,3.587581e-05,3.588789e-05,3.588944e-05,3.589593e-05,3.589842e-05,3.590015e-05,3.590092e-05,3.590077e-05,3.589798e-05,3.589742e-05,3.589198e-05,3.588837e-05,3.588296e-05,3.587419e-05,3.587109e-05,3.585655e-05,3.585527e-05,3.583949e-05,3.583200e-05,3.582008e-05,3.580472e-05,3.579845e-05,3.577476e-05,3.577377e-05,3.574913e-05,3.573946e-05,3.572170e-05,3.570208e-05,3.569259e-05,3.566191e-05,3.561920e-05,3.557420e-05,3.552714e-05,3.547823e-05,3.542768e-05,3.537565e-05,3.532235e-05,3.526791e-05,3.521251e-05,3.515628e-05,3.509936e-05,3.504187e-05,3.498392e-05,3.492563e-05,3.486710e-05,3.480841e-05,3.474966e-05,3.469092e-05,3.463227e-05,3.457378e-05,3.451552e-05,3.445753e-05,3.439988e-05,3.434261e-05
0.000000e+00,1.580347e-09,4.481487e-09,2.058230e-08,5.537343e-08,8.656746e-08,2.238381e-07,2.315473e-07,4.865686e-07,5.818182e-07,8.818885e-07,1.199033e-06,1.447859e-06,2.145489e-06,2.214957e-06,3.211638e-06,3.487582e-06,4.458500e-06,5.268135e-06,5.958404e-06,7.469101e-06,7.687148e-06,9.594058e-06,9.991223e-06,1.161503e-05,1.269005e-05,1.368811e-05,1.543223e-05,1.576252e-05,1.780022e-05,1.812090e-05,1.977402e-05,2.069290e-05,2.166485e-05,2.310876e-05,2.345952e-05,2.514917e-05,2.534458e-05,2.672826e-05,2.738721e-05,2.819390e-05,2.923139e-05,2.954536e-05,3.078370e-05,3.087795e-05,3.191143e-05,3.233233e-05,3.293217e-05,3.360337e-05,3.385045e-05,3.467140e-05,3.470229e-05,3.540058e-05,3.564173e-05,3.604378e-05,3.643503e-05,3.660686e-05,3.709566e-05,3.751587e-05,3.763676e-05,3.787300e-05,3.807089e-05,3.817229e-05,3.840981e-05,3.841871e-05,3.861689e-05,3.866434e-05,3.877118e-05,3.884437e-05,3.888560e-05,3.895887e-05,3.896389e-05,3.900948e-05,3.901592e-05,3.902555e-05,3.902273e-05,3.901496e-05,3.898572e-05,3.898038e-05,3.892422e-05,3.891059e-05,3.884868e-05,3.880241e-05,3.875577e-05,3.866565e-05,3.864732e-05,3.852500e-05,3.850424e-05,3.839030e-05,3.832167e-05,3.824462e-05,3.812100e-05,3.808919e-05,3.792515e-05,3.790494e-05,3.775354e-05,3.767587e-05,3.757528e-05,3.743589e-05,3.739123e-05,3.720216e-05,3.718684e-05,3.700877e-05,3.693035e-05,3.681169e-05,3.666784e-05,3.661151e-05,3.640874e-05,3.640059e-05,3.620388e-05,3.612970e-05,3.599736e-05,3.585617e-05,3.578956e-05,3.558086e-05,3.537157e-05,3.530453e-05,3.516200e-05,3.502785e-05,3.495241e-05,3.475142e-05,3.474305e-05,3.453414e-05,3.447576e-05,3.432589e-05,3.420133e-05,3.411847e-05,3.392853e-05,3.391206e-05,3.370680e-05,3.365772e-05,3.350282e-05,3.338920e-05,3.330025e-05,3.312325e-05,3.309920e-05,3.289977e-05,3.286008e-05,3.270203e-05,3.259991e-05,3.250608e-05,3.234291e-05,3.231198e-05,3.211979e-05,3.208922e-05,3.192956e-05,3.183897e-05,3.174136e-05,3.159227e-05,3.155520e-05,3.137115e-05,3.134920e-05,3.118921e-05,3.110984e-05,3.100942e-05,3.087423e-05,3.083181e-05,3.065638e-05,3.064244e-05,3.048315e-05,3.041447e-05,3.031213e-05,3.019037e-05,3.014333e-05,2.997675e-05,2.997014e-05,2.981240e-05,2.975378e-05,2.965027e-05,2.954128e-05,2.949035e-05,2.933265e-05,2.912786e-05,2.892690e-05,2.872972e-05,2.853632e-05,2.834664e-05,2.816065e-05,2.797832e-05,2.779959e-05,2.762443e-05,2.745279e-05,2.728461e-05,2.711986e-05,2.695847e-05,2.680039e-05,2.664558e-05,2.649398e-05,2.634553e-05,2.620018e-05,2.605788e-05,2.591857e-05,2.578219e-05,2.564870e-05,2.551804e-05,2.539015e-05
0.000000e+00,1.718381e-09,4.983229e-09,2.391926e-08,6.689826e-08,1.068375e-07,2.925146e-07,3.033271e-07,6.790960e-07,8.273650e-07,1.318247e-06,1.870632e-06,2.323681e-06,3.657188e-06,3.793350e-06,5.766413e-06,6.310641e-06,8.188875e-06,9.698273e-06,1.094120e-05,1.353008e-05,1.389035e-05,1.692276e-05,1.753131e-05,1.995421e-05,2.151017e-05,2.292705e-05,2.535088e-05,2.580351e-05,2.855920e-05,2.898776e-05,3.117828e-05,3.238369e-05,3.365028e-05,3.551720e-05,3.596822e-05,3.812778e-05,3.837617e-05,4.012694e-05,4.095570e-05,4.196577e-05,4.325721e-05,4.364627e-05,4.517227e-05,4.528782e-05,4.654919e-05,4.705971e-05,4.778383e-05,4.858903e-05,4.888402e-05,4.985846e-05,4.989495e-05,5.071619e-05,5.099815e-05,5.146631e-05,5.191960e-05,5.211796e-05,5.268001e-05,5.316099e-05,5.329911e-05,5.356894e-05,5.379516e-05,5.391129e-05,5.418458e-05,5.419488e-05,5.442593e-05,5.448200e-05,5.461009e-05,5.470019e-05,5.475239e-05,5.485022e-05,5.485734e-05,5.492894e-05,5.494157e-05,5.497075e-05,5.498234e-05,5.498592e-05,5.497943e-05,5.497721e-05,5.494708e-05,5.493867e-05,5.489767e-05,5.486500e-05,5.483089e-05,5.476262e-05,5.474844e-05,5.465181e-05,5.463512e-05,5.454233e-05,5.448557e-05,5.442119e-05,5.431660e-05,5.428945e-05,5.414808e-05,5.413051e-05,5.399792e-05,5.392928e-05,5.383977e-05,5.371466e-05,5.367432e-05,5.350223e-05,5.348819e-05,5.332408e-05,5.325124e-05,5.314041e-05,5.300503e-05,5.295172e-05,5.275847e-05,5.275066e-05,5.256109e-05,5.248909e-05,5.235996e-05,5.222123e-05,5.215544e-05,5.194789e-05,5.173760e-05,5.166978e-05,5.152488e-05,5.138759e-05,5.131000e-05,5.110192e-05,5.109322e-05,5.087478e-05,5.081335e-05,5.065491e-05,5.052238e-05,5.043381e-05,5.022949e-05,5.021168e-05,4.998871e-05,4.993509e-05,4.976507e-05,4.963960e-05,4.954092e-05,4.934337e-05,4.931642e-05,4.909171e-05,4.904675e-05,4.886692e-05,4.875004e-05,4.864218e-05,4.845352e-05,4.841761e-05,4.819332e-05,4.815746e-05,4.796941e-05,4.786211e-05,4.774600e-05,4.756767e-05,4.752315e-05,4.730097e-05,4.727436e-05,4.707953e-05,4.698235e-05,4.685891e-05,4.669183e-05,4.663917e-05,4.642040e-05,4.640294e-05,4.620264e-05,4.611583e-05,4.598595e-05,4.583063e-05,4.577039e-05,4.555601e-05,4.554746e-05,4.534286e-05,4.526643e-05,4.513098e-05,4.498764e-05,4.492040e-05,4.471117e-05,4.443711e-05,4.416552e-05,4.389648e-05,4.363004e-05,4.336624e-05,4.310515e-05,4.284679e-05,4.259120e-05,4.233840e-05,4.208843e-05,4.184131e-05,4.159704e-05,4.135565e-05,4.111713e-05,4.088150e-05,4.064877e-05,4.041892e-05,4.019195e-05,3.996787e-05,3.974666e-05,3.952832e-05,3.931283e-05,3.910018e-05,3.889036e-05
0.000000e+00,3.474366e-10,8.774038e-10,3.374802e-09,8.114550e-09,1.209117e-08,2.849746e-08,2.939048e-08,5.819879e-08,6.874623e-08,1.016417e-07,1.361384e-07,1.631183e-07,2.385510e-07,2.460448e-07,3.529591e-07,3.822917e-07,4.843153e-07,5.679407e-07,6.383088e-07,7.902296e-07,8.120145e-07,1.002480e-06,1.042348e-06,1.207094e-06,1.318311e-06,1.423551e-06,1.612976e-06,1.649736e-06,1.883639e-06,1.921649e-06,2.123328e-06,2.239886e-06,2.366948e-06,2.563481e-06,2.612730e-06,2.859024e-06,2.888540e-06,3.104313e-06,3.211564e-06,3.347231e-06,3.529516e-06,3.586574e-06,3.821302e-06,3.839854e-06,4.050538e-06,4.140526e-06,4.273555e-06,4.429946e-06,4.489774e-06,4.698746e-06,4.706949e-06,4.900144e-06,4.970748e-06,5.093748e-06,5.220875e-06,5.279423e-06,5.457104e-06,5.626795e-06,5.679416e-06,5.788553e-06,5.887957e-06,5.942473e-06,6.082987e-06,6.088689e-06,6.227365e-06,6.264868e-06,6.358686e-06,6.434032e-06,6.482854e-06,6.590957e-06,6.600086e-06,6.710614e-06,6.736171e-06,6.814687e-06,6.870239e-06,6.912547e-06,6.993704e-06,7.004420e-06,7.090536e-06,7.107089e-06,7.171127e-06,7.210927e-06,7.246420e-06,7.305732e-06,7.316634e-06,7.381985e-06,7.392004e-06,7.442683e-06,7.470227e-06,7.498935e-06,7.540869e-06,7.550939e-06,7.598888e-06,7.604378e-06,7.642967e-06,7.661182e-06,7.683355e-06,7.711688e-06,7.720225e-06,7.753746e-06,7.756288e-06,7.784078e-06,7.795352e-06,7.811375e-06,7.829234e-06,7.835787e-06,7.857456e-06,7.858268e-06,7.876520e-06,7.882770e-06,7.893109e-06,7.903042e-06,7.907352e-06,7.919368e-06,7.929274e-06,7.932017e-06,7.937182e-06,7.941242e-06,7.943196e-06,7.947284e-06,7.947420e-06,7.949950e-06,7.950368e-06,7.950880e-06,7.950707e-06,7.950299e-06,7.948503e-06,7.948292e-06,7.944941e-06,7.943945e-06,7.940323e-06,7.937211e-06,7.934512e-06,7.928469e-06,7.927580e-06,7.919594e-06,7.917876e-06,7.910619e-06,7.905582e-06,7.900717e-06,7.891724e-06,7.889945e-06,7.878360e-06,7.876435e-06,7.866017e-06,7.859837e-06,7.852964e-06,7.842045e-06,7.839252e-06,7.824926e-06,7.823167e-06,7.810029e-06,7.803306e-06,7.794606e-06,7.782555e-06,7.778694e-06,7.762332e-06,7.761004e-06,7.745556e-06,7.738737e-06,7.728400e-06,7.715831e-06,7.710898e-06,7.693079e-06,7.692360e-06,7.674973e-06,7.668391e-06,7.656609e-06,7.643988e-06,7.638013e-06,7.619210e-06,7.594114e-06,7.568750e-06,7.543167e-06,7.517410e-06,7.491521e-06,7.465538e-06,7.439497e-06,7.413432e-06,7.387374e-06,7.361352e-06,7.335392e-06,7.309518e-06,7.283754e-06,7.258119e-06,7.232634e-06,7.207315e-06,7.182180e-06,7.157241e-06,7.132514e-06,7.108010e-06,7.083740e-06,7.059713e-06,7.035941e-06,7.012429e-06
0.000000e+00,6.053108e-11,1.433783e-10,5.120561e-10,1.187030e-09,1.744296e-09,4.007804e-09,4.129972e-09,8.035613e-09,9.451873e-09,1.383254e-08,1.837743e-08,2.190395e-08,3.167388e-08,3.263974e-08,4.640308e-08,5.018935e-08,6.345629e-08,7.448075e-08,8.387674e-08,1.045376e-07,1.075409e-07,1.341986e-07,1.398638e-07,1.635600e-07,1.798017e-07,1.953414e-07,2.237109e-07,2.292740e-07,2.650997e-07,2.709906e-07,3.025662e-07,3.210595e-07,3.414240e-07,3.733465e-07,3.814271e-07,4.223343e-07,4.272928e-07,4.639128e-07,4.823622e-07,5.059402e-07,5.380524e-07,5.482080e-07,5.905234e-07,5.939053e-07,6.327108e-07,6.495137e-07,6.746114e-07,7.045227e-07,7.160848e-07,7.570082e-07,7.586321e-07,7.972757e-07,8.115937e-07,8.367973e-07,8.632071e-07,8.754979e-07,9.133156e-07,9.502010e-07,9.618008e-07,9.861153e-07,1.008577e-06,1.021029e-06,1.053587e-06,1.054923e-06,1.087782e-06,1.096796e-06,1.119599e-06,1.138189e-06,1.150373e-06,1.177766e-06,1.180107e-06,1.208807e-06,1.215542e-06,1.236484e-06,1.251541e-06,1.263150e-06,1.285792e-06,1.288821e-06,1.313512e-06,1.318334e-06,1.337242e-06,1.349209e-06,1.360031e-06,1.378461e-06,1.381898e-06,1.402865e-06,1.406138e-06,1.422953e-06,1.432289e-06,1.442183e-06,1.456965e-06,1.460578e-06,1.478160e-06,1.480216e-06,1.494951e-06,1.502094e-06,1.510973e-06,1.522649e-06,1.526248e-06,1.540798e-06,1.541931e-06,1.554643e-06,1.559989e-06,1.567807e-06,1.576873e-06,1.580308e-06,1.592169e-06,1.592630e-06,1.603408e-06,1.607306e-06,1.614047e-06,1.620948e-06,1.624104e-06,1.633598e-06,1.642549e-06,1.645301e-06,1.650974e-06,1.656098e-06,1.658891e-06,1.666030e-06,1.666318e-06,1.673271e-06,1.675136e-06,1.679768e-06,1.683453e-06,1.685823e-06,1.691019e-06,1.691454e-06,1.696675e-06,1.697868e-06,1.701501e-06,1.704036e-06,1.705946e-06,1.709555e-06,1.710025e-06,1.713752e-06,1.714456e-06,1.717139e-06,1.718771e-06,1.720200e-06,1.722528e-06,1.722947e-06,1.725393e-06,1.725757e-06,1.727548e-06,1.728483e-06,1.729425e-06,1.730734e-06,1.731035e-06,1.732389e-06,1.732534e-06,1.733496e-06,1.733908e-06,1.734367e-06,1.734878e-06,1.735013e-06,1.735442e-06,1.735467e-06,1.735663e-06,1.735696e-06,1.735686e-06,1.735585e-06,1.735519e-06,1.735171e-06,1.735153e-06,1.734649e-06,1.734420e-06,1.733962e-06,1.733404e-06,1.733116e-06,1.732120e-06,1.730586e-06,1.728817e-06,1.726829e-06,1.724634e-06,1.722247e-06,1.719682e-06,1.716949e-06,1.714061e-06,1.711030e-06,1.707865e-06,1.704578e-06,1.701177e-06,1.697672e-06,1.694073e-06,1.690386e-06,1.686621e-06,1.682784e-06,1.678883e-06,1.674925e-06,1.670917e-06,1.666863e-06,1.662771e-06,1.658645e-06,1.654491e-06
0.000000e+00,3.244753e-10,7.969808e-10,2.954460e-09,6.947545e-09,1.024853e-08,2.360351e-08,2.432123e-08,4.709899e-08,5.528369e-08,8.037751e-08,1.060983e-07,1.258644e-07,1.799021e-07,1.851950e-07,2.599075e-07,2.802840e-07,3.513626e-07,4.102946e-07,4.605910e-07,5.718058e-07,5.880627e-07,7.334131e-07,7.645240e-07,8.952358e-07,9.851207e-07,1.071101e-06,1.227393e-06,1.257869e-06,1.452160e-06,1.483726e-06,1.650779e-06,1.746817e-06,1.850939e-06,2.010601e-06,2.050318e-06,2.247027e-06,2.270377e-06,2.439541e-06,2.522593e-06,2.626635e-06,2.764592e-06,2.807332e-06,2.980866e-06,2.994420e-06,3.146647e-06,3.210687e-06,3.304242e-06,3.412471e-06,3.453355e-06,3.593804e-06,3.599241e-06,3.725515e-06,3.770792e-06,3.848499e-06,3.927185e-06,3.962844e-06,4.068698e-06,4.166264e-06,4.195773e-06,4.255784e-06,4.308979e-06,4.337531e-06,4.408974e-06,4.411805e-06,4.478920e-06,4.496474e-06,4.539204e-06,4.572233e-06,4.592988e-06,4.637017e-06,4.640608e-06,4.682395e-06,4.691592e-06,4.718677e-06,4.736711e-06,4.749777e-06,4.773106e-06,4.776006e-06,4.797669e-06,4.801480e-06,4.815058e-06,4.822504e-06,4.828453e-06,4.836816e-06,4.838124e-06,4.844329e-06,4.845016e-06,4.847311e-06,4.847667e-06,4.847305e-06,4.845296e-06,4.844530e-06,4.839197e-06,4.838395e-06,4.831504e-06,4.827419e-06,4.821637e-06,4.812793e-06,4.809773e-06,4.796077e-06,4.794907e-06,4.780708e-06,4.774124e-06,4.763810e-06,4.750776e-06,4.745524e-06,4.725977e-06,4.725171e-06,4.705292e-06,4.697589e-06,4.683583e-06,4.668289e-06,4.660955e-06,4.637508e-06,4.613336e-06,4.605462e-06,4.588525e-06,4.572349e-06,4.563156e-06,4.538348e-06,4.537305e-06,4.511042e-06,4.503623e-06,4.484432e-06,4.468325e-06,4.457535e-06,4.432586e-06,4.430409e-06,4.403105e-06,4.396531e-06,4.375672e-06,4.360270e-06,4.348155e-06,4.323903e-06,4.320594e-06,4.293029e-06,4.287518e-06,4.265494e-06,4.251198e-06,4.238021e-06,4.215015e-06,4.210641e-06,4.183381e-06,4.179032e-06,4.156265e-06,4.143307e-06,4.129316e-06,4.107892e-06,4.102556e-06,4.076002e-06,4.072830e-06,4.049672e-06,4.038162e-06,4.023582e-06,4.003922e-06,3.997745e-06,3.972174e-06,3.970140e-06,3.946879e-06,3.936841e-06,3.921871e-06,3.904048e-06,3.897159e-06,3.872749e-06,3.871779e-06,3.848649e-06,3.840049e-06,3.824863e-06,3.808872e-06,3.801398e-06,3.778256e-06,3.748210e-06,3.718739e-06,3.689847e-06,3.661536e-06,3.633805e-06,3.606655e-06,3.580084e-06,3.554086e-06,3.528659e-06,3.503798e-06,3.479496e-06,3.455747e-06,3.432543e-06,3.409878e-06,3.387743e-06,3.366129e-06,3.345028e-06,3.324431e-06,3.304329e-06,3.284712e-06,3.265571e-06,3.246897e-06,3.228679e-06,3.210908e-06
0.000000e+00,3.945339e-09,1.127498e-08,5.262419e-08,1.436593e-07,2.263714e-07,5.970243e-07,6.180671e-07,1.322535e-06,1.588700e-06,2.434129e-06,3.335520e-06,4.046515e-06,6.051005e-06,6.251239e-06,9.131907e-06,9.931501e-06,1.275120e-05,1.511155e-05,1.713293e-05,2.159993e-05,2.225099e-05,2.803641e-05,2.926564e-05,3.439708e-05,3.789962e-05,4.123595e-05,4.728245e-05,4.846078e-05,5.598732e-05,5.721437e-05,6.373946e-05,6.752020e-05,7.164859e-05,7.804729e-05,7.965308e-05,8.769789e-05,8.866361e-05,9.573444e-05,9.925676e-05,1.037204e-04,1.097332e-04,1.116193e-04,1.194004e-04,1.200170e-04,1.270381e-04,1.300482e-04,1.345116e-04,1.397812e-04,1.418040e-04,1.489024e-04,1.491822e-04,1.557969e-04,1.582276e-04,1.624804e-04,1.669019e-04,1.689478e-04,1.751964e-04,1.812247e-04,1.831072e-04,1.870328e-04,1.906349e-04,1.926218e-04,1.977828e-04,1.979936e-04,2.031509e-04,2.045570e-04,2.080971e-04,2.109650e-04,2.128359e-04,2.170159e-04,2.173714e-04,2.217080e-04,2.227197e-04,2.258503e-04,2.280870e-04,2.298032e-04,2.331288e-04,2.335714e-04,2.371601e-04,2.378567e-04,2.405742e-04,2.422822e-04,2.438188e-04,2.464169e-04,2.468989e-04,2.498195e-04,2.502724e-04,2.525858e-04,2.538601e-04,2.552025e-04,2.571915e-04,2.576746e-04,2.600069e-04,2.602776e-04,2.622042e-04,2.631294e-04,2.642711e-04,2.657575e-04,2.662121e-04,2.680319e-04,2.681724e-04,2.697347e-04,2.703840e-04,2.713249e-04,2.724024e-04,2.728066e-04,2.741839e-04,2.742369e-04,2.754609e-04,2.758968e-04,2.766415e-04,2.773911e-04,2.777293e-04,2.787282e-04,2.796416e-04,2.799165e-04,2.804732e-04,2.809639e-04,2.812262e-04,2.818782e-04,2.819040e-04,2.825097e-04,2.826668e-04,2.830464e-04,2.833366e-04,2.835172e-04,2.838946e-04,2.839250e-04,2.842725e-04,2.843472e-04,2.845625e-04,2.847007e-04,2.847976e-04,2.849611e-04,2.849803e-04,2.851132e-04,2.851340e-04,2.851987e-04,2.852251e-04,2.852389e-04,2.852394e-04,2.852361e-04,2.851926e-04,2.851820e-04,2.851103e-04,2.850576e-04,2.849912e-04,2.848708e-04,2.848373e-04,2.846504e-04,2.846259e-04,2.844323e-04,2.843269e-04,2.841848e-04,2.839780e-04,2.839094e-04,2.836078e-04,2.835826e-04,2.832815e-04,2.831445e-04,2.829321e-04,2.826669e-04,2.825608e-04,2.821691e-04,2.821530e-04,2.817582e-04,2.816059e-04,2.813295e-04,2.810284e-04,2.808842e-04,2.804233e-04,2.797931e-04,2.791403e-04,2.784671e-04,2.777757e-04,2.770682e-04,2.763466e-04,2.756126e-04,2.748679e-04,2.741142e-04,2.733530e-04,2.725857e-04,2.718137e-04,2.710382e-04,2.702603e-04,2.694813e-04,2.687020e-04,2.679235e-04,2.671467e-04,2.663724e-04,2.656013e-04,2.648342e-04,2.640717e-04,2.633144e-04,2.625630e-04
0.000000e+00,9.742284e-12,2.227080e-11,7.637281e-11,1.733123e-10,2.524657e-10,5.701950e-10,5.872324e-10,1.128448e-09,1.323508e-09,1.924223e-09,2.544350e-09,3.023844e-09,4.346011e-09,4.476268e-09,6.323910e-09,6.829370e-09,8.590289e-09,1.004074e-08,1.126715e-08,1.393056e-08,1.431382e-08,1.767167e-08,1.837517e-08,2.128009e-08,2.323697e-08,2.508417e-08,2.839557e-08,2.903598e-08,3.309326e-08,3.374962e-08,3.721810e-08,3.921184e-08,4.137626e-08,4.470581e-08,4.553671e-08,4.967162e-08,5.016489e-08,5.375636e-08,5.553210e-08,5.776948e-08,6.076019e-08,6.169270e-08,6.551082e-08,6.581135e-08,6.921156e-08,7.065673e-08,7.278522e-08,7.527539e-08,7.622450e-08,7.952423e-08,7.965326e-08,8.268113e-08,8.378228e-08,8.569349e-08,8.765911e-08,8.856097e-08,9.128435e-08,9.386533e-08,9.466155e-08,9.630636e-08,9.779656e-08,9.861048e-08,1.006969e-07,1.007812e-07,1.028224e-07,1.033713e-07,1.047382e-07,1.058292e-07,1.065328e-07,1.080806e-07,1.082106e-07,1.097760e-07,1.101355e-07,1.112335e-07,1.120041e-07,1.125874e-07,1.136966e-07,1.138421e-07,1.150018e-07,1.152228e-07,1.160709e-07,1.165923e-07,1.170532e-07,1.178144e-07,1.179530e-07,1.187738e-07,1.188981e-07,1.195197e-07,1.198520e-07,1.201940e-07,1.206844e-07,1.208004e-07,1.213421e-07,1.214029e-07,1.218224e-07,1.220151e-07,1.222445e-07,1.225281e-07,1.226113e-07,1.229256e-07,1.229486e-07,1.231903e-07,1.232829e-07,1.234080e-07,1.235370e-07,1.235811e-07,1.237121e-07,1.237165e-07,1.238034e-07,1.238269e-07,1.238571e-07,1.238732e-07,1.238753e-07,1.238602e-07,1.238135e-07,1.237922e-07,1.237372e-07,1.236736e-07,1.236329e-07,1.235082e-07,1.235025e-07,1.233474e-07,1.232998e-07,1.231692e-07,1.230519e-07,1.229694e-07,1.227677e-07,1.227494e-07,1.225104e-07,1.224503e-07,1.222537e-07,1.221027e-07,1.219805e-07,1.217274e-07,1.216920e-07,1.213892e-07,1.213271e-07,1.210732e-07,1.209040e-07,1.207449e-07,1.204604e-07,1.204053e-07,1.200553e-07,1.199984e-07,1.196956e-07,1.195198e-07,1.193271e-07,1.190265e-07,1.189506e-07,1.185667e-07,1.185202e-07,1.181762e-07,1.180024e-07,1.177796e-07,1.174746e-07,1.173777e-07,1.169709e-07,1.169381e-07,1.165598e-07,1.163943e-07,1.161450e-07,1.158443e-07,1.157269e-07,1.153060e-07,1.152891e-07,1.148827e-07,1.147298e-07,1.144575e-07,1.141674e-07,1.140307e-07,1.136027e-07,1.130366e-07,1.124697e-07,1.119028e-07,1.113365e-07,1.107714e-07,1.102081e-07,1.096470e-07,1.090886e-07,1.085334e-07,1.079816e-07,1.074337e-07,1.068900e-07,1.063508e-07,1.058163e-07,1.052867e-07,1.047624e-07,1.042434e-07,1.037300e-07,1.032222e-07,1.027203e-07,1.022243e-07,1.017344e-07,1.012506e-07,1.007730e-07
0.000000e+00,1.162925e-09,3.345637e-09,1.580865e-08,4.361400e-08,6.913962e-08,1.856970e-07,1.924079e-07,4.222531e-07,5.115629e-07,8.034681e-07,1.127104e-06,1.390054e-06,2.157098e-06,2.235093e-06,3.363293e-06,3.674434e-06,4.750004e-06,5.617579e-06,6.334974e-06,7.840427e-06,8.051330e-06,9.842864e-06,1.020628e-05,1.166773e-05,1.261950e-05,1.349589e-05,1.501786e-05,1.530538e-05,1.707926e-05,1.735882e-05,1.880368e-05,1.961032e-05,2.046691e-05,2.174664e-05,2.205891e-05,2.357118e-05,2.374695e-05,2.499684e-05,2.559528e-05,2.633064e-05,2.728066e-05,2.756904e-05,2.871013e-05,2.879719e-05,2.975348e-05,3.014362e-05,3.070001e-05,3.132274e-05,3.155190e-05,3.231244e-05,3.234101e-05,3.298568e-05,3.320754e-05,3.357622e-05,3.393309e-05,3.408907e-05,3.452951e-05,3.490285e-05,3.500902e-05,3.521439e-05,3.538374e-05,3.546930e-05,3.566538e-05,3.567258e-05,3.582892e-05,3.586488e-05,3.594270e-05,3.599233e-05,3.601818e-05,3.605713e-05,3.605924e-05,3.606948e-05,3.606772e-05,3.605219e-05,3.603159e-05,3.601032e-05,3.595530e-05,3.594658e-05,3.586341e-05,3.584464e-05,3.576304e-05,3.570472e-05,3.564746e-05,3.553996e-05,3.551849e-05,3.537774e-05,3.535423e-05,3.522667e-05,3.515088e-05,3.506659e-05,3.493282e-05,3.489867e-05,3.472397e-05,3.470260e-05,3.454344e-05,3.446238e-05,3.435793e-05,3.421408e-05,3.416820e-05,3.397493e-05,3.395934e-05,3.377874e-05,3.369956e-05,3.358017e-05,3.343602e-05,3.337974e-05,3.317788e-05,3.316978e-05,3.297499e-05,3.290177e-05,3.277144e-05,3.263281e-05,3.256754e-05,3.236359e-05,3.215985e-05,3.209474e-05,3.195656e-05,3.182678e-05,3.175392e-05,3.156018e-05,3.155213e-05,3.135136e-05,3.129535e-05,3.115177e-05,3.103263e-05,3.095348e-05,3.077233e-05,3.075663e-05,3.056133e-05,3.051470e-05,3.036766e-05,3.025996e-05,3.017573e-05,3.000832e-05,2.998560e-05,2.979735e-05,2.975993e-05,2.961104e-05,2.951494e-05,2.942672e-05,2.927346e-05,2.924443e-05,2.906422e-05,2.903558e-05,2.888611e-05,2.880138e-05,2.871015e-05,2.857093e-05,2.853634e-05,2.836472e-05,2.834427e-05,2.819529e-05,2.812144e-05,2.802807e-05,2.790246e-05,2.786306e-05,2.770026e-05,2.768734e-05,2.753969e-05,2.747609e-05,2.738134e-05,2.726871e-05,2.722521e-05,2.707129e-05,2.706518e-05,2.691957e-05,2.686549e-05,2.677005e-05,2.666963e-05,2.662272e-05,2.647755e-05,2.628923e-05,2.610464e-05,2.592373e-05,2.574647e-05,2.557281e-05,2.540270e-05,2.523609e-05,2.507294e-05,2.491319e-05,2.475679e-05,2.460369e-05,2.445383e-05,2.430716e-05,2.416362e-05,2.402315e-05,2.388570e-05,2.375122e-05,2.361964e-05,2.349092e-05,2.336499e-05,2.324181e-05,2.312131e-05,2.300344e-05,2.288815e-05
0.000000e+00,4.870890e-10,1.342055e-09,5.851673e-09,1.513619e-08,2.322468e-08,5.770371e-08,5.960856e-08,1.217566e-07,1.447219e-07,2.167517e-07,2.927607e-07,3.524775e-07,5.205476e-07,5.373280e-07,7.781428e-07,8.445766e-07,1.076127e-06,1.265561e-06,1.423965e-06,1.760596e-06,1.808116e-06,2.214101e-06,2.296805e-06,2.629940e-06,2.847034e-06,3.046818e-06,3.393131e-06,3.458430e-06,3.860163e-06,3.923278e-06,4.248510e-06,4.429331e-06,4.620722e-06,4.905403e-06,4.974634e-06,5.308580e-06,5.347250e-06,5.621351e-06,5.752046e-06,5.912166e-06,6.118251e-06,6.180641e-06,6.426755e-06,6.445484e-06,6.650798e-06,6.734354e-06,6.853332e-06,6.986266e-06,7.035132e-06,7.197142e-06,7.203226e-06,7.340426e-06,7.387642e-06,7.466126e-06,7.542163e-06,7.575429e-06,7.669532e-06,7.749621e-06,7.772480e-06,7.816851e-06,7.853644e-06,7.872330e-06,7.915512e-06,7.917111e-06,7.952185e-06,7.960394e-06,7.978477e-06,7.990396e-06,7.996844e-06,8.007424e-06,8.008077e-06,8.012901e-06,8.013180e-06,8.011977e-06,8.009177e-06,8.005909e-06,7.996752e-06,7.995246e-06,7.980487e-06,7.977084e-06,7.962082e-06,7.951207e-06,7.940438e-06,7.920022e-06,7.915920e-06,7.888861e-06,7.884316e-06,7.859559e-06,7.844778e-06,7.828284e-06,7.802005e-06,7.795276e-06,7.760753e-06,7.756518e-06,7.724912e-06,7.708771e-06,7.687931e-06,7.659161e-06,7.649968e-06,7.611168e-06,7.608032e-06,7.571660e-06,7.555685e-06,7.531561e-06,7.502383e-06,7.490976e-06,7.450002e-06,7.448356e-06,7.408724e-06,7.393804e-06,7.367219e-06,7.338903e-06,7.325559e-06,7.283806e-06,7.242018e-06,7.228648e-06,7.200248e-06,7.173546e-06,7.158542e-06,7.118605e-06,7.116943e-06,7.075490e-06,7.063913e-06,7.034216e-06,7.009552e-06,6.993154e-06,6.955588e-06,6.952332e-06,6.911775e-06,6.902084e-06,6.871507e-06,6.849090e-06,6.831547e-06,6.796653e-06,6.791915e-06,6.752627e-06,6.744812e-06,6.713698e-06,6.693602e-06,6.675142e-06,6.643050e-06,6.636969e-06,6.599190e-06,6.593182e-06,6.561814e-06,6.544019e-06,6.524848e-06,6.495576e-06,6.488300e-06,6.452175e-06,6.447869e-06,6.416478e-06,6.400908e-06,6.381213e-06,6.354702e-06,6.346383e-06,6.311990e-06,6.309258e-06,6.278037e-06,6.264579e-06,6.244525e-06,6.220669e-06,6.211454e-06,6.178825e-06,6.177529e-06,6.146637e-06,6.135157e-06,6.114890e-06,6.093553e-06,6.083582e-06,6.052712e-06,6.012631e-06,5.973306e-06,5.934729e-06,5.896895e-06,5.859797e-06,5.823426e-06,5.787775e-06,5.752835e-06,5.718595e-06,5.685048e-06,5.652184e-06,5.619991e-06,5.588461e-06,5.557583e-06,5.527345e-06,5.497739e-06,5.468753e-06,5.440376e-06,5.412599e-06,5.385409e-06,5.358796e-06,5.332750e-06,5.307261e-06,5.282316e-06
0.000000e+00,4.251039e-10,1.230321e-09,5.873342e-09,1.629976e-08,2.587654e-08,6.923250e-08,7.170422e-08,1.545800e-07,1.858720e-07,2.849650e-07,3.899961e-07,4.723686e-07,7.025080e-07,7.253434e-07,1.051390e-06,1.141222e-06,1.456482e-06,1.719262e-06,1.943969e-06,2.440575e-06,2.513015e-06,3.157513e-06,3.294571e-06,3.866513e-06,4.256110e-06,4.626065e-06,5.292313e-06,5.421367e-06,6.238303e-06,6.370151e-06,7.064222e-06,7.460575e-06,7.888179e-06,8.539645e-06,8.700898e-06,9.494640e-06,9.588299e-06,1.026306e-05,1.059178e-05,1.100106e-05,1.153914e-05,1.170471e-05,1.237112e-05,1.242276e-05,1.299832e-05,1.323795e-05,1.358521e-05,1.398257e-05,1.413141e-05,1.463716e-05,1.465656e-05,1.510323e-05,1.526153e-05,1.553082e-05,1.580035e-05,1.592143e-05,1.627682e-05,1.659890e-05,1.669526e-05,1.688969e-05,1.706032e-05,1.715124e-05,1.737672e-05,1.738560e-05,1.759478e-05,1.764910e-05,1.778072e-05,1.788191e-05,1.794529e-05,1.807933e-05,1.809024e-05,1.821723e-05,1.824521e-05,1.832780e-05,1.838308e-05,1.842338e-05,1.849615e-05,1.850530e-05,1.857477e-05,1.858727e-05,1.863291e-05,1.865900e-05,1.868073e-05,1.871361e-05,1.871917e-05,1.874906e-05,1.875311e-05,1.877120e-05,1.877927e-05,1.878626e-05,1.879365e-05,1.879489e-05,1.879766e-05,1.879763e-05,1.879508e-05,1.879238e-05,1.878763e-05,1.877897e-05,1.877574e-05,1.875978e-05,1.875834e-05,1.874013e-05,1.873131e-05,1.871710e-05,1.869860e-05,1.869100e-05,1.866207e-05,1.866086e-05,1.863058e-05,1.861866e-05,1.859674e-05,1.857250e-05,1.856077e-05,1.852284e-05,1.848315e-05,1.847010e-05,1.844184e-05,1.841462e-05,1.839906e-05,1.835675e-05,1.835496e-05,1.830965e-05,1.829677e-05,1.826326e-05,1.823495e-05,1.821589e-05,1.817153e-05,1.816764e-05,1.811860e-05,1.810672e-05,1.806887e-05,1.804074e-05,1.801852e-05,1.797376e-05,1.796763e-05,1.791626e-05,1.790594e-05,1.786449e-05,1.783743e-05,1.781238e-05,1.776837e-05,1.775997e-05,1.770733e-05,1.769889e-05,1.765451e-05,1.762910e-05,1.760154e-05,1.755910e-05,1.754849e-05,1.749537e-05,1.748900e-05,1.744224e-05,1.741887e-05,1.738913e-05,1.734880e-05,1.733607e-05,1.728310e-05,1.727886e-05,1.723024e-05,1.720913e-05,1.717751e-05,1.713966e-05,1.712496e-05,1.707259e-05,1.707050e-05,1.702044e-05,1.700172e-05,1.696852e-05,1.693336e-05,1.691685e-05,1.686545e-05,1.679805e-05,1.673118e-05,1.666488e-05,1.659918e-05,1.653410e-05,1.646967e-05,1.640591e-05,1.634284e-05,1.628047e-05,1.621882e-05,1.615791e-05,1.609773e-05,1.603832e-05,1.597966e-05,1.592178e-05,1.586466e-05,1.580833e-05,1.575278e-05,1.569801e-05,1.564403e-05,1.559084e-05,1.553843e-05,1.548681e-05,1.543597e-05
0.000000e+00,1.674704e-09,4.904942e-09,2.398738e-08,6.802485e-08,1.092792e-07,3.016073e-07,3.127789e-07,6.966386e-07,8.454987e-07,1.328327e-06,1.856199e-06,2.279893e-06,3.498030e-06,3.621014e-06,5.399710e-06,5.893480e-06,7.623803e-06,9.053769e-06,1.026338e-05,1.288939e-05,1.326716e-05,1.657656e-05,1.726991e-05,2.013286e-05,2.206093e-05,2.387983e-05,2.713559e-05,2.776422e-05,3.173570e-05,3.237601e-05,3.574680e-05,3.767304e-05,3.975314e-05,4.292718e-05,4.371383e-05,4.759195e-05,4.805018e-05,5.135506e-05,5.296710e-05,5.497558e-05,5.761776e-05,5.843099e-05,6.170385e-05,6.195739e-05,6.478169e-05,6.595633e-05,6.765668e-05,6.959887e-05,7.032517e-05,7.278715e-05,7.288137e-05,7.504573e-05,7.581006e-05,7.710661e-05,7.839892e-05,7.897744e-05,8.066740e-05,8.218666e-05,8.263853e-05,8.354605e-05,8.433729e-05,8.475667e-05,8.578924e-05,8.582965e-05,8.677589e-05,8.701957e-05,8.760593e-05,8.805239e-05,8.832983e-05,8.891022e-05,8.895705e-05,8.949644e-05,8.961375e-05,8.995619e-05,9.018170e-05,9.034384e-05,9.063081e-05,9.066627e-05,9.092977e-05,9.097591e-05,9.114005e-05,9.123010e-05,9.130227e-05,9.140481e-05,9.142108e-05,9.150067e-05,9.151002e-05,9.154481e-05,9.155441e-05,9.155688e-05,9.154552e-05,9.153995e-05,9.149673e-05,9.148990e-05,9.142970e-05,9.139324e-05,9.134106e-05,9.126049e-05,9.123282e-05,9.110677e-05,9.109597e-05,9.096455e-05,9.090346e-05,9.080761e-05,9.068627e-05,9.063731e-05,9.045485e-05,9.044731e-05,9.026134e-05,9.018917e-05,9.005779e-05,8.991412e-05,8.984513e-05,8.962421e-05,8.939580e-05,8.932124e-05,8.916061e-05,8.900685e-05,8.891932e-05,8.868249e-05,8.867252e-05,8.842079e-05,8.834949e-05,8.816464e-05,8.800903e-05,8.790456e-05,8.766221e-05,8.764101e-05,8.737439e-05,8.730999e-05,8.710511e-05,8.695328e-05,8.683352e-05,8.659289e-05,8.655997e-05,8.628477e-05,8.622956e-05,8.600822e-05,8.586397e-05,8.573059e-05,8.549674e-05,8.545215e-05,8.517313e-05,8.512845e-05,8.489377e-05,8.475961e-05,8.461427e-05,8.439071e-05,8.433484e-05,8.405565e-05,8.402217e-05,8.377689e-05,8.365441e-05,8.349871e-05,8.328778e-05,8.322127e-05,8.294470e-05,8.292262e-05,8.266914e-05,8.255923e-05,8.239472e-05,8.219790e-05,8.212154e-05,8.184971e-05,8.183887e-05,8.157934e-05,8.148238e-05,8.131051e-05,8.112863e-05,8.104331e-05,8.077783e-05,8.043015e-05,8.008573e-05,7.974472e-05,7.940725e-05,7.907342e-05,7.874334e-05,7.841709e-05,7.809476e-05,7.777641e-05,7.746209e-05,7.715186e-05,7.684576e-05,7.654381e-05,7.624606e-05,7.595250e-05,7.566317e-05,7.537807e-05,7.509720e-05,7.482056e-05,7.454815e-05,7.427995e-05,7.401595e-05,7.375613e-05,7.350048e-05
0.000000e+00,7.550272e-10,2.124750e-09,9.635362e-09,2.570450e-08,4.003990e-08,1.028253e-07,1.063433e-07,2.224734e-07,2.657533e-07,4.018240e-07,5.451958e-07,6.573594e-07,9.702132e-07,1.001227e-06,1.443105e-06,1.564368e-06,1.987282e-06,2.335871e-06,2.630771e-06,3.272231e-06,3.364704e-06,4.177466e-06,4.348407e-06,5.056934e-06,5.536692e-06,5.991333e-06,6.810392e-06,6.969353e-06,7.980144e-06,8.144211e-06,9.013336e-06,9.514326e-06,1.005915e-05,1.089876e-05,1.110850e-05,1.215319e-05,1.227788e-05,1.318590e-05,1.363484e-05,1.420034e-05,1.495578e-05,1.519119e-05,1.615409e-05,1.622981e-05,1.708558e-05,1.744875e-05,1.798299e-05,1.860692e-05,1.884440e-05,1.966852e-05,1.970070e-05,2.045461e-05,2.072821e-05,2.120236e-05,2.168896e-05,2.191186e-05,2.258350e-05,2.321792e-05,2.341321e-05,2.381595e-05,2.418002e-05,2.437854e-05,2.488632e-05,2.490680e-05,2.540187e-05,2.553471e-05,2.586497e-05,2.612800e-05,2.629733e-05,2.666904e-05,2.670021e-05,2.707485e-05,2.716070e-05,2.742249e-05,2.760582e-05,2.774434e-05,2.800719e-05,2.804160e-05,2.831544e-05,2.836750e-05,2.856698e-05,2.868933e-05,2.879731e-05,2.897518e-05,2.900749e-05,2.919855e-05,2.922741e-05,2.937145e-05,2.944827e-05,2.952714e-05,2.963990e-05,2.966652e-05,2.979045e-05,2.980433e-05,2.989977e-05,2.994345e-05,2.999527e-05,3.005907e-05,3.007770e-05,3.014778e-05,3.015287e-05,3.020621e-05,3.022647e-05,3.025364e-05,3.028134e-05,3.029070e-05,3.031799e-05,3.031889e-05,3.033608e-05,3.034045e-05,3.034551e-05,3.034724e-05,3.034679e-05,3.034042e-05,3.032687e-05,3.032108e-05,3.030656e-05,3.029023e-05,3.027994e-05,3.024881e-05,3.024740e-05,3.020931e-05,3.019771e-05,3.016605e-05,3.013775e-05,3.011795e-05,3.006971e-05,3.006535e-05,3.000854e-05,2.999431e-05,2.994782e-05,2.991222e-05,2.988348e-05,2.982406e-05,2.981577e-05,2.974494e-05,2.973042e-05,2.967123e-05,2.963184e-05,2.959487e-05,2.952884e-05,2.951607e-05,2.943503e-05,2.942187e-05,2.935194e-05,2.931138e-05,2.926697e-05,2.919777e-05,2.918031e-05,2.909211e-05,2.908143e-05,2.900253e-05,2.896271e-05,2.891170e-05,2.884193e-05,2.881977e-05,2.872687e-05,2.871940e-05,2.863311e-05,2.859539e-05,2.853861e-05,2.847017e-05,2.844348e-05,2.834782e-05,2.834398e-05,2.825172e-05,2.821704e-05,2.815529e-05,2.808956e-05,2.805860e-05,2.796173e-05,2.783372e-05,2.770570e-05,2.757782e-05,2.745021e-05,2.732300e-05,2.719630e-05,2.707023e-05,2.694488e-05,2.682033e-05,2.669667e-05,2.657397e-05,2.645230e-05,2.633172e-05,2.621228e-05,2.609403e-05,2.597702e-05,2.586128e-05,2.574684e-05,2.563374e-05,2.552201e-05,2.541166e-05,2.530272e-05,2.519520e-05,2.508911e-05
0.000000e+00,1.241609e-10,2.998494e-10,1.083798e-09,2.503067e-09,3.659342e-09,8.245323e-09,8.488635e-09,1.609245e-08,1.877872e-08,2.689639e-08,3.506172e-08,4.124623e-08,5.781479e-08,5.941375e-08,8.158918e-08,8.751962e-08,1.078541e-07,1.243281e-07,1.381304e-07,1.678582e-07,1.721160e-07,2.092481e-07,2.169860e-07,2.487466e-07,2.699308e-07,2.897378e-07,3.247077e-07,3.313835e-07,3.729571e-07,3.795606e-07,4.138636e-07,4.331185e-07,4.536291e-07,4.843671e-07,4.918818e-07,5.283370e-07,5.325800e-07,5.627830e-07,5.772626e-07,5.950721e-07,6.181105e-07,6.251118e-07,6.528577e-07,6.549780e-07,6.783067e-07,6.878491e-07,7.014898e-07,7.168111e-07,7.224665e-07,7.413184e-07,7.420297e-07,7.581443e-07,7.637265e-07,7.730540e-07,7.821579e-07,7.861650e-07,7.975987e-07,8.074783e-07,8.103315e-07,8.159254e-07,8.206345e-07,8.230582e-07,8.287752e-07,8.289908e-07,8.338318e-07,8.350057e-07,8.376834e-07,8.395596e-07,8.406415e-07,8.426505e-07,8.427951e-07,8.442268e-07,8.444715e-07,8.450124e-07,8.451964e-07,8.452217e-07,8.449798e-07,8.449182e-07,8.441598e-07,8.439582e-07,8.429987e-07,8.422518e-07,8.414826e-07,8.399661e-07,8.396542e-07,8.375525e-07,8.371932e-07,8.352122e-07,8.340136e-07,8.326650e-07,8.304973e-07,8.299390e-07,8.270596e-07,8.267048e-07,8.240494e-07,8.226888e-07,8.209288e-07,8.184946e-07,8.177160e-07,8.144275e-07,8.141616e-07,8.110778e-07,8.097237e-07,8.076800e-07,8.052103e-07,8.042457e-07,8.007854e-07,8.006466e-07,7.973084e-07,7.960542e-07,7.938229e-07,7.914518e-07,7.903365e-07,7.868556e-07,7.833861e-07,7.822791e-07,7.799332e-07,7.777342e-07,7.765015e-07,7.732308e-07,7.730951e-07,7.697176e-07,7.687775e-07,7.663721e-07,7.643813e-07,7.630614e-07,7.600485e-07,7.597880e-07,7.565540e-07,7.557839e-07,7.533612e-07,7.515919e-07,7.502112e-07,7.474757e-07,7.471053e-07,7.440447e-07,7.434381e-07,7.410302e-07,7.394813e-07,7.380628e-07,7.356069e-07,7.351429e-07,7.322711e-07,7.318161e-07,7.294478e-07,7.281098e-07,7.266731e-07,7.244885e-07,7.239472e-07,7.212702e-07,7.209523e-07,7.186421e-07,7.175011e-07,7.160626e-07,7.141347e-07,7.135317e-07,7.110491e-07,7.108526e-07,7.086145e-07,7.076540e-07,7.062275e-07,7.045382e-07,7.038878e-07,7.015950e-07,7.015042e-07,6.993485e-07,6.985511e-07,6.971480e-07,6.956775e-07,6.949928e-07,6.928824e-07,6.901644e-07,6.875222e-07,6.849543e-07,6.824594e-07,6.800359e-07,6.776824e-07,6.753973e-07,6.731792e-07,6.710266e-07,6.689378e-07,6.669115e-07,6.649461e-07,6.630400e-07,6.611919e-07,6.594002e-07,6.576634e-07,6.559802e-07,6.543491e-07,6.527686e-07,6.512375e-07,6.497544e-07,6.483179e-07,6.469268e-07,6.455797e-07
0.000000e+00,3.496308e-10,8.678711e-10,3.256867e-09,7.708674e-09,1.140526e-08,2.648178e-08,2.729729e-08,5.345482e-08,6.298367e-08,9.261495e-08,1.236080e-07,1.478203e-07,2.154878e-07,2.222114e-07,3.181783e-07,3.445019e-07,4.358396e-07,5.101879e-07,5.721848e-07,7.037404e-07,7.223176e-07,8.814540e-07,9.140117e-07,1.045832e-06,1.132423e-06,1.212658e-06,1.353112e-06,1.379803e-06,1.545563e-06,1.571859e-06,1.708528e-06,1.785401e-06,1.867508e-06,1.991153e-06,2.021515e-06,2.169742e-06,2.187108e-06,2.311551e-06,2.371788e-06,2.446474e-06,2.544207e-06,2.574190e-06,2.694513e-06,2.703817e-06,2.807379e-06,2.850443e-06,2.912823e-06,2.984211e-06,3.010963e-06,3.101984e-06,3.105480e-06,3.186121e-06,3.214778e-06,3.263650e-06,3.312747e-06,3.334871e-06,3.400099e-06,3.459661e-06,3.477578e-06,3.513887e-06,3.545943e-06,3.563104e-06,3.605934e-06,3.607629e-06,3.647770e-06,3.658265e-06,3.683825e-06,3.703614e-06,3.716076e-06,3.742617e-06,3.744790e-06,3.770221e-06,3.775863e-06,3.792608e-06,3.803899e-06,3.812174e-06,3.827226e-06,3.829130e-06,3.843670e-06,3.846305e-06,3.855978e-06,3.861553e-06,3.866224e-06,3.873354e-06,3.874567e-06,3.881152e-06,3.882052e-06,3.886118e-06,3.887963e-06,3.889590e-06,3.891373e-06,3.891688e-06,3.892519e-06,3.892539e-06,3.892186e-06,3.891695e-06,3.890783e-06,3.889054e-06,3.888396e-06,3.885106e-06,3.884806e-06,3.880989e-06,3.879126e-06,3.876113e-06,3.872170e-06,3.870544e-06,3.864340e-06,3.864080e-06,3.857558e-06,3.854984e-06,3.850248e-06,3.845000e-06,3.842458e-06,3.834232e-06,3.825612e-06,3.822777e-06,3.816636e-06,3.810720e-06,3.807338e-06,3.798141e-06,3.797752e-06,3.787908e-06,3.785110e-06,3.777834e-06,3.771691e-06,3.767557e-06,3.757944e-06,3.757101e-06,3.746489e-06,3.743921e-06,3.735741e-06,3.729670e-06,3.724877e-06,3.715235e-06,3.713915e-06,3.702872e-06,3.700655e-06,3.691764e-06,3.685966e-06,3.680605e-06,3.671202e-06,3.669408e-06,3.658187e-06,3.656390e-06,3.646952e-06,3.641557e-06,3.635714e-06,3.626729e-06,3.624484e-06,3.613270e-06,3.611926e-06,3.602082e-06,3.597169e-06,3.590926e-06,3.582474e-06,3.579810e-06,3.568742e-06,3.567859e-06,3.557727e-06,3.553337e-06,3.546770e-06,3.538921e-06,3.535878e-06,3.525055e-06,3.524624e-06,3.514306e-06,3.510455e-06,3.503635e-06,3.496425e-06,3.493045e-06,3.482540e-06,3.468809e-06,3.455238e-06,3.441832e-06,3.428597e-06,3.415537e-06,3.402655e-06,3.389954e-06,3.377438e-06,3.365108e-06,3.352967e-06,3.341014e-06,3.329252e-06,3.317680e-06,3.306300e-06,3.295110e-06,3.284112e-06,3.273304e-06,3.262686e-06,3.252256e-06,3.242015e-06,3.231959e-06,3.222089e-06,3.212403e-06,3.202899e-06
0.000000e+00,4.208677e-10,1.202342e-09,5.600986e-09,1.524420e-08,2.397070e-08,6.280095e-08,6.499479e-08,1.379701e-07,1.653509e-07,2.518082e-07,3.433145e-07,4.151101e-07,6.161672e-07,6.361633e-07,9.226222e-07,1.001841e-06,1.280686e-06,1.513891e-06,1.713688e-06,2.155806e-06,2.220303e-06,2.793211e-06,2.914679e-06,3.419341e-06,3.760499e-06,4.082072e-06,4.654463e-06,4.764255e-06,5.450569e-06,5.559890e-06,6.128599e-06,6.448240e-06,6.788927e-06,7.299784e-06,7.424728e-06,8.031251e-06,8.101902e-06,8.605340e-06,8.847132e-06,9.145073e-06,9.531670e-06,9.649484e-06,1.011835e-05,1.015433e-05,1.055202e-05,1.071579e-05,1.095129e-05,1.121810e-05,1.131731e-05,1.165147e-05,1.166419e-05,1.195532e-05,1.205761e-05,1.223054e-05,1.240221e-05,1.247885e-05,1.270200e-05,1.290172e-05,1.296095e-05,1.307969e-05,1.318293e-05,1.323754e-05,1.337159e-05,1.337682e-05,1.349902e-05,1.353036e-05,1.360551e-05,1.366241e-05,1.369759e-05,1.377063e-05,1.377649e-05,1.384331e-05,1.385767e-05,1.389912e-05,1.392591e-05,1.394486e-05,1.397749e-05,1.398142e-05,1.400963e-05,1.401434e-05,1.403024e-05,1.403818e-05,1.404393e-05,1.405054e-05,1.405133e-05,1.405302e-05,1.405280e-05,1.404954e-05,1.404617e-05,1.404137e-05,1.403175e-05,1.402895e-05,1.401269e-05,1.401050e-05,1.399296e-05,1.398327e-05,1.397011e-05,1.395084e-05,1.394443e-05,1.391623e-05,1.391388e-05,1.388576e-05,1.387300e-05,1.385326e-05,1.382873e-05,1.381895e-05,1.378303e-05,1.378156e-05,1.374568e-05,1.373192e-05,1.370708e-05,1.368018e-05,1.366736e-05,1.362669e-05,1.358518e-05,1.357174e-05,1.354295e-05,1.351561e-05,1.350013e-05,1.345853e-05,1.345679e-05,1.341304e-05,1.340073e-05,1.336896e-05,1.334239e-05,1.332463e-05,1.328368e-05,1.328011e-05,1.323548e-05,1.322476e-05,1.319079e-05,1.316576e-05,1.314609e-05,1.310680e-05,1.310145e-05,1.305689e-05,1.304799e-05,1.301246e-05,1.298942e-05,1.296821e-05,1.293119e-05,1.292416e-05,1.288034e-05,1.287336e-05,1.283680e-05,1.281600e-05,1.279355e-05,1.275917e-05,1.275061e-05,1.270801e-05,1.270292e-05,1.266577e-05,1.264730e-05,1.262391e-05,1.259235e-05,1.258243e-05,1.254136e-05,1.253810e-05,1.250072e-05,1.248458e-05,1.246050e-05,1.243181e-05,1.242072e-05,1.238139e-05,1.237982e-05,1.234251e-05,1.232863e-05,1.230410e-05,1.227825e-05,1.226616e-05,1.222870e-05,1.217997e-05,1.213209e-05,1.208506e-05,1.203887e-05,1.199353e-05,1.194905e-05,1.190541e-05,1.186262e-05,1.182068e-05,1.177957e-05,1.173929e-05,1.169984e-05,1.166121e-05,1.162339e-05,1.158637e-05,1.155014e-05,1.151469e-05,1.148002e-05,1.144611e-05,1.141295e-05,1.138053e-05,1.134884e-05,1.131786e-05,1.128760e-05
0.000000e+00,1.730128e-11,3.986663e-11,1.377497e-10,3.135213e-10,4.571791e-10,1.034793e-09,1.065813e-09,2.054024e-09,2.411627e-09,3.517790e-09,4.666498e-09,5.557974e-09,8.017079e-09,8.258493e-09,1.164362e-08,1.255407e-08,1.567126e-08,1.818305e-08,2.027660e-08,2.476100e-08,2.540181e-08,3.099822e-08,3.217006e-08,3.702059e-08,4.030536e-08,4.342283e-08,4.905865e-08,5.015611e-08,5.716852e-08,5.831280e-08,6.440575e-08,6.794319e-08,7.181229e-08,7.782219e-08,7.933279e-08,8.691334e-08,8.782457e-08,9.450271e-08,9.783242e-08,1.020533e-07,1.077390e-07,1.095219e-07,1.168700e-07,1.174517e-07,1.240644e-07,1.268926e-07,1.310768e-07,1.359998e-07,1.378840e-07,1.444675e-07,1.447260e-07,1.508131e-07,1.530373e-07,1.569108e-07,1.609121e-07,1.627539e-07,1.683389e-07,1.736650e-07,1.753149e-07,1.787337e-07,1.818439e-07,1.835481e-07,1.879352e-07,1.881131e-07,1.924347e-07,1.936021e-07,1.965200e-07,1.988608e-07,2.003764e-07,2.037293e-07,2.040122e-07,2.074359e-07,2.082270e-07,2.106561e-07,2.123738e-07,2.136815e-07,2.161897e-07,2.165209e-07,2.191827e-07,2.196946e-07,2.216756e-07,2.229077e-07,2.240075e-07,2.258479e-07,2.261866e-07,2.282205e-07,2.285329e-07,2.301165e-07,2.309798e-07,2.318819e-07,2.332047e-07,2.335234e-07,2.350474e-07,2.352227e-07,2.364603e-07,2.370483e-07,2.377679e-07,2.386947e-07,2.389758e-07,2.400893e-07,2.401745e-07,2.411135e-07,2.414993e-07,2.420532e-07,2.426801e-07,2.429130e-07,2.436971e-07,2.437270e-07,2.444097e-07,2.446495e-07,2.450546e-07,2.454563e-07,2.456354e-07,2.461557e-07,2.466187e-07,2.467552e-07,2.470274e-07,2.472620e-07,2.473850e-07,2.476826e-07,2.476940e-07,2.479573e-07,2.480231e-07,2.481771e-07,2.482892e-07,2.483560e-07,2.484862e-07,2.484961e-07,2.485995e-07,2.486191e-07,2.486683e-07,2.486924e-07,2.487043e-07,2.487103e-07,2.487093e-07,2.486852e-07,2.486769e-07,2.486333e-07,2.485959e-07,2.485553e-07,2.484707e-07,2.484527e-07,2.483268e-07,2.483046e-07,2.481789e-07,2.481005e-07,2.480102e-07,2.478612e-07,2.478220e-07,2.476153e-07,2.475894e-07,2.473913e-07,2.472874e-07,2.471508e-07,2.469577e-07,2.468949e-07,2.466245e-07,2.466023e-07,2.463404e-07,2.462232e-07,2.460435e-07,2.458222e-07,2.457346e-07,2.454143e-07,2.454012e-07,2.450834e-07,2.449618e-07,2.447426e-07,2.445055e-07,2.443925e-07,2.440337e-07,2.435478e-07,2.430490e-07,2.425385e-07,2.420175e-07,2.414869e-07,2.409478e-07,2.404010e-07,2.398475e-07,2.392879e-07,2.387232e-07,2.381540e-07,2.375809e-07,2.370046e-07,2.364257e-07,2.358447e-07,2.352621e-07,2.346785e-07,2.340943e-07,2.335099e-07,2.329258e-07,2.323422e-07,2.317596e-07,2.311783e-07,2.305986e-07
0.000000e+00,1.009186e-09,2.950687e-09,1.437295e-08,4.058262e-08,6.501233e-08,1.778192e-07,1.843258e-07,4.054164e-07,4.900058e-07,7.606168e-07,1.050815e-06,1.280181e-06,1.926507e-06,1.990945e-06,2.913423e-06,3.167623e-06,4.056245e-06,4.789883e-06,5.410349e-06,6.755595e-06,6.948710e-06,8.632620e-06,8.983108e-06,1.041934e-05,1.137515e-05,1.226738e-05,1.383949e-05,1.413917e-05,1.600209e-05,1.629743e-05,1.782878e-05,1.868601e-05,1.959703e-05,2.095779e-05,2.128956e-05,2.289364e-05,2.307974e-05,2.440065e-05,2.503159e-05,2.580561e-05,2.680384e-05,2.710659e-05,2.830419e-05,2.839560e-05,2.940103e-05,2.981243e-05,3.040119e-05,3.106432e-05,3.130984e-05,3.213281e-05,3.216404e-05,3.287630e-05,3.312571e-05,3.354661e-05,3.396380e-05,3.414996e-05,3.469233e-05,3.517940e-05,3.532445e-05,3.561644e-05,3.587216e-05,3.600832e-05,3.634616e-05,3.635947e-05,3.667390e-05,3.675586e-05,3.695521e-05,3.710946e-05,3.720663e-05,3.741401e-05,3.743103e-05,3.763098e-05,3.767559e-05,3.780876e-05,3.789940e-05,3.796639e-05,3.808985e-05,3.810565e-05,3.822813e-05,3.825075e-05,3.833527e-05,3.838533e-05,3.842831e-05,3.849639e-05,3.850838e-05,3.857649e-05,3.858634e-05,3.863356e-05,3.865727e-05,3.868039e-05,3.871099e-05,3.871773e-05,3.874624e-05,3.874910e-05,3.876654e-05,3.877301e-05,3.877918e-05,3.878399e-05,3.878468e-05,3.878350e-05,3.878313e-05,3.877607e-05,3.877145e-05,3.876280e-05,3.874984e-05,3.874406e-05,3.872018e-05,3.871913e-05,3.869150e-05,3.868006e-05,3.865832e-05,3.863332e-05,3.862091e-05,3.857953e-05,3.853445e-05,3.851927e-05,3.848588e-05,3.845307e-05,3.843405e-05,3.838141e-05,3.837916e-05,3.832142e-05,3.830477e-05,3.826100e-05,3.822354e-05,3.819809e-05,3.813813e-05,3.813283e-05,3.806540e-05,3.804891e-05,3.799594e-05,3.795620e-05,3.792458e-05,3.786033e-05,3.785147e-05,3.777672e-05,3.776159e-05,3.770047e-05,3.766025e-05,3.762281e-05,3.755658e-05,3.754387e-05,3.746374e-05,3.745081e-05,3.738251e-05,3.734317e-05,3.730030e-05,3.723387e-05,3.721717e-05,3.713322e-05,3.712310e-05,3.704853e-05,3.701105e-05,3.696317e-05,3.689789e-05,3.687721e-05,3.679073e-05,3.678379e-05,3.670378e-05,3.666889e-05,3.661643e-05,3.655333e-05,3.652875e-05,3.644078e-05,3.643725e-05,3.635258e-05,3.632078e-05,3.626420e-05,3.620402e-05,3.617569e-05,3.608709e-05,3.597009e-05,3.585311e-05,3.573625e-05,3.561958e-05,3.550318e-05,3.538712e-05,3.527148e-05,3.515631e-05,3.504168e-05,3.492763e-05,3.481422e-05,3.470149e-05,3.458949e-05,3.447826e-05,3.436783e-05,3.425824e-05,3.414952e-05,3.404170e-05,3.393481e-05,3.382886e-05,3.372389e-05,3.361991e-05,3.351693e-05,3.341498e-05
0.000000e+00,2.638346e-10,7.162923e-10,3.047957e-09,7.750175e-09,1.179580e-08,2.875407e-08,2.968060e-08,5.944474e-08,7.023894e-08,1.034668e-07,1.376059e-07,1.638440e-07,2.354480e-07,2.424472e-07,3.408981e-07,3.676259e-07,4.603935e-07,5.367064e-07,6.013685e-07,7.427512e-07,7.632350e-07,9.444912e-07,9.828966e-07,1.143129e-06,1.252575e-06,1.356996e-06,1.546853e-06,1.583961e-06,1.821947e-06,1.860910e-06,2.068906e-06,2.190037e-06,2.322806e-06,2.529564e-06,2.581625e-06,2.843358e-06,2.874868e-06,3.106043e-06,3.221435e-06,3.367788e-06,3.564974e-06,3.626794e-06,3.881389e-06,3.901519e-06,4.130047e-06,4.227538e-06,4.371408e-06,4.539994e-06,4.604281e-06,4.827665e-06,4.836391e-06,5.040740e-06,5.114796e-06,5.242870e-06,5.373821e-06,5.433588e-06,5.612590e-06,5.779723e-06,5.830692e-06,5.934964e-06,6.028116e-06,6.078407e-06,6.205194e-06,6.210248e-06,6.330767e-06,6.362530e-06,6.440314e-06,6.500943e-06,6.539294e-06,6.621407e-06,6.628154e-06,6.707372e-06,6.725004e-06,6.777444e-06,6.812880e-06,6.838880e-06,6.886206e-06,6.892191e-06,6.937886e-06,6.946155e-06,6.976464e-06,6.993875e-06,7.008415e-06,7.030477e-06,7.034210e-06,7.054302e-06,7.057016e-06,7.069122e-06,7.074485e-06,7.079081e-06,7.083808e-06,7.084564e-06,7.085939e-06,7.085845e-06,7.083549e-06,7.081388e-06,7.077714e-06,7.071161e-06,7.068734e-06,7.056888e-06,7.055824e-06,7.042434e-06,7.035977e-06,7.025613e-06,7.012161e-06,7.006647e-06,6.985742e-06,6.984868e-06,6.963087e-06,6.954537e-06,6.938858e-06,6.921565e-06,6.913214e-06,6.886305e-06,6.858267e-06,6.849077e-06,6.829225e-06,6.810165e-06,6.799295e-06,6.769824e-06,6.768582e-06,6.737183e-06,6.728281e-06,6.705188e-06,6.685738e-06,6.672677e-06,6.642378e-06,6.639727e-06,6.606406e-06,6.598360e-06,6.572776e-06,6.553830e-06,6.538895e-06,6.508916e-06,6.504818e-06,6.470591e-06,6.463731e-06,6.436259e-06,6.418379e-06,6.401863e-06,6.372949e-06,6.367441e-06,6.333025e-06,6.327522e-06,6.298649e-06,6.282170e-06,6.264339e-06,6.236957e-06,6.230122e-06,6.196023e-06,6.191940e-06,6.162062e-06,6.147168e-06,6.128259e-06,6.102686e-06,6.094633e-06,6.061200e-06,6.058534e-06,6.027975e-06,6.014746e-06,5.994971e-06,5.971353e-06,5.962201e-06,5.929676e-06,5.928380e-06,5.897405e-06,5.885852e-06,5.865399e-06,5.843789e-06,5.833664e-06,5.802208e-06,5.761124e-06,5.720551e-06,5.680499e-06,5.640976e-06,5.601991e-06,5.563548e-06,5.525653e-06,5.488308e-06,5.451515e-06,5.415275e-06,5.379590e-06,5.344457e-06,5.309876e-06,5.275844e-06,5.242359e-06,5.209417e-06,5.177015e-06,5.145148e-06,5.113813e-06,5.083003e-06,5.052714e-06,5.022941e-06,4.993678e-06,4.964918e-06
0.000000e+00,3.122057e-09,9.177683e-09,4.523386e-08,1.292280e-07,2.084770e-07,5.821057e-07,6.039674e-07,1.362642e-06,1.660087e-06,2.634683e-06,3.714891e-06,4.591659e-06,7.155385e-06,7.417502e-06,1.126697e-05,1.235275e-05,1.620430e-05,1.943126e-05,2.218473e-05,2.821813e-05,2.909105e-05,3.677795e-05,3.839595e-05,4.509861e-05,4.962965e-05,5.391535e-05,6.161208e-05,6.310188e-05,7.254225e-05,7.406899e-05,8.212915e-05,8.675331e-05,9.176268e-05,9.944032e-05,1.013498e-04,1.108044e-04,1.119263e-04,1.200479e-04,1.240297e-04,1.290098e-04,1.355943e-04,1.376286e-04,1.458519e-04,1.464914e-04,1.536373e-04,1.566212e-04,1.609520e-04,1.659135e-04,1.677725e-04,1.740843e-04,1.743260e-04,1.798810e-04,1.818418e-04,1.851638e-04,1.884660e-04,1.899399e-04,1.942222e-04,1.980278e-04,1.991482e-04,2.013773e-04,2.032923e-04,2.042940e-04,2.067101e-04,2.068029e-04,2.089301e-04,2.094609e-04,2.107020e-04,2.116058e-04,2.121454e-04,2.132055e-04,2.132862e-04,2.141499e-04,2.143187e-04,2.147609e-04,2.150012e-04,2.151422e-04,2.153052e-04,2.153158e-04,2.153021e-04,2.152786e-04,2.151204e-04,2.149653e-04,2.147881e-04,2.144048e-04,2.143218e-04,2.137362e-04,2.136324e-04,2.130452e-04,2.126797e-04,2.122611e-04,2.115746e-04,2.113954e-04,2.104582e-04,2.103414e-04,2.094590e-04,2.090018e-04,2.084060e-04,2.075745e-04,2.073069e-04,2.061684e-04,2.060758e-04,2.049967e-04,2.045199e-04,2.037972e-04,2.029192e-04,2.025749e-04,2.013342e-04,2.012843e-04,2.000790e-04,1.996243e-04,1.988129e-04,1.979474e-04,1.975391e-04,1.962602e-04,1.949789e-04,1.945688e-04,1.936975e-04,1.928782e-04,1.924178e-04,1.911927e-04,1.911418e-04,1.898709e-04,1.895162e-04,1.886066e-04,1.878518e-04,1.873502e-04,1.862022e-04,1.861027e-04,1.848652e-04,1.845697e-04,1.836384e-04,1.829564e-04,1.824232e-04,1.813639e-04,1.812202e-04,1.800301e-04,1.797936e-04,1.788532e-04,1.782466e-04,1.776901e-04,1.767239e-04,1.765410e-04,1.754065e-04,1.752263e-04,1.742866e-04,1.737543e-04,1.731816e-04,1.723084e-04,1.720917e-04,1.710170e-04,1.708891e-04,1.699576e-04,1.694964e-04,1.689137e-04,1.681306e-04,1.678851e-04,1.668721e-04,1.667917e-04,1.658745e-04,1.654798e-04,1.648923e-04,1.641947e-04,1.639255e-04,1.629741e-04,1.629363e-04,1.620378e-04,1.617045e-04,1.611168e-04,1.604991e-04,1.602108e-04,1.593197e-04,1.581662e-04,1.570382e-04,1.559353e-04,1.548572e-04,1.538036e-04,1.527741e-04,1.517682e-04,1.507856e-04,1.498258e-04,1.488884e-04,1.479730e-04,1.470792e-04,1.462065e-04,1.453545e-04,1.445228e-04,1.437109e-04,1.429185e-04,1.421451e-04,1.413903e-04,1.406536e-04,1.399347e-04,1.392331e-04,1.385485e-04,1.378805e-04
0.000000e+00,7.976029e-12,1.830625e-11,6.294565e-11,1.428613e-10,2.080657e-10,4.697393e-10,4.837765e-10,9.304351e-10,1.091847e-09,1.590428e-09,2.106902e-09,2.506643e-09,3.603425e-09,3.710594e-09,5.203877e-09,5.602667e-09,6.959997e-09,8.045546e-09,8.945304e-09,1.085836e-08,1.113021e-08,1.348898e-08,1.397945e-08,1.599722e-08,1.735246e-08,1.863040e-08,2.092045e-08,2.136338e-08,2.417068e-08,2.462505e-08,2.702703e-08,2.840829e-08,2.990802e-08,3.221507e-08,3.279070e-08,3.565405e-08,3.599545e-08,3.847941e-08,3.970627e-08,4.125059e-08,4.331197e-08,4.395397e-08,4.657848e-08,4.678476e-08,4.911544e-08,5.010419e-08,5.155837e-08,5.325645e-08,5.390275e-08,5.614581e-08,5.623340e-08,5.828622e-08,5.903160e-08,6.032393e-08,6.165135e-08,6.225987e-08,6.409580e-08,6.583410e-08,6.637020e-08,6.747764e-08,6.848125e-08,6.902963e-08,7.043662e-08,7.049353e-08,7.187293e-08,7.224452e-08,7.317151e-08,7.391339e-08,7.439295e-08,7.545169e-08,7.554091e-08,7.661898e-08,7.686770e-08,7.763065e-08,7.816946e-08,7.857934e-08,7.936466e-08,7.946829e-08,8.030065e-08,8.046059e-08,8.107940e-08,8.146412e-08,8.180741e-08,8.238171e-08,8.248738e-08,8.312192e-08,8.321939e-08,8.371345e-08,8.398279e-08,8.426429e-08,8.467713e-08,8.477662e-08,8.525252e-08,8.530728e-08,8.569394e-08,8.587771e-08,8.610271e-08,8.639262e-08,8.648058e-08,8.682920e-08,8.685588e-08,8.715012e-08,8.727106e-08,8.744479e-08,8.764148e-08,8.771460e-08,8.796084e-08,8.797022e-08,8.818476e-08,8.826013e-08,8.838750e-08,8.851384e-08,8.857017e-08,8.873380e-08,8.887936e-08,8.892228e-08,8.900779e-08,8.908139e-08,8.911995e-08,8.921309e-08,8.921667e-08,8.929873e-08,8.931918e-08,8.936688e-08,8.940137e-08,8.942180e-08,8.946123e-08,8.946417e-08,8.949461e-08,8.950021e-08,8.951372e-08,8.951969e-08,8.952207e-08,8.952094e-08,8.952019e-08,8.950858e-08,8.950514e-08,8.948774e-08,8.947341e-08,8.945812e-08,8.942677e-08,8.942016e-08,8.937426e-08,8.936621e-08,8.932084e-08,8.929263e-08,8.926025e-08,8.920687e-08,8.919287e-08,8.911902e-08,8.910974e-08,8.903904e-08,8.900198e-08,8.895323e-08,8.888429e-08,8.886188e-08,8.876529e-08,8.875734e-08,8.866371e-08,8.862174e-08,8.855741e-08,8.847808e-08,8.844662e-08,8.833158e-08,8.832689e-08,8.821252e-08,8.816871e-08,8.808964e-08,8.800401e-08,8.796315e-08,8.783325e-08,8.765687e-08,8.747528e-08,8.728886e-08,8.709798e-08,8.690297e-08,8.670417e-08,8.650188e-08,8.629640e-08,8.608800e-08,8.587693e-08,8.566345e-08,8.544779e-08,8.523016e-08,8.501079e-08,8.478987e-08,8.456759e-08,8.434412e-08,8.411964e-08,8.389430e-08,8.366827e-08,8.344167e-08,8.321465e-08,8.298734e-08,8.275985e-08
0.000000e+00,1.399294e-07,4.178738e-07,2.128382e-06,6.266639e-06,1.027899e-05,2.996248e-05,3.114224e-05,7.332067e-05,9.036046e-05,1.475921e-04,2.129464e-04,2.671516e-04,4.303841e-04,4.474253e-04,7.044797e-04,7.791979e-04,1.051804e-03,1.289010e-03,1.497519e-03,1.973135e-03,2.043996e-03,2.689172e-03,2.829649e-03,3.428049e-03,3.847074e-03,4.253776e-03,5.008661e-03,5.158333e-03,6.132940e-03,6.294764e-03,7.168352e-03,7.684164e-03,8.255072e-03,9.154961e-03,9.383536e-03,1.054429e-02,1.068530e-02,1.172811e-02,1.225402e-02,1.292619e-02,1.384113e-02,1.413021e-02,1.533241e-02,1.542829e-02,1.652570e-02,1.699907e-02,1.770370e-02,1.853915e-02,1.886069e-02,1.999170e-02,2.003634e-02,2.109245e-02,2.148060e-02,2.215932e-02,2.286390e-02,2.318934e-02,2.418010e-02,2.512977e-02,2.542475e-02,2.603700e-02,2.659492e-02,2.690089e-02,2.768897e-02,2.772092e-02,2.849695e-02,2.870636e-02,2.922911e-02,2.964752e-02,2.991782e-02,3.051360e-02,3.056371e-02,3.116760e-02,3.130639e-02,3.173047e-02,3.202816e-02,3.225342e-02,3.268155e-02,3.273765e-02,3.318446e-02,3.326945e-02,3.359518e-02,3.379496e-02,3.397121e-02,3.426128e-02,3.431394e-02,3.462481e-02,3.467169e-02,3.490525e-02,3.502946e-02,3.515667e-02,3.533786e-02,3.538048e-02,3.557806e-02,3.560007e-02,3.575078e-02,3.581924e-02,3.589995e-02,3.599837e-02,3.602687e-02,3.613278e-02,3.614038e-02,3.621891e-02,3.624808e-02,3.628642e-02,3.632414e-02,3.633644e-02,3.637007e-02,3.637108e-02,3.638833e-02,3.639134e-02,3.639223e-02,3.638718e-02,3.638273e-02,3.636075e-02,3.632715e-02,3.631408e-02,3.628277e-02,3.624908e-02,3.622840e-02,3.616752e-02,3.616480e-02,3.609269e-02,3.607106e-02,3.601274e-02,3.596127e-02,3.592559e-02,3.583960e-02,3.583187e-02,3.573215e-02,3.570739e-02,3.562698e-02,3.556589e-02,3.551687e-02,3.541628e-02,3.540231e-02,3.528377e-02,3.525962e-02,3.516168e-02,3.509692e-02,3.503644e-02,3.492909e-02,3.490845e-02,3.477805e-02,3.475699e-02,3.464560e-02,3.458138e-02,3.451140e-02,3.440299e-02,3.437576e-02,3.423896e-02,3.422247e-02,3.410125e-02,3.404043e-02,3.396288e-02,3.385742e-02,3.382408e-02,3.368505e-02,3.367393e-02,3.354601e-02,3.349042e-02,3.340712e-02,3.330731e-02,3.326855e-02,3.313047e-02,3.312496e-02,3.299302e-02,3.294372e-02,3.285633e-02,3.276389e-02,3.272053e-02,3.258573e-02,3.240950e-02,3.223540e-02,3.206363e-02,3.189435e-02,3.172770e-02,3.156383e-02,3.140282e-02,3.124477e-02,3.108976e-02,3.093784e-02,3.078908e-02,3.064349e-02,3.050111e-02,3.036195e-02,3.022602e-02,3.009332e-02,2.996385e-02,2.983757e-02,2.971448e-02,2.959455e-02,2.947774e-02,2.936402e-02,2.925336e-02,2.914570e-02
0.000000e+00,6.079446e-10,1.439155e-09,5.156057e-09,1.206385e-08,1.787431e-08,4.247248e-08,4.384472e-08,8.998090e-08,1.077338e-07,1.656852e-07,2.298851e-07,2.818409e-07,4.308393e-07,4.457092e-07,6.545322e-07,7.102421e-07,8.981301e-07,1.045952e-06,1.166716e-06,1.418449e-06,1.453706e-06,1.754901e-06,1.816572e-06,2.067345e-06,2.233450e-06,2.388628e-06,2.663730e-06,2.716558e-06,3.049036e-06,3.102518e-06,3.384021e-06,3.545125e-06,3.719557e-06,3.987135e-06,4.053795e-06,4.385023e-06,4.424491e-06,4.711686e-06,4.853616e-06,5.032427e-06,5.271495e-06,5.346065e-06,5.651612e-06,5.675681e-06,5.948255e-06,6.064267e-06,6.235339e-06,6.435833e-06,6.512363e-06,6.778969e-06,6.789413e-06,7.034908e-06,7.124405e-06,7.280036e-06,7.440516e-06,7.514297e-06,7.737703e-06,7.950333e-06,8.016118e-06,8.152312e-06,8.276064e-06,8.343806e-06,8.517961e-06,8.525015e-06,8.696163e-06,8.742314e-06,8.857494e-06,8.949689e-06,9.009269e-06,9.140694e-06,9.151758e-06,9.285240e-06,9.315966e-06,9.409997e-06,9.476157e-06,9.526317e-06,9.621926e-06,9.634485e-06,9.734788e-06,9.753930e-06,9.827509e-06,9.872820e-06,9.912928e-06,9.979241e-06,9.991323e-06,1.006297e-05,1.007382e-05,1.012812e-05,1.015717e-05,1.018706e-05,1.022990e-05,1.024002e-05,1.028727e-05,1.029257e-05,1.032904e-05,1.034575e-05,1.036558e-05,1.038998e-05,1.039710e-05,1.042384e-05,1.042578e-05,1.044602e-05,1.045366e-05,1.046383e-05,1.047408e-05,1.047750e-05,1.048720e-05,1.048751e-05,1.049314e-05,1.049440e-05,1.049550e-05,1.049516e-05,1.049446e-05,1.049019e-05,1.048285e-05,1.047989e-05,1.047262e-05,1.046461e-05,1.045963e-05,1.044471e-05,1.044404e-05,1.042599e-05,1.042052e-05,1.040562e-05,1.039235e-05,1.038307e-05,1.036050e-05,1.035846e-05,1.033191e-05,1.032526e-05,1.030354e-05,1.028690e-05,1.027347e-05,1.024568e-05,1.024180e-05,1.020863e-05,1.020183e-05,1.017407e-05,1.015558e-05,1.013822e-05,1.010716e-05,1.010115e-05,1.006297e-05,1.005676e-05,1.002375e-05,1.000458e-05,9.983579e-06,9.950805e-06,9.942529e-06,9.900674e-06,9.895600e-06,9.858084e-06,9.839129e-06,9.814827e-06,9.781544e-06,9.770966e-06,9.726562e-06,9.722988e-06,9.681673e-06,9.663594e-06,9.636354e-06,9.603488e-06,9.590659e-06,9.544637e-06,9.542790e-06,9.498335e-06,9.481607e-06,9.451800e-06,9.420045e-06,9.405075e-06,9.358199e-06,9.296160e-06,9.234010e-06,9.171829e-06,9.109689e-06,9.047657e-06,8.985796e-06,8.924163e-06,8.862813e-06,8.801793e-06,8.741150e-06,8.680925e-06,8.621156e-06,8.561878e-06,8.503122e-06,8.444917e-06,8.387289e-06,8.330262e-06,8.273856e-06,8.218089e-06,8.162980e-06,8.108540e-06,8.054784e-06,8.001723e-06,7.949364e-06
0.000000e+00,3.699069e-09,1.064578e-08,5.046663e-08,1.401102e-07,2.232233e-07,6.108061e-07,6.334780e-07,1.429362e-06,1.747500e-06,2.815254e-06,4.039066e-06,5.056896e-06,8.106995e-06,8.422069e-06,1.304536e-05,1.433765e-05,1.885192e-05,2.254408e-05,2.563172e-05,3.221757e-05,3.315217e-05,4.121625e-05,4.288023e-05,4.967208e-05,5.418430e-05,5.840350e-05,6.588278e-05,6.731809e-05,7.633807e-05,7.778637e-05,8.539507e-05,8.973726e-05,9.442748e-05,1.015980e-04,1.033795e-04,1.122010e-04,1.132486e-04,1.208476e-04,1.245866e-04,1.292811e-04,1.355279e-04,1.374692e-04,1.453855e-04,1.460064e-04,1.530093e-04,1.559733e-04,1.603251e-04,1.653954e-04,1.673219e-04,1.739929e-04,1.742529e-04,1.803350e-04,1.825375e-04,1.863479e-04,1.902498e-04,1.920340e-04,1.973976e-04,2.024448e-04,2.039942e-04,2.071829e-04,2.100570e-04,2.116204e-04,2.156058e-04,2.157662e-04,2.196301e-04,2.206628e-04,2.232221e-04,2.252510e-04,2.265523e-04,2.293939e-04,2.296312e-04,2.324689e-04,2.331153e-04,2.350759e-04,2.364387e-04,2.374620e-04,2.393871e-04,2.396374e-04,2.416116e-04,2.419832e-04,2.433942e-04,2.442485e-04,2.449944e-04,2.462042e-04,2.464212e-04,2.476831e-04,2.478702e-04,2.487885e-04,2.492659e-04,2.497455e-04,2.504096e-04,2.505619e-04,2.512452e-04,2.513186e-04,2.518025e-04,2.520096e-04,2.522408e-04,2.524984e-04,2.525667e-04,2.527865e-04,2.527997e-04,2.529064e-04,2.529277e-04,2.529322e-04,2.528956e-04,2.528694e-04,2.527235e-04,2.527160e-04,2.524994e-04,2.524006e-04,2.522022e-04,2.519606e-04,2.518363e-04,2.514064e-04,2.509165e-04,2.507478e-04,2.503709e-04,2.499941e-04,2.497732e-04,2.491538e-04,2.491271e-04,2.484362e-04,2.482351e-04,2.477037e-04,2.472456e-04,2.469329e-04,2.461924e-04,2.461266e-04,2.452878e-04,2.450820e-04,2.444191e-04,2.439206e-04,2.435232e-04,2.427141e-04,2.426024e-04,2.416590e-04,2.414679e-04,2.406953e-04,2.401868e-04,2.397133e-04,2.388757e-04,2.387149e-04,2.377021e-04,2.375388e-04,2.366765e-04,2.361802e-04,2.356399e-04,2.348036e-04,2.345937e-04,2.335395e-04,2.334125e-04,2.324787e-04,2.320101e-04,2.314125e-04,2.305994e-04,2.303422e-04,2.292689e-04,2.291830e-04,2.281938e-04,2.277635e-04,2.271179e-04,2.263433e-04,2.260421e-04,2.249674e-04,2.249244e-04,2.238945e-04,2.235089e-04,2.228243e-04,2.220984e-04,2.217575e-04,2.206948e-04,2.192994e-04,2.179136e-04,2.165387e-04,2.151758e-04,2.138259e-04,2.124898e-04,2.111685e-04,2.098626e-04,2.085727e-04,2.072995e-04,2.060434e-04,2.048048e-04,2.035841e-04,2.023817e-04,2.011977e-04,2.000323e-04,1.988858e-04,1.977583e-04,1.966497e-04,1.955603e-04,1.944899e-04,1.934386e-04,1.924062e-04,1.913929e-04
0.000000e+00,1.182011e-09,3.446726e-09,1.670956e-08,4.704472e-08,7.530775e-08,2.063425e-07,2.139372e-07,4.748775e-07,5.762710e-07,9.065529e-07,1.270467e-06,1.564694e-06,2.419492e-06,2.506367e-06,3.768497e-06,4.119360e-06,5.344494e-06,6.347634e-06,7.187372e-06,8.978582e-06,9.232501e-06,1.141620e-05,1.186457e-05,1.368370e-05,1.488072e-05,1.599034e-05,1.793160e-05,1.830009e-05,2.058357e-05,2.094480e-05,2.281641e-05,2.386406e-05,2.497819e-05,2.664487e-05,2.705183e-05,2.902330e-05,2.925246e-05,3.088155e-05,3.166110e-05,3.261838e-05,3.385374e-05,3.422839e-05,3.570880e-05,3.582160e-05,3.705923e-05,3.756333e-05,3.828142e-05,3.908393e-05,3.937892e-05,4.035671e-05,4.039342e-05,4.122088e-05,4.150547e-05,4.197831e-05,4.243614e-05,4.263636e-05,4.320264e-05,4.368478e-05,4.382251e-05,4.409023e-05,4.431281e-05,4.442619e-05,4.468968e-05,4.469949e-05,4.491650e-05,4.496799e-05,4.508313e-05,4.516119e-05,4.520478e-05,4.528123e-05,4.528640e-05,4.533244e-05,4.533865e-05,4.534690e-05,4.534257e-05,4.533339e-05,4.530091e-05,4.529511e-05,4.523490e-05,4.522045e-05,4.515530e-05,4.510701e-05,4.505856e-05,4.496552e-05,4.494667e-05,4.482137e-05,4.480019e-05,4.468423e-05,4.461460e-05,4.453662e-05,4.441182e-05,4.437976e-05,4.421475e-05,4.419445e-05,4.404256e-05,4.396475e-05,4.386405e-05,4.372464e-05,4.368000e-05,4.349109e-05,4.347579e-05,4.329796e-05,4.321966e-05,4.310117e-05,4.295750e-05,4.290123e-05,4.269859e-05,4.269043e-05,4.249368e-05,4.241943e-05,4.228687e-05,4.214534e-05,4.207852e-05,4.186893e-05,4.165841e-05,4.159088e-05,4.144720e-05,4.131179e-05,4.123556e-05,4.103219e-05,4.102371e-05,4.081185e-05,4.075256e-05,4.060018e-05,4.047333e-05,4.038886e-05,4.019489e-05,4.017804e-05,3.996789e-05,3.991757e-05,3.975853e-05,3.964168e-05,3.955009e-05,3.936750e-05,3.934267e-05,3.913639e-05,3.909527e-05,3.893133e-05,3.882521e-05,3.872758e-05,3.855751e-05,3.852523e-05,3.832435e-05,3.829235e-05,3.812500e-05,3.802988e-05,3.792725e-05,3.777023e-05,3.773114e-05,3.753673e-05,3.751351e-05,3.734406e-05,3.725985e-05,3.715317e-05,3.700931e-05,3.696410e-05,3.677688e-05,3.676199e-05,3.659154e-05,3.651793e-05,3.640810e-05,3.627721e-05,3.622658e-05,3.604700e-05,3.603986e-05,3.586938e-05,3.580592e-05,3.569373e-05,3.557542e-05,3.552006e-05,3.534838e-05,3.512481e-05,3.490473e-05,3.468812e-05,3.447500e-05,3.426536e-05,3.405918e-05,3.385644e-05,3.365713e-05,3.346123e-05,3.326871e-05,3.307955e-05,3.289371e-05,3.271116e-05,3.253187e-05,3.235581e-05,3.218293e-05,3.201321e-05,3.184659e-05,3.168304e-05,3.152253e-05,3.136500e-05,3.121041e-05,3.105873e-05,3.090991e-05
0.000000e+00,2.905358e-11,6.655969e-11,2.291035e-10,5.228870e-10,7.653896e-10,1.763490e-09,1.818125e-09,3.609643e-09,4.279888e-09,6.409474e-09,8.677733e-09,1.045155e-08,1.529247e-08,1.575974e-08,2.213338e-08,2.379352e-08,2.932941e-08,3.364664e-08,3.716175e-08,4.447249e-08,4.549522e-08,5.422101e-08,5.600455e-08,6.324133e-08,6.801724e-08,7.246304e-08,8.029919e-08,8.179647e-08,9.115645e-08,9.265113e-08,1.004640e-07,1.048919e-07,1.096483e-07,1.168650e-07,1.186474e-07,1.274094e-07,1.284428e-07,1.358921e-07,1.395271e-07,1.440623e-07,1.500474e-07,1.518957e-07,1.593756e-07,1.599584e-07,1.664921e-07,1.692357e-07,1.732407e-07,1.778719e-07,1.796217e-07,1.856393e-07,1.858725e-07,1.913004e-07,1.932528e-07,1.966143e-07,2.000350e-07,2.015921e-07,2.062459e-07,2.105887e-07,2.119149e-07,2.146339e-07,2.170730e-07,2.183952e-07,2.217517e-07,2.218863e-07,2.251207e-07,2.259821e-07,2.281116e-07,2.297947e-07,2.308720e-07,2.332187e-07,2.334143e-07,2.357505e-07,2.362819e-07,2.378923e-07,2.390108e-07,2.398505e-07,2.414303e-07,2.416358e-07,2.432582e-07,2.435639e-07,2.447272e-07,2.454335e-07,2.460519e-07,2.470595e-07,2.472409e-07,2.483024e-07,2.484609e-07,2.492440e-07,2.496556e-07,2.500731e-07,2.506600e-07,2.507965e-07,2.514208e-07,2.514894e-07,2.519521e-07,2.521579e-07,2.523962e-07,2.526789e-07,2.527587e-07,2.530446e-07,2.530644e-07,2.532590e-07,2.533257e-07,2.534063e-07,2.534733e-07,2.534909e-07,2.535170e-07,2.535168e-07,2.534883e-07,2.534653e-07,2.534086e-07,2.533269e-07,2.532812e-07,2.531094e-07,2.528962e-07,2.528197e-07,2.526445e-07,2.524645e-07,2.523570e-07,2.520497e-07,2.520363e-07,2.516847e-07,2.515811e-07,2.513046e-07,2.510637e-07,2.508980e-07,2.505023e-07,2.504669e-07,2.500133e-07,2.499013e-07,2.495390e-07,2.492649e-07,2.490455e-07,2.485967e-07,2.485345e-07,2.480075e-07,2.479003e-07,2.474658e-07,2.471788e-07,2.469109e-07,2.464353e-07,2.463438e-07,2.457659e-07,2.456725e-07,2.451782e-07,2.448929e-07,2.445817e-07,2.440988e-07,2.439774e-07,2.433662e-07,2.432924e-07,2.427490e-07,2.424757e-07,2.421266e-07,2.416506e-07,2.414998e-07,2.408692e-07,2.408186e-07,2.402356e-07,2.399815e-07,2.395996e-07,2.391405e-07,2.389617e-07,2.383226e-07,2.382970e-07,2.376827e-07,2.374523e-07,2.370426e-07,2.366074e-07,2.364027e-07,2.357634e-07,2.349212e-07,2.340816e-07,2.332456e-07,2.324137e-07,2.315866e-07,2.307650e-07,2.299494e-07,2.291402e-07,2.283380e-07,2.275431e-07,2.267559e-07,2.259768e-07,2.252059e-07,2.244436e-07,2.236902e-07,2.229457e-07,2.222105e-07,2.214846e-07,2.207682e-07,2.200613e-07,2.193641e-07,2.186767e-07,2.179991e-07,2.173314e-07
0.000000e+00,3.776792e-11,8.665597e-11,2.985520e-10,6.796712e-10,9.918000e-10,2.251379e-09,2.319193e-09,4.486076e-09,5.272552e-09,7.710120e-09,1.024600e-08,1.221590e-08,1.765793e-08,1.819296e-08,2.571094e-08,2.773648e-08,3.466944e-08,4.023922e-08,4.486056e-08,5.467215e-08,5.606313e-08,6.808184e-08,7.056823e-08,8.074695e-08,8.753708e-08,9.390580e-08,1.052374e-07,1.074175e-07,1.211515e-07,1.233614e-07,1.349876e-07,1.416328e-07,1.488171e-07,1.598112e-07,1.625442e-07,1.760859e-07,1.776949e-07,1.893720e-07,1.951217e-07,2.023451e-07,2.119666e-07,2.149591e-07,2.271779e-07,2.281375e-07,2.389753e-07,2.435718e-07,2.503326e-07,2.582306e-07,2.612381e-07,2.716856e-07,2.720939e-07,2.816735e-07,2.851570e-07,2.912040e-07,2.974261e-07,3.002825e-07,3.089163e-07,3.171151e-07,3.196486e-07,3.248896e-07,3.296481e-07,3.322517e-07,3.389430e-07,3.392140e-07,3.457895e-07,3.475632e-07,3.519917e-07,3.555394e-07,3.578340e-07,3.629028e-07,3.633300e-07,3.684933e-07,3.696844e-07,3.733370e-07,3.759148e-07,3.778743e-07,3.816240e-07,3.821181e-07,3.860809e-07,3.868409e-07,3.897750e-07,3.915937e-07,3.932122e-07,3.959095e-07,3.964041e-07,3.993619e-07,3.998142e-07,4.020964e-07,4.033328e-07,4.046181e-07,4.064890e-07,4.069370e-07,4.090629e-07,4.093055e-07,4.110051e-07,4.118039e-07,4.127727e-07,4.140047e-07,4.143744e-07,4.158184e-07,4.159274e-07,4.171129e-07,4.175905e-07,4.182654e-07,4.190114e-07,4.192833e-07,4.201738e-07,4.202068e-07,4.209435e-07,4.211923e-07,4.215990e-07,4.219827e-07,4.221465e-07,4.225919e-07,4.229409e-07,4.230331e-07,4.231990e-07,4.233188e-07,4.233713e-07,4.234606e-07,4.234628e-07,4.234783e-07,4.234696e-07,4.234222e-07,4.233560e-07,4.232989e-07,4.231297e-07,4.231126e-07,4.228671e-07,4.227997e-07,4.225661e-07,4.223748e-07,4.222134e-07,4.218628e-07,4.218122e-07,4.213659e-07,4.212715e-07,4.208774e-07,4.206078e-07,4.203498e-07,4.198784e-07,4.197858e-07,4.191881e-07,4.190895e-07,4.185592e-07,4.182470e-07,4.179016e-07,4.173563e-07,4.172174e-07,4.165089e-07,4.164224e-07,4.157782e-07,4.154501e-07,4.150271e-07,4.144438e-07,4.142575e-07,4.134712e-07,4.134077e-07,4.126699e-07,4.123455e-07,4.118551e-07,4.112609e-07,4.110283e-07,4.101909e-07,4.101572e-07,4.093443e-07,4.090376e-07,4.084898e-07,4.079047e-07,4.076284e-07,4.067614e-07,4.056101e-07,4.044531e-07,4.032925e-07,4.021303e-07,4.009682e-07,3.998079e-07,3.986509e-07,3.974987e-07,3.963525e-07,3.952135e-07,3.940827e-07,3.929612e-07,3.918498e-07,3.907493e-07,3.896604e-07,3.885839e-07,3.875201e-07,3.864698e-07,3.854333e-07,3.844110e-07,3.834033e-07,3.824104e-07,3.814327e-07,3.804703e-07
0.000000e+00,4.283296e-12,9.796200e-12,3.367332e-11,7.668659e-11,1.119980e-10,2.552596e-10,2.630061e-10,5.122261e-10,6.034625e-10,8.887838e-10,1.189707e-09,1.426465e-09,2.095686e-09,2.162799e-09,3.134136e-09,3.405398e-09,4.365106e-09,5.169181e-09,5.855985e-09,7.361314e-09,7.578884e-09,9.488371e-09,9.888370e-09,1.153672e-08,1.264275e-08,1.368282e-08,1.553691e-08,1.589392e-08,1.814428e-08,1.850654e-08,2.041316e-08,2.150367e-08,2.268344e-08,2.449084e-08,2.494060e-08,2.717218e-08,2.743773e-08,2.936750e-08,3.031956e-08,3.151747e-08,3.311637e-08,3.361446e-08,3.565222e-08,3.581253e-08,3.762576e-08,3.839630e-08,3.953125e-08,4.085946e-08,4.136590e-08,4.312783e-08,4.319677e-08,4.481597e-08,4.540555e-08,4.642996e-08,4.748520e-08,4.797001e-08,4.943681e-08,5.083147e-08,5.126274e-08,5.215538e-08,5.296633e-08,5.341024e-08,5.455164e-08,5.459788e-08,5.572031e-08,5.602319e-08,5.677963e-08,5.738584e-08,5.777802e-08,5.864462e-08,5.871768e-08,5.960084e-08,5.980464e-08,6.042971e-08,6.087098e-08,6.120649e-08,6.184869e-08,6.193334e-08,6.261240e-08,6.274265e-08,6.324572e-08,6.355765e-08,6.383535e-08,6.429829e-08,6.438323e-08,6.489128e-08,6.496899e-08,6.536133e-08,6.557399e-08,6.579517e-08,6.611732e-08,6.619451e-08,6.656100e-08,6.660284e-08,6.689623e-08,6.703422e-08,6.720172e-08,6.741492e-08,6.747896e-08,6.772934e-08,6.774825e-08,6.795421e-08,6.803731e-08,6.815487e-08,6.828506e-08,6.833256e-08,6.848847e-08,6.849427e-08,6.862373e-08,6.866758e-08,6.873943e-08,6.880747e-08,6.883662e-08,6.891627e-08,6.897935e-08,6.899619e-08,6.902677e-08,6.904929e-08,6.905938e-08,6.907753e-08,6.907802e-08,6.908347e-08,6.908274e-08,6.907650e-08,6.906665e-08,6.905782e-08,6.903088e-08,6.902811e-08,6.898803e-08,6.897694e-08,6.893821e-08,6.890628e-08,6.887924e-08,6.882022e-08,6.881168e-08,6.873608e-08,6.872004e-08,6.865295e-08,6.860691e-08,6.856277e-08,6.848193e-08,6.846603e-08,6.836315e-08,6.834615e-08,6.825456e-08,6.820053e-08,6.814066e-08,6.804598e-08,6.802184e-08,6.789846e-08,6.788337e-08,6.777086e-08,6.771347e-08,6.763938e-08,6.753704e-08,6.750431e-08,6.736597e-08,6.735477e-08,6.722462e-08,6.716731e-08,6.708055e-08,6.697527e-08,6.693400e-08,6.678521e-08,6.677921e-08,6.663440e-08,6.657967e-08,6.648181e-08,6.637713e-08,6.632763e-08,6.617206e-08,6.596488e-08,6.575599e-08,6.554576e-08,6.533453e-08,6.512263e-08,6.491034e-08,6.469793e-08,6.448568e-08,6.427380e-08,6.406251e-08,6.385201e-08,6.364250e-08,6.343413e-08,6.322705e-08,6.302143e-08,6.281737e-08,6.261500e-08,6.241443e-08,6.221576e-08,6.201907e-08,6.182444e-08,6.163195e-08,6.144166e-08,6.125362e-08
0.000000e+00,6.559096e-10,1.874955e-09,8.740503e-09,2.378731e-08,3.739055e-08,9.774707e-08,1.011486e-07,2.138095e-07,2.558487e-07,3.878330e-07,5.263809e-07,6.343450e-07,9.336993e-07,9.632574e-07,1.383223e-06,1.498383e-06,1.901177e-06,2.235725e-06,2.521221e-06,3.151089e-06,3.242899e-06,4.059556e-06,4.233231e-06,4.958080e-06,5.451857e-06,5.920643e-06,6.764256e-06,6.927529e-06,7.959610e-06,8.125903e-06,8.999781e-06,9.497555e-06,1.003344e-05,1.084744e-05,1.104843e-05,1.203479e-05,1.215082e-05,1.298446e-05,1.338900e-05,1.389110e-05,1.454830e-05,1.474981e-05,1.555703e-05,1.561931e-05,1.631040e-05,1.659634e-05,1.700858e-05,1.747682e-05,1.765114e-05,1.823845e-05,1.826080e-05,1.877153e-05,1.895045e-05,1.925194e-05,1.954952e-05,1.968164e-05,2.006290e-05,2.039826e-05,2.049630e-05,2.069036e-05,2.085586e-05,2.094193e-05,2.114788e-05,2.115574e-05,2.133452e-05,2.137867e-05,2.148094e-05,2.155433e-05,2.159757e-05,2.168070e-05,2.168690e-05,2.175127e-05,2.176325e-05,2.179290e-05,2.180707e-05,2.181389e-05,2.181682e-05,2.181616e-05,2.180154e-05,2.179674e-05,2.177170e-05,2.175068e-05,2.172817e-05,2.168209e-05,2.167240e-05,2.160568e-05,2.159407e-05,2.152921e-05,2.148937e-05,2.144410e-05,2.137046e-05,2.135134e-05,2.125185e-05,2.123950e-05,2.114646e-05,2.109842e-05,2.103594e-05,2.094893e-05,2.092096e-05,2.080217e-05,2.079252e-05,2.068012e-05,2.063051e-05,2.055534e-05,2.046407e-05,2.042829e-05,2.029940e-05,2.029421e-05,2.016904e-05,2.012182e-05,2.003757e-05,1.994770e-05,1.990530e-05,1.977251e-05,1.963946e-05,1.959686e-05,1.950637e-05,1.942126e-05,1.937345e-05,1.924617e-05,1.924088e-05,1.910884e-05,1.907198e-05,1.897746e-05,1.889901e-05,1.884689e-05,1.872758e-05,1.871724e-05,1.858862e-05,1.855791e-05,1.846111e-05,1.839023e-05,1.833481e-05,1.822472e-05,1.820978e-05,1.808609e-05,1.806152e-05,1.796380e-05,1.790077e-05,1.784294e-05,1.774257e-05,1.772357e-05,1.760572e-05,1.758701e-05,1.748941e-05,1.743414e-05,1.737468e-05,1.728403e-05,1.726153e-05,1.714999e-05,1.713671e-05,1.704007e-05,1.699222e-05,1.693177e-05,1.685055e-05,1.682510e-05,1.672007e-05,1.671174e-05,1.661666e-05,1.657576e-05,1.651489e-05,1.644262e-05,1.641474e-05,1.631621e-05,1.631230e-05,1.621928e-05,1.618478e-05,1.612395e-05,1.606004e-05,1.603021e-05,1.593805e-05,1.581877e-05,1.570218e-05,1.558824e-05,1.547690e-05,1.536813e-05,1.526188e-05,1.515811e-05,1.505677e-05,1.495782e-05,1.486122e-05,1.476691e-05,1.467485e-05,1.458500e-05,1.449730e-05,1.441171e-05,1.432819e-05,1.424668e-05,1.416714e-05,1.408953e-05,1.401380e-05,1.393991e-05,1.386782e-05,1.379747e-05,1.372884e-05
0.000000e+00,6.922662e-10,1.907337e-09,8.365632e-09,2.191087e-08,3.395360e-08,8.746997e-08,9.052132e-08,1.949037e-07,2.356576e-07,3.701184e-07,5.212692e-07,6.452620e-07,1.009813e-06,1.046960e-06,1.583311e-06,1.730786e-06,2.239974e-06,2.651601e-06,2.993898e-06,3.721876e-06,3.825206e-06,4.719866e-06,4.905491e-06,5.668136e-06,6.179910e-06,6.662600e-06,7.528956e-06,7.696861e-06,8.764821e-06,8.938413e-06,9.860342e-06,1.039415e-05,1.097716e-05,1.188168e-05,1.210892e-05,1.324927e-05,1.338640e-05,1.439207e-05,1.489414e-05,1.553139e-05,1.639153e-05,1.666171e-05,1.777796e-05,1.786651e-05,1.887557e-05,1.930848e-05,1.995053e-05,2.070852e-05,2.099939e-05,2.201922e-05,2.205937e-05,2.300763e-05,2.335538e-05,2.396271e-05,2.459237e-05,2.488300e-05,2.576746e-05,2.661537e-05,2.687891e-05,2.742636e-05,2.792596e-05,2.820032e-05,2.890860e-05,2.893738e-05,2.963786e-05,2.982750e-05,3.030224e-05,3.068380e-05,3.093115e-05,3.147904e-05,3.152532e-05,3.208556e-05,3.221506e-05,3.261276e-05,3.289390e-05,3.310785e-05,3.351775e-05,3.357181e-05,3.400563e-05,3.408887e-05,3.441034e-05,3.460961e-05,3.478693e-05,3.508230e-05,3.513645e-05,3.545988e-05,3.550928e-05,3.575825e-05,3.589285e-05,3.603253e-05,3.623527e-05,3.628370e-05,3.651270e-05,3.653874e-05,3.672048e-05,3.680541e-05,3.690792e-05,3.703733e-05,3.707593e-05,3.722534e-05,3.723652e-05,3.735701e-05,3.740488e-05,3.747173e-05,3.754427e-05,3.757028e-05,3.765343e-05,3.765645e-05,3.772191e-05,3.774310e-05,3.777641e-05,3.780585e-05,3.781764e-05,3.784623e-05,3.786283e-05,3.786571e-05,3.786805e-05,3.786569e-05,3.786247e-05,3.784749e-05,3.784667e-05,3.782118e-05,3.781238e-05,3.778653e-05,3.776155e-05,3.774321e-05,3.769614e-05,3.769173e-05,3.763253e-05,3.761722e-05,3.756606e-05,3.752582e-05,3.749275e-05,3.742291e-05,3.741301e-05,3.732723e-05,3.730938e-05,3.723578e-05,3.718611e-05,3.713903e-05,3.705391e-05,3.703732e-05,3.693097e-05,3.691355e-05,3.682031e-05,3.676575e-05,3.670563e-05,3.661120e-05,3.658723e-05,3.646537e-05,3.645053e-05,3.634033e-05,3.628436e-05,3.621234e-05,3.611325e-05,3.608166e-05,3.594850e-05,3.593775e-05,3.581309e-05,3.575834e-05,3.567564e-05,3.557551e-05,3.553633e-05,3.539537e-05,3.538970e-05,3.525293e-05,3.520132e-05,3.510917e-05,3.501075e-05,3.496427e-05,3.481837e-05,3.462452e-05,3.442950e-05,3.423361e-05,3.403714e-05,3.384033e-05,3.364343e-05,3.344666e-05,3.325022e-05,3.305430e-05,3.285908e-05,3.266472e-05,3.247138e-05,3.227918e-05,3.208826e-05,3.189873e-05,3.171070e-05,3.152426e-05,3.133950e-05,3.115651e-05,3.097535e-05,3.079608e-05,3.061877e-05,3.044346e-05,3.027020e-05
0.000000e+00,8.547066e-10,2.455125e-09,1.156772e-08,3.181498e-08,5.031911e-08,1.338754e-07,1.386408e-07,2.990841e-07,3.600810e-07,5.549501e-07,7.643853e-07,9.306684e-07,1.403850e-06,1.451419e-06,2.139840e-06,2.331774e-06,3.009138e-06,3.575082e-06,4.058179e-06,5.120081e-06,5.274260e-06,6.639652e-06,6.929022e-06,8.136045e-06,8.960126e-06,9.746046e-06,1.117416e-05,1.145317e-05,1.324145e-05,1.353405e-05,1.509518e-05,1.600366e-05,1.699887e-05,1.854760e-05,1.893738e-05,2.089608e-05,2.113182e-05,2.286115e-05,2.372445e-05,2.481975e-05,2.629674e-05,2.676023e-05,2.867219e-05,2.882364e-05,3.054662e-05,3.128412e-05,3.237584e-05,3.366125e-05,3.415346e-05,3.587437e-05,3.594197e-05,3.753457e-05,3.811679e-05,3.913112e-05,4.017933e-05,4.066197e-05,4.212590e-05,4.352236e-05,4.395497e-05,4.485140e-05,4.566683e-05,4.611355e-05,4.726314e-05,4.730973e-05,4.844121e-05,4.874662e-05,4.950947e-05,5.012079e-05,5.051623e-05,5.138972e-05,5.146334e-05,5.235274e-05,5.255784e-05,5.318647e-05,5.362980e-05,5.396657e-05,5.461037e-05,5.469514e-05,5.537426e-05,5.550433e-05,5.600599e-05,5.631644e-05,5.659238e-05,5.705135e-05,5.713540e-05,5.763703e-05,5.771357e-05,5.809915e-05,5.830748e-05,5.852361e-05,5.883727e-05,5.891220e-05,5.926664e-05,5.930695e-05,5.958859e-05,5.972038e-05,5.987966e-05,6.008118e-05,6.014140e-05,6.037527e-05,6.039282e-05,6.058271e-05,6.065859e-05,6.076507e-05,6.088157e-05,6.092365e-05,6.105972e-05,6.106471e-05,6.117445e-05,6.121076e-05,6.126900e-05,6.132233e-05,6.134446e-05,6.140187e-05,6.144223e-05,6.145170e-05,6.146648e-05,6.147397e-05,6.147554e-05,6.147075e-05,6.147027e-05,6.145150e-05,6.144393e-05,6.142000e-05,6.139532e-05,6.137654e-05,6.132661e-05,6.132183e-05,6.125654e-05,6.123938e-05,6.118133e-05,6.113511e-05,6.109681e-05,6.101520e-05,6.100356e-05,6.090215e-05,6.088094e-05,6.079311e-05,6.073356e-05,6.067694e-05,6.057420e-05,6.055412e-05,6.042511e-05,6.040392e-05,6.029034e-05,6.022373e-05,6.015023e-05,6.003456e-05,6.000516e-05,5.985552e-05,5.983727e-05,5.970164e-05,5.963269e-05,5.954388e-05,5.942157e-05,5.938254e-05,5.921793e-05,5.920463e-05,5.905033e-05,5.898252e-05,5.888002e-05,5.875587e-05,5.870726e-05,5.853228e-05,5.852524e-05,5.835533e-05,5.829119e-05,5.817662e-05,5.805419e-05,5.799635e-05,5.781473e-05,5.757323e-05,5.733009e-05,5.708569e-05,5.684037e-05,5.659445e-05,5.634823e-05,5.610200e-05,5.585599e-05,5.561045e-05,5.536560e-05,5.512163e-05,5.487874e-05,5.463708e-05,5.439683e-05,5.415811e-05,5.392106e-05,5.368580e-05,5.345244e-05,5.322107e-05,5.299179e-05,5.276467e-05,5.253979e-05,5.231721e-05,5.209699e-05
0.000000e+00,6.844686e-11,1.584333e-10,5.505930e-10,1.260502e-09,1.846171e-09,4.251578e-09,4.383031e-09,8.685412e-09,1.029276e-08,1.540142e-08,2.085882e-08,2.514562e-08,3.694015e-08,3.808541e-08,5.379283e-08,5.790362e-08,7.164576e-08,8.238678e-08,9.114227e-08,1.093742e-07,1.119270e-07,1.337315e-07,1.381942e-07,1.563264e-07,1.683167e-07,1.794973e-07,1.992527e-07,2.030349e-07,2.267346e-07,2.305283e-07,2.503994e-07,2.616910e-07,2.738437e-07,2.923261e-07,2.968984e-07,3.194137e-07,3.220729e-07,3.412605e-07,3.506331e-07,3.623329e-07,3.777783e-07,3.825482e-07,4.018450e-07,4.033477e-07,4.201809e-07,4.272401e-07,4.375312e-07,4.494073e-07,4.538864e-07,4.692494e-07,4.698435e-07,4.836342e-07,4.885776e-07,4.970640e-07,5.056640e-07,5.095651e-07,5.211704e-07,5.319167e-07,5.351803e-07,5.418422e-07,5.477823e-07,5.509871e-07,5.590694e-07,5.593918e-07,5.670964e-07,5.691335e-07,5.741398e-07,5.780644e-07,5.805603e-07,5.859492e-07,5.863952e-07,5.916800e-07,5.928703e-07,5.964486e-07,5.989056e-07,6.007332e-07,6.041276e-07,6.045644e-07,6.079713e-07,6.086042e-07,6.109812e-07,6.123981e-07,6.136198e-07,6.155671e-07,6.159113e-07,6.178784e-07,6.181644e-07,6.195422e-07,6.202391e-07,6.209228e-07,6.218360e-07,6.220390e-07,6.229080e-07,6.229965e-07,6.235464e-07,6.237582e-07,6.239695e-07,6.241559e-07,6.241916e-07,6.242260e-07,6.242211e-07,6.240855e-07,6.239829e-07,6.237817e-07,6.234680e-07,6.233256e-07,6.227275e-07,6.227008e-07,6.219971e-07,6.217035e-07,6.211433e-07,6.204967e-07,6.201747e-07,6.190991e-07,6.179240e-07,6.175281e-07,6.166564e-07,6.157996e-07,6.153027e-07,6.139279e-07,6.138691e-07,6.123613e-07,6.119266e-07,6.107848e-07,6.098080e-07,6.091445e-07,6.075833e-07,6.074453e-07,6.056915e-07,6.052630e-07,6.038875e-07,6.028567e-07,6.020371e-07,6.003733e-07,6.001440e-07,5.982118e-07,5.978210e-07,5.962437e-07,5.952072e-07,5.942429e-07,5.925390e-07,5.922121e-07,5.901543e-07,5.898227e-07,5.880718e-07,5.870643e-07,5.859673e-07,5.842692e-07,5.838429e-07,5.817008e-07,5.814427e-07,5.795431e-07,5.785892e-07,5.773716e-07,5.757133e-07,5.751883e-07,5.729947e-07,5.728188e-07,5.707925e-07,5.699095e-07,5.685832e-07,5.669889e-07,5.663682e-07,5.641489e-07,5.640601e-07,5.619266e-07,5.611260e-07,5.597023e-07,5.581894e-07,5.574774e-07,5.552528e-07,5.523185e-07,5.493887e-07,5.464654e-07,5.435504e-07,5.406454e-07,5.377519e-07,5.348715e-07,5.320054e-07,5.291549e-07,5.263211e-07,5.235050e-07,5.207076e-07,5.179298e-07,5.151722e-07,5.124357e-07,5.097209e-07,5.070283e-07,5.043586e-07,5.017122e-07,4.990895e-07,4.964909e-07,4.939168e-07,4.913674e-07,4.888430e-07
0.000000e+00,1.556088e-09,4.387892e-09,2.004805e-08,5.415136e-08,8.518504e-08,2.272283e-07,2.354680e-07,5.230096e-07,6.374669e-07,1.020345e-06,1.455970e-06,1.814558e-06,2.863840e-06,2.970003e-06,4.486020e-06,4.898049e-06,6.308999e-06,7.439679e-06,8.374987e-06,1.035291e-05,1.063261e-05,1.304506e-05,1.354363e-05,1.558524e-05,1.694920e-05,1.823116e-05,2.052096e-05,2.096307e-05,2.376211e-05,2.421495e-05,2.660987e-05,2.798880e-05,2.948836e-05,3.180163e-05,3.238029e-05,3.526939e-05,3.561517e-05,3.814069e-05,3.939488e-05,4.098067e-05,4.311075e-05,4.377747e-05,4.652089e-05,4.673779e-05,4.920234e-05,5.025593e-05,5.181470e-05,5.364958e-05,5.435229e-05,5.681070e-05,5.690734e-05,5.918667e-05,6.002136e-05,6.147792e-05,6.298687e-05,6.368311e-05,6.580160e-05,6.783335e-05,6.846526e-05,6.977883e-05,7.097905e-05,7.163891e-05,7.334540e-05,7.341484e-05,7.510807e-05,7.556759e-05,7.672032e-05,7.764955e-05,7.825342e-05,7.959568e-05,7.970936e-05,8.109020e-05,8.141066e-05,8.239806e-05,8.309939e-05,8.363510e-05,8.466685e-05,8.480351e-05,8.590547e-05,8.611808e-05,8.694316e-05,8.745808e-05,8.791874e-05,8.869180e-05,8.883436e-05,8.969211e-05,8.982412e-05,9.049408e-05,9.085981e-05,9.124229e-05,9.180350e-05,9.193874e-05,9.258536e-05,9.265970e-05,9.318405e-05,9.343277e-05,9.373667e-05,9.412694e-05,9.424500e-05,9.471080e-05,9.474627e-05,9.513576e-05,9.529469e-05,9.552155e-05,9.577595e-05,9.586975e-05,9.618193e-05,9.619369e-05,9.645957e-05,9.655135e-05,9.670414e-05,9.685228e-05,9.691705e-05,9.709966e-05,9.725327e-05,9.729652e-05,9.737917e-05,9.744577e-05,9.747859e-05,9.755021e-05,9.755270e-05,9.760265e-05,9.761246e-05,9.762955e-05,9.763507e-05,9.763446e-05,9.762044e-05,9.761841e-05,9.758239e-05,9.757088e-05,9.752734e-05,9.748855e-05,9.745420e-05,9.737556e-05,9.736383e-05,9.725710e-05,9.723386e-05,9.713482e-05,9.706535e-05,9.699778e-05,9.687181e-05,9.684673e-05,9.668242e-05,9.665494e-05,9.650553e-05,9.641635e-05,9.631674e-05,9.615757e-05,9.611669e-05,9.590602e-05,9.588006e-05,9.568532e-05,9.558518e-05,9.545515e-05,9.527424e-05,9.521608e-05,9.496863e-05,9.494849e-05,9.471330e-05,9.460908e-05,9.445059e-05,9.425713e-05,9.418096e-05,9.390486e-05,9.389369e-05,9.362271e-05,9.351974e-05,9.333494e-05,9.313624e-05,9.304193e-05,9.274405e-05,9.234403e-05,9.193697e-05,9.152360e-05,9.110464e-05,9.068075e-05,9.025255e-05,8.982064e-05,8.938557e-05,8.894787e-05,8.850803e-05,8.806650e-05,8.762373e-05,8.718012e-05,8.673605e-05,8.629189e-05,8.584796e-05,8.540459e-05,8.496206e-05,8.452065e-05,8.408062e-05,8.364220e-05,8.320562e-05,8.277108e-05,8.233878e-05
0.000000e+00,8.441031e-11,2.008205e-10,7.195929e-10,1.669607e-09,2.454418e-09,5.651667e-09,5.824773e-09,1.139285e-08,1.342886e-08,1.978335e-08,2.646251e-08,3.170068e-08,4.642822e-08,4.789885e-08,6.905610e-08,7.492191e-08,9.552508e-08,1.126107e-07,1.270838e-07,1.584608e-07,1.629612e-07,2.021549e-07,2.103064e-07,2.437316e-07,2.660350e-07,2.869344e-07,3.240423e-07,3.311681e-07,3.759528e-07,3.831419e-07,4.208872e-07,4.424056e-07,4.656253e-07,5.010702e-07,5.098651e-07,5.533427e-07,5.584976e-07,5.958307e-07,6.141611e-07,6.371366e-07,6.676396e-07,6.771016e-07,7.155992e-07,7.186125e-07,7.525326e-07,7.668516e-07,7.878323e-07,8.122102e-07,8.214531e-07,8.533712e-07,8.546123e-07,8.835817e-07,8.940413e-07,9.120960e-07,9.305280e-07,9.389367e-07,9.641353e-07,9.877326e-07,9.949531e-07,1.009775e-06,1.023089e-06,1.030313e-06,1.048663e-06,1.049400e-06,1.067092e-06,1.071803e-06,1.083446e-06,1.092640e-06,1.098520e-06,1.111307e-06,1.112372e-06,1.125061e-06,1.127939e-06,1.136645e-06,1.142672e-06,1.147182e-06,1.155630e-06,1.156724e-06,1.165321e-06,1.166931e-06,1.173023e-06,1.176691e-06,1.179879e-06,1.185017e-06,1.185934e-06,1.191232e-06,1.192012e-06,1.195814e-06,1.197771e-06,1.199722e-06,1.202388e-06,1.202993e-06,1.205664e-06,1.205946e-06,1.207771e-06,1.208528e-06,1.209346e-06,1.210207e-06,1.210421e-06,1.211025e-06,1.211054e-06,1.211188e-06,1.211136e-06,1.210937e-06,1.210514e-06,1.210297e-06,1.209294e-06,1.209246e-06,1.207949e-06,1.207386e-06,1.206286e-06,1.204984e-06,1.204325e-06,1.202086e-06,1.199588e-06,1.198736e-06,1.196848e-06,1.194976e-06,1.193884e-06,1.190842e-06,1.190711e-06,1.187345e-06,1.186370e-06,1.183799e-06,1.181592e-06,1.180088e-06,1.176539e-06,1.176224e-06,1.172219e-06,1.171238e-06,1.168085e-06,1.165717e-06,1.163832e-06,1.159999e-06,1.159470e-06,1.155010e-06,1.154107e-06,1.150460e-06,1.148061e-06,1.145828e-06,1.141881e-06,1.141124e-06,1.136354e-06,1.135586e-06,1.131527e-06,1.129191e-06,1.126647e-06,1.122711e-06,1.121723e-06,1.116760e-06,1.116162e-06,1.111763e-06,1.109556e-06,1.106739e-06,1.102905e-06,1.101691e-06,1.096626e-06,1.096220e-06,1.091546e-06,1.089511e-06,1.086457e-06,1.082789e-06,1.081362e-06,1.076265e-06,1.076062e-06,1.071170e-06,1.069337e-06,1.066080e-06,1.062622e-06,1.060997e-06,1.055924e-06,1.049249e-06,1.042603e-06,1.035990e-06,1.029416e-06,1.022884e-06,1.016399e-06,1.009964e-06,1.003582e-06,9.972564e-07,9.909890e-07,9.847825e-07,9.786387e-07,9.725596e-07,9.665466e-07,9.606012e-07,9.547244e-07,9.489174e-07,9.431809e-07,9.375156e-07,9.319221e-07,9.264009e-07,9.209521e-07,9.155761e-07,9.102729e-07
0.000000e+00,8.749852e-07,2.587968e-06,1.291467e-05,3.729145e-05,6.048988e-05,1.709847e-04,1.774829e-04,4.038382e-04,4.927504e-04,7.838136e-04,1.105329e-03,1.365320e-03,2.121897e-03,2.199091e-03,3.335300e-03,3.657975e-03,4.816232e-03,5.806941e-03,6.668967e-03,8.615377e-03,8.903706e-03,1.151713e-02,1.208428e-02,1.449678e-02,1.618500e-02,1.782426e-02,2.087183e-02,2.147713e-02,2.542986e-02,2.608828e-02,2.965435e-02,3.176979e-02,3.412022e-02,3.784509e-02,3.879522e-02,4.364550e-02,4.423767e-02,4.863616e-02,5.086739e-02,5.373173e-02,5.765268e-02,5.889674e-02,6.409635e-02,6.451279e-02,6.929686e-02,7.137009e-02,7.446629e-02,7.815215e-02,7.957473e-02,8.459476e-02,8.479336e-02,8.950170e-02,9.123623e-02,9.427379e-02,9.743210e-02,9.889229e-02,1.033415e-01,1.076085e-01,1.089338e-01,1.116836e-01,1.141873e-01,1.155593e-01,1.190879e-01,1.192308e-01,1.226957e-01,1.236287e-01,1.259533e-01,1.278088e-01,1.290048e-01,1.316325e-01,1.318530e-01,1.345018e-01,1.351083e-01,1.369562e-01,1.382481e-01,1.392223e-01,1.410659e-01,1.413067e-01,1.432165e-01,1.435781e-01,1.449591e-01,1.458018e-01,1.465423e-01,1.477549e-01,1.479741e-01,1.492622e-01,1.494555e-01,1.504145e-01,1.509217e-01,1.514387e-01,1.521710e-01,1.523424e-01,1.531329e-01,1.532205e-01,1.538172e-01,1.540864e-01,1.544021e-01,1.547842e-01,1.548942e-01,1.552996e-01,1.553285e-01,1.556242e-01,1.557327e-01,1.558737e-01,1.560097e-01,1.560532e-01,1.561679e-01,1.561712e-01,1.562223e-01,1.562280e-01,1.562210e-01,1.561903e-01,1.561680e-01,1.560673e-01,1.559225e-01,1.558674e-01,1.557370e-01,1.555984e-01,1.555140e-01,1.552674e-01,1.552564e-01,1.549672e-01,1.548808e-01,1.546487e-01,1.544447e-01,1.543036e-01,1.539644e-01,1.539340e-01,1.535419e-01,1.534448e-01,1.531295e-01,1.528903e-01,1.526985e-01,1.523052e-01,1.522506e-01,1.517874e-01,1.516930e-01,1.513103e-01,1.510572e-01,1.508208e-01,1.504009e-01,1.503201e-01,1.498093e-01,1.497268e-01,1.492897e-01,1.490374e-01,1.487622e-01,1.483352e-01,1.482278e-01,1.476874e-01,1.476222e-01,1.471418e-01,1.469002e-01,1.465917e-01,1.461712e-01,1.460380e-01,1.454812e-01,1.454365e-01,1.449220e-01,1.446978e-01,1.443610e-01,1.439562e-01,1.437987e-01,1.432356e-01,1.432130e-01,1.426721e-01,1.424693e-01,1.421088e-01,1.417260e-01,1.415460e-01,1.409840e-01,1.402442e-01,1.395072e-01,1.387737e-01,1.380444e-01,1.373197e-01,1.366001e-01,1.358861e-01,1.351780e-01,1.344763e-01,1.337812e-01,1.330930e-01,1.324120e-01,1.317383e-01,1.310722e-01,1.304137e-01,1.297632e-01,1.291206e-01,1.284861e-01,1.278597e-01,1.272416e-01,1.266317e-01,1.260302e-01,1.254370e-01,1.248522e-01
0.000000e+00,1.015389e-11,2.320019e-11,7.944474e-11,1.800321e-10,2.620663e-10,5.909805e-10,6.086097e-10,1.168655e-09,1.370608e-09,1.993171e-09,2.636901e-09,3.135268e-09,4.510442e-09,4.645844e-09,6.559746e-09,7.080068e-09,8.878288e-09,1.034203e-08,1.156850e-08,1.420468e-08,1.458166e-08,1.786949e-08,1.855614e-08,2.138900e-08,2.329775e-08,2.510150e-08,2.834253e-08,2.897067e-08,3.296140e-08,3.360889e-08,3.703934e-08,3.901787e-08,4.117106e-08,4.449352e-08,4.532445e-08,4.946925e-08,4.996469e-08,5.357749e-08,5.536691e-08,5.762385e-08,6.064383e-08,6.158597e-08,6.544457e-08,6.574828e-08,6.918346e-08,7.064244e-08,7.278944e-08,7.529756e-08,7.625220e-08,7.956403e-08,7.969328e-08,8.271959e-08,8.381666e-08,8.571568e-08,8.766114e-08,8.855089e-08,9.122541e-08,9.374074e-08,9.451242e-08,9.609944e-08,9.752837e-08,9.830496e-08,1.002820e-07,1.003614e-07,1.022736e-07,1.027838e-07,1.040464e-07,1.050454e-07,1.056852e-07,1.070793e-07,1.071955e-07,1.085830e-07,1.088983e-07,1.098532e-07,1.105154e-07,1.110117e-07,1.119432e-07,1.120640e-07,1.130155e-07,1.131942e-07,1.138714e-07,1.142804e-07,1.146369e-07,1.152135e-07,1.153167e-07,1.159157e-07,1.160044e-07,1.164385e-07,1.166636e-07,1.168893e-07,1.172009e-07,1.172723e-07,1.175916e-07,1.176258e-07,1.178509e-07,1.179470e-07,1.180539e-07,1.181726e-07,1.182040e-07,1.183044e-07,1.183104e-07,1.183584e-07,1.183676e-07,1.183687e-07,1.183508e-07,1.183383e-07,1.182698e-07,1.182663e-07,1.181657e-07,1.181200e-07,1.180283e-07,1.179171e-07,1.178600e-07,1.176629e-07,1.174389e-07,1.173618e-07,1.171899e-07,1.170184e-07,1.169179e-07,1.166365e-07,1.166244e-07,1.163110e-07,1.162199e-07,1.159794e-07,1.157722e-07,1.156308e-07,1.152964e-07,1.152668e-07,1.148884e-07,1.147956e-07,1.144970e-07,1.142725e-07,1.140937e-07,1.137297e-07,1.136794e-07,1.132553e-07,1.131694e-07,1.128223e-07,1.125938e-07,1.123812e-07,1.120051e-07,1.119329e-07,1.114782e-07,1.114049e-07,1.110178e-07,1.107950e-07,1.105524e-07,1.101770e-07,1.100828e-07,1.096094e-07,1.095523e-07,1.091328e-07,1.089223e-07,1.086537e-07,1.082881e-07,1.081725e-07,1.076896e-07,1.076509e-07,1.072056e-07,1.070118e-07,1.067209e-07,1.063716e-07,1.062358e-07,1.057507e-07,1.057313e-07,1.052660e-07,1.050916e-07,1.047819e-07,1.044533e-07,1.042988e-07,1.038170e-07,1.031833e-07,1.025528e-07,1.019260e-07,1.013033e-07,1.006851e-07,1.000719e-07,9.946387e-08,9.886139e-08,9.826471e-08,9.767407e-08,9.708967e-08,9.651169e-08,9.594031e-08,9.537565e-08,9.481784e-08,9.426696e-08,9.372312e-08,9.318637e-08,9.265677e-08,9.213436e-08,9.161917e-08,9.111120e-08,9.061048e-08,9.011699e-08
0.000000e+00,2.034084e-10,5.101856e-10,1.944712e-09,4.650022e-09,6.910272e-09,1.617253e-08,1.667417e-08,3.273589e-08,3.856215e-08,5.656575e-08,7.520057e-08,8.962100e-08,1.293478e-07,1.332544e-07,1.884258e-07,2.034269e-07,2.553714e-07,2.978510e-07,3.336313e-07,4.112186e-07,4.223954e-07,5.207642e-07,5.415103e-07,6.278221e-07,6.866155e-07,7.426293e-07,8.443419e-07,8.642081e-07,9.915418e-07,1.012380e-06,1.123587e-06,1.188333e-06,1.259293e-06,1.369797e-06,1.397625e-06,1.537584e-06,1.554442e-06,1.678227e-06,1.740100e-06,1.818684e-06,1.924817e-06,1.958165e-06,2.095973e-06,2.106906e-06,2.231494e-06,2.284942e-06,2.364204e-06,2.457764e-06,2.493663e-06,2.619512e-06,2.624467e-06,2.741467e-06,2.784373e-06,2.859309e-06,2.937008e-06,2.972878e-06,3.082070e-06,3.186823e-06,3.219402e-06,3.287114e-06,3.348963e-06,3.382955e-06,3.470813e-06,3.474386e-06,3.561468e-06,3.585082e-06,3.644282e-06,3.691961e-06,3.722923e-06,3.791678e-06,3.797497e-06,3.868120e-06,3.884495e-06,3.934914e-06,3.970694e-06,3.998006e-06,4.050566e-06,4.057524e-06,4.113599e-06,4.124412e-06,4.166362e-06,4.192534e-06,4.215945e-06,4.255231e-06,4.262476e-06,4.306083e-06,4.312797e-06,4.346891e-06,4.365520e-06,4.385022e-06,4.413679e-06,4.420595e-06,4.453727e-06,4.457544e-06,4.484529e-06,4.497372e-06,4.513111e-06,4.533413e-06,4.539578e-06,4.564032e-06,4.565904e-06,4.586571e-06,4.595072e-06,4.607289e-06,4.621131e-06,4.626278e-06,4.643625e-06,4.644286e-06,4.659414e-06,4.664732e-06,4.673726e-06,4.682653e-06,4.686637e-06,4.698222e-06,4.708552e-06,4.711604e-06,4.717696e-06,4.722954e-06,4.725717e-06,4.732419e-06,4.732678e-06,4.738639e-06,4.740137e-06,4.743657e-06,4.746237e-06,4.747785e-06,4.750843e-06,4.751076e-06,4.753580e-06,4.754068e-06,4.755342e-06,4.756022e-06,4.756409e-06,4.756806e-06,4.756822e-06,4.756624e-06,4.756514e-06,4.755852e-06,4.755237e-06,4.754544e-06,4.753058e-06,4.752736e-06,4.750460e-06,4.750055e-06,4.747749e-06,4.746302e-06,4.744632e-06,4.741867e-06,4.741140e-06,4.737298e-06,4.736815e-06,4.733133e-06,4.731205e-06,4.728671e-06,4.725094e-06,4.723933e-06,4.718943e-06,4.718533e-06,4.713721e-06,4.711572e-06,4.708288e-06,4.704255e-06,4.702661e-06,4.696860e-06,4.696625e-06,4.690901e-06,4.688720e-06,4.684800e-06,4.680578e-06,4.678572e-06,4.672231e-06,4.663712e-06,4.655048e-06,4.646268e-06,4.637396e-06,4.628454e-06,4.619464e-06,4.610445e-06,4.601416e-06,4.592391e-06,4.583387e-06,4.574417e-06,4.565493e-06,4.556627e-06,4.547830e-06,4.539110e-06,4.530476e-06,4.521936e-06,4.513496e-06,4.505163e-06,4.496941e-06,4.488836e-06,4.480852e-06,4.472991e-06,4.465258e-06
0.000000e+00,1.400907e-12,3.194260e-12,1.091797e-11,2.476949e-11,3.612722e-11,8.233832e-11,8.484719e-11,1.662302e-10,1.963181e-10,2.909355e-10,3.903938e-10,4.674572e-10,6.760726e-10,6.961612e-10,9.710174e-10,1.043107e-09,1.285660e-09,1.477430e-09,1.635385e-09,1.969300e-09,2.016601e-09,2.426091e-09,2.511096e-09,2.860571e-09,3.095216e-09,3.316506e-09,3.713278e-09,3.790067e-09,4.277186e-09,4.356102e-09,4.773640e-09,5.014003e-09,5.275178e-09,5.677271e-09,5.777645e-09,6.277083e-09,6.336634e-09,6.769821e-09,6.983636e-09,7.252548e-09,7.610921e-09,7.722357e-09,8.176768e-09,8.212392e-09,8.613739e-09,8.783268e-09,9.031650e-09,9.320047e-09,9.429286e-09,9.805799e-09,9.820412e-09,1.016068e-08,1.028309e-08,1.049371e-08,1.070769e-08,1.080491e-08,1.109455e-08,1.136304e-08,1.144458e-08,1.161094e-08,1.175911e-08,1.183893e-08,1.203977e-08,1.204777e-08,1.223825e-08,1.228841e-08,1.241124e-08,1.250700e-08,1.256760e-08,1.269753e-08,1.270822e-08,1.283397e-08,1.286203e-08,1.294570e-08,1.300246e-08,1.304426e-08,1.312074e-08,1.313046e-08,1.320508e-08,1.321868e-08,1.326888e-08,1.329802e-08,1.332257e-08,1.336036e-08,1.336684e-08,1.340232e-08,1.340723e-08,1.342964e-08,1.344003e-08,1.344938e-08,1.346006e-08,1.346206e-08,1.346822e-08,1.346854e-08,1.346832e-08,1.346657e-08,1.346282e-08,1.345516e-08,1.345215e-08,1.343669e-08,1.343526e-08,1.341682e-08,1.340772e-08,1.339289e-08,1.337332e-08,1.336522e-08,1.333410e-08,1.333279e-08,1.329984e-08,1.328678e-08,1.326268e-08,1.323588e-08,1.322287e-08,1.318065e-08,1.313622e-08,1.312157e-08,1.308979e-08,1.305912e-08,1.304155e-08,1.299369e-08,1.299166e-08,1.294030e-08,1.292567e-08,1.288760e-08,1.285540e-08,1.283371e-08,1.278320e-08,1.277877e-08,1.272289e-08,1.270935e-08,1.266618e-08,1.263411e-08,1.260876e-08,1.255771e-08,1.255072e-08,1.249215e-08,1.248038e-08,1.243313e-08,1.240230e-08,1.237376e-08,1.232366e-08,1.231409e-08,1.225421e-08,1.224461e-08,1.219416e-08,1.216530e-08,1.213402e-08,1.208587e-08,1.207383e-08,1.201365e-08,1.200643e-08,1.195352e-08,1.192709e-08,1.189349e-08,1.184796e-08,1.183360e-08,1.177388e-08,1.176911e-08,1.171437e-08,1.169063e-08,1.165511e-08,1.161260e-08,1.159611e-08,1.153741e-08,1.153507e-08,1.147904e-08,1.145811e-08,1.142101e-08,1.138176e-08,1.136335e-08,1.130607e-08,1.123108e-08,1.115684e-08,1.108337e-08,1.101069e-08,1.093884e-08,1.086783e-08,1.079769e-08,1.072843e-08,1.066005e-08,1.059258e-08,1.052602e-08,1.046037e-08,1.039564e-08,1.033183e-08,1.026895e-08,1.020700e-08,1.014597e-08,1.008586e-08,1.002666e-08,9.968383e-09,9.911011e-09,9.854543e-09,9.798970e-09,9.744286e-09
0.000000e+00,2.619948e-10,7.612445e-10,3.662357e-09,1.023199e-08,1.630155e-08,4.400788e-08,4.559559e-08,9.918044e-08,1.195579e-07,1.845067e-07,2.539511e-07,3.087984e-07,4.636015e-07,4.790749e-07,7.018192e-07,7.636786e-07,9.818447e-07,1.164402e-06,1.320622e-06,1.665279e-06,1.715437e-06,2.160211e-06,2.254487e-06,2.647149e-06,2.914307e-06,3.168108e-06,3.626305e-06,3.715321e-06,4.281648e-06,4.373592e-06,4.860587e-06,5.141193e-06,5.446196e-06,5.915805e-06,6.033021e-06,6.616058e-06,6.685547e-06,7.190745e-06,7.439886e-06,7.752972e-06,8.169684e-06,8.299116e-06,8.826059e-06,8.867304e-06,9.331208e-06,9.526685e-06,9.812500e-06,1.014337e-05,1.026839e-05,1.069783e-05,1.071445e-05,1.110023e-05,1.123844e-05,1.147543e-05,1.171510e-05,1.182361e-05,1.214527e-05,1.244118e-05,1.253059e-05,1.271230e-05,1.287332e-05,1.295974e-05,1.317615e-05,1.318473e-05,1.338855e-05,1.344201e-05,1.357254e-05,1.367397e-05,1.373804e-05,1.387509e-05,1.388635e-05,1.401878e-05,1.404834e-05,1.413656e-05,1.419656e-05,1.424087e-05,1.432240e-05,1.433282e-05,1.441347e-05,1.442832e-05,1.448378e-05,1.451656e-05,1.454466e-05,1.458912e-05,1.459694e-05,1.464140e-05,1.464784e-05,1.467874e-05,1.469432e-05,1.470959e-05,1.473000e-05,1.473454e-05,1.475411e-05,1.475612e-05,1.476880e-05,1.477382e-05,1.477902e-05,1.478406e-05,1.478519e-05,1.478765e-05,1.478770e-05,1.478674e-05,1.478549e-05,1.478274e-05,1.477810e-05,1.477592e-05,1.476653e-05,1.476610e-05,1.475478e-05,1.475001e-05,1.474087e-05,1.473027e-05,1.472498e-05,1.470729e-05,1.468794e-05,1.468142e-05,1.466708e-05,1.465299e-05,1.464482e-05,1.462226e-05,1.462129e-05,1.459660e-05,1.458949e-05,1.457084e-05,1.455491e-05,1.454411e-05,1.451873e-05,1.451649e-05,1.448806e-05,1.448112e-05,1.445889e-05,1.444226e-05,1.442905e-05,1.440229e-05,1.439860e-05,1.436761e-05,1.436134e-05,1.433611e-05,1.431956e-05,1.430418e-05,1.427705e-05,1.427185e-05,1.423917e-05,1.423391e-05,1.420618e-05,1.419025e-05,1.417292e-05,1.414614e-05,1.413943e-05,1.410574e-05,1.410168e-05,1.407188e-05,1.405694e-05,1.403788e-05,1.401197e-05,1.400378e-05,1.396960e-05,1.396686e-05,1.393536e-05,1.392165e-05,1.390109e-05,1.387641e-05,1.386681e-05,1.383254e-05,1.383117e-05,1.379830e-05,1.378599e-05,1.376411e-05,1.374090e-05,1.372999e-05,1.369596e-05,1.365118e-05,1.360661e-05,1.356227e-05,1.351820e-05,1.347442e-05,1.343094e-05,1.338780e-05,1.334502e-05,1.330260e-05,1.326057e-05,1.321894e-05,1.317772e-05,1.313694e-05,1.309659e-05,1.305668e-05,1.301723e-05,1.297824e-05,1.293972e-05,1.290168e-05,1.286411e-05,1.282703e-05,1.279044e-05,1.275433e-05,1.271871e-05
0.000000e+00,2.017316e-09,5.947181e-09,2.948538e-08,8.467513e-08,1.369730e-07,3.848636e-07,3.994086e-07,9.053791e-07,1.104074e-06,1.755364e-06,2.477037e-06,3.062565e-06,4.775790e-06,4.951269e-06,7.543701e-06,8.281927e-06,1.093258e-05,1.319549e-05,1.515803e-05,1.956003e-05,2.020828e-05,2.603651e-05,2.729000e-05,3.257813e-05,3.623810e-05,3.976174e-05,4.623876e-05,4.751444e-05,5.576381e-05,5.712501e-05,6.443822e-05,6.873200e-05,7.346650e-05,8.089627e-05,8.277776e-05,9.230126e-05,9.345500e-05,1.019667e-04,1.062466e-04,1.117049e-04,1.191127e-04,1.214480e-04,1.311311e-04,1.319013e-04,1.406923e-04,1.444696e-04,1.500740e-04,1.566878e-04,1.592234e-04,1.680932e-04,1.684415e-04,1.766418e-04,1.796337e-04,1.848339e-04,1.901856e-04,1.926400e-04,2.000369e-04,2.070071e-04,2.091453e-04,2.135384e-04,2.174850e-04,2.196243e-04,2.250456e-04,2.252625e-04,2.304547e-04,2.318292e-04,2.352063e-04,2.378494e-04,2.395262e-04,2.431289e-04,2.434257e-04,2.469184e-04,2.476977e-04,2.500195e-04,2.515913e-04,2.527459e-04,2.548492e-04,2.551153e-04,2.571459e-04,2.575131e-04,2.588566e-04,2.596259e-04,2.602661e-04,2.612311e-04,2.613933e-04,2.622567e-04,2.623715e-04,2.628744e-04,2.630889e-04,2.632642e-04,2.634233e-04,2.634430e-04,2.634272e-04,2.634130e-04,2.632326e-04,2.630941e-04,2.628739e-04,2.625003e-04,2.623653e-04,2.617201e-04,2.616630e-04,2.609509e-04,2.606112e-04,2.600696e-04,2.593718e-04,2.590871e-04,2.580138e-04,2.579691e-04,2.568593e-04,2.564256e-04,2.556327e-04,2.547616e-04,2.543421e-04,2.529954e-04,2.515997e-04,2.511437e-04,2.501614e-04,2.492215e-04,2.486869e-04,2.472422e-04,2.471815e-04,2.456505e-04,2.452178e-04,2.440985e-04,2.431591e-04,2.425300e-04,2.410756e-04,2.409488e-04,2.393585e-04,2.389759e-04,2.377625e-04,2.368674e-04,2.361638e-04,2.347569e-04,2.345651e-04,2.329689e-04,2.326501e-04,2.313774e-04,2.305523e-04,2.297926e-04,2.284679e-04,2.282164e-04,2.266504e-04,2.264008e-04,2.250960e-04,2.243545e-04,2.235547e-04,2.223317e-04,2.220275e-04,2.205155e-04,2.203351e-04,2.190197e-04,2.183668e-04,2.175408e-04,2.164285e-04,2.160795e-04,2.146364e-04,2.145218e-04,2.132122e-04,2.126478e-04,2.118071e-04,2.108076e-04,2.104216e-04,2.090560e-04,2.090018e-04,2.077105e-04,2.072311e-04,2.063854e-04,2.054959e-04,2.050807e-04,2.037965e-04,2.021330e-04,2.005053e-04,1.989135e-04,1.973574e-04,1.958366e-04,1.943510e-04,1.929000e-04,1.914834e-04,1.901006e-04,1.887512e-04,1.874346e-04,1.861502e-04,1.848975e-04,1.836759e-04,1.824847e-04,1.813234e-04,1.801914e-04,1.790880e-04,1.780125e-04,1.769644e-04,1.759430e-04,1.749478e-04,1.739780e-04,1.730331e-04
0.000000e+00,7.521010e-10,2.197821e-09,1.073641e-08,3.058946e-08,4.941263e-08,1.400135e-07,1.454152e-07,3.395501e-07,4.189964e-07,6.907654e-07,1.008930e-06,1.276941e-06,2.088513e-06,2.172639e-06,3.405993e-06,3.749717e-06,4.946125e-06,5.920100e-06,6.731907e-06,8.456409e-06,8.700419e-06,1.079888e-05,1.123036e-05,1.298613e-05,1.414775e-05,1.523039e-05,1.714103e-05,1.750644e-05,1.979340e-05,2.015910e-05,2.207335e-05,2.316052e-05,2.433048e-05,2.611027e-05,2.655076e-05,2.872180e-05,2.897849e-05,3.083285e-05,3.174030e-05,3.287481e-05,3.437587e-05,3.484027e-05,3.672346e-05,3.687042e-05,3.852014e-05,3.921392e-05,4.022753e-05,4.140069e-05,4.184415e-05,4.336966e-05,4.342879e-05,4.480467e-05,4.529937e-05,4.615062e-05,4.701603e-05,4.740959e-05,4.858418e-05,4.967736e-05,5.001051e-05,5.069239e-05,5.130258e-05,5.163271e-05,5.246839e-05,5.250183e-05,5.330333e-05,5.351612e-05,5.404077e-05,5.445394e-05,5.471764e-05,5.528980e-05,5.533735e-05,5.590321e-05,5.603137e-05,5.641842e-05,5.668596e-05,5.688603e-05,5.726045e-05,5.730893e-05,5.768991e-05,5.776131e-05,5.803159e-05,5.819457e-05,5.833646e-05,5.856581e-05,5.860684e-05,5.884497e-05,5.888022e-05,5.905291e-05,5.914258e-05,5.923263e-05,5.935732e-05,5.938596e-05,5.951462e-05,5.952848e-05,5.962024e-05,5.965981e-05,5.970434e-05,5.975474e-05,5.976834e-05,5.981357e-05,5.981642e-05,5.984130e-05,5.984775e-05,5.985268e-05,5.985138e-05,5.984882e-05,5.983075e-05,5.982975e-05,5.979943e-05,5.978509e-05,5.975578e-05,5.971948e-05,5.970063e-05,5.963478e-05,5.955897e-05,5.953273e-05,5.947392e-05,5.941493e-05,5.938026e-05,5.928283e-05,5.927862e-05,5.916957e-05,5.913778e-05,5.905365e-05,5.898101e-05,5.893137e-05,5.881367e-05,5.880321e-05,5.866962e-05,5.863680e-05,5.853101e-05,5.845135e-05,5.838779e-05,5.825822e-05,5.824031e-05,5.808894e-05,5.805822e-05,5.793399e-05,5.785211e-05,5.777578e-05,5.764056e-05,5.761459e-05,5.745069e-05,5.742424e-05,5.728435e-05,5.720371e-05,5.711580e-05,5.697953e-05,5.694528e-05,5.677298e-05,5.675220e-05,5.659912e-05,5.652217e-05,5.642387e-05,5.628988e-05,5.624743e-05,5.606995e-05,5.605571e-05,5.589159e-05,5.582004e-05,5.571250e-05,5.558319e-05,5.553283e-05,5.535269e-05,5.534547e-05,5.517221e-05,5.510718e-05,5.499152e-05,5.486857e-05,5.481071e-05,5.462989e-05,5.439136e-05,5.415318e-05,5.391556e-05,5.367865e-05,5.344264e-05,5.320765e-05,5.297384e-05,5.274132e-05,5.251021e-05,5.228061e-05,5.205262e-05,5.182633e-05,5.160181e-05,5.137915e-05,5.115839e-05,5.093962e-05,5.072287e-05,5.050820e-05,5.029564e-05,5.008525e-05,4.987704e-05,4.967105e-05,4.946731e-05,4.926584e-05
0.000000e+00,3.669960e-10,1.045581e-09,4.845560e-09,1.313318e-08,2.060834e-08,5.374013e-08,5.560808e-08,1.176247e-07,1.408588e-07,2.141797e-07,2.917829e-07,3.527071e-07,5.236069e-07,5.406302e-07,7.850133e-07,8.527408e-07,1.091411e-06,1.291048e-06,1.461857e-06,1.838302e-06,1.892994e-06,2.376038e-06,2.477838e-06,2.898917e-06,3.182320e-06,3.448975e-06,3.923589e-06,4.014750e-06,4.586639e-06,4.678164e-06,5.156845e-06,5.428056e-06,5.719100e-06,6.159761e-06,6.268370e-06,6.800622e-06,6.863190e-06,7.312675e-06,7.530924e-06,7.802080e-06,8.157756e-06,8.267044e-06,8.706356e-06,8.740368e-06,9.119320e-06,9.277060e-06,9.505691e-06,9.767477e-06,9.865609e-06,1.019953e-05,1.021235e-05,1.050816e-05,1.061324e-05,1.079241e-05,1.097231e-05,1.105334e-05,1.129210e-05,1.150992e-05,1.157540e-05,1.170803e-05,1.182507e-05,1.188770e-05,1.204397e-05,1.205015e-05,1.219659e-05,1.223488e-05,1.232817e-05,1.240045e-05,1.244600e-05,1.254316e-05,1.255112e-05,1.264452e-05,1.266529e-05,1.272711e-05,1.276897e-05,1.279976e-05,1.285610e-05,1.286326e-05,1.291835e-05,1.292842e-05,1.296572e-05,1.298751e-05,1.300600e-05,1.303478e-05,1.303977e-05,1.306756e-05,1.307148e-05,1.308986e-05,1.309875e-05,1.310713e-05,1.311760e-05,1.311978e-05,1.312819e-05,1.312893e-05,1.313271e-05,1.313355e-05,1.313366e-05,1.313217e-05,1.313133e-05,1.312599e-05,1.312544e-05,1.311790e-05,1.311394e-05,1.310728e-05,1.309818e-05,1.309434e-05,1.307927e-05,1.307863e-05,1.306226e-05,1.305569e-05,1.304346e-05,1.302974e-05,1.302303e-05,1.300111e-05,1.297782e-05,1.297010e-05,1.295329e-05,1.293699e-05,1.292763e-05,1.290202e-05,1.290093e-05,1.287330e-05,1.286540e-05,1.284482e-05,1.282735e-05,1.281557e-05,1.278804e-05,1.278562e-05,1.275506e-05,1.274764e-05,1.272395e-05,1.270630e-05,1.269233e-05,1.266415e-05,1.266028e-05,1.262785e-05,1.262132e-05,1.259507e-05,1.257791e-05,1.256201e-05,1.253404e-05,1.252870e-05,1.249518e-05,1.248980e-05,1.246149e-05,1.244527e-05,1.242766e-05,1.240052e-05,1.239373e-05,1.235972e-05,1.235564e-05,1.232567e-05,1.231068e-05,1.229160e-05,1.226571e-05,1.225753e-05,1.222350e-05,1.222078e-05,1.218951e-05,1.217593e-05,1.215559e-05,1.213123e-05,1.212176e-05,1.208804e-05,1.208670e-05,1.205444e-05,1.204238e-05,1.202098e-05,1.199831e-05,1.198767e-05,1.195452e-05,1.191104e-05,1.186790e-05,1.182511e-05,1.178270e-05,1.174069e-05,1.169910e-05,1.165793e-05,1.161721e-05,1.157695e-05,1.153716e-05,1.149784e-05,1.145901e-05,1.142067e-05,1.138283e-05,1.134549e-05,1.130866e-05,1.127234e-05,1.123654e-05,1.120125e-05,1.116648e-05,1.113222e-05,1.109849e-05,1.106527e-05,1.103256e-05
0.000000e+00,7.338311e-10,2.038824e-09,9.045277e-09,2.377361e-08,3.680294e-08,9.360176e-08,9.678499e-08,2.024727e-07,2.422542e-07,3.689277e-07,5.050520e-07,6.133497e-07,9.225856e-07,9.537239e-07,1.403693e-06,1.528553e-06,1.965684e-06,2.325988e-06,2.629805e-06,3.285955e-06,3.379966e-06,4.200090e-06,4.371263e-06,5.076522e-06,5.550695e-06,5.997960e-06,6.799617e-06,6.954699e-06,7.937999e-06,8.097242e-06,8.939737e-06,9.424860e-06,9.952274e-06,1.076524e-05,1.096844e-05,1.198160e-05,1.210268e-05,1.298570e-05,1.342322e-05,1.397535e-05,1.471489e-05,1.494583e-05,1.589313e-05,1.596780e-05,1.681389e-05,1.717414e-05,1.770544e-05,1.832806e-05,1.856567e-05,1.939304e-05,1.942544e-05,2.018650e-05,2.046370e-05,2.094539e-05,2.144154e-05,2.166945e-05,2.235870e-05,2.301343e-05,2.321573e-05,2.363414e-05,2.401384e-05,2.422149e-05,2.475468e-05,2.477626e-05,2.529935e-05,2.544027e-05,2.579172e-05,2.607282e-05,2.625440e-05,2.665474e-05,2.668843e-05,2.709489e-05,2.718845e-05,2.747485e-05,2.767646e-05,2.782939e-05,2.812120e-05,2.815958e-05,2.846645e-05,2.852512e-05,2.875105e-05,2.889057e-05,2.901438e-05,2.921984e-05,2.925740e-05,2.948108e-05,2.951513e-05,2.968631e-05,2.977853e-05,2.987399e-05,3.001207e-05,3.004497e-05,3.020007e-05,3.021765e-05,3.034007e-05,3.039709e-05,3.046574e-05,3.055210e-05,3.057779e-05,3.067694e-05,3.068433e-05,3.076383e-05,3.079531e-05,3.083912e-05,3.088648e-05,3.090341e-05,3.095728e-05,3.095922e-05,3.100129e-05,3.101483e-05,3.103598e-05,3.105450e-05,3.106185e-05,3.107938e-05,3.108905e-05,3.109056e-05,3.109129e-05,3.108902e-05,3.108652e-05,3.107573e-05,3.107515e-05,3.105755e-05,3.105156e-05,3.103410e-05,3.101735e-05,3.100513e-05,3.097389e-05,3.097098e-05,3.093196e-05,3.092190e-05,3.088837e-05,3.086208e-05,3.084050e-05,3.079505e-05,3.078862e-05,3.073299e-05,3.072144e-05,3.067385e-05,3.064179e-05,3.061143e-05,3.055664e-05,3.054597e-05,3.047766e-05,3.046648e-05,3.040670e-05,3.037177e-05,3.033330e-05,3.027294e-05,3.025763e-05,3.017986e-05,3.017040e-05,3.010016e-05,3.006451e-05,3.001867e-05,2.995565e-05,2.993556e-05,2.985095e-05,2.984412e-05,2.976498e-05,2.973024e-05,2.967777e-05,2.961429e-05,2.958946e-05,2.950013e-05,2.949654e-05,2.940992e-05,2.937724e-05,2.931891e-05,2.925662e-05,2.922720e-05,2.913489e-05,2.901225e-05,2.888890e-05,2.876500e-05,2.864071e-05,2.851619e-05,2.839156e-05,2.826697e-05,2.814253e-05,2.801835e-05,2.789452e-05,2.777115e-05,2.764833e-05,2.752612e-05,2.740461e-05,2.728386e-05,2.716393e-05,2.704488e-05,2.692676e-05,2.680962e-05,2.669349e-05,2.657843e-05,2.646445e-05,2.635160e-05,2.623990e-05
0.000000e+00,8.139776e-12,1.863452e-11,6.414876e-11,1.461833e-10,2.134961e-10,4.859276e-10,5.006236e-10,9.714051e-10,1.142797e-09,1.675721e-09,2.233126e-09,2.668531e-09,3.884640e-09,4.005394e-09,5.727834e-09,6.200484e-09,7.846018e-09,9.197987e-09,1.033880e-08,1.281407e-08,1.317055e-08,1.630490e-08,1.696513e-08,1.970893e-08,2.157552e-08,2.335248e-08,2.657704e-08,2.720670e-08,3.124304e-08,3.190384e-08,3.543282e-08,3.748997e-08,3.974728e-08,4.326940e-08,4.415785e-08,4.863657e-08,4.917730e-08,5.315656e-08,5.515183e-08,5.769244e-08,6.113575e-08,6.222062e-08,6.671957e-08,6.707763e-08,7.116994e-08,7.293259e-08,7.555466e-08,7.866259e-08,7.985889e-08,8.406996e-08,8.423630e-08,8.817725e-08,8.962875e-08,9.217211e-08,9.482078e-08,9.604759e-08,9.979835e-08,1.034204e-07,1.045519e-07,1.069112e-07,1.090755e-07,1.102689e-07,1.133665e-07,1.134929e-07,1.165833e-07,1.174248e-07,1.195409e-07,1.212523e-07,1.223671e-07,1.248526e-07,1.250636e-07,1.276327e-07,1.282306e-07,1.300768e-07,1.313920e-07,1.323988e-07,1.343435e-07,1.346016e-07,1.366884e-07,1.370921e-07,1.386623e-07,1.396452e-07,1.405267e-07,1.420106e-07,1.422849e-07,1.439403e-07,1.441959e-07,1.454964e-07,1.462089e-07,1.469563e-07,1.480575e-07,1.483237e-07,1.496016e-07,1.497491e-07,1.507934e-07,1.512914e-07,1.519024e-07,1.526917e-07,1.529316e-07,1.538842e-07,1.539572e-07,1.547632e-07,1.550949e-07,1.555715e-07,1.561114e-07,1.563121e-07,1.569877e-07,1.570134e-07,1.576010e-07,1.578071e-07,1.581547e-07,1.584985e-07,1.586514e-07,1.590936e-07,1.594837e-07,1.595980e-07,1.598241e-07,1.600169e-07,1.601170e-07,1.603556e-07,1.603646e-07,1.605691e-07,1.606189e-07,1.607325e-07,1.608117e-07,1.608568e-07,1.609383e-07,1.609440e-07,1.609958e-07,1.610031e-07,1.610140e-07,1.610102e-07,1.610005e-07,1.609635e-07,1.609567e-07,1.608845e-07,1.608667e-07,1.607851e-07,1.607233e-07,1.606603e-07,1.605367e-07,1.605113e-07,1.603396e-07,1.603101e-07,1.601465e-07,1.600465e-07,1.599332e-07,1.597488e-07,1.597009e-07,1.594509e-07,1.594197e-07,1.591842e-07,1.590618e-07,1.589019e-07,1.586776e-07,1.586050e-07,1.582946e-07,1.582692e-07,1.579716e-07,1.578390e-07,1.576368e-07,1.573890e-07,1.572912e-07,1.569356e-07,1.569211e-07,1.565707e-07,1.564372e-07,1.561974e-07,1.559390e-07,1.558163e-07,1.554282e-07,1.549061e-07,1.543744e-07,1.538344e-07,1.532873e-07,1.527343e-07,1.521765e-07,1.516150e-07,1.510507e-07,1.504846e-07,1.499175e-07,1.493502e-07,1.487835e-07,1.482179e-07,1.476542e-07,1.470930e-07,1.465347e-07,1.459798e-07,1.454289e-07,1.448824e-07,1.443406e-07,1.438038e-07,1.432725e-07,1.427469e-07,1.422273e-07
0.000000e+00,1.144172e-09,3.063025e-09,1.278567e-08,3.224066e-08,4.899566e-08,1.200067e-07,1.239288e-07,2.523477e-07,3.000395e-07,4.500845e-07,6.081317e-07,7.312163e-07,1.068870e-06,1.101778e-06,1.559179e-06,1.681271e-06,2.097971e-06,2.433309e-06,2.713010e-06,3.313449e-06,3.399418e-06,4.151906e-06,4.309811e-06,4.964361e-06,5.408238e-06,5.829757e-06,6.591896e-06,6.740268e-06,7.687499e-06,7.841883e-06,8.662741e-06,9.138238e-06,9.657265e-06,1.046104e-05,1.066257e-05,1.167061e-05,1.179139e-05,1.267393e-05,1.311214e-05,1.366583e-05,1.440839e-05,1.464044e-05,1.559272e-05,1.566780e-05,1.651844e-05,1.688051e-05,1.741419e-05,1.803904e-05,1.827728e-05,1.910569e-05,1.913808e-05,1.989799e-05,2.017419e-05,2.065328e-05,2.114548e-05,2.137110e-05,2.205137e-05,2.269432e-05,2.289226e-05,2.330045e-05,2.366937e-05,2.387045e-05,2.438446e-05,2.440518e-05,2.490562e-05,2.503974e-05,2.537284e-05,2.563769e-05,2.580798e-05,2.618100e-05,2.621223e-05,2.658679e-05,2.667241e-05,2.693289e-05,2.711473e-05,2.725174e-05,2.751075e-05,2.754455e-05,2.781251e-05,2.786322e-05,2.805677e-05,2.817480e-05,2.827848e-05,2.844809e-05,2.847874e-05,2.865861e-05,2.868557e-05,2.881913e-05,2.888960e-05,2.896130e-05,2.906246e-05,2.908607e-05,2.919437e-05,2.920630e-05,2.928707e-05,2.932315e-05,2.936504e-05,2.941493e-05,2.942907e-05,2.947996e-05,2.948348e-05,2.951843e-05,2.953050e-05,2.954520e-05,2.955761e-05,2.956094e-05,2.956631e-05,2.956632e-05,2.956191e-05,2.955805e-05,2.954834e-05,2.953415e-05,2.952614e-05,2.949586e-05,2.945800e-05,2.944436e-05,2.941304e-05,2.938075e-05,2.936144e-05,2.930605e-05,2.930362e-05,2.924002e-05,2.922122e-05,2.917101e-05,2.912717e-05,2.909697e-05,2.902471e-05,2.901825e-05,2.893519e-05,2.891465e-05,2.884811e-05,2.879770e-05,2.875731e-05,2.867455e-05,2.866306e-05,2.856566e-05,2.854582e-05,2.846534e-05,2.841210e-05,2.836235e-05,2.827395e-05,2.825693e-05,2.814929e-05,2.813188e-05,2.803963e-05,2.798634e-05,2.792816e-05,2.783779e-05,2.781505e-05,2.770048e-05,2.768664e-05,2.758460e-05,2.753325e-05,2.746759e-05,2.737799e-05,2.734958e-05,2.723071e-05,2.722117e-05,2.711111e-05,2.706310e-05,2.699091e-05,2.690405e-05,2.687021e-05,2.674914e-05,2.674429e-05,2.662778e-05,2.658404e-05,2.650624e-05,2.642353e-05,2.638461e-05,2.626297e-05,2.610252e-05,2.594237e-05,2.578267e-05,2.562357e-05,2.546519e-05,2.530766e-05,2.515108e-05,2.499556e-05,2.484117e-05,2.468802e-05,2.453616e-05,2.438566e-05,2.423659e-05,2.408900e-05,2.394293e-05,2.379843e-05,2.365552e-05,2.351425e-05,2.337464e-05,2.323670e-05,2.310047e-05,2.296596e-05,2.283318e-05,2.270213e-05
0.000000e+00,1.243888e-10,2.921810e-10,1.027918e-09,2.363095e-09,3.467227e-09,8.037806e-09,8.289438e-09,1.662704e-08,1.978415e-08,2.989355e-08,4.067831e-08,4.905079e-08,7.144148e-08,7.356521e-08,1.019467e-07,1.091827e-07,1.329431e-07,1.511533e-07,1.658201e-07,1.959869e-07,2.001795e-07,2.357789e-07,2.430307e-07,2.724282e-07,2.918384e-07,3.099374e-07,3.419563e-07,3.480959e-07,3.866686e-07,3.928617e-07,4.253977e-07,4.439639e-07,4.640121e-07,4.946356e-07,5.022360e-07,5.397981e-07,5.442486e-07,5.764422e-07,5.922141e-07,6.119365e-07,6.380163e-07,6.460766e-07,6.786889e-07,6.812275e-07,7.096344e-07,7.215213e-07,7.388082e-07,7.586747e-07,7.661384e-07,7.915842e-07,7.925626e-07,8.151334e-07,8.231485e-07,8.367986e-07,8.504716e-07,8.566145e-07,8.746367e-07,8.909277e-07,8.957864e-07,9.055604e-07,9.140954e-07,9.186220e-07,9.297645e-07,9.302003e-07,9.403881e-07,9.430041e-07,9.492780e-07,9.540272e-07,9.569617e-07,9.630427e-07,9.635291e-07,9.690668e-07,9.702520e-07,9.736576e-07,9.758440e-07,9.773793e-07,9.799937e-07,9.803051e-07,9.825036e-07,9.828617e-07,9.840388e-07,9.845948e-07,9.849698e-07,9.853247e-07,9.853508e-07,9.852318e-07,9.851694e-07,9.846585e-07,9.842343e-07,9.836727e-07,9.826129e-07,9.823127e-07,9.806131e-07,9.803879e-07,9.786056e-07,9.776323e-07,9.763189e-07,9.744103e-07,9.737790e-07,9.710098e-07,9.707790e-07,9.680328e-07,9.667883e-07,9.648678e-07,9.624826e-07,9.615325e-07,9.580433e-07,9.579007e-07,9.544150e-07,9.530774e-07,9.506611e-07,9.480431e-07,9.467940e-07,9.428251e-07,9.387646e-07,9.374475e-07,9.346222e-07,9.319321e-07,9.304065e-07,9.262980e-07,9.261256e-07,9.217869e-07,9.205626e-07,9.173972e-07,9.147415e-07,9.129627e-07,9.088485e-07,9.084894e-07,9.039825e-07,9.028964e-07,8.994471e-07,8.968966e-07,8.948879e-07,8.908593e-07,8.903090e-07,8.857145e-07,8.847940e-07,8.811080e-07,8.787091e-07,8.764931e-07,8.726124e-07,8.718730e-07,8.672506e-07,8.665110e-07,8.626287e-07,8.604112e-07,8.580100e-07,8.543188e-07,8.533967e-07,8.487912e-07,8.482392e-07,8.441956e-07,8.421772e-07,8.396118e-07,8.361372e-07,8.350417e-07,8.304869e-07,8.301232e-07,8.259490e-07,8.241389e-07,8.214295e-07,8.181876e-07,8.169298e-07,8.124510e-07,8.122724e-07,8.079945e-07,8.063959e-07,8.035614e-07,8.005606e-07,7.991525e-07,7.947689e-07,7.890226e-07,7.833237e-07,7.776738e-07,7.720743e-07,7.665266e-07,7.610317e-07,7.555906e-07,7.502044e-07,7.448736e-07,7.395991e-07,7.343812e-07,7.292205e-07,7.241173e-07,7.190719e-07,7.140845e-07,7.091552e-07,7.042841e-07,6.994712e-07,6.947165e-07,6.900198e-07,6.853810e-07,6.807999e-07,6.762763e-07,6.718099e-07
0.000000e+00,2.841778e-10,7.523284e-10,3.084788e-09,7.678631e-09,1.159196e-08,2.788875e-08,2.877745e-08,5.733917e-08,6.771571e-08,9.974112e-08,1.327768e-07,1.582528e-07,2.281221e-07,2.349771e-07,3.318583e-07,3.583093e-07,4.506545e-07,5.273224e-07,5.928530e-07,7.381972e-07,7.595073e-07,9.509973e-07,9.922465e-07,1.166789e-06,1.288130e-06,1.405339e-06,1.621570e-06,1.664246e-06,1.940591e-06,1.986218e-06,2.231290e-06,2.375035e-06,2.533337e-06,2.781244e-06,2.843914e-06,3.160419e-06,3.198683e-06,3.480465e-06,3.621836e-06,3.801862e-06,4.045787e-06,4.122606e-06,4.440873e-06,4.466177e-06,4.755016e-06,4.879184e-06,5.063565e-06,5.281520e-06,5.365221e-06,5.658861e-06,5.670425e-06,5.943527e-06,6.043653e-06,6.218426e-06,6.399444e-06,6.482915e-06,6.736496e-06,6.978801e-06,7.053914e-06,7.209585e-06,7.351173e-06,7.428709e-06,7.628058e-06,7.636130e-06,7.831888e-06,7.884624e-06,8.016096e-06,8.121145e-06,8.188926e-06,8.338073e-06,8.350603e-06,8.501394e-06,8.535997e-06,8.641601e-06,8.715613e-06,8.771548e-06,8.877692e-06,8.891585e-06,9.002072e-06,9.023056e-06,9.103381e-06,9.152559e-06,9.195887e-06,9.267067e-06,9.279970e-06,9.356006e-06,9.367450e-06,9.424370e-06,9.454567e-06,9.485428e-06,9.529258e-06,9.539543e-06,9.587065e-06,9.592341e-06,9.628339e-06,9.644605e-06,9.663695e-06,9.686806e-06,9.693455e-06,9.717930e-06,9.719668e-06,9.737417e-06,9.743880e-06,9.752204e-06,9.760096e-06,9.762566e-06,9.768767e-06,9.768932e-06,9.771058e-06,9.770972e-06,9.769681e-06,9.766768e-06,9.764867e-06,9.756834e-06,9.745794e-06,9.741658e-06,9.731943e-06,9.721693e-06,9.715473e-06,9.697364e-06,9.696563e-06,9.675384e-06,9.669070e-06,9.652099e-06,9.637182e-06,9.626862e-06,9.602046e-06,9.599820e-06,9.571110e-06,9.563986e-06,9.540864e-06,9.523302e-06,9.509206e-06,9.480274e-06,9.476255e-06,9.442120e-06,9.435160e-06,9.406907e-06,9.388204e-06,9.370716e-06,9.339628e-06,9.333640e-06,9.295767e-06,9.289639e-06,9.257181e-06,9.238430e-06,9.217961e-06,9.186178e-06,9.178181e-06,9.137910e-06,9.133048e-06,9.097214e-06,9.079190e-06,9.056156e-06,9.024744e-06,9.014792e-06,8.973178e-06,8.969839e-06,8.931364e-06,8.914594e-06,8.889400e-06,8.859117e-06,8.847329e-06,8.805194e-06,8.803508e-06,8.763034e-06,8.747858e-06,8.720887e-06,8.692252e-06,8.678787e-06,8.636765e-06,8.581468e-06,8.526423e-06,8.471689e-06,8.417317e-06,8.363354e-06,8.309844e-06,8.256823e-06,8.204326e-06,8.152384e-06,8.101024e-06,8.050268e-06,8.000138e-06,7.950651e-06,7.901824e-06,7.853669e-06,7.806197e-06,7.759418e-06,7.713337e-06,7.667962e-06,7.623295e-06,7.579340e-06,7.536098e-06,7.493568e-06,7.451750e-06
0.000000e+00,2.511000e-12,5.738539e-12,1.968810e-11,4.473236e-11,6.522517e-11,1.478452e-10,1.522910e-10,2.942912e-10,3.458230e-10,5.056342e-10,6.722706e-10,8.021929e-10,1.164750e-09,1.200773e-09,1.716368e-09,1.858623e-09,2.356805e-09,2.769073e-09,3.118399e-09,3.878331e-09,3.987793e-09,4.948113e-09,5.149651e-09,5.983481e-09,6.546936e-09,7.080314e-09,8.040602e-09,8.226980e-09,9.413149e-09,9.605958e-09,1.062932e-08,1.122109e-08,1.186653e-08,1.286575e-08,1.311632e-08,1.437068e-08,1.452115e-08,1.562212e-08,1.617003e-08,1.686374e-08,1.779695e-08,1.808931e-08,1.929328e-08,1.938852e-08,2.047083e-08,2.093350e-08,2.161783e-08,2.242283e-08,2.273089e-08,2.380724e-08,2.384950e-08,2.484475e-08,2.520842e-08,2.584182e-08,2.649616e-08,2.679738e-08,2.771079e-08,2.858180e-08,2.885158e-08,2.941051e-08,2.991883e-08,3.019725e-08,3.091360e-08,3.094263e-08,3.164742e-08,3.183761e-08,3.231254e-08,3.269301e-08,3.293905e-08,3.348230e-08,3.352807e-08,3.408081e-08,3.420821e-08,3.459852e-08,3.487360e-08,3.508246e-08,3.548142e-08,3.553393e-08,3.595421e-08,3.603464e-08,3.634459e-08,3.653619e-08,3.670634e-08,3.698898e-08,3.704069e-08,3.734887e-08,3.739583e-08,3.763207e-08,3.775947e-08,3.789144e-08,3.808253e-08,3.812810e-08,3.834315e-08,3.836755e-08,3.853761e-08,3.861692e-08,3.871252e-08,3.883297e-08,3.886884e-08,3.900750e-08,3.901786e-08,3.912942e-08,3.917368e-08,3.923544e-08,3.930240e-08,3.932640e-08,3.940308e-08,3.940587e-08,3.946626e-08,3.948584e-08,3.951666e-08,3.954398e-08,3.955497e-08,3.958185e-08,3.959794e-08,3.960091e-08,3.960385e-08,3.960256e-08,3.960016e-08,3.958809e-08,3.958742e-08,3.956615e-08,3.955874e-08,3.953686e-08,3.951563e-08,3.950003e-08,3.945987e-08,3.945611e-08,3.940554e-08,3.939245e-08,3.934873e-08,3.931434e-08,3.928608e-08,3.922641e-08,3.921796e-08,3.914474e-08,3.912951e-08,3.906674e-08,3.902441e-08,3.898430e-08,3.891185e-08,3.889773e-08,3.880731e-08,3.879250e-08,3.871332e-08,3.866702e-08,3.861603e-08,3.853599e-08,3.851569e-08,3.841253e-08,3.839998e-08,3.830679e-08,3.825950e-08,3.819868e-08,3.811506e-08,3.808840e-08,3.797615e-08,3.796709e-08,3.786211e-08,3.781603e-08,3.774645e-08,3.766226e-08,3.762934e-08,3.751093e-08,3.750617e-08,3.739138e-08,3.734808e-08,3.727082e-08,3.718833e-08,3.714938e-08,3.702720e-08,3.686498e-08,3.670191e-08,3.653823e-08,3.637418e-08,3.620994e-08,3.604571e-08,3.588166e-08,3.571796e-08,3.555475e-08,3.539217e-08,3.523034e-08,3.506939e-08,3.490941e-08,3.475050e-08,3.459276e-08,3.443626e-08,3.428107e-08,3.412727e-08,3.397491e-08,3.382405e-08,3.367473e-08,3.352699e-08,3.338088e-08,3.323644e-08
0.000000e+00,9.923461e-10,2.854497e-09,1.345406e-08,3.691722e-08,5.826216e-08,1.537928e-07,1.592076e-07,3.400748e-07,4.082777e-07,6.248149e-07,8.559644e-07,1.038729e-06,1.556644e-06,1.608592e-06,2.358906e-06,2.567644e-06,3.302063e-06,3.911379e-06,4.426730e-06,5.537622e-06,5.695899e-06,7.058133e-06,7.337109e-06,8.462200e-06,9.194432e-06,9.866094e-06,1.102273e-05,1.123950e-05,1.256242e-05,1.276849e-05,1.382253e-05,1.440281e-05,1.501263e-05,1.591162e-05,1.612883e-05,1.716926e-05,1.728898e-05,1.813338e-05,1.853351e-05,1.902163e-05,1.964668e-05,1.983522e-05,2.057604e-05,2.063224e-05,2.124659e-05,2.149580e-05,2.184992e-05,2.224463e-05,2.238950e-05,2.286918e-05,2.288718e-05,2.329299e-05,2.343269e-05,2.366510e-05,2.389074e-05,2.398970e-05,2.427088e-05,2.451263e-05,2.458228e-05,2.471872e-05,2.483356e-05,2.489271e-05,2.503259e-05,2.503788e-05,2.515726e-05,2.518644e-05,2.525359e-05,2.530138e-05,2.532938e-05,2.538288e-05,2.538686e-05,2.542803e-05,2.543568e-05,2.545465e-05,2.546379e-05,2.546829e-05,2.547066e-05,2.547034e-05,2.546202e-05,2.545921e-05,2.544441e-05,2.543191e-05,2.541847e-05,2.539085e-05,2.538503e-05,2.534483e-05,2.533781e-05,2.529853e-05,2.527432e-05,2.524674e-05,2.520169e-05,2.518996e-05,2.512868e-05,2.512104e-05,2.506330e-05,2.503334e-05,2.499422e-05,2.493945e-05,2.492178e-05,2.484628e-05,2.484011e-05,2.476801e-05,2.473599e-05,2.468724e-05,2.462766e-05,2.460419e-05,2.451908e-05,2.451564e-05,2.443213e-05,2.440040e-05,2.434350e-05,2.428237e-05,2.425338e-05,2.416191e-05,2.406926e-05,2.403938e-05,2.397555e-05,2.391508e-05,2.388092e-05,2.378931e-05,2.378547e-05,2.368934e-05,2.366231e-05,2.359260e-05,2.353432e-05,2.349538e-05,2.340557e-05,2.339775e-05,2.329979e-05,2.327624e-05,2.320160e-05,2.314653e-05,2.310324e-05,2.301660e-05,2.300478e-05,2.290629e-05,2.288659e-05,2.280783e-05,2.275666e-05,2.270945e-05,2.262692e-05,2.261122e-05,2.251317e-05,2.249750e-05,2.241536e-05,2.236851e-05,2.231783e-05,2.224004e-05,2.222062e-05,2.212377e-05,2.211218e-05,2.202732e-05,2.198501e-05,2.193129e-05,2.185862e-05,2.183573e-05,2.174065e-05,2.173307e-05,2.164609e-05,2.160841e-05,2.155207e-05,2.148472e-05,2.145861e-05,2.136574e-05,2.136204e-05,2.127348e-05,2.124041e-05,2.118183e-05,2.111988e-05,2.109083e-05,2.100049e-05,2.088227e-05,2.076524e-05,2.064944e-05,2.053489e-05,2.042161e-05,2.030962e-05,2.019893e-05,2.008955e-05,1.998150e-05,1.987478e-05,1.976940e-05,1.966536e-05,1.956268e-05,1.946134e-05,1.936134e-05,1.926270e-05,1.916540e-05,1.906945e-05,1.897483e-05,1.888154e-05,1.878957e-05,1.869893e-05,1.860959e-05,1.852155e-05
0.000000e+00,9.372745e-08,2.779826e-07,1.395040e-06,4.048532e-06,6.584900e-06,1.874037e-05,1.945783e-05,4.455594e-05,5.445496e-05,8.695830e-05,1.229687e-04,1.521249e-04,2.369238e-04,2.455610e-04,3.721751e-04,4.079459e-04,5.357527e-04,6.445195e-04,7.389116e-04,9.517703e-04,9.833117e-04,1.269845e-03,1.332239e-03,1.598746e-03,1.786419e-03,1.969644e-03,2.312974e-03,2.381587e-03,2.833063e-03,2.908839e-03,3.322025e-03,3.569310e-03,3.845923e-03,4.288195e-03,4.401760e-03,4.986148e-03,5.058020e-03,5.595384e-03,5.870310e-03,6.225525e-03,6.715897e-03,6.872475e-03,7.532069e-03,7.585257e-03,8.200147e-03,8.468837e-03,8.872638e-03,9.357356e-03,9.545622e-03,1.021539e-02,1.024206e-02,1.087848e-02,1.111494e-02,1.153173e-02,1.196886e-02,1.217231e-02,1.279769e-02,1.340570e-02,1.359629e-02,1.399451e-02,1.436057e-02,1.456261e-02,1.508740e-02,1.510881e-02,1.563220e-02,1.577458e-02,1.613216e-02,1.642071e-02,1.660829e-02,1.702514e-02,1.706043e-02,1.748861e-02,1.758783e-02,1.789303e-02,1.810925e-02,1.827403e-02,1.859032e-02,1.863209e-02,1.896777e-02,1.903228e-02,1.928173e-02,1.943665e-02,1.957469e-02,1.980511e-02,1.984742e-02,2.010072e-02,2.013950e-02,2.033542e-02,2.044171e-02,2.055235e-02,2.071367e-02,2.075236e-02,2.093630e-02,2.095733e-02,2.110500e-02,2.117461e-02,2.125927e-02,2.136736e-02,2.139991e-02,2.152766e-02,2.153735e-02,2.164326e-02,2.168626e-02,2.174742e-02,2.181571e-02,2.184081e-02,2.192406e-02,2.192719e-02,2.199779e-02,2.202212e-02,2.206258e-02,2.210181e-02,2.211898e-02,2.216750e-02,2.220864e-02,2.222032e-02,2.224286e-02,2.226134e-02,2.227061e-02,2.229153e-02,2.229228e-02,2.230828e-02,2.231179e-02,2.231895e-02,2.232295e-02,2.232465e-02,2.232578e-02,2.232570e-02,2.232239e-02,2.232098e-02,2.231502e-02,2.230921e-02,2.230385e-02,2.229107e-02,2.228912e-02,2.227108e-02,2.226710e-02,2.224995e-02,2.223781e-02,2.222593e-02,2.220366e-02,2.219921e-02,2.216999e-02,2.216509e-02,2.213842e-02,2.212249e-02,2.210468e-02,2.207622e-02,2.206891e-02,2.203126e-02,2.202662e-02,2.199185e-02,2.197400e-02,2.195083e-02,2.191863e-02,2.190829e-02,2.186436e-02,2.186079e-02,2.181914e-02,2.180071e-02,2.177272e-02,2.173862e-02,2.172521e-02,2.167669e-02,2.167473e-02,2.162724e-02,2.160922e-02,2.157693e-02,2.154228e-02,2.152585e-02,2.147406e-02,2.140473e-02,2.133441e-02,2.126324e-02,2.119134e-02,2.111883e-02,2.104580e-02,2.097235e-02,2.089857e-02,2.082454e-02,2.075035e-02,2.067605e-02,2.060173e-02,2.052743e-02,2.045322e-02,2.037915e-02,2.030527e-02,2.023162e-02,2.015825e-02,2.008519e-02,2.001249e-02,1.994017e-02,1.986826e-02,1.979680e-02,1.972581e-02
0.000000e+00,3.078679e-12,7.035055e-12,2.411685e-11,5.474831e-11,7.979650e-11,1.807431e-10,1.861751e-10,3.597662e-10,4.228171e-10,6.185514e-10,8.229376e-10,9.824612e-10,1.428140e-09,1.472449e-09,2.106789e-09,2.281784e-09,2.894194e-09,3.400112e-09,3.827837e-09,4.754066e-09,4.886903e-09,6.044836e-09,6.286007e-09,7.276515e-09,7.938993e-09,8.560940e-09,9.668062e-09,9.881075e-09,1.122288e-08,1.143877e-08,1.257448e-08,1.322367e-08,1.392562e-08,1.500016e-08,1.526736e-08,1.659194e-08,1.674941e-08,1.789269e-08,1.845598e-08,1.916398e-08,2.010757e-08,2.040118e-08,2.160059e-08,2.169482e-08,2.275937e-08,2.321102e-08,2.387547e-08,2.465183e-08,2.494750e-08,2.597465e-08,2.601479e-08,2.695665e-08,2.729914e-08,2.789366e-08,2.850536e-08,2.878617e-08,2.963496e-08,3.044105e-08,3.069016e-08,3.120560e-08,3.167372e-08,3.192993e-08,3.258873e-08,3.261543e-08,3.326355e-08,3.343853e-08,3.387579e-08,3.422653e-08,3.445364e-08,3.495614e-08,3.499856e-08,3.551202e-08,3.563073e-08,3.599545e-08,3.625358e-08,3.645025e-08,3.682788e-08,3.687778e-08,3.727934e-08,3.735664e-08,3.765618e-08,3.784277e-08,3.800951e-08,3.828900e-08,3.834050e-08,3.865026e-08,3.869792e-08,3.893985e-08,3.907199e-08,3.921029e-08,3.941350e-08,3.946254e-08,3.969752e-08,3.972460e-08,3.991612e-08,4.000733e-08,4.011916e-08,4.026356e-08,4.030745e-08,4.048173e-08,4.049509e-08,4.064272e-08,4.070355e-08,4.079110e-08,4.089050e-08,4.092753e-08,4.105261e-08,4.105738e-08,4.116693e-08,4.120556e-08,4.127104e-08,4.133627e-08,4.136547e-08,4.145072e-08,4.152726e-08,4.154999e-08,4.159554e-08,4.163511e-08,4.165599e-08,4.170704e-08,4.170902e-08,4.175501e-08,4.176668e-08,4.179433e-08,4.181486e-08,4.182732e-08,4.185236e-08,4.185431e-08,4.187562e-08,4.187992e-08,4.189154e-08,4.189821e-08,4.190236e-08,4.190788e-08,4.190835e-08,4.190977e-08,4.190952e-08,4.190684e-08,4.190369e-08,4.189981e-08,4.189090e-08,4.188890e-08,4.187431e-08,4.187165e-08,4.185625e-08,4.184640e-08,4.183489e-08,4.181556e-08,4.181043e-08,4.178303e-08,4.177955e-08,4.175285e-08,4.173873e-08,4.172005e-08,4.169347e-08,4.168478e-08,4.164718e-08,4.164408e-08,4.160738e-08,4.159088e-08,4.156551e-08,4.153415e-08,4.152169e-08,4.147604e-08,4.147417e-08,4.142866e-08,4.141120e-08,4.137966e-08,4.134547e-08,4.132914e-08,4.127720e-08,4.120661e-08,4.113390e-08,4.105924e-08,4.098283e-08,4.090481e-08,4.082535e-08,4.074458e-08,4.066265e-08,4.057969e-08,4.049580e-08,4.041112e-08,4.032574e-08,4.023976e-08,4.015328e-08,4.006638e-08,3.997915e-08,3.989167e-08,3.980402e-08,3.971625e-08,3.962843e-08,3.954063e-08,3.945290e-08,3.936530e-08,3.927787e-08
0.000000e+00,5.148774e-10,1.455536e-09,6.652630e-09,1.784569e-08,2.786643e-08,7.189825e-08,7.436890e-08,1.559818e-07,1.864032e-07,2.820125e-07,3.826814e-07,4.613996e-07,6.809913e-07,7.027779e-07,1.014116e-06,1.099990e-06,1.401511e-06,1.652725e-06,1.867212e-06,2.339514e-06,2.408183e-06,3.016731e-06,3.145673e-06,3.682679e-06,4.048098e-06,4.395354e-06,5.022664e-06,5.144608e-06,5.921083e-06,6.047260e-06,6.716161e-06,7.102044e-06,7.521876e-06,8.169140e-06,8.330867e-06,9.136376e-06,9.232506e-06,9.932285e-06,1.027802e-05,1.071315e-05,1.129361e-05,1.147424e-05,1.221153e-05,1.226938e-05,1.292172e-05,1.319760e-05,1.360219e-05,1.407261e-05,1.425098e-05,1.486670e-05,1.489063e-05,1.544849e-05,1.564954e-05,1.599596e-05,1.634863e-05,1.650912e-05,1.698829e-05,1.743408e-05,1.756982e-05,1.784733e-05,1.809519e-05,1.822905e-05,1.856688e-05,1.858036e-05,1.890251e-05,1.898766e-05,1.919679e-05,1.936053e-05,1.946453e-05,1.968859e-05,1.970710e-05,1.992583e-05,1.997493e-05,2.012207e-05,2.022262e-05,2.029711e-05,2.043464e-05,2.045224e-05,2.058869e-05,2.061384e-05,2.070763e-05,2.076295e-05,2.081021e-05,2.088452e-05,2.089750e-05,2.097055e-05,2.098098e-05,2.103032e-05,2.105457e-05,2.107776e-05,2.110741e-05,2.111373e-05,2.113907e-05,2.114143e-05,2.115456e-05,2.115845e-05,2.116094e-05,2.116012e-05,2.115889e-05,2.114908e-05,2.114798e-05,2.113211e-05,2.112345e-05,2.110855e-05,2.108782e-05,2.107895e-05,2.104380e-05,2.104228e-05,2.100357e-05,2.098793e-05,2.095871e-05,2.092577e-05,2.090963e-05,2.085670e-05,2.080030e-05,2.078157e-05,2.074076e-05,2.070114e-05,2.067838e-05,2.061610e-05,2.061346e-05,2.054628e-05,2.052710e-05,2.047708e-05,2.043469e-05,2.040610e-05,2.033942e-05,2.033357e-05,2.025967e-05,2.024176e-05,2.018462e-05,2.014214e-05,2.010857e-05,2.004096e-05,2.003170e-05,1.995415e-05,1.993857e-05,1.987607e-05,1.983530e-05,1.979758e-05,1.973143e-05,1.971882e-05,1.963988e-05,1.962724e-05,1.956087e-05,1.952296e-05,1.948190e-05,1.941879e-05,1.940303e-05,1.932436e-05,1.931494e-05,1.924597e-05,1.921158e-05,1.916791e-05,1.910885e-05,1.909025e-05,1.901305e-05,1.900690e-05,1.893636e-05,1.890584e-05,1.886023e-05,1.880579e-05,1.878471e-05,1.870982e-05,1.870684e-05,1.863561e-05,1.860907e-05,1.856211e-05,1.851255e-05,1.848935e-05,1.841735e-05,1.832352e-05,1.823111e-05,1.814016e-05,1.805069e-05,1.796274e-05,1.787632e-05,1.779146e-05,1.770815e-05,1.762642e-05,1.754625e-05,1.746766e-05,1.739064e-05,1.731518e-05,1.724128e-05,1.716892e-05,1.709810e-05,1.702880e-05,1.696100e-05,1.689469e-05,1.682985e-05,1.676646e-05,1.670450e-05,1.664395e-05,1.658480e-05
0.000000e+00,3.860233e-10,1.021927e-09,4.178294e-09,1.036108e-08,1.561192e-08,3.747723e-08,3.867261e-08,7.741920e-08,9.168641e-08,1.364479e-07,1.837902e-07,2.210602e-07,3.259314e-07,3.363678e-07,4.844161e-07,5.245146e-07,6.613737e-07,7.701672e-07,8.592944e-07,1.044575e-06,1.070395e-06,1.288981e-06,1.333232e-06,1.511172e-06,1.627181e-06,1.734171e-06,1.920473e-06,1.955747e-06,2.173974e-06,2.208462e-06,2.387127e-06,2.487178e-06,2.593663e-06,2.753212e-06,2.792231e-06,2.981694e-06,3.003772e-06,3.161145e-06,3.236750e-06,3.329911e-06,3.450745e-06,3.487548e-06,3.633826e-06,3.645035e-06,3.768710e-06,3.819498e-06,3.892332e-06,3.974512e-06,4.004961e-06,4.106980e-06,4.110846e-06,4.198858e-06,4.229551e-06,4.281121e-06,4.331854e-06,4.354332e-06,4.419075e-06,4.475943e-06,4.492574e-06,4.525524e-06,4.553694e-06,4.568385e-06,4.603722e-06,4.605077e-06,4.636122e-06,4.643871e-06,4.662013e-06,4.675266e-06,4.683210e-06,4.698934e-06,4.700142e-06,4.713205e-06,4.715806e-06,4.722767e-06,4.726718e-06,4.729163e-06,4.732418e-06,4.732701e-06,4.733662e-06,4.733567e-06,4.732298e-06,4.730749e-06,4.728844e-06,4.724480e-06,4.723508e-06,4.716484e-06,4.715215e-06,4.707944e-06,4.703353e-06,4.698046e-06,4.689246e-06,4.686932e-06,4.674733e-06,4.673202e-06,4.661564e-06,4.655490e-06,4.647531e-06,4.636349e-06,4.632732e-06,4.617253e-06,4.615988e-06,4.601174e-06,4.594591e-06,4.584568e-06,4.572321e-06,4.567498e-06,4.550026e-06,4.549319e-06,4.532205e-06,4.525714e-06,4.514085e-06,4.501616e-06,4.495711e-06,4.477125e-06,4.458363e-06,4.452328e-06,4.439460e-06,4.427302e-06,4.420447e-06,4.402118e-06,4.401353e-06,4.382205e-06,4.376837e-06,4.363026e-06,4.351512e-06,4.343837e-06,4.326194e-06,4.324660e-06,4.305513e-06,4.300923e-06,4.286411e-06,4.275740e-06,4.267371e-06,4.250678e-06,4.248407e-06,4.229530e-06,4.225767e-06,4.210754e-06,4.201034e-06,4.192089e-06,4.176502e-06,4.173544e-06,4.155128e-06,4.152194e-06,4.136849e-06,4.128126e-06,4.118715e-06,4.104316e-06,4.100732e-06,4.082906e-06,4.080777e-06,4.065242e-06,4.057523e-06,4.047746e-06,4.034563e-06,4.030421e-06,4.013271e-06,4.011907e-06,3.996300e-06,3.989562e-06,3.979511e-06,3.967537e-06,3.962906e-06,3.946488e-06,3.945835e-06,3.930258e-06,3.924462e-06,3.914218e-06,3.903420e-06,3.898370e-06,3.882714e-06,3.862344e-06,3.842312e-06,3.822619e-06,3.803265e-06,3.784248e-06,3.765569e-06,3.747226e-06,3.729218e-06,3.711541e-06,3.694194e-06,3.677174e-06,3.660479e-06,3.644104e-06,3.628047e-06,3.612305e-06,3.596873e-06,3.581747e-06,3.566924e-06,3.552400e-06,3.538170e-06,3.524231e-06,3.510577e-06,3.497205e-06,3.484111e-06
0.000000e+00,8.177177e-10,2.327596e-09,1.077936e-08,2.923083e-08,4.589789e-08,1.199813e-07,1.241662e-07,2.634214e-07,3.157060e-07,4.809342e-07,6.560308e-07,7.935686e-07,1.179487e-06,1.217930e-06,1.769869e-06,1.922883e-06,2.462611e-06,2.915207e-06,3.303829e-06,4.167409e-06,4.293937e-06,5.427214e-06,5.670273e-06,6.694439e-06,7.402815e-06,8.084942e-06,9.340067e-06,9.587548e-06,1.119080e-05,1.145588e-05,1.288290e-05,1.372310e-05,1.465166e-05,1.611342e-05,1.648450e-05,1.836861e-05,1.859753e-05,2.029103e-05,2.114572e-05,2.223893e-05,2.372864e-05,2.419976e-05,2.616152e-05,2.631815e-05,2.811286e-05,2.888809e-05,3.004326e-05,3.141477e-05,3.194315e-05,3.380393e-05,3.387744e-05,3.561808e-05,3.625848e-05,3.737912e-05,3.854346e-05,3.908159e-05,4.072102e-05,4.229390e-05,4.278270e-05,4.379756e-05,4.472268e-05,4.523012e-05,4.653743e-05,4.659044e-05,4.787800e-05,4.822546e-05,4.909281e-05,4.978698e-05,5.023540e-05,5.122359e-05,5.130669e-05,5.230795e-05,5.253801e-05,5.324074e-05,5.373386e-05,5.410685e-05,5.481542e-05,5.490824e-05,5.564705e-05,5.578749e-05,5.632548e-05,5.665517e-05,5.694585e-05,5.742380e-05,5.751050e-05,5.802181e-05,5.809883e-05,5.848214e-05,5.868568e-05,5.889383e-05,5.918974e-05,5.925922e-05,5.958058e-05,5.961629e-05,5.986016e-05,5.997050e-05,6.010013e-05,6.025733e-05,6.030262e-05,6.046968e-05,6.048157e-05,6.060329e-05,6.064780e-05,6.070537e-05,6.076038e-05,6.077777e-05,6.082226e-05,6.082348e-05,6.084054e-05,6.084102e-05,6.083425e-05,6.081673e-05,6.080494e-05,6.075410e-05,6.068317e-05,6.065645e-05,6.059349e-05,6.052686e-05,6.048636e-05,6.036825e-05,6.036302e-05,6.022463e-05,6.018334e-05,6.007232e-05,5.997469e-05,5.990713e-05,5.974466e-05,5.973008e-05,5.954212e-05,5.949548e-05,5.934414e-05,5.922922e-05,5.913701e-05,5.894780e-05,5.892153e-05,5.869847e-05,5.865301e-05,5.846855e-05,5.834652e-05,5.823246e-05,5.802985e-05,5.799084e-05,5.774430e-05,5.770444e-05,5.749341e-05,5.737160e-05,5.723872e-05,5.703256e-05,5.698072e-05,5.671990e-05,5.668843e-05,5.645671e-05,5.634026e-05,5.619157e-05,5.598900e-05,5.592487e-05,5.565699e-05,5.563552e-05,5.538827e-05,5.528062e-05,5.511904e-05,5.492504e-05,5.484960e-05,5.458023e-05,5.456946e-05,5.431120e-05,5.421448e-05,5.404276e-05,5.386067e-05,5.377513e-05,5.350853e-05,5.315851e-05,5.281104e-05,5.246649e-05,5.212519e-05,5.178744e-05,5.145351e-05,5.112363e-05,5.079802e-05,5.047684e-05,5.016026e-05,4.984841e-05,4.954141e-05,4.923935e-05,4.894230e-05,4.865034e-05,4.836350e-05,4.808182e-05,4.780532e-05,4.753401e-05,4.726789e-05,4.700695e-05,4.675116e-05,4.650051e-05,4.625496e-05
0.000000e+00,2.164840e-10,5.536952e-10,2.160071e-09,5.219295e-09,7.782761e-09,1.829778e-08,1.886721e-08,3.708700e-08,4.369108e-08,6.408959e-08,8.520139e-08,1.015445e-07,1.466171e-07,1.510537e-07,2.137677e-07,2.308262e-07,2.898406e-07,3.379693e-07,3.783720e-07,4.654715e-07,4.779572e-07,5.871757e-07,6.100594e-07,7.047318e-07,7.687545e-07,8.294220e-07,9.388205e-07,9.600785e-07,1.095537e-06,1.117578e-06,1.234631e-06,1.302345e-06,1.376198e-06,1.490468e-06,1.519102e-06,1.662254e-06,1.679399e-06,1.804628e-06,1.866782e-06,1.945289e-06,2.050524e-06,2.083396e-06,2.218216e-06,2.228840e-06,2.349125e-06,2.400276e-06,2.475612e-06,2.563712e-06,2.597270e-06,2.713791e-06,2.718342e-06,2.824962e-06,2.863645e-06,2.930648e-06,2.999349e-06,3.030790e-06,3.125388e-06,3.214496e-06,3.241866e-06,3.298211e-06,3.349018e-06,3.376665e-06,3.447178e-06,3.450016e-06,3.518446e-06,3.536750e-06,3.582147e-06,3.618183e-06,3.641325e-06,3.691954e-06,3.696189e-06,3.746953e-06,3.758549e-06,3.793827e-06,3.818456e-06,3.837021e-06,3.872150e-06,3.876740e-06,3.913180e-06,3.920092e-06,3.946535e-06,3.962720e-06,3.976987e-06,4.000453e-06,4.004713e-06,4.029882e-06,4.033682e-06,4.052652e-06,4.062774e-06,4.073175e-06,4.088071e-06,4.091592e-06,4.108040e-06,4.109888e-06,4.122645e-06,4.128518e-06,4.135526e-06,4.144232e-06,4.146796e-06,4.156559e-06,4.157278e-06,4.164915e-06,4.167885e-06,4.171957e-06,4.176262e-06,4.177772e-06,4.182440e-06,4.182604e-06,4.186038e-06,4.187085e-06,4.188638e-06,4.189869e-06,4.190305e-06,4.191104e-06,4.191092e-06,4.190926e-06,4.190324e-06,4.189460e-06,4.188853e-06,4.186822e-06,4.186725e-06,4.183986e-06,4.183115e-06,4.180678e-06,4.178437e-06,4.176841e-06,4.172876e-06,4.172513e-06,4.167727e-06,4.166514e-06,4.162517e-06,4.159425e-06,4.156913e-06,4.151679e-06,4.150944e-06,4.144637e-06,4.143338e-06,4.138018e-06,4.134460e-06,4.131109e-06,4.125100e-06,4.123935e-06,4.116514e-06,4.115306e-06,4.108868e-06,4.105124e-06,4.101015e-06,4.094595e-06,4.092972e-06,4.084756e-06,4.083760e-06,4.076383e-06,4.072652e-06,4.067866e-06,4.061305e-06,4.059219e-06,4.050456e-06,4.049750e-06,4.041588e-06,4.038015e-06,4.032628e-06,4.026124e-06,4.023585e-06,4.014469e-06,4.014103e-06,4.005291e-06,4.001974e-06,3.996060e-06,3.989756e-06,3.986783e-06,3.977468e-06,3.965129e-06,3.952754e-06,3.940358e-06,3.927955e-06,3.915557e-06,3.903176e-06,3.890824e-06,3.878509e-06,3.866241e-06,3.854029e-06,3.841881e-06,3.829802e-06,3.817801e-06,3.805883e-06,3.794053e-06,3.782316e-06,3.770678e-06,3.759142e-06,3.747712e-06,3.736391e-06,3.725183e-06,3.714091e-06,3.703115e-06,3.692260e-06
0.000000e+00,2.229593e-09,6.560102e-09,3.239421e-08,9.268770e-08,1.496240e-07,4.179983e-07,4.336867e-07,9.764758e-07,1.188300e-06,1.878323e-06,2.636289e-06,3.246886e-06,5.015328e-06,5.195193e-06,7.833130e-06,8.579404e-06,1.124873e-05,1.352047e-05,1.548856e-05,1.990295e-05,2.055341e-05,2.640923e-05,2.767074e-05,3.300147e-05,3.669918e-05,4.026530e-05,4.683498e-05,4.813097e-05,5.652622e-05,5.791369e-05,6.537726e-05,6.976571e-05,7.460925e-05,8.221850e-05,8.414686e-05,9.391500e-05,9.509914e-05,1.038397e-04,1.082376e-04,1.138492e-04,1.214708e-04,1.238749e-04,1.338523e-04,1.346465e-04,1.437218e-04,1.476271e-04,1.534296e-04,1.602919e-04,1.629277e-04,1.721747e-04,1.725389e-04,1.811353e-04,1.842851e-04,1.897802e-04,1.954663e-04,1.980862e-04,2.060357e-04,2.136161e-04,2.159625e-04,2.208195e-04,2.252299e-04,2.276420e-04,2.338331e-04,2.340835e-04,2.401467e-04,2.417773e-04,2.458371e-04,2.490755e-04,2.511623e-04,2.557469e-04,2.561316e-04,2.607555e-04,2.618152e-04,2.650460e-04,2.673076e-04,2.690153e-04,2.722531e-04,2.726766e-04,2.760430e-04,2.766821e-04,2.791280e-04,2.806255e-04,2.819450e-04,2.841139e-04,2.845073e-04,2.868278e-04,2.871775e-04,2.889194e-04,2.898456e-04,2.907943e-04,2.921464e-04,2.924646e-04,2.939418e-04,2.941066e-04,2.952369e-04,2.957518e-04,2.963606e-04,2.971062e-04,2.973230e-04,2.981338e-04,2.981924e-04,2.988023e-04,2.990317e-04,2.993370e-04,2.996440e-04,2.997465e-04,3.000385e-04,3.000479e-04,3.002206e-04,3.002606e-04,3.002997e-04,3.002982e-04,3.002826e-04,3.001757e-04,2.999847e-04,2.999069e-04,2.997155e-04,2.995046e-04,2.993733e-04,2.989808e-04,2.989631e-04,2.984897e-04,2.983464e-04,2.979575e-04,2.976117e-04,2.973707e-04,2.967861e-04,2.967333e-04,2.960490e-04,2.958782e-04,2.953213e-04,2.948961e-04,2.945536e-04,2.938473e-04,2.937489e-04,2.929102e-04,2.927386e-04,2.920402e-04,2.915763e-04,2.911415e-04,2.903663e-04,2.902167e-04,2.892679e-04,2.891140e-04,2.882974e-04,2.878244e-04,2.873072e-04,2.865021e-04,2.862992e-04,2.852752e-04,2.851513e-04,2.842368e-04,2.837759e-04,2.831858e-04,2.823794e-04,2.821236e-04,2.810515e-04,2.809653e-04,2.799709e-04,2.795366e-04,2.788831e-04,2.780960e-04,2.777892e-04,2.766903e-04,2.766462e-04,2.755874e-04,2.751896e-04,2.744815e-04,2.737282e-04,2.733735e-04,2.722642e-04,2.707993e-04,2.693353e-04,2.678737e-04,2.664159e-04,2.649632e-04,2.635167e-04,2.620777e-04,2.606470e-04,2.592255e-04,2.578140e-04,2.564134e-04,2.550242e-04,2.536469e-04,2.522823e-04,2.509307e-04,2.495926e-04,2.482683e-04,2.469582e-04,2.456625e-04,2.443816e-04,2.431156e-04,2.418646e-04,2.406290e-04,2.394087e-04
0.000000e+00,3.184651e-11,7.452364e-11,2.609548e-10,5.955640e-10,8.679759e-10,1.952652e-09,2.010435e-09,3.828588e-09,4.476437e-09,6.450520e-09,8.459251e-09,9.994843e-09,1.416221e-08,1.456810e-08,2.025188e-08,2.178604e-08,2.707481e-08,3.137552e-08,3.497822e-08,4.270632e-08,4.380804e-08,5.335273e-08,5.532803e-08,6.339550e-08,6.874949e-08,7.374397e-08,8.255344e-08,8.423591e-08,9.473531e-08,9.640797e-08,1.051274e-07,1.100484e-07,1.153152e-07,1.232637e-07,1.252180e-07,1.347697e-07,1.358897e-07,1.439179e-07,1.478047e-07,1.526233e-07,1.589257e-07,1.608581e-07,1.686050e-07,1.692034e-07,1.758560e-07,1.786172e-07,1.826106e-07,1.871697e-07,1.888748e-07,1.946597e-07,1.948813e-07,1.999806e-07,2.017859e-07,2.048555e-07,2.079259e-07,2.093047e-07,2.133499e-07,2.170134e-07,2.181089e-07,2.203181e-07,2.222552e-07,2.232865e-07,2.258403e-07,2.259407e-07,2.283024e-07,2.289140e-07,2.303921e-07,2.315238e-07,2.322299e-07,2.337142e-07,2.338344e-07,2.352234e-07,2.355266e-07,2.364137e-07,2.369993e-07,2.374209e-07,2.381675e-07,2.382598e-07,2.389440e-07,2.390635e-07,2.394865e-07,2.397165e-07,2.398990e-07,2.401532e-07,2.401927e-07,2.403776e-07,2.403977e-07,2.404632e-07,2.404717e-07,2.404584e-07,2.403949e-07,2.403713e-07,2.402092e-07,2.401851e-07,2.399792e-07,2.398581e-07,2.396875e-07,2.394283e-07,2.393401e-07,2.389424e-07,2.389086e-07,2.384994e-07,2.383105e-07,2.380156e-07,2.376445e-07,2.374954e-07,2.369427e-07,2.369199e-07,2.363609e-07,2.361451e-07,2.357536e-07,2.353275e-07,2.351236e-07,2.344739e-07,2.338070e-07,2.335903e-07,2.331252e-07,2.326821e-07,2.324308e-07,2.317542e-07,2.317258e-07,2.310121e-07,2.308109e-07,2.302912e-07,2.298559e-07,2.295648e-07,2.288929e-07,2.288343e-07,2.281010e-07,2.279247e-07,2.273661e-07,2.269543e-07,2.266307e-07,2.259840e-07,2.258958e-07,2.251624e-07,2.250159e-07,2.244312e-07,2.240521e-07,2.237030e-07,2.230942e-07,2.229786e-07,2.222585e-07,2.221437e-07,2.215434e-07,2.212020e-07,2.208336e-07,2.202701e-07,2.201298e-07,2.194324e-07,2.193491e-07,2.187416e-07,2.184399e-07,2.180579e-07,2.175432e-07,2.173816e-07,2.167129e-07,2.166597e-07,2.160520e-07,2.157899e-07,2.153992e-07,2.149343e-07,2.147547e-07,2.141186e-07,2.140933e-07,2.134910e-07,2.132672e-07,2.128721e-07,2.124562e-07,2.122620e-07,2.116606e-07,2.108805e-07,2.101159e-07,2.093670e-07,2.086337e-07,2.079161e-07,2.072140e-07,2.065274e-07,2.058562e-07,2.052003e-07,2.045596e-07,2.039338e-07,2.033228e-07,2.027264e-07,2.021445e-07,2.015768e-07,2.010231e-07,2.004832e-07,1.999569e-07,1.994439e-07,1.989439e-07,1.984569e-07,1.979824e-07,1.975203e-07,1.970702e-07
0.000000e+00,8.581654e-10,2.384191e-09,1.055708e-08,2.764149e-08,4.266717e-08,1.074318e-07,1.110312e-07,2.290879e-07,2.728975e-07,4.105539e-07,5.558942e-07,6.699715e-07,9.899352e-07,1.021770e-06,1.476176e-06,1.600785e-06,2.033409e-06,2.386655e-06,2.682663e-06,3.317192e-06,3.407635e-06,4.192244e-06,4.355076e-06,5.022847e-06,5.469100e-06,5.888094e-06,6.634451e-06,6.778152e-06,7.684074e-06,7.829927e-06,8.597473e-06,9.036212e-06,9.510412e-06,1.023541e-05,1.041544e-05,1.130569e-05,1.141123e-05,1.217499e-05,1.254943e-05,1.301795e-05,1.363815e-05,1.383001e-05,1.460746e-05,1.466808e-05,1.534747e-05,1.563250e-05,1.604798e-05,1.652714e-05,1.670771e-05,1.732604e-05,1.734991e-05,1.790293e-05,1.810054e-05,1.843884e-05,1.878029e-05,1.893465e-05,1.939155e-05,1.981098e-05,1.993755e-05,2.019458e-05,2.042208e-05,2.054410e-05,2.084926e-05,2.086136e-05,2.114822e-05,2.122335e-05,2.140655e-05,2.154861e-05,2.163817e-05,2.182920e-05,2.184486e-05,2.202835e-05,2.206912e-05,2.219029e-05,2.227214e-05,2.233223e-05,2.244179e-05,2.245567e-05,2.256198e-05,2.258131e-05,2.265248e-05,2.269369e-05,2.272836e-05,2.278166e-05,2.279078e-05,2.284077e-05,2.284769e-05,2.287932e-05,2.289402e-05,2.290732e-05,2.292269e-05,2.292561e-05,2.293495e-05,2.293551e-05,2.293607e-05,2.293413e-05,2.292961e-05,2.292002e-05,2.291620e-05,2.289637e-05,2.289452e-05,2.287065e-05,2.285882e-05,2.283952e-05,2.281400e-05,2.280342e-05,2.276274e-05,2.276103e-05,2.271788e-05,2.270076e-05,2.266916e-05,2.263400e-05,2.261692e-05,2.256145e-05,2.250302e-05,2.248374e-05,2.244188e-05,2.240145e-05,2.237828e-05,2.231511e-05,2.231244e-05,2.224454e-05,2.222519e-05,2.217479e-05,2.213212e-05,2.210335e-05,2.203628e-05,2.203039e-05,2.195606e-05,2.193803e-05,2.188050e-05,2.183770e-05,2.180384e-05,2.173557e-05,2.172621e-05,2.164771e-05,2.163191e-05,2.156845e-05,2.152697e-05,2.148854e-05,2.142097e-05,2.140806e-05,2.132710e-05,2.131411e-05,2.124574e-05,2.120657e-05,2.116406e-05,2.109853e-05,2.108213e-05,2.100001e-05,2.099014e-05,2.091776e-05,2.088154e-05,2.083544e-05,2.077286e-05,2.075310e-05,2.067080e-05,2.066422e-05,2.058859e-05,2.055573e-05,2.050649e-05,2.044749e-05,2.042457e-05,2.034284e-05,2.033958e-05,2.026136e-05,2.023209e-05,2.018015e-05,2.012510e-05,2.009925e-05,2.001868e-05,1.991288e-05,1.980777e-05,1.970339e-05,1.959980e-05,1.949704e-05,1.939514e-05,1.929414e-05,1.919408e-05,1.909497e-05,1.899685e-05,1.889974e-05,1.880365e-05,1.870861e-05,1.861463e-05,1.852171e-05,1.842988e-05,1.833913e-05,1.824949e-05,1.816094e-05,1.807351e-05,1.798718e-05,1.790197e-05,1.781786e-05,1.773487e-05
0.000000e+00,5.167193e-08,1.530362e-07,7.656564e-07,2.215342e-06,3.596906e-06,1.018563e-05,1.057326e-05,2.407045e-05,2.936638e-05,4.667109e-05,6.572314e-05,8.107964e-05,1.255273e-04,1.300436e-04,1.961849e-04,2.148700e-04,2.816626e-04,3.385128e-04,3.878105e-04,4.986541e-04,5.150253e-04,6.629125e-04,6.948931e-04,8.304999e-04,9.249845e-04,1.016404e-03,1.185492e-03,1.218938e-03,1.436188e-03,1.472177e-03,1.666071e-03,1.780258e-03,1.906383e-03,2.104618e-03,2.154855e-03,2.409206e-03,2.440015e-03,2.667186e-03,2.781285e-03,2.926630e-03,3.123522e-03,3.185493e-03,3.441887e-03,3.462239e-03,3.694105e-03,3.793478e-03,3.940639e-03,4.113884e-03,4.180186e-03,4.411657e-03,4.420735e-03,4.634166e-03,4.711937e-03,4.847023e-03,4.985988e-03,5.049724e-03,5.241929e-03,5.423450e-03,5.479268e-03,5.594231e-03,5.697916e-03,5.754328e-03,5.898112e-03,5.903895e-03,6.043162e-03,6.080350e-03,6.172425e-03,6.245323e-03,6.292029e-03,6.393860e-03,6.402354e-03,6.503810e-03,6.526886e-03,6.596818e-03,6.645375e-03,6.681813e-03,6.750325e-03,6.759229e-03,6.829496e-03,6.842730e-03,6.893039e-03,6.923561e-03,6.950269e-03,6.993755e-03,7.001584e-03,7.047367e-03,7.054204e-03,7.087983e-03,7.105745e-03,7.123778e-03,7.149166e-03,7.155082e-03,7.182206e-03,7.185194e-03,7.205443e-03,7.214506e-03,7.225066e-03,7.237724e-03,7.241335e-03,7.254491e-03,7.255415e-03,7.264758e-03,7.268103e-03,7.272346e-03,7.276263e-03,7.277453e-03,7.280261e-03,7.280328e-03,7.280939e-03,7.280693e-03,7.279646e-03,7.277717e-03,7.276529e-03,7.271726e-03,7.265362e-03,7.263016e-03,7.257557e-03,7.251856e-03,7.248420e-03,7.238491e-03,7.238054e-03,7.226554e-03,7.223143e-03,7.214008e-03,7.206014e-03,7.200500e-03,7.187287e-03,7.186104e-03,7.170894e-03,7.167130e-03,7.154935e-03,7.145694e-03,7.138289e-03,7.123119e-03,7.121015e-03,7.103166e-03,7.099532e-03,7.084792e-03,7.075046e-03,7.065941e-03,7.049769e-03,7.046656e-03,7.026979e-03,7.023796e-03,7.006947e-03,6.997216e-03,6.986596e-03,6.970109e-03,6.965960e-03,6.945071e-03,6.942548e-03,6.923957e-03,6.914602e-03,6.902645e-03,6.886333e-03,6.881163e-03,6.859533e-03,6.857797e-03,6.837779e-03,6.829047e-03,6.815920e-03,6.800130e-03,6.793979e-03,6.771971e-03,6.771090e-03,6.749916e-03,6.741968e-03,6.727830e-03,6.712801e-03,6.705727e-03,6.683622e-03,6.654463e-03,6.625352e-03,6.596316e-03,6.567379e-03,6.538563e-03,6.509887e-03,6.481371e-03,6.453031e-03,6.424883e-03,6.396940e-03,6.369215e-03,6.341719e-03,6.314464e-03,6.287457e-03,6.260709e-03,6.234225e-03,6.208014e-03,6.182081e-03,6.156431e-03,6.131069e-03,6.105998e-03,6.081223e-03,6.056746e-03,6.032570e-03
0.000000e+00,7.150931e-08,2.126245e-07,1.072540e-06,3.126669e-06,5.097640e-06,1.459175e-05,1.515373e-05,3.487350e-05,4.267269e-05,6.832973e-05,9.681646e-05,1.199229e-04,1.873877e-04,1.942856e-04,2.960802e-04,3.250803e-04,4.295266e-04,5.193026e-04,5.977349e-04,7.758090e-04,8.022912e-04,1.043330e-03,1.095844e-03,1.319857e-03,1.477100e-03,1.630058e-03,1.914895e-03,1.971515e-03,2.341356e-03,2.402953e-03,2.736359e-03,2.933882e-03,3.153040e-03,3.499539e-03,3.587742e-03,4.036709e-03,4.091364e-03,4.496172e-03,4.700702e-03,4.962426e-03,5.319112e-03,5.431893e-03,5.901189e-03,5.938629e-03,6.367173e-03,6.551988e-03,6.826983e-03,7.152776e-03,7.278063e-03,7.718177e-03,7.735525e-03,8.145412e-03,8.295747e-03,8.558176e-03,8.829922e-03,8.955185e-03,9.335448e-03,9.698242e-03,9.810562e-03,1.004309e-02,1.025425e-02,1.036973e-02,1.066613e-02,1.067811e-02,1.096833e-02,1.104636e-02,1.124062e-02,1.139555e-02,1.149537e-02,1.171463e-02,1.173302e-02,1.195413e-02,1.200480e-02,1.215928e-02,1.226743e-02,1.234912e-02,1.250404e-02,1.252431e-02,1.268556e-02,1.271620e-02,1.283356e-02,1.290551e-02,1.296900e-02,1.307357e-02,1.309257e-02,1.320494e-02,1.322193e-02,1.330678e-02,1.335211e-02,1.339872e-02,1.346555e-02,1.348137e-02,1.355531e-02,1.356363e-02,1.362111e-02,1.364762e-02,1.367929e-02,1.371873e-02,1.373037e-02,1.377481e-02,1.377809e-02,1.381307e-02,1.382674e-02,1.384557e-02,1.386563e-02,1.387271e-02,1.389486e-02,1.389565e-02,1.391238e-02,1.391761e-02,1.392559e-02,1.393226e-02,1.393479e-02,1.394028e-02,1.394232e-02,1.394229e-02,1.394117e-02,1.393886e-02,1.393705e-02,1.393051e-02,1.393019e-02,1.392078e-02,1.391772e-02,1.390902e-02,1.390091e-02,1.389509e-02,1.388048e-02,1.387914e-02,1.386133e-02,1.385680e-02,1.384181e-02,1.383018e-02,1.382071e-02,1.380094e-02,1.379816e-02,1.377426e-02,1.376933e-02,1.374913e-02,1.373561e-02,1.372287e-02,1.370001e-02,1.369558e-02,1.366734e-02,1.366274e-02,1.363823e-02,1.362398e-02,1.360834e-02,1.358391e-02,1.357773e-02,1.354648e-02,1.354269e-02,1.351464e-02,1.350046e-02,1.348228e-02,1.345737e-02,1.344945e-02,1.341620e-02,1.341352e-02,1.338258e-02,1.336904e-02,1.334864e-02,1.332402e-02,1.331441e-02,1.327995e-02,1.327857e-02,1.324528e-02,1.323276e-02,1.321045e-02,1.318668e-02,1.317548e-02,1.314040e-02,1.309399e-02,1.304750e-02,1.300100e-02,1.295454e-02,1.290816e-02,1.286192e-02,1.281584e-02,1.276997e-02,1.272433e-02,1.267897e-02,1.263390e-02,1.258916e-02,1.254476e-02,1.250073e-02,1.245709e-02,1.241385e-02,1.237103e-02,1.232864e-02,1.228670e-02,1.224521e-02,1.220420e-02,1.216365e-02,1.212360e-02,1.208403e-02
0.000000e+00,4.081400e-11,9.460505e-11,3.299958e-10,7.567287e-10,1.107873e-09,2.533688e-09,2.610759e-09,5.086051e-09,5.989896e-09,8.808242e-09,1.176772e-08,1.408697e-08,2.059543e-08,2.124389e-08,3.052756e-08,3.308391e-08,4.200234e-08,4.934226e-08,5.553931e-08,6.898547e-08,7.092138e-08,8.793424e-08,9.151574e-08,1.063930e-07,1.165090e-07,1.261368e-07,1.436059e-07,1.470171e-07,1.688899e-07,1.724720e-07,1.916113e-07,2.027767e-07,2.150370e-07,2.341875e-07,2.390225e-07,2.634257e-07,2.663756e-07,2.881085e-07,2.990233e-07,3.129391e-07,3.318330e-07,3.377942e-07,3.625598e-07,3.645341e-07,3.871330e-07,3.968874e-07,4.114216e-07,4.286874e-07,4.353448e-07,4.588328e-07,4.597624e-07,4.818266e-07,4.899735e-07,5.042767e-07,5.192116e-07,5.261434e-07,5.473952e-07,5.680082e-07,5.744664e-07,5.879650e-07,6.003875e-07,6.072543e-07,6.251383e-07,6.258699e-07,6.438101e-07,6.487124e-07,6.610766e-07,6.711151e-07,6.776745e-07,6.923607e-07,6.936115e-07,7.088976e-07,7.124706e-07,7.235442e-07,7.314718e-07,7.375645e-07,7.493955e-07,7.509727e-07,7.637840e-07,7.662760e-07,7.760141e-07,7.821493e-07,7.876789e-07,7.970525e-07,7.987948e-07,8.093782e-07,8.110233e-07,8.194458e-07,8.240999e-07,8.290140e-07,8.363202e-07,8.380994e-07,8.467180e-07,8.477216e-07,8.548858e-07,8.583410e-07,8.626187e-07,8.682142e-07,8.699319e-07,8.768406e-07,8.773763e-07,8.833596e-07,8.858613e-07,8.895032e-07,8.937021e-07,8.952855e-07,9.007201e-07,9.009305e-07,9.058203e-07,9.075770e-07,9.105989e-07,9.136712e-07,9.150686e-07,9.192414e-07,9.231290e-07,9.243147e-07,9.267430e-07,9.289173e-07,9.300942e-07,9.330742e-07,9.331934e-07,9.360509e-07,9.368091e-07,9.386767e-07,9.401450e-07,9.410804e-07,9.431036e-07,9.432713e-07,9.452584e-07,9.457060e-07,9.470504e-07,9.479719e-07,9.486557e-07,9.499204e-07,9.500824e-07,9.513382e-07,9.515695e-07,9.524306e-07,9.529366e-07,9.533670e-07,9.540380e-07,9.541543e-07,9.547991e-07,9.548895e-07,9.553081e-07,9.555059e-07,9.556874e-07,9.559015e-07,9.559430e-07,9.560807e-07,9.560896e-07,9.561062e-07,9.560832e-07,9.560247e-07,9.558944e-07,9.558414e-07,9.555613e-07,9.555349e-07,9.551892e-07,9.550156e-07,9.547295e-07,9.543469e-07,9.541869e-07,9.535654e-07,9.535389e-07,9.528691e-07,9.526009e-07,9.521021e-07,9.515419e-07,9.512680e-07,9.503704e-07,9.490943e-07,9.477214e-07,9.462588e-07,9.447133e-07,9.430916e-07,9.413996e-07,9.396432e-07,9.378280e-07,9.359590e-07,9.340413e-07,9.320794e-07,9.300778e-07,9.280406e-07,9.259717e-07,9.238747e-07,9.217533e-07,9.196107e-07,9.174500e-07,9.152741e-07,9.130857e-07,9.108874e-07,9.086818e-07,9.064710e-07,9.042572e-07
0.000000e+00,8.409578e-12,1.922349e-11,6.584842e-11,1.492581e-10,2.173248e-10,4.907535e-10,5.054348e-10,9.733283e-10,1.142775e-09,1.667488e-09,2.213487e-09,2.638230e-09,3.816336e-09,3.932602e-09,5.574833e-09,6.019800e-09,7.549282e-09,8.783854e-09,9.811300e-09,1.200043e-08,1.231157e-08,1.500772e-08,1.556726e-08,1.786438e-08,1.940282e-08,2.085033e-08,2.343710e-08,2.393644e-08,2.709465e-08,2.760482e-08,3.029775e-08,3.184348e-08,3.351965e-08,3.609406e-08,3.673567e-08,3.992304e-08,4.030260e-08,4.306119e-08,4.442162e-08,4.613200e-08,4.841112e-08,4.911993e-08,5.201204e-08,5.223895e-08,5.479794e-08,5.588069e-08,5.746960e-08,5.931910e-08,6.002118e-08,6.244882e-08,6.254331e-08,6.475036e-08,6.554788e-08,6.692515e-08,6.833187e-08,6.897379e-08,7.089790e-08,7.269998e-08,7.325137e-08,7.438317e-08,7.539968e-08,7.595112e-08,7.735169e-08,7.740788e-08,7.875774e-08,7.911716e-08,8.000520e-08,8.070642e-08,8.115482e-08,8.213001e-08,8.221119e-08,8.317891e-08,8.339847e-08,8.406248e-08,8.452218e-08,8.486633e-08,8.551118e-08,8.559475e-08,8.625192e-08,8.637516e-08,8.684185e-08,8.712333e-08,8.736841e-08,8.776444e-08,8.783528e-08,8.824603e-08,8.830677e-08,8.860402e-08,8.875806e-08,8.891247e-08,8.912561e-08,8.917443e-08,8.939281e-08,8.941621e-08,8.957035e-08,8.963621e-08,8.970966e-08,8.979150e-08,8.981322e-08,8.988335e-08,8.988759e-08,8.992227e-08,8.992956e-08,8.993204e-08,8.992215e-08,8.991465e-08,8.987194e-08,8.986973e-08,8.980567e-08,8.977637e-08,8.971750e-08,8.964582e-08,8.960896e-08,8.948154e-08,8.933662e-08,8.928676e-08,8.917549e-08,8.906443e-08,8.899938e-08,8.881730e-08,8.880945e-08,8.860677e-08,8.854788e-08,8.839238e-08,8.825851e-08,8.816722e-08,8.795135e-08,8.793221e-08,8.768819e-08,8.762837e-08,8.743596e-08,8.729141e-08,8.717627e-08,8.694214e-08,8.690983e-08,8.663730e-08,8.658212e-08,8.635930e-08,8.621277e-08,8.607641e-08,8.583541e-08,8.578918e-08,8.549813e-08,8.545124e-08,8.520373e-08,8.506136e-08,8.490644e-08,8.466681e-08,8.460668e-08,8.430485e-08,8.426851e-08,8.400133e-08,8.386733e-08,8.369645e-08,8.346404e-08,8.339055e-08,8.308393e-08,8.305938e-08,8.277687e-08,8.265399e-08,8.246965e-08,8.224848e-08,8.216250e-08,8.185566e-08,8.184340e-08,8.154935e-08,8.143925e-08,8.124377e-08,8.103649e-08,8.093910e-08,8.063552e-08,8.023673e-08,7.984046e-08,7.944702e-08,7.905669e-08,7.866971e-08,7.828631e-08,7.790670e-08,7.753104e-08,7.715951e-08,7.679223e-08,7.642933e-08,7.607092e-08,7.571710e-08,7.536792e-08,7.502347e-08,7.468380e-08,7.434895e-08,7.401895e-08,7.369383e-08,7.337360e-08,7.305827e-08,7.274785e-08,7.244232e-08,7.214169e-08
0.000000e+00,3.765548e-12,8.604926e-12,2.951990e-11,6.707472e-11,9.781332e-11,2.218448e-10,2.285241e-10,4.421429e-10,5.197919e-10,7.609110e-10,1.012466e-09,1.208267e-09,1.749799e-09,1.803018e-09,2.549385e-09,2.750076e-09,3.436919e-09,3.990087e-09,4.450988e-09,5.437806e-09,5.578770e-09,6.809269e-09,7.066775e-09,8.132008e-09,8.852726e-09,9.536190e-09,1.077029e-08,1.101038e-08,1.254255e-08,1.279225e-08,1.412031e-08,1.489017e-08,1.573123e-08,1.703563e-08,1.736311e-08,1.900436e-08,1.920141e-08,2.064411e-08,2.136256e-08,2.227252e-08,2.349705e-08,2.388075e-08,2.546114e-08,2.558616e-08,2.700712e-08,2.761461e-08,2.851321e-08,2.957038e-08,2.997499e-08,3.138896e-08,3.144448e-08,3.275248e-08,3.323061e-08,3.406366e-08,3.492473e-08,3.532130e-08,3.652475e-08,3.767383e-08,3.803008e-08,3.876879e-08,3.944141e-08,3.981019e-08,4.076033e-08,4.079888e-08,4.173592e-08,4.198920e-08,4.262253e-08,4.313085e-08,4.346007e-08,4.418851e-08,4.424998e-08,4.499379e-08,4.516562e-08,4.569307e-08,4.606579e-08,4.634938e-08,4.689268e-08,4.696435e-08,4.753954e-08,4.764995e-08,4.807655e-08,4.834122e-08,4.857693e-08,4.897005e-08,4.904220e-08,4.947386e-08,4.953990e-08,4.987336e-08,5.005412e-08,5.024213e-08,5.051594e-08,5.058153e-08,5.089291e-08,5.092845e-08,5.117754e-08,5.129463e-08,5.143667e-08,5.161729e-08,5.167150e-08,5.188318e-08,5.189915e-08,5.207284e-08,5.214277e-08,5.224153e-08,5.235059e-08,5.239029e-08,5.252010e-08,5.252491e-08,5.263191e-08,5.266794e-08,5.272664e-08,5.278173e-08,5.280514e-08,5.286826e-08,5.291680e-08,5.292938e-08,5.295152e-08,5.296683e-08,5.297315e-08,5.298227e-08,5.298241e-08,5.297995e-08,5.297725e-08,5.296642e-08,5.295324e-08,5.294243e-08,5.291163e-08,5.290857e-08,5.286540e-08,5.285371e-08,5.281345e-08,5.278072e-08,5.275324e-08,5.269380e-08,5.268525e-08,5.260994e-08,5.259404e-08,5.252777e-08,5.248246e-08,5.243915e-08,5.236002e-08,5.234448e-08,5.224416e-08,5.222761e-08,5.213855e-08,5.208609e-08,5.202800e-08,5.193623e-08,5.191285e-08,5.179340e-08,5.177880e-08,5.166997e-08,5.161447e-08,5.154284e-08,5.144392e-08,5.141229e-08,5.127857e-08,5.126775e-08,5.114195e-08,5.108653e-08,5.100264e-08,5.090081e-08,5.086088e-08,5.071688e-08,5.071108e-08,5.057085e-08,5.051781e-08,5.042297e-08,5.032146e-08,5.027344e-08,5.012241e-08,4.992107e-08,4.971779e-08,4.951290e-08,4.930672e-08,4.909952e-08,4.889160e-08,4.868319e-08,4.847454e-08,4.826585e-08,4.805734e-08,4.784918e-08,4.764155e-08,4.743461e-08,4.722851e-08,4.702339e-08,4.681937e-08,4.661657e-08,4.641509e-08,4.621503e-08,4.601649e-08,4.581954e-08,4.562425e-08,4.543070e-08,4.523895e-08
0.000000e+00,8.019674e-11,1.851111e-10,6.424564e-10,1.469383e-09,2.149128e-09,4.908435e-09,5.057628e-09,9.854223e-09,1.160822e-08,1.708488e-08,2.284326e-08,2.735642e-08,3.998749e-08,4.124092e-08,5.902598e-08,6.386248e-08,8.051754e-08,9.398468e-08,1.052050e-07,1.291501e-07,1.325578e-07,1.621396e-07,1.682910e-07,1.935925e-07,2.105818e-07,2.266007e-07,2.553116e-07,2.608668e-07,2.961027e-07,3.018117e-07,3.320288e-07,3.494390e-07,3.683763e-07,3.975869e-07,4.048919e-07,4.413417e-07,4.457009e-07,4.775141e-07,4.932929e-07,5.132219e-07,5.399485e-07,5.483031e-07,5.826200e-07,5.853287e-07,6.160587e-07,6.291671e-07,6.485277e-07,6.712634e-07,6.799544e-07,7.102841e-07,7.114739e-07,7.394783e-07,7.497049e-07,7.675113e-07,7.859030e-07,7.943693e-07,8.200481e-07,8.445516e-07,8.521460e-07,8.678904e-07,8.822232e-07,8.900805e-07,9.103213e-07,9.111424e-07,9.310998e-07,9.364936e-07,9.499796e-07,9.608021e-07,9.678104e-07,9.833143e-07,9.846225e-07,1.000447e-06,1.004101e-06,1.015315e-06,1.023236e-06,1.029260e-06,1.040793e-06,1.042313e-06,1.054508e-06,1.056846e-06,1.065875e-06,1.071469e-06,1.076446e-06,1.084735e-06,1.086254e-06,1.095327e-06,1.096713e-06,1.103696e-06,1.107472e-06,1.111391e-06,1.117080e-06,1.118440e-06,1.124870e-06,1.125602e-06,1.130709e-06,1.133098e-06,1.135983e-06,1.139629e-06,1.140718e-06,1.144937e-06,1.145253e-06,1.148665e-06,1.150024e-06,1.151925e-06,1.153996e-06,1.154740e-06,1.157131e-06,1.157218e-06,1.159118e-06,1.159738e-06,1.160722e-06,1.161603e-06,1.161961e-06,1.162856e-06,1.163423e-06,1.163538e-06,1.163680e-06,1.163689e-06,1.163643e-06,1.163346e-06,1.163329e-06,1.162752e-06,1.162545e-06,1.161927e-06,1.161319e-06,1.160869e-06,1.159701e-06,1.159591e-06,1.158105e-06,1.157720e-06,1.156425e-06,1.155404e-06,1.154563e-06,1.152781e-06,1.152529e-06,1.150334e-06,1.149877e-06,1.147990e-06,1.146714e-06,1.145505e-06,1.143317e-06,1.142890e-06,1.140154e-06,1.139705e-06,1.137305e-06,1.135900e-06,1.134352e-06,1.131920e-06,1.131303e-06,1.128165e-06,1.127782e-06,1.124945e-06,1.123504e-06,1.121651e-06,1.119102e-06,1.118289e-06,1.114865e-06,1.114589e-06,1.111385e-06,1.109979e-06,1.107856e-06,1.105286e-06,1.104281e-06,1.100667e-06,1.100521e-06,1.097018e-06,1.095697e-06,1.093339e-06,1.090822e-06,1.089634e-06,1.085907e-06,1.080962e-06,1.075994e-06,1.071012e-06,1.066023e-06,1.061033e-06,1.056050e-06,1.051078e-06,1.046124e-06,1.041192e-06,1.036287e-06,1.031412e-06,1.026573e-06,1.021771e-06,1.017012e-06,1.012296e-06,1.007628e-06,1.003009e-06,9.984422e-07,9.939283e-07,9.894697e-07,9.850676e-07,9.807235e-07,9.764384e-07,9.722134e-07
0.000000e+00,3.102271e-12,7.094728e-12,2.438688e-11,5.558603e-11,8.126567e-11,1.861644e-10,1.918700e-10,3.772190e-10,4.458996e-10,6.632616e-10,8.962556e-10,1.081875e-09,1.615086e-09,1.669111e-09,2.457909e-09,2.679560e-09,3.464255e-09,4.119169e-09,4.675040e-09,5.879325e-09,6.051719e-09,7.547453e-09,7.857090e-09,9.121077e-09,9.959385e-09,1.074130e-08,1.212144e-08,1.238533e-08,1.403631e-08,1.430020e-08,1.568123e-08,1.646550e-08,1.730965e-08,1.859461e-08,1.891288e-08,2.048361e-08,2.066961e-08,2.201569e-08,2.267620e-08,2.350399e-08,2.460324e-08,2.494438e-08,2.633353e-08,2.644237e-08,2.766895e-08,2.818766e-08,2.894890e-08,2.983548e-08,3.017229e-08,3.133862e-08,3.138409e-08,3.244790e-08,3.283334e-08,3.350054e-08,3.418439e-08,3.449736e-08,3.543941e-08,3.632802e-08,3.660133e-08,3.716469e-08,3.767364e-08,3.795104e-08,3.866019e-08,3.868879e-08,3.937972e-08,3.956504e-08,4.002567e-08,4.039240e-08,4.062845e-08,4.114647e-08,4.118991e-08,4.171184e-08,4.183142e-08,4.219604e-08,4.245135e-08,4.264423e-08,4.301022e-08,4.305813e-08,4.343938e-08,4.351185e-08,4.378957e-08,4.395991e-08,4.411025e-08,4.435790e-08,4.440289e-08,4.466893e-08,4.470912e-08,4.490974e-08,4.501675e-08,4.512662e-08,4.528375e-08,4.532084e-08,4.549360e-08,4.551295e-08,4.564606e-08,4.570699e-08,4.577930e-08,4.586837e-08,4.589439e-08,4.599232e-08,4.599944e-08,4.607404e-08,4.610240e-08,4.614047e-08,4.617932e-08,4.619247e-08,4.623087e-08,4.623214e-08,4.625645e-08,4.626267e-08,4.626997e-08,4.627263e-08,4.627212e-08,4.626360e-08,4.624504e-08,4.623708e-08,4.621704e-08,4.619445e-08,4.618021e-08,4.613703e-08,4.613507e-08,4.608217e-08,4.606603e-08,4.602199e-08,4.598259e-08,4.595501e-08,4.588778e-08,4.588169e-08,4.580243e-08,4.578257e-08,4.571765e-08,4.566791e-08,4.562774e-08,4.554465e-08,4.553305e-08,4.543393e-08,4.541360e-08,4.533071e-08,4.527551e-08,4.522369e-08,4.513108e-08,4.511317e-08,4.499944e-08,4.498096e-08,4.488274e-08,4.482575e-08,4.476334e-08,4.466602e-08,4.464146e-08,4.451734e-08,4.450230e-08,4.439118e-08,4.433507e-08,4.426318e-08,4.416479e-08,4.413354e-08,4.400243e-08,4.399189e-08,4.387003e-08,4.381674e-08,4.373649e-08,4.363972e-08,4.360196e-08,4.346659e-08,4.346116e-08,4.333051e-08,4.328138e-08,4.319385e-08,4.310066e-08,4.305674e-08,4.291927e-08,4.273747e-08,4.255548e-08,4.237351e-08,4.219176e-08,4.201041e-08,4.182962e-08,4.164956e-08,4.147035e-08,4.129212e-08,4.111500e-08,4.093910e-08,4.076450e-08,4.059130e-08,4.041957e-08,4.024940e-08,4.008085e-08,3.991398e-08,3.974883e-08,3.958547e-08,3.942392e-08,3.926423e-08,3.910643e-08,3.895055e-08,3.879660e-08
0.000000e+00,8.826100e-10,2.529377e-09,1.188995e-08,3.275338e-08,5.194472e-08,1.402181e-07,1.453320e-07,3.222370e-07,3.917321e-07,6.205754e-07,8.748854e-07,1.080116e-06,1.665520e-06,1.723889e-06,2.550773e-06,2.775156e-06,3.548569e-06,4.177361e-06,4.705172e-06,5.846811e-06,6.011149e-06,7.458634e-06,7.764436e-06,9.039790e-06,9.911942e-06,1.074579e-05,1.226785e-05,1.256637e-05,1.448985e-05,1.480630e-05,1.650329e-05,1.749768e-05,1.859295e-05,2.031003e-05,2.074464e-05,2.294419e-05,2.321069e-05,2.517775e-05,2.616788e-05,2.743217e-05,2.915187e-05,2.969515e-05,3.195546e-05,3.213586e-05,3.420302e-05,3.509643e-05,3.642889e-05,3.801369e-05,3.862531e-05,4.078565e-05,4.087123e-05,4.290431e-05,4.365591e-05,4.497667e-05,4.635747e-05,4.699896e-05,4.896821e-05,5.088214e-05,5.148262e-05,5.273906e-05,5.389701e-05,5.453779e-05,5.620915e-05,5.627761e-05,5.795816e-05,5.841809e-05,5.957942e-05,6.052380e-05,6.114161e-05,6.252706e-05,6.264521e-05,6.409084e-05,6.442925e-05,6.547930e-05,6.623221e-05,6.681152e-05,6.793814e-05,6.808850e-05,6.931135e-05,6.954953e-05,7.048123e-05,7.106902e-05,7.159933e-05,7.249944e-05,7.266691e-05,7.368523e-05,7.384368e-05,7.465557e-05,7.510468e-05,7.557923e-05,7.628542e-05,7.645750e-05,7.729168e-05,7.738888e-05,7.808306e-05,7.841804e-05,7.883291e-05,7.937581e-05,7.954251e-05,8.021310e-05,8.026510e-05,8.084592e-05,8.108875e-05,8.144219e-05,8.184953e-05,8.200309e-05,8.252981e-05,8.255018e-05,8.302349e-05,8.319335e-05,8.348526e-05,8.378161e-05,8.391623e-05,8.431748e-05,8.469005e-05,8.480339e-05,8.503499e-05,8.524171e-05,8.535329e-05,8.563472e-05,8.564594e-05,8.591389e-05,8.598462e-05,8.615808e-05,8.629356e-05,8.637940e-05,8.656358e-05,8.657873e-05,8.675695e-05,8.679667e-05,8.691487e-05,8.699474e-05,8.705331e-05,8.715964e-05,8.717305e-05,8.727486e-05,8.729313e-05,8.735947e-05,8.739692e-05,8.742761e-05,8.747263e-05,8.747997e-05,8.751723e-05,8.752183e-05,8.754003e-05,8.754604e-05,8.754902e-05,8.754668e-05,8.754481e-05,8.752798e-05,8.752515e-05,8.749912e-05,8.748276e-05,8.745878e-05,8.742078e-05,8.740750e-05,8.734580e-05,8.734043e-05,8.727417e-05,8.724285e-05,8.719311e-05,8.712917e-05,8.710309e-05,8.700455e-05,8.700044e-05,8.689793e-05,8.685766e-05,8.678367e-05,8.670180e-05,8.666215e-05,8.653378e-05,8.635447e-05,8.616472e-05,8.596531e-05,8.575699e-05,8.554050e-05,8.531651e-05,8.508568e-05,8.484861e-05,8.460591e-05,8.435812e-05,8.410577e-05,8.384936e-05,8.358937e-05,8.332624e-05,8.306040e-05,8.279225e-05,8.252217e-05,8.225051e-05,8.197762e-05,8.170380e-05,8.142936e-05,8.115459e-05,8.087974e-05,8.060506e-05
0.000000e+00,7.494008e-09,2.225013e-08,1.119154e-07,3.254991e-07,5.300925e-07,1.513984e-06,1.572186e-06,3.614218e-06,4.422087e-06,7.081478e-06,1.003702e-05,1.243587e-05,1.944165e-05,2.015774e-05,3.071083e-05,3.371042e-05,4.448024e-05,5.368819e-05,6.168922e-05,7.967922e-05,8.233154e-05,1.061658e-04,1.112810e-04,1.327729e-04,1.475347e-04,1.616358e-04,1.872222e-04,1.922056e-04,2.239445e-04,2.290971e-04,2.563514e-04,2.720095e-04,2.889753e-04,3.149629e-04,3.214206e-04,3.533499e-04,3.571328e-04,3.844820e-04,3.978673e-04,4.145898e-04,4.366757e-04,4.434957e-04,4.710670e-04,4.732120e-04,4.972108e-04,5.072544e-04,5.218685e-04,5.386842e-04,5.450106e-04,5.666321e-04,5.674654e-04,5.867477e-04,5.936262e-04,6.053882e-04,6.172426e-04,6.225964e-04,6.384248e-04,6.529321e-04,6.573058e-04,6.661820e-04,6.740324e-04,6.782404e-04,6.887580e-04,6.891746e-04,6.990520e-04,7.016374e-04,7.079389e-04,7.128227e-04,7.159001e-04,7.224606e-04,7.229981e-04,7.292929e-04,7.306906e-04,7.348418e-04,7.376437e-04,7.396990e-04,7.434420e-04,7.439158e-04,7.475404e-04,7.481983e-04,7.506179e-04,7.520162e-04,7.531907e-04,7.549907e-04,7.552982e-04,7.569770e-04,7.572082e-04,7.582614e-04,7.587472e-04,7.591830e-04,7.596789e-04,7.597712e-04,7.600532e-04,7.600677e-04,7.600542e-04,7.599716e-04,7.597974e-04,7.594432e-04,7.593044e-04,7.585952e-04,7.585296e-04,7.576879e-04,7.572735e-04,7.565998e-04,7.557131e-04,7.553463e-04,7.539420e-04,7.538829e-04,7.524003e-04,7.518140e-04,7.507335e-04,7.495344e-04,7.489529e-04,7.470693e-04,7.450921e-04,7.444412e-04,7.430306e-04,7.416708e-04,7.408930e-04,7.387764e-04,7.386869e-04,7.364196e-04,7.357747e-04,7.340976e-04,7.326807e-04,7.317270e-04,7.295080e-04,7.293135e-04,7.268623e-04,7.262690e-04,7.243783e-04,7.229745e-04,7.218659e-04,7.196348e-04,7.193293e-04,7.167724e-04,7.162589e-04,7.141987e-04,7.128549e-04,7.116116e-04,7.094303e-04,7.090142e-04,7.064092e-04,7.059919e-04,7.037994e-04,7.025457e-04,7.011872e-04,6.990973e-04,6.985749e-04,6.959646e-04,6.956516e-04,6.933583e-04,6.922132e-04,6.907577e-04,6.887862e-04,6.881646e-04,6.855805e-04,6.853742e-04,6.830068e-04,6.819806e-04,6.804450e-04,6.786084e-04,6.778961e-04,6.753614e-04,6.752603e-04,6.728418e-04,6.719387e-04,6.703384e-04,6.686458e-04,6.678521e-04,6.653836e-04,6.621538e-04,6.589580e-04,6.557975e-04,6.526735e-04,6.495871e-04,6.465392e-04,6.435306e-04,6.405620e-04,6.376340e-04,6.347470e-04,6.319014e-04,6.290975e-04,6.263356e-04,6.236157e-04,6.209380e-04,6.183025e-04,6.157092e-04,6.131580e-04,6.106487e-04,6.081813e-04,6.057554e-04,6.033709e-04,6.010275e-04,5.987249e-04
0.000000e+00,7.627089e-10,2.224829e-09,1.078377e-08,3.030700e-08,4.842382e-08,1.315200e-07,1.362925e-07,2.975802e-07,3.589366e-07,5.542868e-07,7.625752e-07,9.265499e-07,1.386540e-06,1.432282e-06,2.086036e-06,2.266068e-06,2.896065e-06,3.417779e-06,3.860689e-06,4.827777e-06,4.967480e-06,6.196279e-06,6.454610e-06,7.523286e-06,8.244000e-06,8.924048e-06,1.014040e-05,1.037500e-05,1.185413e-05,1.209203e-05,1.334121e-05,1.405238e-05,1.481791e-05,1.598072e-05,1.626784e-05,1.767666e-05,1.784235e-05,1.903212e-05,1.960895e-05,2.032416e-05,2.125872e-05,2.154482e-05,2.268828e-05,2.277630e-05,2.375068e-05,2.415242e-05,2.472995e-05,2.538327e-05,2.562569e-05,2.643885e-05,2.646969e-05,2.717156e-05,2.741620e-05,2.782686e-05,2.823014e-05,2.840851e-05,2.892074e-05,2.936812e-05,2.949835e-05,2.975536e-05,2.997384e-05,3.008722e-05,3.035805e-05,3.036838e-05,3.060337e-05,3.066149e-05,3.079650e-05,3.089399e-05,3.095184e-05,3.106463e-05,3.107317e-05,3.116400e-05,3.118163e-05,3.122755e-05,3.125232e-05,3.126673e-05,3.128318e-05,3.128421e-05,3.128237e-05,3.127988e-05,3.126336e-05,3.124735e-05,3.122913e-05,3.118986e-05,3.118138e-05,3.112165e-05,3.111108e-05,3.105133e-05,3.101418e-05,3.097163e-05,3.090186e-05,3.088364e-05,3.078834e-05,3.077645e-05,3.068658e-05,3.063997e-05,3.057914e-05,3.049412e-05,3.046672e-05,3.034991e-05,3.034040e-05,3.022929e-05,3.018009e-05,3.010534e-05,3.001429e-05,2.997852e-05,2.984921e-05,2.984399e-05,2.971779e-05,2.967003e-05,2.958459e-05,2.949314e-05,2.944989e-05,2.931398e-05,2.917709e-05,2.913311e-05,2.903944e-05,2.895105e-05,2.890125e-05,2.876824e-05,2.876269e-05,2.862394e-05,2.858507e-05,2.848514e-05,2.840190e-05,2.834645e-05,2.821905e-05,2.820798e-05,2.806986e-05,2.803678e-05,2.793220e-05,2.785534e-05,2.779509e-05,2.767496e-05,2.765862e-05,2.752289e-05,2.749583e-05,2.738795e-05,2.731813e-05,2.725389e-05,2.714200e-05,2.712077e-05,2.698863e-05,2.696759e-05,2.685754e-05,2.679500e-05,2.672754e-05,2.662436e-05,2.659868e-05,2.647098e-05,2.645574e-05,2.634449e-05,2.628923e-05,2.621924e-05,2.612489e-05,2.609525e-05,2.597255e-05,2.596279e-05,2.585116e-05,2.580297e-05,2.573110e-05,2.564548e-05,2.561238e-05,2.549502e-05,2.549035e-05,2.537903e-05,2.533760e-05,2.526441e-05,2.518727e-05,2.515118e-05,2.503935e-05,2.489386e-05,2.475081e-05,2.461020e-05,2.447202e-05,2.433627e-05,2.420294e-05,2.407202e-05,2.394348e-05,2.381732e-05,2.369351e-05,2.357204e-05,2.345287e-05,2.333599e-05,2.322137e-05,2.310898e-05,2.299879e-05,2.289078e-05,2.278491e-05,2.268116e-05,2.257948e-05,2.247987e-05,2.238227e-05,2.228666e-05,2.219301e-05
0.000000e+00,1.058124e-10,2.433086e-10,8.382539e-10,1.904518e-09,2.775234e-09,6.275373e-09,6.463392e-09,1.245935e-08,1.463232e-08,2.136437e-08,2.836980e-08,3.381508e-08,4.887013e-08,5.035066e-08,7.114416e-08,7.674108e-08,9.587832e-08,1.112347e-07,1.239684e-07,1.509963e-07,1.548285e-07,1.879603e-07,1.948208e-07,2.229378e-07,2.417270e-07,2.593766e-07,2.908481e-07,2.969131e-07,3.351966e-07,3.413685e-07,3.738895e-07,3.925123e-07,4.126703e-07,4.435560e-07,4.512393e-07,4.893232e-07,4.938487e-07,5.266787e-07,5.428289e-07,5.630953e-07,5.900339e-07,5.983961e-07,6.324366e-07,6.351019e-07,6.651040e-07,6.777668e-07,6.963150e-07,7.178526e-07,7.260135e-07,7.541664e-07,7.552602e-07,7.807609e-07,7.899537e-07,8.058016e-07,8.219520e-07,8.293093e-07,8.513119e-07,8.718466e-07,8.781153e-07,8.909608e-07,9.024715e-07,9.087049e-07,9.245011e-07,9.251337e-07,9.403046e-07,9.443350e-07,9.542760e-07,9.621074e-07,9.671062e-07,9.779517e-07,9.788529e-07,9.895735e-07,9.920000e-07,9.993240e-07,1.004381e-06,1.008159e-06,1.015217e-06,1.016130e-06,1.023288e-06,1.024627e-06,1.029682e-06,1.032720e-06,1.035357e-06,1.039602e-06,1.040358e-06,1.044727e-06,1.045370e-06,1.048502e-06,1.050115e-06,1.051722e-06,1.053922e-06,1.054422e-06,1.056636e-06,1.056870e-06,1.058395e-06,1.059033e-06,1.059730e-06,1.060479e-06,1.060669e-06,1.061238e-06,1.061269e-06,1.061463e-06,1.061462e-06,1.061367e-06,1.061112e-06,1.060973e-06,1.060300e-06,1.060268e-06,1.059370e-06,1.058975e-06,1.058199e-06,1.057276e-06,1.056807e-06,1.055209e-06,1.053420e-06,1.052810e-06,1.051455e-06,1.050111e-06,1.049328e-06,1.047144e-06,1.047050e-06,1.044635e-06,1.043935e-06,1.042093e-06,1.040511e-06,1.039435e-06,1.036895e-06,1.036670e-06,1.033809e-06,1.033109e-06,1.030859e-06,1.029172e-06,1.027829e-06,1.025103e-06,1.024727e-06,1.021559e-06,1.020919e-06,1.018333e-06,1.016635e-06,1.015055e-06,1.012265e-06,1.011731e-06,1.008365e-06,1.007824e-06,1.004965e-06,1.003321e-06,1.001533e-06,9.987695e-07,9.980761e-07,9.945971e-07,9.941784e-07,9.911003e-07,9.895571e-07,9.875896e-07,9.849142e-07,9.840684e-07,9.805400e-07,9.802575e-07,9.770074e-07,9.755939e-07,9.734737e-07,9.709301e-07,9.699413e-07,9.664129e-07,9.662719e-07,9.628908e-07,9.616247e-07,9.593770e-07,9.569935e-07,9.558737e-07,9.523828e-07,9.477966e-07,9.432386e-07,9.387122e-07,9.342203e-07,9.297658e-07,9.253511e-07,9.209784e-07,9.166496e-07,9.123665e-07,9.081307e-07,9.039435e-07,8.998060e-07,8.957194e-07,8.916845e-07,8.877020e-07,8.837725e-07,8.798967e-07,8.760748e-07,8.723072e-07,8.685942e-07,8.649359e-07,8.613322e-07,8.577832e-07,8.542890e-07
0.000000e+00,3.926393e-11,8.999134e-11,3.104621e-10,7.107973e-10,1.042639e-09,2.418333e-09,2.494023e-09,4.993812e-09,5.937304e-09,8.966891e-09,1.225845e-08,1.488948e-08,2.235438e-08,2.309648e-08,3.352048e-08,3.630640e-08,4.571519e-08,5.311887e-08,5.915798e-08,7.169187e-08,7.343959e-08,8.827451e-08,9.128890e-08,1.034581e-07,1.114375e-07,1.188319e-07,1.317962e-07,1.342645e-07,1.496423e-07,1.520909e-07,1.648665e-07,1.720938e-07,1.798511e-07,1.916172e-07,1.945236e-07,2.088236e-07,2.105122e-07,2.227027e-07,2.286661e-07,2.361233e-07,2.459992e-07,2.490581e-07,2.614881e-07,2.624603e-07,2.734012e-07,2.780206e-07,2.847927e-07,2.926710e-07,2.956618e-07,3.060125e-07,3.064158e-07,3.158518e-07,3.192705e-07,3.251893e-07,3.312582e-07,3.340370e-07,3.424081e-07,3.503170e-07,3.527526e-07,3.577784e-07,3.623260e-07,3.648078e-07,3.711641e-07,3.714208e-07,3.776331e-07,3.793029e-07,3.834602e-07,3.867781e-07,3.889177e-07,3.936250e-07,3.940206e-07,3.987838e-07,3.998780e-07,4.032217e-07,4.055703e-07,4.073487e-07,4.107339e-07,4.111782e-07,4.147236e-07,4.153997e-07,4.179977e-07,4.195972e-07,4.210130e-07,4.233545e-07,4.237814e-07,4.263144e-07,4.266986e-07,4.286231e-07,4.296548e-07,4.307182e-07,4.322475e-07,4.326100e-07,4.343084e-07,4.344996e-07,4.358227e-07,4.364331e-07,4.371621e-07,4.380684e-07,4.383352e-07,4.393505e-07,4.394252e-07,4.402159e-07,4.405218e-07,4.409390e-07,4.413757e-07,4.415272e-07,4.419875e-07,4.420033e-07,4.423265e-07,4.424202e-07,4.425508e-07,4.426409e-07,4.426664e-07,4.426792e-07,4.425947e-07,4.425480e-07,4.424184e-07,4.422597e-07,4.421553e-07,4.418256e-07,4.418103e-07,4.413880e-07,4.412566e-07,4.408930e-07,4.405628e-07,4.403294e-07,4.397538e-07,4.397013e-07,4.390125e-07,4.388386e-07,4.382667e-07,4.378255e-07,4.374675e-07,4.367226e-07,4.366181e-07,4.357218e-07,4.355371e-07,4.347815e-07,4.342762e-07,4.338003e-07,4.329463e-07,4.327807e-07,4.317256e-07,4.315536e-07,4.306373e-07,4.301038e-07,4.295182e-07,4.286023e-07,4.283706e-07,4.271967e-07,4.270542e-07,4.259986e-07,4.254642e-07,4.247781e-07,4.238367e-07,4.235371e-07,4.222774e-07,4.221758e-07,4.210006e-07,4.204855e-07,4.197085e-07,4.187694e-07,4.184024e-07,4.170838e-07,4.170308e-07,4.157541e-07,4.152729e-07,4.144146e-07,4.134988e-07,4.130665e-07,4.117110e-07,4.099123e-07,4.081051e-07,4.062915e-07,4.044736e-07,4.026535e-07,4.008328e-07,3.990132e-07,3.971964e-07,3.953838e-07,3.935766e-07,3.917762e-07,3.899836e-07,3.882000e-07,3.864263e-07,3.846635e-07,3.829122e-07,3.811734e-07,3.794476e-07,3.777356e-07,3.760378e-07,3.743548e-07,3.726872e-07,3.710352e-07,3.693994e-07
0.000000e+00,2.533785e-09,7.403543e-09,3.604257e-08,1.018218e-07,1.632431e-07,4.482320e-07,4.647360e-07,1.029500e-06,1.247517e-06,1.951709e-06,2.717650e-06,3.330485e-06,5.090247e-06,5.268199e-06,7.860554e-06,8.588506e-06,1.117391e-05,1.335162e-05,1.522113e-05,1.935549e-05,1.995775e-05,2.530001e-05,2.643237e-05,3.114714e-05,3.435292e-05,3.739646e-05,4.288509e-05,4.395037e-05,5.071849e-05,5.181562e-05,5.761777e-05,6.095338e-05,6.457197e-05,7.012775e-05,7.151128e-05,7.837220e-05,7.918746e-05,8.509768e-05,8.800075e-05,9.163734e-05,9.645621e-05,9.794774e-05,1.039924e-04,1.044636e-04,1.097419e-04,1.119537e-04,1.151733e-04,1.188776e-04,1.202703e-04,1.250224e-04,1.252052e-04,1.294244e-04,1.309232e-04,1.334758e-04,1.360323e-04,1.371803e-04,1.405447e-04,1.435788e-04,1.444819e-04,1.462946e-04,1.478719e-04,1.487057e-04,1.507475e-04,1.508270e-04,1.526742e-04,1.531445e-04,1.542634e-04,1.550998e-04,1.556108e-04,1.566506e-04,1.567324e-04,1.576442e-04,1.578335e-04,1.583615e-04,1.586837e-04,1.588991e-04,1.592348e-04,1.592711e-04,1.594912e-04,1.595181e-04,1.595720e-04,1.595630e-04,1.595256e-04,1.593966e-04,1.593633e-04,1.590956e-04,1.590436e-04,1.587324e-04,1.585268e-04,1.582828e-04,1.578668e-04,1.577555e-04,1.571581e-04,1.570821e-04,1.564982e-04,1.561897e-04,1.557823e-04,1.552047e-04,1.550168e-04,1.542073e-04,1.541408e-04,1.533591e-04,1.530101e-04,1.524770e-04,1.518235e-04,1.515655e-04,1.506287e-04,1.505907e-04,1.496702e-04,1.493205e-04,1.486935e-04,1.480206e-04,1.477018e-04,1.466977e-04,1.456841e-04,1.453581e-04,1.446631e-04,1.440069e-04,1.436371e-04,1.426491e-04,1.426079e-04,1.415773e-04,1.412887e-04,1.405470e-04,1.399295e-04,1.395183e-04,1.385746e-04,1.384927e-04,1.374714e-04,1.372270e-04,1.364553e-04,1.358889e-04,1.354454e-04,1.345627e-04,1.344428e-04,1.334480e-04,1.332500e-04,1.324618e-04,1.319526e-04,1.314848e-04,1.306717e-04,1.305176e-04,1.295606e-04,1.294085e-04,1.286143e-04,1.281639e-04,1.276789e-04,1.269388e-04,1.267549e-04,1.258425e-04,1.257338e-04,1.249419e-04,1.245494e-04,1.240533e-04,1.233860e-04,1.231768e-04,1.223126e-04,1.222440e-04,1.214607e-04,1.211234e-04,1.206213e-04,1.200246e-04,1.197943e-04,1.189798e-04,1.189475e-04,1.181777e-04,1.178920e-04,1.173881e-04,1.168583e-04,1.166110e-04,1.158461e-04,1.148554e-04,1.138858e-04,1.129373e-04,1.120095e-04,1.111023e-04,1.102152e-04,1.093481e-04,1.085006e-04,1.076723e-04,1.068629e-04,1.060721e-04,1.052995e-04,1.045448e-04,1.038076e-04,1.030875e-04,1.023841e-04,1.016972e-04,1.010264e-04,1.003712e-04,9.973132e-05,9.910645e-05,9.849622e-05,9.790026e-05,9.731826e-05
0.000000e+00,1.010397e-10,2.347070e-10,8.240969e-10,1.910637e-09,2.821944e-09,6.676092e-09,6.891199e-09,1.413697e-08,1.693082e-08,2.604938e-08,3.609444e-08,4.414181e-08,6.673848e-08,6.895786e-08,9.967846e-08,1.077846e-07,1.350282e-07,1.564562e-07,1.740024e-07,2.107630e-07,2.159345e-07,2.603639e-07,2.695164e-07,3.069251e-07,3.318691e-07,3.552872e-07,3.970649e-07,4.051245e-07,4.561077e-07,4.643490e-07,5.079031e-07,5.329559e-07,5.601798e-07,6.021324e-07,6.126182e-07,6.649156e-07,6.711683e-07,7.167920e-07,7.394182e-07,7.679950e-07,8.063208e-07,8.183019e-07,8.675209e-07,8.714064e-07,9.154907e-07,9.342984e-07,9.620796e-07,9.947089e-07,1.007183e-06,1.050722e-06,1.052430e-06,1.092639e-06,1.107324e-06,1.132896e-06,1.159312e-06,1.171474e-06,1.208365e-06,1.243576e-06,1.254492e-06,1.277124e-06,1.297732e-06,1.309031e-06,1.338149e-06,1.339330e-06,1.368056e-06,1.375822e-06,1.395248e-06,1.410845e-06,1.420950e-06,1.443319e-06,1.445208e-06,1.468066e-06,1.473349e-06,1.489573e-06,1.501045e-06,1.509777e-06,1.526516e-06,1.528725e-06,1.546465e-06,1.549872e-06,1.563042e-06,1.571219e-06,1.578505e-06,1.590664e-06,1.592897e-06,1.606262e-06,1.608309e-06,1.618645e-06,1.624252e-06,1.630087e-06,1.638590e-06,1.640628e-06,1.650308e-06,1.651414e-06,1.659165e-06,1.662812e-06,1.667237e-06,1.672868e-06,1.674558e-06,1.681164e-06,1.681662e-06,1.687087e-06,1.689272e-06,1.692359e-06,1.695770e-06,1.697012e-06,1.701074e-06,1.701225e-06,1.704575e-06,1.705703e-06,1.707542e-06,1.709268e-06,1.710001e-06,1.711977e-06,1.713495e-06,1.713888e-06,1.714578e-06,1.715054e-06,1.715249e-06,1.715524e-06,1.715528e-06,1.715436e-06,1.715347e-06,1.714994e-06,1.714568e-06,1.714219e-06,1.713229e-06,1.713130e-06,1.711745e-06,1.711370e-06,1.710079e-06,1.709030e-06,1.708149e-06,1.706243e-06,1.705969e-06,1.703555e-06,1.703045e-06,1.700920e-06,1.699467e-06,1.698077e-06,1.695538e-06,1.695039e-06,1.691818e-06,1.691287e-06,1.688426e-06,1.686740e-06,1.684874e-06,1.681923e-06,1.681171e-06,1.677330e-06,1.676860e-06,1.673358e-06,1.671571e-06,1.669265e-06,1.666078e-06,1.665059e-06,1.660750e-06,1.660401e-06,1.656345e-06,1.654558e-06,1.651852e-06,1.648566e-06,1.647278e-06,1.642629e-06,1.642442e-06,1.637913e-06,1.636199e-06,1.633135e-06,1.629854e-06,1.628301e-06,1.623418e-06,1.616905e-06,1.610325e-06,1.603691e-06,1.597012e-06,1.590297e-06,1.583556e-06,1.576797e-06,1.570027e-06,1.563254e-06,1.556485e-06,1.549725e-06,1.542980e-06,1.536256e-06,1.529557e-06,1.522889e-06,1.516256e-06,1.509660e-06,1.503107e-06,1.496599e-06,1.490139e-06,1.483730e-06,1.477374e-06,1.471075e-06,1.464834e-06
0.000000e+00,7.720110e-10,2.003794e-09,7.992065e-09,1.960014e-08,2.943440e-08,7.037660e-08,7.261527e-08,1.451280e-07,1.717748e-07,2.550741e-07,3.425919e-07,4.110483e-07,6.018525e-07,6.207258e-07,8.877014e-07,9.601475e-07,1.209623e-06,1.411673e-06,1.580383e-06,1.941702e-06,1.993264e-06,2.442183e-06,2.535801e-06,2.921655e-06,3.181330e-06,3.426502e-06,3.866483e-06,3.951669e-06,4.492179e-06,4.579758e-06,5.043180e-06,5.310011e-06,5.600020e-06,6.046753e-06,6.158338e-06,6.714138e-06,6.780491e-06,7.263848e-06,7.502970e-06,7.804346e-06,8.207309e-06,8.332971e-06,8.847513e-06,8.888012e-06,9.346192e-06,9.540899e-06,9.827621e-06,1.016298e-05,1.029077e-05,1.073492e-05,1.075229e-05,1.115961e-05,1.130769e-05,1.156461e-05,1.182875e-05,1.194990e-05,1.231559e-05,1.266194e-05,1.276875e-05,1.298931e-05,1.318907e-05,1.329814e-05,1.357763e-05,1.358892e-05,1.386220e-05,1.393566e-05,1.411856e-05,1.426449e-05,1.435858e-05,1.456552e-05,1.458290e-05,1.479212e-05,1.484016e-05,1.498687e-05,1.508982e-05,1.516773e-05,1.531590e-05,1.533533e-05,1.549025e-05,1.551976e-05,1.563306e-05,1.570272e-05,1.576432e-05,1.586606e-05,1.588459e-05,1.599437e-05,1.601100e-05,1.609418e-05,1.613870e-05,1.618452e-05,1.625028e-05,1.626585e-05,1.633864e-05,1.634682e-05,1.640331e-05,1.642930e-05,1.646029e-05,1.649870e-05,1.650998e-05,1.655278e-05,1.655591e-05,1.658904e-05,1.660179e-05,1.661912e-05,1.663715e-05,1.664337e-05,1.666210e-05,1.666274e-05,1.667563e-05,1.667929e-05,1.668426e-05,1.668746e-05,1.668825e-05,1.668789e-05,1.668343e-05,1.668118e-05,1.667511e-05,1.666788e-05,1.666318e-05,1.664852e-05,1.664785e-05,1.662933e-05,1.662360e-05,1.660782e-05,1.659357e-05,1.658352e-05,1.655886e-05,1.655662e-05,1.652728e-05,1.651989e-05,1.649566e-05,1.647703e-05,1.646194e-05,1.643063e-05,1.642625e-05,1.638874e-05,1.638103e-05,1.634954e-05,1.632853e-05,1.630878e-05,1.627343e-05,1.626659e-05,1.622307e-05,1.621599e-05,1.617834e-05,1.615646e-05,1.613249e-05,1.609509e-05,1.608564e-05,1.603787e-05,1.603208e-05,1.598927e-05,1.596764e-05,1.593992e-05,1.590196e-05,1.588990e-05,1.583930e-05,1.583522e-05,1.578816e-05,1.576758e-05,1.573658e-05,1.569919e-05,1.568460e-05,1.563229e-05,1.563019e-05,1.557970e-05,1.556071e-05,1.552689e-05,1.549087e-05,1.547390e-05,1.542079e-05,1.535057e-05,1.528030e-05,1.521007e-05,1.513996e-05,1.507005e-05,1.500041e-05,1.493109e-05,1.486216e-05,1.479367e-05,1.472566e-05,1.465819e-05,1.459128e-05,1.452498e-05,1.445931e-05,1.439431e-05,1.433000e-05,1.426641e-05,1.420355e-05,1.414145e-05,1.408012e-05,1.401957e-05,1.395981e-05,1.390085e-05,1.384271e-05
0.000000e+00,2.700600e-10,7.156939e-10,2.935236e-09,7.299102e-09,1.101121e-08,2.645273e-08,2.729478e-08,5.440372e-08,6.428536e-08,9.492877e-08,1.267931e-07,1.515469e-07,2.201791e-07,2.269635e-07,3.234485e-07,3.498829e-07,4.419122e-07,5.175096e-07,5.812241e-07,7.189031e-07,7.386402e-07,9.108801e-07,9.468286e-07,1.094861e-06,1.194266e-06,1.287898e-06,1.455320e-06,1.487640e-06,1.691970e-06,1.724957e-06,1.898943e-06,1.998692e-06,2.106747e-06,2.272454e-06,2.313701e-06,2.518267e-06,2.542588e-06,2.719064e-06,2.805899e-06,2.914871e-06,3.059700e-06,3.104647e-06,3.287530e-06,3.301841e-06,3.462832e-06,3.530708e-06,3.630033e-06,3.745192e-06,3.788769e-06,3.938818e-06,3.944638e-06,4.080081e-06,4.128784e-06,4.212567e-06,4.297691e-06,4.336375e-06,4.451680e-06,4.558719e-06,4.591270e-06,4.657772e-06,4.717119e-06,4.749154e-06,4.829978e-06,4.833204e-06,4.910277e-06,4.930657e-06,4.980736e-06,5.019987e-06,5.044942e-06,5.098800e-06,5.103257e-06,5.156034e-06,5.167914e-06,5.203615e-06,5.228116e-06,5.246333e-06,5.280153e-06,5.284504e-06,5.318431e-06,5.324733e-06,5.348402e-06,5.362514e-06,5.374689e-06,5.394111e-06,5.397549e-06,5.417223e-06,5.420090e-06,5.433938e-06,5.440973e-06,5.447907e-06,5.457239e-06,5.459329e-06,5.468389e-06,5.469326e-06,5.475262e-06,5.477634e-06,5.480108e-06,5.482529e-06,5.483078e-06,5.484314e-06,5.484342e-06,5.483947e-06,5.483378e-06,5.482097e-06,5.479911e-06,5.478878e-06,5.474396e-06,5.474191e-06,5.468748e-06,5.466447e-06,5.462027e-06,5.456886e-06,5.454316e-06,5.445696e-06,5.436239e-06,5.433047e-06,5.426014e-06,5.419096e-06,5.415084e-06,5.403984e-06,5.403510e-06,5.391346e-06,5.387841e-06,5.378643e-06,5.370784e-06,5.365451e-06,5.352919e-06,5.351812e-06,5.337769e-06,5.334343e-06,5.323362e-06,5.315147e-06,5.308624e-06,5.295410e-06,5.293592e-06,5.278295e-06,5.275207e-06,5.262764e-06,5.254605e-06,5.247026e-06,5.233665e-06,5.231106e-06,5.215029e-06,5.212443e-06,5.198816e-06,5.190991e-06,5.182488e-06,5.169356e-06,5.166064e-06,5.149563e-06,5.147579e-06,5.133002e-06,5.125700e-06,5.116396e-06,5.103754e-06,5.099760e-06,5.083107e-06,5.081775e-06,5.066451e-06,5.059791e-06,5.049804e-06,5.037829e-06,5.033176e-06,5.016577e-06,5.015914e-06,5.000018e-06,4.994069e-06,4.983508e-06,4.972313e-06,4.967055e-06,4.950666e-06,4.929143e-06,4.907761e-06,4.886534e-06,4.865472e-06,4.844589e-06,4.823894e-06,4.803396e-06,4.783103e-06,4.763022e-06,4.743161e-06,4.723523e-06,4.704116e-06,4.684942e-06,4.666005e-06,4.647309e-06,4.628857e-06,4.610650e-06,4.592690e-06,4.574978e-06,4.557516e-06,4.540304e-06,4.523342e-06,4.506631e-06,4.490169e-06
0.000000e+00,1.083943e-09,3.191214e-09,1.577810e-08,4.519081e-08,7.298434e-08,2.040331e-07,2.116926e-07,4.764318e-07,5.795718e-07,9.147733e-07,1.281581e-06,1.576045e-06,2.424404e-06,2.510373e-06,3.766871e-06,4.121448e-06,5.389484e-06,6.470663e-06,7.410077e-06,9.528216e-06,9.841619e-06,1.267616e-05,1.328945e-05,1.588855e-05,1.769659e-05,1.944263e-05,2.266157e-05,2.329655e-05,2.740644e-05,2.808484e-05,3.172851e-05,3.386593e-05,3.622028e-05,3.990862e-05,4.084130e-05,4.555362e-05,4.612354e-05,5.032215e-05,5.242975e-05,5.511488e-05,5.875569e-05,5.990300e-05,6.466101e-05,6.503966e-05,6.936662e-05,7.122980e-05,7.400069e-05,7.728374e-05,7.854706e-05,8.299235e-05,8.316790e-05,8.732571e-05,8.885660e-05,9.153856e-05,9.433106e-05,9.562437e-05,9.957840e-05,1.033974e-04,1.045907e-04,1.070796e-04,1.093640e-04,1.106242e-04,1.138976e-04,1.140313e-04,1.173019e-04,1.181934e-04,1.204377e-04,1.222553e-04,1.234408e-04,1.260886e-04,1.263137e-04,1.290594e-04,1.296998e-04,1.316810e-04,1.330960e-04,1.341817e-04,1.362852e-04,1.365651e-04,1.388347e-04,1.392753e-04,1.409941e-04,1.420747e-04,1.430470e-04,1.446917e-04,1.449969e-04,1.468476e-04,1.471347e-04,1.486025e-04,1.494118e-04,1.502652e-04,1.515313e-04,1.518391e-04,1.533277e-04,1.535008e-04,1.547343e-04,1.553281e-04,1.560621e-04,1.570205e-04,1.573143e-04,1.584940e-04,1.585853e-04,1.596040e-04,1.600292e-04,1.606475e-04,1.613590e-04,1.616270e-04,1.625454e-04,1.625809e-04,1.634053e-04,1.637011e-04,1.642093e-04,1.647253e-04,1.649597e-04,1.656591e-04,1.663096e-04,1.665078e-04,1.669134e-04,1.672764e-04,1.674728e-04,1.679698e-04,1.679897e-04,1.684661e-04,1.685925e-04,1.689040e-04,1.691489e-04,1.693051e-04,1.696432e-04,1.696712e-04,1.700041e-04,1.700792e-04,1.703053e-04,1.704607e-04,1.705763e-04,1.707912e-04,1.708188e-04,1.710341e-04,1.710741e-04,1.712237e-04,1.713125e-04,1.713887e-04,1.715094e-04,1.715306e-04,1.716506e-04,1.716678e-04,1.717497e-04,1.717902e-04,1.718291e-04,1.718793e-04,1.718900e-04,1.719332e-04,1.719373e-04,1.719599e-04,1.719666e-04,1.719709e-04,1.719694e-04,1.719672e-04,1.719496e-04,1.719476e-04,1.719189e-04,1.719031e-04,1.718759e-04,1.718378e-04,1.718214e-04,1.717561e-04,1.717533e-04,1.716806e-04,1.716511e-04,1.715957e-04,1.715329e-04,1.715020e-04,1.714000e-04,1.712537e-04,1.710952e-04,1.709258e-04,1.707465e-04,1.705583e-04,1.703622e-04,1.701591e-04,1.699498e-04,1.697351e-04,1.695157e-04,1.692923e-04,1.690656e-04,1.688362e-04,1.686045e-04,1.683712e-04,1.681366e-04,1.679012e-04,1.676655e-04,1.674298e-04,1.671944e-04,1.669597e-04,1.667259e-04,1.664934e-04,1.662624e-04
0.000000e+00,1.430594e-09,3.934755e-09,1.715334e-08,4.452321e-08,6.853731e-08,1.724250e-07,1.782289e-07,3.707009e-07,4.431833e-07,6.744928e-07,9.240625e-07,1.123297e-06,1.694172e-06,1.751708e-06,2.580438e-06,2.808767e-06,3.600098e-06,4.242177e-06,4.776584e-06,5.911017e-06,6.071567e-06,7.454235e-06,7.739184e-06,8.901914e-06,9.674476e-06,1.039715e-05,1.167906e-05,1.192518e-05,1.347261e-05,1.372114e-05,1.502674e-05,1.577155e-05,1.657555e-05,1.780312e-05,1.810771e-05,1.961284e-05,1.979118e-05,2.108161e-05,2.171421e-05,2.250589e-05,2.355431e-05,2.387880e-05,2.519476e-05,2.529744e-05,2.644943e-05,2.693339e-05,2.763964e-05,2.845546e-05,2.876330e-05,2.981927e-05,2.986010e-05,3.080726e-05,3.114635e-05,3.172765e-05,3.231537e-05,3.258141e-05,3.337007e-05,3.409555e-05,3.431471e-05,3.476003e-05,3.515439e-05,3.536592e-05,3.589482e-05,3.591577e-05,3.641227e-05,3.654208e-05,3.685800e-05,3.710218e-05,3.725564e-05,3.758136e-05,3.760794e-05,3.791749e-05,3.798571e-05,3.818687e-05,3.832112e-05,3.841859e-05,3.859321e-05,3.861499e-05,3.877837e-05,3.880728e-05,3.891092e-05,3.896835e-05,3.901472e-05,3.908116e-05,3.909177e-05,3.914395e-05,3.915011e-05,3.917304e-05,3.917930e-05,3.918072e-05,3.917253e-05,3.916860e-05,3.913816e-05,3.913334e-05,3.909081e-05,3.906498e-05,3.902790e-05,3.897044e-05,3.895066e-05,3.886026e-05,3.885250e-05,3.875781e-05,3.871369e-05,3.864433e-05,3.855634e-05,3.852079e-05,3.838808e-05,3.838260e-05,3.824707e-05,3.819442e-05,3.809852e-05,3.799359e-05,3.794319e-05,3.778175e-05,3.761486e-05,3.756040e-05,3.744311e-05,3.733091e-05,3.726707e-05,3.709450e-05,3.708724e-05,3.690413e-05,3.685233e-05,3.671817e-05,3.660541e-05,3.652979e-05,3.635468e-05,3.633938e-05,3.614729e-05,3.610098e-05,3.595387e-05,3.584509e-05,3.575943e-05,3.558771e-05,3.556425e-05,3.536861e-05,3.532945e-05,3.517274e-05,3.507088e-05,3.497688e-05,3.481252e-05,3.478124e-05,3.458601e-05,3.455483e-05,3.439137e-05,3.429820e-05,3.419749e-05,3.404302e-05,3.400450e-05,3.381256e-05,3.378960e-05,3.362178e-05,3.353824e-05,3.343229e-05,3.328920e-05,3.324418e-05,3.305755e-05,3.304269e-05,3.287250e-05,3.279893e-05,3.268908e-05,3.255808e-05,3.250738e-05,3.232746e-05,3.232030e-05,3.214938e-05,3.208572e-05,3.197317e-05,3.185445e-05,3.179889e-05,3.162658e-05,3.140219e-05,3.118134e-05,3.096408e-05,3.075046e-05,3.054049e-05,3.033420e-05,3.013160e-05,2.993268e-05,2.973745e-05,2.954589e-05,2.935798e-05,2.917370e-05,2.899302e-05,2.881591e-05,2.864233e-05,2.847225e-05,2.830563e-05,2.814242e-05,2.798257e-05,2.782604e-05,2.767279e-05,2.752275e-05,2.737589e-05,2.723214e-05
0.000000e+00,1.538442e-09,4.527384e-09,2.238743e-08,6.425888e-08,1.040273e-07,2.942148e-07,3.054649e-07,7.029087e-07,8.620567e-07,1.394485e-06,2.000867e-06,2.502877e-06,4.004442e-06,4.159879e-06,6.460776e-06,7.112301e-06,9.420344e-06,1.134425e-05,1.297604e-05,1.651566e-05,1.702351e-05,2.144815e-05,2.236861e-05,2.614181e-05,2.865654e-05,3.100884e-05,3.517046e-05,3.596681e-05,4.094545e-05,4.173982e-05,4.588506e-05,4.822708e-05,5.073524e-05,5.452243e-05,5.545388e-05,6.000645e-05,6.054023e-05,6.436541e-05,6.621635e-05,6.850960e-05,7.150597e-05,7.242379e-05,7.609805e-05,7.638144e-05,7.952718e-05,8.082982e-05,8.271005e-05,8.485044e-05,8.564901e-05,8.834923e-05,8.845237e-05,9.081817e-05,9.165209e-05,9.306497e-05,9.447116e-05,9.510002e-05,9.693460e-05,9.858041e-05,9.906914e-05,1.000493e-04,1.009021e-04,1.013532e-04,1.024605e-04,1.025038e-04,1.035122e-04,1.037706e-04,1.043893e-04,1.048570e-04,1.051456e-04,1.057429e-04,1.057906e-04,1.063336e-04,1.064497e-04,1.067831e-04,1.069970e-04,1.071471e-04,1.074026e-04,1.074330e-04,1.076474e-04,1.076823e-04,1.077968e-04,1.078508e-04,1.078870e-04,1.079208e-04,1.079231e-04,1.079102e-04,1.079039e-04,1.078527e-04,1.078104e-04,1.077546e-04,1.076495e-04,1.076198e-04,1.074516e-04,1.074293e-04,1.072532e-04,1.071571e-04,1.070275e-04,1.068394e-04,1.067772e-04,1.065045e-04,1.064818e-04,1.062118e-04,1.060896e-04,1.059010e-04,1.056672e-04,1.055741e-04,1.052326e-04,1.052187e-04,1.048782e-04,1.047478e-04,1.045123e-04,1.042576e-04,1.041362e-04,1.037511e-04,1.033580e-04,1.032308e-04,1.029581e-04,1.026990e-04,1.025522e-04,1.021578e-04,1.021413e-04,1.017260e-04,1.016090e-04,1.013071e-04,1.010543e-04,1.008853e-04,1.004952e-04,1.004612e-04,1.000354e-04,9.993297e-05,9.960832e-05,9.936882e-05,9.918053e-05,9.880381e-05,9.875244e-05,9.832446e-05,9.823891e-05,9.789696e-05,9.767497e-05,9.747029e-05,9.711277e-05,9.704477e-05,9.662068e-05,9.655298e-05,9.619830e-05,9.599623e-05,9.577787e-05,9.544308e-05,9.535961e-05,9.494373e-05,9.489400e-05,9.453043e-05,9.434944e-05,9.411987e-05,9.380978e-05,9.371222e-05,9.330761e-05,9.327538e-05,9.290619e-05,9.274654e-05,9.250806e-05,9.222352e-05,9.211334e-05,9.172213e-05,9.170656e-05,9.133451e-05,9.119586e-05,9.095056e-05,9.069161e-05,9.057036e-05,9.019396e-05,8.970302e-05,8.921892e-05,8.874175e-05,8.827156e-05,8.780842e-05,8.735238e-05,8.690345e-05,8.646165e-05,8.602700e-05,8.559947e-05,8.517907e-05,8.476576e-05,8.435951e-05,8.396029e-05,8.356805e-05,8.318275e-05,8.280432e-05,8.243272e-05,8.206787e-05,8.170971e-05,8.135817e-05,8.101318e-05,8.067465e-05,8.034252e-05
0.000000e+00,6.521972e-10,1.680567e-09,6.634799e-09,1.618838e-08,2.427762e-08,5.811347e-08,5.997366e-08,1.208804e-07,1.435833e-07,2.155976e-07,2.927493e-07,3.539504e-07,5.270434e-07,5.442812e-07,7.882422e-07,8.541345e-07,1.078924e-06,1.258096e-06,1.405584e-06,1.715028e-06,1.758498e-06,2.130214e-06,2.206289e-06,2.515022e-06,2.718720e-06,2.908262e-06,3.242140e-06,3.305907e-06,3.704369e-06,3.767978e-06,4.100421e-06,4.288817e-06,4.491203e-06,4.798344e-06,4.874220e-06,5.247358e-06,5.291384e-06,5.608875e-06,5.763895e-06,5.957398e-06,6.212938e-06,6.291894e-06,6.611627e-06,6.636552e-06,6.916133e-06,7.033612e-06,7.205174e-06,7.403677e-06,7.478706e-06,7.736849e-06,7.746858e-06,7.979851e-06,8.063680e-06,8.208022e-06,8.354914e-06,8.421772e-06,8.621558e-06,8.807890e-06,8.864760e-06,8.981294e-06,9.085737e-06,9.142310e-06,9.285739e-06,9.291486e-06,9.429366e-06,9.466022e-06,9.556489e-06,9.627821e-06,9.673385e-06,9.772337e-06,9.780566e-06,9.878534e-06,9.900729e-06,9.967771e-06,1.001410e-05,1.004874e-05,1.011351e-05,1.012189e-05,1.018766e-05,1.019996e-05,1.024644e-05,1.027437e-05,1.029863e-05,1.033765e-05,1.034460e-05,1.038471e-05,1.039061e-05,1.041930e-05,1.043404e-05,1.044869e-05,1.046867e-05,1.047319e-05,1.049308e-05,1.049518e-05,1.050865e-05,1.051420e-05,1.052015e-05,1.052633e-05,1.052784e-05,1.053194e-05,1.053212e-05,1.053269e-05,1.053210e-05,1.053029e-05,1.052672e-05,1.052494e-05,1.051683e-05,1.051646e-05,1.050615e-05,1.050171e-05,1.049306e-05,1.048286e-05,1.047772e-05,1.046028e-05,1.044089e-05,1.043430e-05,1.041968e-05,1.040522e-05,1.039679e-05,1.037333e-05,1.037232e-05,1.034641e-05,1.033890e-05,1.031914e-05,1.030218e-05,1.029064e-05,1.026340e-05,1.026098e-05,1.023028e-05,1.022276e-05,1.019860e-05,1.018046e-05,1.016603e-05,1.013670e-05,1.013265e-05,1.009853e-05,1.009162e-05,1.006374e-05,1.004540e-05,1.002834e-05,9.998181e-06,9.992396e-06,9.955960e-06,9.950088e-06,9.919088e-06,9.901250e-06,9.881831e-06,9.851780e-06,9.844236e-06,9.806348e-06,9.801784e-06,9.768210e-06,9.751360e-06,9.729861e-06,9.700598e-06,9.691339e-06,9.652679e-06,9.649581e-06,9.613914e-06,9.598386e-06,9.575076e-06,9.547082e-06,9.536192e-06,9.497292e-06,9.495736e-06,9.458400e-06,9.444406e-06,9.419541e-06,9.393147e-06,9.380737e-06,9.342010e-06,9.291040e-06,9.240280e-06,9.189769e-06,9.139541e-06,9.089629e-06,9.040062e-06,8.990866e-06,8.942065e-06,8.893680e-06,8.845732e-06,8.798238e-06,8.751213e-06,8.704670e-06,8.658623e-06,8.613082e-06,8.568056e-06,8.523553e-06,8.479580e-06,8.436143e-06,8.393247e-06,8.350894e-06,8.309089e-06,8.267834e-06,8.227128e-06
0.000000e+00,1.956474e-10,4.691626e-10,1.700426e-09,3.979860e-09,5.879012e-09,1.372899e-08,1.415854e-08,2.818202e-08,3.339645e-08,4.988564e-08,6.741162e-08,8.116411e-08,1.192042e-07,1.229260e-07,1.746850e-07,1.884761e-07,2.353744e-07,2.728928e-07,3.040296e-07,3.704163e-07,3.798742e-07,4.622186e-07,4.794077e-07,5.503788e-07,5.982850e-07,6.436411e-07,7.253780e-07,7.412576e-07,8.424585e-07,8.589315e-07,9.464719e-07,9.971744e-07,1.052543e-06,1.138397e-06,1.159953e-06,1.268034e-06,1.281020e-06,1.376179e-06,1.423641e-06,1.483846e-06,1.565060e-06,1.590562e-06,1.695919e-06,1.704278e-06,1.799574e-06,1.840494e-06,1.901243e-06,1.973083e-06,2.000694e-06,2.097741e-06,2.101571e-06,2.192243e-06,2.225620e-06,2.284095e-06,2.345003e-06,2.373225e-06,2.459579e-06,2.543125e-06,2.569264e-06,2.623851e-06,2.674037e-06,2.701761e-06,2.773918e-06,2.776868e-06,2.849201e-06,2.868962e-06,2.918796e-06,2.959255e-06,2.985694e-06,3.044901e-06,3.049945e-06,3.111602e-06,3.126021e-06,3.170729e-06,3.202762e-06,3.227396e-06,3.275276e-06,3.281664e-06,3.333589e-06,3.343699e-06,3.383235e-06,3.408171e-06,3.430665e-06,3.468838e-06,3.475940e-06,3.519121e-06,3.525840e-06,3.560271e-06,3.579319e-06,3.599450e-06,3.629415e-06,3.636719e-06,3.672138e-06,3.676266e-06,3.705764e-06,3.720006e-06,3.737655e-06,3.760766e-06,3.767867e-06,3.796457e-06,3.798675e-06,3.823478e-06,3.833859e-06,3.848983e-06,3.866438e-06,3.873025e-06,3.895655e-06,3.896531e-06,3.916921e-06,3.924252e-06,3.936872e-06,3.949711e-06,3.955555e-06,3.973016e-06,3.989299e-06,3.994268e-06,4.004448e-06,4.013568e-06,4.018506e-06,4.031011e-06,4.031512e-06,4.043507e-06,4.046690e-06,4.054530e-06,4.060692e-06,4.064617e-06,4.073103e-06,4.073806e-06,4.082132e-06,4.084005e-06,4.089628e-06,4.093477e-06,4.096329e-06,4.101592e-06,4.102265e-06,4.107469e-06,4.108425e-06,4.111970e-06,4.114043e-06,4.115798e-06,4.118513e-06,4.118980e-06,4.121544e-06,4.121899e-06,4.123517e-06,4.124261e-06,4.124923e-06,4.125657e-06,4.125788e-06,4.126135e-06,4.126143e-06,4.125988e-06,4.125772e-06,4.125368e-06,4.124594e-06,4.124297e-06,4.122796e-06,4.122658e-06,4.120885e-06,4.120010e-06,4.118583e-06,4.116694e-06,4.115909e-06,4.112880e-06,4.112752e-06,4.109515e-06,4.108224e-06,4.105829e-06,4.103149e-06,4.101840e-06,4.097562e-06,4.091498e-06,4.084991e-06,4.078072e-06,4.070770e-06,4.063115e-06,4.055133e-06,4.046849e-06,4.038289e-06,4.029475e-06,4.020429e-06,4.011172e-06,4.001725e-06,3.992105e-06,3.982331e-06,3.972420e-06,3.962386e-06,3.952247e-06,3.942015e-06,3.931704e-06,3.921327e-06,3.910896e-06,3.900423e-06,3.889918e-06,3.879392e-06
0.000000e+00,3.155114e-09,9.333837e-09,4.661653e-08,1.348020e-07,2.189199e-07,6.217579e-07,6.455505e-07,1.480468e-06,1.811383e-06,2.904684e-06,4.127508e-06,5.125644e-06,8.061787e-06,8.363049e-06,1.280567e-05,1.406511e-05,1.855892e-05,2.235939e-05,2.563015e-05,3.289158e-05,3.395308e-05,4.341887e-05,4.543795e-05,5.389737e-05,5.970011e-05,6.524848e-05,7.535231e-05,7.732801e-05,8.999104e-05,9.206167e-05,1.030944e-04,1.094993e-04,1.164988e-04,1.273494e-04,1.300712e-04,1.436870e-04,1.453182e-04,1.572315e-04,1.631415e-04,1.706016e-04,1.805901e-04,1.837068e-04,1.964694e-04,1.974736e-04,2.088247e-04,2.136408e-04,2.207208e-04,2.289786e-04,2.321174e-04,2.429854e-04,2.434088e-04,2.533053e-04,2.568841e-04,2.630666e-04,2.693832e-04,2.722659e-04,2.809065e-04,2.889966e-04,2.914711e-04,2.965487e-04,3.011069e-04,3.035787e-04,3.098532e-04,3.101048e-04,3.161472e-04,3.177553e-04,3.217273e-04,3.248624e-04,3.268668e-04,3.312255e-04,3.315883e-04,3.359139e-04,3.368956e-04,3.398656e-04,3.419232e-04,3.434648e-04,3.463572e-04,3.467324e-04,3.496884e-04,3.502439e-04,3.523519e-04,3.536275e-04,3.547414e-04,3.565495e-04,3.568742e-04,3.587668e-04,3.590484e-04,3.604348e-04,3.611601e-04,3.618930e-04,3.629178e-04,3.631552e-04,3.642344e-04,3.643522e-04,3.651427e-04,3.654913e-04,3.658918e-04,3.663611e-04,3.664922e-04,3.669540e-04,3.669853e-04,3.672867e-04,3.673856e-04,3.674990e-04,3.675820e-04,3.675992e-04,3.675950e-04,3.675927e-04,3.674935e-04,3.674345e-04,3.673015e-04,3.671224e-04,3.670253e-04,3.666707e-04,3.662433e-04,3.660920e-04,3.657482e-04,3.653980e-04,3.651902e-04,3.645995e-04,3.645738e-04,3.639033e-04,3.637064e-04,3.631826e-04,3.627276e-04,3.624154e-04,3.616715e-04,3.616051e-04,3.607551e-04,3.605455e-04,3.598683e-04,3.593567e-04,3.589476e-04,3.581115e-04,3.579957e-04,3.570151e-04,3.568157e-04,3.560081e-04,3.554748e-04,3.549770e-04,3.540938e-04,3.539238e-04,3.528506e-04,3.526771e-04,3.517590e-04,3.512290e-04,3.506508e-04,3.497535e-04,3.495277e-04,3.483912e-04,3.482540e-04,3.472427e-04,3.467339e-04,3.460836e-04,3.451963e-04,3.449150e-04,3.437383e-04,3.436438e-04,3.425545e-04,3.420792e-04,3.413647e-04,3.405048e-04,3.401698e-04,3.389708e-04,3.389228e-04,3.377686e-04,3.373352e-04,3.365640e-04,3.357439e-04,3.353578e-04,3.341506e-04,3.325570e-04,3.309645e-04,3.293744e-04,3.277881e-04,3.262066e-04,3.246310e-04,3.230623e-04,3.215014e-04,3.199491e-04,3.184061e-04,3.168732e-04,3.153510e-04,3.138400e-04,3.123407e-04,3.108537e-04,3.093794e-04,3.079182e-04,3.064703e-04,3.050362e-04,3.036161e-04,3.022102e-04,3.008188e-04,2.994420e-04,2.980800e-04
0.000000e+00,2.215124e-09,6.524501e-09,3.228748e-08,9.257251e-08,1.496257e-07,4.196660e-07,4.354997e-07,9.859680e-07,1.202024e-06,1.909838e-06,2.693260e-06,3.327956e-06,5.178311e-06,5.367147e-06,8.138116e-06,8.919902e-06,1.169676e-05,1.402794e-05,1.601953e-05,2.038607e-05,2.101762e-05,2.656951e-05,2.773494e-05,3.254611e-05,3.578028e-05,3.882354e-05,4.424559e-05,4.528817e-05,5.183800e-05,5.288768e-05,5.838278e-05,6.149894e-05,6.484381e-05,6.990664e-05,7.115364e-05,7.725590e-05,7.797194e-05,8.310484e-05,8.558861e-05,8.866491e-05,9.268101e-05,9.391006e-05,9.882292e-05,9.920126e-05,1.033939e-04,1.051256e-04,1.076199e-04,1.104505e-04,1.115039e-04,1.150531e-04,1.151882e-04,1.182785e-04,1.193629e-04,1.211938e-04,1.230072e-04,1.238149e-04,1.261587e-04,1.282429e-04,1.288579e-04,1.300854e-04,1.311460e-04,1.317040e-04,1.330633e-04,1.331160e-04,1.343381e-04,1.346485e-04,1.353862e-04,1.359378e-04,1.362752e-04,1.369645e-04,1.370190e-04,1.376307e-04,1.377592e-04,1.381223e-04,1.383493e-04,1.385049e-04,1.387595e-04,1.387886e-04,1.389828e-04,1.390116e-04,1.390958e-04,1.391251e-04,1.391354e-04,1.391171e-04,1.391087e-04,1.390219e-04,1.390028e-04,1.388809e-04,1.387955e-04,1.386909e-04,1.385068e-04,1.384566e-04,1.381824e-04,1.381470e-04,1.378721e-04,1.377252e-04,1.375294e-04,1.372493e-04,1.371575e-04,1.367592e-04,1.367263e-04,1.363373e-04,1.361624e-04,1.358941e-04,1.355632e-04,1.354320e-04,1.349528e-04,1.349333e-04,1.344585e-04,1.342772e-04,1.339507e-04,1.335986e-04,1.334311e-04,1.329008e-04,1.323614e-04,1.321871e-04,1.318140e-04,1.314599e-04,1.312596e-04,1.307218e-04,1.306993e-04,1.301340e-04,1.299749e-04,1.295645e-04,1.292212e-04,1.289917e-04,1.284624e-04,1.284163e-04,1.278388e-04,1.277000e-04,1.272600e-04,1.269356e-04,1.266805e-04,1.261702e-04,1.261007e-04,1.255211e-04,1.254053e-04,1.249422e-04,1.246416e-04,1.243644e-04,1.238802e-04,1.237881e-04,1.232137e-04,1.231220e-04,1.226414e-04,1.223676e-04,1.220716e-04,1.216177e-04,1.215045e-04,1.209405e-04,1.208730e-04,1.203797e-04,1.201340e-04,1.198223e-04,1.194011e-04,1.192686e-04,1.187188e-04,1.186749e-04,1.181729e-04,1.179557e-04,1.176313e-04,1.172439e-04,1.170939e-04,1.165610e-04,1.165397e-04,1.160326e-04,1.158435e-04,1.155088e-04,1.151554e-04,1.149899e-04,1.144757e-04,1.138045e-04,1.131421e-04,1.124884e-04,1.118437e-04,1.112080e-04,1.105813e-04,1.099638e-04,1.093554e-04,1.087562e-04,1.081662e-04,1.075853e-04,1.070135e-04,1.064509e-04,1.058974e-04,1.053529e-04,1.048174e-04,1.042908e-04,1.037731e-04,1.032642e-04,1.027639e-04,1.022723e-04,1.017892e-04,1.013146e-04,1.008483e-04
0.000000e+00,1.034018e-09,2.584670e-09,9.872645e-09,2.391191e-08,3.596486e-08,8.843292e-08,9.141278e-08,1.938674e-07,2.342001e-07,3.681579e-07,5.192247e-07,6.426773e-07,9.994971e-07,1.035216e-06,1.536691e-06,1.670071e-06,2.117313e-06,2.465537e-06,2.747227e-06,3.325656e-06,3.405696e-06,4.079717e-06,4.215589e-06,4.760815e-06,5.115710e-06,5.442928e-06,6.013193e-06,6.121315e-06,6.792054e-06,6.898435e-06,7.451850e-06,7.763833e-06,8.097933e-06,8.603377e-06,8.728020e-06,9.340274e-06,9.412474e-06,9.933265e-06,1.018779e-05,1.050593e-05,1.092709e-05,1.105752e-05,1.158756e-05,1.162902e-05,1.209580e-05,1.229298e-05,1.258219e-05,1.291890e-05,1.304682e-05,1.348990e-05,1.350718e-05,1.391176e-05,1.405850e-05,1.431278e-05,1.457379e-05,1.469341e-05,1.505414e-05,1.539550e-05,1.550073e-05,1.571804e-05,1.591484e-05,1.602231e-05,1.629777e-05,1.630890e-05,1.657837e-05,1.665083e-05,1.683130e-05,1.697536e-05,1.706827e-05,1.727267e-05,1.728985e-05,1.749659e-05,1.754406e-05,1.768906e-05,1.779080e-05,1.786779e-05,1.801414e-05,1.803332e-05,1.818617e-05,1.821527e-05,1.832686e-05,1.839537e-05,1.845587e-05,1.855557e-05,1.857369e-05,1.868080e-05,1.869697e-05,1.877764e-05,1.882061e-05,1.886467e-05,1.892751e-05,1.894231e-05,1.901099e-05,1.901865e-05,1.907111e-05,1.909495e-05,1.912305e-05,1.915730e-05,1.916721e-05,1.920394e-05,1.920657e-05,1.923360e-05,1.924356e-05,1.925653e-05,1.926906e-05,1.927306e-05,1.928351e-05,1.928380e-05,1.928818e-05,1.928850e-05,1.928737e-05,1.928384e-05,1.928137e-05,1.927044e-05,1.925486e-05,1.924893e-05,1.923487e-05,1.921988e-05,1.921072e-05,1.918384e-05,1.918265e-05,1.915087e-05,1.914134e-05,1.911560e-05,1.909286e-05,1.907706e-05,1.903887e-05,1.903543e-05,1.899092e-05,1.897983e-05,1.894370e-05,1.891614e-05,1.889395e-05,1.884820e-05,1.884183e-05,1.878751e-05,1.877640e-05,1.873114e-05,1.870107e-05,1.867287e-05,1.862256e-05,1.861284e-05,1.855119e-05,1.854118e-05,1.848804e-05,1.845723e-05,1.842351e-05,1.837097e-05,1.835772e-05,1.829079e-05,1.828269e-05,1.822282e-05,1.819261e-05,1.815392e-05,1.810098e-05,1.808417e-05,1.801368e-05,1.800801e-05,1.794253e-05,1.791390e-05,1.787080e-05,1.781885e-05,1.779858e-05,1.772594e-05,1.772303e-05,1.765296e-05,1.762661e-05,1.757969e-05,1.752974e-05,1.750621e-05,1.743258e-05,1.733525e-05,1.723788e-05,1.714059e-05,1.704349e-05,1.694667e-05,1.685024e-05,1.675427e-05,1.665885e-05,1.656405e-05,1.646994e-05,1.637657e-05,1.628401e-05,1.619231e-05,1.610151e-05,1.601165e-05,1.592277e-05,1.583491e-05,1.574810e-05,1.566236e-05,1.557771e-05,1.549418e-05,1.541179e-05,1.533055e-05,1.525047e-05
0.000000e+00,7.102461e-10,1.899537e-09,7.881846e-09,1.969376e-08,2.974014e-08,7.139370e-08,7.365843e-08,1.462440e-07,1.725636e-07,2.537763e-07,3.376214e-07,4.023394e-07,5.797324e-07,5.970913e-07,8.400294e-07,9.052111e-07,1.127247e-06,1.303994e-06,1.449182e-06,1.752085e-06,1.794383e-06,2.152733e-06,2.225246e-06,2.516285e-06,2.705288e-06,2.878880e-06,3.179113e-06,3.235627e-06,3.582571e-06,3.636950e-06,3.916536e-06,4.071475e-06,4.235040e-06,4.477455e-06,4.536244e-06,4.818900e-06,4.851534e-06,5.082295e-06,5.192006e-06,5.326176e-06,5.498545e-06,5.550678e-06,5.756246e-06,5.771893e-06,5.943561e-06,6.013563e-06,6.113481e-06,6.225602e-06,6.266989e-06,6.405132e-06,6.410353e-06,6.528985e-06,6.570283e-06,6.639627e-06,6.707857e-06,6.738112e-06,6.825464e-06,6.902661e-06,6.925364e-06,6.970574e-06,7.009554e-06,7.030042e-06,7.079917e-06,7.081851e-06,7.126709e-06,7.138115e-06,7.165279e-06,7.185653e-06,7.198156e-06,7.223845e-06,7.225886e-06,7.248964e-06,7.253862e-06,7.267840e-06,7.276726e-06,7.282915e-06,7.293330e-06,7.294557e-06,7.303098e-06,7.304461e-06,7.308837e-06,7.310804e-06,7.312044e-06,7.312961e-06,7.312964e-06,7.311819e-06,7.311457e-06,7.308808e-06,7.306755e-06,7.304114e-06,7.299258e-06,7.297901e-06,7.290317e-06,7.289322e-06,7.281500e-06,7.277261e-06,7.271571e-06,7.263351e-06,7.260643e-06,7.248818e-06,7.247836e-06,7.236189e-06,7.230932e-06,7.222841e-06,7.212830e-06,7.208853e-06,7.194294e-06,7.193701e-06,7.179230e-06,7.173696e-06,7.163722e-06,7.152950e-06,7.147822e-06,7.131583e-06,7.115050e-06,7.109704e-06,7.098265e-06,7.087408e-06,7.081267e-06,7.064782e-06,7.064092e-06,7.046773e-06,7.041902e-06,7.029340e-06,7.018838e-06,7.011822e-06,6.995652e-06,6.994244e-06,6.976631e-06,6.972400e-06,6.959002e-06,6.949132e-06,6.941380e-06,6.925892e-06,6.923782e-06,6.906226e-06,6.902721e-06,6.888726e-06,6.879654e-06,6.871299e-06,6.856724e-06,6.853956e-06,6.836709e-06,6.833960e-06,6.819571e-06,6.811386e-06,6.802551e-06,6.789027e-06,6.785659e-06,6.768903e-06,6.766902e-06,6.752291e-06,6.745029e-06,6.735829e-06,6.723424e-06,6.719525e-06,6.703384e-06,6.702100e-06,6.687411e-06,6.681070e-06,6.671611e-06,6.660345e-06,6.655988e-06,6.640545e-06,6.639931e-06,6.625286e-06,6.619839e-06,6.610214e-06,6.600072e-06,6.595330e-06,6.580638e-06,6.561539e-06,6.542780e-06,6.524362e-06,6.506288e-06,6.488557e-06,6.471171e-06,6.454128e-06,6.437428e-06,6.421069e-06,6.405049e-06,6.389367e-06,6.374020e-06,6.359004e-06,6.344316e-06,6.329953e-06,6.315912e-06,6.302187e-06,6.288776e-06,6.275673e-06,6.262874e-06,6.250375e-06,6.238171e-06,6.226257e-06,6.214629e-06
0.000000e+00,3.061413e-09,8.940460e-09,4.349654e-08,1.228900e-07,1.970958e-07,5.424677e-07,5.625227e-07,1.252255e-06,1.520243e-06,2.391982e-06,3.350066e-06,4.123405e-06,6.372574e-06,6.602038e-06,9.974956e-06,1.092947e-05,1.433247e-05,1.720489e-05,1.966996e-05,2.510939e-05,2.590005e-05,3.289451e-05,3.437313e-05,4.051819e-05,4.468875e-05,4.864484e-05,5.577663e-05,5.716111e-05,6.596542e-05,6.739458e-05,7.496567e-05,7.933028e-05,8.407723e-05,9.139387e-05,9.322191e-05,1.023276e-04,1.034144e-04,1.113283e-04,1.152398e-04,1.201647e-04,1.267378e-04,1.287842e-04,1.371416e-04,1.377977e-04,1.451990e-04,1.483308e-04,1.529256e-04,1.582703e-04,1.602976e-04,1.672978e-04,1.675699e-04,1.739151e-04,1.762023e-04,1.801434e-04,1.841557e-04,1.859815e-04,1.914321e-04,1.965014e-04,1.980445e-04,2.011983e-04,2.040139e-04,2.055339e-04,2.093679e-04,2.095208e-04,2.131732e-04,2.141380e-04,2.165060e-04,2.183586e-04,2.195345e-04,2.220654e-04,2.222743e-04,2.247413e-04,2.252945e-04,2.269509e-04,2.280815e-04,2.289183e-04,2.304612e-04,2.306585e-04,2.321857e-04,2.324668e-04,2.335139e-04,2.341302e-04,2.346561e-04,2.354811e-04,2.356250e-04,2.364325e-04,2.365475e-04,2.370900e-04,2.373554e-04,2.376080e-04,2.379289e-04,2.379968e-04,2.382658e-04,2.382904e-04,2.384238e-04,2.384604e-04,2.384794e-04,2.384579e-04,2.384403e-04,2.383138e-04,2.383002e-04,2.381070e-04,2.380032e-04,2.378261e-04,2.375814e-04,2.374772e-04,2.370660e-04,2.370483e-04,2.365975e-04,2.364159e-04,2.360769e-04,2.356953e-04,2.355085e-04,2.348967e-04,2.342453e-04,2.340292e-04,2.335582e-04,2.331013e-04,2.328387e-04,2.321205e-04,2.320900e-04,2.313152e-04,2.310939e-04,2.305169e-04,2.300278e-04,2.296978e-04,2.289278e-04,2.288602e-04,2.280064e-04,2.277993e-04,2.271385e-04,2.266470e-04,2.262583e-04,2.254750e-04,2.253677e-04,2.244683e-04,2.242875e-04,2.235616e-04,2.230878e-04,2.226492e-04,2.218792e-04,2.217322e-04,2.208120e-04,2.206646e-04,2.198897e-04,2.194465e-04,2.189663e-04,2.182274e-04,2.180427e-04,2.171200e-04,2.170094e-04,2.161989e-04,2.157943e-04,2.152801e-04,2.145839e-04,2.143645e-04,2.134526e-04,2.133798e-04,2.125451e-04,2.121834e-04,2.116424e-04,2.109958e-04,2.107451e-04,2.098537e-04,2.098182e-04,2.089686e-04,2.086515e-04,2.080901e-04,2.074967e-04,2.072186e-04,2.063545e-04,2.052255e-04,2.041104e-04,2.030096e-04,2.019236e-04,2.008528e-04,1.997975e-04,1.987579e-04,1.977342e-04,1.967267e-04,1.957353e-04,1.947603e-04,1.938017e-04,1.928595e-04,1.919337e-04,1.910242e-04,1.901310e-04,1.892541e-04,1.883933e-04,1.875485e-04,1.867197e-04,1.859066e-04,1.851092e-04,1.843272e-04,1.835605e-04
0.000000e+00,5.040680e-12,1.151760e-11,3.942768e-11,8.924982e-11,1.297784e-10,2.912556e-10,2.998633e-10,5.708224e-10,6.673695e-10,9.613303e-10,1.259897e-09,1.487685e-09,2.103907e-09,2.163791e-09,3.001013e-09,3.226933e-09,4.007867e-09,4.647882e-09,5.189517e-09,6.374954e-09,6.547073e-09,8.076739e-09,8.402597e-09,9.769035e-09,1.070841e-08,1.160856e-08,1.325260e-08,1.357473e-08,1.564354e-08,1.598238e-08,1.778970e-08,1.884004e-08,1.998856e-08,2.177012e-08,2.221721e-08,2.445493e-08,2.472317e-08,2.668338e-08,2.765674e-08,2.888649e-08,3.053527e-08,3.105034e-08,3.316304e-08,3.332953e-08,3.521458e-08,3.601617e-08,3.719673e-08,3.857714e-08,3.910288e-08,4.092792e-08,4.099918e-08,4.266809e-08,4.327325e-08,4.432083e-08,4.539394e-08,4.588464e-08,4.735894e-08,4.874397e-08,4.916844e-08,5.004059e-08,5.082468e-08,5.125025e-08,5.233147e-08,5.237484e-08,5.341663e-08,5.369383e-08,5.437814e-08,5.491765e-08,5.526213e-08,5.600942e-08,5.607150e-08,5.680926e-08,5.697601e-08,5.747849e-08,5.782447e-08,5.808227e-08,5.856191e-08,5.862369e-08,5.910583e-08,5.919541e-08,5.953168e-08,5.973187e-08,5.990422e-08,6.017804e-08,6.022630e-08,6.050072e-08,6.054039e-08,6.073019e-08,6.082514e-08,6.091732e-08,6.103823e-08,6.106462e-08,6.117450e-08,6.118528e-08,6.124928e-08,6.127164e-08,6.129117e-08,6.130232e-08,6.130229e-08,6.128466e-08,6.128207e-08,6.124021e-08,6.121533e-08,6.117076e-08,6.110626e-08,6.107806e-08,6.096378e-08,6.095878e-08,6.082947e-08,6.077651e-08,6.067664e-08,6.056286e-08,6.050670e-08,6.032099e-08,6.012077e-08,6.005384e-08,5.990725e-08,5.976413e-08,5.968155e-08,5.945442e-08,5.944475e-08,5.919785e-08,5.912705e-08,5.894182e-08,5.878418e-08,5.867753e-08,5.842784e-08,5.840585e-08,5.812756e-08,5.805987e-08,5.784341e-08,5.768199e-08,5.755410e-08,5.729577e-08,5.726030e-08,5.696262e-08,5.690267e-08,5.666164e-08,5.650401e-08,5.635790e-08,5.610101e-08,5.605192e-08,5.574417e-08,5.569479e-08,5.543509e-08,5.528638e-08,5.512509e-08,5.487670e-08,5.481457e-08,5.450388e-08,5.446660e-08,5.419336e-08,5.405686e-08,5.388331e-08,5.364818e-08,5.357404e-08,5.326579e-08,5.324118e-08,5.295882e-08,5.283645e-08,5.265337e-08,5.243449e-08,5.234962e-08,5.204779e-08,5.203576e-08,5.174805e-08,5.164069e-08,5.145056e-08,5.124962e-08,5.115546e-08,5.086290e-08,5.048081e-08,5.010360e-08,4.973148e-08,4.936464e-08,4.900325e-08,4.864744e-08,4.829733e-08,4.795298e-08,4.761449e-08,4.728191e-08,4.695526e-08,4.663456e-08,4.631984e-08,4.601108e-08,4.570827e-08,4.541137e-08,4.512037e-08,4.483521e-08,4.455585e-08,4.428222e-08,4.401427e-08,4.375193e-08,4.349513e-08,4.324379e-08
0.000000e+00,5.160744e-10,1.472548e-09,6.860928e-09,1.874127e-08,2.957466e-08,7.865640e-08,8.146977e-08,1.773114e-07,2.143421e-07,3.347931e-07,4.676093e-07,5.752082e-07,8.891259e-07,9.211459e-07,1.389054e-06,1.520146e-06,1.982065e-06,2.365848e-06,2.691540e-06,3.401623e-06,3.504131e-06,4.406814e-06,4.597147e-06,5.388432e-06,5.926856e-06,6.439447e-06,7.369642e-06,7.551284e-06,8.715803e-06,8.906480e-06,9.925018e-06,1.051899e-05,1.117100e-05,1.218900e-05,1.244594e-05,1.374218e-05,1.389881e-05,1.505242e-05,1.563157e-05,1.636976e-05,1.737174e-05,1.768782e-05,1.900083e-05,1.910549e-05,2.030363e-05,2.082085e-05,2.159167e-05,2.250770e-05,2.286103e-05,2.410839e-05,2.415778e-05,2.533094e-05,2.576453e-05,2.652640e-05,2.732290e-05,2.769297e-05,2.882918e-05,2.993392e-05,3.028065e-05,3.100641e-05,3.167563e-05,3.204612e-05,3.301313e-05,3.305276e-05,3.402623e-05,3.429287e-05,3.496660e-05,3.551499e-05,3.587403e-05,3.668003e-05,3.674882e-05,3.759137e-05,3.778884e-05,3.840215e-05,3.884250e-05,3.918167e-05,3.984226e-05,3.993053e-05,4.064932e-05,4.078953e-05,4.133870e-05,4.168577e-05,4.199933e-05,4.253255e-05,4.263190e-05,4.323710e-05,4.333144e-05,4.381563e-05,4.408406e-05,4.436820e-05,4.479204e-05,4.489551e-05,4.539827e-05,4.545698e-05,4.587717e-05,4.608051e-05,4.633291e-05,4.666420e-05,4.676617e-05,4.717764e-05,4.720963e-05,4.756797e-05,4.771833e-05,4.793783e-05,4.819181e-05,4.828786e-05,4.861869e-05,4.863154e-05,4.893096e-05,4.903894e-05,4.922525e-05,4.941542e-05,4.950218e-05,4.976233e-05,5.000625e-05,5.008098e-05,5.023452e-05,5.037265e-05,5.044768e-05,5.063858e-05,5.064625e-05,5.083075e-05,5.087995e-05,5.100168e-05,5.109793e-05,5.115954e-05,5.129363e-05,5.130480e-05,5.143792e-05,5.146812e-05,5.155936e-05,5.162243e-05,5.166956e-05,5.175758e-05,5.176895e-05,5.185793e-05,5.187451e-05,5.193691e-05,5.197416e-05,5.200628e-05,5.205740e-05,5.206642e-05,5.211771e-05,5.212511e-05,5.216048e-05,5.217810e-05,5.219510e-05,5.221715e-05,5.222190e-05,5.224120e-05,5.224303e-05,5.225332e-05,5.225646e-05,5.225857e-05,5.225814e-05,5.225723e-05,5.224960e-05,5.224873e-05,5.223595e-05,5.222887e-05,5.221655e-05,5.219917e-05,5.219166e-05,5.216153e-05,5.216022e-05,5.212640e-05,5.211258e-05,5.208652e-05,5.205679e-05,5.204209e-05,5.199335e-05,5.192275e-05,5.184547e-05,5.176195e-05,5.167261e-05,5.157786e-05,5.147808e-05,5.137366e-05,5.126493e-05,5.115223e-05,5.103589e-05,5.091621e-05,5.079346e-05,5.066794e-05,5.053990e-05,5.040958e-05,5.027723e-05,5.014307e-05,5.000730e-05,4.987013e-05,4.973175e-05,4.959234e-05,4.945207e-05,4.931111e-05,4.916959e-05
0.000000e+00,4.530478e-12,1.029985e-11,3.496599e-11,7.873938e-11,1.143002e-10,2.565999e-10,2.642303e-10,5.075270e-10,5.958044e-10,8.700148e-10,1.156838e-09,1.381044e-09,2.007993e-09,2.070277e-09,2.957523e-09,3.200005e-09,4.037091e-09,4.712756e-09,5.271854e-09,6.444581e-09,6.608661e-09,7.998705e-09,8.279694e-09,9.405754e-09,1.013550e-08,1.080482e-08,1.196103e-08,1.217858e-08,1.351458e-08,1.372418e-08,1.480354e-08,1.540340e-08,1.603844e-08,1.698389e-08,1.721408e-08,1.832675e-08,1.845592e-08,1.937414e-08,1.981397e-08,2.035510e-08,2.105611e-08,2.126954e-08,2.211826e-08,2.218336e-08,2.290279e-08,2.319907e-08,2.362520e-08,2.410829e-08,2.428804e-08,2.489421e-08,2.491732e-08,2.544681e-08,2.563327e-08,2.594914e-08,2.626358e-08,2.640429e-08,2.681543e-08,2.718569e-08,2.729603e-08,2.751805e-08,2.771222e-08,2.781541e-08,2.807049e-08,2.808050e-08,2.831588e-08,2.837680e-08,2.852396e-08,2.863663e-08,2.870695e-08,2.885495e-08,2.886695e-08,2.900588e-08,2.903628e-08,2.912550e-08,2.918466e-08,2.922744e-08,2.930374e-08,2.931322e-08,2.938422e-08,2.939675e-08,2.944169e-08,2.946662e-08,2.948680e-08,2.951592e-08,2.952061e-08,2.954411e-08,2.954697e-08,2.955817e-08,2.956182e-08,2.956363e-08,2.956230e-08,2.956123e-08,2.955165e-08,2.955005e-08,2.953553e-08,2.952651e-08,2.951344e-08,2.949299e-08,2.948591e-08,2.945344e-08,2.945064e-08,2.941645e-08,2.940049e-08,2.937537e-08,2.934347e-08,2.933058e-08,2.928241e-08,2.928042e-08,2.923119e-08,2.921206e-08,2.917720e-08,2.913906e-08,2.912073e-08,2.906203e-08,2.900131e-08,2.898149e-08,2.893879e-08,2.889793e-08,2.887468e-08,2.881179e-08,2.880915e-08,2.874236e-08,2.872346e-08,2.867448e-08,2.863329e-08,2.860565e-08,2.854159e-08,2.853599e-08,2.846564e-08,2.844867e-08,2.839471e-08,2.835477e-08,2.832329e-08,2.826013e-08,2.825150e-08,2.817942e-08,2.816497e-08,2.810713e-08,2.806948e-08,2.803471e-08,2.797383e-08,2.796223e-08,2.788977e-08,2.787818e-08,2.781737e-08,2.778267e-08,2.774511e-08,2.768743e-08,2.767304e-08,2.760119e-08,2.759258e-08,2.752962e-08,2.749823e-08,2.745837e-08,2.740446e-08,2.738748e-08,2.731698e-08,2.731136e-08,2.724691e-08,2.721901e-08,2.717730e-08,2.712748e-08,2.710817e-08,2.703955e-08,2.703682e-08,2.697147e-08,2.694710e-08,2.690394e-08,2.685835e-08,2.683699e-08,2.677064e-08,2.668398e-08,2.659842e-08,2.651399e-08,2.643070e-08,2.634859e-08,2.626766e-08,2.618794e-08,2.610944e-08,2.603216e-08,2.595612e-08,2.588131e-08,2.580775e-08,2.573542e-08,2.566434e-08,2.559450e-08,2.552589e-08,2.545851e-08,2.539236e-08,2.532742e-08,2.526369e-08,2.520117e-08,2.513983e-08,2.507966e-08,2.502067e-08
0.000000e+00,1.169447e-09,3.056127e-09,1.231233e-08,3.037211e-08,4.570974e-08,1.095622e-07,1.130481e-07,2.254363e-07,2.664501e-07,3.936474e-07,5.257823e-07,6.282703e-07,9.116202e-07,9.395743e-07,1.336684e-06,1.445531e-06,1.825644e-06,2.140076e-06,2.407101e-06,2.991379e-06,3.076001e-06,3.823952e-06,3.982216e-06,4.641763e-06,5.091666e-06,5.520546e-06,6.299611e-06,6.451793e-06,7.427226e-06,7.586850e-06,8.438699e-06,8.934650e-06,9.478210e-06,1.032477e-05,1.053799e-05,1.161061e-05,1.173985e-05,1.268909e-05,1.316379e-05,1.376699e-05,1.458219e-05,1.483848e-05,1.589839e-05,1.598254e-05,1.694218e-05,1.735430e-05,1.796599e-05,1.868889e-05,1.896654e-05,1.994115e-05,1.997956e-05,2.088767e-05,2.122120e-05,2.180441e-05,2.241014e-05,2.269013e-05,2.354393e-05,2.436524e-05,2.462115e-05,2.515379e-05,2.564122e-05,2.590951e-05,2.660424e-05,2.663253e-05,2.732318e-05,2.751081e-05,2.798187e-05,2.836198e-05,2.860916e-05,2.915908e-05,2.920568e-05,2.977213e-05,2.990369e-05,3.030926e-05,3.059754e-05,3.081786e-05,3.124249e-05,3.129876e-05,3.175279e-05,3.184045e-05,3.218082e-05,3.239339e-05,3.258368e-05,3.290328e-05,3.296225e-05,3.331738e-05,3.337208e-05,3.364991e-05,3.380174e-05,3.396067e-05,3.419416e-05,3.425049e-05,3.452017e-05,3.455122e-05,3.477051e-05,3.487473e-05,3.500227e-05,3.516646e-05,3.521622e-05,3.541308e-05,3.542812e-05,3.559358e-05,3.566135e-05,3.575840e-05,3.586775e-05,3.590823e-05,3.604371e-05,3.604884e-05,3.616549e-05,3.620610e-05,3.627418e-05,3.634092e-05,3.637038e-05,3.645466e-05,3.652758e-05,3.654860e-05,3.658967e-05,3.662398e-05,3.664147e-05,3.668196e-05,3.668346e-05,3.671613e-05,3.672368e-05,3.673996e-05,3.675019e-05,3.675538e-05,3.676251e-05,3.676282e-05,3.676272e-05,3.676161e-05,3.675546e-05,3.674841e-05,3.674143e-05,3.672377e-05,3.672100e-05,3.669452e-05,3.668853e-05,3.666235e-05,3.664347e-05,3.662480e-05,3.658933e-05,3.658219e-05,3.653482e-05,3.652682e-05,3.648298e-05,3.645660e-05,3.642696e-05,3.637930e-05,3.636701e-05,3.630339e-05,3.629552e-05,3.623634e-05,3.620582e-05,3.616610e-05,3.611073e-05,3.609290e-05,3.601694e-05,3.601075e-05,3.593842e-05,3.590635e-05,3.585755e-05,3.579797e-05,3.577452e-05,3.568948e-05,3.568604e-05,3.560263e-05,3.557095e-05,3.551412e-05,3.545306e-05,3.542410e-05,3.533273e-05,3.521027e-05,3.508600e-05,3.496019e-05,3.483311e-05,3.470503e-05,3.457616e-05,3.444672e-05,3.431692e-05,3.418695e-05,3.405698e-05,3.392718e-05,3.379768e-05,3.366865e-05,3.354019e-05,3.341244e-05,3.328550e-05,3.315947e-05,3.303445e-05,3.291051e-05,3.278774e-05,3.266620e-05,3.254596e-05,3.242707e-05,3.230959e-05
0.000000e+00,9.272840e-10,2.640139e-09,1.222704e-08,3.314438e-08,5.202890e-08,1.359323e-07,1.406719e-07,2.985229e-07,3.578874e-07,5.459497e-07,7.460996e-07,9.039741e-07,1.350131e-06,1.394833e-06,2.041770e-06,2.222816e-06,2.867204e-06,3.414250e-06,3.888427e-06,4.954138e-06,5.111358e-06,6.525617e-06,6.829351e-06,8.105132e-06,8.980135e-06,9.814329e-06,1.132275e-05,1.161569e-05,1.347494e-05,1.377577e-05,1.536306e-05,1.627248e-05,1.725641e-05,1.876190e-05,1.913591e-05,2.098611e-05,2.120555e-05,2.279443e-05,2.357411e-05,2.455060e-05,2.584520e-05,2.624626e-05,2.787475e-05,2.800196e-05,2.943088e-05,3.003217e-05,3.091082e-05,3.192768e-05,3.231194e-05,3.363268e-05,3.368383e-05,3.487247e-05,3.529900e-05,3.603155e-05,3.677409e-05,3.711088e-05,3.811203e-05,3.903704e-05,3.931735e-05,3.988836e-05,4.039579e-05,4.066873e-05,4.135388e-05,4.138111e-05,4.202860e-05,4.219870e-05,4.261440e-05,4.293760e-05,4.314173e-05,4.357802e-05,4.361383e-05,4.403388e-05,4.412729e-05,4.440500e-05,4.459259e-05,4.473023e-05,4.498081e-05,4.501251e-05,4.525464e-05,4.529849e-05,4.545934e-05,4.555185e-05,4.562918e-05,4.574668e-05,4.576659e-05,4.587390e-05,4.588842e-05,4.595329e-05,4.598209e-05,4.600683e-05,4.603236e-05,4.603646e-05,4.604401e-05,4.604352e-05,4.603120e-05,4.601953e-05,4.599964e-05,4.596403e-05,4.595082e-05,4.588616e-05,4.588034e-05,4.580697e-05,4.577150e-05,4.571448e-05,4.564031e-05,4.560985e-05,4.549414e-05,4.548929e-05,4.536834e-05,4.532077e-05,4.523339e-05,4.513684e-05,4.509016e-05,4.493944e-05,4.478200e-05,4.473031e-05,4.461851e-05,4.451102e-05,4.444965e-05,4.428303e-05,4.427599e-05,4.409812e-05,4.404763e-05,4.391654e-05,4.380601e-05,4.373173e-05,4.355925e-05,4.354415e-05,4.335420e-05,4.330831e-05,4.316228e-05,4.305407e-05,4.296873e-05,4.279733e-05,4.277389e-05,4.257807e-05,4.253881e-05,4.238153e-05,4.227914e-05,4.218455e-05,4.201891e-05,4.198736e-05,4.179018e-05,4.175865e-05,4.159322e-05,4.149882e-05,4.139667e-05,4.123984e-05,4.120070e-05,4.100546e-05,4.098209e-05,4.081111e-05,4.072591e-05,4.061777e-05,4.047159e-05,4.042557e-05,4.023462e-05,4.021940e-05,4.004502e-05,3.996957e-05,3.985686e-05,3.972232e-05,3.967023e-05,3.948520e-05,3.947783e-05,3.930184e-05,3.923625e-05,3.912021e-05,3.899772e-05,3.894036e-05,3.876236e-05,3.853027e-05,3.830154e-05,3.807624e-05,3.785443e-05,3.763615e-05,3.742145e-05,3.721034e-05,3.700285e-05,3.679899e-05,3.659875e-05,3.640214e-05,3.620915e-05,3.601975e-05,3.583393e-05,3.565167e-05,3.547294e-05,3.529771e-05,3.512594e-05,3.495760e-05,3.479265e-05,3.463104e-05,3.447274e-05,3.431771e-05,3.416589e-05
0.000000e+00,5.978306e-09,1.765838e-08,8.786033e-08,2.529649e-07,4.096397e-07,1.152479e-06,1.196035e-06,2.707059e-06,3.297927e-06,5.224186e-06,7.340352e-06,9.044296e-06,1.397423e-05,1.447529e-05,2.182125e-05,2.389983e-05,3.134171e-05,3.768676e-05,4.319282e-05,5.556891e-05,5.739494e-05,7.384993e-05,7.739668e-05,9.238127e-05,1.027661e-04,1.127689e-04,1.311525e-04,1.347710e-04,1.581356e-04,1.619832e-04,1.826067e-04,1.946706e-04,2.079283e-04,2.286277e-04,2.338473e-04,2.601165e-04,2.632809e-04,2.864976e-04,2.980819e-04,3.127644e-04,3.325204e-04,3.387061e-04,3.641294e-04,3.661356e-04,3.888611e-04,3.985254e-04,4.127493e-04,4.293531e-04,4.356647e-04,4.575004e-04,4.583501e-04,4.781717e-04,4.853155e-04,4.976153e-04,5.101128e-04,5.157879e-04,5.326645e-04,5.482366e-04,5.529449e-04,5.625107e-04,5.709732e-04,5.755059e-04,5.868058e-04,5.872521e-04,5.977885e-04,6.005279e-04,6.071606e-04,6.122459e-04,6.154192e-04,6.220807e-04,6.226191e-04,6.288180e-04,6.301633e-04,6.340749e-04,6.366295e-04,6.384494e-04,6.416162e-04,6.420009e-04,6.447880e-04,6.452587e-04,6.468677e-04,6.476879e-04,6.482950e-04,6.490286e-04,6.491229e-04,6.494017e-04,6.493986e-04,6.491794e-04,6.489081e-04,6.485013e-04,6.476593e-04,6.474099e-04,6.459450e-04,6.457459e-04,6.441438e-04,6.432538e-04,6.420410e-04,6.402611e-04,6.396688e-04,6.370568e-04,6.368383e-04,6.342325e-04,6.330491e-04,6.312213e-04,6.289505e-04,6.280463e-04,6.247290e-04,6.245937e-04,6.212890e-04,6.200240e-04,6.177441e-04,6.152821e-04,6.141108e-04,6.104038e-04,6.066369e-04,6.054208e-04,6.028223e-04,6.003612e-04,5.989712e-04,5.952494e-04,5.950939e-04,5.911995e-04,5.901072e-04,5.872964e-04,5.849534e-04,5.833919e-04,5.798045e-04,5.794930e-04,5.756055e-04,5.746749e-04,5.717351e-04,5.695769e-04,5.678865e-04,5.645213e-04,5.640641e-04,5.602718e-04,5.595173e-04,5.565130e-04,5.545727e-04,5.527907e-04,5.496942e-04,5.491076e-04,5.454660e-04,5.448873e-04,5.418680e-04,5.401569e-04,5.383152e-04,5.355067e-04,5.348093e-04,5.313515e-04,5.309399e-04,5.279429e-04,5.264590e-04,5.245844e-04,5.220658e-04,5.212766e-04,5.180202e-04,5.177619e-04,5.148155e-04,5.135482e-04,5.116628e-04,5.094252e-04,5.085623e-04,5.055141e-04,5.053933e-04,5.025181e-04,5.014523e-04,4.995743e-04,4.976021e-04,4.966824e-04,4.938421e-04,4.901716e-04,4.865897e-04,4.830955e-04,4.796877e-04,4.763651e-04,4.731264e-04,4.699702e-04,4.668950e-04,4.638993e-04,4.609816e-04,4.581403e-04,4.553738e-04,4.526804e-04,4.500586e-04,4.475067e-04,4.450231e-04,4.426062e-04,4.402544e-04,4.379661e-04,4.357396e-04,4.335735e-04,4.314663e-04,4.294163e-04,4.274222e-04
0.000000e+00,1.398829e-10,3.236401e-10,1.127993e-09,2.590832e-09,3.799754e-09,8.757225e-09,9.027371e-09,1.781442e-08,2.107265e-08,3.137613e-08,4.237587e-08,5.107539e-08,7.555439e-08,7.798317e-08,1.122858e-07,1.215601e-07,1.533872e-07,1.790824e-07,2.005195e-07,2.464853e-07,2.530588e-07,3.105290e-07,3.225790e-07,3.725304e-07,4.064359e-07,4.386826e-07,4.971715e-07,5.085927e-07,5.818433e-07,5.938440e-07,6.579903e-07,6.954338e-07,7.365693e-07,8.008638e-07,8.171043e-07,8.991186e-07,9.090373e-07,9.821433e-07,1.018877e-06,1.065726e-06,1.129359e-06,1.149441e-06,1.232891e-06,1.239545e-06,1.315716e-06,1.348596e-06,1.397590e-06,1.455789e-06,1.478228e-06,1.557380e-06,1.560512e-06,1.634833e-06,1.662265e-06,1.710409e-06,1.760652e-06,1.783960e-06,1.855370e-06,1.924546e-06,1.946199e-06,1.991420e-06,2.032990e-06,2.055946e-06,2.115654e-06,2.118094e-06,2.177849e-06,2.194151e-06,2.235210e-06,2.268482e-06,2.290190e-06,2.338690e-06,2.342814e-06,2.393108e-06,2.404836e-06,2.441110e-06,2.467004e-06,2.486860e-06,2.525294e-06,2.530404e-06,2.571792e-06,2.579816e-06,2.611076e-06,2.630690e-06,2.648309e-06,2.678041e-06,2.683548e-06,2.716848e-06,2.722000e-06,2.748269e-06,2.762699e-06,2.777866e-06,2.800270e-06,2.805697e-06,2.831821e-06,2.834843e-06,2.856293e-06,2.866551e-06,2.879169e-06,2.895522e-06,2.900505e-06,2.920356e-06,2.921882e-06,2.938775e-06,2.945754e-06,2.955815e-06,2.967258e-06,2.971527e-06,2.985960e-06,2.986512e-06,2.999165e-06,3.003627e-06,3.011189e-06,3.018715e-06,3.022079e-06,3.031880e-06,3.040637e-06,3.043226e-06,3.048392e-06,3.052849e-06,3.055187e-06,3.060846e-06,3.061064e-06,3.066060e-06,3.067306e-06,3.070214e-06,3.072318e-06,3.073564e-06,3.075966e-06,3.076145e-06,3.077991e-06,3.078329e-06,3.079137e-06,3.079485e-06,3.079615e-06,3.079507e-06,3.079455e-06,3.078689e-06,3.078466e-06,3.077346e-06,3.076429e-06,3.075454e-06,3.073460e-06,3.073039e-06,3.070130e-06,3.069620e-06,3.066751e-06,3.064969e-06,3.062926e-06,3.059562e-06,3.058680e-06,3.054034e-06,3.053451e-06,3.049011e-06,3.046687e-06,3.043633e-06,3.039319e-06,3.037918e-06,3.031888e-06,3.031392e-06,3.025560e-06,3.022949e-06,3.018952e-06,3.014032e-06,3.012083e-06,3.004969e-06,3.004679e-06,2.997625e-06,2.994928e-06,2.990068e-06,2.984814e-06,2.982312e-06,2.974370e-06,2.963628e-06,2.952617e-06,2.941366e-06,2.929901e-06,2.918247e-06,2.906429e-06,2.894467e-06,2.882384e-06,2.870200e-06,2.857932e-06,2.845599e-06,2.833217e-06,2.820801e-06,2.808366e-06,2.795925e-06,2.783491e-06,2.771076e-06,2.758690e-06,2.746345e-06,2.734050e-06,2.721813e-06,2.709643e-06,2.697547e-06,2.685533e-06
0.000000e+00,5.333754e-11,1.235221e-10,4.311430e-10,9.918232e-10,1.456258e-09,3.369928e-09,3.474597e-09,6.897347e-09,8.174061e-09,1.223052e-08,1.658110e-08,2.002751e-08,2.970635e-08,3.066313e-08,4.407507e-08,4.766612e-08,5.987569e-08,6.961051e-08,7.765424e-08,9.468147e-08,9.709332e-08,1.179499e-07,1.222728e-07,1.400179e-07,1.519082e-07,1.631058e-07,1.831513e-07,1.870272e-07,2.115988e-07,2.155786e-07,2.366428e-07,2.487816e-07,2.619898e-07,2.823792e-07,2.874822e-07,3.129759e-07,3.160289e-07,3.383429e-07,3.494348e-07,3.634711e-07,3.823486e-07,3.882636e-07,4.126396e-07,4.145695e-07,4.365317e-07,4.459405e-07,4.598857e-07,4.763430e-07,4.826589e-07,5.048182e-07,5.056914e-07,5.263394e-07,5.339273e-07,5.472053e-07,5.610141e-07,5.674051e-07,5.869331e-07,6.057879e-07,6.116795e-07,6.239717e-07,6.352595e-07,6.414897e-07,6.576870e-07,6.583489e-07,6.745582e-07,6.789818e-07,6.901285e-07,6.991686e-07,7.050713e-07,7.182753e-07,7.193992e-07,7.331257e-07,7.363321e-07,7.462646e-07,7.533710e-07,7.588301e-07,7.694250e-07,7.708368e-07,7.822992e-07,7.845277e-07,7.932322e-07,7.987129e-07,8.036504e-07,8.120147e-07,8.135686e-07,8.230014e-07,8.244666e-07,8.319632e-07,8.361019e-07,8.404685e-07,8.469534e-07,8.485312e-07,8.561653e-07,8.570532e-07,8.633844e-07,8.664329e-07,8.702020e-07,8.751230e-07,8.766313e-07,8.826850e-07,8.831535e-07,8.883759e-07,8.905534e-07,8.937162e-07,8.973509e-07,8.987180e-07,9.033930e-07,9.035734e-07,9.077527e-07,9.092472e-07,9.118083e-07,9.143979e-07,9.155706e-07,9.190502e-07,9.222575e-07,9.232280e-07,9.252024e-07,9.269540e-07,9.278947e-07,9.302504e-07,9.303438e-07,9.325590e-07,9.331385e-07,9.345491e-07,9.356388e-07,9.363228e-07,9.377708e-07,9.378886e-07,9.392544e-07,9.395534e-07,9.404283e-07,9.410047e-07,9.414179e-07,9.421422e-07,9.422306e-07,9.428736e-07,9.429824e-07,9.433538e-07,9.435414e-07,9.436779e-07,9.438344e-07,9.438525e-07,9.438839e-07,9.438761e-07,9.437782e-07,9.436804e-07,9.435412e-07,9.432609e-07,9.431786e-07,9.426960e-07,9.426303e-07,9.420987e-07,9.418008e-07,9.413918e-07,9.407843e-07,9.405803e-07,9.396690e-07,9.395919e-07,9.386625e-07,9.382342e-07,9.375653e-07,9.367216e-07,9.363817e-07,9.351160e-07,9.350637e-07,9.337720e-07,9.332698e-07,9.323538e-07,9.313488e-07,9.308649e-07,9.293091e-07,9.271589e-07,9.249057e-07,9.225568e-07,9.201193e-07,9.175998e-07,9.150045e-07,9.123394e-07,9.096104e-07,9.068226e-07,9.039814e-07,9.010917e-07,8.981579e-07,8.951847e-07,8.921761e-07,8.891361e-07,8.860685e-07,8.829768e-07,8.798645e-07,8.767347e-07,8.735904e-07,8.704346e-07,8.672699e-07,8.640989e-07,8.609239e-07
0.000000e+00,1.441673e-10,3.440508e-10,1.241982e-09,2.905098e-09,4.292638e-09,1.004474e-08,1.036020e-08,2.069314e-08,2.455073e-08,3.679689e-08,4.987870e-08,6.017932e-08,8.878217e-08,9.158802e-08,1.307519e-07,1.412374e-07,1.770790e-07,2.059741e-07,2.301127e-07,2.820751e-07,2.895337e-07,3.550649e-07,3.688789e-07,4.264076e-07,4.656885e-07,5.032111e-07,5.716477e-07,5.850652e-07,6.715059e-07,6.857286e-07,7.620261e-07,8.067686e-07,8.560914e-07,9.335287e-07,9.531550e-07,1.052672e-06,1.064754e-06,1.154113e-06,1.199226e-06,1.256973e-06,1.335803e-06,1.360779e-06,1.465095e-06,1.473450e-06,1.569527e-06,1.611251e-06,1.673720e-06,1.748413e-06,1.777360e-06,1.880175e-06,1.884267e-06,1.981926e-06,2.018256e-06,2.082411e-06,2.149927e-06,2.181456e-06,2.278917e-06,2.374675e-06,2.404941e-06,2.468631e-06,2.527781e-06,2.560707e-06,2.647273e-06,2.650841e-06,2.738984e-06,2.763303e-06,2.825102e-06,2.875790e-06,2.909171e-06,2.984690e-06,2.991174e-06,3.071104e-06,3.089978e-06,3.148961e-06,3.191656e-06,3.224748e-06,3.289738e-06,3.298477e-06,3.370161e-06,3.384254e-06,3.439817e-06,3.475244e-06,3.507466e-06,3.562757e-06,3.573131e-06,3.636837e-06,3.646850e-06,3.698611e-06,3.727584e-06,3.758481e-06,3.805026e-06,3.816477e-06,3.872629e-06,3.879245e-06,3.926970e-06,3.950314e-06,3.979530e-06,4.018306e-06,4.030344e-06,4.079443e-06,4.083298e-06,4.126862e-06,4.145367e-06,4.172634e-06,4.204589e-06,4.216793e-06,4.259372e-06,4.261042e-06,4.300405e-06,4.314805e-06,4.339925e-06,4.365953e-06,4.377967e-06,4.414563e-06,4.449747e-06,4.460712e-06,4.483550e-06,4.504475e-06,4.516006e-06,4.545925e-06,4.547146e-06,4.577002e-06,4.585136e-06,4.605606e-06,4.622180e-06,4.632988e-06,4.657127e-06,4.659179e-06,4.684209e-06,4.690047e-06,4.708107e-06,4.721007e-06,4.730903e-06,4.750074e-06,4.752625e-06,4.773302e-06,4.777314e-06,4.792960e-06,4.802789e-06,4.811628e-06,4.826563e-06,4.829332e-06,4.846098e-06,4.848695e-06,4.861952e-06,4.869245e-06,4.876919e-06,4.888271e-06,4.891025e-06,4.904292e-06,4.905829e-06,4.916745e-06,4.921973e-06,4.928408e-06,4.936757e-06,4.939303e-06,4.949452e-06,4.950232e-06,4.958877e-06,4.962449e-06,4.967600e-06,4.973457e-06,4.975641e-06,4.983021e-06,4.983303e-06,4.989760e-06,4.992033e-06,4.995877e-06,4.999691e-06,5.001391e-06,5.006322e-06,5.011967e-06,5.016667e-06,5.020462e-06,5.023389e-06,5.025486e-06,5.026789e-06,5.027331e-06,5.027147e-06,5.026270e-06,5.024730e-06,5.022558e-06,5.019783e-06,5.016433e-06,5.012536e-06,5.008118e-06,5.003205e-06,4.997821e-06,4.991989e-06,4.985734e-06,4.979076e-06,4.972037e-06,4.964638e-06,4.956898e-06,4.948836e-06
0.000000e+00,1.133044e-10,2.638296e-10,9.260408e-10,2.135111e-09,3.136882e-09,7.261340e-09,7.486701e-09,1.483336e-08,1.755611e-08,2.609587e-08,3.500539e-08,4.186616e-08,6.038661e-08,6.217379e-08,8.683477e-08,9.338409e-08,1.157067e-07,1.336765e-07,1.486883e-07,1.810241e-07,1.856682e-07,2.264930e-07,2.351018e-07,2.709521e-07,2.954201e-07,3.187764e-07,3.613147e-07,3.696432e-07,4.231865e-07,4.319755e-07,4.790077e-07,5.064890e-07,5.366899e-07,5.838909e-07,5.958097e-07,6.559496e-07,6.632156e-07,7.167074e-07,7.435375e-07,7.777022e-07,8.239995e-07,8.385831e-07,8.990361e-07,9.038453e-07,9.587826e-07,9.824275e-07,1.017578e-06,1.059205e-06,1.075215e-06,1.131519e-06,1.133741e-06,1.186346e-06,1.205700e-06,1.239582e-06,1.274827e-06,1.291138e-06,1.340947e-06,1.388963e-06,1.403945e-06,1.435158e-06,1.463760e-06,1.479517e-06,1.520373e-06,1.522039e-06,1.562732e-06,1.573800e-06,1.601613e-06,1.624083e-06,1.638708e-06,1.671284e-06,1.674047e-06,1.707664e-06,1.715481e-06,1.739599e-06,1.756762e-06,1.769892e-06,1.795226e-06,1.798586e-06,1.825727e-06,1.830973e-06,1.851361e-06,1.864110e-06,1.875533e-06,1.894743e-06,1.898291e-06,1.919680e-06,1.922979e-06,1.939748e-06,1.948924e-06,1.958539e-06,1.972684e-06,1.976100e-06,1.992474e-06,1.994361e-06,2.007705e-06,2.014056e-06,2.021836e-06,2.031866e-06,2.034909e-06,2.046964e-06,2.047886e-06,2.058041e-06,2.062207e-06,2.068179e-06,2.074918e-06,2.077415e-06,2.085786e-06,2.086104e-06,2.093328e-06,2.095846e-06,2.100074e-06,2.104224e-06,2.106058e-06,2.111313e-06,2.115869e-06,2.117184e-06,2.119756e-06,2.121907e-06,2.123005e-06,2.125549e-06,2.125643e-06,2.127697e-06,2.128171e-06,2.129194e-06,2.129835e-06,2.130159e-06,2.130598e-06,2.130616e-06,2.130590e-06,2.130514e-06,2.130103e-06,2.129637e-06,2.129176e-06,2.128015e-06,2.127832e-06,2.126090e-06,2.125696e-06,2.123970e-06,2.122725e-06,2.121491e-06,2.119144e-06,2.118671e-06,2.115527e-06,2.114995e-06,2.112077e-06,2.110316e-06,2.108336e-06,2.105144e-06,2.104320e-06,2.100043e-06,2.099513e-06,2.095521e-06,2.093457e-06,2.090766e-06,2.087006e-06,2.085793e-06,2.080613e-06,2.080191e-06,2.075240e-06,2.073038e-06,2.069683e-06,2.065576e-06,2.063956e-06,2.058068e-06,2.057829e-06,2.052030e-06,2.049821e-06,2.045851e-06,2.041574e-06,2.039542e-06,2.033110e-06,2.024449e-06,2.015609e-06,2.006610e-06,1.997466e-06,1.988196e-06,1.978812e-06,1.969331e-06,1.959764e-06,1.950125e-06,1.940426e-06,1.930677e-06,1.920889e-06,1.911071e-06,1.901234e-06,1.891384e-06,1.881532e-06,1.871683e-06,1.861846e-06,1.852026e-06,1.842230e-06,1.832464e-06,1.822733e-06,1.813041e-06,1.803395e-06
0.000000e+00,4.677762e-09,1.395102e-08,7.082399e-08,2.076921e-07,3.397286e-07,9.807941e-07,1.018923e-06,2.364826e-06,2.900330e-06,4.670631e-06,6.647535e-06,8.257362e-06,1.297865e-05,1.346261e-05,2.061868e-05,2.266050e-05,3.002231e-05,3.636213e-05,4.191372e-05,5.458034e-05,5.647290e-05,7.382422e-05,7.763687e-05,9.404139e-05,1.056975e-04,1.171508e-04,1.387852e-04,1.431335e-04,1.719274e-04,1.767890e-04,2.034294e-04,2.194723e-04,2.374987e-04,2.664863e-04,2.739607e-04,3.126117e-04,3.173863e-04,3.532241e-04,3.716522e-04,3.955525e-04,4.287112e-04,4.393388e-04,4.843185e-04,4.879605e-04,5.302257e-04,5.487893e-04,5.767979e-04,6.105983e-04,6.237805e-04,6.709300e-04,6.728162e-04,7.180176e-04,7.349125e-04,7.648306e-04,7.964064e-04,8.111742e-04,8.568720e-04,9.017672e-04,9.159412e-04,9.457224e-04,9.733048e-04,9.886187e-04,1.028710e-03,1.030356e-03,1.070850e-03,1.081956e-03,1.110034e-03,1.132893e-03,1.147855e-03,1.181415e-03,1.184276e-03,1.219270e-03,1.227454e-03,1.252821e-03,1.270977e-03,1.284925e-03,1.311981e-03,1.315584e-03,1.344809e-03,1.350484e-03,1.372618e-03,1.386527e-03,1.399034e-03,1.420166e-03,1.424083e-03,1.447798e-03,1.451471e-03,1.470212e-03,1.480520e-03,1.491363e-03,1.507399e-03,1.511288e-03,1.530029e-03,1.532200e-03,1.547626e-03,1.555016e-03,1.564120e-03,1.575944e-03,1.579554e-03,1.593969e-03,1.595079e-03,1.607406e-03,1.612517e-03,1.619908e-03,1.628352e-03,1.631513e-03,1.642262e-03,1.642675e-03,1.652193e-03,1.655576e-03,1.661345e-03,1.667141e-03,1.669752e-03,1.677452e-03,1.684479e-03,1.686590e-03,1.690865e-03,1.694631e-03,1.696643e-03,1.701646e-03,1.701843e-03,1.706496e-03,1.707705e-03,1.710631e-03,1.712873e-03,1.714273e-03,1.717213e-03,1.717450e-03,1.720188e-03,1.720782e-03,1.722509e-03,1.723636e-03,1.724438e-03,1.725828e-03,1.725996e-03,1.727204e-03,1.727406e-03,1.728083e-03,1.728416e-03,1.728652e-03,1.728904e-03,1.728929e-03,1.728932e-03,1.728908e-03,1.728677e-03,1.728468e-03,1.728180e-03,1.727619e-03,1.727457e-03,1.726522e-03,1.726396e-03,1.725388e-03,1.724830e-03,1.724069e-03,1.722951e-03,1.722577e-03,1.720924e-03,1.720785e-03,1.719121e-03,1.718361e-03,1.717179e-03,1.715700e-03,1.715108e-03,1.712917e-03,1.712827e-03,1.710616e-03,1.709762e-03,1.708213e-03,1.706525e-03,1.705716e-03,1.703134e-03,1.699606e-03,1.695958e-03,1.692204e-03,1.688358e-03,1.684432e-03,1.680440e-03,1.676391e-03,1.672295e-03,1.668164e-03,1.664004e-03,1.659825e-03,1.655633e-03,1.651436e-03,1.647240e-03,1.643051e-03,1.638875e-03,1.634715e-03,1.630578e-03,1.626466e-03,1.622384e-03,1.618335e-03,1.614322e-03,1.610348e-03,1.606415e-03
0.000000e+00,7.904342e-12,1.800886e-11,6.164904e-11,1.407575e-10,2.065231e-10,4.821457e-10,4.974527e-10,1.009721e-09,1.205521e-09,1.836923e-09,2.516930e-09,3.048895e-09,4.482443e-09,4.618747e-09,6.434222e-09,6.893438e-09,8.385177e-09,9.508587e-09,1.039927e-08,1.218834e-08,1.243222e-08,1.445441e-08,1.485550e-08,1.644338e-08,1.745829e-08,1.838078e-08,1.995713e-08,2.025139e-08,2.204281e-08,2.232141e-08,2.374546e-08,2.452908e-08,2.535248e-08,2.656628e-08,2.685957e-08,2.826452e-08,2.842623e-08,2.956723e-08,3.010842e-08,3.076938e-08,3.161745e-08,3.187378e-08,3.288417e-08,3.296108e-08,3.380500e-08,3.414932e-08,3.464105e-08,3.519333e-08,3.539735e-08,3.607897e-08,3.610476e-08,3.669095e-08,3.689517e-08,3.723819e-08,3.757574e-08,3.772540e-08,3.815706e-08,3.853741e-08,3.864895e-08,3.887044e-08,3.906047e-08,3.915986e-08,3.939991e-08,3.940915e-08,3.962152e-08,3.967479e-08,3.979997e-08,3.989190e-08,3.994723e-08,4.005738e-08,4.006588e-08,4.015825e-08,4.017676e-08,4.022653e-08,4.025498e-08,4.027269e-08,4.029651e-08,4.029860e-08,4.030594e-08,4.030532e-08,4.029628e-08,4.028502e-08,4.027106e-08,4.023881e-08,4.023159e-08,4.017910e-08,4.016957e-08,4.011471e-08,4.007989e-08,4.003947e-08,3.997210e-08,3.995432e-08,3.986014e-08,3.984827e-08,3.975774e-08,3.971028e-08,3.964789e-08,3.955983e-08,3.953125e-08,3.940848e-08,3.939841e-08,3.928016e-08,3.922740e-08,3.914683e-08,3.904802e-08,3.900900e-08,3.886713e-08,3.886138e-08,3.872166e-08,3.866848e-08,3.857297e-08,3.847021e-08,3.842144e-08,3.826740e-08,3.811117e-08,3.806077e-08,3.795305e-08,3.785098e-08,3.779330e-08,3.763864e-08,3.763217e-08,3.746989e-08,3.742428e-08,3.730669e-08,3.720840e-08,3.714274e-08,3.699143e-08,3.697825e-08,3.681338e-08,3.677377e-08,3.664828e-08,3.655579e-08,3.648312e-08,3.633781e-08,3.631801e-08,3.615308e-08,3.612013e-08,3.598846e-08,3.590301e-08,3.582425e-08,3.568670e-08,3.566054e-08,3.549743e-08,3.547140e-08,3.533501e-08,3.525731e-08,3.517335e-08,3.504462e-08,3.501252e-08,3.485259e-08,3.483347e-08,3.469363e-08,3.462400e-08,3.453568e-08,3.441635e-08,3.437879e-08,3.422303e-08,3.421062e-08,3.406842e-08,3.400691e-08,3.391501e-08,3.380531e-08,3.376283e-08,3.361192e-08,3.360591e-08,3.346230e-08,3.340876e-08,3.331400e-08,3.321393e-08,3.316705e-08,3.302146e-08,3.283141e-08,3.264380e-08,3.245867e-08,3.227605e-08,3.209595e-08,3.191839e-08,3.174338e-08,3.157093e-08,3.140104e-08,3.123370e-08,3.106893e-08,3.090670e-08,3.074701e-08,3.058985e-08,3.043520e-08,3.028306e-08,3.013339e-08,2.998619e-08,2.984144e-08,2.969910e-08,2.955917e-08,2.942161e-08,2.928640e-08,2.915351e-08
0.000000e+00,7.540872e-10,2.041333e-09,8.640133e-09,2.189248e-08,3.328135e-08,8.115215e-08,8.377803e-08,1.689068e-07,2.001834e-07,2.978774e-07,4.004413e-07,4.806912e-07,7.051220e-07,7.274200e-07,1.045446e-06,1.132587e-06,1.434551e-06,1.679702e-06,1.883436e-06,2.312518e-06,2.372653e-06,2.881815e-06,2.984508e-06,3.394513e-06,3.658505e-06,3.899175e-06,4.311101e-06,4.388011e-06,4.855756e-06,4.928379e-06,5.298795e-06,5.501915e-06,5.714651e-06,6.026656e-06,6.101710e-06,6.459059e-06,6.499924e-06,6.786384e-06,6.920931e-06,7.083888e-06,7.290423e-06,7.352205e-06,7.592324e-06,7.610352e-06,7.805508e-06,7.883561e-06,7.993214e-06,8.113477e-06,8.157036e-06,8.298653e-06,8.303880e-06,8.419769e-06,8.458677e-06,8.522064e-06,8.581714e-06,8.607179e-06,8.676687e-06,8.732072e-06,8.747043e-06,8.774728e-06,8.795948e-06,8.805947e-06,8.826265e-06,8.826921e-06,8.838744e-06,8.840552e-06,8.842411e-06,8.841077e-06,8.838828e-06,8.829834e-06,8.828814e-06,8.813107e-06,8.808565e-06,8.792372e-06,8.778791e-06,8.767209e-06,8.741830e-06,8.738154e-06,8.705688e-06,8.698825e-06,8.670243e-06,8.650763e-06,8.632203e-06,8.598499e-06,8.591915e-06,8.549687e-06,8.542770e-06,8.505796e-06,8.484211e-06,8.460489e-06,8.423373e-06,8.413987e-06,8.366487e-06,8.360729e-06,8.318169e-06,8.296690e-06,8.269189e-06,8.231610e-06,8.219690e-06,8.169798e-06,8.165794e-06,8.119629e-06,8.099507e-06,8.069283e-06,8.032977e-06,8.018853e-06,7.968419e-06,7.966403e-06,7.918057e-06,7.899956e-06,7.867829e-06,7.833783e-06,7.817797e-06,7.768011e-06,7.718518e-06,7.702750e-06,7.669361e-06,7.638093e-06,7.620575e-06,7.574121e-06,7.572194e-06,7.524248e-06,7.510904e-06,7.476761e-06,7.448498e-06,7.429756e-06,7.386955e-06,7.383253e-06,7.337270e-06,7.326313e-06,7.291822e-06,7.266609e-06,7.246921e-06,7.207869e-06,7.202578e-06,7.158803e-06,7.150117e-06,7.115604e-06,7.093369e-06,7.072986e-06,7.037639e-06,7.030954e-06,6.989513e-06,6.982937e-06,6.948664e-06,6.929268e-06,6.908411e-06,6.876636e-06,6.868752e-06,6.829688e-06,6.825041e-06,6.791219e-06,6.774481e-06,6.753343e-06,6.724952e-06,6.716058e-06,6.679360e-06,6.676449e-06,6.643247e-06,6.628965e-06,6.607715e-06,6.582490e-06,6.572761e-06,6.538379e-06,6.537015e-06,6.504564e-06,6.492529e-06,6.471312e-06,6.449020e-06,6.438618e-06,6.406475e-06,6.364881e-06,6.324223e-06,6.284488e-06,6.245661e-06,6.207726e-06,6.170669e-06,6.134472e-06,6.099121e-06,6.064600e-06,6.030892e-06,5.997982e-06,5.965853e-06,5.934490e-06,5.903877e-06,5.873997e-06,5.844836e-06,5.816377e-06,5.788605e-06,5.761506e-06,5.735064e-06,5.709264e-06,5.684092e-06,5.659532e-06,5.635572e-06
0.000000e+00,3.450536e-09,1.016678e-08,5.037715e-08,1.447048e-07,2.341859e-07,6.595714e-07,6.845907e-07,1.558428e-06,1.903222e-06,3.038474e-06,4.302986e-06,5.331820e-06,8.342830e-06,8.650564e-06,1.316773e-05,1.444288e-05,1.898320e-05,2.282084e-05,2.612858e-05,3.350702e-05,3.459094e-05,4.433194e-05,4.642906e-05,5.529783e-05,6.146299e-05,6.742360e-05,7.845118e-05,8.063450e-05,9.484685e-05,9.720775e-05,1.099692e-04,1.175226e-04,1.259037e-04,1.391674e-04,1.425480e-04,1.597977e-04,1.619034e-04,1.775481e-04,1.854904e-04,1.956966e-04,2.096946e-04,2.141442e-04,2.327973e-04,2.342958e-04,2.515687e-04,2.590922e-04,2.703782e-04,2.839037e-04,2.891534e-04,3.078293e-04,3.085734e-04,3.263487e-04,3.329676e-04,3.446618e-04,3.569746e-04,3.627255e-04,3.805032e-04,3.979643e-04,4.034807e-04,4.150834e-04,4.258505e-04,4.318399e-04,4.475697e-04,4.482173e-04,4.642030e-04,4.686074e-04,4.797874e-04,4.889425e-04,4.949638e-04,5.085621e-04,5.097280e-04,5.240779e-04,5.274601e-04,5.380129e-04,5.456357e-04,5.515342e-04,5.630926e-04,5.646442e-04,5.773461e-04,5.798379e-04,5.896445e-04,5.958818e-04,6.015443e-04,6.112363e-04,6.130513e-04,6.241716e-04,6.259155e-04,6.349120e-04,6.399344e-04,6.452793e-04,6.533095e-04,6.552809e-04,6.649241e-04,6.660575e-04,6.742165e-04,6.781961e-04,6.831659e-04,6.897429e-04,6.917801e-04,7.000669e-04,7.007159e-04,7.080341e-04,7.111333e-04,7.156896e-04,7.210130e-04,7.230413e-04,7.300968e-04,7.303730e-04,7.368640e-04,7.392310e-04,7.433504e-04,7.476047e-04,7.495636e-04,7.555112e-04,7.612004e-04,7.629676e-04,7.666385e-04,7.699905e-04,7.718328e-04,7.765963e-04,7.767901e-04,7.815175e-04,7.828008e-04,7.860216e-04,7.886198e-04,7.903092e-04,7.940682e-04,7.943869e-04,7.982609e-04,7.991611e-04,8.019376e-04,8.039126e-04,8.054230e-04,8.083368e-04,8.087232e-04,8.118440e-04,8.124472e-04,8.147912e-04,8.162570e-04,8.175704e-04,8.197790e-04,8.201869e-04,8.226462e-04,8.230255e-04,8.249535e-04,8.260085e-04,8.271139e-04,8.287396e-04,8.291322e-04,8.310133e-04,8.312300e-04,8.327619e-04,8.334906e-04,8.343827e-04,8.355316e-04,8.358799e-04,8.372581e-04,8.373633e-04,8.385214e-04,8.389954e-04,8.396739e-04,8.404373e-04,8.407196e-04,8.416624e-04,8.416980e-04,8.425061e-04,8.427862e-04,8.432543e-04,8.437104e-04,8.439107e-04,8.444786e-04,8.450987e-04,8.455780e-04,8.459239e-04,8.461432e-04,8.462425e-04,8.462284e-04,8.461069e-04,8.458839e-04,8.455650e-04,8.451558e-04,8.446613e-04,8.440866e-04,8.434365e-04,8.427155e-04,8.419280e-04,8.410783e-04,8.401703e-04,8.392079e-04,8.381948e-04,8.371345e-04,8.360303e-04,8.348855e-04,8.337031e-04,8.324860e-04
0.000000e+00,7.566957e-12,1.730045e-11,5.907821e-11,1.331974e-10,1.931929e-10,4.304932e-10,4.430819e-10,8.371183e-10,9.766659e-10,1.399467e-09,1.826302e-09,2.150533e-09,3.022759e-09,3.107195e-09,4.282725e-09,4.598532e-09,5.686209e-09,6.573352e-09,7.321240e-09,8.948691e-09,9.183872e-09,1.126056e-08,1.169967e-08,1.352767e-08,1.477155e-08,1.595366e-08,1.808839e-08,1.850311e-08,2.114040e-08,2.156823e-08,2.383184e-08,2.513379e-08,2.654659e-08,2.871635e-08,2.925679e-08,3.193748e-08,3.225610e-08,3.456657e-08,3.570196e-08,3.712479e-08,3.901137e-08,3.959562e-08,4.196529e-08,4.215014e-08,4.422270e-08,4.509222e-08,4.635927e-08,4.781921e-08,4.836881e-08,5.024733e-08,5.031971e-08,5.199280e-08,5.258849e-08,5.360492e-08,5.462555e-08,5.508489e-08,5.643518e-08,5.765928e-08,5.802503e-08,5.876151e-08,5.940525e-08,5.974683e-08,6.058776e-08,6.062065e-08,6.138870e-08,6.158561e-08,6.205691e-08,6.241240e-08,6.263126e-08,6.308193e-08,6.311776e-08,6.352230e-08,6.360784e-08,6.385065e-08,6.400333e-08,6.410839e-08,6.428105e-08,6.430088e-08,6.443326e-08,6.445295e-08,6.451039e-08,6.453021e-08,6.453689e-08,6.452319e-08,6.451708e-08,6.445506e-08,6.444148e-08,6.435463e-08,6.429384e-08,6.421936e-08,6.408829e-08,6.405256e-08,6.385731e-08,6.383210e-08,6.363647e-08,6.353188e-08,6.339268e-08,6.319357e-08,6.312840e-08,6.284588e-08,6.282255e-08,6.254719e-08,6.242363e-08,6.223426e-08,6.200113e-08,6.190885e-08,6.157258e-08,6.155893e-08,6.122693e-08,6.110047e-08,6.087327e-08,6.062884e-08,6.051284e-08,6.014679e-08,5.977616e-08,5.965675e-08,5.940190e-08,5.916088e-08,5.902488e-08,5.866109e-08,5.864591e-08,5.826569e-08,5.815909e-08,5.788488e-08,5.765636e-08,5.750408e-08,5.715422e-08,5.712384e-08,5.674463e-08,5.665383e-08,5.636690e-08,5.615618e-08,5.599106e-08,5.566216e-08,5.561746e-08,5.524641e-08,5.517254e-08,5.487822e-08,5.468798e-08,5.451314e-08,5.420904e-08,5.415140e-08,5.379320e-08,5.373622e-08,5.343871e-08,5.326993e-08,5.308811e-08,5.281051e-08,5.274152e-08,5.239907e-08,5.235826e-08,5.206085e-08,5.191340e-08,5.172696e-08,5.147614e-08,5.139746e-08,5.107242e-08,5.104661e-08,5.075188e-08,5.062493e-08,5.043588e-08,5.021119e-08,5.012445e-08,4.981760e-08,4.980542e-08,4.951535e-08,4.940766e-08,4.921769e-08,4.901791e-08,4.892463e-08,4.863615e-08,4.826234e-08,4.789644e-08,4.753838e-08,4.718808e-08,4.684546e-08,4.651042e-08,4.618287e-08,4.586269e-08,4.554976e-08,4.524399e-08,4.494523e-08,4.465336e-08,4.436827e-08,4.408981e-08,4.381786e-08,4.355230e-08,4.329297e-08,4.303977e-08,4.279255e-08,4.255118e-08,4.231555e-08,4.208551e-08,4.186094e-08,4.164172e-08
0.000000e+00,5.612743e-09,1.667226e-08,8.393738e-08,2.443084e-07,3.980038e-07,1.137369e-06,1.181107e-06,2.715294e-06,3.322019e-06,5.318643e-06,7.537400e-06,9.338944e-06,1.460994e-05,1.514987e-05,2.314233e-05,2.542843e-05,3.369922e-05,4.085684e-05,4.714665e-05,6.154466e-05,6.369855e-05,8.342904e-05,8.775371e-05,1.062838e-04,1.193558e-04,1.321119e-04,1.559489e-04,1.606977e-04,1.917845e-04,1.969719e-04,2.250908e-04,2.417795e-04,2.603204e-04,2.896852e-04,2.971701e-04,3.353350e-04,3.399888e-04,3.745135e-04,3.919968e-04,4.144109e-04,4.450390e-04,4.547439e-04,4.952433e-04,4.984828e-04,5.356571e-04,5.517459e-04,5.757528e-04,6.043051e-04,6.153188e-04,6.541658e-04,6.557023e-04,6.921268e-04,7.055475e-04,7.290577e-04,7.535190e-04,7.648361e-04,7.993611e-04,8.325515e-04,8.428799e-04,8.643449e-04,8.839378e-04,8.946958e-04,9.224476e-04,9.235743e-04,9.509641e-04,9.583657e-04,9.768612e-04,9.916854e-04,1.001272e-03,1.022431e-03,1.024213e-03,1.045707e-03,1.050653e-03,1.065783e-03,1.076420e-03,1.084478e-03,1.099817e-03,1.101829e-03,1.117881e-03,1.120939e-03,1.132677e-03,1.139890e-03,1.146264e-03,1.156779e-03,1.158691e-03,1.170006e-03,1.171717e-03,1.180258e-03,1.184815e-03,1.189495e-03,1.196186e-03,1.197764e-03,1.205114e-03,1.205937e-03,1.211591e-03,1.214176e-03,1.217239e-03,1.221005e-03,1.222103e-03,1.226224e-03,1.226523e-03,1.229644e-03,1.230825e-03,1.232403e-03,1.234001e-03,1.234538e-03,1.236087e-03,1.236137e-03,1.237084e-03,1.237314e-03,1.237562e-03,1.237608e-03,1.237554e-03,1.237091e-03,1.236201e-03,1.235831e-03,1.234913e-03,1.233892e-03,1.233253e-03,1.231333e-03,1.231246e-03,1.228916e-03,1.228209e-03,1.226287e-03,1.224574e-03,1.223379e-03,1.220475e-03,1.220212e-03,1.216808e-03,1.215957e-03,1.213183e-03,1.211063e-03,1.209355e-03,1.205832e-03,1.205341e-03,1.201157e-03,1.200301e-03,1.196816e-03,1.194502e-03,1.192333e-03,1.188468e-03,1.187722e-03,1.182993e-03,1.182227e-03,1.178160e-03,1.175807e-03,1.173234e-03,1.169231e-03,1.168223e-03,1.163139e-03,1.162525e-03,1.157991e-03,1.155707e-03,1.152786e-03,1.148799e-03,1.147534e-03,1.142242e-03,1.141817e-03,1.136917e-03,1.134779e-03,1.131565e-03,1.127700e-03,1.126194e-03,1.120809e-03,1.120593e-03,1.115415e-03,1.113472e-03,1.110018e-03,1.106349e-03,1.104623e-03,1.099233e-03,1.092135e-03,1.085064e-03,1.078027e-03,1.071032e-03,1.064086e-03,1.057195e-03,1.050364e-03,1.043597e-03,1.036900e-03,1.030275e-03,1.023726e-03,1.017257e-03,1.010870e-03,1.004566e-03,9.983485e-04,9.922183e-04,9.861770e-04,9.802256e-04,9.743649e-04,9.685955e-04,9.629180e-04,9.573324e-04,9.518390e-04,9.464376e-04
0.000000e+00,3.007857e-10,7.258353e-10,2.643307e-09,6.181968e-09,9.114864e-09,2.109266e-08,2.174175e-08,4.262325e-08,5.025549e-08,7.404705e-08,9.897757e-08,1.184434e-07,1.725131e-07,1.778430e-07,2.527861e-07,2.729684e-07,3.419884e-07,3.974112e-07,4.434217e-07,5.413183e-07,5.552296e-07,6.758615e-07,7.009237e-07,8.039356e-07,8.730354e-07,9.381295e-07,1.054627e-06,1.077138e-06,1.219674e-06,1.242723e-06,1.364489e-06,1.434459e-06,1.510399e-06,1.627177e-06,1.656310e-06,1.801237e-06,1.818519e-06,1.944312e-06,2.006483e-06,2.084793e-06,2.189435e-06,2.222055e-06,2.355593e-06,2.366103e-06,2.485005e-06,2.535544e-06,2.609986e-06,2.697102e-06,2.730315e-06,2.845843e-06,2.850363e-06,2.956482e-06,2.995107e-06,3.062198e-06,3.131274e-06,3.162997e-06,3.258921e-06,3.350039e-06,3.378196e-06,3.436441e-06,3.489312e-06,3.518234e-06,3.592532e-06,3.595539e-06,3.668485e-06,3.688148e-06,3.737208e-06,3.776473e-06,3.801848e-06,3.857833e-06,3.862547e-06,3.919450e-06,3.932558e-06,3.972700e-06,4.000978e-06,4.022440e-06,4.063418e-06,4.068809e-06,4.111947e-06,4.120198e-06,4.151987e-06,4.171628e-06,4.189062e-06,4.218007e-06,4.223300e-06,4.254826e-06,4.259626e-06,4.283761e-06,4.296764e-06,4.310222e-06,4.329686e-06,4.334322e-06,4.356172e-06,4.358648e-06,4.375876e-06,4.383893e-06,4.393537e-06,4.405653e-06,4.409253e-06,4.423117e-06,4.424149e-06,4.435222e-06,4.439590e-06,4.445654e-06,4.452176e-06,4.454497e-06,4.461831e-06,4.462094e-06,4.467735e-06,4.469524e-06,4.472282e-06,4.474635e-06,4.475542e-06,4.477585e-06,4.478476e-06,4.478528e-06,4.478276e-06,4.477604e-06,4.477046e-06,4.474949e-06,4.474843e-06,4.471721e-06,4.470690e-06,4.467734e-06,4.464946e-06,4.462930e-06,4.457830e-06,4.457358e-06,4.451063e-06,4.449449e-06,4.444089e-06,4.439902e-06,4.436477e-06,4.429283e-06,4.428268e-06,4.419499e-06,4.417681e-06,4.410207e-06,4.405179e-06,4.400425e-06,4.391854e-06,4.390187e-06,4.379524e-06,4.377781e-06,4.368466e-06,4.363027e-06,4.357042e-06,4.347657e-06,4.345279e-06,4.333201e-06,4.331732e-06,4.320835e-06,4.315308e-06,4.308203e-06,4.298439e-06,4.295328e-06,4.282230e-06,4.281173e-06,4.268930e-06,4.263558e-06,4.255447e-06,4.245636e-06,4.241799e-06,4.228004e-06,4.227449e-06,4.214077e-06,4.209034e-06,4.200034e-06,4.190427e-06,4.185891e-06,4.171660e-06,4.152765e-06,4.133769e-06,4.114700e-06,4.095582e-06,4.076439e-06,4.057292e-06,4.038159e-06,4.019061e-06,4.000014e-06,3.981033e-06,3.962133e-06,3.943327e-06,3.924627e-06,3.906045e-06,3.887592e-06,3.869275e-06,3.851105e-06,3.833088e-06,3.815232e-06,3.797544e-06,3.780028e-06,3.762691e-06,3.745537e-06,3.728569e-06
0.000000e+00,5.941078e-11,1.391736e-10,4.901385e-10,1.126203e-09,1.647748e-09,3.744123e-09,3.856438e-09,7.410538e-09,8.683631e-09,1.257544e-08,1.654719e-08,1.958766e-08,2.784841e-08,2.865356e-08,3.994598e-08,4.300318e-08,5.359740e-08,6.230503e-08,6.968771e-08,8.587447e-08,8.822679e-08,1.091389e-07,1.135933e-07,1.322631e-07,1.450890e-07,1.573748e-07,1.798166e-07,1.842166e-07,2.125222e-07,2.171693e-07,2.420285e-07,2.565427e-07,2.724804e-07,2.973584e-07,3.036338e-07,3.352574e-07,3.390733e-07,3.671345e-07,3.811886e-07,3.990653e-07,4.232561e-07,4.308681e-07,4.623801e-07,4.648841e-07,4.934583e-07,5.057398e-07,5.239788e-07,5.455485e-07,5.538364e-07,5.829434e-07,5.840911e-07,6.112288e-07,6.211992e-07,6.386364e-07,6.567497e-07,6.651232e-07,6.906586e-07,7.152220e-07,7.228750e-07,7.388022e-07,7.533754e-07,7.613953e-07,7.821588e-07,7.830043e-07,8.036376e-07,8.092418e-07,8.233081e-07,8.346549e-07,8.420322e-07,8.584394e-07,8.598296e-07,8.767222e-07,8.806444e-07,8.927336e-07,9.013245e-07,9.078890e-07,9.205382e-07,9.222143e-07,9.357363e-07,9.383466e-07,9.484818e-07,9.548118e-07,9.604783e-07,9.699962e-07,9.717527e-07,9.823322e-07,9.839622e-07,9.922434e-07,9.967711e-07,1.001512e-06,1.008483e-06,1.010165e-06,1.018227e-06,1.019156e-06,1.025722e-06,1.028847e-06,1.032675e-06,1.037611e-06,1.039109e-06,1.045047e-06,1.045501e-06,1.050509e-06,1.052567e-06,1.055519e-06,1.058857e-06,1.060097e-06,1.064261e-06,1.064420e-06,1.068032e-06,1.069297e-06,1.071429e-06,1.073533e-06,1.074468e-06,1.077167e-06,1.079544e-06,1.080239e-06,1.081613e-06,1.082783e-06,1.083390e-06,1.084835e-06,1.084890e-06,1.086127e-06,1.086428e-06,1.087114e-06,1.087593e-06,1.087866e-06,1.088359e-06,1.088393e-06,1.088709e-06,1.088755e-06,1.088825e-06,1.088806e-06,1.088751e-06,1.088538e-06,1.088499e-06,1.088079e-06,1.087975e-06,1.087499e-06,1.087139e-06,1.086771e-06,1.086050e-06,1.085902e-06,1.084900e-06,1.084728e-06,1.083775e-06,1.083194e-06,1.082534e-06,1.081462e-06,1.081184e-06,1.079733e-06,1.079552e-06,1.078186e-06,1.077478e-06,1.076552e-06,1.075254e-06,1.074835e-06,1.073042e-06,1.072895e-06,1.071178e-06,1.070414e-06,1.069249e-06,1.067822e-06,1.067259e-06,1.065214e-06,1.065131e-06,1.063118e-06,1.062352e-06,1.060976e-06,1.059495e-06,1.058792e-06,1.056570e-06,1.053584e-06,1.050546e-06,1.047465e-06,1.044346e-06,1.041197e-06,1.038024e-06,1.034832e-06,1.031628e-06,1.028415e-06,1.025199e-06,1.021985e-06,1.018775e-06,1.015574e-06,1.012385e-06,1.009211e-06,1.006055e-06,1.002919e-06,9.998071e-07,9.967201e-07,9.936604e-07,9.906299e-07,9.876301e-07,9.846627e-07,9.817288e-07
0.000000e+00,1.395725e-09,4.111425e-09,2.034222e-08,5.827521e-08,9.411404e-08,2.630206e-07,2.728901e-07,6.139578e-07,7.468464e-07,1.178957e-06,1.652406e-06,2.033043e-06,3.132871e-06,3.244601e-06,4.883418e-06,5.347767e-06,7.014284e-06,8.441219e-06,9.684252e-06,1.249248e-05,1.290816e-05,1.666255e-05,1.747262e-05,2.089196e-05,2.325465e-05,2.552188e-05,2.966075e-05,3.047058e-05,3.565712e-05,3.650387e-05,4.100549e-05,4.360958e-05,4.644643e-05,5.082384e-05,5.191780e-05,5.736448e-05,5.801405e-05,6.273791e-05,6.506790e-05,6.799579e-05,7.189190e-05,7.310174e-05,7.802501e-05,7.841019e-05,8.274030e-05,8.456350e-05,8.722746e-05,9.030822e-05,9.147126e-05,9.546103e-05,9.561523e-05,9.919033e-05,1.004685e-04,1.026565e-04,1.048635e-04,1.058604e-04,1.088055e-04,1.114981e-04,1.123077e-04,1.139465e-04,1.153897e-04,1.161604e-04,1.180754e-04,1.181509e-04,1.199298e-04,1.203916e-04,1.215094e-04,1.223667e-04,1.229024e-04,1.240300e-04,1.241215e-04,1.251792e-04,1.254104e-04,1.260878e-04,1.265359e-04,1.268591e-04,1.274331e-04,1.275042e-04,1.280339e-04,1.281269e-04,1.284583e-04,1.286405e-04,1.287867e-04,1.289948e-04,1.290279e-04,1.291900e-04,1.292091e-04,1.292805e-04,1.293006e-04,1.293063e-04,1.292845e-04,1.292736e-04,1.291882e-04,1.291746e-04,1.290553e-04,1.289831e-04,1.288798e-04,1.287205e-04,1.286659e-04,1.284177e-04,1.283964e-04,1.281386e-04,1.280190e-04,1.278319e-04,1.275956e-04,1.275005e-04,1.271471e-04,1.271326e-04,1.267741e-04,1.266355e-04,1.263837e-04,1.261093e-04,1.259778e-04,1.255582e-04,1.251266e-04,1.249862e-04,1.246844e-04,1.243965e-04,1.242330e-04,1.237920e-04,1.237735e-04,1.233071e-04,1.231754e-04,1.228348e-04,1.225489e-04,1.223574e-04,1.219146e-04,1.218760e-04,1.213911e-04,1.212744e-04,1.209036e-04,1.206297e-04,1.204141e-04,1.199820e-04,1.199230e-04,1.194311e-04,1.193327e-04,1.189388e-04,1.186828e-04,1.184465e-04,1.180333e-04,1.179547e-04,1.174637e-04,1.173853e-04,1.169739e-04,1.167394e-04,1.164857e-04,1.160964e-04,1.159993e-04,1.155150e-04,1.154570e-04,1.150330e-04,1.148217e-04,1.145536e-04,1.141912e-04,1.140771e-04,1.136035e-04,1.135657e-04,1.131331e-04,1.129458e-04,1.126660e-04,1.123318e-04,1.122024e-04,1.117424e-04,1.117241e-04,1.112862e-04,1.111229e-04,1.108338e-04,1.105285e-04,1.103854e-04,1.099410e-04,1.093608e-04,1.087880e-04,1.082226e-04,1.076649e-04,1.071150e-04,1.065728e-04,1.060385e-04,1.055122e-04,1.049938e-04,1.044834e-04,1.039810e-04,1.034866e-04,1.030002e-04,1.025217e-04,1.020512e-04,1.015886e-04,1.011338e-04,1.006869e-04,1.002477e-04,9.981613e-05,9.939224e-05,9.897589e-05,9.856702e-05,9.816556e-05
0.000000e+00,3.765075e-11,8.797205e-11,3.083687e-10,7.058906e-10,1.030876e-09,2.333132e-09,2.402802e-09,4.606210e-09,5.395733e-09,7.812675e-09,1.028621e-08,1.218483e-08,1.736103e-08,1.786643e-08,2.495090e-08,2.686255e-08,3.344314e-08,3.878546e-08,4.326103e-08,5.289702e-08,5.427780e-08,6.635609e-08,6.888702e-08,7.935828e-08,8.643866e-08,9.314589e-08,1.052315e-07,1.075781e-07,1.225123e-07,1.249388e-07,1.378056e-07,1.452327e-07,1.533181e-07,1.657954e-07,1.689155e-07,1.844721e-07,1.863306e-07,1.998730e-07,2.065731e-07,2.150154e-07,2.262954e-07,2.298101e-07,2.441813e-07,2.453107e-07,2.580665e-07,2.634731e-07,2.714163e-07,2.806749e-07,2.841929e-07,2.963693e-07,2.968436e-07,3.079282e-07,3.119363e-07,3.188607e-07,3.259358e-07,3.291650e-07,3.388451e-07,3.479104e-07,3.506835e-07,3.563740e-07,3.614823e-07,3.642522e-07,3.712819e-07,3.715637e-07,3.783291e-07,3.801285e-07,3.845701e-07,3.880724e-07,3.903093e-07,3.951660e-07,3.955697e-07,4.003744e-07,4.014623e-07,4.047463e-07,4.070140e-07,4.087082e-07,4.118730e-07,4.122821e-07,4.154897e-07,4.160891e-07,4.183518e-07,4.197103e-07,4.208887e-07,4.227825e-07,4.231197e-07,4.250635e-07,4.253490e-07,4.267377e-07,4.274507e-07,4.281594e-07,4.291257e-07,4.293446e-07,4.303086e-07,4.304101e-07,4.310659e-07,4.313373e-07,4.316304e-07,4.319385e-07,4.320150e-07,4.322322e-07,4.322427e-07,4.322936e-07,4.322771e-07,4.322103e-07,4.320664e-07,4.319925e-07,4.316501e-07,4.316340e-07,4.311925e-07,4.310012e-07,4.306282e-07,4.301878e-07,4.299655e-07,4.292121e-07,4.283752e-07,4.280909e-07,4.274618e-07,4.268399e-07,4.264781e-07,4.254734e-07,4.254303e-07,4.243240e-07,4.240045e-07,4.231645e-07,4.224453e-07,4.219568e-07,4.208071e-07,4.207055e-07,4.194151e-07,4.191000e-07,4.180896e-07,4.173334e-07,4.167329e-07,4.155160e-07,4.153485e-07,4.139400e-07,4.136556e-07,4.125103e-07,4.117595e-07,4.110625e-07,4.098343e-07,4.095992e-07,4.081231e-07,4.078859e-07,4.066366e-07,4.059200e-07,4.051418e-07,4.039415e-07,4.036409e-07,4.021358e-07,4.019550e-07,4.006282e-07,3.999646e-07,3.991200e-07,3.979741e-07,3.976125e-07,3.961072e-07,3.959870e-07,3.946056e-07,3.940062e-07,3.931088e-07,3.920347e-07,3.916179e-07,3.901341e-07,3.900749e-07,3.886582e-07,3.881290e-07,3.871912e-07,3.861992e-07,3.857340e-07,3.842871e-07,3.823945e-07,3.805227e-07,3.786729e-07,3.768464e-07,3.750440e-07,3.732666e-07,3.715149e-07,3.697894e-07,3.680908e-07,3.664194e-07,3.647755e-07,3.631595e-07,3.615713e-07,3.600113e-07,3.584794e-07,3.569756e-07,3.554999e-07,3.540523e-07,3.526325e-07,3.512405e-07,3.498760e-07,3.485389e-07,3.472288e-07,3.459455e-07
0.000000e+00,1.879845e-11,4.305353e-11,1.477096e-10,3.350412e-10,4.880286e-10,1.103967e-09,1.137108e-09,2.197153e-09,2.582821e-09,3.782119e-09,5.035618e-09,6.012136e-09,8.711153e-09,8.975959e-09,1.267407e-08,1.366219e-08,1.701893e-08,1.969141e-08,2.189586e-08,2.654689e-08,2.720371e-08,3.285958e-08,3.402610e-08,3.879203e-08,4.196424e-08,4.493527e-08,5.021230e-08,5.122625e-08,5.760404e-08,5.862860e-08,6.401030e-08,6.707916e-08,7.039023e-08,7.544134e-08,7.669369e-08,8.287608e-08,8.360793e-08,8.889873e-08,9.148950e-08,9.472921e-08,9.901559e-08,1.003415e-07,1.057153e-07,1.061345e-07,1.108362e-07,1.128114e-07,1.156945e-07,1.190269e-07,1.202851e-07,1.246064e-07,1.247737e-07,1.286602e-07,1.300548e-07,1.324507e-07,1.348809e-07,1.359841e-07,1.392683e-07,1.423123e-07,1.432372e-07,1.451259e-07,1.468104e-07,1.477194e-07,1.500121e-07,1.501036e-07,1.522890e-07,1.528668e-07,1.542866e-07,1.553994e-07,1.561068e-07,1.576337e-07,1.577600e-07,1.592560e-07,1.595928e-07,1.606045e-07,1.612987e-07,1.618146e-07,1.627721e-07,1.628952e-07,1.638544e-07,1.640324e-07,1.647003e-07,1.650979e-07,1.654403e-07,1.659852e-07,1.660814e-07,1.666303e-07,1.667100e-07,1.670933e-07,1.672867e-07,1.674761e-07,1.677285e-07,1.677844e-07,1.680234e-07,1.680476e-07,1.681978e-07,1.682553e-07,1.683123e-07,1.683618e-07,1.683711e-07,1.683782e-07,1.683767e-07,1.683374e-07,1.683085e-07,1.682522e-07,1.681652e-07,1.681259e-07,1.679615e-07,1.679542e-07,1.677619e-07,1.676820e-07,1.675298e-07,1.673548e-07,1.672678e-07,1.669781e-07,1.666630e-07,1.665572e-07,1.663246e-07,1.660966e-07,1.659647e-07,1.656007e-07,1.655851e-07,1.651877e-07,1.650734e-07,1.647738e-07,1.645183e-07,1.643451e-07,1.639387e-07,1.639028e-07,1.634484e-07,1.633376e-07,1.629829e-07,1.627178e-07,1.625075e-07,1.620818e-07,1.620233e-07,1.615312e-07,1.614320e-07,1.610322e-07,1.607703e-07,1.605272e-07,1.600989e-07,1.600169e-07,1.595021e-07,1.594193e-07,1.589834e-07,1.587333e-07,1.584617e-07,1.580424e-07,1.579374e-07,1.574111e-07,1.573479e-07,1.568834e-07,1.566509e-07,1.563548e-07,1.559527e-07,1.558257e-07,1.552966e-07,1.552543e-07,1.547679e-07,1.545566e-07,1.542399e-07,1.538605e-07,1.537131e-07,1.531876e-07,1.531666e-07,1.526639e-07,1.524759e-07,1.521422e-07,1.517888e-07,1.516228e-07,1.511059e-07,1.504278e-07,1.497550e-07,1.490878e-07,1.484267e-07,1.477720e-07,1.471240e-07,1.464829e-07,1.458491e-07,1.452226e-07,1.446038e-07,1.439927e-07,1.433895e-07,1.427944e-07,1.422073e-07,1.416284e-07,1.410578e-07,1.404954e-07,1.399414e-07,1.393957e-07,1.388584e-07,1.383294e-07,1.378088e-07,1.372965e-07,1.367924e-07
0.000000e+00,1.357718e-12,3.101299e-12,1.064908e-11,2.429267e-11,3.556223e-11,8.203952e-11,8.458862e-11,1.685369e-10,2.001558e-10,3.015663e-10,4.113767e-10,4.985954e-10,7.419821e-10,7.658278e-10,1.095622e-09,1.182652e-09,1.475475e-09,1.706308e-09,1.895746e-09,2.294026e-09,2.350215e-09,2.834598e-09,2.934751e-09,3.345399e-09,3.620354e-09,3.879290e-09,4.343090e-09,4.432829e-09,5.002382e-09,5.094744e-09,5.584143e-09,5.866581e-09,6.174213e-09,6.649629e-09,6.768693e-09,7.363790e-09,7.435069e-09,7.955899e-09,8.214609e-09,8.541684e-09,8.980787e-09,9.118137e-09,9.682608e-09,9.727177e-09,1.023282e-08,1.044847e-08,1.076686e-08,1.114048e-08,1.128320e-08,1.178065e-08,1.180014e-08,1.225834e-08,1.242536e-08,1.271570e-08,1.301492e-08,1.315240e-08,1.356834e-08,1.396361e-08,1.408576e-08,1.433844e-08,1.456778e-08,1.469321e-08,1.501536e-08,1.502840e-08,1.534456e-08,1.542975e-08,1.564229e-08,1.581237e-08,1.592227e-08,1.616475e-08,1.618517e-08,1.643169e-08,1.648850e-08,1.666255e-08,1.678525e-08,1.687845e-08,1.705663e-08,1.708010e-08,1.726817e-08,1.730422e-08,1.744334e-08,1.752954e-08,1.760624e-08,1.773406e-08,1.775750e-08,1.789773e-08,1.791918e-08,1.802749e-08,1.808623e-08,1.814735e-08,1.823644e-08,1.825781e-08,1.835939e-08,1.837100e-08,1.845256e-08,1.849100e-08,1.853776e-08,1.859747e-08,1.861545e-08,1.868601e-08,1.869136e-08,1.874984e-08,1.877356e-08,1.880730e-08,1.884492e-08,1.885873e-08,1.890448e-08,1.890619e-08,1.894484e-08,1.895811e-08,1.898011e-08,1.900133e-08,1.901057e-08,1.903648e-08,1.905810e-08,1.906414e-08,1.907564e-08,1.908484e-08,1.908935e-08,1.909908e-08,1.909942e-08,1.910605e-08,1.910732e-08,1.910945e-08,1.911000e-08,1.910977e-08,1.910751e-08,1.910720e-08,1.910189e-08,1.910023e-08,1.909399e-08,1.908849e-08,1.908365e-08,1.907264e-08,1.907100e-08,1.905617e-08,1.905296e-08,1.903929e-08,1.902973e-08,1.902046e-08,1.900322e-08,1.899980e-08,1.897741e-08,1.897367e-08,1.895339e-08,1.894131e-08,1.892783e-08,1.890634e-08,1.890083e-08,1.887246e-08,1.886897e-08,1.884281e-08,1.882938e-08,1.881195e-08,1.878774e-08,1.877996e-08,1.874690e-08,1.874421e-08,1.871284e-08,1.869895e-08,1.867784e-08,1.865210e-08,1.864196e-08,1.860526e-08,1.860378e-08,1.856779e-08,1.855412e-08,1.852960e-08,1.850324e-08,1.849073e-08,1.845124e-08,1.839824e-08,1.834431e-08,1.828956e-08,1.823407e-08,1.817791e-08,1.812116e-08,1.806388e-08,1.800616e-08,1.794803e-08,1.788958e-08,1.783083e-08,1.777186e-08,1.771270e-08,1.765341e-08,1.759401e-08,1.753456e-08,1.747509e-08,1.741563e-08,1.735623e-08,1.729690e-08,1.723767e-08,1.717859e-08,1.711966e-08,1.706091e-08
0.000000e+00,3.062817e-09,8.754634e-09,4.087700e-08,1.116429e-07,1.759852e-07,4.648437e-07,4.812687e-07,1.032755e-06,1.241932e-06,1.909238e-06,2.625320e-06,3.193198e-06,4.805689e-06,4.967466e-06,7.300528e-06,7.948081e-06,1.022337e-05,1.211367e-05,1.372086e-05,1.723811e-05,1.774740e-05,2.224714e-05,2.319893e-05,2.716441e-05,2.986867e-05,3.244608e-05,3.712669e-05,3.804080e-05,4.389810e-05,4.485629e-05,4.996810e-05,5.294281e-05,5.620180e-05,6.127470e-05,6.255179e-05,6.897299e-05,6.974628e-05,7.542335e-05,7.826071e-05,8.186449e-05,8.673226e-05,8.826199e-05,9.458548e-05,9.508735e-05,1.008087e-04,1.032648e-04,1.069094e-04,1.112156e-04,1.128692e-04,1.186728e-04,1.189015e-04,1.243083e-04,1.262942e-04,1.297667e-04,1.333735e-04,1.350410e-04,1.401266e-04,1.450205e-04,1.465459e-04,1.497215e-04,1.526287e-04,1.542294e-04,1.583761e-04,1.585450e-04,1.626703e-04,1.637916e-04,1.666078e-04,1.688814e-04,1.703605e-04,1.736529e-04,1.739320e-04,1.773262e-04,1.781149e-04,1.805473e-04,1.822771e-04,1.835997e-04,1.861497e-04,1.864878e-04,1.892163e-04,1.897433e-04,1.917900e-04,1.930687e-04,1.942135e-04,1.961367e-04,1.964916e-04,1.986290e-04,1.989582e-04,2.006303e-04,2.015441e-04,2.025004e-04,2.039049e-04,2.042436e-04,2.058645e-04,2.060510e-04,2.073676e-04,2.079928e-04,2.087572e-04,2.097400e-04,2.100376e-04,2.112128e-04,2.113024e-04,2.122871e-04,2.126893e-04,2.132642e-04,2.139098e-04,2.141481e-04,2.149426e-04,2.149726e-04,2.156513e-04,2.158861e-04,2.162777e-04,2.166585e-04,2.168254e-04,2.172975e-04,2.176975e-04,2.178107e-04,2.180283e-04,2.182052e-04,2.182931e-04,2.184880e-04,2.184949e-04,2.186364e-04,2.186656e-04,2.187204e-04,2.187444e-04,2.187496e-04,2.187303e-04,2.187266e-04,2.186538e-04,2.186292e-04,2.185336e-04,2.184465e-04,2.183684e-04,2.181876e-04,2.181604e-04,2.179118e-04,2.178573e-04,2.176245e-04,2.174605e-04,2.173006e-04,2.170017e-04,2.169421e-04,2.165508e-04,2.164853e-04,2.161284e-04,2.159152e-04,2.156768e-04,2.152954e-04,2.151974e-04,2.146920e-04,2.146297e-04,2.141620e-04,2.139214e-04,2.136089e-04,2.131740e-04,2.130342e-04,2.124391e-04,2.123906e-04,2.118249e-04,2.115742e-04,2.111930e-04,2.107276e-04,2.105444e-04,2.098804e-04,2.098536e-04,2.092020e-04,2.089545e-04,2.085104e-04,2.080329e-04,2.078064e-04,2.070910e-04,2.061309e-04,2.051547e-04,2.041642e-04,2.031613e-04,2.021476e-04,2.011246e-04,2.000940e-04,1.990571e-04,1.980152e-04,1.969696e-04,1.959214e-04,1.948716e-04,1.938214e-04,1.927716e-04,1.917232e-04,1.906769e-04,1.896336e-04,1.885939e-04,1.875585e-04,1.865280e-04,1.855030e-04,1.844840e-04,1.834715e-04,1.824660e-04
0.000000e+00,1.125556e-10,2.703007e-10,9.782428e-10,2.279200e-09,3.354763e-09,7.733851e-09,7.970722e-09,1.557638e-08,1.835132e-08,2.699390e-08,3.605174e-08,4.313718e-08,6.295797e-08,6.492752e-08,9.301389e-08,1.007103e-07,1.274316e-07,1.492737e-07,1.676127e-07,2.070989e-07,2.127511e-07,2.620918e-07,2.724065e-07,3.150015e-07,3.437432e-07,3.709398e-07,4.199085e-07,4.294157e-07,4.899597e-07,4.998077e-07,5.521096e-07,5.823773e-07,6.154075e-07,6.665691e-07,6.794026e-07,7.436575e-07,7.513655e-07,8.077555e-07,8.358072e-07,8.713059e-07,9.190166e-07,9.339511e-07,9.953720e-07,1.000224e-06,1.055289e-06,1.078779e-06,1.113462e-06,1.154153e-06,1.169692e-06,1.223819e-06,1.225939e-06,1.275720e-06,1.293841e-06,1.325305e-06,1.357668e-06,1.372514e-06,1.417314e-06,1.459696e-06,1.472750e-06,1.499672e-06,1.524006e-06,1.537270e-06,1.571164e-06,1.572530e-06,1.605508e-06,1.614341e-06,1.636266e-06,1.653684e-06,1.664874e-06,1.689357e-06,1.691405e-06,1.715940e-06,1.721540e-06,1.738559e-06,1.750419e-06,1.759343e-06,1.776182e-06,1.778376e-06,1.795739e-06,1.799018e-06,1.811513e-06,1.819114e-06,1.825778e-06,1.836650e-06,1.838610e-06,1.850087e-06,1.851802e-06,1.860279e-06,1.864736e-06,1.869258e-06,1.875614e-06,1.877092e-06,1.883845e-06,1.884586e-06,1.889580e-06,1.891796e-06,1.894355e-06,1.897379e-06,1.898229e-06,1.901256e-06,1.901463e-06,1.903487e-06,1.904168e-06,1.904971e-06,1.905604e-06,1.905756e-06,1.905885e-06,1.905877e-06,1.905401e-06,1.905085e-06,1.904345e-06,1.903318e-06,1.902753e-06,1.900662e-06,1.898106e-06,1.897195e-06,1.895118e-06,1.892992e-06,1.891727e-06,1.888120e-06,1.887962e-06,1.883852e-06,1.882642e-06,1.879421e-06,1.876619e-06,1.874694e-06,1.870104e-06,1.869694e-06,1.864443e-06,1.863147e-06,1.858961e-06,1.855797e-06,1.853267e-06,1.848097e-06,1.847381e-06,1.841318e-06,1.840085e-06,1.835095e-06,1.831801e-06,1.828728e-06,1.823278e-06,1.822230e-06,1.815616e-06,1.814548e-06,1.808897e-06,1.805639e-06,1.802087e-06,1.796580e-06,1.795196e-06,1.788235e-06,1.787395e-06,1.781213e-06,1.778107e-06,1.774141e-06,1.768737e-06,1.767026e-06,1.759877e-06,1.759304e-06,1.752702e-06,1.749827e-06,1.745509e-06,1.740321e-06,1.738302e-06,1.731090e-06,1.730802e-06,1.723878e-06,1.721283e-06,1.716671e-06,1.711777e-06,1.709475e-06,1.702295e-06,1.692848e-06,1.683445e-06,1.674095e-06,1.664806e-06,1.655584e-06,1.646437e-06,1.637369e-06,1.628387e-06,1.619494e-06,1.610695e-06,1.601993e-06,1.593392e-06,1.584895e-06,1.576503e-06,1.568218e-06,1.560044e-06,1.551980e-06,1.544029e-06,1.536191e-06,1.528467e-06,1.520857e-06,1.513362e-06,1.505981e-06,1.498716e-06
0.000000e+00,1.303505e-12,2.972268e-12,1.014324e-11,2.291710e-11,3.330127e-11,7.470579e-11,7.691579e-11,1.466992e-10,1.716761e-10,2.481127e-10,3.263512e-10,3.864445e-10,5.506615e-10,5.667413e-10,7.935514e-10,8.553330e-10,1.070442e-09,1.248166e-09,1.399276e-09,1.731112e-09,1.779319e-09,2.206486e-09,2.296967e-09,2.673276e-09,2.928424e-09,3.169779e-09,3.602045e-09,3.685415e-09,4.210467e-09,4.294784e-09,4.736839e-09,4.988028e-09,5.258130e-09,5.668141e-09,5.769395e-09,6.266842e-09,6.325461e-09,6.747573e-09,6.953216e-09,7.209409e-09,7.546767e-09,7.650754e-09,8.070498e-09,8.103121e-09,8.467947e-09,8.620596e-09,8.842754e-09,9.098554e-09,9.194864e-09,9.524468e-09,9.537189e-09,9.831954e-09,9.937335e-09,1.011787e-08,1.030030e-08,1.038287e-08,1.062772e-08,1.085325e-08,1.092147e-08,1.106031e-08,1.118354e-08,1.124978e-08,1.141597e-08,1.142258e-08,1.157957e-08,1.162081e-08,1.172163e-08,1.180007e-08,1.184963e-08,1.195568e-08,1.196439e-08,1.206670e-08,1.208949e-08,1.215733e-08,1.220325e-08,1.223701e-08,1.229862e-08,1.230643e-08,1.236626e-08,1.237713e-08,1.241712e-08,1.244021e-08,1.245959e-08,1.248920e-08,1.249424e-08,1.252160e-08,1.252533e-08,1.254215e-08,1.254974e-08,1.255637e-08,1.256348e-08,1.256469e-08,1.256752e-08,1.256751e-08,1.256525e-08,1.256272e-08,1.255823e-08,1.254994e-08,1.254682e-08,1.253133e-08,1.252992e-08,1.251205e-08,1.250334e-08,1.248927e-08,1.247085e-08,1.246325e-08,1.243423e-08,1.243301e-08,1.240245e-08,1.239038e-08,1.236812e-08,1.234342e-08,1.233144e-08,1.229260e-08,1.225178e-08,1.223833e-08,1.220914e-08,1.218097e-08,1.216484e-08,1.212089e-08,1.211903e-08,1.207183e-08,1.205839e-08,1.202338e-08,1.199376e-08,1.197380e-08,1.192727e-08,1.192319e-08,1.187166e-08,1.185917e-08,1.181931e-08,1.178968e-08,1.176624e-08,1.171899e-08,1.171251e-08,1.165822e-08,1.164731e-08,1.160345e-08,1.157479e-08,1.154825e-08,1.150160e-08,1.149269e-08,1.143684e-08,1.142788e-08,1.138075e-08,1.135376e-08,1.132447e-08,1.127935e-08,1.126806e-08,1.121157e-08,1.120478e-08,1.115502e-08,1.113014e-08,1.109847e-08,1.105551e-08,1.104195e-08,1.098550e-08,1.098099e-08,1.092915e-08,1.090664e-08,1.087293e-08,1.083254e-08,1.081686e-08,1.076099e-08,1.075875e-08,1.070531e-08,1.068533e-08,1.064988e-08,1.061232e-08,1.059469e-08,1.053977e-08,1.046773e-08,1.039623e-08,1.032531e-08,1.025499e-08,1.018530e-08,1.011627e-08,1.004792e-08,9.980268e-09,9.913327e-09,9.847113e-09,9.781638e-09,9.716914e-09,9.652947e-09,9.589746e-09,9.527315e-09,9.465660e-09,9.404783e-09,9.344686e-09,9.285371e-09,9.226836e-09,9.169082e-09,9.112106e-09,9.055906e-09,9.000479e-09
0.000000e+00,2.611587e-11,5.967104e-11,2.042724e-10,4.627336e-10,6.734440e-10,1.517971e-09,1.563230e-09,3.001083e-09,3.519699e-09,5.119180e-09,6.774513e-09,8.057241e-09,1.160263e-08,1.195219e-08,1.690032e-08,1.824712e-08,2.290188e-08,2.668618e-08,2.985064e-08,3.662518e-08,3.759056e-08,4.597135e-08,4.771277e-08,5.486502e-08,5.965551e-08,6.416198e-08,7.221103e-08,7.376403e-08,8.357987e-08,8.516442e-08,9.352338e-08,9.831758e-08,1.035134e-07,1.114880e-07,1.134744e-07,1.233374e-07,1.245114e-07,1.330406e-07,1.372451e-07,1.425299e-07,1.495702e-07,1.517595e-07,1.606911e-07,1.613918e-07,1.692945e-07,1.726385e-07,1.775464e-07,1.832603e-07,1.854298e-07,1.929338e-07,1.932260e-07,2.000524e-07,2.025204e-07,2.067841e-07,2.111414e-07,2.131306e-07,2.190971e-07,2.246909e-07,2.264038e-07,2.299216e-07,2.330835e-07,2.347998e-07,2.391626e-07,2.393378e-07,2.435482e-07,2.446703e-07,2.474445e-07,2.496372e-07,2.510404e-07,2.540951e-07,2.543496e-07,2.573858e-07,2.580754e-07,2.601625e-07,2.616091e-07,2.626931e-07,2.647266e-07,2.649904e-07,2.670671e-07,2.674571e-07,2.689353e-07,2.698283e-07,2.706067e-07,2.718668e-07,2.720925e-07,2.734036e-07,2.735978e-07,2.745502e-07,2.750451e-07,2.755422e-07,2.762309e-07,2.763891e-07,2.770996e-07,2.771761e-07,2.776824e-07,2.779005e-07,2.781455e-07,2.784221e-07,2.784966e-07,2.787428e-07,2.787582e-07,2.788912e-07,2.789246e-07,2.789482e-07,2.789361e-07,2.789200e-07,2.788123e-07,2.788065e-07,2.786308e-07,2.785484e-07,2.783807e-07,2.781738e-07,2.780667e-07,2.776937e-07,2.772659e-07,2.771182e-07,2.767876e-07,2.764567e-07,2.762625e-07,2.757179e-07,2.756944e-07,2.750868e-07,2.749100e-07,2.744428e-07,2.740403e-07,2.737656e-07,2.731157e-07,2.730580e-07,2.723228e-07,2.721425e-07,2.715625e-07,2.711267e-07,2.707795e-07,2.700735e-07,2.699761e-07,2.691544e-07,2.689881e-07,2.683164e-07,2.678748e-07,2.674640e-07,2.667380e-07,2.665988e-07,2.657227e-07,2.655815e-07,2.648370e-07,2.644089e-07,2.639432e-07,2.632234e-07,2.630428e-07,2.621369e-07,2.620279e-07,2.612268e-07,2.608253e-07,2.603135e-07,2.596180e-07,2.593981e-07,2.584816e-07,2.584083e-07,2.575648e-07,2.571982e-07,2.566487e-07,2.559898e-07,2.557338e-07,2.548211e-07,2.547847e-07,2.539112e-07,2.535844e-07,2.530047e-07,2.523905e-07,2.521021e-07,2.512041e-07,2.500265e-07,2.488586e-07,2.477014e-07,2.465558e-07,2.454225e-07,2.443022e-07,2.431954e-07,2.421026e-07,2.410243e-07,2.399610e-07,2.389128e-07,2.378801e-07,2.368631e-07,2.358620e-07,2.348770e-07,2.339081e-07,2.329554e-07,2.320190e-07,2.310989e-07,2.301950e-07,2.293074e-07,2.284360e-07,2.275807e-07,2.267414e-07
0.000000e+00,2.950294e-10,7.941680e-10,3.339385e-09,8.443126e-09,1.283084e-08,3.127891e-08,3.229025e-08,6.497874e-08,7.692670e-08,1.139968e-07,1.525081e-07,1.823751e-07,2.649407e-07,2.730867e-07,3.888476e-07,4.205952e-07,5.315276e-07,6.233437e-07,7.013216e-07,8.718139e-07,8.964790e-07,1.114025e-06,1.159934e-06,1.350719e-06,1.480349e-06,1.603527e-06,1.826309e-06,1.869683e-06,2.146602e-06,2.191741e-06,2.431808e-06,2.570941e-06,2.722896e-06,2.958437e-06,3.017542e-06,3.313514e-06,3.349019e-06,3.608714e-06,3.737850e-06,3.901198e-06,4.120579e-06,4.189206e-06,4.471182e-06,4.493437e-06,4.745777e-06,4.853288e-06,5.011859e-06,5.197638e-06,5.268501e-06,5.514978e-06,5.524617e-06,5.750747e-06,5.832926e-06,5.975435e-06,6.121774e-06,6.188818e-06,6.390803e-06,6.581411e-06,6.640019e-06,6.760756e-06,6.869714e-06,6.929034e-06,7.080406e-06,7.086501e-06,7.233467e-06,7.272782e-06,7.370277e-06,7.447644e-06,7.497307e-06,7.605876e-06,7.614952e-06,7.723616e-06,7.748405e-06,7.823711e-06,7.876176e-06,7.915650e-06,7.990134e-06,7.999842e-06,8.076688e-06,8.091211e-06,8.146583e-06,8.180309e-06,8.209909e-06,8.258295e-06,8.267033e-06,8.318312e-06,8.325997e-06,8.364087e-06,8.384200e-06,8.404683e-06,8.433642e-06,8.440413e-06,8.471574e-06,8.475020e-06,8.498448e-06,8.508983e-06,8.521300e-06,8.536136e-06,8.540386e-06,8.555943e-06,8.557042e-06,8.568199e-06,8.572226e-06,8.577368e-06,8.582172e-06,8.583653e-06,8.587243e-06,8.587333e-06,8.588320e-06,8.588126e-06,8.587053e-06,8.584935e-06,8.583602e-06,8.578117e-06,8.570740e-06,8.568002e-06,8.561604e-06,8.554893e-06,8.550835e-06,8.539071e-06,8.538552e-06,8.524864e-06,8.520794e-06,8.509877e-06,8.500303e-06,8.493689e-06,8.477815e-06,8.476393e-06,8.458075e-06,8.453536e-06,8.438816e-06,8.427650e-06,8.418695e-06,8.400331e-06,8.397782e-06,8.376145e-06,8.371737e-06,8.353849e-06,8.342014e-06,8.330952e-06,8.311297e-06,8.307512e-06,8.283581e-06,8.279709e-06,8.259208e-06,8.247366e-06,8.234440e-06,8.214371e-06,8.209321e-06,8.183891e-06,8.180820e-06,8.158189e-06,8.146804e-06,8.132252e-06,8.112403e-06,8.106112e-06,8.079802e-06,8.077691e-06,8.053352e-06,8.042739e-06,8.026789e-06,8.007608e-06,8.000139e-06,7.973426e-06,7.972357e-06,7.946675e-06,7.937039e-06,7.919905e-06,7.901702e-06,7.893138e-06,7.866392e-06,7.831147e-06,7.796007e-06,7.761004e-06,7.726170e-06,7.691532e-06,7.657116e-06,7.622945e-06,7.589041e-06,7.555421e-06,7.522104e-06,7.489104e-06,7.456435e-06,7.424110e-06,7.392138e-06,7.360529e-06,7.329293e-06,7.298435e-06,7.267962e-06,7.237879e-06,7.208190e-06,7.178900e-06,7.150011e-06,7.121524e-06,7.093443e-06
0.000000e+00,1.155155e-08,3.438584e-08,1.739127e-07,5.084538e-07,8.304684e-07,2.390308e-06,2.482992e-06,5.753198e-06,7.054419e-06,1.135864e-05,1.617069e-05,2.009350e-05,3.161944e-05,3.280266e-05,5.033780e-05,5.535454e-05,7.348787e-05,8.914941e-05,1.028843e-04,1.342218e-04,1.388971e-04,1.815597e-04,1.908682e-04,2.305598e-04,2.583564e-04,2.853064e-04,3.351770e-04,3.450338e-04,4.089009e-04,4.194470e-04,4.760636e-04,5.092342e-04,5.457188e-04,6.027388e-04,6.171280e-04,6.896281e-04,6.983728e-04,7.626344e-04,7.947840e-04,8.356391e-04,8.908514e-04,9.082072e-04,9.799707e-04,9.856675e-04,1.050623e-03,1.078515e-03,1.119912e-03,1.168841e-03,1.187635e-03,1.253629e-03,1.256231e-03,1.317771e-03,1.340390e-03,1.379967e-03,1.421114e-03,1.440151e-03,1.498280e-03,1.554330e-03,1.571825e-03,1.608293e-03,1.641735e-03,1.660173e-03,1.708034e-03,1.709987e-03,1.757759e-03,1.770774e-03,1.803522e-03,1.830031e-03,1.847314e-03,1.885896e-03,1.889176e-03,1.929154e-03,1.938474e-03,1.967297e-03,1.987874e-03,2.003655e-03,2.034215e-03,2.038280e-03,2.071224e-03,2.077616e-03,2.102541e-03,2.118199e-03,2.132281e-03,2.156085e-03,2.160500e-03,2.187248e-03,2.191394e-03,2.212577e-03,2.224245e-03,2.236537e-03,2.254754e-03,2.259180e-03,2.280553e-03,2.283034e-03,2.300704e-03,2.309195e-03,2.319679e-03,2.333342e-03,2.337525e-03,2.354284e-03,2.355580e-03,2.370001e-03,2.376005e-03,2.384717e-03,2.394715e-03,2.398472e-03,2.411305e-03,2.411800e-03,2.423255e-03,2.427348e-03,2.434358e-03,2.441442e-03,2.444650e-03,2.454164e-03,2.462936e-03,2.465590e-03,2.470995e-03,2.475794e-03,2.478374e-03,2.484845e-03,2.485102e-03,2.491208e-03,2.492810e-03,2.496720e-03,2.499753e-03,2.501664e-03,2.505734e-03,2.506067e-03,2.509953e-03,2.510811e-03,2.513346e-03,2.515039e-03,2.516269e-03,2.518471e-03,2.518745e-03,2.520794e-03,2.521154e-03,2.522437e-03,2.523138e-03,2.523694e-03,2.524466e-03,2.524584e-03,2.525125e-03,2.525181e-03,2.525335e-03,2.525323e-03,2.525230e-03,2.524930e-03,2.524826e-03,2.524140e-03,2.524039e-03,2.523185e-03,2.522683e-03,2.521976e-03,2.520896e-03,2.520527e-03,2.518851e-03,2.518708e-03,2.516961e-03,2.516148e-03,2.514869e-03,2.513243e-03,2.512586e-03,2.510123e-03,2.510021e-03,2.507491e-03,2.506505e-03,2.504701e-03,2.502718e-03,2.501762e-03,2.498683e-03,2.494420e-03,2.489950e-03,2.485290e-03,2.480458e-03,2.475470e-03,2.470342e-03,2.465089e-03,2.459724e-03,2.454260e-03,2.448709e-03,2.443083e-03,2.437393e-03,2.431648e-03,2.425858e-03,2.420032e-03,2.414178e-03,2.408304e-03,2.402417e-03,2.396524e-03,2.390632e-03,2.384746e-03,2.378871e-03,2.373013e-03,2.367177e-03
0.000000e+00,2.618466e-12,5.939067e-12,2.005721e-11,4.491191e-11,6.495951e-11,1.441567e-10,1.483624e-10,2.806225e-10,3.278260e-10,4.722206e-10,6.201922e-10,7.340432e-10,1.045688e-09,1.076195e-09,1.504135e-09,1.619379e-09,2.013686e-09,2.329728e-09,2.590918e-09,3.140782e-09,3.218123e-09,3.879213e-09,4.014308e-09,4.561279e-09,4.920761e-09,5.254071e-09,5.838073e-09,5.949122e-09,6.639153e-09,6.748653e-09,7.317756e-09,7.637738e-09,7.979277e-09,8.492862e-09,8.618795e-09,9.232149e-09,9.303825e-09,9.815948e-09,1.006275e-08,1.036758e-08,1.076414e-08,1.088519e-08,1.136765e-08,1.140471e-08,1.181444e-08,1.198316e-08,1.222560e-08,1.249987e-08,1.260169e-08,1.294363e-08,1.295661e-08,1.325265e-08,1.335613e-08,1.353025e-08,1.370190e-08,1.377806e-08,1.399783e-08,1.419136e-08,1.424804e-08,1.436045e-08,1.445667e-08,1.450690e-08,1.462780e-08,1.463244e-08,1.473876e-08,1.476531e-08,1.482745e-08,1.487284e-08,1.490003e-08,1.495379e-08,1.495791e-08,1.500240e-08,1.501122e-08,1.503472e-08,1.504793e-08,1.505600e-08,1.506642e-08,1.506728e-08,1.506950e-08,1.506894e-08,1.506354e-08,1.505747e-08,1.505019e-08,1.503379e-08,1.503017e-08,1.500415e-08,1.499946e-08,1.497271e-08,1.495587e-08,1.493642e-08,1.490423e-08,1.489577e-08,1.485121e-08,1.484561e-08,1.480314e-08,1.478098e-08,1.475195e-08,1.471116e-08,1.469796e-08,1.464150e-08,1.463689e-08,1.458284e-08,1.455882e-08,1.452224e-08,1.447753e-08,1.445992e-08,1.439610e-08,1.439352e-08,1.433099e-08,1.430726e-08,1.426474e-08,1.421913e-08,1.419752e-08,1.412949e-08,1.406077e-08,1.403865e-08,1.399149e-08,1.394690e-08,1.392176e-08,1.385449e-08,1.385168e-08,1.378135e-08,1.376162e-08,1.371085e-08,1.366851e-08,1.364027e-08,1.357532e-08,1.356968e-08,1.349913e-08,1.348222e-08,1.342870e-08,1.338933e-08,1.335844e-08,1.329679e-08,1.328840e-08,1.321863e-08,1.320471e-08,1.314916e-08,1.311318e-08,1.308005e-08,1.302228e-08,1.301131e-08,1.294300e-08,1.293211e-08,1.287513e-08,1.284272e-08,1.280773e-08,1.275418e-08,1.274084e-08,1.267446e-08,1.266653e-08,1.260862e-08,1.257983e-08,1.254334e-08,1.249411e-08,1.247863e-08,1.241451e-08,1.240941e-08,1.235100e-08,1.232576e-08,1.228810e-08,1.224319e-08,1.222582e-08,1.216417e-08,1.216172e-08,1.210316e-08,1.208136e-08,1.204280e-08,1.200213e-08,1.198309e-08,1.192404e-08,1.184710e-08,1.177132e-08,1.169670e-08,1.162324e-08,1.155095e-08,1.147982e-08,1.140985e-08,1.134103e-08,1.127336e-08,1.120683e-08,1.114144e-08,1.107717e-08,1.101402e-08,1.095197e-08,1.089102e-08,1.083115e-08,1.077235e-08,1.071461e-08,1.065791e-08,1.060225e-08,1.054760e-08,1.049395e-08,1.044130e-08,1.038962e-08
0.000000e+00,2.622879e-10,6.629805e-10,2.547074e-09,6.104354e-09,9.073762e-09,2.121356e-08,2.186996e-08,4.284941e-08,5.044754e-08,7.390992e-08,9.819430e-08,1.170020e-07,1.689559e-07,1.740793e-07,2.467681e-07,2.666388e-07,3.357261e-07,3.924237e-07,4.402092e-07,5.435824e-07,5.584228e-07,6.882515e-07,7.154317e-07,8.277026e-07,9.034228e-07,9.749997e-07,1.103612e-06,1.128533e-06,1.286801e-06,1.312467e-06,1.448374e-06,1.526698e-06,1.611883e-06,1.743206e-06,1.776025e-06,1.939581e-06,1.959114e-06,2.101423e-06,2.171824e-06,2.260532e-06,2.379068e-06,2.416007e-06,2.567075e-06,2.578950e-06,2.713087e-06,2.769954e-06,2.853517e-06,2.950938e-06,2.987959e-06,3.116117e-06,3.121109e-06,3.237791e-06,3.279984e-06,3.352874e-06,3.427347e-06,3.461334e-06,3.563205e-06,3.658576e-06,3.687743e-06,3.747583e-06,3.801287e-06,3.830401e-06,3.904274e-06,3.907235e-06,3.978302e-06,3.997199e-06,4.043832e-06,4.080592e-06,4.104065e-06,4.155016e-06,4.159251e-06,4.209640e-06,4.221047e-06,4.255483e-06,4.279262e-06,4.297029e-06,4.330229e-06,4.334522e-06,4.368202e-06,4.374500e-06,4.398297e-06,4.412603e-06,4.425029e-06,4.445043e-06,4.448613e-06,4.469255e-06,4.472299e-06,4.487162e-06,4.494846e-06,4.502537e-06,4.513131e-06,4.515552e-06,4.526362e-06,4.527519e-06,4.535123e-06,4.538366e-06,4.541977e-06,4.545993e-06,4.547057e-06,4.550491e-06,4.550698e-06,4.552397e-06,4.552757e-06,4.552888e-06,4.552423e-06,4.552067e-06,4.550034e-06,4.549929e-06,4.546881e-06,4.545489e-06,4.542694e-06,4.539299e-06,4.537555e-06,4.531538e-06,4.524716e-06,4.522373e-06,4.517154e-06,4.511955e-06,4.508914e-06,4.500421e-06,4.500055e-06,4.490631e-06,4.487898e-06,4.480692e-06,4.474502e-06,4.470287e-06,4.460339e-06,4.459458e-06,4.448248e-06,4.445505e-06,4.436695e-06,4.430090e-06,4.424836e-06,4.414173e-06,4.412704e-06,4.400330e-06,4.397829e-06,4.387743e-06,4.381124e-06,4.374972e-06,4.364120e-06,4.362041e-06,4.348974e-06,4.346872e-06,4.335793e-06,4.329431e-06,4.322518e-06,4.311845e-06,4.309170e-06,4.295765e-06,4.294153e-06,4.282320e-06,4.276396e-06,4.268851e-06,4.258608e-06,4.255372e-06,4.241897e-06,4.240819e-06,4.228436e-06,4.223059e-06,4.215003e-06,4.205354e-06,4.201607e-06,4.188258e-06,4.187725e-06,4.174965e-06,4.170195e-06,4.161737e-06,4.152782e-06,4.148580e-06,4.135503e-06,4.118373e-06,4.101405e-06,4.084613e-06,4.068005e-06,4.051592e-06,4.035381e-06,4.019381e-06,4.003597e-06,3.988034e-06,3.972697e-06,3.957590e-06,3.942715e-06,3.928076e-06,3.913674e-06,3.899511e-06,3.885586e-06,3.871902e-06,3.858457e-06,3.845252e-06,3.832286e-06,3.819558e-06,3.807066e-06,3.794810e-06,3.782787e-06
0.000000e+00,2.296305e-10,5.583189e-10,2.054158e-09,4.833464e-09,7.144247e-09,1.659735e-08,1.710955e-08,3.354915e-08,3.953430e-08,5.810549e-08,7.744871e-08,9.250191e-08,1.343746e-07,1.385262e-07,1.978884e-07,2.142793e-07,2.718889e-07,3.199426e-07,3.610061e-07,4.515713e-07,4.647608e-07,5.820187e-07,6.069711e-07,7.114177e-07,7.830564e-07,8.516220e-07,9.768295e-07,1.001385e-06,1.159536e-06,1.185544e-06,1.324954e-06,1.406614e-06,1.496545e-06,1.637545e-06,1.673242e-06,1.854006e-06,1.875923e-06,2.037835e-06,2.119442e-06,2.223773e-06,2.365942e-06,2.410923e-06,2.598454e-06,2.613450e-06,2.785606e-06,2.860204e-06,2.971693e-06,3.104670e-06,3.156104e-06,3.338304e-06,3.345539e-06,3.517826e-06,3.581721e-06,3.694273e-06,3.812327e-06,3.867308e-06,4.036652e-06,4.202074e-06,4.254151e-06,4.363394e-06,4.464418e-06,4.520468e-06,4.667167e-06,4.673191e-06,4.821488e-06,4.862211e-06,4.965309e-06,5.049442e-06,5.104630e-06,5.228824e-06,5.239443e-06,5.369762e-06,5.400372e-06,5.495611e-06,5.564148e-06,5.617028e-06,5.720248e-06,5.734062e-06,5.846768e-06,5.868796e-06,5.955211e-06,6.009938e-06,6.059459e-06,6.143839e-06,6.159586e-06,6.255671e-06,6.270675e-06,6.347794e-06,6.390630e-06,6.436039e-06,6.503899e-06,6.520490e-06,6.601234e-06,6.610679e-06,6.678359e-06,6.711169e-06,6.751951e-06,6.805573e-06,6.822099e-06,6.888892e-06,6.894093e-06,6.952415e-06,6.976929e-06,7.012757e-06,7.054282e-06,7.070004e-06,7.124242e-06,7.126350e-06,7.175555e-06,7.193328e-06,7.224027e-06,7.255408e-06,7.269741e-06,7.312778e-06,7.353217e-06,7.365622e-06,7.391139e-06,7.414123e-06,7.426619e-06,7.458455e-06,7.459735e-06,7.490561e-06,7.498791e-06,7.519169e-06,7.535299e-06,7.545631e-06,7.568142e-06,7.570019e-06,7.592399e-06,7.597479e-06,7.612839e-06,7.623463e-06,7.631405e-06,7.646244e-06,7.648161e-06,7.663169e-06,7.665967e-06,7.676491e-06,7.682772e-06,7.688187e-06,7.696796e-06,7.698313e-06,7.706928e-06,7.708169e-06,7.714086e-06,7.717020e-06,7.719841e-06,7.723470e-06,7.724245e-06,7.727351e-06,7.727638e-06,7.729206e-06,7.729640e-06,7.729861e-06,7.729584e-06,7.729361e-06,7.727753e-06,7.727578e-06,7.725081e-06,7.723724e-06,7.721388e-06,7.718121e-06,7.716716e-06,7.711106e-06,7.710863e-06,7.704598e-06,7.702043e-06,7.697230e-06,7.691748e-06,7.689039e-06,7.680062e-06,7.667067e-06,7.652841e-06,7.637458e-06,7.620991e-06,7.603507e-06,7.585073e-06,7.565753e-06,7.545607e-06,7.524692e-06,7.503064e-06,7.480777e-06,7.457880e-06,7.434423e-06,7.410452e-06,7.386010e-06,7.361141e-06,7.335884e-06,7.310278e-06,7.284358e-06,7.258161e-06,7.231719e-06,7.205064e-06,7.178225e-06,7.151231e-06
0.000000e+00,1.237239e-09,3.474249e-09,1.569111e-08,4.172086e-08,6.487831e-08,1.659308e-07,1.715805e-07,3.575873e-07,4.267198e-07,6.435854e-07,8.714827e-07,1.049468e-06,1.545243e-06,1.594384e-06,2.295952e-06,2.489300e-06,3.167960e-06,3.733441e-06,4.216499e-06,5.281439e-06,5.436425e-06,6.811342e-06,7.102911e-06,8.317604e-06,9.144140e-06,9.929274e-06,1.134623e-05,1.162141e-05,1.337131e-05,1.365526e-05,1.515860e-05,1.602436e-05,1.696509e-05,1.841311e-05,1.877450e-05,2.057234e-05,2.078668e-05,2.234583e-05,2.311554e-05,2.408391e-05,2.537531e-05,2.577716e-05,2.741779e-05,2.754657e-05,2.899955e-05,2.961464e-05,3.051758e-05,3.156906e-05,3.196834e-05,3.334943e-05,3.340321e-05,3.465950e-05,3.511362e-05,3.589804e-05,3.669949e-05,3.706530e-05,3.816213e-05,3.918989e-05,3.950446e-05,4.015031e-05,4.073057e-05,4.104544e-05,4.184546e-05,4.187756e-05,4.264911e-05,4.285463e-05,4.336262e-05,4.376395e-05,4.402069e-05,4.457940e-05,4.462594e-05,4.518097e-05,4.530700e-05,4.568838e-05,4.595266e-05,4.615067e-05,4.652213e-05,4.657031e-05,4.694970e-05,4.702095e-05,4.729113e-05,4.745441e-05,4.759682e-05,4.782754e-05,4.786890e-05,4.810940e-05,4.814508e-05,4.832026e-05,4.841149e-05,4.850332e-05,4.863095e-05,4.866036e-05,4.879303e-05,4.880739e-05,4.890292e-05,4.894444e-05,4.899153e-05,4.904552e-05,4.906029e-05,4.911053e-05,4.911379e-05,4.914353e-05,4.915217e-05,4.916048e-05,4.916340e-05,4.916253e-05,4.915073e-05,4.914998e-05,4.912609e-05,4.911427e-05,4.908957e-05,4.905840e-05,4.904205e-05,4.898438e-05,4.891734e-05,4.889404e-05,4.884169e-05,4.878908e-05,4.875813e-05,4.867107e-05,4.866730e-05,4.856984e-05,4.854144e-05,4.846632e-05,4.840152e-05,4.835728e-05,4.825253e-05,4.824324e-05,4.812467e-05,4.809560e-05,4.800204e-05,4.793174e-05,4.787575e-05,4.776191e-05,4.774621e-05,4.761377e-05,4.758697e-05,4.747880e-05,4.740772e-05,4.734161e-05,4.722488e-05,4.720251e-05,4.706177e-05,4.703912e-05,4.691967e-05,4.685104e-05,4.677644e-05,4.666121e-05,4.663233e-05,4.648753e-05,4.647012e-05,4.634226e-05,4.627824e-05,4.619670e-05,4.608598e-05,4.605102e-05,4.590538e-05,4.589373e-05,4.575992e-05,4.570183e-05,4.561480e-05,4.551058e-05,4.547012e-05,4.532603e-05,4.532027e-05,4.518261e-05,4.513116e-05,4.503997e-05,4.494347e-05,4.489821e-05,4.475741e-05,4.457315e-05,4.439086e-05,4.421068e-05,4.403274e-05,4.385715e-05,4.368400e-05,4.351338e-05,4.334536e-05,4.318000e-05,4.301734e-05,4.285744e-05,4.270032e-05,4.254600e-05,4.239451e-05,4.224585e-05,4.210003e-05,4.195705e-05,4.181691e-05,4.167958e-05,4.154507e-05,4.141335e-05,4.128440e-05,4.115820e-05,4.103471e-05
0.000000e+00,2.182091e-10,5.411803e-10,2.036331e-09,4.840312e-09,7.178153e-09,1.674177e-08,1.725924e-08,3.380573e-08,3.979732e-08,5.827554e-08,7.734601e-08,9.207021e-08,1.325500e-07,1.365293e-07,1.928970e-07,2.083220e-07,2.622517e-07,3.070757e-07,3.453893e-07,4.302475e-07,4.426654e-07,5.538373e-07,5.776699e-07,6.779867e-07,7.471887e-07,8.136002e-07,9.350037e-07,9.587973e-07,1.111601e-06,1.136627e-06,1.270128e-06,1.347751e-06,1.432691e-06,1.564646e-06,1.597810e-06,1.764208e-06,1.784207e-06,1.930781e-06,2.003880e-06,2.096582e-06,2.221571e-06,2.260800e-06,2.422744e-06,2.435583e-06,2.581834e-06,2.644560e-06,2.737589e-06,2.847445e-06,2.889618e-06,3.037607e-06,3.043439e-06,3.181315e-06,3.231966e-06,3.320561e-06,3.412632e-06,3.455217e-06,3.585203e-06,3.710476e-06,3.749566e-06,3.831029e-06,3.905713e-06,3.946881e-06,4.053715e-06,4.058074e-06,4.164670e-06,4.193704e-06,4.266746e-06,4.325859e-06,4.364391e-06,4.450396e-06,4.457704e-06,4.546791e-06,4.567555e-06,4.631763e-06,4.677593e-06,4.712737e-06,4.780780e-06,4.789830e-06,4.863164e-06,4.877390e-06,4.932858e-06,4.967700e-06,4.999033e-06,5.051989e-06,5.061809e-06,5.121306e-06,5.130529e-06,5.177640e-06,5.203591e-06,5.230927e-06,5.271438e-06,5.281279e-06,5.328809e-06,5.334328e-06,5.373623e-06,5.392509e-06,5.415829e-06,5.446223e-06,5.455528e-06,5.492821e-06,5.495704e-06,5.527807e-06,5.541176e-06,5.560578e-06,5.582855e-06,5.591228e-06,5.619845e-06,5.620949e-06,5.646515e-06,5.655656e-06,5.671323e-06,5.687169e-06,5.694347e-06,5.715668e-06,5.735360e-06,5.741329e-06,5.753496e-06,5.764319e-06,5.770146e-06,5.784796e-06,5.785379e-06,5.799259e-06,5.802912e-06,5.811850e-06,5.818811e-06,5.823212e-06,5.832631e-06,5.833405e-06,5.842484e-06,5.844503e-06,5.850503e-06,5.854551e-06,5.857516e-06,5.862894e-06,5.863572e-06,5.868719e-06,5.869643e-06,5.873004e-06,5.874906e-06,5.876471e-06,5.878783e-06,5.879163e-06,5.881122e-06,5.881370e-06,5.882387e-06,5.882759e-06,5.882995e-06,5.883034e-06,5.882984e-06,5.882387e-06,5.882277e-06,5.881238e-06,5.880566e-06,5.879570e-06,5.877973e-06,5.877412e-06,5.874795e-06,5.874566e-06,5.871746e-06,5.870412e-06,5.868292e-06,5.865570e-06,5.864460e-06,5.860273e-06,5.860098e-06,5.855755e-06,5.854051e-06,5.850928e-06,5.847481e-06,5.845815e-06,5.840435e-06,5.832959e-06,5.825096e-06,5.816885e-06,5.808365e-06,5.799570e-06,5.790534e-06,5.781288e-06,5.771860e-06,5.762278e-06,5.752568e-06,5.742752e-06,5.732854e-06,5.722892e-06,5.712887e-06,5.702857e-06,5.692816e-06,5.682782e-06,5.672768e-06,5.662786e-06,5.652850e-06,5.642969e-06,5.633154e-06,5.623415e-06,5.613760e-06
0.000000e+00,2.676314e-09,7.442079e-09,3.304449e-08,8.681046e-08,1.342791e-07,3.400926e-07,3.515744e-07,7.298333e-07,8.708293e-07,1.315345e-06,1.786395e-06,2.156935e-06,3.198124e-06,3.301773e-06,4.780331e-06,5.185270e-06,6.589706e-06,7.736148e-06,8.697942e-06,1.076737e-05,1.106349e-05,1.364751e-05,1.418747e-05,1.641595e-05,1.791803e-05,1.933773e-05,2.188878e-05,2.238316e-05,2.552310e-05,2.603235e-05,2.872902e-05,3.028312e-05,3.197325e-05,3.457854e-05,3.522957e-05,3.847361e-05,3.886100e-05,4.168328e-05,4.307950e-05,4.483899e-05,4.719071e-05,4.792379e-05,5.092341e-05,5.115934e-05,5.382613e-05,5.495792e-05,5.662265e-05,5.856633e-05,5.930589e-05,6.187073e-05,6.197081e-05,6.431378e-05,6.516305e-05,6.663315e-05,6.813935e-05,6.882828e-05,7.089965e-05,7.284862e-05,7.344676e-05,7.467729e-05,7.578572e-05,7.638833e-05,7.792316e-05,7.798486e-05,7.947033e-05,7.986686e-05,8.084845e-05,8.162541e-05,8.212311e-05,8.320785e-05,8.329830e-05,8.437807e-05,8.462347e-05,8.536650e-05,8.588163e-05,8.626764e-05,8.699162e-05,8.708549e-05,8.782401e-05,8.796253e-05,8.848704e-05,8.880324e-05,8.907836e-05,8.952232e-05,8.960162e-05,9.006038e-05,9.012802e-05,9.045806e-05,9.062823e-05,9.079799e-05,9.103049e-05,9.108334e-05,9.131720e-05,9.134194e-05,9.150251e-05,9.156940e-05,9.164210e-05,9.171929e-05,9.173869e-05,9.179486e-05,9.179768e-05,9.181310e-05,9.181031e-05,9.179577e-05,9.176256e-05,9.174516e-05,9.166340e-05,9.165952e-05,9.155257e-05,9.150593e-05,9.141462e-05,9.130627e-05,9.125141e-05,9.106472e-05,9.085624e-05,9.078519e-05,9.062757e-05,9.047133e-05,9.038022e-05,9.012655e-05,9.011566e-05,8.983523e-05,8.975405e-05,8.954024e-05,8.935677e-05,8.923192e-05,8.893749e-05,8.891143e-05,8.857987e-05,8.849876e-05,8.823827e-05,8.804297e-05,8.788763e-05,8.757232e-05,8.752887e-05,8.716285e-05,8.708886e-05,8.679042e-05,8.659448e-05,8.641234e-05,8.609093e-05,8.602935e-05,8.564214e-05,8.557984e-05,8.525135e-05,8.506268e-05,8.485760e-05,8.454084e-05,8.446145e-05,8.406344e-05,8.401558e-05,8.366407e-05,8.348804e-05,8.326382e-05,8.295931e-05,8.286312e-05,8.246239e-05,8.243034e-05,8.206201e-05,8.190203e-05,8.166233e-05,8.137519e-05,8.126370e-05,8.086641e-05,8.085055e-05,8.047076e-05,8.032878e-05,8.007702e-05,7.981048e-05,7.968542e-05,7.929620e-05,7.878644e-05,7.828162e-05,7.778214e-05,7.728836e-05,7.680057e-05,7.631905e-05,7.584404e-05,7.537574e-05,7.491431e-05,7.445992e-05,7.401267e-05,7.357267e-05,7.313999e-05,7.271470e-05,7.229682e-05,7.188639e-05,7.148341e-05,7.108788e-05,7.069977e-05,7.031906e-05,6.994571e-05,6.957967e-05,6.922088e-05,6.886928e-05
0.000000e+00,1.788057e-10,4.201742e-10,1.481179e-09,3.400093e-09,4.972460e-09,1.130691e-08,1.164741e-08,2.250699e-08,2.644231e-08,3.863624e-08,5.133982e-08,6.123522e-08,8.875557e-08,9.147809e-08,1.300714e-07,1.405731e-07,1.768047e-07,2.061812e-07,2.307012e-07,2.831112e-07,2.905749e-07,3.553712e-07,3.688417e-07,4.242176e-07,4.613677e-07,4.963689e-07,5.590342e-07,5.711489e-07,6.479145e-07,6.603392e-07,7.260390e-07,7.638406e-07,8.049085e-07,8.681387e-07,8.839263e-07,9.625211e-07,9.718982e-07,1.040156e-06,1.073881e-06,1.116333e-06,1.172978e-06,1.190608e-06,1.262588e-06,1.268237e-06,1.331938e-06,1.358877e-06,1.398380e-06,1.444291e-06,1.461693e-06,1.521711e-06,1.524041e-06,1.578317e-06,1.597845e-06,1.631441e-06,1.665560e-06,1.681054e-06,1.727162e-06,1.769804e-06,1.782726e-06,1.809041e-06,1.832406e-06,1.844961e-06,1.876420e-06,1.877668e-06,1.907276e-06,1.915028e-06,1.933911e-06,1.948519e-06,1.957703e-06,1.977197e-06,1.978788e-06,1.997300e-06,2.001375e-06,2.013377e-06,2.021367e-06,2.027156e-06,2.037490e-06,2.038775e-06,2.048367e-06,2.050054e-06,2.056063e-06,2.059356e-06,2.061986e-06,2.065682e-06,2.066260e-06,2.069001e-06,2.069305e-06,2.070323e-06,2.070488e-06,2.070343e-06,2.069499e-06,2.069175e-06,2.066907e-06,2.066565e-06,2.063625e-06,2.061882e-06,2.059414e-06,2.055637e-06,2.054348e-06,2.048499e-06,2.047999e-06,2.041937e-06,2.039126e-06,2.034724e-06,2.029160e-06,2.026919e-06,2.018578e-06,2.018234e-06,2.009753e-06,2.006467e-06,2.000493e-06,1.993971e-06,1.990843e-06,1.980845e-06,1.970539e-06,1.967182e-06,1.959960e-06,1.953063e-06,1.949144e-06,1.938565e-06,1.938120e-06,1.926920e-06,1.923755e-06,1.915569e-06,1.908697e-06,1.904093e-06,1.893445e-06,1.892516e-06,1.880858e-06,1.878051e-06,1.869141e-06,1.862559e-06,1.857381e-06,1.847012e-06,1.845597e-06,1.833803e-06,1.831444e-06,1.822014e-06,1.815890e-06,1.810243e-06,1.800379e-06,1.798503e-06,1.786804e-06,1.784936e-06,1.775156e-06,1.769586e-06,1.763569e-06,1.754349e-06,1.752051e-06,1.740610e-06,1.739243e-06,1.729253e-06,1.724283e-06,1.717985e-06,1.709485e-06,1.706813e-06,1.695742e-06,1.694861e-06,1.684776e-06,1.680420e-06,1.673919e-06,1.666172e-06,1.663175e-06,1.652547e-06,1.652125e-06,1.642038e-06,1.638285e-06,1.631650e-06,1.624657e-06,1.621386e-06,1.611246e-06,1.598055e-06,1.585087e-06,1.572343e-06,1.559825e-06,1.547534e-06,1.535469e-06,1.523630e-06,1.512016e-06,1.500625e-06,1.489457e-06,1.478510e-06,1.467781e-06,1.457267e-06,1.446967e-06,1.436878e-06,1.426996e-06,1.417319e-06,1.407843e-06,1.398566e-06,1.389484e-06,1.380593e-06,1.371890e-06,1.363373e-06,1.355037e-06
0.000000e+00,8.772151e-10,2.258308e-09,8.910158e-09,2.172599e-08,3.255426e-08,7.752190e-08,7.997745e-08,1.594069e-07,1.885565e-07,2.796111e-07,3.752873e-07,4.502571e-07,6.607770e-07,6.817859e-07,9.841324e-07,1.068078e-06,1.363797e-06,1.610459e-06,1.820709e-06,2.281419e-06,2.348100e-06,2.935733e-06,3.059552e-06,3.573176e-06,3.921221e-06,4.251230e-06,4.846390e-06,4.962025e-06,5.698696e-06,5.818544e-06,6.455056e-06,6.823410e-06,7.225395e-06,7.848140e-06,8.004387e-06,8.787058e-06,8.881003e-06,9.568797e-06,9.911364e-06,1.034538e-05,1.092978e-05,1.111300e-05,1.186827e-05,1.192807e-05,1.260826e-05,1.289939e-05,1.333043e-05,1.383816e-05,1.403267e-05,1.471327e-05,1.474003e-05,1.537088e-05,1.560178e-05,1.600445e-05,1.642117e-05,1.661325e-05,1.719680e-05,1.775484e-05,1.792801e-05,1.828732e-05,1.861474e-05,1.879435e-05,1.925739e-05,1.927619e-05,1.973319e-05,1.985677e-05,2.016584e-05,2.041395e-05,2.057465e-05,2.093023e-05,2.096024e-05,2.132322e-05,2.140706e-05,2.166430e-05,2.184598e-05,2.198415e-05,2.224863e-05,2.228349e-05,2.256305e-05,2.261665e-05,2.282354e-05,2.295171e-05,2.306570e-05,2.325547e-05,2.329024e-05,2.349787e-05,2.352956e-05,2.368928e-05,2.377559e-05,2.386515e-05,2.399512e-05,2.402616e-05,2.417296e-05,2.418965e-05,2.430618e-05,2.436065e-05,2.442643e-05,2.450951e-05,2.453431e-05,2.463040e-05,2.463760e-05,2.471527e-05,2.474619e-05,2.478944e-05,2.483653e-05,2.485346e-05,2.490781e-05,2.490979e-05,2.495298e-05,2.496709e-05,2.498945e-05,2.500950e-05,2.501766e-05,2.503804e-05,2.505102e-05,2.505368e-05,2.505699e-05,2.505732e-05,2.505634e-05,2.504983e-05,2.504943e-05,2.503663e-05,2.503203e-05,2.501825e-05,2.500470e-05,2.499465e-05,2.496857e-05,2.496611e-05,2.493294e-05,2.492433e-05,2.489543e-05,2.487263e-05,2.485385e-05,2.481410e-05,2.480846e-05,2.475951e-05,2.474931e-05,2.470723e-05,2.467880e-05,2.465185e-05,2.460310e-05,2.459359e-05,2.453266e-05,2.452268e-05,2.446926e-05,2.443800e-05,2.440356e-05,2.434948e-05,2.433576e-05,2.426602e-05,2.425753e-05,2.419450e-05,2.416251e-05,2.412136e-05,2.406479e-05,2.404675e-05,2.397081e-05,2.396468e-05,2.389366e-05,2.386250e-05,2.381544e-05,2.375853e-05,2.373627e-05,2.365626e-05,2.365304e-05,2.357551e-05,2.354628e-05,2.349413e-05,2.343849e-05,2.341222e-05,2.332987e-05,2.322064e-05,2.311097e-05,2.300105e-05,2.289103e-05,2.278106e-05,2.267129e-05,2.256182e-05,2.245280e-05,2.234431e-05,2.223647e-05,2.212935e-05,2.202305e-05,2.191763e-05,2.181317e-05,2.170973e-05,2.160736e-05,2.150611e-05,2.140603e-05,2.130716e-05,2.120953e-05,2.111318e-05,2.101813e-05,2.092440e-05,2.083201e-05
0.000000e+00,1.749024e-11,3.996688e-11,1.368617e-10,3.102243e-10,4.517365e-10,1.020576e-09,1.051135e-09,2.025812e-09,2.379116e-09,3.474190e-09,4.615563e-09,5.505262e-09,7.986629e-09,8.233000e-09,1.175321e-08,1.272179e-08,1.610132e-08,1.888052e-08,2.122120e-08,2.626411e-08,2.698476e-08,3.324396e-08,3.454320e-08,3.986662e-08,4.341738e-08,4.674495e-08,5.265578e-08,5.379133e-08,6.093217e-08,6.207908e-08,6.810333e-08,7.153924e-08,7.524766e-08,8.090915e-08,8.231386e-08,8.925600e-08,9.007874e-08,9.603359e-08,9.895436e-08,1.026116e-07,1.074589e-07,1.089604e-07,1.150558e-07,1.155319e-07,1.208790e-07,1.231287e-07,1.264157e-07,1.302192e-07,1.316563e-07,1.365951e-07,1.367863e-07,1.412301e-07,1.428244e-07,1.455625e-07,1.483374e-07,1.495958e-07,1.533353e-07,1.567883e-07,1.578342e-07,1.599637e-07,1.618546e-07,1.628711e-07,1.654197e-07,1.655209e-07,1.679242e-07,1.685545e-07,1.700923e-07,1.712850e-07,1.720366e-07,1.736374e-07,1.737684e-07,1.752991e-07,1.756378e-07,1.766398e-07,1.773117e-07,1.778015e-07,1.786839e-07,1.787945e-07,1.796292e-07,1.797781e-07,1.803155e-07,1.806167e-07,1.808626e-07,1.812213e-07,1.812797e-07,1.815754e-07,1.816120e-07,1.817579e-07,1.818077e-07,1.818351e-07,1.818260e-07,1.818143e-07,1.817027e-07,1.816835e-07,1.815068e-07,1.813956e-07,1.812330e-07,1.809765e-07,1.808873e-07,1.804752e-07,1.804395e-07,1.800021e-07,1.797969e-07,1.794730e-07,1.790600e-07,1.788925e-07,1.782652e-07,1.782392e-07,1.775951e-07,1.773442e-07,1.768862e-07,1.763839e-07,1.761422e-07,1.753664e-07,1.745622e-07,1.742993e-07,1.737324e-07,1.731893e-07,1.728800e-07,1.720429e-07,1.720077e-07,1.711177e-07,1.708657e-07,1.702126e-07,1.696631e-07,1.692944e-07,1.684398e-07,1.683651e-07,1.674267e-07,1.672003e-07,1.664807e-07,1.659484e-07,1.655290e-07,1.646879e-07,1.645730e-07,1.636140e-07,1.634219e-07,1.626534e-07,1.621536e-07,1.616923e-07,1.608855e-07,1.607320e-07,1.597733e-07,1.596201e-07,1.588173e-07,1.583596e-07,1.578648e-07,1.571059e-07,1.569166e-07,1.559735e-07,1.558607e-07,1.550361e-07,1.546256e-07,1.541051e-07,1.534021e-07,1.531809e-07,1.522642e-07,1.521912e-07,1.513554e-07,1.509941e-07,1.504548e-07,1.498118e-07,1.495629e-07,1.486801e-07,1.486449e-07,1.478065e-07,1.474944e-07,1.469425e-07,1.463606e-07,1.460884e-07,1.452443e-07,1.441457e-07,1.430652e-07,1.420031e-07,1.409596e-07,1.399348e-07,1.389289e-07,1.379419e-07,1.369737e-07,1.360245e-07,1.350940e-07,1.341823e-07,1.332891e-07,1.324143e-07,1.315578e-07,1.307193e-07,1.298986e-07,1.290956e-07,1.283099e-07,1.275414e-07,1.267898e-07,1.260547e-07,1.253359e-07,1.246333e-07,1.239463e-07
0.000000e+00,5.613895e-12,1.284437e-11,4.415919e-11,1.005086e-10,1.466901e-10,3.332661e-10,3.433185e-10,6.647954e-10,7.815798e-10,1.143812e-09,1.521038e-09,1.814313e-09,2.625535e-09,2.705376e-09,3.829444e-09,4.133215e-09,5.177097e-09,6.021364e-09,6.726253e-09,8.237155e-09,8.452993e-09,1.033531e-08,1.072864e-08,1.235284e-08,1.344886e-08,1.448595e-08,1.635289e-08,1.671525e-08,1.902162e-08,1.939654e-08,2.138639e-08,2.253693e-08,2.379167e-08,2.573375e-08,2.622069e-08,2.865801e-08,2.895037e-08,3.108976e-08,3.215475e-08,3.350369e-08,3.531972e-08,3.588910e-08,3.823692e-08,3.842288e-08,4.053953e-08,4.144648e-08,4.279069e-08,4.437680e-08,4.498538e-08,4.711966e-08,4.720373e-08,4.919054e-08,4.992009e-08,5.119586e-08,5.252129e-08,5.313421e-08,5.500474e-08,5.680710e-08,5.736947e-08,5.854138e-08,5.961576e-08,6.020798e-08,6.174488e-08,6.180759e-08,6.334115e-08,6.375885e-08,6.480975e-08,6.566024e-08,6.621464e-08,6.745205e-08,6.755719e-08,6.883886e-08,6.913756e-08,7.006116e-08,7.072030e-08,7.122566e-08,7.220389e-08,7.233397e-08,7.338771e-08,7.359205e-08,7.438850e-08,7.488854e-08,7.533799e-08,7.609711e-08,7.623781e-08,7.708957e-08,7.722150e-08,7.789488e-08,7.826539e-08,7.865532e-08,7.923241e-08,7.937244e-08,8.004778e-08,8.012609e-08,8.068285e-08,8.094991e-08,8.127912e-08,8.170722e-08,8.183803e-08,8.236099e-08,8.240132e-08,8.284938e-08,8.303536e-08,8.330454e-08,8.361241e-08,8.372777e-08,8.412036e-08,8.413545e-08,8.448354e-08,8.460732e-08,8.481851e-08,8.503078e-08,8.512645e-08,8.540849e-08,8.566572e-08,8.574297e-08,8.589922e-08,8.603669e-08,8.611002e-08,8.629197e-08,8.629913e-08,8.646750e-08,8.651106e-08,8.661609e-08,8.669612e-08,8.674579e-08,8.684918e-08,8.685748e-08,8.695200e-08,8.697223e-08,8.703019e-08,8.706712e-08,8.709281e-08,8.713566e-08,8.714064e-08,8.717441e-08,8.717954e-08,8.719483e-08,8.720040e-08,8.720257e-08,8.719977e-08,8.719830e-08,8.718265e-08,8.717913e-08,8.715622e-08,8.713988e-08,8.711960e-08,8.708335e-08,8.707336e-08,8.701804e-08,8.701081e-08,8.695415e-08,8.692345e-08,8.688220e-08,8.682242e-08,8.680266e-08,8.671600e-08,8.670878e-08,8.662267e-08,8.658356e-08,8.652308e-08,8.644773e-08,8.641764e-08,8.630674e-08,8.630220e-08,8.619076e-08,8.614783e-08,8.607005e-08,8.598545e-08,8.594496e-08,8.581582e-08,8.563967e-08,8.545768e-08,8.527051e-08,8.507876e-08,8.488300e-08,8.468376e-08,8.448156e-08,8.427686e-08,8.407011e-08,8.386172e-08,8.365209e-08,8.344156e-08,8.323049e-08,8.301919e-08,8.280794e-08,8.259702e-08,8.238669e-08,8.217718e-08,8.196871e-08,8.176147e-08,8.155564e-08,8.135141e-08,8.114892e-08,8.094831e-08
0.000000e+00,6.476957e-10,1.536439e-09,5.492670e-09,1.274726e-08,1.875539e-08,4.338706e-08,4.472780e-08,8.821663e-08,1.042731e-07,1.547249e-07,2.078778e-07,2.492865e-07,3.627459e-07,3.737815e-07,5.265608e-07,5.671342e-07,7.049572e-07,8.151837e-07,9.067027e-07,1.102058e-06,1.129919e-06,1.372823e-06,1.423603e-06,1.633527e-06,1.775448e-06,1.909961e-06,2.152679e-06,2.199873e-06,2.500869e-06,2.549892e-06,2.810478e-06,2.961419e-06,3.126218e-06,3.381592e-06,3.445665e-06,3.766513e-06,3.805005e-06,4.086615e-06,4.226713e-06,4.404019e-06,4.642365e-06,4.716989e-06,5.024012e-06,5.048277e-06,5.323798e-06,5.441439e-06,5.615275e-06,5.819496e-06,5.897569e-06,6.169995e-06,6.180678e-06,6.432035e-06,6.523753e-06,6.683329e-06,6.847948e-06,6.923647e-06,7.152869e-06,7.370958e-06,7.438401e-06,7.577962e-06,7.704677e-06,7.773994e-06,7.952008e-06,7.959212e-06,8.133821e-06,8.180844e-06,8.298068e-06,8.391755e-06,8.452226e-06,8.585390e-06,8.596585e-06,8.731456e-06,8.762449e-06,8.857164e-06,8.923691e-06,8.974068e-06,9.069944e-06,9.082524e-06,9.182848e-06,9.201966e-06,9.275368e-06,9.320503e-06,9.360410e-06,9.426294e-06,9.438286e-06,9.509308e-06,9.520055e-06,9.573780e-06,9.602489e-06,9.632002e-06,9.674272e-06,9.684260e-06,9.730833e-06,9.736053e-06,9.771992e-06,9.788455e-06,9.808000e-06,9.832078e-06,9.839112e-06,9.865574e-06,9.867497e-06,9.887623e-06,9.895258e-06,9.905487e-06,9.915881e-06,9.919385e-06,9.929529e-06,9.929860e-06,9.936122e-06,9.937664e-06,9.939358e-06,9.939737e-06,9.939425e-06,9.936502e-06,9.930763e-06,9.928358e-06,9.922372e-06,9.915683e-06,9.911486e-06,9.898830e-06,9.898258e-06,9.882832e-06,9.878137e-06,9.865345e-06,9.853920e-06,9.845931e-06,9.826476e-06,9.824716e-06,9.801819e-06,9.796086e-06,9.777356e-06,9.763014e-06,9.751437e-06,9.727506e-06,9.724166e-06,9.695642e-06,9.689796e-06,9.665961e-06,9.650100e-06,9.635213e-06,9.608623e-06,9.603483e-06,9.570854e-06,9.565555e-06,9.537402e-06,9.521075e-06,9.503202e-06,9.475351e-06,9.468324e-06,9.432835e-06,9.428538e-06,9.396796e-06,9.380781e-06,9.360269e-06,9.332216e-06,9.323309e-06,9.285972e-06,9.282970e-06,9.248306e-06,9.233159e-06,9.210361e-06,9.182893e-06,9.172182e-06,9.133811e-06,9.132273e-06,9.095290e-06,9.081393e-06,9.056656e-06,9.030340e-06,9.017946e-06,8.979194e-06,8.928029e-06,8.876915e-06,8.825914e-06,8.775084e-06,8.724478e-06,8.674145e-06,8.624128e-06,8.574470e-06,8.525207e-06,8.476371e-06,8.427994e-06,8.380102e-06,8.332720e-06,8.285870e-06,8.239570e-06,8.193837e-06,8.148688e-06,8.104133e-06,8.060184e-06,8.016850e-06,7.974140e-06,7.932059e-06,7.890612e-06,7.849802e-06
0.000000e+00,1.348036e-11,3.082198e-11,1.057798e-10,2.406319e-10,3.513750e-10,8.022250e-10,8.266935e-10,1.619406e-09,1.912258e-09,2.836224e-09,3.820933e-09,4.599618e-09,6.792994e-09,7.010738e-09,1.007974e-08,1.090517e-08,1.371470e-08,1.595209e-08,1.779604e-08,2.168075e-08,2.222882e-08,2.694572e-08,2.791853e-08,3.189574e-08,3.454726e-08,3.703525e-08,4.146881e-08,4.232318e-08,4.771907e-08,4.858974e-08,5.318265e-08,5.581752e-08,5.867422e-08,6.306172e-08,6.415532e-08,6.958953e-08,7.023685e-08,7.494318e-08,7.726529e-08,8.018584e-08,8.407942e-08,8.529074e-08,9.023492e-08,9.062291e-08,9.499927e-08,9.685109e-08,9.956842e-08,1.027306e-07,1.039306e-07,1.080772e-07,1.082385e-07,1.120028e-07,1.133612e-07,1.157043e-07,1.180929e-07,1.191811e-07,1.224345e-07,1.254674e-07,1.263921e-07,1.282841e-07,1.299758e-07,1.308900e-07,1.331990e-07,1.332912e-07,1.354945e-07,1.360770e-07,1.375073e-07,1.386267e-07,1.393373e-07,1.408661e-07,1.409922e-07,1.424801e-07,1.428132e-07,1.438089e-07,1.444865e-07,1.449865e-07,1.459038e-07,1.460206e-07,1.469190e-07,1.470830e-07,1.476890e-07,1.480410e-07,1.483377e-07,1.487941e-07,1.488722e-07,1.492991e-07,1.493578e-07,1.496249e-07,1.497473e-07,1.498561e-07,1.499770e-07,1.499986e-07,1.500581e-07,1.500599e-07,1.500399e-07,1.500086e-07,1.499492e-07,1.498349e-07,1.497910e-07,1.495699e-07,1.495497e-07,1.492904e-07,1.491632e-07,1.489567e-07,1.486851e-07,1.485728e-07,1.481424e-07,1.481243e-07,1.476692e-07,1.474890e-07,1.471565e-07,1.467870e-07,1.466076e-07,1.460256e-07,1.454131e-07,1.452111e-07,1.447730e-07,1.443499e-07,1.441077e-07,1.434476e-07,1.434197e-07,1.427112e-07,1.425094e-07,1.419843e-07,1.415402e-07,1.412410e-07,1.405443e-07,1.404832e-07,1.397127e-07,1.395260e-07,1.389310e-07,1.384890e-07,1.381398e-07,1.374367e-07,1.373404e-07,1.365342e-07,1.363723e-07,1.357226e-07,1.352987e-07,1.349066e-07,1.342186e-07,1.340874e-07,1.332659e-07,1.331344e-07,1.324433e-07,1.320482e-07,1.316203e-07,1.309622e-07,1.307977e-07,1.299764e-07,1.298780e-07,1.291571e-07,1.287974e-07,1.283404e-07,1.277218e-07,1.275269e-07,1.267172e-07,1.266526e-07,1.259118e-07,1.255910e-07,1.251113e-07,1.245380e-07,1.243159e-07,1.235261e-07,1.234947e-07,1.227424e-07,1.224618e-07,1.219650e-07,1.214401e-07,1.211942e-07,1.204303e-07,1.194330e-07,1.184486e-07,1.174776e-07,1.165203e-07,1.155771e-07,1.146483e-07,1.137339e-07,1.128342e-07,1.119492e-07,1.110791e-07,1.102239e-07,1.093836e-07,1.085582e-07,1.077476e-07,1.069517e-07,1.061706e-07,1.054040e-07,1.046519e-07,1.039141e-07,1.031904e-07,1.024807e-07,1.017849e-07,1.011027e-07,1.004340e-07
0.000000e+00,4.329500e-10,1.031902e-09,3.696320e-09,8.550276e-09,1.253788e-08,2.860783e-08,2.947069e-08,5.689071e-08,6.677248e-08,9.719452e-08,1.285831e-07,1.528420e-07,2.196569e-07,2.262303e-07,3.191692e-07,3.444649e-07,4.320323e-07,5.034686e-07,5.634017e-07,6.923049e-07,7.107355e-07,8.712839e-07,9.047521e-07,1.042524e-06,1.135038e-06,1.222204e-06,1.378151e-06,1.408270e-06,1.598800e-06,1.629576e-06,1.791971e-06,1.885121e-06,1.986059e-06,2.140901e-06,2.179451e-06,2.370661e-06,2.393395e-06,2.558356e-06,2.639518e-06,2.741356e-06,2.876670e-06,2.918653e-06,3.089412e-06,3.102769e-06,3.252960e-06,3.316239e-06,3.408778e-06,3.515968e-06,3.556496e-06,3.695873e-06,3.701272e-06,3.826783e-06,3.871830e-06,3.949201e-06,4.027623e-06,4.063188e-06,4.168874e-06,4.266448e-06,4.295996e-06,4.356143e-06,4.409537e-06,4.438229e-06,4.510144e-06,4.512999e-06,4.580766e-06,4.598530e-06,4.641854e-06,4.675439e-06,4.696594e-06,4.741634e-06,4.745318e-06,4.788356e-06,4.797876e-06,4.826034e-06,4.844911e-06,4.858669e-06,4.883459e-06,4.886567e-06,4.910024e-06,4.914208e-06,4.929327e-06,4.937815e-06,4.944750e-06,4.954899e-06,4.956555e-06,4.964989e-06,4.966042e-06,4.970291e-06,4.971789e-06,4.972685e-06,4.972650e-06,4.972384e-06,4.969589e-06,4.969095e-06,4.964491e-06,4.961564e-06,4.957268e-06,4.950461e-06,4.948089e-06,4.937113e-06,4.936162e-06,4.924490e-06,4.919011e-06,4.910359e-06,4.899326e-06,4.894853e-06,4.878094e-06,4.877399e-06,4.860198e-06,4.853498e-06,4.841273e-06,4.827869e-06,4.821421e-06,4.800735e-06,4.779306e-06,4.772305e-06,4.757214e-06,4.742763e-06,4.734537e-06,4.712283e-06,4.711347e-06,4.687710e-06,4.681020e-06,4.663689e-06,4.649117e-06,4.639342e-06,4.616701e-06,4.614722e-06,4.589880e-06,4.583890e-06,4.564861e-06,4.550790e-06,4.539709e-06,4.517497e-06,4.514463e-06,4.489161e-06,4.484096e-06,4.463835e-06,4.450667e-06,4.438518e-06,4.417280e-06,4.413239e-06,4.388023e-06,4.383996e-06,4.362895e-06,4.350872e-06,4.337879e-06,4.317959e-06,4.312993e-06,4.288258e-06,4.285301e-06,4.263690e-06,4.252937e-06,4.239304e-06,4.220902e-06,4.215115e-06,4.191136e-06,4.189227e-06,4.167378e-06,4.157938e-06,4.143851e-06,4.127060e-06,4.120564e-06,4.097527e-06,4.096610e-06,4.074745e-06,4.066608e-06,4.052226e-06,4.037066e-06,4.029975e-06,4.007997e-06,3.979411e-06,3.951315e-06,3.923715e-06,3.896615e-06,3.870019e-06,3.843927e-06,3.818340e-06,3.793256e-06,3.768675e-06,3.744593e-06,3.721008e-06,3.697914e-06,3.675308e-06,3.653184e-06,3.631536e-06,3.610358e-06,3.589644e-06,3.569387e-06,3.549580e-06,3.530216e-06,3.511287e-06,3.492786e-06,3.474704e-06,3.457036e-06
0.000000e+00,7.438299e-11,1.797630e-10,6.500936e-10,1.501393e-09,2.194708e-09,4.942629e-09,5.088344e-09,9.638444e-09,1.124424e-08,1.609149e-08,2.095902e-08,2.464012e-08,3.447744e-08,3.542489e-08,4.853028e-08,5.202455e-08,6.397532e-08,7.362773e-08,8.169962e-08,9.906096e-08,1.015470e-07,1.232516e-07,1.277839e-07,1.464346e-07,1.589200e-07,1.706241e-07,1.913402e-07,1.952995e-07,2.199526e-07,2.238641e-07,2.441383e-07,2.554735e-07,2.675014e-07,2.854203e-07,2.897794e-07,3.107918e-07,3.132223e-07,3.304249e-07,3.386092e-07,3.486175e-07,3.614664e-07,3.653488e-07,3.806293e-07,3.817899e-07,3.944931e-07,3.996530e-07,4.069920e-07,4.151818e-07,4.181903e-07,4.281613e-07,4.285357e-07,4.369832e-07,4.398933e-07,4.447369e-07,4.494407e-07,4.515036e-07,4.573633e-07,4.623934e-07,4.638400e-07,4.666678e-07,4.690393e-07,4.702563e-07,4.731166e-07,4.732241e-07,4.756320e-07,4.762135e-07,4.775357e-07,4.784575e-07,4.789866e-07,4.799619e-07,4.800316e-07,4.807132e-07,4.808271e-07,4.810701e-07,4.811414e-07,4.811373e-07,4.809818e-07,4.809462e-07,4.805253e-07,4.804158e-07,4.799001e-07,4.795019e-07,4.790935e-07,4.782910e-07,4.781262e-07,4.770166e-07,4.768270e-07,4.757814e-07,4.751483e-07,4.744355e-07,4.732880e-07,4.729922e-07,4.714635e-07,4.712749e-07,4.698603e-07,4.691338e-07,4.681922e-07,4.668865e-07,4.664680e-07,4.646954e-07,4.645517e-07,4.628816e-07,4.621460e-07,4.610330e-07,4.596836e-07,4.591553e-07,4.572536e-07,4.571771e-07,4.553327e-07,4.546373e-07,4.533968e-07,4.520738e-07,4.514497e-07,4.494949e-07,4.475355e-07,4.469080e-07,4.455744e-07,4.443196e-07,4.436141e-07,4.417351e-07,4.416569e-07,4.397051e-07,4.391597e-07,4.377603e-07,4.365976e-07,4.358245e-07,4.340527e-07,4.338991e-07,4.319855e-07,4.315282e-07,4.300851e-07,4.290270e-07,4.281990e-07,4.265518e-07,4.263281e-07,4.244736e-07,4.241047e-07,4.226361e-07,4.216876e-07,4.208164e-07,4.193021e-07,4.190152e-07,4.172331e-07,4.169497e-07,4.154705e-07,4.146316e-07,4.137280e-07,4.123487e-07,4.120059e-07,4.103046e-07,4.101019e-07,4.086244e-07,4.078918e-07,4.069655e-07,4.057190e-07,4.053280e-07,4.037123e-07,4.035840e-07,4.021184e-07,4.014870e-07,4.005464e-07,3.994282e-07,3.989964e-07,3.974684e-07,3.974077e-07,3.959624e-07,3.954256e-07,3.944784e-07,3.934819e-07,3.930165e-07,3.915764e-07,3.897090e-07,3.878795e-07,3.860876e-07,3.843330e-07,3.826153e-07,3.809342e-07,3.792894e-07,3.776802e-07,3.761064e-07,3.745675e-07,3.730628e-07,3.715921e-07,3.701546e-07,3.687500e-07,3.673776e-07,3.660370e-07,3.647275e-07,3.634487e-07,3.622000e-07,3.609808e-07,3.597906e-07,3.586287e-07,3.574948e-07,3.563882e-07
0.000000e+00,2.041121e-11,4.677047e-11,1.606040e-10,3.643024e-10,5.304018e-10,1.195725e-09,1.231352e-09,2.361257e-09,2.767800e-09,4.018137e-09,5.306686e-09,6.301687e-09,9.039462e-09,9.308689e-09,1.311621e-08,1.415353e-08,1.774939e-08,2.068727e-08,2.315276e-08,2.844670e-08,2.920175e-08,3.574886e-08,3.710581e-08,4.265949e-08,4.635861e-08,4.982145e-08,5.596310e-08,5.714152e-08,6.454026e-08,6.572662e-08,7.194859e-08,7.548995e-08,7.930610e-08,8.511995e-08,8.656025e-08,9.366610e-08,9.450697e-08,1.005860e-07,1.035637e-07,1.072892e-07,1.122237e-07,1.137516e-07,1.199550e-07,1.204396e-07,1.258863e-07,1.281807e-07,1.315374e-07,1.354302e-07,1.369040e-07,1.419849e-07,1.421822e-07,1.467819e-07,1.484400e-07,1.512990e-07,1.542135e-07,1.555417e-07,1.595172e-07,1.632334e-07,1.643693e-07,1.666992e-07,1.687902e-07,1.699239e-07,1.728017e-07,1.729171e-07,1.756887e-07,1.764264e-07,1.782486e-07,1.796871e-07,1.806067e-07,1.826061e-07,1.827725e-07,1.847555e-07,1.852052e-07,1.865649e-07,1.875056e-07,1.882096e-07,1.895276e-07,1.896983e-07,1.910394e-07,1.912906e-07,1.922407e-07,1.928128e-07,1.933101e-07,1.941117e-07,1.942548e-07,1.950819e-07,1.952038e-07,1.957983e-07,1.961046e-07,1.964102e-07,1.968288e-07,1.969239e-07,1.973453e-07,1.973899e-07,1.976799e-07,1.978009e-07,1.979329e-07,1.980739e-07,1.981096e-07,1.982146e-07,1.982200e-07,1.982524e-07,1.982498e-07,1.982276e-07,1.981731e-07,1.981440e-07,1.980056e-07,1.979990e-07,1.978162e-07,1.977361e-07,1.975791e-07,1.973924e-07,1.972977e-07,1.969751e-07,1.966144e-07,1.964913e-07,1.962182e-07,1.959473e-07,1.957892e-07,1.953489e-07,1.953300e-07,1.948429e-07,1.947018e-07,1.943301e-07,1.940110e-07,1.937937e-07,1.932812e-07,1.932359e-07,1.926583e-07,1.925169e-07,1.920628e-07,1.917221e-07,1.914511e-07,1.909006e-07,1.908247e-07,1.901852e-07,1.900558e-07,1.895338e-07,1.891909e-07,1.888720e-07,1.883089e-07,1.882010e-07,1.875219e-07,1.874126e-07,1.868358e-07,1.865043e-07,1.861438e-07,1.855866e-07,1.854468e-07,1.847458e-07,1.846614e-07,1.840415e-07,1.837308e-07,1.833348e-07,1.827965e-07,1.826264e-07,1.819170e-07,1.818602e-07,1.812073e-07,1.809234e-07,1.804978e-07,1.799875e-07,1.797892e-07,1.790820e-07,1.790537e-07,1.783766e-07,1.781232e-07,1.776736e-07,1.771971e-07,1.769733e-07,1.762762e-07,1.753615e-07,1.744537e-07,1.735535e-07,1.726616e-07,1.717784e-07,1.709046e-07,1.700406e-07,1.691867e-07,1.683433e-07,1.675107e-07,1.666892e-07,1.658790e-07,1.650802e-07,1.642931e-07,1.635177e-07,1.627542e-07,1.620026e-07,1.612630e-07,1.605354e-07,1.598198e-07,1.591162e-07,1.584245e-07,1.577449e-07,1.570771e-07
0.000000e+00,8.884716e-10,2.563618e-09,1.217856e-08,3.370954e-08,5.348348e-08,1.433335e-07,1.484768e-07,3.224064e-07,3.888387e-07,6.019080e-07,8.319521e-07,1.015065e-06,1.536246e-06,1.588517e-06,2.338996e-06,2.545752e-06,3.265924e-06,3.856876e-06,4.354474e-06,5.429693e-06,5.583967e-06,6.933328e-06,7.215817e-06,8.382740e-06,9.169753e-06,9.913563e-06,1.124925e-05,1.150788e-05,1.314824e-05,1.341383e-05,1.481766e-05,1.562447e-05,1.649980e-05,1.784428e-05,1.817926e-05,1.984190e-05,2.003967e-05,2.147506e-05,2.218141e-05,2.306775e-05,2.424538e-05,2.461073e-05,2.609654e-05,2.621275e-05,2.751940e-05,2.806994e-05,2.887515e-05,2.980814e-05,3.016104e-05,3.137557e-05,3.142266e-05,3.251833e-05,3.291223e-05,3.358982e-05,3.427832e-05,3.459126e-05,3.552445e-05,3.639164e-05,3.665562e-05,3.719541e-05,3.767781e-05,3.793854e-05,3.859761e-05,3.862396e-05,3.925466e-05,3.942186e-05,3.983365e-05,4.015747e-05,4.036391e-05,4.081122e-05,4.084835e-05,4.128978e-05,4.138963e-05,4.169091e-05,4.189890e-05,4.205432e-05,4.234488e-05,4.238247e-05,4.267769e-05,4.273298e-05,4.294218e-05,4.306827e-05,4.317801e-05,4.335537e-05,4.338711e-05,4.357130e-05,4.359858e-05,4.373230e-05,4.380181e-05,4.387168e-05,4.396864e-05,4.399095e-05,4.409149e-05,4.410236e-05,4.417459e-05,4.420594e-05,4.424146e-05,4.428212e-05,4.429322e-05,4.433094e-05,4.433338e-05,4.435558e-05,4.436198e-05,4.436806e-05,4.436999e-05,4.436922e-05,4.435986e-05,4.435928e-05,4.434073e-05,4.433158e-05,4.431250e-05,4.428845e-05,4.427583e-05,4.423131e-05,4.417950e-05,4.416147e-05,4.412093e-05,4.408012e-05,4.405609e-05,4.398836e-05,4.398543e-05,4.390938e-05,4.388718e-05,4.382835e-05,4.377750e-05,4.374271e-05,4.366015e-05,4.365281e-05,4.355897e-05,4.353590e-05,4.346151e-05,4.340546e-05,4.336072e-05,4.326947e-05,4.325685e-05,4.315018e-05,4.312853e-05,4.304093e-05,4.298318e-05,4.292934e-05,4.283393e-05,4.281560e-05,4.269992e-05,4.268125e-05,4.258249e-05,4.252554e-05,4.246347e-05,4.236722e-05,4.234303e-05,4.222132e-05,4.220664e-05,4.209850e-05,4.204413e-05,4.197468e-05,4.188001e-05,4.185002e-05,4.172461e-05,4.171455e-05,4.159859e-05,4.154803e-05,4.147205e-05,4.138068e-05,4.134509e-05,4.121782e-05,4.121272e-05,4.109031e-05,4.104436e-05,4.096265e-05,4.087580e-05,4.083492e-05,4.070720e-05,4.053872e-05,4.037053e-05,4.020275e-05,4.003551e-05,3.986893e-05,3.970311e-05,3.953816e-05,3.937416e-05,3.921120e-05,3.904936e-05,3.888869e-05,3.872927e-05,3.857115e-05,3.841439e-05,3.825904e-05,3.810512e-05,3.795270e-05,3.780179e-05,3.765243e-05,3.750465e-05,3.735847e-05,3.721390e-05,3.707098e-05,3.692972e-05
0.000000e+00,2.291659e-10,5.363141e-10,1.889120e-09,4.352051e-09,6.384028e-09,1.467271e-08,1.512237e-08,2.964631e-08,3.498690e-08,5.174936e-08,6.949223e-08,8.346250e-08,1.227384e-07,1.266437e-07,1.820839e-07,1.971547e-07,2.490082e-07,2.908841e-07,3.257393e-07,4.000218e-07,4.105823e-07,5.021400e-07,5.211535e-07,5.992699e-07,6.516463e-07,7.009787e-07,7.892798e-07,8.063485e-07,9.145042e-07,9.320110e-07,1.024604e-06,1.077905e-06,1.135844e-06,1.225146e-06,1.247467e-06,1.358772e-06,1.372077e-06,1.469127e-06,1.517235e-06,1.577970e-06,1.659376e-06,1.684812e-06,1.789238e-06,1.797477e-06,1.890907e-06,1.930739e-06,1.989543e-06,2.058559e-06,2.084929e-06,2.176905e-06,2.180512e-06,2.265357e-06,2.296322e-06,2.350212e-06,2.405839e-06,2.431434e-06,2.509021e-06,2.582985e-06,2.605893e-06,2.653360e-06,2.696544e-06,2.720204e-06,2.781113e-06,2.783582e-06,2.843572e-06,2.859774e-06,2.900261e-06,2.932728e-06,2.953741e-06,3.000190e-06,3.004107e-06,3.051456e-06,3.062382e-06,3.095890e-06,3.119537e-06,3.137510e-06,3.171888e-06,3.176417e-06,3.212712e-06,3.219666e-06,3.246495e-06,3.263102e-06,3.277865e-06,3.302421e-06,3.306917e-06,3.333748e-06,3.337841e-06,3.358448e-06,3.369575e-06,3.381109e-06,3.397828e-06,3.401818e-06,3.420660e-06,3.422800e-06,3.437718e-06,3.444679e-06,3.453072e-06,3.463650e-06,3.466801e-06,3.478978e-06,3.479887e-06,3.489676e-06,3.493558e-06,3.498967e-06,3.504822e-06,3.506916e-06,3.513590e-06,3.513831e-06,3.519050e-06,3.520731e-06,3.523358e-06,3.525659e-06,3.526572e-06,3.528748e-06,3.529938e-06,3.530120e-06,3.530196e-06,3.529894e-06,3.529570e-06,3.528183e-06,3.528109e-06,3.525857e-06,3.525091e-06,3.522859e-06,3.520720e-06,3.519157e-06,3.515164e-06,3.514792e-06,3.509800e-06,3.508514e-06,3.504221e-06,3.500853e-06,3.498089e-06,3.492262e-06,3.491437e-06,3.484299e-06,3.482816e-06,3.476705e-06,3.472586e-06,3.468685e-06,3.461639e-06,3.460267e-06,3.451478e-06,3.450039e-06,3.442345e-06,3.437845e-06,3.432891e-06,3.425113e-06,3.423140e-06,3.413115e-06,3.411894e-06,3.402837e-06,3.398239e-06,3.392326e-06,3.384194e-06,3.381602e-06,3.370684e-06,3.369803e-06,3.359589e-06,3.355105e-06,3.348333e-06,3.340139e-06,3.336933e-06,3.325404e-06,3.324941e-06,3.313761e-06,3.309544e-06,3.302016e-06,3.293979e-06,3.290184e-06,3.278276e-06,3.262461e-06,3.246561e-06,3.230598e-06,3.214595e-06,3.198572e-06,3.182548e-06,3.166541e-06,3.150566e-06,3.134640e-06,3.118775e-06,3.102985e-06,3.087282e-06,3.071676e-06,3.056177e-06,3.040795e-06,3.025537e-06,3.010412e-06,2.995426e-06,2.980585e-06,2.965895e-06,2.951361e-06,2.936987e-06,2.922778e-06,2.908736e-06
0.000000e+00,7.789357e-12,1.781734e-11,6.110577e-11,1.385988e-10,2.018217e-10,4.552820e-10,4.688619e-10,8.998384e-10,1.055023e-09,1.532666e-09,2.025546e-09,2.406678e-09,3.458663e-09,3.562440e-09,5.038886e-09,5.444625e-09,6.866106e-09,8.047524e-09,9.054397e-09,1.126532e-08,1.158598e-08,1.441782e-08,1.501538e-08,1.749420e-08,1.917177e-08,2.075916e-08,2.361070e-08,2.416274e-08,2.766213e-08,2.822839e-08,3.122069e-08,3.294036e-08,3.480675e-08,3.767664e-08,3.839256e-08,4.195368e-08,4.237831e-08,4.546865e-08,4.699569e-08,4.891875e-08,5.148747e-08,5.228792e-08,5.556265e-08,5.582020e-08,5.873182e-08,5.996787e-08,6.178656e-08,6.391124e-08,6.472010e-08,6.752758e-08,6.763721e-08,7.020580e-08,7.113795e-08,7.275307e-08,7.441016e-08,7.516898e-08,7.745421e-08,7.961038e-08,8.027345e-08,8.163981e-08,8.287350e-08,8.354549e-08,8.526168e-08,8.533083e-08,8.699964e-08,8.744657e-08,8.855597e-08,8.943755e-08,9.000409e-08,9.124452e-08,9.134834e-08,9.259315e-08,9.287760e-08,9.374295e-08,9.434698e-08,9.480213e-08,9.566271e-08,9.577504e-08,9.666593e-08,9.683464e-08,9.747896e-08,9.787230e-08,9.821815e-08,9.878487e-08,9.888741e-08,9.949052e-08,9.958112e-08,1.000311e-07,1.002694e-07,1.005126e-07,1.008576e-07,1.009385e-07,1.013118e-07,1.013532e-07,1.016357e-07,1.017633e-07,1.019131e-07,1.020946e-07,1.021468e-07,1.023394e-07,1.023531e-07,1.024935e-07,1.025448e-07,1.026114e-07,1.026752e-07,1.026955e-07,1.027478e-07,1.027493e-07,1.027706e-07,1.027719e-07,1.027657e-07,1.027475e-07,1.027349e-07,1.026801e-07,1.026028e-07,1.025736e-07,1.025048e-07,1.024317e-07,1.023873e-07,1.022577e-07,1.022519e-07,1.020999e-07,1.020546e-07,1.019326e-07,1.018253e-07,1.017511e-07,1.015725e-07,1.015565e-07,1.013500e-07,1.012987e-07,1.011324e-07,1.010062e-07,1.009049e-07,1.006970e-07,1.006681e-07,1.004231e-07,1.003731e-07,1.001705e-07,1.000364e-07,9.991114e-08,9.968855e-08,9.964569e-08,9.937482e-08,9.933102e-08,9.909915e-08,9.896529e-08,9.881925e-08,9.859265e-08,9.853567e-08,9.824892e-08,9.821432e-08,9.795949e-08,9.783141e-08,9.766783e-08,9.744494e-08,9.737437e-08,9.707949e-08,9.705585e-08,9.678357e-08,9.666499e-08,9.648695e-08,9.627315e-08,9.618997e-08,9.589292e-08,9.588104e-08,9.559609e-08,9.548933e-08,9.529973e-08,9.509861e-08,9.500410e-08,9.470943e-08,9.432227e-08,9.393758e-08,9.355577e-08,9.317720e-08,9.280221e-08,9.243107e-08,9.206406e-08,9.170141e-08,9.134331e-08,9.098995e-08,9.064149e-08,9.029805e-08,8.995976e-08,8.962670e-08,8.929897e-08,8.897662e-08,8.865970e-08,8.834827e-08,8.804233e-08,8.774190e-08,8.744699e-08,8.715760e-08,8.687371e-08,8.659531e-08
0.000000e+00,6.866745e-11,1.628550e-10,5.811602e-10,1.343738e-09,1.970853e-09,4.500995e-09,4.636899e-09,8.953429e-09,1.050691e-08,1.527916e-08,2.018518e-08,2.396491e-08,3.433545e-08,3.535381e-08,4.976263e-08,5.369934e-08,6.743030e-08,7.878787e-08,8.844343e-08,1.096246e-07,1.126992e-07,1.399514e-07,1.457348e-07,1.698934e-07,1.864218e-07,2.022119e-07,2.309748e-07,2.366050e-07,2.727806e-07,2.787150e-07,3.104530e-07,3.289844e-07,3.493401e-07,3.811376e-07,3.891643e-07,4.296538e-07,4.345447e-07,4.705467e-07,4.886026e-07,5.115936e-07,5.427479e-07,5.525610e-07,5.932341e-07,5.964693e-07,6.334181e-07,6.493153e-07,6.729399e-07,7.008996e-07,7.116480e-07,7.494127e-07,7.509021e-07,7.861252e-07,7.990664e-07,8.216965e-07,8.451964e-07,8.560560e-07,8.891500e-07,9.209401e-07,9.308331e-07,9.514012e-07,9.701924e-07,9.805203e-07,1.007209e-06,1.008295e-06,1.034730e-06,1.041894e-06,1.059840e-06,1.074279e-06,1.083645e-06,1.104414e-06,1.106170e-06,1.127442e-06,1.132365e-06,1.147496e-06,1.158206e-06,1.166365e-06,1.182018e-06,1.184085e-06,1.200696e-06,1.203889e-06,1.216236e-06,1.223907e-06,1.230745e-06,1.242164e-06,1.244261e-06,1.256825e-06,1.258750e-06,1.268475e-06,1.273754e-06,1.279250e-06,1.287265e-06,1.289187e-06,1.298324e-06,1.299368e-06,1.306696e-06,1.310147e-06,1.314339e-06,1.319680e-06,1.321286e-06,1.327571e-06,1.328046e-06,1.333224e-06,1.335316e-06,1.338278e-06,1.341561e-06,1.342760e-06,1.346701e-06,1.346848e-06,1.350127e-06,1.351240e-06,1.353065e-06,1.354797e-06,1.355541e-06,1.357578e-06,1.359199e-06,1.359634e-06,1.360428e-06,1.361018e-06,1.361286e-06,1.361779e-06,1.361793e-06,1.361968e-06,1.361961e-06,1.361831e-06,1.361607e-06,1.361400e-06,1.360758e-06,1.360692e-06,1.359722e-06,1.359453e-06,1.358508e-06,1.357726e-06,1.357063e-06,1.355612e-06,1.355402e-06,1.353539e-06,1.353143e-06,1.351486e-06,1.350348e-06,1.349256e-06,1.347255e-06,1.346861e-06,1.344311e-06,1.343890e-06,1.341618e-06,1.340278e-06,1.338792e-06,1.336442e-06,1.335843e-06,1.332778e-06,1.332403e-06,1.329609e-06,1.328183e-06,1.326341e-06,1.323798e-06,1.322985e-06,1.319546e-06,1.319268e-06,1.316033e-06,1.314608e-06,1.312452e-06,1.309835e-06,1.308809e-06,1.305111e-06,1.304962e-06,1.301363e-06,1.300002e-06,1.297570e-06,1.294969e-06,1.293739e-06,1.289874e-06,1.284727e-06,1.279539e-06,1.274319e-06,1.269075e-06,1.263816e-06,1.258550e-06,1.253282e-06,1.248019e-06,1.242768e-06,1.237533e-06,1.232320e-06,1.227132e-06,1.221975e-06,1.216852e-06,1.211767e-06,1.206722e-06,1.201721e-06,1.196766e-06,1.191860e-06,1.187004e-06,1.182201e-06,1.177452e-06,1.172760e-06,1.168124e-06
0.000000e+00,4.164842e-11,9.560756e-11,3.307066e-10,7.576728e-10,1.110742e-09,2.562275e-09,2.641542e-09,5.227610e-09,6.189603e-09,9.239141e-09,1.250319e-08,1.508859e-08,2.237222e-08,2.309505e-08,3.329113e-08,3.604080e-08,4.544441e-08,5.299523e-08,5.926547e-08,7.262132e-08,7.452163e-08,9.103684e-08,9.447784e-08,1.086649e-07,1.182260e-07,1.272696e-07,1.435530e-07,1.467152e-07,1.668634e-07,1.701429e-07,1.875740e-07,1.976737e-07,2.087073e-07,2.258267e-07,2.301273e-07,2.517042e-07,2.542981e-07,2.733168e-07,2.828087e-07,2.948545e-07,3.111116e-07,3.162181e-07,3.373203e-07,3.389949e-07,3.580857e-07,3.662828e-07,3.784501e-07,3.928339e-07,3.983602e-07,4.177726e-07,4.185382e-07,4.366526e-07,4.433136e-07,4.549733e-07,4.671017e-07,4.727151e-07,4.898638e-07,5.064107e-07,5.115778e-07,5.223514e-07,5.322348e-07,5.376851e-07,5.518364e-07,5.524140e-07,5.665429e-07,5.703923e-07,5.800785e-07,5.879187e-07,5.930295e-07,6.044366e-07,6.054058e-07,6.172184e-07,6.199708e-07,6.284791e-07,6.345488e-07,6.392006e-07,6.481998e-07,6.493959e-07,6.590785e-07,6.609547e-07,6.682620e-07,6.728447e-07,6.769602e-07,6.839018e-07,6.851870e-07,6.929564e-07,6.941579e-07,7.002820e-07,7.036448e-07,7.071778e-07,7.123941e-07,7.136573e-07,7.197340e-07,7.204368e-07,7.254213e-07,7.278036e-07,7.307321e-07,7.345244e-07,7.356793e-07,7.402755e-07,7.406285e-07,7.445332e-07,7.461442e-07,7.484643e-07,7.510992e-07,7.520808e-07,7.553941e-07,7.555205e-07,7.584157e-07,7.594341e-07,7.611564e-07,7.628652e-07,7.636271e-07,7.658381e-07,7.677996e-07,7.683763e-07,7.695216e-07,7.705024e-07,7.710137e-07,7.722384e-07,7.722851e-07,7.733451e-07,7.736051e-07,7.742023e-07,7.746229e-07,7.748653e-07,7.753110e-07,7.753425e-07,7.756419e-07,7.756881e-07,7.757712e-07,7.757721e-07,7.757379e-07,7.755801e-07,7.755495e-07,7.752129e-07,7.751284e-07,7.747350e-07,7.744328e-07,7.741224e-07,7.735084e-07,7.733815e-07,7.725184e-07,7.723694e-07,7.715392e-07,7.710296e-07,7.704496e-07,7.695021e-07,7.692551e-07,7.679612e-07,7.677995e-07,7.665729e-07,7.659335e-07,7.650954e-07,7.639157e-07,7.635334e-07,7.618916e-07,7.617569e-07,7.601744e-07,7.594674e-07,7.583861e-07,7.570569e-07,7.565310e-07,7.546130e-07,7.545350e-07,7.526359e-07,7.519104e-07,7.506035e-07,7.491917e-07,7.485193e-07,7.463868e-07,7.435033e-07,7.405486e-07,7.375294e-07,7.344522e-07,7.313233e-07,7.281483e-07,7.249329e-07,7.216823e-07,7.184013e-07,7.150947e-07,7.117667e-07,7.084216e-07,7.050632e-07,7.016951e-07,6.983209e-07,6.949437e-07,6.915667e-07,6.881925e-07,6.848240e-07,6.814636e-07,6.781137e-07,6.747764e-07,6.714537e-07,6.681475e-07
0.000000e+00,1.936030e-09,5.484805e-09,2.513183e-08,6.745382e-08,1.053126e-07,2.714077e-07,2.807203e-07,5.884050e-07,7.032589e-07,1.065296e-06,1.448625e-06,1.749982e-06,2.597150e-06,2.681607e-06,3.891179e-06,4.224269e-06,5.384855e-06,6.335654e-06,7.132858e-06,8.836594e-06,9.078328e-06,1.115722e-05,1.158379e-05,1.331253e-05,1.444794e-05,1.549874e-05,1.733305e-05,1.768066e-05,1.983082e-05,2.017036e-05,2.192714e-05,2.290879e-05,2.395145e-05,2.550884e-05,2.588869e-05,2.772655e-05,2.793993e-05,2.945530e-05,3.017944e-05,3.106773e-05,3.221236e-05,3.255907e-05,3.392685e-05,3.403091e-05,3.517068e-05,3.563378e-05,3.629205e-05,3.702529e-05,3.729404e-05,3.818099e-05,3.821415e-05,3.895825e-05,3.921237e-05,3.963194e-05,4.003427e-05,4.020870e-05,4.069545e-05,4.109917e-05,4.121197e-05,4.142682e-05,4.159973e-05,4.168517e-05,4.187406e-05,4.188076e-05,4.201975e-05,4.204933e-05,4.210798e-05,4.213882e-05,4.215087e-05,4.215460e-05,4.215343e-05,4.212029e-05,4.210750e-05,4.205565e-05,4.200714e-05,4.196336e-05,4.186203e-05,4.184688e-05,4.170935e-05,4.167957e-05,4.155358e-05,4.146623e-05,4.138211e-05,4.122759e-05,4.119719e-05,4.100083e-05,4.096848e-05,4.079484e-05,4.069302e-05,4.058082e-05,4.040477e-05,4.036017e-05,4.013417e-05,4.010675e-05,3.990392e-05,3.980153e-05,3.967042e-05,3.949132e-05,3.943453e-05,3.919702e-05,3.917797e-05,3.895857e-05,3.886306e-05,3.871978e-05,3.854794e-05,3.848118e-05,3.824322e-05,3.823372e-05,3.800632e-05,3.792136e-05,3.777083e-05,3.761166e-05,3.753706e-05,3.730528e-05,3.707572e-05,3.700277e-05,3.684860e-05,3.670460e-05,3.662408e-05,3.641114e-05,3.640233e-05,3.618346e-05,3.612271e-05,3.596759e-05,3.583954e-05,3.575481e-05,3.556184e-05,3.554519e-05,3.533881e-05,3.528976e-05,3.513570e-05,3.502341e-05,3.493591e-05,3.476286e-05,3.473946e-05,3.454637e-05,3.450816e-05,3.435666e-05,3.425935e-05,3.417033e-05,3.401641e-05,3.398737e-05,3.380778e-05,3.377936e-05,3.363154e-05,3.354814e-05,3.345864e-05,3.332271e-05,3.328906e-05,3.312277e-05,3.310303e-05,3.295974e-05,3.288903e-05,3.279994e-05,3.268063e-05,3.264333e-05,3.248989e-05,3.247775e-05,3.233957e-05,3.228031e-05,3.219233e-05,3.208821e-05,3.204814e-05,3.190695e-05,3.190136e-05,3.176871e-05,3.171966e-05,3.163339e-05,3.154301e-05,3.150094e-05,3.137131e-05,3.120445e-05,3.104233e-05,3.088483e-05,3.073186e-05,3.058330e-05,3.043905e-05,3.029901e-05,3.016306e-05,3.003111e-05,2.990305e-05,2.977878e-05,2.965821e-05,2.954122e-05,2.942774e-05,2.931765e-05,2.921087e-05,2.910731e-05,2.900687e-05,2.890947e-05,2.881502e-05,2.872344e-05,2.863464e-05,2.854855e-05,2.846509e-05
0.000000e+00,6.889820e-11,1.579279e-10,5.427087e-10,1.233018e-09,1.797893e-09,4.080228e-09,4.203357e-09,8.156780e-09,9.601639e-09,1.411373e-08,1.885630e-08,2.256616e-08,3.286386e-08,3.387603e-08,4.800400e-08,5.177028e-08,6.452134e-08,7.462213e-08,8.292097e-08,1.003416e-07,1.027928e-07,1.238199e-07,1.281399e-07,1.457357e-07,1.574017e-07,1.682963e-07,1.875744e-07,1.912682e-07,2.144265e-07,2.181346e-07,2.375573e-07,2.485912e-07,2.604616e-07,2.785003e-07,2.829595e-07,3.048926e-07,3.074800e-07,3.261262e-07,3.352180e-07,3.465495e-07,3.614745e-07,3.660748e-07,3.846368e-07,3.860786e-07,4.021897e-07,4.089216e-07,4.187059e-07,4.299481e-07,4.341729e-07,4.485914e-07,4.491465e-07,4.619728e-07,4.665398e-07,4.743371e-07,4.821775e-07,4.857114e-07,4.961279e-07,5.056227e-07,5.084726e-07,5.142345e-07,5.193013e-07,5.220038e-07,5.287079e-07,5.289718e-07,5.351803e-07,5.367883e-07,5.406708e-07,5.436374e-07,5.454840e-07,5.493483e-07,5.496598e-07,5.532371e-07,5.540108e-07,5.562533e-07,5.577108e-07,5.587445e-07,5.605300e-07,5.607453e-07,5.622888e-07,5.625453e-07,5.634062e-07,5.638288e-07,5.641274e-07,5.644480e-07,5.644809e-07,5.644935e-07,5.644656e-07,5.641907e-07,5.639404e-07,5.635964e-07,5.629263e-07,5.627333e-07,5.616227e-07,5.614738e-07,5.602847e-07,5.596289e-07,5.587383e-07,5.574346e-07,5.570012e-07,5.550901e-07,5.549301e-07,5.530206e-07,5.521517e-07,5.508073e-07,5.491326e-07,5.484641e-07,5.460038e-07,5.459031e-07,5.434384e-07,5.424913e-07,5.407791e-07,5.389226e-07,5.380365e-07,5.352203e-07,5.323396e-07,5.314056e-07,5.294030e-07,5.274979e-07,5.264184e-07,5.235148e-07,5.233931e-07,5.203340e-07,5.194723e-07,5.172475e-07,5.153848e-07,5.141393e-07,5.112655e-07,5.110151e-07,5.078798e-07,5.071262e-07,5.047381e-07,5.029776e-07,5.015943e-07,4.988292e-07,4.984524e-07,4.953160e-07,4.946897e-07,4.921886e-07,4.905668e-07,4.890731e-07,4.864674e-07,4.859724e-07,4.828892e-07,4.823976e-07,4.798257e-07,4.783629e-07,4.767841e-07,4.743679e-07,4.737663e-07,4.707742e-07,4.704170e-07,4.678093e-07,4.665137e-07,4.648730e-07,4.626613e-07,4.619666e-07,4.590912e-07,4.588626e-07,4.562479e-07,4.551198e-07,4.534375e-07,4.514349e-07,4.506609e-07,4.479186e-07,4.478096e-07,4.452112e-07,4.442453e-07,4.425393e-07,4.407429e-07,4.399033e-07,4.373033e-07,4.339272e-07,4.306149e-07,4.273665e-07,4.241822e-07,4.210618e-07,4.180052e-07,4.150119e-07,4.120815e-07,4.092135e-07,4.064072e-07,4.036620e-07,4.009770e-07,3.983516e-07,3.957848e-07,3.932756e-07,3.908233e-07,3.884268e-07,3.860852e-07,3.837974e-07,3.815624e-07,3.793792e-07,3.772469e-07,3.751643e-07,3.731304e-07
0.000000e+00,1.151742e-09,3.355352e-09,1.623613e-08,4.562199e-08,7.293274e-08,1.988439e-07,2.061081e-07,4.536149e-07,5.487497e-07,8.549672e-07,1.186617e-06,1.451134e-06,2.207517e-06,2.283793e-06,3.392096e-06,3.702679e-06,4.804794e-06,5.732440e-06,6.528095e-06,8.282209e-06,8.536751e-06,1.077776e-05,1.124804e-05,1.318444e-05,1.447904e-05,1.569030e-05,1.782879e-05,1.823688e-05,2.077619e-05,2.117914e-05,2.327031e-05,2.444256e-05,2.569000e-05,2.755712e-05,2.801318e-05,3.022364e-05,3.048074e-05,3.231007e-05,3.318679e-05,3.426517e-05,3.566071e-05,3.608505e-05,3.776861e-05,3.789743e-05,3.931707e-05,3.989926e-05,4.073349e-05,4.167403e-05,4.202236e-05,4.318922e-05,4.323344e-05,4.424038e-05,4.459176e-05,4.518260e-05,4.576467e-05,4.602291e-05,4.676837e-05,4.742598e-05,4.761898e-05,4.800253e-05,4.833201e-05,4.850455e-05,4.892209e-05,4.893820e-05,4.930932e-05,4.940277e-05,4.962333e-05,4.978644e-05,4.988528e-05,5.008430e-05,5.009982e-05,5.027126e-05,5.030643e-05,5.040353e-05,5.046185e-05,5.050024e-05,5.055854e-05,5.056467e-05,5.059984e-05,5.060361e-05,5.060847e-05,5.060331e-05,5.059305e-05,5.056318e-05,5.055585e-05,5.049892e-05,5.048810e-05,5.042412e-05,5.038238e-05,5.033317e-05,5.024981e-05,5.022760e-05,5.010882e-05,5.009374e-05,4.997812e-05,4.991714e-05,4.983666e-05,4.972262e-05,4.968551e-05,4.952563e-05,4.951249e-05,4.935792e-05,4.928882e-05,4.918318e-05,4.905343e-05,4.900215e-05,4.881550e-05,4.880793e-05,4.862387e-05,4.855377e-05,4.842781e-05,4.829223e-05,4.822785e-05,4.802448e-05,4.781812e-05,4.775153e-05,4.760920e-05,4.747431e-05,4.739807e-05,4.719364e-05,4.718509e-05,4.697057e-05,4.691027e-05,4.675480e-05,4.662486e-05,4.653806e-05,4.633801e-05,4.632059e-05,4.610262e-05,4.605026e-05,4.588437e-05,4.576211e-05,4.566604e-05,4.547397e-05,4.544779e-05,4.522981e-05,4.518626e-05,4.501224e-05,4.489932e-05,4.479523e-05,4.461347e-05,4.457891e-05,4.436340e-05,4.432900e-05,4.414880e-05,4.404616e-05,4.393523e-05,4.376518e-05,4.372278e-05,4.351154e-05,4.348628e-05,4.330158e-05,4.320963e-05,4.309299e-05,4.293541e-05,4.288582e-05,4.268014e-05,4.266375e-05,4.247601e-05,4.239480e-05,4.227347e-05,4.212866e-05,4.207258e-05,4.187337e-05,4.186544e-05,4.167589e-05,4.160522e-05,4.148016e-05,4.134809e-05,4.128623e-05,4.109411e-05,4.084333e-05,4.059581e-05,4.035159e-05,4.011069e-05,3.987314e-05,3.963896e-05,3.940816e-05,3.918076e-05,3.895675e-05,3.873613e-05,3.851890e-05,3.830505e-05,3.809456e-05,3.788741e-05,3.768360e-05,3.748310e-05,3.728588e-05,3.709191e-05,3.690118e-05,3.671365e-05,3.652929e-05,3.634806e-05,3.616994e-05,3.599489e-05
0.000000e+00,1.475044e-10,3.620407e-10,1.340398e-09,3.148928e-09,4.642932e-09,1.068375e-08,1.100835e-08,2.131344e-08,2.501951e-08,3.639757e-08,4.808817e-08,5.709260e-08,8.178604e-08,8.420906e-08,1.184099e-07,1.277139e-07,1.599691e-07,1.863848e-07,2.086483e-07,2.569227e-07,2.638735e-07,3.249871e-07,3.378606e-07,3.913640e-07,4.277643e-07,4.624173e-07,5.252970e-07,5.375741e-07,6.162548e-07,6.291311e-07,6.978629e-07,7.378949e-07,7.817846e-07,8.501676e-07,8.673944e-07,9.540645e-07,9.645066e-07,1.041176e-06,1.079489e-06,1.128128e-06,1.193755e-06,1.214353e-06,1.299322e-06,1.306050e-06,1.382551e-06,1.415257e-06,1.463609e-06,1.520415e-06,1.542122e-06,1.617771e-06,1.620734e-06,1.690294e-06,1.715595e-06,1.759483e-06,1.804546e-06,1.825183e-06,1.887287e-06,1.945731e-06,1.963656e-06,2.000493e-06,2.033611e-06,2.051583e-06,2.097213e-06,2.099043e-06,2.142939e-06,2.154603e-06,2.183359e-06,2.205987e-06,2.220409e-06,2.251621e-06,2.254208e-06,2.284883e-06,2.291796e-06,2.312572e-06,2.326826e-06,2.337416e-06,2.357038e-06,2.359557e-06,2.379142e-06,2.382765e-06,2.396313e-06,2.404336e-06,2.411213e-06,2.422075e-06,2.423980e-06,2.434749e-06,2.436295e-06,2.443650e-06,2.447296e-06,2.450808e-06,2.455362e-06,2.456345e-06,2.460374e-06,2.460762e-06,2.463005e-06,2.463747e-06,2.464342e-06,2.464553e-06,2.464483e-06,2.463519e-06,2.463397e-06,2.461538e-06,2.460480e-06,2.458623e-06,2.455988e-06,2.454849e-06,2.450290e-06,2.450092e-06,2.445012e-06,2.442949e-06,2.439079e-06,2.434701e-06,2.432550e-06,2.425479e-06,2.417917e-06,2.415402e-06,2.409913e-06,2.404579e-06,2.401511e-06,2.393108e-06,2.392752e-06,2.383674e-06,2.381079e-06,2.374312e-06,2.368574e-06,2.364701e-06,2.355665e-06,2.354871e-06,2.344850e-06,2.342419e-06,2.334664e-06,2.328897e-06,2.324338e-06,2.315152e-06,2.313894e-06,2.303353e-06,2.301235e-06,2.292734e-06,2.287188e-06,2.282056e-06,2.273051e-06,2.271334e-06,2.260583e-06,2.258862e-06,2.249818e-06,2.244650e-06,2.239052e-06,2.230445e-06,2.228295e-06,2.217560e-06,2.216273e-06,2.206855e-06,2.202157e-06,2.196190e-06,2.188117e-06,2.185573e-06,2.175012e-06,2.174170e-06,2.164514e-06,2.160334e-06,2.154085e-06,2.146622e-06,2.143731e-06,2.133456e-06,2.133047e-06,2.123266e-06,2.119619e-06,2.113165e-06,2.106349e-06,2.103157e-06,2.093244e-06,2.080312e-06,2.067558e-06,2.054989e-06,2.042607e-06,2.030417e-06,2.018420e-06,2.006621e-06,1.995019e-06,1.983616e-06,1.972413e-06,1.961409e-06,1.950605e-06,1.940000e-06,1.929593e-06,1.919383e-06,1.909369e-06,1.899549e-06,1.889921e-06,1.880483e-06,1.871234e-06,1.862171e-06,1.853291e-06,1.844593e-06,1.836074e-06
0.000000e+00,4.889618e-10,1.206450e-09,4.499735e-09,1.062525e-08,1.570798e-08,3.640746e-08,3.752554e-08,7.328773e-08,8.626517e-08,1.264502e-07,1.682228e-07,2.006885e-07,2.907480e-07,2.996486e-07,4.259445e-07,4.603992e-07,5.796598e-07,6.767682e-07,7.580404e-07,9.321599e-07,9.569814e-07,1.172497e-06,1.217278e-06,1.401172e-06,1.524296e-06,1.640071e-06,1.846710e-06,1.886554e-06,2.138159e-06,2.178734e-06,2.392559e-06,2.515014e-06,2.647559e-06,2.850607e-06,2.901109e-06,3.151338e-06,3.181061e-06,3.396573e-06,3.502511e-06,3.635355e-06,3.811745e-06,3.866448e-06,4.088837e-06,4.106226e-06,4.301717e-06,4.384067e-06,4.504491e-06,4.643991e-06,4.696744e-06,4.878226e-06,4.885259e-06,5.048825e-06,5.107576e-06,5.208557e-06,5.311025e-06,5.357543e-06,5.495990e-06,5.624145e-06,5.663031e-06,5.742329e-06,5.812900e-06,5.850903e-06,5.946448e-06,5.950250e-06,6.040776e-06,6.064600e-06,6.122898e-06,6.168312e-06,6.197036e-06,6.258552e-06,6.263610e-06,6.323035e-06,6.336279e-06,6.375719e-06,6.402426e-06,6.422057e-06,6.457890e-06,6.462433e-06,6.497216e-06,6.503534e-06,6.526763e-06,6.540171e-06,6.551413e-06,6.568572e-06,6.571490e-06,6.587305e-06,6.589459e-06,6.599148e-06,6.603506e-06,6.607300e-06,6.611341e-06,6.612023e-06,6.613567e-06,6.613549e-06,6.612165e-06,6.610674e-06,6.608042e-06,6.603215e-06,6.601404e-06,6.592448e-06,6.591637e-06,6.581360e-06,6.576367e-06,6.568313e-06,6.557798e-06,6.553470e-06,6.536985e-06,6.536293e-06,6.519000e-06,6.512185e-06,6.499650e-06,6.485778e-06,6.479062e-06,6.457353e-06,6.434633e-06,6.427166e-06,6.411006e-06,6.395452e-06,6.386567e-06,6.362426e-06,6.361407e-06,6.335609e-06,6.328283e-06,6.309253e-06,6.293201e-06,6.282410e-06,6.257343e-06,6.255149e-06,6.227532e-06,6.220858e-06,6.199620e-06,6.183880e-06,6.171465e-06,6.146530e-06,6.143120e-06,6.114631e-06,6.108919e-06,6.086041e-06,6.071148e-06,6.057392e-06,6.033307e-06,6.028719e-06,6.000059e-06,5.995477e-06,5.971442e-06,5.957730e-06,5.942899e-06,5.920134e-06,5.914455e-06,5.886136e-06,5.882747e-06,5.857965e-06,5.845622e-06,5.829962e-06,5.808804e-06,5.802147e-06,5.774536e-06,5.772337e-06,5.747147e-06,5.736256e-06,5.719992e-06,5.700593e-06,5.693085e-06,5.666438e-06,5.665377e-06,5.640060e-06,5.630633e-06,5.613963e-06,5.596380e-06,5.588153e-06,5.562638e-06,5.529421e-06,5.496742e-06,5.464611e-06,5.433037e-06,5.402025e-06,5.371581e-06,5.341707e-06,5.312405e-06,5.283675e-06,5.255516e-06,5.227926e-06,5.200903e-06,5.174442e-06,5.148539e-06,5.123190e-06,5.098388e-06,5.074127e-06,5.050400e-06,5.027201e-06,5.004523e-06,4.982357e-06,4.960695e-06,4.939530e-06,4.918853e-06
0.000000e+00,5.137293e-11,1.178061e-10,4.065143e-10,9.289540e-10,1.359663e-09,3.121817e-09,3.217735e-09,6.335234e-09,7.490801e-09,1.114780e-08,1.506477e-08,1.818004e-08,2.707690e-08,2.797229e-08,4.087248e-08,4.443327e-08,5.681598e-08,6.692005e-08,7.537076e-08,9.342808e-08,9.599578e-08,1.182195e-07,1.228222e-07,1.416749e-07,1.542607e-07,1.660743e-07,1.871248e-07,1.911805e-07,2.167859e-07,2.209163e-07,2.427028e-07,2.552022e-07,2.687581e-07,2.895942e-07,2.947922e-07,3.206595e-07,3.237460e-07,3.462290e-07,3.573548e-07,3.713849e-07,3.901646e-07,3.960270e-07,4.200695e-07,4.219648e-07,4.434426e-07,4.525913e-07,4.660894e-07,4.819197e-07,4.879651e-07,5.090367e-07,5.098625e-07,5.292815e-07,5.363642e-07,5.486851e-07,5.613955e-07,5.672410e-07,5.849492e-07,6.018149e-07,6.070355e-07,6.178479e-07,6.276781e-07,6.330617e-07,6.469112e-07,6.474724e-07,6.610989e-07,6.647766e-07,6.739619e-07,6.813225e-07,6.860837e-07,6.966006e-07,6.974870e-07,7.081950e-07,7.106641e-07,7.182313e-07,7.235673e-07,7.276201e-07,7.353656e-07,7.363852e-07,7.445506e-07,7.461138e-07,7.521396e-07,7.558659e-07,7.591756e-07,7.646750e-07,7.656812e-07,7.716789e-07,7.725929e-07,7.771905e-07,7.796696e-07,7.822372e-07,7.859537e-07,7.868397e-07,7.910181e-07,7.914920e-07,7.947920e-07,7.963293e-07,7.981803e-07,8.005087e-07,8.012011e-07,8.038724e-07,8.040715e-07,8.062110e-07,8.070571e-07,8.082336e-07,8.095031e-07,8.099560e-07,8.113936e-07,8.114453e-07,8.125610e-07,8.129180e-07,8.134727e-07,8.139534e-07,8.141421e-07,8.145825e-07,8.148064e-07,8.148344e-07,8.148261e-07,8.147368e-07,8.146530e-07,8.143160e-07,8.142985e-07,8.137731e-07,8.135968e-07,8.130872e-07,8.126026e-07,8.122505e-07,8.113557e-07,8.112725e-07,8.101621e-07,8.098769e-07,8.089280e-07,8.081859e-07,8.075783e-07,8.063013e-07,8.061210e-07,8.045636e-07,8.042407e-07,8.029132e-07,8.020205e-07,8.011766e-07,7.996561e-07,7.993605e-07,7.974709e-07,7.971622e-07,7.955139e-07,7.945523e-07,7.934951e-07,7.918392e-07,7.914199e-07,7.892933e-07,7.890349e-07,7.871203e-07,7.861507e-07,7.849055e-07,7.831970e-07,7.826532e-07,7.803677e-07,7.801835e-07,7.780529e-07,7.771196e-07,7.757124e-07,7.740135e-07,7.733500e-07,7.709690e-07,7.708734e-07,7.685725e-07,7.677066e-07,7.661636e-07,7.645198e-07,7.637450e-07,7.613196e-07,7.581118e-07,7.549017e-07,7.516946e-07,7.484949e-07,7.453071e-07,7.421350e-07,7.389822e-07,7.358520e-07,7.327474e-07,7.296711e-07,7.266257e-07,7.236133e-07,7.206359e-07,7.176954e-07,7.147934e-07,7.119312e-07,7.091102e-07,7.063313e-07,7.035956e-07,7.009039e-07,6.982568e-07,6.956548e-07,6.930984e-07,6.905880e-07
0.000000e+00,8.615626e-12,1.972921e-11,6.807194e-11,1.558984e-10,2.286572e-10,5.294514e-10,5.459590e-10,1.089114e-09,1.293365e-09,1.948226e-09,2.660876e-09,3.233517e-09,4.883115e-09,5.049554e-09,7.440480e-09,8.096447e-09,1.036269e-08,1.219806e-08,1.372696e-08,1.698613e-08,1.744951e-08,2.146840e-08,2.230364e-08,2.573971e-08,2.804928e-08,3.023028e-08,3.415138e-08,3.491229e-08,3.975997e-08,4.054928e-08,4.474798e-08,4.718456e-08,4.985069e-08,5.399797e-08,5.504208e-08,6.029593e-08,6.092935e-08,6.558623e-08,6.791893e-08,7.088758e-08,7.490896e-08,7.617563e-08,8.142744e-08,8.184536e-08,8.662175e-08,8.867897e-08,9.173922e-08,9.536643e-08,9.676255e-08,1.016765e-07,1.018706e-07,1.064681e-07,1.081609e-07,1.111261e-07,1.142126e-07,1.156416e-07,1.200071e-07,1.242171e-07,1.255307e-07,1.282674e-07,1.307746e-07,1.321555e-07,1.357339e-07,1.358797e-07,1.394396e-07,1.404070e-07,1.428358e-07,1.447953e-07,1.460694e-07,1.489024e-07,1.491424e-07,1.520574e-07,1.527338e-07,1.548172e-07,1.562962e-07,1.574253e-07,1.595977e-07,1.598852e-07,1.622009e-07,1.626470e-07,1.643763e-07,1.654535e-07,1.664157e-07,1.680268e-07,1.683234e-07,1.701036e-07,1.703769e-07,1.717607e-07,1.725136e-07,1.732990e-07,1.744470e-07,1.747229e-07,1.760365e-07,1.761870e-07,1.772442e-07,1.777430e-07,1.783500e-07,1.791247e-07,1.793579e-07,1.802720e-07,1.803412e-07,1.810961e-07,1.814014e-07,1.818340e-07,1.823139e-07,1.824893e-07,1.830656e-07,1.830871e-07,1.835664e-07,1.837288e-07,1.839950e-07,1.842469e-07,1.843548e-07,1.846487e-07,1.848800e-07,1.849412e-07,1.850515e-07,1.851312e-07,1.851661e-07,1.852251e-07,1.852265e-07,1.852354e-07,1.852290e-07,1.851954e-07,1.851489e-07,1.851088e-07,1.849902e-07,1.849781e-07,1.848056e-07,1.847582e-07,1.845935e-07,1.844582e-07,1.843438e-07,1.840947e-07,1.840586e-07,1.837399e-07,1.836723e-07,1.833896e-07,1.831955e-07,1.830094e-07,1.826682e-07,1.826010e-07,1.821662e-07,1.820943e-07,1.817066e-07,1.814775e-07,1.812235e-07,1.808213e-07,1.807187e-07,1.801933e-07,1.801290e-07,1.796488e-07,1.794035e-07,1.790865e-07,1.786480e-07,1.785076e-07,1.779133e-07,1.778651e-07,1.773046e-07,1.770574e-07,1.766828e-07,1.762275e-07,1.760488e-07,1.754036e-07,1.753776e-07,1.747481e-07,1.745098e-07,1.740833e-07,1.736263e-07,1.734100e-07,1.727290e-07,1.718197e-07,1.709001e-07,1.699718e-07,1.690362e-07,1.680948e-07,1.671490e-07,1.661998e-07,1.652485e-07,1.642962e-07,1.633437e-07,1.623922e-07,1.614423e-07,1.604950e-07,1.595509e-07,1.586108e-07,1.576753e-07,1.567449e-07,1.558203e-07,1.549019e-07,1.539901e-07,1.530855e-07,1.521883e-07,1.512990e-07,1.504178e-07
0.000000e+00,2.206058e-12,5.051328e-12,1.740573e-11,3.973649e-11,5.812063e-11,1.330703e-10,1.371376e-10,2.686634e-10,3.171087e-10,4.694673e-10,6.312708e-10,7.590958e-10,1.120794e-09,1.156967e-09,1.674982e-09,1.817299e-09,2.311817e-09,2.716459e-09,3.056658e-09,3.791347e-09,3.896819e-09,4.821486e-09,5.015766e-09,5.821956e-09,6.369671e-09,6.890825e-09,7.836512e-09,8.021235e-09,9.206412e-09,9.400663e-09,1.043944e-08,1.104620e-08,1.171318e-08,1.275659e-08,1.302035e-08,1.435357e-08,1.451496e-08,1.570556e-08,1.630453e-08,1.706918e-08,1.810913e-08,1.843765e-08,1.980454e-08,1.991365e-08,2.116393e-08,2.170437e-08,2.251045e-08,2.346927e-08,2.383931e-08,2.514631e-08,2.519808e-08,2.642784e-08,2.688231e-08,2.768070e-08,2.851495e-08,2.890235e-08,3.009067e-08,3.124403e-08,3.160551e-08,3.236120e-08,3.305677e-08,3.344129e-08,3.444274e-08,3.448371e-08,3.548817e-08,3.576260e-08,3.645461e-08,3.701628e-08,3.738318e-08,3.820428e-08,3.827419e-08,3.912811e-08,3.932759e-08,3.994552e-08,4.038758e-08,4.072711e-08,4.138588e-08,4.147363e-08,4.218590e-08,4.232431e-08,4.286477e-08,4.320488e-08,4.351115e-08,4.402968e-08,4.412596e-08,4.471015e-08,4.480084e-08,4.526465e-08,4.552054e-08,4.579041e-08,4.619096e-08,4.628837e-08,4.675948e-08,4.681426e-08,4.720466e-08,4.739256e-08,4.762482e-08,4.792795e-08,4.802084e-08,4.839361e-08,4.842246e-08,4.874399e-08,4.887806e-08,4.907281e-08,4.929667e-08,4.938089e-08,4.966901e-08,4.968013e-08,4.993795e-08,5.003022e-08,5.018847e-08,5.034866e-08,5.042128e-08,5.063709e-08,5.083658e-08,5.089708e-08,5.102042e-08,5.113015e-08,5.118923e-08,5.133775e-08,5.134365e-08,5.148427e-08,5.152125e-08,5.161166e-08,5.168198e-08,5.172639e-08,5.182121e-08,5.182898e-08,5.191997e-08,5.194013e-08,5.199984e-08,5.203990e-08,5.206909e-08,5.212161e-08,5.212818e-08,5.217756e-08,5.218631e-08,5.221765e-08,5.223498e-08,5.224889e-08,5.226857e-08,5.227166e-08,5.228636e-08,5.228799e-08,5.229336e-08,5.229409e-08,5.229301e-08,5.228767e-08,5.228566e-08,5.227164e-08,5.226953e-08,5.225128e-08,5.224038e-08,5.222487e-08,5.220094e-08,5.219271e-08,5.215509e-08,5.215186e-08,5.211228e-08,5.209376e-08,5.206454e-08,5.202726e-08,5.201213e-08,5.195528e-08,5.195292e-08,5.189423e-08,5.187126e-08,5.182920e-08,5.178281e-08,5.176040e-08,5.168805e-08,5.158743e-08,5.148140e-08,5.137035e-08,5.125469e-08,5.113477e-08,5.101096e-08,5.088357e-08,5.075292e-08,5.061932e-08,5.048302e-08,5.034432e-08,5.020344e-08,5.006063e-08,4.991610e-08,4.977008e-08,4.962276e-08,4.947431e-08,4.932493e-08,4.917478e-08,4.902401e-08,4.887277e-08,4.872120e-08,4.856943e-08,4.841758e-08
0.000000e+00,1.966884e-10,5.473554e-10,2.427255e-09,6.348765e-09,9.784390e-09,2.444447e-08,2.525233e-08,5.137297e-08,6.089063e-08,9.023615e-08,1.203879e-07,1.435296e-07,2.064510e-07,2.125802e-07,2.983608e-07,3.215110e-07,4.014450e-07,4.667772e-07,5.218870e-07,6.417323e-07,6.590284e-07,8.113105e-07,8.433802e-07,9.762617e-07,1.066023e-06,1.150769e-06,1.302313e-06,1.331519e-06,1.515374e-06,1.544889e-06,1.699577e-06,1.787416e-06,1.881792e-06,2.024820e-06,2.060085e-06,2.232878e-06,2.253181e-06,2.398911e-06,2.469563e-06,2.557206e-06,2.671881e-06,2.707040e-06,2.847918e-06,2.858792e-06,2.979552e-06,3.029587e-06,3.101830e-06,3.184095e-06,3.214793e-06,3.318609e-06,3.322575e-06,3.413546e-06,3.445615e-06,3.499951e-06,3.554039e-06,3.578230e-06,3.648825e-06,3.712204e-06,3.731039e-06,3.768844e-06,3.801777e-06,3.819221e-06,3.862127e-06,3.863805e-06,3.903047e-06,3.913137e-06,3.937382e-06,3.955798e-06,3.967219e-06,3.991029e-06,3.992944e-06,4.014918e-06,4.019671e-06,4.033474e-06,4.042488e-06,4.048921e-06,4.060167e-06,4.061541e-06,4.071596e-06,4.073320e-06,4.079321e-06,4.082490e-06,4.084933e-06,4.088159e-06,4.088629e-06,4.090591e-06,4.090755e-06,4.090981e-06,4.090654e-06,4.089948e-06,4.088189e-06,4.087627e-06,4.084140e-06,4.083648e-06,4.079596e-06,4.077289e-06,4.074098e-06,4.069338e-06,4.067737e-06,4.060596e-06,4.059993e-06,4.052750e-06,4.049429e-06,4.044267e-06,4.037802e-06,4.035212e-06,4.025640e-06,4.025247e-06,4.015604e-06,4.011887e-06,4.005152e-06,3.997830e-06,3.994328e-06,3.983170e-06,3.971716e-06,3.967993e-06,3.959999e-06,3.952376e-06,3.948049e-06,3.936386e-06,3.935897e-06,3.923567e-06,3.920086e-06,3.911083e-06,3.903528e-06,3.898468e-06,3.886763e-06,3.885742e-06,3.872924e-06,3.869835e-06,3.860031e-06,3.852785e-06,3.847080e-06,3.835647e-06,3.834086e-06,3.821063e-06,3.818456e-06,3.808023e-06,3.801239e-06,3.794978e-06,3.784024e-06,3.781939e-06,3.768917e-06,3.766835e-06,3.755921e-06,3.749694e-06,3.742959e-06,3.732620e-06,3.730040e-06,3.717172e-06,3.715631e-06,3.704360e-06,3.698743e-06,3.691613e-06,3.681971e-06,3.678935e-06,3.666332e-06,3.665327e-06,3.653809e-06,3.648823e-06,3.641371e-06,3.632470e-06,3.629022e-06,3.616765e-06,3.616277e-06,3.604605e-06,3.600252e-06,3.592545e-06,3.584403e-06,3.580587e-06,3.568735e-06,3.553256e-06,3.537970e-06,3.522881e-06,3.507993e-06,3.493309e-06,3.478832e-06,3.464565e-06,3.450508e-06,3.436663e-06,3.423031e-06,3.409613e-06,3.396409e-06,3.383419e-06,3.370643e-06,3.358079e-06,3.345729e-06,3.333589e-06,3.321660e-06,3.309940e-06,3.298428e-06,3.287121e-06,3.276019e-06,3.265119e-06,3.254420e-06
0.000000e+00,2.353152e-09,6.779642e-09,3.210255e-08,8.866414e-08,1.406073e-07,3.778363e-07,3.914960e-07,8.593809e-07,1.041197e-06,1.635350e-06,2.293578e-06,2.827763e-06,4.381995e-06,4.539662e-06,6.810926e-06,7.433581e-06,9.569365e-06,1.126888e-05,1.265528e-05,1.549989e-05,1.589077e-05,1.912894e-05,1.976718e-05,2.226804e-05,2.383930e-05,2.524586e-05,2.759719e-05,2.802847e-05,3.059998e-05,3.099137e-05,3.295510e-05,3.400881e-05,3.509478e-05,3.665440e-05,3.702360e-05,3.874850e-05,3.894219e-05,4.027819e-05,4.089196e-05,4.162274e-05,4.252764e-05,4.279336e-05,4.380209e-05,4.387617e-05,4.466151e-05,4.496633e-05,4.538439e-05,4.582747e-05,4.598345e-05,4.647115e-05,4.648852e-05,4.685939e-05,4.697698e-05,4.715936e-05,4.731826e-05,4.738146e-05,4.753518e-05,4.762909e-05,4.764779e-05,4.767088e-05,4.767346e-05,4.766737e-05,4.762698e-05,4.762458e-05,4.754778e-05,4.752083e-05,4.744158e-05,4.736544e-05,4.731000e-05,4.716951e-05,4.715650e-05,4.698411e-05,4.694023e-05,4.679545e-05,4.668355e-05,4.659278e-05,4.640441e-05,4.637806e-05,4.615302e-05,4.610690e-05,4.591913e-05,4.579446e-05,4.567771e-05,4.546992e-05,4.542989e-05,4.517667e-05,4.513572e-05,4.491895e-05,4.479387e-05,4.465750e-05,4.444613e-05,4.439302e-05,4.412614e-05,4.409398e-05,4.385740e-05,4.373870e-05,4.358731e-05,4.338141e-05,4.331630e-05,4.304479e-05,4.302305e-05,4.277312e-05,4.266449e-05,4.250164e-05,4.230644e-05,4.223062e-05,4.196035e-05,4.194956e-05,4.169106e-05,4.159440e-05,4.142297e-05,4.124146e-05,4.115628e-05,4.089117e-05,4.062780e-05,4.054391e-05,4.036632e-05,4.020002e-05,4.010685e-05,3.985977e-05,3.984952e-05,3.959444e-05,3.952343e-05,3.934169e-05,3.919120e-05,3.909136e-05,3.886327e-05,3.884353e-05,3.859827e-05,3.853980e-05,3.835564e-05,3.822092e-05,3.811567e-05,3.790676e-05,3.787843e-05,3.764395e-05,3.759739e-05,3.741225e-05,3.729289e-05,3.718338e-05,3.699331e-05,3.695734e-05,3.673416e-05,3.669872e-05,3.651385e-05,3.640912e-05,3.629641e-05,3.612454e-05,3.608186e-05,3.587019e-05,3.584498e-05,3.566141e-05,3.557045e-05,3.545550e-05,3.530093e-05,3.525247e-05,3.505230e-05,3.503641e-05,3.485498e-05,3.477685e-05,3.466050e-05,3.452223e-05,3.446885e-05,3.428000e-05,3.427250e-05,3.409393e-05,3.402763e-05,3.391063e-05,3.378756e-05,3.373008e-05,3.355225e-05,3.332165e-05,3.309568e-05,3.287430e-05,3.265745e-05,3.244505e-05,3.223705e-05,3.203337e-05,3.183394e-05,3.163871e-05,3.144759e-05,3.126052e-05,3.107743e-05,3.089825e-05,3.072290e-05,3.055131e-05,3.038342e-05,3.021916e-05,3.005844e-05,2.990122e-05,2.974741e-05,2.959694e-05,2.944976e-05,2.930579e-05,2.916497e-05
0.000000e+00,7.246050e-10,1.996122e-09,8.715462e-09,2.259767e-08,3.472269e-08,8.650947e-08,8.937045e-08,1.824174e-07,2.165921e-07,3.228567e-07,4.333873e-07,5.190970e-07,7.557254e-07,7.790416e-07,1.109944e-06,1.200632e-06,1.517887e-06,1.781562e-06,2.006744e-06,2.504161e-06,2.576742e-06,3.223373e-06,3.361165e-06,3.937616e-06,4.331862e-06,4.707624e-06,5.388287e-06,5.520787e-06,6.365153e-06,6.502413e-06,7.230016e-06,7.649625e-06,8.105981e-06,8.809191e-06,8.984835e-06,9.859399e-06,9.963752e-06,1.072342e-05,1.109882e-05,1.157148e-05,1.220248e-05,1.239899e-05,1.320210e-05,1.326520e-05,1.397771e-05,1.427968e-05,1.472337e-05,1.524066e-05,1.543727e-05,1.611815e-05,1.614469e-05,1.676527e-05,1.698990e-05,1.737831e-05,1.777571e-05,1.795731e-05,1.850263e-05,1.901489e-05,1.917196e-05,1.949490e-05,1.978563e-05,1.994364e-05,2.034600e-05,2.036218e-05,2.075168e-05,2.085571e-05,2.111338e-05,2.131758e-05,2.144853e-05,2.173451e-05,2.175840e-05,2.204423e-05,2.210939e-05,2.230726e-05,2.244506e-05,2.254872e-05,2.274428e-05,2.276976e-05,2.297154e-05,2.300968e-05,2.315514e-05,2.324377e-05,2.332160e-05,2.344892e-05,2.347193e-05,2.360708e-05,2.362736e-05,2.372795e-05,2.378114e-05,2.383538e-05,2.391220e-05,2.393019e-05,2.401313e-05,2.402232e-05,2.408492e-05,2.411316e-05,2.414626e-05,2.418627e-05,2.419777e-05,2.424006e-05,2.424306e-05,2.427370e-05,2.428486e-05,2.429923e-05,2.431287e-05,2.431714e-05,2.432792e-05,2.432821e-05,2.433201e-05,2.433193e-05,2.432983e-05,2.432497e-05,2.432178e-05,2.430822e-05,2.428952e-05,2.428249e-05,2.426598e-05,2.424854e-05,2.423794e-05,2.420704e-05,2.420568e-05,2.416947e-05,2.415866e-05,2.412957e-05,2.410396e-05,2.408623e-05,2.404351e-05,2.403967e-05,2.399012e-05,2.397780e-05,2.393777e-05,2.390731e-05,2.388282e-05,2.383246e-05,2.382545e-05,2.376583e-05,2.375365e-05,2.370411e-05,2.367125e-05,2.364046e-05,2.358560e-05,2.357502e-05,2.350791e-05,2.349702e-05,2.343927e-05,2.340581e-05,2.336921e-05,2.331223e-05,2.329786e-05,2.322531e-05,2.321653e-05,2.315168e-05,2.311896e-05,2.307704e-05,2.301971e-05,2.300151e-05,2.292515e-05,2.291901e-05,2.284805e-05,2.281702e-05,2.277029e-05,2.271393e-05,2.269193e-05,2.261305e-05,2.260989e-05,2.253372e-05,2.250505e-05,2.245398e-05,2.239956e-05,2.237390e-05,2.229354e-05,2.218710e-05,2.208036e-05,2.197342e-05,2.186638e-05,2.175933e-05,2.165234e-05,2.154549e-05,2.143886e-05,2.133250e-05,2.122648e-05,2.112085e-05,2.101567e-05,2.091098e-05,2.080683e-05,2.070325e-05,2.060029e-05,2.049798e-05,2.039634e-05,2.029542e-05,2.019522e-05,2.009579e-05,1.999714e-05,1.989929e-05,1.980225e-05
0.000000e+00,1.521514e-09,4.381700e-09,2.070508e-08,5.695289e-08,9.000378e-08,2.383796e-07,2.468045e-07,5.286697e-07,6.350918e-07,9.731029e-07,1.333807e-06,1.618729e-06,2.423920e-06,2.504457e-06,3.661970e-06,3.981928e-06,5.100436e-06,6.020751e-06,6.794904e-06,8.455825e-06,8.692073e-06,1.072785e-05,1.114618e-05,1.284220e-05,1.395585e-05,1.498575e-05,1.678071e-05,1.712036e-05,1.921716e-05,1.954758e-05,2.125404e-05,2.220524e-05,2.321371e-05,2.471648e-05,2.508235e-05,2.684891e-05,2.705361e-05,2.850470e-05,2.919640e-05,3.004321e-05,3.113130e-05,3.146010e-05,3.275312e-05,3.285118e-05,3.392195e-05,3.435499e-05,3.496812e-05,3.564709e-05,3.589472e-05,3.670623e-05,3.673637e-05,3.740816e-05,3.763522e-05,3.800682e-05,3.835842e-05,3.850909e-05,3.892220e-05,3.925352e-05,3.934347e-05,3.951042e-05,3.963911e-05,3.970005e-05,3.982505e-05,3.982914e-05,3.990406e-05,3.991616e-05,3.993085e-05,3.992616e-05,3.991507e-05,3.986732e-05,3.986179e-05,3.977566e-05,3.975057e-05,3.966087e-05,3.958550e-05,3.952120e-05,3.938036e-05,3.935998e-05,3.918021e-05,3.914227e-05,3.898457e-05,3.887736e-05,3.877542e-05,3.859082e-05,3.855484e-05,3.832465e-05,3.828704e-05,3.808646e-05,3.796970e-05,3.784168e-05,3.764195e-05,3.759155e-05,3.733717e-05,3.730641e-05,3.707950e-05,3.696530e-05,3.681937e-05,3.662049e-05,3.655752e-05,3.629459e-05,3.627353e-05,3.603115e-05,3.592574e-05,3.576769e-05,3.557824e-05,3.550465e-05,3.524242e-05,3.523196e-05,3.498134e-05,3.488769e-05,3.472169e-05,3.454609e-05,3.446375e-05,3.420774e-05,3.395386e-05,3.387309e-05,3.370228e-05,3.354255e-05,3.345316e-05,3.321644e-05,3.320663e-05,3.296280e-05,3.289503e-05,3.272178e-05,3.257855e-05,3.248365e-05,3.226719e-05,3.224849e-05,3.201634e-05,3.196108e-05,3.178727e-05,3.166035e-05,3.156131e-05,3.136507e-05,3.133850e-05,3.111885e-05,3.107531e-05,3.090240e-05,3.079111e-05,3.068915e-05,3.051250e-05,3.047911e-05,3.027227e-05,3.023948e-05,3.006864e-05,2.997204e-05,2.986821e-05,2.971016e-05,2.967096e-05,2.947689e-05,2.945381e-05,2.928596e-05,2.920295e-05,2.909817e-05,2.895752e-05,2.891348e-05,2.873188e-05,2.871748e-05,2.855333e-05,2.848276e-05,2.837781e-05,2.825329e-05,2.820528e-05,2.803572e-05,2.802900e-05,2.786908e-05,2.780980e-05,2.770534e-05,2.759563e-05,2.754446e-05,2.738640e-05,2.718201e-05,2.698239e-05,2.678745e-05,2.659710e-05,2.641124e-05,2.622979e-05,2.605265e-05,2.587974e-05,2.571097e-05,2.554624e-05,2.538546e-05,2.522855e-05,2.507542e-05,2.492598e-05,2.478015e-05,2.463784e-05,2.449897e-05,2.436346e-05,2.423122e-05,2.410217e-05,2.397625e-05,2.385336e-05,2.373345e-05,2.361642e-05
0.000000e+00,4.048714e-09,1.195138e-08,5.953056e-08,1.722753e-07,2.803732e-07,8.064017e-07,8.378939e-07,1.969952e-06,2.431650e-06,3.998961e-06,5.807636e-06,7.309961e-06,1.176523e-05,1.222094e-05,1.883211e-05,2.066236e-05,2.703102e-05,3.223509e-05,3.659605e-05,4.594462e-05,4.727712e-05,5.883260e-05,6.122873e-05,7.104062e-05,7.757903e-05,8.369965e-05,9.454702e-05,9.662614e-05,1.096524e-04,1.117355e-04,1.226256e-04,1.287927e-04,1.354073e-04,1.454113e-04,1.478741e-04,1.599185e-04,1.613309e-04,1.714497e-04,1.763413e-04,1.823941e-04,1.902838e-04,1.926948e-04,2.023111e-04,2.030499e-04,2.112174e-04,2.145780e-04,2.194017e-04,2.248471e-04,2.268642e-04,2.336152e-04,2.338706e-04,2.396733e-04,2.416894e-04,2.450642e-04,2.483643e-04,2.498183e-04,2.539700e-04,2.575559e-04,2.585901e-04,2.606140e-04,2.623118e-04,2.631825e-04,2.652229e-04,2.652994e-04,2.670018e-04,2.674092e-04,2.683255e-04,2.689521e-04,2.693044e-04,2.699283e-04,2.699708e-04,2.703547e-04,2.704080e-04,2.704843e-04,2.704556e-04,2.703856e-04,2.701290e-04,2.700826e-04,2.695973e-04,2.694801e-04,2.689497e-04,2.685551e-04,2.681584e-04,2.673948e-04,2.672400e-04,2.662095e-04,2.660352e-04,2.650808e-04,2.645078e-04,2.638663e-04,2.628404e-04,2.625770e-04,2.612232e-04,2.610568e-04,2.598139e-04,2.591783e-04,2.583572e-04,2.572231e-04,2.568606e-04,2.553306e-04,2.552070e-04,2.537732e-04,2.531438e-04,2.521937e-04,2.510455e-04,2.505969e-04,2.489869e-04,2.489223e-04,2.473678e-04,2.467834e-04,2.457429e-04,2.446363e-04,2.441154e-04,2.424878e-04,2.408628e-04,2.403437e-04,2.392425e-04,2.382089e-04,2.376289e-04,2.360877e-04,2.360237e-04,2.344285e-04,2.339838e-04,2.328447e-04,2.319004e-04,2.312735e-04,2.298401e-04,2.297160e-04,2.281731e-04,2.278051e-04,2.266457e-04,2.257975e-04,2.251346e-04,2.238187e-04,2.236403e-04,2.221633e-04,2.218701e-04,2.207043e-04,2.199528e-04,2.192636e-04,2.180677e-04,2.178415e-04,2.164383e-04,2.162155e-04,2.150542e-04,2.143967e-04,2.136895e-04,2.126117e-04,2.123442e-04,2.110184e-04,2.108607e-04,2.097123e-04,2.091439e-04,2.084259e-04,2.074613e-04,2.071591e-04,2.059119e-04,2.058129e-04,2.046842e-04,2.041986e-04,2.034761e-04,2.026183e-04,2.022874e-04,2.011179e-04,2.010716e-04,1.999677e-04,1.995582e-04,1.988364e-04,1.980780e-04,1.977240e-04,1.966304e-04,1.952150e-04,1.938316e-04,1.924795e-04,1.911583e-04,1.898675e-04,1.886066e-04,1.873751e-04,1.861725e-04,1.849982e-04,1.838517e-04,1.827325e-04,1.816399e-04,1.805735e-04,1.795327e-04,1.785169e-04,1.775257e-04,1.765584e-04,1.756147e-04,1.746938e-04,1.737954e-04,1.729189e-04,1.720638e-04,1.712295e-04,1.704157e-04
0.000000e+00,7.112410e-10,1.963886e-09,8.608385e-09,2.238574e-08,3.444976e-08,8.619838e-08,8.906658e-08,1.828392e-07,2.175124e-07,3.260885e-07,4.401688e-07,5.293474e-07,7.780073e-07,8.026447e-07,1.152833e-06,1.248511e-06,1.580186e-06,1.850997e-06,2.078291e-06,2.567527e-06,2.637536e-06,3.248225e-06,3.375750e-06,3.901609e-06,4.255590e-06,4.589769e-06,5.189256e-06,5.305278e-06,6.040982e-06,6.160102e-06,6.789946e-06,7.152190e-06,7.545506e-06,8.150458e-06,8.301367e-06,9.051714e-06,9.141130e-06,9.791309e-06,1.011212e-05,1.051556e-05,1.105330e-05,1.122057e-05,1.190312e-05,1.195667e-05,1.256067e-05,1.281623e-05,1.319128e-05,1.362786e-05,1.379361e-05,1.436683e-05,1.438915e-05,1.491055e-05,1.509905e-05,1.542475e-05,1.575769e-05,1.590974e-05,1.636608e-05,1.679451e-05,1.692586e-05,1.719595e-05,1.743918e-05,1.757142e-05,1.790844e-05,1.792200e-05,1.824883e-05,1.833625e-05,1.855308e-05,1.872527e-05,1.883590e-05,1.907817e-05,1.909845e-05,1.934185e-05,1.939754e-05,1.956720e-05,1.968591e-05,1.977555e-05,1.994564e-05,1.996791e-05,2.014524e-05,2.017899e-05,2.030845e-05,2.038804e-05,2.045842e-05,2.057475e-05,2.059595e-05,2.072181e-05,2.074092e-05,2.083674e-05,2.088822e-05,2.094141e-05,2.101819e-05,2.103646e-05,2.112249e-05,2.113224e-05,2.120006e-05,2.123165e-05,2.126970e-05,2.131763e-05,2.133190e-05,2.138712e-05,2.139125e-05,2.143579e-05,2.145352e-05,2.147831e-05,2.150534e-05,2.151507e-05,2.154641e-05,2.154756e-05,2.157267e-05,2.158094e-05,2.159416e-05,2.160619e-05,2.161116e-05,2.162396e-05,2.163280e-05,2.163483e-05,2.163792e-05,2.163936e-05,2.163956e-05,2.163804e-05,2.163792e-05,2.163319e-05,2.163134e-05,2.162557e-05,2.161969e-05,2.161524e-05,2.160347e-05,2.160235e-05,2.158705e-05,2.158304e-05,2.156951e-05,2.155875e-05,2.154985e-05,2.153090e-05,2.152820e-05,2.150469e-05,2.149978e-05,2.147944e-05,2.146565e-05,2.145254e-05,2.142876e-05,2.142411e-05,2.139424e-05,2.138933e-05,2.136302e-05,2.134758e-05,2.133054e-05,2.130371e-05,2.129689e-05,2.126213e-05,2.125789e-05,2.122635e-05,2.121030e-05,2.118962e-05,2.116110e-05,2.115199e-05,2.111354e-05,2.111043e-05,2.107432e-05,2.105843e-05,2.103439e-05,2.100522e-05,2.099380e-05,2.095260e-05,2.095094e-05,2.091085e-05,2.089569e-05,2.086858e-05,2.083957e-05,2.082585e-05,2.078269e-05,2.072513e-05,2.066698e-05,2.060832e-05,2.054923e-05,2.048977e-05,2.043001e-05,2.037001e-05,2.030983e-05,2.024953e-05,2.018914e-05,2.012873e-05,2.006833e-05,2.000799e-05,1.994775e-05,1.988763e-05,1.982768e-05,1.976792e-05,1.970839e-05,1.964911e-05,1.959011e-05,1.953141e-05,1.947304e-05,1.941501e-05,1.935734e-05
0.000000e+00,1.033883e-10,2.471216e-10,8.871136e-10,2.052187e-09,3.008178e-09,6.851380e-09,7.057338e-09,1.358250e-08,1.592483e-08,2.310548e-08,3.046677e-08,3.612427e-08,5.158185e-08,5.309433e-08,7.438446e-08,8.016483e-08,1.002041e-07,1.166373e-07,1.305049e-07,1.605656e-07,1.648836e-07,2.025599e-07,2.104020e-07,2.425014e-07,2.638099e-07,2.836493e-07,3.184762e-07,3.250968e-07,3.661468e-07,3.726415e-07,4.062870e-07,4.251179e-07,4.451465e-07,4.751292e-07,4.824574e-07,5.180301e-07,5.221753e-07,5.517353e-07,5.659519e-07,5.834932e-07,6.063012e-07,6.132643e-07,6.410421e-07,6.431786e-07,6.668469e-07,6.766251e-07,6.907202e-07,7.067448e-07,7.127197e-07,7.329153e-07,7.336867e-07,7.513854e-07,7.576283e-07,7.682139e-07,7.787640e-07,7.834880e-07,7.972958e-07,8.097253e-07,8.134257e-07,8.208628e-07,8.273517e-07,8.307924e-07,8.392638e-07,8.395952e-07,8.473489e-07,8.493421e-07,8.541274e-07,8.577556e-07,8.600005e-07,8.646607e-07,8.650339e-07,8.692901e-07,8.702026e-07,8.728278e-07,8.745156e-07,8.757018e-07,8.777228e-07,8.779635e-07,8.796608e-07,8.799365e-07,8.808387e-07,8.812599e-07,8.815390e-07,8.817869e-07,8.818008e-07,8.816603e-07,8.816028e-07,8.811513e-07,8.807855e-07,8.803054e-07,8.794060e-07,8.791521e-07,8.777188e-07,8.775292e-07,8.760305e-07,8.752130e-07,8.741106e-07,8.725098e-07,8.719804e-07,8.696598e-07,8.694665e-07,8.671673e-07,8.661261e-07,8.645202e-07,8.625275e-07,8.617344e-07,8.588249e-07,8.587061e-07,8.558051e-07,8.546935e-07,8.526878e-07,8.505182e-07,8.494844e-07,8.462059e-07,8.428623e-07,8.417801e-07,8.394628e-07,8.372617e-07,8.360159e-07,8.326697e-07,8.325296e-07,8.290111e-07,8.280211e-07,8.254672e-07,8.233312e-07,8.219040e-07,8.186138e-07,8.183273e-07,8.147421e-07,8.138810e-07,8.111535e-07,8.091440e-07,8.075657e-07,8.044125e-07,8.039830e-07,8.004088e-07,7.996954e-07,7.968468e-07,7.950004e-07,7.933000e-07,7.903346e-07,7.897713e-07,7.862633e-07,7.857041e-07,7.827784e-07,7.811145e-07,7.793187e-07,7.765705e-07,7.758862e-07,7.724827e-07,7.720763e-07,7.691097e-07,7.676356e-07,7.657687e-07,7.632516e-07,7.624609e-07,7.591875e-07,7.589272e-07,7.559496e-07,7.546645e-07,7.527480e-07,7.504657e-07,7.495834e-07,7.464567e-07,7.463325e-07,7.433684e-07,7.422661e-07,7.403190e-07,7.382678e-07,7.373088e-07,7.343383e-07,7.304784e-07,7.266885e-07,7.229689e-07,7.193197e-07,7.157408e-07,7.122322e-07,7.087935e-07,7.054245e-07,7.021245e-07,6.988932e-07,6.957297e-07,6.926336e-07,6.896040e-07,6.866402e-07,6.837413e-07,6.809064e-07,6.781346e-07,6.754250e-07,6.727766e-07,6.701885e-07,6.676596e-07,6.651890e-07,6.627757e-07,6.604186e-07
0.000000e+00,6.944261e-10,1.856989e-09,7.747431e-09,1.955730e-08,2.975329e-08,7.317741e-08,7.558447e-08,1.548238e-07,1.844560e-07,2.785155e-07,3.793686e-07,4.595647e-07,6.887819e-07,7.118979e-07,1.046921e-06,1.140210e-06,1.467685e-06,1.738251e-06,1.966578e-06,2.459599e-06,2.530193e-06,3.145386e-06,3.273638e-06,3.801593e-06,4.156219e-06,4.490549e-06,5.089570e-06,5.205442e-06,5.940293e-06,6.059350e-06,6.689625e-06,7.052934e-06,7.448327e-06,8.058826e-06,8.211641e-06,8.975174e-06,9.066619e-06,9.734935e-06,1.006710e-05,1.048736e-05,1.105235e-05,1.122932e-05,1.195813e-05,1.201580e-05,1.267154e-05,1.295215e-05,1.336766e-05,1.385731e-05,1.404500e-05,1.470239e-05,1.472826e-05,1.533895e-05,1.556289e-05,1.595405e-05,1.635985e-05,1.654729e-05,1.711843e-05,1.766741e-05,1.783842e-05,1.819431e-05,1.852001e-05,1.869930e-05,1.916372e-05,1.918264e-05,1.964467e-05,1.977027e-05,2.008577e-05,2.034058e-05,2.050640e-05,2.087569e-05,2.090702e-05,2.128812e-05,2.137674e-05,2.165022e-05,2.184489e-05,2.199384e-05,2.228136e-05,2.231952e-05,2.262781e-05,2.268744e-05,2.291929e-05,2.306439e-05,2.319449e-05,2.341345e-05,2.345393e-05,2.369815e-05,2.373584e-05,2.392768e-05,2.403279e-05,2.414303e-05,2.430545e-05,2.434472e-05,2.453323e-05,2.455499e-05,2.470906e-05,2.478253e-05,2.487268e-05,2.498915e-05,2.502456e-05,2.516514e-05,2.517591e-05,2.529487e-05,2.534382e-05,2.541417e-05,2.549385e-05,2.552347e-05,2.562316e-05,2.562695e-05,2.571364e-05,2.574404e-05,2.579530e-05,2.584597e-05,2.586850e-05,2.593359e-05,2.599093e-05,2.600770e-05,2.604086e-05,2.606907e-05,2.608369e-05,2.611842e-05,2.611974e-05,2.614931e-05,2.615647e-05,2.617270e-05,2.618389e-05,2.619019e-05,2.620131e-05,2.620206e-05,2.620856e-05,2.620936e-05,2.620996e-05,2.620860e-05,2.620649e-05,2.619961e-05,2.619840e-05,2.618592e-05,2.618291e-05,2.616925e-05,2.615900e-05,2.614862e-05,2.612837e-05,2.612423e-05,2.609627e-05,2.609148e-05,2.606493e-05,2.604875e-05,2.603040e-05,2.600060e-05,2.599285e-05,2.595245e-05,2.594742e-05,2.590935e-05,2.588958e-05,2.586373e-05,2.582744e-05,2.581571e-05,2.576545e-05,2.576134e-05,2.571308e-05,2.569158e-05,2.565874e-05,2.561847e-05,2.560255e-05,2.554464e-05,2.554229e-05,2.548512e-05,2.546331e-05,2.542409e-05,2.538180e-05,2.536168e-05,2.529797e-05,2.521208e-05,2.512432e-05,2.503491e-05,2.494402e-05,2.485185e-05,2.475857e-05,2.466432e-05,2.456927e-05,2.447355e-05,2.437730e-05,2.428063e-05,2.418368e-05,2.408654e-05,2.398933e-05,2.389213e-05,2.379503e-05,2.369812e-05,2.360148e-05,2.350518e-05,2.340929e-05,2.331386e-05,2.321896e-05,2.312465e-05,2.303097e-05
0.000000e+00,9.610519e-10,2.705145e-09,1.244866e-08,3.443552e-08,5.534568e-08,1.604469e-07,1.669501e-07,4.118064e-07,5.145449e-07,8.560775e-07,1.219965e-06,1.495894e-06,2.206900e-06,2.272752e-06,3.136410e-06,3.353124e-06,4.058742e-06,4.595061e-06,5.024898e-06,5.903748e-06,6.025339e-06,7.051890e-06,7.259613e-06,8.096291e-06,8.643592e-06,9.149960e-06,1.003586e-05,1.020423e-05,1.125070e-05,1.141689e-05,1.228164e-05,1.276891e-05,1.329017e-05,1.407692e-05,1.427048e-05,1.521787e-05,1.532916e-05,1.612869e-05,1.651717e-05,1.700035e-05,1.763553e-05,1.783112e-05,1.862008e-05,1.868137e-05,1.936692e-05,1.965391e-05,2.007190e-05,2.055391e-05,2.073566e-05,2.135919e-05,2.138331e-05,2.194370e-05,2.214483e-05,2.249055e-05,2.284166e-05,2.300124e-05,2.347732e-05,2.392036e-05,2.405542e-05,2.433196e-05,2.457960e-05,2.471367e-05,2.505343e-05,2.506704e-05,2.539356e-05,2.548037e-05,2.569467e-05,2.586371e-05,2.597175e-05,2.620660e-05,2.622614e-05,2.645911e-05,2.651197e-05,2.667186e-05,2.678261e-05,2.686555e-05,2.702110e-05,2.704128e-05,2.720006e-05,2.722988e-05,2.734290e-05,2.741118e-05,2.747071e-05,2.756711e-05,2.758438e-05,2.768474e-05,2.769962e-05,2.777257e-05,2.781050e-05,2.784862e-05,2.790144e-05,2.791357e-05,2.796810e-05,2.797398e-05,2.801283e-05,2.802956e-05,2.804834e-05,2.806951e-05,2.807520e-05,2.809391e-05,2.809507e-05,2.810499e-05,2.810738e-05,2.810888e-05,2.810749e-05,2.810604e-05,2.809687e-05,2.809638e-05,2.808177e-05,2.807495e-05,2.806110e-05,2.804405e-05,2.803522e-05,2.800444e-05,2.796909e-05,2.795686e-05,2.792945e-05,2.790195e-05,2.788579e-05,2.784035e-05,2.783839e-05,2.778748e-05,2.777262e-05,2.773329e-05,2.769930e-05,2.767605e-05,2.762086e-05,2.761596e-05,2.755321e-05,2.753778e-05,2.748800e-05,2.745046e-05,2.742049e-05,2.735931e-05,2.735085e-05,2.727923e-05,2.726469e-05,2.720579e-05,2.716693e-05,2.713066e-05,2.706634e-05,2.705398e-05,2.697585e-05,2.696323e-05,2.689642e-05,2.685785e-05,2.681578e-05,2.675047e-05,2.673404e-05,2.665130e-05,2.664130e-05,2.656765e-05,2.653058e-05,2.648319e-05,2.641850e-05,2.639799e-05,2.631214e-05,2.630524e-05,2.622571e-05,2.619099e-05,2.613877e-05,2.607590e-05,2.605139e-05,2.596364e-05,2.596012e-05,2.587557e-05,2.584380e-05,2.578724e-05,2.572705e-05,2.569870e-05,2.561001e-05,2.549279e-05,2.537548e-05,2.525819e-05,2.514101e-05,2.502401e-05,2.490727e-05,2.479087e-05,2.467487e-05,2.455934e-05,2.444432e-05,2.432988e-05,2.421605e-05,2.410289e-05,2.399044e-05,2.387872e-05,2.376778e-05,2.365765e-05,2.354836e-05,2.343993e-05,2.333239e-05,2.322575e-05,2.312005e-05,2.301529e-05,2.291149e-05
0.000000e+00,6.550032e-11,1.502611e-10,5.179512e-10,1.181464e-09,1.727289e-09,3.953357e-09,4.074272e-09,7.992298e-09,9.438338e-09,1.398347e-08,1.877481e-08,2.250761e-08,3.271442e-08,3.370427e-08,4.733267e-08,5.092611e-08,6.304947e-08,7.265577e-08,8.057443e-08,9.731518e-08,9.968560e-08,1.201830e-07,1.244314e-07,1.418668e-07,1.535428e-07,1.645298e-07,1.841668e-07,1.879577e-07,2.119346e-07,2.158076e-07,2.362485e-07,2.479791e-07,2.606974e-07,2.802272e-07,2.850940e-07,3.092691e-07,3.121480e-07,3.330745e-07,3.433981e-07,3.563829e-07,3.736989e-07,3.790883e-07,4.011045e-07,4.028339e-07,4.223642e-07,4.306445e-07,4.428173e-07,4.570240e-07,4.624290e-07,4.811766e-07,4.819083e-07,4.990487e-07,5.052677e-07,5.160434e-07,5.271015e-07,5.321668e-07,5.474290e-07,5.618451e-07,5.662829e-07,5.754356e-07,5.837102e-07,5.882224e-07,5.997646e-07,6.002303e-07,6.114853e-07,6.145055e-07,6.220147e-07,6.279954e-07,6.318458e-07,6.402972e-07,6.410060e-07,6.495230e-07,6.514744e-07,6.574243e-07,6.615902e-07,6.647369e-07,6.707060e-07,6.714872e-07,6.777009e-07,6.788815e-07,6.834032e-07,6.861743e-07,6.886183e-07,6.926396e-07,6.933697e-07,6.976801e-07,6.983304e-07,7.015716e-07,7.032969e-07,7.050652e-07,7.075873e-07,7.081812e-07,7.109391e-07,7.112469e-07,7.133576e-07,7.143188e-07,7.154545e-07,7.168437e-07,7.172471e-07,7.187518e-07,7.188602e-07,7.199842e-07,7.204044e-07,7.209595e-07,7.215106e-07,7.216920e-07,7.221953e-07,7.222109e-07,7.224826e-07,7.225356e-07,7.225663e-07,7.225131e-07,7.224584e-07,7.221701e-07,7.217124e-07,7.215318e-07,7.210954e-07,7.206215e-07,7.203290e-07,7.194613e-07,7.194225e-07,7.183848e-07,7.180719e-07,7.172244e-07,7.164727e-07,7.159494e-07,7.146815e-07,7.145672e-07,7.130853e-07,7.127155e-07,7.115105e-07,7.105904e-07,7.098493e-07,7.083210e-07,7.081080e-07,7.062926e-07,7.059211e-07,7.044086e-07,7.034036e-07,7.024613e-07,7.007804e-07,7.004558e-07,6.983969e-07,6.980628e-07,6.962891e-07,6.952613e-07,6.941367e-07,6.923855e-07,6.919439e-07,6.897144e-07,6.894446e-07,6.874519e-07,6.864469e-07,6.851599e-07,6.834002e-07,6.828416e-07,6.805002e-07,6.803120e-07,6.781386e-07,6.771889e-07,6.757595e-07,6.740372e-07,6.733655e-07,6.709592e-07,6.708627e-07,6.685428e-07,6.676708e-07,6.661185e-07,6.644665e-07,6.636884e-07,6.612545e-07,6.580389e-07,6.548238e-07,6.516127e-07,6.484090e-07,6.452157e-07,6.420358e-07,6.388717e-07,6.357259e-07,6.326005e-07,6.294974e-07,6.264186e-07,6.233655e-07,6.203397e-07,6.173426e-07,6.143751e-07,6.114386e-07,6.085339e-07,6.056618e-07,6.028231e-07,6.000184e-07,5.972482e-07,5.945131e-07,5.918135e-07,5.891496e-07
0.000000e+00,1.697607e-09,4.945400e-09,2.394175e-08,6.734260e-08,1.077371e-07,2.944518e-07,3.052428e-07,6.737656e-07,8.157633e-07,1.273743e-06,1.770823e-06,2.167626e-06,3.300610e-06,3.414513e-06,5.056624e-06,5.511706e-06,7.108131e-06,8.432752e-06,9.559107e-06,1.202820e-05,1.238643e-05,1.556095e-05,1.623471e-05,1.905022e-05,2.097745e-05,2.281904e-05,2.617333e-05,2.682965e-05,3.104203e-05,3.173198e-05,3.541468e-05,3.755812e-05,3.990551e-05,4.355525e-05,4.447290e-05,4.907678e-05,4.962988e-05,5.367948e-05,5.569526e-05,5.824644e-05,6.167428e-05,6.274676e-05,6.715343e-05,6.750120e-05,7.144345e-05,7.312240e-05,7.559778e-05,7.849616e-05,7.960115e-05,8.344180e-05,8.359191e-05,8.711115e-05,8.838899e-05,9.060343e-05,9.287528e-05,9.391536e-05,9.704575e-05,9.999521e-05,1.009011e-04,1.027658e-04,1.044465e-04,1.053607e-04,1.076905e-04,1.077842e-04,1.100413e-04,1.106442e-04,1.121374e-04,1.133203e-04,1.140785e-04,1.157328e-04,1.158709e-04,1.175207e-04,1.178962e-04,1.190345e-04,1.198252e-04,1.204187e-04,1.215347e-04,1.216797e-04,1.228237e-04,1.230390e-04,1.238568e-04,1.243522e-04,1.247851e-04,1.254880e-04,1.256143e-04,1.263499e-04,1.264593e-04,1.269975e-04,1.272785e-04,1.275621e-04,1.279573e-04,1.280487e-04,1.284620e-04,1.285069e-04,1.288066e-04,1.289376e-04,1.290868e-04,1.292593e-04,1.293068e-04,1.294703e-04,1.294811e-04,1.295812e-04,1.296116e-04,1.296430e-04,1.296590e-04,1.296590e-04,1.296324e-04,1.296305e-04,1.295663e-04,1.295333e-04,1.294634e-04,1.293739e-04,1.293265e-04,1.291581e-04,1.289606e-04,1.288917e-04,1.287363e-04,1.285797e-04,1.284874e-04,1.282271e-04,1.282158e-04,1.279236e-04,1.278382e-04,1.276123e-04,1.274172e-04,1.272839e-04,1.269679e-04,1.269398e-04,1.265815e-04,1.264936e-04,1.262106e-04,1.259978e-04,1.258282e-04,1.254832e-04,1.254356e-04,1.250341e-04,1.249528e-04,1.246246e-04,1.244089e-04,1.242082e-04,1.238538e-04,1.237859e-04,1.233585e-04,1.232898e-04,1.229270e-04,1.227186e-04,1.224921e-04,1.221421e-04,1.220544e-04,1.216148e-04,1.215619e-04,1.211738e-04,1.209795e-04,1.207320e-04,1.203961e-04,1.202900e-04,1.198483e-04,1.198130e-04,1.194073e-04,1.192313e-04,1.189676e-04,1.186519e-04,1.185294e-04,1.180932e-04,1.180758e-04,1.176594e-04,1.175038e-04,1.172282e-04,1.169366e-04,1.167999e-04,1.163749e-04,1.158191e-04,1.152699e-04,1.147276e-04,1.141927e-04,1.136655e-04,1.131463e-04,1.126354e-04,1.121329e-04,1.116391e-04,1.111540e-04,1.106778e-04,1.102106e-04,1.097524e-04,1.093033e-04,1.088633e-04,1.084324e-04,1.080105e-04,1.075976e-04,1.071938e-04,1.067988e-04,1.064127e-04,1.060353e-04,1.056666e-04,1.053065e-04
0.000000e+00,1.087362e-11,2.487206e-11,8.535263e-11,1.938547e-10,2.825990e-10,6.403573e-10,6.596132e-10,1.275171e-09,1.498829e-09,2.193212e-09,2.917750e-09,3.482105e-09,5.046865e-09,5.201033e-09,7.369462e-09,7.953678e-09,9.951424e-09,1.155412e-08,1.288280e-08,1.570265e-08,1.610248e-08,1.956021e-08,2.027647e-08,2.321318e-08,2.517682e-08,2.702228e-08,3.031520e-08,3.095013e-08,3.496065e-08,3.560767e-08,3.901929e-08,4.097492e-08,4.309363e-08,4.634430e-08,4.715390e-08,5.117347e-08,5.165194e-08,5.512907e-08,5.684404e-08,5.900092e-08,6.187732e-08,6.277265e-08,6.643114e-08,6.671861e-08,6.996625e-08,7.134399e-08,7.337050e-08,7.573759e-08,7.663879e-08,7.976806e-08,7.989031e-08,8.275689e-08,8.379845e-08,8.560528e-08,8.746252e-08,8.831440e-08,9.088634e-08,9.332395e-08,9.407615e-08,9.563059e-08,9.703985e-08,9.781006e-08,9.978653e-08,9.986648e-08,1.018041e-07,1.023260e-07,1.036274e-07,1.046684e-07,1.053409e-07,1.068241e-07,1.069490e-07,1.084563e-07,1.088035e-07,1.098670e-07,1.106165e-07,1.111856e-07,1.122731e-07,1.124162e-07,1.135630e-07,1.137826e-07,1.146298e-07,1.151542e-07,1.156204e-07,1.163965e-07,1.165387e-07,1.173880e-07,1.175178e-07,1.181719e-07,1.185259e-07,1.188936e-07,1.194283e-07,1.195562e-07,1.201628e-07,1.202319e-07,1.207161e-07,1.209434e-07,1.212189e-07,1.215690e-07,1.216740e-07,1.220837e-07,1.221145e-07,1.224504e-07,1.225856e-07,1.227765e-07,1.229873e-07,1.230640e-07,1.233152e-07,1.233245e-07,1.235318e-07,1.236018e-07,1.237159e-07,1.238234e-07,1.238692e-07,1.239935e-07,1.240902e-07,1.241156e-07,1.241611e-07,1.241935e-07,1.242075e-07,1.242303e-07,1.242308e-07,1.242324e-07,1.242291e-07,1.242136e-07,1.241929e-07,1.241755e-07,1.241244e-07,1.241192e-07,1.240460e-07,1.240260e-07,1.239567e-07,1.239001e-07,1.238524e-07,1.237490e-07,1.237341e-07,1.236025e-07,1.235747e-07,1.234586e-07,1.233791e-07,1.233031e-07,1.231641e-07,1.231368e-07,1.229604e-07,1.229313e-07,1.227747e-07,1.226824e-07,1.225802e-07,1.224187e-07,1.223776e-07,1.221674e-07,1.221417e-07,1.219502e-07,1.218526e-07,1.217266e-07,1.215527e-07,1.214971e-07,1.212620e-07,1.212430e-07,1.210219e-07,1.209246e-07,1.207773e-07,1.205985e-07,1.205284e-07,1.202757e-07,1.202656e-07,1.200196e-07,1.199266e-07,1.197604e-07,1.195825e-07,1.194984e-07,1.192340e-07,1.188816e-07,1.185261e-07,1.181681e-07,1.178081e-07,1.174466e-07,1.170840e-07,1.167209e-07,1.163576e-07,1.159946e-07,1.156321e-07,1.152705e-07,1.149100e-07,1.145511e-07,1.141938e-07,1.138385e-07,1.134854e-07,1.131346e-07,1.127864e-07,1.124409e-07,1.120983e-07,1.117587e-07,1.114222e-07,1.110889e-07,1.107590e-07
0.000000e+00,7.032290e-10,1.697244e-09,6.180570e-09,1.444805e-08,2.129322e-08,4.917901e-08,5.068694e-08,9.902160e-08,1.166050e-07,1.711552e-07,2.279580e-07,2.721285e-07,3.945722e-07,4.066591e-07,5.778058e-07,6.243805e-07,7.852702e-07,9.159689e-07,1.025179e-06,1.258679e-06,1.291915e-06,1.579965e-06,1.639700e-06,1.884564e-06,2.048117e-06,2.201624e-06,2.474936e-06,2.527539e-06,2.859048e-06,2.912406e-06,3.193188e-06,3.353714e-06,3.527285e-06,3.792923e-06,3.858961e-06,4.186139e-06,4.225011e-06,4.507049e-06,4.645873e-06,4.820216e-06,5.052297e-06,5.124441e-06,5.418786e-06,5.441884e-06,5.702531e-06,5.812938e-06,5.975159e-06,6.164372e-06,6.236331e-06,6.485841e-06,6.495577e-06,6.723604e-06,6.806324e-06,6.949639e-06,7.096691e-06,7.164043e-06,7.366978e-06,7.558655e-06,7.617655e-06,7.739328e-06,7.849314e-06,7.909281e-06,8.062632e-06,8.068818e-06,8.218262e-06,8.258343e-06,8.357945e-06,8.437211e-06,8.488207e-06,8.600019e-06,8.609387e-06,8.721829e-06,8.747552e-06,8.825872e-06,8.880594e-06,8.921854e-06,8.999913e-06,9.010106e-06,9.090953e-06,9.106262e-06,9.164715e-06,9.200375e-06,9.231703e-06,9.282961e-06,9.292221e-06,9.346564e-06,9.354705e-06,9.395018e-06,9.416266e-06,9.437861e-06,9.468278e-06,9.475364e-06,9.507785e-06,9.511346e-06,9.535377e-06,9.546051e-06,9.558384e-06,9.572945e-06,9.577038e-06,9.591565e-06,9.592556e-06,9.602184e-06,9.605384e-06,9.609103e-06,9.611906e-06,9.612522e-06,9.612636e-06,9.612575e-06,9.609630e-06,9.607819e-06,9.603682e-06,9.598043e-06,9.594961e-06,9.583633e-06,9.569853e-06,9.564951e-06,9.553772e-06,9.542339e-06,9.535534e-06,9.516122e-06,9.515274e-06,9.493126e-06,9.486603e-06,9.469214e-06,9.454070e-06,9.443658e-06,9.418792e-06,9.416572e-06,9.388065e-06,9.381024e-06,9.358243e-06,9.341004e-06,9.327202e-06,9.298955e-06,9.295039e-06,9.261843e-06,9.255088e-06,9.227700e-06,9.209599e-06,9.192691e-06,9.162671e-06,9.156894e-06,9.120381e-06,9.114478e-06,9.083224e-06,9.065179e-06,9.045488e-06,9.014926e-06,9.007237e-06,8.968529e-06,8.963857e-06,8.929423e-06,8.912103e-06,8.889970e-06,8.859786e-06,8.850222e-06,8.810227e-06,8.807018e-06,8.770029e-06,8.753904e-06,8.729673e-06,8.700541e-06,8.689198e-06,8.648643e-06,8.647019e-06,8.608042e-06,8.593422e-06,8.567431e-06,8.539825e-06,8.526841e-06,8.486301e-06,8.432914e-06,8.379724e-06,8.326787e-06,8.274151e-06,8.221865e-06,8.169968e-06,8.118500e-06,8.067494e-06,8.016982e-06,7.966991e-06,7.917547e-06,7.868672e-06,7.820385e-06,7.772703e-06,7.725642e-06,7.679214e-06,7.633431e-06,7.588301e-06,7.543832e-06,7.500031e-06,7.456902e-06,7.414447e-06,7.372670e-06,7.331570e-06
0.000000e+00,1.444153e-11,3.320085e-11,1.147897e-10,2.624480e-10,3.842034e-10,8.829092e-10,9.100886e-10,1.795661e-09,2.124956e-09,3.169730e-09,4.290041e-09,5.178622e-09,7.683432e-09,7.931907e-09,1.143131e-08,1.237304e-08,1.558743e-08,1.816205e-08,2.029610e-08,2.483127e-08,2.547551e-08,3.106549e-08,3.222841e-08,3.701805e-08,4.024232e-08,4.329014e-08,4.877477e-08,4.983955e-08,5.662313e-08,5.772729e-08,6.359649e-08,6.699779e-08,7.071418e-08,7.648154e-08,7.793052e-08,8.520049e-08,8.607441e-08,9.248065e-08,9.567643e-08,9.972978e-08,1.051947e-07,1.069096e-07,1.139856e-07,1.145462e-07,1.209271e-07,1.236599e-07,1.277073e-07,1.324762e-07,1.343034e-07,1.406965e-07,1.409477e-07,1.468712e-07,1.490382e-07,1.528156e-07,1.567217e-07,1.585209e-07,1.639810e-07,1.691923e-07,1.708071e-07,1.741534e-07,1.771974e-07,1.788649e-07,1.831549e-07,1.833287e-07,1.875477e-07,1.886857e-07,1.915262e-07,1.938002e-07,1.952697e-07,1.985111e-07,1.987839e-07,2.020753e-07,2.028329e-07,2.051508e-07,2.067814e-07,2.080175e-07,2.103733e-07,2.106827e-07,2.131540e-07,2.136256e-07,2.154388e-07,2.165556e-07,2.175445e-07,2.191804e-07,2.194786e-07,2.212485e-07,2.215170e-07,2.228613e-07,2.235818e-07,2.243241e-07,2.253910e-07,2.256437e-07,2.268269e-07,2.269600e-07,2.278801e-07,2.283039e-07,2.288095e-07,2.294370e-07,2.296214e-07,2.303216e-07,2.303729e-07,2.309157e-07,2.311249e-07,2.314092e-07,2.317052e-07,2.318073e-07,2.321152e-07,2.321257e-07,2.323376e-07,2.323977e-07,2.324792e-07,2.325317e-07,2.325445e-07,2.325378e-07,2.324631e-07,2.324255e-07,2.323244e-07,2.322038e-07,2.321254e-07,2.318810e-07,2.318697e-07,2.315608e-07,2.314652e-07,2.312019e-07,2.309638e-07,2.307961e-07,2.303840e-07,2.303465e-07,2.298558e-07,2.297322e-07,2.293268e-07,2.290148e-07,2.287620e-07,2.282375e-07,2.281640e-07,2.275351e-07,2.274058e-07,2.268775e-07,2.265249e-07,2.261933e-07,2.255996e-07,2.254846e-07,2.247533e-07,2.246343e-07,2.240012e-07,2.236333e-07,2.232300e-07,2.226005e-07,2.224414e-07,2.216370e-07,2.215395e-07,2.208183e-07,2.204538e-07,2.199866e-07,2.193466e-07,2.191432e-07,2.182896e-07,2.182209e-07,2.174267e-07,2.170793e-07,2.165559e-07,2.159246e-07,2.156781e-07,2.147944e-07,2.147590e-07,2.139058e-07,2.135848e-07,2.130131e-07,2.124041e-07,2.121171e-07,2.112188e-07,2.100307e-07,2.088413e-07,2.076522e-07,2.064648e-07,2.052804e-07,2.041001e-07,2.029251e-07,2.017562e-07,2.005945e-07,1.994408e-07,1.982957e-07,1.971600e-07,1.960344e-07,1.949193e-07,1.938152e-07,1.927227e-07,1.916421e-07,1.905737e-07,1.895179e-07,1.884750e-07,1.874451e-07,1.864284e-07,1.854253e-07,1.844356e-07
0.000000e+00,3.779497e-09,1.097850e-08,5.284397e-08,1.480061e-07,2.364050e-07,6.458366e-07,6.695891e-07,1.489028e-06,1.809415e-06,2.860680e-06,4.030968e-06,4.984601e-06,7.780313e-06,8.065805e-06,1.222089e-05,1.337466e-05,1.738414e-05,2.063589e-05,2.333176e-05,2.899418e-05,2.978679e-05,3.649770e-05,3.785218e-05,4.326656e-05,4.675917e-05,4.994787e-05,5.541554e-05,5.643772e-05,6.266254e-05,6.363021e-05,6.857054e-05,7.128279e-05,7.412580e-05,7.829987e-05,7.930478e-05,8.409404e-05,8.464224e-05,8.848857e-05,9.029748e-05,9.249070e-05,9.527487e-05,9.610886e-05,9.935654e-05,9.960085e-05,1.022512e-04,1.033147e-04,1.048131e-04,1.064642e-04,1.070646e-04,1.090290e-04,1.091019e-04,1.107298e-04,1.112821e-04,1.121904e-04,1.130579e-04,1.134332e-04,1.144799e-04,1.153503e-04,1.155947e-04,1.160631e-04,1.164445e-04,1.166353e-04,1.170668e-04,1.170825e-04,1.174185e-04,1.174944e-04,1.176559e-04,1.177558e-04,1.178060e-04,1.178754e-04,1.178786e-04,1.178827e-04,1.178744e-04,1.178262e-04,1.177706e-04,1.177159e-04,1.175792e-04,1.175580e-04,1.173579e-04,1.173133e-04,1.171205e-04,1.169836e-04,1.168499e-04,1.165997e-04,1.165498e-04,1.162237e-04,1.161693e-04,1.158745e-04,1.156994e-04,1.155047e-04,1.151958e-04,1.151169e-04,1.147130e-04,1.146635e-04,1.142950e-04,1.141070e-04,1.138645e-04,1.135300e-04,1.134232e-04,1.129723e-04,1.129359e-04,1.125132e-04,1.123276e-04,1.120471e-04,1.117076e-04,1.115748e-04,1.110974e-04,1.110783e-04,1.106158e-04,1.104416e-04,1.101308e-04,1.097993e-04,1.096430e-04,1.091532e-04,1.086619e-04,1.085044e-04,1.081697e-04,1.078545e-04,1.076772e-04,1.072044e-04,1.071847e-04,1.066928e-04,1.065553e-04,1.062019e-04,1.059079e-04,1.057123e-04,1.052633e-04,1.052243e-04,1.047383e-04,1.046220e-04,1.042545e-04,1.039847e-04,1.037733e-04,1.033521e-04,1.032949e-04,1.028194e-04,1.027247e-04,1.023472e-04,1.021029e-04,1.018783e-04,1.014872e-04,1.014130e-04,1.009514e-04,1.008779e-04,1.004937e-04,1.002754e-04,1.000399e-04,9.967987e-05,9.959027e-05,9.914482e-05,9.909166e-05,9.870368e-05,9.851096e-05,9.826692e-05,9.793796e-05,9.783462e-05,9.740685e-05,9.737282e-05,9.698366e-05,9.681568e-05,9.656511e-05,9.626665e-05,9.615124e-05,9.574208e-05,9.572582e-05,9.533767e-05,9.519325e-05,9.493803e-05,9.466901e-05,9.454318e-05,9.415312e-05,9.364562e-05,9.314651e-05,9.265578e-05,9.217343e-05,9.169942e-05,9.123372e-05,9.077628e-05,9.032707e-05,8.988601e-05,8.945304e-05,8.902809e-05,8.861109e-05,8.820195e-05,8.780059e-05,8.740693e-05,8.702087e-05,8.664231e-05,8.627117e-05,8.590733e-05,8.555071e-05,8.520119e-05,8.485868e-05,8.452307e-05,8.419426e-05
0.000000e+00,1.716977e-10,4.151199e-10,1.507413e-09,3.501136e-09,5.136363e-09,1.169127e-08,1.204164e-08,2.309793e-08,2.704804e-08,3.910684e-08,5.140438e-08,6.082126e-08,8.644597e-08,8.894748e-08,1.241058e-07,1.336439e-07,1.667198e-07,1.938741e-07,2.168192e-07,2.666685e-07,2.738435e-07,3.366470e-07,3.497745e-07,4.037740e-07,4.399050e-07,4.737882e-07,5.339152e-07,5.454464e-07,6.177241e-07,6.292877e-07,6.897805e-07,7.240792e-07,7.609171e-07,8.167683e-07,8.305498e-07,8.981916e-07,9.061549e-07,9.634422e-07,9.913099e-07,1.025982e-06,1.071546e-06,1.085566e-06,1.142019e-06,1.146396e-06,1.195227e-06,1.215587e-06,1.245132e-06,1.279012e-06,1.291726e-06,1.335039e-06,1.336704e-06,1.375137e-06,1.388802e-06,1.412111e-06,1.435527e-06,1.446075e-06,1.477156e-06,1.505492e-06,1.514003e-06,1.531228e-06,1.546402e-06,1.554511e-06,1.574692e-06,1.575489e-06,1.594308e-06,1.599211e-06,1.611112e-06,1.620283e-06,1.626036e-06,1.638221e-06,1.639213e-06,1.650770e-06,1.653316e-06,1.660824e-06,1.665841e-06,1.669489e-06,1.676049e-06,1.676870e-06,1.683065e-06,1.684170e-06,1.688167e-06,1.690416e-06,1.692261e-06,1.694981e-06,1.695428e-06,1.697742e-06,1.698037e-06,1.699271e-06,1.699745e-06,1.700079e-06,1.700247e-06,1.700226e-06,1.699765e-06,1.699672e-06,1.698748e-06,1.698136e-06,1.697221e-06,1.695745e-06,1.695226e-06,1.692805e-06,1.692594e-06,1.689993e-06,1.688767e-06,1.686825e-06,1.684341e-06,1.683332e-06,1.679543e-06,1.679386e-06,1.675486e-06,1.673964e-06,1.671184e-06,1.668130e-06,1.666660e-06,1.661937e-06,1.657033e-06,1.655429e-06,1.651967e-06,1.648647e-06,1.646756e-06,1.641630e-06,1.641414e-06,1.635957e-06,1.634410e-06,1.630398e-06,1.627019e-06,1.624749e-06,1.619483e-06,1.619022e-06,1.613227e-06,1.611828e-06,1.607375e-06,1.604075e-06,1.601473e-06,1.596246e-06,1.595531e-06,1.589557e-06,1.588359e-06,1.583557e-06,1.580430e-06,1.577539e-06,1.572474e-06,1.571509e-06,1.565472e-06,1.564506e-06,1.559434e-06,1.556537e-06,1.553400e-06,1.548578e-06,1.547374e-06,1.541361e-06,1.540640e-06,1.535364e-06,1.532732e-06,1.529388e-06,1.524861e-06,1.523435e-06,1.517509e-06,1.517036e-06,1.511613e-06,1.509263e-06,1.505748e-06,1.501547e-06,1.499918e-06,1.494126e-06,1.493895e-06,1.488372e-06,1.486310e-06,1.482658e-06,1.478798e-06,1.476988e-06,1.471361e-06,1.464004e-06,1.456729e-06,1.449538e-06,1.442435e-06,1.435420e-06,1.428497e-06,1.421665e-06,1.414927e-06,1.408282e-06,1.401733e-06,1.395279e-06,1.388921e-06,1.382659e-06,1.376493e-06,1.370423e-06,1.364450e-06,1.358572e-06,1.352790e-06,1.347102e-06,1.341510e-06,1.336011e-06,1.330605e-06,1.325292e-06,1.320070e-06
0.000000e+00,7.631443e-10,2.117862e-09,9.383710e-09,2.466656e-08,3.821097e-08,9.757155e-08,1.009138e-07,2.127693e-07,2.552870e-07,3.919007e-07,5.401214e-07,6.584444e-07,9.944106e-07,1.027913e-06,1.503347e-06,1.632524e-06,2.077641e-06,2.438892e-06,2.741471e-06,3.393644e-06,3.487266e-06,4.309323e-06,4.482459e-06,5.202859e-06,5.694197e-06,6.163170e-06,7.017715e-06,7.185147e-06,8.263069e-06,8.440310e-06,9.390551e-06,9.947320e-06,1.056063e-05,1.152239e-05,1.176589e-05,1.299861e-05,1.314801e-05,1.425097e-05,1.480622e-05,1.551520e-05,1.647932e-05,1.678378e-05,1.804955e-05,1.815048e-05,1.930579e-05,1.980423e-05,2.054638e-05,2.142679e-05,2.176580e-05,2.295916e-05,2.300629e-05,2.412225e-05,2.453284e-05,2.525147e-05,2.599848e-05,2.634389e-05,2.739713e-05,2.840937e-05,2.872440e-05,2.937928e-05,2.997740e-05,3.030600e-05,3.115457e-05,3.118905e-05,3.202829e-05,3.225545e-05,3.282391e-05,3.328051e-05,3.357633e-05,3.423095e-05,3.428619e-05,3.495432e-05,3.510856e-05,3.558169e-05,3.591561e-05,3.616938e-05,3.665466e-05,3.671857e-05,3.723050e-05,3.732853e-05,3.770646e-05,3.794017e-05,3.814776e-05,3.849265e-05,3.855574e-05,3.893175e-05,3.898903e-05,3.927712e-05,3.943239e-05,3.959316e-05,3.982575e-05,3.988118e-05,4.014245e-05,4.017206e-05,4.037822e-05,4.047420e-05,4.058971e-05,4.073492e-05,4.077809e-05,4.094449e-05,4.095689e-05,4.109004e-05,4.114265e-05,4.121577e-05,4.129462e-05,4.132273e-05,4.141190e-05,4.141511e-05,4.148422e-05,4.150631e-05,4.154061e-05,4.157030e-05,4.158194e-05,4.160903e-05,4.162269e-05,4.162436e-05,4.162369e-05,4.161802e-05,4.161276e-05,4.159167e-05,4.159058e-05,4.155783e-05,4.154685e-05,4.151514e-05,4.148501e-05,4.146312e-05,4.140752e-05,4.140235e-05,4.133338e-05,4.131566e-05,4.125672e-05,4.121062e-05,4.117288e-05,4.109354e-05,4.108234e-05,4.098554e-05,4.096547e-05,4.088292e-05,4.082739e-05,4.077488e-05,4.068023e-05,4.066182e-05,4.054409e-05,4.052485e-05,4.042206e-05,4.036205e-05,4.029604e-05,4.019258e-05,4.016637e-05,4.003334e-05,4.001716e-05,3.989723e-05,3.983643e-05,3.975830e-05,3.965100e-05,3.961683e-05,3.947305e-05,3.946145e-05,3.932718e-05,3.926830e-05,3.917945e-05,3.907204e-05,3.903006e-05,3.887920e-05,3.887314e-05,3.872706e-05,3.867201e-05,3.857381e-05,3.846905e-05,3.841961e-05,3.826463e-05,3.805908e-05,3.785273e-05,3.764586e-05,3.743874e-05,3.723162e-05,3.702472e-05,3.681827e-05,3.661244e-05,3.640743e-05,3.620339e-05,3.600047e-05,3.579880e-05,3.559853e-05,3.539974e-05,3.520256e-05,3.500707e-05,3.481335e-05,3.462148e-05,3.443154e-05,3.424356e-05,3.405762e-05,3.387376e-05,3.369201e-05,3.351242e-05
0.000000e+00,7.718557e-10,2.265975e-09,1.115515e-08,3.190296e-08,5.154919e-08,1.450740e-07,1.505892e-07,3.443936e-07,4.213832e-07,6.756600e-07,9.578755e-07,1.185232e-06,1.835756e-06,1.901024e-06,2.838256e-06,3.097151e-06,4.005231e-06,4.760985e-06,5.406750e-06,6.835915e-06,7.045017e-06,8.919490e-06,9.322466e-06,1.102652e-05,1.221188e-05,1.335909e-05,1.548529e-05,1.590688e-05,1.865641e-05,1.911401e-05,2.159152e-05,2.306099e-05,2.469392e-05,2.728298e-05,2.794376e-05,3.132033e-05,3.173303e-05,3.480261e-05,3.636294e-05,3.836985e-05,4.112539e-05,4.200198e-05,4.567997e-05,4.597565e-05,4.938611e-05,5.087277e-05,5.310418e-05,5.578029e-05,5.681953e-05,6.051908e-05,6.066657e-05,6.419136e-05,6.550474e-05,6.782639e-05,7.027250e-05,7.141559e-05,7.495169e-05,7.842861e-05,7.952789e-05,8.184134e-05,8.398988e-05,8.518580e-05,8.832922e-05,8.845873e-05,9.165763e-05,9.253978e-05,9.478060e-05,9.661736e-05,9.782630e-05,1.005593e-04,1.007938e-04,1.036828e-04,1.043644e-04,1.064929e-04,1.080322e-04,1.092244e-04,1.115634e-04,1.118777e-04,1.144533e-04,1.149592e-04,1.169520e-04,1.182212e-04,1.193747e-04,1.213517e-04,1.217224e-04,1.239962e-04,1.243532e-04,1.261973e-04,1.272283e-04,1.283269e-04,1.299801e-04,1.303864e-04,1.323771e-04,1.326114e-04,1.343004e-04,1.351256e-04,1.361576e-04,1.375258e-04,1.379502e-04,1.396797e-04,1.398153e-04,1.413473e-04,1.419974e-04,1.429546e-04,1.440753e-04,1.445030e-04,1.459939e-04,1.460523e-04,1.474287e-04,1.479317e-04,1.488087e-04,1.497167e-04,1.501355e-04,1.514104e-04,1.526346e-04,1.530159e-04,1.538096e-04,1.545363e-04,1.549366e-04,1.559746e-04,1.560170e-04,1.570519e-04,1.573338e-04,1.580428e-04,1.586166e-04,1.589908e-04,1.598260e-04,1.598970e-04,1.607628e-04,1.609646e-04,1.615892e-04,1.620352e-04,1.623773e-04,1.630402e-04,1.631284e-04,1.638435e-04,1.639823e-04,1.645236e-04,1.648638e-04,1.651698e-04,1.656872e-04,1.657831e-04,1.663646e-04,1.664547e-04,1.669151e-04,1.671687e-04,1.674357e-04,1.678312e-04,1.679272e-04,1.683906e-04,1.684444e-04,1.688267e-04,1.690103e-04,1.692365e-04,1.695308e-04,1.696208e-04,1.699803e-04,1.700080e-04,1.703159e-04,1.704436e-04,1.706283e-04,1.708394e-04,1.709184e-04,1.711868e-04,1.711971e-04,1.714343e-04,1.715184e-04,1.716616e-04,1.718050e-04,1.718694e-04,1.720582e-04,1.722797e-04,1.724709e-04,1.726331e-04,1.727677e-04,1.728760e-04,1.729593e-04,1.730187e-04,1.730553e-04,1.730703e-04,1.730648e-04,1.730398e-04,1.729962e-04,1.729350e-04,1.728571e-04,1.727635e-04,1.726549e-04,1.725321e-04,1.723960e-04,1.722472e-04,1.720865e-04,1.719146e-04,1.717321e-04,1.715397e-04,1.713380e-04
0.000000e+00,1.599736e-11,3.664846e-11,1.262661e-10,2.878165e-10,4.203290e-10,9.558400e-10,9.846848e-10,1.906112e-09,2.240272e-09,3.274911e-09,4.350391e-09,5.186262e-09,7.505910e-09,7.735344e-09,1.099966e-08,1.189441e-08,1.501217e-08,1.757966e-08,1.975120e-08,2.447862e-08,2.516110e-08,3.117802e-08,3.244883e-08,3.774137e-08,4.135132e-08,4.479439e-08,5.105710e-08,5.228208e-08,6.014945e-08,6.143975e-08,6.834088e-08,7.237144e-08,7.680042e-08,8.372371e-08,8.547249e-08,9.430274e-08,9.537049e-08,1.032390e-07,1.071917e-07,1.122320e-07,1.190766e-07,1.212363e-07,1.302102e-07,1.309257e-07,1.391165e-07,1.426525e-07,1.479222e-07,1.541837e-07,1.565985e-07,1.651210e-07,1.654584e-07,1.734687e-07,1.764277e-07,1.816245e-07,1.870536e-07,1.895745e-07,1.973077e-07,2.048158e-07,2.071698e-07,2.120923e-07,2.166254e-07,2.191324e-07,2.256664e-07,2.259339e-07,2.324953e-07,2.342894e-07,2.388166e-07,2.424945e-07,2.448989e-07,2.502850e-07,2.507440e-07,2.563545e-07,2.576665e-07,2.617336e-07,2.646461e-07,2.668848e-07,2.712327e-07,2.718123e-07,2.765203e-07,2.774360e-07,2.810135e-07,2.832667e-07,2.852967e-07,2.887358e-07,2.893747e-07,2.932528e-07,2.938550e-07,2.969358e-07,2.986360e-07,3.004292e-07,3.030907e-07,3.037379e-07,3.068672e-07,3.072310e-07,3.098223e-07,3.110687e-07,3.126083e-07,3.146157e-07,3.152302e-07,3.176932e-07,3.178835e-07,3.200021e-07,3.208836e-07,3.221618e-07,3.236272e-07,3.241773e-07,3.260531e-07,3.261253e-07,3.277939e-07,3.283885e-07,3.294044e-07,3.304273e-07,3.308889e-07,3.322518e-07,3.334975e-07,3.338720e-07,3.346300e-07,3.352974e-07,3.356535e-07,3.365371e-07,3.365719e-07,3.373891e-07,3.376003e-07,3.381090e-07,3.384956e-07,3.387351e-07,3.392314e-07,3.392711e-07,3.397204e-07,3.398157e-07,3.400865e-07,3.402564e-07,3.403727e-07,3.405610e-07,3.405822e-07,3.407180e-07,3.407366e-07,3.407833e-07,3.407903e-07,3.407809e-07,3.407288e-07,3.407138e-07,3.405847e-07,3.405584e-07,3.403962e-07,3.402854e-07,3.401510e-07,3.399157e-07,3.398516e-07,3.395004e-07,3.394549e-07,3.390999e-07,3.389085e-07,3.386522e-07,3.382818e-07,3.381596e-07,3.376243e-07,3.375797e-07,3.370483e-07,3.368070e-07,3.364336e-07,3.359682e-07,3.357822e-07,3.350960e-07,3.350678e-07,3.343767e-07,3.341100e-07,3.336261e-07,3.330986e-07,3.328458e-07,3.320376e-07,3.309306e-07,3.297810e-07,3.285921e-07,3.273672e-07,3.261091e-07,3.248207e-07,3.235048e-07,3.221640e-07,3.208006e-07,3.194171e-07,3.180156e-07,3.165982e-07,3.151670e-07,3.137237e-07,3.122702e-07,3.108082e-07,3.093393e-07,3.078649e-07,3.063866e-07,3.049056e-07,3.034232e-07,3.019406e-07,3.004589e-07,2.989792e-07
0.000000e+00,2.018052e-11,4.627099e-11,1.595608e-10,3.642937e-10,5.328728e-10,1.221012e-09,1.258404e-09,2.470455e-09,2.918158e-09,4.328732e-09,5.825938e-09,7.003052e-09,1.027753e-08,1.059931e-08,1.509107e-08,1.629125e-08,2.037736e-08,2.364936e-08,2.636649e-08,3.216603e-08,3.299315e-08,4.020657e-08,4.171551e-08,4.795924e-08,5.218724e-08,5.620087e-08,6.346131e-08,6.487602e-08,7.392395e-08,7.540192e-08,8.327964e-08,8.785985e-08,9.287534e-08,1.006786e-07,1.026424e-07,1.125131e-07,1.137014e-07,1.224220e-07,1.267781e-07,1.323078e-07,1.397703e-07,1.421136e-07,1.517885e-07,1.525554e-07,1.612870e-07,1.650281e-07,1.705701e-07,1.771015e-07,1.796043e-07,1.883624e-07,1.887067e-07,1.968223e-07,1.997914e-07,2.049669e-07,2.103185e-07,2.127836e-07,2.202640e-07,2.274030e-07,2.296150e-07,2.341986e-07,2.383678e-07,2.406515e-07,2.465262e-07,2.467643e-07,2.525417e-07,2.541000e-07,2.579897e-07,2.611035e-07,2.631157e-07,2.675542e-07,2.679278e-07,2.724350e-07,2.734724e-07,2.766468e-07,2.788799e-07,2.805729e-07,2.837997e-07,2.842235e-07,2.876089e-07,2.882550e-07,2.907391e-07,2.922694e-07,2.936244e-07,2.958663e-07,2.962751e-07,2.987009e-07,2.990688e-07,3.009118e-07,3.018994e-07,3.029172e-07,3.043800e-07,3.047266e-07,3.063490e-07,3.065315e-07,3.077932e-07,3.083745e-07,3.090679e-07,3.099282e-07,3.101812e-07,3.111411e-07,3.112115e-07,3.119553e-07,3.122419e-07,3.126314e-07,3.130365e-07,3.131763e-07,3.135970e-07,3.136113e-07,3.139001e-07,3.139816e-07,3.140919e-07,3.141618e-07,3.141784e-07,3.141656e-07,3.140590e-07,3.140060e-07,3.138640e-07,3.136951e-07,3.135856e-07,3.132445e-07,3.132288e-07,3.127982e-07,3.126651e-07,3.122984e-07,3.119671e-07,3.117336e-07,3.111601e-07,3.111079e-07,3.104252e-07,3.102532e-07,3.096891e-07,3.092550e-07,3.089034e-07,3.081734e-07,3.080712e-07,3.071960e-07,3.070160e-07,3.062806e-07,3.057898e-07,3.053281e-07,3.045013e-07,3.043413e-07,3.033227e-07,3.031569e-07,3.022749e-07,3.017623e-07,3.012003e-07,3.003229e-07,3.001012e-07,2.989797e-07,2.988437e-07,2.978379e-07,2.973296e-07,2.966777e-07,2.957849e-07,2.955010e-07,2.943096e-07,2.942137e-07,2.931050e-07,2.926199e-07,2.918889e-07,2.910070e-07,2.906627e-07,2.894280e-07,2.893784e-07,2.881859e-07,2.877372e-07,2.869378e-07,2.860862e-07,2.856848e-07,2.844281e-07,2.827653e-07,2.811003e-07,2.794349e-07,2.777713e-07,2.761111e-07,2.744561e-07,2.728078e-07,2.711675e-07,2.695366e-07,2.679162e-07,2.663074e-07,2.647111e-07,2.631282e-07,2.615596e-07,2.600058e-07,2.584677e-07,2.569456e-07,2.554402e-07,2.539520e-07,2.524811e-07,2.510282e-07,2.495933e-07,2.481768e-07,2.467788e-07
0.000000e+00,5.184908e-10,1.322152e-09,5.159662e-09,1.253027e-08,1.876172e-08,4.474232e-08,4.616610e-08,9.248238e-08,1.095959e-07,1.633940e-07,2.203914e-07,2.653245e-07,3.924054e-07,4.051398e-07,5.888588e-07,6.399049e-07,8.194335e-07,9.686523e-07,1.095455e-06,1.372415e-06,1.412439e-06,1.765129e-06,1.839520e-06,2.148773e-06,2.359134e-06,2.559322e-06,2.922367e-06,2.993223e-06,3.447199e-06,3.521487e-06,3.918111e-06,4.149264e-06,4.402903e-06,4.798722e-06,4.898591e-06,5.402293e-06,5.463143e-06,5.911255e-06,6.136190e-06,6.422886e-06,6.812034e-06,6.934798e-06,7.444809e-06,7.485467e-06,7.950952e-06,8.151932e-06,8.451499e-06,8.807572e-06,8.944940e-06,9.429980e-06,9.449190e-06,9.905525e-06,1.007422e-05,1.037067e-05,1.068064e-05,1.082467e-05,1.126694e-05,1.169702e-05,1.183201e-05,1.211457e-05,1.237512e-05,1.251937e-05,1.289583e-05,1.291126e-05,1.329017e-05,1.339393e-05,1.365608e-05,1.386942e-05,1.400906e-05,1.432244e-05,1.434917e-05,1.467656e-05,1.475326e-05,1.499138e-05,1.516225e-05,1.529381e-05,1.554987e-05,1.558406e-05,1.586235e-05,1.591659e-05,1.612891e-05,1.626297e-05,1.638400e-05,1.658958e-05,1.662786e-05,1.686075e-05,1.689701e-05,1.708294e-05,1.718587e-05,1.729470e-05,1.745678e-05,1.749629e-05,1.768799e-05,1.771034e-05,1.787006e-05,1.794719e-05,1.804277e-05,1.816793e-05,1.820639e-05,1.836117e-05,1.837318e-05,1.850738e-05,1.856352e-05,1.864528e-05,1.873956e-05,1.877511e-05,1.889714e-05,1.890186e-05,1.901159e-05,1.905099e-05,1.911872e-05,1.918751e-05,1.921876e-05,1.931195e-05,1.939850e-05,1.942483e-05,1.947864e-05,1.952667e-05,1.955260e-05,1.961797e-05,1.962057e-05,1.968278e-05,1.969919e-05,1.973942e-05,1.977081e-05,1.979069e-05,1.983328e-05,1.983679e-05,1.987789e-05,1.988704e-05,1.991420e-05,1.993250e-05,1.994588e-05,1.997007e-05,1.997311e-05,1.999606e-05,2.000015e-05,2.001489e-05,2.002311e-05,2.002976e-05,2.003932e-05,2.004084e-05,2.004827e-05,2.004913e-05,2.005220e-05,2.005288e-05,2.005277e-05,2.005090e-05,2.005012e-05,2.004438e-05,2.004349e-05,2.003570e-05,2.003097e-05,2.002418e-05,2.001362e-05,2.000997e-05,1.999316e-05,1.999171e-05,1.997389e-05,1.996552e-05,1.995227e-05,1.993530e-05,1.992839e-05,1.990237e-05,1.990129e-05,1.987431e-05,1.986373e-05,1.984431e-05,1.982284e-05,1.981246e-05,1.977885e-05,1.973195e-05,1.968234e-05,1.963021e-05,1.957574e-05,1.951911e-05,1.946047e-05,1.939999e-05,1.933781e-05,1.927407e-05,1.920891e-05,1.914247e-05,1.907486e-05,1.900619e-05,1.893659e-05,1.886615e-05,1.879498e-05,1.872317e-05,1.865082e-05,1.857800e-05,1.850480e-05,1.843130e-05,1.835756e-05,1.828367e-05,1.820967e-05
0.000000e+00,1.537631e-09,4.366289e-09,2.012949e-08,5.440481e-08,8.530835e-08,2.226614e-07,2.304302e-07,4.900935e-07,5.882617e-07,9.011829e-07,1.237300e-06,1.504402e-06,2.265779e-06,2.342369e-06,3.448578e-06,3.755519e-06,4.830780e-06,5.718407e-06,6.468202e-06,8.092616e-06,8.325983e-06,1.036895e-05,1.079700e-05,1.256662e-05,1.376173e-05,1.489282e-05,1.692892e-05,1.732404e-05,1.983795e-05,2.024639e-05,2.241276e-05,2.366397e-05,2.502699e-05,2.713264e-05,2.765968e-05,3.029067e-05,3.060536e-05,3.290101e-05,3.403846e-05,3.547326e-05,3.739300e-05,3.799178e-05,4.044290e-05,4.063572e-05,4.281503e-05,4.373957e-05,4.509865e-05,4.668374e-05,4.728621e-05,4.937203e-05,4.945329e-05,5.135217e-05,5.203865e-05,5.322426e-05,5.443498e-05,5.498726e-05,5.664134e-05,5.818764e-05,5.865999e-05,5.962811e-05,6.049568e-05,6.096540e-05,6.215502e-05,6.220263e-05,6.334334e-05,6.364596e-05,6.439135e-05,6.497732e-05,6.535066e-05,6.615844e-05,6.622540e-05,6.701974e-05,6.719888e-05,6.773783e-05,6.810820e-05,6.838380e-05,6.889582e-05,6.896171e-05,6.947548e-05,6.957088e-05,6.992894e-05,7.014213e-05,7.032576e-05,7.061787e-05,7.066943e-05,7.096333e-05,7.100595e-05,7.121065e-05,7.131373e-05,7.141446e-05,7.154812e-05,7.157764e-05,7.170294e-05,7.171555e-05,7.179293e-05,7.182198e-05,7.185007e-05,7.187296e-05,7.187667e-05,7.187491e-05,7.187360e-05,7.184682e-05,7.182865e-05,7.179433e-05,7.174246e-05,7.171926e-05,7.162330e-05,7.161905e-05,7.150806e-05,7.146214e-05,7.137502e-05,7.127512e-05,7.122560e-05,7.106111e-05,7.088278e-05,7.082299e-05,7.069178e-05,7.056339e-05,7.048919e-05,7.028473e-05,7.027601e-05,7.005321e-05,6.998923e-05,6.982167e-05,6.967890e-05,6.958223e-05,6.935562e-05,6.933565e-05,6.908267e-05,6.902108e-05,6.882397e-05,6.867683e-05,6.856017e-05,6.832430e-05,6.829188e-05,6.801965e-05,6.796478e-05,6.774399e-05,6.759946e-05,6.746539e-05,6.722942e-05,6.718430e-05,6.690113e-05,6.685565e-05,6.661627e-05,6.647905e-05,6.633010e-05,6.610044e-05,6.604294e-05,6.575512e-05,6.572055e-05,6.546693e-05,6.534007e-05,6.517863e-05,6.495962e-05,6.489049e-05,6.460274e-05,6.457974e-05,6.431559e-05,6.420094e-05,6.402925e-05,6.382369e-05,6.374390e-05,6.345971e-05,6.344837e-05,6.317685e-05,6.307538e-05,6.289546e-05,6.270503e-05,6.261568e-05,6.233763e-05,6.197344e-05,6.161270e-05,6.125562e-05,6.090239e-05,6.055316e-05,6.020809e-05,5.986729e-05,5.953087e-05,5.919892e-05,5.887152e-05,5.854873e-05,5.823060e-05,5.791716e-05,5.760846e-05,5.730450e-05,5.700531e-05,5.671087e-05,5.642119e-05,5.613626e-05,5.585606e-05,5.558057e-05,5.530977e-05,5.504363e-05,5.478210e-05
0.000000e+00,2.656193e-12,6.060362e-12,2.070222e-11,4.680615e-11,6.803603e-11,1.527156e-10,1.572360e-10,2.999735e-10,3.510591e-10,5.073820e-10,6.673645e-10,7.902152e-10,1.125609e-09,1.158406e-09,1.619296e-09,1.744040e-09,2.174435e-09,2.524465e-09,2.817694e-09,3.447669e-09,3.537703e-09,4.321956e-09,4.485475e-09,5.158871e-09,5.611371e-09,6.037985e-09,6.801949e-09,6.949613e-09,7.884626e-09,8.035814e-09,8.834383e-09,9.293102e-09,9.790785e-09,1.055565e-08,1.074637e-08,1.169441e-08,1.180738e-08,1.262898e-08,1.303459e-08,1.354500e-08,1.422613e-08,1.443823e-08,1.530524e-08,1.537338e-08,1.614336e-08,1.647005e-08,1.695062e-08,1.751195e-08,1.772566e-08,1.846766e-08,1.849664e-08,1.917626e-08,1.942317e-08,1.985148e-08,2.029173e-08,2.049366e-08,2.110336e-08,2.168138e-08,2.185980e-08,2.222862e-08,2.256319e-08,2.274614e-08,2.321600e-08,2.323502e-08,2.369642e-08,2.382084e-08,2.413150e-08,2.438041e-08,2.454145e-08,2.489741e-08,2.492744e-08,2.529061e-08,2.537450e-08,2.563209e-08,2.581425e-08,2.595297e-08,2.621914e-08,2.625430e-08,2.653710e-08,2.659152e-08,2.680233e-08,2.693362e-08,2.705092e-08,2.724753e-08,2.728376e-08,2.750168e-08,2.753522e-08,2.770548e-08,2.779851e-08,2.789591e-08,2.803911e-08,2.807369e-08,2.823950e-08,2.825862e-08,2.839398e-08,2.845852e-08,2.853774e-08,2.864018e-08,2.867135e-08,2.879536e-08,2.880488e-08,2.891028e-08,2.895381e-08,2.901660e-08,2.908807e-08,2.911477e-08,2.920522e-08,2.920868e-08,2.928837e-08,2.931659e-08,2.936460e-08,2.941268e-08,2.943428e-08,2.949776e-08,2.955535e-08,2.957259e-08,2.960737e-08,2.963788e-08,2.965411e-08,2.969428e-08,2.969585e-08,2.973285e-08,2.974240e-08,2.976535e-08,2.978280e-08,2.979360e-08,2.981601e-08,2.981780e-08,2.983818e-08,2.984253e-08,2.985493e-08,2.986280e-08,2.986824e-08,2.987725e-08,2.987829e-08,2.988525e-08,2.988629e-08,2.988928e-08,2.989027e-08,2.989054e-08,2.988955e-08,2.988916e-08,2.988529e-08,2.988445e-08,2.987906e-08,2.987526e-08,2.987059e-08,2.986228e-08,2.986000e-08,2.984740e-08,2.984576e-08,2.983290e-08,2.982595e-08,2.981661e-08,2.980308e-08,2.979861e-08,2.977901e-08,2.977737e-08,2.975788e-08,2.974903e-08,2.973532e-08,2.971823e-08,2.971141e-08,2.968621e-08,2.968517e-08,2.965980e-08,2.965001e-08,2.963225e-08,2.961290e-08,2.960363e-08,2.957400e-08,2.953345e-08,2.949137e-08,2.944789e-08,2.940312e-08,2.935718e-08,2.931016e-08,2.926217e-08,2.921330e-08,2.916362e-08,2.911322e-08,2.906219e-08,2.901058e-08,2.895847e-08,2.890592e-08,2.885300e-08,2.879975e-08,2.874623e-08,2.869250e-08,2.863860e-08,2.858457e-08,2.853046e-08,2.847631e-08,2.842216e-08,2.836803e-08
0.000000e+00,1.403958e-10,3.391869e-10,1.227895e-09,2.841728e-09,4.160195e-09,9.415974e-09,9.695896e-09,1.849272e-08,2.162185e-08,3.114083e-08,4.080603e-08,4.818331e-08,6.817020e-08,7.011515e-08,9.734863e-08,1.047061e-07,1.301302e-07,1.509078e-07,1.684052e-07,2.062495e-07,2.116780e-07,2.589851e-07,2.688216e-07,3.090620e-07,3.357609e-07,3.606121e-07,4.042191e-07,4.125053e-07,4.638470e-07,4.719627e-07,5.139609e-07,5.374264e-07,5.623446e-07,5.995549e-07,6.086302e-07,6.525543e-07,6.576572e-07,6.939371e-07,7.113098e-07,7.326681e-07,7.602957e-07,7.686944e-07,8.020121e-07,8.045614e-07,8.326574e-07,8.441818e-07,8.606993e-07,8.793293e-07,8.862316e-07,9.093668e-07,9.102441e-07,9.302307e-07,9.372115e-07,9.489582e-07,9.605433e-07,9.656880e-07,9.805598e-07,9.937114e-07,9.975788e-07,1.005277e-06,1.011907e-06,1.015386e-06,1.023833e-06,1.024160e-06,1.031714e-06,1.033625e-06,1.038157e-06,1.041531e-06,1.043588e-06,1.047771e-06,1.048100e-06,1.051780e-06,1.052548e-06,1.054704e-06,1.056039e-06,1.056945e-06,1.058404e-06,1.058568e-06,1.059632e-06,1.059783e-06,1.060192e-06,1.060300e-06,1.060296e-06,1.060064e-06,1.059990e-06,1.059313e-06,1.059173e-06,1.058303e-06,1.057709e-06,1.056992e-06,1.055748e-06,1.055412e-06,1.053588e-06,1.053354e-06,1.051547e-06,1.050585e-06,1.049310e-06,1.047491e-06,1.046897e-06,1.044329e-06,1.044117e-06,1.041620e-06,1.040501e-06,1.038788e-06,1.036679e-06,1.035845e-06,1.032804e-06,1.032681e-06,1.029677e-06,1.028533e-06,1.026476e-06,1.024260e-06,1.023208e-06,1.019884e-06,1.016511e-06,1.015422e-06,1.013096e-06,1.010893e-06,1.009648e-06,1.006310e-06,1.006171e-06,1.002671e-06,1.001688e-06,9.991548e-07,9.970385e-07,9.956257e-07,9.923718e-07,9.920886e-07,9.885476e-07,9.876976e-07,9.850063e-07,9.830245e-07,9.814683e-07,9.783600e-07,9.779367e-07,9.744143e-07,9.737111e-07,9.709038e-07,9.690838e-07,9.674076e-07,9.644835e-07,9.639280e-07,9.604670e-07,9.599152e-07,9.570266e-07,9.553830e-07,9.536084e-07,9.508909e-07,9.502140e-07,9.468449e-07,9.464424e-07,9.435023e-07,9.420403e-07,9.401875e-07,9.376875e-07,9.369015e-07,9.336453e-07,9.333861e-07,9.304197e-07,9.291383e-07,9.272256e-07,9.249457e-07,9.240637e-07,9.209345e-07,9.208100e-07,9.178386e-07,9.167324e-07,9.147766e-07,9.127139e-07,9.117488e-07,9.087557e-07,9.048583e-07,9.010224e-07,8.972483e-07,8.935366e-07,8.898872e-07,8.863004e-07,8.827761e-07,8.793142e-07,8.759146e-07,8.725770e-07,8.693011e-07,8.660864e-07,8.629327e-07,8.598393e-07,8.568058e-07,8.538316e-07,8.509160e-07,8.480585e-07,8.452584e-07,8.425150e-07,8.398276e-07,8.371953e-07,8.346176e-07,8.320936e-07
0.000000e+00,3.454045e-10,8.449623e-10,3.118566e-09,7.328453e-09,1.082003e-08,2.509188e-08,2.586608e-08,5.083842e-08,6.000321e-08,8.871530e-08,1.190362e-07,1.428690e-07,2.096951e-07,2.163249e-07,3.101048e-07,3.354810e-07,4.223954e-07,4.921518e-07,5.499395e-07,6.723562e-07,6.896861e-07,8.392773e-07,8.702101e-07,9.968912e-07,1.081507e-06,1.160999e-06,1.302842e-06,1.330201e-06,1.503142e-06,1.531070e-06,1.678481e-06,1.763106e-06,1.854894e-06,1.995926e-06,2.031086e-06,2.205818e-06,2.226632e-06,2.377933e-06,2.452558e-06,2.546374e-06,2.671349e-06,2.710201e-06,2.868602e-06,2.881018e-06,3.020899e-06,3.079982e-06,3.166547e-06,3.267058e-06,3.305129e-06,3.436349e-06,3.441442e-06,3.560021e-06,3.602676e-06,3.676059e-06,3.750601e-06,3.784463e-06,3.885309e-06,3.978732e-06,4.007089e-06,4.064920e-06,4.116385e-06,4.144097e-06,4.213751e-06,4.216522e-06,4.282475e-06,4.299821e-06,4.342250e-06,4.375275e-06,4.396151e-06,4.440816e-06,4.444485e-06,4.487560e-06,4.497149e-06,4.525680e-06,4.544974e-06,4.559141e-06,4.584964e-06,4.588233e-06,4.613234e-06,4.617767e-06,4.634411e-06,4.643997e-06,4.652020e-06,4.664233e-06,4.666304e-06,4.677496e-06,4.679014e-06,4.685813e-06,4.688845e-06,4.691461e-06,4.694189e-06,4.694634e-06,4.695515e-06,4.695474e-06,4.694272e-06,4.693095e-06,4.691068e-06,4.687414e-06,4.686052e-06,4.679365e-06,4.678762e-06,4.671139e-06,4.667444e-06,4.661494e-06,4.653738e-06,4.650547e-06,4.638404e-06,4.637895e-06,4.625164e-06,4.620147e-06,4.610920e-06,4.600705e-06,4.595758e-06,4.579761e-06,4.563001e-06,4.557489e-06,4.545550e-06,4.534049e-06,4.527472e-06,4.509585e-06,4.508829e-06,4.489676e-06,4.484229e-06,4.470066e-06,4.458102e-06,4.450049e-06,4.431311e-06,4.429669e-06,4.408968e-06,4.403957e-06,4.387987e-06,4.376129e-06,4.366762e-06,4.347910e-06,4.345327e-06,4.323714e-06,4.319373e-06,4.301952e-06,4.290586e-06,4.280068e-06,4.261611e-06,4.258089e-06,4.236037e-06,4.232503e-06,4.213934e-06,4.203313e-06,4.191801e-06,4.174086e-06,4.169657e-06,4.147519e-06,4.144864e-06,4.125404e-06,4.115684e-06,4.103326e-06,4.086580e-06,4.081299e-06,4.059336e-06,4.057583e-06,4.037450e-06,4.028719e-06,4.015651e-06,4.000015e-06,3.993949e-06,3.972354e-06,3.971492e-06,3.950873e-06,3.943170e-06,3.929516e-06,3.915067e-06,3.908289e-06,3.887199e-06,3.859581e-06,3.832223e-06,3.805139e-06,3.778337e-06,3.751825e-06,3.725612e-06,3.699703e-06,3.674105e-06,3.648820e-06,3.623854e-06,3.599208e-06,3.574886e-06,3.550888e-06,3.527216e-06,3.503871e-06,3.480853e-06,3.458160e-06,3.435794e-06,3.413752e-06,3.392032e-06,3.370635e-06,3.349557e-06,3.328796e-06,3.308350e-06
0.000000e+00,4.520149e-09,1.323249e-08,6.469246e-08,1.836027e-07,2.952439e-07,8.189034e-07,8.494778e-07,1.909699e-06,2.325540e-06,3.689610e-06,5.201743e-06,6.425539e-06,9.958942e-06,1.031522e-05,1.542886e-05,1.683304e-05,2.170103e-05,2.566901e-05,2.899297e-05,3.612665e-05,3.714504e-05,4.599990e-05,4.784193e-05,5.540838e-05,6.047242e-05,6.522927e-05,7.369894e-05,7.532806e-05,8.557668e-05,8.722218e-05,9.585421e-05,1.007644e-04,1.060485e-04,1.140752e-04,1.160578e-04,1.257928e-04,1.269388e-04,1.351774e-04,1.391792e-04,1.441497e-04,1.506627e-04,1.526616e-04,1.606787e-04,1.612979e-04,1.681790e-04,1.710317e-04,1.751519e-04,1.798447e-04,1.815961e-04,1.875189e-04,1.877451e-04,1.929338e-04,1.947624e-04,1.978597e-04,2.009413e-04,2.023190e-04,2.063368e-04,2.099399e-04,2.110098e-04,2.131558e-04,2.150233e-04,2.160118e-04,2.184402e-04,2.185351e-04,2.207519e-04,2.213211e-04,2.226872e-04,2.237233e-04,2.243649e-04,2.257000e-04,2.258072e-04,2.270349e-04,2.272998e-04,2.280674e-04,2.285669e-04,2.289223e-04,2.295408e-04,2.296160e-04,2.301636e-04,2.302568e-04,2.305787e-04,2.307463e-04,2.308737e-04,2.310371e-04,2.310601e-04,2.311481e-04,2.311537e-04,2.311471e-04,2.311175e-04,2.310655e-04,2.309475e-04,2.309112e-04,2.306910e-04,2.306605e-04,2.304114e-04,2.302711e-04,2.300781e-04,2.297922e-04,2.296964e-04,2.292710e-04,2.292352e-04,2.288062e-04,2.286101e-04,2.283060e-04,2.279259e-04,2.277739e-04,2.272134e-04,2.271904e-04,2.266273e-04,2.264105e-04,2.260183e-04,2.255925e-04,2.253891e-04,2.247419e-04,2.240787e-04,2.238635e-04,2.234016e-04,2.229617e-04,2.227123e-04,2.220405e-04,2.220124e-04,2.213034e-04,2.211035e-04,2.205868e-04,2.201536e-04,2.198637e-04,2.191938e-04,2.191354e-04,2.184029e-04,2.182266e-04,2.176673e-04,2.172543e-04,2.169295e-04,2.162790e-04,2.161902e-04,2.154504e-04,2.153024e-04,2.147106e-04,2.143263e-04,2.139717e-04,2.133521e-04,2.132342e-04,2.124987e-04,2.123812e-04,2.117657e-04,2.114149e-04,2.110357e-04,2.104541e-04,2.103091e-04,2.095864e-04,2.095000e-04,2.088680e-04,2.085533e-04,2.081542e-04,2.076149e-04,2.074453e-04,2.067415e-04,2.066855e-04,2.060433e-04,2.057656e-04,2.053508e-04,2.048559e-04,2.046643e-04,2.039840e-04,2.039569e-04,2.033099e-04,2.030689e-04,2.026424e-04,2.021924e-04,2.019816e-04,2.013276e-04,2.004749e-04,1.996345e-04,1.988066e-04,1.979913e-04,1.971889e-04,1.963993e-04,1.956228e-04,1.948593e-04,1.941088e-04,1.933715e-04,1.926472e-04,1.919359e-04,1.912377e-04,1.905523e-04,1.898799e-04,1.892202e-04,1.885732e-04,1.879388e-04,1.873168e-04,1.867072e-04,1.861098e-04,1.855245e-04,1.849512e-04,1.843896e-04
0.000000e+00,1.377992e-10,3.198546e-10,1.117203e-09,2.562317e-09,3.750223e-09,8.558732e-09,8.817920e-09,1.710175e-08,2.010730e-08,2.941722e-08,3.910287e-08,4.663893e-08,6.761280e-08,6.969372e-08,9.947734e-08,1.077091e-07,1.366547e-07,1.607978e-07,1.814151e-07,2.268026e-07,2.334004e-07,2.918925e-07,3.042991e-07,3.560687e-07,3.914238e-07,4.251465e-07,4.864411e-07,4.984196e-07,5.752462e-07,5.878278e-07,6.550289e-07,6.942072e-07,7.372007e-07,8.042926e-07,8.212185e-07,9.065623e-07,9.168689e-07,9.927372e-07,1.030796e-06,1.079277e-06,1.145024e-06,1.165749e-06,1.251757e-06,1.258606e-06,1.336940e-06,1.370710e-06,1.420981e-06,1.480625e-06,1.503600e-06,1.584555e-06,1.587756e-06,1.663642e-06,1.691622e-06,1.740690e-06,1.791846e-06,1.815560e-06,1.888144e-06,1.958357e-06,1.980314e-06,2.026139e-06,2.068224e-06,2.091449e-06,2.151799e-06,2.154264e-06,2.214577e-06,2.231016e-06,2.272392e-06,2.305889e-06,2.327727e-06,2.376466e-06,2.380607e-06,2.431065e-06,2.442819e-06,2.479142e-06,2.505041e-06,2.524882e-06,2.563239e-06,2.568334e-06,2.609551e-06,2.617531e-06,2.648588e-06,2.668045e-06,2.685502e-06,2.714912e-06,2.720351e-06,2.753195e-06,2.758268e-06,2.784093e-06,2.798251e-06,2.813105e-06,2.834997e-06,2.840292e-06,2.865711e-06,2.868646e-06,2.889424e-06,2.899332e-06,2.911488e-06,2.927189e-06,2.931960e-06,2.950898e-06,2.952349e-06,2.968357e-06,2.974939e-06,2.984392e-06,2.995085e-06,2.999056e-06,3.012401e-06,3.012908e-06,3.024479e-06,3.028527e-06,3.035340e-06,3.042055e-06,3.045032e-06,3.053603e-06,3.061098e-06,3.063277e-06,3.067563e-06,3.071180e-06,3.073042e-06,3.077412e-06,3.077576e-06,3.081207e-06,3.082067e-06,3.083975e-06,3.085237e-06,3.085918e-06,3.087009e-06,3.087074e-06,3.087479e-06,3.087468e-06,3.087169e-06,3.086695e-06,3.086177e-06,3.084766e-06,3.084536e-06,3.082278e-06,3.081755e-06,3.079434e-06,3.077734e-06,3.076034e-06,3.072769e-06,3.072106e-06,3.067678e-06,3.066924e-06,3.062776e-06,3.060262e-06,3.057426e-06,3.052841e-06,3.051654e-06,3.045482e-06,3.044716e-06,3.038934e-06,3.035940e-06,3.032033e-06,3.026564e-06,3.024799e-06,3.017253e-06,3.016636e-06,3.009414e-06,3.006201e-06,3.001303e-06,2.995303e-06,2.992936e-06,2.984331e-06,2.983983e-06,2.975506e-06,2.972278e-06,2.966477e-06,2.960227e-06,2.957258e-06,2.947864e-06,2.935223e-06,2.922333e-06,2.909225e-06,2.895927e-06,2.882464e-06,2.868861e-06,2.855142e-06,2.841329e-06,2.827441e-06,2.813499e-06,2.799519e-06,2.785520e-06,2.771518e-06,2.757526e-06,2.743558e-06,2.729629e-06,2.715749e-06,2.701930e-06,2.688182e-06,2.674515e-06,2.660937e-06,2.647458e-06,2.634083e-06,2.620821e-06
0.000000e+00,1.256969e-09,3.688971e-09,1.811831e-08,5.157308e-08,8.300418e-08,2.299309e-07,2.384722e-07,5.316720e-07,6.450806e-07,1.011390e-06,1.409161e-06,1.726668e-06,2.634613e-06,2.726164e-06,4.057463e-06,4.431431e-06,5.765459e-06,6.901304e-06,7.888812e-06,1.012234e-05,1.045393e-05,1.346764e-05,1.412311e-05,1.691228e-05,1.886084e-05,2.074647e-05,2.422574e-05,2.491170e-05,2.934076e-05,3.006928e-05,3.396494e-05,3.623440e-05,3.871867e-05,4.257437e-05,4.354192e-05,4.838120e-05,4.896069e-05,5.318959e-05,5.528484e-05,5.792656e-05,6.145741e-05,6.255755e-05,6.705357e-05,6.740667e-05,7.139079e-05,7.307678e-05,7.555010e-05,7.842618e-05,7.951671e-05,8.327975e-05,8.342593e-05,8.683186e-05,8.805807e-05,9.016875e-05,9.231401e-05,9.328886e-05,9.619291e-05,9.888360e-05,9.970023e-05,1.013653e-04,1.028463e-04,1.036435e-04,1.056454e-04,1.057249e-04,1.076171e-04,1.081140e-04,1.093279e-04,1.102708e-04,1.108658e-04,1.121354e-04,1.122394e-04,1.134575e-04,1.137277e-04,1.145288e-04,1.150678e-04,1.154619e-04,1.161754e-04,1.162652e-04,1.169470e-04,1.170695e-04,1.175153e-04,1.177685e-04,1.179778e-04,1.182898e-04,1.183417e-04,1.186142e-04,1.186497e-04,1.188019e-04,1.188637e-04,1.189111e-04,1.189461e-04,1.189480e-04,1.189182e-04,1.189104e-04,1.188270e-04,1.187688e-04,1.186796e-04,1.185328e-04,1.184806e-04,1.182345e-04,1.182129e-04,1.179456e-04,1.178189e-04,1.176177e-04,1.173595e-04,1.172544e-04,1.168593e-04,1.168429e-04,1.164355e-04,1.162765e-04,1.159860e-04,1.156670e-04,1.155135e-04,1.150207e-04,1.145099e-04,1.143430e-04,1.139834e-04,1.136392e-04,1.134432e-04,1.129136e-04,1.128914e-04,1.123295e-04,1.121706e-04,1.117593e-04,1.114139e-04,1.111824e-04,1.106468e-04,1.106000e-04,1.100136e-04,1.098724e-04,1.094243e-04,1.090934e-04,1.088332e-04,1.083123e-04,1.082413e-04,1.076495e-04,1.075312e-04,1.070587e-04,1.067522e-04,1.064697e-04,1.059769e-04,1.058832e-04,1.052998e-04,1.052068e-04,1.047201e-04,1.044434e-04,1.041447e-04,1.036877e-04,1.035740e-04,1.030084e-04,1.029409e-04,1.024484e-04,1.022038e-04,1.018942e-04,1.014772e-04,1.013463e-04,1.008049e-04,1.007619e-04,1.002702e-04,1.000582e-04,9.974238e-05,9.936678e-05,9.922173e-05,9.870835e-05,9.868796e-05,9.820238e-05,9.802207e-05,9.770394e-05,9.736934e-05,9.721311e-05,9.672997e-05,9.610409e-05,9.549179e-05,9.489310e-05,9.430803e-05,9.373655e-05,9.317858e-05,9.263404e-05,9.210281e-05,9.158477e-05,9.107975e-05,9.058758e-05,9.010809e-05,8.964107e-05,8.918632e-05,8.874363e-05,8.831277e-05,8.789351e-05,8.748563e-05,8.708889e-05,8.670305e-05,8.632787e-05,8.596312e-05,8.560855e-05,8.526394e-05
0.000000e+00,5.995805e-12,1.371504e-11,4.718440e-11,1.076899e-10,1.575916e-10,3.622609e-10,3.734286e-10,7.379596e-10,8.738117e-10,1.305985e-09,1.771892e-09,2.143919e-09,3.208147e-09,3.315067e-09,4.843691e-09,5.260755e-09,6.693827e-09,7.845644e-09,8.799372e-09,1.081623e-08,1.110129e-08,1.355732e-08,1.406423e-08,1.613741e-08,1.752016e-08,1.881811e-08,2.113265e-08,2.157898e-08,2.440075e-08,2.485663e-08,2.726468e-08,2.864892e-08,3.015238e-08,3.246765e-08,3.304602e-08,3.592855e-08,3.627294e-08,3.878406e-08,4.002810e-08,4.159794e-08,4.370057e-08,4.435716e-08,4.705028e-08,4.726257e-08,4.966756e-08,5.069136e-08,5.220089e-08,5.396919e-08,5.464376e-08,5.699112e-08,5.708297e-08,5.923927e-08,6.002381e-08,6.138575e-08,6.278651e-08,6.342914e-08,6.536895e-08,6.720552e-08,6.777156e-08,6.893983e-08,6.999681e-08,7.057341e-08,7.204874e-08,7.210827e-08,7.354677e-08,7.393263e-08,7.489154e-08,7.565460e-08,7.614545e-08,7.722138e-08,7.731150e-08,7.839283e-08,7.864010e-08,7.939262e-08,7.991808e-08,8.031407e-08,8.106272e-08,8.116043e-08,8.193489e-08,8.208143e-08,8.264062e-08,8.298148e-08,8.328074e-08,8.376998e-08,8.385831e-08,8.437628e-08,8.445382e-08,8.483757e-08,8.503968e-08,8.524498e-08,8.553396e-08,8.560124e-08,8.590898e-08,8.594277e-08,8.617073e-08,8.627197e-08,8.638894e-08,8.652712e-08,8.656598e-08,8.670409e-08,8.671352e-08,8.680545e-08,8.683618e-08,8.687215e-08,8.689983e-08,8.690618e-08,8.690945e-08,8.690896e-08,8.688379e-08,8.686780e-08,8.683094e-08,8.678034e-08,8.675259e-08,8.665033e-08,8.652568e-08,8.648131e-08,8.638010e-08,8.627658e-08,8.621496e-08,8.603927e-08,8.603160e-08,8.583126e-08,8.577229e-08,8.561515e-08,8.547839e-08,8.538441e-08,8.516013e-08,8.514011e-08,8.488328e-08,8.481989e-08,8.461492e-08,8.445994e-08,8.433593e-08,8.408235e-08,8.404722e-08,8.374960e-08,8.368908e-08,8.344388e-08,8.328195e-08,8.313080e-08,8.286266e-08,8.281108e-08,8.248540e-08,8.243278e-08,8.215438e-08,8.199378e-08,8.181863e-08,8.154702e-08,8.147873e-08,8.113521e-08,8.109377e-08,8.078857e-08,8.063519e-08,8.043930e-08,8.017238e-08,8.008786e-08,7.973465e-08,7.970633e-08,7.938010e-08,7.923798e-08,7.902456e-08,7.876817e-08,7.866840e-08,7.831196e-08,7.829770e-08,7.795553e-08,7.782728e-08,7.759942e-08,7.735759e-08,7.724390e-08,7.688923e-08,7.642276e-08,7.595868e-08,7.549747e-08,7.503954e-08,7.458528e-08,7.413503e-08,7.368910e-08,7.324778e-08,7.281130e-08,7.237990e-08,7.195377e-08,7.153308e-08,7.111798e-08,7.070860e-08,7.030504e-08,6.990740e-08,6.951576e-08,6.913017e-08,6.875068e-08,6.837732e-08,6.801012e-08,6.764909e-08,6.729422e-08,6.694551e-08
0.000000e+00,9.762927e-10,2.881797e-09,1.435047e-08,4.150178e-08,6.750494e-08,1.937434e-07,2.012886e-07,4.719002e-07,5.819786e-07,9.543815e-07,1.381206e-06,1.733160e-06,2.765716e-06,2.870656e-06,4.387887e-06,4.807865e-06,6.275401e-06,7.485709e-06,8.509885e-06,1.074106e-05,1.106335e-05,1.390644e-05,1.450717e-05,1.700905e-05,1.871473e-05,2.034021e-05,2.329154e-05,2.386780e-05,2.755872e-05,2.816217e-05,3.137921e-05,3.324911e-05,3.529543e-05,3.847499e-05,3.927419e-05,4.328362e-05,4.376537e-05,4.729380e-05,4.905136e-05,5.127730e-05,5.427167e-05,5.520952e-05,5.906890e-05,5.937393e-05,6.283703e-05,6.431518e-05,6.649853e-05,6.906171e-05,7.004100e-05,7.345479e-05,7.358855e-05,7.673272e-05,7.787851e-05,7.986986e-05,8.192110e-05,8.286322e-05,8.571148e-05,8.841474e-05,8.924934e-05,9.097428e-05,9.253795e-05,9.339232e-05,9.558330e-05,9.567187e-05,9.781651e-05,9.839338e-05,9.983029e-05,1.009776e-04,1.017176e-04,1.033462e-04,1.034830e-04,1.051313e-04,1.055100e-04,1.066672e-04,1.074801e-04,1.080957e-04,1.092676e-04,1.094214e-04,1.106491e-04,1.108833e-04,1.117835e-04,1.123380e-04,1.128290e-04,1.136418e-04,1.137901e-04,1.146709e-04,1.148047e-04,1.154756e-04,1.158360e-04,1.162081e-04,1.167447e-04,1.168723e-04,1.174716e-04,1.175393e-04,1.180096e-04,1.182278e-04,1.184896e-04,1.188176e-04,1.189148e-04,1.192882e-04,1.193159e-04,1.196127e-04,1.197294e-04,1.198910e-04,1.200643e-04,1.201258e-04,1.203195e-04,1.203264e-04,1.204745e-04,1.205212e-04,1.205930e-04,1.206539e-04,1.206773e-04,1.207292e-04,1.207508e-04,1.207516e-04,1.207439e-04,1.207253e-04,1.207102e-04,1.206542e-04,1.206514e-04,1.205689e-04,1.205418e-04,1.204644e-04,1.203917e-04,1.203392e-04,1.202069e-04,1.201947e-04,1.200321e-04,1.199905e-04,1.198526e-04,1.197451e-04,1.196573e-04,1.194733e-04,1.194473e-04,1.192237e-04,1.191774e-04,1.189874e-04,1.188598e-04,1.187393e-04,1.185224e-04,1.184802e-04,1.182111e-04,1.181672e-04,1.179327e-04,1.177959e-04,1.176456e-04,1.174103e-04,1.173507e-04,1.170485e-04,1.170118e-04,1.167397e-04,1.166019e-04,1.164249e-04,1.161820e-04,1.161046e-04,1.157794e-04,1.157531e-04,1.154497e-04,1.153166e-04,1.151160e-04,1.148735e-04,1.147787e-04,1.144384e-04,1.144247e-04,1.140953e-04,1.139712e-04,1.137498e-04,1.135138e-04,1.134024e-04,1.130533e-04,1.125904e-04,1.121258e-04,1.116602e-04,1.111941e-04,1.107280e-04,1.102625e-04,1.097979e-04,1.093347e-04,1.088733e-04,1.084141e-04,1.079573e-04,1.075032e-04,1.070521e-04,1.066043e-04,1.061600e-04,1.057194e-04,1.052827e-04,1.048500e-04,1.044215e-04,1.039973e-04,1.035776e-04,1.031624e-04,1.027519e-04,1.023461e-04
0.000000e+00,5.020587e-10,1.469447e-09,7.172154e-09,2.028364e-08,3.251893e-08,8.907764e-08,9.234110e-08,2.032154e-07,2.456116e-07,3.811112e-07,5.261970e-07,6.407313e-07,9.631271e-07,9.952658e-07,1.456255e-06,1.583843e-06,2.033202e-06,2.409519e-06,2.732567e-06,3.450904e-06,3.556235e-06,4.500311e-06,4.702822e-06,5.555260e-06,6.143197e-06,6.707318e-06,7.738311e-06,7.940335e-06,9.237273e-06,9.449577e-06,1.058121e-05,1.123819e-05,1.195590e-05,1.306748e-05,1.334605e-05,1.473748e-05,1.490390e-05,1.611720e-05,1.671750e-05,1.747348e-05,1.848211e-05,1.879589e-05,2.007537e-05,2.017563e-05,2.130422e-05,2.178012e-05,2.247613e-05,2.328183e-05,2.358617e-05,2.463069e-05,2.467107e-05,2.560732e-05,2.594201e-05,2.651479e-05,2.709222e-05,2.735289e-05,2.812229e-05,2.882443e-05,2.903524e-05,2.946140e-05,2.983603e-05,3.003578e-05,3.053103e-05,3.055052e-05,3.100885e-05,3.112754e-05,3.141418e-05,3.163340e-05,3.177001e-05,3.205668e-05,3.207985e-05,3.234717e-05,3.240538e-05,3.257535e-05,3.268725e-05,3.276763e-05,3.290961e-05,3.292711e-05,3.305673e-05,3.307931e-05,3.315920e-05,3.320262e-05,3.323709e-05,3.328525e-05,3.329275e-05,3.332836e-05,3.333233e-05,3.334590e-05,3.334845e-05,3.334720e-05,3.333766e-05,3.333391e-05,3.330753e-05,3.330355e-05,3.326942e-05,3.324925e-05,3.322079e-05,3.317749e-05,3.316276e-05,3.309631e-05,3.309066e-05,3.302236e-05,3.299086e-05,3.294170e-05,3.287989e-05,3.285507e-05,3.276311e-05,3.275933e-05,3.266641e-05,3.263054e-05,3.256550e-05,3.249473e-05,3.246086e-05,3.235293e-05,3.224209e-05,3.220607e-05,3.212871e-05,3.205495e-05,3.201309e-05,3.190028e-05,3.189554e-05,3.177632e-05,3.174267e-05,3.165566e-05,3.158268e-05,3.153380e-05,3.142079e-05,3.141093e-05,3.128723e-05,3.125744e-05,3.116287e-05,3.109301e-05,3.103802e-05,3.092784e-05,3.091280e-05,3.078736e-05,3.076225e-05,3.066180e-05,3.059651e-05,3.053625e-05,3.043085e-05,3.041079e-05,3.028554e-05,3.026552e-05,3.016056e-05,3.010070e-05,3.003595e-05,2.993657e-05,2.991177e-05,2.978809e-05,2.977329e-05,2.966498e-05,2.961101e-05,2.954250e-05,2.944986e-05,2.942069e-05,2.929960e-05,2.928994e-05,2.917928e-05,2.913138e-05,2.905977e-05,2.897425e-05,2.894112e-05,2.882334e-05,2.881865e-05,2.870648e-05,2.866464e-05,2.859056e-05,2.851228e-05,2.847561e-05,2.836165e-05,2.821278e-05,2.806572e-05,2.792051e-05,2.777718e-05,2.763576e-05,2.749627e-05,2.735873e-05,2.722315e-05,2.708954e-05,2.695791e-05,2.682827e-05,2.670062e-05,2.657495e-05,2.645126e-05,2.632955e-05,2.620981e-05,2.609203e-05,2.597620e-05,2.586231e-05,2.575034e-05,2.564027e-05,2.553210e-05,2.542580e-05,2.532136e-05
0.000000e+00,2.706710e-09,8.009962e-09,4.001965e-08,1.156986e-07,1.878097e-07,5.319868e-07,5.522551e-07,1.259561e-06,1.537923e-06,2.450651e-06,3.460858e-06,4.278927e-06,6.664645e-06,6.908492e-06,1.050875e-05,1.153555e-05,1.523971e-05,1.843154e-05,2.122532e-05,2.757889e-05,2.852415e-05,3.711655e-05,3.898352e-05,4.691521e-05,5.244450e-05,5.778801e-05,6.763795e-05,6.957965e-05,8.212684e-05,8.419359e-05,9.526732e-05,1.017393e-04,1.088450e-04,1.199226e-04,1.227125e-04,1.367332e-04,1.384199e-04,1.507817e-04,1.569421e-04,1.647444e-04,1.752362e-04,1.785205e-04,1.920214e-04,1.930872e-04,2.051710e-04,2.103177e-04,2.179052e-04,2.267867e-04,2.301715e-04,2.419281e-04,2.423872e-04,2.531432e-04,2.570435e-04,2.637942e-04,2.707069e-04,2.738665e-04,2.833525e-04,2.922509e-04,2.949749e-04,3.005659e-04,3.055849e-04,3.083057e-04,3.152058e-04,3.154823e-04,3.221106e-04,3.238706e-04,3.282079e-04,3.316192e-04,3.337930e-04,3.384964e-04,3.388862e-04,3.435085e-04,3.445501e-04,3.476813e-04,3.498299e-04,3.514265e-04,3.543857e-04,3.547657e-04,3.577205e-04,3.582672e-04,3.603120e-04,3.615229e-04,3.625608e-04,3.641997e-04,3.644871e-04,3.661101e-04,3.663430e-04,3.674488e-04,3.679956e-04,3.685209e-04,3.691985e-04,3.693439e-04,3.699342e-04,3.699901e-04,3.703074e-04,3.704067e-04,3.704786e-04,3.704823e-04,3.704619e-04,3.702709e-04,3.702485e-04,3.699184e-04,3.697349e-04,3.694164e-04,3.689689e-04,3.687765e-04,3.680093e-04,3.679761e-04,3.671252e-04,3.667801e-04,3.661337e-04,3.654028e-04,3.650439e-04,3.638643e-04,3.626030e-04,3.621833e-04,3.612674e-04,3.603770e-04,3.598647e-04,3.584611e-04,3.584014e-04,3.568839e-04,3.564501e-04,3.553179e-04,3.543573e-04,3.537089e-04,3.521950e-04,3.520619e-04,3.503819e-04,3.499743e-04,3.486732e-04,3.477054e-04,3.469400e-04,3.453976e-04,3.451862e-04,3.434154e-04,3.430595e-04,3.416309e-04,3.406986e-04,3.398359e-04,3.383222e-04,3.380334e-04,3.362259e-04,3.359364e-04,3.344160e-04,3.335471e-04,3.326061e-04,3.311595e-04,3.307982e-04,3.289943e-04,3.287782e-04,3.271963e-04,3.264075e-04,3.254059e-04,3.240511e-04,3.236245e-04,3.218536e-04,3.217124e-04,3.200945e-04,3.193945e-04,3.183484e-04,3.170999e-04,3.166164e-04,3.148993e-04,3.148310e-04,3.131982e-04,3.125899e-04,3.115138e-04,3.103784e-04,3.098469e-04,3.081980e-04,3.060500e-04,3.039357e-04,3.018560e-04,2.998117e-04,2.978033e-04,2.958314e-04,2.938964e-04,2.919985e-04,2.901379e-04,2.883147e-04,2.865287e-04,2.847800e-04,2.830683e-04,2.813934e-04,2.797550e-04,2.781529e-04,2.765866e-04,2.750557e-04,2.735598e-04,2.720984e-04,2.706711e-04,2.692772e-04,2.679163e-04,2.665878e-04
0.000000e+00,7.762012e-10,1.928680e-09,7.297232e-09,1.756724e-08,2.636142e-08,6.466925e-08,6.684949e-08,1.421126e-07,1.718220e-07,2.700456e-07,3.785201e-07,4.644655e-07,6.981817e-07,7.204865e-07,1.018190e-06,1.093629e-06,1.339020e-06,1.524189e-06,1.671263e-06,1.967533e-06,2.008020e-06,2.344823e-06,2.411882e-06,2.678316e-06,2.849474e-06,3.005680e-06,3.274099e-06,3.324425e-06,3.632347e-06,3.680479e-06,3.927572e-06,4.064312e-06,4.208585e-06,4.422375e-06,4.474232e-06,4.723729e-06,4.752559e-06,4.956626e-06,5.053794e-06,5.172776e-06,5.325910e-06,5.372290e-06,5.555489e-06,5.569454e-06,5.722861e-06,5.785511e-06,5.875014e-06,5.975531e-06,6.012647e-06,6.136513e-06,6.141192e-06,6.247395e-06,6.284287e-06,6.346087e-06,6.406637e-06,6.433377e-06,6.510036e-06,6.576810e-06,6.596207e-06,6.634411e-06,6.666778e-06,6.683520e-06,6.723271e-06,6.724778e-06,6.758788e-06,6.767090e-06,6.786117e-06,6.799528e-06,6.807293e-06,6.821764e-06,6.822808e-06,6.833122e-06,6.834871e-06,6.838660e-06,6.839824e-06,6.839818e-06,6.837506e-06,6.836963e-06,6.830432e-06,6.828713e-06,6.820540e-06,6.814165e-06,6.807577e-06,6.794512e-06,6.791812e-06,6.773492e-06,6.770339e-06,6.752847e-06,6.742175e-06,6.730089e-06,6.710493e-06,6.705413e-06,6.678999e-06,6.675721e-06,6.651015e-06,6.638245e-06,6.621615e-06,6.598411e-06,6.590940e-06,6.559123e-06,6.556532e-06,6.526284e-06,6.512888e-06,6.492535e-06,6.467731e-06,6.457980e-06,6.422715e-06,6.421291e-06,6.386826e-06,6.373770e-06,6.350397e-06,6.325354e-06,6.313501e-06,6.276208e-06,6.238581e-06,6.226480e-06,6.200681e-06,6.176306e-06,6.162561e-06,6.125805e-06,6.124271e-06,6.085858e-06,6.075086e-06,6.047364e-06,6.024246e-06,6.008829e-06,5.973371e-06,5.970288e-06,5.931775e-06,5.922540e-06,5.893321e-06,5.871823e-06,5.854954e-06,5.821283e-06,5.816699e-06,5.778580e-06,5.770975e-06,5.740620e-06,5.720949e-06,5.702837e-06,5.671251e-06,5.665251e-06,5.627877e-06,5.621918e-06,5.590731e-06,5.572987e-06,5.553828e-06,5.524487e-06,5.517178e-06,5.480795e-06,5.476447e-06,5.444687e-06,5.428890e-06,5.408865e-06,5.381837e-06,5.373337e-06,5.338110e-06,5.335305e-06,5.303191e-06,5.289311e-06,5.268585e-06,5.243867e-06,5.234299e-06,5.200336e-06,5.198985e-06,5.166701e-06,5.154673e-06,5.133396e-06,5.110940e-06,5.100426e-06,5.067791e-06,5.025231e-06,4.983263e-06,4.941889e-06,4.901111e-06,4.860928e-06,4.821339e-06,4.782344e-06,4.743939e-06,4.706123e-06,4.668890e-06,4.632239e-06,4.596163e-06,4.560659e-06,4.525720e-06,4.491342e-06,4.457519e-06,4.424244e-06,4.391511e-06,4.359314e-06,4.327645e-06,4.296499e-06,4.265868e-06,4.235744e-06,4.206122e-06
0.000000e+00,1.049689e-11,2.399436e-11,8.224489e-11,1.864966e-10,2.715194e-10,6.119949e-10,6.302175e-10,1.207398e-09,1.414664e-09,2.050679e-09,2.703914e-09,3.206920e-09,4.585841e-09,4.721127e-09,6.631656e-09,7.152082e-09,8.960010e-09,1.044504e-08,1.169891e-08,1.441891e-08,1.481011e-08,1.823681e-08,1.895466e-08,2.191894e-08,2.391595e-08,2.580108e-08,2.918038e-08,2.983387e-08,3.397301e-08,3.464241e-08,3.817825e-08,4.020931e-08,4.241280e-08,4.579898e-08,4.664325e-08,5.083955e-08,5.133951e-08,5.497518e-08,5.676959e-08,5.902716e-08,6.203864e-08,6.297606e-08,6.680585e-08,6.710668e-08,7.050375e-08,7.194369e-08,7.405994e-08,7.652854e-08,7.746728e-08,8.072101e-08,8.084792e-08,8.381844e-08,8.489503e-08,8.675866e-08,8.866846e-08,8.954225e-08,9.217094e-08,9.464744e-08,9.540834e-08,9.697528e-08,9.838899e-08,9.915863e-08,1.011230e-07,1.012021e-07,1.031106e-07,1.036215e-07,1.048893e-07,1.058964e-07,1.065435e-07,1.079601e-07,1.080787e-07,1.095001e-07,1.098249e-07,1.108131e-07,1.115030e-07,1.120230e-07,1.130066e-07,1.131350e-07,1.141541e-07,1.143472e-07,1.150852e-07,1.155362e-07,1.159330e-07,1.165842e-07,1.167021e-07,1.173968e-07,1.175014e-07,1.180214e-07,1.182974e-07,1.185798e-07,1.189815e-07,1.190759e-07,1.195134e-07,1.195622e-07,1.198959e-07,1.200476e-07,1.202266e-07,1.204453e-07,1.205088e-07,1.207454e-07,1.207625e-07,1.209394e-07,1.210057e-07,1.210936e-07,1.211813e-07,1.212104e-07,1.212924e-07,1.212950e-07,1.213420e-07,1.213523e-07,1.213613e-07,1.213582e-07,1.213524e-07,1.213174e-07,1.212580e-07,1.212342e-07,1.211762e-07,1.211127e-07,1.210735e-07,1.209568e-07,1.209515e-07,1.208119e-07,1.207698e-07,1.206558e-07,1.205549e-07,1.204848e-07,1.203153e-07,1.203001e-07,1.201027e-07,1.200536e-07,1.198940e-07,1.197725e-07,1.196748e-07,1.194742e-07,1.194463e-07,1.192093e-07,1.191609e-07,1.189647e-07,1.188347e-07,1.187133e-07,1.184974e-07,1.184559e-07,1.181932e-07,1.181507e-07,1.179260e-07,1.177962e-07,1.176547e-07,1.174353e-07,1.173801e-07,1.171027e-07,1.170692e-07,1.168230e-07,1.166993e-07,1.165415e-07,1.163266e-07,1.162586e-07,1.159748e-07,1.159521e-07,1.156905e-07,1.155767e-07,1.154060e-07,1.152012e-07,1.151216e-07,1.148378e-07,1.148265e-07,1.145548e-07,1.144531e-07,1.142728e-07,1.140817e-07,1.139921e-07,1.137129e-07,1.133472e-07,1.129849e-07,1.126266e-07,1.122725e-07,1.119229e-07,1.115782e-07,1.112386e-07,1.109043e-07,1.105754e-07,1.102521e-07,1.099346e-07,1.096230e-07,1.093172e-07,1.090174e-07,1.087237e-07,1.084360e-07,1.081544e-07,1.078789e-07,1.076095e-07,1.073460e-07,1.070886e-07,1.068372e-07,1.065917e-07,1.063520e-07
0.000000e+00,3.461642e-10,9.677084e-10,4.338319e-09,1.147826e-08,1.781140e-08,4.536890e-08,4.690750e-08,9.750262e-08,1.162861e-07,1.751583e-07,2.369573e-07,2.851821e-07,4.193854e-07,4.326813e-07,6.225465e-07,6.749313e-07,8.592820e-07,1.013756e-06,1.146582e-06,1.443007e-06,1.486616e-06,1.879291e-06,1.963954e-06,2.322005e-06,2.570528e-06,2.810193e-06,3.251348e-06,3.338286e-06,3.900518e-06,3.993268e-06,4.491351e-06,4.783574e-06,5.105603e-06,5.610612e-06,5.738448e-06,6.385378e-06,6.463752e-06,7.042175e-06,7.333269e-06,7.704909e-06,8.210304e-06,8.369936e-06,9.033914e-06,9.086894e-06,9.693812e-06,9.956010e-06,1.034692e-05,1.081159e-05,1.099083e-05,1.162348e-05,1.164852e-05,1.224307e-05,1.246263e-05,1.284811e-05,1.325059e-05,1.343737e-05,1.400987e-05,1.456484e-05,1.473864e-05,1.510173e-05,1.543566e-05,1.562014e-05,1.610021e-05,1.611983e-05,1.660072e-05,1.673199e-05,1.706280e-05,1.733106e-05,1.750618e-05,1.789774e-05,1.793105e-05,1.833768e-05,1.843259e-05,1.872638e-05,1.893635e-05,1.909751e-05,1.940988e-05,1.945146e-05,1.978867e-05,1.985414e-05,2.010957e-05,2.027015e-05,2.041463e-05,2.065899e-05,2.070433e-05,2.097914e-05,2.102176e-05,2.123955e-05,2.135956e-05,2.148603e-05,2.167351e-05,2.171907e-05,2.193914e-05,2.196470e-05,2.214672e-05,2.223421e-05,2.234226e-05,2.248310e-05,2.252622e-05,2.269903e-05,2.271239e-05,2.286113e-05,2.292306e-05,2.301293e-05,2.311609e-05,2.315486e-05,2.328730e-05,2.329241e-05,2.341065e-05,2.345290e-05,2.352528e-05,2.359844e-05,2.363156e-05,2.372983e-05,2.382044e-05,2.384787e-05,2.390372e-05,2.395332e-05,2.397999e-05,2.404690e-05,2.404956e-05,2.411272e-05,2.412930e-05,2.416977e-05,2.420117e-05,2.422097e-05,2.426315e-05,2.426660e-05,2.430692e-05,2.431583e-05,2.434217e-05,2.435978e-05,2.437259e-05,2.439555e-05,2.439841e-05,2.441985e-05,2.442364e-05,2.443713e-05,2.444454e-05,2.445045e-05,2.445873e-05,2.446001e-05,2.446599e-05,2.446663e-05,2.446859e-05,2.446868e-05,2.446796e-05,2.446525e-05,2.446428e-05,2.445772e-05,2.445674e-05,2.444842e-05,2.444350e-05,2.443653e-05,2.442586e-05,2.442221e-05,2.440557e-05,2.440414e-05,2.438676e-05,2.437865e-05,2.436589e-05,2.434967e-05,2.434310e-05,2.431848e-05,2.431746e-05,2.429217e-05,2.428230e-05,2.426425e-05,2.424440e-05,2.423483e-05,2.420401e-05,2.416134e-05,2.411659e-05,2.406995e-05,2.402159e-05,2.397170e-05,2.392042e-05,2.386791e-05,2.381431e-05,2.375976e-05,2.370436e-05,2.364825e-05,2.359153e-05,2.353431e-05,2.347667e-05,2.341872e-05,2.336052e-05,2.330217e-05,2.324374e-05,2.318529e-05,2.312688e-05,2.306859e-05,2.301045e-05,2.295253e-05,2.289486e-05
0.000000e+00,8.659453e-08,2.554161e-07,1.270242e-06,3.671115e-06,5.970850e-06,1.715446e-05,1.782402e-05,4.191889e-05,5.176366e-05,8.525330e-05,1.239817e-04,1.561673e-04,2.515035e-04,2.612410e-04,4.022589e-04,4.412417e-04,5.768299e-04,6.876651e-04,7.806409e-04,9.804324e-04,1.008975e-03,1.257333e-03,1.309037e-03,1.521579e-03,1.663992e-03,1.797908e-03,2.036763e-03,2.082776e-03,2.372840e-03,2.419519e-03,2.664944e-03,2.805000e-03,2.956122e-03,3.186544e-03,3.243627e-03,3.524964e-03,3.558201e-03,3.797918e-03,3.914860e-03,4.060585e-03,4.252348e-03,4.311386e-03,4.549064e-03,4.567481e-03,4.772685e-03,4.858045e-03,4.981611e-03,5.122725e-03,5.175480e-03,5.354174e-03,5.361007e-03,5.517786e-03,5.573042e-03,5.666587e-03,5.759518e-03,5.800991e-03,5.921527e-03,6.028807e-03,6.060447e-03,6.123507e-03,6.177840e-03,6.206338e-03,6.275369e-03,6.278032e-03,6.339327e-03,6.354727e-03,6.390954e-03,6.417586e-03,6.433625e-03,6.465565e-03,6.468029e-03,6.494827e-03,6.500197e-03,6.514646e-03,6.522918e-03,6.528078e-03,6.535057e-03,6.535679e-03,6.537968e-03,6.537831e-03,6.535429e-03,6.532352e-03,6.528513e-03,6.519624e-03,6.517634e-03,6.503176e-03,6.500554e-03,6.485493e-03,6.475956e-03,6.464909e-03,6.446555e-03,6.441723e-03,6.416209e-03,6.413003e-03,6.388617e-03,6.375878e-03,6.359176e-03,6.335695e-03,6.328097e-03,6.295570e-03,6.292911e-03,6.261772e-03,6.247933e-03,6.226862e-03,6.201120e-03,6.190985e-03,6.154276e-03,6.152792e-03,6.116856e-03,6.103232e-03,6.078834e-03,6.052689e-03,6.040313e-03,6.001385e-03,5.962132e-03,5.949515e-03,5.922632e-03,5.897254e-03,5.882953e-03,5.844754e-03,5.843160e-03,5.803310e-03,5.792149e-03,5.763455e-03,5.739560e-03,5.723643e-03,5.687090e-03,5.683916e-03,5.644314e-03,5.634832e-03,5.604872e-03,5.582866e-03,5.565622e-03,5.531264e-03,5.526593e-03,5.487812e-03,5.480087e-03,5.449301e-03,5.429389e-03,5.411081e-03,5.379217e-03,5.373173e-03,5.335592e-03,5.329611e-03,5.298354e-03,5.280605e-03,5.261472e-03,5.232231e-03,5.224958e-03,5.188822e-03,5.184511e-03,5.153073e-03,5.137468e-03,5.117719e-03,5.091118e-03,5.082767e-03,5.048222e-03,5.045476e-03,5.014089e-03,5.000552e-03,4.980372e-03,4.956355e-03,4.947074e-03,4.914198e-03,4.912891e-03,4.881744e-03,4.870164e-03,4.849714e-03,4.828176e-03,4.818109e-03,4.786927e-03,4.746416e-03,4.706641e-03,4.667598e-03,4.629281e-03,4.591686e-03,4.554806e-03,4.518634e-03,4.483161e-03,4.448380e-03,4.414281e-03,4.380855e-03,4.348092e-03,4.315983e-03,4.284517e-03,4.253683e-03,4.223471e-03,4.193871e-03,4.164871e-03,4.136460e-03,4.108628e-03,4.081364e-03,4.054656e-03,4.028494e-03,4.002867e-03
0.000000e+00,3.931374e-10,1.121409e-09,5.208789e-09,1.414105e-08,2.220478e-08,5.794141e-08,5.995463e-08,1.266277e-07,1.515098e-07,2.296495e-07,3.117086e-07,3.756735e-07,5.530942e-07,5.706164e-07,8.196134e-07,8.878990e-07,1.126749e-06,1.325129e-06,1.494414e-06,1.867870e-06,1.922304e-06,2.406608e-06,2.509657e-06,2.940189e-06,3.234110e-06,3.513852e-06,4.019567e-06,4.117853e-06,4.742904e-06,4.844290e-06,5.380595e-06,5.688953e-06,6.023474e-06,6.537074e-06,6.664977e-06,7.299356e-06,7.374758e-06,7.921626e-06,8.190466e-06,8.527529e-06,8.974852e-06,9.113503e-06,9.676660e-06,9.720655e-06,1.021475e-05,1.042257e-05,1.072610e-05,1.107707e-05,1.120959e-05,1.166458e-05,1.168219e-05,1.209085e-05,1.223729e-05,1.248853e-05,1.274283e-05,1.285806e-05,1.320010e-05,1.351554e-05,1.361102e-05,1.380536e-05,1.397791e-05,1.407067e-05,1.430342e-05,1.431266e-05,1.453255e-05,1.459032e-05,1.473156e-05,1.484146e-05,1.491092e-05,1.505965e-05,1.507187e-05,1.521558e-05,1.524763e-05,1.534320e-05,1.540805e-05,1.545583e-05,1.554339e-05,1.555453e-05,1.564031e-05,1.565600e-05,1.571411e-05,1.574805e-05,1.577683e-05,1.582157e-05,1.582931e-05,1.587234e-05,1.587839e-05,1.590665e-05,1.592022e-05,1.593293e-05,1.594861e-05,1.595183e-05,1.596394e-05,1.596497e-05,1.596982e-05,1.597057e-05,1.596999e-05,1.596659e-05,1.596491e-05,1.595505e-05,1.595406e-05,1.594080e-05,1.593396e-05,1.592255e-05,1.590714e-05,1.590066e-05,1.587546e-05,1.587438e-05,1.584724e-05,1.583640e-05,1.581629e-05,1.579382e-05,1.578288e-05,1.574723e-05,1.570958e-05,1.569715e-05,1.567013e-05,1.564403e-05,1.562908e-05,1.558831e-05,1.558659e-05,1.554283e-05,1.553037e-05,1.549796e-05,1.547055e-05,1.545210e-05,1.540917e-05,1.540540e-05,1.535797e-05,1.534649e-05,1.530992e-05,1.528277e-05,1.526134e-05,1.521825e-05,1.521235e-05,1.516301e-05,1.515311e-05,1.511342e-05,1.508756e-05,1.506365e-05,1.502174e-05,1.501375e-05,1.496381e-05,1.495581e-05,1.491386e-05,1.488991e-05,1.486398e-05,1.482414e-05,1.481420e-05,1.476457e-05,1.475862e-05,1.471513e-05,1.469345e-05,1.466592e-05,1.462870e-05,1.461698e-05,1.456833e-05,1.456445e-05,1.452000e-05,1.450077e-05,1.447203e-05,1.443772e-05,1.442443e-05,1.437723e-05,1.437535e-05,1.433044e-05,1.431370e-05,1.428409e-05,1.425282e-05,1.423818e-05,1.419274e-05,1.413349e-05,1.407510e-05,1.401759e-05,1.396097e-05,1.390526e-05,1.385048e-05,1.379662e-05,1.374371e-05,1.369174e-05,1.364071e-05,1.359064e-05,1.354150e-05,1.349331e-05,1.344607e-05,1.339975e-05,1.335436e-05,1.330990e-05,1.326635e-05,1.322370e-05,1.318195e-05,1.314108e-05,1.310109e-05,1.306197e-05,1.302369e-05
0.000000e+00,6.149821e-10,1.811287e-09,8.957541e-09,2.564107e-08,4.138317e-08,1.153341e-07,1.196434e-07,2.678238e-07,3.251847e-07,5.103424e-07,7.109584e-07,8.706452e-07,1.324741e-06,1.370309e-06,2.028313e-06,2.211614e-06,2.860284e-06,3.406607e-06,3.877543e-06,4.930723e-06,5.085833e-06,6.483773e-06,6.785410e-06,8.061506e-06,8.947120e-06,9.800410e-06,1.136680e-05,1.167452e-05,1.365328e-05,1.397745e-05,1.570462e-05,1.670580e-05,1.779732e-05,1.948179e-05,1.990256e-05,2.199480e-05,2.224391e-05,2.405199e-05,2.494119e-05,2.605572e-05,2.753341e-05,2.799093e-05,2.984581e-05,2.999045e-05,3.161142e-05,3.229116e-05,3.328141e-05,3.442222e-05,3.485170e-05,3.632018e-05,3.637679e-05,3.768638e-05,3.815332e-05,3.895121e-05,3.975439e-05,4.011670e-05,4.118572e-05,4.216184e-05,4.245523e-05,4.304911e-05,4.357235e-05,4.385191e-05,4.454739e-05,4.457483e-05,4.522255e-05,4.539108e-05,4.579977e-05,4.611419e-05,4.631112e-05,4.672728e-05,4.676113e-05,4.715417e-05,4.724050e-05,4.749445e-05,4.766345e-05,4.778595e-05,4.800514e-05,4.803247e-05,4.823757e-05,4.827392e-05,4.840462e-05,4.847750e-05,4.853675e-05,4.862290e-05,4.863689e-05,4.870777e-05,4.871656e-05,4.875191e-05,4.876431e-05,4.877168e-05,4.877141e-05,4.876924e-05,4.874661e-05,4.874263e-05,4.870564e-05,4.868225e-05,4.864804e-05,4.859413e-05,4.857540e-05,4.848917e-05,4.848173e-05,4.839070e-05,4.834816e-05,4.828120e-05,4.819619e-05,4.816183e-05,4.803362e-05,4.802832e-05,4.789753e-05,4.784678e-05,4.775444e-05,4.765356e-05,4.760517e-05,4.745045e-05,4.729097e-05,4.723903e-05,4.712735e-05,4.702074e-05,4.696018e-05,4.679683e-05,4.678997e-05,4.661722e-05,4.656845e-05,4.644236e-05,4.633661e-05,4.626581e-05,4.610220e-05,4.608793e-05,4.590907e-05,4.586603e-05,4.572954e-05,4.562882e-05,4.554962e-05,4.539119e-05,4.536959e-05,4.518966e-05,4.515371e-05,4.501007e-05,4.491688e-05,4.483101e-05,4.468114e-05,4.465266e-05,4.447519e-05,4.444688e-05,4.429874e-05,4.421444e-05,4.412344e-05,4.398413e-05,4.394943e-05,4.377682e-05,4.375620e-05,4.360569e-05,4.353089e-05,4.343614e-05,4.330840e-05,4.326826e-05,4.310211e-05,4.308889e-05,4.293775e-05,4.287252e-05,4.277524e-05,4.265941e-05,4.261464e-05,4.245598e-05,4.244967e-05,4.229930e-05,4.224338e-05,4.214463e-05,4.204062e-05,4.199200e-05,4.184144e-05,4.164588e-05,4.145399e-05,4.126576e-05,4.108123e-05,4.090039e-05,4.072324e-05,4.054976e-05,4.037995e-05,4.021377e-05,4.005120e-05,3.989220e-05,3.973675e-05,3.958480e-05,3.943632e-05,3.929124e-05,3.914954e-05,3.901115e-05,3.887604e-05,3.874414e-05,3.861541e-05,3.848979e-05,3.836722e-05,3.824766e-05,3.813105e-05
0.000000e+00,1.129537e-09,3.183996e-09,1.443095e-08,3.833422e-08,5.950700e-08,1.511306e-07,1.562254e-07,3.230590e-07,3.848113e-07,5.783709e-07,7.821795e-07,9.419115e-07,1.389467e-06,1.433980e-06,2.069015e-06,2.242895e-06,2.844416e-06,3.331479e-06,3.735534e-06,4.585469e-06,4.704575e-06,5.714313e-06,5.918426e-06,6.735816e-06,7.264802e-06,7.749413e-06,8.585353e-06,8.742490e-06,9.706822e-06,9.858039e-06,1.063660e-05,1.106923e-05,1.152720e-05,1.220877e-05,1.237462e-05,1.317532e-05,1.326812e-05,1.392620e-05,1.424013e-05,1.462475e-05,1.511946e-05,1.526908e-05,1.585803e-05,1.590274e-05,1.639125e-05,1.658900e-05,1.686916e-05,1.717962e-05,1.729290e-05,1.766426e-05,1.767805e-05,1.798550e-05,1.808938e-05,1.825931e-05,1.841991e-05,1.848866e-05,1.867673e-05,1.882676e-05,1.886727e-05,1.894200e-05,1.899899e-05,1.902567e-05,1.907916e-05,1.908085e-05,1.911050e-05,1.911460e-05,1.911737e-05,1.911164e-05,1.910405e-05,1.907600e-05,1.907290e-05,1.902610e-05,1.901276e-05,1.896561e-05,1.892643e-05,1.889321e-05,1.882092e-05,1.881050e-05,1.871889e-05,1.869961e-05,1.861965e-05,1.856541e-05,1.851391e-05,1.842079e-05,1.840266e-05,1.828678e-05,1.826786e-05,1.816703e-05,1.810839e-05,1.804411e-05,1.794388e-05,1.791860e-05,1.779103e-05,1.777561e-05,1.766187e-05,1.760464e-05,1.753151e-05,1.743186e-05,1.740031e-05,1.726859e-05,1.725804e-05,1.713661e-05,1.708380e-05,1.700462e-05,1.690970e-05,1.687283e-05,1.674141e-05,1.673617e-05,1.661055e-05,1.656360e-05,1.648037e-05,1.639231e-05,1.635100e-05,1.622256e-05,1.609515e-05,1.605460e-05,1.596883e-05,1.588860e-05,1.584370e-05,1.572474e-05,1.571980e-05,1.559721e-05,1.556313e-05,1.547597e-05,1.540388e-05,1.535611e-05,1.524710e-05,1.523768e-05,1.512070e-05,1.509284e-05,1.500520e-05,1.494117e-05,1.489120e-05,1.479213e-05,1.477871e-05,1.466776e-05,1.464575e-05,1.455834e-05,1.450205e-05,1.445046e-05,1.436104e-05,1.434413e-05,1.423935e-05,1.422273e-05,1.413612e-05,1.408711e-05,1.403443e-05,1.395418e-05,1.393428e-05,1.383566e-05,1.382393e-05,1.373857e-05,1.369633e-05,1.364299e-05,1.357136e-05,1.354892e-05,1.345635e-05,1.344901e-05,1.336525e-05,1.332923e-05,1.327562e-05,1.321199e-05,1.318745e-05,1.310071e-05,1.309727e-05,1.301540e-05,1.298503e-05,1.293149e-05,1.287523e-05,1.284897e-05,1.276783e-05,1.266279e-05,1.256008e-05,1.245964e-05,1.236145e-05,1.226545e-05,1.217160e-05,1.207986e-05,1.199019e-05,1.190255e-05,1.181689e-05,1.173317e-05,1.165134e-05,1.157137e-05,1.149322e-05,1.141684e-05,1.134220e-05,1.126925e-05,1.119796e-05,1.112828e-05,1.106018e-05,1.099362e-05,1.092857e-05,1.086499e-05,1.080284e-05
0.000000e+00,6.838523e-12,1.560920e-11,5.337280e-11,1.208352e-10,1.758248e-10,3.962419e-10,4.080563e-10,7.835578e-10,9.190746e-10,1.337273e-09,1.770452e-09,2.106405e-09,3.036698e-09,3.128604e-09,4.434981e-09,4.792694e-09,6.037133e-09,7.057738e-09,7.916142e-09,9.763077e-09,1.002677e-08,1.231433e-08,1.278849e-08,1.472847e-08,1.601968e-08,1.722753e-08,1.936744e-08,1.977769e-08,2.235091e-08,2.276313e-08,2.492343e-08,2.615185e-08,2.747474e-08,2.948855e-08,2.998717e-08,3.244560e-08,3.273636e-08,3.483733e-08,3.586579e-08,3.715192e-08,3.885426e-08,3.938110e-08,4.151856e-08,4.168545e-08,4.355979e-08,4.434863e-08,4.550184e-08,4.683779e-08,4.734316e-08,4.908335e-08,4.915086e-08,5.072298e-08,5.128889e-08,5.226347e-08,5.325537e-08,5.370683e-08,5.505559e-08,5.631267e-08,5.669608e-08,5.748124e-08,5.818424e-08,5.856469e-08,5.952796e-08,5.956651e-08,6.049025e-08,6.073539e-08,6.133948e-08,6.181473e-08,6.211774e-08,6.277408e-08,6.282854e-08,6.347530e-08,6.362136e-08,6.406135e-08,6.436422e-08,6.458992e-08,6.500999e-08,6.506413e-08,6.548698e-08,6.556565e-08,6.586137e-08,6.603782e-08,6.619005e-08,6.643277e-08,6.647568e-08,6.672077e-08,6.675639e-08,6.692774e-08,6.701422e-08,6.709887e-08,6.721146e-08,6.723636e-08,6.734228e-08,6.735296e-08,6.741859e-08,6.744328e-08,6.746718e-08,6.748665e-08,6.748981e-08,6.748816e-08,6.748703e-08,6.746383e-08,6.744809e-08,6.741833e-08,6.737327e-08,6.735309e-08,6.726945e-08,6.726574e-08,6.716870e-08,6.712848e-08,6.705205e-08,6.696422e-08,6.692063e-08,6.677552e-08,6.661775e-08,6.656475e-08,6.644827e-08,6.633408e-08,6.626799e-08,6.608556e-08,6.607777e-08,6.587841e-08,6.582106e-08,6.567068e-08,6.554232e-08,6.545529e-08,6.525095e-08,6.523292e-08,6.500420e-08,6.494843e-08,6.476973e-08,6.463613e-08,6.453008e-08,6.431532e-08,6.428577e-08,6.403731e-08,6.398716e-08,6.378516e-08,6.365274e-08,6.352977e-08,6.331304e-08,6.327155e-08,6.301088e-08,6.296897e-08,6.274814e-08,6.262138e-08,6.248365e-08,6.227103e-08,6.221775e-08,6.195074e-08,6.191864e-08,6.168289e-08,6.156484e-08,6.141447e-08,6.121024e-08,6.114573e-08,6.087689e-08,6.085538e-08,6.060817e-08,6.050076e-08,6.033977e-08,6.014682e-08,6.007188e-08,5.980467e-08,5.979399e-08,5.953830e-08,5.944264e-08,5.927293e-08,5.909312e-08,5.900869e-08,5.874572e-08,5.840074e-08,5.805842e-08,5.771899e-08,5.738266e-08,5.704961e-08,5.671999e-08,5.639396e-08,5.607164e-08,5.575314e-08,5.543856e-08,5.512797e-08,5.482145e-08,5.451906e-08,5.422084e-08,5.392684e-08,5.363708e-08,5.335159e-08,5.307037e-08,5.279343e-08,5.252078e-08,5.225240e-08,5.198830e-08,5.172844e-08,5.147282e-08
0.000000e+00,9.815096e-07,2.937169e-06,1.501622e-05,4.432084e-05,7.275643e-05,2.120120e-04,2.203381e-04,5.162012e-04,6.347238e-04,1.028843e-03,1.472217e-03,1.835321e-03,2.909253e-03,3.020042e-03,4.672807e-03,5.149275e-03,6.884372e-03,8.398717e-03,9.738487e-03,1.283583e-02,1.330277e-02,1.762308e-02,1.858032e-02,2.272316e-02,2.568546e-02,2.860727e-02,3.414751e-02,3.526349e-02,4.266657e-02,4.391808e-02,5.078019e-02,5.491405e-02,5.955883e-02,6.702513e-02,6.894945e-02,7.889302e-02,8.012043e-02,8.932602e-02,9.405453e-02,1.001819e-01,1.086734e-01,1.113926e-01,1.228896e-01,1.238197e-01,1.346052e-01,1.393379e-01,1.464738e-01,1.550784e-01,1.584324e-01,1.704216e-01,1.709010e-01,1.823858e-01,1.866768e-01,1.942740e-01,2.022906e-01,2.060397e-01,2.176413e-01,2.290419e-01,2.326422e-01,2.402092e-01,2.472209e-01,2.511156e-01,2.613185e-01,2.617377e-01,2.720563e-01,2.748890e-01,2.820560e-01,2.878975e-01,2.917246e-01,3.003200e-01,3.010536e-01,3.100370e-01,3.121412e-01,3.186715e-01,3.233540e-01,3.269562e-01,3.339580e-01,3.348919e-01,3.424816e-01,3.439583e-01,3.497294e-01,3.533650e-01,3.566410e-01,3.621918e-01,3.632230e-01,3.694830e-01,3.704553e-01,3.754292e-01,3.781745e-01,3.810705e-01,3.853703e-01,3.864162e-01,3.914760e-01,3.920644e-01,3.962596e-01,3.982795e-01,4.007771e-01,4.040386e-01,4.050385e-01,4.090539e-01,4.093648e-01,4.128331e-01,4.142809e-01,4.163860e-01,4.188095e-01,4.197223e-01,4.228515e-01,4.229725e-01,4.257828e-01,4.267914e-01,4.285252e-01,4.302866e-01,4.310874e-01,4.334780e-01,4.357050e-01,4.363845e-01,4.377765e-01,4.390241e-01,4.397000e-01,4.414140e-01,4.414827e-01,4.431319e-01,4.435706e-01,4.446541e-01,4.455092e-01,4.460559e-01,4.472444e-01,4.473434e-01,4.485225e-01,4.487900e-01,4.495988e-01,4.501587e-01,4.505779e-01,4.513629e-01,4.514646e-01,4.522641e-01,4.524139e-01,4.529809e-01,4.533224e-01,4.536195e-01,4.540985e-01,4.541840e-01,4.546786e-01,4.547515e-01,4.551070e-01,4.552902e-01,4.554729e-01,4.557229e-01,4.557797e-01,4.560308e-01,4.560573e-01,4.562291e-01,4.563005e-01,4.563777e-01,4.564592e-01,4.564795e-01,4.565370e-01,4.565397e-01,4.565528e-01,4.565480e-01,4.565293e-01,4.564894e-01,4.564688e-01,4.563735e-01,4.563690e-01,4.562454e-01,4.561916e-01,4.560864e-01,4.559617e-01,4.558985e-01,4.556834e-01,4.553605e-01,4.549967e-01,4.545954e-01,4.541597e-01,4.536925e-01,4.531966e-01,4.526746e-01,4.521288e-01,4.515614e-01,4.509745e-01,4.503702e-01,4.497501e-01,4.491161e-01,4.484696e-01,4.478121e-01,4.471451e-01,4.464698e-01,4.457874e-01,4.450991e-01,4.444058e-01,4.437086e-01,4.430084e-01,4.423060e-01,4.416023e-01
0.000000e+00,4.639690e-09,1.371435e-08,6.834425e-08,1.970866e-07,3.194562e-07,9.012470e-07,9.354228e-07,2.124057e-06,2.590129e-06,4.113096e-06,5.790819e-06,7.144186e-06,1.106757e-05,1.146678e-05,1.732664e-05,1.898711e-05,2.494276e-05,3.003643e-05,3.446940e-05,4.447227e-05,4.595168e-05,5.929944e-05,6.217578e-05,7.429889e-05,8.265507e-05,9.065423e-05,1.051981e-04,1.080338e-04,1.261051e-04,1.290394e-04,1.445562e-04,1.534639e-04,1.631064e-04,1.778517e-04,1.815102e-04,1.995583e-04,2.016916e-04,2.170768e-04,2.245796e-04,2.339243e-04,2.462108e-04,2.499905e-04,2.651924e-04,2.663693e-04,2.794719e-04,2.849167e-04,2.927927e-04,3.017793e-04,3.051369e-04,3.165029e-04,3.169373e-04,3.269021e-04,3.304130e-04,3.363563e-04,3.422607e-04,3.448961e-04,3.525580e-04,3.593836e-04,3.613983e-04,3.654171e-04,3.688841e-04,3.707046e-04,3.751224e-04,3.752931e-04,3.792293e-04,3.802208e-04,3.825592e-04,3.842848e-04,3.853276e-04,3.874156e-04,3.875775e-04,3.893503e-04,3.897091e-04,3.906850e-04,3.912550e-04,3.916187e-04,3.921361e-04,3.921859e-04,3.924192e-04,3.924284e-04,3.923485e-04,3.922011e-04,3.920020e-04,3.915168e-04,3.914056e-04,3.905832e-04,3.904322e-04,3.895571e-04,3.889981e-04,3.883474e-04,3.872603e-04,3.869731e-04,3.854511e-04,3.852593e-04,3.837974e-04,3.830318e-04,3.820263e-04,3.806100e-04,3.801511e-04,3.781838e-04,3.780228e-04,3.761356e-04,3.752959e-04,3.740165e-04,3.724520e-04,3.718357e-04,3.696017e-04,3.695114e-04,3.673222e-04,3.664918e-04,3.650042e-04,3.634093e-04,3.626541e-04,3.602777e-04,3.578803e-04,3.571095e-04,3.554668e-04,3.539157e-04,3.530415e-04,3.507059e-04,3.506085e-04,3.481713e-04,3.474886e-04,3.457333e-04,3.442714e-04,3.432975e-04,3.410607e-04,3.408665e-04,3.384429e-04,3.378626e-04,3.360288e-04,3.346819e-04,3.336264e-04,3.315232e-04,3.312373e-04,3.288632e-04,3.283903e-04,3.265056e-04,3.252866e-04,3.241657e-04,3.222149e-04,3.218449e-04,3.195440e-04,3.191778e-04,3.172641e-04,3.161774e-04,3.150060e-04,3.132156e-04,3.127703e-04,3.105578e-04,3.102938e-04,3.083689e-04,3.074135e-04,3.062042e-04,3.045755e-04,3.040641e-04,3.019489e-04,3.017808e-04,2.998589e-04,2.990300e-04,2.977943e-04,2.963237e-04,2.957553e-04,2.937420e-04,2.936620e-04,2.917546e-04,2.910454e-04,2.897930e-04,2.884739e-04,2.878573e-04,2.859475e-04,2.834661e-04,2.810295e-04,2.786376e-04,2.762900e-04,2.739864e-04,2.717263e-04,2.695093e-04,2.673349e-04,2.652027e-04,2.631120e-04,2.610623e-04,2.590530e-04,2.570835e-04,2.551531e-04,2.532613e-04,2.514074e-04,2.495907e-04,2.478106e-04,2.460664e-04,2.443575e-04,2.426832e-04,2.410429e-04,2.394359e-04,2.378615e-04
0.000000e+00,1.837630e-09,5.362878e-09,2.603784e-08,7.337704e-08,1.174901e-07,3.217366e-07,3.335550e-07,7.380200e-07,8.943116e-07,1.400108e-06,1.952143e-06,2.395242e-06,3.673867e-06,3.803627e-06,5.701522e-06,6.236521e-06,8.140828e-06,9.746191e-06,1.112192e-05,1.414294e-05,1.457945e-05,1.839601e-05,1.919022e-05,2.243282e-05,2.457415e-05,2.655696e-05,3.000594e-05,3.065628e-05,3.464388e-05,3.526700e-05,3.845658e-05,4.021127e-05,4.205137e-05,4.475173e-05,4.540127e-05,4.849170e-05,4.884480e-05,5.131757e-05,5.247742e-05,5.388080e-05,5.565745e-05,5.618854e-05,5.825169e-05,5.840657e-05,6.008375e-05,6.075521e-05,6.169981e-05,6.273860e-05,6.311588e-05,6.434830e-05,6.439400e-05,6.541321e-05,6.575861e-05,6.632630e-05,6.686813e-05,6.710250e-05,6.775585e-05,6.829937e-05,6.845208e-05,6.874503e-05,6.898398e-05,6.910375e-05,6.937549e-05,6.938539e-05,6.959883e-05,6.964748e-05,6.975201e-05,6.981796e-05,6.985199e-05,6.990240e-05,6.990505e-05,6.991677e-05,6.991398e-05,6.989204e-05,6.986392e-05,6.983521e-05,6.976169e-05,6.975010e-05,6.964008e-05,6.961535e-05,6.950812e-05,6.943171e-05,6.935683e-05,6.921653e-05,6.918854e-05,6.900530e-05,6.897471e-05,6.880890e-05,6.871044e-05,6.860096e-05,6.842726e-05,6.838290e-05,6.815601e-05,6.812824e-05,6.792140e-05,6.781600e-05,6.768011e-05,6.749282e-05,6.743304e-05,6.718102e-05,6.716067e-05,6.692478e-05,6.682125e-05,6.666498e-05,6.647607e-05,6.640223e-05,6.613708e-05,6.612643e-05,6.587001e-05,6.577349e-05,6.560149e-05,6.541827e-05,6.533191e-05,6.506166e-05,6.479108e-05,6.470447e-05,6.452047e-05,6.434740e-05,6.425012e-05,6.399107e-05,6.398029e-05,6.371122e-05,6.363605e-05,6.344313e-05,6.328283e-05,6.317622e-05,6.293185e-05,6.291066e-05,6.264663e-05,6.258350e-05,6.238427e-05,6.223813e-05,6.212372e-05,6.189604e-05,6.186512e-05,6.160857e-05,6.155751e-05,6.135417e-05,6.122277e-05,6.110202e-05,6.089202e-05,6.085222e-05,6.060482e-05,6.056546e-05,6.035990e-05,6.024325e-05,6.011753e-05,5.992550e-05,5.987776e-05,5.964063e-05,5.961235e-05,5.940619e-05,5.930390e-05,5.917447e-05,5.900021e-05,5.894551e-05,5.871934e-05,5.870136e-05,5.849597e-05,5.840741e-05,5.827542e-05,5.811839e-05,5.805772e-05,5.784286e-05,5.783432e-05,5.763086e-05,5.755524e-05,5.742173e-05,5.728115e-05,5.721545e-05,5.701204e-05,5.674792e-05,5.648876e-05,5.623455e-05,5.598526e-05,5.574086e-05,5.550131e-05,5.526656e-05,5.503659e-05,5.481133e-05,5.459073e-05,5.437475e-05,5.416333e-05,5.395640e-05,5.375391e-05,5.355579e-05,5.336198e-05,5.317243e-05,5.298705e-05,5.280579e-05,5.262858e-05,5.245535e-05,5.228603e-05,5.212056e-05,5.195887e-05
0.000000e+00,9.336781e-10,2.603502e-09,1.163098e-08,3.073191e-08,4.768567e-08,1.217000e-07,1.258449e-07,2.628673e-07,3.140784e-07,4.756924e-07,6.470048e-07,7.817609e-07,1.160994e-06,1.198856e-06,1.743483e-06,1.894612e-06,2.427106e-06,2.872077e-06,3.252567e-06,4.092357e-06,4.214754e-06,5.304581e-06,5.536986e-06,6.512100e-06,7.183262e-06,7.827514e-06,9.008746e-06,9.241117e-06,1.074303e-05,1.099085e-05,1.232306e-05,1.310617e-05,1.397079e-05,1.533062e-05,1.567566e-05,1.742720e-05,1.764004e-05,1.921523e-05,2.001100e-05,2.103003e-05,2.242154e-05,2.286247e-05,2.470416e-05,2.485166e-05,2.654746e-05,2.728366e-05,2.838550e-05,2.970220e-05,3.021222e-05,3.202232e-05,3.209431e-05,3.381121e-05,3.444925e-05,3.557498e-05,3.675829e-05,3.731034e-05,3.901453e-05,4.068531e-05,4.121259e-05,4.232084e-05,4.334841e-05,4.391969e-05,4.541904e-05,4.548075e-05,4.700319e-05,4.742247e-05,4.848643e-05,4.935740e-05,4.993011e-05,5.122318e-05,5.133403e-05,5.269818e-05,5.301966e-05,5.402265e-05,5.474710e-05,5.530766e-05,5.640606e-05,5.655351e-05,5.776057e-05,5.799736e-05,5.892928e-05,5.952203e-05,6.006015e-05,6.098124e-05,6.115373e-05,6.221058e-05,6.237631e-05,6.323134e-05,6.370866e-05,6.421662e-05,6.497976e-05,6.516710e-05,6.608345e-05,6.619115e-05,6.696636e-05,6.734442e-05,6.781652e-05,6.844118e-05,6.863464e-05,6.942142e-05,6.948303e-05,7.017758e-05,7.047163e-05,7.090382e-05,7.140859e-05,7.160086e-05,7.226939e-05,7.229555e-05,7.291013e-05,7.313412e-05,7.352376e-05,7.392590e-05,7.411097e-05,7.467246e-05,7.520889e-05,7.537537e-05,7.572094e-05,7.603616e-05,7.620926e-05,7.665633e-05,7.667450e-05,7.711731e-05,7.723736e-05,7.753830e-05,7.778069e-05,7.793811e-05,7.828775e-05,7.831735e-05,7.867661e-05,7.875992e-05,7.901647e-05,7.919854e-05,7.933752e-05,7.960494e-05,7.964033e-05,7.992544e-05,7.998039e-05,8.019341e-05,8.032615e-05,8.044476e-05,8.064343e-05,8.068001e-05,8.089968e-05,8.093341e-05,8.110426e-05,8.119724e-05,8.129424e-05,8.143604e-05,8.147010e-05,8.163231e-05,8.165088e-05,8.178132e-05,8.184281e-05,8.191757e-05,8.201285e-05,8.204150e-05,8.215353e-05,8.216199e-05,8.225407e-05,8.229116e-05,8.234353e-05,8.240130e-05,8.242230e-05,8.249077e-05,8.249330e-05,8.254930e-05,8.256800e-05,8.259825e-05,8.262626e-05,8.263799e-05,8.266886e-05,8.269658e-05,8.271017e-05,8.271036e-05,8.269782e-05,8.267325e-05,8.263727e-05,8.259050e-05,8.253356e-05,8.246700e-05,8.239139e-05,8.230725e-05,8.221509e-05,8.211540e-05,8.200866e-05,8.189532e-05,8.177580e-05,8.165052e-05,8.151988e-05,8.138427e-05,8.124404e-05,8.109955e-05,8.095113e-05,8.079910e-05,8.064376e-05
0.000000e+00,1.522708e-09,4.501949e-09,2.243943e-08,6.469183e-08,1.048180e-07,2.951236e-07,3.062795e-07,6.928350e-07,8.436998e-07,1.334243e-06,1.870843e-06,2.301204e-06,3.538556e-06,3.663738e-06,5.490010e-06,6.004610e-06,7.844621e-06,9.415874e-06,1.078508e-05,1.389288e-05,1.435561e-05,1.857940e-05,1.950276e-05,2.345333e-05,2.623588e-05,2.894805e-05,3.400695e-05,3.501316e-05,4.158407e-05,4.267758e-05,4.858829e-05,5.208198e-05,5.594991e-05,6.204523e-05,6.359264e-05,7.144165e-05,7.239393e-05,7.942472e-05,8.296188e-05,8.747305e-05,9.359336e-05,9.552178e-05,1.035105e-04,1.041453e-04,1.113836e-04,1.144890e-04,1.190907e-04,1.245116e-04,1.265868e-04,1.338326e-04,1.341167e-04,1.407944e-04,1.432256e-04,1.474444e-04,1.517767e-04,1.537603e-04,1.597252e-04,1.653274e-04,1.670422e-04,1.705598e-04,1.737132e-04,1.754200e-04,1.797365e-04,1.799090e-04,1.840316e-04,1.851213e-04,1.877954e-04,1.898857e-04,1.912106e-04,1.940551e-04,1.942893e-04,1.970452e-04,1.976603e-04,1.994934e-04,2.007359e-04,2.016497e-04,2.033188e-04,2.035305e-04,2.051524e-04,2.054472e-04,2.065322e-04,2.071594e-04,2.076862e-04,2.084931e-04,2.086308e-04,2.093816e-04,2.094847e-04,2.099536e-04,2.101690e-04,2.103614e-04,2.105787e-04,2.106187e-04,2.107385e-04,2.107443e-04,2.107331e-04,2.106939e-04,2.106137e-04,2.104535e-04,2.103913e-04,2.100756e-04,2.100466e-04,2.096758e-04,2.094943e-04,2.092006e-04,2.088160e-04,2.086576e-04,2.080542e-04,2.080289e-04,2.073969e-04,2.071482e-04,2.066917e-04,2.061878e-04,2.059444e-04,2.051597e-04,2.043425e-04,2.040748e-04,2.034969e-04,2.029425e-04,2.026266e-04,2.017712e-04,2.017352e-04,2.008257e-04,2.005683e-04,1.999012e-04,1.993402e-04,1.989640e-04,1.980928e-04,1.980166e-04,1.970612e-04,1.968309e-04,1.960995e-04,1.955590e-04,1.951334e-04,1.942809e-04,1.941645e-04,1.931941e-04,1.929999e-04,1.922235e-04,1.917191e-04,1.912539e-04,1.904410e-04,1.902864e-04,1.893218e-04,1.891679e-04,1.883611e-04,1.879016e-04,1.874050e-04,1.866439e-04,1.864542e-04,1.855093e-04,1.853963e-04,1.845709e-04,1.841601e-04,1.836394e-04,1.829365e-04,1.827154e-04,1.817992e-04,1.817262e-04,1.808912e-04,1.805303e-04,1.799917e-04,1.793494e-04,1.791009e-04,1.782192e-04,1.781841e-04,1.773467e-04,1.770349e-04,1.764837e-04,1.759022e-04,1.756302e-04,1.747864e-04,1.736878e-04,1.726065e-04,1.715427e-04,1.704967e-04,1.694683e-04,1.684577e-04,1.674649e-04,1.664898e-04,1.655324e-04,1.645926e-04,1.636703e-04,1.627654e-04,1.618777e-04,1.610071e-04,1.601535e-04,1.593166e-04,1.584962e-04,1.576922e-04,1.569044e-04,1.561325e-04,1.553763e-04,1.546355e-04,1.539101e-04,1.531996e-04
0.000000e+00,8.573123e-10,2.465356e-09,1.165021e-08,3.216018e-08,5.099451e-08,1.368604e-07,1.417931e-07,3.097694e-07,3.745118e-07,5.841951e-07,8.138422e-07,9.989300e-07,1.536568e-06,1.591375e-06,2.395976e-06,2.623297e-06,3.432345e-06,4.113676e-06,4.697402e-06,5.983043e-06,6.169720e-06,7.820173e-06,8.169040e-06,9.619781e-06,1.060581e-05,1.154274e-05,1.323684e-05,1.356660e-05,1.567154e-05,1.601464e-05,1.783959e-05,1.889775e-05,2.005414e-05,2.184883e-05,2.229973e-05,2.456202e-05,2.483398e-05,2.682783e-05,2.782278e-05,2.908521e-05,3.078858e-05,3.132351e-05,3.353339e-05,3.370870e-05,3.570682e-05,3.656443e-05,3.783702e-05,3.934082e-05,3.991841e-05,4.194647e-05,4.202643e-05,4.391769e-05,4.461287e-05,4.582941e-05,4.709439e-05,4.767973e-05,4.946743e-05,5.119181e-05,5.173020e-05,5.285268e-05,5.388237e-05,5.445020e-05,5.592471e-05,5.598490e-05,5.745752e-05,5.785886e-05,5.886906e-05,5.968714e-05,6.022066e-05,6.141229e-05,6.151360e-05,6.274926e-05,6.303746e-05,6.392909e-05,6.456597e-05,6.505461e-05,6.600135e-05,6.612734e-05,6.714886e-05,6.734716e-05,6.812074e-05,6.860702e-05,6.904455e-05,6.978455e-05,6.992186e-05,7.075422e-05,7.088333e-05,7.154315e-05,7.190686e-05,7.229016e-05,7.285859e-05,7.299674e-05,7.366432e-05,7.374187e-05,7.429432e-05,7.455997e-05,7.488813e-05,7.531605e-05,7.544710e-05,7.597254e-05,7.601316e-05,7.646572e-05,7.665425e-05,7.692791e-05,7.724215e-05,7.736029e-05,7.776404e-05,7.777961e-05,7.814030e-05,7.826924e-05,7.849017e-05,7.871355e-05,7.881472e-05,7.911497e-05,7.939194e-05,7.947581e-05,7.964658e-05,7.979827e-05,7.987983e-05,8.008447e-05,8.009260e-05,8.028575e-05,8.033643e-05,8.046013e-05,8.055609e-05,8.061656e-05,8.074528e-05,8.075581e-05,8.087865e-05,8.090577e-05,8.098580e-05,8.103922e-05,8.107798e-05,8.114724e-05,8.115585e-05,8.122008e-05,8.123134e-05,8.127128e-05,8.129297e-05,8.131008e-05,8.133351e-05,8.133705e-05,8.135276e-05,8.135427e-05,8.135775e-05,8.135649e-05,8.135253e-05,8.134136e-05,8.133762e-05,8.131349e-05,8.131000e-05,8.128061e-05,8.126348e-05,8.123942e-05,8.120282e-05,8.119035e-05,8.113381e-05,8.112898e-05,8.107020e-05,8.104286e-05,8.099990e-05,8.094535e-05,8.092328e-05,8.084068e-05,8.083725e-05,8.075244e-05,8.071935e-05,8.065888e-05,8.059239e-05,8.056032e-05,8.045705e-05,8.031401e-05,8.016389e-05,8.000727e-05,7.984473e-05,7.967678e-05,7.950394e-05,7.932666e-05,7.914539e-05,7.896056e-05,7.877257e-05,7.858178e-05,7.838855e-05,7.819321e-05,7.799607e-05,7.779742e-05,7.759755e-05,7.739671e-05,7.719515e-05,7.699309e-05,7.679074e-05,7.658832e-05,7.638600e-05,7.618396e-05,7.598237e-05
0.000000e+00,3.289206e-08,9.828529e-08,5.009372e-07,1.474333e-06,2.416436e-06,7.012636e-06,7.286808e-06,1.700089e-05,2.088065e-05,3.374841e-05,4.817681e-05,5.996349e-05,9.470059e-05,9.827507e-05,1.514322e-04,1.667045e-04,2.221498e-04,2.703408e-04,3.128306e-04,4.105542e-04,4.252257e-04,5.602196e-04,5.899465e-04,7.178447e-04,8.085564e-04,8.974390e-04,1.064425e-03,1.097823e-03,1.317445e-03,1.354251e-03,1.554487e-03,1.673872e-03,1.806948e-03,2.018600e-03,2.072713e-03,2.349604e-03,2.383475e-03,2.635436e-03,2.763478e-03,2.928055e-03,3.153700e-03,3.225379e-03,3.525425e-03,3.549490e-03,3.826334e-03,3.946550e-03,4.126390e-03,4.341016e-03,4.424027e-03,4.717840e-03,4.729495e-03,5.006583e-03,5.109075e-03,5.289169e-03,5.477328e-03,5.564664e-03,5.832279e-03,6.091363e-03,6.172379e-03,6.341390e-03,6.496460e-03,6.581950e-03,6.803701e-03,6.812742e-03,7.033555e-03,7.093576e-03,7.244266e-03,7.365820e-03,7.444825e-03,7.620384e-03,7.635247e-03,7.815604e-03,7.857405e-03,7.986018e-03,8.077165e-03,8.146649e-03,8.280066e-03,8.297692e-03,8.439372e-03,8.466606e-03,8.571936e-03,8.637353e-03,8.695647e-03,8.792927e-03,8.810785e-03,8.917639e-03,8.933987e-03,9.016506e-03,9.061213e-03,9.107686e-03,9.175298e-03,9.191481e-03,9.268195e-03,9.276939e-03,9.338127e-03,9.366826e-03,9.401577e-03,9.445643e-03,9.458836e-03,9.510192e-03,9.514054e-03,9.555926e-03,9.572707e-03,9.596313e-03,9.622230e-03,9.631618e-03,9.662101e-03,9.663224e-03,9.688012e-03,9.696268e-03,9.709593e-03,9.721915e-03,9.727078e-03,9.740690e-03,9.750647e-03,9.753096e-03,9.757157e-03,9.759605e-03,9.760417e-03,9.760668e-03,9.760619e-03,9.757947e-03,9.756707e-03,9.752574e-03,9.748124e-03,9.744668e-03,9.735294e-03,9.734388e-03,9.721886e-03,9.718572e-03,9.707308e-03,9.698289e-03,9.690792e-03,9.674758e-03,9.672468e-03,9.652463e-03,9.648271e-03,9.630895e-03,9.619100e-03,9.607877e-03,9.587500e-03,9.583516e-03,9.557915e-03,9.553710e-03,9.531170e-03,9.517953e-03,9.503372e-03,9.480435e-03,9.474609e-03,9.444963e-03,9.441349e-03,9.414511e-03,9.400876e-03,9.383327e-03,9.359181e-03,9.351481e-03,9.319040e-03,9.316421e-03,9.286064e-03,9.272738e-03,9.252614e-03,9.228266e-03,9.218744e-03,9.184506e-03,9.183130e-03,9.149951e-03,9.137442e-03,9.115125e-03,9.091310e-03,9.080071e-03,9.044830e-03,8.998093e-03,8.951182e-03,8.904172e-03,8.857135e-03,8.810135e-03,8.763231e-03,8.716476e-03,8.669921e-03,8.623611e-03,8.577586e-03,8.531883e-03,8.486537e-03,8.441578e-03,8.397033e-03,8.352927e-03,8.309281e-03,8.266116e-03,8.223447e-03,8.181292e-03,8.139662e-03,8.098569e-03,8.058022e-03,8.018031e-03,7.978601e-03
0.000000e+00,7.950966e-11,1.851176e-10,6.470260e-10,1.480922e-09,2.163962e-09,4.913505e-09,5.061160e-09,9.758643e-09,1.145435e-08,1.668368e-08,2.209160e-08,2.627864e-08,3.784045e-08,3.898016e-08,5.513524e-08,5.954506e-08,7.484688e-08,8.736139e-08,9.787397e-08,1.205003e-07,1.237356e-07,1.519083e-07,1.577780e-07,1.819290e-07,1.981373e-07,2.134041e-07,2.407136e-07,2.459883e-07,2.793668e-07,2.847613e-07,3.132472e-07,3.296073e-07,3.473570e-07,3.746403e-07,3.814449e-07,4.152831e-07,4.193170e-07,4.486693e-07,4.631697e-07,4.814275e-07,5.058110e-07,5.134086e-07,5.444901e-07,5.469346e-07,5.745738e-07,5.863104e-07,6.035848e-07,6.237774e-07,6.314690e-07,6.581901e-07,6.592344e-07,6.837281e-07,6.926304e-07,7.080760e-07,7.239548e-07,7.312384e-07,7.532286e-07,7.740678e-07,7.804974e-07,7.937825e-07,8.058241e-07,8.124039e-07,8.292837e-07,8.299664e-07,8.465068e-07,8.509602e-07,8.620638e-07,8.709424e-07,8.766768e-07,8.893209e-07,8.903852e-07,9.032285e-07,9.061865e-07,9.152457e-07,9.216288e-07,9.264751e-07,9.357351e-07,9.369541e-07,9.467190e-07,9.485894e-07,9.558048e-07,9.602724e-07,9.642454e-07,9.708608e-07,9.720735e-07,9.793202e-07,9.804278e-07,9.860158e-07,9.890423e-07,9.921888e-07,9.967695e-07,9.978667e-07,1.003076e-06,1.003671e-06,1.007841e-06,1.009803e-06,1.012186e-06,1.015221e-06,1.016133e-06,1.019704e-06,1.019975e-06,1.022920e-06,1.024112e-06,1.025800e-06,1.027677e-06,1.028363e-06,1.030626e-06,1.030710e-06,1.032605e-06,1.033252e-06,1.034318e-06,1.035337e-06,1.035778e-06,1.037000e-06,1.037998e-06,1.038272e-06,1.038784e-06,1.039182e-06,1.039371e-06,1.039757e-06,1.039770e-06,1.039992e-06,1.040025e-06,1.040049e-06,1.040007e-06,1.039948e-06,1.039726e-06,1.039701e-06,1.039316e-06,1.039204e-06,1.038800e-06,1.038458e-06,1.038163e-06,1.037508e-06,1.037412e-06,1.036554e-06,1.036370e-06,1.035596e-06,1.035060e-06,1.034543e-06,1.033592e-06,1.033404e-06,1.032182e-06,1.031979e-06,1.030884e-06,1.030236e-06,1.029515e-06,1.028372e-06,1.028080e-06,1.026583e-06,1.026400e-06,1.025030e-06,1.024329e-06,1.023423e-06,1.022169e-06,1.021768e-06,1.020067e-06,1.019929e-06,1.018325e-06,1.017618e-06,1.016545e-06,1.015242e-06,1.014730e-06,1.012884e-06,1.012809e-06,1.011008e-06,1.010326e-06,1.009106e-06,1.007799e-06,1.007181e-06,1.005234e-06,1.002636e-06,1.000011e-06,9.973619e-07,9.946943e-07,9.920120e-07,9.893188e-07,9.866180e-07,9.839129e-07,9.812065e-07,9.785015e-07,9.758007e-07,9.731062e-07,9.704204e-07,9.677452e-07,9.650826e-07,9.624342e-07,9.598017e-07,9.571865e-07,9.545899e-07,9.520132e-07,9.494576e-07,9.469239e-07,9.444132e-07,9.419263e-07
0.000000e+00,1.005040e-07,3.001369e-07,1.527805e-06,4.491449e-06,7.357000e-06,2.131850e-05,2.215071e-05,5.161252e-05,6.337084e-05,1.023491e-04,1.460312e-04,1.817028e-04,2.867823e-04,2.975912e-04,4.582514e-04,5.043813e-04,6.717402e-04,8.170536e-04,9.450516e-04,1.238926e-03,1.282976e-03,1.687254e-03,1.776002e-03,2.156538e-03,2.425064e-03,2.687008e-03,3.175895e-03,3.273160e-03,3.908469e-03,4.014212e-03,4.585857e-03,4.923809e-03,5.298027e-03,5.887906e-03,6.037694e-03,6.797764e-03,6.890018e-03,7.571460e-03,7.914547e-03,8.352422e-03,8.947179e-03,9.134775e-03,9.913180e-03,9.975135e-03,1.068285e-02,1.098731e-02,1.143958e-02,1.197432e-02,1.217969e-02,1.290007e-02,1.292844e-02,1.359813e-02,1.384353e-02,1.427172e-02,1.471491e-02,1.491916e-02,1.553916e-02,1.613081e-02,1.631405e-02,1.669351e-02,1.703827e-02,1.722692e-02,1.771139e-02,1.773099e-02,1.820586e-02,1.833364e-02,1.865186e-02,1.890580e-02,1.906948e-02,1.942914e-02,1.945932e-02,1.982210e-02,1.990523e-02,2.015862e-02,2.033592e-02,2.046974e-02,2.072325e-02,2.075639e-02,2.101950e-02,2.106939e-02,2.126006e-02,2.137656e-02,2.147904e-02,2.164703e-02,2.167743e-02,2.185623e-02,2.188308e-02,2.201639e-02,2.208694e-02,2.215889e-02,2.226079e-02,2.228465e-02,2.239460e-02,2.240677e-02,2.248961e-02,2.252691e-02,2.257055e-02,2.262316e-02,2.263824e-02,2.269350e-02,2.269740e-02,2.273707e-02,2.275140e-02,2.276970e-02,2.278682e-02,2.279209e-02,2.280491e-02,2.280524e-02,2.280880e-02,2.280813e-02,2.280436e-02,2.279689e-02,2.279218e-02,2.277280e-02,2.274675e-02,2.273708e-02,2.271451e-02,2.269084e-02,2.267654e-02,2.263513e-02,2.263330e-02,2.258519e-02,2.257090e-02,2.253261e-02,2.249907e-02,2.247592e-02,2.242044e-02,2.241548e-02,2.235160e-02,2.233579e-02,2.228460e-02,2.224582e-02,2.221477e-02,2.215118e-02,2.214237e-02,2.206766e-02,2.205246e-02,2.199088e-02,2.195021e-02,2.191225e-02,2.184493e-02,2.183199e-02,2.175028e-02,2.173708e-02,2.166731e-02,2.162709e-02,2.158325e-02,2.151533e-02,2.149827e-02,2.141250e-02,2.140217e-02,2.132610e-02,2.128791e-02,2.123918e-02,2.117286e-02,2.115188e-02,2.106430e-02,2.105728e-02,2.097654e-02,2.094142e-02,2.088871e-02,2.082548e-02,2.080090e-02,2.071318e-02,2.070968e-02,2.062564e-02,2.059418e-02,2.053834e-02,2.047916e-02,2.045136e-02,2.036476e-02,2.025110e-02,2.013832e-02,2.002651e-02,1.991576e-02,1.980616e-02,1.969779e-02,1.959070e-02,1.948496e-02,1.938061e-02,1.927770e-02,1.917625e-02,1.907630e-02,1.897788e-02,1.888101e-02,1.878569e-02,1.869195e-02,1.859978e-02,1.850920e-02,1.842020e-02,1.833279e-02,1.824696e-02,1.816271e-02,1.808002e-02,1.799889e-02
0.000000e+00,8.764033e-08,2.625456e-07,1.346147e-06,3.988115e-06,6.564225e-06,1.930838e-05,2.007610e-05,4.769947e-05,5.893118e-05,9.686251e-05,1.404779e-04,1.768511e-04,2.873488e-04,2.989659e-04,4.760835e-04,5.282335e-04,7.209895e-04,8.917152e-04,1.043891e-03,1.397506e-03,1.450890e-03,1.944216e-03,2.053225e-03,2.523267e-03,2.857486e-03,3.185573e-03,3.803564e-03,3.927426e-03,4.744254e-03,4.881563e-03,5.630834e-03,6.079503e-03,6.581437e-03,7.383909e-03,7.589934e-03,8.649889e-03,8.780227e-03,9.754654e-03,1.025321e-02,1.089747e-02,1.178727e-02,1.207153e-02,1.327014e-02,1.336689e-02,1.448671e-02,1.497693e-02,1.571488e-02,1.660294e-02,1.694861e-02,1.818216e-02,1.823142e-02,1.941018e-02,1.984996e-02,2.062775e-02,2.144739e-02,2.183033e-02,2.301384e-02,2.417464e-02,2.454076e-02,2.530951e-02,2.602089e-02,2.641562e-02,2.744820e-02,2.749057e-02,2.853232e-02,2.881783e-02,2.953920e-02,3.012600e-02,3.050983e-02,3.136992e-02,3.144319e-02,3.233850e-02,3.254765e-02,3.319523e-02,3.365804e-02,3.401311e-02,3.470062e-02,3.479203e-02,3.553211e-02,3.567548e-02,3.623359e-02,3.658323e-02,3.689687e-02,3.742490e-02,3.752249e-02,3.811107e-02,3.820185e-02,3.866332e-02,3.891573e-02,3.918005e-02,3.956844e-02,3.966212e-02,4.011044e-02,4.016202e-02,4.052597e-02,4.069867e-02,4.090970e-02,4.118069e-02,4.126264e-02,4.158583e-02,4.161043e-02,4.188031e-02,4.199030e-02,4.214713e-02,4.232269e-02,4.238732e-02,4.260195e-02,4.261002e-02,4.279204e-02,4.285466e-02,4.295861e-02,4.305897e-02,4.310268e-02,4.322523e-02,4.332724e-02,4.335571e-02,4.340967e-02,4.345257e-02,4.347343e-02,4.351793e-02,4.351944e-02,4.354857e-02,4.355382e-02,4.356169e-02,4.356223e-02,4.355964e-02,4.354503e-02,4.354320e-02,4.351317e-02,4.350402e-02,4.347030e-02,4.344095e-02,4.341532e-02,4.335747e-02,4.334892e-02,4.327180e-02,4.325514e-02,4.318459e-02,4.313547e-02,4.308793e-02,4.299987e-02,4.298242e-02,4.286864e-02,4.284970e-02,4.274714e-02,4.268624e-02,4.261846e-02,4.251069e-02,4.248311e-02,4.234157e-02,4.232419e-02,4.219431e-02,4.212783e-02,4.204179e-02,4.192261e-02,4.188442e-02,4.172261e-02,4.170949e-02,4.155676e-02,4.148937e-02,4.138723e-02,4.126308e-02,4.121437e-02,4.103852e-02,4.103143e-02,4.086001e-02,4.079514e-02,4.067912e-02,4.055492e-02,4.049616e-02,4.031140e-02,4.006518e-02,3.981683e-02,3.956687e-02,3.931579e-02,3.906402e-02,3.881200e-02,3.856010e-02,3.830868e-02,3.805806e-02,3.780855e-02,3.756042e-02,3.731392e-02,3.706928e-02,3.682671e-02,3.658640e-02,3.634852e-02,3.611323e-02,3.588065e-02,3.565092e-02,3.542415e-02,3.520041e-02,3.497981e-02,3.476241e-02,3.454828e-02
0.000000e+00,1.655477e-07,4.942676e-07,2.516620e-06,7.409206e-06,1.215434e-05,3.546042e-05,3.685881e-05,8.695983e-05,1.072546e-04,1.756190e-04,2.540138e-04,3.192595e-04,5.167018e-04,5.373817e-04,8.502996e-04,9.414744e-04,1.274347e-03,1.563820e-03,1.817870e-03,2.395394e-03,2.481177e-03,3.258939e-03,3.427504e-03,4.142512e-03,4.640363e-03,5.121447e-03,6.009130e-03,6.184353e-03,7.319393e-03,7.506894e-03,8.514612e-03,9.106206e-03,9.758169e-03,1.078005e-02,1.103853e-02,1.234463e-02,1.250259e-02,1.366600e-02,1.424970e-02,1.499289e-02,1.599948e-02,1.631635e-02,1.762827e-02,1.773251e-02,1.892143e-02,1.943198e-02,2.018946e-02,2.108379e-02,2.142691e-02,2.262912e-02,2.267642e-02,2.379224e-02,2.420077e-02,2.491314e-02,2.564997e-02,2.598939e-02,2.701917e-02,2.800121e-02,2.830524e-02,2.893474e-02,2.950658e-02,2.981943e-02,3.062282e-02,3.065532e-02,3.144279e-02,3.165469e-02,3.218248e-02,3.260373e-02,3.287529e-02,3.347217e-02,3.352227e-02,3.412468e-02,3.426277e-02,3.468386e-02,3.497865e-02,3.520126e-02,3.562322e-02,3.567840e-02,3.611686e-02,3.620005e-02,3.651824e-02,3.671283e-02,3.688414e-02,3.716527e-02,3.721619e-02,3.751598e-02,3.756106e-02,3.778511e-02,3.790385e-02,3.802511e-02,3.819718e-02,3.823752e-02,3.842381e-02,3.844448e-02,3.858541e-02,3.864906e-02,3.872372e-02,3.881408e-02,3.884007e-02,3.893575e-02,3.894255e-02,3.901200e-02,3.903732e-02,3.907000e-02,3.910109e-02,3.911087e-02,3.913572e-02,3.913639e-02,3.914556e-02,3.914562e-02,3.914137e-02,3.913100e-02,3.912410e-02,3.909462e-02,3.905378e-02,3.903844e-02,3.900237e-02,3.896427e-02,3.894115e-02,3.887381e-02,3.887083e-02,3.879208e-02,3.876861e-02,3.870555e-02,3.865015e-02,3.861184e-02,3.851976e-02,3.851150e-02,3.840508e-02,3.837869e-02,3.829308e-02,3.822810e-02,3.817598e-02,3.806906e-02,3.805421e-02,3.792821e-02,3.790254e-02,3.779836e-02,3.772945e-02,3.766505e-02,3.755063e-02,3.752861e-02,3.738937e-02,3.736685e-02,3.724764e-02,3.717882e-02,3.710372e-02,3.698717e-02,3.695786e-02,3.681032e-02,3.679252e-02,3.666135e-02,3.659540e-02,3.651115e-02,3.639632e-02,3.635995e-02,3.620793e-02,3.619574e-02,3.605527e-02,3.599407e-02,3.590215e-02,3.579170e-02,3.574872e-02,3.559513e-02,3.558899e-02,3.544152e-02,3.538624e-02,3.528802e-02,3.518376e-02,3.513474e-02,3.498180e-02,3.478060e-02,3.458039e-02,3.438135e-02,3.418367e-02,3.398751e-02,3.379301e-02,3.360030e-02,3.340949e-02,3.322068e-02,3.303397e-02,3.284943e-02,3.266713e-02,3.248714e-02,3.230950e-02,3.213425e-02,3.196144e-02,3.179109e-02,3.162323e-02,3.145787e-02,3.129502e-02,3.113471e-02,3.097692e-02,3.082166e-02,3.066893e-02
0.000000e+00,6.915995e-10,2.017534e-09,9.779894e-09,2.748442e-08,4.390899e-08,1.191689e-07,1.234873e-07,2.691511e-07,3.244186e-07,4.998379e-07,6.859662e-07,8.318510e-07,1.238288e-06,1.278499e-06,1.850018e-06,2.006624e-06,2.553560e-06,3.006812e-06,3.393034e-06,4.244494e-06,4.368666e-06,5.476333e-06,5.713007e-06,6.707056e-06,7.391297e-06,8.047192e-06,9.244886e-06,9.479452e-06,1.098437e-05,1.123055e-05,1.254170e-05,1.330192e-05,1.413143e-05,1.541374e-05,1.573457e-05,1.733348e-05,1.752429e-05,1.891218e-05,1.959668e-05,2.045647e-05,2.159946e-05,2.195402e-05,2.339437e-05,2.350686e-05,2.476897e-05,2.529883e-05,2.607110e-05,2.696092e-05,2.729581e-05,2.843980e-05,2.848385e-05,2.950128e-05,2.986310e-05,3.047982e-05,3.109819e-05,3.137616e-05,3.219205e-05,3.293005e-05,3.315026e-05,3.359336e-05,3.398038e-05,3.418568e-05,3.469127e-05,3.471105e-05,3.517371e-05,3.529260e-05,3.557799e-05,3.579435e-05,3.592824e-05,3.620642e-05,3.622872e-05,3.648358e-05,3.653840e-05,3.669678e-05,3.679938e-05,3.687206e-05,3.699776e-05,3.701297e-05,3.712278e-05,3.714128e-05,3.720453e-05,3.723690e-05,3.726103e-05,3.729085e-05,3.729484e-05,3.730828e-05,3.730869e-05,3.730348e-05,3.729527e-05,3.728237e-05,3.725489e-05,3.724666e-05,3.719793e-05,3.719127e-05,3.713757e-05,3.710766e-05,3.706685e-05,3.700688e-05,3.698691e-05,3.689876e-05,3.689138e-05,3.680330e-05,3.676326e-05,3.670136e-05,3.662436e-05,3.659367e-05,3.648087e-05,3.647626e-05,3.636356e-05,3.632032e-05,3.624226e-05,3.615775e-05,3.611747e-05,3.598960e-05,3.585906e-05,3.581678e-05,3.572619e-05,3.564008e-05,3.559131e-05,3.546021e-05,3.545472e-05,3.531667e-05,3.527780e-05,3.517742e-05,3.509338e-05,3.503718e-05,3.490747e-05,3.489616e-05,3.475454e-05,3.472048e-05,3.461248e-05,3.453280e-05,3.447015e-05,3.434478e-05,3.432768e-05,3.418521e-05,3.415673e-05,3.404286e-05,3.396892e-05,3.390073e-05,3.378160e-05,3.375894e-05,3.361757e-05,3.359500e-05,3.347672e-05,3.340931e-05,3.333646e-05,3.322472e-05,3.319686e-05,3.305799e-05,3.304138e-05,3.291992e-05,3.285944e-05,3.278270e-05,3.267902e-05,3.264639e-05,3.251103e-05,3.250024e-05,3.237666e-05,3.232320e-05,3.224333e-05,3.214800e-05,3.211108e-05,3.197993e-05,3.197470e-05,3.184991e-05,3.180339e-05,3.172106e-05,3.163412e-05,3.159340e-05,3.146695e-05,3.130192e-05,3.113907e-05,3.097844e-05,3.082005e-05,3.066392e-05,3.051008e-05,3.035853e-05,3.020929e-05,3.006235e-05,2.991772e-05,2.977541e-05,2.963539e-05,2.949768e-05,2.936226e-05,2.922911e-05,2.909823e-05,2.896959e-05,2.884319e-05,2.871901e-05,2.859701e-05,2.847719e-05,2.835952e-05,2.824398e-05,2.813054e-05
0.000000e+00,8.286010e-12,1.874578e-11,6.291460e-11,1.400389e-10,2.018885e-10,4.444022e-10,4.572229e-10,8.585932e-10,1.001235e-09,1.436365e-09,1.880930e-09,2.222214e-09,3.152411e-09,3.243079e-09,4.505006e-09,4.841242e-09,5.979157e-09,6.877584e-09,7.611629e-09,9.134838e-09,9.346912e-09,1.114052e-08,1.150317e-08,1.295930e-08,1.390637e-08,1.477788e-08,1.629020e-08,1.657570e-08,1.833517e-08,1.861208e-08,2.004095e-08,2.083664e-08,2.167963e-08,2.293454e-08,2.323982e-08,2.471221e-08,2.488263e-08,2.608966e-08,2.666431e-08,2.736721e-08,2.826949e-08,2.854197e-08,2.961297e-08,2.969418e-08,3.058100e-08,3.093985e-08,3.144836e-08,3.201242e-08,3.221850e-08,3.289585e-08,3.292108e-08,3.348550e-08,3.367737e-08,3.399302e-08,3.429418e-08,3.442423e-08,3.478514e-08,3.508170e-08,3.516390e-08,3.531938e-08,3.544316e-08,3.550372e-08,3.563538e-08,3.563996e-08,3.573296e-08,3.575188e-08,3.578728e-08,3.580306e-08,3.580710e-08,3.579818e-08,3.579627e-08,3.575829e-08,3.574549e-08,3.569633e-08,3.565224e-08,3.561326e-08,3.552474e-08,3.551165e-08,3.539382e-08,3.536850e-08,3.526185e-08,3.518825e-08,3.511758e-08,3.498810e-08,3.496266e-08,3.479856e-08,3.477154e-08,3.462659e-08,3.454159e-08,3.444791e-08,3.430084e-08,3.426356e-08,3.407446e-08,3.405149e-08,3.388143e-08,3.379545e-08,3.368521e-08,3.353433e-08,3.348642e-08,3.328566e-08,3.326953e-08,3.308344e-08,3.300224e-08,3.288020e-08,3.273348e-08,3.267637e-08,3.247229e-08,3.246412e-08,3.226829e-08,3.219493e-08,3.206466e-08,3.192654e-08,3.186166e-08,3.165951e-08,3.145841e-08,3.139432e-08,3.125855e-08,3.113136e-08,3.106009e-08,3.087101e-08,3.086316e-08,3.066790e-08,3.061353e-08,3.047441e-08,3.035920e-08,3.028279e-08,3.010823e-08,3.009313e-08,2.990550e-08,2.986078e-08,2.971998e-08,2.961702e-08,2.953661e-08,2.937707e-08,2.935545e-08,2.917653e-08,2.914102e-08,2.899989e-08,2.890895e-08,2.882556e-08,2.868093e-08,2.865356e-08,2.848391e-08,2.845699e-08,2.831663e-08,2.823717e-08,2.815171e-08,2.802149e-08,2.798918e-08,2.782902e-08,2.780996e-08,2.767124e-08,2.760257e-08,2.751583e-08,2.739930e-08,2.736279e-08,2.721211e-08,2.720015e-08,2.706377e-08,2.700509e-08,2.691776e-08,2.681407e-08,2.677407e-08,2.663269e-08,2.662708e-08,2.649358e-08,2.644406e-08,2.635674e-08,2.626497e-08,2.622214e-08,2.608976e-08,2.591837e-08,2.575077e-08,2.558688e-08,2.542665e-08,2.527002e-08,2.511693e-08,2.496731e-08,2.482111e-08,2.467826e-08,2.453869e-08,2.440235e-08,2.426917e-08,2.413908e-08,2.401202e-08,2.388794e-08,2.376675e-08,2.364841e-08,2.353286e-08,2.342002e-08,2.330984e-08,2.320227e-08,2.309723e-08,2.299468e-08,2.289456e-08
0.000000e+00,8.280261e-10,2.264394e-09,9.787239e-09,2.526575e-08,3.879232e-08,9.689540e-08,1.001230e-07,2.061102e-07,2.455164e-07,3.695890e-07,5.009668e-07,6.043665e-07,8.961612e-07,9.253818e-07,1.348049e-06,1.466218e-06,1.886005e-06,2.240914e-06,2.547127e-06,3.229977e-06,3.330099e-06,4.225022e-06,4.416212e-06,5.217656e-06,5.767562e-06,6.293464e-06,7.251836e-06,7.439416e-06,8.644147e-06,8.841671e-06,9.897562e-06,1.051375e-05,1.119041e-05,1.224724e-05,1.251402e-05,1.386018e-05,1.402287e-05,1.522114e-05,1.582274e-05,1.658958e-05,1.763041e-05,1.795873e-05,1.932237e-05,1.943105e-05,2.067487e-05,2.121160e-05,2.201121e-05,2.296087e-05,2.332698e-05,2.461839e-05,2.466949e-05,2.588219e-05,2.632986e-05,2.711567e-05,2.793597e-05,2.831662e-05,2.948326e-05,3.061423e-05,3.096844e-05,3.170851e-05,3.238926e-05,3.276538e-05,3.374436e-05,3.378439e-05,3.476532e-05,3.503316e-05,3.570817e-05,3.625566e-05,3.661309e-05,3.741235e-05,3.748036e-05,3.831041e-05,3.850413e-05,3.910374e-05,3.953219e-05,3.986096e-05,4.049795e-05,4.058271e-05,4.126971e-05,4.140301e-05,4.192272e-05,4.224911e-05,4.254252e-05,4.303809e-05,4.312993e-05,4.368578e-05,4.377184e-05,4.421091e-05,4.445231e-05,4.470616e-05,4.508143e-05,4.517239e-05,4.561043e-05,4.566114e-05,4.602112e-05,4.619338e-05,4.640531e-05,4.668008e-05,4.676383e-05,4.709750e-05,4.712315e-05,4.740713e-05,4.752443e-05,4.769351e-05,4.788575e-05,4.795743e-05,4.819966e-05,4.820891e-05,4.842095e-05,4.849564e-05,4.862205e-05,4.874764e-05,4.880368e-05,4.896655e-05,4.911135e-05,4.915398e-05,4.923876e-05,4.931148e-05,4.934944e-05,4.944055e-05,4.944404e-05,4.952317e-05,4.954264e-05,4.958746e-05,4.961915e-05,4.963750e-05,4.967144e-05,4.967386e-05,4.969711e-05,4.970080e-05,4.970780e-05,4.970850e-05,4.970646e-05,4.969574e-05,4.969360e-05,4.966973e-05,4.966368e-05,4.963533e-05,4.961344e-05,4.959087e-05,4.954609e-05,4.953681e-05,4.947360e-05,4.946266e-05,4.940165e-05,4.936414e-05,4.932140e-05,4.925147e-05,4.923323e-05,4.913753e-05,4.912556e-05,4.903469e-05,4.898727e-05,4.892507e-05,4.883744e-05,4.880901e-05,4.868687e-05,4.867684e-05,4.855895e-05,4.850624e-05,4.842559e-05,4.832637e-05,4.828709e-05,4.814374e-05,4.813791e-05,4.799582e-05,4.794151e-05,4.784362e-05,4.773781e-05,4.768739e-05,4.752739e-05,4.731084e-05,4.708868e-05,4.686144e-05,4.662959e-05,4.639361e-05,4.615393e-05,4.591097e-05,4.566512e-05,4.541677e-05,4.516625e-05,4.491391e-05,4.466007e-05,4.440502e-05,4.414904e-05,4.389241e-05,4.363536e-05,4.337814e-05,4.312097e-05,4.286405e-05,4.260758e-05,4.235174e-05,4.209671e-05,4.184264e-05,4.158968e-05
0.000000e+00,4.192375e-09,1.228424e-08,6.020853e-08,1.713678e-07,2.760448e-07,7.691750e-07,7.980390e-07,1.801539e-06,2.196051e-06,3.492966e-06,4.937624e-06,6.115443e-06,9.585741e-06,9.942786e-06,1.523628e-05,1.674655e-05,2.216428e-05,2.677319e-05,3.075341e-05,3.961895e-05,4.091737e-05,5.251626e-05,5.499482e-05,6.539826e-05,7.255506e-05,7.941713e-05,9.197106e-05,9.443583e-05,1.103247e-04,1.129393e-04,1.269591e-04,1.351726e-04,1.442174e-04,1.583930e-04,1.619804e-04,1.801321e-04,1.823311e-04,1.985605e-04,2.067290e-04,2.171589e-04,2.313454e-04,2.358271e-04,2.544724e-04,2.559605e-04,2.730106e-04,2.803786e-04,2.913659e-04,3.044309e-04,3.094719e-04,3.272707e-04,3.279755e-04,3.447129e-04,3.508966e-04,3.617572e-04,3.731026e-04,3.783699e-04,3.945240e-04,4.101983e-04,4.151099e-04,4.253767e-04,4.348254e-04,4.400481e-04,4.536490e-04,4.542054e-04,4.678449e-04,4.715710e-04,4.809661e-04,4.885908e-04,4.935711e-04,5.047150e-04,5.056637e-04,5.172499e-04,5.199560e-04,5.283368e-04,5.343305e-04,5.389329e-04,5.478589e-04,5.490476e-04,5.586909e-04,5.605640e-04,5.678736e-04,5.724702e-04,5.766067e-04,5.836035e-04,5.849017e-04,5.927704e-04,5.939907e-04,6.002246e-04,6.036589e-04,6.072762e-04,6.126357e-04,6.139372e-04,6.202194e-04,6.209484e-04,6.261348e-04,6.286243e-04,6.316949e-04,6.356902e-04,6.369115e-04,6.417959e-04,6.421727e-04,6.463595e-04,6.480976e-04,6.506133e-04,6.534902e-04,6.545681e-04,6.582346e-04,6.583754e-04,6.616232e-04,6.627770e-04,6.647441e-04,6.667185e-04,6.676073e-04,6.702225e-04,6.725991e-04,6.733107e-04,6.747464e-04,6.760045e-04,6.766734e-04,6.783242e-04,6.783888e-04,6.799012e-04,6.802894e-04,6.812188e-04,6.819193e-04,6.823497e-04,6.832319e-04,6.833017e-04,6.840823e-04,6.842449e-04,6.846989e-04,6.849752e-04,6.851586e-04,6.854389e-04,6.854683e-04,6.856348e-04,6.856515e-04,6.856645e-04,6.856279e-04,6.855636e-04,6.853824e-04,6.853382e-04,6.849943e-04,6.849286e-04,6.845374e-04,6.842796e-04,6.839730e-04,6.834478e-04,6.833065e-04,6.825430e-04,6.824451e-04,6.816874e-04,6.812830e-04,6.807444e-04,6.799722e-04,6.797188e-04,6.786148e-04,6.785232e-04,6.774368e-04,6.769458e-04,6.761889e-04,6.752494e-04,6.748752e-04,6.734993e-04,6.734430e-04,6.720650e-04,6.715351e-04,6.705759e-04,6.695337e-04,6.690353e-04,6.674466e-04,6.652810e-04,6.630440e-04,6.607421e-04,6.583815e-04,6.559681e-04,6.535076e-04,6.510053e-04,6.484660e-04,6.458947e-04,6.432958e-04,6.406734e-04,6.380315e-04,6.353740e-04,6.327043e-04,6.300258e-04,6.273415e-04,6.246544e-04,6.219672e-04,6.192825e-04,6.166028e-04,6.139302e-04,6.112669e-04,6.086148e-04,6.059757e-04
0.000000e+00,1.415842e-09,4.063174e-09,1.911196e-08,5.259667e-08,8.335737e-08,2.248653e-07,2.330750e-07,5.184412e-07,6.313711e-07,1.007089e-06,1.432889e-06,1.783974e-06,2.823396e-06,2.929810e-06,4.469605e-06,4.891647e-06,6.329881e-06,7.457763e-06,8.363457e-06,1.017354e-05,1.041672e-05,1.237514e-05,1.274885e-05,1.417255e-05,1.503321e-05,1.578115e-05,1.698364e-05,1.719770e-05,1.843231e-05,1.861400e-05,1.950102e-05,1.996029e-05,2.042160e-05,2.106317e-05,2.121148e-05,2.188674e-05,2.196078e-05,2.246191e-05,2.268666e-05,2.294992e-05,2.326967e-05,2.336231e-05,2.370920e-05,2.373439e-05,2.399953e-05,2.410161e-05,2.424112e-05,2.438874e-05,2.444077e-05,2.460437e-05,2.461024e-05,2.473698e-05,2.477800e-05,2.484297e-05,2.490173e-05,2.492601e-05,2.498927e-05,2.503539e-05,2.504691e-05,2.506663e-05,2.507970e-05,2.508489e-05,2.509170e-05,2.509178e-05,2.508865e-05,2.508615e-05,2.507668e-05,2.506567e-05,2.505685e-05,2.503240e-05,2.503001e-05,2.499689e-05,2.498809e-05,2.495814e-05,2.493419e-05,2.491430e-05,2.487192e-05,2.486588e-05,2.481330e-05,2.480232e-05,2.475696e-05,2.472628e-05,2.469719e-05,2.464458e-05,2.463432e-05,2.456863e-05,2.455788e-05,2.450038e-05,2.446678e-05,2.442980e-05,2.437182e-05,2.435712e-05,2.428253e-05,2.427346e-05,2.420622e-05,2.417214e-05,2.412835e-05,2.406823e-05,2.404909e-05,2.396857e-05,2.396208e-05,2.388695e-05,2.385402e-05,2.380434e-05,2.374432e-05,2.372087e-05,2.363664e-05,2.363325e-05,2.355175e-05,2.352105e-05,2.346631e-05,2.340794e-05,2.338040e-05,2.329411e-05,2.320751e-05,2.317974e-05,2.312068e-05,2.306502e-05,2.303368e-05,2.295008e-05,2.294659e-05,2.285947e-05,2.283507e-05,2.277236e-05,2.272013e-05,2.268533e-05,2.260536e-05,2.259841e-05,2.251167e-05,2.249088e-05,2.242513e-05,2.237678e-05,2.233885e-05,2.226316e-05,2.225286e-05,2.216720e-05,2.215011e-05,2.208189e-05,2.203768e-05,2.199697e-05,2.192597e-05,2.191248e-05,2.182843e-05,2.181502e-05,2.174484e-05,2.170490e-05,2.166176e-05,2.159566e-05,2.157919e-05,2.149715e-05,2.148734e-05,2.141567e-05,2.138000e-05,2.133476e-05,2.127366e-05,2.125444e-05,2.117472e-05,2.116837e-05,2.109561e-05,2.106415e-05,2.101714e-05,2.096103e-05,2.093930e-05,2.086211e-05,2.085904e-05,2.078558e-05,2.075819e-05,2.070972e-05,2.065852e-05,2.063453e-05,2.056003e-05,2.046273e-05,2.036665e-05,2.027178e-05,2.017815e-05,2.008574e-05,1.999458e-05,1.990466e-05,1.981598e-05,1.972854e-05,1.964235e-05,1.955740e-05,1.947368e-05,1.939120e-05,1.930995e-05,1.922992e-05,1.915111e-05,1.907351e-05,1.899711e-05,1.892191e-05,1.884788e-05,1.877504e-05,1.870335e-05,1.863283e-05,1.856344e-05
0.000000e+00,2.750133e-10,6.631792e-10,2.409754e-09,5.618896e-09,8.267165e-09,1.899041e-08,1.956762e-08,3.794796e-08,4.458185e-08,6.500914e-08,8.606022e-08,1.022900e-07,1.466977e-07,1.510378e-07,2.117729e-07,2.281060e-07,2.841155e-07,3.293643e-07,3.671490e-07,4.482221e-07,4.598154e-07,5.610457e-07,5.822243e-07,6.697518e-07,7.288608e-07,7.848061e-07,8.855042e-07,9.050411e-07,1.029269e-06,1.049436e-06,1.156308e-06,1.217947e-06,1.285016e-06,1.388456e-06,1.414314e-06,1.543214e-06,1.558611e-06,1.670826e-06,1.726364e-06,1.796377e-06,1.890008e-06,1.919208e-06,2.038771e-06,2.048181e-06,2.154628e-06,2.199854e-06,2.266440e-06,2.344295e-06,2.373955e-06,2.477000e-06,2.481028e-06,2.575472e-06,2.609792e-06,2.669325e-06,2.730506e-06,2.758561e-06,2.843221e-06,2.923378e-06,2.948092e-06,2.999130e-06,3.045352e-06,3.070593e-06,3.135284e-06,3.137898e-06,3.201185e-06,3.218205e-06,3.260602e-06,3.294457e-06,3.316299e-06,3.364387e-06,3.368430e-06,3.417146e-06,3.428347e-06,3.462600e-06,3.486685e-06,3.504940e-06,3.539739e-06,3.544311e-06,3.580855e-06,3.587836e-06,3.614708e-06,3.631292e-06,3.646003e-06,3.670407e-06,3.674867e-06,3.701422e-06,3.705465e-06,3.725787e-06,3.736738e-06,3.748074e-06,3.764480e-06,3.768391e-06,3.786840e-06,3.788933e-06,3.803520e-06,3.810323e-06,3.818524e-06,3.828862e-06,3.831942e-06,3.843859e-06,3.844750e-06,3.854356e-06,3.858175e-06,3.863510e-06,3.869310e-06,3.871393e-06,3.878077e-06,3.878321e-06,3.883627e-06,3.885360e-06,3.888106e-06,3.890571e-06,3.891574e-06,3.894088e-06,3.895702e-06,3.896036e-06,3.896467e-06,3.896533e-06,3.896431e-06,3.895688e-06,3.895642e-06,3.894143e-06,3.893602e-06,3.891976e-06,3.890371e-06,3.889179e-06,3.886084e-06,3.885792e-06,3.881849e-06,3.880824e-06,3.877385e-06,3.874669e-06,3.872431e-06,3.867690e-06,3.867018e-06,3.861174e-06,3.859956e-06,3.854928e-06,3.851530e-06,3.848305e-06,3.842469e-06,3.841331e-06,3.834028e-06,3.832830e-06,3.826418e-06,3.822663e-06,3.818523e-06,3.812016e-06,3.810364e-06,3.801958e-06,3.800934e-06,3.793324e-06,3.789457e-06,3.784479e-06,3.777626e-06,3.775440e-06,3.766221e-06,3.765476e-06,3.756837e-06,3.753041e-06,3.747303e-06,3.740352e-06,3.737630e-06,3.727833e-06,3.727439e-06,3.717922e-06,3.714328e-06,3.707909e-06,3.701047e-06,3.697804e-06,3.687618e-06,3.674063e-06,3.660403e-06,3.646658e-06,3.632845e-06,3.618981e-06,3.605081e-06,3.591160e-06,3.577232e-06,3.563307e-06,3.549399e-06,3.535518e-06,3.521674e-06,3.507875e-06,3.494131e-06,3.480450e-06,3.466838e-06,3.453302e-06,3.439849e-06,3.426484e-06,3.413212e-06,3.400038e-06,3.386967e-06,3.374003e-06,3.361148e-06
0.000000e+00,4.407699e-11,1.030152e-10,3.605810e-10,8.244759e-10,1.204023e-09,2.733598e-09,2.815928e-09,5.450734e-09,6.410233e-09,9.398647e-09,1.253259e-08,1.498377e-08,2.181328e-08,2.248795e-08,3.198903e-08,3.454868e-08,4.328747e-08,5.027451e-08,5.604727e-08,6.823522e-08,6.995642e-08,8.477437e-08,8.783006e-08,1.003162e-07,1.086324e-07,1.164286e-07,1.303025e-07,1.329732e-07,1.498180e-07,1.525323e-07,1.668341e-07,1.750258e-07,1.838962e-07,1.974978e-07,2.008837e-07,2.176832e-07,2.196814e-07,2.341904e-07,2.413367e-07,2.503126e-07,2.622579e-07,2.659692e-07,2.810930e-07,2.822781e-07,2.956298e-07,3.012705e-07,3.095386e-07,3.191476e-07,3.227908e-07,3.353688e-07,3.358577e-07,3.472644e-07,3.513796e-07,3.584782e-07,3.657179e-07,3.690182e-07,3.788986e-07,3.881380e-07,3.909628e-07,3.967588e-07,4.019631e-07,4.047863e-07,4.119596e-07,4.122475e-07,4.191704e-07,4.210163e-07,4.255837e-07,4.291990e-07,4.315161e-07,4.365734e-07,4.369958e-07,4.420503e-07,4.432032e-07,4.467064e-07,4.491494e-07,4.509896e-07,4.544698e-07,4.549243e-07,4.585336e-07,4.592183e-07,4.618393e-07,4.634452e-07,4.648620e-07,4.671965e-07,4.676209e-07,4.701338e-07,4.705142e-07,4.724173e-07,4.734366e-07,4.744871e-07,4.759986e-07,4.763574e-07,4.780418e-07,4.782321e-07,4.795527e-07,4.801656e-07,4.809016e-07,4.818250e-07,4.820992e-07,4.831553e-07,4.832340e-07,4.840791e-07,4.844136e-07,4.848792e-07,4.853831e-07,4.855635e-07,4.861392e-07,4.861601e-07,4.866132e-07,4.867601e-07,4.869917e-07,4.871976e-07,4.872806e-07,4.874855e-07,4.876114e-07,4.876358e-07,4.876630e-07,4.876591e-07,4.876448e-07,4.875654e-07,4.875608e-07,4.874151e-07,4.873637e-07,4.872111e-07,4.870622e-07,4.869523e-07,4.866685e-07,4.866418e-07,4.862827e-07,4.861895e-07,4.858777e-07,4.856318e-07,4.854294e-07,4.850012e-07,4.849404e-07,4.844130e-07,4.843032e-07,4.838494e-07,4.835428e-07,4.832517e-07,4.827247e-07,4.826218e-07,4.819616e-07,4.818533e-07,4.812729e-07,4.809327e-07,4.805573e-07,4.799666e-07,4.798164e-07,4.790517e-07,4.789584e-07,4.782647e-07,4.779116e-07,4.774566e-07,4.768292e-07,4.766288e-07,4.757824e-07,4.757139e-07,4.749187e-07,4.745686e-07,4.740387e-07,4.733957e-07,4.731436e-07,4.722343e-07,4.721976e-07,4.713117e-07,4.709765e-07,4.703768e-07,4.697345e-07,4.694305e-07,4.684735e-07,4.671954e-07,4.659020e-07,4.645947e-07,4.632752e-07,4.619449e-07,4.606051e-07,4.592573e-07,4.579024e-07,4.565418e-07,4.551765e-07,4.538075e-07,4.524357e-07,4.510621e-07,4.496875e-07,4.483127e-07,4.469385e-07,4.455656e-07,4.441947e-07,4.428263e-07,4.414612e-07,4.400998e-07,4.387427e-07,4.373904e-07,4.360434e-07
0.000000e+00,8.703817e-10,2.517004e-09,1.198558e-08,3.315459e-08,5.252097e-08,1.395797e-07,1.445187e-07,3.090104e-07,3.706541e-07,5.645562e-07,7.682982e-07,9.270314e-07,1.366546e-06,1.409882e-06,2.024250e-06,2.192268e-06,2.778431e-06,3.263496e-06,3.676144e-06,4.582119e-06,4.713639e-06,5.876874e-06,6.122592e-06,7.141039e-06,7.827668e-06,8.473635e-06,9.620225e-06,9.839621e-06,1.120612e-05,1.142286e-05,1.254526e-05,1.317169e-05,1.383520e-05,1.482075e-05,1.505987e-05,1.620822e-05,1.634052e-05,1.727324e-05,1.771438e-05,1.825115e-05,1.893523e-05,1.914065e-05,1.994239e-05,2.000279e-05,2.065847e-05,2.092160e-05,2.129210e-05,2.169953e-05,2.184735e-05,2.232885e-05,2.234665e-05,2.274162e-05,2.287439e-05,2.309088e-05,2.329480e-05,2.338192e-05,2.361999e-05,2.381018e-05,2.386174e-05,2.395738e-05,2.403116e-05,2.406619e-05,2.413852e-05,2.414091e-05,2.418553e-05,2.419313e-05,2.420369e-05,2.420328e-05,2.419870e-05,2.417625e-05,2.417356e-05,2.413094e-05,2.411838e-05,2.407324e-05,2.403514e-05,2.400259e-05,2.393119e-05,2.392086e-05,2.382971e-05,2.381049e-05,2.373061e-05,2.367637e-05,2.362483e-05,2.353163e-05,2.351349e-05,2.339756e-05,2.337864e-05,2.327790e-05,2.321936e-05,2.315525e-05,2.305541e-05,2.303026e-05,2.290349e-05,2.288818e-05,2.277543e-05,2.271879e-05,2.264652e-05,2.254820e-05,2.251712e-05,2.238755e-05,2.237719e-05,2.225811e-05,2.220642e-05,2.212903e-05,2.203644e-05,2.200053e-05,2.187279e-05,2.186770e-05,2.174599e-05,2.170059e-05,2.162025e-05,2.153542e-05,2.149570e-05,2.137245e-05,2.125059e-05,2.121190e-05,2.113020e-05,2.105394e-05,2.101133e-05,2.089872e-05,2.089406e-05,2.077843e-05,2.074635e-05,2.066448e-05,2.059693e-05,2.055224e-05,2.045052e-05,2.044174e-05,2.033300e-05,2.030717e-05,2.022604e-05,2.016693e-05,2.012087e-05,2.002981e-05,2.001750e-05,1.991593e-05,1.989583e-05,1.981616e-05,1.976499e-05,1.971819e-05,1.963728e-05,1.962201e-05,1.952762e-05,1.951268e-05,1.943501e-05,1.939118e-05,1.934416e-05,1.927275e-05,1.925507e-05,1.916771e-05,1.915735e-05,1.908208e-05,1.904494e-05,1.899815e-05,1.893549e-05,1.891590e-05,1.883532e-05,1.882895e-05,1.875639e-05,1.872527e-05,1.867908e-05,1.862441e-05,1.860338e-05,1.852925e-05,1.852632e-05,1.845669e-05,1.843094e-05,1.838566e-05,1.833822e-05,1.831614e-05,1.824811e-05,1.816055e-05,1.807548e-05,1.799285e-05,1.791261e-05,1.783470e-05,1.775907e-05,1.768565e-05,1.761440e-05,1.754525e-05,1.747816e-05,1.741308e-05,1.734995e-05,1.728871e-05,1.722933e-05,1.717174e-05,1.711590e-05,1.706177e-05,1.700929e-05,1.695842e-05,1.690911e-05,1.686132e-05,1.681501e-05,1.677013e-05,1.672665e-05
0.000000e+00,6.150436e-10,1.787223e-09,8.602918e-09,2.405885e-08,3.836100e-08,1.038804e-07,1.076455e-07,2.353050e-07,2.841277e-07,4.406382e-07,6.093409e-07,7.434620e-07,1.125560e-06,1.164005e-06,1.721456e-06,1.877375e-06,2.429974e-06,2.894561e-06,3.292911e-06,4.171768e-06,4.299473e-06,5.427199e-06,5.664843e-06,6.648015e-06,7.310144e-06,7.933621e-06,9.044783e-06,9.258442e-06,1.060059e-05,1.081568e-05,1.194178e-05,1.258065e-05,1.326682e-05,1.430670e-05,1.456314e-05,1.582038e-05,1.596820e-05,1.703012e-05,1.754557e-05,1.818565e-05,1.902441e-05,1.928188e-05,2.031513e-05,2.039499e-05,2.128307e-05,2.165167e-05,2.218457e-05,2.279243e-05,2.301955e-05,2.378882e-05,2.381824e-05,2.449389e-05,2.473240e-05,2.513690e-05,2.554000e-05,2.572043e-05,2.624741e-05,2.672101e-05,2.686182e-05,2.714450e-05,2.739078e-05,2.752121e-05,2.784190e-05,2.785443e-05,2.814739e-05,2.822263e-05,2.840318e-05,2.854006e-05,2.862478e-05,2.880083e-05,2.881496e-05,2.897635e-05,2.901108e-05,2.911141e-05,2.917639e-05,2.922240e-05,2.930182e-05,2.931141e-05,2.938036e-05,2.939190e-05,2.943102e-05,2.945067e-05,2.946499e-05,2.948172e-05,2.948376e-05,2.948866e-05,2.948824e-05,2.948093e-05,2.947306e-05,2.946168e-05,2.943866e-05,2.943192e-05,2.939258e-05,2.938726e-05,2.934450e-05,2.932078e-05,2.928844e-05,2.924094e-05,2.922511e-05,2.915514e-05,2.914927e-05,2.907911e-05,2.904712e-05,2.899755e-05,2.893568e-05,2.891095e-05,2.881976e-05,2.881603e-05,2.872439e-05,2.868911e-05,2.862521e-05,2.855577e-05,2.852257e-05,2.841678e-05,2.830814e-05,2.827282e-05,2.819692e-05,2.812451e-05,2.808338e-05,2.797240e-05,2.796774e-05,2.785022e-05,2.781700e-05,2.773101e-05,2.765876e-05,2.761031e-05,2.749809e-05,2.748829e-05,2.736510e-05,2.733538e-05,2.724089e-05,2.717095e-05,2.711581e-05,2.700512e-05,2.698998e-05,2.686353e-05,2.683817e-05,2.673656e-05,2.667037e-05,2.660918e-05,2.650194e-05,2.648150e-05,2.635359e-05,2.633312e-05,2.622556e-05,2.616408e-05,2.609747e-05,2.599501e-05,2.596941e-05,2.584144e-05,2.582609e-05,2.571362e-05,2.565745e-05,2.558603e-05,2.548924e-05,2.545872e-05,2.533173e-05,2.532159e-05,2.520513e-05,2.515460e-05,2.507895e-05,2.498839e-05,2.495325e-05,2.482805e-05,2.482306e-05,2.470341e-05,2.465868e-05,2.457936e-05,2.449535e-05,2.445592e-05,2.433313e-05,2.417209e-05,2.401228e-05,2.385378e-05,2.369661e-05,2.354083e-05,2.338648e-05,2.323358e-05,2.308218e-05,2.293230e-05,2.278395e-05,2.263717e-05,2.249197e-05,2.234836e-05,2.220636e-05,2.206597e-05,2.192720e-05,2.179007e-05,2.165456e-05,2.152069e-05,2.138846e-05,2.125785e-05,2.112887e-05,2.100152e-05,2.087579e-05
0.000000e+00,1.967282e-09,5.758051e-09,2.816072e-08,8.002413e-08,1.288257e-07,3.588309e-07,3.723077e-07,8.421498e-07,1.027555e-06,1.639315e-06,2.323208e-06,2.880913e-06,4.511844e-06,4.677916e-06,7.089293e-06,7.759147e-06,1.010072e-05,1.202689e-05,1.364984e-05,1.715586e-05,1.765857e-05,2.204960e-05,2.296726e-05,2.675108e-05,2.929631e-05,3.169662e-05,3.599406e-05,3.682428e-05,4.207594e-05,4.292402e-05,4.739723e-05,4.996128e-05,5.273796e-05,5.699378e-05,5.805260e-05,6.330075e-05,6.392434e-05,6.844747e-05,7.067213e-05,7.346339e-05,7.717309e-05,7.832458e-05,8.301226e-05,8.337933e-05,8.751239e-05,8.925760e-05,9.181515e-05,9.478737e-05,9.591443e-05,9.980723e-05,9.995863e-05,1.034932e-04,1.047698e-04,1.069740e-04,1.092256e-04,1.102533e-04,1.133357e-04,1.162270e-04,1.171130e-04,1.189338e-04,1.205725e-04,1.214630e-04,1.237307e-04,1.238218e-04,1.260179e-04,1.266046e-04,1.280585e-04,1.292115e-04,1.299513e-04,1.315684e-04,1.317036e-04,1.333224e-04,1.336918e-04,1.348148e-04,1.355978e-04,1.361874e-04,1.373015e-04,1.374469e-04,1.385993e-04,1.388175e-04,1.396506e-04,1.401593e-04,1.406066e-04,1.413399e-04,1.414726e-04,1.422538e-04,1.423712e-04,1.429550e-04,1.432646e-04,1.435810e-04,1.440306e-04,1.441362e-04,1.446247e-04,1.446790e-04,1.450505e-04,1.452190e-04,1.454174e-04,1.456591e-04,1.457290e-04,1.459885e-04,1.460071e-04,1.461992e-04,1.462705e-04,1.463641e-04,1.464561e-04,1.464860e-04,1.465677e-04,1.465701e-04,1.466115e-04,1.466186e-04,1.466201e-04,1.466069e-04,1.465955e-04,1.465401e-04,1.464556e-04,1.464228e-04,1.463442e-04,1.462596e-04,1.462076e-04,1.460542e-04,1.460474e-04,1.458653e-04,1.458106e-04,1.456628e-04,1.455322e-04,1.454414e-04,1.452221e-04,1.452023e-04,1.449469e-04,1.448833e-04,1.446763e-04,1.445186e-04,1.443917e-04,1.441305e-04,1.440942e-04,1.437847e-04,1.437215e-04,1.434642e-04,1.432936e-04,1.431337e-04,1.428488e-04,1.427939e-04,1.424456e-04,1.423892e-04,1.420897e-04,1.419163e-04,1.417268e-04,1.414318e-04,1.413575e-04,1.409826e-04,1.409372e-04,1.406026e-04,1.404339e-04,1.402180e-04,1.399231e-04,1.398295e-04,1.394374e-04,1.394059e-04,1.390423e-04,1.388836e-04,1.386447e-04,1.383570e-04,1.382448e-04,1.378431e-04,1.378271e-04,1.374401e-04,1.372947e-04,1.370359e-04,1.367607e-04,1.366310e-04,1.362257e-04,1.356905e-04,1.351556e-04,1.346216e-04,1.340891e-04,1.335584e-04,1.330301e-04,1.325046e-04,1.319821e-04,1.314631e-04,1.309479e-04,1.304367e-04,1.299298e-04,1.294274e-04,1.289297e-04,1.284369e-04,1.279492e-04,1.274667e-04,1.269895e-04,1.265178e-04,1.260517e-04,1.255912e-04,1.251364e-04,1.246875e-04,1.242443e-04
0.000000e+00,1.026982e-09,2.894509e-09,1.319220e-08,3.548887e-08,5.565958e-08,1.469099e-07,1.521580e-07,3.329351e-07,4.038422e-07,6.378718e-07,8.999049e-07,1.113377e-06,1.731373e-06,1.793513e-06,2.674666e-06,2.912093e-06,3.717625e-06,4.353932e-06,4.873628e-06,5.951972e-06,6.102169e-06,7.374051e-06,7.631688e-06,8.668440e-06,9.345057e-06,9.969598e-06,1.105841e-05,1.126478e-05,1.254317e-05,1.274552e-05,1.379551e-05,1.438500e-05,1.501389e-05,1.595971e-05,1.619179e-05,1.732401e-05,1.745661e-05,1.840665e-05,1.886655e-05,1.943697e-05,2.018396e-05,2.041330e-05,2.133490e-05,2.140626e-05,2.220178e-05,2.253334e-05,2.301460e-05,2.356697e-05,2.377449e-05,2.448297e-05,2.451027e-05,2.514185e-05,2.536727e-05,2.575309e-05,2.614261e-05,2.631882e-05,2.684119e-05,2.732239e-05,2.746804e-05,2.776462e-05,2.802817e-05,2.816999e-05,2.852641e-05,2.854059e-05,2.887844e-05,2.896743e-05,2.918546e-05,2.935565e-05,2.946350e-05,2.969523e-05,2.971433e-05,2.993961e-05,2.999006e-05,3.014094e-05,3.024378e-05,3.031980e-05,3.045976e-05,3.047763e-05,3.061576e-05,3.064113e-05,3.073544e-05,3.079079e-05,3.083787e-05,3.091140e-05,3.092416e-05,3.099537e-05,3.100542e-05,3.105247e-05,3.107514e-05,3.109640e-05,3.112264e-05,3.112802e-05,3.114816e-05,3.114984e-05,3.115758e-05,3.115852e-05,3.115701e-05,3.115031e-05,3.114712e-05,3.112854e-05,3.112670e-05,3.110188e-05,3.108908e-05,3.106769e-05,3.103870e-05,3.102649e-05,3.097878e-05,3.097674e-05,3.092502e-05,3.090427e-05,3.086565e-05,3.082227e-05,3.080107e-05,3.073166e-05,3.065779e-05,3.063326e-05,3.057978e-05,3.052784e-05,3.049797e-05,3.041611e-05,3.041263e-05,3.032406e-05,3.029872e-05,3.023252e-05,3.017626e-05,3.013824e-05,3.004929e-05,3.004146e-05,2.994241e-05,2.991832e-05,2.984128e-05,2.978381e-05,2.973826e-05,2.964618e-05,2.963353e-05,2.952727e-05,2.950585e-05,2.941963e-05,2.936316e-05,2.931076e-05,2.921846e-05,2.920080e-05,2.908988e-05,2.907205e-05,2.897813e-05,2.892423e-05,2.886566e-05,2.877524e-05,2.875258e-05,2.863900e-05,2.862534e-05,2.852500e-05,2.847474e-05,2.841069e-05,2.832365e-05,2.829614e-05,2.818144e-05,2.817226e-05,2.806665e-05,2.802073e-05,2.795186e-05,2.786923e-05,2.783711e-05,2.772249e-05,2.771791e-05,2.760804e-05,2.756689e-05,2.749382e-05,2.741631e-05,2.737988e-05,2.726626e-05,2.711687e-05,2.696821e-05,2.682038e-05,2.667345e-05,2.652751e-05,2.638260e-05,2.623880e-05,2.609615e-05,2.595470e-05,2.581450e-05,2.567558e-05,2.553799e-05,2.540175e-05,2.526688e-05,2.513343e-05,2.500139e-05,2.487080e-05,2.474167e-05,2.461401e-05,2.448782e-05,2.436313e-05,2.423994e-05,2.411825e-05,2.399806e-05
0.000000e+00,1.377290e-09,3.965344e-09,1.872193e-08,5.143250e-08,8.120088e-08,2.142683e-07,2.217979e-07,4.722321e-07,5.660791e-07,8.617730e-07,1.173647e-06,1.417597e-06,2.097618e-06,2.165014e-06,3.126043e-06,3.390311e-06,4.314791e-06,5.080175e-06,5.729395e-06,7.141603e-06,7.344598e-06,9.112359e-06,9.478956e-06,1.097214e-05,1.195535e-05,1.286387e-05,1.444000e-05,1.473662e-05,1.655157e-05,1.683463e-05,1.828135e-05,1.907579e-05,1.990787e-05,2.112712e-05,2.142007e-05,2.281200e-05,2.297082e-05,2.408152e-05,2.460140e-05,2.522923e-05,2.602164e-05,2.625786e-05,2.717176e-05,2.724007e-05,2.797644e-05,2.826915e-05,2.867833e-05,2.912392e-05,2.928437e-05,2.980187e-05,2.982083e-05,3.023823e-05,3.037686e-05,3.060075e-05,3.080873e-05,3.089654e-05,3.113234e-05,3.131452e-05,3.136246e-05,3.144895e-05,3.151244e-05,3.154102e-05,3.159413e-05,3.159566e-05,3.161727e-05,3.161795e-05,3.160982e-05,3.159289e-05,3.157684e-05,3.152664e-05,3.152145e-05,3.144640e-05,3.142575e-05,3.135414e-05,3.129577e-05,3.124681e-05,3.114140e-05,3.112630e-05,3.099425e-05,3.096659e-05,3.085212e-05,3.077467e-05,3.070120e-05,3.056845e-05,3.054260e-05,3.037733e-05,3.035033e-05,3.020626e-05,3.012232e-05,3.003018e-05,2.988616e-05,2.984976e-05,2.966564e-05,2.964332e-05,2.947836e-05,2.939509e-05,2.928842e-05,2.914256e-05,2.909626e-05,2.890229e-05,2.888670e-05,2.870685e-05,2.862834e-05,2.851028e-05,2.836820e-05,2.831286e-05,2.811485e-05,2.810692e-05,2.791649e-05,2.784504e-05,2.771801e-05,2.758308e-05,2.751961e-05,2.732146e-05,2.712374e-05,2.706059e-05,2.692660e-05,2.680079e-05,2.673016e-05,2.654237e-05,2.653456e-05,2.633992e-05,2.628560e-05,2.614633e-05,2.603072e-05,2.595389e-05,2.577794e-05,2.576269e-05,2.557281e-05,2.552744e-05,2.538432e-05,2.527939e-05,2.519728e-05,2.503393e-05,2.501175e-05,2.482778e-05,2.479118e-05,2.464542e-05,2.455124e-05,2.446470e-05,2.431420e-05,2.428567e-05,2.410836e-05,2.408015e-05,2.393278e-05,2.384914e-05,2.375898e-05,2.362123e-05,2.358697e-05,2.341677e-05,2.339647e-05,2.324839e-05,2.317489e-05,2.308185e-05,2.295651e-05,2.291715e-05,2.275430e-05,2.274135e-05,2.259331e-05,2.252943e-05,2.243417e-05,2.232075e-05,2.227690e-05,2.212148e-05,2.211530e-05,2.196792e-05,2.191309e-05,2.181621e-05,2.171410e-05,2.166635e-05,2.151832e-05,2.132573e-05,2.113631e-05,2.095003e-05,2.076687e-05,2.058679e-05,2.040977e-05,2.023577e-05,2.006476e-05,1.989670e-05,1.973155e-05,1.956927e-05,1.940983e-05,1.925317e-05,1.909927e-05,1.894808e-05,1.879955e-05,1.865365e-05,1.851033e-05,1.836955e-05,1.823126e-05,1.809543e-05,1.796201e-05,1.783095e-05,1.770222e-05
0.000000e+00,5.132552e-10,1.484779e-09,7.076957e-09,1.959955e-08,3.107363e-08,8.281636e-08,8.575891e-08,1.841382e-07,2.211822e-07,3.382749e-07,4.621735e-07,5.592671e-07,8.304209e-07,8.573240e-07,1.241429e-06,1.347221e-06,1.718076e-06,2.026297e-06,2.288841e-06,2.864311e-06,2.947589e-06,3.679422e-06,3.832739e-06,4.462868e-06,4.882732e-06,5.274137e-06,5.960764e-06,6.091037e-06,6.895223e-06,7.021723e-06,7.672787e-06,8.033547e-06,8.413936e-06,8.976247e-06,9.112279e-06,9.764068e-06,9.839054e-06,1.036755e-05,1.061766e-05,1.092245e-05,1.131215e-05,1.142958e-05,1.189054e-05,1.192549e-05,1.230753e-05,1.246257e-05,1.268309e-05,1.292941e-05,1.302002e-05,1.332123e-05,1.333258e-05,1.358966e-05,1.367883e-05,1.382820e-05,1.397477e-05,1.403965e-05,1.422665e-05,1.439167e-05,1.444021e-05,1.453700e-05,1.462064e-05,1.466472e-05,1.477252e-05,1.477672e-05,1.487471e-05,1.489985e-05,1.496020e-05,1.500607e-05,1.503455e-05,1.509413e-05,1.509894e-05,1.515442e-05,1.516652e-05,1.520193e-05,1.522535e-05,1.524226e-05,1.527240e-05,1.527615e-05,1.530420e-05,1.530917e-05,1.532698e-05,1.533691e-05,1.534498e-05,1.535670e-05,1.535861e-05,1.536825e-05,1.536945e-05,1.537426e-05,1.537594e-05,1.537692e-05,1.537683e-05,1.537651e-05,1.537327e-05,1.537270e-05,1.536742e-05,1.536407e-05,1.535916e-05,1.535137e-05,1.534866e-05,1.533609e-05,1.533500e-05,1.532161e-05,1.531532e-05,1.530535e-05,1.529262e-05,1.528745e-05,1.526801e-05,1.526720e-05,1.524715e-05,1.523931e-05,1.522497e-05,1.520919e-05,1.520157e-05,1.517704e-05,1.515146e-05,1.514307e-05,1.512491e-05,1.510744e-05,1.509746e-05,1.507032e-05,1.506918e-05,1.504013e-05,1.503187e-05,1.501038e-05,1.499222e-05,1.497999e-05,1.495150e-05,1.494900e-05,1.491747e-05,1.490983e-05,1.488545e-05,1.486732e-05,1.485298e-05,1.482408e-05,1.482011e-05,1.478688e-05,1.478019e-05,1.475332e-05,1.473575e-05,1.471947e-05,1.469084e-05,1.468537e-05,1.465104e-05,1.464553e-05,1.461653e-05,1.459990e-05,1.458185e-05,1.455402e-05,1.454704e-05,1.451213e-05,1.450793e-05,1.447713e-05,1.446171e-05,1.444207e-05,1.441539e-05,1.440697e-05,1.437185e-05,1.436904e-05,1.433674e-05,1.432270e-05,1.430165e-05,1.427640e-05,1.426659e-05,1.423160e-05,1.423020e-05,1.419667e-05,1.418412e-05,1.416183e-05,1.413820e-05,1.412709e-05,1.409247e-05,1.404696e-05,1.400169e-05,1.395670e-05,1.391199e-05,1.386761e-05,1.382355e-05,1.377985e-05,1.373651e-05,1.369356e-05,1.365100e-05,1.360885e-05,1.356711e-05,1.352581e-05,1.348494e-05,1.344452e-05,1.340455e-05,1.336503e-05,1.332598e-05,1.328740e-05,1.324929e-05,1.321166e-05,1.317451e-05,1.313783e-05,1.310164e-05
0.000000e+00,2.179820e-08,6.515710e-08,3.323376e-07,9.788844e-07,1.605179e-06,4.665500e-06,4.848261e-06,1.133541e-05,1.393203e-05,2.256422e-05,3.227637e-05,4.023347e-05,6.378729e-05,6.621854e-05,1.024957e-04,1.129495e-04,1.509629e-04,1.840378e-04,2.132036e-04,2.802692e-04,2.903371e-04,3.830114e-04,4.034390e-04,4.914720e-04,5.540938e-04,6.156347e-04,7.318111e-04,7.551415e-04,9.094001e-04,9.353998e-04,1.077614e-03,1.163033e-03,1.258807e-03,1.412353e-03,1.451852e-03,1.655493e-03,1.680578e-03,1.868376e-03,1.964608e-03,2.089078e-03,2.261138e-03,2.316131e-03,2.548054e-03,2.566774e-03,2.783378e-03,2.878137e-03,3.020668e-03,3.191958e-03,3.258546e-03,3.495706e-03,3.505160e-03,3.730927e-03,3.814913e-03,3.963086e-03,4.118679e-03,4.191161e-03,4.414241e-03,4.631521e-03,4.699708e-03,4.842304e-03,4.973519e-03,5.046001e-03,5.234428e-03,5.242122e-03,5.430274e-03,5.481485e-03,5.610152e-03,5.714013e-03,5.781537e-03,5.931583e-03,5.944282e-03,6.098312e-03,6.133979e-03,6.243611e-03,6.321177e-03,6.380218e-03,6.493312e-03,6.508222e-03,6.627750e-03,6.650652e-03,6.738966e-03,6.793577e-03,6.842065e-03,6.922555e-03,6.937265e-03,7.024806e-03,7.038118e-03,7.104941e-03,7.140853e-03,7.177938e-03,7.231380e-03,7.244071e-03,7.303622e-03,7.310340e-03,7.356876e-03,7.378386e-03,7.404118e-03,7.436176e-03,7.445632e-03,7.481700e-03,7.484359e-03,7.512600e-03,7.523574e-03,7.538604e-03,7.554445e-03,7.559979e-03,7.576982e-03,7.577575e-03,7.589867e-03,7.593545e-03,7.598877e-03,7.602909e-03,7.604245e-03,7.606200e-03,7.604957e-03,7.603919e-03,7.600726e-03,7.596543e-03,7.593707e-03,7.584521e-03,7.584088e-03,7.572053e-03,7.568274e-03,7.557775e-03,7.548200e-03,7.541418e-03,7.524668e-03,7.523138e-03,7.503085e-03,7.498025e-03,7.481400e-03,7.468592e-03,7.458214e-03,7.436670e-03,7.433654e-03,7.407840e-03,7.402537e-03,7.380883e-03,7.366450e-03,7.352890e-03,7.328648e-03,7.323960e-03,7.294187e-03,7.289351e-03,7.263659e-03,7.248762e-03,7.232459e-03,7.207068e-03,7.200665e-03,7.168350e-03,7.164441e-03,7.135583e-03,7.121039e-03,7.102427e-03,7.077006e-03,7.068943e-03,7.035187e-03,7.032476e-03,7.001210e-03,6.987569e-03,6.967062e-03,6.942395e-03,6.932789e-03,6.898432e-03,6.897056e-03,6.864031e-03,6.851643e-03,6.829622e-03,6.806238e-03,6.795241e-03,6.760917e-03,6.715748e-03,6.670793e-03,6.626105e-03,6.581736e-03,6.537728e-03,6.494122e-03,6.450952e-03,6.408249e-03,6.366040e-03,6.324350e-03,6.283197e-03,6.242600e-03,6.202575e-03,6.163133e-03,6.124284e-03,6.086038e-03,6.048400e-03,6.011375e-03,5.974967e-03,5.939178e-03,5.904007e-03,5.869455e-03,5.835521e-03,5.802200e-03
0.000000e+00,2.522071e-09,7.475755e-09,3.748243e-08,1.087465e-07,1.769030e-07,5.043677e-07,5.237419e-07,1.204755e-06,1.475062e-06,2.369101e-06,3.370773e-06,4.190120e-06,6.614204e-06,6.864430e-06,1.059587e-05,1.166893e-05,1.555268e-05,1.889877e-05,2.181735e-05,2.840020e-05,2.937239e-05,3.812578e-05,4.000899e-05,4.794486e-05,5.342261e-05,5.868029e-05,6.829430e-05,7.017919e-05,8.229147e-05,8.427661e-05,9.487280e-05,1.010379e-04,1.077861e-04,1.182687e-04,1.209023e-04,1.341014e-04,1.356856e-04,1.472733e-04,1.530341e-04,1.603179e-04,1.700914e-04,1.731461e-04,1.856801e-04,1.866680e-04,1.978529e-04,2.026081e-04,2.096089e-04,2.177893e-04,2.209027e-04,2.316992e-04,2.321203e-04,2.419721e-04,2.455385e-04,2.517038e-04,2.580068e-04,2.608842e-04,2.695096e-04,2.775821e-04,2.800495e-04,2.851084e-04,2.896435e-04,2.920994e-04,2.983201e-04,2.985691e-04,3.045340e-04,3.061162e-04,3.100127e-04,3.130748e-04,3.150251e-04,3.192426e-04,3.195920e-04,3.237349e-04,3.246685e-04,3.274754e-04,3.294024e-04,3.308352e-04,3.334938e-04,3.338356e-04,3.364976e-04,3.369912e-04,3.388416e-04,3.399413e-04,3.408873e-04,3.423891e-04,3.426537e-04,3.441591e-04,3.443769e-04,3.454208e-04,3.459448e-04,3.464555e-04,3.471302e-04,3.472787e-04,3.479054e-04,3.479681e-04,3.483497e-04,3.484908e-04,3.486248e-04,3.487284e-04,3.487432e-04,3.487166e-04,3.487086e-04,3.485561e-04,3.484568e-04,3.482720e-04,3.479964e-04,3.478740e-04,3.473712e-04,3.473490e-04,3.467720e-04,3.465343e-04,3.460844e-04,3.455702e-04,3.453159e-04,3.444732e-04,3.435630e-04,3.432585e-04,3.425912e-04,3.419396e-04,3.415635e-04,3.405292e-04,3.404851e-04,3.393609e-04,3.390385e-04,3.381954e-04,3.374781e-04,3.369929e-04,3.358573e-04,3.357574e-04,3.344924e-04,3.341848e-04,3.332015e-04,3.324684e-04,3.318878e-04,3.307152e-04,3.305542e-04,3.292036e-04,3.289316e-04,3.278384e-04,3.271235e-04,3.264610e-04,3.252963e-04,3.250737e-04,3.236785e-04,3.234546e-04,3.222772e-04,3.216030e-04,3.208717e-04,3.197453e-04,3.194635e-04,3.180543e-04,3.178851e-04,3.166452e-04,3.160257e-04,3.152378e-04,3.141698e-04,3.138330e-04,3.124321e-04,3.123203e-04,3.110361e-04,3.104792e-04,3.096458e-04,3.086489e-04,3.082622e-04,3.068861e-04,3.068312e-04,3.055180e-04,3.050277e-04,3.041588e-04,3.032399e-04,3.028091e-04,3.014693e-04,2.997169e-04,2.979838e-04,2.962710e-04,2.945791e-04,2.929089e-04,2.912610e-04,2.896359e-04,2.880340e-04,2.864555e-04,2.849009e-04,2.833703e-04,2.818638e-04,2.803817e-04,2.789238e-04,2.774903e-04,2.760811e-04,2.746962e-04,2.733354e-04,2.719988e-04,2.706860e-04,2.693970e-04,2.681315e-04,2.668894e-04,2.656705e-04
0.000000e+00,2.946131e-08,8.780526e-08,4.454630e-07,1.307330e-06,2.140948e-06,6.219569e-06,6.463730e-06,1.518583e-05,1.870816e-05,3.054018e-05,4.405804e-05,5.527597e-05,8.909295e-05,9.262662e-05,1.460061e-04,1.615473e-04,2.183163e-04,2.677475e-04,3.111757e-04,4.099755e-04,4.246508e-04,5.575601e-04,5.863115e-04,7.079582e-04,7.923130e-04,8.735215e-04,1.022514e-03,1.051788e-03,1.240291e-03,1.271241e-03,1.436641e-03,1.533003e-03,1.638564e-03,1.802679e-03,1.843931e-03,2.050782e-03,2.075617e-03,2.257333e-03,2.347702e-03,2.461987e-03,2.615382e-03,2.663336e-03,2.860161e-03,2.875679e-03,3.051423e-03,3.126171e-03,3.236259e-03,3.364963e-03,3.413969e-03,3.584005e-03,3.590641e-03,3.745956e-03,3.802220e-03,3.899534e-03,3.999091e-03,4.044563e-03,4.180963e-03,4.308737e-03,4.347813e-03,4.427959e-03,4.499833e-03,4.538763e-03,4.637384e-03,4.641331e-03,4.735887e-03,4.760960e-03,4.822684e-03,4.871153e-03,4.902001e-03,4.968620e-03,4.974133e-03,5.039389e-03,5.054062e-03,5.098085e-03,5.128208e-03,5.150539e-03,5.191790e-03,5.197072e-03,5.238001e-03,5.245542e-03,5.273637e-03,5.290179e-03,5.304288e-03,5.326400e-03,5.330251e-03,5.351816e-03,5.354877e-03,5.369262e-03,5.376252e-03,5.382857e-03,5.391135e-03,5.392860e-03,5.399518e-03,5.400103e-03,5.403066e-03,5.403701e-03,5.403729e-03,5.402436e-03,5.401721e-03,5.397244e-03,5.396785e-03,5.390490e-03,5.387192e-03,5.381641e-03,5.374068e-03,5.370868e-03,5.358332e-03,5.357796e-03,5.344187e-03,5.338728e-03,5.328575e-03,5.317191e-03,5.311632e-03,5.293484e-03,5.274250e-03,5.267884e-03,5.254041e-03,5.240644e-03,5.232961e-03,5.211995e-03,5.211108e-03,5.188572e-03,5.182151e-03,5.165438e-03,5.151304e-03,5.141786e-03,5.119632e-03,5.117690e-03,5.093218e-03,5.087295e-03,5.068433e-03,5.054440e-03,5.043396e-03,5.021198e-03,5.018161e-03,4.992779e-03,4.987689e-03,4.967297e-03,4.954022e-03,4.941759e-03,4.920293e-03,4.916205e-03,4.890672e-03,4.886591e-03,4.865194e-03,4.852993e-03,4.839802e-03,4.819571e-03,4.814526e-03,4.789391e-03,4.786385e-03,4.764421e-03,4.753493e-03,4.739639e-03,4.720942e-03,4.715064e-03,4.690713e-03,4.688776e-03,4.666605e-03,4.657032e-03,4.642752e-03,4.625743e-03,4.619168e-03,4.595864e-03,4.594938e-03,4.572852e-03,4.564640e-03,4.550140e-03,4.534871e-03,4.527735e-03,4.505646e-03,4.476980e-03,4.448884e-03,4.421367e-03,4.394435e-03,4.368092e-03,4.342341e-03,4.317182e-03,4.292614e-03,4.268635e-03,4.245242e-03,4.222431e-03,4.200195e-03,4.178528e-03,4.157425e-03,4.136876e-03,4.116874e-03,4.097409e-03,4.078474e-03,4.060059e-03,4.042153e-03,4.024747e-03,4.007831e-03,3.991394e-03,3.975426e-03
0.000000e+00,2.716576e-09,8.049735e-09,4.038313e-08,1.174628e-07,1.915601e-07,5.521914e-07,5.737490e-07,1.345075e-06,1.657760e-06,2.713592e-06,3.927294e-06,4.936495e-06,7.957325e-06,8.269401e-06,1.286739e-05,1.416312e-05,1.874331e-05,2.256264e-05,2.581227e-05,3.291831e-05,3.394591e-05,4.300248e-05,4.491191e-05,5.283891e-05,5.821534e-05,6.331495e-05,7.250938e-05,7.429447e-05,8.564632e-05,8.748872e-05,9.724546e-05,1.028660e-04,1.089742e-04,1.183770e-04,1.207237e-04,1.323950e-04,1.337860e-04,1.439004e-04,1.488901e-04,1.551635e-04,1.635212e-04,1.661196e-04,1.767156e-04,1.775463e-04,1.869089e-04,1.908659e-04,1.966673e-04,2.034107e-04,2.059675e-04,2.147946e-04,2.151378e-04,2.231405e-04,2.260267e-04,2.310032e-04,2.360751e-04,2.383856e-04,2.452950e-04,2.517418e-04,2.537092e-04,2.577391e-04,2.613483e-04,2.633019e-04,2.682487e-04,2.684466e-04,2.731908e-04,2.744498e-04,2.775523e-04,2.799932e-04,2.815495e-04,2.849210e-04,2.852008e-04,2.885243e-04,2.892751e-04,2.915378e-04,2.930966e-04,2.942589e-04,2.964249e-04,2.967043e-04,2.988904e-04,2.992979e-04,3.008328e-04,3.017516e-04,3.025465e-04,3.038198e-04,3.040459e-04,3.053445e-04,3.055345e-04,3.064553e-04,3.069254e-04,3.073906e-04,3.080203e-04,3.081620e-04,3.087806e-04,3.088450e-04,3.092567e-04,3.094235e-04,3.096001e-04,3.097780e-04,3.098201e-04,3.099253e-04,3.099291e-04,3.099241e-04,3.098956e-04,3.098241e-04,3.096951e-04,3.096326e-04,3.093564e-04,3.093437e-04,3.090019e-04,3.088562e-04,3.085751e-04,3.082464e-04,3.080816e-04,3.075268e-04,3.069157e-04,3.067090e-04,3.062528e-04,3.058035e-04,3.055426e-04,3.048201e-04,3.047892e-04,3.039963e-04,3.037677e-04,3.031676e-04,3.026546e-04,3.023064e-04,3.014882e-04,3.014159e-04,3.004991e-04,3.002754e-04,2.995586e-04,2.990226e-04,2.985971e-04,2.977354e-04,2.976169e-04,2.966204e-04,2.964193e-04,2.956095e-04,2.950789e-04,2.945863e-04,2.937187e-04,2.935527e-04,2.925102e-04,2.923427e-04,2.914606e-04,2.909547e-04,2.904053e-04,2.895578e-04,2.893456e-04,2.882830e-04,2.881553e-04,2.872184e-04,2.867498e-04,2.861532e-04,2.853438e-04,2.850883e-04,2.840246e-04,2.839396e-04,2.829631e-04,2.825393e-04,2.819046e-04,2.811448e-04,2.808499e-04,2.797996e-04,2.797577e-04,2.787545e-04,2.783796e-04,2.777150e-04,2.770118e-04,2.766819e-04,2.756555e-04,2.743119e-04,2.729819e-04,2.716663e-04,2.703660e-04,2.690816e-04,2.678136e-04,2.665627e-04,2.653292e-04,2.641135e-04,2.629159e-04,2.617367e-04,2.605761e-04,2.594342e-04,2.583111e-04,2.572070e-04,2.561218e-04,2.550556e-04,2.540083e-04,2.529799e-04,2.519704e-04,2.509796e-04,2.500075e-04,2.490538e-04,2.481185e-04
0.000000e+00,1.404825e-09,4.139006e-09,2.051253e-08,5.896846e-08,9.551432e-08,2.701189e-07,2.804317e-07,6.434016e-07,7.880083e-07,1.269081e-06,1.812888e-06,2.260755e-06,3.594246e-06,3.732117e-06,5.778373e-06,6.361065e-06,8.441664e-06,1.019791e-05,1.170413e-05,1.502550e-05,1.550818e-05,1.977940e-05,2.068287e-05,2.444065e-05,2.699399e-05,2.941827e-05,3.379378e-05,3.464388e-05,4.005445e-05,4.093336e-05,4.559188e-05,4.827900e-05,5.120257e-05,5.571068e-05,5.683735e-05,6.245143e-05,6.312177e-05,6.800458e-05,7.041932e-05,7.346122e-05,7.752460e-05,7.879056e-05,8.396650e-05,8.437327e-05,8.896751e-05,9.091497e-05,9.377650e-05,9.711261e-05,9.838044e-05,1.027701e-04,1.029411e-04,1.069394e-04,1.083858e-04,1.108855e-04,1.134411e-04,1.146079e-04,1.181083e-04,1.213900e-04,1.223947e-04,1.244579e-04,1.263119e-04,1.273180e-04,1.298746e-04,1.299772e-04,1.324428e-04,1.330995e-04,1.347228e-04,1.360050e-04,1.368252e-04,1.386098e-04,1.387585e-04,1.405307e-04,1.409330e-04,1.421502e-04,1.429934e-04,1.436250e-04,1.448094e-04,1.449629e-04,1.461717e-04,1.463985e-04,1.472585e-04,1.477779e-04,1.482306e-04,1.489634e-04,1.490947e-04,1.498573e-04,1.499703e-04,1.505246e-04,1.508127e-04,1.511024e-04,1.515041e-04,1.515964e-04,1.520119e-04,1.520567e-04,1.523538e-04,1.524822e-04,1.526270e-04,1.527914e-04,1.528359e-04,1.529847e-04,1.529942e-04,1.530775e-04,1.530998e-04,1.531180e-04,1.531169e-04,1.531099e-04,1.530563e-04,1.530533e-04,1.529606e-04,1.529164e-04,1.528257e-04,1.527130e-04,1.526543e-04,1.524492e-04,1.522128e-04,1.521309e-04,1.519474e-04,1.517633e-04,1.516552e-04,1.513514e-04,1.513383e-04,1.509986e-04,1.508996e-04,1.506379e-04,1.504122e-04,1.502581e-04,1.498929e-04,1.498605e-04,1.494469e-04,1.493454e-04,1.490185e-04,1.487727e-04,1.485767e-04,1.481779e-04,1.481229e-04,1.476580e-04,1.475638e-04,1.471833e-04,1.469329e-04,1.466997e-04,1.462874e-04,1.462083e-04,1.457099e-04,1.456296e-04,1.452055e-04,1.449614e-04,1.446957e-04,1.442845e-04,1.441813e-04,1.436631e-04,1.436007e-04,1.431417e-04,1.429114e-04,1.426176e-04,1.422180e-04,1.420916e-04,1.415640e-04,1.415217e-04,1.410354e-04,1.408239e-04,1.405064e-04,1.401254e-04,1.399772e-04,1.394484e-04,1.394272e-04,1.389202e-04,1.387303e-04,1.383931e-04,1.380355e-04,1.378674e-04,1.373434e-04,1.366547e-04,1.359701e-04,1.352901e-04,1.346151e-04,1.339457e-04,1.332822e-04,1.326250e-04,1.319743e-04,1.313305e-04,1.306939e-04,1.300646e-04,1.294428e-04,1.288287e-04,1.282225e-04,1.276242e-04,1.270341e-04,1.264520e-04,1.258782e-04,1.253127e-04,1.247554e-04,1.242065e-04,1.236660e-04,1.231337e-04,1.226098e-04
0.000000e+00,1.721153e-10,4.234864e-10,1.568282e-09,3.681977e-09,5.431015e-09,1.257112e-08,1.295862e-08,2.549522e-08,3.011803e-08,4.467209e-08,6.011457e-08,7.225251e-08,1.059228e-07,1.092157e-07,1.545979e-07,1.664866e-07,2.060519e-07,2.366736e-07,2.613914e-07,3.121119e-07,3.191323e-07,3.783037e-07,3.902447e-07,4.381978e-07,4.694297e-07,4.982240e-07,5.483548e-07,5.578461e-07,6.165637e-07,6.258430e-07,6.739146e-07,7.008339e-07,7.294849e-07,7.724192e-07,7.829208e-07,8.339351e-07,8.398831e-07,8.823104e-07,9.027188e-07,9.278981e-07,9.606266e-07,9.706143e-07,1.010433e-06,1.013493e-06,1.047376e-06,1.061362e-06,1.081509e-06,1.104397e-06,1.112927e-06,1.141749e-06,1.142850e-06,1.168112e-06,1.177028e-06,1.192160e-06,1.207268e-06,1.214045e-06,1.233919e-06,1.251929e-06,1.257322e-06,1.268220e-06,1.277807e-06,1.282928e-06,1.295679e-06,1.296183e-06,1.308104e-06,1.311219e-06,1.318805e-06,1.324682e-06,1.328388e-06,1.336297e-06,1.336947e-06,1.344568e-06,1.346267e-06,1.351332e-06,1.354772e-06,1.357309e-06,1.361969e-06,1.362564e-06,1.367156e-06,1.368000e-06,1.371139e-06,1.372985e-06,1.374561e-06,1.377034e-06,1.377466e-06,1.379894e-06,1.380240e-06,1.381880e-06,1.382687e-06,1.383459e-06,1.384449e-06,1.384660e-06,1.385510e-06,1.385590e-06,1.386034e-06,1.386167e-06,1.386255e-06,1.386233e-06,1.386194e-06,1.385870e-06,1.385834e-06,1.385301e-06,1.385009e-06,1.384504e-06,1.383796e-06,1.383492e-06,1.382280e-06,1.382228e-06,1.380882e-06,1.380335e-06,1.379309e-06,1.378145e-06,1.377572e-06,1.375682e-06,1.373648e-06,1.372968e-06,1.371480e-06,1.370025e-06,1.369186e-06,1.366872e-06,1.366774e-06,1.364251e-06,1.363526e-06,1.361626e-06,1.360004e-06,1.358903e-06,1.356319e-06,1.356091e-06,1.353194e-06,1.352487e-06,1.350218e-06,1.348519e-06,1.347168e-06,1.344428e-06,1.344050e-06,1.340869e-06,1.340225e-06,1.337628e-06,1.335920e-06,1.334332e-06,1.331524e-06,1.330985e-06,1.327591e-06,1.327043e-06,1.324153e-06,1.322488e-06,1.320675e-06,1.317866e-06,1.317161e-06,1.313613e-06,1.313185e-06,1.310034e-06,1.308450e-06,1.306427e-06,1.303669e-06,1.302796e-06,1.299141e-06,1.298848e-06,1.295467e-06,1.293992e-06,1.291775e-06,1.289107e-06,1.288067e-06,1.284346e-06,1.284197e-06,1.280613e-06,1.279267e-06,1.276871e-06,1.274322e-06,1.273121e-06,1.269365e-06,1.264401e-06,1.259433e-06,1.254464e-06,1.249498e-06,1.244538e-06,1.239586e-06,1.234645e-06,1.229717e-06,1.224805e-06,1.219911e-06,1.215037e-06,1.210184e-06,1.205355e-06,1.200551e-06,1.195773e-06,1.191024e-06,1.186303e-06,1.181613e-06,1.176954e-06,1.172329e-06,1.167736e-06,1.163178e-06,1.158655e-06,1.154168e-06
0.000000e+00,2.531768e-09,7.230961e-09,3.373914e-08,9.223471e-08,1.455908e-07,3.873467e-07,4.012038e-07,8.731982e-07,1.055502e-06,1.647899e-06,2.299036e-06,2.823893e-06,4.335514e-06,4.487839e-06,6.675124e-06,7.276301e-06,9.363346e-06,1.106907e-05,1.250223e-05,1.559554e-05,1.603947e-05,1.992932e-05,2.074601e-05,2.413175e-05,2.642811e-05,2.860941e-05,3.255631e-05,3.332533e-05,3.824167e-05,3.904431e-05,4.331966e-05,4.580297e-05,4.851998e-05,5.274201e-05,5.380353e-05,5.913229e-05,5.977304e-05,6.447011e-05,6.681287e-05,6.978341e-05,7.378618e-05,7.504162e-05,8.021754e-05,8.062733e-05,8.528749e-05,8.728116e-05,9.023127e-05,9.370310e-05,9.503207e-05,9.967624e-05,9.985859e-05,1.041531e-04,1.057223e-04,1.084549e-04,1.112770e-04,1.125758e-04,1.165126e-04,1.202635e-04,1.214244e-04,1.238283e-04,1.260126e-04,1.272082e-04,1.302809e-04,1.304053e-04,1.334223e-04,1.342353e-04,1.362627e-04,1.378839e-04,1.389307e-04,1.412368e-04,1.414307e-04,1.437678e-04,1.443050e-04,1.459471e-04,1.471008e-04,1.479746e-04,1.496379e-04,1.498562e-04,1.515975e-04,1.519294e-04,1.532040e-04,1.539879e-04,1.546812e-04,1.558260e-04,1.560344e-04,1.572689e-04,1.574557e-04,1.583900e-04,1.588893e-04,1.594026e-04,1.601381e-04,1.603118e-04,1.611223e-04,1.612132e-04,1.618388e-04,1.621254e-04,1.624657e-04,1.628850e-04,1.630075e-04,1.634684e-04,1.635020e-04,1.638526e-04,1.639856e-04,1.641638e-04,1.643449e-04,1.644059e-04,1.645826e-04,1.645884e-04,1.646974e-04,1.647242e-04,1.647536e-04,1.647600e-04,1.647544e-04,1.647031e-04,1.646026e-04,1.645605e-04,1.644557e-04,1.643386e-04,1.642652e-04,1.640437e-04,1.640337e-04,1.637637e-04,1.636816e-04,1.634577e-04,1.632577e-04,1.631178e-04,1.627773e-04,1.627465e-04,1.623456e-04,1.622452e-04,1.619172e-04,1.616661e-04,1.614633e-04,1.610441e-04,1.609856e-04,1.604859e-04,1.603835e-04,1.599659e-04,1.596880e-04,1.594271e-04,1.589610e-04,1.588710e-04,1.582990e-04,1.582061e-04,1.577125e-04,1.574262e-04,1.571128e-04,1.566244e-04,1.565012e-04,1.558787e-04,1.558033e-04,1.552464e-04,1.549655e-04,1.546056e-04,1.541133e-04,1.539570e-04,1.533017e-04,1.532490e-04,1.526405e-04,1.523746e-04,1.519744e-04,1.514921e-04,1.513040e-04,1.506302e-04,1.506032e-04,1.499536e-04,1.497095e-04,1.492750e-04,1.488126e-04,1.485949e-04,1.479140e-04,1.470148e-04,1.461164e-04,1.452198e-04,1.443260e-04,1.434360e-04,1.425507e-04,1.416708e-04,1.407970e-04,1.399300e-04,1.390704e-04,1.382187e-04,1.373754e-04,1.365410e-04,1.357158e-04,1.349001e-04,1.340943e-04,1.332986e-04,1.325133e-04,1.317385e-04,1.309744e-04,1.302212e-04,1.294789e-04,1.287477e-04,1.280276e-04
0.000000e+00,6.259291e-09,1.854266e-08,9.283600e-08,2.688768e-07,4.368837e-07,1.240695e-06,1.288104e-06,2.946314e-06,3.600615e-06,5.751698e-06,8.141317e-06,1.008208e-05,1.576145e-05,1.634294e-05,2.492598e-05,2.736802e-05,3.613457e-05,4.362389e-05,5.012846e-05,6.476542e-05,6.692739e-05,8.644855e-05,9.066724e-05,1.085436e-04,1.209887e-04,1.330234e-04,1.552718e-04,1.596718e-04,1.882529e-04,1.929887e-04,2.185161e-04,2.335631e-04,2.501987e-04,2.763848e-04,2.830296e-04,3.167328e-04,3.208227e-04,3.510314e-04,3.662408e-04,3.856521e-04,4.120156e-04,4.203296e-04,4.548109e-04,4.575537e-04,4.888590e-04,5.023075e-04,5.222565e-04,5.457890e-04,5.548076e-04,5.863406e-04,5.875786e-04,6.167080e-04,6.273305e-04,6.457873e-04,6.647747e-04,6.734809e-04,6.997144e-04,7.244363e-04,7.320224e-04,7.476155e-04,7.616340e-04,7.692394e-04,7.885384e-04,7.893117e-04,8.078501e-04,8.127698e-04,8.248846e-04,8.343996e-04,8.404549e-04,8.535275e-04,8.546090e-04,8.674013e-04,8.702753e-04,8.788911e-04,8.847798e-04,8.891413e-04,8.971876e-04,8.982168e-04,9.061839e-04,9.076502e-04,9.131095e-04,9.163216e-04,9.190611e-04,9.233560e-04,9.241046e-04,9.283031e-04,9.289006e-04,9.317176e-04,9.330953e-04,9.344063e-04,9.360718e-04,9.364243e-04,9.378238e-04,9.379525e-04,9.386541e-04,9.388512e-04,9.389616e-04,9.388724e-04,9.387896e-04,9.381786e-04,9.381119e-04,9.371661e-04,9.366567e-04,9.357873e-04,9.345860e-04,9.340746e-04,9.320581e-04,9.319716e-04,9.297659e-04,9.288782e-04,9.272237e-04,9.253644e-04,9.244552e-04,9.214825e-04,9.183256e-04,9.172796e-04,9.150033e-04,9.127980e-04,9.115325e-04,9.080755e-04,9.079290e-04,9.042074e-04,9.031460e-04,9.003809e-04,8.980399e-04,8.964619e-04,8.927842e-04,8.924614e-04,8.883900e-04,8.874034e-04,8.842570e-04,8.819190e-04,8.800713e-04,8.763505e-04,8.758407e-04,8.715728e-04,8.707153e-04,8.672742e-04,8.650289e-04,8.629512e-04,8.593052e-04,8.586095e-04,8.542544e-04,8.535567e-04,8.498907e-04,8.477943e-04,8.455227e-04,8.420281e-04,8.411547e-04,8.367903e-04,8.362670e-04,8.324330e-04,8.305188e-04,8.280858e-04,8.247907e-04,8.237519e-04,8.194337e-04,8.190890e-04,8.151337e-04,8.134193e-04,8.108542e-04,8.077868e-04,8.065972e-04,8.023645e-04,8.021957e-04,7.981578e-04,7.966501e-04,7.939788e-04,7.911535e-04,7.898287e-04,7.857089e-04,7.803191e-04,7.749865e-04,7.697131e-04,7.645008e-04,7.593510e-04,7.542651e-04,7.492442e-04,7.442892e-04,7.394008e-04,7.345796e-04,7.298261e-04,7.251406e-04,7.205232e-04,7.159740e-04,7.114930e-04,7.070801e-04,7.027351e-04,6.984577e-04,6.942475e-04,6.901043e-04,6.860275e-04,6.820167e-04,6.780712e-04,6.741906e-04
0.000000e+00,1.515898e-10,3.564592e-10,1.259999e-09,2.902829e-09,4.255563e-09,9.753729e-09,1.005125e-08,1.962982e-08,2.313893e-08,3.411038e-08,4.563936e-08,5.463633e-08,7.943828e-08,8.186195e-08,1.155326e-07,1.244914e-07,1.549097e-07,1.791900e-07,1.993051e-07,2.420957e-07,2.481821e-07,3.010811e-07,3.121043e-07,3.575529e-07,3.881750e-07,4.171260e-07,4.691965e-07,4.792968e-07,5.435354e-07,5.539691e-07,6.092968e-07,6.412427e-07,6.760359e-07,7.297735e-07,7.432217e-07,8.103511e-07,8.183802e-07,8.769587e-07,9.059910e-07,9.426256e-07,9.916748e-07,1.006984e-06,1.069716e-06,1.074656e-06,1.130560e-06,1.154319e-06,1.189302e-06,1.230202e-06,1.245779e-06,1.299869e-06,1.301982e-06,1.351490e-06,1.369459e-06,1.400594e-06,1.432537e-06,1.447164e-06,1.491205e-06,1.532745e-06,1.545517e-06,1.571829e-06,1.595580e-06,1.608514e-06,1.641538e-06,1.642868e-06,1.674967e-06,1.683562e-06,1.704893e-06,1.721840e-06,1.732730e-06,1.756571e-06,1.758566e-06,1.782489e-06,1.787956e-06,1.804588e-06,1.816200e-06,1.824951e-06,1.841501e-06,1.843662e-06,1.860805e-06,1.864053e-06,1.876462e-06,1.884042e-06,1.890710e-06,1.901646e-06,1.903626e-06,1.915282e-06,1.917035e-06,1.925748e-06,1.930369e-06,1.935090e-06,1.941798e-06,1.943372e-06,1.950654e-06,1.951464e-06,1.956994e-06,1.959500e-06,1.962447e-06,1.966030e-06,1.967065e-06,1.970897e-06,1.971171e-06,1.973990e-06,1.975030e-06,1.976388e-06,1.977709e-06,1.978135e-06,1.979268e-06,1.979301e-06,1.979827e-06,1.979895e-06,1.979848e-06,1.979571e-06,1.979362e-06,1.978404e-06,1.977003e-06,1.976466e-06,1.975187e-06,1.973820e-06,1.972984e-06,1.970528e-06,1.970419e-06,1.967516e-06,1.966646e-06,1.964298e-06,1.962225e-06,1.960787e-06,1.957315e-06,1.957002e-06,1.952964e-06,1.951959e-06,1.948690e-06,1.946200e-06,1.944198e-06,1.940076e-06,1.939503e-06,1.934620e-06,1.933623e-06,1.929566e-06,1.926873e-06,1.924352e-06,1.919858e-06,1.918991e-06,1.913497e-06,1.912606e-06,1.907880e-06,1.905144e-06,1.902152e-06,1.897495e-06,1.896321e-06,1.890399e-06,1.889683e-06,1.884394e-06,1.881728e-06,1.878314e-06,1.873649e-06,1.872169e-06,1.865964e-06,1.865465e-06,1.859708e-06,1.857193e-06,1.853408e-06,1.848847e-06,1.847069e-06,1.840697e-06,1.840442e-06,1.834299e-06,1.831991e-06,1.827880e-06,1.823505e-06,1.821444e-06,1.814997e-06,1.806477e-06,1.797953e-06,1.789435e-06,1.780931e-06,1.772449e-06,1.763994e-06,1.755574e-06,1.747194e-06,1.738860e-06,1.730576e-06,1.722346e-06,1.714175e-06,1.706066e-06,1.698023e-06,1.690048e-06,1.682145e-06,1.674315e-06,1.666561e-06,1.658885e-06,1.651288e-06,1.643772e-06,1.636339e-06,1.628989e-06,1.621723e-06
0.000000e+00,3.927633e-11,9.056722e-11,3.129865e-10,7.120385e-10,1.037916e-09,2.346366e-09,2.416561e-09,4.649289e-09,5.455618e-09,7.944845e-09,1.052388e-08,1.252406e-08,1.806146e-08,1.860838e-08,2.638064e-08,2.850861e-08,3.591243e-08,4.198605e-08,4.709465e-08,5.808006e-08,5.964704e-08,7.321526e-08,7.602054e-08,8.746681e-08,9.505484e-08,1.021295e-07,1.146061e-07,1.169895e-07,1.318773e-07,1.342524e-07,1.466557e-07,1.536765e-07,1.612118e-07,1.726336e-07,1.754527e-07,1.893025e-07,1.909352e-07,2.027009e-07,2.084406e-07,2.156011e-07,2.250507e-07,2.279691e-07,2.397816e-07,2.407021e-07,2.510252e-07,2.553619e-07,2.616946e-07,2.690218e-07,2.717915e-07,2.813221e-07,2.816917e-07,2.902977e-07,2.933959e-07,2.987334e-07,3.041699e-07,3.066463e-07,3.140557e-07,3.209821e-07,3.231001e-07,3.274469e-07,3.313519e-07,3.334713e-07,3.388604e-07,3.390768e-07,3.442849e-07,3.456748e-07,3.491163e-07,3.518429e-07,3.535914e-07,3.574107e-07,3.577299e-07,3.615506e-07,3.624223e-07,3.650717e-07,3.669191e-07,3.683105e-07,3.709404e-07,3.712837e-07,3.740068e-07,3.745228e-07,3.764949e-07,3.777005e-07,3.787620e-07,3.805055e-07,3.808216e-07,3.826863e-07,3.829674e-07,3.843682e-07,3.851139e-07,3.858785e-07,3.869704e-07,3.872279e-07,3.884265e-07,3.885607e-07,3.894837e-07,3.899064e-07,3.904085e-07,3.910280e-07,3.912093e-07,3.918940e-07,3.919439e-07,3.924700e-07,3.926716e-07,3.929445e-07,3.932269e-07,3.933240e-07,3.936147e-07,3.936246e-07,3.938225e-07,3.938781e-07,3.939530e-07,3.940001e-07,3.940112e-07,3.940021e-07,3.939302e-07,3.938946e-07,3.937999e-07,3.936877e-07,3.936152e-07,3.933903e-07,3.933799e-07,3.930977e-07,3.930108e-07,3.927719e-07,3.925569e-07,3.924058e-07,3.920358e-07,3.920022e-07,3.915639e-07,3.914539e-07,3.910938e-07,3.908175e-07,3.905941e-07,3.901319e-07,3.900674e-07,3.895157e-07,3.894025e-07,3.889411e-07,3.886339e-07,3.883456e-07,3.878306e-07,3.877311e-07,3.870992e-07,3.869965e-07,3.864515e-07,3.861355e-07,3.857896e-07,3.852508e-07,3.851149e-07,3.844288e-07,3.843457e-07,3.837325e-07,3.834232e-07,3.830271e-07,3.824858e-07,3.823140e-07,3.815939e-07,3.815361e-07,3.808681e-07,3.805763e-07,3.801373e-07,3.796086e-07,3.794025e-07,3.786644e-07,3.786348e-07,3.779238e-07,3.776568e-07,3.771815e-07,3.766761e-07,3.764381e-07,3.756943e-07,3.747126e-07,3.737325e-07,3.727550e-07,3.717811e-07,3.708119e-07,3.698482e-07,3.688907e-07,3.679404e-07,3.669976e-07,3.660632e-07,3.651376e-07,3.642212e-07,3.633146e-07,3.624181e-07,3.615321e-07,3.606568e-07,3.597926e-07,3.589396e-07,3.580980e-07,3.572681e-07,3.564500e-07,3.556437e-07,3.548494e-07,3.540672e-07
0.000000e+00,1.446481e-09,4.179892e-09,1.988652e-08,5.503078e-08,8.725118e-08,2.330871e-07,2.414120e-07,5.219052e-07,6.286444e-07,9.700596e-07,1.337615e-06,1.629656e-06,2.458707e-06,2.541658e-06,3.726693e-06,4.050632e-06,5.167399e-06,6.067996e-06,6.813951e-06,8.384842e-06,8.605559e-06,1.048655e-05,1.086933e-05,1.241196e-05,1.341884e-05,1.434700e-05,1.595995e-05,1.626466e-05,1.814340e-05,1.843915e-05,1.996546e-05,2.081548e-05,2.171605e-05,2.305671e-05,2.338287e-05,2.495600e-05,2.513810e-05,2.642796e-05,2.704219e-05,2.779371e-05,2.875892e-05,2.905057e-05,3.019802e-05,3.028512e-05,3.123751e-05,3.162372e-05,3.217213e-05,3.278258e-05,3.300633e-05,3.374551e-05,3.377319e-05,3.439580e-05,3.460940e-05,3.496373e-05,3.530628e-05,3.545598e-05,3.587920e-05,3.623987e-05,3.634309e-05,3.654416e-05,3.671200e-05,3.679785e-05,3.699877e-05,3.700630e-05,3.717442e-05,3.721488e-05,3.730667e-05,3.737048e-05,3.740705e-05,3.747436e-05,3.747917e-05,3.752622e-05,3.753410e-05,3.755103e-05,3.755615e-05,3.755611e-05,3.754603e-05,3.754368e-05,3.751568e-05,3.750837e-05,3.747384e-05,3.744712e-05,3.741966e-05,3.736561e-05,3.735450e-05,3.727952e-05,3.726668e-05,3.719578e-05,3.715274e-05,3.710420e-05,3.702585e-05,3.700561e-05,3.690075e-05,3.688777e-05,3.679028e-05,3.674005e-05,3.667479e-05,3.658400e-05,3.655482e-05,3.643086e-05,3.642078e-05,3.630334e-05,3.625142e-05,3.617266e-05,3.607682e-05,3.603919e-05,3.590326e-05,3.589777e-05,3.576517e-05,3.571499e-05,3.562522e-05,3.552911e-05,3.548365e-05,3.534070e-05,3.519660e-05,3.515027e-05,3.505154e-05,3.495829e-05,3.490572e-05,3.476517e-05,3.475930e-05,3.461246e-05,3.457129e-05,3.446533e-05,3.437698e-05,3.431807e-05,3.418257e-05,3.417079e-05,3.402361e-05,3.398832e-05,3.387665e-05,3.379449e-05,3.373001e-05,3.360131e-05,3.358379e-05,3.343806e-05,3.340899e-05,3.329292e-05,3.321771e-05,3.314844e-05,3.302764e-05,3.300469e-05,3.286173e-05,3.283893e-05,3.271962e-05,3.265173e-05,3.257842e-05,3.246615e-05,3.243818e-05,3.229894e-05,3.228230e-05,3.216074e-05,3.210028e-05,3.202364e-05,3.192018e-05,3.188765e-05,3.175281e-05,3.174208e-05,3.161916e-05,3.156604e-05,3.148672e-05,3.139212e-05,3.135551e-05,3.122556e-05,3.122038e-05,3.109687e-05,3.105086e-05,3.096948e-05,3.088360e-05,3.084339e-05,3.071863e-05,3.055597e-05,3.039564e-05,3.023767e-05,3.008207e-05,2.992884e-05,2.977798e-05,2.962950e-05,2.948340e-05,2.933967e-05,2.919830e-05,2.905929e-05,2.892261e-05,2.878826e-05,2.865622e-05,2.852647e-05,2.839899e-05,2.827377e-05,2.815077e-05,2.802999e-05,2.791138e-05,2.779494e-05,2.768063e-05,2.756843e-05,2.745831e-05
0.000000e+00,3.114417e-12,7.077057e-12,2.396519e-11,5.382041e-11,7.801343e-11,1.745596e-10,1.797295e-10,3.444099e-10,4.041158e-10,5.894347e-10,7.828495e-10,9.334638e-10,1.349736e-09,1.390564e-09,1.959093e-09,2.110031e-09,2.617571e-09,3.014429e-09,3.336262e-09,3.998056e-09,4.089625e-09,4.859373e-09,5.014091e-09,5.632669e-09,6.032929e-09,6.399971e-09,7.034292e-09,7.153708e-09,7.887644e-09,8.002878e-09,8.596619e-09,8.926801e-09,9.276468e-09,9.797194e-09,9.923991e-09,1.053692e-08,1.060808e-08,1.111388e-08,1.135616e-08,1.165427e-08,1.204053e-08,1.215817e-08,1.262626e-08,1.266219e-08,1.305964e-08,1.322359e-08,1.345977e-08,1.372819e-08,1.382831e-08,1.416710e-08,1.418005e-08,1.447803e-08,1.458352e-08,1.476305e-08,1.494302e-08,1.502404e-08,1.526286e-08,1.548125e-08,1.554710e-08,1.568089e-08,1.579954e-08,1.586333e-08,1.602364e-08,1.603003e-08,1.618229e-08,1.622250e-08,1.632134e-08,1.639889e-08,1.644828e-08,1.655525e-08,1.656413e-08,1.666981e-08,1.669376e-08,1.676615e-08,1.681631e-08,1.685390e-08,1.692456e-08,1.693375e-08,1.700630e-08,1.701999e-08,1.707213e-08,1.710387e-08,1.713174e-08,1.717735e-08,1.718560e-08,1.723412e-08,1.724141e-08,1.727768e-08,1.729694e-08,1.731664e-08,1.734471e-08,1.735131e-08,1.738199e-08,1.738541e-08,1.740892e-08,1.741966e-08,1.743237e-08,1.744800e-08,1.745256e-08,1.746968e-08,1.747093e-08,1.748394e-08,1.748888e-08,1.749550e-08,1.750226e-08,1.750454e-08,1.751120e-08,1.751142e-08,1.751562e-08,1.751669e-08,1.751794e-08,1.751838e-08,1.751828e-08,1.751675e-08,1.751346e-08,1.751205e-08,1.750851e-08,1.750451e-08,1.750199e-08,1.749435e-08,1.749400e-08,1.748462e-08,1.748175e-08,1.747392e-08,1.746691e-08,1.746199e-08,1.744998e-08,1.744889e-08,1.743468e-08,1.743111e-08,1.741944e-08,1.741047e-08,1.740321e-08,1.738817e-08,1.738607e-08,1.736805e-08,1.736435e-08,1.734922e-08,1.733912e-08,1.732962e-08,1.731259e-08,1.730929e-08,1.728829e-08,1.728487e-08,1.726664e-08,1.725604e-08,1.724441e-08,1.722621e-08,1.722161e-08,1.719828e-08,1.719545e-08,1.717447e-08,1.716385e-08,1.715021e-08,1.713148e-08,1.712551e-08,1.710043e-08,1.709840e-08,1.707497e-08,1.706469e-08,1.704918e-08,1.703041e-08,1.702307e-08,1.699668e-08,1.699562e-08,1.697002e-08,1.696037e-08,1.694313e-08,1.692471e-08,1.691601e-08,1.688869e-08,1.685236e-08,1.681576e-08,1.677894e-08,1.674192e-08,1.670476e-08,1.666747e-08,1.663010e-08,1.659267e-08,1.655521e-08,1.651775e-08,1.648031e-08,1.644293e-08,1.640561e-08,1.636839e-08,1.633127e-08,1.629428e-08,1.625744e-08,1.622077e-08,1.618427e-08,1.614796e-08,1.611186e-08,1.607597e-08,1.604032e-08,1.600490e-08
0.000000e+00,2.756235e-10,6.750613e-10,2.499167e-09,5.887276e-09,8.700242e-09,2.018039e-08,2.080153e-08,4.071098e-08,4.795111e-08,7.040047e-08,9.376185e-08,1.119254e-07,1.623438e-07,1.673322e-07,2.383907e-07,2.579106e-07,3.261169e-07,3.824795e-07,4.302169e-07,5.339414e-07,5.488534e-07,6.790675e-07,7.062096e-07,8.175990e-07,8.919255e-07,9.615090e-07,1.084781e-06,1.108400e-06,1.256383e-06,1.280058e-06,1.403969e-06,1.474311e-06,1.549972e-06,1.664990e-06,1.693442e-06,1.833622e-06,1.850193e-06,1.969913e-06,2.028525e-06,2.101852e-06,2.199000e-06,2.229095e-06,2.351400e-06,2.360966e-06,2.468609e-06,2.514044e-06,2.580635e-06,2.658068e-06,2.687453e-06,2.789084e-06,2.793042e-06,2.885589e-06,2.919093e-06,2.977060e-06,3.036441e-06,3.063609e-06,3.145369e-06,3.222485e-06,3.246206e-06,3.295109e-06,3.339305e-06,3.363401e-06,3.425036e-06,3.427523e-06,3.487638e-06,3.503775e-06,3.543910e-06,3.575894e-06,3.596498e-06,3.641763e-06,3.645562e-06,3.691258e-06,3.701740e-06,3.733736e-06,3.756173e-06,3.773144e-06,3.805396e-06,3.809624e-06,3.843316e-06,3.849731e-06,3.874352e-06,3.889484e-06,3.902861e-06,3.924946e-06,3.928967e-06,3.952789e-06,3.956396e-06,3.974442e-06,3.984097e-06,3.994035e-06,4.008298e-06,4.011674e-06,4.027460e-06,4.029234e-06,4.041489e-06,4.047130e-06,4.053855e-06,4.062194e-06,4.064644e-06,4.073943e-06,4.074625e-06,4.081833e-06,4.084611e-06,4.088389e-06,4.092326e-06,4.093686e-06,4.097795e-06,4.097935e-06,4.100782e-06,4.101596e-06,4.102712e-06,4.103452e-06,4.103646e-06,4.103641e-06,4.102754e-06,4.102292e-06,4.101037e-06,4.099526e-06,4.098540e-06,4.095455e-06,4.095312e-06,4.091398e-06,4.090185e-06,4.086841e-06,4.083816e-06,4.081683e-06,4.076440e-06,4.075963e-06,4.069718e-06,4.068145e-06,4.062983e-06,4.059011e-06,4.055793e-06,4.049114e-06,4.048180e-06,4.040173e-06,4.038527e-06,4.031801e-06,4.027313e-06,4.023093e-06,4.015537e-06,4.014074e-06,4.004769e-06,4.003255e-06,3.995201e-06,3.990522e-06,3.985393e-06,3.977387e-06,3.975365e-06,3.965137e-06,3.963897e-06,3.954729e-06,3.950097e-06,3.944158e-06,3.936026e-06,3.933442e-06,3.922595e-06,3.921723e-06,3.911635e-06,3.907221e-06,3.900573e-06,3.892555e-06,3.889426e-06,3.878204e-06,3.877754e-06,3.866921e-06,3.862847e-06,3.855588e-06,3.847858e-06,3.844215e-06,3.832813e-06,3.817734e-06,3.802641e-06,3.787553e-06,3.772488e-06,3.757463e-06,3.742491e-06,3.727586e-06,3.712762e-06,3.698029e-06,3.683398e-06,3.668879e-06,3.654480e-06,3.640209e-06,3.626074e-06,3.612080e-06,3.598234e-06,3.584540e-06,3.571003e-06,3.557628e-06,3.544417e-06,3.531375e-06,3.518502e-06,3.505803e-06,3.493278e-06
0.000000e+00,7.296032e-10,2.097885e-09,9.900203e-09,2.726785e-08,4.317249e-08,1.153934e-07,1.195331e-07,2.602644e-07,3.144597e-07,4.900741e-07,6.827312e-07,8.382596e-07,1.290603e-06,1.336697e-06,2.010580e-06,2.199497e-06,2.864480e-06,3.414327e-06,3.877522e-06,4.871835e-06,5.013297e-06,6.233204e-06,6.484232e-06,7.504061e-06,8.176176e-06,8.799974e-06,9.893420e-06,1.010135e-05,1.139322e-05,1.159822e-05,1.266384e-05,1.326332e-05,1.390365e-05,1.486791e-05,1.510469e-05,1.626033e-05,1.639568e-05,1.736514e-05,1.783400e-05,1.841479e-05,1.917357e-05,1.940600e-05,2.033656e-05,2.040835e-05,2.120529e-05,2.153537e-05,2.201188e-05,2.255442e-05,2.275687e-05,2.344145e-05,2.346760e-05,2.406741e-05,2.427883e-05,2.463698e-05,2.499338e-05,2.515272e-05,2.561744e-05,2.603410e-05,2.615777e-05,2.640571e-05,2.662131e-05,2.673532e-05,2.701501e-05,2.702593e-05,2.728043e-05,2.734561e-05,2.750163e-05,2.761949e-05,2.769220e-05,2.784264e-05,2.785466e-05,2.799136e-05,2.802058e-05,2.810451e-05,2.815836e-05,2.819617e-05,2.826055e-05,2.826822e-05,2.832241e-05,2.833125e-05,2.836035e-05,2.837415e-05,2.838351e-05,2.839252e-05,2.839323e-05,2.839075e-05,2.838930e-05,2.837720e-05,2.836706e-05,2.835359e-05,2.832810e-05,2.832087e-05,2.827989e-05,2.827446e-05,2.823143e-05,2.820792e-05,2.817619e-05,2.813007e-05,2.811482e-05,2.804791e-05,2.804234e-05,2.797601e-05,2.794595e-05,2.789959e-05,2.784203e-05,2.781911e-05,2.773498e-05,2.773154e-05,2.764758e-05,2.761537e-05,2.755724e-05,2.749430e-05,2.746429e-05,2.736901e-05,2.727166e-05,2.724012e-05,2.717250e-05,2.710819e-05,2.707175e-05,2.697371e-05,2.696960e-05,2.686626e-05,2.683714e-05,2.676190e-05,2.669886e-05,2.665668e-05,2.655924e-05,2.655074e-05,2.644423e-05,2.641860e-05,2.633727e-05,2.627723e-05,2.622998e-05,2.613538e-05,2.612247e-05,2.601484e-05,2.599331e-05,2.590718e-05,2.585121e-05,2.579957e-05,2.570929e-05,2.569210e-05,2.558484e-05,2.556771e-05,2.547786e-05,2.542663e-05,2.537122e-05,2.528619e-05,2.526497e-05,2.515918e-05,2.514651e-05,2.505388e-05,2.500772e-05,2.494914e-05,2.486992e-05,2.484498e-05,2.474145e-05,2.473319e-05,2.463858e-05,2.459762e-05,2.453640e-05,2.446329e-05,2.443496e-05,2.433426e-05,2.433025e-05,2.423435e-05,2.419857e-05,2.413523e-05,2.406830e-05,2.403694e-05,2.393949e-05,2.381217e-05,2.368638e-05,2.356215e-05,2.343951e-05,2.331847e-05,2.319906e-05,2.308128e-05,2.296516e-05,2.285069e-05,2.273789e-05,2.262676e-05,2.251729e-05,2.240949e-05,2.230336e-05,2.219889e-05,2.209607e-05,2.199490e-05,2.189536e-05,2.179745e-05,2.170116e-05,2.160647e-05,2.151337e-05,2.142185e-05,2.133189e-05
0.000000e+00,5.372853e-10,1.422145e-09,5.832735e-09,1.453365e-08,2.196091e-08,5.303673e-08,5.473792e-08,1.097529e-07,1.298970e-07,1.925609e-07,2.579270e-07,3.087959e-07,4.501099e-07,4.641009e-07,6.637216e-07,7.187048e-07,9.115417e-07,1.071903e-06,1.208533e-06,1.508094e-06,1.551466e-06,1.933394e-06,2.013714e-06,2.345856e-06,2.569713e-06,2.780899e-06,3.158860e-06,3.231840e-06,3.693187e-06,3.767649e-06,4.160328e-06,4.385430e-06,4.629303e-06,5.003470e-06,5.096662e-06,5.559399e-06,5.614490e-06,6.014920e-06,6.212482e-06,6.461023e-06,6.792625e-06,6.895880e-06,7.318015e-06,7.351199e-06,7.726274e-06,7.885491e-06,8.119797e-06,8.393662e-06,8.497982e-06,8.860451e-06,8.874619e-06,9.207019e-06,9.327882e-06,9.537662e-06,9.753453e-06,9.852487e-06,1.015171e-05,1.043564e-05,1.052332e-05,1.070463e-05,1.086913e-05,1.095910e-05,1.119016e-05,1.119951e-05,1.142634e-05,1.148749e-05,1.164008e-05,1.176226e-05,1.184124e-05,1.201562e-05,1.203031e-05,1.220781e-05,1.224875e-05,1.237423e-05,1.246277e-05,1.253006e-05,1.265880e-05,1.267577e-05,1.281182e-05,1.283792e-05,1.293868e-05,1.300116e-05,1.305677e-05,1.314950e-05,1.316652e-05,1.326833e-05,1.328390e-05,1.336258e-05,1.340525e-05,1.344966e-05,1.351439e-05,1.352992e-05,1.360370e-05,1.361213e-05,1.367134e-05,1.369923e-05,1.373314e-05,1.377640e-05,1.378942e-05,1.384045e-05,1.384432e-05,1.388651e-05,1.390361e-05,1.392787e-05,1.395486e-05,1.396476e-05,1.399743e-05,1.399865e-05,1.402610e-05,1.403548e-05,1.405099e-05,1.406586e-05,1.407230e-05,1.409024e-05,1.410498e-05,1.410906e-05,1.411671e-05,1.412271e-05,1.412559e-05,1.413159e-05,1.413178e-05,1.413544e-05,1.413604e-05,1.413672e-05,1.413639e-05,1.413574e-05,1.413297e-05,1.413264e-05,1.412756e-05,1.412605e-05,1.412059e-05,1.411592e-05,1.411187e-05,1.410282e-05,1.410150e-05,1.408957e-05,1.408701e-05,1.407619e-05,1.406869e-05,1.406144e-05,1.404807e-05,1.404543e-05,1.402822e-05,1.402536e-05,1.400990e-05,1.400073e-05,1.399054e-05,1.397436e-05,1.397022e-05,1.394900e-05,1.394640e-05,1.392695e-05,1.391700e-05,1.390413e-05,1.388630e-05,1.388059e-05,1.385639e-05,1.385443e-05,1.383159e-05,1.382151e-05,1.380623e-05,1.378765e-05,1.378036e-05,1.375403e-05,1.375296e-05,1.372727e-05,1.371754e-05,1.370013e-05,1.368147e-05,1.367264e-05,1.364484e-05,1.360774e-05,1.357022e-05,1.353238e-05,1.349425e-05,1.345592e-05,1.341743e-05,1.337883e-05,1.334017e-05,1.330150e-05,1.326285e-05,1.322427e-05,1.318579e-05,1.314743e-05,1.310924e-05,1.307124e-05,1.303345e-05,1.299590e-05,1.295860e-05,1.292159e-05,1.288487e-05,1.284846e-05,1.281238e-05,1.277665e-05,1.274126e-05
0.000000e+00,2.970437e-11,6.816068e-11,2.355777e-10,5.396373e-10,7.913489e-10,1.830483e-09,1.887456e-09,3.759968e-09,4.463225e-09,6.713982e-09,9.152181e-09,1.109828e-08,1.661496e-08,1.716356e-08,2.489805e-08,2.698045e-08,3.408802e-08,3.978018e-08,4.449797e-08,5.452431e-08,5.594877e-08,6.831199e-08,7.088504e-08,8.148773e-08,8.863083e-08,9.538797e-08,1.075617e-07,1.099274e-07,1.250188e-07,1.274787e-07,1.405720e-07,1.481744e-07,1.564941e-07,1.694341e-07,1.726909e-07,1.890691e-07,1.910423e-07,2.055376e-07,2.127899e-07,2.220098e-07,2.344809e-07,2.384044e-07,2.546468e-07,2.559375e-07,2.706694e-07,2.770032e-07,2.864124e-07,2.975448e-07,3.018238e-07,3.168589e-07,3.174520e-07,3.314806e-07,3.366371e-07,3.456582e-07,3.550328e-07,3.593677e-07,3.725905e-07,3.853131e-07,3.892772e-07,3.975269e-07,4.050741e-07,4.092267e-07,4.199737e-07,4.204112e-07,4.310817e-07,4.339778e-07,4.412421e-07,4.470960e-07,4.508985e-07,4.593437e-07,4.600585e-07,4.687312e-07,4.707412e-07,4.769269e-07,4.813122e-07,4.846567e-07,4.910830e-07,4.919325e-07,4.987667e-07,5.000817e-07,5.051720e-07,5.083376e-07,5.111615e-07,5.158810e-07,5.167483e-07,5.219457e-07,5.227420e-07,5.267668e-07,5.289511e-07,5.312248e-07,5.345385e-07,5.353327e-07,5.391034e-07,5.395339e-07,5.425496e-07,5.439663e-07,5.456836e-07,5.478643e-07,5.485177e-07,5.510638e-07,5.512554e-07,5.533336e-07,5.541667e-07,5.553384e-07,5.566240e-07,5.570893e-07,5.585971e-07,5.586525e-07,5.598722e-07,5.602762e-07,5.609248e-07,5.615185e-07,5.617648e-07,5.624017e-07,5.628449e-07,5.629473e-07,5.631033e-07,5.631757e-07,5.631855e-07,5.631066e-07,5.631000e-07,5.628549e-07,5.627587e-07,5.624580e-07,5.621501e-07,5.619168e-07,5.612979e-07,5.612387e-07,5.604307e-07,5.602182e-07,5.594996e-07,5.589268e-07,5.584519e-07,5.574384e-07,5.572938e-07,5.560315e-07,5.557671e-07,5.546708e-07,5.539262e-07,5.532172e-07,5.519285e-07,5.516762e-07,5.500530e-07,5.497859e-07,5.483524e-07,5.475100e-07,5.465793e-07,5.451116e-07,5.447382e-07,5.428336e-07,5.426010e-07,5.408697e-07,5.399878e-07,5.388504e-07,5.372812e-07,5.367798e-07,5.346614e-07,5.344900e-07,5.324989e-07,5.316223e-07,5.302956e-07,5.286859e-07,5.280549e-07,5.257797e-07,5.256881e-07,5.234732e-07,5.226357e-07,5.211381e-07,5.195353e-07,5.187771e-07,5.163929e-07,5.132143e-07,5.100049e-07,5.067698e-07,5.035136e-07,5.002409e-07,4.969558e-07,4.936622e-07,4.903638e-07,4.870639e-07,4.837657e-07,4.804722e-07,4.771862e-07,4.739101e-07,4.706464e-07,4.673972e-07,4.641645e-07,4.609503e-07,4.577562e-07,4.545839e-07,4.514347e-07,4.483100e-07,4.452110e-07,4.421387e-07,4.390943e-07
0.000000e+00,1.514108e-09,4.312707e-09,2.002781e-08,5.457821e-08,8.604405e-08,2.285817e-07,2.367573e-07,5.158403e-07,6.239703e-07,9.766412e-07,1.366637e-06,1.682923e-06,2.604130e-06,2.697800e-06,4.057045e-06,4.434315e-06,5.751064e-06,6.830981e-06,7.738299e-06,9.690691e-06,9.969885e-06,1.240297e-05,1.291060e-05,1.500292e-05,1.641116e-05,1.774107e-05,2.012945e-05,2.059226e-05,2.353307e-05,2.401040e-05,2.654101e-05,2.800225e-05,2.959431e-05,3.205552e-05,3.267206e-05,3.575445e-05,3.612376e-05,3.882312e-05,4.016463e-05,4.186140e-05,4.414096e-05,4.485443e-05,4.778925e-05,4.802118e-05,5.065487e-05,5.177964e-05,5.344215e-05,5.539629e-05,5.614373e-05,5.875388e-05,5.885631e-05,6.126830e-05,6.214945e-05,6.368400e-05,6.526930e-05,6.599913e-05,6.821281e-05,7.032502e-05,7.097959e-05,7.233640e-05,7.357127e-05,7.424809e-05,7.599099e-05,7.606167e-05,7.777902e-05,7.824292e-05,7.940228e-05,8.033205e-05,8.093383e-05,8.226410e-05,8.237628e-05,8.373239e-05,8.404532e-05,8.500496e-05,8.568217e-05,8.619685e-05,8.718128e-05,8.731097e-05,8.835028e-05,8.854943e-05,8.931786e-05,8.979374e-05,9.021697e-05,9.092148e-05,9.105056e-05,9.182131e-05,9.193898e-05,9.253193e-05,9.285243e-05,9.318499e-05,9.366764e-05,9.378294e-05,9.432824e-05,9.439025e-05,9.482326e-05,9.502572e-05,9.527025e-05,9.557919e-05,9.567140e-05,9.602883e-05,9.605559e-05,9.634458e-05,9.645966e-05,9.662064e-05,9.679591e-05,9.685893e-05,9.706126e-05,9.706864e-05,9.722943e-05,9.728193e-05,9.736511e-05,9.743966e-05,9.746994e-05,9.754548e-05,9.759324e-05,9.760290e-05,9.761467e-05,9.761520e-05,9.761115e-05,9.758554e-05,9.758402e-05,9.753455e-05,9.751687e-05,9.746398e-05,9.741199e-05,9.737347e-05,9.727355e-05,9.726414e-05,9.713706e-05,9.710404e-05,9.699327e-05,9.690582e-05,9.683375e-05,9.668110e-05,9.665943e-05,9.647122e-05,9.643199e-05,9.626997e-05,9.616045e-05,9.605651e-05,9.586834e-05,9.583163e-05,9.559606e-05,9.555743e-05,9.535053e-05,9.522934e-05,9.509572e-05,9.488563e-05,9.483228e-05,9.456084e-05,9.452776e-05,9.428198e-05,9.415708e-05,9.399627e-05,9.377488e-05,9.370425e-05,9.340643e-05,9.338237e-05,9.310330e-05,9.298066e-05,9.279532e-05,9.257083e-05,9.248294e-05,9.216658e-05,9.215385e-05,9.184664e-05,9.173066e-05,9.152349e-05,9.130211e-05,9.119751e-05,9.086903e-05,9.043217e-05,8.999223e-05,8.954987e-05,8.910570e-05,8.866031e-05,8.821422e-05,8.776792e-05,8.732188e-05,8.687652e-05,8.643224e-05,8.598939e-05,8.554833e-05,8.510935e-05,8.467275e-05,8.423879e-05,8.380771e-05,8.337973e-05,8.295506e-05,8.253387e-05,8.211635e-05,8.170262e-05,8.129285e-05,8.088713e-05,8.048560e-05
0.000000e+00,2.641624e-10,7.007140e-10,2.882746e-09,7.195754e-09,1.088072e-08,2.631215e-08,2.715733e-08,5.450740e-08,6.453036e-08,9.574099e-08,1.283533e-07,1.537756e-07,2.246107e-07,2.316413e-07,3.323001e-07,3.601388e-07,4.581543e-07,5.401061e-07,6.102455e-07,7.650479e-07,7.875776e-07,9.872269e-07,1.029493e-06,1.205244e-06,1.324524e-06,1.437614e-06,1.641258e-06,1.680751e-06,1.931599e-06,1.972270e-06,2.187549e-06,2.311545e-06,2.446347e-06,2.654096e-06,2.706011e-06,2.964787e-06,2.995705e-06,3.221128e-06,3.332791e-06,3.473680e-06,3.662358e-06,3.721272e-06,3.962915e-06,3.981964e-06,4.197788e-06,4.289688e-06,4.425229e-06,4.584091e-06,4.644725e-06,4.855895e-06,4.864165e-06,5.058478e-06,5.129273e-06,5.252316e-06,5.379092e-06,5.437340e-06,5.613556e-06,5.781037e-06,5.832805e-06,5.939904e-06,6.037133e-06,6.090321e-06,6.226954e-06,6.232485e-06,6.366618e-06,6.402768e-06,6.492958e-06,6.565127e-06,6.611760e-06,6.714627e-06,6.723287e-06,6.827809e-06,6.851882e-06,6.925596e-06,6.977515e-06,7.016916e-06,7.092141e-06,7.102037e-06,7.181222e-06,7.196369e-06,7.254729e-06,7.290792e-06,7.322809e-06,7.375982e-06,7.385708e-06,7.443662e-06,7.452491e-06,7.496901e-06,7.520847e-06,7.545648e-06,7.581553e-06,7.590114e-06,7.630505e-06,7.635088e-06,7.667019e-06,7.681906e-06,7.699845e-06,7.722438e-06,7.729164e-06,7.755152e-06,7.757092e-06,7.777975e-06,7.786255e-06,7.797794e-06,7.810288e-06,7.814760e-06,7.829020e-06,7.829536e-06,7.840713e-06,7.844321e-06,7.849975e-06,7.854948e-06,7.856931e-06,7.861704e-06,7.864411e-06,7.864858e-06,7.865161e-06,7.864664e-06,7.864061e-06,7.861358e-06,7.861212e-06,7.856710e-06,7.855166e-06,7.850647e-06,7.846296e-06,7.843110e-06,7.834947e-06,7.834184e-06,7.823947e-06,7.821303e-06,7.812474e-06,7.805538e-06,7.799840e-06,7.787814e-06,7.786111e-06,7.771354e-06,7.768285e-06,7.755631e-06,7.747093e-06,7.739001e-06,7.724372e-06,7.721521e-06,7.703245e-06,7.700250e-06,7.684223e-06,7.674843e-06,7.664506e-06,7.648262e-06,7.644138e-06,7.623165e-06,7.620610e-06,7.601628e-06,7.591984e-06,7.579568e-06,7.562476e-06,7.557022e-06,7.534027e-06,7.532169e-06,7.510617e-06,7.501144e-06,7.486825e-06,7.469475e-06,7.462681e-06,7.438216e-06,7.437231e-06,7.413458e-06,7.404478e-06,7.388433e-06,7.371277e-06,7.363167e-06,7.337684e-06,7.303752e-06,7.269532e-06,7.235069e-06,7.200407e-06,7.165587e-06,7.130646e-06,7.095620e-06,7.060541e-06,7.025439e-06,6.990344e-06,6.955282e-06,6.920276e-06,6.885351e-06,6.850527e-06,6.815823e-06,6.781259e-06,6.746850e-06,6.712612e-06,6.678561e-06,6.644708e-06,6.611067e-06,6.577647e-06,6.544461e-06,6.511516e-06
0.000000e+00,1.953027e-09,5.613783e-09,2.653072e-08,7.341794e-08,1.167453e-07,3.177826e-07,3.295055e-07,7.393249e-07,9.023539e-07,1.446254e-06,2.062166e-06,2.566878e-06,4.032412e-06,4.179791e-06,6.267936e-06,6.830445e-06,8.741281e-06,1.025549e-05,1.149651e-05,1.408592e-05,1.444821e-05,1.753272e-05,1.816116e-05,2.070238e-05,2.237140e-05,2.391924e-05,2.663406e-05,2.715089e-05,3.036825e-05,3.087990e-05,3.354474e-05,3.504775e-05,3.665622e-05,3.908408e-05,3.968123e-05,4.260133e-05,4.294394e-05,4.540128e-05,4.659200e-05,4.806912e-05,5.000281e-05,5.059607e-05,5.297639e-05,5.316037e-05,5.520701e-05,5.605712e-05,5.728725e-05,5.869256e-05,5.921841e-05,6.100344e-05,6.107186e-05,6.264659e-05,6.320438e-05,6.415308e-05,6.510243e-05,6.552883e-05,6.678023e-05,6.791395e-05,6.825300e-05,6.893678e-05,6.953632e-05,6.985548e-05,7.064565e-05,7.067671e-05,7.140693e-05,7.159595e-05,7.205239e-05,7.240146e-05,7.261903e-05,7.307561e-05,7.311253e-05,7.353824e-05,7.363089e-05,7.390120e-05,7.407883e-05,7.420615e-05,7.443004e-05,7.445751e-05,7.465942e-05,7.469422e-05,7.481574e-05,7.488020e-05,7.493003e-05,7.499602e-05,7.500565e-05,7.504567e-05,7.504897e-05,7.505298e-05,7.504565e-05,7.503022e-05,7.499204e-05,7.497987e-05,7.490421e-05,7.489353e-05,7.480534e-05,7.475501e-05,7.468524e-05,7.458088e-05,7.454571e-05,7.438843e-05,7.437513e-05,7.421496e-05,7.414136e-05,7.402673e-05,7.388282e-05,7.382508e-05,7.361124e-05,7.360244e-05,7.338634e-05,7.330288e-05,7.315146e-05,7.298654e-05,7.290757e-05,7.265558e-05,7.239632e-05,7.231196e-05,7.213059e-05,7.195745e-05,7.185910e-05,7.159367e-05,7.158252e-05,7.130147e-05,7.122206e-05,7.101653e-05,7.084392e-05,7.072823e-05,7.046046e-05,7.043707e-05,7.014350e-05,7.007273e-05,6.984794e-05,6.968171e-05,6.955079e-05,6.928828e-05,6.925242e-05,6.895316e-05,6.889323e-05,6.865333e-05,6.849729e-05,6.835321e-05,6.810109e-05,6.805308e-05,6.775318e-05,6.770523e-05,6.745374e-05,6.731023e-05,6.715497e-05,6.691657e-05,6.685707e-05,6.656022e-05,6.652468e-05,6.626459e-05,6.613494e-05,6.597033e-05,6.574770e-05,6.567759e-05,6.538649e-05,6.536328e-05,6.509716e-05,6.498194e-05,6.480970e-05,6.460395e-05,6.452422e-05,6.424081e-05,6.422951e-05,6.395955e-05,6.385884e-05,6.368052e-05,6.349209e-05,6.340379e-05,6.312941e-05,6.277096e-05,6.241682e-05,6.206712e-05,6.172192e-05,6.138131e-05,6.104534e-05,6.071406e-05,6.038750e-05,6.006570e-05,5.974868e-05,5.943644e-05,5.912899e-05,5.882633e-05,5.852844e-05,5.823533e-05,5.794695e-05,5.766331e-05,5.738435e-05,5.711007e-05,5.684041e-05,5.657534e-05,5.631483e-05,5.605883e-05,5.580729e-05
0.000000e+00,1.240771e-09,3.571045e-09,1.689323e-08,4.662484e-08,7.387566e-08,1.973404e-07,2.043933e-07,4.420716e-07,5.324406e-07,8.208360e-07,1.130008e-06,1.374822e-06,2.068583e-06,2.138136e-06,3.143062e-06,3.423297e-06,4.415561e-06,5.250858e-06,5.969661e-06,7.570443e-06,7.805288e-06,9.911180e-06,1.036330e-05,1.226962e-05,1.358902e-05,1.485993e-05,1.719893e-05,1.766014e-05,2.064760e-05,2.114144e-05,2.379926e-05,2.536354e-05,2.709180e-05,2.981160e-05,3.050191e-05,3.400663e-05,3.443248e-05,3.758367e-05,3.917497e-05,4.121181e-05,4.399103e-05,4.487109e-05,4.854307e-05,4.883686e-05,5.221100e-05,5.367363e-05,5.585989e-05,5.846778e-05,5.947646e-05,6.304918e-05,6.319104e-05,6.656816e-05,6.782017e-05,7.002501e-05,7.233658e-05,7.341277e-05,7.672578e-05,7.995947e-05,8.097690e-05,8.311033e-05,8.508216e-05,8.617573e-05,8.903636e-05,8.915379e-05,9.204332e-05,9.283642e-05,9.484369e-05,9.648106e-05,9.755479e-05,9.997039e-05,1.001769e-04,1.027106e-04,1.033057e-04,1.051569e-04,1.064890e-04,1.075168e-04,1.095232e-04,1.097918e-04,1.119832e-04,1.124116e-04,1.140928e-04,1.151580e-04,1.161222e-04,1.177663e-04,1.180733e-04,1.199478e-04,1.202408e-04,1.217478e-04,1.225859e-04,1.234751e-04,1.248060e-04,1.251317e-04,1.267195e-04,1.269055e-04,1.282405e-04,1.288890e-04,1.296965e-04,1.307609e-04,1.310896e-04,1.324216e-04,1.325256e-04,1.336944e-04,1.341873e-04,1.349098e-04,1.357505e-04,1.360698e-04,1.371759e-04,1.372191e-04,1.382302e-04,1.385973e-04,1.392341e-04,1.398890e-04,1.401895e-04,1.410980e-04,1.419612e-04,1.422281e-04,1.427806e-04,1.432828e-04,1.435579e-04,1.442657e-04,1.442944e-04,1.449918e-04,1.451802e-04,1.456512e-04,1.460294e-04,1.462743e-04,1.468165e-04,1.468623e-04,1.474164e-04,1.475446e-04,1.479381e-04,1.482165e-04,1.484285e-04,1.488351e-04,1.488888e-04,1.493202e-04,1.494031e-04,1.497238e-04,1.499231e-04,1.501007e-04,1.503975e-04,1.504520e-04,1.507787e-04,1.508288e-04,1.510818e-04,1.512192e-04,1.513623e-04,1.515710e-04,1.516210e-04,1.518590e-04,1.518862e-04,1.520770e-04,1.521668e-04,1.522760e-04,1.524149e-04,1.524567e-04,1.526199e-04,1.526322e-04,1.527665e-04,1.528206e-04,1.528971e-04,1.529816e-04,1.530124e-04,1.531132e-04,1.531169e-04,1.532001e-04,1.532281e-04,1.532738e-04,1.533166e-04,1.533348e-04,1.533838e-04,1.534311e-04,1.534597e-04,1.534708e-04,1.534656e-04,1.534452e-04,1.534106e-04,1.533628e-04,1.533028e-04,1.532315e-04,1.531497e-04,1.530582e-04,1.529577e-04,1.528491e-04,1.527330e-04,1.526100e-04,1.524808e-04,1.523459e-04,1.522059e-04,1.520613e-04,1.519127e-04,1.517603e-04,1.516048e-04,1.514465e-04,1.512858e-04
0.000000e+00,2.959369e-09,8.559660e-09,4.090980e-08,1.140855e-07,1.819543e-07,4.966343e-07,5.149259e-07,1.148796e-06,1.398049e-06,2.220697e-06,3.143775e-06,3.900822e-06,6.143063e-06,6.373929e-06,9.774708e-06,1.073267e-05,1.410710e-05,1.689383e-05,1.923670e-05,2.425028e-05,2.496192e-05,3.108397e-05,3.234081e-05,3.743807e-05,4.079036e-05,4.389699e-05,4.933200e-05,5.036396e-05,5.676431e-05,5.777808e-05,6.303915e-05,6.599221e-05,6.914112e-05,7.387229e-05,7.503202e-05,8.068140e-05,8.134190e-05,8.606566e-05,8.834608e-05,9.116750e-05,9.484867e-05,9.597529e-05,1.004825e-04,1.008300e-04,1.046870e-04,1.062843e-04,1.085905e-04,1.112173e-04,1.121979e-04,1.155166e-04,1.156435e-04,1.185560e-04,1.195839e-04,1.213271e-04,1.230641e-04,1.238416e-04,1.261122e-04,1.281519e-04,1.287579e-04,1.299736e-04,1.310312e-04,1.315905e-04,1.329617e-04,1.330151e-04,1.342600e-04,1.345779e-04,1.353369e-04,1.359073e-04,1.362574e-04,1.369756e-04,1.370324e-04,1.376723e-04,1.378069e-04,1.381869e-04,1.384238e-04,1.385854e-04,1.388470e-04,1.388766e-04,1.390686e-04,1.390958e-04,1.391693e-04,1.391879e-04,1.391857e-04,1.391393e-04,1.391246e-04,1.389923e-04,1.389649e-04,1.387947e-04,1.386782e-04,1.385372e-04,1.382916e-04,1.382250e-04,1.378628e-04,1.378161e-04,1.374550e-04,1.372622e-04,1.370057e-04,1.366390e-04,1.365189e-04,1.359980e-04,1.359549e-04,1.354463e-04,1.352177e-04,1.348670e-04,1.344343e-04,1.342628e-04,1.336365e-04,1.336110e-04,1.329904e-04,1.327535e-04,1.323269e-04,1.318669e-04,1.316481e-04,1.309559e-04,1.302521e-04,1.300247e-04,1.295384e-04,1.290771e-04,1.288163e-04,1.281166e-04,1.280874e-04,1.273528e-04,1.271463e-04,1.266139e-04,1.261689e-04,1.258717e-04,1.251869e-04,1.251273e-04,1.243817e-04,1.242027e-04,1.236357e-04,1.232181e-04,1.228902e-04,1.222351e-04,1.221459e-04,1.214034e-04,1.212552e-04,1.206635e-04,1.202799e-04,1.199266e-04,1.193104e-04,1.191933e-04,1.184641e-04,1.183479e-04,1.177395e-04,1.173933e-04,1.170197e-04,1.164477e-04,1.163052e-04,1.155964e-04,1.155117e-04,1.148934e-04,1.145860e-04,1.141966e-04,1.136713e-04,1.135061e-04,1.128223e-04,1.127679e-04,1.121453e-04,1.118765e-04,1.114753e-04,1.109972e-04,1.108123e-04,1.101567e-04,1.101306e-04,1.095083e-04,1.092767e-04,1.088674e-04,1.084358e-04,1.082340e-04,1.076082e-04,1.067938e-04,1.059928e-04,1.052052e-04,1.044311e-04,1.036704e-04,1.029231e-04,1.021893e-04,1.014687e-04,1.007614e-04,1.000672e-04,9.938601e-05,9.871772e-05,9.806219e-05,9.741927e-05,9.678881e-05,9.617064e-05,9.556461e-05,9.497055e-05,9.438826e-05,9.381759e-05,9.325833e-05,9.271033e-05,9.217337e-05,9.164729e-05
0.000000e+00,4.447309e-10,1.253284e-09,5.697624e-09,1.522825e-08,2.374237e-08,6.109329e-08,6.318812e-08,1.324100e-07,1.582368e-07,2.395219e-07,3.253135e-07,3.925483e-07,5.807974e-07,5.995295e-07,8.683003e-07,9.427929e-07,1.205611e-06,1.426103e-06,1.615462e-06,2.035923e-06,2.097437e-06,2.646459e-06,2.763617e-06,3.254306e-06,3.590530e-06,3.911622e-06,4.495275e-06,4.609246e-06,5.338721e-06,5.457869e-06,6.092346e-06,6.460569e-06,6.863061e-06,7.487541e-06,7.644347e-06,8.430168e-06,8.524502e-06,9.214962e-06,9.558621e-06,9.993656e-06,1.057856e-05,1.076169e-05,1.151503e-05,1.157456e-05,1.225020e-05,1.253850e-05,1.296425e-05,1.346391e-05,1.365476e-05,1.431982e-05,1.434587e-05,1.495797e-05,1.518091e-05,1.556818e-05,1.596681e-05,1.614979e-05,1.670247e-05,1.722617e-05,1.738767e-05,1.772111e-05,1.802296e-05,1.818769e-05,1.860943e-05,1.862646e-05,1.903812e-05,1.914863e-05,1.942347e-05,1.964241e-05,1.978338e-05,2.009283e-05,2.011879e-05,2.043065e-05,2.050210e-05,2.071995e-05,2.087247e-05,2.098768e-05,2.120622e-05,2.123483e-05,2.146237e-05,2.150561e-05,2.167128e-05,2.177286e-05,2.186248e-05,2.201008e-05,2.203689e-05,2.219539e-05,2.221934e-05,2.233884e-05,2.240258e-05,2.246804e-05,2.256167e-05,2.258378e-05,2.268682e-05,2.269836e-05,2.277787e-05,2.281431e-05,2.285762e-05,2.291107e-05,2.292671e-05,2.298578e-05,2.299009e-05,2.303541e-05,2.305275e-05,2.307617e-05,2.310031e-05,2.310858e-05,2.313315e-05,2.313397e-05,2.315036e-05,2.315484e-05,2.316066e-05,2.316395e-05,2.316449e-05,2.316226e-05,2.315433e-05,2.315066e-05,2.314110e-05,2.312999e-05,2.312288e-05,2.310103e-05,2.310003e-05,2.307283e-05,2.306448e-05,2.304159e-05,2.302102e-05,2.300658e-05,2.297126e-05,2.296806e-05,2.292627e-05,2.291579e-05,2.288146e-05,2.285512e-05,2.283384e-05,2.278977e-05,2.278361e-05,2.273097e-05,2.272017e-05,2.267612e-05,2.264677e-05,2.261921e-05,2.256995e-05,2.256043e-05,2.249991e-05,2.249008e-05,2.243782e-05,2.240750e-05,2.237429e-05,2.232251e-05,2.230944e-05,2.224341e-05,2.223541e-05,2.217631e-05,2.214647e-05,2.210824e-05,2.205593e-05,2.203932e-05,2.196963e-05,2.196402e-05,2.189927e-05,2.187096e-05,2.182834e-05,2.177694e-05,2.175689e-05,2.168503e-05,2.168215e-05,2.161281e-05,2.158674e-05,2.154030e-05,2.149087e-05,2.146758e-05,2.139469e-05,2.129832e-05,2.120189e-05,2.110550e-05,2.100927e-05,2.091327e-05,2.081761e-05,2.072235e-05,2.062757e-05,2.053333e-05,2.043970e-05,2.034672e-05,2.025446e-05,2.016294e-05,2.007223e-05,1.998234e-05,1.989331e-05,1.980517e-05,1.971796e-05,1.963168e-05,1.954637e-05,1.946204e-05,1.937870e-05,1.929637e-05,1.921506e-05
0.000000e+00,1.135351e-09,3.334763e-09,1.639950e-08,4.671462e-08,7.520376e-08,2.083846e-07,2.161265e-07,4.818648e-07,5.846544e-07,9.167399e-07,1.277544e-06,1.565708e-06,2.390296e-06,2.473455e-06,3.681292e-06,4.019591e-06,5.219897e-06,6.231138e-06,7.100502e-06,9.029659e-06,9.311579e-06,1.182329e-05,1.235825e-05,1.459508e-05,1.612431e-05,1.758195e-05,2.022379e-05,2.073837e-05,2.402027e-05,2.455420e-05,2.738603e-05,2.901989e-05,3.079692e-05,3.353410e-05,3.421735e-05,3.761510e-05,3.801990e-05,4.096146e-05,4.241099e-05,4.423139e-05,4.665217e-05,4.740359e-05,5.046051e-05,5.069964e-05,5.338826e-05,5.452077e-05,5.617648e-05,5.809349e-05,5.881805e-05,6.130882e-05,6.140529e-05,6.364728e-05,6.445192e-05,6.583418e-05,6.723599e-05,6.787218e-05,6.976550e-05,7.151950e-05,7.205235e-05,7.314037e-05,7.411100e-05,7.463497e-05,7.595774e-05,7.601057e-05,7.727458e-05,7.760952e-05,7.843445e-05,7.908345e-05,7.949752e-05,8.039615e-05,8.047088e-05,8.136134e-05,8.156344e-05,8.217535e-05,8.260008e-05,8.291898e-05,8.351967e-05,8.359790e-05,8.421737e-05,8.433457e-05,8.478225e-05,8.505591e-05,8.529700e-05,8.569365e-05,8.576570e-05,8.619209e-05,8.625662e-05,8.657957e-05,8.675266e-05,8.693124e-05,8.718868e-05,8.724989e-05,8.753809e-05,8.757074e-05,8.779815e-05,8.790421e-05,8.803218e-05,8.819381e-05,8.824208e-05,8.842959e-05,8.844368e-05,8.859630e-05,8.865748e-05,8.874364e-05,8.883847e-05,8.887292e-05,8.898535e-05,8.898952e-05,8.908203e-05,8.911318e-05,8.916397e-05,8.921174e-05,8.923209e-05,8.928725e-05,8.933024e-05,8.934155e-05,8.936180e-05,8.937631e-05,8.938260e-05,8.939304e-05,8.939328e-05,8.939442e-05,8.939311e-05,8.938658e-05,8.937777e-05,8.937026e-05,8.934818e-05,8.934595e-05,8.931411e-05,8.930539e-05,8.927515e-05,8.925038e-05,8.922949e-05,8.918404e-05,8.917748e-05,8.911950e-05,8.910722e-05,8.905588e-05,8.902067e-05,8.898694e-05,8.892514e-05,8.891298e-05,8.883429e-05,8.882128e-05,8.875114e-05,8.870972e-05,8.866379e-05,8.859105e-05,8.857249e-05,8.847746e-05,8.846582e-05,8.837894e-05,8.833453e-05,8.827712e-05,8.819767e-05,8.817223e-05,8.806444e-05,8.805570e-05,8.795395e-05,8.790903e-05,8.784092e-05,8.775806e-05,8.772552e-05,8.760793e-05,8.760318e-05,8.748827e-05,8.744473e-05,8.736672e-05,8.728304e-05,8.724339e-05,8.711843e-05,8.695119e-05,8.678160e-05,8.660993e-05,8.643641e-05,8.626128e-05,8.608477e-05,8.590706e-05,8.572837e-05,8.554887e-05,8.536874e-05,8.518814e-05,8.500722e-05,8.482612e-05,8.464498e-05,8.446394e-05,8.428310e-05,8.410258e-05,8.392250e-05,8.374293e-05,8.356399e-05,8.338576e-05,8.320831e-05,8.303173e-05,8.285609e-05
0.000000e+00,7.324247e-12,1.671883e-11,5.718056e-11,1.295137e-10,1.885204e-10,4.254223e-10,4.381361e-10,8.429095e-10,9.892671e-10,1.441609e-09,1.910983e-09,2.275451e-09,3.286602e-09,3.386671e-09,4.814390e-09,5.207671e-09,6.587199e-09,7.734739e-09,8.712727e-09,1.085713e-08,1.116747e-08,1.389440e-08,1.446564e-08,1.681426e-08,1.838122e-08,1.984501e-08,2.242479e-08,2.291659e-08,2.597575e-08,2.646132e-08,2.898416e-08,3.040188e-08,3.191471e-08,3.418994e-08,3.474814e-08,3.747088e-08,3.778969e-08,4.007348e-08,4.117885e-08,4.254967e-08,4.434467e-08,4.489574e-08,4.711003e-08,4.728147e-08,4.919253e-08,4.998890e-08,5.114461e-08,5.247068e-08,5.296870e-08,5.466807e-08,5.473350e-08,5.624662e-08,5.678615e-08,5.770873e-08,5.863883e-08,5.905907e-08,6.030255e-08,6.144415e-08,6.178876e-08,6.248888e-08,6.310898e-08,6.344173e-08,6.427457e-08,6.430760e-08,6.509126e-08,6.529659e-08,6.579736e-08,6.618565e-08,6.643036e-08,6.695186e-08,6.699457e-08,6.749410e-08,6.760481e-08,6.793290e-08,6.815350e-08,6.831471e-08,6.860641e-08,6.864311e-08,6.892149e-08,6.897146e-08,6.915308e-08,6.925602e-08,6.934090e-08,6.946697e-08,6.948785e-08,6.959665e-08,6.961069e-08,6.966988e-08,6.969312e-08,6.970998e-08,6.971973e-08,6.971922e-08,6.969978e-08,6.969562e-08,6.965369e-08,6.962547e-08,6.958287e-08,6.951363e-08,6.948913e-08,6.937418e-08,6.936411e-08,6.923960e-08,6.918062e-08,6.908692e-08,6.896656e-08,6.891752e-08,6.873276e-08,6.872506e-08,6.853386e-08,6.845902e-08,6.832199e-08,6.817109e-08,6.809827e-08,6.786372e-08,6.761931e-08,6.753917e-08,6.736595e-08,6.719950e-08,6.710449e-08,6.684660e-08,6.683572e-08,6.656040e-08,6.648223e-08,6.627922e-08,6.610797e-08,6.599284e-08,6.572530e-08,6.570187e-08,6.540689e-08,6.533555e-08,6.510843e-08,6.493996e-08,6.480700e-08,6.453965e-08,6.450306e-08,6.419705e-08,6.413564e-08,6.388938e-08,6.372887e-08,6.358044e-08,6.332020e-08,6.327057e-08,6.296011e-08,6.291040e-08,6.264936e-08,6.250019e-08,6.233861e-08,6.209020e-08,6.202813e-08,6.171817e-08,6.168102e-08,6.140894e-08,6.127317e-08,6.110067e-08,6.086715e-08,6.079356e-08,6.048777e-08,6.046337e-08,6.018349e-08,6.006224e-08,5.988087e-08,5.966409e-08,5.958004e-08,5.928115e-08,5.926924e-08,5.898430e-08,5.887796e-08,5.868962e-08,5.849052e-08,5.839720e-08,5.810713e-08,5.772798e-08,5.735324e-08,5.698306e-08,5.661758e-08,5.625689e-08,5.590110e-08,5.555028e-08,5.520448e-08,5.486378e-08,5.452819e-08,5.419775e-08,5.387247e-08,5.355237e-08,5.323744e-08,5.292767e-08,5.262305e-08,5.232357e-08,5.202918e-08,5.173987e-08,5.145559e-08,5.117631e-08,5.090198e-08,5.063255e-08,5.036798e-08
0.000000e+00,2.409522e-09,7.040851e-09,3.428288e-08,9.687944e-08,1.553585e-07,4.270349e-07,4.427842e-07,9.826924e-07,1.191582e-06,1.867840e-06,2.605750e-06,3.197678e-06,4.903793e-06,5.076803e-06,7.606610e-06,8.320125e-06,1.086479e-05,1.301937e-05,1.487505e-05,1.898731e-05,1.958624e-05,2.488100e-05,2.599681e-05,3.060718e-05,3.370318e-05,3.660925e-05,4.176104e-05,4.274708e-05,4.890309e-05,4.988311e-05,5.498268e-05,5.785131e-05,6.091185e-05,6.550839e-05,6.663408e-05,7.210742e-05,7.274597e-05,7.730207e-05,7.949401e-05,8.219823e-05,8.571230e-05,8.678434e-05,9.105568e-05,9.138378e-05,9.501305e-05,9.650914e-05,9.866167e-05,1.011022e-04,1.020102e-04,1.050698e-04,1.051863e-04,1.078535e-04,1.087908e-04,1.103756e-04,1.119488e-04,1.126511e-04,1.146953e-04,1.165235e-04,1.170653e-04,1.181506e-04,1.190933e-04,1.195914e-04,1.208121e-04,1.208597e-04,1.219689e-04,1.222527e-04,1.229315e-04,1.234436e-04,1.237593e-04,1.244113e-04,1.244633e-04,1.250538e-04,1.251797e-04,1.255403e-04,1.257706e-04,1.259316e-04,1.262037e-04,1.262359e-04,1.264606e-04,1.264966e-04,1.266126e-04,1.266651e-04,1.266984e-04,1.267235e-04,1.267237e-04,1.266940e-04,1.266844e-04,1.266140e-04,1.265592e-04,1.264885e-04,1.263580e-04,1.263214e-04,1.261167e-04,1.260898e-04,1.258778e-04,1.257627e-04,1.256079e-04,1.253840e-04,1.253101e-04,1.249868e-04,1.249600e-04,1.246408e-04,1.244965e-04,1.242742e-04,1.239987e-04,1.238891e-04,1.234875e-04,1.234712e-04,1.230712e-04,1.229180e-04,1.226418e-04,1.223430e-04,1.222007e-04,1.217493e-04,1.212890e-04,1.211400e-04,1.208209e-04,1.205178e-04,1.203461e-04,1.198849e-04,1.198656e-04,1.193802e-04,1.192435e-04,1.188908e-04,1.185956e-04,1.183983e-04,1.179429e-04,1.179033e-04,1.174064e-04,1.172870e-04,1.169083e-04,1.166291e-04,1.164096e-04,1.159706e-04,1.159107e-04,1.154122e-04,1.153125e-04,1.149144e-04,1.146560e-04,1.144178e-04,1.140018e-04,1.139227e-04,1.134295e-04,1.133508e-04,1.129385e-04,1.127036e-04,1.124499e-04,1.120610e-04,1.119641e-04,1.114813e-04,1.114235e-04,1.110016e-04,1.107917e-04,1.105254e-04,1.101658e-04,1.100527e-04,1.095838e-04,1.095465e-04,1.091188e-04,1.089339e-04,1.086578e-04,1.083284e-04,1.082009e-04,1.077484e-04,1.077303e-04,1.073001e-04,1.071399e-04,1.068564e-04,1.065572e-04,1.064171e-04,1.059825e-04,1.054159e-04,1.048576e-04,1.043076e-04,1.037660e-04,1.032328e-04,1.027082e-04,1.021920e-04,1.016844e-04,1.011853e-04,1.006947e-04,1.002126e-04,9.973899e-05,9.927374e-05,9.881684e-05,9.836823e-05,9.792784e-05,9.749560e-05,9.707144e-05,9.665526e-05,9.624699e-05,9.584653e-05,9.545380e-05,9.506869e-05,9.469111e-05
0.000000e+00,1.191442e-09,3.427173e-09,1.617256e-08,4.451680e-08,7.045733e-08,1.882937e-07,1.950556e-07,4.257571e-07,5.150845e-07,8.064141e-07,1.128827e-06,1.390585e-06,2.153692e-06,2.231251e-06,3.351662e-06,3.659886e-06,4.721076e-06,5.570500e-06,6.267269e-06,7.709684e-06,7.909403e-06,9.580465e-06,9.913684e-06,1.123358e-05,1.207581e-05,1.283940e-05,1.413906e-05,1.438094e-05,1.584882e-05,1.607647e-05,1.723800e-05,1.787600e-05,1.854575e-05,1.953230e-05,1.977060e-05,2.091193e-05,2.104327e-05,2.196982e-05,2.240904e-05,2.294510e-05,2.363202e-05,2.383937e-05,2.465497e-05,2.471690e-05,2.539493e-05,2.567053e-05,2.606290e-05,2.650156e-05,2.666300e-05,2.719966e-05,2.721987e-05,2.767752e-05,2.783606e-05,2.810127e-05,2.836088e-05,2.847554e-05,2.880482e-05,2.909337e-05,2.917777e-05,2.934519e-05,2.948880e-05,2.956398e-05,2.974610e-05,2.975314e-05,2.991574e-05,2.995690e-05,3.005456e-05,3.012749e-05,3.017209e-05,3.026331e-05,3.027053e-05,3.035185e-05,3.036901e-05,3.041778e-05,3.044857e-05,3.046988e-05,3.050535e-05,3.050949e-05,3.053782e-05,3.054223e-05,3.055594e-05,3.056164e-05,3.056478e-05,3.056564e-05,3.056516e-05,3.055785e-05,3.055601e-05,3.054348e-05,3.053426e-05,3.052267e-05,3.050173e-05,3.049593e-05,3.046374e-05,3.045954e-05,3.042655e-05,3.040869e-05,3.038473e-05,3.035008e-05,3.033865e-05,3.028863e-05,3.028447e-05,3.023498e-05,3.021257e-05,3.017797e-05,3.013499e-05,3.011786e-05,3.005488e-05,3.005231e-05,2.998926e-05,2.996503e-05,2.992119e-05,2.987361e-05,2.985087e-05,2.977848e-05,2.970417e-05,2.968002e-05,2.962812e-05,2.957859e-05,2.955045e-05,2.947451e-05,2.947132e-05,2.939085e-05,2.936809e-05,2.930915e-05,2.925960e-05,2.922635e-05,2.914929e-05,2.914255e-05,2.905786e-05,2.903741e-05,2.897236e-05,2.892417e-05,2.888615e-05,2.880977e-05,2.879932e-05,2.871194e-05,2.869441e-05,2.862410e-05,2.857826e-05,2.853585e-05,2.846147e-05,2.844728e-05,2.835844e-05,2.834420e-05,2.826939e-05,2.822659e-05,2.818019e-05,2.810876e-05,2.809090e-05,2.800156e-05,2.799084e-05,2.791223e-05,2.787294e-05,2.782295e-05,2.775516e-05,2.773376e-05,2.764471e-05,2.763759e-05,2.755582e-05,2.752032e-05,2.746714e-05,2.740344e-05,2.737870e-05,2.729054e-05,2.728702e-05,2.720268e-05,2.717113e-05,2.711515e-05,2.705583e-05,2.702798e-05,2.694119e-05,2.682725e-05,2.671408e-05,2.660171e-05,2.649019e-05,2.637955e-05,2.626984e-05,2.616108e-05,2.605331e-05,2.594655e-05,2.584082e-05,2.573615e-05,2.563255e-05,2.553005e-05,2.542865e-05,2.532837e-05,2.522923e-05,2.513122e-05,2.503437e-05,2.493867e-05,2.484413e-05,2.475076e-05,2.465855e-05,2.456752e-05,2.447765e-05
0.000000e+00,2.286190e-11,5.279216e-11,1.832328e-10,4.193472e-10,6.139255e-10,1.409793e-09,1.453122e-09,2.862015e-09,3.383959e-09,5.027239e-09,6.756821e-09,8.098895e-09,1.174734e-08,1.210027e-08,1.696555e-08,1.825383e-08,2.262779e-08,2.612932e-08,2.904195e-08,3.528241e-08,3.617542e-08,4.399757e-08,4.564168e-08,5.247348e-08,5.712565e-08,6.156101e-08,6.963063e-08,7.120986e-08,8.136193e-08,8.302871e-08,9.195242e-08,9.717122e-08,1.029115e-07,1.118949e-07,1.141658e-07,1.256406e-07,1.270288e-07,1.372614e-07,1.424020e-07,1.489558e-07,1.578500e-07,1.606546e-07,1.722932e-07,1.732198e-07,1.838123e-07,1.883744e-07,1.951588e-07,2.031947e-07,2.062856e-07,2.171524e-07,2.175811e-07,2.277249e-07,2.314534e-07,2.379752e-07,2.447499e-07,2.478812e-07,2.574259e-07,2.665973e-07,2.694521e-07,2.753881e-07,2.808124e-07,2.837941e-07,2.915008e-07,2.918142e-07,2.994509e-07,3.015210e-07,3.067087e-07,3.108842e-07,3.135942e-07,3.196071e-07,3.201156e-07,3.262824e-07,3.277108e-07,3.321050e-07,3.352197e-07,3.375950e-07,3.421603e-07,3.427640e-07,3.476243e-07,3.485604e-07,3.521881e-07,3.544482e-07,3.564679e-07,3.598527e-07,3.604763e-07,3.642261e-07,3.648029e-07,3.677295e-07,3.693269e-07,3.709977e-07,3.734504e-07,3.740418e-07,3.768724e-07,3.771983e-07,3.795003e-07,3.805949e-07,3.819353e-07,3.836629e-07,3.841871e-07,3.862648e-07,3.864238e-07,3.881772e-07,3.888979e-07,3.899329e-07,3.911044e-07,3.915398e-07,3.930057e-07,3.930615e-07,3.943378e-07,3.947860e-07,3.955432e-07,3.962937e-07,3.966282e-07,3.975993e-07,3.984624e-07,3.987167e-07,3.992231e-07,3.996587e-07,3.998868e-07,4.004376e-07,4.004587e-07,4.009436e-07,4.010645e-07,4.013462e-07,4.015500e-07,4.016707e-07,4.019039e-07,4.019213e-07,4.021020e-07,4.021353e-07,4.022164e-07,4.022530e-07,4.022683e-07,4.022647e-07,4.022608e-07,4.021973e-07,4.021781e-07,4.020807e-07,4.020001e-07,4.019139e-07,4.017370e-07,4.016997e-07,4.014406e-07,4.013952e-07,4.011392e-07,4.009801e-07,4.007977e-07,4.004972e-07,4.004184e-07,4.000034e-07,3.999513e-07,3.995547e-07,3.993471e-07,3.990743e-07,3.986890e-07,3.985639e-07,3.980252e-07,3.979810e-07,3.974600e-07,3.972269e-07,3.968698e-07,3.964302e-07,3.962561e-07,3.956202e-07,3.955943e-07,3.949635e-07,3.947223e-07,3.942874e-07,3.938171e-07,3.935930e-07,3.928815e-07,3.919180e-07,3.909290e-07,3.899168e-07,3.888834e-07,3.878310e-07,3.867613e-07,3.856762e-07,3.845772e-07,3.834658e-07,3.823436e-07,3.812119e-07,3.800720e-07,3.789251e-07,3.777723e-07,3.766146e-07,3.754532e-07,3.742888e-07,3.731225e-07,3.719549e-07,3.707870e-07,3.696193e-07,3.684527e-07,3.672877e-07,3.661249e-07
0.000000e+00,2.211058e-09,6.434599e-09,3.104491e-08,8.691852e-08,1.386182e-07,3.750570e-07,3.886204e-07,8.469649e-07,1.021502e-06,1.578477e-06,2.174966e-06,2.646669e-06,3.980346e-06,4.113819e-06,6.037987e-06,6.573193e-06,8.463120e-06,1.004648e-05,1.140161e-05,1.438549e-05,1.481838e-05,1.863060e-05,1.943081e-05,2.272516e-05,2.492564e-05,2.698143e-05,3.059968e-05,3.128802e-05,3.555112e-05,3.622395e-05,3.969641e-05,4.162713e-05,4.366750e-05,4.669089e-05,4.742330e-05,5.093526e-05,5.133934e-05,5.418493e-05,5.552879e-05,5.716203e-05,5.923987e-05,5.986290e-05,6.228924e-05,6.247165e-05,6.444711e-05,6.523712e-05,6.634601e-05,6.755960e-05,6.799810e-05,6.941753e-05,6.946969e-05,7.061982e-05,7.100260e-05,7.162124e-05,7.219595e-05,7.243841e-05,7.308785e-05,7.358571e-05,7.371555e-05,7.394745e-05,7.411434e-05,7.418774e-05,7.431687e-05,7.432026e-05,7.435769e-05,7.435274e-05,7.431164e-05,7.424838e-05,7.419267e-05,7.402700e-05,7.401028e-05,7.377304e-05,7.370880e-05,7.348856e-05,7.331116e-05,7.316359e-05,7.284890e-05,7.280412e-05,7.241543e-05,7.233460e-05,7.200213e-05,7.177886e-05,7.156829e-05,7.119060e-05,7.111746e-05,7.065274e-05,7.057728e-05,7.017685e-05,6.994515e-05,6.969213e-05,6.929940e-05,6.920065e-05,6.870421e-05,6.864438e-05,6.820436e-05,6.798370e-05,6.770246e-05,6.732040e-05,6.719972e-05,6.669715e-05,6.665698e-05,6.619566e-05,6.599555e-05,6.569605e-05,6.533787e-05,6.519899e-05,6.470509e-05,6.468541e-05,6.421487e-05,6.403938e-05,6.372877e-05,6.340079e-05,6.324721e-05,6.277050e-05,6.229897e-05,6.214921e-05,6.183284e-05,6.153747e-05,6.137236e-05,6.093576e-05,6.091769e-05,6.046900e-05,6.034445e-05,6.002641e-05,5.976383e-05,5.959003e-05,5.919412e-05,5.915995e-05,5.873623e-05,5.863549e-05,5.831892e-05,5.808805e-05,5.790807e-05,5.755187e-05,5.750369e-05,5.710579e-05,5.702698e-05,5.671436e-05,5.651338e-05,5.632941e-05,5.601104e-05,5.595091e-05,5.557883e-05,5.551989e-05,5.521314e-05,5.503986e-05,5.485379e-05,5.457084e-05,5.450073e-05,5.415392e-05,5.411272e-05,5.381330e-05,5.366537e-05,5.347881e-05,5.322865e-05,5.315037e-05,5.282793e-05,5.280240e-05,5.251142e-05,5.238645e-05,5.220075e-05,5.198064e-05,5.189585e-05,5.159665e-05,5.158480e-05,5.130307e-05,5.119874e-05,5.101503e-05,5.082228e-05,5.073244e-05,5.045523e-05,5.009740e-05,4.974859e-05,4.940863e-05,4.907731e-05,4.875445e-05,4.843984e-05,4.813331e-05,4.783467e-05,4.754372e-05,4.726028e-05,4.698418e-05,4.671522e-05,4.645324e-05,4.619806e-05,4.594950e-05,4.570740e-05,4.547159e-05,4.524192e-05,4.501822e-05,4.480033e-05,4.458810e-05,4.438139e-05,4.418004e-05,4.398393e-05
0.000000e+00,6.683398e-10,1.919222e-09,9.044646e-09,2.492488e-08,3.950745e-08,1.062397e-07,1.100897e-07,2.424392e-07,2.941025e-07,4.637546e-07,6.530444e-07,8.075962e-07,1.261499e-06,1.307879e-06,1.983179e-06,2.170914e-06,2.825285e-06,3.359637e-06,3.806181e-06,4.757805e-06,4.892748e-06,6.055707e-06,6.295322e-06,7.271847e-06,7.919105e-06,8.523119e-06,9.590674e-06,9.795047e-06,1.107545e-05,1.128037e-05,1.235366e-05,1.296357e-05,1.362009e-05,1.461895e-05,1.486615e-05,1.608418e-05,1.622813e-05,1.726754e-05,1.777576e-05,1.841064e-05,1.924964e-05,1.950895e-05,2.055896e-05,2.064080e-05,2.155821e-05,2.194331e-05,2.250509e-05,2.315395e-05,2.339882e-05,2.423934e-05,2.427186e-05,2.502720e-05,2.529811e-05,2.576341e-05,2.623526e-05,2.644943e-05,2.708698e-05,2.767803e-05,2.785768e-05,2.822468e-05,2.855227e-05,2.872916e-05,2.917587e-05,2.919371e-05,2.962061e-05,2.973370e-05,3.001210e-05,3.023092e-05,3.037038e-05,3.067246e-05,3.069754e-05,3.099561e-05,3.106303e-05,3.126652e-05,3.140706e-05,3.151212e-05,3.170870e-05,3.173415e-05,3.193424e-05,3.197176e-05,3.211392e-05,3.219978e-05,3.227465e-05,3.239600e-05,3.241777e-05,3.254454e-05,3.256339e-05,3.265615e-05,3.270465e-05,3.275368e-05,3.282226e-05,3.283815e-05,3.291052e-05,3.291843e-05,3.297166e-05,3.299522e-05,3.302239e-05,3.305446e-05,3.306348e-05,3.309564e-05,3.309785e-05,3.311951e-05,3.312688e-05,3.313572e-05,3.314296e-05,3.314483e-05,3.314736e-05,3.314733e-05,3.314380e-05,3.314112e-05,3.313462e-05,3.312537e-05,3.312023e-05,3.310102e-05,3.307737e-05,3.306892e-05,3.304962e-05,3.302985e-05,3.301808e-05,3.298451e-05,3.298304e-05,3.294479e-05,3.293354e-05,3.290358e-05,3.287753e-05,3.285965e-05,3.281702e-05,3.281321e-05,3.276449e-05,3.275248e-05,3.271368e-05,3.268437e-05,3.266095e-05,3.261310e-05,3.260648e-05,3.255042e-05,3.253903e-05,3.249292e-05,3.246250e-05,3.243412e-05,3.238382e-05,3.237415e-05,3.231313e-05,3.230328e-05,3.225118e-05,3.222114e-05,3.218839e-05,3.213763e-05,3.212487e-05,3.206072e-05,3.205298e-05,3.199601e-05,3.196739e-05,3.193083e-05,3.188103e-05,3.186526e-05,3.179937e-05,3.179408e-05,3.173321e-05,3.170669e-05,3.166687e-05,3.161901e-05,3.160039e-05,3.153382e-05,3.153116e-05,3.146723e-05,3.144326e-05,3.140066e-05,3.135542e-05,3.133415e-05,3.126775e-05,3.118032e-05,3.109323e-05,3.100655e-05,3.092036e-05,3.083471e-05,3.074966e-05,3.066527e-05,3.058159e-05,3.049865e-05,3.041650e-05,3.033516e-05,3.025468e-05,3.017508e-05,3.009638e-05,3.001862e-05,2.994180e-05,2.986594e-05,2.979106e-05,2.971718e-05,2.964429e-05,2.957242e-05,2.950156e-05,2.943173e-05,2.936292e-05
0.000000e+00,3.632339e-10,9.167969e-10,3.522549e-09,8.460581e-09,1.259795e-08,2.962302e-08,3.054783e-08,6.028647e-08,7.113046e-08,1.048069e-07,1.398925e-07,1.671676e-07,2.426154e-07,2.500431e-07,3.546857e-07,3.829874e-07,4.803043e-07,5.590630e-07,6.248437e-07,7.658910e-07,7.860436e-07,9.618047e-07,9.985294e-07,1.150152e-06,1.252422e-06,1.349143e-06,1.523098e-06,1.556833e-06,1.771279e-06,1.806089e-06,1.990572e-06,2.097012e-06,2.212880e-06,2.391736e-06,2.436483e-06,2.659806e-06,2.686517e-06,2.881440e-06,2.978099e-06,3.100151e-06,3.263760e-06,3.314883e-06,3.524754e-06,3.541312e-06,3.729047e-06,3.809070e-06,3.927193e-06,4.065803e-06,4.118758e-06,4.303427e-06,4.310667e-06,4.480988e-06,4.543144e-06,4.651317e-06,4.762980e-06,4.814361e-06,4.970132e-06,5.118690e-06,5.164721e-06,5.260136e-06,5.346989e-06,5.394602e-06,5.517271e-06,5.522248e-06,5.643251e-06,5.675967e-06,5.757802e-06,5.823520e-06,5.866104e-06,5.960402e-06,5.968366e-06,6.064801e-06,6.087102e-06,6.155622e-06,6.204110e-06,6.241045e-06,6.311921e-06,6.321283e-06,6.396545e-06,6.411019e-06,6.467040e-06,6.501880e-06,6.532968e-06,6.584965e-06,6.594529e-06,6.651914e-06,6.660721e-06,6.705311e-06,6.729579e-06,6.754901e-06,6.791951e-06,6.800860e-06,6.843358e-06,6.848233e-06,6.882558e-06,6.898802e-06,6.918618e-06,6.944018e-06,6.951691e-06,6.981922e-06,6.984223e-06,7.009454e-06,7.019742e-06,7.034422e-06,7.050884e-06,7.056955e-06,7.077178e-06,7.077941e-06,7.095211e-06,7.101189e-06,7.111169e-06,7.120891e-06,7.125161e-06,7.137293e-06,7.147665e-06,7.150629e-06,7.156375e-06,7.161119e-06,7.163513e-06,7.168970e-06,7.169169e-06,7.173426e-06,7.174378e-06,7.176365e-06,7.177528e-06,7.178063e-06,7.178591e-06,7.178592e-06,7.178024e-06,7.177731e-06,7.176424e-06,7.175101e-06,7.173856e-06,7.170845e-06,7.170382e-06,7.166058e-06,7.165097e-06,7.160941e-06,7.157983e-06,7.155081e-06,7.149623e-06,7.148530e-06,7.141335e-06,7.140127e-06,7.133541e-06,7.129599e-06,7.125190e-06,7.118137e-06,7.116325e-06,7.106983e-06,7.105832e-06,7.097202e-06,7.092768e-06,7.087017e-06,7.079026e-06,7.076460e-06,7.065564e-06,7.064678e-06,7.054358e-06,7.049795e-06,7.042871e-06,7.034441e-06,7.031129e-06,7.019159e-06,7.018676e-06,7.006984e-06,7.002555e-06,6.994627e-06,6.986131e-06,6.982109e-06,6.969452e-06,6.952563e-06,6.935505e-06,6.918317e-06,6.901034e-06,6.883690e-06,6.866314e-06,6.848936e-06,6.831580e-06,6.814270e-06,6.797028e-06,6.779874e-06,6.762826e-06,6.745901e-06,6.729114e-06,6.712478e-06,6.696007e-06,6.679711e-06,6.663600e-06,6.647684e-06,6.631970e-06,6.616465e-06,6.601175e-06,6.586107e-06,6.571264e-06
0.000000e+00,2.590563e-09,7.510039e-09,3.600127e-08,1.003707e-07,1.597937e-07,4.310648e-07,4.466164e-07,9.719478e-07,1.171920e-06,1.809721e-06,2.491971e-06,3.030776e-06,4.550527e-06,4.702345e-06,6.887220e-06,7.494378e-06,9.641164e-06,1.144869e-05,1.300697e-05,1.649195e-05,1.700507e-05,2.162503e-05,2.262043e-05,2.682477e-05,2.973666e-05,3.253892e-05,3.768005e-05,3.869037e-05,4.519934e-05,4.626871e-05,5.198822e-05,5.532455e-05,5.898352e-05,6.468199e-05,6.611644e-05,7.332287e-05,7.418971e-05,8.054347e-05,8.371081e-05,8.772379e-05,9.312335e-05,9.481450e-05,1.017715e-04,1.023211e-04,1.085562e-04,1.112143e-04,1.151355e-04,1.197296e-04,1.214816e-04,1.275720e-04,1.278100e-04,1.333890e-04,1.354135e-04,1.389196e-04,1.425121e-04,1.441549e-04,1.490898e-04,1.537222e-04,1.551408e-04,1.580532e-04,1.606682e-04,1.620859e-04,1.656817e-04,1.658258e-04,1.692797e-04,1.701966e-04,1.724558e-04,1.742320e-04,1.753635e-04,1.778101e-04,1.780128e-04,1.804142e-04,1.809548e-04,1.825786e-04,1.836914e-04,1.845173e-04,1.860455e-04,1.862414e-04,1.877621e-04,1.880428e-04,1.890904e-04,1.897087e-04,1.902371e-04,1.910677e-04,1.912127e-04,1.920276e-04,1.921437e-04,1.926916e-04,1.929595e-04,1.932143e-04,1.935368e-04,1.936048e-04,1.938719e-04,1.938961e-04,1.940242e-04,1.940568e-04,1.940695e-04,1.940372e-04,1.940155e-04,1.938696e-04,1.938542e-04,1.936385e-04,1.935237e-04,1.933289e-04,1.930608e-04,1.929468e-04,1.924982e-04,1.924790e-04,1.919886e-04,1.917912e-04,1.914231e-04,1.910092e-04,1.908067e-04,1.901441e-04,1.894394e-04,1.892058e-04,1.886970e-04,1.882037e-04,1.879204e-04,1.871463e-04,1.871135e-04,1.862795e-04,1.860415e-04,1.854216e-04,1.848966e-04,1.845427e-04,1.837180e-04,1.836457e-04,1.827330e-04,1.825119e-04,1.818071e-04,1.812837e-04,1.808703e-04,1.800384e-04,1.799246e-04,1.789719e-04,1.787807e-04,1.780141e-04,1.775145e-04,1.770528e-04,1.762438e-04,1.760896e-04,1.751259e-04,1.749718e-04,1.741630e-04,1.737015e-04,1.732022e-04,1.724358e-04,1.722446e-04,1.712912e-04,1.711771e-04,1.703429e-04,1.699275e-04,1.694007e-04,1.686891e-04,1.684653e-04,1.675374e-04,1.674635e-04,1.666176e-04,1.662522e-04,1.657067e-04,1.650566e-04,1.648051e-04,1.639133e-04,1.638778e-04,1.630317e-04,1.627169e-04,1.621607e-04,1.615746e-04,1.613006e-04,1.604518e-04,1.593489e-04,1.582666e-04,1.572052e-04,1.561651e-04,1.551463e-04,1.541491e-04,1.531736e-04,1.522198e-04,1.512877e-04,1.503771e-04,1.494880e-04,1.486202e-04,1.477734e-04,1.469476e-04,1.461423e-04,1.453574e-04,1.445925e-04,1.438473e-04,1.431216e-04,1.424149e-04,1.417269e-04,1.410573e-04,1.404056e-04,1.397715e-04
0.000000e+00,7.759061e-10,2.079726e-09,8.719437e-09,2.213277e-08,3.380012e-08,8.427229e-08,8.710463e-08,1.821640e-07,2.185377e-07,3.364147e-07,4.657698e-07,5.698043e-07,8.669112e-07,8.965772e-07,1.316343e-06,1.429758e-06,1.817923e-06,2.129869e-06,2.389088e-06,2.941864e-06,3.020592e-06,3.705760e-06,3.848751e-06,4.439241e-06,4.838108e-06,5.216111e-06,5.898583e-06,6.031400e-06,6.879900e-06,7.018380e-06,7.756151e-06,8.184962e-06,8.654521e-06,9.385280e-06,9.569266e-06,1.049475e-05,1.060627e-05,1.142552e-05,1.183538e-05,1.235641e-05,1.306102e-05,1.328266e-05,1.419992e-05,1.427280e-05,1.510433e-05,1.546172e-05,1.599250e-05,1.662027e-05,1.686151e-05,1.770895e-05,1.774236e-05,1.853278e-05,1.882326e-05,1.933141e-05,1.985944e-05,2.010360e-05,2.084842e-05,2.156524e-05,2.178865e-05,2.225369e-05,2.267932e-05,2.291360e-05,2.352026e-05,2.354497e-05,2.414799e-05,2.431179e-05,2.472294e-05,2.505460e-05,2.527023e-05,2.574974e-05,2.579036e-05,2.628388e-05,2.639843e-05,2.675140e-05,2.700211e-05,2.719359e-05,2.756230e-05,2.761113e-05,2.800472e-05,2.808063e-05,2.837510e-05,2.855876e-05,2.872299e-05,2.899839e-05,2.904914e-05,2.935428e-05,2.940121e-05,2.963915e-05,2.976889e-05,2.990446e-05,3.010311e-05,3.015093e-05,3.037927e-05,3.040549e-05,3.059017e-05,3.067762e-05,3.078431e-05,3.092105e-05,3.096234e-05,3.112492e-05,3.113728e-05,3.127267e-05,3.132775e-05,3.140620e-05,3.149388e-05,3.152612e-05,3.163300e-05,3.163701e-05,3.172740e-05,3.175844e-05,3.180987e-05,3.185941e-05,3.188094e-05,3.194111e-05,3.199088e-05,3.200469e-05,3.203074e-05,3.205125e-05,3.206113e-05,3.208182e-05,3.208251e-05,3.209531e-05,3.209742e-05,3.209995e-05,3.209898e-05,3.209682e-05,3.208742e-05,3.208632e-05,3.206880e-05,3.206360e-05,3.204465e-05,3.202834e-05,3.201419e-05,3.198243e-05,3.197776e-05,3.193568e-05,3.192661e-05,3.188826e-05,3.186159e-05,3.183580e-05,3.178803e-05,3.177857e-05,3.171685e-05,3.170658e-05,3.165091e-05,3.161783e-05,3.158099e-05,3.152236e-05,3.150734e-05,3.143018e-05,3.142070e-05,3.134975e-05,3.131337e-05,3.126624e-05,3.120085e-05,3.117988e-05,3.109084e-05,3.108361e-05,3.099933e-05,3.096207e-05,3.090551e-05,3.083664e-05,3.080957e-05,3.071166e-05,3.070770e-05,3.061194e-05,3.057562e-05,3.051056e-05,3.044075e-05,3.040766e-05,3.030339e-05,3.016386e-05,3.002243e-05,2.987939e-05,2.973497e-05,2.958941e-05,2.944294e-05,2.929576e-05,2.914806e-05,2.900003e-05,2.885183e-05,2.870362e-05,2.855555e-05,2.840776e-05,2.826036e-05,2.811349e-05,2.796725e-05,2.782174e-05,2.767705e-05,2.753327e-05,2.739048e-05,2.724876e-05,2.710816e-05,2.696875e-05,2.683059e-05
0.000000e+00,1.451264e-09,4.289463e-09,2.137216e-08,6.160896e-08,9.982692e-08,2.811769e-07,2.918123e-07,6.605716e-07,8.045953e-07,1.273188e-06,1.786147e-06,2.197731e-06,3.381501e-06,3.501269e-06,5.247976e-06,5.739794e-06,7.496185e-06,8.992511e-06,1.029313e-05,1.323176e-05,1.366757e-05,1.762392e-05,1.848363e-05,2.214198e-05,2.470075e-05,2.718198e-05,3.178053e-05,3.269108e-05,3.860868e-05,3.958912e-05,4.487018e-05,4.797845e-05,5.140944e-05,5.679642e-05,5.816043e-05,6.505868e-05,6.589340e-05,7.204231e-05,7.512697e-05,7.905296e-05,8.436569e-05,8.603658e-05,9.294396e-05,9.349190e-05,9.973116e-05,1.024036e-04,1.063597e-04,1.110154e-04,1.127967e-04,1.190147e-04,1.192585e-04,1.249913e-04,1.270803e-04,1.307092e-04,1.344429e-04,1.361555e-04,1.413215e-04,1.462019e-04,1.477029e-04,1.507949e-04,1.535837e-04,1.551011e-04,1.589683e-04,1.591238e-04,1.628680e-04,1.638674e-04,1.663404e-04,1.682966e-04,1.695489e-04,1.722752e-04,1.725023e-04,1.752104e-04,1.758249e-04,1.776833e-04,1.789693e-04,1.799315e-04,1.817325e-04,1.819656e-04,1.837965e-04,1.841392e-04,1.854347e-04,1.862139e-04,1.868908e-04,1.879807e-04,1.881751e-04,1.892977e-04,1.894630e-04,1.902684e-04,1.906831e-04,1.910965e-04,1.916624e-04,1.917911e-04,1.923610e-04,1.924214e-04,1.928143e-04,1.929790e-04,1.931592e-04,1.933534e-04,1.934031e-04,1.935532e-04,1.935613e-04,1.936163e-04,1.936186e-04,1.935989e-04,1.935399e-04,1.935070e-04,1.933465e-04,1.933388e-04,1.931228e-04,1.930278e-04,1.928410e-04,1.926186e-04,1.925059e-04,1.921220e-04,1.916938e-04,1.915480e-04,1.912250e-04,1.909056e-04,1.907196e-04,1.902031e-04,1.901810e-04,1.896125e-04,1.894485e-04,1.890173e-04,1.886485e-04,1.883982e-04,1.878098e-04,1.877579e-04,1.870989e-04,1.869382e-04,1.864236e-04,1.860391e-04,1.857341e-04,1.851174e-04,1.850326e-04,1.843209e-04,1.841775e-04,1.836008e-04,1.832236e-04,1.828740e-04,1.822593e-04,1.821418e-04,1.814058e-04,1.812878e-04,1.806673e-04,1.803123e-04,1.799275e-04,1.793354e-04,1.791874e-04,1.784481e-04,1.783595e-04,1.777106e-04,1.773869e-04,1.769758e-04,1.764195e-04,1.762443e-04,1.755170e-04,1.754590e-04,1.747946e-04,1.745071e-04,1.740775e-04,1.735649e-04,1.733665e-04,1.726619e-04,1.726339e-04,1.719643e-04,1.717149e-04,1.712740e-04,1.708090e-04,1.705914e-04,1.699169e-04,1.690393e-04,1.681768e-04,1.673298e-04,1.664988e-04,1.656841e-04,1.648859e-04,1.641044e-04,1.633397e-04,1.625919e-04,1.618611e-04,1.611471e-04,1.604500e-04,1.597697e-04,1.591060e-04,1.584588e-04,1.578279e-04,1.572131e-04,1.566143e-04,1.560311e-04,1.554634e-04,1.549109e-04,1.543734e-04,1.538505e-04,1.533420e-04
0.000000e+00,1.489526e-09,3.872717e-09,1.547085e-08,3.794335e-08,5.696188e-08,1.359650e-07,1.402778e-07,2.796763e-07,3.307888e-07,4.903413e-07,6.578695e-07,7.890694e-07,1.157019e-06,1.193683e-06,1.719366e-06,1.864464e-06,2.371774e-06,2.789998e-06,3.142996e-06,3.906520e-06,4.016032e-06,4.972346e-06,5.172125e-06,5.995745e-06,6.549865e-06,7.072755e-06,8.010368e-06,8.191800e-06,9.342432e-06,9.528804e-06,1.051486e-05,1.108261e-05,1.169974e-05,1.265059e-05,1.288814e-05,1.407160e-05,1.421290e-05,1.524220e-05,1.575131e-05,1.639272e-05,1.724964e-05,1.751664e-05,1.860825e-05,1.869403e-05,1.966268e-05,2.007310e-05,2.067586e-05,2.137796e-05,2.164456e-05,2.256627e-05,2.260214e-05,2.343924e-05,2.374133e-05,2.426231e-05,2.479319e-05,2.503493e-05,2.575703e-05,2.642900e-05,2.663355e-05,2.705156e-05,2.742455e-05,2.762576e-05,2.813268e-05,2.815287e-05,2.863437e-05,2.876123e-05,2.907187e-05,2.931398e-05,2.946712e-05,2.979498e-05,2.982192e-05,3.013813e-05,3.020849e-05,3.041762e-05,3.055881e-05,3.066228e-05,3.085025e-05,3.087397e-05,3.105453e-05,3.108707e-05,3.120575e-05,3.127338e-05,3.132939e-05,3.141318e-05,3.142714e-05,3.150065e-05,3.151027e-05,3.155150e-05,3.156830e-05,3.158119e-05,3.159070e-05,3.159119e-05,3.158286e-05,3.158069e-05,3.155753e-05,3.154133e-05,3.151645e-05,3.147544e-05,3.146082e-05,3.139175e-05,3.138568e-05,3.131032e-05,3.127452e-05,3.121755e-05,3.114426e-05,3.111438e-05,3.100172e-05,3.099703e-05,3.088041e-05,3.083478e-05,3.075127e-05,3.065935e-05,3.061503e-05,3.047241e-05,3.032407e-05,3.027550e-05,3.017063e-05,3.007003e-05,3.001268e-05,2.985731e-05,2.985077e-05,2.968540e-05,2.963854e-05,2.951705e-05,2.941479e-05,2.934616e-05,2.918707e-05,2.917316e-05,2.899843e-05,2.895628e-05,2.882233e-05,2.872324e-05,2.864519e-05,2.848870e-05,2.846733e-05,2.828903e-05,2.825334e-05,2.811055e-05,2.801776e-05,2.793215e-05,2.778252e-05,2.775405e-05,2.757647e-05,2.754811e-05,2.739958e-05,2.731498e-05,2.722358e-05,2.708351e-05,2.704861e-05,2.687483e-05,2.685407e-05,2.670238e-05,2.662695e-05,2.653137e-05,2.640244e-05,2.636192e-05,2.619412e-05,2.618077e-05,2.602807e-05,2.596216e-05,2.586385e-05,2.574678e-05,2.570152e-05,2.554115e-05,2.553478e-05,2.538280e-05,2.532630e-05,2.522652e-05,2.512144e-05,2.507234e-05,2.492030e-05,2.472294e-05,2.452942e-05,2.433977e-05,2.415403e-05,2.397220e-05,2.379429e-05,2.362030e-05,2.345020e-05,2.328397e-05,2.312160e-05,2.296303e-05,2.280822e-05,2.265714e-05,2.250972e-05,2.236592e-05,2.222568e-05,2.208894e-05,2.195563e-05,2.182570e-05,2.169907e-05,2.157569e-05,2.145548e-05,2.133837e-05,2.122431e-05
0.000000e+00,8.082216e-11,1.874098e-10,6.532113e-10,1.495292e-09,2.186260e-09,4.976586e-09,5.126771e-09,9.919211e-09,1.165521e-08,1.702566e-08,2.260296e-08,2.693529e-08,3.895118e-08,4.013923e-08,5.703331e-08,6.165993e-08,7.775872e-08,9.097760e-08,1.021210e-07,1.262344e-07,1.296972e-07,1.600068e-07,1.663564e-07,1.926022e-07,2.103211e-07,2.270844e-07,2.572414e-07,2.630906e-07,3.002830e-07,3.063223e-07,3.383421e-07,3.568288e-07,3.769656e-07,4.080799e-07,4.158705e-07,4.547953e-07,4.594561e-07,4.935029e-07,5.104100e-07,5.317818e-07,5.604720e-07,5.694468e-07,6.063401e-07,6.092541e-07,6.423296e-07,6.564474e-07,6.773075e-07,7.018165e-07,7.111886e-07,7.439080e-07,7.451919e-07,7.754187e-07,7.864602e-07,8.056894e-07,8.255557e-07,8.347025e-07,8.624516e-07,8.889401e-07,8.971518e-07,9.141792e-07,9.296845e-07,9.381866e-07,9.600962e-07,9.609852e-07,9.826021e-07,9.884472e-07,1.003068e-06,1.014808e-06,1.022415e-06,1.039255e-06,1.040677e-06,1.057891e-06,1.061870e-06,1.074091e-06,1.082735e-06,1.089316e-06,1.101934e-06,1.103600e-06,1.116980e-06,1.119551e-06,1.129493e-06,1.135668e-06,1.141173e-06,1.150366e-06,1.152055e-06,1.162172e-06,1.163723e-06,1.171559e-06,1.175814e-06,1.180246e-06,1.186713e-06,1.188265e-06,1.195646e-06,1.196491e-06,1.202419e-06,1.205213e-06,1.208611e-06,1.212946e-06,1.214250e-06,1.219362e-06,1.219749e-06,1.223973e-06,1.225682e-06,1.228106e-06,1.230800e-06,1.231786e-06,1.235035e-06,1.235157e-06,1.237875e-06,1.238802e-06,1.240327e-06,1.241782e-06,1.242410e-06,1.244144e-06,1.245547e-06,1.245929e-06,1.246637e-06,1.247178e-06,1.247431e-06,1.247930e-06,1.247945e-06,1.248195e-06,1.248220e-06,1.248195e-06,1.248081e-06,1.247960e-06,1.247547e-06,1.247503e-06,1.246837e-06,1.246648e-06,1.245975e-06,1.245411e-06,1.244928e-06,1.243864e-06,1.243708e-06,1.242326e-06,1.242031e-06,1.240792e-06,1.239937e-06,1.239116e-06,1.237605e-06,1.237307e-06,1.235374e-06,1.235053e-06,1.233325e-06,1.232304e-06,1.231170e-06,1.229374e-06,1.228915e-06,1.226568e-06,1.226281e-06,1.224137e-06,1.223041e-06,1.221626e-06,1.219670e-06,1.219044e-06,1.216396e-06,1.216182e-06,1.213688e-06,1.212589e-06,1.210926e-06,1.208905e-06,1.208113e-06,1.205256e-06,1.205141e-06,1.202360e-06,1.201308e-06,1.199427e-06,1.197415e-06,1.196464e-06,1.193473e-06,1.189490e-06,1.185474e-06,1.181433e-06,1.177373e-06,1.173302e-06,1.169225e-06,1.165148e-06,1.161077e-06,1.157015e-06,1.152967e-06,1.148938e-06,1.144931e-06,1.140950e-06,1.136997e-06,1.133075e-06,1.129188e-06,1.125337e-06,1.121524e-06,1.117752e-06,1.114022e-06,1.110336e-06,1.106695e-06,1.103100e-06,1.099552e-06
0.000000e+00,6.597521e-09,1.956485e-08,9.818469e-08,2.850901e-07,4.639749e-07,1.324382e-06,1.375321e-06,3.167398e-06,3.879302e-06,6.235313e-06,8.876221e-06,1.103649e-05,1.742292e-05,1.808148e-05,2.788144e-05,3.069181e-05,4.083409e-05,4.953820e-05,5.710727e-05,7.410971e-05,7.661315e-05,9.907149e-05,1.038843e-04,1.240929e-04,1.379728e-04,1.512411e-04,1.753630e-04,1.800706e-04,2.101464e-04,2.150463e-04,2.410558e-04,2.560742e-04,2.724139e-04,2.975850e-04,3.038676e-04,3.350980e-04,3.388168e-04,3.658222e-04,3.791157e-04,3.957940e-04,4.179391e-04,4.248039e-04,4.526786e-04,4.548551e-04,4.792797e-04,4.895388e-04,5.045016e-04,5.217639e-04,5.282688e-04,5.505333e-04,5.513923e-04,5.712718e-04,5.783631e-04,5.904820e-04,6.026792e-04,6.081793e-04,6.243938e-04,6.391683e-04,6.436002e-04,6.525547e-04,6.604208e-04,6.646126e-04,6.749982e-04,6.754066e-04,6.850047e-04,6.874874e-04,6.934769e-04,6.980492e-04,7.008939e-04,7.068458e-04,7.073257e-04,7.128413e-04,7.140362e-04,7.175074e-04,7.197736e-04,7.213886e-04,7.242038e-04,7.245465e-04,7.270399e-04,7.274638e-04,7.289242e-04,7.296807e-04,7.302515e-04,7.309719e-04,7.310708e-04,7.314276e-04,7.314446e-04,7.313644e-04,7.311967e-04,7.309209e-04,7.303167e-04,7.301334e-04,7.290357e-04,7.288847e-04,7.276590e-04,7.269723e-04,7.260318e-04,7.246438e-04,7.241803e-04,7.221288e-04,7.219568e-04,7.198994e-04,7.189624e-04,7.175123e-04,7.157064e-04,7.149860e-04,7.123374e-04,7.122292e-04,7.095821e-04,7.085667e-04,7.067340e-04,7.047509e-04,7.038060e-04,7.008099e-04,6.977562e-04,6.967685e-04,6.946548e-04,6.926490e-04,6.915145e-04,6.884706e-04,6.883432e-04,6.851483e-04,6.842504e-04,6.819364e-04,6.800036e-04,6.787135e-04,6.757435e-04,6.754851e-04,6.722561e-04,6.714816e-04,6.690311e-04,6.672283e-04,6.658140e-04,6.629925e-04,6.626086e-04,6.594181e-04,6.587821e-04,6.562456e-04,6.546039e-04,6.530937e-04,6.504638e-04,6.499648e-04,6.468612e-04,6.463670e-04,6.437846e-04,6.423180e-04,6.407369e-04,6.383205e-04,6.377196e-04,6.347340e-04,6.343779e-04,6.317813e-04,6.304929e-04,6.288627e-04,6.266679e-04,6.259790e-04,6.231310e-04,6.229048e-04,6.203195e-04,6.192051e-04,6.175448e-04,6.155703e-04,6.148077e-04,6.121084e-04,6.120012e-04,6.094473e-04,6.084987e-04,6.068246e-04,6.050632e-04,6.042404e-04,6.016950e-04,5.983944e-04,5.951613e-04,5.919956e-04,5.888971e-04,5.858652e-04,5.828996e-04,5.799996e-04,5.771647e-04,5.743941e-04,5.716871e-04,5.690429e-04,5.664605e-04,5.639391e-04,5.614778e-04,5.590756e-04,5.567315e-04,5.544445e-04,5.522135e-04,5.500377e-04,5.479159e-04,5.458471e-04,5.438302e-04,5.418643e-04,5.399482e-04
0.000000e+00,1.459973e-09,4.254321e-09,2.057929e-08,5.774316e-08,9.218865e-08,2.499849e-07,2.590429e-07,5.650884e-07,6.815190e-07,1.052350e-06,1.448011e-06,1.759698e-06,2.635001e-06,2.722124e-06,3.969410e-06,4.313789e-06,5.523309e-06,6.531462e-06,7.392774e-06,9.291524e-06,9.567761e-06,1.201416e-05,1.253126e-05,1.467388e-05,1.611675e-05,1.747210e-05,1.987099e-05,2.032881e-05,2.316963e-05,2.361834e-05,2.593249e-05,2.721649e-05,2.856999e-05,3.056703e-05,3.104899e-05,3.334874e-05,3.361207e-05,3.545848e-05,3.632557e-05,3.737519e-05,3.870429e-05,3.910158e-05,4.064448e-05,4.076026e-05,4.201350e-05,4.251494e-05,4.322002e-05,4.399501e-05,4.427639e-05,4.519532e-05,4.522940e-05,4.598942e-05,4.624711e-05,4.667090e-05,4.707591e-05,4.725133e-05,4.774155e-05,4.815149e-05,4.826723e-05,4.849026e-05,4.867354e-05,4.876606e-05,4.897842e-05,4.898625e-05,4.915739e-05,4.919733e-05,4.928530e-05,4.934347e-05,4.937513e-05,4.942805e-05,4.943141e-05,4.945811e-05,4.946051e-05,4.945871e-05,4.944879e-05,4.943624e-05,4.939952e-05,4.939338e-05,4.933246e-05,4.931829e-05,4.925553e-05,4.920980e-05,4.916438e-05,4.907800e-05,4.906060e-05,4.894559e-05,4.892623e-05,4.882058e-05,4.875735e-05,4.868666e-05,4.857378e-05,4.854482e-05,4.839593e-05,4.837763e-05,4.824077e-05,4.817070e-05,4.808004e-05,4.795455e-05,4.791437e-05,4.774435e-05,4.773057e-05,4.757048e-05,4.749996e-05,4.739325e-05,4.726380e-05,4.721308e-05,4.703037e-05,4.702302e-05,4.684549e-05,4.677846e-05,4.665876e-05,4.653089e-05,4.647049e-05,4.628096e-05,4.609043e-05,4.602929e-05,4.589914e-05,4.577642e-05,4.570731e-05,4.552283e-05,4.551514e-05,4.532283e-05,4.526897e-05,4.513053e-05,4.501524e-05,4.493843e-05,4.476199e-05,4.474666e-05,4.455537e-05,4.450954e-05,4.436468e-05,4.425819e-05,4.417470e-05,4.400821e-05,4.398556e-05,4.379734e-05,4.375982e-05,4.361015e-05,4.351324e-05,4.342406e-05,4.326867e-05,4.323917e-05,4.305553e-05,4.302626e-05,4.287321e-05,4.278619e-05,4.269228e-05,4.254857e-05,4.251279e-05,4.233480e-05,4.231354e-05,4.215834e-05,4.208119e-05,4.198346e-05,4.185163e-05,4.181020e-05,4.163859e-05,4.162493e-05,4.146866e-05,4.140117e-05,4.130044e-05,4.118040e-05,4.113396e-05,4.096923e-05,4.096267e-05,4.080627e-05,4.074804e-05,4.064510e-05,4.053653e-05,4.048573e-05,4.032818e-05,4.012300e-05,3.992101e-05,3.972222e-05,3.952663e-05,3.933425e-05,3.914507e-05,3.895908e-05,3.877628e-05,3.859664e-05,3.842015e-05,3.824679e-05,3.807654e-05,3.790936e-05,3.774524e-05,3.758415e-05,3.742604e-05,3.727090e-05,3.711869e-05,3.696938e-05,3.682292e-05,3.667929e-05,3.653844e-05,3.640034e-05,3.626495e-05
0.000000e+00,5.910388e-10,1.656720e-09,7.459542e-09,1.979405e-08,3.075699e-08,7.860054e-08,8.127737e-08,1.696022e-07,2.025376e-07,3.062527e-07,4.158601e-07,5.018399e-07,7.424552e-07,7.663474e-07,1.106704e-06,1.199926e-06,1.523878e-06,1.789351e-06,2.012872e-06,2.496194e-06,2.565597e-06,3.173387e-06,3.300814e-06,3.827925e-06,4.184110e-06,4.521260e-06,5.127968e-06,5.245638e-06,5.993420e-06,6.114733e-06,6.757116e-06,7.127205e-06,7.529493e-06,8.149036e-06,8.303717e-06,9.073479e-06,9.165274e-06,9.833108e-06,1.016283e-05,1.057764e-05,1.113075e-05,1.130284e-05,1.200522e-05,1.206034e-05,1.268202e-05,1.294507e-05,1.333107e-05,1.378032e-05,1.395083e-05,1.454028e-05,1.456322e-05,1.509888e-05,1.529239e-05,1.562649e-05,1.596762e-05,1.612325e-05,1.658962e-05,1.702622e-05,1.715977e-05,1.743385e-05,1.767996e-05,1.781344e-05,1.815240e-05,1.816600e-05,1.849258e-05,1.857952e-05,1.879431e-05,1.896388e-05,1.907229e-05,1.930804e-05,1.932766e-05,1.956152e-05,1.961457e-05,1.977497e-05,1.988599e-05,1.996908e-05,2.012472e-05,2.014489e-05,2.030339e-05,2.033310e-05,2.044554e-05,2.051332e-05,2.057229e-05,2.066749e-05,2.068450e-05,2.078304e-05,2.079759e-05,2.086870e-05,2.090547e-05,2.094225e-05,2.099287e-05,2.100443e-05,2.105592e-05,2.106141e-05,2.109739e-05,2.111262e-05,2.112946e-05,2.114791e-05,2.115272e-05,2.116773e-05,2.116859e-05,2.117501e-05,2.117588e-05,2.117508e-05,2.117092e-05,2.116840e-05,2.115542e-05,2.115477e-05,2.113656e-05,2.112840e-05,2.111221e-05,2.109272e-05,2.108277e-05,2.104857e-05,2.100997e-05,2.099673e-05,2.096726e-05,2.093792e-05,2.092075e-05,2.087280e-05,2.087073e-05,2.081745e-05,2.080198e-05,2.076117e-05,2.072605e-05,2.070211e-05,2.064553e-05,2.064051e-05,2.057657e-05,2.056090e-05,2.051049e-05,2.047262e-05,2.044245e-05,2.038110e-05,2.037263e-05,2.030118e-05,2.028672e-05,2.022828e-05,2.018983e-05,2.015405e-05,2.009077e-05,2.007863e-05,2.000216e-05,1.998984e-05,1.992476e-05,1.988731e-05,1.984654e-05,1.978343e-05,1.976759e-05,1.968804e-05,1.967845e-05,1.960796e-05,1.957258e-05,1.952745e-05,1.946602e-05,1.944659e-05,1.936545e-05,1.935895e-05,1.928412e-05,1.925154e-05,1.920265e-05,1.914395e-05,1.912111e-05,1.903957e-05,1.903631e-05,1.895807e-05,1.892875e-05,1.887667e-05,1.882140e-05,1.879542e-05,1.871436e-05,1.860774e-05,1.850161e-05,1.839606e-05,1.829118e-05,1.818702e-05,1.808364e-05,1.798111e-05,1.787946e-05,1.777875e-05,1.767902e-05,1.758029e-05,1.748261e-05,1.738599e-05,1.729047e-05,1.719606e-05,1.710278e-05,1.701064e-05,1.691967e-05,1.682986e-05,1.674123e-05,1.665377e-05,1.656751e-05,1.648243e-05,1.639855e-05
0.000000e+00,7.725023e-12,1.769627e-11,6.110865e-11,1.401348e-10,2.057494e-10,4.782032e-10,4.932031e-10,9.886272e-10,1.175549e-09,1.775381e-09,2.426499e-09,2.946658e-09,4.422416e-09,4.569217e-09,6.636481e-09,7.191360e-09,9.075732e-09,1.057167e-08,1.180142e-08,1.438278e-08,1.474592e-08,1.786056e-08,1.850052e-08,2.110852e-08,2.283987e-08,2.445932e-08,2.733356e-08,2.788583e-08,3.136300e-08,3.192247e-08,3.486753e-08,3.655304e-08,3.837795e-08,4.117735e-08,4.187476e-08,4.534064e-08,4.575372e-08,4.876046e-08,5.024720e-08,5.212135e-08,5.462952e-08,5.541255e-08,5.862528e-08,5.887869e-08,6.175260e-08,6.297836e-08,6.478914e-08,6.691698e-08,6.773095e-08,7.057529e-08,7.068700e-08,7.332040e-08,7.428417e-08,7.596543e-08,7.770677e-08,7.851020e-08,8.095513e-08,8.330109e-08,8.403110e-08,8.554936e-08,8.693769e-08,8.770149e-08,8.967877e-08,8.975929e-08,9.172476e-08,9.225883e-08,9.360001e-08,9.468278e-08,9.538727e-08,9.695583e-08,9.708886e-08,9.870711e-08,9.908336e-08,1.002444e-07,1.010709e-07,1.017032e-07,1.029239e-07,1.030858e-07,1.043947e-07,1.046478e-07,1.056322e-07,1.062483e-07,1.068007e-07,1.077305e-07,1.079024e-07,1.089397e-07,1.090999e-07,1.099148e-07,1.103614e-07,1.108299e-07,1.115202e-07,1.116871e-07,1.124885e-07,1.125811e-07,1.132362e-07,1.135487e-07,1.139322e-07,1.144278e-07,1.145784e-07,1.151768e-07,1.152226e-07,1.157291e-07,1.159375e-07,1.162371e-07,1.165765e-07,1.167027e-07,1.171275e-07,1.171436e-07,1.175131e-07,1.176426e-07,1.178611e-07,1.180771e-07,1.181731e-07,1.184506e-07,1.186950e-07,1.187664e-07,1.189077e-07,1.190278e-07,1.190901e-07,1.192378e-07,1.192434e-07,1.193691e-07,1.193994e-07,1.194682e-07,1.195154e-07,1.195419e-07,1.195884e-07,1.195915e-07,1.196180e-07,1.196210e-07,1.196224e-07,1.196157e-07,1.196059e-07,1.195748e-07,1.195694e-07,1.195138e-07,1.195005e-07,1.194401e-07,1.193949e-07,1.193491e-07,1.192600e-07,1.192418e-07,1.191189e-07,1.190978e-07,1.189812e-07,1.189102e-07,1.188296e-07,1.186987e-07,1.186647e-07,1.184872e-07,1.184651e-07,1.182979e-07,1.182110e-07,1.180973e-07,1.179378e-07,1.178862e-07,1.176650e-07,1.176469e-07,1.174345e-07,1.173398e-07,1.171951e-07,1.170176e-07,1.169474e-07,1.166920e-07,1.166816e-07,1.164292e-07,1.163329e-07,1.161596e-07,1.159726e-07,1.158837e-07,1.156018e-07,1.152214e-07,1.148322e-07,1.144353e-07,1.140314e-07,1.136213e-07,1.132058e-07,1.127854e-07,1.123609e-07,1.119329e-07,1.115020e-07,1.110686e-07,1.106334e-07,1.101968e-07,1.097593e-07,1.093212e-07,1.088830e-07,1.084451e-07,1.080078e-07,1.075714e-07,1.071362e-07,1.067026e-07,1.062707e-07,1.058409e-07,1.054133e-07
0.000000e+00,1.612880e-10,3.864528e-10,1.392969e-09,3.231821e-09,4.743421e-09,1.082675e-08,1.115275e-08,2.146749e-08,2.516154e-08,3.645280e-08,4.797582e-08,5.679797e-08,8.077361e-08,8.311093e-08,1.158960e-07,1.247710e-07,1.555086e-07,1.807350e-07,2.020811e-07,2.486881e-07,2.554335e-07,3.150133e-07,3.276027e-07,3.799290e-07,4.154345e-07,4.490884e-07,5.096345e-07,5.213631e-07,5.957021e-07,6.077240e-07,6.711754e-07,7.075643e-07,7.469770e-07,8.073861e-07,8.224148e-07,8.968980e-07,9.057472e-07,9.699275e-07,1.001490e-06,1.041088e-06,1.093709e-06,1.110042e-06,1.176521e-06,1.181726e-06,1.240323e-06,1.265060e-06,1.301303e-06,1.343405e-06,1.359364e-06,1.414455e-06,1.416597e-06,1.466559e-06,1.484588e-06,1.515693e-06,1.547426e-06,1.561894e-06,1.605225e-06,1.645760e-06,1.658154e-06,1.683586e-06,1.706417e-06,1.718799e-06,1.750240e-06,1.751502e-06,1.781798e-06,1.789865e-06,1.809797e-06,1.825538e-06,1.835605e-06,1.857506e-06,1.859329e-06,1.881075e-06,1.886012e-06,1.900946e-06,1.911291e-06,1.919040e-06,1.933572e-06,1.935456e-06,1.950285e-06,1.953069e-06,1.963618e-06,1.969989e-06,1.975541e-06,1.984525e-06,1.986134e-06,1.995477e-06,1.996861e-06,2.003644e-06,2.007167e-06,2.010705e-06,2.015604e-06,2.016728e-06,2.021778e-06,2.022321e-06,2.025914e-06,2.027459e-06,2.029194e-06,2.031147e-06,2.031672e-06,2.033400e-06,2.033507e-06,2.034426e-06,2.034651e-06,2.034797e-06,2.034683e-06,2.034556e-06,2.033744e-06,2.033701e-06,2.032400e-06,2.031793e-06,2.030560e-06,2.029044e-06,2.028260e-06,2.025531e-06,2.022404e-06,2.021324e-06,2.018908e-06,2.016490e-06,2.015072e-06,2.011091e-06,2.010919e-06,2.006476e-06,2.005182e-06,2.001764e-06,1.998817e-06,1.996805e-06,1.992042e-06,1.991619e-06,1.986226e-06,1.984903e-06,1.980644e-06,1.977441e-06,1.974889e-06,1.969694e-06,1.968977e-06,1.962923e-06,1.961697e-06,1.956742e-06,1.953482e-06,1.950446e-06,1.945078e-06,1.944048e-06,1.937560e-06,1.936514e-06,1.930992e-06,1.927814e-06,1.924355e-06,1.919002e-06,1.917659e-06,1.910912e-06,1.910099e-06,1.904123e-06,1.901125e-06,1.897300e-06,1.892097e-06,1.890451e-06,1.883582e-06,1.883032e-06,1.876700e-06,1.873945e-06,1.869812e-06,1.864851e-06,1.862922e-06,1.856036e-06,1.855761e-06,1.849159e-06,1.846687e-06,1.842296e-06,1.837640e-06,1.835452e-06,1.828629e-06,1.819663e-06,1.810751e-06,1.801899e-06,1.793113e-06,1.784400e-06,1.775765e-06,1.767212e-06,1.758746e-06,1.750371e-06,1.742090e-06,1.733905e-06,1.725820e-06,1.717837e-06,1.709957e-06,1.702182e-06,1.694513e-06,1.686952e-06,1.679499e-06,1.672155e-06,1.664921e-06,1.657797e-06,1.650782e-06,1.643877e-06,1.637082e-06
0.000000e+00,1.488683e-10,3.455165e-10,1.204431e-09,2.758378e-09,4.036672e-09,9.241230e-09,9.523497e-09,1.865173e-08,2.201575e-08,3.260364e-08,4.385495e-08,5.273963e-08,7.778950e-08,8.028293e-08,1.156394e-07,1.252200e-07,1.580144e-07,1.842679e-07,2.059450e-07,2.515938e-07,2.580229e-07,3.131494e-07,3.244634e-07,3.704870e-07,4.009478e-07,4.293599e-07,4.795707e-07,4.891842e-07,5.494316e-07,5.590773e-07,6.096150e-07,6.383475e-07,6.692873e-07,7.163836e-07,7.280437e-07,7.855245e-07,7.923212e-07,8.414189e-07,8.654409e-07,8.954663e-07,9.351754e-07,9.474557e-07,9.972236e-07,1.001105e-06,1.044651e-06,1.062947e-06,1.089658e-06,1.120539e-06,1.132201e-06,1.172262e-06,1.173813e-06,1.209855e-06,1.222790e-06,1.245015e-06,1.267559e-06,1.277793e-06,1.308254e-06,1.336476e-06,1.345047e-06,1.362540e-06,1.378129e-06,1.386535e-06,1.407709e-06,1.408553e-06,1.428686e-06,1.433999e-06,1.447030e-06,1.457215e-06,1.463675e-06,1.477569e-06,1.478715e-06,1.492238e-06,1.495267e-06,1.504330e-06,1.510509e-06,1.515076e-06,1.523483e-06,1.524557e-06,1.532849e-06,1.534371e-06,1.540026e-06,1.543341e-06,1.546159e-06,1.550553e-06,1.551315e-06,1.555559e-06,1.556157e-06,1.558949e-06,1.560291e-06,1.561545e-06,1.563086e-06,1.563400e-06,1.564565e-06,1.564661e-06,1.565090e-06,1.565129e-06,1.565019e-06,1.564594e-06,1.564396e-06,1.563263e-06,1.563151e-06,1.561656e-06,1.560889e-06,1.559612e-06,1.557889e-06,1.557165e-06,1.554347e-06,1.554227e-06,1.551189e-06,1.549974e-06,1.547717e-06,1.545191e-06,1.543959e-06,1.539940e-06,1.535682e-06,1.534273e-06,1.531208e-06,1.528241e-06,1.526538e-06,1.521888e-06,1.521691e-06,1.516686e-06,1.515258e-06,1.511538e-06,1.508388e-06,1.506265e-06,1.501314e-06,1.500879e-06,1.495396e-06,1.494067e-06,1.489829e-06,1.486678e-06,1.484188e-06,1.479172e-06,1.478485e-06,1.472731e-06,1.471575e-06,1.466936e-06,1.463909e-06,1.461108e-06,1.456193e-06,1.455255e-06,1.449387e-06,1.448447e-06,1.443509e-06,1.440686e-06,1.437629e-06,1.432927e-06,1.431753e-06,1.425886e-06,1.425183e-06,1.420035e-06,1.417467e-06,1.414204e-06,1.409788e-06,1.408397e-06,1.402619e-06,1.402159e-06,1.396874e-06,1.394586e-06,1.391165e-06,1.387079e-06,1.385496e-06,1.379869e-06,1.379645e-06,1.374287e-06,1.372289e-06,1.368753e-06,1.365019e-06,1.363269e-06,1.357837e-06,1.350749e-06,1.343759e-06,1.336870e-06,1.330083e-06,1.323403e-06,1.316830e-06,1.310366e-06,1.304012e-06,1.297770e-06,1.291639e-06,1.285620e-06,1.279714e-06,1.273920e-06,1.268237e-06,1.262666e-06,1.257206e-06,1.251856e-06,1.246615e-06,1.241482e-06,1.236457e-06,1.231537e-06,1.226723e-06,1.222012e-06,1.217404e-06
0.000000e+00,2.651357e-10,6.347989e-10,2.295305e-09,5.356899e-09,7.895414e-09,1.827151e-08,1.883404e-08,3.693128e-08,4.354265e-08,6.412664e-08,8.563480e-08,1.023699e-07,1.485496e-07,1.530798e-07,2.165869e-07,2.336913e-07,2.924654e-07,3.401487e-07,3.801502e-07,4.666576e-07,4.791105e-07,5.887908e-07,6.119585e-07,7.085453e-07,7.745501e-07,8.376102e-07,9.525801e-07,9.751071e-07,1.120063e-06,1.143880e-06,1.271441e-06,1.346069e-06,1.428170e-06,1.556685e-06,1.589179e-06,1.753424e-06,1.773303e-06,1.919910e-06,1.993632e-06,2.087708e-06,2.215586e-06,2.255968e-06,2.423922e-06,2.437324e-06,2.590891e-06,2.657268e-06,2.756282e-06,2.874095e-06,2.919582e-06,3.080356e-06,3.086729e-06,3.238242e-06,3.294313e-06,3.392938e-06,3.496184e-06,3.544202e-06,3.691842e-06,3.835710e-06,3.880931e-06,3.975693e-06,4.063208e-06,4.111716e-06,4.238525e-06,4.243728e-06,4.371702e-06,4.406810e-06,4.495633e-06,4.568054e-06,4.615530e-06,4.722294e-06,4.731418e-06,4.843335e-06,4.869608e-06,4.951324e-06,5.010103e-06,5.055441e-06,5.143908e-06,5.155745e-06,5.252302e-06,5.271170e-06,5.345182e-06,5.392051e-06,5.434459e-06,5.506721e-06,5.520207e-06,5.602504e-06,5.615356e-06,5.681430e-06,5.718140e-06,5.757064e-06,5.815256e-06,5.829487e-06,5.898781e-06,5.906890e-06,5.965026e-06,5.993229e-06,6.028303e-06,6.074458e-06,6.088693e-06,6.146273e-06,6.150761e-06,6.201125e-06,6.222318e-06,6.253324e-06,6.289309e-06,6.302949e-06,6.350075e-06,6.351909e-06,6.394777e-06,6.410290e-06,6.437127e-06,6.464620e-06,6.477199e-06,6.515063e-06,6.550788e-06,6.561779e-06,6.584442e-06,6.604924e-06,6.616092e-06,6.644650e-06,6.645802e-06,6.673638e-06,6.681104e-06,6.699660e-06,6.714428e-06,6.723930e-06,6.744762e-06,6.746507e-06,6.767449e-06,6.772238e-06,6.786812e-06,6.796987e-06,6.804652e-06,6.819134e-06,6.821022e-06,6.835975e-06,6.838800e-06,6.849561e-06,6.856103e-06,6.861831e-06,6.871154e-06,6.872831e-06,6.882610e-06,6.884064e-06,6.891212e-06,6.894936e-06,6.898682e-06,6.903872e-06,6.905063e-06,6.910398e-06,6.910969e-06,6.914726e-06,6.916321e-06,6.918087e-06,6.920019e-06,6.920520e-06,6.922061e-06,6.922147e-06,6.922748e-06,6.922791e-06,6.922614e-06,6.922029e-06,6.921694e-06,6.920021e-06,6.919938e-06,6.917626e-06,6.916593e-06,6.914540e-06,6.912063e-06,6.910794e-06,6.906417e-06,6.899718e-06,6.892031e-06,6.883413e-06,6.873923e-06,6.863615e-06,6.852541e-06,6.840750e-06,6.828292e-06,6.815211e-06,6.801551e-06,6.787354e-06,6.772659e-06,6.757505e-06,6.741927e-06,6.725961e-06,6.709639e-06,6.692992e-06,6.676050e-06,6.658842e-06,6.641395e-06,6.623734e-06,6.605884e-06,6.587868e-06,6.569708e-06
0.000000e+00,1.055376e-09,2.836017e-09,1.182813e-08,2.958600e-08,4.466882e-08,1.070781e-07,1.104689e-07,2.192626e-07,2.588254e-07,3.814699e-07,5.090858e-07,6.082632e-07,8.823973e-07,9.093375e-07,1.286148e-06,1.386662e-06,1.725195e-06,1.989345e-06,2.202419e-06,2.635567e-06,2.694868e-06,3.186508e-06,3.283790e-06,3.667457e-06,3.911190e-06,4.131564e-06,4.505318e-06,4.574667e-06,4.993703e-06,5.058350e-06,5.386343e-06,5.564911e-06,5.750883e-06,6.021525e-06,6.086225e-06,6.391864e-06,6.426542e-06,6.667858e-06,6.780034e-06,6.914773e-06,7.083579e-06,7.133604e-06,7.325688e-06,7.339946e-06,7.492617e-06,7.552734e-06,7.636147e-06,7.726035e-06,7.758125e-06,7.860424e-06,7.864133e-06,7.944888e-06,7.971274e-06,8.013295e-06,8.051504e-06,8.067330e-06,8.108563e-06,8.138443e-06,8.145826e-06,8.158292e-06,8.166288e-06,8.169305e-06,8.172558e-06,8.172551e-06,8.168987e-06,8.166887e-06,8.159464e-06,8.151210e-06,8.144740e-06,8.127173e-06,8.125479e-06,8.102268e-06,8.096168e-06,8.075625e-06,8.059380e-06,8.046009e-06,8.017807e-06,8.013821e-06,7.979416e-06,7.972297e-06,7.943104e-06,7.923560e-06,7.905157e-06,7.872192e-06,7.865812e-06,7.825284e-06,7.818702e-06,7.783760e-06,7.763525e-06,7.741409e-06,7.707034e-06,7.698380e-06,7.654804e-06,7.649544e-06,7.610797e-06,7.591326e-06,7.566466e-06,7.532614e-06,7.521902e-06,7.477192e-06,7.473611e-06,7.432410e-06,7.414492e-06,7.387624e-06,7.355409e-06,7.342893e-06,7.298273e-06,7.296491e-06,7.253812e-06,7.237854e-06,7.209554e-06,7.179595e-06,7.165539e-06,7.121802e-06,7.078374e-06,7.064547e-06,7.035284e-06,7.007896e-06,6.992558e-06,6.951903e-06,6.950217e-06,6.908283e-06,6.896617e-06,6.866773e-06,6.842077e-06,6.825702e-06,6.788317e-06,6.785085e-06,6.744933e-06,6.735367e-06,6.705257e-06,6.683250e-06,6.666066e-06,6.631986e-06,6.627368e-06,6.589169e-06,6.581589e-06,6.551474e-06,6.532073e-06,6.514287e-06,6.483446e-06,6.477612e-06,6.441452e-06,6.435714e-06,6.405807e-06,6.388881e-06,6.370678e-06,6.342947e-06,6.336066e-06,6.301970e-06,6.297913e-06,6.268389e-06,6.253777e-06,6.235322e-06,6.210533e-06,6.202766e-06,6.170719e-06,6.168177e-06,6.139178e-06,6.126702e-06,6.108139e-06,6.086100e-06,6.077599e-06,6.047555e-06,6.046363e-06,6.018001e-06,6.007481e-06,5.988934e-06,5.969444e-06,5.960348e-06,5.932240e-06,5.895859e-06,5.860288e-06,5.825514e-06,5.791527e-06,5.758311e-06,5.725854e-06,5.694143e-06,5.663164e-06,5.632903e-06,5.603346e-06,5.574481e-06,5.546293e-06,5.518768e-06,5.491894e-06,5.465656e-06,5.440040e-06,5.415035e-06,5.390626e-06,5.366800e-06,5.343545e-06,5.320848e-06,5.298695e-06,5.277076e-06,5.255977e-06
0.000000e+00,1.231223e-10,2.939657e-10,1.054269e-09,2.438428e-09,3.574502e-09,8.144704e-09,8.389758e-09,1.616055e-08,1.895340e-08,2.752689e-08,3.633552e-08,4.311962e-08,6.172230e-08,6.354794e-08,8.934962e-08,9.638764e-08,1.208883e-07,1.410877e-07,1.582005e-07,1.954820e-07,2.008571e-07,2.479702e-07,2.578280e-07,2.983917e-07,3.255306e-07,3.509690e-07,3.960629e-07,4.047023e-07,4.587811e-07,4.674206e-07,5.125596e-07,5.381110e-07,5.655218e-07,6.070219e-07,6.172524e-07,6.674175e-07,6.733189e-07,7.157522e-07,7.363849e-07,7.620520e-07,7.957843e-07,8.061662e-07,8.479919e-07,8.512370e-07,8.874674e-07,9.025929e-07,9.245677e-07,9.498111e-07,9.592981e-07,9.916893e-07,9.929369e-07,1.021792e-06,1.032081e-06,1.049674e-06,1.067404e-06,1.075412e-06,1.099096e-06,1.120819e-06,1.127371e-06,1.140676e-06,1.152450e-06,1.158765e-06,1.174560e-06,1.175186e-06,1.190033e-06,1.193922e-06,1.203402e-06,1.210752e-06,1.215384e-06,1.225257e-06,1.226066e-06,1.235533e-06,1.237633e-06,1.243864e-06,1.248062e-06,1.251136e-06,1.256715e-06,1.257420e-06,1.262784e-06,1.263752e-06,1.267292e-06,1.269318e-06,1.271004e-06,1.273549e-06,1.273977e-06,1.276264e-06,1.276569e-06,1.277913e-06,1.278492e-06,1.278972e-06,1.279423e-06,1.279483e-06,1.279488e-06,1.279456e-06,1.279024e-06,1.278680e-06,1.278126e-06,1.277175e-06,1.276828e-06,1.275161e-06,1.275012e-06,1.273152e-06,1.272260e-06,1.270830e-06,1.268978e-06,1.268219e-06,1.265343e-06,1.265223e-06,1.262223e-06,1.261044e-06,1.258879e-06,1.256488e-06,1.255332e-06,1.251598e-06,1.247693e-06,1.246410e-06,1.243634e-06,1.240962e-06,1.239435e-06,1.235284e-06,1.235108e-06,1.230668e-06,1.229405e-06,1.226124e-06,1.223353e-06,1.221488e-06,1.217151e-06,1.216771e-06,1.211981e-06,1.210822e-06,1.207128e-06,1.204385e-06,1.202219e-06,1.197859e-06,1.197262e-06,1.192265e-06,1.191262e-06,1.187234e-06,1.184607e-06,1.182175e-06,1.177909e-06,1.177094e-06,1.171997e-06,1.171180e-06,1.166888e-06,1.164432e-06,1.161771e-06,1.157676e-06,1.156652e-06,1.151535e-06,1.150921e-06,1.146422e-06,1.144175e-06,1.141318e-06,1.137446e-06,1.136225e-06,1.131147e-06,1.130742e-06,1.126087e-06,1.124068e-06,1.121047e-06,1.117431e-06,1.116029e-06,1.111035e-06,1.110836e-06,1.106068e-06,1.104287e-06,1.101130e-06,1.097789e-06,1.096222e-06,1.091345e-06,1.084959e-06,1.078634e-06,1.072373e-06,1.066177e-06,1.060049e-06,1.053991e-06,1.048005e-06,1.042091e-06,1.036250e-06,1.030485e-06,1.024795e-06,1.019181e-06,1.013644e-06,1.008184e-06,1.002801e-06,9.974959e-07,9.922677e-07,9.871167e-07,9.820428e-07,9.770458e-07,9.721252e-07,9.672808e-07,9.625120e-07,9.578184e-07
0.000000e+00,1.528165e-09,4.179593e-09,1.800665e-08,4.620943e-08,7.066129e-08,1.744040e-07,1.801219e-07,3.662476e-07,4.348670e-07,6.496575e-07,8.756698e-07,1.052783e-06,1.548913e-06,1.598235e-06,2.301018e-06,2.493135e-06,3.157082e-06,3.694996e-06,4.142579e-06,5.092433e-06,5.226809e-06,6.383102e-06,6.621129e-06,7.591217e-06,8.234633e-06,8.835611e-06,9.899439e-06,1.010336e-05,1.138284e-05,1.158791e-05,1.266311e-05,1.327483e-05,1.393371e-05,1.493655e-05,1.518473e-05,1.640696e-05,1.655129e-05,1.759207e-05,1.809983e-05,1.873273e-05,1.956608e-05,1.982279e-05,2.085724e-05,2.093747e-05,2.183228e-05,2.220504e-05,2.274528e-05,2.336330e-05,2.359467e-05,2.437986e-05,2.440994e-05,2.510115e-05,2.534534e-05,2.575953e-05,2.617211e-05,2.635663e-05,2.689453e-05,2.737573e-05,2.751819e-05,2.780300e-05,2.804949e-05,2.817926e-05,2.849534e-05,2.850759e-05,2.879108e-05,2.886284e-05,2.903282e-05,2.915909e-05,2.923585e-05,2.939098e-05,2.940311e-05,2.953744e-05,2.956508e-05,2.964155e-05,2.968762e-05,2.971801e-05,2.976433e-05,2.976922e-05,2.979746e-05,2.980054e-05,2.980485e-05,2.980110e-05,2.979334e-05,2.977040e-05,2.976475e-05,2.972076e-05,2.971240e-05,2.966290e-05,2.963063e-05,2.959259e-05,2.952826e-05,2.951113e-05,2.941972e-05,2.940813e-05,2.931943e-05,2.927276e-05,2.921127e-05,2.912436e-05,2.909614e-05,2.897486e-05,2.896492e-05,2.884819e-05,2.879617e-05,2.871682e-05,2.861967e-05,2.858137e-05,2.844240e-05,2.843678e-05,2.830043e-05,2.824868e-05,2.815594e-05,2.805646e-05,2.800934e-05,2.786103e-05,2.771135e-05,2.766321e-05,2.756062e-05,2.746374e-05,2.740914e-05,2.726324e-05,2.725716e-05,2.710492e-05,2.706228e-05,2.695264e-05,2.686134e-05,2.680052e-05,2.666086e-05,2.664873e-05,2.649743e-05,2.646120e-05,2.634676e-05,2.626271e-05,2.619685e-05,2.606566e-05,2.604783e-05,2.589979e-05,2.587031e-05,2.575283e-05,2.567687e-05,2.560703e-05,2.548552e-05,2.546248e-05,2.531924e-05,2.529644e-05,2.517736e-05,2.510976e-05,2.503691e-05,2.492560e-05,2.489792e-05,2.476044e-05,2.474405e-05,2.462451e-05,2.456519e-05,2.449015e-05,2.438910e-05,2.435739e-05,2.422625e-05,2.421583e-05,2.409675e-05,2.404542e-05,2.396891e-05,2.387790e-05,2.384274e-05,2.371825e-05,2.371330e-05,2.359543e-05,2.355163e-05,2.347430e-05,2.339290e-05,2.335486e-05,2.323711e-05,2.308425e-05,2.293432e-05,2.278730e-05,2.264317e-05,2.250190e-05,2.236348e-05,2.222787e-05,2.209505e-05,2.196497e-05,2.183760e-05,2.171292e-05,2.159087e-05,2.147142e-05,2.135453e-05,2.124016e-05,2.112827e-05,2.101881e-05,2.091174e-05,2.080703e-05,2.070462e-05,2.060447e-05,2.050655e-05,2.041080e-05,2.031719e-05
0.000000e+00,7.233536e-10,1.914577e-09,7.861612e-09,1.965705e-08,2.979975e-08,7.300931e-08,7.541089e-08,1.550261e-07,1.850672e-07,2.810623e-07,3.841562e-07,4.654386e-07,6.904440e-07,7.124070e-07,1.015850e-06,1.095958e-06,1.365797e-06,1.578793e-06,1.753668e-06,2.121068e-06,2.172830e-06,2.617736e-06,2.709352e-06,3.083261e-06,3.331828e-06,3.564432e-06,3.977149e-06,4.056393e-06,4.554471e-06,4.634434e-06,5.054288e-06,5.293629e-06,5.551854e-06,5.945897e-06,6.043639e-06,6.526613e-06,6.583852e-06,6.998238e-06,7.201614e-06,7.456473e-06,7.794798e-06,7.899754e-06,8.326919e-06,8.360370e-06,8.737164e-06,8.896406e-06,9.129999e-06,9.401916e-06,9.505183e-06,9.862691e-06,9.876625e-06,1.020266e-05,1.032081e-05,1.052539e-05,1.073520e-05,1.083126e-05,1.112069e-05,1.139419e-05,1.147844e-05,1.165231e-05,1.180970e-05,1.189562e-05,1.211582e-05,1.212471e-05,1.234017e-05,1.239813e-05,1.254257e-05,1.265799e-05,1.273250e-05,1.289671e-05,1.291053e-05,1.307720e-05,1.311558e-05,1.323306e-05,1.331581e-05,1.337863e-05,1.349861e-05,1.351440e-05,1.364086e-05,1.366508e-05,1.375848e-05,1.381629e-05,1.386769e-05,1.395325e-05,1.396893e-05,1.406260e-05,1.407691e-05,1.414908e-05,1.418816e-05,1.422876e-05,1.428784e-05,1.430198e-05,1.436909e-05,1.437675e-05,1.443040e-05,1.445561e-05,1.448621e-05,1.452514e-05,1.453683e-05,1.458253e-05,1.458598e-05,1.462356e-05,1.463873e-05,1.466019e-05,1.468397e-05,1.469265e-05,1.472117e-05,1.472223e-05,1.474595e-05,1.475400e-05,1.476722e-05,1.477977e-05,1.478515e-05,1.479995e-05,1.481177e-05,1.481495e-05,1.482079e-05,1.482517e-05,1.482717e-05,1.483094e-05,1.483105e-05,1.483258e-05,1.483261e-05,1.483190e-05,1.483047e-05,1.482912e-05,1.482484e-05,1.482439e-05,1.481780e-05,1.481596e-05,1.480948e-05,1.480409e-05,1.479952e-05,1.478948e-05,1.478802e-05,1.477509e-05,1.477233e-05,1.476080e-05,1.475287e-05,1.474525e-05,1.473126e-05,1.472851e-05,1.471066e-05,1.470770e-05,1.469177e-05,1.468236e-05,1.467192e-05,1.465538e-05,1.465116e-05,1.462957e-05,1.462692e-05,1.460719e-05,1.459711e-05,1.458409e-05,1.456608e-05,1.456031e-05,1.453592e-05,1.453394e-05,1.451095e-05,1.450081e-05,1.448545e-05,1.446679e-05,1.445947e-05,1.443305e-05,1.443198e-05,1.440622e-05,1.439647e-05,1.437902e-05,1.436033e-05,1.435149e-05,1.432366e-05,1.428652e-05,1.424898e-05,1.421110e-05,1.417295e-05,1.413458e-05,1.409603e-05,1.405737e-05,1.401863e-05,1.397985e-05,1.394107e-05,1.390234e-05,1.386367e-05,1.382511e-05,1.378667e-05,1.374840e-05,1.371031e-05,1.367242e-05,1.363475e-05,1.359733e-05,1.356018e-05,1.352330e-05,1.348671e-05,1.345043e-05,1.341447e-05
0.000000e+00,2.527252e-09,7.142639e-09,3.266383e-08,8.779241e-08,1.373319e-07,3.569141e-07,3.693221e-07,7.840107e-07,9.408600e-07,1.441222e-06,1.979178e-06,2.406833e-06,3.625260e-06,3.747717e-06,5.513759e-06,6.003119e-06,7.716998e-06,9.133249e-06,1.033187e-05,1.293869e-05,1.331447e-05,1.661910e-05,1.731493e-05,2.020417e-05,2.216665e-05,2.403209e-05,2.740932e-05,2.806751e-05,3.227585e-05,3.296293e-05,3.662272e-05,3.874835e-05,4.107385e-05,4.468709e-05,4.559546e-05,5.015483e-05,5.070299e-05,5.472081e-05,5.672438e-05,5.926442e-05,6.268623e-05,6.375922e-05,6.818153e-05,6.853155e-05,7.251069e-05,7.421223e-05,7.672908e-05,7.968937e-05,8.082200e-05,8.477757e-05,8.493279e-05,8.858648e-05,8.992040e-05,9.224190e-05,9.463739e-05,9.573902e-05,9.907473e-05,1.022477e-04,1.032286e-04,1.052578e-04,1.070994e-04,1.081064e-04,1.106909e-04,1.107954e-04,1.133280e-04,1.140095e-04,1.157074e-04,1.170633e-04,1.179378e-04,1.198619e-04,1.200236e-04,1.219693e-04,1.224160e-04,1.237799e-04,1.247367e-04,1.254604e-04,1.268355e-04,1.270157e-04,1.284509e-04,1.287239e-04,1.297710e-04,1.304136e-04,1.309810e-04,1.319160e-04,1.320859e-04,1.330903e-04,1.332420e-04,1.339990e-04,1.344025e-04,1.348165e-04,1.354078e-04,1.355472e-04,1.361954e-04,1.362679e-04,1.367654e-04,1.369923e-04,1.372609e-04,1.375902e-04,1.376859e-04,1.380442e-04,1.380701e-04,1.383392e-04,1.384402e-04,1.385744e-04,1.387085e-04,1.387530e-04,1.388782e-04,1.388821e-04,1.389530e-04,1.389682e-04,1.389803e-04,1.389732e-04,1.389629e-04,1.389033e-04,1.388041e-04,1.387644e-04,1.386677e-04,1.385620e-04,1.384964e-04,1.383012e-04,1.382924e-04,1.380578e-04,1.379868e-04,1.377944e-04,1.376235e-04,1.375044e-04,1.372154e-04,1.371893e-04,1.368511e-04,1.367666e-04,1.364912e-04,1.362808e-04,1.361112e-04,1.357615e-04,1.357127e-04,1.352970e-04,1.352119e-04,1.348655e-04,1.346352e-04,1.344194e-04,1.340342e-04,1.339599e-04,1.334881e-04,1.334116e-04,1.330052e-04,1.327697e-04,1.325121e-04,1.321110e-04,1.320099e-04,1.314994e-04,1.314376e-04,1.309815e-04,1.307515e-04,1.304571e-04,1.300546e-04,1.299268e-04,1.293915e-04,1.293485e-04,1.288519e-04,1.286350e-04,1.283086e-04,1.279154e-04,1.277621e-04,1.272132e-04,1.271912e-04,1.266623e-04,1.264637e-04,1.261100e-04,1.257339e-04,1.255568e-04,1.250030e-04,1.242721e-04,1.235420e-04,1.228135e-04,1.220875e-04,1.213646e-04,1.206456e-04,1.199309e-04,1.192212e-04,1.185169e-04,1.178185e-04,1.171264e-04,1.164410e-04,1.157625e-04,1.150912e-04,1.144275e-04,1.137715e-04,1.131234e-04,1.124834e-04,1.118517e-04,1.112284e-04,1.106135e-04,1.100072e-04,1.094096e-04,1.088206e-04
0.000000e+00,1.035189e-11,2.369022e-11,8.122865e-11,1.844097e-10,2.689304e-10,6.117396e-10,6.302976e-10,1.229533e-09,1.450084e-09,2.143876e-09,2.881706e-09,3.466009e-09,5.131706e-09,5.299665e-09,7.742037e-09,8.426361e-09,1.084746e-08,1.286895e-08,1.458583e-08,1.830505e-08,1.883689e-08,2.343693e-08,2.438483e-08,2.823387e-08,3.076621e-08,3.311217e-08,3.721347e-08,3.799183e-08,4.281847e-08,4.358311e-08,4.755424e-08,4.978672e-08,5.217143e-08,5.576529e-08,5.664866e-08,6.096874e-08,6.147590e-08,6.511770e-08,6.688602e-08,6.908422e-08,7.197123e-08,7.285945e-08,7.643689e-08,7.671440e-08,7.981229e-08,8.110534e-08,8.298355e-08,8.514031e-08,8.595054e-08,8.871499e-08,8.882139e-08,9.128018e-08,9.215573e-08,9.365079e-08,9.515462e-08,9.583269e-08,9.783264e-08,9.965806e-08,1.002066e-07,1.013168e-07,1.022948e-07,1.028173e-07,1.041166e-07,1.041678e-07,1.053770e-07,1.056915e-07,1.064534e-07,1.070389e-07,1.074052e-07,1.081778e-07,1.082406e-07,1.089674e-07,1.091265e-07,1.095931e-07,1.099021e-07,1.101251e-07,1.105211e-07,1.105701e-07,1.109347e-07,1.109985e-07,1.112250e-07,1.113485e-07,1.114467e-07,1.115840e-07,1.116054e-07,1.117060e-07,1.117170e-07,1.117532e-07,1.117582e-07,1.117514e-07,1.117174e-07,1.117047e-07,1.116169e-07,1.116037e-07,1.114915e-07,1.114253e-07,1.113318e-07,1.111893e-07,1.111408e-07,1.109213e-07,1.109026e-07,1.106760e-07,1.105711e-07,1.104071e-07,1.102001e-07,1.101168e-07,1.098071e-07,1.097943e-07,1.094800e-07,1.093584e-07,1.091375e-07,1.088966e-07,1.087811e-07,1.084122e-07,1.080322e-07,1.079085e-07,1.076425e-07,1.073885e-07,1.072442e-07,1.068547e-07,1.068384e-07,1.064260e-07,1.063095e-07,1.060080e-07,1.057548e-07,1.055852e-07,1.051926e-07,1.051584e-07,1.047283e-07,1.046246e-07,1.042956e-07,1.040524e-07,1.038609e-07,1.034772e-07,1.034248e-07,1.029877e-07,1.029003e-07,1.025503e-07,1.023228e-07,1.021128e-07,1.017456e-07,1.016758e-07,1.012395e-07,1.011698e-07,1.008044e-07,1.005960e-07,1.003707e-07,1.000250e-07,9.993874e-08,9.950879e-08,9.945734e-08,9.908109e-08,9.889367e-08,9.865585e-08,9.833445e-08,9.823328e-08,9.781358e-08,9.778013e-08,9.739689e-08,9.723110e-08,9.698339e-08,9.668772e-08,9.657321e-08,9.616646e-08,9.615026e-08,9.576327e-08,9.561901e-08,9.536374e-08,9.509419e-08,9.496795e-08,9.457598e-08,9.406457e-08,9.356011e-08,9.306270e-08,9.257246e-08,9.208946e-08,9.161376e-08,9.114541e-08,9.068444e-08,9.023086e-08,8.978468e-08,8.934590e-08,8.891448e-08,8.849042e-08,8.807368e-08,8.766421e-08,8.726197e-08,8.686692e-08,8.647899e-08,8.609811e-08,8.572422e-08,8.535727e-08,8.499716e-08,8.464382e-08,8.429717e-08
0.000000e+00,1.007849e-09,2.893824e-09,1.361387e-08,3.737357e-08,5.904865e-08,1.567401e-07,1.623080e-07,3.498426e-07,4.212327e-07,6.497744e-07,8.961374e-07,1.092125e-06,1.650113e-06,1.706121e-06,2.511483e-06,2.733624e-06,3.506682e-06,4.138138e-06,4.666221e-06,5.791545e-06,5.950949e-06,7.320446e-06,7.601305e-06,8.739569e-06,9.487410e-06,1.017977e-05,1.138894e-05,1.161815e-05,1.303614e-05,1.326008e-05,1.441858e-05,1.506578e-05,1.575306e-05,1.677935e-05,1.702963e-05,1.824064e-05,1.838127e-05,1.938054e-05,1.985859e-05,2.044576e-05,2.120419e-05,2.143446e-05,2.234635e-05,2.241601e-05,2.318243e-05,2.349605e-05,2.394470e-05,2.444940e-05,2.463600e-05,2.525972e-05,2.528332e-05,2.581965e-05,2.600638e-05,2.631979e-05,2.662782e-05,2.676422e-05,2.715703e-05,2.750222e-05,2.760325e-05,2.780363e-05,2.797525e-05,2.806491e-05,2.828119e-05,2.828951e-05,2.848064e-05,2.852856e-05,2.864126e-05,2.872413e-05,2.877411e-05,2.887397e-05,2.888170e-05,2.896635e-05,2.898348e-05,2.903014e-05,2.905747e-05,2.907498e-05,2.910017e-05,2.910263e-05,2.911465e-05,2.911531e-05,2.911249e-05,2.910620e-05,2.909744e-05,2.907571e-05,2.907069e-05,2.903331e-05,2.902641e-05,2.898627e-05,2.896052e-05,2.893046e-05,2.888005e-05,2.886669e-05,2.879570e-05,2.878672e-05,2.871814e-05,2.868209e-05,2.863463e-05,2.856753e-05,2.854573e-05,2.845195e-05,2.844425e-05,2.835375e-05,2.831333e-05,2.825156e-05,2.817573e-05,2.814576e-05,2.803674e-05,2.803231e-05,2.792480e-05,2.788385e-05,2.781025e-05,2.773102e-05,2.769339e-05,2.757445e-05,2.745369e-05,2.741470e-05,2.733132e-05,2.725226e-05,2.720755e-05,2.708759e-05,2.708256e-05,2.695654e-05,2.692109e-05,2.682963e-05,2.675313e-05,2.670200e-05,2.658405e-05,2.657378e-05,2.644509e-05,2.641415e-05,2.631607e-05,2.624370e-05,2.618681e-05,2.607296e-05,2.605743e-05,2.592801e-05,2.590213e-05,2.579865e-05,2.573144e-05,2.566944e-05,2.556106e-05,2.554044e-05,2.541173e-05,2.539117e-05,2.528338e-05,2.522191e-05,2.515544e-05,2.505343e-05,2.502798e-05,2.490104e-05,2.488585e-05,2.477469e-05,2.471928e-05,2.464895e-05,2.455383e-05,2.452388e-05,2.439951e-05,2.438959e-05,2.427587e-05,2.422664e-05,2.415301e-05,2.406505e-05,2.403096e-05,2.390973e-05,2.390490e-05,2.378936e-05,2.374624e-05,2.366987e-05,2.358913e-05,2.355128e-05,2.343360e-05,2.327972e-05,2.312750e-05,2.297699e-05,2.282820e-05,2.268117e-05,2.253591e-05,2.239243e-05,2.225076e-05,2.211089e-05,2.197284e-05,2.183661e-05,2.170220e-05,2.156961e-05,2.143884e-05,2.130988e-05,2.118274e-05,2.105740e-05,2.093385e-05,2.081209e-05,2.069210e-05,2.057387e-05,2.045738e-05,2.034263e-05,2.022960e-05
0.000000e+00,5.726089e-08,1.709165e-07,8.691906e-07,2.553229e-06,4.180589e-06,1.210516e-05,1.257745e-05,2.930073e-05,3.597868e-05,5.813605e-05,8.300578e-05,1.033414e-04,1.633235e-04,1.694953e-04,2.610924e-04,2.873081e-04,3.819673e-04,4.635425e-04,5.349484e-04,6.976063e-04,7.218684e-04,9.437151e-04,9.923115e-04,1.200766e-03,1.348254e-03,1.492675e-03,1.764160e-03,1.818523e-03,2.176863e-03,2.237090e-03,2.565759e-03,2.762600e-03,2.982831e-03,3.334927e-03,3.425312e-03,3.890111e-03,3.947230e-03,4.373886e-03,4.591856e-03,4.873116e-03,5.260642e-03,5.384182e-03,5.903432e-03,5.945217e-03,6.427259e-03,6.637282e-03,6.952159e-03,7.328866e-03,7.474786e-03,7.991996e-03,8.012530e-03,8.500885e-03,8.681532e-03,8.998816e-03,9.329936e-03,9.483433e-03,9.952669e-03,1.040475e-02,1.054555e-02,1.083821e-02,1.110527e-02,1.125183e-02,1.162937e-02,1.164467e-02,1.201605e-02,1.211612e-02,1.236550e-02,1.256453e-02,1.269277e-02,1.297421e-02,1.299780e-02,1.328068e-02,1.334531e-02,1.354169e-02,1.367842e-02,1.378118e-02,1.397454e-02,1.399966e-02,1.419771e-02,1.423492e-02,1.437597e-02,1.446108e-02,1.453515e-02,1.465469e-02,1.467603e-02,1.479939e-02,1.481756e-02,1.490605e-02,1.495155e-02,1.499683e-02,1.505858e-02,1.507257e-02,1.513410e-02,1.514057e-02,1.518226e-02,1.519941e-02,1.521783e-02,1.523695e-02,1.524163e-02,1.525441e-02,1.525498e-02,1.525693e-02,1.525522e-02,1.524990e-02,1.523933e-02,1.523403e-02,1.520997e-02,1.520885e-02,1.517836e-02,1.516525e-02,1.513981e-02,1.510992e-02,1.509488e-02,1.504413e-02,1.498807e-02,1.496909e-02,1.492719e-02,1.488590e-02,1.486194e-02,1.479559e-02,1.479275e-02,1.472004e-02,1.469910e-02,1.464418e-02,1.459729e-02,1.456552e-02,1.449097e-02,1.448439e-02,1.440112e-02,1.438084e-02,1.431597e-02,1.426758e-02,1.422923e-02,1.415177e-02,1.414114e-02,1.405192e-02,1.403396e-02,1.396180e-02,1.391465e-02,1.387097e-02,1.379426e-02,1.377961e-02,1.368790e-02,1.367320e-02,1.359597e-02,1.355182e-02,1.350398e-02,1.343044e-02,1.341206e-02,1.332033e-02,1.330934e-02,1.322888e-02,1.318877e-02,1.313783e-02,1.306895e-02,1.304727e-02,1.295726e-02,1.295009e-02,1.286789e-02,1.283234e-02,1.277923e-02,1.271587e-02,1.269133e-02,1.260425e-02,1.260079e-02,1.251804e-02,1.248722e-02,1.243273e-02,1.237526e-02,1.234837e-02,1.226499e-02,1.215646e-02,1.204975e-02,1.194489e-02,1.184192e-02,1.174085e-02,1.164172e-02,1.154454e-02,1.144930e-02,1.135601e-02,1.126466e-02,1.117524e-02,1.108774e-02,1.100215e-02,1.091844e-02,1.083659e-02,1.075658e-02,1.067838e-02,1.060196e-02,1.052730e-02,1.045436e-02,1.038312e-02,1.031353e-02,1.024558e-02,1.017923e-02
0.000000e+00,4.878276e-10,1.147367e-09,4.057189e-09,9.356902e-09,1.373179e-08,3.162330e-08,3.259639e-08,6.416826e-08,7.583752e-08,1.125774e-07,1.514195e-07,1.817523e-07,2.647792e-07,2.728195e-07,3.828877e-07,4.116597e-07,5.078454e-07,5.830843e-07,6.444739e-07,7.724777e-07,7.904158e-07,9.437118e-07,9.750916e-07,1.102533e-06,1.186709e-06,1.265091e-06,1.403251e-06,1.429643e-06,1.594523e-06,1.620829e-06,1.758192e-06,1.835911e-06,1.919272e-06,2.045465e-06,2.076572e-06,2.229095e-06,2.247037e-06,2.376043e-06,2.438769e-06,2.516802e-06,2.619359e-06,2.650926e-06,2.778123e-06,2.787994e-06,2.898228e-06,2.944268e-06,3.011184e-06,3.088102e-06,3.117025e-06,3.215855e-06,3.219665e-06,3.307833e-06,3.339305e-06,3.393160e-06,3.447500e-06,3.472068e-06,3.544809e-06,3.611651e-06,3.631839e-06,3.672868e-06,3.709222e-06,3.728736e-06,3.777594e-06,3.779532e-06,3.825526e-06,3.837581e-06,3.866985e-06,3.889792e-06,3.904168e-06,3.934812e-06,3.937322e-06,3.966689e-06,3.973199e-06,3.992498e-06,4.005480e-06,4.014970e-06,4.032150e-06,4.034312e-06,4.050724e-06,4.053672e-06,4.064395e-06,4.070480e-06,4.075505e-06,4.082983e-06,4.084225e-06,4.090718e-06,4.091560e-06,4.095136e-06,4.096563e-06,4.097624e-06,4.098316e-06,4.098317e-06,4.097345e-06,4.097122e-06,4.094828e-06,4.093262e-06,4.090883e-06,4.086994e-06,4.085615e-06,4.079127e-06,4.078558e-06,4.071514e-06,4.068174e-06,4.062866e-06,4.056045e-06,4.053266e-06,4.042794e-06,4.042359e-06,4.031523e-06,4.027284e-06,4.019522e-06,4.010979e-06,4.006858e-06,3.993590e-06,3.979778e-06,3.975251e-06,3.965473e-06,3.956083e-06,3.950726e-06,3.936196e-06,3.935583e-06,3.920089e-06,3.915693e-06,3.904284e-06,3.894667e-06,3.888206e-06,3.873205e-06,3.871892e-06,3.855374e-06,3.851383e-06,3.838684e-06,3.829273e-06,3.821850e-06,3.806940e-06,3.804900e-06,3.787859e-06,3.784442e-06,3.770750e-06,3.761834e-06,3.753595e-06,3.739165e-06,3.736415e-06,3.719228e-06,3.716478e-06,3.702051e-06,3.693815e-06,3.684901e-06,3.671210e-06,3.667793e-06,3.650740e-06,3.648698e-06,3.633755e-06,3.626307e-06,3.616851e-06,3.604063e-06,3.600036e-06,3.583323e-06,3.581991e-06,3.566719e-06,3.560111e-06,3.550234e-06,3.538442e-06,3.533874e-06,3.517647e-06,3.517000e-06,3.501558e-06,3.495802e-06,3.485615e-06,3.474858e-06,3.469821e-06,3.454182e-06,3.433781e-06,3.413665e-06,3.393841e-06,3.374314e-06,3.355090e-06,3.336172e-06,3.317563e-06,3.299265e-06,3.281280e-06,3.263609e-06,3.246251e-06,3.229207e-06,3.212476e-06,3.196055e-06,3.179944e-06,3.164141e-06,3.148643e-06,3.133447e-06,3.118550e-06,3.103950e-06,3.089642e-06,3.075624e-06,3.061891e-06,3.048440e-06
0.000000e+00,7.256982e-10,1.945136e-09,8.135751e-09,2.056257e-08,3.130690e-08,7.730850e-08,7.987183e-08,1.651320e-07,1.974569e-07,3.015470e-07,4.152732e-07,5.068407e-07,7.708487e-07,7.974689e-07,1.178571e-06,1.282536e-06,1.639140e-06,1.924670e-06,2.160130e-06,2.654607e-06,2.724083e-06,3.318132e-06,3.439701e-06,3.933125e-06,4.258843e-06,4.562135e-06,5.097122e-06,5.199430e-06,5.839901e-06,5.942351e-06,6.478808e-06,6.783609e-06,7.111700e-06,7.610885e-06,7.734432e-06,8.343226e-06,8.415181e-06,8.934723e-06,9.188737e-06,9.506021e-06,9.925194e-06,1.005470e-05,1.057885e-05,1.061967e-05,1.107699e-05,1.126873e-05,1.154814e-05,1.187030e-05,1.199169e-05,1.240740e-05,1.242345e-05,1.279536e-05,1.292829e-05,1.315591e-05,1.338571e-05,1.348961e-05,1.379721e-05,1.407958e-05,1.416476e-05,1.433769e-05,1.449064e-05,1.457260e-05,1.477729e-05,1.478539e-05,1.497720e-05,1.502729e-05,1.514913e-05,1.524322e-05,1.530231e-05,1.542762e-05,1.543784e-05,1.555678e-05,1.558297e-05,1.566017e-05,1.571165e-05,1.574900e-05,1.581590e-05,1.582424e-05,1.588679e-05,1.589785e-05,1.593752e-05,1.595950e-05,1.597724e-05,1.600268e-05,1.600675e-05,1.602677e-05,1.602913e-05,1.603798e-05,1.604044e-05,1.604105e-05,1.603805e-05,1.603659e-05,1.602516e-05,1.602334e-05,1.600730e-05,1.599754e-05,1.598352e-05,1.596178e-05,1.595430e-05,1.592006e-05,1.591712e-05,1.588122e-05,1.586449e-05,1.583818e-05,1.580478e-05,1.579128e-05,1.574086e-05,1.573878e-05,1.568724e-05,1.566721e-05,1.563071e-05,1.559075e-05,1.557155e-05,1.551000e-05,1.544630e-05,1.542550e-05,1.538067e-05,1.533776e-05,1.531333e-05,1.524724e-05,1.524445e-05,1.517423e-05,1.515435e-05,1.510282e-05,1.505946e-05,1.503037e-05,1.496294e-05,1.495704e-05,1.488295e-05,1.486507e-05,1.480823e-05,1.476616e-05,1.473299e-05,1.466644e-05,1.465735e-05,1.458139e-05,1.456617e-05,1.450521e-05,1.446553e-05,1.442889e-05,1.436474e-05,1.435252e-05,1.427616e-05,1.426395e-05,1.419989e-05,1.416332e-05,1.412375e-05,1.406299e-05,1.404783e-05,1.397215e-05,1.396309e-05,1.389678e-05,1.386373e-05,1.382176e-05,1.376500e-05,1.374712e-05,1.367292e-05,1.366700e-05,1.359917e-05,1.356981e-05,1.352591e-05,1.347349e-05,1.345318e-05,1.338099e-05,1.337812e-05,1.330938e-05,1.328374e-05,1.323835e-05,1.319040e-05,1.316794e-05,1.309816e-05,1.300703e-05,1.291706e-05,1.282827e-05,1.274068e-05,1.265431e-05,1.256917e-05,1.248529e-05,1.240265e-05,1.232128e-05,1.224117e-05,1.216233e-05,1.208475e-05,1.200843e-05,1.193337e-05,1.185955e-05,1.178699e-05,1.171565e-05,1.164554e-05,1.157665e-05,1.150896e-05,1.144246e-05,1.137714e-05,1.131298e-05,1.124998e-05
0.000000e+00,4.307405e-10,1.176290e-09,5.066862e-09,1.304175e-08,1.999927e-08,4.991164e-08,5.157723e-08,1.066414e-07,1.273225e-07,1.932313e-07,2.643155e-07,3.211348e-07,4.848969e-07,5.015177e-07,7.443302e-07,8.125186e-07,1.053488e-06,1.254070e-06,1.424073e-06,1.792439e-06,1.845254e-06,2.305388e-06,2.401197e-06,2.794841e-06,3.058460e-06,3.306373e-06,3.749097e-06,3.834532e-06,4.374984e-06,4.462343e-06,4.924017e-06,5.189601e-06,5.478251e-06,5.923222e-06,6.034476e-06,6.589603e-06,6.656001e-06,7.140649e-06,7.381074e-06,7.684759e-06,8.091994e-06,8.219262e-06,8.741672e-06,8.782873e-06,9.249725e-06,9.448472e-06,9.741436e-06,1.008438e-05,1.021509e-05,1.066926e-05,1.068701e-05,1.110281e-05,1.125367e-05,1.151488e-05,1.178249e-05,1.190486e-05,1.227238e-05,1.261733e-05,1.272295e-05,1.293977e-05,1.313444e-05,1.323997e-05,1.350756e-05,1.351828e-05,1.377520e-05,1.384338e-05,1.401131e-05,1.414325e-05,1.422725e-05,1.440872e-05,1.442374e-05,1.460156e-05,1.464155e-05,1.476154e-05,1.484366e-05,1.490455e-05,1.501702e-05,1.503142e-05,1.514303e-05,1.516359e-05,1.524023e-05,1.528537e-05,1.532389e-05,1.538436e-05,1.539491e-05,1.545429e-05,1.546277e-05,1.550283e-05,1.552249e-05,1.554125e-05,1.556515e-05,1.557022e-05,1.559039e-05,1.559225e-05,1.560238e-05,1.560522e-05,1.560677e-05,1.560536e-05,1.560411e-05,1.559493e-05,1.559393e-05,1.557972e-05,1.557205e-05,1.555895e-05,1.554080e-05,1.553305e-05,1.550245e-05,1.550113e-05,1.546751e-05,1.545395e-05,1.542862e-05,1.540009e-05,1.538611e-05,1.534029e-05,1.529147e-05,1.527526e-05,1.523992e-05,1.520562e-05,1.518590e-05,1.513195e-05,1.512966e-05,1.507141e-05,1.505478e-05,1.501138e-05,1.497459e-05,1.494976e-05,1.489181e-05,1.488672e-05,1.482245e-05,1.480686e-05,1.475709e-05,1.472008e-05,1.469080e-05,1.463181e-05,1.462372e-05,1.455596e-05,1.454234e-05,1.448765e-05,1.445195e-05,1.441890e-05,1.436088e-05,1.434981e-05,1.428047e-05,1.426936e-05,1.421096e-05,1.417757e-05,1.414138e-05,1.408571e-05,1.407179e-05,1.400226e-05,1.399393e-05,1.393286e-05,1.390238e-05,1.386364e-05,1.381119e-05,1.379466e-05,1.372596e-05,1.372048e-05,1.365760e-05,1.363035e-05,1.358961e-05,1.354090e-05,1.352202e-05,1.345489e-05,1.345221e-05,1.338823e-05,1.336436e-05,1.332208e-05,1.327740e-05,1.325646e-05,1.319140e-05,1.310640e-05,1.302245e-05,1.293958e-05,1.285783e-05,1.277723e-05,1.269779e-05,1.261954e-05,1.254248e-05,1.246664e-05,1.239201e-05,1.231861e-05,1.224643e-05,1.217548e-05,1.210575e-05,1.203725e-05,1.196996e-05,1.190388e-05,1.183901e-05,1.177532e-05,1.171282e-05,1.165150e-05,1.159133e-05,1.153230e-05,1.147442e-05
0.000000e+00,4.765259e-09,1.418770e-08,7.176845e-08,2.097776e-07,3.425336e-07,9.845230e-07,1.022619e-06,2.363842e-06,2.896195e-06,4.653140e-06,6.612047e-06,8.206114e-06,1.288112e-05,1.336057e-05,2.045989e-05,2.248916e-05,2.981702e-05,3.613671e-05,4.167278e-05,5.429411e-05,5.617745e-05,7.339931e-05,7.717102e-05,9.334213e-05,1.047741e-04,1.159598e-04,1.369637e-04,1.411660e-04,1.688395e-04,1.734865e-04,1.988287e-04,2.139944e-04,2.309546e-04,2.580580e-04,2.650141e-04,3.007840e-04,3.051801e-04,3.380247e-04,3.548122e-04,3.764850e-04,4.063717e-04,4.159067e-04,4.560290e-04,4.592613e-04,4.965939e-04,5.128870e-04,5.373494e-04,5.666754e-04,5.780542e-04,6.184806e-04,6.200888e-04,6.584171e-04,6.726365e-04,6.976707e-04,7.238838e-04,7.360681e-04,7.734567e-04,8.097046e-04,8.210444e-04,8.447010e-04,8.663990e-04,8.783548e-04,9.093329e-04,9.105946e-04,9.413669e-04,9.497148e-04,9.706351e-04,9.874647e-04,9.983781e-04,1.022548e-03,1.024588e-03,1.049271e-03,1.054968e-03,1.072440e-03,1.084763e-03,1.094120e-03,1.111993e-03,1.114344e-03,1.133150e-03,1.136744e-03,1.150580e-03,1.159116e-03,1.166683e-03,1.179220e-03,1.181508e-03,1.195110e-03,1.197176e-03,1.207542e-03,1.213110e-03,1.218860e-03,1.227148e-03,1.229118e-03,1.238373e-03,1.239418e-03,1.246679e-03,1.250047e-03,1.254091e-03,1.259158e-03,1.260661e-03,1.266440e-03,1.266870e-03,1.271476e-03,1.273294e-03,1.275817e-03,1.278536e-03,1.279506e-03,1.282586e-03,1.282698e-03,1.285098e-03,1.285871e-03,1.287080e-03,1.288143e-03,1.288567e-03,1.289594e-03,1.290193e-03,1.290299e-03,1.290393e-03,1.290326e-03,1.290225e-03,1.289740e-03,1.289714e-03,1.288885e-03,1.288599e-03,1.287761e-03,1.286955e-03,1.286366e-03,1.284859e-03,1.284719e-03,1.282839e-03,1.282356e-03,1.280746e-03,1.279486e-03,1.278454e-03,1.276287e-03,1.275981e-03,1.273341e-03,1.272794e-03,1.270548e-03,1.269039e-03,1.267614e-03,1.265050e-03,1.264552e-03,1.261372e-03,1.260853e-03,1.258085e-03,1.256472e-03,1.254700e-03,1.251929e-03,1.251228e-03,1.247675e-03,1.247244e-03,1.244051e-03,1.242435e-03,1.240362e-03,1.237519e-03,1.236615e-03,1.232817e-03,1.232511e-03,1.228973e-03,1.227424e-03,1.225090e-03,1.222272e-03,1.221172e-03,1.217224e-03,1.217066e-03,1.213251e-03,1.211816e-03,1.209258e-03,1.206532e-03,1.205247e-03,1.201223e-03,1.195898e-03,1.190562e-03,1.185223e-03,1.179888e-03,1.174561e-03,1.169247e-03,1.163953e-03,1.158681e-03,1.153435e-03,1.148219e-03,1.143037e-03,1.137891e-03,1.132783e-03,1.127716e-03,1.122693e-03,1.117715e-03,1.112783e-03,1.107900e-03,1.103067e-03,1.098285e-03,1.093554e-03,1.088877e-03,1.084253e-03,1.079684e-03
0.000000e+00,1.064500e-07,3.184058e-07,1.626681e-06,4.800093e-06,7.880618e-06,2.299434e-05,2.389954e-05,5.617756e-05,6.916694e-05,1.125836e-04,1.618021e-04,2.023763e-04,3.235664e-04,3.361556e-04,5.253773e-04,5.802953e-04,7.810056e-04,9.565115e-04,1.111648e-03,1.468822e-03,1.522435e-03,2.015157e-03,2.123500e-03,2.589019e-03,2.918669e-03,3.241360e-03,3.847066e-03,3.968161e-03,4.764385e-03,4.897844e-03,5.624216e-03,6.057664e-03,6.541244e-03,7.311465e-03,7.508633e-03,8.519271e-03,8.643110e-03,9.565914e-03,1.003598e-02,1.064132e-02,1.147349e-02,1.173839e-02,1.285022e-02,1.293961e-02,1.397026e-02,1.441918e-02,1.509234e-02,1.589826e-02,1.621072e-02,1.732015e-02,1.736427e-02,1.841589e-02,1.880617e-02,1.949370e-02,2.021444e-02,2.054984e-02,2.158106e-02,2.258460e-02,2.289949e-02,2.355812e-02,2.416453e-02,2.449973e-02,2.537222e-02,2.540788e-02,2.628143e-02,2.651970e-02,2.711952e-02,2.760512e-02,2.792160e-02,2.862745e-02,2.868738e-02,2.941678e-02,2.958643e-02,3.010994e-02,3.048239e-02,3.076717e-02,3.131618e-02,3.138894e-02,3.197584e-02,3.208910e-02,3.252857e-02,3.280275e-02,3.304793e-02,3.345902e-02,3.353477e-02,3.399003e-02,3.406001e-02,3.441468e-02,3.460793e-02,3.480972e-02,3.510513e-02,3.517619e-02,3.551513e-02,3.555401e-02,3.582761e-02,3.595698e-02,3.611467e-02,3.631648e-02,3.637736e-02,3.661674e-02,3.663492e-02,3.683383e-02,3.691465e-02,3.702964e-02,3.715801e-02,3.720517e-02,3.736137e-02,3.736723e-02,3.749920e-02,3.754450e-02,3.761957e-02,3.769191e-02,3.772337e-02,3.781147e-02,3.788471e-02,3.790513e-02,3.794387e-02,3.797472e-02,3.798975e-02,3.802198e-02,3.802309e-02,3.804460e-02,3.804860e-02,3.805497e-02,3.805613e-02,3.805487e-02,3.804607e-02,3.804493e-02,3.802575e-02,3.801984e-02,3.799792e-02,3.797876e-02,3.796198e-02,3.792408e-02,3.791848e-02,3.786790e-02,3.785698e-02,3.781074e-02,3.777856e-02,3.774744e-02,3.768986e-02,3.767845e-02,3.760419e-02,3.759184e-02,3.752504e-02,3.748542e-02,3.744138e-02,3.737144e-02,3.735356e-02,3.726193e-02,3.725069e-02,3.716680e-02,3.712392e-02,3.706848e-02,3.699180e-02,3.696726e-02,3.686340e-02,3.685498e-02,3.675717e-02,3.671406e-02,3.664880e-02,3.656958e-02,3.653853e-02,3.642658e-02,3.642207e-02,3.631315e-02,3.627199e-02,3.619843e-02,3.611978e-02,3.608261e-02,3.596585e-02,3.581059e-02,3.565433e-02,3.549739e-02,3.534007e-02,3.518264e-02,3.502535e-02,3.486841e-02,3.471205e-02,3.455645e-02,3.440178e-02,3.424820e-02,3.409584e-02,3.394485e-02,3.379532e-02,3.364737e-02,3.350109e-02,3.335656e-02,3.321385e-02,3.307302e-02,3.293413e-02,3.279723e-02,3.266236e-02,3.252955e-02,3.239883e-02
0.000000e+00,6.995439e-11,1.616253e-10,5.635094e-10,1.298363e-09,1.909631e-09,4.451214e-09,4.591218e-09,9.218809e-09,1.096724e-08,1.659426e-08,2.274695e-08,2.771040e-08,4.211249e-08,4.357488e-08,6.477348e-08,7.064602e-08,9.106578e-08,1.076880e-07,1.215467e-07,1.510074e-07,1.551795e-07,1.911184e-07,1.985252e-07,2.287460e-07,2.488246e-07,2.676089e-07,3.009478e-07,3.073535e-07,3.476852e-07,3.541751e-07,3.883458e-07,4.079107e-07,4.291033e-07,4.616367e-07,4.697470e-07,5.100876e-07,5.148999e-07,5.499566e-07,5.673108e-07,5.892065e-07,6.185438e-07,6.277108e-07,6.653628e-07,6.683354e-07,7.020749e-07,7.164803e-07,7.377769e-07,7.628257e-07,7.724143e-07,8.059469e-07,8.072648e-07,8.383467e-07,8.497297e-07,8.695961e-07,8.901839e-07,8.996865e-07,9.286166e-07,9.563918e-07,9.650375e-07,9.830222e-07,9.994714e-07,1.008522e-06,1.031956e-06,1.032910e-06,1.056206e-06,1.062536e-06,1.078433e-06,1.091266e-06,1.099615e-06,1.118202e-06,1.119778e-06,1.138948e-06,1.143404e-06,1.157152e-06,1.166935e-06,1.174418e-06,1.188857e-06,1.190773e-06,1.206244e-06,1.209235e-06,1.220860e-06,1.228132e-06,1.234648e-06,1.245609e-06,1.247634e-06,1.259846e-06,1.261730e-06,1.271309e-06,1.276553e-06,1.282050e-06,1.290139e-06,1.292094e-06,1.301465e-06,1.302545e-06,1.310188e-06,1.313828e-06,1.318288e-06,1.324040e-06,1.325786e-06,1.332706e-06,1.333235e-06,1.339069e-06,1.341464e-06,1.344898e-06,1.348775e-06,1.350213e-06,1.355034e-06,1.355217e-06,1.359381e-06,1.360834e-06,1.363273e-06,1.365670e-06,1.366730e-06,1.369768e-06,1.372406e-06,1.373168e-06,1.374660e-06,1.375909e-06,1.376547e-06,1.378028e-06,1.378083e-06,1.379283e-06,1.379561e-06,1.380162e-06,1.380542e-06,1.380735e-06,1.381003e-06,1.381015e-06,1.381016e-06,1.380976e-06,1.380751e-06,1.380491e-06,1.380233e-06,1.379577e-06,1.379473e-06,1.378484e-06,1.378260e-06,1.377277e-06,1.376566e-06,1.375862e-06,1.374521e-06,1.374251e-06,1.372452e-06,1.372148e-06,1.370477e-06,1.369469e-06,1.368335e-06,1.366507e-06,1.366034e-06,1.363584e-06,1.363280e-06,1.360992e-06,1.359809e-06,1.358267e-06,1.356112e-06,1.355417e-06,1.352449e-06,1.352207e-06,1.349371e-06,1.348110e-06,1.346188e-06,1.343837e-06,1.342909e-06,1.339539e-06,1.339403e-06,1.336085e-06,1.334822e-06,1.332552e-06,1.330107e-06,1.328946e-06,1.325272e-06,1.320328e-06,1.315287e-06,1.310160e-06,1.304957e-06,1.299686e-06,1.294359e-06,1.288982e-06,1.283565e-06,1.278114e-06,1.272637e-06,1.267140e-06,1.261631e-06,1.256114e-06,1.250596e-06,1.245081e-06,1.239575e-06,1.234082e-06,1.228606e-06,1.223151e-06,1.217721e-06,1.212319e-06,1.206949e-06,1.201613e-06,1.196315e-06
0.000000e+00,1.753765e-09,5.193538e-09,2.597917e-08,7.516405e-08,1.220443e-07,3.457594e-07,3.589289e-07,8.180681e-07,9.985269e-07,1.589364e-06,2.241915e-06,2.769442e-06,4.304231e-06,4.460861e-06,6.770043e-06,7.427884e-06,9.800277e-06,1.184528e-05,1.363692e-05,1.772026e-05,1.832899e-05,2.387886e-05,2.508883e-05,3.024608e-05,3.385736e-05,3.735981e-05,4.384787e-05,4.513167e-05,5.346515e-05,5.484402e-05,6.226150e-05,6.661942e-05,7.142318e-05,7.895189e-05,8.085564e-05,9.046849e-05,9.163003e-05,1.001762e-04,1.044568e-04,1.098987e-04,1.172518e-04,1.195618e-04,1.290979e-04,1.298535e-04,1.384461e-04,1.421205e-04,1.475526e-04,1.539332e-04,1.563708e-04,1.648614e-04,1.651937e-04,1.729921e-04,1.758261e-04,1.807378e-04,1.857751e-04,1.880797e-04,1.950051e-04,2.015069e-04,2.034975e-04,2.075828e-04,2.112489e-04,2.132353e-04,2.182687e-04,2.184702e-04,2.232968e-04,2.245766e-04,2.277269e-04,2.302003e-04,2.317744e-04,2.351736e-04,2.354549e-04,2.387852e-04,2.395342e-04,2.417826e-04,2.433225e-04,2.444653e-04,2.465800e-04,2.468513e-04,2.489588e-04,2.493484e-04,2.508055e-04,2.516685e-04,2.524088e-04,2.535797e-04,2.537855e-04,2.549518e-04,2.551199e-04,2.559231e-04,2.563244e-04,2.567141e-04,2.572264e-04,2.573386e-04,2.578098e-04,2.578566e-04,2.581399e-04,2.582434e-04,2.583403e-04,2.584125e-04,2.584217e-04,2.583942e-04,2.583876e-04,2.582669e-04,2.581900e-04,2.580485e-04,2.578391e-04,2.577467e-04,2.573689e-04,2.573524e-04,2.569220e-04,2.567454e-04,2.564121e-04,2.560323e-04,2.558449e-04,2.552259e-04,2.545597e-04,2.543373e-04,2.538509e-04,2.533768e-04,2.531036e-04,2.523536e-04,2.523217e-04,2.515085e-04,2.512757e-04,2.506673e-04,2.501504e-04,2.498011e-04,2.489844e-04,2.489125e-04,2.480041e-04,2.477834e-04,2.470782e-04,2.465528e-04,2.461368e-04,2.452972e-04,2.451820e-04,2.442155e-04,2.440209e-04,2.432390e-04,2.427277e-04,2.422540e-04,2.414210e-04,2.412619e-04,2.402641e-04,2.401040e-04,2.392617e-04,2.387793e-04,2.382559e-04,2.374494e-04,2.372476e-04,2.362379e-04,2.361167e-04,2.352276e-04,2.347831e-04,2.342175e-04,2.334505e-04,2.332084e-04,2.322009e-04,2.321204e-04,2.311957e-04,2.307944e-04,2.301934e-04,2.294739e-04,2.291946e-04,2.281996e-04,2.281599e-04,2.272091e-04,2.268537e-04,2.262234e-04,2.255561e-04,2.252429e-04,2.242680e-04,2.229902e-04,2.217234e-04,2.204683e-04,2.192253e-04,2.179950e-04,2.167778e-04,2.155741e-04,2.143841e-04,2.132083e-04,2.120468e-04,2.108998e-04,2.097675e-04,2.086501e-04,2.075477e-04,2.064603e-04,2.053881e-04,2.043310e-04,2.032891e-04,2.022623e-04,2.012507e-04,2.002542e-04,1.992728e-04,1.983064e-04,1.973549e-04
0.000000e+00,1.169886e-09,3.293429e-09,1.495151e-08,3.994554e-08,6.228843e-08,1.605501e-07,1.660736e-07,3.493378e-07,4.180720e-07,6.355691e-07,8.668087e-07,1.048984e-06,1.561416e-06,1.612457e-06,2.341703e-06,2.542071e-06,3.240727e-06,3.816625e-06,4.304391e-06,5.369657e-06,5.523919e-06,6.889880e-06,7.179808e-06,8.392681e-06,9.224870e-06,1.002213e-05,1.148058e-05,1.176702e-05,1.361496e-05,1.391930e-05,1.555241e-05,1.650997e-05,1.756494e-05,1.921893e-05,1.963752e-05,2.175491e-05,2.201129e-05,2.390201e-05,2.485234e-05,2.606417e-05,2.770890e-05,2.822750e-05,3.037908e-05,3.055034e-05,3.250715e-05,3.334939e-05,3.460117e-05,3.608255e-05,3.665192e-05,3.865145e-05,3.873027e-05,4.059313e-05,4.127688e-05,4.247150e-05,4.371038e-05,4.428224e-05,4.602205e-05,4.768858e-05,4.820612e-05,4.928029e-05,5.025934e-05,5.079641e-05,5.218063e-05,5.223680e-05,5.360183e-05,5.397063e-05,5.489229e-05,5.563123e-05,5.610932e-05,5.716536e-05,5.725435e-05,5.832908e-05,5.857675e-05,5.933534e-05,5.986969e-05,6.027514e-05,6.104886e-05,6.115059e-05,6.196392e-05,6.211932e-05,6.271736e-05,6.308623e-05,6.341319e-05,6.395485e-05,6.405371e-05,6.464127e-05,6.473053e-05,6.517832e-05,6.541886e-05,6.566721e-05,6.602509e-05,6.611008e-05,6.650904e-05,6.655406e-05,6.686618e-05,6.701058e-05,6.718346e-05,6.739912e-05,6.746280e-05,6.770608e-05,6.772404e-05,6.791511e-05,6.798953e-05,6.809165e-05,6.819956e-05,6.823733e-05,6.835377e-05,6.835784e-05,6.844250e-05,6.846794e-05,6.850500e-05,6.853325e-05,6.854271e-05,6.855698e-05,6.854914e-05,6.854216e-05,6.852042e-05,6.849164e-05,6.847203e-05,6.840812e-05,6.840511e-05,6.832074e-05,6.829414e-05,6.821998e-05,6.815207e-05,6.810382e-05,6.798417e-05,6.797322e-05,6.782907e-05,6.779256e-05,6.767226e-05,6.757922e-05,6.750361e-05,6.734602e-05,6.732390e-05,6.713388e-05,6.709470e-05,6.693427e-05,6.682691e-05,6.672575e-05,6.654417e-05,6.650895e-05,6.628451e-05,6.624793e-05,6.605300e-05,6.593953e-05,6.581498e-05,6.562024e-05,6.557098e-05,6.532150e-05,6.529122e-05,6.506701e-05,6.495357e-05,6.480798e-05,6.460833e-05,6.454481e-05,6.427793e-05,6.425643e-05,6.400772e-05,6.389879e-05,6.373454e-05,6.353621e-05,6.345874e-05,6.318064e-05,6.316947e-05,6.290056e-05,6.279930e-05,6.261878e-05,6.242635e-05,6.233559e-05,6.205125e-05,6.167456e-05,6.129682e-05,6.091853e-05,6.054012e-05,6.016204e-05,5.978465e-05,5.940832e-05,5.903337e-05,5.866011e-05,5.828880e-05,5.791971e-05,5.755306e-05,5.718905e-05,5.682789e-05,5.646974e-05,5.611475e-05,5.576307e-05,5.541481e-05,5.507010e-05,5.472903e-05,5.439168e-05,5.405813e-05,5.372845e-05,5.340268e-05
0.000000e+00,1.637434e-08,4.869186e-08,2.457853e-07,7.175292e-07,1.171238e-06,3.368867e-06,3.499519e-06,8.118933e-06,9.962923e-06,1.608793e-05,2.297909e-05,2.862559e-05,4.530974e-05,4.702650e-05,7.243075e-05,7.966277e-05,1.055880e-04,1.276770e-04,1.468193e-04,1.897833e-04,1.961195e-04,2.532614e-04,2.655993e-04,3.178607e-04,3.542360e-04,3.894123e-04,4.544491e-04,4.673124e-04,5.508776e-04,5.647246e-04,6.393626e-04,6.833529e-04,7.319802e-04,8.085059e-04,8.279207e-04,9.263722e-04,9.383171e-04,1.026539e-03,1.070957e-03,1.127656e-03,1.204698e-03,1.229007e-03,1.329926e-03,1.337962e-03,1.429813e-03,1.469357e-03,1.528134e-03,1.597690e-03,1.624421e-03,1.718273e-03,1.721972e-03,1.809357e-03,1.841415e-03,1.897397e-03,1.955413e-03,1.982176e-03,2.063528e-03,2.141333e-03,2.165468e-03,2.215513e-03,2.261064e-03,2.286024e-03,2.350253e-03,2.352856e-03,2.416024e-03,2.433059e-03,2.475565e-03,2.509571e-03,2.531535e-03,2.579935e-03,2.584006e-03,2.633062e-03,2.644337e-03,2.678797e-03,2.702995e-03,2.721311e-03,2.756145e-03,2.760713e-03,2.797111e-03,2.804041e-03,2.830621e-03,2.846943e-03,2.861357e-03,2.885115e-03,2.889434e-03,2.914966e-03,2.918823e-03,2.938068e-03,2.948327e-03,2.958851e-03,2.973882e-03,2.977426e-03,2.993899e-03,2.995739e-03,3.008375e-03,3.014139e-03,3.020957e-03,3.029313e-03,3.031743e-03,3.040828e-03,3.041484e-03,3.048305e-03,3.050866e-03,3.054263e-03,3.057660e-03,3.058787e-03,3.061959e-03,3.062059e-03,3.063860e-03,3.064247e-03,3.064564e-03,3.064396e-03,3.064144e-03,3.062670e-03,3.060209e-03,3.059224e-03,3.056825e-03,3.054202e-03,3.052577e-03,3.047741e-03,3.047524e-03,3.041722e-03,3.039970e-03,3.035222e-03,3.031009e-03,3.028076e-03,3.020972e-03,3.020331e-03,3.012032e-03,3.009963e-03,3.003223e-03,2.998082e-03,2.993944e-03,2.985421e-03,2.984235e-03,2.974132e-03,2.972067e-03,2.963670e-03,2.958099e-03,2.952883e-03,2.943593e-03,2.941801e-03,2.930456e-03,2.928618e-03,2.918874e-03,2.913238e-03,2.907082e-03,2.897514e-03,2.895105e-03,2.882967e-03,2.881501e-03,2.870690e-03,2.865250e-03,2.858296e-03,2.848809e-03,2.845803e-03,2.833231e-03,2.832222e-03,2.820597e-03,2.815529e-03,2.807917e-03,2.798768e-03,2.795207e-03,2.782481e-03,2.781971e-03,2.769752e-03,2.765172e-03,2.757034e-03,2.748398e-03,2.744338e-03,2.731675e-03,2.715028e-03,2.698478e-03,2.682045e-03,2.665746e-03,2.649597e-03,2.633614e-03,2.617808e-03,2.602191e-03,2.586773e-03,2.571564e-03,2.556570e-03,2.541799e-03,2.527256e-03,2.512946e-03,2.498873e-03,2.485040e-03,2.471449e-03,2.458103e-03,2.445003e-03,2.432150e-03,2.419543e-03,2.407182e-03,2.395068e-03,2.383198e-03
0.000000e+00,3.451979e-12,7.906405e-12,2.723405e-11,6.207211e-11,9.064601e-11,2.060915e-10,2.123083e-10,4.107916e-10,4.827155e-10,7.052109e-10,9.362103e-10,1.115617e-09,1.613645e-09,1.662975e-09,2.368408e-09,2.563458e-09,3.251216e-09,3.828610e-09,4.325326e-09,5.432376e-09,5.594884e-09,7.051644e-09,7.363933e-09,8.676765e-09,9.580408e-09,1.044611e-08,1.202589e-08,1.233525e-08,1.432199e-08,1.464759e-08,1.638691e-08,1.740077e-08,1.851297e-08,2.024755e-08,2.068493e-08,2.288896e-08,2.315498e-08,2.511235e-08,2.609373e-08,2.734343e-08,2.903757e-08,2.957150e-08,3.178685e-08,3.196326e-08,3.398074e-08,3.485051e-08,3.614540e-08,3.768200e-08,3.827403e-08,4.036077e-08,4.044329e-08,4.240065e-08,4.312271e-08,4.438953e-08,4.571110e-08,4.632406e-08,4.820155e-08,5.001997e-08,5.058914e-08,5.177787e-08,5.287068e-08,5.347425e-08,5.504440e-08,5.510858e-08,5.668068e-08,5.710973e-08,5.819070e-08,5.906707e-08,5.963905e-08,6.091761e-08,6.102637e-08,6.235350e-08,6.266316e-08,6.362143e-08,6.430601e-08,6.483126e-08,6.584882e-08,6.598421e-08,6.708157e-08,6.729450e-08,6.812471e-08,6.864617e-08,6.911501e-08,6.990708e-08,7.005390e-08,7.094285e-08,7.108055e-08,7.178331e-08,7.216994e-08,7.257676e-08,7.317864e-08,7.332465e-08,7.402844e-08,7.411000e-08,7.468958e-08,7.496733e-08,7.530948e-08,7.575389e-08,7.588955e-08,7.643118e-08,7.647289e-08,7.693570e-08,7.712743e-08,7.740447e-08,7.772056e-08,7.783876e-08,7.823986e-08,7.825523e-08,7.860901e-08,7.873431e-08,7.894740e-08,7.916056e-08,7.925624e-08,7.953665e-08,7.978977e-08,7.986518e-08,8.001668e-08,8.014863e-08,8.021843e-08,8.038940e-08,8.039605e-08,8.055054e-08,8.058978e-08,8.068286e-08,8.075200e-08,8.079394e-08,8.087817e-08,8.088471e-08,8.095603e-08,8.097035e-08,8.100876e-08,8.103048e-08,8.104373e-08,8.106044e-08,8.106173e-08,8.106353e-08,8.106201e-08,8.104988e-08,8.103692e-08,8.102151e-08,8.098680e-08,8.097910e-08,8.092334e-08,8.091323e-08,8.085487e-08,8.081768e-08,8.077433e-08,8.070160e-08,8.068231e-08,8.057939e-08,8.056634e-08,8.046616e-08,8.041320e-08,8.034314e-08,8.024342e-08,8.021086e-08,8.006983e-08,8.005818e-08,7.992053e-08,7.985860e-08,7.976343e-08,7.964573e-08,7.959897e-08,7.942760e-08,7.942061e-08,7.924973e-08,7.918419e-08,7.906576e-08,7.893738e-08,7.887608e-08,7.868105e-08,7.841604e-08,7.814311e-08,7.786302e-08,7.757646e-08,7.728409e-08,7.698655e-08,7.668443e-08,7.637828e-08,7.606865e-08,7.575603e-08,7.544089e-08,7.512368e-08,7.480481e-08,7.448467e-08,7.416365e-08,7.384208e-08,7.352030e-08,7.319860e-08,7.287727e-08,7.255659e-08,7.223680e-08,7.191813e-08,7.160080e-08,7.128502e-08
0.000000e+00,1.031243e-09,2.994559e-09,1.440956e-08,4.032820e-08,6.435038e-08,1.747230e-07,1.810777e-07,3.970019e-07,4.797343e-07,7.451955e-07,1.031446e-06,1.258947e-06,1.906321e-06,1.971390e-06,2.913796e-06,3.177197e-06,4.111407e-06,4.899505e-06,5.578925e-06,7.096685e-06,7.319962e-06,9.330205e-06,9.763828e-06,1.160072e-05,1.288045e-05,1.411979e-05,1.641777e-05,1.687349e-05,1.984588e-05,2.034058e-05,2.301899e-05,2.460764e-05,2.637305e-05,2.917228e-05,2.988671e-05,3.353752e-05,3.398374e-05,3.730236e-05,3.898901e-05,4.115793e-05,4.413469e-05,4.508126e-05,4.905007e-05,4.936889e-05,5.304317e-05,5.464273e-05,5.704075e-05,5.991145e-05,6.102453e-05,6.497794e-05,6.513523e-05,6.888616e-05,7.027949e-05,7.273614e-05,7.531501e-05,7.651655e-05,8.021773e-05,8.383154e-05,8.496839e-05,8.735134e-05,8.955215e-05,9.077177e-05,9.395803e-05,9.408867e-05,9.729896e-05,9.817842e-05,1.004005e-04,1.022086e-04,1.033919e-04,1.060462e-04,1.062726e-04,1.090426e-04,1.096910e-04,1.117024e-04,1.131441e-04,1.142531e-04,1.164084e-04,1.166959e-04,1.190325e-04,1.194873e-04,1.212650e-04,1.223853e-04,1.233953e-04,1.251075e-04,1.254258e-04,1.273589e-04,1.276593e-04,1.291971e-04,1.300465e-04,1.309430e-04,1.322751e-04,1.325993e-04,1.341687e-04,1.343513e-04,1.356537e-04,1.362810e-04,1.370570e-04,1.380706e-04,1.383814e-04,1.396295e-04,1.397261e-04,1.408038e-04,1.412534e-04,1.419069e-04,1.426586e-04,1.429415e-04,1.439098e-04,1.439472e-04,1.448144e-04,1.451249e-04,1.456577e-04,1.461972e-04,1.464419e-04,1.471693e-04,1.478422e-04,1.480464e-04,1.484627e-04,1.488333e-04,1.490328e-04,1.495347e-04,1.495547e-04,1.500302e-04,1.501553e-04,1.504613e-04,1.506995e-04,1.508499e-04,1.511714e-04,1.511978e-04,1.515066e-04,1.515751e-04,1.517781e-04,1.519145e-04,1.520140e-04,1.521933e-04,1.522158e-04,1.523850e-04,1.524151e-04,1.525231e-04,1.525832e-04,1.526316e-04,1.527009e-04,1.527118e-04,1.527651e-04,1.527713e-04,1.527928e-04,1.527973e-04,1.527960e-04,1.527818e-04,1.527760e-04,1.527340e-04,1.527276e-04,1.526711e-04,1.526370e-04,1.525882e-04,1.525126e-04,1.524865e-04,1.523670e-04,1.523567e-04,1.522306e-04,1.521715e-04,1.520783e-04,1.519592e-04,1.519108e-04,1.517291e-04,1.517216e-04,1.515340e-04,1.514607e-04,1.513263e-04,1.511783e-04,1.511068e-04,1.508760e-04,1.505556e-04,1.502185e-04,1.498662e-04,1.495000e-04,1.491213e-04,1.487313e-04,1.483310e-04,1.479217e-04,1.475044e-04,1.470799e-04,1.466493e-04,1.462134e-04,1.457730e-04,1.453289e-04,1.448818e-04,1.444323e-04,1.439811e-04,1.435288e-04,1.430759e-04,1.426230e-04,1.421705e-04,1.417189e-04,1.412686e-04,1.408199e-04
0.000000e+00,7.059552e-10,2.027347e-09,9.529611e-09,2.609881e-08,4.114965e-08,1.083350e-07,1.121353e-07,2.386005e-07,2.860483e-07,4.358182e-07,5.942751e-07,7.185868e-07,1.066739e-06,1.101364e-06,1.596914e-06,1.733616e-06,2.212426e-06,2.608832e-06,2.944743e-06,3.674480e-06,3.779351e-06,4.694571e-06,4.885220e-06,5.667132e-06,6.188336e-06,6.675763e-06,7.537601e-06,7.702431e-06,8.732213e-06,8.896409e-06,9.752719e-06,1.023614e-05,1.075352e-05,1.153395e-05,1.172572e-05,1.266176e-05,1.277134e-05,1.355525e-05,1.393353e-05,1.440100e-05,1.500927e-05,1.519490e-05,1.593400e-05,1.599070e-05,1.661641e-05,1.687328e-05,1.724126e-05,1.765549e-05,1.780858e-05,1.831921e-05,1.833848e-05,1.877469e-05,1.892555e-05,1.917711e-05,1.942171e-05,1.952898e-05,1.983316e-05,2.009267e-05,2.016680e-05,2.031070e-05,2.042996e-05,2.049047e-05,2.063004e-05,2.063519e-05,2.074799e-05,2.077426e-05,2.083184e-05,2.086945e-05,2.088958e-05,2.092187e-05,2.092380e-05,2.093695e-05,2.093722e-05,2.093127e-05,2.092067e-05,2.090890e-05,2.087693e-05,2.087175e-05,2.082159e-05,2.081014e-05,2.076002e-05,2.072398e-05,2.068849e-05,2.062168e-05,2.060832e-05,2.052073e-05,2.050611e-05,2.042689e-05,2.037995e-05,2.032788e-05,2.024554e-05,2.022456e-05,2.011763e-05,2.010458e-05,2.000773e-05,1.995857e-05,1.989540e-05,1.980869e-05,1.978111e-05,1.966529e-05,1.965597e-05,1.954833e-05,1.950129e-05,1.943054e-05,1.934538e-05,1.931222e-05,1.919363e-05,1.918888e-05,1.907500e-05,1.903233e-05,1.895656e-05,1.887621e-05,1.883847e-05,1.872090e-05,1.860398e-05,1.856673e-05,1.848785e-05,1.841398e-05,1.837261e-05,1.826290e-05,1.825835e-05,1.814518e-05,1.811369e-05,1.803315e-05,1.796652e-05,1.792234e-05,1.782152e-05,1.781280e-05,1.770458e-05,1.767881e-05,1.759772e-05,1.753849e-05,1.749225e-05,1.740062e-05,1.738821e-05,1.728561e-05,1.726527e-05,1.718448e-05,1.713248e-05,1.708483e-05,1.700228e-05,1.698668e-05,1.689003e-05,1.687470e-05,1.679489e-05,1.674975e-05,1.670125e-05,1.662743e-05,1.660913e-05,1.651852e-05,1.650775e-05,1.642941e-05,1.639068e-05,1.634180e-05,1.627622e-05,1.625568e-05,1.617105e-05,1.616434e-05,1.608789e-05,1.605503e-05,1.600618e-05,1.594826e-05,1.592593e-05,1.584711e-05,1.584399e-05,1.576971e-05,1.574219e-05,1.569372e-05,1.564284e-05,1.561912e-05,1.554589e-05,1.545130e-05,1.535904e-05,1.526906e-05,1.518132e-05,1.509578e-05,1.501240e-05,1.493114e-05,1.485194e-05,1.477477e-05,1.469958e-05,1.462634e-05,1.455499e-05,1.448549e-05,1.441781e-05,1.435190e-05,1.428771e-05,1.422521e-05,1.416436e-05,1.410511e-05,1.404743e-05,1.399128e-05,1.393662e-05,1.388341e-05,1.383162e-05
0.000000e+00,2.454996e-11,5.629087e-11,1.941365e-10,4.431765e-10,6.480927e-10,1.482644e-09,1.527893e-09,2.988677e-09,3.525382e-09,5.207949e-09,6.985835e-09,8.384478e-09,1.232321e-08,1.271624e-08,1.834443e-08,1.989252e-08,2.527590e-08,2.967378e-08,3.335479e-08,4.121684e-08,4.233334e-08,5.196865e-08,5.395651e-08,6.206636e-08,6.744956e-08,7.247924e-08,8.138555e-08,8.309333e-08,9.381671e-08,9.553729e-08,1.045728e-07,1.097278e-07,1.152967e-07,1.238154e-07,1.259334e-07,1.364369e-07,1.376864e-07,1.467687e-07,1.512521e-07,1.568979e-07,1.644449e-07,1.667994e-07,1.764539e-07,1.772151e-07,1.858469e-07,1.895283e-07,1.949677e-07,2.013620e-07,2.038092e-07,2.123669e-07,2.127033e-07,2.206389e-07,2.235467e-07,2.286248e-07,2.338925e-07,2.363261e-07,2.437452e-07,2.508856e-07,2.531124e-07,2.577517e-07,2.620042e-07,2.643482e-07,2.704323e-07,2.706806e-07,2.767544e-07,2.784096e-07,2.825757e-07,2.859498e-07,2.881506e-07,2.930673e-07,2.934853e-07,2.985864e-07,2.997766e-07,3.034601e-07,3.060925e-07,3.081129e-07,3.120297e-07,3.125512e-07,3.167815e-07,3.176031e-07,3.208100e-07,3.228271e-07,3.246430e-07,3.277162e-07,3.282867e-07,3.317472e-07,3.322843e-07,3.350305e-07,3.365452e-07,3.381423e-07,3.405122e-07,3.410885e-07,3.438746e-07,3.441984e-07,3.465062e-07,3.476165e-07,3.489885e-07,3.507786e-07,3.513270e-07,3.535266e-07,3.536967e-07,3.555923e-07,3.563823e-07,3.575291e-07,3.588464e-07,3.593416e-07,3.610344e-07,3.610997e-07,3.626120e-07,3.631526e-07,3.640788e-07,3.650150e-07,3.654389e-07,3.666965e-07,3.678556e-07,3.682063e-07,3.689199e-07,3.695531e-07,3.698933e-07,3.707455e-07,3.707793e-07,3.715815e-07,3.717916e-07,3.723033e-07,3.726991e-07,3.729480e-07,3.734757e-07,3.735187e-07,3.740186e-07,3.741283e-07,3.744506e-07,3.746639e-07,3.748176e-07,3.750890e-07,3.751224e-07,3.753678e-07,3.754099e-07,3.755562e-07,3.756326e-07,3.756903e-07,3.757628e-07,3.757725e-07,3.758051e-07,3.758059e-07,3.757904e-07,3.757672e-07,3.757306e-07,3.756517e-07,3.756277e-07,3.754839e-07,3.754640e-07,3.753011e-07,3.752088e-07,3.750812e-07,3.748904e-07,3.748260e-07,3.745374e-07,3.745129e-07,3.742168e-07,3.740801e-07,3.738661e-07,3.735958e-07,3.734868e-07,3.730804e-07,3.730636e-07,3.726484e-07,3.724869e-07,3.721922e-07,3.718688e-07,3.717131e-07,3.712124e-07,3.705206e-07,3.697962e-07,3.690418e-07,3.682598e-07,3.674527e-07,3.666225e-07,3.657716e-07,3.649018e-07,3.640151e-07,3.631133e-07,3.621980e-07,3.612709e-07,3.603335e-07,3.593873e-07,3.584335e-07,3.574736e-07,3.565085e-07,3.555396e-07,3.545679e-07,3.535944e-07,3.526200e-07,3.516456e-07,3.506721e-07,3.497003e-07
0.000000e+00,1.443114e-10,4.030409e-10,1.803007e-09,4.759983e-09,7.376634e-09,1.871747e-08,1.934890e-08,4.003073e-08,4.767332e-08,7.152005e-08,9.639557e-08,1.157060e-07,1.690223e-07,1.742728e-07,2.486752e-07,2.690232e-07,3.400511e-07,3.989081e-07,4.490681e-07,5.596733e-07,5.758064e-07,7.197999e-07,7.505991e-07,8.801951e-07,9.697250e-07,1.055893e-06,1.214379e-06,1.245622e-06,1.447970e-06,1.481416e-06,1.661404e-06,1.767313e-06,1.884291e-06,2.068264e-06,2.114929e-06,2.351581e-06,2.380301e-06,2.592514e-06,2.699440e-06,2.836029e-06,3.021821e-06,3.080497e-06,3.324386e-06,3.343829e-06,3.566281e-06,3.662189e-06,3.804900e-06,3.974030e-06,4.039101e-06,4.267892e-06,4.276919e-06,4.490424e-06,4.568863e-06,4.705990e-06,4.848301e-06,4.914021e-06,5.114070e-06,5.305808e-06,5.365370e-06,5.489009e-06,5.601713e-06,5.663540e-06,5.822884e-06,5.829349e-06,5.986453e-06,6.028892e-06,6.134932e-06,6.219929e-06,6.274911e-06,6.396331e-06,6.406561e-06,6.530085e-06,6.558546e-06,6.645711e-06,6.707105e-06,6.753691e-06,6.842596e-06,6.854287e-06,6.947776e-06,6.965646e-06,7.034440e-06,7.076902e-06,7.114563e-06,7.177021e-06,7.188432e-06,7.256329e-06,7.266657e-06,7.318535e-06,7.346454e-06,7.375326e-06,7.417040e-06,7.426969e-06,7.473727e-06,7.479022e-06,7.515852e-06,7.532984e-06,7.553591e-06,7.579484e-06,7.587179e-06,7.616844e-06,7.619054e-06,7.642804e-06,7.652199e-06,7.665270e-06,7.679393e-06,7.684440e-06,7.700507e-06,7.701088e-06,7.713654e-06,7.717705e-06,7.724054e-06,7.729643e-06,7.731875e-06,7.737273e-06,7.740401e-06,7.740946e-06,7.741400e-06,7.740986e-06,7.740407e-06,7.737698e-06,7.737550e-06,7.732952e-06,7.731368e-06,7.726728e-06,7.722260e-06,7.718990e-06,7.710622e-06,7.709841e-06,7.699379e-06,7.696683e-06,7.687699e-06,7.680658e-06,7.674888e-06,7.662746e-06,7.661031e-06,7.646206e-06,7.643131e-06,7.630488e-06,7.621986e-06,7.613948e-06,7.599469e-06,7.596654e-06,7.578666e-06,7.575728e-06,7.560047e-06,7.550901e-06,7.540851e-06,7.525114e-06,7.521131e-06,7.500938e-06,7.498485e-06,7.480319e-06,7.471123e-06,7.459317e-06,7.443127e-06,7.437976e-06,7.416335e-06,7.414591e-06,7.394429e-06,7.385601e-06,7.372295e-06,7.356236e-06,7.349965e-06,7.327471e-06,7.326568e-06,7.304839e-06,7.296664e-06,7.282099e-06,7.266587e-06,7.259276e-06,7.236393e-06,7.206133e-06,7.175857e-06,7.145608e-06,7.115425e-06,7.085345e-06,7.055402e-06,7.025625e-06,6.996043e-06,6.966681e-06,6.937560e-06,6.908701e-06,6.880123e-06,6.851842e-06,6.823871e-06,6.796225e-06,6.768914e-06,6.741949e-06,6.715338e-06,6.689089e-06,6.663207e-06,6.637698e-06,6.612567e-06,6.587817e-06,6.563451e-06
0.000000e+00,7.783957e-10,2.142519e-09,9.353795e-09,2.432866e-08,3.751714e-08,9.514426e-08,9.839172e-08,2.077343e-07,2.496969e-07,3.860533e-07,5.363113e-07,6.576105e-07,1.005764e-06,1.040620e-06,1.533783e-06,1.666603e-06,2.118141e-06,2.476595e-06,2.770991e-06,3.387698e-06,3.474304e-06,4.215556e-06,4.367539e-06,4.985932e-06,5.395728e-06,5.778607e-06,6.457325e-06,6.587634e-06,7.407361e-06,7.539137e-06,8.232207e-06,8.628315e-06,9.056600e-06,9.712066e-06,9.875009e-06,1.068208e-05,1.077792e-05,1.147274e-05,1.181421e-05,1.224230e-05,1.281045e-05,1.298656e-05,1.370187e-05,1.375775e-05,1.438524e-05,1.464909e-05,1.503428e-05,1.547928e-05,1.564716e-05,1.622265e-05,1.624488e-05,1.676007e-05,1.694417e-05,1.725919e-05,1.757682e-05,1.772024e-05,1.814379e-05,1.853064e-05,1.864685e-05,1.888190e-05,1.908863e-05,1.919888e-05,1.947226e-05,1.948301e-05,1.973585e-05,1.980126e-05,1.995903e-05,2.007938e-05,2.015419e-05,2.031040e-05,2.032297e-05,2.046703e-05,2.049810e-05,2.058797e-05,2.064618e-05,2.068736e-05,2.075821e-05,2.076672e-05,2.082750e-05,2.083755e-05,2.087108e-05,2.088738e-05,2.089877e-05,2.091068e-05,2.091183e-05,2.091142e-05,2.091018e-05,2.089863e-05,2.088841e-05,2.087451e-05,2.084769e-05,2.084000e-05,2.079601e-05,2.079013e-05,2.074337e-05,2.071768e-05,2.068287e-05,2.063207e-05,2.061521e-05,2.054108e-05,2.053489e-05,2.046109e-05,2.042758e-05,2.037582e-05,2.031144e-05,2.028579e-05,2.019149e-05,2.018764e-05,2.009339e-05,2.005723e-05,1.999190e-05,1.992115e-05,1.988740e-05,1.978026e-05,1.967080e-05,1.963533e-05,1.955932e-05,1.948704e-05,1.944610e-05,1.933602e-05,1.933141e-05,1.921547e-05,1.918281e-05,1.909851e-05,1.902792e-05,1.898072e-05,1.887178e-05,1.886229e-05,1.874339e-05,1.871480e-05,1.862418e-05,1.855734e-05,1.850479e-05,1.839970e-05,1.838537e-05,1.826602e-05,1.824217e-05,1.814686e-05,1.808501e-05,1.802799e-05,1.792843e-05,1.790950e-05,1.779148e-05,1.777265e-05,1.767400e-05,1.761783e-05,1.755714e-05,1.746413e-05,1.744094e-05,1.732548e-05,1.731168e-05,1.721081e-05,1.716062e-05,1.709697e-05,1.701103e-05,1.698401e-05,1.687195e-05,1.686303e-05,1.676085e-05,1.671668e-05,1.665072e-05,1.657205e-05,1.654160e-05,1.643351e-05,1.642921e-05,1.632647e-05,1.628819e-05,1.622050e-05,1.614905e-05,1.611561e-05,1.601182e-05,1.587652e-05,1.574317e-05,1.561180e-05,1.548240e-05,1.535499e-05,1.522958e-05,1.510615e-05,1.498470e-05,1.486523e-05,1.474772e-05,1.463218e-05,1.451857e-05,1.440688e-05,1.429710e-05,1.418921e-05,1.408318e-05,1.397900e-05,1.387665e-05,1.377609e-05,1.367731e-05,1.358028e-05,1.348498e-05,1.339137e-05,1.329945e-05
0.000000e+00,8.908560e-11,2.108323e-10,7.481262e-10,1.720389e-09,2.516028e-09,5.708550e-09,5.879561e-09,1.130228e-08,1.325294e-08,1.925240e-08,2.543867e-08,3.022021e-08,4.340689e-08,4.470646e-08,6.314752e-08,6.819280e-08,8.575513e-08,1.001866e-07,1.123517e-07,1.386182e-07,1.423784e-07,1.750964e-07,1.818979e-07,2.097859e-07,2.283948e-07,2.458313e-07,2.767818e-07,2.827228e-07,3.200317e-07,3.260145e-07,3.573880e-07,3.752388e-07,3.944660e-07,4.237325e-07,4.309765e-07,4.666648e-07,4.708813e-07,5.013090e-07,5.161719e-07,5.347207e-07,5.591930e-07,5.667453e-07,5.972600e-07,5.996330e-07,6.261733e-07,6.372756e-07,6.534237e-07,6.719931e-07,6.789751e-07,7.028142e-07,7.037323e-07,7.249493e-07,7.325051e-07,7.454052e-07,7.583754e-07,7.642208e-07,7.814467e-07,7.971418e-07,8.018515e-07,8.113717e-07,8.197422e-07,8.242065e-07,8.352825e-07,8.357185e-07,8.459816e-07,8.486416e-07,8.550695e-07,8.599884e-07,8.630549e-07,8.694889e-07,8.700089e-07,8.760005e-07,8.773027e-07,8.810958e-07,8.835815e-07,8.853583e-07,8.884681e-07,8.888480e-07,8.916223e-07,8.920960e-07,8.937348e-07,8.945887e-07,8.952362e-07,8.960600e-07,8.961741e-07,8.965930e-07,8.966147e-07,8.965345e-07,8.963483e-07,8.960373e-07,8.953481e-07,8.951376e-07,8.938691e-07,8.936936e-07,8.922629e-07,8.914568e-07,8.903482e-07,8.887033e-07,8.881519e-07,8.856990e-07,8.854924e-07,8.830127e-07,8.818777e-07,8.801145e-07,8.779077e-07,8.770242e-07,8.737604e-07,8.736264e-07,8.703400e-07,8.690734e-07,8.667789e-07,8.642845e-07,8.630917e-07,8.592920e-07,8.553922e-07,8.541251e-07,8.514040e-07,8.488101e-07,8.473381e-07,8.433708e-07,8.432042e-07,8.390117e-07,8.378285e-07,8.347690e-07,8.322025e-07,8.304839e-07,8.265103e-07,8.261635e-07,8.218147e-07,8.207674e-07,8.174435e-07,8.149880e-07,8.130556e-07,8.091847e-07,8.086564e-07,8.042505e-07,8.033689e-07,7.998425e-07,7.975508e-07,7.954365e-07,7.917397e-07,7.910362e-07,7.866452e-07,7.859437e-07,7.822667e-07,7.801703e-07,7.779036e-07,7.744260e-07,7.735586e-07,7.692341e-07,7.687167e-07,7.649325e-07,7.630476e-07,7.606558e-07,7.574233e-07,7.564058e-07,7.521844e-07,7.518479e-07,7.479930e-07,7.463252e-07,7.438331e-07,7.408582e-07,7.397059e-07,7.356127e-07,7.354497e-07,7.315544e-07,7.301022e-07,7.275320e-07,7.248177e-07,7.235463e-07,7.195981e-07,7.144450e-07,7.093595e-07,7.043427e-07,6.993955e-07,6.945185e-07,6.897123e-07,6.849772e-07,6.803133e-07,6.757209e-07,6.711997e-07,6.667498e-07,6.623709e-07,6.580626e-07,6.538247e-07,6.496565e-07,6.455577e-07,6.415276e-07,6.375656e-07,6.336711e-07,6.298434e-07,6.260817e-07,6.223852e-07,6.187532e-07,6.151849e-07
0.000000e+00,9.882638e-10,2.626818e-09,1.085330e-08,2.720653e-08,4.124448e-08,1.005130e-07,1.037786e-07,2.103845e-07,2.498682e-07,3.741036e-07,5.058280e-07,6.097379e-07,9.041334e-07,9.336920e-07,1.361841e-06,1.481469e-06,1.904819e-06,2.259799e-06,2.563488e-06,3.232142e-06,3.329266e-06,4.188848e-06,4.370797e-06,5.128593e-06,5.644847e-06,6.136379e-06,7.027807e-06,7.201744e-06,8.315476e-06,8.497591e-06,9.469171e-06,1.003481e-05,1.065495e-05,1.162160e-05,1.186528e-05,1.309298e-05,1.324114e-05,1.433118e-05,1.487763e-05,1.557338e-05,1.651638e-05,1.681352e-05,1.804599e-05,1.814410e-05,1.926572e-05,1.974900e-05,2.046815e-05,2.132092e-05,2.164927e-05,2.280561e-05,2.285131e-05,2.393421e-05,2.433323e-05,2.503261e-05,2.576121e-05,2.609878e-05,2.713114e-05,2.812848e-05,2.844008e-05,2.908993e-05,2.968614e-05,3.001491e-05,3.086829e-05,3.090311e-05,3.175445e-05,3.198623e-05,3.256904e-05,3.304026e-05,3.334716e-05,3.403117e-05,3.408922e-05,3.479577e-05,3.496012e-05,3.546741e-05,3.582855e-05,3.610487e-05,3.663815e-05,3.670890e-05,3.728031e-05,3.739075e-05,3.781996e-05,3.808832e-05,3.832873e-05,3.873287e-05,3.880750e-05,3.925718e-05,3.932649e-05,3.967869e-05,3.987128e-05,4.007294e-05,4.036931e-05,4.044082e-05,4.078325e-05,4.082267e-05,4.110110e-05,4.123340e-05,4.139527e-05,4.160352e-05,4.166660e-05,4.191596e-05,4.193498e-05,4.214416e-05,4.222969e-05,4.235201e-05,4.248952e-05,4.254032e-05,4.270985e-05,4.271625e-05,4.286135e-05,4.291163e-05,4.299557e-05,4.307733e-05,4.311321e-05,4.321496e-05,4.330150e-05,4.332609e-05,4.337348e-05,4.341220e-05,4.343154e-05,4.347474e-05,4.347628e-05,4.350830e-05,4.351506e-05,4.352817e-05,4.353450e-05,4.353646e-05,4.353431e-05,4.353369e-05,4.352039e-05,4.351569e-05,4.349706e-05,4.347980e-05,4.346419e-05,4.342773e-05,4.342223e-05,4.337165e-05,4.336053e-05,4.331287e-05,4.327921e-05,4.324632e-05,4.318470e-05,4.317240e-05,4.309150e-05,4.307793e-05,4.300399e-05,4.295975e-05,4.291024e-05,4.283098e-05,4.281059e-05,4.270539e-05,4.269240e-05,4.259493e-05,4.254475e-05,4.247955e-05,4.238874e-05,4.235953e-05,4.223516e-05,4.222503e-05,4.210671e-05,4.205425e-05,4.197445e-05,4.187700e-05,4.183863e-05,4.169948e-05,4.169385e-05,4.155725e-05,4.150534e-05,4.141216e-05,4.131197e-05,4.126441e-05,4.111422e-05,4.091255e-05,4.070738e-05,4.049912e-05,4.028815e-05,4.007483e-05,3.985950e-05,3.964247e-05,3.942404e-05,3.920450e-05,3.898411e-05,3.876311e-05,3.854174e-05,3.832021e-05,3.809873e-05,3.787749e-05,3.765666e-05,3.743642e-05,3.721690e-05,3.699826e-05,3.678063e-05,3.656413e-05,3.634887e-05,3.613496e-05,3.592249e-05
0.000000e+00,1.911501e-06,5.658229e-06,2.827580e-05,8.171798e-05,1.325876e-04,3.746728e-04,3.888940e-04,8.829483e-04,1.076277e-03,1.706230e-03,2.397018e-03,2.951932e-03,4.550075e-03,4.711892e-03,7.072995e-03,7.737895e-03,1.011116e-02,1.213014e-02,1.388199e-02,1.782750e-02,1.841104e-02,2.368966e-02,2.483232e-02,2.967838e-02,3.305305e-02,3.631459e-02,4.233270e-02,4.352040e-02,5.120889e-02,5.247777e-02,5.928877e-02,6.327900e-02,6.766776e-02,7.452531e-02,7.625524e-02,8.496427e-02,8.601358e-02,9.371324e-02,9.755585e-02,1.024271e-01,1.089844e-01,1.110384e-01,1.194875e-01,1.201548e-01,1.277232e-01,1.309479e-01,1.357027e-01,1.412693e-01,1.433909e-01,1.507608e-01,1.510486e-01,1.577919e-01,1.602374e-01,1.644705e-01,1.688061e-01,1.707883e-01,1.767419e-01,1.823323e-01,1.840452e-01,1.875641e-01,1.907274e-01,1.924445e-01,1.968081e-01,1.969832e-01,2.011919e-01,2.023129e-01,2.050833e-01,2.072717e-01,2.086714e-01,2.117169e-01,2.119706e-01,2.149957e-01,2.156826e-01,2.177617e-01,2.192030e-01,2.202834e-01,2.223119e-01,2.225753e-01,2.246516e-01,2.250422e-01,2.265261e-01,2.274255e-01,2.282119e-01,2.294915e-01,2.297218e-01,2.310677e-01,2.312685e-01,2.322609e-01,2.327827e-01,2.333124e-01,2.340584e-01,2.342323e-01,2.350301e-01,2.351180e-01,2.357148e-01,2.359824e-01,2.362949e-01,2.366706e-01,2.367781e-01,2.371720e-01,2.371999e-01,2.374833e-01,2.375862e-01,2.377185e-01,2.378440e-01,2.378835e-01,2.379839e-01,2.379866e-01,2.380248e-01,2.380259e-01,2.380111e-01,2.379728e-01,2.379472e-01,2.378372e-01,2.376852e-01,2.376282e-01,2.374945e-01,2.373537e-01,2.372686e-01,2.370214e-01,2.370105e-01,2.367231e-01,2.366377e-01,2.364091e-01,2.362089e-01,2.360709e-01,2.357404e-01,2.357109e-01,2.353311e-01,2.352372e-01,2.349335e-01,2.347039e-01,2.345201e-01,2.341444e-01,2.340924e-01,2.336520e-01,2.335626e-01,2.332005e-01,2.329617e-01,2.327392e-01,2.323449e-01,2.322692e-01,2.317919e-01,2.317149e-01,2.313083e-01,2.310742e-01,2.308193e-01,2.304250e-01,2.303260e-01,2.298292e-01,2.297694e-01,2.293296e-01,2.291091e-01,2.288281e-01,2.284460e-01,2.283252e-01,2.278217e-01,2.277814e-01,2.273181e-01,2.271168e-01,2.268150e-01,2.264534e-01,2.263129e-01,2.258121e-01,2.257921e-01,2.253133e-01,2.251342e-01,2.248166e-01,2.244804e-01,2.243226e-01,2.238315e-01,2.231882e-01,2.225512e-01,2.219210e-01,2.212981e-01,2.206829e-01,2.200758e-01,2.194772e-01,2.188873e-01,2.183064e-01,2.177347e-01,2.171723e-01,2.166194e-01,2.160761e-01,2.155425e-01,2.150187e-01,2.145046e-01,2.140003e-01,2.135059e-01,2.130212e-01,2.125463e-01,2.120811e-01,2.116255e-01,2.111796e-01,2.107432e-01
0.000000e+00,2.486725e-09,7.222503e-09,3.477812e-08,9.747282e-08,1.557404e-07,4.254590e-07,4.410881e-07,9.784892e-07,1.187586e-06,1.869718e-06,2.622587e-06,3.231747e-06,5.001177e-06,5.180915e-06,7.792770e-06,8.520413e-06,1.107502e-05,1.319078e-05,1.498409e-05,1.889228e-05,1.945655e-05,2.442805e-05,2.547691e-05,2.983911e-05,3.280819e-05,3.563471e-05,4.076162e-05,4.176217e-05,4.816935e-05,4.921696e-05,5.480374e-05,5.805340e-05,6.161235e-05,6.714909e-05,6.854226e-05,7.554137e-05,7.638350e-05,8.255946e-05,8.564108e-05,8.954908e-05,9.481504e-05,9.646641e-05,1.032718e-04,1.038103e-04,1.099303e-04,1.125456e-04,1.164116e-04,1.209539e-04,1.226903e-04,1.287458e-04,1.289832e-04,1.345620e-04,1.365948e-04,1.401269e-04,1.437630e-04,1.454320e-04,1.504726e-04,1.552466e-04,1.567179e-04,1.597544e-04,1.625008e-04,1.639987e-04,1.678292e-04,1.679837e-04,1.717153e-04,1.727156e-04,1.752002e-04,1.771760e-04,1.784462e-04,1.812287e-04,1.814617e-04,1.842554e-04,1.848939e-04,1.868364e-04,1.881924e-04,1.892141e-04,1.911455e-04,1.913975e-04,1.933960e-04,1.937743e-04,1.952187e-04,1.960999e-04,1.968743e-04,1.981423e-04,1.983716e-04,1.997190e-04,1.999212e-04,2.009246e-04,2.014553e-04,2.019963e-04,2.027622e-04,2.029415e-04,2.037675e-04,2.038589e-04,2.044811e-04,2.047613e-04,2.050890e-04,2.054842e-04,2.055974e-04,2.060124e-04,2.060417e-04,2.063395e-04,2.064469e-04,2.065842e-04,2.067122e-04,2.067516e-04,2.068466e-04,2.068489e-04,2.068738e-04,2.068678e-04,2.068375e-04,2.067788e-04,2.067420e-04,2.065911e-04,2.063885e-04,2.063133e-04,2.061377e-04,2.059535e-04,2.058421e-04,2.055190e-04,2.055047e-04,2.051286e-04,2.050167e-04,2.047165e-04,2.044531e-04,2.042711e-04,2.038340e-04,2.037948e-04,2.032900e-04,2.031649e-04,2.027590e-04,2.024509e-04,2.022037e-04,2.016967e-04,2.016262e-04,2.010284e-04,2.009066e-04,2.004120e-04,2.000846e-04,1.997786e-04,1.992345e-04,1.991297e-04,1.984670e-04,1.983597e-04,1.977917e-04,1.974634e-04,1.971051e-04,1.965485e-04,1.964084e-04,1.957029e-04,1.956177e-04,1.949896e-04,1.946735e-04,1.942694e-04,1.937181e-04,1.935434e-04,1.928125e-04,1.927538e-04,1.920774e-04,1.917824e-04,1.913390e-04,1.908057e-04,1.905980e-04,1.898552e-04,1.898254e-04,1.891111e-04,1.888430e-04,1.883664e-04,1.878599e-04,1.876216e-04,1.868773e-04,1.858964e-04,1.849182e-04,1.839438e-04,1.829740e-04,1.820096e-04,1.810514e-04,1.800999e-04,1.791559e-04,1.782198e-04,1.772921e-04,1.763734e-04,1.754638e-04,1.745639e-04,1.736738e-04,1.727940e-04,1.719245e-04,1.710656e-04,1.702176e-04,1.693804e-04,1.685543e-04,1.677393e-04,1.669356e-04,1.661431e-04,1.653620e-04
0.000000e+00,2.517139e-06,7.488508e-06,3.781804e-05,1.103683e-04,1.800539e-04,5.162757e-04,5.361984e-04,1.236277e-03,1.513584e-03,2.427097e-03,3.443043e-03,4.267975e-03,6.678125e-03,6.924503e-03,1.055424e-02,1.158534e-02,1.528567e-02,1.845014e-02,2.120414e-02,2.742869e-02,2.835180e-02,3.673432e-02,3.855734e-02,4.632753e-02,5.177903e-02,5.708225e-02,6.696264e-02,6.892773e-02,8.177460e-02,8.391620e-02,9.551770e-02,1.023985e-01,1.100391e-01,1.221313e-01,1.252115e-01,1.409014e-01,1.428125e-01,1.569727e-01,1.641298e-01,1.732896e-01,1.857734e-01,1.897202e-01,2.061385e-01,2.074478e-01,2.224266e-01,2.288809e-01,2.384768e-01,2.498308e-01,2.541923e-01,2.694880e-01,2.700901e-01,2.842911e-01,2.894875e-01,2.985406e-01,3.078884e-01,3.121872e-01,3.251928e-01,3.375293e-01,3.413325e-01,3.491784e-01,3.562680e-01,3.601298e-01,3.699840e-01,3.703807e-01,3.799350e-01,3.824866e-01,3.888023e-01,3.937984e-01,3.969964e-01,4.039559e-01,4.045354e-01,4.114404e-01,4.130057e-01,4.177346e-01,4.210019e-01,4.234433e-01,4.280036e-01,4.285929e-01,4.332106e-01,4.340728e-01,4.373241e-01,4.392730e-01,4.409610e-01,4.436677e-01,4.441486e-01,4.469141e-01,4.473191e-01,4.492836e-01,4.502879e-01,4.512828e-01,4.526320e-01,4.529362e-01,4.542675e-01,4.544067e-01,4.552993e-01,4.556641e-01,4.560532e-01,4.564530e-01,4.565497e-01,4.568081e-01,4.568191e-01,4.568469e-01,4.568047e-01,4.566832e-01,4.564491e-01,4.563333e-01,4.558125e-01,4.557883e-01,4.551351e-01,4.548555e-01,4.543145e-01,4.536810e-01,4.533631e-01,4.522927e-01,4.511141e-01,4.507158e-01,4.498376e-01,4.489735e-01,4.484725e-01,4.470867e-01,4.470275e-01,4.455110e-01,4.450745e-01,4.439303e-01,4.429541e-01,4.422926e-01,4.407411e-01,4.406044e-01,4.388716e-01,4.384498e-01,4.370999e-01,4.360927e-01,4.352945e-01,4.336815e-01,4.334600e-01,4.316009e-01,4.312265e-01,4.297214e-01,4.287371e-01,4.278250e-01,4.262217e-01,4.259154e-01,4.239957e-01,4.236878e-01,4.220689e-01,4.211422e-01,4.201376e-01,4.185910e-01,4.182043e-01,4.162714e-01,4.160396e-01,4.143410e-01,4.134929e-01,4.124149e-01,4.109551e-01,4.104949e-01,4.085827e-01,4.084301e-01,4.066797e-01,4.059213e-01,4.047872e-01,4.034318e-01,4.029065e-01,4.010387e-01,4.009642e-01,3.991848e-01,3.985209e-01,3.973456e-01,3.961039e-01,3.955222e-01,3.937150e-01,3.913558e-01,3.890276e-01,3.867316e-01,3.844686e-01,3.822396e-01,3.800452e-01,3.778859e-01,3.757622e-01,3.736743e-01,3.716224e-01,3.696067e-01,3.676273e-01,3.656841e-01,3.637769e-01,3.619058e-01,3.600705e-01,3.582707e-01,3.565062e-01,3.547767e-01,3.530818e-01,3.514211e-01,3.497943e-01,3.482009e-01,3.466406e-01
0.000000e+00,3.385251e-12,7.742753e-12,2.659926e-11,6.049257e-11,8.824381e-11,2.001774e-10,2.062009e-10,3.985085e-10,4.682347e-10,6.841923e-10,9.088865e-10,1.083737e-09,1.570403e-09,1.618685e-09,2.309528e-09,2.500376e-09,3.171010e-09,3.729596e-09,4.205742e-09,5.249627e-09,5.400734e-09,6.731186e-09,7.011003e-09,8.168533e-09,8.949285e-09,9.686416e-09,1.100729e-08,1.126260e-08,1.287865e-08,1.313985e-08,1.451904e-08,1.531108e-08,1.617039e-08,1.749143e-08,1.782098e-08,1.946053e-08,1.965609e-08,2.108004e-08,2.178423e-08,2.267172e-08,2.385865e-08,2.422891e-08,2.574608e-08,2.586558e-08,2.721869e-08,2.779442e-08,2.864315e-08,2.963738e-08,3.001672e-08,3.133744e-08,3.138915e-08,3.260399e-08,3.304653e-08,3.381563e-08,3.460804e-08,3.497212e-08,3.607361e-08,3.712060e-08,3.744425e-08,3.811387e-08,3.872183e-08,3.905442e-08,3.990884e-08,3.994343e-08,4.078220e-08,4.100825e-08,4.157215e-08,4.202331e-08,4.231478e-08,4.295750e-08,4.301160e-08,4.366419e-08,4.381441e-08,4.427414e-08,4.459767e-08,4.484302e-08,4.531091e-08,4.537241e-08,4.586386e-08,4.595774e-08,4.631892e-08,4.654167e-08,4.673909e-08,4.706614e-08,4.712584e-08,4.748060e-08,4.753449e-08,4.780479e-08,4.794994e-08,4.809977e-08,4.831560e-08,4.836684e-08,4.860730e-08,4.863443e-08,4.882238e-08,4.890929e-08,4.901329e-08,4.914292e-08,4.918117e-08,4.932714e-08,4.933790e-08,4.945228e-08,4.949673e-08,4.955762e-08,4.962177e-08,4.964416e-08,4.971287e-08,4.971526e-08,4.976465e-08,4.977933e-08,4.980041e-08,4.981600e-08,4.982098e-08,4.982719e-08,4.981982e-08,4.981472e-08,4.979962e-08,4.978030e-08,4.976732e-08,4.972555e-08,4.972359e-08,4.966911e-08,4.965202e-08,4.960451e-08,4.956114e-08,4.953038e-08,4.945428e-08,4.944732e-08,4.935587e-08,4.933274e-08,4.925657e-08,4.919772e-08,4.914991e-08,4.905036e-08,4.903639e-08,4.891647e-08,4.889175e-08,4.879058e-08,4.872290e-08,4.865914e-08,4.854474e-08,4.852256e-08,4.838122e-08,4.835819e-08,4.823548e-08,4.816407e-08,4.808569e-08,4.796316e-08,4.793218e-08,4.777526e-08,4.775621e-08,4.761523e-08,4.754391e-08,4.745238e-08,4.732689e-08,4.728697e-08,4.711928e-08,4.710577e-08,4.694952e-08,4.688110e-08,4.677795e-08,4.665342e-08,4.660478e-08,4.643022e-08,4.642321e-08,4.625446e-08,4.619094e-08,4.607770e-08,4.595702e-08,4.590011e-08,4.572186e-08,4.548583e-08,4.524926e-08,4.501247e-08,4.477577e-08,4.453942e-08,4.430366e-08,4.406875e-08,4.383488e-08,4.360225e-08,4.337105e-08,4.314143e-08,4.291355e-08,4.268755e-08,4.246355e-08,4.224167e-08,4.202200e-08,4.180463e-08,4.158965e-08,4.137714e-08,4.116714e-08,4.095972e-08,4.075493e-08,4.055282e-08,4.035340e-08
0.000000e+00,6.515378e-12,1.487221e-11,5.081867e-11,1.149946e-10,1.673200e-10,3.775028e-10,3.887939e-10,7.491691e-10,8.799497e-10,1.285771e-09,1.709112e-09,2.038893e-09,2.953847e-09,3.044059e-09,4.314140e-09,4.656518e-09,5.826224e-09,6.761585e-09,7.533729e-09,9.159670e-09,9.388651e-09,1.135149e-08,1.175414e-08,1.339088e-08,1.447284e-08,1.548087e-08,1.725900e-08,1.759892e-08,1.972489e-08,2.006455e-08,2.184069e-08,2.284784e-08,2.393018e-08,2.557330e-08,2.597929e-08,2.797602e-08,2.821162e-08,2.991049e-08,3.073983e-08,3.177482e-08,3.314108e-08,3.356307e-08,3.527098e-08,3.540405e-08,3.689587e-08,3.752224e-08,3.843637e-08,3.949309e-08,3.989222e-08,4.126407e-08,4.131722e-08,4.255333e-08,4.299761e-08,4.376197e-08,4.453901e-08,4.489239e-08,4.594734e-08,4.692974e-08,4.722929e-08,4.784269e-08,4.839198e-08,4.868934e-08,4.944268e-08,4.947285e-08,5.019637e-08,5.038863e-08,5.086300e-08,5.123694e-08,5.147577e-08,5.199445e-08,5.203758e-08,5.255127e-08,5.266770e-08,5.301954e-08,5.326290e-08,5.344497e-08,5.378589e-08,5.383005e-08,5.417712e-08,5.424217e-08,5.448841e-08,5.463686e-08,5.476606e-08,5.497475e-08,5.501206e-08,5.522832e-08,5.526028e-08,5.541663e-08,5.549760e-08,5.557870e-08,5.569054e-08,5.571613e-08,5.583043e-08,5.584266e-08,5.592303e-08,5.595725e-08,5.599527e-08,5.603735e-08,5.604843e-08,5.608370e-08,5.608579e-08,5.610222e-08,5.610517e-08,5.610503e-08,5.609791e-08,5.609315e-08,5.606752e-08,5.606623e-08,5.602903e-08,5.601219e-08,5.597852e-08,5.593770e-08,5.591677e-08,5.584452e-08,5.576249e-08,5.573428e-08,5.567133e-08,5.560848e-08,5.557166e-08,5.546851e-08,5.546406e-08,5.534910e-08,5.531566e-08,5.522728e-08,5.515111e-08,5.509911e-08,5.497597e-08,5.496504e-08,5.482550e-08,5.479125e-08,5.468092e-08,5.459789e-08,5.453168e-08,5.439677e-08,5.437813e-08,5.422064e-08,5.418869e-08,5.405951e-08,5.397440e-08,5.389507e-08,5.375457e-08,5.372758e-08,5.355734e-08,5.352987e-08,5.338460e-08,5.330086e-08,5.320959e-08,5.306811e-08,5.303255e-08,5.285368e-08,5.283211e-08,5.267321e-08,5.259334e-08,5.249131e-08,5.235222e-08,5.230817e-08,5.212395e-08,5.210918e-08,5.193883e-08,5.186456e-08,5.175294e-08,5.161871e-08,5.156644e-08,5.137945e-08,5.137196e-08,5.119210e-08,5.112459e-08,5.100451e-08,5.087687e-08,5.081680e-08,5.062907e-08,5.038140e-08,5.013408e-08,4.988731e-08,4.964127e-08,4.939613e-08,4.915204e-08,4.890914e-08,4.866756e-08,4.842743e-08,4.818885e-08,4.795192e-08,4.771674e-08,4.748338e-08,4.725191e-08,4.702241e-08,4.679493e-08,4.656954e-08,4.634627e-08,4.612517e-08,4.590629e-08,4.568966e-08,4.547530e-08,4.526324e-08,4.505352e-08
0.000000e+00,6.575949e-12,1.505792e-11,5.187656e-11,1.185037e-10,1.734859e-10,3.991208e-10,4.114353e-10,8.133696e-10,9.630958e-10,1.438969e-09,1.951110e-09,2.359445e-09,3.526162e-09,3.643406e-09,5.324354e-09,5.785102e-09,7.375878e-09,8.661652e-09,9.729633e-09,1.199276e-08,1.231274e-08,1.506643e-08,1.563355e-08,1.794666e-08,1.948286e-08,2.091955e-08,2.346794e-08,2.395732e-08,2.703591e-08,2.753081e-08,3.013379e-08,3.162182e-08,3.323145e-08,3.569751e-08,3.631127e-08,3.935758e-08,3.972022e-08,4.235671e-08,4.365826e-08,4.529686e-08,4.748587e-08,4.816829e-08,5.096301e-08,5.118307e-08,5.367470e-08,5.473503e-08,5.629866e-08,5.813165e-08,5.883152e-08,6.127112e-08,6.136674e-08,6.361633e-08,6.443743e-08,6.586690e-08,6.734343e-08,6.802328e-08,7.008652e-08,7.205814e-08,7.267000e-08,7.394002e-08,7.509833e-08,7.573436e-08,7.737682e-08,7.744359e-08,7.907024e-08,7.951126e-08,8.061693e-08,8.150768e-08,8.208634e-08,8.337231e-08,8.348122e-08,8.480429e-08,8.511144e-08,8.605825e-08,8.673128e-08,8.724579e-08,8.823795e-08,8.836952e-08,8.943203e-08,8.963740e-08,9.043582e-08,9.093540e-08,9.138334e-08,9.213750e-08,9.227695e-08,9.311895e-08,9.324902e-08,9.391154e-08,9.427508e-08,9.465689e-08,9.522053e-08,9.535704e-08,9.601400e-08,9.609002e-08,9.662967e-08,9.688797e-08,9.720591e-08,9.761856e-08,9.774447e-08,9.824706e-08,9.828577e-08,9.871532e-08,9.889336e-08,9.915081e-08,9.944492e-08,9.955503e-08,9.992943e-08,9.994381e-08,1.002754e-07,1.003932e-07,1.005942e-07,1.007962e-07,1.008872e-07,1.011555e-07,1.014004e-07,1.014740e-07,1.016229e-07,1.017541e-07,1.018241e-07,1.019982e-07,1.020051e-07,1.021667e-07,1.022087e-07,1.023100e-07,1.023875e-07,1.024358e-07,1.025368e-07,1.025450e-07,1.026384e-07,1.026585e-07,1.027167e-07,1.027543e-07,1.027808e-07,1.028260e-07,1.028313e-07,1.028690e-07,1.028750e-07,1.028944e-07,1.029030e-07,1.029083e-07,1.029113e-07,1.029111e-07,1.029035e-07,1.029013e-07,1.028860e-07,1.028742e-07,1.028591e-07,1.028312e-07,1.028234e-07,1.027793e-07,1.027734e-07,1.027272e-07,1.027019e-07,1.026676e-07,1.026176e-07,1.026010e-07,1.025276e-07,1.025215e-07,1.024480e-07,1.024144e-07,1.023624e-07,1.022972e-07,1.022711e-07,1.021746e-07,1.021707e-07,1.020732e-07,1.020355e-07,1.019670e-07,1.018924e-07,1.018566e-07,1.017420e-07,1.015849e-07,1.014217e-07,1.012529e-07,1.010790e-07,1.009006e-07,1.007180e-07,1.005317e-07,1.003421e-07,1.001495e-07,9.995433e-08,9.975687e-08,9.955743e-08,9.935632e-08,9.915380e-08,9.895012e-08,9.874553e-08,9.854025e-08,9.833449e-08,9.812845e-08,9.792231e-08,9.771623e-08,9.751040e-08,9.730494e-08,9.710001e-08
0.000000e+00,5.415141e-11,1.269055e-10,4.487113e-10,1.039331e-09,1.530703e-09,3.568240e-09,3.680153e-09,7.359081e-09,8.739252e-09,1.314886e-08,1.792324e-08,2.174675e-08,3.274604e-08,3.385736e-08,4.990250e-08,5.433235e-08,6.969834e-08,8.216632e-08,9.253451e-08,1.145001e-07,1.176032e-07,1.442701e-07,1.497536e-07,1.720911e-07,1.869051e-07,2.007474e-07,2.252801e-07,2.299889e-07,2.596018e-07,2.643612e-07,2.893932e-07,3.037038e-07,3.191853e-07,3.429090e-07,3.488144e-07,3.781314e-07,3.816220e-07,4.070034e-07,4.195356e-07,4.353143e-07,4.563943e-07,4.629659e-07,4.898760e-07,4.919947e-07,5.159789e-07,5.261823e-07,5.412243e-07,5.588487e-07,5.655749e-07,5.890049e-07,5.899227e-07,6.114995e-07,6.193672e-07,6.330528e-07,6.471719e-07,6.536663e-07,6.733477e-07,6.921099e-07,6.979223e-07,7.099697e-07,7.209355e-07,7.269471e-07,7.424365e-07,7.430650e-07,7.583478e-07,7.624808e-07,7.728213e-07,7.811277e-07,7.865114e-07,7.984374e-07,7.994448e-07,8.116484e-07,8.144716e-07,8.231490e-07,8.292922e-07,8.339733e-07,8.429600e-07,8.441474e-07,8.536969e-07,8.555341e-07,8.626472e-07,8.670726e-07,8.710226e-07,8.776312e-07,8.788470e-07,8.861437e-07,8.872637e-07,8.929349e-07,8.960216e-07,8.992424e-07,9.039543e-07,9.050872e-07,9.104894e-07,9.111089e-07,9.154687e-07,9.175304e-07,9.200436e-07,9.232614e-07,9.242325e-07,9.280525e-07,9.283427e-07,9.315205e-07,9.328127e-07,9.346524e-07,9.367081e-07,9.374639e-07,9.399695e-07,9.400636e-07,9.421836e-07,9.429120e-07,9.441199e-07,9.452845e-07,9.457913e-07,9.472104e-07,9.483893e-07,9.487177e-07,9.493394e-07,9.498326e-07,9.500719e-07,9.505801e-07,9.505972e-07,9.509256e-07,9.509836e-07,9.510666e-07,9.510652e-07,9.510297e-07,9.508461e-07,9.508236e-07,9.504569e-07,9.503459e-07,9.499378e-07,9.495834e-07,9.492740e-07,9.485761e-07,9.484729e-07,9.475418e-07,9.473406e-07,9.464875e-07,9.458927e-07,9.453164e-07,9.442471e-07,9.440349e-07,9.426488e-07,9.424177e-07,9.411639e-07,9.404177e-07,9.395858e-07,9.382595e-07,9.379195e-07,9.361701e-07,9.359548e-07,9.343423e-07,9.335145e-07,9.324408e-07,9.309490e-07,9.304699e-07,9.284337e-07,9.282681e-07,9.263363e-07,9.254810e-07,9.241814e-07,9.225963e-07,9.219727e-07,9.197137e-07,9.196223e-07,9.174076e-07,9.165665e-07,9.150577e-07,9.134363e-07,9.126671e-07,9.102385e-07,9.069794e-07,9.036651e-07,9.003013e-07,8.968932e-07,8.934461e-07,8.899645e-07,8.864529e-07,8.829154e-07,8.793561e-07,8.757786e-07,8.721863e-07,8.685825e-07,8.649702e-07,8.613524e-07,8.577316e-07,8.541104e-07,8.504912e-07,8.468761e-07,8.432672e-07,8.396665e-07,8.360757e-07,8.324966e-07,8.289306e-07,8.253794e-07
0.000000e+00,2.678687e-11,6.272028e-11,2.205176e-10,5.061774e-10,7.405601e-10,1.686833e-09,1.737767e-09,3.364217e-09,3.954168e-09,5.782767e-09,7.688314e-09,9.173664e-09,1.332054e-08,1.373296e-08,1.965145e-08,2.129101e-08,2.705987e-08,3.186484e-08,3.595421e-08,4.488420e-08,4.617221e-08,5.746265e-08,5.982674e-08,6.957551e-08,7.612875e-08,8.230415e-08,9.335184e-08,9.548558e-08,1.089881e-07,1.111707e-07,1.226998e-07,1.293259e-07,1.365206e-07,1.475941e-07,1.503591e-07,1.641306e-07,1.657749e-07,1.777571e-07,1.836881e-07,1.911671e-07,2.011743e-07,2.042967e-07,2.170898e-07,2.180972e-07,2.294983e-07,2.343448e-07,2.414821e-07,2.498291e-07,2.530091e-07,2.640546e-07,2.644862e-07,2.746012e-07,2.782735e-07,2.846377e-07,2.911679e-07,2.941582e-07,3.031623e-07,3.116536e-07,3.142636e-07,3.196394e-07,3.244895e-07,3.271297e-07,3.338661e-07,3.341373e-07,3.406767e-07,3.424260e-07,3.467639e-07,3.502061e-07,3.524158e-07,3.572463e-07,3.576501e-07,3.624850e-07,3.635880e-07,3.669387e-07,3.692730e-07,3.710293e-07,3.743431e-07,3.747750e-07,3.781935e-07,3.788395e-07,3.813022e-07,3.828018e-07,3.841177e-07,3.862680e-07,3.866562e-07,3.889331e-07,3.892742e-07,3.909633e-07,3.918544e-07,3.927611e-07,3.940411e-07,3.943400e-07,3.957131e-07,3.958646e-07,3.968926e-07,3.973533e-07,3.978903e-07,3.985337e-07,3.987171e-07,3.993836e-07,3.994303e-07,3.998999e-07,4.000664e-07,4.002752e-07,4.004632e-07,4.005185e-07,4.006382e-07,4.006406e-07,4.006423e-07,4.006168e-07,4.005381e-07,4.004091e-07,4.003328e-07,4.000331e-07,3.996452e-07,3.995034e-07,3.991750e-07,3.988336e-07,3.986282e-07,3.980361e-07,3.980100e-07,3.973254e-07,3.971225e-07,3.965791e-07,3.961035e-07,3.957754e-07,3.949889e-07,3.949184e-07,3.940122e-07,3.937878e-07,3.930604e-07,3.925088e-07,3.920664e-07,3.911595e-07,3.910336e-07,3.899650e-07,3.897472e-07,3.888634e-07,3.882785e-07,3.877317e-07,3.867596e-07,3.865723e-07,3.853878e-07,3.851961e-07,3.841803e-07,3.835933e-07,3.829521e-07,3.819559e-07,3.817051e-07,3.804413e-07,3.802886e-07,3.791624e-07,3.785953e-07,3.778701e-07,3.768800e-07,3.765660e-07,3.752516e-07,3.751460e-07,3.739283e-07,3.733968e-07,3.725974e-07,3.716351e-07,3.712601e-07,3.699177e-07,3.698639e-07,3.685712e-07,3.680857e-07,3.672216e-07,3.663027e-07,3.658700e-07,3.645171e-07,3.627310e-07,3.609462e-07,3.591642e-07,3.573867e-07,3.556151e-07,3.538507e-07,3.520946e-07,3.503480e-07,3.486118e-07,3.468870e-07,3.451743e-07,3.434745e-07,3.417883e-07,3.401163e-07,3.384591e-07,3.368171e-07,3.351908e-07,3.335806e-07,3.319868e-07,3.304097e-07,3.288497e-07,3.273068e-07,3.257815e-07,3.242737e-07
0.000000e+00,6.394345e-12,1.466671e-11,5.063825e-11,1.155925e-10,1.689048e-10,3.842662e-10,3.958560e-10,7.652477e-10,8.987627e-10,1.310586e-09,1.736252e-09,2.065554e-09,2.973924e-09,3.063440e-09,4.334322e-09,4.682627e-09,5.900136e-09,6.910232e-09,7.771559e-09,9.672416e-09,9.949930e-09,1.243140e-08,1.296353e-08,1.520956e-08,1.676881e-08,1.827622e-08,2.106788e-08,2.162134e-08,2.523280e-08,2.583443e-08,2.909636e-08,3.103569e-08,3.319568e-08,3.663274e-08,3.751261e-08,4.202740e-08,4.258149e-08,4.671917e-08,4.883405e-08,5.156626e-08,5.534037e-08,5.654663e-08,6.163823e-08,6.204970e-08,6.681938e-08,6.891218e-08,7.206908e-08,7.587996e-08,7.736720e-08,8.269472e-08,8.290818e-08,8.803388e-08,8.995562e-08,9.336824e-08,9.698513e-08,9.868275e-08,1.039638e-07,1.091990e-07,1.108628e-07,1.143776e-07,1.176577e-07,1.194900e-07,1.243277e-07,1.245277e-07,1.294834e-07,1.308555e-07,1.343510e-07,1.372271e-07,1.391253e-07,1.434314e-07,1.438018e-07,1.483770e-07,1.494597e-07,1.528481e-07,1.553055e-07,1.572127e-07,1.609643e-07,1.614694e-07,1.656169e-07,1.664332e-07,1.696545e-07,1.717106e-07,1.735820e-07,1.767959e-07,1.773993e-07,1.811069e-07,1.816899e-07,1.847052e-07,1.863938e-07,1.881951e-07,1.909096e-07,1.915776e-07,1.948539e-07,1.952399e-07,1.980252e-07,1.993877e-07,2.010931e-07,2.033564e-07,2.040590e-07,2.069245e-07,2.071495e-07,2.096914e-07,2.107709e-07,2.123613e-07,2.142246e-07,2.149361e-07,2.174175e-07,2.175149e-07,2.198075e-07,2.206458e-07,2.221078e-07,2.236218e-07,2.243204e-07,2.264472e-07,2.284900e-07,2.291263e-07,2.304508e-07,2.316635e-07,2.323314e-07,2.340630e-07,2.341336e-07,2.358595e-07,2.363292e-07,2.375107e-07,2.384664e-07,2.390892e-07,2.404787e-07,2.405967e-07,2.420351e-07,2.423702e-07,2.434061e-07,2.441451e-07,2.447115e-07,2.458073e-07,2.459529e-07,2.471322e-07,2.473607e-07,2.482509e-07,2.488093e-07,2.493107e-07,2.501567e-07,2.503133e-07,2.512602e-07,2.514066e-07,2.521529e-07,2.525627e-07,2.529931e-07,2.536284e-07,2.537822e-07,2.545217e-07,2.546072e-07,2.552131e-07,2.555024e-07,2.558578e-07,2.563173e-07,2.564571e-07,2.570125e-07,2.570550e-07,2.575252e-07,2.577187e-07,2.579966e-07,2.583112e-07,2.584280e-07,2.588206e-07,2.588355e-07,2.591756e-07,2.592945e-07,2.594943e-07,2.596908e-07,2.597778e-07,2.600272e-07,2.603062e-07,2.605303e-07,2.607019e-07,2.608234e-07,2.608971e-07,2.609251e-07,2.609095e-07,2.608525e-07,2.607561e-07,2.606220e-07,2.604522e-07,2.602485e-07,2.600126e-07,2.597462e-07,2.594509e-07,2.591282e-07,2.587796e-07,2.584065e-07,2.580104e-07,2.575926e-07,2.571544e-07,2.566970e-07,2.562215e-07,2.557292e-07
0.000000e+00,1.956952e-06,5.857649e-06,2.996652e-05,8.851918e-05,1.453947e-04,4.245318e-04,4.412485e-04,1.036876e-03,1.276262e-03,2.075014e-03,2.978002e-03,3.720580e-03,5.930772e-03,6.159845e-03,9.597291e-03,1.059451e-02,1.424570e-02,1.745382e-02,2.030564e-02,2.693507e-02,2.793787e-02,3.724172e-02,3.930705e-02,4.824973e-02,5.464076e-02,6.093609e-02,7.283891e-02,7.523002e-02,9.102809e-02,9.368718e-02,1.082039e-01,1.168964e-01,1.266153e-01,1.421317e-01,1.461096e-01,1.665282e-01,1.690329e-01,1.877099e-01,1.972301e-01,2.094940e-01,2.263557e-01,2.317229e-01,2.542445e-01,2.560544e-01,2.769136e-01,2.859918e-01,2.995941e-01,3.158595e-01,3.221593e-01,3.444932e-01,3.453803e-01,3.664911e-01,3.743096e-01,3.880590e-01,4.024371e-01,4.091145e-01,4.295861e-01,4.494125e-01,4.556122e-01,4.685429e-01,4.804015e-01,4.869357e-01,5.038682e-01,5.045579e-01,5.213849e-01,5.259513e-01,5.373991e-01,5.466128e-01,5.525898e-01,5.658337e-01,5.669522e-01,5.804866e-01,5.836122e-01,5.931983e-01,5.999607e-01,6.050963e-01,6.149035e-01,6.161934e-01,6.265052e-01,6.284749e-01,6.360499e-01,6.407166e-01,6.448478e-01,6.516770e-01,6.529209e-01,6.602927e-01,6.614087e-01,6.669875e-01,6.699679e-01,6.730306e-01,6.774131e-01,6.784477e-01,6.832650e-01,6.838040e-01,6.875086e-01,6.892008e-01,6.912048e-01,6.936638e-01,6.943796e-01,6.970587e-01,6.972523e-01,6.992674e-01,7.000248e-01,7.010306e-01,7.020380e-01,7.023727e-01,7.033172e-01,7.033470e-01,7.038873e-01,7.040051e-01,7.041051e-01,7.040632e-01,7.039925e-01,7.035701e-01,7.028581e-01,7.025723e-01,7.018759e-01,7.011140e-01,7.006418e-01,6.992369e-01,6.991739e-01,6.974890e-01,6.969806e-01,6.956035e-01,6.943823e-01,6.935328e-01,6.914770e-01,6.912918e-01,6.888945e-01,6.882974e-01,6.863543e-01,6.848741e-01,6.836839e-01,6.812359e-01,6.808954e-01,6.780003e-01,6.774094e-01,6.750093e-01,6.734194e-01,6.719326e-01,6.692891e-01,6.687799e-01,6.655603e-01,6.650396e-01,6.622824e-01,6.606907e-01,6.589542e-01,6.562606e-01,6.555833e-01,6.521769e-01,6.517661e-01,6.487416e-01,6.472225e-01,6.452836e-01,6.426439e-01,6.418088e-01,6.383226e-01,6.380434e-01,6.348302e-01,6.334326e-01,6.313363e-01,6.288222e-01,6.278453e-01,6.243613e-01,6.242221e-01,6.208881e-01,6.196410e-01,6.174292e-01,6.150869e-01,6.139878e-01,6.105670e-01,6.060876e-01,6.016545e-01,5.972728e-01,5.929469e-01,5.886808e-01,5.844780e-01,5.803413e-01,5.762733e-01,5.722762e-01,5.683517e-01,5.645013e-01,5.607261e-01,5.570270e-01,5.534045e-01,5.498590e-01,5.463907e-01,5.429995e-01,5.396852e-01,5.364476e-01,5.332860e-01,5.302000e-01,5.271887e-01,5.242513e-01,5.213869e-01
0.000000e+00,6.066613e-10,1.668616e-09,7.227711e-09,1.852805e-08,2.826003e-08,6.894297e-08,7.116026e-08,1.422168e-07,1.679502e-07,2.472326e-07,3.289418e-07,3.919486e-07,5.644520e-07,5.813146e-07,8.167352e-07,8.796469e-07,1.092817e-06,1.261025e-06,1.398097e-06,1.680688e-06,1.719781e-06,2.047462e-06,2.113032e-06,2.373898e-06,2.541473e-06,2.694232e-06,2.956092e-06,3.005078e-06,3.303901e-06,3.350458e-06,3.588716e-06,3.719978e-06,3.857963e-06,4.061364e-06,4.110490e-06,4.345537e-06,4.372547e-06,4.562737e-06,4.652638e-06,4.762087e-06,4.901841e-06,4.943906e-06,5.108786e-06,5.121267e-06,5.257528e-06,5.312716e-06,5.391086e-06,5.478435e-06,5.510513e-06,5.616907e-06,5.620907e-06,5.711377e-06,5.742677e-06,5.795007e-06,5.846217e-06,5.868837e-06,5.933844e-06,5.990929e-06,6.007660e-06,6.040915e-06,6.069529e-06,6.084549e-06,6.121086e-06,6.122503e-06,6.155376e-06,6.163744e-06,6.183700e-06,6.198708e-06,6.207944e-06,6.227005e-06,6.228526e-06,6.245810e-06,6.249504e-06,6.260119e-06,6.266941e-06,6.271739e-06,6.279939e-06,6.280920e-06,6.287886e-06,6.289031e-06,6.292834e-06,6.294667e-06,6.295935e-06,6.297226e-06,6.297343e-06,6.297196e-06,6.297036e-06,6.295617e-06,6.294385e-06,6.292721e-06,6.289524e-06,6.288609e-06,6.283373e-06,6.282673e-06,6.277095e-06,6.274024e-06,6.269854e-06,6.263750e-06,6.261720e-06,6.252758e-06,6.252007e-06,6.243029e-06,6.238936e-06,6.232589e-06,6.224661e-06,6.221489e-06,6.209778e-06,6.209298e-06,6.197501e-06,6.192950e-06,6.184699e-06,6.175715e-06,6.171413e-06,6.157679e-06,6.143532e-06,6.138923e-06,6.129004e-06,6.119521e-06,6.114126e-06,6.099541e-06,6.098927e-06,6.083434e-06,6.079047e-06,6.067673e-06,6.058097e-06,6.051667e-06,6.036745e-06,6.035439e-06,6.019011e-06,6.015041e-06,6.002404e-06,5.993032e-06,5.985635e-06,5.970760e-06,5.968724e-06,5.951687e-06,5.948266e-06,5.934540e-06,5.925586e-06,5.917299e-06,5.902755e-06,5.899979e-06,5.882592e-06,5.879805e-06,5.865152e-06,5.856765e-06,5.847671e-06,5.833664e-06,5.830160e-06,5.812630e-06,5.810525e-06,5.795092e-06,5.787374e-06,5.777554e-06,5.764233e-06,5.760028e-06,5.742520e-06,5.741120e-06,5.725039e-06,5.718056e-06,5.707593e-06,5.695058e-06,5.690190e-06,5.672835e-06,5.672142e-06,5.655536e-06,5.649323e-06,5.638299e-06,5.626615e-06,5.621128e-06,5.604031e-06,5.581581e-06,5.559278e-06,5.537131e-06,5.515149e-06,5.493341e-06,5.471713e-06,5.450273e-06,5.429028e-06,5.407983e-06,5.387143e-06,5.366512e-06,5.346096e-06,5.325896e-06,5.305918e-06,5.286163e-06,5.266634e-06,5.247333e-06,5.228262e-06,5.209423e-06,5.190815e-06,5.172441e-06,5.154301e-06,5.136395e-06,5.118724e-06
0.000000e+00,5.535843e-07,1.659751e-06,8.520692e-06,2.525235e-05,4.155405e-05,1.219278e-04,1.267547e-04,2.993720e-04,3.690103e-04,6.021331e-04,8.667599e-04,1.085044e-03,1.737451e-03,1.805262e-03,2.826195e-03,3.123372e-03,4.214454e-03,5.176379e-03,6.033584e-03,8.032834e-03,8.335981e-03,1.115700e-02,1.178525e-02,1.451375e-02,1.647193e-02,1.840746e-02,2.208513e-02,2.282678e-02,2.775087e-02,2.858378e-02,3.315168e-02,3.590374e-02,3.899572e-02,4.396496e-02,4.524545e-02,5.186036e-02,5.267669e-02,5.879803e-02,6.194166e-02,6.601495e-02,7.165962e-02,7.346733e-02,8.111180e-02,8.173037e-02,8.890598e-02,9.205635e-02,9.680901e-02,1.025446e-01,1.047819e-01,1.127881e-01,1.131085e-01,1.207931e-01,1.236685e-01,1.287655e-01,1.341531e-01,1.366762e-01,1.444990e-01,1.522104e-01,1.546510e-01,1.597893e-01,1.645618e-01,1.672175e-01,1.741919e-01,1.744789e-01,1.815598e-01,1.835085e-01,1.884485e-01,1.924855e-01,1.951355e-01,2.011025e-01,2.016128e-01,2.078744e-01,2.093445e-01,2.139156e-01,2.172011e-01,2.197331e-01,2.246658e-01,2.253249e-01,2.306901e-01,2.317360e-01,2.358289e-01,2.384118e-01,2.407421e-01,2.446961e-01,2.454315e-01,2.498995e-01,2.505941e-01,2.541492e-01,2.561126e-01,2.581841e-01,2.612600e-01,2.620081e-01,2.656257e-01,2.660461e-01,2.690413e-01,2.704815e-01,2.722600e-01,2.745776e-01,2.752869e-01,2.781272e-01,2.783465e-01,2.807864e-01,2.818005e-01,2.832699e-01,2.849524e-01,2.855833e-01,2.877323e-01,2.878149e-01,2.897223e-01,2.904009e-01,2.915590e-01,2.927233e-01,2.932480e-01,2.947947e-01,2.962045e-01,2.966277e-01,2.974829e-01,2.982345e-01,2.986351e-01,2.996273e-01,2.996663e-01,3.005814e-01,3.008176e-01,3.013856e-01,3.018169e-01,3.020837e-01,3.026362e-01,3.026803e-01,3.031801e-01,3.032862e-01,3.035876e-01,3.037771e-01,3.039072e-01,3.041189e-01,3.041429e-01,3.042991e-01,3.043211e-01,3.043796e-01,3.043928e-01,3.043883e-01,3.043428e-01,3.043288e-01,3.042049e-01,3.041793e-01,3.040200e-01,3.039105e-01,3.037774e-01,3.035439e-01,3.034803e-01,3.031320e-01,3.030868e-01,3.027353e-01,3.025461e-01,3.022931e-01,3.019284e-01,3.018083e-01,3.012834e-01,3.012398e-01,3.007212e-01,3.004863e-01,3.001239e-01,2.996735e-01,2.994940e-01,2.988338e-01,2.988067e-01,2.981453e-01,2.978910e-01,2.974307e-01,2.969309e-01,2.966920e-01,2.959311e-01,2.948957e-01,2.938286e-01,2.927337e-01,2.916144e-01,2.904740e-01,2.893156e-01,2.881421e-01,2.869562e-01,2.857605e-01,2.845572e-01,2.833486e-01,2.821367e-01,2.809235e-01,2.797107e-01,2.784999e-01,2.772928e-01,2.760906e-01,2.748946e-01,2.737061e-01,2.725262e-01,2.713558e-01,2.701959e-01,2.690473e-01,2.679107e-01
0.000000e+00,2.077738e-12,4.730312e-12,1.609000e-11,3.624893e-11,5.259654e-11,1.176067e-10,1.210723e-10,2.304524e-10,2.696177e-10,3.896668e-10,5.129684e-10,6.080196e-10,8.693545e-10,8.950612e-10,1.259265e-09,1.358785e-09,1.705109e-09,1.989882e-09,2.230314e-09,2.751528e-09,2.826449e-09,3.482512e-09,3.619962e-09,4.187939e-09,4.571195e-09,4.933645e-09,5.585477e-09,5.711894e-09,6.515854e-09,6.646447e-09,7.339226e-09,7.739573e-09,8.176022e-09,8.851232e-09,9.020460e-09,9.866946e-09,9.968405e-09,1.071012e-08,1.107875e-08,1.154490e-08,1.217080e-08,1.236656e-08,1.317079e-08,1.323426e-08,1.395378e-08,1.426025e-08,1.471217e-08,1.524138e-08,1.544315e-08,1.614443e-08,1.617183e-08,1.681422e-08,1.704738e-08,1.745125e-08,1.786525e-08,1.805465e-08,1.862402e-08,1.915929e-08,1.932341e-08,1.966072e-08,1.996412e-08,2.012886e-08,2.054765e-08,2.056446e-08,2.096846e-08,2.107607e-08,2.134197e-08,2.155193e-08,2.168618e-08,2.197805e-08,2.200234e-08,2.229175e-08,2.235739e-08,2.255581e-08,2.269314e-08,2.279593e-08,2.298849e-08,2.301344e-08,2.320965e-08,2.324644e-08,2.338584e-08,2.346997e-08,2.354328e-08,2.366190e-08,2.368315e-08,2.380658e-08,2.382488e-08,2.391467e-08,2.396141e-08,2.400845e-08,2.407382e-08,2.408888e-08,2.415688e-08,2.416425e-08,2.421331e-08,2.423468e-08,2.425896e-08,2.428692e-08,2.429460e-08,2.432091e-08,2.432264e-08,2.433857e-08,2.434335e-08,2.434818e-08,2.435043e-08,2.435030e-08,2.434548e-08,2.434514e-08,2.433419e-08,2.432863e-08,2.431690e-08,2.430194e-08,2.429404e-08,2.426600e-08,2.423315e-08,2.422168e-08,2.419583e-08,2.416976e-08,2.415437e-08,2.411094e-08,2.410906e-08,2.406017e-08,2.404587e-08,2.400796e-08,2.397515e-08,2.395268e-08,2.389930e-08,2.389455e-08,2.383377e-08,2.381881e-08,2.377054e-08,2.373413e-08,2.370504e-08,2.364567e-08,2.363745e-08,2.356793e-08,2.355380e-08,2.349661e-08,2.345887e-08,2.342365e-08,2.336118e-08,2.334917e-08,2.327330e-08,2.326104e-08,2.319614e-08,2.315869e-08,2.311782e-08,2.305439e-08,2.303843e-08,2.295806e-08,2.294835e-08,2.287680e-08,2.284079e-08,2.279475e-08,2.273191e-08,2.271198e-08,2.262856e-08,2.262186e-08,2.254457e-08,2.251082e-08,2.246007e-08,2.239895e-08,2.237512e-08,2.228979e-08,2.228637e-08,2.220413e-08,2.217323e-08,2.211820e-08,2.205963e-08,2.203204e-08,2.194569e-08,2.183152e-08,2.171720e-08,2.160283e-08,2.148849e-08,2.137425e-08,2.126019e-08,2.114637e-08,2.103285e-08,2.091969e-08,2.080694e-08,2.069465e-08,2.058287e-08,2.047163e-08,2.036097e-08,2.025094e-08,2.014156e-08,2.003285e-08,1.992486e-08,1.981761e-08,1.971111e-08,1.960539e-08,1.950047e-08,1.939637e-08,1.929309e-08
0.000000e+00,1.316870e-10,3.103235e-10,1.098574e-09,2.528082e-09,3.700144e-09,8.412410e-09,8.665011e-09,1.667154e-08,1.954727e-08,2.836871e-08,3.742207e-08,4.438759e-08,6.344902e-08,6.531582e-08,9.159169e-08,9.871663e-08,1.233558e-07,1.434860e-07,1.604374e-07,1.972036e-07,2.025022e-07,2.491764e-07,2.590312e-07,3.000818e-07,3.280964e-07,3.548290e-07,4.034845e-07,4.130054e-07,4.741712e-07,4.842043e-07,5.378611e-07,5.691872e-07,6.035911e-07,6.573125e-07,6.708678e-07,7.391982e-07,7.474456e-07,8.081006e-07,8.384789e-07,8.771130e-07,9.293680e-07,9.458018e-07,1.013767e-06,1.019162e-06,1.080648e-06,1.107023e-06,1.146124e-06,1.192239e-06,1.209918e-06,1.271794e-06,1.274226e-06,1.331558e-06,1.352525e-06,1.389055e-06,1.426796e-06,1.444166e-06,1.496804e-06,1.546914e-06,1.562410e-06,1.594465e-06,1.623552e-06,1.639451e-06,1.680236e-06,1.681885e-06,1.721795e-06,1.732524e-06,1.759227e-06,1.780519e-06,1.794236e-06,1.824359e-06,1.826885e-06,1.857248e-06,1.864203e-06,1.885401e-06,1.900231e-06,1.911425e-06,1.932633e-06,1.935405e-06,1.957426e-06,1.961603e-06,1.977574e-06,1.987339e-06,1.995935e-06,2.010039e-06,2.012593e-06,2.027634e-06,2.029895e-06,2.041138e-06,2.047097e-06,2.053185e-06,2.061827e-06,2.063854e-06,2.073219e-06,2.074259e-06,2.081353e-06,2.084560e-06,2.088326e-06,2.092890e-06,2.094204e-06,2.099053e-06,2.099398e-06,2.102932e-06,2.104226e-06,2.105903e-06,2.107509e-06,2.108019e-06,2.109336e-06,2.109373e-06,2.109903e-06,2.109933e-06,2.109770e-06,2.109303e-06,2.108982e-06,2.107583e-06,2.105615e-06,2.104872e-06,2.103117e-06,2.101258e-06,2.100126e-06,2.096825e-06,2.096678e-06,2.092806e-06,2.091650e-06,2.088542e-06,2.085808e-06,2.083915e-06,2.079363e-06,2.078955e-06,2.073686e-06,2.072379e-06,2.068136e-06,2.064914e-06,2.062328e-06,2.057020e-06,2.056283e-06,2.050024e-06,2.048748e-06,2.043570e-06,2.040144e-06,2.036941e-06,2.031249e-06,2.030153e-06,2.023223e-06,2.022102e-06,2.016168e-06,2.012741e-06,2.009001e-06,2.003197e-06,2.001737e-06,1.994389e-06,1.993502e-06,1.986969e-06,1.983684e-06,1.979488e-06,1.973768e-06,1.971957e-06,1.964386e-06,1.963779e-06,1.956785e-06,1.953738e-06,1.949162e-06,1.943664e-06,1.941525e-06,1.933883e-06,1.933577e-06,1.926242e-06,1.923493e-06,1.918609e-06,1.913427e-06,1.910991e-06,1.903392e-06,1.893402e-06,1.883468e-06,1.873601e-06,1.863808e-06,1.854099e-06,1.844482e-06,1.834962e-06,1.825546e-06,1.816239e-06,1.807046e-06,1.797970e-06,1.789016e-06,1.780186e-06,1.771483e-06,1.762909e-06,1.754465e-06,1.746154e-06,1.737976e-06,1.729932e-06,1.722022e-06,1.714247e-06,1.706607e-06,1.699101e-06,1.691729e-06
0.000000e+00,7.682934e-10,2.238148e-09,1.084047e-08,3.053960e-08,4.893513e-08,1.347262e-07,1.397219e-07,3.126559e-07,3.804402e-07,6.030836e-07,8.511460e-07,1.053539e-06,1.650258e-06,1.711633e-06,2.618893e-06,2.876263e-06,3.791390e-06,4.557823e-06,5.209610e-06,6.625725e-06,6.828933e-06,8.597437e-06,8.964712e-06,1.046752e-05,1.146671e-05,1.239986e-05,1.404809e-05,1.436324e-05,1.633289e-05,1.664723e-05,1.828876e-05,1.921768e-05,2.021416e-05,2.172294e-05,2.209491e-05,2.391888e-05,2.413343e-05,2.567572e-05,2.642517e-05,2.735678e-05,2.857936e-05,2.895509e-05,3.046532e-05,3.058220e-05,3.188370e-05,3.242479e-05,3.320801e-05,3.410273e-05,3.443739e-05,3.557224e-05,3.561568e-05,3.661398e-05,3.696664e-05,3.756495e-05,3.816131e-05,3.842824e-05,3.920750e-05,3.990678e-05,4.011436e-05,4.053043e-05,4.089195e-05,4.108296e-05,4.155072e-05,4.156894e-05,4.199292e-05,4.210114e-05,4.235938e-05,4.255345e-05,4.267264e-05,4.291745e-05,4.293688e-05,4.315604e-05,4.320236e-05,4.333389e-05,4.341677e-05,4.347395e-05,4.356854e-05,4.357949e-05,4.365356e-05,4.366485e-05,4.369899e-05,4.371217e-05,4.371839e-05,4.371634e-05,4.371417e-05,4.368854e-05,4.368259e-05,4.364353e-05,4.361559e-05,4.358099e-05,4.351948e-05,4.350262e-05,4.340997e-05,4.339796e-05,4.330446e-05,4.325430e-05,4.318739e-05,4.309142e-05,4.305994e-05,4.292319e-05,4.291188e-05,4.277812e-05,4.271797e-05,4.262563e-05,4.251169e-05,4.246653e-05,4.230157e-05,4.229486e-05,4.213144e-05,4.206905e-05,4.195676e-05,4.183567e-05,4.177810e-05,4.159597e-05,4.141086e-05,4.135106e-05,4.122319e-05,4.110192e-05,4.103336e-05,4.084944e-05,4.084175e-05,4.064867e-05,4.059439e-05,4.045444e-05,4.033746e-05,4.025933e-05,4.007928e-05,4.006360e-05,3.986749e-05,3.982039e-05,3.967121e-05,3.956129e-05,3.947495e-05,3.930240e-05,3.927889e-05,3.908321e-05,3.904413e-05,3.888805e-05,3.878682e-05,3.869355e-05,3.853077e-05,3.849983e-05,3.830701e-05,3.827626e-05,3.811521e-05,3.802353e-05,3.792450e-05,3.777280e-05,3.773499e-05,3.754676e-05,3.752426e-05,3.735986e-05,3.727808e-05,3.717438e-05,3.703440e-05,3.699038e-05,3.680789e-05,3.679336e-05,3.662698e-05,3.655507e-05,3.644769e-05,3.631962e-05,3.627005e-05,3.609411e-05,3.608711e-05,3.591989e-05,3.585759e-05,3.574741e-05,3.563114e-05,3.557671e-05,3.540781e-05,3.518762e-05,3.497063e-05,3.475685e-05,3.454631e-05,3.433901e-05,3.413496e-05,3.393417e-05,3.373662e-05,3.354232e-05,3.335124e-05,3.316339e-05,3.297872e-05,3.279724e-05,3.261891e-05,3.244370e-05,3.227160e-05,3.210256e-05,3.193656e-05,3.177356e-05,3.161353e-05,3.145644e-05,3.130224e-05,3.115090e-05,3.100239e-05
0.000000e+00,1.530642e-10,3.566607e-10,1.248472e-09,2.860299e-09,4.180864e-09,9.492114e-09,9.777005e-09,1.881795e-08,2.207021e-08,3.206174e-08,4.233737e-08,5.025685e-08,7.198590e-08,7.411839e-08,1.042171e-07,1.124048e-07,1.407959e-07,1.640663e-07,1.837024e-07,2.263808e-07,2.325390e-07,2.868385e-07,2.983125e-07,3.461315e-07,3.787815e-07,4.099471e-07,4.666919e-07,4.777987e-07,5.491758e-07,5.608880e-07,6.235451e-07,6.601439e-07,7.003559e-07,7.631877e-07,7.790505e-07,8.590747e-07,8.687411e-07,9.398886e-07,9.755630e-07,1.020977e-06,1.082489e-06,1.101856e-06,1.182082e-06,1.188460e-06,1.261254e-06,1.292546e-06,1.339015e-06,1.393953e-06,1.415055e-06,1.489110e-06,1.492027e-06,1.560959e-06,1.586249e-06,1.630423e-06,1.676223e-06,1.697361e-06,1.761667e-06,1.823267e-06,1.842398e-06,1.882112e-06,1.918317e-06,1.938181e-06,1.989394e-06,1.991472e-06,2.042002e-06,2.055659e-06,2.089801e-06,2.117188e-06,2.134915e-06,2.174094e-06,2.177397e-06,2.217311e-06,2.226515e-06,2.254725e-06,2.274614e-06,2.289716e-06,2.318563e-06,2.322359e-06,2.352738e-06,2.358549e-06,2.380933e-06,2.394760e-06,2.407029e-06,2.427388e-06,2.431108e-06,2.453255e-06,2.456624e-06,2.473551e-06,2.482659e-06,2.492077e-06,2.505678e-06,2.508914e-06,2.524138e-06,2.525860e-06,2.537827e-06,2.543382e-06,2.550053e-06,2.558411e-06,2.560888e-06,2.570403e-06,2.571109e-06,2.578663e-06,2.581631e-06,2.585735e-06,2.590125e-06,2.591679e-06,2.596558e-06,2.596732e-06,2.600428e-06,2.601585e-06,2.603345e-06,2.604812e-06,2.605363e-06,2.606533e-06,2.606904e-06,2.606862e-06,2.606524e-06,2.605906e-06,2.605436e-06,2.603768e-06,2.603685e-06,2.601312e-06,2.600541e-06,2.598355e-06,2.596317e-06,2.594853e-06,2.591180e-06,2.590841e-06,2.586354e-06,2.585210e-06,2.581425e-06,2.578482e-06,2.576083e-06,2.571065e-06,2.570359e-06,2.564281e-06,2.563026e-06,2.557877e-06,2.554425e-06,2.551170e-06,2.545321e-06,2.544186e-06,2.536947e-06,2.535767e-06,2.529476e-06,2.525813e-06,2.521793e-06,2.515507e-06,2.513917e-06,2.505868e-06,2.504891e-06,2.497663e-06,2.494007e-06,2.489318e-06,2.482893e-06,2.480850e-06,2.472273e-06,2.471583e-06,2.463602e-06,2.460110e-06,2.454850e-06,2.448505e-06,2.446029e-06,2.437152e-06,2.436796e-06,2.428229e-06,2.425008e-06,2.419271e-06,2.413165e-06,2.410289e-06,2.401291e-06,2.389404e-06,2.377524e-06,2.365668e-06,2.353852e-06,2.342090e-06,2.330396e-06,2.318781e-06,2.307256e-06,2.295832e-06,2.284516e-06,2.273318e-06,2.262244e-06,2.251300e-06,2.240493e-06,2.229828e-06,2.219308e-06,2.208937e-06,2.198719e-06,2.188657e-06,2.178753e-06,2.169008e-06,2.159424e-06,2.150002e-06,2.140743e-06
0.000000e+00,1.013112e-10,2.575107e-10,9.986217e-10,2.410678e-09,3.596605e-09,8.485172e-09,8.750873e-09,1.729413e-08,2.040792e-08,3.007253e-08,4.013918e-08,4.797136e-08,6.973466e-08,7.188942e-08,1.025946e-07,1.110286e-07,1.404882e-07,1.648426e-07,1.855150e-07,2.307712e-07,2.373344e-07,2.955308e-07,3.078997e-07,3.597043e-07,3.953103e-07,4.294749e-07,4.921295e-07,5.044618e-07,5.842649e-07,5.974521e-07,6.684543e-07,7.102887e-07,7.565678e-07,8.295545e-07,8.481138e-07,9.425775e-07,9.540841e-07,1.039429e-06,1.082663e-06,1.138135e-06,1.214066e-06,1.238166e-06,1.339006e-06,1.347093e-06,1.440158e-06,1.480600e-06,1.541155e-06,1.613534e-06,1.641566e-06,1.740995e-06,1.744947e-06,1.839087e-06,1.874011e-06,1.935527e-06,2.000021e-06,2.030041e-06,2.122395e-06,2.212395e-06,2.240671e-06,2.299882e-06,2.354495e-06,2.384729e-06,2.463612e-06,2.466843e-06,2.546158e-06,2.567858e-06,2.622630e-06,2.667141e-06,2.696241e-06,2.761436e-06,2.766991e-06,2.834893e-06,2.850770e-06,2.899980e-06,2.935213e-06,2.962292e-06,3.014872e-06,3.021881e-06,3.078806e-06,3.089877e-06,3.133132e-06,3.160379e-06,3.184932e-06,3.226544e-06,3.234277e-06,3.281246e-06,3.288546e-06,3.325917e-06,3.346565e-06,3.368368e-06,3.400784e-06,3.408679e-06,3.446929e-06,3.451384e-06,3.483195e-06,3.498544e-06,3.517556e-06,3.542441e-06,3.550085e-06,3.580857e-06,3.583245e-06,3.609944e-06,3.621123e-06,3.637415e-06,3.656231e-06,3.663337e-06,3.687777e-06,3.688724e-06,3.710796e-06,3.718747e-06,3.732456e-06,3.746439e-06,3.752816e-06,3.771931e-06,3.789856e-06,3.795349e-06,3.806642e-06,3.816811e-06,3.822340e-06,3.836431e-06,3.836998e-06,3.850660e-06,3.854313e-06,3.863372e-06,3.870560e-06,3.875175e-06,3.885266e-06,3.886109e-06,3.896214e-06,3.898519e-06,3.905525e-06,3.910406e-06,3.914078e-06,3.921004e-06,3.921907e-06,3.929044e-06,3.930391e-06,3.935520e-06,3.938636e-06,3.941364e-06,3.945806e-06,3.946605e-06,3.951270e-06,3.951964e-06,3.955384e-06,3.957170e-06,3.958972e-06,3.961480e-06,3.962058e-06,3.964664e-06,3.964946e-06,3.966812e-06,3.967618e-06,3.968523e-06,3.969543e-06,3.969816e-06,3.970710e-06,3.970765e-06,3.971223e-06,3.971326e-06,3.971373e-06,3.971266e-06,3.971177e-06,3.970649e-06,3.970621e-06,3.969805e-06,3.969427e-06,3.968660e-06,3.967717e-06,3.967228e-06,3.965522e-06,3.962871e-06,3.959793e-06,3.956314e-06,3.952459e-06,3.948251e-06,3.943713e-06,3.938866e-06,3.933729e-06,3.928323e-06,3.922663e-06,3.916768e-06,3.910654e-06,3.904335e-06,3.897826e-06,3.891141e-06,3.884292e-06,3.877292e-06,3.870152e-06,3.862884e-06,3.855497e-06,3.848002e-06,3.840408e-06,3.832724e-06,3.824957e-06
0.000000e+00,3.002617e-12,6.859621e-12,2.349905e-11,5.326717e-11,7.753445e-11,1.746124e-10,1.798033e-10,3.439486e-10,4.027624e-10,5.827985e-10,7.670296e-10,9.084407e-10,1.294282e-09,1.332009e-09,1.863016e-09,2.007262e-09,2.508036e-09,2.919941e-09,3.268768e-09,4.030159e-09,4.140251e-09,5.110770e-09,5.315375e-09,6.164154e-09,6.738865e-09,7.283015e-09,8.261440e-09,8.450999e-09,9.653639e-09,9.848411e-09,1.087833e-08,1.147075e-08,1.211413e-08,1.310431e-08,1.335150e-08,1.458217e-08,1.472905e-08,1.579906e-08,1.632854e-08,1.699616e-08,1.788960e-08,1.816846e-08,1.931191e-08,1.940204e-08,2.042330e-08,2.085830e-08,2.150017e-08,2.225314e-08,2.254076e-08,2.354385e-08,2.358318e-08,2.450871e-08,2.484662e-08,2.543502e-08,2.604291e-08,2.632283e-08,2.717243e-08,2.798435e-08,2.823632e-08,2.875929e-08,2.923623e-08,2.949809e-08,3.017420e-08,3.020168e-08,3.087106e-08,3.105251e-08,3.150730e-08,3.187359e-08,3.211148e-08,3.263997e-08,3.268472e-08,3.322812e-08,3.335422e-08,3.374279e-08,3.401886e-08,3.422981e-08,3.463639e-08,3.469027e-08,3.512521e-08,3.520923e-08,3.553567e-08,3.573976e-08,3.592264e-08,3.623025e-08,3.628708e-08,3.662996e-08,3.668287e-08,3.695216e-08,3.709973e-08,3.725456e-08,3.748280e-08,3.753802e-08,3.780334e-08,3.783400e-08,3.805131e-08,3.815512e-08,3.828269e-08,3.844788e-08,3.849819e-08,3.869852e-08,3.871391e-08,3.888434e-08,3.895475e-08,3.905629e-08,3.917186e-08,3.921499e-08,3.936103e-08,3.936662e-08,3.949497e-08,3.954033e-08,3.961735e-08,3.969423e-08,3.972869e-08,3.982949e-08,3.992023e-08,3.994722e-08,4.000136e-08,4.004844e-08,4.007331e-08,4.013414e-08,4.013651e-08,4.019135e-08,4.020526e-08,4.023822e-08,4.026267e-08,4.027748e-08,4.030719e-08,4.030949e-08,4.033457e-08,4.033960e-08,4.035306e-08,4.036064e-08,4.036525e-08,4.037101e-08,4.037144e-08,4.037192e-08,4.037136e-08,4.036695e-08,4.036230e-08,4.035679e-08,4.034443e-08,4.034169e-08,4.032188e-08,4.031829e-08,4.029759e-08,4.028441e-08,4.026904e-08,4.024327e-08,4.023643e-08,4.019996e-08,4.019533e-08,4.015982e-08,4.014104e-08,4.011619e-08,4.008081e-08,4.006926e-08,4.001917e-08,4.001503e-08,3.996610e-08,3.994406e-08,3.991019e-08,3.986826e-08,3.985159e-08,3.979045e-08,3.978795e-08,3.972689e-08,3.970344e-08,3.966104e-08,3.961502e-08,3.959303e-08,3.952298e-08,3.942757e-08,3.932904e-08,3.922763e-08,3.912355e-08,3.901701e-08,3.890822e-08,3.879735e-08,3.868459e-08,3.857010e-08,3.845403e-08,3.833655e-08,3.821778e-08,3.809786e-08,3.797692e-08,3.785507e-08,3.773244e-08,3.760911e-08,3.748521e-08,3.736081e-08,3.723602e-08,3.711091e-08,3.698556e-08,3.686006e-08,3.673447e-08
0.000000e+00,1.207315e-09,3.364604e-09,1.498513e-08,3.942784e-08,6.102197e-08,1.547599e-07,1.599954e-07,3.329454e-07,3.976746e-07,6.027443e-07,8.216386e-07,9.948113e-07,1.484495e-06,1.533389e-06,2.231033e-06,2.421701e-06,3.080167e-06,3.613692e-06,4.058212e-06,5.004788e-06,5.139132e-06,6.300045e-06,6.540118e-06,7.522244e-06,8.176724e-06,8.790063e-06,9.880101e-06,1.008962e-05,1.140803e-05,1.161990e-05,1.273304e-05,1.336794e-05,1.405298e-05,1.509789e-05,1.535689e-05,1.663464e-05,1.678577e-05,1.787713e-05,1.841057e-05,1.907643e-05,1.995483e-05,2.022583e-05,2.131991e-05,2.140491e-05,2.235453e-05,2.275104e-05,2.332678e-05,2.398714e-05,2.423487e-05,2.507798e-05,2.511035e-05,2.585619e-05,2.612061e-05,2.657037e-05,2.702017e-05,2.722199e-05,2.781294e-05,2.834553e-05,2.850405e-05,2.882234e-05,2.909952e-05,2.924618e-05,2.960595e-05,2.961998e-05,2.994672e-05,3.003019e-05,3.022941e-05,3.037909e-05,3.047098e-05,3.065939e-05,3.067432e-05,3.084223e-05,3.087755e-05,3.097738e-05,3.103971e-05,3.108232e-05,3.115161e-05,3.115948e-05,3.121115e-05,3.121861e-05,3.123947e-05,3.124564e-05,3.124645e-05,3.123721e-05,3.123398e-05,3.120380e-05,3.119744e-05,3.115754e-05,3.113007e-05,3.109671e-05,3.103848e-05,3.102269e-05,3.093678e-05,3.092573e-05,3.084018e-05,3.079457e-05,3.073397e-05,3.064746e-05,3.061918e-05,3.049674e-05,3.048664e-05,3.036749e-05,3.031406e-05,3.023223e-05,3.013152e-05,3.009167e-05,2.994648e-05,2.994059e-05,2.979728e-05,2.974268e-05,2.964460e-05,2.953907e-05,2.948897e-05,2.933085e-05,2.917068e-05,2.911905e-05,2.900883e-05,2.890453e-05,2.884567e-05,2.868810e-05,2.868152e-05,2.851668e-05,2.847044e-05,2.835142e-05,2.825217e-05,2.818599e-05,2.803384e-05,2.802062e-05,2.785551e-05,2.781594e-05,2.769084e-05,2.759888e-05,2.752678e-05,2.738304e-05,2.736349e-05,2.720110e-05,2.716875e-05,2.703974e-05,2.695628e-05,2.687952e-05,2.674589e-05,2.672055e-05,2.656290e-05,2.653780e-05,2.640666e-05,2.633219e-05,2.625191e-05,2.612922e-05,2.609870e-05,2.594710e-05,2.592902e-05,2.579715e-05,2.573171e-05,2.564889e-05,2.553738e-05,2.550237e-05,2.535761e-05,2.534611e-05,2.521464e-05,2.515796e-05,2.507349e-05,2.497299e-05,2.493416e-05,2.479668e-05,2.479122e-05,2.466106e-05,2.461269e-05,2.452730e-05,2.443741e-05,2.439541e-05,2.426539e-05,2.409663e-05,2.393112e-05,2.376885e-05,2.360980e-05,2.345394e-05,2.330125e-05,2.315171e-05,2.300527e-05,2.286189e-05,2.272155e-05,2.258419e-05,2.244977e-05,2.231826e-05,2.218960e-05,2.206375e-05,2.194066e-05,2.182028e-05,2.170256e-05,2.158746e-05,2.147492e-05,2.136490e-05,2.125735e-05,2.115222e-05,2.104945e-05
0.000000e+00,2.361585e-09,6.904446e-09,3.371838e-08,9.582366e-08,1.543798e-07,4.322180e-07,4.485938e-07,1.025822e-06,1.256760e-06,2.029846e-06,2.911317e-06,3.641198e-06,5.818481e-06,6.043038e-06,9.344632e-06,1.027216e-05,1.353703e-05,1.624041e-05,1.852567e-05,2.347492e-05,2.418534e-05,3.039366e-05,3.169137e-05,3.704261e-05,4.064276e-05,4.403900e-05,5.012450e-05,5.130121e-05,5.875587e-05,5.996190e-05,6.633560e-05,6.999972e-05,7.397770e-05,8.009691e-05,8.162380e-05,8.922000e-05,9.012580e-05,9.671721e-05,9.997314e-05,1.040716e-04,1.095415e-04,1.112446e-04,1.182035e-04,1.187501e-04,1.249212e-04,1.275358e-04,1.313763e-04,1.358519e-04,1.375523e-04,1.434376e-04,1.436668e-04,1.490245e-04,1.509620e-04,1.543094e-04,1.577300e-04,1.592914e-04,1.639726e-04,1.683571e-04,1.696984e-04,1.724510e-04,1.749220e-04,1.762617e-04,1.796614e-04,1.797976e-04,1.830680e-04,1.839375e-04,1.860827e-04,1.877730e-04,1.888519e-04,1.911917e-04,1.913860e-04,1.936956e-04,1.942177e-04,1.957912e-04,1.968752e-04,1.976832e-04,1.991878e-04,1.993817e-04,2.008967e-04,2.011786e-04,2.022380e-04,2.028699e-04,2.034149e-04,2.042831e-04,2.044365e-04,2.053116e-04,2.054386e-04,2.060486e-04,2.063556e-04,2.066555e-04,2.070526e-04,2.071401e-04,2.075098e-04,2.075467e-04,2.077716e-04,2.078543e-04,2.079322e-04,2.079907e-04,2.079982e-04,2.079755e-04,2.079700e-04,2.078700e-04,2.078059e-04,2.076873e-04,2.075108e-04,2.074325e-04,2.071106e-04,2.070964e-04,2.067264e-04,2.065737e-04,2.062843e-04,2.059528e-04,2.057885e-04,2.052432e-04,2.046519e-04,2.044537e-04,2.040185e-04,2.035925e-04,2.033462e-04,2.026672e-04,2.026382e-04,2.018977e-04,2.016848e-04,2.011273e-04,2.006520e-04,2.003299e-04,1.995746e-04,1.995080e-04,1.986639e-04,1.984583e-04,1.977999e-04,1.973082e-04,1.969182e-04,1.961292e-04,1.960207e-04,1.951094e-04,1.949256e-04,1.941859e-04,1.937014e-04,1.932519e-04,1.924605e-04,1.923091e-04,1.913588e-04,1.912061e-04,1.904024e-04,1.899415e-04,1.894412e-04,1.886696e-04,1.884764e-04,1.875091e-04,1.873929e-04,1.865403e-04,1.861139e-04,1.855711e-04,1.848348e-04,1.846024e-04,1.836349e-04,1.835576e-04,1.826695e-04,1.822841e-04,1.817069e-04,1.810160e-04,1.807478e-04,1.797929e-04,1.797548e-04,1.788426e-04,1.785018e-04,1.778976e-04,1.772582e-04,1.769583e-04,1.760253e-04,1.748038e-04,1.735948e-04,1.723990e-04,1.712171e-04,1.700496e-04,1.688972e-04,1.677602e-04,1.666390e-04,1.655341e-04,1.644456e-04,1.633738e-04,1.623188e-04,1.612808e-04,1.602599e-04,1.592561e-04,1.582695e-04,1.573000e-04,1.563476e-04,1.554123e-04,1.544939e-04,1.535925e-04,1.527077e-04,1.518396e-04,1.509880e-04
0.000000e+00,1.161801e-09,3.408002e-09,1.672866e-08,4.762554e-08,7.668602e-08,2.130128e-07,2.209626e-07,4.954626e-07,6.024511e-07,9.509719e-07,1.334277e-06,1.643648e-06,2.543519e-06,2.635400e-06,3.991085e-06,4.377383e-06,5.768356e-06,6.961832e-06,8.001199e-06,1.034347e-05,1.068929e-05,1.380238e-05,1.447200e-05,1.729333e-05,1.924047e-05,2.110944e-05,2.452820e-05,2.519881e-05,2.951274e-05,3.022074e-05,3.400609e-05,3.621420e-05,3.863691e-05,4.241406e-05,4.336591e-05,4.815615e-05,4.873342e-05,5.297292e-05,5.509226e-05,5.778376e-05,6.141747e-05,6.255866e-05,6.727019e-05,6.764362e-05,7.189377e-05,7.371363e-05,7.640775e-05,7.957934e-05,8.079344e-05,8.503517e-05,8.520166e-05,8.912020e-05,9.055044e-05,9.303850e-05,9.560382e-05,9.678264e-05,1.003476e-04,1.037303e-04,1.047741e-04,1.069298e-04,1.088816e-04,1.099467e-04,1.126728e-04,1.127828e-04,1.154413e-04,1.161543e-04,1.179261e-04,1.193357e-04,1.202422e-04,1.222286e-04,1.223949e-04,1.243900e-04,1.248460e-04,1.262336e-04,1.272022e-04,1.279320e-04,1.293117e-04,1.294917e-04,1.309192e-04,1.311893e-04,1.322207e-04,1.328499e-04,1.334027e-04,1.343077e-04,1.344713e-04,1.354324e-04,1.355766e-04,1.362919e-04,1.366700e-04,1.370554e-04,1.376006e-04,1.377282e-04,1.383155e-04,1.383804e-04,1.388222e-04,1.390208e-04,1.392530e-04,1.395325e-04,1.396125e-04,1.399049e-04,1.399255e-04,1.401343e-04,1.402092e-04,1.403044e-04,1.403923e-04,1.404190e-04,1.404814e-04,1.404829e-04,1.404951e-04,1.404886e-04,1.404630e-04,1.404165e-04,1.403881e-04,1.402731e-04,1.401207e-04,1.400645e-04,1.399334e-04,1.397962e-04,1.397134e-04,1.394735e-04,1.394630e-04,1.391841e-04,1.391013e-04,1.388789e-04,1.386839e-04,1.385491e-04,1.382255e-04,1.381965e-04,1.378227e-04,1.377300e-04,1.374292e-04,1.372008e-04,1.370176e-04,1.366414e-04,1.365891e-04,1.361451e-04,1.360546e-04,1.356869e-04,1.354433e-04,1.352155e-04,1.348102e-04,1.347321e-04,1.342376e-04,1.341575e-04,1.337330e-04,1.334875e-04,1.332193e-04,1.328023e-04,1.326973e-04,1.321678e-04,1.321038e-04,1.316316e-04,1.313937e-04,1.310893e-04,1.306735e-04,1.305417e-04,1.299893e-04,1.299449e-04,1.294328e-04,1.292092e-04,1.288728e-04,1.284676e-04,1.283097e-04,1.277441e-04,1.277214e-04,1.271764e-04,1.269716e-04,1.266070e-04,1.262192e-04,1.260365e-04,1.254651e-04,1.247102e-04,1.239552e-04,1.232010e-04,1.224480e-04,1.216970e-04,1.209485e-04,1.202030e-04,1.194609e-04,1.187227e-04,1.179888e-04,1.172596e-04,1.165353e-04,1.158162e-04,1.151027e-04,1.143949e-04,1.136930e-04,1.129973e-04,1.123080e-04,1.116251e-04,1.109489e-04,1.102793e-04,1.096166e-04,1.089609e-04,1.083121e-04
0.000000e+00,9.751428e-10,2.860882e-09,1.404332e-08,3.996887e-08,6.433942e-08,1.785214e-07,1.851736e-07,4.145144e-07,5.037347e-07,7.937927e-07,1.111838e-06,1.367847e-06,2.109296e-06,2.184756e-06,3.293981e-06,3.608933e-06,4.740759e-06,5.710734e-06,6.555523e-06,8.460317e-06,8.741562e-06,1.126949e-05,1.181152e-05,1.408353e-05,1.563711e-05,1.711452e-05,1.977635e-05,2.029176e-05,2.355026e-05,2.407527e-05,2.683367e-05,2.840437e-05,3.009481e-05,3.266146e-05,3.329503e-05,3.640317e-05,3.676872e-05,3.939452e-05,4.066860e-05,4.224995e-05,4.432019e-05,4.495512e-05,4.749989e-05,4.769632e-05,4.987769e-05,5.078120e-05,5.208511e-05,5.356842e-05,5.412137e-05,5.598791e-05,5.605909e-05,5.768805e-05,5.826024e-05,5.922656e-05,6.018344e-05,6.060942e-05,6.184347e-05,6.293618e-05,6.325727e-05,6.389541e-05,6.444300e-05,6.472926e-05,6.541938e-05,6.544590e-05,6.605344e-05,6.620509e-05,6.655982e-05,6.681830e-05,6.697272e-05,6.727640e-05,6.729954e-05,6.754734e-05,6.759580e-05,6.772280e-05,6.779183e-05,6.783223e-05,6.787860e-05,6.788153e-05,6.787622e-05,6.786906e-05,6.782145e-05,6.777502e-05,6.772199e-05,6.760716e-05,6.758227e-05,6.740636e-05,6.737511e-05,6.719803e-05,6.708754e-05,6.696075e-05,6.675222e-05,6.669769e-05,6.641179e-05,6.637607e-05,6.610571e-05,6.596529e-05,6.578192e-05,6.552536e-05,6.544264e-05,6.508992e-05,6.506118e-05,6.472564e-05,6.457708e-05,6.435150e-05,6.407689e-05,6.396904e-05,6.357969e-05,6.356399e-05,6.318472e-05,6.304139e-05,6.278530e-05,6.251170e-05,6.238250e-05,6.197726e-05,6.157046e-05,6.144009e-05,6.116289e-05,6.090197e-05,6.075525e-05,6.036446e-05,6.034820e-05,5.994230e-05,5.982892e-05,5.953807e-05,5.929653e-05,5.913598e-05,5.876830e-05,5.873645e-05,5.833985e-05,5.824513e-05,5.794651e-05,5.772777e-05,5.755673e-05,5.721687e-05,5.717077e-05,5.678886e-05,5.671298e-05,5.641121e-05,5.621657e-05,5.603798e-05,5.572800e-05,5.566933e-05,5.530540e-05,5.524761e-05,5.494628e-05,5.477565e-05,5.459208e-05,5.431230e-05,5.424286e-05,5.389870e-05,5.385774e-05,5.355964e-05,5.341208e-05,5.322571e-05,5.297538e-05,5.289694e-05,5.257335e-05,5.254769e-05,5.225494e-05,5.212903e-05,5.194171e-05,5.171938e-05,5.163364e-05,5.133072e-05,5.131871e-05,5.103293e-05,5.092698e-05,5.074024e-05,5.054410e-05,5.045260e-05,5.016999e-05,4.980457e-05,4.944771e-05,4.909931e-05,4.875924e-05,4.842737e-05,4.810357e-05,4.778768e-05,4.747958e-05,4.717910e-05,4.688611e-05,4.660044e-05,4.632196e-05,4.605050e-05,4.578592e-05,4.552806e-05,4.527677e-05,4.503191e-05,4.479332e-05,4.456085e-05,4.433436e-05,4.411371e-05,4.389875e-05,4.368935e-05,4.348537e-05
0.000000e+00,5.251501e-10,1.504133e-09,7.042527e-09,1.924864e-08,3.033119e-08,7.982743e-08,8.262880e-08,1.759083e-07,2.109151e-07,3.213538e-07,4.379903e-07,5.292904e-07,7.839716e-07,8.092258e-07,1.169816e-06,1.269230e-06,1.618633e-06,1.910812e-06,2.161613e-06,2.720083e-06,2.802120e-06,3.539700e-06,3.698483e-06,4.368946e-06,4.833038e-06,5.279222e-06,6.095701e-06,6.255694e-06,7.281341e-06,7.448851e-06,8.339039e-06,8.853413e-06,9.413012e-06,1.027458e-05,1.048949e-05,1.155687e-05,1.168386e-05,1.260550e-05,1.305888e-05,1.362752e-05,1.438250e-05,1.461657e-05,1.556758e-05,1.564190e-05,1.647666e-05,1.682786e-05,1.734089e-05,1.793422e-05,1.815828e-05,1.892758e-05,1.895734e-05,1.964822e-05,1.989573e-05,2.032023e-05,2.074966e-05,2.094411e-05,2.152076e-05,2.205143e-05,2.221177e-05,2.253760e-05,2.282617e-05,2.298097e-05,2.336804e-05,2.338338e-05,2.374675e-05,2.384177e-05,2.407307e-05,2.425192e-05,2.436436e-05,2.460312e-05,2.462261e-05,2.484982e-05,2.489994e-05,2.504791e-05,2.514683e-05,2.521878e-05,2.534806e-05,2.536423e-05,2.548602e-05,2.550768e-05,2.558580e-05,2.562952e-05,2.566516e-05,2.571715e-05,2.572561e-05,2.576857e-05,2.577392e-05,2.579538e-05,2.580289e-05,2.580731e-05,2.580693e-05,2.580554e-05,2.579118e-05,2.578866e-05,2.576528e-05,2.575049e-05,2.572882e-05,2.569461e-05,2.568271e-05,2.562779e-05,2.562304e-05,2.556487e-05,2.553762e-05,2.549468e-05,2.544003e-05,2.541791e-05,2.533519e-05,2.533177e-05,2.524714e-05,2.521424e-05,2.515429e-05,2.508868e-05,2.505716e-05,2.495623e-05,2.485194e-05,2.481793e-05,2.474470e-05,2.467469e-05,2.463488e-05,2.452737e-05,2.452285e-05,2.440891e-05,2.437671e-05,2.429337e-05,2.422340e-05,2.417651e-05,2.406805e-05,2.405858e-05,2.393982e-05,2.391122e-05,2.382044e-05,2.375340e-05,2.370065e-05,2.359503e-05,2.358062e-05,2.346052e-05,2.343651e-05,2.334052e-05,2.327820e-05,2.322074e-05,2.312040e-05,2.310133e-05,2.298239e-05,2.296341e-05,2.286404e-05,2.280747e-05,2.274637e-05,2.265279e-05,2.262947e-05,2.251344e-05,2.249957e-05,2.239832e-05,2.234799e-05,2.228421e-05,2.219818e-05,2.217114e-05,2.205919e-05,2.205028e-05,2.194838e-05,2.190439e-05,2.183878e-05,2.176062e-05,2.173040e-05,2.162329e-05,2.161903e-05,2.151748e-05,2.147970e-05,2.141298e-05,2.134268e-05,2.130982e-05,2.120802e-05,2.107574e-05,2.094588e-05,2.081845e-05,2.069346e-05,2.057092e-05,2.045083e-05,2.033317e-05,2.021795e-05,2.010514e-05,1.999474e-05,1.988670e-05,1.978102e-05,1.967767e-05,1.957661e-05,1.947783e-05,1.938127e-05,1.928693e-05,1.919475e-05,1.910470e-05,1.901675e-05,1.893087e-05,1.884701e-05,1.876513e-05,1.868520e-05
0.000000e+00,7.177528e-11,1.673014e-10,5.845346e-10,1.338122e-09,1.957384e-09,4.478625e-09,4.615465e-09,9.050185e-09,1.068934e-08,1.586363e-08,2.138278e-08,2.575266e-08,3.811289e-08,3.934557e-08,5.683794e-08,6.157233e-08,7.770512e-08,9.049027e-08,1.009301e-07,1.225082e-07,1.254999e-07,1.506527e-07,1.557043e-07,1.758697e-07,1.888850e-07,2.007942e-07,2.213141e-07,2.251683e-07,2.487944e-07,2.524942e-07,2.715167e-07,2.820652e-07,2.932125e-07,3.097656e-07,3.137872e-07,3.331727e-07,3.354167e-07,3.513253e-07,3.589155e-07,3.682232e-07,3.802247e-07,3.838646e-07,3.982642e-07,3.993633e-07,4.114505e-07,4.163937e-07,4.234623e-07,4.314097e-07,4.343469e-07,4.441593e-07,4.445303e-07,4.529579e-07,4.558888e-07,4.608032e-07,4.656248e-07,4.677566e-07,4.738790e-07,4.792297e-07,4.807885e-07,4.838664e-07,4.864847e-07,4.878442e-07,4.910916e-07,4.912155e-07,4.940295e-07,4.947240e-07,4.963329e-07,4.974878e-07,4.981688e-07,4.994798e-07,4.995777e-07,5.005971e-07,5.007877e-07,5.012617e-07,5.014909e-07,5.016035e-07,5.016610e-07,5.016523e-07,5.014352e-07,5.013621e-07,5.009773e-07,5.006518e-07,5.003018e-07,4.995817e-07,4.994298e-07,4.983807e-07,4.981976e-07,4.971723e-07,4.965406e-07,4.958211e-07,4.946474e-07,4.943420e-07,4.927488e-07,4.925505e-07,4.910539e-07,4.902790e-07,4.892690e-07,4.878587e-07,4.874045e-07,4.854701e-07,4.853126e-07,4.834746e-07,4.826612e-07,4.814262e-07,4.799227e-07,4.793322e-07,4.771993e-07,4.771133e-07,4.750338e-07,4.742473e-07,4.728412e-07,4.713375e-07,4.706268e-07,4.683953e-07,4.661510e-07,4.654307e-07,4.638978e-07,4.624527e-07,4.616392e-07,4.594691e-07,4.593787e-07,4.571191e-07,4.564869e-07,4.548631e-07,4.535123e-07,4.526133e-07,4.505507e-07,4.503718e-07,4.481407e-07,4.476070e-07,4.459218e-07,4.446852e-07,4.437168e-07,4.417891e-07,4.415272e-07,4.393544e-07,4.389219e-07,4.371995e-07,4.360865e-07,4.350637e-07,4.332851e-07,4.329480e-07,4.308531e-07,4.305199e-07,4.287800e-07,4.277928e-07,4.267292e-07,4.251051e-07,4.247014e-07,4.226971e-07,4.224582e-07,4.207167e-07,4.198531e-07,4.187607e-07,4.172906e-07,4.168294e-07,4.149229e-07,4.147715e-07,4.130417e-07,4.122963e-07,4.111858e-07,4.098653e-07,4.093553e-07,4.075504e-07,4.074788e-07,4.057712e-07,4.051369e-07,4.040176e-07,4.028398e-07,4.022896e-07,4.005872e-07,3.983792e-07,3.962154e-07,3.940957e-07,3.920197e-07,3.899870e-07,3.879973e-07,3.860500e-07,3.841446e-07,3.822808e-07,3.804578e-07,3.786751e-07,3.769322e-07,3.752285e-07,3.735633e-07,3.719360e-07,3.703459e-07,3.687925e-07,3.672751e-07,3.657929e-07,3.643455e-07,3.629320e-07,3.615519e-07,3.602046e-07,3.588892e-07
0.000000e+00,2.216728e-09,6.501795e-09,3.191880e-08,9.092733e-08,1.464960e-07,4.079192e-07,4.231976e-07,9.525815e-07,1.159731e-06,1.836914e-06,2.584731e-06,3.189772e-06,4.952261e-06,5.132178e-06,7.779076e-06,8.529419e-06,1.121247e-05,1.348908e-05,1.545210e-05,1.981146e-05,2.044788e-05,2.610033e-05,2.729916e-05,3.228955e-05,3.567994e-05,3.889567e-05,4.468619e-05,4.580875e-05,5.293169e-05,5.408503e-05,6.018025e-05,6.368248e-05,6.748194e-05,7.331959e-05,7.477482e-05,8.200651e-05,8.286804e-05,8.913323e-05,9.222620e-05,9.611900e-05,1.013158e-04,1.029348e-04,1.095580e-04,1.100789e-04,1.159711e-04,1.184747e-04,1.221619e-04,1.264766e-04,1.281217e-04,1.338456e-04,1.340696e-04,1.393315e-04,1.412481e-04,1.445794e-04,1.480131e-04,1.495915e-04,1.543713e-04,1.589234e-04,1.603328e-04,1.632532e-04,1.659106e-04,1.673671e-04,1.711193e-04,1.712716e-04,1.749736e-04,1.759748e-04,1.784802e-04,1.804934e-04,1.817987e-04,1.846917e-04,1.849362e-04,1.879001e-04,1.885863e-04,1.906973e-04,1.921936e-04,1.933349e-04,1.955293e-04,1.958196e-04,1.981581e-04,1.986088e-04,2.003567e-04,2.014468e-04,2.024217e-04,2.040575e-04,2.043592e-04,2.061749e-04,2.064544e-04,2.078744e-04,2.086505e-04,2.094631e-04,2.106579e-04,2.109463e-04,2.123289e-04,2.124882e-04,2.136156e-04,2.141526e-04,2.148111e-04,2.156614e-04,2.159198e-04,2.169459e-04,2.170246e-04,2.178934e-04,2.182513e-04,2.187663e-04,2.193505e-04,2.195681e-04,2.203025e-04,2.203305e-04,2.209728e-04,2.211990e-04,2.215823e-04,2.219636e-04,2.221340e-04,2.226310e-04,2.230760e-04,2.232078e-04,2.234717e-04,2.237003e-04,2.238207e-04,2.241142e-04,2.241255e-04,2.243884e-04,2.244549e-04,2.246117e-04,2.247275e-04,2.247974e-04,2.249369e-04,2.249477e-04,2.250644e-04,2.250876e-04,2.251494e-04,2.251838e-04,2.252044e-04,2.252295e-04,2.252312e-04,2.252314e-04,2.252284e-04,2.252064e-04,2.251840e-04,2.251578e-04,2.250997e-04,2.250869e-04,2.249951e-04,2.249785e-04,2.248835e-04,2.248234e-04,2.247535e-04,2.246369e-04,2.246061e-04,2.244424e-04,2.244217e-04,2.242635e-04,2.241802e-04,2.240704e-04,2.239146e-04,2.238639e-04,2.236450e-04,2.236270e-04,2.234145e-04,2.233193e-04,2.231733e-04,2.229933e-04,2.229220e-04,2.226615e-04,2.226509e-04,2.223924e-04,2.222936e-04,2.221154e-04,2.219228e-04,2.218311e-04,2.215401e-04,2.211467e-04,2.207439e-04,2.203327e-04,2.199143e-04,2.194897e-04,2.190597e-04,2.186254e-04,2.181874e-04,2.177465e-04,2.173034e-04,2.168589e-04,2.164134e-04,2.159675e-04,2.155218e-04,2.150768e-04,2.146329e-04,2.141905e-04,2.137499e-04,2.133117e-04,2.128759e-04,2.124431e-04,2.120134e-04,2.115871e-04,2.111644e-04
0.000000e+00,5.728901e-07,1.716506e-06,8.812184e-06,2.617765e-05,4.318664e-05,1.282360e-04,1.334021e-04,3.219481e-04,3.999041e-04,6.675880e-04,9.819281e-04,1.247842e-03,2.066237e-03,2.152643e-03,3.464509e-03,3.846853e-03,5.240030e-03,6.448404e-03,7.507680e-03,9.916915e-03,1.027536e-02,1.353779e-02,1.424855e-02,1.728117e-02,1.941139e-02,2.148559e-02,2.535568e-02,2.612639e-02,3.117492e-02,3.201843e-02,3.659917e-02,3.932614e-02,4.236435e-02,4.719722e-02,4.843355e-02,5.476839e-02,5.554457e-02,6.132976e-02,6.427840e-02,6.807844e-02,7.330888e-02,7.497576e-02,8.198418e-02,8.254856e-02,8.906774e-02,9.191454e-02,9.619252e-02,1.013300e-01,1.033268e-01,1.104414e-01,1.107252e-01,1.175097e-01,1.200382e-01,1.245076e-01,1.292150e-01,1.314138e-01,1.382093e-01,1.448777e-01,1.469824e-01,1.514048e-01,1.555023e-01,1.577785e-01,1.637438e-01,1.639889e-01,1.700278e-01,1.716871e-01,1.758887e-01,1.793177e-01,1.815667e-01,1.866257e-01,1.870581e-01,1.923606e-01,1.936049e-01,1.974730e-01,2.002527e-01,2.023948e-01,2.065689e-01,2.071267e-01,2.116698e-01,2.125560e-01,2.160261e-01,2.182183e-01,2.201979e-01,2.235618e-01,2.241882e-01,2.280002e-01,2.285938e-01,2.316374e-01,2.333224e-01,2.351038e-01,2.377567e-01,2.384035e-01,2.415405e-01,2.419063e-01,2.445194e-01,2.457811e-01,2.473446e-01,2.493916e-01,2.500205e-01,2.525518e-01,2.527482e-01,2.549430e-01,2.558613e-01,2.571987e-01,2.587414e-01,2.593234e-01,2.613215e-01,2.613989e-01,2.631976e-01,2.638440e-01,2.649560e-01,2.660867e-01,2.666010e-01,2.681368e-01,2.695675e-01,2.700038e-01,2.708972e-01,2.716971e-01,2.721299e-01,2.732255e-01,2.732693e-01,2.743192e-01,2.745977e-01,2.752833e-01,2.758220e-01,2.761651e-01,2.769066e-01,2.769680e-01,2.776953e-01,2.778590e-01,2.783503e-01,2.786867e-01,2.789362e-01,2.793969e-01,2.794558e-01,2.799123e-01,2.799962e-01,2.803083e-01,2.804912e-01,2.806466e-01,2.808882e-01,2.809299e-01,2.811607e-01,2.811929e-01,2.813414e-01,2.814111e-01,2.814745e-01,2.815482e-01,2.815622e-01,2.816066e-01,2.816092e-01,2.816101e-01,2.815991e-01,2.815744e-01,2.815224e-01,2.815017e-01,2.813938e-01,2.813837e-01,2.812525e-01,2.811871e-01,2.810796e-01,2.809365e-01,2.808768e-01,2.806456e-01,2.806358e-01,2.803876e-01,2.802884e-01,2.801043e-01,2.798979e-01,2.797971e-01,2.794674e-01,2.790000e-01,2.784985e-01,2.779657e-01,2.774041e-01,2.768162e-01,2.762043e-01,2.755705e-01,2.749170e-01,2.742456e-01,2.735582e-01,2.728565e-01,2.721421e-01,2.714165e-01,2.706812e-01,2.699376e-01,2.691868e-01,2.684301e-01,2.676687e-01,2.669034e-01,2.661355e-01,2.653656e-01,2.645948e-01,2.638239e-01,2.630535e-01
0.000000e+00,3.680504e-07,1.102063e-06,5.649122e-06,1.675245e-05,2.760659e-05,8.168435e-05,8.496102e-05,2.041030e-04,2.531608e-04,4.209517e-04,6.169576e-04,7.820715e-04,1.287081e-03,1.340166e-03,2.141974e-03,2.374484e-03,3.218530e-03,3.947632e-03,4.585155e-03,6.031257e-03,6.246056e-03,8.198250e-03,8.623022e-03,1.043387e-02,1.170470e-02,1.294136e-02,1.524713e-02,1.570609e-02,1.871076e-02,1.921249e-02,2.193575e-02,2.355573e-02,2.535949e-02,2.822607e-02,2.895884e-02,3.270958e-02,3.316867e-02,3.658687e-02,3.832653e-02,4.056573e-02,4.364237e-02,4.462145e-02,4.873001e-02,4.906028e-02,5.286841e-02,5.452720e-02,5.701491e-02,5.999399e-02,6.114929e-02,6.525296e-02,6.541622e-02,6.930903e-02,7.075460e-02,7.330240e-02,7.597520e-02,7.721973e-02,8.104940e-02,8.478144e-02,8.595366e-02,8.840747e-02,9.066924e-02,9.192057e-02,9.518176e-02,9.531522e-02,9.858711e-02,9.948079e-02,1.017331e-01,1.035594e-01,1.047511e-01,1.074136e-01,1.076399e-01,1.103992e-01,1.110421e-01,1.130291e-01,1.144458e-01,1.155309e-01,1.176275e-01,1.179058e-01,1.201560e-01,1.205912e-01,1.222837e-01,1.233426e-01,1.242916e-01,1.258878e-01,1.261827e-01,1.279601e-01,1.282341e-01,1.296272e-01,1.303892e-01,1.311873e-01,1.323609e-01,1.326442e-01,1.340013e-01,1.341576e-01,1.352624e-01,1.357877e-01,1.364310e-01,1.372595e-01,1.375108e-01,1.385055e-01,1.385815e-01,1.394185e-01,1.397617e-01,1.402535e-01,1.408083e-01,1.410139e-01,1.417030e-01,1.417291e-01,1.423241e-01,1.425317e-01,1.428805e-01,1.432235e-01,1.433753e-01,1.438114e-01,1.441919e-01,1.443023e-01,1.445195e-01,1.447026e-01,1.447969e-01,1.450186e-01,1.450269e-01,1.452119e-01,1.452560e-01,1.453544e-01,1.454204e-01,1.454567e-01,1.455172e-01,1.455210e-01,1.455496e-01,1.455513e-01,1.455444e-01,1.455276e-01,1.455075e-01,1.454503e-01,1.454408e-01,1.453460e-01,1.453238e-01,1.452249e-01,1.451521e-01,1.450791e-01,1.449388e-01,1.449103e-01,1.447198e-01,1.446874e-01,1.445092e-01,1.444014e-01,1.442798e-01,1.440836e-01,1.440329e-01,1.437697e-01,1.437371e-01,1.434915e-01,1.433646e-01,1.431993e-01,1.429685e-01,1.428941e-01,1.425771e-01,1.425513e-01,1.422492e-01,1.421151e-01,1.419112e-01,1.416621e-01,1.415640e-01,1.412085e-01,1.411941e-01,1.408454e-01,1.407130e-01,1.404755e-01,1.402205e-01,1.400995e-01,1.397180e-01,1.392070e-01,1.386889e-01,1.381649e-01,1.376363e-01,1.371039e-01,1.365689e-01,1.360322e-01,1.354945e-01,1.349568e-01,1.344196e-01,1.338837e-01,1.333497e-01,1.328180e-01,1.322893e-01,1.317640e-01,1.312426e-01,1.307253e-01,1.302125e-01,1.297047e-01,1.292019e-01,1.287046e-01,1.282129e-01,1.277271e-01,1.272472e-01
0.000000e+00,1.108932e-10,2.611134e-10,9.257850e-10,2.138013e-09,3.137529e-09,7.199376e-09,7.418917e-09,1.446394e-08,1.703283e-08,2.502834e-08,3.339483e-08,3.992405e-08,5.807395e-08,5.986618e-08,8.519502e-08,9.207163e-08,1.158225e-07,1.351876e-07,1.514766e-07,1.867973e-07,1.918905e-07,2.368370e-07,2.463516e-07,2.861037e-07,3.133566e-07,3.394671e-07,3.872747e-07,3.966749e-07,4.574392e-07,4.674704e-07,5.214357e-07,5.531982e-07,5.883067e-07,6.436155e-07,6.576677e-07,7.291152e-07,7.378095e-07,8.022350e-07,8.348301e-07,8.766106e-07,9.337229e-07,9.518315e-07,1.027500e-06,1.033561e-06,1.103238e-06,1.133472e-06,1.178690e-06,1.232654e-06,1.253529e-06,1.327458e-06,1.330392e-06,1.400209e-06,1.426066e-06,1.471550e-06,1.519151e-06,1.541276e-06,1.609216e-06,1.675227e-06,1.695923e-06,1.739192e-06,1.779012e-06,1.801019e-06,1.858300e-06,1.860642e-06,1.918011e-06,1.933667e-06,1.973099e-06,2.005049e-06,2.025891e-06,2.072433e-06,2.076388e-06,2.124605e-06,2.135840e-06,2.170564e-06,2.195327e-06,2.214299e-06,2.250975e-06,2.255847e-06,2.295256e-06,2.302886e-06,2.332576e-06,2.351174e-06,2.367861e-06,2.395969e-06,2.401168e-06,2.432557e-06,2.437405e-06,2.462089e-06,2.475623e-06,2.489825e-06,2.510763e-06,2.515828e-06,2.540159e-06,2.542969e-06,2.562880e-06,2.572383e-06,2.584052e-06,2.599144e-06,2.603735e-06,2.621989e-06,2.623390e-06,2.638872e-06,2.645253e-06,2.654439e-06,2.664864e-06,2.668746e-06,2.681847e-06,2.682347e-06,2.693794e-06,2.697822e-06,2.704637e-06,2.711405e-06,2.714426e-06,2.723207e-06,2.731027e-06,2.733333e-06,2.737929e-06,2.741885e-06,2.743956e-06,2.748958e-06,2.749150e-06,2.753550e-06,2.754645e-06,2.757193e-06,2.759032e-06,2.760118e-06,2.762203e-06,2.762358e-06,2.763948e-06,2.764237e-06,2.764921e-06,2.765207e-06,2.765307e-06,2.765185e-06,2.765136e-06,2.764438e-06,2.764238e-06,2.763240e-06,2.762429e-06,2.761569e-06,2.759817e-06,2.759449e-06,2.756906e-06,2.756461e-06,2.753962e-06,2.752413e-06,2.750640e-06,2.747725e-06,2.746962e-06,2.742947e-06,2.742443e-06,2.738615e-06,2.736614e-06,2.733986e-06,2.730279e-06,2.729076e-06,2.723904e-06,2.723479e-06,2.718485e-06,2.716252e-06,2.712836e-06,2.708634e-06,2.706971e-06,2.700904e-06,2.700658e-06,2.694650e-06,2.692355e-06,2.688221e-06,2.683756e-06,2.681630e-06,2.674888e-06,2.665778e-06,2.656451e-06,2.646930e-06,2.637236e-06,2.627391e-06,2.617413e-06,2.607321e-06,2.597131e-06,2.586859e-06,2.576520e-06,2.566128e-06,2.555696e-06,2.545235e-06,2.534758e-06,2.524274e-06,2.513794e-06,2.503327e-06,2.492880e-06,2.482462e-06,2.472081e-06,2.461743e-06,2.451454e-06,2.441221e-06,2.431047e-06
0.000000e+00,2.740908e-10,6.800426e-10,2.550124e-09,6.034016e-09,8.927656e-09,2.074518e-08,2.138527e-08,4.196680e-08,4.948944e-08,7.296638e-08,9.765197e-08,1.170212e-07,1.714830e-07,1.769169e-07,2.548020e-07,2.762544e-07,3.509481e-07,4.120609e-07,4.632658e-07,5.727703e-07,5.883346e-07,7.227682e-07,7.505251e-07,8.638254e-07,9.390763e-07,1.009410e-06,1.133988e-06,1.157878e-06,1.307869e-06,1.331927e-06,1.458187e-06,1.530132e-06,1.607741e-06,1.726153e-06,1.755521e-06,1.900590e-06,1.917774e-06,2.042091e-06,2.103021e-06,2.179258e-06,2.280184e-06,2.311411e-06,2.437987e-06,2.447858e-06,2.558525e-06,2.604964e-06,2.672660e-06,2.750724e-06,2.780136e-06,2.880795e-06,2.884679e-06,2.974567e-06,3.006638e-06,3.061459e-06,3.116653e-06,3.141549e-06,3.214975e-06,3.281921e-06,3.302011e-06,3.342612e-06,3.378289e-06,3.397303e-06,3.444417e-06,3.446269e-06,3.489801e-06,3.501056e-06,3.528194e-06,3.548890e-06,3.561752e-06,3.588610e-06,3.590772e-06,3.615551e-06,3.620899e-06,3.636375e-06,3.646413e-06,3.653522e-06,3.665782e-06,3.667259e-06,3.677841e-06,3.679600e-06,3.685509e-06,3.688421e-06,3.690492e-06,3.692760e-06,3.693004e-06,3.693248e-06,3.693089e-06,3.691413e-06,3.689846e-06,3.687675e-06,3.683425e-06,3.682198e-06,3.675136e-06,3.674189e-06,3.666630e-06,3.662465e-06,3.656812e-06,3.648548e-06,3.645804e-06,3.633719e-06,3.632708e-06,3.620660e-06,3.615186e-06,3.606724e-06,3.596197e-06,3.592000e-06,3.576570e-06,3.575939e-06,3.560509e-06,3.554586e-06,3.543887e-06,3.532296e-06,3.526768e-06,3.509210e-06,3.491270e-06,3.485456e-06,3.472995e-06,3.461146e-06,3.454433e-06,3.436383e-06,3.435626e-06,3.416613e-06,3.411257e-06,3.397429e-06,3.385850e-06,3.378107e-06,3.360235e-06,3.358678e-06,3.339169e-06,3.334478e-06,3.319606e-06,3.308636e-06,3.300012e-06,3.282761e-06,3.280408e-06,3.260815e-06,3.256899e-06,3.241250e-06,3.231092e-06,3.221729e-06,3.205377e-06,3.202268e-06,3.182881e-06,3.179787e-06,3.163580e-06,3.154349e-06,3.144376e-06,3.129090e-06,3.125280e-06,3.106301e-06,3.104032e-06,3.087448e-06,3.079195e-06,3.068730e-06,3.054597e-06,3.050151e-06,3.031720e-06,3.030252e-06,3.013442e-06,3.006174e-06,2.995321e-06,2.982374e-06,2.977363e-06,2.959571e-06,2.958863e-06,2.941949e-06,2.935647e-06,2.924500e-06,2.912735e-06,2.907227e-06,2.890132e-06,2.867842e-06,2.845871e-06,2.824219e-06,2.802890e-06,2.781885e-06,2.761204e-06,2.740848e-06,2.720816e-06,2.701108e-06,2.681721e-06,2.662654e-06,2.643906e-06,2.625473e-06,2.607354e-06,2.589545e-06,2.572043e-06,2.554846e-06,2.537949e-06,2.521349e-06,2.505043e-06,2.489026e-06,2.473295e-06,2.457845e-06,2.442673e-06
0.000000e+00,6.203116e-11,1.431444e-10,4.970670e-10,1.137519e-09,1.663978e-09,3.797758e-09,3.912925e-09,7.602217e-09,8.944703e-09,1.311516e-08,1.747072e-08,2.086936e-08,3.035935e-08,3.130255e-08,4.480755e-08,4.853598e-08,6.160558e-08,7.244033e-08,8.163701e-08,1.016989e-07,1.045951e-07,1.300719e-07,1.354340e-07,1.576731e-07,1.727490e-07,1.870541e-07,2.128897e-07,2.179157e-07,2.499902e-07,2.552181e-07,2.830320e-07,2.991678e-07,3.168120e-07,3.442232e-07,3.511162e-07,3.857461e-07,3.899147e-07,4.205192e-07,4.358216e-07,4.552704e-07,4.815753e-07,4.898522e-07,5.241346e-07,5.268608e-07,5.580052e-07,5.714161e-07,5.913680e-07,6.150289e-07,6.241422e-07,6.562607e-07,6.575310e-07,6.876692e-07,6.987938e-07,7.183245e-07,7.387224e-07,7.481930e-07,7.772502e-07,8.054784e-07,8.143344e-07,8.328666e-07,8.499513e-07,8.594090e-07,8.840927e-07,8.851042e-07,9.099551e-07,9.167627e-07,9.339675e-07,9.479758e-07,9.571497e-07,9.777529e-07,9.795120e-07,1.001066e-06,1.006121e-06,1.021826e-06,1.033110e-06,1.041807e-06,1.058757e-06,1.061023e-06,1.079491e-06,1.083096e-06,1.097227e-06,1.106166e-06,1.114248e-06,1.128007e-06,1.130573e-06,1.146217e-06,1.148658e-06,1.161199e-06,1.168161e-06,1.175537e-06,1.186554e-06,1.189247e-06,1.202347e-06,1.203879e-06,1.214855e-06,1.220175e-06,1.226787e-06,1.235481e-06,1.238160e-06,1.248992e-06,1.249835e-06,1.259297e-06,1.263276e-06,1.269093e-06,1.275839e-06,1.278395e-06,1.287219e-06,1.287562e-06,1.295580e-06,1.298479e-06,1.303492e-06,1.308625e-06,1.310972e-06,1.318031e-06,1.324686e-06,1.326732e-06,1.330949e-06,1.334758e-06,1.336833e-06,1.342138e-06,1.342352e-06,1.347518e-06,1.348904e-06,1.352344e-06,1.355082e-06,1.356842e-06,1.360700e-06,1.361023e-06,1.364898e-06,1.365784e-06,1.368480e-06,1.370361e-06,1.371778e-06,1.374454e-06,1.374803e-06,1.377565e-06,1.378087e-06,1.380074e-06,1.381283e-06,1.382341e-06,1.384063e-06,1.384373e-06,1.386181e-06,1.386450e-06,1.387772e-06,1.388462e-06,1.389156e-06,1.390120e-06,1.390341e-06,1.391335e-06,1.391442e-06,1.392146e-06,1.392446e-06,1.392780e-06,1.393149e-06,1.393246e-06,1.393551e-06,1.393569e-06,1.393701e-06,1.393719e-06,1.393703e-06,1.393617e-06,1.393564e-06,1.393289e-06,1.393275e-06,1.392885e-06,1.392709e-06,1.392358e-06,1.391932e-06,1.391713e-06,1.390955e-06,1.389792e-06,1.388454e-06,1.386952e-06,1.385297e-06,1.383498e-06,1.381566e-06,1.379510e-06,1.377339e-06,1.375061e-06,1.372684e-06,1.370215e-06,1.367663e-06,1.365033e-06,1.362333e-06,1.359568e-06,1.356745e-06,1.353870e-06,1.350947e-06,1.347983e-06,1.344980e-06,1.341946e-06,1.338882e-06,1.335795e-06,1.332687e-06
0.000000e+00,2.945621e-10,7.718435e-10,3.118001e-09,7.693588e-09,1.157324e-08,2.766146e-08,2.853703e-08,5.663170e-08,6.682525e-08,9.826317e-08,1.306711e-07,1.556534e-07,2.241396e-07,2.308568e-07,3.257450e-07,3.516342e-07,4.419368e-07,5.167828e-07,5.806371e-07,7.217566e-07,7.423782e-07,9.267512e-07,9.662322e-07,1.132326e-06,1.246883e-06,1.356871e-06,1.558224e-06,1.597750e-06,1.852248e-06,1.894055e-06,2.117744e-06,2.248356e-06,2.391763e-06,2.615546e-06,2.671978e-06,2.956207e-06,2.990486e-06,3.242403e-06,3.368457e-06,3.528665e-06,3.745184e-06,3.813241e-06,4.094542e-06,4.116861e-06,4.371146e-06,4.480185e-06,4.641800e-06,4.832374e-06,4.905425e-06,5.161111e-06,5.171162e-06,5.408108e-06,5.494781e-06,5.645819e-06,5.801921e-06,5.873789e-06,6.091689e-06,6.299309e-06,6.363555e-06,6.496539e-06,6.617303e-06,6.683361e-06,6.852966e-06,6.859827e-06,7.026054e-06,7.070785e-06,7.182214e-06,7.271168e-06,7.328528e-06,7.454656e-06,7.465247e-06,7.592654e-06,7.621879e-06,7.711050e-06,7.773534e-06,7.820753e-06,7.910363e-06,7.922094e-06,8.015406e-06,8.033135e-06,8.101028e-06,8.142625e-06,8.179298e-06,8.239608e-06,8.250551e-06,8.315117e-06,8.324849e-06,8.373323e-06,8.399096e-06,8.425485e-06,8.463073e-06,8.471915e-06,8.512910e-06,8.517479e-06,8.548761e-06,8.562978e-06,8.579746e-06,8.600205e-06,8.606132e-06,8.628180e-06,8.629763e-06,8.646136e-06,8.652227e-06,8.660240e-06,8.668138e-06,8.670719e-06,8.677791e-06,8.678006e-06,8.681664e-06,8.682313e-06,8.682535e-06,8.681509e-06,8.680593e-06,8.676020e-06,8.668987e-06,8.666243e-06,8.659656e-06,8.652550e-06,8.648183e-06,8.635290e-06,8.634715e-06,8.619392e-06,8.614787e-06,8.602347e-06,8.591346e-06,8.583705e-06,8.565248e-06,8.563587e-06,8.542105e-06,8.536758e-06,8.519366e-06,8.506121e-06,8.495472e-06,8.473566e-06,8.470519e-06,8.444596e-06,8.439303e-06,8.417791e-06,8.403531e-06,8.390184e-06,8.366431e-06,8.361852e-06,8.332866e-06,8.328173e-06,8.303296e-06,8.288913e-06,8.273204e-06,8.248797e-06,8.242652e-06,8.211697e-06,8.207958e-06,8.180392e-06,8.166520e-06,8.148787e-06,8.124597e-06,8.116931e-06,8.084867e-06,8.082294e-06,8.052637e-06,8.039708e-06,8.020281e-06,7.996927e-06,7.987835e-06,7.955334e-06,7.954034e-06,7.922810e-06,7.911102e-06,7.890294e-06,7.868201e-06,7.857812e-06,7.825392e-06,7.782733e-06,7.740276e-06,7.698067e-06,7.656149e-06,7.614562e-06,7.573338e-06,7.532510e-06,7.492105e-06,7.452148e-06,7.412662e-06,7.373665e-06,7.335174e-06,7.297205e-06,7.259770e-06,7.222878e-06,7.186540e-06,7.150763e-06,7.115552e-06,7.080912e-06,7.046845e-06,7.013355e-06,6.980441e-06,6.948105e-06,6.916344e-06
0.000000e+00,8.939351e-10,2.617443e-09,1.279297e-08,3.625699e-08,5.822200e-08,1.604622e-07,1.663935e-07,3.697517e-07,4.483964e-07,7.027432e-07,9.797364e-07,1.201457e-06,1.837496e-06,1.901688e-06,2.831867e-06,3.090975e-06,4.002543e-06,4.759846e-06,5.402867e-06,6.804920e-06,7.007171e-06,8.783463e-06,9.156435e-06,1.069866e-05,1.173878e-05,1.272080e-05,1.447988e-05,1.481967e-05,1.696692e-05,1.731317e-05,1.913606e-05,2.017777e-05,2.130263e-05,2.301897e-05,2.344433e-05,2.554124e-05,2.578901e-05,2.757606e-05,2.844787e-05,2.953425e-05,3.096386e-05,3.140401e-05,3.317629e-05,3.331365e-05,3.484468e-05,3.548198e-05,3.640521e-05,3.746092e-05,3.785608e-05,3.919736e-05,3.924875e-05,4.043073e-05,4.084886e-05,4.155915e-05,4.226852e-05,4.258658e-05,4.351775e-05,4.435789e-05,4.460843e-05,4.511263e-05,4.555347e-05,4.578764e-05,4.636592e-05,4.638860e-05,4.692115e-05,4.705875e-05,4.739073e-05,4.764443e-05,4.780256e-05,4.813473e-05,4.816162e-05,4.847258e-05,4.854054e-05,4.873976e-05,4.887177e-05,4.896718e-05,4.913737e-05,4.915855e-05,4.931727e-05,4.934538e-05,4.944648e-05,4.950295e-05,4.954901e-05,4.961643e-05,4.962746e-05,4.968416e-05,4.969135e-05,4.972123e-05,4.973262e-05,4.974060e-05,4.974452e-05,4.974401e-05,4.973303e-05,4.973081e-05,4.970909e-05,4.969479e-05,4.967348e-05,4.963933e-05,4.962736e-05,4.957178e-05,4.956696e-05,4.950769e-05,4.947987e-05,4.943596e-05,4.938003e-05,4.935737e-05,4.927263e-05,4.926913e-05,4.918239e-05,4.914867e-05,4.908723e-05,4.901998e-05,4.898768e-05,4.888423e-05,4.877733e-05,4.874245e-05,4.866737e-05,4.859558e-05,4.855475e-05,4.844442e-05,4.843978e-05,4.832279e-05,4.828971e-05,4.820407e-05,4.813211e-05,4.808386e-05,4.797218e-05,4.796243e-05,4.783998e-05,4.781046e-05,4.771672e-05,4.764741e-05,4.759283e-05,4.748344e-05,4.746850e-05,4.734388e-05,4.731894e-05,4.721912e-05,4.715423e-05,4.709435e-05,4.698963e-05,4.696970e-05,4.684528e-05,4.682541e-05,4.672121e-05,4.666180e-05,4.659757e-05,4.649903e-05,4.647446e-05,4.635195e-05,4.633730e-05,4.623014e-05,4.617678e-05,4.610908e-05,4.601762e-05,4.598884e-05,4.586948e-05,4.585997e-05,4.575106e-05,4.570396e-05,4.563361e-05,4.554969e-05,4.551720e-05,4.540185e-05,4.539726e-05,4.528761e-05,4.524676e-05,4.517450e-05,4.509826e-05,4.506256e-05,4.495182e-05,4.480752e-05,4.466538e-05,4.452545e-05,4.438777e-05,4.425236e-05,4.411925e-05,4.398844e-05,4.385995e-05,4.373379e-05,4.360996e-05,4.348845e-05,4.336927e-05,4.325240e-05,4.313784e-05,4.302556e-05,4.291556e-05,4.280781e-05,4.270231e-05,4.259901e-05,4.249791e-05,4.239898e-05,4.230219e-05,4.220752e-05,4.211493e-05
0.000000e+00,2.747407e-10,6.884703e-10,2.618478e-09,6.247476e-09,9.273049e-09,2.163705e-08,2.230558e-08,4.367569e-08,5.141619e-08,7.531578e-08,1.000401e-07,1.191723e-07,1.719001e-07,1.770870e-07,2.503502e-07,2.702638e-07,3.391456e-07,3.953554e-07,4.425990e-07,5.447099e-07,5.593823e-07,6.881429e-07,7.152182e-07,8.275920e-07,9.039097e-07,9.764630e-07,1.107854e-06,1.133467e-06,1.297273e-06,1.324022e-06,1.466516e-06,1.549278e-06,1.639814e-06,1.780453e-06,1.815800e-06,1.993143e-06,2.014455e-06,2.170580e-06,2.248376e-06,2.346937e-06,2.479583e-06,2.521143e-06,2.692244e-06,2.705772e-06,2.859410e-06,2.925012e-06,3.021934e-06,3.135743e-06,3.179229e-06,3.330818e-06,3.336757e-06,3.476335e-06,3.527180e-06,3.615510e-06,3.706432e-06,3.748163e-06,3.874188e-06,3.993546e-06,4.030334e-06,4.106258e-06,4.174935e-06,4.212391e-06,4.308188e-06,4.312052e-06,4.405382e-06,4.430402e-06,4.492547e-06,4.541964e-06,4.573733e-06,4.643315e-06,4.649140e-06,4.718980e-06,4.734938e-06,4.783473e-06,4.817335e-06,4.842840e-06,4.891022e-06,4.897306e-06,4.947097e-06,4.956513e-06,4.992433e-06,5.014320e-06,5.033533e-06,5.064941e-06,5.070611e-06,5.103874e-06,5.108855e-06,5.133521e-06,5.146525e-06,5.159749e-06,5.178395e-06,5.182745e-06,5.202690e-06,5.204887e-06,5.219759e-06,5.226400e-06,5.234116e-06,5.243313e-06,5.245922e-06,5.255329e-06,5.255983e-06,5.262483e-06,5.264745e-06,5.267522e-06,5.269915e-06,5.270578e-06,5.271777e-06,5.271788e-06,5.271239e-06,5.270643e-06,5.269078e-06,5.266736e-06,5.265401e-06,5.260312e-06,5.253906e-06,5.251593e-06,5.246277e-06,5.240792e-06,5.237511e-06,5.228104e-06,5.227692e-06,5.216897e-06,5.213710e-06,5.205201e-06,5.197781e-06,5.192674e-06,5.180472e-06,5.179382e-06,5.165387e-06,5.161930e-06,5.150748e-06,5.142291e-06,5.135522e-06,5.121679e-06,5.119761e-06,5.103513e-06,5.100210e-06,5.086827e-06,5.077991e-06,5.069746e-06,5.055123e-06,5.052311e-06,5.034562e-06,5.031696e-06,5.016535e-06,5.007794e-06,4.998265e-06,4.983496e-06,4.979785e-06,4.961123e-06,4.958873e-06,4.942310e-06,4.933991e-06,4.923372e-06,4.908911e-06,4.904334e-06,4.885220e-06,4.883688e-06,4.866052e-06,4.858374e-06,4.846850e-06,4.833014e-06,4.827633e-06,4.808421e-06,4.807652e-06,4.789228e-06,4.782327e-06,4.770072e-06,4.757074e-06,4.750966e-06,4.731924e-06,4.706908e-06,4.682053e-06,4.657380e-06,4.632914e-06,4.608672e-06,4.584672e-06,4.560930e-06,4.537458e-06,4.514270e-06,4.491376e-06,4.468784e-06,4.446503e-06,4.424540e-06,4.402899e-06,4.381587e-06,4.360606e-06,4.339960e-06,4.319650e-06,4.299678e-06,4.280046e-06,4.260753e-06,4.241798e-06,4.223181e-06,4.204902e-06
0.000000e+00,8.638270e-09,2.572898e-08,1.302938e-07,3.814118e-07,6.234526e-07,1.798888e-06,1.868862e-06,4.345706e-06,5.335192e-06,8.622495e-06,1.232002e-05,1.534789e-05,2.428252e-05,2.520090e-05,3.877973e-05,4.264465e-05,5.651476e-05,6.836595e-05,7.867026e-05,1.019354e-04,1.053838e-04,1.366970e-04,1.435096e-04,1.725715e-04,1.929948e-04,2.128965e-04,2.500801e-04,2.574935e-04,3.061207e-04,3.142558e-04,3.584788e-04,3.848351e-04,4.142186e-04,4.609841e-04,4.729499e-04,5.342518e-04,5.417600e-04,5.976837e-04,6.261526e-04,6.627955e-04,7.131274e-04,7.291381e-04,7.962726e-04,8.016648e-04,8.637778e-04,8.907940e-04,9.312573e-04,9.796193e-04,9.983440e-04,1.064704e-03,1.067339e-03,1.130038e-03,1.153256e-03,1.194085e-03,1.236784e-03,1.256617e-03,1.317444e-03,1.376408e-03,1.394863e-03,1.433386e-03,1.468762e-03,1.488279e-03,1.538952e-03,1.541020e-03,1.591563e-03,1.605318e-03,1.639885e-03,1.667809e-03,1.685981e-03,1.726432e-03,1.729862e-03,1.771553e-03,1.781237e-03,1.811091e-03,1.832309e-03,1.848522e-03,1.879762e-03,1.883901e-03,1.917288e-03,1.923732e-03,1.948748e-03,1.964367e-03,1.978348e-03,2.001827e-03,2.006160e-03,2.032256e-03,2.036277e-03,2.056708e-03,2.067883e-03,2.079589e-03,2.096811e-03,2.100971e-03,2.120925e-03,2.123227e-03,2.139520e-03,2.147289e-03,2.156823e-03,2.169151e-03,2.172901e-03,2.187817e-03,2.188962e-03,2.201631e-03,2.206862e-03,2.214403e-03,2.222985e-03,2.226189e-03,2.237044e-03,2.237459e-03,2.247018e-03,2.250403e-03,2.256161e-03,2.261928e-03,2.264520e-03,2.272140e-03,2.279063e-03,2.281138e-03,2.285329e-03,2.289012e-03,2.290976e-03,2.295849e-03,2.296041e-03,2.300558e-03,2.301729e-03,2.304560e-03,2.306726e-03,2.308077e-03,2.310909e-03,2.311138e-03,2.313770e-03,2.314342e-03,2.316001e-03,2.317084e-03,2.317854e-03,2.319191e-03,2.319353e-03,2.320519e-03,2.320714e-03,2.321374e-03,2.321701e-03,2.321936e-03,2.322197e-03,2.322225e-03,2.322258e-03,2.322240e-03,2.322051e-03,2.321871e-03,2.321620e-03,2.321123e-03,2.320979e-03,2.320143e-03,2.320030e-03,2.319125e-03,2.318622e-03,2.317936e-03,2.316927e-03,2.316590e-03,2.315095e-03,2.314970e-03,2.313464e-03,2.312776e-03,2.311706e-03,2.310366e-03,2.309830e-03,2.307845e-03,2.307763e-03,2.305759e-03,2.304985e-03,2.303580e-03,2.302049e-03,2.301316e-03,2.298973e-03,2.295771e-03,2.292457e-03,2.289046e-03,2.285548e-03,2.281975e-03,2.278337e-03,2.274645e-03,2.270907e-03,2.267131e-03,2.263324e-03,2.259495e-03,2.255650e-03,2.251793e-03,2.247932e-03,2.244071e-03,2.240215e-03,2.236368e-03,2.232534e-03,2.228716e-03,2.224919e-03,2.221146e-03,2.217398e-03,2.213679e-03,2.209991e-03
0.000000e+00,4.370096e-12,9.986061e-12,3.426712e-11,7.792021e-11,1.137071e-10,2.586503e-10,2.664805e-10,5.182249e-10,6.103467e-10,8.983582e-10,1.201717e-09,1.439661e-09,2.104857e-09,2.170728e-09,3.101995e-09,3.354342e-09,4.222127e-09,4.924150e-09,5.510319e-09,6.767315e-09,6.947001e-09,8.516235e-09,8.844775e-09,1.020451e-08,1.112528e-08,1.199925e-08,1.357991e-08,1.388786e-08,1.585727e-08,1.617897e-08,1.789386e-08,1.889117e-08,1.998356e-08,2.168394e-08,2.211205e-08,2.426513e-08,2.452448e-08,2.642891e-08,2.738094e-08,2.859019e-08,3.022342e-08,3.073656e-08,3.285669e-08,3.302486e-08,3.494039e-08,3.576161e-08,3.697866e-08,3.841370e-08,3.896378e-08,4.088921e-08,4.096491e-08,4.274959e-08,4.340257e-08,4.454075e-08,4.571754e-08,4.625951e-08,4.790360e-08,4.947164e-08,4.995721e-08,5.096293e-08,5.187703e-08,5.237742e-08,5.366351e-08,5.371559e-08,5.497837e-08,5.531861e-08,5.616707e-08,5.684541e-08,5.728333e-08,5.824789e-08,5.832899e-08,5.930612e-08,5.953067e-08,6.021689e-08,6.069880e-08,6.106361e-08,6.175761e-08,6.184863e-08,6.257436e-08,6.271260e-08,6.324320e-08,6.356931e-08,6.385755e-08,6.433325e-08,6.441980e-08,6.493230e-08,6.500983e-08,6.539733e-08,6.560436e-08,6.581715e-08,6.612193e-08,6.619395e-08,6.652982e-08,6.656748e-08,6.682684e-08,6.694572e-08,6.708697e-08,6.726118e-08,6.731213e-08,6.750414e-08,6.751813e-08,6.766479e-08,6.772065e-08,6.779576e-08,6.787259e-08,6.789867e-08,6.797507e-08,6.797760e-08,6.802646e-08,6.803912e-08,6.805426e-08,6.806038e-08,6.805982e-08,6.804445e-08,6.800938e-08,6.799418e-08,6.795578e-08,6.791228e-08,6.788479e-08,6.780127e-08,6.779748e-08,6.769486e-08,6.766352e-08,6.757791e-08,6.750125e-08,6.744756e-08,6.731655e-08,6.730468e-08,6.715011e-08,6.711136e-08,6.698464e-08,6.688750e-08,6.680902e-08,6.664667e-08,6.662399e-08,6.643021e-08,6.639046e-08,6.622833e-08,6.612036e-08,6.601897e-08,6.583774e-08,6.580270e-08,6.558009e-08,6.554391e-08,6.535164e-08,6.524007e-08,6.511787e-08,6.492732e-08,6.487923e-08,6.463617e-08,6.460673e-08,6.438912e-08,6.427925e-08,6.413846e-08,6.394579e-08,6.388459e-08,6.362784e-08,6.360719e-08,6.336857e-08,6.326423e-08,6.310709e-08,6.291762e-08,6.284370e-08,6.257868e-08,6.256805e-08,6.231230e-08,6.221612e-08,6.204481e-08,6.186241e-08,6.177646e-08,6.150746e-08,6.115175e-08,6.079574e-08,6.043985e-08,6.008445e-08,5.972990e-08,5.937653e-08,5.902464e-08,5.867449e-08,5.832634e-08,5.798041e-08,5.763692e-08,5.729604e-08,5.695795e-08,5.662279e-08,5.629072e-08,5.596185e-08,5.563630e-08,5.531415e-08,5.499550e-08,5.468042e-08,5.436898e-08,5.406123e-08,5.375722e-08,5.345699e-08
0.000000e+00,1.666445e-09,4.886098e-09,2.394644e-08,6.801351e-08,1.093221e-07,3.017231e-07,3.128814e-07,6.946836e-07,8.418448e-07,1.315667e-06,1.828042e-06,2.235691e-06,3.395889e-06,3.512464e-06,5.199906e-06,5.671376e-06,7.344096e-06,8.756667e-06,9.975627e-06,1.270010e-05,1.310068e-05,1.669691e-05,1.746892e-05,2.071749e-05,2.295550e-05,2.509988e-05,2.900983e-05,2.977446e-05,3.467040e-05,3.546966e-05,3.971910e-05,4.217756e-05,4.485587e-05,4.898831e-05,5.002087e-05,5.515948e-05,5.577195e-05,6.022262e-05,6.241512e-05,6.516697e-05,6.882196e-05,6.995507e-05,7.455533e-05,7.491443e-05,7.894200e-05,8.063216e-05,8.309491e-05,8.593174e-05,8.699922e-05,9.064498e-05,9.078534e-05,9.402669e-05,9.517905e-05,9.714277e-05,9.911078e-05,9.999504e-05,1.025882e-04,1.049293e-04,1.056266e-04,1.070273e-04,1.082471e-04,1.088925e-04,1.104747e-04,1.105364e-04,1.119710e-04,1.123369e-04,1.132089e-04,1.138625e-04,1.142627e-04,1.150806e-04,1.151452e-04,1.158686e-04,1.160199e-04,1.164451e-04,1.167081e-04,1.168862e-04,1.171714e-04,1.172032e-04,1.174066e-04,1.174345e-04,1.175063e-04,1.175204e-04,1.175118e-04,1.174500e-04,1.174318e-04,1.172746e-04,1.172428e-04,1.170477e-04,1.169161e-04,1.167582e-04,1.164859e-04,1.164126e-04,1.160169e-04,1.159663e-04,1.155767e-04,1.153702e-04,1.150971e-04,1.147090e-04,1.145826e-04,1.140376e-04,1.139928e-04,1.134661e-04,1.132308e-04,1.128714e-04,1.124309e-04,1.122570e-04,1.116258e-04,1.116002e-04,1.109804e-04,1.107451e-04,1.103233e-04,1.098710e-04,1.096569e-04,1.089829e-04,1.083034e-04,1.080851e-04,1.076200e-04,1.071812e-04,1.069341e-04,1.062747e-04,1.062472e-04,1.055604e-04,1.053683e-04,1.048748e-04,1.044645e-04,1.041915e-04,1.035656e-04,1.035113e-04,1.028350e-04,1.026733e-04,1.021633e-04,1.017894e-04,1.014968e-04,1.009151e-04,1.008362e-04,1.001819e-04,1.000518e-04,9.953426e-05,9.920031e-05,9.889380e-05,9.836156e-05,9.826079e-05,9.763553e-05,9.753622e-05,9.701826e-05,9.672488e-05,9.640920e-05,9.592798e-05,9.580852e-05,9.521637e-05,9.514589e-05,9.463287e-05,9.437890e-05,9.405812e-05,9.362720e-05,9.349218e-05,9.293511e-05,9.289093e-05,9.238694e-05,9.217016e-05,9.184768e-05,9.146492e-05,9.131732e-05,9.079587e-05,9.077519e-05,9.028328e-05,9.010091e-05,8.977952e-05,8.944198e-05,8.928454e-05,8.879828e-05,8.816965e-05,8.755593e-05,8.695693e-05,8.637243e-05,8.580222e-05,8.524606e-05,8.470371e-05,8.417492e-05,8.365943e-05,8.315699e-05,8.266733e-05,8.219019e-05,8.172529e-05,8.127238e-05,8.083117e-05,8.040141e-05,7.998283e-05,7.957516e-05,7.917815e-05,7.879153e-05,7.841507e-05,7.804848e-05,7.769155e-05,7.734402e-05
0.000000e+00,3.996059e-06,1.195300e-05,6.107314e-05,1.802601e-04,2.960031e-04,8.643906e-04,8.984579e-04,2.114851e-03,2.605156e-03,4.246872e-03,6.112554e-03,7.653507e-03,1.226638e-02,1.274608e-02,1.995651e-02,2.204714e-02,2.967275e-02,3.631974e-02,4.218031e-02,5.563226e-02,5.764771e-02,7.614460e-02,8.020812e-02,9.766526e-02,1.100319e-01,1.221463e-01,1.449192e-01,1.494782e-01,1.795124e-01,1.845570e-01,2.120674e-01,2.285285e-01,2.469333e-01,2.763338e-01,2.838768e-01,3.226464e-01,3.274090e-01,3.629773e-01,3.811476e-01,4.045974e-01,4.369216e-01,4.472317e-01,4.906076e-01,4.941016e-01,5.344592e-01,5.520754e-01,5.785311e-01,6.102629e-01,6.225815e-01,6.663845e-01,6.681284e-01,7.097320e-01,7.251886e-01,7.524351e-01,7.810181e-01,7.943247e-01,8.352514e-01,8.750847e-01,8.875819e-01,9.137137e-01,9.377605e-01,9.510452e-01,9.855920e-01,9.870032e-01,1.021528e+00,1.030931e+00,1.054574e+00,1.073678e+00,1.086109e+00,1.113771e+00,1.116114e+00,1.144580e+00,1.151183e+00,1.171508e+00,1.185919e+00,1.196907e+00,1.218007e+00,1.220794e+00,1.243191e+00,1.247494e+00,1.264128e+00,1.274449e+00,1.283637e+00,1.298948e+00,1.301755e+00,1.318523e+00,1.321083e+00,1.333982e+00,1.340950e+00,1.348176e+00,1.358652e+00,1.361151e+00,1.372954e+00,1.374294e+00,1.383632e+00,1.387985e+00,1.393230e+00,1.399833e+00,1.401798e+00,1.409380e+00,1.409945e+00,1.416023e+00,1.418428e+00,1.421773e+00,1.425385e+00,1.426674e+00,1.430769e+00,1.430916e+00,1.434100e+00,1.435120e+00,1.436708e+00,1.438090e+00,1.438634e+00,1.439915e+00,1.440589e+00,1.440682e+00,1.440691e+00,1.440472e+00,1.440256e+00,1.439364e+00,1.439317e+00,1.437905e+00,1.437429e+00,1.436051e+00,1.434738e+00,1.433784e+00,1.431357e+00,1.431131e+00,1.428119e+00,1.427346e+00,1.424774e+00,1.422763e+00,1.421118e+00,1.417664e+00,1.417176e+00,1.412968e+00,1.412097e+00,1.408516e+00,1.406111e+00,1.403839e+00,1.399750e+00,1.398956e+00,1.393884e+00,1.393056e+00,1.388639e+00,1.386066e+00,1.383239e+00,1.378816e+00,1.377697e+00,1.372027e+00,1.371339e+00,1.366244e+00,1.363666e+00,1.360359e+00,1.355826e+00,1.354385e+00,1.348332e+00,1.347845e+00,1.342211e+00,1.339746e+00,1.336032e+00,1.331552e+00,1.329804e+00,1.323536e+00,1.323285e+00,1.317236e+00,1.314962e+00,1.310912e+00,1.306601e+00,1.304571e+00,1.298219e+00,1.289830e+00,1.281446e+00,1.273081e+00,1.264745e+00,1.256449e+00,1.248201e+00,1.240010e+00,1.231883e+00,1.223828e+00,1.215849e+00,1.207952e+00,1.200142e+00,1.192423e+00,1.184799e+00,1.177272e+00,1.169846e+00,1.162523e+00,1.155305e+00,1.148194e+00,1.141190e+00,1.134295e+00,1.127509e+00,1.120833e+00,1.114268e+00
0.000000e+00,1.004852e-10,2.400197e-10,8.618152e-10,1.996087e-09,2.928768e-09,6.693658e-09,6.896070e-09,1.334101e-08,1.566931e-08,2.285412e-08,3.029125e-08,3.605401e-08,5.198546e-08,5.355715e-08,7.584895e-08,8.193527e-08,1.030414e-07,1.202702e-07,1.347076e-07,1.656371e-07,1.700414e-07,2.081794e-07,2.160755e-07,2.483782e-07,2.698901e-07,2.900312e-07,3.257709e-07,3.326320e-07,3.757419e-07,3.826602e-07,4.189716e-07,4.396608e-07,4.619733e-07,4.960020e-07,5.044387e-07,5.460997e-07,5.510338e-07,5.867283e-07,6.042278e-07,6.261361e-07,6.551758e-07,6.641729e-07,7.007246e-07,7.035819e-07,7.357094e-07,7.492520e-07,7.690748e-07,7.920788e-07,8.007932e-07,8.308585e-07,8.320268e-07,8.592822e-07,8.691175e-07,8.860904e-07,9.034157e-07,9.113202e-07,9.350178e-07,9.572354e-07,9.640417e-07,9.780300e-07,9.906193e-07,9.974615e-07,1.014890e-06,1.015591e-06,1.032481e-06,1.036996e-06,1.048192e-06,1.057078e-06,1.062785e-06,1.075275e-06,1.076321e-06,1.088855e-06,1.091721e-06,1.100445e-06,1.106542e-06,1.111143e-06,1.119860e-06,1.121001e-06,1.130066e-06,1.131789e-06,1.138387e-06,1.142434e-06,1.146007e-06,1.151896e-06,1.152967e-06,1.159307e-06,1.160267e-06,1.165065e-06,1.167632e-06,1.170274e-06,1.174071e-06,1.174970e-06,1.179183e-06,1.179657e-06,1.182942e-06,1.184460e-06,1.186276e-06,1.188542e-06,1.189211e-06,1.191771e-06,1.191960e-06,1.193980e-06,1.194770e-06,1.195859e-06,1.197019e-06,1.197429e-06,1.198710e-06,1.198756e-06,1.199720e-06,1.200020e-06,1.200475e-06,1.200852e-06,1.200992e-06,1.201287e-06,1.201373e-06,1.201359e-06,1.201264e-06,1.201098e-06,1.200973e-06,1.200532e-06,1.200511e-06,1.199890e-06,1.199689e-06,1.199120e-06,1.198591e-06,1.198211e-06,1.197261e-06,1.197173e-06,1.196015e-06,1.195720e-06,1.194744e-06,1.193987e-06,1.193369e-06,1.192079e-06,1.191897e-06,1.190335e-06,1.190013e-06,1.188690e-06,1.187803e-06,1.186967e-06,1.185464e-06,1.185173e-06,1.183313e-06,1.183009e-06,1.181392e-06,1.180449e-06,1.179415e-06,1.177796e-06,1.177387e-06,1.175312e-06,1.175060e-06,1.173194e-06,1.172250e-06,1.171037e-06,1.169374e-06,1.168845e-06,1.166621e-06,1.166442e-06,1.164369e-06,1.163460e-06,1.162091e-06,1.160436e-06,1.159790e-06,1.157470e-06,1.157377e-06,1.155132e-06,1.154287e-06,1.152779e-06,1.151172e-06,1.150414e-06,1.148038e-06,1.144890e-06,1.141731e-06,1.138566e-06,1.135399e-06,1.132232e-06,1.129070e-06,1.125915e-06,1.122770e-06,1.119637e-06,1.116519e-06,1.113417e-06,1.110334e-06,1.107272e-06,1.104232e-06,1.101215e-06,1.098224e-06,1.095258e-06,1.092320e-06,1.089411e-06,1.086530e-06,1.083680e-06,1.080860e-06,1.078072e-06,1.075317e-06
0.000000e+00,6.862253e-11,1.590397e-10,5.534031e-10,1.264504e-09,1.846856e-09,4.191886e-09,4.317871e-09,8.329112e-09,9.778624e-09,1.425356e-08,1.888810e-08,2.247997e-08,3.240523e-08,3.338353e-08,4.723153e-08,5.100281e-08,6.405677e-08,7.470330e-08,8.363531e-08,1.028566e-07,1.056069e-07,1.295988e-07,1.346092e-07,1.552728e-07,1.691863e-07,1.823257e-07,2.059110e-07,2.104783e-07,2.394684e-07,2.441677e-07,2.690472e-07,2.833848e-07,2.989806e-07,3.230353e-07,3.290503e-07,3.590567e-07,3.626445e-07,3.888207e-07,4.017987e-07,4.181847e-07,4.401495e-07,4.470130e-07,4.751917e-07,4.774151e-07,5.026278e-07,5.133769e-07,5.292463e-07,5.478724e-07,5.549896e-07,5.798160e-07,5.807896e-07,6.036970e-07,6.120591e-07,6.266154e-07,6.416463e-07,6.485643e-07,6.695449e-07,6.895649e-07,6.957704e-07,7.086377e-07,7.203554e-07,7.267813e-07,7.433447e-07,7.440170e-07,7.603687e-07,7.647922e-07,7.758620e-07,7.847572e-07,7.905239e-07,8.033027e-07,8.043825e-07,8.174659e-07,8.204938e-07,8.298029e-07,8.363962e-07,8.414219e-07,8.510751e-07,8.523511e-07,8.626183e-07,8.645948e-07,8.722510e-07,8.770181e-07,8.812757e-07,8.884057e-07,8.897185e-07,8.976045e-07,8.988162e-07,9.049582e-07,9.083059e-07,9.118034e-07,9.169286e-07,9.181627e-07,9.240584e-07,9.247358e-07,9.295116e-07,9.317762e-07,9.345429e-07,9.380965e-07,9.391717e-07,9.434171e-07,9.437407e-07,9.472971e-07,9.487508e-07,9.508292e-07,9.531663e-07,9.540301e-07,9.569157e-07,9.570248e-07,9.595014e-07,9.603616e-07,9.618018e-07,9.632103e-07,9.638310e-07,9.656024e-07,9.671290e-07,9.675678e-07,9.684230e-07,9.691345e-07,9.694961e-07,9.703291e-07,9.703597e-07,9.710245e-07,9.711765e-07,9.715008e-07,9.717002e-07,9.717984e-07,9.719223e-07,9.719266e-07,9.718945e-07,9.718638e-07,9.717105e-07,9.715443e-07,9.713830e-07,9.709821e-07,9.709196e-07,9.703278e-07,9.701947e-07,9.696148e-07,9.691983e-07,9.687873e-07,9.680084e-07,9.678518e-07,9.668144e-07,9.666394e-07,9.656812e-07,9.651049e-07,9.644577e-07,9.634175e-07,9.631493e-07,9.617611e-07,9.615893e-07,9.602979e-07,9.596316e-07,9.587646e-07,9.575550e-07,9.571654e-07,9.555046e-07,9.553692e-07,9.537864e-07,9.530838e-07,9.520144e-07,9.507074e-07,9.501924e-07,9.483240e-07,9.482483e-07,9.464123e-07,9.457142e-07,9.444607e-07,9.431122e-07,9.424720e-07,9.404493e-07,9.377318e-07,9.349656e-07,9.321563e-07,9.293093e-07,9.264294e-07,9.235211e-07,9.205889e-07,9.176368e-07,9.146685e-07,9.116876e-07,9.086973e-07,9.057008e-07,9.027009e-07,8.997003e-07,8.967016e-07,8.937070e-07,8.907187e-07,8.877388e-07,8.847691e-07,8.818114e-07,8.788673e-07,8.759383e-07,8.730258e-07,8.701311e-07
0.000000e+00,9.445354e-11,2.324975e-10,8.631599e-10,2.029731e-09,2.993680e-09,6.894523e-09,7.104315e-09,1.377688e-08,1.618278e-08,2.359061e-08,3.123500e-08,3.714469e-08,5.343858e-08,5.504362e-08,7.779092e-08,8.400143e-08,1.055587e-07,1.231916e-07,1.379980e-07,1.698186e-07,1.743612e-07,2.138160e-07,2.220114e-07,2.556348e-07,2.781120e-07,2.992189e-07,3.368216e-07,3.440621e-07,3.897167e-07,3.970689e-07,4.357732e-07,4.579106e-07,4.818524e-07,5.184961e-07,5.276047e-07,5.727120e-07,5.780677e-07,6.168910e-07,6.359710e-07,6.598958e-07,6.916651e-07,7.015190e-07,7.415921e-07,7.447268e-07,7.799839e-07,7.948473e-07,8.165987e-07,8.418243e-07,8.513731e-07,8.842723e-07,8.855491e-07,9.152869e-07,9.259925e-07,9.444286e-07,9.631895e-07,9.717267e-07,9.972250e-07,1.020978e-06,1.028221e-06,1.043050e-06,1.056324e-06,1.063508e-06,1.081700e-06,1.082428e-06,1.099883e-06,1.104519e-06,1.115952e-06,1.124958e-06,1.130708e-06,1.143190e-06,1.144228e-06,1.156584e-06,1.159385e-06,1.167847e-06,1.173703e-06,1.178085e-06,1.186298e-06,1.187363e-06,1.195741e-06,1.197314e-06,1.203280e-06,1.206886e-06,1.210033e-06,1.215137e-06,1.216053e-06,1.221389e-06,1.222183e-06,1.226087e-06,1.228128e-06,1.230190e-06,1.233071e-06,1.233738e-06,1.236769e-06,1.237099e-06,1.239318e-06,1.240295e-06,1.241418e-06,1.242733e-06,1.243100e-06,1.244393e-06,1.244480e-06,1.245323e-06,1.245599e-06,1.245915e-06,1.246145e-06,1.246193e-06,1.246178e-06,1.246171e-06,1.245890e-06,1.245724e-06,1.245349e-06,1.244845e-06,1.244572e-06,1.243576e-06,1.242375e-06,1.241951e-06,1.240985e-06,1.240003e-06,1.239419e-06,1.237762e-06,1.237689e-06,1.235808e-06,1.235255e-06,1.233785e-06,1.232508e-06,1.231632e-06,1.229544e-06,1.229358e-06,1.226972e-06,1.226384e-06,1.224483e-06,1.223047e-06,1.221899e-06,1.219551e-06,1.219226e-06,1.216473e-06,1.215913e-06,1.213645e-06,1.212147e-06,1.210749e-06,1.208268e-06,1.207791e-06,1.204775e-06,1.204288e-06,1.201708e-06,1.200219e-06,1.198594e-06,1.196072e-06,1.195437e-06,1.192242e-06,1.191856e-06,1.189013e-06,1.187582e-06,1.185753e-06,1.183258e-06,1.182467e-06,1.179157e-06,1.178891e-06,1.175826e-06,1.174489e-06,1.172478e-06,1.170058e-06,1.169115e-06,1.165741e-06,1.165606e-06,1.162357e-06,1.161137e-06,1.158966e-06,1.156656e-06,1.155569e-06,1.152170e-06,1.147682e-06,1.143197e-06,1.138718e-06,1.134249e-06,1.129793e-06,1.125353e-06,1.120933e-06,1.116535e-06,1.112160e-06,1.107812e-06,1.103492e-06,1.099202e-06,1.094945e-06,1.090720e-06,1.086530e-06,1.082377e-06,1.078260e-06,1.074182e-06,1.070142e-06,1.066143e-06,1.062185e-06,1.058268e-06,1.054393e-06,1.050560e-06
0.000000e+00,1.166617e-09,3.241399e-09,1.438342e-08,3.781751e-08,5.856134e-08,1.491263e-07,1.542084e-07,3.233177e-07,3.871585e-07,5.911143e-07,8.114451e-07,9.876404e-07,1.495758e-06,1.547379e-06,2.304010e-06,2.517690e-06,3.278378e-06,3.918621e-06,4.466025e-06,5.664530e-06,5.837473e-06,7.351658e-06,7.668035e-06,8.969130e-06,9.840028e-06,1.065766e-05,1.211247e-05,1.239224e-05,1.415337e-05,1.443652e-05,1.592526e-05,1.677564e-05,1.769472e-05,1.910086e-05,1.945040e-05,2.118250e-05,2.138835e-05,2.288252e-05,2.361845e-05,2.454321e-05,2.577526e-05,2.615851e-05,2.772344e-05,2.784633e-05,2.923406e-05,2.982241e-05,3.068740e-05,3.169711e-05,3.208133e-05,3.341449e-05,3.346654e-05,3.468619e-05,3.512892e-05,3.589630e-05,3.668415e-05,3.704517e-05,3.813355e-05,3.916250e-05,3.947942e-05,4.013334e-05,4.072488e-05,4.104760e-05,4.187362e-05,4.190696e-05,4.271321e-05,4.292969e-05,4.346820e-05,4.389738e-05,4.417385e-05,4.478112e-05,4.483208e-05,4.544484e-05,4.558535e-05,4.601405e-05,4.631450e-05,4.654162e-05,4.697291e-05,4.702940e-05,4.747925e-05,4.756482e-05,4.789292e-05,4.809432e-05,4.827217e-05,4.856534e-05,4.861864e-05,4.893397e-05,4.898163e-05,4.921969e-05,4.934677e-05,4.947733e-05,4.966419e-05,4.970832e-05,4.991406e-05,4.993712e-05,5.009587e-05,5.016862e-05,5.025504e-05,5.036161e-05,5.039278e-05,5.051026e-05,5.051882e-05,5.060862e-05,5.064284e-05,5.068891e-05,5.073611e-05,5.075216e-05,5.079936e-05,5.080092e-05,5.083142e-05,5.083943e-05,5.084924e-05,5.085366e-05,5.085367e-05,5.084552e-05,5.082555e-05,5.081678e-05,5.079450e-05,5.076914e-05,5.075307e-05,5.070414e-05,5.070192e-05,5.064168e-05,5.062327e-05,5.057295e-05,5.052789e-05,5.049632e-05,5.041928e-05,5.041230e-05,5.032144e-05,5.029866e-05,5.022420e-05,5.016714e-05,5.012107e-05,5.002577e-05,5.001247e-05,4.989883e-05,4.987553e-05,4.978054e-05,4.971733e-05,4.965799e-05,4.955201e-05,4.953152e-05,4.940148e-05,4.938037e-05,4.926819e-05,4.920314e-05,4.913194e-05,4.902101e-05,4.899303e-05,4.885172e-05,4.883462e-05,4.870828e-05,4.864455e-05,4.856294e-05,4.845135e-05,4.841593e-05,4.826748e-05,4.825554e-05,4.811778e-05,4.805759e-05,4.796702e-05,4.785793e-05,4.781539e-05,4.766306e-05,4.765696e-05,4.751020e-05,4.745506e-05,4.735694e-05,4.725258e-05,4.720344e-05,4.704982e-05,4.684709e-05,4.664466e-05,4.644276e-05,4.624163e-05,4.604147e-05,4.584247e-05,4.564481e-05,4.544865e-05,4.525411e-05,4.506134e-05,4.487046e-05,4.468155e-05,4.449473e-05,4.431006e-05,4.412763e-05,4.394750e-05,4.376973e-05,4.359436e-05,4.342144e-05,4.325101e-05,4.308308e-05,4.291770e-05,4.275487e-05,4.259462e-05
0.000000e+00,4.440396e-10,1.250035e-09,5.663028e-09,1.506792e-08,2.342453e-08,5.976575e-08,6.179227e-08,1.282857e-07,1.529132e-07,2.299756e-07,3.107541e-07,3.737496e-07,5.488744e-07,5.661986e-07,8.123574e-07,8.796588e-07,1.113296e-06,1.304418e-06,1.464995e-06,1.810772e-06,1.860239e-06,2.291268e-06,2.381136e-06,2.751091e-06,2.999526e-06,3.233610e-06,3.652442e-06,3.733341e-06,4.245148e-06,4.327826e-06,4.764103e-06,5.014340e-06,5.285460e-06,5.701225e-06,5.804694e-06,6.317576e-06,6.378508e-06,6.820249e-06,7.037294e-06,7.309297e-06,7.670041e-06,7.781792e-06,8.235318e-06,8.270720e-06,8.667974e-06,8.834864e-06,9.078361e-06,9.359509e-06,9.465545e-06,9.829018e-06,9.843061e-06,1.016865e-05,1.028511e-05,1.048462e-05,1.068619e-05,1.077738e-05,1.104760e-05,1.129609e-05,1.137117e-05,1.152381e-05,1.165913e-05,1.173180e-05,1.191391e-05,1.192113e-05,1.209293e-05,1.213804e-05,1.224829e-05,1.233407e-05,1.238830e-05,1.250448e-05,1.251404e-05,1.262651e-05,1.265164e-05,1.272670e-05,1.277779e-05,1.281553e-05,1.288500e-05,1.289387e-05,1.296252e-05,1.297515e-05,1.302224e-05,1.305000e-05,1.307372e-05,1.311109e-05,1.311762e-05,1.315454e-05,1.315984e-05,1.318502e-05,1.319751e-05,1.320957e-05,1.322525e-05,1.322865e-05,1.324269e-05,1.324405e-05,1.325208e-05,1.325483e-05,1.325718e-05,1.325839e-05,1.325832e-05,1.325581e-05,1.325546e-05,1.324992e-05,1.324668e-05,1.324091e-05,1.323262e-05,1.322901e-05,1.321444e-05,1.321380e-05,1.319740e-05,1.319069e-05,1.317807e-05,1.316370e-05,1.315662e-05,1.313321e-05,1.310798e-05,1.309955e-05,1.308107e-05,1.306303e-05,1.305261e-05,1.302393e-05,1.302270e-05,1.299147e-05,1.298249e-05,1.295900e-05,1.293896e-05,1.292539e-05,1.289354e-05,1.289073e-05,1.285510e-05,1.284641e-05,1.281857e-05,1.279776e-05,1.278123e-05,1.274774e-05,1.274313e-05,1.270434e-05,1.269650e-05,1.266491e-05,1.264418e-05,1.262491e-05,1.259090e-05,1.258439e-05,1.254338e-05,1.253678e-05,1.250195e-05,1.248192e-05,1.246013e-05,1.242642e-05,1.241796e-05,1.237549e-05,1.237037e-05,1.233275e-05,1.231386e-05,1.228977e-05,1.225696e-05,1.224658e-05,1.220322e-05,1.219975e-05,1.215972e-05,1.214229e-05,1.211610e-05,1.208464e-05,1.207240e-05,1.202862e-05,1.202687e-05,1.198480e-05,1.196902e-05,1.194096e-05,1.191115e-05,1.189712e-05,1.185329e-05,1.179551e-05,1.173782e-05,1.168028e-05,1.162291e-05,1.156575e-05,1.150882e-05,1.145216e-05,1.139579e-05,1.133972e-05,1.128399e-05,1.122861e-05,1.117360e-05,1.111898e-05,1.106476e-05,1.101095e-05,1.095758e-05,1.090464e-05,1.085215e-05,1.080013e-05,1.074857e-05,1.069748e-05,1.064688e-05,1.059677e-05,1.054715e-05
0.000000e+00,1.650376e-10,3.843222e-10,1.348004e-09,3.106205e-09,4.563372e-09,1.057806e-08,1.090763e-08,2.172286e-08,2.577445e-08,3.868585e-08,5.253708e-08,6.346299e-08,9.376175e-08,9.672426e-08,1.377622e-07,1.486331e-07,1.853801e-07,2.145380e-07,2.385858e-07,2.894510e-07,2.966566e-07,3.590198e-07,3.719614e-07,4.251533e-07,4.608595e-07,4.945330e-07,5.549219e-07,5.666129e-07,6.408249e-07,6.528579e-07,7.165874e-07,7.533329e-07,7.933186e-07,8.550193e-07,8.704518e-07,9.474486e-07,9.566549e-07,1.023810e-06,1.057090e-06,1.099084e-06,1.155317e-06,1.172871e-06,1.244827e-06,1.250495e-06,1.314667e-06,1.341956e-06,1.382157e-06,1.429189e-06,1.447113e-06,1.509399e-06,1.511833e-06,1.568919e-06,1.589656e-06,1.625612e-06,1.662535e-06,1.679452e-06,1.730440e-06,1.778597e-06,1.793414e-06,1.823958e-06,1.851548e-06,1.866580e-06,1.904979e-06,1.906526e-06,1.943875e-06,1.953878e-06,1.978708e-06,1.998436e-06,2.011113e-06,2.038859e-06,2.041180e-06,2.069004e-06,2.075357e-06,2.094676e-06,2.108147e-06,2.118290e-06,2.137443e-06,2.139940e-06,2.159716e-06,2.163454e-06,2.177707e-06,2.186387e-06,2.194002e-06,2.206440e-06,2.208684e-06,2.221836e-06,2.223804e-06,2.233538e-06,2.238662e-06,2.243865e-06,2.251188e-06,2.252892e-06,2.260690e-06,2.261547e-06,2.267327e-06,2.269896e-06,2.272867e-06,2.276383e-06,2.277374e-06,2.280907e-06,2.281149e-06,2.283522e-06,2.284324e-06,2.285275e-06,2.286033e-06,2.286218e-06,2.286399e-06,2.286391e-06,2.285866e-06,2.285509e-06,2.284665e-06,2.283487e-06,2.282837e-06,2.280423e-06,2.277462e-06,2.276405e-06,2.273991e-06,2.271518e-06,2.270044e-06,2.265839e-06,2.265655e-06,2.260856e-06,2.259442e-06,2.255675e-06,2.252395e-06,2.250141e-06,2.244761e-06,2.244281e-06,2.238121e-06,2.236600e-06,2.231684e-06,2.227966e-06,2.224992e-06,2.218911e-06,2.218069e-06,2.210933e-06,2.209483e-06,2.203605e-06,2.199724e-06,2.196102e-06,2.189677e-06,2.188442e-06,2.180640e-06,2.179380e-06,2.172713e-06,2.168867e-06,2.164674e-06,2.158172e-06,2.156537e-06,2.148315e-06,2.147324e-06,2.140021e-06,2.136351e-06,2.131664e-06,2.125279e-06,2.123257e-06,2.114809e-06,2.114132e-06,2.106330e-06,2.102931e-06,2.097828e-06,2.091698e-06,2.089312e-06,2.080790e-06,2.080449e-06,2.072268e-06,2.069202e-06,2.063755e-06,2.057973e-06,2.055255e-06,2.046776e-06,2.035623e-06,2.024527e-06,2.013498e-06,2.002547e-06,1.991681e-06,1.980909e-06,1.970239e-06,1.959675e-06,1.949225e-06,1.938894e-06,1.928685e-06,1.918603e-06,1.908651e-06,1.898833e-06,1.889150e-06,1.879605e-06,1.870199e-06,1.860935e-06,1.851812e-06,1.842833e-06,1.833997e-06,1.825305e-06,1.816756e-06,1.808351e-06
0.000000e+00,6.617938e-10,1.927211e-09,9.325898e-09,2.623478e-08,4.198633e-08,1.150043e-07,1.192352e-07,2.644319e-07,3.207355e-07,5.035921e-07,7.040399e-07,8.653365e-07,1.330825e-06,1.377948e-06,2.061751e-06,2.252312e-06,2.922723e-06,3.480073e-06,3.954078e-06,4.991849e-06,5.142174e-06,6.471022e-06,6.752240e-06,7.924257e-06,8.723697e-06,9.485627e-06,1.086890e-05,1.113894e-05,1.286797e-05,1.315055e-05,1.465646e-05,1.553130e-05,1.648828e-05,1.797436e-05,1.834771e-05,2.021967e-05,2.044447e-05,2.209004e-05,2.290910e-05,2.394585e-05,2.533934e-05,2.577551e-05,2.756890e-05,2.771053e-05,2.931738e-05,3.000255e-05,3.101382e-05,3.219975e-05,3.265247e-05,3.422892e-05,3.429063e-05,3.573999e-05,3.626754e-05,3.718360e-05,3.812610e-05,3.855859e-05,3.986461e-05,4.110199e-05,4.148359e-05,4.227164e-05,4.298526e-05,4.337488e-05,4.437308e-05,4.441340e-05,4.538915e-05,4.565140e-05,4.630428e-05,4.682521e-05,4.716107e-05,4.789984e-05,4.796190e-05,4.870918e-05,4.888083e-05,4.940535e-05,4.977377e-05,5.005280e-05,5.058416e-05,5.065393e-05,5.121106e-05,5.131740e-05,5.172644e-05,5.197868e-05,5.220228e-05,5.257296e-05,5.264067e-05,5.304365e-05,5.310498e-05,5.341317e-05,5.357920e-05,5.375108e-05,5.399984e-05,5.405916e-05,5.433908e-05,5.437086e-05,5.459247e-05,5.469595e-05,5.482084e-05,5.497857e-05,5.502565e-05,5.520827e-05,5.522196e-05,5.537000e-05,5.542912e-05,5.551207e-05,5.560285e-05,5.563565e-05,5.574185e-05,5.574575e-05,5.583170e-05,5.586024e-05,5.590620e-05,5.594857e-05,5.596629e-05,5.601283e-05,5.604667e-05,5.605495e-05,5.606859e-05,5.607672e-05,5.607935e-05,5.607981e-05,5.607963e-05,5.607011e-05,5.606577e-05,5.605140e-05,5.603603e-05,5.602412e-05,5.599191e-05,5.598880e-05,5.594599e-05,5.593466e-05,5.589618e-05,5.586540e-05,5.583984e-05,5.578521e-05,5.577741e-05,5.570932e-05,5.569505e-05,5.563596e-05,5.559585e-05,5.555770e-05,5.548845e-05,5.547491e-05,5.538791e-05,5.537362e-05,5.529701e-05,5.525209e-05,5.520252e-05,5.512453e-05,5.510472e-05,5.500387e-05,5.499158e-05,5.490022e-05,5.485379e-05,5.479401e-05,5.471172e-05,5.468547e-05,5.457479e-05,5.456585e-05,5.446219e-05,5.441665e-05,5.434784e-05,5.426454e-05,5.423193e-05,5.411463e-05,5.410991e-05,5.399609e-05,5.395314e-05,5.387646e-05,5.379456e-05,5.375588e-05,5.363448e-05,5.347320e-05,5.331097e-05,5.314806e-05,5.298468e-05,5.282105e-05,5.265737e-05,5.249382e-05,5.233055e-05,5.216774e-05,5.200551e-05,5.184399e-05,5.168331e-05,5.152358e-05,5.136488e-05,5.120732e-05,5.105098e-05,5.089594e-05,5.074225e-05,5.058999e-05,5.043921e-05,5.028997e-05,5.014230e-05,4.999625e-05,4.985185e-05
0.000000e+00,1.407610e-10,3.743423e-10,1.541983e-09,3.841055e-09,5.796470e-09,1.391955e-08,1.436199e-08,2.857985e-08,3.375122e-08,4.975494e-08,6.635028e-08,7.921568e-08,1.148103e-07,1.183263e-07,1.684200e-07,1.822091e-07,2.306068e-07,2.709478e-07,3.054134e-07,3.812972e-07,3.923147e-07,4.894600e-07,5.098747e-07,5.939664e-07,6.501604e-07,7.026778e-07,7.952071e-07,8.128345e-07,9.223294e-07,9.396796e-07,1.029660e-06,1.080090e-06,1.133781e-06,1.214271e-06,1.233966e-06,1.329711e-06,1.340884e-06,1.420677e-06,1.459130e-06,1.506653e-06,1.568583e-06,1.587525e-06,1.663266e-06,1.669105e-06,1.733919e-06,1.760776e-06,1.799583e-06,1.843851e-06,1.860401e-06,1.916554e-06,1.918706e-06,1.968248e-06,1.985809e-06,2.015706e-06,2.045677e-06,2.059162e-06,2.098857e-06,2.135028e-06,2.145897e-06,2.167911e-06,2.187336e-06,2.197734e-06,2.223689e-06,2.224716e-06,2.249067e-06,2.255440e-06,2.270983e-06,2.283041e-06,2.290649e-06,2.306905e-06,2.308239e-06,2.323915e-06,2.327409e-06,2.337825e-06,2.344896e-06,2.350108e-06,2.359673e-06,2.360891e-06,2.370293e-06,2.372017e-06,2.378420e-06,2.382176e-06,2.385373e-06,2.390372e-06,2.391242e-06,2.396112e-06,2.396804e-06,2.400060e-06,2.401649e-06,2.403157e-06,2.405065e-06,2.405467e-06,2.407050e-06,2.407193e-06,2.407960e-06,2.408161e-06,2.408248e-06,2.408080e-06,2.407961e-06,2.407140e-06,2.407053e-06,2.405826e-06,2.405170e-06,2.404054e-06,2.402513e-06,2.401857e-06,2.399268e-06,2.399156e-06,2.396313e-06,2.395165e-06,2.393020e-06,2.390600e-06,2.389414e-06,2.385516e-06,2.381347e-06,2.379960e-06,2.376929e-06,2.373978e-06,2.372278e-06,2.367610e-06,2.367412e-06,2.362346e-06,2.360894e-06,2.357096e-06,2.353864e-06,2.351676e-06,2.346550e-06,2.346098e-06,2.340375e-06,2.338981e-06,2.334517e-06,2.331182e-06,2.328536e-06,2.323179e-06,2.322442e-06,2.316243e-06,2.314992e-06,2.309950e-06,2.306642e-06,2.303570e-06,2.298149e-06,2.297110e-06,2.290579e-06,2.289528e-06,2.283984e-06,2.280797e-06,2.277330e-06,2.271970e-06,2.270625e-06,2.263873e-06,2.263060e-06,2.257081e-06,2.254081e-06,2.250253e-06,2.245044e-06,2.243395e-06,2.236511e-06,2.235960e-06,2.229606e-06,2.226839e-06,2.222684e-06,2.217691e-06,2.215748e-06,2.208803e-06,2.208525e-06,2.201852e-06,2.199348e-06,2.194898e-06,2.190169e-06,2.187944e-06,2.180994e-06,2.171830e-06,2.162683e-06,2.153558e-06,2.144461e-06,2.135397e-06,2.126370e-06,2.117385e-06,2.108445e-06,2.099554e-06,2.090714e-06,2.081931e-06,2.073205e-06,2.064540e-06,2.055938e-06,2.047401e-06,2.038932e-06,2.030532e-06,2.022203e-06,2.013946e-06,2.005763e-06,1.997654e-06,1.989622e-06,1.981667e-06,1.973790e-06
0.000000e+00,6.609616e-10,1.862627e-09,8.461102e-09,2.258116e-08,3.516969e-08,9.020792e-08,9.328787e-08,1.947916e-07,2.325618e-07,3.512033e-07,4.761469e-07,5.739122e-07,8.469082e-07,8.740010e-07,1.260525e-06,1.366706e-06,1.736974e-06,2.041733e-06,2.299014e-06,2.856487e-06,2.936595e-06,3.637919e-06,3.784827e-06,4.391772e-06,4.801133e-06,5.188018e-06,5.882797e-06,6.017344e-06,6.870934e-06,7.009188e-06,7.740297e-06,8.160778e-06,8.617252e-06,9.319025e-06,9.493999e-06,1.036324e-05,1.046672e-05,1.121828e-05,1.158845e-05,1.205318e-05,1.267101e-05,1.286275e-05,1.364265e-05,1.370365e-05,1.438935e-05,1.467809e-05,1.510011e-05,1.558847e-05,1.577296e-05,1.640661e-05,1.643113e-05,1.700037e-05,1.720432e-05,1.755409e-05,1.790789e-05,1.806807e-05,1.854299e-05,1.897982e-05,1.911176e-05,1.937980e-05,1.961708e-05,1.974431e-05,2.006231e-05,2.007490e-05,2.037318e-05,2.045113e-05,2.064082e-05,2.078740e-05,2.087951e-05,2.107499e-05,2.109094e-05,2.127676e-05,2.131773e-05,2.143861e-05,2.151936e-05,2.157805e-05,2.168342e-05,2.169659e-05,2.179570e-05,2.181330e-05,2.187673e-05,2.191217e-05,2.194102e-05,2.198298e-05,2.198979e-05,2.202422e-05,2.202847e-05,2.204540e-05,2.205117e-05,2.205438e-05,2.205343e-05,2.205212e-05,2.203952e-05,2.203735e-05,2.201743e-05,2.200491e-05,2.198663e-05,2.195787e-05,2.194788e-05,2.190184e-05,2.189786e-05,2.184916e-05,2.182636e-05,2.179043e-05,2.174471e-05,2.172620e-05,2.165700e-05,2.165413e-05,2.158328e-05,2.155573e-05,2.150550e-05,2.145050e-05,2.142407e-05,2.133936e-05,2.125173e-05,2.122312e-05,2.116150e-05,2.110254e-05,2.106899e-05,2.097827e-05,2.097446e-05,2.087818e-05,2.085094e-05,2.078038e-05,2.072108e-05,2.068130e-05,2.058918e-05,2.058114e-05,2.048008e-05,2.045571e-05,2.037830e-05,2.032105e-05,2.027596e-05,2.018556e-05,2.017322e-05,2.007021e-05,2.004958e-05,1.996705e-05,1.991339e-05,1.986387e-05,1.977726e-05,1.976077e-05,1.965785e-05,1.964141e-05,1.955520e-05,1.950605e-05,1.945291e-05,1.937138e-05,1.935105e-05,1.924969e-05,1.923756e-05,1.914889e-05,1.910473e-05,1.904871e-05,1.897303e-05,1.894921e-05,1.885043e-05,1.884256e-05,1.875242e-05,1.871344e-05,1.865522e-05,1.858575e-05,1.855885e-05,1.846336e-05,1.845956e-05,1.836877e-05,1.833495e-05,1.827511e-05,1.821196e-05,1.818240e-05,1.809065e-05,1.797106e-05,1.785322e-05,1.773716e-05,1.762290e-05,1.751046e-05,1.739984e-05,1.729106e-05,1.718412e-05,1.707902e-05,1.697575e-05,1.687431e-05,1.677469e-05,1.667688e-05,1.658086e-05,1.648663e-05,1.639416e-05,1.630344e-05,1.621445e-05,1.612716e-05,1.604156e-05,1.595763e-05,1.587533e-05,1.579466e-05,1.571558e-05
0.000000e+00,6.201270e-10,1.773434e-09,8.292938e-09,2.271132e-08,3.588686e-08,9.581509e-08,9.926078e-08,2.172203e-07,2.630218e-07,4.121011e-07,5.749379e-07,7.043983e-07,1.065953e-06,1.101490e-06,1.597723e-06,1.730518e-06,2.183755e-06,2.548070e-06,2.851506e-06,3.501544e-06,3.594476e-06,4.406740e-06,4.576972e-06,5.282061e-06,5.759852e-06,6.213412e-06,7.033264e-06,7.192854e-06,8.211641e-06,8.377681e-06,9.260458e-06,9.771748e-06,1.032973e-05,1.119346e-05,1.140993e-05,1.249187e-05,1.262140e-05,1.356695e-05,1.403576e-05,1.462733e-05,1.541911e-05,1.566612e-05,1.667736e-05,1.675692e-05,1.765614e-05,1.803765e-05,1.859852e-05,1.925276e-05,1.950148e-05,2.036289e-05,2.039646e-05,2.118138e-05,2.146538e-05,2.195626e-05,2.245819e-05,2.268741e-05,2.337521e-05,2.402042e-05,2.421805e-05,2.462410e-05,2.498927e-05,2.518758e-05,2.569208e-05,2.571235e-05,2.620002e-05,2.633015e-05,2.665228e-05,2.690736e-05,2.707087e-05,2.742773e-05,2.745753e-05,2.781398e-05,2.789522e-05,2.814192e-05,2.831373e-05,2.844300e-05,2.868700e-05,2.871881e-05,2.897088e-05,2.901857e-05,2.920065e-05,2.931179e-05,2.940952e-05,2.956978e-05,2.959880e-05,2.976972e-05,2.979544e-05,2.992346e-05,2.999147e-05,3.006111e-05,3.016035e-05,3.018371e-05,3.029223e-05,3.030435e-05,3.038757e-05,3.042557e-05,3.047059e-05,3.052594e-05,3.054209e-05,3.060280e-05,3.060721e-05,3.065343e-05,3.067100e-05,3.069462e-05,3.071879e-05,3.072699e-05,3.075111e-05,3.075191e-05,3.076751e-05,3.077162e-05,3.077669e-05,3.077905e-05,3.077912e-05,3.077522e-05,3.076542e-05,3.076110e-05,3.075010e-05,3.073756e-05,3.072960e-05,3.070538e-05,3.070428e-05,3.067444e-05,3.066531e-05,3.064038e-05,3.061803e-05,3.060237e-05,3.056415e-05,3.056069e-05,3.051556e-05,3.050425e-05,3.046723e-05,3.043884e-05,3.041590e-05,3.036842e-05,3.036178e-05,3.030507e-05,3.029343e-05,3.024593e-05,3.021428e-05,3.018455e-05,3.013136e-05,3.012107e-05,3.005566e-05,3.004502e-05,2.998844e-05,2.995558e-05,2.991956e-05,2.986335e-05,2.984915e-05,2.977731e-05,2.976860e-05,2.970416e-05,2.967159e-05,2.962981e-05,2.957257e-05,2.955436e-05,2.947791e-05,2.947175e-05,2.940053e-05,2.936935e-05,2.932233e-05,2.926555e-05,2.924337e-05,2.916373e-05,2.916053e-05,2.908349e-05,2.905447e-05,2.900272e-05,2.894751e-05,2.892147e-05,2.883981e-05,2.873148e-05,2.862266e-05,2.851347e-05,2.840401e-05,2.829437e-05,2.818467e-05,2.807497e-05,2.796536e-05,2.785592e-05,2.774672e-05,2.763783e-05,2.752929e-05,2.742117e-05,2.731353e-05,2.720640e-05,2.709984e-05,2.699388e-05,2.688856e-05,2.678393e-05,2.668000e-05,2.657681e-05,2.647440e-05,2.637277e-05,2.627197e-05
0.000000e+00,2.899909e-11,6.634973e-11,2.282604e-10,5.209857e-10,7.625474e-10,1.755279e-09,1.809546e-09,3.585996e-09,4.250006e-09,6.364390e-09,8.636075e-09,1.043457e-08,1.545949e-08,1.595335e-08,2.281500e-08,2.463328e-08,3.076099e-08,3.559164e-08,3.954980e-08,4.783841e-08,4.900321e-08,5.898778e-08,6.103845e-08,6.939263e-08,7.493551e-08,8.011674e-08,8.930088e-08,9.106342e-08,1.021392e-07,1.039173e-07,1.132548e-07,1.185795e-07,1.243264e-07,1.331003e-07,1.352775e-07,1.460397e-07,1.473156e-07,1.565539e-07,1.610883e-07,1.667700e-07,1.743094e-07,1.766472e-07,1.861532e-07,1.868969e-07,1.952639e-07,1.987934e-07,2.039621e-07,2.099630e-07,2.122369e-07,2.200829e-07,2.203878e-07,2.274991e-07,2.300642e-07,2.344883e-07,2.389999e-07,2.410562e-07,2.472110e-07,2.529626e-07,2.547199e-07,2.583230e-07,2.615542e-07,2.633049e-07,2.677440e-07,2.679218e-07,2.721877e-07,2.733211e-07,2.761168e-07,2.783185e-07,2.797234e-07,2.827691e-07,2.830219e-07,2.860264e-07,2.867053e-07,2.887507e-07,2.901590e-07,2.912085e-07,2.931614e-07,2.934129e-07,2.953770e-07,2.957420e-07,2.971130e-07,2.979296e-07,2.986330e-07,2.997514e-07,2.999487e-07,3.010710e-07,3.012334e-07,3.020109e-07,3.024003e-07,3.027786e-07,3.032753e-07,3.033838e-07,3.038361e-07,3.038805e-07,3.041445e-07,3.042368e-07,3.043175e-07,3.043636e-07,3.043635e-07,3.042902e-07,3.042794e-07,3.041051e-07,3.040014e-07,3.038154e-07,3.035459e-07,3.034279e-07,3.029490e-07,3.029280e-07,3.023848e-07,3.021619e-07,3.017412e-07,3.012610e-07,3.010237e-07,3.002376e-07,2.993879e-07,2.991034e-07,2.984794e-07,2.978691e-07,2.975164e-07,2.965448e-07,2.965033e-07,2.954442e-07,2.951398e-07,2.943427e-07,2.936630e-07,2.932026e-07,2.921224e-07,2.920272e-07,2.908198e-07,2.905256e-07,2.895834e-07,2.888794e-07,2.883209e-07,2.871905e-07,2.870350e-07,2.857283e-07,2.854647e-07,2.844032e-07,2.837077e-07,2.830620e-07,2.819245e-07,2.817069e-07,2.803397e-07,2.801200e-07,2.789625e-07,2.782984e-07,2.775771e-07,2.764639e-07,2.761850e-07,2.747879e-07,2.746200e-07,2.733873e-07,2.727702e-07,2.719844e-07,2.709177e-07,2.705808e-07,2.691774e-07,2.690652e-07,2.677755e-07,2.672154e-07,2.663762e-07,2.653708e-07,2.649804e-07,2.635890e-07,2.635334e-07,2.622028e-07,2.617053e-07,2.608228e-07,2.598882e-07,2.594496e-07,2.580838e-07,2.562936e-07,2.545188e-07,2.527608e-07,2.510204e-07,2.492987e-07,2.475965e-07,2.459145e-07,2.442534e-07,2.426137e-07,2.409959e-07,2.394004e-07,2.378275e-07,2.362775e-07,2.347506e-07,2.332470e-07,2.317667e-07,2.303099e-07,2.288765e-07,2.274665e-07,2.260799e-07,2.247167e-07,2.233766e-07,2.220596e-07,2.207656e-07
0.000000e+00,4.405317e-10,1.279408e-09,6.156482e-09,1.722596e-08,2.748104e-08,7.456471e-08,7.727437e-08,1.693056e-07,2.045570e-07,3.176536e-07,4.395764e-07,5.364143e-07,8.112268e-07,8.387570e-07,1.234888e-06,1.344662e-06,1.730786e-06,2.053126e-06,2.329039e-06,2.940674e-06,3.030243e-06,3.833775e-06,4.006634e-06,4.737991e-06,5.247121e-06,5.740186e-06,6.654969e-06,6.836515e-06,8.021956e-06,8.219499e-06,9.290340e-06,9.926540e-06,1.063444e-05,1.175879e-05,1.204612e-05,1.351649e-05,1.369644e-05,1.503616e-05,1.571792e-05,1.659537e-05,1.780076e-05,1.818428e-05,1.979311e-05,1.992239e-05,2.141235e-05,2.206090e-05,2.303290e-05,2.419568e-05,2.464620e-05,2.624436e-05,2.630786e-05,2.782016e-05,2.838072e-05,2.936718e-05,3.039979e-05,3.087975e-05,3.235300e-05,3.378281e-05,3.423061e-05,3.516580e-05,3.602507e-05,3.649927e-05,3.773089e-05,3.778116e-05,3.900999e-05,3.934441e-05,4.018481e-05,4.086355e-05,4.130513e-05,4.228763e-05,4.237088e-05,4.338235e-05,4.361708e-05,4.434012e-05,4.485332e-05,4.524503e-05,4.599848e-05,4.609816e-05,4.690073e-05,4.705529e-05,4.765411e-05,4.802692e-05,4.835980e-05,4.891685e-05,4.901934e-05,4.963437e-05,4.972875e-05,5.020654e-05,5.046644e-05,5.073751e-05,5.113376e-05,5.122897e-05,5.168259e-05,5.173456e-05,5.210001e-05,5.227263e-05,5.248286e-05,5.275168e-05,5.283273e-05,5.315117e-05,5.317533e-05,5.343968e-05,5.354703e-05,5.369972e-05,5.387013e-05,5.393272e-05,5.414002e-05,5.414780e-05,5.432295e-05,5.438308e-05,5.448276e-05,5.457884e-05,5.462066e-05,5.473782e-05,5.483535e-05,5.486259e-05,5.491431e-05,5.495557e-05,5.497571e-05,5.501905e-05,5.502053e-05,5.504970e-05,5.505518e-05,5.506409e-05,5.506599e-05,5.506455e-05,5.505336e-05,5.505189e-05,5.502686e-05,5.501909e-05,5.499019e-05,5.496484e-05,5.494259e-05,5.489216e-05,5.488470e-05,5.481715e-05,5.480253e-05,5.474053e-05,5.469730e-05,5.465542e-05,5.457776e-05,5.456235e-05,5.446184e-05,5.444510e-05,5.435436e-05,5.430043e-05,5.424037e-05,5.414480e-05,5.412033e-05,5.399463e-05,5.397918e-05,5.386368e-05,5.380449e-05,5.372784e-05,5.362157e-05,5.358749e-05,5.344294e-05,5.343120e-05,5.329452e-05,5.323413e-05,5.314253e-05,5.303105e-05,5.298726e-05,5.282899e-05,5.282260e-05,5.266796e-05,5.260937e-05,5.250443e-05,5.239192e-05,5.233862e-05,5.217076e-05,5.194639e-05,5.171924e-05,5.148975e-05,5.125828e-05,5.102521e-05,5.079087e-05,5.055557e-05,5.031960e-05,5.008322e-05,4.984669e-05,4.961022e-05,4.937404e-05,4.913834e-05,4.890329e-05,4.866908e-05,4.843584e-05,4.820373e-05,4.797287e-05,4.774338e-05,4.751537e-05,4.728894e-05,4.706418e-05,4.684118e-05,4.662000e-05
0.000000e+00,3.267652e-10,8.010202e-10,2.972997e-09,7.029078e-09,1.041630e-08,2.441404e-08,2.517913e-08,5.010079e-08,5.934498e-08,8.854361e-08,1.196054e-07,1.440547e-07,2.121666e-07,2.188681e-07,3.125628e-07,3.376353e-07,4.230482e-07,4.914385e-07,5.481858e-07,6.690702e-07,6.862773e-07,8.359284e-07,8.671322e-07,9.958521e-07,1.082644e-06,1.164753e-06,1.312583e-06,1.341282e-06,1.524035e-06,1.553758e-06,1.711575e-06,1.802872e-06,1.902466e-06,2.056649e-06,2.095308e-06,2.288769e-06,2.311966e-06,2.481612e-06,2.565973e-06,2.672713e-06,2.816167e-06,2.861076e-06,3.045835e-06,3.060438e-06,3.226258e-06,3.297073e-06,3.401739e-06,3.524747e-06,3.571790e-06,3.736037e-06,3.742482e-06,3.894200e-06,3.949610e-06,4.046087e-06,4.145723e-06,4.191581e-06,4.330634e-06,4.463251e-06,4.504336e-06,4.589483e-06,4.666961e-06,4.709419e-06,4.818737e-06,4.823170e-06,4.930868e-06,4.959959e-06,5.032663e-06,5.090974e-06,5.128719e-06,5.212177e-06,5.219217e-06,5.304343e-06,5.323995e-06,5.384287e-06,5.426864e-06,5.459241e-06,5.521228e-06,5.529401e-06,5.594961e-06,5.607538e-06,5.656121e-06,5.686257e-06,5.713097e-06,5.757868e-06,5.766085e-06,5.815250e-06,5.822774e-06,5.860768e-06,5.881371e-06,5.902805e-06,5.934033e-06,5.941517e-06,5.977060e-06,5.981119e-06,6.009584e-06,6.022976e-06,6.039234e-06,6.059929e-06,6.066146e-06,6.090452e-06,6.092287e-06,6.112279e-06,6.120344e-06,6.131751e-06,6.144378e-06,6.148984e-06,6.164092e-06,6.164654e-06,6.177182e-06,6.181420e-06,6.188357e-06,6.194913e-06,6.197716e-06,6.205353e-06,6.211358e-06,6.212949e-06,6.215818e-06,6.217899e-06,6.218814e-06,6.220388e-06,6.220427e-06,6.220731e-06,6.220591e-06,6.219798e-06,6.218674e-06,6.217697e-06,6.214789e-06,6.214494e-06,6.210250e-06,6.209084e-06,6.205026e-06,6.201693e-06,6.198878e-06,6.192747e-06,6.191861e-06,6.184026e-06,6.182365e-06,6.175423e-06,6.170661e-06,6.166099e-06,6.157742e-06,6.156098e-06,6.145463e-06,6.143705e-06,6.134235e-06,6.128647e-06,6.122453e-06,6.112653e-06,6.110153e-06,6.097370e-06,6.095806e-06,6.084139e-06,6.078183e-06,6.070490e-06,6.059856e-06,6.056454e-06,6.042060e-06,6.040894e-06,6.027335e-06,6.021358e-06,6.012305e-06,6.001309e-06,5.996996e-06,5.981429e-06,5.980802e-06,5.965629e-06,5.959888e-06,5.949616e-06,5.938616e-06,5.933410e-06,5.917031e-06,5.895176e-06,5.873090e-06,5.850810e-06,5.828370e-06,5.805802e-06,5.783136e-06,5.760401e-06,5.737621e-06,5.714822e-06,5.692024e-06,5.669250e-06,5.646518e-06,5.623847e-06,5.601253e-06,5.578750e-06,5.556354e-06,5.534077e-06,5.511931e-06,5.489927e-06,5.468076e-06,5.446386e-06,5.424867e-06,5.403525e-06,5.382369e-06
0.000000e+00,4.345055e-11,9.978949e-11,3.391978e-10,7.571766e-10,1.091483e-09,2.394417e-09,2.462974e-09,4.595183e-09,5.347062e-09,7.624802e-09,9.931858e-09,1.169305e-08,1.647577e-08,1.694225e-08,2.348859e-08,2.525884e-08,3.136044e-08,3.630596e-08,4.042545e-08,4.915326e-08,5.038286e-08,6.085758e-08,6.298351e-08,7.151336e-08,7.704028e-08,8.210305e-08,9.082565e-08,9.246294e-08,1.024883e-07,1.040565e-07,1.121113e-07,1.165734e-07,1.212862e-07,1.282820e-07,1.299815e-07,1.381759e-07,1.391249e-07,1.458562e-07,1.490709e-07,1.530165e-07,1.581110e-07,1.596579e-07,1.657877e-07,1.662563e-07,1.714187e-07,1.735352e-07,1.765686e-07,1.799906e-07,1.812589e-07,1.855140e-07,1.856755e-07,1.893602e-07,1.906500e-07,1.928249e-07,1.949773e-07,1.959360e-07,1.987210e-07,2.012067e-07,2.019431e-07,2.034186e-07,2.047018e-07,2.053810e-07,2.070511e-07,2.071164e-07,2.086459e-07,2.090399e-07,2.099885e-07,2.107118e-07,2.111619e-07,2.121056e-07,2.121819e-07,2.130628e-07,2.132550e-07,2.138175e-07,2.141895e-07,2.144577e-07,2.149346e-07,2.149937e-07,2.154347e-07,2.155123e-07,2.157890e-07,2.159415e-07,2.160641e-07,2.162387e-07,2.162665e-07,2.164023e-07,2.164183e-07,2.164769e-07,2.164924e-07,2.164950e-07,2.164718e-07,2.164610e-07,2.163787e-07,2.163657e-07,2.162517e-07,2.161825e-07,2.160832e-07,2.159292e-07,2.158762e-07,2.156332e-07,2.156123e-07,2.153569e-07,2.152375e-07,2.150494e-07,2.148099e-07,2.147129e-07,2.143492e-07,2.143341e-07,2.139601e-07,2.138142e-07,2.135474e-07,2.132539e-07,2.131124e-07,2.126568e-07,2.121818e-07,2.120259e-07,2.116887e-07,2.113641e-07,2.111787e-07,2.106742e-07,2.106529e-07,2.101124e-07,2.099585e-07,2.095581e-07,2.092194e-07,2.089911e-07,2.084589e-07,2.084121e-07,2.078221e-07,2.076790e-07,2.072218e-07,2.068815e-07,2.066120e-07,2.060681e-07,2.059934e-07,2.053667e-07,2.052405e-07,2.047325e-07,2.044000e-07,2.040914e-07,2.035480e-07,2.034440e-07,2.027909e-07,2.026859e-07,2.021326e-07,2.018149e-07,2.014695e-07,2.009360e-07,2.008022e-07,2.001311e-07,2.000503e-07,1.994566e-07,1.991588e-07,1.987791e-07,1.982625e-07,1.980991e-07,1.974169e-07,1.973622e-07,1.967328e-07,1.964587e-07,1.960472e-07,1.955527e-07,1.953603e-07,1.946726e-07,1.946451e-07,1.939843e-07,1.937364e-07,1.932956e-07,1.928273e-07,1.926069e-07,1.919183e-07,1.910100e-07,1.901030e-07,1.891977e-07,1.882945e-07,1.873939e-07,1.864962e-07,1.856019e-07,1.847112e-07,1.838246e-07,1.829422e-07,1.820643e-07,1.811913e-07,1.803233e-07,1.794606e-07,1.786034e-07,1.777519e-07,1.769061e-07,1.760664e-07,1.752329e-07,1.744056e-07,1.735847e-07,1.727703e-07,1.719625e-07,1.711614e-07
0.000000e+00,6.637205e-12,1.509190e-11,5.122354e-11,1.153204e-10,1.673930e-10,3.759355e-10,3.871283e-10,7.446167e-10,8.745790e-10,1.278555e-09,1.699903e-09,2.026654e-09,2.917256e-09,3.003391e-09,4.180717e-09,4.487518e-09,5.508362e-09,6.300566e-09,6.942315e-09,8.266430e-09,8.450467e-09,1.000822e-08,1.032385e-08,1.159472e-08,1.242474e-08,1.319110e-08,1.452699e-08,1.478006e-08,1.634588e-08,1.659332e-08,1.787479e-08,1.859204e-08,1.935512e-08,2.049805e-08,2.077752e-08,2.213487e-08,2.229313e-08,2.342222e-08,2.396564e-08,2.463656e-08,2.550976e-08,2.577656e-08,2.684231e-08,2.692439e-08,2.783503e-08,2.821212e-08,2.875683e-08,2.937812e-08,2.961044e-08,3.039907e-08,3.042931e-08,3.112618e-08,3.137358e-08,3.179540e-08,3.221926e-08,3.241037e-08,3.297472e-08,3.349195e-08,3.364807e-08,3.396545e-08,3.424701e-08,3.439840e-08,3.477869e-08,3.479382e-08,3.515455e-08,3.524969e-08,3.548320e-08,3.566601e-08,3.578221e-08,3.603306e-08,3.605384e-08,3.630016e-08,3.635572e-08,3.652308e-08,3.663836e-08,3.672437e-08,3.688489e-08,3.690564e-08,3.706836e-08,3.709881e-08,3.721391e-08,3.728323e-08,3.734354e-08,3.744095e-08,3.745838e-08,3.755950e-08,3.757447e-08,3.764786e-08,3.768600e-08,3.772435e-08,3.777756e-08,3.778980e-08,3.784496e-08,3.785092e-08,3.789053e-08,3.790771e-08,3.792715e-08,3.794937e-08,3.795543e-08,3.797590e-08,3.797722e-08,3.798909e-08,3.799243e-08,3.799547e-08,3.799609e-08,3.799547e-08,3.798951e-08,3.798915e-08,3.797796e-08,3.797251e-08,3.796120e-08,3.794698e-08,3.793954e-08,3.791329e-08,3.788275e-08,3.787212e-08,3.784819e-08,3.782408e-08,3.780986e-08,3.776974e-08,3.776800e-08,3.772284e-08,3.770963e-08,3.767459e-08,3.764423e-08,3.762344e-08,3.757398e-08,3.756958e-08,3.751319e-08,3.749930e-08,3.745444e-08,3.742056e-08,3.739347e-08,3.733811e-08,3.733045e-08,3.726550e-08,3.725229e-08,3.719877e-08,3.716340e-08,3.713037e-08,3.707172e-08,3.706043e-08,3.698906e-08,3.697752e-08,3.691637e-08,3.688104e-08,3.684245e-08,3.678250e-08,3.676741e-08,3.669133e-08,3.668214e-08,3.661430e-08,3.658013e-08,3.653641e-08,3.647667e-08,3.645772e-08,3.637832e-08,3.637194e-08,3.629828e-08,3.626609e-08,3.621765e-08,3.615928e-08,3.613652e-08,3.605493e-08,3.605165e-08,3.597294e-08,3.594334e-08,3.589062e-08,3.583447e-08,3.580800e-08,3.572515e-08,3.561549e-08,3.550561e-08,3.539558e-08,3.528551e-08,3.517548e-08,3.506556e-08,3.495583e-08,3.484636e-08,3.473721e-08,3.462843e-08,3.452010e-08,3.441225e-08,3.430494e-08,3.419821e-08,3.409210e-08,3.398666e-08,3.388191e-08,3.377789e-08,3.367464e-08,3.357217e-08,3.347052e-08,3.336971e-08,3.326976e-08,3.317069e-08
0.000000e+00,5.890574e-10,1.684370e-09,7.860220e-09,2.142123e-08,3.370235e-08,8.835566e-08,9.144215e-08,1.939486e-07,2.323149e-07,3.530874e-07,4.802947e-07,5.796733e-07,8.561603e-07,8.835257e-07,1.273395e-06,1.380613e-06,1.756566e-06,2.069863e-06,2.337950e-06,2.931807e-06,3.018651e-06,3.794466e-06,3.960253e-06,4.655321e-06,5.131774e-06,5.586375e-06,6.410096e-06,6.570365e-06,7.589915e-06,7.755248e-06,8.629055e-06,9.130629e-06,9.673862e-06,1.050580e-05,1.071255e-05,1.173529e-05,1.185655e-05,1.273402e-05,1.316412e-05,1.370218e-05,1.441429e-05,1.463457e-05,1.552719e-05,1.559679e-05,1.637711e-05,1.670464e-05,1.718232e-05,1.773371e-05,1.794166e-05,1.865468e-05,1.868224e-05,1.932151e-05,1.955038e-05,1.994280e-05,2.033979e-05,2.051960e-05,2.105326e-05,2.154540e-05,2.169440e-05,2.199778e-05,2.226731e-05,2.241230e-05,2.277643e-05,2.279091e-05,2.313560e-05,2.322630e-05,2.344835e-05,2.362149e-05,2.373112e-05,2.396641e-05,2.398580e-05,2.421423e-05,2.426535e-05,2.441819e-05,2.452234e-05,2.459934e-05,2.474117e-05,2.475930e-05,2.489957e-05,2.492539e-05,2.502158e-05,2.507825e-05,2.512666e-05,2.520277e-05,2.521608e-05,2.529100e-05,2.530171e-05,2.535252e-05,2.537759e-05,2.540166e-05,2.543271e-05,2.543938e-05,2.546656e-05,2.546916e-05,2.548403e-05,2.548884e-05,2.549255e-05,2.549347e-05,2.549282e-05,2.548552e-05,2.548463e-05,2.547126e-05,2.546373e-05,2.545059e-05,2.543205e-05,2.542406e-05,2.539214e-05,2.539076e-05,2.535530e-05,2.534091e-05,2.531395e-05,2.528345e-05,2.526848e-05,2.521925e-05,2.516661e-05,2.514910e-05,2.511086e-05,2.507369e-05,2.505230e-05,2.499367e-05,2.499118e-05,2.492776e-05,2.490962e-05,2.486227e-05,2.482208e-05,2.479493e-05,2.473151e-05,2.472593e-05,2.465546e-05,2.463835e-05,2.458370e-05,2.454300e-05,2.451079e-05,2.444581e-05,2.443689e-05,2.436214e-05,2.434710e-05,2.428667e-05,2.424718e-05,2.421059e-05,2.414629e-05,2.413401e-05,2.405703e-05,2.404469e-05,2.397976e-05,2.394259e-05,2.390227e-05,2.384019e-05,2.382466e-05,2.374699e-05,2.373766e-05,2.366933e-05,2.363518e-05,2.359176e-05,2.353289e-05,2.351432e-05,2.343709e-05,2.343092e-05,2.336010e-05,2.332939e-05,2.328341e-05,2.322840e-05,2.320706e-05,2.313109e-05,2.312806e-05,2.305554e-05,2.302845e-05,2.298044e-05,2.292965e-05,2.290583e-05,2.283174e-05,2.273476e-05,2.263878e-05,2.254385e-05,2.245001e-05,2.235730e-05,2.226575e-05,2.217540e-05,2.208626e-05,2.199836e-05,2.191171e-05,2.182633e-05,2.174223e-05,2.165942e-05,2.157791e-05,2.149769e-05,2.141878e-05,2.134117e-05,2.126485e-05,2.118984e-05,2.111611e-05,2.104368e-05,2.097252e-05,2.090263e-05,2.083401e-05
0.000000e+00,4.006002e-10,1.055273e-09,4.295361e-09,1.065499e-08,1.607568e-08,3.879849e-08,4.004616e-08,8.067574e-08,9.569850e-08,1.429426e-07,1.930267e-07,2.325398e-07,3.445430e-07,3.557960e-07,5.191058e-07,5.648851e-07,7.276242e-07,8.650390e-07,9.832267e-07,1.244639e-06,1.282643e-06,1.617488e-06,1.687745e-06,1.976697e-06,2.169472e-06,2.349514e-06,2.666737e-06,2.727203e-06,3.103292e-06,3.162987e-06,3.473157e-06,3.647475e-06,3.833499e-06,4.113286e-06,4.181926e-06,4.516684e-06,4.555871e-06,4.836487e-06,4.972216e-06,5.140421e-06,5.360412e-06,5.427875e-06,5.698494e-06,5.719411e-06,5.952148e-06,6.048868e-06,6.188901e-06,6.349018e-06,6.408977e-06,6.612738e-06,6.620555e-06,6.800653e-06,6.864529e-06,6.973278e-06,7.082244e-06,7.131233e-06,7.275182e-06,7.405818e-06,7.444925e-06,7.523848e-06,7.593100e-06,7.629982e-06,7.721334e-06,7.724926e-06,7.809367e-06,7.831221e-06,7.883977e-06,7.924294e-06,7.949402e-06,8.002015e-06,8.006262e-06,8.055149e-06,8.065758e-06,8.096623e-06,8.116810e-06,8.131216e-06,8.156366e-06,8.159431e-06,8.181738e-06,8.185530e-06,8.198581e-06,8.205319e-06,8.210375e-06,8.216664e-06,8.217507e-06,8.220343e-06,8.220421e-06,8.219219e-06,8.217368e-06,8.214454e-06,8.208217e-06,8.206340e-06,8.195153e-06,8.193616e-06,8.181147e-06,8.174153e-06,8.164559e-06,8.150363e-06,8.145612e-06,8.124508e-06,8.122733e-06,8.101440e-06,8.091702e-06,8.076583e-06,8.057672e-06,8.050103e-06,8.022151e-06,8.021005e-06,7.992870e-06,7.982029e-06,7.962390e-06,7.941042e-06,7.930834e-06,7.898315e-06,7.864937e-06,7.854091e-06,7.830797e-06,7.808591e-06,7.795987e-06,7.762015e-06,7.760589e-06,7.724680e-06,7.714544e-06,7.688333e-06,7.666342e-06,7.651614e-06,7.617557e-06,7.614584e-06,7.577301e-06,7.568322e-06,7.539817e-06,7.518757e-06,7.502182e-06,7.468972e-06,7.464439e-06,7.426631e-06,7.419065e-06,7.388796e-06,7.369123e-06,7.350969e-06,7.319226e-06,7.313184e-06,7.275471e-06,7.269445e-06,7.237857e-06,7.219845e-06,7.200368e-06,7.170482e-06,7.163027e-06,7.125857e-06,7.121409e-06,7.088877e-06,7.072671e-06,7.052105e-06,7.024308e-06,7.015558e-06,6.979251e-06,6.976357e-06,6.943198e-06,6.928851e-06,6.907411e-06,6.881817e-06,6.871903e-06,6.836682e-06,6.835280e-06,6.801760e-06,6.789262e-06,6.767143e-06,6.743783e-06,6.732840e-06,6.698858e-06,6.654501e-06,6.610724e-06,6.567538e-06,6.524949e-06,6.482966e-06,6.441591e-06,6.400830e-06,6.360685e-06,6.321157e-06,6.282246e-06,6.243952e-06,6.206273e-06,6.169208e-06,6.132753e-06,6.096905e-06,6.061660e-06,6.027013e-06,5.992960e-06,5.959496e-06,5.926614e-06,5.894309e-06,5.862574e-06,5.831404e-06,5.800791e-06
0.000000e+00,1.548098e-11,3.545475e-11,1.218486e-10,2.769569e-10,4.038567e-10,9.154572e-10,9.429910e-10,1.822970e-09,2.142627e-09,3.134904e-09,4.170117e-09,4.976326e-09,7.211051e-09,7.431242e-09,1.053385e-08,1.137314e-08,1.426185e-08,1.660587e-08,1.857011e-08,2.280782e-08,2.341664e-08,2.876709e-08,2.989495e-08,3.459096e-08,3.779638e-08,4.085761e-08,4.643958e-08,4.753383e-08,5.458264e-08,5.574235e-08,6.196310e-08,6.561055e-08,6.963062e-08,7.593950e-08,7.753774e-08,8.563505e-08,8.661712e-08,9.387219e-08,9.752786e-08,1.021989e-07,1.085569e-07,1.105661e-07,1.189265e-07,1.195937e-07,1.272358e-07,1.305358e-07,1.354526e-07,1.412903e-07,1.435396e-07,1.514633e-07,1.517765e-07,1.591946e-07,1.619258e-07,1.667082e-07,1.716822e-07,1.739831e-07,1.810022e-07,1.877521e-07,1.898534e-07,1.942228e-07,1.982142e-07,2.004075e-07,2.060719e-07,2.063021e-07,2.119052e-07,2.134218e-07,2.172173e-07,2.202659e-07,2.222410e-07,2.266116e-07,2.269804e-07,2.314409e-07,2.324706e-07,2.356290e-07,2.378581e-07,2.395522e-07,2.427919e-07,2.432185e-07,2.466366e-07,2.472912e-07,2.498154e-07,2.513768e-07,2.527640e-07,2.550699e-07,2.554919e-07,2.580083e-07,2.583920e-07,2.603227e-07,2.613645e-07,2.624441e-07,2.640086e-07,2.643818e-07,2.661446e-07,2.663448e-07,2.677410e-07,2.683930e-07,2.691795e-07,2.701721e-07,2.704681e-07,2.716146e-07,2.717004e-07,2.726266e-07,2.729953e-07,2.735112e-07,2.740731e-07,2.742753e-07,2.749257e-07,2.749494e-07,2.754685e-07,2.756388e-07,2.759098e-07,2.761549e-07,2.762555e-07,2.765109e-07,2.766813e-07,2.767187e-07,2.767716e-07,2.767896e-07,2.767866e-07,2.767344e-07,2.767308e-07,2.766084e-07,2.765628e-07,2.764235e-07,2.762841e-07,2.761799e-07,2.759070e-07,2.758812e-07,2.755309e-07,2.754395e-07,2.751322e-07,2.748890e-07,2.746883e-07,2.742626e-07,2.742021e-07,2.736764e-07,2.735668e-07,2.731138e-07,2.728075e-07,2.725168e-07,2.719905e-07,2.718878e-07,2.712290e-07,2.711210e-07,2.705425e-07,2.702038e-07,2.698304e-07,2.692435e-07,2.690945e-07,2.683367e-07,2.682443e-07,2.675585e-07,2.672101e-07,2.667617e-07,2.661446e-07,2.659478e-07,2.651182e-07,2.650511e-07,2.642742e-07,2.639329e-07,2.634171e-07,2.627927e-07,2.625483e-07,2.616687e-07,2.616333e-07,2.607796e-07,2.604573e-07,2.598818e-07,2.592670e-07,2.589765e-07,2.580645e-07,2.568518e-07,2.556309e-07,2.544034e-07,2.531710e-07,2.519351e-07,2.506971e-07,2.494583e-07,2.482199e-07,2.469829e-07,2.457483e-07,2.445171e-07,2.432901e-07,2.420681e-07,2.408518e-07,2.396419e-07,2.384390e-07,2.372436e-07,2.360562e-07,2.348774e-07,2.337075e-07,2.325468e-07,2.313959e-07,2.302549e-07,2.291242e-07
0.000000e+00,4.329046e-09,1.284404e-08,6.449255e-08,1.871982e-07,3.044579e-07,8.657412e-07,8.988318e-07,2.053692e-06,2.507765e-06,3.993484e-06,5.631255e-06,6.952104e-06,1.077641e-05,1.116503e-05,1.685644e-05,1.846451e-05,2.421494e-05,2.911342e-05,3.336495e-05,4.293870e-05,4.435445e-05,5.716343e-05,5.993795e-05,7.171940e-05,7.994300e-05,8.791024e-05,1.026702e-04,1.055931e-04,1.246007e-04,1.277527e-04,1.447471e-04,1.547636e-04,1.658324e-04,1.832369e-04,1.876484e-04,2.099835e-04,2.126885e-04,2.326278e-04,2.426365e-04,2.553779e-04,2.726196e-04,2.780409e-04,3.004378e-04,3.022130e-04,3.224060e-04,3.310403e-04,3.438013e-04,3.587803e-04,3.644989e-04,3.843937e-04,3.851715e-04,4.034000e-04,4.100113e-04,4.214507e-04,4.331536e-04,4.384966e-04,4.545042e-04,4.694552e-04,4.740151e-04,4.833439e-04,4.916774e-04,4.961759e-04,5.075147e-04,5.079666e-04,5.187392e-04,5.215770e-04,5.285236e-04,5.339343e-04,5.373549e-04,5.446713e-04,5.452720e-04,5.523168e-04,5.538826e-04,5.585332e-04,5.616692e-04,5.639661e-04,5.681351e-04,5.686610e-04,5.726630e-04,5.733842e-04,5.760169e-04,5.775192e-04,5.787662e-04,5.806394e-04,5.809532e-04,5.826189e-04,5.828396e-04,5.838022e-04,5.842099e-04,5.845405e-04,5.848346e-04,5.848692e-04,5.848220e-04,5.847926e-04,5.844303e-04,5.841566e-04,5.837240e-04,5.829940e-04,5.827309e-04,5.814771e-04,5.813663e-04,5.799870e-04,5.793299e-04,5.782832e-04,5.769361e-04,5.763869e-04,5.743176e-04,5.742315e-04,5.720936e-04,5.712583e-04,5.697316e-04,5.680545e-04,5.672471e-04,5.646545e-04,5.619672e-04,5.610892e-04,5.591972e-04,5.573863e-04,5.563559e-04,5.535706e-04,5.534535e-04,5.504995e-04,5.496644e-04,5.475028e-04,5.456875e-04,5.444712e-04,5.416576e-04,5.414120e-04,5.383320e-04,5.375904e-04,5.352374e-04,5.335000e-04,5.321336e-04,5.293987e-04,5.290257e-04,5.259185e-04,5.252975e-04,5.228161e-04,5.212061e-04,5.197224e-04,5.171329e-04,5.166408e-04,5.135745e-04,5.130855e-04,5.105263e-04,5.090703e-04,5.074987e-04,5.050931e-04,5.044941e-04,5.015146e-04,5.011588e-04,4.985619e-04,4.972717e-04,4.956377e-04,4.934354e-04,4.927436e-04,4.898806e-04,4.896530e-04,4.870501e-04,4.859272e-04,4.842529e-04,4.822601e-04,4.814900e-04,4.787619e-04,4.786535e-04,4.760694e-04,4.751090e-04,4.734130e-04,4.716275e-04,4.707931e-04,4.682099e-04,4.648569e-04,4.615688e-04,4.583459e-04,4.551881e-04,4.520953e-04,4.490672e-04,4.461035e-04,4.432037e-04,4.403671e-04,4.375931e-04,4.348809e-04,4.322298e-04,4.296389e-04,4.271073e-04,4.246340e-04,4.222182e-04,4.198588e-04,4.175549e-04,4.153053e-04,4.131091e-04,4.109652e-04,4.088726e-04,4.068302e-04,4.048370e-04
0.000000e+00,3.160880e-10,7.764081e-10,2.881385e-09,6.788504e-09,1.002767e-08,2.320529e-08,2.391654e-08,4.663581e-08,5.486527e-08,8.029533e-08,1.066457e-07,1.270684e-07,1.834942e-07,1.890553e-07,2.677518e-07,2.891700e-07,3.632120e-07,4.234424e-07,4.738386e-07,5.818396e-07,5.972433e-07,7.311111e-07,7.589594e-07,8.734448e-07,9.502155e-07,1.022491e-06,1.151695e-06,1.176637e-06,1.334353e-06,1.359820e-06,1.494178e-06,1.571235e-06,1.654733e-06,1.782834e-06,1.814732e-06,1.973008e-06,1.991835e-06,2.128526e-06,2.195843e-06,2.280386e-06,2.392884e-06,2.427833e-06,2.570250e-06,2.581410e-06,2.707149e-06,2.760278e-06,2.838165e-06,2.928706e-06,2.963042e-06,3.081618e-06,3.086229e-06,3.193815e-06,3.232641e-06,3.299625e-06,3.367951e-06,3.399098e-06,3.492330e-06,3.579457e-06,3.606075e-06,3.660644e-06,3.709573e-06,3.736079e-06,3.803272e-06,3.805963e-06,3.870513e-06,3.887662e-06,3.929951e-06,3.963252e-06,3.984500e-06,4.030563e-06,4.034388e-06,4.079839e-06,4.090112e-06,4.121074e-06,4.142405e-06,4.158310e-06,4.187938e-06,4.191759e-06,4.221625e-06,4.227186e-06,4.248107e-06,4.260604e-06,4.271396e-06,4.288625e-06,4.291675e-06,4.309120e-06,4.311660e-06,4.323900e-06,4.330096e-06,4.336177e-06,4.344299e-06,4.346103e-06,4.353825e-06,4.354610e-06,4.359482e-06,4.361352e-06,4.363208e-06,4.364825e-06,4.365127e-06,4.365360e-06,4.365309e-06,4.364020e-06,4.363067e-06,4.361214e-06,4.358343e-06,4.357044e-06,4.351606e-06,4.351364e-06,4.344993e-06,4.342340e-06,4.337289e-06,4.331469e-06,4.328576e-06,4.318931e-06,4.308426e-06,4.304895e-06,4.297132e-06,4.289518e-06,4.285111e-06,4.272944e-06,4.272425e-06,4.259131e-06,4.255308e-06,4.245284e-06,4.236732e-06,4.230935e-06,4.217330e-06,4.216130e-06,4.200917e-06,4.197209e-06,4.185336e-06,4.176465e-06,4.169428e-06,4.155187e-06,4.153230e-06,4.136777e-06,4.133459e-06,4.120102e-06,4.111354e-06,4.103237e-06,4.088944e-06,4.086210e-06,4.069048e-06,4.066291e-06,4.051776e-06,4.043454e-06,4.034418e-06,4.020485e-06,4.016997e-06,3.999533e-06,3.997435e-06,3.982045e-06,3.974347e-06,3.964551e-06,3.951262e-06,3.947068e-06,3.929612e-06,3.928217e-06,3.912196e-06,3.905245e-06,3.894835e-06,3.882376e-06,3.877541e-06,3.860325e-06,3.859638e-06,3.843198e-06,3.837056e-06,3.826170e-06,3.814652e-06,3.809250e-06,3.792446e-06,3.770455e-06,3.748695e-06,3.727181e-06,3.705925e-06,3.684936e-06,3.664226e-06,3.643802e-06,3.623671e-06,3.603838e-06,3.584308e-06,3.565086e-06,3.546174e-06,3.527575e-06,3.509290e-06,3.491319e-06,3.473664e-06,3.456323e-06,3.439297e-06,3.422583e-06,3.406181e-06,3.390088e-06,3.374302e-06,3.358820e-06,3.343640e-06
0.000000e+00,1.201967e-09,3.506274e-09,1.700443e-08,4.784666e-08,7.652357e-08,2.086409e-07,2.162555e-07,4.750969e-07,5.742804e-07,8.924672e-07,1.235484e-06,1.508077e-06,2.283983e-06,2.362009e-06,3.493549e-06,3.810426e-06,4.936712e-06,5.889183e-06,6.710884e-06,8.541335e-06,8.809273e-06,1.119374e-05,1.169973e-05,1.380166e-05,1.522181e-05,1.655980e-05,1.894021e-05,1.939668e-05,2.224951e-05,2.270383e-05,2.506659e-05,2.639373e-05,2.780713e-05,2.992320e-05,3.043992e-05,3.294174e-05,3.323231e-05,3.529603e-05,3.628215e-05,3.749167e-05,3.905004e-05,3.952206e-05,4.138432e-05,4.152603e-05,4.307871e-05,4.371001e-05,4.460800e-05,4.560949e-05,4.597701e-05,4.719216e-05,4.723767e-05,4.826109e-05,4.861172e-05,4.919226e-05,4.975135e-05,4.999468e-05,5.067765e-05,5.125050e-05,5.141206e-05,5.172243e-05,5.197565e-05,5.210238e-05,5.238856e-05,5.239893e-05,5.262018e-05,5.266968e-05,5.277374e-05,5.283636e-05,5.286671e-05,5.290436e-05,5.290563e-05,5.289650e-05,5.288778e-05,5.284482e-05,5.279918e-05,5.275558e-05,5.264958e-05,5.263330e-05,5.248205e-05,5.244866e-05,5.230550e-05,5.220480e-05,5.210694e-05,5.192530e-05,5.188931e-05,5.165526e-05,5.161644e-05,5.140712e-05,5.128363e-05,5.114699e-05,5.093152e-05,5.087674e-05,5.059804e-05,5.056409e-05,5.031234e-05,5.018476e-05,5.002097e-05,4.979645e-05,4.972508e-05,4.942571e-05,4.940164e-05,4.912378e-05,4.900248e-05,4.882010e-05,4.860077e-05,4.851539e-05,4.821028e-05,4.819808e-05,4.790535e-05,4.779572e-05,4.760109e-05,4.739481e-05,4.729795e-05,4.699632e-05,4.669655e-05,4.660106e-05,4.639893e-05,4.620972e-05,4.610374e-05,4.582287e-05,4.581122e-05,4.552157e-05,4.544100e-05,4.523496e-05,4.506453e-05,4.495156e-05,4.469378e-05,4.467151e-05,4.439491e-05,4.432905e-05,4.412186e-05,4.397054e-05,4.385246e-05,4.361845e-05,4.358677e-05,4.332484e-05,4.327291e-05,4.306673e-05,4.293403e-05,4.281247e-05,4.260188e-05,4.256208e-05,4.231559e-05,4.227651e-05,4.207300e-05,4.195794e-05,4.183432e-05,4.164619e-05,4.159955e-05,4.136867e-05,4.134123e-05,4.114168e-05,4.104304e-05,4.091856e-05,4.075157e-05,4.069929e-05,4.048384e-05,4.046677e-05,4.027219e-05,4.018858e-05,4.006430e-05,3.991693e-05,3.986014e-05,3.965967e-05,3.965173e-05,3.946286e-05,3.939289e-05,3.926966e-05,3.914033e-05,3.908004e-05,3.889396e-05,3.865365e-05,3.841932e-05,3.819086e-05,3.796815e-05,3.775109e-05,3.753956e-05,3.733346e-05,3.713266e-05,3.693706e-05,3.674655e-05,3.656100e-05,3.638032e-05,3.620438e-05,3.603308e-05,3.586632e-05,3.570397e-05,3.554594e-05,3.539213e-05,3.524242e-05,3.509671e-05,3.495492e-05,3.481693e-05,3.468266e-05,3.455200e-05
0.000000e+00,1.840972e-09,5.257864e-09,2.450968e-08,6.683858e-08,1.052653e-07,2.773135e-07,2.870776e-07,6.139654e-07,7.375259e-07,1.130383e-06,1.550078e-06,1.881825e-06,2.820683e-06,2.914757e-06,4.273507e-06,4.652238e-06,5.992090e-06,7.117711e-06,8.083949e-06,1.022552e-05,1.053836e-05,1.332683e-05,1.392143e-05,1.641270e-05,1.812219e-05,1.975781e-05,2.274084e-05,2.332504e-05,2.707884e-05,2.769446e-05,3.098497e-05,3.290423e-05,3.501024e-05,3.829463e-05,3.912256e-05,4.329113e-05,4.379373e-05,4.748674e-05,4.933427e-05,5.168212e-05,5.485496e-05,5.585223e-05,5.997451e-05,6.030161e-05,6.402897e-05,6.562780e-05,6.799827e-05,7.079505e-05,7.186765e-05,7.562483e-05,7.577263e-05,7.925986e-05,8.053701e-05,8.276495e-05,8.507111e-05,8.613422e-05,8.936353e-05,9.245025e-05,9.340764e-05,9.539306e-05,9.720079e-05,9.819175e-05,1.007436e-04,1.008471e-04,1.033605e-04,1.040391e-04,1.057343e-04,1.070926e-04,1.079711e-04,1.099106e-04,1.100740e-04,1.120465e-04,1.125009e-04,1.138923e-04,1.148721e-04,1.156153e-04,1.170332e-04,1.172195e-04,1.187090e-04,1.189935e-04,1.200880e-04,1.207627e-04,1.213605e-04,1.223502e-04,1.225307e-04,1.236028e-04,1.237655e-04,1.245808e-04,1.250180e-04,1.254687e-04,1.261167e-04,1.262703e-04,1.269895e-04,1.270704e-04,1.276300e-04,1.278878e-04,1.281955e-04,1.285772e-04,1.286894e-04,1.291152e-04,1.291464e-04,1.294762e-04,1.296032e-04,1.297756e-04,1.299548e-04,1.300165e-04,1.302019e-04,1.302082e-04,1.303347e-04,1.303702e-04,1.304177e-04,1.304470e-04,1.304535e-04,1.304447e-04,1.303938e-04,1.303690e-04,1.303032e-04,1.302255e-04,1.301752e-04,1.300192e-04,1.300120e-04,1.298157e-04,1.297550e-04,1.295882e-04,1.294376e-04,1.293316e-04,1.290714e-04,1.290477e-04,1.287383e-04,1.286604e-04,1.284050e-04,1.282086e-04,1.280496e-04,1.277196e-04,1.276734e-04,1.272781e-04,1.271969e-04,1.268651e-04,1.266437e-04,1.264356e-04,1.260631e-04,1.259909e-04,1.255324e-04,1.254579e-04,1.250612e-04,1.248308e-04,1.245783e-04,1.241843e-04,1.240848e-04,1.235818e-04,1.235209e-04,1.230702e-04,1.228426e-04,1.225509e-04,1.221516e-04,1.220247e-04,1.214925e-04,1.214497e-04,1.209551e-04,1.207389e-04,1.204132e-04,1.200206e-04,1.198675e-04,1.193185e-04,1.192965e-04,1.187671e-04,1.185681e-04,1.182137e-04,1.178366e-04,1.176590e-04,1.171033e-04,1.163694e-04,1.156358e-04,1.149036e-04,1.141737e-04,1.134470e-04,1.127240e-04,1.120056e-04,1.112924e-04,1.105850e-04,1.098838e-04,1.091894e-04,1.085021e-04,1.078224e-04,1.071505e-04,1.064869e-04,1.058317e-04,1.051852e-04,1.045476e-04,1.039191e-04,1.032997e-04,1.026897e-04,1.020891e-04,1.014980e-04,1.009164e-04
0.000000e+00,1.071207e-09,3.144838e-09,1.546243e-08,4.409531e-08,7.108138e-08,1.982405e-07,2.056821e-07,4.642540e-07,5.658423e-07,8.996296e-07,1.271208e-06,1.573955e-06,2.464184e-06,2.555563e-06,3.903678e-06,4.285702e-06,5.645813e-06,6.790200e-06,7.769357e-06,9.921178e-06,1.023305e-05,1.298333e-05,1.356289e-05,1.596524e-05,1.759015e-05,1.912748e-05,2.188907e-05,2.242371e-05,2.581237e-05,2.636058e-05,2.925596e-05,3.091826e-05,3.272037e-05,3.548583e-05,3.617440e-05,3.958964e-05,3.999561e-05,4.294038e-05,4.438827e-05,4.620373e-05,4.861304e-05,4.935974e-05,5.239145e-05,5.262819e-05,5.528502e-05,5.640124e-05,5.802960e-05,5.990891e-05,6.061731e-05,6.304300e-05,6.313661e-05,6.530407e-05,6.607763e-05,6.740019e-05,6.873209e-05,6.933299e-05,7.110577e-05,7.272323e-05,7.320894e-05,7.419115e-05,7.505517e-05,7.551615e-05,7.666035e-05,7.670541e-05,7.776654e-05,7.804175e-05,7.870732e-05,7.921728e-05,7.953558e-05,8.020491e-05,8.025912e-05,8.088552e-05,8.102222e-05,8.142214e-05,8.168608e-05,8.187605e-05,8.221239e-05,8.225393e-05,8.256215e-05,8.261596e-05,8.280665e-05,8.291047e-05,8.299299e-05,8.310839e-05,8.312637e-05,8.321159e-05,8.322105e-05,8.325309e-05,8.325869e-05,8.325497e-05,8.323048e-05,8.322099e-05,8.315462e-05,8.314463e-05,8.305900e-05,8.300842e-05,8.293703e-05,8.282835e-05,8.279136e-05,8.262438e-05,8.261017e-05,8.243830e-05,8.235898e-05,8.223514e-05,8.207930e-05,8.201670e-05,8.178467e-05,8.177513e-05,8.154055e-05,8.144998e-05,8.128573e-05,8.110699e-05,8.102147e-05,8.074891e-05,8.046909e-05,8.037818e-05,8.018298e-05,7.999698e-05,7.989145e-05,7.960720e-05,7.959528e-05,7.929520e-05,7.921056e-05,7.899186e-05,7.880856e-05,7.868588e-05,7.840252e-05,7.837781e-05,7.806814e-05,7.799363e-05,7.775734e-05,7.758295e-05,7.744582e-05,7.717141e-05,7.713399e-05,7.682217e-05,7.675984e-05,7.651070e-05,7.634898e-05,7.619987e-05,7.593947e-05,7.588995e-05,7.558118e-05,7.553190e-05,7.527378e-05,7.512678e-05,7.496796e-05,7.472456e-05,7.466390e-05,7.436177e-05,7.432565e-05,7.406172e-05,7.393040e-05,7.376390e-05,7.353912e-05,7.346843e-05,7.317542e-05,7.315209e-05,7.288498e-05,7.276955e-05,7.259721e-05,7.239170e-05,7.231217e-05,7.202995e-05,7.201872e-05,7.175062e-05,7.165077e-05,7.147422e-05,7.128798e-05,7.120082e-05,7.093046e-05,7.057831e-05,7.023158e-05,6.989036e-05,6.955467e-05,6.922455e-05,6.890003e-05,6.858111e-05,6.826779e-05,6.796007e-05,6.765793e-05,6.736135e-05,6.707029e-05,6.678473e-05,6.650462e-05,6.622992e-05,6.596057e-05,6.569653e-05,6.543773e-05,6.518413e-05,6.493565e-05,6.469224e-05,6.445382e-05,6.422033e-05,6.399171e-05
0.000000e+00,4.388435e-10,1.121457e-09,4.377699e-09,1.059906e-08,1.582689e-08,3.735701e-08,3.852578e-08,7.601405e-08,8.963195e-08,1.317466e-07,1.753802e-07,2.091790e-07,3.025321e-07,3.117386e-07,4.425149e-07,4.783605e-07,6.035404e-07,7.070825e-07,7.950027e-07,9.873307e-07,1.015179e-06,1.261202e-06,1.313228e-06,1.529887e-06,1.677520e-06,1.818123e-06,2.073176e-06,2.122943e-06,2.441491e-06,2.493546e-06,2.770984e-06,2.932225e-06,3.108695e-06,3.382996e-06,3.451973e-06,3.798266e-06,3.839907e-06,4.145158e-06,4.297394e-06,4.490397e-06,4.750397e-06,4.831922e-06,5.167885e-06,5.194472e-06,5.496663e-06,5.625842e-06,5.816858e-06,6.041416e-06,6.127295e-06,6.427014e-06,6.438768e-06,6.715255e-06,6.816096e-06,6.991442e-06,7.172150e-06,7.255168e-06,7.506172e-06,7.744324e-06,7.817812e-06,7.969605e-06,8.107062e-06,8.182092e-06,8.374187e-06,8.381941e-06,8.569377e-06,8.619671e-06,8.744675e-06,8.844159e-06,8.908155e-06,9.048422e-06,9.060170e-06,9.201095e-06,9.233310e-06,9.331321e-06,9.399726e-06,9.451255e-06,9.548609e-06,9.561307e-06,9.661890e-06,9.680907e-06,9.753418e-06,9.797569e-06,9.836298e-06,9.899529e-06,9.910933e-06,9.977718e-06,9.987701e-06,1.003704e-05,1.006297e-05,1.008927e-05,1.012619e-05,1.013477e-05,1.017390e-05,1.017819e-05,1.020700e-05,1.021974e-05,1.023440e-05,1.025160e-05,1.025640e-05,1.027332e-05,1.027447e-05,1.028545e-05,1.028902e-05,1.029307e-05,1.029590e-05,1.029643e-05,1.029581e-05,1.029571e-05,1.029144e-05,1.028900e-05,1.028357e-05,1.027632e-05,1.027240e-05,1.025816e-05,1.024104e-05,1.023499e-05,1.022125e-05,1.020726e-05,1.019896e-05,1.017538e-05,1.017435e-05,1.014759e-05,1.013973e-05,1.011883e-05,1.010068e-05,1.008823e-05,1.005856e-05,1.005592e-05,1.002205e-05,1.001370e-05,9.986729e-06,9.966369e-06,9.950095e-06,9.916858e-06,9.912257e-06,9.873325e-06,9.865416e-06,9.833400e-06,9.812280e-06,9.792582e-06,9.757671e-06,9.750961e-06,9.708626e-06,9.701791e-06,9.665657e-06,9.644830e-06,9.622132e-06,9.586961e-06,9.578125e-06,9.533703e-06,9.528348e-06,9.488933e-06,9.469139e-06,9.443874e-06,9.409472e-06,9.398584e-06,9.353117e-06,9.349473e-06,9.307523e-06,9.289260e-06,9.261849e-06,9.228941e-06,9.216141e-06,9.170439e-06,9.168612e-06,9.124783e-06,9.108365e-06,9.079208e-06,9.048282e-06,9.033749e-06,8.988437e-06,8.928900e-06,8.869732e-06,8.810991e-06,8.752725e-06,8.694982e-06,8.637802e-06,8.581221e-06,8.525273e-06,8.469986e-06,8.415385e-06,8.361493e-06,8.308328e-06,8.255907e-06,8.204244e-06,8.153349e-06,8.103233e-06,8.053901e-06,8.005360e-06,7.957613e-06,7.910661e-06,7.864506e-06,7.819147e-06,7.774581e-06,7.730807e-06
0.000000e+00,1.074186e-10,2.510752e-10,8.826057e-10,2.027479e-09,2.966952e-09,6.750012e-09,6.952990e-09,1.339042e-08,1.570279e-08,2.279133e-08,3.005418e-08,3.563232e-08,5.085892e-08,5.234799e-08,7.330404e-08,7.899462e-08,9.873790e-08,1.149607e-07,1.286897e-07,1.586574e-07,1.629948e-07,2.013547e-07,2.094825e-07,2.434145e-07,2.666233e-07,2.887978e-07,3.292038e-07,3.371154e-07,3.879664e-07,3.963103e-07,4.409413e-07,4.670028e-07,4.956286e-07,5.403379e-07,5.516219e-07,6.085279e-07,6.154000e-07,6.659734e-07,6.913298e-07,7.236110e-07,7.673476e-07,7.811234e-07,8.382253e-07,8.427680e-07,8.946654e-07,9.170061e-07,9.502253e-07,9.895778e-07,1.004719e-06,1.057991e-06,1.060095e-06,1.109914e-06,1.128255e-06,1.160385e-06,1.193835e-06,1.209325e-06,1.256676e-06,1.302396e-06,1.316677e-06,1.346459e-06,1.373782e-06,1.388851e-06,1.427975e-06,1.429571e-06,1.468627e-06,1.479266e-06,1.506033e-06,1.527693e-06,1.541810e-06,1.573309e-06,1.575985e-06,1.608589e-06,1.616184e-06,1.639656e-06,1.656395e-06,1.669222e-06,1.694029e-06,1.697326e-06,1.724007e-06,1.729177e-06,1.749308e-06,1.761932e-06,1.773268e-06,1.792389e-06,1.795930e-06,1.817336e-06,1.820647e-06,1.837527e-06,1.846799e-06,1.856544e-06,1.870941e-06,1.874429e-06,1.891222e-06,1.893166e-06,1.906963e-06,1.913565e-06,1.921689e-06,1.932227e-06,1.935440e-06,1.948253e-06,1.949238e-06,1.960163e-06,1.964682e-06,1.971206e-06,1.978640e-06,1.981417e-06,1.990828e-06,1.991189e-06,1.999474e-06,2.002405e-06,2.007385e-06,2.012360e-06,2.014591e-06,2.021124e-06,2.027010e-06,2.028762e-06,2.032279e-06,2.035340e-06,2.036958e-06,2.040918e-06,2.041072e-06,2.044646e-06,2.045554e-06,2.047706e-06,2.049305e-06,2.050275e-06,2.052223e-06,2.052374e-06,2.054027e-06,2.054360e-06,2.055255e-06,2.055764e-06,2.056077e-06,2.056482e-06,2.056514e-06,2.056585e-06,2.056556e-06,2.056307e-06,2.056031e-06,2.055698e-06,2.054944e-06,2.054776e-06,2.053556e-06,2.053334e-06,2.052054e-06,2.051238e-06,2.050286e-06,2.048688e-06,2.048265e-06,2.046005e-06,2.045719e-06,2.043521e-06,2.042359e-06,2.040824e-06,2.038640e-06,2.037927e-06,2.034842e-06,2.034587e-06,2.031580e-06,2.030228e-06,2.028152e-06,2.025587e-06,2.024569e-06,2.020840e-06,2.020688e-06,2.016975e-06,2.015552e-06,2.012984e-06,2.010201e-06,2.008874e-06,2.004655e-06,1.998931e-06,1.993049e-06,1.987024e-06,1.980871e-06,1.974607e-06,1.968243e-06,1.961795e-06,1.955273e-06,1.948690e-06,1.942056e-06,1.935382e-06,1.928676e-06,1.921947e-06,1.915205e-06,1.908457e-06,1.901709e-06,1.894970e-06,1.888244e-06,1.881539e-06,1.874859e-06,1.868209e-06,1.861594e-06,1.855019e-06,1.848487e-06
0.000000e+00,1.541709e-12,3.524788e-12,1.210507e-11,2.753354e-11,4.017534e-11,9.126789e-11,9.402229e-11,1.822304e-10,2.143376e-10,3.141288e-10,4.182909e-10,4.993294e-10,7.229657e-10,7.448957e-10,1.051645e-09,1.133930e-09,1.415199e-09,1.641519e-09,1.830031e-09,2.233580e-09,2.291221e-09,2.794318e-09,2.899581e-09,3.334915e-09,3.629330e-09,3.908417e-09,4.412058e-09,4.509991e-09,5.134633e-09,5.236378e-09,5.777283e-09,6.090682e-09,6.432959e-09,6.963654e-09,7.096877e-09,7.764561e-09,7.844737e-09,8.431915e-09,8.724486e-09,9.095273e-09,9.594756e-09,9.751418e-09,1.039759e-08,1.044877e-08,1.103145e-08,1.128111e-08,1.165110e-08,1.208756e-08,1.225499e-08,1.284194e-08,1.286505e-08,1.341103e-08,1.361141e-08,1.396165e-08,1.432529e-08,1.449337e-08,1.500598e-08,1.549941e-08,1.565327e-08,1.597374e-08,1.626736e-08,1.642914e-08,1.684876e-08,1.686587e-08,1.728428e-08,1.739820e-08,1.768474e-08,1.791658e-08,1.806769e-08,1.840494e-08,1.843359e-08,1.878293e-08,1.886436e-08,1.911619e-08,1.929599e-08,1.943389e-08,1.970100e-08,1.973654e-08,2.002464e-08,2.008056e-08,2.029871e-08,2.043585e-08,2.055925e-08,2.076801e-08,2.080675e-08,2.104170e-08,2.107816e-08,2.126458e-08,2.136740e-08,2.147584e-08,2.163679e-08,2.167594e-08,2.186532e-08,2.188734e-08,2.204441e-08,2.212005e-08,2.221361e-08,2.233585e-08,2.237334e-08,2.252399e-08,2.253566e-08,2.266591e-08,2.272033e-08,2.279949e-08,2.289069e-08,2.292507e-08,2.304298e-08,2.304754e-08,2.315356e-08,2.319163e-08,2.325711e-08,2.332367e-08,2.335394e-08,2.344435e-08,2.352860e-08,2.355431e-08,2.360698e-08,2.365417e-08,2.367974e-08,2.374453e-08,2.374712e-08,2.380938e-08,2.382593e-08,2.386674e-08,2.389890e-08,2.391942e-08,2.396394e-08,2.396764e-08,2.401159e-08,2.402153e-08,2.405149e-08,2.407212e-08,2.408750e-08,2.411613e-08,2.411982e-08,2.414862e-08,2.415397e-08,2.417406e-08,2.418602e-08,2.419631e-08,2.421264e-08,2.421551e-08,2.423182e-08,2.423417e-08,2.424538e-08,2.425094e-08,2.425631e-08,2.426326e-08,2.426476e-08,2.427084e-08,2.427141e-08,2.427467e-08,2.427567e-08,2.427636e-08,2.427630e-08,2.427604e-08,2.427379e-08,2.427353e-08,2.426973e-08,2.426762e-08,2.426394e-08,2.425876e-08,2.425652e-08,2.424756e-08,2.424717e-08,2.423714e-08,2.423305e-08,2.422534e-08,2.421657e-08,2.421224e-08,2.419791e-08,2.417724e-08,2.415471e-08,2.413046e-08,2.410464e-08,2.407737e-08,2.404878e-08,2.401897e-08,2.398807e-08,2.395616e-08,2.392336e-08,2.388974e-08,2.385540e-08,2.382040e-08,2.378484e-08,2.374878e-08,2.371229e-08,2.367542e-08,2.363825e-08,2.360081e-08,2.356317e-08,2.352537e-08,2.348746e-08,2.344948e-08,2.341147e-08
0.000000e+00,4.716918e-12,1.078083e-11,3.696523e-11,8.386741e-11,1.221431e-10,2.755495e-10,2.837642e-10,5.440926e-10,6.376257e-10,9.247544e-10,1.219819e-09,1.447146e-09,2.071082e-09,2.132374e-09,3.000272e-09,3.237664e-09,4.066885e-09,4.754445e-09,5.340222e-09,6.628589e-09,6.815870e-09,8.476065e-09,8.827968e-09,1.029387e-08,1.129148e-08,1.223941e-08,1.395146e-08,1.428420e-08,1.640276e-08,1.674704e-08,1.857264e-08,1.962649e-08,2.077397e-08,2.254572e-08,2.298905e-08,2.520206e-08,2.546679e-08,2.739892e-08,2.835716e-08,2.956721e-08,3.118931e-08,3.169614e-08,3.377645e-08,3.394054e-08,3.580043e-08,3.659278e-08,3.776174e-08,3.913223e-08,3.965539e-08,4.147758e-08,4.154894e-08,4.322558e-08,4.383633e-08,4.489760e-08,4.599066e-08,4.649268e-08,4.801058e-08,4.945163e-08,4.989666e-08,5.081667e-08,5.165097e-08,5.210695e-08,5.327672e-08,5.332402e-08,5.446971e-08,5.477798e-08,5.554605e-08,5.615946e-08,5.655520e-08,5.742622e-08,5.749942e-08,5.838106e-08,5.858360e-08,5.920248e-08,5.963706e-08,5.996606e-08,6.059206e-08,6.067419e-08,6.132921e-08,6.145405e-08,6.193345e-08,6.222834e-08,6.248917e-08,6.292012e-08,6.299860e-08,6.346390e-08,6.353439e-08,6.388716e-08,6.407599e-08,6.427042e-08,6.454954e-08,6.461563e-08,6.492469e-08,6.495944e-08,6.519944e-08,6.530991e-08,6.544162e-08,6.560494e-08,6.565292e-08,6.583498e-08,6.584832e-08,6.598933e-08,6.604365e-08,6.611747e-08,6.619431e-08,6.622083e-08,6.630078e-08,6.630351e-08,6.635863e-08,6.637428e-08,6.639561e-08,6.640946e-08,6.641293e-08,6.641173e-08,6.639310e-08,6.638362e-08,6.635807e-08,6.632750e-08,6.630763e-08,6.624559e-08,6.624273e-08,6.616427e-08,6.613999e-08,6.607311e-08,6.601266e-08,6.597006e-08,6.586543e-08,6.585590e-08,6.573137e-08,6.570002e-08,6.559718e-08,6.551805e-08,6.545398e-08,6.532103e-08,6.530243e-08,6.514311e-08,6.511037e-08,6.497662e-08,6.488739e-08,6.480349e-08,6.465331e-08,6.462424e-08,6.443936e-08,6.440929e-08,6.424932e-08,6.415640e-08,6.405456e-08,6.389564e-08,6.385550e-08,6.365254e-08,6.362794e-08,6.344606e-08,6.335418e-08,6.323640e-08,6.307515e-08,6.302391e-08,6.280891e-08,6.279161e-08,6.259170e-08,6.250426e-08,6.237256e-08,6.221374e-08,6.215176e-08,6.192957e-08,6.192065e-08,6.170621e-08,6.162556e-08,6.148192e-08,6.132898e-08,6.125691e-08,6.103138e-08,6.073320e-08,6.043486e-08,6.013673e-08,5.983915e-08,5.954245e-08,5.924690e-08,5.895279e-08,5.866036e-08,5.836982e-08,5.808139e-08,5.779525e-08,5.751156e-08,5.723048e-08,5.695214e-08,5.667667e-08,5.640417e-08,5.613475e-08,5.586847e-08,5.560544e-08,5.534570e-08,5.508931e-08,5.483632e-08,5.458677e-08,5.434070e-08
0.000000e+00,2.937763e-12,6.716515e-12,2.305576e-11,5.237981e-11,7.634858e-11,1.726599e-10,1.778265e-10,3.419507e-10,4.010814e-10,5.830550e-10,7.706846e-10,9.156219e-10,1.314906e-09,1.354236e-09,1.912951e-09,2.066320e-09,2.603727e-09,3.051208e-09,3.433725e-09,4.278887e-09,4.402151e-09,5.498683e-09,5.731867e-09,6.705323e-09,7.369205e-09,8.000690e-09,9.142013e-09,9.363885e-09,1.077636e-08,1.100583e-08,1.222224e-08,1.292408e-08,1.368799e-08,1.486705e-08,1.516201e-08,1.663421e-08,1.681032e-08,1.809586e-08,1.873366e-08,1.953941e-08,2.062037e-08,2.095837e-08,2.234729e-08,2.245696e-08,2.370159e-08,2.423277e-08,2.501759e-08,2.593972e-08,2.629236e-08,2.752366e-08,2.757199e-08,2.870989e-08,2.912567e-08,2.984996e-08,3.059851e-08,3.094325e-08,3.198956e-08,3.298898e-08,3.329896e-08,3.394192e-08,3.452768e-08,3.484899e-08,3.567737e-08,3.571100e-08,3.652890e-08,3.675015e-08,3.730375e-08,3.774847e-08,3.803670e-08,3.867507e-08,3.872898e-08,3.938185e-08,3.953282e-08,3.999660e-08,4.032470e-08,4.057454e-08,4.105371e-08,4.111697e-08,4.162522e-08,4.172288e-08,4.210058e-08,4.233519e-08,4.254433e-08,4.289358e-08,4.295773e-08,4.334203e-08,4.340089e-08,4.369842e-08,4.385992e-08,4.402809e-08,4.427336e-08,4.433219e-08,4.461183e-08,4.464379e-08,4.486809e-08,4.497372e-08,4.510204e-08,4.526553e-08,4.531467e-08,4.550699e-08,4.552152e-08,4.567992e-08,4.574388e-08,4.583440e-08,4.593469e-08,4.597131e-08,4.609149e-08,4.609596e-08,4.619577e-08,4.622957e-08,4.628494e-08,4.633734e-08,4.635977e-08,4.642097e-08,4.646926e-08,4.648209e-08,4.650530e-08,4.652225e-08,4.652976e-08,4.654290e-08,4.654324e-08,4.654635e-08,4.654544e-08,4.653965e-08,4.653116e-08,4.652371e-08,4.650132e-08,4.649903e-08,4.646614e-08,4.645707e-08,4.642550e-08,4.639953e-08,4.637758e-08,4.632974e-08,4.632282e-08,4.626164e-08,4.624867e-08,4.619445e-08,4.615727e-08,4.612164e-08,4.605640e-08,4.604357e-08,4.596059e-08,4.594688e-08,4.587304e-08,4.582949e-08,4.578125e-08,4.570496e-08,4.568551e-08,4.558612e-08,4.557396e-08,4.548336e-08,4.543715e-08,4.537749e-08,4.529511e-08,4.526877e-08,4.515744e-08,4.514842e-08,4.504371e-08,4.499761e-08,4.492783e-08,4.484316e-08,4.480998e-08,4.469037e-08,4.468555e-08,4.456919e-08,4.452521e-08,4.444661e-08,4.436254e-08,4.432280e-08,4.419792e-08,4.403170e-08,4.386421e-08,4.369575e-08,4.352662e-08,4.335707e-08,4.318735e-08,4.301769e-08,4.284829e-08,4.267935e-08,4.251105e-08,4.234355e-08,4.217701e-08,4.201156e-08,4.184734e-08,4.168445e-08,4.152300e-08,4.136309e-08,4.120481e-08,4.104824e-08,4.089343e-08,4.074047e-08,4.058940e-08,4.044027e-08,4.029312e-08
0.000000e+00,4.573317e-10,1.332567e-09,6.453153e-09,1.815479e-08,2.904838e-08,7.943952e-08,8.235400e-08,1.820502e-07,2.205556e-07,3.451050e-07,4.808916e-07,5.896948e-07,9.019019e-07,9.333847e-07,1.388346e-06,1.514644e-06,1.957949e-06,2.325855e-06,2.638676e-06,3.324383e-06,3.423877e-06,4.306036e-06,4.493430e-06,5.277489e-06,5.815349e-06,6.330414e-06,7.271850e-06,7.456613e-06,8.647341e-06,8.843229e-06,9.893238e-06,1.050797e-05,1.118438e-05,1.224293e-05,1.251042e-05,1.386078e-05,1.402396e-05,1.522490e-05,1.582680e-05,1.659244e-05,1.762796e-05,1.795352e-05,1.929889e-05,1.940559e-05,2.062012e-05,2.114013e-05,2.190966e-05,2.281478e-05,2.316094e-05,2.436841e-05,2.441573e-05,2.552753e-05,2.593225e-05,2.663471e-05,2.735655e-05,2.768732e-05,2.868354e-05,2.962236e-05,2.991058e-05,3.050343e-05,3.103710e-05,3.132700e-05,3.206423e-05,3.209383e-05,3.280508e-05,3.299447e-05,3.346228e-05,3.383139e-05,3.406721e-05,3.457929e-05,3.462186e-05,3.512836e-05,3.524301e-05,3.558895e-05,3.582767e-05,3.600590e-05,3.633856e-05,3.638153e-05,3.671812e-05,3.678096e-05,3.701795e-05,3.716006e-05,3.728322e-05,3.748090e-05,3.751606e-05,3.771856e-05,3.774827e-05,3.789267e-05,3.796673e-05,3.804030e-05,3.814054e-05,3.816324e-05,3.826318e-05,3.827371e-05,3.834175e-05,3.836993e-05,3.840044e-05,3.843264e-05,3.844070e-05,3.846384e-05,3.846499e-05,3.847114e-05,3.846988e-05,3.846375e-05,3.844997e-05,3.844279e-05,3.840928e-05,3.840769e-05,3.836417e-05,3.834526e-05,3.830835e-05,3.826471e-05,3.824267e-05,3.816790e-05,3.808475e-05,3.805649e-05,3.799391e-05,3.793203e-05,3.789601e-05,3.779592e-05,3.779163e-05,3.768131e-05,3.764942e-05,3.756556e-05,3.749370e-05,3.744485e-05,3.732980e-05,3.731963e-05,3.719030e-05,3.715869e-05,3.705725e-05,3.698125e-05,3.692083e-05,3.679826e-05,3.678137e-05,3.663919e-05,3.661045e-05,3.649456e-05,3.641848e-05,3.634776e-05,3.622296e-05,3.619904e-05,3.604863e-05,3.602442e-05,3.589675e-05,3.582338e-05,3.574360e-05,3.562029e-05,3.558936e-05,3.543423e-05,3.541556e-05,3.527835e-05,3.520957e-05,3.512188e-05,3.500266e-05,3.496497e-05,3.480774e-05,3.479516e-05,3.465033e-05,3.458734e-05,3.449284e-05,3.437947e-05,3.433539e-05,3.417807e-05,3.417178e-05,3.402097e-05,3.396449e-05,3.386419e-05,3.375780e-05,3.370780e-05,3.355188e-05,3.334690e-05,3.314301e-05,3.294033e-05,3.273898e-05,3.253909e-05,3.234073e-05,3.214401e-05,3.194899e-05,3.175575e-05,3.156435e-05,3.137485e-05,3.118730e-05,3.100173e-05,3.081819e-05,3.063670e-05,3.045729e-05,3.027999e-05,3.010482e-05,2.993178e-05,2.976089e-05,2.959217e-05,2.942560e-05,2.926120e-05,2.909897e-05
0.000000e+00,1.365644e-10,3.218928e-10,1.142556e-09,2.640462e-09,3.876409e-09,8.906385e-09,9.178565e-09,1.792740e-08,2.112392e-08,3.109264e-08,4.155817e-08,4.975586e-08,7.273976e-08,7.502809e-08,1.077590e-07,1.167605e-07,1.481059e-07,1.738063e-07,1.954144e-07,2.419562e-07,2.486151e-07,3.066557e-07,3.187639e-07,3.686537e-07,4.022092e-07,4.338771e-07,4.906913e-07,5.016914e-07,5.715203e-07,5.828436e-07,6.428273e-07,6.774306e-07,7.151092e-07,7.733201e-07,7.878967e-07,8.607581e-07,8.694874e-07,9.333023e-07,9.650301e-07,1.005182e-06,1.059177e-06,1.076093e-06,1.145778e-06,1.151293e-06,1.214018e-06,1.240869e-06,1.280638e-06,1.327520e-06,1.345496e-06,1.408484e-06,1.410964e-06,1.469522e-06,1.491006e-06,1.528553e-06,1.567530e-06,1.585543e-06,1.640477e-06,1.693354e-06,1.709842e-06,1.744185e-06,1.775652e-06,1.792991e-06,1.837968e-06,1.839803e-06,1.884656e-06,1.896870e-06,1.927593e-06,1.952454e-06,1.968659e-06,2.004828e-06,2.007901e-06,2.045371e-06,2.054106e-06,2.081121e-06,2.100408e-06,2.115202e-06,2.143854e-06,2.147666e-06,2.178566e-06,2.184563e-06,2.207955e-06,2.222656e-06,2.235883e-06,2.258251e-06,2.262402e-06,2.287561e-06,2.291463e-06,2.311409e-06,2.322404e-06,2.333993e-06,2.351181e-06,2.355360e-06,2.375555e-06,2.377901e-06,2.394622e-06,2.402665e-06,2.412604e-06,2.425570e-06,2.429543e-06,2.445478e-06,2.446711e-06,2.460450e-06,2.466177e-06,2.474494e-06,2.484054e-06,2.487649e-06,2.499950e-06,2.500425e-06,2.511430e-06,2.515368e-06,2.522122e-06,2.528959e-06,2.532059e-06,2.541270e-06,2.549786e-06,2.552369e-06,2.557636e-06,2.562322e-06,2.564846e-06,2.571190e-06,2.571443e-06,2.577452e-06,2.579033e-06,2.582900e-06,2.585908e-06,2.587808e-06,2.591867e-06,2.592200e-06,2.596098e-06,2.596962e-06,2.599523e-06,2.601242e-06,2.602495e-06,2.604752e-06,2.605035e-06,2.607160e-06,2.607537e-06,2.608889e-06,2.609637e-06,2.610239e-06,2.611093e-06,2.611228e-06,2.611870e-06,2.611942e-06,2.612183e-06,2.612220e-06,2.612180e-06,2.611961e-06,2.611877e-06,2.611286e-06,2.611196e-06,2.610421e-06,2.609957e-06,2.609295e-06,2.608272e-06,2.607919e-06,2.606307e-06,2.606168e-06,2.604469e-06,2.603672e-06,2.602415e-06,2.600809e-06,2.600157e-06,2.597704e-06,2.597602e-06,2.595067e-06,2.594073e-06,2.592253e-06,2.590244e-06,2.589273e-06,2.586134e-06,2.581762e-06,2.577147e-06,2.572305e-06,2.567252e-06,2.562005e-06,2.556577e-06,2.550982e-06,2.545233e-06,2.539343e-06,2.533324e-06,2.527185e-06,2.520939e-06,2.514595e-06,2.508162e-06,2.501649e-06,2.495064e-06,2.488417e-06,2.481713e-06,2.474961e-06,2.468167e-06,2.461338e-06,2.454479e-06,2.447596e-06,2.440695e-06
0.000000e+00,3.176761e-11,7.324889e-11,2.537713e-10,5.792560e-10,8.460047e-10,1.921836e-09,1.979698e-09,3.824444e-09,4.491995e-09,6.555075e-09,8.694468e-09,1.035404e-08,1.494506e-08,1.539792e-08,2.181316e-08,2.356192e-08,2.962335e-08,3.458129e-08,3.875520e-08,4.779602e-08,4.909724e-08,6.053999e-08,6.295169e-08,7.298314e-08,7.981693e-08,8.633022e-08,9.816877e-08,1.004833e-07,1.153403e-07,1.177757e-07,1.307950e-07,1.383935e-07,1.467379e-07,1.597695e-07,1.630586e-07,1.796477e-07,1.816514e-07,1.963993e-07,2.037953e-07,2.132128e-07,2.259743e-07,2.299943e-07,2.466581e-07,2.479837e-07,2.631272e-07,2.696448e-07,2.793337e-07,2.908064e-07,2.952187e-07,3.107324e-07,3.113447e-07,3.258333e-07,3.311618e-07,3.404876e-07,3.501837e-07,3.546690e-07,3.683574e-07,3.815388e-07,3.856480e-07,3.942038e-07,4.020360e-07,4.063475e-07,4.175141e-07,4.179690e-07,4.290702e-07,4.320859e-07,4.396559e-07,4.457627e-07,4.497330e-07,4.585623e-07,4.593103e-07,4.683980e-07,4.705074e-07,4.770073e-07,4.816241e-07,4.851504e-07,4.919410e-07,4.928403e-07,5.000901e-07,5.014884e-07,5.069135e-07,5.102978e-07,5.133245e-07,5.184010e-07,5.193368e-07,5.249643e-07,5.258299e-07,5.302209e-07,5.326163e-07,5.351201e-07,5.387911e-07,5.396753e-07,5.438997e-07,5.443850e-07,5.478061e-07,5.494275e-07,5.514073e-07,5.539475e-07,5.547154e-07,5.577425e-07,5.579728e-07,5.605001e-07,5.615303e-07,5.629997e-07,5.646457e-07,5.652521e-07,5.672679e-07,5.673438e-07,5.690575e-07,5.696483e-07,5.706308e-07,5.715819e-07,5.719973e-07,5.731664e-07,5.741471e-07,5.744225e-07,5.749479e-07,5.753698e-07,5.755771e-07,5.760273e-07,5.760429e-07,5.763530e-07,5.764129e-07,5.765147e-07,5.765435e-07,5.765352e-07,5.764354e-07,5.764215e-07,5.761802e-07,5.761040e-07,5.758176e-07,5.755639e-07,5.753399e-07,5.748289e-07,5.747529e-07,5.740623e-07,5.739122e-07,5.732735e-07,5.728263e-07,5.723917e-07,5.715829e-07,5.714220e-07,5.703691e-07,5.701932e-07,5.692376e-07,5.686679e-07,5.680319e-07,5.670168e-07,5.667563e-07,5.654148e-07,5.652496e-07,5.640113e-07,5.633751e-07,5.625496e-07,5.614018e-07,5.610331e-07,5.594652e-07,5.593377e-07,5.578494e-07,5.571903e-07,5.561886e-07,5.549667e-07,5.544859e-07,5.527441e-07,5.526737e-07,5.509660e-07,5.503175e-07,5.491542e-07,5.479042e-07,5.473111e-07,5.454393e-07,5.429282e-07,5.403757e-07,5.377867e-07,5.351656e-07,5.325163e-07,5.298430e-07,5.271491e-07,5.244382e-07,5.217135e-07,5.189779e-07,5.162343e-07,5.134853e-07,5.107335e-07,5.079810e-07,5.052301e-07,5.024828e-07,4.997409e-07,4.970062e-07,4.942804e-07,4.915649e-07,4.888610e-07,4.861703e-07,4.834937e-07,4.808325e-07
0.000000e+00,4.947541e-10,1.307934e-09,5.367067e-09,1.343402e-08,2.038945e-08,5.020000e-08,5.186489e-08,1.075050e-07,1.287207e-07,1.973314e-07,2.724206e-07,3.326192e-07,5.031160e-07,5.200033e-07,7.562136e-07,8.192233e-07,1.032726e-06,1.202303e-06,1.342113e-06,1.637493e-06,1.679293e-06,2.040599e-06,2.115478e-06,2.422927e-06,2.629056e-06,2.823291e-06,3.171313e-06,3.238650e-06,3.665887e-06,3.735136e-06,4.101854e-06,4.313305e-06,4.543451e-06,4.898774e-06,4.987698e-06,5.431805e-06,5.484964e-06,5.873220e-06,6.065992e-06,6.309665e-06,6.636806e-06,6.739153e-06,7.159987e-06,7.193235e-06,7.570755e-06,7.731979e-06,7.970313e-06,8.250542e-06,8.357765e-06,8.732431e-06,8.747144e-06,9.093825e-06,9.220612e-06,9.441631e-06,9.670286e-06,9.775680e-06,1.009592e-05,1.040241e-05,1.049760e-05,1.069528e-05,1.087566e-05,1.097474e-05,1.123064e-05,1.124104e-05,1.149449e-05,1.156319e-05,1.173541e-05,1.187410e-05,1.196416e-05,1.216419e-05,1.218112e-05,1.238666e-05,1.243434e-05,1.258119e-05,1.268545e-05,1.276509e-05,1.291844e-05,1.293875e-05,1.310257e-05,1.313418e-05,1.325692e-05,1.333357e-05,1.340219e-05,1.351747e-05,1.353875e-05,1.366696e-05,1.368672e-05,1.378716e-05,1.384211e-05,1.389970e-05,1.398444e-05,1.400492e-05,1.410313e-05,1.411445e-05,1.419464e-05,1.423286e-05,1.427975e-05,1.434034e-05,1.435876e-05,1.443195e-05,1.443756e-05,1.449958e-05,1.452513e-05,1.456190e-05,1.460364e-05,1.461918e-05,1.467165e-05,1.467365e-05,1.471954e-05,1.473570e-05,1.476307e-05,1.479030e-05,1.480246e-05,1.483791e-05,1.486961e-05,1.487899e-05,1.489775e-05,1.491397e-05,1.492251e-05,1.494326e-05,1.494406e-05,1.496257e-05,1.496723e-05,1.497820e-05,1.498626e-05,1.499109e-05,1.500067e-05,1.500140e-05,1.500925e-05,1.501079e-05,1.501479e-05,1.501693e-05,1.501814e-05,1.501936e-05,1.501941e-05,1.501873e-05,1.501837e-05,1.501621e-05,1.501420e-05,1.501194e-05,1.500709e-05,1.500604e-05,1.499860e-05,1.499727e-05,1.498971e-05,1.498495e-05,1.497945e-05,1.497032e-05,1.496792e-05,1.495519e-05,1.495358e-05,1.494133e-05,1.493490e-05,1.492643e-05,1.491444e-05,1.491054e-05,1.489374e-05,1.489236e-05,1.487609e-05,1.486881e-05,1.485765e-05,1.484392e-05,1.483848e-05,1.481862e-05,1.481781e-05,1.479814e-05,1.479062e-05,1.477708e-05,1.476245e-05,1.475548e-05,1.473340e-05,1.470357e-05,1.467307e-05,1.464196e-05,1.461034e-05,1.457827e-05,1.454583e-05,1.451309e-05,1.448010e-05,1.444691e-05,1.441360e-05,1.438019e-05,1.434674e-05,1.431329e-05,1.427987e-05,1.424654e-05,1.421331e-05,1.418022e-05,1.414729e-05,1.411456e-05,1.408205e-05,1.404978e-05,1.401777e-05,1.398604e-05,1.395460e-05
0.000000e+00,9.328636e-10,2.705693e-09,1.298088e-08,3.621910e-08,5.769668e-08,1.560639e-07,1.617198e-07,3.538918e-07,4.276267e-07,6.649644e-07,9.224178e-07,1.128220e-06,1.718987e-06,1.778714e-06,2.647599e-06,2.890870e-06,3.750700e-06,4.468762e-06,5.080194e-06,6.415740e-06,6.608438e-06,8.298774e-06,8.652981e-06,1.011416e-05,1.109628e-05,1.202107e-05,1.367207e-05,1.399023e-05,1.599613e-05,1.631894e-05,1.801621e-05,1.898488e-05,2.003029e-05,2.162497e-05,2.202022e-05,2.396978e-05,2.420032e-05,2.586467e-05,2.667785e-05,2.769255e-05,2.903050e-05,2.944311e-05,3.110807e-05,3.123737e-05,3.268117e-05,3.328365e-05,3.415803e-05,3.516025e-05,3.553604e-05,3.681417e-05,3.686321e-05,3.799275e-05,3.839294e-05,3.907331e-05,3.975332e-05,4.005831e-05,4.095106e-05,4.175545e-05,4.199489e-05,4.247581e-05,4.289486e-05,4.311675e-05,4.366169e-05,4.368297e-05,4.417922e-05,4.430629e-05,4.461029e-05,4.483957e-05,4.498081e-05,4.527210e-05,4.529530e-05,4.555810e-05,4.561395e-05,4.577334e-05,4.587456e-05,4.594491e-05,4.606267e-05,4.607646e-05,4.617143e-05,4.618632e-05,4.623303e-05,4.625286e-05,4.626421e-05,4.626892e-05,4.626773e-05,4.624613e-05,4.624050e-05,4.620174e-05,4.617298e-05,4.613672e-05,4.607118e-05,4.605304e-05,4.595252e-05,4.593941e-05,4.583682e-05,4.578149e-05,4.570745e-05,4.560086e-05,4.556582e-05,4.541320e-05,4.540055e-05,4.525076e-05,4.518327e-05,4.507956e-05,4.495142e-05,4.490058e-05,4.471471e-05,4.470714e-05,4.452277e-05,4.445233e-05,4.432550e-05,4.418866e-05,4.412358e-05,4.391764e-05,4.370825e-05,4.364060e-05,4.349593e-05,4.335873e-05,4.328116e-05,4.307307e-05,4.306436e-05,4.284595e-05,4.278456e-05,4.262629e-05,4.249403e-05,4.240571e-05,4.220222e-05,4.218451e-05,4.196297e-05,4.190978e-05,4.174135e-05,4.161730e-05,4.151989e-05,4.132529e-05,4.129878e-05,4.107824e-05,4.103421e-05,4.085843e-05,4.074448e-05,4.063953e-05,4.045644e-05,4.042166e-05,4.020498e-05,4.017043e-05,3.998960e-05,3.988671e-05,3.977563e-05,3.960553e-05,3.956317e-05,3.935231e-05,3.932712e-05,3.914313e-05,3.905165e-05,3.893571e-05,3.877929e-05,3.873012e-05,3.852640e-05,3.851019e-05,3.832462e-05,3.824446e-05,3.812482e-05,3.798221e-05,3.792704e-05,3.773131e-05,3.772353e-05,3.753768e-05,3.746849e-05,3.734616e-05,3.721715e-05,3.715678e-05,3.696955e-05,3.672574e-05,3.648575e-05,3.624958e-05,3.601726e-05,3.578878e-05,3.556414e-05,3.534333e-05,3.512634e-05,3.491315e-05,3.470374e-05,3.449807e-05,3.429613e-05,3.409787e-05,3.390326e-05,3.371226e-05,3.352483e-05,3.334093e-05,3.316052e-05,3.298354e-05,3.280995e-05,3.263971e-05,3.247277e-05,3.230908e-05,3.214858e-05
0.000000e+00,5.428186e-11,1.253781e-10,4.357762e-10,9.980991e-10,1.461047e-09,3.344905e-09,3.446938e-09,6.734702e-09,7.939872e-09,1.170909e-08,1.567496e-08,1.877876e-08,2.741102e-08,2.826205e-08,4.023215e-08,4.346017e-08,5.453120e-08,6.346837e-08,7.092512e-08,8.691120e-08,8.919640e-08,1.091544e-07,1.133326e-07,1.306210e-07,1.423213e-07,1.534193e-07,1.734665e-07,1.773680e-07,2.022815e-07,2.063446e-07,2.279723e-07,2.405254e-07,2.542552e-07,2.755872e-07,2.809511e-07,3.078905e-07,3.111320e-07,3.349164e-07,3.467979e-07,3.618860e-07,3.822664e-07,3.886721e-07,4.151632e-07,4.172667e-07,4.412631e-07,4.515748e-07,4.668906e-07,4.850115e-07,4.919783e-07,5.164713e-07,5.174380e-07,5.403261e-07,5.487509e-07,5.635091e-07,5.788768e-07,5.859955e-07,6.077678e-07,6.288151e-07,6.353961e-07,6.491320e-07,6.617510e-07,6.687176e-07,6.868344e-07,6.875748e-07,7.057095e-07,7.106589e-07,7.231307e-07,7.332453e-07,7.398490e-07,7.546199e-07,7.558770e-07,7.712283e-07,7.748135e-07,7.859176e-07,7.938601e-07,7.999603e-07,8.117960e-07,8.133728e-07,8.261714e-07,8.286589e-07,8.383730e-07,8.444875e-07,8.499945e-07,8.593207e-07,8.610529e-07,8.715653e-07,8.731977e-07,8.815485e-07,8.861574e-07,8.910192e-07,8.982380e-07,8.999941e-07,9.084894e-07,9.094774e-07,9.165213e-07,9.199126e-07,9.241055e-07,9.295796e-07,9.312574e-07,9.379923e-07,9.385136e-07,9.443250e-07,9.467487e-07,9.502699e-07,9.543181e-07,9.558413e-07,9.610528e-07,9.612539e-07,9.659179e-07,9.675871e-07,9.704498e-07,9.733476e-07,9.746611e-07,9.785642e-07,9.821711e-07,9.832646e-07,9.854934e-07,9.874757e-07,9.885427e-07,9.912231e-07,9.913297e-07,9.938652e-07,9.945314e-07,9.961594e-07,9.974244e-07,9.982225e-07,9.999246e-07,1.000064e-06,1.001693e-06,1.002054e-06,1.003120e-06,1.003833e-06,1.004352e-06,1.005282e-06,1.005398e-06,1.006266e-06,1.006420e-06,1.006965e-06,1.007264e-06,1.007502e-06,1.007833e-06,1.007884e-06,1.008119e-06,1.008143e-06,1.008213e-06,1.008210e-06,1.008173e-06,1.008049e-06,1.008005e-06,1.007716e-06,1.007674e-06,1.007312e-06,1.007099e-06,1.006798e-06,1.006337e-06,1.006179e-06,1.005462e-06,1.005401e-06,1.004651e-06,1.004302e-06,1.003751e-06,1.003051e-06,1.002768e-06,1.001704e-06,1.001660e-06,1.000566e-06,1.000139e-06,9.993572e-07,9.984966e-07,9.980813e-07,9.967427e-07,9.948858e-07,9.929342e-07,9.908957e-07,9.887777e-07,9.865874e-07,9.843313e-07,9.820156e-07,9.796465e-07,9.772295e-07,9.747698e-07,9.722726e-07,9.697426e-07,9.671842e-07,9.646017e-07,9.619990e-07,9.593798e-07,9.567477e-07,9.541059e-07,9.514576e-07,9.488057e-07,9.461528e-07,9.435016e-07,9.408544e-07,9.382134e-07
0.000000e+00,9.420373e-10,2.754569e-09,1.343313e-08,3.801138e-08,6.099227e-08,1.677495e-07,1.739336e-07,3.853771e-07,4.668497e-07,7.292301e-07,1.013156e-06,1.239220e-06,1.883379e-06,1.948154e-06,2.886323e-06,3.148485e-06,4.078024e-06,4.861789e-06,5.537063e-06,7.043347e-06,7.264585e-06,9.250810e-06,9.677680e-06,1.147856e-05,1.272538e-05,1.392623e-05,1.613458e-05,1.656963e-05,1.938304e-05,1.984719e-05,2.233981e-05,2.380206e-05,2.541296e-05,2.793722e-05,2.857564e-05,3.180167e-05,3.219184e-05,3.506597e-05,3.650827e-05,3.834505e-05,4.083364e-05,4.161726e-05,4.486306e-05,4.512105e-05,4.806518e-05,4.933035e-05,5.120861e-05,5.342831e-05,5.428062e-05,5.727066e-05,5.738842e-05,6.017018e-05,6.119052e-05,6.297253e-05,6.482002e-05,6.567272e-05,6.826725e-05,7.075393e-05,7.152668e-05,7.313167e-05,7.459616e-05,7.540034e-05,7.747626e-05,7.756060e-05,7.961377e-05,8.016970e-05,8.156168e-05,8.268084e-05,8.340662e-05,8.501523e-05,8.515117e-05,8.679819e-05,8.717929e-05,8.835071e-05,8.918002e-05,8.981190e-05,9.102477e-05,9.118500e-05,9.247332e-05,9.272109e-05,9.368014e-05,9.427658e-05,9.480877e-05,9.569877e-05,9.586245e-05,9.684440e-05,9.699507e-05,9.775776e-05,9.817271e-05,9.860559e-05,9.923868e-05,9.939087e-05,1.001165e-04,1.001997e-04,1.007853e-04,1.010622e-04,1.013999e-04,1.018325e-04,1.019631e-04,1.024772e-04,1.025163e-04,1.029448e-04,1.031193e-04,1.033681e-04,1.036468e-04,1.037495e-04,1.040910e-04,1.041039e-04,1.043948e-04,1.044953e-04,1.046628e-04,1.048256e-04,1.048969e-04,1.050990e-04,1.052707e-04,1.053195e-04,1.054138e-04,1.054911e-04,1.055298e-04,1.056171e-04,1.056202e-04,1.056866e-04,1.057010e-04,1.057302e-04,1.057460e-04,1.057524e-04,1.057550e-04,1.057544e-04,1.057375e-04,1.057308e-04,1.057029e-04,1.056761e-04,1.056515e-04,1.055933e-04,1.055844e-04,1.055027e-04,1.054847e-04,1.054073e-04,1.053525e-04,1.052990e-04,1.051988e-04,1.051787e-04,1.050473e-04,1.050253e-04,1.049055e-04,1.048339e-04,1.047540e-04,1.046264e-04,1.045936e-04,1.044248e-04,1.044041e-04,1.042484e-04,1.041685e-04,1.040650e-04,1.039211e-04,1.038750e-04,1.036790e-04,1.036631e-04,1.034776e-04,1.033956e-04,1.032712e-04,1.031198e-04,1.030604e-04,1.028454e-04,1.028367e-04,1.026268e-04,1.025472e-04,1.024049e-04,1.022523e-04,1.021801e-04,1.019527e-04,1.016492e-04,1.013426e-04,1.010334e-04,1.007223e-04,1.004099e-04,1.000967e-04,9.978315e-05,9.946971e-05,9.915680e-05,9.884479e-05,9.853403e-05,9.822483e-05,9.791749e-05,9.761226e-05,9.730940e-05,9.700912e-05,9.671162e-05,9.641708e-05,9.612566e-05,9.583751e-05,9.555275e-05,9.527151e-05,9.499388e-05,9.471995e-05
0.000000e+00,7.453500e-11,1.733671e-10,6.060611e-10,1.388663e-09,2.030592e-09,4.618976e-09,4.758095e-09,9.186097e-09,1.078458e-08,1.571101e-08,2.079790e-08,2.472942e-08,3.554950e-08,3.661307e-08,5.163079e-08,5.571221e-08,6.982341e-08,8.131676e-08,9.094804e-08,1.116333e-07,1.145880e-07,1.403051e-07,1.456622e-07,1.677050e-07,1.825006e-07,1.964383e-07,2.213713e-07,2.261869e-07,2.566559e-07,2.615791e-07,2.875707e-07,3.024932e-07,3.186790e-07,3.435506e-07,3.497523e-07,3.805880e-07,3.842636e-07,4.110101e-07,4.242254e-07,4.408693e-07,4.631087e-07,4.700418e-07,4.984274e-07,5.006618e-07,5.259475e-07,5.366993e-07,5.525425e-07,5.710935e-07,5.781696e-07,6.028001e-07,6.037644e-07,6.264177e-07,6.346704e-07,6.490152e-07,6.637991e-07,6.705937e-07,6.911613e-07,7.107315e-07,7.167861e-07,7.293217e-07,7.407147e-07,7.469527e-07,7.629978e-07,7.636480e-07,7.794327e-07,7.836929e-07,7.943335e-07,8.028612e-07,8.083780e-07,8.205669e-07,8.215944e-07,8.340113e-07,8.368756e-07,8.456574e-07,8.518530e-07,8.565608e-07,8.655637e-07,8.667495e-07,8.762514e-07,8.780717e-07,8.850935e-07,8.894396e-07,8.933028e-07,8.997285e-07,9.009052e-07,9.079263e-07,9.089974e-07,9.143908e-07,9.173032e-07,9.203230e-07,9.247011e-07,9.257461e-07,9.306830e-07,9.312438e-07,9.351556e-07,9.369820e-07,9.391853e-07,9.419642e-07,9.427926e-07,9.459974e-07,9.462369e-07,9.488189e-07,9.498444e-07,9.512757e-07,9.528287e-07,9.533855e-07,9.551656e-07,9.552302e-07,9.566325e-07,9.570870e-07,9.578021e-07,9.584355e-07,9.586898e-07,9.593102e-07,9.596775e-07,9.597438e-07,9.598052e-07,9.597673e-07,9.597064e-07,9.594100e-07,9.593935e-07,9.588786e-07,9.586998e-07,9.581731e-07,9.576629e-07,9.572880e-07,9.563242e-07,9.562339e-07,9.550208e-07,9.547071e-07,9.536584e-07,9.528337e-07,9.521559e-07,9.507248e-07,9.505221e-07,9.487656e-07,9.484003e-07,9.468943e-07,9.458785e-07,9.449160e-07,9.431768e-07,9.428379e-07,9.406673e-07,9.403118e-07,9.384106e-07,9.372988e-07,9.360744e-07,9.341522e-07,9.336647e-07,9.311872e-07,9.308857e-07,9.286477e-07,9.275120e-07,9.260513e-07,9.240430e-07,9.234029e-07,9.207075e-07,9.204900e-07,9.179695e-07,9.168634e-07,9.151933e-07,9.131730e-07,9.123829e-07,9.095422e-07,9.094280e-07,9.066749e-07,9.056369e-07,9.037846e-07,9.018077e-07,9.008745e-07,8.979478e-07,8.940642e-07,8.901633e-07,8.862511e-07,8.823331e-07,8.784145e-07,8.745000e-07,8.705942e-07,8.667009e-07,8.628241e-07,8.589671e-07,8.551332e-07,8.513251e-07,8.475456e-07,8.437972e-07,8.400819e-07,8.364019e-07,8.327589e-07,8.291545e-07,8.255902e-07,8.220673e-07,8.185869e-07,8.151501e-07,8.117578e-07,8.084106e-07
0.000000e+00,1.231885e-05,3.673030e-05,1.863956e-04,5.466034e-04,8.942724e-04,2.585441e-03,2.686197e-03,6.254736e-03,7.680795e-03,1.241862e-02,1.774894e-02,2.211787e-02,3.506088e-02,3.639743e-02,5.633024e-02,6.206436e-02,8.284386e-02,1.008049e-01,1.165356e-01,1.522998e-01,1.576192e-01,2.059934e-01,2.165178e-01,2.613370e-01,2.927181e-01,3.231786e-01,3.797275e-01,3.909412e-01,4.639711e-01,4.760979e-01,5.415590e-01,5.802020e-01,6.229585e-01,6.903079e-01,7.074035e-01,7.941240e-01,8.046471e-01,8.823622e-01,9.214781e-01,9.713866e-01,1.039143e+00,1.060504e+00,1.149069e+00,1.156112e+00,1.236493e+00,1.271022e+00,1.322248e+00,1.382694e+00,1.405869e+00,1.486958e+00,1.490144e+00,1.565180e+00,1.592584e+00,1.640263e+00,1.689414e+00,1.711991e+00,1.780206e+00,1.844796e+00,1.864688e+00,1.905696e+00,1.942723e+00,1.962881e+00,2.014290e+00,2.016358e+00,2.066167e+00,2.079464e+00,2.112370e+00,2.138396e+00,2.155053e+00,2.191298e+00,2.194316e+00,2.230275e+00,2.238428e+00,2.263056e+00,2.280074e+00,2.292792e+00,2.316549e+00,2.319620e+00,2.343682e+00,2.348175e+00,2.365121e+00,2.375280e+00,2.384079e+00,2.398190e+00,2.400697e+00,2.415115e+00,2.417227e+00,2.427467e+00,2.432701e+00,2.437884e+00,2.444911e+00,2.446494e+00,2.453418e+00,2.454142e+00,2.458774e+00,2.460662e+00,2.462673e+00,2.464727e+00,2.465221e+00,2.466519e+00,2.466572e+00,2.466664e+00,2.466419e+00,2.465744e+00,2.464472e+00,2.463847e+00,2.461051e+00,2.460921e+00,2.457432e+00,2.455942e+00,2.453062e+00,2.449694e+00,2.448006e+00,2.442326e+00,2.436080e+00,2.433971e+00,2.429323e+00,2.424754e+00,2.422105e+00,2.414786e+00,2.414473e+00,2.406471e+00,2.404170e+00,2.398139e+00,2.392997e+00,2.389515e+00,2.381354e+00,2.380634e+00,2.371529e+00,2.369314e+00,2.362230e+00,2.356948e+00,2.352764e+00,2.344317e+00,2.343158e+00,2.333435e+00,2.331478e+00,2.323617e+00,2.318480e+00,2.313724e+00,2.305370e+00,2.303775e+00,2.293787e+00,2.292187e+00,2.283777e+00,2.278968e+00,2.273757e+00,2.265745e+00,2.263743e+00,2.253745e+00,2.252547e+00,2.243776e+00,2.239401e+00,2.233845e+00,2.226329e+00,2.223962e+00,2.214134e+00,2.213351e+00,2.204371e+00,2.200485e+00,2.194678e+00,2.187747e+00,2.185063e+00,2.175530e+00,2.175150e+00,2.166085e+00,2.162707e+00,2.156733e+00,2.150428e+00,2.147477e+00,2.138322e+00,2.126396e+00,2.114657e+00,2.103110e+00,2.091759e+00,2.080608e+00,2.069660e+00,2.058917e+00,2.048380e+00,2.038050e+00,2.027927e+00,2.018012e+00,2.008302e+00,1.998799e+00,1.989499e+00,1.980403e+00,1.971507e+00,1.962810e+00,1.954310e+00,1.946005e+00,1.937891e+00,1.929966e+00,1.922228e+00,1.914673e+00,1.907298e+00
0.000000e+00,6.449204e-10,1.655560e-09,6.501592e-09,1.579637e-08,2.362469e-08,5.597646e-08,5.773718e-08,1.144327e-07,1.351297e-07,1.994607e-07,2.665891e-07,3.188783e-07,4.642432e-07,4.786255e-07,6.828379e-07,7.385797e-07,9.317044e-07,1.089362e-06,1.221767e-06,1.507396e-06,1.548369e-06,1.907198e-06,1.982491e-06,2.294453e-06,2.505875e-06,2.706573e-06,3.069384e-06,3.140022e-06,3.591193e-06,3.664780e-06,4.056411e-06,4.283617e-06,4.531974e-06,4.917417e-06,5.014234e-06,5.499668e-06,5.557973e-06,5.984950e-06,6.197624e-06,6.467008e-06,6.829495e-06,6.943064e-06,7.410658e-06,7.447634e-06,7.867661e-06,8.047082e-06,8.312272e-06,8.623874e-06,8.743007e-06,9.158680e-06,9.174980e-06,9.558380e-06,9.698226e-06,9.941441e-06,1.019218e-05,1.030742e-05,1.065606e-05,1.098728e-05,1.108960e-05,1.130113e-05,1.149295e-05,1.159778e-05,1.186663e-05,1.187750e-05,1.214062e-05,1.221138e-05,1.238756e-05,1.252814e-05,1.261876e-05,1.281800e-05,1.283473e-05,1.303596e-05,1.308212e-05,1.322300e-05,1.332174e-05,1.339638e-05,1.353811e-05,1.355667e-05,1.370439e-05,1.373248e-05,1.384010e-05,1.390610e-05,1.396433e-05,1.406019e-05,1.407760e-05,1.418043e-05,1.419595e-05,1.427333e-05,1.431453e-05,1.435677e-05,1.441704e-05,1.443124e-05,1.449717e-05,1.450453e-05,1.455502e-05,1.457802e-05,1.460520e-05,1.463846e-05,1.464812e-05,1.468417e-05,1.468677e-05,1.471374e-05,1.472382e-05,1.473716e-05,1.475043e-05,1.475481e-05,1.476699e-05,1.476737e-05,1.477403e-05,1.477536e-05,1.477622e-05,1.477510e-05,1.477386e-05,1.476723e-05,1.475657e-05,1.475236e-05,1.474215e-05,1.473106e-05,1.472420e-05,1.470386e-05,1.470295e-05,1.467861e-05,1.467127e-05,1.465139e-05,1.463376e-05,1.462149e-05,1.459176e-05,1.458908e-05,1.455436e-05,1.454569e-05,1.451747e-05,1.449594e-05,1.447860e-05,1.444285e-05,1.443788e-05,1.439545e-05,1.438678e-05,1.435147e-05,1.432802e-05,1.430605e-05,1.426687e-05,1.425931e-05,1.421138e-05,1.420361e-05,1.416236e-05,1.413848e-05,1.411236e-05,1.407172e-05,1.406147e-05,1.400980e-05,1.400355e-05,1.395741e-05,1.393416e-05,1.390441e-05,1.386376e-05,1.385086e-05,1.379685e-05,1.379251e-05,1.374243e-05,1.372057e-05,1.368769e-05,1.364810e-05,1.363267e-05,1.357744e-05,1.357522e-05,1.352205e-05,1.350208e-05,1.346655e-05,1.342878e-05,1.341099e-05,1.335543e-05,1.328213e-05,1.320898e-05,1.313605e-05,1.306343e-05,1.299118e-05,1.291937e-05,1.284805e-05,1.277728e-05,1.270711e-05,1.263757e-05,1.256872e-05,1.250057e-05,1.243316e-05,1.236652e-05,1.230068e-05,1.223565e-05,1.217145e-05,1.210809e-05,1.204560e-05,1.198398e-05,1.192324e-05,1.186339e-05,1.180443e-05,1.174637e-05
0.000000e+00,1.566629e-09,4.450161e-09,2.053950e-08,5.562864e-08,8.738547e-08,2.298698e-07,2.379926e-07,5.130674e-07,6.186539e-07,9.590753e-07,1.326918e-06,1.617318e-06,2.421359e-06,2.499903e-06,3.588459e-06,3.877241e-06,4.855112e-06,5.632598e-06,6.274465e-06,7.632366e-06,7.824610e-06,9.485149e-06,9.828719e-06,1.123570e-05,1.217466e-05,1.305543e-05,1.462207e-05,1.492330e-05,1.681862e-05,1.712309e-05,1.872177e-05,1.963269e-05,2.061472e-05,2.211094e-05,2.248151e-05,2.430851e-05,2.452451e-05,2.608445e-05,2.684732e-05,2.780045e-05,2.906033e-05,2.944981e-05,3.102785e-05,3.115091e-05,3.253158e-05,3.311190e-05,3.395953e-05,3.494052e-05,3.531141e-05,3.658792e-05,3.663744e-05,3.779055e-05,3.820578e-05,3.892132e-05,3.965045e-05,3.998271e-05,4.097749e-05,4.190858e-05,4.219358e-05,4.277904e-05,4.330572e-05,4.359192e-05,4.432097e-05,4.435030e-05,4.505716e-05,4.524625e-05,4.571541e-05,4.608820e-05,4.632786e-05,4.685318e-05,4.689720e-05,4.742600e-05,4.754715e-05,4.791668e-05,4.817568e-05,4.837155e-05,4.874395e-05,4.879279e-05,4.918246e-05,4.925677e-05,4.954247e-05,4.971857e-05,4.987466e-05,5.013344e-05,5.018072e-05,5.046225e-05,5.050512e-05,5.072076e-05,5.083708e-05,5.095764e-05,5.113247e-05,5.117422e-05,5.137173e-05,5.139421e-05,5.155133e-05,5.162496e-05,5.171410e-05,5.182718e-05,5.186106e-05,5.199317e-05,5.200312e-05,5.211130e-05,5.215484e-05,5.221631e-05,5.228423e-05,5.230898e-05,5.239004e-05,5.239305e-05,5.246019e-05,5.248289e-05,5.252007e-05,5.255524e-05,5.257030e-05,5.261145e-05,5.264405e-05,5.265276e-05,5.266862e-05,5.268035e-05,5.268564e-05,5.269527e-05,5.269554e-05,5.269876e-05,5.269852e-05,5.269569e-05,5.269098e-05,5.268670e-05,5.267352e-05,5.267216e-05,5.265239e-05,5.264691e-05,5.262772e-05,5.261187e-05,5.259843e-05,5.256906e-05,5.256481e-05,5.252713e-05,5.251912e-05,5.248563e-05,5.246262e-05,5.244056e-05,5.240009e-05,5.239213e-05,5.234057e-05,5.233204e-05,5.228606e-05,5.225892e-05,5.222881e-05,5.218116e-05,5.216900e-05,5.210678e-05,5.209917e-05,5.204234e-05,5.201331e-05,5.197581e-05,5.192395e-05,5.190735e-05,5.183710e-05,5.183140e-05,5.176518e-05,5.173597e-05,5.169172e-05,5.163795e-05,5.161684e-05,5.154066e-05,5.153758e-05,5.146327e-05,5.143513e-05,5.138478e-05,5.133083e-05,5.130529e-05,5.122488e-05,5.111750e-05,5.100886e-05,5.089916e-05,5.078854e-05,5.067717e-05,5.056519e-05,5.045274e-05,5.033993e-05,5.022690e-05,5.011374e-05,5.000056e-05,4.988747e-05,4.977454e-05,4.966185e-05,4.954950e-05,4.943755e-05,4.932607e-05,4.921511e-05,4.910475e-05,4.899503e-05,4.888600e-05,4.877771e-05,4.867020e-05,4.856352e-05
0.000000e+00,1.394430e-09,4.104063e-09,2.026587e-08,5.793234e-08,9.343121e-08,2.599368e-07,2.696317e-07,6.027522e-07,7.316407e-07,1.147674e-06,1.598628e-06,1.957817e-06,2.980613e-06,3.083360e-06,4.568766e-06,4.982904e-06,6.448098e-06,7.679849e-06,8.738527e-06,1.109142e-05,1.143596e-05,1.451617e-05,1.517489e-05,1.793995e-05,1.984024e-05,2.165882e-05,2.497171e-05,2.561937e-05,2.976626e-05,3.044334e-05,3.404423e-05,3.612836e-05,3.839960e-05,4.190523e-05,4.278136e-05,4.714213e-05,4.766193e-05,5.143891e-05,5.329921e-05,5.563359e-05,5.873285e-05,5.969332e-05,6.359070e-05,6.389478e-05,6.730369e-05,6.873332e-05,7.081546e-05,7.321244e-05,7.411405e-05,7.719199e-05,7.731046e-05,8.004576e-05,8.101813e-05,8.267531e-05,8.433670e-05,8.508352e-05,8.727572e-05,8.925911e-05,8.985106e-05,9.104231e-05,9.208297e-05,9.263509e-05,9.399475e-05,9.404795e-05,9.529181e-05,9.561132e-05,9.637779e-05,9.695823e-05,9.731700e-05,9.806082e-05,9.812034e-05,9.879840e-05,9.894363e-05,9.936135e-05,9.962996e-05,9.981890e-05,1.001417e-04,1.001802e-04,1.004540e-04,1.004990e-04,1.006483e-04,1.007204e-04,1.007705e-04,1.008227e-04,1.008278e-04,1.008264e-04,1.008211e-04,1.007723e-04,1.007293e-04,1.006710e-04,1.005593e-04,1.005275e-04,1.003462e-04,1.003221e-04,1.001313e-04,1.000272e-04,9.988672e-05,9.968304e-05,9.961579e-05,9.932168e-05,9.929723e-05,9.900723e-05,9.887634e-05,9.867503e-05,9.842618e-05,9.832743e-05,9.796653e-05,9.795185e-05,9.759429e-05,9.745784e-05,9.721242e-05,9.694807e-05,9.682251e-05,9.642598e-05,9.602413e-05,9.589461e-05,9.561812e-05,9.535657e-05,9.520899e-05,9.481418e-05,9.479770e-05,9.438511e-05,9.426946e-05,9.397198e-05,9.372414e-05,9.355902e-05,9.317977e-05,9.314684e-05,9.273601e-05,9.263767e-05,9.232703e-05,9.209898e-05,9.192036e-05,9.156473e-05,9.151641e-05,9.111553e-05,9.103576e-05,9.071806e-05,9.051281e-05,9.032427e-05,8.999653e-05,8.993443e-05,8.954876e-05,8.948745e-05,8.916745e-05,8.898602e-05,8.879068e-05,8.849263e-05,8.841860e-05,8.805133e-05,8.800759e-05,8.768900e-05,8.753116e-05,8.733169e-05,8.706354e-05,8.697948e-05,8.663244e-05,8.660490e-05,8.629062e-05,8.615536e-05,8.595405e-05,8.571500e-05,8.562278e-05,8.529681e-05,8.528388e-05,8.497615e-05,8.486202e-05,8.466081e-05,8.444942e-05,8.435079e-05,8.404606e-05,8.365190e-05,8.326688e-05,8.289093e-05,8.252396e-05,8.216588e-05,8.181658e-05,8.147594e-05,8.114384e-05,8.082015e-05,8.050473e-05,8.019744e-05,7.989815e-05,7.960671e-05,7.932296e-05,7.904676e-05,7.877795e-05,7.851639e-05,7.826192e-05,7.801439e-05,7.777365e-05,7.753954e-05,7.731191e-05,7.709061e-05,7.687550e-05
0.000000e+00,1.297975e-09,3.818700e-09,1.884737e-08,5.387684e-08,8.690929e-08,2.421430e-07,2.511969e-07,5.632951e-07,6.845567e-07,1.077808e-06,1.507078e-06,1.851107e-06,2.840029e-06,2.940068e-06,4.397928e-06,4.807613e-06,6.264886e-06,7.496398e-06,8.557596e-06,1.092045e-05,1.126670e-05,1.436316e-05,1.502549e-05,1.780648e-05,1.971894e-05,2.155069e-05,2.489317e-05,2.554766e-05,2.974881e-05,3.043672e-05,3.410609e-05,3.623922e-05,3.857264e-05,4.219425e-05,4.310348e-05,4.765604e-05,4.820190e-05,5.219081e-05,5.417106e-05,5.667179e-05,6.002146e-05,6.106689e-05,6.534818e-05,6.568503e-05,6.949203e-05,7.110660e-05,7.347904e-05,7.624383e-05,7.729392e-05,8.092527e-05,8.106659e-05,8.436524e-05,8.555579e-05,8.760917e-05,8.970200e-05,9.065518e-05,9.350385e-05,9.615774e-05,9.696650e-05,9.862109e-05,1.001002e-04,1.008995e-04,1.029187e-04,1.029994e-04,1.049283e-04,1.054388e-04,1.066939e-04,1.076783e-04,1.083044e-04,1.096563e-04,1.097682e-04,1.110935e-04,1.113919e-04,1.122886e-04,1.129039e-04,1.133615e-04,1.142108e-04,1.143201e-04,1.151719e-04,1.153300e-04,1.159240e-04,1.162781e-04,1.165835e-04,1.170705e-04,1.171566e-04,1.176497e-04,1.177215e-04,1.180684e-04,1.182446e-04,1.184183e-04,1.186520e-04,1.187043e-04,1.189313e-04,1.189548e-04,1.191037e-04,1.191633e-04,1.192256e-04,1.192869e-04,1.193010e-04,1.193333e-04,1.193341e-04,1.193259e-04,1.193126e-04,1.192820e-04,1.192294e-04,1.192044e-04,1.190959e-04,1.190909e-04,1.189588e-04,1.189029e-04,1.187955e-04,1.186706e-04,1.186082e-04,1.183988e-04,1.181692e-04,1.180918e-04,1.179211e-04,1.177534e-04,1.176562e-04,1.173873e-04,1.173758e-04,1.170814e-04,1.169966e-04,1.167743e-04,1.165843e-04,1.164556e-04,1.161531e-04,1.161264e-04,1.157878e-04,1.157053e-04,1.154407e-04,1.152430e-04,1.150861e-04,1.147684e-04,1.147247e-04,1.143573e-04,1.142832e-04,1.139847e-04,1.137891e-04,1.136074e-04,1.132874e-04,1.132262e-04,1.128416e-04,1.127797e-04,1.124541e-04,1.122672e-04,1.120642e-04,1.117509e-04,1.116724e-04,1.112791e-04,1.112319e-04,1.108848e-04,1.107111e-04,1.104898e-04,1.101893e-04,1.100944e-04,1.096991e-04,1.096675e-04,1.093040e-04,1.091461e-04,1.089095e-04,1.086259e-04,1.085158e-04,1.081231e-04,1.081074e-04,1.077318e-04,1.075912e-04,1.073419e-04,1.070778e-04,1.069538e-04,1.065675e-04,1.060607e-04,1.055579e-04,1.050593e-04,1.045651e-04,1.040757e-04,1.035912e-04,1.031119e-04,1.026380e-04,1.021695e-04,1.017067e-04,1.012496e-04,1.007983e-04,1.003530e-04,9.991363e-05,9.948036e-05,9.905319e-05,9.863215e-05,9.821728e-05,9.780859e-05,9.740607e-05,9.700974e-05,9.661959e-05,9.623559e-05,9.585774e-05
0.000000e+00,6.667552e-10,1.821685e-09,7.853432e-09,2.021639e-08,3.098915e-08,7.708845e-08,7.964386e-08,1.634045e-07,1.945051e-07,2.923860e-07,3.960251e-07,4.775912e-07,7.074459e-07,7.304061e-07,1.060050e-06,1.151077e-06,1.469128e-06,1.730947e-06,1.951644e-06,2.428227e-06,2.496510e-06,3.092231e-06,3.216577e-06,3.728920e-06,4.073378e-06,4.398248e-06,4.980329e-06,5.092889e-06,5.806099e-06,5.921505e-06,6.531508e-06,6.882254e-06,7.263090e-06,7.848989e-06,7.995195e-06,8.722622e-06,8.809370e-06,9.440678e-06,9.752569e-06,1.014523e-05,1.066945e-05,1.083273e-05,1.150021e-05,1.155266e-05,1.214525e-05,1.239655e-05,1.276599e-05,1.319706e-05,1.336101e-05,1.392937e-05,1.395154e-05,1.447047e-05,1.465854e-05,1.498405e-05,1.531754e-05,1.547009e-05,1.592883e-05,1.636069e-05,1.649330e-05,1.676623e-05,1.701227e-05,1.714613e-05,1.748740e-05,1.750114e-05,1.783209e-05,1.792056e-05,1.813986e-05,1.831376e-05,1.842534e-05,1.866908e-05,1.868944e-05,1.893310e-05,1.898863e-05,1.915721e-05,1.927452e-05,1.936269e-05,1.952879e-05,1.955041e-05,1.972125e-05,1.975346e-05,1.987603e-05,1.995044e-05,2.001558e-05,2.012160e-05,2.014067e-05,2.025208e-05,2.026869e-05,2.035053e-05,2.039338e-05,2.043671e-05,2.049728e-05,2.051130e-05,2.057495e-05,2.058188e-05,2.062826e-05,2.064859e-05,2.067183e-05,2.069877e-05,2.070621e-05,2.073196e-05,2.073366e-05,2.074956e-05,2.075444e-05,2.075953e-05,2.076222e-05,2.076230e-05,2.075834e-05,2.075805e-05,2.074806e-05,2.074288e-05,2.073185e-05,2.071764e-05,2.071010e-05,2.068316e-05,2.065138e-05,2.064025e-05,2.061509e-05,2.058964e-05,2.057459e-05,2.053202e-05,2.053017e-05,2.048211e-05,2.046804e-05,2.043068e-05,2.039830e-05,2.037611e-05,2.032335e-05,2.031866e-05,2.025853e-05,2.024373e-05,2.019594e-05,2.015990e-05,2.013110e-05,2.007232e-05,2.006418e-05,1.999537e-05,1.998140e-05,1.992484e-05,1.988754e-05,1.985275e-05,1.979109e-05,1.977924e-05,1.970446e-05,1.969238e-05,1.962854e-05,1.959173e-05,1.955161e-05,1.948942e-05,1.947379e-05,1.939519e-05,1.938571e-05,1.931592e-05,1.928085e-05,1.923608e-05,1.917507e-05,1.915575e-05,1.907503e-05,1.906856e-05,1.899401e-05,1.896153e-05,1.891276e-05,1.885415e-05,1.883134e-05,1.874984e-05,1.874658e-05,1.866832e-05,1.863898e-05,1.858683e-05,1.853147e-05,1.850544e-05,1.842419e-05,1.831725e-05,1.821076e-05,1.810481e-05,1.799949e-05,1.789487e-05,1.779104e-05,1.768805e-05,1.758596e-05,1.748484e-05,1.738471e-05,1.728563e-05,1.718763e-05,1.709075e-05,1.699501e-05,1.690043e-05,1.680705e-05,1.671488e-05,1.662392e-05,1.653421e-05,1.644573e-05,1.635851e-05,1.627255e-05,1.618784e-05,1.610440e-05
0.000000e+00,2.709293e-09,7.979130e-09,3.947803e-08,1.131659e-07,1.828850e-07,5.126789e-07,5.320074e-07,1.203438e-06,1.466684e-06,2.327621e-06,3.276574e-06,4.040929e-06,6.238805e-06,6.460313e-06,9.654590e-06,1.053945e-05,1.364249e-05,1.621751e-05,1.840836e-05,2.321690e-05,2.391526e-05,3.011168e-05,3.142833e-05,3.693437e-05,4.070569e-05,4.431000e-05,5.087310e-05,5.215663e-05,6.038564e-05,6.173160e-05,6.890412e-05,7.306802e-05,7.761744e-05,8.466538e-05,8.643199e-05,9.525770e-05,9.631345e-05,1.040103e-04,1.078181e-04,1.126129e-04,1.190085e-04,1.209977e-04,1.291063e-04,1.297415e-04,1.368902e-04,1.399039e-04,1.443108e-04,1.494120e-04,1.513389e-04,1.579540e-04,1.582098e-04,1.641434e-04,1.662661e-04,1.699015e-04,1.735707e-04,1.752288e-04,1.801306e-04,1.846165e-04,1.859662e-04,1.886994e-04,1.911080e-04,1.923947e-04,1.955935e-04,1.957196e-04,1.986926e-04,1.994646e-04,2.013330e-04,2.027658e-04,2.036605e-04,2.055422e-04,2.056945e-04,2.074547e-04,2.078385e-04,2.089598e-04,2.096981e-04,2.102282e-04,2.111626e-04,2.112775e-04,2.121244e-04,2.122709e-04,2.127848e-04,2.130595e-04,2.132737e-04,2.135623e-04,2.136053e-04,2.137928e-04,2.138103e-04,2.138485e-04,2.138319e-04,2.137840e-04,2.136531e-04,2.136100e-04,2.133364e-04,2.132973e-04,2.129725e-04,2.127860e-04,2.125268e-04,2.121382e-04,2.120071e-04,2.114209e-04,2.113713e-04,2.107747e-04,2.105009e-04,2.100749e-04,2.095410e-04,2.093271e-04,2.085365e-04,2.085041e-04,2.077081e-04,2.074014e-04,2.068462e-04,2.062431e-04,2.059550e-04,2.050382e-04,2.040992e-04,2.037946e-04,2.031412e-04,2.025195e-04,2.021672e-04,2.012195e-04,2.011797e-04,2.001813e-04,1.999001e-04,1.991741e-04,1.985665e-04,1.981602e-04,1.972231e-04,1.971415e-04,1.961196e-04,1.958741e-04,1.950962e-04,1.945229e-04,1.940726e-04,1.931728e-04,1.930502e-04,1.920301e-04,1.918265e-04,1.910135e-04,1.904865e-04,1.900012e-04,1.891550e-04,1.889943e-04,1.879934e-04,1.878338e-04,1.869993e-04,1.865247e-04,1.860127e-04,1.852291e-04,1.850341e-04,1.840641e-04,1.839483e-04,1.831031e-04,1.826833e-04,1.821516e-04,1.814350e-04,1.812100e-04,1.802785e-04,1.802044e-04,1.793574e-04,1.789920e-04,1.784471e-04,1.777984e-04,1.775477e-04,1.766594e-04,1.766241e-04,1.757824e-04,1.754694e-04,1.749168e-04,1.743347e-04,1.740626e-04,1.732201e-04,1.721258e-04,1.710519e-04,1.699983e-04,1.689653e-04,1.679525e-04,1.669601e-04,1.659878e-04,1.650356e-04,1.641032e-04,1.631905e-04,1.622972e-04,1.614231e-04,1.605680e-04,1.597316e-04,1.589137e-04,1.581139e-04,1.573320e-04,1.565677e-04,1.558207e-04,1.550906e-04,1.543773e-04,1.536803e-04,1.529994e-04,1.523342e-04
0.000000e+00,1.097545e-10,2.569917e-10,9.121144e-10,2.134357e-09,3.171360e-09,7.658362e-09,7.913022e-09,1.666991e-08,2.010024e-08,3.126468e-08,4.323441e-08,5.249224e-08,7.717184e-08,7.951687e-08,1.111410e-07,1.193164e-07,1.465495e-07,1.678390e-07,1.852470e-07,2.217447e-07,2.268867e-07,2.711662e-07,2.803123e-07,3.177798e-07,3.428339e-07,3.664010e-07,4.085403e-07,4.166819e-07,4.682604e-07,4.766089e-07,5.207705e-07,5.462003e-07,5.738532e-07,6.165006e-07,6.271658e-07,6.803893e-07,6.867561e-07,7.332342e-07,7.562984e-07,7.854430e-07,8.245577e-07,8.367925e-07,8.870929e-07,8.910666e-07,9.361864e-07,9.554564e-07,9.839455e-07,1.017448e-06,1.030270e-06,1.075082e-06,1.076843e-06,1.118329e-06,1.133507e-06,1.159973e-06,1.187365e-06,1.199994e-06,1.238384e-06,1.275146e-06,1.286568e-06,1.310293e-06,1.331949e-06,1.343846e-06,1.374581e-06,1.375830e-06,1.406276e-06,1.414530e-06,1.435219e-06,1.451877e-06,1.462694e-06,1.486710e-06,1.488742e-06,1.513403e-06,1.519120e-06,1.536718e-06,1.549203e-06,1.558730e-06,1.577057e-06,1.579482e-06,1.599015e-06,1.602779e-06,1.617372e-06,1.626467e-06,1.634594e-06,1.648215e-06,1.650724e-06,1.665801e-06,1.668118e-06,1.679865e-06,1.686267e-06,1.692955e-06,1.702751e-06,1.705109e-06,1.716365e-06,1.717657e-06,1.726758e-06,1.731067e-06,1.736324e-06,1.743062e-06,1.745097e-06,1.753110e-06,1.753719e-06,1.760395e-06,1.763113e-06,1.766984e-06,1.771314e-06,1.772907e-06,1.778194e-06,1.778392e-06,1.782871e-06,1.784411e-06,1.786968e-06,1.789435e-06,1.790509e-06,1.793522e-06,1.796030e-06,1.796730e-06,1.798057e-06,1.799113e-06,1.799626e-06,1.800723e-06,1.800760e-06,1.801479e-06,1.801608e-06,1.801803e-06,1.801817e-06,1.801754e-06,1.801393e-06,1.801348e-06,1.800606e-06,1.800379e-06,1.799544e-06,1.798815e-06,1.798178e-06,1.796739e-06,1.796527e-06,1.794604e-06,1.794188e-06,1.792424e-06,1.791195e-06,1.790003e-06,1.787793e-06,1.787354e-06,1.784490e-06,1.784013e-06,1.781424e-06,1.779883e-06,1.778167e-06,1.775433e-06,1.774732e-06,1.771129e-06,1.770686e-06,1.767370e-06,1.765669e-06,1.763464e-06,1.760404e-06,1.759422e-06,1.755252e-06,1.754913e-06,1.750963e-06,1.749217e-06,1.746565e-06,1.743335e-06,1.742065e-06,1.737471e-06,1.737286e-06,1.732791e-06,1.731087e-06,1.728032e-06,1.724754e-06,1.723200e-06,1.718303e-06,1.711748e-06,1.705102e-06,1.698378e-06,1.691589e-06,1.684745e-06,1.677857e-06,1.670935e-06,1.663987e-06,1.657023e-06,1.650050e-06,1.643075e-06,1.636107e-06,1.629151e-06,1.622213e-06,1.615298e-06,1.608413e-06,1.601562e-06,1.594749e-06,1.587978e-06,1.581253e-06,1.574578e-06,1.567956e-06,1.561389e-06,1.554881e-06
0.000000e+00,2.795227e-11,6.433411e-11,2.242864e-10,5.214454e-10,7.739615e-10,1.875332e-09,1.938268e-09,4.124327e-09,4.989467e-09,7.823879e-09,1.087439e-08,1.323068e-08,1.946662e-08,2.005481e-08,2.790693e-08,2.991285e-08,3.652776e-08,4.163198e-08,4.576552e-08,5.432549e-08,5.552071e-08,6.571323e-08,6.779753e-08,7.626702e-08,8.187208e-08,8.710437e-08,9.636826e-08,9.814508e-08,1.093075e-07,1.110994e-07,1.205111e-07,1.258804e-07,1.316782e-07,1.405371e-07,1.427369e-07,1.536219e-07,1.549136e-07,1.642756e-07,1.688769e-07,1.746486e-07,1.823190e-07,1.847003e-07,1.943986e-07,1.951584e-07,2.037185e-07,2.073364e-07,2.126423e-07,2.188152e-07,2.211580e-07,2.292595e-07,2.295749e-07,2.369451e-07,2.396101e-07,2.442156e-07,2.489250e-07,2.510762e-07,2.575341e-07,2.635985e-07,2.654578e-07,2.692805e-07,2.727217e-07,2.745919e-07,2.793540e-07,2.795455e-07,2.841543e-07,2.853849e-07,2.884321e-07,2.908456e-07,2.923926e-07,2.957678e-07,2.960495e-07,2.994163e-07,3.001827e-07,3.025065e-07,3.041211e-07,3.053333e-07,3.076131e-07,3.079094e-07,3.102473e-07,3.106874e-07,3.123591e-07,3.133718e-07,3.142564e-07,3.156926e-07,3.159505e-07,3.174521e-07,3.176752e-07,3.187717e-07,3.193434e-07,3.199192e-07,3.207198e-07,3.209042e-07,3.217359e-07,3.218258e-07,3.224229e-07,3.226816e-07,3.229737e-07,3.233061e-07,3.233962e-07,3.236980e-07,3.237172e-07,3.238864e-07,3.239316e-07,3.239683e-07,3.239650e-07,3.239503e-07,3.238386e-07,3.238322e-07,3.236392e-07,3.235470e-07,3.233577e-07,3.231223e-07,3.229996e-07,3.225700e-07,3.220737e-07,3.219016e-07,3.215154e-07,3.211275e-07,3.208993e-07,3.202575e-07,3.202297e-07,3.195105e-07,3.193007e-07,3.187454e-07,3.182658e-07,3.179379e-07,3.171605e-07,3.170914e-07,3.162091e-07,3.159924e-07,3.152939e-07,3.147681e-07,3.143487e-07,3.134942e-07,3.133761e-07,3.123787e-07,3.121765e-07,3.113589e-07,3.108205e-07,3.103189e-07,3.094313e-07,3.092609e-07,3.081868e-07,3.080136e-07,3.070985e-07,3.065717e-07,3.059979e-07,3.051097e-07,3.048867e-07,3.037663e-07,3.036313e-07,3.026383e-07,3.021400e-07,3.015042e-07,3.006388e-07,3.003651e-07,2.992224e-07,2.991308e-07,2.980772e-07,2.976186e-07,2.969305e-07,2.961047e-07,2.957835e-07,2.946371e-07,2.945912e-07,2.934921e-07,2.930804e-07,2.923494e-07,2.915741e-07,2.912098e-07,2.900740e-07,2.885817e-07,2.870987e-07,2.856261e-07,2.841653e-07,2.827173e-07,2.812830e-07,2.798634e-07,2.784590e-07,2.770707e-07,2.756991e-07,2.743446e-07,2.730078e-07,2.716890e-07,2.703885e-07,2.691067e-07,2.678438e-07,2.665999e-07,2.653753e-07,2.641700e-07,2.629840e-07,2.618175e-07,2.606705e-07,2.595429e-07,2.584346e-07
0.000000e+00,1.382875e-09,3.890215e-09,1.764060e-08,4.710029e-08,7.343219e-08,1.892952e-07,1.958120e-07,4.122971e-07,4.936244e-07,7.514560e-07,1.026454e-06,1.243853e-06,1.860106e-06,1.921954e-06,2.816985e-06,3.066864e-06,3.951087e-06,4.692958e-06,5.328224e-06,6.729017e-06,6.932704e-06,8.737137e-06,9.119363e-06,1.071166e-05,1.179636e-05,1.282872e-05,1.469929e-05,1.506394e-05,1.739549e-05,1.777611e-05,1.980320e-05,2.098034e-05,2.226806e-05,2.426888e-05,2.477193e-05,2.729759e-05,2.760135e-05,2.982881e-05,3.094038e-05,3.235054e-05,3.425220e-05,3.484903e-05,3.731197e-05,3.750714e-05,3.972853e-05,4.068001e-05,4.208934e-05,4.375013e-05,4.438653e-05,4.661362e-05,4.670117e-05,4.876542e-05,4.952084e-05,5.083796e-05,5.220049e-05,5.282833e-05,5.473459e-05,5.655558e-05,5.712021e-05,5.829091e-05,5.935662e-05,5.994076e-05,6.144489e-05,6.150588e-05,6.298740e-05,6.338743e-05,6.438680e-05,6.518777e-05,6.570589e-05,6.685024e-05,6.694667e-05,6.811130e-05,6.837974e-05,6.920209e-05,6.978157e-05,7.022144e-05,7.106132e-05,7.117181e-05,7.205570e-05,7.222472e-05,7.287563e-05,7.327754e-05,7.363408e-05,7.422548e-05,7.433352e-05,7.497640e-05,7.507418e-05,7.556512e-05,7.582917e-05,7.610205e-05,7.649584e-05,7.658947e-05,7.702964e-05,7.707939e-05,7.742472e-05,7.758482e-05,7.777682e-05,7.801694e-05,7.808800e-05,7.836023e-05,7.838039e-05,7.859544e-05,7.867958e-05,7.879548e-05,7.891874e-05,7.896214e-05,7.909713e-05,7.910190e-05,7.920212e-05,7.923288e-05,7.927869e-05,7.931531e-05,7.932837e-05,7.935264e-05,7.935291e-05,7.934815e-05,7.933054e-05,7.930494e-05,7.928682e-05,7.922591e-05,7.922299e-05,7.914025e-05,7.911385e-05,7.903974e-05,7.897136e-05,7.892256e-05,7.880091e-05,7.878973e-05,7.864227e-05,7.860481e-05,7.848112e-05,7.838524e-05,7.830720e-05,7.814427e-05,7.812137e-05,7.792446e-05,7.788382e-05,7.771727e-05,7.760571e-05,7.750054e-05,7.731165e-05,7.727500e-05,7.704132e-05,7.700322e-05,7.680016e-05,7.668193e-05,7.655214e-05,7.634917e-05,7.629784e-05,7.603783e-05,7.600627e-05,7.577264e-05,7.565444e-05,7.550277e-05,7.529483e-05,7.522870e-05,7.495089e-05,7.492851e-05,7.466976e-05,7.455648e-05,7.438574e-05,7.417966e-05,7.409919e-05,7.381050e-05,7.379891e-05,7.352000e-05,7.341505e-05,7.322803e-05,7.302880e-05,7.293489e-05,7.264088e-05,7.225190e-05,7.186248e-05,7.147315e-05,7.108441e-05,7.069674e-05,7.031056e-05,6.992626e-05,6.954421e-05,6.916472e-05,6.878811e-05,6.841463e-05,6.804455e-05,6.767807e-05,6.731539e-05,6.695671e-05,6.660217e-05,6.625192e-05,6.590609e-05,6.556477e-05,6.522807e-05,6.489607e-05,6.456883e-05,6.424641e-05,6.392885e-05
0.000000e+00,5.433450e-10,1.526382e-09,6.890142e-09,1.828719e-08,2.839780e-08,7.229910e-08,7.474539e-08,1.549612e-07,1.846528e-07,2.775115e-07,3.747703e-07,4.505687e-07,6.611662e-07,6.820008e-07,9.785121e-07,1.059837e-06,1.343377e-06,1.576770e-06,1.773716e-06,2.199375e-06,2.260341e-06,2.790911e-06,2.901203e-06,3.353282e-06,3.654736e-06,3.936991e-06,4.437371e-06,4.533311e-06,5.134847e-06,5.231135e-06,5.735167e-06,6.021199e-06,6.328605e-06,6.795029e-06,6.910177e-06,7.475573e-06,7.542154e-06,8.021164e-06,8.254169e-06,8.544015e-06,8.924758e-06,9.041865e-06,9.513102e-06,9.549617e-06,9.956709e-06,1.012629e-05,1.037220e-05,1.065392e-05,1.075955e-05,1.111913e-05,1.113295e-05,1.145161e-05,1.156484e-05,1.175790e-05,1.195179e-05,1.203912e-05,1.229649e-05,1.253132e-05,1.260192e-05,1.274496e-05,1.287120e-05,1.293877e-05,1.310743e-05,1.311410e-05,1.327226e-05,1.331364e-05,1.341452e-05,1.349273e-05,1.354206e-05,1.364740e-05,1.365604e-05,1.375753e-05,1.378014e-05,1.384751e-05,1.389323e-05,1.392694e-05,1.398877e-05,1.399665e-05,1.405746e-05,1.406862e-05,1.411010e-05,1.413447e-05,1.415524e-05,1.418783e-05,1.419351e-05,1.422548e-05,1.423004e-05,1.425166e-05,1.426232e-05,1.427254e-05,1.428572e-05,1.428855e-05,1.430010e-05,1.430121e-05,1.430755e-05,1.430962e-05,1.431125e-05,1.431173e-05,1.431149e-05,1.430856e-05,1.430820e-05,1.430272e-05,1.429963e-05,1.429421e-05,1.428656e-05,1.428325e-05,1.427004e-05,1.426947e-05,1.425476e-05,1.424879e-05,1.423758e-05,1.422490e-05,1.421867e-05,1.419816e-05,1.417620e-05,1.416888e-05,1.415289e-05,1.413733e-05,1.412837e-05,1.410377e-05,1.410273e-05,1.407607e-05,1.406844e-05,1.404849e-05,1.403153e-05,1.402007e-05,1.399325e-05,1.399088e-05,1.396101e-05,1.395375e-05,1.393052e-05,1.391320e-05,1.389948e-05,1.387175e-05,1.386794e-05,1.383595e-05,1.382951e-05,1.380358e-05,1.378661e-05,1.377087e-05,1.374316e-05,1.373786e-05,1.370460e-05,1.369926e-05,1.367113e-05,1.365500e-05,1.363748e-05,1.361046e-05,1.360369e-05,1.356979e-05,1.356571e-05,1.353581e-05,1.352084e-05,1.350177e-05,1.347589e-05,1.346772e-05,1.343366e-05,1.343094e-05,1.339963e-05,1.338603e-05,1.336565e-05,1.334122e-05,1.333173e-05,1.329789e-05,1.329654e-05,1.326416e-05,1.325204e-05,1.323054e-05,1.320776e-05,1.319707e-05,1.316374e-05,1.311999e-05,1.307656e-05,1.303347e-05,1.299074e-05,1.294839e-05,1.290645e-05,1.286493e-05,1.282384e-05,1.278320e-05,1.274303e-05,1.270332e-05,1.266411e-05,1.262538e-05,1.258715e-05,1.254943e-05,1.251222e-05,1.247552e-05,1.243934e-05,1.240368e-05,1.236855e-05,1.233394e-05,1.229985e-05,1.226629e-05,1.223326e-05
0.000000e+00,8.828061e-11,2.083796e-10,7.368259e-10,1.690984e-09,2.471109e-09,5.600476e-09,5.768132e-09,1.108751e-08,1.300221e-08,1.889218e-08,2.496166e-08,2.964575e-08,4.250786e-08,4.376978e-08,6.153793e-08,6.634863e-08,8.290400e-08,9.627271e-08,1.073706e-07,1.307965e-07,1.340912e-07,1.621670e-07,1.678762e-07,1.908602e-07,2.058382e-07,2.196292e-07,2.435649e-07,2.480837e-07,2.759359e-07,2.803211e-07,3.029697e-07,3.156058e-07,3.290229e-07,3.490791e-07,3.539778e-07,3.777536e-07,3.805249e-07,4.003015e-07,4.098271e-07,4.215996e-07,4.369497e-07,4.416481e-07,4.604652e-07,4.619182e-07,4.780826e-07,4.848028e-07,4.945424e-07,5.057040e-07,5.098937e-07,5.241902e-07,5.247409e-07,5.374882e-07,5.420421e-07,5.498449e-07,5.577390e-07,5.613174e-07,5.719612e-07,5.818302e-07,5.848330e-07,5.909753e-07,5.964709e-07,5.994453e-07,6.069841e-07,6.072862e-07,6.145413e-07,6.164733e-07,6.212508e-07,6.250305e-07,6.274526e-07,6.327401e-07,6.331818e-07,6.384711e-07,6.396785e-07,6.433509e-07,6.459153e-07,6.478495e-07,6.515138e-07,6.519932e-07,6.558058e-07,6.565306e-07,6.593096e-07,6.610164e-07,6.625250e-07,6.650170e-07,6.654710e-07,6.681653e-07,6.685742e-07,6.706244e-07,6.717256e-07,6.728632e-07,6.745052e-07,6.748959e-07,6.767353e-07,6.769437e-07,6.783937e-07,6.790689e-07,6.798822e-07,6.809063e-07,6.812113e-07,6.823907e-07,6.824789e-07,6.834296e-07,6.838076e-07,6.843362e-07,6.849115e-07,6.851184e-07,6.857837e-07,6.858080e-07,6.863388e-07,6.865130e-07,6.867903e-07,6.870411e-07,6.871440e-07,6.874058e-07,6.875807e-07,6.876192e-07,6.876739e-07,6.876928e-07,6.876900e-07,6.876369e-07,6.876333e-07,6.875079e-07,6.874611e-07,6.873178e-07,6.871742e-07,6.870666e-07,6.867844e-07,6.867577e-07,6.863944e-07,6.862995e-07,6.859798e-07,6.857263e-07,6.855168e-07,6.850715e-07,6.850081e-07,6.844564e-07,6.843411e-07,6.838640e-07,6.835407e-07,6.832334e-07,6.826757e-07,6.825667e-07,6.818661e-07,6.817510e-07,6.811336e-07,6.807712e-07,6.803710e-07,6.797405e-07,6.795802e-07,6.787629e-07,6.786631e-07,6.779206e-07,6.775426e-07,6.770551e-07,6.763826e-07,6.761677e-07,6.752598e-07,6.751863e-07,6.743329e-07,6.739570e-07,6.733881e-07,6.726975e-07,6.724267e-07,6.714499e-07,6.714105e-07,6.704587e-07,6.700986e-07,6.694543e-07,6.687642e-07,6.684376e-07,6.674096e-07,6.660370e-07,6.646483e-07,6.632454e-07,6.618301e-07,6.604041e-07,6.589690e-07,6.575263e-07,6.560774e-07,6.546235e-07,6.531659e-07,6.517059e-07,6.502445e-07,6.487827e-07,6.473215e-07,6.458619e-07,6.444047e-07,6.429506e-07,6.415006e-07,6.400552e-07,6.386152e-07,6.371812e-07,6.357538e-07,6.343335e-07,6.329208e-07
0.000000e+00,7.803656e-10,2.288555e-09,1.121790e-08,3.185797e-08,5.120033e-08,1.412454e-07,1.464661e-07,3.250799e-07,3.939311e-07,6.157170e-07,8.558065e-07,1.047059e-06,1.592691e-06,1.647628e-06,2.445265e-06,2.668927e-06,3.465186e-06,4.140690e-06,4.725590e-06,6.037962e-06,6.231347e-06,7.969309e-06,8.342341e-06,9.909111e-06,1.098396e-05,1.200901e-05,1.386297e-05,1.422299e-05,1.650618e-05,1.687513e-05,1.881794e-05,1.992716e-05,2.112300e-05,2.294212e-05,2.339171e-05,2.559962e-05,2.585950e-05,2.772698e-05,2.863334e-05,2.975819e-05,3.123015e-05,3.168134e-05,3.348775e-05,3.362703e-05,3.517161e-05,3.581002e-05,3.672962e-05,3.777277e-05,3.816070e-05,3.946565e-05,3.951525e-05,4.064690e-05,4.104255e-05,4.170818e-05,4.236375e-05,4.265430e-05,4.349085e-05,4.422401e-05,4.443785e-05,4.486032e-05,4.521985e-05,4.540653e-05,4.585241e-05,4.586941e-05,4.625569e-05,4.635101e-05,4.657187e-05,4.673056e-05,4.682424e-05,4.700517e-05,4.701874e-05,4.716097e-05,4.718791e-05,4.725615e-05,4.729072e-05,4.730913e-05,4.732437e-05,4.732434e-05,4.730588e-05,4.729848e-05,4.725745e-05,4.722155e-05,4.718241e-05,4.710105e-05,4.708380e-05,4.696438e-05,4.694351e-05,4.682659e-05,4.675459e-05,4.667265e-05,4.653920e-05,4.650453e-05,4.632400e-05,4.630158e-05,4.613264e-05,4.604538e-05,4.593186e-05,4.577375e-05,4.572292e-05,4.550694e-05,4.548939e-05,4.528493e-05,4.519464e-05,4.505777e-05,4.489149e-05,4.482628e-05,4.459115e-05,4.458168e-05,4.435304e-05,4.426671e-05,4.411252e-05,4.394786e-05,4.387010e-05,4.362625e-05,4.338138e-05,4.330286e-05,4.313585e-05,4.297854e-05,4.289002e-05,4.265401e-05,4.264418e-05,4.239861e-05,4.232993e-05,4.215355e-05,4.200685e-05,4.190922e-05,4.168527e-05,4.166584e-05,4.142357e-05,4.136561e-05,4.118258e-05,4.104825e-05,4.094303e-05,4.073351e-05,4.070504e-05,4.046873e-05,4.042168e-05,4.023422e-05,4.011302e-05,4.000161e-05,3.980774e-05,3.977097e-05,3.954239e-05,3.950602e-05,3.931594e-05,3.920802e-05,3.909168e-05,3.891389e-05,3.886967e-05,3.864994e-05,3.862373e-05,3.843255e-05,3.833765e-05,3.821753e-05,3.805573e-05,3.800492e-05,3.779473e-05,3.777802e-05,3.758700e-05,3.750459e-05,3.738173e-05,3.723548e-05,3.717895e-05,3.697867e-05,3.697071e-05,3.678089e-05,3.671030e-05,3.658561e-05,3.645426e-05,3.639285e-05,3.620259e-05,3.595528e-05,3.571233e-05,3.547372e-05,3.523941e-05,3.500939e-05,3.478361e-05,3.456204e-05,3.434465e-05,3.413139e-05,3.392220e-05,3.371705e-05,3.351589e-05,3.331865e-05,3.312529e-05,3.293576e-05,3.274999e-05,3.256793e-05,3.238953e-05,3.221472e-05,3.204344e-05,3.187564e-05,3.171125e-05,3.155023e-05,3.139250e-05
0.000000e+00,3.383898e-11,7.756822e-11,2.669194e-10,6.071212e-10,8.854797e-10,2.006723e-09,2.067000e-09,3.988519e-09,4.683882e-09,6.833047e-09,9.061550e-09,1.078996e-08,1.557150e-08,1.604336e-08,2.273967e-08,2.457012e-08,3.093041e-08,3.614024e-08,4.051861e-08,4.992840e-08,5.127056e-08,6.289889e-08,6.530559e-08,7.513899e-08,8.167215e-08,8.777523e-08,9.856912e-08,1.006358e-07,1.135812e-07,1.156523e-07,1.264954e-07,1.326539e-07,1.392810e-07,1.493616e-07,1.518564e-07,1.641542e-07,1.656085e-07,1.761197e-07,1.812678e-07,1.877100e-07,1.962474e-07,1.988927e-07,2.096441e-07,2.104851e-07,2.199490e-07,2.239437e-07,2.297983e-07,2.366055e-07,2.391884e-07,2.481206e-07,2.484684e-07,2.565995e-07,2.595423e-07,2.646325e-07,2.698451e-07,2.722293e-07,2.794013e-07,2.861613e-07,2.882397e-07,2.925227e-07,2.963914e-07,2.984998e-07,3.038896e-07,3.041070e-07,3.093594e-07,3.107684e-07,3.142713e-07,3.170611e-07,3.188574e-07,3.228009e-07,3.231317e-07,3.271083e-07,3.280199e-07,3.308009e-07,3.327497e-07,3.342228e-07,3.370203e-07,3.373868e-07,3.403051e-07,3.408604e-07,3.429900e-07,3.442978e-07,3.454530e-07,3.473587e-07,3.477054e-07,3.497578e-07,3.500683e-07,3.516205e-07,3.524502e-07,3.533035e-07,3.545269e-07,3.548163e-07,3.561680e-07,3.563198e-07,3.573673e-07,3.578489e-07,3.584225e-07,3.591331e-07,3.593417e-07,3.601324e-07,3.601903e-07,3.608018e-07,3.610373e-07,3.613571e-07,3.616898e-07,3.618046e-07,3.621509e-07,3.621628e-07,3.624019e-07,3.624701e-07,3.625634e-07,3.626248e-07,3.626408e-07,3.626393e-07,3.625639e-07,3.625249e-07,3.624193e-07,3.622925e-07,3.622099e-07,3.619521e-07,3.619402e-07,3.616140e-07,3.615130e-07,3.612352e-07,3.609842e-07,3.608075e-07,3.603738e-07,3.603344e-07,3.598191e-07,3.596895e-07,3.592648e-07,3.589385e-07,3.586744e-07,3.581273e-07,3.580508e-07,3.573966e-07,3.572623e-07,3.567143e-07,3.563491e-07,3.560062e-07,3.553933e-07,3.552748e-07,3.545220e-07,3.543997e-07,3.537500e-07,3.533731e-07,3.529606e-07,3.523177e-07,3.521556e-07,3.513367e-07,3.512376e-07,3.505056e-07,3.501364e-07,3.496637e-07,3.490176e-07,3.488125e-07,3.479534e-07,3.478844e-07,3.470875e-07,3.467396e-07,3.462162e-07,3.455861e-07,3.453405e-07,3.444615e-07,3.444262e-07,3.435801e-07,3.432624e-07,3.426973e-07,3.420967e-07,3.418141e-07,3.409311e-07,3.397673e-07,3.386069e-07,3.374516e-07,3.363026e-07,3.351612e-07,3.340285e-07,3.329055e-07,3.317931e-07,3.306922e-07,3.296035e-07,3.285277e-07,3.274654e-07,3.264170e-07,3.253830e-07,3.243639e-07,3.233599e-07,3.223714e-07,3.213986e-07,3.204416e-07,3.195008e-07,3.185760e-07,3.176676e-07,3.167754e-07,3.158996e-07
0.000000e+00,3.300583e-08,9.852266e-08,5.010903e-07,1.472069e-06,2.410380e-06,6.978711e-06,7.250912e-06,1.688385e-05,2.072744e-05,3.346868e-05,4.775165e-05,5.942106e-05,9.383396e-05,9.737716e-05,1.501050e-04,1.652613e-04,2.202784e-04,2.680582e-04,3.101411e-04,4.067772e-04,4.212713e-04,5.545700e-04,5.839282e-04,7.103748e-04,8.002666e-04,8.885765e-04,1.055239e-03,1.088704e-03,1.309976e-03,1.347275e-03,1.551343e-03,1.673968e-03,1.811519e-03,2.032204e-03,2.089010e-03,2.382153e-03,2.418298e-03,2.689151e-03,2.828133e-03,3.008108e-03,3.257313e-03,3.337072e-03,3.674067e-03,3.701315e-03,4.017131e-03,4.155624e-03,4.364344e-03,4.615863e-03,4.713855e-03,5.063907e-03,5.077896e-03,5.412851e-03,5.537902e-03,5.759163e-03,5.992434e-03,6.101448e-03,6.438448e-03,6.769043e-03,6.873316e-03,7.092248e-03,7.294823e-03,7.407212e-03,7.701151e-03,7.713210e-03,8.009638e-03,8.090853e-03,8.296003e-03,8.462825e-03,8.571916e-03,8.816272e-03,8.837085e-03,9.091303e-03,9.150670e-03,9.334441e-03,9.465733e-03,9.566439e-03,9.761382e-03,9.787299e-03,9.997075e-03,1.003771e-02,1.019587e-02,1.029495e-02,1.038383e-02,1.053346e-02,1.056112e-02,1.072796e-02,1.075370e-02,1.088457e-02,1.095619e-02,1.103121e-02,1.114151e-02,1.116813e-02,1.129562e-02,1.131030e-02,1.141396e-02,1.146321e-02,1.152346e-02,1.160093e-02,1.162440e-02,1.171708e-02,1.172415e-02,1.180182e-02,1.183356e-02,1.187891e-02,1.192984e-02,1.194864e-02,1.201133e-02,1.201369e-02,1.206724e-02,1.208577e-02,1.211669e-02,1.214675e-02,1.215993e-02,1.219726e-02,1.222893e-02,1.223791e-02,1.225521e-02,1.226932e-02,1.227636e-02,1.229206e-02,1.229262e-02,1.230423e-02,1.230668e-02,1.231143e-02,1.231372e-02,1.231443e-02,1.231369e-02,1.231347e-02,1.230874e-02,1.230707e-02,1.230046e-02,1.229433e-02,1.228881e-02,1.227593e-02,1.227399e-02,1.225617e-02,1.225227e-02,1.223554e-02,1.222375e-02,1.221226e-02,1.219077e-02,1.218649e-02,1.215839e-02,1.215368e-02,1.212810e-02,1.211283e-02,1.209577e-02,1.206853e-02,1.206154e-02,1.202553e-02,1.202109e-02,1.198787e-02,1.197081e-02,1.194868e-02,1.191794e-02,1.190808e-02,1.186617e-02,1.186276e-02,1.182305e-02,1.180549e-02,1.177884e-02,1.174638e-02,1.173362e-02,1.168748e-02,1.168562e-02,1.164052e-02,1.162342e-02,1.159280e-02,1.155997e-02,1.154442e-02,1.149544e-02,1.143000e-02,1.136379e-02,1.129697e-02,1.122966e-02,1.116200e-02,1.109409e-02,1.102604e-02,1.095795e-02,1.088992e-02,1.082202e-02,1.075435e-02,1.068696e-02,1.061992e-02,1.055330e-02,1.048716e-02,1.042153e-02,1.035647e-02,1.029202e-02,1.022822e-02,1.016510e-02,1.010269e-02,1.004102e-02,9.980106e-03,9.919978e-03
0.000000e+00,4.472384e-11,1.026678e-10,3.547824e-10,8.115328e-10,1.188336e-09,2.730334e-09,2.814243e-09,5.537165e-09,6.543785e-09,9.718510e-09,1.310194e-08,1.578337e-08,2.342623e-08,2.419636e-08,3.537776e-08,3.850431e-08,4.954724e-08,5.875613e-08,6.658169e-08,8.360221e-08,8.604854e-08,1.074023e-07,1.118544e-07,1.301521e-07,1.424020e-07,1.539131e-07,1.744369e-07,1.783915e-07,2.033550e-07,2.073808e-07,2.286096e-07,2.407846e-07,2.539856e-07,2.742710e-07,2.793308e-07,3.045073e-07,3.075111e-07,3.293903e-07,3.402167e-07,3.538684e-07,3.721402e-07,3.778437e-07,4.012315e-07,4.030750e-07,4.239608e-07,4.328547e-07,4.459732e-07,4.613516e-07,4.672221e-07,4.876725e-07,4.884736e-07,5.072990e-07,5.141593e-07,5.260845e-07,5.383735e-07,5.440203e-07,5.611045e-07,5.773403e-07,5.823577e-07,5.927354e-07,6.021526e-07,6.073020e-07,6.205205e-07,6.210552e-07,6.340128e-07,6.375010e-07,6.461943e-07,6.531395e-07,6.576210e-07,6.674860e-07,6.683151e-07,6.782999e-07,6.805933e-07,6.875991e-07,6.925162e-07,6.962368e-07,7.033100e-07,7.042372e-07,7.116240e-07,7.130298e-07,7.184207e-07,7.217296e-07,7.246507e-07,7.294626e-07,7.303367e-07,7.355014e-07,7.362808e-07,7.401667e-07,7.422351e-07,7.443542e-07,7.473741e-07,7.480846e-07,7.513782e-07,7.517450e-07,7.542546e-07,7.553931e-07,7.567331e-07,7.583619e-07,7.588320e-07,7.605694e-07,7.606933e-07,7.619624e-07,7.624270e-07,7.630278e-07,7.636011e-07,7.637817e-07,7.642396e-07,7.642519e-07,7.644164e-07,7.644141e-07,7.643267e-07,7.641205e-07,7.639842e-07,7.634024e-07,7.625940e-07,7.622895e-07,7.615715e-07,7.608101e-07,7.603465e-07,7.589907e-07,7.589305e-07,7.573345e-07,7.568568e-07,7.555688e-07,7.544322e-07,7.536436e-07,7.517397e-07,7.515684e-07,7.493524e-07,7.488006e-07,7.470045e-07,7.456352e-07,7.445331e-07,7.422626e-07,7.419463e-07,7.392519e-07,7.387007e-07,7.364571e-07,7.349666e-07,7.335691e-07,7.310762e-07,7.305947e-07,7.275402e-07,7.270445e-07,7.244119e-07,7.228858e-07,7.212156e-07,7.186133e-07,7.179568e-07,7.146410e-07,7.142395e-07,7.112732e-07,7.097761e-07,7.078582e-07,7.052342e-07,7.044008e-07,7.009052e-07,7.006240e-07,6.973756e-07,6.959552e-07,6.938161e-07,6.912368e-07,6.902304e-07,6.866220e-07,6.864772e-07,6.829944e-07,6.816844e-07,6.793509e-07,6.768657e-07,6.756944e-07,6.720279e-07,6.671774e-07,6.623202e-07,6.574618e-07,6.526073e-07,6.477614e-07,6.429286e-07,6.381128e-07,6.333179e-07,6.285472e-07,6.238040e-07,6.190911e-07,6.144112e-07,6.097667e-07,6.051598e-07,6.005925e-07,5.960667e-07,5.915839e-07,5.871457e-07,5.827532e-07,5.784077e-07,5.741102e-07,5.698615e-07,5.656625e-07,5.615137e-07
0.000000e+00,7.465212e-11,1.763505e-10,6.272525e-10,1.449784e-09,2.127289e-09,4.871020e-09,5.018844e-09,9.735702e-09,1.144289e-08,1.671603e-08,2.217808e-08,2.641173e-08,3.812765e-08,3.928526e-08,5.578159e-08,6.032278e-08,7.625794e-08,8.953252e-08,1.008683e-07,1.258321e-07,1.294608e-07,1.615921e-07,1.683917e-07,1.966707e-07,2.158776e-07,2.341055e-07,2.669887e-07,2.733763e-07,3.140414e-07,3.206511e-07,3.557216e-07,3.759898e-07,3.980851e-07,4.322682e-07,4.408364e-07,4.837114e-07,4.888532e-07,5.264743e-07,5.451998e-07,5.689168e-07,6.008459e-07,6.108570e-07,6.521390e-07,6.554090e-07,6.926312e-07,7.085819e-07,7.322247e-07,7.601252e-07,7.708314e-07,8.083831e-07,8.098625e-07,8.448275e-07,8.576686e-07,8.801266e-07,9.034627e-07,9.142557e-07,9.472011e-07,9.789579e-07,9.888693e-07,1.009529e-06,1.028476e-06,1.038924e-06,1.066050e-06,1.067157e-06,1.094246e-06,1.101629e-06,1.120214e-06,1.135267e-06,1.145086e-06,1.167022e-06,1.168887e-06,1.191647e-06,1.196957e-06,1.213392e-06,1.225138e-06,1.234154e-06,1.251635e-06,1.253962e-06,1.272846e-06,1.276515e-06,1.290836e-06,1.299848e-06,1.307962e-06,1.321702e-06,1.324253e-06,1.339739e-06,1.342143e-06,1.354446e-06,1.361238e-06,1.368404e-06,1.379048e-06,1.381639e-06,1.394178e-06,1.395637e-06,1.406046e-06,1.411063e-06,1.417270e-06,1.425383e-06,1.427872e-06,1.437877e-06,1.438653e-06,1.447309e-06,1.450925e-06,1.456188e-06,1.462251e-06,1.464537e-06,1.472376e-06,1.472679e-06,1.479726e-06,1.482256e-06,1.486606e-06,1.491025e-06,1.493035e-06,1.499031e-06,1.504611e-06,1.506312e-06,1.509794e-06,1.512909e-06,1.514594e-06,1.518857e-06,1.519028e-06,1.523110e-06,1.524193e-06,1.526857e-06,1.528949e-06,1.530280e-06,1.533157e-06,1.533396e-06,1.536215e-06,1.536849e-06,1.538751e-06,1.540053e-06,1.541017e-06,1.542796e-06,1.543023e-06,1.544781e-06,1.545104e-06,1.546302e-06,1.547003e-06,1.547597e-06,1.548516e-06,1.548674e-06,1.549545e-06,1.549665e-06,1.550217e-06,1.550473e-06,1.550701e-06,1.550958e-06,1.551005e-06,1.551136e-06,1.551141e-06,1.551103e-06,1.551039e-06,1.550914e-06,1.550670e-06,1.550576e-06,1.550096e-06,1.550051e-06,1.549480e-06,1.549197e-06,1.548735e-06,1.548123e-06,1.547868e-06,1.546884e-06,1.546842e-06,1.545789e-06,1.545369e-06,1.544589e-06,1.543716e-06,1.543289e-06,1.541895e-06,1.539916e-06,1.537793e-06,1.535533e-06,1.533147e-06,1.530645e-06,1.528034e-06,1.525324e-06,1.522521e-06,1.519634e-06,1.516669e-06,1.513633e-06,1.510532e-06,1.507373e-06,1.504160e-06,1.500899e-06,1.497596e-06,1.494254e-06,1.490878e-06,1.487473e-06,1.484043e-06,1.480591e-06,1.477121e-06,1.473636e-06,1.470140e-06
0.000000e+00,4.586217e-10,1.132381e-09,4.236154e-09,1.004096e-08,1.488001e-08,3.473775e-08,3.581614e-08,7.055872e-08,8.327200e-08,1.229425e-07,1.646065e-07,1.972471e-07,2.887555e-07,2.978635e-07,4.280190e-07,4.637706e-07,5.881856e-07,6.902383e-07,7.761953e-07,9.621993e-07,9.889340e-07,1.223533e-06,1.272858e-06,1.477590e-06,1.616686e-06,1.749005e-06,1.988956e-06,2.035795e-06,2.335977e-06,2.385114e-06,2.647521e-06,2.800485e-06,2.968336e-06,3.230234e-06,3.296295e-06,3.629266e-06,3.669459e-06,3.965150e-06,4.113337e-06,4.301922e-06,4.557274e-06,4.637659e-06,4.970574e-06,4.997035e-06,5.299034e-06,5.428837e-06,5.621577e-06,5.849412e-06,5.936913e-06,6.243933e-06,6.256027e-06,6.541702e-06,6.646482e-06,6.829452e-06,7.019081e-06,7.106572e-06,7.372598e-06,7.627190e-06,7.706207e-06,7.870131e-06,8.019441e-06,8.101306e-06,8.312143e-06,8.320692e-06,8.528346e-06,8.584402e-06,8.724388e-06,8.836511e-06,8.908996e-06,9.068928e-06,9.082393e-06,9.244843e-06,9.282233e-06,9.396635e-06,9.477100e-06,9.538085e-06,9.654269e-06,9.669524e-06,9.791297e-06,9.814523e-06,9.903758e-06,9.958676e-06,1.000726e-05,1.008755e-05,1.010217e-05,1.018885e-05,1.020197e-05,1.026763e-05,1.030275e-05,1.033888e-05,1.039069e-05,1.040294e-05,1.046015e-05,1.046656e-05,1.051082e-05,1.053113e-05,1.055528e-05,1.058511e-05,1.059384e-05,1.062680e-05,1.062920e-05,1.065444e-05,1.066407e-05,1.067705e-05,1.069036e-05,1.069489e-05,1.070822e-05,1.070867e-05,1.071730e-05,1.071958e-05,1.072237e-05,1.072363e-05,1.072364e-05,1.072135e-05,1.071571e-05,1.071322e-05,1.070691e-05,1.069971e-05,1.069515e-05,1.068124e-05,1.068061e-05,1.066348e-05,1.065824e-05,1.064392e-05,1.063108e-05,1.062209e-05,1.060013e-05,1.059814e-05,1.057222e-05,1.056573e-05,1.054448e-05,1.052819e-05,1.051504e-05,1.048783e-05,1.048403e-05,1.045157e-05,1.044491e-05,1.041777e-05,1.039971e-05,1.038275e-05,1.035246e-05,1.034660e-05,1.030943e-05,1.030339e-05,1.027132e-05,1.025272e-05,1.023237e-05,1.020066e-05,1.019266e-05,1.015226e-05,1.014737e-05,1.011126e-05,1.009304e-05,1.006972e-05,1.003783e-05,1.002770e-05,9.985287e-06,9.981878e-06,9.942523e-06,9.925333e-06,9.899468e-06,9.868318e-06,9.856176e-06,9.812696e-06,9.810954e-06,9.769076e-06,9.753347e-06,9.725361e-06,9.695601e-06,9.681591e-06,9.637807e-06,9.580052e-06,9.522414e-06,9.464964e-06,9.407769e-06,9.350889e-06,9.294380e-06,9.238289e-06,9.182663e-06,9.127543e-06,9.072965e-06,9.018962e-06,8.965563e-06,8.912794e-06,8.860679e-06,8.809237e-06,8.758487e-06,8.708442e-06,8.659116e-06,8.610519e-06,8.562660e-06,8.515545e-06,8.469180e-06,8.423569e-06,8.378713e-06
0.000000e+00,2.339458e-10,5.950364e-10,2.314005e-09,5.616963e-09,8.420008e-09,2.025528e-08,2.091133e-08,4.267824e-08,5.092160e-08,7.747109e-08,1.065198e-07,1.299769e-07,1.982997e-07,2.052686e-07,3.071823e-07,3.357344e-07,4.360179e-07,5.185506e-07,5.877332e-07,7.351055e-07,7.559498e-07,9.346028e-07,9.711544e-07,1.119099e-06,1.216243e-06,1.306249e-06,1.463875e-06,1.493850e-06,1.680326e-06,1.709975e-06,1.864497e-06,1.951805e-06,2.045451e-06,2.187413e-06,2.222474e-06,2.395005e-06,2.415385e-06,2.562616e-06,2.634721e-06,2.724991e-06,2.844756e-06,2.881910e-06,3.033235e-06,3.045097e-06,3.178900e-06,3.235577e-06,3.318895e-06,3.416201e-06,3.453259e-06,3.582066e-06,3.587105e-06,3.705423e-06,3.748521e-06,3.823455e-06,3.900748e-06,3.936306e-06,4.044131e-06,4.147093e-06,4.179040e-06,4.245358e-06,4.305861e-06,4.339095e-06,4.424981e-06,4.428475e-06,4.513664e-06,4.536789e-06,4.594829e-06,4.641663e-06,4.672130e-06,4.739972e-06,4.745727e-06,4.815773e-06,4.832072e-06,4.882416e-06,4.918304e-06,4.945801e-06,4.998995e-06,5.006067e-06,5.063347e-06,5.074456e-06,5.117769e-06,5.144981e-06,5.169459e-06,5.210853e-06,5.218534e-06,5.265108e-06,5.272335e-06,5.309291e-06,5.329680e-06,5.351187e-06,5.383126e-06,5.390898e-06,5.428517e-06,5.432896e-06,5.464138e-06,5.479201e-06,5.497849e-06,5.522243e-06,5.529733e-06,5.559870e-06,5.562208e-06,5.588338e-06,5.599274e-06,5.615210e-06,5.633609e-06,5.640556e-06,5.664443e-06,5.665369e-06,5.686935e-06,5.694703e-06,5.708093e-06,5.721749e-06,5.727977e-06,5.746641e-06,5.764139e-06,5.769500e-06,5.780522e-06,5.790445e-06,5.795839e-06,5.809583e-06,5.810136e-06,5.823458e-06,5.827020e-06,5.835848e-06,5.842851e-06,5.847345e-06,5.857168e-06,5.857989e-06,5.867817e-06,5.870058e-06,5.876864e-06,5.881602e-06,5.885165e-06,5.891877e-06,5.892750e-06,5.899653e-06,5.900954e-06,5.905901e-06,5.908902e-06,5.911524e-06,5.915784e-06,5.916549e-06,5.921001e-06,5.921662e-06,5.924906e-06,5.926592e-06,5.928286e-06,5.930628e-06,5.931165e-06,5.933565e-06,5.933822e-06,5.935506e-06,5.936220e-06,5.937008e-06,5.937868e-06,5.938091e-06,5.938772e-06,5.938809e-06,5.939069e-06,5.939084e-06,5.938999e-06,5.938730e-06,5.938578e-06,5.937821e-06,5.937784e-06,5.936743e-06,5.936279e-06,5.935359e-06,5.934249e-06,5.933681e-06,5.931723e-06,5.928731e-06,5.925299e-06,5.921455e-06,5.917221e-06,5.912623e-06,5.907680e-06,5.902416e-06,5.896849e-06,5.890998e-06,5.884881e-06,5.878514e-06,5.871915e-06,5.865098e-06,5.858078e-06,5.850868e-06,5.843481e-06,5.835930e-06,5.828227e-06,5.820384e-06,5.812409e-06,5.804315e-06,5.796110e-06,5.787804e-06,5.779405e-06
0.000000e+00,1.034761e-11,2.353482e-11,7.977859e-11,1.789524e-10,2.589069e-10,5.734849e-10,5.901176e-10,1.108741e-09,1.291654e-09,1.843956e-09,2.399073e-09,2.819300e-09,3.944102e-09,4.052564e-09,5.554757e-09,5.955744e-09,7.327705e-09,8.435358e-09,9.360418e-09,1.134323e-08,1.162617e-08,1.408380e-08,1.459407e-08,1.668405e-08,1.807585e-08,1.937702e-08,2.167707e-08,2.211687e-08,2.486336e-08,2.530103e-08,2.758191e-08,2.886810e-08,3.024321e-08,3.231444e-08,3.282281e-08,3.530086e-08,3.559062e-08,3.766179e-08,3.866038e-08,3.989403e-08,4.149946e-08,4.198964e-08,4.394393e-08,4.409409e-08,4.575501e-08,4.643939e-08,4.742339e-08,4.853758e-08,4.895153e-08,5.034344e-08,5.039635e-08,5.160430e-08,5.202728e-08,5.274017e-08,5.344453e-08,5.375768e-08,5.466378e-08,5.546561e-08,5.570134e-08,5.617029e-08,5.657354e-08,5.678482e-08,5.729625e-08,5.731598e-08,5.777029e-08,5.788458e-08,5.815395e-08,5.835269e-08,5.847282e-08,5.871368e-08,5.873239e-08,5.893778e-08,5.897955e-08,5.909377e-08,5.916121e-08,5.920478e-08,5.926850e-08,5.927488e-08,5.930785e-08,5.931029e-08,5.930714e-08,5.929453e-08,5.927594e-08,5.922831e-08,5.921717e-08,5.913350e-08,5.911796e-08,5.902737e-08,5.896912e-08,5.890103e-08,5.878679e-08,5.875653e-08,5.859573e-08,5.857542e-08,5.842035e-08,5.833897e-08,5.823194e-08,5.808093e-08,5.803195e-08,5.782167e-08,5.780444e-08,5.760230e-08,5.751225e-08,5.737492e-08,5.720681e-08,5.714053e-08,5.690004e-08,5.689031e-08,5.665428e-08,5.656467e-08,5.640401e-08,5.623161e-08,5.614993e-08,5.589266e-08,5.563279e-08,5.554917e-08,5.537084e-08,5.520233e-08,5.510731e-08,5.485323e-08,5.484262e-08,5.457719e-08,5.450279e-08,5.431139e-08,5.415186e-08,5.404554e-08,5.380118e-08,5.377995e-08,5.351491e-08,5.345141e-08,5.325067e-08,5.310314e-08,5.298747e-08,5.275687e-08,5.272550e-08,5.246497e-08,5.241305e-08,5.220605e-08,5.207210e-08,5.194889e-08,5.173434e-08,5.169364e-08,5.144042e-08,5.140010e-08,5.118935e-08,5.106963e-08,5.094053e-08,5.074316e-08,5.069405e-08,5.045001e-08,5.042089e-08,5.020846e-08,5.010299e-08,4.996948e-08,4.978961e-08,4.973312e-08,4.949943e-08,4.948086e-08,4.926846e-08,4.917684e-08,4.904023e-08,4.887763e-08,4.881479e-08,4.859215e-08,4.858331e-08,4.837234e-08,4.829390e-08,4.815537e-08,4.800946e-08,4.794125e-08,4.773000e-08,4.745553e-08,4.718605e-08,4.692156e-08,4.666203e-08,4.640745e-08,4.615779e-08,4.591301e-08,4.567306e-08,4.543791e-08,4.520751e-08,4.498179e-08,4.476071e-08,4.454421e-08,4.433223e-08,4.412470e-08,4.392156e-08,4.372274e-08,4.352817e-08,4.333780e-08,4.315154e-08,4.296932e-08,4.279109e-08,4.261676e-08,4.244627e-08
0.000000e+00,3.327312e-10,9.097968e-10,3.924466e-09,1.009362e-08,1.545477e-08,3.823480e-08,3.948994e-08,8.020501e-08,9.512141e-08,1.414118e-07,1.894399e-07,2.266101e-07,3.289460e-07,3.390092e-07,4.814939e-07,5.204502e-07,6.565052e-07,7.694123e-07,8.658003e-07,1.078927e-06,1.110077e-06,1.388541e-06,1.448142e-06,1.698638e-06,1.871065e-06,2.036230e-06,2.337324e-06,2.396201e-06,2.773187e-06,2.834737e-06,3.162102e-06,3.351655e-06,3.558374e-06,3.877973e-06,3.957989e-06,4.357447e-06,4.405223e-06,4.753709e-06,4.926360e-06,5.144145e-06,5.435581e-06,5.526503e-06,5.898878e-06,5.928187e-06,6.259691e-06,6.400483e-06,6.607664e-06,6.849684e-06,6.941800e-06,7.261351e-06,7.273822e-06,7.565800e-06,7.671637e-06,7.854827e-06,8.042476e-06,8.128287e-06,8.386186e-06,8.628653e-06,8.703018e-06,8.855922e-06,8.993543e-06,9.068312e-06,9.258567e-06,9.266210e-06,9.450053e-06,9.499074e-06,9.620317e-06,9.716167e-06,9.777507e-06,9.911024e-06,9.922146e-06,1.005477e-05,1.008487e-05,1.017590e-05,1.023893e-05,1.028610e-05,1.037443e-05,1.038587e-05,1.047575e-05,1.049258e-05,1.055624e-05,1.059455e-05,1.062784e-05,1.068146e-05,1.069102e-05,1.074626e-05,1.075439e-05,1.079399e-05,1.081437e-05,1.083466e-05,1.086237e-05,1.086866e-05,1.089639e-05,1.089932e-05,1.091824e-05,1.092608e-05,1.093455e-05,1.094347e-05,1.094568e-05,1.095196e-05,1.095226e-05,1.095368e-05,1.095317e-05,1.095116e-05,1.094686e-05,1.094466e-05,1.093446e-05,1.093398e-05,1.092081e-05,1.091510e-05,1.090396e-05,1.089078e-05,1.088412e-05,1.086151e-05,1.083634e-05,1.082777e-05,1.080880e-05,1.079001e-05,1.077907e-05,1.074863e-05,1.074732e-05,1.071372e-05,1.070400e-05,1.067842e-05,1.065649e-05,1.064157e-05,1.060641e-05,1.060330e-05,1.056374e-05,1.055407e-05,1.052301e-05,1.049974e-05,1.048123e-05,1.044368e-05,1.043850e-05,1.039493e-05,1.038612e-05,1.035061e-05,1.032730e-05,1.030563e-05,1.026740e-05,1.026007e-05,1.021402e-05,1.020661e-05,1.016754e-05,1.014510e-05,1.012071e-05,1.008304e-05,1.007360e-05,1.002625e-05,1.002056e-05,9.978735e-06,9.957788e-06,9.931102e-06,9.894853e-06,9.883401e-06,9.835680e-06,9.831863e-06,9.787981e-06,9.768917e-06,9.740344e-06,9.706106e-06,9.692808e-06,9.645407e-06,9.643514e-06,9.598173e-06,9.581216e-06,9.551137e-06,9.519279e-06,9.504326e-06,9.457766e-06,9.396731e-06,9.336224e-06,9.276290e-06,9.216968e-06,9.158294e-06,9.100297e-06,9.043006e-06,8.986444e-06,8.930631e-06,8.875585e-06,8.821320e-06,8.767848e-06,8.715179e-06,8.663321e-06,8.612280e-06,8.562058e-06,8.512660e-06,8.464084e-06,8.416332e-06,8.369400e-06,8.323287e-06,8.277988e-06,8.233499e-06,8.189813e-06
0.000000e+00,1.339422e-09,3.643019e-09,1.558056e-08,3.987366e-08,6.095708e-08,1.508354e-07,1.558097e-07,3.187812e-07,3.793224e-07,5.701405e-07,7.727203e-07,9.325307e-07,1.384291e-06,1.429504e-06,2.079488e-06,2.259066e-06,2.885956e-06,3.400613e-06,3.832929e-06,4.760348e-06,4.892442e-06,6.035617e-06,6.272061e-06,7.238183e-06,7.880431e-06,8.480879e-06,9.544271e-06,9.748112e-06,1.102671e-05,1.123155e-05,1.230516e-05,1.291571e-05,1.357322e-05,1.457407e-05,1.482183e-05,1.604305e-05,1.618741e-05,1.723005e-05,1.774000e-05,1.837718e-05,1.921949e-05,1.947989e-05,2.053466e-05,2.061689e-05,2.153892e-05,2.192608e-05,2.249100e-05,2.314364e-05,2.338997e-05,2.423559e-05,2.426831e-05,2.502816e-05,2.530064e-05,2.576843e-05,2.624248e-05,2.645748e-05,2.709676e-05,2.768794e-05,2.786724e-05,2.823280e-05,2.855810e-05,2.873328e-05,2.917382e-05,2.919135e-05,2.960903e-05,2.971902e-05,2.998833e-05,3.019831e-05,3.033123e-05,3.061623e-05,3.063969e-05,3.091562e-05,3.097721e-05,3.116086e-05,3.128546e-05,3.137720e-05,3.154503e-05,3.156635e-05,3.172994e-05,3.175973e-05,3.186955e-05,3.193316e-05,3.198666e-05,3.206868e-05,3.208269e-05,3.215899e-05,3.216945e-05,3.221684e-05,3.223841e-05,3.225744e-05,3.227829e-05,3.228196e-05,3.229145e-05,3.229163e-05,3.228696e-05,3.228080e-05,3.226944e-05,3.224797e-05,3.223980e-05,3.219891e-05,3.219517e-05,3.214756e-05,3.212427e-05,3.208653e-05,3.203699e-05,3.201653e-05,3.193823e-05,3.193493e-05,3.185226e-05,3.181956e-05,3.175924e-05,3.169223e-05,3.165971e-05,3.155420e-05,3.144321e-05,3.140662e-05,3.132721e-05,3.125054e-05,3.120662e-05,3.108694e-05,3.108187e-05,3.095333e-05,3.091671e-05,3.082137e-05,3.074069e-05,3.068632e-05,3.055962e-05,3.054850e-05,3.040820e-05,3.037420e-05,3.026572e-05,3.018507e-05,3.012130e-05,2.999281e-05,2.997520e-05,2.982763e-05,2.979796e-05,2.967882e-05,2.960101e-05,2.952896e-05,2.940241e-05,2.937824e-05,2.922684e-05,2.920256e-05,2.907491e-05,2.900184e-05,2.892261e-05,2.880060e-05,2.877008e-05,2.861746e-05,2.859914e-05,2.846486e-05,2.839775e-05,2.831240e-05,2.819669e-05,2.816018e-05,2.800831e-05,2.799618e-05,2.785688e-05,2.779645e-05,2.770597e-05,2.759768e-05,2.755566e-05,2.740602e-05,2.740005e-05,2.725713e-05,2.720372e-05,2.710903e-05,2.700882e-05,2.696180e-05,2.681548e-05,2.662382e-05,2.643393e-05,2.624591e-05,2.605983e-05,2.587576e-05,2.569376e-05,2.551388e-05,2.533618e-05,2.516068e-05,2.498741e-05,2.481641e-05,2.464770e-05,2.448128e-05,2.431717e-05,2.415537e-05,2.399590e-05,2.383875e-05,2.368391e-05,2.353138e-05,2.338115e-05,2.323321e-05,2.308755e-05,2.294415e-05,2.280300e-05
0.000000e+00,3.233569e-12,7.348636e-12,2.491278e-11,5.600768e-11,8.121682e-11,1.817444e-10,1.871214e-10,3.580015e-10,4.197754e-10,6.110980e-10,8.106048e-10,9.663318e-10,1.401854e-09,1.445183e-09,2.065005e-09,2.235459e-09,2.828071e-09,3.311450e-09,3.714991e-09,4.572301e-09,4.693465e-09,5.732661e-09,5.945622e-09,6.809591e-09,7.379048e-09,7.908455e-09,8.840216e-09,9.018114e-09,1.013002e-08,1.030765e-08,1.123698e-08,1.176463e-08,1.233247e-08,1.319650e-08,1.341040e-08,1.446502e-08,1.458975e-08,1.549102e-08,1.593212e-08,1.648354e-08,1.721284e-08,1.743835e-08,1.835184e-08,1.842304e-08,1.922111e-08,1.955593e-08,2.004399e-08,2.060687e-08,2.081899e-08,2.154529e-08,2.157332e-08,2.222269e-08,2.245463e-08,2.285153e-08,2.325181e-08,2.343264e-08,2.396722e-08,2.445681e-08,2.460427e-08,2.490322e-08,2.516716e-08,2.530841e-08,2.566056e-08,2.567448e-08,2.600362e-08,2.608946e-08,2.629802e-08,2.645891e-08,2.655990e-08,2.677396e-08,2.679141e-08,2.699467e-08,2.703948e-08,2.717172e-08,2.726015e-08,2.732450e-08,2.744033e-08,2.745485e-08,2.756451e-08,2.758410e-08,2.765512e-08,2.769522e-08,2.772820e-08,2.777710e-08,2.778519e-08,2.782740e-08,2.783286e-08,2.785604e-08,2.786532e-08,2.787227e-08,2.787700e-08,2.787711e-08,2.787152e-08,2.787020e-08,2.785640e-08,2.784693e-08,2.783253e-08,2.780901e-08,2.780067e-08,2.776148e-08,2.775805e-08,2.771558e-08,2.769548e-08,2.766355e-08,2.762257e-08,2.760589e-08,2.754308e-08,2.754047e-08,2.747556e-08,2.745018e-08,2.740375e-08,2.735266e-08,2.732803e-08,2.724875e-08,2.716627e-08,2.713924e-08,2.708087e-08,2.702481e-08,2.699283e-08,2.690605e-08,2.690239e-08,2.680979e-08,2.678350e-08,2.671522e-08,2.665761e-08,2.661887e-08,2.652881e-08,2.652092e-08,2.642153e-08,2.639748e-08,2.632085e-08,2.626394e-08,2.621898e-08,2.612846e-08,2.611606e-08,2.601221e-08,2.599134e-08,2.590756e-08,2.585287e-08,2.580223e-08,2.571331e-08,2.569633e-08,2.558994e-08,2.557287e-08,2.548313e-08,2.543174e-08,2.537598e-08,2.529007e-08,2.526857e-08,2.516098e-08,2.514807e-08,2.505329e-08,2.500589e-08,2.494557e-08,2.486371e-08,2.483787e-08,2.473026e-08,2.472166e-08,2.462278e-08,2.457984e-08,2.451548e-08,2.443836e-08,2.440840e-08,2.430159e-08,2.429733e-08,2.419510e-08,2.415684e-08,2.408895e-08,2.401699e-08,2.398319e-08,2.387785e-08,2.373949e-08,2.360198e-08,2.346536e-08,2.332970e-08,2.319505e-08,2.306145e-08,2.292894e-08,2.279756e-08,2.266733e-08,2.253830e-08,2.241048e-08,2.228390e-08,2.215858e-08,2.203454e-08,2.191178e-08,2.179033e-08,2.167020e-08,2.155139e-08,2.143391e-08,2.131777e-08,2.120297e-08,2.108951e-08,2.097740e-08,2.086664e-08
0.000000e+00,2.372163e-11,5.432603e-11,1.866363e-10,4.238231e-10,6.174914e-10,1.394538e-09,1.436184e-09,2.757867e-09,3.233581e-09,4.696463e-09,6.203263e-09,7.366151e-09,1.056427e-08,1.087879e-08,1.533421e-08,1.655239e-08,2.080022e-08,2.430876e-08,2.728477e-08,3.377950e-08,3.471737e-08,4.296074e-08,4.469210e-08,5.184801e-08,5.666917e-08,6.121662e-08,6.935301e-08,7.092362e-08,8.084712e-08,8.244780e-08,9.088291e-08,9.571301e-08,1.009408e-07,1.089498e-07,1.109421e-07,1.208187e-07,1.219927e-07,1.305118e-07,1.347054e-07,1.399713e-07,1.469787e-07,1.491560e-07,1.580322e-07,1.587282e-07,1.665738e-07,1.698922e-07,1.747611e-07,1.804286e-07,1.825803e-07,1.900228e-07,1.903126e-07,1.970843e-07,1.995330e-07,2.037644e-07,2.080901e-07,2.100655e-07,2.159927e-07,2.215534e-07,2.232567e-07,2.267561e-07,2.299025e-07,2.316109e-07,2.359542e-07,2.361286e-07,2.403209e-07,2.414380e-07,2.441997e-07,2.463816e-07,2.477772e-07,2.508132e-07,2.510659e-07,2.540782e-07,2.547613e-07,2.568261e-07,2.582541e-07,2.593219e-07,2.613191e-07,2.615775e-07,2.636043e-07,2.639832e-07,2.654137e-07,2.662723e-07,2.670166e-07,2.682113e-07,2.684237e-07,2.696451e-07,2.698240e-07,2.706909e-07,2.711332e-07,2.715703e-07,2.721604e-07,2.722928e-07,2.728669e-07,2.729262e-07,2.733012e-07,2.734500e-07,2.736036e-07,2.737502e-07,2.737821e-07,2.738439e-07,2.738440e-07,2.737961e-07,2.737478e-07,2.736454e-07,2.734769e-07,2.733984e-07,2.730612e-07,2.730459e-07,2.726395e-07,2.724681e-07,2.721391e-07,2.717565e-07,2.715651e-07,2.709227e-07,2.702167e-07,2.699781e-07,2.694517e-07,2.689331e-07,2.686319e-07,2.677973e-07,2.677616e-07,2.668446e-07,2.665799e-07,2.658846e-07,2.652894e-07,2.648851e-07,2.639337e-07,2.638496e-07,2.627811e-07,2.625201e-07,2.616826e-07,2.610554e-07,2.605570e-07,2.595461e-07,2.594069e-07,2.582349e-07,2.579981e-07,2.570433e-07,2.564167e-07,2.558345e-07,2.548072e-07,2.546104e-07,2.533732e-07,2.531741e-07,2.521247e-07,2.515219e-07,2.508667e-07,2.498545e-07,2.496008e-07,2.483287e-07,2.481757e-07,2.470518e-07,2.464888e-07,2.457715e-07,2.447969e-07,2.444890e-07,2.432057e-07,2.431030e-07,2.419227e-07,2.414097e-07,2.406409e-07,2.397194e-07,2.393615e-07,2.380853e-07,2.380343e-07,2.368132e-07,2.363564e-07,2.355460e-07,2.346876e-07,2.342845e-07,2.330294e-07,2.313835e-07,2.297511e-07,2.281335e-07,2.265317e-07,2.249468e-07,2.233796e-07,2.218309e-07,2.203014e-07,2.187915e-07,2.173019e-07,2.158330e-07,2.143850e-07,2.129584e-07,2.115533e-07,2.101700e-07,2.088085e-07,2.074689e-07,2.061514e-07,2.048558e-07,2.035823e-07,2.023306e-07,2.011008e-07,1.998926e-07,1.987061e-07
0.000000e+00,1.721512e-09,5.068030e-09,2.506325e-08,7.184698e-08,1.161354e-07,3.259887e-07,3.383055e-07,7.673489e-07,9.361901e-07,1.491055e-06,2.108181e-06,2.610304e-06,4.083712e-06,4.234783e-06,6.464274e-06,7.097383e-06,9.361348e-06,1.128222e-05,1.293977e-05,1.663356e-05,1.717508e-05,2.202141e-05,2.305921e-05,2.742345e-05,3.043272e-05,3.332257e-05,3.861842e-05,3.965922e-05,4.637364e-05,4.747902e-05,5.340608e-05,5.687710e-05,6.069696e-05,6.667607e-05,6.818729e-05,7.581923e-05,7.674190e-05,8.353686e-05,8.694592e-05,9.128692e-05,9.716780e-05,9.901949e-05,1.066886e-04,1.072981e-04,1.142527e-04,1.172405e-04,1.216749e-04,1.269128e-04,1.289232e-04,1.359704e-04,1.362478e-04,1.427941e-04,1.451923e-04,1.493761e-04,1.537066e-04,1.557026e-04,1.617636e-04,1.675522e-04,1.693463e-04,1.730646e-04,1.764470e-04,1.782997e-04,1.830652e-04,1.832583e-04,1.879434e-04,1.892068e-04,1.923595e-04,1.948824e-04,1.965123e-04,2.001061e-04,2.004085e-04,2.040556e-04,2.048947e-04,2.074617e-04,2.092670e-04,2.106353e-04,2.132426e-04,2.135851e-04,2.163201e-04,2.168421e-04,2.188492e-04,2.200860e-04,2.211815e-04,2.229949e-04,2.233257e-04,2.252905e-04,2.255888e-04,2.270845e-04,2.278875e-04,2.287161e-04,2.299097e-04,2.301932e-04,2.315236e-04,2.316738e-04,2.327150e-04,2.331971e-04,2.337746e-04,2.344960e-04,2.347093e-04,2.355259e-04,2.355864e-04,2.362309e-04,2.364829e-04,2.368302e-04,2.371998e-04,2.373300e-04,2.377357e-04,2.377501e-04,2.380528e-04,2.381462e-04,2.382863e-04,2.384000e-04,2.384413e-04,2.385222e-04,2.385335e-04,2.385231e-04,2.384795e-04,2.384125e-04,2.383641e-04,2.381992e-04,2.381912e-04,2.379644e-04,2.378917e-04,2.376871e-04,2.374979e-04,2.373626e-04,2.370250e-04,2.369940e-04,2.365842e-04,2.364800e-04,2.361360e-04,2.358693e-04,2.356521e-04,2.351987e-04,2.351350e-04,2.345870e-04,2.344740e-04,2.340105e-04,2.337001e-04,2.334075e-04,2.328820e-04,2.327801e-04,2.321301e-04,2.320242e-04,2.314595e-04,2.311308e-04,2.307699e-04,2.302057e-04,2.300629e-04,2.293402e-04,2.292524e-04,2.286030e-04,2.282745e-04,2.278529e-04,2.272749e-04,2.270911e-04,2.263188e-04,2.262565e-04,2.255371e-04,2.252221e-04,2.247473e-04,2.241741e-04,2.239503e-04,2.231471e-04,2.231148e-04,2.223385e-04,2.220463e-04,2.215256e-04,2.209706e-04,2.207090e-04,2.198895e-04,2.188047e-04,2.177178e-04,2.166301e-04,2.155429e-04,2.144576e-04,2.133751e-04,2.122966e-04,2.112229e-04,2.101548e-04,2.090933e-04,2.080390e-04,2.069924e-04,2.059543e-04,2.049251e-04,2.039054e-04,2.028955e-04,2.018958e-04,2.009067e-04,1.999285e-04,1.989614e-04,1.980057e-04,1.970616e-04,1.961292e-04,1.952087e-04
0.000000e+00,9.250889e-11,2.172917e-10,7.695576e-10,1.781503e-09,2.621328e-09,6.085459e-09,6.274973e-09,1.247107e-08,1.478197e-08,2.213100e-08,3.004802e-08,3.637036e-08,5.452547e-08,5.635986e-08,8.291534e-08,9.028230e-08,1.159942e-07,1.370499e-07,1.546897e-07,1.924178e-07,1.977835e-07,2.442072e-07,2.538166e-07,2.931569e-07,3.194047e-07,3.440348e-07,3.879163e-07,3.963711e-07,4.497676e-07,4.583852e-07,5.038673e-07,5.299869e-07,5.583391e-07,6.019753e-07,6.128729e-07,6.671799e-07,6.736686e-07,7.209940e-07,7.444530e-07,7.740741e-07,8.137914e-07,8.262062e-07,8.772039e-07,8.812298e-07,9.269088e-07,9.463985e-07,9.751896e-07,1.009010e-06,1.021941e-06,1.067081e-06,1.068852e-06,1.110549e-06,1.125780e-06,1.152305e-06,1.179709e-06,1.192325e-06,1.230600e-06,1.267133e-06,1.278458e-06,1.301938e-06,1.323316e-06,1.335037e-06,1.365234e-06,1.366459e-06,1.396240e-06,1.404290e-06,1.424420e-06,1.440576e-06,1.451040e-06,1.474193e-06,1.476147e-06,1.499787e-06,1.505248e-06,1.522010e-06,1.533853e-06,1.542863e-06,1.560120e-06,1.562396e-06,1.580658e-06,1.584162e-06,1.597696e-06,1.606089e-06,1.613559e-06,1.626011e-06,1.628294e-06,1.641947e-06,1.644034e-06,1.654562e-06,1.660261e-06,1.666183e-06,1.674793e-06,1.676853e-06,1.686612e-06,1.687724e-06,1.695502e-06,1.699147e-06,1.703560e-06,1.709150e-06,1.710823e-06,1.717329e-06,1.717818e-06,1.723111e-06,1.725229e-06,1.728204e-06,1.731462e-06,1.732639e-06,1.736448e-06,1.736588e-06,1.739661e-06,1.740677e-06,1.742307e-06,1.743796e-06,1.744412e-06,1.746005e-06,1.747110e-06,1.747364e-06,1.747752e-06,1.747930e-06,1.747954e-06,1.747756e-06,1.747739e-06,1.747129e-06,1.746891e-06,1.746145e-06,1.745382e-06,1.744805e-06,1.743276e-06,1.743131e-06,1.741138e-06,1.740615e-06,1.738846e-06,1.737438e-06,1.736271e-06,1.733783e-06,1.733428e-06,1.730334e-06,1.729686e-06,1.727002e-06,1.725180e-06,1.723447e-06,1.720298e-06,1.719682e-06,1.715721e-06,1.715070e-06,1.711575e-06,1.709522e-06,1.707255e-06,1.703683e-06,1.702774e-06,1.698142e-06,1.697576e-06,1.693368e-06,1.691226e-06,1.688464e-06,1.684654e-06,1.683437e-06,1.678297e-06,1.677882e-06,1.673053e-06,1.670928e-06,1.667712e-06,1.663811e-06,1.662283e-06,1.656771e-06,1.656549e-06,1.651185e-06,1.649158e-06,1.645532e-06,1.641652e-06,1.639816e-06,1.634046e-06,1.626353e-06,1.618586e-06,1.610756e-06,1.602875e-06,1.594952e-06,1.586998e-06,1.579020e-06,1.571028e-06,1.563029e-06,1.555031e-06,1.547040e-06,1.539062e-06,1.531103e-06,1.523169e-06,1.515265e-06,1.507395e-06,1.499564e-06,1.491775e-06,1.484033e-06,1.476340e-06,1.468700e-06,1.461115e-06,1.453588e-06,1.446122e-06
0.000000e+00,6.274861e-10,1.723164e-09,7.489667e-09,1.940537e-08,2.986187e-08,7.530037e-08,7.785157e-08,1.633368e-07,1.959774e-07,3.016638e-07,4.179004e-07,5.119296e-07,7.845890e-07,8.121776e-07,1.208216e-06,1.316429e-06,1.687396e-06,1.983596e-06,2.226933e-06,2.734444e-06,2.805327e-06,3.406798e-06,3.528850e-06,4.020642e-06,4.342184e-06,4.639445e-06,5.158969e-06,5.257644e-06,5.870685e-06,5.968022e-06,6.474615e-06,6.760213e-06,7.065898e-06,7.527678e-06,7.641368e-06,8.198249e-06,8.263709e-06,8.734182e-06,8.962844e-06,9.247236e-06,9.620916e-06,9.735911e-06,1.019918e-05,1.023512e-05,1.063645e-05,1.080401e-05,1.104750e-05,1.132726e-05,1.143243e-05,1.179164e-05,1.180549e-05,1.212577e-05,1.224007e-05,1.243563e-05,1.263294e-05,1.272216e-05,1.298646e-05,1.322963e-05,1.330317e-05,1.345280e-05,1.358567e-05,1.365713e-05,1.383664e-05,1.384378e-05,1.401386e-05,1.405867e-05,1.416850e-05,1.425430e-05,1.430873e-05,1.442588e-05,1.443556e-05,1.454992e-05,1.457561e-05,1.465271e-05,1.470554e-05,1.474477e-05,1.481753e-05,1.482688e-05,1.489976e-05,1.491329e-05,1.496410e-05,1.499439e-05,1.502051e-05,1.506221e-05,1.506959e-05,1.511187e-05,1.511804e-05,1.514785e-05,1.516301e-05,1.517798e-05,1.519816e-05,1.520269e-05,1.522237e-05,1.522441e-05,1.523739e-05,1.524260e-05,1.524807e-05,1.525349e-05,1.525474e-05,1.525766e-05,1.525774e-05,1.525712e-05,1.525598e-05,1.525334e-05,1.524875e-05,1.524656e-05,1.523699e-05,1.523655e-05,1.522482e-05,1.521984e-05,1.521024e-05,1.519903e-05,1.519340e-05,1.517447e-05,1.515360e-05,1.514653e-05,1.513091e-05,1.511549e-05,1.510653e-05,1.508165e-05,1.508058e-05,1.505318e-05,1.504525e-05,1.502441e-05,1.500654e-05,1.499439e-05,1.496573e-05,1.496320e-05,1.493092e-05,1.492302e-05,1.489763e-05,1.487858e-05,1.486341e-05,1.483258e-05,1.482832e-05,1.479244e-05,1.478518e-05,1.475583e-05,1.473652e-05,1.471853e-05,1.468672e-05,1.468062e-05,1.464213e-05,1.463592e-05,1.460312e-05,1.458422e-05,1.456363e-05,1.453173e-05,1.452371e-05,1.448340e-05,1.447853e-05,1.444273e-05,1.442473e-05,1.440174e-05,1.437041e-05,1.436048e-05,1.431896e-05,1.431563e-05,1.427723e-05,1.426048e-05,1.423530e-05,1.420502e-05,1.419322e-05,1.415100e-05,1.414930e-05,1.410866e-05,1.409340e-05,1.406624e-05,1.403736e-05,1.402376e-05,1.398123e-05,1.392506e-05,1.386890e-05,1.381277e-05,1.375673e-05,1.370080e-05,1.364502e-05,1.358942e-05,1.353402e-05,1.347886e-05,1.342395e-05,1.336933e-05,1.331500e-05,1.326100e-05,1.320733e-05,1.315401e-05,1.310107e-05,1.304851e-05,1.299634e-05,1.294458e-05,1.289324e-05,1.284234e-05,1.279186e-05,1.274184e-05,1.269226e-05
0.000000e+00,2.070985e-09,6.053317e-09,2.950102e-08,8.349724e-08,1.340777e-07,3.706757e-07,3.844706e-07,8.624031e-07,1.049850e-06,1.665825e-06,2.352643e-06,2.913363e-06,4.567076e-06,4.737113e-06,7.246857e-06,7.957357e-06,1.047969e-05,1.259012e-05,1.438568e-05,1.829626e-05,1.885894e-05,2.377691e-05,2.480348e-05,2.902464e-05,3.185050e-05,3.450408e-05,3.922656e-05,4.013478e-05,4.585085e-05,4.676955e-05,5.159727e-05,5.435217e-05,5.732658e-05,6.186921e-05,6.299657e-05,6.856876e-05,6.922914e-05,7.400765e-05,7.635002e-05,7.928058e-05,8.315859e-05,8.435780e-05,8.921277e-05,8.959085e-05,9.382247e-05,9.559327e-05,9.816788e-05,1.011245e-04,1.022342e-04,1.060108e-04,1.061557e-04,1.094911e-04,1.106709e-04,1.126725e-04,1.146654e-04,1.155559e-04,1.181456e-04,1.204486e-04,1.211265e-04,1.224744e-04,1.236306e-04,1.242344e-04,1.256858e-04,1.257414e-04,1.270094e-04,1.273237e-04,1.280534e-04,1.285784e-04,1.288883e-04,1.294847e-04,1.295292e-04,1.299912e-04,1.300771e-04,1.302889e-04,1.303893e-04,1.304368e-04,1.304537e-04,1.304483e-04,1.303364e-04,1.303003e-04,1.301134e-04,1.299573e-04,1.297906e-04,1.294501e-04,1.293786e-04,1.288873e-04,1.288019e-04,1.283256e-04,1.280335e-04,1.277020e-04,1.271636e-04,1.270239e-04,1.262983e-04,1.262083e-04,1.255314e-04,1.251823e-04,1.247288e-04,1.240982e-04,1.238957e-04,1.230367e-04,1.229669e-04,1.221558e-04,1.217983e-04,1.212570e-04,1.206005e-04,1.203434e-04,1.194180e-04,1.193808e-04,1.184836e-04,1.181455e-04,1.175425e-04,1.168998e-04,1.165969e-04,1.156485e-04,1.146993e-04,1.143955e-04,1.137505e-04,1.131442e-04,1.128036e-04,1.118975e-04,1.118598e-04,1.109201e-04,1.106578e-04,1.099854e-04,1.094274e-04,1.090566e-04,1.082079e-04,1.081344e-04,1.072193e-04,1.070009e-04,1.063121e-04,1.058076e-04,1.054131e-04,1.046292e-04,1.045229e-04,1.036416e-04,1.034665e-04,1.027698e-04,1.023203e-04,1.019077e-04,1.011911e-04,1.010554e-04,1.002132e-04,1.000794e-04,9.938129e-05,9.898564e-05,9.855973e-05,9.791002e-05,9.774864e-05,9.694812e-05,9.685277e-05,9.615820e-05,9.581402e-05,9.537894e-05,9.479384e-05,9.461035e-05,9.385243e-05,9.379225e-05,9.310516e-05,9.280923e-05,9.236853e-05,9.184471e-05,9.164249e-05,9.092699e-05,9.089858e-05,9.022197e-05,8.997072e-05,8.952737e-05,8.906096e-05,8.884311e-05,8.816911e-05,8.729499e-05,8.643836e-05,8.559899e-05,8.477665e-05,8.397106e-05,8.318198e-05,8.240911e-05,8.165220e-05,8.091095e-05,8.018507e-05,7.947429e-05,7.877831e-05,7.809684e-05,7.742959e-05,7.677627e-05,7.613659e-05,7.551028e-05,7.489703e-05,7.429658e-05,7.370865e-05,7.313295e-05,7.256922e-05,7.201720e-05,7.147661e-05
0.000000e+00,1.494393e-08,4.462401e-08,2.271114e-07,6.674940e-07,1.093135e-06,3.164930e-06,3.288327e-06,7.650529e-06,9.388356e-06,1.513786e-05,2.156303e-05,2.679765e-05,4.216578e-05,4.374299e-05,6.713185e-05,7.383477e-05,9.814050e-05,1.192654e-04,1.379192e-04,1.810181e-04,1.875193e-04,2.477972e-04,2.611904e-04,3.193280e-04,3.610683e-04,4.023663e-04,4.809825e-04,4.968617e-04,6.025050e-04,6.204105e-04,7.187813e-04,7.781780e-04,8.450170e-04,9.526457e-04,9.804177e-04,1.124098e-03,1.141851e-03,1.275107e-03,1.343617e-03,1.432448e-03,1.555635e-03,1.595101e-03,1.762038e-03,1.775547e-03,1.932237e-03,2.001006e-03,2.104701e-03,2.229735e-03,2.278466e-03,2.452616e-03,2.459577e-03,2.626286e-03,2.688534e-03,2.798676e-03,2.914791e-03,2.969049e-03,3.136738e-03,3.301146e-03,3.352976e-03,3.461747e-03,3.562319e-03,3.618082e-03,3.763788e-03,3.769762e-03,3.916457e-03,3.956602e-03,4.057903e-03,4.140160e-03,4.193887e-03,4.314032e-03,4.324251e-03,4.448884e-03,4.477934e-03,4.567716e-03,4.631716e-03,4.680718e-03,4.775339e-03,4.787893e-03,4.889278e-03,4.908865e-03,4.984932e-03,5.032435e-03,5.074941e-03,5.146260e-03,5.159406e-03,5.238449e-03,5.250601e-03,5.312202e-03,5.345766e-03,5.380809e-03,5.432093e-03,5.444424e-03,5.503207e-03,5.509944e-03,5.557322e-03,5.579697e-03,5.606938e-03,5.641742e-03,5.652226e-03,5.693356e-03,5.696472e-03,5.730500e-03,5.744279e-03,5.763827e-03,5.785555e-03,5.793507e-03,5.819704e-03,5.820682e-03,5.842582e-03,5.850036e-03,5.862299e-03,5.873982e-03,5.879012e-03,5.892872e-03,5.904026e-03,5.907047e-03,5.912616e-03,5.916833e-03,5.918782e-03,5.922543e-03,5.922656e-03,5.924368e-03,5.924476e-03,5.924041e-03,5.922916e-03,5.921795e-03,5.918133e-03,5.917745e-03,5.912001e-03,5.910383e-03,5.904670e-03,5.899908e-03,5.895851e-03,5.886939e-03,5.885644e-03,5.874139e-03,5.871690e-03,5.861426e-03,5.854366e-03,5.847590e-03,5.835159e-03,5.832711e-03,5.816867e-03,5.814247e-03,5.800130e-03,5.791801e-03,5.782572e-03,5.767978e-03,5.764257e-03,5.745250e-03,5.742926e-03,5.725611e-03,5.716784e-03,5.705396e-03,5.689682e-03,5.684661e-03,5.663455e-03,5.661739e-03,5.641828e-03,5.633069e-03,5.619825e-03,5.603776e-03,5.597491e-03,5.574867e-03,5.573956e-03,5.551991e-03,5.543701e-03,5.528900e-03,5.513093e-03,5.505629e-03,5.482210e-03,5.451124e-03,5.419901e-03,5.388600e-03,5.357280e-03,5.325989e-03,5.294777e-03,5.263685e-03,5.232754e-03,5.202018e-03,5.171511e-03,5.141261e-03,5.111296e-03,5.081639e-03,5.052312e-03,5.023333e-03,4.994719e-03,4.966485e-03,4.938645e-03,4.911208e-03,4.884186e-03,4.857585e-03,4.831412e-03,4.805674e-03,4.780373e-03
0.000000e+00,9.505674e-11,2.205241e-10,7.714541e-10,1.775705e-09,2.606293e-09,6.010847e-09,6.196190e-09,1.221039e-08,1.443292e-08,2.143521e-08,2.887140e-08,3.472843e-08,5.112884e-08,5.275176e-08,7.564818e-08,8.184097e-08,1.031349e-07,1.203899e-07,1.348347e-07,1.659592e-07,1.704266e-07,2.096424e-07,2.178984e-07,2.522314e-07,2.756256e-07,2.979351e-07,3.385312e-07,3.464764e-07,3.975575e-07,4.059453e-07,4.508639e-07,4.771464e-07,5.060716e-07,5.513875e-07,5.628546e-07,6.208926e-07,6.279267e-07,6.798771e-07,7.060545e-07,7.395172e-07,7.851153e-07,7.995431e-07,8.597083e-07,8.645207e-07,9.197913e-07,9.437567e-07,9.795956e-07,1.022384e-06,1.038948e-06,1.097699e-06,1.100035e-06,1.155719e-06,1.176406e-06,1.212900e-06,1.251256e-06,1.269150e-06,1.324393e-06,1.378569e-06,1.395671e-06,1.431626e-06,1.464978e-06,1.483527e-06,1.532235e-06,1.534241e-06,1.583747e-06,1.597390e-06,1.632030e-06,1.660409e-06,1.679082e-06,1.721277e-06,1.724897e-06,1.769476e-06,1.779992e-06,1.812823e-06,1.836562e-06,1.854945e-06,1.891005e-06,1.895850e-06,1.935550e-06,1.943347e-06,1.974059e-06,1.993617e-06,2.011390e-06,2.041850e-06,2.047560e-06,2.082587e-06,2.088086e-06,2.116487e-06,2.132365e-06,2.149281e-06,2.174732e-06,2.180987e-06,2.211625e-06,2.215231e-06,2.241215e-06,2.253908e-06,2.269778e-06,2.290812e-06,2.297334e-06,2.323905e-06,2.325989e-06,2.349511e-06,2.359487e-06,2.374172e-06,2.391356e-06,2.397911e-06,2.420747e-06,2.421642e-06,2.442702e-06,2.450394e-06,2.463796e-06,2.477658e-06,2.484049e-06,2.503482e-06,2.522115e-06,2.527912e-06,2.539968e-06,2.550993e-06,2.557060e-06,2.572770e-06,2.573410e-06,2.589039e-06,2.593288e-06,2.603964e-06,2.612589e-06,2.618204e-06,2.630716e-06,2.631778e-06,2.644703e-06,2.647711e-06,2.656998e-06,2.663613e-06,2.668678e-06,2.678463e-06,2.679762e-06,2.690266e-06,2.692299e-06,2.700207e-06,2.705159e-06,2.709601e-06,2.717080e-06,2.718463e-06,2.726809e-06,2.728097e-06,2.734654e-06,2.738246e-06,2.742013e-06,2.747560e-06,2.748900e-06,2.755330e-06,2.756072e-06,2.761317e-06,2.763814e-06,2.766873e-06,2.770817e-06,2.772014e-06,2.776750e-06,2.777112e-06,2.781096e-06,2.782727e-06,2.785063e-06,2.787692e-06,2.788664e-06,2.791910e-06,2.792033e-06,2.794814e-06,2.795777e-06,2.797385e-06,2.798950e-06,2.799636e-06,2.801577e-06,2.803682e-06,2.805288e-06,2.806419e-06,2.807095e-06,2.807338e-06,2.807169e-06,2.806607e-06,2.805670e-06,2.804378e-06,2.802748e-06,2.800797e-06,2.798541e-06,2.795997e-06,2.793179e-06,2.790102e-06,2.786781e-06,2.783229e-06,2.779460e-06,2.775485e-06,2.771317e-06,2.766967e-06,2.762448e-06,2.757769e-06,2.752941e-06
0.000000e+00,1.703108e-11,3.902981e-11,1.346479e-10,3.077293e-10,4.504223e-10,1.033782e-09,1.065506e-09,2.094638e-09,2.475113e-09,3.675986e-09,4.957980e-09,5.975674e-09,8.881769e-09,9.174758e-09,1.342054e-08,1.460275e-08,1.875359e-08,2.218569e-08,2.508500e-08,3.135800e-08,3.225781e-08,4.011779e-08,4.176076e-08,4.854050e-08,5.310973e-08,5.742915e-08,6.519790e-08,6.670522e-08,7.630065e-08,7.786134e-08,8.615311e-08,9.095616e-08,9.620357e-08,1.043484e-07,1.063954e-07,1.166744e-07,1.179113e-07,1.269893e-07,1.315266e-07,1.372914e-07,1.450848e-07,1.475360e-07,1.576827e-07,1.584891e-07,1.676948e-07,1.716547e-07,1.775405e-07,1.845106e-07,1.871921e-07,1.966258e-07,1.969984e-07,2.058222e-07,2.090716e-07,2.147653e-07,2.206952e-07,2.234422e-07,2.318433e-07,2.399617e-07,2.424990e-07,2.477926e-07,2.526521e-07,2.553333e-07,2.622986e-07,2.625830e-07,2.695422e-07,2.714389e-07,2.762128e-07,2.800778e-07,2.825978e-07,2.882229e-07,2.887009e-07,2.945266e-07,2.958841e-07,3.000802e-07,3.030734e-07,3.053672e-07,3.098039e-07,3.103935e-07,3.151655e-07,3.160900e-07,3.196896e-07,3.219464e-07,3.239725e-07,3.273886e-07,3.280209e-07,3.318415e-07,3.324321e-07,3.354412e-07,3.370926e-07,3.388268e-07,3.413857e-07,3.420051e-07,3.449828e-07,3.453269e-07,3.477664e-07,3.489315e-07,3.503626e-07,3.522144e-07,3.527779e-07,3.550184e-07,3.551903e-07,3.570905e-07,3.578736e-07,3.590003e-07,3.602781e-07,3.607536e-07,3.623564e-07,3.624175e-07,3.638143e-07,3.643048e-07,3.651329e-07,3.659527e-07,3.663175e-07,3.673735e-07,3.683060e-07,3.685791e-07,3.691199e-07,3.695808e-07,3.698201e-07,3.703898e-07,3.704114e-07,3.708983e-07,3.710165e-07,3.712852e-07,3.714711e-07,3.715764e-07,3.717635e-07,3.717762e-07,3.718885e-07,3.719029e-07,3.719174e-07,3.718984e-07,3.718665e-07,3.717586e-07,3.717395e-07,3.715400e-07,3.714918e-07,3.712715e-07,3.711057e-07,3.709372e-07,3.706080e-07,3.705404e-07,3.700842e-07,3.700059e-07,3.695715e-07,3.693062e-07,3.690052e-07,3.685155e-07,3.683882e-07,3.677230e-07,3.676401e-07,3.670124e-07,3.666860e-07,3.662588e-07,3.656588e-07,3.654646e-07,3.646322e-07,3.645640e-07,3.637637e-07,3.634067e-07,3.628613e-07,3.621918e-07,3.619272e-07,3.609632e-07,3.609240e-07,3.599713e-07,3.596077e-07,3.589533e-07,3.582472e-07,3.579111e-07,3.568463e-07,3.554089e-07,3.539385e-07,3.524386e-07,3.509124e-07,3.493629e-07,3.477929e-07,3.462053e-07,3.446025e-07,3.429869e-07,3.413609e-07,3.397265e-07,3.380859e-07,3.364408e-07,3.347931e-07,3.331445e-07,3.314964e-07,3.298504e-07,3.282079e-07,3.265701e-07,3.249382e-07,3.233133e-07,3.216965e-07,3.200887e-07,3.184908e-07
0.000000e+00,4.834950e-10,1.208785e-09,4.607589e-09,1.108822e-08,1.657966e-08,3.981136e-08,4.110245e-08,8.413226e-08,1.004977e-07,1.531729e-07,2.101137e-07,2.550914e-07,3.795772e-07,3.917296e-07,5.600960e-07,6.047890e-07,7.564451e-07,8.775638e-07,9.780385e-07,1.192370e-06,1.222932e-06,1.489489e-06,1.545258e-06,1.776072e-06,1.932425e-06,2.080898e-06,2.349616e-06,2.402000e-06,2.737244e-06,2.792046e-06,3.084381e-06,3.254553e-06,3.441100e-06,3.731826e-06,3.805099e-06,4.174142e-06,4.218664e-06,4.546103e-06,4.710175e-06,4.919007e-06,5.201930e-06,5.291054e-06,5.660631e-06,5.690047e-06,6.026319e-06,6.171225e-06,6.386891e-06,6.642740e-06,6.741299e-06,7.088669e-06,7.102407e-06,7.428288e-06,7.548540e-06,7.759587e-06,7.979887e-06,8.082121e-06,8.395551e-06,8.699625e-06,8.794923e-06,8.994170e-06,9.177628e-06,9.279084e-06,9.543513e-06,9.554337e-06,9.819950e-06,9.892602e-06,1.007598e-05,1.022504e-05,1.032253e-05,1.054109e-05,1.055973e-05,1.078773e-05,1.084110e-05,1.100673e-05,1.112553e-05,1.121696e-05,1.139487e-05,1.141862e-05,1.161191e-05,1.164958e-05,1.179702e-05,1.189012e-05,1.197418e-05,1.211700e-05,1.214359e-05,1.230547e-05,1.233068e-05,1.246003e-05,1.253168e-05,1.260749e-05,1.272048e-05,1.274805e-05,1.288193e-05,1.289756e-05,1.300933e-05,1.306339e-05,1.313046e-05,1.321845e-05,1.324552e-05,1.335471e-05,1.336320e-05,1.345821e-05,1.349807e-05,1.355623e-05,1.362350e-05,1.364893e-05,1.373651e-05,1.373991e-05,1.381914e-05,1.384771e-05,1.389700e-05,1.394730e-05,1.397024e-05,1.403905e-05,1.410356e-05,1.412333e-05,1.416395e-05,1.420050e-05,1.422035e-05,1.427090e-05,1.427293e-05,1.432181e-05,1.433485e-05,1.436714e-05,1.439269e-05,1.440905e-05,1.444470e-05,1.444767e-05,1.448313e-05,1.449118e-05,1.451555e-05,1.453242e-05,1.454505e-05,1.456868e-05,1.457174e-05,1.459574e-05,1.460023e-05,1.461715e-05,1.462730e-05,1.463608e-05,1.465013e-05,1.465262e-05,1.466689e-05,1.466896e-05,1.467896e-05,1.468400e-05,1.468893e-05,1.469546e-05,1.469689e-05,1.470293e-05,1.470353e-05,1.470713e-05,1.470841e-05,1.470956e-05,1.471028e-05,1.471031e-05,1.470944e-05,1.470931e-05,1.470704e-05,1.470567e-05,1.470317e-05,1.469951e-05,1.469790e-05,1.469128e-05,1.469099e-05,1.468340e-05,1.468026e-05,1.467429e-05,1.466744e-05,1.466403e-05,1.465267e-05,1.463607e-05,1.461777e-05,1.459788e-05,1.457650e-05,1.455374e-05,1.452970e-05,1.450446e-05,1.447812e-05,1.445077e-05,1.442247e-05,1.439331e-05,1.436336e-05,1.433269e-05,1.430137e-05,1.426944e-05,1.423698e-05,1.420404e-05,1.417068e-05,1.413693e-05,1.410285e-05,1.406849e-05,1.403388e-05,1.399906e-05,1.396408e-05
0.000000e+00,5.895666e-06,1.760178e-05,8.955217e-05,2.631414e-04,4.309148e-04,1.247846e-03,1.296524e-03,3.019095e-03,3.706311e-03,5.983741e-03,8.535057e-03,1.061764e-02,1.674413e-02,1.737328e-02,2.668814e-02,2.934714e-02,3.892567e-02,4.715446e-02,5.433965e-02,7.065070e-02,7.307737e-02,9.519618e-02,1.000252e-01,1.206769e-01,1.352291e-01,1.494325e-01,1.760111e-01,1.813145e-01,2.161197e-01,2.219437e-01,2.535974e-01,2.724521e-01,2.934579e-01,3.268478e-01,3.353815e-01,3.790289e-01,3.843658e-01,4.240495e-01,4.442029e-01,4.700915e-01,5.055531e-01,5.168088e-01,5.638687e-01,5.676387e-01,6.109569e-01,6.297339e-01,6.577819e-01,6.911829e-01,7.040783e-01,7.496081e-01,7.514103e-01,7.941618e-01,8.099265e-01,8.375587e-01,8.663287e-01,8.796459e-01,9.202974e-01,9.594125e-01,9.715915e-01,9.969135e-01,1.020040e+00,1.032744e+00,1.065536e+00,1.066868e+00,1.099266e+00,1.108026e+00,1.129931e+00,1.147501e+00,1.158872e+00,1.183991e+00,1.186108e+00,1.211667e+00,1.217556e+00,1.235586e+00,1.248279e+00,1.257907e+00,1.276266e+00,1.278678e+00,1.297951e+00,1.301631e+00,1.315781e+00,1.324501e+00,1.332225e+00,1.345008e+00,1.347340e+00,1.361185e+00,1.363287e+00,1.373820e+00,1.379472e+00,1.385303e+00,1.393698e+00,1.395691e+00,1.405041e+00,1.406096e+00,1.413408e+00,1.416793e+00,1.420848e+00,1.425913e+00,1.427411e+00,1.433148e+00,1.433572e+00,1.438107e+00,1.439883e+00,1.442335e+00,1.444952e+00,1.445877e+00,1.448774e+00,1.448878e+00,1.451069e+00,1.451755e+00,1.452799e+00,1.453671e+00,1.454001e+00,1.454710e+00,1.454959e+00,1.454946e+00,1.454779e+00,1.454453e+00,1.454201e+00,1.453296e+00,1.453251e+00,1.451957e+00,1.451536e+00,1.450343e+00,1.449232e+00,1.448434e+00,1.446434e+00,1.446250e+00,1.443813e+00,1.443193e+00,1.441143e+00,1.439553e+00,1.438258e+00,1.435555e+00,1.435175e+00,1.431911e+00,1.431238e+00,1.428481e+00,1.426636e+00,1.424899e+00,1.421782e+00,1.421178e+00,1.417332e+00,1.416706e+00,1.413373e+00,1.411435e+00,1.409310e+00,1.405993e+00,1.405155e+00,1.400918e+00,1.400405e+00,1.396608e+00,1.394690e+00,1.392232e+00,1.388868e+00,1.387800e+00,1.383318e+00,1.382958e+00,1.378794e+00,1.376974e+00,1.374234e+00,1.370932e+00,1.369645e+00,1.365031e+00,1.364846e+00,1.360398e+00,1.358727e+00,1.355752e+00,1.352587e+00,1.351097e+00,1.346437e+00,1.340285e+00,1.334140e+00,1.328010e+00,1.321902e+00,1.315822e+00,1.309777e+00,1.303771e+00,1.297809e+00,1.291895e+00,1.286033e+00,1.280227e+00,1.274479e+00,1.268793e+00,1.263171e+00,1.257614e+00,1.252125e+00,1.246705e+00,1.241355e+00,1.236077e+00,1.230872e+00,1.225741e+00,1.220683e+00,1.215700e+00,1.210792e+00
0.000000e+00,7.722411e-10,2.128129e-09,9.330312e-09,2.438639e-08,3.770788e-08,9.616992e-08,9.946852e-08,2.103301e-07,2.526913e-07,3.895116e-07,5.390529e-07,6.591962e-07,1.003790e-06,1.038410e-06,1.533582e-06,1.669095e-06,2.137973e-06,2.519824e-06,2.840058e-06,3.530417e-06,3.629471e-06,4.498028e-06,4.680622e-06,5.438876e-06,5.954549e-06,6.445578e-06,7.337337e-06,7.511613e-06,8.630170e-06,8.813543e-06,9.794162e-06,1.036689e-05,1.099633e-05,1.198068e-05,1.222942e-05,1.348633e-05,1.363844e-05,1.476028e-05,1.532456e-05,1.604491e-05,1.702475e-05,1.733437e-05,1.862336e-05,1.872631e-05,1.990715e-05,2.041826e-05,2.118159e-05,2.209135e-05,2.244308e-05,2.368854e-05,2.373799e-05,2.491541e-05,2.535209e-05,2.612146e-05,2.692875e-05,2.730489e-05,2.846424e-05,2.959837e-05,2.995581e-05,3.070639e-05,3.140150e-05,3.178763e-05,3.279998e-05,3.284161e-05,3.386803e-05,3.415047e-05,3.486672e-05,3.545260e-05,3.583763e-05,3.670636e-05,3.678079e-05,3.769634e-05,3.791198e-05,3.858448e-05,3.906995e-05,3.944546e-05,4.018091e-05,4.027960e-05,4.108723e-05,4.124561e-05,4.186876e-05,4.226496e-05,4.262457e-05,4.323990e-05,4.335511e-05,4.406082e-05,4.417146e-05,4.474217e-05,4.506070e-05,4.539964e-05,4.590874e-05,4.603370e-05,4.664487e-05,4.671669e-05,4.723362e-05,4.748569e-05,4.780045e-05,4.821690e-05,4.834588e-05,4.887038e-05,4.891145e-05,4.937447e-05,4.957050e-05,4.985864e-05,5.019518e-05,5.032338e-05,5.076917e-05,5.078662e-05,5.119651e-05,5.134593e-05,5.160587e-05,5.187420e-05,5.199772e-05,5.237253e-05,5.273076e-05,5.284196e-05,5.307286e-05,5.328354e-05,5.339928e-05,5.369829e-05,5.371045e-05,5.400682e-05,5.408721e-05,5.428880e-05,5.445126e-05,5.455681e-05,5.479140e-05,5.481126e-05,5.505255e-05,5.510855e-05,5.528107e-05,5.540361e-05,5.549721e-05,5.567746e-05,5.570133e-05,5.589382e-05,5.593096e-05,5.607503e-05,5.616492e-05,5.624532e-05,5.638017e-05,5.640503e-05,5.655449e-05,5.657747e-05,5.669404e-05,5.675759e-05,5.682399e-05,5.692126e-05,5.694467e-05,5.705638e-05,5.706919e-05,5.715941e-05,5.720207e-05,5.725406e-05,5.732057e-05,5.734062e-05,5.741936e-05,5.742533e-05,5.749054e-05,5.751696e-05,5.755444e-05,5.759609e-05,5.761132e-05,5.766141e-05,5.766328e-05,5.770497e-05,5.771909e-05,5.774222e-05,5.776408e-05,5.777341e-05,5.779875e-05,5.782362e-05,5.783918e-05,5.784588e-05,5.784418e-05,5.783452e-05,5.781731e-05,5.779295e-05,5.776183e-05,5.772433e-05,5.768079e-05,5.763157e-05,5.757700e-05,5.751738e-05,5.745303e-05,5.738423e-05,5.731128e-05,5.723442e-05,5.715393e-05,5.707005e-05,5.698301e-05,5.689304e-05,5.680036e-05,5.670518e-05,5.660769e-05
0.000000e+00,3.472880e-09,1.025846e-08,5.106650e-08,1.471802e-07,2.385406e-07,6.733891e-07,6.989639e-07,1.590831e-06,1.941834e-06,3.093894e-06,4.371764e-06,5.408779e-06,8.440936e-06,8.751198e-06,1.332614e-05,1.462593e-05,1.928420e-05,2.325399e-05,2.669480e-05,3.441661e-05,3.555502e-05,4.581421e-05,4.802739e-05,5.739445e-05,6.390766e-05,7.020230e-05,8.183431e-05,8.413454e-05,9.908049e-05,1.015582e-04,1.149230e-04,1.228101e-04,1.315396e-04,1.453048e-04,1.488030e-04,1.665834e-04,1.687455e-04,1.847494e-04,1.928310e-04,2.031709e-04,2.172635e-04,2.217205e-04,2.402757e-04,2.417569e-04,2.587212e-04,2.660442e-04,2.769495e-04,2.898842e-04,2.948630e-04,3.123740e-04,3.130650e-04,3.294059e-04,3.354071e-04,3.458930e-04,3.567645e-04,3.617802e-04,3.770231e-04,3.915872e-04,3.961000e-04,4.054473e-04,4.139401e-04,4.185864e-04,4.305132e-04,4.309955e-04,4.426720e-04,4.458106e-04,4.536196e-04,4.598415e-04,4.638466e-04,4.726302e-04,4.733661e-04,4.821943e-04,4.842123e-04,4.903505e-04,4.946325e-04,4.978565e-04,5.039423e-04,5.047355e-04,5.110121e-04,5.121974e-04,5.167117e-04,5.194561e-04,5.218603e-04,5.257782e-04,5.264837e-04,5.306082e-04,5.312236e-04,5.342595e-04,5.358514e-04,5.374628e-04,5.397195e-04,5.402428e-04,5.426236e-04,5.428835e-04,5.446284e-04,5.453972e-04,5.462797e-04,5.473115e-04,5.475990e-04,5.486070e-04,5.486748e-04,5.493236e-04,5.495328e-04,5.497675e-04,5.499284e-04,5.499567e-04,5.499084e-04,5.499018e-04,5.496388e-04,5.494906e-04,5.491633e-04,5.487299e-04,5.484965e-04,5.476522e-04,5.466434e-04,5.462878e-04,5.454823e-04,5.446648e-04,5.441808e-04,5.428092e-04,5.427496e-04,5.411991e-04,5.407449e-04,5.395390e-04,5.384942e-04,5.377785e-04,5.360776e-04,5.359262e-04,5.339901e-04,5.335138e-04,5.319778e-04,5.308204e-04,5.298965e-04,5.280132e-04,5.277529e-04,5.255531e-04,5.251070e-04,5.233032e-04,5.221152e-04,5.210086e-04,5.190503e-04,5.186744e-04,5.163056e-04,5.159237e-04,5.139066e-04,5.127456e-04,5.114816e-04,5.095257e-04,5.090347e-04,5.065695e-04,5.062726e-04,5.040894e-04,5.029943e-04,5.015977e-04,4.996980e-04,4.990973e-04,4.965911e-04,4.963905e-04,4.940817e-04,4.930776e-04,4.915714e-04,4.897648e-04,4.890626e-04,4.865572e-04,4.864571e-04,4.840573e-04,4.831590e-04,4.815646e-04,4.798746e-04,4.790808e-04,4.766074e-04,4.733609e-04,4.701379e-04,4.669412e-04,4.637730e-04,4.606356e-04,4.575306e-04,4.544599e-04,4.514248e-04,4.484266e-04,4.454663e-04,4.425449e-04,4.396631e-04,4.368216e-04,4.340209e-04,4.312615e-04,4.285436e-04,4.258674e-04,4.232331e-04,4.206407e-04,4.180903e-04,4.155817e-04,4.131148e-04,4.106894e-04,4.083053e-04
0.000000e+00,1.820237e-06,5.451591e-06,2.791840e-05,8.252436e-05,1.355762e-04,3.957948e-04,4.113664e-04,9.651352e-04,1.187105e-03,1.925334e-03,2.755640e-03,3.435245e-03,5.442044e-03,5.648729e-03,8.722439e-03,9.604800e-03,1.280258e-02,1.557396e-02,1.801180e-02,2.360492e-02,2.444372e-02,3.216363e-02,3.386605e-02,4.121057e-02,4.644516e-02,5.159898e-02,6.135604e-02,6.331990e-02,7.634224e-02,7.854341e-02,9.061436e-02,9.788895e-02,1.060661e-01,1.192195e-01,1.226114e-01,1.401507e-01,1.423170e-01,1.585741e-01,1.669306e-01,1.777646e-01,1.927876e-01,1.976005e-01,2.179584e-01,2.196058e-01,2.387154e-01,2.471030e-01,2.597515e-01,2.750050e-01,2.809508e-01,3.022037e-01,3.030534e-01,3.234070e-01,3.310095e-01,3.444657e-01,3.586583e-01,3.652928e-01,3.858099e-01,4.059469e-01,4.123001e-01,4.256421e-01,4.379903e-01,4.448422e-01,4.627660e-01,4.635015e-01,4.815817e-01,4.865359e-01,4.990513e-01,5.092295e-01,5.158856e-01,5.307953e-01,5.320653e-01,5.475768e-01,5.511990e-01,5.624112e-01,5.704210e-01,5.765642e-01,5.884546e-01,5.900351e-01,6.028269e-01,6.053042e-01,6.149454e-01,6.209837e-01,6.263992e-01,6.355146e-01,6.371992e-01,6.473580e-01,6.489249e-01,6.568902e-01,6.612476e-01,6.658113e-01,6.725197e-01,6.741385e-01,6.818893e-01,6.827815e-01,6.890823e-01,6.920753e-01,6.957363e-01,7.004449e-01,7.018708e-01,7.075053e-01,7.079350e-01,7.126592e-01,7.145907e-01,7.173523e-01,7.204569e-01,7.216040e-01,7.254335e-01,7.255782e-01,7.288599e-01,7.299983e-01,7.319018e-01,7.337600e-01,7.345775e-01,7.369050e-01,7.389017e-01,7.394736e-01,7.405845e-01,7.415045e-01,7.419700e-01,7.430352e-01,7.430742e-01,7.439124e-01,7.441014e-01,7.444996e-01,7.447374e-01,7.448502e-01,7.449757e-01,7.449780e-01,7.448965e-01,7.448472e-01,7.446183e-01,7.443813e-01,7.441558e-01,7.436058e-01,7.435208e-01,7.427245e-01,7.425469e-01,7.417778e-01,7.412294e-01,7.406908e-01,7.396767e-01,7.394736e-01,7.381353e-01,7.379106e-01,7.366850e-01,7.359516e-01,7.351313e-01,7.338192e-01,7.334821e-01,7.317451e-01,7.315311e-01,7.299278e-01,7.291044e-01,7.280369e-01,7.265548e-01,7.260792e-01,7.240608e-01,7.238969e-01,7.219877e-01,7.211444e-01,7.198654e-01,7.183099e-01,7.176993e-01,7.154942e-01,7.154053e-01,7.132550e-01,7.124414e-01,7.109861e-01,7.094284e-01,7.086917e-01,7.063756e-01,7.032917e-01,7.001845e-01,6.970613e-01,6.939290e-01,6.907937e-01,6.876609e-01,6.845360e-01,6.814234e-01,6.783276e-01,6.752524e-01,6.722013e-01,6.691774e-01,6.661835e-01,6.632223e-01,6.602960e-01,6.574065e-01,6.545556e-01,6.517449e-01,6.489757e-01,6.462491e-01,6.435661e-01,6.409276e-01,6.383341e-01,6.357862e-01
0.000000e+00,2.697826e-09,7.971787e-09,3.969474e-08,1.143553e-07,1.852263e-07,5.212104e-07,5.409033e-07,1.223242e-06,1.489552e-06,2.355510e-06,3.302764e-06,4.062382e-06,6.245305e-06,6.466023e-06,9.682346e-06,1.058717e-05,1.381639e-05,1.656597e-05,1.895592e-05,2.436047e-05,2.516292e-05,3.246349e-05,3.405401e-05,4.083838e-05,4.559685e-05,5.021827e-05,5.879031e-05,6.048716e-05,7.149388e-05,7.331215e-05,8.306776e-05,8.877307e-05,9.503360e-05,1.047750e-04,1.072231e-04,1.194821e-04,1.209512e-04,1.316741e-04,1.369863e-04,1.436816e-04,1.526228e-04,1.554064e-04,1.667680e-04,1.676592e-04,1.777026e-04,1.819454e-04,1.881612e-04,1.953762e-04,1.981082e-04,2.075194e-04,2.078845e-04,2.163807e-04,2.194347e-04,2.246861e-04,2.300168e-04,2.324371e-04,2.396407e-04,2.463086e-04,2.483317e-04,2.524563e-04,2.561260e-04,2.581018e-04,2.630679e-04,2.632655e-04,2.679689e-04,2.692065e-04,2.722348e-04,2.745937e-04,2.760859e-04,2.792826e-04,2.795455e-04,2.826364e-04,2.833259e-04,2.853811e-04,2.867750e-04,2.878014e-04,2.896797e-04,2.899184e-04,2.917524e-04,2.920869e-04,2.933228e-04,2.940414e-04,2.946481e-04,2.955849e-04,2.957459e-04,2.966329e-04,2.967562e-04,2.973245e-04,2.975915e-04,2.978357e-04,2.981240e-04,2.981803e-04,2.983712e-04,2.983844e-04,2.984208e-04,2.984008e-04,2.983404e-04,2.981989e-04,2.981406e-04,2.978314e-04,2.978023e-04,2.974222e-04,2.972324e-04,2.969215e-04,2.965089e-04,2.963374e-04,2.956775e-04,2.956496e-04,2.949486e-04,2.946707e-04,2.941574e-04,2.935868e-04,2.933098e-04,2.924114e-04,2.914675e-04,2.911566e-04,2.904828e-04,2.898334e-04,2.894619e-04,2.884516e-04,2.884089e-04,2.873276e-04,2.870203e-04,2.862217e-04,2.855476e-04,2.850943e-04,2.840409e-04,2.839487e-04,2.827875e-04,2.825068e-04,2.816134e-04,2.809512e-04,2.804288e-04,2.793795e-04,2.792360e-04,2.780370e-04,2.777966e-04,2.768337e-04,2.762069e-04,2.756278e-04,2.746141e-04,2.744210e-04,2.732147e-04,2.730219e-04,2.720103e-04,2.714333e-04,2.708091e-04,2.698511e-04,2.696121e-04,2.684205e-04,2.682779e-04,2.672351e-04,2.667157e-04,2.660569e-04,2.651667e-04,2.648866e-04,2.637250e-04,2.636325e-04,2.625727e-04,2.621145e-04,2.614303e-04,2.606143e-04,2.602984e-04,2.591774e-04,2.591328e-04,2.580678e-04,2.576712e-04,2.569699e-04,2.562302e-04,2.558841e-04,2.548107e-04,2.534132e-04,2.520382e-04,2.506862e-04,2.493576e-04,2.480524e-04,2.467710e-04,2.455134e-04,2.442798e-04,2.430700e-04,2.418842e-04,2.407221e-04,2.395838e-04,2.384690e-04,2.373776e-04,2.363093e-04,2.352640e-04,2.342413e-04,2.332411e-04,2.322631e-04,2.313068e-04,2.303721e-04,2.294587e-04,2.285661e-04,2.276941e-04
0.000000e+00,9.055003e-12,2.069821e-11,7.127384e-11,1.633266e-10,2.399000e-10,5.598042e-10,5.775087e-10,1.166683e-09,1.390543e-09,2.109324e-09,2.879929e-09,3.481310e-09,5.104429e-09,5.259585e-09,7.355609e-09,7.897082e-09,9.695975e-09,1.109581e-08,1.223574e-08,1.461143e-08,1.494455e-08,1.779678e-08,1.838224e-08,2.076726e-08,2.235004e-08,2.382999e-08,2.645446e-08,2.695829e-08,3.012554e-08,3.063417e-08,3.330595e-08,3.483005e-08,3.647537e-08,3.898813e-08,3.961182e-08,4.269589e-08,4.306164e-08,4.571092e-08,4.701199e-08,4.864302e-08,5.080897e-08,5.148099e-08,5.421609e-08,5.443024e-08,5.684185e-08,5.786047e-08,5.935379e-08,6.109029e-08,6.174914e-08,6.402659e-08,6.411523e-08,6.618602e-08,6.693467e-08,6.822833e-08,6.955103e-08,7.015519e-08,7.196892e-08,7.367230e-08,7.419459e-08,7.526850e-08,7.623539e-08,7.676093e-08,7.809938e-08,7.815319e-08,7.944900e-08,7.979505e-08,8.065213e-08,8.133111e-08,8.176639e-08,8.271627e-08,8.279556e-08,8.374337e-08,8.395914e-08,8.461350e-08,8.506818e-08,8.540954e-08,8.605155e-08,8.613499e-08,8.679325e-08,8.691713e-08,8.738761e-08,8.767249e-08,8.792127e-08,8.832489e-08,8.839730e-08,8.881870e-08,8.888124e-08,8.918831e-08,8.934814e-08,8.950888e-08,8.973181e-08,8.978306e-08,9.001336e-08,9.003817e-08,9.020222e-08,9.027278e-08,9.035195e-08,9.044095e-08,9.046478e-08,9.054285e-08,9.054766e-08,9.058819e-08,9.059759e-08,9.060271e-08,9.059513e-08,9.058826e-08,9.054659e-08,9.054438e-08,9.047936e-08,9.044921e-08,9.038819e-08,9.031329e-08,9.027459e-08,9.014004e-08,8.998589e-08,8.993264e-08,8.981345e-08,8.969407e-08,8.962398e-08,8.942714e-08,8.941864e-08,8.919856e-08,8.913444e-08,8.896480e-08,8.881839e-08,8.871836e-08,8.848127e-08,8.846021e-08,8.819124e-08,8.812518e-08,8.791233e-08,8.775210e-08,8.762428e-08,8.736386e-08,8.732787e-08,8.702383e-08,8.696217e-08,8.671285e-08,8.654862e-08,8.639558e-08,8.612468e-08,8.607265e-08,8.574464e-08,8.569172e-08,8.541210e-08,8.525102e-08,8.507555e-08,8.480376e-08,8.473549e-08,8.439239e-08,8.435103e-08,8.404667e-08,8.389384e-08,8.369876e-08,8.343312e-08,8.334905e-08,8.299789e-08,8.296975e-08,8.264564e-08,8.250451e-08,8.229263e-08,8.203815e-08,8.193915e-08,8.158549e-08,8.157134e-08,8.123192e-08,8.110471e-08,8.087870e-08,8.063883e-08,8.052606e-08,8.017422e-08,7.971137e-08,7.925071e-08,7.879265e-08,7.833755e-08,7.788574e-08,7.743752e-08,7.699317e-08,7.655292e-08,7.611700e-08,7.568560e-08,7.525889e-08,7.483704e-08,7.442016e-08,7.400839e-08,7.360182e-08,7.320053e-08,7.280461e-08,7.241411e-08,7.202907e-08,7.164954e-08,7.127553e-08,7.090708e-08,7.054418e-08,7.018685e-08
0.000000e+00,1.396400e-09,4.058202e-09,1.955210e-08,5.479593e-08,8.754022e-08,2.390948e-07,2.478793e-07,5.503489e-07,6.683186e-07,1.054533e-06,1.483617e-06,1.833321e-06,2.864244e-06,2.970321e-06,4.539102e-06,4.984101e-06,6.564260e-06,7.883163e-06,9.000229e-06,1.140952e-05,1.175306e-05,1.471782e-05,1.532776e-05,1.780254e-05,1.942949e-05,2.093584e-05,2.356672e-05,2.406555e-05,2.715423e-05,2.764269e-05,3.017469e-05,3.159409e-05,3.310649e-05,3.537724e-05,3.593364e-05,3.864320e-05,3.895992e-05,4.122466e-05,4.231769e-05,4.366964e-05,4.543257e-05,4.597180e-05,4.812683e-05,4.829279e-05,5.013243e-05,5.089268e-05,5.198825e-05,5.323245e-05,5.369575e-05,5.525803e-05,5.531756e-05,5.667956e-05,5.715791e-05,5.796597e-05,5.876685e-05,5.912379e-05,6.016018e-05,6.108270e-05,6.135513e-05,6.189914e-05,6.236958e-05,6.261727e-05,6.322131e-05,6.324476e-05,6.378904e-05,6.392751e-05,6.425724e-05,6.450444e-05,6.465607e-05,6.496716e-05,6.499185e-05,6.527043e-05,6.532939e-05,6.549723e-05,6.560349e-05,6.567722e-05,6.580049e-05,6.581492e-05,6.591446e-05,6.593013e-05,6.597958e-05,6.600096e-05,6.601364e-05,6.602049e-05,6.601969e-05,6.600048e-05,6.599523e-05,6.595845e-05,6.593084e-05,6.589583e-05,6.583223e-05,6.581457e-05,6.571646e-05,6.570363e-05,6.560308e-05,6.554874e-05,6.547588e-05,6.537077e-05,6.533615e-05,6.518507e-05,6.517252e-05,6.502367e-05,6.495645e-05,6.485293e-05,6.472470e-05,6.467371e-05,6.448678e-05,6.447915e-05,6.429287e-05,6.422149e-05,6.409265e-05,6.395319e-05,6.388670e-05,6.367559e-05,6.345980e-05,6.338985e-05,6.323982e-05,6.309703e-05,6.301607e-05,6.279809e-05,6.278895e-05,6.255882e-05,6.249389e-05,6.232603e-05,6.218521e-05,6.209089e-05,6.187275e-05,6.185370e-05,6.161474e-05,6.155715e-05,6.137425e-05,6.123900e-05,6.113248e-05,6.091883e-05,6.088965e-05,6.064596e-05,6.059714e-05,6.040162e-05,6.027437e-05,6.015681e-05,5.995092e-05,5.991168e-05,5.966641e-05,5.962717e-05,5.942115e-05,5.930346e-05,5.917602e-05,5.898012e-05,5.893117e-05,5.868672e-05,5.865742e-05,5.844278e-05,5.833563e-05,5.819945e-05,5.801500e-05,5.795685e-05,5.771505e-05,5.769575e-05,5.747416e-05,5.737808e-05,5.723426e-05,5.706218e-05,5.699541e-05,5.675770e-05,5.674821e-05,5.652118e-05,5.643634e-05,5.628593e-05,5.612671e-05,5.605200e-05,5.581944e-05,5.551465e-05,5.521245e-05,5.491294e-05,5.461619e-05,5.432229e-05,5.403130e-05,5.374329e-05,5.345831e-05,5.317641e-05,5.289763e-05,5.262201e-05,5.234956e-05,5.208033e-05,5.181432e-05,5.155155e-05,5.129205e-05,5.103580e-05,5.078282e-05,5.053311e-05,5.028666e-05,5.004348e-05,4.980355e-05,4.956686e-05,4.933341e-05
0.000000e+00,1.048953e-11,2.395086e-11,8.231127e-11,1.884161e-10,2.767046e-10,6.465093e-10,6.670273e-10,1.352325e-09,1.613370e-09,2.449065e-09,3.333752e-09,4.013645e-09,5.809742e-09,5.979174e-09,8.244702e-09,8.824994e-09,1.074408e-08,1.223079e-08,1.343834e-08,1.594779e-08,1.629898e-08,1.929973e-08,1.991432e-08,2.241338e-08,2.406767e-08,2.561139e-08,2.834135e-08,2.886429e-08,3.214277e-08,3.266780e-08,3.541868e-08,3.698242e-08,3.866586e-08,4.122705e-08,4.186084e-08,4.498317e-08,4.535212e-08,4.801566e-08,4.931777e-08,5.094430e-08,5.309381e-08,5.375821e-08,5.644930e-08,5.665911e-08,5.901207e-08,6.000043e-08,6.144319e-08,6.311121e-08,6.374124e-08,6.590637e-08,6.599023e-08,6.794002e-08,6.864039e-08,6.984463e-08,7.106769e-08,7.162346e-08,7.328034e-08,7.481956e-08,7.528800e-08,7.624569e-08,7.710126e-08,7.756350e-08,7.873119e-08,7.877783e-08,7.989358e-08,8.018899e-08,8.091559e-08,8.148579e-08,8.184863e-08,8.263247e-08,8.269738e-08,8.346635e-08,8.363953e-08,8.415994e-08,8.451700e-08,8.478237e-08,8.527445e-08,8.533767e-08,8.582975e-08,8.592091e-08,8.626231e-08,8.646490e-08,8.663889e-08,8.691443e-08,8.696287e-08,8.723745e-08,8.727701e-08,8.746569e-08,8.755964e-08,8.765048e-08,8.776887e-08,8.779455e-08,8.790051e-08,8.791078e-08,8.797082e-08,8.799106e-08,8.800780e-08,8.801497e-08,8.801365e-08,8.799046e-08,8.798741e-08,8.794019e-08,8.791292e-08,8.786470e-08,8.779572e-08,8.776574e-08,8.764496e-08,8.763969e-08,8.750392e-08,8.744847e-08,8.734409e-08,8.722539e-08,8.716686e-08,8.697354e-08,8.676535e-08,8.669579e-08,8.654346e-08,8.639476e-08,8.630895e-08,8.607289e-08,8.606284e-08,8.580611e-08,8.573244e-08,8.553965e-08,8.537547e-08,8.526434e-08,8.500390e-08,8.498095e-08,8.469027e-08,8.461949e-08,8.439298e-08,8.422387e-08,8.408977e-08,8.381853e-08,8.378125e-08,8.346802e-08,8.340486e-08,8.315063e-08,8.298411e-08,8.282959e-08,8.255746e-08,8.250540e-08,8.217851e-08,8.212598e-08,8.184934e-08,8.169066e-08,8.151831e-08,8.125238e-08,8.118578e-08,8.085210e-08,8.081200e-08,8.051761e-08,8.037025e-08,8.018260e-08,7.992784e-08,7.984738e-08,7.951221e-08,7.948540e-08,7.917733e-08,7.904351e-08,7.884298e-08,7.860270e-08,7.850938e-08,7.817674e-08,7.816346e-08,7.784523e-08,7.772620e-08,7.751504e-08,7.729135e-08,7.718633e-08,7.685925e-08,7.643022e-08,7.600458e-08,7.558257e-08,7.516444e-08,7.475039e-08,7.434062e-08,7.393529e-08,7.353456e-08,7.313853e-08,7.274734e-08,7.236107e-08,7.197981e-08,7.160361e-08,7.123255e-08,7.086666e-08,7.050597e-08,7.015052e-08,6.980032e-08,6.945537e-08,6.911568e-08,6.878123e-08,6.845203e-08,6.812804e-08,6.780925e-08
0.000000e+00,4.552639e-10,1.219839e-09,5.094536e-09,1.283568e-08,1.948718e-08,4.752801e-08,4.907013e-08,9.923782e-08,1.177356e-07,1.756696e-07,2.366797e-07,2.845219e-07,4.187460e-07,4.321146e-07,6.234516e-07,6.761140e-07,8.595869e-07,1.010008e-06,1.136365e-06,1.407853e-06,1.446599e-06,1.783076e-06,1.852970e-06,2.139799e-06,2.331642e-06,2.511885e-06,2.833245e-06,2.895163e-06,3.285879e-06,3.348847e-06,3.680552e-06,3.870441e-06,4.075943e-06,4.390748e-06,4.469053e-06,4.857165e-06,4.903284e-06,5.237861e-06,5.402468e-06,5.609052e-06,5.883703e-06,5.968975e-06,6.316198e-06,6.343391e-06,6.649597e-06,6.778891e-06,6.968342e-06,7.188433e-06,7.271859e-06,7.559797e-06,7.570988e-06,7.832020e-06,7.926173e-06,8.088551e-06,8.254102e-06,8.329543e-06,8.555272e-06,8.766104e-06,8.830493e-06,8.962472e-06,9.080779e-06,9.144861e-06,9.307291e-06,9.313797e-06,9.469830e-06,9.511284e-06,9.613526e-06,9.694060e-06,9.745457e-06,9.856934e-06,9.866194e-06,9.976300e-06,1.000121e-05,1.007633e-05,1.012814e-05,1.016682e-05,1.023898e-05,1.024829e-05,1.032126e-05,1.033488e-05,1.038621e-05,1.041697e-05,1.044361e-05,1.048631e-05,1.049390e-05,1.053751e-05,1.054390e-05,1.057485e-05,1.059066e-05,1.060631e-05,1.062749e-05,1.063226e-05,1.065304e-05,1.065520e-05,1.066899e-05,1.067456e-05,1.068043e-05,1.068629e-05,1.068765e-05,1.069094e-05,1.069104e-05,1.069055e-05,1.068943e-05,1.068675e-05,1.068203e-05,1.067977e-05,1.066984e-05,1.066939e-05,1.065717e-05,1.065198e-05,1.064196e-05,1.063026e-05,1.062439e-05,1.060465e-05,1.058291e-05,1.057555e-05,1.055932e-05,1.054331e-05,1.053402e-05,1.050827e-05,1.050717e-05,1.047888e-05,1.047072e-05,1.044929e-05,1.043096e-05,1.041852e-05,1.038925e-05,1.038666e-05,1.035383e-05,1.034581e-05,1.032011e-05,1.030088e-05,1.028561e-05,1.025465e-05,1.025039e-05,1.021456e-05,1.020732e-05,1.017817e-05,1.015906e-05,1.014130e-05,1.011001e-05,1.010402e-05,1.006638e-05,1.006033e-05,1.002845e-05,1.001015e-05,9.990268e-06,9.959585e-06,9.951898e-06,9.913382e-06,9.908753e-06,9.874764e-06,9.857751e-06,9.836085e-06,9.806671e-06,9.797383e-06,9.758693e-06,9.755599e-06,9.720048e-06,9.704610e-06,9.681479e-06,9.653773e-06,9.643015e-06,9.604682e-06,9.603151e-06,9.566504e-06,9.552802e-06,9.528504e-06,9.502777e-06,9.490704e-06,9.453122e-06,9.403879e-06,9.355085e-06,9.306774e-06,9.258975e-06,9.211714e-06,9.165014e-06,9.118896e-06,9.073377e-06,9.028472e-06,8.984194e-06,8.940554e-06,8.897561e-06,8.855222e-06,8.813542e-06,8.772525e-06,8.732175e-06,8.692492e-06,8.653478e-06,8.615131e-06,8.577450e-06,8.540433e-06,8.504076e-06,8.468376e-06,8.433328e-06
0.000000e+00,1.882486e-10,5.368982e-10,2.491754e-09,6.756349e-09,1.060049e-08,2.759942e-08,2.855584e-08,6.019596e-08,7.199618e-08,1.090611e-07,1.480302e-07,1.784561e-07,2.631347e-07,2.715225e-07,3.912309e-07,4.242298e-07,5.402233e-07,6.372197e-07,7.204434e-07,9.054236e-07,9.325341e-07,1.175133e-06,1.227021e-06,1.444428e-06,1.593077e-06,1.734396e-06,1.988633e-06,2.037764e-06,2.347205e-06,2.396830e-06,2.656260e-06,2.802898e-06,2.959754e-06,3.195911e-06,3.253825e-06,3.535738e-06,3.568655e-06,3.803657e-06,3.916792e-06,4.056434e-06,4.238014e-06,4.293437e-06,4.514425e-06,4.531412e-06,4.719451e-06,4.797049e-06,4.908797e-06,5.035665e-06,5.082915e-06,5.242390e-06,5.248473e-06,5.387897e-06,5.437002e-06,5.520179e-06,5.602974e-06,5.640017e-06,5.748211e-06,5.845560e-06,5.874551e-06,5.932855e-06,5.983801e-06,6.010859e-06,6.077685e-06,6.080308e-06,6.141898e-06,6.157826e-06,6.196288e-06,6.225723e-06,6.244092e-06,6.282747e-06,6.285882e-06,6.322187e-06,6.330139e-06,6.353493e-06,6.369010e-06,6.380249e-06,6.400356e-06,6.402863e-06,6.421709e-06,6.425056e-06,6.437125e-06,6.443891e-06,6.449422e-06,6.457547e-06,6.458880e-06,6.465755e-06,6.466631e-06,6.470276e-06,6.471673e-06,6.472655e-06,6.473143e-06,6.473080e-06,6.471725e-06,6.471450e-06,6.468746e-06,6.466958e-06,6.464285e-06,6.459984e-06,6.458472e-06,6.451424e-06,6.450810e-06,6.443248e-06,6.439684e-06,6.434042e-06,6.426826e-06,6.423895e-06,6.412889e-06,6.412432e-06,6.401099e-06,6.396676e-06,6.388593e-06,6.379712e-06,6.375434e-06,6.361679e-06,6.347382e-06,6.342701e-06,6.332593e-06,6.322890e-06,6.317356e-06,6.302346e-06,6.301713e-06,6.285704e-06,6.281161e-06,6.269364e-06,6.259415e-06,6.252726e-06,6.237184e-06,6.235822e-06,6.218681e-06,6.214534e-06,6.201328e-06,6.191528e-06,6.183790e-06,6.168220e-06,6.166088e-06,6.148247e-06,6.144663e-06,6.130284e-06,6.120902e-06,6.112220e-06,6.096981e-06,6.094072e-06,6.075857e-06,6.072937e-06,6.057590e-06,6.048807e-06,6.039285e-06,6.024624e-06,6.020957e-06,6.002618e-06,6.000417e-06,5.984280e-06,5.976214e-06,5.965954e-06,5.952041e-06,5.947651e-06,5.929380e-06,5.927920e-06,5.911151e-06,5.903873e-06,5.892972e-06,5.879919e-06,5.874852e-06,5.856797e-06,5.856076e-06,5.838815e-06,5.832360e-06,5.820912e-06,5.808787e-06,5.803095e-06,5.785369e-06,5.762120e-06,5.739049e-06,5.716169e-06,5.693488e-06,5.671014e-06,5.648756e-06,5.626720e-06,5.604912e-06,5.583338e-06,5.562003e-06,5.540910e-06,5.520065e-06,5.499469e-06,5.479126e-06,5.459038e-06,5.439206e-06,5.419634e-06,5.400321e-06,5.381269e-06,5.362478e-06,5.343948e-06,5.325680e-06,5.307673e-06,5.289927e-06
0.000000e+00,2.388559e-11,5.464372e-11,1.871863e-10,4.238460e-10,6.165444e-10,1.386996e-09,1.428208e-09,2.733870e-09,3.203235e-09,4.646202e-09,6.133023e-09,7.281182e-09,1.043987e-08,1.075032e-08,1.513229e-08,1.632217e-08,2.043047e-08,2.376892e-08,2.656079e-08,3.253945e-08,3.339157e-08,4.078879e-08,4.232548e-08,4.863388e-08,5.285546e-08,5.682322e-08,6.389978e-08,6.526344e-08,7.386809e-08,7.525461e-08,8.255622e-08,8.673380e-08,9.125237e-08,9.816819e-08,9.988711e-08,1.083978e-07,1.094081e-07,1.167294e-07,1.203261e-07,1.248345e-07,1.308185e-07,1.326739e-07,1.402158e-07,1.408055e-07,1.474361e-07,1.502301e-07,1.543173e-07,1.590552e-07,1.608480e-07,1.670222e-07,1.672617e-07,1.728382e-07,1.748446e-07,1.782984e-07,1.818109e-07,1.834084e-07,1.881762e-07,1.926117e-07,1.939628e-07,1.967265e-07,1.991974e-07,2.005330e-07,2.039097e-07,2.040447e-07,2.072751e-07,2.081311e-07,2.102382e-07,2.118934e-07,2.129477e-07,2.152285e-07,2.154176e-07,2.176610e-07,2.181672e-07,2.196912e-07,2.207396e-07,2.215206e-07,2.229742e-07,2.231616e-07,2.246257e-07,2.248982e-07,2.259240e-07,2.265371e-07,2.270671e-07,2.279147e-07,2.280650e-07,2.289273e-07,2.290533e-07,2.296631e-07,2.299737e-07,2.302807e-07,2.306951e-07,2.307882e-07,2.311932e-07,2.312352e-07,2.315028e-07,2.316106e-07,2.317238e-07,2.318363e-07,2.318624e-07,2.319245e-07,2.319263e-07,2.319156e-07,2.318934e-07,2.318410e-07,2.317494e-07,2.317056e-07,2.315138e-07,2.315051e-07,2.312701e-07,2.311704e-07,2.309783e-07,2.307545e-07,2.306424e-07,2.302658e-07,2.298517e-07,2.297119e-07,2.294034e-07,2.290998e-07,2.289237e-07,2.284361e-07,2.284153e-07,2.278807e-07,2.277266e-07,2.273223e-07,2.269768e-07,2.267424e-07,2.261916e-07,2.261429e-07,2.255259e-07,2.253755e-07,2.248932e-07,2.245326e-07,2.242464e-07,2.236669e-07,2.235871e-07,2.229169e-07,2.227816e-07,2.222370e-07,2.218801e-07,2.215488e-07,2.209652e-07,2.208535e-07,2.201523e-07,2.200396e-07,2.194460e-07,2.191056e-07,2.187358e-07,2.181654e-07,2.180225e-07,2.173070e-07,2.172211e-07,2.165901e-07,2.162744e-07,2.158725e-07,2.153271e-07,2.151549e-07,2.144379e-07,2.143805e-07,2.137220e-07,2.134362e-07,2.130080e-07,2.124952e-07,2.122962e-07,2.115871e-07,2.115588e-07,2.108812e-07,2.106279e-07,2.101788e-07,2.097034e-07,2.094804e-07,2.087862e-07,2.078770e-07,2.069764e-07,2.060850e-07,2.052033e-07,2.043318e-07,2.034709e-07,2.026209e-07,2.017822e-07,2.009549e-07,2.001394e-07,1.993357e-07,1.985441e-07,1.977647e-07,1.969975e-07,1.962426e-07,1.955002e-07,1.947701e-07,1.940524e-07,1.933471e-07,1.926542e-07,1.919736e-07,1.913052e-07,1.906490e-07,1.900049e-07
0.000000e+00,3.194857e-11,7.336905e-11,2.534610e-10,5.797552e-10,8.493095e-10,1.958113e-09,2.018737e-09,3.999876e-09,4.736506e-09,7.052599e-09,9.470391e-09,1.132673e-08,1.628853e-08,1.676270e-08,2.321571e-08,2.490159e-08,3.056455e-08,3.503545e-08,3.871458e-08,4.647997e-08,4.757835e-08,5.706441e-08,5.902772e-08,6.707391e-08,7.245114e-08,7.750223e-08,8.650714e-08,8.824203e-08,9.918738e-08,1.009509e-07,1.102372e-07,1.155505e-07,1.212982e-07,1.300984e-07,1.322867e-07,1.431295e-07,1.444178e-07,1.537646e-07,1.583647e-07,1.641409e-07,1.718286e-07,1.742180e-07,1.839644e-07,1.847291e-07,1.933572e-07,1.970114e-07,2.023803e-07,2.086423e-07,2.110239e-07,2.192832e-07,2.196055e-07,2.271573e-07,2.298982e-07,2.346489e-07,2.395273e-07,2.417632e-07,2.485074e-07,2.548902e-07,2.568580e-07,2.609217e-07,2.646024e-07,2.666126e-07,2.717659e-07,2.719742e-07,2.770182e-07,2.783752e-07,2.817564e-07,2.844576e-07,2.862008e-07,2.900403e-07,2.903632e-07,2.942553e-07,2.951504e-07,2.978885e-07,2.998143e-07,3.012742e-07,3.040575e-07,3.044233e-07,3.073464e-07,3.079049e-07,3.100540e-07,3.113800e-07,3.125559e-07,3.145057e-07,3.148619e-07,3.169812e-07,3.173036e-07,3.189228e-07,3.197943e-07,3.206954e-07,3.219974e-07,3.223073e-07,3.237664e-07,3.239315e-07,3.250803e-07,3.256143e-07,3.262563e-07,3.270623e-07,3.273016e-07,3.282227e-07,3.282912e-07,3.290261e-07,3.293160e-07,3.297181e-07,3.301505e-07,3.303043e-07,3.307905e-07,3.308080e-07,3.311821e-07,3.313009e-07,3.314841e-07,3.316408e-07,3.317014e-07,3.318388e-07,3.319006e-07,3.319052e-07,3.318912e-07,3.318496e-07,3.318145e-07,3.316813e-07,3.316745e-07,3.314748e-07,3.314087e-07,3.312189e-07,3.310399e-07,3.309103e-07,3.305824e-07,3.305520e-07,3.301470e-07,3.300432e-07,3.296984e-07,3.294291e-07,3.292088e-07,3.287462e-07,3.286809e-07,3.281171e-07,3.280003e-07,3.275198e-07,3.271968e-07,3.268914e-07,3.263409e-07,3.262338e-07,3.255491e-07,3.254372e-07,3.248394e-07,3.244904e-07,3.241064e-07,3.235044e-07,3.233519e-07,3.225775e-07,3.224833e-07,3.217848e-07,3.214307e-07,3.209754e-07,3.203499e-07,3.201506e-07,3.193118e-07,3.192442e-07,3.184603e-07,3.181165e-07,3.175973e-07,3.169695e-07,3.167240e-07,3.158414e-07,3.158059e-07,3.149506e-07,3.146281e-07,3.140526e-07,3.134383e-07,3.131483e-07,3.122385e-07,3.110308e-07,3.098169e-07,3.085985e-07,3.073772e-07,3.061544e-07,3.049314e-07,3.037095e-07,3.024898e-07,3.012735e-07,3.000614e-07,2.988545e-07,2.976537e-07,2.964596e-07,2.952730e-07,2.940945e-07,2.929248e-07,2.917643e-07,2.906136e-07,2.894730e-07,2.883431e-07,2.872241e-07,2.861164e-07,2.850203e-07,2.839360e-07
0.000000e+00,1.248907e-09,3.679022e-09,1.821261e-08,5.223169e-08,8.442646e-08,2.366839e-07,2.456033e-07,5.550532e-07,6.761757e-07,1.071780e-06,1.507844e-06,1.860105e-06,2.884945e-06,2.989573e-06,4.533732e-06,4.974298e-06,6.566080e-06,7.942354e-06,9.151561e-06,1.191953e-05,1.233351e-05,1.612003e-05,1.694763e-05,2.047747e-05,2.294680e-05,2.533577e-05,2.973628e-05,3.060220e-05,3.617621e-05,3.708997e-05,4.196031e-05,4.478493e-05,4.786617e-05,5.262660e-05,5.381713e-05,5.974841e-05,6.045618e-05,6.560630e-05,6.814892e-05,7.134704e-05,7.560979e-05,7.693556e-05,8.234432e-05,8.276858e-05,8.755224e-05,8.957554e-05,9.254384e-05,9.599765e-05,9.730839e-05,1.018392e-04,1.020155e-04,1.061330e-04,1.076206e-04,1.101894e-04,1.128131e-04,1.140103e-04,1.175997e-04,1.209628e-04,1.219923e-04,1.241062e-04,1.260061e-04,1.270373e-04,1.296589e-04,1.297642e-04,1.322953e-04,1.329701e-04,1.346395e-04,1.359599e-04,1.368056e-04,1.386487e-04,1.388025e-04,1.406391e-04,1.410570e-04,1.423241e-04,1.432046e-04,1.438659e-04,1.451108e-04,1.452727e-04,1.465526e-04,1.467940e-04,1.477131e-04,1.482719e-04,1.487616e-04,1.495607e-04,1.497048e-04,1.505495e-04,1.506760e-04,1.513020e-04,1.516322e-04,1.519682e-04,1.524428e-04,1.525537e-04,1.530639e-04,1.531203e-04,1.535038e-04,1.536764e-04,1.538783e-04,1.541218e-04,1.541916e-04,1.544482e-04,1.544664e-04,1.546520e-04,1.547196e-04,1.548067e-04,1.548897e-04,1.549158e-04,1.549827e-04,1.549845e-04,1.550104e-04,1.550114e-04,1.550019e-04,1.549768e-04,1.549599e-04,1.548870e-04,1.547856e-04,1.547475e-04,1.546579e-04,1.545634e-04,1.545061e-04,1.543395e-04,1.543322e-04,1.541379e-04,1.540802e-04,1.539252e-04,1.537893e-04,1.536955e-04,1.534706e-04,1.534504e-04,1.531914e-04,1.531273e-04,1.529198e-04,1.527626e-04,1.526368e-04,1.523792e-04,1.523435e-04,1.520412e-04,1.519797e-04,1.517308e-04,1.515664e-04,1.514132e-04,1.511415e-04,1.510893e-04,1.507600e-04,1.507068e-04,1.504260e-04,1.502643e-04,1.500881e-04,1.498153e-04,1.497469e-04,1.494030e-04,1.493616e-04,1.490570e-04,1.489043e-04,1.487095e-04,1.484447e-04,1.483610e-04,1.480118e-04,1.479839e-04,1.476626e-04,1.475229e-04,1.473135e-04,1.470626e-04,1.469651e-04,1.466176e-04,1.466037e-04,1.462714e-04,1.461471e-04,1.459267e-04,1.456934e-04,1.455839e-04,1.452431e-04,1.447968e-04,1.443549e-04,1.439179e-04,1.434862e-04,1.430600e-04,1.426396e-04,1.422253e-04,1.418172e-04,1.414157e-04,1.410207e-04,1.406324e-04,1.402510e-04,1.398765e-04,1.395089e-04,1.391484e-04,1.387948e-04,1.384483e-04,1.381088e-04,1.377764e-04,1.374509e-04,1.371323e-04,1.368206e-04,1.365158e-04,1.362177e-04
0.000000e+00,8.906041e-11,2.152505e-10,7.802024e-10,1.808066e-09,2.649022e-09,6.008358e-09,6.187526e-09,1.182789e-08,1.383826e-08,1.996533e-08,2.620289e-08,3.097432e-08,4.394112e-08,4.520555e-08,6.293659e-08,6.772876e-08,8.425920e-08,9.770733e-08,1.089774e-07,1.331920e-07,1.366516e-07,1.667558e-07,1.730235e-07,1.987936e-07,2.160700e-07,2.323273e-07,2.613654e-07,2.669671e-07,3.023549e-07,3.080635e-07,3.381536e-07,3.553885e-07,3.740439e-07,4.026191e-07,4.097248e-07,4.449166e-07,4.490944e-07,4.793651e-07,4.942277e-07,5.128445e-07,5.375197e-07,5.451602e-07,5.761502e-07,5.785681e-07,6.056856e-07,6.170696e-07,6.336691e-07,6.528177e-07,6.600339e-07,6.847408e-07,6.856943e-07,7.077754e-07,7.156592e-07,7.291449e-07,7.427377e-07,7.488752e-07,7.670071e-07,7.835936e-07,7.885849e-07,7.986973e-07,8.076172e-07,8.123873e-07,8.242685e-07,8.247377e-07,8.358251e-07,8.387139e-07,8.457273e-07,8.511320e-07,8.545219e-07,8.617004e-07,8.622853e-07,8.690917e-07,8.705909e-07,8.750128e-07,8.779675e-07,8.801170e-07,8.839846e-07,8.844692e-07,8.881308e-07,8.887853e-07,8.911592e-07,8.925018e-07,8.936082e-07,8.952544e-07,8.955279e-07,8.969647e-07,8.971527e-07,8.979616e-07,8.982958e-07,8.985586e-07,8.987730e-07,8.987923e-07,8.986963e-07,8.986641e-07,8.983015e-07,8.980406e-07,8.976364e-07,8.969661e-07,8.967268e-07,8.955967e-07,8.954974e-07,8.942677e-07,8.936849e-07,8.927598e-07,8.915736e-07,8.910912e-07,8.892784e-07,8.892031e-07,8.873366e-07,8.866088e-07,8.852799e-07,8.838221e-07,8.831207e-07,8.808708e-07,8.785407e-07,8.777797e-07,8.761399e-07,8.745705e-07,8.736774e-07,8.712627e-07,8.711611e-07,8.685984e-07,8.678735e-07,8.659961e-07,8.644183e-07,8.633604e-07,8.609109e-07,8.606969e-07,8.580109e-07,8.573634e-07,8.553070e-07,8.537866e-07,8.525896e-07,8.501902e-07,8.498626e-07,8.471298e-07,8.465828e-07,8.443944e-07,8.429720e-07,8.416596e-07,8.393648e-07,8.389280e-07,8.362024e-07,8.357670e-07,8.334850e-07,8.321842e-07,8.307780e-07,8.286212e-07,8.280834e-07,8.254029e-07,8.250822e-07,8.227382e-07,8.215711e-07,8.200907e-07,8.180911e-07,8.174619e-07,8.148530e-07,8.146452e-07,8.122651e-07,8.112360e-07,8.096992e-07,8.078659e-07,8.071562e-07,8.046371e-07,8.045368e-07,8.021424e-07,8.012505e-07,7.996730e-07,7.980085e-07,7.972293e-07,7.948120e-07,7.916622e-07,7.885599e-07,7.855059e-07,7.825008e-07,7.795451e-07,7.766392e-07,7.737832e-07,7.709774e-07,7.682218e-07,7.655163e-07,7.628608e-07,7.602553e-07,7.576994e-07,7.551929e-07,7.527353e-07,7.503265e-07,7.479658e-07,7.456529e-07,7.433873e-07,7.411685e-07,7.389958e-07,7.368688e-07,7.347868e-07,7.327492e-07
0.000000e+00,1.239941e-09,3.607042e-09,1.741361e-08,4.887216e-08,7.810975e-08,2.131561e-07,2.209629e-07,4.880419e-07,5.912561e-07,9.254748e-07,1.290663e-06,1.584134e-06,2.432957e-06,2.519282e-06,3.786707e-06,4.145874e-06,5.432522e-06,6.528367e-06,7.476311e-06,9.587746e-06,9.896238e-06,1.263017e-05,1.320734e-05,1.559368e-05,1.719648e-05,1.870059e-05,2.136555e-05,2.187540e-05,2.505731e-05,2.556377e-05,2.819952e-05,2.968296e-05,3.126684e-05,3.364904e-05,3.423326e-05,3.707994e-05,3.741281e-05,3.979358e-05,4.094304e-05,4.236540e-05,4.422181e-05,4.479018e-05,4.706563e-05,4.724121e-05,4.919182e-05,5.000090e-05,5.117073e-05,5.250624e-05,5.300581e-05,5.470166e-05,5.476667e-05,5.626372e-05,5.679445e-05,5.769802e-05,5.860363e-05,5.901097e-05,6.020917e-05,6.129929e-05,6.162639e-05,6.228795e-05,6.287046e-05,6.318164e-05,6.395608e-05,6.398666e-05,6.470904e-05,6.489729e-05,6.535457e-05,6.570730e-05,6.592874e-05,6.639841e-05,6.643673e-05,6.688343e-05,6.698204e-05,6.727344e-05,6.746870e-05,6.761106e-05,6.786803e-05,6.790031e-05,6.814495e-05,6.818884e-05,6.834847e-05,6.843914e-05,6.851413e-05,6.862623e-05,6.864494e-05,6.874373e-05,6.875674e-05,6.881309e-05,6.883665e-05,6.885545e-05,6.887141e-05,6.887305e-05,6.886796e-05,6.886592e-05,6.884211e-05,6.882463e-05,6.879729e-05,6.875155e-05,6.873514e-05,6.865719e-05,6.865031e-05,6.856485e-05,6.852419e-05,6.845944e-05,6.837613e-05,6.834216e-05,6.821414e-05,6.820881e-05,6.807640e-05,6.802462e-05,6.792991e-05,6.782575e-05,6.777555e-05,6.761415e-05,6.744646e-05,6.739159e-05,6.727318e-05,6.715966e-05,6.709498e-05,6.691981e-05,6.691243e-05,6.672611e-05,6.667333e-05,6.653652e-05,6.642139e-05,6.634413e-05,6.616504e-05,6.614939e-05,6.595269e-05,6.590524e-05,6.575442e-05,6.564283e-05,6.555492e-05,6.537859e-05,6.535450e-05,6.515346e-05,6.511320e-05,6.495207e-05,6.484729e-05,6.475058e-05,6.458141e-05,6.454921e-05,6.434818e-05,6.431606e-05,6.414768e-05,6.405168e-05,6.394789e-05,6.378868e-05,6.374897e-05,6.355107e-05,6.352740e-05,6.335433e-05,6.326816e-05,6.315887e-05,6.301124e-05,6.296480e-05,6.277224e-05,6.275690e-05,6.258127e-05,6.250534e-05,6.239197e-05,6.225676e-05,6.220443e-05,6.201872e-05,6.201133e-05,6.183490e-05,6.176919e-05,6.165301e-05,6.153047e-05,6.147312e-05,6.129527e-05,6.106368e-05,6.083578e-05,6.061163e-05,6.039129e-05,6.017478e-05,5.996213e-05,5.975337e-05,5.954851e-05,5.934755e-05,5.915047e-05,5.895729e-05,5.876797e-05,5.858250e-05,5.840085e-05,5.822298e-05,5.804888e-05,5.787850e-05,5.771179e-05,5.754873e-05,5.738926e-05,5.723334e-05,5.708092e-05,5.693195e-05,5.678638e-05
0.000000e+00,5.750629e-11,1.325865e-10,4.633265e-10,1.076721e-09,1.595464e-09,3.827621e-09,3.953786e-09,8.269822e-09,9.954835e-09,1.545369e-08,2.141025e-08,2.606834e-08,3.866536e-08,3.987302e-08,5.628238e-08,6.055370e-08,7.484378e-08,8.606897e-08,9.527662e-08,1.146545e-07,1.173919e-07,1.410334e-07,1.459315e-07,1.660487e-07,1.795467e-07,1.922773e-07,2.151232e-07,2.195496e-07,2.476891e-07,2.522599e-07,2.765168e-07,2.905465e-07,3.058562e-07,3.295822e-07,3.355383e-07,3.654043e-07,3.689936e-07,3.953090e-07,4.084451e-07,4.251216e-07,4.476459e-07,4.547266e-07,4.840235e-07,4.863513e-07,5.129264e-07,5.243606e-07,5.413628e-07,5.615139e-07,5.692725e-07,5.966068e-07,5.976876e-07,6.233271e-07,6.327899e-07,6.494023e-07,6.667521e-07,6.748078e-07,6.995259e-07,7.235442e-07,7.310809e-07,7.468549e-07,7.614004e-07,7.694541e-07,7.904798e-07,7.913416e-07,8.125198e-07,8.183232e-07,8.329933e-07,8.449418e-07,8.527687e-07,8.703532e-07,8.718550e-07,8.902642e-07,8.945830e-07,9.080084e-07,9.176584e-07,9.250978e-07,9.396044e-07,9.415445e-07,9.573608e-07,9.604495e-07,9.725592e-07,9.802225e-07,9.871528e-07,9.989538e-07,1.001155e-06,1.014579e-06,1.016674e-06,1.027439e-06,1.033415e-06,1.039748e-06,1.049208e-06,1.051520e-06,1.062767e-06,1.064082e-06,1.073505e-06,1.078071e-06,1.083745e-06,1.091204e-06,1.093503e-06,1.102790e-06,1.103513e-06,1.111621e-06,1.115028e-06,1.120007e-06,1.125777e-06,1.127962e-06,1.135498e-06,1.135791e-06,1.142628e-06,1.145098e-06,1.149364e-06,1.153725e-06,1.155717e-06,1.161700e-06,1.167324e-06,1.169049e-06,1.172600e-06,1.175799e-06,1.177540e-06,1.181975e-06,1.182153e-06,1.186452e-06,1.187601e-06,1.190446e-06,1.192701e-06,1.194146e-06,1.197297e-06,1.197560e-06,1.200700e-06,1.201414e-06,1.203574e-06,1.205071e-06,1.206192e-06,1.208291e-06,1.208562e-06,1.210694e-06,1.211093e-06,1.212596e-06,1.213497e-06,1.214277e-06,1.215523e-06,1.215743e-06,1.217004e-06,1.217188e-06,1.218068e-06,1.218510e-06,1.218940e-06,1.219506e-06,1.219629e-06,1.220143e-06,1.220193e-06,1.220487e-06,1.220586e-06,1.220668e-06,1.220701e-06,1.220693e-06,1.220569e-06,1.220553e-06,1.220301e-06,1.220155e-06,1.219895e-06,1.219521e-06,1.219358e-06,1.218694e-06,1.218664e-06,1.217909e-06,1.217598e-06,1.217008e-06,1.216333e-06,1.215997e-06,1.214881e-06,1.213254e-06,1.211462e-06,1.209515e-06,1.207423e-06,1.205196e-06,1.202843e-06,1.200371e-06,1.197790e-06,1.195107e-06,1.192329e-06,1.189465e-06,1.186520e-06,1.183501e-06,1.180415e-06,1.177267e-06,1.174063e-06,1.170809e-06,1.167510e-06,1.164170e-06,1.160795e-06,1.157388e-06,1.153954e-06,1.150497e-06,1.147021e-06
0.000000e+00,2.164267e-10,5.678886e-10,2.297728e-09,5.678605e-09,8.554779e-09,2.060001e-08,2.126153e-08,4.283842e-08,5.083590e-08,7.603138e-08,1.027122e-07,1.236247e-07,1.815031e-07,1.871694e-07,2.659193e-07,2.868545e-07,3.577837e-07,4.141768e-07,4.607206e-07,5.591688e-07,5.731081e-07,6.935918e-07,7.185485e-07,8.209078e-07,8.893932e-07,9.537903e-07,1.068766e-06,1.090944e-06,1.231056e-06,1.253661e-06,1.372826e-06,1.441094e-06,1.515000e-06,1.628239e-06,1.656405e-06,1.795975e-06,1.812554e-06,1.932769e-06,1.991866e-06,2.065983e-06,2.164417e-06,2.194953e-06,2.319153e-06,2.328870e-06,2.438185e-06,2.484285e-06,2.551770e-06,2.630076e-06,2.659732e-06,2.761990e-06,2.765961e-06,2.858536e-06,2.891904e-06,2.949427e-06,3.008054e-06,3.034768e-06,3.114708e-06,3.189423e-06,3.212261e-06,3.259113e-06,3.301176e-06,3.323991e-06,3.381952e-06,3.384278e-06,3.440202e-06,3.455110e-06,3.491989e-06,3.521168e-06,3.539861e-06,3.580636e-06,3.584039e-06,3.624734e-06,3.634005e-06,3.662151e-06,3.681746e-06,3.696486e-06,3.724300e-06,3.727926e-06,3.756648e-06,3.762081e-06,3.782818e-06,3.795472e-06,3.806597e-06,3.824833e-06,3.828134e-06,3.847569e-06,3.850492e-06,3.865034e-06,3.872754e-06,3.880654e-06,3.891899e-06,3.894544e-06,3.906816e-06,3.908184e-06,3.917569e-06,3.921845e-06,3.926902e-06,3.933099e-06,3.934903e-06,3.941656e-06,3.942145e-06,3.947240e-06,3.949163e-06,3.951730e-06,3.954323e-06,3.955193e-06,3.957695e-06,3.957776e-06,3.959297e-06,3.959664e-06,3.960055e-06,3.960116e-06,3.960023e-06,3.959250e-06,3.957783e-06,3.957175e-06,3.955667e-06,3.953991e-06,3.952943e-06,3.949791e-06,3.949649e-06,3.945822e-06,3.944660e-06,3.941497e-06,3.938676e-06,3.936705e-06,3.931910e-06,3.931477e-06,3.925841e-06,3.924430e-06,3.919824e-06,3.916297e-06,3.913451e-06,3.907568e-06,3.906747e-06,3.899733e-06,3.898295e-06,3.892431e-06,3.888527e-06,3.884861e-06,3.878309e-06,3.877042e-06,3.868991e-06,3.867682e-06,3.860725e-06,3.856686e-06,3.852261e-06,3.845356e-06,3.843612e-06,3.834794e-06,3.833725e-06,3.825819e-06,3.821824e-06,3.816701e-06,3.809682e-06,3.807451e-06,3.798081e-06,3.797326e-06,3.788601e-06,3.784781e-06,3.779022e-06,3.772069e-06,3.769353e-06,3.759604e-06,3.759213e-06,3.749783e-06,3.746231e-06,3.739898e-06,3.733144e-06,3.729957e-06,3.719968e-06,3.706719e-06,3.693412e-06,3.680062e-06,3.666681e-06,3.653282e-06,3.639876e-06,3.626473e-06,3.613084e-06,3.599717e-06,3.586382e-06,3.573085e-06,3.559835e-06,3.546638e-06,3.533500e-06,3.520428e-06,3.507426e-06,3.494501e-06,3.481656e-06,3.468896e-06,3.456225e-06,3.443646e-06,3.431163e-06,3.418779e-06,3.406496e-06
0.000000e+00,1.277124e-09,3.797000e-09,1.914924e-08,5.581013e-08,9.097422e-08,2.602032e-07,2.702126e-07,6.209073e-07,7.593297e-07,1.213628e-06,1.716186e-06,2.122475e-06,3.302492e-06,3.422669e-06,5.188126e-06,5.688922e-06,7.488105e-06,9.032340e-06,1.038212e-05,1.345517e-05,1.391354e-05,1.810451e-05,1.902220e-05,2.295472e-05,2.573132e-05,2.844392e-05,3.352258e-05,3.453596e-05,4.118290e-05,4.229422e-05,4.832821e-05,5.191683e-05,5.590952e-05,6.224417e-05,6.386077e-05,7.211413e-05,7.312160e-05,8.060159e-05,8.439296e-05,8.925642e-05,9.590638e-05,9.801437e-05,1.068147e-04,1.075189e-04,1.156010e-04,1.190999e-04,1.243216e-04,1.305336e-04,1.329302e-04,1.413856e-04,1.417201e-04,1.496521e-04,1.525758e-04,1.576995e-04,1.630333e-04,1.655022e-04,1.730398e-04,1.802960e-04,1.825564e-04,1.872585e-04,1.915563e-04,1.939188e-04,2.000233e-04,2.002715e-04,2.063139e-04,2.079501e-04,2.120459e-04,2.153368e-04,2.174694e-04,2.221897e-04,2.225881e-04,2.274072e-04,2.285199e-04,2.319331e-04,2.343422e-04,2.361731e-04,2.396742e-04,2.401353e-04,2.438285e-04,2.445357e-04,2.472618e-04,2.489475e-04,2.504447e-04,2.529317e-04,2.533867e-04,2.560976e-04,2.565105e-04,2.585871e-04,2.597063e-04,2.608649e-04,2.625412e-04,2.629406e-04,2.648235e-04,2.650369e-04,2.665228e-04,2.672146e-04,2.680474e-04,2.690948e-04,2.694062e-04,2.706076e-04,2.706971e-04,2.716597e-04,2.720405e-04,2.725705e-04,2.731430e-04,2.733476e-04,2.739983e-04,2.740218e-04,2.745297e-04,2.746931e-04,2.749486e-04,2.751724e-04,2.752613e-04,2.754742e-04,2.755932e-04,2.756124e-04,2.756240e-04,2.755999e-04,2.755719e-04,2.754489e-04,2.754422e-04,2.752398e-04,2.751708e-04,2.749694e-04,2.747764e-04,2.746355e-04,2.742758e-04,2.742422e-04,2.737938e-04,2.736784e-04,2.732940e-04,2.729931e-04,2.727465e-04,2.722280e-04,2.721548e-04,2.715221e-04,2.713909e-04,2.708516e-04,2.704891e-04,2.701464e-04,2.695291e-04,2.694090e-04,2.686424e-04,2.685172e-04,2.678489e-04,2.674592e-04,2.670310e-04,2.663606e-04,2.661909e-04,2.653308e-04,2.652263e-04,2.644526e-04,2.640610e-04,2.635583e-04,2.628690e-04,2.626497e-04,2.617285e-04,2.616543e-04,2.607962e-04,2.604206e-04,2.598545e-04,2.591713e-04,2.589046e-04,2.579480e-04,2.579096e-04,2.569859e-04,2.566384e-04,2.560195e-04,2.553604e-04,2.550498e-04,2.540780e-04,2.527936e-04,2.515091e-04,2.502265e-04,2.489476e-04,2.476740e-04,2.464070e-04,2.451480e-04,2.438983e-04,2.426588e-04,2.414306e-04,2.402145e-04,2.390114e-04,2.378219e-04,2.366465e-04,2.354860e-04,2.343407e-04,2.332111e-04,2.320975e-04,2.310002e-04,2.299195e-04,2.288555e-04,2.278085e-04,2.267785e-04,2.257657e-04
0.000000e+00,3.115383e-11,7.149857e-11,2.468315e-10,5.633840e-10,8.234075e-10,1.877421e-09,1.934339e-09,3.760154e-09,4.425860e-09,6.498392e-09,8.669317e-09,1.036662e-08,1.511036e-08,1.558141e-08,2.229505e-08,2.413454e-08,3.052662e-08,3.576390e-08,4.017375e-08,4.971682e-08,5.108872e-08,6.313065e-08,6.566315e-08,7.617605e-08,8.331882e-08,9.011298e-08,1.024304e-07,1.048341e-07,1.202327e-07,1.227522e-07,1.362014e-07,1.440372e-07,1.526325e-07,1.660389e-07,1.694199e-07,1.864601e-07,1.885172e-07,2.036545e-07,2.112449e-07,2.209108e-07,2.340143e-07,2.381439e-07,2.552768e-07,2.566410e-07,2.722408e-07,2.789654e-07,2.889759e-07,3.008541e-07,3.054304e-07,3.215600e-07,3.221979e-07,3.373279e-07,3.429099e-07,3.527043e-07,3.629241e-07,3.676651e-07,3.821918e-07,3.962707e-07,4.006798e-07,4.098924e-07,4.183673e-07,4.230507e-07,4.352443e-07,4.357430e-07,4.479691e-07,4.513091e-07,4.597310e-07,4.665669e-07,4.710327e-07,4.810285e-07,4.818797e-07,4.922788e-07,4.947089e-07,5.022381e-07,5.076263e-07,5.117661e-07,5.198014e-07,5.208722e-07,5.295662e-07,5.312564e-07,5.378582e-07,5.420148e-07,5.457589e-07,5.521009e-07,5.532790e-07,5.604291e-07,5.615395e-07,5.672202e-07,5.703557e-07,5.736632e-07,5.785742e-07,5.797689e-07,5.855480e-07,5.862200e-07,5.910111e-07,5.933175e-07,5.961687e-07,5.998906e-07,6.010312e-07,6.056088e-07,6.059630e-07,6.099114e-07,6.115576e-07,6.139487e-07,6.166968e-07,6.177305e-07,6.212659e-07,6.214024e-07,6.245643e-07,6.256953e-07,6.276344e-07,6.295961e-07,6.304849e-07,6.331245e-07,6.355612e-07,6.362994e-07,6.378031e-07,6.391394e-07,6.398581e-07,6.416620e-07,6.417336e-07,6.434371e-07,6.438842e-07,6.449757e-07,6.458225e-07,6.463562e-07,6.474926e-07,6.475855e-07,6.486700e-07,6.489094e-07,6.496160e-07,6.500875e-07,6.504296e-07,6.510408e-07,6.511167e-07,6.516831e-07,6.517823e-07,6.521342e-07,6.523250e-07,6.524753e-07,6.526807e-07,6.527117e-07,6.528483e-07,6.528613e-07,6.528900e-07,6.528776e-07,6.528413e-07,6.527403e-07,6.527067e-07,6.524906e-07,6.524594e-07,6.521972e-07,6.520446e-07,6.518304e-07,6.515049e-07,6.513941e-07,6.508921e-07,6.508492e-07,6.503278e-07,6.500855e-07,6.497049e-07,6.492219e-07,6.490266e-07,6.482961e-07,6.482659e-07,6.475166e-07,6.472244e-07,6.466908e-07,6.461044e-07,6.458218e-07,6.449121e-07,6.436538e-07,6.423350e-07,6.409613e-07,6.395378e-07,6.380695e-07,6.365608e-07,6.350163e-07,6.334400e-07,6.318357e-07,6.302072e-07,6.285578e-07,6.268909e-07,6.252095e-07,6.235164e-07,6.218144e-07,6.201059e-07,6.183934e-07,6.166790e-07,6.149648e-07,6.132527e-07,6.115446e-07,6.098421e-07,6.081467e-07,6.064599e-07
0.000000e+00,8.361925e-10,2.357080e-09,1.072805e-08,2.872039e-08,4.482687e-08,1.157260e-07,1.197114e-07,2.517726e-07,3.011882e-07,4.570718e-07,6.220350e-07,7.515443e-07,1.114863e-06,1.151056e-06,1.670767e-06,1.814870e-06,2.323200e-06,2.749453e-06,3.115402e-06,3.928323e-06,4.047392e-06,5.113439e-06,5.341987e-06,6.304728e-06,6.970420e-06,7.611355e-06,8.790612e-06,9.023142e-06,1.052979e-05,1.077896e-05,1.212080e-05,1.291131e-05,1.378544e-05,1.516284e-05,1.551279e-05,1.729183e-05,1.750827e-05,1.911163e-05,1.992248e-05,2.096148e-05,2.238112e-05,2.283111e-05,2.471078e-05,2.486131e-05,2.659142e-05,2.734207e-05,2.846473e-05,2.980471e-05,3.032318e-05,3.216007e-05,3.223301e-05,3.396951e-05,3.461319e-05,3.574641e-05,3.693388e-05,3.748644e-05,3.918597e-05,4.084202e-05,4.136237e-05,4.245221e-05,4.345780e-05,4.401470e-05,4.546853e-05,4.552811e-05,4.699149e-05,4.739219e-05,4.840425e-05,4.922749e-05,4.976612e-05,5.097409e-05,5.107710e-05,5.233742e-05,5.263241e-05,5.354752e-05,5.420345e-05,5.470798e-05,5.568871e-05,5.581954e-05,5.688305e-05,5.709006e-05,5.789943e-05,5.840966e-05,5.886969e-05,5.964986e-05,5.979491e-05,6.067619e-05,6.081319e-05,6.151467e-05,6.190228e-05,6.231151e-05,6.291980e-05,6.306789e-05,6.378500e-05,6.386847e-05,6.446402e-05,6.475102e-05,6.510612e-05,6.557016e-05,6.571250e-05,6.628429e-05,6.632858e-05,6.682266e-05,6.702890e-05,6.732873e-05,6.767373e-05,6.780362e-05,6.824840e-05,6.826558e-05,6.866416e-05,6.880693e-05,6.905194e-05,6.930016e-05,6.941275e-05,6.974761e-05,7.005748e-05,7.015152e-05,7.034331e-05,7.051406e-05,7.060604e-05,7.083734e-05,7.084655e-05,7.106572e-05,7.112338e-05,7.126441e-05,7.137413e-05,7.144343e-05,7.159146e-05,7.160360e-05,7.174569e-05,7.177719e-05,7.187046e-05,7.193303e-05,7.197863e-05,7.206066e-05,7.207092e-05,7.214800e-05,7.216166e-05,7.221056e-05,7.223756e-05,7.225922e-05,7.228982e-05,7.229461e-05,7.231734e-05,7.231984e-05,7.232797e-05,7.232895e-05,7.232708e-05,7.231844e-05,7.231521e-05,7.229288e-05,7.228952e-05,7.226060e-05,7.224337e-05,7.221885e-05,7.218108e-05,7.216811e-05,7.210882e-05,7.210372e-05,7.204143e-05,7.201230e-05,7.196636e-05,7.190779e-05,7.188402e-05,7.179479e-05,7.179109e-05,7.169906e-05,7.166308e-05,7.159719e-05,7.152458e-05,7.148952e-05,7.137639e-05,7.121925e-05,7.105388e-05,7.088094e-05,7.070109e-05,7.051491e-05,7.032300e-05,7.012589e-05,6.992410e-05,6.971812e-05,6.950840e-05,6.929539e-05,6.907950e-05,6.886110e-05,6.864058e-05,6.841827e-05,6.819449e-05,6.796956e-05,6.774376e-05,6.751736e-05,6.729061e-05,6.706375e-05,6.683701e-05,6.661058e-05,6.638467e-05
0.000000e+00,1.001491e-09,2.535667e-09,9.782460e-09,2.359520e-08,3.525474e-08,8.415878e-08,8.685974e-08,1.762001e-07,2.099605e-07,3.185835e-07,4.371633e-07,5.324728e-07,8.055419e-07,8.328903e-07,1.220264e-06,1.324663e-06,1.679349e-06,1.960321e-06,2.190505e-06,2.670633e-06,2.737812e-06,3.310078e-06,3.426788e-06,3.899352e-06,4.210414e-06,4.499500e-06,5.008233e-06,5.105357e-06,5.712267e-06,5.809177e-06,6.315900e-06,6.603282e-06,6.912211e-06,7.381456e-06,7.497450e-06,8.068234e-06,8.135611e-06,8.621599e-06,8.858892e-06,9.155013e-06,9.545771e-06,9.666401e-06,1.015414e-05,1.019210e-05,1.061705e-05,1.079507e-05,1.105434e-05,1.135308e-05,1.146559e-05,1.185072e-05,1.186558e-05,1.220990e-05,1.233294e-05,1.254359e-05,1.275622e-05,1.285235e-05,1.313693e-05,1.339819e-05,1.347702e-05,1.363708e-05,1.377870e-05,1.385462e-05,1.404433e-05,1.405185e-05,1.422982e-05,1.427635e-05,1.438960e-05,1.447717e-05,1.453223e-05,1.464919e-05,1.465874e-05,1.477012e-05,1.479471e-05,1.486734e-05,1.491594e-05,1.495132e-05,1.501498e-05,1.502295e-05,1.508306e-05,1.509378e-05,1.513246e-05,1.515417e-05,1.517191e-05,1.519787e-05,1.520211e-05,1.522374e-05,1.522645e-05,1.523744e-05,1.524138e-05,1.524380e-05,1.524399e-05,1.524339e-05,1.523671e-05,1.523552e-05,1.522428e-05,1.521710e-05,1.520653e-05,1.518977e-05,1.518391e-05,1.515682e-05,1.515447e-05,1.512563e-05,1.511208e-05,1.509069e-05,1.506339e-05,1.505232e-05,1.501083e-05,1.500911e-05,1.496651e-05,1.494991e-05,1.491961e-05,1.488638e-05,1.487039e-05,1.481908e-05,1.476588e-05,1.474849e-05,1.471099e-05,1.467506e-05,1.465460e-05,1.459922e-05,1.459689e-05,1.453800e-05,1.452133e-05,1.447810e-05,1.444172e-05,1.441731e-05,1.436072e-05,1.435577e-05,1.429359e-05,1.427858e-05,1.423088e-05,1.419557e-05,1.416775e-05,1.411191e-05,1.410428e-05,1.404058e-05,1.402782e-05,1.397671e-05,1.394346e-05,1.391276e-05,1.385902e-05,1.384879e-05,1.378486e-05,1.377464e-05,1.372105e-05,1.369047e-05,1.365739e-05,1.360661e-05,1.359394e-05,1.353075e-05,1.352318e-05,1.346786e-05,1.344029e-05,1.340530e-05,1.335801e-05,1.334312e-05,1.328134e-05,1.327642e-05,1.322000e-05,1.319560e-05,1.315913e-05,1.311560e-05,1.309874e-05,1.303886e-05,1.303647e-05,1.297951e-05,1.295827e-05,1.292070e-05,1.288104e-05,1.286246e-05,1.280480e-05,1.272960e-05,1.265546e-05,1.258239e-05,1.251041e-05,1.243955e-05,1.236981e-05,1.230120e-05,1.223372e-05,1.216739e-05,1.210219e-05,1.203813e-05,1.197521e-05,1.191342e-05,1.185275e-05,1.179321e-05,1.173478e-05,1.167745e-05,1.162122e-05,1.156607e-05,1.151199e-05,1.145897e-05,1.140699e-05,1.135605e-05,1.130613e-05
0.000000e+00,2.664054e-11,6.090469e-11,2.078841e-10,4.688518e-10,6.805601e-10,1.523731e-09,1.568750e-09,2.994114e-09,3.506710e-09,5.085256e-09,6.717374e-09,7.982085e-09,1.148070e-08,1.182599e-08,1.672084e-08,1.805509e-08,2.266817e-08,2.641356e-08,2.953599e-08,3.617271e-08,3.711185e-08,4.518263e-08,4.684004e-08,5.357348e-08,5.801693e-08,6.214882e-08,6.941582e-08,7.080168e-08,7.944385e-08,8.082040e-08,8.799961e-08,9.205588e-08,9.640260e-08,1.029755e-07,1.045945e-07,1.125246e-07,1.134565e-07,1.201500e-07,1.233993e-07,1.274355e-07,1.327279e-07,1.343536e-07,1.408841e-07,1.413893e-07,1.470139e-07,1.493520e-07,1.527366e-07,1.566039e-07,1.580509e-07,1.629610e-07,1.631491e-07,1.674748e-07,1.690049e-07,1.716038e-07,1.741987e-07,1.753619e-07,1.787650e-07,1.818306e-07,1.827432e-07,1.845768e-07,1.861753e-07,1.870222e-07,1.891043e-07,1.891857e-07,1.910858e-07,1.915731e-07,1.927407e-07,1.936233e-07,1.941680e-07,1.952948e-07,1.953847e-07,1.964069e-07,1.966250e-07,1.972499e-07,1.976492e-07,1.979283e-07,1.983998e-07,1.984555e-07,1.988440e-07,1.989061e-07,1.991056e-07,1.991951e-07,1.992512e-07,1.992914e-07,1.992910e-07,1.992343e-07,1.992169e-07,1.990898e-07,1.989916e-07,1.988653e-07,1.986332e-07,1.985683e-07,1.982055e-07,1.981578e-07,1.977831e-07,1.975798e-07,1.973068e-07,1.969121e-07,1.967819e-07,1.962134e-07,1.961661e-07,1.956055e-07,1.953522e-07,1.949623e-07,1.944796e-07,1.942877e-07,1.935851e-07,1.935564e-07,1.928576e-07,1.925901e-07,1.921081e-07,1.915872e-07,1.913392e-07,1.905535e-07,1.897532e-07,1.894943e-07,1.889403e-07,1.884143e-07,1.881167e-07,1.873176e-07,1.872841e-07,1.864442e-07,1.862080e-07,1.855985e-07,1.850887e-07,1.847481e-07,1.839629e-07,1.838945e-07,1.830387e-07,1.828331e-07,1.821817e-07,1.817016e-07,1.813245e-07,1.805708e-07,1.804681e-07,1.796131e-07,1.794423e-07,1.787603e-07,1.783179e-07,1.779103e-07,1.771991e-07,1.770639e-07,1.762215e-07,1.760872e-07,1.753837e-07,1.749833e-07,1.745509e-07,1.738886e-07,1.737236e-07,1.729021e-07,1.728039e-07,1.720868e-07,1.717301e-07,1.712780e-07,1.706678e-07,1.704759e-07,1.696809e-07,1.696176e-07,1.688932e-07,1.685802e-07,1.681129e-07,1.675559e-07,1.673403e-07,1.665756e-07,1.665451e-07,1.658187e-07,1.655483e-07,1.650700e-07,1.645655e-07,1.643295e-07,1.635972e-07,1.626435e-07,1.617044e-07,1.607802e-07,1.598709e-07,1.589765e-07,1.580971e-07,1.572327e-07,1.563831e-07,1.555484e-07,1.547285e-07,1.539233e-07,1.531327e-07,1.523566e-07,1.515949e-07,1.508473e-07,1.501139e-07,1.493944e-07,1.486887e-07,1.479965e-07,1.473178e-07,1.466524e-07,1.460000e-07,1.453605e-07,1.447337e-07
0.000000e+00,2.571844e-12,5.867401e-12,2.004199e-11,4.530780e-11,6.584848e-11,1.476945e-10,1.520596e-10,2.896724e-10,3.388206e-10,4.888879e-10,6.419887e-10,7.592560e-10,1.078317e-09,1.109448e-09,1.546219e-09,1.664355e-09,2.072405e-09,2.405335e-09,2.685276e-09,3.290351e-09,3.377242e-09,4.138334e-09,4.297930e-09,4.958176e-09,5.404356e-09,5.826708e-09,6.586819e-09,6.734262e-09,7.671503e-09,7.823609e-09,8.629418e-09,9.094011e-09,9.599382e-09,1.037854e-08,1.057326e-08,1.154351e-08,1.165936e-08,1.250328e-08,1.292067e-08,1.344651e-08,1.414901e-08,1.436791e-08,1.526302e-08,1.533337e-08,1.612817e-08,1.646517e-08,1.696046e-08,1.753809e-08,1.775767e-08,1.851822e-08,1.854786e-08,1.924110e-08,1.949201e-08,1.992580e-08,2.036951e-08,2.057220e-08,2.118055e-08,2.175139e-08,2.192625e-08,2.228548e-08,2.260846e-08,2.278380e-08,2.322955e-08,2.324744e-08,2.367762e-08,2.379225e-08,2.407564e-08,2.429956e-08,2.444281e-08,2.475455e-08,2.478052e-08,2.509012e-08,2.516040e-08,2.537299e-08,2.552023e-08,2.563048e-08,2.583713e-08,2.586391e-08,2.607459e-08,2.611410e-08,2.626375e-08,2.635401e-08,2.643260e-08,2.655959e-08,2.658230e-08,2.671398e-08,2.673345e-08,2.682870e-08,2.687804e-08,2.692748e-08,2.699569e-08,2.701130e-08,2.708109e-08,2.708856e-08,2.713771e-08,2.715868e-08,2.718202e-08,2.720794e-08,2.721479e-08,2.723680e-08,2.723811e-08,2.724874e-08,2.725086e-08,2.725131e-08,2.724770e-08,2.724513e-08,2.723081e-08,2.723007e-08,2.720892e-08,2.719929e-08,2.718000e-08,2.715658e-08,2.714455e-08,2.710307e-08,2.705600e-08,2.703982e-08,2.700376e-08,2.696781e-08,2.694676e-08,2.688792e-08,2.688539e-08,2.681998e-08,2.680099e-08,2.675088e-08,2.670778e-08,2.667841e-08,2.660901e-08,2.660286e-08,2.652450e-08,2.650531e-08,2.644361e-08,2.639730e-08,2.636043e-08,2.628552e-08,2.627519e-08,2.618810e-08,2.617048e-08,2.609938e-08,2.605265e-08,2.600920e-08,2.593247e-08,2.591776e-08,2.582521e-08,2.581031e-08,2.573172e-08,2.568656e-08,2.563744e-08,2.556153e-08,2.554249e-08,2.544701e-08,2.543552e-08,2.535112e-08,2.530883e-08,2.525494e-08,2.518170e-08,2.515856e-08,2.506208e-08,2.505436e-08,2.496560e-08,2.492702e-08,2.486920e-08,2.479988e-08,2.477296e-08,2.467695e-08,2.467311e-08,2.458124e-08,2.454687e-08,2.448590e-08,2.442130e-08,2.439097e-08,2.429653e-08,2.417267e-08,2.404984e-08,2.392812e-08,2.380760e-08,2.368836e-08,2.357046e-08,2.345395e-08,2.333889e-08,2.322533e-08,2.311329e-08,2.300282e-08,2.289395e-08,2.278668e-08,2.268105e-08,2.257706e-08,2.247472e-08,2.237405e-08,2.227505e-08,2.217771e-08,2.208204e-08,2.198803e-08,2.189567e-08,2.180497e-08,2.171590e-08
0.000000e+00,7.208322e-12,1.649281e-11,5.667869e-11,1.289535e-10,1.881856e-10,4.277052e-10,4.406242e-10,8.547150e-10,1.005607e-09,1.475003e-09,1.965282e-09,2.346672e-09,3.398056e-09,3.501064e-09,4.941161e-09,5.327500e-09,6.649206e-09,7.714472e-09,8.603202e-09,1.051033e-08,1.078326e-08,1.317100e-08,1.367185e-08,1.574784e-08,1.715601e-08,1.849397e-08,2.091599e-08,2.138806e-08,2.440746e-08,2.490062e-08,2.752862e-08,2.905594e-08,3.072778e-08,3.332741e-08,3.398138e-08,3.726673e-08,3.766208e-08,4.056244e-08,4.201067e-08,4.384874e-08,4.632896e-08,4.710776e-08,5.032364e-08,5.057862e-08,5.348259e-08,5.472753e-08,5.657284e-08,5.874965e-08,5.958448e-08,6.250941e-08,6.262451e-08,6.534137e-08,6.633717e-08,6.807562e-08,6.987727e-08,7.070868e-08,7.323833e-08,7.566331e-08,7.641712e-08,7.798323e-08,7.941296e-08,8.019841e-08,8.222732e-08,8.230980e-08,8.431885e-08,8.486329e-08,8.622741e-08,8.732520e-08,8.803764e-08,8.961828e-08,8.975196e-08,9.137297e-08,9.174844e-08,9.290344e-08,9.372202e-08,9.434622e-08,9.554564e-08,9.570422e-08,9.698040e-08,9.722608e-08,9.817771e-08,9.877013e-08,9.929912e-08,1.001846e-07,1.003475e-07,1.013259e-07,1.014761e-07,1.022370e-07,1.026512e-07,1.030836e-07,1.037163e-07,1.038684e-07,1.045942e-07,1.046774e-07,1.052634e-07,1.055406e-07,1.058786e-07,1.063115e-07,1.064422e-07,1.069566e-07,1.069957e-07,1.074240e-07,1.075983e-07,1.078466e-07,1.081244e-07,1.082267e-07,1.085661e-07,1.085788e-07,1.088668e-07,1.089660e-07,1.091309e-07,1.092904e-07,1.093601e-07,1.095561e-07,1.097206e-07,1.097669e-07,1.098554e-07,1.099266e-07,1.099618e-07,1.100388e-07,1.100415e-07,1.100958e-07,1.101067e-07,1.101261e-07,1.101334e-07,1.101338e-07,1.101220e-07,1.101201e-07,1.100862e-07,1.100752e-07,1.100333e-07,1.099958e-07,1.099625e-07,1.098862e-07,1.098748e-07,1.097712e-07,1.097487e-07,1.096528e-07,1.095857e-07,1.095204e-07,1.093991e-07,1.093750e-07,1.092173e-07,1.091910e-07,1.090482e-07,1.089632e-07,1.088684e-07,1.087174e-07,1.086787e-07,1.084798e-07,1.084553e-07,1.082723e-07,1.081785e-07,1.080569e-07,1.078883e-07,1.078342e-07,1.076048e-07,1.075861e-07,1.073691e-07,1.072733e-07,1.071278e-07,1.069509e-07,1.068813e-07,1.066302e-07,1.066200e-07,1.063747e-07,1.062818e-07,1.061155e-07,1.059372e-07,1.058528e-07,1.055870e-07,1.052322e-07,1.048736e-07,1.045118e-07,1.041475e-07,1.037814e-07,1.034141e-07,1.030461e-07,1.026780e-07,1.023101e-07,1.019429e-07,1.015769e-07,1.012124e-07,1.008497e-07,1.004892e-07,1.001311e-07,9.977576e-08,9.942331e-08,9.907401e-08,9.872807e-08,9.838565e-08,9.804692e-08,9.771203e-08,9.738109e-08,9.705423e-08
0.000000e+00,5.428148e-12,1.240586e-11,4.254245e-11,9.656829e-11,1.407077e-10,3.181178e-10,3.276414e-10,6.307244e-10,7.402209e-10,1.078269e-09,1.428415e-09,1.699776e-09,2.449034e-09,2.522801e-09,3.564454e-09,3.847251e-09,4.823698e-09,5.618348e-09,6.284785e-09,7.721076e-09,7.927034e-09,9.730438e-09,1.010881e-08,1.167651e-08,1.273896e-08,1.374753e-08,1.557090e-08,1.592593e-08,1.819392e-08,1.856391e-08,2.053357e-08,2.167680e-08,2.292702e-08,2.486873e-08,2.535676e-08,2.780600e-08,2.810046e-08,3.025895e-08,3.133559e-08,3.270095e-08,3.454136e-08,3.511877e-08,3.750066e-08,3.768935e-08,3.983639e-08,4.075574e-08,4.211719e-08,4.372122e-08,4.433579e-08,4.648625e-08,4.657078e-08,4.856389e-08,4.929331e-08,5.056520e-08,5.188117e-08,5.248766e-08,5.432960e-08,5.609012e-08,5.663625e-08,5.776908e-08,5.880096e-08,5.936684e-08,6.082508e-08,6.088425e-08,6.232254e-08,6.271129e-08,6.368328e-08,6.446323e-08,6.496826e-08,6.608523e-08,6.617947e-08,6.731905e-08,6.758214e-08,6.838928e-08,6.895918e-08,6.939248e-08,7.022174e-08,7.033103e-08,7.120734e-08,7.137534e-08,7.202380e-08,7.242551e-08,7.278283e-08,7.337775e-08,7.348678e-08,7.413800e-08,7.423745e-08,7.473877e-08,7.500988e-08,7.529133e-08,7.570014e-08,7.579787e-08,7.626052e-08,7.631318e-08,7.668133e-08,7.685376e-08,7.706232e-08,7.732642e-08,7.740541e-08,7.771247e-08,7.773553e-08,7.798532e-08,7.808527e-08,7.822568e-08,7.837958e-08,7.843524e-08,7.861561e-08,7.862224e-08,7.876833e-08,7.881683e-08,7.889489e-08,7.896673e-08,7.899671e-08,7.907518e-08,7.913159e-08,7.914519e-08,7.916720e-08,7.917963e-08,7.918322e-08,7.918123e-08,7.918079e-08,7.916103e-08,7.915253e-08,7.912497e-08,7.909593e-08,7.907362e-08,7.901371e-08,7.900795e-08,7.892887e-08,7.890799e-08,7.883724e-08,7.878077e-08,7.873391e-08,7.863393e-08,7.861967e-08,7.849527e-08,7.846924e-08,7.836143e-08,7.828834e-08,7.821885e-08,7.809279e-08,7.806817e-08,7.791000e-08,7.788404e-08,7.774495e-08,7.766345e-08,7.757358e-08,7.743228e-08,7.739640e-08,7.721394e-08,7.719171e-08,7.702666e-08,7.694286e-08,7.683503e-08,7.668674e-08,7.663947e-08,7.644039e-08,7.642433e-08,7.623819e-08,7.615651e-08,7.603321e-08,7.588411e-08,7.582582e-08,7.561633e-08,7.560791e-08,7.540506e-08,7.532863e-08,7.519230e-08,7.504691e-08,7.497832e-08,7.476339e-08,7.447862e-08,7.419313e-08,7.390741e-08,7.362189e-08,7.333700e-08,7.305309e-08,7.277053e-08,7.248961e-08,7.221064e-08,7.193386e-08,7.165952e-08,7.138783e-08,7.111897e-08,7.085314e-08,7.059047e-08,7.033111e-08,7.007518e-08,6.982277e-08,6.957399e-08,6.932892e-08,6.908762e-08,6.885014e-08,6.861654e-08,6.838684e-08
0.000000e+00,4.880573e-07,1.446956e-06,7.254514e-06,2.102900e-05,3.417658e-05,9.700134e-05,1.007013e-04,2.296567e-04,2.802901e-04,4.457687e-04,6.279285e-04,7.747006e-04,1.199258e-03,1.242385e-03,1.874239e-03,2.052983e-03,2.693605e-03,3.241595e-03,3.719182e-03,4.801750e-03,4.962681e-03,6.428292e-03,6.747967e-03,8.113777e-03,9.074899e-03,1.001195e-02,1.176288e-02,1.211188e-02,1.439969e-02,1.478212e-02,1.685912e-02,1.809533e-02,1.947200e-02,2.165958e-02,2.221861e-02,2.507814e-02,2.542786e-02,2.802907e-02,2.935081e-02,3.104959e-02,3.337839e-02,3.411805e-02,3.721330e-02,3.746147e-02,4.031509e-02,4.155332e-02,4.340433e-02,4.561084e-02,4.646337e-02,4.947615e-02,4.959549e-02,5.242835e-02,5.347385e-02,5.530746e-02,5.721797e-02,5.810278e-02,6.080539e-02,6.340816e-02,6.421901e-02,6.590554e-02,6.744662e-02,6.829347e-02,7.048040e-02,7.056925e-02,7.273148e-02,7.331648e-02,7.477980e-02,7.595435e-02,7.671485e-02,7.839628e-02,7.853807e-02,8.025159e-02,8.064681e-02,8.185813e-02,8.271221e-02,8.336082e-02,8.460007e-02,8.476317e-02,8.606894e-02,8.631885e-02,8.728209e-02,8.787767e-02,8.840668e-02,8.928592e-02,8.944684e-02,9.040672e-02,9.055312e-02,9.129040e-02,9.168870e-02,9.210194e-02,9.270189e-02,9.284529e-02,9.352426e-02,9.360159e-02,9.414257e-02,9.439634e-02,9.470379e-02,9.509423e-02,9.521131e-02,9.566840e-02,9.570288e-02,9.607815e-02,9.622947e-02,9.644352e-02,9.668068e-02,9.676730e-02,9.705211e-02,9.706273e-02,9.730046e-02,9.738139e-02,9.751469e-02,9.764201e-02,9.769701e-02,9.784950e-02,9.797411e-02,9.800840e-02,9.807267e-02,9.812288e-02,9.814691e-02,9.819679e-02,9.819844e-02,9.822876e-02,9.823365e-02,9.823931e-02,9.823669e-02,9.823139e-02,9.820888e-02,9.820627e-02,9.816509e-02,9.815295e-02,9.810897e-02,9.807139e-02,9.803891e-02,9.796649e-02,9.795587e-02,9.786076e-02,9.784037e-02,9.775442e-02,9.769494e-02,9.763763e-02,9.753199e-02,9.751113e-02,9.737562e-02,9.735314e-02,9.723175e-02,9.715990e-02,9.708012e-02,9.695363e-02,9.692133e-02,9.675589e-02,9.673561e-02,9.658432e-02,9.650701e-02,9.640710e-02,9.626890e-02,9.622466e-02,9.603744e-02,9.602227e-02,9.584582e-02,9.576803e-02,9.565018e-02,9.550702e-02,9.545086e-02,9.524820e-02,9.524003e-02,9.504250e-02,9.496777e-02,9.483406e-02,9.469090e-02,9.462316e-02,9.441004e-02,9.412576e-02,9.383858e-02,9.354898e-02,9.325742e-02,9.296431e-02,9.267003e-02,9.237495e-02,9.207938e-02,9.178363e-02,9.148800e-02,9.119272e-02,9.089806e-02,9.060423e-02,9.031143e-02,9.001986e-02,8.972970e-02,8.944110e-02,8.915421e-02,8.886917e-02,8.858611e-02,8.830513e-02,8.802635e-02,8.774986e-02,8.747574e-02
0.000000e+00,1.619538e-09,4.382531e-09,1.863526e-08,4.762501e-08,7.282552e-08,1.806515e-07,1.866336e-07,3.830946e-07,4.562126e-07,6.868083e-07,9.315835e-07,1.124576e-06,1.669890e-06,1.724485e-06,2.511559e-06,2.730214e-06,3.499991e-06,4.141468e-06,4.688206e-06,5.888433e-06,6.062607e-06,7.605358e-06,7.932557e-06,9.299141e-06,1.023432e-05,1.112824e-05,1.275858e-05,1.307809e-05,1.513470e-05,1.547274e-05,1.728428e-05,1.834510e-05,1.951322e-05,2.134449e-05,2.180812e-05,2.415602e-05,2.444073e-05,2.654453e-05,2.760532e-05,2.896203e-05,3.081205e-05,3.139775e-05,3.384189e-05,3.403751e-05,3.628564e-05,3.726124e-05,3.872117e-05,4.046577e-05,4.114161e-05,4.354094e-05,4.363640e-05,4.591404e-05,4.676106e-05,4.825653e-05,4.983004e-05,5.056474e-05,5.283558e-05,5.506653e-05,5.577167e-05,5.725554e-05,5.863371e-05,5.940094e-05,6.141832e-05,6.150146e-05,6.355612e-05,6.412309e-05,6.556418e-05,6.674645e-05,6.752517e-05,6.928744e-05,6.943878e-05,7.130488e-05,7.174568e-05,7.312349e-05,7.412121e-05,7.489474e-05,7.641444e-05,7.661885e-05,7.829616e-05,7.862603e-05,7.992705e-05,8.075692e-05,8.151199e-05,8.280822e-05,8.305151e-05,8.454615e-05,8.478117e-05,8.599652e-05,8.667716e-05,8.740326e-05,8.849768e-05,8.876703e-05,9.008852e-05,9.024429e-05,9.136842e-05,9.191859e-05,9.260747e-05,9.352227e-05,9.380639e-05,9.496592e-05,9.505701e-05,9.608683e-05,9.652455e-05,9.716986e-05,9.792662e-05,9.821578e-05,9.922534e-05,9.926498e-05,1.001993e-04,1.005414e-04,1.011385e-04,1.017576e-04,1.020435e-04,1.029153e-04,1.037545e-04,1.040163e-04,1.045618e-04,1.050622e-04,1.053381e-04,1.060548e-04,1.060841e-04,1.068004e-04,1.069957e-04,1.074878e-04,1.078867e-04,1.081470e-04,1.087292e-04,1.087788e-04,1.093837e-04,1.095250e-04,1.099625e-04,1.102755e-04,1.105159e-04,1.109824e-04,1.110445e-04,1.115490e-04,1.116470e-04,1.120300e-04,1.122710e-04,1.124881e-04,1.128557e-04,1.129240e-04,1.133383e-04,1.134026e-04,1.137315e-04,1.139130e-04,1.141044e-04,1.143883e-04,1.144574e-04,1.147910e-04,1.148298e-04,1.151060e-04,1.152388e-04,1.154028e-04,1.156165e-04,1.156819e-04,1.159439e-04,1.159642e-04,1.161893e-04,1.162830e-04,1.164186e-04,1.165740e-04,1.166323e-04,1.168308e-04,1.168385e-04,1.170147e-04,1.170774e-04,1.171844e-04,1.172919e-04,1.173403e-04,1.174829e-04,1.176515e-04,1.177986e-04,1.179252e-04,1.180321e-04,1.181203e-04,1.181905e-04,1.182437e-04,1.182805e-04,1.183018e-04,1.183084e-04,1.183009e-04,1.182800e-04,1.182464e-04,1.182007e-04,1.181436e-04,1.180757e-04,1.179976e-04,1.179098e-04,1.178128e-04,1.177072e-04,1.175935e-04,1.174721e-04,1.173436e-04,1.172083e-04
0.000000e+00,1.108029e-09,3.269189e-09,1.625536e-08,4.690202e-08,7.615168e-08,2.170570e-07,2.254293e-07,5.229140e-07,6.427551e-07,1.045949e-06,1.508968e-06,1.895385e-06,3.070065e-06,3.193433e-06,5.061774e-06,5.605269e-06,7.579140e-06,9.277090e-06,1.074998e-05,1.403233e-05,1.451186e-05,1.876580e-05,1.966605e-05,2.340336e-05,2.593198e-05,2.832192e-05,3.260392e-05,3.343077e-05,3.865224e-05,3.949359e-05,4.392072e-05,4.644974e-05,4.918105e-05,5.335210e-05,5.438698e-05,5.949988e-05,6.010559e-05,6.448775e-05,6.663588e-05,6.932448e-05,7.288631e-05,7.398923e-05,7.846588e-05,7.881550e-05,8.274255e-05,8.439528e-05,8.681111e-05,8.960880e-05,9.066676e-05,9.430754e-05,9.444870e-05,9.773393e-05,9.891538e-05,1.009485e-04,1.030154e-04,1.039553e-04,1.067600e-04,1.093691e-04,1.101638e-04,1.117898e-04,1.132439e-04,1.140301e-04,1.160186e-04,1.160981e-04,1.180022e-04,1.185072e-04,1.197508e-04,1.207288e-04,1.213523e-04,1.227027e-04,1.228148e-04,1.241464e-04,1.244473e-04,1.253548e-04,1.259805e-04,1.264475e-04,1.273190e-04,1.274316e-04,1.283139e-04,1.284788e-04,1.291011e-04,1.294748e-04,1.297991e-04,1.303209e-04,1.304138e-04,1.309508e-04,1.310299e-04,1.314152e-04,1.316138e-04,1.318119e-04,1.320836e-04,1.321455e-04,1.324203e-04,1.324495e-04,1.326404e-04,1.327209e-04,1.328095e-04,1.329061e-04,1.329312e-04,1.330089e-04,1.330133e-04,1.330456e-04,1.330495e-04,1.330444e-04,1.330215e-04,1.330079e-04,1.329387e-04,1.329353e-04,1.328392e-04,1.327964e-04,1.327116e-04,1.326099e-04,1.325581e-04,1.323806e-04,1.321810e-04,1.321127e-04,1.319609e-04,1.318101e-04,1.317221e-04,1.314764e-04,1.314659e-04,1.311937e-04,1.311149e-04,1.309070e-04,1.307285e-04,1.306070e-04,1.303201e-04,1.302947e-04,1.299713e-04,1.298921e-04,1.296378e-04,1.294469e-04,1.292950e-04,1.289865e-04,1.289440e-04,1.285855e-04,1.285130e-04,1.282203e-04,1.280280e-04,1.278491e-04,1.275332e-04,1.274727e-04,1.270915e-04,1.270301e-04,1.267063e-04,1.265200e-04,1.263175e-04,1.260043e-04,1.259257e-04,1.255314e-04,1.254839e-04,1.251350e-04,1.249600e-04,1.247369e-04,1.244335e-04,1.243376e-04,1.239373e-04,1.239053e-04,1.235366e-04,1.233762e-04,1.231356e-04,1.228469e-04,1.227346e-04,1.223340e-04,1.223180e-04,1.219341e-04,1.217903e-04,1.215349e-04,1.212641e-04,1.211369e-04,1.207401e-04,1.202187e-04,1.197003e-04,1.191853e-04,1.186740e-04,1.181667e-04,1.176637e-04,1.171653e-04,1.166717e-04,1.161830e-04,1.156995e-04,1.152214e-04,1.147487e-04,1.142815e-04,1.138200e-04,1.133644e-04,1.129145e-04,1.124706e-04,1.120327e-04,1.116007e-04,1.111748e-04,1.107550e-04,1.103412e-04,1.099336e-04,1.095320e-04
0.000000e+00,2.458436e-10,6.403125e-10,2.545642e-09,6.177903e-09,9.206736e-09,2.149470e-08,2.215491e-08,4.307723e-08,5.058503e-08,7.359745e-08,9.720699e-08,1.153818e-07,1.652445e-07,1.701425e-07,2.395009e-07,2.584683e-07,3.246627e-07,3.794090e-07,4.258817e-07,5.272316e-07,5.418343e-07,6.693127e-07,6.957974e-07,8.036887e-07,8.746329e-07,9.400353e-07,1.053007e-06,1.074188e-06,1.203208e-06,1.223242e-06,1.325315e-06,1.381176e-06,1.439589e-06,1.525119e-06,1.545677e-06,1.643566e-06,1.654769e-06,1.733440e-06,1.770521e-06,1.815601e-06,1.873107e-06,1.890413e-06,1.958279e-06,1.963421e-06,2.019626e-06,2.042436e-06,2.074888e-06,2.111156e-06,2.124505e-06,2.168910e-06,2.170584e-06,2.208526e-06,2.221695e-06,2.243763e-06,2.265422e-06,2.275009e-06,2.302631e-06,2.326966e-06,2.334110e-06,2.348328e-06,2.360575e-06,2.367009e-06,2.382669e-06,2.383276e-06,2.397367e-06,2.400953e-06,2.409499e-06,2.415919e-06,2.419867e-06,2.427999e-06,2.428646e-06,2.435993e-06,2.437559e-06,2.442046e-06,2.444918e-06,2.446930e-06,2.450348e-06,2.450755e-06,2.453620e-06,2.454085e-06,2.455613e-06,2.456332e-06,2.456813e-06,2.457258e-06,2.457288e-06,2.457098e-06,2.457010e-06,2.456298e-06,2.455713e-06,2.454939e-06,2.453477e-06,2.453063e-06,2.450711e-06,2.450398e-06,2.447919e-06,2.446559e-06,2.444720e-06,2.442035e-06,2.441144e-06,2.437218e-06,2.436889e-06,2.432967e-06,2.431181e-06,2.428415e-06,2.424962e-06,2.423582e-06,2.418489e-06,2.418280e-06,2.413153e-06,2.411176e-06,2.407591e-06,2.403689e-06,2.401820e-06,2.395854e-06,2.389706e-06,2.387702e-06,2.383390e-06,2.379265e-06,2.376917e-06,2.370567e-06,2.370299e-06,2.363547e-06,2.361634e-06,2.356671e-06,2.352490e-06,2.349680e-06,2.343154e-06,2.342583e-06,2.335388e-06,2.333648e-06,2.328104e-06,2.323989e-06,2.320738e-06,2.314194e-06,2.313298e-06,2.305789e-06,2.304279e-06,2.298218e-06,2.294260e-06,2.290593e-06,2.284148e-06,2.282917e-06,2.275197e-06,2.273958e-06,2.267438e-06,2.263702e-06,2.259645e-06,2.253389e-06,2.251823e-06,2.243975e-06,2.243032e-06,2.236107e-06,2.232639e-06,2.228222e-06,2.222221e-06,2.220324e-06,2.212417e-06,2.211784e-06,2.204503e-06,2.201337e-06,2.196588e-06,2.190888e-06,2.188672e-06,2.180760e-06,2.180444e-06,2.172854e-06,2.170010e-06,2.164957e-06,2.159594e-06,2.157072e-06,2.149200e-06,2.138834e-06,2.128501e-06,2.118206e-06,2.107952e-06,2.097744e-06,2.087585e-06,2.077479e-06,2.067429e-06,2.057438e-06,2.047509e-06,2.037644e-06,2.027845e-06,2.018115e-06,2.008455e-06,1.998868e-06,1.989355e-06,1.979918e-06,1.970558e-06,1.961275e-06,1.952072e-06,1.942950e-06,1.933908e-06,1.924949e-06,1.916072e-06
0.000000e+00,1.690577e-11,3.884817e-11,1.336144e-10,3.029224e-10,4.407496e-10,9.913866e-10,1.020822e-09,1.952656e-09,2.287339e-09,3.315426e-09,4.373372e-09,5.189101e-09,7.424660e-09,7.643505e-09,1.071158e-08,1.153780e-08,1.437118e-08,1.665748e-08,1.856331e-08,2.264020e-08,2.322176e-08,2.828562e-08,2.934208e-08,3.369910e-08,3.663442e-08,3.940848e-08,4.439380e-08,4.536012e-08,5.149978e-08,5.249593e-08,5.777295e-08,6.081561e-08,6.412571e-08,6.923006e-08,7.050586e-08,7.686398e-08,7.762326e-08,8.315445e-08,8.589005e-08,8.933613e-08,9.393903e-08,9.537290e-08,1.012339e-07,1.016944e-07,1.068935e-07,1.090963e-07,1.123315e-07,1.161007e-07,1.175323e-07,1.224849e-07,1.226778e-07,1.271825e-07,1.288104e-07,1.316216e-07,1.344923e-07,1.358019e-07,1.397259e-07,1.433978e-07,1.445206e-07,1.468239e-07,1.488910e-07,1.500117e-07,1.528557e-07,1.529697e-07,1.557071e-07,1.564353e-07,1.582337e-07,1.596526e-07,1.605594e-07,1.625305e-07,1.626945e-07,1.646490e-07,1.650923e-07,1.664329e-07,1.673610e-07,1.680559e-07,1.693586e-07,1.695275e-07,1.708569e-07,1.711065e-07,1.720527e-07,1.726245e-07,1.731233e-07,1.739318e-07,1.740768e-07,1.749206e-07,1.750459e-07,1.756618e-07,1.759832e-07,1.763073e-07,1.767591e-07,1.768634e-07,1.773362e-07,1.773876e-07,1.777311e-07,1.778816e-07,1.780535e-07,1.782532e-07,1.783085e-07,1.785005e-07,1.785133e-07,1.786340e-07,1.786720e-07,1.787131e-07,1.787385e-07,1.787416e-07,1.787230e-07,1.787213e-07,1.786607e-07,1.786282e-07,1.785579e-07,1.784662e-07,1.784173e-07,1.782419e-07,1.780341e-07,1.779612e-07,1.777964e-07,1.776296e-07,1.775309e-07,1.772519e-07,1.772398e-07,1.769251e-07,1.768330e-07,1.765885e-07,1.763768e-07,1.762318e-07,1.758872e-07,1.758566e-07,1.754643e-07,1.753678e-07,1.750565e-07,1.748218e-07,1.746344e-07,1.742521e-07,1.741992e-07,1.737522e-07,1.736614e-07,1.732943e-07,1.730523e-07,1.728267e-07,1.724270e-07,1.723502e-07,1.718657e-07,1.717875e-07,1.713742e-07,1.711359e-07,1.708763e-07,1.704739e-07,1.703728e-07,1.698644e-07,1.698031e-07,1.693517e-07,1.691249e-07,1.688354e-07,1.684408e-07,1.683159e-07,1.677939e-07,1.677521e-07,1.672698e-07,1.670597e-07,1.667442e-07,1.663649e-07,1.662173e-07,1.656897e-07,1.656686e-07,1.651617e-07,1.649717e-07,1.646338e-07,1.642749e-07,1.641061e-07,1.635791e-07,1.628848e-07,1.621929e-07,1.615037e-07,1.608179e-07,1.601359e-07,1.594582e-07,1.587851e-07,1.581170e-07,1.574542e-07,1.567971e-07,1.561459e-07,1.555008e-07,1.548621e-07,1.542299e-07,1.536044e-07,1.529858e-07,1.523742e-07,1.517696e-07,1.511723e-07,1.505823e-07,1.499996e-07,1.494244e-07,1.488566e-07,1.482964e-07
0.000000e+00,3.082118e-11,7.042960e-11,2.415625e-10,5.498450e-10,8.036808e-10,1.844646e-09,1.901503e-09,3.763005e-09,4.459512e-09,6.681553e-09,9.076550e-09,1.097798e-08,1.631078e-08,1.683621e-08,2.415265e-08,2.609508e-08,3.264754e-08,3.781782e-08,4.205688e-08,5.094297e-08,5.219303e-08,6.292706e-08,6.513675e-08,7.416192e-08,8.017406e-08,8.581419e-08,9.586632e-08,9.780410e-08,1.100509e-07,1.120288e-07,1.224719e-07,1.284712e-07,1.349828e-07,1.449991e-07,1.474986e-07,1.599360e-07,1.614194e-07,1.722151e-07,1.775481e-07,1.842608e-07,1.932167e-07,1.960042e-07,2.073837e-07,2.082767e-07,2.183468e-07,2.226054e-07,2.288499e-07,2.361072e-07,2.388577e-07,2.483431e-07,2.487113e-07,2.572870e-07,2.603718e-07,2.656777e-07,2.710645e-07,2.735100e-07,2.807845e-07,2.875066e-07,2.895425e-07,2.936861e-07,2.973624e-07,2.993366e-07,3.042787e-07,3.044746e-07,3.091183e-07,3.103324e-07,3.132867e-07,3.155687e-07,3.170015e-07,3.200373e-07,3.202846e-07,3.231580e-07,3.237892e-07,3.256443e-07,3.268758e-07,3.277657e-07,3.293480e-07,3.295440e-07,3.310004e-07,3.312550e-07,3.321559e-07,3.326444e-07,3.330303e-07,3.335617e-07,3.336429e-07,3.340121e-07,3.340497e-07,3.341553e-07,3.341486e-07,3.340890e-07,3.338959e-07,3.338291e-07,3.333904e-07,3.333264e-07,3.327869e-07,3.324726e-07,3.320318e-07,3.313643e-07,3.311376e-07,3.301159e-07,3.300290e-07,3.289777e-07,3.284921e-07,3.277331e-07,3.267766e-07,3.263918e-07,3.249626e-07,3.249037e-07,3.234539e-07,3.228928e-07,3.218735e-07,3.207616e-07,3.202286e-07,3.185261e-07,3.167721e-07,3.162009e-07,3.149725e-07,3.137994e-07,3.131328e-07,3.113336e-07,3.112580e-07,3.093528e-07,3.088145e-07,3.074215e-07,3.062520e-07,3.054683e-07,3.036550e-07,3.034967e-07,3.015103e-07,3.010317e-07,2.995122e-07,2.983893e-07,2.975054e-07,2.957344e-07,2.954927e-07,2.934765e-07,2.930731e-07,2.914592e-07,2.904105e-07,2.894429e-07,2.877514e-07,2.874295e-07,2.854210e-07,2.851002e-07,2.834188e-07,2.824605e-07,2.814246e-07,2.798359e-07,2.794398e-07,2.774655e-07,2.772294e-07,2.755030e-07,2.746435e-07,2.735533e-07,2.720807e-07,2.716173e-07,2.696960e-07,2.695429e-07,2.677900e-07,2.670321e-07,2.659001e-07,2.645497e-07,2.640270e-07,2.621711e-07,2.620972e-07,2.603329e-07,2.596756e-07,2.585130e-07,2.572860e-07,2.567117e-07,2.549292e-07,2.526059e-07,2.503165e-07,2.480616e-07,2.458414e-07,2.436561e-07,2.415060e-07,2.393909e-07,2.373111e-07,2.352662e-07,2.332563e-07,2.312811e-07,2.293403e-07,2.274338e-07,2.255612e-07,2.237222e-07,2.219164e-07,2.201433e-07,2.184027e-07,2.166941e-07,2.150169e-07,2.133709e-07,2.117554e-07,2.101701e-07,2.086144e-07
0.000000e+00,3.065799e-09,9.021461e-09,4.459410e-08,1.279158e-07,2.069710e-07,5.841416e-07,6.064105e-07,1.390684e-06,1.703591e-06,2.746988e-06,3.931411e-06,4.911169e-06,7.853774e-06,8.160309e-06,1.276046e-05,1.408648e-05,1.886646e-05,2.293921e-05,2.644574e-05,3.417688e-05,3.529696e-05,4.512987e-05,4.718705e-05,5.563869e-05,6.127590e-05,6.654360e-05,7.583453e-05,7.760676e-05,8.863399e-05,9.038417e-05,9.947053e-05,1.045676e-04,1.099951e-04,1.181266e-04,1.201143e-04,1.297575e-04,1.308801e-04,1.388736e-04,1.427081e-04,1.474275e-04,1.535390e-04,1.553980e-04,1.627757e-04,1.633402e-04,1.695607e-04,1.721104e-04,1.757614e-04,1.798725e-04,1.813931e-04,1.864762e-04,1.866685e-04,1.910355e-04,1.925538e-04,1.950985e-04,1.975928e-04,1.986946e-04,2.018545e-04,2.046090e-04,2.054098e-04,2.069884e-04,2.083282e-04,2.090226e-04,2.106775e-04,2.107405e-04,2.121695e-04,2.125214e-04,2.133355e-04,2.139190e-04,2.142627e-04,2.149243e-04,2.149738e-04,2.154894e-04,2.155863e-04,2.158290e-04,2.159489e-04,2.160101e-04,2.160512e-04,2.160488e-04,2.159599e-04,2.159279e-04,2.157565e-04,2.156096e-04,2.154508e-04,2.151229e-04,2.150537e-04,2.145751e-04,2.144916e-04,2.140239e-04,2.137360e-04,2.134082e-04,2.128741e-04,2.127353e-04,2.120116e-04,2.119216e-04,2.112431e-04,2.108921e-04,2.104351e-04,2.097975e-04,2.095923e-04,2.087192e-04,2.086482e-04,2.078196e-04,2.074532e-04,2.068971e-04,2.062204e-04,2.059548e-04,2.049955e-04,2.049569e-04,2.040220e-04,2.036685e-04,2.030366e-04,2.023608e-04,2.020414e-04,2.010383e-04,2.000292e-04,1.997052e-04,1.990155e-04,1.983651e-04,1.979988e-04,1.970211e-04,1.969803e-04,1.959614e-04,1.956761e-04,1.949430e-04,1.943326e-04,1.939261e-04,1.929928e-04,1.929117e-04,1.919006e-04,1.916585e-04,1.908935e-04,1.903315e-04,1.898910e-04,1.890133e-04,1.888939e-04,1.879026e-04,1.877051e-04,1.869177e-04,1.864083e-04,1.859397e-04,1.851237e-04,1.849689e-04,1.840057e-04,1.838523e-04,1.830504e-04,1.825948e-04,1.821034e-04,1.813520e-04,1.811650e-04,1.802353e-04,1.801243e-04,1.793146e-04,1.789124e-04,1.784031e-04,1.777167e-04,1.775010e-04,1.766084e-04,1.765374e-04,1.757254e-04,1.753749e-04,1.748521e-04,1.742295e-04,1.739887e-04,1.731352e-04,1.731013e-04,1.722917e-04,1.719905e-04,1.714582e-04,1.708972e-04,1.706348e-04,1.698215e-04,1.687634e-04,1.677229e-04,1.667000e-04,1.656947e-04,1.647069e-04,1.637365e-04,1.627834e-04,1.618475e-04,1.609286e-04,1.600267e-04,1.591415e-04,1.582729e-04,1.574207e-04,1.565848e-04,1.557648e-04,1.549607e-04,1.541721e-04,1.533990e-04,1.526411e-04,1.518982e-04,1.511700e-04,1.504563e-04,1.497570e-04,1.490717e-04
0.000000e+00,2.166898e-09,6.350089e-09,3.114086e-08,8.872215e-08,1.430304e-07,3.997686e-07,4.148363e-07,9.409053e-07,1.148699e-06,1.834357e-06,2.600196e-06,3.223938e-06,5.044997e-06,5.230350e-06,7.927079e-06,8.679480e-06,1.132669e-05,1.352779e-05,1.540064e-05,1.950660e-05,2.010221e-05,2.537863e-05,2.649808e-05,3.117494e-05,3.437578e-05,3.743462e-05,4.300837e-05,4.409955e-05,5.111025e-05,5.226004e-05,5.840668e-05,6.199295e-05,6.592941e-05,7.207173e-05,7.362084e-05,8.142636e-05,8.236823e-05,8.929532e-05,9.276572e-05,9.718170e-05,1.031616e-04,1.050445e-04,1.128478e-04,1.134685e-04,1.205607e-04,1.236146e-04,1.281573e-04,1.335425e-04,1.356159e-04,1.429188e-04,1.432075e-04,1.500520e-04,1.525762e-04,1.570045e-04,1.616246e-04,1.637680e-04,1.703364e-04,1.767057e-04,1.787014e-04,1.828735e-04,1.867146e-04,1.888386e-04,1.943745e-04,1.946011e-04,2.001619e-04,2.016829e-04,2.055225e-04,2.086438e-04,2.106854e-04,2.152629e-04,2.156532e-04,2.204291e-04,2.215471e-04,2.250164e-04,2.275044e-04,2.294189e-04,2.331434e-04,2.336405e-04,2.376852e-04,2.384732e-04,2.415570e-04,2.435034e-04,2.452602e-04,2.482436e-04,2.487989e-04,2.521775e-04,2.527035e-04,2.554002e-04,2.568929e-04,2.584712e-04,2.608217e-04,2.613948e-04,2.641752e-04,2.644994e-04,2.668165e-04,2.679357e-04,2.693228e-04,2.711398e-04,2.716982e-04,2.739466e-04,2.741211e-04,2.760720e-04,2.768886e-04,2.780782e-04,2.794510e-04,2.799690e-04,2.817481e-04,2.818170e-04,2.834191e-04,2.839949e-04,2.849856e-04,2.859929e-04,2.864510e-04,2.878187e-04,2.890920e-04,2.894801e-04,2.902742e-04,2.909844e-04,2.913684e-04,2.923388e-04,2.923776e-04,2.933048e-04,2.935502e-04,2.941530e-04,2.946252e-04,2.949250e-04,2.955702e-04,2.956235e-04,2.962512e-04,2.963916e-04,2.968107e-04,2.970951e-04,2.973045e-04,2.976867e-04,2.977351e-04,2.981049e-04,2.981718e-04,2.984162e-04,2.985557e-04,2.986712e-04,2.988435e-04,2.988721e-04,2.990211e-04,2.990402e-04,2.991201e-04,2.991505e-04,2.991712e-04,2.991788e-04,2.991762e-04,2.991372e-04,2.991296e-04,2.990558e-04,2.990070e-04,2.989338e-04,2.988149e-04,2.987729e-04,2.985747e-04,2.985573e-04,2.983409e-04,2.982377e-04,2.980729e-04,2.978597e-04,2.977724e-04,2.974406e-04,2.974267e-04,2.970790e-04,2.969418e-04,2.966889e-04,2.964081e-04,2.962717e-04,2.958285e-04,2.952060e-04,2.945430e-04,2.938423e-04,2.931063e-04,2.923373e-04,2.915375e-04,2.907091e-04,2.898541e-04,2.889744e-04,2.880719e-04,2.871484e-04,2.862055e-04,2.852448e-04,2.842679e-04,2.832762e-04,2.822710e-04,2.812538e-04,2.802256e-04,2.791878e-04,2.781414e-04,2.770876e-04,2.760272e-04,2.749613e-04,2.738909e-04
0.000000e+00,1.486727e-09,4.242588e-09,1.973836e-08,5.372155e-08,8.451266e-08,2.220038e-07,2.297944e-07,4.901851e-07,5.884670e-07,9.006708e-07,1.233886e-06,1.497052e-06,2.240003e-06,2.314225e-06,3.378898e-06,3.672646e-06,4.699501e-06,5.547192e-06,6.264724e-06,7.826733e-06,8.052114e-06,1.003639e-05,1.045467e-05,1.219283e-05,1.337430e-05,1.449763e-05,1.653116e-05,1.692734e-05,1.945845e-05,1.987126e-05,2.206740e-05,2.334047e-05,2.473083e-05,2.688550e-05,2.742602e-05,3.013133e-05,3.045568e-05,3.282665e-05,3.400464e-05,3.549370e-05,3.749173e-05,3.811632e-05,4.068052e-05,4.088277e-05,4.317455e-05,4.415029e-05,4.558880e-05,4.727337e-05,4.791575e-05,5.014972e-05,5.023708e-05,5.228673e-05,5.303181e-05,5.432431e-05,5.565241e-05,5.626126e-05,5.809746e-05,5.983371e-05,6.036844e-05,6.147156e-05,6.246911e-05,6.301314e-05,6.440488e-05,6.446104e-05,6.581819e-05,6.618236e-05,6.708780e-05,6.780893e-05,6.827322e-05,6.929243e-05,6.937792e-05,7.040542e-05,7.064092e-05,7.135923e-05,7.186249e-05,7.224285e-05,7.296510e-05,7.305971e-05,7.381316e-05,7.395653e-05,7.450646e-05,7.484426e-05,7.514278e-05,7.563547e-05,7.572515e-05,7.625651e-05,7.633698e-05,7.673965e-05,7.695522e-05,7.717725e-05,7.749627e-05,7.757188e-05,7.792597e-05,7.796585e-05,7.824186e-05,7.836931e-05,7.852174e-05,7.871166e-05,7.876771e-05,7.898176e-05,7.899757e-05,7.916579e-05,7.923140e-05,7.932158e-05,7.941722e-05,7.945083e-05,7.955514e-05,7.955882e-05,7.963604e-05,7.965970e-05,7.969495e-05,7.972315e-05,7.973324e-05,7.975220e-05,7.975304e-05,7.974967e-05,7.973691e-05,7.971819e-05,7.970491e-05,7.966019e-05,7.965805e-05,7.959731e-05,7.957794e-05,7.952360e-05,7.947352e-05,7.943780e-05,7.934888e-05,7.934071e-05,7.923312e-05,7.920582e-05,7.911576e-05,7.904602e-05,7.898931e-05,7.887103e-05,7.885442e-05,7.871172e-05,7.868229e-05,7.856177e-05,7.848112e-05,7.840514e-05,7.826878e-05,7.824233e-05,7.807384e-05,7.804639e-05,7.790014e-05,7.781503e-05,7.772164e-05,7.757568e-05,7.753877e-05,7.735191e-05,7.732924e-05,7.716143e-05,7.707656e-05,7.696768e-05,7.681843e-05,7.677097e-05,7.657162e-05,7.655557e-05,7.636992e-05,7.628864e-05,7.616613e-05,7.601826e-05,7.596052e-05,7.575333e-05,7.574501e-05,7.554479e-05,7.546942e-05,7.533511e-05,7.519198e-05,7.512450e-05,7.491314e-05,7.463332e-05,7.435289e-05,7.407223e-05,7.379165e-05,7.351146e-05,7.323193e-05,7.295332e-05,7.267586e-05,7.239977e-05,7.212525e-05,7.185247e-05,7.158159e-05,7.131278e-05,7.104616e-05,7.078185e-05,7.051998e-05,7.026063e-05,7.000390e-05,6.974987e-05,6.949860e-05,6.925017e-05,6.900463e-05,6.876202e-05,6.852239e-05
0.000000e+00,3.835333e-09,1.131311e-08,5.616739e-08,1.615586e-07,2.616129e-07,7.374820e-07,7.654705e-07,1.742544e-06,2.127771e-06,3.394965e-06,4.804557e-06,5.950111e-06,9.295396e-06,9.636597e-06,1.462757e-05,1.603028e-05,2.100309e-05,2.518163e-05,2.876686e-05,3.671643e-05,3.787920e-05,4.827776e-05,5.050530e-05,5.988598e-05,6.637143e-05,7.261552e-05,8.410236e-05,8.636680e-05,1.010295e-04,1.034522e-04,1.164836e-04,1.241455e-04,1.326017e-04,1.458853e-04,1.492513e-04,1.662981e-04,1.683640e-04,1.836087e-04,1.912755e-04,2.010539e-04,2.143263e-04,2.185108e-04,2.358651e-04,2.372459e-04,2.530128e-04,2.597928e-04,2.698609e-04,2.817600e-04,2.863282e-04,3.023453e-04,3.029758e-04,3.178545e-04,3.233041e-04,3.328090e-04,3.426422e-04,3.471724e-04,3.609180e-04,3.740273e-04,3.780859e-04,3.864895e-04,3.941236e-04,3.983005e-04,4.090275e-04,4.094615e-04,4.199789e-04,4.228097e-04,4.298626e-04,4.354941e-04,4.391261e-04,4.471142e-04,4.477851e-04,4.558577e-04,4.577100e-04,4.633632e-04,4.673261e-04,4.703220e-04,4.760104e-04,4.767554e-04,4.826849e-04,4.838123e-04,4.881323e-04,4.907816e-04,4.931192e-04,4.969681e-04,4.976672e-04,5.017972e-04,5.024207e-04,5.055301e-04,5.071868e-04,5.088860e-04,5.113123e-04,5.118843e-04,5.145439e-04,5.148412e-04,5.168831e-04,5.178154e-04,5.189194e-04,5.202748e-04,5.206697e-04,5.221500e-04,5.222572e-04,5.233758e-04,5.237982e-04,5.243619e-04,5.249314e-04,5.251224e-04,5.256706e-04,5.256883e-04,5.260195e-04,5.260987e-04,5.261813e-04,5.261903e-04,5.261674e-04,5.259890e-04,5.256565e-04,5.255192e-04,5.251798e-04,5.248035e-04,5.245685e-04,5.238632e-04,5.238314e-04,5.229771e-04,5.227180e-04,5.220136e-04,5.213863e-04,5.209485e-04,5.198852e-04,5.197891e-04,5.185422e-04,5.182307e-04,5.172143e-04,5.164375e-04,5.158114e-04,5.145195e-04,5.143394e-04,5.128038e-04,5.124895e-04,5.112097e-04,5.103593e-04,5.095620e-04,5.081400e-04,5.078654e-04,5.061241e-04,5.058417e-04,5.043424e-04,5.034739e-04,5.025240e-04,5.010454e-04,5.006727e-04,4.987919e-04,4.985643e-04,4.968848e-04,4.960381e-04,4.949545e-04,4.934738e-04,4.930039e-04,4.910358e-04,4.908776e-04,4.890526e-04,4.882556e-04,4.870567e-04,4.856132e-04,4.850505e-04,4.830361e-04,4.829553e-04,4.810153e-04,4.802867e-04,4.789902e-04,4.776116e-04,4.769625e-04,4.749337e-04,4.722569e-04,4.695842e-04,4.669188e-04,4.642633e-04,4.616202e-04,4.589919e-04,4.563803e-04,4.537874e-04,4.512149e-04,4.486642e-04,4.461368e-04,4.436339e-04,4.411565e-04,4.387057e-04,4.362824e-04,4.338872e-04,4.315208e-04,4.291838e-04,4.268766e-04,4.245998e-04,4.223535e-04,4.201380e-04,4.179536e-04,4.158005e-04
0.000000e+00,1.466010e-09,3.784810e-09,1.501285e-08,3.683945e-08,5.546192e-08,1.344600e-07,1.388474e-07,2.844194e-07,3.394102e-07,5.151865e-07,7.037513e-07,8.520648e-07,1.260066e-06,1.299650e-06,1.841554e-06,1.983035e-06,2.454881e-06,2.822421e-06,3.121138e-06,3.740375e-06,3.826754e-06,4.560961e-06,4.710397e-06,5.314451e-06,5.711076e-06,6.078859e-06,6.723882e-06,6.846678e-06,7.611299e-06,7.732950e-06,8.367067e-06,8.725277e-06,9.109289e-06,9.690755e-06,9.834200e-06,1.053887e-05,1.062196e-05,1.122114e-05,1.151383e-05,1.187947e-05,1.236314e-05,1.251283e-05,1.312066e-05,1.316817e-05,1.370271e-05,1.392831e-05,1.425902e-05,1.464376e-05,1.478984e-05,1.529557e-05,1.531528e-05,1.577674e-05,1.594407e-05,1.623397e-05,1.653156e-05,1.666794e-05,1.707935e-05,1.746897e-05,1.758917e-05,1.783756e-05,1.806277e-05,1.818589e-05,1.850194e-05,1.851473e-05,1.882484e-05,1.890842e-05,1.911698e-05,1.928394e-05,1.939187e-05,1.963016e-05,1.965024e-05,1.989279e-05,1.994872e-05,2.012020e-05,2.024118e-05,2.033312e-05,2.050903e-05,2.053221e-05,2.071807e-05,2.075371e-05,2.089131e-05,2.097659e-05,2.105250e-05,2.117899e-05,2.120219e-05,2.134092e-05,2.136213e-05,2.146920e-05,2.152721e-05,2.158753e-05,2.167534e-05,2.169637e-05,2.179619e-05,2.180758e-05,2.188742e-05,2.192495e-05,2.197048e-05,2.202838e-05,2.204577e-05,2.211366e-05,2.211879e-05,2.217454e-05,2.219701e-05,2.222876e-05,2.226385e-05,2.227664e-05,2.231851e-05,2.232006e-05,2.235468e-05,2.236636e-05,2.238544e-05,2.240342e-05,2.241108e-05,2.243186e-05,2.244805e-05,2.245229e-05,2.245988e-05,2.246527e-05,2.246758e-05,2.247132e-05,2.247140e-05,2.247153e-05,2.247093e-05,2.246818e-05,2.246458e-05,2.246155e-05,2.245271e-05,2.245182e-05,2.243917e-05,2.243571e-05,2.242376e-05,2.241399e-05,2.240577e-05,2.238791e-05,2.238533e-05,2.236261e-05,2.235780e-05,2.233773e-05,2.232399e-05,2.231083e-05,2.228677e-05,2.228205e-05,2.225149e-05,2.224644e-05,2.221927e-05,2.220325e-05,2.218551e-05,2.215745e-05,2.215030e-05,2.211376e-05,2.210928e-05,2.207596e-05,2.205896e-05,2.203701e-05,2.200668e-05,2.199698e-05,2.195596e-05,2.195264e-05,2.191403e-05,2.189702e-05,2.187126e-05,2.183999e-05,2.182773e-05,2.178349e-05,2.178170e-05,2.173861e-05,2.172231e-05,2.169315e-05,2.166194e-05,2.164718e-05,2.160073e-05,2.153880e-05,2.147626e-05,2.141322e-05,2.134976e-05,2.128599e-05,2.122199e-05,2.115784e-05,2.109361e-05,2.102937e-05,2.096518e-05,2.090111e-05,2.083721e-05,2.077352e-05,2.071010e-05,2.064699e-05,2.058423e-05,2.052185e-05,2.045990e-05,2.039840e-05,2.033738e-05,2.027686e-05,2.021688e-05,2.015745e-05,2.009859e-05
0.000000e+00,1.707772e-11,3.911095e-11,1.346533e-10,3.072535e-10,4.494904e-10,1.032092e-09,1.063854e-09,2.099629e-09,2.485250e-09,3.710580e-09,5.028163e-09,6.076543e-09,9.051017e-09,9.347682e-09,1.355114e-08,1.468829e-08,1.857750e-08,2.169277e-08,2.427014e-08,2.972281e-08,3.049413e-08,3.714831e-08,3.852366e-08,4.415516e-08,4.791638e-08,5.145016e-08,5.775786e-08,5.897496e-08,6.667396e-08,6.791834e-08,7.449309e-08,7.827340e-08,8.237965e-08,8.870326e-08,9.028290e-08,9.815481e-08,9.909518e-08,1.059508e-07,1.093465e-07,1.136306e-07,1.193671e-07,1.211580e-07,1.285020e-07,1.290807e-07,1.356360e-07,1.384258e-07,1.425384e-07,1.473550e-07,1.491922e-07,1.555842e-07,1.558343e-07,1.617053e-07,1.638413e-07,1.675495e-07,1.713638e-07,1.731138e-07,1.783977e-07,1.834028e-07,1.849461e-07,1.881326e-07,1.910174e-07,1.925919e-07,1.966240e-07,1.967868e-07,2.007242e-07,2.017816e-07,2.044118e-07,2.065078e-07,2.078577e-07,2.108219e-07,2.110706e-07,2.140591e-07,2.147439e-07,2.168321e-07,2.182943e-07,2.193987e-07,2.214934e-07,2.217675e-07,2.239475e-07,2.243616e-07,2.259472e-07,2.269185e-07,2.277749e-07,2.291835e-07,2.294391e-07,2.309476e-07,2.311750e-07,2.323081e-07,2.329108e-07,2.335282e-07,2.344079e-07,2.346149e-07,2.355754e-07,2.356825e-07,2.364162e-07,2.367499e-07,2.371437e-07,2.376247e-07,2.377642e-07,2.382833e-07,2.383207e-07,2.387069e-07,2.388508e-07,2.390403e-07,2.392273e-07,2.392885e-07,2.394566e-07,2.394617e-07,2.395492e-07,2.395649e-07,2.395708e-07,2.395471e-07,2.395256e-07,2.394178e-07,2.392511e-07,2.391859e-07,2.390292e-07,2.388599e-07,2.387557e-07,2.384477e-07,2.384339e-07,2.380670e-07,2.379566e-07,2.376579e-07,2.373934e-07,2.372096e-07,2.367647e-07,2.367246e-07,2.362057e-07,2.360764e-07,2.356553e-07,2.353342e-07,2.350757e-07,2.345432e-07,2.344690e-07,2.338375e-07,2.337084e-07,2.331830e-07,2.328342e-07,2.325074e-07,2.319250e-07,2.318126e-07,2.311002e-07,2.309846e-07,2.303717e-07,2.300168e-07,2.296288e-07,2.290249e-07,2.288727e-07,2.281050e-07,2.280121e-07,2.273268e-07,2.269814e-07,2.265394e-07,2.259354e-07,2.257438e-07,2.249412e-07,2.248767e-07,2.241326e-07,2.238076e-07,2.233189e-07,2.227303e-07,2.225010e-07,2.216798e-07,2.216468e-07,2.208560e-07,2.205590e-07,2.200305e-07,2.194685e-07,2.192039e-07,2.183769e-07,2.172856e-07,2.161960e-07,2.151094e-07,2.140268e-07,2.129492e-07,2.118776e-07,2.108129e-07,2.097558e-07,2.087070e-07,2.076672e-07,2.066369e-07,2.056166e-07,2.046069e-07,2.036081e-07,2.026207e-07,2.016448e-07,2.006808e-07,1.997290e-07,1.987895e-07,1.978626e-07,1.969484e-07,1.960469e-07,1.951584e-07,1.942829e-07
0.000000e+00,1.221675e-09,3.427794e-09,1.546535e-08,4.111789e-08,6.396528e-08,1.640340e-07,1.696474e-07,3.555865e-07,4.252417e-07,6.455569e-07,8.797156e-07,1.064111e-06,1.581845e-06,1.633297e-06,2.364975e-06,2.564710e-06,3.256288e-06,3.820567e-06,4.294470e-06,5.317194e-06,5.463957e-06,6.749625e-06,7.019425e-06,8.137054e-06,8.894005e-06,9.611980e-06,1.090794e-05,1.115991e-05,1.276608e-05,1.302748e-05,1.441565e-05,1.521856e-05,1.609403e-05,1.744803e-05,1.778721e-05,1.948212e-05,1.968504e-05,2.116682e-05,2.190208e-05,2.283072e-05,2.407567e-05,2.446464e-05,2.606082e-05,2.618668e-05,2.761292e-05,2.822024e-05,2.911590e-05,3.016546e-05,3.056596e-05,3.196035e-05,3.201494e-05,3.329729e-05,3.376431e-05,3.457578e-05,3.541161e-05,3.579556e-05,3.695688e-05,3.806050e-05,3.840165e-05,3.910753e-05,3.974856e-05,4.009935e-05,4.100106e-05,4.103758e-05,4.192400e-05,4.216316e-05,4.276047e-05,4.323918e-05,4.354894e-05,4.423364e-05,4.429139e-05,4.498980e-05,4.515109e-05,4.564615e-05,4.599605e-05,4.626236e-05,4.677295e-05,4.684035e-05,4.738195e-05,4.748606e-05,4.788895e-05,4.813949e-05,4.836307e-05,4.873714e-05,4.880598e-05,4.921925e-05,4.928273e-05,4.960442e-05,4.977975e-05,4.996295e-05,5.023151e-05,5.029621e-05,5.060554e-05,5.064111e-05,5.089219e-05,5.101144e-05,5.115736e-05,5.134524e-05,5.140221e-05,5.162780e-05,5.164504e-05,5.183516e-05,5.191323e-05,5.202528e-05,5.215201e-05,5.219908e-05,5.235745e-05,5.236347e-05,5.250120e-05,5.254953e-05,5.263114e-05,5.271199e-05,5.274801e-05,5.285253e-05,5.294537e-05,5.297271e-05,5.302716e-05,5.307399e-05,5.309852e-05,5.315773e-05,5.316001e-05,5.321219e-05,5.322520e-05,5.325556e-05,5.327756e-05,5.329062e-05,5.331592e-05,5.331782e-05,5.333762e-05,5.334132e-05,5.335043e-05,5.335469e-05,5.335663e-05,5.335693e-05,5.335662e-05,5.335073e-05,5.334888e-05,5.333932e-05,5.333130e-05,5.332269e-05,5.330493e-05,5.330116e-05,5.327502e-05,5.327042e-05,5.324452e-05,5.322842e-05,5.320995e-05,5.317951e-05,5.317153e-05,5.312951e-05,5.312423e-05,5.308410e-05,5.306311e-05,5.303553e-05,5.299661e-05,5.298398e-05,5.292965e-05,5.292519e-05,5.287272e-05,5.284926e-05,5.281336e-05,5.276921e-05,5.275174e-05,5.268800e-05,5.268541e-05,5.262230e-05,5.259819e-05,5.255477e-05,5.250788e-05,5.248555e-05,5.241477e-05,5.231913e-05,5.222124e-05,5.212134e-05,5.201964e-05,5.191637e-05,5.181172e-05,5.170588e-05,5.159902e-05,5.149130e-05,5.138288e-05,5.127390e-05,5.116449e-05,5.105477e-05,5.094485e-05,5.083486e-05,5.072488e-05,5.061501e-05,5.050533e-05,5.039594e-05,5.028689e-05,5.017827e-05,5.007014e-05,4.996256e-05,4.985559e-05
0.000000e+00,3.156162e-06,9.374891e-06,4.718906e-05,1.372979e-04,2.236079e-04,6.383108e-04,6.628209e-04,1.521272e-03,1.860155e-03,2.973261e-03,4.206800e-03,5.205948e-03,8.117235e-03,8.414432e-03,1.279044e-02,1.403369e-02,1.849857e-02,2.232063e-02,2.564852e-02,3.316891e-02,3.428347e-02,4.438807e-02,4.658075e-02,5.590297e-02,6.241883e-02,6.873706e-02,8.045397e-02,8.277587e-02,9.788731e-02,1.003951e-01,1.139261e-01,1.219089e-01,1.307376e-01,1.446356e-01,1.481616e-01,1.660362e-01,1.682037e-01,1.842008e-01,1.922447e-01,2.024998e-01,2.164056e-01,2.207854e-01,2.389199e-01,2.403603e-01,2.567777e-01,2.638178e-01,2.742467e-01,2.865278e-01,2.912285e-01,3.076396e-01,3.082831e-01,3.234103e-01,3.289200e-01,3.384853e-01,3.483167e-01,3.528220e-01,3.663902e-01,3.791705e-01,3.830920e-01,3.911536e-01,3.984039e-01,4.023391e-01,4.123331e-01,4.127338e-01,4.223514e-01,4.249075e-01,4.312105e-01,4.361714e-01,4.393343e-01,4.461814e-01,4.467492e-01,4.534842e-01,4.550029e-01,4.595703e-01,4.627069e-01,4.650394e-01,4.693678e-01,4.699243e-01,4.742578e-01,4.750613e-01,4.780729e-01,4.798625e-01,4.814015e-01,4.838449e-01,4.842754e-01,4.867249e-01,4.870795e-01,4.887796e-01,4.896340e-01,4.904678e-01,4.915725e-01,4.918162e-01,4.928507e-01,4.929549e-01,4.935953e-01,4.938371e-01,4.940732e-01,4.942712e-01,4.943058e-01,4.943135e-01,4.943050e-01,4.941154e-01,4.939825e-01,4.937291e-01,4.933439e-01,4.931714e-01,4.924577e-01,4.924261e-01,4.916024e-01,4.912624e-01,4.906189e-01,4.898833e-01,4.895197e-01,4.883162e-01,4.870193e-01,4.865862e-01,4.856387e-01,4.847155e-01,4.841836e-01,4.827246e-01,4.826625e-01,4.810832e-01,4.806316e-01,4.794528e-01,4.784529e-01,4.777781e-01,4.762033e-01,4.760650e-01,4.743192e-01,4.738959e-01,4.725459e-01,4.715427e-01,4.707499e-01,4.691541e-01,4.689355e-01,4.671067e-01,4.667396e-01,4.652672e-01,4.643076e-01,4.634204e-01,4.618657e-01,4.615694e-01,4.597169e-01,4.594206e-01,4.578656e-01,4.569781e-01,4.560179e-01,4.545436e-01,4.541757e-01,4.523412e-01,4.521217e-01,4.505161e-01,4.497164e-01,4.487019e-01,4.473314e-01,4.469002e-01,4.451123e-01,4.449699e-01,4.433393e-01,4.426345e-01,4.415823e-01,4.403278e-01,4.398423e-01,4.381202e-01,4.380517e-01,4.364166e-01,4.358080e-01,4.347323e-01,4.335983e-01,4.330679e-01,4.314238e-01,4.292856e-01,4.271845e-01,4.251213e-01,4.230965e-01,4.211104e-01,4.191634e-01,4.172557e-01,4.153872e-01,4.135579e-01,4.117679e-01,4.100167e-01,4.083044e-01,4.066304e-01,4.049945e-01,4.033963e-01,4.018354e-01,4.003113e-01,3.988234e-01,3.973714e-01,3.959546e-01,3.945725e-01,3.932245e-01,3.919100e-01,3.906284e-01
0.000000e+00,3.371671e-10,8.152595e-10,2.973696e-09,6.980536e-09,1.033593e-08,2.443204e-08,2.521483e-08,5.142242e-08,6.146883e-08,9.411721e-08,1.298670e-07,1.583190e-07,2.370168e-07,2.446377e-07,3.480029e-07,3.746301e-07,4.622780e-07,5.293701e-07,5.832031e-07,6.930575e-07,7.082152e-07,8.356737e-07,8.613472e-07,9.643543e-07,1.031399e-06,1.093207e-06,1.200862e-06,1.221258e-06,1.347586e-06,1.367581e-06,1.471333e-06,1.529583e-06,1.591720e-06,1.685150e-06,1.708068e-06,1.819806e-06,1.832883e-06,1.926486e-06,1.971733e-06,2.027774e-06,2.101008e-06,2.123450e-06,2.213394e-06,2.220341e-06,2.297579e-06,2.329648e-06,2.376051e-06,2.429074e-06,2.448922e-06,2.516349e-06,2.518936e-06,2.578531e-06,2.599675e-06,2.635693e-06,2.671822e-06,2.688084e-06,2.735965e-06,2.779592e-06,2.792695e-06,2.819215e-06,2.842593e-06,2.855094e-06,2.886243e-06,2.887474e-06,2.916592e-06,2.924192e-06,2.942676e-06,2.956959e-06,2.965940e-06,2.985026e-06,2.986586e-06,3.004805e-06,3.008836e-06,3.020774e-06,3.028797e-06,3.034661e-06,3.045282e-06,3.046620e-06,3.056795e-06,3.058628e-06,3.065320e-06,3.069142e-06,3.072318e-06,3.077100e-06,3.077904e-06,3.082184e-06,3.082754e-06,3.085256e-06,3.086329e-06,3.087212e-06,3.088029e-06,3.088135e-06,3.088104e-06,3.088039e-06,3.087190e-06,3.086525e-06,3.085460e-06,3.083638e-06,3.082976e-06,3.079795e-06,3.079512e-06,3.075970e-06,3.074270e-06,3.071550e-06,3.068025e-06,3.066581e-06,3.061105e-06,3.060876e-06,3.055162e-06,3.052915e-06,3.048787e-06,3.044224e-06,3.042016e-06,3.034879e-06,3.027406e-06,3.024948e-06,3.019624e-06,3.014494e-06,3.011559e-06,3.003573e-06,3.003235e-06,2.994673e-06,2.992236e-06,2.985895e-06,2.980533e-06,2.976920e-06,2.968504e-06,2.967766e-06,2.958449e-06,2.956191e-06,2.948986e-06,2.943629e-06,2.939392e-06,2.930851e-06,2.929680e-06,2.919863e-06,2.917889e-06,2.909954e-06,2.904768e-06,2.899964e-06,2.891517e-06,2.889902e-06,2.879781e-06,2.878156e-06,2.869608e-06,2.864710e-06,2.859393e-06,2.851196e-06,2.849144e-06,2.838868e-06,2.837634e-06,2.828574e-06,2.824040e-06,2.818267e-06,2.810429e-06,2.807954e-06,2.797642e-06,2.796817e-06,2.787335e-06,2.783215e-06,2.777040e-06,2.769637e-06,2.766760e-06,2.756502e-06,2.756092e-06,2.746269e-06,2.742591e-06,2.736064e-06,2.729144e-06,2.725893e-06,2.715759e-06,2.702443e-06,2.689205e-06,2.676050e-06,2.662984e-06,2.650013e-06,2.637142e-06,2.624376e-06,2.611718e-06,2.599172e-06,2.586742e-06,2.574431e-06,2.562240e-06,2.550173e-06,2.538232e-06,2.526419e-06,2.514734e-06,2.503180e-06,2.491758e-06,2.480468e-06,2.469311e-06,2.458289e-06,2.447401e-06,2.436647e-06,2.426029e-06
0.000000e+00,1.953126e-10,4.766779e-10,1.750481e-09,4.094341e-09,6.029521e-09,1.389069e-08,1.431548e-08,2.795551e-08,3.293706e-08,4.847469e-08,6.477360e-08,7.750109e-08,1.127376e-07,1.161942e-07,1.643073e-07,1.770847e-07,2.201506e-07,2.540197e-07,2.816655e-07,3.391366e-07,3.471613e-07,4.153750e-07,4.292538e-07,4.853199e-07,5.220951e-07,5.561641e-07,6.158262e-07,6.271695e-07,6.976687e-07,7.088606e-07,7.670636e-07,7.998242e-07,8.348307e-07,8.875713e-07,9.005261e-07,9.637895e-07,9.712036e-07,1.024343e-06,1.050074e-06,1.081988e-06,1.123772e-06,1.136597e-06,1.188106e-06,1.192093e-06,1.236508e-06,1.255005e-06,1.281837e-06,1.312611e-06,1.324166e-06,1.363593e-06,1.365112e-06,1.400237e-06,1.412772e-06,1.434227e-06,1.455896e-06,1.465704e-06,1.494811e-06,1.521691e-06,1.529846e-06,1.546487e-06,1.561326e-06,1.569335e-06,1.589560e-06,1.590368e-06,1.609711e-06,1.614840e-06,1.627483e-06,1.637438e-06,1.643795e-06,1.657603e-06,1.658752e-06,1.672452e-06,1.675563e-06,1.684984e-06,1.691524e-06,1.696433e-06,1.705674e-06,1.706876e-06,1.716384e-06,1.718179e-06,1.725023e-06,1.729192e-06,1.732854e-06,1.738848e-06,1.739932e-06,1.746311e-06,1.747270e-06,1.752037e-06,1.754566e-06,1.757154e-06,1.760837e-06,1.761703e-06,1.765722e-06,1.766170e-06,1.769245e-06,1.770647e-06,1.772305e-06,1.774339e-06,1.774931e-06,1.777150e-06,1.777311e-06,1.778989e-06,1.779623e-06,1.780470e-06,1.781329e-06,1.781617e-06,1.782450e-06,1.782477e-06,1.782987e-06,1.783111e-06,1.783246e-06,1.783273e-06,1.783245e-06,1.782999e-06,1.782522e-06,1.782323e-06,1.781828e-06,1.781276e-06,1.780930e-06,1.779887e-06,1.779840e-06,1.778569e-06,1.778182e-06,1.777128e-06,1.776186e-06,1.775527e-06,1.773920e-06,1.773774e-06,1.771880e-06,1.771406e-06,1.769853e-06,1.768662e-06,1.767699e-06,1.765707e-06,1.765428e-06,1.763046e-06,1.762556e-06,1.760559e-06,1.759226e-06,1.757974e-06,1.755731e-06,1.755297e-06,1.752534e-06,1.752084e-06,1.749690e-06,1.748298e-06,1.746771e-06,1.744384e-06,1.743780e-06,1.740724e-06,1.740353e-06,1.737606e-06,1.736216e-06,1.734430e-06,1.731981e-06,1.731201e-06,1.727923e-06,1.727659e-06,1.724598e-06,1.723256e-06,1.721231e-06,1.718782e-06,1.717825e-06,1.714382e-06,1.714244e-06,1.710907e-06,1.709648e-06,1.707401e-06,1.705001e-06,1.703868e-06,1.700310e-06,1.695579e-06,1.690815e-06,1.686022e-06,1.681206e-06,1.676371e-06,1.671520e-06,1.666659e-06,1.661790e-06,1.656918e-06,1.652046e-06,1.647176e-06,1.642313e-06,1.637457e-06,1.632613e-06,1.627782e-06,1.622967e-06,1.618170e-06,1.613393e-06,1.608637e-06,1.603905e-06,1.599199e-06,1.594519e-06,1.589867e-06,1.585244e-06
0.000000e+00,1.634605e-10,3.814400e-10,1.339330e-09,3.078489e-09,4.509162e-09,1.030561e-08,1.061825e-08,2.061905e-08,2.425087e-08,3.550529e-08,4.720590e-08,5.628841e-08,8.135315e-08,8.381587e-08,1.184206e-07,1.277528e-07,1.597686e-07,1.856085e-07,2.071504e-07,2.532366e-07,2.598110e-07,3.170539e-07,3.289946e-07,3.782282e-07,4.113825e-07,4.427025e-07,4.989565e-07,5.098557e-07,5.790798e-07,5.903083e-07,6.497895e-07,6.840945e-07,7.214336e-07,7.790784e-07,7.935038e-07,8.655421e-07,8.741647e-07,9.371438e-07,9.684180e-07,1.007959e-06,1.061066e-06,1.077689e-06,1.146086e-06,1.151494e-06,1.212950e-06,1.239228e-06,1.278117e-06,1.323914e-06,1.341461e-06,1.402887e-06,1.405303e-06,1.462325e-06,1.483227e-06,1.519731e-06,1.557590e-06,1.575075e-06,1.628347e-06,1.679547e-06,1.695495e-06,1.728687e-06,1.759066e-06,1.775789e-06,1.819114e-06,1.820879e-06,1.863992e-06,1.875714e-06,1.905164e-06,1.928954e-06,1.944438e-06,1.978931e-06,1.981857e-06,2.017467e-06,2.025749e-06,2.051315e-06,2.069519e-06,2.083451e-06,2.110352e-06,2.113922e-06,2.142780e-06,2.148362e-06,2.170072e-06,2.183663e-06,2.195850e-06,2.216368e-06,2.220161e-06,2.243056e-06,2.246590e-06,2.264581e-06,2.274440e-06,2.284784e-06,2.300026e-06,2.303712e-06,2.321412e-06,2.323455e-06,2.337927e-06,2.344830e-06,2.353303e-06,2.364252e-06,2.367581e-06,2.380805e-06,2.381819e-06,2.393015e-06,2.397625e-06,2.404252e-06,2.411762e-06,2.414555e-06,2.423961e-06,2.424319e-06,2.432507e-06,2.435380e-06,2.440230e-06,2.445029e-06,2.447165e-06,2.453344e-06,2.458802e-06,2.460401e-06,2.463570e-06,2.466273e-06,2.467678e-06,2.471030e-06,2.471157e-06,2.474036e-06,2.474738e-06,2.476342e-06,2.477462e-06,2.478103e-06,2.479263e-06,2.479344e-06,2.480091e-06,2.480200e-06,2.480369e-06,2.480327e-06,2.480200e-06,2.479700e-06,2.479607e-06,2.478613e-06,2.478367e-06,2.477237e-06,2.476379e-06,2.475502e-06,2.473780e-06,2.473426e-06,2.471027e-06,2.470615e-06,2.468325e-06,2.466925e-06,2.465336e-06,2.462750e-06,2.462077e-06,2.458565e-06,2.458127e-06,2.454814e-06,2.453092e-06,2.450840e-06,2.447679e-06,2.446657e-06,2.442278e-06,2.441920e-06,2.437717e-06,2.435845e-06,2.432987e-06,2.429483e-06,2.428099e-06,2.423064e-06,2.422860e-06,2.417895e-06,2.416003e-06,2.412601e-06,2.408935e-06,2.407193e-06,2.401680e-06,2.394259e-06,2.386692e-06,2.378998e-06,2.371195e-06,2.363300e-06,2.355328e-06,2.347295e-06,2.339215e-06,2.331099e-06,2.322962e-06,2.314813e-06,2.306663e-06,2.298522e-06,2.290400e-06,2.282305e-06,2.274244e-06,2.266225e-06,2.258255e-06,2.250340e-06,2.242486e-06,2.234697e-06,2.226979e-06,2.219336e-06,2.211772e-06
0.000000e+00,2.604174e-09,7.557698e-09,3.631092e-08,1.015131e-07,1.619589e-07,4.408660e-07,4.570019e-07,1.011289e-06,1.226877e-06,1.930054e-06,2.704450e-06,3.327760e-06,5.109198e-06,5.287237e-06,7.810383e-06,8.493047e-06,1.082890e-05,1.270101e-05,1.424988e-05,1.752246e-05,1.798453e-05,2.195606e-05,2.277283e-05,2.609843e-05,2.830031e-05,3.035302e-05,3.397414e-05,3.466605e-05,3.898733e-05,3.967633e-05,4.327013e-05,4.529947e-05,4.747165e-05,5.074854e-05,5.155376e-05,5.548372e-05,5.594375e-05,5.923467e-05,6.082280e-05,6.278582e-05,6.534173e-05,6.612235e-05,6.923510e-05,6.947429e-05,7.211997e-05,7.321006e-05,7.477731e-05,7.655183e-05,7.721112e-05,7.942838e-05,7.951269e-05,8.143828e-05,8.211313e-05,8.325163e-05,8.437845e-05,8.488026e-05,8.633656e-05,8.763310e-05,8.801628e-05,8.878228e-05,8.944603e-05,8.979618e-05,9.065294e-05,9.068630e-05,9.146351e-05,9.166229e-05,9.213794e-05,9.249722e-05,9.271902e-05,9.317860e-05,9.321538e-05,9.363495e-05,9.372503e-05,9.398493e-05,9.415299e-05,9.427186e-05,9.447694e-05,9.450168e-05,9.467973e-05,9.470956e-05,9.481083e-05,9.486191e-05,9.489934e-05,9.494363e-05,9.494915e-05,9.496381e-05,9.496311e-05,9.494649e-05,9.492766e-05,9.490004e-05,9.484366e-05,9.482706e-05,9.472988e-05,9.471669e-05,9.461062e-05,9.455165e-05,9.447120e-05,9.435283e-05,9.431336e-05,9.413869e-05,9.412404e-05,9.394864e-05,9.386861e-05,9.374453e-05,9.358955e-05,9.352757e-05,9.329887e-05,9.328950e-05,9.305946e-05,9.297084e-05,9.281028e-05,9.263570e-05,9.255219e-05,9.228599e-05,9.201243e-05,9.192345e-05,9.173219e-05,9.154963e-05,9.144591e-05,9.116595e-05,9.115419e-05,9.085757e-05,9.077371e-05,9.055658e-05,9.037408e-05,9.025169e-05,8.996812e-05,8.994334e-05,8.963196e-05,8.955682e-05,8.931793e-05,8.914106e-05,8.900163e-05,8.872166e-05,8.868338e-05,8.836352e-05,8.829938e-05,8.804234e-05,8.787489e-05,8.772011e-05,8.744884e-05,8.739712e-05,8.707359e-05,8.702179e-05,8.674977e-05,8.659429e-05,8.642586e-05,8.616681e-05,8.610207e-05,8.577859e-05,8.573981e-05,8.545561e-05,8.531369e-05,8.513328e-05,8.488884e-05,8.481175e-05,8.449119e-05,8.446559e-05,8.417173e-05,8.404428e-05,8.385348e-05,8.362517e-05,8.353658e-05,8.322114e-05,8.320855e-05,8.290725e-05,8.279466e-05,8.259502e-05,8.238370e-05,8.228454e-05,8.197589e-05,8.157141e-05,8.117041e-05,8.077306e-05,8.037947e-05,7.998978e-05,7.960409e-05,7.922250e-05,7.884508e-05,7.847192e-05,7.810308e-05,7.773861e-05,7.737855e-05,7.702296e-05,7.667185e-05,7.632526e-05,7.598321e-05,7.564569e-05,7.531274e-05,7.498433e-05,7.466049e-05,7.434118e-05,7.402642e-05,7.371618e-05,7.341044e-05
0.000000e+00,2.429453e-08,7.210538e-08,3.623342e-07,1.052560e-06,1.712719e-06,4.877608e-06,5.064401e-06,1.159468e-05,1.416753e-05,2.260358e-05,3.193139e-05,3.947416e-05,6.140812e-05,6.364481e-05,9.657189e-05,1.059354e-04,1.396501e-04,1.686626e-04,1.940593e-04,2.519260e-04,2.605551e-04,3.393062e-04,3.564981e-04,4.298745e-04,4.813465e-04,5.313298e-04,6.240487e-04,6.424100e-04,7.616644e-04,7.814016e-04,8.875577e-04,9.498888e-04,1.018540e-03,1.125969e-03,1.153095e-03,1.289771e-03,1.306249e-03,1.427204e-03,1.487585e-03,1.564133e-03,1.667156e-03,1.699417e-03,1.832035e-03,1.842502e-03,1.961097e-03,2.011552e-03,2.085844e-03,2.172629e-03,2.205642e-03,2.319983e-03,2.324437e-03,2.428472e-03,2.466038e-03,2.530826e-03,2.596823e-03,2.626858e-03,2.716469e-03,2.799639e-03,2.824900e-03,2.876416e-03,2.922244e-03,2.946904e-03,3.008795e-03,3.011254e-03,3.069656e-03,3.084973e-03,3.122332e-03,3.151290e-03,3.169525e-03,3.208324e-03,3.211496e-03,3.248514e-03,3.256692e-03,3.280856e-03,3.297029e-03,3.308801e-03,3.329976e-03,3.332626e-03,3.352602e-03,3.356159e-03,3.368994e-03,3.376188e-03,3.382060e-03,3.390645e-03,3.392046e-03,3.399188e-03,3.400082e-03,3.403712e-03,3.405017e-03,3.405831e-03,3.405930e-03,3.405746e-03,3.403647e-03,3.403268e-03,3.399710e-03,3.397440e-03,3.394104e-03,3.388822e-03,3.386982e-03,3.378491e-03,3.377756e-03,3.368763e-03,3.364554e-03,3.357924e-03,3.349498e-03,3.346090e-03,3.333368e-03,3.332842e-03,3.319856e-03,3.314816e-03,3.305646e-03,3.295627e-03,3.290821e-03,3.275459e-03,3.259631e-03,3.254479e-03,3.243403e-03,3.232834e-03,3.226834e-03,3.210657e-03,3.209978e-03,3.192887e-03,3.188066e-03,3.175607e-03,3.165165e-03,3.158178e-03,3.142047e-03,3.140640e-03,3.123028e-03,3.118794e-03,3.105374e-03,3.095479e-03,3.087705e-03,3.072167e-03,3.070050e-03,3.052431e-03,3.048913e-03,3.034870e-03,3.025768e-03,3.017387e-03,3.002774e-03,2.999999e-03,2.982722e-03,2.979969e-03,2.965571e-03,2.957387e-03,2.948558e-03,2.935055e-03,2.931695e-03,2.914992e-03,2.912999e-03,2.898458e-03,2.891239e-03,2.882101e-03,2.869793e-03,2.865928e-03,2.849945e-03,2.848675e-03,2.834158e-03,2.827898e-03,2.818570e-03,2.807473e-03,2.803186e-03,2.788009e-03,2.787406e-03,2.773042e-03,2.767705e-03,2.758286e-03,2.748375e-03,2.743744e-03,2.729417e-03,2.710835e-03,2.692630e-03,2.674800e-03,2.657347e-03,2.640266e-03,2.623557e-03,2.607216e-03,2.591239e-03,2.575624e-03,2.560364e-03,2.545456e-03,2.530895e-03,2.516675e-03,2.502791e-03,2.489238e-03,2.476009e-03,2.463098e-03,2.450501e-03,2.438210e-03,2.426220e-03,2.414524e-03,2.403117e-03,2.391993e-03,2.381144e-03
0.000000e+00,9.900355e-10,2.906375e-09,1.428202e-08,4.066873e-08,6.546443e-08,1.813741e-07,1.881113e-07,4.192562e-07,5.085867e-07,7.968007e-07,1.109186e-06,1.358092e-06,2.067709e-06,2.139087e-06,3.173630e-06,3.463146e-06,4.492439e-06,5.365068e-06,6.121438e-06,7.826489e-06,8.079144e-06,1.037323e-05,1.087212e-05,1.299713e-05,1.448505e-05,1.592832e-05,1.860118e-05,1.912969e-05,2.255383e-05,2.311889e-05,2.614838e-05,2.791875e-05,2.986072e-05,3.288191e-05,3.364123e-05,3.744502e-05,3.790110e-05,4.123264e-05,4.288515e-05,4.497023e-05,4.775959e-05,4.862924e-05,5.218603e-05,5.246555e-05,5.562146e-05,5.695815e-05,5.892046e-05,6.120472e-05,6.207160e-05,6.506661e-05,6.518308e-05,6.790009e-05,6.887995e-05,7.056902e-05,7.228937e-05,7.307251e-05,7.541139e-05,7.758797e-05,7.825074e-05,7.960574e-05,8.081577e-05,8.146910e-05,8.311746e-05,8.318323e-05,8.475381e-05,8.516867e-05,8.618692e-05,8.698342e-05,8.748888e-05,8.857640e-05,8.866615e-05,8.972520e-05,8.996251e-05,9.067250e-05,9.115654e-05,9.151439e-05,9.217299e-05,9.225708e-05,9.290663e-05,9.302588e-05,9.346888e-05,9.372862e-05,9.394944e-05,9.429393e-05,9.435369e-05,9.468677e-05,9.473378e-05,9.495355e-05,9.505944e-05,9.515870e-05,9.528140e-05,9.530661e-05,9.540143e-05,9.540943e-05,9.544710e-05,9.545258e-05,9.544732e-05,9.541925e-05,9.540559e-05,9.532518e-05,9.531717e-05,9.520920e-05,9.515349e-05,9.506052e-05,9.493476e-05,9.488186e-05,9.467575e-05,9.466696e-05,9.444455e-05,9.435561e-05,9.419049e-05,9.400574e-05,9.391565e-05,9.362196e-05,9.331124e-05,9.320850e-05,9.298519e-05,9.276920e-05,9.264538e-05,9.230757e-05,9.229327e-05,9.193025e-05,9.182682e-05,9.155758e-05,9.132984e-05,9.117645e-05,9.081929e-05,9.078797e-05,9.039317e-05,9.029758e-05,8.999300e-05,8.976689e-05,8.958835e-05,8.922920e-05,8.918003e-05,8.876883e-05,8.868630e-05,8.835543e-05,8.813982e-05,8.794049e-05,8.759120e-05,8.752462e-05,8.710836e-05,8.704176e-05,8.669224e-05,8.649268e-05,8.627672e-05,8.594503e-05,8.586224e-05,8.544920e-05,8.539975e-05,8.503797e-05,8.485769e-05,8.462889e-05,8.431961e-05,8.422226e-05,8.381837e-05,8.378618e-05,8.341746e-05,8.325799e-05,8.301978e-05,8.273556e-05,8.262553e-05,8.223490e-05,8.221936e-05,8.184807e-05,8.170977e-05,8.146518e-05,8.120714e-05,8.108638e-05,8.071178e-05,8.022393e-05,7.974379e-05,7.927156e-05,7.880737e-05,7.835132e-05,7.790351e-05,7.746399e-05,7.703279e-05,7.660994e-05,7.619544e-05,7.578925e-05,7.539136e-05,7.500171e-05,7.462025e-05,7.424691e-05,7.388162e-05,7.352428e-05,7.317481e-05,7.283311e-05,7.249908e-05,7.217259e-05,7.185355e-05,7.154184e-05,7.123733e-05
0.000000e+00,1.029816e-09,3.001852e-09,1.454904e-08,4.096353e-08,6.557296e-08,1.795478e-07,1.861449e-07,4.120451e-07,4.993902e-07,7.822114e-07,1.091081e-06,1.339076e-06,2.054366e-06,2.126872e-06,3.183633e-06,3.479916e-06,4.528239e-06,5.405593e-06,6.154715e-06,7.800363e-06,8.039085e-06,1.014972e-05,1.059610e-05,1.245393e-05,1.371819e-05,1.492052e-05,1.709648e-05,1.752021e-05,2.022528e-05,2.066609e-05,2.300921e-05,2.436599e-05,2.584652e-05,2.813834e-05,2.871278e-05,3.158489e-05,3.192889e-05,3.444127e-05,3.568796e-05,3.726224e-05,3.937157e-05,4.003017e-05,4.272969e-05,4.294230e-05,4.534781e-05,4.636980e-05,4.787385e-05,4.963075e-05,5.029936e-05,5.261807e-05,5.270853e-05,5.482563e-05,5.559259e-05,5.691945e-05,5.827770e-05,5.889849e-05,6.076302e-05,6.251439e-05,6.305128e-05,6.415488e-05,6.514795e-05,6.568747e-05,6.706053e-05,6.711570e-05,6.844351e-05,6.879787e-05,6.967511e-05,7.036972e-05,7.081491e-05,7.178631e-05,7.186741e-05,7.283711e-05,7.305801e-05,7.372848e-05,7.419507e-05,7.454591e-05,7.520744e-05,7.529362e-05,7.597574e-05,7.610464e-05,7.659618e-05,7.689571e-05,7.715874e-05,7.758916e-05,7.766697e-05,7.812429e-05,7.819295e-05,7.853389e-05,7.871445e-05,7.889882e-05,7.916052e-05,7.922193e-05,7.950591e-05,7.953747e-05,7.975327e-05,7.985113e-05,7.996640e-05,8.010685e-05,8.014751e-05,8.029869e-05,8.030955e-05,8.042187e-05,8.046372e-05,8.051889e-05,8.057351e-05,8.059145e-05,8.064116e-05,8.064269e-05,8.066951e-05,8.067475e-05,8.067789e-05,8.067286e-05,8.066763e-05,8.063994e-05,8.059599e-05,8.057866e-05,8.053684e-05,8.049147e-05,8.046350e-05,8.038062e-05,8.037692e-05,8.027798e-05,8.024818e-05,8.016752e-05,8.009603e-05,8.004631e-05,7.992593e-05,7.991508e-05,7.977453e-05,7.973948e-05,7.962528e-05,7.953814e-05,7.946797e-05,7.932329e-05,7.930314e-05,7.913133e-05,7.909618e-05,7.895306e-05,7.885796e-05,7.876879e-05,7.860970e-05,7.857897e-05,7.838402e-05,7.835238e-05,7.818433e-05,7.808691e-05,7.798028e-05,7.781413e-05,7.777221e-05,7.756046e-05,7.753482e-05,7.734534e-05,7.724970e-05,7.712715e-05,7.695943e-05,7.690615e-05,7.668262e-05,7.666464e-05,7.645680e-05,7.636589e-05,7.622893e-05,7.606371e-05,7.599922e-05,7.576789e-05,7.575860e-05,7.553512e-05,7.545102e-05,7.530112e-05,7.514138e-05,7.506605e-05,7.483008e-05,7.451748e-05,7.420392e-05,7.388973e-05,7.357518e-05,7.326055e-05,7.294609e-05,7.263204e-05,7.231861e-05,7.200600e-05,7.169439e-05,7.138396e-05,7.107487e-05,7.076727e-05,7.046129e-05,7.015705e-05,6.985467e-05,6.955427e-05,6.925593e-05,6.895974e-05,6.866579e-05,6.837416e-05,6.808491e-05,6.779810e-05,6.751379e-05
0.000000e+00,1.713157e-11,3.922590e-11,1.348223e-10,3.065044e-10,4.469640e-10,1.012909e-09,1.043348e-09,2.014866e-09,2.367143e-09,3.458778e-09,4.595499e-09,5.480280e-09,7.937844e-09,8.180771e-09,1.162391e-08,1.256158e-08,1.580345e-08,1.844318e-08,2.065616e-08,2.541941e-08,2.610160e-08,3.206490e-08,3.331377e-08,3.847993e-08,4.197397e-08,4.528587e-08,5.126204e-08,5.242408e-08,5.983639e-08,6.104391e-08,6.746476e-08,7.118621e-08,7.525174e-08,8.155781e-08,8.314131e-08,9.107972e-08,9.203317e-08,9.901638e-08,1.024958e-07,1.069047e-07,1.128414e-07,1.147025e-07,1.223723e-07,1.229794e-07,1.298817e-07,1.328341e-07,1.372028e-07,1.423445e-07,1.443128e-07,1.511930e-07,1.514632e-07,1.578288e-07,1.601556e-07,1.642091e-07,1.683978e-07,1.703264e-07,1.761758e-07,1.817553e-07,1.834837e-07,1.870650e-07,1.903223e-07,1.921066e-07,1.966971e-07,1.968831e-07,2.013988e-07,2.026172e-07,2.056589e-07,2.080946e-07,2.096692e-07,2.131438e-07,2.134364e-07,2.169678e-07,2.177811e-07,2.202710e-07,2.220240e-07,2.233538e-07,2.258908e-07,2.262243e-07,2.288907e-07,2.294002e-07,2.313613e-07,2.325716e-07,2.336452e-07,2.354261e-07,2.357516e-07,2.376882e-07,2.379828e-07,2.394626e-07,2.402590e-07,2.410824e-07,2.422718e-07,2.425548e-07,2.438867e-07,2.440374e-07,2.450851e-07,2.455718e-07,2.461566e-07,2.468900e-07,2.471075e-07,2.479441e-07,2.480063e-07,2.486723e-07,2.489345e-07,2.492978e-07,2.496876e-07,2.498261e-07,2.502625e-07,2.502781e-07,2.506121e-07,2.507177e-07,2.508798e-07,2.510175e-07,2.510703e-07,2.511880e-07,2.512372e-07,2.512391e-07,2.512220e-07,2.511803e-07,2.511463e-07,2.510203e-07,2.510140e-07,2.508285e-07,2.507675e-07,2.505933e-07,2.504296e-07,2.503116e-07,2.500141e-07,2.499865e-07,2.496211e-07,2.495277e-07,2.492181e-07,2.489770e-07,2.487802e-07,2.483680e-07,2.483099e-07,2.478098e-07,2.477064e-07,2.472821e-07,2.469975e-07,2.467290e-07,2.462462e-07,2.461525e-07,2.455548e-07,2.454573e-07,2.449375e-07,2.446349e-07,2.443027e-07,2.437832e-07,2.436518e-07,2.429865e-07,2.429058e-07,2.423084e-07,2.420063e-07,2.416188e-07,2.410879e-07,2.409191e-07,2.402107e-07,2.401536e-07,2.394946e-07,2.392063e-07,2.387721e-07,2.382484e-07,2.380441e-07,2.373118e-07,2.372825e-07,2.365761e-07,2.363106e-07,2.358379e-07,2.353349e-07,2.350979e-07,2.343571e-07,2.333792e-07,2.324025e-07,2.314287e-07,2.304590e-07,2.294946e-07,2.285367e-07,2.275862e-07,2.266440e-07,2.257111e-07,2.247881e-07,2.238756e-07,2.229743e-07,2.220848e-07,2.212074e-07,2.203425e-07,2.194906e-07,2.186518e-07,2.178266e-07,2.170150e-07,2.162172e-07,2.154334e-07,2.146637e-07,2.139082e-07,2.131668e-07
0.000000e+00,1.543528e-07,4.560105e-07,2.270042e-06,6.539517e-06,1.059354e-05,2.983480e-05,3.096375e-05,7.015972e-05,8.549757e-05,1.355155e-04,1.904608e-04,2.346797e-04,3.624177e-04,3.753812e-04,5.650368e-04,6.185830e-04,8.100222e-04,9.730774e-04,1.114546e-03,1.432546e-03,1.479459e-03,1.901709e-03,1.992521e-03,2.374867e-03,2.638221e-03,2.890326e-03,3.349022e-03,3.438538e-03,4.009911e-03,4.102863e-03,4.595360e-03,4.878906e-03,5.186592e-03,5.658762e-03,5.776246e-03,6.357933e-03,6.426933e-03,6.926235e-03,7.170859e-03,7.476666e-03,7.880793e-03,8.005621e-03,8.510304e-03,8.549563e-03,8.988650e-03,9.172278e-03,9.439249e-03,9.746006e-03,9.861257e-03,1.025432e-02,1.026944e-02,1.061849e-02,1.074259e-02,1.095416e-02,1.116646e-02,1.126199e-02,1.154285e-02,1.179777e-02,1.187405e-02,1.202789e-02,1.216272e-02,1.223444e-02,1.241172e-02,1.241867e-02,1.258188e-02,1.262399e-02,1.272534e-02,1.280247e-02,1.285032e-02,1.295003e-02,1.295804e-02,1.304970e-02,1.306944e-02,1.312645e-02,1.316332e-02,1.318937e-02,1.323412e-02,1.323950e-02,1.327782e-02,1.328415e-02,1.330527e-02,1.331553e-02,1.332271e-02,1.333022e-02,1.333095e-02,1.333077e-02,1.333000e-02,1.332287e-02,1.331653e-02,1.330792e-02,1.329130e-02,1.328653e-02,1.325929e-02,1.325566e-02,1.322673e-02,1.321085e-02,1.318935e-02,1.315799e-02,1.314760e-02,1.310191e-02,1.309809e-02,1.305267e-02,1.303207e-02,1.300026e-02,1.296074e-02,1.294500e-02,1.288721e-02,1.288485e-02,1.282717e-02,1.280506e-02,1.276516e-02,1.272199e-02,1.270142e-02,1.263617e-02,1.256963e-02,1.254809e-02,1.250198e-02,1.245818e-02,1.243340e-02,1.236684e-02,1.236405e-02,1.229409e-02,1.227441e-02,1.222365e-02,1.218121e-02,1.215285e-02,1.208751e-02,1.208183e-02,1.201067e-02,1.199358e-02,1.193948e-02,1.189963e-02,1.186834e-02,1.180586e-02,1.179735e-02,1.172656e-02,1.171244e-02,1.165606e-02,1.161953e-02,1.158590e-02,1.152727e-02,1.151614e-02,1.144682e-02,1.143578e-02,1.137801e-02,1.134516e-02,1.130973e-02,1.125551e-02,1.124202e-02,1.117492e-02,1.116691e-02,1.110846e-02,1.107943e-02,1.104267e-02,1.099313e-02,1.097757e-02,1.091318e-02,1.090806e-02,1.084951e-02,1.082426e-02,1.078660e-02,1.074176e-02,1.072444e-02,1.066305e-02,1.066061e-02,1.060244e-02,1.058082e-02,1.054263e-02,1.050240e-02,1.048360e-02,1.042538e-02,1.034977e-02,1.027555e-02,1.020275e-02,1.013136e-02,1.006137e-02,9.992779e-03,9.925576e-03,9.859752e-03,9.795294e-03,9.732188e-03,9.670420e-03,9.609972e-03,9.550828e-03,9.492969e-03,9.436376e-03,9.381030e-03,9.326910e-03,9.273997e-03,9.222269e-03,9.171705e-03,9.122284e-03,9.073984e-03,9.026783e-03,8.980660e-03
0.000000e+00,4.502892e-12,1.028422e-11,3.520995e-11,7.978433e-11,1.161240e-10,2.616332e-10,2.694221e-10,5.162731e-10,6.050037e-10,8.776107e-10,1.158117e-09,1.374430e-09,1.968252e-09,2.026530e-09,2.848171e-09,3.071191e-09,3.842117e-09,4.470735e-09,4.998678e-09,6.138040e-09,6.301525e-09,7.733351e-09,8.033738e-09,9.277823e-09,1.012031e-08,1.091946e-08,1.236244e-08,1.264312e-08,1.443377e-08,1.472548e-08,1.627639e-08,1.717496e-08,1.815620e-08,1.967715e-08,2.005883e-08,2.197060e-08,2.220000e-08,2.387871e-08,2.471407e-08,2.577149e-08,2.719324e-08,2.763844e-08,2.947039e-08,2.961519e-08,3.125942e-08,3.196150e-08,3.299893e-08,3.421763e-08,3.468351e-08,3.630890e-08,3.637264e-08,3.787190e-08,3.841883e-08,3.937019e-08,4.035127e-08,4.080227e-08,4.216737e-08,4.346533e-08,4.386654e-08,4.469650e-08,4.544974e-08,4.586165e-08,4.691913e-08,4.696191e-08,4.799868e-08,4.827782e-08,4.897360e-08,4.952959e-08,4.988845e-08,5.067871e-08,5.074515e-08,5.154573e-08,5.172975e-08,5.229225e-08,5.268747e-08,5.298681e-08,5.355671e-08,5.363151e-08,5.422846e-08,5.434231e-08,5.477973e-08,5.504902e-08,5.528736e-08,5.568150e-08,5.575334e-08,5.617962e-08,5.624427e-08,5.656810e-08,5.674169e-08,5.692063e-08,5.717795e-08,5.723896e-08,5.752483e-08,5.755703e-08,5.777988e-08,5.788275e-08,5.800571e-08,5.815873e-08,5.820384e-08,5.837573e-08,5.838840e-08,5.852281e-08,5.857499e-08,5.864641e-08,5.872159e-08,5.874782e-08,5.882828e-08,5.883108e-08,5.888896e-08,5.890618e-08,5.893099e-08,5.894947e-08,5.895545e-08,5.896335e-08,5.895568e-08,5.895009e-08,5.893337e-08,5.891182e-08,5.889730e-08,5.885052e-08,5.884833e-08,5.878725e-08,5.876808e-08,5.871483e-08,5.866624e-08,5.863180e-08,5.854663e-08,5.853885e-08,5.843664e-08,5.841080e-08,5.832580e-08,5.826018e-08,5.820692e-08,5.809611e-08,5.808057e-08,5.794728e-08,5.791984e-08,5.780757e-08,5.773253e-08,5.766190e-08,5.753529e-08,5.751075e-08,5.735455e-08,5.732911e-08,5.719370e-08,5.711497e-08,5.702861e-08,5.689372e-08,5.685963e-08,5.668712e-08,5.666620e-08,5.651142e-08,5.643317e-08,5.633282e-08,5.619534e-08,5.615164e-08,5.596815e-08,5.595337e-08,5.578261e-08,5.570788e-08,5.559528e-08,5.545943e-08,5.540640e-08,5.521618e-08,5.520855e-08,5.502485e-08,5.495573e-08,5.483259e-08,5.470143e-08,5.463960e-08,5.444605e-08,5.418999e-08,5.393361e-08,5.367723e-08,5.342116e-08,5.316567e-08,5.291102e-08,5.265745e-08,5.240518e-08,5.215439e-08,5.190526e-08,5.165797e-08,5.141266e-08,5.116946e-08,5.092850e-08,5.068987e-08,5.045369e-08,5.022003e-08,4.998898e-08,4.976061e-08,4.953496e-08,4.931210e-08,4.909206e-08,4.887489e-08,4.866062e-08
0.000000e+00,2.561192e-10,6.436259e-10,2.459725e-09,5.890731e-09,8.760226e-09,2.053414e-08,2.117231e-08,4.162513e-08,4.905214e-08,7.202561e-08,9.584344e-08,1.143069e-07,1.653751e-07,1.704174e-07,2.421564e-07,2.618565e-07,3.307662e-07,3.878816e-07,4.364487e-07,5.428666e-07,5.582923e-07,6.947303e-07,7.236170e-07,8.440407e-07,9.262176e-07,1.004575e-06,1.146965e-06,1.174788e-06,1.353202e-06,1.382412e-06,1.538375e-06,1.629244e-06,1.728895e-06,1.884229e-06,1.923377e-06,2.120480e-06,2.144247e-06,2.318924e-06,2.406352e-06,2.517508e-06,2.667839e-06,2.715123e-06,2.910763e-06,2.926302e-06,3.103535e-06,3.179661e-06,3.292655e-06,3.426182e-06,3.477456e-06,3.657376e-06,3.664464e-06,3.831957e-06,3.893426e-06,4.000835e-06,4.112270e-06,4.163734e-06,4.320453e-06,4.470862e-06,4.517647e-06,4.614889e-06,4.703706e-06,4.752514e-06,4.878633e-06,4.883761e-06,5.008690e-06,5.042549e-06,5.127391e-06,5.195670e-06,5.239981e-06,5.338281e-06,5.346593e-06,5.447380e-06,5.470720e-06,5.542503e-06,5.593361e-06,5.632134e-06,5.706607e-06,5.716450e-06,5.795636e-06,5.810873e-06,5.869874e-06,5.906583e-06,5.939348e-06,5.994160e-06,6.004243e-06,6.064741e-06,6.074024e-06,6.121020e-06,6.146589e-06,6.173259e-06,6.212256e-06,6.221629e-06,6.266298e-06,6.271417e-06,6.307430e-06,6.324449e-06,6.345184e-06,6.371712e-06,6.379713e-06,6.411166e-06,6.413554e-06,6.439688e-06,6.450307e-06,6.465417e-06,6.482289e-06,6.488489e-06,6.509031e-06,6.509802e-06,6.527169e-06,6.533133e-06,6.543021e-06,6.552554e-06,6.556704e-06,6.568326e-06,6.577995e-06,6.580693e-06,6.585812e-06,6.589888e-06,6.591874e-06,6.596130e-06,6.596275e-06,6.599104e-06,6.599627e-06,6.600448e-06,6.600575e-06,6.600388e-06,6.599160e-06,6.599002e-06,6.596367e-06,6.595556e-06,6.592553e-06,6.589928e-06,6.587629e-06,6.582431e-06,6.581662e-06,6.574713e-06,6.573210e-06,6.566842e-06,6.562404e-06,6.558107e-06,6.550142e-06,6.548562e-06,6.538260e-06,6.536544e-06,6.527249e-06,6.521726e-06,6.515577e-06,6.505795e-06,6.503290e-06,6.490430e-06,6.488850e-06,6.477038e-06,6.470987e-06,6.463153e-06,6.452294e-06,6.448813e-06,6.434052e-06,6.432854e-06,6.418904e-06,6.412744e-06,6.403402e-06,6.392038e-06,6.387575e-06,6.371453e-06,6.370803e-06,6.355064e-06,6.349103e-06,6.338432e-06,6.326997e-06,6.321583e-06,6.304541e-06,6.281786e-06,6.258782e-06,6.235572e-06,6.212198e-06,6.188701e-06,6.165115e-06,6.141474e-06,6.117810e-06,6.094151e-06,6.070525e-06,6.046955e-06,6.023466e-06,6.000077e-06,5.976808e-06,5.953677e-06,5.930700e-06,5.907892e-06,5.885267e-06,5.862836e-06,5.840612e-06,5.818605e-06,5.796822e-06,5.775274e-06,5.753967e-06
0.000000e+00,1.232829e-08,3.678538e-08,1.869151e-07,5.485274e-07,8.975511e-07,2.592901e-06,2.693749e-06,6.252925e-06,7.668399e-06,1.234424e-05,1.755911e-05,2.180087e-05,3.422368e-05,3.549624e-05,5.431859e-05,5.969633e-05,7.913552e-05,9.595196e-05,1.107393e-04,1.446778e-04,1.497694e-04,1.966297e-04,2.069567e-04,2.514351e-04,2.830272e-04,3.140141e-04,3.722930e-04,3.839559e-04,4.606730e-04,4.735306e-04,5.434592e-04,5.851254e-04,6.315358e-04,7.052583e-04,7.240867e-04,8.202858e-04,8.320359e-04,9.193175e-04,9.635843e-04,1.020393e-03,1.098115e-03,1.122763e-03,1.225728e-03,1.233971e-03,1.328643e-03,1.369662e-03,1.430924e-03,1.503877e-03,1.532047e-03,1.631555e-03,1.635496e-03,1.729047e-03,1.763584e-03,1.824185e-03,1.887387e-03,1.916685e-03,2.006314e-03,2.092890e-03,2.119926e-03,2.176272e-03,2.227911e-03,2.256357e-03,2.330075e-03,2.333079e-03,2.406401e-03,2.426319e-03,2.476312e-03,2.516626e-03,2.542826e-03,2.601044e-03,2.605973e-03,2.665803e-03,2.679675e-03,2.722376e-03,2.752662e-03,2.775766e-03,2.820180e-03,2.826053e-03,2.873327e-03,2.882428e-03,2.917681e-03,2.939624e-03,2.959213e-03,2.991992e-03,2.998023e-03,3.034212e-03,3.039766e-03,3.067884e-03,3.083182e-03,3.099140e-03,3.122474e-03,3.128082e-03,3.154809e-03,3.157872e-03,3.179421e-03,3.189605e-03,3.202013e-03,3.217890e-03,3.222679e-03,3.241511e-03,3.242941e-03,3.258598e-03,3.264963e-03,3.274024e-03,3.284150e-03,3.287873e-03,3.300226e-03,3.300690e-03,3.311158e-03,3.314760e-03,3.320744e-03,3.326530e-03,3.329055e-03,3.336159e-03,3.342120e-03,3.343797e-03,3.347003e-03,3.349589e-03,3.350866e-03,3.353668e-03,3.353766e-03,3.355759e-03,3.356161e-03,3.356895e-03,3.357187e-03,3.357225e-03,3.356857e-03,3.356796e-03,3.355653e-03,3.355277e-03,3.353838e-03,3.352544e-03,3.351394e-03,3.348752e-03,3.348358e-03,3.344768e-03,3.343986e-03,3.340658e-03,3.338328e-03,3.336063e-03,3.331852e-03,3.331015e-03,3.325542e-03,3.324629e-03,3.319674e-03,3.316726e-03,3.313439e-03,3.308203e-03,3.306861e-03,3.299967e-03,3.299119e-03,3.292778e-03,3.289527e-03,3.285316e-03,3.279477e-03,3.277604e-03,3.269661e-03,3.269016e-03,3.261505e-03,3.258187e-03,3.253154e-03,3.247031e-03,3.244626e-03,3.235936e-03,3.235585e-03,3.227099e-03,3.223885e-03,3.218130e-03,3.211962e-03,3.209042e-03,3.199848e-03,3.187571e-03,3.175156e-03,3.162629e-03,3.150010e-03,3.137322e-03,3.124584e-03,3.111813e-03,3.099026e-03,3.086239e-03,3.073464e-03,3.060717e-03,3.048007e-03,3.035347e-03,3.022746e-03,3.010214e-03,2.997758e-03,2.985388e-03,2.973110e-03,2.960930e-03,2.948854e-03,2.936887e-03,2.925035e-03,2.913301e-03,2.901690e-03
0.000000e+00,2.258909e-10,5.485174e-10,2.008739e-09,4.704382e-09,6.936796e-09,1.603930e-08,1.653207e-08,3.236913e-08,3.815300e-08,5.617500e-08,7.504820e-08,8.977239e-08,1.305918e-07,1.346091e-07,1.910274e-07,2.062179e-07,2.582420e-07,3.001565e-07,3.350752e-07,4.097949e-07,4.204624e-07,5.135194e-07,5.329813e-07,6.134605e-07,6.678973e-07,7.195212e-07,8.127659e-07,8.309133e-07,9.468089e-07,9.657127e-07,1.066342e-06,1.124748e-06,1.188618e-06,1.287809e-06,1.312738e-06,1.437807e-06,1.452838e-06,1.562964e-06,1.617849e-06,1.687393e-06,1.781005e-06,1.810339e-06,1.931116e-06,1.940666e-06,2.049119e-06,2.095422e-06,2.163820e-06,2.244110e-06,2.274778e-06,2.381628e-06,2.385812e-06,2.484085e-06,2.519851e-06,2.581934e-06,2.645761e-06,2.675026e-06,2.763272e-06,2.846633e-06,2.872277e-06,2.925117e-06,2.972807e-06,2.998770e-06,3.065005e-06,3.067671e-06,3.131925e-06,3.149100e-06,3.191658e-06,3.225388e-06,3.247015e-06,3.294211e-06,3.298151e-06,3.345231e-06,3.355946e-06,3.388427e-06,3.410984e-06,3.427912e-06,3.459731e-06,3.463864e-06,3.496457e-06,3.502588e-06,3.525865e-06,3.539955e-06,3.552257e-06,3.572218e-06,3.575800e-06,3.596654e-06,3.599751e-06,3.614974e-06,3.622913e-06,3.630912e-06,3.642044e-06,3.644611e-06,3.656208e-06,3.657465e-06,3.665835e-06,3.669479e-06,3.673617e-06,3.678371e-06,3.679673e-06,3.684116e-06,3.684405e-06,3.687054e-06,3.687831e-06,3.688589e-06,3.688879e-06,3.688816e-06,3.687826e-06,3.687763e-06,3.685706e-06,3.684682e-06,3.682536e-06,3.679820e-06,3.678393e-06,3.673348e-06,3.667470e-06,3.665423e-06,3.660821e-06,3.656190e-06,3.653463e-06,3.645784e-06,3.645451e-06,3.636839e-06,3.634327e-06,3.627676e-06,3.621934e-06,3.618010e-06,3.608709e-06,3.607883e-06,3.597338e-06,3.594749e-06,3.586412e-06,3.580142e-06,3.575144e-06,3.564970e-06,3.563565e-06,3.551708e-06,3.549306e-06,3.539604e-06,3.533220e-06,3.527279e-06,3.516775e-06,3.514760e-06,3.502072e-06,3.500028e-06,3.489238e-06,3.483032e-06,3.476278e-06,3.465834e-06,3.463214e-06,3.450062e-06,3.448479e-06,3.436842e-06,3.431008e-06,3.423570e-06,3.413457e-06,3.410260e-06,3.396926e-06,3.395859e-06,3.383582e-06,3.378244e-06,3.370240e-06,3.360642e-06,3.356912e-06,3.343607e-06,3.343076e-06,3.330336e-06,3.325569e-06,3.317109e-06,3.308142e-06,3.303932e-06,3.290815e-06,3.273602e-06,3.256521e-06,3.239583e-06,3.222802e-06,3.206187e-06,3.189750e-06,3.173497e-06,3.157437e-06,3.141576e-06,3.125919e-06,3.110471e-06,3.095237e-06,3.080220e-06,3.065422e-06,3.050847e-06,3.036494e-06,3.022367e-06,3.008465e-06,2.994789e-06,2.981339e-06,2.968115e-06,2.955116e-06,2.942342e-06,2.929790e-06
0.000000e+00,3.477568e-12,7.953331e-12,2.734033e-11,6.227037e-11,9.095007e-11,2.073402e-10,2.136353e-10,4.162385e-10,4.904422e-10,7.225418e-10,9.671848e-10,1.159297e-09,1.698404e-09,1.752009e-09,2.514819e-09,2.723028e-09,3.442720e-09,4.027647e-09,4.516861e-09,5.565779e-09,5.715534e-09,7.019724e-09,7.291779e-09,8.413503e-09,9.169007e-09,9.882963e-09,1.116638e-08,1.141525e-08,1.299806e-08,1.325519e-08,1.461943e-08,1.540798e-08,1.626782e-08,1.759853e-08,1.793216e-08,1.960207e-08,1.980237e-08,2.126797e-08,2.199741e-08,2.292115e-08,2.416428e-08,2.455390e-08,2.615951e-08,2.628660e-08,2.773221e-08,2.835097e-08,2.926719e-08,3.034680e-08,3.076055e-08,3.220915e-08,3.226613e-08,3.361062e-08,3.410326e-08,3.496321e-08,3.585442e-08,3.626573e-08,3.751749e-08,3.871819e-08,3.909163e-08,3.986790e-08,4.057710e-08,4.096697e-08,4.197498e-08,4.201599e-08,4.301574e-08,4.328697e-08,4.396717e-08,4.451527e-08,4.487133e-08,4.566241e-08,4.572939e-08,4.654257e-08,4.673120e-08,4.731216e-08,4.772457e-08,4.803947e-08,4.864559e-08,4.872584e-08,4.937262e-08,4.949734e-08,4.998116e-08,5.028294e-08,5.055281e-08,5.100546e-08,5.108890e-08,5.159074e-08,5.166795e-08,5.205964e-08,5.227338e-08,5.249686e-08,5.282466e-08,5.290364e-08,5.328121e-08,5.332461e-08,5.363074e-08,5.377595e-08,5.395339e-08,5.418132e-08,5.425029e-08,5.452252e-08,5.454326e-08,5.477114e-08,5.486421e-08,5.499718e-08,5.514651e-08,5.520164e-08,5.538547e-08,5.539240e-08,5.554960e-08,5.560404e-08,5.569493e-08,5.578347e-08,5.582234e-08,5.593266e-08,5.602669e-08,5.605347e-08,5.610522e-08,5.614769e-08,5.616899e-08,5.621701e-08,5.621874e-08,5.625515e-08,5.626305e-08,5.627890e-08,5.628735e-08,5.629064e-08,5.629135e-08,5.629097e-08,5.628051e-08,5.627645e-08,5.625981e-08,5.624396e-08,5.622944e-08,5.619512e-08,5.618991e-08,5.614174e-08,5.613112e-08,5.608542e-08,5.605306e-08,5.602141e-08,5.596202e-08,5.595015e-08,5.587208e-08,5.585899e-08,5.578761e-08,5.574491e-08,5.569713e-08,5.562067e-08,5.560102e-08,5.549964e-08,5.548714e-08,5.539333e-08,5.534509e-08,5.528244e-08,5.519528e-08,5.516726e-08,5.504811e-08,5.503841e-08,5.492527e-08,5.487517e-08,5.479902e-08,5.470616e-08,5.466963e-08,5.453734e-08,5.453199e-08,5.440240e-08,5.435321e-08,5.426502e-08,5.417034e-08,5.412545e-08,5.398387e-08,5.379426e-08,5.360195e-08,5.340733e-08,5.321080e-08,5.301269e-08,5.281334e-08,5.261306e-08,5.241215e-08,5.221086e-08,5.200944e-08,5.180814e-08,5.160717e-08,5.140673e-08,5.120700e-08,5.100815e-08,5.081035e-08,5.061374e-08,5.041846e-08,5.022463e-08,5.003237e-08,4.984177e-08,4.965293e-08,4.946594e-08,4.928087e-08
0.000000e+00,3.158132e-07,9.385387e-07,4.729647e-06,1.377877e-05,2.245938e-05,6.428931e-05,6.676681e-05,1.538350e-04,1.883457e-04,3.021728e-04,4.290578e-04,5.323317e-04,8.353783e-04,8.664695e-04,1.326856e-03,1.458380e-03,1.932561e-03,2.340043e-03,2.695510e-03,3.499576e-03,3.618726e-03,4.697421e-03,4.930981e-03,5.921253e-03,6.610483e-03,7.276305e-03,8.504206e-03,8.746458e-03,1.031428e-02,1.057299e-02,1.196165e-02,1.277525e-02,1.367020e-02,1.506883e-02,1.542171e-02,1.719846e-02,1.741255e-02,1.898353e-02,1.976746e-02,2.076104e-02,2.209787e-02,2.251640e-02,2.423644e-02,2.437216e-02,2.590954e-02,2.656333e-02,2.752566e-02,2.864919e-02,2.907637e-02,3.055483e-02,3.061238e-02,3.195569e-02,3.244021e-02,3.327502e-02,3.412420e-02,3.451018e-02,3.565970e-02,3.672315e-02,3.704534e-02,3.770102e-02,3.828249e-02,3.859456e-02,3.937474e-02,3.940563e-02,4.013665e-02,4.032737e-02,4.079047e-02,4.114700e-02,4.137024e-02,4.184115e-02,4.187937e-02,4.232143e-02,4.241795e-02,4.270009e-02,4.288583e-02,4.301907e-02,4.325335e-02,4.328207e-02,4.349277e-02,4.352895e-02,4.365475e-02,4.372090e-02,4.377152e-02,4.383714e-02,4.384646e-02,4.388281e-02,4.388525e-02,4.388368e-02,4.387236e-02,4.385202e-02,4.380517e-02,4.379064e-02,4.370219e-02,4.368987e-02,4.358915e-02,4.353224e-02,4.345388e-02,4.333756e-02,4.329857e-02,4.312526e-02,4.311068e-02,4.293587e-02,4.285601e-02,4.273217e-02,4.257758e-02,4.251581e-02,4.228832e-02,4.227901e-02,4.205112e-02,4.196360e-02,4.180551e-02,4.163430e-02,4.155268e-02,4.129376e-02,4.102975e-02,4.094435e-02,4.076159e-02,4.058819e-02,4.049014e-02,4.022716e-02,4.021616e-02,3.994038e-02,3.986293e-02,3.966345e-02,3.949698e-02,3.938595e-02,3.913061e-02,3.910842e-02,3.883135e-02,3.876497e-02,3.855517e-02,3.840105e-02,3.828028e-02,3.803972e-02,3.800703e-02,3.773574e-02,3.768175e-02,3.746670e-02,3.732777e-02,3.720016e-02,3.697836e-02,3.693634e-02,3.667545e-02,3.663398e-02,3.641764e-02,3.629504e-02,3.616309e-02,3.596187e-02,3.591190e-02,3.566421e-02,3.563473e-02,3.542011e-02,3.531385e-02,3.517966e-02,3.499941e-02,3.494295e-02,3.471001e-02,3.469154e-02,3.448090e-02,3.439033e-02,3.425563e-02,3.409584e-02,3.403424e-02,3.381673e-02,3.380811e-02,3.360310e-02,3.352715e-02,3.339335e-02,3.325293e-02,3.318747e-02,3.298544e-02,3.272462e-02,3.247041e-02,3.222273e-02,3.198149e-02,3.174661e-02,3.151797e-02,3.129547e-02,3.107899e-02,3.086842e-02,3.066362e-02,3.046448e-02,3.027086e-02,3.008265e-02,2.989970e-02,2.972190e-02,2.954910e-02,2.938120e-02,2.921805e-02,2.905954e-02,2.890553e-02,2.875591e-02,2.861055e-02,2.846934e-02,2.833216e-02
0.000000e+00,6.435421e-10,1.798570e-09,8.044110e-09,2.120375e-08,3.282199e-08,8.302446e-08,8.581556e-08,1.772100e-07,2.110187e-07,3.168002e-07,4.277456e-07,5.143427e-07,7.555645e-07,7.794765e-07,1.120629e-06,1.214456e-06,1.542383e-06,1.813166e-06,2.042161e-06,2.538127e-06,2.609225e-06,3.227724e-06,3.356116e-06,3.881148e-06,4.229827e-06,4.555060e-06,5.128346e-06,5.237759e-06,5.919878e-06,6.028434e-06,6.593800e-06,6.912479e-06,7.253222e-06,7.766751e-06,7.892880e-06,8.508427e-06,8.580497e-06,9.096353e-06,9.345566e-06,9.653953e-06,1.005622e-05,1.017928e-05,1.067109e-05,1.070896e-05,1.112877e-05,1.130225e-05,1.155227e-05,1.183625e-05,1.194202e-05,1.229885e-05,1.231245e-05,1.262387e-05,1.273335e-05,1.291845e-05,1.310214e-05,1.318410e-05,1.342248e-05,1.363525e-05,1.369821e-05,1.382413e-05,1.393324e-05,1.399079e-05,1.413140e-05,1.413687e-05,1.426396e-05,1.429635e-05,1.437356e-05,1.443152e-05,1.446710e-05,1.454010e-05,1.454589e-05,1.461119e-05,1.462499e-05,1.466416e-05,1.468883e-05,1.470585e-05,1.473400e-05,1.473726e-05,1.475929e-05,1.476264e-05,1.477277e-05,1.477666e-05,1.477846e-05,1.477774e-05,1.477707e-05,1.476922e-05,1.476740e-05,1.475550e-05,1.474698e-05,1.473644e-05,1.471767e-05,1.471252e-05,1.468419e-05,1.468051e-05,1.465185e-05,1.463645e-05,1.461587e-05,1.458631e-05,1.457660e-05,1.453433e-05,1.453083e-05,1.448935e-05,1.447066e-05,1.444192e-05,1.440638e-05,1.439227e-05,1.434062e-05,1.433852e-05,1.428717e-05,1.426753e-05,1.423211e-05,1.419382e-05,1.417559e-05,1.411778e-05,1.405881e-05,1.403972e-05,1.399882e-05,1.395995e-05,1.393793e-05,1.387874e-05,1.387625e-05,1.381389e-05,1.379632e-05,1.375093e-05,1.371291e-05,1.368748e-05,1.362872e-05,1.362360e-05,1.355937e-05,1.354392e-05,1.349488e-05,1.345866e-05,1.343017e-05,1.337310e-05,1.336531e-05,1.330036e-05,1.328736e-05,1.323536e-05,1.320156e-05,1.317037e-05,1.311582e-05,1.310543e-05,1.304058e-05,1.303022e-05,1.297586e-05,1.294485e-05,1.291130e-05,1.285980e-05,1.284694e-05,1.278281e-05,1.277513e-05,1.271893e-05,1.269091e-05,1.265534e-05,1.260721e-05,1.259205e-05,1.252909e-05,1.252406e-05,1.246647e-05,1.244153e-05,1.240423e-05,1.235965e-05,1.234237e-05,1.228091e-05,1.227846e-05,1.221987e-05,1.219799e-05,1.215925e-05,1.211829e-05,1.209908e-05,1.203936e-05,1.196124e-05,1.188395e-05,1.180751e-05,1.173193e-05,1.165722e-05,1.158341e-05,1.151049e-05,1.143847e-05,1.136736e-05,1.129717e-05,1.122790e-05,1.115955e-05,1.109213e-05,1.102562e-05,1.096003e-05,1.089537e-05,1.083161e-05,1.076877e-05,1.070683e-05,1.064580e-05,1.058566e-05,1.052641e-05,1.046804e-05,1.041055e-05
0.000000e+00,4.822921e-08,1.420000e-07,7.018565e-07,2.008421e-06,3.241155e-06,9.033382e-06,9.371012e-06,2.098836e-05,2.548962e-05,4.003544e-05,5.582301e-05,6.840972e-05,1.042975e-04,1.079065e-04,1.601695e-04,1.747762e-04,2.266195e-04,2.704481e-04,3.083319e-04,3.933292e-04,4.058741e-04,5.191841e-04,5.436876e-04,6.475726e-04,7.199118e-04,7.898418e-04,9.189482e-04,9.444420e-04,1.109608e-03,1.136891e-03,1.283462e-03,1.369433e-03,1.464081e-03,1.612161e-03,1.649553e-03,1.838016e-03,1.860747e-03,2.027689e-03,2.111095e-03,2.216907e-03,2.359460e-03,2.404137e-03,2.588000e-03,2.602526e-03,2.767283e-03,2.837474e-03,2.940942e-03,3.061999e-03,3.108107e-03,3.268076e-03,3.274317e-03,3.420308e-03,3.473138e-03,3.564412e-03,3.657625e-03,3.700134e-03,3.827341e-03,3.946009e-03,3.982188e-03,4.056203e-03,4.122343e-03,4.158066e-03,4.248208e-03,4.251804e-03,4.337676e-03,4.360349e-03,4.415976e-03,4.459456e-03,4.487029e-03,4.546294e-03,4.551180e-03,4.608787e-03,4.621679e-03,4.660211e-03,4.686443e-03,4.705815e-03,4.741418e-03,4.745959e-03,4.780995e-03,4.787419e-03,4.811264e-03,4.825231e-03,4.837097e-03,4.855600e-03,4.858810e-03,4.876704e-03,4.879232e-03,4.891065e-03,4.896784e-03,4.902165e-03,4.908869e-03,4.910259e-03,4.915586e-03,4.916050e-03,4.918371e-03,4.918847e-03,4.918827e-03,4.917736e-03,4.917149e-03,4.913521e-03,4.913152e-03,4.908114e-03,4.905489e-03,4.901086e-03,4.895106e-03,4.892585e-03,4.882749e-03,4.882329e-03,4.871702e-03,4.867453e-03,4.859564e-03,4.850743e-03,4.846443e-03,4.832439e-03,4.817646e-03,4.812759e-03,4.802148e-03,4.791897e-03,4.786026e-03,4.770030e-03,4.769353e-03,4.752196e-03,4.747313e-03,4.734616e-03,4.723891e-03,4.716673e-03,4.699889e-03,4.698418e-03,4.679901e-03,4.675422e-03,4.661165e-03,4.650593e-03,4.642252e-03,4.625493e-03,4.623201e-03,4.604045e-03,4.600204e-03,4.584817e-03,4.574800e-03,4.565547e-03,4.549346e-03,4.546260e-03,4.526982e-03,4.523900e-03,4.507735e-03,4.498514e-03,4.488540e-03,4.473234e-03,4.469415e-03,4.450378e-03,4.448101e-03,4.431445e-03,4.423151e-03,4.412629e-03,4.398415e-03,4.393943e-03,4.375400e-03,4.373923e-03,4.357009e-03,4.349698e-03,4.338781e-03,4.325761e-03,4.320723e-03,4.302843e-03,4.302131e-03,4.285148e-03,4.278825e-03,4.267645e-03,4.255854e-03,4.250338e-03,4.233232e-03,4.210968e-03,4.189069e-03,4.167543e-03,4.146393e-03,4.125624e-03,4.105239e-03,4.085239e-03,4.065625e-03,4.046396e-03,4.027552e-03,4.009091e-03,3.991012e-03,3.973311e-03,3.955985e-03,3.939031e-03,3.922446e-03,3.906224e-03,3.890362e-03,3.874854e-03,3.859697e-03,3.844884e-03,3.830411e-03,3.816272e-03,3.802462e-03
0.000000e+00,2.627085e-10,6.197736e-10,2.196599e-09,5.057795e-09,7.404603e-09,1.684652e-08,1.735293e-08,3.341676e-08,3.919162e-08,5.691962e-08,7.512993e-08,8.914995e-08,1.275645e-07,1.313318e-07,1.845125e-07,1.989963e-07,2.493269e-07,2.907034e-07,3.256680e-07,4.015717e-07,4.124887e-07,5.079980e-07,5.279613e-07,6.101431e-07,6.652306e-07,7.169960e-07,8.091666e-07,8.268942e-07,9.384292e-07,9.563440e-07,1.050399e-06,1.103990e-06,1.161770e-06,1.249829e-06,1.271646e-06,1.379265e-06,1.391996e-06,1.483982e-06,1.528998e-06,1.585267e-06,1.659684e-06,1.682697e-06,1.775944e-06,1.783216e-06,1.864773e-06,1.899030e-06,1.949025e-06,2.006800e-06,2.028610e-06,2.103496e-06,2.106394e-06,2.173699e-06,2.197835e-06,2.239276e-06,2.281270e-06,2.300316e-06,2.356933e-06,2.409261e-06,2.425124e-06,2.457448e-06,2.486187e-06,2.501652e-06,2.540493e-06,2.542037e-06,2.578774e-06,2.588429e-06,2.612031e-06,2.630385e-06,2.641978e-06,2.666750e-06,2.668783e-06,2.692611e-06,2.697904e-06,2.713622e-06,2.724217e-06,2.731974e-06,2.746045e-06,2.747819e-06,2.761301e-06,2.763727e-06,2.772564e-06,2.777588e-06,2.781741e-06,2.787934e-06,2.788963e-06,2.794354e-06,2.795054e-06,2.798032e-06,2.799223e-06,2.800111e-06,2.800695e-06,2.800699e-06,2.799897e-06,2.799713e-06,2.797805e-06,2.796500e-06,2.794514e-06,2.791266e-06,2.790113e-06,2.784684e-06,2.784208e-06,2.778305e-06,2.775504e-06,2.771050e-06,2.765324e-06,2.762990e-06,2.754191e-06,2.753824e-06,2.744715e-06,2.741150e-06,2.734623e-06,2.727436e-06,2.723969e-06,2.712805e-06,2.701181e-06,2.697372e-06,2.689144e-06,2.681243e-06,2.676737e-06,2.664516e-06,2.664001e-06,2.650974e-06,2.647279e-06,2.637692e-06,2.629615e-06,2.624190e-06,2.611599e-06,2.610498e-06,2.596646e-06,2.593301e-06,2.582663e-06,2.574784e-06,2.568573e-06,2.556104e-06,2.554400e-06,2.540168e-06,2.537316e-06,2.525896e-06,2.518465e-06,2.511604e-06,2.499597e-06,2.497311e-06,2.483032e-06,2.480750e-06,2.468783e-06,2.461959e-06,2.454579e-06,2.443256e-06,2.440432e-06,2.426355e-06,2.424671e-06,2.412359e-06,2.406230e-06,2.398455e-06,2.387953e-06,2.384650e-06,2.370955e-06,2.369864e-06,2.357376e-06,2.351979e-06,2.343921e-06,2.334313e-06,2.330596e-06,2.317407e-06,2.316883e-06,2.304360e-06,2.299698e-06,2.291458e-06,2.282770e-06,2.278706e-06,2.266107e-06,2.249717e-06,2.233605e-06,2.217778e-06,2.202238e-06,2.186989e-06,2.172032e-06,2.157368e-06,2.142999e-06,2.128923e-06,2.115140e-06,2.101649e-06,2.088448e-06,2.075534e-06,2.062904e-06,2.050557e-06,2.038488e-06,2.026694e-06,2.015172e-06,2.003916e-06,1.992924e-06,1.982190e-06,1.971710e-06,1.961480e-06,1.951495e-06
0.000000e+00,1.638791e-11,3.751289e-11,1.290101e-10,2.935604e-10,4.282982e-10,9.714480e-10,1.000657e-09,1.931934e-09,2.268976e-09,3.310847e-09,4.391877e-09,5.231251e-09,7.560857e-09,7.791564e-09,1.108862e-08,1.199910e-08,1.520248e-08,1.787996e-08,2.017197e-08,2.523468e-08,2.597209e-08,3.251355e-08,3.389987e-08,3.966895e-08,4.358771e-08,4.730497e-08,5.400221e-08,5.530145e-08,6.355621e-08,6.489499e-08,7.198318e-08,7.606735e-08,8.050897e-08,8.735776e-08,8.907001e-08,9.761069e-08,9.863182e-08,1.060823e-07,1.097767e-07,1.144423e-07,1.206985e-07,1.226540e-07,1.306861e-07,1.313202e-07,1.385127e-07,1.415808e-07,1.461124e-07,1.514340e-07,1.534682e-07,1.605673e-07,1.608457e-07,1.674001e-07,1.697935e-07,1.739605e-07,1.782640e-07,1.802449e-07,1.862519e-07,1.919823e-07,1.937579e-07,1.974384e-07,2.007880e-07,2.026239e-07,2.073520e-07,2.075438e-07,2.122036e-07,2.134626e-07,2.166098e-07,2.191346e-07,2.207693e-07,2.243845e-07,2.246895e-07,2.283780e-07,2.292296e-07,2.318426e-07,2.336879e-07,2.350912e-07,2.377777e-07,2.381318e-07,2.409724e-07,2.415172e-07,2.436207e-07,2.449244e-07,2.460845e-07,2.480173e-07,2.483716e-07,2.504894e-07,2.508131e-07,2.524453e-07,2.533287e-07,2.542464e-07,2.555805e-07,2.558996e-07,2.574118e-07,2.575841e-07,2.587895e-07,2.593548e-07,2.600391e-07,2.609069e-07,2.611667e-07,2.621783e-07,2.622544e-07,2.630796e-07,2.634105e-07,2.638761e-07,2.643878e-07,2.645732e-07,2.651761e-07,2.651983e-07,2.656896e-07,2.658535e-07,2.661185e-07,2.663642e-07,2.664674e-07,2.667406e-07,2.669425e-07,2.669926e-07,2.670769e-07,2.671294e-07,2.671479e-07,2.671597e-07,2.671590e-07,2.671139e-07,2.670916e-07,2.670159e-07,2.669331e-07,2.668684e-07,2.666915e-07,2.666743e-07,2.664368e-07,2.663736e-07,2.661586e-07,2.659860e-07,2.658424e-07,2.655348e-07,2.654909e-07,2.651064e-07,2.650258e-07,2.646915e-07,2.644644e-07,2.642483e-07,2.638556e-07,2.637789e-07,2.632854e-07,2.632043e-07,2.627697e-07,2.625149e-07,2.622337e-07,2.617915e-07,2.616792e-07,2.611077e-07,2.610381e-07,2.605210e-07,2.602583e-07,2.599204e-07,2.594556e-07,2.593074e-07,2.586834e-07,2.586330e-07,2.580496e-07,2.577936e-07,2.574073e-07,2.569402e-07,2.567576e-07,2.561015e-07,2.560752e-07,2.554402e-07,2.552010e-07,2.547746e-07,2.543199e-07,2.541055e-07,2.534339e-07,2.525449e-07,2.516545e-07,2.507645e-07,2.498763e-07,2.489912e-07,2.481105e-07,2.472353e-07,2.463666e-07,2.455055e-07,2.446526e-07,2.438089e-07,2.429749e-07,2.421514e-07,2.413388e-07,2.405376e-07,2.397483e-07,2.389713e-07,2.382068e-07,2.374552e-07,2.367166e-07,2.359914e-07,2.352795e-07,2.345811e-07,2.338964e-07
0.000000e+00,2.059113e-08,6.134992e-08,3.108031e-07,9.097092e-07,1.486499e-06,4.280093e-06,4.446003e-06,1.029146e-05,1.261273e-05,2.027366e-05,2.881087e-05,3.575268e-05,5.608041e-05,5.816272e-05,8.896065e-05,9.775728e-05,1.295269e-04,1.569517e-04,1.810037e-04,2.359259e-04,2.441292e-04,3.191715e-04,3.356029e-04,4.059787e-04,4.556204e-04,5.040756e-04,5.946875e-04,6.127520e-04,7.311271e-04,7.509014e-04,8.581967e-04,9.219608e-04,9.928707e-04,1.105317e-03,1.134004e-03,1.280426e-03,1.298296e-03,1.430965e-03,1.498209e-03,1.584473e-03,1.702444e-03,1.739847e-03,1.896042e-03,1.908544e-03,2.052088e-03,2.114262e-03,2.207095e-03,2.317605e-03,2.360264e-03,2.510884e-03,2.516847e-03,2.658337e-03,2.710541e-03,2.802094e-03,2.897507e-03,2.941710e-03,3.076820e-03,3.207133e-03,3.247782e-03,3.332427e-03,3.409904e-03,3.452540e-03,3.562873e-03,3.567364e-03,3.676839e-03,3.706531e-03,3.780948e-03,3.840844e-03,3.879710e-03,3.965888e-03,3.973172e-03,4.061409e-03,4.081819e-03,4.144518e-03,4.188861e-03,4.222612e-03,4.287288e-03,4.295820e-03,4.364280e-03,4.377415e-03,4.428140e-03,4.459580e-03,4.487554e-03,4.534141e-03,4.542679e-03,4.593677e-03,4.601464e-03,4.640708e-03,4.661922e-03,4.683935e-03,4.715884e-03,4.723517e-03,4.759614e-03,4.763718e-03,4.792380e-03,4.805782e-03,4.821970e-03,4.842425e-03,4.848531e-03,4.872210e-03,4.873984e-03,4.893148e-03,4.900786e-03,4.911480e-03,4.923142e-03,4.927341e-03,4.940857e-03,4.941350e-03,4.952151e-03,4.955697e-03,4.961343e-03,4.966451e-03,4.968546e-03,4.973870e-03,4.977420e-03,4.978198e-03,4.979297e-03,4.979665e-03,4.979597e-03,4.978488e-03,4.978413e-03,4.975833e-03,4.974872e-03,4.971942e-03,4.969011e-03,4.966819e-03,4.961086e-03,4.960543e-03,4.953186e-03,4.951267e-03,4.944818e-03,4.939715e-03,4.935506e-03,4.926581e-03,4.925314e-03,4.914301e-03,4.912006e-03,4.902527e-03,4.896121e-03,4.890044e-03,4.879050e-03,4.876906e-03,4.863161e-03,4.860908e-03,4.848856e-03,4.841805e-03,4.834037e-03,4.821839e-03,4.818745e-03,4.803020e-03,4.801106e-03,4.786900e-03,4.779692e-03,4.770422e-03,4.757680e-03,4.753619e-03,4.736524e-03,4.735145e-03,4.719168e-03,4.712158e-03,4.701578e-03,4.688785e-03,4.683783e-03,4.665809e-03,4.665086e-03,4.647679e-03,4.641118e-03,4.629417e-03,4.616934e-03,4.611044e-03,4.592581e-03,4.568104e-03,4.543546e-03,4.518943e-03,4.494331e-03,4.469742e-03,4.445207e-03,4.420752e-03,4.396402e-03,4.372180e-03,4.348107e-03,4.324202e-03,4.300482e-03,4.276961e-03,4.253656e-03,4.230577e-03,4.207736e-03,4.185144e-03,4.162808e-03,4.140738e-03,4.118939e-03,4.097417e-03,4.076179e-03,4.055227e-03,4.034565e-03
0.000000e+00,4.384318e-10,1.059356e-09,3.861050e-09,9.029552e-09,1.331220e-08,3.080580e-08,3.175426e-08,6.231036e-08,7.350419e-08,1.085052e-07,1.453881e-07,1.743653e-07,2.559220e-07,2.640610e-07,3.806618e-07,4.127506e-07,5.244087e-07,6.157603e-07,6.923716e-07,8.566591e-07,8.800761e-07,1.083185e-06,1.125326e-06,1.298098e-06,1.413525e-06,1.521886e-06,1.714904e-06,1.752070e-06,1.986458e-06,2.024214e-06,2.223041e-06,2.336830e-06,2.459960e-06,2.648575e-06,2.695493e-06,2.928063e-06,2.955704e-06,3.156258e-06,3.254949e-06,3.378830e-06,3.543563e-06,3.594715e-06,3.803021e-06,3.819335e-06,4.003031e-06,4.080583e-06,4.194191e-06,4.326118e-06,4.376104e-06,4.548513e-06,4.555209e-06,4.711282e-06,4.767508e-06,4.864365e-06,4.962950e-06,5.007811e-06,5.141753e-06,5.266377e-06,5.304326e-06,5.381920e-06,5.451229e-06,5.488659e-06,5.583126e-06,5.586896e-06,5.676955e-06,5.700751e-06,5.759173e-06,5.804884e-06,5.833897e-06,5.896324e-06,5.901476e-06,5.962257e-06,5.975872e-06,6.016587e-06,6.044320e-06,6.064804e-06,6.102441e-06,6.107238e-06,6.144213e-06,6.150980e-06,6.176040e-06,6.190655e-06,6.203019e-06,6.222146e-06,6.225439e-06,6.243578e-06,6.246102e-06,6.257703e-06,6.263132e-06,6.268067e-06,6.273814e-06,6.274913e-06,6.278471e-06,6.278687e-06,6.278960e-06,6.278258e-06,6.276591e-06,6.273000e-06,6.271560e-06,6.264056e-06,6.263354e-06,6.254257e-06,6.249732e-06,6.242330e-06,6.232516e-06,6.228436e-06,6.212726e-06,6.212062e-06,6.195341e-06,6.188698e-06,6.176415e-06,6.162731e-06,6.156077e-06,6.134444e-06,6.111631e-06,6.104098e-06,6.087742e-06,6.071935e-06,6.062878e-06,6.038178e-06,6.037132e-06,6.010593e-06,6.003032e-06,5.983344e-06,5.966686e-06,5.955462e-06,5.929315e-06,5.927021e-06,5.898089e-06,5.891079e-06,5.868729e-06,5.852124e-06,5.839003e-06,5.812586e-06,5.808966e-06,5.778671e-06,5.772586e-06,5.748167e-06,5.732238e-06,5.717500e-06,5.691644e-06,5.686712e-06,5.655843e-06,5.650899e-06,5.624930e-06,5.610087e-06,5.594008e-06,5.569285e-06,5.563109e-06,5.532261e-06,5.528565e-06,5.501494e-06,5.487988e-06,5.470832e-06,5.447614e-06,5.440299e-06,5.409916e-06,5.407492e-06,5.379703e-06,5.367670e-06,5.349680e-06,5.328189e-06,5.319861e-06,5.290264e-06,5.289085e-06,5.260902e-06,5.250391e-06,5.231787e-06,5.212137e-06,5.202932e-06,5.174347e-06,5.137044e-06,5.100246e-06,5.063971e-06,5.028232e-06,4.993040e-06,4.958406e-06,4.924337e-06,4.890838e-06,4.857915e-06,4.825569e-06,4.793803e-06,4.762617e-06,4.732009e-06,4.701978e-06,4.672522e-06,4.643637e-06,4.615318e-06,4.587562e-06,4.560362e-06,4.533713e-06,4.507608e-06,4.482042e-06,4.457006e-06,4.432493e-06
0.000000e+00,8.134671e-10,2.326322e-09,1.085336e-08,2.959519e-08,4.662040e-08,1.232875e-07,1.276670e-07,2.764186e-07,3.337515e-07,5.196647e-07,7.226717e-07,8.844657e-07,1.336362e-06,1.380550e-06,1.986384e-06,2.143803e-06,2.662719e-06,3.058179e-06,3.372877e-06,4.004591e-06,4.090457e-06,4.798339e-06,4.937712e-06,5.485583e-06,5.832279e-06,6.144907e-06,6.673375e-06,6.771197e-06,7.360825e-06,7.451586e-06,7.911379e-06,8.161346e-06,8.421570e-06,8.800466e-06,8.891156e-06,9.320836e-06,9.369780e-06,9.712096e-06,9.872600e-06,1.006702e-05,1.031400e-05,1.038812e-05,1.067814e-05,1.070008e-05,1.093990e-05,1.103733e-05,1.117620e-05,1.133208e-05,1.138971e-05,1.158291e-05,1.159025e-05,1.175806e-05,1.181710e-05,1.191721e-05,1.201722e-05,1.206215e-05,1.219446e-05,1.231551e-05,1.235207e-05,1.242650e-05,1.249273e-05,1.252844e-05,1.261862e-05,1.262223e-05,1.270862e-05,1.273157e-05,1.278827e-05,1.283306e-05,1.286174e-05,1.292432e-05,1.292954e-05,1.299210e-05,1.300637e-05,1.304979e-05,1.308010e-05,1.310295e-05,1.314623e-05,1.315189e-05,1.319686e-05,1.320540e-05,1.323811e-05,1.325817e-05,1.327586e-05,1.330501e-05,1.331031e-05,1.334164e-05,1.334638e-05,1.337002e-05,1.338264e-05,1.339561e-05,1.341416e-05,1.341854e-05,1.343896e-05,1.344124e-05,1.345698e-05,1.346418e-05,1.347273e-05,1.348325e-05,1.348632e-05,1.349785e-05,1.349868e-05,1.350741e-05,1.351071e-05,1.351511e-05,1.351954e-05,1.352102e-05,1.352523e-05,1.352536e-05,1.352782e-05,1.352837e-05,1.352886e-05,1.352872e-05,1.352842e-05,1.352658e-05,1.352338e-05,1.352209e-05,1.351891e-05,1.351539e-05,1.351320e-05,1.350662e-05,1.350632e-05,1.349832e-05,1.349589e-05,1.348926e-05,1.348332e-05,1.347917e-05,1.346903e-05,1.346811e-05,1.345612e-05,1.345311e-05,1.344324e-05,1.343566e-05,1.342951e-05,1.341677e-05,1.341498e-05,1.339968e-05,1.339653e-05,1.338364e-05,1.337502e-05,1.336690e-05,1.335232e-05,1.334949e-05,1.333144e-05,1.332850e-05,1.331279e-05,1.330363e-05,1.329356e-05,1.327779e-05,1.327379e-05,1.325349e-05,1.325102e-05,1.323270e-05,1.322340e-05,1.321143e-05,1.319497e-05,1.318972e-05,1.316758e-05,1.316579e-05,1.314504e-05,1.313592e-05,1.312212e-05,1.310540e-05,1.309884e-05,1.307523e-05,1.307427e-05,1.305128e-05,1.304259e-05,1.302704e-05,1.301039e-05,1.300251e-05,1.297772e-05,1.294460e-05,1.291108e-05,1.287719e-05,1.284297e-05,1.280844e-05,1.277364e-05,1.273859e-05,1.270332e-05,1.266785e-05,1.263222e-05,1.259644e-05,1.256053e-05,1.252452e-05,1.248842e-05,1.245226e-05,1.241606e-05,1.237982e-05,1.234357e-05,1.230732e-05,1.227109e-05,1.223489e-05,1.219874e-05,1.216265e-05,1.212662e-05
0.000000e+00,3.646134e-11,8.401112e-11,2.907129e-10,6.638688e-10,9.707478e-10,2.221595e-09,2.289523e-09,4.492099e-09,5.306810e-09,7.881985e-09,1.063724e-08,1.282695e-08,1.906898e-08,1.969582e-08,2.868554e-08,3.115126e-08,3.966973e-08,4.655948e-08,5.228416e-08,6.441853e-08,6.613448e-08,8.090321e-08,8.394523e-08,9.635412e-08,1.045967e-07,1.123066e-07,1.259856e-07,1.286129e-07,1.451434e-07,1.478011e-07,1.617800e-07,1.697705e-07,1.784121e-07,1.916454e-07,1.949372e-07,2.112605e-07,2.132015e-07,2.272962e-07,2.342409e-07,2.429686e-07,2.545957e-07,2.582119e-07,2.729716e-07,2.741301e-07,2.872041e-07,2.927416e-07,3.008761e-07,3.103593e-07,3.139637e-07,3.264497e-07,3.269365e-07,3.383261e-07,3.424518e-07,3.495910e-07,3.569036e-07,3.602483e-07,3.703069e-07,3.797790e-07,3.826887e-07,3.886801e-07,3.940852e-07,3.970279e-07,4.045394e-07,4.048419e-07,4.121428e-07,4.140980e-07,4.189518e-07,4.228102e-07,4.252908e-07,4.307264e-07,4.311817e-07,4.366461e-07,4.378965e-07,4.417056e-07,4.443697e-07,4.463808e-07,4.501935e-07,4.506923e-07,4.546595e-07,4.554133e-07,4.583013e-07,4.600726e-07,4.616360e-07,4.642124e-07,4.646808e-07,4.674522e-07,4.678713e-07,4.699661e-07,4.710856e-07,4.722373e-07,4.738891e-07,4.742801e-07,4.761079e-07,4.763134e-07,4.777334e-07,4.783877e-07,4.791688e-07,4.801396e-07,4.804254e-07,4.815140e-07,4.815941e-07,4.824447e-07,4.827750e-07,4.832271e-07,4.837038e-07,4.838704e-07,4.843829e-07,4.844008e-07,4.847728e-07,4.848846e-07,4.850477e-07,4.851726e-07,4.852147e-07,4.852805e-07,4.852516e-07,4.852233e-07,4.851339e-07,4.850146e-07,4.849330e-07,4.846670e-07,4.846544e-07,4.843029e-07,4.841921e-07,4.838835e-07,4.836010e-07,4.834004e-07,4.829034e-07,4.828579e-07,4.822600e-07,4.821087e-07,4.816105e-07,4.812255e-07,4.809128e-07,4.802616e-07,4.801703e-07,4.793861e-07,4.792245e-07,4.785632e-07,4.781209e-07,4.777044e-07,4.769571e-07,4.768123e-07,4.758894e-07,4.757390e-07,4.749380e-07,4.744719e-07,4.739604e-07,4.731608e-07,4.729586e-07,4.719347e-07,4.718104e-07,4.708905e-07,4.704250e-07,4.698277e-07,4.690086e-07,4.687480e-07,4.676530e-07,4.675647e-07,4.665441e-07,4.660970e-07,4.654228e-07,4.646085e-07,4.642904e-07,4.631480e-07,4.631022e-07,4.619970e-07,4.615807e-07,4.608384e-07,4.600467e-07,4.596732e-07,4.585025e-07,4.569502e-07,4.553919e-07,4.538294e-07,4.522644e-07,4.506986e-07,4.491334e-07,4.475701e-07,4.460102e-07,4.444546e-07,4.429045e-07,4.413609e-07,4.398247e-07,4.382968e-07,4.367779e-07,4.352687e-07,4.337699e-07,4.322822e-07,4.308059e-07,4.293417e-07,4.278900e-07,4.264512e-07,4.250257e-07,4.236138e-07,4.222158e-07
0.000000e+00,3.216549e-10,7.763636e-10,2.831976e-09,6.644086e-09,9.821267e-09,2.295465e-08,2.367334e-08,4.714323e-08,5.587484e-08,8.350438e-08,1.128936e-07,1.359612e-07,1.997411e-07,2.059771e-07,2.926026e-07,3.156533e-07,3.939582e-07,4.565285e-07,5.084200e-07,6.189920e-07,6.347406e-07,7.718494e-07,8.004739e-07,9.186919e-07,9.985288e-07,1.074149e-06,1.210509e-06,1.237013e-06,1.406000e-06,1.433518e-06,1.579780e-06,1.664501e-06,1.757006e-06,1.900379e-06,1.936357e-06,2.116570e-06,2.138196e-06,2.296461e-06,2.375230e-06,2.474954e-06,2.609078e-06,2.651088e-06,2.824024e-06,2.837699e-06,2.993044e-06,3.059418e-06,3.157553e-06,3.272934e-06,3.317073e-06,3.471230e-06,3.477281e-06,3.619743e-06,3.671786e-06,3.762416e-06,3.856036e-06,3.899133e-06,4.029832e-06,4.154492e-06,4.193114e-06,4.273154e-06,4.345982e-06,4.385889e-06,4.488629e-06,4.492795e-06,4.593999e-06,4.621333e-06,4.689643e-06,4.744425e-06,4.779882e-06,4.858268e-06,4.864879e-06,4.944805e-06,4.963252e-06,5.019837e-06,5.059784e-06,5.090153e-06,5.148271e-06,5.155931e-06,5.217348e-06,5.229124e-06,5.274580e-06,5.302743e-06,5.327798e-06,5.369524e-06,5.377172e-06,5.422868e-06,5.429848e-06,5.465044e-06,5.484085e-06,5.503858e-06,5.532589e-06,5.539459e-06,5.571995e-06,5.575700e-06,5.601607e-06,5.613744e-06,5.628429e-06,5.647030e-06,5.652594e-06,5.674228e-06,5.675853e-06,5.693451e-06,5.700492e-06,5.710382e-06,5.721214e-06,5.725130e-06,5.737805e-06,5.738270e-06,5.748508e-06,5.751898e-06,5.757339e-06,5.762324e-06,5.764393e-06,5.769760e-06,5.773526e-06,5.774407e-06,5.775776e-06,5.776456e-06,5.776587e-06,5.776085e-06,5.776038e-06,5.774199e-06,5.773463e-06,5.771141e-06,5.768748e-06,5.766930e-06,5.762092e-06,5.761629e-06,5.755299e-06,5.753634e-06,5.747999e-06,5.743507e-06,5.739782e-06,5.731837e-06,5.730703e-06,5.720811e-06,5.718740e-06,5.710155e-06,5.704327e-06,5.698780e-06,5.688702e-06,5.686730e-06,5.674048e-06,5.671962e-06,5.660771e-06,5.654199e-06,5.646940e-06,5.635499e-06,5.632589e-06,5.617754e-06,5.615943e-06,5.602467e-06,5.595606e-06,5.586760e-06,5.574559e-06,5.570662e-06,5.554201e-06,5.552870e-06,5.537406e-06,5.530600e-06,5.520301e-06,5.507808e-06,5.502912e-06,5.485261e-06,5.484550e-06,5.467371e-06,5.460876e-06,5.449262e-06,5.436835e-06,5.430956e-06,5.412471e-06,5.387828e-06,5.362944e-06,5.337857e-06,5.312600e-06,5.287207e-06,5.261706e-06,5.236127e-06,5.210495e-06,5.184835e-06,5.159169e-06,5.133518e-06,5.107902e-06,5.082340e-06,5.056848e-06,5.031442e-06,5.006136e-06,4.980945e-06,4.955879e-06,4.930952e-06,4.906172e-06,4.881551e-06,4.857096e-06,4.832817e-06,4.808720e-06
0.000000e+00,7.299505e-12,1.673245e-11,5.760809e-11,1.310806e-10,1.911812e-10,4.328496e-10,4.458179e-10,8.578202e-10,1.006241e-09,1.462822e-09,1.933178e-09,2.296145e-09,3.294094e-09,3.392222e-09,4.782457e-09,5.162784e-09,6.490741e-09,7.590670e-09,8.526643e-09,1.058100e-08,1.087912e-08,1.351624e-08,1.407398e-08,1.639302e-08,1.796766e-08,1.946158e-08,2.215487e-08,2.267771e-08,2.600283e-08,2.654268e-08,2.940369e-08,3.105437e-08,3.285138e-08,3.562616e-08,3.632063e-08,3.978933e-08,4.020460e-08,4.323819e-08,4.474502e-08,4.665055e-08,4.921072e-08,5.001222e-08,5.331133e-08,5.357225e-08,5.653809e-08,5.780672e-08,5.968464e-08,6.189698e-08,6.274484e-08,6.571403e-08,6.583085e-08,6.858886e-08,6.960025e-08,7.136713e-08,7.320049e-08,7.404754e-08,7.662960e-08,7.911351e-08,7.988772e-08,8.149995e-08,8.297664e-08,8.379007e-08,8.589936e-08,8.598538e-08,8.808763e-08,8.865985e-08,9.009880e-08,9.126268e-08,9.202105e-08,9.371291e-08,9.385662e-08,9.560787e-08,9.601589e-08,9.727720e-08,9.817715e-08,9.886704e-08,1.002023e-07,1.003798e-07,1.018180e-07,1.020970e-07,1.031841e-07,1.038667e-07,1.044804e-07,1.055171e-07,1.057093e-07,1.068732e-07,1.070536e-07,1.079744e-07,1.084814e-07,1.090151e-07,1.098056e-07,1.099975e-07,1.109237e-07,1.110312e-07,1.117959e-07,1.121630e-07,1.126160e-07,1.132057e-07,1.133861e-07,1.141080e-07,1.141637e-07,1.147837e-07,1.150414e-07,1.154149e-07,1.158428e-07,1.160034e-07,1.165508e-07,1.165719e-07,1.170589e-07,1.172325e-07,1.175292e-07,1.178282e-07,1.179632e-07,1.183625e-07,1.187284e-07,1.188387e-07,1.190624e-07,1.192600e-07,1.193657e-07,1.196294e-07,1.196398e-07,1.198858e-07,1.199498e-07,1.201049e-07,1.202240e-07,1.202983e-07,1.204545e-07,1.204671e-07,1.206124e-07,1.206439e-07,1.207353e-07,1.207946e-07,1.208366e-07,1.209088e-07,1.209175e-07,1.209787e-07,1.209887e-07,1.210213e-07,1.210364e-07,1.210461e-07,1.210537e-07,1.210538e-07,1.210454e-07,1.210426e-07,1.210215e-07,1.210048e-07,1.209829e-07,1.209419e-07,1.209303e-07,1.208645e-07,1.208557e-07,1.207859e-07,1.207475e-07,1.206954e-07,1.206189e-07,1.205934e-07,1.204806e-07,1.204711e-07,1.203575e-07,1.203055e-07,1.202246e-07,1.201233e-07,1.200826e-07,1.199318e-07,1.199256e-07,1.197728e-07,1.197136e-07,1.196059e-07,1.194883e-07,1.194317e-07,1.192506e-07,1.190016e-07,1.187421e-07,1.184730e-07,1.181949e-07,1.179088e-07,1.176153e-07,1.173150e-07,1.170087e-07,1.166969e-07,1.163801e-07,1.160590e-07,1.157339e-07,1.154055e-07,1.150742e-07,1.147403e-07,1.144042e-07,1.140665e-07,1.137273e-07,1.133871e-07,1.130461e-07,1.127047e-07,1.123632e-07,1.120217e-07,1.116805e-07
0.000000e+00,1.175130e-09,3.345736e-09,1.549661e-08,4.201344e-08,6.595315e-08,1.722445e-07,1.782437e-07,3.776176e-07,4.523548e-07,6.881242e-07,9.372773e-07,1.132460e-06,1.677519e-06,1.731599e-06,2.503782e-06,2.716502e-06,3.462668e-06,4.083977e-06,4.614683e-06,5.785484e-06,5.956026e-06,7.470576e-06,7.791987e-06,9.130426e-06,1.003925e-05,1.089982e-05,1.244300e-05,1.274088e-05,1.461852e-05,1.492026e-05,1.650296e-05,1.740266e-05,1.837024e-05,1.983900e-05,2.020167e-05,2.198290e-05,2.219273e-05,2.370314e-05,2.443858e-05,2.535441e-05,2.655970e-05,2.693106e-05,2.842934e-05,2.854574e-05,2.984703e-05,3.039130e-05,3.118320e-05,3.209478e-05,3.243794e-05,3.361213e-05,3.365744e-05,3.470732e-05,3.508263e-05,3.572554e-05,3.637518e-05,3.666919e-05,3.754093e-05,3.834359e-05,3.858633e-05,3.908012e-05,3.951819e-05,3.975354e-05,4.034344e-05,4.036686e-05,4.092308e-05,4.106899e-05,4.142516e-05,4.170163e-05,4.187600e-05,4.224793e-05,4.227840e-05,4.263511e-05,4.271421e-05,4.294874e-05,4.310651e-05,4.322183e-05,4.343056e-05,4.345683e-05,4.365606e-05,4.369181e-05,4.382175e-05,4.389537e-05,4.395604e-05,4.404606e-05,4.406095e-05,4.413841e-05,4.414838e-05,4.419027e-05,4.420658e-05,4.421826e-05,4.422458e-05,4.422404e-05,4.420918e-05,4.420608e-05,4.417517e-05,4.415450e-05,4.412342e-05,4.407304e-05,4.405525e-05,4.397193e-05,4.396464e-05,4.387464e-05,4.383207e-05,4.376451e-05,4.367786e-05,4.364260e-05,4.350990e-05,4.350438e-05,4.336734e-05,4.331378e-05,4.321582e-05,4.310809e-05,4.305616e-05,4.288914e-05,4.271549e-05,4.265864e-05,4.253591e-05,4.241816e-05,4.235104e-05,4.216915e-05,4.216148e-05,4.196781e-05,4.191291e-05,4.177055e-05,4.165068e-05,4.157019e-05,4.138354e-05,4.136722e-05,4.116204e-05,4.111252e-05,4.095508e-05,4.083854e-05,4.074671e-05,4.056245e-05,4.053727e-05,4.032710e-05,4.028501e-05,4.011650e-05,4.000691e-05,3.990575e-05,3.972879e-05,3.969511e-05,3.948482e-05,3.945122e-05,3.927511e-05,3.917471e-05,3.906618e-05,3.889972e-05,3.885822e-05,3.865140e-05,3.862667e-05,3.844589e-05,3.835592e-05,3.824183e-05,3.808780e-05,3.803936e-05,3.783860e-05,3.782261e-05,3.763965e-05,3.756060e-05,3.744262e-05,3.730200e-05,3.724760e-05,3.705467e-05,3.704700e-05,3.686391e-05,3.679577e-05,3.667537e-05,3.654847e-05,3.648912e-05,3.630520e-05,3.606607e-05,3.583118e-05,3.560057e-05,3.537431e-05,3.515243e-05,3.493495e-05,3.472189e-05,3.451324e-05,3.430901e-05,3.410917e-05,3.391370e-05,3.372257e-05,3.353574e-05,3.335317e-05,3.317482e-05,3.300063e-05,3.283054e-05,3.266450e-05,3.250244e-05,3.234431e-05,3.219004e-05,3.203956e-05,3.189281e-05,3.174970e-05
0.000000e+00,1.017479e-09,2.650697e-09,1.064825e-08,2.631407e-08,3.972202e-08,9.672496e-08,9.989386e-08,2.052326e-07,2.451758e-07,3.738173e-07,5.141890e-07,6.268539e-07,9.488070e-07,9.810043e-07,1.437429e-06,1.560880e-06,1.983121e-06,2.321671e-06,2.602229e-06,3.197788e-06,3.282295e-06,4.014417e-06,4.166467e-06,4.791788e-06,5.211933e-06,5.608519e-06,6.320863e-06,6.458967e-06,7.337420e-06,7.480182e-06,8.238012e-06,8.676404e-06,9.154755e-06,9.895737e-06,1.008164e-05,1.101275e-05,1.112449e-05,1.194241e-05,1.234961e-05,1.286528e-05,1.355906e-05,1.377641e-05,1.467137e-05,1.474215e-05,1.554622e-05,1.588975e-05,1.639758e-05,1.699439e-05,1.722260e-05,1.801894e-05,1.805017e-05,1.878477e-05,1.905272e-05,1.951869e-05,1.999900e-05,2.021970e-05,2.088718e-05,2.152085e-05,2.171648e-05,2.212070e-05,2.248694e-05,2.268694e-05,2.319929e-05,2.321998e-05,2.372036e-05,2.385471e-05,2.418874e-05,2.445472e-05,2.462587e-05,2.500117e-05,2.503261e-05,2.540990e-05,2.549618e-05,2.575875e-05,2.594205e-05,2.608015e-05,2.634111e-05,2.637515e-05,2.664482e-05,2.669580e-05,2.689020e-05,2.700857e-05,2.711241e-05,2.728203e-05,2.731264e-05,2.749201e-05,2.751884e-05,2.765146e-05,2.772120e-05,2.779196e-05,2.789133e-05,2.791442e-05,2.801975e-05,2.803128e-05,2.810880e-05,2.814305e-05,2.818243e-05,2.822855e-05,2.824142e-05,2.828657e-05,2.828961e-05,2.831862e-05,2.832794e-05,2.833830e-05,2.834519e-05,2.834629e-05,2.834326e-05,2.834292e-05,2.832984e-05,2.832258e-05,2.830664e-05,2.828558e-05,2.827425e-05,2.823322e-05,2.818409e-05,2.816674e-05,2.812736e-05,2.808729e-05,2.806351e-05,2.799597e-05,2.799302e-05,2.791633e-05,2.789380e-05,2.783385e-05,2.778175e-05,2.774598e-05,2.766072e-05,2.765311e-05,2.755561e-05,2.753156e-05,2.745381e-05,2.739505e-05,2.734805e-05,2.725195e-05,2.723863e-05,2.712587e-05,2.710293e-05,2.701002e-05,2.694866e-05,2.689138e-05,2.678973e-05,2.677018e-05,2.664666e-05,2.662670e-05,2.652107e-05,2.646011e-05,2.639361e-05,2.629043e-05,2.626448e-05,2.613388e-05,2.611812e-05,2.600200e-05,2.594360e-05,2.586900e-05,2.576727e-05,2.573504e-05,2.560029e-05,2.558948e-05,2.546489e-05,2.541058e-05,2.532897e-05,2.523086e-05,2.519266e-05,2.505609e-05,2.505062e-05,2.491937e-05,2.487013e-05,2.478260e-05,2.468962e-05,2.464589e-05,2.450933e-05,2.432945e-05,2.415017e-05,2.397168e-05,2.379412e-05,2.361764e-05,2.344238e-05,2.326844e-05,2.309595e-05,2.292498e-05,2.275564e-05,2.258800e-05,2.242212e-05,2.225808e-05,2.209591e-05,2.193567e-05,2.177741e-05,2.162114e-05,2.146691e-05,2.131473e-05,2.116462e-05,2.101660e-05,2.087069e-05,2.072687e-05,2.058517e-05
0.000000e+00,1.478609e-12,3.374815e-12,1.150140e-11,2.591500e-11,3.759244e-11,8.393672e-11,8.640328e-11,1.640566e-10,1.917718e-10,2.764355e-10,3.629476e-10,4.293407e-10,6.106702e-10,6.284221e-10,8.787710e-10,9.469366e-10,1.184038e-09,1.379448e-09,1.545059e-09,1.906294e-09,1.958437e-09,2.416140e-09,2.512038e-09,2.906916e-09,3.171182e-09,3.418804e-09,3.857249e-09,3.941149e-09,4.465420e-09,4.549022e-09,4.985118e-09,5.231473e-09,5.495392e-09,5.894370e-09,5.992638e-09,6.474194e-09,6.530828e-09,6.938136e-09,7.136327e-09,7.383127e-09,7.708108e-09,7.808319e-09,8.213270e-09,8.244786e-09,8.597877e-09,8.746055e-09,8.962315e-09,9.212440e-09,9.306985e-09,9.632461e-09,9.645090e-09,9.939449e-09,1.004559e-08,1.022875e-08,1.041581e-08,1.050123e-08,1.075777e-08,1.099929e-08,1.107356e-08,1.122669e-08,1.136523e-08,1.144085e-08,1.163478e-08,1.164262e-08,1.183281e-08,1.188410e-08,1.201220e-08,1.211496e-08,1.218152e-08,1.232898e-08,1.234144e-08,1.249261e-08,1.252765e-08,1.263561e-08,1.271233e-08,1.277099e-08,1.288424e-08,1.289927e-08,1.302091e-08,1.304448e-08,1.313634e-08,1.319405e-08,1.324598e-08,1.333385e-08,1.335017e-08,1.344927e-08,1.346467e-08,1.354357e-08,1.358723e-08,1.363338e-08,1.370216e-08,1.371895e-08,1.380053e-08,1.381006e-08,1.387833e-08,1.391143e-08,1.395258e-08,1.400674e-08,1.402345e-08,1.409113e-08,1.409641e-08,1.415577e-08,1.418082e-08,1.421754e-08,1.426031e-08,1.427657e-08,1.433299e-08,1.433520e-08,1.438693e-08,1.440576e-08,1.443849e-08,1.447225e-08,1.448778e-08,1.453491e-08,1.457996e-08,1.459395e-08,1.462303e-08,1.464958e-08,1.466418e-08,1.470198e-08,1.470351e-08,1.474109e-08,1.475130e-08,1.477697e-08,1.479772e-08,1.481123e-08,1.484137e-08,1.484393e-08,1.487513e-08,1.488240e-08,1.490487e-08,1.492091e-08,1.493322e-08,1.495704e-08,1.496021e-08,1.498591e-08,1.499090e-08,1.501035e-08,1.502257e-08,1.503357e-08,1.505217e-08,1.505562e-08,1.507654e-08,1.507979e-08,1.509636e-08,1.510550e-08,1.511513e-08,1.512939e-08,1.513286e-08,1.514960e-08,1.515154e-08,1.516538e-08,1.517202e-08,1.518022e-08,1.519090e-08,1.519416e-08,1.520723e-08,1.520824e-08,1.521945e-08,1.522411e-08,1.523085e-08,1.523856e-08,1.524145e-08,1.525127e-08,1.525165e-08,1.526035e-08,1.526344e-08,1.526870e-08,1.527397e-08,1.527634e-08,1.528330e-08,1.529148e-08,1.529854e-08,1.530453e-08,1.530950e-08,1.531347e-08,1.531650e-08,1.531861e-08,1.531984e-08,1.532022e-08,1.531980e-08,1.531859e-08,1.531663e-08,1.531395e-08,1.531057e-08,1.530652e-08,1.530183e-08,1.529653e-08,1.529063e-08,1.528416e-08,1.527714e-08,1.526960e-08,1.526155e-08,1.525302e-08,1.524402e-08
0.000000e+00,7.453683e-11,1.738276e-10,6.090095e-10,1.396210e-09,2.041817e-09,4.644877e-09,4.784803e-09,9.241289e-09,1.085183e-08,1.582285e-08,2.096858e-08,2.495445e-08,3.595676e-08,3.704013e-08,5.234736e-08,5.650543e-08,7.086020e-08,8.252832e-08,9.229701e-08,1.132850e-07,1.162868e-07,1.424855e-07,1.479632e-07,1.705901e-07,1.858638e-07,2.003187e-07,2.263437e-07,2.313951e-07,2.635431e-07,2.687678e-07,2.964869e-07,3.125026e-07,3.299551e-07,3.569311e-07,3.636863e-07,3.974341e-07,4.014740e-07,4.309718e-07,4.456083e-07,4.640952e-07,4.888804e-07,4.966246e-07,5.284059e-07,5.309120e-07,5.593095e-07,5.714008e-07,5.892301e-07,6.101168e-07,6.180847e-07,6.458104e-07,6.468953e-07,6.723629e-07,6.816286e-07,6.977136e-07,7.142576e-07,7.218477e-07,7.447624e-07,7.664643e-07,7.731551e-07,7.869685e-07,7.994723e-07,8.062965e-07,8.237695e-07,8.244749e-07,8.415345e-07,8.461153e-07,8.575092e-07,8.665882e-07,8.724350e-07,8.852725e-07,8.863494e-07,8.992909e-07,9.022564e-07,9.112984e-07,9.176292e-07,9.224109e-07,9.314805e-07,9.326673e-07,9.421058e-07,9.438987e-07,9.507640e-07,9.549701e-07,9.586786e-07,9.647785e-07,9.658855e-07,9.724195e-07,9.734048e-07,9.783142e-07,9.809262e-07,9.836021e-07,9.874167e-07,9.883146e-07,9.924818e-07,9.929466e-07,9.961327e-07,9.975828e-07,9.992953e-07,1.001389e-06,1.001996e-06,1.004261e-06,1.004424e-06,1.006114e-06,1.006746e-06,1.007579e-06,1.008406e-06,1.008678e-06,1.009433e-06,1.009456e-06,1.009864e-06,1.009943e-06,1.009990e-06,1.009911e-06,1.009830e-06,1.009401e-06,1.008721e-06,1.008453e-06,1.007805e-06,1.007103e-06,1.006669e-06,1.005384e-06,1.005327e-06,1.003793e-06,1.003330e-06,1.002079e-06,1.000971e-06,1.000199e-06,9.983327e-07,9.981645e-07,9.959860e-07,9.954430e-07,9.936745e-07,9.923257e-07,9.912400e-07,9.890035e-07,9.886921e-07,9.860399e-07,9.854976e-07,9.832918e-07,9.818277e-07,9.804561e-07,9.780120e-07,9.775404e-07,9.745520e-07,9.740676e-07,9.714978e-07,9.700103e-07,9.683842e-07,9.658548e-07,9.652175e-07,9.620033e-07,9.616147e-07,9.587473e-07,9.573027e-07,9.554545e-07,9.529304e-07,9.521298e-07,9.487779e-07,9.485087e-07,9.454030e-07,9.440475e-07,9.420092e-07,9.395562e-07,9.386005e-07,9.351803e-07,9.350433e-07,9.317521e-07,9.305166e-07,9.283191e-07,9.259834e-07,9.248842e-07,9.214503e-07,9.169234e-07,9.124083e-07,9.079102e-07,9.034337e-07,8.989831e-07,8.945622e-07,8.901747e-07,8.858236e-07,8.815119e-07,8.772422e-07,8.730168e-07,8.688377e-07,8.647068e-07,8.606257e-07,8.565959e-07,8.526184e-07,8.486946e-07,8.448251e-07,8.410108e-07,8.372522e-07,8.335500e-07,8.299044e-07,8.263157e-07,8.227841e-07
0.000000e+00,6.350500e-10,1.805801e-09,8.345790e-09,2.258984e-08,3.543352e-08,9.236046e-08,9.556986e-08,2.020660e-07,2.419167e-07,3.674278e-07,4.997878e-07,6.033241e-07,8.920007e-07,9.206212e-07,1.329254e-06,1.441899e-06,1.837647e-06,2.168196e-06,2.451471e-06,3.080091e-06,3.172142e-06,3.996267e-06,4.172921e-06,4.916657e-06,5.430261e-06,5.924013e-06,6.829990e-06,7.008195e-06,8.158843e-06,8.348420e-06,9.365566e-06,9.961667e-06,1.061800e-05,1.164596e-05,1.190589e-05,1.321911e-05,1.337793e-05,1.454787e-05,1.513501e-05,1.588279e-05,1.689602e-05,1.721508e-05,1.853658e-05,1.864161e-05,1.983993e-05,2.035469e-05,2.111857e-05,2.202065e-05,2.236679e-05,2.357969e-05,2.362741e-05,2.475319e-05,2.516536e-05,2.588402e-05,2.662726e-05,2.696959e-05,2.800800e-05,2.899795e-05,2.930435e-05,2.993864e-05,3.051468e-05,3.082978e-05,3.163872e-05,3.167144e-05,3.246405e-05,3.267729e-05,3.320833e-05,3.363208e-05,3.390521e-05,3.450546e-05,3.455583e-05,3.516149e-05,3.530031e-05,3.572358e-05,3.601988e-05,3.624360e-05,3.666764e-05,3.672309e-05,3.716365e-05,3.724723e-05,3.756688e-05,3.776236e-05,3.793442e-05,3.821673e-05,3.826786e-05,3.856879e-05,3.861402e-05,3.883876e-05,3.895781e-05,3.907932e-05,3.925159e-05,3.929195e-05,3.947810e-05,3.949873e-05,3.963918e-05,3.970246e-05,3.977654e-05,3.986588e-05,3.989150e-05,3.998531e-05,3.999194e-05,4.005919e-05,4.008342e-05,4.011430e-05,4.014298e-05,4.015175e-05,4.017262e-05,4.017312e-05,4.017792e-05,4.017620e-05,4.016863e-05,4.015445e-05,4.014568e-05,4.010995e-05,4.006230e-05,4.004466e-05,4.000352e-05,3.996042e-05,3.993438e-05,3.985895e-05,3.985562e-05,3.976791e-05,3.974185e-05,3.967193e-05,3.961062e-05,3.956828e-05,3.946668e-05,3.945757e-05,3.934036e-05,3.931131e-05,3.921716e-05,3.914575e-05,3.908849e-05,3.897112e-05,3.895483e-05,3.881661e-05,3.878846e-05,3.867427e-05,3.859876e-05,3.852821e-05,3.840293e-05,3.837881e-05,3.822642e-05,3.820179e-05,3.807139e-05,3.799612e-05,3.791402e-05,3.778665e-05,3.775462e-05,3.759348e-05,3.757404e-05,3.743085e-05,3.735888e-05,3.726698e-05,3.714176e-05,3.710211e-05,3.693646e-05,3.692318e-05,3.677023e-05,3.670362e-05,3.660361e-05,3.648352e-05,3.643680e-05,3.626994e-05,3.626327e-05,3.610321e-05,3.604324e-05,3.593675e-05,3.582377e-05,3.577069e-05,3.560516e-05,3.538768e-05,3.517158e-05,3.495708e-05,3.474440e-05,3.453371e-05,3.432518e-05,3.411895e-05,3.391514e-05,3.371389e-05,3.351527e-05,3.331939e-05,3.312631e-05,3.293609e-05,3.274879e-05,3.256446e-05,3.238311e-05,3.220480e-05,3.202952e-05,3.185729e-05,3.168813e-05,3.152202e-05,3.135897e-05,3.119896e-05,3.104198e-05
0.000000e+00,9.009643e-10,2.596644e-09,1.231462e-08,3.406596e-08,5.405467e-08,1.451353e-07,1.503626e-07,3.279869e-07,3.962525e-07,6.166839e-07,8.571292e-07,1.050351e-06,1.609954e-06,1.666937e-06,2.504441e-06,2.741812e-06,3.590720e-06,4.310759e-06,4.930885e-06,6.303541e-06,6.503269e-06,8.268169e-06,8.640277e-06,1.018073e-05,1.121959e-05,1.219947e-05,1.395150e-05,1.428944e-05,1.642205e-05,1.676561e-05,1.857396e-05,1.960792e-05,2.072578e-05,2.243610e-05,2.286116e-05,2.496619e-05,2.521617e-05,2.702905e-05,2.792073e-05,2.903982e-05,3.052805e-05,3.099028e-05,3.287386e-05,3.302149e-05,3.468548e-05,3.538911e-05,3.642144e-05,3.762304e-05,3.807925e-05,3.965754e-05,3.971901e-05,4.115590e-05,4.167579e-05,4.257473e-05,4.349465e-05,4.391512e-05,4.517854e-05,4.636696e-05,4.673178e-05,4.748269e-05,4.815975e-05,4.852823e-05,4.946842e-05,4.950628e-05,5.041964e-05,5.066418e-05,5.127118e-05,5.175359e-05,5.206371e-05,5.274316e-05,5.280006e-05,5.348302e-05,5.363928e-05,5.411529e-05,5.444822e-05,5.469952e-05,5.517593e-05,5.523826e-05,5.573394e-05,5.582811e-05,5.618891e-05,5.641016e-05,5.660543e-05,5.692716e-05,5.698564e-05,5.733159e-05,5.738389e-05,5.764520e-05,5.778481e-05,5.792834e-05,5.813409e-05,5.818275e-05,5.841009e-05,5.843562e-05,5.861192e-05,5.869304e-05,5.878974e-05,5.890969e-05,5.894496e-05,5.907889e-05,5.908872e-05,5.919280e-05,5.923303e-05,5.928788e-05,5.934531e-05,5.936525e-05,5.942597e-05,5.942806e-05,5.947104e-05,5.948361e-05,5.950140e-05,5.951410e-05,5.951795e-05,5.952153e-05,5.951294e-05,5.950775e-05,5.949293e-05,5.947446e-05,5.946220e-05,5.942325e-05,5.942144e-05,5.937126e-05,5.935561e-05,5.931227e-05,5.927289e-05,5.924504e-05,5.917635e-05,5.917009e-05,5.908792e-05,5.906718e-05,5.899902e-05,5.894646e-05,5.890384e-05,5.881521e-05,5.880278e-05,5.869627e-05,5.867434e-05,5.858467e-05,5.852475e-05,5.846834e-05,5.836722e-05,5.834763e-05,5.822284e-05,5.820252e-05,5.809429e-05,5.803133e-05,5.796225e-05,5.785430e-05,5.782701e-05,5.768880e-05,5.767203e-05,5.754788e-05,5.748507e-05,5.740447e-05,5.729395e-05,5.725879e-05,5.711104e-05,5.709914e-05,5.696141e-05,5.690108e-05,5.681009e-05,5.670019e-05,5.665725e-05,5.650305e-05,5.649685e-05,5.634764e-05,5.629143e-05,5.619118e-05,5.608424e-05,5.603379e-05,5.587561e-05,5.566581e-05,5.545511e-05,5.524376e-05,5.503198e-05,5.481999e-05,5.460798e-05,5.439613e-05,5.418462e-05,5.397360e-05,5.376321e-05,5.355359e-05,5.334486e-05,5.313714e-05,5.293052e-05,5.272511e-05,5.252100e-05,5.231827e-05,5.211699e-05,5.191723e-05,5.171906e-05,5.152252e-05,5.132768e-05,5.113458e-05,5.094326e-05
0.000000e+00,2.783590e-10,7.755380e-10,3.453482e-09,9.085088e-09,1.405673e-08,3.557044e-08,3.676818e-08,7.607232e-08,9.064744e-08,1.363498e-07,1.844204e-07,2.220286e-07,3.271965e-07,3.376574e-07,4.877971e-07,5.294461e-07,6.766084e-07,8.004119e-07,9.070270e-07,1.144736e-06,1.179615e-06,1.491617e-06,1.558264e-06,1.837006e-06,2.027157e-06,2.207713e-06,2.532469e-06,2.595284e-06,2.992090e-06,3.055994e-06,3.391806e-06,3.583182e-06,3.789403e-06,4.103279e-06,4.180944e-06,4.563355e-06,4.608511e-06,4.934239e-06,5.093281e-06,5.291740e-06,5.553609e-06,5.634449e-06,5.961338e-06,5.986783e-06,6.271703e-06,6.391120e-06,6.565124e-06,6.765787e-06,6.841422e-06,7.100617e-06,7.110632e-06,7.342904e-06,7.426049e-06,7.568618e-06,7.712860e-06,7.778204e-06,7.972195e-06,8.151186e-06,8.205399e-06,8.315820e-06,8.413960e-06,8.466767e-06,8.599435e-06,8.604712e-06,8.730345e-06,8.763410e-06,8.844352e-06,8.907458e-06,8.947408e-06,9.033111e-06,9.040168e-06,9.123266e-06,9.141841e-06,9.197314e-06,9.235046e-06,9.262895e-06,9.314046e-06,9.320566e-06,9.370858e-06,9.380076e-06,9.414271e-06,9.434286e-06,9.451279e-06,9.477743e-06,9.482328e-06,9.507839e-06,9.511434e-06,9.528208e-06,9.536269e-06,9.543807e-06,9.553086e-06,9.554983e-06,9.562063e-06,9.562652e-06,9.565353e-06,9.565673e-06,9.565137e-06,9.562795e-06,9.561684e-06,9.555244e-06,9.554607e-06,9.546049e-06,9.541649e-06,9.534318e-06,9.524416e-06,9.520254e-06,9.504048e-06,9.503358e-06,9.485876e-06,9.478885e-06,9.465903e-06,9.451373e-06,9.444285e-06,9.421164e-06,9.396675e-06,9.388570e-06,9.370943e-06,9.353876e-06,9.344085e-06,9.317341e-06,9.316208e-06,9.287414e-06,9.279201e-06,9.257798e-06,9.239671e-06,9.227447e-06,9.198946e-06,9.196443e-06,9.164862e-06,9.157205e-06,9.132775e-06,9.114610e-06,9.100248e-06,9.071309e-06,9.067342e-06,9.034114e-06,9.027435e-06,9.000618e-06,8.983110e-06,8.966902e-06,8.938445e-06,8.933013e-06,8.898993e-06,8.893540e-06,8.864881e-06,8.848486e-06,8.830715e-06,8.803365e-06,8.796528e-06,8.762352e-06,8.758253e-06,8.728216e-06,8.713215e-06,8.694146e-06,8.668315e-06,8.660170e-06,8.626308e-06,8.623605e-06,8.592583e-06,8.579136e-06,8.559015e-06,8.534953e-06,8.525621e-06,8.492419e-06,8.491095e-06,8.459423e-06,8.447598e-06,8.426648e-06,8.404493e-06,8.394106e-06,8.361809e-06,8.319571e-06,8.277801e-06,8.236519e-06,8.195741e-06,8.155482e-06,8.115754e-06,8.076569e-06,8.037936e-06,7.999861e-06,7.962351e-06,7.925410e-06,7.889042e-06,7.853249e-06,7.818032e-06,7.783393e-06,7.749329e-06,7.715841e-06,7.682925e-06,7.650581e-06,7.618804e-06,7.587591e-06,7.556937e-06,7.526839e-06,7.497292e-06
0.000000e+00,1.022668e-09,2.722924e-09,1.126997e-08,2.825398e-08,4.281660e-08,1.041389e-07,1.075109e-07,2.172776e-07,2.577989e-07,3.849120e-07,5.191146e-07,6.245803e-07,9.212549e-07,9.508427e-07,1.374295e-06,1.490702e-06,1.895548e-06,2.226914e-06,2.505275e-06,3.104821e-06,3.190657e-06,3.940085e-06,4.096782e-06,4.743936e-06,5.180643e-06,5.593850e-06,6.337653e-06,6.482013e-06,7.400763e-06,7.550091e-06,8.342467e-06,8.800413e-06,9.299563e-06,1.007135e-05,1.026466e-05,1.123070e-05,1.134637e-05,1.219106e-05,1.261023e-05,1.313967e-05,1.384940e-05,1.407112e-05,1.498065e-05,1.505234e-05,1.586424e-05,1.620964e-05,1.671855e-05,1.731397e-05,1.754086e-05,1.832909e-05,1.835988e-05,1.908172e-05,1.934374e-05,1.979773e-05,2.026338e-05,2.047653e-05,2.111792e-05,2.172204e-05,2.190754e-05,2.228927e-05,2.263322e-05,2.282024e-05,2.329659e-05,2.331574e-05,2.377672e-05,2.389975e-05,2.420424e-05,2.444515e-05,2.459941e-05,2.493545e-05,2.496345e-05,2.529758e-05,2.537345e-05,2.560304e-05,2.576206e-05,2.588111e-05,2.610416e-05,2.613305e-05,2.636009e-05,2.640262e-05,2.656346e-05,2.666024e-05,2.674433e-05,2.687974e-05,2.690388e-05,2.704323e-05,2.706372e-05,2.716347e-05,2.721471e-05,2.726566e-05,2.733510e-05,2.735082e-05,2.741991e-05,2.742717e-05,2.747388e-05,2.749307e-05,2.751362e-05,2.753484e-05,2.753999e-05,2.755382e-05,2.755441e-05,2.755589e-05,2.755359e-05,2.754694e-05,2.753408e-05,2.752770e-05,2.749883e-05,2.749748e-05,2.746099e-05,2.744529e-05,2.741479e-05,2.737890e-05,2.736082e-05,2.729963e-05,2.723174e-05,2.720869e-05,2.715766e-05,2.710722e-05,2.707786e-05,2.699629e-05,2.699279e-05,2.690287e-05,2.687688e-05,2.680850e-05,2.674991e-05,2.671007e-05,2.661623e-05,2.660793e-05,2.650242e-05,2.647664e-05,2.639387e-05,2.633186e-05,2.628257e-05,2.618258e-05,2.616881e-05,2.605286e-05,2.602943e-05,2.593497e-05,2.587298e-05,2.581538e-05,2.571377e-05,2.569431e-05,2.557198e-05,2.555230e-05,2.544857e-05,2.538901e-05,2.532429e-05,2.522434e-05,2.519929e-05,2.507375e-05,2.505865e-05,2.494781e-05,2.489231e-05,2.482163e-05,2.472564e-05,2.469532e-05,2.456903e-05,2.455893e-05,2.444285e-05,2.439244e-05,2.431691e-05,2.422644e-05,2.419131e-05,2.406612e-05,2.406113e-05,2.394146e-05,2.389672e-05,2.381738e-05,2.373339e-05,2.369397e-05,2.357131e-05,2.341062e-05,2.325145e-05,2.309394e-05,2.293817e-05,2.278424e-05,2.263224e-05,2.248224e-05,2.233428e-05,2.218844e-05,2.204475e-05,2.190324e-05,2.176396e-05,2.162691e-05,2.149212e-05,2.135961e-05,2.122937e-05,2.110141e-05,2.097573e-05,2.085232e-05,2.073118e-05,2.061229e-05,2.049564e-05,2.038122e-05,2.026899e-05
0.000000e+00,2.210911e-10,5.471987e-10,2.044631e-09,4.822889e-09,7.121240e-09,1.642853e-08,1.692917e-08,3.284945e-08,3.858744e-08,5.624493e-08,7.444999e-08,8.851255e-08,1.272357e-07,1.310463e-07,1.849798e-07,1.996818e-07,2.506431e-07,2.922559e-07,3.271586e-07,4.020839e-07,4.127735e-07,5.055799e-07,5.248522e-07,6.039112e-07,6.567565e-07,7.063766e-07,7.947621e-07,8.117781e-07,9.190348e-07,9.363001e-07,1.027144e-06,1.079062e-06,1.135169e-06,1.220940e-06,1.242238e-06,1.347558e-06,1.360044e-06,1.450421e-06,1.494741e-06,1.550214e-06,1.623681e-06,1.646419e-06,1.738617e-06,1.745810e-06,1.826490e-06,1.860373e-06,1.909805e-06,1.966885e-06,1.988416e-06,2.062251e-06,2.065105e-06,2.131302e-06,2.154997e-06,2.195616e-06,2.236688e-06,2.255284e-06,2.310436e-06,2.361228e-06,2.376589e-06,2.407838e-06,2.435561e-06,2.450457e-06,2.487805e-06,2.489288e-06,2.524537e-06,2.533793e-06,2.556411e-06,2.574002e-06,2.585118e-06,2.608902e-06,2.610856e-06,2.633821e-06,2.638941e-06,2.654199e-06,2.664549e-06,2.672171e-06,2.686129e-06,2.687905e-06,2.701562e-06,2.704058e-06,2.713295e-06,2.718683e-06,2.723246e-06,2.730325e-06,2.731548e-06,2.738325e-06,2.739276e-06,2.743695e-06,2.745805e-06,2.747766e-06,2.750155e-06,2.750638e-06,2.752405e-06,2.752547e-06,2.753154e-06,2.753182e-06,2.752966e-06,2.752242e-06,2.751915e-06,2.750072e-06,2.749892e-06,2.747499e-06,2.746279e-06,2.744257e-06,2.741540e-06,2.740401e-06,2.735982e-06,2.735794e-06,2.731046e-06,2.729152e-06,2.725639e-06,2.721714e-06,2.719801e-06,2.713569e-06,2.706978e-06,2.704798e-06,2.700060e-06,2.695475e-06,2.692846e-06,2.685667e-06,2.685363e-06,2.677638e-06,2.675434e-06,2.669693e-06,2.664831e-06,2.661552e-06,2.653907e-06,2.653235e-06,2.644762e-06,2.642707e-06,2.636149e-06,2.631271e-06,2.627414e-06,2.619638e-06,2.618572e-06,2.609637e-06,2.607840e-06,2.600623e-06,2.595909e-06,2.591542e-06,2.583871e-06,2.582406e-06,2.573225e-06,2.571752e-06,2.564009e-06,2.559575e-06,2.554767e-06,2.547361e-06,2.545509e-06,2.536241e-06,2.535129e-06,2.526973e-06,2.522896e-06,2.517709e-06,2.510677e-06,2.508458e-06,2.499224e-06,2.498486e-06,2.490013e-06,2.486337e-06,2.480831e-06,2.474241e-06,2.471683e-06,2.462572e-06,2.462208e-06,2.453503e-06,2.450249e-06,2.444479e-06,2.438371e-06,2.435505e-06,2.426583e-06,2.414891e-06,2.403301e-06,2.391820e-06,2.380452e-06,2.369202e-06,2.358073e-06,2.347069e-06,2.336194e-06,2.325449e-06,2.314837e-06,2.304361e-06,2.294020e-06,2.283818e-06,2.273754e-06,2.263831e-06,2.254047e-06,2.244405e-06,2.234903e-06,2.225542e-06,2.216322e-06,2.207242e-06,2.198302e-06,2.189502e-06,2.180841e-06
0.000000e+00,1.255443e-10,2.961657e-10,1.050618e-09,2.424758e-09,3.557195e-09,8.163534e-09,8.412878e-09,1.644208e-08,1.938439e-08,2.859436e-08,3.831898e-08,4.597387e-08,6.758694e-08,6.974919e-08,1.008224e-07,1.094017e-07,1.393217e-07,1.638467e-07,1.844234e-07,2.285149e-07,2.347919e-07,2.891225e-07,3.003669e-07,3.463628e-07,3.770002e-07,4.056991e-07,4.566831e-07,4.664821e-07,5.281654e-07,5.380854e-07,5.902683e-07,6.200981e-07,6.523579e-07,7.017545e-07,7.140412e-07,7.749652e-07,7.822097e-07,8.348159e-07,8.607380e-07,8.933190e-07,9.367357e-07,9.502423e-07,1.005394e-06,1.009725e-06,1.058621e-06,1.079345e-06,1.109806e-06,1.145349e-06,1.158868e-06,1.205753e-06,1.207583e-06,1.250435e-06,1.265979e-06,1.292909e-06,1.320537e-06,1.333190e-06,1.371309e-06,1.407309e-06,1.418390e-06,1.441244e-06,1.461906e-06,1.473174e-06,1.502003e-06,1.503166e-06,1.531291e-06,1.538842e-06,1.557624e-06,1.572594e-06,1.582239e-06,1.603431e-06,1.605211e-06,1.626614e-06,1.631526e-06,1.646524e-06,1.657047e-06,1.665011e-06,1.680159e-06,1.682146e-06,1.697998e-06,1.701020e-06,1.712632e-06,1.719781e-06,1.726111e-06,1.736585e-06,1.738496e-06,1.749845e-06,1.751569e-06,1.760215e-06,1.764860e-06,1.769657e-06,1.776578e-06,1.778224e-06,1.785963e-06,1.786838e-06,1.792920e-06,1.795744e-06,1.799138e-06,1.803396e-06,1.804660e-06,1.809524e-06,1.809885e-06,1.813767e-06,1.815299e-06,1.817426e-06,1.819717e-06,1.820534e-06,1.823122e-06,1.823215e-06,1.825220e-06,1.825862e-06,1.826858e-06,1.827723e-06,1.828062e-06,1.828858e-06,1.829270e-06,1.829324e-06,1.829321e-06,1.829174e-06,1.829032e-06,1.828455e-06,1.828425e-06,1.827519e-06,1.827214e-06,1.826332e-06,1.825492e-06,1.824881e-06,1.823328e-06,1.823183e-06,1.821255e-06,1.820759e-06,1.819109e-06,1.817819e-06,1.816762e-06,1.814539e-06,1.814225e-06,1.811511e-06,1.810949e-06,1.808633e-06,1.807075e-06,1.805601e-06,1.802944e-06,1.802427e-06,1.799119e-06,1.798578e-06,1.795688e-06,1.794000e-06,1.792143e-06,1.789230e-06,1.788492e-06,1.784743e-06,1.784287e-06,1.780904e-06,1.779188e-06,1.776982e-06,1.773950e-06,1.772984e-06,1.768917e-06,1.768589e-06,1.764787e-06,1.763118e-06,1.760599e-06,1.757551e-06,1.756359e-06,1.752072e-06,1.751900e-06,1.747743e-06,1.746176e-06,1.743378e-06,1.740390e-06,1.738979e-06,1.734552e-06,1.728670e-06,1.722754e-06,1.716812e-06,1.710850e-06,1.704875e-06,1.698894e-06,1.692913e-06,1.686937e-06,1.680971e-06,1.675020e-06,1.669087e-06,1.663178e-06,1.657295e-06,1.651442e-06,1.645623e-06,1.639839e-06,1.634094e-06,1.628390e-06,1.622729e-06,1.617114e-06,1.611546e-06,1.606026e-06,1.600557e-06,1.595140e-06
0.000000e+00,8.913265e-09,2.629705e-08,1.306372e-07,3.761550e-07,6.096713e-07,1.725640e-06,1.791538e-06,4.108530e-06,5.030136e-06,8.089181e-06,1.153240e-05,1.435432e-05,2.266916e-05,2.352096e-05,3.599631e-05,3.949695e-05,5.184571e-05,6.212169e-05,7.085159e-05,8.989609e-05,9.264452e-05,1.167998e-04,1.218763e-04,1.428870e-04,1.570768e-04,1.704898e-04,1.945574e-04,1.992126e-04,2.286819e-04,2.334424e-04,2.585463e-04,2.729245e-04,2.884783e-04,3.122686e-04,3.181757e-04,3.473641e-04,3.508206e-04,3.757998e-04,3.880175e-04,4.032716e-04,4.233948e-04,4.296017e-04,4.546461e-04,4.565905e-04,4.782941e-04,4.873438e-04,5.004674e-04,5.154906e-04,5.211172e-04,5.402213e-04,5.409533e-04,5.577810e-04,5.637280e-04,5.738178e-04,5.838720e-04,5.883701e-04,6.014895e-04,6.132369e-04,6.167174e-04,6.236811e-04,6.297153e-04,6.328956e-04,6.406558e-04,6.409571e-04,6.479432e-04,6.497172e-04,6.539313e-04,6.570766e-04,6.589969e-04,6.629055e-04,6.632133e-04,6.666505e-04,6.673670e-04,6.693752e-04,6.706132e-04,6.714498e-04,6.727841e-04,6.729327e-04,6.738782e-04,6.740074e-04,6.743369e-04,6.743985e-04,6.743550e-04,6.740611e-04,6.739753e-04,6.732366e-04,6.730875e-04,6.721747e-04,6.715598e-04,6.708221e-04,6.695505e-04,6.692082e-04,6.673601e-04,6.671237e-04,6.653020e-04,6.643358e-04,6.630564e-04,6.612366e-04,6.606431e-04,6.580805e-04,6.578696e-04,6.553851e-04,6.542732e-04,6.525719e-04,6.504811e-04,6.496545e-04,6.466452e-04,6.465231e-04,6.435553e-04,6.424252e-04,6.403950e-04,6.382105e-04,6.371735e-04,6.338993e-04,6.305801e-04,6.295097e-04,6.272230e-04,6.250574e-04,6.238342e-04,6.205566e-04,6.204196e-04,6.169847e-04,6.160199e-04,6.135342e-04,6.114583e-04,6.100726e-04,6.068817e-04,6.066040e-04,6.031322e-04,6.022989e-04,5.996606e-04,5.977178e-04,5.961924e-04,5.931454e-04,5.927303e-04,5.892771e-04,5.885878e-04,5.858352e-04,5.840507e-04,5.824069e-04,5.795390e-04,5.789940e-04,5.755986e-04,5.750571e-04,5.722223e-04,5.706089e-04,5.688666e-04,5.661979e-04,5.655330e-04,5.622227e-04,5.618271e-04,5.589369e-04,5.574992e-04,5.556767e-04,5.532167e-04,5.524431e-04,5.492369e-04,5.489816e-04,5.460589e-04,5.447957e-04,5.429097e-04,5.406606e-04,5.397902e-04,5.367007e-04,5.365777e-04,5.336418e-04,5.325481e-04,5.306139e-04,5.285728e-04,5.276174e-04,5.246526e-04,5.207880e-04,5.169797e-04,5.132279e-04,5.095330e-04,5.058951e-04,5.023143e-04,4.987905e-04,4.953235e-04,4.919133e-04,4.885596e-04,4.852620e-04,4.820202e-04,4.788338e-04,4.757022e-04,4.726251e-04,4.696019e-04,4.666320e-04,4.637147e-04,4.608496e-04,4.580360e-04,4.552731e-04,4.525604e-04,4.498971e-04,4.472825e-04
0.000000e+00,1.244297e-10,3.515122e-10,1.605382e-09,4.306366e-09,6.725954e-09,1.737343e-08,1.797152e-08,3.775699e-08,4.514336e-08,6.838443e-08,9.288575e-08,1.120586e-07,1.655845e-07,1.708979e-07,2.469063e-07,2.679089e-07,3.418766e-07,4.038836e-07,4.571937e-07,5.760654e-07,5.935360e-07,7.505600e-07,7.843333e-07,9.267551e-07,1.025152e-06,1.119624e-06,1.292296e-06,1.326119e-06,1.543097e-06,1.578586e-06,1.767618e-06,1.877288e-06,1.997072e-06,2.182651e-06,2.229190e-06,2.462015e-06,2.489919e-06,2.693865e-06,2.795189e-06,2.923294e-06,3.095275e-06,3.149070e-06,3.370156e-06,3.387614e-06,3.585692e-06,3.670191e-06,3.794980e-06,3.941482e-06,3.997467e-06,4.192734e-06,4.200390e-06,4.380481e-06,4.446187e-06,4.560507e-06,4.678456e-06,4.732704e-06,4.897037e-06,5.053536e-06,5.101973e-06,5.202283e-06,5.293470e-06,5.343404e-06,5.471854e-06,5.477059e-06,5.603433e-06,5.637541e-06,5.722735e-06,5.791013e-06,5.835186e-06,5.932790e-06,5.941019e-06,6.040474e-06,6.063421e-06,6.133793e-06,6.183462e-06,6.221220e-06,6.293475e-06,6.302998e-06,6.379369e-06,6.394015e-06,6.450567e-06,6.485623e-06,6.516825e-06,6.568828e-06,6.578368e-06,6.635414e-06,6.644139e-06,6.688178e-06,6.712044e-06,6.736865e-06,6.773011e-06,6.781672e-06,6.822791e-06,6.827486e-06,6.860406e-06,6.875892e-06,6.894694e-06,6.918632e-06,6.925825e-06,6.953960e-06,6.956087e-06,6.979257e-06,6.988615e-06,7.001865e-06,7.016557e-06,7.021925e-06,7.039575e-06,7.040233e-06,7.054946e-06,7.059945e-06,7.068161e-06,7.075977e-06,7.079340e-06,7.088596e-06,7.096037e-06,7.098053e-06,7.101768e-06,7.104583e-06,7.105886e-06,7.108408e-06,7.108484e-06,7.109653e-06,7.109736e-06,7.109478e-06,7.108761e-06,7.108038e-06,7.105664e-06,7.105412e-06,7.101673e-06,7.100618e-06,7.096891e-06,7.093782e-06,7.091131e-06,7.085304e-06,7.084457e-06,7.076929e-06,7.075326e-06,7.068605e-06,7.063979e-06,7.059537e-06,7.051383e-06,7.049777e-06,7.039375e-06,7.037654e-06,7.028376e-06,7.022898e-06,7.016825e-06,7.007215e-06,7.004764e-06,6.992231e-06,6.990697e-06,6.979265e-06,6.973431e-06,6.965901e-06,6.955498e-06,6.952172e-06,6.938111e-06,6.936973e-06,6.923749e-06,6.917926e-06,6.909113e-06,6.898421e-06,6.894231e-06,6.879128e-06,6.878520e-06,6.863830e-06,6.858279e-06,6.848358e-06,6.837749e-06,6.832735e-06,6.816980e-06,6.796017e-06,6.774901e-06,6.753670e-06,6.732361e-06,6.711007e-06,6.689637e-06,6.668281e-06,6.646963e-06,6.625708e-06,6.604538e-06,6.583473e-06,6.562531e-06,6.541729e-06,6.521082e-06,6.500605e-06,6.480309e-06,6.460207e-06,6.440309e-06,6.420623e-06,6.401159e-06,6.381923e-06,6.362923e-06,6.344163e-06,6.325649e-06
0.000000e+00,1.720476e-09,5.057673e-09,2.492026e-08,7.112794e-08,1.146440e-07,3.188039e-07,3.307009e-07,7.405041e-07,8.996547e-07,1.415788e-06,1.979418e-06,2.431336e-06,3.730912e-06,3.862361e-06,5.775367e-06,6.311608e-06,8.212636e-06,9.810979e-06,1.118259e-05,1.422055e-05,1.466415e-05,1.861762e-05,1.946070e-05,2.299368e-05,2.541852e-05,2.773864e-05,3.196879e-05,3.279682e-05,3.811167e-05,3.898207e-05,4.362638e-05,4.632781e-05,4.928444e-05,5.387668e-05,5.503024e-05,6.080994e-05,6.150331e-05,6.657223e-05,6.908963e-05,7.226919e-05,7.652807e-05,7.785703e-05,8.329670e-05,8.372442e-05,8.855430e-05,9.059979e-05,9.360131e-05,9.709160e-05,9.841467e-05,1.029766e-04,1.031537e-04,1.072745e-04,1.087554e-04,1.113002e-04,1.138802e-04,1.150501e-04,1.185241e-04,1.217254e-04,1.226932e-04,1.246600e-04,1.264017e-04,1.273358e-04,1.296703e-04,1.297627e-04,1.319518e-04,1.325238e-04,1.339151e-04,1.349898e-04,1.356650e-04,1.370976e-04,1.372145e-04,1.385765e-04,1.388769e-04,1.397637e-04,1.403569e-04,1.407886e-04,1.415658e-04,1.416632e-04,1.423991e-04,1.425306e-04,1.430073e-04,1.432765e-04,1.434980e-04,1.438267e-04,1.438811e-04,1.441657e-04,1.442027e-04,1.443603e-04,1.444241e-04,1.444727e-04,1.445084e-04,1.445103e-04,1.444797e-04,1.444718e-04,1.443873e-04,1.443284e-04,1.442385e-04,1.440911e-04,1.440387e-04,1.437927e-04,1.437712e-04,1.435048e-04,1.433789e-04,1.431791e-04,1.429233e-04,1.428193e-04,1.424285e-04,1.424123e-04,1.420101e-04,1.418532e-04,1.415667e-04,1.412522e-04,1.411009e-04,1.406151e-04,1.401114e-04,1.399467e-04,1.395917e-04,1.392516e-04,1.390579e-04,1.385337e-04,1.385117e-04,1.379544e-04,1.377966e-04,1.373876e-04,1.370434e-04,1.368125e-04,1.362770e-04,1.362302e-04,1.356418e-04,1.354998e-04,1.350483e-04,1.347140e-04,1.344506e-04,1.339218e-04,1.338495e-04,1.332459e-04,1.331249e-04,1.326404e-04,1.323250e-04,1.320336e-04,1.315234e-04,1.314262e-04,1.308187e-04,1.307215e-04,1.302116e-04,1.299205e-04,1.296054e-04,1.291213e-04,1.290005e-04,1.283973e-04,1.283251e-04,1.277962e-04,1.275325e-04,1.271975e-04,1.267443e-04,1.266015e-04,1.260086e-04,1.259613e-04,1.254189e-04,1.251840e-04,1.248327e-04,1.244129e-04,1.242502e-04,1.236717e-04,1.236486e-04,1.230972e-04,1.228915e-04,1.225271e-04,1.221419e-04,1.219614e-04,1.214002e-04,1.206667e-04,1.199416e-04,1.192252e-04,1.185176e-04,1.178190e-04,1.171296e-04,1.164494e-04,1.157786e-04,1.151172e-04,1.144653e-04,1.138229e-04,1.131900e-04,1.125667e-04,1.119529e-04,1.113486e-04,1.107538e-04,1.101684e-04,1.095924e-04,1.090258e-04,1.084685e-04,1.079204e-04,1.073814e-04,1.068515e-04,1.063306e-04
0.000000e+00,5.178763e-11,1.203058e-10,4.199499e-10,9.657412e-10,1.419306e-09,3.312980e-09,3.417842e-09,6.919274e-09,8.257761e-09,1.259463e-08,1.731925e-08,2.105993e-08,3.132328e-08,3.231177e-08,4.566411e-08,4.909466e-08,6.038731e-08,6.904752e-08,7.601459e-08,9.029979e-08,9.227906e-08,1.090115e-07,1.124024e-07,1.260811e-07,1.350508e-07,1.433686e-07,1.579723e-07,1.607561e-07,1.781254e-07,1.808949e-07,1.953599e-07,2.035519e-07,2.123492e-07,2.256952e-07,2.289915e-07,2.451970e-07,2.471086e-07,2.608897e-07,2.676156e-07,2.760079e-07,2.870841e-07,2.905047e-07,3.043470e-07,3.054254e-07,3.175146e-07,3.225905e-07,3.299989e-07,3.385646e-07,3.418008e-07,3.529296e-07,3.533610e-07,3.634011e-07,3.670138e-07,3.732361e-07,3.795729e-07,3.824594e-07,3.910983e-07,3.991817e-07,4.016559e-07,4.067394e-07,4.113143e-07,4.138013e-07,4.201419e-07,4.203971e-07,4.265557e-07,4.282056e-07,4.323049e-07,4.355691e-07,4.376714e-07,4.422924e-07,4.426805e-07,4.473561e-07,4.484312e-07,4.517206e-07,4.540367e-07,4.557950e-07,4.591560e-07,4.595988e-07,4.631502e-07,4.638317e-07,4.664661e-07,4.681025e-07,4.695621e-07,4.720035e-07,4.724528e-07,4.751515e-07,4.755663e-07,4.776705e-07,4.788192e-07,4.800214e-07,4.817881e-07,4.822146e-07,4.842599e-07,4.844959e-07,4.861665e-07,4.869635e-07,4.879425e-07,4.892097e-07,4.895957e-07,4.911333e-07,4.912516e-07,4.925620e-07,4.931043e-07,4.938878e-07,4.947820e-07,4.951166e-07,4.962535e-07,4.962972e-07,4.973036e-07,4.976613e-07,4.982716e-07,4.988850e-07,4.991616e-07,4.999777e-07,5.007238e-07,5.009483e-07,5.014033e-07,5.018048e-07,5.020195e-07,5.025545e-07,5.025756e-07,5.030744e-07,5.032042e-07,5.035188e-07,5.037603e-07,5.039112e-07,5.042285e-07,5.042542e-07,5.045501e-07,5.046143e-07,5.048010e-07,5.049226e-07,5.050090e-07,5.051581e-07,5.051760e-07,5.053040e-07,5.053251e-07,5.053947e-07,5.054276e-07,5.054497e-07,5.054695e-07,5.054706e-07,5.054590e-07,5.054542e-07,5.054163e-07,5.053852e-07,5.053439e-07,5.052655e-07,5.052431e-07,5.051152e-07,5.050980e-07,5.049612e-07,5.048856e-07,5.047825e-07,5.046308e-07,5.045801e-07,5.043550e-07,5.043360e-07,5.041082e-07,5.040037e-07,5.038407e-07,5.036359e-07,5.035535e-07,5.032474e-07,5.032347e-07,5.029232e-07,5.028022e-07,5.025818e-07,5.023402e-07,5.022239e-07,5.018504e-07,5.013345e-07,5.007941e-07,5.002308e-07,4.996459e-07,4.990408e-07,4.984168e-07,4.977752e-07,4.971171e-07,4.964437e-07,4.957560e-07,4.950550e-07,4.943418e-07,4.936172e-07,4.928821e-07,4.921374e-07,4.913839e-07,4.906223e-07,4.898533e-07,4.890777e-07,4.882961e-07,4.875092e-07,4.867176e-07,4.859218e-07,4.851223e-07
0.000000e+00,1.906498e-11,4.364856e-11,1.501277e-10,3.418208e-10,4.990787e-10,1.136359e-09,1.170793e-09,2.277710e-09,2.682597e-09,3.947526e-09,5.278131e-09,6.320530e-09,9.228954e-09,9.516526e-09,1.357413e-08,1.467106e-08,1.843488e-08,2.147020e-08,2.399803e-08,2.939852e-08,3.016825e-08,3.686616e-08,3.826290e-08,4.402298e-08,4.790451e-08,5.157454e-08,5.817684e-08,5.945788e-08,6.761005e-08,6.893515e-08,7.596841e-08,8.003553e-08,8.447150e-08,9.133836e-08,9.306023e-08,1.016790e-07,1.027128e-07,1.102766e-07,1.140407e-07,1.188068e-07,1.252194e-07,1.272289e-07,1.355076e-07,1.361628e-07,1.436133e-07,1.468014e-07,1.515213e-07,1.570816e-07,1.592121e-07,1.666704e-07,1.669637e-07,1.738849e-07,1.764208e-07,1.808478e-07,1.854363e-07,1.875543e-07,1.940021e-07,2.001910e-07,2.021170e-07,2.061227e-07,2.097854e-07,2.118003e-07,2.170157e-07,2.172280e-07,2.224112e-07,2.238195e-07,2.273557e-07,2.302105e-07,2.320680e-07,2.362042e-07,2.365551e-07,2.408239e-07,2.418168e-07,2.448818e-07,2.470649e-07,2.487363e-07,2.519658e-07,2.523947e-07,2.558645e-07,2.565364e-07,2.591528e-07,2.607933e-07,2.622668e-07,2.647529e-07,2.652134e-07,2.679996e-07,2.684309e-07,2.706319e-07,2.718426e-07,2.731168e-07,2.750027e-07,2.754605e-07,2.776691e-07,2.779253e-07,2.797485e-07,2.806239e-07,2.817041e-07,2.831111e-07,2.835416e-07,2.852661e-07,2.853993e-07,2.868826e-07,2.875001e-07,2.883959e-07,2.894243e-07,2.898108e-07,2.911316e-07,2.911825e-07,2.923626e-07,2.927846e-07,2.935080e-07,2.942399e-07,2.945715e-07,2.955572e-07,2.964684e-07,2.967449e-07,2.973088e-07,2.978109e-07,2.980815e-07,2.987628e-07,2.987899e-07,2.994369e-07,2.996074e-07,3.000254e-07,3.003516e-07,3.005582e-07,3.010015e-07,3.010380e-07,3.014673e-07,3.015631e-07,3.018486e-07,3.020420e-07,3.021842e-07,3.024434e-07,3.024763e-07,3.027270e-07,3.027724e-07,3.029385e-07,3.030336e-07,3.031126e-07,3.032314e-07,3.032513e-07,3.033562e-07,3.033700e-07,3.034292e-07,3.034533e-07,3.034718e-07,3.034850e-07,3.034856e-07,3.034720e-07,3.034686e-07,3.034326e-07,3.034074e-07,3.033687e-07,3.033045e-07,3.032815e-07,3.031723e-07,3.031627e-07,3.030424e-07,3.029848e-07,3.028928e-07,3.027735e-07,3.027246e-07,3.025389e-07,3.025311e-07,3.023366e-07,3.022600e-07,3.021188e-07,3.019622e-07,3.018862e-07,3.016399e-07,3.012949e-07,3.009291e-07,3.005441e-07,3.001416e-07,2.997230e-07,2.992898e-07,2.988432e-07,2.983847e-07,2.979152e-07,2.974360e-07,2.969481e-07,2.964524e-07,2.959499e-07,2.954414e-07,2.949278e-07,2.944099e-07,2.938882e-07,2.933636e-07,2.928366e-07,2.923078e-07,2.917778e-07,2.912471e-07,2.907162e-07,2.901856e-07
0.000000e+00,1.965775e-11,4.492179e-11,1.541976e-10,3.512333e-10,5.134861e-10,1.177993e-09,1.214230e-09,2.396503e-09,2.836714e-09,4.233210e-09,5.725481e-09,6.901505e-09,1.016736e-08,1.048718e-08,1.492183e-08,1.609644e-08,2.006082e-08,2.319644e-08,2.577443e-08,3.120153e-08,3.196749e-08,3.856777e-08,3.993117e-08,4.551356e-08,4.924250e-08,5.274640e-08,5.900106e-08,6.020781e-08,6.783851e-08,6.907114e-08,7.557890e-08,7.931593e-08,8.337025e-08,8.960187e-08,9.115596e-08,9.888282e-08,9.980369e-08,1.065017e-07,1.098083e-07,1.139690e-07,1.195192e-07,1.212468e-07,1.283030e-07,1.288571e-07,1.351111e-07,1.377601e-07,1.416503e-07,1.461829e-07,1.479047e-07,1.538633e-07,1.540954e-07,1.595192e-07,1.614804e-07,1.648690e-07,1.683319e-07,1.699127e-07,1.746526e-07,1.790934e-07,1.804523e-07,1.832415e-07,1.857461e-07,1.871045e-07,1.905531e-07,1.906914e-07,1.940117e-07,1.948949e-07,1.970755e-07,1.987950e-07,1.998933e-07,2.022776e-07,2.024758e-07,2.048338e-07,2.053674e-07,2.069778e-07,2.080890e-07,2.089185e-07,2.104663e-07,2.106661e-07,2.122308e-07,2.125227e-07,2.136223e-07,2.142806e-07,2.148501e-07,2.157617e-07,2.159233e-07,2.168507e-07,2.169861e-07,2.176406e-07,2.179733e-07,2.183011e-07,2.187415e-07,2.188399e-07,2.192643e-07,2.193079e-07,2.195813e-07,2.196885e-07,2.197975e-07,2.198984e-07,2.199194e-07,2.199528e-07,2.199518e-07,2.199035e-07,2.198618e-07,2.197769e-07,2.196407e-07,2.195781e-07,2.193119e-07,2.192999e-07,2.189831e-07,2.188502e-07,2.185958e-07,2.183012e-07,2.181543e-07,2.176624e-07,2.171238e-07,2.169421e-07,2.165419e-07,2.161484e-07,2.159202e-07,2.152885e-07,2.152615e-07,2.145690e-07,2.143694e-07,2.138453e-07,2.133971e-07,2.130930e-07,2.123777e-07,2.123145e-07,2.115123e-07,2.113165e-07,2.106885e-07,2.102184e-07,2.098450e-07,2.090881e-07,2.089839e-07,2.081069e-07,2.079298e-07,2.072158e-07,2.067474e-07,2.063121e-07,2.055445e-07,2.053974e-07,2.044731e-07,2.043244e-07,2.035405e-07,2.030903e-07,2.026008e-07,2.018449e-07,2.016553e-07,2.007051e-07,2.005908e-07,1.997510e-07,1.993303e-07,1.987943e-07,1.980658e-07,1.978356e-07,1.968759e-07,1.967991e-07,1.959160e-07,1.955321e-07,1.949565e-07,1.942663e-07,1.939982e-07,1.930417e-07,1.930035e-07,1.920876e-07,1.917448e-07,1.911365e-07,1.904916e-07,1.901888e-07,1.892451e-07,1.880062e-07,1.867760e-07,1.855551e-07,1.843445e-07,1.831447e-07,1.819564e-07,1.807801e-07,1.796164e-07,1.784655e-07,1.773279e-07,1.762039e-07,1.750938e-07,1.739977e-07,1.729160e-07,1.718486e-07,1.707959e-07,1.697578e-07,1.687344e-07,1.677257e-07,1.667319e-07,1.657528e-07,1.647885e-07,1.638388e-07,1.629039e-07
0.000000e+00,1.180326e-09,3.381035e-09,1.584196e-08,4.336433e-08,6.841845e-08,1.810023e-07,1.874064e-07,4.024869e-07,4.840912e-07,7.445304e-07,1.024241e-06,1.246264e-06,1.877729e-06,1.941161e-06,2.856966e-06,3.111326e-06,4.004736e-06,4.745840e-06,5.374723e-06,6.746301e-06,6.944344e-06,8.688150e-06,9.055694e-06,1.058261e-05,1.162022e-05,1.260674e-05,1.439304e-05,1.474119e-05,1.696728e-05,1.733071e-05,1.926636e-05,2.039034e-05,2.161966e-05,2.352867e-05,2.400834e-05,2.641378e-05,2.670270e-05,2.881793e-05,2.987088e-05,3.120361e-05,3.299452e-05,3.355488e-05,3.585726e-05,3.603895e-05,3.809792e-05,3.897435e-05,4.026576e-05,4.177623e-05,4.235149e-05,4.434758e-05,4.442547e-05,4.624819e-05,4.690818e-05,4.804908e-05,4.921523e-05,4.974744e-05,5.134179e-05,5.283179e-05,5.328664e-05,5.421810e-05,5.505157e-05,5.550220e-05,5.664080e-05,5.668627e-05,5.777307e-05,5.806037e-05,5.876578e-05,5.931770e-05,5.966793e-05,6.042116e-05,6.048328e-05,6.121578e-05,6.137970e-05,6.186946e-05,6.220261e-05,6.244838e-05,6.289921e-05,6.295660e-05,6.339813e-05,6.347878e-05,6.377691e-05,6.395034e-05,6.409675e-05,6.432260e-05,6.436138e-05,6.457435e-05,6.460386e-05,6.473910e-05,6.480201e-05,6.485889e-05,6.492446e-05,6.493686e-05,6.497597e-05,6.497819e-05,6.497907e-05,6.496972e-05,6.494883e-05,6.490510e-05,6.488776e-05,6.479825e-05,6.478993e-05,6.468253e-05,6.462938e-05,6.454270e-05,6.442820e-05,6.438073e-05,6.419850e-05,6.419081e-05,6.399774e-05,6.392125e-05,6.378009e-05,6.362322e-05,6.354708e-05,6.330013e-05,6.304058e-05,6.295507e-05,6.276968e-05,6.259089e-05,6.248859e-05,6.221017e-05,6.219840e-05,6.190012e-05,6.181529e-05,6.159470e-05,6.140839e-05,6.128302e-05,6.099144e-05,6.096589e-05,6.064407e-05,6.056621e-05,6.031827e-05,6.013432e-05,5.998914e-05,5.969724e-05,5.965729e-05,5.932329e-05,5.925628e-05,5.898766e-05,5.881265e-05,5.865088e-05,5.836743e-05,5.831340e-05,5.797564e-05,5.792160e-05,5.763797e-05,5.747602e-05,5.730074e-05,5.703150e-05,5.696428e-05,5.662889e-05,5.658872e-05,5.629483e-05,5.614833e-05,5.596235e-05,5.571088e-05,5.563170e-05,5.530307e-05,5.527687e-05,5.497665e-05,5.484674e-05,5.465262e-05,5.442089e-05,5.433114e-05,5.401234e-05,5.399964e-05,5.369635e-05,5.358331e-05,5.338330e-05,5.317215e-05,5.307328e-05,5.276638e-05,5.236619e-05,5.197174e-05,5.158316e-05,5.120057e-05,5.082404e-05,5.045365e-05,5.008944e-05,4.973144e-05,4.937966e-05,4.903412e-05,4.869480e-05,4.836168e-05,4.803472e-05,4.771391e-05,4.739917e-05,4.709048e-05,4.678775e-05,4.649094e-05,4.619997e-05,4.591477e-05,4.563526e-05,4.536137e-05,4.509300e-05,4.483008e-05
0.000000e+00,3.106357e-11,7.130664e-11,2.462399e-10,5.623100e-10,8.222157e-10,1.878620e-09,1.935802e-09,3.777488e-09,4.452490e-09,6.565303e-09,8.795095e-09,1.054839e-08,1.547930e-08,1.597037e-08,2.296958e-08,2.488327e-08,3.151064e-08,3.691638e-08,4.145539e-08,5.125624e-08,5.266416e-08,6.502800e-08,6.763155e-08,7.846057e-08,8.584214e-08,9.288456e-08,1.057103e-07,1.082225e-07,1.243919e-07,1.270503e-07,1.413040e-07,1.496579e-07,1.588637e-07,1.733107e-07,1.769710e-07,1.955230e-07,1.977741e-07,2.144154e-07,2.228094e-07,2.335454e-07,2.481812e-07,2.528126e-07,2.721214e-07,2.736652e-07,2.913822e-07,2.990544e-07,3.105125e-07,3.241630e-07,3.294371e-07,3.480884e-07,3.488279e-07,3.664073e-07,3.729105e-07,3.843420e-07,3.962954e-07,4.018485e-07,4.188900e-07,4.354362e-07,4.406223e-07,4.514631e-07,4.614389e-07,4.669520e-07,4.813026e-07,4.818894e-07,4.962662e-07,5.001904e-07,5.100771e-07,5.180912e-07,5.233205e-07,5.350040e-07,5.359973e-07,5.481114e-07,5.509356e-07,5.596684e-07,5.658998e-07,5.706760e-07,5.799153e-07,5.811432e-07,5.910805e-07,5.930054e-07,6.004992e-07,6.051959e-07,6.094113e-07,6.165154e-07,6.178297e-07,6.257675e-07,6.269939e-07,6.332383e-07,6.366625e-07,6.402559e-07,6.455530e-07,6.468342e-07,6.529870e-07,6.536975e-07,6.587284e-07,6.611279e-07,6.640722e-07,6.678760e-07,6.690321e-07,6.736217e-07,6.739733e-07,6.778543e-07,6.794504e-07,6.817431e-07,6.843373e-07,6.853009e-07,6.885404e-07,6.886635e-07,6.914739e-07,6.924574e-07,6.941136e-07,6.957467e-07,6.964711e-07,6.985579e-07,7.003853e-07,7.009170e-07,7.019640e-07,7.028488e-07,7.033047e-07,7.043772e-07,7.044175e-07,7.053124e-07,7.055253e-07,7.059991e-07,7.063151e-07,7.064869e-07,7.067678e-07,7.067848e-07,7.069017e-07,7.069037e-07,7.068459e-07,7.067423e-07,7.066257e-07,7.063022e-07,7.062490e-07,7.057235e-07,7.056012e-07,7.050565e-07,7.046561e-07,7.042551e-07,7.034832e-07,7.033264e-07,7.022767e-07,7.020980e-07,7.011127e-07,7.005152e-07,6.998405e-07,6.987487e-07,6.984659e-07,6.969947e-07,6.968119e-07,6.954324e-07,6.947175e-07,6.937843e-07,6.924775e-07,6.920554e-07,6.902508e-07,6.901033e-07,6.883751e-07,6.876059e-07,6.864327e-07,6.849954e-07,6.844281e-07,6.823655e-07,6.822818e-07,6.802487e-07,6.794742e-07,6.780817e-07,6.765813e-07,6.758681e-07,6.736115e-07,6.705726e-07,6.674720e-07,6.643166e-07,6.611131e-07,6.578676e-07,6.545861e-07,6.512739e-07,6.479364e-07,6.445783e-07,6.412043e-07,6.378186e-07,6.344252e-07,6.310279e-07,6.276302e-07,6.242354e-07,6.208465e-07,6.174664e-07,6.140978e-07,6.107431e-07,6.074047e-07,6.040846e-07,6.007848e-07,5.975071e-07,5.942533e-07
0.000000e+00,1.730774e-11,3.974965e-11,1.375456e-10,3.150542e-10,4.616968e-10,1.063125e-09,1.095904e-09,2.162214e-09,2.557611e-09,3.808393e-09,5.146408e-09,6.208951e-09,9.234023e-09,9.537613e-09,1.389257e-08,1.508861e-08,1.923198e-08,2.260150e-08,2.541751e-08,3.144541e-08,3.230495e-08,3.978216e-08,4.134061e-08,4.776479e-08,5.209231e-08,5.618402e-08,6.354813e-08,6.497785e-08,7.408676e-08,7.556949e-08,8.345211e-08,8.802156e-08,9.301613e-08,1.007725e-07,1.027226e-07,1.125175e-07,1.136964e-07,1.223504e-07,1.266766e-07,1.321744e-07,1.396087e-07,1.419474e-07,1.516318e-07,1.524017e-07,1.611945e-07,1.649791e-07,1.706073e-07,1.772780e-07,1.798462e-07,1.888911e-07,1.892486e-07,1.977259e-07,2.008524e-07,2.063375e-07,2.120608e-07,2.147161e-07,2.228539e-07,2.307459e-07,2.332187e-07,2.383885e-07,2.431481e-07,2.457801e-07,2.526395e-07,2.529203e-07,2.598098e-07,2.616942e-07,2.664504e-07,2.703162e-07,2.728444e-07,2.785118e-07,2.789950e-07,2.849059e-07,2.862893e-07,2.905811e-07,2.936580e-07,2.960252e-07,3.006284e-07,3.012427e-07,3.062386e-07,3.072116e-07,3.110180e-07,3.134194e-07,3.155860e-07,3.192636e-07,3.199478e-07,3.241088e-07,3.247563e-07,3.280743e-07,3.299099e-07,3.318496e-07,3.347364e-07,3.354400e-07,3.388507e-07,3.392481e-07,3.420870e-07,3.434570e-07,3.451539e-07,3.473748e-07,3.480568e-07,3.508004e-07,3.510131e-07,3.533898e-07,3.543834e-07,3.558298e-07,3.574967e-07,3.581251e-07,3.602805e-07,3.603639e-07,3.623006e-07,3.629955e-07,3.641898e-07,3.654019e-07,3.659524e-07,3.675929e-07,3.691153e-07,3.695783e-07,3.705238e-07,3.713673e-07,3.718224e-07,3.729692e-07,3.730149e-07,3.741052e-07,3.743927e-07,3.750969e-07,3.756462e-07,3.759937e-07,3.767379e-07,3.767990e-07,3.775163e-07,3.776757e-07,3.781488e-07,3.784672e-07,3.786998e-07,3.791198e-07,3.791725e-07,3.795698e-07,3.796404e-07,3.798947e-07,3.800360e-07,3.801501e-07,3.803130e-07,3.803388e-07,3.804634e-07,3.804776e-07,3.805267e-07,3.805359e-07,3.805310e-07,3.804938e-07,3.804790e-07,3.803729e-07,3.803567e-07,3.802152e-07,3.801299e-07,3.800079e-07,3.798187e-07,3.797534e-07,3.794536e-07,3.794278e-07,3.791107e-07,3.789619e-07,3.787266e-07,3.784256e-07,3.783032e-07,3.778423e-07,3.778231e-07,3.773457e-07,3.771586e-07,3.768152e-07,3.764359e-07,3.762524e-07,3.756589e-07,3.748311e-07,3.739559e-07,3.730367e-07,3.720765e-07,3.710783e-07,3.700450e-07,3.689793e-07,3.678838e-07,3.667609e-07,3.656130e-07,3.644423e-07,3.632508e-07,3.620408e-07,3.608139e-07,3.595722e-07,3.583172e-07,3.570507e-07,3.557742e-07,3.544892e-07,3.531970e-07,3.518990e-07,3.505964e-07,3.492905e-07,3.479823e-07
0.000000e+00,7.872214e-10,2.136865e-09,9.133118e-09,2.345609e-08,3.599188e-08,9.049932e-08,9.356460e-08,1.965875e-07,2.360573e-07,3.641984e-07,5.055407e-07,6.200970e-07,9.532634e-07,9.870662e-07,1.474875e-06,1.609184e-06,2.073783e-06,2.450013e-06,2.762964e-06,3.427660e-06,3.521830e-06,4.334376e-06,4.502228e-06,5.188743e-06,5.646413e-06,6.075714e-06,6.840270e-06,6.987540e-06,7.917270e-06,8.067251e-06,8.858440e-06,9.312460e-06,9.804950e-06,1.056215e-05,1.075108e-05,1.169155e-05,1.180380e-05,1.262155e-05,1.302631e-05,1.353679e-05,1.422019e-05,1.443355e-05,1.530863e-05,1.537762e-05,1.615941e-05,1.649242e-05,1.698375e-05,1.755997e-05,1.778002e-05,1.854699e-05,1.857705e-05,1.928383e-05,1.954160e-05,1.999002e-05,2.045259e-05,2.066533e-05,2.130979e-05,2.192360e-05,2.211361e-05,2.250715e-05,2.286497e-05,2.306095e-05,2.356519e-05,2.358562e-05,2.408187e-05,2.421583e-05,2.455046e-05,2.481867e-05,2.499220e-05,2.537563e-05,2.540795e-05,2.579857e-05,2.588867e-05,2.616493e-05,2.635983e-05,2.650792e-05,2.679112e-05,2.682842e-05,2.712730e-05,2.718456e-05,2.740542e-05,2.754212e-05,2.766362e-05,2.786573e-05,2.790274e-05,2.812358e-05,2.815727e-05,2.832692e-05,2.841854e-05,2.851354e-05,2.865129e-05,2.868418e-05,2.883955e-05,2.885721e-05,2.898037e-05,2.903788e-05,2.910729e-05,2.919486e-05,2.922097e-05,2.932204e-05,2.932960e-05,2.941111e-05,2.944351e-05,2.948876e-05,2.953791e-05,2.955555e-05,2.961202e-05,2.961407e-05,2.965869e-05,2.967319e-05,2.969606e-05,2.971641e-05,2.972461e-05,2.974480e-05,2.975708e-05,2.975940e-05,2.976186e-05,2.976117e-05,2.975955e-05,2.975102e-05,2.975054e-05,2.973521e-05,2.972983e-05,2.971390e-05,2.969840e-05,2.968697e-05,2.965751e-05,2.965474e-05,2.961753e-05,2.960788e-05,2.957562e-05,2.955021e-05,2.952931e-05,2.948513e-05,2.947887e-05,2.942457e-05,2.941326e-05,2.936664e-05,2.933517e-05,2.930534e-05,2.925139e-05,2.924088e-05,2.917348e-05,2.916244e-05,2.910335e-05,2.906878e-05,2.903069e-05,2.897087e-05,2.895569e-05,2.887852e-05,2.886912e-05,2.879935e-05,2.876393e-05,2.871835e-05,2.865566e-05,2.863567e-05,2.855146e-05,2.854466e-05,2.846585e-05,2.843125e-05,2.837899e-05,2.831574e-05,2.829099e-05,2.820198e-05,2.819840e-05,2.811208e-05,2.807951e-05,2.802138e-05,2.795931e-05,2.792999e-05,2.783802e-05,2.771586e-05,2.759304e-05,2.746973e-05,2.734611e-05,2.722235e-05,2.709858e-05,2.697494e-05,2.685158e-05,2.672859e-05,2.660610e-05,2.648420e-05,2.636298e-05,2.624253e-05,2.612292e-05,2.600423e-05,2.588653e-05,2.576986e-05,2.565429e-05,2.553985e-05,2.542661e-05,2.531458e-05,2.520381e-05,2.509433e-05,2.498617e-05
0.000000e+00,3.718594e-07,1.104076e-06,5.569709e-06,1.632325e-05,2.676573e-05,7.866800e-05,8.181844e-05,1.972699e-04,2.453061e-04,4.110795e-04,6.056568e-04,7.687093e-04,1.255529e-03,1.305484e-03,2.032937e-03,2.235349e-03,2.943954e-03,3.528612e-03,4.022865e-03,5.096641e-03,5.251334e-03,6.610697e-03,6.896656e-03,8.082614e-03,8.886516e-03,9.649123e-03,1.102517e-02,1.129257e-02,1.299559e-02,1.327246e-02,1.474120e-02,1.558936e-02,1.651295e-02,1.793861e-02,1.829517e-02,2.007319e-02,2.028562e-02,2.183355e-02,2.259935e-02,2.356418e-02,2.485300e-02,2.525449e-02,2.689547e-02,2.702439e-02,2.847967e-02,2.909607e-02,3.000113e-02,3.105515e-02,3.145534e-02,3.283911e-02,3.289296e-02,3.415046e-02,3.460460e-02,3.538843e-02,3.618829e-02,3.655299e-02,3.764488e-02,3.866546e-02,3.897728e-02,3.961659e-02,4.018987e-02,4.050048e-02,4.128808e-02,4.131964e-02,4.207678e-02,4.227805e-02,4.277473e-02,4.316630e-02,4.341642e-02,4.395970e-02,4.400489e-02,4.454313e-02,4.466516e-02,4.503404e-02,4.528935e-02,4.548049e-02,4.583876e-02,4.588521e-02,4.625084e-02,4.631950e-02,4.657987e-02,4.673730e-02,4.687468e-02,4.709750e-02,4.713749e-02,4.737045e-02,4.740509e-02,4.757553e-02,4.766463e-02,4.775462e-02,4.788034e-02,4.790944e-02,4.804165e-02,4.805607e-02,4.815278e-02,4.819537e-02,4.824426e-02,4.830147e-02,4.831743e-02,4.837353e-02,4.837732e-02,4.841372e-02,4.842559e-02,4.843909e-02,4.844874e-02,4.845063e-02,4.844929e-02,4.844898e-02,4.843595e-02,4.842836e-02,4.841141e-02,4.838872e-02,4.837644e-02,4.833174e-02,4.827797e-02,4.825895e-02,4.821576e-02,4.817177e-02,4.814567e-02,4.807148e-02,4.806824e-02,4.798399e-02,4.795924e-02,4.789337e-02,4.783613e-02,4.779683e-02,4.770313e-02,4.769477e-02,4.758760e-02,4.756115e-02,4.747566e-02,4.741102e-02,4.735930e-02,4.725350e-02,4.723884e-02,4.711457e-02,4.708929e-02,4.698679e-02,4.691903e-02,4.685574e-02,4.674333e-02,4.672169e-02,4.658487e-02,4.656274e-02,4.644550e-02,4.637776e-02,4.630379e-02,4.618886e-02,4.615993e-02,4.601410e-02,4.599648e-02,4.586650e-02,4.580103e-02,4.571727e-02,4.560287e-02,4.556658e-02,4.541457e-02,4.540235e-02,4.526138e-02,4.519980e-02,4.510714e-02,4.499551e-02,4.495198e-02,4.479602e-02,4.478976e-02,4.463936e-02,4.458281e-02,4.448211e-02,4.437490e-02,4.432438e-02,4.416624e-02,4.395705e-02,4.374752e-02,4.353782e-02,4.332812e-02,4.311858e-02,4.290934e-02,4.270052e-02,4.249226e-02,4.228467e-02,4.207784e-02,4.187189e-02,4.166690e-02,4.146296e-02,4.126013e-02,4.105850e-02,4.085812e-02,4.065907e-02,4.046138e-02,4.026513e-02,4.007034e-02,3.987706e-02,3.968533e-02,3.949519e-02,3.930666e-02
0.000000e+00,3.229357e-10,7.907662e-10,2.930301e-09,6.917478e-09,1.023974e-08,2.390174e-08,2.464549e-08,4.872025e-08,5.758242e-08,8.537292e-08,1.146561e-07,1.375389e-07,2.007114e-07,2.068933e-07,2.930392e-07,3.160662e-07,3.946594e-07,4.578790e-07,5.105883e-07,6.237140e-07,6.399125e-07,7.817883e-07,8.115917e-07,9.353077e-07,1.019403e-06,1.099440e-06,1.244663e-06,1.273020e-06,1.454768e-06,1.484515e-06,1.643321e-06,1.735832e-06,1.837275e-06,1.995380e-06,2.035222e-06,2.235784e-06,2.259964e-06,2.437650e-06,2.526566e-06,2.639597e-06,2.792437e-06,2.840504e-06,3.039371e-06,3.055165e-06,3.235316e-06,3.312702e-06,3.427581e-06,3.563369e-06,3.615526e-06,3.798625e-06,3.805842e-06,3.976454e-06,4.039117e-06,4.148686e-06,4.262478e-06,4.315076e-06,4.475458e-06,4.629727e-06,4.677794e-06,4.777839e-06,4.869397e-06,4.919793e-06,5.050314e-06,5.055631e-06,5.185427e-06,5.220701e-06,5.309283e-06,5.380795e-06,5.427321e-06,5.530899e-06,5.539682e-06,5.646519e-06,5.671356e-06,5.747995e-06,5.802542e-06,5.844279e-06,5.924853e-06,5.935546e-06,6.021974e-06,6.038694e-06,6.103739e-06,6.144473e-06,6.181018e-06,6.242595e-06,6.253988e-06,6.322822e-06,6.333463e-06,6.387689e-06,6.417465e-06,6.448756e-06,6.494983e-06,6.506186e-06,6.560135e-06,6.566383e-06,6.610758e-06,6.632016e-06,6.658201e-06,6.692221e-06,6.702610e-06,6.744122e-06,6.747322e-06,6.782871e-06,6.797625e-06,6.818985e-06,6.843426e-06,6.852588e-06,6.883800e-06,6.885001e-06,6.912735e-06,6.922615e-06,6.939502e-06,6.956520e-06,6.964207e-06,6.986951e-06,7.007831e-06,7.014134e-06,7.026939e-06,7.038280e-06,7.044365e-06,7.059590e-06,7.060193e-06,7.074506e-06,7.078252e-06,7.087380e-06,7.094445e-06,7.098890e-06,7.108336e-06,7.109108e-06,7.118101e-06,7.120085e-06,7.125935e-06,7.129839e-06,7.132672e-06,7.137739e-06,7.138370e-06,7.143087e-06,7.143918e-06,7.146877e-06,7.148498e-06,7.149791e-06,7.151598e-06,7.151879e-06,7.153186e-06,7.153326e-06,7.153760e-06,7.153786e-06,7.153641e-06,7.153075e-06,7.152870e-06,7.151488e-06,7.151282e-06,7.149529e-06,7.148495e-06,7.147031e-06,7.144791e-06,7.144026e-06,7.140546e-06,7.140248e-06,7.136622e-06,7.134934e-06,7.132282e-06,7.128916e-06,7.127555e-06,7.122467e-06,7.122256e-06,7.117042e-06,7.115011e-06,7.111304e-06,7.107236e-06,7.105277e-06,7.098980e-06,7.090292e-06,7.081216e-06,7.071793e-06,7.062062e-06,7.052058e-06,7.041816e-06,7.031366e-06,7.020739e-06,7.009960e-06,6.999056e-06,6.988051e-06,6.976965e-06,6.965820e-06,6.954635e-06,6.943426e-06,6.932210e-06,6.921002e-06,6.909815e-06,6.898662e-06,6.887556e-06,6.876506e-06,6.865523e-06,6.854616e-06,6.843792e-06
0.000000e+00,9.486828e-10,2.784189e-09,1.367236e-08,3.891556e-08,6.263984e-08,1.737419e-07,1.802128e-07,4.032638e-07,4.900429e-07,7.722982e-07,1.082111e-06,1.331741e-06,2.055311e-06,2.128931e-06,3.207394e-06,3.511501e-06,4.592609e-06,5.502012e-06,6.280462e-06,7.992025e-06,8.240095e-06,1.042606e-05,1.088606e-05,1.278909e-05,1.407204e-05,1.528207e-05,1.744519e-05,1.786226e-05,2.049167e-05,2.091464e-05,2.313669e-05,2.440298e-05,2.576761e-05,2.784448e-05,2.835823e-05,3.088567e-05,3.118375e-05,3.333020e-05,3.437514e-05,3.567523e-05,3.738251e-05,3.790729e-05,4.001593e-05,4.017905e-05,4.199363e-05,4.274688e-05,4.383559e-05,4.507638e-05,4.553954e-05,4.710544e-05,4.716522e-05,4.853518e-05,4.901719e-05,4.983227e-05,5.064094e-05,5.100154e-05,5.204880e-05,5.298059e-05,5.325552e-05,5.380395e-05,5.427735e-05,5.452616e-05,5.513115e-05,5.515458e-05,5.569651e-05,5.583373e-05,5.615905e-05,5.640132e-05,5.654903e-05,5.684931e-05,5.687293e-05,5.713685e-05,5.719191e-05,5.734647e-05,5.744211e-05,5.750704e-05,5.761163e-05,5.762341e-05,5.770000e-05,5.771091e-05,5.774085e-05,5.774920e-05,5.774963e-05,5.773465e-05,5.772965e-05,5.768390e-05,5.767437e-05,5.761507e-05,5.757456e-05,5.752559e-05,5.744062e-05,5.741765e-05,5.729318e-05,5.727722e-05,5.715395e-05,5.708843e-05,5.700154e-05,5.687776e-05,5.683735e-05,5.666266e-05,5.664827e-05,5.647861e-05,5.640261e-05,5.628624e-05,5.614310e-05,5.608647e-05,5.588015e-05,5.587177e-05,5.566802e-05,5.559037e-05,5.545078e-05,5.530046e-05,5.522906e-05,5.500342e-05,5.477439e-05,5.470046e-05,5.454242e-05,5.439263e-05,5.430796e-05,5.408090e-05,5.407140e-05,5.383310e-05,5.376611e-05,5.359340e-05,5.344903e-05,5.335259e-05,5.313032e-05,5.311096e-05,5.286878e-05,5.281059e-05,5.262626e-05,5.249040e-05,5.238365e-05,5.217023e-05,5.214114e-05,5.189891e-05,5.185051e-05,5.165714e-05,5.153165e-05,5.141599e-05,5.121401e-05,5.117560e-05,5.093612e-05,5.089790e-05,5.069767e-05,5.058361e-05,5.046036e-05,5.027141e-05,5.022430e-05,4.998959e-05,4.996152e-05,4.975633e-05,4.965417e-05,4.952458e-05,4.934952e-05,4.929443e-05,4.906595e-05,4.904775e-05,4.883920e-05,4.874900e-05,4.861424e-05,4.845341e-05,4.839113e-05,4.816990e-05,4.816109e-05,4.795060e-05,4.787214e-05,4.773328e-05,4.758665e-05,4.751797e-05,4.730470e-05,4.702635e-05,4.675165e-05,4.648065e-05,4.621340e-05,4.594991e-05,4.569021e-05,4.543431e-05,4.518223e-05,4.493396e-05,4.468951e-05,4.444887e-05,4.421203e-05,4.397897e-05,4.374968e-05,4.352414e-05,4.330232e-05,4.308419e-05,4.286972e-05,4.265889e-05,4.245167e-05,4.224800e-05,4.204787e-05,4.185122e-05,4.165802e-05
0.000000e+00,4.597688e-10,1.333746e-09,6.396970e-09,1.782495e-08,2.835754e-08,7.624724e-08,7.898394e-08,1.709499e-07,2.057367e-07,3.159799e-07,4.328421e-07,5.244386e-07,7.798831e-07,8.051846e-07,1.165471e-06,1.264420e-06,1.610688e-06,1.898316e-06,2.143733e-06,2.685128e-06,2.764060e-06,3.467011e-06,3.616828e-06,4.244159e-06,4.674026e-06,5.084562e-06,5.830548e-06,5.976129e-06,6.906595e-06,7.058277e-06,7.864066e-06,8.329912e-06,8.837290e-06,9.620145e-06,9.815794e-06,1.078998e-05,1.090617e-05,1.175121e-05,1.216804e-05,1.269185e-05,1.338889e-05,1.360534e-05,1.448619e-05,1.455510e-05,1.532996e-05,1.565630e-05,1.613327e-05,1.668519e-05,1.689367e-05,1.760960e-05,1.763730e-05,1.828030e-05,1.851065e-05,1.890568e-05,1.930528e-05,1.948623e-05,2.002292e-05,2.051708e-05,2.066650e-05,2.097037e-05,2.123987e-05,2.138463e-05,2.174745e-05,2.176186e-05,2.210414e-05,2.219400e-05,2.241358e-05,2.258437e-05,2.269231e-05,2.292341e-05,2.294241e-05,2.316590e-05,2.321579e-05,2.336471e-05,2.346597e-05,2.354072e-05,2.367813e-05,2.369567e-05,2.383123e-05,2.385615e-05,2.394893e-05,2.400357e-05,2.405023e-05,2.412364e-05,2.413648e-05,2.420891e-05,2.421929e-05,2.426868e-05,2.429318e-05,2.431684e-05,2.434768e-05,2.435438e-05,2.438219e-05,2.438492e-05,2.440111e-05,2.440681e-05,2.441188e-05,2.441505e-05,2.441520e-05,2.441172e-05,2.441117e-05,2.440202e-05,2.439652e-05,2.438663e-05,2.437230e-05,2.436604e-05,2.434071e-05,2.433960e-05,2.431105e-05,2.429939e-05,2.427744e-05,2.425251e-05,2.424023e-05,2.419973e-05,2.415625e-05,2.414175e-05,2.411006e-05,2.407919e-05,2.406140e-05,2.401259e-05,2.401051e-05,2.395760e-05,2.394245e-05,2.390286e-05,2.386922e-05,2.384648e-05,2.379331e-05,2.378863e-05,2.372945e-05,2.371507e-05,2.366910e-05,2.363483e-05,2.360770e-05,2.355291e-05,2.354538e-05,2.348226e-05,2.346955e-05,2.341844e-05,2.338502e-05,2.335403e-05,2.329952e-05,2.328910e-05,2.322375e-05,2.321326e-05,2.315806e-05,2.312643e-05,2.309210e-05,2.303919e-05,2.302595e-05,2.295965e-05,2.295169e-05,2.289328e-05,2.286407e-05,2.282689e-05,2.277645e-05,2.276053e-05,2.269425e-05,2.268895e-05,2.262809e-05,2.260168e-05,2.256210e-05,2.251471e-05,2.249632e-05,2.243077e-05,2.242815e-05,2.236550e-05,2.234207e-05,2.230053e-05,2.225654e-05,2.223589e-05,2.217162e-05,2.208736e-05,2.200384e-05,2.192108e-05,2.183913e-05,2.175803e-05,2.167781e-05,2.159850e-05,2.152013e-05,2.144272e-05,2.136630e-05,2.129087e-05,2.121645e-05,2.114306e-05,2.107070e-05,2.099939e-05,2.092913e-05,2.085992e-05,2.079177e-05,2.072468e-05,2.065865e-05,2.059368e-05,2.052977e-05,2.046690e-05,2.040509e-05
0.000000e+00,2.477674e-08,7.386920e-08,3.746698e-07,1.097543e-06,1.794008e-06,5.167273e-06,5.367556e-06,1.241793e-05,1.521403e-05,2.442681e-05,3.466614e-05,4.297122e-05,6.718418e-05,6.965538e-05,1.059996e-04,1.163079e-04,1.532676e-04,1.848464e-04,2.123138e-04,2.743506e-04,2.835455e-04,3.669713e-04,3.850963e-04,4.622647e-04,5.163153e-04,5.688172e-04,6.664099e-04,6.857836e-04,8.121257e-04,8.331328e-04,9.466555e-04,1.013761e-03,1.088080e-03,1.205275e-03,1.235045e-03,1.386175e-03,1.404526e-03,1.540113e-03,1.608395e-03,1.695548e-03,1.813917e-03,1.851245e-03,2.006060e-03,2.018375e-03,2.158957e-03,2.219369e-03,2.309016e-03,2.414845e-03,2.455433e-03,2.597526e-03,2.603111e-03,2.734724e-03,2.782825e-03,2.866567e-03,2.952975e-03,2.992696e-03,3.112846e-03,3.226833e-03,3.261989e-03,3.334553e-03,3.400183e-03,3.435964e-03,3.527396e-03,3.531081e-03,3.619969e-03,3.643754e-03,3.702733e-03,3.749508e-03,3.779512e-03,3.845006e-03,3.850473e-03,3.915804e-03,3.930669e-03,3.975711e-03,4.006970e-03,4.030410e-03,4.074417e-03,4.080128e-03,4.125095e-03,4.133539e-03,4.165544e-03,4.184870e-03,4.201709e-03,4.228946e-03,4.233821e-03,4.262107e-03,4.266293e-03,4.286790e-03,4.297422e-03,4.308087e-03,4.322828e-03,4.326207e-03,4.341353e-03,4.342980e-03,4.353720e-03,4.358329e-03,4.363493e-03,4.369296e-03,4.370851e-03,4.375964e-03,4.376281e-03,4.378993e-03,4.379656e-03,4.380091e-03,4.379768e-03,4.379403e-03,4.377066e-03,4.376940e-03,4.373209e-03,4.371473e-03,4.367955e-03,4.363642e-03,4.361417e-03,4.353704e-03,4.344916e-03,4.341893e-03,4.335149e-03,4.328425e-03,4.324490e-03,4.313498e-03,4.313024e-03,4.300828e-03,4.297293e-03,4.287975e-03,4.279975e-03,4.274531e-03,4.261696e-03,4.260560e-03,4.246122e-03,4.242593e-03,4.231270e-03,4.222791e-03,4.216055e-03,4.202404e-03,4.200526e-03,4.184724e-03,4.181535e-03,4.168693e-03,4.160278e-03,4.152468e-03,4.138716e-03,4.136085e-03,4.119577e-03,4.116926e-03,4.102973e-03,4.094977e-03,4.086300e-03,4.072931e-03,4.069585e-03,4.052851e-03,4.050843e-03,4.036120e-03,4.028764e-03,4.019411e-03,4.006738e-03,4.002742e-03,3.986131e-03,3.984805e-03,3.969592e-03,3.963000e-03,3.953140e-03,3.941356e-03,3.936788e-03,3.920547e-03,3.919900e-03,3.904428e-03,3.898657e-03,3.888440e-03,3.877648e-03,3.872593e-03,3.856893e-03,3.836407e-03,3.816206e-03,3.796301e-03,3.776702e-03,3.757419e-03,3.738458e-03,3.719824e-03,3.701524e-03,3.683559e-03,3.665933e-03,3.648646e-03,3.631700e-03,3.615094e-03,3.598827e-03,3.582897e-03,3.567304e-03,3.552044e-03,3.537115e-03,3.522513e-03,3.508236e-03,3.494278e-03,3.480636e-03,3.467306e-03,3.454283e-03
0.000000e+00,1.385372e-09,4.090287e-09,2.033527e-08,5.851350e-08,9.472853e-08,2.663865e-07,2.764512e-07,6.256814e-07,7.622949e-07,1.207855e-06,1.697541e-06,2.091778e-06,3.230017e-06,3.345359e-06,5.024797e-06,5.495399e-06,7.162388e-06,8.562858e-06,9.764617e-06,1.242913e-05,1.281874e-05,1.629945e-05,1.704393e-05,2.017297e-05,2.232932e-05,2.439916e-05,2.818886e-05,2.893296e-05,3.372551e-05,3.451292e-05,3.872539e-05,4.118352e-05,4.387992e-05,4.807951e-05,4.913651e-05,5.444399e-05,5.508197e-05,5.975377e-05,6.207905e-05,6.502082e-05,6.897001e-05,7.020448e-05,7.526891e-05,7.566796e-05,8.018343e-05,8.210138e-05,8.492255e-05,8.821447e-05,8.946588e-05,9.379787e-05,9.396658e-05,9.790744e-05,9.933097e-05,1.017875e-04,1.042930e-04,1.054347e-04,1.088485e-04,1.120312e-04,1.130015e-04,1.149871e-04,1.167626e-04,1.177223e-04,1.201474e-04,1.202443e-04,1.225614e-04,1.231747e-04,1.246828e-04,1.258657e-04,1.266181e-04,1.282427e-04,1.283772e-04,1.299700e-04,1.303286e-04,1.314063e-04,1.321459e-04,1.326958e-04,1.337167e-04,1.338480e-04,1.348719e-04,1.350621e-04,1.357763e-04,1.362021e-04,1.365694e-04,1.371554e-04,1.372591e-04,1.378529e-04,1.379395e-04,1.383578e-04,1.385705e-04,1.387803e-04,1.390633e-04,1.391267e-04,1.394028e-04,1.394315e-04,1.396139e-04,1.396875e-04,1.397651e-04,1.398427e-04,1.398610e-04,1.399060e-04,1.399075e-04,1.399041e-04,1.398911e-04,1.398592e-04,1.398021e-04,1.397747e-04,1.396538e-04,1.396482e-04,1.394995e-04,1.394364e-04,1.393147e-04,1.391729e-04,1.391019e-04,1.388634e-04,1.386016e-04,1.385133e-04,1.383185e-04,1.381270e-04,1.380160e-04,1.377089e-04,1.376958e-04,1.373596e-04,1.372628e-04,1.370090e-04,1.367922e-04,1.366453e-04,1.363003e-04,1.362698e-04,1.358838e-04,1.357897e-04,1.354884e-04,1.352633e-04,1.350846e-04,1.347232e-04,1.346735e-04,1.342559e-04,1.341716e-04,1.338326e-04,1.336105e-04,1.334044e-04,1.330416e-04,1.329722e-04,1.325364e-04,1.324664e-04,1.320978e-04,1.318864e-04,1.316569e-04,1.313030e-04,1.312143e-04,1.307705e-04,1.307172e-04,1.303259e-04,1.301301e-04,1.298809e-04,1.295428e-04,1.294360e-04,1.289916e-04,1.289560e-04,1.285479e-04,1.283707e-04,1.281053e-04,1.277874e-04,1.276641e-04,1.272245e-04,1.272069e-04,1.267868e-04,1.266298e-04,1.263513e-04,1.260565e-04,1.259181e-04,1.254875e-04,1.249233e-04,1.243642e-04,1.238106e-04,1.232628e-04,1.227210e-04,1.221854e-04,1.216564e-04,1.211340e-04,1.206184e-04,1.201098e-04,1.196082e-04,1.191138e-04,1.186266e-04,1.181467e-04,1.176741e-04,1.172088e-04,1.167510e-04,1.163005e-04,1.158575e-04,1.154218e-04,1.149934e-04,1.145724e-04,1.141587e-04,1.137522e-04
0.000000e+00,1.158206e-08,3.440538e-08,1.731823e-07,5.037548e-07,8.202107e-07,2.338386e-06,2.427999e-06,5.559101e-06,6.791296e-06,1.082424e-05,1.526905e-05,1.885128e-05,2.920175e-05,3.025133e-05,4.556394e-05,4.986863e-05,6.517892e-05,7.811982e-05,8.928010e-05,1.141888e-04,1.178480e-04,1.506966e-04,1.577542e-04,1.875116e-04,2.080893e-04,2.278811e-04,2.641862e-04,2.713214e-04,3.173001e-04,3.248551e-04,3.652581e-04,3.888146e-04,4.146296e-04,4.547716e-04,4.648607e-04,5.154240e-04,5.214902e-04,5.658307e-04,5.878443e-04,6.156391e-04,6.528522e-04,6.644605e-04,7.119612e-04,7.156955e-04,7.578629e-04,7.757238e-04,8.019410e-04,8.324486e-04,8.440217e-04,8.839777e-04,8.855304e-04,9.217232e-04,9.347600e-04,9.572094e-04,9.800395e-04,9.904191e-04,1.021362e-03,1.050071e-03,1.058794e-03,1.076597e-03,1.092457e-03,1.101003e-03,1.122511e-03,1.123368e-03,1.143774e-03,1.149149e-03,1.162312e-03,1.172578e-03,1.179077e-03,1.193015e-03,1.194162e-03,1.207665e-03,1.210681e-03,1.219680e-03,1.225794e-03,1.230301e-03,1.238566e-03,1.239619e-03,1.247721e-03,1.249203e-03,1.254692e-03,1.257896e-03,1.260612e-03,1.264830e-03,1.265559e-03,1.269604e-03,1.270173e-03,1.272818e-03,1.274084e-03,1.275264e-03,1.276709e-03,1.277003e-03,1.278093e-03,1.278183e-03,1.278587e-03,1.278629e-03,1.278535e-03,1.278158e-03,1.277983e-03,1.276975e-03,1.276875e-03,1.275550e-03,1.274873e-03,1.273747e-03,1.272235e-03,1.271601e-03,1.269143e-03,1.269038e-03,1.266403e-03,1.265353e-03,1.263409e-03,1.261242e-03,1.260187e-03,1.256761e-03,1.253151e-03,1.251961e-03,1.249379e-03,1.246889e-03,1.245463e-03,1.241585e-03,1.241421e-03,1.237268e-03,1.236087e-03,1.233019e-03,1.230429e-03,1.228687e-03,1.224640e-03,1.224286e-03,1.219825e-03,1.218747e-03,1.215317e-03,1.212775e-03,1.210770e-03,1.206745e-03,1.206194e-03,1.201597e-03,1.200676e-03,1.196986e-03,1.194585e-03,1.192368e-03,1.188488e-03,1.187750e-03,1.183137e-03,1.182400e-03,1.178534e-03,1.176330e-03,1.173947e-03,1.170292e-03,1.169380e-03,1.164837e-03,1.164294e-03,1.160322e-03,1.158345e-03,1.155837e-03,1.152452e-03,1.151387e-03,1.146973e-03,1.146621e-03,1.142598e-03,1.140860e-03,1.138265e-03,1.135171e-03,1.133975e-03,1.129730e-03,1.129561e-03,1.125531e-03,1.124032e-03,1.121381e-03,1.118587e-03,1.117280e-03,1.113230e-03,1.107962e-03,1.102786e-03,1.097702e-03,1.092712e-03,1.087816e-03,1.083015e-03,1.078310e-03,1.073700e-03,1.069186e-03,1.064766e-03,1.060441e-03,1.056209e-03,1.052071e-03,1.048025e-03,1.044071e-03,1.040207e-03,1.036431e-03,1.032745e-03,1.029144e-03,1.025630e-03,1.022199e-03,1.018852e-03,1.015586e-03,1.012400e-03
0.000000e+00,7.103934e-09,2.116211e-08,1.071553e-07,3.134302e-07,5.119159e-07,1.471582e-06,1.528503e-06,3.529972e-06,4.322889e-06,6.933468e-06,9.832667e-06,1.218306e-05,1.903131e-05,1.972993e-05,2.999805e-05,3.290843e-05,4.333920e-05,5.225095e-05,6.000627e-05,7.754930e-05,8.015371e-05,1.038474e-04,1.090118e-04,1.310730e-04,1.465995e-04,1.617420e-04,1.900523e-04,1.956978e-04,2.327218e-04,2.389129e-04,2.725421e-04,2.925578e-04,3.148429e-04,3.502355e-04,3.592748e-04,4.054662e-04,4.111093e-04,4.530343e-04,4.743012e-04,5.015949e-04,5.389327e-04,5.507718e-04,6.002048e-04,6.041602e-04,6.495558e-04,6.692027e-04,6.985140e-04,7.333617e-04,7.467985e-04,7.941613e-04,7.960335e-04,8.403870e-04,8.567137e-04,8.852928e-04,9.149967e-04,9.287281e-04,9.705726e-04,1.010734e-03,1.023219e-03,1.049147e-03,1.072793e-03,1.085769e-03,1.119218e-03,1.120576e-03,1.153564e-03,1.162476e-03,1.184745e-03,1.202595e-03,1.214142e-03,1.239641e-03,1.241790e-03,1.267732e-03,1.273710e-03,1.292020e-03,1.304919e-03,1.314709e-03,1.333399e-03,1.335858e-03,1.355530e-03,1.359293e-03,1.373790e-03,1.382748e-03,1.390702e-03,1.403914e-03,1.406331e-03,1.420742e-03,1.422939e-03,1.433998e-03,1.439968e-03,1.446159e-03,1.455142e-03,1.457288e-03,1.467440e-03,1.468595e-03,1.476672e-03,1.480456e-03,1.485037e-03,1.490847e-03,1.492587e-03,1.499369e-03,1.499880e-03,1.505431e-03,1.507663e-03,1.510815e-03,1.514295e-03,1.515563e-03,1.519715e-03,1.519869e-03,1.523307e-03,1.524469e-03,1.526374e-03,1.528176e-03,1.528949e-03,1.531062e-03,1.532744e-03,1.533195e-03,1.534021e-03,1.534637e-03,1.534918e-03,1.535446e-03,1.535461e-03,1.535671e-03,1.535673e-03,1.535569e-03,1.535367e-03,1.535176e-03,1.534574e-03,1.534511e-03,1.533590e-03,1.533332e-03,1.532430e-03,1.531682e-03,1.531047e-03,1.529656e-03,1.529454e-03,1.527667e-03,1.527287e-03,1.525697e-03,1.524604e-03,1.523556e-03,1.521635e-03,1.521256e-03,1.518808e-03,1.518403e-03,1.516221e-03,1.514933e-03,1.513505e-03,1.511244e-03,1.510668e-03,1.507719e-03,1.507358e-03,1.504666e-03,1.503292e-03,1.501516e-03,1.499062e-03,1.498276e-03,1.494953e-03,1.494684e-03,1.491553e-03,1.490172e-03,1.488081e-03,1.485541e-03,1.484544e-03,1.480946e-03,1.480801e-03,1.477293e-03,1.475965e-03,1.473588e-03,1.471042e-03,1.469837e-03,1.466044e-03,1.460979e-03,1.455855e-03,1.450681e-03,1.445463e-03,1.440210e-03,1.434926e-03,1.429619e-03,1.424293e-03,1.418954e-03,1.413606e-03,1.408255e-03,1.402903e-03,1.397556e-03,1.392217e-03,1.386889e-03,1.381575e-03,1.376278e-03,1.371001e-03,1.365747e-03,1.360517e-03,1.355314e-03,1.350140e-03,1.344997e-03,1.339886e-03
0.000000e+00,1.281229e-09,3.532365e-09,1.549170e-08,4.052115e-08,6.272545e-08,1.610547e-07,1.666492e-07,3.575236e-07,4.317997e-07,6.755379e-07,9.459113e-07,1.163844e-06,1.781752e-06,1.842873e-06,2.695026e-06,2.921362e-06,3.684835e-06,4.287177e-06,4.780958e-06,5.815694e-06,5.961201e-06,7.209718e-06,7.466466e-06,8.513785e-06,9.210003e-06,9.861856e-06,1.102001e-05,1.124268e-05,1.264504e-05,1.287067e-05,1.405788e-05,1.473660e-05,1.547049e-05,1.659356e-05,1.687272e-05,1.825531e-05,1.841949e-05,1.960994e-05,2.019523e-05,2.092945e-05,2.190502e-05,2.220780e-05,2.344011e-05,2.353658e-05,2.462258e-05,2.508096e-05,2.575242e-05,2.653221e-05,2.682773e-05,2.784747e-05,2.788709e-05,2.881129e-05,2.914460e-05,2.971941e-05,3.030546e-05,3.057254e-05,3.137182e-05,3.211856e-05,3.234668e-05,3.281438e-05,3.323379e-05,3.346104e-05,3.403733e-05,3.406042e-05,3.461452e-05,3.476183e-05,3.512536e-05,3.541193e-05,3.559494e-05,3.599226e-05,3.602529e-05,3.641837e-05,3.650738e-05,3.677613e-05,3.696174e-05,3.710044e-05,3.735962e-05,3.739313e-05,3.765596e-05,3.770509e-05,3.789060e-05,3.800201e-05,3.809868e-05,3.825406e-05,3.828173e-05,3.844124e-05,3.846468e-05,3.857861e-05,3.863708e-05,3.869518e-05,3.877430e-05,3.879220e-05,3.887089e-05,3.887915e-05,3.893238e-05,3.895428e-05,3.897777e-05,3.900212e-05,3.900807e-05,3.902425e-05,3.902496e-05,3.902722e-05,3.902491e-05,3.901786e-05,3.900395e-05,3.899698e-05,3.896536e-05,3.896388e-05,3.892373e-05,3.890642e-05,3.887276e-05,3.883312e-05,3.881313e-05,3.874543e-05,3.867025e-05,3.864470e-05,3.858813e-05,3.853217e-05,3.849958e-05,3.840899e-05,3.840510e-05,3.830514e-05,3.827622e-05,3.820012e-05,3.813485e-05,3.809045e-05,3.798579e-05,3.797653e-05,3.785869e-05,3.782987e-05,3.773729e-05,3.766787e-05,3.761264e-05,3.750051e-05,3.748505e-05,3.735478e-05,3.732843e-05,3.722212e-05,3.715227e-05,3.708730e-05,3.697256e-05,3.695056e-05,3.681213e-05,3.678984e-05,3.667220e-05,3.660457e-05,3.653098e-05,3.641719e-05,3.638864e-05,3.624536e-05,3.622811e-05,3.610130e-05,3.603770e-05,3.595661e-05,3.584630e-05,3.581142e-05,3.566588e-05,3.565422e-05,3.552010e-05,3.546175e-05,3.537421e-05,3.526915e-05,3.522831e-05,3.508250e-05,3.507667e-05,3.493687e-05,3.488451e-05,3.479153e-05,3.469289e-05,3.464654e-05,3.450199e-05,3.431197e-05,3.412299e-05,3.393519e-05,3.374869e-05,3.356360e-05,3.338003e-05,3.319807e-05,3.301781e-05,3.283931e-05,3.266263e-05,3.248785e-05,3.231501e-05,3.214416e-05,3.197532e-05,3.180855e-05,3.164385e-05,3.148127e-05,3.132081e-05,3.116249e-05,3.100633e-05,3.085232e-05,3.070048e-05,3.055081e-05,3.040331e-05
0.000000e+00,7.252956e-10,2.123969e-09,1.038725e-08,2.946606e-08,4.734888e-08,1.307983e-07,1.356484e-07,3.024008e-07,3.670987e-07,5.770139e-07,8.066796e-07,9.912806e-07,1.524851e-06,1.579065e-06,2.373459e-06,2.597948e-06,3.399611e-06,4.079541e-06,4.666216e-06,5.971956e-06,6.163018e-06,7.866003e-06,8.228712e-06,9.744816e-06,1.078083e-05,1.176811e-05,1.355747e-05,1.390610e-05,1.613138e-05,1.649383e-05,1.841889e-05,1.953215e-05,2.074554e-05,2.262065e-05,2.308999e-05,2.543245e-05,2.571252e-05,2.775464e-05,2.876562e-05,3.003987e-05,3.174261e-05,3.227311e-05,3.444115e-05,3.461142e-05,3.653260e-05,3.734555e-05,3.853802e-05,3.992434e-05,4.044986e-05,4.226246e-05,4.233284e-05,4.397188e-05,4.456152e-05,4.557582e-05,4.660577e-05,4.707345e-05,4.846523e-05,4.975271e-05,5.014306e-05,5.093835e-05,5.164517e-05,5.202535e-05,5.297957e-05,5.301748e-05,5.391895e-05,5.415572e-05,5.473426e-05,5.518402e-05,5.546808e-05,5.607531e-05,5.612516e-05,5.671027e-05,5.684051e-05,5.722809e-05,5.749039e-05,5.768319e-05,5.803531e-05,5.807999e-05,5.842271e-05,5.848512e-05,5.871537e-05,5.884904e-05,5.896177e-05,5.913563e-05,5.916550e-05,5.932990e-05,5.935276e-05,5.945810e-05,5.950764e-05,5.955300e-05,5.960678e-05,5.961732e-05,5.965353e-05,5.965609e-05,5.966394e-05,5.966091e-05,5.965070e-05,5.962601e-05,5.961575e-05,5.956091e-05,5.955571e-05,5.948784e-05,5.945385e-05,5.939807e-05,5.932389e-05,5.929301e-05,5.917395e-05,5.916892e-05,5.904209e-05,5.899170e-05,5.889852e-05,5.879472e-05,5.874425e-05,5.858020e-05,5.840724e-05,5.835014e-05,5.822615e-05,5.810632e-05,5.803766e-05,5.785036e-05,5.784243e-05,5.764110e-05,5.758371e-05,5.743422e-05,5.730766e-05,5.722234e-05,5.702340e-05,5.700593e-05,5.678546e-05,5.673199e-05,5.656135e-05,5.643440e-05,5.633399e-05,5.613150e-05,5.610373e-05,5.587092e-05,5.582408e-05,5.563587e-05,5.551285e-05,5.539887e-05,5.519848e-05,5.516019e-05,5.492008e-05,5.488154e-05,5.467877e-05,5.456259e-05,5.443650e-05,5.424211e-05,5.419345e-05,5.394983e-05,5.392056e-05,5.370580e-05,5.359834e-05,5.346153e-05,5.327583e-05,5.321719e-05,5.297290e-05,5.295337e-05,5.272881e-05,5.263126e-05,5.248505e-05,5.230981e-05,5.224173e-05,5.199895e-05,5.198925e-05,5.175683e-05,5.166985e-05,5.151546e-05,5.135180e-05,5.127492e-05,5.103530e-05,5.072054e-05,5.040768e-05,5.009687e-05,4.978824e-05,4.948192e-05,4.917802e-05,4.887662e-05,4.857784e-05,4.828174e-05,4.798840e-05,4.769787e-05,4.741023e-05,4.712551e-05,4.684376e-05,4.656501e-05,4.628930e-05,4.601665e-05,4.574708e-05,4.548062e-05,4.521727e-05,4.495704e-05,4.469994e-05,4.444597e-05,4.419513e-05
0.000000e+00,2.636427e-08,7.861165e-08,3.988976e-07,1.169361e-06,1.912503e-06,5.521233e-06,5.735940e-06,1.332183e-05,1.634421e-05,2.635339e-05,3.756306e-05,4.671658e-05,7.369183e-05,7.646766e-05,1.177268e-04,1.295643e-04,1.724201e-04,2.094669e-04,2.419486e-04,3.159851e-04,3.270225e-04,4.277237e-04,4.497113e-04,5.436576e-04,6.097277e-04,6.740814e-04,7.941083e-04,8.179930e-04,9.741885e-04,1.000231e-03,1.141306e-03,1.224970e-03,1.317863e-03,1.464853e-03,1.502292e-03,1.692973e-03,1.716197e-03,1.888271e-03,1.975246e-03,2.086567e-03,2.238306e-03,2.286287e-03,2.485929e-03,2.501855e-03,2.684088e-03,2.762642e-03,2.879468e-03,3.017756e-03,3.070894e-03,3.257327e-03,3.264667e-03,3.437861e-03,3.501257e-03,3.611727e-03,3.725815e-03,3.778286e-03,3.937028e-03,4.087565e-03,4.133955e-03,4.229616e-03,4.315990e-03,4.363005e-03,4.482827e-03,4.487645e-03,4.603532e-03,4.634419e-03,4.710732e-03,4.770933e-03,4.809373e-03,4.892718e-03,4.899636e-03,4.981743e-03,5.000263e-03,5.055953e-03,5.094168e-03,5.122555e-03,5.175114e-03,5.181855e-03,5.234180e-03,5.243837e-03,5.279863e-03,5.301106e-03,5.319245e-03,5.347707e-03,5.352669e-03,5.380478e-03,5.384428e-03,5.403009e-03,5.412047e-03,5.420594e-03,5.431320e-03,5.433558e-03,5.442216e-03,5.442980e-03,5.446870e-03,5.447725e-03,5.447813e-03,5.446221e-03,5.445326e-03,5.439677e-03,5.439096e-03,5.431119e-03,5.426936e-03,5.419895e-03,5.410292e-03,5.406235e-03,5.390353e-03,5.389675e-03,5.372456e-03,5.365556e-03,5.352733e-03,5.338371e-03,5.331365e-03,5.308521e-03,5.284358e-03,5.276372e-03,5.259025e-03,5.242260e-03,5.232657e-03,5.206489e-03,5.205382e-03,5.177320e-03,5.169336e-03,5.148579e-03,5.131052e-03,5.119263e-03,5.091864e-03,5.089465e-03,5.059271e-03,5.051975e-03,5.028763e-03,5.011569e-03,4.998014e-03,4.970810e-03,4.967092e-03,4.936059e-03,4.929844e-03,4.904972e-03,4.888802e-03,4.873883e-03,4.847801e-03,4.842839e-03,4.811884e-03,4.806942e-03,4.781057e-03,4.766317e-03,4.750395e-03,4.726004e-03,4.719928e-03,4.689686e-03,4.686073e-03,4.659695e-03,4.646585e-03,4.629979e-03,4.607591e-03,4.600558e-03,4.571451e-03,4.569136e-03,4.542673e-03,4.531258e-03,4.514240e-03,4.493989e-03,4.486164e-03,4.458455e-03,4.457355e-03,4.431123e-03,4.421378e-03,4.404176e-03,4.386075e-03,4.377620e-03,4.351460e-03,4.317542e-03,4.284329e-03,4.251825e-03,4.220031e-03,4.188947e-03,4.158571e-03,4.128898e-03,4.099923e-03,4.071640e-03,4.044040e-03,4.017115e-03,3.990855e-03,3.965250e-03,3.940289e-03,3.915961e-03,3.892254e-03,3.869155e-03,3.846653e-03,3.824736e-03,3.803390e-03,3.782602e-03,3.762361e-03,3.742654e-03,3.723468e-03
0.000000e+00,7.821326e-09,2.325565e-08,1.173020e-07,3.419123e-07,5.573727e-07,1.594508e-06,1.655862e-06,3.806366e-06,4.655668e-06,7.445098e-06,1.053470e-05,1.303560e-05,2.031588e-05,2.105878e-05,3.200451e-05,3.512070e-05,4.635859e-05,5.605786e-05,6.457656e-05,8.411015e-05,8.703977e-05,1.140054e-04,1.199505e-04,1.455747e-04,1.637980e-04,1.816947e-04,2.154218e-04,2.221830e-04,2.667601e-04,2.742494e-04,3.150779e-04,3.394845e-04,3.667415e-04,4.101957e-04,4.213248e-04,4.783831e-04,4.853748e-04,5.374614e-04,5.639781e-04,5.981032e-04,6.449584e-04,6.598568e-04,7.222818e-04,7.272920e-04,7.849544e-04,8.100019e-04,8.474727e-04,8.921782e-04,9.094608e-04,9.705723e-04,9.729939e-04,1.030493e-03,1.051717e-03,1.088941e-03,1.127719e-03,1.145672e-03,1.200475e-03,1.253172e-03,1.269566e-03,1.303619e-03,1.334673e-03,1.351706e-03,1.395571e-03,1.397349e-03,1.440492e-03,1.452120e-03,1.481106e-03,1.504256e-03,1.519183e-03,1.551981e-03,1.554733e-03,1.587786e-03,1.595352e-03,1.618386e-03,1.634472e-03,1.646590e-03,1.669479e-03,1.672464e-03,1.696083e-03,1.700544e-03,1.717531e-03,1.727855e-03,1.736894e-03,1.751615e-03,1.754264e-03,1.769732e-03,1.772036e-03,1.783393e-03,1.789336e-03,1.795341e-03,1.803730e-03,1.805670e-03,1.814473e-03,1.815431e-03,1.821839e-03,1.824647e-03,1.827856e-03,1.831580e-03,1.832610e-03,1.836184e-03,1.836421e-03,1.838657e-03,1.839354e-03,1.840104e-03,1.840551e-03,1.840598e-03,1.840208e-03,1.840175e-03,1.839001e-03,1.838378e-03,1.837037e-03,1.835301e-03,1.834378e-03,1.831076e-03,1.827187e-03,1.825826e-03,1.822758e-03,1.819662e-03,1.817837e-03,1.812689e-03,1.812466e-03,1.806687e-03,1.805001e-03,1.800539e-03,1.796687e-03,1.794056e-03,1.787825e-03,1.787272e-03,1.780220e-03,1.778490e-03,1.772926e-03,1.768748e-03,1.765420e-03,1.758659e-03,1.757726e-03,1.749868e-03,1.748279e-03,1.741868e-03,1.737658e-03,1.733745e-03,1.726842e-03,1.725519e-03,1.717208e-03,1.715871e-03,1.708827e-03,1.704783e-03,1.700391e-03,1.693612e-03,1.691914e-03,1.683410e-03,1.682388e-03,1.674889e-03,1.671138e-03,1.666363e-03,1.659886e-03,1.657842e-03,1.649335e-03,1.648655e-03,1.640850e-03,1.637464e-03,1.632395e-03,1.626331e-03,1.623978e-03,1.615604e-03,1.615270e-03,1.607280e-03,1.604297e-03,1.599012e-03,1.593423e-03,1.590803e-03,1.582659e-03,1.572014e-03,1.561496e-03,1.551114e-03,1.540872e-03,1.530776e-03,1.520830e-03,1.511038e-03,1.501404e-03,1.491928e-03,1.482614e-03,1.473461e-03,1.464473e-03,1.455647e-03,1.446986e-03,1.438488e-03,1.430153e-03,1.421980e-03,1.413969e-03,1.406117e-03,1.398424e-03,1.390888e-03,1.383507e-03,1.376279e-03,1.369203e-03
0.000000e+00,1.347925e-10,3.202145e-10,1.143476e-09,2.642071e-09,3.872801e-09,8.829010e-09,9.094932e-09,1.753247e-08,2.056649e-08,2.988297e-08,3.945689e-08,4.682967e-08,6.702227e-08,6.900025e-08,9.681892e-08,1.043492e-07,1.303254e-07,1.514636e-07,1.692029e-07,2.074918e-07,2.129898e-07,2.612175e-07,2.713558e-07,3.134317e-07,3.420073e-07,3.691751e-07,4.183803e-07,4.279731e-07,4.893302e-07,4.993508e-07,5.527351e-07,5.837446e-07,6.176698e-07,6.703738e-07,6.836212e-07,7.500924e-07,7.580812e-07,8.166130e-07,8.457840e-07,8.827471e-07,9.325060e-07,9.481000e-07,1.012322e-06,1.017401e-06,1.075109e-06,1.099763e-06,1.136205e-06,1.179027e-06,1.195400e-06,1.252524e-06,1.254764e-06,1.307451e-06,1.326667e-06,1.360087e-06,1.394539e-06,1.410372e-06,1.458275e-06,1.503787e-06,1.517847e-06,1.546919e-06,1.573289e-06,1.587703e-06,1.624684e-06,1.626179e-06,1.662403e-06,1.672151e-06,1.696438e-06,1.715836e-06,1.728351e-06,1.755902e-06,1.758218e-06,1.786116e-06,1.792527e-06,1.812123e-06,1.825891e-06,1.836320e-06,1.856179e-06,1.858786e-06,1.879602e-06,1.883573e-06,1.898844e-06,1.908253e-06,1.916589e-06,1.930392e-06,1.932911e-06,1.947883e-06,1.950158e-06,1.961573e-06,1.967710e-06,1.974050e-06,1.983201e-06,1.985377e-06,1.995616e-06,1.996774e-06,2.004826e-06,2.008567e-06,2.013063e-06,2.018705e-06,2.020381e-06,2.026831e-06,2.027311e-06,2.032463e-06,2.034497e-06,2.037323e-06,2.040368e-06,2.041454e-06,2.044900e-06,2.045024e-06,2.047699e-06,2.048556e-06,2.049889e-06,2.051050e-06,2.051507e-06,2.052587e-06,2.053160e-06,2.053242e-06,2.053258e-06,2.053084e-06,2.052909e-06,2.052179e-06,2.052141e-06,2.050979e-06,2.050587e-06,2.049449e-06,2.048364e-06,2.047574e-06,2.045563e-06,2.045376e-06,2.042875e-06,2.042232e-06,2.040092e-06,2.038418e-06,2.037046e-06,2.034161e-06,2.033753e-06,2.030231e-06,2.029501e-06,2.026496e-06,2.024474e-06,2.022562e-06,2.019115e-06,2.018445e-06,2.014157e-06,2.013456e-06,2.009711e-06,2.007524e-06,2.005119e-06,2.001348e-06,2.000392e-06,1.995542e-06,1.994952e-06,1.990578e-06,1.988361e-06,1.985511e-06,1.981595e-06,1.980348e-06,1.975099e-06,1.974676e-06,1.969773e-06,1.967622e-06,1.964375e-06,1.960450e-06,1.958915e-06,1.953398e-06,1.953176e-06,1.947832e-06,1.945817e-06,1.942222e-06,1.938385e-06,1.936573e-06,1.930893e-06,1.923354e-06,1.915778e-06,1.908175e-06,1.900557e-06,1.892930e-06,1.885303e-06,1.877684e-06,1.870079e-06,1.862496e-06,1.854939e-06,1.847415e-06,1.839928e-06,1.832482e-06,1.825083e-06,1.817733e-06,1.810437e-06,1.803197e-06,1.796016e-06,1.788897e-06,1.781843e-06,1.774855e-06,1.767936e-06,1.761087e-06,1.754309e-06
0.000000e+00,2.265839e-07,6.762777e-07,3.440070e-06,1.011434e-05,1.657531e-05,4.817732e-05,5.006743e-05,1.174029e-04,1.444809e-04,2.348609e-04,3.368055e-04,4.201671e-04,6.642321e-04,6.891269e-04,1.053273e-03,1.155740e-03,1.520141e-03,1.828192e-03,2.094076e-03,2.689000e-03,2.776629e-03,3.566703e-03,3.737345e-03,4.460675e-03,4.964707e-03,5.452581e-03,6.355652e-03,6.534404e-03,7.696440e-03,7.889091e-03,8.927721e-03,9.539888e-03,1.021645e-02,1.128061e-02,1.155044e-02,1.291747e-02,1.308317e-02,1.430567e-02,1.492025e-02,1.570374e-02,1.676637e-02,1.710117e-02,1.848840e-02,1.859867e-02,1.985688e-02,2.039732e-02,2.119914e-02,2.214567e-02,2.250873e-02,2.378027e-02,2.383028e-02,2.500933e-02,2.544069e-02,2.619239e-02,2.696919e-02,2.732676e-02,2.841049e-02,2.944232e-02,2.976142e-02,3.042155e-02,3.102054e-02,3.134798e-02,3.218791e-02,3.222186e-02,3.304379e-02,3.326474e-02,3.381469e-02,3.425320e-02,3.453571e-02,3.515616e-02,3.520821e-02,3.583370e-02,3.597701e-02,3.641383e-02,3.671952e-02,3.695030e-02,3.738769e-02,3.744489e-02,3.789943e-02,3.798569e-02,3.831572e-02,3.851769e-02,3.869560e-02,3.898788e-02,3.904087e-02,3.935330e-02,3.940036e-02,3.963464e-02,3.975913e-02,3.988656e-02,4.006804e-02,4.011073e-02,4.030872e-02,4.033079e-02,4.048206e-02,4.055090e-02,4.063222e-02,4.073170e-02,4.076060e-02,4.086855e-02,4.087634e-02,4.095735e-02,4.098779e-02,4.102823e-02,4.106881e-02,4.108234e-02,4.112078e-02,4.112201e-02,4.114461e-02,4.114980e-02,4.115480e-02,4.115443e-02,4.115230e-02,4.113799e-02,4.111271e-02,4.110243e-02,4.107724e-02,4.104954e-02,4.103233e-02,4.098098e-02,4.097867e-02,4.091693e-02,4.089828e-02,4.084773e-02,4.080287e-02,4.077164e-02,4.069604e-02,4.068922e-02,4.060098e-02,4.057900e-02,4.050741e-02,4.045285e-02,4.040896e-02,4.031861e-02,4.030604e-02,4.019907e-02,4.017723e-02,4.008842e-02,4.002955e-02,3.997444e-02,3.987636e-02,3.985745e-02,3.973778e-02,3.971840e-02,3.961569e-02,3.955632e-02,3.949147e-02,3.939073e-02,3.936537e-02,3.923763e-02,3.922220e-02,3.910846e-02,3.905122e-02,3.897807e-02,3.887828e-02,3.884666e-02,3.871440e-02,3.870379e-02,3.858148e-02,3.852815e-02,3.844803e-02,3.835171e-02,3.831421e-02,3.818016e-02,3.817480e-02,3.804601e-02,3.799771e-02,3.791187e-02,3.782071e-02,3.777785e-02,3.764406e-02,3.746796e-02,3.729263e-02,3.711824e-02,3.694497e-02,3.677296e-02,3.660234e-02,3.643324e-02,3.626576e-02,3.610000e-02,3.593605e-02,3.577398e-02,3.561386e-02,3.545574e-02,3.529968e-02,3.514572e-02,3.499389e-02,3.484423e-02,3.469676e-02,3.455150e-02,3.440847e-02,3.426768e-02,3.412913e-02,3.399282e-02,3.385876e-02
0.000000e+00,2.202933e-07,6.572099e-07,3.340151e-06,9.813560e-06,1.607686e-05,4.669666e-05,4.852769e-05,1.137597e-04,1.399967e-04,2.275975e-04,3.264463e-04,4.072891e-04,6.439293e-04,6.680574e-04,1.020705e-03,1.119833e-03,1.471991e-03,1.769264e-03,2.025550e-03,2.598105e-03,2.682342e-03,3.440825e-03,3.604420e-03,4.297079e-03,4.779021e-03,5.244991e-03,6.106245e-03,6.276532e-03,7.382105e-03,7.565161e-03,8.550958e-03,9.131128e-03,9.771603e-03,1.077747e-02,1.103222e-02,1.232106e-02,1.247707e-02,1.362670e-02,1.420370e-02,1.493837e-02,1.593311e-02,1.624611e-02,1.754089e-02,1.764366e-02,1.881471e-02,1.931678e-02,2.006062e-02,2.093705e-02,2.127272e-02,2.244610e-02,2.249217e-02,2.357681e-02,2.397280e-02,2.466176e-02,2.537220e-02,2.569868e-02,2.668600e-02,2.762278e-02,2.791179e-02,2.850862e-02,2.904885e-02,2.934361e-02,3.009778e-02,3.012821e-02,3.086324e-02,3.106030e-02,3.154976e-02,3.193893e-02,3.218909e-02,3.273684e-02,3.278268e-02,3.333214e-02,3.345763e-02,3.383916e-02,3.410520e-02,3.430549e-02,3.468363e-02,3.473293e-02,3.512331e-02,3.519709e-02,3.547841e-02,3.564973e-02,3.580005e-02,3.604566e-02,3.608999e-02,3.634994e-02,3.638887e-02,3.658160e-02,3.668322e-02,3.678657e-02,3.693241e-02,3.696644e-02,3.712272e-02,3.713995e-02,3.725683e-02,3.730918e-02,3.737018e-02,3.744324e-02,3.746407e-02,3.753977e-02,3.754507e-02,3.759846e-02,3.761743e-02,3.764128e-02,3.766289e-02,3.766930e-02,3.768354e-02,3.768383e-02,3.768494e-02,3.768248e-02,3.767442e-02,3.766090e-02,3.765284e-02,3.762098e-02,3.757962e-02,3.756449e-02,3.752945e-02,3.749304e-02,3.747116e-02,3.740813e-02,3.740536e-02,3.733265e-02,3.731113e-02,3.725358e-02,3.720330e-02,3.716867e-02,3.708581e-02,3.707841e-02,3.698325e-02,3.695973e-02,3.688362e-02,3.682602e-02,3.677992e-02,3.668560e-02,3.667253e-02,3.656179e-02,3.653927e-02,3.644804e-02,3.638780e-02,3.633159e-02,3.623188e-02,3.621271e-02,3.609169e-02,3.607214e-02,3.596876e-02,3.590915e-02,3.584417e-02,3.574345e-02,3.571813e-02,3.559086e-02,3.557551e-02,3.546253e-02,3.540578e-02,3.533334e-02,3.523467e-02,3.520343e-02,3.507298e-02,3.506253e-02,3.494213e-02,3.488971e-02,3.481101e-02,3.471650e-02,3.467974e-02,3.454844e-02,3.454319e-02,3.441723e-02,3.437004e-02,3.428620e-02,3.419726e-02,3.415545e-02,3.402506e-02,3.385365e-02,3.368318e-02,3.351381e-02,3.334568e-02,3.317892e-02,3.301363e-02,3.284992e-02,3.268787e-02,3.252757e-02,3.236908e-02,3.221247e-02,3.205778e-02,3.190507e-02,3.175438e-02,3.160573e-02,3.145917e-02,3.131470e-02,3.117234e-02,3.103212e-02,3.089404e-02,3.075810e-02,3.062431e-02,3.049267e-02,3.036317e-02
0.000000e+00,4.110661e-10,1.023040e-09,3.857104e-09,9.160015e-09,1.357176e-08,3.157310e-08,3.254602e-08,6.365561e-08,7.493363e-08,1.098016e-07,1.459492e-07,1.739704e-07,2.513513e-07,2.589702e-07,3.665424e-07,3.957351e-07,4.964624e-07,5.783481e-07,6.469674e-07,7.947382e-07,8.159197e-07,1.001365e-06,1.040276e-06,1.201532e-06,1.310866e-06,1.414699e-06,1.602519e-06,1.639105e-06,1.872922e-06,1.911081e-06,2.114262e-06,2.232213e-06,2.361205e-06,2.561509e-06,2.611842e-06,2.864317e-06,2.894653e-06,3.116867e-06,3.227585e-06,3.367853e-06,3.556632e-06,3.615782e-06,3.859331e-06,3.878590e-06,4.097347e-06,4.190780e-06,4.328855e-06,4.491051e-06,4.553048e-06,4.769287e-06,4.777763e-06,4.977079e-06,5.049745e-06,5.176074e-06,5.306243e-06,5.366040e-06,5.546857e-06,5.718496e-06,5.771488e-06,5.881007e-06,5.980274e-06,6.034505e-06,6.173542e-06,6.179161e-06,6.315187e-06,6.351761e-06,6.442830e-06,6.515504e-06,6.562362e-06,6.665416e-06,6.674072e-06,6.778264e-06,6.802185e-06,6.875246e-06,6.926524e-06,6.965332e-06,7.039151e-06,7.048834e-06,7.126062e-06,7.140781e-06,7.197319e-06,7.232112e-06,7.262903e-06,7.313821e-06,7.323102e-06,7.378198e-06,7.386558e-06,7.428459e-06,7.450944e-06,7.474145e-06,7.507568e-06,7.515506e-06,7.552779e-06,7.556988e-06,7.586193e-06,7.599728e-06,7.615965e-06,7.636284e-06,7.642302e-06,7.665402e-06,7.667116e-06,7.685452e-06,7.692659e-06,7.702631e-06,7.713316e-06,7.717106e-06,7.729039e-06,7.729465e-06,7.738581e-06,7.741459e-06,7.745876e-06,7.749624e-06,7.751061e-06,7.754265e-06,7.755610e-06,7.755666e-06,7.755211e-06,7.754091e-06,7.753178e-06,7.749785e-06,7.749614e-06,7.744618e-06,7.742974e-06,7.738281e-06,7.733872e-06,7.730691e-06,7.722673e-06,7.721931e-06,7.712078e-06,7.709560e-06,7.701208e-06,7.694701e-06,7.689388e-06,7.678255e-06,7.676686e-06,7.663164e-06,7.660366e-06,7.648880e-06,7.641170e-06,7.633890e-06,7.620791e-06,7.618246e-06,7.601999e-06,7.599347e-06,7.585195e-06,7.576944e-06,7.567878e-06,7.553683e-06,7.550090e-06,7.531871e-06,7.529657e-06,7.513257e-06,7.504952e-06,7.494285e-06,7.479646e-06,7.474986e-06,7.455394e-06,7.453814e-06,7.435536e-06,7.427525e-06,7.415441e-06,7.400842e-06,7.395136e-06,7.374646e-06,7.373822e-06,7.353992e-06,7.346522e-06,7.333199e-06,7.318990e-06,7.312286e-06,7.291274e-06,7.263417e-06,7.235457e-06,7.207434e-06,7.179379e-06,7.151324e-06,7.123299e-06,7.095329e-06,7.067440e-06,7.039654e-06,7.011991e-06,6.984471e-06,6.957110e-06,6.929925e-06,6.902931e-06,6.876140e-06,6.849564e-06,6.823215e-06,6.797103e-06,6.771236e-06,6.745622e-06,6.720268e-06,6.695182e-06,6.670367e-06,6.645831e-06
0.000000e+00,3.647377e-10,8.923275e-10,3.303769e-09,7.801087e-09,1.155458e-08,2.705717e-08,2.790423e-08,5.548440e-08,6.571076e-08,9.802090e-08,1.324768e-07,1.597261e-07,2.365694e-07,2.442133e-07,3.524833e-07,3.818041e-07,4.822753e-07,5.629735e-07,6.298757e-07,7.717630e-07,7.918665e-07,9.655503e-07,1.001493e-06,1.148761e-06,1.247167e-06,1.339625e-06,1.504598e-06,1.536414e-06,1.737485e-06,1.769948e-06,1.941264e-06,2.039598e-06,2.146258e-06,2.310188e-06,2.351074e-06,2.554443e-06,2.578695e-06,2.755228e-06,2.842493e-06,2.952435e-06,3.099395e-06,3.145221e-06,3.332890e-06,3.347665e-06,3.514878e-06,3.585981e-06,3.690748e-06,3.813400e-06,3.860175e-06,4.022934e-06,4.029304e-06,4.178889e-06,4.233355e-06,4.327982e-06,4.425434e-06,4.470195e-06,4.605573e-06,4.734205e-06,4.773960e-06,4.856207e-06,4.930878e-06,4.971729e-06,5.076684e-06,5.080933e-06,5.184001e-06,5.211786e-06,5.281122e-06,5.336622e-06,5.372493e-06,5.451651e-06,5.458317e-06,5.538797e-06,5.557339e-06,5.614135e-06,5.654155e-06,5.684535e-06,5.742561e-06,5.750196e-06,5.811315e-06,5.823010e-06,5.868082e-06,5.895944e-06,5.920686e-06,5.961790e-06,5.969309e-06,6.014127e-06,6.020956e-06,6.055312e-06,6.073840e-06,6.093030e-06,6.120816e-06,6.127442e-06,6.158701e-06,6.162247e-06,6.186956e-06,6.198474e-06,6.212352e-06,6.229825e-06,6.235026e-06,6.255110e-06,6.256609e-06,6.272733e-06,6.279120e-06,6.288016e-06,6.297637e-06,6.301077e-06,6.312027e-06,6.312423e-06,6.320976e-06,6.323727e-06,6.328026e-06,6.331786e-06,6.333276e-06,6.336820e-06,6.338751e-06,6.339041e-06,6.339153e-06,6.338647e-06,6.338110e-06,6.335823e-06,6.335701e-06,6.332003e-06,6.330746e-06,6.327086e-06,6.323581e-06,6.321022e-06,6.314484e-06,6.313874e-06,6.305707e-06,6.303602e-06,6.296581e-06,6.291073e-06,6.286553e-06,6.277025e-06,6.275677e-06,6.264007e-06,6.261582e-06,6.251592e-06,6.244857e-06,6.238479e-06,6.226958e-06,6.224714e-06,6.210339e-06,6.207986e-06,6.195397e-06,6.188034e-06,6.179926e-06,6.167193e-06,6.163963e-06,6.147545e-06,6.145546e-06,6.130704e-06,6.123169e-06,6.113474e-06,6.100137e-06,6.095884e-06,6.077964e-06,6.076517e-06,6.059742e-06,6.052375e-06,6.041244e-06,6.027769e-06,6.022495e-06,6.003519e-06,6.002756e-06,5.984338e-06,5.977388e-06,5.964975e-06,5.951714e-06,5.945449e-06,5.925780e-06,5.899629e-06,5.873300e-06,5.846830e-06,5.820255e-06,5.793606e-06,5.766914e-06,5.740206e-06,5.713508e-06,5.686844e-06,5.660235e-06,5.633704e-06,5.607269e-06,5.580947e-06,5.554755e-06,5.528707e-06,5.502818e-06,5.477100e-06,5.451565e-06,5.426223e-06,5.401084e-06,5.376158e-06,5.351450e-06,5.326970e-06,5.302724e-06
0.000000e+00,2.411604e-10,5.700179e-10,2.021218e-09,4.650483e-09,6.805702e-09,1.548570e-08,1.595207e-08,3.081221e-08,3.619045e-08,5.283402e-08,7.014612e-08,8.362170e-08,1.211410e-07,1.248620e-07,1.779579e-07,1.925441e-07,2.433601e-07,2.850645e-07,3.201387e-07,3.955955e-07,4.063704e-07,4.999243e-07,5.193431e-07,5.989349e-07,6.520622e-07,7.018887e-07,7.905075e-07,8.075505e-07,9.148719e-07,9.321341e-07,1.022927e-06,1.074804e-06,1.130875e-06,1.216637e-06,1.237947e-06,1.343436e-06,1.355957e-06,1.446705e-06,1.491291e-06,1.547186e-06,1.621383e-06,1.644390e-06,1.737897e-06,1.745207e-06,1.827362e-06,1.861955e-06,1.912523e-06,1.971061e-06,1.993184e-06,2.069215e-06,2.072159e-06,2.140548e-06,2.165073e-06,2.207165e-06,2.249785e-06,2.269097e-06,2.326413e-06,2.379215e-06,2.395178e-06,2.427630e-06,2.456381e-06,2.471807e-06,2.510382e-06,2.511910e-06,2.548116e-06,2.557580e-06,2.580607e-06,2.598396e-06,2.609570e-06,2.633263e-06,2.635194e-06,2.657666e-06,2.662611e-06,2.677170e-06,2.686864e-06,2.693888e-06,2.706434e-06,2.707994e-06,2.719658e-06,2.721712e-06,2.729042e-06,2.733073e-06,2.736302e-06,2.740867e-06,2.741585e-06,2.745033e-06,2.745423e-06,2.746779e-06,2.747049e-06,2.746948e-06,2.746029e-06,2.745661e-06,2.743028e-06,2.742627e-06,2.739155e-06,2.737084e-06,2.734142e-06,2.729626e-06,2.728080e-06,2.721058e-06,2.720457e-06,2.713155e-06,2.709765e-06,2.704449e-06,2.697722e-06,2.695009e-06,2.684904e-06,2.684487e-06,2.674194e-06,2.670202e-06,2.662937e-06,2.654998e-06,2.651188e-06,2.638995e-06,2.626407e-06,2.622302e-06,2.613466e-06,2.605017e-06,2.600212e-06,2.587230e-06,2.586684e-06,2.572915e-06,2.569022e-06,2.558939e-06,2.550467e-06,2.544786e-06,2.531632e-06,2.530483e-06,2.516056e-06,2.512577e-06,2.501529e-06,2.493358e-06,2.486924e-06,2.474023e-06,2.472261e-06,2.457561e-06,2.454618e-06,2.442839e-06,2.435181e-06,2.428113e-06,2.415750e-06,2.413396e-06,2.398704e-06,2.396356e-06,2.384047e-06,2.377028e-06,2.369439e-06,2.357794e-06,2.354889e-06,2.340407e-06,2.338674e-06,2.326003e-06,2.319691e-06,2.311683e-06,2.300862e-06,2.297457e-06,2.283330e-06,2.282204e-06,2.269308e-06,2.263730e-06,2.255398e-06,2.245454e-06,2.241603e-06,2.227930e-06,2.227385e-06,2.214380e-06,2.209534e-06,2.200959e-06,2.191908e-06,2.187669e-06,2.174514e-06,2.157358e-06,2.140444e-06,2.123778e-06,2.107360e-06,2.091195e-06,2.075283e-06,2.059626e-06,2.044223e-06,2.029076e-06,2.014183e-06,1.999544e-06,1.985158e-06,1.971022e-06,1.957136e-06,1.943497e-06,1.930102e-06,1.916950e-06,1.904038e-06,1.891363e-06,1.878921e-06,1.866710e-06,1.854727e-06,1.842969e-06,1.831432e-06
0.000000e+00,5.900301e-10,1.447794e-09,5.382174e-09,1.273172e-08,1.886166e-08,4.406375e-08,4.543435e-08,8.966960e-08,1.058826e-07,1.565051e-07,2.096489e-07,2.512190e-07,3.672569e-07,3.787571e-07,5.419800e-07,5.864353e-07,7.398643e-07,8.642917e-07,9.681556e-07,1.190184e-06,1.221808e-06,1.496396e-06,1.553491e-06,1.788226e-06,1.945709e-06,2.094073e-06,2.359651e-06,2.410985e-06,2.736205e-06,2.788837e-06,3.067157e-06,3.227344e-06,3.401464e-06,3.669869e-06,3.736971e-06,4.071761e-06,4.111806e-06,4.404162e-06,4.549283e-06,4.732740e-06,4.979153e-06,5.056290e-06,5.373817e-06,5.398934e-06,5.684508e-06,5.806721e-06,5.987722e-06,6.201121e-06,6.282960e-06,6.569839e-06,6.581136e-06,6.848087e-06,6.946104e-06,7.117516e-06,7.295629e-06,7.378011e-06,7.629520e-06,7.872040e-06,7.947753e-06,8.105609e-06,8.250428e-06,8.330300e-06,8.537745e-06,8.546214e-06,8.753470e-06,8.809969e-06,8.952208e-06,9.067424e-06,9.142580e-06,9.310475e-06,9.324751e-06,9.498896e-06,9.539517e-06,9.665195e-06,9.754964e-06,9.823833e-06,9.957248e-06,9.974999e-06,1.011889e-05,1.014681e-05,1.025569e-05,1.032409e-05,1.038560e-05,1.048954e-05,1.050881e-05,1.062552e-05,1.064360e-05,1.073591e-05,1.078672e-05,1.084019e-05,1.091933e-05,1.093853e-05,1.103114e-05,1.104187e-05,1.111818e-05,1.115476e-05,1.119984e-05,1.125842e-05,1.127630e-05,1.134774e-05,1.135324e-05,1.141433e-05,1.143964e-05,1.147623e-05,1.151799e-05,1.153361e-05,1.158664e-05,1.158867e-05,1.163546e-05,1.165204e-05,1.168024e-05,1.170846e-05,1.172113e-05,1.175827e-05,1.179181e-05,1.180181e-05,1.182189e-05,1.183938e-05,1.184863e-05,1.187130e-05,1.187218e-05,1.189267e-05,1.189787e-05,1.191021e-05,1.191937e-05,1.192493e-05,1.193608e-05,1.193695e-05,1.194638e-05,1.194827e-05,1.195333e-05,1.195619e-05,1.195792e-05,1.196008e-05,1.196024e-05,1.196040e-05,1.196019e-05,1.195850e-05,1.195673e-05,1.195463e-05,1.194992e-05,1.194888e-05,1.194134e-05,1.193997e-05,1.193210e-05,1.192708e-05,1.192124e-05,1.191144e-05,1.190884e-05,1.189499e-05,1.189323e-05,1.187975e-05,1.187262e-05,1.186319e-05,1.184978e-05,1.184539e-05,1.182642e-05,1.182486e-05,1.180634e-05,1.179801e-05,1.178522e-05,1.176939e-05,1.176310e-05,1.174006e-05,1.173912e-05,1.171615e-05,1.170734e-05,1.169142e-05,1.167417e-05,1.166593e-05,1.163972e-05,1.160411e-05,1.156745e-05,1.152983e-05,1.149136e-05,1.145211e-05,1.141219e-05,1.137166e-05,1.133061e-05,1.128911e-05,1.124722e-05,1.120502e-05,1.116255e-05,1.111989e-05,1.107709e-05,1.103418e-05,1.099123e-05,1.094828e-05,1.090537e-05,1.086254e-05,1.081982e-05,1.077726e-05,1.073487e-05,1.069270e-05,1.065077e-05
0.000000e+00,5.418946e-10,1.516103e-09,6.801161e-09,1.798702e-08,2.789626e-08,7.090466e-08,7.330160e-08,1.519430e-07,1.810700e-07,2.721983e-07,3.676648e-07,4.420586e-07,6.486357e-07,6.690605e-07,9.595432e-07,1.039196e-06,1.317304e-06,1.547370e-06,1.742924e-06,2.172167e-06,2.234553e-06,2.789166e-06,2.907346e-06,3.403282e-06,3.744901e-06,4.073139e-06,4.675918e-06,4.794651e-06,5.563323e-06,5.690363e-06,6.374219e-06,6.776889e-06,7.221983e-06,7.922911e-06,8.100903e-06,9.005005e-06,9.114900e-06,9.928162e-06,1.033880e-05,1.086422e-05,1.158050e-05,1.180709e-05,1.275091e-05,1.282628e-05,1.369008e-05,1.406326e-05,1.461938e-05,1.527967e-05,1.553405e-05,1.642978e-05,1.646516e-05,1.730276e-05,1.761081e-05,1.814969e-05,1.870928e-05,1.896780e-05,1.975482e-05,2.050902e-05,2.074320e-05,2.122905e-05,2.167150e-05,2.191400e-05,2.253807e-05,2.256336e-05,2.317692e-05,2.334231e-05,2.375479e-05,2.408452e-05,2.429733e-05,2.476576e-05,2.480512e-05,2.527891e-05,2.538766e-05,2.571962e-05,2.595234e-05,2.612826e-05,2.646224e-05,2.650597e-05,2.685392e-05,2.692004e-05,2.717334e-05,2.732859e-05,2.746550e-05,2.769078e-05,2.773168e-05,2.797314e-05,2.800956e-05,2.819114e-05,2.828782e-05,2.838694e-05,2.852840e-05,2.856173e-05,2.871671e-05,2.873404e-05,2.885302e-05,2.890736e-05,2.897175e-05,2.905089e-05,2.907397e-05,2.916069e-05,2.916699e-05,2.923288e-05,2.925790e-05,2.929146e-05,2.932571e-05,2.933731e-05,2.937126e-05,2.937239e-05,2.939410e-05,2.939975e-05,2.940658e-05,2.940951e-05,2.940940e-05,2.940323e-05,2.938869e-05,2.938237e-05,2.936639e-05,2.934829e-05,2.933686e-05,2.930222e-05,2.930065e-05,2.925824e-05,2.924532e-05,2.921009e-05,2.917863e-05,2.915665e-05,2.910314e-05,2.909830e-05,2.903545e-05,2.901974e-05,2.896845e-05,2.892925e-05,2.889764e-05,2.883242e-05,2.882333e-05,2.874581e-05,2.872995e-05,2.866538e-05,2.862248e-05,2.858227e-05,2.851059e-05,2.849675e-05,2.840904e-05,2.839481e-05,2.831935e-05,2.827565e-05,2.822787e-05,2.815354e-05,2.813481e-05,2.804033e-05,2.802891e-05,2.794460e-05,2.790212e-05,2.784777e-05,2.777354e-05,2.774999e-05,2.765139e-05,2.764347e-05,2.755209e-05,2.751220e-05,2.745221e-05,2.738001e-05,2.735187e-05,2.725116e-05,2.724713e-05,2.715018e-05,2.711378e-05,2.704903e-05,2.698018e-05,2.694777e-05,2.684650e-05,2.671291e-05,2.657957e-05,2.644662e-05,2.631419e-05,2.618238e-05,2.605131e-05,2.592107e-05,2.579174e-05,2.566341e-05,2.553614e-05,2.541000e-05,2.528504e-05,2.516131e-05,2.503886e-05,2.491772e-05,2.479793e-05,2.467952e-05,2.456251e-05,2.444693e-05,2.433280e-05,2.422012e-05,2.410892e-05,2.399921e-05,2.389098e-05
0.000000e+00,4.443574e-12,1.013355e-11,3.473651e-11,7.936469e-11,1.164702e-10,2.720042e-10,2.806448e-10,5.701115e-10,6.808751e-10,1.037899e-09,1.420886e-09,1.718858e-09,2.516385e-09,2.592016e-09,3.601596e-09,3.858495e-09,4.699886e-09,5.341754e-09,5.856291e-09,6.906020e-09,7.050861e-09,8.268618e-09,8.513801e-09,9.496726e-09,1.013549e-08,1.072341e-08,1.174471e-08,1.193775e-08,1.312983e-08,1.331789e-08,1.429088e-08,1.483494e-08,1.541352e-08,1.627993e-08,1.649181e-08,1.752126e-08,1.764135e-08,1.849875e-08,1.891186e-08,1.942239e-08,2.008780e-08,2.029135e-08,2.110574e-08,2.116855e-08,2.186637e-08,2.215587e-08,2.257464e-08,2.305316e-08,2.323233e-08,2.384153e-08,2.386492e-08,2.440451e-08,2.459632e-08,2.492367e-08,2.525294e-08,2.540149e-08,2.584041e-08,2.624285e-08,2.636431e-08,2.661114e-08,2.682997e-08,2.694753e-08,2.724242e-08,2.725414e-08,2.753301e-08,2.760639e-08,2.778606e-08,2.792623e-08,2.801506e-08,2.820597e-08,2.822171e-08,2.840758e-08,2.844926e-08,2.857412e-08,2.865946e-08,2.872272e-08,2.883964e-08,2.885462e-08,2.897102e-08,2.899254e-08,2.907302e-08,2.912070e-08,2.916162e-08,2.922639e-08,2.923777e-08,2.930235e-08,2.931167e-08,2.935618e-08,2.937842e-08,2.940001e-08,2.942835e-08,2.943454e-08,2.946042e-08,2.946298e-08,2.947827e-08,2.948372e-08,2.948863e-08,2.949183e-08,2.949204e-08,2.948899e-08,2.948848e-08,2.947992e-08,2.947470e-08,2.946525e-08,2.945146e-08,2.944539e-08,2.942070e-08,2.941961e-08,2.939151e-08,2.937997e-08,2.935816e-08,2.933324e-08,2.932092e-08,2.928009e-08,2.923593e-08,2.922113e-08,2.918867e-08,2.915690e-08,2.913854e-08,2.908792e-08,2.908576e-08,2.903053e-08,2.901465e-08,2.897302e-08,2.893751e-08,2.891343e-08,2.885689e-08,2.885190e-08,2.878860e-08,2.877316e-08,2.872367e-08,2.868665e-08,2.865725e-08,2.859766e-08,2.858946e-08,2.852042e-08,2.850647e-08,2.845025e-08,2.841335e-08,2.837905e-08,2.831852e-08,2.830692e-08,2.823396e-08,2.822222e-08,2.816026e-08,2.812464e-08,2.808589e-08,2.802598e-08,2.801094e-08,2.793549e-08,2.792640e-08,2.785959e-08,2.782607e-08,2.778332e-08,2.772514e-08,2.770673e-08,2.762990e-08,2.762374e-08,2.755287e-08,2.752201e-08,2.747569e-08,2.742006e-08,2.739841e-08,2.732108e-08,2.731799e-08,2.724375e-08,2.721592e-08,2.716645e-08,2.711393e-08,2.708922e-08,2.701210e-08,2.691053e-08,2.680928e-08,2.670843e-08,2.660802e-08,2.650813e-08,2.640880e-08,2.631008e-08,2.621203e-08,2.611467e-08,2.601805e-08,2.592220e-08,2.582716e-08,2.573295e-08,2.563959e-08,2.554712e-08,2.545555e-08,2.536491e-08,2.527520e-08,2.518644e-08,2.509866e-08,2.501185e-08,2.492602e-08,2.484120e-08,2.475738e-08
0.000000e+00,2.131311e-10,5.210391e-10,1.925460e-09,4.536005e-09,6.707838e-09,1.562240e-08,1.610715e-08,3.177461e-08,3.753138e-08,5.555432e-08,7.452131e-08,8.935020e-08,1.304123e-07,1.344397e-07,1.905357e-07,2.054680e-07,2.560191e-07,2.960982e-07,3.290671e-07,3.984081e-07,4.081795e-07,4.921284e-07,5.094013e-07,5.798250e-07,6.265669e-07,6.702461e-07,7.475891e-07,7.624147e-07,8.554080e-07,8.703054e-07,9.483739e-07,9.927594e-07,1.040547e-06,1.113262e-06,1.131258e-06,1.219942e-06,1.230425e-06,1.306134e-06,1.343170e-06,1.389464e-06,1.450706e-06,1.469653e-06,1.546498e-06,1.552497e-06,1.619865e-06,1.648219e-06,1.689677e-06,1.737721e-06,1.755903e-06,1.818554e-06,1.820986e-06,1.877667e-06,1.898095e-06,1.933309e-06,1.969204e-06,1.985562e-06,2.034521e-06,2.080294e-06,2.094286e-06,2.122993e-06,2.148762e-06,2.162737e-06,2.198221e-06,2.199645e-06,2.233837e-06,2.242941e-06,2.265435e-06,2.283197e-06,2.294555e-06,2.319259e-06,2.321316e-06,2.345831e-06,2.351392e-06,2.368210e-06,2.379850e-06,2.388562e-06,2.404877e-06,2.406990e-06,2.423594e-06,2.426705e-06,2.438472e-06,2.445557e-06,2.451715e-06,2.461643e-06,2.463414e-06,2.473653e-06,2.475162e-06,2.482515e-06,2.486302e-06,2.490077e-06,2.495241e-06,2.496414e-06,2.501597e-06,2.502145e-06,2.505696e-06,2.507172e-06,2.508774e-06,2.510469e-06,2.510893e-06,2.512113e-06,2.512173e-06,2.512489e-06,2.512415e-06,2.512075e-06,2.511316e-06,2.510921e-06,2.509076e-06,2.508988e-06,2.506584e-06,2.505538e-06,2.503491e-06,2.501064e-06,2.499836e-06,2.495659e-06,2.490998e-06,2.489409e-06,2.485886e-06,2.482394e-06,2.480357e-06,2.474687e-06,2.474444e-06,2.468175e-06,2.466360e-06,2.461579e-06,2.457476e-06,2.454683e-06,2.448094e-06,2.447511e-06,2.440088e-06,2.438271e-06,2.432436e-06,2.428059e-06,2.424577e-06,2.417505e-06,2.416530e-06,2.408314e-06,2.406652e-06,2.399948e-06,2.395544e-06,2.391448e-06,2.384216e-06,2.382830e-06,2.374109e-06,2.372705e-06,2.365298e-06,2.361042e-06,2.356412e-06,2.349257e-06,2.347463e-06,2.338461e-06,2.337378e-06,2.329419e-06,2.325430e-06,2.320346e-06,2.313436e-06,2.311252e-06,2.302147e-06,2.301418e-06,2.293038e-06,2.289395e-06,2.283933e-06,2.277384e-06,2.274840e-06,2.265766e-06,2.265403e-06,2.256717e-06,2.253466e-06,2.247699e-06,2.241587e-06,2.238717e-06,2.229778e-06,2.218050e-06,2.206413e-06,2.194876e-06,2.183448e-06,2.172136e-06,2.160947e-06,2.149886e-06,2.138958e-06,2.128168e-06,2.117520e-06,2.107017e-06,2.096662e-06,2.086458e-06,2.076406e-06,2.066508e-06,2.056765e-06,2.047179e-06,2.037749e-06,2.028476e-06,2.019360e-06,2.010401e-06,2.001599e-06,1.992952e-06,1.984461e-06
0.000000e+00,1.914251e-12,4.387005e-12,1.510321e-11,3.436043e-11,5.010235e-11,1.132665e-10,1.166492e-10,2.237290e-10,2.621165e-10,3.795893e-10,4.996637e-10,5.917034e-10,8.422202e-10,8.666684e-10,1.210031e-09,1.303119e-09,1.626047e-09,1.891826e-09,2.117405e-09,2.612836e-09,2.684942e-09,3.327417e-09,3.464641e-09,4.041384e-09,4.439116e-09,4.821222e-09,5.521706e-09,5.659368e-09,6.546758e-09,6.692653e-09,7.473465e-09,7.929274e-09,8.429392e-09,9.208670e-09,9.404906e-09,1.039129e-08,1.051002e-08,1.138097e-08,1.181578e-08,1.236753e-08,1.311194e-08,1.334568e-08,1.431108e-08,1.438765e-08,1.526026e-08,1.563474e-08,1.619044e-08,1.684718e-08,1.709947e-08,1.798569e-08,1.802064e-08,1.884788e-08,1.915221e-08,1.968518e-08,2.024003e-08,2.049703e-08,2.128313e-08,2.204337e-08,2.228119e-08,2.277781e-08,2.323441e-08,2.348666e-08,2.414336e-08,2.417022e-08,2.482888e-08,2.500891e-08,2.546311e-08,2.583213e-08,2.607342e-08,2.661425e-08,2.666035e-08,2.722450e-08,2.735657e-08,2.776645e-08,2.806047e-08,2.828681e-08,2.872736e-08,2.878620e-08,2.926523e-08,2.935865e-08,2.972452e-08,2.995576e-08,3.016469e-08,3.052008e-08,3.058632e-08,3.099001e-08,3.105298e-08,3.137635e-08,3.155580e-08,3.174591e-08,3.202984e-08,3.209923e-08,3.243688e-08,3.247636e-08,3.275936e-08,3.289659e-08,3.306721e-08,3.329170e-08,3.336093e-08,3.364099e-08,3.366282e-08,3.390788e-08,3.401105e-08,3.416205e-08,3.433743e-08,3.440395e-08,3.463401e-08,3.464297e-08,3.485265e-08,3.492864e-08,3.506027e-08,3.519536e-08,3.525727e-08,3.544401e-08,3.562088e-08,3.567544e-08,3.578821e-08,3.589047e-08,3.594636e-08,3.608985e-08,3.609566e-08,3.623641e-08,3.627434e-08,3.636894e-08,3.644463e-08,3.649353e-08,3.660140e-08,3.661048e-08,3.672007e-08,3.674530e-08,3.682256e-08,3.687694e-08,3.691820e-08,3.699691e-08,3.700725e-08,3.708996e-08,3.710576e-08,3.716654e-08,3.720402e-08,3.723723e-08,3.729222e-08,3.730224e-08,3.736179e-08,3.737082e-08,3.741606e-08,3.744030e-08,3.746526e-08,3.750109e-08,3.750957e-08,3.754918e-08,3.755362e-08,3.758425e-08,3.759829e-08,3.761496e-08,3.763548e-08,3.764147e-08,3.766393e-08,3.766556e-08,3.768250e-08,3.768886e-08,3.769731e-08,3.770574e-08,3.770852e-08,3.771626e-08,3.771650e-08,3.772065e-08,3.772144e-08,3.772183e-08,3.772086e-08,3.771992e-08,3.771502e-08,3.770420e-08,3.768863e-08,3.766857e-08,3.764423e-08,3.761584e-08,3.758360e-08,3.754771e-08,3.750836e-08,3.746574e-08,3.742000e-08,3.737132e-08,3.731986e-08,3.726577e-08,3.720918e-08,3.715024e-08,3.708908e-08,3.702582e-08,3.696059e-08,3.689349e-08,3.682463e-08,3.675413e-08,3.668208e-08,3.660858e-08,3.653371e-08
0.000000e+00,2.714652e-09,8.002371e-09,3.964826e-08,1.137029e-07,1.837165e-07,5.138152e-07,5.331021e-07,1.199117e-06,1.458271e-06,2.299376e-06,3.217999e-06,3.954250e-06,6.070293e-06,6.284345e-06,9.406194e-06,1.028516e-05,1.342241e-05,1.609032e-05,1.840305e-05,2.359607e-05,2.436142e-05,3.123862e-05,3.271428e-05,3.891028e-05,4.315938e-05,4.721075e-05,5.453705e-05,5.595959e-05,6.498047e-05,6.643801e-05,7.411189e-05,7.849176e-05,8.321190e-05,9.038728e-05,9.215949e-05,1.008542e-04,1.018766e-04,1.092153e-04,1.127715e-04,1.171795e-04,1.229377e-04,1.247003e-04,1.317452e-04,1.322876e-04,1.382947e-04,1.407735e-04,1.443401e-04,1.483805e-04,1.498817e-04,1.549276e-04,1.551194e-04,1.594920e-04,1.610207e-04,1.635934e-04,1.661291e-04,1.672540e-04,1.704985e-04,1.733527e-04,1.741881e-04,1.758435e-04,1.772593e-04,1.779977e-04,1.797736e-04,1.798417e-04,1.814012e-04,1.817902e-04,1.827008e-04,1.833656e-04,1.837639e-04,1.845520e-04,1.846125e-04,1.852671e-04,1.853975e-04,1.857468e-04,1.859456e-04,1.860692e-04,1.862357e-04,1.862505e-04,1.863054e-04,1.863025e-04,1.862476e-04,1.861771e-04,1.860892e-04,1.858867e-04,1.858414e-04,1.855144e-04,1.854553e-04,1.851171e-04,1.849040e-04,1.846579e-04,1.842510e-04,1.841442e-04,1.835826e-04,1.835122e-04,1.829791e-04,1.827017e-04,1.823392e-04,1.818315e-04,1.816677e-04,1.809690e-04,1.809120e-04,1.802470e-04,1.799525e-04,1.795052e-04,1.789607e-04,1.787468e-04,1.779747e-04,1.779436e-04,1.771914e-04,1.769071e-04,1.763992e-04,1.758565e-04,1.756002e-04,1.747962e-04,1.739889e-04,1.737301e-04,1.731798e-04,1.726616e-04,1.723702e-04,1.715938e-04,1.715615e-04,1.707545e-04,1.705291e-04,1.699505e-04,1.694697e-04,1.691501e-04,1.684177e-04,1.683543e-04,1.675636e-04,1.673747e-04,1.667788e-04,1.663421e-04,1.660004e-04,1.653211e-04,1.652289e-04,1.644648e-04,1.643129e-04,1.637084e-04,1.633183e-04,1.629601e-04,1.623380e-04,1.622202e-04,1.614889e-04,1.613728e-04,1.607666e-04,1.604231e-04,1.600534e-04,1.594894e-04,1.593494e-04,1.586549e-04,1.585721e-04,1.579698e-04,1.576715e-04,1.572945e-04,1.567877e-04,1.566288e-04,1.559730e-04,1.559209e-04,1.553269e-04,1.550713e-04,1.546907e-04,1.542388e-04,1.540644e-04,1.534479e-04,1.534235e-04,1.528413e-04,1.526254e-04,1.522445e-04,1.518443e-04,1.516575e-04,1.510803e-04,1.503331e-04,1.496028e-04,1.488890e-04,1.481917e-04,1.475105e-04,1.468455e-04,1.461962e-04,1.455625e-04,1.449442e-04,1.443410e-04,1.437526e-04,1.431788e-04,1.426194e-04,1.420741e-04,1.415426e-04,1.410246e-04,1.405199e-04,1.400282e-04,1.395493e-04,1.390829e-04,1.386286e-04,1.381864e-04,1.377558e-04,1.373366e-04
0.000000e+00,1.871006e-09,5.450448e-09,2.639008e-08,7.426396e-08,1.188673e-07,3.256266e-07,3.376058e-07,7.486167e-07,9.079445e-07,1.425125e-06,1.991271e-06,2.445823e-06,3.749663e-06,3.880878e-06,5.768655e-06,6.289891e-06,8.111254e-06,9.615168e-06,1.088987e-05,1.367487e-05,1.407817e-05,1.764752e-05,1.840449e-05,2.156764e-05,2.373400e-05,2.580585e-05,2.958570e-05,3.032639e-05,3.509023e-05,3.587225e-05,4.005548e-05,4.249750e-05,4.517821e-05,4.935955e-05,5.041344e-05,5.571637e-05,5.635518e-05,6.104344e-05,6.338427e-05,6.635340e-05,7.035389e-05,7.160806e-05,7.677296e-05,7.718133e-05,8.181775e-05,8.379606e-05,8.671642e-05,9.014064e-05,9.144728e-05,9.599290e-05,9.617067e-05,1.003398e-04,1.018541e-04,1.044784e-04,1.071702e-04,1.084021e-04,1.121076e-04,1.155939e-04,1.166633e-04,1.188623e-04,1.208411e-04,1.219159e-04,1.246495e-04,1.247593e-04,1.273982e-04,1.281013e-04,1.298392e-04,1.312118e-04,1.320896e-04,1.339984e-04,1.341573e-04,1.360503e-04,1.364795e-04,1.377768e-04,1.386740e-04,1.393450e-04,1.406008e-04,1.407633e-04,1.420397e-04,1.422787e-04,1.431821e-04,1.437258e-04,1.441982e-04,1.449595e-04,1.450954e-04,1.458808e-04,1.459965e-04,1.465613e-04,1.468526e-04,1.471434e-04,1.475423e-04,1.476332e-04,1.480368e-04,1.480797e-04,1.483598e-04,1.484777e-04,1.486073e-04,1.487482e-04,1.487846e-04,1.488962e-04,1.489024e-04,1.489467e-04,1.489507e-04,1.489403e-04,1.489026e-04,1.488809e-04,1.487724e-04,1.487670e-04,1.486181e-04,1.485521e-04,1.484215e-04,1.482652e-04,1.481857e-04,1.479135e-04,1.476077e-04,1.475031e-04,1.472708e-04,1.470401e-04,1.469054e-04,1.465298e-04,1.465136e-04,1.460977e-04,1.459771e-04,1.456595e-04,1.453867e-04,1.452010e-04,1.447627e-04,1.447238e-04,1.442298e-04,1.441089e-04,1.437203e-04,1.434289e-04,1.431969e-04,1.427259e-04,1.426609e-04,1.421136e-04,1.420029e-04,1.415561e-04,1.412626e-04,1.409896e-04,1.405075e-04,1.404150e-04,1.398335e-04,1.397399e-04,1.392459e-04,1.389619e-04,1.386529e-04,1.381754e-04,1.380556e-04,1.374545e-04,1.373821e-04,1.368504e-04,1.365838e-04,1.362439e-04,1.357817e-04,1.356356e-04,1.350262e-04,1.349774e-04,1.344161e-04,1.341719e-04,1.338058e-04,1.333665e-04,1.331957e-04,1.325864e-04,1.325621e-04,1.319782e-04,1.317596e-04,1.313715e-04,1.309599e-04,1.307666e-04,1.301638e-04,1.293719e-04,1.285848e-04,1.278032e-04,1.270275e-04,1.262582e-04,1.254957e-04,1.247403e-04,1.239924e-04,1.232523e-04,1.225201e-04,1.217962e-04,1.210807e-04,1.203738e-04,1.196756e-04,1.189862e-04,1.183058e-04,1.176344e-04,1.169720e-04,1.163188e-04,1.156747e-04,1.150397e-04,1.144139e-04,1.137973e-04,1.131897e-04
0.000000e+00,4.694872e-07,1.402283e-06,7.140939e-06,2.100140e-05,3.440861e-05,9.977768e-05,1.036761e-04,2.417909e-04,2.969608e-04,4.799827e-04,6.852050e-04,8.527303e-04,1.344712e-03,1.395127e-03,2.138787e-03,2.350207e-03,3.109507e-03,3.759964e-03,4.327284e-03,5.615085e-03,5.806812e-03,7.557638e-03,7.940836e-03,9.584141e-03,1.074680e-02,1.188548e-02,1.402677e-02,1.445568e-02,1.728382e-02,1.775929e-02,2.035446e-02,2.190894e-02,2.364817e-02,2.642851e-02,2.714213e-02,3.081095e-02,3.126167e-02,3.462732e-02,3.634598e-02,3.856286e-02,4.161584e-02,4.258876e-02,4.667647e-02,4.700532e-02,5.079824e-02,5.245052e-02,5.492763e-02,5.789151e-02,5.903984e-02,6.311200e-02,6.327375e-02,6.712340e-02,6.854901e-02,7.105557e-02,7.367584e-02,7.489234e-02,7.861980e-02,8.222626e-02,8.335315e-02,8.570212e-02,8.785452e-02,8.903974e-02,9.210841e-02,9.223333e-02,9.527880e-02,9.610460e-02,9.817355e-02,9.983750e-02,1.009164e-01,1.033055e-01,1.035072e-01,1.059470e-01,1.065103e-01,1.082378e-01,1.094565e-01,1.103822e-01,1.121507e-01,1.123835e-01,1.142455e-01,1.146015e-01,1.159725e-01,1.168187e-01,1.175690e-01,1.188128e-01,1.190399e-01,1.203901e-01,1.205953e-01,1.216248e-01,1.221779e-01,1.227490e-01,1.235724e-01,1.237680e-01,1.246868e-01,1.247906e-01,1.255105e-01,1.258441e-01,1.262441e-01,1.267444e-01,1.268925e-01,1.274603e-01,1.275024e-01,1.279522e-01,1.281287e-01,1.283725e-01,1.286333e-01,1.287256e-01,1.290155e-01,1.290258e-01,1.292462e-01,1.293154e-01,1.294213e-01,1.295105e-01,1.295445e-01,1.296192e-01,1.296486e-01,1.296490e-01,1.296359e-01,1.296069e-01,1.295838e-01,1.294994e-01,1.294952e-01,1.293728e-01,1.293327e-01,1.292188e-01,1.291124e-01,1.290358e-01,1.288436e-01,1.288259e-01,1.285911e-01,1.285313e-01,1.283335e-01,1.281799e-01,1.280548e-01,1.277935e-01,1.277568e-01,1.274410e-01,1.273759e-01,1.271091e-01,1.269306e-01,1.267625e-01,1.264609e-01,1.264024e-01,1.260302e-01,1.259696e-01,1.256470e-01,1.254595e-01,1.252540e-01,1.249331e-01,1.248521e-01,1.244423e-01,1.243926e-01,1.240256e-01,1.238402e-01,1.236027e-01,1.232777e-01,1.231745e-01,1.227417e-01,1.227069e-01,1.223050e-01,1.221294e-01,1.218650e-01,1.215466e-01,1.214224e-01,1.209777e-01,1.209598e-01,1.205313e-01,1.203703e-01,1.200839e-01,1.197792e-01,1.196358e-01,1.191875e-01,1.185960e-01,1.180056e-01,1.174170e-01,1.168310e-01,1.162480e-01,1.156688e-01,1.150937e-01,1.145232e-01,1.139577e-01,1.133975e-01,1.128430e-01,1.122945e-01,1.117522e-01,1.112162e-01,1.106868e-01,1.101642e-01,1.096485e-01,1.091397e-01,1.086381e-01,1.081436e-01,1.076564e-01,1.071764e-01,1.067037e-01,1.062384e-01
0.000000e+00,2.227726e-07,6.663916e-07,3.404695e-06,1.004569e-05,1.649018e-05,4.807774e-05,4.996805e-05,1.172695e-04,1.443001e-04,2.344549e-04,3.363382e-04,4.201090e-04,6.693982e-04,6.952308e-04,1.082624e-03,1.194873e-03,1.605021e-03,1.964010e-03,2.281862e-03,3.015984e-03,3.126470e-03,4.145379e-03,4.370231e-03,5.339381e-03,6.028428e-03,6.704955e-03,7.979798e-03,8.235397e-03,9.921595e-03,1.020513e-02,1.175256e-02,1.267924e-02,1.371584e-02,1.537262e-02,1.579784e-02,1.798415e-02,1.825281e-02,2.025987e-02,2.128560e-02,2.260984e-02,2.443617e-02,2.501895e-02,2.747237e-02,2.767012e-02,2.995574e-02,3.095439e-02,3.245539e-02,3.425794e-02,3.495843e-02,3.745289e-02,3.755233e-02,3.992780e-02,4.081203e-02,4.237321e-02,4.401464e-02,4.478021e-02,4.714093e-02,4.944855e-02,5.017478e-02,5.169720e-02,5.310308e-02,5.388197e-02,5.591551e-02,5.599884e-02,5.804458e-02,5.860428e-02,6.001668e-02,6.116381e-02,6.191331e-02,6.359049e-02,6.373324e-02,6.547578e-02,6.588244e-02,6.714073e-02,6.803929e-02,6.872833e-02,7.006191e-02,7.023919e-02,7.167424e-02,7.195225e-02,7.303471e-02,7.371317e-02,7.432212e-02,7.534836e-02,7.553823e-02,7.668497e-02,7.686214e-02,7.776435e-02,7.825914e-02,7.877849e-02,7.954429e-02,7.972957e-02,8.061981e-02,8.072265e-02,8.145145e-02,8.179939e-02,8.222675e-02,8.277969e-02,8.294797e-02,8.361734e-02,8.366872e-02,8.423706e-02,8.447154e-02,8.480932e-02,8.519315e-02,8.533623e-02,8.581990e-02,8.583837e-02,8.626234e-02,8.641191e-02,8.666555e-02,8.691829e-02,8.703143e-02,8.736186e-02,8.765863e-02,8.774677e-02,8.792348e-02,8.807700e-02,8.815807e-02,8.835632e-02,8.836403e-02,8.854289e-02,8.858832e-02,8.869614e-02,8.877640e-02,8.882522e-02,8.892379e-02,8.893148e-02,8.901623e-02,8.903351e-02,8.908073e-02,8.910844e-02,8.912616e-02,8.915128e-02,8.915367e-02,8.916434e-02,8.916455e-02,8.915922e-02,8.915064e-02,8.913928e-02,8.911179e-02,8.910548e-02,8.905871e-02,8.905008e-02,8.899981e-02,8.896748e-02,8.892961e-02,8.886582e-02,8.884887e-02,8.875832e-02,8.874682e-02,8.865865e-02,8.861208e-02,8.855053e-02,8.846310e-02,8.843459e-02,8.831140e-02,8.830125e-02,8.818154e-02,8.812785e-02,8.804554e-02,8.794410e-02,8.790390e-02,8.775710e-02,8.775112e-02,8.760558e-02,8.754996e-02,8.744978e-02,8.734159e-02,8.729009e-02,8.712691e-02,8.690675e-02,8.668190e-02,8.645306e-02,8.622090e-02,8.598603e-02,8.574903e-02,8.551041e-02,8.527065e-02,8.503021e-02,8.478948e-02,8.454884e-02,8.430864e-02,8.406918e-02,8.383077e-02,8.359365e-02,8.335807e-02,8.312425e-02,8.289238e-02,8.266265e-02,8.243520e-02,8.221020e-02,8.198775e-02,8.176799e-02,8.155100e-02
0.000000e+00,1.026088e-11,2.348051e-11,8.080754e-11,1.844692e-10,2.700003e-10,6.212335e-10,6.404181e-10,1.267139e-09,1.500443e-09,2.236960e-09,3.012033e-09,3.611125e-09,5.223445e-09,5.378060e-09,7.486956e-09,8.038937e-09,9.895423e-09,1.136365e-08,1.257368e-08,1.513371e-08,1.549654e-08,1.863841e-08,1.929066e-08,2.197151e-08,2.377040e-08,2.546582e-08,2.850258e-08,2.908982e-08,3.281163e-08,3.341409e-08,3.660002e-08,3.843333e-08,4.042539e-08,4.349388e-08,4.426045e-08,4.808066e-08,4.853704e-08,5.186454e-08,5.351309e-08,5.559369e-08,5.838165e-08,5.925271e-08,6.282905e-08,6.311127e-08,6.631275e-08,6.767850e-08,6.969614e-08,7.206684e-08,7.297360e-08,7.614121e-08,7.626559e-08,7.919655e-08,8.026873e-08,8.213842e-08,8.407395e-08,8.496664e-08,8.768184e-08,9.028532e-08,9.109512e-08,9.277890e-08,9.431813e-08,9.516480e-08,9.735633e-08,9.744557e-08,9.962398e-08,1.002160e-07,1.017029e-07,1.029039e-07,1.036855e-07,1.054270e-07,1.055748e-07,1.073739e-07,1.077927e-07,1.090861e-07,1.100081e-07,1.107144e-07,1.120804e-07,1.122619e-07,1.137317e-07,1.140166e-07,1.151268e-07,1.158237e-07,1.164501e-07,1.175083e-07,1.177045e-07,1.188926e-07,1.190768e-07,1.200173e-07,1.205354e-07,1.210811e-07,1.218901e-07,1.220866e-07,1.230362e-07,1.231465e-07,1.239322e-07,1.243101e-07,1.247770e-07,1.253862e-07,1.255728e-07,1.263216e-07,1.263795e-07,1.270255e-07,1.272949e-07,1.276865e-07,1.281369e-07,1.283064e-07,1.288872e-07,1.289096e-07,1.294304e-07,1.296171e-07,1.299379e-07,1.302633e-07,1.304111e-07,1.308518e-07,1.312612e-07,1.313859e-07,1.316410e-07,1.318691e-07,1.319924e-07,1.323042e-07,1.323167e-07,1.326153e-07,1.326944e-07,1.328892e-07,1.330423e-07,1.331397e-07,1.333505e-07,1.333679e-07,1.335748e-07,1.336214e-07,1.337615e-07,1.338576e-07,1.339289e-07,1.340610e-07,1.340779e-07,1.342095e-07,1.342338e-07,1.343245e-07,1.343780e-07,1.344237e-07,1.344955e-07,1.345080e-07,1.345779e-07,1.345879e-07,1.346344e-07,1.346569e-07,1.346780e-07,1.347040e-07,1.347094e-07,1.347292e-07,1.347309e-07,1.347381e-07,1.347387e-07,1.347366e-07,1.347289e-07,1.347253e-07,1.347047e-07,1.347026e-07,1.346752e-07,1.346611e-07,1.346375e-07,1.346054e-07,1.345918e-07,1.345388e-07,1.345365e-07,1.344787e-07,1.344555e-07,1.344121e-07,1.343632e-07,1.343392e-07,1.342605e-07,1.341483e-07,1.340272e-07,1.338980e-07,1.337614e-07,1.336180e-07,1.334685e-07,1.333133e-07,1.331531e-07,1.329883e-07,1.328193e-07,1.326467e-07,1.324708e-07,1.322921e-07,1.321109e-07,1.319275e-07,1.317422e-07,1.315555e-07,1.313675e-07,1.311784e-07,1.309887e-07,1.307984e-07,1.306078e-07,1.304172e-07,1.302266e-07
0.000000e+00,6.450601e-11,1.600906e-10,6.030549e-10,1.435246e-09,2.130467e-09,4.987464e-09,5.142645e-09,1.013637e-08,1.195927e-08,1.762548e-08,2.353147e-08,2.811930e-08,4.076890e-08,4.201021e-08,5.943490e-08,6.413537e-08,8.030335e-08,9.342882e-08,1.044386e-07,1.282275e-07,1.316485e-07,1.617294e-07,1.680708e-07,1.944563e-07,2.124373e-07,2.295769e-07,2.607255e-07,2.668135e-07,3.058693e-07,3.122666e-07,3.464367e-07,3.663551e-07,3.882068e-07,4.222856e-07,4.308779e-07,4.741627e-07,4.793852e-07,5.177935e-07,5.370368e-07,5.615263e-07,5.946964e-07,6.051432e-07,6.484529e-07,6.518992e-07,6.912904e-07,7.082612e-07,7.335162e-07,7.634739e-07,7.750141e-07,8.156892e-07,8.172980e-07,8.554661e-07,8.695541e-07,8.942861e-07,9.201141e-07,9.321051e-07,9.688918e-07,1.004626e-06,1.015836e-06,1.039295e-06,1.060922e-06,1.072895e-06,1.104149e-06,1.105430e-06,1.136905e-06,1.145530e-06,1.167333e-06,1.185093e-06,1.196729e-06,1.222876e-06,1.225109e-06,1.252494e-06,1.258921e-06,1.278904e-06,1.293276e-06,1.304362e-06,1.325995e-06,1.328890e-06,1.352513e-06,1.357131e-06,1.375254e-06,1.386739e-06,1.397138e-06,1.414875e-06,1.418188e-06,1.438429e-06,1.441594e-06,1.457885e-06,1.466952e-06,1.476580e-06,1.491002e-06,1.494536e-06,1.511776e-06,1.513798e-06,1.528324e-06,1.535392e-06,1.544202e-06,1.555833e-06,1.559430e-06,1.574029e-06,1.575171e-06,1.588022e-06,1.593453e-06,1.601426e-06,1.610724e-06,1.614263e-06,1.626550e-06,1.627030e-06,1.638306e-06,1.642412e-06,1.649550e-06,1.656912e-06,1.660298e-06,1.670568e-06,1.680376e-06,1.683420e-06,1.689738e-06,1.695502e-06,1.698668e-06,1.706850e-06,1.707183e-06,1.715297e-06,1.717498e-06,1.723023e-06,1.727478e-06,1.730375e-06,1.736820e-06,1.737366e-06,1.744009e-06,1.745553e-06,1.750317e-06,1.753707e-06,1.756301e-06,1.761307e-06,1.761972e-06,1.767342e-06,1.768381e-06,1.772421e-06,1.774951e-06,1.777221e-06,1.781043e-06,1.781750e-06,1.786018e-06,1.786678e-06,1.790036e-06,1.791878e-06,1.793812e-06,1.796664e-06,1.797354e-06,1.800672e-06,1.801055e-06,1.803773e-06,1.805071e-06,1.806665e-06,1.808729e-06,1.809357e-06,1.811854e-06,1.812046e-06,1.814165e-06,1.815039e-06,1.816297e-06,1.817724e-06,1.818255e-06,1.820047e-06,1.820115e-06,1.821678e-06,1.822227e-06,1.823154e-06,1.824073e-06,1.824482e-06,1.825667e-06,1.827021e-06,1.828146e-06,1.829055e-06,1.829758e-06,1.830266e-06,1.830588e-06,1.830734e-06,1.830712e-06,1.830532e-06,1.830202e-06,1.829730e-06,1.829123e-06,1.828388e-06,1.827532e-06,1.826562e-06,1.825484e-06,1.824304e-06,1.823028e-06,1.821661e-06,1.820208e-06,1.818675e-06,1.817066e-06,1.815386e-06,1.813639e-06
0.000000e+00,1.420230e-08,4.225131e-08,2.135322e-07,6.244152e-07,1.020519e-06,2.949171e-06,3.064296e-06,7.163153e-06,8.813365e-06,1.434547e-05,2.065515e-05,2.588845e-05,4.166979e-05,4.331995e-05,6.827740e-05,7.555312e-05,1.021551e-04,1.253399e-04,1.457184e-04,1.920963e-04,1.989862e-04,2.613905e-04,2.748908e-04,3.320129e-04,3.716268e-04,4.097672e-04,4.797574e-04,4.935119e-04,5.821105e-04,5.966625e-04,6.744626e-04,7.198146e-04,7.695194e-04,8.468460e-04,8.662928e-04,9.638613e-04,9.755818e-04,1.061374e-03,1.104060e-03,1.158057e-03,1.230549e-03,1.253212e-03,1.346223e-03,1.353555e-03,1.436553e-03,1.471830e-03,1.523748e-03,1.584371e-03,1.607429e-03,1.687296e-03,1.690407e-03,1.763116e-03,1.789388e-03,1.834726e-03,1.880959e-03,1.902018e-03,1.964942e-03,2.023492e-03,2.041309e-03,2.077703e-03,2.110152e-03,2.127645e-03,2.171663e-03,2.173415e-03,2.215137e-03,2.226112e-03,2.252951e-03,2.273828e-03,2.287012e-03,2.315177e-03,2.317487e-03,2.344549e-03,2.350555e-03,2.368374e-03,2.380369e-03,2.389142e-03,2.405031e-03,2.407032e-03,2.422219e-03,2.424947e-03,2.434876e-03,2.440514e-03,2.445172e-03,2.452114e-03,2.453268e-03,2.459322e-03,2.460111e-03,2.463483e-03,2.464850e-03,2.465894e-03,2.466655e-03,2.466691e-03,2.466002e-03,2.465826e-03,2.463949e-03,2.462643e-03,2.460647e-03,2.457367e-03,2.456202e-03,2.450716e-03,2.450235e-03,2.444283e-03,2.441465e-03,2.436992e-03,2.431257e-03,2.428925e-03,2.420159e-03,2.419794e-03,2.410765e-03,2.407242e-03,2.400809e-03,2.393750e-03,2.390354e-03,2.379456e-03,2.368168e-03,2.364481e-03,2.356539e-03,2.348939e-03,2.344615e-03,2.332929e-03,2.332437e-03,2.320044e-03,2.316540e-03,2.307471e-03,2.299855e-03,2.294751e-03,2.282945e-03,2.281914e-03,2.268988e-03,2.265875e-03,2.255998e-03,2.248704e-03,2.242966e-03,2.231482e-03,2.229916e-03,2.216865e-03,2.214257e-03,2.203832e-03,2.197068e-03,2.190833e-03,2.179951e-03,2.177883e-03,2.164995e-03,2.162939e-03,2.152181e-03,2.146060e-03,2.139453e-03,2.129338e-03,2.126820e-03,2.114291e-03,2.112795e-03,2.101874e-03,2.096448e-03,2.089577e-03,2.080315e-03,2.077406e-03,2.065366e-03,2.064409e-03,2.053464e-03,2.048742e-03,2.041702e-03,2.033323e-03,2.030085e-03,2.018616e-03,2.018161e-03,2.007299e-03,2.003262e-03,1.996135e-03,1.988632e-03,1.985127e-03,1.974275e-03,1.960195e-03,1.946392e-03,1.932868e-03,1.919625e-03,1.906661e-03,1.893975e-03,1.881567e-03,1.869434e-03,1.857574e-03,1.845985e-03,1.834663e-03,1.823605e-03,1.812808e-03,1.802268e-03,1.791980e-03,1.781942e-03,1.772148e-03,1.762594e-03,1.753277e-03,1.744191e-03,1.735332e-03,1.726695e-03,1.718276e-03,1.710071e-03
0.000000e+00,2.043067e-10,5.474842e-10,2.281491e-09,5.727597e-09,8.676523e-09,2.104926e-08,2.172820e-08,4.379599e-08,5.193641e-08,7.747986e-08,1.044742e-07,1.257096e-07,1.855533e-07,1.915317e-07,2.773520e-07,3.010330e-07,3.835899e-07,4.511386e-07,5.076019e-07,6.273930e-07,6.442688e-07,7.879448e-07,8.170873e-07,9.339851e-07,1.009727e-06,1.079122e-06,1.198742e-06,1.221206e-06,1.358838e-06,1.380380e-06,1.491095e-06,1.552480e-06,1.617363e-06,1.713794e-06,1.737247e-06,1.850513e-06,1.863654e-06,1.957061e-06,2.001814e-06,2.056904e-06,2.128359e-06,2.150143e-06,2.236956e-06,2.243631e-06,2.317580e-06,2.348157e-06,2.392292e-06,2.442596e-06,2.461400e-06,2.525227e-06,2.527675e-06,2.584107e-06,2.604158e-06,2.638375e-06,2.672809e-06,2.688356e-06,2.734366e-06,2.776706e-06,2.789527e-06,2.815659e-06,2.838935e-06,2.851490e-06,2.883177e-06,2.884442e-06,2.914745e-06,2.922784e-06,2.942606e-06,2.958231e-06,2.968217e-06,2.989942e-06,2.991752e-06,3.013372e-06,3.018292e-06,3.033221e-06,3.043614e-06,3.051433e-06,3.066200e-06,3.068127e-06,3.083414e-06,3.086311e-06,3.097393e-06,3.104176e-06,3.110155e-06,3.119996e-06,3.121784e-06,3.132354e-06,3.133952e-06,3.141936e-06,3.146202e-06,3.150591e-06,3.156889e-06,3.158380e-06,3.165354e-06,3.166138e-06,3.171562e-06,3.174063e-06,3.177051e-06,3.180766e-06,3.181861e-06,3.186030e-06,3.186337e-06,3.189595e-06,3.190860e-06,3.192589e-06,3.194408e-06,3.195042e-06,3.196983e-06,3.197050e-06,3.198438e-06,3.198848e-06,3.199433e-06,3.199858e-06,3.199990e-06,3.200132e-06,3.199880e-06,3.199719e-06,3.199252e-06,3.198661e-06,3.198267e-06,3.197001e-06,3.196941e-06,3.195292e-06,3.194774e-06,3.193334e-06,3.192017e-06,3.191082e-06,3.188762e-06,3.188549e-06,3.185749e-06,3.185039e-06,3.182694e-06,3.180877e-06,3.179396e-06,3.176301e-06,3.175866e-06,3.172114e-06,3.171339e-06,3.168152e-06,3.166011e-06,3.163988e-06,3.160341e-06,3.159632e-06,3.155092e-06,3.154350e-06,3.150378e-06,3.148056e-06,3.145497e-06,3.141478e-06,3.140458e-06,3.135266e-06,3.134634e-06,3.129931e-06,3.127539e-06,3.124458e-06,3.120211e-06,3.118854e-06,3.113126e-06,3.112662e-06,3.107279e-06,3.104908e-06,3.101319e-06,3.096962e-06,3.095253e-06,3.089084e-06,3.088836e-06,3.082819e-06,3.080541e-06,3.076463e-06,3.072091e-06,3.070019e-06,3.063494e-06,3.054762e-06,3.045904e-06,3.036930e-06,3.027848e-06,3.018667e-06,3.009395e-06,3.000039e-06,2.990608e-06,2.981107e-06,2.971543e-06,2.961923e-06,2.952253e-06,2.942538e-06,2.932784e-06,2.922996e-06,2.913180e-06,2.903339e-06,2.893478e-06,2.883603e-06,2.873716e-06,2.863822e-06,2.853924e-06,2.844026e-06,2.834132e-06
0.000000e+00,1.718924e-10,4.452107e-10,1.770713e-09,4.345931e-09,6.541794e-09,1.586447e-08,1.638311e-08,3.367839e-08,4.026483e-08,6.155937e-08,8.487968e-08,1.036077e-07,1.568331e-07,1.621127e-07,2.356681e-07,2.550935e-07,3.199236e-07,3.701434e-07,4.106401e-07,4.935119e-07,5.049530e-07,6.010635e-07,6.203872e-07,6.977440e-07,7.479212e-07,7.940449e-07,8.740539e-07,8.891633e-07,9.823959e-07,9.970959e-07,1.073130e-06,1.115639e-06,1.160846e-06,1.228559e-06,1.245121e-06,1.325631e-06,1.335027e-06,1.402144e-06,1.434504e-06,1.474516e-06,1.526706e-06,1.542681e-06,1.606636e-06,1.611572e-06,1.666435e-06,1.689212e-06,1.722175e-06,1.759866e-06,1.773984e-06,1.822013e-06,1.823858e-06,1.866431e-06,1.881572e-06,1.907418e-06,1.933422e-06,1.945156e-06,1.979831e-06,2.011624e-06,2.021219e-06,2.040715e-06,2.057994e-06,2.067274e-06,2.090543e-06,2.091468e-06,2.113451e-06,2.119230e-06,2.133372e-06,2.144394e-06,2.151373e-06,2.166353e-06,2.167587e-06,2.182139e-06,2.185397e-06,2.195142e-06,2.201788e-06,2.206705e-06,2.215768e-06,2.216927e-06,2.225905e-06,2.227559e-06,2.233724e-06,2.237360e-06,2.240467e-06,2.245355e-06,2.246209e-06,2.251020e-06,2.251708e-06,2.254966e-06,2.256570e-06,2.258107e-06,2.260080e-06,2.260501e-06,2.262200e-06,2.262360e-06,2.263253e-06,2.263524e-06,2.263706e-06,2.263674e-06,2.263600e-06,2.262977e-06,2.262906e-06,2.261871e-06,2.261302e-06,2.260319e-06,2.258942e-06,2.258351e-06,2.255998e-06,2.255896e-06,2.253287e-06,2.252228e-06,2.250244e-06,2.247997e-06,2.246893e-06,2.243258e-06,2.239358e-06,2.238058e-06,2.235215e-06,2.232443e-06,2.230846e-06,2.226455e-06,2.226268e-06,2.221498e-06,2.220130e-06,2.216552e-06,2.213504e-06,2.211442e-06,2.206609e-06,2.206183e-06,2.200786e-06,2.199472e-06,2.195265e-06,2.192122e-06,2.189628e-06,2.184582e-06,2.183888e-06,2.178053e-06,2.176876e-06,2.172133e-06,2.169023e-06,2.166136e-06,2.161045e-06,2.160070e-06,2.153942e-06,2.152957e-06,2.147761e-06,2.144777e-06,2.141532e-06,2.136519e-06,2.135261e-06,2.128956e-06,2.128197e-06,2.122620e-06,2.119824e-06,2.116259e-06,2.111412e-06,2.109879e-06,2.103484e-06,2.102972e-06,2.097078e-06,2.094513e-06,2.090665e-06,2.086045e-06,2.084249e-06,2.077834e-06,2.077577e-06,2.071423e-06,2.069116e-06,2.065019e-06,2.060670e-06,2.058626e-06,2.052246e-06,2.043848e-06,2.035485e-06,2.027159e-06,2.018877e-06,2.010643e-06,2.002460e-06,1.994333e-06,1.986265e-06,1.978259e-06,1.970317e-06,1.962443e-06,1.954639e-06,1.946907e-06,1.939248e-06,1.931665e-06,1.924158e-06,1.916730e-06,1.909382e-06,1.902113e-06,1.894927e-06,1.887822e-06,1.880801e-06,1.873862e-06,1.867008e-06
0.000000e+00,6.382697e-10,1.717602e-09,7.220898e-09,1.827431e-08,2.780577e-08,6.823383e-08,7.046765e-08,1.436864e-07,1.709404e-07,2.571204e-07,3.490794e-07,4.219176e-07,6.286994e-07,6.494288e-07,9.469834e-07,1.028833e-06,1.312665e-06,1.543287e-06,1.735390e-06,2.143103e-06,2.200745e-06,2.695877e-06,2.797552e-06,3.210795e-06,3.483746e-06,3.737793e-06,4.185227e-06,4.270651e-06,4.804072e-06,4.889152e-06,5.333388e-06,5.584764e-06,5.854446e-06,6.262867e-06,6.363579e-06,6.857600e-06,6.915734e-06,7.333813e-06,7.537122e-06,7.790024e-06,8.122296e-06,8.224520e-06,8.636050e-06,8.667953e-06,9.023786e-06,9.172105e-06,9.387276e-06,9.633897e-06,9.726400e-06,1.004132e-05,1.005342e-05,1.033242e-05,1.043149e-05,1.060029e-05,1.076953e-05,1.084564e-05,1.106931e-05,1.127220e-05,1.133290e-05,1.145528e-05,1.156252e-05,1.161955e-05,1.176049e-05,1.176602e-05,1.189570e-05,1.192914e-05,1.200958e-05,1.207073e-05,1.210864e-05,1.218748e-05,1.219380e-05,1.226598e-05,1.228147e-05,1.232605e-05,1.235470e-05,1.237482e-05,1.240904e-05,1.241310e-05,1.244163e-05,1.244623e-05,1.246112e-05,1.246790e-05,1.247223e-05,1.247555e-05,1.247559e-05,1.247180e-05,1.247057e-05,1.246141e-05,1.245423e-05,1.244494e-05,1.242772e-05,1.242289e-05,1.239571e-05,1.239212e-05,1.236382e-05,1.234841e-05,1.232764e-05,1.229749e-05,1.228753e-05,1.224384e-05,1.224020e-05,1.219691e-05,1.217730e-05,1.214703e-05,1.210946e-05,1.209450e-05,1.203956e-05,1.203732e-05,1.198248e-05,1.196145e-05,1.192348e-05,1.188237e-05,1.186277e-05,1.180055e-05,1.173701e-05,1.171643e-05,1.167232e-05,1.163038e-05,1.160663e-05,1.154276e-05,1.154009e-05,1.147284e-05,1.145390e-05,1.140501e-05,1.136407e-05,1.133670e-05,1.127355e-05,1.126805e-05,1.119913e-05,1.118256e-05,1.113004e-05,1.109131e-05,1.106088e-05,1.100001e-05,1.099171e-05,1.092261e-05,1.090881e-05,1.085365e-05,1.081786e-05,1.078488e-05,1.072732e-05,1.071637e-05,1.064817e-05,1.063729e-05,1.058032e-05,1.054789e-05,1.051286e-05,1.045920e-05,1.044584e-05,1.037928e-05,1.037133e-05,1.031323e-05,1.028434e-05,1.024771e-05,1.019829e-05,1.018275e-05,1.011837e-05,1.011324e-05,1.005459e-05,1.002925e-05,9.991431e-06,9.946351e-06,9.928910e-06,9.867042e-06,9.864581e-06,9.805839e-06,9.783971e-06,9.745313e-06,9.704546e-06,9.685472e-06,9.626324e-06,9.549323e-06,9.473554e-06,9.399025e-06,9.325742e-06,9.253706e-06,9.182919e-06,9.113376e-06,9.045074e-06,8.978006e-06,8.912164e-06,8.847539e-06,8.784120e-06,8.721895e-06,8.660851e-06,8.600974e-06,8.542249e-06,8.484662e-06,8.428196e-06,8.372835e-06,8.318563e-06,8.265361e-06,8.213214e-06,8.162104e-06,8.112012e-06
0.000000e+00,8.817625e-07,2.637036e-06,1.346463e-05,3.969728e-05,6.512940e-05,1.895463e-04,1.969815e-04,4.611002e-04,5.668935e-04,9.187161e-04,1.314505e-03,1.638473e-03,2.593989e-03,2.692218e-03,4.146766e-03,4.561885e-03,6.057068e-03,7.342024e-03,8.465013e-03,1.101978e-02,1.140064e-02,1.488304e-02,1.564607e-02,1.892066e-02,2.123938e-02,2.351144e-02,2.778643e-02,2.864303e-02,3.429334e-02,3.524358e-02,4.043136e-02,4.353967e-02,4.701816e-02,5.258036e-02,5.400828e-02,6.135113e-02,6.225343e-02,6.899246e-02,7.243471e-02,7.687586e-02,8.299392e-02,8.494411e-02,9.314045e-02,9.380002e-02,1.014096e-01,1.047258e-01,1.096989e-01,1.156516e-01,1.179586e-01,1.261428e-01,1.264680e-01,1.342097e-01,1.370776e-01,1.421216e-01,1.473961e-01,1.498454e-01,1.573522e-01,1.646176e-01,1.668881e-01,1.716211e-01,1.759581e-01,1.783462e-01,1.845284e-01,1.847800e-01,1.909130e-01,1.925754e-01,1.967387e-01,2.000850e-01,2.022534e-01,2.070509e-01,2.074556e-01,2.123464e-01,2.134741e-01,2.169284e-01,2.193610e-01,2.212061e-01,2.247233e-01,2.251852e-01,2.288729e-01,2.295761e-01,2.322770e-01,2.339380e-01,2.354063e-01,2.378295e-01,2.382703e-01,2.408788e-01,2.412731e-01,2.432420e-01,2.442923e-01,2.453704e-01,2.469112e-01,2.472746e-01,2.489651e-01,2.491542e-01,2.504527e-01,2.510456e-01,2.517477e-01,2.526095e-01,2.528606e-01,2.538014e-01,2.538695e-01,2.545801e-01,2.548483e-01,2.552063e-01,2.555680e-01,2.556893e-01,2.560383e-01,2.560496e-01,2.562618e-01,2.563131e-01,2.563682e-01,2.563778e-01,2.563656e-01,2.562617e-01,2.560637e-01,2.559817e-01,2.557788e-01,2.555538e-01,2.554134e-01,2.549930e-01,2.549741e-01,2.544667e-01,2.543132e-01,2.538969e-01,2.535274e-01,2.532702e-01,2.526476e-01,2.525915e-01,2.518657e-01,2.516851e-01,2.510973e-01,2.506500e-01,2.502906e-01,2.495520e-01,2.494494e-01,2.485775e-01,2.483998e-01,2.476785e-01,2.472014e-01,2.467556e-01,2.459642e-01,2.458120e-01,2.448503e-01,2.446950e-01,2.438734e-01,2.433998e-01,2.428838e-01,2.420844e-01,2.418837e-01,2.408752e-01,2.407538e-01,2.398605e-01,2.394125e-01,2.388414e-01,2.380649e-01,2.378195e-01,2.367965e-01,2.367146e-01,2.357738e-01,2.353651e-01,2.347527e-01,2.340193e-01,2.337346e-01,2.327206e-01,2.326801e-01,2.317116e-01,2.313498e-01,2.307087e-01,2.300307e-01,2.297128e-01,2.287245e-01,2.274331e-01,2.261578e-01,2.248999e-01,2.236606e-01,2.224408e-01,2.212414e-01,2.200629e-01,2.189059e-01,2.177709e-01,2.166582e-01,2.155680e-01,2.145007e-01,2.134561e-01,2.124345e-01,2.114357e-01,2.104597e-01,2.095064e-01,2.085756e-01,2.076672e-01,2.067809e-01,2.059164e-01,2.050735e-01,2.042519e-01,2.034512e-01
0.000000e+00,2.403438e-08,7.161981e-08,3.630663e-07,1.063967e-06,1.740337e-06,5.032329e-06,5.228612e-06,1.219380e-05,1.498463e-05,2.428575e-05,3.479853e-05,4.344776e-05,6.919345e-05,7.185916e-05,1.116670e-04,1.231170e-04,1.645329e-04,2.002048e-04,2.313459e-04,3.018267e-04,3.122760e-04,4.069763e-04,4.275127e-04,5.147575e-04,5.756747e-04,6.346985e-04,7.440540e-04,7.657114e-04,9.065840e-04,9.299524e-04,1.056011e-03,1.130375e-03,1.212625e-03,1.342146e-03,1.375019e-03,1.541782e-03,1.562020e-03,1.711519e-03,1.786796e-03,1.882880e-03,2.013408e-03,2.054581e-03,2.225420e-03,2.239017e-03,2.394296e-03,2.461069e-03,2.560213e-03,2.677343e-03,2.722292e-03,2.879769e-03,2.885963e-03,3.031997e-03,3.085408e-03,3.178442e-03,3.274499e-03,3.318676e-03,3.452372e-03,3.579294e-03,3.618451e-03,3.699291e-03,3.772416e-03,3.812285e-03,3.914161e-03,3.918266e-03,4.017279e-03,4.043765e-03,4.109418e-03,4.161456e-03,4.194818e-03,4.267580e-03,4.273649e-03,4.346107e-03,4.362572e-03,4.412409e-03,4.446937e-03,4.472791e-03,4.521224e-03,4.527498e-03,4.576784e-03,4.586014e-03,4.620908e-03,4.641899e-03,4.660130e-03,4.689477e-03,4.694708e-03,4.724899e-03,4.729340e-03,4.750955e-03,4.762065e-03,4.773120e-03,4.788212e-03,4.791634e-03,4.806727e-03,4.808319e-03,4.818621e-03,4.822896e-03,4.827529e-03,4.832428e-03,4.833656e-03,4.837196e-03,4.837373e-03,4.838335e-03,4.838158e-03,4.837249e-03,4.835184e-03,4.834106e-03,4.829062e-03,4.828823e-03,4.822269e-03,4.819422e-03,4.813866e-03,4.807300e-03,4.803986e-03,4.792754e-03,4.780288e-03,4.776056e-03,4.766697e-03,4.757457e-03,4.752085e-03,4.737187e-03,4.736549e-03,4.720179e-03,4.715458e-03,4.703059e-03,4.692461e-03,4.685270e-03,4.668374e-03,4.666883e-03,4.647969e-03,4.643358e-03,4.628591e-03,4.617559e-03,4.608808e-03,4.591110e-03,4.588678e-03,4.568250e-03,4.564133e-03,4.547572e-03,4.536737e-03,4.526691e-03,4.509022e-03,4.505645e-03,4.484474e-03,4.481078e-03,4.463213e-03,4.452986e-03,4.441895e-03,4.424819e-03,4.420549e-03,4.399203e-03,4.396643e-03,4.377884e-03,4.368518e-03,4.356614e-03,4.340495e-03,4.335415e-03,4.314307e-03,4.312623e-03,4.293308e-03,4.284943e-03,4.272435e-03,4.257492e-03,4.251702e-03,4.231124e-03,4.230305e-03,4.210714e-03,4.203409e-03,4.190481e-03,4.176831e-03,4.170438e-03,4.150592e-03,4.124712e-03,4.099208e-03,4.074093e-03,4.049380e-03,4.025078e-03,4.001195e-03,3.977737e-03,3.954710e-03,3.932117e-03,3.909959e-03,3.888239e-03,3.866955e-03,3.846107e-03,3.825694e-03,3.805712e-03,3.786160e-03,3.767033e-03,3.748328e-03,3.730039e-03,3.712161e-03,3.694690e-03,3.677620e-03,3.660945e-03,3.644658e-03
0.000000e+00,9.112804e-09,2.707727e-08,1.363957e-07,3.971476e-07,6.471079e-07,1.849873e-06,1.921033e-06,4.417381e-06,5.404722e-06,8.654158e-06,1.226537e-05,1.519747e-05,2.377261e-05,2.465041e-05,3.761875e-05,4.131599e-05,5.463008e-05,6.606236e-05,7.603573e-05,9.861944e-05,1.019705e-04,1.323832e-04,1.389886e-04,1.670893e-04,1.867447e-04,2.058136e-04,2.412004e-04,2.482167e-04,2.939124e-04,3.015015e-04,3.424794e-04,3.666810e-04,3.934709e-04,4.356986e-04,4.464235e-04,5.008668e-04,5.074778e-04,5.563321e-04,5.809420e-04,6.123614e-04,6.550496e-04,6.685153e-04,7.243799e-04,7.288249e-04,7.795731e-04,8.013836e-04,8.337487e-04,8.719510e-04,8.865995e-04,9.378590e-04,9.398730e-04,9.873022e-04,1.004620e-03,1.034744e-03,1.065786e-03,1.080039e-03,1.123079e-03,1.163787e-03,1.176314e-03,1.202121e-03,1.225399e-03,1.238062e-03,1.270322e-03,1.271619e-03,1.302818e-03,1.311137e-03,1.331705e-03,1.347951e-03,1.358339e-03,1.380915e-03,1.382793e-03,1.405146e-03,1.410208e-03,1.425486e-03,1.436031e-03,1.443904e-03,1.458597e-03,1.460494e-03,1.475354e-03,1.478127e-03,1.488579e-03,1.494842e-03,1.500265e-03,1.508960e-03,1.510505e-03,1.519391e-03,1.520693e-03,1.527010e-03,1.530243e-03,1.533449e-03,1.537804e-03,1.538787e-03,1.543104e-03,1.543556e-03,1.546471e-03,1.547670e-03,1.548958e-03,1.550302e-03,1.550632e-03,1.551555e-03,1.551598e-03,1.551783e-03,1.551692e-03,1.551372e-03,1.550708e-03,1.550372e-03,1.548830e-03,1.548758e-03,1.546792e-03,1.545944e-03,1.544297e-03,1.542360e-03,1.541385e-03,1.538091e-03,1.534448e-03,1.533214e-03,1.530487e-03,1.527798e-03,1.526236e-03,1.521907e-03,1.521722e-03,1.516969e-03,1.515598e-03,1.512000e-03,1.508924e-03,1.506836e-03,1.501929e-03,1.501496e-03,1.495999e-03,1.494658e-03,1.490361e-03,1.487148e-03,1.484598e-03,1.479434e-03,1.478724e-03,1.472752e-03,1.471547e-03,1.466694e-03,1.463514e-03,1.460563e-03,1.455363e-03,1.454368e-03,1.448119e-03,1.447115e-03,1.441826e-03,1.438791e-03,1.435496e-03,1.430411e-03,1.429137e-03,1.422758e-03,1.421991e-03,1.416363e-03,1.413547e-03,1.409960e-03,1.405092e-03,1.403554e-03,1.397150e-03,1.396638e-03,1.390754e-03,1.388198e-03,1.384369e-03,1.379782e-03,1.378000e-03,1.371651e-03,1.371398e-03,1.365325e-03,1.363054e-03,1.359026e-03,1.354759e-03,1.352756e-03,1.346519e-03,1.338340e-03,1.330226e-03,1.322184e-03,1.314217e-03,1.306328e-03,1.298522e-03,1.290801e-03,1.283167e-03,1.275623e-03,1.268171e-03,1.260813e-03,1.253548e-03,1.246380e-03,1.239309e-03,1.232334e-03,1.225458e-03,1.218679e-03,1.212000e-03,1.205418e-03,1.198935e-03,1.192550e-03,1.186262e-03,1.180073e-03,1.173980e-03
0.000000e+00,3.235075e-08,9.645583e-08,4.894846e-07,1.435547e-06,2.348895e-06,6.794809e-06,7.059849e-06,1.645813e-05,2.021981e-05,3.274045e-05,4.686749e-05,5.847695e-05,9.302047e-05,9.659978e-05,1.502323e-04,1.657436e-04,2.222333e-04,2.713760e-04,3.146228e-04,4.135300e-04,4.282994e-04,5.631532e-04,5.926009e-04,7.183408e-04,8.066468e-04,8.925320e-04,1.052341e-03,1.084080e-03,1.291131e-03,1.325566e-03,1.511691e-03,1.621750e-03,1.743683e-03,1.936080e-03,1.984983e-03,2.233459e-03,2.263658e-03,2.487008e-03,2.599647e-03,2.743584e-03,2.939397e-03,3.001228e-03,3.258098e-03,3.278562e-03,3.512482e-03,3.613185e-03,3.762821e-03,3.939769e-03,4.007717e-03,4.245938e-03,4.255312e-03,4.476423e-03,4.557328e-03,4.698281e-03,4.843837e-03,4.910781e-03,5.113346e-03,5.305547e-03,5.364810e-03,5.487087e-03,5.597594e-03,5.657794e-03,5.811417e-03,5.817601e-03,5.966538e-03,6.006305e-03,6.104715e-03,6.182528e-03,6.232311e-03,6.340558e-03,6.349565e-03,6.456764e-03,6.481031e-03,6.554238e-03,6.604708e-03,6.642347e-03,6.712442e-03,6.721477e-03,6.792029e-03,6.805147e-03,6.854419e-03,6.883775e-03,6.909068e-03,6.949306e-03,6.956407e-03,6.996870e-03,7.002734e-03,7.030880e-03,7.045034e-03,7.058849e-03,7.077144e-03,7.081177e-03,7.098247e-03,7.099960e-03,7.110429e-03,7.114332e-03,7.118077e-03,7.121065e-03,7.121527e-03,7.121101e-03,7.120909e-03,7.117103e-03,7.114568e-03,7.109819e-03,7.102693e-03,7.099522e-03,7.086467e-03,7.085890e-03,7.070895e-03,7.064717e-03,7.053032e-03,7.039686e-03,7.033091e-03,7.011268e-03,6.987749e-03,6.979893e-03,6.962707e-03,6.945956e-03,6.936303e-03,6.909812e-03,6.908686e-03,6.879997e-03,6.871789e-03,6.850363e-03,6.832180e-03,6.819906e-03,6.791254e-03,6.788736e-03,6.756957e-03,6.749249e-03,6.724662e-03,6.706385e-03,6.691941e-03,6.662857e-03,6.658874e-03,6.625535e-03,6.618841e-03,6.591994e-03,6.574493e-03,6.558313e-03,6.529956e-03,6.524551e-03,6.490760e-03,6.485355e-03,6.456990e-03,6.440801e-03,6.423285e-03,6.396394e-03,6.389684e-03,6.356227e-03,6.352223e-03,6.322945e-03,6.308365e-03,6.289870e-03,6.264888e-03,6.257028e-03,6.224446e-03,6.221852e-03,6.192146e-03,6.179309e-03,6.160147e-03,6.137305e-03,6.128469e-03,6.097126e-03,6.095879e-03,6.066133e-03,6.055064e-03,6.035504e-03,6.014889e-03,6.005249e-03,5.975377e-03,5.936547e-03,5.898415e-03,5.860995e-03,5.824295e-03,5.788322e-03,5.753080e-03,5.718573e-03,5.684799e-03,5.651757e-03,5.619445e-03,5.587858e-03,5.556991e-03,5.526837e-03,5.497389e-03,5.468638e-03,5.440575e-03,5.413191e-03,5.386475e-03,5.360416e-03,5.335005e-03,5.310229e-03,5.286076e-03,5.262536e-03,5.239596e-03
0.000000e+00,4.108374e-07,1.224738e-06,6.224984e-06,1.834296e-05,3.014537e-05,8.887123e-05,9.243359e-05,2.226476e-04,2.766788e-04,4.630922e-04,6.831268e-04,8.694691e-04,1.439137e-03,1.498731e-03,2.387778e-03,2.641391e-03,3.546666e-03,4.310892e-03,4.967161e-03,6.419952e-03,6.631942e-03,8.519786e-03,8.922128e-03,1.060786e-02,1.176499e-02,1.287262e-02,1.489402e-02,1.529008e-02,1.783600e-02,1.825364e-02,2.048598e-02,2.178777e-02,2.321566e-02,2.544065e-02,2.600105e-02,2.881875e-02,2.915797e-02,3.164635e-02,3.288813e-02,3.446270e-02,3.658347e-02,3.724819e-02,3.998497e-02,4.020131e-02,4.265710e-02,4.370466e-02,4.525066e-02,4.706261e-02,4.775375e-02,5.015649e-02,5.025039e-02,5.245094e-02,5.324922e-02,5.463105e-02,5.604592e-02,5.669245e-02,5.863239e-02,6.044950e-02,6.100498e-02,6.214368e-02,6.316387e-02,6.371594e-02,6.511233e-02,6.516814e-02,6.650297e-02,6.685612e-02,6.772372e-02,6.840299e-02,6.883423e-02,6.976213e-02,6.983869e-02,7.074163e-02,7.094376e-02,7.154777e-02,7.195873e-02,7.226195e-02,7.281824e-02,7.288906e-02,7.343400e-02,7.353355e-02,7.390163e-02,7.411583e-02,7.429671e-02,7.457594e-02,7.462392e-02,7.488777e-02,7.492440e-02,7.509262e-02,7.517122e-02,7.524264e-02,7.532589e-02,7.534186e-02,7.539407e-02,7.539735e-02,7.540292e-02,7.539397e-02,7.537184e-02,7.532352e-02,7.530408e-02,7.520269e-02,7.519321e-02,7.507056e-02,7.500970e-02,7.491037e-02,7.477910e-02,7.472467e-02,7.451582e-02,7.450701e-02,7.428602e-02,7.419856e-02,7.403733e-02,7.385842e-02,7.377168e-02,7.349083e-02,7.319646e-02,7.309966e-02,7.289009e-02,7.268838e-02,7.257315e-02,7.226016e-02,7.224695e-02,7.191272e-02,7.181785e-02,7.157158e-02,7.136401e-02,7.122456e-02,7.090095e-02,7.087263e-02,7.051667e-02,7.043073e-02,7.015749e-02,6.995522e-02,6.979584e-02,6.947608e-02,6.943240e-02,6.906780e-02,6.899479e-02,6.870261e-02,6.851266e-02,6.833737e-02,6.803088e-02,6.797256e-02,6.760861e-02,6.755048e-02,6.724592e-02,6.707239e-02,6.688486e-02,6.659741e-02,6.652577e-02,6.616893e-02,6.612627e-02,6.581462e-02,6.565959e-02,6.546309e-02,6.519792e-02,6.511455e-02,6.476921e-02,6.474172e-02,6.442723e-02,6.429142e-02,6.408878e-02,6.384736e-02,6.375400e-02,6.342300e-02,6.340984e-02,6.309589e-02,6.297911e-02,6.277277e-02,6.255537e-02,6.245372e-02,6.213881e-02,6.172955e-02,6.132770e-02,6.093334e-02,6.054652e-02,6.016727e-02,5.979560e-02,5.943150e-02,5.907495e-02,5.872592e-02,5.838435e-02,5.805019e-02,5.772336e-02,5.740379e-02,5.709140e-02,5.678609e-02,5.648777e-02,5.619633e-02,5.591167e-02,5.563367e-02,5.536224e-02,5.509724e-02,5.483858e-02,5.458612e-02,5.433975e-02
0.000000e+00,3.713008e-10,1.030087e-09,4.560016e-09,1.196529e-08,1.850392e-08,4.687425e-08,4.845766e-08,1.006292e-07,1.200703e-07,1.813099e-07,2.461112e-07,2.970343e-07,4.401530e-07,4.544247e-07,6.592670e-07,7.159407e-07,9.150534e-07,1.080892e-06,1.222464e-06,1.534770e-06,1.580315e-06,1.986725e-06,2.073655e-06,2.439645e-06,2.692837e-06,2.936926e-06,3.387217e-06,3.476223e-06,4.054901e-06,4.150950e-06,4.669995e-06,4.977221e-06,5.318217e-06,5.858251e-06,5.995990e-06,6.699516e-06,6.785483e-06,7.424847e-06,7.749867e-06,8.167968e-06,8.742168e-06,8.924869e-06,9.691631e-06,9.753284e-06,1.046446e-05,1.077447e-05,1.123974e-05,1.179755e-05,1.201410e-05,1.278443e-05,1.281512e-05,1.354792e-05,1.382060e-05,1.430203e-05,1.480829e-05,1.504449e-05,1.577335e-05,1.648691e-05,1.671178e-05,1.718374e-05,1.762037e-05,1.786265e-05,1.849662e-05,1.852265e-05,1.916297e-05,1.933866e-05,1.978304e-05,2.014517e-05,2.038242e-05,2.091533e-05,2.096083e-05,2.151812e-05,2.164872e-05,2.205426e-05,2.234527e-05,2.256929e-05,2.300516e-05,2.306335e-05,2.353666e-05,2.362885e-05,2.398948e-05,2.421696e-05,2.442214e-05,2.477025e-05,2.483499e-05,2.522844e-05,2.528962e-05,2.560290e-05,2.577603e-05,2.595882e-05,2.623052e-05,2.629667e-05,2.661691e-05,2.665418e-05,2.692003e-05,2.704810e-05,2.720652e-05,2.741342e-05,2.747686e-05,2.773156e-05,2.775127e-05,2.797110e-05,2.806278e-05,2.819596e-05,2.834905e-05,2.840664e-05,2.860360e-05,2.861120e-05,2.878731e-05,2.885030e-05,2.895824e-05,2.906741e-05,2.911685e-05,2.926356e-05,2.939883e-05,2.943977e-05,2.952308e-05,2.959701e-05,2.963672e-05,2.973621e-05,2.974016e-05,2.983379e-05,2.985830e-05,2.991801e-05,2.996417e-05,2.999318e-05,3.005466e-05,3.005967e-05,3.011784e-05,3.013060e-05,3.016803e-05,3.019278e-05,3.021058e-05,3.024196e-05,3.024581e-05,3.027404e-05,3.027887e-05,3.029557e-05,3.030422e-05,3.031070e-05,3.031868e-05,3.031972e-05,3.032290e-05,3.032289e-05,3.032051e-05,3.031747e-05,3.031282e-05,3.030301e-05,3.030007e-05,3.028251e-05,3.028009e-05,3.026037e-05,3.024924e-05,3.023388e-05,3.021097e-05,3.020326e-05,3.016871e-05,3.016579e-05,3.013045e-05,3.011415e-05,3.008867e-05,3.005652e-05,3.004356e-05,2.999531e-05,2.999331e-05,2.994408e-05,2.992494e-05,2.989004e-05,2.985179e-05,2.983337e-05,2.977422e-05,2.969260e-05,2.960725e-05,2.951849e-05,2.942662e-05,2.933192e-05,2.923466e-05,2.913510e-05,2.903349e-05,2.893003e-05,2.882497e-05,2.871849e-05,2.861079e-05,2.850206e-05,2.839246e-05,2.828215e-05,2.817129e-05,2.806003e-05,2.794848e-05,2.783679e-05,2.772507e-05,2.761342e-05,2.750196e-05,2.739077e-05,2.727996e-05
0.000000e+00,1.014890e-07,3.034378e-07,1.549116e-06,4.569665e-06,7.502181e-06,2.190506e-05,2.276860e-05,5.362909e-05,6.608364e-05,1.078444e-04,1.553944e-04,1.947244e-04,3.126286e-04,3.248960e-04,5.091821e-04,5.625336e-04,7.566634e-04,9.252082e-04,1.073281e-03,1.411351e-03,1.461798e-03,1.922488e-03,2.023177e-03,2.453813e-03,2.757106e-03,3.052894e-03,3.605637e-03,3.715804e-03,4.437769e-03,4.558407e-03,5.213327e-03,5.602884e-03,6.036472e-03,6.724958e-03,6.900801e-03,7.799655e-03,7.909516e-03,8.726261e-03,9.141017e-03,9.673870e-03,1.040402e-02,1.063587e-02,1.160591e-02,1.168368e-02,1.257796e-02,1.296608e-02,1.354642e-02,1.423856e-02,1.450612e-02,1.545241e-02,1.548992e-02,1.638113e-02,1.671046e-02,1.728866e-02,1.789206e-02,1.817186e-02,1.902809e-02,1.985516e-02,2.011337e-02,2.065134e-02,2.114405e-02,2.141529e-02,2.211743e-02,2.214601e-02,2.284286e-02,2.303185e-02,2.350549e-02,2.388658e-02,2.413379e-02,2.468163e-02,2.472790e-02,2.528817e-02,2.541765e-02,2.581508e-02,2.609582e-02,2.630929e-02,2.671775e-02,2.677156e-02,2.720275e-02,2.728534e-02,2.760379e-02,2.780075e-02,2.797569e-02,2.826632e-02,2.831948e-02,2.863624e-02,2.868449e-02,2.892707e-02,2.905778e-02,2.919307e-02,2.938872e-02,2.943533e-02,2.965496e-02,2.967985e-02,2.985304e-02,2.993364e-02,3.003063e-02,3.015255e-02,3.018879e-02,3.032852e-02,3.033893e-02,3.045081e-02,3.049506e-02,3.055663e-02,3.062313e-02,3.064689e-02,3.072250e-02,3.072523e-02,3.078430e-02,3.080333e-02,3.083312e-02,3.085931e-02,3.086976e-02,3.089496e-02,3.090945e-02,3.091193e-02,3.091391e-02,3.091181e-02,3.090900e-02,3.089605e-02,3.089534e-02,3.087353e-02,3.086604e-02,3.084413e-02,3.082306e-02,3.080766e-02,3.076831e-02,3.076463e-02,3.071553e-02,3.070289e-02,3.066080e-02,3.062786e-02,3.060087e-02,3.054416e-02,3.053615e-02,3.046701e-02,3.045269e-02,3.039382e-02,3.035427e-02,3.031692e-02,3.024968e-02,3.023661e-02,3.015322e-02,3.013960e-02,3.006701e-02,3.002471e-02,2.997825e-02,2.990558e-02,2.988720e-02,2.979409e-02,2.978279e-02,2.969914e-02,2.965684e-02,2.960256e-02,2.952819e-02,2.950455e-02,2.940528e-02,2.939729e-02,2.930492e-02,2.926451e-02,2.920364e-02,2.913024e-02,2.910159e-02,2.899891e-02,2.899479e-02,2.889573e-02,2.885848e-02,2.879216e-02,2.872158e-02,2.868833e-02,2.858435e-02,2.844701e-02,2.830979e-02,2.817286e-02,2.803642e-02,2.790060e-02,2.776557e-02,2.763144e-02,2.749834e-02,2.736636e-02,2.723561e-02,2.710616e-02,2.697810e-02,2.685148e-02,2.672636e-02,2.660280e-02,2.648083e-02,2.636051e-02,2.624185e-02,2.612489e-02,2.600964e-02,2.589613e-02,2.578437e-02,2.567437e-02,2.556613e-02
0.000000e+00,9.786079e-08,2.926311e-07,1.494911e-06,4.414955e-06,7.255162e-06,2.126567e-05,2.210856e-05,5.241369e-05,6.473485e-05,1.063756e-04,1.543165e-04,1.943217e-04,3.156561e-04,3.283721e-04,5.206181e-04,5.765497e-04,7.805418e-04,9.579372e-04,1.113864e-03,1.469950e-03,1.523089e-03,2.008484e-03,2.114615e-03,2.568811e-03,2.889062e-03,3.201757e-03,3.787257e-03,3.904156e-03,4.672124e-03,4.800790e-03,5.501147e-03,5.919298e-03,6.386166e-03,7.130804e-03,7.321663e-03,8.301764e-03,8.422085e-03,9.320345e-03,9.779099e-03,1.037114e-02,1.118742e-02,1.144786e-02,1.254427e-02,1.263265e-02,1.365431e-02,1.410083e-02,1.477218e-02,1.557877e-02,1.589235e-02,1.700970e-02,1.705427e-02,1.811946e-02,1.851627e-02,1.921732e-02,1.995505e-02,2.029937e-02,2.136217e-02,2.240269e-02,2.273050e-02,2.341829e-02,2.405415e-02,2.440674e-02,2.532838e-02,2.536618e-02,2.629509e-02,2.654954e-02,2.719226e-02,2.771492e-02,2.805676e-02,2.882268e-02,2.888793e-02,2.968536e-02,2.987169e-02,3.044881e-02,3.086149e-02,3.117826e-02,3.179214e-02,3.187383e-02,3.253578e-02,3.266417e-02,3.316451e-02,3.347847e-02,3.376050e-02,3.423626e-02,3.432434e-02,3.485667e-02,3.493896e-02,3.535821e-02,3.558823e-02,3.582972e-02,3.618584e-02,3.627199e-02,3.668587e-02,3.673367e-02,3.707221e-02,3.723369e-02,3.743187e-02,3.768791e-02,3.776573e-02,3.807468e-02,3.809835e-02,3.835960e-02,3.846704e-02,3.862138e-02,3.879601e-02,3.886087e-02,3.907895e-02,3.908724e-02,3.927647e-02,3.934271e-02,3.945426e-02,3.956431e-02,3.961314e-02,3.975392e-02,3.987738e-02,3.991336e-02,3.998429e-02,4.004437e-02,4.007539e-02,4.014865e-02,4.015141e-02,4.021305e-02,4.022783e-02,4.026100e-02,4.028347e-02,4.029592e-02,4.031709e-02,4.031846e-02,4.032923e-02,4.033013e-02,4.032884e-02,4.032396e-02,4.031787e-02,4.029990e-02,4.029687e-02,4.026640e-02,4.025921e-02,4.022697e-02,4.020309e-02,4.017908e-02,4.013267e-02,4.012322e-02,4.005984e-02,4.004904e-02,3.998941e-02,3.995323e-02,3.991235e-02,3.984621e-02,3.982907e-02,3.973997e-02,3.972891e-02,3.964543e-02,3.960220e-02,3.954581e-02,3.946692e-02,3.944147e-02,3.933273e-02,3.932385e-02,3.921992e-02,3.917373e-02,3.910335e-02,3.901725e-02,3.898331e-02,3.886007e-02,3.885508e-02,3.873391e-02,3.868783e-02,3.860509e-02,3.851609e-02,3.847384e-02,3.834040e-02,3.816128e-02,3.797922e-02,3.779466e-02,3.760803e-02,3.741972e-02,3.723011e-02,3.703954e-02,3.684833e-02,3.665677e-02,3.646516e-02,3.627374e-02,3.608275e-02,3.589242e-02,3.570295e-02,3.551453e-02,3.532732e-02,3.514149e-02,3.495718e-02,3.477452e-02,3.459363e-02,3.441463e-02,3.423760e-02,3.406263e-02,3.388981e-02
0.000000e+00,1.066318e-09,2.910637e-09,1.252212e-08,3.216536e-08,4.923906e-08,1.219654e-07,1.259828e-07,2.569606e-07,3.052713e-07,4.562970e-07,6.146926e-07,7.384056e-07,1.083639e-06,1.117926e-06,1.608940e-06,1.744759e-06,2.223129e-06,2.623534e-06,2.966734e-06,3.726284e-06,3.837070e-06,4.820822e-06,5.029362e-06,5.896226e-06,6.483305e-06,7.038163e-06,8.031307e-06,8.222852e-06,9.430169e-06,9.624308e-06,1.064395e-05,1.122498e-05,1.185135e-05,1.280572e-05,1.304213e-05,1.420805e-05,1.434596e-05,1.534249e-05,1.583026e-05,1.644014e-05,1.724716e-05,1.749686e-05,1.850951e-05,1.858855e-05,1.947587e-05,1.984910e-05,2.039447e-05,2.102584e-05,2.126455e-05,2.208589e-05,2.211774e-05,2.285877e-05,2.312526e-05,2.358386e-05,2.405013e-05,2.426218e-05,2.489498e-05,2.548371e-05,2.566306e-05,2.602998e-05,2.635809e-05,2.653548e-05,2.698403e-05,2.700196e-05,2.743123e-05,2.754500e-05,2.782508e-05,2.804514e-05,2.818531e-05,2.848855e-05,2.851369e-05,2.881193e-05,2.887921e-05,2.908171e-05,2.922096e-05,2.932465e-05,2.951748e-05,2.954232e-05,2.973620e-05,2.977225e-05,2.990774e-05,2.998857e-05,3.005831e-05,3.016954e-05,3.018922e-05,3.030170e-05,3.031807e-05,3.039695e-05,3.043688e-05,3.047608e-05,3.052850e-05,3.054016e-05,3.059018e-05,3.059529e-05,3.062711e-05,3.063945e-05,3.065184e-05,3.066300e-05,3.066522e-05,3.066805e-05,3.066785e-05,3.066109e-05,3.065573e-05,3.064505e-05,3.062826e-05,3.062060e-05,3.058838e-05,3.058693e-05,3.054897e-05,3.053313e-05,3.050294e-05,3.046813e-05,3.045082e-05,3.039310e-05,3.033024e-05,3.030912e-05,3.026269e-05,3.021719e-05,3.019085e-05,3.011821e-05,3.011512e-05,3.003584e-05,3.001305e-05,2.995335e-05,2.990246e-05,2.986799e-05,2.978716e-05,2.978004e-05,2.968978e-05,2.966780e-05,2.959748e-05,2.954498e-05,2.950337e-05,2.941924e-05,2.940769e-05,2.931064e-05,2.929109e-05,2.921244e-05,2.916097e-05,2.911326e-05,2.902932e-05,2.901327e-05,2.891265e-05,2.889650e-05,2.881154e-05,2.876287e-05,2.871007e-05,2.862874e-05,2.860839e-05,2.850662e-05,2.849440e-05,2.840486e-05,2.836011e-05,2.830322e-05,2.822611e-05,2.820179e-05,2.810067e-05,2.809260e-05,2.799995e-05,2.795978e-05,2.789968e-05,2.782782e-05,2.779996e-05,2.770083e-05,2.769688e-05,2.760237e-05,2.756710e-05,2.750462e-05,2.743859e-05,2.740764e-05,2.731147e-05,2.718584e-05,2.706178e-05,2.693937e-05,2.681867e-05,2.669973e-05,2.658261e-05,2.646735e-05,2.635397e-05,2.624251e-05,2.613298e-05,2.602541e-05,2.591979e-05,2.581615e-05,2.571447e-05,2.561477e-05,2.551703e-05,2.542125e-05,2.532741e-05,2.523552e-05,2.514554e-05,2.505746e-05,2.497128e-05,2.488695e-05,2.480447e-05
0.000000e+00,4.903519e-08,1.460905e-07,7.404148e-07,2.169931e-06,3.549995e-06,1.027572e-05,1.067718e-05,2.495308e-05,3.068824e-05,4.985695e-05,7.161208e-05,8.957173e-05,1.432933e-04,1.488745e-04,2.325432e-04,2.567023e-04,3.443551e-04,4.201231e-04,4.864330e-04,6.369649e-04,6.593282e-04,8.624555e-04,9.066019e-04,1.094490e-03,1.225988e-03,1.353629e-03,1.590701e-03,1.637742e-03,1.944463e-03,1.995469e-03,2.271255e-03,2.434466e-03,2.615458e-03,2.901520e-03,2.974338e-03,3.345135e-03,3.390301e-03,3.725109e-03,3.894512e-03,4.111585e-03,4.408069e-03,4.501992e-03,4.893894e-03,4.925241e-03,5.285020e-03,5.440780e-03,5.673287e-03,5.950002e-03,6.056808e-03,6.433904e-03,6.448832e-03,6.803099e-03,6.933825e-03,7.163125e-03,7.402150e-03,7.512910e-03,7.851569e-03,8.178392e-03,8.280382e-03,8.492829e-03,8.687375e-03,8.794473e-03,9.071762e-03,9.083052e-03,9.358407e-03,9.433126e-03,9.620480e-03,9.771358e-03,9.869301e-03,1.008660e-02,1.010498e-02,1.032768e-02,1.037922e-02,1.053763e-02,1.064974e-02,1.073511e-02,1.089880e-02,1.092040e-02,1.109385e-02,1.112715e-02,1.125581e-02,1.133562e-02,1.140666e-02,1.152506e-02,1.154677e-02,1.167654e-02,1.169637e-02,1.179637e-02,1.185047e-02,1.190664e-02,1.198825e-02,1.200776e-02,1.210011e-02,1.211062e-02,1.218408e-02,1.221846e-02,1.226004e-02,1.231265e-02,1.232838e-02,1.238944e-02,1.239402e-02,1.244358e-02,1.246338e-02,1.249114e-02,1.252150e-02,1.253246e-02,1.256785e-02,1.256915e-02,1.259762e-02,1.260702e-02,1.262207e-02,1.263581e-02,1.264149e-02,1.265616e-02,1.266633e-02,1.266868e-02,1.267227e-02,1.267396e-02,1.267422e-02,1.267256e-02,1.267241e-02,1.266708e-02,1.266498e-02,1.265842e-02,1.265173e-02,1.264666e-02,1.263326e-02,1.263198e-02,1.261458e-02,1.261002e-02,1.259463e-02,1.258241e-02,1.257231e-02,1.255082e-02,1.254777e-02,1.252117e-02,1.251562e-02,1.249266e-02,1.247713e-02,1.246239e-02,1.243569e-02,1.243048e-02,1.239707e-02,1.239159e-02,1.236226e-02,1.234510e-02,1.232619e-02,1.229649e-02,1.228896e-02,1.225067e-02,1.224601e-02,1.221142e-02,1.219386e-02,1.217130e-02,1.214028e-02,1.213040e-02,1.208881e-02,1.208546e-02,1.204661e-02,1.202957e-02,1.200386e-02,1.197279e-02,1.196065e-02,1.191703e-02,1.191528e-02,1.187307e-02,1.185717e-02,1.182883e-02,1.179862e-02,1.178437e-02,1.173974e-02,1.168064e-02,1.162144e-02,1.156224e-02,1.150311e-02,1.144415e-02,1.138543e-02,1.132702e-02,1.126898e-02,1.121137e-02,1.115424e-02,1.109764e-02,1.104161e-02,1.098619e-02,1.093141e-02,1.087731e-02,1.082390e-02,1.077121e-02,1.071926e-02,1.066807e-02,1.061766e-02,1.056803e-02,1.051920e-02,1.047117e-02,1.042395e-02
0.000000e+00,8.345467e-09,2.478954e-08,1.251317e-07,3.667146e-07,6.011076e-07,1.762768e-06,1.833111e-06,4.400847e-06,5.465381e-06,9.138398e-06,1.348235e-05,1.717575e-05,2.858688e-05,2.979178e-05,4.797909e-05,5.322389e-05,7.205740e-05,8.801365e-05,1.017073e-04,1.318688e-04,1.362448e-04,1.748567e-04,1.829957e-04,2.167305e-04,2.395401e-04,2.611097e-04,2.998212e-04,3.073093e-04,3.547158e-04,3.623752e-04,4.027792e-04,4.259361e-04,4.510062e-04,4.894065e-04,4.989541e-04,5.462268e-04,5.518370e-04,5.924732e-04,6.124158e-04,6.373864e-04,6.704648e-04,6.807026e-04,7.222009e-04,7.254366e-04,7.617023e-04,7.769112e-04,7.990677e-04,8.245903e-04,8.341964e-04,8.670231e-04,8.682877e-04,8.975149e-04,9.079187e-04,9.256678e-04,9.434858e-04,9.515033e-04,9.750648e-04,9.964135e-04,1.002790e-03,1.015626e-03,1.026841e-03,1.032790e-03,1.047429e-03,1.048001e-03,1.061363e-03,1.064787e-03,1.072981e-03,1.079159e-03,1.082963e-03,1.090794e-03,1.091417e-03,1.098450e-03,1.099938e-03,1.104166e-03,1.106829e-03,1.108665e-03,1.111696e-03,1.112045e-03,1.114398e-03,1.114753e-03,1.115811e-03,1.116202e-03,1.116367e-03,1.116228e-03,1.116143e-03,1.115212e-03,1.115001e-03,1.113640e-03,1.112677e-03,1.111491e-03,1.109395e-03,1.108822e-03,1.105687e-03,1.105282e-03,1.102135e-03,1.100452e-03,1.098211e-03,1.095005e-03,1.093956e-03,1.089409e-03,1.089033e-03,1.084603e-03,1.082616e-03,1.079571e-03,1.075824e-03,1.074341e-03,1.068940e-03,1.068721e-03,1.063391e-03,1.061362e-03,1.057717e-03,1.053796e-03,1.051936e-03,1.046067e-03,1.040126e-03,1.038212e-03,1.034128e-03,1.030265e-03,1.028085e-03,1.022254e-03,1.022010e-03,1.015915e-03,1.014206e-03,1.009808e-03,1.006142e-03,1.003698e-03,9.980827e-04,9.975948e-04,9.915040e-04,9.900449e-04,9.854327e-04,9.820435e-04,9.793867e-04,9.740913e-04,9.733712e-04,9.673911e-04,9.661997e-04,9.614506e-04,9.583784e-04,9.555534e-04,9.506358e-04,9.497030e-04,9.439025e-04,9.429792e-04,9.381544e-04,9.354148e-04,9.324613e-04,9.279478e-04,9.268252e-04,9.212479e-04,9.205827e-04,9.157312e-04,9.133233e-04,9.102763e-04,9.061727e-04,9.048845e-04,8.995568e-04,8.991334e-04,8.942942e-04,8.922075e-04,8.890973e-04,8.853965e-04,8.839666e-04,8.789028e-04,8.787016e-04,8.739061e-04,8.721238e-04,8.689768e-04,8.656634e-04,8.641149e-04,8.593207e-04,8.530957e-04,8.469882e-04,8.409977e-04,8.351236e-04,8.293652e-04,8.237217e-04,8.181918e-04,8.127746e-04,8.074689e-04,8.022732e-04,7.971862e-04,7.922065e-04,7.873326e-04,7.825629e-04,7.778959e-04,7.733299e-04,7.688634e-04,7.644946e-04,7.602219e-04,7.560437e-04,7.519581e-04,7.479636e-04,7.440584e-04,7.402409e-04
0.000000e+00,1.109037e-08,3.305132e-08,1.676279e-07,4.916496e-07,8.047375e-07,2.333002e-06,2.424325e-06,5.676726e-06,6.985430e-06,1.136480e-05,1.633938e-05,2.044487e-05,3.268978e-05,3.395745e-05,5.283587e-05,5.824302e-05,7.771446e-05,9.439174e-05,1.088961e-04,1.415936e-04,1.464304e-04,1.901955e-04,1.996767e-04,2.399501e-04,2.680825e-04,2.953623e-04,3.459855e-04,3.560259e-04,4.214728e-04,4.323541e-04,4.911835e-04,5.259963e-04,5.645994e-04,6.256071e-04,6.411352e-04,7.201920e-04,7.298197e-04,8.011704e-04,8.372574e-04,8.834823e-04,9.465819e-04,9.665617e-04,1.049874e-03,1.056534e-03,1.132921e-03,1.165963e-03,1.215251e-03,1.273854e-03,1.296456e-03,1.376177e-03,1.379330e-03,1.454101e-03,1.481661e-03,1.529963e-03,1.580258e-03,1.603544e-03,1.674664e-03,1.743185e-03,1.764544e-03,1.809002e-03,1.849671e-03,1.872043e-03,1.929909e-03,1.932263e-03,1.989644e-03,2.005202e-03,2.044188e-03,2.075560e-03,2.095915e-03,2.141047e-03,2.144861e-03,2.191076e-03,2.201768e-03,2.234620e-03,2.257863e-03,2.275560e-03,2.309494e-03,2.313972e-03,2.349936e-03,2.356842e-03,2.383535e-03,2.400100e-03,2.414855e-03,2.439468e-03,2.443986e-03,2.471013e-03,2.475149e-03,2.496028e-03,2.507345e-03,2.519115e-03,2.536257e-03,2.540363e-03,2.559855e-03,2.562080e-03,2.577675e-03,2.585007e-03,2.593904e-03,2.605221e-03,2.608619e-03,2.621896e-03,2.622899e-03,2.633809e-03,2.638209e-03,2.644429e-03,2.651312e-03,2.653823e-03,2.662056e-03,2.662362e-03,2.669192e-03,2.671504e-03,2.675290e-03,2.678873e-03,2.680407e-03,2.684599e-03,2.687918e-03,2.688803e-03,2.690413e-03,2.691600e-03,2.692133e-03,2.693097e-03,2.693123e-03,2.693426e-03,2.693393e-03,2.693083e-03,2.692584e-03,2.692134e-03,2.690757e-03,2.690616e-03,2.688563e-03,2.687995e-03,2.686011e-03,2.684375e-03,2.682991e-03,2.679969e-03,2.679532e-03,2.675665e-03,2.674845e-03,2.671416e-03,2.669064e-03,2.666810e-03,2.662685e-03,2.661874e-03,2.656630e-03,2.655764e-03,2.651100e-03,2.648350e-03,2.645304e-03,2.640491e-03,2.639264e-03,2.632997e-03,2.632231e-03,2.626522e-03,2.623612e-03,2.619855e-03,2.614670e-03,2.613013e-03,2.606009e-03,2.605443e-03,2.598860e-03,2.595962e-03,2.591577e-03,2.586258e-03,2.584174e-03,2.576663e-03,2.576361e-03,2.569056e-03,2.566296e-03,2.561362e-03,2.556087e-03,2.553593e-03,2.545758e-03,2.535329e-03,2.524821e-03,2.514250e-03,2.503634e-03,2.492988e-03,2.482327e-03,2.471663e-03,2.461009e-03,2.450375e-03,2.439773e-03,2.429211e-03,2.418698e-03,2.408242e-03,2.397850e-03,2.387529e-03,2.377285e-03,2.367123e-03,2.357049e-03,2.347066e-03,2.337179e-03,2.327391e-03,2.317705e-03,2.308125e-03,2.298653e-03
0.000000e+00,1.049237e-09,3.096493e-09,1.538897e-08,4.430019e-08,7.176174e-08,2.024066e-07,2.100899e-07,4.781404e-07,5.837168e-07,9.306149e-07,1.316053e-06,1.629300e-06,2.547051e-06,2.641080e-06,4.029367e-06,4.424290e-06,5.841252e-06,7.050941e-06,8.101284e-06,1.046568e-05,1.081518e-05,1.397669e-05,1.466164e-05,1.757279e-05,1.960897e-05,2.158639e-05,2.526587e-05,2.599744e-05,3.078324e-05,3.158209e-05,3.591845e-05,3.849935e-05,4.137511e-05,4.595147e-05,4.712274e-05,5.312861e-05,5.386504e-05,5.935815e-05,6.216079e-05,6.577546e-05,7.075566e-05,7.234390e-05,7.902671e-05,7.956518e-05,8.578761e-05,8.850590e-05,9.259138e-05,9.749763e-05,9.940429e-05,1.061946e-04,1.064653e-04,1.129328e-04,1.153406e-04,1.195920e-04,1.240626e-04,1.261478e-04,1.325787e-04,1.388658e-04,1.408446e-04,1.449932e-04,1.488245e-04,1.509473e-04,1.564901e-04,1.567172e-04,1.622939e-04,1.638198e-04,1.676706e-04,1.707985e-04,1.728424e-04,1.774167e-04,1.778060e-04,1.825600e-04,1.836696e-04,1.871039e-04,1.895570e-04,1.914387e-04,1.950819e-04,1.955663e-04,1.994896e-04,2.002500e-04,2.032121e-04,2.050698e-04,2.067382e-04,2.095520e-04,2.100729e-04,2.132214e-04,2.137083e-04,2.161891e-04,2.175510e-04,2.189816e-04,2.210932e-04,2.216046e-04,2.240637e-04,2.243481e-04,2.263649e-04,2.273288e-04,2.285138e-04,2.300487e-04,2.305162e-04,2.323777e-04,2.325207e-04,2.341039e-04,2.347577e-04,2.357003e-04,2.367723e-04,2.371722e-04,2.385249e-04,2.385766e-04,2.397635e-04,2.401824e-04,2.408929e-04,2.416009e-04,2.419178e-04,2.428430e-04,2.436730e-04,2.439192e-04,2.444120e-04,2.448393e-04,2.450644e-04,2.456128e-04,2.456340e-04,2.461249e-04,2.462487e-04,2.465407e-04,2.467557e-04,2.468851e-04,2.471418e-04,2.471615e-04,2.473733e-04,2.474149e-04,2.475237e-04,2.475822e-04,2.476156e-04,2.476506e-04,2.476522e-04,2.476361e-04,2.476268e-04,2.475702e-04,2.475170e-04,2.474569e-04,2.473270e-04,2.472988e-04,2.470983e-04,2.470624e-04,2.468576e-04,2.467285e-04,2.465790e-04,2.463301e-04,2.462644e-04,2.459160e-04,2.458720e-04,2.455356e-04,2.453585e-04,2.451250e-04,2.447939e-04,2.446860e-04,2.442203e-04,2.441820e-04,2.437295e-04,2.435265e-04,2.432150e-04,2.428309e-04,2.426785e-04,2.421211e-04,2.420984e-04,2.415444e-04,2.413322e-04,2.409494e-04,2.405352e-04,2.403376e-04,2.397100e-04,2.388592e-04,2.379853e-04,2.370904e-04,2.361768e-04,2.352465e-04,2.343012e-04,2.333428e-04,2.323729e-04,2.313930e-04,2.304047e-04,2.294092e-04,2.284079e-04,2.274019e-04,2.263923e-04,2.253803e-04,2.243667e-04,2.233524e-04,2.223383e-04,2.213253e-04,2.203140e-04,2.193051e-04,2.182992e-04,2.172970e-04,2.162990e-04
0.000000e+00,2.645086e-08,7.908248e-08,4.035934e-07,1.189540e-06,1.951440e-06,5.679546e-06,5.902401e-06,1.382404e-05,1.699991e-05,2.757341e-05,3.949229e-05,4.927095e-05,7.826669e-05,8.126278e-05,1.260034e-04,1.389013e-04,1.857860e-04,2.265285e-04,2.623965e-04,3.446127e-04,3.569210e-04,4.697827e-04,4.945539e-04,6.008750e-04,6.760909e-04,7.496844e-04,8.877737e-04,9.153766e-04,1.096857e-03,1.127274e-03,1.292819e-03,1.391597e-03,1.501788e-03,1.677255e-03,1.722163e-03,1.952259e-03,1.980441e-03,2.190346e-03,2.297189e-03,2.434691e-03,2.623525e-03,2.683586e-03,2.935382e-03,2.955603e-03,3.188512e-03,3.289806e-03,3.441511e-03,3.622825e-03,3.693027e-03,3.941832e-03,3.951711e-03,4.186826e-03,4.273901e-03,4.427041e-03,4.587221e-03,4.661632e-03,4.889880e-03,5.111182e-03,5.180447e-03,5.325043e-03,5.457824e-03,5.531071e-03,5.721210e-03,5.728966e-03,5.918513e-03,5.970069e-03,6.099569e-03,6.204095e-03,6.272061e-03,6.423176e-03,6.435973e-03,6.591341e-03,6.627366e-03,6.738243e-03,6.816854e-03,6.876798e-03,6.991939e-03,7.007155e-03,7.129490e-03,7.153011e-03,7.244000e-03,7.300524e-03,7.350901e-03,7.434985e-03,7.450422e-03,7.542803e-03,7.556938e-03,7.628290e-03,7.666950e-03,7.707137e-03,7.765603e-03,7.779597e-03,7.845927e-03,7.853487e-03,7.906382e-03,7.931186e-03,7.961215e-03,7.999282e-03,8.010676e-03,8.055010e-03,8.058343e-03,8.094460e-03,8.108924e-03,8.129259e-03,8.151563e-03,8.159636e-03,8.185815e-03,8.186778e-03,8.208012e-03,8.215068e-03,8.226434e-03,8.236908e-03,8.241284e-03,8.252755e-03,8.261036e-03,8.263042e-03,8.266306e-03,8.268179e-03,8.268738e-03,8.268556e-03,8.268497e-03,8.265742e-03,8.264541e-03,8.260626e-03,8.256483e-03,8.253292e-03,8.244707e-03,8.243880e-03,8.232523e-03,8.229522e-03,8.219346e-03,8.211218e-03,8.204471e-03,8.190066e-03,8.188011e-03,8.170076e-03,8.166321e-03,8.150769e-03,8.140221e-03,8.130190e-03,8.111989e-03,8.108432e-03,8.085585e-03,8.081833e-03,8.061732e-03,8.049949e-03,8.036953e-03,8.016516e-03,8.011326e-03,7.984922e-03,7.981704e-03,7.957808e-03,7.945670e-03,7.930050e-03,7.908561e-03,7.901709e-03,7.872843e-03,7.870513e-03,7.843505e-03,7.831650e-03,7.813749e-03,7.792092e-03,7.783621e-03,7.753169e-03,7.751945e-03,7.722436e-03,7.711311e-03,7.691462e-03,7.670282e-03,7.660286e-03,7.628944e-03,7.587377e-03,7.545653e-03,7.503840e-03,7.461999e-03,7.420188e-03,7.378458e-03,7.336857e-03,7.295428e-03,7.254213e-03,7.213246e-03,7.172561e-03,7.132187e-03,7.092151e-03,7.052478e-03,7.013190e-03,6.974305e-03,6.935841e-03,6.897813e-03,6.860235e-03,6.823118e-03,6.786473e-03,6.750308e-03,6.714630e-03,6.679446e-03
0.000000e+00,1.367753e-09,3.754438e-09,1.633549e-08,4.242250e-08,6.537872e-08,1.654284e-07,1.710515e-07,3.593389e-07,4.310780e-07,6.626139e-07,9.160757e-07,1.120430e-06,1.711263e-06,1.771001e-06,2.630724e-06,2.867015e-06,3.684715e-06,4.348694e-06,4.903158e-06,6.089642e-06,6.258852e-06,7.731914e-06,8.039273e-06,9.307856e-06,1.016405e-05,1.097493e-05,1.243780e-05,1.272234e-05,1.453932e-05,1.483576e-05,1.641476e-05,1.733237e-05,1.833717e-05,1.990105e-05,2.029484e-05,2.227597e-05,2.251473e-05,2.426898e-05,2.514677e-05,2.626270e-05,2.777190e-05,2.824660e-05,3.021087e-05,3.036689e-05,3.214659e-05,3.291108e-05,3.404587e-05,3.538691e-05,3.590186e-05,3.770868e-05,3.777986e-05,3.946138e-05,4.007831e-05,4.115598e-05,4.227349e-05,4.278935e-05,4.435910e-05,4.586361e-05,4.633110e-05,4.730190e-05,4.818737e-05,4.867340e-05,4.992714e-05,4.997805e-05,5.121627e-05,5.155116e-05,5.238876e-05,5.306112e-05,5.349653e-05,5.445960e-05,5.454084e-05,5.552310e-05,5.574978e-05,5.644487e-05,5.693527e-05,5.730786e-05,5.802007e-05,5.811384e-05,5.886467e-05,5.900838e-05,5.956221e-05,5.990450e-05,6.020836e-05,6.071281e-05,6.080503e-05,6.135411e-05,6.143768e-05,6.185750e-05,6.208343e-05,6.231703e-05,6.265433e-05,6.273456e-05,6.311186e-05,6.315451e-05,6.345069e-05,6.358802e-05,6.375275e-05,6.395876e-05,6.401971e-05,6.425319e-05,6.427047e-05,6.445476e-05,6.452679e-05,6.462592e-05,6.473116e-05,6.476815e-05,6.488286e-05,6.488690e-05,6.497143e-05,6.499718e-05,6.503518e-05,6.506500e-05,6.507537e-05,6.509324e-05,6.508996e-05,6.508463e-05,6.506666e-05,6.504175e-05,6.502444e-05,6.496706e-05,6.496433e-05,6.488734e-05,6.486289e-05,6.479444e-05,6.473145e-05,6.468654e-05,6.457480e-05,6.456454e-05,6.442927e-05,6.439492e-05,6.428155e-05,6.419368e-05,6.412215e-05,6.397281e-05,6.395182e-05,6.377126e-05,6.373398e-05,6.358116e-05,6.347874e-05,6.338215e-05,6.320856e-05,6.317487e-05,6.295989e-05,6.292482e-05,6.273779e-05,6.262881e-05,6.250909e-05,6.232174e-05,6.227432e-05,6.203396e-05,6.200476e-05,6.178847e-05,6.167895e-05,6.153830e-05,6.134530e-05,6.128387e-05,6.102558e-05,6.100476e-05,6.076380e-05,6.065820e-05,6.049891e-05,6.030645e-05,6.023124e-05,5.996112e-05,5.995027e-05,5.968887e-05,5.959039e-05,5.941477e-05,5.922747e-05,5.913910e-05,5.886213e-05,5.849496e-05,5.812649e-05,5.775723e-05,5.738763e-05,5.701814e-05,5.664914e-05,5.628101e-05,5.591408e-05,5.554867e-05,5.518506e-05,5.482353e-05,5.446430e-05,5.410760e-05,5.375364e-05,5.340258e-05,5.305461e-05,5.270986e-05,5.236848e-05,5.203058e-05,5.169626e-05,5.136563e-05,5.103877e-05,5.071574e-05,5.039662e-05
0.000000e+00,1.050732e-06,3.138401e-06,1.598557e-05,4.704096e-05,7.711312e-05,2.241371e-04,2.329248e-04,5.455353e-04,6.710546e-04,1.089868e-03,1.563577e-03,1.953237e-03,3.111061e-03,3.230694e-03,5.010840e-03,5.520820e-03,7.360020e-03,8.940072e-03,1.031853e-02,1.344172e-02,1.390559e-02,1.812445e-02,1.904340e-02,2.296554e-02,2.572232e-02,2.840804e-02,3.342208e-02,3.442091e-02,4.096387e-02,4.205680e-02,4.798842e-02,5.151522e-02,5.543914e-02,6.166581e-02,6.325518e-02,7.137184e-02,7.236287e-02,7.972220e-02,8.345298e-02,8.823872e-02,9.478129e-02,9.685468e-02,1.055055e-01,1.061972e-01,1.141299e-01,1.175592e-01,1.226705e-01,1.287383e-01,1.310751e-01,1.392962e-01,1.396207e-01,1.472923e-01,1.501087e-01,1.550272e-01,1.601218e-01,1.624702e-01,1.695961e-01,1.763848e-01,1.784833e-01,1.828210e-01,1.867500e-01,1.888939e-01,1.943757e-01,1.945966e-01,1.999261e-01,2.013514e-01,2.048823e-01,2.076779e-01,2.094680e-01,2.133642e-01,2.136885e-01,2.175510e-01,2.184256e-01,2.210643e-01,2.228830e-01,2.242388e-01,2.267613e-01,2.270861e-01,2.296187e-01,2.300886e-01,2.318502e-01,2.328962e-01,2.337945e-01,2.352161e-01,2.354658e-01,2.368784e-01,2.370813e-01,2.380465e-01,2.385245e-01,2.389843e-01,2.395780e-01,2.397057e-01,2.402243e-01,2.402736e-01,2.405536e-01,2.406417e-01,2.407062e-01,2.407117e-01,2.406946e-01,2.405309e-01,2.405116e-01,2.402264e-01,2.400677e-01,2.397922e-01,2.394051e-01,2.392387e-01,2.385758e-01,2.385471e-01,2.378130e-01,2.375157e-01,2.369592e-01,2.363310e-01,2.360228e-01,2.350119e-01,2.339338e-01,2.335758e-01,2.327956e-01,2.320386e-01,2.316038e-01,2.304151e-01,2.303647e-01,2.290840e-01,2.287186e-01,2.277670e-01,2.269615e-01,2.264187e-01,2.251547e-01,2.250439e-01,2.236467e-01,2.233085e-01,2.222312e-01,2.214320e-01,2.208012e-01,2.195333e-01,2.193599e-01,2.179105e-01,2.176200e-01,2.164561e-01,2.156986e-01,2.149991e-01,2.137751e-01,2.135420e-01,2.120872e-01,2.118547e-01,2.106365e-01,2.099422e-01,2.091919e-01,2.080417e-01,2.077550e-01,2.063274e-01,2.061568e-01,2.049105e-01,2.042907e-01,2.035054e-01,2.024462e-01,2.021134e-01,2.007353e-01,2.006257e-01,1.993721e-01,1.988312e-01,1.980246e-01,1.970645e-01,1.966935e-01,1.953792e-01,1.953270e-01,1.940825e-01,1.936200e-01,1.928036e-01,1.919444e-01,1.915431e-01,1.903011e-01,1.886906e-01,1.871133e-01,1.855696e-01,1.840596e-01,1.825834e-01,1.811409e-01,1.797320e-01,1.783564e-01,1.770139e-01,1.757041e-01,1.744266e-01,1.731810e-01,1.719668e-01,1.707834e-01,1.696304e-01,1.685071e-01,1.674130e-01,1.663475e-01,1.653100e-01,1.642998e-01,1.633163e-01,1.623590e-01,1.614271e-01,1.605201e-01
0.000000e+00,6.598514e-11,1.520247e-10,5.266724e-10,1.204726e-09,1.763457e-09,4.047205e-09,4.171432e-09,8.203640e-09,9.694068e-09,1.437907e-08,1.930713e-08,2.313404e-08,3.355507e-08,3.456407e-08,4.847342e-08,5.215343e-08,6.462762e-08,7.458477e-08,8.284417e-08,1.004613e-07,1.029730e-07,1.248669e-07,1.294437e-07,1.483655e-07,1.611599e-07,1.732887e-07,1.951800e-07,1.994375e-07,2.265985e-07,2.310235e-07,2.545498e-07,2.681811e-07,2.830669e-07,3.061396e-07,3.119295e-07,3.409267e-07,3.444059e-07,3.698615e-07,3.825259e-07,3.985537e-07,4.200977e-07,4.268422e-07,4.545856e-07,4.567778e-07,4.816633e-07,4.922850e-07,5.079752e-07,5.263990e-07,5.334395e-07,5.579915e-07,5.589538e-07,5.815826e-07,5.898331e-07,6.041781e-07,6.189624e-07,6.257555e-07,6.463028e-07,6.658173e-07,6.718446e-07,6.843048e-07,6.956022e-07,7.017752e-07,7.176041e-07,7.182439e-07,7.337315e-07,7.378953e-07,7.482613e-07,7.565301e-07,7.618593e-07,7.735705e-07,7.745534e-07,7.863731e-07,7.890830e-07,7.973482e-07,8.031368e-07,8.075095e-07,8.158029e-07,8.168880e-07,8.255145e-07,8.271523e-07,8.334200e-07,8.372559e-07,8.406346e-07,8.461830e-07,8.471885e-07,8.531107e-07,8.540016e-07,8.584299e-07,8.607772e-07,8.631741e-07,8.665737e-07,8.673704e-07,8.710450e-07,8.714522e-07,8.742236e-07,8.754714e-07,8.769307e-07,8.786874e-07,8.791901e-07,8.810249e-07,8.811540e-07,8.824572e-07,8.829222e-07,8.835083e-07,8.840406e-07,8.841986e-07,8.845480e-07,8.845551e-07,8.845752e-07,8.845097e-07,8.842985e-07,8.839457e-07,8.837353e-07,8.829021e-07,8.818150e-07,8.814160e-07,8.804893e-07,8.795224e-07,8.789396e-07,8.772540e-07,8.771798e-07,8.752233e-07,8.746419e-07,8.730828e-07,8.717153e-07,8.707706e-07,8.685016e-07,8.682981e-07,8.656766e-07,8.650265e-07,8.629166e-07,8.613142e-07,8.600281e-07,8.573875e-07,8.570206e-07,8.539034e-07,8.532675e-07,8.506850e-07,8.489742e-07,8.473737e-07,8.445262e-07,8.439774e-07,8.405035e-07,8.399410e-07,8.369591e-07,8.352347e-07,8.333508e-07,8.304225e-07,8.296851e-07,8.259679e-07,8.255186e-07,8.222050e-07,8.205363e-07,8.184018e-07,8.154876e-07,8.145635e-07,8.106948e-07,8.103841e-07,8.068003e-07,8.052363e-07,8.028845e-07,8.000541e-07,7.989513e-07,7.950046e-07,7.948465e-07,7.910481e-07,7.896220e-07,7.870851e-07,7.843883e-07,7.831190e-07,7.791528e-07,7.739219e-07,7.687017e-07,7.634980e-07,7.583158e-07,7.531597e-07,7.480343e-07,7.429432e-07,7.378901e-07,7.328782e-07,7.279105e-07,7.229894e-07,7.181174e-07,7.132966e-07,7.085288e-07,7.038157e-07,6.991586e-07,6.945589e-07,6.900175e-07,6.855355e-07,6.811135e-07,6.767521e-07,6.724519e-07,6.682131e-07,6.640360e-07
0.000000e+00,1.179199e-09,2.825548e-09,1.026544e-08,2.416872e-08,3.587256e-08,8.528037e-08,8.802822e-08,1.799587e-07,2.151511e-07,3.296936e-07,4.566259e-07,5.599139e-07,8.619473e-07,8.927018e-07,1.338044e-06,1.461010e-06,1.886920e-06,2.232075e-06,2.519180e-06,3.128756e-06,3.215085e-06,3.959706e-06,4.113483e-06,4.742408e-06,5.161765e-06,5.555281e-06,6.256709e-06,6.391936e-06,7.246792e-06,7.384910e-06,8.114720e-06,8.534543e-06,8.990899e-06,9.694715e-06,9.870779e-06,1.075011e-05,1.085540e-05,1.162496e-05,1.200754e-05,1.249177e-05,1.314321e-05,1.334738e-05,1.418900e-05,1.425565e-05,1.501425e-05,1.533930e-05,1.582112e-05,1.638974e-05,1.660795e-05,1.737340e-05,1.740356e-05,1.811645e-05,1.837830e-05,1.883629e-05,1.931225e-05,1.953239e-05,2.020437e-05,2.085204e-05,2.105416e-05,2.147537e-05,2.186154e-05,2.207441e-05,2.262680e-05,2.264933e-05,2.320040e-05,2.335046e-05,2.372793e-05,2.403330e-05,2.423230e-05,2.467623e-05,2.471393e-05,2.517329e-05,2.528027e-05,2.561084e-05,2.584654e-05,2.602711e-05,2.637623e-05,2.642262e-05,2.679788e-05,2.687056e-05,2.715346e-05,2.733075e-05,2.748988e-05,2.775806e-05,2.780768e-05,2.810742e-05,2.815374e-05,2.838964e-05,2.851903e-05,2.865486e-05,2.885516e-05,2.890362e-05,2.913644e-05,2.916334e-05,2.935385e-05,2.944475e-05,2.955635e-05,2.970058e-05,2.974443e-05,2.991860e-05,2.993195e-05,3.007933e-05,3.013997e-05,3.022710e-05,3.032572e-05,3.036236e-05,3.048557e-05,3.049026e-05,3.059718e-05,3.063460e-05,3.069760e-05,3.075972e-05,3.078727e-05,3.086659e-05,3.093597e-05,3.095613e-05,3.099579e-05,3.102923e-05,3.104642e-05,3.108674e-05,3.108825e-05,3.112163e-05,3.112951e-05,3.114690e-05,3.115832e-05,3.116441e-05,3.117395e-05,3.117449e-05,3.117745e-05,3.117714e-05,3.117360e-05,3.116859e-05,3.116325e-05,3.114900e-05,3.114669e-05,3.112420e-05,3.111901e-05,3.109604e-05,3.107926e-05,3.106250e-05,3.103034e-05,3.102382e-05,3.098026e-05,3.097285e-05,3.093204e-05,3.090732e-05,3.087942e-05,3.083429e-05,3.082260e-05,3.076181e-05,3.075426e-05,3.069727e-05,3.066772e-05,3.062916e-05,3.057513e-05,3.055768e-05,3.048304e-05,3.047693e-05,3.040540e-05,3.037355e-05,3.032494e-05,3.026537e-05,3.024184e-05,3.015626e-05,3.015279e-05,3.006835e-05,3.003616e-05,2.997826e-05,2.991584e-05,2.988615e-05,2.979216e-05,2.966542e-05,2.953593e-05,2.940396e-05,2.926980e-05,2.913368e-05,2.899586e-05,2.885656e-05,2.871599e-05,2.857437e-05,2.843188e-05,2.828871e-05,2.814502e-05,2.800099e-05,2.785676e-05,2.771247e-05,2.756827e-05,2.742427e-05,2.728061e-05,2.713737e-05,2.699468e-05,2.685263e-05,2.671131e-05,2.657080e-05,2.643118e-05
0.000000e+00,8.397412e-09,2.494346e-08,1.256659e-07,3.664541e-07,5.980266e-07,1.721902e-06,1.788865e-06,4.168181e-06,5.124250e-06,8.323037e-06,1.195639e-05,1.495258e-05,2.385416e-05,2.477178e-05,3.834341e-05,4.220068e-05,5.600364e-05,6.774282e-05,7.790907e-05,1.007361e-04,1.041061e-04,1.345761e-04,1.411780e-04,1.692563e-04,1.889225e-04,2.080479e-04,2.437131e-04,2.508169e-04,2.973933e-04,3.051856e-04,3.475700e-04,3.728632e-04,4.011024e-04,4.461574e-04,4.577105e-04,5.170814e-04,5.243756e-04,5.788742e-04,6.067373e-04,6.427254e-04,6.923957e-04,7.082553e-04,7.750745e-04,7.804640e-04,8.427911e-04,8.700419e-04,9.110175e-04,9.602438e-04,9.793765e-04,1.047507e-03,1.050222e-03,1.115067e-03,1.139188e-03,1.181742e-03,1.226425e-03,1.247240e-03,1.311303e-03,1.373698e-03,1.393279e-03,1.434228e-03,1.471909e-03,1.492723e-03,1.546834e-03,1.549044e-03,1.603078e-03,1.617785e-03,1.654739e-03,1.684570e-03,1.703966e-03,1.747073e-03,1.750722e-03,1.794988e-03,1.805241e-03,1.836764e-03,1.859077e-03,1.876068e-03,1.908633e-03,1.912929e-03,1.947389e-03,1.953998e-03,1.979503e-03,1.995294e-03,2.009330e-03,2.032668e-03,2.036939e-03,2.062403e-03,2.066283e-03,2.085797e-03,2.096316e-03,2.107204e-03,2.122953e-03,2.126704e-03,2.144381e-03,2.146384e-03,2.160319e-03,2.166801e-03,2.174599e-03,2.184394e-03,2.187304e-03,2.198514e-03,2.199349e-03,2.208309e-03,2.211848e-03,2.216766e-03,2.222067e-03,2.223958e-03,2.229959e-03,2.230175e-03,2.234838e-03,2.236333e-03,2.238662e-03,2.240693e-03,2.241495e-03,2.243399e-03,2.244433e-03,2.244590e-03,2.244653e-03,2.244392e-03,2.244113e-03,2.242925e-03,2.242862e-03,2.240951e-03,2.240303e-03,2.238424e-03,2.236631e-03,2.235325e-03,2.232005e-03,2.231696e-03,2.227575e-03,2.226517e-03,2.223000e-03,2.220252e-03,2.218005e-03,2.213288e-03,2.212622e-03,2.206885e-03,2.205697e-03,2.200820e-03,2.197547e-03,2.194457e-03,2.188900e-03,2.187821e-03,2.180936e-03,2.179813e-03,2.173826e-03,2.170339e-03,2.166512e-03,2.160528e-03,2.159015e-03,2.151353e-03,2.150423e-03,2.143545e-03,2.140067e-03,2.135607e-03,2.129498e-03,2.127556e-03,2.119406e-03,2.118750e-03,2.111171e-03,2.107856e-03,2.102863e-03,2.096844e-03,2.094496e-03,2.086080e-03,2.085743e-03,2.077627e-03,2.074576e-03,2.069145e-03,2.063366e-03,2.060645e-03,2.052134e-03,2.040899e-03,2.029677e-03,2.018483e-03,2.007333e-03,1.996239e-03,1.985212e-03,1.974263e-03,1.963401e-03,1.952634e-03,1.941970e-03,1.931415e-03,1.920976e-03,1.910658e-03,1.900464e-03,1.890400e-03,1.880468e-03,1.870671e-03,1.861013e-03,1.851494e-03,1.842116e-03,1.832882e-03,1.823790e-03,1.814844e-03,1.806042e-03
0.000000e+00,1.182603e-06,3.538319e-06,1.809297e-05,5.345966e-05,8.785235e-05,2.572046e-04,2.673740e-04,6.314616e-04,7.786358e-04,1.272611e-03,1.835547e-03,2.301413e-03,3.699984e-03,3.845766e-03,6.046115e-03,6.687708e-03,9.043340e-03,1.111646e-02,1.295847e-02,1.722777e-02,1.787143e-02,2.381080e-02,2.512094e-02,3.075836e-02,3.475299e-02,3.866122e-02,4.598320e-02,4.744404e-02,5.701803e-02,5.861693e-02,6.728714e-02,7.243410e-02,7.815205e-02,8.720586e-02,8.951298e-02,1.012718e-01,1.027050e-01,1.133335e-01,1.187130e-01,1.256074e-01,1.350249e-01,1.380084e-01,1.504571e-01,1.514529e-01,1.628811e-01,1.678287e-01,1.752143e-01,1.840047e-01,1.873979e-01,1.993796e-01,1.998540e-01,2.111138e-01,2.152698e-01,2.225614e-01,2.301648e-01,2.336891e-01,2.444694e-01,2.548799e-01,2.581302e-01,2.649030e-01,2.711081e-01,2.745253e-01,2.833769e-01,2.837375e-01,2.925333e-01,2.949211e-01,3.009099e-01,3.057344e-01,3.088670e-01,3.158186e-01,3.164065e-01,3.235324e-01,3.251817e-01,3.302505e-01,3.338372e-01,3.365680e-01,3.418025e-01,3.424932e-01,3.480354e-01,3.490988e-01,3.532050e-01,3.557495e-01,3.580128e-01,3.617799e-01,3.624700e-01,3.665883e-01,3.672166e-01,3.703798e-01,3.720871e-01,3.738564e-01,3.764192e-01,3.770303e-01,3.799137e-01,3.802408e-01,3.825186e-01,3.835796e-01,3.848570e-01,3.864631e-01,3.869405e-01,3.887808e-01,3.889179e-01,3.903892e-01,3.909701e-01,3.917766e-01,3.926448e-01,3.929539e-01,3.939314e-01,3.939665e-01,3.947193e-01,3.949585e-01,3.953274e-01,3.956431e-01,3.957652e-01,3.960418e-01,3.961659e-01,3.961749e-01,3.961462e-01,3.960618e-01,3.959906e-01,3.957209e-01,3.957072e-01,3.953033e-01,3.951696e-01,3.947861e-01,3.944243e-01,3.941626e-01,3.935006e-01,3.934393e-01,3.926225e-01,3.924132e-01,3.917182e-01,3.911757e-01,3.907322e-01,3.898012e-01,3.896699e-01,3.885366e-01,3.883018e-01,3.873372e-01,3.866890e-01,3.860764e-01,3.849733e-01,3.847588e-01,3.833887e-01,3.831649e-01,3.819701e-01,3.812730e-01,3.805068e-01,3.793065e-01,3.790026e-01,3.774609e-01,3.772735e-01,3.758850e-01,3.751816e-01,3.742781e-01,3.730379e-01,3.726431e-01,3.709829e-01,3.708491e-01,3.693000e-01,3.686211e-01,3.675971e-01,3.663599e-01,3.658764e-01,3.641403e-01,3.640706e-01,3.623909e-01,3.617582e-01,3.606301e-01,3.594272e-01,3.588599e-01,3.570820e-01,3.547262e-01,3.523637e-01,3.499976e-01,3.476311e-01,3.452669e-01,3.429077e-01,3.405559e-01,3.382135e-01,3.358827e-01,3.335651e-01,3.312626e-01,3.289764e-01,3.267081e-01,3.244588e-01,3.222297e-01,3.200217e-01,3.178358e-01,3.156726e-01,3.135329e-01,3.114173e-01,3.093263e-01,3.072604e-01,3.052199e-01,3.032052e-01
0.000000e+00,9.526584e-09,2.835277e-08,1.433300e-07,4.188018e-07,6.837824e-07,1.965798e-06,2.041911e-06,4.724267e-06,5.790230e-06,9.312414e-06,1.324518e-05,1.644864e-05,2.585401e-05,2.681925e-05,4.112463e-05,4.521862e-05,6.002428e-05,7.282156e-05,8.405061e-05,1.096830e-04,1.135076e-04,1.484004e-04,1.560102e-04,1.884375e-04,2.111239e-04,2.330993e-04,2.737090e-04,2.817264e-04,3.335966e-04,3.421477e-04,3.879776e-04,4.147627e-04,4.441606e-04,4.899560e-04,5.014809e-04,5.593289e-04,5.662794e-04,6.171565e-04,6.424672e-04,6.744800e-04,7.174484e-04,7.308800e-04,7.859998e-04,7.903447e-04,8.395418e-04,8.604610e-04,8.912644e-04,9.272687e-04,9.409762e-04,9.885319e-04,9.903877e-04,1.033827e-03,1.049565e-03,1.076792e-03,1.104657e-03,1.117389e-03,1.155605e-03,1.191452e-03,1.202426e-03,1.224956e-03,1.245190e-03,1.256162e-03,1.284009e-03,1.285126e-03,1.311910e-03,1.319029e-03,1.336589e-03,1.350417e-03,1.359239e-03,1.378354e-03,1.379940e-03,1.398777e-03,1.403029e-03,1.415832e-03,1.424638e-03,1.431193e-03,1.443373e-03,1.444941e-03,1.457160e-03,1.459427e-03,1.467932e-03,1.472987e-03,1.477335e-03,1.484233e-03,1.485447e-03,1.492342e-03,1.493338e-03,1.498093e-03,1.500467e-03,1.502767e-03,1.505777e-03,1.506433e-03,1.509152e-03,1.509418e-03,1.510986e-03,1.511527e-03,1.511992e-03,1.512237e-03,1.512226e-03,1.511739e-03,1.511671e-03,1.510582e-03,1.509942e-03,1.508802e-03,1.507159e-03,1.506443e-03,1.503548e-03,1.503422e-03,1.500157e-03,1.498822e-03,1.496307e-03,1.493446e-03,1.492035e-03,1.487374e-03,1.482356e-03,1.480679e-03,1.477010e-03,1.473431e-03,1.471366e-03,1.465691e-03,1.465450e-03,1.459286e-03,1.457519e-03,1.452898e-03,1.448968e-03,1.446309e-03,1.440087e-03,1.439539e-03,1.432608e-03,1.430922e-03,1.425533e-03,1.421515e-03,1.418332e-03,1.411904e-03,1.411021e-03,1.403615e-03,1.402124e-03,1.396128e-03,1.392207e-03,1.388573e-03,1.382184e-03,1.380963e-03,1.373308e-03,1.372080e-03,1.365619e-03,1.361920e-03,1.357907e-03,1.351727e-03,1.350180e-03,1.342448e-03,1.341520e-03,1.334718e-03,1.331319e-03,1.326997e-03,1.321140e-03,1.319293e-03,1.311612e-03,1.310999e-03,1.303959e-03,1.300908e-03,1.296341e-03,1.290880e-03,1.288762e-03,1.281226e-03,1.280926e-03,1.273739e-03,1.271056e-03,1.266304e-03,1.261279e-03,1.258924e-03,1.251602e-03,1.242033e-03,1.232577e-03,1.223240e-03,1.214025e-03,1.204939e-03,1.195982e-03,1.187159e-03,1.178472e-03,1.169922e-03,1.161510e-03,1.153239e-03,1.145109e-03,1.137119e-03,1.129270e-03,1.121563e-03,1.113995e-03,1.106568e-03,1.099280e-03,1.092130e-03,1.085117e-03,1.078240e-03,1.071497e-03,1.064887e-03,1.058409e-03
0.000000e+00,6.336413e-10,1.512810e-09,5.440491e-09,1.264082e-08,1.858982e-08,4.281906e-08,4.413060e-08,8.631750e-08,1.017497e-07,1.499653e-07,2.007586e-07,2.406880e-07,3.533688e-07,3.646481e-07,5.271645e-07,5.722288e-07,7.302481e-07,8.608891e-07,9.713249e-07,1.210553e-06,1.244896e-06,1.545079e-06,1.607849e-06,1.866859e-06,2.041347e-06,2.206196e-06,2.502351e-06,2.559752e-06,2.924606e-06,2.983849e-06,3.298073e-06,3.479644e-06,3.677601e-06,3.983931e-06,4.060729e-06,4.445077e-06,4.491171e-06,4.828367e-06,4.996119e-06,5.208444e-06,5.493911e-06,5.583299e-06,5.951095e-06,5.980163e-06,6.310184e-06,6.451050e-06,6.659118e-06,6.903359e-06,6.996658e-06,7.321766e-06,7.334499e-06,7.633602e-06,7.742484e-06,7.931518e-06,8.125899e-06,8.215037e-06,8.483849e-06,8.737782e-06,8.815890e-06,8.976800e-06,9.121973e-06,9.200974e-06,9.402374e-06,9.410476e-06,9.605556e-06,9.657637e-06,9.786537e-06,9.888512e-06,9.953794e-06,1.009591e-05,1.010775e-05,1.024886e-05,1.028086e-05,1.037760e-05,1.044448e-05,1.049447e-05,1.058792e-05,1.060000e-05,1.069468e-05,1.071236e-05,1.077904e-05,1.081900e-05,1.085359e-05,1.090901e-05,1.091884e-05,1.097529e-05,1.098354e-05,1.102343e-05,1.104372e-05,1.106372e-05,1.109062e-05,1.109664e-05,1.112261e-05,1.112528e-05,1.114208e-05,1.114869e-05,1.115545e-05,1.116178e-05,1.116313e-05,1.116548e-05,1.116545e-05,1.116287e-05,1.116051e-05,1.115565e-05,1.114777e-05,1.114414e-05,1.112866e-05,1.112796e-05,1.110950e-05,1.110176e-05,1.108696e-05,1.106982e-05,1.106129e-05,1.103275e-05,1.100158e-05,1.099109e-05,1.096801e-05,1.094536e-05,1.093225e-05,1.089606e-05,1.089451e-05,1.085498e-05,1.084361e-05,1.081383e-05,1.078843e-05,1.077123e-05,1.073091e-05,1.072735e-05,1.068234e-05,1.067138e-05,1.063632e-05,1.061017e-05,1.058945e-05,1.054758e-05,1.054183e-05,1.049359e-05,1.048387e-05,1.044483e-05,1.041930e-05,1.039565e-05,1.035409e-05,1.034615e-05,1.029641e-05,1.028844e-05,1.024652e-05,1.022254e-05,1.019656e-05,1.015657e-05,1.014658e-05,1.009666e-05,1.009068e-05,1.004686e-05,1.002500e-05,9.997237e-06,9.959669e-06,9.947836e-06,9.898708e-06,9.894791e-06,9.849895e-06,9.830468e-06,9.801439e-06,9.766792e-06,9.753376e-06,9.705738e-06,9.703842e-06,9.658557e-06,9.641688e-06,9.611858e-06,9.580393e-06,9.565669e-06,9.520009e-06,9.460584e-06,9.402157e-06,9.344763e-06,9.288428e-06,9.233176e-06,9.179026e-06,9.125991e-06,9.074080e-06,9.023301e-06,8.973657e-06,8.925147e-06,8.877770e-06,8.831521e-06,8.786393e-06,8.742377e-06,8.699463e-06,8.657638e-06,8.616890e-06,8.577204e-06,8.538564e-06,8.500954e-06,8.464358e-06,8.428756e-06,8.394131e-06
0.000000e+00,7.273569e-10,2.116092e-09,1.020241e-08,2.854209e-08,4.549491e-08,1.228615e-07,1.272923e-07,2.765857e-07,3.332258e-07,5.132426e-07,7.048632e-07,8.555959e-07,1.278319e-06,1.320369e-06,1.922318e-06,2.088577e-06,2.672981e-06,3.160790e-06,3.578094e-06,4.499788e-06,4.634075e-06,5.825465e-06,6.077804e-06,7.125600e-06,7.833580e-06,8.500764e-06,9.687942e-06,9.915574e-06,1.133732e-05,1.156351e-05,1.273836e-05,1.339689e-05,1.409691e-05,1.514211e-05,1.539679e-05,1.662669e-05,1.676920e-05,1.777937e-05,1.826095e-05,1.885082e-05,1.960983e-05,1.983961e-05,2.074628e-05,2.081532e-05,2.157290e-05,2.188180e-05,2.232260e-05,2.281697e-05,2.299935e-05,2.360761e-05,2.363058e-05,2.415214e-05,2.433352e-05,2.463785e-05,2.493703e-05,2.506962e-05,2.545221e-05,2.579019e-05,2.588964e-05,2.608788e-05,2.625912e-05,2.634929e-05,2.656957e-05,2.657814e-05,2.677783e-05,2.682894e-05,2.695143e-05,2.704424e-05,2.710173e-05,2.722157e-05,2.723122e-05,2.734212e-05,2.736620e-05,2.743643e-05,2.748266e-05,2.751590e-05,2.757479e-05,2.758208e-05,2.763635e-05,2.764589e-05,2.767994e-05,2.769874e-05,2.771391e-05,2.773571e-05,2.773921e-05,2.775669e-05,2.775882e-05,2.776710e-05,2.776978e-05,2.777110e-05,2.777008e-05,2.776927e-05,2.776215e-05,2.776096e-05,2.775021e-05,2.774353e-05,2.773386e-05,2.771874e-05,2.771350e-05,2.768947e-05,2.768740e-05,2.766208e-05,2.765025e-05,2.763162e-05,2.760793e-05,2.759834e-05,2.756249e-05,2.756101e-05,2.752428e-05,2.750999e-05,2.748392e-05,2.745533e-05,2.744158e-05,2.739744e-05,2.735167e-05,2.733670e-05,2.730440e-05,2.727343e-05,2.725578e-05,2.720794e-05,2.720593e-05,2.715497e-05,2.714051e-05,2.710301e-05,2.707140e-05,2.705016e-05,2.700083e-05,2.699652e-05,2.694217e-05,2.692903e-05,2.688720e-05,2.685617e-05,2.683169e-05,2.678245e-05,2.677571e-05,2.671934e-05,2.670803e-05,2.666265e-05,2.663306e-05,2.660568e-05,2.655767e-05,2.654851e-05,2.649118e-05,2.648200e-05,2.643375e-05,2.640616e-05,2.637626e-05,2.633026e-05,2.631877e-05,2.626130e-05,2.625441e-05,2.620391e-05,2.617868e-05,2.614662e-05,2.610318e-05,2.608948e-05,2.603251e-05,2.602796e-05,2.597574e-05,2.595310e-05,2.591922e-05,2.587867e-05,2.586295e-05,2.580696e-05,2.580473e-05,2.575129e-05,2.573133e-05,2.569594e-05,2.565851e-05,2.564095e-05,2.558632e-05,2.551481e-05,2.544401e-05,2.537394e-05,2.530465e-05,2.523615e-05,2.516847e-05,2.510164e-05,2.503566e-05,2.497055e-05,2.490634e-05,2.484302e-05,2.478061e-05,2.471912e-05,2.465855e-05,2.459891e-05,2.454020e-05,2.448242e-05,2.442558e-05,2.436967e-05,2.431469e-05,2.426064e-05,2.420752e-05,2.415532e-05,2.410404e-05
0.000000e+00,1.071700e-09,3.073575e-09,1.440660e-08,3.937216e-08,6.203274e-08,1.634107e-07,1.691636e-07,3.621303e-07,4.353596e-07,6.695507e-07,9.219476e-07,1.122663e-06,1.691819e-06,1.748613e-06,2.554624e-06,2.772941e-06,3.518551e-06,4.112196e-06,4.599140e-06,5.612056e-06,5.753148e-06,6.945173e-06,7.185727e-06,8.149545e-06,8.774532e-06,9.348401e-06,1.034181e-05,1.052907e-05,1.168193e-05,1.186327e-05,1.279913e-05,1.332069e-05,1.387389e-05,1.469919e-05,1.490037e-05,1.587366e-05,1.598669e-05,1.678991e-05,1.717424e-05,1.764639e-05,1.825637e-05,1.844160e-05,1.917516e-05,1.923119e-05,1.984777e-05,2.010009e-05,2.046107e-05,2.086722e-05,2.101742e-05,2.151977e-05,2.153879e-05,2.197148e-05,2.212238e-05,2.237613e-05,2.262628e-05,2.273739e-05,2.305894e-05,2.334432e-05,2.342857e-05,2.359694e-05,2.374290e-05,2.381998e-05,2.400899e-05,2.401637e-05,2.418881e-05,2.423314e-05,2.433974e-05,2.442090e-05,2.447135e-05,2.457705e-05,2.458560e-05,2.468423e-05,2.470575e-05,2.476879e-05,2.481051e-05,2.484065e-05,2.489434e-05,2.490102e-05,2.495097e-05,2.495980e-05,2.499145e-05,2.500902e-05,2.502327e-05,2.504385e-05,2.504717e-05,2.506380e-05,2.506583e-05,2.507375e-05,2.507631e-05,2.507755e-05,2.507647e-05,2.507566e-05,2.506849e-05,2.506730e-05,2.505644e-05,2.504968e-05,2.503985e-05,2.502440e-05,2.501904e-05,2.499428e-05,2.499214e-05,2.496586e-05,2.495352e-05,2.493401e-05,2.490909e-05,2.489897e-05,2.486094e-05,2.485936e-05,2.482012e-05,2.480478e-05,2.477669e-05,2.474576e-05,2.473083e-05,2.468268e-05,2.463242e-05,2.461591e-05,2.458017e-05,2.454574e-05,2.452606e-05,2.447250e-05,2.447023e-05,2.441279e-05,2.439644e-05,2.435386e-05,2.431782e-05,2.429353e-05,2.423689e-05,2.423192e-05,2.416911e-05,2.415386e-05,2.410519e-05,2.406894e-05,2.404025e-05,2.398232e-05,2.397436e-05,2.390762e-05,2.389417e-05,2.384008e-05,2.380466e-05,2.377181e-05,2.371396e-05,2.370289e-05,2.363337e-05,2.362219e-05,2.356331e-05,2.352951e-05,2.349277e-05,2.343603e-05,2.342180e-05,2.335046e-05,2.334187e-05,2.327878e-05,2.324715e-05,2.320682e-05,2.315196e-05,2.313462e-05,2.306221e-05,2.305641e-05,2.298965e-05,2.296059e-05,2.291697e-05,2.286458e-05,2.284419e-05,2.277137e-05,2.276845e-05,2.269852e-05,2.267229e-05,2.262568e-05,2.257617e-05,2.255288e-05,2.248014e-05,2.238427e-05,2.228862e-05,2.219323e-05,2.209816e-05,2.200345e-05,2.190915e-05,2.181529e-05,2.172191e-05,2.162905e-05,2.153674e-05,2.144500e-05,2.135387e-05,2.126337e-05,2.117352e-05,2.108434e-05,2.099586e-05,2.090808e-05,2.082104e-05,2.073473e-05,2.064918e-05,2.056440e-05,2.048040e-05,2.039719e-05,2.031477e-05
0.000000e+00,4.899247e-08,1.422123e-07,6.842727e-07,1.917988e-06,3.065988e-06,8.401469e-06,8.711739e-06,1.944844e-05,2.365780e-05,3.747755e-05,5.280245e-05,6.518411e-05,1.007121e-04,1.042739e-04,1.550492e-04,1.689051e-04,2.167930e-04,2.557744e-04,2.884674e-04,3.589442e-04,3.690533e-04,4.576087e-04,4.761965e-04,5.532302e-04,6.054450e-04,6.550076e-04,7.445677e-04,7.619959e-04,8.732114e-04,8.913308e-04,9.876432e-04,1.043415e-03,1.104277e-03,1.198502e-03,1.222122e-03,1.340232e-03,1.354381e-03,1.457734e-03,1.509035e-03,1.573837e-03,1.660709e-03,1.687847e-03,1.799173e-03,1.807948e-03,1.907322e-03,1.949601e-03,2.011902e-03,2.084816e-03,2.112610e-03,2.209228e-03,2.213005e-03,2.301611e-03,2.333816e-03,2.389680e-03,2.447087e-03,2.473408e-03,2.552816e-03,2.627962e-03,2.651121e-03,2.698931e-03,2.742210e-03,2.765835e-03,2.826356e-03,2.828800e-03,2.887967e-03,2.903873e-03,2.943484e-03,2.975105e-03,2.995503e-03,3.040406e-03,3.044181e-03,3.089673e-03,3.100134e-03,3.132133e-03,3.154643e-03,3.171712e-03,3.204276e-03,3.208558e-03,3.242812e-03,3.249365e-03,3.274613e-03,3.290224e-03,3.304092e-03,3.327153e-03,3.331376e-03,3.356586e-03,3.360434e-03,3.379835e-03,3.390331e-03,3.401234e-03,3.417091e-03,3.420886e-03,3.438890e-03,3.440944e-03,3.455339e-03,3.462106e-03,3.470320e-03,3.480777e-03,3.483918e-03,3.496212e-03,3.497141e-03,3.507276e-03,3.511372e-03,3.517179e-03,3.523630e-03,3.525990e-03,3.533770e-03,3.534061e-03,3.540580e-03,3.542804e-03,3.546474e-03,3.549987e-03,3.551506e-03,3.555726e-03,3.559180e-03,3.560131e-03,3.561914e-03,3.563305e-03,3.563969e-03,3.565340e-03,3.565385e-03,3.566199e-03,3.566324e-03,3.566447e-03,3.566338e-03,3.566162e-03,3.565456e-03,3.565375e-03,3.564118e-03,3.563749e-03,3.562417e-03,3.561281e-03,3.560299e-03,3.558111e-03,3.557790e-03,3.554914e-03,3.554296e-03,3.551692e-03,3.549888e-03,3.548148e-03,3.544935e-03,3.544299e-03,3.540167e-03,3.539480e-03,3.535768e-03,3.533567e-03,3.531120e-03,3.527234e-03,3.526240e-03,3.521142e-03,3.520517e-03,3.515842e-03,3.513449e-03,3.510352e-03,3.506062e-03,3.504687e-03,3.498858e-03,3.498385e-03,3.492878e-03,3.490446e-03,3.486757e-03,3.482269e-03,3.480506e-03,3.474136e-03,3.473879e-03,3.467655e-03,3.465297e-03,3.461073e-03,3.456544e-03,3.454398e-03,3.447639e-03,3.438600e-03,3.429444e-03,3.420187e-03,3.410842e-03,3.401424e-03,3.391946e-03,3.382418e-03,3.372853e-03,3.363261e-03,3.353650e-03,3.344031e-03,3.334411e-03,3.324798e-03,3.315200e-03,3.305624e-03,3.296075e-03,3.286559e-03,3.277083e-03,3.267650e-03,3.258266e-03,3.248935e-03,3.239660e-03,3.230447e-03,3.221297e-03
0.000000e+00,1.738825e-10,4.070804e-10,1.427412e-09,3.264453e-09,4.765114e-09,1.078347e-08,1.110597e-08,2.134713e-08,2.503902e-08,3.642067e-08,4.819498e-08,5.731722e-08,8.252964e-08,8.501566e-08,1.202135e-07,1.297943e-07,1.628860e-07,1.897338e-07,2.121203e-07,2.597798e-07,2.665375e-07,3.248127e-07,3.368314e-07,3.858664e-07,4.184193e-07,4.488346e-07,5.026741e-07,5.129920e-07,5.776970e-07,5.880608e-07,6.423643e-07,6.732314e-07,7.064555e-07,7.569818e-07,7.694792e-07,8.309951e-07,8.382568e-07,8.906184e-07,9.161672e-07,9.480240e-07,9.900037e-07,1.002947e-06,1.055182e-06,1.059240e-06,1.104581e-06,1.123523e-06,1.151048e-06,1.182661e-06,1.194535e-06,1.235034e-06,1.236592e-06,1.272573e-06,1.285373e-06,1.307209e-06,1.329142e-06,1.339020e-06,1.368106e-06,1.394578e-06,1.402517e-06,1.418558e-06,1.432655e-06,1.440172e-06,1.458817e-06,1.459551e-06,1.476827e-06,1.481305e-06,1.492130e-06,1.500418e-06,1.505588e-06,1.516446e-06,1.517325e-06,1.527461e-06,1.529669e-06,1.536112e-06,1.540348e-06,1.543385e-06,1.548727e-06,1.549383e-06,1.554202e-06,1.555033e-06,1.557934e-06,1.559473e-06,1.560664e-06,1.562241e-06,1.562471e-06,1.563430e-06,1.563510e-06,1.563610e-06,1.563439e-06,1.563076e-06,1.562175e-06,1.561887e-06,1.560099e-06,1.559847e-06,1.557764e-06,1.556575e-06,1.554928e-06,1.552466e-06,1.551637e-06,1.547931e-06,1.547618e-06,1.543849e-06,1.542118e-06,1.539424e-06,1.536045e-06,1.534691e-06,1.529677e-06,1.529471e-06,1.524412e-06,1.522460e-06,1.518921e-06,1.515070e-06,1.513227e-06,1.507352e-06,1.501317e-06,1.499355e-06,1.495141e-06,1.491121e-06,1.488839e-06,1.482688e-06,1.482429e-06,1.475926e-06,1.474090e-06,1.469342e-06,1.465358e-06,1.462690e-06,1.456520e-06,1.455982e-06,1.449228e-06,1.447602e-06,1.442439e-06,1.438625e-06,1.435623e-06,1.429610e-06,1.428790e-06,1.421946e-06,1.420576e-06,1.415098e-06,1.411539e-06,1.408254e-06,1.402513e-06,1.401420e-06,1.394600e-06,1.393511e-06,1.387801e-06,1.384546e-06,1.381026e-06,1.375627e-06,1.374281e-06,1.367568e-06,1.366765e-06,1.360892e-06,1.357968e-06,1.354257e-06,1.349242e-06,1.347664e-06,1.341117e-06,1.340595e-06,1.334618e-06,1.332033e-06,1.328170e-06,1.323559e-06,1.321774e-06,1.315433e-06,1.315180e-06,1.309148e-06,1.306899e-06,1.302920e-06,1.298719e-06,1.296752e-06,1.290643e-06,1.282674e-06,1.274813e-06,1.267062e-06,1.259424e-06,1.251898e-06,1.244485e-06,1.237187e-06,1.230003e-06,1.222934e-06,1.215980e-06,1.209140e-06,1.202414e-06,1.195801e-06,1.189302e-06,1.182914e-06,1.176638e-06,1.170473e-06,1.164417e-06,1.158469e-06,1.152629e-06,1.146895e-06,1.141265e-06,1.135740e-06,1.130316e-06
0.000000e+00,2.669070e-10,6.919847e-10,2.757898e-09,6.763045e-09,1.015463e-08,2.423506e-08,2.500264e-08,4.971160e-08,5.871421e-08,8.659673e-08,1.155112e-07,1.379080e-07,1.997076e-07,2.057954e-07,2.921125e-07,3.157226e-07,3.980626e-07,4.661370e-07,5.240123e-07,6.511942e-07,6.697022e-07,8.345635e-07,8.697746e-07,1.017868e-06,1.120193e-06,1.218748e-06,1.400325e-06,1.436179e-06,1.668974e-06,1.707559e-06,1.915786e-06,2.038804e-06,2.175135e-06,2.390579e-06,2.445436e-06,2.725037e-06,2.759134e-06,3.012252e-06,3.140604e-06,3.305399e-06,3.531144e-06,3.602833e-06,3.902973e-06,3.927056e-06,4.204324e-06,4.324887e-06,4.505491e-06,4.721497e-06,4.805199e-06,5.102291e-06,5.114105e-06,5.395735e-06,5.500304e-06,5.684625e-06,5.878061e-06,5.968172e-06,6.245704e-06,6.516655e-06,6.601891e-06,6.780559e-06,6.945582e-06,7.037040e-06,7.276005e-06,7.285804e-06,7.526631e-06,7.592617e-06,7.759362e-06,7.895072e-06,7.983900e-06,8.183193e-06,8.200193e-06,8.408234e-06,8.456938e-06,8.608053e-06,8.716382e-06,8.799711e-06,8.961687e-06,8.983295e-06,9.158914e-06,9.193093e-06,9.326698e-06,9.410895e-06,9.486788e-06,9.615432e-06,9.639340e-06,9.784519e-06,9.807075e-06,9.922498e-06,9.986223e-06,1.005346e-05,1.015329e-05,1.017757e-05,1.029504e-05,1.030869e-05,1.040603e-05,1.045287e-05,1.051075e-05,1.058626e-05,1.060938e-05,1.070211e-05,1.070927e-05,1.078911e-05,1.082235e-05,1.087058e-05,1.092591e-05,1.094669e-05,1.101763e-05,1.102036e-05,1.108356e-05,1.110611e-05,1.114467e-05,1.118355e-05,1.120112e-05,1.125308e-05,1.130070e-05,1.131505e-05,1.134415e-05,1.136983e-05,1.138358e-05,1.141779e-05,1.141914e-05,1.145098e-05,1.145924e-05,1.147924e-05,1.149454e-05,1.150406e-05,1.152398e-05,1.152558e-05,1.154393e-05,1.154787e-05,1.155923e-05,1.156652e-05,1.157162e-05,1.158020e-05,1.158120e-05,1.158811e-05,1.158918e-05,1.159244e-05,1.159372e-05,1.159432e-05,1.159408e-05,1.159385e-05,1.159113e-05,1.159050e-05,1.158627e-05,1.158320e-05,1.157935e-05,1.157240e-05,1.157048e-05,1.155974e-05,1.155833e-05,1.154722e-05,1.154117e-05,1.153301e-05,1.152113e-05,1.151719e-05,1.149983e-05,1.149838e-05,1.148102e-05,1.147311e-05,1.146083e-05,1.144547e-05,1.143932e-05,1.141658e-05,1.141564e-05,1.139265e-05,1.138377e-05,1.136762e-05,1.134999e-05,1.134153e-05,1.131446e-05,1.127729e-05,1.123863e-05,1.119858e-05,1.115726e-05,1.111479e-05,1.107125e-05,1.102676e-05,1.098140e-05,1.093526e-05,1.088842e-05,1.084097e-05,1.079297e-05,1.074450e-05,1.069562e-05,1.064639e-05,1.059689e-05,1.054715e-05,1.049724e-05,1.044721e-05,1.039709e-05,1.034694e-05,1.029680e-05,1.024670e-05,1.019668e-05
0.000000e+00,8.883357e-10,2.614173e-09,1.292374e-08,3.706459e-08,5.995075e-08,1.688256e-07,1.752369e-07,3.998473e-07,4.888495e-07,7.833051e-07,1.113494e-06,1.383504e-06,2.178112e-06,2.259536e-06,3.454976e-06,3.791761e-06,4.985737e-06,5.987120e-06,6.843851e-06,8.733082e-06,9.008098e-06,1.145181e-05,1.197159e-05,1.414651e-05,1.563733e-05,1.706317e-05,1.966319e-05,2.017238e-05,2.344439e-05,2.398102e-05,2.684925e-05,2.852197e-05,3.035707e-05,3.321772e-05,3.393852e-05,3.756523e-05,3.800219e-05,4.121035e-05,4.281353e-05,4.484893e-05,4.759582e-05,4.845826e-05,5.201810e-05,5.230020e-05,5.551078e-05,5.688559e-05,5.892123e-05,6.131867e-05,6.223684e-05,6.544731e-05,6.557342e-05,6.854466e-05,6.963081e-05,7.152291e-05,7.347789e-05,7.437788e-05,7.710695e-05,7.970887e-05,8.051458e-05,8.218351e-05,8.370082e-05,8.453167e-05,8.666840e-05,8.675496e-05,8.885562e-05,8.942218e-05,9.083636e-05,9.196853e-05,9.270031e-05,9.431491e-05,9.445087e-05,9.609165e-05,9.646952e-05,9.762642e-05,9.844102e-05,9.905902e-05,1.002383e-04,1.003934e-04,1.016333e-04,1.018703e-04,1.027827e-04,1.033459e-04,1.038455e-04,1.046739e-04,1.048253e-04,1.057259e-04,1.058628e-04,1.065508e-04,1.069209e-04,1.073036e-04,1.078561e-04,1.079876e-04,1.086061e-04,1.086761e-04,1.091623e-04,1.093881e-04,1.096592e-04,1.099991e-04,1.100999e-04,1.104871e-04,1.105158e-04,1.108235e-04,1.109445e-04,1.111118e-04,1.112910e-04,1.113545e-04,1.115540e-04,1.115612e-04,1.117127e-04,1.117602e-04,1.118326e-04,1.118932e-04,1.119160e-04,1.119649e-04,1.119812e-04,1.119799e-04,1.119668e-04,1.119423e-04,1.119234e-04,1.118561e-04,1.118528e-04,1.117564e-04,1.117251e-04,1.116360e-04,1.115527e-04,1.114929e-04,1.113424e-04,1.113285e-04,1.111443e-04,1.110972e-04,1.109413e-04,1.108200e-04,1.107210e-04,1.105136e-04,1.104843e-04,1.102325e-04,1.101804e-04,1.099665e-04,1.098230e-04,1.096874e-04,1.094435e-04,1.093961e-04,1.090934e-04,1.090440e-04,1.087804e-04,1.086266e-04,1.084576e-04,1.081930e-04,1.081260e-04,1.077863e-04,1.077450e-04,1.074391e-04,1.072842e-04,1.070852e-04,1.068120e-04,1.067250e-04,1.063593e-04,1.063299e-04,1.059886e-04,1.058391e-04,1.056135e-04,1.053409e-04,1.052343e-04,1.048517e-04,1.048363e-04,1.044660e-04,1.043265e-04,1.040777e-04,1.038124e-04,1.036872e-04,1.032949e-04,1.027748e-04,1.022529e-04,1.017300e-04,1.012067e-04,1.006835e-04,1.001612e-04,9.964016e-05,9.912090e-05,9.860386e-05,9.808944e-05,9.757803e-05,9.706995e-05,9.656552e-05,9.606502e-05,9.556870e-05,9.507680e-05,9.458952e-05,9.410706e-05,9.362957e-05,9.315722e-05,9.269012e-05,9.222840e-05,9.177215e-05,9.132147e-05
