0.000000e+00,1.010101e+00,1.333333e+00,2.020202e+00,2.666667e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,5.333333e+00,6.060606e+00,6.666667e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,9.333333e+00,1.010101e+01,1.066667e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.333333e+01,1.414141e+01,1.466667e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.733333e+01,1.818182e+01,1.866667e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.133333e+01,2.222222e+01,2.266667e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.533333e+01,2.626263e+01,2.666667e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,2.933333e+01,3.030303e+01,3.066667e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.434343e+01,3.466667e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.733333e+01,3.737374e+01,3.838384e+01,3.866667e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.133333e+01,4.141414e+01,4.242424e+01,4.266667e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.533333e+01,4.545455e+01,4.646465e+01,4.666667e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.933333e+01,4.949495e+01,5.050505e+01,5.066667e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.333333e+01,5.353535e+01,5.454545e+01,5.466667e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.733333e+01,5.757576e+01,5.858586e+01,5.866667e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.133333e+01,6.161616e+01,6.262626e+01,6.266667e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.533333e+01,6.565657e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.933333e+01,6.969697e+01,7.066667e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.333333e+01,7.373737e+01,7.466667e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.733333e+01,7.777778e+01,7.866667e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.133333e+01,8.181818e+01,8.266667e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.533333e+01,8.585859e+01,8.666667e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.933333e+01,8.989899e+01,9.066667e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.333333e+01,9.393939e+01,9.466667e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.733333e+01,9.797980e+01,9.866667e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.013333e+02,1.026667e+02,1.040000e+02,1.053333e+02,1.066667e+02,1.080000e+02,1.093333e+02,1.106667e+02,1.120000e+02,1.133333e+02,1.146667e+02,1.160000e+02,1.173333e+02,1.186667e+02,1.200000e+02,1.213333e+02,1.226667e+02,1.240000e+02,1.253333e+02,1.266667e+02,1.280000e+02,1.293333e+02,1.306667e+02,1.320000e+02
0.000000e+00,1.983462e-10,7.541032e-10,5.395846e-09,1.955634e-08,3.506410e-08,1.218108e-07,1.273471e-07,3.375012e-07,4.266373e-07,7.351870e-07,1.097493e-06,1.402521e-06,2.334596e-06,2.432720e-06,3.926835e-06,4.365726e-06,5.983980e-06,7.412979e-06,8.683896e-06,1.162730e-05,1.207037e-05,1.614575e-05,1.704107e-05,2.087668e-05,2.357718e-05,2.620484e-05,3.108875e-05,3.205706e-05,3.835307e-05,3.939611e-05,4.501060e-05,4.831070e-05,5.194849e-05,5.764799e-05,5.908856e-05,6.635684e-05,6.723432e-05,7.368439e-05,7.691074e-05,8.100784e-05,8.653543e-05,8.826988e-05,9.541952e-05,9.598525e-05,1.024122e-04,1.051566e-04,1.092100e-04,1.139655e-04,1.157810e-04,1.220997e-04,1.223469e-04,1.281461e-04,1.302531e-04,1.339054e-04,1.376526e-04,1.393679e-04,1.445278e-04,1.493832e-04,1.508728e-04,1.539353e-04,1.566911e-04,1.581878e-04,1.619942e-04,1.621470e-04,1.658205e-04,1.667991e-04,1.692175e-04,1.711272e-04,1.723482e-04,1.750026e-04,1.752234e-04,1.778545e-04,1.784509e-04,1.802531e-04,1.814992e-04,1.824310e-04,1.841742e-04,1.843998e-04,1.861712e-04,1.865028e-04,1.877566e-04,1.885111e-04,1.891669e-04,1.902241e-04,1.904128e-04,1.915047e-04,1.916658e-04,1.924524e-04,1.928589e-04,1.932654e-04,1.938248e-04,1.939526e-04,1.945226e-04,1.945836e-04,1.949836e-04,1.951538e-04,1.953431e-04,1.955531e-04,1.956086e-04,1.957869e-04,1.957975e-04,1.958843e-04,1.959021e-04,1.959071e-04,1.958806e-04,1.958610e-04,1.957513e-04,1.957457e-04,1.955832e-04,1.955093e-04,1.953613e-04,1.951821e-04,1.950902e-04,1.947740e-04,1.944167e-04,1.942942e-04,1.940218e-04,1.937510e-04,1.935929e-04,1.931520e-04,1.931331e-04,1.926454e-04,1.925042e-04,1.921326e-04,1.918140e-04,1.915973e-04,1.910871e-04,1.910420e-04,1.904689e-04,1.903289e-04,1.898801e-04,1.895443e-04,1.892776e-04,1.887376e-04,1.886633e-04,1.880387e-04,1.879127e-04,1.874056e-04,1.870734e-04,1.867653e-04,1.862230e-04,1.861193e-04,1.854687e-04,1.853643e-04,1.848148e-04,1.845001e-04,1.841587e-04,1.836328e-04,1.835013e-04,1.828435e-04,1.827646e-04,1.821863e-04,1.818975e-04,1.815304e-04,1.810332e-04,1.808765e-04,1.802252e-04,1.801733e-04,1.795773e-04,1.793192e-04,1.789332e-04,1.784721e-04,1.782934e-04,1.776585e-04,1.776332e-04,1.770288e-04,1.768035e-04,1.764047e-04,1.759838e-04,1.757866e-04,1.751748e-04,1.743773e-04,1.735917e-04,1.728186e-04,1.720584e-04,1.713114e-04,1.705779e-04,1.698581e-04,1.691522e-04,1.684603e-04,1.677824e-04,1.671187e-04,1.664691e-04,1.658337e-04,1.652123e-04,1.646049e-04,1.640114e-04,1.634317e-04,1.628656e-04,1.623131e-04,1.617739e-04,1.612479e-04,1.607349e-04,1.602347e-04,1.597471e-04
0.000000e+00,4.450760e-11,1.038164e-10,3.641715e-10,8.366307e-10,1.225392e-09,2.803331e-09,2.888601e-09,5.626548e-09,6.626119e-09,9.742843e-09,1.301595e-08,1.558161e-08,2.278778e-08,2.350647e-08,3.381554e-08,3.666112e-08,4.660780e-08,5.480680e-08,6.172928e-08,7.672091e-08,7.887409e-08,9.771839e-08,1.016656e-07,1.179814e-07,1.289994e-07,1.394285e-07,1.582107e-07,1.618576e-07,1.850855e-07,1.888645e-07,2.089402e-07,2.205645e-07,2.332570e-07,2.529367e-07,2.578779e-07,2.826523e-07,2.856287e-07,3.074383e-07,3.183136e-07,3.321046e-07,3.506967e-07,3.565313e-07,3.806112e-07,3.825197e-07,4.042498e-07,4.135630e-07,4.273658e-07,4.436471e-07,4.498912e-07,4.717703e-07,4.726314e-07,4.929588e-07,5.004103e-07,5.134206e-07,5.269063e-07,5.331305e-07,5.520720e-07,5.702349e-07,5.758819e-07,5.876159e-07,5.983301e-07,6.042169e-07,6.194259e-07,6.200442e-07,6.351078e-07,6.391904e-07,6.494203e-07,6.576537e-07,6.629974e-07,6.748536e-07,6.758563e-07,6.880160e-07,6.908325e-07,6.994964e-07,7.056364e-07,7.103182e-07,7.193135e-07,7.205028e-07,7.300717e-07,7.319135e-07,7.390466e-07,7.434860e-07,7.474492e-07,7.540808e-07,7.553009e-07,7.626230e-07,7.637468e-07,7.694364e-07,7.725322e-07,7.757616e-07,7.804836e-07,7.816185e-07,7.870266e-07,7.876464e-07,7.920051e-07,7.940642e-07,7.965723e-07,7.997793e-07,8.007461e-07,8.045440e-07,8.048320e-07,8.079826e-07,8.092611e-07,8.110783e-07,8.131036e-07,8.138466e-07,8.163027e-07,8.163947e-07,8.184612e-07,8.191682e-07,8.203361e-07,8.214560e-07,8.219410e-07,8.232887e-07,8.243919e-07,8.246952e-07,8.252625e-07,8.257030e-07,8.259121e-07,8.263382e-07,8.263518e-07,8.265923e-07,8.266253e-07,8.266438e-07,8.265880e-07,8.265160e-07,8.262482e-07,8.262183e-07,8.257599e-07,8.256269e-07,8.251493e-07,8.247440e-07,8.243949e-07,8.236182e-07,8.235044e-07,8.224856e-07,8.222671e-07,8.213457e-07,8.207075e-07,8.200917e-07,8.189550e-07,8.187302e-07,8.172676e-07,8.170246e-07,8.157099e-07,8.149302e-07,8.140631e-07,8.126852e-07,8.123326e-07,8.105238e-07,8.103018e-07,8.086418e-07,8.077918e-07,8.066915e-07,8.051663e-07,8.046773e-07,8.026039e-07,8.024356e-07,8.004754e-07,7.996095e-07,7.982958e-07,7.966971e-07,7.960690e-07,7.937987e-07,7.937070e-07,7.914883e-07,7.906474e-07,7.891412e-07,7.875259e-07,7.867606e-07,7.843495e-07,7.811250e-07,7.778586e-07,7.745561e-07,7.712232e-07,7.678648e-07,7.644859e-07,7.610909e-07,7.576841e-07,7.542692e-07,7.508500e-07,7.474299e-07,7.440121e-07,7.405994e-07,7.371946e-07,7.338003e-07,7.304188e-07,7.270522e-07,7.237026e-07,7.203719e-07,7.170617e-07,7.137736e-07,7.105091e-07,7.072695e-07,7.040559e-07
0.000000e+00,3.137649e-11,7.201501e-11,2.488803e-10,5.696742e-10,8.347585e-10,1.924294e-09,1.983809e-09,3.927875e-09,4.652504e-09,6.955290e-09,9.429360e-09,1.139529e-08,1.695878e-08,1.751260e-08,2.534477e-08,2.746052e-08,3.469453e-08,4.049214e-08,4.529388e-08,5.547383e-08,5.691649e-08,6.939097e-08,7.197572e-08,8.258133e-08,8.968363e-08,9.636941e-08,1.083325e-07,1.106449e-07,1.253012e-07,1.276745e-07,1.402344e-07,1.474711e-07,1.553445e-07,1.674960e-07,1.705366e-07,1.857221e-07,1.875400e-07,2.008204e-07,2.074171e-07,2.157591e-07,2.269663e-07,2.304746e-07,2.449126e-07,2.460542e-07,2.590273e-07,2.645741e-07,2.727813e-07,2.824436e-07,2.861444e-07,2.990929e-07,2.996019e-07,3.116092e-07,3.160067e-07,3.236808e-07,3.316312e-07,3.352996e-07,3.464615e-07,3.571651e-07,3.604938e-07,3.674123e-07,3.737324e-07,3.772065e-07,3.861880e-07,3.865534e-07,3.954599e-07,3.978759e-07,4.039342e-07,4.088150e-07,4.119852e-07,4.190267e-07,4.196228e-07,4.268571e-07,4.285345e-07,4.336989e-07,4.373629e-07,4.401591e-07,4.455372e-07,4.462488e-07,4.519792e-07,4.530832e-07,4.573617e-07,4.600268e-07,4.624074e-07,4.663937e-07,4.671275e-07,4.715330e-07,4.722094e-07,4.756348e-07,4.774990e-07,4.794437e-07,4.822871e-07,4.829703e-07,4.862249e-07,4.865977e-07,4.892177e-07,4.904541e-07,4.919585e-07,4.938791e-07,4.944572e-07,4.967232e-07,4.968947e-07,4.987656e-07,4.995220e-07,5.005936e-07,5.017818e-07,5.022157e-07,5.036406e-07,5.036937e-07,5.048766e-07,5.052768e-07,5.059315e-07,5.065494e-07,5.068132e-07,5.075292e-07,5.080869e-07,5.082330e-07,5.084932e-07,5.086771e-07,5.087551e-07,5.088768e-07,5.088792e-07,5.088719e-07,5.088471e-07,5.087393e-07,5.086022e-07,5.084875e-07,5.081555e-07,5.081222e-07,5.076490e-07,5.075200e-07,5.070733e-07,5.067080e-07,5.064002e-07,5.057314e-07,5.056348e-07,5.047819e-07,5.046012e-07,5.038461e-07,5.033282e-07,5.028319e-07,5.019225e-07,5.017436e-07,5.005853e-07,5.003937e-07,4.993610e-07,4.987511e-07,4.980746e-07,4.970032e-07,4.967297e-07,4.953299e-07,4.951584e-07,4.938786e-07,4.932245e-07,4.923790e-07,4.912090e-07,4.908343e-07,4.892475e-07,4.891188e-07,4.876214e-07,4.869606e-07,4.859589e-07,4.847408e-07,4.842626e-07,4.825350e-07,4.824653e-07,4.807786e-07,4.801397e-07,4.789957e-07,4.777693e-07,4.771885e-07,4.753593e-07,4.729142e-07,4.704386e-07,4.679367e-07,4.654124e-07,4.628695e-07,4.603114e-07,4.577415e-07,4.551628e-07,4.525782e-07,4.499904e-07,4.474020e-07,4.448152e-07,4.422324e-07,4.396556e-07,4.370866e-07,4.345273e-07,4.319794e-07,4.294442e-07,4.269234e-07,4.244181e-07,4.219296e-07,4.194590e-07,4.170074e-07,4.145755e-07
0.000000e+00,1.781518e-10,6.551832e-10,4.388104e-09,1.502848e-08,2.616373e-08,8.474154e-08,8.835850e-08,2.206777e-07,2.750108e-07,4.589420e-07,6.702556e-07,8.460124e-07,1.376939e-06,1.432499e-06,2.273932e-06,2.519724e-06,3.420487e-06,4.207577e-06,4.899886e-06,6.471404e-06,6.703856e-06,8.789468e-06,9.234968e-06,1.109323e-05,1.235464e-05,1.354709e-05,1.567877e-05,1.608919e-05,1.866824e-05,1.908148e-05,2.124394e-05,2.246973e-05,2.378548e-05,2.577826e-05,2.626958e-05,2.867886e-05,2.896229e-05,3.100046e-05,3.199169e-05,3.322512e-05,3.484701e-05,3.534646e-05,3.736052e-05,3.751693e-05,3.926526e-05,3.999641e-05,4.106028e-05,4.228523e-05,4.274650e-05,4.432591e-05,4.438690e-05,4.580126e-05,4.630754e-05,4.717594e-05,4.805517e-05,4.845380e-05,4.963898e-05,5.073582e-05,5.106887e-05,5.174874e-05,5.235503e-05,5.268220e-05,5.350764e-05,5.354059e-05,5.432823e-05,5.453666e-05,5.504928e-05,5.545163e-05,5.570777e-05,5.626162e-05,5.630753e-05,5.685224e-05,5.697517e-05,5.734539e-05,5.760027e-05,5.779027e-05,5.814431e-05,5.818999e-05,5.854750e-05,5.861418e-05,5.886555e-05,5.901621e-05,5.914675e-05,5.935625e-05,5.939352e-05,5.960816e-05,5.963967e-05,5.979282e-05,5.987140e-05,5.994950e-05,6.005597e-05,6.008008e-05,6.018634e-05,6.019753e-05,6.026990e-05,6.029989e-05,6.033233e-05,6.036654e-05,6.037507e-05,6.039946e-05,6.040066e-05,6.040678e-05,6.040519e-05,6.039821e-05,6.038281e-05,6.037484e-05,6.033773e-05,6.033598e-05,6.028785e-05,6.026693e-05,6.022608e-05,6.017774e-05,6.015330e-05,6.007030e-05,5.997781e-05,5.994632e-05,5.987653e-05,5.980741e-05,5.976713e-05,5.965502e-05,5.965021e-05,5.952634e-05,5.949049e-05,5.939606e-05,5.931503e-05,5.925988e-05,5.912979e-05,5.911827e-05,5.897167e-05,5.893579e-05,5.882049e-05,5.873398e-05,5.866513e-05,5.852524e-05,5.850594e-05,5.834328e-05,5.831036e-05,5.817746e-05,5.809009e-05,5.800878e-05,5.786509e-05,5.783753e-05,5.766397e-05,5.763600e-05,5.748835e-05,5.740338e-05,5.731090e-05,5.716777e-05,5.713184e-05,5.695139e-05,5.692965e-05,5.676972e-05,5.668946e-05,5.658704e-05,5.644761e-05,5.640349e-05,5.621925e-05,5.620449e-05,5.603447e-05,5.596043e-05,5.584928e-05,5.571576e-05,5.566381e-05,5.547820e-05,5.547078e-05,5.529256e-05,5.522574e-05,5.510700e-05,5.498091e-05,5.492161e-05,5.473650e-05,5.449273e-05,5.424979e-05,5.400786e-05,5.376708e-05,5.352762e-05,5.328961e-05,5.305317e-05,5.281841e-05,5.258544e-05,5.235434e-05,5.212520e-05,5.189810e-05,5.167310e-05,5.145027e-05,5.122966e-05,5.101132e-05,5.079528e-05,5.058160e-05,5.037030e-05,5.016141e-05,4.995495e-05,4.975095e-05,4.954942e-05,4.935038e-05
0.000000e+00,6.150693e-10,2.396372e-09,1.803276e-08,6.839079e-08,1.256812e-07,4.647379e-07,4.870748e-07,1.370138e-06,1.759409e-06,3.150391e-06,4.844905e-06,6.308457e-06,1.092802e-05,1.142465e-05,1.917005e-05,2.150171e-05,3.028906e-05,3.828118e-05,4.556503e-05,6.305689e-05,6.576449e-05,9.156991e-05,9.745424e-05,1.235216e-04,1.426936e-04,1.619832e-04,1.994571e-04,2.071324e-04,2.589681e-04,2.678736e-04,3.173288e-04,3.475763e-04,3.819148e-04,4.377906e-04,4.523117e-04,5.280141e-04,5.374282e-04,6.084474e-04,6.451776e-04,6.929888e-04,7.595868e-04,7.809856e-04,8.717726e-04,8.791361e-04,9.646860e-04,1.002301e-03,1.059077e-03,1.127601e-03,1.154321e-03,1.249828e-03,1.253646e-03,1.345047e-03,1.379157e-03,1.439472e-03,1.502992e-03,1.532645e-03,1.624157e-03,1.713647e-03,1.741804e-03,1.800804e-03,1.855237e-03,1.885365e-03,1.963896e-03,1.967109e-03,2.045860e-03,2.067354e-03,2.121478e-03,2.165302e-03,2.193862e-03,2.257536e-03,2.262940e-03,2.328671e-03,2.343946e-03,2.391039e-03,2.424498e-03,2.450052e-03,2.499227e-03,2.505734e-03,2.558130e-03,2.568220e-03,2.607297e-03,2.631610e-03,2.653304e-03,2.689566e-03,2.696230e-03,2.736163e-03,2.742280e-03,2.773195e-03,2.789968e-03,2.807424e-03,2.832858e-03,2.838952e-03,2.867883e-03,2.871185e-03,2.894320e-03,2.905190e-03,2.918370e-03,2.935116e-03,2.940138e-03,2.959727e-03,2.961203e-03,2.977239e-03,2.983685e-03,2.992776e-03,3.002795e-03,3.006437e-03,3.018316e-03,3.018756e-03,3.028508e-03,3.031782e-03,3.037104e-03,3.042081e-03,3.044189e-03,3.049851e-03,3.054168e-03,3.055279e-03,3.057221e-03,3.058546e-03,3.059084e-03,3.059821e-03,3.059830e-03,3.059527e-03,3.059263e-03,3.058242e-03,3.057026e-03,3.056038e-03,3.053250e-03,3.052974e-03,3.049110e-03,3.048070e-03,3.044499e-03,3.041611e-03,3.039195e-03,3.033992e-03,3.033245e-03,3.026699e-03,3.025322e-03,3.019600e-03,3.015705e-03,3.011992e-03,3.005236e-03,3.003914e-03,2.995405e-03,2.994006e-03,2.986502e-03,2.982098e-03,2.977238e-03,2.969589e-03,2.967646e-03,2.957758e-03,2.956552e-03,2.947601e-03,2.943054e-03,2.937204e-03,2.929157e-03,2.926592e-03,2.915790e-03,2.914919e-03,2.904821e-03,2.900392e-03,2.893707e-03,2.885626e-03,2.882467e-03,2.871122e-03,2.870666e-03,2.859689e-03,2.855554e-03,2.848185e-03,2.840330e-03,2.836626e-03,2.825027e-03,2.809679e-03,2.794314e-03,2.778962e-03,2.763646e-03,2.748388e-03,2.733211e-03,2.718131e-03,2.703166e-03,2.688332e-03,2.673641e-03,2.659106e-03,2.644738e-03,2.630547e-03,2.616540e-03,2.602726e-03,2.589111e-03,2.575699e-03,2.562497e-03,2.549508e-03,2.536734e-03,2.524179e-03,2.511845e-03,2.499733e-03,2.487844e-03
0.000000e+00,1.593390e-10,5.844340e-10,3.893154e-09,1.326365e-08,2.301677e-08,7.377041e-08,7.687948e-08,1.890503e-07,2.343340e-07,3.848080e-07,5.530560e-07,6.897929e-07,1.088707e-06,1.129423e-06,1.728505e-06,1.898656e-06,2.510360e-06,3.035653e-06,3.494822e-06,4.539657e-06,4.695382e-06,6.117015e-06,6.427687e-06,7.756123e-06,8.691174e-06,9.602363e-06,1.130256e-05,1.164097e-05,1.385464e-05,1.422384e-05,1.622469e-05,1.741219e-05,1.873173e-05,2.082269e-05,2.135595e-05,2.407740e-05,2.440957e-05,2.687625e-05,2.812722e-05,2.973298e-05,3.193114e-05,3.262868e-05,3.554531e-05,3.577903e-05,3.846592e-05,3.963171e-05,4.137480e-05,4.345387e-05,4.425770e-05,4.710182e-05,4.721461e-05,4.989591e-05,5.088762e-05,5.263024e-05,5.445118e-05,5.529656e-05,5.788802e-05,6.039907e-05,6.118488e-05,6.282537e-05,6.433219e-05,6.516368e-05,6.732354e-05,6.741170e-05,6.956803e-05,7.015526e-05,7.163197e-05,7.282596e-05,7.360351e-05,7.533614e-05,7.548315e-05,7.727188e-05,7.768779e-05,7.897105e-05,7.988409e-05,8.058235e-05,8.192913e-05,8.210771e-05,8.354926e-05,8.382771e-05,8.490929e-05,8.558509e-05,8.619022e-05,8.720687e-05,8.739451e-05,8.852473e-05,8.869886e-05,8.958344e-05,9.006698e-05,9.057322e-05,9.131715e-05,9.149665e-05,9.235628e-05,9.245527e-05,9.315464e-05,9.348714e-05,9.389420e-05,9.441845e-05,9.457740e-05,9.520663e-05,9.525471e-05,9.578421e-05,9.600129e-05,9.631240e-05,9.666335e-05,9.679339e-05,9.722933e-05,9.724586e-05,9.762227e-05,9.775360e-05,9.797423e-05,9.819113e-05,9.828712e-05,9.856283e-05,9.880315e-05,9.887287e-05,9.900982e-05,9.912520e-05,9.918451e-05,9.932363e-05,9.932884e-05,9.944435e-05,9.947174e-05,9.953254e-05,9.957293e-05,9.959483e-05,9.963045e-05,9.963260e-05,9.964718e-05,9.964737e-05,9.963982e-05,9.962658e-05,9.961175e-05,9.957084e-05,9.956413e-05,9.949807e-05,9.948274e-05,9.941465e-05,9.936474e-05,9.931488e-05,9.921916e-05,9.919975e-05,9.907019e-05,9.904818e-05,9.892710e-05,9.885387e-05,9.877134e-05,9.863816e-05,9.860373e-05,9.842505e-05,9.840290e-05,9.823604e-05,9.814979e-05,9.803742e-05,9.788047e-05,9.782988e-05,9.761405e-05,9.759644e-05,9.739056e-05,9.729915e-05,9.716000e-05,9.698993e-05,9.692293e-05,9.667988e-05,9.667005e-05,9.643138e-05,9.634067e-05,9.617789e-05,9.600291e-05,9.591989e-05,9.565781e-05,9.530632e-05,9.494936e-05,9.458777e-05,9.422234e-05,9.385380e-05,9.348284e-05,9.311008e-05,9.273614e-05,9.236154e-05,9.198681e-05,9.161241e-05,9.123878e-05,9.086633e-05,9.049541e-05,9.012639e-05,8.975956e-05,8.939522e-05,8.903363e-05,8.867503e-05,8.831963e-05,8.796764e-05,8.761924e-05,8.727458e-05,8.693381e-05
0.000000e+00,1.309980e-11,3.005676e-11,1.037359e-10,2.369232e-10,3.465741e-10,7.937672e-10,8.180450e-10,1.603819e-09,1.893587e-09,2.806128e-09,3.777529e-09,4.546997e-09,6.737937e-09,6.958396e-09,1.014680e-08,1.103299e-08,1.414096e-08,1.670773e-08,1.887428e-08,2.355600e-08,2.422681e-08,3.007673e-08,3.129708e-08,3.632281e-08,3.970007e-08,4.288490e-08,4.859316e-08,4.969765e-08,5.670493e-08,5.784070e-08,6.385608e-08,6.732580e-08,7.110403e-08,7.694226e-08,7.840453e-08,8.571580e-08,8.659199e-08,9.299880e-08,9.618501e-08,1.002177e-07,1.056409e-07,1.073398e-07,1.143361e-07,1.148896e-07,1.211813e-07,1.238720e-07,1.278536e-07,1.325403e-07,1.343349e-07,1.406103e-07,1.408569e-07,1.466683e-07,1.487941e-07,1.524999e-07,1.563329e-07,1.580990e-07,1.634616e-07,1.685858e-07,1.701751e-07,1.734714e-07,1.764733e-07,1.781194e-07,1.823604e-07,1.825325e-07,1.867140e-07,1.878439e-07,1.906682e-07,1.929337e-07,1.944001e-07,1.976418e-07,1.979151e-07,2.012192e-07,2.019815e-07,2.043185e-07,2.059670e-07,2.072194e-07,2.096132e-07,2.099284e-07,2.124521e-07,2.129352e-07,2.147973e-07,2.159483e-07,2.169704e-07,2.186677e-07,2.189780e-07,2.208267e-07,2.211082e-07,2.225228e-07,2.232845e-07,2.240725e-07,2.252110e-07,2.254820e-07,2.267573e-07,2.269016e-07,2.279041e-07,2.283695e-07,2.289282e-07,2.296278e-07,2.298350e-07,2.306299e-07,2.306888e-07,2.313180e-07,2.315645e-07,2.319044e-07,2.322663e-07,2.323938e-07,2.327910e-07,2.328050e-07,2.331004e-07,2.331912e-07,2.333264e-07,2.334346e-07,2.334732e-07,2.335448e-07,2.335451e-07,2.335308e-07,2.334779e-07,2.334010e-07,2.333466e-07,2.331636e-07,2.331548e-07,2.329059e-07,2.328263e-07,2.326028e-07,2.323964e-07,2.322488e-07,2.318806e-07,2.318468e-07,2.313995e-07,2.312857e-07,2.309097e-07,2.306177e-07,2.303799e-07,2.298826e-07,2.298126e-07,2.292102e-07,2.290857e-07,2.285749e-07,2.282323e-07,2.279089e-07,2.273273e-07,2.272143e-07,2.264930e-07,2.263753e-07,2.257470e-07,2.253807e-07,2.249781e-07,2.243475e-07,2.241879e-07,2.233781e-07,2.232797e-07,2.225503e-07,2.221807e-07,2.217060e-07,2.210541e-07,2.208466e-07,2.199734e-07,2.199030e-07,2.190879e-07,2.187304e-07,2.181911e-07,2.175392e-07,2.172843e-07,2.163686e-07,2.163318e-07,2.154450e-07,2.151108e-07,2.145146e-07,2.138785e-07,2.135783e-07,2.126370e-07,2.113884e-07,2.101344e-07,2.088769e-07,2.076173e-07,2.063573e-07,2.050983e-07,2.038414e-07,2.025880e-07,2.013391e-07,2.000957e-07,1.988588e-07,1.976292e-07,1.964077e-07,1.951951e-07,1.939919e-07,1.927989e-07,1.916165e-07,1.904453e-07,1.892856e-07,1.881380e-07,1.870026e-07,1.858799e-07,1.847702e-07,1.836736e-07
0.000000e+00,1.744922e-10,6.739123e-10,4.983445e-09,1.862504e-08,3.397651e-08,1.236604e-07,1.295352e-07,3.609235e-07,4.628557e-07,8.283223e-07,1.277165e-06,1.668249e-06,2.921223e-06,3.057361e-06,5.205009e-06,5.857576e-06,8.325717e-06,1.056832e-05,1.260111e-05,1.741712e-05,1.815322e-05,2.503787e-05,2.657534e-05,3.325222e-05,3.803450e-05,4.274771e-05,5.165514e-05,5.344293e-05,6.523437e-05,6.721501e-05,7.800450e-05,8.444509e-05,9.162768e-05,1.030534e-04,1.059744e-04,1.209142e-04,1.227407e-04,1.363184e-04,1.432110e-04,1.520619e-04,1.641796e-04,1.680244e-04,1.840923e-04,1.853791e-04,2.001596e-04,2.065642e-04,2.161286e-04,2.275155e-04,2.319109e-04,2.474275e-04,2.480416e-04,2.626091e-04,2.679807e-04,2.773961e-04,2.871999e-04,2.917384e-04,3.055950e-04,3.189332e-04,3.230877e-04,3.317285e-04,3.396241e-04,3.439632e-04,3.551706e-04,3.556260e-04,3.667113e-04,3.697114e-04,3.772181e-04,3.832458e-04,3.871499e-04,3.957853e-04,3.965137e-04,4.053201e-04,4.073520e-04,4.135821e-04,4.179767e-04,4.213152e-04,4.276963e-04,4.285365e-04,4.352640e-04,4.365519e-04,4.415166e-04,4.445867e-04,4.473137e-04,4.518456e-04,4.526749e-04,4.576197e-04,4.583735e-04,4.621675e-04,4.642150e-04,4.663373e-04,4.694136e-04,4.701479e-04,4.736174e-04,4.740117e-04,4.767635e-04,4.780498e-04,4.796033e-04,4.815668e-04,4.821532e-04,4.844292e-04,4.845999e-04,4.864462e-04,4.871838e-04,4.882190e-04,4.893519e-04,4.897613e-04,4.910864e-04,4.911351e-04,4.922070e-04,4.925626e-04,4.931350e-04,4.936620e-04,4.938820e-04,4.944589e-04,4.948758e-04,4.949771e-04,4.951427e-04,4.952390e-04,4.952688e-04,4.952656e-04,4.952629e-04,4.951334e-04,4.950760e-04,4.948881e-04,4.946886e-04,4.945347e-04,4.941199e-04,4.940800e-04,4.935309e-04,4.933858e-04,4.928937e-04,4.925006e-04,4.921743e-04,4.914778e-04,4.913785e-04,4.905115e-04,4.903300e-04,4.895784e-04,4.890687e-04,4.885841e-04,4.877048e-04,4.875330e-04,4.864293e-04,4.862481e-04,4.852772e-04,4.847081e-04,4.840804e-04,4.830931e-04,4.828424e-04,4.815668e-04,4.814113e-04,4.802566e-04,4.796699e-04,4.789149e-04,4.778758e-04,4.775445e-04,4.761481e-04,4.760354e-04,4.747283e-04,4.741543e-04,4.732874e-04,4.722382e-04,4.718277e-04,4.703513e-04,4.702919e-04,4.688602e-04,4.683201e-04,4.673562e-04,4.663271e-04,4.658412e-04,4.643169e-04,4.622930e-04,4.602589e-04,4.582177e-04,4.561721e-04,4.541250e-04,4.520785e-04,4.500351e-04,4.479967e-04,4.459653e-04,4.439425e-04,4.419300e-04,4.399291e-04,4.379412e-04,4.359674e-04,4.340090e-04,4.320668e-04,4.301417e-04,4.282346e-04,4.263461e-04,4.244770e-04,4.226277e-04,4.207988e-04,4.189908e-04,4.172041e-04
0.000000e+00,1.428921e-10,5.405548e-10,3.828034e-09,1.374493e-08,2.451923e-08,8.408303e-08,8.785906e-08,2.299812e-07,2.897736e-07,4.953824e-07,7.349514e-07,9.355268e-07,1.543542e-06,1.607163e-06,2.567143e-06,2.846027e-06,3.862579e-06,4.746102e-06,5.522157e-06,7.290912e-06,7.554295e-06,9.950845e-06,1.047232e-05,1.269232e-05,1.424559e-05,1.575222e-05,1.854627e-05,1.909989e-05,2.270209e-05,2.329975e-05,2.652389e-05,2.842577e-05,3.052912e-05,3.384053e-05,3.468078e-05,3.894149e-05,3.945833e-05,4.327397e-05,4.519354e-05,4.764166e-05,5.096290e-05,5.200932e-05,5.634360e-05,5.668795e-05,6.061360e-05,6.229722e-05,6.479132e-05,6.772808e-05,6.885196e-05,7.277419e-05,7.292793e-05,7.654015e-05,7.785478e-05,8.013552e-05,8.247720e-05,8.354933e-05,8.677384e-05,8.980421e-05,9.073250e-05,9.263825e-05,9.434899e-05,9.527611e-05,9.762588e-05,9.771995e-05,9.997360e-05,1.005712e-04,1.020423e-04,1.031973e-04,1.039323e-04,1.055196e-04,1.056509e-04,1.072059e-04,1.075556e-04,1.086053e-04,1.093242e-04,1.098577e-04,1.108449e-04,1.109715e-04,1.119552e-04,1.121371e-04,1.128172e-04,1.132200e-04,1.135655e-04,1.141121e-04,1.142081e-04,1.147525e-04,1.148309e-04,1.152057e-04,1.153930e-04,1.155748e-04,1.158137e-04,1.158661e-04,1.160856e-04,1.161074e-04,1.162391e-04,1.162871e-04,1.163318e-04,1.163648e-04,1.163688e-04,1.163547e-04,1.163515e-04,1.162937e-04,1.162571e-04,1.161899e-04,1.160907e-04,1.160469e-04,1.158682e-04,1.158603e-04,1.156569e-04,1.155734e-04,1.154159e-04,1.152365e-04,1.151480e-04,1.148556e-04,1.145411e-04,1.144361e-04,1.142065e-04,1.139827e-04,1.138538e-04,1.134999e-04,1.134848e-04,1.131013e-04,1.129915e-04,1.127046e-04,1.124609e-04,1.122963e-04,1.119115e-04,1.118776e-04,1.114498e-04,1.113459e-04,1.110139e-04,1.107667e-04,1.105710e-04,1.101762e-04,1.101220e-04,1.096678e-04,1.095764e-04,1.092092e-04,1.089693e-04,1.087470e-04,1.083563e-04,1.082817e-04,1.078142e-04,1.077392e-04,1.073449e-04,1.071191e-04,1.068743e-04,1.064973e-04,1.064031e-04,1.059315e-04,1.058750e-04,1.054602e-04,1.052529e-04,1.049894e-04,1.046321e-04,1.045195e-04,1.040508e-04,1.040134e-04,1.035837e-04,1.033973e-04,1.031184e-04,1.027847e-04,1.026552e-04,1.021943e-04,1.021759e-04,1.017359e-04,1.015716e-04,1.012803e-04,1.009722e-04,1.008276e-04,1.003780e-04,9.978946e-05,9.920688e-05,9.863053e-05,9.806064e-05,9.749744e-05,9.694109e-05,9.639175e-05,9.584956e-05,9.531464e-05,9.478706e-05,9.426691e-05,9.375424e-05,9.324908e-05,9.275148e-05,9.226145e-05,9.177898e-05,9.130407e-05,9.083671e-05,9.037688e-05,8.992453e-05,8.947963e-05,8.904214e-05,8.861200e-05,8.818915e-05
0.000000e+00,5.162594e-10,2.011522e-09,1.515087e-08,5.759010e-08,1.060453e-07,3.955050e-07,4.147096e-07,1.184312e-06,1.529033e-06,2.782634e-06,4.346893e-06,5.723401e-06,1.017272e-05,1.065771e-05,1.830523e-05,2.062280e-05,2.935596e-05,3.725596e-05,4.439982e-05,6.131030e-05,6.389716e-05,8.817503e-05,9.362405e-05,1.174343e-04,1.346502e-04,1.517598e-04,1.844964e-04,1.911312e-04,2.354329e-04,2.429664e-04,2.844640e-04,3.096003e-04,3.379484e-04,3.837154e-04,3.955456e-04,4.568614e-04,4.644489e-04,5.214600e-04,5.508041e-04,5.888754e-04,6.416972e-04,6.586231e-04,7.302114e-04,7.360033e-04,8.031513e-04,8.325982e-04,8.769655e-04,9.303951e-04,9.511962e-04,1.025411e-03,1.028373e-03,1.099208e-03,1.125601e-03,1.172220e-03,1.221248e-03,1.244114e-03,1.314596e-03,1.383408e-03,1.405038e-03,1.450329e-03,1.492078e-03,1.515172e-03,1.575324e-03,1.577784e-03,1.638044e-03,1.654482e-03,1.695858e-03,1.729343e-03,1.751159e-03,1.799777e-03,1.803902e-03,1.854064e-03,1.865719e-03,1.901642e-03,1.927160e-03,1.946646e-03,1.984140e-03,1.989101e-03,2.029045e-03,2.036737e-03,2.066525e-03,2.085059e-03,2.101595e-03,2.129238e-03,2.134318e-03,2.164761e-03,2.169425e-03,2.192994e-03,2.205784e-03,2.219093e-03,2.238487e-03,2.243134e-03,2.265194e-03,2.267711e-03,2.285351e-03,2.293638e-03,2.303685e-03,2.316447e-03,2.320274e-03,2.335193e-03,2.336317e-03,2.348520e-03,2.353422e-03,2.360329e-03,2.367932e-03,2.370692e-03,2.379681e-03,2.380013e-03,2.387364e-03,2.389823e-03,2.393808e-03,2.397516e-03,2.399078e-03,2.403237e-03,2.406343e-03,2.407125e-03,2.408456e-03,2.409313e-03,2.409631e-03,2.409926e-03,2.409921e-03,2.409377e-03,2.409082e-03,2.408049e-03,2.406895e-03,2.405983e-03,2.403469e-03,2.403224e-03,2.399816e-03,2.398905e-03,2.395798e-03,2.393297e-03,2.391210e-03,2.386731e-03,2.386090e-03,2.380473e-03,2.379292e-03,2.374391e-03,2.371057e-03,2.367879e-03,2.362098e-03,2.360966e-03,2.353681e-03,2.352483e-03,2.346052e-03,2.342275e-03,2.338105e-03,2.331535e-03,2.329865e-03,2.321356e-03,2.320318e-03,2.312599e-03,2.308674e-03,2.303617e-03,2.296652e-03,2.294430e-03,2.285055e-03,2.284298e-03,2.275513e-03,2.271652e-03,2.265818e-03,2.258754e-03,2.255989e-03,2.246039e-03,2.245639e-03,2.235984e-03,2.232341e-03,2.225836e-03,2.218890e-03,2.215610e-03,2.205316e-03,2.191645e-03,2.177902e-03,2.164108e-03,2.150286e-03,2.136454e-03,2.122629e-03,2.108830e-03,2.095069e-03,2.081361e-03,2.067718e-03,2.054152e-03,2.040673e-03,2.027291e-03,2.014013e-03,2.000848e-03,1.987803e-03,1.974883e-03,1.962095e-03,1.949443e-03,1.936931e-03,1.924564e-03,1.912345e-03,1.900275e-03,1.888359e-03
0.000000e+00,3.408610e-10,1.257955e-09,8.490038e-09,2.930235e-08,5.125111e-08,1.682907e-07,1.755825e-07,4.459922e-07,5.587109e-07,9.458991e-07,1.399357e-06,1.782102e-06,2.960610e-06,3.085400e-06,4.994230e-06,5.555567e-06,7.614557e-06,9.408541e-06,1.097957e-05,1.452211e-05,1.504382e-05,1.971025e-05,2.070567e-05,2.486363e-05,2.769847e-05,3.039296e-05,3.525665e-05,3.620117e-05,4.220663e-05,4.318109e-05,4.834110e-05,5.131418e-05,5.454683e-05,5.952915e-05,6.077420e-05,6.698013e-05,6.772156e-05,7.312707e-05,7.580447e-05,7.918242e-05,8.370581e-05,8.511814e-05,9.091062e-05,9.136722e-05,9.654034e-05,9.874304e-05,1.019917e-04,1.057993e-04,1.072526e-04,1.123141e-04,1.125123e-04,1.171701e-04,1.188673e-04,1.218173e-04,1.248572e-04,1.262540e-04,1.304809e-04,1.344996e-04,1.357421e-04,1.383132e-04,1.406482e-04,1.419258e-04,1.452090e-04,1.453420e-04,1.485670e-04,1.494365e-04,1.516065e-04,1.533437e-04,1.544665e-04,1.569443e-04,1.571530e-04,1.596723e-04,1.602527e-04,1.620305e-04,1.632830e-04,1.642338e-04,1.660496e-04,1.662886e-04,1.682006e-04,1.685665e-04,1.699761e-04,1.708472e-04,1.716206e-04,1.729050e-04,1.731399e-04,1.745395e-04,1.747526e-04,1.758246e-04,1.764023e-04,1.770005e-04,1.778658e-04,1.780721e-04,1.790442e-04,1.791544e-04,1.799214e-04,1.802785e-04,1.807083e-04,1.812486e-04,1.814091e-04,1.820280e-04,1.820741e-04,1.825689e-04,1.827643e-04,1.830356e-04,1.833278e-04,1.834318e-04,1.837610e-04,1.837729e-04,1.840267e-04,1.841073e-04,1.842319e-04,1.843385e-04,1.843798e-04,1.844733e-04,1.845154e-04,1.845184e-04,1.845087e-04,1.844799e-04,1.844557e-04,1.843638e-04,1.843591e-04,1.842211e-04,1.841754e-04,1.840441e-04,1.839200e-04,1.838302e-04,1.836025e-04,1.835814e-04,1.832998e-04,1.832276e-04,1.829873e-04,1.827994e-04,1.826456e-04,1.823222e-04,1.822765e-04,1.818817e-04,1.817997e-04,1.814626e-04,1.812357e-04,1.810209e-04,1.806333e-04,1.805579e-04,1.800749e-04,1.799959e-04,1.795734e-04,1.793265e-04,1.790546e-04,1.786278e-04,1.785195e-04,1.779694e-04,1.779024e-04,1.774053e-04,1.771529e-04,1.768283e-04,1.763816e-04,1.762392e-04,1.756392e-04,1.755907e-04,1.750289e-04,1.747821e-04,1.744093e-04,1.739579e-04,1.737812e-04,1.731453e-04,1.731197e-04,1.725024e-04,1.722693e-04,1.718531e-04,1.714082e-04,1.711980e-04,1.705379e-04,1.696598e-04,1.687752e-04,1.678851e-04,1.669909e-04,1.660934e-04,1.651937e-04,1.642926e-04,1.633911e-04,1.624899e-04,1.615897e-04,1.606912e-04,1.597950e-04,1.589017e-04,1.580119e-04,1.571260e-04,1.562445e-04,1.553678e-04,1.544963e-04,1.536304e-04,1.527704e-04,1.519165e-04,1.510691e-04,1.502285e-04,1.493948e-04
0.000000e+00,1.029578e-10,3.736359e-10,2.436670e-09,8.150870e-09,1.400890e-08,4.385992e-08,4.566693e-08,1.099617e-07,1.355769e-07,2.198388e-07,3.129931e-07,3.881357e-07,6.054403e-07,6.274992e-07,9.503389e-07,1.041575e-06,1.368425e-06,1.648001e-06,1.891726e-06,2.444276e-06,2.526384e-06,3.272546e-06,3.434683e-06,4.123500e-06,4.603447e-06,5.066824e-06,5.919158e-06,6.086824e-06,7.166911e-06,7.344221e-06,8.291192e-06,8.842238e-06,9.445207e-06,1.038112e-05,1.061608e-05,1.179247e-05,1.193352e-05,1.296438e-05,1.347630e-05,1.412304e-05,1.499001e-05,1.526080e-05,1.637108e-05,1.645854e-05,1.744830e-05,1.786887e-05,1.848786e-05,1.921092e-05,1.948607e-05,2.044014e-05,2.047735e-05,2.134805e-05,2.166333e-05,2.220852e-05,2.276620e-05,2.302093e-05,2.378518e-05,2.450166e-05,2.472097e-05,2.517118e-05,2.557553e-05,2.579485e-05,2.635171e-05,2.637404e-05,2.691032e-05,2.705303e-05,2.740542e-05,2.768345e-05,2.786112e-05,2.824719e-05,2.827931e-05,2.866186e-05,2.874858e-05,2.901068e-05,2.919198e-05,2.932763e-05,2.958163e-05,2.961453e-05,2.987316e-05,2.992164e-05,3.010522e-05,3.021594e-05,3.031235e-05,3.046822e-05,3.049612e-05,3.065801e-05,3.068198e-05,3.079944e-05,3.086045e-05,3.092174e-05,3.100666e-05,3.102618e-05,3.111393e-05,3.112340e-05,3.118613e-05,3.121323e-05,3.124381e-05,3.127855e-05,3.128796e-05,3.131952e-05,3.132153e-05,3.133934e-05,3.134417e-05,3.134825e-05,3.134832e-05,3.134699e-05,3.133628e-05,3.133566e-05,3.131679e-05,3.130774e-05,3.128913e-05,3.126596e-05,3.125389e-05,3.121162e-05,3.116282e-05,3.114591e-05,3.110797e-05,3.106990e-05,3.104752e-05,3.098459e-05,3.098187e-05,3.091143e-05,3.089089e-05,3.083655e-05,3.078963e-05,3.075757e-05,3.068158e-05,3.067483e-05,3.058861e-05,3.056743e-05,3.049919e-05,3.044782e-05,3.040684e-05,3.032334e-05,3.031180e-05,3.021431e-05,3.019453e-05,3.011457e-05,3.006189e-05,3.001279e-05,2.992586e-05,2.990916e-05,2.980386e-05,2.978687e-05,2.969705e-05,2.964530e-05,2.958889e-05,2.950149e-05,2.947953e-05,2.936910e-05,2.935578e-05,2.925773e-05,2.920846e-05,2.914554e-05,2.905980e-05,2.903265e-05,2.891916e-05,2.891005e-05,2.880517e-05,2.875945e-05,2.869077e-05,2.860821e-05,2.857606e-05,2.846111e-05,2.845651e-05,2.834601e-05,2.830454e-05,2.823082e-05,2.815247e-05,2.811561e-05,2.800045e-05,2.784861e-05,2.769708e-05,2.754599e-05,2.739543e-05,2.724550e-05,2.709631e-05,2.694791e-05,2.680040e-05,2.665384e-05,2.650829e-05,2.636382e-05,2.622046e-05,2.607827e-05,2.593728e-05,2.579754e-05,2.565909e-05,2.552194e-05,2.538613e-05,2.525168e-05,2.511860e-05,2.498693e-05,2.485667e-05,2.472783e-05,2.460043e-05
0.000000e+00,1.037689e-08,4.066182e-08,3.096562e-07,1.187276e-06,2.194938e-06,8.241996e-06,8.643497e-06,2.468070e-05,3.181958e-05,5.754031e-05,8.917764e-05,1.166891e-04,2.042863e-04,2.137561e-04,3.623576e-04,4.073575e-04,5.777428e-04,7.335688e-04,8.761547e-04,1.220412e-03,1.273911e-03,1.786405e-03,1.903910e-03,2.427261e-03,2.815084e-03,3.207758e-03,3.977656e-03,4.136485e-03,5.219197e-03,5.406954e-03,6.458787e-03,7.109650e-03,7.855372e-03,9.084073e-03,9.406443e-03,1.110708e-02,1.132089e-02,1.295021e-02,1.380409e-02,1.492690e-02,1.651209e-02,1.702664e-02,1.923773e-02,1.941905e-02,2.154749e-02,2.249607e-02,2.394268e-02,2.571247e-02,2.640968e-02,2.893482e-02,2.903684e-02,3.150458e-02,3.243806e-02,3.410577e-02,3.588604e-02,3.672572e-02,3.935240e-02,4.197453e-02,4.281091e-02,4.458163e-02,4.623781e-02,4.716409e-02,4.961197e-02,4.971319e-02,5.222109e-02,5.291496e-02,5.468086e-02,5.613104e-02,5.708640e-02,5.924708e-02,5.943247e-02,6.171460e-02,6.225237e-02,6.392909e-02,6.513850e-02,6.607290e-02,6.789911e-02,6.814368e-02,7.013964e-02,7.052974e-02,7.205953e-02,7.302755e-02,7.390260e-02,7.539117e-02,7.566853e-02,7.735738e-02,7.762047e-02,7.896956e-02,7.971638e-02,8.050579e-02,8.168073e-02,8.196704e-02,8.335449e-02,8.351609e-02,8.466955e-02,8.522563e-02,8.591376e-02,8.681300e-02,8.708879e-02,8.819645e-02,8.828220e-02,8.923859e-02,8.963754e-02,9.021718e-02,9.088351e-02,9.113418e-02,9.199162e-02,9.202471e-02,9.279154e-02,9.306582e-02,9.353597e-02,9.401154e-02,9.422697e-02,9.486655e-02,9.545672e-02,9.563546e-02,9.599945e-02,9.632280e-02,9.649668e-02,9.693299e-02,9.695032e-02,9.736222e-02,9.747032e-02,9.773420e-02,9.793896e-02,9.806803e-02,9.834293e-02,9.836542e-02,9.862805e-02,9.868608e-02,9.885752e-02,9.897214e-02,9.905542e-02,9.920464e-02,9.922324e-02,9.936245e-02,9.938698e-02,9.947446e-02,9.952240e-02,9.956060e-02,9.961395e-02,9.962221e-02,9.966052e-02,9.966457e-02,9.967674e-02,9.967703e-02,9.967204e-02,9.965395e-02,9.964752e-02,9.960425e-02,9.959785e-02,9.954326e-02,9.951106e-02,9.946552e-02,9.939583e-02,9.937199e-02,9.926355e-02,9.925426e-02,9.914107e-02,9.908833e-02,9.900538e-02,9.889993e-02,9.885725e-02,9.869743e-02,9.869081e-02,9.852666e-02,9.846263e-02,9.834561e-02,9.821696e-02,9.815494e-02,9.795527e-02,9.767894e-02,9.738927e-02,9.708748e-02,9.677472e-02,9.645205e-02,9.612049e-02,9.578098e-02,9.543440e-02,9.508158e-02,9.472329e-02,9.436027e-02,9.399318e-02,9.362265e-02,9.324928e-02,9.287362e-02,9.249618e-02,9.211744e-02,9.173784e-02,9.135780e-02,9.097770e-02,9.059790e-02,9.021874e-02,8.984051e-02,8.946350e-02
0.000000e+00,3.914708e-11,9.035133e-11,3.121942e-10,7.091086e-10,1.032198e-09,2.320588e-09,2.389322e-09,4.556796e-09,5.331135e-09,7.696250e-09,1.011046e-08,1.196055e-08,1.699840e-08,1.749026e-08,2.439669e-08,2.626628e-08,3.272727e-08,3.799982e-08,4.243120e-08,5.199303e-08,5.336352e-08,6.533018e-08,6.782989e-08,7.813181e-08,8.505633e-08,9.158271e-08,1.032586e-07,1.055132e-07,1.197666e-07,1.220673e-07,1.341977e-07,1.411477e-07,1.486716e-07,1.601981e-07,1.630648e-07,1.772655e-07,1.789518e-07,1.911752e-07,1.971808e-07,2.047089e-07,2.146990e-07,2.177958e-07,2.303784e-07,2.313618e-07,2.424118e-07,2.470636e-07,2.538633e-07,2.617356e-07,2.647113e-07,2.749436e-07,2.753400e-07,2.845564e-07,2.878657e-07,2.935527e-07,2.993226e-07,3.019418e-07,3.097374e-07,3.169570e-07,3.191488e-07,3.236209e-07,3.276045e-07,3.297517e-07,3.351576e-07,3.353730e-07,3.405096e-07,3.418644e-07,3.451866e-07,3.477827e-07,3.494292e-07,3.529701e-07,3.532622e-07,3.567102e-07,3.574831e-07,3.597967e-07,3.613759e-07,3.625447e-07,3.647003e-07,3.649761e-07,3.671119e-07,3.675054e-07,3.689723e-07,3.698372e-07,3.705762e-07,3.717385e-07,3.719417e-07,3.730857e-07,3.732493e-07,3.740243e-07,3.744063e-07,3.747726e-07,3.752438e-07,3.753448e-07,3.757542e-07,3.757930e-07,3.760133e-07,3.760827e-07,3.761337e-07,3.761393e-07,3.761264e-07,3.760016e-07,3.759868e-07,3.757688e-07,3.756475e-07,3.754370e-07,3.751414e-07,3.750144e-07,3.745088e-07,3.744870e-07,3.739274e-07,3.737009e-07,3.732770e-07,3.727985e-07,3.725638e-07,3.717937e-07,3.709720e-07,3.706990e-07,3.701038e-07,3.695260e-07,3.691939e-07,3.682852e-07,3.682467e-07,3.672660e-07,3.669860e-07,3.662558e-07,3.656370e-07,3.652195e-07,3.642459e-07,3.641604e-07,3.630815e-07,3.628200e-07,3.619856e-07,3.613655e-07,3.608753e-07,3.598882e-07,3.597530e-07,3.586209e-07,3.583935e-07,3.574811e-07,3.568859e-07,3.563354e-07,3.553699e-07,3.551857e-07,3.540336e-07,3.538491e-07,3.528805e-07,3.523271e-07,3.517279e-07,3.508070e-07,3.505770e-07,3.494291e-07,3.492916e-07,3.482851e-07,3.477832e-07,3.471460e-07,3.462843e-07,3.460129e-07,3.448864e-07,3.447966e-07,3.437674e-07,3.433221e-07,3.426566e-07,3.418622e-07,3.415545e-07,3.404619e-07,3.404183e-07,3.393790e-07,3.389917e-07,3.383066e-07,3.375834e-07,3.372448e-07,3.361943e-07,3.348251e-07,3.334766e-07,3.321493e-07,3.308438e-07,3.295603e-07,3.282992e-07,3.270607e-07,3.258450e-07,3.246522e-07,3.234824e-07,3.223355e-07,3.212116e-07,3.201106e-07,3.190323e-07,3.179767e-07,3.169435e-07,3.159326e-07,3.149438e-07,3.139768e-07,3.130314e-07,3.121073e-07,3.112042e-07,3.103219e-07,3.094600e-07
0.000000e+00,2.932529e-11,6.906114e-11,2.442007e-10,5.616998e-10,8.221137e-10,1.870907e-09,1.927224e-09,3.718008e-09,4.364055e-09,6.355543e-09,8.414594e-09,1.000900e-08,1.441376e-08,1.484811e-08,2.100631e-08,2.268770e-08,2.852677e-08,3.331529e-08,3.735407e-08,4.612095e-08,4.738451e-08,5.851150e-08,6.085989e-08,7.063941e-08,7.731229e-08,8.368072e-08,9.527892e-08,9.755013e-08,1.121604e-07,1.145608e-07,1.274203e-07,1.349478e-07,1.432338e-07,1.562161e-07,1.595009e-07,1.761191e-07,1.781319e-07,1.929842e-07,2.004564e-07,2.099929e-07,2.229533e-07,2.270443e-07,2.440416e-07,2.453963e-07,2.608935e-07,2.675743e-07,2.775152e-07,2.892968e-07,2.938298e-07,3.097682e-07,3.103970e-07,3.252702e-07,3.307338e-07,3.402838e-07,3.501916e-07,3.547656e-07,3.686805e-07,3.820013e-07,3.861351e-07,3.947083e-07,4.025123e-07,4.067882e-07,4.177875e-07,4.182331e-07,4.290402e-07,4.319521e-07,4.392117e-07,4.450120e-07,4.487540e-07,4.569855e-07,4.576768e-07,4.659930e-07,4.679002e-07,4.737178e-07,4.777919e-07,4.808689e-07,4.867022e-07,4.874651e-07,4.935265e-07,4.946764e-07,4.990740e-07,5.017629e-07,5.041294e-07,5.080117e-07,5.087147e-07,5.128536e-07,5.134760e-07,5.165692e-07,5.182086e-07,5.198824e-07,5.222569e-07,5.228135e-07,5.253833e-07,5.256683e-07,5.276113e-07,5.284882e-07,5.295165e-07,5.307599e-07,5.311174e-07,5.324319e-07,5.325252e-07,5.334771e-07,5.338235e-07,5.342694e-07,5.346920e-07,5.348243e-07,5.351568e-07,5.351657e-07,5.352811e-07,5.352775e-07,5.352107e-07,5.350583e-07,5.349586e-07,5.345371e-07,5.339578e-07,5.337409e-07,5.332316e-07,5.326947e-07,5.323691e-07,5.314220e-07,5.313801e-07,5.302739e-07,5.299443e-07,5.290591e-07,5.282817e-07,5.277442e-07,5.264528e-07,5.263371e-07,5.248449e-07,5.244750e-07,5.232749e-07,5.223641e-07,5.216335e-07,5.201350e-07,5.199270e-07,5.181611e-07,5.178013e-07,5.163413e-07,5.153754e-07,5.144728e-07,5.128691e-07,5.125604e-07,5.106086e-07,5.102929e-07,5.086217e-07,5.076567e-07,5.066038e-07,5.049696e-07,5.045585e-07,5.024894e-07,5.022397e-07,5.003999e-07,4.994748e-07,4.982929e-07,4.966817e-07,4.961714e-07,4.940381e-07,4.938670e-07,4.918956e-07,4.910365e-07,4.897461e-07,4.881955e-07,4.875920e-07,4.854352e-07,4.853489e-07,4.832777e-07,4.825012e-07,4.811213e-07,4.796565e-07,4.789677e-07,4.768184e-07,4.739904e-07,4.711755e-07,4.683764e-07,4.655956e-07,4.628355e-07,4.600979e-07,4.573848e-07,4.546976e-07,4.520379e-07,4.494069e-07,4.468057e-07,4.442353e-07,4.416965e-07,4.391901e-07,4.367167e-07,4.342768e-07,4.318708e-07,4.294990e-07,4.271617e-07,4.248592e-07,4.225914e-07,4.203585e-07,4.181606e-07,4.159975e-07
0.000000e+00,3.443927e-10,1.155557e-09,6.540734e-09,1.968078e-08,3.219882e-08,9.122319e-08,9.467248e-08,2.144849e-07,2.616584e-07,4.174714e-07,5.925475e-07,7.363508e-07,1.163430e-06,1.207495e-06,1.858224e-06,2.042000e-06,2.690754e-06,3.228175e-06,3.681343e-06,4.656453e-06,4.795584e-06,6.002005e-06,6.252098e-06,7.276400e-06,7.959771e-06,8.600706e-06,9.741297e-06,9.960813e-06,1.134488e-05,1.156784e-05,1.274241e-05,1.341515e-05,1.414379e-05,1.526174e-05,1.554023e-05,1.692369e-05,1.708848e-05,1.828697e-05,1.887877e-05,1.962378e-05,2.061869e-05,2.092871e-05,2.219727e-05,2.229707e-05,2.342584e-05,2.390542e-05,2.461161e-05,2.543766e-05,2.575249e-05,2.684705e-05,2.688986e-05,2.789446e-05,2.825990e-05,2.889434e-05,2.954711e-05,2.984673e-05,3.075202e-05,3.161087e-05,3.187603e-05,3.242416e-05,3.292125e-05,3.319297e-05,3.389030e-05,3.391851e-05,3.460207e-05,3.478613e-05,3.524502e-05,3.561188e-05,3.584877e-05,3.637083e-05,3.641476e-05,3.694444e-05,3.706631e-05,3.743924e-05,3.770163e-05,3.790061e-05,3.828006e-05,3.832994e-05,3.872862e-05,3.880479e-05,3.909799e-05,3.927893e-05,3.943939e-05,3.970547e-05,3.975408e-05,4.004329e-05,4.008729e-05,4.030824e-05,4.042713e-05,4.055007e-05,4.072764e-05,4.076990e-05,4.096880e-05,4.099132e-05,4.114782e-05,4.122054e-05,4.130793e-05,4.141757e-05,4.145010e-05,4.157524e-05,4.158455e-05,4.168424e-05,4.172350e-05,4.177792e-05,4.183635e-05,4.185710e-05,4.192256e-05,4.192490e-05,4.197502e-05,4.199086e-05,4.201520e-05,4.203585e-05,4.204377e-05,4.206138e-05,4.206864e-05,4.206887e-05,4.206614e-05,4.205969e-05,4.205446e-05,4.203509e-05,4.203411e-05,4.200562e-05,4.199626e-05,4.196948e-05,4.194431e-05,4.192615e-05,4.188031e-05,4.187607e-05,4.181966e-05,4.180523e-05,4.175734e-05,4.172000e-05,4.168949e-05,4.162548e-05,4.161646e-05,4.153861e-05,4.152249e-05,4.145628e-05,4.141179e-05,4.136976e-05,4.129409e-05,4.127938e-05,4.118540e-05,4.117005e-05,4.108810e-05,4.104029e-05,4.098774e-05,4.090541e-05,4.088456e-05,4.077880e-05,4.076595e-05,4.067068e-05,4.062241e-05,4.056040e-05,4.047527e-05,4.044816e-05,4.033416e-05,4.032497e-05,4.021856e-05,4.017192e-05,4.010155e-05,4.001651e-05,3.998328e-05,3.986390e-05,3.985910e-05,3.974356e-05,3.970002e-05,3.962239e-05,3.953958e-05,3.950052e-05,3.937807e-05,3.921575e-05,3.905288e-05,3.888968e-05,3.872636e-05,3.856313e-05,3.840016e-05,3.823762e-05,3.807567e-05,3.791445e-05,3.775409e-05,3.759470e-05,3.743640e-05,3.727929e-05,3.712345e-05,3.696898e-05,3.681594e-05,3.666441e-05,3.651444e-05,3.636608e-05,3.621940e-05,3.607443e-05,3.593120e-05,3.578975e-05,3.565012e-05
0.000000e+00,2.452036e-10,9.117453e-10,6.241236e-09,2.177606e-08,3.827567e-08,1.267633e-07,1.322825e-07,3.362668e-07,4.207141e-07,7.078237e-07,1.038538e-06,1.313606e-06,2.142556e-06,2.229086e-06,3.534623e-06,3.914491e-06,5.302849e-06,6.513701e-06,7.579216e-06,1.000807e-05,1.036924e-05,1.364200e-05,1.435000e-05,1.734391e-05,1.941780e-05,2.141239e-05,2.506718e-05,2.578467e-05,3.040174e-05,3.115951e-05,3.520953e-05,3.757036e-05,4.015871e-05,4.418942e-05,4.520420e-05,5.030485e-05,5.091882e-05,5.542324e-05,5.767212e-05,6.052560e-05,6.437405e-05,6.558189e-05,7.056579e-05,7.096067e-05,7.545466e-05,7.737921e-05,8.022945e-05,8.358774e-05,8.487450e-05,8.937734e-05,8.955435e-05,9.372836e-05,9.525614e-05,9.792054e-05,1.006780e-04,1.019491e-04,1.058112e-04,1.095057e-04,1.106526e-04,1.130328e-04,1.152029e-04,1.163939e-04,1.194665e-04,1.195913e-04,1.226279e-04,1.234498e-04,1.255074e-04,1.271614e-04,1.282340e-04,1.306110e-04,1.308119e-04,1.332458e-04,1.338090e-04,1.355405e-04,1.367666e-04,1.377009e-04,1.394949e-04,1.397319e-04,1.416384e-04,1.420052e-04,1.434254e-04,1.443089e-04,1.450975e-04,1.464169e-04,1.466596e-04,1.481162e-04,1.483397e-04,1.494717e-04,1.500878e-04,1.507306e-04,1.516711e-04,1.518972e-04,1.529756e-04,1.530992e-04,1.539697e-04,1.543815e-04,1.548836e-04,1.555268e-04,1.557209e-04,1.564853e-04,1.565434e-04,1.571801e-04,1.574393e-04,1.578088e-04,1.582222e-04,1.583744e-04,1.588802e-04,1.588992e-04,1.593289e-04,1.594771e-04,1.597235e-04,1.599624e-04,1.600667e-04,1.603611e-04,1.606092e-04,1.606792e-04,1.608133e-04,1.609220e-04,1.609759e-04,1.610947e-04,1.610989e-04,1.611847e-04,1.612023e-04,1.612351e-04,1.612491e-04,1.612521e-04,1.612398e-04,1.612375e-04,1.611931e-04,1.611782e-04,1.611206e-04,1.610683e-04,1.610215e-04,1.609136e-04,1.608975e-04,1.607499e-04,1.607177e-04,1.605802e-04,1.604837e-04,1.603897e-04,1.602145e-04,1.601797e-04,1.599513e-04,1.599131e-04,1.597058e-04,1.595822e-04,1.594442e-04,1.592241e-04,1.591676e-04,1.588771e-04,1.588413e-04,1.585735e-04,1.584360e-04,1.582577e-04,1.580102e-04,1.579307e-04,1.575933e-04,1.575658e-04,1.572462e-04,1.571048e-04,1.568902e-04,1.566288e-04,1.565260e-04,1.561543e-04,1.561393e-04,1.557757e-04,1.556379e-04,1.553909e-04,1.551260e-04,1.550004e-04,1.546048e-04,1.540757e-04,1.535396e-04,1.529978e-04,1.524512e-04,1.519006e-04,1.513470e-04,1.507912e-04,1.502339e-04,1.496759e-04,1.491176e-04,1.485599e-04,1.480031e-04,1.474478e-04,1.468945e-04,1.463437e-04,1.457957e-04,1.452508e-04,1.447095e-04,1.441721e-04,1.436388e-04,1.431099e-04,1.425856e-04,1.420662e-04,1.415518e-04
0.000000e+00,3.381294e-11,7.795423e-11,2.699815e-10,6.169122e-10,9.023561e-10,2.066151e-09,2.129345e-09,4.176689e-09,4.932798e-09,7.317702e-09,9.861506e-09,1.187905e-08,1.762778e-08,1.820605e-08,2.654797e-08,2.885531e-08,3.688970e-08,4.344437e-08,4.891442e-08,6.053553e-08,6.217878e-08,7.629030e-08,7.918700e-08,9.095766e-08,9.873215e-08,1.059704e-07,1.187303e-07,1.211689e-07,1.364243e-07,1.388628e-07,1.516264e-07,1.588757e-07,1.666789e-07,1.785559e-07,1.814971e-07,1.960067e-07,1.977239e-07,2.101438e-07,2.162320e-07,2.238550e-07,2.339635e-07,2.370967e-07,2.498346e-07,2.508310e-07,2.620432e-07,2.667742e-07,2.737048e-07,2.817563e-07,2.848088e-07,2.953505e-07,2.957605e-07,3.053305e-07,3.087866e-07,3.147535e-07,3.208473e-07,3.236281e-07,3.319655e-07,3.397792e-07,3.421714e-07,3.470843e-07,3.515003e-07,3.538975e-07,3.599914e-07,3.602361e-07,3.661181e-07,3.676857e-07,3.715618e-07,3.746253e-07,3.765856e-07,3.808524e-07,3.812078e-07,3.854467e-07,3.864090e-07,3.893200e-07,3.913360e-07,3.928453e-07,3.956732e-07,3.960395e-07,3.989193e-07,3.994590e-07,4.015007e-07,4.027303e-07,4.037992e-07,4.055224e-07,4.058298e-07,4.076069e-07,4.078687e-07,4.091443e-07,4.098010e-07,4.104552e-07,4.113495e-07,4.115524e-07,4.124481e-07,4.125426e-07,4.131539e-07,4.134072e-07,4.136810e-07,4.139686e-07,4.140399e-07,4.142409e-07,4.142504e-07,4.142935e-07,4.142752e-07,4.142071e-07,4.140637e-07,4.139903e-07,4.136516e-07,4.136356e-07,4.131988e-07,4.130093e-07,4.126395e-07,4.122020e-07,4.119809e-07,4.112299e-07,4.103928e-07,4.101078e-07,4.094760e-07,4.088500e-07,4.084851e-07,4.074693e-07,4.074257e-07,4.063031e-07,4.059781e-07,4.051222e-07,4.043877e-07,4.038878e-07,4.027086e-07,4.026042e-07,4.012758e-07,4.009507e-07,3.999064e-07,3.991231e-07,3.984999e-07,3.972342e-07,3.970598e-07,3.955894e-07,3.952920e-07,3.940920e-07,3.933037e-07,3.925706e-07,3.912760e-07,3.910279e-07,3.894666e-07,3.892152e-07,3.878893e-07,3.871271e-07,3.862982e-07,3.850170e-07,3.846957e-07,3.830838e-07,3.828898e-07,3.814644e-07,3.807500e-07,3.798394e-07,3.786018e-07,3.782106e-07,3.765795e-07,3.764490e-07,3.749477e-07,3.742951e-07,3.733166e-07,3.721434e-07,3.716875e-07,3.700617e-07,3.699967e-07,3.684402e-07,3.678578e-07,3.668243e-07,3.657291e-07,3.652149e-07,3.636129e-07,3.615111e-07,3.594257e-07,3.573581e-07,3.553101e-07,3.532827e-07,3.512773e-07,3.492950e-07,3.473365e-07,3.454028e-07,3.434946e-07,3.416124e-07,3.397569e-07,3.379284e-07,3.361272e-07,3.343538e-07,3.326083e-07,3.308909e-07,3.292017e-07,3.275408e-07,3.259081e-07,3.243037e-07,3.227275e-07,3.211793e-07,3.196591e-07
0.000000e+00,7.951879e-12,1.824169e-11,6.277427e-11,1.426624e-10,2.079232e-10,4.700027e-10,4.840599e-10,9.307824e-10,1.091870e-09,1.588265e-09,2.101208e-09,2.498208e-09,3.594813e-09,3.703011e-09,5.241263e-09,5.663297e-09,7.137904e-09,8.357597e-09,9.392329e-09,1.164919e-08,1.197491e-08,1.483727e-08,1.543864e-08,1.792682e-08,1.960690e-08,2.119531e-08,2.404827e-08,2.460079e-08,2.810678e-08,2.867485e-08,3.168087e-08,3.341193e-08,3.529382e-08,3.819422e-08,3.891906e-08,4.253249e-08,4.296426e-08,4.611248e-08,4.767205e-08,4.963986e-08,5.227514e-08,5.309797e-08,5.647265e-08,5.673865e-08,5.975210e-08,6.103502e-08,6.292683e-08,6.514356e-08,6.598944e-08,6.893437e-08,6.904966e-08,7.175784e-08,7.274407e-08,7.445757e-08,7.622212e-08,7.703250e-08,7.948267e-08,8.180907e-08,8.252764e-08,8.401342e-08,8.536122e-08,8.609807e-08,8.798932e-08,8.806582e-08,8.991988e-08,9.041912e-08,9.166374e-08,9.265869e-08,9.330110e-08,9.471669e-08,9.483578e-08,9.627166e-08,9.660200e-08,9.761263e-08,9.832357e-08,9.886259e-08,9.989036e-08,1.000254e-07,1.011049e-07,1.013112e-07,1.021048e-07,1.025945e-07,1.030288e-07,1.037487e-07,1.038802e-07,1.046627e-07,1.047817e-07,1.053794e-07,1.057011e-07,1.060337e-07,1.065141e-07,1.066285e-07,1.071668e-07,1.072277e-07,1.076515e-07,1.078485e-07,1.080853e-07,1.083826e-07,1.084709e-07,1.088106e-07,1.088359e-07,1.091070e-07,1.092139e-07,1.093623e-07,1.095219e-07,1.095787e-07,1.097583e-07,1.097648e-07,1.099031e-07,1.099471e-07,1.100151e-07,1.100733e-07,1.100959e-07,1.101474e-07,1.101712e-07,1.101732e-07,1.101688e-07,1.101543e-07,1.101419e-07,1.100942e-07,1.100918e-07,1.100198e-07,1.099959e-07,1.099273e-07,1.098625e-07,1.098155e-07,1.096966e-07,1.096856e-07,1.095386e-07,1.095009e-07,1.093757e-07,1.092779e-07,1.091978e-07,1.090297e-07,1.090060e-07,1.088011e-07,1.087586e-07,1.085839e-07,1.084665e-07,1.083554e-07,1.081552e-07,1.081163e-07,1.078673e-07,1.078266e-07,1.076092e-07,1.074822e-07,1.073425e-07,1.071236e-07,1.070681e-07,1.067863e-07,1.067521e-07,1.064979e-07,1.063691e-07,1.062034e-07,1.059758e-07,1.059033e-07,1.055980e-07,1.055734e-07,1.052881e-07,1.051629e-07,1.049739e-07,1.047454e-07,1.046560e-07,1.043346e-07,1.043217e-07,1.040102e-07,1.038928e-07,1.036832e-07,1.034594e-07,1.033538e-07,1.030223e-07,1.025822e-07,1.021398e-07,1.016956e-07,1.012502e-07,1.008041e-07,1.003578e-07,9.991174e-08,9.946637e-08,9.902203e-08,9.857908e-08,9.813785e-08,9.769864e-08,9.726171e-08,9.682733e-08,9.639572e-08,9.596709e-08,9.554165e-08,9.511956e-08,9.470098e-08,9.428607e-08,9.387495e-08,9.346773e-08,9.306454e-08,9.266545e-08
0.000000e+00,3.377994e-11,7.797813e-11,2.698604e-10,6.144309e-10,8.959229e-10,2.026243e-09,2.086871e-09,4.014225e-09,4.709615e-09,6.853419e-09,9.068129e-09,1.077925e-08,1.547111e-08,1.592995e-08,2.234175e-08,2.406043e-08,2.992669e-08,3.463015e-08,3.853151e-08,4.682140e-08,4.799795e-08,5.818100e-08,6.029161e-08,6.894568e-08,7.472989e-08,8.016195e-08,8.983937e-08,9.170249e-08,1.034433e-07,1.053323e-07,1.152656e-07,1.209363e-07,1.270584e-07,1.364030e-07,1.387205e-07,1.501623e-07,1.515167e-07,1.613067e-07,1.660990e-07,1.720894e-07,1.800100e-07,1.824586e-07,1.923748e-07,1.931476e-07,2.018089e-07,2.054430e-07,2.107418e-07,2.168568e-07,2.191627e-07,2.270681e-07,2.273736e-07,2.344607e-07,2.369978e-07,2.413480e-07,2.457484e-07,2.477414e-07,2.536552e-07,2.591060e-07,2.607554e-07,2.641121e-07,2.670915e-07,2.686928e-07,2.727085e-07,2.728680e-07,2.766579e-07,2.776528e-07,2.800827e-07,2.819706e-07,2.831624e-07,2.857077e-07,2.859165e-07,2.883641e-07,2.889080e-07,2.905236e-07,2.916138e-07,2.924129e-07,2.938654e-07,2.940489e-07,2.954478e-07,2.957006e-07,2.966253e-07,2.971550e-07,2.975961e-07,2.982621e-07,2.983742e-07,2.989729e-07,2.990529e-07,2.994047e-07,2.995563e-07,2.996816e-07,2.997991e-07,2.998147e-07,2.998146e-07,2.998062e-07,2.996913e-07,2.996004e-07,2.994541e-07,2.992031e-07,2.991118e-07,2.986728e-07,2.986337e-07,2.981447e-07,2.979102e-07,2.975349e-07,2.970491e-07,2.968502e-07,2.960971e-07,2.960657e-07,2.952816e-07,2.949738e-07,2.944092e-07,2.937863e-07,2.934854e-07,2.925149e-07,2.915025e-07,2.911703e-07,2.904524e-07,2.897624e-07,2.893686e-07,2.883001e-07,2.882550e-07,2.871150e-07,2.867915e-07,2.859519e-07,2.852442e-07,2.847687e-07,2.836649e-07,2.835683e-07,2.823534e-07,2.820599e-07,2.811263e-07,2.804347e-07,2.798894e-07,2.787945e-07,2.786448e-07,2.773944e-07,2.771438e-07,2.761402e-07,2.754870e-07,2.748837e-07,2.738276e-07,2.736265e-07,2.723701e-07,2.721693e-07,2.711159e-07,2.705149e-07,2.698649e-07,2.688674e-07,2.686185e-07,2.673776e-07,2.672291e-07,2.661431e-07,2.656023e-07,2.649160e-07,2.639889e-07,2.636971e-07,2.624871e-07,2.623907e-07,2.612866e-07,2.608092e-07,2.600963e-07,2.592458e-07,2.589166e-07,2.577482e-07,2.577017e-07,2.565914e-07,2.561779e-07,2.554467e-07,2.546753e-07,2.543144e-07,2.531947e-07,2.517367e-07,2.503019e-07,2.488907e-07,2.475034e-07,2.461404e-07,2.448018e-07,2.434878e-07,2.421984e-07,2.409337e-07,2.396936e-07,2.384780e-07,2.372869e-07,2.361202e-07,2.349775e-07,2.338587e-07,2.327637e-07,2.316920e-07,2.306435e-07,2.296179e-07,2.286148e-07,2.276340e-07,2.266750e-07,2.257377e-07,2.248215e-07
0.000000e+00,4.105045e-11,9.464518e-11,3.276570e-10,7.471764e-10,1.090581e-09,2.472948e-09,2.547199e-09,4.910447e-09,5.764008e-09,8.397773e-09,1.112400e-08,1.323676e-08,1.908283e-08,1.966030e-08,2.787848e-08,3.013483e-08,3.801948e-08,4.453980e-08,5.007031e-08,6.213649e-08,6.387924e-08,7.922230e-08,8.245432e-08,9.586774e-08,1.049668e-07,1.136038e-07,1.292058e-07,1.322410e-07,1.516070e-07,1.547622e-07,1.715405e-07,1.812652e-07,1.918894e-07,2.083703e-07,2.125093e-07,2.332640e-07,2.357575e-07,2.540264e-07,2.631338e-07,2.746797e-07,2.902378e-07,2.951182e-07,3.152479e-07,3.168424e-07,3.349866e-07,3.427566e-07,3.542642e-07,3.678250e-07,3.730218e-07,3.912112e-07,3.919264e-07,4.087944e-07,4.149701e-07,4.257423e-07,4.368931e-07,4.420341e-07,4.576561e-07,4.726008e-07,4.772395e-07,4.868661e-07,4.956404e-07,5.004547e-07,5.128689e-07,5.133728e-07,5.256301e-07,5.289453e-07,5.372386e-07,5.438981e-07,5.482125e-07,5.577618e-07,5.585678e-07,5.683215e-07,5.705748e-07,5.774916e-07,5.823789e-07,5.860968e-07,5.932172e-07,5.941562e-07,6.016891e-07,6.031342e-07,6.087150e-07,6.121744e-07,6.152531e-07,6.203822e-07,6.213226e-07,6.269425e-07,6.278012e-07,6.321312e-07,6.344741e-07,6.369071e-07,6.404425e-07,6.412879e-07,6.452908e-07,6.457466e-07,6.489329e-07,6.504253e-07,6.522303e-07,6.545157e-07,6.551991e-07,6.578544e-07,6.580538e-07,6.602112e-07,6.610736e-07,6.622838e-07,6.636079e-07,6.640860e-07,6.656311e-07,6.656877e-07,6.669319e-07,6.673428e-07,6.680009e-07,6.686013e-07,6.688497e-07,6.694899e-07,6.699325e-07,6.700341e-07,6.701878e-07,6.702577e-07,6.702661e-07,6.701837e-07,6.701770e-07,6.699298e-07,6.698334e-07,6.695333e-07,6.692273e-07,6.689960e-07,6.683845e-07,6.683262e-07,6.675317e-07,6.673232e-07,6.666197e-07,6.660605e-07,6.655976e-07,6.646125e-07,6.644722e-07,6.632498e-07,6.629943e-07,6.619368e-07,6.612203e-07,6.605392e-07,6.593038e-07,6.590624e-07,6.575121e-07,6.572576e-07,6.558933e-07,6.550934e-07,6.542110e-07,6.528225e-07,6.524698e-07,6.506743e-07,6.504553e-07,6.488286e-07,6.480016e-07,6.469368e-07,6.454706e-07,6.450028e-07,6.430303e-07,6.428709e-07,6.410227e-07,6.402105e-07,6.389833e-07,6.374971e-07,6.369153e-07,6.348218e-07,6.347376e-07,6.327055e-07,6.319386e-07,6.305691e-07,6.291062e-07,6.284152e-07,6.262463e-07,6.233640e-07,6.204645e-07,6.175522e-07,6.146315e-07,6.117064e-07,6.087805e-07,6.058573e-07,6.029399e-07,6.000312e-07,5.971339e-07,5.942506e-07,5.913834e-07,5.885344e-07,5.857056e-07,5.828987e-07,5.801153e-07,5.773567e-07,5.746244e-07,5.719194e-07,5.692429e-07,5.665958e-07,5.639789e-07,5.613929e-07,5.588386e-07
0.000000e+00,2.936820e-10,8.425035e-10,3.757799e-09,9.746596e-09,1.497308e-08,3.752566e-08,3.878625e-08,8.073275e-08,9.660318e-08,1.474662e-07,2.025973e-07,2.467190e-07,3.734295e-07,3.862191e-07,5.708910e-07,6.219349e-07,7.992947e-07,9.434711e-07,1.063428e-06,1.317305e-06,1.353110e-06,1.659831e-06,1.722650e-06,1.977518e-06,2.145564e-06,2.301845e-06,2.577000e-06,2.629544e-06,2.957994e-06,3.010465e-06,3.285023e-06,3.440949e-06,3.608821e-06,3.864512e-06,3.927883e-06,4.240985e-06,4.278108e-06,4.547147e-06,4.679455e-06,4.845605e-06,5.066921e-06,5.135784e-06,5.417266e-06,5.439399e-06,5.689764e-06,5.796205e-06,5.953101e-06,6.136978e-06,6.207188e-06,6.452006e-06,6.461606e-06,6.687593e-06,6.770160e-06,6.914032e-06,7.062842e-06,7.131438e-06,7.339956e-06,7.539753e-06,7.601875e-06,7.731010e-06,7.849023e-06,7.913923e-06,8.081858e-06,8.088696e-06,8.255538e-06,8.300862e-06,8.414664e-06,8.506525e-06,8.566289e-06,8.699345e-06,8.710629e-06,8.847903e-06,8.879822e-06,8.978327e-06,9.048451e-06,9.102112e-06,9.205713e-06,9.219462e-06,9.330591e-06,9.352090e-06,9.435718e-06,9.488080e-06,9.535046e-06,9.614139e-06,9.628765e-06,9.717077e-06,9.730718e-06,9.800173e-06,9.838260e-06,9.878238e-06,9.937190e-06,9.951454e-06,1.002000e-05,1.002792e-05,1.008405e-05,1.011085e-05,1.014377e-05,1.018637e-05,1.019933e-05,1.025088e-05,1.025484e-05,1.029859e-05,1.031663e-05,1.034261e-05,1.037209e-05,1.038307e-05,1.042012e-05,1.042154e-05,1.045391e-05,1.046530e-05,1.048456e-05,1.050367e-05,1.051220e-05,1.053696e-05,1.055897e-05,1.056544e-05,1.057833e-05,1.058938e-05,1.059516e-05,1.060904e-05,1.060958e-05,1.062168e-05,1.062467e-05,1.063157e-05,1.063649e-05,1.063936e-05,1.064474e-05,1.064513e-05,1.064897e-05,1.064962e-05,1.065099e-05,1.065135e-05,1.065126e-05,1.065012e-05,1.064986e-05,1.064689e-05,1.064611e-05,1.064240e-05,1.063950e-05,1.063649e-05,1.063046e-05,1.062921e-05,1.062064e-05,1.061916e-05,1.061085e-05,1.060574e-05,1.059990e-05,1.059035e-05,1.058785e-05,1.057476e-05,1.057313e-05,1.056069e-05,1.055420e-05,1.054569e-05,1.053370e-05,1.052982e-05,1.051312e-05,1.051175e-05,1.049564e-05,1.048845e-05,1.047744e-05,1.046391e-05,1.045856e-05,1.043903e-05,1.043824e-05,1.041890e-05,1.041152e-05,1.039822e-05,1.038385e-05,1.037701e-05,1.035532e-05,1.032601e-05,1.029599e-05,1.026533e-05,1.023412e-05,1.020240e-05,1.017024e-05,1.013770e-05,1.010484e-05,1.007169e-05,1.003833e-05,1.000478e-05,9.971086e-06,9.937298e-06,9.903447e-06,9.869571e-06,9.835700e-06,9.801868e-06,9.768102e-06,9.734429e-06,9.700875e-06,9.667463e-06,9.634214e-06,9.601150e-06,9.568288e-06
0.000000e+00,2.111612e-11,4.849571e-11,1.669630e-10,3.792328e-10,5.524193e-10,1.246363e-09,1.283524e-09,2.461895e-09,2.885764e-09,4.189084e-09,5.532076e-09,6.569309e-09,9.426260e-09,9.707579e-09,1.369772e-08,1.478962e-08,1.859585e-08,2.173401e-08,2.438939e-08,3.016035e-08,3.099104e-08,3.826888e-08,3.979319e-08,4.608390e-08,5.031747e-08,5.431003e-08,6.145725e-08,6.283791e-08,7.157217e-08,7.298303e-08,8.042820e-08,8.469971e-08,8.932990e-08,9.643779e-08,9.820865e-08,1.070029e-07,1.080498e-07,1.156580e-07,1.194098e-07,1.241267e-07,1.304130e-07,1.323683e-07,1.403492e-07,1.409755e-07,1.480420e-07,1.510335e-07,1.554257e-07,1.605416e-07,1.624847e-07,1.692084e-07,1.694703e-07,1.755907e-07,1.778041e-07,1.816291e-07,1.855392e-07,1.873246e-07,1.926808e-07,1.977033e-07,1.992413e-07,2.023999e-07,2.052387e-07,2.067794e-07,2.106949e-07,2.108521e-07,2.146286e-07,2.156345e-07,2.181203e-07,2.200836e-07,2.213391e-07,2.240695e-07,2.242968e-07,2.270052e-07,2.276195e-07,2.294763e-07,2.307608e-07,2.317217e-07,2.335201e-07,2.337529e-07,2.355811e-07,2.359233e-07,2.372170e-07,2.379952e-07,2.386712e-07,2.397598e-07,2.399539e-07,2.410746e-07,2.412396e-07,2.420429e-07,2.424562e-07,2.428677e-07,2.434299e-07,2.435575e-07,2.441205e-07,2.441799e-07,2.445645e-07,2.447242e-07,2.448971e-07,2.450796e-07,2.451251e-07,2.452555e-07,2.452619e-07,2.452946e-07,2.452860e-07,2.452484e-07,2.451657e-07,2.451228e-07,2.449232e-07,2.449137e-07,2.446547e-07,2.445422e-07,2.443224e-07,2.440622e-07,2.439307e-07,2.434842e-07,2.429869e-07,2.428177e-07,2.424428e-07,2.420717e-07,2.418556e-07,2.412546e-07,2.412288e-07,2.405656e-07,2.403738e-07,2.398693e-07,2.394367e-07,2.391426e-07,2.384498e-07,2.383885e-07,2.376094e-07,2.374190e-07,2.368079e-07,2.363501e-07,2.359862e-07,2.352482e-07,2.351466e-07,2.342910e-07,2.341181e-07,2.334213e-07,2.329641e-07,2.325394e-07,2.317904e-07,2.316470e-07,2.307455e-07,2.306006e-07,2.298366e-07,2.293980e-07,2.289215e-07,2.281859e-07,2.280016e-07,2.270781e-07,2.269671e-07,2.261522e-07,2.257442e-07,2.252248e-07,2.245196e-07,2.242969e-07,2.233696e-07,2.232955e-07,2.224436e-07,2.220737e-07,2.215197e-07,2.208562e-07,2.205987e-07,2.196812e-07,2.196446e-07,2.187679e-07,2.184403e-07,2.178594e-07,2.172446e-07,2.169562e-07,2.160588e-07,2.148839e-07,2.137208e-07,2.125705e-07,2.114336e-07,2.103109e-07,2.092028e-07,2.081100e-07,2.070328e-07,2.059716e-07,2.049268e-07,2.038985e-07,2.028869e-07,2.018923e-07,2.009147e-07,1.999543e-07,1.990110e-07,1.980848e-07,1.971758e-07,1.962839e-07,1.954091e-07,1.945511e-07,1.937100e-07,1.928855e-07,1.920776e-07
0.000000e+00,5.502419e-10,2.007070e-09,1.321664e-08,4.461864e-08,7.713510e-08,2.464613e-07,2.568830e-07,6.388275e-07,7.965614e-07,1.335204e-06,1.961467e-06,2.486127e-06,4.071627e-06,4.236349e-06,6.666901e-06,7.348429e-06,9.720979e-06,1.163583e-05,1.320775e-05,1.643899e-05,1.688201e-05,2.052399e-05,2.123352e-05,2.397724e-05,2.566591e-05,2.715080e-05,2.956998e-05,3.000451e-05,3.253165e-05,3.290635e-05,3.474481e-05,3.570197e-05,3.666633e-05,3.801118e-05,3.832249e-05,3.974039e-05,3.989579e-05,4.094631e-05,4.141619e-05,4.196495e-05,4.262797e-05,4.281911e-05,4.352951e-05,4.358070e-05,4.411474e-05,4.431759e-05,4.459146e-05,4.487583e-05,4.497437e-05,4.527640e-05,4.528696e-05,4.550881e-05,4.557735e-05,4.568131e-05,4.576871e-05,4.580227e-05,4.587882e-05,4.591708e-05,4.592210e-05,4.592222e-05,4.591020e-05,4.589866e-05,4.585255e-05,4.585018e-05,4.577996e-05,4.575680e-05,4.569077e-05,4.562913e-05,4.558494e-05,4.547463e-05,4.546450e-05,4.533119e-05,4.529746e-05,4.518655e-05,4.510110e-05,4.503191e-05,4.488847e-05,4.486842e-05,4.469714e-05,4.466203e-05,4.451897e-05,4.442388e-05,4.433475e-05,4.417585e-05,4.414519e-05,4.395097e-05,4.391950e-05,4.375268e-05,4.365621e-05,4.355086e-05,4.338720e-05,4.334601e-05,4.313857e-05,4.311352e-05,4.292896e-05,4.283614e-05,4.271755e-05,4.255589e-05,4.250468e-05,4.229067e-05,4.227351e-05,4.207582e-05,4.198969e-05,4.186037e-05,4.170503e-05,4.164459e-05,4.142868e-05,4.142005e-05,4.121288e-05,4.113524e-05,4.099735e-05,4.085104e-05,4.078228e-05,4.056784e-05,4.035416e-05,4.028597e-05,4.014139e-05,4.000575e-05,3.992965e-05,3.972746e-05,3.971906e-05,3.950972e-05,3.945134e-05,3.930173e-05,3.917762e-05,3.909518e-05,3.890649e-05,3.889015e-05,3.868671e-05,3.863813e-05,3.848494e-05,3.837269e-05,3.828488e-05,3.811030e-05,3.808660e-05,3.789015e-05,3.785108e-05,3.769557e-05,3.759514e-05,3.750290e-05,3.734256e-05,3.731217e-05,3.712343e-05,3.709341e-05,3.693669e-05,3.684777e-05,3.675197e-05,3.660568e-05,3.656931e-05,3.638871e-05,3.636718e-05,3.621020e-05,3.613232e-05,3.603378e-05,3.590110e-05,3.585946e-05,3.568725e-05,3.567356e-05,3.551715e-05,3.544970e-05,3.534917e-05,3.522953e-05,3.518331e-05,3.501956e-05,3.501305e-05,3.485792e-05,3.480025e-05,3.469839e-05,3.459112e-05,3.454097e-05,3.438564e-05,3.418379e-05,3.398556e-05,3.379092e-05,3.359983e-05,3.341227e-05,3.322821e-05,3.304760e-05,3.287041e-05,3.269660e-05,3.252614e-05,3.235897e-05,3.219506e-05,3.203436e-05,3.187683e-05,3.172242e-05,3.157109e-05,3.142279e-05,3.127747e-05,3.113508e-05,3.099559e-05,3.085893e-05,3.072508e-05,3.059396e-05,3.046555e-05
0.000000e+00,3.461396e-10,1.293314e-09,8.935946e-09,3.140906e-08,5.540171e-08,1.847496e-07,1.928328e-07,4.915597e-07,6.149841e-07,1.032837e-06,1.510412e-06,1.904600e-06,3.077679e-06,3.199003e-06,5.010463e-06,5.532627e-06,7.432436e-06,9.088062e-06,1.055091e-05,1.392567e-05,1.443347e-05,1.911594e-05,2.014868e-05,2.459253e-05,2.773979e-05,3.081543e-05,3.656091e-05,3.770376e-05,4.515697e-05,4.639471e-05,5.306729e-05,5.699528e-05,6.132878e-05,6.812390e-05,6.984232e-05,7.851803e-05,7.956612e-05,8.727593e-05,9.113699e-05,9.604571e-05,1.026807e-04,1.047662e-04,1.133846e-04,1.140683e-04,1.218562e-04,1.251950e-04,1.301432e-04,1.359778e-04,1.382145e-04,1.460450e-04,1.463529e-04,1.536149e-04,1.562732e-04,1.609093e-04,1.657064e-04,1.679174e-04,1.746323e-04,1.810500e-04,1.830407e-04,1.871695e-04,1.909297e-04,1.929916e-04,1.983039e-04,1.985194e-04,2.037573e-04,2.051727e-04,2.087109e-04,2.115494e-04,2.133869e-04,2.174499e-04,2.177926e-04,2.219360e-04,2.228922e-04,2.258252e-04,2.278954e-04,2.294689e-04,2.324791e-04,2.328757e-04,2.360545e-04,2.366636e-04,2.390139e-04,2.404690e-04,2.417628e-04,2.439153e-04,2.443096e-04,2.466628e-04,2.470220e-04,2.488308e-04,2.498081e-04,2.508217e-04,2.522921e-04,2.526432e-04,2.543031e-04,2.544918e-04,2.558089e-04,2.564244e-04,2.571676e-04,2.581063e-04,2.583864e-04,2.594718e-04,2.595531e-04,2.604305e-04,2.607799e-04,2.612687e-04,2.618009e-04,2.619924e-04,2.626073e-04,2.626298e-04,2.631192e-04,2.632793e-04,2.635333e-04,2.637617e-04,2.638548e-04,2.640886e-04,2.642395e-04,2.642711e-04,2.643121e-04,2.643194e-04,2.643105e-04,2.642433e-04,2.642392e-04,2.641019e-04,2.640522e-04,2.639025e-04,2.637547e-04,2.636448e-04,2.633591e-04,2.633321e-04,2.629678e-04,2.628731e-04,2.625552e-04,2.623041e-04,2.620972e-04,2.616589e-04,2.615967e-04,2.610566e-04,2.609440e-04,2.604794e-04,2.601655e-04,2.598678e-04,2.593291e-04,2.592240e-04,2.585505e-04,2.584401e-04,2.578493e-04,2.575035e-04,2.571225e-04,2.565241e-04,2.563722e-04,2.556002e-04,2.555062e-04,2.548084e-04,2.544541e-04,2.539983e-04,2.533714e-04,2.531716e-04,2.523299e-04,2.522620e-04,2.514747e-04,2.511291e-04,2.506072e-04,2.499758e-04,2.497289e-04,2.488409e-04,2.488052e-04,2.479445e-04,2.476199e-04,2.470407e-04,2.464225e-04,2.461307e-04,2.452154e-04,2.440007e-04,2.427806e-04,2.415568e-04,2.403312e-04,2.391054e-04,2.378809e-04,2.366590e-04,2.354411e-04,2.342283e-04,2.330218e-04,2.318224e-04,2.306311e-04,2.294487e-04,2.282760e-04,2.271137e-04,2.259623e-04,2.248225e-04,2.236946e-04,2.225793e-04,2.214768e-04,2.203876e-04,2.193119e-04,2.182500e-04,2.172021e-04
0.000000e+00,1.478625e-10,3.486529e-10,1.237326e-09,2.858096e-09,4.194368e-09,9.622834e-09,9.916112e-09,1.931606e-08,2.273695e-08,3.335794e-08,4.443346e-08,5.306028e-08,7.707415e-08,7.945542e-08,1.134892e-07,1.228791e-07,1.558540e-07,1.833255e-07,2.067714e-07,2.583221e-07,2.658028e-07,3.318300e-07,3.457409e-07,4.032890e-07,4.420428e-07,4.785354e-07,5.435983e-07,5.561168e-07,6.348689e-07,6.475147e-07,7.138950e-07,7.517162e-07,7.925063e-07,8.547330e-07,8.701676e-07,9.464581e-07,9.555043e-07,1.021045e-06,1.053255e-06,1.093668e-06,1.147421e-06,1.164123e-06,1.232258e-06,1.237605e-06,1.297962e-06,1.323545e-06,1.361159e-06,1.405082e-06,1.421804e-06,1.479876e-06,1.482145e-06,1.535374e-06,1.554726e-06,1.588315e-06,1.622870e-06,1.638729e-06,1.686658e-06,1.732148e-06,1.746200e-06,1.775258e-06,1.801626e-06,1.816046e-06,1.853079e-06,1.854578e-06,1.890919e-06,1.900712e-06,1.925139e-06,1.944681e-06,1.957306e-06,1.985147e-06,1.987490e-06,2.015761e-06,2.022269e-06,2.042188e-06,2.056206e-06,2.066838e-06,2.087115e-06,2.089780e-06,2.111080e-06,2.115149e-06,2.130803e-06,2.140457e-06,2.149012e-06,2.163183e-06,2.165769e-06,2.181135e-06,2.183468e-06,2.195169e-06,2.201448e-06,2.207927e-06,2.217253e-06,2.219466e-06,2.229839e-06,2.231008e-06,2.239099e-06,2.242834e-06,2.247296e-06,2.252845e-06,2.254479e-06,2.260696e-06,2.261153e-06,2.265992e-06,2.267863e-06,2.270412e-06,2.273075e-06,2.273997e-06,2.276790e-06,2.276886e-06,2.278830e-06,2.279387e-06,2.280154e-06,2.280665e-06,2.280800e-06,2.280804e-06,2.280198e-06,2.279881e-06,2.279016e-06,2.277972e-06,2.277290e-06,2.275148e-06,2.275048e-06,2.272322e-06,2.271475e-06,2.269138e-06,2.267019e-06,2.265523e-06,2.261838e-06,2.261502e-06,2.257101e-06,2.255991e-06,2.252343e-06,2.249531e-06,2.247250e-06,2.242509e-06,2.241845e-06,2.236147e-06,2.234974e-06,2.230176e-06,2.226970e-06,2.223952e-06,2.218541e-06,2.217492e-06,2.210814e-06,2.209727e-06,2.203935e-06,2.200565e-06,2.196869e-06,2.191093e-06,2.189633e-06,2.182240e-06,2.181343e-06,2.174704e-06,2.171347e-06,2.167039e-06,2.161134e-06,2.159256e-06,2.151368e-06,2.150733e-06,2.143386e-06,2.140169e-06,2.135320e-06,2.129467e-06,2.127181e-06,2.118978e-06,2.118649e-06,2.110721e-06,2.107737e-06,2.102419e-06,2.096752e-06,2.094079e-06,2.085710e-06,2.074631e-06,2.063529e-06,2.052420e-06,2.041318e-06,2.030235e-06,2.019183e-06,2.008175e-06,1.997219e-06,1.986324e-06,1.975501e-06,1.964756e-06,1.954097e-06,1.943530e-06,1.933062e-06,1.922697e-06,1.912441e-06,1.902297e-06,1.892271e-06,1.882365e-06,1.872583e-06,1.862927e-06,1.853400e-06,1.844003e-06,1.834739e-06
0.000000e+00,1.665906e-11,3.874080e-11,1.351545e-10,3.087634e-10,4.505834e-10,1.018163e-09,1.048497e-09,2.006038e-09,2.348258e-09,3.392878e-09,4.457361e-09,5.271513e-09,7.480904e-09,7.696034e-09,1.070762e-08,1.152051e-08,1.432556e-08,1.661344e-08,1.853809e-08,2.270371e-08,2.330266e-08,2.855736e-08,2.966108e-08,3.423311e-08,3.732762e-08,4.025990e-08,4.554325e-08,4.656886e-08,5.309285e-08,5.415228e-08,5.976711e-08,6.300590e-08,6.653003e-08,7.196538e-08,7.332408e-08,8.009661e-08,8.090557e-08,8.680049e-08,8.971759e-08,9.339444e-08,9.831039e-08,9.984317e-08,1.061173e-07,1.066109e-07,1.121929e-07,1.145633e-07,1.180515e-07,1.221273e-07,1.236791e-07,1.290658e-07,1.292762e-07,1.342057e-07,1.359950e-07,1.390958e-07,1.422780e-07,1.437356e-07,1.481269e-07,1.522732e-07,1.535491e-07,1.561795e-07,1.585564e-07,1.598519e-07,1.631637e-07,1.632972e-07,1.665230e-07,1.673879e-07,1.695371e-07,1.712474e-07,1.723479e-07,1.747614e-07,1.749637e-07,1.773930e-07,1.779492e-07,1.796441e-07,1.808300e-07,1.817254e-07,1.834230e-07,1.836450e-07,1.854110e-07,1.857464e-07,1.870310e-07,1.878183e-07,1.885127e-07,1.896557e-07,1.898632e-07,1.910896e-07,1.912747e-07,1.921984e-07,1.926909e-07,1.931963e-07,1.939188e-07,1.940893e-07,1.948835e-07,1.949724e-07,1.955843e-07,1.958645e-07,1.961973e-07,1.966075e-07,1.967275e-07,1.971798e-07,1.972128e-07,1.975590e-07,1.976912e-07,1.978694e-07,1.980527e-07,1.981153e-07,1.983006e-07,1.983069e-07,1.984293e-07,1.984624e-07,1.985048e-07,1.985276e-07,1.985307e-07,1.985102e-07,1.984463e-07,1.984172e-07,1.983420e-07,1.982553e-07,1.982000e-07,1.980308e-07,1.980231e-07,1.978135e-07,1.977494e-07,1.975738e-07,1.974164e-07,1.973061e-07,1.970369e-07,1.970126e-07,1.966951e-07,1.966156e-07,1.963556e-07,1.961565e-07,1.959959e-07,1.956639e-07,1.956176e-07,1.952223e-07,1.951413e-07,1.948115e-07,1.945922e-07,1.943866e-07,1.940197e-07,1.939489e-07,1.934996e-07,1.934268e-07,1.930401e-07,1.928161e-07,1.925713e-07,1.921902e-07,1.920942e-07,1.916100e-07,1.915514e-07,1.911194e-07,1.909018e-07,1.906234e-07,1.902433e-07,1.901228e-07,1.896183e-07,1.895778e-07,1.891107e-07,1.889069e-07,1.886006e-07,1.882321e-07,1.880886e-07,1.875754e-07,1.875548e-07,1.870615e-07,1.868764e-07,1.865474e-07,1.861979e-07,1.860336e-07,1.855205e-07,1.848451e-07,1.841726e-07,1.835038e-07,1.828395e-07,1.821802e-07,1.815267e-07,1.808793e-07,1.802387e-07,1.796053e-07,1.789794e-07,1.783613e-07,1.777513e-07,1.771498e-07,1.765570e-07,1.759729e-07,1.753978e-07,1.748319e-07,1.742751e-07,1.737277e-07,1.731896e-07,1.726610e-07,1.721417e-07,1.716320e-07,1.711316e-07
0.000000e+00,1.354884e-09,5.310248e-09,4.045827e-08,1.551974e-07,2.870019e-07,1.078743e-06,1.131346e-06,3.235052e-06,4.172827e-06,7.556929e-06,1.172917e-05,1.536465e-05,2.697674e-05,2.823491e-05,4.803140e-05,5.404143e-05,7.683612e-05,9.771272e-05,1.168235e-04,1.629479e-04,1.701108e-04,2.386300e-04,2.543131e-04,3.240403e-04,3.755859e-04,4.276762e-04,5.295438e-04,5.505192e-04,6.931863e-04,7.178747e-04,8.559311e-04,9.411639e-04,1.038653e-03,1.198933e-03,1.240918e-03,1.461978e-03,1.489722e-03,1.700810e-03,1.811206e-03,1.956143e-03,2.160333e-03,2.226505e-03,2.510256e-03,2.533482e-03,2.805635e-03,2.926631e-03,3.110797e-03,3.335510e-03,3.423850e-03,3.742895e-03,3.755755e-03,4.066053e-03,4.183042e-03,4.391494e-03,4.613199e-03,4.717463e-03,5.042295e-03,5.364435e-03,5.466713e-03,5.682445e-03,5.883194e-03,5.995015e-03,6.288868e-03,6.300965e-03,6.599249e-03,6.681267e-03,6.888951e-03,7.058322e-03,7.169287e-03,7.418354e-03,7.439596e-03,7.699336e-03,7.760051e-03,7.948078e-03,8.082443e-03,8.185495e-03,8.384873e-03,8.411362e-03,8.625537e-03,8.666963e-03,8.827962e-03,8.928582e-03,9.018651e-03,9.169815e-03,9.197681e-03,9.365186e-03,9.390930e-03,9.521351e-03,9.592347e-03,9.666402e-03,9.774615e-03,9.800601e-03,9.924241e-03,9.938383e-03,1.003764e-02,1.008438e-02,1.014114e-02,1.021339e-02,1.023508e-02,1.031985e-02,1.032624e-02,1.039579e-02,1.042379e-02,1.046331e-02,1.050690e-02,1.052276e-02,1.057453e-02,1.057645e-02,1.061900e-02,1.063329e-02,1.065654e-02,1.067828e-02,1.068750e-02,1.071224e-02,1.073112e-02,1.073598e-02,1.074447e-02,1.075026e-02,1.075261e-02,1.075582e-02,1.075586e-02,1.075454e-02,1.075339e-02,1.074892e-02,1.074362e-02,1.073930e-02,1.072715e-02,1.072595e-02,1.070912e-02,1.070459e-02,1.068906e-02,1.067650e-02,1.066600e-02,1.064341e-02,1.064017e-02,1.061179e-02,1.060583e-02,1.058106e-02,1.056421e-02,1.054816e-02,1.051898e-02,1.051328e-02,1.047659e-02,1.047057e-02,1.043826e-02,1.041932e-02,1.039844e-02,1.036560e-02,1.035727e-02,1.031489e-02,1.030973e-02,1.027143e-02,1.025199e-02,1.022700e-02,1.019267e-02,1.018173e-02,1.013572e-02,1.013201e-02,1.008907e-02,1.007025e-02,1.004187e-02,1.000760e-02,9.994211e-03,9.946172e-03,9.944244e-03,9.897831e-03,9.880368e-03,9.849260e-03,9.816133e-03,9.800524e-03,9.751686e-03,9.687159e-03,9.622676e-03,9.558344e-03,9.494265e-03,9.430527e-03,9.367210e-03,9.304387e-03,9.242122e-03,9.180471e-03,9.119485e-03,9.059209e-03,8.999681e-03,8.940935e-03,8.883000e-03,8.825900e-03,8.769656e-03,8.714286e-03,8.659804e-03,8.606219e-03,8.553542e-03,8.501776e-03,8.450926e-03,8.400994e-03,8.351978e-03
0.000000e+00,1.221682e-10,4.413081e-10,2.853527e-09,9.483250e-09,1.624920e-08,5.056590e-08,5.263918e-08,1.263447e-07,1.557166e-07,2.524909e-07,3.598339e-07,4.467199e-07,6.994786e-07,7.252563e-07,1.104832e-06,1.212827e-06,1.602014e-06,1.937443e-06,2.231511e-06,2.902990e-06,3.003260e-06,3.918956e-06,4.118784e-06,4.969827e-06,5.563869e-06,6.137409e-06,7.190462e-06,7.397115e-06,8.722646e-06,8.939150e-06,1.008934e-05,1.075355e-05,1.147582e-05,1.258725e-05,1.286441e-05,1.424079e-05,1.440457e-05,1.559350e-05,1.617876e-05,1.691336e-05,1.788993e-05,1.819307e-05,1.942690e-05,1.952348e-05,2.061041e-05,2.106895e-05,2.174031e-05,2.251933e-05,2.281432e-05,2.383096e-05,2.387042e-05,2.478950e-05,2.512032e-05,2.568984e-05,2.626902e-05,2.653240e-05,2.731804e-05,2.804796e-05,2.827001e-05,2.872368e-05,2.912847e-05,2.934689e-05,2.989753e-05,2.991949e-05,3.044345e-05,3.058173e-05,3.092086e-05,3.118583e-05,3.135382e-05,3.171472e-05,3.174446e-05,3.209489e-05,3.217325e-05,3.240721e-05,3.256623e-05,3.268346e-05,3.289832e-05,3.292565e-05,3.313572e-05,3.317404e-05,3.331554e-05,3.339770e-05,3.346693e-05,3.357339e-05,3.359162e-05,3.369128e-05,3.370501e-05,3.376750e-05,3.379622e-05,3.382182e-05,3.385046e-05,3.385566e-05,3.387043e-05,3.387098e-05,3.386742e-05,3.386079e-05,3.384789e-05,3.382273e-05,3.381302e-05,3.376393e-05,3.375942e-05,3.370167e-05,3.367331e-05,3.362725e-05,3.356668e-05,3.354162e-05,3.344567e-05,3.344163e-05,3.334025e-05,3.330013e-05,3.322615e-05,3.314399e-05,3.310412e-05,3.297487e-05,3.283907e-05,3.279433e-05,3.269734e-05,3.260379e-05,3.255026e-05,3.240455e-05,3.239839e-05,3.224225e-05,3.219783e-05,3.208232e-05,3.198473e-05,3.191906e-05,3.176628e-05,3.175289e-05,3.158421e-05,3.154340e-05,3.141340e-05,3.131694e-05,3.124080e-05,3.108769e-05,3.106674e-05,3.089151e-05,3.085636e-05,3.071541e-05,3.062358e-05,3.053870e-05,3.038997e-05,3.036162e-05,3.018439e-05,3.015604e-05,3.000723e-05,2.992228e-05,2.983034e-05,2.968913e-05,2.965388e-05,2.947804e-05,2.945698e-05,2.930295e-05,2.922619e-05,2.912877e-05,2.899708e-05,2.895562e-05,2.878362e-05,2.876992e-05,2.861289e-05,2.854497e-05,2.844351e-05,2.832245e-05,2.827558e-05,2.810918e-05,2.810256e-05,2.794439e-05,2.788547e-05,2.778127e-05,2.767133e-05,2.761988e-05,2.746028e-05,2.725242e-05,2.704784e-05,2.684662e-05,2.664883e-05,2.645452e-05,2.626372e-05,2.607646e-05,2.589276e-05,2.571263e-05,2.553606e-05,2.536306e-05,2.519360e-05,2.502768e-05,2.486525e-05,2.470630e-05,2.455079e-05,2.439869e-05,2.424994e-05,2.410452e-05,2.396237e-05,2.382344e-05,2.368769e-05,2.355506e-05,2.342550e-05
0.000000e+00,8.901812e-10,3.481681e-09,2.640941e-08,1.008807e-07,1.861090e-07,6.949643e-07,7.286511e-07,2.068768e-06,2.662964e-06,4.796338e-06,7.409350e-06,9.674540e-06,1.685694e-05,1.763127e-05,2.974456e-05,3.340180e-05,4.721788e-05,5.982177e-05,7.133643e-05,9.908792e-05,1.033957e-04,1.446071e-04,1.540426e-04,1.960031e-04,2.270248e-04,2.583656e-04,3.195951e-04,3.321885e-04,4.176693e-04,4.324261e-04,5.147218e-04,5.653249e-04,6.230007e-04,7.173292e-04,7.419341e-04,8.707589e-04,8.868403e-04,1.008556e-03,1.071766e-03,1.154288e-03,1.269662e-03,1.306832e-03,1.465010e-03,1.477872e-03,1.627623e-03,1.693641e-03,1.793473e-03,1.914228e-03,1.961385e-03,2.130231e-03,2.136989e-03,2.298939e-03,2.359446e-03,2.466512e-03,2.579340e-03,2.632030e-03,2.794661e-03,2.953666e-03,3.003672e-03,3.108392e-03,3.204909e-03,3.258280e-03,3.397182e-03,3.402858e-03,3.541739e-03,3.579561e-03,3.674615e-03,3.751359e-03,3.801254e-03,3.912110e-03,3.921491e-03,4.035225e-03,4.061547e-03,4.142411e-03,4.199576e-03,4.243055e-03,4.326249e-03,4.337207e-03,4.424956e-03,4.441747e-03,4.506422e-03,4.546350e-03,4.581756e-03,4.640423e-03,4.651130e-03,4.714736e-03,4.724391e-03,4.772781e-03,4.798731e-03,4.825483e-03,4.863949e-03,4.873068e-03,4.915767e-03,4.920573e-03,4.953815e-03,4.969143e-03,4.987446e-03,5.010197e-03,5.016896e-03,5.042395e-03,5.044271e-03,5.064169e-03,5.071886e-03,5.082442e-03,5.093552e-03,5.097429e-03,5.109339e-03,5.109755e-03,5.118375e-03,5.120962e-03,5.124731e-03,5.127617e-03,5.128593e-03,5.130139e-03,5.129540e-03,5.128921e-03,5.126957e-03,5.124334e-03,5.122544e-03,5.116721e-03,5.116446e-03,5.108802e-03,5.106402e-03,5.099741e-03,5.093675e-03,5.089385e-03,5.078814e-03,5.077851e-03,5.065246e-03,5.062073e-03,5.051672e-03,5.043684e-03,5.037225e-03,5.023861e-03,5.021995e-03,5.006063e-03,5.002800e-03,4.989510e-03,4.980680e-03,4.972406e-03,4.957663e-03,4.954820e-03,4.936815e-03,4.933899e-03,4.918449e-03,4.909522e-03,4.899777e-03,4.884653e-03,4.880850e-03,4.861713e-03,4.859405e-03,4.842411e-03,4.833876e-03,4.822984e-03,4.808157e-03,4.803467e-03,4.783896e-03,4.782329e-03,4.764302e-03,4.756464e-03,4.744713e-03,4.730627e-03,4.725155e-03,4.705655e-03,4.704876e-03,4.686232e-03,4.679263e-03,4.666909e-03,4.653834e-03,4.647702e-03,4.628630e-03,4.603686e-03,4.579034e-03,4.554700e-03,4.530709e-03,4.507081e-03,4.483833e-03,4.460979e-03,4.438533e-03,4.416504e-03,4.394899e-03,4.373725e-03,4.352986e-03,4.332686e-03,4.312826e-03,4.293406e-03,4.274426e-03,4.255883e-03,4.237777e-03,4.220103e-03,4.202858e-03,4.186038e-03,4.169637e-03,4.153649e-03,4.138070e-03
0.000000e+00,6.966296e-11,1.608755e-10,5.586343e-10,1.277983e-09,1.869328e-09,4.269389e-09,4.399125e-09,8.567401e-09,1.009003e-08,1.483793e-08,1.981991e-08,2.371857e-08,3.461802e-08,3.569984e-08,5.108382e-08,5.528137e-08,6.977634e-08,8.152149e-08,9.130556e-08,1.121283e-07,1.150821e-07,1.405916e-07,1.458639e-07,1.674257e-07,1.817904e-07,1.952519e-07,2.191823e-07,2.237841e-07,2.527670e-07,2.574304e-07,2.819699e-07,2.960037e-07,3.111853e-07,3.344419e-07,3.402288e-07,3.689398e-07,3.723560e-07,3.971811e-07,4.094282e-07,4.248382e-07,4.454086e-07,4.518176e-07,4.780448e-07,4.801086e-07,5.034626e-07,5.133932e-07,5.280288e-07,5.451721e-07,5.517138e-07,5.744992e-07,5.753917e-07,5.963753e-07,6.040276e-07,6.173403e-07,6.310780e-07,6.373983e-07,6.565584e-07,6.748336e-07,6.804974e-07,6.922402e-07,7.029331e-07,7.087968e-07,7.239105e-07,7.245239e-07,7.394433e-07,7.434791e-07,7.535780e-07,7.616918e-07,7.669513e-07,7.786030e-07,7.795873e-07,7.915103e-07,7.942684e-07,8.027446e-07,8.087439e-07,8.133143e-07,8.220849e-07,8.232433e-07,8.325555e-07,8.343460e-07,8.412743e-07,8.455811e-07,8.494224e-07,8.558424e-07,8.570225e-07,8.640965e-07,8.651810e-07,8.706660e-07,8.736462e-07,8.767518e-07,8.812859e-07,8.823743e-07,8.875535e-07,8.881461e-07,8.923085e-07,8.942712e-07,8.966581e-07,8.997037e-07,9.006203e-07,9.042127e-07,9.044846e-07,9.074522e-07,9.086529e-07,9.103553e-07,9.122462e-07,9.129378e-07,9.152151e-07,9.153001e-07,9.172019e-07,9.178489e-07,9.189126e-07,9.199251e-07,9.203607e-07,9.215597e-07,9.225222e-07,9.227823e-07,9.232606e-07,9.236210e-07,9.237866e-07,9.241023e-07,9.241116e-07,9.242466e-07,9.242517e-07,9.242019e-07,9.240931e-07,9.239878e-07,9.236494e-07,9.236138e-07,9.230892e-07,9.229419e-07,9.224230e-07,9.219912e-07,9.216236e-07,9.208165e-07,9.206993e-07,9.196578e-07,9.194361e-07,9.185066e-07,9.178671e-07,9.172530e-07,9.161257e-07,9.159037e-07,9.144653e-07,9.142273e-07,9.129441e-07,9.121863e-07,9.113461e-07,9.100162e-07,9.096770e-07,9.079422e-07,9.077299e-07,9.061469e-07,9.053392e-07,9.042962e-07,9.028554e-07,9.023947e-07,9.004469e-07,9.002892e-07,8.984572e-07,8.976504e-07,8.964295e-07,8.949483e-07,8.943679e-07,8.922759e-07,8.921916e-07,8.901571e-07,8.893884e-07,8.880148e-07,8.865462e-07,8.858522e-07,8.836722e-07,8.807730e-07,8.778546e-07,8.749228e-07,8.719829e-07,8.690398e-07,8.660980e-07,8.631617e-07,8.602349e-07,8.573210e-07,8.544234e-07,8.515451e-07,8.486888e-07,8.458570e-07,8.430521e-07,8.402760e-07,8.375308e-07,8.348180e-07,8.321391e-07,8.294956e-07,8.268886e-07,8.243191e-07,8.217881e-07,8.192963e-07,8.168444e-07
0.000000e+00,7.283016e-11,2.609450e-10,1.660838e-09,5.447304e-09,9.270668e-09,2.838466e-08,2.952999e-08,6.985268e-08,8.576869e-08,1.378058e-07,1.949939e-07,2.409743e-07,3.735417e-07,3.869768e-07,5.832698e-07,6.386233e-07,8.363345e-07,1.004478e-06,1.150131e-06,1.476590e-06,1.524630e-06,1.955668e-06,2.048074e-06,2.436251e-06,2.703039e-06,2.958233e-06,3.422727e-06,3.513483e-06,4.094425e-06,4.189289e-06,4.694139e-06,4.986793e-06,5.306309e-06,5.801115e-06,5.925159e-06,6.545404e-06,6.619694e-06,7.162240e-06,7.431440e-06,7.771359e-06,8.226772e-06,8.368963e-06,8.951777e-06,8.997678e-06,9.517054e-06,9.737736e-06,1.006256e-05,1.044208e-05,1.058654e-05,1.108772e-05,1.110728e-05,1.156521e-05,1.173120e-05,1.201849e-05,1.231276e-05,1.244732e-05,1.285178e-05,1.323215e-05,1.334884e-05,1.358886e-05,1.380503e-05,1.392254e-05,1.422187e-05,1.423391e-05,1.452376e-05,1.460117e-05,1.479295e-05,1.494492e-05,1.504239e-05,1.525522e-05,1.527300e-05,1.548572e-05,1.553421e-05,1.568147e-05,1.578401e-05,1.586115e-05,1.600669e-05,1.602566e-05,1.617586e-05,1.620425e-05,1.631256e-05,1.637859e-05,1.643659e-05,1.653152e-05,1.654869e-05,1.664959e-05,1.666474e-05,1.673998e-05,1.677983e-05,1.682053e-05,1.687829e-05,1.689184e-05,1.695452e-05,1.696149e-05,1.700912e-05,1.703072e-05,1.705616e-05,1.708716e-05,1.709614e-05,1.712952e-05,1.713192e-05,1.715674e-05,1.716600e-05,1.717821e-05,1.719034e-05,1.719433e-05,1.720545e-05,1.720580e-05,1.721192e-05,1.721317e-05,1.721406e-05,1.721319e-05,1.721216e-05,1.720652e-05,1.719741e-05,1.719379e-05,1.718506e-05,1.717557e-05,1.716971e-05,1.715236e-05,1.715159e-05,1.713089e-05,1.712466e-05,1.710782e-05,1.709291e-05,1.708255e-05,1.705752e-05,1.705526e-05,1.702610e-05,1.701884e-05,1.699523e-05,1.697724e-05,1.696278e-05,1.693302e-05,1.692888e-05,1.689367e-05,1.688647e-05,1.685725e-05,1.683787e-05,1.681973e-05,1.678745e-05,1.678122e-05,1.674181e-05,1.673543e-05,1.670160e-05,1.668203e-05,1.666066e-05,1.662744e-05,1.661907e-05,1.657692e-05,1.657182e-05,1.653426e-05,1.651535e-05,1.649116e-05,1.645816e-05,1.644769e-05,1.640390e-05,1.640038e-05,1.635984e-05,1.634216e-05,1.631557e-05,1.628359e-05,1.627113e-05,1.622656e-05,1.622478e-05,1.618191e-05,1.616583e-05,1.613722e-05,1.610682e-05,1.609251e-05,1.604783e-05,1.598894e-05,1.593021e-05,1.587171e-05,1.581348e-05,1.575558e-05,1.569805e-05,1.564094e-05,1.558428e-05,1.552811e-05,1.547246e-05,1.541735e-05,1.536280e-05,1.530885e-05,1.525551e-05,1.520280e-05,1.515073e-05,1.509931e-05,1.504856e-05,1.499848e-05,1.494909e-05,1.490038e-05,1.485237e-05,1.480507e-05,1.475846e-05
0.000000e+00,1.843525e-10,7.054896e-10,5.113085e-09,1.873203e-08,3.377163e-08,1.188310e-07,1.242908e-07,3.328195e-07,4.217195e-07,7.304257e-07,1.093844e-06,1.400080e-06,2.335622e-06,2.434033e-06,3.929860e-06,4.368287e-06,5.981356e-06,7.401799e-06,8.662385e-06,1.157296e-05,1.201005e-05,1.601708e-05,1.689401e-05,2.063567e-05,2.325396e-05,2.578768e-05,3.045696e-05,3.137611e-05,3.729481e-05,3.826521e-05,4.343583e-05,4.643156e-05,4.969460e-05,5.472038e-05,5.597330e-05,6.218310e-05,6.291981e-05,6.824550e-05,7.084846e-05,7.409301e-05,7.835844e-05,7.966949e-05,8.492996e-05,8.533605e-05,8.984027e-05,9.170065e-05,9.437642e-05,9.740215e-05,9.852368e-05,1.022757e-04,1.024175e-04,1.056333e-04,1.067467e-04,1.086036e-04,1.104082e-04,1.111987e-04,1.134346e-04,1.153304e-04,1.158687e-04,1.169075e-04,1.177599e-04,1.181883e-04,1.191606e-04,1.191960e-04,1.199539e-04,1.201245e-04,1.204849e-04,1.207039e-04,1.208112e-04,1.209488e-04,1.209539e-04,1.209331e-04,1.209059e-04,1.207674e-04,1.206177e-04,1.204740e-04,1.201228e-04,1.200688e-04,1.195664e-04,1.194554e-04,1.189798e-04,1.186455e-04,1.183209e-04,1.177194e-04,1.176004e-04,1.168277e-04,1.166998e-04,1.160114e-04,1.156063e-04,1.151589e-04,1.144554e-04,1.142769e-04,1.133712e-04,1.132612e-04,1.124471e-04,1.120358e-04,1.115090e-04,1.107892e-04,1.105609e-04,1.096063e-04,1.095297e-04,1.086482e-04,1.082646e-04,1.076892e-04,1.069995e-04,1.067316e-04,1.057774e-04,1.057394e-04,1.048284e-04,1.044883e-04,1.038859e-04,1.032495e-04,1.029513e-04,1.020257e-04,1.011100e-04,1.008191e-04,1.002049e-04,9.963157e-05,9.931117e-05,9.846439e-05,9.842935e-05,9.755989e-05,9.731871e-05,9.670317e-05,9.619539e-05,9.585951e-05,9.509507e-05,9.502913e-05,9.421223e-05,9.401819e-05,9.340893e-05,9.296507e-05,9.261933e-05,9.193586e-05,9.184348e-05,9.108139e-05,9.093062e-05,9.033304e-05,8.994932e-05,8.959840e-05,8.899185e-05,8.887740e-05,8.816996e-05,8.805802e-05,8.747597e-05,8.714760e-05,8.679531e-05,8.626030e-05,8.612786e-05,8.547347e-05,8.539581e-05,8.483198e-05,8.455377e-05,8.420323e-05,8.373379e-05,8.358704e-05,8.298325e-05,8.293547e-05,8.239165e-05,8.215839e-05,8.181207e-05,8.140210e-05,8.124431e-05,8.068817e-05,8.066617e-05,8.014347e-05,7.995014e-05,7.961000e-05,7.925355e-05,7.908756e-05,7.857594e-05,7.791686e-05,7.727584e-05,7.665242e-05,7.604614e-05,7.545656e-05,7.488323e-05,7.432571e-05,7.378356e-05,7.325637e-05,7.274370e-05,7.224516e-05,7.176035e-05,7.128886e-05,7.083031e-05,7.038433e-05,6.995056e-05,6.952863e-05,6.911820e-05,6.871892e-05,6.833047e-05,6.795253e-05,6.758479e-05,6.722693e-05,6.687866e-05
0.000000e+00,3.547184e-13,8.093961e-13,2.763650e-12,6.241956e-12,9.065496e-12,2.028232e-11,2.087912e-11,3.962428e-11,4.628793e-11,6.653959e-11,8.706292e-11,1.026968e-10,1.449125e-10,1.490102e-10,2.062377e-10,2.216658e-10,2.749697e-10,3.186400e-10,3.555965e-10,4.364990e-10,4.482490e-10,5.527227e-10,5.749907e-10,6.684251e-10,7.327218e-10,7.943977e-10,9.072620e-10,9.294181e-10,1.072128e-09,1.095582e-09,1.221135e-09,1.294491e-09,1.375069e-09,1.500871e-09,1.532606e-09,1.692484e-09,1.711770e-09,1.853512e-09,1.924437e-09,2.014571e-09,2.136359e-09,2.174630e-09,2.332747e-09,2.345287e-09,2.488079e-09,2.549262e-09,2.639882e-09,2.746631e-09,2.787515e-09,2.930437e-09,2.936050e-09,3.068207e-09,3.116473e-09,3.200476e-09,3.287139e-09,3.326981e-09,3.447542e-09,3.562050e-09,3.597404e-09,3.670456e-09,3.736637e-09,3.772772e-09,3.865317e-09,3.869053e-09,3.959399e-09,3.983649e-09,4.043940e-09,4.091944e-09,4.122835e-09,4.190585e-09,4.196262e-09,4.264418e-09,4.280014e-09,4.327510e-09,4.360709e-09,4.385752e-09,4.433167e-09,4.439363e-09,4.488565e-09,4.497896e-09,4.533578e-09,4.555402e-09,4.574619e-09,4.606181e-09,4.611903e-09,4.645636e-09,4.650718e-09,4.676021e-09,4.689474e-09,4.703253e-09,4.722893e-09,4.727518e-09,4.748995e-09,4.751393e-09,4.767856e-09,4.775369e-09,4.784265e-09,4.795190e-09,4.798375e-09,4.810335e-09,4.811203e-09,4.820283e-09,4.823729e-09,4.828352e-09,4.833068e-09,4.834666e-09,4.839342e-09,4.839497e-09,4.842492e-09,4.843272e-09,4.844219e-09,4.844632e-09,4.844622e-09,4.843794e-09,4.841820e-09,4.840960e-09,4.838783e-09,4.836317e-09,4.834760e-09,4.830035e-09,4.829821e-09,4.824035e-09,4.822272e-09,4.817465e-09,4.813171e-09,4.810170e-09,4.802866e-09,4.802206e-09,4.793625e-09,4.791480e-09,4.784477e-09,4.779123e-09,4.774807e-09,4.765900e-09,4.764658e-09,4.754070e-09,4.751904e-09,4.743082e-09,4.737222e-09,4.731729e-09,4.721934e-09,4.720044e-09,4.708058e-09,4.706114e-09,4.695800e-09,4.689828e-09,4.683298e-09,4.673137e-09,4.670577e-09,4.657661e-09,4.656099e-09,4.644573e-09,4.638765e-09,4.631334e-09,4.621183e-09,4.617963e-09,4.604478e-09,4.603395e-09,4.590898e-09,4.585443e-09,4.577238e-09,4.567362e-09,4.563513e-09,4.549738e-09,4.549186e-09,4.535925e-09,4.530946e-09,4.522087e-09,4.512669e-09,4.508236e-09,4.494382e-09,4.476107e-09,4.457867e-09,4.439680e-09,4.421564e-09,4.403536e-09,4.385610e-09,4.367800e-09,4.350117e-09,4.332573e-09,4.315178e-09,4.297939e-09,4.280866e-09,4.263965e-09,4.247243e-09,4.230705e-09,4.214357e-09,4.198201e-09,4.182243e-09,4.166485e-09,4.150931e-09,4.135582e-09,4.120440e-09,4.105507e-09,4.090784e-09
0.000000e+00,2.271685e-10,8.255824e-10,5.402877e-09,1.814867e-08,3.128201e-08,9.894103e-08,1.030705e-07,2.521250e-07,3.125642e-07,5.152028e-07,7.454885e-07,9.355898e-07,1.503866e-06,1.562864e-06,2.445425e-06,2.699261e-06,3.614207e-06,4.395441e-06,5.070554e-06,6.571206e-06,6.790334e-06,8.737431e-06,9.150815e-06,1.087487e-05,1.205047e-05,1.316987e-05,1.519891e-05,1.559455e-05,1.812485e-05,1.853803e-05,2.073907e-05,2.201769e-05,2.341682e-05,2.559152e-05,2.613842e-05,2.888471e-05,2.921503e-05,3.163712e-05,3.284549e-05,3.437785e-05,3.644268e-05,3.709021e-05,3.975882e-05,3.996999e-05,4.236984e-05,4.339535e-05,4.491111e-05,4.669171e-05,4.737221e-05,4.974451e-05,4.983745e-05,5.202116e-05,5.281628e-05,5.419692e-05,5.561688e-05,5.626813e-05,5.823251e-05,6.008904e-05,6.066033e-05,6.183777e-05,6.290081e-05,6.347970e-05,6.495710e-05,6.501659e-05,6.645086e-05,6.683444e-05,6.778540e-05,6.853963e-05,6.902354e-05,7.008058e-05,7.016888e-05,7.122522e-05,7.146593e-05,7.219650e-05,7.270476e-05,7.308673e-05,7.380630e-05,7.389995e-05,7.464012e-05,7.477974e-05,7.531118e-05,7.563408e-05,7.591694e-05,7.637804e-05,7.646112e-05,7.694731e-05,7.701996e-05,7.737898e-05,7.756779e-05,7.775943e-05,7.802903e-05,7.809181e-05,7.837912e-05,7.841071e-05,7.862424e-05,7.871942e-05,7.882986e-05,7.896132e-05,7.899857e-05,7.913279e-05,7.914210e-05,7.923481e-05,7.926709e-05,7.930680e-05,7.934119e-05,7.935080e-05,7.936872e-05,7.936892e-05,7.936238e-05,7.935448e-05,7.933346e-05,7.930172e-05,7.928357e-05,7.921421e-05,7.912678e-05,7.909520e-05,7.902260e-05,7.894772e-05,7.890293e-05,7.877454e-05,7.876892e-05,7.862167e-05,7.857821e-05,7.846220e-05,7.836105e-05,7.829147e-05,7.812524e-05,7.811039e-05,7.791980e-05,7.787273e-05,7.772049e-05,7.760535e-05,7.751321e-05,7.732477e-05,7.729866e-05,7.707748e-05,7.703250e-05,7.685029e-05,7.672997e-05,7.661766e-05,7.641845e-05,7.638014e-05,7.613821e-05,7.609913e-05,7.589237e-05,7.577310e-05,7.564304e-05,7.544135e-05,7.539064e-05,7.513556e-05,7.510479e-05,7.487817e-05,7.476427e-05,7.461879e-05,7.442054e-05,7.435776e-05,7.409536e-05,7.407432e-05,7.383188e-05,7.372624e-05,7.356757e-05,7.337689e-05,7.330268e-05,7.303743e-05,7.302681e-05,7.277204e-05,7.267650e-05,7.250670e-05,7.232640e-05,7.224161e-05,7.197693e-05,7.162845e-05,7.128131e-05,7.093581e-05,7.059225e-05,7.025087e-05,6.991190e-05,6.957556e-05,6.924203e-05,6.891148e-05,6.858406e-05,6.825991e-05,6.793914e-05,6.762187e-05,6.730818e-05,6.699817e-05,6.669189e-05,6.638942e-05,6.609080e-05,6.579607e-05,6.550528e-05,6.521845e-05,6.493559e-05,6.465673e-05,6.438188e-05
0.000000e+00,1.467910e-11,3.400441e-11,1.183345e-10,2.704498e-10,3.949821e-10,8.954038e-10,9.222287e-10,1.772584e-09,2.078020e-09,3.014795e-09,3.975764e-09,4.714840e-09,6.737567e-09,6.935826e-09,9.735234e-09,1.049853e-08,1.315756e-08,1.535503e-08,1.722318e-08,2.132480e-08,2.192078e-08,2.721144e-08,2.833609e-08,3.304067e-08,3.626493e-08,3.934877e-08,4.497375e-08,4.607578e-08,5.316265e-08,5.432605e-08,6.055132e-08,6.418828e-08,6.818471e-08,7.443005e-08,7.600698e-08,8.396399e-08,8.492539e-08,9.200393e-08,9.555508e-08,1.000780e-07,1.062090e-07,1.081408e-07,1.161510e-07,1.167884e-07,1.240713e-07,1.272067e-07,1.318687e-07,1.373906e-07,1.395147e-07,1.469847e-07,1.472796e-07,1.542585e-07,1.568256e-07,1.613192e-07,1.659919e-07,1.681537e-07,1.747518e-07,1.811064e-07,1.830875e-07,1.872125e-07,1.909887e-07,1.930674e-07,1.984512e-07,1.986704e-07,2.040223e-07,2.054761e-07,2.091251e-07,2.120686e-07,2.139822e-07,2.182372e-07,2.185976e-07,2.229763e-07,2.239926e-07,2.271239e-07,2.293477e-07,2.310462e-07,2.343166e-07,2.347497e-07,2.382409e-07,2.389142e-07,2.415265e-07,2.431562e-07,2.446136e-07,2.470584e-07,2.475090e-07,2.502197e-07,2.506367e-07,2.527525e-07,2.539071e-07,2.551143e-07,2.568851e-07,2.573118e-07,2.593517e-07,2.595862e-07,2.612404e-07,2.620252e-07,2.629843e-07,2.642166e-07,2.645896e-07,2.660622e-07,2.661744e-07,2.674080e-07,2.679122e-07,2.686328e-07,2.694427e-07,2.697419e-07,2.707408e-07,2.707785e-07,2.716345e-07,2.719314e-07,2.724280e-07,2.729129e-07,2.731262e-07,2.737336e-07,2.742547e-07,2.744040e-07,2.746939e-07,2.749338e-07,2.750551e-07,2.753324e-07,2.753425e-07,2.755599e-07,2.756087e-07,2.757108e-07,2.757710e-07,2.757989e-07,2.758273e-07,2.758275e-07,2.757999e-07,2.757852e-07,2.757191e-07,2.756518e-07,2.755883e-07,2.754339e-07,2.754102e-07,2.751875e-07,2.751379e-07,2.749230e-07,2.747697e-07,2.746191e-07,2.743352e-07,2.742783e-07,2.739027e-07,2.738396e-07,2.734947e-07,2.732880e-07,2.730564e-07,2.726852e-07,2.725897e-07,2.720965e-07,2.720357e-07,2.715788e-07,2.713437e-07,2.710382e-07,2.706131e-07,2.704764e-07,2.698951e-07,2.698478e-07,2.692957e-07,2.690512e-07,2.686796e-07,2.682265e-07,2.680483e-07,2.674031e-07,2.673770e-07,2.667452e-07,2.665055e-07,2.660758e-07,2.656146e-07,2.653960e-07,2.647069e-07,2.637849e-07,2.628506e-07,2.619062e-07,2.609535e-07,2.599945e-07,2.590306e-07,2.580636e-07,2.570948e-07,2.561256e-07,2.551572e-07,2.541908e-07,2.532273e-07,2.522679e-07,2.513134e-07,2.503645e-07,2.494221e-07,2.484869e-07,2.475595e-07,2.466404e-07,2.457303e-07,2.448295e-07,2.439385e-07,2.430576e-07,2.421873e-07
0.000000e+00,9.905648e-11,3.758805e-10,2.679040e-09,9.676432e-09,1.731797e-08,5.989176e-08,6.260288e-08,1.652386e-07,2.086636e-07,3.586938e-07,5.344796e-07,6.822408e-07,1.132590e-06,1.179894e-06,1.897230e-06,2.106786e-06,2.874610e-06,3.546546e-06,4.139865e-06,5.501473e-06,5.705210e-06,7.568785e-06,7.976343e-06,9.718210e-06,1.094261e-05,1.213399e-05,1.435155e-05,1.479203e-05,1.766525e-05,1.814302e-05,2.072462e-05,2.225037e-05,2.393981e-05,2.660329e-05,2.727976e-05,3.071323e-05,3.113006e-05,3.420929e-05,3.575959e-05,3.773786e-05,4.042361e-05,4.127026e-05,4.477962e-05,4.505862e-05,4.824132e-05,4.960760e-05,5.163322e-05,5.402117e-05,5.493592e-05,5.813279e-05,5.825825e-05,6.121001e-05,6.228632e-05,6.415654e-05,6.608110e-05,6.696390e-05,6.962602e-05,7.213903e-05,7.291134e-05,7.450102e-05,7.593327e-05,7.671175e-05,7.869285e-05,7.877242e-05,8.068543e-05,8.119506e-05,8.245418e-05,8.344790e-05,8.408287e-05,8.546169e-05,8.557631e-05,8.693978e-05,8.724830e-05,8.817890e-05,8.882066e-05,8.929949e-05,9.019224e-05,9.030745e-05,9.120871e-05,9.137668e-05,9.200919e-05,9.238753e-05,9.271467e-05,9.323802e-05,9.333084e-05,9.386318e-05,9.394094e-05,9.431701e-05,9.450847e-05,9.469742e-05,9.495217e-05,9.500929e-05,9.525726e-05,9.528294e-05,9.544576e-05,9.551095e-05,9.557899e-05,9.564572e-05,9.566091e-05,9.569528e-05,9.569608e-05,9.568563e-05,9.567019e-05,9.563529e-05,9.557562e-05,9.554740e-05,9.542489e-05,9.541931e-05,9.527053e-05,9.520767e-05,9.508692e-05,9.494659e-05,9.487647e-05,9.464145e-05,9.438400e-05,9.429721e-05,9.410610e-05,9.391838e-05,9.380961e-05,9.350910e-05,9.349626e-05,9.316767e-05,9.307314e-05,9.282535e-05,9.261396e-05,9.247072e-05,9.213470e-05,9.210507e-05,9.172964e-05,9.163821e-05,9.134557e-05,9.112711e-05,9.095391e-05,9.060376e-05,9.055565e-05,9.015171e-05,9.007031e-05,8.974294e-05,8.952873e-05,8.933013e-05,8.898079e-05,8.891402e-05,8.849528e-05,8.842808e-05,8.807455e-05,8.787207e-05,8.765241e-05,8.731405e-05,8.722941e-05,8.680603e-05,8.675522e-05,8.638275e-05,8.619665e-05,8.595999e-05,8.563929e-05,8.553815e-05,8.511758e-05,8.508400e-05,8.469862e-05,8.453155e-05,8.428157e-05,8.398264e-05,8.386672e-05,8.345432e-05,8.343788e-05,8.304461e-05,8.289781e-05,8.263779e-05,8.236292e-05,8.223407e-05,8.183362e-05,8.131031e-05,8.079330e-05,8.028287e-05,7.977927e-05,7.928271e-05,7.879336e-05,7.831137e-05,7.783684e-05,7.736989e-05,7.691057e-05,7.645895e-05,7.601504e-05,7.557887e-05,7.515043e-05,7.472972e-05,7.431670e-05,7.391135e-05,7.351361e-05,7.312343e-05,7.274075e-05,7.236549e-05,7.199759e-05,7.163697e-05,7.128352e-05
0.000000e+00,9.415262e-11,2.315118e-10,8.589950e-10,2.025019e-09,2.993600e-09,6.950211e-09,7.164432e-09,1.403794e-08,1.654088e-08,2.431386e-08,3.242372e-08,3.874498e-08,5.636395e-08,5.811258e-08,8.310320e-08,8.998739e-08,1.140687e-07,1.339747e-07,1.508328e-07,1.874971e-07,1.927785e-07,2.391265e-07,2.488574e-07,2.891349e-07,3.163672e-07,3.421554e-07,3.886019e-07,3.976183e-07,4.550070e-07,4.643354e-07,5.138406e-07,5.424597e-07,5.736651e-07,6.219496e-07,6.340524e-07,6.946021e-07,7.018610e-07,7.549446e-07,7.813421e-07,8.147449e-07,8.596452e-07,8.737040e-07,9.315609e-07,9.361349e-07,9.880918e-07,1.010290e-06,1.043109e-06,1.081698e-06,1.096461e-06,1.148025e-06,1.150049e-06,1.197709e-06,1.215122e-06,1.245448e-06,1.276776e-06,1.291198e-06,1.334934e-06,1.376651e-06,1.389574e-06,1.416355e-06,1.440717e-06,1.454065e-06,1.488417e-06,1.489810e-06,1.523626e-06,1.532755e-06,1.555558e-06,1.573831e-06,1.585652e-06,1.611760e-06,1.613960e-06,1.640537e-06,1.646664e-06,1.665439e-06,1.678674e-06,1.688724e-06,1.707923e-06,1.710449e-06,1.730673e-06,1.734543e-06,1.749454e-06,1.758669e-06,1.766850e-06,1.780433e-06,1.782917e-06,1.797711e-06,1.799963e-06,1.811286e-06,1.817385e-06,1.823695e-06,1.832818e-06,1.834991e-06,1.845222e-06,1.846381e-06,1.854439e-06,1.858185e-06,1.862688e-06,1.868338e-06,1.870015e-06,1.876465e-06,1.876944e-06,1.882079e-06,1.884101e-06,1.886900e-06,1.889902e-06,1.890967e-06,1.894317e-06,1.894437e-06,1.896989e-06,1.897791e-06,1.899017e-06,1.900045e-06,1.900435e-06,1.901276e-06,1.901570e-06,1.901555e-06,1.901350e-06,1.900951e-06,1.900642e-06,1.899529e-06,1.899474e-06,1.897874e-06,1.897352e-06,1.895866e-06,1.894476e-06,1.893475e-06,1.890956e-06,1.890723e-06,1.887633e-06,1.886844e-06,1.884227e-06,1.882188e-06,1.880524e-06,1.877035e-06,1.876543e-06,1.872304e-06,1.871426e-06,1.867823e-06,1.865404e-06,1.863118e-06,1.859004e-06,1.858205e-06,1.853099e-06,1.852265e-06,1.847814e-06,1.845218e-06,1.842364e-06,1.837895e-06,1.836763e-06,1.831023e-06,1.830326e-06,1.825156e-06,1.822538e-06,1.819174e-06,1.814557e-06,1.813087e-06,1.806905e-06,1.806407e-06,1.800639e-06,1.798111e-06,1.794297e-06,1.789689e-06,1.787889e-06,1.781422e-06,1.781162e-06,1.774904e-06,1.772547e-06,1.768344e-06,1.763862e-06,1.761748e-06,1.755122e-06,1.746342e-06,1.737536e-06,1.728716e-06,1.719894e-06,1.711080e-06,1.702286e-06,1.693520e-06,1.684790e-06,1.676105e-06,1.667471e-06,1.658895e-06,1.650383e-06,1.641941e-06,1.633572e-06,1.625283e-06,1.617076e-06,1.608956e-06,1.600926e-06,1.592988e-06,1.585145e-06,1.577400e-06,1.569753e-06,1.562208e-06,1.554765e-06
0.000000e+00,1.740286e-10,6.161148e-10,3.829972e-09,1.231329e-08,2.074080e-08,6.197887e-08,6.442089e-08,1.493259e-07,1.824678e-07,2.900373e-07,4.074293e-07,5.014541e-07,7.714638e-07,7.987538e-07,1.195621e-06,1.306731e-06,1.699506e-06,2.027374e-06,2.306111e-06,2.911987e-06,2.998938e-06,3.755008e-06,3.911740e-06,4.551369e-06,4.974759e-06,5.368512e-06,6.059530e-06,6.190939e-06,7.006494e-06,7.135670e-06,7.805508e-06,8.180813e-06,8.580199e-06,9.178188e-06,9.324308e-06,1.003291e-05,1.011536e-05,1.070229e-05,1.098369e-05,1.132988e-05,1.177791e-05,1.191413e-05,1.245442e-05,1.249574e-05,1.295092e-05,1.313743e-05,1.340446e-05,1.370515e-05,1.381639e-05,1.418843e-05,1.420251e-05,1.452263e-05,1.463409e-05,1.482118e-05,1.500500e-05,1.508638e-05,1.532055e-05,1.552600e-05,1.558604e-05,1.570497e-05,1.580662e-05,1.585962e-05,1.598709e-05,1.599198e-05,1.610398e-05,1.613194e-05,1.619742e-05,1.624527e-05,1.627396e-05,1.633079e-05,1.633515e-05,1.638240e-05,1.639181e-05,1.641699e-05,1.643128e-05,1.644011e-05,1.645182e-05,1.645284e-05,1.645615e-05,1.645576e-05,1.645093e-05,1.644512e-05,1.643800e-05,1.642171e-05,1.641808e-05,1.639184e-05,1.638710e-05,1.635991e-05,1.634271e-05,1.632282e-05,1.628977e-05,1.628107e-05,1.623513e-05,1.622935e-05,1.618541e-05,1.616243e-05,1.613228e-05,1.608984e-05,1.607610e-05,1.601717e-05,1.601235e-05,1.595579e-05,1.593061e-05,1.589222e-05,1.584522e-05,1.582669e-05,1.575943e-05,1.575671e-05,1.569064e-05,1.566554e-05,1.562050e-05,1.557212e-05,1.554918e-05,1.547684e-05,1.540362e-05,1.538003e-05,1.532965e-05,1.528198e-05,1.525506e-05,1.518296e-05,1.517994e-05,1.510442e-05,1.508321e-05,1.502857e-05,1.498294e-05,1.495248e-05,1.488235e-05,1.487625e-05,1.479993e-05,1.478162e-05,1.472361e-05,1.468088e-05,1.464733e-05,1.458030e-05,1.457117e-05,1.449517e-05,1.447999e-05,1.441938e-05,1.438006e-05,1.434384e-05,1.428062e-05,1.426861e-05,1.419371e-05,1.418176e-05,1.411919e-05,1.408356e-05,1.404507e-05,1.398608e-05,1.397138e-05,1.389816e-05,1.388941e-05,1.382542e-05,1.379358e-05,1.375320e-05,1.369866e-05,1.368150e-05,1.361036e-05,1.360469e-05,1.353978e-05,1.351171e-05,1.346978e-05,1.341975e-05,1.340038e-05,1.333159e-05,1.332885e-05,1.326342e-05,1.323903e-05,1.319588e-05,1.315032e-05,1.312898e-05,1.306272e-05,1.297627e-05,1.289097e-05,1.280683e-05,1.272386e-05,1.264206e-05,1.256145e-05,1.248202e-05,1.240377e-05,1.232670e-05,1.225081e-05,1.217609e-05,1.210254e-05,1.203015e-05,1.195892e-05,1.188883e-05,1.181988e-05,1.175206e-05,1.168536e-05,1.161977e-05,1.155527e-05,1.149185e-05,1.142951e-05,1.136822e-05,1.130799e-05
0.000000e+00,1.200152e-10,2.807911e-10,9.874866e-10,2.272338e-09,3.332496e-09,7.668047e-09,7.903896e-09,1.556169e-08,1.839688e-08,2.735998e-08,3.694953e-08,4.457373e-08,6.637903e-08,6.857899e-08,1.004570e-07,1.093241e-07,1.403727e-07,1.658838e-07,1.872723e-07,2.328953e-07,2.393567e-07,2.948226e-07,3.061882e-07,3.522383e-07,3.825061e-07,4.105609e-07,4.596925e-07,4.690328e-07,5.270828e-07,5.363002e-07,5.842604e-07,6.112853e-07,6.401981e-07,6.838489e-07,6.945911e-07,7.471880e-07,7.533687e-07,7.977831e-07,8.193678e-07,8.462157e-07,8.815026e-07,8.923650e-07,9.361445e-07,9.395427e-07,9.775019e-07,9.933608e-07,1.016414e-06,1.042918e-06,1.052884e-06,1.086934e-06,1.088247e-06,1.118607e-06,1.129438e-06,1.147959e-06,1.166627e-06,1.175057e-06,1.199978e-06,1.222805e-06,1.229682e-06,1.243625e-06,1.255939e-06,1.262529e-06,1.278958e-06,1.279607e-06,1.294951e-06,1.298949e-06,1.308652e-06,1.316120e-06,1.320798e-06,1.330674e-06,1.331476e-06,1.340771e-06,1.342805e-06,1.348765e-06,1.352702e-06,1.355536e-06,1.360543e-06,1.361160e-06,1.365710e-06,1.366497e-06,1.369255e-06,1.370724e-06,1.371862e-06,1.373372e-06,1.373592e-06,1.374507e-06,1.374581e-06,1.374662e-06,1.374483e-06,1.374113e-06,1.373200e-06,1.372909e-06,1.371100e-06,1.370844e-06,1.368731e-06,1.367522e-06,1.365845e-06,1.363331e-06,1.362483e-06,1.358684e-06,1.358362e-06,1.354484e-06,1.352699e-06,1.349916e-06,1.346418e-06,1.345013e-06,1.339806e-06,1.339591e-06,1.334321e-06,1.332285e-06,1.328588e-06,1.324559e-06,1.322629e-06,1.316469e-06,1.310130e-06,1.308067e-06,1.303631e-06,1.299398e-06,1.296994e-06,1.290507e-06,1.290235e-06,1.283371e-06,1.281433e-06,1.276418e-06,1.272210e-06,1.269392e-06,1.262873e-06,1.262304e-06,1.255169e-06,1.253451e-06,1.247998e-06,1.243970e-06,1.240801e-06,1.234456e-06,1.233590e-06,1.226374e-06,1.224931e-06,1.219161e-06,1.215414e-06,1.211960e-06,1.205925e-06,1.204778e-06,1.197621e-06,1.196479e-06,1.190498e-06,1.187091e-06,1.183412e-06,1.177775e-06,1.176370e-06,1.169376e-06,1.168541e-06,1.162436e-06,1.159400e-06,1.155552e-06,1.150361e-06,1.148729e-06,1.141971e-06,1.141433e-06,1.135279e-06,1.132622e-06,1.128657e-06,1.123934e-06,1.122108e-06,1.115633e-06,1.115375e-06,1.109234e-06,1.106950e-06,1.102914e-06,1.098661e-06,1.096672e-06,1.090512e-06,1.082505e-06,1.074643e-06,1.066927e-06,1.059357e-06,1.051935e-06,1.044661e-06,1.037534e-06,1.030555e-06,1.023722e-06,1.017035e-06,1.010493e-06,1.004094e-06,9.978367e-07,9.917198e-07,9.857414e-07,9.798997e-07,9.741927e-07,9.686184e-07,9.631746e-07,9.578593e-07,9.526701e-07,9.476048e-07,9.426612e-07,9.378369e-07
0.000000e+00,1.004636e-09,3.339165e-09,1.860155e-08,5.534898e-08,9.008839e-08,2.523656e-07,2.617981e-07,5.873026e-07,7.145831e-07,1.132470e-06,1.598580e-06,1.979522e-06,3.105329e-06,3.221257e-06,4.934578e-06,5.419926e-06,7.141699e-06,8.579108e-06,9.799126e-06,1.244771e-05,1.282807e-05,1.614943e-05,1.684284e-05,1.969877e-05,2.161750e-05,2.342618e-05,2.666545e-05,2.729179e-05,3.126187e-05,3.190473e-05,3.530641e-05,3.726613e-05,3.939807e-05,4.268838e-05,4.351174e-05,4.762458e-05,4.811705e-05,5.171584e-05,5.350436e-05,5.576725e-05,5.880980e-05,5.976291e-05,6.368926e-05,6.400002e-05,6.753501e-05,6.904860e-05,7.129089e-05,7.393526e-05,7.494950e-05,7.850514e-05,7.864515e-05,8.195354e-05,8.316811e-05,8.529173e-05,8.749773e-05,8.851780e-05,9.163076e-05,9.463036e-05,9.556635e-05,9.751701e-05,9.930559e-05,1.002916e-04,1.028510e-04,1.029555e-04,1.055103e-04,1.062063e-04,1.079579e-04,1.093760e-04,1.103006e-04,1.123650e-04,1.125405e-04,1.146801e-04,1.151789e-04,1.167218e-04,1.178235e-04,1.186684e-04,1.203046e-04,1.205222e-04,1.222861e-04,1.226283e-04,1.239626e-04,1.248007e-04,1.255543e-04,1.268277e-04,1.270638e-04,1.284937e-04,1.287153e-04,1.298467e-04,1.304695e-04,1.311251e-04,1.320958e-04,1.323315e-04,1.334682e-04,1.336001e-04,1.345378e-04,1.349877e-04,1.355425e-04,1.362641e-04,1.364846e-04,1.373663e-04,1.374343e-04,1.381898e-04,1.385034e-04,1.389573e-04,1.394763e-04,1.396708e-04,1.403323e-04,1.403577e-04,1.409438e-04,1.411521e-04,1.415072e-04,1.418638e-04,1.420244e-04,1.424971e-04,1.429271e-04,1.430560e-04,1.433161e-04,1.435444e-04,1.436658e-04,1.439660e-04,1.439778e-04,1.442535e-04,1.443244e-04,1.444946e-04,1.446231e-04,1.447024e-04,1.448654e-04,1.448783e-04,1.450238e-04,1.450543e-04,1.451401e-04,1.451930e-04,1.452286e-04,1.452843e-04,1.452903e-04,1.453267e-04,1.453310e-04,1.453387e-04,1.453357e-04,1.453275e-04,1.453009e-04,1.452941e-04,1.452397e-04,1.452291e-04,1.451652e-04,1.451226e-04,1.450716e-04,1.449835e-04,1.449597e-04,1.448306e-04,1.448139e-04,1.446850e-04,1.446159e-04,1.445238e-04,1.443914e-04,1.443478e-04,1.441578e-04,1.441420e-04,1.439546e-04,1.438697e-04,1.437387e-04,1.435759e-04,1.435110e-04,1.432721e-04,1.432623e-04,1.430227e-04,1.429304e-04,1.427633e-04,1.425815e-04,1.424945e-04,1.422170e-04,1.418382e-04,1.414462e-04,1.410422e-04,1.406273e-04,1.402025e-04,1.397688e-04,1.393271e-04,1.388783e-04,1.384231e-04,1.379625e-04,1.374970e-04,1.370275e-04,1.365545e-04,1.360787e-04,1.356006e-04,1.351209e-04,1.346399e-04,1.341583e-04,1.336765e-04,1.331948e-04,1.327137e-04,1.322336e-04,1.317547e-04,1.312776e-04
0.000000e+00,1.576278e-10,3.900550e-10,1.453975e-09,3.428167e-09,5.064496e-09,1.172383e-08,1.208348e-08,2.359136e-08,2.777050e-08,4.072552e-08,5.421880e-08,6.472746e-08,9.400224e-08,9.690719e-08,1.384154e-07,1.498439e-07,1.897734e-07,2.226879e-07,2.504700e-07,3.105179e-07,3.191201e-07,3.940429e-07,4.096396e-07,4.736935e-07,5.165429e-07,5.567832e-07,6.284492e-07,6.422428e-07,7.291583e-07,7.431447e-07,8.167227e-07,8.587680e-07,9.042092e-07,9.736983e-07,9.909604e-07,1.076385e-06,1.086521e-06,1.159959e-06,1.196026e-06,1.241228e-06,1.301210e-06,1.319805e-06,1.395376e-06,1.401284e-06,1.467691e-06,1.495661e-06,1.536563e-06,1.583946e-06,1.601865e-06,1.663519e-06,1.665909e-06,1.721494e-06,1.741465e-06,1.775800e-06,1.810652e-06,1.826478e-06,1.873599e-06,1.917253e-06,1.930508e-06,1.957551e-06,1.981635e-06,1.994614e-06,2.027273e-06,2.028574e-06,2.059569e-06,2.067735e-06,2.087740e-06,2.103348e-06,2.113232e-06,2.134440e-06,2.136187e-06,2.156746e-06,2.161339e-06,2.175047e-06,2.184361e-06,2.191226e-06,2.203812e-06,2.205413e-06,2.217734e-06,2.219985e-06,2.228309e-06,2.233156e-06,2.237253e-06,2.243586e-06,2.244676e-06,2.250683e-06,2.251520e-06,2.255373e-06,2.257184e-06,2.258839e-06,2.260791e-06,2.261170e-06,2.262450e-06,2.262537e-06,2.262758e-06,2.262605e-06,2.262168e-06,2.261161e-06,2.260749e-06,2.258567e-06,2.258362e-06,2.255684e-06,2.254348e-06,2.252158e-06,2.249251e-06,2.248042e-06,2.243387e-06,2.243190e-06,2.238241e-06,2.236276e-06,2.232647e-06,2.228610e-06,2.226648e-06,2.220283e-06,2.213586e-06,2.211379e-06,2.206593e-06,2.201976e-06,2.199334e-06,2.192143e-06,2.191839e-06,2.184136e-06,2.181945e-06,2.176249e-06,2.171438e-06,2.168202e-06,2.160677e-06,2.160018e-06,2.151716e-06,2.149709e-06,2.143317e-06,2.138577e-06,2.134837e-06,2.127321e-06,2.126293e-06,2.117700e-06,2.115977e-06,2.109072e-06,2.104576e-06,2.100422e-06,2.093148e-06,2.091762e-06,2.083103e-06,2.081718e-06,2.074455e-06,2.070311e-06,2.065828e-06,2.058947e-06,2.057231e-06,2.048670e-06,2.047646e-06,2.040154e-06,2.036423e-06,2.031689e-06,2.025294e-06,2.023282e-06,2.014937e-06,2.014272e-06,2.006659e-06,2.003369e-06,1.998454e-06,1.992594e-06,1.990326e-06,1.982277e-06,1.981957e-06,1.974312e-06,1.971466e-06,1.966434e-06,1.961127e-06,1.958644e-06,1.950947e-06,1.940929e-06,1.931078e-06,1.921397e-06,1.911888e-06,1.902555e-06,1.893398e-06,1.884417e-06,1.875615e-06,1.866990e-06,1.858542e-06,1.850271e-06,1.842177e-06,1.834257e-06,1.826510e-06,1.818935e-06,1.811531e-06,1.804294e-06,1.797224e-06,1.790317e-06,1.783572e-06,1.776986e-06,1.770557e-06,1.764281e-06,1.758158e-06
0.000000e+00,3.926725e-10,1.236400e-09,6.307224e-09,1.772496e-08,2.817389e-08,7.579292e-08,7.854085e-08,1.736376e-07,2.111674e-07,3.359901e-07,4.775659e-07,5.943460e-07,9.391021e-07,9.742412e-07,1.478815e-06,1.616159e-06,2.084337e-06,2.455569e-06,2.759363e-06,3.391414e-06,3.479661e-06,4.229607e-06,4.382191e-06,4.998935e-06,5.404065e-06,5.780050e-06,6.440627e-06,6.566598e-06,7.352852e-06,7.478266e-06,8.133519e-06,8.504812e-06,8.903748e-06,9.509461e-06,9.659169e-06,1.039595e-05,1.048295e-05,1.111084e-05,1.141775e-05,1.180120e-05,1.230819e-05,1.246499e-05,1.310070e-05,1.315031e-05,1.370740e-05,1.394182e-05,1.428449e-05,1.468148e-05,1.483168e-05,1.534908e-05,1.536916e-05,1.583708e-05,1.600566e-05,1.629625e-05,1.659238e-05,1.672732e-05,1.713115e-05,1.750867e-05,1.762408e-05,1.786089e-05,1.807351e-05,1.818884e-05,1.848180e-05,1.849356e-05,1.877611e-05,1.885139e-05,1.903753e-05,1.918466e-05,1.927884e-05,1.948396e-05,1.950106e-05,1.970515e-05,1.975154e-05,1.989205e-05,1.998955e-05,2.006267e-05,2.020005e-05,2.021789e-05,2.035854e-05,2.038499e-05,2.048541e-05,2.054620e-05,2.059929e-05,2.068542e-05,2.070088e-05,2.079089e-05,2.080427e-05,2.086999e-05,2.090426e-05,2.093878e-05,2.098681e-05,2.099789e-05,2.104786e-05,2.105327e-05,2.108924e-05,2.110486e-05,2.112254e-05,2.114274e-05,2.114824e-05,2.116680e-05,2.116799e-05,2.117866e-05,2.118161e-05,2.118422e-05,2.118455e-05,2.118388e-05,2.117800e-05,2.117765e-05,2.116693e-05,2.116175e-05,2.115101e-05,2.113757e-05,2.113055e-05,2.110583e-05,2.107715e-05,2.106717e-05,2.104476e-05,2.102220e-05,2.100891e-05,2.097147e-05,2.096985e-05,2.092779e-05,2.091550e-05,2.088294e-05,2.085478e-05,2.083551e-05,2.078975e-05,2.078568e-05,2.073363e-05,2.072083e-05,2.067953e-05,2.064840e-05,2.062354e-05,2.057282e-05,2.056580e-05,2.050646e-05,2.049442e-05,2.044566e-05,2.041350e-05,2.038352e-05,2.033037e-05,2.032015e-05,2.025567e-05,2.024526e-05,2.019020e-05,2.015844e-05,2.012382e-05,2.007012e-05,2.005663e-05,1.998872e-05,1.998052e-05,1.992017e-05,1.988983e-05,1.985107e-05,1.979823e-05,1.978149e-05,1.971150e-05,1.970589e-05,1.964117e-05,1.961295e-05,1.957055e-05,1.951956e-05,1.949971e-05,1.942870e-05,1.942586e-05,1.935758e-05,1.933195e-05,1.928639e-05,1.923796e-05,1.921517e-05,1.914399e-05,1.905012e-05,1.895645e-05,1.886306e-05,1.877002e-05,1.867740e-05,1.858526e-05,1.849365e-05,1.840263e-05,1.831225e-05,1.822254e-05,1.813355e-05,1.804531e-05,1.795785e-05,1.787121e-05,1.778540e-05,1.770045e-05,1.761638e-05,1.753321e-05,1.745095e-05,1.736962e-05,1.728923e-05,1.720978e-05,1.713130e-05,1.705378e-05
0.000000e+00,2.263531e-10,8.601862e-10,6.151093e-09,2.229471e-08,3.998889e-08,1.392676e-07,1.456203e-07,3.880585e-07,4.915807e-07,8.526963e-07,1.281543e-06,1.646110e-06,2.776809e-06,2.897125e-06,4.753431e-06,5.306116e-06,7.366394e-06,9.208952e-06,1.086132e-05,1.472158e-05,1.530548e-05,2.069308e-05,2.187847e-05,2.695274e-05,3.051493e-05,3.396811e-05,4.034331e-05,4.159980e-05,4.970278e-05,5.103354e-05,5.813765e-05,6.226626e-05,6.677677e-05,7.375851e-05,7.550687e-05,8.422959e-05,8.527170e-05,9.286099e-05,9.661122e-05,1.013304e-04,1.076225e-04,1.095795e-04,1.175607e-04,1.181864e-04,1.252365e-04,1.282146e-04,1.325781e-04,1.376450e-04,1.395645e-04,1.461816e-04,1.464384e-04,1.524212e-04,1.545743e-04,1.582801e-04,1.620474e-04,1.637598e-04,1.688650e-04,1.736034e-04,1.750438e-04,1.779851e-04,1.806077e-04,1.820221e-04,1.855854e-04,1.857274e-04,1.891153e-04,1.900090e-04,1.922003e-04,1.939122e-04,1.949976e-04,1.973299e-04,1.975222e-04,1.997890e-04,2.002964e-04,2.018129e-04,2.028456e-04,2.036082e-04,2.050100e-04,2.051888e-04,2.065682e-04,2.068210e-04,2.077591e-04,2.083080e-04,2.087739e-04,2.094989e-04,2.096244e-04,2.103215e-04,2.104195e-04,2.108759e-04,2.110943e-04,2.112976e-04,2.115456e-04,2.115958e-04,2.117795e-04,2.117943e-04,2.118570e-04,2.118596e-04,2.118362e-04,2.117592e-04,2.117244e-04,2.115286e-04,2.115095e-04,2.112551e-04,2.111254e-04,2.109101e-04,2.106207e-04,2.104994e-04,2.100281e-04,2.100081e-04,2.095013e-04,2.092990e-04,2.089237e-04,2.085041e-04,2.082996e-04,2.076332e-04,2.069281e-04,2.066949e-04,2.061880e-04,2.056975e-04,2.054162e-04,2.046483e-04,2.046158e-04,2.037896e-04,2.035541e-04,2.029405e-04,2.024210e-04,2.020708e-04,2.012547e-04,2.011830e-04,2.002792e-04,2.000602e-04,1.993615e-04,1.988422e-04,1.984317e-04,1.976050e-04,1.974917e-04,1.965430e-04,1.963524e-04,1.955872e-04,1.950878e-04,1.946257e-04,1.938145e-04,1.936597e-04,1.926907e-04,1.925354e-04,1.917195e-04,1.912530e-04,1.907474e-04,1.899697e-04,1.897753e-04,1.888041e-04,1.886877e-04,1.878346e-04,1.874088e-04,1.868676e-04,1.861348e-04,1.859038e-04,1.849438e-04,1.848672e-04,1.839883e-04,1.836074e-04,1.830378e-04,1.823568e-04,1.820928e-04,1.811538e-04,1.811163e-04,1.802212e-04,1.798871e-04,1.792953e-04,1.786699e-04,1.783767e-04,1.774655e-04,1.762747e-04,1.750979e-04,1.739359e-04,1.727888e-04,1.716573e-04,1.705415e-04,1.694418e-04,1.683584e-04,1.672914e-04,1.662409e-04,1.652071e-04,1.641900e-04,1.631896e-04,1.622060e-04,1.612391e-04,1.602888e-04,1.593551e-04,1.584379e-04,1.575371e-04,1.566525e-04,1.557840e-04,1.549315e-04,1.540948e-04,1.532737e-04
0.000000e+00,1.945034e-10,6.853904e-10,4.233718e-09,1.358800e-08,2.290544e-08,6.898985e-08,7.174465e-08,1.691939e-07,2.080505e-07,3.369110e-07,4.814766e-07,5.994406e-07,9.437888e-07,9.787820e-07,1.485905e-06,1.626669e-06,2.119536e-06,2.526914e-06,2.872189e-06,3.626228e-06,3.735386e-06,4.701410e-06,4.906322e-06,5.763109e-06,6.350616e-06,6.913229e-06,7.941932e-06,8.143907e-06,9.446473e-06,9.660934e-06,1.081149e-05,1.148596e-05,1.222894e-05,1.339368e-05,1.368845e-05,1.517963e-05,1.536021e-05,1.669227e-05,1.736211e-05,1.821666e-05,1.937741e-05,1.974367e-05,2.126498e-05,2.138621e-05,2.277311e-05,2.337116e-05,2.426146e-05,2.531762e-05,2.572438e-05,2.715710e-05,2.721372e-05,2.855566e-05,2.905015e-05,2.991688e-05,3.081989e-05,3.123827e-05,3.251798e-05,3.375468e-05,3.414119e-05,3.494752e-05,3.568771e-05,3.609608e-05,3.715695e-05,3.720027e-05,3.826027e-05,3.854919e-05,3.927645e-05,3.986538e-05,4.024944e-05,4.110709e-05,4.117999e-05,4.206897e-05,4.227624e-05,4.291737e-05,4.337514e-05,4.372624e-05,4.440622e-05,4.449668e-05,4.522981e-05,4.537207e-05,4.592680e-05,4.627533e-05,4.658880e-05,4.711871e-05,4.721700e-05,4.781254e-05,4.790488e-05,4.837658e-05,4.863647e-05,4.891025e-05,4.931607e-05,4.941467e-05,4.989091e-05,4.994622e-05,5.034006e-05,5.052936e-05,5.076314e-05,5.106787e-05,5.116117e-05,5.153513e-05,5.156404e-05,5.188598e-05,5.202006e-05,5.221464e-05,5.243804e-05,5.252200e-05,5.280893e-05,5.282000e-05,5.307627e-05,5.316788e-05,5.332483e-05,5.348352e-05,5.355538e-05,5.376869e-05,5.396546e-05,5.402506e-05,5.414642e-05,5.425424e-05,5.431223e-05,5.445776e-05,5.446354e-05,5.460097e-05,5.463705e-05,5.472514e-05,5.479351e-05,5.483662e-05,5.492844e-05,5.493596e-05,5.502370e-05,5.504309e-05,5.510037e-05,5.513864e-05,5.516644e-05,5.521622e-05,5.522241e-05,5.526873e-05,5.527688e-05,5.530584e-05,5.532164e-05,5.533416e-05,5.535145e-05,5.535410e-05,5.536604e-05,5.536724e-05,5.537037e-05,5.536985e-05,5.536744e-05,5.536011e-05,5.535760e-05,5.534118e-05,5.533878e-05,5.531849e-05,5.530660e-05,5.528985e-05,5.526428e-05,5.525554e-05,5.521585e-05,5.521245e-05,5.517105e-05,5.515175e-05,5.512139e-05,5.508277e-05,5.506713e-05,5.500849e-05,5.500606e-05,5.494572e-05,5.492216e-05,5.487903e-05,5.483155e-05,5.480863e-05,5.473473e-05,5.463212e-05,5.452417e-05,5.441126e-05,5.429378e-05,5.417208e-05,5.404651e-05,5.391738e-05,5.378499e-05,5.364964e-05,5.351159e-05,5.337110e-05,5.322841e-05,5.308374e-05,5.293732e-05,5.278934e-05,5.263999e-05,5.248947e-05,5.233792e-05,5.218553e-05,5.203243e-05,5.187878e-05,5.172470e-05,5.157032e-05,5.141576e-05
0.000000e+00,2.162407e-10,7.966428e-10,5.350048e-09,1.834270e-08,3.192875e-08,1.030443e-07,1.074146e-07,2.656808e-07,3.298144e-07,5.436440e-07,7.838124e-07,9.797207e-07,1.554376e-06,1.613255e-06,2.483106e-06,2.730989e-06,3.622908e-06,4.387402e-06,5.052778e-06,6.551536e-06,6.772764e-06,8.763594e-06,9.191575e-06,1.099318e-05,1.223445e-05,1.342377e-05,1.559256e-05,1.601682e-05,1.873529e-05,1.917953e-05,2.154443e-05,2.291542e-05,2.441184e-05,2.672741e-05,2.730740e-05,3.020321e-05,3.054949e-05,3.307373e-05,3.432272e-05,3.589593e-05,3.799584e-05,3.864942e-05,4.131662e-05,4.152581e-05,4.388280e-05,4.487822e-05,4.633605e-05,4.802720e-05,4.866718e-05,5.086960e-05,5.095495e-05,5.293904e-05,5.365101e-05,5.487333e-05,5.611121e-05,5.667213e-05,5.833667e-05,5.986944e-05,6.033265e-05,6.127400e-05,6.210762e-05,6.255472e-05,6.367232e-05,6.371658e-05,6.476501e-05,6.503901e-05,6.570571e-05,6.622085e-05,6.654455e-05,6.723141e-05,6.728746e-05,6.794033e-05,6.808427e-05,6.850896e-05,6.879271e-05,6.899899e-05,6.936953e-05,6.941586e-05,6.976481e-05,6.982689e-05,7.005082e-05,7.017625e-05,7.027862e-05,7.042829e-05,7.045271e-05,7.057729e-05,7.059290e-05,7.065633e-05,7.067920e-05,7.069356e-05,7.069558e-05,7.069245e-05,7.065626e-05,7.064970e-05,7.058801e-05,7.054856e-05,7.049053e-05,7.039852e-05,7.036644e-05,7.021817e-05,7.020534e-05,7.004799e-05,6.997425e-05,6.985798e-05,6.970999e-05,6.965008e-05,6.942610e-05,6.941683e-05,6.918769e-05,6.909863e-05,6.893639e-05,6.875887e-05,6.867362e-05,6.840068e-05,6.811879e-05,6.802688e-05,6.782907e-05,6.764001e-05,6.753253e-05,6.724234e-05,6.723014e-05,6.692276e-05,6.683591e-05,6.661120e-05,6.642256e-05,6.629619e-05,6.600393e-05,6.597842e-05,6.565851e-05,6.558148e-05,6.533703e-05,6.515652e-05,6.501452e-05,6.473023e-05,6.469145e-05,6.436827e-05,6.430365e-05,6.404537e-05,6.387771e-05,6.372314e-05,6.345322e-05,6.340190e-05,6.308197e-05,6.303092e-05,6.276362e-05,6.261145e-05,6.244711e-05,6.219538e-05,6.213267e-05,6.182050e-05,6.178320e-05,6.151080e-05,6.137535e-05,6.120373e-05,6.097221e-05,6.089944e-05,6.059808e-05,6.057411e-05,6.029977e-05,6.018132e-05,6.000460e-05,5.979409e-05,5.971269e-05,5.942410e-05,5.941262e-05,5.913891e-05,5.903709e-05,5.885719e-05,5.866762e-05,5.857898e-05,5.830434e-05,5.794733e-05,5.759665e-05,5.725236e-05,5.691447e-05,5.658301e-05,5.625796e-05,5.593932e-05,5.562706e-05,5.532114e-05,5.502151e-05,5.472813e-05,5.444094e-05,5.415987e-05,5.388484e-05,5.361579e-05,5.335263e-05,5.309528e-05,5.284365e-05,5.259765e-05,5.235719e-05,5.212219e-05,5.189253e-05,5.166815e-05,5.144892e-05
0.000000e+00,3.668923e-10,9.121831e-10,3.417682e-09,8.077742e-09,1.194437e-08,2.769567e-08,2.854675e-08,5.578350e-08,6.567307e-08,9.630837e-08,1.281640e-07,1.529271e-07,2.216862e-07,2.284924e-07,3.255271e-07,3.522076e-07,4.454894e-07,5.225907e-07,5.878616e-07,7.294253e-07,7.497361e-07,9.265037e-07,9.631991e-07,1.113185e-06,1.212691e-06,1.305413e-06,1.468613e-06,1.499725e-06,1.693475e-06,1.724280e-06,1.884633e-06,1.974992e-06,2.071626e-06,2.217389e-06,2.253229e-06,2.428487e-06,2.449055e-06,2.596673e-06,2.668291e-06,2.757254e-06,2.873976e-06,2.909859e-06,3.054262e-06,3.065455e-06,3.190352e-06,3.242456e-06,3.318122e-06,3.405004e-06,3.437647e-06,3.549065e-06,3.553355e-06,3.652569e-06,3.687937e-06,3.748393e-06,3.809298e-06,3.836797e-06,3.918067e-06,3.992498e-06,4.014921e-06,4.060396e-06,4.100566e-06,4.122071e-06,4.175709e-06,4.177830e-06,4.227979e-06,4.241056e-06,4.272817e-06,4.297293e-06,4.312638e-06,4.345085e-06,4.347724e-06,4.378352e-06,4.385069e-06,4.404785e-06,4.417851e-06,4.427279e-06,4.444008e-06,4.446077e-06,4.461413e-06,4.464084e-06,4.473509e-06,4.478590e-06,4.482579e-06,4.488007e-06,4.488824e-06,4.492438e-06,4.492784e-06,4.493602e-06,4.493341e-06,4.492489e-06,4.490072e-06,4.489265e-06,4.484085e-06,4.483339e-06,4.477096e-06,4.473484e-06,4.468437e-06,4.460820e-06,4.458239e-06,4.446626e-06,4.445640e-06,4.433716e-06,4.428213e-06,4.419618e-06,4.408791e-06,4.404437e-06,4.388269e-06,4.387603e-06,4.371208e-06,4.364864e-06,4.353339e-06,4.340768e-06,4.334743e-06,4.315496e-06,4.295671e-06,4.289215e-06,4.275333e-06,4.262076e-06,4.254545e-06,4.234220e-06,4.233366e-06,4.211851e-06,4.205773e-06,4.190050e-06,4.176853e-06,4.168012e-06,4.147565e-06,4.145781e-06,4.123398e-06,4.118008e-06,4.100902e-06,4.088268e-06,4.078328e-06,4.058426e-06,4.055711e-06,4.033080e-06,4.028555e-06,4.010465e-06,3.998719e-06,3.987891e-06,3.968979e-06,3.965383e-06,3.942964e-06,3.939386e-06,3.920654e-06,3.909989e-06,3.898472e-06,3.880830e-06,3.876435e-06,3.854560e-06,3.851946e-06,3.832860e-06,3.823372e-06,3.811350e-06,3.795136e-06,3.790041e-06,3.768943e-06,3.767265e-06,3.748067e-06,3.739780e-06,3.727421e-06,3.712702e-06,3.707013e-06,3.686849e-06,3.686048e-06,3.666936e-06,3.659830e-06,3.647279e-06,3.634061e-06,3.627883e-06,3.608751e-06,3.583907e-06,3.559536e-06,3.535640e-06,3.512224e-06,3.489288e-06,3.466833e-06,3.444858e-06,3.423361e-06,3.402340e-06,3.381792e-06,3.361712e-06,3.342095e-06,3.322937e-06,3.304231e-06,3.285972e-06,3.268153e-06,3.250767e-06,3.233807e-06,3.217266e-06,3.201136e-06,3.185410e-06,3.170080e-06,3.155138e-06,3.140577e-06
0.000000e+00,1.042461e-09,4.091737e-09,3.129180e-08,1.205938e-07,2.237289e-07,8.503847e-07,8.923510e-07,2.594535e-06,3.365592e-06,6.196840e-06,9.773167e-06,1.295243e-05,2.341131e-05,2.456741e-05,4.318112e-05,4.895449e-05,7.119233e-05,9.188238e-05,1.109923e-04,1.574888e-04,1.647375e-04,2.342183e-04,2.501311e-04,3.208075e-04,3.729265e-04,4.254537e-04,5.277189e-04,5.486990e-04,6.907054e-04,7.151595e-04,8.512866e-04,9.348274e-04,1.029942e-03,1.185364e-03,1.225891e-03,1.438109e-03,1.464612e-03,1.665365e-03,1.769765e-03,1.906255e-03,2.097509e-03,2.159243e-03,2.422695e-03,2.444173e-03,2.694914e-03,2.805869e-03,2.974170e-03,3.178621e-03,3.258735e-03,3.546905e-03,3.558483e-03,3.837026e-03,3.941639e-03,4.127513e-03,4.324484e-03,4.416867e-03,4.703690e-03,4.986691e-03,5.076248e-03,5.264693e-03,5.439498e-03,5.536639e-03,5.791141e-03,5.801594e-03,6.058740e-03,6.129243e-03,6.307376e-03,6.452223e-03,6.546913e-03,6.758837e-03,6.776872e-03,6.996873e-03,7.048159e-03,7.206633e-03,7.319548e-03,7.405954e-03,7.572628e-03,7.594720e-03,7.772888e-03,7.807251e-03,7.940479e-03,8.023472e-03,8.097575e-03,8.221519e-03,8.244307e-03,8.380851e-03,8.401766e-03,8.507423e-03,8.564707e-03,8.624271e-03,8.710932e-03,8.731670e-03,8.829917e-03,8.841107e-03,8.919328e-03,8.955954e-03,9.000232e-03,9.056237e-03,9.072966e-03,9.137877e-03,9.142743e-03,9.195313e-03,9.216273e-03,9.245624e-03,9.277632e-03,9.289158e-03,9.326261e-03,9.327616e-03,9.357272e-03,9.367009e-03,9.382525e-03,9.396574e-03,9.402346e-03,9.417052e-03,9.426952e-03,9.429154e-03,9.432344e-03,9.433561e-03,9.433514e-03,9.430924e-03,9.430740e-03,9.424287e-03,9.421856e-03,9.414410e-03,9.406940e-03,9.401349e-03,9.386723e-03,9.385339e-03,9.366599e-03,9.361719e-03,9.345340e-03,9.332409e-03,9.321760e-03,9.299242e-03,9.296050e-03,9.268388e-03,9.262637e-03,9.238943e-03,9.222980e-03,9.207874e-03,9.180632e-03,9.175333e-03,9.141459e-03,9.135925e-03,9.106387e-03,9.089164e-03,9.070242e-03,9.040631e-03,9.033140e-03,8.995193e-03,8.990587e-03,8.956503e-03,8.939269e-03,8.917166e-03,8.886894e-03,8.877273e-03,8.836908e-03,8.833661e-03,8.796149e-03,8.779752e-03,8.755070e-03,8.725332e-03,8.713737e-03,8.672215e-03,8.670551e-03,8.630562e-03,8.615545e-03,8.588832e-03,8.560438e-03,8.547076e-03,8.505340e-03,8.450352e-03,8.395565e-03,8.341060e-03,8.286908e-03,8.233174e-03,8.179916e-03,8.127183e-03,8.075022e-03,8.023471e-03,7.972563e-03,7.922330e-03,7.872794e-03,7.823980e-03,7.775904e-03,7.728582e-03,7.682025e-03,7.636242e-03,7.591241e-03,7.547027e-03,7.503602e-03,7.460966e-03,7.419121e-03,7.378064e-03,7.337792e-03
0.000000e+00,1.254673e-10,4.692560e-10,3.249306e-09,1.144806e-08,2.022452e-08,6.780761e-08,7.079359e-08,1.819778e-07,2.283407e-07,3.869252e-07,5.709521e-07,7.248574e-07,1.192139e-06,1.241163e-06,1.985030e-06,2.202679e-06,3.001542e-06,3.701665e-06,4.319757e-06,5.733964e-06,5.944753e-06,7.858883e-06,8.273682e-06,1.002927e-05,1.124599e-05,1.241598e-05,1.455784e-05,1.497787e-05,1.767581e-05,1.811766e-05,2.047396e-05,2.184307e-05,2.334008e-05,2.566241e-05,2.624531e-05,2.916394e-05,2.951396e-05,3.207315e-05,3.334496e-05,3.495287e-05,3.711089e-05,3.778563e-05,4.055646e-05,4.077506e-05,4.325281e-05,4.430813e-05,4.586444e-05,4.768772e-05,4.838323e-05,5.080301e-05,5.089768e-05,5.311941e-05,5.392742e-05,5.532962e-05,5.677112e-05,5.743220e-05,5.942682e-05,6.131414e-05,6.189564e-05,6.309562e-05,6.418116e-05,6.477335e-05,6.628879e-05,6.634995e-05,6.782844e-05,6.822528e-05,6.921212e-05,6.999826e-05,7.050447e-05,7.161589e-05,7.170912e-05,7.282975e-05,7.308661e-05,7.387008e-05,7.441898e-05,7.483381e-05,7.562143e-05,7.572459e-05,7.654599e-05,7.670225e-05,7.730150e-05,7.766945e-05,7.799451e-05,7.853075e-05,7.862831e-05,7.920605e-05,7.929349e-05,7.973077e-05,7.996466e-05,8.020539e-05,8.055088e-05,8.063269e-05,8.101535e-05,8.105839e-05,8.135591e-05,8.149306e-05,8.165681e-05,8.186040e-05,8.192036e-05,8.214876e-05,8.216558e-05,8.234411e-05,8.241344e-05,8.250839e-05,8.260851e-05,8.264351e-05,8.275124e-05,8.275501e-05,8.283330e-05,8.285687e-05,8.289130e-05,8.291777e-05,8.292676e-05,8.294114e-05,8.293581e-05,8.293016e-05,8.291207e-05,8.288779e-05,8.287115e-05,8.281678e-05,8.281421e-05,8.274236e-05,8.271971e-05,8.265662e-05,8.259893e-05,8.255800e-05,8.245667e-05,8.244741e-05,8.232573e-05,8.229498e-05,8.219380e-05,8.211574e-05,8.205240e-05,8.192072e-05,8.190227e-05,8.174410e-05,8.171156e-05,8.157855e-05,8.148976e-05,8.140625e-05,8.125673e-05,8.122779e-05,8.104371e-05,8.101377e-05,8.085453e-05,8.076206e-05,8.066075e-05,8.050273e-05,8.046283e-05,8.026121e-05,8.023678e-05,8.005628e-05,7.996517e-05,7.984844e-05,7.968876e-05,7.963805e-05,7.942545e-05,7.940836e-05,7.921096e-05,7.912470e-05,7.899488e-05,7.883848e-05,7.877749e-05,7.855906e-05,7.855031e-05,7.833984e-05,7.826077e-05,7.812005e-05,7.797038e-05,7.789992e-05,7.767965e-05,7.738899e-05,7.709884e-05,7.680955e-05,7.652146e-05,7.623488e-05,7.595009e-05,7.566735e-05,7.538688e-05,7.510889e-05,7.483357e-05,7.456109e-05,7.429159e-05,7.402521e-05,7.376206e-05,7.350225e-05,7.324586e-05,7.299298e-05,7.274367e-05,7.249799e-05,7.225599e-05,7.201769e-05,7.178314e-05,7.155235e-05,7.132533e-05
0.000000e+00,8.788024e-11,2.900936e-10,1.592930e-09,4.672897e-09,7.540325e-09,2.056711e-08,2.130924e-08,4.614262e-08,5.550583e-08,8.516816e-08,1.166873e-07,1.414914e-07,2.112368e-07,2.181920e-07,3.180368e-07,3.456683e-07,4.427137e-07,5.233459e-07,5.918701e-07,7.413885e-07,7.629566e-07,9.522100e-07,9.918951e-07,1.155776e-06,1.266129e-06,1.370226e-06,1.556590e-06,1.592588e-06,1.820242e-06,1.856996e-06,2.050820e-06,2.161895e-06,2.282166e-06,2.466478e-06,2.512330e-06,2.739574e-06,2.766573e-06,2.962383e-06,3.058674e-06,3.179469e-06,3.339968e-06,3.389775e-06,3.592460e-06,3.608325e-06,3.786891e-06,3.862245e-06,3.972618e-06,4.100788e-06,4.149358e-06,4.316969e-06,4.323483e-06,4.475426e-06,4.530243e-06,4.624810e-06,4.721287e-06,4.765280e-06,4.897057e-06,5.020412e-06,5.058156e-06,5.135650e-06,5.205295e-06,5.243103e-06,5.339251e-06,5.343113e-06,5.436035e-06,5.460831e-06,5.522222e-06,5.570849e-06,5.602028e-06,5.670110e-06,5.675797e-06,5.743868e-06,5.759394e-06,5.806567e-06,5.839449e-06,5.864208e-06,5.910988e-06,5.917092e-06,5.965508e-06,5.974679e-06,6.009727e-06,6.031150e-06,6.050011e-06,6.080989e-06,6.086606e-06,6.119745e-06,6.124741e-06,6.149647e-06,6.162911e-06,6.176520e-06,6.195969e-06,6.200559e-06,6.221948e-06,6.224345e-06,6.240861e-06,6.248440e-06,6.257460e-06,6.268621e-06,6.271897e-06,6.284316e-06,6.285227e-06,6.294852e-06,6.298568e-06,6.303632e-06,6.308932e-06,6.310774e-06,6.316389e-06,6.316583e-06,6.320582e-06,6.321762e-06,6.323451e-06,6.324693e-06,6.325088e-06,6.325578e-06,6.325004e-06,6.324608e-06,6.323441e-06,6.321954e-06,6.320959e-06,6.317775e-06,6.317626e-06,6.313505e-06,6.312218e-06,6.308653e-06,6.305415e-06,6.303127e-06,6.297490e-06,6.296976e-06,6.290251e-06,6.288557e-06,6.282997e-06,6.278719e-06,6.275255e-06,6.268071e-06,6.267066e-06,6.258468e-06,6.256703e-06,6.249496e-06,6.244693e-06,6.240182e-06,6.232117e-06,6.230557e-06,6.220652e-06,6.219042e-06,6.210492e-06,6.205532e-06,6.200103e-06,6.191643e-06,6.189509e-06,6.178733e-06,6.177428e-06,6.167795e-06,6.162937e-06,6.156716e-06,6.148213e-06,6.145514e-06,6.134206e-06,6.133298e-06,6.122809e-06,6.118228e-06,6.111337e-06,6.103039e-06,6.099805e-06,6.088227e-06,6.087763e-06,6.076613e-06,6.072427e-06,6.064978e-06,6.057058e-06,6.053330e-06,6.041681e-06,6.026317e-06,6.010987e-06,5.995709e-06,5.980501e-06,5.965376e-06,5.950350e-06,5.935435e-06,5.920641e-06,5.905980e-06,5.891461e-06,5.877091e-06,5.862878e-06,5.848830e-06,5.834951e-06,5.821247e-06,5.807722e-06,5.794381e-06,5.781226e-06,5.768260e-06,5.755486e-06,5.742906e-06,5.730521e-06,5.718333e-06,5.706342e-06
0.000000e+00,1.207394e-10,4.424532e-10,2.938997e-09,9.976621e-09,1.727157e-08,5.495751e-08,5.725518e-08,1.396105e-07,1.726307e-07,2.817082e-07,4.027929e-07,5.006867e-07,7.842954e-07,8.130993e-07,1.234138e-06,1.352759e-06,1.775367e-06,2.133053e-06,2.441484e-06,3.128284e-06,3.228881e-06,4.127323e-06,4.319151e-06,5.122980e-06,5.674168e-06,6.200857e-06,7.158891e-06,7.346045e-06,8.544146e-06,8.739819e-06,9.781286e-06,1.038503e-05,1.104407e-05,1.206405e-05,1.231957e-05,1.359542e-05,1.374799e-05,1.485998e-05,1.541000e-05,1.610247e-05,1.702598e-05,1.731318e-05,1.848357e-05,1.857524e-05,1.960643e-05,2.004089e-05,2.067584e-05,2.141010e-05,2.168723e-05,2.263731e-05,2.267401e-05,2.352398e-05,2.382743e-05,2.434622e-05,2.486847e-05,2.510397e-05,2.579799e-05,2.642973e-05,2.661905e-05,2.700121e-05,2.733643e-05,2.751484e-05,2.795608e-05,2.797340e-05,2.837985e-05,2.848474e-05,2.873730e-05,2.892957e-05,2.904892e-05,2.929787e-05,2.931789e-05,2.954733e-05,2.959685e-05,2.974027e-05,2.983347e-05,2.989964e-05,3.001434e-05,3.002824e-05,3.012869e-05,3.014563e-05,3.020349e-05,3.023303e-05,3.025497e-05,3.028177e-05,3.028528e-05,3.029645e-05,3.029659e-05,3.029032e-05,3.028175e-05,3.026861e-05,3.024108e-05,3.023288e-05,3.018458e-05,3.017801e-05,3.012502e-05,3.009556e-05,3.005541e-05,2.999645e-05,2.997683e-05,2.989029e-05,2.988306e-05,2.979670e-05,2.975748e-05,2.969688e-05,2.962157e-05,2.959158e-05,2.948147e-05,2.947697e-05,2.936718e-05,2.932512e-05,2.924926e-05,2.916727e-05,2.912823e-05,2.900454e-05,2.887861e-05,2.883791e-05,2.875083e-05,2.866822e-05,2.862152e-05,2.849625e-05,2.849101e-05,2.835957e-05,2.832263e-05,2.822746e-05,2.814797e-05,2.809491e-05,2.797276e-05,2.796213e-05,2.782932e-05,2.779745e-05,2.769663e-05,2.762244e-05,2.756423e-05,2.744807e-05,2.743226e-05,2.730084e-05,2.727463e-05,2.717008e-05,2.710239e-05,2.704010e-05,2.693158e-05,2.691098e-05,2.678281e-05,2.676240e-05,2.665566e-05,2.659502e-05,2.652960e-05,2.642958e-05,2.640469e-05,2.628099e-05,2.626622e-05,2.615853e-05,2.610505e-05,2.603736e-05,2.594616e-05,2.591752e-05,2.579904e-05,2.578962e-05,2.568194e-05,2.563550e-05,2.556626e-05,2.548386e-05,2.545201e-05,2.533921e-05,2.533473e-05,2.522787e-05,2.518814e-05,2.511800e-05,2.504414e-05,2.500961e-05,2.490272e-05,2.476390e-05,2.462768e-05,2.449407e-05,2.436306e-05,2.423463e-05,2.410878e-05,2.398548e-05,2.386471e-05,2.374646e-05,2.363069e-05,2.351738e-05,2.340649e-05,2.329801e-05,2.319189e-05,2.308810e-05,2.298661e-05,2.288739e-05,2.279038e-05,2.269557e-05,2.260291e-05,2.251236e-05,2.242390e-05,2.233746e-05,2.225304e-05
0.000000e+00,7.220919e-11,2.734396e-10,1.939156e-09,6.964863e-09,1.242043e-08,4.247128e-08,4.437026e-08,1.153703e-07,1.449878e-07,2.458291e-07,3.615894e-07,4.572573e-07,7.416072e-07,7.709500e-07,1.206989e-06,1.331892e-06,1.783235e-06,2.172678e-06,2.513908e-06,3.291743e-06,3.407746e-06,4.466474e-06,4.697633e-06,5.684445e-06,6.376906e-06,7.049510e-06,8.297455e-06,8.544597e-06,1.014939e-05,1.041488e-05,1.184179e-05,1.267859e-05,1.359906e-05,1.503639e-05,1.539863e-05,1.721878e-05,1.743760e-05,1.903910e-05,1.983518e-05,2.084080e-05,2.218720e-05,2.260704e-05,2.432308e-05,2.445781e-05,2.597640e-05,2.661779e-05,2.755672e-05,2.864475e-05,2.905599e-05,3.046829e-05,3.052292e-05,3.178971e-05,3.224270e-05,3.301811e-05,3.379997e-05,3.415298e-05,3.519519e-05,3.614674e-05,3.643255e-05,3.701057e-05,3.751905e-05,3.779034e-05,3.846374e-05,3.849026e-05,3.911488e-05,3.927693e-05,3.966898e-05,3.996961e-05,4.015742e-05,4.055296e-05,4.058505e-05,4.095663e-05,4.103799e-05,4.127676e-05,4.143521e-05,4.154983e-05,4.175452e-05,4.178001e-05,4.197119e-05,4.200507e-05,4.212701e-05,4.219518e-05,4.225082e-05,4.233236e-05,4.234572e-05,4.241452e-05,4.242329e-05,4.245982e-05,4.247391e-05,4.248396e-05,4.248947e-05,4.248906e-05,4.247706e-05,4.247455e-05,4.244969e-05,4.243318e-05,4.240852e-05,4.236887e-05,4.235496e-05,4.229029e-05,4.228467e-05,4.221565e-05,4.218324e-05,4.213209e-05,4.206692e-05,4.204053e-05,4.194181e-05,4.193772e-05,4.183669e-05,4.179742e-05,4.172586e-05,4.164755e-05,4.160994e-05,4.148948e-05,4.136501e-05,4.132440e-05,4.123697e-05,4.115336e-05,4.110580e-05,4.097727e-05,4.097187e-05,4.083553e-05,4.079697e-05,4.069710e-05,4.061317e-05,4.055689e-05,4.042653e-05,4.041514e-05,4.027212e-05,4.023762e-05,4.012804e-05,4.004697e-05,3.998311e-05,3.985502e-05,3.983752e-05,3.969145e-05,3.966220e-05,3.954507e-05,3.946887e-05,3.939851e-05,3.927537e-05,3.925192e-05,3.910542e-05,3.908199e-05,3.895913e-05,3.888902e-05,3.881316e-05,3.869669e-05,3.866762e-05,3.852258e-05,3.850522e-05,3.837814e-05,3.831480e-05,3.823438e-05,3.812562e-05,3.809137e-05,3.794917e-05,3.793783e-05,3.780785e-05,3.775158e-05,3.766746e-05,3.756698e-05,3.752805e-05,3.738968e-05,3.738417e-05,3.725238e-05,3.720323e-05,3.711620e-05,3.702426e-05,3.698118e-05,3.684734e-05,3.667253e-05,3.649990e-05,3.632950e-05,3.616138e-05,3.599557e-05,3.583211e-05,3.567101e-05,3.551231e-05,3.535602e-05,3.520215e-05,3.505071e-05,3.490170e-05,3.475513e-05,3.461098e-05,3.446926e-05,3.432995e-05,3.419304e-05,3.405853e-05,3.392639e-05,3.379661e-05,3.366917e-05,3.354405e-05,3.342123e-05,3.330068e-05
0.000000e+00,2.142997e-10,7.874587e-10,5.257224e-09,1.791496e-08,3.107036e-08,9.921812e-08,1.033777e-07,2.525344e-07,3.123217e-07,5.095864e-07,7.280260e-07,9.041683e-07,1.412159e-06,1.463571e-06,2.212061e-06,2.422170e-06,3.169552e-06,3.802222e-06,4.348856e-06,5.571662e-06,5.751460e-06,7.363387e-06,7.708469e-06,9.154081e-06,1.014178e-05,1.108003e-05,1.276606e-05,1.309160e-05,1.513980e-05,1.546790e-05,1.718097e-05,1.814731e-05,1.917894e-05,2.072694e-05,2.110540e-05,2.293923e-05,2.315230e-05,2.466547e-05,2.538824e-05,2.627430e-05,2.741488e-05,2.776008e-05,2.912054e-05,2.922396e-05,3.035611e-05,3.081589e-05,3.146936e-05,3.219745e-05,3.246446e-05,3.334682e-05,3.337986e-05,3.412268e-05,3.437722e-05,3.479884e-05,3.520528e-05,3.538238e-05,3.588049e-05,3.630026e-05,3.641918e-05,3.664861e-05,3.683714e-05,3.693215e-05,3.714917e-05,3.715712e-05,3.732941e-05,3.736895e-05,3.745444e-05,3.750889e-05,3.753726e-05,3.758012e-05,3.758245e-05,3.759423e-05,3.759251e-05,3.757640e-05,3.755479e-05,3.753243e-05,3.747458e-05,3.746541e-05,3.737816e-05,3.735851e-05,3.727319e-05,3.721237e-05,3.715277e-05,3.704114e-05,3.701889e-05,3.687339e-05,3.684914e-05,3.671786e-05,3.664007e-05,3.655374e-05,3.641713e-05,3.638232e-05,3.620474e-05,3.618307e-05,3.602204e-05,3.594025e-05,3.583510e-05,3.569071e-05,3.564475e-05,3.545171e-05,3.543617e-05,3.525662e-05,3.517814e-05,3.506006e-05,3.491791e-05,3.486253e-05,3.466449e-05,3.465656e-05,3.446634e-05,3.439505e-05,3.426844e-05,3.413417e-05,3.407111e-05,3.387463e-05,3.367926e-05,3.361701e-05,3.348521e-05,3.336180e-05,3.329268e-05,3.310945e-05,3.310185e-05,3.291287e-05,3.286030e-05,3.272586e-05,3.261466e-05,3.254095e-05,3.237278e-05,3.235824e-05,3.217781e-05,3.213486e-05,3.199974e-05,3.190107e-05,3.182409e-05,3.167156e-05,3.165091e-05,3.148025e-05,3.144643e-05,3.131215e-05,3.122575e-05,3.114663e-05,3.100960e-05,3.098371e-05,3.082341e-05,3.079801e-05,3.066575e-05,3.059100e-05,3.051071e-05,3.038858e-05,3.035832e-05,3.020855e-05,3.019075e-05,3.006141e-05,2.999749e-05,2.991688e-05,2.980878e-05,2.977495e-05,2.963561e-05,2.962457e-05,2.949883e-05,2.944483e-05,2.936459e-05,2.926951e-05,2.923288e-05,2.910366e-05,2.909855e-05,2.897692e-05,2.893189e-05,2.885262e-05,2.876947e-05,2.873073e-05,2.861123e-05,2.845709e-05,2.830698e-05,2.816083e-05,2.801857e-05,2.788010e-05,2.774537e-05,2.761428e-05,2.748676e-05,2.736274e-05,2.724213e-05,2.712485e-05,2.701083e-05,2.689999e-05,2.679225e-05,2.668754e-05,2.658579e-05,2.648691e-05,2.639084e-05,2.629750e-05,2.620683e-05,2.611875e-05,2.603320e-05,2.595010e-05,2.586940e-05
0.000000e+00,7.110875e-12,1.623122e-11,5.556945e-11,1.262577e-10,1.843235e-10,4.213549e-10,4.342554e-10,8.543213e-10,1.010425e-09,1.504682e-09,2.030641e-09,2.442768e-09,3.572675e-09,3.682098e-09,5.178883e-09,5.569756e-09,6.875416e-09,7.895855e-09,8.728096e-09,1.046310e-08,1.070627e-08,1.278560e-08,1.321165e-08,1.494396e-08,1.609034e-08,1.715968e-08,1.904941e-08,1.941117e-08,2.167717e-08,2.203970e-08,2.393723e-08,2.501428e-08,2.617224e-08,2.793051e-08,2.836489e-08,3.049995e-08,3.075165e-08,3.256453e-08,3.344781e-08,3.454807e-08,3.599620e-08,3.644231e-08,3.824106e-08,3.838069e-08,3.994011e-08,4.059121e-08,4.153699e-08,4.262287e-08,4.303071e-08,4.442152e-08,4.447503e-08,4.571073e-08,4.615036e-08,4.690047e-08,4.765406e-08,4.799350e-08,4.899310e-08,4.990290e-08,5.017569e-08,5.072675e-08,5.121077e-08,5.146868e-08,5.210765e-08,5.213277e-08,5.272313e-08,5.287578e-08,5.324383e-08,5.352447e-08,5.369886e-08,5.406287e-08,5.409215e-08,5.442745e-08,5.449970e-08,5.470840e-08,5.484328e-08,5.493846e-08,5.510148e-08,5.512098e-08,5.525915e-08,5.528173e-08,5.535599e-08,5.539097e-08,5.541436e-08,5.543567e-08,5.543700e-08,5.542648e-08,5.542188e-08,5.538523e-08,5.535519e-08,5.531555e-08,5.524079e-08,5.521960e-08,5.509944e-08,5.508348e-08,5.495696e-08,5.488768e-08,5.479399e-08,5.465747e-08,5.461222e-08,5.441323e-08,5.439661e-08,5.419852e-08,5.410855e-08,5.396948e-08,5.379645e-08,5.372744e-08,5.347361e-08,5.346323e-08,5.320915e-08,5.311154e-08,5.293512e-08,5.274384e-08,5.265254e-08,5.236233e-08,5.206538e-08,5.196906e-08,5.176249e-08,5.156589e-08,5.145444e-08,5.115450e-08,5.114192e-08,5.082560e-08,5.073643e-08,5.050609e-08,5.031309e-08,5.018396e-08,4.988574e-08,4.985973e-08,4.953391e-08,4.945552e-08,4.920694e-08,4.902349e-08,4.887924e-08,4.859058e-08,4.855121e-08,4.822321e-08,4.815764e-08,4.789557e-08,4.772544e-08,4.756860e-08,4.729466e-08,4.724257e-08,4.691775e-08,4.686591e-08,4.659438e-08,4.643974e-08,4.627267e-08,4.601664e-08,4.595283e-08,4.563503e-08,4.559704e-08,4.531945e-08,4.518133e-08,4.500623e-08,4.476985e-08,4.469551e-08,4.438741e-08,4.436288e-08,4.408205e-08,4.396069e-08,4.377952e-08,4.356350e-08,4.347990e-08,4.318329e-08,4.317149e-08,4.288975e-08,4.278484e-08,4.259933e-08,4.240366e-08,4.231210e-08,4.202808e-08,4.165819e-08,4.129404e-08,4.093570e-08,4.058320e-08,4.023655e-08,3.989577e-08,3.956084e-08,3.923176e-08,3.890850e-08,3.859103e-08,3.827929e-08,3.797325e-08,3.767285e-08,3.737803e-08,3.708873e-08,3.680487e-08,3.652639e-08,3.625321e-08,3.598526e-08,3.572244e-08,3.546470e-08,3.521193e-08,3.496405e-08,3.472099e-08
0.000000e+00,8.370439e-12,1.912113e-11,6.554077e-11,1.489676e-10,2.174380e-10,4.960182e-10,5.111326e-10,1.000502e-09,1.181006e-09,1.747931e-09,2.344227e-09,2.807289e-09,4.065183e-09,4.186520e-09,5.846488e-09,6.281190e-09,7.739781e-09,8.887575e-09,9.828862e-09,1.180534e-08,1.208379e-08,1.447753e-08,1.497060e-08,1.698344e-08,1.832189e-08,1.957451e-08,2.179696e-08,2.222361e-08,2.490407e-08,2.533414e-08,2.759050e-08,2.887512e-08,3.025938e-08,3.236759e-08,3.288963e-08,3.546290e-08,3.576709e-08,3.796360e-08,3.903753e-08,4.037899e-08,4.215140e-08,4.269908e-08,4.491633e-08,4.508909e-08,4.702542e-08,4.783797e-08,4.902301e-08,5.039123e-08,5.090741e-08,5.267832e-08,5.274681e-08,5.433659e-08,5.490631e-08,5.588398e-08,5.687411e-08,5.732296e-08,5.865659e-08,5.988831e-08,6.026154e-08,6.102185e-08,6.169760e-08,6.206115e-08,6.297400e-08,6.301029e-08,6.387338e-08,6.410018e-08,6.465452e-08,6.508555e-08,6.535775e-08,6.593936e-08,6.598708e-08,6.654641e-08,6.667066e-08,6.703954e-08,6.728815e-08,6.747014e-08,6.780016e-08,6.784176e-08,6.815781e-08,6.821464e-08,6.842157e-08,6.853911e-08,6.863619e-08,6.878069e-08,6.880467e-08,6.892988e-08,6.894608e-08,6.901456e-08,6.904157e-08,6.906131e-08,6.907307e-08,6.907261e-08,6.905083e-08,6.904610e-08,6.899820e-08,6.896582e-08,6.891684e-08,6.883704e-08,6.880877e-08,6.867590e-08,6.866426e-08,6.852004e-08,6.845164e-08,6.834289e-08,6.820307e-08,6.814606e-08,6.793110e-08,6.792214e-08,6.769943e-08,6.761220e-08,6.745242e-08,6.727635e-08,6.719135e-08,6.691744e-08,6.663181e-08,6.653812e-08,6.633556e-08,6.614084e-08,6.602968e-08,6.572786e-08,6.571512e-08,6.539279e-08,6.530125e-08,6.506351e-08,6.486294e-08,6.472808e-08,6.441469e-08,6.438724e-08,6.404167e-08,6.395810e-08,6.369203e-08,6.349469e-08,6.333893e-08,6.302579e-08,6.298293e-08,6.262458e-08,6.255266e-08,6.226435e-08,6.207645e-08,6.190272e-08,6.159819e-08,6.154012e-08,6.117696e-08,6.111883e-08,6.081361e-08,6.063923e-08,6.045041e-08,6.016019e-08,6.008770e-08,5.972577e-08,5.968240e-08,5.936490e-08,5.920652e-08,5.900535e-08,5.873312e-08,5.864736e-08,5.829115e-08,5.826273e-08,5.793692e-08,5.779582e-08,5.758485e-08,5.733280e-08,5.723512e-08,5.688789e-08,5.687405e-08,5.654329e-08,5.641991e-08,5.620146e-08,5.597065e-08,5.586251e-08,5.552655e-08,5.508783e-08,5.465467e-08,5.422725e-08,5.380571e-08,5.339017e-08,5.298072e-08,5.257744e-08,5.218038e-08,5.178960e-08,5.140512e-08,5.102695e-08,5.065509e-08,5.028954e-08,4.993028e-08,4.957728e-08,4.923050e-08,4.888990e-08,4.855543e-08,4.822704e-08,4.790465e-08,4.758821e-08,4.727765e-08,4.697289e-08,4.667386e-08
0.000000e+00,4.642311e-10,1.535407e-09,8.470525e-09,2.499208e-08,4.049473e-08,1.121522e-07,1.162910e-07,2.580512e-07,3.130779e-07,4.927489e-07,6.919865e-07,8.542783e-07,1.332715e-06,1.381954e-06,2.110499e-06,2.317298e-06,3.052210e-06,3.666364e-06,4.187140e-06,5.312889e-06,5.473771e-06,6.867524e-06,7.155701e-06,8.331377e-06,9.110719e-06,9.837463e-06,1.111987e-05,1.136502e-05,1.289799e-05,1.314287e-05,1.442333e-05,1.514949e-05,1.593004e-05,1.711560e-05,1.740867e-05,1.885112e-05,1.902145e-05,2.025053e-05,2.085112e-05,2.160119e-05,2.259223e-05,2.289853e-05,2.413907e-05,2.423577e-05,2.532031e-05,2.577582e-05,2.644066e-05,2.720914e-05,2.749934e-05,2.849624e-05,2.853483e-05,2.943184e-05,2.975383e-05,3.030713e-05,3.086855e-05,3.112346e-05,3.188249e-05,3.258611e-05,3.279990e-05,3.323638e-05,3.362556e-05,3.383548e-05,3.436454e-05,3.438564e-05,3.488913e-05,3.502206e-05,3.534823e-05,3.560333e-05,3.576520e-05,3.611350e-05,3.614225e-05,3.648154e-05,3.655758e-05,3.678517e-05,3.694039e-05,3.705517e-05,3.726652e-05,3.729351e-05,3.750204e-05,3.754033e-05,3.768257e-05,3.776595e-05,3.783681e-05,3.794726e-05,3.796641e-05,3.807290e-05,3.808790e-05,3.815778e-05,3.819126e-05,3.822245e-05,3.826053e-05,3.826824e-05,3.829640e-05,3.829865e-05,3.830814e-05,3.830839e-05,3.830457e-05,3.829229e-05,3.828678e-05,3.825576e-05,3.825274e-05,3.821247e-05,3.819191e-05,3.815779e-05,3.811186e-05,3.809259e-05,3.801766e-05,3.801447e-05,3.793374e-05,3.790147e-05,3.784155e-05,3.777448e-05,3.774175e-05,3.763497e-05,3.752179e-05,3.748432e-05,3.740278e-05,3.732379e-05,3.727845e-05,3.715454e-05,3.714929e-05,3.701576e-05,3.697765e-05,3.687829e-05,3.679409e-05,3.673729e-05,3.660477e-05,3.659313e-05,3.644617e-05,3.641052e-05,3.629675e-05,3.621211e-05,3.614517e-05,3.601022e-05,3.599172e-05,3.583669e-05,3.580551e-05,3.568032e-05,3.559856e-05,3.552285e-05,3.538990e-05,3.536451e-05,3.520550e-05,3.518001e-05,3.504602e-05,3.496936e-05,3.488625e-05,3.475834e-05,3.472635e-05,3.456649e-05,3.454732e-05,3.440680e-05,3.433663e-05,3.424743e-05,3.412659e-05,3.408849e-05,3.393011e-05,3.391746e-05,3.377238e-05,3.370950e-05,3.361542e-05,3.350292e-05,3.345930e-05,3.330412e-05,3.329794e-05,3.314996e-05,3.309472e-05,3.299687e-05,3.289343e-05,3.284494e-05,3.269422e-05,3.249720e-05,3.230250e-05,3.211020e-05,3.192040e-05,3.173317e-05,3.154856e-05,3.136664e-05,3.118744e-05,3.101100e-05,3.083735e-05,3.066651e-05,3.049849e-05,3.033331e-05,3.017097e-05,3.001146e-05,2.985478e-05,2.970093e-05,2.954988e-05,2.940162e-05,2.925614e-05,2.911341e-05,2.897341e-05,2.883611e-05,2.870148e-05
0.000000e+00,5.650285e-10,1.486887e-09,5.931404e-09,1.443240e-08,2.156324e-08,5.082119e-08,5.240538e-08,1.030574e-07,1.213937e-07,1.779274e-07,2.362499e-07,2.812591e-07,4.048222e-07,4.169480e-07,5.880341e-07,6.345545e-07,7.957534e-07,9.275594e-07,1.038307e-06,1.276348e-06,1.310292e-06,1.603883e-06,1.664470e-06,1.911047e-06,2.073815e-06,2.224978e-06,2.489979e-06,2.540354e-06,2.853045e-06,2.902598e-06,3.159793e-06,3.304138e-06,3.458006e-06,3.689039e-06,3.745636e-06,4.021099e-06,4.053277e-06,4.283223e-06,4.394113e-06,4.531204e-06,4.709900e-06,4.764553e-06,4.983047e-06,4.999884e-06,5.186692e-06,5.264029e-06,5.375674e-06,5.502843e-06,5.550324e-06,5.711082e-06,5.717230e-06,5.858469e-06,5.908366e-06,5.993064e-06,6.077594e-06,6.115481e-06,6.226352e-06,6.326318e-06,6.356108e-06,6.416013e-06,6.468315e-06,6.496060e-06,6.564395e-06,6.567069e-06,6.629634e-06,6.645716e-06,6.684321e-06,6.713578e-06,6.731671e-06,6.769196e-06,6.772199e-06,6.806391e-06,6.813707e-06,6.834711e-06,6.848169e-06,6.857594e-06,6.873557e-06,6.875447e-06,6.888657e-06,6.890773e-06,6.897583e-06,6.900645e-06,6.902564e-06,6.903931e-06,6.903916e-06,6.901936e-06,6.901328e-06,6.896899e-06,6.893473e-06,6.889065e-06,6.880944e-06,6.878672e-06,6.865947e-06,6.864274e-06,6.851099e-06,6.843943e-06,6.834321e-06,6.820392e-06,6.815796e-06,6.795691e-06,6.794019e-06,6.774164e-06,6.765188e-06,6.751361e-06,6.734228e-06,6.727416e-06,6.702454e-06,6.701436e-06,6.676593e-06,6.667084e-06,6.649941e-06,6.631416e-06,6.622596e-06,6.594653e-06,6.566196e-06,6.556994e-06,6.537304e-06,6.518620e-06,6.508052e-06,6.479693e-06,6.478506e-06,6.448730e-06,6.440359e-06,6.418780e-06,6.400749e-06,6.388710e-06,6.360981e-06,6.358568e-06,6.328400e-06,6.321160e-06,6.298245e-06,6.281379e-06,6.268143e-06,6.241723e-06,6.238127e-06,6.208229e-06,6.202266e-06,6.178478e-06,6.163075e-06,6.148901e-06,6.124207e-06,6.119520e-06,6.090358e-06,6.085714e-06,6.061434e-06,6.047641e-06,6.032766e-06,6.010027e-06,6.004370e-06,5.976260e-06,5.972907e-06,5.948449e-06,5.936310e-06,5.920949e-06,5.900262e-06,5.893768e-06,5.866916e-06,5.864782e-06,5.840401e-06,5.829890e-06,5.814228e-06,5.795600e-06,5.788405e-06,5.762935e-06,5.761923e-06,5.737822e-06,5.728869e-06,5.713070e-06,5.696445e-06,5.688680e-06,5.664655e-06,5.633502e-06,5.602988e-06,5.573112e-06,5.543872e-06,5.515266e-06,5.487289e-06,5.459937e-06,5.433204e-06,5.407083e-06,5.381569e-06,5.356652e-06,5.332325e-06,5.308579e-06,5.285405e-06,5.262794e-06,5.240737e-06,5.219223e-06,5.198244e-06,5.177788e-06,5.157846e-06,5.138408e-06,5.119464e-06,5.101003e-06,5.083016e-06
0.000000e+00,1.005127e-11,2.300797e-11,7.902902e-11,1.796589e-10,2.620859e-10,5.954856e-10,6.134802e-10,1.191290e-09,1.402429e-09,2.061852e-09,2.756274e-09,3.301984e-09,4.841189e-09,4.995229e-09,7.215676e-09,7.832103e-09,9.997083e-09,1.179017e-08,1.330650e-08,1.658465e-08,1.705382e-08,2.113018e-08,2.197601e-08,2.543808e-08,2.774326e-08,2.990018e-08,3.372320e-08,3.445645e-08,3.905894e-08,3.979688e-08,4.366775e-08,4.587195e-08,4.824848e-08,5.187241e-08,5.277091e-08,5.720844e-08,5.773410e-08,6.153775e-08,6.340308e-08,6.573878e-08,6.883528e-08,6.979467e-08,7.369166e-08,7.399621e-08,7.741897e-08,7.886050e-08,8.096861e-08,8.341119e-08,8.433514e-08,8.751542e-08,8.763873e-08,9.050832e-08,9.153995e-08,9.331442e-08,9.511688e-08,9.593581e-08,9.837586e-08,1.006389e-07,1.013265e-07,1.027301e-07,1.039808e-07,1.046550e-07,1.063523e-07,1.064199e-07,1.080313e-07,1.084558e-07,1.094957e-07,1.103067e-07,1.108200e-07,1.119203e-07,1.120109e-07,1.130750e-07,1.133123e-07,1.140191e-07,1.144978e-07,1.148497e-07,1.154916e-07,1.155729e-07,1.161950e-07,1.163078e-07,1.167218e-07,1.169601e-07,1.171592e-07,1.174613e-07,1.175124e-07,1.177868e-07,1.178237e-07,1.179874e-07,1.180589e-07,1.181190e-07,1.181776e-07,1.181860e-07,1.181930e-07,1.181900e-07,1.181439e-07,1.181056e-07,1.180427e-07,1.179333e-07,1.178931e-07,1.176987e-07,1.176813e-07,1.174627e-07,1.173574e-07,1.171883e-07,1.169686e-07,1.168785e-07,1.165361e-07,1.165217e-07,1.161637e-07,1.160228e-07,1.157638e-07,1.154775e-07,1.153389e-07,1.148911e-07,1.144224e-07,1.142684e-07,1.139350e-07,1.136140e-07,1.134306e-07,1.129320e-07,1.129110e-07,1.123777e-07,1.122262e-07,1.118324e-07,1.115000e-07,1.112765e-07,1.107567e-07,1.107112e-07,1.101379e-07,1.099993e-07,1.095578e-07,1.092303e-07,1.089719e-07,1.084523e-07,1.083812e-07,1.077868e-07,1.076676e-07,1.071896e-07,1.068781e-07,1.065902e-07,1.060858e-07,1.059897e-07,1.053886e-07,1.052924e-07,1.047876e-07,1.044993e-07,1.041873e-07,1.037081e-07,1.035884e-07,1.029914e-07,1.029199e-07,1.023967e-07,1.021359e-07,1.018048e-07,1.013571e-07,1.012161e-07,1.006311e-07,1.005844e-07,1.000500e-07,9.981874e-08,9.947318e-08,9.906070e-08,9.890096e-08,9.833357e-08,9.831098e-08,9.777128e-08,9.757014e-08,9.721429e-08,9.683868e-08,9.666282e-08,9.611702e-08,9.540554e-08,9.470456e-08,9.401434e-08,9.333510e-08,9.266702e-08,9.201024e-08,9.136487e-08,9.073098e-08,9.010862e-08,8.949781e-08,8.889854e-08,8.831078e-08,8.773450e-08,8.716962e-08,8.661608e-08,8.607377e-08,8.554260e-08,8.502244e-08,8.451318e-08,8.401468e-08,8.352680e-08,8.304939e-08,8.258229e-08,8.212536e-08
0.000000e+00,7.001273e-11,2.518579e-10,1.615335e-09,5.330965e-09,9.100481e-09,2.805151e-08,2.919027e-08,6.937903e-08,8.526857e-08,1.372380e-07,1.943129e-07,2.401352e-07,3.717505e-07,3.850399e-07,5.779794e-07,6.319494e-07,8.231824e-07,9.841627e-07,1.122675e-06,1.431324e-06,1.476653e-06,1.884114e-06,1.971878e-06,2.343274e-06,2.601698e-06,2.851744e-06,3.314818e-06,3.406566e-06,4.004213e-06,4.103546e-06,4.640617e-06,4.958538e-06,5.311228e-06,5.869033e-06,6.011100e-06,6.735004e-06,6.823233e-06,7.477552e-06,7.808780e-06,8.233320e-06,8.813254e-06,8.996969e-06,9.763353e-06,9.824634e-06,1.052761e-05,1.083169e-05,1.128522e-05,1.182427e-05,1.203209e-05,1.276456e-05,1.279351e-05,1.347944e-05,1.373195e-05,1.417401e-05,1.463354e-05,1.484600e-05,1.549357e-05,1.611532e-05,1.630865e-05,1.671020e-05,1.707649e-05,1.727751e-05,1.779583e-05,1.781686e-05,1.832812e-05,1.846625e-05,1.881140e-05,1.908806e-05,1.926701e-05,1.966211e-05,1.969540e-05,2.009718e-05,2.018973e-05,2.047307e-05,2.067255e-05,2.082386e-05,2.111247e-05,2.115041e-05,2.145362e-05,2.151154e-05,2.173444e-05,2.187193e-05,2.199381e-05,2.219581e-05,2.223270e-05,2.245205e-05,2.248540e-05,2.265282e-05,2.274286e-05,2.283593e-05,2.297032e-05,2.300229e-05,2.315278e-05,2.316981e-05,2.328825e-05,2.334331e-05,2.340952e-05,2.349268e-05,2.351738e-05,2.361260e-05,2.361969e-05,2.369590e-05,2.372603e-05,2.376797e-05,2.381328e-05,2.382947e-05,2.388104e-05,2.388290e-05,2.392327e-05,2.393630e-05,2.395673e-05,2.397475e-05,2.398197e-05,2.399949e-05,2.400978e-05,2.401162e-05,2.401330e-05,2.401220e-05,2.401049e-05,2.400221e-05,2.400175e-05,2.398748e-05,2.398254e-05,2.396804e-05,2.395405e-05,2.394379e-05,2.391749e-05,2.391503e-05,2.388210e-05,2.387361e-05,2.384528e-05,2.382306e-05,2.380484e-05,2.376647e-05,2.376104e-05,2.371414e-05,2.370441e-05,2.366436e-05,2.363741e-05,2.361192e-05,2.356596e-05,2.355702e-05,2.349986e-05,2.349052e-05,2.344063e-05,2.341151e-05,2.337949e-05,2.332931e-05,2.331660e-05,2.325213e-05,2.324429e-05,2.318620e-05,2.315678e-05,2.311897e-05,2.306707e-05,2.305055e-05,2.298107e-05,2.297547e-05,2.291064e-05,2.288222e-05,2.283936e-05,2.278758e-05,2.276734e-05,2.269467e-05,2.269175e-05,2.262144e-05,2.259496e-05,2.254773e-05,2.249738e-05,2.247362e-05,2.239919e-05,2.230055e-05,2.220162e-05,2.210251e-05,2.200337e-05,2.190431e-05,2.180542e-05,2.170681e-05,2.160856e-05,2.151076e-05,2.141348e-05,2.131678e-05,2.122073e-05,2.112539e-05,2.103079e-05,2.093700e-05,2.084404e-05,2.075195e-05,2.066078e-05,2.057054e-05,2.048127e-05,2.039299e-05,2.030571e-05,2.021946e-05,2.013424e-05
0.000000e+00,1.381319e-11,3.163467e-11,1.089116e-10,2.486522e-10,3.640036e-10,8.384871e-10,8.644448e-10,1.715170e-09,2.033526e-09,3.047607e-09,4.135772e-09,4.994747e-09,7.377318e-09,7.610016e-09,1.081960e-08,1.166405e-08,1.449687e-08,1.671961e-08,1.853602e-08,2.232943e-08,2.286162e-08,2.741644e-08,2.835052e-08,3.215150e-08,3.466976e-08,3.702123e-08,4.118373e-08,4.198174e-08,4.699077e-08,4.779401e-08,5.200833e-08,5.440880e-08,5.699745e-08,6.094580e-08,6.192490e-08,6.676163e-08,6.733473e-08,7.148302e-08,7.351848e-08,7.606864e-08,7.945276e-08,8.050223e-08,8.477142e-08,8.510556e-08,8.886723e-08,9.045558e-08,9.278371e-08,9.549057e-08,9.651751e-08,1.000675e-07,1.002056e-07,1.034342e-07,1.046017e-07,1.066197e-07,1.086840e-07,1.096273e-07,1.124611e-07,1.151258e-07,1.159437e-07,1.176269e-07,1.191443e-07,1.199699e-07,1.220760e-07,1.221608e-07,1.242055e-07,1.247527e-07,1.261102e-07,1.271883e-07,1.278808e-07,1.293965e-07,1.295234e-07,1.310437e-07,1.313910e-07,1.324475e-07,1.331848e-07,1.337403e-07,1.347906e-07,1.349277e-07,1.360148e-07,1.362206e-07,1.370066e-07,1.374863e-07,1.379081e-07,1.385988e-07,1.387238e-07,1.394583e-07,1.395686e-07,1.401159e-07,1.404054e-07,1.407007e-07,1.411187e-07,1.412166e-07,1.416674e-07,1.417173e-07,1.420567e-07,1.422094e-07,1.423879e-07,1.426027e-07,1.426642e-07,1.428889e-07,1.429047e-07,1.430648e-07,1.431222e-07,1.431948e-07,1.432615e-07,1.432817e-07,1.433278e-07,1.433289e-07,1.433358e-07,1.433297e-07,1.433078e-07,1.432695e-07,1.432462e-07,1.431530e-07,1.430301e-07,1.429849e-07,1.428796e-07,1.427695e-07,1.427031e-07,1.425108e-07,1.425024e-07,1.422790e-07,1.422127e-07,1.420346e-07,1.418785e-07,1.417706e-07,1.415115e-07,1.414883e-07,1.411890e-07,1.411148e-07,1.408741e-07,1.406913e-07,1.405446e-07,1.402435e-07,1.402017e-07,1.398464e-07,1.397740e-07,1.394797e-07,1.392849e-07,1.391027e-07,1.387785e-07,1.387160e-07,1.383207e-07,1.382567e-07,1.379174e-07,1.377213e-07,1.375070e-07,1.371741e-07,1.370902e-07,1.366676e-07,1.366166e-07,1.362399e-07,1.360503e-07,1.358077e-07,1.354765e-07,1.353715e-07,1.349319e-07,1.348966e-07,1.344894e-07,1.343117e-07,1.340445e-07,1.337228e-07,1.335975e-07,1.331490e-07,1.331311e-07,1.326994e-07,1.325373e-07,1.322489e-07,1.319423e-07,1.317980e-07,1.313470e-07,1.307520e-07,1.301581e-07,1.295657e-07,1.289756e-07,1.283882e-07,1.278039e-07,1.272233e-07,1.266467e-07,1.260744e-07,1.255068e-07,1.249441e-07,1.243867e-07,1.238348e-07,1.232886e-07,1.227482e-07,1.222139e-07,1.216858e-07,1.211640e-07,1.206486e-07,1.201398e-07,1.196376e-07,1.191420e-07,1.186532e-07,1.181712e-07
0.000000e+00,2.509397e-10,7.851173e-10,3.957088e-09,1.098373e-08,1.731280e-08,4.518700e-08,4.675277e-08,9.862495e-08,1.180541e-07,1.795129e-07,2.449101e-07,2.965347e-07,4.425802e-07,4.572120e-07,6.682401e-07,7.268679e-07,9.331495e-07,1.104822e-06,1.250938e-06,1.571000e-06,1.617367e-06,2.027242e-06,2.113989e-06,2.475659e-06,2.722596e-06,2.958230e-06,3.387011e-06,3.470898e-06,4.009735e-06,4.098117e-06,4.570830e-06,4.846905e-06,5.150240e-06,5.624293e-06,5.744005e-06,6.348196e-06,6.421215e-06,6.958967e-06,7.228831e-06,7.572622e-06,8.038772e-06,8.185671e-06,8.794872e-06,8.843351e-06,9.397264e-06,9.635709e-06,9.990192e-06,1.040992e-05,1.057132e-05,1.113862e-05,1.116100e-05,1.169039e-05,1.188495e-05,1.222521e-05,1.257861e-05,1.274194e-05,1.323969e-05,1.371782e-05,1.386660e-05,1.417587e-05,1.445836e-05,1.461358e-05,1.501454e-05,1.503084e-05,1.542769e-05,1.553516e-05,1.580426e-05,1.602058e-05,1.616082e-05,1.647145e-05,1.649768e-05,1.681525e-05,1.688864e-05,1.711396e-05,1.727319e-05,1.739431e-05,1.762625e-05,1.765683e-05,1.790207e-05,1.794909e-05,1.813058e-05,1.824300e-05,1.834296e-05,1.850930e-05,1.853976e-05,1.872159e-05,1.874933e-05,1.888901e-05,1.896442e-05,1.904260e-05,1.915589e-05,1.918292e-05,1.931054e-05,1.932503e-05,1.942600e-05,1.947309e-05,1.952983e-05,1.960129e-05,1.962256e-05,1.970468e-05,1.971081e-05,1.977670e-05,1.980278e-05,1.983908e-05,1.987830e-05,1.989230e-05,1.993679e-05,1.993839e-05,1.997299e-05,1.998407e-05,2.000132e-05,2.001629e-05,2.002217e-05,2.003594e-05,2.004300e-05,2.004391e-05,2.004371e-05,2.004099e-05,2.003841e-05,2.002798e-05,2.002744e-05,2.001110e-05,2.000561e-05,1.998971e-05,1.997458e-05,1.996357e-05,1.993555e-05,1.993294e-05,1.989810e-05,1.988914e-05,1.985931e-05,1.983595e-05,1.981681e-05,1.977654e-05,1.977085e-05,1.972163e-05,1.971142e-05,1.966939e-05,1.964109e-05,1.961432e-05,1.956603e-05,1.955663e-05,1.949649e-05,1.948666e-05,1.943410e-05,1.940339e-05,1.936961e-05,1.931662e-05,1.930320e-05,1.923501e-05,1.922671e-05,1.916520e-05,1.913400e-05,1.909390e-05,1.903881e-05,1.902125e-05,1.894738e-05,1.894142e-05,1.887241e-05,1.884214e-05,1.879645e-05,1.874121e-05,1.871961e-05,1.864199e-05,1.863887e-05,1.856370e-05,1.853537e-05,1.848482e-05,1.843090e-05,1.840545e-05,1.832567e-05,1.821985e-05,1.811362e-05,1.800715e-05,1.790056e-05,1.779400e-05,1.768760e-05,1.758146e-05,1.747571e-05,1.737042e-05,1.726570e-05,1.716163e-05,1.705828e-05,1.695572e-05,1.685401e-05,1.675321e-05,1.665337e-05,1.655453e-05,1.645674e-05,1.636004e-05,1.626445e-05,1.617001e-05,1.607673e-05,1.598464e-05,1.589376e-05
0.000000e+00,1.718092e-10,6.711804e-10,5.078193e-09,1.935130e-08,3.565071e-08,1.326154e-07,1.390205e-07,3.929922e-07,5.052151e-07,9.067859e-07,1.396451e-06,1.819414e-06,3.153386e-06,3.296657e-06,5.527205e-06,6.197311e-06,8.718023e-06,1.100579e-05,1.308844e-05,1.808801e-05,1.886232e-05,2.625841e-05,2.795060e-05,3.548061e-05,4.105896e-05,4.670971e-05,5.780501e-05,6.009742e-05,7.576271e-05,7.848664e-05,9.378982e-05,1.032974e-04,1.142275e-04,1.323233e-04,1.370890e-04,1.623531e-04,1.655440e-04,1.899654e-04,2.028377e-04,2.198400e-04,2.439880e-04,2.518620e-04,2.858900e-04,2.886941e-04,3.217594e-04,3.365820e-04,3.592855e-04,3.872177e-04,3.982671e-04,4.384902e-04,4.401218e-04,4.797315e-04,4.947838e-04,5.217626e-04,5.506770e-04,5.643526e-04,6.072724e-04,6.502972e-04,6.640515e-04,6.932094e-04,7.205175e-04,7.358010e-04,7.762051e-04,7.778758e-04,8.192510e-04,8.306874e-04,8.597583e-04,8.835821e-04,8.992454e-04,9.345548e-04,9.375757e-04,9.746296e-04,9.833207e-04,1.010304e-03,1.029645e-03,1.044511e-03,1.073343e-03,1.077180e-03,1.108255e-03,1.114275e-03,1.137694e-03,1.152346e-03,1.165469e-03,1.187502e-03,1.191564e-03,1.215975e-03,1.219725e-03,1.238709e-03,1.249030e-03,1.259781e-03,1.275458e-03,1.279216e-03,1.297044e-03,1.299077e-03,1.313303e-03,1.319972e-03,1.328038e-03,1.338245e-03,1.341294e-03,1.353124e-03,1.354011e-03,1.363583e-03,1.367394e-03,1.372725e-03,1.378526e-03,1.380611e-03,1.387298e-03,1.387541e-03,1.392846e-03,1.394576e-03,1.397314e-03,1.399766e-03,1.400762e-03,1.403247e-03,1.404827e-03,1.405150e-03,1.405557e-03,1.405604e-03,1.405492e-03,1.404730e-03,1.404684e-03,1.403185e-03,1.402648e-03,1.401043e-03,1.399470e-03,1.398306e-03,1.395300e-03,1.395018e-03,1.391222e-03,1.390240e-03,1.386960e-03,1.384384e-03,1.382270e-03,1.377818e-03,1.377189e-03,1.371752e-03,1.370625e-03,1.365992e-03,1.362880e-03,1.359941e-03,1.354654e-03,1.353627e-03,1.347079e-03,1.346011e-03,1.340322e-03,1.337012e-03,1.333380e-03,1.327709e-03,1.326277e-03,1.319033e-03,1.318155e-03,1.311668e-03,1.308393e-03,1.304200e-03,1.298467e-03,1.296647e-03,1.289026e-03,1.288413e-03,1.281349e-03,1.278266e-03,1.273632e-03,1.268057e-03,1.265887e-03,1.258125e-03,1.257814e-03,1.250358e-03,1.247562e-03,1.242595e-03,1.237324e-03,1.234846e-03,1.227119e-03,1.216965e-03,1.206879e-03,1.196875e-03,1.186964e-03,1.177158e-03,1.167467e-03,1.157898e-03,1.148458e-03,1.139155e-03,1.129991e-03,1.120973e-03,1.112102e-03,1.103383e-03,1.094816e-03,1.086403e-03,1.078146e-03,1.070045e-03,1.062100e-03,1.054311e-03,1.046676e-03,1.039196e-03,1.031870e-03,1.024695e-03,1.017670e-03
0.000000e+00,1.172559e-10,2.718079e-10,9.491563e-10,2.180998e-09,3.198055e-09,7.356220e-09,7.582202e-09,1.489945e-08,1.759719e-08,2.607925e-08,3.506262e-08,4.212319e-08,6.183445e-08,6.378092e-08,9.118327e-08,9.857974e-08,1.239790e-07,1.445325e-07,1.617249e-07,1.987404e-07,2.040508e-07,2.506489e-07,2.604557e-07,3.012289e-07,3.290045e-07,3.554873e-07,4.036645e-07,4.130913e-07,4.736767e-07,4.836211e-07,5.368510e-07,5.679738e-07,6.022022e-07,6.557667e-07,6.693078e-07,7.377454e-07,7.460277e-07,8.071019e-07,8.378072e-07,8.769818e-07,9.302109e-07,9.470135e-07,1.016854e-06,1.022424e-06,1.086193e-06,1.113725e-06,1.154753e-06,1.203495e-06,1.222289e-06,1.288589e-06,1.291213e-06,1.353476e-06,1.376460e-06,1.416800e-06,1.458905e-06,1.478440e-06,1.538297e-06,1.596297e-06,1.614455e-06,1.652386e-06,1.687261e-06,1.706524e-06,1.756637e-06,1.758685e-06,1.808856e-06,1.822547e-06,1.857036e-06,1.884990e-06,1.903231e-06,1.943991e-06,1.947457e-06,1.989737e-06,1.999598e-06,2.030102e-06,2.051885e-06,2.068593e-06,2.100946e-06,2.105249e-06,2.140106e-06,2.146865e-06,2.173208e-06,2.189742e-06,2.204598e-06,2.229674e-06,2.234319e-06,2.262417e-06,2.266766e-06,2.288939e-06,2.301124e-06,2.313931e-06,2.332854e-06,2.337439e-06,2.359508e-06,2.362061e-06,2.380184e-06,2.388851e-06,2.399512e-06,2.413328e-06,2.417537e-06,2.434305e-06,2.435593e-06,2.449857e-06,2.455747e-06,2.464237e-06,2.473888e-06,2.477487e-06,2.489647e-06,2.490111e-06,2.500758e-06,2.504509e-06,2.510859e-06,2.517171e-06,2.519989e-06,2.528185e-06,2.535483e-06,2.537634e-06,2.541919e-06,2.545602e-06,2.547528e-06,2.552165e-06,2.552343e-06,2.556397e-06,2.557400e-06,2.559722e-06,2.561380e-06,2.562349e-06,2.564175e-06,2.564308e-06,2.565628e-06,2.565853e-06,2.566337e-06,2.566477e-06,2.566462e-06,2.566111e-06,2.566031e-06,2.565068e-06,2.564814e-06,2.563599e-06,2.562642e-06,2.561647e-06,2.559651e-06,2.559235e-06,2.556387e-06,2.555893e-06,2.553124e-06,2.551417e-06,2.549467e-06,2.546271e-06,2.545436e-06,2.541050e-06,2.540501e-06,2.536329e-06,2.534150e-06,2.531290e-06,2.527259e-06,2.525952e-06,2.520330e-06,2.519869e-06,2.514442e-06,2.512016e-06,2.508303e-06,2.503736e-06,2.501929e-06,2.495332e-06,2.495064e-06,2.488529e-06,2.486031e-06,2.481532e-06,2.476669e-06,2.474353e-06,2.467006e-06,2.457071e-06,2.446888e-06,2.436484e-06,2.425881e-06,2.415103e-06,2.404169e-06,2.393101e-06,2.381916e-06,2.370632e-06,2.359266e-06,2.347834e-06,2.336351e-06,2.324830e-06,2.313285e-06,2.301728e-06,2.290170e-06,2.278622e-06,2.267095e-06,2.255597e-06,2.244138e-06,2.232725e-06,2.221367e-06,2.210069e-06,2.198840e-06
0.000000e+00,5.570137e-11,1.376210e-10,5.131615e-10,1.211754e-09,1.791588e-09,4.151460e-09,4.278776e-09,8.337724e-09,9.803233e-09,1.431358e-08,1.895807e-08,2.253914e-08,3.237092e-08,3.333674e-08,4.701268e-08,5.075450e-08,6.383780e-08,7.471310e-08,8.400800e-08,1.045820e-07,1.075904e-07,1.344861e-07,1.402429e-07,1.644451e-07,1.811230e-07,1.971268e-07,2.264143e-07,2.321633e-07,2.691948e-07,2.752820e-07,3.078821e-07,3.269457e-07,3.479061e-07,3.806846e-07,3.889653e-07,4.307735e-07,4.358278e-07,4.730600e-07,4.917514e-07,5.155701e-07,5.478804e-07,5.580661e-07,6.003295e-07,6.036944e-07,6.421616e-07,6.587331e-07,6.833847e-07,7.125995e-07,7.238422e-07,7.633991e-07,7.649609e-07,8.019402e-07,8.155473e-07,8.393696e-07,8.641460e-07,8.756092e-07,9.105984e-07,9.442915e-07,9.547940e-07,9.766566e-07,9.966637e-07,1.007674e-06,1.036173e-06,1.037334e-06,1.065637e-06,1.073319e-06,1.092591e-06,1.108121e-06,1.118210e-06,1.140619e-06,1.142516e-06,1.165532e-06,1.170867e-06,1.187288e-06,1.198932e-06,1.207815e-06,1.224890e-06,1.227148e-06,1.245321e-06,1.248820e-06,1.262374e-06,1.270810e-06,1.278342e-06,1.290946e-06,1.293265e-06,1.307181e-06,1.309317e-06,1.320129e-06,1.326011e-06,1.332146e-06,1.341115e-06,1.343271e-06,1.353540e-06,1.354716e-06,1.362990e-06,1.366898e-06,1.371657e-06,1.377741e-06,1.379575e-06,1.386778e-06,1.387324e-06,1.393299e-06,1.395723e-06,1.399169e-06,1.403011e-06,1.404421e-06,1.409083e-06,1.409257e-06,1.413184e-06,1.414528e-06,1.416752e-06,1.418888e-06,1.419815e-06,1.422397e-06,1.424524e-06,1.425113e-06,1.426220e-06,1.427090e-06,1.427508e-06,1.428380e-06,1.428409e-06,1.428945e-06,1.429032e-06,1.429136e-06,1.429094e-06,1.429003e-06,1.428609e-06,1.428562e-06,1.427834e-06,1.427618e-06,1.426833e-06,1.426160e-06,1.425578e-06,1.424274e-06,1.424083e-06,1.422363e-06,1.421994e-06,1.420434e-06,1.419352e-06,1.418308e-06,1.416380e-06,1.415999e-06,1.413519e-06,1.413107e-06,1.410879e-06,1.409560e-06,1.408093e-06,1.405764e-06,1.405169e-06,1.402119e-06,1.401745e-06,1.398952e-06,1.397524e-06,1.395678e-06,1.393123e-06,1.392305e-06,1.388843e-06,1.388562e-06,1.385298e-06,1.383859e-06,1.381679e-06,1.379031e-06,1.377993e-06,1.374247e-06,1.374096e-06,1.370447e-06,1.369067e-06,1.366599e-06,1.363959e-06,1.362710e-06,1.358785e-06,1.353558e-06,1.348288e-06,1.342986e-06,1.337663e-06,1.332327e-06,1.326986e-06,1.321649e-06,1.316322e-06,1.311012e-06,1.305725e-06,1.300466e-06,1.295242e-06,1.290055e-06,1.284911e-06,1.279814e-06,1.274766e-06,1.269772e-06,1.264833e-06,1.259952e-06,1.255132e-06,1.250375e-06,1.245682e-06,1.241055e-06,1.236495e-06
0.000000e+00,6.576722e-11,1.917740e-10,8.720506e-10,2.275722e-09,3.495357e-09,8.665243e-09,8.949603e-09,1.815508e-08,2.152042e-08,3.194576e-08,4.273792e-08,5.107563e-08,7.397419e-08,7.622191e-08,1.079820e-07,1.166469e-07,1.468590e-07,1.718849e-07,1.932267e-07,2.403814e-07,2.472730e-07,3.089386e-07,3.221615e-07,3.778946e-07,4.164554e-07,4.535863e-07,5.218659e-07,5.353179e-07,6.223295e-07,6.366893e-07,7.138429e-07,7.591405e-07,8.090835e-07,8.874476e-07,9.072904e-07,1.007723e-06,1.019890e-06,1.109668e-06,1.154826e-06,1.212445e-06,1.290720e-06,1.315419e-06,1.417998e-06,1.426171e-06,1.519646e-06,1.559934e-06,1.619880e-06,1.690933e-06,1.718277e-06,1.814468e-06,1.818266e-06,1.908145e-06,1.941201e-06,1.999047e-06,2.059169e-06,2.086969e-06,2.171747e-06,2.253264e-06,2.278646e-06,2.331436e-06,2.379688e-06,2.406216e-06,2.474793e-06,2.477582e-06,2.545541e-06,2.563961e-06,2.610117e-06,2.647258e-06,2.671357e-06,2.724799e-06,2.729317e-06,2.784069e-06,2.796741e-06,2.835693e-06,2.863268e-06,2.884276e-06,2.924588e-06,2.929912e-06,2.972698e-06,2.980922e-06,3.012734e-06,3.032499e-06,3.050121e-06,3.079553e-06,3.084961e-06,3.117355e-06,3.122318e-06,3.147406e-06,3.161027e-06,3.175212e-06,3.195906e-06,3.200871e-06,3.224478e-06,3.227178e-06,3.246128e-06,3.255057e-06,3.265910e-06,3.279750e-06,3.283913e-06,3.300221e-06,3.301455e-06,3.314918e-06,3.320363e-06,3.328082e-06,3.336654e-06,3.339789e-06,3.350115e-06,3.350500e-06,3.359128e-06,3.362065e-06,3.366897e-06,3.371503e-06,3.373488e-06,3.378963e-06,3.383381e-06,3.384581e-06,3.386800e-06,3.388489e-06,3.389275e-06,3.390811e-06,3.390857e-06,3.391599e-06,3.391662e-06,3.391546e-06,3.391152e-06,3.390745e-06,3.389385e-06,3.389240e-06,3.387071e-06,3.386457e-06,3.384280e-06,3.382459e-06,3.380903e-06,3.377476e-06,3.376977e-06,3.372536e-06,3.371589e-06,3.367614e-06,3.364874e-06,3.362240e-06,3.357400e-06,3.356446e-06,3.350258e-06,3.349234e-06,3.343705e-06,3.340437e-06,3.336812e-06,3.331068e-06,3.329602e-06,3.322100e-06,3.321181e-06,3.314327e-06,3.310826e-06,3.306304e-06,3.300052e-06,3.298051e-06,3.289587e-06,3.288901e-06,3.280929e-06,3.277416e-06,3.272095e-06,3.265635e-06,3.263101e-06,3.253962e-06,3.253593e-06,3.244692e-06,3.241326e-06,3.235306e-06,3.228863e-06,3.225815e-06,3.216233e-06,3.203465e-06,3.190582e-06,3.177609e-06,3.164567e-06,3.151476e-06,3.138354e-06,3.125219e-06,3.112087e-06,3.098972e-06,3.085889e-06,3.072849e-06,3.059864e-06,3.046944e-06,3.034100e-06,3.021340e-06,3.008672e-06,2.996104e-06,2.983642e-06,2.971293e-06,2.959061e-06,2.946952e-06,2.934970e-06,2.923120e-06,2.911404e-06
0.000000e+00,3.691163e-09,1.449844e-08,1.109954e-07,4.278474e-07,7.935031e-07,3.007887e-06,3.155760e-06,9.116823e-06,1.179679e-05,2.155119e-05,3.371736e-05,4.441850e-05,7.908182e-05,8.287458e-05,1.432781e-04,1.618398e-04,2.329476e-04,2.988410e-04,3.596533e-04,5.078768e-04,5.310446e-04,7.542093e-04,8.056220e-04,1.035401e-03,1.206344e-03,1.379890e-03,1.721291e-03,1.791890e-03,2.274532e-03,2.358461e-03,2.829853e-03,3.122548e-03,3.458822e-03,4.015010e-03,4.161368e-03,4.936430e-03,5.034225e-03,5.782025e-03,6.175732e-03,6.695327e-03,7.432539e-03,7.672752e-03,8.710063e-03,8.795495e-03,9.802474e-03,1.025371e-02,1.094475e-02,1.179496e-02,1.213134e-02,1.335643e-02,1.340615e-02,1.461411e-02,1.507370e-02,1.589840e-02,1.678389e-02,1.720338e-02,1.852325e-02,1.985238e-02,2.027877e-02,2.118537e-02,2.203813e-02,2.251709e-02,2.378989e-02,2.384274e-02,2.515784e-02,2.552360e-02,2.645825e-02,2.722986e-02,2.774019e-02,2.890035e-02,2.900027e-02,3.023543e-02,3.052785e-02,3.144297e-02,3.210623e-02,3.262053e-02,3.363036e-02,3.376608e-02,3.487791e-02,3.509610e-02,3.595461e-02,3.650021e-02,3.699502e-02,3.784026e-02,3.799826e-02,3.896368e-02,3.911461e-02,3.989086e-02,4.032225e-02,4.077957e-02,4.146280e-02,4.162976e-02,4.244154e-02,4.253638e-02,4.321517e-02,4.354357e-02,4.395103e-02,4.448534e-02,4.464964e-02,4.531158e-02,4.536297e-02,4.593754e-02,4.617802e-02,4.652829e-02,4.693228e-02,4.708464e-02,4.760746e-02,4.762769e-02,4.809766e-02,4.826633e-02,4.855620e-02,4.885040e-02,4.898403e-02,4.938215e-02,4.975156e-02,4.986387e-02,5.009326e-02,5.029787e-02,5.040826e-02,5.068647e-02,5.069757e-02,5.096217e-02,5.103197e-02,5.120307e-02,5.133663e-02,5.142122e-02,5.160266e-02,5.161759e-02,5.179311e-02,5.183224e-02,5.194870e-02,5.202747e-02,5.208526e-02,5.219039e-02,5.220367e-02,5.230477e-02,5.232299e-02,5.238940e-02,5.242716e-02,5.245835e-02,5.250473e-02,5.251241e-02,5.255233e-02,5.255745e-02,5.257884e-02,5.258700e-02,5.259263e-02,5.259498e-02,5.259440e-02,5.258479e-02,5.258290e-02,5.256443e-02,5.255222e-02,5.253393e-02,5.250432e-02,5.249386e-02,5.244479e-02,5.244049e-02,5.238725e-02,5.236198e-02,5.232176e-02,5.226995e-02,5.224880e-02,5.216885e-02,5.216552e-02,5.208237e-02,5.204972e-02,5.198977e-02,5.192353e-02,5.189148e-02,5.178789e-02,5.164366e-02,5.149167e-02,5.133269e-02,5.116743e-02,5.099657e-02,5.082076e-02,5.064057e-02,5.045657e-02,5.026927e-02,5.007916e-02,4.988670e-02,4.969229e-02,4.949632e-02,4.929918e-02,4.910118e-02,4.890264e-02,4.870386e-02,4.850510e-02,4.830660e-02,4.810860e-02,4.791131e-02,4.771491e-02,4.751959e-02,4.732550e-02
0.000000e+00,2.692425e-11,6.242460e-11,2.176498e-10,5.004310e-10,7.353619e-10,1.714748e-09,1.768893e-09,3.567068e-09,4.246013e-09,6.389261e-09,8.606461e-09,1.028346e-08,1.466581e-08,1.507838e-08,2.061931e-08,2.204975e-08,2.682131e-08,3.056307e-08,3.363152e-08,4.008998e-08,4.100240e-08,4.888054e-08,5.051169e-08,5.720328e-08,6.168333e-08,6.589888e-08,7.343357e-08,7.488818e-08,8.408781e-08,8.557361e-08,9.341321e-08,9.790963e-08,1.027816e-07,1.102544e-07,1.121146e-07,1.213401e-07,1.224368e-07,1.303937e-07,1.343082e-07,1.392198e-07,1.457464e-07,1.477716e-07,1.560114e-07,1.566562e-07,1.639100e-07,1.669688e-07,1.714460e-07,1.766393e-07,1.786054e-07,1.853802e-07,1.856432e-07,1.917682e-07,1.939734e-07,1.977712e-07,2.016363e-07,2.033952e-07,2.086488e-07,2.135432e-07,2.150356e-07,2.180911e-07,2.208264e-07,2.223066e-07,2.260544e-07,2.262044e-07,2.297998e-07,2.307545e-07,2.331083e-07,2.349620e-07,2.361451e-07,2.387122e-07,2.389255e-07,2.414642e-07,2.420391e-07,2.437755e-07,2.449757e-07,2.458732e-07,2.475530e-07,2.477705e-07,2.494799e-07,2.498003e-07,2.510133e-07,2.517450e-07,2.523822e-07,2.534126e-07,2.535971e-07,2.546681e-07,2.548268e-07,2.556048e-07,2.560093e-07,2.564160e-07,2.569803e-07,2.571101e-07,2.576950e-07,2.577582e-07,2.581780e-07,2.583600e-07,2.585660e-07,2.588013e-07,2.588655e-07,2.590825e-07,2.590964e-07,2.592227e-07,2.592584e-07,2.592913e-07,2.592992e-07,2.592934e-07,2.592335e-07,2.592299e-07,2.591161e-07,2.590605e-07,2.589451e-07,2.588001e-07,2.587243e-07,2.584573e-07,2.581475e-07,2.580398e-07,2.577979e-07,2.575547e-07,2.574115e-07,2.570083e-07,2.569909e-07,2.565388e-07,2.564068e-07,2.560574e-07,2.557556e-07,2.555492e-07,2.550596e-07,2.550161e-07,2.544602e-07,2.543236e-07,2.538833e-07,2.535517e-07,2.532871e-07,2.527478e-07,2.526733e-07,2.520433e-07,2.519155e-07,2.513986e-07,2.510581e-07,2.507406e-07,2.501785e-07,2.500705e-07,2.493895e-07,2.492796e-07,2.486987e-07,2.483640e-07,2.479992e-07,2.474339e-07,2.472919e-07,2.465777e-07,2.464916e-07,2.458576e-07,2.455390e-07,2.451323e-07,2.445780e-07,2.444025e-07,2.436691e-07,2.436103e-07,2.429327e-07,2.426374e-07,2.421938e-07,2.416607e-07,2.414532e-07,2.407113e-07,2.406816e-07,2.399687e-07,2.397013e-07,2.392259e-07,2.387209e-07,2.384833e-07,2.377414e-07,2.367637e-07,2.357888e-07,2.348174e-07,2.338503e-07,2.328881e-07,2.319315e-07,2.309809e-07,2.300369e-07,2.291000e-07,2.281705e-07,2.272489e-07,2.263355e-07,2.254307e-07,2.245346e-07,2.236476e-07,2.227698e-07,2.219015e-07,2.210429e-07,2.201940e-07,2.193551e-07,2.185262e-07,2.177074e-07,2.168989e-07,2.161006e-07
0.000000e+00,3.105636e-09,1.220925e-08,9.365910e-08,3.618136e-07,6.719693e-07,2.558487e-06,2.684829e-06,7.802794e-06,1.011610e-05,1.858365e-05,2.922720e-05,3.864919e-05,6.946481e-05,7.285937e-05,1.273786e-04,1.442743e-04,2.094551e-04,2.703513e-04,3.268624e-04,4.654714e-04,4.872197e-04,6.974489e-04,7.460184e-04,9.634464e-04,1.125420e-03,1.289930e-03,1.613511e-03,1.680392e-03,2.137116e-03,2.216432e-03,2.661225e-03,2.936781e-03,3.252750e-03,3.773884e-03,3.910713e-03,4.633219e-03,4.724136e-03,5.417550e-03,5.781380e-03,6.260272e-03,6.937325e-03,7.157343e-03,8.104214e-03,8.181969e-03,9.095945e-03,9.504033e-03,1.012730e-02,1.089137e-02,1.119286e-02,1.228709e-02,1.233137e-02,1.340445e-02,1.381130e-02,1.453946e-02,1.531861e-02,1.568677e-02,1.684119e-02,1.799780e-02,1.836760e-02,1.915190e-02,1.988718e-02,2.029912e-02,2.139021e-02,2.143540e-02,2.255701e-02,2.286796e-02,2.366054e-02,2.431271e-02,2.474296e-02,2.571778e-02,2.580153e-02,2.683388e-02,2.707750e-02,2.783792e-02,2.838716e-02,2.881190e-02,2.964296e-02,2.975434e-02,3.066404e-02,3.084196e-02,3.154005e-02,3.198201e-02,3.238166e-02,3.306166e-02,3.318838e-02,3.395992e-02,3.408009e-02,3.469618e-02,3.503706e-02,3.539720e-02,3.593278e-02,3.606320e-02,3.669450e-02,3.676794e-02,3.729156e-02,3.754356e-02,3.785493e-02,3.826095e-02,3.838525e-02,3.888323e-02,3.892169e-02,3.934966e-02,3.952757e-02,3.978535e-02,4.008052e-02,4.019120e-02,4.056810e-02,4.058258e-02,4.091698e-02,4.103590e-02,4.123880e-02,4.144268e-02,4.153453e-02,4.180512e-02,4.205156e-02,4.212547e-02,4.227480e-02,4.240595e-02,4.247581e-02,4.264874e-02,4.265553e-02,4.281490e-02,4.285600e-02,4.295482e-02,4.302982e-02,4.307620e-02,4.317225e-02,4.317991e-02,4.326681e-02,4.328526e-02,4.333772e-02,4.337076e-02,4.339346e-02,4.343057e-02,4.343480e-02,4.346249e-02,4.346646e-02,4.347727e-02,4.348009e-02,4.347984e-02,4.347306e-02,4.347088e-02,4.345103e-02,4.344689e-02,4.342093e-02,4.340302e-02,4.338117e-02,4.334280e-02,4.333234e-02,4.327497e-02,4.326754e-02,4.320961e-02,4.317845e-02,4.313675e-02,4.307666e-02,4.305688e-02,4.297046e-02,4.296328e-02,4.287792e-02,4.283929e-02,4.277969e-02,4.270567e-02,4.267617e-02,4.256773e-02,4.256329e-02,4.245473e-02,4.241301e-02,4.233753e-02,4.225559e-02,4.221644e-02,4.209177e-02,4.192223e-02,4.174762e-02,4.156852e-02,4.138548e-02,4.119902e-02,4.100962e-02,4.081773e-02,4.062374e-02,4.042805e-02,4.023101e-02,4.003295e-02,3.983417e-02,3.963495e-02,3.943555e-02,3.923620e-02,3.903712e-02,3.883852e-02,3.864058e-02,3.844346e-02,3.824732e-02,3.805231e-02,3.785854e-02,3.766614e-02,3.747522e-02
0.000000e+00,1.992775e-11,4.568104e-11,1.572710e-10,3.580937e-10,5.227300e-10,1.188787e-09,1.224723e-09,2.377094e-09,2.797286e-09,4.106215e-09,5.479156e-09,6.554507e-09,9.574596e-09,9.876087e-09,1.421812e-08,1.542499e-08,1.968187e-08,2.323827e-08,2.627158e-08,3.290976e-08,3.386803e-08,4.226182e-08,4.401562e-08,5.122194e-08,5.603602e-08,6.054575e-08,6.854070e-08,7.007340e-08,7.968256e-08,8.122095e-08,8.927852e-08,9.385726e-08,9.878617e-08,1.062874e-07,1.081445e-07,1.173037e-07,1.183873e-07,1.262226e-07,1.300620e-07,1.348681e-07,1.412395e-07,1.432140e-07,1.512400e-07,1.518678e-07,1.589314e-07,1.619120e-07,1.662784e-07,1.713514e-07,1.732750e-07,1.799191e-07,1.801776e-07,1.862115e-07,1.883911e-07,1.921553e-07,1.960006e-07,1.977558e-07,2.030200e-07,2.079561e-07,2.094679e-07,2.125733e-07,2.153656e-07,2.168816e-07,2.207365e-07,2.208913e-07,2.246134e-07,2.256055e-07,2.280588e-07,2.299978e-07,2.312386e-07,2.339389e-07,2.341639e-07,2.368456e-07,2.374542e-07,2.392948e-07,2.405686e-07,2.415219e-07,2.433064e-07,2.435375e-07,2.453516e-07,2.456912e-07,2.469743e-07,2.477456e-07,2.484150e-07,2.494914e-07,2.496831e-07,2.507875e-07,2.509496e-07,2.517369e-07,2.521401e-07,2.525397e-07,2.530817e-07,2.532039e-07,2.537371e-07,2.537927e-07,2.541469e-07,2.542900e-07,2.544404e-07,2.545898e-07,2.546243e-07,2.547052e-07,2.547075e-07,2.546895e-07,2.546574e-07,2.545830e-07,2.544533e-07,2.543914e-07,2.541204e-07,2.541080e-07,2.537750e-07,2.536334e-07,2.533603e-07,2.530411e-07,2.528810e-07,2.523416e-07,2.517464e-07,2.515449e-07,2.510996e-07,2.506604e-07,2.504051e-07,2.496968e-07,2.496665e-07,2.488874e-07,2.486624e-07,2.480711e-07,2.475648e-07,2.472208e-07,2.464111e-07,2.463395e-07,2.454301e-07,2.452079e-07,2.444952e-07,2.439616e-07,2.435375e-07,2.426777e-07,2.425593e-07,2.415630e-07,2.413618e-07,2.405507e-07,2.400187e-07,2.395245e-07,2.386530e-07,2.384862e-07,2.374377e-07,2.372691e-07,2.363807e-07,2.358708e-07,2.353168e-07,2.344618e-07,2.342476e-07,2.331744e-07,2.330454e-07,2.320986e-07,2.316248e-07,2.310215e-07,2.302026e-07,2.299441e-07,2.288677e-07,2.287817e-07,2.277932e-07,2.273642e-07,2.267216e-07,2.259524e-07,2.256538e-07,2.245907e-07,2.245483e-07,2.235329e-07,2.231536e-07,2.224813e-07,2.217700e-07,2.214364e-07,2.203989e-07,2.190417e-07,2.176995e-07,2.163734e-07,2.150644e-07,2.137732e-07,2.125006e-07,2.112472e-07,2.100135e-07,2.088001e-07,2.076072e-07,2.064353e-07,2.052845e-07,2.041550e-07,2.030470e-07,2.019606e-07,2.008957e-07,1.998524e-07,1.988307e-07,1.978305e-07,1.968516e-07,1.958939e-07,1.949573e-07,1.940415e-07,1.931464e-07
0.000000e+00,1.102443e-10,2.606837e-10,9.295133e-10,2.159003e-09,3.181481e-09,7.413717e-09,7.645854e-09,1.526347e-08,1.811579e-08,2.720883e-08,3.700475e-08,4.479227e-08,6.675806e-08,6.893417e-08,9.942220e-08,1.075592e-07,1.350696e-07,1.567991e-07,1.746059e-07,2.118582e-07,2.170876e-07,2.618434e-07,2.710198e-07,3.083498e-07,3.330736e-07,3.561562e-07,3.970169e-07,4.048520e-07,4.540576e-07,4.619541e-07,5.034244e-07,5.270839e-07,5.526376e-07,5.917097e-07,6.014195e-07,6.495300e-07,6.552481e-07,6.967664e-07,7.172294e-07,7.429620e-07,7.772907e-07,7.879823e-07,8.317227e-07,8.351641e-07,8.741040e-07,8.906625e-07,9.150692e-07,9.436654e-07,9.545803e-07,9.926148e-07,9.941053e-07,1.029163e-06,1.041957e-06,1.064227e-06,1.087227e-06,1.097816e-06,1.129945e-06,1.160639e-06,1.170162e-06,1.189922e-06,1.207937e-06,1.217825e-06,1.243342e-06,1.244379e-06,1.269619e-06,1.276456e-06,1.293580e-06,1.307358e-06,1.316299e-06,1.336136e-06,1.337813e-06,1.358160e-06,1.362874e-06,1.377378e-06,1.387660e-06,1.395502e-06,1.410577e-06,1.412571e-06,1.428621e-06,1.431712e-06,1.443688e-06,1.451146e-06,1.457808e-06,1.468962e-06,1.471016e-06,1.483345e-06,1.485238e-06,1.494830e-06,1.500052e-06,1.505503e-06,1.513478e-06,1.515396e-06,1.524540e-06,1.525589e-06,1.532966e-06,1.536453e-06,1.540702e-06,1.546139e-06,1.547778e-06,1.554222e-06,1.554711e-06,1.560059e-06,1.562231e-06,1.565317e-06,1.568758e-06,1.570021e-06,1.574195e-06,1.574351e-06,1.577863e-06,1.579063e-06,1.581047e-06,1.582948e-06,1.583771e-06,1.586054e-06,1.587919e-06,1.588431e-06,1.589385e-06,1.590123e-06,1.590471e-06,1.591174e-06,1.591196e-06,1.591578e-06,1.591626e-06,1.591633e-06,1.591517e-06,1.591379e-06,1.590886e-06,1.590832e-06,1.590006e-06,1.589768e-06,1.588916e-06,1.588197e-06,1.587578e-06,1.586205e-06,1.586004e-06,1.584207e-06,1.583822e-06,1.582201e-06,1.581078e-06,1.579997e-06,1.578001e-06,1.577606e-06,1.575041e-06,1.574615e-06,1.572312e-06,1.570946e-06,1.569428e-06,1.567017e-06,1.566400e-06,1.563238e-06,1.562850e-06,1.559950e-06,1.558465e-06,1.556544e-06,1.553883e-06,1.553030e-06,1.549415e-06,1.549122e-06,1.545707e-06,1.544199e-06,1.541912e-06,1.539131e-06,1.538038e-06,1.534092e-06,1.533933e-06,1.530080e-06,1.528620e-06,1.526007e-06,1.523206e-06,1.521880e-06,1.517703e-06,1.512125e-06,1.506481e-06,1.500783e-06,1.495041e-06,1.489264e-06,1.483461e-06,1.477640e-06,1.471808e-06,1.465974e-06,1.460143e-06,1.454322e-06,1.448516e-06,1.442731e-06,1.436972e-06,1.431242e-06,1.425548e-06,1.419891e-06,1.414276e-06,1.408707e-06,1.403185e-06,1.397714e-06,1.392297e-06,1.386935e-06,1.381631e-06
0.000000e+00,5.728127e-12,1.308187e-11,4.467886e-11,1.009379e-10,1.466749e-10,3.293301e-10,3.390982e-10,6.488337e-10,7.603770e-10,1.104183e-09,1.459997e-09,1.735891e-09,2.499795e-09,2.575240e-09,3.646060e-09,3.938464e-09,4.951891e-09,5.778362e-09,6.470517e-09,7.952903e-09,8.164009e-09,9.992872e-09,1.037177e-08,1.192295e-08,1.295703e-08,1.392604e-08,1.564760e-08,1.597841e-08,1.805938e-08,1.839373e-08,2.015035e-08,2.115252e-08,2.223435e-08,2.388608e-08,2.429591e-08,2.632105e-08,2.656101e-08,2.829737e-08,2.914864e-08,3.021408e-08,3.162528e-08,3.206213e-08,3.383410e-08,3.397239e-08,3.552425e-08,3.617640e-08,3.712835e-08,3.822839e-08,3.864360e-08,4.006858e-08,4.012369e-08,4.140301e-08,4.186132e-08,4.264742e-08,4.344286e-08,4.380318e-08,4.487244e-08,4.585784e-08,4.615593e-08,4.676240e-08,4.730045e-08,4.758950e-08,4.831393e-08,4.834269e-08,4.902565e-08,4.920480e-08,4.964211e-08,4.998162e-08,5.019582e-08,5.065302e-08,5.069051e-08,5.112979e-08,5.122737e-08,5.151720e-08,5.171276e-08,5.185612e-08,5.211688e-08,5.214984e-08,5.240147e-08,5.244701e-08,5.261397e-08,5.270994e-08,5.279014e-08,5.291201e-08,5.293266e-08,5.304401e-08,5.305909e-08,5.312655e-08,5.315659e-08,5.318249e-08,5.320948e-08,5.321389e-08,5.322269e-08,5.322231e-08,5.321070e-08,5.319927e-08,5.317960e-08,5.314416e-08,5.313097e-08,5.306628e-08,5.306045e-08,5.298689e-08,5.295130e-08,5.289406e-08,5.281958e-08,5.278899e-08,5.267278e-08,5.266791e-08,5.254643e-08,5.249865e-08,5.241090e-08,5.231395e-08,5.226707e-08,5.211576e-08,5.195772e-08,5.190584e-08,5.179366e-08,5.168580e-08,5.162423e-08,5.145709e-08,5.145003e-08,5.127163e-08,5.122100e-08,5.108955e-08,5.097873e-08,5.090426e-08,5.073135e-08,5.071621e-08,5.052581e-08,5.047981e-08,5.033345e-08,5.022501e-08,5.013948e-08,4.996771e-08,4.994422e-08,4.974798e-08,4.970864e-08,4.955103e-08,4.944843e-08,4.935364e-08,4.918766e-08,4.915604e-08,4.895844e-08,4.892684e-08,4.876106e-08,4.866644e-08,4.856407e-08,4.840687e-08,4.836764e-08,4.817194e-08,4.814851e-08,4.797711e-08,4.789169e-08,4.778327e-08,4.763670e-08,4.759055e-08,4.739907e-08,4.738380e-08,4.720891e-08,4.713324e-08,4.702017e-08,4.688521e-08,4.683294e-08,4.664729e-08,4.663990e-08,4.646329e-08,4.639747e-08,4.628100e-08,4.615805e-08,4.610047e-08,4.592176e-08,4.568871e-08,4.545898e-08,4.523266e-08,4.500978e-08,4.479042e-08,4.457460e-08,4.436235e-08,4.415370e-08,4.394866e-08,4.374723e-08,4.354941e-08,4.335520e-08,4.316458e-08,4.297754e-08,4.279405e-08,4.261409e-08,4.243764e-08,4.226465e-08,4.209510e-08,4.192895e-08,4.176617e-08,4.160670e-08,4.145051e-08,4.129756e-08
0.000000e+00,4.974280e-11,1.154746e-10,4.047999e-10,9.358647e-10,1.378960e-09,3.231581e-09,3.334060e-09,6.741791e-09,8.037960e-09,1.223153e-08,1.683819e-08,2.055653e-08,3.127553e-08,3.235435e-08,4.773953e-08,5.191846e-08,6.621152e-08,7.763078e-08,8.704439e-08,1.068372e-07,1.096227e-07,1.335056e-07,1.384095e-07,1.583776e-07,1.716194e-07,1.839956e-07,2.059423e-07,2.101570e-07,2.366832e-07,2.409501e-07,2.634119e-07,2.762699e-07,2.901960e-07,3.115734e-07,3.169027e-07,3.434139e-07,3.465771e-07,3.696263e-07,3.810417e-07,3.954512e-07,4.147731e-07,4.208149e-07,4.456569e-07,4.476202e-07,4.699283e-07,4.794683e-07,4.935913e-07,5.102354e-07,5.166171e-07,5.389861e-07,5.398670e-07,5.606846e-07,5.683299e-07,5.817036e-07,5.956065e-07,6.020398e-07,6.216940e-07,6.406703e-07,6.466005e-07,6.589754e-07,6.703425e-07,6.766182e-07,6.929418e-07,6.936090e-07,7.099598e-07,7.144250e-07,7.256833e-07,7.348219e-07,7.407931e-07,7.541644e-07,7.553036e-07,7.692291e-07,7.724859e-07,7.825847e-07,7.898206e-07,7.953855e-07,8.062032e-07,8.076466e-07,8.193831e-07,8.216688e-07,8.306102e-07,8.362519e-07,8.413428e-07,8.499869e-07,8.515958e-07,8.613839e-07,8.629078e-07,8.707215e-07,8.750477e-07,8.796228e-07,8.864391e-07,8.881018e-07,8.961723e-07,8.971139e-07,9.038476e-07,9.071029e-07,9.111408e-07,9.164362e-07,9.180650e-07,9.246324e-07,9.251428e-07,9.308556e-07,9.332511e-07,9.367463e-07,9.407883e-07,9.423162e-07,9.475768e-07,9.477809e-07,9.525389e-07,9.542543e-07,9.572134e-07,9.602331e-07,9.616107e-07,9.657410e-07,9.696142e-07,9.708009e-07,9.732398e-07,9.754345e-07,9.766271e-07,9.796632e-07,9.797852e-07,9.827228e-07,9.835070e-07,9.854484e-07,9.869855e-07,9.879703e-07,9.901174e-07,9.902965e-07,9.924345e-07,9.929205e-07,9.943921e-07,9.954121e-07,9.961763e-07,9.976087e-07,9.977943e-07,9.992527e-07,9.995259e-07,1.000558e-06,1.001179e-06,1.001717e-06,1.002582e-06,1.002736e-06,1.003620e-06,1.003749e-06,1.004375e-06,1.004694e-06,1.005008e-06,1.005428e-06,1.005522e-06,1.005924e-06,1.005965e-06,1.006218e-06,1.006315e-06,1.006409e-06,1.006489e-06,1.006503e-06,1.006502e-06,1.006498e-06,1.006413e-06,1.006353e-06,1.006238e-06,1.006062e-06,1.005982e-06,1.005649e-06,1.005634e-06,1.005243e-06,1.005079e-06,1.004767e-06,1.004405e-06,1.004224e-06,1.003619e-06,1.002729e-06,1.001743e-06,1.000666e-06,9.995056e-07,9.982679e-07,9.969586e-07,9.955833e-07,9.941472e-07,9.926553e-07,9.911123e-07,9.895229e-07,9.878912e-07,9.862213e-07,9.845169e-07,9.827819e-07,9.810195e-07,9.792330e-07,9.774255e-07,9.755999e-07,9.737589e-07,9.719051e-07,9.700410e-07,9.681688e-07,9.662907e-07
0.000000e+00,2.968565e-10,7.458501e-10,2.834615e-09,6.766431e-09,1.005683e-08,2.364028e-08,2.438109e-08,4.839021e-08,5.723620e-08,8.500676e-08,1.143935e-07,1.375388e-07,2.028513e-07,2.093796e-07,3.030751e-07,3.289145e-07,4.190029e-07,4.928954e-07,5.549771e-07,6.883882e-07,7.074308e-07,8.728281e-07,9.071916e-07,1.048238e-06,1.142611e-06,1.231314e-06,1.389591e-06,1.420112e-06,1.612953e-06,1.644081e-06,1.808341e-06,1.902628e-06,2.004920e-06,2.162213e-06,2.201465e-06,2.396880e-06,2.420206e-06,2.590195e-06,2.674367e-06,2.780569e-06,2.922842e-06,2.967287e-06,3.149752e-06,3.164150e-06,3.327464e-06,3.397128e-06,3.500037e-06,3.620935e-06,3.667169e-06,3.828640e-06,3.834979e-06,3.984298e-06,4.038892e-06,4.134049e-06,4.232480e-06,4.277847e-06,4.415686e-06,4.547597e-06,4.588565e-06,4.673638e-06,4.751259e-06,4.793889e-06,4.903974e-06,4.908448e-06,5.017430e-06,5.046962e-06,5.120958e-06,5.180511e-06,5.219164e-06,5.304933e-06,5.312188e-06,5.400173e-06,5.420556e-06,5.483266e-06,5.527716e-06,5.561614e-06,5.626754e-06,5.635367e-06,5.704674e-06,5.718015e-06,5.769683e-06,5.801837e-06,5.830540e-06,5.878559e-06,5.887392e-06,5.940381e-06,5.948510e-06,5.989647e-06,6.012013e-06,6.035329e-06,6.069385e-06,6.077562e-06,6.116477e-06,6.120930e-06,6.152204e-06,6.166946e-06,6.184869e-06,6.207721e-06,6.214593e-06,6.241497e-06,6.243531e-06,6.265697e-06,6.274644e-06,6.287304e-06,6.301318e-06,6.306428e-06,6.323176e-06,6.323798e-06,6.337650e-06,6.342323e-06,6.349950e-06,6.357121e-06,6.360171e-06,6.368408e-06,6.374751e-06,6.376395e-06,6.379286e-06,6.381279e-06,6.382098e-06,6.383252e-06,6.383269e-06,6.382876e-06,6.382496e-06,6.380995e-06,6.379183e-06,6.377700e-06,6.373480e-06,6.373061e-06,6.367146e-06,6.365544e-06,6.360020e-06,6.355524e-06,6.351746e-06,6.343563e-06,6.342384e-06,6.331993e-06,6.329796e-06,6.320629e-06,6.314353e-06,6.308346e-06,6.297356e-06,6.295196e-06,6.281227e-06,6.278920e-06,6.266489e-06,6.259155e-06,6.251028e-06,6.238167e-06,6.234886e-06,6.218107e-06,6.216052e-06,6.200731e-06,6.192906e-06,6.182797e-06,6.168817e-06,6.164342e-06,6.145402e-06,6.143867e-06,6.126012e-06,6.118137e-06,6.106204e-06,6.091701e-06,6.086010e-06,6.065459e-06,6.064630e-06,6.044580e-06,6.036989e-06,6.023402e-06,6.008842e-06,6.001949e-06,5.980248e-06,5.951263e-06,5.921938e-06,5.892324e-06,5.862466e-06,5.832408e-06,5.802190e-06,5.771851e-06,5.741427e-06,5.710951e-06,5.680454e-06,5.649966e-06,5.619513e-06,5.589122e-06,5.558816e-06,5.528616e-06,5.498544e-06,5.468618e-06,5.438856e-06,5.409274e-06,5.379886e-06,5.350707e-06,5.321748e-06,5.293022e-06,5.264539e-06
0.000000e+00,6.203927e-12,1.420630e-11,4.878280e-11,1.107788e-10,1.614553e-10,3.655407e-10,3.765174e-10,7.270749e-10,8.543113e-10,1.249022e-09,1.660698e-09,1.981611e-09,2.875676e-09,2.964313e-09,4.226676e-09,4.572431e-09,5.772891e-09,6.753413e-09,7.575071e-09,9.334992e-09,9.585561e-09,1.175492e-08,1.220400e-08,1.404096e-08,1.526416e-08,1.640938e-08,1.844172e-08,1.883193e-08,2.128448e-08,2.167822e-08,2.374588e-08,2.492492e-08,2.619744e-08,2.814044e-08,2.862266e-08,3.100710e-08,3.128989e-08,3.333844e-08,3.434468e-08,3.560636e-08,3.728236e-08,3.780251e-08,3.992032e-08,4.008621e-08,4.195494e-08,4.274469e-08,4.390298e-08,4.525074e-08,4.576235e-08,4.753211e-08,4.760104e-08,4.921226e-08,4.979530e-08,5.080356e-08,5.183561e-08,5.230744e-08,5.372582e-08,5.506101e-08,5.547111e-08,5.631559e-08,5.707751e-08,5.749237e-08,5.855161e-08,5.859428e-08,5.962436e-08,5.990032e-08,6.058565e-08,6.113068e-08,6.148121e-08,6.224968e-08,6.231407e-08,6.308722e-08,6.326421e-08,6.380355e-08,6.418094e-08,6.446590e-08,6.500629e-08,6.507701e-08,6.563953e-08,6.574642e-08,6.615599e-08,6.640717e-08,6.662885e-08,6.699408e-08,6.706045e-08,6.745304e-08,6.751237e-08,6.780874e-08,6.796698e-08,6.812961e-08,6.836254e-08,6.841759e-08,6.867454e-08,6.870338e-08,6.890222e-08,6.899357e-08,6.910231e-08,6.923691e-08,6.927641e-08,6.942602e-08,6.943698e-08,6.955259e-08,6.959707e-08,6.965748e-08,6.972031e-08,6.974199e-08,6.980733e-08,6.980956e-08,6.985468e-08,6.986754e-08,6.988514e-08,6.989675e-08,6.989976e-08,6.989952e-08,6.988535e-08,6.987803e-08,6.985816e-08,6.983431e-08,6.981877e-08,6.977023e-08,6.976799e-08,6.970657e-08,6.968756e-08,6.963521e-08,6.958792e-08,6.955460e-08,6.947282e-08,6.946537e-08,6.936813e-08,6.934366e-08,6.926344e-08,6.920176e-08,6.915184e-08,6.904833e-08,6.903385e-08,6.890994e-08,6.888449e-08,6.878057e-08,6.871129e-08,6.864617e-08,6.852969e-08,6.850716e-08,6.836390e-08,6.834061e-08,6.821677e-08,6.814487e-08,6.806610e-08,6.794324e-08,6.791223e-08,6.775545e-08,6.773645e-08,6.759605e-08,6.752516e-08,6.743432e-08,6.730998e-08,6.727049e-08,6.710482e-08,6.709149e-08,6.693753e-08,6.687021e-08,6.676883e-08,6.664662e-08,6.659894e-08,6.642804e-08,6.642118e-08,6.625631e-08,6.619431e-08,6.608391e-08,6.596639e-08,6.591102e-08,6.573778e-08,6.550879e-08,6.527974e-08,6.505090e-08,6.482252e-08,6.459484e-08,6.436807e-08,6.414241e-08,6.391803e-08,6.369511e-08,6.347379e-08,6.325421e-08,6.303649e-08,6.282074e-08,6.260706e-08,6.239554e-08,6.218627e-08,6.197931e-08,6.177474e-08,6.157259e-08,6.137294e-08,6.117581e-08,6.098124e-08,6.078928e-08,6.059993e-08
0.000000e+00,1.303845e-10,4.916532e-10,3.458784e-09,1.234574e-08,2.195287e-08,7.467755e-08,7.800613e-08,2.026313e-07,2.547955e-07,4.333942e-07,6.403515e-07,8.128610e-07,1.332085e-06,1.386108e-06,2.194518e-06,2.427087e-06,3.266778e-06,3.987139e-06,4.613318e-06,6.019994e-06,6.227217e-06,8.088749e-06,8.488426e-06,1.017017e-05,1.132884e-05,1.243933e-05,1.446545e-05,1.486193e-05,1.740303e-05,1.781828e-05,2.002795e-05,2.130775e-05,2.270306e-05,2.485772e-05,2.539638e-05,2.807823e-05,2.839797e-05,3.072166e-05,3.186635e-05,3.330289e-05,3.521038e-05,3.580157e-05,3.820087e-05,3.838809e-05,4.048750e-05,4.136828e-05,4.265157e-05,4.412990e-05,4.468632e-05,4.658785e-05,4.666112e-05,4.835475e-05,4.895794e-05,4.998769e-05,5.102278e-05,5.148914e-05,5.286294e-05,5.411403e-05,5.448938e-05,5.524811e-05,5.591536e-05,5.627137e-05,5.715550e-05,5.719034e-05,5.801164e-05,5.822501e-05,5.874193e-05,5.913914e-05,5.938774e-05,5.991273e-05,5.995541e-05,6.045103e-05,6.055990e-05,6.088037e-05,6.109390e-05,6.124889e-05,6.152695e-05,6.156171e-05,6.182358e-05,6.187023e-05,6.203892e-05,6.213388e-05,6.221183e-05,6.232706e-05,6.234609e-05,6.244517e-05,6.245798e-05,6.251228e-05,6.253399e-05,6.255032e-05,6.256164e-05,6.256198e-05,6.254970e-05,6.254672e-05,6.251572e-05,6.249443e-05,6.246210e-05,6.240937e-05,6.239071e-05,6.230325e-05,6.229561e-05,6.220129e-05,6.215677e-05,6.208625e-05,6.199604e-05,6.195942e-05,6.182199e-05,6.181629e-05,6.167507e-05,6.162004e-05,6.151963e-05,6.140954e-05,6.135659e-05,6.118679e-05,6.101098e-05,6.095357e-05,6.082987e-05,6.071147e-05,6.064409e-05,6.046191e-05,6.045425e-05,6.026087e-05,6.020615e-05,6.006445e-05,5.994532e-05,5.986544e-05,5.968043e-05,5.966427e-05,5.946131e-05,5.941238e-05,5.925692e-05,5.914197e-05,5.905143e-05,5.886993e-05,5.884514e-05,5.863831e-05,5.859690e-05,5.843120e-05,5.832347e-05,5.822404e-05,5.805015e-05,5.801705e-05,5.781042e-05,5.777740e-05,5.760433e-05,5.750565e-05,5.739895e-05,5.723525e-05,5.719442e-05,5.699089e-05,5.696654e-05,5.678849e-05,5.669981e-05,5.658732e-05,5.643533e-05,5.638750e-05,5.618913e-05,5.617332e-05,5.599229e-05,5.591400e-05,5.579706e-05,5.565754e-05,5.560352e-05,5.541174e-05,5.540410e-05,5.522176e-05,5.515383e-05,5.503366e-05,5.490684e-05,5.484747e-05,5.466323e-05,5.442310e-05,5.418652e-05,5.395355e-05,5.372425e-05,5.349865e-05,5.327679e-05,5.305868e-05,5.284436e-05,5.263381e-05,5.242705e-05,5.222406e-05,5.202485e-05,5.182939e-05,5.163766e-05,5.144964e-05,5.126531e-05,5.108463e-05,5.090757e-05,5.073410e-05,5.056417e-05,5.039775e-05,5.023480e-05,5.007527e-05,4.991911e-05
0.000000e+00,6.618393e-11,2.435868e-10,1.633125e-09,5.592226e-09,9.728115e-09,3.134003e-08,3.266646e-08,8.058604e-08,9.994170e-08,1.642205e-07,2.359574e-07,2.941246e-07,4.630552e-07,4.802313e-07,7.315706e-07,8.024995e-07,1.055974e-06,1.271935e-06,1.459591e-06,1.883350e-06,1.946174e-06,2.516406e-06,2.640322e-06,3.167770e-06,3.536897e-06,3.895055e-06,4.559506e-06,4.691184e-06,5.547970e-06,5.690104e-06,6.456658e-06,6.908633e-06,7.408281e-06,8.194473e-06,8.393889e-06,9.404734e-06,9.527328e-06,1.043241e-05,1.088787e-05,1.146901e-05,1.225824e-05,1.250718e-05,1.354024e-05,1.362248e-05,1.456225e-05,1.496677e-05,1.556799e-05,1.627951e-05,1.655299e-05,1.751349e-05,1.755136e-05,1.844643e-05,1.877506e-05,1.934937e-05,1.994527e-05,2.022045e-05,2.105831e-05,2.186205e-05,2.211194e-05,2.263115e-05,2.310510e-05,2.336543e-05,2.403766e-05,2.406498e-05,2.473014e-05,2.491029e-05,2.536142e-05,2.572419e-05,2.595948e-05,2.648104e-05,2.652512e-05,2.705922e-05,2.718281e-05,2.756272e-05,2.783169e-05,2.803663e-05,2.843001e-05,2.848198e-05,2.889983e-05,2.898019e-05,2.929122e-05,2.948464e-05,2.965722e-05,2.994580e-05,2.999888e-05,3.031722e-05,3.036607e-05,3.061328e-05,3.074776e-05,3.088804e-05,3.109317e-05,3.114247e-05,3.137751e-05,3.140446e-05,3.159408e-05,3.168374e-05,3.179305e-05,3.193302e-05,3.197527e-05,3.214158e-05,3.215422e-05,3.229277e-05,3.234917e-05,3.242958e-05,3.251961e-05,3.255276e-05,3.266301e-05,3.266716e-05,3.276101e-05,3.279341e-05,3.284739e-05,3.289981e-05,3.292277e-05,3.298776e-05,3.304291e-05,3.305858e-05,3.308877e-05,3.311349e-05,3.312586e-05,3.315366e-05,3.315466e-05,3.317566e-05,3.318020e-05,3.318930e-05,3.319413e-05,3.319601e-05,3.319642e-05,3.319620e-05,3.319027e-05,3.318798e-05,3.317858e-05,3.316966e-05,3.316150e-05,3.314226e-05,3.313935e-05,3.311246e-05,3.310655e-05,3.308115e-05,3.306320e-05,3.304568e-05,3.301290e-05,3.300636e-05,3.296344e-05,3.295625e-05,3.291716e-05,3.289383e-05,3.286777e-05,3.282618e-05,3.281550e-05,3.276056e-05,3.275380e-05,3.270315e-05,3.267716e-05,3.264347e-05,3.259671e-05,3.258170e-05,3.251802e-05,3.251284e-05,3.245258e-05,3.242595e-05,3.238555e-05,3.233639e-05,3.231708e-05,3.224730e-05,3.224449e-05,3.217635e-05,3.215055e-05,3.210436e-05,3.205487e-05,3.203144e-05,3.195770e-05,3.185930e-05,3.175990e-05,3.165971e-05,3.155892e-05,3.145771e-05,3.135626e-05,3.125472e-05,3.115323e-05,3.105192e-05,3.095092e-05,3.085033e-05,3.075026e-05,3.065080e-05,3.055203e-05,3.045404e-05,3.035688e-05,3.026064e-05,3.016535e-05,3.007108e-05,2.997787e-05,2.988576e-05,2.979479e-05,2.970499e-05,2.961639e-05
0.000000e+00,3.719765e-11,1.400273e-10,9.818939e-10,3.494715e-09,6.204028e-09,2.100114e-08,2.193216e-08,5.658643e-08,7.098908e-08,1.199150e-07,1.759682e-07,2.222519e-07,3.597734e-07,3.739671e-07,5.850728e-07,6.456309e-07,8.648946e-07,1.054744e-06,1.221685e-06,1.604682e-06,1.662125e-06,2.190830e-06,2.307404e-06,2.810079e-06,3.167956e-06,3.519869e-06,4.184625e-06,4.318164e-06,5.201236e-06,5.350070e-06,6.163972e-06,6.652590e-06,7.200144e-06,8.077197e-06,8.302634e-06,9.463635e-06,9.606497e-06,1.067484e-05,1.122146e-05,1.192763e-05,1.290217e-05,1.321324e-05,1.452295e-05,1.462851e-05,1.584823e-05,1.638085e-05,1.718088e-05,1.814057e-05,1.851314e-05,1.983783e-05,1.989056e-05,2.114835e-05,2.161551e-05,2.243879e-05,2.330212e-05,2.370392e-05,2.493921e-05,2.614080e-05,2.651764e-05,2.730548e-05,2.803029e-05,2.843068e-05,2.947185e-05,2.951438e-05,3.055511e-05,3.083867e-05,3.155185e-05,3.212852e-05,3.250402e-05,3.334046e-05,3.341140e-05,3.427409e-05,3.447453e-05,3.509248e-05,3.553165e-05,3.586718e-05,3.651342e-05,3.659900e-05,3.728892e-05,3.742196e-05,3.793801e-05,3.825980e-05,3.854748e-05,3.902973e-05,3.911859e-05,3.965267e-05,3.973477e-05,4.015107e-05,4.037804e-05,4.061518e-05,4.096271e-05,4.104639e-05,4.144607e-05,4.149198e-05,4.181559e-05,4.196898e-05,4.215632e-05,4.239682e-05,4.246956e-05,4.275663e-05,4.277850e-05,4.301877e-05,4.311692e-05,4.325721e-05,4.341488e-05,4.347314e-05,4.366769e-05,4.367505e-05,4.384198e-05,4.389997e-05,4.399706e-05,4.409206e-05,4.413395e-05,4.425363e-05,4.435704e-05,4.438685e-05,4.444508e-05,4.449376e-05,4.451861e-05,4.457630e-05,4.457844e-05,4.462536e-05,4.463629e-05,4.466012e-05,4.467544e-05,4.468343e-05,4.469535e-05,4.469598e-05,4.469840e-05,4.469755e-05,4.469132e-05,4.468343e-05,4.467533e-05,4.465433e-05,4.465098e-05,4.461881e-05,4.461148e-05,4.457931e-05,4.455604e-05,4.453298e-05,4.448910e-05,4.448026e-05,4.442158e-05,4.441167e-05,4.435737e-05,4.432469e-05,4.428801e-05,4.422905e-05,4.421386e-05,4.413528e-05,4.412557e-05,4.405261e-05,4.401502e-05,4.396615e-05,4.389810e-05,4.387621e-05,4.378307e-05,4.377549e-05,4.368700e-05,4.364780e-05,4.358824e-05,4.351561e-05,4.348705e-05,4.338364e-05,4.337946e-05,4.327824e-05,4.323984e-05,4.317104e-05,4.309721e-05,4.306223e-05,4.295201e-05,4.280462e-05,4.265542e-05,4.250475e-05,4.235291e-05,4.220021e-05,4.204691e-05,4.189326e-05,4.173948e-05,4.158580e-05,4.143239e-05,4.127943e-05,4.112710e-05,4.097553e-05,4.082487e-05,4.067523e-05,4.052673e-05,4.037947e-05,4.023354e-05,4.008903e-05,3.994601e-05,3.980455e-05,3.966471e-05,3.952654e-05,3.939008e-05
0.000000e+00,1.555682e-12,3.552402e-12,1.215341e-11,2.751331e-11,4.002026e-11,8.999134e-11,9.266190e-11,1.771041e-10,2.073730e-10,3.001309e-10,3.952636e-10,4.684634e-10,6.690966e-10,6.887906e-10,9.675006e-10,1.043707e-09,1.309885e-09,1.530615e-09,1.718698e-09,2.132408e-09,2.192542e-09,2.725351e-09,2.838194e-09,3.307709e-09,3.626604e-09,3.929058e-09,4.473739e-09,4.579349e-09,5.249686e-09,5.358269e-09,5.932347e-09,6.262394e-09,6.620606e-09,7.171247e-09,7.308550e-09,7.990948e-09,8.072238e-09,8.663179e-09,8.954676e-09,9.321193e-09,9.809605e-09,9.961495e-09,1.058112e-08,1.062972e-08,1.117762e-08,1.140930e-08,1.174905e-08,1.214409e-08,1.229390e-08,1.281110e-08,1.283120e-08,1.329997e-08,1.346895e-08,1.376017e-08,1.405668e-08,1.419163e-08,1.459458e-08,1.496943e-08,1.508354e-08,1.531678e-08,1.552500e-08,1.563739e-08,1.592079e-08,1.593209e-08,1.620185e-08,1.627305e-08,1.644766e-08,1.658409e-08,1.667058e-08,1.685637e-08,1.687168e-08,1.705204e-08,1.709236e-08,1.721274e-08,1.729455e-08,1.735486e-08,1.746539e-08,1.747945e-08,1.758754e-08,1.760726e-08,1.768012e-08,1.772246e-08,1.775816e-08,1.781317e-08,1.782260e-08,1.787432e-08,1.788147e-08,1.791418e-08,1.792934e-08,1.794299e-08,1.795861e-08,1.796153e-08,1.797054e-08,1.797101e-08,1.797072e-08,1.796817e-08,1.796273e-08,1.795158e-08,1.794719e-08,1.792471e-08,1.792263e-08,1.789585e-08,1.788263e-08,1.786112e-08,1.783276e-08,1.782103e-08,1.777603e-08,1.777414e-08,1.772658e-08,1.770777e-08,1.767309e-08,1.763459e-08,1.761593e-08,1.755547e-08,1.749205e-08,1.747118e-08,1.742598e-08,1.738245e-08,1.735757e-08,1.728994e-08,1.728709e-08,1.721479e-08,1.719426e-08,1.714092e-08,1.709594e-08,1.706571e-08,1.699550e-08,1.698935e-08,1.691205e-08,1.689338e-08,1.683399e-08,1.679000e-08,1.675532e-08,1.668573e-08,1.667621e-08,1.659681e-08,1.658090e-08,1.651723e-08,1.647583e-08,1.643761e-08,1.637078e-08,1.635806e-08,1.627868e-08,1.626601e-08,1.619957e-08,1.616172e-08,1.612081e-08,1.605812e-08,1.604249e-08,1.596468e-08,1.595538e-08,1.588744e-08,1.585365e-08,1.581083e-08,1.575307e-08,1.573492e-08,1.565975e-08,1.565377e-08,1.558536e-08,1.555583e-08,1.551179e-08,1.545936e-08,1.543909e-08,1.536728e-08,1.536442e-08,1.529638e-08,1.527109e-08,1.522644e-08,1.517942e-08,1.515745e-08,1.508945e-08,1.500123e-08,1.491477e-08,1.483010e-08,1.474724e-08,1.466619e-08,1.458696e-08,1.450954e-08,1.443393e-08,1.436013e-08,1.428811e-08,1.421787e-08,1.414938e-08,1.408263e-08,1.401759e-08,1.395424e-08,1.389255e-08,1.383249e-08,1.377405e-08,1.371718e-08,1.366186e-08,1.360806e-08,1.355574e-08,1.350488e-08,1.345545e-08
0.000000e+00,2.772462e-11,6.421950e-11,2.230251e-10,5.084413e-10,7.415411e-10,1.675909e-09,1.725941e-09,3.311662e-09,3.881605e-09,5.632474e-09,7.434204e-09,8.824212e-09,1.264755e-08,1.302372e-08,1.835738e-08,1.981731e-08,2.491244e-08,2.912357e-08,3.269561e-08,4.048634e-08,4.161061e-08,5.148491e-08,5.355756e-08,6.212288e-08,6.789514e-08,7.334292e-08,8.310238e-08,8.498852e-08,9.692556e-08,9.885452e-08,1.090372e-07,1.148818e-07,1.212195e-07,1.309535e-07,1.333797e-07,1.454343e-07,1.468702e-07,1.573097e-07,1.624610e-07,1.689411e-07,1.775836e-07,1.802734e-07,1.912603e-07,1.921231e-07,2.018642e-07,2.059916e-07,2.120556e-07,2.191256e-07,2.218128e-07,2.311206e-07,2.314834e-07,2.399699e-07,2.430425e-07,2.483568e-07,2.537959e-07,2.562819e-07,2.637497e-07,2.707674e-07,2.729196e-07,2.773450e-07,2.813292e-07,2.834944e-07,2.890073e-07,2.892289e-07,2.945628e-07,2.959866e-07,2.995115e-07,3.023023e-07,3.040905e-07,3.079904e-07,3.083158e-07,3.122032e-07,3.130876e-07,3.157685e-07,3.176301e-07,3.190272e-07,3.216536e-07,3.219949e-07,3.246863e-07,3.251928e-07,3.271160e-07,3.282807e-07,3.292980e-07,3.309491e-07,3.312456e-07,3.329718e-07,3.332283e-07,3.344891e-07,3.351467e-07,3.358093e-07,3.367312e-07,3.369438e-07,3.379034e-07,3.380073e-07,3.386984e-07,3.389986e-07,3.393387e-07,3.397276e-07,3.398335e-07,3.401919e-07,3.402149e-07,3.404221e-07,3.404801e-07,3.405321e-07,3.405412e-07,3.405296e-07,3.404217e-07,3.404153e-07,3.402151e-07,3.401179e-07,3.399164e-07,3.396638e-07,3.395316e-07,3.390665e-07,3.385266e-07,3.383388e-07,3.379169e-07,3.374925e-07,3.372425e-07,3.365383e-07,3.365078e-07,3.357174e-07,3.354866e-07,3.348751e-07,3.343466e-07,3.339851e-07,3.331271e-07,3.330508e-07,3.320759e-07,3.318362e-07,3.310636e-07,3.304814e-07,3.300168e-07,3.290697e-07,3.289387e-07,3.278319e-07,3.276073e-07,3.266990e-07,3.261004e-07,3.255424e-07,3.245543e-07,3.243644e-07,3.231673e-07,3.229741e-07,3.219530e-07,3.213646e-07,3.207234e-07,3.197301e-07,3.194805e-07,3.182258e-07,3.180745e-07,3.169609e-07,3.164016e-07,3.156875e-07,3.147147e-07,3.144068e-07,3.131202e-07,3.130171e-07,3.118290e-07,3.113115e-07,3.105343e-07,3.096006e-07,3.092373e-07,3.079389e-07,3.078869e-07,3.066401e-07,3.061726e-07,3.053419e-07,3.044598e-07,3.040450e-07,3.027503e-07,3.010458e-07,2.993479e-07,2.976581e-07,2.959777e-07,2.943078e-07,2.926495e-07,2.910038e-07,2.893716e-07,2.877537e-07,2.861507e-07,2.845633e-07,2.829922e-07,2.814376e-07,2.799003e-07,2.783804e-07,2.768783e-07,2.753943e-07,2.739287e-07,2.724816e-07,2.710533e-07,2.696438e-07,2.682532e-07,2.668816e-07,2.655291e-07
0.000000e+00,1.403176e-10,3.283365e-10,1.154596e-09,2.653826e-09,3.886908e-09,8.886188e-09,9.156055e-09,1.780129e-08,2.094616e-08,3.070537e-08,4.087101e-08,4.877815e-08,7.072353e-08,7.289383e-08,1.037893e-07,1.122733e-07,1.419434e-07,1.665388e-07,1.874656e-07,2.333643e-07,2.400198e-07,2.988063e-07,3.112110e-07,3.626146e-07,3.972908e-07,4.299543e-07,4.880917e-07,4.992467e-07,5.690244e-07,5.801486e-07,6.380743e-07,6.706816e-07,7.054875e-07,7.578084e-07,7.706341e-07,8.331049e-07,8.404083e-07,8.926500e-07,9.178843e-07,9.491314e-07,9.899691e-07,1.002489e-06,1.052718e-06,1.056602e-06,1.099851e-06,1.117850e-06,1.143950e-06,1.173867e-06,1.185096e-06,1.223384e-06,1.224858e-06,1.258919e-06,1.271058e-06,1.291810e-06,1.312725e-06,1.322172e-06,1.350120e-06,1.375768e-06,1.383509e-06,1.399230e-06,1.413150e-06,1.420617e-06,1.439297e-06,1.440038e-06,1.457596e-06,1.462193e-06,1.473394e-06,1.482069e-06,1.487530e-06,1.499147e-06,1.500096e-06,1.511183e-06,1.513634e-06,1.520877e-06,1.525728e-06,1.529259e-06,1.535613e-06,1.536408e-06,1.542398e-06,1.543463e-06,1.547300e-06,1.549442e-06,1.551181e-06,1.553700e-06,1.554106e-06,1.556135e-06,1.556380e-06,1.557325e-06,1.557615e-06,1.557732e-06,1.557528e-06,1.557407e-06,1.556399e-06,1.556235e-06,1.554755e-06,1.553842e-06,1.552519e-06,1.550449e-06,1.549731e-06,1.546433e-06,1.546148e-06,1.542660e-06,1.541026e-06,1.538448e-06,1.535161e-06,1.533829e-06,1.528836e-06,1.528629e-06,1.523498e-06,1.521497e-06,1.517842e-06,1.513828e-06,1.511895e-06,1.505682e-06,1.499225e-06,1.497111e-06,1.492547e-06,1.488167e-06,1.485669e-06,1.478896e-06,1.478610e-06,1.471388e-06,1.469339e-06,1.464020e-06,1.459537e-06,1.456523e-06,1.449525e-06,1.448912e-06,1.441201e-06,1.439337e-06,1.433403e-06,1.429003e-06,1.425531e-06,1.418551e-06,1.417596e-06,1.409610e-06,1.408008e-06,1.401583e-06,1.397396e-06,1.393525e-06,1.386738e-06,1.385444e-06,1.377349e-06,1.376053e-06,1.369248e-06,1.365359e-06,1.361148e-06,1.354673e-06,1.353055e-06,1.344977e-06,1.344009e-06,1.336919e-06,1.333381e-06,1.328887e-06,1.322802e-06,1.320885e-06,1.312919e-06,1.312283e-06,1.304992e-06,1.301834e-06,1.297109e-06,1.291463e-06,1.289274e-06,1.281489e-06,1.281179e-06,1.273759e-06,1.270989e-06,1.266085e-06,1.260900e-06,1.258471e-06,1.250918e-06,1.241047e-06,1.231292e-06,1.221657e-06,1.212146e-06,1.202760e-06,1.193503e-06,1.184376e-06,1.175381e-06,1.166520e-06,1.157793e-06,1.149201e-06,1.140745e-06,1.132424e-06,1.124239e-06,1.116189e-06,1.108274e-06,1.100493e-06,1.092845e-06,1.085331e-06,1.077947e-06,1.070694e-06,1.063571e-06,1.056575e-06,1.049706e-06
0.000000e+00,1.627415e-10,4.021031e-10,1.498495e-09,3.536916e-09,5.229248e-09,1.213047e-08,1.250357e-08,2.444616e-08,2.878149e-08,4.220068e-08,5.613263e-08,6.694620e-08,9.690507e-08,9.986630e-08,1.420472e-07,1.536467e-07,1.942830e-07,2.280421e-07,2.567972e-07,3.198587e-07,3.289924e-07,4.094372e-07,4.263491e-07,4.961946e-07,5.431357e-07,5.872791e-07,6.658582e-07,6.809604e-07,7.758484e-07,7.910662e-07,8.708553e-07,9.162429e-07,9.651276e-07,1.039557e-06,1.057988e-06,1.148898e-06,1.159655e-06,1.237428e-06,1.275537e-06,1.323241e-06,1.386483e-06,1.406082e-06,1.485761e-06,1.491995e-06,1.562150e-06,1.591765e-06,1.635169e-06,1.685633e-06,1.704781e-06,1.770983e-06,1.773561e-06,1.833804e-06,1.855600e-06,1.893292e-06,1.931875e-06,1.949516e-06,2.002557e-06,2.052507e-06,2.067854e-06,2.099465e-06,2.127998e-06,2.143538e-06,2.183232e-06,2.184831e-06,2.223456e-06,2.233807e-06,2.259521e-06,2.279976e-06,2.293135e-06,2.321988e-06,2.324406e-06,2.353440e-06,2.360086e-06,2.380339e-06,2.394507e-06,2.405204e-06,2.425480e-06,2.428132e-06,2.449217e-06,2.453221e-06,2.468551e-06,2.477941e-06,2.486220e-06,2.499838e-06,2.502309e-06,2.516899e-06,2.519100e-06,2.530068e-06,2.535906e-06,2.541889e-06,2.550424e-06,2.552435e-06,2.561772e-06,2.562815e-06,2.569968e-06,2.573228e-06,2.577083e-06,2.581805e-06,2.583178e-06,2.588308e-06,2.588679e-06,2.592530e-06,2.593975e-06,2.595893e-06,2.597811e-06,2.598448e-06,2.600241e-06,2.600298e-06,2.601317e-06,2.601538e-06,2.601719e-06,2.601628e-06,2.601488e-06,2.600661e-06,2.599275e-06,2.598720e-06,2.597366e-06,2.595885e-06,2.594967e-06,2.592232e-06,2.592109e-06,2.588822e-06,2.587828e-06,2.585134e-06,2.582741e-06,2.581073e-06,2.577029e-06,2.576664e-06,2.571932e-06,2.570751e-06,2.566900e-06,2.563958e-06,2.561589e-06,2.556701e-06,2.556020e-06,2.550213e-06,2.549025e-06,2.544188e-06,2.540974e-06,2.537960e-06,2.532586e-06,2.531548e-06,2.524967e-06,2.523900e-06,2.518233e-06,2.514949e-06,2.511358e-06,2.505767e-06,2.504357e-06,2.497243e-06,2.496383e-06,2.490028e-06,2.486824e-06,2.482723e-06,2.477117e-06,2.475338e-06,2.467884e-06,2.467285e-06,2.460370e-06,2.457350e-06,2.452806e-06,2.447334e-06,2.445200e-06,2.437560e-06,2.437254e-06,2.429894e-06,2.427129e-06,2.422208e-06,2.416974e-06,2.414510e-06,2.406805e-06,2.396635e-06,2.386478e-06,2.376344e-06,2.366244e-06,2.356189e-06,2.346187e-06,2.336247e-06,2.326375e-06,2.316579e-06,2.306865e-06,2.297239e-06,2.287705e-06,2.278268e-06,2.268933e-06,2.259702e-06,2.250580e-06,2.241568e-06,2.232669e-06,2.223886e-06,2.215220e-06,2.206673e-06,2.198247e-06,2.189941e-06,2.181757e-06
0.000000e+00,1.306449e-10,3.111823e-10,1.117342e-09,2.597501e-09,3.822438e-09,8.822558e-09,9.093542e-09,1.781552e-08,2.100562e-08,3.095658e-08,4.139189e-08,4.954311e-08,7.219667e-08,7.443146e-08,1.059453e-07,1.144764e-07,1.438610e-07,1.677325e-07,1.877559e-07,2.310110e-07,2.372306e-07,2.919308e-07,3.034676e-07,3.515085e-07,3.842939e-07,4.155898e-07,4.725963e-07,4.837599e-07,5.555613e-07,5.673540e-07,6.305002e-07,6.674332e-07,7.080566e-07,7.716284e-07,7.876977e-07,8.688915e-07,8.787143e-07,9.511204e-07,9.875007e-07,1.033890e-06,1.096869e-06,1.116735e-06,1.199228e-06,1.205801e-06,1.280982e-06,1.313398e-06,1.361652e-06,1.418893e-06,1.440938e-06,1.518578e-06,1.521646e-06,1.594355e-06,1.621143e-06,1.668087e-06,1.716978e-06,1.739622e-06,1.808831e-06,1.875624e-06,1.896478e-06,1.939943e-06,1.979789e-06,2.001747e-06,2.058696e-06,2.061018e-06,2.117752e-06,2.133183e-06,2.171957e-06,2.203275e-06,2.223655e-06,2.269032e-06,2.272879e-06,2.319667e-06,2.330538e-06,2.364063e-06,2.387899e-06,2.406119e-06,2.441234e-06,2.445888e-06,2.483429e-06,2.490675e-06,2.518800e-06,2.536357e-06,2.552065e-06,2.578424e-06,2.583284e-06,2.612522e-06,2.617021e-06,2.639843e-06,2.652294e-06,2.665309e-06,2.684389e-06,2.688984e-06,2.710930e-06,2.713450e-06,2.731209e-06,2.739620e-06,2.749882e-06,2.763037e-06,2.767010e-06,2.782650e-06,2.783838e-06,2.796860e-06,2.802156e-06,2.809696e-06,2.818119e-06,2.821214e-06,2.831467e-06,2.831852e-06,2.840507e-06,2.843475e-06,2.848385e-06,2.853104e-06,2.855150e-06,2.860851e-06,2.865534e-06,2.866824e-06,2.869243e-06,2.871127e-06,2.872024e-06,2.873858e-06,2.873917e-06,2.874966e-06,2.875113e-06,2.875208e-06,2.874983e-06,2.874683e-06,2.873554e-06,2.873427e-06,2.871478e-06,2.870910e-06,2.868868e-06,2.867131e-06,2.865632e-06,2.862293e-06,2.861803e-06,2.857410e-06,2.856467e-06,2.852484e-06,2.849722e-06,2.847055e-06,2.842125e-06,2.841149e-06,2.834793e-06,2.833736e-06,2.828014e-06,2.824617e-06,2.820836e-06,2.814823e-06,2.813283e-06,2.805378e-06,2.804407e-06,2.797143e-06,2.793420e-06,2.788598e-06,2.781910e-06,2.779765e-06,2.770663e-06,2.769923e-06,2.761310e-06,2.757502e-06,2.751724e-06,2.744687e-06,2.741922e-06,2.731922e-06,2.731518e-06,2.721738e-06,2.718029e-06,2.711385e-06,2.704257e-06,2.700879e-06,2.690232e-06,2.675986e-06,2.661548e-06,2.646944e-06,2.632200e-06,2.617339e-06,2.602385e-06,2.587358e-06,2.572278e-06,2.557164e-06,2.542031e-06,2.526898e-06,2.511778e-06,2.496686e-06,2.481635e-06,2.466636e-06,2.451701e-06,2.436841e-06,2.422064e-06,2.407380e-06,2.392797e-06,2.378322e-06,2.363963e-06,2.349724e-06,2.335613e-06
0.000000e+00,7.711360e-12,1.779381e-11,6.165152e-11,1.406106e-10,2.052150e-10,4.649177e-10,4.788494e-10,9.212953e-10,1.080637e-09,1.570792e-09,2.075816e-09,2.465606e-09,3.537080e-09,3.642361e-09,5.129866e-09,5.534826e-09,6.939163e-09,8.089341e-09,9.058459e-09,1.115769e-08,1.145960e-08,1.410864e-08,1.466520e-08,1.697188e-08,1.853472e-08,2.001726e-08,2.269364e-08,2.321407e-08,2.653258e-08,2.707289e-08,2.994397e-08,3.160625e-08,3.342055e-08,3.623107e-08,3.693610e-08,4.046621e-08,4.088972e-08,4.398861e-08,4.553082e-08,4.748345e-08,5.011027e-08,5.093328e-08,5.432309e-08,5.459129e-08,5.764030e-08,5.894449e-08,6.087464e-08,6.314735e-08,6.401788e-08,6.706373e-08,6.718347e-08,7.000758e-08,7.104174e-08,7.284626e-08,7.471549e-08,7.557789e-08,7.820165e-08,8.071758e-08,8.150003e-08,8.312652e-08,8.461270e-08,8.542984e-08,8.754339e-08,8.762941e-08,8.972746e-08,9.029706e-08,9.172651e-08,9.287954e-08,9.362928e-08,9.529725e-08,9.543863e-08,9.715755e-08,9.755697e-08,9.878905e-08,9.966565e-08,1.003362e-07,1.016303e-07,1.018020e-07,1.031895e-07,1.034579e-07,1.045017e-07,1.051552e-07,1.057415e-07,1.067291e-07,1.069118e-07,1.080153e-07,1.081859e-07,1.090548e-07,1.095318e-07,1.100330e-07,1.107730e-07,1.109523e-07,1.118152e-07,1.119151e-07,1.126242e-07,1.129637e-07,1.133816e-07,1.139240e-07,1.140895e-07,1.147500e-07,1.148009e-07,1.153654e-07,1.155993e-07,1.159374e-07,1.163236e-07,1.164681e-07,1.169593e-07,1.169781e-07,1.174127e-07,1.175669e-07,1.178299e-07,1.180939e-07,1.182127e-07,1.185625e-07,1.188809e-07,1.189764e-07,1.191693e-07,1.193387e-07,1.194290e-07,1.196525e-07,1.196613e-07,1.198676e-07,1.199208e-07,1.200489e-07,1.201463e-07,1.202065e-07,1.203315e-07,1.203415e-07,1.204549e-07,1.204790e-07,1.205477e-07,1.205910e-07,1.206209e-07,1.206698e-07,1.206754e-07,1.207121e-07,1.207174e-07,1.207319e-07,1.207358e-07,1.207356e-07,1.207268e-07,1.207239e-07,1.206976e-07,1.206921e-07,1.206574e-07,1.206334e-07,1.206041e-07,1.205523e-07,1.205381e-07,1.204603e-07,1.204502e-07,1.203711e-07,1.203284e-07,1.202712e-07,1.201884e-07,1.201610e-07,1.200412e-07,1.200312e-07,1.199122e-07,1.198582e-07,1.197746e-07,1.196703e-07,1.196286e-07,1.194750e-07,1.194687e-07,1.193139e-07,1.192542e-07,1.191459e-07,1.190278e-07,1.189713e-07,1.187905e-07,1.185429e-07,1.182860e-07,1.180203e-07,1.177467e-07,1.174657e-07,1.171780e-07,1.168842e-07,1.165848e-07,1.162803e-07,1.159712e-07,1.156580e-07,1.153411e-07,1.150209e-07,1.146979e-07,1.143723e-07,1.140446e-07,1.137150e-07,1.133838e-07,1.130514e-07,1.127180e-07,1.123839e-07,1.120493e-07,1.117145e-07,1.113796e-07
0.000000e+00,9.095390e-11,2.255770e-10,8.466261e-10,2.013497e-09,2.992136e-09,7.065112e-09,7.288885e-09,1.463267e-08,1.738044e-08,2.612467e-08,3.550211e-08,4.291258e-08,6.359597e-08,6.563142e-08,9.409605e-08,1.017211e-07,1.277525e-07,1.486782e-07,1.661079e-07,2.034594e-07,2.088019e-07,2.555489e-07,2.653612e-07,3.060816e-07,3.337623e-07,3.601183e-07,4.079901e-07,4.173475e-07,4.774253e-07,4.872775e-07,5.399790e-07,5.707689e-07,6.046139e-07,6.575468e-07,6.709229e-07,7.384966e-07,7.466711e-07,8.069322e-07,8.372163e-07,8.758414e-07,9.283015e-07,9.448559e-07,1.013637e-06,1.019120e-06,1.081878e-06,1.108961e-06,1.149304e-06,1.197208e-06,1.215672e-06,1.280775e-06,1.283350e-06,1.344434e-06,1.366970e-06,1.406505e-06,1.447743e-06,1.466866e-06,1.525426e-06,1.582113e-06,1.599848e-06,1.636877e-06,1.670900e-06,1.689685e-06,1.738524e-06,1.740520e-06,1.789378e-06,1.802705e-06,1.836267e-06,1.863461e-06,1.881203e-06,1.920841e-06,1.924211e-06,1.965323e-06,1.974911e-06,2.004574e-06,2.025758e-06,2.042006e-06,2.073476e-06,2.077663e-06,2.111590e-06,2.118172e-06,2.143836e-06,2.159956e-06,2.174451e-06,2.198943e-06,2.203484e-06,2.230986e-06,2.235248e-06,2.257008e-06,2.268987e-06,2.281599e-06,2.300276e-06,2.304810e-06,2.326690e-06,2.329229e-06,2.347287e-06,2.355956e-06,2.366649e-06,2.380567e-06,2.384822e-06,2.401852e-06,2.403166e-06,2.417782e-06,2.423856e-06,2.432656e-06,2.442735e-06,2.446516e-06,2.459402e-06,2.459897e-06,2.471354e-06,2.475435e-06,2.482410e-06,2.489435e-06,2.492607e-06,2.501981e-06,2.510567e-06,2.513154e-06,2.518399e-06,2.523030e-06,2.525508e-06,2.531682e-06,2.531925e-06,2.537682e-06,2.539180e-06,2.542807e-06,2.545591e-06,2.547329e-06,2.550979e-06,2.551273e-06,2.554668e-06,2.555403e-06,2.557536e-06,2.558922e-06,2.559903e-06,2.561591e-06,2.561793e-06,2.563226e-06,2.563460e-06,2.564226e-06,2.564581e-06,2.564812e-06,2.565000e-06,2.565005e-06,2.564824e-06,2.564761e-06,2.564286e-06,2.563907e-06,2.563411e-06,2.562479e-06,2.562215e-06,2.560713e-06,2.560514e-06,2.558923e-06,2.558048e-06,2.556859e-06,2.555116e-06,2.554535e-06,2.551966e-06,2.551750e-06,2.549164e-06,2.547981e-06,2.546143e-06,2.543839e-06,2.542915e-06,2.539491e-06,2.539350e-06,2.535883e-06,2.534541e-06,2.532101e-06,2.529436e-06,2.528157e-06,2.524059e-06,2.518432e-06,2.512575e-06,2.506509e-06,2.500252e-06,2.493821e-06,2.487233e-06,2.480503e-06,2.473647e-06,2.466678e-06,2.459610e-06,2.452454e-06,2.445222e-06,2.437925e-06,2.430573e-06,2.423177e-06,2.415744e-06,2.408284e-06,2.400804e-06,2.393312e-06,2.385815e-06,2.378320e-06,2.370832e-06,2.363358e-06,2.355902e-06
0.000000e+00,3.538010e-12,8.116435e-12,2.802277e-11,6.399094e-11,9.355295e-11,2.134607e-10,2.199378e-10,4.277625e-10,5.035517e-10,7.395625e-10,9.869612e-10,1.180632e-09,1.724031e-09,1.778225e-09,2.556989e-09,2.772714e-09,3.530649e-09,4.160761e-09,4.696932e-09,5.871691e-09,6.041955e-09,7.548348e-09,7.867525e-09,9.199874e-09,1.011123e-08,1.098228e-08,1.257122e-08,1.288271e-08,1.488903e-08,1.521906e-08,1.698925e-08,1.802720e-08,1.917140e-08,2.096800e-08,2.142341e-08,2.373321e-08,2.401371e-08,2.608890e-08,2.713693e-08,2.847886e-08,3.031126e-08,3.089193e-08,3.331758e-08,3.351188e-08,3.574596e-08,3.671601e-08,3.816800e-08,3.990329e-08,4.057547e-08,4.296100e-08,4.305587e-08,4.531804e-08,4.615848e-08,4.764090e-08,4.919836e-08,4.992463e-08,5.216501e-08,5.435850e-08,5.505002e-08,5.650218e-08,5.784688e-08,5.859369e-08,6.055073e-08,6.063118e-08,6.261321e-08,6.315810e-08,6.453878e-08,6.566672e-08,6.640720e-08,6.807534e-08,6.821809e-08,6.997132e-08,7.038352e-08,7.166700e-08,7.259154e-08,7.330541e-08,7.470020e-08,7.488701e-08,7.641241e-08,7.671080e-08,7.788230e-08,7.862497e-08,7.929748e-08,8.044460e-08,8.065884e-08,8.196730e-08,8.217181e-08,8.322387e-08,8.380889e-08,8.442958e-08,8.535825e-08,8.558551e-08,8.669274e-08,8.682239e-08,8.775238e-08,8.820384e-08,8.876557e-08,8.950521e-08,8.973342e-08,9.065707e-08,9.072909e-08,9.153766e-08,9.187809e-08,9.237632e-08,9.295482e-08,9.317417e-08,9.393232e-08,9.396184e-08,9.465189e-08,9.490170e-08,9.533396e-08,9.577690e-08,9.597961e-08,9.658991e-08,9.716590e-08,9.734314e-08,9.770862e-08,9.803896e-08,9.821907e-08,9.867968e-08,9.869826e-08,9.914715e-08,9.926755e-08,9.956672e-08,9.980477e-08,9.995788e-08,1.002935e-07,1.003216e-07,1.006587e-07,1.007357e-07,1.009701e-07,1.011336e-07,1.012567e-07,1.014890e-07,1.015193e-07,1.017587e-07,1.018039e-07,1.019757e-07,1.020800e-07,1.021712e-07,1.023192e-07,1.023458e-07,1.025003e-07,1.025233e-07,1.026355e-07,1.026937e-07,1.027520e-07,1.028323e-07,1.028506e-07,1.029318e-07,1.029405e-07,1.029965e-07,1.030198e-07,1.030451e-07,1.030717e-07,1.030783e-07,1.030967e-07,1.030975e-07,1.031009e-07,1.030987e-07,1.030914e-07,1.030765e-07,1.030689e-07,1.030338e-07,1.030322e-07,1.029867e-07,1.029669e-07,1.029280e-07,1.028818e-07,1.028583e-07,1.027781e-07,1.026567e-07,1.025187e-07,1.023652e-07,1.021969e-07,1.020150e-07,1.018201e-07,1.016131e-07,1.013949e-07,1.011661e-07,1.009276e-07,1.006800e-07,1.004240e-07,1.001602e-07,9.988923e-08,9.961167e-08,9.932809e-08,9.903900e-08,9.874491e-08,9.844631e-08,9.814366e-08,9.783738e-08,9.752791e-08,9.721562e-08,9.690091e-08
0.000000e+00,4.133374e-10,1.274943e-09,6.288835e-09,1.722427e-08,2.699432e-08,6.962966e-08,7.201183e-08,1.504093e-07,1.795544e-07,2.710890e-07,3.675142e-07,4.430024e-07,6.539987e-07,6.749561e-07,9.743727e-07,1.056799e-06,1.345093e-06,1.583717e-06,1.786370e-06,2.230077e-06,2.294411e-06,2.864425e-06,2.985435e-06,3.491528e-06,3.838551e-06,4.170783e-06,4.777903e-06,4.897042e-06,5.664844e-06,5.791166e-06,6.468416e-06,6.865076e-06,7.301744e-06,7.985713e-06,8.158699e-06,9.033158e-06,9.138983e-06,9.919142e-06,1.031114e-05,1.081093e-05,1.148926e-05,1.170316e-05,1.259089e-05,1.266157e-05,1.346965e-05,1.381773e-05,1.433547e-05,1.494890e-05,1.518491e-05,1.601500e-05,1.604776e-05,1.682326e-05,1.710848e-05,1.760766e-05,1.812659e-05,1.836659e-05,1.909881e-05,1.980341e-05,2.002294e-05,2.047977e-05,2.089765e-05,2.112755e-05,2.172240e-05,2.174661e-05,2.233701e-05,2.249722e-05,2.289899e-05,2.322267e-05,2.343288e-05,2.389968e-05,2.393918e-05,2.441843e-05,2.452949e-05,2.487126e-05,2.511356e-05,2.529837e-05,2.565352e-05,2.570047e-05,2.607835e-05,2.615109e-05,2.643278e-05,2.660809e-05,2.676457e-05,2.702636e-05,2.707452e-05,2.736343e-05,2.740776e-05,2.763211e-05,2.775412e-05,2.788135e-05,2.806728e-05,2.811195e-05,2.832466e-05,2.834902e-05,2.852025e-05,2.860108e-05,2.869946e-05,2.882514e-05,2.886301e-05,2.901159e-05,2.902285e-05,2.914590e-05,2.919578e-05,2.926659e-05,2.934542e-05,2.937431e-05,2.946968e-05,2.947325e-05,2.955330e-05,2.958064e-05,2.962575e-05,2.966892e-05,2.968758e-05,2.973935e-05,2.978156e-05,2.979314e-05,2.981473e-05,2.983142e-05,2.983932e-05,2.985530e-05,2.985581e-05,2.986464e-05,2.986580e-05,2.986624e-05,2.986389e-05,2.986101e-05,2.985051e-05,2.984935e-05,2.983164e-05,2.982653e-05,2.980824e-05,2.979278e-05,2.977950e-05,2.975005e-05,2.974574e-05,2.970729e-05,2.969906e-05,2.966444e-05,2.964052e-05,2.961749e-05,2.957509e-05,2.956672e-05,2.951238e-05,2.950338e-05,2.945474e-05,2.942597e-05,2.939403e-05,2.934340e-05,2.933048e-05,2.926431e-05,2.925620e-05,2.919573e-05,2.916484e-05,2.912494e-05,2.906978e-05,2.905213e-05,2.897748e-05,2.897143e-05,2.890115e-05,2.887019e-05,2.882332e-05,2.876643e-05,2.874413e-05,2.866374e-05,2.866050e-05,2.858228e-05,2.855272e-05,2.849988e-05,2.844338e-05,2.841668e-05,2.833278e-05,2.822116e-05,2.810877e-05,2.799584e-05,2.788258e-05,2.776916e-05,2.765579e-05,2.754261e-05,2.742977e-05,2.731743e-05,2.720570e-05,2.709470e-05,2.698454e-05,2.687531e-05,2.676710e-05,2.666000e-05,2.655407e-05,2.644938e-05,2.634598e-05,2.624393e-05,2.614327e-05,2.604404e-05,2.594628e-05,2.585001e-05,2.575526e-05
0.000000e+00,1.114935e-10,3.133906e-10,1.358181e-09,3.456070e-09,5.258385e-09,1.283871e-08,1.325470e-08,2.673708e-08,3.168437e-08,4.710180e-08,6.322281e-08,7.579165e-08,1.107750e-07,1.142406e-07,1.636078e-07,1.771539e-07,2.244052e-07,2.633961e-07,2.964518e-07,3.687320e-07,3.792080e-07,4.720648e-07,4.917960e-07,5.744315e-07,6.312254e-07,6.857177e-07,7.856371e-07,8.053008e-07,9.325035e-07,9.535145e-07,1.066586e-06,1.133156e-06,1.206747e-06,1.322684e-06,1.352139e-06,1.501875e-06,1.520093e-06,1.655054e-06,1.723310e-06,1.810772e-06,1.930268e-06,1.968141e-06,2.126306e-06,2.138969e-06,2.284453e-06,2.347536e-06,2.441825e-06,2.554258e-06,2.597723e-06,2.751518e-06,2.757618e-06,2.902648e-06,2.956306e-06,3.050624e-06,3.149227e-06,3.195023e-06,3.335490e-06,3.471734e-06,3.514400e-06,3.603521e-06,3.685440e-06,3.730672e-06,3.848255e-06,3.853057e-06,3.970592e-06,4.002625e-06,4.083229e-06,4.148454e-06,4.190956e-06,4.285743e-06,4.293791e-06,4.391777e-06,4.414578e-06,4.484977e-06,4.535109e-06,4.573474e-06,4.647538e-06,4.657365e-06,4.736759e-06,4.752108e-06,4.811773e-06,4.849092e-06,4.882535e-06,4.938783e-06,4.949174e-06,5.011823e-06,5.021486e-06,5.070621e-06,5.097515e-06,5.125703e-06,5.167186e-06,5.177207e-06,5.225270e-06,5.230813e-06,5.270027e-06,5.288707e-06,5.311610e-06,5.341171e-06,5.350150e-06,5.385775e-06,5.388503e-06,5.418609e-06,5.430989e-06,5.448774e-06,5.468905e-06,5.476386e-06,5.501559e-06,5.502517e-06,5.524405e-06,5.532080e-06,5.545029e-06,5.557837e-06,5.563534e-06,5.580020e-06,5.594582e-06,5.598851e-06,5.607312e-06,5.614539e-06,5.618298e-06,5.627284e-06,5.627626e-06,5.635376e-06,5.637274e-06,5.641627e-06,5.644690e-06,5.646455e-06,5.649701e-06,5.649931e-06,5.652124e-06,5.652466e-06,5.653100e-06,5.653139e-06,5.652923e-06,5.651862e-06,5.651654e-06,5.649350e-06,5.648770e-06,5.646067e-06,5.643991e-06,5.641858e-06,5.637645e-06,5.636775e-06,5.630865e-06,5.629846e-06,5.624175e-06,5.620700e-06,5.616750e-06,5.610309e-06,5.608632e-06,5.599861e-06,5.598766e-06,5.590476e-06,5.586162e-06,5.580515e-06,5.572581e-06,5.570012e-06,5.559002e-06,5.558100e-06,5.547516e-06,5.542795e-06,5.535585e-06,5.526736e-06,5.523239e-06,5.510505e-06,5.509988e-06,5.497410e-06,5.492613e-06,5.483980e-06,5.474668e-06,5.470238e-06,5.456208e-06,5.437285e-06,5.417945e-06,5.398235e-06,5.378195e-06,5.357866e-06,5.337285e-06,5.316485e-06,5.295500e-06,5.274360e-06,5.253094e-06,5.231727e-06,5.210284e-06,5.188789e-06,5.167263e-06,5.145726e-06,5.124198e-06,5.102694e-06,5.081232e-06,5.059827e-06,5.038492e-06,5.017241e-06,4.996086e-06,4.975037e-06,4.954105e-06
0.000000e+00,7.491120e-10,2.927365e-09,2.218407e-08,8.479709e-08,1.566259e-07,5.888528e-07,6.176486e-07,1.778141e-06,2.300784e-06,4.210295e-06,6.605546e-06,8.720369e-06,1.558086e-05,1.633023e-05,2.817348e-05,3.177167e-05,4.536750e-05,5.771745e-05,6.892788e-05,9.562574e-05,9.972962e-05,1.384946e-04,1.472558e-04,1.857904e-04,2.138995e-04,2.420325e-04,2.963891e-04,3.074877e-04,3.822771e-04,3.951102e-04,4.663801e-04,5.100167e-04,5.596395e-04,6.406508e-04,6.617681e-04,7.723578e-04,7.861736e-04,8.908909e-04,9.454069e-04,1.016754e-03,1.116886e-03,1.149250e-03,1.287620e-03,1.298920e-03,1.431055e-03,1.489659e-03,1.578712e-03,1.687159e-03,1.729735e-03,1.883266e-03,1.889448e-03,2.038461e-03,2.094579e-03,2.194498e-03,2.300683e-03,2.350594e-03,2.506007e-03,2.660047e-03,2.708944e-03,2.812077e-03,2.908053e-03,2.961521e-03,3.102071e-03,3.107859e-03,3.250636e-03,3.289920e-03,3.389453e-03,3.470699e-03,3.523971e-03,3.643685e-03,3.653906e-03,3.779026e-03,3.808317e-03,3.899149e-03,3.964183e-03,4.014140e-03,4.111011e-03,4.123905e-03,4.228387e-03,4.248647e-03,4.327566e-03,4.377045e-03,4.421451e-03,4.496248e-03,4.510077e-03,4.593507e-03,4.606378e-03,4.671819e-03,4.707619e-03,4.745112e-03,4.800209e-03,4.813499e-03,4.877106e-03,4.884424e-03,4.936067e-03,4.960574e-03,4.990525e-03,5.028993e-03,5.040629e-03,5.086534e-03,5.090029e-03,5.128394e-03,5.144041e-03,5.166368e-03,5.191393e-03,5.200616e-03,5.231294e-03,5.232449e-03,5.258559e-03,5.267570e-03,5.282568e-03,5.297111e-03,5.303471e-03,5.321419e-03,5.336558e-03,5.340832e-03,5.349029e-03,5.355675e-03,5.358972e-03,5.366262e-03,5.366519e-03,5.371802e-03,5.372892e-03,5.374945e-03,5.375854e-03,5.376068e-03,5.375419e-03,5.375289e-03,5.372719e-03,5.371848e-03,5.368466e-03,5.365387e-03,5.362632e-03,5.356269e-03,5.355316e-03,5.346613e-03,5.344714e-03,5.336612e-03,5.330928e-03,5.325401e-03,5.315108e-03,5.313061e-03,5.299671e-03,5.297436e-03,5.285305e-03,5.278083e-03,5.270034e-03,5.257212e-03,5.253927e-03,5.237047e-03,5.234972e-03,5.219455e-03,5.211505e-03,5.201211e-03,5.186942e-03,5.182368e-03,5.162979e-03,5.161406e-03,5.143093e-03,5.135010e-03,5.122758e-03,5.107863e-03,5.102017e-03,5.080913e-03,5.080062e-03,5.059485e-03,5.051699e-03,5.037770e-03,5.022859e-03,5.015805e-03,4.993622e-03,4.964061e-03,4.934244e-03,4.904232e-03,4.874083e-03,4.843851e-03,4.813584e-03,4.783328e-03,4.753122e-03,4.723004e-03,4.693010e-03,4.663170e-03,4.633513e-03,4.604064e-03,4.574847e-03,4.545883e-03,4.517191e-03,4.488787e-03,4.460687e-03,4.432905e-03,4.405451e-03,4.378337e-03,4.351570e-03,4.325160e-03,4.299111e-03
0.000000e+00,1.529868e-10,4.336858e-10,1.899006e-09,4.856272e-09,7.402104e-09,1.813018e-08,1.871955e-08,3.784672e-08,4.487629e-08,6.681577e-08,8.980744e-08,1.077704e-07,1.579789e-07,1.629736e-07,2.346756e-07,2.545618e-07,3.247333e-07,3.835512e-07,4.339643e-07,5.453474e-07,5.615616e-07,7.051602e-07,7.355259e-07,8.616060e-07,9.469815e-07,1.027771e-06,1.172869e-06,1.200953e-06,1.378920e-06,1.407711e-06,1.559821e-06,1.647226e-06,1.742087e-06,1.887966e-06,1.924364e-06,2.105467e-06,2.127070e-06,2.284364e-06,2.362144e-06,2.460158e-06,2.591210e-06,2.632083e-06,2.799498e-06,2.812680e-06,2.961877e-06,3.025323e-06,3.118805e-06,3.228236e-06,3.269964e-06,3.415128e-06,3.420807e-06,3.554148e-06,3.602674e-06,3.686945e-06,3.773680e-06,3.813498e-06,3.933838e-06,4.048035e-06,4.083297e-06,4.156193e-06,4.222303e-06,4.258441e-06,4.351182e-06,4.354933e-06,4.445834e-06,4.470309e-06,4.531325e-06,4.580099e-06,4.611590e-06,4.680984e-06,4.686822e-06,4.757213e-06,4.773409e-06,4.822959e-06,4.857819e-06,4.884251e-06,4.934656e-06,4.941281e-06,4.994238e-06,5.004356e-06,5.043303e-06,5.067339e-06,5.088655e-06,5.124009e-06,5.130468e-06,5.168909e-06,5.174757e-06,5.204140e-06,5.219957e-06,5.236317e-06,5.259962e-06,5.265592e-06,5.292108e-06,5.295111e-06,5.316004e-06,5.325723e-06,5.337414e-06,5.352102e-06,5.356465e-06,5.373280e-06,5.374532e-06,5.387975e-06,5.393284e-06,5.400662e-06,5.408613e-06,5.411448e-06,5.420434e-06,5.420758e-06,5.427719e-06,5.429943e-06,5.433395e-06,5.436382e-06,5.437551e-06,5.440272e-06,5.441637e-06,5.441801e-06,5.441725e-06,5.441144e-06,5.440607e-06,5.438466e-06,5.438355e-06,5.435034e-06,5.433921e-06,5.430707e-06,5.427653e-06,5.425435e-06,5.419799e-06,5.419275e-06,5.412281e-06,5.410484e-06,5.404506e-06,5.399828e-06,5.395998e-06,5.387943e-06,5.386805e-06,5.376971e-06,5.374931e-06,5.366538e-06,5.360891e-06,5.355548e-06,5.345912e-06,5.344037e-06,5.332043e-06,5.330082e-06,5.319600e-06,5.313478e-06,5.306741e-06,5.296175e-06,5.293497e-06,5.279898e-06,5.278243e-06,5.265971e-06,5.259746e-06,5.251743e-06,5.240745e-06,5.237240e-06,5.222486e-06,5.221295e-06,5.207503e-06,5.201450e-06,5.192313e-06,5.181259e-06,5.176936e-06,5.161392e-06,5.160767e-06,5.145699e-06,5.140016e-06,5.129874e-06,5.119047e-06,5.113935e-06,5.097896e-06,5.076597e-06,5.055183e-06,5.033682e-06,5.012122e-06,4.990529e-06,4.968926e-06,4.947336e-06,4.925778e-06,4.904271e-06,4.882832e-06,4.861478e-06,4.840222e-06,4.819080e-06,4.798062e-06,4.777180e-06,4.756445e-06,4.735866e-06,4.715452e-06,4.695210e-06,4.675148e-06,4.655272e-06,4.635589e-06,4.616102e-06,4.596818e-06
0.000000e+00,7.346822e-10,2.210966e-09,1.052564e-08,2.826261e-08,4.396894e-08,1.122197e-07,1.160343e-07,2.422106e-07,2.895066e-07,4.395261e-07,5.998082e-07,7.266008e-07,1.084541e-06,1.120217e-06,1.628416e-06,1.767278e-06,2.248305e-06,2.641199e-06,2.971653e-06,3.687038e-06,3.790001e-06,4.695851e-06,4.886901e-06,5.682161e-06,6.224467e-06,6.741731e-06,7.682785e-06,7.866885e-06,9.049407e-06,9.243361e-06,1.028064e-05,1.088632e-05,1.155167e-05,1.259112e-05,1.285353e-05,1.417744e-05,1.433739e-05,1.551498e-05,1.610575e-05,1.685824e-05,1.787844e-05,1.819994e-05,1.953349e-05,1.963964e-05,2.085303e-05,2.137576e-05,2.215346e-05,2.307545e-05,2.343040e-05,2.468016e-05,2.472954e-05,2.589969e-05,2.633083e-05,2.708653e-05,2.787392e-05,2.823878e-05,2.935497e-05,3.043407e-05,3.077142e-05,3.147540e-05,3.212185e-05,3.247860e-05,3.340570e-05,3.344357e-05,3.437043e-05,3.462316e-05,3.525949e-05,3.577497e-05,3.611121e-05,3.686234e-05,3.692620e-05,3.770516e-05,3.788683e-05,3.844885e-05,3.885022e-05,3.915811e-05,3.975449e-05,3.983383e-05,4.047694e-05,4.060173e-05,4.108838e-05,4.139413e-05,4.166911e-05,4.213391e-05,4.222012e-05,4.274236e-05,4.282332e-05,4.323682e-05,4.346457e-05,4.370445e-05,4.405989e-05,4.414622e-05,4.456306e-05,4.461145e-05,4.495589e-05,4.512137e-05,4.532563e-05,4.559173e-05,4.567315e-05,4.599933e-05,4.602453e-05,4.630501e-05,4.642173e-05,4.659101e-05,4.678520e-05,4.685814e-05,4.710718e-05,4.711677e-05,4.733887e-05,4.741818e-05,4.755397e-05,4.769111e-05,4.775317e-05,4.793717e-05,4.810663e-05,4.815790e-05,4.826221e-05,4.835478e-05,4.840452e-05,4.852921e-05,4.853416e-05,4.865173e-05,4.868256e-05,4.875778e-05,4.881610e-05,4.885285e-05,4.893107e-05,4.893746e-05,4.901213e-05,4.902862e-05,4.907733e-05,4.910988e-05,4.913353e-05,4.917591e-05,4.918119e-05,4.922073e-05,4.922770e-05,4.925257e-05,4.926622e-05,4.927712e-05,4.929238e-05,4.929475e-05,4.930584e-05,4.930703e-05,4.931073e-05,4.931099e-05,4.930978e-05,4.930503e-05,4.930331e-05,4.929163e-05,4.928990e-05,4.927505e-05,4.926627e-05,4.925384e-05,4.923481e-05,4.922830e-05,4.919868e-05,4.919614e-05,4.916523e-05,4.915084e-05,4.912820e-05,4.909946e-05,4.908783e-05,4.904433e-05,4.904253e-05,4.899792e-05,4.898053e-05,4.894879e-05,4.891394e-05,4.889715e-05,4.884318e-05,4.876867e-05,4.869078e-05,4.860989e-05,4.852634e-05,4.844043e-05,4.835248e-05,4.826275e-05,4.817152e-05,4.807902e-05,4.798549e-05,4.789114e-05,4.779616e-05,4.770075e-05,4.760506e-05,4.750927e-05,4.741352e-05,4.731794e-05,4.722266e-05,4.712781e-05,4.703347e-05,4.693977e-05,4.684677e-05,4.675457e-05,4.666324e-05
0.000000e+00,1.903441e-10,5.041727e-10,2.034765e-09,4.999229e-09,7.508015e-09,1.793164e-08,1.850065e-08,3.687769e-08,4.360514e-08,6.455535e-08,8.646358e-08,1.035578e-07,1.512485e-07,1.559848e-07,2.237590e-07,2.424669e-07,3.081045e-07,3.626626e-07,4.091335e-07,5.112005e-07,5.260263e-07,6.575737e-07,6.855323e-07,8.025473e-07,8.828554e-07,9.597979e-07,1.100575e-06,1.128231e-06,1.306760e-06,1.336188e-06,1.494278e-06,1.587147e-06,1.689649e-06,1.850817e-06,1.891707e-06,2.099273e-06,2.124495e-06,2.311173e-06,2.405483e-06,2.526253e-06,2.691156e-06,2.743403e-06,2.961568e-06,2.979035e-06,3.179763e-06,3.266844e-06,3.397083e-06,3.552550e-06,3.612710e-06,3.825897e-06,3.834364e-06,4.035999e-06,4.110768e-06,4.242449e-06,4.380503e-06,4.444770e-06,4.642555e-06,4.835474e-06,4.896135e-06,5.023258e-06,5.140647e-06,5.205699e-06,5.375670e-06,5.382640e-06,5.553972e-06,5.600929e-06,5.719624e-06,5.816274e-06,5.879564e-06,6.021660e-06,6.033787e-06,6.182317e-06,6.217122e-06,6.325198e-06,6.402766e-06,6.462492e-06,6.578751e-06,6.594277e-06,6.720644e-06,6.745276e-06,6.841695e-06,6.902576e-06,6.957538e-06,7.050905e-06,7.068288e-06,7.174067e-06,7.190538e-06,7.274998e-06,7.321760e-06,7.371208e-06,7.444862e-06,7.462824e-06,7.549977e-06,7.560141e-06,7.632793e-06,7.667892e-06,7.711402e-06,7.768410e-06,7.785931e-06,7.856507e-06,7.861986e-06,7.923254e-06,7.948908e-06,7.986295e-06,8.029457e-06,8.045750e-06,8.101738e-06,8.103908e-06,8.154376e-06,8.172527e-06,8.203776e-06,8.235575e-06,8.250049e-06,8.293305e-06,8.333648e-06,8.345960e-06,8.371183e-06,8.393777e-06,8.406008e-06,8.436983e-06,8.438223e-06,8.467921e-06,8.475799e-06,8.495196e-06,8.510436e-06,8.520138e-06,8.541098e-06,8.542833e-06,8.563365e-06,8.567981e-06,8.581819e-06,8.591274e-06,8.598272e-06,8.611157e-06,8.612802e-06,8.625484e-06,8.627805e-06,8.636391e-06,8.641385e-06,8.645593e-06,8.652055e-06,8.653158e-06,8.659151e-06,8.659969e-06,8.663637e-06,8.665273e-06,8.666677e-06,8.668109e-06,8.668331e-06,8.668657e-06,8.668609e-06,8.667710e-06,8.666904e-06,8.665544e-06,8.663115e-06,8.662212e-06,8.657763e-06,8.657361e-06,8.652247e-06,8.649752e-06,8.645710e-06,8.640398e-06,8.638199e-06,8.629756e-06,8.629399e-06,8.620424e-06,8.616854e-06,8.610244e-06,8.602857e-06,8.599255e-06,8.587495e-06,8.570855e-06,8.553016e-06,8.534057e-06,8.514050e-06,8.493067e-06,8.471172e-06,8.448431e-06,8.424904e-06,8.400648e-06,8.375719e-06,8.350167e-06,8.324044e-06,8.297395e-06,8.270267e-06,8.242700e-06,8.214737e-06,8.186415e-06,8.157771e-06,8.128839e-06,8.099652e-06,8.070241e-06,8.040636e-06,8.010865e-06,7.980954e-06
0.000000e+00,3.123344e-10,1.196702e-09,8.703391e-09,3.203176e-08,5.793559e-08,2.061440e-07,2.157347e-07,5.872122e-07,7.481611e-07,1.316758e-06,2.002511e-06,2.592043e-06,4.446395e-06,4.645383e-06,7.737000e-06,8.661621e-06,1.211011e-05,1.518841e-05,1.794188e-05,2.435387e-05,2.532226e-05,3.426152e-05,3.623288e-05,4.470996e-05,5.071092e-05,5.657781e-05,6.756029e-05,6.975037e-05,8.409825e-05,8.649387e-05,9.948385e-05,1.071960e-04,1.157653e-04,1.293390e-04,1.327990e-04,1.504420e-04,1.525934e-04,1.685532e-04,1.766350e-04,1.869955e-04,2.011519e-04,2.056373e-04,2.243540e-04,2.258511e-04,2.430294e-04,2.504636e-04,2.615565e-04,2.747496e-04,2.798388e-04,2.977905e-04,2.985006e-04,3.153367e-04,3.215414e-04,3.324133e-04,3.437294e-04,3.489668e-04,3.649537e-04,3.803398e-04,3.851321e-04,3.950997e-04,4.042087e-04,4.092154e-04,4.221502e-04,4.226760e-04,4.354767e-04,4.389426e-04,4.476180e-04,4.545881e-04,4.591047e-04,4.691018e-04,4.699455e-04,4.801522e-04,4.825090e-04,4.897392e-04,4.948432e-04,4.987228e-04,5.061435e-04,5.071209e-04,5.149527e-04,5.164529e-04,5.222380e-04,5.258173e-04,5.289974e-04,5.342840e-04,5.352515e-04,5.410213e-04,5.419009e-04,5.463274e-04,5.487157e-04,5.511904e-04,5.547754e-04,5.556306e-04,5.596678e-04,5.601261e-04,5.633213e-04,5.648121e-04,5.666099e-04,5.688765e-04,5.695519e-04,5.721648e-04,5.723602e-04,5.744658e-04,5.753026e-04,5.764712e-04,5.777410e-04,5.781968e-04,5.796578e-04,5.797109e-04,5.808686e-04,5.812460e-04,5.818433e-04,5.823780e-04,5.825952e-04,5.831369e-04,5.834808e-04,5.835510e-04,5.836385e-04,5.836468e-04,5.836210e-04,5.834493e-04,5.834390e-04,5.831025e-04,5.829819e-04,5.826212e-04,5.822668e-04,5.820043e-04,5.813245e-04,5.812605e-04,5.803981e-04,5.801743e-04,5.794249e-04,5.788343e-04,5.783484e-04,5.773215e-04,5.771759e-04,5.759140e-04,5.756515e-04,5.745692e-04,5.738392e-04,5.731476e-04,5.718983e-04,5.716549e-04,5.700967e-04,5.698416e-04,5.684781e-04,5.676812e-04,5.668041e-04,5.654281e-04,5.650793e-04,5.633082e-04,5.630928e-04,5.614950e-04,5.606848e-04,5.596435e-04,5.582131e-04,5.577576e-04,5.558407e-04,5.556862e-04,5.538963e-04,5.531116e-04,5.519275e-04,5.504965e-04,5.499373e-04,5.479284e-04,5.478477e-04,5.459035e-04,5.451712e-04,5.438652e-04,5.424727e-04,5.418158e-04,5.397575e-04,5.370305e-04,5.342961e-04,5.315584e-04,5.288214e-04,5.260883e-04,5.233625e-04,5.206469e-04,5.179442e-04,5.152567e-04,5.125868e-04,5.099365e-04,5.073075e-04,5.047016e-04,5.021203e-04,4.995648e-04,4.970365e-04,4.945363e-04,4.920652e-04,4.896241e-04,4.872137e-04,4.848345e-04,4.824872e-04,4.801722e-04,4.778899e-04
0.000000e+00,2.241597e-11,5.201281e-11,1.793366e-10,4.043420e-10,5.857968e-10,1.301137e-09,1.339059e-09,2.528760e-09,2.952166e-09,4.243876e-09,5.562570e-09,6.574167e-09,9.334443e-09,9.604353e-09,1.339997e-08,1.442874e-08,1.798516e-08,2.088483e-08,2.331580e-08,2.852035e-08,2.925945e-08,3.560166e-08,3.689564e-08,4.208922e-08,4.544070e-08,4.848920e-08,5.366881e-08,5.462844e-08,6.040011e-08,6.128529e-08,6.575061e-08,6.816309e-08,7.066224e-08,7.427791e-08,7.513921e-08,7.919821e-08,7.965827e-08,8.286275e-08,8.435706e-08,8.615976e-08,8.843705e-08,8.911749e-08,9.176428e-08,9.196343e-08,9.412782e-08,9.499989e-08,9.623452e-08,9.760636e-08,9.810928e-08,9.977523e-08,9.983783e-08,1.012537e-07,1.017438e-07,1.025640e-07,1.033680e-07,1.037238e-07,1.047488e-07,1.056533e-07,1.059194e-07,1.064499e-07,1.069082e-07,1.071497e-07,1.077397e-07,1.077627e-07,1.082976e-07,1.084345e-07,1.087622e-07,1.090102e-07,1.091634e-07,1.094817e-07,1.095072e-07,1.097989e-07,1.098618e-07,1.100433e-07,1.101611e-07,1.102445e-07,1.103889e-07,1.104063e-07,1.105320e-07,1.105530e-07,1.106245e-07,1.106603e-07,1.106864e-07,1.107166e-07,1.107202e-07,1.107279e-07,1.107269e-07,1.107116e-07,1.106957e-07,1.106729e-07,1.106270e-07,1.106135e-07,1.105348e-07,1.105241e-07,1.104381e-07,1.103902e-07,1.103247e-07,1.102280e-07,1.101956e-07,1.100519e-07,1.100399e-07,1.098946e-07,1.098281e-07,1.097246e-07,1.095947e-07,1.095426e-07,1.093495e-07,1.093415e-07,1.091459e-07,1.090702e-07,1.089326e-07,1.087822e-07,1.087101e-07,1.084791e-07,1.082401e-07,1.081620e-07,1.079936e-07,1.078322e-07,1.077401e-07,1.074907e-07,1.074802e-07,1.072142e-07,1.071387e-07,1.069425e-07,1.067769e-07,1.066656e-07,1.064065e-07,1.063837e-07,1.060974e-07,1.060280e-07,1.058068e-07,1.056424e-07,1.055124e-07,1.052503e-07,1.052143e-07,1.049130e-07,1.048523e-07,1.046086e-07,1.044492e-07,1.043015e-07,1.040415e-07,1.039918e-07,1.036799e-07,1.036298e-07,1.033659e-07,1.032145e-07,1.030500e-07,1.027961e-07,1.027325e-07,1.024135e-07,1.023752e-07,1.020933e-07,1.019520e-07,1.017719e-07,1.015270e-07,1.014496e-07,1.011265e-07,1.011007e-07,1.008028e-07,1.006732e-07,1.004787e-07,1.002450e-07,1.001541e-07,9.982936e-08,9.981637e-08,9.950451e-08,9.938756e-08,9.917968e-08,9.895887e-08,9.885499e-08,9.853054e-08,9.810281e-08,9.767590e-08,9.725002e-08,9.682536e-08,9.640211e-08,9.598043e-08,9.556049e-08,9.514243e-08,9.472638e-08,9.431249e-08,9.390086e-08,9.349162e-08,9.308485e-08,9.268067e-08,9.227915e-08,9.188039e-08,9.148445e-08,9.109141e-08,9.070133e-08,9.031426e-08,8.993027e-08,8.954940e-08,8.917170e-08,8.879720e-08
0.000000e+00,1.198014e-10,4.184708e-10,2.540653e-09,8.031230e-09,1.342578e-08,3.953477e-08,4.107353e-08,9.440967e-08,1.151959e-07,1.826563e-07,2.562583e-07,3.151143e-07,4.828873e-07,4.996993e-07,7.405025e-07,8.066996e-07,1.037225e-06,1.226761e-06,1.386895e-06,1.735247e-06,1.785526e-06,2.228760e-06,2.322354e-06,2.711914e-06,2.977260e-06,3.229905e-06,3.687939e-06,3.777251e-06,4.348169e-06,4.441308e-06,4.936738e-06,5.223790e-06,5.537086e-06,6.022040e-06,6.143567e-06,6.750915e-06,6.823623e-06,7.354357e-06,7.617529e-06,7.949686e-06,8.394467e-06,8.533293e-06,9.102174e-06,9.146972e-06,9.653910e-06,9.869365e-06,1.018662e-05,1.055760e-05,1.069892e-05,1.118986e-05,1.120904e-05,1.165885e-05,1.182225e-05,1.210563e-05,1.239674e-05,1.253020e-05,1.293277e-05,1.331372e-05,1.343114e-05,1.367357e-05,1.389308e-05,1.401293e-05,1.432008e-05,1.433249e-05,1.463296e-05,1.471378e-05,1.491513e-05,1.507597e-05,1.517978e-05,1.540845e-05,1.542768e-05,1.565963e-05,1.571300e-05,1.587638e-05,1.599141e-05,1.607870e-05,1.624537e-05,1.626731e-05,1.644292e-05,1.647654e-05,1.660620e-05,1.668646e-05,1.675782e-05,1.687662e-05,1.689839e-05,1.702852e-05,1.704841e-05,1.714877e-05,1.720314e-05,1.725969e-05,1.734205e-05,1.736179e-05,1.745555e-05,1.746627e-05,1.754146e-05,1.757688e-05,1.761994e-05,1.767488e-05,1.769142e-05,1.775629e-05,1.776120e-05,1.781492e-05,1.783671e-05,1.786768e-05,1.790222e-05,1.791490e-05,1.795689e-05,1.795846e-05,1.799396e-05,1.800615e-05,1.802639e-05,1.804593e-05,1.805444e-05,1.807839e-05,1.809846e-05,1.810410e-05,1.811488e-05,1.812358e-05,1.812787e-05,1.813731e-05,1.813764e-05,1.814437e-05,1.814573e-05,1.814824e-05,1.814927e-05,1.814943e-05,1.814830e-05,1.814811e-05,1.814442e-05,1.814320e-05,1.813851e-05,1.813428e-05,1.813052e-05,1.812187e-05,1.812058e-05,1.810881e-05,1.810625e-05,1.809533e-05,1.808768e-05,1.808025e-05,1.806642e-05,1.806367e-05,1.804570e-05,1.804270e-05,1.802642e-05,1.801673e-05,1.800592e-05,1.798871e-05,1.798430e-05,1.796162e-05,1.795883e-05,1.793796e-05,1.792726e-05,1.791340e-05,1.789417e-05,1.788800e-05,1.786182e-05,1.785969e-05,1.783493e-05,1.782398e-05,1.780738e-05,1.778716e-05,1.777922e-05,1.775051e-05,1.774935e-05,1.772130e-05,1.771067e-05,1.769163e-05,1.767121e-05,1.766154e-05,1.763108e-05,1.759036e-05,1.754914e-05,1.750750e-05,1.746551e-05,1.742324e-05,1.738074e-05,1.733809e-05,1.729532e-05,1.725250e-05,1.720967e-05,1.716687e-05,1.712415e-05,1.708153e-05,1.703905e-05,1.699675e-05,1.695466e-05,1.691279e-05,1.687118e-05,1.682985e-05,1.678882e-05,1.674810e-05,1.670772e-05,1.666769e-05,1.662803e-05
0.000000e+00,4.592954e-10,1.497300e-09,8.072976e-09,2.351474e-08,3.795746e-08,1.052780e-07,1.092078e-07,2.467783e-07,3.015836e-07,4.840929e-07,6.883305e-07,8.525161e-07,1.311441e-06,1.356278e-06,1.973738e-06,2.136093e-06,2.681718e-06,3.111946e-06,3.465531e-06,4.211226e-06,4.316722e-06,5.229378e-06,5.418805e-06,6.197964e-06,6.721735e-06,7.216361e-06,8.105213e-06,8.277569e-06,9.373750e-06,9.551825e-06,1.049643e-05,1.104215e-05,1.163678e-05,1.255580e-05,1.278591e-05,1.393510e-05,1.407261e-05,1.507614e-05,1.557362e-05,1.620140e-05,1.704184e-05,1.730410e-05,1.837827e-05,1.846281e-05,1.941889e-05,1.982480e-05,2.042185e-05,2.111881e-05,2.138391e-05,2.230267e-05,2.233850e-05,2.317648e-05,2.347985e-05,2.400438e-05,2.454090e-05,2.478598e-05,2.552139e-05,2.621117e-05,2.642240e-05,2.685619e-05,2.724605e-05,2.745762e-05,2.799524e-05,2.801682e-05,2.853531e-05,2.867341e-05,2.901472e-05,2.928432e-05,2.945677e-05,2.983193e-05,2.986317e-05,3.023569e-05,3.032025e-05,3.057607e-05,3.075327e-05,3.088600e-05,3.113490e-05,3.116717e-05,3.142118e-05,3.146886e-05,3.164960e-05,3.175876e-05,3.185391e-05,3.200795e-05,3.203555e-05,3.219588e-05,3.221964e-05,3.233619e-05,3.239679e-05,3.245770e-05,3.254217e-05,3.256159e-05,3.264895e-05,3.265837e-05,3.272081e-05,3.274778e-05,3.277816e-05,3.281260e-05,3.282191e-05,3.285292e-05,3.285488e-05,3.287203e-05,3.287650e-05,3.287998e-05,3.287921e-05,3.287751e-05,3.286528e-05,3.286460e-05,3.284395e-05,3.283415e-05,3.281410e-05,3.278923e-05,3.277630e-05,3.273108e-05,3.267893e-05,3.266085e-05,3.262032e-05,3.257962e-05,3.255569e-05,3.248836e-05,3.248544e-05,3.240998e-05,3.238796e-05,3.232966e-05,3.227927e-05,3.224482e-05,3.216305e-05,3.215578e-05,3.206286e-05,3.204001e-05,3.196632e-05,3.191079e-05,3.186645e-05,3.177600e-05,3.176349e-05,3.165768e-05,3.163619e-05,3.154924e-05,3.149188e-05,3.143838e-05,3.134353e-05,3.132530e-05,3.121019e-05,3.119159e-05,3.109322e-05,3.103647e-05,3.097456e-05,3.087852e-05,3.085436e-05,3.073278e-05,3.071810e-05,3.060994e-05,3.055553e-05,3.048598e-05,3.039109e-05,3.036102e-05,3.023518e-05,3.022508e-05,3.010857e-05,3.005773e-05,2.998128e-05,2.988928e-05,2.985342e-05,2.972508e-05,2.971994e-05,2.959635e-05,2.954992e-05,2.946730e-05,2.937940e-05,2.933801e-05,2.920855e-05,2.903754e-05,2.886649e-05,2.869556e-05,2.852487e-05,2.835452e-05,2.818463e-05,2.801530e-05,2.784661e-05,2.767866e-05,2.751150e-05,2.734523e-05,2.717989e-05,2.701555e-05,2.685227e-05,2.669009e-05,2.652906e-05,2.636922e-05,2.621060e-05,2.605325e-05,2.589718e-05,2.574244e-05,2.558903e-05,2.543699e-05,2.528633e-05
0.000000e+00,4.673470e-11,1.090806e-10,3.844771e-10,8.901732e-10,1.311345e-09,3.062576e-09,3.159000e-09,6.342928e-09,7.543934e-09,1.139491e-08,1.555803e-08,1.885896e-08,2.806548e-08,2.896908e-08,4.154922e-08,4.490343e-08,5.631962e-08,6.547073e-08,7.308347e-08,8.938771e-08,9.171994e-08,1.121415e-07,1.164329e-07,1.342653e-07,1.464120e-07,1.579981e-07,1.790982e-07,1.832314e-07,2.098395e-07,2.142151e-07,2.376821e-07,2.514409e-07,2.666078e-07,2.904214e-07,2.964575e-07,3.270688e-07,3.307857e-07,3.582802e-07,3.721624e-07,3.899339e-07,4.141933e-07,4.218790e-07,4.539739e-07,4.565440e-07,4.860873e-07,4.989106e-07,5.180992e-07,5.410238e-07,5.499017e-07,5.813994e-07,5.826517e-07,6.125090e-07,6.235991e-07,6.431580e-07,6.637043e-07,6.732846e-07,7.028366e-07,7.317711e-07,7.408939e-07,7.600536e-07,7.777993e-07,7.876564e-07,8.134933e-07,8.145556e-07,8.407351e-07,8.479348e-07,8.661838e-07,8.810987e-07,8.908937e-07,9.129711e-07,9.148612e-07,9.380857e-07,9.435492e-07,9.605692e-07,9.728377e-07,9.823157e-07,1.000847e-06,1.003331e-06,1.023622e-06,1.027594e-06,1.043199e-06,1.053100e-06,1.062071e-06,1.077386e-06,1.080249e-06,1.097745e-06,1.100481e-06,1.114570e-06,1.122412e-06,1.130739e-06,1.143209e-06,1.146263e-06,1.161157e-06,1.162903e-06,1.175434e-06,1.181524e-06,1.189108e-06,1.199105e-06,1.202193e-06,1.214702e-06,1.215678e-06,1.226650e-06,1.231275e-06,1.238050e-06,1.245927e-06,1.248916e-06,1.259263e-06,1.259666e-06,1.269104e-06,1.272525e-06,1.278451e-06,1.284533e-06,1.287320e-06,1.295722e-06,1.303670e-06,1.306120e-06,1.311178e-06,1.315758e-06,1.318259e-06,1.324665e-06,1.324924e-06,1.331185e-06,1.332868e-06,1.337056e-06,1.340395e-06,1.342546e-06,1.347272e-06,1.347669e-06,1.352435e-06,1.353527e-06,1.356855e-06,1.359183e-06,1.360940e-06,1.364267e-06,1.364701e-06,1.368148e-06,1.368801e-06,1.371291e-06,1.372809e-06,1.374140e-06,1.376314e-06,1.376705e-06,1.378995e-06,1.379337e-06,1.381020e-06,1.381900e-06,1.382788e-06,1.384023e-06,1.384308e-06,1.385589e-06,1.385727e-06,1.386639e-06,1.387030e-06,1.387466e-06,1.387951e-06,1.388078e-06,1.388484e-06,1.388507e-06,1.388689e-06,1.388717e-06,1.388702e-06,1.388597e-06,1.388530e-06,1.388180e-06,1.388162e-06,1.387658e-06,1.387430e-06,1.386971e-06,1.386413e-06,1.386126e-06,1.385128e-06,1.383588e-06,1.381806e-06,1.379795e-06,1.377568e-06,1.375136e-06,1.372512e-06,1.369705e-06,1.366727e-06,1.363588e-06,1.360297e-06,1.356864e-06,1.353299e-06,1.349608e-06,1.345802e-06,1.341887e-06,1.337871e-06,1.333763e-06,1.329567e-06,1.325292e-06,1.320943e-06,1.316527e-06,1.312050e-06,1.307516e-06,1.302932e-06
0.000000e+00,6.802935e-11,2.523534e-10,1.717226e-09,5.951092e-09,1.041482e-08,3.402490e-08,3.548375e-08,8.861587e-08,1.102508e-07,1.826046e-07,2.640908e-07,3.306401e-07,5.259352e-07,5.459399e-07,8.411177e-07,9.250794e-07,1.226530e-06,1.484098e-06,1.707693e-06,2.209570e-06,2.283461e-06,2.946434e-06,3.088519e-06,3.685010e-06,4.094476e-06,4.485638e-06,5.195941e-06,5.334422e-06,6.217993e-06,6.361744e-06,7.123865e-06,7.563189e-06,8.040535e-06,8.774548e-06,8.957491e-06,9.865218e-06,9.973110e-06,1.075522e-05,1.113924e-05,1.162004e-05,1.225650e-05,1.245331e-05,1.324978e-05,1.331177e-05,1.400527e-05,1.429526e-05,1.471667e-05,1.520036e-05,1.538188e-05,1.599970e-05,1.602342e-05,1.656976e-05,1.676333e-05,1.709238e-05,1.742111e-05,1.756848e-05,1.799946e-05,1.838713e-05,1.850237e-05,1.873356e-05,1.893467e-05,1.904100e-05,1.930164e-05,1.931179e-05,1.954839e-05,1.960883e-05,1.975320e-05,1.986183e-05,1.992862e-05,2.006606e-05,2.007698e-05,2.020051e-05,2.022670e-05,2.030133e-05,2.034863e-05,2.038145e-05,2.043631e-05,2.044273e-05,2.048692e-05,2.049385e-05,2.051564e-05,2.052496e-05,2.053038e-05,2.053296e-05,2.053251e-05,2.052330e-05,2.052085e-05,2.050389e-05,2.049126e-05,2.047533e-05,2.044655e-05,2.043860e-05,2.039454e-05,2.038880e-05,2.034396e-05,2.031982e-05,2.028757e-05,2.024124e-05,2.022603e-05,2.015992e-05,2.015445e-05,2.008978e-05,2.006071e-05,2.001610e-05,1.996111e-05,1.993932e-05,1.985983e-05,1.985660e-05,1.977800e-05,1.974803e-05,1.969415e-05,1.963613e-05,1.960857e-05,1.952155e-05,1.943331e-05,1.940486e-05,1.934409e-05,1.928657e-05,1.925408e-05,1.916711e-05,1.916347e-05,1.907242e-05,1.904687e-05,1.898108e-05,1.892619e-05,1.888958e-05,1.880538e-05,1.879806e-05,1.870661e-05,1.868469e-05,1.861535e-05,1.856436e-05,1.852436e-05,1.844459e-05,1.843373e-05,1.834354e-05,1.832556e-05,1.825385e-05,1.820743e-05,1.816472e-05,1.809033e-05,1.807621e-05,1.798838e-05,1.797439e-05,1.790125e-05,1.785970e-05,1.781488e-05,1.774636e-05,1.772931e-05,1.764455e-05,1.763444e-05,1.756065e-05,1.752401e-05,1.747762e-05,1.741512e-05,1.739550e-05,1.731429e-05,1.730783e-05,1.723402e-05,1.720218e-05,1.715470e-05,1.709818e-05,1.707634e-05,1.699896e-05,1.699588e-05,1.692255e-05,1.689529e-05,1.684714e-05,1.679643e-05,1.677272e-05,1.669930e-05,1.660391e-05,1.651027e-05,1.641837e-05,1.632820e-05,1.623977e-05,1.615307e-05,1.606807e-05,1.598477e-05,1.590316e-05,1.582321e-05,1.574491e-05,1.566824e-05,1.559318e-05,1.551970e-05,1.544779e-05,1.537743e-05,1.530859e-05,1.524124e-05,1.517537e-05,1.511094e-05,1.504794e-05,1.498635e-05,1.492612e-05,1.486725e-05
0.000000e+00,2.948979e-10,1.142864e-09,8.515319e-09,3.206881e-08,5.877102e-08,2.168337e-07,2.272741e-07,6.438171e-07,8.298135e-07,1.505455e-06,2.349326e-06,3.094248e-06,5.526018e-06,5.793691e-06,1.008740e-05,1.141504e-05,1.651504e-05,2.123849e-05,2.557848e-05,3.602505e-05,3.763746e-05,5.284842e-05,5.626777e-05,7.116146e-05,8.184228e-05,9.235561e-05,1.121368e-04,1.160880e-04,1.419414e-04,1.462448e-04,1.694635e-04,1.831320e-04,1.981964e-04,2.217565e-04,2.276979e-04,2.575547e-04,2.611432e-04,2.873917e-04,3.004263e-04,3.168759e-04,3.388690e-04,3.457192e-04,3.736774e-04,3.758695e-04,4.005492e-04,4.109564e-04,4.261738e-04,4.437807e-04,4.504279e-04,4.732219e-04,4.741024e-04,4.944971e-04,5.017774e-04,5.142212e-04,5.267423e-04,5.323854e-04,5.490005e-04,5.640938e-04,5.686085e-04,5.777057e-04,5.856633e-04,5.898876e-04,6.002918e-04,6.006987e-04,6.102043e-04,6.126413e-04,6.184737e-04,6.228719e-04,6.255789e-04,6.311501e-04,6.315928e-04,6.365883e-04,6.376437e-04,6.406376e-04,6.425185e-04,6.438116e-04,6.459351e-04,6.461787e-04,6.478044e-04,6.480461e-04,6.487511e-04,6.489949e-04,6.490781e-04,6.489147e-04,6.488411e-04,6.480922e-04,6.479282e-04,6.468802e-04,6.461474e-04,6.452505e-04,6.436742e-04,6.432450e-04,6.409027e-04,6.406007e-04,6.382593e-04,6.370095e-04,6.353479e-04,6.329747e-04,6.321988e-04,6.288396e-04,6.285626e-04,6.252958e-04,6.238319e-04,6.215906e-04,6.188349e-04,6.177452e-04,6.137789e-04,6.136180e-04,6.097092e-04,6.082219e-04,6.055521e-04,6.026828e-04,6.013221e-04,5.970324e-04,5.926949e-04,5.912985e-04,5.883202e-04,5.855056e-04,5.839184e-04,5.796751e-04,5.794981e-04,5.750673e-04,5.738258e-04,5.706331e-04,5.679738e-04,5.662022e-04,5.621335e-04,5.617802e-04,5.573724e-04,5.563172e-04,5.529834e-04,5.505354e-04,5.486175e-04,5.447975e-04,5.442783e-04,5.399692e-04,5.391112e-04,5.356931e-04,5.334836e-04,5.314528e-04,5.279202e-04,5.272504e-04,5.230881e-04,5.224260e-04,5.189677e-04,5.170052e-04,5.148906e-04,5.116611e-04,5.108583e-04,5.068719e-04,5.063967e-04,5.029324e-04,5.012141e-04,4.990407e-04,4.961153e-04,4.951973e-04,4.914029e-04,4.911015e-04,4.876580e-04,4.861739e-04,4.839628e-04,4.813332e-04,4.803176e-04,4.767226e-04,4.765798e-04,4.731778e-04,4.719139e-04,4.696831e-04,4.673354e-04,4.662387e-04,4.628442e-04,4.584398e-04,4.541217e-04,4.498891e-04,4.457414e-04,4.416777e-04,4.376969e-04,4.337981e-04,4.299801e-04,4.262418e-04,4.225820e-04,4.189994e-04,4.154929e-04,4.120611e-04,4.087027e-04,4.054164e-04,4.022009e-04,3.990548e-04,3.959769e-04,3.929658e-04,3.900201e-04,3.871386e-04,3.843199e-04,3.815628e-04,3.788659e-04
0.000000e+00,3.912502e-12,9.024665e-12,3.129218e-11,7.148295e-11,1.044446e-10,2.375016e-10,2.446616e-10,4.730634e-10,5.557636e-10,8.115034e-10,1.076996e-09,1.283228e-09,1.855764e-09,1.912452e-09,2.721156e-09,2.943692e-09,3.722442e-09,4.367524e-09,4.915527e-09,6.114971e-09,6.288769e-09,7.826880e-09,8.152973e-09,9.515251e-09,1.044818e-08,1.134074e-08,1.297112e-08,1.329106e-08,1.535413e-08,1.569387e-08,1.751763e-08,1.858806e-08,1.976883e-08,2.162414e-08,2.209464e-08,2.448173e-08,2.477167e-08,2.691677e-08,2.799998e-08,2.938660e-08,3.127908e-08,3.187848e-08,3.438026e-08,3.458048e-08,3.688057e-08,3.787790e-08,3.936890e-08,4.114769e-08,4.183572e-08,4.427248e-08,4.436921e-08,4.667167e-08,4.752490e-08,4.902678e-08,5.060022e-08,5.133228e-08,5.358354e-08,5.577679e-08,5.646588e-08,5.790906e-08,5.924064e-08,5.997808e-08,6.190332e-08,6.198222e-08,6.392042e-08,6.445121e-08,6.579210e-08,6.688310e-08,6.759712e-08,6.919905e-08,6.933571e-08,7.100840e-08,7.140013e-08,7.261601e-08,7.348820e-08,7.415953e-08,7.546578e-08,7.564018e-08,7.705927e-08,7.733583e-08,7.841827e-08,7.910170e-08,7.971870e-08,8.076696e-08,8.096216e-08,8.215028e-08,8.233536e-08,8.328474e-08,8.381071e-08,8.436721e-08,8.519688e-08,8.539937e-08,8.638289e-08,8.649772e-08,8.731943e-08,8.771704e-08,8.821061e-08,8.885856e-08,8.905804e-08,8.986330e-08,8.992594e-08,9.062793e-08,9.092274e-08,9.135343e-08,9.185238e-08,9.204126e-08,9.269284e-08,9.271817e-08,9.330956e-08,9.352330e-08,9.389275e-08,9.427084e-08,9.444371e-08,9.496370e-08,9.545393e-08,9.560471e-08,9.591557e-08,9.619654e-08,9.634975e-08,9.674175e-08,9.675757e-08,9.714009e-08,9.724280e-08,9.749832e-08,9.770200e-08,9.783323e-08,9.812159e-08,9.814579e-08,9.843689e-08,9.850366e-08,9.870742e-08,9.885024e-08,9.895821e-08,9.916323e-08,9.919009e-08,9.940382e-08,9.944446e-08,9.960017e-08,9.969564e-08,9.977986e-08,9.991843e-08,9.994358e-08,1.000920e-07,1.001144e-07,1.002258e-07,1.002850e-07,1.003455e-07,1.004316e-07,1.004519e-07,1.005453e-07,1.005557e-07,1.006265e-07,1.006584e-07,1.006958e-07,1.007410e-07,1.007539e-07,1.008012e-07,1.008046e-07,1.008382e-07,1.008503e-07,1.008654e-07,1.008791e-07,1.008831e-07,1.008918e-07,1.008920e-07,1.008919e-07,1.008899e-07,1.008838e-07,1.008738e-07,1.008678e-07,1.008444e-07,1.008025e-07,1.007490e-07,1.006844e-07,1.006095e-07,1.005250e-07,1.004314e-07,1.003293e-07,1.002193e-07,1.001019e-07,9.997754e-08,9.984674e-08,9.970994e-08,9.956755e-08,9.941998e-08,9.926760e-08,9.911079e-08,9.894987e-08,9.878517e-08,9.861701e-08,9.844566e-08,9.827141e-08,9.809453e-08,9.791525e-08,9.773381e-08
0.000000e+00,4.686907e-11,1.078081e-10,3.734040e-10,8.548394e-10,1.251831e-09,2.873585e-09,2.961698e-09,5.814413e-09,6.865955e-09,1.017071e-08,1.366660e-08,1.640958e-08,2.403600e-08,2.478619e-08,3.528762e-08,3.810366e-08,4.772000e-08,5.544698e-08,6.187703e-08,7.562887e-08,7.759218e-08,9.472503e-08,9.831004e-08,1.131428e-07,1.231832e-07,1.327107e-07,1.499352e-07,1.532900e-07,1.747383e-07,1.782411e-07,1.969132e-07,2.077742e-07,2.196755e-07,2.382183e-07,2.428918e-07,2.664374e-07,2.692794e-07,2.901976e-07,3.006930e-07,3.140687e-07,3.322277e-07,3.379583e-07,3.617851e-07,3.636863e-07,3.854782e-07,3.949041e-07,4.089768e-07,4.257457e-07,4.322288e-07,4.551901e-07,4.561020e-07,4.778240e-07,4.858859e-07,5.000996e-07,5.150294e-07,5.219918e-07,5.434798e-07,5.645471e-07,5.711976e-07,5.851806e-07,5.981534e-07,6.053699e-07,6.243267e-07,6.251075e-07,6.443877e-07,6.497037e-07,6.632071e-07,6.742765e-07,6.815633e-07,6.980415e-07,6.994559e-07,7.168851e-07,7.209993e-07,7.338525e-07,7.431533e-07,7.503604e-07,7.645097e-07,7.664119e-07,7.820108e-07,7.850766e-07,7.971614e-07,8.048641e-07,8.118685e-07,8.238835e-07,8.261373e-07,8.399735e-07,8.421475e-07,8.533830e-07,8.596698e-07,8.663720e-07,8.764647e-07,8.789469e-07,8.911143e-07,8.925474e-07,9.028811e-07,9.079334e-07,9.142543e-07,9.226389e-07,9.252408e-07,9.358478e-07,9.366801e-07,9.460825e-07,9.500738e-07,9.559522e-07,9.628365e-07,9.654643e-07,9.746259e-07,9.749852e-07,9.834446e-07,9.865367e-07,9.919275e-07,9.975078e-07,1.000082e-06,1.007915e-06,1.015435e-06,1.017776e-06,1.022648e-06,1.027106e-06,1.029561e-06,1.035922e-06,1.036182e-06,1.042517e-06,1.044241e-06,1.048574e-06,1.052077e-06,1.054359e-06,1.059448e-06,1.059880e-06,1.065142e-06,1.066367e-06,1.070153e-06,1.072852e-06,1.074919e-06,1.078915e-06,1.079446e-06,1.083741e-06,1.084573e-06,1.087810e-06,1.089839e-06,1.091660e-06,1.094728e-06,1.095296e-06,1.098723e-06,1.099253e-06,1.101949e-06,1.103427e-06,1.104979e-06,1.107265e-06,1.107818e-06,1.110471e-06,1.110778e-06,1.112946e-06,1.113979e-06,1.115245e-06,1.116880e-06,1.117376e-06,1.119342e-06,1.119493e-06,1.121150e-06,1.121829e-06,1.122803e-06,1.123901e-06,1.124307e-06,1.125666e-06,1.125718e-06,1.126886e-06,1.127291e-06,1.127969e-06,1.128631e-06,1.128922e-06,1.129747e-06,1.130650e-06,1.131348e-06,1.131851e-06,1.132168e-06,1.132307e-06,1.132276e-06,1.132084e-06,1.131738e-06,1.131246e-06,1.130614e-06,1.129851e-06,1.128963e-06,1.127956e-06,1.126837e-06,1.125611e-06,1.124285e-06,1.122865e-06,1.121355e-06,1.119761e-06,1.118089e-06,1.116342e-06,1.114526e-06,1.112646e-06,1.110705e-06
0.000000e+00,7.118342e-12,1.662670e-11,5.833202e-11,1.337905e-10,1.956718e-10,4.450852e-10,4.584882e-10,8.851776e-10,1.039312e-09,1.514910e-09,2.007031e-09,2.388054e-09,3.438356e-09,3.541619e-09,4.997271e-09,5.391840e-09,6.753661e-09,7.862966e-09,8.795184e-09,1.081325e-08,1.110384e-08,1.366301e-08,1.420350e-08,1.645667e-08,1.799650e-08,1.946793e-08,2.215200e-08,2.267818e-08,2.606679e-08,2.662404e-08,2.961125e-08,3.136093e-08,3.328752e-08,3.630664e-08,3.707057e-08,4.093496e-08,4.140295e-08,4.485541e-08,4.659180e-08,4.880734e-08,5.181741e-08,5.276736e-08,5.671359e-08,5.702809e-08,6.062604e-08,6.217746e-08,6.448671e-08,6.722535e-08,6.827975e-08,7.199149e-08,7.213810e-08,7.561038e-08,7.688856e-08,7.912693e-08,8.145580e-08,8.253358e-08,8.582454e-08,8.899564e-08,8.998460e-08,9.204415e-08,9.393014e-08,9.496861e-08,9.765903e-08,9.776865e-08,1.004448e-07,1.011721e-07,1.029985e-07,1.044728e-07,1.054317e-07,1.075660e-07,1.077470e-07,1.099472e-07,1.104585e-07,1.120358e-07,1.131578e-07,1.140161e-07,1.156722e-07,1.158919e-07,1.176669e-07,1.180102e-07,1.193451e-07,1.201807e-07,1.209302e-07,1.221927e-07,1.224262e-07,1.238368e-07,1.240548e-07,1.251657e-07,1.257756e-07,1.264166e-07,1.273635e-07,1.275930e-07,1.286983e-07,1.288263e-07,1.297358e-07,1.301717e-07,1.307088e-07,1.314070e-07,1.316203e-07,1.324732e-07,1.325390e-07,1.332703e-07,1.335741e-07,1.340143e-07,1.345186e-07,1.347078e-07,1.353533e-07,1.353782e-07,1.359530e-07,1.361582e-07,1.365093e-07,1.368638e-07,1.370242e-07,1.374997e-07,1.379378e-07,1.380704e-07,1.383403e-07,1.385800e-07,1.387089e-07,1.390325e-07,1.390454e-07,1.393511e-07,1.394315e-07,1.396278e-07,1.397804e-07,1.398767e-07,1.400824e-07,1.400992e-07,1.402967e-07,1.403405e-07,1.404703e-07,1.405575e-07,1.406212e-07,1.407360e-07,1.407504e-07,1.408591e-07,1.408785e-07,1.409483e-07,1.409872e-07,1.410188e-07,1.410644e-07,1.410717e-07,1.411077e-07,1.411119e-07,1.411277e-07,1.411318e-07,1.411324e-07,1.411257e-07,1.411226e-07,1.410991e-07,1.410953e-07,1.410624e-07,1.410423e-07,1.410132e-07,1.409679e-07,1.409522e-07,1.408799e-07,1.408736e-07,1.407969e-07,1.407608e-07,1.407037e-07,1.406305e-07,1.406007e-07,1.404886e-07,1.404840e-07,1.403678e-07,1.403222e-07,1.402386e-07,1.401463e-07,1.401016e-07,1.399571e-07,1.397555e-07,1.395424e-07,1.393186e-07,1.390848e-07,1.388417e-07,1.385900e-07,1.383303e-07,1.380632e-07,1.377892e-07,1.375090e-07,1.372229e-07,1.369314e-07,1.366350e-07,1.363342e-07,1.360292e-07,1.357205e-07,1.354085e-07,1.350935e-07,1.347757e-07,1.344556e-07,1.341333e-07,1.338092e-07,1.334835e-07,1.331565e-07
0.000000e+00,3.294171e-10,1.123363e-09,6.531652e-09,1.998600e-08,3.289868e-08,9.371859e-08,9.725284e-08,2.180846e-07,2.646171e-07,4.145294e-07,5.770855e-07,7.068323e-07,1.077463e-06,1.114738e-06,1.652125e-06,1.800997e-06,2.322946e-06,2.755832e-06,3.124022e-06,3.932596e-06,4.050176e-06,5.096720e-06,5.320111e-06,6.259555e-06,6.908831e-06,7.534535e-06,8.688713e-06,8.916878e-06,1.040080e-05,1.064721e-05,1.197940e-05,1.276843e-05,1.364462e-05,1.503309e-05,1.538737e-05,1.719764e-05,1.741891e-05,1.906471e-05,1.990133e-05,2.097734e-05,2.245432e-05,2.292400e-05,2.489312e-05,2.505127e-05,2.687324e-05,2.766586e-05,2.885324e-05,3.027276e-05,3.082247e-05,3.277093e-05,3.284830e-05,3.468932e-05,3.537093e-05,3.656919e-05,3.782160e-05,3.840296e-05,4.018393e-05,4.190635e-05,4.244433e-05,4.356532e-05,4.459189e-05,4.515686e-05,4.661834e-05,4.667779e-05,4.812572e-05,4.851782e-05,4.949899e-05,5.028667e-05,5.079659e-05,5.192318e-05,5.201810e-05,5.316365e-05,5.342734e-05,5.423382e-05,5.480055e-05,5.522961e-05,5.604542e-05,5.615234e-05,5.700366e-05,5.716552e-05,5.778544e-05,5.816517e-05,5.849976e-05,5.904928e-05,5.914885e-05,5.973505e-05,5.982317e-05,6.026080e-05,6.049242e-05,6.072860e-05,6.106280e-05,6.114096e-05,6.150042e-05,6.154012e-05,6.180950e-05,6.193019e-05,6.207071e-05,6.223873e-05,6.228652e-05,6.245932e-05,6.247136e-05,6.259149e-05,6.263349e-05,6.268532e-05,6.273038e-05,6.274303e-05,6.276678e-05,6.276705e-05,6.275864e-05,6.274829e-05,6.272060e-05,6.267865e-05,6.265460e-05,6.256245e-05,6.244593e-05,6.240377e-05,6.230672e-05,6.220645e-05,6.214641e-05,6.197409e-05,6.196654e-05,6.176856e-05,6.171008e-05,6.155386e-05,6.141756e-05,6.132375e-05,6.109950e-05,6.107946e-05,6.082218e-05,6.075863e-05,6.055303e-05,6.039752e-05,6.027307e-05,6.001854e-05,5.998328e-05,5.968461e-05,5.962390e-05,5.937796e-05,5.921563e-05,5.906416e-05,5.879562e-05,5.874400e-05,5.841821e-05,5.836561e-05,5.808751e-05,5.792722e-05,5.775255e-05,5.748192e-05,5.741393e-05,5.707225e-05,5.703107e-05,5.672804e-05,5.657592e-05,5.638180e-05,5.611761e-05,5.603402e-05,5.568514e-05,5.565719e-05,5.533556e-05,5.519563e-05,5.498568e-05,5.473378e-05,5.463586e-05,5.428642e-05,5.427245e-05,5.393767e-05,5.381236e-05,5.358992e-05,5.335415e-05,5.324342e-05,5.289842e-05,5.244570e-05,5.199646e-05,5.155114e-05,5.111011e-05,5.067371e-05,5.024223e-05,4.981594e-05,4.939507e-05,4.897980e-05,4.857031e-05,4.816674e-05,4.776921e-05,4.737780e-05,4.699260e-05,4.661367e-05,4.624103e-05,4.587471e-05,4.551474e-05,4.516109e-05,4.481376e-05,4.447273e-05,4.413795e-05,4.380940e-05,4.348701e-05
0.000000e+00,3.358712e-10,9.293620e-10,3.943378e-09,9.912470e-09,1.500450e-08,3.626536e-08,3.742767e-08,7.496680e-08,8.869795e-08,1.313982e-07,1.759477e-07,2.106390e-07,3.071784e-07,3.167530e-07,4.537899e-07,4.917024e-07,6.254086e-07,7.376708e-07,8.342525e-07,1.049523e-06,1.081121e-06,1.364177e-06,1.424760e-06,1.678666e-06,1.852344e-06,2.017561e-06,2.315283e-06,2.372928e-06,2.737282e-06,2.795974e-06,3.104357e-06,3.280034e-06,3.469263e-06,3.757122e-06,3.828323e-06,4.178803e-06,4.220182e-06,4.518679e-06,4.664465e-06,4.846462e-06,5.086816e-06,5.161077e-06,5.461768e-06,5.485206e-06,5.748045e-06,5.858451e-06,6.019629e-06,6.206009e-06,6.276419e-06,6.518460e-06,6.527837e-06,6.745919e-06,6.824282e-06,6.959056e-06,7.095981e-06,7.158213e-06,7.343787e-06,7.516224e-06,7.568707e-06,7.676002e-06,7.771846e-06,7.823619e-06,7.954368e-06,7.959590e-06,8.084435e-06,8.117468e-06,8.198673e-06,8.262340e-06,8.302822e-06,8.390165e-06,8.397389e-06,8.482873e-06,8.502092e-06,8.559758e-06,8.599234e-06,8.628515e-06,8.682657e-06,8.689596e-06,8.743440e-06,8.753378e-06,8.790468e-06,8.812364e-06,8.831084e-06,8.860528e-06,8.865673e-06,8.894604e-06,8.898732e-06,8.918231e-06,8.927786e-06,8.936888e-06,8.948451e-06,8.950895e-06,8.960556e-06,8.961437e-06,8.966159e-06,8.967410e-06,8.967979e-06,8.966993e-06,8.966276e-06,8.961295e-06,8.960762e-06,8.953271e-06,8.949259e-06,8.942423e-06,8.932983e-06,8.928962e-06,8.913084e-06,8.912402e-06,8.894977e-06,8.887946e-06,8.874815e-06,8.860018e-06,8.852767e-06,8.828988e-06,8.803626e-06,8.795199e-06,8.776821e-06,8.758970e-06,8.748705e-06,8.720593e-06,8.719399e-06,8.689022e-06,8.680339e-06,8.657681e-06,8.638458e-06,8.625480e-06,8.595178e-06,8.592515e-06,8.558876e-06,8.550712e-06,8.524648e-06,8.505253e-06,8.489910e-06,8.458979e-06,8.454737e-06,8.419199e-06,8.412053e-06,8.383359e-06,8.364625e-06,8.347280e-06,8.316830e-06,8.311018e-06,8.274626e-06,8.268795e-06,8.238154e-06,8.220632e-06,8.201646e-06,8.172444e-06,8.165147e-06,8.128695e-06,8.124326e-06,8.092327e-06,8.076361e-06,8.056078e-06,8.028626e-06,8.019978e-06,7.984057e-06,7.981191e-06,7.948341e-06,7.934118e-06,7.912855e-06,7.887461e-06,7.877622e-06,7.842663e-06,7.841271e-06,7.807996e-06,7.795591e-06,7.773639e-06,7.750462e-06,7.739608e-06,7.705916e-06,7.661985e-06,7.618694e-06,7.576065e-06,7.534118e-06,7.492869e-06,7.452330e-06,7.412513e-06,7.373425e-06,7.335073e-06,7.297460e-06,7.260589e-06,7.224461e-06,7.189075e-06,7.154428e-06,7.120518e-06,7.087340e-06,7.054888e-06,7.023156e-06,6.992138e-06,6.961824e-06,6.932208e-06,6.903279e-06,6.875030e-06,6.847449e-06
0.000000e+00,4.418646e-11,1.116442e-10,4.255653e-10,1.013130e-09,1.501222e-09,3.484569e-09,3.591387e-09,6.987495e-09,8.209761e-09,1.196105e-08,1.581058e-08,1.877142e-08,2.687591e-08,2.767050e-08,3.889987e-08,4.196632e-08,5.267118e-08,6.154912e-08,6.912057e-08,8.581573e-08,8.824861e-08,1.098961e-07,1.145050e-07,1.337902e-07,1.469998e-07,1.596206e-07,1.825958e-07,1.870894e-07,2.159247e-07,2.206483e-07,2.458771e-07,2.605817e-07,2.767120e-07,3.018643e-07,3.082050e-07,3.401382e-07,3.439898e-07,3.723013e-07,3.864733e-07,4.044915e-07,4.288552e-07,4.365162e-07,4.681949e-07,4.707092e-07,4.993611e-07,5.116497e-07,5.298638e-07,5.513390e-07,5.595690e-07,5.883601e-07,5.894913e-07,6.161384e-07,6.258745e-07,6.428226e-07,6.603092e-07,6.683480e-07,6.926662e-07,7.157436e-07,7.228627e-07,7.375601e-07,7.508567e-07,7.581077e-07,7.766423e-07,7.773894e-07,7.954175e-07,8.002433e-07,8.122123e-07,8.217083e-07,8.278010e-07,8.411053e-07,8.422162e-07,8.554950e-07,8.585172e-07,8.676780e-07,8.740379e-07,8.788085e-07,8.877684e-07,8.889315e-07,8.980931e-07,8.998141e-07,9.063399e-07,9.102823e-07,9.137187e-07,9.192801e-07,9.202759e-07,9.260571e-07,9.269131e-07,9.311070e-07,9.332839e-07,9.354688e-07,9.384913e-07,9.391848e-07,9.422956e-07,9.426301e-07,9.448403e-07,9.457903e-07,9.468563e-07,9.480570e-07,9.483794e-07,9.494434e-07,9.495097e-07,9.500807e-07,9.502231e-07,9.503219e-07,9.502667e-07,9.501961e-07,9.497306e-07,9.497053e-07,9.489514e-07,9.485988e-07,9.478828e-07,9.470025e-07,9.465476e-07,9.449676e-07,9.431628e-07,9.425410e-07,9.411524e-07,9.397660e-07,9.389540e-07,9.366823e-07,9.365845e-07,9.340592e-07,9.333263e-07,9.313930e-07,9.297312e-07,9.285993e-07,9.259276e-07,9.256910e-07,9.226798e-07,9.219431e-07,9.195770e-07,9.178033e-07,9.163929e-07,9.135312e-07,9.131370e-07,9.098183e-07,9.091478e-07,9.064452e-07,9.046723e-07,9.030255e-07,9.001221e-07,8.995663e-07,8.960743e-07,8.955130e-07,8.925559e-07,8.908593e-07,8.890166e-07,8.861739e-07,8.854620e-07,8.818968e-07,8.814685e-07,8.783258e-07,8.767538e-07,8.747531e-07,8.720392e-07,8.711827e-07,8.676181e-07,8.673333e-07,8.640627e-07,8.626438e-07,8.605195e-07,8.579775e-07,8.569913e-07,8.534808e-07,8.533408e-07,8.499903e-07,8.487390e-07,8.465220e-07,8.441772e-07,8.430777e-07,8.396595e-07,8.351898e-07,8.307716e-07,8.264077e-07,8.221007e-07,8.178528e-07,8.136659e-07,8.095415e-07,8.054809e-07,8.014853e-07,7.975555e-07,7.936921e-07,7.898956e-07,7.861664e-07,7.825045e-07,7.789101e-07,7.753830e-07,7.719230e-07,7.685298e-07,7.652031e-07,7.619423e-07,7.587469e-07,7.556164e-07,7.525500e-07,7.495471e-07
0.000000e+00,5.899536e-12,1.353806e-11,4.680944e-11,1.072061e-10,1.571220e-10,3.620552e-10,3.732332e-10,7.371914e-10,8.722543e-10,1.299579e-09,1.756483e-09,2.118980e-09,3.149103e-09,3.252339e-09,4.730943e-09,5.136328e-09,6.537951e-09,7.673874e-09,8.619865e-09,1.063301e-08,1.091867e-08,1.338817e-08,1.389936e-08,1.599380e-08,1.739326e-08,1.870821e-08,2.105521e-08,2.150803e-08,2.437217e-08,2.483508e-08,2.728117e-08,2.868810e-08,3.021709e-08,3.257413e-08,3.316353e-08,3.610575e-08,3.645789e-08,3.903071e-08,4.030926e-08,4.192711e-08,4.410326e-08,4.478528e-08,4.759712e-08,4.781986e-08,5.035597e-08,5.144342e-08,5.305642e-08,5.496215e-08,5.569421e-08,5.826605e-08,5.836752e-08,6.076949e-08,6.165362e-08,6.320278e-08,6.481674e-08,6.556478e-08,6.785485e-08,7.007276e-08,7.076726e-08,7.221862e-08,7.355433e-08,7.429282e-08,7.621722e-08,7.629600e-08,7.822895e-08,7.875773e-08,8.009265e-08,8.117808e-08,8.188819e-08,8.348088e-08,8.361673e-08,8.527954e-08,8.566899e-08,8.687795e-08,8.774543e-08,8.841331e-08,8.971339e-08,8.988703e-08,9.130054e-08,9.157615e-08,9.265529e-08,9.333701e-08,9.395271e-08,9.499933e-08,9.519428e-08,9.638145e-08,9.656644e-08,9.751566e-08,9.804170e-08,9.859837e-08,9.942841e-08,9.963099e-08,1.006150e-07,1.007298e-07,1.015516e-07,1.019492e-07,1.024425e-07,1.030896e-07,1.032887e-07,1.040918e-07,1.041542e-07,1.048530e-07,1.051461e-07,1.055737e-07,1.060681e-07,1.062550e-07,1.068983e-07,1.069232e-07,1.075047e-07,1.077142e-07,1.080754e-07,1.084438e-07,1.086117e-07,1.091146e-07,1.095853e-07,1.097293e-07,1.100248e-07,1.102902e-07,1.104342e-07,1.107999e-07,1.108146e-07,1.111670e-07,1.112607e-07,1.114922e-07,1.116748e-07,1.117914e-07,1.120444e-07,1.120655e-07,1.123153e-07,1.123717e-07,1.125417e-07,1.126586e-07,1.127456e-07,1.129071e-07,1.129278e-07,1.130892e-07,1.131191e-07,1.132306e-07,1.132964e-07,1.133526e-07,1.134408e-07,1.134561e-07,1.135418e-07,1.135539e-07,1.136104e-07,1.136374e-07,1.136625e-07,1.136928e-07,1.136989e-07,1.137201e-07,1.137217e-07,1.137268e-07,1.137254e-07,1.137197e-07,1.137053e-07,1.136992e-07,1.136660e-07,1.136628e-07,1.136206e-07,1.135991e-07,1.135635e-07,1.135155e-07,1.134953e-07,1.134164e-07,1.134131e-07,1.133274e-07,1.132930e-07,1.132287e-07,1.131562e-07,1.131207e-07,1.130040e-07,1.128371e-07,1.126565e-07,1.124632e-07,1.122579e-07,1.120416e-07,1.118149e-07,1.115787e-07,1.113336e-07,1.110803e-07,1.108195e-07,1.105517e-07,1.102777e-07,1.099978e-07,1.097128e-07,1.094230e-07,1.091289e-07,1.088311e-07,1.085299e-07,1.082257e-07,1.079190e-07,1.076101e-07,1.072994e-07,1.069872e-07,1.066739e-07
0.000000e+00,3.188493e-11,7.533849e-11,2.675175e-10,6.169301e-10,9.040286e-10,2.062750e-09,2.125045e-09,4.108040e-09,4.824026e-09,7.031697e-09,9.314253e-09,1.108167e-08,1.596958e-08,1.645254e-08,2.334171e-08,2.524180e-08,3.192794e-08,3.752499e-08,4.232703e-08,5.297831e-08,5.453512e-08,6.840356e-08,7.135526e-08,8.368038e-08,9.208744e-08,1.000859e-07,1.145511e-07,1.173651e-07,1.353025e-07,1.382211e-07,1.537176e-07,1.626803e-07,1.724556e-07,1.875857e-07,1.913792e-07,2.103642e-07,2.126410e-07,2.292971e-07,2.375839e-07,2.480739e-07,2.621814e-07,2.666001e-07,2.847911e-07,2.862296e-07,3.025719e-07,3.095546e-07,3.198777e-07,3.320126e-07,3.366536e-07,3.528543e-07,3.534898e-07,3.684438e-07,3.739009e-07,3.833947e-07,3.931863e-07,3.976876e-07,4.113101e-07,4.242565e-07,4.282563e-07,4.365264e-07,4.440261e-07,4.481245e-07,4.586346e-07,4.590594e-07,4.693433e-07,4.721081e-07,4.789912e-07,4.844817e-07,4.880202e-07,4.957966e-07,4.964493e-07,5.042989e-07,5.060989e-07,5.115901e-07,5.154375e-07,5.183450e-07,5.238632e-07,5.245856e-07,5.303345e-07,5.314272e-07,5.356137e-07,5.381807e-07,5.404454e-07,5.441739e-07,5.448511e-07,5.488520e-07,5.494559e-07,5.524688e-07,5.540743e-07,5.557216e-07,5.580749e-07,5.586300e-07,5.612126e-07,5.615014e-07,5.634874e-07,5.643953e-07,5.654718e-07,5.667960e-07,5.671824e-07,5.686351e-07,5.687407e-07,5.698452e-07,5.702645e-07,5.708271e-07,5.714005e-07,5.715946e-07,5.721610e-07,5.721797e-07,5.725388e-07,5.726310e-07,5.727399e-07,5.727816e-07,5.727757e-07,5.726569e-07,5.723937e-07,5.722806e-07,5.719958e-07,5.716748e-07,5.714724e-07,5.708600e-07,5.708322e-07,5.700833e-07,5.698553e-07,5.692336e-07,5.686785e-07,5.682905e-07,5.673462e-07,5.672608e-07,5.661513e-07,5.658738e-07,5.649680e-07,5.642755e-07,5.637170e-07,5.625645e-07,5.624038e-07,5.610335e-07,5.607531e-07,5.596112e-07,5.588526e-07,5.581415e-07,5.568736e-07,5.566289e-07,5.550773e-07,5.548257e-07,5.534909e-07,5.527180e-07,5.518731e-07,5.505587e-07,5.502276e-07,5.485575e-07,5.483556e-07,5.468659e-07,5.461155e-07,5.451557e-07,5.438452e-07,5.434296e-07,5.416901e-07,5.415505e-07,5.399397e-07,5.392369e-07,5.381805e-07,5.369096e-07,5.364146e-07,5.346440e-07,5.345731e-07,5.328706e-07,5.322318e-07,5.310960e-07,5.298895e-07,5.293219e-07,5.275497e-07,5.252157e-07,5.228905e-07,5.205768e-07,5.182770e-07,5.159933e-07,5.137278e-07,5.114822e-07,5.092581e-07,5.070571e-07,5.048803e-07,5.027290e-07,5.006040e-07,4.985065e-07,4.964370e-07,4.943962e-07,4.923848e-07,4.904031e-07,4.884516e-07,4.865307e-07,4.846404e-07,4.827811e-07,4.809529e-07,4.791557e-07,4.773896e-07
0.000000e+00,2.564356e-10,9.086281e-10,5.658771e-09,1.822402e-08,3.072502e-08,9.200790e-08,9.564019e-08,2.220047e-07,2.713384e-07,4.313934e-07,6.058783e-07,7.454837e-07,1.145888e-06,1.186341e-06,1.775507e-06,1.941082e-06,2.530450e-06,3.028881e-06,3.458218e-06,4.410876e-06,4.549821e-06,5.780635e-06,6.040606e-06,7.117001e-06,7.841922e-06,8.524003e-06,9.737437e-06,9.970364e-06,1.143009e-05,1.166342e-05,1.288222e-05,1.357147e-05,1.430992e-05,1.542529e-05,1.569963e-05,1.704044e-05,1.719762e-05,1.832367e-05,1.886826e-05,1.954262e-05,2.042294e-05,2.069237e-05,2.176963e-05,2.185262e-05,2.277256e-05,2.315275e-05,2.370058e-05,2.432263e-05,2.455422e-05,2.533494e-05,2.536468e-05,2.604490e-05,2.628368e-05,2.668687e-05,2.708619e-05,2.726403e-05,2.777985e-05,2.823797e-05,2.837298e-05,2.864210e-05,2.887414e-05,2.899598e-05,2.929182e-05,2.930327e-05,2.956750e-05,2.963424e-05,2.979211e-05,2.990920e-05,2.998031e-05,3.012396e-05,3.013519e-05,3.025961e-05,3.028524e-05,3.035625e-05,3.039917e-05,3.042760e-05,3.047131e-05,3.047598e-05,3.050350e-05,3.050668e-05,3.051214e-05,3.050977e-05,3.050369e-05,3.048459e-05,3.047980e-05,3.044198e-05,3.043474e-05,3.039163e-05,3.036338e-05,3.033000e-05,3.027335e-05,3.025825e-05,3.017742e-05,3.016716e-05,3.008849e-05,3.004702e-05,2.999233e-05,2.991490e-05,2.988973e-05,2.978142e-05,2.977253e-05,2.966807e-05,2.962146e-05,2.955029e-05,2.946305e-05,2.942862e-05,2.930356e-05,2.929849e-05,2.917558e-05,2.912887e-05,2.904509e-05,2.895512e-05,2.891247e-05,2.877807e-05,2.864221e-05,2.859847e-05,2.850517e-05,2.841697e-05,2.836722e-05,2.823416e-05,2.822860e-05,2.808953e-05,2.805053e-05,2.795020e-05,2.786656e-05,2.781080e-05,2.768263e-05,2.767149e-05,2.753243e-05,2.749911e-05,2.739375e-05,2.731630e-05,2.725557e-05,2.713449e-05,2.711802e-05,2.698118e-05,2.695391e-05,2.684516e-05,2.677477e-05,2.671003e-05,2.659727e-05,2.657588e-05,2.644277e-05,2.642157e-05,2.631076e-05,2.624781e-05,2.617991e-05,2.607610e-05,2.605027e-05,2.592189e-05,2.590657e-05,2.579479e-05,2.573929e-05,2.566902e-05,2.557435e-05,2.554461e-05,2.542158e-05,2.541180e-05,2.529996e-05,2.525171e-05,2.517976e-05,2.509411e-05,2.506101e-05,2.494371e-05,2.493905e-05,2.482788e-05,2.478654e-05,2.471353e-05,2.463661e-05,2.460066e-05,2.448927e-05,2.434453e-05,2.420239e-05,2.406284e-05,2.392588e-05,2.379150e-05,2.365968e-05,2.353040e-05,2.340365e-05,2.327941e-05,2.315764e-05,2.303833e-05,2.292144e-05,2.280694e-05,2.269480e-05,2.258500e-05,2.247749e-05,2.237225e-05,2.226923e-05,2.216842e-05,2.206976e-05,2.197323e-05,2.187879e-05,2.178640e-05,2.169603e-05
0.000000e+00,2.070131e-10,8.057629e-10,6.050895e-09,2.290449e-08,4.204676e-08,1.550577e-07,1.624927e-07,4.559319e-07,5.850885e-07,1.046075e-06,1.606992e-06,2.091120e-06,3.618161e-06,3.782266e-06,6.340670e-06,7.110514e-06,1.001012e-05,1.264426e-05,1.504171e-05,2.078359e-05,2.167021e-05,3.008852e-05,3.199979e-05,4.042900e-05,4.658969e-05,5.275571e-05,6.464479e-05,6.706574e-05,8.329616e-05,8.606428e-05,1.013337e-04,1.105899e-04,1.210252e-04,1.378468e-04,1.421873e-04,1.646162e-04,1.673826e-04,1.880954e-04,1.987019e-04,2.124034e-04,2.312957e-04,2.373194e-04,2.626289e-04,2.646645e-04,2.881274e-04,2.983364e-04,3.136237e-04,3.318804e-04,3.389422e-04,3.639248e-04,3.649151e-04,3.884311e-04,3.971128e-04,4.123392e-04,4.282014e-04,4.355453e-04,4.579632e-04,4.795231e-04,4.862318e-04,5.001711e-04,5.128882e-04,5.198673e-04,5.378552e-04,5.385849e-04,5.563086e-04,5.610922e-04,5.730333e-04,5.825898e-04,5.887627e-04,6.023643e-04,6.035080e-04,6.172870e-04,6.204526e-04,6.301224e-04,6.369081e-04,6.420415e-04,6.517964e-04,6.530747e-04,6.632550e-04,6.651918e-04,6.726174e-04,6.771745e-04,6.811979e-04,6.878283e-04,6.890334e-04,6.961608e-04,6.972380e-04,7.026172e-04,7.054887e-04,7.084390e-04,7.126636e-04,7.136620e-04,7.183210e-04,7.188438e-04,7.224499e-04,7.241072e-04,7.260814e-04,7.285280e-04,7.292468e-04,7.319762e-04,7.321766e-04,7.342983e-04,7.351193e-04,7.362404e-04,7.374181e-04,7.378285e-04,7.390871e-04,7.391309e-04,7.400395e-04,7.403117e-04,7.407077e-04,7.410104e-04,7.411124e-04,7.412730e-04,7.412079e-04,7.411423e-04,7.409343e-04,7.406572e-04,7.404683e-04,7.398539e-04,7.398249e-04,7.390184e-04,7.387652e-04,7.380621e-04,7.374215e-04,7.369682e-04,7.358504e-04,7.357485e-04,7.344136e-04,7.340773e-04,7.329738e-04,7.321251e-04,7.314383e-04,7.300151e-04,7.298161e-04,7.281153e-04,7.277664e-04,7.263435e-04,7.253966e-04,7.245079e-04,7.229216e-04,7.226151e-04,7.206713e-04,7.203559e-04,7.186821e-04,7.177128e-04,7.166530e-04,7.150044e-04,7.145890e-04,7.124946e-04,7.122415e-04,7.103742e-04,7.094340e-04,7.082317e-04,7.065910e-04,7.060710e-04,7.038953e-04,7.037207e-04,7.017080e-04,7.008304e-04,6.995120e-04,6.979270e-04,6.973100e-04,6.951046e-04,6.950163e-04,6.928982e-04,6.921041e-04,6.906930e-04,6.891952e-04,6.884911e-04,6.862942e-04,6.834050e-04,6.805314e-04,6.776766e-04,6.748435e-04,6.720347e-04,6.692526e-04,6.664992e-04,6.637763e-04,6.610856e-04,6.584284e-04,6.558061e-04,6.532197e-04,6.506701e-04,6.481580e-04,6.456842e-04,6.432491e-04,6.408533e-04,6.384969e-04,6.361803e-04,6.339035e-04,6.316668e-04,6.294701e-04,6.273133e-04,6.251963e-04
0.000000e+00,1.137631e-11,2.601860e-11,8.914237e-11,2.019915e-10,2.940081e-10,6.630145e-10,6.828002e-10,1.312000e-09,1.539241e-09,2.241032e-09,2.968712e-09,3.533428e-09,5.097126e-09,5.251469e-09,7.438185e-09,8.033760e-09,1.009260e-08,1.176641e-08,1.316574e-08,1.615950e-08,1.658583e-08,2.028308e-08,2.105037e-08,2.419798e-08,2.630274e-08,2.828013e-08,3.180574e-08,3.248507e-08,3.677218e-08,3.746318e-08,4.110362e-08,4.318799e-08,4.544409e-08,4.890095e-08,4.976097e-08,5.402465e-08,5.453143e-08,5.820881e-08,6.001863e-08,6.229062e-08,6.531236e-08,6.625082e-08,7.007368e-08,7.037318e-08,7.374685e-08,7.517204e-08,7.726112e-08,7.968934e-08,8.061015e-08,8.379012e-08,8.391377e-08,8.679942e-08,8.784100e-08,8.963834e-08,9.147237e-08,9.230871e-08,9.481365e-08,9.715727e-08,9.787395e-08,9.934450e-08,1.006648e-07,1.013808e-07,1.031992e-07,1.032722e-07,1.050247e-07,1.054914e-07,1.066448e-07,1.075559e-07,1.081387e-07,1.094072e-07,1.095129e-07,1.107737e-07,1.110601e-07,1.119272e-07,1.125285e-07,1.129793e-07,1.138259e-07,1.139358e-07,1.148024e-07,1.149654e-07,1.155843e-07,1.159592e-07,1.162867e-07,1.168188e-07,1.169144e-07,1.174720e-07,1.175550e-07,1.179639e-07,1.181779e-07,1.183942e-07,1.186968e-07,1.187669e-07,1.190857e-07,1.191205e-07,1.193541e-07,1.194571e-07,1.195754e-07,1.197140e-07,1.197527e-07,1.198890e-07,1.198982e-07,1.199870e-07,1.200161e-07,1.200494e-07,1.200735e-07,1.200785e-07,1.200767e-07,1.200760e-07,1.200462e-07,1.200286e-07,1.199890e-07,1.199358e-07,1.199070e-07,1.198020e-07,1.196757e-07,1.196310e-07,1.195297e-07,1.194266e-07,1.193655e-07,1.191920e-07,1.191844e-07,1.189879e-07,1.189302e-07,1.187771e-07,1.186442e-07,1.185531e-07,1.183364e-07,1.183171e-07,1.180702e-07,1.180093e-07,1.178131e-07,1.176651e-07,1.175469e-07,1.173058e-07,1.172724e-07,1.169904e-07,1.169331e-07,1.167016e-07,1.165489e-07,1.164067e-07,1.161547e-07,1.161063e-07,1.158011e-07,1.157519e-07,1.154917e-07,1.153418e-07,1.151785e-07,1.149257e-07,1.148622e-07,1.145430e-07,1.145046e-07,1.142216e-07,1.140795e-07,1.138982e-07,1.136515e-07,1.135734e-07,1.132473e-07,1.132212e-07,1.129205e-07,1.127896e-07,1.125931e-07,1.123573e-07,1.122656e-07,1.119380e-07,1.119250e-07,1.116108e-07,1.114932e-07,1.112842e-07,1.110625e-07,1.109583e-07,1.106334e-07,1.102064e-07,1.097818e-07,1.093601e-07,1.089414e-07,1.085263e-07,1.081148e-07,1.077073e-07,1.073040e-07,1.069051e-07,1.065107e-07,1.061210e-07,1.057361e-07,1.053561e-07,1.049812e-07,1.046115e-07,1.042469e-07,1.038875e-07,1.035335e-07,1.031848e-07,1.028414e-07,1.025035e-07,1.021709e-07,1.018437e-07,1.015220e-07
0.000000e+00,7.931234e-11,3.006420e-10,2.137766e-09,7.704917e-09,1.377457e-08,4.753505e-08,4.968387e-08,1.310777e-07,1.655681e-07,2.850563e-07,4.257535e-07,5.446194e-07,9.103443e-07,9.490659e-07,1.543654e-06,1.720019e-06,2.376462e-06,2.963431e-06,3.490395e-06,4.724472e-06,4.911479e-06,6.639400e-06,7.019766e-06,8.646058e-06,9.783846e-06,1.088203e-05,1.289306e-05,1.328646e-05,1.579616e-05,1.620344e-05,1.835218e-05,1.958014e-05,2.090333e-05,2.291218e-05,2.340756e-05,2.583188e-05,2.611618e-05,2.815148e-05,2.913412e-05,3.034855e-05,3.192881e-05,3.241109e-05,3.433178e-05,3.447918e-05,3.610707e-05,3.677626e-05,3.773636e-05,3.881994e-05,3.922138e-05,4.056572e-05,4.061664e-05,4.177434e-05,4.217735e-05,4.285324e-05,4.351622e-05,4.380918e-05,4.464943e-05,4.538152e-05,4.559420e-05,4.601312e-05,4.636813e-05,4.655184e-05,4.698860e-05,4.700519e-05,4.738037e-05,4.747237e-05,4.768432e-05,4.783525e-05,4.792360e-05,4.809192e-05,4.810436e-05,4.823235e-05,4.825581e-05,4.831288e-05,4.833908e-05,4.835083e-05,4.835260e-05,4.835071e-05,4.831659e-05,4.830602e-05,4.825219e-05,4.820787e-05,4.816088e-05,4.806559e-05,4.804567e-05,4.790930e-05,4.788569e-05,4.775424e-05,4.767382e-05,4.758267e-05,4.743487e-05,4.739658e-05,4.719773e-05,4.717309e-05,4.698770e-05,4.689212e-05,4.676791e-05,4.659513e-05,4.653963e-05,4.630398e-05,4.628484e-05,4.606198e-05,4.596360e-05,4.581453e-05,4.563347e-05,4.556246e-05,4.530650e-05,4.529619e-05,4.504729e-05,4.495330e-05,4.478544e-05,4.460614e-05,4.452147e-05,4.425586e-05,4.398904e-05,4.390347e-05,4.372140e-05,4.354985e-05,4.345330e-05,4.319577e-05,4.318504e-05,4.291693e-05,4.284191e-05,4.264921e-05,4.248887e-05,4.238212e-05,4.213715e-05,4.211588e-05,4.185068e-05,4.178721e-05,4.158670e-05,4.143946e-05,4.132409e-05,4.109425e-05,4.106300e-05,4.080356e-05,4.075188e-05,4.054588e-05,4.041262e-05,4.029007e-05,4.007671e-05,4.003623e-05,3.978444e-05,3.974435e-05,3.953478e-05,3.941572e-05,3.928732e-05,3.909097e-05,3.904212e-05,3.879923e-05,3.877024e-05,3.855870e-05,3.845363e-05,3.832057e-05,3.814123e-05,3.808489e-05,3.785168e-05,3.783313e-05,3.762096e-05,3.752938e-05,3.739277e-05,3.723005e-05,3.716712e-05,3.694403e-05,3.693516e-05,3.672350e-05,3.664474e-05,3.650555e-05,3.635882e-05,3.629018e-05,3.607739e-05,3.580047e-05,3.552805e-05,3.526011e-05,3.499665e-05,3.473763e-05,3.448302e-05,3.423281e-05,3.398695e-05,3.374540e-05,3.350812e-05,3.327507e-05,3.304620e-05,3.282146e-05,3.260080e-05,3.238418e-05,3.217153e-05,3.196280e-05,3.175794e-05,3.155689e-05,3.135959e-05,3.116599e-05,3.097603e-05,3.078965e-05,3.060680e-05
0.000000e+00,1.069506e-10,3.903360e-10,2.571669e-09,8.666842e-09,1.494580e-08,4.708896e-08,4.903806e-08,1.184103e-07,1.460229e-07,2.366501e-07,3.364175e-07,4.165560e-07,6.466420e-07,6.698648e-07,1.007142e-06,1.101637e-06,1.437538e-06,1.721998e-06,1.968164e-06,2.521234e-06,2.602926e-06,3.340839e-06,3.500265e-06,4.174385e-06,4.641044e-06,5.089005e-06,5.905288e-06,6.064535e-06,7.078157e-06,7.242350e-06,8.107539e-06,8.601330e-06,9.133012e-06,9.939678e-06,1.013855e-05,1.111184e-05,1.122601e-05,1.204388e-05,1.243920e-05,1.292839e-05,1.356624e-05,1.376127e-05,1.454017e-05,1.460011e-05,1.526406e-05,1.553820e-05,1.593300e-05,1.638108e-05,1.654787e-05,1.711022e-05,1.713165e-05,1.762208e-05,1.779444e-05,1.808584e-05,1.837506e-05,1.850414e-05,1.887975e-05,1.921555e-05,1.931506e-05,1.951437e-05,1.968752e-05,1.977904e-05,2.000352e-05,2.001228e-05,2.021669e-05,2.026910e-05,2.039474e-05,2.048989e-05,2.054876e-05,2.067107e-05,2.068089e-05,2.079314e-05,2.081733e-05,2.088736e-05,2.093288e-05,2.096523e-05,2.102147e-05,2.102831e-05,2.107800e-05,2.108644e-05,2.111559e-05,2.113075e-05,2.114226e-05,2.115700e-05,2.115907e-05,2.116697e-05,2.116746e-05,2.116683e-05,2.116414e-05,2.115944e-05,2.114879e-05,2.114551e-05,2.112568e-05,2.112294e-05,2.110054e-05,2.108794e-05,2.107061e-05,2.104495e-05,2.103637e-05,2.099824e-05,2.099503e-05,2.095661e-05,2.093907e-05,2.091185e-05,2.087787e-05,2.086428e-05,2.081418e-05,2.081213e-05,2.076183e-05,2.074248e-05,2.070746e-05,2.066945e-05,2.065129e-05,2.059352e-05,2.053435e-05,2.051514e-05,2.047393e-05,2.043468e-05,2.041242e-05,2.035248e-05,2.034996e-05,2.028669e-05,2.026885e-05,2.022273e-05,2.018406e-05,2.015818e-05,2.009836e-05,2.009314e-05,2.002772e-05,2.001197e-05,1.996199e-05,1.992508e-05,1.989604e-05,1.983787e-05,1.982993e-05,1.976375e-05,1.975051e-05,1.969755e-05,1.966314e-05,1.963139e-05,1.957589e-05,1.956533e-05,1.949941e-05,1.948888e-05,1.943369e-05,1.940222e-05,1.936819e-05,1.931599e-05,1.930297e-05,1.923805e-05,1.923028e-05,1.917348e-05,1.914518e-05,1.910927e-05,1.906075e-05,1.904547e-05,1.898209e-05,1.897704e-05,1.891917e-05,1.889413e-05,1.885672e-05,1.881205e-05,1.879476e-05,1.873331e-05,1.873086e-05,1.867238e-05,1.865058e-05,1.861200e-05,1.857126e-05,1.855218e-05,1.849293e-05,1.841560e-05,1.833931e-05,1.826407e-05,1.818989e-05,1.811680e-05,1.804481e-05,1.797391e-05,1.790413e-05,1.783545e-05,1.776789e-05,1.770145e-05,1.763612e-05,1.757191e-05,1.750881e-05,1.744681e-05,1.738592e-05,1.732612e-05,1.726741e-05,1.720977e-05,1.715321e-05,1.709770e-05,1.704325e-05,1.698984e-05,1.693745e-05
0.000000e+00,2.857028e-12,6.482304e-12,2.189213e-11,4.909401e-11,7.114764e-11,1.595097e-10,1.642613e-10,3.167890e-10,3.726327e-10,5.474804e-10,7.315592e-10,8.752253e-10,1.269274e-09,1.307488e-09,1.829323e-09,1.964712e-09,2.411810e-09,2.754280e-09,3.028450e-09,3.584552e-09,3.660824e-09,4.296784e-09,4.423613e-09,4.927777e-09,5.251674e-09,5.547151e-09,6.054351e-09,6.149341e-09,6.729580e-09,6.820102e-09,7.283854e-09,7.539698e-09,7.808911e-09,8.206248e-09,8.302303e-09,8.762391e-09,8.815314e-09,9.188306e-09,9.364818e-09,9.579886e-09,9.854776e-09,9.937573e-09,1.026231e-08,1.028690e-08,1.055541e-08,1.066413e-08,1.081845e-08,1.099024e-08,1.105325e-08,1.126177e-08,1.126959e-08,1.144597e-08,1.150671e-08,1.160780e-08,1.170603e-08,1.174915e-08,1.187186e-08,1.197766e-08,1.200819e-08,1.206804e-08,1.211842e-08,1.214436e-08,1.220559e-08,1.220790e-08,1.225987e-08,1.227250e-08,1.230136e-08,1.232168e-08,1.233350e-08,1.235590e-08,1.235755e-08,1.237425e-08,1.237725e-08,1.238434e-08,1.238733e-08,1.238843e-08,1.238754e-08,1.238711e-08,1.238087e-08,1.237907e-08,1.237017e-08,1.236299e-08,1.235544e-08,1.234022e-08,1.233705e-08,1.231533e-08,1.231157e-08,1.229059e-08,1.227773e-08,1.226311e-08,1.223932e-08,1.223314e-08,1.220089e-08,1.219688e-08,1.216659e-08,1.215089e-08,1.213042e-08,1.210178e-08,1.209254e-08,1.205313e-08,1.204991e-08,1.201232e-08,1.199564e-08,1.197025e-08,1.193924e-08,1.192703e-08,1.188279e-08,1.188100e-08,1.183763e-08,1.182116e-08,1.179163e-08,1.175993e-08,1.174490e-08,1.169752e-08,1.164955e-08,1.163409e-08,1.160107e-08,1.156981e-08,1.155216e-08,1.150484e-08,1.150286e-08,1.145323e-08,1.143929e-08,1.140334e-08,1.137330e-08,1.135323e-08,1.130697e-08,1.130294e-08,1.125252e-08,1.124041e-08,1.120201e-08,1.117370e-08,1.115145e-08,1.110694e-08,1.110087e-08,1.105031e-08,1.104020e-08,1.099979e-08,1.097355e-08,1.094934e-08,1.090705e-08,1.089900e-08,1.084878e-08,1.084076e-08,1.079871e-08,1.077474e-08,1.074881e-08,1.070903e-08,1.069911e-08,1.064961e-08,1.064368e-08,1.060034e-08,1.057873e-08,1.055131e-08,1.051422e-08,1.050254e-08,1.045405e-08,1.045018e-08,1.040584e-08,1.038663e-08,1.035792e-08,1.032362e-08,1.031032e-08,1.026304e-08,1.026115e-08,1.021608e-08,1.019926e-08,1.016946e-08,1.013796e-08,1.012319e-08,1.007727e-08,1.001721e-08,9.957783e-09,9.899011e-09,9.840900e-09,9.783461e-09,9.726699e-09,9.670622e-09,9.615235e-09,9.560541e-09,9.506544e-09,9.453246e-09,9.400647e-09,9.348748e-09,9.297549e-09,9.247048e-09,9.197244e-09,9.148135e-09,9.099718e-09,9.051989e-09,9.004945e-09,8.958581e-09,8.912893e-09,8.867876e-09,8.823524e-09
0.000000e+00,2.260025e-10,8.256293e-10,5.459422e-09,1.849990e-08,3.202962e-08,1.023199e-07,1.066277e-07,2.626375e-07,3.260142e-07,5.384280e-07,7.792920e-07,9.776066e-07,1.568411e-06,1.629664e-06,2.548056e-06,2.813851e-06,3.782201e-06,4.624392e-06,5.364652e-06,7.051674e-06,7.302659e-06,9.580668e-06,1.007464e-05,1.216968e-05,1.362776e-05,1.503619e-05,1.763438e-05,1.814732e-05,2.147271e-05,2.202276e-05,2.498445e-05,2.672855e-05,2.865640e-05,3.169244e-05,3.246348e-05,3.638120e-05,3.685761e-05,4.038549e-05,4.216870e-05,4.445273e-05,4.757175e-05,4.855991e-05,5.268494e-05,5.301507e-05,5.680681e-05,5.845023e-05,6.090593e-05,6.383302e-05,6.496426e-05,6.896548e-05,6.912413e-05,7.289502e-05,7.428960e-05,7.674014e-05,7.930094e-05,8.048988e-05,8.413501e-05,8.766798e-05,8.877381e-05,9.108272e-05,9.320389e-05,9.437456e-05,9.741595e-05,9.754011e-05,1.005771e-04,1.014042e-04,1.034843e-04,1.051661e-04,1.062612e-04,1.087013e-04,1.089083e-04,1.114265e-04,1.120119e-04,1.138174e-04,1.151014e-04,1.160830e-04,1.179749e-04,1.182256e-04,1.202479e-04,1.206382e-04,1.221529e-04,1.230982e-04,1.239437e-04,1.253620e-04,1.256235e-04,1.271957e-04,1.274375e-04,1.286638e-04,1.293325e-04,1.300312e-04,1.310549e-04,1.313014e-04,1.324779e-04,1.326129e-04,1.335642e-04,1.340145e-04,1.345637e-04,1.352675e-04,1.354799e-04,1.363160e-04,1.363796e-04,1.370754e-04,1.373584e-04,1.377612e-04,1.382112e-04,1.383766e-04,1.389246e-04,1.389452e-04,1.394082e-04,1.395671e-04,1.398303e-04,1.400836e-04,1.401937e-04,1.405011e-04,1.407551e-04,1.408256e-04,1.409584e-04,1.410630e-04,1.411133e-04,1.412188e-04,1.412224e-04,1.412877e-04,1.412985e-04,1.413117e-04,1.413071e-04,1.412964e-04,1.412495e-04,1.412439e-04,1.411563e-04,1.411302e-04,1.410353e-04,1.409537e-04,1.408829e-04,1.407242e-04,1.407008e-04,1.404908e-04,1.404455e-04,1.402544e-04,1.401216e-04,1.399933e-04,1.397559e-04,1.397090e-04,1.394028e-04,1.393519e-04,1.390763e-04,1.389127e-04,1.387307e-04,1.384413e-04,1.383672e-04,1.379872e-04,1.379406e-04,1.375918e-04,1.374133e-04,1.371822e-04,1.368619e-04,1.367592e-04,1.363241e-04,1.362888e-04,1.358778e-04,1.356963e-04,1.354212e-04,1.350865e-04,1.349551e-04,1.344805e-04,1.344614e-04,1.339982e-04,1.338228e-04,1.335089e-04,1.331725e-04,1.330133e-04,1.325122e-04,1.318434e-04,1.311675e-04,1.304859e-04,1.297999e-04,1.291106e-04,1.284191e-04,1.277264e-04,1.270335e-04,1.263413e-04,1.256505e-04,1.249620e-04,1.242764e-04,1.235943e-04,1.229164e-04,1.222431e-04,1.215751e-04,1.209126e-04,1.202563e-04,1.196063e-04,1.189631e-04,1.183269e-04,1.176980e-04,1.170768e-04,1.164633e-04
0.000000e+00,5.693926e-12,1.305801e-11,4.502738e-11,1.027343e-10,1.501728e-10,3.430378e-10,3.534817e-10,6.901368e-10,8.136516e-10,1.200629e-09,1.609632e-09,1.931805e-09,2.842662e-09,2.933922e-09,4.249725e-09,4.614836e-09,5.895819e-09,6.955372e-09,7.850986e-09,9.789049e-09,1.006690e-08,1.248972e-08,1.299485e-08,1.507297e-08,1.646703e-08,1.777959e-08,2.012654e-08,2.057978e-08,2.344851e-08,2.391237e-08,2.636380e-08,2.777377e-08,2.930578e-08,3.166639e-08,3.225639e-08,3.519917e-08,3.555105e-08,3.811928e-08,3.939350e-08,4.100358e-08,4.316458e-08,4.384060e-08,4.662052e-08,4.684019e-08,4.933515e-08,5.040117e-08,5.197780e-08,5.383293e-08,5.454319e-08,5.702731e-08,5.712494e-08,5.942724e-08,6.027022e-08,6.174109e-08,6.326475e-08,6.396776e-08,6.610692e-08,6.815882e-08,6.879711e-08,7.012420e-08,7.133716e-08,7.200422e-08,7.373010e-08,7.380036e-08,7.551436e-08,7.597982e-08,7.714816e-08,7.809080e-08,7.870384e-08,8.006796e-08,8.018360e-08,8.158971e-08,8.191647e-08,8.292448e-08,8.364167e-08,8.419025e-08,8.524891e-08,8.538936e-08,8.652412e-08,8.674356e-08,8.759686e-08,8.813092e-08,8.860983e-08,8.941617e-08,8.956526e-08,9.046535e-08,9.060437e-08,9.131222e-08,9.170044e-08,9.210797e-08,9.270912e-08,9.285461e-08,9.355411e-08,9.363497e-08,9.420837e-08,9.448240e-08,9.481925e-08,9.525560e-08,9.538853e-08,9.591794e-08,9.595862e-08,9.640916e-08,9.659532e-08,9.686380e-08,9.716936e-08,9.728341e-08,9.766949e-08,9.768426e-08,9.802350e-08,9.814337e-08,9.834684e-08,9.854986e-08,9.864083e-08,9.890678e-08,9.914593e-08,9.921700e-08,9.935948e-08,9.948325e-08,9.954858e-08,9.970814e-08,9.971434e-08,9.985782e-08,9.989414e-08,9.998004e-08,1.000436e-07,1.000820e-07,1.001587e-07,1.001646e-07,1.002288e-07,1.002416e-07,1.002754e-07,1.002942e-07,1.003054e-07,1.003185e-07,1.003194e-07,1.003182e-07,1.003163e-07,1.003027e-07,1.002892e-07,1.002735e-07,1.002388e-07,1.002312e-07,1.001766e-07,1.001668e-07,1.001103e-07,1.000744e-07,1.000328e-07,9.996316e-08,9.994474e-08,9.984668e-08,9.983427e-08,9.973914e-08,9.968896e-08,9.962263e-08,9.952838e-08,9.949764e-08,9.936462e-08,9.935364e-08,9.922402e-08,9.916576e-08,9.907627e-08,9.896570e-08,9.892179e-08,9.876096e-08,9.875440e-08,9.859416e-08,9.853271e-08,9.842174e-08,9.830147e-08,9.824406e-08,9.806144e-08,9.781335e-08,9.755789e-08,9.729573e-08,9.702746e-08,9.675367e-08,9.647490e-08,9.619168e-08,9.590448e-08,9.561377e-08,9.531996e-08,9.502348e-08,9.472470e-08,9.442397e-08,9.412165e-08,9.381804e-08,9.351344e-08,9.320813e-08,9.290239e-08,9.259644e-08,9.229053e-08,9.198487e-08,9.167967e-08,9.137511e-08,9.107137e-08
0.000000e+00,4.137052e-12,9.462034e-12,3.243760e-11,7.355837e-11,1.071149e-10,2.418138e-10,2.490400e-10,4.789292e-10,5.619765e-10,8.184568e-10,1.084376e-09,1.290742e-09,1.862516e-09,1.919010e-09,2.721525e-09,2.940985e-09,3.703163e-09,4.326871e-09,4.850845e-09,5.978219e-09,6.139345e-09,7.541140e-09,7.832870e-09,9.031755e-09,9.834984e-09,1.059051e-08,1.193945e-08,1.219962e-08,1.384323e-08,1.410843e-08,1.550688e-08,1.630859e-08,1.717724e-08,1.851011e-08,1.884209e-08,2.049035e-08,2.068655e-08,2.211217e-08,2.281514e-08,2.369898e-08,2.487700e-08,2.524348e-08,2.673968e-08,2.685714e-08,2.818276e-08,2.874427e-08,2.956909e-08,3.053060e-08,3.089605e-08,3.216191e-08,3.221125e-08,3.336574e-08,3.378388e-08,3.450734e-08,3.524825e-08,3.558707e-08,3.660575e-08,3.756462e-08,3.785906e-08,3.846519e-08,3.901178e-08,3.930925e-08,4.006817e-08,4.009873e-08,4.083569e-08,4.103292e-08,4.152227e-08,4.191095e-08,4.216067e-08,4.270733e-08,4.275309e-08,4.330173e-08,4.342712e-08,4.380874e-08,4.407527e-08,4.427623e-08,4.465657e-08,4.470626e-08,4.510082e-08,4.517565e-08,4.546184e-08,4.563693e-08,4.579117e-08,4.604461e-08,4.609057e-08,4.636176e-08,4.640264e-08,4.660635e-08,4.671477e-08,4.682590e-08,4.698449e-08,4.702186e-08,4.719565e-08,4.721507e-08,4.734858e-08,4.740960e-08,4.748193e-08,4.757092e-08,4.759689e-08,4.769459e-08,4.770169e-08,4.777611e-08,4.780441e-08,4.784245e-08,4.788137e-08,4.789459e-08,4.793342e-08,4.793471e-08,4.795981e-08,4.796643e-08,4.797457e-08,4.797835e-08,4.797846e-08,4.797220e-08,4.795648e-08,4.794956e-08,4.793195e-08,4.791190e-08,4.789920e-08,4.786057e-08,4.785881e-08,4.781133e-08,4.779683e-08,4.775726e-08,4.772185e-08,4.769708e-08,4.763671e-08,4.763125e-08,4.756019e-08,4.754240e-08,4.748431e-08,4.743985e-08,4.740398e-08,4.732990e-08,4.731956e-08,4.723140e-08,4.721334e-08,4.713980e-08,4.709091e-08,4.704506e-08,4.696327e-08,4.694747e-08,4.684729e-08,4.683104e-08,4.674477e-08,4.669479e-08,4.664014e-08,4.655506e-08,4.653362e-08,4.642542e-08,4.641233e-08,4.631574e-08,4.626705e-08,4.620475e-08,4.611963e-08,4.609263e-08,4.597953e-08,4.597045e-08,4.586562e-08,4.581986e-08,4.575104e-08,4.566819e-08,4.563591e-08,4.552036e-08,4.551573e-08,4.540451e-08,4.536275e-08,4.528846e-08,4.520950e-08,4.517233e-08,4.505621e-08,4.490309e-08,4.475033e-08,4.459810e-08,4.444657e-08,4.429588e-08,4.414616e-08,4.399753e-08,4.385010e-08,4.370396e-08,4.355921e-08,4.341593e-08,4.327417e-08,4.313402e-08,4.299552e-08,4.285872e-08,4.272366e-08,4.259039e-08,4.245893e-08,4.232931e-08,4.220156e-08,4.207569e-08,4.195171e-08,4.182964e-08,4.170949e-08
0.000000e+00,5.425027e-12,1.243427e-11,4.296182e-11,9.857787e-11,1.448092e-10,3.373508e-10,3.479768e-10,6.998499e-10,8.326646e-10,1.255765e-09,1.704138e-09,2.051274e-09,2.983357e-09,3.072426e-09,4.279870e-09,4.593449e-09,5.640422e-09,6.460185e-09,7.130512e-09,8.533813e-09,8.731134e-09,1.042452e-08,1.077277e-08,1.219292e-08,1.313621e-08,1.401851e-08,1.558341e-08,1.588383e-08,1.777226e-08,1.807551e-08,1.966849e-08,2.057737e-08,2.155884e-08,2.305883e-08,2.343141e-08,2.527615e-08,2.549523e-08,2.708474e-08,2.786727e-08,2.885045e-08,3.016047e-08,3.056809e-08,3.223379e-08,3.236471e-08,3.384473e-08,3.447333e-08,3.539903e-08,3.648240e-08,3.689557e-08,3.833384e-08,3.839015e-08,3.971391e-08,4.019654e-08,4.103608e-08,4.190240e-08,4.230100e-08,4.350962e-08,4.466302e-08,4.502066e-08,4.576249e-08,4.643848e-08,4.680939e-08,4.776629e-08,4.780515e-08,4.875122e-08,4.900742e-08,4.964912e-08,5.016536e-08,5.050037e-08,5.124363e-08,5.130650e-08,5.206905e-08,5.224574e-08,5.278952e-08,5.317517e-08,5.346942e-08,5.403534e-08,5.411022e-08,5.471336e-08,5.482959e-08,5.528026e-08,5.556120e-08,5.581232e-08,5.623330e-08,5.631087e-08,5.677725e-08,5.684896e-08,5.721272e-08,5.741114e-08,5.761854e-08,5.792267e-08,5.799593e-08,5.834604e-08,5.838627e-08,5.867002e-08,5.880457e-08,5.896896e-08,5.918008e-08,5.924395e-08,5.949599e-08,5.951519e-08,5.972609e-08,5.981220e-08,5.993521e-08,6.007330e-08,6.012427e-08,6.029417e-08,6.030058e-08,6.044577e-08,6.049602e-08,6.057990e-08,6.066154e-08,6.069736e-08,6.079892e-08,6.088533e-08,6.090990e-08,6.095730e-08,6.099610e-08,6.101551e-08,6.105907e-08,6.106063e-08,6.109329e-08,6.110028e-08,6.111409e-08,6.112114e-08,6.112364e-08,6.112296e-08,6.112248e-08,6.111117e-08,6.110700e-08,6.109021e-08,6.107445e-08,6.106011e-08,6.102644e-08,6.102135e-08,6.097438e-08,6.096404e-08,6.091965e-08,6.088826e-08,6.085757e-08,6.080005e-08,6.078856e-08,6.071299e-08,6.070032e-08,6.063124e-08,6.058991e-08,6.054367e-08,6.046965e-08,6.045062e-08,6.035241e-08,6.034029e-08,6.024935e-08,6.020255e-08,6.014175e-08,6.005711e-08,6.002990e-08,5.991405e-08,5.990462e-08,5.979449e-08,5.974568e-08,5.967145e-08,5.958085e-08,5.954519e-08,5.941592e-08,5.941069e-08,5.928386e-08,5.923568e-08,5.914924e-08,5.905632e-08,5.901224e-08,5.887305e-08,5.868630e-08,5.849645e-08,5.830389e-08,5.810896e-08,5.791200e-08,5.771331e-08,5.751319e-08,5.731191e-08,5.710972e-08,5.690686e-08,5.670356e-08,5.650002e-08,5.629644e-08,5.609300e-08,5.588988e-08,5.568722e-08,5.548518e-08,5.528389e-08,5.508348e-08,5.488408e-08,5.468578e-08,5.448868e-08,5.429289e-08,5.409849e-08
0.000000e+00,1.250994e-10,4.839040e-10,3.587431e-09,1.342320e-08,2.448789e-08,8.890258e-08,9.310800e-08,2.575058e-07,3.292386e-07,5.835373e-07,8.906651e-07,1.154420e-06,1.980742e-06,2.069106e-06,3.436326e-06,3.843868e-06,5.362501e-06,6.720023e-06,7.938228e-06,1.079545e-05,1.122978e-05,1.527671e-05,1.617840e-05,2.009317e-05,2.289987e-05,2.567079e-05,3.092446e-05,3.198188e-05,3.898238e-05,4.016276e-05,4.661468e-05,5.048282e-05,5.481020e-05,6.172057e-05,6.349188e-05,7.257657e-05,7.368972e-05,8.197745e-05,8.619125e-05,9.160622e-05,9.902250e-05,1.013753e-04,1.111995e-04,1.119854e-04,1.209982e-04,1.248935e-04,1.306962e-04,1.375776e-04,1.402249e-04,1.495234e-04,1.498898e-04,1.585385e-04,1.617057e-04,1.672254e-04,1.729258e-04,1.755471e-04,1.834744e-04,1.909856e-04,1.932987e-04,1.980659e-04,2.023669e-04,2.047065e-04,2.106649e-04,2.109043e-04,2.166607e-04,2.181941e-04,2.219816e-04,2.249687e-04,2.268759e-04,2.310124e-04,2.313558e-04,2.354355e-04,2.363568e-04,2.391307e-04,2.410386e-04,2.424588e-04,2.450982e-04,2.454378e-04,2.480863e-04,2.485779e-04,2.504229e-04,2.515208e-04,2.524662e-04,2.539694e-04,2.542346e-04,2.557460e-04,2.559651e-04,2.570178e-04,2.575480e-04,2.580666e-04,2.587559e-04,2.589085e-04,2.595587e-04,2.596245e-04,2.600315e-04,2.601869e-04,2.603407e-04,2.604740e-04,2.604989e-04,2.605183e-04,2.605141e-04,2.604100e-04,2.603333e-04,2.601845e-04,2.599552e-04,2.598517e-04,2.594206e-04,2.594014e-04,2.588997e-04,2.586917e-04,2.582968e-04,2.578437e-04,2.576192e-04,2.568736e-04,2.560663e-04,2.557959e-04,2.552031e-04,2.546237e-04,2.542891e-04,2.533687e-04,2.533295e-04,2.523287e-04,2.520416e-04,2.512908e-04,2.506520e-04,2.502199e-04,2.492085e-04,2.491195e-04,2.479928e-04,2.477188e-04,2.468429e-04,2.461899e-04,2.456727e-04,2.446281e-04,2.444847e-04,2.432813e-04,2.430390e-04,2.420648e-04,2.414276e-04,2.408371e-04,2.397986e-04,2.396002e-04,2.383558e-04,2.381561e-04,2.371054e-04,2.365036e-04,2.358507e-04,2.348446e-04,2.345929e-04,2.333333e-04,2.331821e-04,2.320731e-04,2.315186e-04,2.308133e-04,2.298568e-04,2.295549e-04,2.282989e-04,2.281986e-04,2.270461e-04,2.265461e-04,2.257973e-04,2.249009e-04,2.245530e-04,2.233142e-04,2.232647e-04,2.220812e-04,2.216389e-04,2.208547e-04,2.200246e-04,2.196351e-04,2.184230e-04,2.168350e-04,2.152616e-04,2.137035e-04,2.121614e-04,2.106359e-04,2.091274e-04,2.076365e-04,2.061634e-04,2.047086e-04,2.032723e-04,2.018547e-04,2.004559e-04,1.990762e-04,1.977155e-04,1.963741e-04,1.950518e-04,1.937487e-04,1.924648e-04,1.912001e-04,1.899543e-04,1.887276e-04,1.875197e-04,1.863306e-04,1.851600e-04
0.000000e+00,9.267760e-11,2.504033e-10,1.033306e-09,2.563758e-09,3.862777e-09,9.265079e-09,9.559877e-09,1.906549e-08,2.253690e-08,3.331814e-08,4.454782e-08,5.328150e-08,7.754122e-08,7.994374e-08,1.142486e-07,1.237069e-07,1.569103e-07,1.845604e-07,2.081523e-07,2.600422e-07,2.675803e-07,3.343502e-07,3.484972e-07,4.074623e-07,4.476635e-07,4.859529e-07,5.554006e-07,5.689494e-07,6.556589e-07,6.698272e-07,7.453454e-07,7.892467e-07,8.373133e-07,9.120847e-07,9.309013e-07,1.025482e-06,1.036869e-06,1.120464e-06,1.162241e-06,1.215301e-06,1.286971e-06,1.309493e-06,1.402590e-06,1.409978e-06,1.494195e-06,1.530341e-06,1.583966e-06,1.647298e-06,1.671610e-06,1.756887e-06,1.760246e-06,1.839602e-06,1.868721e-06,1.919601e-06,1.972390e-06,1.996771e-06,2.071033e-06,2.142338e-06,2.164527e-06,2.210664e-06,2.252828e-06,2.276011e-06,2.335958e-06,2.338397e-06,2.397858e-06,2.413989e-06,2.454441e-06,2.487034e-06,2.508205e-06,2.555236e-06,2.559217e-06,2.607549e-06,2.618758e-06,2.653278e-06,2.677780e-06,2.696487e-06,2.732491e-06,2.737258e-06,2.775675e-06,2.783083e-06,2.811824e-06,2.829753e-06,2.845789e-06,2.872694e-06,2.877654e-06,2.907503e-06,2.912098e-06,2.935417e-06,2.948152e-06,2.961476e-06,2.981039e-06,2.985757e-06,3.008336e-06,3.010935e-06,3.029288e-06,3.038009e-06,3.048682e-06,3.062423e-06,3.066589e-06,3.083075e-06,3.084334e-06,3.098204e-06,3.103890e-06,3.112039e-06,3.121232e-06,3.124638e-06,3.136061e-06,3.136494e-06,3.146362e-06,3.149806e-06,3.155594e-06,3.161288e-06,3.163809e-06,3.171055e-06,3.177380e-06,3.179217e-06,3.182829e-06,3.185876e-06,3.187445e-06,3.191130e-06,3.191269e-06,3.194341e-06,3.195072e-06,3.196700e-06,3.197788e-06,3.198381e-06,3.199360e-06,3.199420e-06,3.199851e-06,3.199867e-06,3.199704e-06,3.199381e-06,3.199010e-06,3.197972e-06,3.197800e-06,3.196100e-06,3.195704e-06,3.193938e-06,3.192639e-06,3.191338e-06,3.188835e-06,3.188326e-06,3.184924e-06,3.184345e-06,3.181156e-06,3.179223e-06,3.177041e-06,3.173515e-06,3.172602e-06,3.167856e-06,3.167267e-06,3.162822e-06,3.160521e-06,3.157519e-06,3.153319e-06,3.151963e-06,3.146170e-06,3.145697e-06,3.140155e-06,3.137691e-06,3.133934e-06,3.129334e-06,3.127519e-06,3.120926e-06,3.120658e-06,3.114165e-06,3.111693e-06,3.107250e-06,3.102465e-06,3.100191e-06,3.093001e-06,3.083325e-06,3.073459e-06,3.063426e-06,3.053246e-06,3.042936e-06,3.032515e-06,3.022000e-06,3.011405e-06,3.000745e-06,2.990034e-06,2.979284e-06,2.968507e-06,2.957714e-06,2.946915e-06,2.936120e-06,2.925338e-06,2.914576e-06,2.903843e-06,2.893146e-06,2.882492e-06,2.871886e-06,2.861334e-06,2.850842e-06,2.840414e-06
0.000000e+00,2.082178e-11,4.896458e-11,1.731065e-10,3.986355e-10,5.839716e-10,1.332604e-09,1.372881e-09,2.656421e-09,3.120481e-09,4.553100e-09,6.036459e-09,7.185939e-09,1.036395e-08,1.067752e-08,1.512869e-08,1.634620e-08,2.058230e-08,2.406387e-08,2.700326e-08,3.338293e-08,3.430152e-08,4.237075e-08,4.406801e-08,5.110941e-08,5.588693e-08,6.042453e-08,6.863101e-08,7.022917e-08,8.043972e-08,8.210560e-08,9.097464e-08,9.612316e-08,1.017543e-07,1.105025e-07,1.127019e-07,1.237441e-07,1.250722e-07,1.348123e-07,1.396742e-07,1.458437e-07,1.541675e-07,1.567811e-07,1.675744e-07,1.684303e-07,1.781798e-07,1.823609e-07,1.885604e-07,1.958777e-07,1.986854e-07,2.085301e-07,2.089178e-07,2.180752e-07,2.214351e-07,2.273060e-07,2.333982e-07,2.362126e-07,2.447884e-07,2.530304e-07,2.555972e-07,2.609382e-07,2.658246e-07,2.685137e-07,2.754773e-07,2.757610e-07,2.826853e-07,2.845672e-07,2.892934e-07,2.931096e-07,2.955928e-07,3.011228e-07,3.015918e-07,3.072993e-07,3.086268e-07,3.127245e-07,3.156427e-07,3.178767e-07,3.221925e-07,3.227656e-07,3.274006e-07,3.282980e-07,3.317914e-07,3.339812e-07,3.359473e-07,3.392635e-07,3.398776e-07,3.435913e-07,3.441660e-07,3.470973e-07,3.487090e-07,3.504043e-07,3.529121e-07,3.535205e-07,3.564540e-07,3.567942e-07,3.592128e-07,3.603732e-07,3.618042e-07,3.636663e-07,3.642357e-07,3.665142e-07,3.666901e-07,3.686465e-07,3.694599e-07,3.706390e-07,3.719907e-07,3.724981e-07,3.742297e-07,3.742963e-07,3.758394e-07,3.763902e-07,3.773329e-07,3.782848e-07,3.787155e-07,3.799920e-07,3.811676e-07,3.815231e-07,3.822466e-07,3.828887e-07,3.832337e-07,3.840987e-07,3.841330e-07,3.849487e-07,3.851626e-07,3.856845e-07,3.860893e-07,3.863444e-07,3.868873e-07,3.869317e-07,3.874500e-07,3.875645e-07,3.879025e-07,3.881284e-07,3.882924e-07,3.885859e-07,3.886225e-07,3.888958e-07,3.889439e-07,3.891150e-07,3.892085e-07,3.892828e-07,3.893857e-07,3.894015e-07,3.894737e-07,3.894810e-07,3.895015e-07,3.894998e-07,3.894872e-07,3.894469e-07,3.894329e-07,3.893405e-07,3.893270e-07,3.892121e-07,3.891446e-07,3.890493e-07,3.889037e-07,3.888540e-07,3.886278e-07,3.886084e-07,3.883723e-07,3.882622e-07,3.880891e-07,3.878688e-07,3.877795e-07,3.874451e-07,3.874313e-07,3.870872e-07,3.869528e-07,3.867070e-07,3.864363e-07,3.863057e-07,3.858846e-07,3.853001e-07,3.846854e-07,3.840428e-07,3.833744e-07,3.826823e-07,3.819685e-07,3.812347e-07,3.804826e-07,3.797140e-07,3.789303e-07,3.781330e-07,3.773234e-07,3.765028e-07,3.756725e-07,3.748335e-07,3.739869e-07,3.731338e-07,3.722752e-07,3.714118e-07,3.705446e-07,3.696743e-07,3.688018e-07,3.679276e-07,3.670526e-07
0.000000e+00,4.105830e-12,9.417628e-12,3.246796e-11,7.399391e-11,1.080381e-10,2.455519e-10,2.529581e-10,4.896198e-10,5.755080e-10,8.417100e-10,1.118829e-09,1.334404e-09,1.932575e-09,1.991666e-09,2.829219e-09,3.057530e-09,3.848688e-09,4.495773e-09,5.040688e-09,6.222018e-09,6.392189e-09,7.890449e-09,8.206652e-09,9.523496e-09,1.042204e-08,1.127952e-08,1.284074e-08,1.314636e-08,1.511122e-08,1.543380e-08,1.716069e-08,1.817044e-08,1.928094e-08,2.101867e-08,2.145794e-08,2.367774e-08,2.394635e-08,2.592680e-08,2.692229e-08,2.819217e-08,2.991728e-08,3.046175e-08,3.272440e-08,3.290481e-08,3.497006e-08,3.586152e-08,3.718976e-08,3.876744e-08,3.937568e-08,4.152110e-08,4.160599e-08,4.362036e-08,4.436387e-08,4.566878e-08,4.703070e-08,4.766257e-08,4.959878e-08,5.147518e-08,5.206272e-08,5.329017e-08,5.441905e-08,5.504274e-08,5.666595e-08,5.673232e-08,5.835879e-08,5.880291e-08,5.992235e-08,6.083049e-08,6.142351e-08,6.275010e-08,6.286302e-08,6.424181e-08,6.456381e-08,6.556099e-08,6.627415e-08,6.682180e-08,6.788406e-08,6.802554e-08,6.917364e-08,6.939671e-08,7.026754e-08,7.081544e-08,7.130873e-08,7.214372e-08,7.229875e-08,7.323910e-08,7.338506e-08,7.413134e-08,7.454297e-08,7.497699e-08,7.562097e-08,7.577755e-08,7.653453e-08,7.662250e-08,7.724939e-08,7.755097e-08,7.792360e-08,7.840967e-08,7.855856e-08,7.915568e-08,7.920185e-08,7.971630e-08,7.993063e-08,8.024176e-08,8.059904e-08,8.073334e-08,8.119231e-08,8.121001e-08,8.161988e-08,8.176635e-08,8.201725e-08,8.227079e-08,8.238556e-08,8.272593e-08,8.303946e-08,8.313429e-08,8.332718e-08,8.349825e-08,8.359012e-08,8.382014e-08,8.382926e-08,8.404556e-08,8.410215e-08,8.423993e-08,8.434640e-08,8.441326e-08,8.455490e-08,8.456643e-08,8.470025e-08,8.472958e-08,8.481554e-08,8.487229e-08,8.491306e-08,8.498478e-08,8.499357e-08,8.505778e-08,8.506873e-08,8.510640e-08,8.512574e-08,8.514010e-08,8.515735e-08,8.515952e-08,8.516529e-08,8.516499e-08,8.515802e-08,8.515006e-08,8.513827e-08,8.511388e-08,8.510662e-08,8.506361e-08,8.505770e-08,8.500974e-08,8.498273e-08,8.494552e-08,8.489009e-08,8.487144e-08,8.478795e-08,8.478088e-08,8.469551e-08,8.465612e-08,8.459454e-08,8.451679e-08,8.448545e-08,8.436865e-08,8.436382e-08,8.424452e-08,8.419810e-08,8.411342e-08,8.402047e-08,8.397571e-08,8.383173e-08,8.363264e-08,8.342391e-08,8.320623e-08,8.298026e-08,8.274660e-08,8.250584e-08,8.225854e-08,8.200523e-08,8.174639e-08,8.148252e-08,8.121404e-08,8.094140e-08,8.066499e-08,8.038518e-08,8.010235e-08,7.981683e-08,7.952895e-08,7.923900e-08,7.894728e-08,7.865406e-08,7.835960e-08,7.806414e-08,7.776792e-08,7.747114e-08
0.000000e+00,1.318076e-11,3.030346e-11,1.043736e-10,2.369416e-10,3.449707e-10,7.768753e-10,7.999657e-10,1.530457e-09,1.792487e-09,2.596030e-09,3.420841e-09,4.055690e-09,5.793797e-09,5.964035e-09,8.358402e-09,9.006580e-09,1.124211e-08,1.305970e-08,1.458287e-08,1.786048e-08,1.832975e-08,2.242897e-08,2.328656e-08,2.682954e-08,2.922078e-08,3.148302e-08,3.555296e-08,3.634237e-08,4.136131e-08,4.217609e-08,4.649431e-08,4.898559e-08,5.169709e-08,5.588105e-08,5.692735e-08,6.214546e-08,6.276906e-08,6.731508e-08,6.956582e-08,7.240366e-08,7.619911e-08,7.738273e-08,8.222801e-08,8.260922e-08,8.691938e-08,8.874910e-08,9.144074e-08,9.458375e-08,9.577970e-08,9.992728e-08,1.000891e-07,1.038775e-07,1.052506e-07,1.076273e-07,1.100620e-07,1.111756e-07,1.145235e-07,1.176736e-07,1.186405e-07,1.206299e-07,1.224226e-07,1.233975e-07,1.258821e-07,1.259821e-07,1.283900e-07,1.290335e-07,1.306282e-07,1.318925e-07,1.327036e-07,1.344755e-07,1.346236e-07,1.363953e-07,1.367992e-07,1.380260e-07,1.388803e-07,1.395229e-07,1.407350e-07,1.408929e-07,1.421429e-07,1.423791e-07,1.432795e-07,1.438277e-07,1.443089e-07,1.450953e-07,1.452373e-07,1.460706e-07,1.461955e-07,1.468143e-07,1.471411e-07,1.474738e-07,1.479442e-07,1.480542e-07,1.485602e-07,1.486161e-07,1.489965e-07,1.491675e-07,1.493673e-07,1.496080e-07,1.496769e-07,1.499290e-07,1.499468e-07,1.501274e-07,1.501925e-07,1.502755e-07,1.503529e-07,1.503767e-07,1.504339e-07,1.504353e-07,1.504502e-07,1.504466e-07,1.504282e-07,1.503928e-07,1.503707e-07,1.502799e-07,1.501583e-07,1.501132e-07,1.500080e-07,1.498976e-07,1.498310e-07,1.496378e-07,1.496293e-07,1.494047e-07,1.493379e-07,1.491588e-07,1.490018e-07,1.488934e-07,1.486332e-07,1.486099e-07,1.483097e-07,1.482353e-07,1.479942e-07,1.478113e-07,1.476646e-07,1.473639e-07,1.473222e-07,1.469679e-07,1.468958e-07,1.466030e-07,1.464093e-07,1.462283e-07,1.459067e-07,1.458448e-07,1.454533e-07,1.453900e-07,1.450547e-07,1.448611e-07,1.446498e-07,1.443217e-07,1.442392e-07,1.438236e-07,1.437734e-07,1.434037e-07,1.432178e-07,1.429801e-07,1.426560e-07,1.425533e-07,1.421239e-07,1.420894e-07,1.416922e-07,1.415191e-07,1.412589e-07,1.409461e-07,1.408244e-07,1.403889e-07,1.403715e-07,1.399530e-07,1.397960e-07,1.395169e-07,1.392205e-07,1.390811e-07,1.386457e-07,1.380723e-07,1.375009e-07,1.369321e-07,1.363663e-07,1.358041e-07,1.352458e-07,1.346918e-07,1.341425e-07,1.335982e-07,1.330591e-07,1.325256e-07,1.319978e-07,1.314759e-07,1.309600e-07,1.304505e-07,1.299473e-07,1.294506e-07,1.289604e-07,1.284770e-07,1.280003e-07,1.275303e-07,1.270672e-07,1.266109e-07,1.261615e-07
0.000000e+00,1.002088e-10,2.533129e-10,9.695492e-10,2.320710e-09,3.450277e-09,8.084772e-09,8.335982e-09,1.638598e-08,1.930801e-08,2.833942e-08,3.768781e-08,4.492243e-08,6.487618e-08,6.684221e-08,9.476252e-08,1.024227e-07,1.292554e-07,1.516030e-07,1.707265e-07,2.131157e-07,2.193196e-07,2.748265e-07,2.867115e-07,3.366511e-07,3.710008e-07,4.038757e-07,4.637242e-07,4.754145e-07,5.501783e-07,5.623721e-07,6.271837e-07,6.646903e-07,7.055906e-07,7.688504e-07,7.846986e-07,8.639264e-07,8.734180e-07,9.427912e-07,9.772705e-07,1.020891e-06,1.079528e-06,1.097893e-06,1.173521e-06,1.179505e-06,1.247552e-06,1.276676e-06,1.319807e-06,1.370650e-06,1.390145e-06,1.458460e-06,1.461149e-06,1.524672e-06,1.547984e-06,1.588730e-06,1.631042e-06,1.650601e-06,1.710270e-06,1.767738e-06,1.785664e-06,1.823016e-06,1.857255e-06,1.876127e-06,1.925101e-06,1.927100e-06,1.975971e-06,1.989284e-06,2.022783e-06,2.049900e-06,2.067580e-06,2.107055e-06,2.110410e-06,2.151324e-06,2.160864e-06,2.190373e-06,2.211446e-06,2.227610e-06,2.258922e-06,2.263088e-06,2.296860e-06,2.303415e-06,2.328980e-06,2.345046e-06,2.359500e-06,2.383938e-06,2.388472e-06,2.415949e-06,2.420210e-06,2.441981e-06,2.453977e-06,2.466617e-06,2.485355e-06,2.489908e-06,2.511900e-06,2.514454e-06,2.532641e-06,2.541382e-06,2.552176e-06,2.566243e-06,2.570549e-06,2.587805e-06,2.589138e-06,2.603984e-06,2.610164e-06,2.619129e-06,2.629414e-06,2.633278e-06,2.646471e-06,2.646980e-06,2.658746e-06,2.662947e-06,2.670138e-06,2.677398e-06,2.680682e-06,2.690414e-06,2.699366e-06,2.702071e-06,2.707570e-06,2.712442e-06,2.715057e-06,2.721598e-06,2.721857e-06,2.728000e-06,2.729606e-06,2.733512e-06,2.736529e-06,2.738422e-06,2.742429e-06,2.742755e-06,2.746536e-06,2.747365e-06,2.749791e-06,2.751392e-06,2.752541e-06,2.754564e-06,2.754811e-06,2.756622e-06,2.756931e-06,2.757995e-06,2.758542e-06,2.758950e-06,2.759444e-06,2.759507e-06,2.759685e-06,2.759680e-06,2.759502e-06,2.759291e-06,2.758976e-06,2.758319e-06,2.758123e-06,2.756959e-06,2.756799e-06,2.755501e-06,2.754770e-06,2.753763e-06,2.752264e-06,2.751759e-06,2.749504e-06,2.749314e-06,2.747012e-06,2.745951e-06,2.744294e-06,2.742204e-06,2.741363e-06,2.738231e-06,2.738102e-06,2.734910e-06,2.733670e-06,2.731410e-06,2.728934e-06,2.727742e-06,2.723916e-06,2.718641e-06,2.713128e-06,2.707398e-06,2.701470e-06,2.695362e-06,2.689092e-06,2.682674e-06,2.676125e-06,2.669458e-06,2.662688e-06,2.655827e-06,2.648887e-06,2.641879e-06,2.634814e-06,2.627703e-06,2.620554e-06,2.613376e-06,2.606179e-06,2.598968e-06,2.591753e-06,2.584540e-06,2.577335e-06,2.570144e-06,2.562974e-06
0.000000e+00,9.587239e-12,2.197171e-11,7.562463e-11,1.720565e-10,2.509454e-10,5.682961e-10,5.853326e-10,1.126956e-09,1.322243e-09,1.923468e-09,2.543361e-09,3.021873e-09,4.336462e-09,4.465522e-09,6.286051e-09,6.780597e-09,8.491674e-09,9.888343e-09,1.106175e-08,1.359268e-08,1.395545e-08,1.712579e-08,1.778903e-08,2.052770e-08,2.237435e-08,2.411984e-08,2.725630e-08,2.786411e-08,3.172509e-08,3.235143e-08,3.566975e-08,3.758385e-08,3.966759e-08,4.288541e-08,4.369085e-08,4.771464e-08,4.819646e-08,5.171707e-08,5.346640e-08,5.567926e-08,5.865365e-08,5.958519e-08,6.342159e-08,6.372515e-08,6.717762e-08,6.865554e-08,7.084469e-08,7.342609e-08,7.441615e-08,7.788703e-08,7.802371e-08,8.125381e-08,8.243989e-08,8.451419e-08,8.666979e-08,8.766689e-08,9.071146e-08,9.364813e-08,9.456520e-08,9.647771e-08,9.823298e-08,9.920142e-08,1.017181e-07,1.018209e-07,1.043379e-07,1.050246e-07,1.067547e-07,1.081575e-07,1.090734e-07,1.111220e-07,1.112964e-07,1.134263e-07,1.139238e-07,1.154654e-07,1.165687e-07,1.174164e-07,1.190625e-07,1.192819e-07,1.210644e-07,1.214112e-07,1.227665e-07,1.236206e-07,1.243906e-07,1.256966e-07,1.259394e-07,1.274153e-07,1.276449e-07,1.288207e-07,1.294710e-07,1.301581e-07,1.311805e-07,1.314296e-07,1.326377e-07,1.327785e-07,1.337845e-07,1.342702e-07,1.348722e-07,1.356607e-07,1.359030e-07,1.368788e-07,1.369546e-07,1.378018e-07,1.381566e-07,1.386737e-07,1.392711e-07,1.394967e-07,1.402723e-07,1.403024e-07,1.410026e-07,1.412546e-07,1.416890e-07,1.421317e-07,1.423335e-07,1.429374e-07,1.435025e-07,1.436754e-07,1.440303e-07,1.443491e-07,1.445221e-07,1.449618e-07,1.449794e-07,1.454037e-07,1.455167e-07,1.457961e-07,1.460168e-07,1.461580e-07,1.464651e-07,1.464907e-07,1.467952e-07,1.468643e-07,1.470729e-07,1.472170e-07,1.473247e-07,1.475258e-07,1.475517e-07,1.477551e-07,1.477930e-07,1.479357e-07,1.480210e-07,1.480946e-07,1.482119e-07,1.482326e-07,1.483507e-07,1.483678e-07,1.484497e-07,1.484907e-07,1.485304e-07,1.485825e-07,1.485938e-07,1.486404e-07,1.486449e-07,1.486711e-07,1.486798e-07,1.486866e-07,1.486886e-07,1.486876e-07,1.486747e-07,1.486731e-07,1.486486e-07,1.486346e-07,1.486098e-07,1.485745e-07,1.485591e-07,1.484969e-07,1.484942e-07,1.484238e-07,1.483949e-07,1.483403e-07,1.482778e-07,1.482469e-07,1.481442e-07,1.479950e-07,1.478314e-07,1.476542e-07,1.474645e-07,1.472630e-07,1.470507e-07,1.468284e-07,1.465967e-07,1.463565e-07,1.461083e-07,1.458529e-07,1.455908e-07,1.453227e-07,1.450490e-07,1.447704e-07,1.444872e-07,1.442000e-07,1.439092e-07,1.436152e-07,1.433184e-07,1.430192e-07,1.427179e-07,1.424149e-07,1.421105e-07
0.000000e+00,1.588031e-10,4.947997e-10,2.478206e-09,6.850190e-09,1.077561e-08,2.797255e-08,2.893471e-08,6.060077e-08,7.236155e-08,1.092270e-07,1.479334e-07,1.781467e-07,2.622870e-07,2.706288e-07,3.898817e-07,4.228297e-07,5.389350e-07,6.363987e-07,7.203145e-07,9.078842e-07,9.355068e-07,1.184471e-06,1.238198e-06,1.465594e-06,1.623610e-06,1.776155e-06,2.057427e-06,2.112938e-06,2.472655e-06,2.532123e-06,2.852116e-06,3.040369e-06,3.248266e-06,3.575223e-06,3.658165e-06,4.078968e-06,4.130065e-06,4.507924e-06,4.698560e-06,4.942381e-06,5.274681e-06,5.379802e-06,5.817790e-06,5.852785e-06,6.254102e-06,6.427689e-06,6.686674e-06,6.994747e-06,7.113626e-06,7.533279e-06,7.549892e-06,7.944151e-06,8.089662e-06,8.344959e-06,8.611195e-06,8.734612e-06,9.112204e-06,9.477000e-06,9.590935e-06,9.828429e-06,1.004612e-05,1.016606e-05,1.047693e-05,1.048960e-05,1.079887e-05,1.088290e-05,1.109379e-05,1.126387e-05,1.137439e-05,1.161996e-05,1.164075e-05,1.189303e-05,1.195150e-05,1.213145e-05,1.225901e-05,1.235628e-05,1.254312e-05,1.256781e-05,1.276639e-05,1.280458e-05,1.295235e-05,1.304420e-05,1.312609e-05,1.326286e-05,1.328799e-05,1.343844e-05,1.346148e-05,1.357786e-05,1.364098e-05,1.370665e-05,1.380229e-05,1.382521e-05,1.393394e-05,1.394635e-05,1.403326e-05,1.407408e-05,1.412355e-05,1.418637e-05,1.420520e-05,1.427858e-05,1.428411e-05,1.434408e-05,1.436815e-05,1.440204e-05,1.443931e-05,1.445283e-05,1.449678e-05,1.449840e-05,1.453422e-05,1.454617e-05,1.456548e-05,1.458336e-05,1.459086e-05,1.461067e-05,1.462519e-05,1.462876e-05,1.463469e-05,1.463828e-05,1.463946e-05,1.463982e-05,1.463975e-05,1.463580e-05,1.463397e-05,1.462786e-05,1.462127e-05,1.461615e-05,1.460224e-05,1.460089e-05,1.458230e-05,1.457737e-05,1.456058e-05,1.454712e-05,1.453592e-05,1.451193e-05,1.450851e-05,1.447852e-05,1.447222e-05,1.444612e-05,1.442838e-05,1.441148e-05,1.438076e-05,1.437475e-05,1.433609e-05,1.432973e-05,1.429562e-05,1.427560e-05,1.425349e-05,1.421868e-05,1.420983e-05,1.416476e-05,1.415926e-05,1.411839e-05,1.409760e-05,1.407083e-05,1.403397e-05,1.402220e-05,1.397259e-05,1.396859e-05,1.392210e-05,1.390168e-05,1.387083e-05,1.383346e-05,1.381884e-05,1.376624e-05,1.376412e-05,1.371309e-05,1.369384e-05,1.365947e-05,1.362278e-05,1.360546e-05,1.355110e-05,1.347895e-05,1.340647e-05,1.333376e-05,1.326096e-05,1.318818e-05,1.311549e-05,1.304301e-05,1.297081e-05,1.289898e-05,1.282757e-05,1.275666e-05,1.268630e-05,1.261655e-05,1.254745e-05,1.247906e-05,1.241140e-05,1.234452e-05,1.227844e-05,1.221320e-05,1.214881e-05,1.208531e-05,1.202269e-05,1.196100e-05,1.190022e-05
0.000000e+00,1.588693e-11,3.669688e-11,1.272508e-10,2.902552e-10,4.235820e-10,9.591499e-10,9.878637e-10,1.898944e-09,2.226697e-09,3.233857e-09,4.270186e-09,5.069374e-09,7.265452e-09,7.481334e-09,1.053898e-08,1.137504e-08,1.429159e-08,1.670306e-08,1.875154e-08,2.323793e-08,2.388821e-08,2.964057e-08,3.085858e-08,3.593625e-08,3.940072e-08,4.270342e-08,4.870246e-08,4.987423e-08,5.738452e-08,5.861352e-08,6.517260e-08,6.899192e-08,7.317864e-08,7.970130e-08,8.134454e-08,8.961424e-08,9.061101e-08,9.793428e-08,1.015980e-07,1.062544e-07,1.125490e-07,1.145281e-07,1.227131e-07,1.233629e-07,1.307716e-07,1.339520e-07,1.386704e-07,1.442425e-07,1.463811e-07,1.538795e-07,1.541748e-07,1.611461e-07,1.637022e-07,1.681653e-07,1.727907e-07,1.749251e-07,1.814169e-07,1.876351e-07,1.895666e-07,1.935767e-07,1.972338e-07,1.992411e-07,2.044191e-07,2.046293e-07,2.097443e-07,2.111281e-07,2.145903e-07,2.173709e-07,2.191725e-07,2.231605e-07,2.234972e-07,2.275712e-07,2.285125e-07,2.314020e-07,2.334439e-07,2.349973e-07,2.379729e-07,2.383653e-07,2.415143e-07,2.421185e-07,2.444524e-07,2.458997e-07,2.471882e-07,2.493358e-07,2.497297e-07,2.520854e-07,2.524456e-07,2.542631e-07,2.552475e-07,2.562708e-07,2.577597e-07,2.581161e-07,2.598066e-07,2.599994e-07,2.613495e-07,2.619834e-07,2.627518e-07,2.637278e-07,2.640204e-07,2.651618e-07,2.652478e-07,2.661824e-07,2.665581e-07,2.670881e-07,2.676725e-07,2.678849e-07,2.685784e-07,2.686041e-07,2.691740e-07,2.693654e-07,2.696768e-07,2.699682e-07,2.700918e-07,2.704237e-07,2.706770e-07,2.707422e-07,2.708561e-07,2.709337e-07,2.709652e-07,2.710076e-07,2.710081e-07,2.709887e-07,2.709726e-07,2.709105e-07,2.708369e-07,2.707771e-07,2.706083e-07,2.705916e-07,2.703573e-07,2.702941e-07,2.700770e-07,2.699011e-07,2.697537e-07,2.694358e-07,2.693901e-07,2.689887e-07,2.689041e-07,2.685520e-07,2.683117e-07,2.680823e-07,2.676639e-07,2.675818e-07,2.670527e-07,2.669655e-07,2.664970e-07,2.662214e-07,2.659166e-07,2.654357e-07,2.653133e-07,2.646888e-07,2.646125e-07,2.640448e-07,2.637556e-07,2.633828e-07,2.628686e-07,2.627043e-07,2.620107e-07,2.619546e-07,2.613034e-07,2.610169e-07,2.605836e-07,2.600583e-07,2.598525e-07,2.591113e-07,2.590814e-07,2.583609e-07,2.580888e-07,2.576025e-07,2.570827e-07,2.568370e-07,2.560653e-07,2.550387e-07,2.540046e-07,2.529649e-07,2.519211e-07,2.508747e-07,2.498271e-07,2.487796e-07,2.477333e-07,2.466892e-07,2.456485e-07,2.446121e-07,2.435807e-07,2.425551e-07,2.415361e-07,2.405243e-07,2.395204e-07,2.385247e-07,2.375379e-07,2.365604e-07,2.355925e-07,2.346346e-07,2.336871e-07,2.327502e-07,2.318242e-07
0.000000e+00,1.795355e-10,6.690143e-10,4.599679e-09,1.611155e-08,2.838063e-08,9.454490e-08,9.868614e-08,2.525425e-07,3.166098e-07,5.357303e-07,7.902549e-07,1.003440e-06,1.652560e-06,1.720804e-06,2.758523e-06,3.062637e-06,4.179347e-06,5.157782e-06,6.021070e-06,7.994893e-06,8.289030e-06,1.096162e-05,1.154156e-05,1.400147e-05,1.571298e-05,1.736521e-05,2.040918e-05,2.100936e-05,2.489280e-05,2.553376e-05,2.897727e-05,3.099864e-05,3.322701e-05,3.672295e-05,3.760810e-05,4.208808e-05,4.263083e-05,4.663574e-05,4.865039e-05,5.122116e-05,5.471374e-05,5.581585e-05,6.039302e-05,6.075767e-05,6.492782e-05,6.672474e-05,6.939764e-05,7.256419e-05,7.378221e-05,7.806378e-05,7.823268e-05,8.222713e-05,8.369446e-05,8.625949e-05,8.892130e-05,9.015053e-05,9.389222e-05,9.747863e-05,9.859279e-05,1.009058e-04,1.030144e-04,1.041713e-04,1.071533e-04,1.072744e-04,1.102155e-04,1.110101e-04,1.129962e-04,1.145886e-04,1.156189e-04,1.178951e-04,1.180869e-04,1.204039e-04,1.209380e-04,1.225743e-04,1.237273e-04,1.246026e-04,1.262738e-04,1.264936e-04,1.282526e-04,1.285889e-04,1.298845e-04,1.306846e-04,1.313946e-04,1.325728e-04,1.327882e-04,1.340703e-04,1.342654e-04,1.352460e-04,1.357741e-04,1.363204e-04,1.371101e-04,1.372982e-04,1.381842e-04,1.382846e-04,1.389830e-04,1.393079e-04,1.396989e-04,1.401903e-04,1.403363e-04,1.408993e-04,1.409413e-04,1.413919e-04,1.415700e-04,1.418177e-04,1.420850e-04,1.421804e-04,1.424836e-04,1.424945e-04,1.427305e-04,1.428062e-04,1.429243e-04,1.430273e-04,1.430680e-04,1.431646e-04,1.432166e-04,1.432244e-04,1.432269e-04,1.432127e-04,1.431979e-04,1.431352e-04,1.431319e-04,1.430312e-04,1.429971e-04,1.428980e-04,1.428033e-04,1.427343e-04,1.425585e-04,1.425421e-04,1.423231e-04,1.422668e-04,1.420792e-04,1.419323e-04,1.418120e-04,1.415588e-04,1.415231e-04,1.412139e-04,1.411498e-04,1.408860e-04,1.407084e-04,1.405406e-04,1.402379e-04,1.401790e-04,1.398024e-04,1.397408e-04,1.394120e-04,1.392201e-04,1.390089e-04,1.386779e-04,1.385941e-04,1.381685e-04,1.381168e-04,1.377331e-04,1.375387e-04,1.372888e-04,1.369457e-04,1.368364e-04,1.363766e-04,1.363395e-04,1.359103e-04,1.357220e-04,1.354380e-04,1.350947e-04,1.349605e-04,1.344783e-04,1.344590e-04,1.339922e-04,1.338163e-04,1.335026e-04,1.331679e-04,1.330100e-04,1.325149e-04,1.318585e-04,1.311995e-04,1.305391e-04,1.298779e-04,1.292168e-04,1.285565e-04,1.278977e-04,1.272409e-04,1.265868e-04,1.259359e-04,1.252886e-04,1.246454e-04,1.240066e-04,1.233726e-04,1.227438e-04,1.221204e-04,1.215026e-04,1.208908e-04,1.202852e-04,1.196858e-04,1.190930e-04,1.185068e-04,1.179274e-04,1.173548e-04
0.000000e+00,1.736250e-10,6.349014e-10,4.203414e-09,1.424657e-08,2.465914e-08,7.862617e-08,8.192724e-08,2.010730e-07,2.492818e-07,4.102007e-07,5.916213e-07,7.402465e-07,1.179220e-06,1.224403e-06,1.894123e-06,2.085192e-06,2.771063e-06,3.355472e-06,3.860979e-06,4.989463e-06,5.154986e-06,6.635554e-06,6.952253e-06,8.282091e-06,9.197021e-06,1.007406e-05,1.167741e-05,1.199196e-05,1.401729e-05,1.435011e-05,1.613207e-05,1.717372e-05,1.831853e-05,2.010739e-05,2.055894e-05,2.283559e-05,2.311040e-05,2.513104e-05,2.614258e-05,2.742827e-05,2.916530e-05,2.971101e-05,3.196403e-05,3.214256e-05,3.417339e-05,3.504206e-05,3.632660e-05,3.783593e-05,3.841271e-05,4.042244e-05,4.050113e-05,4.234816e-05,4.301963e-05,4.418380e-05,4.537821e-05,4.592484e-05,4.756817e-05,4.911198e-05,4.958484e-05,5.055558e-05,5.142701e-05,5.189930e-05,5.309640e-05,5.314433e-05,5.429257e-05,5.459707e-05,5.534654e-05,5.593489e-05,5.630921e-05,5.711710e-05,5.718392e-05,5.797430e-05,5.815186e-05,5.868414e-05,5.904794e-05,5.931738e-05,5.981441e-05,5.987798e-05,6.036994e-05,6.046045e-05,6.079721e-05,6.099511e-05,6.116366e-05,6.142725e-05,6.147308e-05,6.172913e-05,6.176539e-05,6.193535e-05,6.201764e-05,6.209514e-05,6.219172e-05,6.221174e-05,6.228822e-05,6.229484e-05,6.232753e-05,6.233377e-05,6.233244e-05,6.231479e-05,6.230558e-05,6.224942e-05,6.224374e-05,6.216630e-05,6.212600e-05,6.205841e-05,6.196655e-05,6.192780e-05,6.177641e-05,6.176995e-05,6.160603e-05,6.154037e-05,6.141835e-05,6.128166e-05,6.121496e-05,6.099732e-05,6.076680e-05,6.069052e-05,6.052468e-05,6.036420e-05,6.027217e-05,6.002099e-05,6.001036e-05,5.974028e-05,5.966331e-05,5.946290e-05,5.929334e-05,5.917910e-05,5.891305e-05,5.888972e-05,5.859551e-05,5.852426e-05,5.829719e-05,5.812858e-05,5.799541e-05,5.772748e-05,5.769079e-05,5.738389e-05,5.732228e-05,5.707523e-05,5.691419e-05,5.676528e-05,5.650426e-05,5.645450e-05,5.614329e-05,5.609348e-05,5.583203e-05,5.568271e-05,5.552106e-05,5.527271e-05,5.521071e-05,5.490126e-05,5.486420e-05,5.459298e-05,5.445778e-05,5.428613e-05,5.405400e-05,5.398091e-05,5.367754e-05,5.365335e-05,5.337619e-05,5.325626e-05,5.307705e-05,5.286311e-05,5.278026e-05,5.248595e-05,5.247423e-05,5.219426e-05,5.208991e-05,5.190529e-05,5.171039e-05,5.161914e-05,5.133590e-05,5.096662e-05,5.060269e-05,5.024425e-05,4.989141e-05,4.954424e-05,4.920280e-05,4.886715e-05,4.853732e-05,4.821331e-05,4.789513e-05,4.758278e-05,4.727623e-05,4.697546e-05,4.668043e-05,4.639110e-05,4.610742e-05,4.582933e-05,4.555678e-05,4.528970e-05,4.502801e-05,4.477165e-05,4.452055e-05,4.427462e-05,4.403380e-05
0.000000e+00,6.430654e-12,1.472339e-11,5.059533e-11,1.149716e-10,1.675895e-10,3.790850e-10,3.904356e-10,7.513666e-10,8.815932e-10,1.283023e-09,1.697918e-09,2.019005e-09,2.905333e-09,2.992709e-09,4.232595e-09,4.571816e-09,5.753044e-09,6.724945e-09,7.545808e-09,9.325746e-09,9.581607e-09,1.182140e-08,1.229037e-08,1.422655e-08,1.553100e-08,1.676271e-08,1.897221e-08,1.939979e-08,2.211101e-08,2.255003e-08,2.487208e-08,2.620851e-08,2.766081e-08,2.989806e-08,3.045699e-08,3.324240e-08,3.357514e-08,3.600086e-08,3.720234e-08,3.871825e-08,4.074849e-08,4.138248e-08,4.398343e-08,4.418851e-08,4.651283e-08,4.750303e-08,4.896410e-08,5.067777e-08,5.133222e-08,5.361351e-08,5.370291e-08,5.580547e-08,5.657241e-08,5.790667e-08,5.928329e-08,5.991648e-08,6.183497e-08,6.366281e-08,6.422875e-08,6.540116e-08,6.646746e-08,6.705160e-08,6.855500e-08,6.861594e-08,7.009629e-08,7.049604e-08,7.149491e-08,7.229584e-08,7.281419e-08,7.396000e-08,7.405662e-08,7.522474e-08,7.549432e-08,7.632112e-08,7.690472e-08,7.734835e-08,7.819718e-08,7.830903e-08,7.920570e-08,7.937757e-08,8.004087e-08,8.045168e-08,8.081701e-08,8.142510e-08,8.153651e-08,8.220174e-08,8.230329e-08,8.281499e-08,8.309156e-08,8.337852e-08,8.379499e-08,8.389448e-08,8.436499e-08,8.441850e-08,8.479208e-08,8.496676e-08,8.517773e-08,8.544428e-08,8.552384e-08,8.583225e-08,8.585535e-08,8.610475e-08,8.620408e-08,8.634305e-08,8.649437e-08,8.654879e-08,8.672356e-08,8.672993e-08,8.686890e-08,8.691429e-08,8.698626e-08,8.705082e-08,8.707708e-08,8.714270e-08,8.718442e-08,8.719293e-08,8.720351e-08,8.720439e-08,8.720115e-08,8.717978e-08,8.717850e-08,8.713666e-08,8.712165e-08,8.707669e-08,8.703244e-08,8.699961e-08,8.691441e-08,8.690638e-08,8.679794e-08,8.676975e-08,8.667517e-08,8.660047e-08,8.653892e-08,8.640852e-08,8.639000e-08,8.622920e-08,8.619568e-08,8.605726e-08,8.596368e-08,8.587488e-08,8.571412e-08,8.568275e-08,8.548150e-08,8.544850e-08,8.527178e-08,8.516826e-08,8.505415e-08,8.487474e-08,8.482918e-08,8.459742e-08,8.456918e-08,8.435937e-08,8.425276e-08,8.411552e-08,8.392660e-08,8.386634e-08,8.361226e-08,8.359174e-08,8.335372e-08,8.324914e-08,8.309111e-08,8.289972e-08,8.282480e-08,8.255518e-08,8.254433e-08,8.228258e-08,8.218377e-08,8.200732e-08,8.181879e-08,8.172973e-08,8.145009e-08,8.107832e-08,8.070408e-08,8.032794e-08,7.995044e-08,7.957206e-08,7.919325e-08,7.881445e-08,7.843605e-08,7.805841e-08,7.768186e-08,7.730673e-08,7.693329e-08,7.656181e-08,7.619254e-08,7.582570e-08,7.546149e-08,7.510011e-08,7.474172e-08,7.438647e-08,7.403451e-08,7.368597e-08,7.334095e-08,7.299956e-08,7.266190e-08
0.000000e+00,3.010860e-10,1.016579e-09,5.805277e-09,1.751882e-08,2.864210e-08,8.032517e-08,8.330487e-08,1.842333e-07,2.227295e-07,3.457630e-07,4.779116e-07,5.827619e-07,8.811904e-07,9.112331e-07,1.348267e-06,1.471203e-06,1.910388e-06,2.284608e-06,2.609542e-06,3.340400e-06,3.448213e-06,4.417669e-06,4.625862e-06,5.501183e-06,6.103204e-06,6.679265e-06,7.728305e-06,7.933374e-06,9.247287e-06,9.462104e-06,1.060706e-05,1.127241e-05,1.200051e-05,1.313210e-05,1.341665e-05,1.484534e-05,1.501717e-05,1.627712e-05,1.690576e-05,1.770306e-05,1.877771e-05,1.911481e-05,2.050463e-05,2.061465e-05,2.186543e-05,2.240018e-05,2.319084e-05,2.412002e-05,2.447522e-05,2.571373e-05,2.576226e-05,2.690232e-05,2.731733e-05,2.803767e-05,2.877797e-05,2.911723e-05,3.013915e-05,3.110220e-05,3.139783e-05,3.200580e-05,3.255285e-05,3.284989e-05,3.360460e-05,3.363488e-05,3.436153e-05,3.455468e-05,3.503095e-05,3.540570e-05,3.564456e-05,3.616122e-05,3.620403e-05,3.671118e-05,3.682533e-05,3.716802e-05,3.740264e-05,3.757663e-05,3.789803e-05,3.793917e-05,3.825784e-05,3.831650e-05,3.853484e-05,3.866315e-05,3.877240e-05,3.894307e-05,3.897271e-05,3.913792e-05,3.916123e-05,3.927013e-05,3.932247e-05,3.937138e-05,3.943142e-05,3.944365e-05,3.948886e-05,3.949256e-05,3.950884e-05,3.951009e-05,3.950534e-05,3.948802e-05,3.948004e-05,3.943455e-05,3.943008e-05,3.937037e-05,3.933980e-05,3.928897e-05,3.922046e-05,3.919171e-05,3.907988e-05,3.907512e-05,3.895471e-05,3.890660e-05,3.881735e-05,3.871755e-05,3.866890e-05,3.851037e-05,3.834273e-05,3.828731e-05,3.816688e-05,3.805043e-05,3.798367e-05,3.780160e-05,3.779389e-05,3.759828e-05,3.754257e-05,3.739754e-05,3.727491e-05,3.719232e-05,3.700007e-05,3.698322e-05,3.677079e-05,3.671938e-05,3.655558e-05,3.643403e-05,3.633807e-05,3.614511e-05,3.611870e-05,3.589791e-05,3.585361e-05,3.567608e-05,3.556044e-05,3.545357e-05,3.526638e-05,3.523072e-05,3.500783e-05,3.497218e-05,3.478519e-05,3.467849e-05,3.456306e-05,3.438589e-05,3.434168e-05,3.412128e-05,3.409491e-05,3.390205e-05,3.380601e-05,3.368418e-05,3.351961e-05,3.346783e-05,3.325317e-05,3.323607e-05,3.304032e-05,3.295572e-05,3.282941e-05,3.267883e-05,3.262056e-05,3.241387e-05,3.240565e-05,3.220942e-05,3.213638e-05,3.200730e-05,3.187122e-05,3.180757e-05,3.161030e-05,3.135376e-05,3.110169e-05,3.085419e-05,3.061130e-05,3.037308e-05,3.013956e-05,2.991075e-05,2.968666e-05,2.946727e-05,2.925257e-05,2.904254e-05,2.883714e-05,2.863632e-05,2.844004e-05,2.824824e-05,2.806088e-05,2.787787e-05,2.769917e-05,2.752470e-05,2.735439e-05,2.718816e-05,2.702595e-05,2.686767e-05,2.671324e-05
0.000000e+00,3.004431e-10,1.039225e-09,6.200969e-09,1.935739e-08,3.217657e-08,9.370877e-08,9.732232e-08,2.223201e-07,2.710093e-07,4.292902e-07,6.028533e-07,7.426388e-07,1.148255e-06,1.189616e-06,1.799465e-06,1.973252e-06,2.599809e-06,3.138867e-06,3.609544e-06,4.673463e-06,4.830760e-06,6.245897e-06,6.549551e-06,7.823328e-06,8.695654e-06,9.526817e-06,1.103035e-05,1.132266e-05,1.318259e-05,1.348453e-05,1.508379e-05,1.600548e-05,1.700783e-05,1.855323e-05,1.893955e-05,2.086623e-05,2.109656e-05,2.277708e-05,2.361040e-05,2.466286e-05,2.607443e-05,2.651575e-05,2.832916e-05,2.847236e-05,3.009762e-05,3.079141e-05,3.181674e-05,3.302194e-05,3.348301e-05,3.509377e-05,3.515702e-05,3.664712e-05,3.719200e-05,3.814177e-05,3.912423e-05,3.957702e-05,4.095262e-05,4.226872e-05,4.267737e-05,4.352580e-05,4.429971e-05,4.472463e-05,4.582161e-05,4.586618e-05,4.695160e-05,4.724564e-05,4.798220e-05,4.857481e-05,4.895934e-05,4.981236e-05,4.988449e-05,5.075916e-05,5.096174e-05,5.158489e-05,5.202651e-05,5.236326e-05,5.301029e-05,5.309583e-05,5.378419e-05,5.391669e-05,5.442988e-05,5.474930e-05,5.503445e-05,5.551163e-05,5.559943e-05,5.612631e-05,5.620718e-05,5.661657e-05,5.683931e-05,5.707164e-05,5.741131e-05,5.749294e-05,5.788182e-05,5.792637e-05,5.823962e-05,5.838754e-05,5.856764e-05,5.879779e-05,5.886714e-05,5.913934e-05,5.915997e-05,5.938543e-05,5.947681e-05,5.960654e-05,5.975092e-05,5.980381e-05,5.997829e-05,5.998481e-05,6.013102e-05,6.018088e-05,6.026302e-05,6.034142e-05,6.037524e-05,6.046862e-05,6.054406e-05,6.056455e-05,6.060243e-05,6.063122e-05,6.064457e-05,6.067049e-05,6.067127e-05,6.068333e-05,6.068418e-05,6.068148e-05,6.067399e-05,6.066644e-05,6.064154e-05,6.063890e-05,6.059952e-05,6.058838e-05,6.054895e-05,6.051596e-05,6.048778e-05,6.042567e-05,6.041662e-05,6.033603e-05,6.031883e-05,6.024654e-05,6.019667e-05,6.014868e-05,6.006037e-05,6.004294e-05,5.992980e-05,5.991105e-05,5.980972e-05,5.974975e-05,5.968314e-05,5.957747e-05,5.955047e-05,5.941211e-05,5.939514e-05,5.926846e-05,5.920366e-05,5.911987e-05,5.900386e-05,5.896670e-05,5.880929e-05,5.879652e-05,5.864795e-05,5.858239e-05,5.848300e-05,5.836216e-05,5.831473e-05,5.814340e-05,5.813649e-05,5.796931e-05,5.790600e-05,5.779269e-05,5.767127e-05,5.761378e-05,5.743283e-05,5.719122e-05,5.694689e-05,5.670030e-05,5.645188e-05,5.620201e-05,5.595106e-05,5.569938e-05,5.544728e-05,5.519507e-05,5.494301e-05,5.469138e-05,5.444040e-05,5.419030e-05,5.394128e-05,5.369354e-05,5.344725e-05,5.320257e-05,5.295965e-05,5.271863e-05,5.247963e-05,5.224276e-05,5.200812e-05,5.177582e-05,5.154593e-05
0.000000e+00,5.203103e-10,2.030964e-09,1.536479e-08,5.870192e-08,1.084569e-07,4.089516e-07,4.290327e-07,1.243391e-06,1.612865e-06,2.974168e-06,4.703317e-06,6.247637e-06,1.135673e-05,1.192303e-05,2.104476e-05,2.386860e-05,3.469309e-05,4.467483e-05,5.381320e-05,7.573290e-05,7.911203e-05,1.110317e-04,1.182313e-04,1.497682e-04,1.726078e-04,1.953074e-04,2.386859e-04,2.474637e-04,3.059158e-04,3.158250e-04,3.702362e-04,4.030477e-04,4.399170e-04,4.991417e-04,5.143913e-04,5.930507e-04,6.027411e-04,6.752617e-04,7.123937e-04,7.603794e-04,8.266158e-04,8.477590e-04,9.367672e-04,9.439397e-04,1.026791e-03,1.062953e-03,1.117247e-03,1.182333e-03,1.207586e-03,1.297298e-03,1.300866e-03,1.385918e-03,1.417471e-03,1.473026e-03,1.531204e-03,1.558249e-03,1.641263e-03,1.721788e-03,1.746990e-03,1.799589e-03,1.847862e-03,1.874475e-03,1.943482e-03,1.946294e-03,2.014932e-03,2.033569e-03,2.080308e-03,2.117946e-03,2.142372e-03,2.196527e-03,2.201102e-03,2.256501e-03,2.269304e-03,2.308593e-03,2.336334e-03,2.357419e-03,2.397731e-03,2.403038e-03,2.445522e-03,2.453649e-03,2.484952e-03,2.504279e-03,2.521421e-03,2.549836e-03,2.555025e-03,2.585869e-03,2.590554e-03,2.614059e-03,2.626680e-03,2.639705e-03,2.658465e-03,2.662918e-03,2.683809e-03,2.686165e-03,2.702489e-03,2.710035e-03,2.719066e-03,2.730325e-03,2.733649e-03,2.746343e-03,2.747280e-03,2.757250e-03,2.761135e-03,2.766470e-03,2.772118e-03,2.774100e-03,2.780231e-03,2.780447e-03,2.784955e-03,2.786327e-03,2.788356e-03,2.789956e-03,2.790518e-03,2.791519e-03,2.791433e-03,2.791188e-03,2.790333e-03,2.789128e-03,2.788287e-03,2.785492e-03,2.785359e-03,2.781611e-03,2.780423e-03,2.777102e-03,2.774054e-03,2.771886e-03,2.766508e-03,2.766015e-03,2.759540e-03,2.757901e-03,2.752506e-03,2.748340e-03,2.744958e-03,2.737924e-03,2.736938e-03,2.728484e-03,2.726744e-03,2.719634e-03,2.714886e-03,2.710422e-03,2.702428e-03,2.700881e-03,2.691041e-03,2.689441e-03,2.680933e-03,2.675993e-03,2.670582e-03,2.662144e-03,2.660015e-03,2.649255e-03,2.647951e-03,2.638324e-03,2.633466e-03,2.627245e-03,2.618737e-03,2.616036e-03,2.604716e-03,2.603806e-03,2.593302e-03,2.588714e-03,2.581811e-03,2.573498e-03,2.570258e-03,2.558656e-03,2.558192e-03,2.547020e-03,2.542824e-03,2.535360e-03,2.527425e-03,2.523690e-03,2.512019e-03,2.496629e-03,2.481276e-03,2.465980e-03,2.450758e-03,2.435625e-03,2.420596e-03,2.405683e-03,2.390898e-03,2.376250e-03,2.361749e-03,2.347403e-03,2.333219e-03,2.319203e-03,2.305360e-03,2.291695e-03,2.278213e-03,2.264916e-03,2.251808e-03,2.238890e-03,2.226164e-03,2.213632e-03,2.201295e-03,2.189154e-03,2.177207e-03
0.000000e+00,2.043268e-10,7.580933e-10,5.163844e-09,1.792802e-08,3.142147e-08,1.032500e-07,1.077099e-07,2.715821e-07,3.390319e-07,5.672769e-07,8.287891e-07,1.045536e-06,1.696090e-06,1.763832e-06,2.783278e-06,3.079124e-06,4.157751e-06,5.095090e-06,5.917217e-06,7.781211e-06,8.057142e-06,1.054203e-05,1.107582e-05,1.331796e-05,1.485662e-05,1.632524e-05,1.898804e-05,1.950654e-05,2.281050e-05,2.334745e-05,2.619241e-05,2.783182e-05,2.961345e-05,3.235547e-05,3.303961e-05,3.644073e-05,3.684587e-05,3.978981e-05,4.124061e-05,4.306273e-05,4.548591e-05,4.623803e-05,4.929697e-05,4.953616e-05,5.222355e-05,5.335407e-05,5.500455e-05,5.691076e-05,5.762952e-05,6.009072e-05,6.018568e-05,6.238296e-05,6.316620e-05,6.450344e-05,6.584683e-05,6.645150e-05,6.822843e-05,6.983726e-05,7.031727e-05,7.128240e-05,7.212391e-05,7.256940e-05,7.366211e-05,7.370469e-05,7.469538e-05,7.494789e-05,7.554908e-05,7.599881e-05,7.627366e-05,7.683306e-05,7.687706e-05,7.736722e-05,7.746888e-05,7.775200e-05,7.792433e-05,7.803909e-05,7.821684e-05,7.823593e-05,7.834966e-05,7.836304e-05,7.838711e-05,7.837862e-05,7.835480e-05,7.827821e-05,7.825882e-05,7.810493e-05,7.807529e-05,7.789848e-05,7.778221e-05,7.764451e-05,7.741027e-05,7.734770e-05,7.701238e-05,7.696975e-05,7.664259e-05,7.646992e-05,7.624202e-05,7.591914e-05,7.581412e-05,7.536204e-05,7.532492e-05,7.488869e-05,7.469400e-05,7.439673e-05,7.403239e-05,7.388863e-05,7.336660e-05,7.334546e-05,7.283271e-05,7.263798e-05,7.228884e-05,7.191417e-05,7.173668e-05,7.117781e-05,7.061366e-05,7.043222e-05,7.004551e-05,6.968034e-05,6.947454e-05,6.892475e-05,6.890182e-05,6.832832e-05,6.816772e-05,6.775492e-05,6.741126e-05,6.718241e-05,6.665710e-05,6.661150e-05,6.604285e-05,6.590677e-05,6.547702e-05,6.516160e-05,6.491455e-05,6.442272e-05,6.435590e-05,6.380147e-05,6.369113e-05,6.325165e-05,6.296767e-05,6.270676e-05,6.225307e-05,6.216708e-05,6.163288e-05,6.154794e-05,6.110438e-05,6.085278e-05,6.058177e-05,6.016803e-05,6.006521e-05,5.955484e-05,5.949402e-05,5.905079e-05,5.883104e-05,5.855315e-05,5.817928e-05,5.806200e-05,5.757740e-05,5.753891e-05,5.709939e-05,5.691004e-05,5.662801e-05,5.629274e-05,5.616328e-05,5.570521e-05,5.568703e-05,5.525379e-05,5.509291e-05,5.480901e-05,5.451035e-05,5.437086e-05,5.393929e-05,5.337965e-05,5.283134e-05,5.229423e-05,5.176819e-05,5.125309e-05,5.074877e-05,5.025506e-05,4.977181e-05,4.929882e-05,4.883593e-05,4.838295e-05,4.793969e-05,4.750597e-05,4.708158e-05,4.666635e-05,4.626007e-05,4.586256e-05,4.547363e-05,4.509309e-05,4.472075e-05,4.435642e-05,4.399993e-05,4.365108e-05,4.330971e-05
0.000000e+00,3.841910e-10,1.293813e-09,7.362243e-09,2.218901e-08,3.627854e-08,1.019695e-07,1.057684e-07,2.351075e-07,2.847453e-07,4.443240e-07,6.170409e-07,7.548531e-07,1.149812e-06,1.189741e-06,1.772594e-06,1.936947e-06,2.524287e-06,3.024080e-06,3.456990e-06,4.425789e-06,4.568047e-06,5.839048e-06,6.110039e-06,7.241854e-06,8.013394e-06,8.746612e-06,1.006976e-05,1.032665e-05,1.195977e-05,1.222472e-05,1.362761e-05,1.443590e-05,1.531476e-05,1.666937e-05,1.700789e-05,1.869541e-05,1.889703e-05,2.036711e-05,2.109532e-05,2.201414e-05,2.324462e-05,2.362884e-05,2.520478e-05,2.532901e-05,2.673661e-05,2.733600e-05,2.822005e-05,2.925626e-05,2.965176e-05,3.102926e-05,3.108320e-05,3.235073e-05,3.281251e-05,3.361508e-05,3.444194e-05,3.482180e-05,3.597080e-05,3.706242e-05,3.739973e-05,3.809736e-05,3.873037e-05,3.907651e-05,3.996506e-05,4.000100e-05,4.087214e-05,4.110669e-05,4.169134e-05,4.215857e-05,4.246013e-05,4.312425e-05,4.318009e-05,4.385284e-05,4.400745e-05,4.448003e-05,4.481199e-05,4.506335e-05,4.554168e-05,4.560444e-05,4.610496e-05,4.620034e-05,4.656654e-05,4.679170e-05,4.699079e-05,4.731946e-05,4.737928e-05,4.773358e-05,4.778719e-05,4.805517e-05,4.819835e-05,4.834553e-05,4.855629e-05,4.860609e-05,4.883823e-05,4.886424e-05,4.904330e-05,4.912529e-05,4.922259e-05,4.934240e-05,4.937737e-05,4.950886e-05,4.951841e-05,4.961822e-05,4.965602e-05,4.970658e-05,4.975782e-05,4.977505e-05,4.982466e-05,4.982627e-05,4.985644e-05,4.986370e-05,4.987134e-05,4.987232e-05,4.987031e-05,4.985424e-05,4.982399e-05,4.981145e-05,4.978038e-05,4.974584e-05,4.972422e-05,4.965919e-05,4.965626e-05,4.957722e-05,4.955320e-05,4.948780e-05,4.942944e-05,4.938867e-05,4.928943e-05,4.928046e-05,4.916378e-05,4.913458e-05,4.903922e-05,4.896622e-05,4.890732e-05,4.878561e-05,4.876862e-05,4.862363e-05,4.859392e-05,4.847282e-05,4.839225e-05,4.831665e-05,4.818166e-05,4.815557e-05,4.798999e-05,4.796311e-05,4.782031e-05,4.773751e-05,4.764689e-05,4.750572e-05,4.747011e-05,4.729031e-05,4.726854e-05,4.710780e-05,4.702671e-05,4.692289e-05,4.678093e-05,4.673587e-05,4.654703e-05,4.653185e-05,4.635662e-05,4.628007e-05,4.616488e-05,4.602615e-05,4.597206e-05,4.577838e-05,4.577062e-05,4.558404e-05,4.551395e-05,4.538924e-05,4.525660e-05,4.519416e-05,4.499899e-05,4.474150e-05,4.448447e-05,4.422824e-05,4.397311e-05,4.371934e-05,4.346720e-05,4.321691e-05,4.296867e-05,4.272269e-05,4.247912e-05,4.223813e-05,4.199986e-05,4.176442e-05,4.153192e-05,4.130248e-05,4.107616e-05,4.085304e-05,4.063319e-05,4.041665e-05,4.020348e-05,3.999371e-05,3.978736e-05,3.958446e-05,3.938502e-05
0.000000e+00,4.183120e-10,1.641305e-09,1.253651e-08,4.821840e-08,8.931632e-08,3.374068e-07,3.539422e-07,1.018645e-06,1.316622e-06,2.398197e-06,3.742336e-06,4.921210e-06,8.723007e-06,9.137653e-06,1.571258e-05,1.772362e-05,2.539537e-05,3.246808e-05,3.897190e-05,5.475825e-05,5.721946e-05,8.087460e-05,8.631521e-05,1.106127e-04,1.286834e-04,1.470353e-04,1.831780e-04,1.906610e-04,2.419196e-04,2.508531e-04,3.011471e-04,3.324809e-04,3.685829e-04,4.285393e-04,4.443676e-04,5.285432e-04,5.392066e-04,6.210548e-04,6.643657e-04,7.217536e-04,8.036175e-04,8.304024e-04,9.466820e-04,9.563027e-04,1.070199e-03,1.121532e-03,1.200497e-03,1.298224e-03,1.337062e-03,1.479338e-03,1.485140e-03,1.626733e-03,1.680930e-03,1.778631e-03,1.884173e-03,1.934402e-03,2.093412e-03,2.255028e-03,2.307194e-03,2.418629e-03,2.524096e-03,2.583611e-03,2.742753e-03,2.749393e-03,2.915419e-03,2.961878e-03,3.081167e-03,3.180277e-03,3.246146e-03,3.396857e-03,3.409902e-03,3.572018e-03,3.610638e-03,3.732111e-03,3.820750e-03,3.889838e-03,4.026435e-03,4.044891e-03,4.196998e-03,4.227045e-03,4.345922e-03,4.422035e-03,4.491458e-03,4.610960e-03,4.633430e-03,4.771694e-03,4.793464e-03,4.906131e-03,4.969274e-03,5.036649e-03,5.138194e-03,5.163178e-03,5.285670e-03,5.300096e-03,5.404094e-03,5.454908e-03,5.518438e-03,5.602614e-03,5.628708e-03,5.734919e-03,5.743242e-03,5.837103e-03,5.876858e-03,5.935300e-03,6.003561e-03,6.029561e-03,6.119943e-03,6.123479e-03,6.206514e-03,6.236760e-03,6.289345e-03,6.343572e-03,6.368511e-03,6.444095e-03,6.516181e-03,6.538524e-03,6.584854e-03,6.627056e-03,6.650205e-03,6.709898e-03,6.712321e-03,6.771296e-03,6.787258e-03,6.827219e-03,6.859347e-03,6.880183e-03,6.926373e-03,6.930277e-03,6.977593e-03,6.988546e-03,7.022220e-03,7.046069e-03,7.064246e-03,7.099146e-03,7.103757e-03,7.140840e-03,7.147973e-03,7.175578e-03,7.192742e-03,7.208053e-03,7.233641e-03,7.238345e-03,7.266532e-03,7.270852e-03,7.292692e-03,7.304551e-03,7.316898e-03,7.334905e-03,7.339223e-03,7.359737e-03,7.362080e-03,7.378508e-03,7.386233e-03,7.395603e-03,7.407514e-03,7.411086e-03,7.425019e-03,7.426069e-03,7.437463e-03,7.442037e-03,7.448476e-03,7.455552e-03,7.458116e-03,7.466435e-03,7.466741e-03,7.473488e-03,7.475727e-03,7.479326e-03,7.482626e-03,7.483997e-03,7.487550e-03,7.490605e-03,7.491893e-03,7.491511e-03,7.489550e-03,7.486099e-03,7.481241e-03,7.475058e-03,7.467624e-03,7.459012e-03,7.449291e-03,7.438526e-03,7.426780e-03,7.414113e-03,7.400580e-03,7.386235e-03,7.371130e-03,7.355313e-03,7.338831e-03,7.321726e-03,7.304041e-03,7.285815e-03,7.267087e-03,7.247892e-03,7.228263e-03
0.000000e+00,1.627352e-10,4.533554e-10,1.941575e-09,4.908381e-09,7.449037e-09,1.811106e-08,1.869586e-08,3.766322e-08,4.463495e-08,6.641124e-08,8.925809e-08,1.071134e-07,1.568832e-07,1.618103e-07,2.316434e-07,2.506351e-07,3.161277e-07,3.692288e-07,4.135824e-07,5.085731e-07,5.221273e-07,6.401180e-07,6.647209e-07,7.661181e-07,8.343574e-07,8.987892e-07,1.014434e-06,1.036828e-06,1.178950e-06,1.201984e-06,1.323901e-06,1.394127e-06,1.470479e-06,1.588153e-06,1.617558e-06,1.764109e-06,1.781614e-06,1.909212e-06,1.972389e-06,2.052068e-06,2.158711e-06,2.191994e-06,2.328425e-06,2.339174e-06,2.460906e-06,2.512710e-06,2.589084e-06,2.678555e-06,2.712693e-06,2.831549e-06,2.836203e-06,2.945537e-06,2.985369e-06,3.054599e-06,3.125942e-06,3.158726e-06,3.257949e-06,3.352328e-06,3.381520e-06,3.441953e-06,3.496869e-06,3.526934e-06,3.604261e-06,3.607394e-06,3.683467e-06,3.704002e-06,3.755299e-06,3.796423e-06,3.823037e-06,3.881870e-06,3.886832e-06,3.946838e-06,3.960693e-06,4.003208e-06,4.033243e-06,4.056092e-06,4.099866e-06,4.105641e-06,4.152000e-06,4.160902e-06,4.195312e-06,4.216676e-06,4.235716e-06,4.267505e-06,4.273345e-06,4.308330e-06,4.313691e-06,4.340797e-06,4.355522e-06,4.370867e-06,4.393276e-06,4.398657e-06,4.424278e-06,4.427212e-06,4.447839e-06,4.457580e-06,4.469442e-06,4.484613e-06,4.489188e-06,4.507171e-06,4.508536e-06,4.523481e-06,4.529557e-06,4.538206e-06,4.547874e-06,4.551429e-06,4.563230e-06,4.563673e-06,4.573683e-06,4.577131e-06,4.582862e-06,4.588411e-06,4.590836e-06,4.597671e-06,4.603429e-06,4.605054e-06,4.608171e-06,4.610699e-06,4.611954e-06,4.614733e-06,4.614832e-06,4.616857e-06,4.617278e-06,4.618079e-06,4.618447e-06,4.618545e-06,4.618344e-06,4.618300e-06,4.617386e-06,4.617071e-06,4.615843e-06,4.614720e-06,4.613712e-06,4.611378e-06,4.611027e-06,4.607825e-06,4.607126e-06,4.604139e-06,4.602040e-06,4.599999e-06,4.596193e-06,4.595436e-06,4.590479e-06,4.589651e-06,4.585154e-06,4.582475e-06,4.579487e-06,4.574725e-06,4.573504e-06,4.567226e-06,4.566454e-06,4.560676e-06,4.557713e-06,4.553875e-06,4.548550e-06,4.546842e-06,4.539597e-06,4.539009e-06,4.532157e-06,4.529130e-06,4.524539e-06,4.518953e-06,4.516759e-06,4.508833e-06,4.508513e-06,4.500774e-06,4.497843e-06,4.492597e-06,4.486975e-06,4.484313e-06,4.475936e-06,4.464754e-06,4.453453e-06,4.442058e-06,4.430588e-06,4.419064e-06,4.407504e-06,4.395925e-06,4.384343e-06,4.372773e-06,4.361227e-06,4.349718e-06,4.338258e-06,4.326856e-06,4.315522e-06,4.304265e-06,4.293093e-06,4.282012e-06,4.271031e-06,4.260154e-06,4.249387e-06,4.238735e-06,4.228203e-06,4.217793e-06,4.207511e-06
0.000000e+00,5.099066e-10,1.995165e-09,1.514748e-08,5.791264e-08,1.068940e-07,3.997089e-07,4.191078e-07,1.191604e-06,1.534449e-06,2.766378e-06,4.276653e-06,5.586686e-06,9.743346e-06,1.019165e-05,1.720674e-05,1.932516e-05,2.732826e-05,3.462873e-05,4.129756e-05,5.736756e-05,5.986185e-05,8.372491e-05,8.918929e-05,1.134985e-04,1.314829e-04,1.496659e-04,1.852364e-04,1.925609e-04,2.423614e-04,2.509740e-04,2.990920e-04,3.287545e-04,3.626339e-04,4.182088e-04,4.327390e-04,5.090454e-04,5.185981e-04,5.910952e-04,6.288810e-04,6.783526e-04,7.477859e-04,7.702214e-04,8.660629e-04,8.738821e-04,9.652123e-04,1.005647e-03,1.066993e-03,1.141526e-03,1.170731e-03,1.275766e-03,1.279986e-03,1.381462e-03,1.419557e-03,1.487214e-03,1.558867e-03,1.592456e-03,1.696665e-03,1.799362e-03,1.831834e-03,1.900118e-03,1.963406e-03,1.998552e-03,2.090554e-03,2.094331e-03,2.187167e-03,2.212600e-03,2.276819e-03,2.328998e-03,2.363090e-03,2.439335e-03,2.445820e-03,2.524888e-03,2.543309e-03,2.600207e-03,2.640727e-03,2.671722e-03,2.731486e-03,2.739405e-03,2.803254e-03,2.815565e-03,2.863289e-03,2.893012e-03,2.919549e-03,2.963930e-03,2.972090e-03,3.020982e-03,3.028472e-03,3.066310e-03,3.086828e-03,3.108165e-03,3.139217e-03,3.146649e-03,3.181870e-03,3.185882e-03,3.213940e-03,3.227083e-03,3.242977e-03,3.263089e-03,3.269099e-03,3.292427e-03,3.294176e-03,3.313083e-03,3.320624e-03,3.331186e-03,3.342709e-03,3.346859e-03,3.360218e-03,3.360706e-03,3.371381e-03,3.374884e-03,3.380462e-03,3.385505e-03,3.387573e-03,3.392822e-03,3.396314e-03,3.397078e-03,3.398152e-03,3.398506e-03,3.398434e-03,3.397329e-03,3.397255e-03,3.394706e-03,3.393759e-03,3.390876e-03,3.387997e-03,3.385847e-03,3.380233e-03,3.379702e-03,3.372517e-03,3.370646e-03,3.364365e-03,3.359404e-03,3.355316e-03,3.346665e-03,3.345438e-03,3.334793e-03,3.332577e-03,3.323442e-03,3.317280e-03,3.311443e-03,3.300902e-03,3.298849e-03,3.285713e-03,3.283564e-03,3.272082e-03,3.265377e-03,3.258003e-03,3.246447e-03,3.243520e-03,3.228673e-03,3.226868e-03,3.213501e-03,3.206732e-03,3.198041e-03,3.186119e-03,3.182327e-03,3.166391e-03,3.165108e-03,3.150265e-03,3.143767e-03,3.133976e-03,3.122162e-03,3.117551e-03,3.101016e-03,3.100353e-03,3.084394e-03,3.078393e-03,3.067707e-03,3.056333e-03,3.050976e-03,3.034219e-03,3.012093e-03,2.989991e-03,2.967950e-03,2.945999e-03,2.924168e-03,2.902483e-03,2.880965e-03,2.859635e-03,2.838513e-03,2.817613e-03,2.796951e-03,2.776539e-03,2.756389e-03,2.736509e-03,2.716908e-03,2.697593e-03,2.678570e-03,2.659843e-03,2.641417e-03,2.623293e-03,2.605475e-03,2.587963e-03,2.570758e-03,2.553860e-03
0.000000e+00,4.632405e-11,1.783774e-10,1.310629e-09,4.868614e-09,8.851248e-09,3.192721e-08,3.343169e-08,9.231675e-08,1.180979e-07,2.100085e-07,3.219825e-07,4.188012e-07,7.242353e-07,7.569769e-07,1.262351e-06,1.412038e-06,1.964261e-06,2.449904e-06,2.879302e-06,3.864228e-06,4.011410e-06,5.354096e-06,5.646756e-06,6.893089e-06,7.764557e-06,8.608650e-06,1.016914e-05,1.047740e-05,1.247371e-05,1.280317e-05,1.457079e-05,1.560523e-05,1.674158e-05,1.851338e-05,1.895949e-05,2.119901e-05,2.146805e-05,2.343626e-05,2.441422e-05,2.564941e-05,2.730321e-05,2.781899e-05,2.992815e-05,3.009383e-05,3.196270e-05,3.275297e-05,3.391117e-05,3.525568e-05,3.576468e-05,3.751686e-05,3.758477e-05,3.916356e-05,3.973010e-05,4.070270e-05,4.168763e-05,4.213392e-05,4.345840e-05,4.467852e-05,4.504745e-05,4.579766e-05,4.646280e-05,4.681996e-05,4.771458e-05,4.775008e-05,4.859307e-05,4.881420e-05,4.935418e-05,4.977375e-05,5.003873e-05,5.060546e-05,5.065202e-05,5.119925e-05,5.132131e-05,5.168543e-05,5.193282e-05,5.211535e-05,5.245077e-05,5.249357e-05,5.282436e-05,5.288518e-05,5.311169e-05,5.324517e-05,5.335927e-05,5.353904e-05,5.357054e-05,5.374862e-05,5.377424e-05,5.389643e-05,5.395740e-05,5.401659e-05,5.409445e-05,5.411153e-05,5.418344e-05,5.419062e-05,5.423433e-05,5.425054e-05,5.426602e-05,5.427828e-05,5.428016e-05,5.427825e-05,5.427745e-05,5.426167e-05,5.425121e-05,5.423166e-05,5.420238e-05,5.418935e-05,5.413577e-05,5.413341e-05,5.407187e-05,5.404650e-05,5.399849e-05,5.394359e-05,5.391644e-05,5.382641e-05,5.372908e-05,5.369649e-05,5.362504e-05,5.355520e-05,5.351486e-05,5.340378e-05,5.339904e-05,5.327807e-05,5.324333e-05,5.315237e-05,5.307485e-05,5.302235e-05,5.289925e-05,5.288840e-05,5.275084e-05,5.271733e-05,5.261002e-05,5.252984e-05,5.246623e-05,5.233746e-05,5.231975e-05,5.217086e-05,5.214081e-05,5.201979e-05,5.194045e-05,5.186677e-05,5.173689e-05,5.171202e-05,5.155574e-05,5.153061e-05,5.139812e-05,5.132204e-05,5.123933e-05,5.111157e-05,5.107954e-05,5.091891e-05,5.089958e-05,5.075757e-05,5.068640e-05,5.059567e-05,5.047234e-05,5.043334e-05,5.027070e-05,5.025768e-05,5.010786e-05,5.004269e-05,4.994493e-05,4.982762e-05,4.978201e-05,4.961920e-05,4.961269e-05,4.945657e-05,4.939809e-05,4.929423e-05,4.918403e-05,4.913224e-05,4.897068e-05,4.875819e-05,4.854672e-05,4.833640e-05,4.812736e-05,4.791970e-05,4.771353e-05,4.750895e-05,4.730605e-05,4.710490e-05,4.690557e-05,4.670812e-05,4.651263e-05,4.631913e-05,4.612767e-05,4.593830e-05,4.575105e-05,4.556595e-05,4.538302e-05,4.520231e-05,4.502381e-05,4.484755e-05,4.467355e-05,4.450180e-05,4.433232e-05
0.000000e+00,1.932906e-11,4.465218e-11,1.549539e-10,3.544123e-10,5.186332e-10,1.189204e-09,1.225665e-09,2.409581e-09,2.848069e-09,4.234766e-09,5.717815e-09,6.894766e-09,1.023619e-08,1.057044e-08,1.533618e-08,1.663477e-08,2.109709e-08,2.468367e-08,2.765154e-08,3.391351e-08,3.479634e-08,4.237161e-08,4.392728e-08,5.025833e-08,5.445126e-08,5.836458e-08,6.528776e-08,6.661463e-08,7.494275e-08,7.627848e-08,8.329012e-08,8.728791e-08,9.160367e-08,9.819798e-08,9.983578e-08,1.079443e-07,1.089072e-07,1.158925e-07,1.193309e-07,1.236497e-07,1.294016e-07,1.311904e-07,1.384943e-07,1.390679e-07,1.455460e-07,1.482934e-07,1.523345e-07,1.570551e-07,1.588526e-07,1.650954e-07,1.653394e-07,1.710621e-07,1.731425e-07,1.767534e-07,1.804676e-07,1.821723e-07,1.873235e-07,1.922127e-07,1.937229e-07,1.968464e-07,1.996812e-07,2.012318e-07,2.052157e-07,2.053770e-07,2.092901e-07,2.103454e-07,2.129795e-07,2.150893e-07,2.164536e-07,2.194670e-07,2.197210e-07,2.227901e-07,2.234981e-07,2.256691e-07,2.272014e-07,2.283662e-07,2.305956e-07,2.308894e-07,2.332464e-07,2.336985e-07,2.354447e-07,2.365275e-07,2.374915e-07,2.390989e-07,2.393938e-07,2.411585e-07,2.414285e-07,2.427920e-07,2.435313e-07,2.443005e-07,2.454214e-07,2.456901e-07,2.469664e-07,2.471122e-07,2.481351e-07,2.486165e-07,2.492013e-07,2.499463e-07,2.501702e-07,2.510465e-07,2.511128e-07,2.518349e-07,2.521266e-07,2.525398e-07,2.529980e-07,2.531654e-07,2.537158e-07,2.537363e-07,2.541947e-07,2.543503e-07,2.546059e-07,2.548486e-07,2.549528e-07,2.552388e-07,2.554671e-07,2.555284e-07,2.556407e-07,2.557244e-07,2.557625e-07,2.558333e-07,2.558353e-07,2.558616e-07,2.558611e-07,2.558441e-07,2.558136e-07,2.557851e-07,2.556961e-07,2.556869e-07,2.555516e-07,2.555138e-07,2.553813e-07,2.552714e-07,2.551780e-07,2.549733e-07,2.549436e-07,2.546799e-07,2.546237e-07,2.543884e-07,2.542265e-07,2.540710e-07,2.537854e-07,2.537291e-07,2.533642e-07,2.533037e-07,2.529776e-07,2.527848e-07,2.525708e-07,2.522317e-07,2.521450e-07,2.517015e-07,2.516471e-07,2.512412e-07,2.510337e-07,2.507655e-07,2.503941e-07,2.502752e-07,2.497714e-07,2.497306e-07,2.492551e-07,2.490453e-07,2.487271e-07,2.483402e-07,2.481883e-07,2.476396e-07,2.476174e-07,2.470816e-07,2.468786e-07,2.465152e-07,2.461255e-07,2.459410e-07,2.453597e-07,2.445826e-07,2.437956e-07,2.430000e-07,2.421971e-07,2.413880e-07,2.405736e-07,2.397551e-07,2.389333e-07,2.381091e-07,2.372834e-07,2.364567e-07,2.356300e-07,2.348038e-07,2.339787e-07,2.331553e-07,2.323342e-07,2.315158e-07,2.307005e-07,2.298889e-07,2.290813e-07,2.282780e-07,2.274794e-07,2.266859e-07,2.258977e-07
0.000000e+00,3.462017e-11,1.306762e-10,9.213600e-10,3.295484e-09,5.866207e-09,1.999924e-08,2.089202e-08,5.430643e-08,6.827455e-08,1.159839e-07,1.710421e-07,2.167722e-07,3.538485e-07,3.680879e-07,5.816356e-07,6.434518e-07,8.690965e-07,1.066539e-06,1.241542e-06,1.647113e-06,1.708357e-06,2.275821e-06,2.401650e-06,2.945956e-06,3.334350e-06,3.716302e-06,4.436331e-06,4.580582e-06,5.529828e-06,5.688900e-06,6.553486e-06,7.067974e-06,7.640283e-06,8.547500e-06,8.778797e-06,9.957827e-06,1.010152e-05,1.116661e-05,1.170524e-05,1.239493e-05,1.333564e-05,1.363326e-05,1.487278e-05,1.497175e-05,1.610543e-05,1.659491e-05,1.732396e-05,1.818892e-05,1.852196e-05,1.969383e-05,1.974009e-05,2.083482e-05,2.123722e-05,2.194094e-05,2.267151e-05,2.300896e-05,2.403638e-05,2.502130e-05,2.532727e-05,2.596243e-05,2.654139e-05,2.685899e-05,2.767745e-05,2.771065e-05,2.851747e-05,2.873538e-05,2.927982e-05,2.971617e-05,2.999839e-05,3.062155e-05,3.067405e-05,3.130786e-05,3.145388e-05,3.190105e-05,3.221597e-05,3.245491e-05,3.291088e-05,3.297084e-05,3.345028e-05,3.354192e-05,3.389469e-05,3.411244e-05,3.430557e-05,3.462586e-05,3.468438e-05,3.503259e-05,3.508556e-05,3.535164e-05,3.549485e-05,3.564295e-05,3.585694e-05,3.590788e-05,3.614777e-05,3.617494e-05,3.636391e-05,3.645181e-05,3.655754e-05,3.669038e-05,3.672985e-05,3.688200e-05,3.689333e-05,3.701508e-05,3.706321e-05,3.713015e-05,3.720241e-05,3.722821e-05,3.731023e-05,3.731319e-05,3.737712e-05,3.739766e-05,3.742975e-05,3.745783e-05,3.746896e-05,3.749554e-05,3.751024e-05,3.751255e-05,3.751378e-05,3.751049e-05,3.750683e-05,3.749089e-05,3.749004e-05,3.746402e-05,3.745516e-05,3.742936e-05,3.740464e-05,3.738660e-05,3.734056e-05,3.733627e-05,3.727886e-05,3.726409e-05,3.721485e-05,3.717629e-05,3.714468e-05,3.707817e-05,3.706877e-05,3.698751e-05,3.697066e-05,3.690130e-05,3.685463e-05,3.681048e-05,3.673088e-05,3.671539e-05,3.661636e-05,3.660017e-05,3.651369e-05,3.646320e-05,3.640767e-05,3.632061e-05,3.629856e-05,3.618662e-05,3.617301e-05,3.607210e-05,3.602095e-05,3.595522e-05,3.586496e-05,3.583621e-05,3.571526e-05,3.570551e-05,3.559257e-05,3.554305e-05,3.546832e-05,3.537799e-05,3.534269e-05,3.521583e-05,3.521073e-05,3.508789e-05,3.504160e-05,3.495904e-05,3.487095e-05,3.482939e-05,3.469908e-05,3.452626e-05,3.435276e-05,3.417881e-05,3.400464e-05,3.383045e-05,3.365642e-05,3.348273e-05,3.330955e-05,3.313700e-05,3.296524e-05,3.279437e-05,3.262451e-05,3.245576e-05,3.228822e-05,3.212196e-05,3.195706e-05,3.179360e-05,3.163163e-05,3.147121e-05,3.131239e-05,3.115521e-05,3.099970e-05,3.084592e-05,3.069387e-05
0.000000e+00,1.013589e-10,3.641880e-10,2.330280e-09,7.674480e-09,1.308625e-08,4.021628e-08,4.184356e-08,9.912406e-08,1.217049e-07,1.953469e-07,2.759023e-07,3.403713e-07,5.247972e-07,5.433751e-07,8.128045e-07,8.882121e-07,1.156175e-06,1.383094e-06,1.579513e-06,2.021098e-06,2.086368e-06,2.676755e-06,2.804576e-06,3.346740e-06,3.724278e-06,4.089062e-06,4.761713e-06,4.894380e-06,5.752484e-06,5.893990e-06,6.653125e-06,7.097625e-06,7.586433e-06,8.350310e-06,8.543078e-06,9.514343e-06,9.631486e-06,1.049215e-05,1.092251e-05,1.146907e-05,1.220679e-05,1.243840e-05,1.339413e-05,1.346984e-05,1.433101e-05,1.469945e-05,1.524453e-05,1.588565e-05,1.613092e-05,1.698711e-05,1.702070e-05,1.781072e-05,1.809888e-05,1.859995e-05,1.911636e-05,1.935359e-05,2.007089e-05,2.075153e-05,2.096159e-05,2.139557e-05,2.178872e-05,2.200339e-05,2.255339e-05,2.257561e-05,2.311305e-05,2.325743e-05,2.361672e-05,2.390317e-05,2.408773e-05,2.449327e-05,2.452730e-05,2.493671e-05,2.503063e-05,2.531727e-05,2.551827e-05,2.567031e-05,2.595929e-05,2.599717e-05,2.629919e-05,2.635672e-05,2.657765e-05,2.671357e-05,2.683384e-05,2.703273e-05,2.706899e-05,2.728429e-05,2.731697e-05,2.748088e-05,2.756893e-05,2.765987e-05,2.779110e-05,2.782232e-05,2.796921e-05,2.798584e-05,2.810151e-05,2.815534e-05,2.822012e-05,2.830165e-05,2.832591e-05,2.841968e-05,2.842668e-05,2.850220e-05,2.853223e-05,2.857421e-05,2.861993e-05,2.863639e-05,2.868938e-05,2.869132e-05,2.873380e-05,2.874780e-05,2.877022e-05,2.879069e-05,2.879918e-05,2.882120e-05,2.883675e-05,2.884043e-05,2.884627e-05,2.884941e-05,2.885021e-05,2.884909e-05,2.884894e-05,2.884285e-05,2.884033e-05,2.883229e-05,2.882394e-05,2.881759e-05,2.880066e-05,2.879905e-05,2.877696e-05,2.877117e-05,2.875161e-05,2.873608e-05,2.872324e-05,2.869598e-05,2.869210e-05,2.865841e-05,2.865139e-05,2.862239e-05,2.860279e-05,2.858422e-05,2.855064e-05,2.854410e-05,2.850220e-05,2.849534e-05,2.845868e-05,2.843727e-05,2.841371e-05,2.837677e-05,2.836741e-05,2.831993e-05,2.831416e-05,2.827139e-05,2.824973e-05,2.822191e-05,2.818374e-05,2.817160e-05,2.812056e-05,2.811645e-05,2.806889e-05,2.804807e-05,2.801669e-05,2.797881e-05,2.796402e-05,2.791099e-05,2.790886e-05,2.785765e-05,2.783838e-05,2.780407e-05,2.776754e-05,2.775033e-05,2.769648e-05,2.762532e-05,2.755420e-05,2.748321e-05,2.741245e-05,2.734201e-05,2.727198e-05,2.720243e-05,2.713341e-05,2.706500e-05,2.699725e-05,2.693019e-05,2.686388e-05,2.679835e-05,2.673364e-05,2.666977e-05,2.660677e-05,2.654467e-05,2.648347e-05,2.642320e-05,2.636387e-05,2.630549e-05,2.624806e-05,2.619160e-05,2.613611e-05
0.000000e+00,1.157548e-09,4.539464e-09,3.467438e-08,1.336311e-07,2.480679e-07,9.468761e-07,9.938672e-07,2.915933e-06,3.795069e-06,7.054958e-06,1.121796e-05,1.493921e-05,2.718473e-05,2.853315e-05,5.000311e-05,5.656658e-05,8.146600e-05,1.041748e-04,1.248378e-04,1.741722e-04,1.817673e-04,2.536142e-04,2.698726e-04,3.414447e-04,3.937021e-04,4.460340e-04,5.472055e-04,5.678702e-04,7.071606e-04,7.310663e-04,8.638407e-04,9.451381e-04,1.037586e-03,1.188494e-03,1.227827e-03,1.433771e-03,1.459495e-03,1.654429e-03,1.755885e-03,1.888635e-03,2.074895e-03,2.135086e-03,2.392364e-03,2.413370e-03,2.658974e-03,2.767886e-03,2.933370e-03,3.134878e-03,3.213988e-03,3.499266e-03,3.510752e-03,3.787674e-03,3.891981e-03,4.077734e-03,4.275192e-03,4.368030e-03,4.657229e-03,4.944092e-03,5.035204e-03,5.227473e-03,5.406526e-03,5.506335e-03,5.768922e-03,5.779743e-03,6.046870e-03,6.120439e-03,6.306995e-03,6.459446e-03,6.559496e-03,6.784613e-03,6.803851e-03,7.039631e-03,7.094902e-03,7.266493e-03,7.389539e-03,7.484175e-03,7.667993e-03,7.692492e-03,7.891324e-03,7.929946e-03,8.080615e-03,8.175274e-03,8.260365e-03,8.404015e-03,8.430621e-03,8.591477e-03,8.616350e-03,8.743062e-03,8.812576e-03,8.885539e-03,8.993090e-03,9.019099e-03,9.143957e-03,9.158366e-03,9.260347e-03,9.308939e-03,9.368518e-03,9.445394e-03,9.468734e-03,9.561266e-03,9.568345e-03,9.646392e-03,9.678432e-03,9.724395e-03,9.776306e-03,9.795559e-03,9.860170e-03,9.862622e-03,9.918510e-03,9.938032e-03,9.970861e-03,1.000318e-02,1.001750e-02,1.005870e-02,1.009472e-02,1.010520e-02,1.012583e-02,1.014328e-02,1.015228e-02,1.017351e-02,1.017431e-02,1.019217e-02,1.019645e-02,1.020608e-02,1.021262e-02,1.021626e-02,1.022252e-02,1.022293e-02,1.022629e-02,1.022662e-02,1.022654e-02,1.022539e-02,1.022386e-02,1.021924e-02,1.021845e-02,1.021046e-02,1.020857e-02,1.020008e-02,1.019378e-02,1.018744e-02,1.017520e-02,1.017271e-02,1.015602e-02,1.015318e-02,1.013752e-02,1.012803e-02,1.011732e-02,1.010004e-02,1.009556e-02,1.007236e-02,1.006948e-02,1.004781e-02,1.003661e-02,1.002202e-02,1.000166e-02,9.995104e-03,9.967143e-03,9.964864e-03,9.938231e-03,9.926418e-03,9.908449e-03,9.886513e-03,9.877878e-03,9.846593e-03,9.845328e-03,9.814664e-03,9.803025e-03,9.782159e-03,9.759758e-03,9.749139e-03,9.715665e-03,9.670877e-03,9.625514e-03,9.579686e-03,9.533495e-03,9.487034e-03,9.440390e-03,9.393642e-03,9.346861e-03,9.300115e-03,9.253463e-03,9.206962e-03,9.160662e-03,9.114609e-03,9.068843e-03,9.023404e-03,8.978325e-03,8.933636e-03,8.889366e-03,8.845538e-03,8.802176e-03,8.759297e-03,8.716920e-03,8.675058e-03,8.633727e-03
0.000000e+00,2.095015e-10,7.887537e-10,5.536845e-09,1.975662e-08,3.515435e-08,1.202234e-07,1.256252e-07,3.302778e-07,4.172164e-07,7.198758e-07,1.079082e-06,1.384467e-06,2.329610e-06,2.429791e-06,3.958121e-06,4.405501e-06,6.038557e-06,7.453842e-06,8.690050e-06,1.147589e-05,1.188662e-05,1.557357e-05,1.636391e-05,1.968284e-05,2.196288e-05,2.414323e-05,2.811066e-05,2.888568e-05,3.384540e-05,3.465505e-05,3.896246e-05,4.145814e-05,4.418166e-05,4.839646e-05,4.945247e-05,5.472888e-05,5.536040e-05,5.996945e-05,6.225431e-05,6.513746e-05,6.899678e-05,7.020096e-05,7.513276e-05,7.552090e-05,7.991030e-05,8.177394e-05,8.451555e-05,8.771670e-05,8.893463e-05,9.315752e-05,9.332225e-05,9.717762e-05,9.857443e-05,1.009913e-04,1.034661e-04,1.045976e-04,1.079974e-04,1.111938e-04,1.121744e-04,1.141910e-04,1.160071e-04,1.169943e-04,1.195089e-04,1.196100e-04,1.220449e-04,1.226952e-04,1.243061e-04,1.255826e-04,1.264011e-04,1.281883e-04,1.283375e-04,1.301229e-04,1.305297e-04,1.317647e-04,1.326241e-04,1.332703e-04,1.344883e-04,1.346469e-04,1.359015e-04,1.361384e-04,1.370408e-04,1.375898e-04,1.380712e-04,1.388571e-04,1.389989e-04,1.398298e-04,1.399542e-04,1.405696e-04,1.408940e-04,1.412237e-04,1.416886e-04,1.417971e-04,1.422947e-04,1.423495e-04,1.427210e-04,1.428872e-04,1.430805e-04,1.433115e-04,1.433772e-04,1.436150e-04,1.436316e-04,1.437976e-04,1.438560e-04,1.439285e-04,1.439926e-04,1.440110e-04,1.440481e-04,1.440487e-04,1.440429e-04,1.440311e-04,1.439980e-04,1.439461e-04,1.439160e-04,1.437995e-04,1.436507e-04,1.435966e-04,1.434719e-04,1.433426e-04,1.432650e-04,1.430418e-04,1.430320e-04,1.427748e-04,1.426987e-04,1.424951e-04,1.423172e-04,1.421945e-04,1.419008e-04,1.418746e-04,1.415367e-04,1.414531e-04,1.411822e-04,1.409770e-04,1.408125e-04,1.404755e-04,1.404287e-04,1.400320e-04,1.399512e-04,1.396234e-04,1.394066e-04,1.392040e-04,1.388440e-04,1.387746e-04,1.383363e-04,1.382654e-04,1.378898e-04,1.376728e-04,1.374358e-04,1.370679e-04,1.369753e-04,1.365088e-04,1.364525e-04,1.360371e-04,1.358280e-04,1.355607e-04,1.351959e-04,1.350803e-04,1.345963e-04,1.345575e-04,1.341094e-04,1.339138e-04,1.336199e-04,1.332662e-04,1.331284e-04,1.326352e-04,1.326155e-04,1.321409e-04,1.319627e-04,1.316457e-04,1.313086e-04,1.311500e-04,1.306542e-04,1.299999e-04,1.293467e-04,1.286950e-04,1.280454e-04,1.273985e-04,1.267547e-04,1.261145e-04,1.254781e-04,1.248461e-04,1.242187e-04,1.235962e-04,1.229788e-04,1.223669e-04,1.217607e-04,1.211602e-04,1.205658e-04,1.199775e-04,1.193955e-04,1.188199e-04,1.182508e-04,1.176884e-04,1.171326e-04,1.165835e-04,1.160412e-04
0.000000e+00,9.823633e-12,2.255243e-11,7.809441e-11,1.792490e-10,2.631360e-10,6.099825e-10,6.290068e-10,1.253489e-09,1.487249e-09,2.230356e-09,3.023501e-09,3.646128e-09,5.363286e-09,5.530789e-09,7.852580e-09,8.469400e-09,1.056377e-08,1.223730e-08,1.362571e-08,1.658644e-08,1.700841e-08,2.068510e-08,2.145336e-08,2.462875e-08,2.677549e-08,2.881064e-08,3.248526e-08,3.320026e-08,3.776589e-08,3.851058e-08,4.247542e-08,4.477779e-08,4.729726e-08,5.121518e-08,5.220112e-08,5.715865e-08,5.775589e-08,6.214382e-08,6.433992e-08,6.713322e-08,7.091514e-08,7.210613e-08,7.704444e-08,7.743753e-08,8.193257e-08,8.387074e-08,8.675732e-08,9.018563e-08,9.150768e-08,9.617468e-08,9.635952e-08,1.007509e-07,1.023748e-07,1.052301e-07,1.082181e-07,1.096076e-07,1.138800e-07,1.180443e-07,1.193538e-07,1.220988e-07,1.246353e-07,1.260421e-07,1.297224e-07,1.298735e-07,1.335929e-07,1.346142e-07,1.372003e-07,1.393112e-07,1.406962e-07,1.438147e-07,1.440814e-07,1.473570e-07,1.481269e-07,1.505240e-07,1.522506e-07,1.535838e-07,1.561890e-07,1.565379e-07,1.593880e-07,1.599456e-07,1.621356e-07,1.635244e-07,1.647825e-07,1.669296e-07,1.673307e-07,1.697819e-07,1.701652e-07,1.721381e-07,1.732359e-07,1.744012e-07,1.761461e-07,1.765733e-07,1.786562e-07,1.789003e-07,1.806520e-07,1.815031e-07,1.825628e-07,1.839592e-07,1.843904e-07,1.861369e-07,1.862732e-07,1.878043e-07,1.884496e-07,1.893946e-07,1.904930e-07,1.909097e-07,1.923516e-07,1.924078e-07,1.937223e-07,1.941986e-07,1.950235e-07,1.958696e-07,1.962572e-07,1.974253e-07,1.985295e-07,1.988697e-07,1.995717e-07,2.002071e-07,2.005538e-07,2.014414e-07,2.014773e-07,2.023440e-07,2.025768e-07,2.031557e-07,2.036169e-07,2.039139e-07,2.045657e-07,2.046203e-07,2.052765e-07,2.054267e-07,2.058841e-07,2.062037e-07,2.064446e-07,2.069000e-07,2.069594e-07,2.074301e-07,2.075190e-07,2.078580e-07,2.080642e-07,2.082447e-07,2.085385e-07,2.085914e-07,2.088995e-07,2.089453e-07,2.091703e-07,2.092874e-07,2.094050e-07,2.095678e-07,2.096051e-07,2.097715e-07,2.097893e-07,2.099056e-07,2.099547e-07,2.100085e-07,2.100665e-07,2.100813e-07,2.101251e-07,2.101274e-07,2.101411e-07,2.101398e-07,2.101301e-07,2.101062e-07,2.100933e-07,2.100317e-07,2.100287e-07,2.099462e-07,2.099097e-07,2.098377e-07,2.097513e-07,2.097072e-07,2.095555e-07,2.093244e-07,2.090599e-07,2.087637e-07,2.084378e-07,2.080837e-07,2.077032e-07,2.072978e-07,2.068691e-07,2.064185e-07,2.059475e-07,2.054572e-07,2.049492e-07,2.044245e-07,2.038844e-07,2.033301e-07,2.027625e-07,2.021828e-07,2.015919e-07,2.009908e-07,2.003805e-07,1.997617e-07,1.991354e-07,1.985023e-07,1.978631e-07
0.000000e+00,1.081609e-11,2.488048e-11,8.616966e-11,1.973032e-10,2.890186e-10,6.646318e-10,6.850874e-10,1.350144e-09,1.596656e-09,2.375857e-09,3.206518e-09,3.861840e-09,5.693777e-09,5.874440e-09,8.406279e-09,9.085473e-09,1.140440e-08,1.326721e-08,1.481730e-08,1.813363e-08,1.860735e-08,2.274547e-08,2.361254e-08,2.720521e-08,2.964238e-08,3.195918e-08,3.615816e-08,3.697757e-08,4.222795e-08,4.308725e-08,4.767568e-08,5.035012e-08,5.328466e-08,5.786334e-08,5.901830e-08,6.484041e-08,6.554333e-08,7.071603e-08,7.330965e-08,7.661209e-08,8.108782e-08,8.249796e-08,8.834577e-08,8.881119e-08,9.413065e-08,9.642199e-08,9.983077e-08,1.038717e-07,1.054273e-07,1.109044e-07,1.111209e-07,1.162489e-07,1.181384e-07,1.214502e-07,1.249008e-07,1.264997e-07,1.313913e-07,1.361203e-07,1.375988e-07,1.406839e-07,1.435168e-07,1.450802e-07,1.491429e-07,1.493088e-07,1.533703e-07,1.544776e-07,1.572657e-07,1.595241e-07,1.609972e-07,1.642874e-07,1.645671e-07,1.679784e-07,1.687739e-07,1.712344e-07,1.729912e-07,1.743386e-07,1.769477e-07,1.772947e-07,1.801068e-07,1.806522e-07,1.827787e-07,1.841141e-07,1.853146e-07,1.873427e-07,1.877186e-07,1.899948e-07,1.903474e-07,1.921474e-07,1.931379e-07,1.941804e-07,1.957234e-07,1.960978e-07,1.979036e-07,1.981130e-07,1.996017e-07,2.003158e-07,2.011960e-07,2.023405e-07,2.026902e-07,2.040879e-07,2.041957e-07,2.053928e-07,2.058895e-07,2.066083e-07,2.074300e-07,2.077378e-07,2.087846e-07,2.088248e-07,2.097520e-07,2.100814e-07,2.106430e-07,2.112068e-07,2.114606e-07,2.122079e-07,2.128876e-07,2.130912e-07,2.135024e-07,2.138631e-07,2.140551e-07,2.145296e-07,2.145482e-07,2.149843e-07,2.150965e-07,2.153656e-07,2.155692e-07,2.156946e-07,2.159530e-07,2.159735e-07,2.162044e-07,2.162530e-07,2.163895e-07,2.164739e-07,2.165308e-07,2.166204e-07,2.166302e-07,2.166895e-07,2.166968e-07,2.167108e-07,2.167073e-07,2.166955e-07,2.166558e-07,2.166455e-07,2.165624e-07,2.165462e-07,2.164478e-07,2.163819e-07,2.163030e-07,2.161666e-07,2.161297e-07,2.159291e-07,2.159033e-07,2.157027e-07,2.155952e-07,2.154517e-07,2.152453e-07,2.151774e-07,2.148809e-07,2.148562e-07,2.145634e-07,2.144308e-07,2.142261e-07,2.139715e-07,2.138699e-07,2.134959e-07,2.134806e-07,2.131051e-07,2.129605e-07,2.126985e-07,2.124134e-07,2.122769e-07,2.118411e-07,2.112458e-07,2.106292e-07,2.099931e-07,2.093391e-07,2.086687e-07,2.079835e-07,2.072848e-07,2.065740e-07,2.058523e-07,2.051208e-07,2.043808e-07,2.036332e-07,2.028790e-07,2.021192e-07,2.013546e-07,2.005861e-07,1.998145e-07,1.990405e-07,1.982648e-07,1.974880e-07,1.967108e-07,1.959337e-07,1.951573e-07,1.943821e-07
0.000000e+00,2.265276e-12,5.197066e-12,1.796851e-11,4.115767e-11,6.032672e-11,1.390609e-10,1.433571e-10,2.833460e-10,3.353460e-10,5.000073e-10,6.761378e-10,8.157481e-10,1.210673e-09,1.250048e-09,1.809501e-09,1.961584e-09,2.484664e-09,2.907036e-09,3.258720e-09,4.009092e-09,4.115902e-09,5.043685e-09,5.236794e-09,6.031951e-09,6.566801e-09,7.071902e-09,7.979422e-09,8.155377e-09,9.274558e-09,9.456433e-09,1.042191e-08,1.098052e-08,1.159023e-08,1.253541e-08,1.277274e-08,1.396315e-08,1.410625e-08,1.515577e-08,1.567989e-08,1.634551e-08,1.724501e-08,1.752790e-08,1.869906e-08,1.879216e-08,1.985569e-08,2.031364e-08,2.099504e-08,2.180336e-08,2.211481e-08,2.321312e-08,2.325658e-08,2.428846e-08,2.466972e-08,2.533965e-08,2.604020e-08,2.636579e-08,2.736622e-08,2.834045e-08,2.864662e-08,2.928820e-08,2.988078e-08,3.020931e-08,3.106847e-08,3.110374e-08,3.197154e-08,3.220978e-08,3.281288e-08,3.330506e-08,3.362795e-08,3.435487e-08,3.441704e-08,3.518046e-08,3.535990e-08,3.591856e-08,3.632098e-08,3.663172e-08,3.723900e-08,3.732035e-08,3.798489e-08,3.811495e-08,3.862579e-08,3.894986e-08,3.924349e-08,3.974479e-08,3.983848e-08,4.041123e-08,4.050084e-08,4.096223e-08,4.121912e-08,4.149195e-08,4.190075e-08,4.200090e-08,4.248955e-08,4.254685e-08,4.295840e-08,4.315854e-08,4.340792e-08,4.373694e-08,4.383861e-08,4.425095e-08,4.428315e-08,4.464540e-08,4.479827e-08,4.502243e-08,4.528337e-08,4.538251e-08,4.572611e-08,4.573951e-08,4.605366e-08,4.616773e-08,4.636561e-08,4.656906e-08,4.666241e-08,4.694448e-08,4.721224e-08,4.729497e-08,4.746611e-08,4.762149e-08,4.770651e-08,4.792497e-08,4.793382e-08,4.814844e-08,4.820631e-08,4.835076e-08,4.846639e-08,4.854114e-08,4.870608e-08,4.871996e-08,4.888759e-08,4.892619e-08,4.904436e-08,4.912754e-08,4.919062e-08,4.931091e-08,4.932672e-08,4.945297e-08,4.947707e-08,4.956970e-08,4.962675e-08,4.967723e-08,4.976066e-08,4.977585e-08,4.986587e-08,4.987949e-08,4.994757e-08,4.998392e-08,5.002124e-08,5.007458e-08,5.008716e-08,5.014559e-08,5.015211e-08,5.019679e-08,5.021710e-08,5.024103e-08,5.027014e-08,5.027854e-08,5.030957e-08,5.031178e-08,5.033436e-08,5.034257e-08,5.035313e-08,5.036304e-08,5.036610e-08,5.037350e-08,5.037368e-08,5.037553e-08,5.037499e-08,5.037240e-08,5.036742e-08,5.036430e-08,5.035143e-08,5.032745e-08,5.029591e-08,5.025719e-08,5.021169e-08,5.015977e-08,5.010180e-08,5.003811e-08,4.996904e-08,4.989489e-08,4.981598e-08,4.973259e-08,4.964500e-08,4.955348e-08,4.945829e-08,4.935967e-08,4.925785e-08,4.915306e-08,4.904551e-08,4.893542e-08,4.882298e-08,4.870838e-08,4.859180e-08,4.847340e-08,4.835336e-08
0.000000e+00,2.167771e-10,7.948865e-10,5.285591e-09,1.795831e-08,3.110757e-08,9.921411e-08,1.033758e-07,2.532377e-07,3.137035e-07,5.149669e-07,7.410678e-07,9.258610e-07,1.470710e-06,1.526792e-06,2.360588e-06,2.599784e-06,3.464501e-06,4.208464e-06,4.856078e-06,6.307873e-06,6.520765e-06,8.412326e-06,8.812289e-06,1.046580e-05,1.157477e-05,1.261309e-05,1.444465e-05,1.479362e-05,1.695873e-05,1.730112e-05,1.907184e-05,2.005954e-05,2.110640e-05,2.266468e-05,2.304365e-05,2.487052e-05,2.508187e-05,2.657817e-05,2.729022e-05,2.816099e-05,2.927847e-05,2.961591e-05,3.094202e-05,3.104256e-05,3.214025e-05,3.258425e-05,3.321309e-05,3.391001e-05,3.416439e-05,3.499913e-05,3.503018e-05,3.572320e-05,3.595801e-05,3.634312e-05,3.670872e-05,3.686586e-05,3.729863e-05,3.764872e-05,3.774447e-05,3.792334e-05,3.806273e-05,3.812949e-05,3.826924e-05,3.827391e-05,3.836297e-05,3.837881e-05,3.840264e-05,3.840506e-05,3.839847e-05,3.836032e-05,3.835558e-05,3.827864e-05,3.825560e-05,3.817192e-05,3.810060e-05,3.803927e-05,3.790383e-05,3.788413e-05,3.770964e-05,3.767266e-05,3.751855e-05,3.741346e-05,3.731335e-05,3.713168e-05,3.709623e-05,3.686913e-05,3.683198e-05,3.663377e-05,3.651832e-05,3.639168e-05,3.619405e-05,3.614418e-05,3.589246e-05,3.586203e-05,3.563756e-05,3.552463e-05,3.538038e-05,3.518389e-05,3.512171e-05,3.486227e-05,3.484150e-05,3.460265e-05,3.449888e-05,3.434341e-05,3.415724e-05,3.408499e-05,3.382782e-05,3.381756e-05,3.357225e-05,3.348069e-05,3.331858e-05,3.314732e-05,3.306709e-05,3.281801e-05,3.257154e-05,3.249325e-05,3.232786e-05,3.217343e-05,3.208710e-05,3.185885e-05,3.184940e-05,3.161485e-05,3.154976e-05,3.138355e-05,3.124636e-05,3.115557e-05,3.094881e-05,3.093097e-05,3.070978e-05,3.065721e-05,3.049206e-05,3.037165e-05,3.027782e-05,3.009218e-05,3.006707e-05,2.985984e-05,2.981881e-05,2.965611e-05,2.955155e-05,2.945588e-05,2.929040e-05,2.925915e-05,2.906590e-05,2.903530e-05,2.887611e-05,2.878624e-05,2.868976e-05,2.854314e-05,2.850683e-05,2.832727e-05,2.830595e-05,2.815106e-05,2.807458e-05,2.797817e-05,2.784896e-05,2.780855e-05,2.764217e-05,2.762900e-05,2.747900e-05,2.741461e-05,2.731897e-05,2.720569e-05,2.716206e-05,2.700823e-05,2.700214e-05,2.685742e-05,2.680385e-05,2.670958e-05,2.661074e-05,2.656469e-05,2.642268e-05,2.623958e-05,2.606132e-05,2.588780e-05,2.571891e-05,2.555454e-05,2.539459e-05,2.523895e-05,2.508751e-05,2.494018e-05,2.479685e-05,2.465741e-05,2.452178e-05,2.438984e-05,2.426151e-05,2.413670e-05,2.401529e-05,2.389722e-05,2.378238e-05,2.367070e-05,2.356208e-05,2.345644e-05,2.335370e-05,2.325378e-05,2.315660e-05
0.000000e+00,6.102732e-10,2.380094e-09,1.796043e-08,6.837120e-08,1.259845e-07,4.704416e-07,4.932992e-07,1.408894e-06,1.818652e-06,3.306840e-06,5.160105e-06,6.788078e-06,1.203602e-05,1.260701e-05,2.159179e-05,2.430980e-05,3.454281e-05,4.379652e-05,5.216837e-05,7.201826e-05,7.505996e-05,1.036872e-04,1.101338e-04,1.383997e-04,1.589370e-04,1.794303e-04,2.188688e-04,2.268978e-04,2.808103e-04,2.900292e-04,3.410691e-04,3.721925e-04,4.074742e-04,4.648287e-04,4.797312e-04,5.574611e-04,5.671356e-04,6.402106e-04,6.780799e-04,7.274652e-04,7.964468e-04,8.186622e-04,9.132044e-04,9.208939e-04,1.010474e-03,1.050005e-03,1.109845e-03,1.182345e-03,1.210697e-03,1.312421e-03,1.316500e-03,1.414435e-03,1.451123e-03,1.516186e-03,1.584962e-03,1.617160e-03,1.716882e-03,1.814924e-03,1.845879e-03,1.910903e-03,1.971088e-03,2.004480e-03,2.091786e-03,2.095366e-03,2.183314e-03,2.207384e-03,2.268119e-03,2.317424e-03,2.349619e-03,2.421570e-03,2.427687e-03,2.502232e-03,2.519592e-03,2.573195e-03,2.611356e-03,2.640544e-03,2.696816e-03,2.704273e-03,2.764398e-03,2.775994e-03,2.820957e-03,2.848975e-03,2.874002e-03,2.915893e-03,2.923600e-03,2.969832e-03,2.976922e-03,3.012786e-03,3.032269e-03,3.052561e-03,3.082161e-03,3.089260e-03,3.122992e-03,3.126846e-03,3.153869e-03,3.166580e-03,3.182006e-03,3.201628e-03,3.207518e-03,3.230520e-03,3.232255e-03,3.251128e-03,3.258727e-03,3.269456e-03,3.281303e-03,3.285616e-03,3.299717e-03,3.300240e-03,3.311867e-03,3.315784e-03,3.322171e-03,3.328174e-03,3.330728e-03,3.337638e-03,3.342995e-03,3.344396e-03,3.346889e-03,3.348654e-03,3.349407e-03,3.350608e-03,3.350633e-03,3.350647e-03,3.350445e-03,3.349526e-03,3.348338e-03,3.347341e-03,3.344452e-03,3.344163e-03,3.340057e-03,3.338941e-03,3.335087e-03,3.331948e-03,3.329311e-03,3.323607e-03,3.322786e-03,3.315566e-03,3.314043e-03,3.307701e-03,3.303372e-03,3.299239e-03,3.291703e-03,3.290226e-03,3.280704e-03,3.279136e-03,3.270713e-03,3.265763e-03,3.260293e-03,3.251671e-03,3.249478e-03,3.238303e-03,3.236939e-03,3.226799e-03,3.221641e-03,3.214996e-03,3.205844e-03,3.202923e-03,3.190607e-03,3.189612e-03,3.178071e-03,3.173001e-03,3.165341e-03,3.156066e-03,3.152436e-03,3.139380e-03,3.138854e-03,3.126189e-03,3.121412e-03,3.112884e-03,3.103779e-03,3.099481e-03,3.085995e-03,3.068094e-03,3.050107e-03,3.032065e-03,3.013993e-03,2.995916e-03,2.977856e-03,2.959833e-03,2.941867e-03,2.923973e-03,2.906168e-03,2.888464e-03,2.870874e-03,2.853410e-03,2.836082e-03,2.818898e-03,2.801868e-03,2.784997e-03,2.768294e-03,2.751762e-03,2.735408e-03,2.719235e-03,2.703248e-03,2.687449e-03,2.671842e-03
0.000000e+00,4.672510e-10,1.138697e-09,4.189152e-09,9.888674e-09,1.468407e-08,3.496440e-08,3.609517e-08,7.412372e-08,8.877429e-08,1.367258e-07,1.902049e-07,2.339026e-07,3.622959e-07,3.754066e-07,5.654546e-07,6.178127e-07,7.976742e-07,9.407406e-07,1.057291e-06,1.296118e-06,1.328935e-06,1.601429e-06,1.655369e-06,1.867962e-06,2.002844e-06,2.124678e-06,2.331138e-06,2.369440e-06,2.601078e-06,2.636875e-06,2.818976e-06,2.918598e-06,3.022866e-06,3.175869e-06,3.212722e-06,3.388697e-06,3.408893e-06,3.551079e-06,3.618322e-06,3.700276e-06,3.805153e-06,3.836788e-06,3.961178e-06,3.970624e-06,4.074055e-06,4.116124e-06,4.176055e-06,4.243124e-06,4.267826e-06,4.350019e-06,4.353117e-06,4.423273e-06,4.447576e-06,4.488209e-06,4.527922e-06,4.545428e-06,4.595503e-06,4.638978e-06,4.651581e-06,4.676367e-06,4.697325e-06,4.708151e-06,4.733810e-06,4.734782e-06,4.756683e-06,4.762021e-06,4.774244e-06,4.782851e-06,4.787832e-06,4.797113e-06,4.797783e-06,4.804410e-06,4.805539e-06,4.808003e-06,4.808790e-06,4.808828e-06,4.807462e-06,4.807133e-06,4.803144e-06,4.802090e-06,4.797071e-06,4.793155e-06,4.789108e-06,4.781089e-06,4.779432e-06,4.768208e-06,4.766278e-06,4.755585e-06,4.749070e-06,4.741702e-06,4.729775e-06,4.726688e-06,4.710659e-06,4.708672e-06,4.693723e-06,4.686010e-06,4.675980e-06,4.662012e-06,4.657521e-06,4.638430e-06,4.636878e-06,4.618783e-06,4.610785e-06,4.598652e-06,4.583895e-06,4.578102e-06,4.557192e-06,4.556348e-06,4.535976e-06,4.528274e-06,4.514506e-06,4.499785e-06,4.492827e-06,4.470982e-06,4.449009e-06,4.441957e-06,4.426945e-06,4.412790e-06,4.404821e-06,4.383554e-06,4.382668e-06,4.360512e-06,4.354312e-06,4.338379e-06,4.325120e-06,4.316292e-06,4.296030e-06,4.294271e-06,4.272334e-06,4.267084e-06,4.250500e-06,4.238324e-06,4.228784e-06,4.209783e-06,4.207200e-06,4.185761e-06,4.181492e-06,4.164479e-06,4.153477e-06,4.143363e-06,4.125763e-06,4.122425e-06,4.101671e-06,4.098368e-06,4.081110e-06,4.071312e-06,4.060749e-06,4.044608e-06,4.040594e-06,4.020649e-06,4.018270e-06,4.000920e-06,3.992308e-06,3.981410e-06,3.966732e-06,3.962124e-06,3.943064e-06,3.941549e-06,3.924232e-06,3.916764e-06,3.905632e-06,3.892383e-06,3.887264e-06,3.869130e-06,3.868410e-06,3.851231e-06,3.844845e-06,3.833568e-06,3.821691e-06,3.816140e-06,3.798949e-06,3.776618e-06,3.754698e-06,3.733186e-06,3.712081e-06,3.691380e-06,3.671081e-06,3.651180e-06,3.631673e-06,3.612557e-06,3.593827e-06,3.575478e-06,3.557506e-06,3.539906e-06,3.522674e-06,3.505803e-06,3.489288e-06,3.473125e-06,3.457308e-06,3.441830e-06,3.426688e-06,3.411874e-06,3.397385e-06,3.383213e-06,3.369354e-06
0.000000e+00,8.429027e-12,1.927929e-11,6.615153e-11,1.502756e-10,2.191432e-10,4.974911e-10,5.125078e-10,9.944830e-10,1.170527e-09,1.720128e-09,2.298435e-09,2.752361e-09,4.028148e-09,4.155315e-09,5.973686e-09,6.472866e-09,8.205069e-09,9.616210e-09,1.079513e-08,1.330857e-08,1.366517e-08,1.674058e-08,1.737474e-08,1.996094e-08,2.167660e-08,2.327862e-08,2.611216e-08,2.665489e-08,3.005684e-08,3.060156e-08,3.345565e-08,3.507834e-08,3.682574e-08,3.948584e-08,4.014449e-08,4.339212e-08,4.377622e-08,4.655172e-08,4.791033e-08,4.960921e-08,5.185754e-08,5.255325e-08,5.537509e-08,5.559535e-08,5.806834e-08,5.910862e-08,6.062877e-08,6.238866e-08,6.305404e-08,6.534346e-08,6.543222e-08,6.749770e-08,6.824045e-08,6.951856e-08,7.081790e-08,7.140874e-08,7.317169e-08,7.481139e-08,7.531077e-08,7.633221e-08,7.724530e-08,7.773883e-08,7.898623e-08,7.903608e-08,8.022889e-08,8.054484e-08,8.132222e-08,8.193252e-08,8.232099e-08,8.316053e-08,8.323007e-08,8.405419e-08,8.423986e-08,8.479799e-08,8.518111e-08,8.546595e-08,8.599443e-08,8.606237e-08,8.659140e-08,8.668947e-08,8.705702e-08,8.727535e-08,8.746304e-08,8.776069e-08,8.781307e-08,8.811059e-08,8.815355e-08,8.835888e-08,8.846150e-08,8.856107e-08,8.869162e-08,8.872012e-08,8.883884e-08,8.885051e-08,8.891990e-08,8.894429e-08,8.896582e-08,8.897869e-08,8.897898e-08,8.896165e-08,8.895901e-08,8.891594e-08,8.889016e-08,8.884387e-08,8.877673e-08,8.874734e-08,8.862813e-08,8.862292e-08,8.848795e-08,8.843265e-08,8.832837e-08,8.820954e-08,8.815089e-08,8.795694e-08,8.774783e-08,8.767792e-08,8.752481e-08,8.737534e-08,8.728908e-08,8.705182e-08,8.704172e-08,8.678378e-08,8.670979e-08,8.651623e-08,8.635148e-08,8.624000e-08,8.597894e-08,8.595595e-08,8.566488e-08,8.559406e-08,8.536755e-08,8.519858e-08,8.506468e-08,8.479409e-08,8.475692e-08,8.444490e-08,8.438204e-08,8.412922e-08,8.396379e-08,8.381040e-08,8.354056e-08,8.348898e-08,8.316541e-08,8.311348e-08,8.284016e-08,8.268356e-08,8.251364e-08,8.225176e-08,8.218623e-08,8.185830e-08,8.181893e-08,8.153019e-08,8.138584e-08,8.120220e-08,8.095321e-08,8.087465e-08,8.054778e-08,8.052167e-08,8.022187e-08,8.009182e-08,7.989713e-08,7.966417e-08,7.957379e-08,7.925205e-08,7.923921e-08,7.893209e-08,7.881737e-08,7.861408e-08,7.839902e-08,7.829817e-08,7.798452e-08,7.757417e-08,7.716825e-08,7.676699e-08,7.637061e-08,7.597929e-08,7.559320e-08,7.521247e-08,7.483723e-08,7.446756e-08,7.410355e-08,7.374527e-08,7.339277e-08,7.304608e-08,7.270522e-08,7.237022e-08,7.204107e-08,7.171777e-08,7.140031e-08,7.108865e-08,7.078278e-08,7.048265e-08,7.018823e-08,6.989946e-08,6.961630e-08
0.000000e+00,9.246493e-11,3.117898e-10,1.778287e-09,5.368589e-09,8.784186e-09,2.472569e-08,2.564795e-08,5.705352e-08,6.910645e-08,1.078517e-07,1.497873e-07,1.832567e-07,2.792860e-07,2.890074e-07,4.313450e-07,4.716636e-07,6.166110e-07,7.412193e-07,8.502448e-07,1.098311e-06,1.135233e-06,1.470749e-06,1.543556e-06,1.852081e-06,2.066140e-06,2.272043e-06,2.648921e-06,2.722802e-06,3.197127e-06,3.274779e-06,3.688857e-06,3.929533e-06,4.192876e-06,4.602041e-06,4.704905e-06,5.221300e-06,5.283407e-06,5.738905e-06,5.966308e-06,6.254949e-06,6.644587e-06,6.766993e-06,7.272898e-06,7.313047e-06,7.770804e-06,7.967361e-06,8.259119e-06,8.604005e-06,8.736502e-06,9.201849e-06,9.220199e-06,9.654275e-06,9.813849e-06,1.009310e-05,1.038347e-05,1.051782e-05,1.092809e-05,1.132371e-05,1.144720e-05,1.170460e-05,1.194064e-05,1.207077e-05,1.240855e-05,1.242234e-05,1.275949e-05,1.285133e-05,1.308246e-05,1.326955e-05,1.339154e-05,1.366390e-05,1.368706e-05,1.396937e-05,1.403520e-05,1.423885e-05,1.438431e-05,1.449591e-05,1.471215e-05,1.474093e-05,1.497434e-05,1.501966e-05,1.519653e-05,1.530777e-05,1.540791e-05,1.557740e-05,1.560887e-05,1.579981e-05,1.582946e-05,1.598112e-05,1.606484e-05,1.615317e-05,1.628440e-05,1.631634e-05,1.647096e-05,1.648896e-05,1.661739e-05,1.667931e-05,1.675597e-05,1.685623e-05,1.688701e-05,1.701083e-05,1.702044e-05,1.712774e-05,1.717263e-05,1.723802e-05,1.731347e-05,1.734194e-05,1.743979e-05,1.744359e-05,1.753183e-05,1.756358e-05,1.761829e-05,1.767402e-05,1.769942e-05,1.777545e-05,1.784659e-05,1.786836e-05,1.791307e-05,1.795326e-05,1.797508e-05,1.803060e-05,1.803283e-05,1.808648e-05,1.810080e-05,1.813623e-05,1.816428e-05,1.818225e-05,1.822143e-05,1.822470e-05,1.826374e-05,1.827262e-05,1.829952e-05,1.831818e-05,1.833218e-05,1.835846e-05,1.836187e-05,1.838871e-05,1.839375e-05,1.841284e-05,1.842435e-05,1.843437e-05,1.845054e-05,1.845343e-05,1.847012e-05,1.847258e-05,1.848456e-05,1.849072e-05,1.849684e-05,1.850519e-05,1.850707e-05,1.851534e-05,1.851620e-05,1.852173e-05,1.852398e-05,1.852635e-05,1.852871e-05,1.852926e-05,1.853055e-05,1.853058e-05,1.853029e-05,1.852977e-05,1.852856e-05,1.852645e-05,1.852543e-05,1.852097e-05,1.852076e-05,1.851524e-05,1.851287e-05,1.850829e-05,1.850291e-05,1.850020e-05,1.849101e-05,1.847730e-05,1.846189e-05,1.844491e-05,1.842645e-05,1.840661e-05,1.838550e-05,1.836319e-05,1.833978e-05,1.831535e-05,1.828996e-05,1.826370e-05,1.823663e-05,1.820881e-05,1.818030e-05,1.815117e-05,1.812146e-05,1.809124e-05,1.806053e-05,1.802940e-05,1.799789e-05,1.796603e-05,1.793387e-05,1.790144e-05,1.786878e-05
0.000000e+00,3.443372e-11,1.305290e-10,9.284328e-10,3.347227e-09,5.984290e-09,2.063404e-08,2.156517e-08,5.670699e-08,7.152256e-08,1.225154e-07,1.819417e-07,2.316746e-07,3.823615e-07,3.981343e-07,6.368871e-07,7.066811e-07,9.636138e-07,1.190851e-06,1.393869e-06,1.869227e-06,1.941524e-06,2.616645e-06,2.767466e-06,3.423652e-06,3.895028e-06,4.360654e-06,5.242846e-06,5.420159e-06,6.590598e-06,6.787249e-06,7.857986e-06,8.496368e-06,9.207301e-06,1.033560e-05,1.062347e-05,1.209198e-05,1.227106e-05,1.359918e-05,1.427131e-05,1.513244e-05,1.630803e-05,1.668026e-05,1.823224e-05,1.835629e-05,1.977906e-05,2.039447e-05,2.131251e-05,2.240422e-05,2.282537e-05,2.431147e-05,2.437028e-05,2.576555e-05,2.628032e-05,2.718328e-05,2.812475e-05,2.856114e-05,2.989640e-05,3.118700e-05,3.159031e-05,3.243152e-05,3.320341e-05,3.362909e-05,3.473420e-05,3.477930e-05,3.588214e-05,3.618249e-05,3.693797e-05,3.754914e-05,3.794740e-05,3.883585e-05,3.891131e-05,3.983073e-05,4.004490e-05,4.070686e-05,4.117906e-05,4.154099e-05,4.224137e-05,4.233449e-05,4.308880e-05,4.323508e-05,4.380536e-05,4.416354e-05,4.448563e-05,4.503010e-05,4.513109e-05,4.574318e-05,4.583811e-05,4.632332e-05,4.659085e-05,4.687291e-05,4.729148e-05,4.739329e-05,4.788577e-05,4.794305e-05,4.835162e-05,4.854847e-05,4.879204e-05,4.911049e-05,4.920822e-05,4.960126e-05,4.963174e-05,4.997224e-05,5.011469e-05,5.032220e-05,5.056169e-05,5.065210e-05,5.096289e-05,5.097493e-05,5.125545e-05,5.135647e-05,5.153063e-05,5.170825e-05,5.178925e-05,5.203208e-05,5.225986e-05,5.232968e-05,5.247327e-05,5.260262e-05,5.267298e-05,5.285242e-05,5.285964e-05,5.303383e-05,5.308045e-05,5.319614e-05,5.328804e-05,5.334710e-05,5.347641e-05,5.348724e-05,5.361705e-05,5.364671e-05,5.373699e-05,5.380002e-05,5.384752e-05,5.393733e-05,5.394905e-05,5.404201e-05,5.405960e-05,5.412675e-05,5.416771e-05,5.420367e-05,5.426248e-05,5.427310e-05,5.433538e-05,5.434470e-05,5.439082e-05,5.441510e-05,5.443973e-05,5.447435e-05,5.448240e-05,5.451910e-05,5.452312e-05,5.455009e-05,5.456199e-05,5.457563e-05,5.459154e-05,5.459595e-05,5.461128e-05,5.461230e-05,5.462184e-05,5.462478e-05,5.462784e-05,5.462944e-05,5.462947e-05,5.462693e-05,5.462675e-05,5.462040e-05,5.461710e-05,5.461005e-05,5.460091e-05,5.459604e-05,5.457855e-05,5.455036e-05,5.451669e-05,5.447784e-05,5.443412e-05,5.438581e-05,5.433317e-05,5.427646e-05,5.421591e-05,5.415176e-05,5.408420e-05,5.401346e-05,5.393972e-05,5.386316e-05,5.378396e-05,5.370229e-05,5.361830e-05,5.353214e-05,5.344395e-05,5.335387e-05,5.326202e-05,5.316854e-05,5.307353e-05,5.297710e-05,5.287937e-05
0.000000e+00,2.724162e-10,7.543828e-10,3.231061e-09,8.263083e-09,1.267600e-08,3.218793e-08,3.330273e-08,7.179105e-08,8.699497e-08,1.375847e-07,1.945602e-07,2.408457e-07,3.725948e-07,3.856283e-07,5.671187e-07,6.152957e-07,7.780351e-07,9.069401e-07,1.013100e-06,1.237301e-06,1.269035e-06,1.543599e-06,1.600581e-06,1.834941e-06,1.992486e-06,2.141302e-06,2.408946e-06,2.460895e-06,2.791893e-06,2.845788e-06,3.132456e-06,3.298789e-06,3.480772e-06,3.763834e-06,3.835100e-06,4.193804e-06,4.237069e-06,4.555377e-06,4.715023e-06,4.918460e-06,5.194658e-06,5.281835e-06,5.644429e-06,5.673374e-06,6.005313e-06,6.149004e-06,6.363684e-06,6.619767e-06,6.718858e-06,7.070256e-06,7.084227e-06,7.417392e-06,7.541237e-06,7.759859e-06,7.989896e-06,8.097322e-06,8.429504e-06,8.756181e-06,8.859525e-06,9.077174e-06,9.279558e-06,9.392338e-06,9.689311e-06,9.701565e-06,1.000477e-05,1.008858e-05,1.030190e-05,1.047724e-05,1.059290e-05,1.085520e-05,1.087776e-05,1.115647e-05,1.122245e-05,1.142904e-05,1.157900e-05,1.169547e-05,1.192488e-05,1.195580e-05,1.221006e-05,1.226018e-05,1.245828e-05,1.258499e-05,1.270052e-05,1.289942e-05,1.293683e-05,1.316727e-05,1.320360e-05,1.339190e-05,1.349768e-05,1.361079e-05,1.378180e-05,1.382399e-05,1.403160e-05,1.405614e-05,1.423368e-05,1.432086e-05,1.443030e-05,1.457614e-05,1.462156e-05,1.480752e-05,1.482217e-05,1.498826e-05,1.505912e-05,1.516388e-05,1.528720e-05,1.533446e-05,1.550007e-05,1.550659e-05,1.566080e-05,1.571749e-05,1.581675e-05,1.592010e-05,1.596799e-05,1.611460e-05,1.625668e-05,1.630120e-05,1.639431e-05,1.648010e-05,1.652758e-05,1.665148e-05,1.665656e-05,1.678134e-05,1.681554e-05,1.690201e-05,1.697247e-05,1.701865e-05,1.712247e-05,1.713134e-05,1.724017e-05,1.726572e-05,1.734521e-05,1.740241e-05,1.744654e-05,1.753271e-05,1.754425e-05,1.763841e-05,1.765682e-05,1.772910e-05,1.777491e-05,1.781640e-05,1.788716e-05,1.790038e-05,1.798111e-05,1.799374e-05,1.805868e-05,1.809481e-05,1.813316e-05,1.819055e-05,1.820461e-05,1.827310e-05,1.828113e-05,1.833871e-05,1.836669e-05,1.840151e-05,1.844740e-05,1.846156e-05,1.851893e-05,1.852341e-05,1.857369e-05,1.859487e-05,1.862589e-05,1.866193e-05,1.867561e-05,1.872290e-05,1.872474e-05,1.876782e-05,1.878343e-05,1.881045e-05,1.883814e-05,1.885082e-05,1.888901e-05,1.893617e-05,1.897975e-05,1.901987e-05,1.905665e-05,1.909021e-05,1.912067e-05,1.914814e-05,1.917273e-05,1.919455e-05,1.921371e-05,1.923029e-05,1.924440e-05,1.925615e-05,1.926561e-05,1.927288e-05,1.927805e-05,1.928120e-05,1.928242e-05,1.928178e-05,1.927937e-05,1.927526e-05,1.926952e-05,1.926223e-05,1.925345e-05
0.000000e+00,8.398303e-11,3.004650e-10,1.906547e-09,6.236144e-09,1.059785e-08,3.233769e-08,3.363830e-08,7.936274e-08,9.739333e-08,1.563356e-07,2.211506e-07,2.733186e-07,4.240900e-07,4.394034e-07,6.639025e-07,7.274764e-07,9.555224e-07,1.150626e-06,1.320421e-06,1.703093e-06,1.759587e-06,2.267326e-06,2.376177e-06,2.832347e-06,3.144183e-06,3.440691e-06,3.975002e-06,4.078505e-06,4.733599e-06,4.839315e-06,5.395882e-06,5.713864e-06,6.057167e-06,6.580976e-06,6.710822e-06,7.351443e-06,7.427223e-06,7.974609e-06,8.242319e-06,8.576725e-06,9.018464e-06,9.154921e-06,9.706979e-06,9.749962e-06,1.023128e-05,1.043296e-05,1.072672e-05,1.106522e-05,1.119271e-05,1.162906e-05,1.164589e-05,1.203593e-05,1.217526e-05,1.241379e-05,1.265452e-05,1.276336e-05,1.308554e-05,1.338139e-05,1.347068e-05,1.365205e-05,1.381262e-05,1.389875e-05,1.411420e-05,1.412274e-05,1.432529e-05,1.437834e-05,1.450768e-05,1.460795e-05,1.467114e-05,1.480585e-05,1.481689e-05,1.494609e-05,1.497476e-05,1.505987e-05,1.511724e-05,1.515928e-05,1.523569e-05,1.524535e-05,1.531902e-05,1.533235e-05,1.538121e-05,1.540928e-05,1.543274e-05,1.546839e-05,1.547443e-05,1.550700e-05,1.551141e-05,1.553116e-05,1.553995e-05,1.554754e-05,1.555546e-05,1.555676e-05,1.555936e-05,1.555926e-05,1.555588e-05,1.555254e-05,1.554679e-05,1.553642e-05,1.553255e-05,1.551358e-05,1.551187e-05,1.549026e-05,1.547979e-05,1.546295e-05,1.544101e-05,1.543199e-05,1.539769e-05,1.539625e-05,1.536033e-05,1.534619e-05,1.532019e-05,1.529143e-05,1.527751e-05,1.523252e-05,1.518543e-05,1.516996e-05,1.513645e-05,1.510420e-05,1.508576e-05,1.503564e-05,1.503353e-05,1.497991e-05,1.496467e-05,1.492506e-05,1.489161e-05,1.486910e-05,1.481677e-05,1.481218e-05,1.475440e-05,1.474042e-05,1.469588e-05,1.466282e-05,1.463671e-05,1.458418e-05,1.457699e-05,1.451681e-05,1.450473e-05,1.445626e-05,1.442464e-05,1.439539e-05,1.434408e-05,1.433430e-05,1.427303e-05,1.426322e-05,1.421165e-05,1.418217e-05,1.415022e-05,1.410108e-05,1.408880e-05,1.402741e-05,1.402005e-05,1.396612e-05,1.393919e-05,1.390497e-05,1.385860e-05,1.384398e-05,1.378320e-05,1.377835e-05,1.372266e-05,1.369852e-05,1.366239e-05,1.361918e-05,1.360241e-05,1.354276e-05,1.354038e-05,1.348346e-05,1.346220e-05,1.342452e-05,1.338467e-05,1.336597e-05,1.330783e-05,1.323173e-05,1.315640e-05,1.308188e-05,1.300818e-05,1.293534e-05,1.286336e-05,1.279228e-05,1.272210e-05,1.265284e-05,1.258450e-05,1.251710e-05,1.245064e-05,1.238512e-05,1.232056e-05,1.225694e-05,1.219427e-05,1.213256e-05,1.207179e-05,1.201196e-05,1.195307e-05,1.189512e-05,1.183810e-05,1.178201e-05,1.172683e-05
0.000000e+00,2.486110e-11,5.754775e-11,1.999330e-10,4.567018e-10,6.672685e-10,1.519118e-09,1.565081e-09,3.039751e-09,3.577971e-09,5.256037e-09,7.015774e-09,8.390097e-09,1.220230e-08,1.257742e-08,1.784130e-08,1.925727e-08,2.410450e-08,2.800972e-08,3.126468e-08,3.823839e-08,3.923524e-08,4.794683e-08,4.977265e-08,5.733838e-08,6.247087e-08,6.734982e-08,7.619233e-08,7.791788e-08,8.897438e-08,9.078393e-08,1.004462e-07,1.060776e-07,1.122560e-07,1.218934e-07,1.243237e-07,1.365682e-07,1.380456e-07,1.489091e-07,1.543494e-07,1.612683e-07,1.706276e-07,1.735715e-07,1.857493e-07,1.867162e-07,1.977381e-07,2.024677e-07,2.094810e-07,2.177552e-07,2.209279e-07,2.320358e-07,2.324726e-07,2.427689e-07,2.465352e-07,2.530978e-07,2.598788e-07,2.629999e-07,2.724582e-07,2.814614e-07,2.842451e-07,2.900029e-07,2.952258e-07,2.980803e-07,3.053993e-07,3.056951e-07,3.128519e-07,3.147746e-07,3.195580e-07,3.233692e-07,3.258229e-07,3.312067e-07,3.316580e-07,3.370760e-07,3.383157e-07,3.420905e-07,3.447279e-07,3.467164e-07,3.504776e-07,3.509686e-07,3.548628e-07,3.556000e-07,3.584145e-07,3.601311e-07,3.616392e-07,3.641066e-07,3.645524e-07,3.671692e-07,3.675614e-07,3.695046e-07,3.705298e-07,3.715729e-07,3.730448e-07,3.733883e-07,3.749643e-07,3.751379e-07,3.763140e-07,3.768394e-07,3.774499e-07,3.781778e-07,3.783843e-07,3.791286e-07,3.791803e-07,3.796939e-07,3.798723e-07,3.800907e-07,3.802778e-07,3.803292e-07,3.804188e-07,3.804194e-07,3.803687e-07,3.803181e-07,3.801875e-07,3.799936e-07,3.798835e-07,3.794644e-07,3.789377e-07,3.787476e-07,3.783103e-07,3.778591e-07,3.775890e-07,3.768139e-07,3.767799e-07,3.758892e-07,3.756259e-07,3.749222e-07,3.743078e-07,3.738846e-07,3.728717e-07,3.727811e-07,3.716167e-07,3.713287e-07,3.703958e-07,3.696890e-07,3.691227e-07,3.679623e-07,3.678013e-07,3.664356e-07,3.661574e-07,3.650290e-07,3.642825e-07,3.635849e-07,3.623453e-07,3.621066e-07,3.605970e-07,3.603528e-07,3.590591e-07,3.583115e-07,3.574953e-07,3.562275e-07,3.559084e-07,3.543006e-07,3.541064e-07,3.526743e-07,3.519533e-07,3.510314e-07,3.497730e-07,3.493740e-07,3.477041e-07,3.475700e-07,3.460232e-07,3.453482e-07,3.443332e-07,3.431115e-07,3.426355e-07,3.409317e-07,3.408634e-07,3.392230e-07,3.386070e-07,3.375108e-07,3.363452e-07,3.357964e-07,3.340808e-07,3.318162e-07,3.295538e-07,3.272957e-07,3.250437e-07,3.227996e-07,3.205650e-07,3.183414e-07,3.161302e-07,3.139325e-07,3.117494e-07,3.095820e-07,3.074311e-07,3.052976e-07,3.031822e-07,3.010856e-07,2.990082e-07,2.969507e-07,2.949135e-07,2.928970e-07,2.909014e-07,2.889272e-07,2.869746e-07,2.850437e-07,2.831347e-07
0.000000e+00,2.284956e-09,8.967868e-09,6.854293e-08,2.638317e-07,4.889513e-07,1.850313e-06,1.941160e-06,5.601141e-06,7.245982e-06,1.323268e-05,2.070153e-05,2.727336e-05,4.857186e-05,5.090279e-05,8.801519e-05,9.941047e-05,1.429992e-04,1.832844e-04,2.203668e-04,3.103773e-04,3.244008e-04,4.589189e-04,4.897758e-04,6.271476e-04,7.288308e-04,8.316630e-04,1.032912e-03,1.074370e-03,1.356503e-03,1.405350e-03,1.678637e-03,1.847477e-03,2.040717e-03,2.358718e-03,2.442084e-03,2.881523e-03,2.936737e-03,3.357310e-03,3.577626e-03,3.867271e-03,4.276133e-03,4.408843e-03,4.979143e-03,5.025915e-03,5.575031e-03,5.819811e-03,6.193184e-03,6.650110e-03,6.830158e-03,7.482451e-03,7.508811e-03,8.146560e-03,8.387865e-03,8.819034e-03,9.279377e-03,9.496516e-03,1.017578e-02,1.085378e-02,1.106999e-02,1.152763e-02,1.195548e-02,1.219468e-02,1.282637e-02,1.285248e-02,1.349882e-02,1.367747e-02,1.413172e-02,1.450427e-02,1.474943e-02,1.530298e-02,1.535041e-02,1.593336e-02,1.607045e-02,1.649717e-02,1.680420e-02,1.704095e-02,1.750233e-02,1.756398e-02,1.806571e-02,1.816347e-02,1.854577e-02,1.878676e-02,1.900393e-02,1.937176e-02,1.944006e-02,1.985420e-02,1.991843e-02,2.024647e-02,2.042705e-02,2.061709e-02,2.089819e-02,2.096635e-02,2.129463e-02,2.133264e-02,2.160237e-02,2.173139e-02,2.189005e-02,2.209559e-02,2.215820e-02,2.240738e-02,2.242651e-02,2.263819e-02,2.272550e-02,2.285123e-02,2.299398e-02,2.304715e-02,2.322658e-02,2.323342e-02,2.339016e-02,2.344529e-02,2.353853e-02,2.363107e-02,2.367235e-02,2.379224e-02,2.389884e-02,2.393025e-02,2.399277e-02,2.404651e-02,2.407463e-02,2.414241e-02,2.414501e-02,2.420450e-02,2.421928e-02,2.425364e-02,2.427839e-02,2.429299e-02,2.432099e-02,2.432307e-02,2.434439e-02,2.434825e-02,2.435743e-02,2.436130e-02,2.436267e-02,2.436118e-02,2.436056e-02,2.435153e-02,2.434893e-02,2.433599e-02,2.432548e-02,2.431435e-02,2.429174e-02,2.428699e-02,2.425426e-02,2.424855e-02,2.421652e-02,2.419672e-02,2.417409e-02,2.413698e-02,2.412728e-02,2.407640e-02,2.407004e-02,2.402173e-02,2.399655e-02,2.396354e-02,2.391712e-02,2.390209e-02,2.383761e-02,2.383233e-02,2.377034e-02,2.374270e-02,2.370049e-02,2.364873e-02,2.362828e-02,2.355390e-02,2.355088e-02,2.347753e-02,2.344959e-02,2.339935e-02,2.334524e-02,2.331953e-02,2.323821e-02,2.312884e-02,2.301745e-02,2.290433e-02,2.278975e-02,2.267397e-02,2.255721e-02,2.243970e-02,2.232161e-02,2.220315e-02,2.208447e-02,2.196573e-02,2.184707e-02,2.172861e-02,2.161048e-02,2.149279e-02,2.137563e-02,2.125910e-02,2.114327e-02,2.102822e-02,2.091401e-02,2.080072e-02,2.068838e-02,2.057706e-02,2.046680e-02
0.000000e+00,2.514104e-10,7.696769e-10,3.751990e-09,1.020181e-08,1.594403e-08,4.098215e-08,4.238295e-08,8.870847e-08,1.060581e-07,1.610171e-07,2.196244e-07,2.659264e-07,3.964892e-07,4.094945e-07,5.944810e-07,6.448778e-07,8.186180e-07,9.593147e-07,1.076690e-06,1.327646e-06,1.363412e-06,1.674369e-06,1.739129e-06,2.005776e-06,2.185017e-06,2.354113e-06,2.657272e-06,2.715925e-06,3.087762e-06,3.147958e-06,3.466215e-06,3.649245e-06,3.847977e-06,4.153662e-06,4.229924e-06,4.609179e-06,4.654382e-06,4.983157e-06,5.145443e-06,5.349606e-06,5.621879e-06,5.706608e-06,6.052585e-06,6.079747e-06,6.386280e-06,6.516095e-06,6.706734e-06,6.928866e-06,7.013258e-06,7.305397e-06,7.316780e-06,7.582905e-06,7.679207e-06,7.845706e-06,8.016042e-06,8.093872e-06,8.327588e-06,8.547138e-06,8.614458e-06,8.752876e-06,8.877489e-06,8.945215e-06,9.117671e-06,9.124604e-06,9.291525e-06,9.336096e-06,9.446475e-06,9.533911e-06,9.589963e-06,9.712286e-06,9.722498e-06,9.844589e-06,9.872392e-06,9.956736e-06,1.001538e-05,1.005943e-05,1.014236e-05,1.015315e-05,1.023836e-05,1.025442e-05,1.031551e-05,1.035259e-05,1.038504e-05,1.043785e-05,1.044736e-05,1.050286e-05,1.051113e-05,1.055194e-05,1.057332e-05,1.059495e-05,1.062523e-05,1.063225e-05,1.066417e-05,1.066765e-05,1.069102e-05,1.070131e-05,1.071311e-05,1.072690e-05,1.073073e-05,1.074414e-05,1.074504e-05,1.075361e-05,1.075635e-05,1.075939e-05,1.076138e-05,1.076169e-05,1.076075e-05,1.076065e-05,1.075678e-05,1.075465e-05,1.074997e-05,1.074382e-05,1.074051e-05,1.072859e-05,1.071435e-05,1.070934e-05,1.069798e-05,1.068645e-05,1.067961e-05,1.066024e-05,1.065940e-05,1.063747e-05,1.063104e-05,1.061395e-05,1.059912e-05,1.058896e-05,1.056477e-05,1.056262e-05,1.053503e-05,1.052823e-05,1.050629e-05,1.048973e-05,1.047650e-05,1.044949e-05,1.044576e-05,1.041413e-05,1.040771e-05,1.038171e-05,1.036456e-05,1.034857e-05,1.032023e-05,1.031478e-05,1.028041e-05,1.027486e-05,1.024552e-05,1.022861e-05,1.021017e-05,1.018160e-05,1.017442e-05,1.013831e-05,1.013396e-05,1.010191e-05,1.008580e-05,1.006524e-05,1.003724e-05,1.002837e-05,9.991323e-06,9.988353e-06,9.954145e-06,9.939245e-06,9.916871e-06,9.889993e-06,9.879535e-06,9.842168e-06,9.840673e-06,9.804799e-06,9.791352e-06,9.767457e-06,9.742094e-06,9.730168e-06,9.692956e-06,9.643991e-06,9.595247e-06,9.546768e-06,9.498593e-06,9.450759e-06,9.403298e-06,9.356240e-06,9.309610e-06,9.263434e-06,9.217731e-06,9.172521e-06,9.127820e-06,9.083643e-06,9.040004e-06,8.996911e-06,8.954376e-06,8.912406e-06,8.871008e-06,8.830187e-06,8.789947e-06,8.750291e-06,8.711221e-06,8.672740e-06,8.634846e-06
0.000000e+00,2.961260e-10,1.150700e-09,8.609341e-09,3.246746e-08,5.946842e-08,2.178620e-07,2.282407e-07,6.352458e-07,8.131485e-07,1.443642e-06,2.203392e-06,2.853877e-06,4.880597e-06,5.096477e-06,8.424045e-06,9.413499e-06,1.310247e-05,1.641282e-05,1.940033e-05,2.648693e-05,2.757488e-05,3.785411e-05,4.017936e-05,5.041742e-05,5.789414e-05,6.538017e-05,7.983703e-05,8.278572e-05,1.026054e-04,1.059950e-04,1.247438e-04,1.361510e-04,1.490482e-04,1.699180e-04,1.753183e-04,2.033173e-04,2.067811e-04,2.327821e-04,2.461393e-04,2.634330e-04,2.873439e-04,2.949821e-04,3.271418e-04,3.297324e-04,3.596307e-04,3.726576e-04,3.921797e-04,4.155099e-04,4.245366e-04,4.564694e-04,4.577349e-04,4.877689e-04,4.988453e-04,5.182503e-04,5.384279e-04,5.477540e-04,5.761457e-04,6.033159e-04,6.117376e-04,6.291785e-04,6.450140e-04,6.536698e-04,6.758511e-04,6.767467e-04,6.983846e-04,7.041839e-04,7.185756e-04,7.299979e-04,7.373263e-04,7.533212e-04,7.546560e-04,7.705943e-04,7.742166e-04,7.851799e-04,7.927737e-04,7.984584e-04,8.091028e-04,8.104810e-04,8.213029e-04,8.233283e-04,8.309823e-04,8.355840e-04,8.395791e-04,8.460081e-04,8.471540e-04,8.537675e-04,8.547405e-04,8.594799e-04,8.619191e-04,8.643500e-04,8.676781e-04,8.684350e-04,8.717902e-04,8.721464e-04,8.744688e-04,8.754462e-04,8.765214e-04,8.776924e-04,8.779961e-04,8.789384e-04,8.789921e-04,8.793912e-04,8.794444e-04,8.793948e-04,8.791406e-04,8.789871e-04,8.782032e-04,8.781644e-04,8.770760e-04,8.765921e-04,8.756361e-04,8.744930e-04,8.739120e-04,8.719298e-04,8.697139e-04,8.689592e-04,8.672869e-04,8.656324e-04,8.646695e-04,8.619954e-04,8.618808e-04,8.589385e-04,8.580894e-04,8.558588e-04,8.539514e-04,8.526568e-04,8.496146e-04,8.493461e-04,8.459393e-04,8.451087e-04,8.424481e-04,8.404602e-04,8.388833e-04,8.356930e-04,8.352545e-04,8.315707e-04,8.308282e-04,8.278404e-04,8.258847e-04,8.240709e-04,8.208795e-04,8.202694e-04,8.164421e-04,8.158278e-04,8.125950e-04,8.107429e-04,8.087334e-04,8.056369e-04,8.048622e-04,8.009859e-04,8.005206e-04,7.971087e-04,7.954035e-04,7.932345e-04,7.902941e-04,7.893666e-04,7.855083e-04,7.852001e-04,7.816624e-04,7.801282e-04,7.778317e-04,7.750844e-04,7.740186e-04,7.702253e-04,7.700740e-04,7.664538e-04,7.651018e-04,7.627060e-04,7.601719e-04,7.589836e-04,7.552881e-04,7.504535e-04,7.456711e-04,7.409432e-04,7.362720e-04,7.316594e-04,7.271070e-04,7.226160e-04,7.181877e-04,7.138229e-04,7.095223e-04,7.052866e-04,7.011161e-04,6.970111e-04,6.929717e-04,6.889981e-04,6.850900e-04,6.812474e-04,6.774701e-04,6.737576e-04,6.701096e-04,6.665257e-04,6.630054e-04,6.595480e-04,6.561531e-04
0.000000e+00,6.482786e-11,1.525547e-10,5.397128e-10,1.244235e-09,1.824659e-09,4.184477e-09,4.312154e-09,8.419108e-09,9.921582e-09,1.461435e-08,1.955090e-08,2.342261e-08,3.428428e-08,3.536524e-08,5.079204e-08,5.501908e-08,6.967333e-08,8.160843e-08,9.158677e-08,1.129087e-07,1.159408e-07,1.421812e-07,1.476140e-07,1.698549e-07,1.846876e-07,1.985960e-07,2.233366e-07,2.280961e-07,2.580836e-07,2.629100e-07,2.883122e-07,3.028408e-07,3.185571e-07,3.426264e-07,3.486134e-07,3.782975e-07,3.818266e-07,4.074471e-07,4.200668e-07,4.359227e-07,4.570402e-07,4.636067e-07,4.904031e-07,4.925061e-07,5.162363e-07,5.262866e-07,5.410493e-07,5.582596e-07,5.648016e-07,5.874677e-07,5.883515e-07,6.090349e-07,6.165293e-07,6.295011e-07,6.427927e-07,6.488736e-07,6.671668e-07,6.844013e-07,6.896967e-07,7.006023e-07,7.104417e-07,7.157986e-07,7.294712e-07,7.300219e-07,7.433055e-07,7.468613e-07,7.556843e-07,7.626919e-07,7.671936e-07,7.770448e-07,7.778690e-07,7.877462e-07,7.900019e-07,7.968607e-07,8.016448e-07,8.052475e-07,8.120529e-07,8.129405e-07,8.199732e-07,8.213033e-07,8.263777e-07,8.294703e-07,8.321856e-07,8.366252e-07,8.374270e-07,8.421312e-07,8.428360e-07,8.463264e-07,8.481672e-07,8.500395e-07,8.526803e-07,8.532964e-07,8.561220e-07,8.564333e-07,8.585402e-07,8.594810e-07,8.605737e-07,8.618753e-07,8.622443e-07,8.635726e-07,8.636647e-07,8.645786e-07,8.648950e-07,8.652811e-07,8.656092e-07,8.656982e-07,8.658469e-07,8.658475e-07,8.657437e-07,8.656479e-07,8.654041e-07,8.650457e-07,8.648429e-07,8.640742e-07,8.631114e-07,8.627644e-07,8.619671e-07,8.611452e-07,8.606535e-07,8.592438e-07,8.591821e-07,8.575636e-07,8.570855e-07,8.558085e-07,8.546940e-07,8.539266e-07,8.520911e-07,8.519270e-07,8.498187e-07,8.492975e-07,8.476100e-07,8.463323e-07,8.453088e-07,8.432132e-07,8.429226e-07,8.404585e-07,8.399569e-07,8.379230e-07,8.365786e-07,8.353227e-07,8.330927e-07,8.326635e-07,8.299511e-07,8.295125e-07,8.271908e-07,8.258503e-07,8.243877e-07,8.221175e-07,8.215465e-07,8.186717e-07,8.183247e-07,8.157677e-07,8.144817e-07,8.128384e-07,8.105976e-07,8.098876e-07,8.069188e-07,8.066806e-07,8.039354e-07,8.027387e-07,8.009406e-07,7.987789e-07,7.979372e-07,7.949282e-07,7.948077e-07,7.919160e-07,7.908313e-07,7.889031e-07,7.868552e-07,7.858920e-07,7.828846e-07,7.789240e-07,7.749779e-07,7.710501e-07,7.671442e-07,7.632634e-07,7.594108e-07,7.555890e-07,7.518005e-07,7.480474e-07,7.443317e-07,7.406552e-07,7.370193e-07,7.334256e-07,7.298751e-07,7.263690e-07,7.229081e-07,7.194933e-07,7.161252e-07,7.128043e-07,7.095311e-07,7.063060e-07,7.031291e-07,7.000008e-07,6.969209e-07
0.000000e+00,3.191893e-11,7.533343e-11,2.668461e-10,6.142120e-10,8.993265e-10,2.050127e-09,2.112048e-09,4.088177e-09,4.804439e-09,7.022791e-09,9.331177e-09,1.112740e-08,1.611956e-08,1.661362e-08,2.363588e-08,2.555504e-08,3.220753e-08,3.763313e-08,4.217813e-08,5.192217e-08,5.331153e-08,6.537400e-08,6.787993e-08,7.816785e-08,8.505416e-08,9.152880e-08,1.030857e-07,1.053146e-07,1.193961e-07,1.216684e-07,1.336526e-07,1.405244e-07,1.479706e-07,1.593973e-07,1.622434e-07,1.763724e-07,1.780539e-07,1.902684e-07,1.962881e-07,2.038525e-07,2.139256e-07,2.170567e-07,2.298239e-07,2.308250e-07,2.421089e-07,2.468795e-07,2.538761e-07,2.620132e-07,2.651001e-07,2.757643e-07,2.761790e-07,2.858601e-07,2.893549e-07,2.953856e-07,3.015391e-07,3.043449e-07,3.127469e-07,3.206043e-07,3.230062e-07,3.279329e-07,3.323541e-07,3.347510e-07,3.408345e-07,3.410784e-07,3.469362e-07,3.484951e-07,3.523460e-07,3.553862e-07,3.573302e-07,3.615586e-07,3.619107e-07,3.661095e-07,3.670628e-07,3.699480e-07,3.719478e-07,3.734468e-07,3.762608e-07,3.766261e-07,3.795052e-07,3.800466e-07,3.821026e-07,3.833477e-07,3.844358e-07,3.862039e-07,3.865217e-07,3.883761e-07,3.886523e-07,3.900140e-07,3.907274e-07,3.914495e-07,3.924612e-07,3.926960e-07,3.937660e-07,3.938831e-07,3.946715e-07,3.950206e-07,3.954234e-07,3.958986e-07,3.960322e-07,3.965077e-07,3.965403e-07,3.968591e-07,3.969668e-07,3.970949e-07,3.971976e-07,3.972231e-07,3.972514e-07,3.972505e-07,3.971867e-07,3.971420e-07,3.970357e-07,3.968869e-07,3.968046e-07,3.964991e-07,3.961247e-07,3.959912e-07,3.956864e-07,3.953746e-07,3.951891e-07,3.946601e-07,3.946370e-07,3.940345e-07,3.938573e-07,3.933854e-07,3.929751e-07,3.926933e-07,3.920216e-07,3.919617e-07,3.911938e-07,3.910044e-07,3.903925e-07,3.899304e-07,3.895608e-07,3.888057e-07,3.887011e-07,3.878161e-07,3.876362e-07,3.869079e-07,3.864272e-07,3.859788e-07,3.851836e-07,3.850308e-07,3.840657e-07,3.839099e-07,3.830855e-07,3.826101e-07,3.820917e-07,3.812879e-07,3.810859e-07,3.800696e-07,3.799470e-07,3.790441e-07,3.785904e-07,3.780108e-07,3.772210e-07,3.769709e-07,3.759254e-07,3.758415e-07,3.748755e-07,3.744545e-07,3.738221e-07,3.730620e-07,3.727661e-07,3.717085e-07,3.716662e-07,3.706501e-07,3.702690e-07,3.695916e-07,3.688721e-07,3.685337e-07,3.674771e-07,3.660855e-07,3.646985e-07,3.633174e-07,3.619433e-07,3.605773e-07,3.592201e-07,3.578727e-07,3.565359e-07,3.552102e-07,3.538964e-07,3.525949e-07,3.513063e-07,3.500310e-07,3.487695e-07,3.475220e-07,3.462889e-07,3.450705e-07,3.438670e-07,3.426785e-07,3.415054e-07,3.403476e-07,3.392054e-07,3.380787e-07,3.369678e-07
0.000000e+00,2.816271e-11,6.676296e-11,2.381644e-10,5.507952e-10,8.080247e-10,1.846433e-09,1.902222e-09,3.673912e-09,4.311206e-09,6.267188e-09,8.274701e-09,9.818846e-09,1.404438e-08,1.445847e-08,2.030388e-08,2.189730e-08,2.744736e-08,3.203377e-08,3.593327e-08,4.449937e-08,4.574493e-08,5.681754e-08,5.917585e-08,6.906371e-08,7.586438e-08,8.238935e-08,9.434648e-08,9.669781e-08,1.118893e-07,1.143950e-07,1.278601e-07,1.357713e-07,1.445024e-07,1.582254e-07,1.617056e-07,1.793580e-07,1.815011e-07,1.973485e-07,2.053433e-07,2.155687e-07,2.295055e-07,2.339147e-07,2.522884e-07,2.537567e-07,2.705989e-07,2.778865e-07,2.887630e-07,3.017083e-07,3.067062e-07,3.243621e-07,3.250615e-07,3.416733e-07,3.478111e-07,3.585903e-07,3.698474e-07,3.750719e-07,3.910839e-07,4.065991e-07,4.114554e-07,4.215963e-07,4.309154e-07,4.360602e-07,4.494338e-07,4.499800e-07,4.633496e-07,4.669940e-07,4.761663e-07,4.835912e-07,4.884311e-07,4.992300e-07,5.001473e-07,5.113209e-07,5.139226e-07,5.219597e-07,5.276872e-07,5.320731e-07,5.405468e-07,5.416719e-07,5.507679e-07,5.525278e-07,5.593736e-07,5.636593e-07,5.675025e-07,5.739721e-07,5.751680e-07,5.823844e-07,5.834983e-07,5.891658e-07,5.922705e-07,5.955264e-07,6.003216e-07,6.014807e-07,6.070428e-07,6.076845e-07,6.122268e-07,6.143916e-07,6.170467e-07,6.204748e-07,6.215163e-07,6.256489e-07,6.259654e-07,6.294578e-07,6.308935e-07,6.329557e-07,6.352889e-07,6.361554e-07,6.390691e-07,6.391799e-07,6.417087e-07,6.425941e-07,6.440858e-07,6.455581e-07,6.462117e-07,6.480972e-07,6.497530e-07,6.502360e-07,6.511893e-07,6.519980e-07,6.524160e-07,6.534054e-07,6.534427e-07,6.542787e-07,6.544798e-07,6.549328e-07,6.552416e-07,6.554137e-07,6.557103e-07,6.557298e-07,6.558889e-07,6.559047e-07,6.558990e-07,6.558423e-07,6.557674e-07,6.555400e-07,6.555012e-07,6.551075e-07,6.550140e-07,6.545927e-07,6.542794e-07,6.539634e-07,6.533507e-07,6.532256e-07,6.523852e-07,6.522416e-07,6.514480e-07,6.509653e-07,6.504192e-07,6.495339e-07,6.493043e-07,6.481081e-07,6.479593e-07,6.468355e-07,6.462525e-07,6.454911e-07,6.444240e-07,6.440793e-07,6.426043e-07,6.424837e-07,6.410703e-07,6.404410e-07,6.394810e-07,6.383047e-07,6.378403e-07,6.361517e-07,6.360832e-07,6.344185e-07,6.337843e-07,6.326441e-07,6.314156e-07,6.308316e-07,6.289840e-07,6.264961e-07,6.239581e-07,6.213760e-07,6.187551e-07,6.161007e-07,6.134176e-07,6.107103e-07,6.079831e-07,6.052401e-07,6.024849e-07,5.997210e-07,5.969517e-07,5.941801e-07,5.914090e-07,5.886410e-07,5.858787e-07,5.831242e-07,5.803798e-07,5.776473e-07,5.749287e-07,5.722255e-07,5.695394e-07,5.668717e-07,5.642238e-07
0.000000e+00,1.940805e-10,5.096145e-10,2.024382e-09,4.913361e-09,7.337090e-09,1.733588e-08,1.788060e-08,3.551223e-08,4.200176e-08,6.235619e-08,8.383316e-08,1.006553e-07,1.472795e-07,1.518485e-07,2.151942e-07,2.319203e-07,2.879695e-07,3.317049e-07,3.671923e-07,4.403990e-07,4.505631e-07,5.364216e-07,5.537750e-07,6.234916e-07,6.688890e-07,7.107137e-07,7.834225e-07,7.971696e-07,8.820584e-07,8.954477e-07,9.646951e-07,1.003390e-06,1.044513e-06,1.106035e-06,1.121067e-06,1.194026e-06,1.202528e-06,1.263168e-06,1.292347e-06,1.328370e-06,1.375258e-06,1.389587e-06,1.446848e-06,1.451260e-06,1.500234e-06,1.520530e-06,1.549868e-06,1.583363e-06,1.595898e-06,1.638500e-06,1.640135e-06,1.677856e-06,1.691266e-06,1.714156e-06,1.737193e-06,1.747593e-06,1.778353e-06,1.806619e-06,1.815166e-06,1.832566e-06,1.848032e-06,1.856359e-06,1.877320e-06,1.878155e-06,1.898101e-06,1.903373e-06,1.916333e-06,1.926502e-06,1.932978e-06,1.946991e-06,1.948153e-06,1.961968e-06,1.965093e-06,1.974523e-06,1.981037e-06,1.985909e-06,1.995031e-06,1.996213e-06,2.005512e-06,2.007258e-06,2.013880e-06,2.017884e-06,2.021381e-06,2.027059e-06,2.028079e-06,2.034028e-06,2.034914e-06,2.039282e-06,2.041570e-06,2.043887e-06,2.047135e-06,2.047889e-06,2.051328e-06,2.051704e-06,2.054242e-06,2.055367e-06,2.056666e-06,2.058200e-06,2.058632e-06,2.060170e-06,2.060276e-06,2.061309e-06,2.061659e-06,2.062075e-06,2.062408e-06,2.062490e-06,2.062578e-06,2.062575e-06,2.062360e-06,2.062211e-06,2.061855e-06,2.061358e-06,2.061082e-06,2.060057e-06,2.058796e-06,2.058345e-06,2.057315e-06,2.056257e-06,2.055626e-06,2.053823e-06,2.053745e-06,2.051681e-06,2.051073e-06,2.049449e-06,2.048032e-06,2.047057e-06,2.044725e-06,2.044517e-06,2.041838e-06,2.041175e-06,2.039029e-06,2.037403e-06,2.036099e-06,2.033427e-06,2.033056e-06,2.029908e-06,2.029267e-06,2.026662e-06,2.024938e-06,2.023325e-06,2.020456e-06,2.019903e-06,2.016402e-06,2.015835e-06,2.012829e-06,2.011090e-06,2.009189e-06,2.006232e-06,2.005487e-06,2.001727e-06,2.001273e-06,1.997916e-06,1.996223e-06,1.994057e-06,1.991094e-06,1.990154e-06,1.986211e-06,1.985895e-06,1.982234e-06,1.980633e-06,1.978224e-06,1.975319e-06,1.974185e-06,1.970122e-06,1.969959e-06,1.966036e-06,1.964560e-06,1.961931e-06,1.959130e-06,1.957810e-06,1.953675e-06,1.948200e-06,1.942711e-06,1.937214e-06,1.931713e-06,1.926213e-06,1.920718e-06,1.915231e-06,1.909757e-06,1.904299e-06,1.898860e-06,1.893444e-06,1.888052e-06,1.882688e-06,1.877354e-06,1.872052e-06,1.866784e-06,1.861553e-06,1.856359e-06,1.851205e-06,1.846092e-06,1.841021e-06,1.835994e-06,1.831012e-06,1.826075e-06
0.000000e+00,1.267866e-10,4.807780e-10,3.421301e-09,1.233664e-08,2.205571e-08,7.602730e-08,7.945667e-08,2.088198e-07,2.633308e-07,4.508718e-07,6.693330e-07,8.521095e-07,1.405701e-06,1.463627e-06,2.339689e-06,2.595394e-06,3.534293e-06,4.360416e-06,5.094240e-06,6.794137e-06,7.050279e-06,9.411065e-06,9.930941e-06,1.216294e-05,1.373855e-05,1.527439e-05,1.813440e-05,1.870208e-05,2.239633e-05,2.300868e-05,2.630515e-05,2.824238e-05,3.037692e-05,3.371818e-05,3.456196e-05,3.881347e-05,3.932602e-05,4.308806e-05,4.496584e-05,4.734609e-05,5.054900e-05,5.155186e-05,5.567371e-05,5.599898e-05,5.968412e-05,6.125169e-05,6.355965e-05,6.625547e-05,6.728090e-05,7.083232e-05,7.097067e-05,7.420202e-05,7.536888e-05,7.738145e-05,7.943190e-05,8.036518e-05,8.315052e-05,8.573720e-05,8.652323e-05,8.812703e-05,8.955477e-05,9.032351e-05,9.225477e-05,9.233155e-05,9.415720e-05,9.463662e-05,9.580738e-05,9.671640e-05,9.728967e-05,9.851198e-05,9.861208e-05,9.978290e-05,1.000423e-04,1.008106e-04,1.013266e-04,1.017035e-04,1.023843e-04,1.024699e-04,1.031181e-04,1.032342e-04,1.036559e-04,1.038945e-04,1.040911e-04,1.043826e-04,1.044308e-04,1.046823e-04,1.047147e-04,1.048520e-04,1.049064e-04,1.049465e-04,1.049718e-04,1.049715e-04,1.049328e-04,1.049241e-04,1.048357e-04,1.047757e-04,1.046850e-04,1.045377e-04,1.044856e-04,1.042416e-04,1.042203e-04,1.039573e-04,1.038330e-04,1.036362e-04,1.033843e-04,1.032820e-04,1.028980e-04,1.028820e-04,1.024871e-04,1.023331e-04,1.020522e-04,1.017441e-04,1.015959e-04,1.011206e-04,1.006287e-04,1.004680e-04,1.001220e-04,9.979096e-05,9.960263e-05,9.909369e-05,9.907229e-05,9.853261e-05,9.838004e-05,9.798510e-05,9.765343e-05,9.743116e-05,9.691694e-05,9.687205e-05,9.630896e-05,9.617334e-05,9.574295e-05,9.542509e-05,9.517502e-05,9.467439e-05,9.460609e-05,9.403697e-05,9.392319e-05,9.346843e-05,9.317325e-05,9.290116e-05,9.242609e-05,9.233579e-05,9.177289e-05,9.168310e-05,9.121300e-05,9.094545e-05,9.065657e-05,9.021422e-05,9.010405e-05,8.955581e-05,8.949033e-05,8.901220e-05,8.877456e-05,8.847354e-05,8.806763e-05,8.794009e-05,8.741212e-05,8.737012e-05,8.688983e-05,8.668255e-05,8.637342e-05,8.600534e-05,8.586306e-05,8.535889e-05,8.533885e-05,8.486104e-05,8.468338e-05,8.436961e-05,8.403916e-05,8.388470e-05,8.340637e-05,8.278515e-05,8.217560e-05,8.157777e-05,8.099170e-05,8.041738e-05,7.985477e-05,7.930382e-05,7.876447e-05,7.823661e-05,7.772014e-05,7.721494e-05,7.672087e-05,7.623779e-05,7.576554e-05,7.530397e-05,7.485290e-05,7.441217e-05,7.398159e-05,7.356099e-05,7.315017e-05,7.274897e-05,7.235718e-05,7.197462e-05,7.160110e-05
0.000000e+00,6.283558e-11,1.458905e-10,5.081373e-10,1.162133e-09,1.699252e-09,3.881120e-09,3.999277e-09,7.813054e-09,9.215509e-09,1.362129e-08,1.829394e-08,2.198198e-08,3.241064e-08,3.345350e-08,4.838461e-08,5.248030e-08,6.663980e-08,7.808238e-08,8.755968e-08,1.074782e-07,1.102708e-07,1.340024e-07,1.388178e-07,1.581856e-07,1.708011e-07,1.824193e-07,2.026013e-07,2.064150e-07,2.299558e-07,2.336682e-07,2.528725e-07,2.636106e-07,2.750320e-07,2.921435e-07,2.963301e-07,3.166875e-07,3.190643e-07,3.360475e-07,3.442397e-07,3.543729e-07,3.675958e-07,3.716443e-07,3.878565e-07,3.891079e-07,4.030174e-07,4.087910e-07,4.171444e-07,4.266901e-07,4.302636e-07,4.424068e-07,4.428727e-07,4.536098e-07,4.574202e-07,4.639121e-07,4.704245e-07,4.733555e-07,4.819816e-07,4.898329e-07,4.921886e-07,4.969517e-07,5.011424e-07,5.033793e-07,5.089372e-07,5.091562e-07,5.143214e-07,5.156632e-07,5.189126e-07,5.214070e-07,5.229662e-07,5.262505e-07,5.265168e-07,5.295970e-07,5.302698e-07,5.322379e-07,5.335359e-07,5.344688e-07,5.361150e-07,5.363175e-07,5.378104e-07,5.380684e-07,5.389721e-07,5.394531e-07,5.398260e-07,5.403213e-07,5.403939e-07,5.406964e-07,5.407215e-07,5.407529e-07,5.406980e-07,5.405815e-07,5.402919e-07,5.401994e-07,5.396225e-07,5.395409e-07,5.388657e-07,5.384793e-07,5.379431e-07,5.371391e-07,5.368678e-07,5.356522e-07,5.355492e-07,5.343078e-07,5.337364e-07,5.328453e-07,5.317249e-07,5.312749e-07,5.296060e-07,5.295373e-07,5.278473e-07,5.271938e-07,5.260072e-07,5.247133e-07,5.240933e-07,5.221129e-07,5.200726e-07,5.194081e-07,5.179787e-07,5.166132e-07,5.158371e-07,5.137413e-07,5.136532e-07,5.114321e-07,5.108041e-07,5.091785e-07,5.078127e-07,5.068969e-07,5.047767e-07,5.045914e-07,5.022659e-07,5.017051e-07,4.999238e-07,4.986063e-07,4.975685e-07,4.954874e-07,4.952031e-07,4.928305e-07,4.923553e-07,4.904532e-07,4.892161e-07,4.880739e-07,4.860752e-07,4.856947e-07,4.833178e-07,4.829378e-07,4.809452e-07,4.798084e-07,4.785786e-07,4.766909e-07,4.762198e-07,4.738703e-07,4.735891e-07,4.715316e-07,4.705063e-07,4.692049e-07,4.674453e-07,4.668914e-07,4.645923e-07,4.644090e-07,4.623085e-07,4.613995e-07,4.600410e-07,4.584190e-07,4.577907e-07,4.555583e-07,4.554694e-07,4.533445e-07,4.525522e-07,4.511499e-07,4.496688e-07,4.489751e-07,4.468207e-07,4.440087e-07,4.412338e-07,4.384968e-07,4.357983e-07,4.331388e-07,4.305189e-07,4.279387e-07,4.253985e-07,4.228986e-07,4.204388e-07,4.180193e-07,4.156401e-07,4.133009e-07,4.110016e-07,4.087421e-07,4.065220e-07,4.043412e-07,4.021992e-07,4.000958e-07,3.980305e-07,3.960030e-07,3.940129e-07,3.920597e-07,3.901430e-07
0.000000e+00,2.029290e-10,7.038907e-10,4.218867e-09,1.320146e-08,2.195642e-08,6.386278e-08,6.631596e-08,1.505953e-07,1.831232e-07,2.877765e-07,4.007779e-07,4.905869e-07,7.459341e-07,7.715774e-07,1.142451e-06,1.245907e-06,1.611902e-06,1.919233e-06,2.182902e-06,2.766950e-06,2.852250e-06,3.612850e-06,3.775180e-06,4.456228e-06,4.924635e-06,5.373772e-06,6.195586e-06,6.356953e-06,7.397189e-06,7.568340e-06,8.485727e-06,9.022762e-06,9.613629e-06,1.053823e-05,1.077187e-05,1.195148e-05,1.209405e-05,1.314373e-05,1.367016e-05,1.434030e-05,1.524775e-05,1.553338e-05,1.671587e-05,1.680981e-05,1.788135e-05,1.834150e-05,1.902421e-05,1.983031e-05,2.013961e-05,2.122348e-05,2.126612e-05,2.227248e-05,2.264107e-05,2.328399e-05,2.394935e-05,2.425599e-05,2.518705e-05,2.607621e-05,2.635180e-05,2.692299e-05,2.744261e-05,2.772726e-05,2.845956e-05,2.848923e-05,2.920936e-05,2.940359e-05,2.988835e-05,3.027635e-05,3.052706e-05,3.107996e-05,3.112650e-05,3.168779e-05,3.181695e-05,3.221213e-05,3.249009e-05,3.270078e-05,3.310231e-05,3.315505e-05,3.357624e-05,3.365663e-05,3.396570e-05,3.415612e-05,3.432476e-05,3.460382e-05,3.465472e-05,3.495688e-05,3.500274e-05,3.523253e-05,3.535578e-05,3.548290e-05,3.566581e-05,3.570920e-05,3.591261e-05,3.593554e-05,3.609428e-05,3.616760e-05,3.625529e-05,3.636451e-05,3.639672e-05,3.651959e-05,3.652864e-05,3.662487e-05,3.666228e-05,3.671353e-05,3.676758e-05,3.678647e-05,3.684455e-05,3.684658e-05,3.688862e-05,3.690120e-05,3.691946e-05,3.693327e-05,3.693784e-05,3.694449e-05,3.694011e-05,3.693649e-05,3.692536e-05,3.691077e-05,3.690087e-05,3.686876e-05,3.686725e-05,3.682507e-05,3.681181e-05,3.677489e-05,3.674115e-05,3.671722e-05,3.665798e-05,3.665256e-05,3.658138e-05,3.656338e-05,3.650413e-05,3.645839e-05,3.642125e-05,3.634396e-05,3.633313e-05,3.624015e-05,3.622101e-05,3.614270e-05,3.609036e-05,3.604110e-05,3.595281e-05,3.593570e-05,3.582680e-05,3.580907e-05,3.571470e-05,3.565984e-05,3.559968e-05,3.550574e-05,3.548200e-05,3.536192e-05,3.534736e-05,3.523967e-05,3.518526e-05,3.511548e-05,3.501993e-05,3.498957e-05,3.486212e-05,3.485186e-05,3.473333e-05,3.468148e-05,3.460339e-05,3.450920e-05,3.447245e-05,3.434068e-05,3.433540e-05,3.420823e-05,3.416041e-05,3.407524e-05,3.398457e-05,3.394184e-05,3.380816e-05,3.363147e-05,3.345474e-05,3.327820e-05,3.310207e-05,3.292654e-05,3.275179e-05,3.257799e-05,3.240527e-05,3.223378e-05,3.206363e-05,3.189494e-05,3.172781e-05,3.156233e-05,3.139857e-05,3.123661e-05,3.107651e-05,3.091833e-05,3.076212e-05,3.060791e-05,3.045574e-05,3.030565e-05,3.015765e-05,3.001178e-05,2.986803e-05
0.000000e+00,2.643473e-10,8.871208e-10,5.012835e-09,1.501421e-08,2.446382e-08,6.813871e-08,7.065024e-08,1.555298e-07,1.878424e-07,2.909715e-07,4.015334e-07,4.890959e-07,7.373491e-07,7.622455e-07,1.121854e-06,1.222004e-06,1.575479e-06,1.870893e-06,2.122939e-06,2.675322e-06,2.755219e-06,3.457850e-06,3.605445e-06,4.215462e-06,4.626491e-06,5.014275e-06,5.708469e-06,5.842537e-06,6.690153e-06,6.826960e-06,7.548240e-06,7.961483e-06,8.408880e-06,9.094454e-06,9.265007e-06,1.011038e-05,1.021084e-05,1.093961e-05,1.129815e-05,1.174813e-05,1.234642e-05,1.253219e-05,1.328883e-05,1.334810e-05,1.401580e-05,1.429790e-05,1.471150e-05,1.519245e-05,1.537491e-05,1.600550e-05,1.603004e-05,1.660315e-05,1.681026e-05,1.716805e-05,1.753372e-05,1.770069e-05,1.820179e-05,1.867219e-05,1.881640e-05,1.911289e-05,1.937985e-05,1.952497e-05,1.989468e-05,1.990955e-05,2.026779e-05,2.036355e-05,2.060089e-05,2.078916e-05,2.091001e-05,2.117423e-05,2.119632e-05,2.146097e-05,2.152138e-05,2.170504e-05,2.183314e-05,2.192962e-05,2.211196e-05,2.213575e-05,2.232442e-05,2.236014e-05,2.249658e-05,2.257988e-05,2.265314e-05,2.277323e-05,2.279497e-05,2.292289e-05,2.294212e-05,2.303771e-05,2.308838e-05,2.314016e-05,2.321370e-05,2.323096e-05,2.331080e-05,2.331967e-05,2.338029e-05,2.340776e-05,2.344007e-05,2.347935e-05,2.349069e-05,2.353272e-05,2.353572e-05,2.356665e-05,2.357807e-05,2.359298e-05,2.360750e-05,2.361218e-05,2.362467e-05,2.362504e-05,2.363088e-05,2.363165e-05,2.363119e-05,2.362821e-05,2.362596e-05,2.361556e-05,2.360030e-05,2.359445e-05,2.358051e-05,2.356559e-05,2.355647e-05,2.352965e-05,2.352846e-05,2.349674e-05,2.348723e-05,2.346157e-05,2.343890e-05,2.342317e-05,2.338519e-05,2.338177e-05,2.333758e-05,2.332658e-05,2.329080e-05,2.326353e-05,2.324160e-05,2.319646e-05,2.319017e-05,2.313668e-05,2.312575e-05,2.308128e-05,2.305176e-05,2.302411e-05,2.297484e-05,2.296533e-05,2.290505e-05,2.289528e-05,2.284342e-05,2.281338e-05,2.278053e-05,2.272941e-05,2.271652e-05,2.265147e-05,2.264360e-05,2.258550e-05,2.255620e-05,2.251869e-05,2.246741e-05,2.245113e-05,2.238290e-05,2.237742e-05,2.231410e-05,2.228643e-05,2.224478e-05,2.219459e-05,2.217502e-05,2.210488e-05,2.210207e-05,2.203443e-05,2.200901e-05,2.196373e-05,2.191554e-05,2.189283e-05,2.182179e-05,2.172787e-05,2.163388e-05,2.153993e-05,2.144610e-05,2.135247e-05,2.125913e-05,2.116614e-05,2.107356e-05,2.098146e-05,2.088989e-05,2.079890e-05,2.070853e-05,2.061883e-05,2.052983e-05,2.044157e-05,2.035408e-05,2.026739e-05,2.018152e-05,2.009649e-05,2.001233e-05,1.992905e-05,1.984667e-05,1.976520e-05,1.968465e-05
0.000000e+00,4.908305e-11,1.858552e-10,1.318464e-09,4.739959e-09,8.459739e-09,2.902633e-08,3.032969e-08,7.931891e-08,9.988699e-08,1.704256e-07,2.522778e-07,3.205699e-07,5.266727e-07,5.481881e-07,8.727196e-07,9.671847e-07,1.313195e-06,1.616625e-06,1.885396e-06,2.505384e-06,2.598498e-06,3.453154e-06,3.640537e-06,4.441880e-06,5.004646e-06,5.551015e-06,6.563022e-06,6.763088e-06,8.058859e-06,8.272638e-06,9.418764e-06,1.008869e-05,1.082382e-05,1.196829e-05,1.225611e-05,1.369908e-05,1.387222e-05,1.513759e-05,1.576555e-05,1.655799e-05,1.761787e-05,1.794816e-05,1.929744e-05,1.940334e-05,2.059673e-05,2.110069e-05,2.183839e-05,2.269319e-05,2.301627e-05,2.412560e-05,2.416850e-05,2.516300e-05,2.551840e-05,2.612632e-05,2.673852e-05,2.701458e-05,2.782785e-05,2.856707e-05,2.878825e-05,2.923399e-05,2.962394e-05,2.983096e-05,3.034093e-05,3.036088e-05,3.082700e-05,3.094657e-05,3.123288e-05,3.144903e-05,3.158223e-05,3.185698e-05,3.187886e-05,3.212660e-05,3.217921e-05,3.232923e-05,3.242437e-05,3.249043e-05,3.260083e-05,3.261375e-05,3.270257e-05,3.271648e-05,3.276010e-05,3.277866e-05,3.278936e-05,3.279413e-05,3.279314e-05,3.277404e-05,3.276902e-05,3.273446e-05,3.270884e-05,3.267659e-05,3.261849e-05,3.260245e-05,3.251387e-05,3.250235e-05,3.241251e-05,3.236425e-05,3.229987e-05,3.220757e-05,3.217732e-05,3.204608e-05,3.203524e-05,3.190725e-05,3.184983e-05,3.176184e-05,3.165357e-05,3.161073e-05,3.145473e-05,3.144840e-05,3.129455e-05,3.123599e-05,3.113084e-05,3.101780e-05,3.096418e-05,3.079509e-05,3.062402e-05,3.056893e-05,3.045140e-05,3.034029e-05,3.027761e-05,3.010996e-05,3.010297e-05,2.992778e-05,2.987867e-05,2.975233e-05,2.964703e-05,2.957684e-05,2.941556e-05,2.940154e-05,2.922663e-05,2.918473e-05,2.905227e-05,2.895493e-05,2.887863e-05,2.872653e-05,2.870585e-05,2.853405e-05,2.849981e-05,2.836334e-05,2.827505e-05,2.819384e-05,2.805245e-05,2.802563e-05,2.785879e-05,2.783223e-05,2.769340e-05,2.761454e-05,2.752951e-05,2.739953e-05,2.736719e-05,2.720649e-05,2.718732e-05,2.704745e-05,2.697801e-05,2.689011e-05,2.677170e-05,2.673451e-05,2.658067e-05,2.656844e-05,2.642862e-05,2.636830e-05,2.627837e-05,2.617132e-05,2.612995e-05,2.598337e-05,2.597754e-05,2.583863e-05,2.578698e-05,2.569575e-05,2.559966e-05,2.555474e-05,2.541559e-05,2.523476e-05,2.505719e-05,2.488285e-05,2.471173e-05,2.454382e-05,2.437909e-05,2.421751e-05,2.405906e-05,2.390371e-05,2.375142e-05,2.360215e-05,2.345587e-05,2.331254e-05,2.317211e-05,2.303456e-05,2.289982e-05,2.276786e-05,2.263863e-05,2.251209e-05,2.238820e-05,2.226690e-05,2.214816e-05,2.203192e-05,2.191815e-05
0.000000e+00,2.638986e-10,7.475459e-10,3.271475e-09,8.366203e-09,1.275317e-08,3.124282e-08,3.225855e-08,6.520991e-08,7.731165e-08,1.150445e-07,1.545168e-07,1.852965e-07,2.709718e-07,2.794595e-07,4.003649e-07,4.335346e-07,5.491345e-07,6.442792e-07,7.246577e-07,8.991781e-07,9.243090e-07,1.145036e-06,1.191450e-06,1.383919e-06,1.514405e-06,1.638242e-06,1.861920e-06,1.905431e-06,2.182981e-06,2.228186e-06,2.468444e-06,2.607574e-06,2.759437e-06,2.994676e-06,3.053678e-06,3.349013e-06,3.384431e-06,3.643457e-06,3.772261e-06,3.935216e-06,4.154173e-06,4.222704e-06,4.504548e-06,4.526816e-06,4.779593e-06,4.887486e-06,5.046884e-06,5.234100e-06,5.305663e-06,5.555344e-06,5.565136e-06,5.795502e-06,5.879568e-06,6.025849e-06,6.176790e-06,6.246216e-06,6.456538e-06,6.656835e-06,6.718825e-06,6.847196e-06,6.963880e-06,7.027770e-06,7.192094e-06,7.198752e-06,7.360369e-06,7.403977e-06,7.512877e-06,7.600124e-06,7.656553e-06,7.781183e-06,7.791687e-06,7.918575e-06,7.947836e-06,8.037523e-06,8.100779e-06,8.148834e-06,8.240712e-06,8.252812e-06,8.349757e-06,8.368328e-06,8.439965e-06,8.484307e-06,8.523725e-06,8.589306e-06,8.601318e-06,8.673020e-06,8.683963e-06,8.739096e-06,8.768890e-06,8.799803e-06,8.844672e-06,8.855392e-06,8.906101e-06,8.911869e-06,8.952161e-06,8.971012e-06,8.993795e-06,9.022608e-06,9.031216e-06,9.064630e-06,9.067136e-06,9.094232e-06,9.105048e-06,9.120211e-06,9.136775e-06,9.142748e-06,9.162016e-06,9.162721e-06,9.178180e-06,9.183269e-06,9.191398e-06,9.198781e-06,9.201821e-06,9.209595e-06,9.214857e-06,9.216033e-06,9.217740e-06,9.218395e-06,9.218370e-06,9.216966e-06,9.216867e-06,9.213345e-06,9.212013e-06,9.207916e-06,9.203786e-06,9.200683e-06,9.192522e-06,9.191746e-06,9.181201e-06,9.178441e-06,9.169139e-06,9.161753e-06,9.155645e-06,9.142653e-06,9.140804e-06,9.124693e-06,9.121325e-06,9.107387e-06,9.097940e-06,9.088959e-06,9.072661e-06,9.069476e-06,9.049003e-06,9.045640e-06,9.027603e-06,9.017019e-06,9.005334e-06,8.986931e-06,8.982252e-06,8.958411e-06,8.955501e-06,8.933862e-06,8.922848e-06,8.908653e-06,8.889081e-06,8.882830e-06,8.856439e-06,8.854304e-06,8.829519e-06,8.818612e-06,8.802112e-06,8.782098e-06,8.774254e-06,8.745983e-06,8.744844e-06,8.717332e-06,8.706932e-06,8.688335e-06,8.668434e-06,8.659021e-06,8.629421e-06,8.589958e-06,8.550106e-06,8.509921e-06,8.469458e-06,8.428764e-06,8.387888e-06,8.346871e-06,8.305756e-06,8.264579e-06,8.223375e-06,8.182177e-06,8.141017e-06,8.099921e-06,8.058917e-06,8.018029e-06,7.977279e-06,7.936689e-06,7.896278e-06,7.856065e-06,7.816065e-06,7.776295e-06,7.736767e-06,7.697497e-06,7.658494e-06
0.000000e+00,2.909234e-11,6.791125e-11,2.372050e-10,5.408904e-10,7.881469e-10,1.773152e-09,1.825649e-09,3.478555e-09,4.068021e-09,5.865803e-09,7.697753e-09,9.100161e-09,1.291602e-08,1.328854e-08,1.852374e-08,1.994333e-08,2.486050e-08,2.888732e-08,3.228124e-08,3.962958e-08,4.068519e-08,4.992213e-08,5.185555e-08,5.983634e-08,6.521207e-08,7.028740e-08,7.939008e-08,8.115133e-08,9.231620e-08,9.412348e-08,1.036783e-07,1.091732e-07,1.151401e-07,1.243197e-07,1.266102e-07,1.380040e-07,1.393624e-07,1.492440e-07,1.541228e-07,1.602611e-07,1.684476e-07,1.709950e-07,1.813947e-07,1.822109e-07,1.914181e-07,1.953144e-07,2.010322e-07,2.076869e-07,2.102125e-07,2.189421e-07,2.192817e-07,2.272110e-07,2.300741e-07,2.350155e-07,2.400579e-07,2.423571e-07,2.492419e-07,2.556793e-07,2.576468e-07,2.616821e-07,2.653025e-07,2.672650e-07,2.722449e-07,2.724445e-07,2.772384e-07,2.785141e-07,2.816651e-07,2.841527e-07,2.857434e-07,2.892041e-07,2.894923e-07,2.929304e-07,2.937114e-07,2.960762e-07,2.977169e-07,2.989476e-07,3.012611e-07,3.015618e-07,3.039355e-07,3.043828e-07,3.060845e-07,3.071181e-07,3.080237e-07,3.095012e-07,3.097676e-07,3.113295e-07,3.115634e-07,3.127221e-07,3.133339e-07,3.139572e-07,3.148396e-07,3.150462e-07,3.159993e-07,3.161050e-07,3.168265e-07,3.171529e-07,3.175367e-07,3.180036e-07,3.181386e-07,3.186400e-07,3.186760e-07,3.190484e-07,3.191872e-07,3.193705e-07,3.195526e-07,3.196128e-07,3.197812e-07,3.197864e-07,3.198812e-07,3.199015e-07,3.199181e-07,3.199095e-07,3.198965e-07,3.198209e-07,3.196954e-07,3.196454e-07,3.195240e-07,3.193917e-07,3.193100e-07,3.190678e-07,3.190570e-07,3.187679e-07,3.186809e-07,3.184457e-07,3.182376e-07,3.180930e-07,3.177438e-07,3.177123e-07,3.173060e-07,3.172049e-07,3.168762e-07,3.166260e-07,3.164249e-07,3.160116e-07,3.159541e-07,3.154654e-07,3.153657e-07,3.149606e-07,3.146922e-07,3.144411e-07,3.139944e-07,3.139083e-07,3.133637e-07,3.132755e-07,3.128084e-07,3.125385e-07,3.122437e-07,3.117858e-07,3.116705e-07,3.110900e-07,3.110199e-07,3.105030e-07,3.102429e-07,3.099105e-07,3.094570e-07,3.093132e-07,3.087120e-07,3.086638e-07,3.081076e-07,3.078651e-07,3.075006e-07,3.070624e-07,3.068918e-07,3.062816e-07,3.062571e-07,3.056706e-07,3.054505e-07,3.050593e-07,3.046438e-07,3.044483e-07,3.038380e-07,3.030341e-07,3.022330e-07,3.014355e-07,3.006423e-07,2.998541e-07,2.990716e-07,2.982952e-07,2.975255e-07,2.967629e-07,2.960078e-07,2.952606e-07,2.945216e-07,2.937911e-07,2.930694e-07,2.923566e-07,2.916530e-07,2.909588e-07,2.902740e-07,2.895989e-07,2.889334e-07,2.882778e-07,2.876321e-07,2.869962e-07,2.863703e-07
0.000000e+00,1.527621e-10,5.271957e-10,3.130078e-09,9.720296e-09,1.610419e-08,4.640194e-08,4.816636e-08,1.083730e-07,1.314364e-07,2.051157e-07,2.838952e-07,3.459994e-07,5.204641e-07,5.378317e-07,7.865680e-07,8.553043e-07,1.097121e-06,1.299402e-06,1.472961e-06,1.858876e-06,1.915483e-06,2.423311e-06,2.532372e-06,2.991973e-06,3.309424e-06,3.614318e-06,4.172167e-06,4.281558e-06,4.984388e-06,5.099532e-06,5.713789e-06,6.070859e-06,6.461415e-06,7.067532e-06,7.219709e-06,7.981926e-06,8.073364e-06,8.742090e-06,9.074536e-06,9.494965e-06,1.005946e-05,1.023602e-05,1.096142e-05,1.101868e-05,1.166794e-05,1.194467e-05,1.235299e-05,1.283174e-05,1.301449e-05,1.365088e-05,1.367580e-05,1.426105e-05,1.447414e-05,1.484426e-05,1.522522e-05,1.540010e-05,1.592846e-05,1.642943e-05,1.658401e-05,1.690334e-05,1.719263e-05,1.735063e-05,1.775554e-05,1.777190e-05,1.816783e-05,1.827425e-05,1.853917e-05,1.875051e-05,1.888674e-05,1.918623e-05,1.921138e-05,1.951395e-05,1.958338e-05,1.979534e-05,1.994399e-05,2.005642e-05,2.027008e-05,2.029808e-05,2.052118e-05,2.056364e-05,2.072656e-05,2.082664e-05,2.091507e-05,2.106096e-05,2.108751e-05,2.124465e-05,2.126843e-05,2.138727e-05,2.145078e-05,2.151610e-05,2.160970e-05,2.163184e-05,2.173518e-05,2.174678e-05,2.182677e-05,2.186352e-05,2.190725e-05,2.196135e-05,2.197721e-05,2.203723e-05,2.204162e-05,2.208787e-05,2.210562e-05,2.212965e-05,2.215454e-05,2.216308e-05,2.218865e-05,2.218951e-05,2.220680e-05,2.221161e-05,2.221798e-05,2.222182e-05,2.222262e-05,2.222110e-05,2.221381e-05,2.221031e-05,2.220110e-05,2.219029e-05,2.218333e-05,2.216180e-05,2.216082e-05,2.213387e-05,2.212558e-05,2.210280e-05,2.208228e-05,2.206787e-05,2.203255e-05,2.202935e-05,2.198749e-05,2.197698e-05,2.194254e-05,2.191611e-05,2.189473e-05,2.185045e-05,2.184426e-05,2.179135e-05,2.178049e-05,2.173618e-05,2.170667e-05,2.167895e-05,2.162940e-05,2.161982e-05,2.155895e-05,2.154907e-05,2.149652e-05,2.146603e-05,2.143265e-05,2.138063e-05,2.136750e-05,2.130119e-05,2.129316e-05,2.123384e-05,2.120391e-05,2.116558e-05,2.111316e-05,2.109652e-05,2.102675e-05,2.102114e-05,2.095638e-05,2.092809e-05,2.088550e-05,2.083420e-05,2.081420e-05,2.074256e-05,2.073969e-05,2.067066e-05,2.064472e-05,2.059856e-05,2.054946e-05,2.052634e-05,2.045407e-05,2.035868e-05,2.026342e-05,2.016841e-05,2.007376e-05,1.997956e-05,1.988591e-05,1.979288e-05,1.970056e-05,1.960900e-05,1.951827e-05,1.942842e-05,1.933950e-05,1.925156e-05,1.916463e-05,1.907875e-05,1.899395e-05,1.891025e-05,1.882768e-05,1.874625e-05,1.866598e-05,1.858689e-05,1.850898e-05,1.843227e-05,1.835675e-05
0.000000e+00,4.237978e-10,1.653041e-09,1.247106e-08,4.742407e-08,8.729526e-08,3.244557e-07,3.401317e-07,9.633387e-07,1.239787e-06,2.234240e-06,3.457071e-06,4.521412e-06,7.918670e-06,8.286626e-06,1.407042e-05,1.582324e-05,2.245342e-05,2.849812e-05,3.400798e-05,4.721934e-05,4.926087e-05,6.867267e-05,7.308941e-05,9.262935e-05,1.069887e-04,1.214403e-04,1.495660e-04,1.553391e-04,1.944854e-04,2.012425e-04,2.389664e-04,2.622198e-04,2.887993e-04,3.324871e-04,3.439333e-04,4.042518e-04,4.118306e-04,4.695760e-04,4.998453e-04,5.396685e-04,5.959503e-04,6.142379e-04,6.929448e-04,6.994089e-04,7.754079e-04,8.093527e-04,8.612110e-04,9.248091e-04,9.499104e-04,1.041042e-03,1.044731e-03,1.134130e-03,1.168028e-03,1.228694e-03,1.293594e-03,1.324253e-03,1.420336e-03,1.516488e-03,1.547199e-03,1.612270e-03,1.673183e-03,1.707267e-03,1.797368e-03,1.801094e-03,1.893392e-03,1.918916e-03,1.983835e-03,2.037087e-03,2.072130e-03,2.151240e-03,2.158017e-03,2.241269e-03,2.260835e-03,2.321691e-03,2.365430e-03,2.399122e-03,2.464680e-03,2.473428e-03,2.544507e-03,2.558328e-03,2.612281e-03,2.646201e-03,2.676701e-03,2.728198e-03,2.737736e-03,2.795379e-03,2.804288e-03,2.849642e-03,2.874495e-03,2.900552e-03,2.938894e-03,2.948151e-03,2.992497e-03,2.997603e-03,3.033654e-03,3.050773e-03,3.071700e-03,3.098585e-03,3.106718e-03,3.138799e-03,3.141241e-03,3.168037e-03,3.178959e-03,3.194533e-03,3.211968e-03,3.218388e-03,3.239706e-03,3.240507e-03,3.258592e-03,3.264817e-03,3.275153e-03,3.285139e-03,3.289492e-03,3.301714e-03,3.311922e-03,3.314779e-03,3.320216e-03,3.324566e-03,3.326695e-03,3.331298e-03,3.331456e-03,3.334593e-03,3.335192e-03,3.336195e-03,3.336458e-03,3.336353e-03,3.335294e-03,3.335149e-03,3.332667e-03,3.331890e-03,3.328986e-03,3.326428e-03,3.324180e-03,3.319078e-03,3.318322e-03,3.311482e-03,3.310003e-03,3.303727e-03,3.299354e-03,3.295119e-03,3.287275e-03,3.285720e-03,3.275586e-03,3.273900e-03,3.264773e-03,3.259357e-03,3.253333e-03,3.243762e-03,3.241315e-03,3.228766e-03,3.227227e-03,3.215731e-03,3.209853e-03,3.202253e-03,3.191737e-03,3.188370e-03,3.174121e-03,3.172967e-03,3.159542e-03,3.153626e-03,3.144667e-03,3.133791e-03,3.129526e-03,3.114152e-03,3.113532e-03,3.098571e-03,3.092916e-03,3.082810e-03,3.072003e-03,3.066895e-03,3.050849e-03,3.029505e-03,3.008019e-03,2.986435e-03,2.964792e-03,2.943127e-03,2.921474e-03,2.899863e-03,2.878321e-03,2.856875e-03,2.835547e-03,2.814358e-03,2.793327e-03,2.772469e-03,2.751802e-03,2.731337e-03,2.711086e-03,2.691061e-03,2.671271e-03,2.651724e-03,2.632426e-03,2.613383e-03,2.594601e-03,2.576084e-03,2.557835e-03
0.000000e+00,1.635041e-10,5.729701e-10,3.502344e-09,1.114234e-08,1.869476e-08,5.560811e-08,5.779757e-08,1.343715e-07,1.645167e-07,2.633422e-07,3.728269e-07,4.616810e-07,7.222445e-07,7.490109e-07,1.146986e-06,1.261327e-06,1.675894e-06,2.034500e-06,2.348431e-06,3.059486e-06,3.164734e-06,4.113298e-06,4.317372e-06,5.176520e-06,5.768538e-06,6.335999e-06,7.372209e-06,7.575245e-06,8.880251e-06,9.094332e-06,1.023904e-05,1.090723e-05,1.164107e-05,1.278735e-05,1.307674e-05,1.453709e-05,1.471359e-05,1.601370e-05,1.666650e-05,1.749863e-05,1.862814e-05,1.898443e-05,2.046424e-05,2.058217e-05,2.193177e-05,2.251406e-05,2.338139e-05,2.441119e-05,2.480810e-05,2.620755e-05,2.626291e-05,2.757605e-05,2.806051e-05,2.891048e-05,2.979713e-05,3.020833e-05,3.146757e-05,3.268666e-05,3.306811e-05,3.386451e-05,3.459632e-05,3.500035e-05,3.605086e-05,3.609379e-05,3.714467e-05,3.743131e-05,3.815313e-05,3.873795e-05,3.911945e-05,3.997168e-05,4.004413e-05,4.092779e-05,4.113384e-05,4.177115e-05,4.222614e-05,4.257505e-05,4.325055e-05,4.334038e-05,4.406810e-05,4.420922e-05,4.475920e-05,4.510443e-05,4.541470e-05,4.593858e-05,4.603565e-05,4.662312e-05,4.671407e-05,4.717815e-05,4.743336e-05,4.770181e-05,4.809885e-05,4.819514e-05,4.865919e-05,4.871296e-05,4.909498e-05,4.927804e-05,4.950353e-05,4.979640e-05,4.988581e-05,5.024280e-05,5.027030e-05,5.057545e-05,5.070190e-05,5.088468e-05,5.109334e-05,5.117140e-05,5.143648e-05,5.144664e-05,5.168077e-05,5.176379e-05,5.190511e-05,5.204668e-05,5.211030e-05,5.229713e-05,5.246635e-05,5.251690e-05,5.261869e-05,5.270766e-05,5.275487e-05,5.287103e-05,5.287557e-05,5.298147e-05,5.300855e-05,5.307319e-05,5.312169e-05,5.315138e-05,5.321186e-05,5.321662e-05,5.326949e-05,5.328040e-05,5.331056e-05,5.332861e-05,5.334037e-05,5.335770e-05,5.335944e-05,5.336826e-05,5.336884e-05,5.336733e-05,5.336315e-05,5.335711e-05,5.334168e-05,5.333805e-05,5.331059e-05,5.330544e-05,5.327514e-05,5.325540e-05,5.323210e-05,5.319246e-05,5.318185e-05,5.312478e-05,5.311749e-05,5.306124e-05,5.303132e-05,5.299157e-05,5.293473e-05,5.291610e-05,5.283515e-05,5.282845e-05,5.274903e-05,5.271320e-05,5.265803e-05,5.258964e-05,5.256242e-05,5.246249e-05,5.245840e-05,5.235848e-05,5.232010e-05,5.225066e-05,5.217528e-05,5.213925e-05,5.202450e-05,5.186825e-05,5.170703e-05,5.154129e-05,5.137146e-05,5.119794e-05,5.102113e-05,5.084137e-05,5.065902e-05,5.047439e-05,5.028779e-05,5.009950e-05,4.990980e-05,4.971893e-05,4.952714e-05,4.933465e-05,4.914166e-05,4.894838e-05,4.875499e-05,4.856166e-05,4.836855e-05,4.817582e-05,4.798360e-05,4.779202e-05,4.760121e-05
0.000000e+00,1.623688e-10,4.788637e-10,2.209800e-09,5.811552e-09,8.954450e-09,2.236013e-08,2.310096e-08,4.727399e-08,5.620417e-08,8.418772e-08,1.136588e-07,1.367646e-07,2.015770e-07,2.080328e-07,3.005068e-07,3.260016e-07,4.150556e-07,4.884000e-07,5.502736e-07,6.840465e-07,7.032288e-07,8.706997e-07,9.056751e-07,1.049816e-06,1.146734e-06,1.238134e-06,1.401860e-06,1.433513e-06,1.633997e-06,1.666424e-06,1.837754e-06,1.936207e-06,2.043050e-06,2.207293e-06,2.248251e-06,2.451837e-06,2.476091e-06,2.652421e-06,2.739404e-06,2.848769e-06,2.994491e-06,3.039803e-06,3.224613e-06,3.239106e-06,3.402454e-06,3.471501e-06,3.572736e-06,3.690409e-06,3.735024e-06,3.889020e-06,3.895005e-06,4.034553e-06,4.084859e-06,4.171557e-06,4.259845e-06,4.300036e-06,4.420095e-06,4.531889e-06,4.565952e-06,4.635634e-06,4.697922e-06,4.731583e-06,4.816620e-06,4.820017e-06,4.901241e-06,4.922735e-06,4.975572e-06,5.016998e-06,5.043336e-06,5.100162e-06,5.104862e-06,5.160477e-06,5.172981e-06,5.210505e-06,5.236199e-06,5.255263e-06,5.290536e-06,5.295059e-06,5.330192e-06,5.336685e-06,5.360949e-06,5.375305e-06,5.387605e-06,5.407019e-06,5.410422e-06,5.429652e-06,5.432412e-06,5.445532e-06,5.452031e-06,5.458288e-06,5.466388e-06,5.468135e-06,5.475275e-06,5.475959e-06,5.479899e-06,5.481183e-06,5.482187e-06,5.482469e-06,5.482309e-06,5.480424e-06,5.480191e-06,5.476681e-06,5.474696e-06,5.471223e-06,5.466305e-06,5.464181e-06,5.455680e-06,5.455311e-06,5.445836e-06,5.441984e-06,5.434757e-06,5.426572e-06,5.422548e-06,5.409302e-06,5.395110e-06,5.390383e-06,5.380056e-06,5.370006e-06,5.364218e-06,5.348345e-06,5.347670e-06,5.330480e-06,5.325561e-06,5.312713e-06,5.301800e-06,5.294428e-06,5.277196e-06,5.275680e-06,5.256523e-06,5.251870e-06,5.237006e-06,5.225935e-06,5.217172e-06,5.199491e-06,5.197065e-06,5.176724e-06,5.172631e-06,5.156186e-06,5.145440e-06,5.135485e-06,5.117994e-06,5.114653e-06,5.093720e-06,5.090363e-06,5.072712e-06,5.062609e-06,5.051655e-06,5.034791e-06,5.030574e-06,5.009490e-06,5.006960e-06,4.988423e-06,4.979164e-06,4.967392e-06,4.951443e-06,4.946414e-06,4.925507e-06,4.923837e-06,4.904683e-06,4.896380e-06,4.883958e-06,4.869103e-06,4.863343e-06,4.842850e-06,4.842033e-06,4.822490e-06,4.815195e-06,4.802273e-06,4.788611e-06,4.782207e-06,4.762300e-06,4.736279e-06,4.710564e-06,4.685167e-06,4.660100e-06,4.635373e-06,4.610993e-06,4.586969e-06,4.563306e-06,4.540008e-06,4.517079e-06,4.494522e-06,4.472339e-06,4.450530e-06,4.429097e-06,4.408038e-06,4.387354e-06,4.367043e-06,4.347102e-06,4.327531e-06,4.308326e-06,4.289484e-06,4.271002e-06,4.252877e-06,4.235104e-06
0.000000e+00,1.112676e-11,2.559977e-11,8.851135e-11,2.020115e-10,2.951926e-10,6.728379e-10,6.932360e-10,1.348203e-09,1.587365e-09,2.333167e-09,3.116020e-09,3.728826e-09,5.441565e-09,5.611419e-09,8.021924e-09,8.678048e-09,1.094100e-08,1.277532e-08,1.430673e-08,1.758366e-08,1.805092e-08,2.211558e-08,2.296260e-08,2.645251e-08,2.880106e-08,3.101914e-08,3.500327e-08,3.577540e-08,4.068240e-08,4.147895e-08,4.570208e-08,4.814066e-08,5.079755e-08,5.490480e-08,5.593366e-08,6.107762e-08,6.169396e-08,6.619938e-08,6.843885e-08,7.127196e-08,7.507955e-08,7.627171e-08,8.117831e-08,8.156628e-08,8.597468e-08,8.785913e-08,9.064683e-08,9.392749e-08,9.518360e-08,9.957639e-08,9.974901e-08,1.038189e-07,1.053085e-07,1.079068e-07,1.105969e-07,1.118375e-07,1.156099e-07,1.192240e-07,1.203472e-07,1.226809e-07,1.248117e-07,1.259825e-07,1.290083e-07,1.291314e-07,1.321306e-07,1.329441e-07,1.349838e-07,1.366271e-07,1.376946e-07,1.400664e-07,1.402672e-07,1.427056e-07,1.432714e-07,1.450143e-07,1.462521e-07,1.471975e-07,1.490184e-07,1.492595e-07,1.512048e-07,1.515802e-07,1.530375e-07,1.539475e-07,1.547620e-07,1.561298e-07,1.563823e-07,1.579025e-07,1.581367e-07,1.593266e-07,1.599772e-07,1.606585e-07,1.616602e-07,1.619020e-07,1.630606e-07,1.631941e-07,1.641380e-07,1.645872e-07,1.651376e-07,1.658472e-07,1.660626e-07,1.669164e-07,1.669817e-07,1.677019e-07,1.679977e-07,1.684223e-07,1.689022e-07,1.690803e-07,1.696788e-07,1.697015e-07,1.702204e-07,1.704019e-07,1.707077e-07,1.710093e-07,1.711431e-07,1.715292e-07,1.718681e-07,1.719669e-07,1.721620e-07,1.723276e-07,1.724132e-07,1.726159e-07,1.726235e-07,1.727950e-07,1.728363e-07,1.729295e-07,1.729932e-07,1.730289e-07,1.730907e-07,1.730948e-07,1.731289e-07,1.731325e-07,1.731328e-07,1.731223e-07,1.731080e-07,1.730636e-07,1.730560e-07,1.729781e-07,1.729596e-07,1.728758e-07,1.728133e-07,1.727503e-07,1.726278e-07,1.726027e-07,1.724344e-07,1.724056e-07,1.722464e-07,1.721495e-07,1.720398e-07,1.718618e-07,1.718156e-07,1.715749e-07,1.715449e-07,1.713185e-07,1.712010e-07,1.710474e-07,1.708321e-07,1.707625e-07,1.704645e-07,1.704401e-07,1.701543e-07,1.700269e-07,1.698326e-07,1.695943e-07,1.695001e-07,1.691576e-07,1.691437e-07,1.688057e-07,1.686769e-07,1.684451e-07,1.681951e-07,1.680762e-07,1.676998e-07,1.671923e-07,1.666738e-07,1.661453e-07,1.656080e-07,1.650628e-07,1.645107e-07,1.639527e-07,1.633894e-07,1.628217e-07,1.622504e-07,1.616761e-07,1.610994e-07,1.605210e-07,1.599415e-07,1.593613e-07,1.587810e-07,1.582009e-07,1.576217e-07,1.570436e-07,1.564670e-07,1.558922e-07,1.553197e-07,1.547497e-07,1.541825e-07
0.000000e+00,1.897343e-10,7.328638e-10,5.415945e-09,2.019952e-08,3.677651e-08,1.326950e-07,1.389318e-07,3.810846e-07,4.859321e-07,8.545925e-07,1.294756e-06,1.669191e-06,2.826303e-06,2.948910e-06,4.828027e-06,5.383719e-06,7.446631e-06,9.288456e-06,1.094466e-05,1.485503e-05,1.545338e-05,2.108494e-05,2.235394e-05,2.792299e-05,3.197341e-05,3.601699e-05,4.379789e-05,4.538108e-05,5.599620e-05,5.780785e-05,6.781397e-05,7.389307e-05,8.076142e-05,9.187079e-05,9.474552e-05,1.096576e-04,1.115038e-04,1.253775e-04,1.325172e-04,1.417767e-04,1.546127e-04,1.587223e-04,1.760797e-04,1.774821e-04,1.937154e-04,2.008182e-04,2.114991e-04,2.243249e-04,2.293064e-04,2.470197e-04,2.477247e-04,2.645303e-04,2.707651e-04,2.817392e-04,2.932231e-04,2.985576e-04,3.149074e-04,3.307217e-04,3.356596e-04,3.459439e-04,3.553536e-04,3.605279e-04,3.738946e-04,3.744377e-04,3.876462e-04,3.912162e-04,4.001350e-04,4.072780e-04,4.118933e-04,4.220625e-04,4.229174e-04,4.332096e-04,4.355716e-04,4.427775e-04,4.478235e-04,4.516333e-04,4.588499e-04,4.597929e-04,4.672756e-04,4.686928e-04,4.741032e-04,4.774024e-04,4.802994e-04,4.850347e-04,4.858895e-04,4.908999e-04,4.916496e-04,4.953576e-04,4.973089e-04,4.992898e-04,5.020757e-04,5.027240e-04,5.056873e-04,5.060125e-04,5.082065e-04,5.091811e-04,5.103079e-04,5.116412e-04,5.120170e-04,5.133585e-04,5.134507e-04,5.143565e-04,5.146646e-04,5.150338e-04,5.153353e-04,5.154125e-04,5.155138e-04,5.155124e-04,5.153576e-04,5.152421e-04,5.149632e-04,5.145681e-04,5.143485e-04,5.135309e-04,5.125265e-04,5.121682e-04,5.113507e-04,5.105150e-04,5.100179e-04,5.086035e-04,5.085418e-04,5.069351e-04,5.064635e-04,5.052099e-04,5.041226e-04,5.033774e-04,5.016058e-04,5.014482e-04,4.994321e-04,4.989364e-04,4.973385e-04,4.961354e-04,4.951758e-04,4.932221e-04,4.929523e-04,4.906754e-04,4.902142e-04,4.883521e-04,4.871279e-04,4.859890e-04,4.839776e-04,4.835921e-04,4.811669e-04,4.807767e-04,4.787189e-04,4.775371e-04,4.762527e-04,4.742698e-04,4.737729e-04,4.712837e-04,4.709845e-04,4.687888e-04,4.676902e-04,4.662918e-04,4.643947e-04,4.637960e-04,4.613044e-04,4.611053e-04,4.588197e-04,4.578283e-04,4.563444e-04,4.545694e-04,4.538810e-04,4.514314e-04,4.513337e-04,4.489976e-04,4.481257e-04,4.465815e-04,4.449493e-04,4.441845e-04,4.418081e-04,4.387051e-04,4.356429e-04,4.326239e-04,4.296500e-04,4.267228e-04,4.238438e-04,4.210141e-04,4.182345e-04,4.155058e-04,4.128285e-04,4.102029e-04,4.076292e-04,4.051075e-04,4.026378e-04,4.002198e-04,3.978534e-04,3.955381e-04,3.932736e-04,3.910594e-04,3.888949e-04,3.867796e-04,3.847127e-04,3.826936e-04,3.807216e-04
0.000000e+00,1.976526e-10,5.364250e-10,2.228304e-09,5.560517e-09,8.409051e-09,2.043464e-08,2.109889e-08,4.294245e-08,5.111698e-08,7.711413e-08,1.050190e-07,1.271420e-07,1.893596e-07,1.955168e-07,2.819712e-07,3.051748e-07,3.842988e-07,4.476872e-07,5.002908e-07,6.123632e-07,6.283185e-07,7.671241e-07,7.960785e-07,9.155742e-07,9.962025e-07,1.072526e-06,1.210060e-06,1.236781e-06,1.407079e-06,1.434801e-06,1.582127e-06,1.667456e-06,1.760629e-06,1.905064e-06,1.941318e-06,2.122989e-06,2.144802e-06,2.304521e-06,2.384084e-06,2.484894e-06,2.620640e-06,2.663201e-06,2.838653e-06,2.852545e-06,3.010575e-06,3.078227e-06,3.178409e-06,3.296457e-06,3.341697e-06,3.500082e-06,3.506311e-06,3.653289e-06,3.707136e-06,3.801121e-06,3.898508e-06,3.943449e-06,4.080201e-06,4.211352e-06,4.252139e-06,4.336919e-06,4.414373e-06,4.456952e-06,4.567050e-06,4.571530e-06,4.680751e-06,4.710389e-06,4.784733e-06,4.844661e-06,4.883606e-06,4.970179e-06,4.977512e-06,5.066598e-06,5.087278e-06,5.151017e-06,5.196310e-06,5.230924e-06,5.297635e-06,5.306476e-06,5.377831e-06,5.391612e-06,5.445145e-06,5.478603e-06,5.508573e-06,5.558959e-06,5.568266e-06,5.624373e-06,5.633028e-06,5.677042e-06,5.701143e-06,5.726413e-06,5.763630e-06,5.772627e-06,5.815816e-06,5.820801e-06,5.856111e-06,5.872957e-06,5.893639e-06,5.920385e-06,5.928522e-06,5.960878e-06,5.963361e-06,5.990820e-06,6.002146e-06,6.018459e-06,6.036992e-06,6.043900e-06,6.067244e-06,6.068136e-06,6.088591e-06,6.095804e-06,6.108033e-06,6.120213e-06,6.125662e-06,6.141565e-06,6.155824e-06,6.160054e-06,6.168521e-06,6.175863e-06,6.179732e-06,6.189165e-06,6.189531e-06,6.197989e-06,6.200126e-06,6.205173e-06,6.208899e-06,6.211148e-06,6.215632e-06,6.215978e-06,6.219720e-06,6.220463e-06,6.222433e-06,6.223523e-06,6.224170e-06,6.224935e-06,6.224985e-06,6.224928e-06,6.224816e-06,6.224045e-06,6.223275e-06,6.222383e-06,6.220417e-06,6.219986e-06,6.216895e-06,6.216339e-06,6.213150e-06,6.211132e-06,6.208790e-06,6.204883e-06,6.203851e-06,6.198368e-06,6.197675e-06,6.192373e-06,6.189582e-06,6.185900e-06,6.180678e-06,6.178978e-06,6.171635e-06,6.171031e-06,6.163901e-06,6.160703e-06,6.155800e-06,6.149755e-06,6.147359e-06,6.138600e-06,6.138244e-06,6.129548e-06,6.126221e-06,6.120223e-06,6.113737e-06,6.110646e-06,6.100837e-06,6.087567e-06,6.073965e-06,6.060071e-06,6.045920e-06,6.031547e-06,6.016981e-06,6.002253e-06,5.987390e-06,5.972418e-06,5.957360e-06,5.942238e-06,5.927074e-06,5.911886e-06,5.896692e-06,5.881510e-06,5.866354e-06,5.851239e-06,5.836178e-06,5.821184e-06,5.806268e-06,5.791440e-06,5.776710e-06,5.762086e-06,5.747578e-06
0.000000e+00,1.559552e-10,5.620862e-10,3.619316e-09,1.199015e-08,2.051488e-08,6.367104e-08,6.627696e-08,1.589721e-07,1.959701e-07,3.181990e-07,4.544201e-07,5.651796e-07,8.896446e-07,9.228941e-07,1.414449e-06,1.554568e-06,2.058220e-06,2.488665e-06,2.862053e-06,3.698691e-06,3.821706e-06,4.924449e-06,5.160753e-06,6.154008e-06,6.837975e-06,7.493865e-06,8.693240e-06,8.928565e-06,1.044383e-05,1.069284e-05,1.202622e-05,1.280580e-05,1.366280e-05,1.500259e-05,1.534094e-05,1.704826e-05,1.725452e-05,1.877267e-05,1.953382e-05,2.050256e-05,2.181410e-05,2.222686e-05,2.393530e-05,2.407100e-05,2.561846e-05,2.628271e-05,2.726787e-05,2.843035e-05,2.887612e-05,3.043683e-05,3.049819e-05,3.194468e-05,3.247371e-05,3.339535e-05,3.434740e-05,3.478549e-05,3.611262e-05,3.737505e-05,3.776520e-05,3.857185e-05,3.930317e-05,3.970267e-05,4.072639e-05,4.076774e-05,4.176773e-05,4.203621e-05,4.270372e-05,4.323516e-05,4.357710e-05,4.432673e-05,4.438952e-05,4.514282e-05,4.531504e-05,4.583901e-05,4.620472e-05,4.648021e-05,4.700071e-05,4.706861e-05,4.760643e-05,4.770813e-05,4.809595e-05,4.833216e-05,4.853941e-05,4.887796e-05,4.893905e-05,4.929706e-05,4.935062e-05,4.961560e-05,4.975509e-05,4.989676e-05,5.009615e-05,5.014258e-05,5.035505e-05,5.037839e-05,5.053605e-05,5.060620e-05,5.068742e-05,5.078373e-05,5.081092e-05,5.090824e-05,5.091494e-05,5.098098e-05,5.100355e-05,5.103069e-05,5.105305e-05,5.105884e-05,5.106682e-05,5.106674e-05,5.105597e-05,5.104770e-05,5.102755e-05,5.099881e-05,5.098277e-05,5.092276e-05,5.084860e-05,5.082206e-05,5.076134e-05,5.069905e-05,5.066192e-05,5.055591e-05,5.055128e-05,5.043028e-05,5.039465e-05,5.029974e-05,5.021716e-05,5.016044e-05,5.002517e-05,5.001310e-05,4.985843e-05,4.982029e-05,4.969707e-05,4.960401e-05,4.952963e-05,4.937772e-05,4.935669e-05,4.917881e-05,4.914268e-05,4.899648e-05,4.890007e-05,4.881019e-05,4.865097e-05,4.862039e-05,4.842751e-05,4.839639e-05,4.823195e-05,4.813723e-05,4.803407e-05,4.787434e-05,4.783424e-05,4.763277e-05,4.760850e-05,4.742998e-05,4.734041e-05,4.722615e-05,4.707072e-05,4.702156e-05,4.681645e-05,4.680002e-05,4.661105e-05,4.652886e-05,4.640559e-05,4.625773e-05,4.620026e-05,4.599527e-05,4.598708e-05,4.579077e-05,4.571731e-05,4.558695e-05,4.544880e-05,4.538393e-05,4.518188e-05,4.491685e-05,4.465397e-05,4.439350e-05,4.413564e-05,4.388059e-05,4.362852e-05,4.337957e-05,4.313388e-05,4.289157e-05,4.265271e-05,4.241741e-05,4.218573e-05,4.195772e-05,4.173343e-05,4.151290e-05,4.129614e-05,4.108318e-05,4.087403e-05,4.066867e-05,4.046712e-05,4.026936e-05,4.007537e-05,3.988514e-05,3.969862e-05
0.000000e+00,2.867626e-10,8.014666e-10,3.462139e-09,8.856816e-09,1.356032e-08,3.406601e-08,3.522491e-08,7.456801e-08,8.979333e-08,1.392455e-07,1.927467e-07,2.346790e-07,3.488680e-07,3.598909e-07,5.112546e-07,5.511745e-07,6.863750e-07,7.943637e-07,8.841010e-07,1.076260e-06,1.103755e-06,1.344664e-06,1.395324e-06,1.605948e-06,1.749494e-06,1.886443e-06,2.135841e-06,2.184684e-06,2.498939e-06,2.550579e-06,2.827262e-06,2.989240e-06,3.167549e-06,3.446923e-06,3.517610e-06,3.875226e-06,3.918544e-06,4.238210e-06,4.399076e-06,4.604453e-06,4.883746e-06,4.971962e-06,5.338893e-06,5.368171e-06,5.703566e-06,5.848461e-06,6.064481e-06,6.321263e-06,6.420315e-06,6.769928e-06,6.783769e-06,7.112349e-06,7.233699e-06,7.446770e-06,7.669266e-06,7.772534e-06,8.089120e-06,8.396129e-06,8.492299e-06,8.693270e-06,8.878167e-06,8.980347e-06,9.246369e-06,9.257249e-06,9.523932e-06,9.596774e-06,9.780416e-06,9.929436e-06,1.002677e-05,1.024456e-05,1.026310e-05,1.048955e-05,1.054245e-05,1.070631e-05,1.082352e-05,1.091356e-05,1.108824e-05,1.111151e-05,1.130040e-05,1.133711e-05,1.148047e-05,1.157069e-05,1.165195e-05,1.178954e-05,1.181509e-05,1.197016e-05,1.199424e-05,1.211740e-05,1.218537e-05,1.225706e-05,1.236351e-05,1.238940e-05,1.251466e-05,1.252922e-05,1.263308e-05,1.268309e-05,1.274491e-05,1.282564e-05,1.285039e-05,1.294973e-05,1.295742e-05,1.304318e-05,1.307895e-05,1.313094e-05,1.319073e-05,1.321323e-05,1.329026e-05,1.329324e-05,1.336224e-05,1.338695e-05,1.342935e-05,1.347231e-05,1.349180e-05,1.354975e-05,1.360340e-05,1.361969e-05,1.365292e-05,1.368252e-05,1.369848e-05,1.373863e-05,1.374023e-05,1.377833e-05,1.378837e-05,1.381294e-05,1.383210e-05,1.384421e-05,1.387014e-05,1.387227e-05,1.389726e-05,1.390281e-05,1.391931e-05,1.393043e-05,1.393855e-05,1.395326e-05,1.395511e-05,1.396910e-05,1.397160e-05,1.398063e-05,1.398569e-05,1.398981e-05,1.399580e-05,1.399676e-05,1.400157e-05,1.400215e-05,1.400434e-05,1.400498e-05,1.400517e-05,1.400449e-05,1.400414e-05,1.400135e-05,1.400090e-05,1.399687e-05,1.399439e-05,1.399079e-05,1.398515e-05,1.398319e-05,1.397414e-05,1.397336e-05,1.396372e-05,1.395918e-05,1.395199e-05,1.394277e-05,1.393902e-05,1.392487e-05,1.392428e-05,1.390961e-05,1.390385e-05,1.389329e-05,1.388162e-05,1.387598e-05,1.385772e-05,1.383226e-05,1.380537e-05,1.377714e-05,1.374769e-05,1.371710e-05,1.368549e-05,1.365292e-05,1.361949e-05,1.358527e-05,1.355033e-05,1.351476e-05,1.347860e-05,1.344193e-05,1.340481e-05,1.336729e-05,1.332942e-05,1.329125e-05,1.325283e-05,1.321420e-05,1.317541e-05,1.313649e-05,1.309748e-05,1.305842e-05,1.301933e-05
0.000000e+00,1.222142e-10,2.877063e-10,1.019929e-09,2.363335e-09,3.481957e-09,8.143215e-09,8.400529e-09,1.694040e-08,2.018347e-08,3.066655e-08,4.216853e-08,5.143762e-08,7.802198e-08,8.068251e-08,1.182456e-07,1.283193e-07,1.623637e-07,1.891356e-07,2.109456e-07,2.561166e-07,2.624052e-07,3.157008e-07,3.265152e-07,3.701388e-07,3.987248e-07,4.252103e-07,4.716519e-07,4.804962e-07,5.356201e-07,5.444011e-07,5.902296e-07,6.161610e-07,6.439920e-07,6.861826e-07,6.965970e-07,7.477625e-07,7.537934e-07,7.972383e-07,8.184159e-07,8.448112e-07,8.795858e-07,8.903075e-07,9.335904e-07,9.369541e-07,9.745610e-07,9.902867e-07,1.013157e-06,1.039456e-06,1.049346e-06,1.083128e-06,1.084429e-06,1.114523e-06,1.125249e-06,1.143575e-06,1.162024e-06,1.170348e-06,1.194912e-06,1.217348e-06,1.224094e-06,1.237748e-06,1.249779e-06,1.256207e-06,1.272193e-06,1.272823e-06,1.287696e-06,1.291561e-06,1.300924e-06,1.308112e-06,1.312605e-06,1.322069e-06,1.322836e-06,1.331708e-06,1.333646e-06,1.339312e-06,1.343047e-06,1.345731e-06,1.350465e-06,1.351047e-06,1.355339e-06,1.356081e-06,1.358679e-06,1.360063e-06,1.361137e-06,1.362567e-06,1.362778e-06,1.363663e-06,1.363738e-06,1.363851e-06,1.363709e-06,1.363395e-06,1.362601e-06,1.362346e-06,1.360751e-06,1.360526e-06,1.358656e-06,1.357586e-06,1.356100e-06,1.353874e-06,1.353124e-06,1.349762e-06,1.349477e-06,1.346048e-06,1.344471e-06,1.342014e-06,1.338928e-06,1.337689e-06,1.333099e-06,1.332910e-06,1.328271e-06,1.326479e-06,1.323227e-06,1.319685e-06,1.317989e-06,1.312578e-06,1.307012e-06,1.305201e-06,1.301309e-06,1.297594e-06,1.295485e-06,1.289794e-06,1.289555e-06,1.283533e-06,1.281832e-06,1.277432e-06,1.273738e-06,1.271264e-06,1.265540e-06,1.265040e-06,1.258771e-06,1.257261e-06,1.252465e-06,1.248922e-06,1.246133e-06,1.240544e-06,1.239781e-06,1.233418e-06,1.232145e-06,1.227050e-06,1.223739e-06,1.220684e-06,1.215343e-06,1.214326e-06,1.207982e-06,1.206968e-06,1.201655e-06,1.198626e-06,1.195352e-06,1.190328e-06,1.189075e-06,1.182830e-06,1.182083e-06,1.176619e-06,1.173898e-06,1.170446e-06,1.165782e-06,1.164314e-06,1.158226e-06,1.157741e-06,1.152183e-06,1.149780e-06,1.146189e-06,1.141904e-06,1.140245e-06,1.134353e-06,1.134118e-06,1.128514e-06,1.126426e-06,1.122731e-06,1.118831e-06,1.117004e-06,1.111335e-06,1.103941e-06,1.096652e-06,1.089468e-06,1.082391e-06,1.075422e-06,1.068562e-06,1.061811e-06,1.055169e-06,1.048637e-06,1.042214e-06,1.035900e-06,1.029695e-06,1.023598e-06,1.017609e-06,1.011727e-06,1.005950e-06,1.000278e-06,9.947104e-07,9.892453e-07,9.838818e-07,9.786188e-07,9.734550e-07,9.683891e-07,9.634198e-07
0.000000e+00,1.026274e-09,4.030699e-09,3.084881e-08,1.188613e-07,2.203762e-07,8.344029e-07,8.753717e-07,2.524351e-06,3.264387e-06,5.952773e-06,9.296925e-06,1.223196e-05,2.170918e-05,2.274398e-05,3.918727e-05,4.423060e-05,6.353085e-05,8.140519e-05,9.790363e-05,1.381569e-04,1.444555e-04,2.052387e-04,2.192718e-04,2.821276e-04,3.290315e-04,3.767695e-04,4.710150e-04,4.905572e-04,6.246129e-04,6.480030e-04,7.797801e-04,8.619347e-04,9.566198e-04,1.113893e-03,1.155412e-03,1.376158e-03,1.404113e-03,1.618592e-03,1.732007e-03,1.882190e-03,2.096219e-03,2.166190e-03,2.469606e-03,2.494684e-03,2.791256e-03,2.924723e-03,3.129783e-03,3.383134e-03,3.483685e-03,3.851340e-03,3.866308e-03,4.231038e-03,4.370338e-03,4.621007e-03,4.891129e-03,5.019437e-03,5.424511e-03,5.834424e-03,5.966328e-03,6.247407e-03,6.512531e-03,6.661742e-03,7.059244e-03,7.075780e-03,7.487956e-03,7.602828e-03,7.896796e-03,8.139923e-03,8.300927e-03,8.667479e-03,8.699084e-03,9.090112e-03,9.182779e-03,9.472967e-03,9.683445e-03,9.846720e-03,1.016744e-02,1.021055e-02,1.056375e-02,1.063306e-02,1.090571e-02,1.107891e-02,1.123592e-02,1.150392e-02,1.155398e-02,1.185956e-02,1.190728e-02,1.215243e-02,1.228844e-02,1.243243e-02,1.264709e-02,1.269946e-02,1.295351e-02,1.298312e-02,1.319461e-02,1.329661e-02,1.342284e-02,1.358778e-02,1.363835e-02,1.384131e-02,1.385702e-02,1.403194e-02,1.410479e-02,1.421048e-02,1.433169e-02,1.437720e-02,1.453240e-02,1.453837e-02,1.467639e-02,1.472555e-02,1.480951e-02,1.489400e-02,1.493210e-02,1.504450e-02,1.514708e-02,1.517789e-02,1.524020e-02,1.529499e-02,1.532421e-02,1.539665e-02,1.539950e-02,1.546640e-02,1.548369e-02,1.552530e-02,1.555693e-02,1.557653e-02,1.561719e-02,1.562044e-02,1.565739e-02,1.566526e-02,1.568770e-02,1.570190e-02,1.571170e-02,1.572785e-02,1.572971e-02,1.574203e-02,1.574384e-02,1.574897e-02,1.575055e-02,1.575081e-02,1.574863e-02,1.574784e-02,1.574033e-02,1.573872e-02,1.572853e-02,1.572142e-02,1.571270e-02,1.569730e-02,1.569308e-02,1.566991e-02,1.566690e-02,1.564339e-02,1.563072e-02,1.561375e-02,1.558926e-02,1.558119e-02,1.554591e-02,1.554297e-02,1.550808e-02,1.549228e-02,1.546789e-02,1.543759e-02,1.542551e-02,1.538109e-02,1.537928e-02,1.533480e-02,1.531770e-02,1.528677e-02,1.525320e-02,1.523715e-02,1.518607e-02,1.511662e-02,1.504510e-02,1.497179e-02,1.489690e-02,1.482066e-02,1.474327e-02,1.466493e-02,1.458579e-02,1.450604e-02,1.442582e-02,1.434526e-02,1.426449e-02,1.418363e-02,1.410280e-02,1.402208e-02,1.394156e-02,1.386134e-02,1.378149e-02,1.370208e-02,1.362317e-02,1.354481e-02,1.346706e-02,1.338997e-02,1.331358e-02
0.000000e+00,3.830711e-11,8.902378e-11,3.123448e-10,7.217891e-10,1.062684e-09,2.479830e-09,2.557832e-09,5.130060e-09,6.098343e-09,9.198534e-09,1.255500e-08,1.523256e-08,2.282593e-08,2.358185e-08,3.425842e-08,3.713785e-08,4.697250e-08,5.484851e-08,6.137168e-08,7.521111e-08,7.717410e-08,9.417246e-08,9.770083e-08,1.122037e-07,1.219402e-07,1.311247e-07,1.476066e-07,1.507997e-07,1.710950e-07,1.743910e-07,1.918781e-07,2.019889e-07,2.130190e-07,2.301053e-07,2.343930e-07,2.558822e-07,2.584633e-07,2.773778e-07,2.868122e-07,2.987815e-07,3.149322e-07,3.200052e-07,3.409724e-07,3.426366e-07,3.616172e-07,3.697721e-07,3.818842e-07,3.962165e-07,4.017276e-07,4.211104e-07,4.218757e-07,4.400033e-07,4.466803e-07,4.583838e-07,4.705813e-07,4.762355e-07,4.935471e-07,5.103118e-07,5.155603e-07,5.265262e-07,5.366145e-07,5.421902e-07,5.567120e-07,5.573061e-07,5.718783e-07,5.758618e-07,5.859128e-07,5.940786e-07,5.994173e-07,6.113807e-07,6.124003e-07,6.248714e-07,6.277894e-07,6.368407e-07,6.433283e-07,6.483190e-07,6.580225e-07,6.593173e-07,6.698472e-07,6.718980e-07,6.799201e-07,6.849814e-07,6.895479e-07,6.972999e-07,6.987423e-07,7.075151e-07,7.088805e-07,7.158781e-07,7.197502e-07,7.238429e-07,7.299358e-07,7.314210e-07,7.386240e-07,7.394637e-07,7.454630e-07,7.483598e-07,7.519492e-07,7.566495e-07,7.580935e-07,7.639066e-07,7.643576e-07,7.693990e-07,7.715084e-07,7.745810e-07,7.781255e-07,7.794626e-07,7.840539e-07,7.842316e-07,7.883643e-07,7.898491e-07,7.924033e-07,7.949995e-07,7.961801e-07,7.997036e-07,8.029826e-07,8.039816e-07,8.060255e-07,8.078530e-07,8.088407e-07,8.113364e-07,8.114361e-07,8.138197e-07,8.144502e-07,8.159990e-07,8.172116e-07,8.179815e-07,8.196377e-07,8.197743e-07,8.213844e-07,8.217444e-07,8.228187e-07,8.235475e-07,8.240837e-07,8.250619e-07,8.251858e-07,8.261312e-07,8.263020e-07,8.269259e-07,8.272816e-07,8.275758e-07,8.280139e-07,8.280865e-07,8.284635e-07,8.285118e-07,8.287121e-07,8.287874e-07,8.288375e-07,8.288524e-07,8.288446e-07,8.287383e-07,8.287181e-07,8.285232e-07,8.283952e-07,8.282038e-07,8.278941e-07,8.277846e-07,8.272697e-07,8.272245e-07,8.266633e-07,8.263960e-07,8.259693e-07,8.254176e-07,8.251916e-07,8.243338e-07,8.242979e-07,8.233995e-07,8.230451e-07,8.223922e-07,8.216673e-07,8.213153e-07,8.201719e-07,8.185662e-07,8.168571e-07,8.150512e-07,8.131546e-07,8.111736e-07,8.091137e-07,8.069805e-07,8.047792e-07,8.025146e-07,8.001917e-07,7.978149e-07,7.953884e-07,7.929165e-07,7.904029e-07,7.878514e-07,7.852656e-07,7.826487e-07,7.800040e-07,7.773344e-07,7.746430e-07,7.719324e-07,7.692052e-07,7.664639e-07,7.637108e-07
0.000000e+00,3.403709e-09,1.335169e-08,1.019769e-07,3.925291e-07,7.277306e-07,2.760805e-06,2.896809e-06,8.403567e-06,1.089324e-05,2.001600e-05,3.150468e-05,4.169054e-05,7.504979e-05,7.872475e-05,1.376017e-04,1.557631e-04,2.253388e-04,2.896050e-04,3.486237e-04,4.910967e-04,5.131835e-04,7.234907e-04,7.713418e-04,9.826904e-04,1.137461e-03,1.292636e-03,1.592712e-03,1.653973e-03,2.066243e-03,2.136850e-03,2.528002e-03,2.766576e-03,3.036938e-03,3.476026e-03,3.590001e-03,4.183530e-03,4.257281e-03,4.813388e-03,5.100885e-03,5.475079e-03,5.996349e-03,6.163874e-03,6.874921e-03,6.932620e-03,7.603345e-03,7.898499e-03,8.344337e-03,8.883005e-03,9.093229e-03,9.845555e-03,9.875659e-03,1.059711e-02,1.086671e-02,1.134396e-02,1.184729e-02,1.208252e-02,1.280953e-02,1.352204e-02,1.374656e-02,1.421750e-02,1.465260e-02,1.489366e-02,1.552284e-02,1.554861e-02,1.618076e-02,1.635349e-02,1.678880e-02,1.714162e-02,1.737172e-02,1.788515e-02,1.792875e-02,1.845937e-02,1.858275e-02,1.896327e-02,1.923372e-02,1.944032e-02,1.983796e-02,1.989059e-02,2.031427e-02,2.039584e-02,2.071171e-02,2.090815e-02,2.108335e-02,2.137600e-02,2.142975e-02,2.175154e-02,2.180079e-02,2.204942e-02,2.218413e-02,2.232414e-02,2.252778e-02,2.257650e-02,2.280733e-02,2.283363e-02,2.301749e-02,2.310362e-02,2.320783e-02,2.333977e-02,2.337923e-02,2.353256e-02,2.354408e-02,2.366870e-02,2.371854e-02,2.378850e-02,2.386512e-02,2.389281e-02,2.398246e-02,2.398575e-02,2.405825e-02,2.408229e-02,2.412096e-02,2.415653e-02,2.417137e-02,2.421019e-02,2.423815e-02,2.424491e-02,2.425591e-02,2.426224e-02,2.426415e-02,2.426366e-02,2.426347e-02,2.425449e-02,2.425056e-02,2.423777e-02,2.422425e-02,2.421385e-02,2.418594e-02,2.418326e-02,2.414647e-02,2.413677e-02,2.410396e-02,2.407783e-02,2.405618e-02,2.401008e-02,2.400352e-02,2.394640e-02,2.393447e-02,2.388517e-02,2.385183e-02,2.382020e-02,2.376297e-02,2.375181e-02,2.368031e-02,2.366860e-02,2.360600e-02,2.356941e-02,2.352915e-02,2.346601e-02,2.345002e-02,2.336884e-02,2.335897e-02,2.328585e-02,2.324882e-02,2.320127e-02,2.313603e-02,2.311528e-02,2.302807e-02,2.302104e-02,2.293982e-02,2.290426e-02,2.285069e-02,2.278606e-02,2.276083e-02,2.267038e-02,2.266675e-02,2.257948e-02,2.254666e-02,2.248824e-02,2.242606e-02,2.239678e-02,2.230520e-02,2.218431e-02,2.206359e-02,2.194323e-02,2.182340e-02,2.170425e-02,2.158592e-02,2.146852e-02,2.135217e-02,2.123696e-02,2.112298e-02,2.101030e-02,2.089899e-02,2.078910e-02,2.068069e-02,2.057379e-02,2.046845e-02,2.036468e-02,2.026253e-02,2.016200e-02,2.006311e-02,1.996587e-02,1.987029e-02,1.977638e-02,1.968413e-02
0.000000e+00,6.437117e-11,2.408930e-10,1.669638e-09,5.885677e-09,1.039929e-08,3.485881e-08,3.639286e-08,9.344104e-08,1.171896e-07,1.982507e-07,2.919572e-07,3.699713e-07,6.042550e-07,6.285754e-07,9.910340e-07,1.094814e-06,1.468095e-06,1.787206e-06,2.064313e-06,2.687832e-06,2.779958e-06,3.612835e-06,3.793178e-06,4.559329e-06,5.094911e-06,5.614822e-06,6.581625e-06,6.773743e-06,8.029492e-06,8.238898e-06,9.374376e-06,1.004904e-05,1.079961e-05,1.199111e-05,1.229542e-05,1.385115e-05,1.404134e-05,1.545554e-05,1.617388e-05,1.709690e-05,1.836180e-05,1.876344e-05,2.044346e-05,2.057810e-05,2.212567e-05,2.279674e-05,2.379934e-05,2.499346e-05,2.545450e-05,2.708210e-05,2.714651e-05,2.867404e-05,2.923703e-05,3.022330e-05,3.124932e-05,3.172390e-05,3.317091e-05,3.456042e-05,3.499240e-05,3.588946e-05,3.670732e-05,3.715596e-05,3.831176e-05,3.835864e-05,3.949691e-05,3.980409e-05,4.057085e-05,4.118455e-05,4.158102e-05,4.245496e-05,4.252847e-05,4.341462e-05,4.361835e-05,4.424115e-05,4.467870e-05,4.501003e-05,4.564062e-05,4.572336e-05,4.638339e-05,4.650921e-05,4.699245e-05,4.728979e-05,4.755289e-05,4.798783e-05,4.806709e-05,4.853742e-05,4.860876e-05,4.896621e-05,4.915793e-05,4.935571e-05,4.964053e-05,4.970815e-05,5.002565e-05,5.006150e-05,5.031027e-05,5.042559e-05,5.056397e-05,5.073725e-05,5.078861e-05,5.098598e-05,5.100064e-05,5.115777e-05,5.121969e-05,5.130559e-05,5.139803e-05,5.143094e-05,5.153527e-05,5.153902e-05,5.161991e-05,5.164580e-05,5.168613e-05,5.172125e-05,5.173512e-05,5.176802e-05,5.178586e-05,5.178856e-05,5.178964e-05,5.178512e-05,5.178029e-05,5.175977e-05,5.175868e-05,5.172562e-05,5.171441e-05,5.168187e-05,5.165080e-05,5.162817e-05,5.157054e-05,5.156517e-05,5.149352e-05,5.147510e-05,5.141380e-05,5.136584e-05,5.132657e-05,5.124401e-05,5.123235e-05,5.113163e-05,5.111075e-05,5.102487e-05,5.096712e-05,5.091251e-05,5.081408e-05,5.079493e-05,5.067253e-05,5.065253e-05,5.054567e-05,5.048328e-05,5.041467e-05,5.030710e-05,5.027985e-05,5.014151e-05,5.012469e-05,4.999994e-05,4.993669e-05,4.985538e-05,4.974368e-05,4.970810e-05,4.955832e-05,4.954623e-05,4.940625e-05,4.934483e-05,4.925211e-05,4.913996e-05,4.909610e-05,4.893839e-05,4.893204e-05,4.877915e-05,4.872148e-05,4.861855e-05,4.850864e-05,4.845674e-05,4.829387e-05,4.807749e-05,4.785977e-05,4.764101e-05,4.742144e-05,4.720131e-05,4.698082e-05,4.676017e-05,4.653955e-05,4.631914e-05,4.609908e-05,4.587952e-05,4.566060e-05,4.544245e-05,4.522517e-05,4.500889e-05,4.479368e-05,4.457965e-05,4.436688e-05,4.415544e-05,4.394540e-05,4.373683e-05,4.352978e-05,4.332432e-05,4.312048e-05
0.000000e+00,2.164175e-10,8.069127e-10,5.554311e-09,1.947519e-08,3.432329e-08,1.144629e-07,1.194805e-07,3.058697e-07,3.834341e-07,6.482987e-07,9.547804e-07,1.210157e-06,1.977898e-06,2.057645e-06,3.246681e-06,3.587211e-06,4.811887e-06,5.858294e-06,6.766331e-06,8.806705e-06,9.107801e-06,1.182492e-05,1.241202e-05,1.490082e-05,1.663530e-05,1.831467e-05,2.142580e-05,2.204218e-05,2.605582e-05,2.672256e-05,3.032507e-05,3.245549e-05,3.481692e-05,3.854734e-05,3.949660e-05,4.432843e-05,4.491677e-05,4.927668e-05,5.148176e-05,5.430646e-05,5.816301e-05,5.938440e-05,6.447927e-05,6.488671e-05,6.956242e-05,7.158652e-05,7.460806e-05,7.820477e-05,7.959337e-05,8.449857e-05,8.469287e-05,8.930679e-05,9.101121e-05,9.400393e-05,9.712858e-05,9.857850e-05,1.030213e-04,1.073253e-04,1.086724e-04,1.114853e-04,1.140704e-04,1.154977e-04,1.192087e-04,1.193603e-04,1.230721e-04,1.240843e-04,1.266331e-04,1.286976e-04,1.300441e-04,1.330510e-04,1.333066e-04,1.364228e-04,1.371491e-04,1.393951e-04,1.409978e-04,1.422265e-04,1.446040e-04,1.449201e-04,1.474794e-04,1.479754e-04,1.499079e-04,1.511202e-04,1.522092e-04,1.540468e-04,1.543871e-04,1.564454e-04,1.567639e-04,1.583880e-04,1.592803e-04,1.602185e-04,1.616048e-04,1.619407e-04,1.635585e-04,1.637458e-04,1.650754e-04,1.657118e-04,1.664951e-04,1.675112e-04,1.678211e-04,1.690570e-04,1.691521e-04,1.702061e-04,1.706421e-04,1.712717e-04,1.719891e-04,1.722571e-04,1.731654e-04,1.732002e-04,1.739998e-04,1.742826e-04,1.747631e-04,1.752430e-04,1.754583e-04,1.760881e-04,1.766554e-04,1.768241e-04,1.771626e-04,1.774570e-04,1.776125e-04,1.779926e-04,1.780074e-04,1.783497e-04,1.784365e-04,1.786418e-04,1.787938e-04,1.788858e-04,1.790697e-04,1.790839e-04,1.792383e-04,1.792690e-04,1.793508e-04,1.793962e-04,1.794234e-04,1.794558e-04,1.794580e-04,1.794564e-04,1.794519e-04,1.794204e-04,1.793885e-04,1.793515e-04,1.792694e-04,1.792513e-04,1.791215e-04,1.790981e-04,1.789635e-04,1.788781e-04,1.787788e-04,1.786126e-04,1.785686e-04,1.783344e-04,1.783047e-04,1.780774e-04,1.779574e-04,1.777988e-04,1.775734e-04,1.774998e-04,1.771816e-04,1.771553e-04,1.768451e-04,1.767057e-04,1.764915e-04,1.762268e-04,1.761217e-04,1.757367e-04,1.757210e-04,1.753375e-04,1.751904e-04,1.749248e-04,1.746370e-04,1.744996e-04,1.740626e-04,1.734691e-04,1.728582e-04,1.722315e-04,1.715904e-04,1.709365e-04,1.702710e-04,1.695953e-04,1.689105e-04,1.682178e-04,1.675182e-04,1.668127e-04,1.661024e-04,1.653879e-04,1.646703e-04,1.639502e-04,1.632285e-04,1.625057e-04,1.617826e-04,1.610596e-04,1.603375e-04,1.596167e-04,1.588977e-04,1.581810e-04,1.574669e-04
0.000000e+00,5.907187e-10,2.303664e-09,1.737050e-08,6.600911e-08,1.214422e-07,4.504718e-07,4.721864e-07,1.332868e-06,1.713285e-06,3.076119e-06,4.741995e-06,6.184781e-06,1.075812e-05,1.125131e-05,1.897605e-05,2.131264e-05,3.016040e-05,3.826120e-05,4.568592e-05,6.366883e-05,6.647084e-05,9.340709e-05,9.960520e-05,1.272954e-04,1.478906e-04,1.687967e-04,2.099090e-04,2.184070e-04,2.764516e-04,2.865345e-04,3.430924e-04,3.781420e-04,4.183409e-04,4.846595e-04,5.020753e-04,5.940565e-04,6.056333e-04,6.939446e-04,7.402933e-04,8.013138e-04,8.876139e-04,9.156665e-04,1.036447e-03,1.046369e-03,1.163052e-03,1.215184e-03,1.294847e-03,1.392583e-03,1.431172e-03,1.571355e-03,1.577033e-03,1.714722e-03,1.766984e-03,1.860603e-03,1.960903e-03,2.008343e-03,2.157307e-03,2.306885e-03,2.354785e-03,2.456501e-03,2.552022e-03,2.605610e-03,2.747809e-03,2.753708e-03,2.900328e-03,2.941058e-03,3.045045e-03,3.130801e-03,3.187477e-03,3.316199e-03,3.327279e-03,3.464149e-03,3.496531e-03,3.597822e-03,3.671196e-03,3.728070e-03,3.839703e-03,3.854702e-03,3.977559e-03,4.001665e-03,4.096512e-03,4.156790e-03,4.211461e-03,4.304869e-03,4.322333e-03,4.429077e-03,4.445771e-03,4.531666e-03,4.579429e-03,4.630090e-03,4.705836e-03,4.724358e-03,4.814494e-03,4.825034e-03,4.900534e-03,4.937106e-03,4.982528e-03,5.042172e-03,5.060534e-03,5.134619e-03,5.140379e-03,5.204860e-03,5.231898e-03,5.271338e-03,5.316919e-03,5.334138e-03,5.393351e-03,5.395646e-03,5.449070e-03,5.468292e-03,5.501392e-03,5.535081e-03,5.550415e-03,5.596238e-03,5.638960e-03,5.651992e-03,5.678680e-03,5.702573e-03,5.715500e-03,5.748208e-03,5.749516e-03,5.780828e-03,5.789124e-03,5.809533e-03,5.825544e-03,5.835725e-03,5.857684e-03,5.859499e-03,5.880947e-03,5.885758e-03,5.900159e-03,5.909974e-03,5.917224e-03,5.930533e-03,5.932228e-03,5.945255e-03,5.947631e-03,5.956388e-03,5.961455e-03,5.965707e-03,5.972189e-03,5.973289e-03,5.979210e-03,5.980009e-03,5.983544e-03,5.985082e-03,5.986362e-03,5.987571e-03,5.987733e-03,5.987723e-03,5.987632e-03,5.986398e-03,5.985415e-03,5.983821e-03,5.981062e-03,5.980051e-03,5.975149e-03,5.974709e-03,5.969170e-03,5.966489e-03,5.962169e-03,5.956525e-03,5.954199e-03,5.945311e-03,5.944937e-03,5.935554e-03,5.931838e-03,5.924976e-03,5.917336e-03,5.913621e-03,5.901535e-03,5.884531e-03,5.866419e-03,5.847286e-03,5.827216e-03,5.806290e-03,5.784582e-03,5.762164e-03,5.739103e-03,5.715464e-03,5.691307e-03,5.666690e-03,5.641665e-03,5.616285e-03,5.590597e-03,5.564645e-03,5.538474e-03,5.512122e-03,5.485628e-03,5.459026e-03,5.432350e-03,5.405630e-03,5.378895e-03,5.352173e-03,5.325489e-03
0.000000e+00,9.163864e-11,3.421642e-10,2.360444e-09,8.282947e-09,1.459478e-08,4.850868e-08,5.062310e-08,1.284675e-07,1.604875e-07,2.683838e-07,3.908715e-07,4.913870e-07,7.877765e-07,8.182149e-07,1.268359e-06,1.396695e-06,1.858643e-06,2.255207e-06,2.601271e-06,3.385753e-06,3.502280e-06,4.561339e-06,4.791690e-06,5.772698e-06,6.459659e-06,7.126531e-06,8.364607e-06,8.610110e-06,1.020870e-05,1.047409e-05,1.190622e-05,1.275125e-05,1.368583e-05,1.515707e-05,1.553035e-05,1.742275e-05,1.765226e-05,1.934653e-05,2.019887e-05,2.128607e-05,2.276169e-05,2.322687e-05,2.515578e-05,2.530922e-05,2.706112e-05,2.781432e-05,2.893272e-05,3.025447e-05,3.076194e-05,3.254159e-05,3.261166e-05,3.426589e-05,3.487218e-05,3.593030e-05,3.702613e-05,3.753145e-05,3.906698e-05,4.053540e-05,4.099098e-05,4.193599e-05,4.279672e-05,4.326869e-05,4.448463e-05,4.453395e-05,4.573268e-05,4.605656e-05,4.686612e-05,4.751548e-05,4.793581e-05,4.886514e-05,4.894352e-05,4.989114e-05,5.010985e-05,5.078072e-05,5.125431e-05,5.161436e-05,5.230341e-05,5.239423e-05,5.312250e-05,5.326216e-05,5.380137e-05,5.413558e-05,5.443300e-05,5.492862e-05,5.501952e-05,5.556303e-05,5.564614e-05,5.606559e-05,5.629285e-05,5.652918e-05,5.687330e-05,5.695574e-05,5.734715e-05,5.739184e-05,5.770520e-05,5.785263e-05,5.803165e-05,5.825964e-05,5.832817e-05,5.859636e-05,5.861664e-05,5.883778e-05,5.892718e-05,5.905390e-05,5.919465e-05,5.924615e-05,5.941587e-05,5.942221e-05,5.956436e-05,5.961286e-05,5.969286e-05,5.976942e-05,5.980255e-05,5.989455e-05,5.996994e-05,5.999072e-05,6.002974e-05,6.006027e-05,6.007491e-05,6.010538e-05,6.010639e-05,6.012505e-05,6.012810e-05,6.013173e-05,6.013032e-05,6.012723e-05,6.011385e-05,6.011229e-05,6.008764e-05,6.008035e-05,6.005394e-05,6.003136e-05,6.001185e-05,5.996835e-05,5.996197e-05,5.990488e-05,5.989265e-05,5.984114e-05,5.980553e-05,5.977125e-05,5.970815e-05,5.969570e-05,5.961497e-05,5.960160e-05,5.952948e-05,5.948688e-05,5.943966e-05,5.936494e-05,5.934588e-05,5.924853e-05,5.923662e-05,5.914794e-05,5.910275e-05,5.904445e-05,5.896405e-05,5.893837e-05,5.882998e-05,5.882121e-05,5.871956e-05,5.867488e-05,5.860736e-05,5.852562e-05,5.849363e-05,5.837860e-05,5.837398e-05,5.826248e-05,5.822045e-05,5.814547e-05,5.806549e-05,5.802776e-05,5.790952e-05,5.775291e-05,5.759602e-05,5.743917e-05,5.728264e-05,5.712671e-05,5.697160e-05,5.681754e-05,5.666473e-05,5.651334e-05,5.636352e-05,5.621543e-05,5.606918e-05,5.592489e-05,5.578265e-05,5.564254e-05,5.550466e-05,5.536904e-05,5.523576e-05,5.510484e-05,5.497633e-05,5.485026e-05,5.472664e-05,5.460550e-05,5.448683e-05
0.000000e+00,5.899078e-10,2.306754e-09,1.749412e-08,6.684409e-08,1.233658e-07,4.616281e-07,4.840638e-07,1.380028e-06,1.779152e-06,3.219959e-06,4.998914e-06,6.551909e-06,1.153079e-05,1.207185e-05,2.062005e-05,2.322624e-05,3.314460e-05,4.226063e-05,5.062087e-05,7.081661e-05,7.395209e-05,1.038914e-04,1.107253e-04,1.410012e-04,1.632594e-04,1.856412e-04,2.290836e-04,2.379755e-04,2.979864e-04,3.082907e-04,3.654939e-04,4.004705e-04,4.401754e-04,5.047909e-04,5.215867e-04,6.091833e-04,6.200816e-04,7.023405e-04,7.449167e-04,8.003740e-04,8.776956e-04,9.025587e-04,1.008147e-03,1.016718e-03,1.116383e-03,1.160251e-03,1.226521e-03,1.306590e-03,1.337835e-03,1.449629e-03,1.454102e-03,1.561248e-03,1.601268e-03,1.672079e-03,1.746708e-03,1.781565e-03,1.889198e-03,1.994526e-03,2.027678e-03,2.097153e-03,2.161257e-03,2.196737e-03,2.289205e-03,2.292988e-03,2.385666e-03,2.410949e-03,2.474581e-03,2.526059e-03,2.559582e-03,2.634235e-03,2.640564e-03,2.717455e-03,2.735296e-03,2.790220e-03,2.829161e-03,2.858849e-03,2.915838e-03,2.923364e-03,2.983806e-03,2.995410e-03,3.040236e-03,3.068020e-03,3.092734e-03,3.133862e-03,3.141394e-03,3.186320e-03,3.193170e-03,3.227628e-03,3.246206e-03,3.265439e-03,3.293256e-03,3.299881e-03,3.331086e-03,3.334620e-03,3.359190e-03,3.370608e-03,3.384328e-03,3.401533e-03,3.406637e-03,3.426252e-03,3.427709e-03,3.443308e-03,3.449444e-03,3.457939e-03,3.467043e-03,3.470273e-03,3.480438e-03,3.480801e-03,3.488556e-03,3.491002e-03,3.494749e-03,3.497920e-03,3.499132e-03,3.501817e-03,3.502910e-03,3.502941e-03,3.502517e-03,3.501530e-03,3.500734e-03,3.497805e-03,3.497658e-03,3.493379e-03,3.491977e-03,3.487983e-03,3.484243e-03,3.481552e-03,3.474788e-03,3.474164e-03,3.465892e-03,3.463784e-03,3.456808e-03,3.451391e-03,3.446979e-03,3.437761e-03,3.436466e-03,3.425329e-03,3.423032e-03,3.413625e-03,3.407333e-03,3.401407e-03,3.390784e-03,3.388725e-03,3.375626e-03,3.373494e-03,3.362154e-03,3.355567e-03,3.348350e-03,3.337095e-03,3.334254e-03,3.319903e-03,3.318165e-03,3.305330e-03,3.298856e-03,3.290567e-03,3.279240e-03,3.275646e-03,3.260593e-03,3.259384e-03,3.245436e-03,3.239349e-03,3.230198e-03,3.219189e-03,3.214902e-03,3.199570e-03,3.198956e-03,3.184221e-03,3.178695e-03,3.168874e-03,3.158447e-03,3.153545e-03,3.138250e-03,3.118138e-03,3.098141e-03,3.078287e-03,3.058599e-03,3.039101e-03,3.019810e-03,3.000744e-03,2.981918e-03,2.963346e-03,2.945037e-03,2.927002e-03,2.909250e-03,2.891786e-03,2.874618e-03,2.857748e-03,2.841182e-03,2.824920e-03,2.808966e-03,2.793319e-03,2.777981e-03,2.762950e-03,2.748225e-03,2.733806e-03,2.719691e-03
0.000000e+00,3.852197e-10,1.254810e-09,6.741846e-09,1.950435e-08,3.130061e-08,8.472297e-08,8.776952e-08,1.903828e-07,2.294777e-07,3.549297e-07,4.908393e-07,5.995173e-07,9.114957e-07,9.429960e-07,1.398616e-06,1.524933e-06,1.965808e-06,2.327061e-06,2.629944e-06,3.278470e-06,3.370767e-06,4.169605e-06,4.334951e-06,5.011407e-06,5.462017e-06,5.884054e-06,6.633344e-06,6.777245e-06,7.681760e-06,7.826958e-06,8.589115e-06,9.023325e-06,9.491464e-06,1.020489e-05,1.038163e-05,1.125320e-05,1.135626e-05,1.210054e-05,1.246444e-05,1.291891e-05,1.351907e-05,1.370442e-05,1.445405e-05,1.451239e-05,1.516556e-05,1.543913e-05,1.583744e-05,1.629615e-05,1.646883e-05,1.705946e-05,1.708224e-05,1.760950e-05,1.779767e-05,1.811950e-05,1.844389e-05,1.859038e-05,1.902327e-05,1.941949e-05,1.953878e-05,1.978053e-05,1.999384e-05,2.010794e-05,2.039212e-05,2.040334e-05,2.066840e-05,2.073740e-05,2.090476e-05,2.103349e-05,2.111407e-05,2.128411e-05,2.129792e-05,2.145788e-05,2.149288e-05,2.159546e-05,2.166328e-05,2.171212e-05,2.179858e-05,2.180925e-05,2.188818e-05,2.190189e-05,2.195017e-05,2.197611e-05,2.199642e-05,2.202395e-05,2.202808e-05,2.204622e-05,2.204794e-05,2.205185e-05,2.205039e-05,2.204593e-05,2.203348e-05,2.202936e-05,2.200298e-05,2.199920e-05,2.196759e-05,2.194936e-05,2.192394e-05,2.188567e-05,2.187272e-05,2.181459e-05,2.180966e-05,2.175016e-05,2.172275e-05,2.167999e-05,2.162623e-05,2.160464e-05,2.152459e-05,2.152129e-05,2.144031e-05,2.140902e-05,2.135224e-05,2.129039e-05,2.126078e-05,2.116631e-05,2.106918e-05,2.103759e-05,2.096971e-05,2.090498e-05,2.086823e-05,2.076915e-05,2.076499e-05,2.066027e-05,2.063072e-05,2.055431e-05,2.049023e-05,2.044733e-05,2.034820e-05,2.033955e-05,2.023115e-05,2.020506e-05,2.012232e-05,2.006124e-05,2.001321e-05,1.991710e-05,1.990399e-05,1.979478e-05,1.977296e-05,1.968573e-05,1.962912e-05,1.957694e-05,1.948585e-05,1.946853e-05,1.936060e-05,1.934338e-05,1.925324e-05,1.920193e-05,1.914652e-05,1.906167e-05,1.904053e-05,1.893533e-05,1.892277e-05,1.883100e-05,1.878537e-05,1.872757e-05,1.864961e-05,1.862511e-05,1.852365e-05,1.851558e-05,1.842325e-05,1.838339e-05,1.832393e-05,1.825311e-05,1.822572e-05,1.812867e-05,1.812481e-05,1.803278e-05,1.799855e-05,1.793808e-05,1.787438e-05,1.784459e-05,1.775233e-05,1.763243e-05,1.751471e-05,1.739917e-05,1.728584e-05,1.717471e-05,1.706577e-05,1.695903e-05,1.685448e-05,1.675209e-05,1.665186e-05,1.655376e-05,1.645778e-05,1.636388e-05,1.627205e-05,1.618225e-05,1.609446e-05,1.600865e-05,1.592478e-05,1.584282e-05,1.576274e-05,1.568452e-05,1.560810e-05,1.553347e-05,1.546058e-05
0.000000e+00,3.170243e-10,8.235298e-10,3.245689e-09,7.872633e-09,1.176132e-08,2.780477e-08,2.867737e-08,5.677189e-08,6.702980e-08,9.892448e-08,1.322096e-07,1.581178e-07,2.298775e-07,2.369460e-07,3.365601e-07,3.635175e-07,4.563439e-07,5.317104e-07,5.948862e-07,7.311973e-07,7.507769e-07,9.227252e-07,9.589299e-07,1.109447e-06,1.211930e-06,1.309570e-06,1.486936e-06,1.521594e-06,1.743895e-06,1.780304e-06,1.974755e-06,2.088087e-06,2.212397e-06,2.406194e-06,2.455037e-06,2.700921e-06,2.730565e-06,2.948369e-06,3.057329e-06,3.195798e-06,3.382930e-06,3.441752e-06,3.684919e-06,3.704216e-06,3.924135e-06,4.018483e-06,4.158389e-06,4.323491e-06,4.386822e-06,4.608720e-06,4.617452e-06,4.823505e-06,4.898995e-06,5.030723e-06,5.167130e-06,5.230032e-06,5.421195e-06,5.604059e-06,5.660808e-06,5.778550e-06,5.885824e-06,5.944660e-06,6.096284e-06,6.102436e-06,6.251972e-06,6.292383e-06,6.393402e-06,6.474436e-06,6.526889e-06,6.642844e-06,6.652622e-06,6.770808e-06,6.798074e-06,6.881670e-06,6.940640e-06,6.985441e-06,7.071085e-06,7.082362e-06,7.172677e-06,7.189969e-06,7.256634e-06,7.297860e-06,7.334479e-06,7.395326e-06,7.406458e-06,7.472815e-06,7.482926e-06,7.533787e-06,7.561211e-06,7.589610e-06,7.630715e-06,7.640513e-06,7.686719e-06,7.691959e-06,7.728445e-06,7.745440e-06,7.765903e-06,7.791641e-06,7.799296e-06,7.828821e-06,7.831022e-06,7.854671e-06,7.864023e-06,7.877029e-06,7.891064e-06,7.896072e-06,7.911971e-06,7.912543e-06,7.924890e-06,7.928842e-06,7.934987e-06,7.940319e-06,7.942414e-06,7.947316e-06,7.949833e-06,7.950156e-06,7.950097e-06,7.949144e-06,7.948238e-06,7.944569e-06,7.944378e-06,7.938633e-06,7.936702e-06,7.931116e-06,7.925800e-06,7.921935e-06,7.912105e-06,7.911191e-06,7.898982e-06,7.895844e-06,7.885402e-06,7.877231e-06,7.870539e-06,7.856467e-06,7.854479e-06,7.837303e-06,7.833741e-06,7.819088e-06,7.809229e-06,7.799906e-06,7.783099e-06,7.779830e-06,7.758924e-06,7.755506e-06,7.737252e-06,7.726595e-06,7.714875e-06,7.696504e-06,7.691850e-06,7.668231e-06,7.665360e-06,7.644071e-06,7.633282e-06,7.619418e-06,7.600381e-06,7.594319e-06,7.568818e-06,7.566762e-06,7.542957e-06,7.532521e-06,7.516776e-06,7.497748e-06,7.490312e-06,7.463602e-06,7.462529e-06,7.436678e-06,7.426940e-06,7.409574e-06,7.391055e-06,7.382318e-06,7.354940e-06,7.318658e-06,7.282268e-06,7.245822e-06,7.209370e-06,7.172958e-06,7.136627e-06,7.100416e-06,7.064361e-06,7.028495e-06,6.992846e-06,6.957443e-06,6.922309e-06,6.887468e-06,6.852940e-06,6.818743e-06,6.784893e-06,6.751406e-06,6.718295e-06,6.685570e-06,6.653243e-06,6.621322e-06,6.589814e-06,6.558727e-06,6.528067e-06
0.000000e+00,1.339356e-11,3.068542e-11,1.053314e-10,2.388301e-10,3.476337e-10,7.830993e-10,8.064044e-10,1.545071e-09,1.810698e-09,2.627493e-09,3.469461e-09,4.120065e-09,5.913592e-09,6.090294e-09,8.596934e-09,9.282533e-09,1.166903e-08,1.363116e-08,1.528712e-08,1.887397e-08,1.938918e-08,2.389628e-08,2.483946e-08,2.873243e-08,3.135469e-08,3.383069e-08,3.827254e-08,3.913219e-08,4.458365e-08,4.546645e-08,5.013558e-08,5.282245e-08,5.574153e-08,6.023572e-08,6.135780e-08,6.694374e-08,6.761020e-08,7.246199e-08,7.485978e-08,7.787893e-08,8.190962e-08,8.316486e-08,8.829420e-08,8.869711e-08,9.324547e-08,9.517208e-08,9.800124e-08,1.012966e-07,1.025479e-07,1.068754e-07,1.070439e-07,1.109771e-07,1.123975e-07,1.148489e-07,1.173497e-07,1.184896e-07,1.218999e-07,1.250824e-07,1.260533e-07,1.280413e-07,1.298202e-07,1.307821e-07,1.332139e-07,1.333111e-07,1.356355e-07,1.362507e-07,1.377630e-07,1.389483e-07,1.397017e-07,1.413258e-07,1.414600e-07,1.430464e-07,1.434025e-07,1.444695e-07,1.451982e-07,1.457376e-07,1.467320e-07,1.468592e-07,1.478423e-07,1.480230e-07,1.486949e-07,1.490893e-07,1.494247e-07,1.499483e-07,1.500391e-07,1.505452e-07,1.506166e-07,1.509498e-07,1.511099e-07,1.512595e-07,1.514430e-07,1.514804e-07,1.516185e-07,1.516298e-07,1.516795e-07,1.516833e-07,1.516687e-07,1.516156e-07,1.515912e-07,1.514518e-07,1.514381e-07,1.512550e-07,1.511612e-07,1.510052e-07,1.507948e-07,1.507064e-07,1.503624e-07,1.503477e-07,1.499768e-07,1.498285e-07,1.495531e-07,1.492448e-07,1.490944e-07,1.486037e-07,1.480839e-07,1.479119e-07,1.475377e-07,1.471753e-07,1.469674e-07,1.463996e-07,1.463755e-07,1.457642e-07,1.455898e-07,1.451354e-07,1.447506e-07,1.444912e-07,1.438864e-07,1.438333e-07,1.431634e-07,1.430010e-07,1.424831e-07,1.420981e-07,1.417938e-07,1.411809e-07,1.410969e-07,1.403938e-07,1.402525e-07,1.396856e-07,1.393156e-07,1.389733e-07,1.383727e-07,1.382581e-07,1.375409e-07,1.374260e-07,1.368225e-07,1.364776e-07,1.361039e-07,1.355293e-07,1.353857e-07,1.346688e-07,1.345829e-07,1.339537e-07,1.336397e-07,1.332410e-07,1.327013e-07,1.325313e-07,1.318251e-07,1.317688e-07,1.311229e-07,1.308433e-07,1.304251e-07,1.299257e-07,1.297322e-07,1.290444e-07,1.290170e-07,1.283621e-07,1.281179e-07,1.276856e-07,1.272290e-07,1.270151e-07,1.263510e-07,1.254844e-07,1.246296e-07,1.237870e-07,1.229569e-07,1.221396e-07,1.213352e-07,1.205440e-07,1.197661e-07,1.190015e-07,1.182504e-07,1.175128e-07,1.167885e-07,1.160778e-07,1.153804e-07,1.146963e-07,1.140255e-07,1.133678e-07,1.127231e-07,1.120912e-07,1.114722e-07,1.108657e-07,1.102716e-07,1.096899e-07,1.091202e-07
0.000000e+00,1.356113e-10,4.772874e-10,2.937642e-09,9.380011e-09,1.575130e-08,4.675748e-08,4.858763e-08,1.119154e-07,1.364890e-07,2.157203e-07,3.013046e-07,3.692299e-07,5.616011e-07,5.808528e-07,8.581092e-07,9.351601e-07,1.207447e-06,1.436504e-06,1.633883e-06,2.075397e-06,2.140458e-06,2.727528e-06,2.854400e-06,3.392061e-06,3.766119e-06,4.127248e-06,4.791949e-06,4.922785e-06,5.765935e-06,5.904344e-06,6.643026e-06,7.072159e-06,7.540838e-06,8.265980e-06,8.447512e-06,9.352937e-06,9.461090e-06,1.024877e-05,1.063810e-05,1.112825e-05,1.178238e-05,1.198603e-05,1.281790e-05,1.288323e-05,1.362068e-05,1.393308e-05,1.439198e-05,1.492688e-05,1.513016e-05,1.583418e-05,1.586162e-05,1.650347e-05,1.673587e-05,1.713790e-05,1.754951e-05,1.773771e-05,1.830337e-05,1.883560e-05,1.899899e-05,1.933528e-05,1.963846e-05,1.980342e-05,2.022420e-05,2.024114e-05,2.064960e-05,2.075889e-05,2.103002e-05,2.124531e-05,2.138361e-05,2.168628e-05,2.171161e-05,2.201523e-05,2.208461e-05,2.229569e-05,2.244307e-05,2.255415e-05,2.276431e-05,2.279176e-05,2.300963e-05,2.305093e-05,2.320883e-05,2.330537e-05,2.339038e-05,2.352998e-05,2.355529e-05,2.370448e-05,2.372695e-05,2.383887e-05,2.389837e-05,2.395931e-05,2.404618e-05,2.406663e-05,2.416161e-05,2.417222e-05,2.424499e-05,2.427819e-05,2.431747e-05,2.436569e-05,2.437973e-05,2.443240e-05,2.443622e-05,2.447607e-05,2.449115e-05,2.451133e-05,2.453180e-05,2.453869e-05,2.455869e-05,2.455934e-05,2.457179e-05,2.457491e-05,2.457845e-05,2.457953e-05,2.457911e-05,2.457416e-05,2.456399e-05,2.455970e-05,2.454897e-05,2.453697e-05,2.452944e-05,2.450674e-05,2.450572e-05,2.447811e-05,2.446972e-05,2.444690e-05,2.442657e-05,2.441237e-05,2.437788e-05,2.437477e-05,2.433433e-05,2.432423e-05,2.429129e-05,2.426614e-05,2.424587e-05,2.420408e-05,2.419825e-05,2.414864e-05,2.413849e-05,2.409721e-05,2.406980e-05,2.404412e-05,2.399837e-05,2.398955e-05,2.393362e-05,2.392456e-05,2.387650e-05,2.384869e-05,2.381830e-05,2.377104e-05,2.375914e-05,2.369916e-05,2.369191e-05,2.363844e-05,2.361153e-05,2.357711e-05,2.353013e-05,2.351524e-05,2.345294e-05,2.344793e-05,2.339028e-05,2.336513e-05,2.332734e-05,2.328190e-05,2.326420e-05,2.320093e-05,2.319840e-05,2.313759e-05,2.311478e-05,2.307424e-05,2.303118e-05,2.301094e-05,2.294773e-05,2.286454e-05,2.278170e-05,2.269932e-05,2.261748e-05,2.253625e-05,2.245571e-05,2.237592e-05,2.229693e-05,2.221879e-05,2.214155e-05,2.206524e-05,2.198991e-05,2.191558e-05,2.184227e-05,2.177002e-05,2.169884e-05,2.162873e-05,2.155973e-05,2.149184e-05,2.142505e-05,2.135940e-05,2.129486e-05,2.123145e-05,2.116917e-05
0.000000e+00,7.083736e-11,2.755239e-10,2.066186e-09,7.812479e-09,1.433407e-08,5.280377e-08,5.533389e-08,1.551807e-07,1.991352e-07,3.560962e-07,5.472773e-07,7.124665e-07,1.234595e-06,1.290801e-06,2.169301e-06,2.434424e-06,3.435899e-06,4.349273e-06,5.183221e-06,7.189554e-06,7.500403e-06,1.046436e-05,1.114028e-05,1.413362e-05,1.633367e-05,1.854572e-05,2.283882e-05,2.371748e-05,2.964683e-05,3.066480e-05,3.631528e-05,3.976964e-05,4.369054e-05,5.007063e-05,5.172895e-05,6.037777e-05,6.145386e-05,6.957714e-05,7.378264e-05,7.926194e-05,8.690486e-05,8.936346e-05,9.981089e-05,1.006595e-04,1.105327e-04,1.148823e-04,1.214580e-04,1.294111e-04,1.325173e-04,1.436441e-04,1.440897e-04,1.547751e-04,1.587717e-04,1.658511e-04,1.733233e-04,1.768175e-04,1.876247e-04,1.982284e-04,2.015721e-04,2.085894e-04,2.150772e-04,2.186739e-04,2.280679e-04,2.284529e-04,2.379029e-04,2.404872e-04,2.470046e-04,2.522921e-04,2.557433e-04,2.634531e-04,2.641083e-04,2.720928e-04,2.739519e-04,2.796929e-04,2.837808e-04,2.869081e-04,2.929406e-04,2.937403e-04,3.001936e-04,3.014393e-04,3.062742e-04,3.092913e-04,3.119898e-04,3.165154e-04,3.173495e-04,3.223635e-04,3.231344e-04,3.270428e-04,3.291734e-04,3.313992e-04,3.346599e-04,3.354447e-04,3.391920e-04,3.396222e-04,3.426534e-04,3.440892e-04,3.458418e-04,3.480901e-04,3.487697e-04,3.514494e-04,3.516534e-04,3.538933e-04,3.548075e-04,3.561133e-04,3.575796e-04,3.581210e-04,3.599277e-04,3.599959e-04,3.615443e-04,3.620817e-04,3.629812e-04,3.638608e-04,3.642485e-04,3.653560e-04,3.663127e-04,3.665885e-04,3.671276e-04,3.675787e-04,3.678091e-04,3.683452e-04,3.683652e-04,3.688034e-04,3.689060e-04,3.691310e-04,3.692773e-04,3.693549e-04,3.694748e-04,3.694815e-04,3.695170e-04,3.695126e-04,3.694672e-04,3.694041e-04,3.693376e-04,3.691617e-04,3.691335e-04,3.688597e-04,3.687970e-04,3.685208e-04,3.683204e-04,3.681214e-04,3.677420e-04,3.676654e-04,3.671568e-04,3.670708e-04,3.665992e-04,3.663153e-04,3.659963e-04,3.654833e-04,3.653511e-04,3.646668e-04,3.645822e-04,3.639463e-04,3.636185e-04,3.631924e-04,3.625986e-04,3.624075e-04,3.615943e-04,3.615281e-04,3.607549e-04,3.604122e-04,3.598914e-04,3.592560e-04,3.590060e-04,3.581006e-04,3.580640e-04,3.571769e-04,3.568402e-04,3.562366e-04,3.555886e-04,3.552814e-04,3.543128e-04,3.530160e-04,3.517012e-04,3.503714e-04,3.490290e-04,3.476765e-04,3.463161e-04,3.449498e-04,3.435796e-04,3.422070e-04,3.408337e-04,3.394613e-04,3.380909e-04,3.367240e-04,3.353616e-04,3.340048e-04,3.326546e-04,3.313117e-04,3.299771e-04,3.286514e-04,3.273353e-04,3.260295e-04,3.247344e-04,3.234506e-04,3.221785e-04
0.000000e+00,7.472225e-10,2.936271e-09,2.249240e-08,8.669910e-08,1.607448e-07,6.079850e-07,6.377850e-07,1.833379e-06,2.367720e-06,4.298846e-06,6.681917e-06,8.758318e-06,1.538308e-05,1.610002e-05,2.735948e-05,3.077128e-05,4.369593e-05,5.552616e-05,6.636232e-05,9.258486e-05,9.666903e-05,1.359411e-04,1.449861e-04,1.854689e-04,2.156804e-04,2.464542e-04,3.073163e-04,3.199561e-04,4.068442e-04,4.220350e-04,5.077637e-04,5.613168e-04,6.231176e-04,7.259070e-04,7.530627e-04,8.975172e-04,9.158145e-04,1.056177e-03,1.130365e-03,1.228539e-03,1.368286e-03,1.413924e-03,1.611507e-03,1.627813e-03,1.820341e-03,1.906796e-03,2.039390e-03,2.202812e-03,2.267549e-03,2.503671e-03,2.513265e-03,2.746587e-03,2.835474e-03,2.995128e-03,3.166759e-03,3.248140e-03,3.504498e-03,3.763118e-03,3.846184e-03,4.022966e-03,4.189461e-03,4.283067e-03,4.532155e-03,4.542509e-03,4.800445e-03,4.872289e-03,5.056097e-03,5.208095e-03,5.308757e-03,5.538012e-03,5.557787e-03,5.802613e-03,5.860688e-03,6.042730e-03,6.174970e-03,6.277694e-03,6.479894e-03,6.507122e-03,6.730688e-03,6.774673e-03,6.948119e-03,7.058681e-03,7.159189e-03,7.331443e-03,7.363723e-03,7.561583e-03,7.592615e-03,7.752675e-03,7.841974e-03,7.936935e-03,8.079403e-03,8.114334e-03,8.284872e-03,8.304876e-03,8.448573e-03,8.518448e-03,8.605486e-03,8.720241e-03,8.755679e-03,8.899237e-03,8.910438e-03,9.036262e-03,9.089268e-03,9.166869e-03,9.257002e-03,9.291184e-03,9.409343e-03,9.413943e-03,9.521489e-03,9.560419e-03,9.627774e-03,9.696779e-03,9.728353e-03,9.823386e-03,9.913036e-03,9.940613e-03,9.997466e-03,1.004884e-02,1.007684e-02,1.014845e-02,1.015134e-02,1.022111e-02,1.023982e-02,1.028632e-02,1.032333e-02,1.034714e-02,1.039936e-02,1.040374e-02,1.045626e-02,1.046827e-02,1.050487e-02,1.053043e-02,1.054971e-02,1.058619e-02,1.059095e-02,1.062873e-02,1.063588e-02,1.066319e-02,1.067985e-02,1.069448e-02,1.071840e-02,1.072272e-02,1.074806e-02,1.075186e-02,1.077063e-02,1.078051e-02,1.079054e-02,1.080464e-02,1.080792e-02,1.082289e-02,1.082453e-02,1.083556e-02,1.084044e-02,1.084605e-02,1.085262e-02,1.085446e-02,1.086088e-02,1.086132e-02,1.086543e-02,1.086675e-02,1.086820e-02,1.086914e-02,1.086928e-02,1.086876e-02,1.086870e-02,1.086672e-02,1.086563e-02,1.086325e-02,1.086011e-02,1.085842e-02,1.085232e-02,1.084243e-02,1.083059e-02,1.081697e-02,1.080171e-02,1.078493e-02,1.076678e-02,1.074736e-02,1.072679e-02,1.070519e-02,1.068264e-02,1.065926e-02,1.063511e-02,1.061030e-02,1.058490e-02,1.055898e-02,1.053261e-02,1.050586e-02,1.047879e-02,1.045145e-02,1.042390e-02,1.039619e-02,1.036836e-02,1.034045e-02,1.031252e-02
0.000000e+00,1.972844e-10,5.314298e-10,2.179773e-09,5.380221e-09,8.084469e-09,1.926962e-08,1.987816e-08,3.944825e-08,4.658007e-08,6.870901e-08,9.174853e-08,1.096696e-07,1.594789e-07,1.644141e-07,2.349090e-07,2.543468e-07,3.225386e-07,3.792081e-07,4.274160e-07,5.327314e-07,5.479269e-07,6.810655e-07,7.089011e-07,8.233629e-07,8.999034e-07,9.716530e-07,1.098938e-06,1.123347e-06,1.276394e-06,1.300893e-06,1.429154e-06,1.501976e-06,1.580292e-06,1.699284e-06,1.728701e-06,1.873458e-06,1.890546e-06,2.013808e-06,2.074002e-06,2.149134e-06,2.248323e-06,2.278957e-06,2.402920e-06,2.412576e-06,2.520777e-06,2.566174e-06,2.632380e-06,2.708825e-06,2.737669e-06,2.836657e-06,2.840487e-06,2.929421e-06,2.961315e-06,3.016086e-06,3.071617e-06,3.096816e-06,3.171809e-06,3.241282e-06,3.262386e-06,3.305469e-06,3.343887e-06,3.364613e-06,3.416877e-06,3.418962e-06,3.468765e-06,3.481928e-06,3.514268e-06,3.539606e-06,3.555712e-06,3.590459e-06,3.593333e-06,3.627358e-06,3.635013e-06,3.658004e-06,3.673768e-06,3.685479e-06,3.707193e-06,3.709983e-06,3.731704e-06,3.735730e-06,3.750821e-06,3.759789e-06,3.767502e-06,3.779749e-06,3.781908e-06,3.794188e-06,3.795965e-06,3.804484e-06,3.808760e-06,3.812929e-06,3.818436e-06,3.819647e-06,3.824757e-06,3.825268e-06,3.828368e-06,3.829509e-06,3.830584e-06,3.831393e-06,3.831500e-06,3.831208e-06,3.831135e-06,3.829792e-06,3.828929e-06,3.827332e-06,3.824957e-06,3.823903e-06,3.819574e-06,3.819383e-06,3.814410e-06,3.812359e-06,3.808474e-06,3.804024e-06,3.801821e-06,3.794506e-06,3.786578e-06,3.783920e-06,3.778086e-06,3.772375e-06,3.769073e-06,3.759968e-06,3.759580e-06,3.749645e-06,3.746790e-06,3.739306e-06,3.732922e-06,3.728596e-06,3.718442e-06,3.717546e-06,3.706188e-06,3.703419e-06,3.694547e-06,3.687916e-06,3.682652e-06,3.671992e-06,3.670525e-06,3.658191e-06,3.655701e-06,3.645670e-06,3.639093e-06,3.632984e-06,3.622212e-06,3.620149e-06,3.607185e-06,3.605100e-06,3.594109e-06,3.587796e-06,3.580934e-06,3.570335e-06,3.567677e-06,3.554351e-06,3.552747e-06,3.540968e-06,3.535065e-06,3.527540e-06,3.517313e-06,3.514080e-06,3.500596e-06,3.499517e-06,3.487100e-06,3.481700e-06,3.473600e-06,3.463883e-06,3.460105e-06,3.446623e-06,3.446084e-06,3.433161e-06,3.428322e-06,3.419727e-06,3.410611e-06,3.406327e-06,3.392967e-06,3.375404e-06,3.357932e-06,3.340563e-06,3.323308e-06,3.306175e-06,3.289173e-06,3.272309e-06,3.255589e-06,3.239021e-06,3.222608e-06,3.206357e-06,3.190271e-06,3.174354e-06,3.158610e-06,3.143041e-06,3.127649e-06,3.112438e-06,3.097408e-06,3.082562e-06,3.067900e-06,3.053423e-06,3.039132e-06,3.025028e-06,3.011110e-06
0.000000e+00,2.680904e-10,9.980206e-10,6.844163e-09,2.389621e-08,4.199788e-08,1.387772e-07,1.447961e-07,3.658922e-07,4.567040e-07,7.626621e-07,1.110363e-06,1.396210e-06,2.242560e-06,2.329797e-06,3.627117e-06,3.999415e-06,5.347777e-06,6.514392e-06,7.538045e-06,9.872345e-06,1.022024e-05,1.338838e-05,1.407803e-05,1.701273e-05,1.906313e-05,2.104836e-05,2.471794e-05,2.544294e-05,3.014176e-05,3.091813e-05,3.509016e-05,3.753831e-05,4.023476e-05,4.445690e-05,4.552387e-05,5.090782e-05,5.155800e-05,5.633942e-05,5.873286e-05,6.177428e-05,6.588157e-05,6.717137e-05,7.249339e-05,7.291488e-05,7.770711e-05,7.975565e-05,8.278358e-05,8.633966e-05,8.769817e-05,9.243054e-05,9.261580e-05,9.696445e-05,9.854558e-05,1.012875e-04,1.041021e-04,1.053909e-04,1.092690e-04,1.129189e-04,1.140385e-04,1.163402e-04,1.184106e-04,1.195346e-04,1.223909e-04,1.225055e-04,1.252576e-04,1.259898e-04,1.277970e-04,1.292213e-04,1.301305e-04,1.321018e-04,1.322654e-04,1.342099e-04,1.346492e-04,1.359722e-04,1.368827e-04,1.375607e-04,1.388217e-04,1.389840e-04,1.402506e-04,1.404858e-04,1.413687e-04,1.418943e-04,1.423468e-04,1.430661e-04,1.431929e-04,1.439147e-04,1.440191e-04,1.445197e-04,1.447709e-04,1.450154e-04,1.453379e-04,1.454086e-04,1.457061e-04,1.457357e-04,1.459142e-04,1.459790e-04,1.460390e-04,1.460817e-04,1.460862e-04,1.460615e-04,1.460566e-04,1.459701e-04,1.459159e-04,1.458168e-04,1.456707e-04,1.456063e-04,1.453431e-04,1.453315e-04,1.450314e-04,1.449080e-04,1.446750e-04,1.444091e-04,1.442778e-04,1.438431e-04,1.433744e-04,1.432177e-04,1.428746e-04,1.425398e-04,1.423467e-04,1.418159e-04,1.417933e-04,1.412172e-04,1.410521e-04,1.406206e-04,1.402538e-04,1.400058e-04,1.394260e-04,1.393750e-04,1.387300e-04,1.385733e-04,1.380727e-04,1.376998e-04,1.374048e-04,1.368096e-04,1.367279e-04,1.360436e-04,1.359060e-04,1.353532e-04,1.349922e-04,1.346580e-04,1.340711e-04,1.339591e-04,1.332578e-04,1.331454e-04,1.325550e-04,1.322175e-04,1.318518e-04,1.312894e-04,1.311489e-04,1.304472e-04,1.303631e-04,1.297475e-04,1.294404e-04,1.290504e-04,1.285228e-04,1.283566e-04,1.276667e-04,1.276117e-04,1.269812e-04,1.267084e-04,1.263006e-04,1.258139e-04,1.256254e-04,1.249559e-04,1.249293e-04,1.242926e-04,1.240553e-04,1.236356e-04,1.231928e-04,1.229855e-04,1.223423e-04,1.215045e-04,1.206799e-04,1.198687e-04,1.190714e-04,1.182882e-04,1.175193e-04,1.167649e-04,1.160251e-04,1.152999e-04,1.145895e-04,1.138937e-04,1.132126e-04,1.125460e-04,1.118940e-04,1.112563e-04,1.106330e-04,1.100237e-04,1.094284e-04,1.088468e-04,1.082789e-04,1.077243e-04,1.071829e-04,1.066544e-04,1.061387e-04
0.000000e+00,3.372847e-10,1.177896e-09,7.138252e-09,2.249723e-08,3.753199e-08,1.098610e-07,1.141082e-07,2.607323e-07,3.176843e-07,5.022913e-07,7.039616e-07,8.659102e-07,1.333604e-06,1.381094e-06,2.075723e-06,2.271339e-06,2.965675e-06,3.547519e-06,4.042956e-06,5.119846e-06,5.274211e-06,6.612319e-06,6.888523e-06,8.010444e-06,8.747927e-06,9.429820e-06,1.061688e-05,1.084121e-05,1.222332e-05,1.244063e-05,1.356058e-05,1.418304e-05,1.484148e-05,1.581976e-05,1.605742e-05,1.720205e-05,1.733439e-05,1.827096e-05,1.871652e-05,1.926137e-05,1.996073e-05,2.017198e-05,2.100279e-05,2.106583e-05,2.175493e-05,2.203420e-05,2.243049e-05,2.287107e-05,2.303236e-05,2.356401e-05,2.358387e-05,2.402927e-05,2.418130e-05,2.443226e-05,2.467290e-05,2.477725e-05,2.506857e-05,2.531052e-05,2.537821e-05,2.550730e-05,2.561139e-05,2.566292e-05,2.577716e-05,2.578122e-05,2.586581e-05,2.588391e-05,2.592005e-05,2.593934e-05,2.594707e-05,2.595040e-05,2.594979e-05,2.593085e-05,2.592336e-05,2.589269e-05,2.586377e-05,2.583755e-05,2.577657e-05,2.576742e-05,2.568416e-05,2.566608e-05,2.558941e-05,2.553610e-05,2.548467e-05,2.538996e-05,2.537129e-05,2.525048e-05,2.523054e-05,2.512335e-05,2.506037e-05,2.499086e-05,2.488161e-05,2.485390e-05,2.471324e-05,2.469615e-05,2.456960e-05,2.450561e-05,2.442360e-05,2.431140e-05,2.427579e-05,2.412669e-05,2.411472e-05,2.397674e-05,2.391660e-05,2.382632e-05,2.371794e-05,2.367580e-05,2.352549e-05,2.351948e-05,2.337565e-05,2.332188e-05,2.322655e-05,2.312568e-05,2.307838e-05,2.293135e-05,2.278562e-05,2.273928e-05,2.264133e-05,2.254980e-05,2.249861e-05,2.236318e-05,2.235757e-05,2.221831e-05,2.217964e-05,2.208090e-05,2.199937e-05,2.194542e-05,2.182252e-05,2.181192e-05,2.168045e-05,2.164920e-05,2.155105e-05,2.147950e-05,2.142375e-05,2.131348e-05,2.129858e-05,2.117555e-05,2.115120e-05,2.105467e-05,2.099267e-05,2.093596e-05,2.083790e-05,2.081940e-05,2.070501e-05,2.068690e-05,2.059277e-05,2.053965e-05,2.048267e-05,2.039613e-05,2.037470e-05,2.026885e-05,2.025629e-05,2.016511e-05,2.012012e-05,2.006344e-05,1.998755e-05,1.996383e-05,1.986626e-05,1.985854e-05,1.977070e-05,1.973303e-05,1.967713e-05,1.961097e-05,1.958552e-05,1.949584e-05,1.949230e-05,1.940807e-05,1.937694e-05,1.932218e-05,1.926483e-05,1.923814e-05,1.915591e-05,1.905011e-05,1.894736e-05,1.884758e-05,1.875071e-05,1.865668e-05,1.856542e-05,1.847686e-05,1.839093e-05,1.830756e-05,1.822669e-05,1.814824e-05,1.807216e-05,1.799838e-05,1.792683e-05,1.785746e-05,1.779020e-05,1.772499e-05,1.766177e-05,1.760050e-05,1.754110e-05,1.748353e-05,1.742773e-05,1.737365e-05,1.732124e-05
0.000000e+00,2.887236e-10,1.133924e-09,8.676974e-09,3.342161e-08,6.194836e-08,2.342775e-07,2.457646e-07,7.072346e-07,9.138579e-07,1.662430e-06,2.589766e-06,3.400622e-06,6.002552e-06,6.285309e-06,1.074892e-05,1.210820e-05,1.727574e-05,2.202103e-05,2.637291e-05,3.690055e-05,3.853809e-05,5.423277e-05,5.783215e-05,7.386350e-05,8.574250e-05,9.776938e-05,1.213495e-04,1.262143e-04,1.593828e-04,1.651361e-04,1.973782e-04,2.173405e-04,2.402244e-04,2.779607e-04,2.878684e-04,3.401861e-04,3.467700e-04,3.969889e-04,4.233416e-04,4.580315e-04,5.070806e-04,5.230208e-04,5.916248e-04,5.972586e-04,6.634818e-04,6.930502e-04,7.382090e-04,7.935679e-04,8.154107e-04,8.946860e-04,8.978944e-04,9.756351e-04,1.005111e-03,1.057866e-03,1.114319e-03,1.140997e-03,1.224664e-03,1.308521e-03,1.335342e-03,1.392244e-03,1.445617e-03,1.475532e-03,1.554822e-03,1.558108e-03,1.639719e-03,1.662366e-03,1.720138e-03,1.767731e-03,1.799160e-03,1.870472e-03,1.876606e-03,1.952319e-03,1.970217e-03,2.026164e-03,2.066657e-03,2.098026e-03,2.159547e-03,2.167808e-03,2.235435e-03,2.248696e-03,2.300844e-03,2.333965e-03,2.363991e-03,2.415261e-03,2.424842e-03,2.483380e-03,2.492530e-03,2.539595e-03,2.565754e-03,2.593491e-03,2.634944e-03,2.645078e-03,2.694377e-03,2.700140e-03,2.741413e-03,2.761400e-03,2.786219e-03,2.818803e-03,2.828833e-03,2.869297e-03,2.872442e-03,2.907657e-03,2.922423e-03,2.943963e-03,2.968860e-03,2.978266e-03,3.010620e-03,3.011875e-03,3.041081e-03,3.051594e-03,3.069705e-03,3.088149e-03,3.096549e-03,3.121671e-03,3.145129e-03,3.152294e-03,3.166981e-03,3.180150e-03,3.187284e-03,3.205369e-03,3.206094e-03,3.223468e-03,3.228083e-03,3.239461e-03,3.248416e-03,3.254127e-03,3.266493e-03,3.267519e-03,3.279689e-03,3.282434e-03,3.290688e-03,3.296355e-03,3.300565e-03,3.308368e-03,3.309369e-03,3.317145e-03,3.318581e-03,3.323940e-03,3.327099e-03,3.329796e-03,3.334022e-03,3.334757e-03,3.338864e-03,3.339444e-03,3.342155e-03,3.343457e-03,3.344671e-03,3.346149e-03,3.346446e-03,3.347518e-03,3.347601e-03,3.347921e-03,3.347894e-03,3.347686e-03,3.347102e-03,3.346847e-03,3.345433e-03,3.345296e-03,3.343474e-03,3.342544e-03,3.340998e-03,3.338911e-03,3.338033e-03,3.334603e-03,3.334456e-03,3.330734e-03,3.329239e-03,3.326450e-03,3.323312e-03,3.321774e-03,3.316727e-03,3.309534e-03,3.301777e-03,3.293501e-03,3.284745e-03,3.275550e-03,3.265950e-03,3.255980e-03,3.245673e-03,3.235058e-03,3.224165e-03,3.213019e-03,3.201647e-03,3.190072e-03,3.178316e-03,3.166400e-03,3.154344e-03,3.142166e-03,3.129883e-03,3.117513e-03,3.105069e-03,3.092567e-03,3.080019e-03,3.067438e-03,3.054836e-03
0.000000e+00,3.111230e-11,7.196353e-11,2.509356e-10,5.782133e-10,8.508759e-10,1.991490e-09,2.054686e-09,4.165041e-09,4.972096e-09,7.592434e-09,1.046593e-08,1.276297e-08,1.920167e-08,1.983365e-08,2.858608e-08,3.089930e-08,3.869376e-08,4.485144e-08,4.991436e-08,6.058906e-08,6.209860e-08,7.515185e-08,7.786042e-08,8.900412e-08,9.650222e-08,1.035926e-07,1.163688e-07,1.188527e-07,1.347142e-07,1.373028e-07,1.510997e-07,1.591265e-07,1.679254e-07,1.816431e-07,1.851021e-07,2.025376e-07,2.046428e-07,2.201382e-07,2.279107e-07,2.378109e-07,2.512346e-07,2.554654e-07,2.730155e-07,2.744126e-07,2.903808e-07,2.972583e-07,3.074872e-07,3.196057e-07,3.242680e-07,3.406642e-07,3.413114e-07,3.566249e-07,3.622555e-07,3.721065e-07,3.823420e-07,3.870735e-07,4.014973e-07,4.153561e-07,4.196689e-07,4.286343e-07,4.368227e-07,4.413218e-07,4.529414e-07,4.534136e-07,4.649089e-07,4.680211e-07,4.758110e-07,4.820701e-07,4.861263e-07,4.951059e-07,4.958639e-07,5.050354e-07,5.071538e-07,5.136541e-07,5.182446e-07,5.217349e-07,5.284138e-07,5.292939e-07,5.363480e-07,5.376997e-07,5.429147e-07,5.461427e-07,5.490119e-07,5.537841e-07,5.546579e-07,5.598709e-07,5.606660e-07,5.646689e-07,5.668298e-07,5.690699e-07,5.723168e-07,5.730916e-07,5.767513e-07,5.771670e-07,5.800660e-07,5.814193e-07,5.830519e-07,5.851113e-07,5.857251e-07,5.881011e-07,5.882787e-07,5.901946e-07,5.909562e-07,5.920202e-07,5.931765e-07,5.935917e-07,5.949224e-07,5.949708e-07,5.960251e-07,5.963687e-07,5.969121e-07,5.973980e-07,5.975950e-07,5.980852e-07,5.983934e-07,5.984552e-07,5.985298e-07,5.985315e-07,5.985042e-07,5.983360e-07,5.983261e-07,5.980043e-07,5.978896e-07,5.975473e-07,5.972117e-07,5.969634e-07,5.963206e-07,5.962601e-07,5.954448e-07,5.952333e-07,5.945247e-07,5.939660e-07,5.935062e-07,5.925337e-07,5.923958e-07,5.911995e-07,5.909504e-07,5.899230e-07,5.892293e-07,5.885717e-07,5.873827e-07,5.871509e-07,5.856655e-07,5.854221e-07,5.841200e-07,5.833582e-07,5.825190e-07,5.812010e-07,5.808667e-07,5.791669e-07,5.789600e-07,5.774237e-07,5.766437e-07,5.756404e-07,5.742605e-07,5.738205e-07,5.719673e-07,5.718177e-07,5.700838e-07,5.693226e-07,5.681729e-07,5.667816e-07,5.662373e-07,5.642796e-07,5.642009e-07,5.623024e-07,5.615862e-07,5.603078e-07,5.589427e-07,5.582981e-07,5.562755e-07,5.535889e-07,5.508873e-07,5.481746e-07,5.454544e-07,5.427301e-07,5.400047e-07,5.372812e-07,5.345622e-07,5.318502e-07,5.291473e-07,5.264558e-07,5.237773e-07,5.211139e-07,5.184669e-07,5.158379e-07,5.132282e-07,5.106390e-07,5.080713e-07,5.055263e-07,5.030047e-07,5.005074e-07,4.980350e-07,4.955883e-07,4.931678e-07
0.000000e+00,9.735362e-11,3.704211e-10,2.656023e-09,9.652717e-09,1.734122e-08,6.067457e-08,6.345545e-08,1.700573e-07,2.157962e-07,3.760523e-07,5.672621e-07,7.301099e-07,1.233623e-06,1.286886e-06,2.096798e-06,2.333191e-06,3.195434e-06,3.943887e-06,4.599956e-06,6.090191e-06,6.311530e-06,8.319627e-06,8.755310e-06,1.060577e-05,1.189670e-05,1.314613e-05,1.545648e-05,1.591324e-05,1.887704e-05,1.936739e-05,2.200574e-05,2.355649e-05,2.526657e-05,2.794818e-05,2.862652e-05,3.205303e-05,3.246718e-05,3.551472e-05,3.704132e-05,3.898202e-05,4.160401e-05,4.242762e-05,4.582692e-05,4.609619e-05,4.915826e-05,5.046749e-05,5.240301e-05,5.467675e-05,5.554560e-05,5.857342e-05,5.869200e-05,6.147668e-05,6.248989e-05,6.424813e-05,6.605483e-05,6.688285e-05,6.937795e-05,7.173231e-05,7.245600e-05,7.394626e-05,7.529017e-05,7.602134e-05,7.788509e-05,7.796006e-05,7.976571e-05,8.024797e-05,8.144223e-05,8.238798e-05,8.299405e-05,8.431578e-05,8.442605e-05,8.574333e-05,8.604298e-05,8.695109e-05,8.758156e-05,8.805460e-05,8.894361e-05,8.905909e-05,8.996971e-05,9.014101e-05,9.079149e-05,9.118534e-05,9.152935e-05,9.208778e-05,9.218804e-05,9.277214e-05,9.285897e-05,9.328604e-05,9.350902e-05,9.373395e-05,9.404749e-05,9.411991e-05,9.444776e-05,9.448338e-05,9.472117e-05,9.482512e-05,9.494361e-05,9.508062e-05,9.511839e-05,9.524866e-05,9.525725e-05,9.533738e-05,9.536188e-05,9.538738e-05,9.540091e-05,9.540132e-05,9.538172e-05,9.538027e-05,9.533094e-05,9.530547e-05,9.525124e-05,9.518161e-05,9.514473e-05,9.501341e-05,9.485915e-05,9.480523e-05,9.468372e-05,9.456112e-05,9.448880e-05,9.428479e-05,9.427595e-05,9.404664e-05,9.397968e-05,9.380227e-05,9.364895e-05,9.354413e-05,9.329554e-05,9.327345e-05,9.299138e-05,9.292211e-05,9.269899e-05,9.253114e-05,9.239732e-05,9.212490e-05,9.208729e-05,9.176980e-05,9.170549e-05,9.144569e-05,9.127480e-05,9.111574e-05,9.083461e-05,9.078068e-05,9.044119e-05,9.038651e-05,9.009792e-05,8.993197e-05,8.975145e-05,8.947235e-05,8.940234e-05,8.905112e-05,8.900886e-05,8.869828e-05,8.854263e-05,8.834426e-05,8.807467e-05,8.798948e-05,8.763435e-05,8.760593e-05,8.727922e-05,8.713724e-05,8.692443e-05,8.666937e-05,8.657030e-05,8.621712e-05,8.620302e-05,8.586516e-05,8.573880e-05,8.551467e-05,8.527729e-05,8.516588e-05,8.481900e-05,8.436437e-05,8.391383e-05,8.346773e-05,8.302640e-05,8.259012e-05,8.215914e-05,8.173369e-05,8.131395e-05,8.090008e-05,8.049223e-05,8.009051e-05,7.969503e-05,7.930584e-05,7.892302e-05,7.854662e-05,7.817665e-05,7.781314e-05,7.745610e-05,7.710550e-05,7.676135e-05,7.642361e-05,7.609225e-05,7.576723e-05,7.544850e-05
0.000000e+00,1.316193e-10,4.698925e-10,2.971831e-09,9.704400e-09,1.648582e-08,5.034929e-08,5.237929e-08,1.240475e-07,1.524636e-07,2.459137e-07,3.495413e-07,4.334895e-07,6.778443e-07,7.027404e-07,1.067170e-06,1.169741e-06,1.533737e-06,1.839606e-06,2.101702e-06,2.680759e-06,2.765159e-06,3.516142e-06,3.676111e-06,4.346382e-06,4.806735e-06,5.247781e-06,6.054088e-06,6.212327e-06,7.231897e-06,7.399580e-06,8.298154e-06,8.824038e-06,9.402557e-06,1.030774e-05,1.053646e-05,1.169130e-05,1.183089e-05,1.285872e-05,1.337430e-05,1.403077e-05,1.492002e-05,1.520002e-05,1.635969e-05,1.645186e-05,1.750373e-05,1.795574e-05,1.862680e-05,1.941986e-05,1.972437e-05,2.079261e-05,2.083468e-05,2.182841e-05,2.219286e-05,2.282931e-05,2.348903e-05,2.379347e-05,2.471957e-05,2.560675e-05,2.588234e-05,2.645458e-05,2.697648e-05,2.726297e-05,2.800212e-05,2.803213e-05,2.876249e-05,2.896011e-05,2.945467e-05,2.985199e-05,3.010949e-05,3.067973e-05,3.072789e-05,3.131088e-05,3.144565e-05,3.185957e-05,3.215228e-05,3.237510e-05,3.280229e-05,3.285867e-05,3.331144e-05,3.339841e-05,3.373464e-05,3.394342e-05,3.412946e-05,3.444005e-05,3.449709e-05,3.483869e-05,3.489100e-05,3.515540e-05,3.529890e-05,3.544833e-05,3.566628e-05,3.571857e-05,3.596716e-05,3.599559e-05,3.619514e-05,3.628917e-05,3.640347e-05,3.654925e-05,3.659311e-05,3.676496e-05,3.677797e-05,3.691991e-05,3.697735e-05,3.705880e-05,3.714931e-05,3.718244e-05,3.729159e-05,3.729567e-05,3.738702e-05,3.741814e-05,3.746942e-05,3.751836e-05,3.753947e-05,3.759784e-05,3.764515e-05,3.765804e-05,3.768198e-05,3.770032e-05,3.770890e-05,3.772594e-05,3.772647e-05,3.773519e-05,3.773612e-05,3.773556e-05,3.773198e-05,3.772806e-05,3.771459e-05,3.771313e-05,3.769120e-05,3.768494e-05,3.766268e-05,3.764397e-05,3.762796e-05,3.759257e-05,3.758740e-05,3.754137e-05,3.753154e-05,3.749020e-05,3.746167e-05,3.743421e-05,3.738368e-05,3.737370e-05,3.730897e-05,3.729824e-05,3.724029e-05,3.720599e-05,3.716792e-05,3.710754e-05,3.709211e-05,3.701311e-05,3.700342e-05,3.693113e-05,3.689417e-05,3.684639e-05,3.678027e-05,3.675909e-05,3.666944e-05,3.666217e-05,3.657761e-05,3.654031e-05,3.648378e-05,3.641507e-05,3.638811e-05,3.629076e-05,3.628684e-05,3.619189e-05,3.615595e-05,3.609163e-05,3.602273e-05,3.599012e-05,3.588749e-05,3.575050e-05,3.561203e-05,3.547232e-05,3.533160e-05,3.519007e-05,3.504795e-05,3.490540e-05,3.476261e-05,3.461972e-05,3.447689e-05,3.433424e-05,3.419191e-05,3.405001e-05,3.390865e-05,3.376793e-05,3.362793e-05,3.348874e-05,3.335044e-05,3.321310e-05,3.307677e-05,3.294153e-05,3.280743e-05,3.267450e-05,3.254280e-05
0.000000e+00,1.331581e-10,3.184840e-10,1.146055e-09,2.661813e-09,3.913197e-09,9.003216e-09,9.278468e-09,1.811772e-08,2.134399e-08,3.139721e-08,4.193996e-08,5.018981e-08,7.326990e-08,7.556285e-08,1.082329e-07,1.171715e-07,1.481344e-07,1.733372e-07,1.944080e-07,2.394584e-07,2.458694e-07,3.014133e-07,3.129285e-07,3.601265e-07,3.916543e-07,4.212531e-07,4.739842e-07,4.841393e-07,5.481957e-07,5.585165e-07,6.128801e-07,6.440028e-07,6.776911e-07,7.293213e-07,7.421700e-07,8.059029e-07,8.134829e-07,8.685248e-07,8.956436e-07,9.297211e-07,9.751117e-07,9.892263e-07,1.046823e-06,1.051343e-06,1.102343e-06,1.123939e-06,1.155657e-06,1.192626e-06,1.206676e-06,1.255344e-06,1.257241e-06,1.301634e-06,1.317714e-06,1.345542e-06,1.374048e-06,1.387087e-06,1.426302e-06,1.463234e-06,1.474580e-06,1.497942e-06,1.519017e-06,1.530491e-06,1.559772e-06,1.560951e-06,1.589399e-06,1.597014e-06,1.615911e-06,1.630923e-06,1.640569e-06,1.661683e-06,1.663450e-06,1.684634e-06,1.689475e-06,1.704200e-06,1.714478e-06,1.722224e-06,1.736869e-06,1.738781e-06,1.753943e-06,1.756815e-06,1.767782e-06,1.774478e-06,1.780366e-06,1.790014e-06,1.791760e-06,1.802027e-06,1.803569e-06,1.811228e-06,1.815283e-06,1.819420e-06,1.825286e-06,1.826661e-06,1.833001e-06,1.833704e-06,1.838492e-06,1.840652e-06,1.843183e-06,1.846241e-06,1.847120e-06,1.850345e-06,1.850574e-06,1.852902e-06,1.853746e-06,1.854830e-06,1.855849e-06,1.856166e-06,1.856947e-06,1.856967e-06,1.857206e-06,1.857178e-06,1.856977e-06,1.856558e-06,1.856290e-06,1.855173e-06,1.853656e-06,1.853090e-06,1.851763e-06,1.850367e-06,1.849520e-06,1.847060e-06,1.846952e-06,1.844078e-06,1.843222e-06,1.840923e-06,1.838902e-06,1.837504e-06,1.834143e-06,1.833841e-06,1.829953e-06,1.828988e-06,1.825856e-06,1.823477e-06,1.821567e-06,1.817644e-06,1.817099e-06,1.812469e-06,1.811525e-06,1.807690e-06,1.805150e-06,1.802774e-06,1.798547e-06,1.797733e-06,1.792580e-06,1.791745e-06,1.787324e-06,1.784768e-06,1.781976e-06,1.777639e-06,1.776547e-06,1.771044e-06,1.770379e-06,1.765476e-06,1.763008e-06,1.759853e-06,1.755545e-06,1.754180e-06,1.748466e-06,1.748007e-06,1.742716e-06,1.740408e-06,1.736938e-06,1.732764e-06,1.731138e-06,1.725321e-06,1.725088e-06,1.719492e-06,1.717391e-06,1.713656e-06,1.709686e-06,1.707818e-06,1.701983e-06,1.694290e-06,1.686618e-06,1.678973e-06,1.671363e-06,1.663796e-06,1.656276e-06,1.648809e-06,1.641401e-06,1.634055e-06,1.626777e-06,1.619570e-06,1.612436e-06,1.605379e-06,1.598402e-06,1.591507e-06,1.584695e-06,1.577969e-06,1.571330e-06,1.564780e-06,1.558319e-06,1.551948e-06,1.545668e-06,1.539480e-06,1.533384e-06
0.000000e+00,3.735497e-10,1.097993e-09,5.042208e-09,1.323415e-08,2.039178e-08,5.115006e-08,5.286247e-08,1.095225e-07,1.308349e-07,1.988223e-07,2.720204e-07,3.301606e-07,4.940254e-07,5.102584e-07,7.378811e-07,7.987060e-07,1.004507e-06,1.167084e-06,1.300210e-06,1.578086e-06,1.617003e-06,1.948905e-06,2.016666e-06,2.291160e-06,2.471844e-06,2.639662e-06,2.934493e-06,2.990679e-06,3.340774e-06,3.396490e-06,3.686809e-06,3.850628e-06,4.025985e-06,4.290748e-06,4.355883e-06,4.674489e-06,4.711883e-06,4.980199e-06,5.110300e-06,5.271804e-06,5.483460e-06,5.548462e-06,5.809663e-06,5.829883e-06,6.055181e-06,6.148994e-06,6.285034e-06,6.440939e-06,6.499431e-06,6.698729e-06,6.706394e-06,6.883410e-06,6.946424e-06,7.054041e-06,7.162362e-06,7.211246e-06,7.355685e-06,7.488040e-06,7.527952e-06,7.608993e-06,7.680733e-06,7.719222e-06,7.815567e-06,7.819389e-06,7.910135e-06,7.933940e-06,7.992076e-06,8.037262e-06,8.065803e-06,8.126855e-06,8.131872e-06,8.190809e-06,8.203949e-06,8.243111e-06,8.269677e-06,8.289244e-06,8.325087e-06,8.329647e-06,8.364728e-06,8.371140e-06,8.394870e-06,8.408712e-06,8.420430e-06,8.438604e-06,8.441741e-06,8.459112e-06,8.461545e-06,8.472832e-06,8.478201e-06,8.483170e-06,8.489175e-06,8.490377e-06,8.494683e-06,8.495016e-06,8.496307e-06,8.496224e-06,8.495449e-06,8.493254e-06,8.492297e-06,8.487025e-06,8.486517e-06,8.479795e-06,8.476389e-06,8.470758e-06,8.463212e-06,8.460055e-06,8.447815e-06,8.447295e-06,8.434161e-06,8.428922e-06,8.419207e-06,8.408349e-06,8.403057e-06,8.385811e-06,8.367559e-06,8.361520e-06,8.348388e-06,8.335672e-06,8.328376e-06,8.308444e-06,8.307599e-06,8.286125e-06,8.279996e-06,8.264019e-06,8.250477e-06,8.241341e-06,8.220022e-06,8.218149e-06,8.194493e-06,8.188752e-06,8.170424e-06,8.156782e-06,8.145987e-06,8.124212e-06,8.121225e-06,8.096179e-06,8.091138e-06,8.070884e-06,8.057645e-06,8.045377e-06,8.023811e-06,8.019690e-06,7.993853e-06,7.989707e-06,7.967894e-06,7.955399e-06,7.941841e-06,7.920946e-06,7.915717e-06,7.889546e-06,7.886404e-06,7.863350e-06,7.851821e-06,7.837149e-06,7.817244e-06,7.810961e-06,7.784805e-06,7.782714e-06,7.758696e-06,7.748269e-06,7.732650e-06,7.713944e-06,7.706681e-06,7.680802e-06,7.679769e-06,7.655026e-06,7.645774e-06,7.629364e-06,7.611984e-06,7.603826e-06,7.578423e-06,7.545112e-06,7.512071e-06,7.479317e-06,7.446865e-06,7.414730e-06,7.382924e-06,7.351458e-06,7.320342e-06,7.289585e-06,7.259194e-06,7.229175e-06,7.199535e-06,7.170279e-06,7.141409e-06,7.112930e-06,7.084844e-06,7.057153e-06,7.029858e-06,7.002960e-06,6.976459e-06,6.950356e-06,6.924649e-06,6.899338e-06,6.874421e-06
0.000000e+00,2.486165e-10,9.668221e-10,7.265838e-09,2.764548e-08,5.101725e-08,1.926802e-07,2.021879e-07,5.917136e-07,7.704963e-07,1.435490e-06,2.284656e-06,3.040082e-06,5.489110e-06,5.755172e-06,9.904966e-06,1.114489e-05,1.575037e-05,1.983831e-05,2.348231e-05,3.194976e-05,3.322857e-05,4.506323e-05,4.768403e-05,5.901503e-05,6.710463e-05,7.507357e-05,9.015895e-05,9.319401e-05,1.133009e-04,1.166959e-04,1.352918e-04,1.464804e-04,1.590407e-04,1.792083e-04,1.844020e-04,2.112144e-04,2.145213e-04,2.393056e-04,2.520246e-04,2.684956e-04,2.913026e-04,2.986018e-04,3.294421e-04,3.319357e-04,3.608386e-04,3.735143e-04,3.926202e-04,4.156502e-04,4.246252e-04,4.567025e-04,4.579851e-04,4.887133e-04,5.001962e-04,5.205314e-04,5.419994e-04,5.520437e-04,5.831501e-04,6.137631e-04,6.234424e-04,6.438073e-04,6.627072e-04,6.732189e-04,7.008091e-04,7.019443e-04,7.299400e-04,7.376431e-04,7.571712e-04,7.731315e-04,7.836111e-04,8.072197e-04,8.092398e-04,8.340441e-04,8.398734e-04,8.580158e-04,8.710751e-04,8.811520e-04,9.008214e-04,9.034537e-04,9.249255e-04,9.291208e-04,9.455749e-04,9.559910e-04,9.654123e-04,9.814572e-04,9.844500e-04,1.002702e-03,1.005551e-03,1.020184e-03,1.028307e-03,1.036913e-03,1.049765e-03,1.052906e-03,1.068182e-03,1.069968e-03,1.082759e-03,1.088957e-03,1.096657e-03,1.106777e-03,1.109895e-03,1.122493e-03,1.123474e-03,1.134471e-03,1.139092e-03,1.145847e-03,1.153676e-03,1.156641e-03,1.166873e-03,1.167271e-03,1.176561e-03,1.179919e-03,1.185724e-03,1.191664e-03,1.194380e-03,1.202547e-03,1.210243e-03,1.212609e-03,1.217485e-03,1.221889e-03,1.224290e-03,1.230426e-03,1.230673e-03,1.236652e-03,1.238256e-03,1.242241e-03,1.245415e-03,1.247457e-03,1.251937e-03,1.252312e-03,1.256822e-03,1.257855e-03,1.261001e-03,1.263202e-03,1.264862e-03,1.268008e-03,1.268419e-03,1.271683e-03,1.272301e-03,1.274667e-03,1.276112e-03,1.277383e-03,1.279465e-03,1.279842e-03,1.282056e-03,1.282388e-03,1.284035e-03,1.284905e-03,1.285790e-03,1.287039e-03,1.287331e-03,1.288667e-03,1.288814e-03,1.289807e-03,1.290250e-03,1.290762e-03,1.291368e-03,1.291539e-03,1.292147e-03,1.292188e-03,1.292594e-03,1.292729e-03,1.292887e-03,1.293008e-03,1.293035e-03,1.293045e-03,1.293042e-03,1.292923e-03,1.292848e-03,1.292676e-03,1.292441e-03,1.292312e-03,1.291835e-03,1.291044e-03,1.290082e-03,1.288961e-03,1.287693e-03,1.286289e-03,1.284759e-03,1.283115e-03,1.281365e-03,1.279518e-03,1.277584e-03,1.275570e-03,1.273484e-03,1.271332e-03,1.269123e-03,1.266862e-03,1.264555e-03,1.262209e-03,1.259828e-03,1.257417e-03,1.254982e-03,1.252526e-03,1.250055e-03,1.247571e-03,1.245079e-03
0.000000e+00,8.939945e-11,2.119603e-10,7.569390e-10,1.755399e-09,2.581773e-09,5.965283e-09,6.149260e-09,1.210835e-08,1.430603e-08,2.121789e-08,2.854159e-08,3.429975e-08,5.037575e-08,5.196245e-08,7.425590e-08,8.025357e-08,1.007660e-07,1.172622e-07,1.309880e-07,1.603193e-07,1.645034e-07,2.009756e-07,2.085983e-07,2.401063e-07,2.614084e-07,2.816040e-07,3.180724e-07,3.251690e-07,3.704897e-07,3.778825e-07,4.172447e-07,4.401011e-07,4.651090e-07,5.039823e-07,5.137604e-07,5.628869e-07,5.687997e-07,6.121928e-07,6.338730e-07,6.614049e-07,6.985892e-07,7.102743e-07,7.585791e-07,7.624131e-07,8.061255e-07,8.248937e-07,8.527475e-07,8.856634e-07,8.983053e-07,9.426849e-07,9.444342e-07,9.857948e-07,1.000990e-06,1.027565e-06,1.055176e-06,1.067944e-06,1.106896e-06,1.144400e-06,1.156094e-06,1.180447e-06,1.202753e-06,1.215039e-06,1.246887e-06,1.248186e-06,1.279903e-06,1.288531e-06,1.310215e-06,1.327738e-06,1.339148e-06,1.364575e-06,1.366733e-06,1.393004e-06,1.399117e-06,1.417996e-06,1.431447e-06,1.441747e-06,1.461651e-06,1.464294e-06,1.485677e-06,1.489817e-06,1.505934e-06,1.516036e-06,1.525105e-06,1.540397e-06,1.543227e-06,1.560340e-06,1.562987e-06,1.576480e-06,1.583892e-06,1.591684e-06,1.603198e-06,1.605988e-06,1.619428e-06,1.620984e-06,1.632037e-06,1.637331e-06,1.643849e-06,1.652313e-06,1.654896e-06,1.665210e-06,1.666004e-06,1.674820e-06,1.678474e-06,1.683757e-06,1.689789e-06,1.692047e-06,1.699719e-06,1.700014e-06,1.706799e-06,1.709208e-06,1.713313e-06,1.717431e-06,1.719285e-06,1.724738e-06,1.729696e-06,1.731181e-06,1.734180e-06,1.736811e-06,1.738211e-06,1.741674e-06,1.741810e-06,1.744996e-06,1.745817e-06,1.747788e-06,1.749282e-06,1.750204e-06,1.752109e-06,1.752261e-06,1.753976e-06,1.754338e-06,1.755364e-06,1.756005e-06,1.756442e-06,1.757145e-06,1.757223e-06,1.757723e-06,1.757790e-06,1.757953e-06,1.757972e-06,1.757929e-06,1.757720e-06,1.757661e-06,1.757162e-06,1.757061e-06,1.756443e-06,1.756024e-06,1.755516e-06,1.754631e-06,1.754391e-06,1.753077e-06,1.752908e-06,1.751586e-06,1.750875e-06,1.749925e-06,1.748556e-06,1.748105e-06,1.746132e-06,1.745968e-06,1.744017e-06,1.743132e-06,1.741766e-06,1.740065e-06,1.739387e-06,1.736887e-06,1.736784e-06,1.734273e-06,1.733305e-06,1.731552e-06,1.729643e-06,1.728729e-06,1.725812e-06,1.721826e-06,1.717697e-06,1.713437e-06,1.709058e-06,1.704569e-06,1.699982e-06,1.695306e-06,1.690549e-06,1.685720e-06,1.680827e-06,1.675877e-06,1.670878e-06,1.665836e-06,1.660757e-06,1.655648e-06,1.650513e-06,1.645358e-06,1.640188e-06,1.635007e-06,1.629820e-06,1.624630e-06,1.619442e-06,1.614260e-06,1.609085e-06
0.000000e+00,5.581637e-10,2.186414e-09,1.664493e-08,6.384506e-08,1.181047e-07,4.450019e-07,4.667759e-07,1.342298e-06,1.735231e-06,3.164674e-06,4.948412e-06,6.519292e-06,1.162300e-05,1.218286e-05,2.113346e-05,2.389524e-05,3.451203e-05,4.438713e-05,5.351906e-05,7.580066e-05,7.928248e-05,1.127518e-04,1.204377e-04,1.546413e-04,1.799147e-04,2.054130e-04,2.550921e-04,2.652856e-04,3.342543e-04,3.461225e-04,4.121173e-04,4.525472e-04,4.985022e-04,5.734038e-04,5.928938e-04,6.946596e-04,7.073334e-04,8.030746e-04,8.526809e-04,9.173445e-04,1.007589e-03,1.036628e-03,1.160055e-03,1.170082e-03,1.286749e-03,1.338145e-03,1.415837e-03,1.509785e-03,1.546470e-03,1.677831e-03,1.683089e-03,1.809145e-03,1.856266e-03,1.939691e-03,2.027682e-03,2.068803e-03,2.195876e-03,2.320367e-03,2.359580e-03,2.441801e-03,2.517720e-03,2.559763e-03,2.669414e-03,2.673902e-03,2.783926e-03,2.813962e-03,2.889600e-03,2.950840e-03,2.990744e-03,3.079678e-03,3.087223e-03,3.178951e-03,3.200253e-03,3.265883e-03,3.312464e-03,3.348008e-03,3.416320e-03,3.425350e-03,3.497961e-03,3.511922e-03,3.565917e-03,3.599446e-03,3.629316e-03,3.679133e-03,3.688273e-03,3.742918e-03,3.751270e-03,3.793393e-03,3.816183e-03,3.839848e-03,3.874223e-03,3.882440e-03,3.921333e-03,3.925760e-03,3.956691e-03,3.971172e-03,3.988681e-03,4.010843e-03,4.017469e-03,4.043220e-03,4.045154e-03,4.066097e-03,4.074478e-03,4.086259e-03,4.099182e-03,4.103862e-03,4.119057e-03,4.119617e-03,4.131991e-03,4.136121e-03,4.142804e-03,4.149016e-03,4.151633e-03,4.158608e-03,4.163853e-03,4.165186e-03,4.167487e-03,4.169019e-03,4.169622e-03,4.170362e-03,4.170367e-03,4.169822e-03,4.169451e-03,4.168084e-03,4.166506e-03,4.165244e-03,4.161731e-03,4.161387e-03,4.156595e-03,4.155314e-03,4.150943e-03,4.147429e-03,4.144502e-03,4.138236e-03,4.137341e-03,4.129521e-03,4.127884e-03,4.121103e-03,4.116506e-03,4.112140e-03,4.104228e-03,4.102684e-03,4.092784e-03,4.091162e-03,4.082485e-03,4.077412e-03,4.071829e-03,4.063072e-03,4.060854e-03,4.049597e-03,4.048228e-03,4.038092e-03,4.032959e-03,4.026370e-03,4.017335e-03,4.014461e-03,4.002392e-03,4.001420e-03,3.990188e-03,3.985274e-03,3.977873e-03,3.968949e-03,3.965468e-03,3.952993e-03,3.952493e-03,3.940468e-03,3.935949e-03,3.927908e-03,3.919357e-03,3.915331e-03,3.902751e-03,3.886162e-03,3.869620e-03,3.853149e-03,3.836773e-03,3.820511e-03,3.804381e-03,3.788400e-03,3.772582e-03,3.756939e-03,3.741482e-03,3.726221e-03,3.711164e-03,3.696317e-03,3.681688e-03,3.667281e-03,3.653101e-03,3.639150e-03,3.625432e-03,3.611948e-03,3.598701e-03,3.585690e-03,3.572917e-03,3.560382e-03,3.548083e-03
0.000000e+00,3.118990e-10,1.121905e-09,7.198694e-09,2.379193e-08,4.067164e-08,1.261494e-07,1.313163e-07,3.156858e-07,3.896011e-07,6.350350e-07,9.104416e-07,1.135399e-06,1.796148e-06,1.863784e-06,2.856023e-06,3.135321e-06,4.124205e-06,4.951394e-06,5.657090e-06,7.205930e-06,7.430530e-06,9.416872e-06,9.837294e-06,1.158923e-05,1.278388e-05,1.392218e-05,1.598799e-05,1.639116e-05,1.897181e-05,1.939344e-05,2.163963e-05,2.294395e-05,2.437016e-05,2.658353e-05,2.713933e-05,2.992389e-05,3.025801e-05,3.270196e-05,3.391699e-05,3.545340e-05,3.751550e-05,3.816017e-05,4.080646e-05,4.101513e-05,4.337885e-05,4.438454e-05,4.586621e-05,4.759937e-05,4.825962e-05,5.055229e-05,5.064182e-05,5.273934e-05,5.350017e-05,5.481762e-05,5.616780e-05,5.678542e-05,5.864229e-05,6.038885e-05,6.092467e-05,6.202657e-05,6.301857e-05,6.355763e-05,6.492965e-05,6.498478e-05,6.631117e-05,6.666496e-05,6.754012e-05,6.823214e-05,6.867508e-05,6.963942e-05,6.971976e-05,7.067812e-05,7.089574e-05,7.155425e-05,7.201046e-05,7.235214e-05,7.299263e-05,7.307566e-05,7.372864e-05,7.385110e-05,7.431475e-05,7.459428e-05,7.483754e-05,7.523027e-05,7.530045e-05,7.570681e-05,7.576680e-05,7.605982e-05,7.621120e-05,7.636250e-05,7.657038e-05,7.661778e-05,7.682849e-05,7.685091e-05,7.699733e-05,7.705901e-05,7.712685e-05,7.720049e-05,7.721948e-05,7.727753e-05,7.728075e-05,7.730320e-05,7.730487e-05,7.729858e-05,7.727762e-05,7.726566e-05,7.720631e-05,7.720341e-05,7.712231e-05,7.708637e-05,7.701535e-05,7.693031e-05,7.688701e-05,7.673881e-05,7.657218e-05,7.651519e-05,7.638849e-05,7.626255e-05,7.618900e-05,7.598375e-05,7.597492e-05,7.574739e-05,7.568142e-05,7.550749e-05,7.535803e-05,7.525623e-05,7.501586e-05,7.499456e-05,7.472340e-05,7.465700e-05,7.444358e-05,7.428341e-05,7.415592e-05,7.389688e-05,7.386116e-05,7.356001e-05,7.349907e-05,7.325314e-05,7.309152e-05,7.294119e-05,7.267564e-05,7.262473e-05,7.230432e-05,7.225272e-05,7.198048e-05,7.182397e-05,7.165371e-05,7.139049e-05,7.132446e-05,7.099316e-05,7.095328e-05,7.066021e-05,7.051329e-05,7.032599e-05,7.007135e-05,6.999085e-05,6.965513e-05,6.962826e-05,6.931913e-05,6.918471e-05,6.898313e-05,6.874138e-05,6.864742e-05,6.831223e-05,6.829884e-05,6.797780e-05,6.785763e-05,6.764435e-05,6.741826e-05,6.731207e-05,6.698116e-05,6.654674e-05,6.611537e-05,6.568737e-05,6.526303e-05,6.484263e-05,6.442639e-05,6.401452e-05,6.360721e-05,6.320462e-05,6.280689e-05,6.241415e-05,6.202648e-05,6.164399e-05,6.126675e-05,6.089481e-05,6.052822e-05,6.016701e-05,5.981121e-05,5.946084e-05,5.911589e-05,5.877636e-05,5.844225e-05,5.811354e-05,5.779019e-05
0.000000e+00,2.911013e-10,8.534899e-10,3.913783e-09,1.027875e-08,1.584432e-08,3.972257e-08,4.104845e-08,8.463561e-08,1.008838e-07,1.522375e-07,2.069152e-07,2.500955e-07,3.718936e-07,3.840344e-07,5.571117e-07,6.044496e-07,7.685437e-07,9.026543e-07,1.015481e-06,1.259788e-06,1.294956e-06,1.604448e-06,1.669750e-06,1.941734e-06,2.127389e-06,2.304642e-06,2.627618e-06,2.690885e-06,3.097994e-06,3.164892e-06,3.523300e-06,3.733085e-06,3.963973e-06,4.325597e-06,4.417066e-06,4.879579e-06,4.935572e-06,5.348526e-06,5.556147e-06,5.820998e-06,6.180723e-06,6.294223e-06,6.765600e-06,6.803157e-06,7.232737e-06,7.417912e-06,7.693474e-06,8.020158e-06,8.145897e-06,8.588339e-06,8.605809e-06,9.019379e-06,9.171527e-06,9.437833e-06,9.714694e-06,9.842742e-06,1.023337e-05,1.060915e-05,1.072618e-05,1.096964e-05,1.119223e-05,1.131463e-05,1.163112e-05,1.164399e-05,1.195773e-05,1.204278e-05,1.225593e-05,1.242746e-05,1.253877e-05,1.278565e-05,1.280652e-05,1.305946e-05,1.311800e-05,1.329795e-05,1.342533e-05,1.352237e-05,1.370855e-05,1.373313e-05,1.393066e-05,1.396862e-05,1.411541e-05,1.420657e-05,1.428782e-05,1.442345e-05,1.444836e-05,1.459748e-05,1.462031e-05,1.473564e-05,1.479820e-05,1.486329e-05,1.495814e-05,1.498087e-05,1.508881e-05,1.510114e-05,1.518755e-05,1.522819e-05,1.527750e-05,1.534022e-05,1.535905e-05,1.543260e-05,1.543815e-05,1.549854e-05,1.552286e-05,1.555722e-05,1.559517e-05,1.560899e-05,1.565421e-05,1.565589e-05,1.569320e-05,1.570577e-05,1.572627e-05,1.574554e-05,1.575373e-05,1.577587e-05,1.579297e-05,1.579743e-05,1.580531e-05,1.581081e-05,1.581313e-05,1.581661e-05,1.581668e-05,1.581620e-05,1.581538e-05,1.581192e-05,1.580762e-05,1.580405e-05,1.579383e-05,1.579281e-05,1.577838e-05,1.577446e-05,1.576096e-05,1.574996e-05,1.574072e-05,1.572073e-05,1.571785e-05,1.569250e-05,1.568715e-05,1.566483e-05,1.564958e-05,1.563499e-05,1.560836e-05,1.560313e-05,1.556938e-05,1.556381e-05,1.553386e-05,1.551623e-05,1.549671e-05,1.546589e-05,1.545804e-05,1.541796e-05,1.541306e-05,1.537658e-05,1.535798e-05,1.533400e-05,1.530089e-05,1.529031e-05,1.524561e-05,1.524200e-05,1.519999e-05,1.518150e-05,1.515352e-05,1.511959e-05,1.510629e-05,1.505837e-05,1.505644e-05,1.500983e-05,1.499222e-05,1.496074e-05,1.492707e-05,1.491116e-05,1.486115e-05,1.479458e-05,1.472748e-05,1.465997e-05,1.459216e-05,1.452415e-05,1.445602e-05,1.438786e-05,1.431975e-05,1.425177e-05,1.418397e-05,1.411642e-05,1.404918e-05,1.398230e-05,1.391583e-05,1.384980e-05,1.378427e-05,1.371926e-05,1.365481e-05,1.359095e-05,1.352771e-05,1.346511e-05,1.340316e-05,1.334190e-05,1.328134e-05
0.000000e+00,3.687686e-11,8.525030e-11,2.959346e-10,6.773086e-10,9.919847e-10,2.284611e-09,2.355248e-09,4.664841e-09,5.525317e-09,8.241751e-09,1.109541e-08,1.329323e-08,1.915175e-08,1.970836e-08,2.720005e-08,2.912994e-08,3.552994e-08,4.049725e-08,4.453232e-08,5.290622e-08,5.407603e-08,6.404091e-08,6.607409e-08,7.430989e-08,7.973184e-08,8.476874e-08,9.362113e-08,9.530874e-08,1.058298e-07,1.075053e-07,1.162431e-07,1.211803e-07,1.264723e-07,1.344802e-07,1.364543e-07,1.461388e-07,1.472790e-07,1.554875e-07,1.594872e-07,1.644730e-07,1.710473e-07,1.730768e-07,1.812883e-07,1.819282e-07,1.891036e-07,1.921188e-07,1.965235e-07,2.016237e-07,2.035531e-07,2.102004e-07,2.104585e-07,2.164757e-07,2.186460e-07,2.223910e-07,2.262143e-07,2.279592e-07,2.331940e-07,2.381093e-07,2.396171e-07,2.427194e-07,2.455161e-07,2.470382e-07,2.509232e-07,2.510797e-07,2.548572e-07,2.558694e-07,2.583839e-07,2.603849e-07,2.616725e-07,2.644982e-07,2.647352e-07,2.675835e-07,2.682365e-07,2.702287e-07,2.716253e-07,2.726815e-07,2.746889e-07,2.749521e-07,2.770501e-07,2.774499e-07,2.789848e-07,2.799293e-07,2.807650e-07,2.821469e-07,2.823989e-07,2.838944e-07,2.841214e-07,2.852591e-07,2.858698e-07,2.865001e-07,2.874083e-07,2.876241e-07,2.886373e-07,2.887518e-07,2.895460e-07,2.899142e-07,2.903558e-07,2.909085e-07,2.910722e-07,2.917002e-07,2.917468e-07,2.922447e-07,2.924402e-07,2.927103e-07,2.929992e-07,2.931014e-07,2.934221e-07,2.934335e-07,2.936762e-07,2.937522e-07,2.938676e-07,2.939636e-07,2.939996e-07,2.940756e-07,2.940987e-07,2.940954e-07,2.940719e-07,2.940299e-07,2.939981e-07,2.938854e-07,2.938798e-07,2.937197e-07,2.936677e-07,2.935201e-07,2.933823e-07,2.932832e-07,2.930343e-07,2.930113e-07,2.927064e-07,2.926285e-07,2.923704e-07,2.921694e-07,2.920052e-07,2.916610e-07,2.916125e-07,2.911940e-07,2.911073e-07,2.907512e-07,2.905118e-07,2.902856e-07,2.898779e-07,2.897986e-07,2.892917e-07,2.892088e-07,2.887660e-07,2.885073e-07,2.882228e-07,2.877764e-07,2.876632e-07,2.870883e-07,2.870184e-07,2.864992e-07,2.862358e-07,2.858969e-07,2.854309e-07,2.852823e-07,2.846562e-07,2.846057e-07,2.840196e-07,2.837622e-07,2.833733e-07,2.829023e-07,2.827180e-07,2.820544e-07,2.820277e-07,2.813833e-07,2.811399e-07,2.807053e-07,2.802406e-07,2.800210e-07,2.793310e-07,2.784126e-07,2.774865e-07,2.765539e-07,2.756160e-07,2.746736e-07,2.737278e-07,2.727795e-07,2.718294e-07,2.708784e-07,2.699272e-07,2.689764e-07,2.680268e-07,2.670788e-07,2.661331e-07,2.651902e-07,2.642505e-07,2.633145e-07,2.623826e-07,2.614553e-07,2.605328e-07,2.596155e-07,2.587037e-07,2.577977e-07,2.568978e-07
0.000000e+00,3.441471e-12,7.877709e-12,2.707771e-11,6.157133e-11,8.979374e-11,2.034469e-10,2.095552e-10,4.041943e-10,4.746021e-10,6.921886e-10,9.178825e-10,1.093055e-09,1.578476e-09,1.626449e-09,2.308594e-09,2.495487e-09,3.146571e-09,3.682559e-09,4.135696e-09,5.121240e-09,5.263389e-09,6.514889e-09,6.778788e-09,7.876158e-09,8.623090e-09,9.334320e-09,1.062516e-08,1.087722e-08,1.249300e-08,1.275750e-08,1.416982e-08,1.499290e-08,1.589586e-08,1.730422e-08,1.765936e-08,1.944881e-08,1.966475e-08,2.125308e-08,2.204892e-08,2.306165e-08,2.443297e-08,2.486470e-08,2.665327e-08,2.679548e-08,2.841930e-08,2.911779e-08,3.015572e-08,3.138409e-08,3.185633e-08,3.351587e-08,3.358134e-08,3.513008e-08,3.569939e-08,3.669544e-08,3.773056e-08,3.820923e-08,3.966945e-08,4.107469e-08,4.151259e-08,4.242408e-08,4.325821e-08,4.371727e-08,4.490587e-08,4.495428e-08,4.613546e-08,4.645627e-08,4.726146e-08,4.791094e-08,4.833317e-08,4.927210e-08,4.935165e-08,5.031814e-08,5.054251e-08,5.123399e-08,5.172527e-08,5.210061e-08,5.282372e-08,5.291952e-08,5.369224e-08,5.384138e-08,5.442035e-08,5.478185e-08,5.510541e-08,5.564876e-08,5.574901e-08,5.635270e-08,5.644570e-08,5.691804e-08,5.717622e-08,5.744654e-08,5.784381e-08,5.793968e-08,5.839893e-08,5.845183e-08,5.882570e-08,5.900354e-08,5.922136e-08,5.950209e-08,5.958727e-08,5.992470e-08,5.995050e-08,6.023492e-08,6.035166e-08,6.051914e-08,6.070833e-08,6.077853e-08,6.101421e-08,6.102316e-08,6.122727e-08,6.129863e-08,6.141875e-08,6.153716e-08,6.158967e-08,6.174099e-08,6.187364e-08,6.191229e-08,6.198851e-08,6.205310e-08,6.208647e-08,6.216534e-08,6.216832e-08,6.223486e-08,6.225085e-08,6.228685e-08,6.231136e-08,6.232501e-08,6.234851e-08,6.235005e-08,6.236261e-08,6.236385e-08,6.236335e-08,6.235883e-08,6.235287e-08,6.233484e-08,6.233176e-08,6.230058e-08,6.229319e-08,6.225987e-08,6.223510e-08,6.221013e-08,6.216174e-08,6.215186e-08,6.208553e-08,6.207420e-08,6.201158e-08,6.197351e-08,6.193045e-08,6.186065e-08,6.184255e-08,6.174826e-08,6.173654e-08,6.164797e-08,6.160203e-08,6.154203e-08,6.145795e-08,6.143078e-08,6.131455e-08,6.130505e-08,6.119366e-08,6.114406e-08,6.106840e-08,6.097566e-08,6.093905e-08,6.080589e-08,6.080049e-08,6.066918e-08,6.061914e-08,6.052917e-08,6.043219e-08,6.038608e-08,6.024015e-08,6.004354e-08,5.984281e-08,5.963841e-08,5.943075e-08,5.922022e-08,5.900718e-08,5.879198e-08,5.857492e-08,5.835632e-08,5.813645e-08,5.791557e-08,5.769394e-08,5.747177e-08,5.724928e-08,5.702669e-08,5.680416e-08,5.658187e-08,5.636000e-08,5.613868e-08,5.591806e-08,5.569828e-08,5.547944e-08,5.526167e-08,5.504507e-08
0.000000e+00,1.802637e-10,6.345688e-10,3.906208e-09,1.247201e-08,2.094294e-08,6.218323e-08,6.461880e-08,1.490267e-07,1.818569e-07,2.880288e-07,4.032740e-07,4.951506e-07,7.572150e-07,7.835830e-07,1.165767e-06,1.272669e-06,1.652111e-06,1.972467e-06,2.248619e-06,2.863887e-06,2.954036e-06,3.758401e-06,3.929727e-06,4.644594e-06,5.130969e-06,5.592116e-06,6.420581e-06,6.580755e-06,7.592671e-06,7.755704e-06,8.613007e-06,9.102120e-06,9.629690e-06,1.043379e-05,1.063298e-05,1.161506e-05,1.173117e-05,1.256969e-05,1.297974e-05,1.349202e-05,1.416907e-05,1.437835e-05,1.522601e-05,1.529209e-05,1.603324e-05,1.634456e-05,1.679903e-05,1.732451e-05,1.752301e-05,1.820534e-05,1.823178e-05,1.884663e-05,1.906761e-05,1.944779e-05,1.983425e-05,2.001001e-05,2.053466e-05,2.102325e-05,2.117224e-05,2.147736e-05,2.175064e-05,2.189861e-05,2.227364e-05,2.228866e-05,2.264913e-05,2.274498e-05,2.298163e-05,2.316836e-05,2.328772e-05,2.354730e-05,2.356891e-05,2.382666e-05,2.388518e-05,2.406234e-05,2.418519e-05,2.427730e-05,2.445032e-05,2.447279e-05,2.465000e-05,2.468335e-05,2.481007e-05,2.488688e-05,2.495406e-05,2.506333e-05,2.508299e-05,2.519780e-05,2.521492e-05,2.529939e-05,2.534371e-05,2.538860e-05,2.545159e-05,2.546623e-05,2.553302e-05,2.554034e-05,2.558966e-05,2.561154e-05,2.563682e-05,2.566670e-05,2.567511e-05,2.570512e-05,2.570717e-05,2.572737e-05,2.573423e-05,2.574240e-05,2.574901e-05,2.575067e-05,2.575264e-05,2.575259e-05,2.574872e-05,2.574595e-05,2.573932e-05,2.572998e-05,2.572480e-05,2.570552e-05,2.568180e-05,2.567333e-05,2.565396e-05,2.563411e-05,2.562228e-05,2.558851e-05,2.558703e-05,2.554847e-05,2.553711e-05,2.550684e-05,2.548048e-05,2.546236e-05,2.541911e-05,2.541525e-05,2.536571e-05,2.535348e-05,2.531392e-05,2.528400e-05,2.526005e-05,2.521107e-05,2.520428e-05,2.514676e-05,2.513506e-05,2.508763e-05,2.505630e-05,2.502704e-05,2.497510e-05,2.496511e-05,2.490196e-05,2.489175e-05,2.483771e-05,2.480652e-05,2.477247e-05,2.471963e-05,2.470634e-05,2.463941e-05,2.463133e-05,2.457177e-05,2.454181e-05,2.450351e-05,2.445126e-05,2.443471e-05,2.436543e-05,2.435987e-05,2.429576e-05,2.426780e-05,2.422576e-05,2.417519e-05,2.415549e-05,2.408500e-05,2.408218e-05,2.401436e-05,2.398890e-05,2.394361e-05,2.389547e-05,2.387281e-05,2.380200e-05,2.370858e-05,2.361531e-05,2.352227e-05,2.342954e-05,2.333719e-05,2.324528e-05,2.315388e-05,2.306305e-05,2.297282e-05,2.288325e-05,2.279437e-05,2.270623e-05,2.261886e-05,2.253229e-05,2.244655e-05,2.236167e-05,2.227765e-05,2.219454e-05,2.211234e-05,2.203106e-05,2.195073e-05,2.187136e-05,2.179294e-05,2.171550e-05
0.000000e+00,1.468762e-10,5.419705e-10,3.649491e-09,1.253306e-08,2.182886e-08,7.048040e-08,7.346851e-08,1.815087e-07,2.251933e-07,3.704673e-07,5.330002e-07,6.651204e-07,1.050426e-06,1.089719e-06,1.666089e-06,1.828891e-06,2.409295e-06,2.900298e-06,3.323162e-06,4.262526e-06,4.399847e-06,5.623302e-06,5.883868e-06,6.973387e-06,7.718365e-06,8.428664e-06,9.716735e-06,9.967755e-06,1.156982e-05,1.183063e-05,1.321467e-05,1.401368e-05,1.488293e-05,1.622194e-05,1.655612e-05,1.821692e-05,1.841462e-05,1.984949e-05,2.055514e-05,2.143962e-05,2.261212e-05,2.297504e-05,2.444548e-05,2.456005e-05,2.584272e-05,2.637967e-05,2.716058e-05,2.805781e-05,2.839478e-05,2.954282e-05,2.958693e-05,3.060377e-05,3.096444e-05,3.157805e-05,3.219181e-05,3.246721e-05,3.327373e-05,3.400079e-05,3.421727e-05,3.465213e-05,3.503112e-05,3.523182e-05,3.572492e-05,3.574418e-05,3.619363e-05,3.630881e-05,3.658460e-05,3.679294e-05,3.692146e-05,3.718722e-05,3.720844e-05,3.744961e-05,3.750111e-05,3.764885e-05,3.774347e-05,3.780980e-05,3.792249e-05,3.793589e-05,3.803031e-05,3.804565e-05,3.809600e-05,3.811973e-05,3.813571e-05,3.815082e-05,3.815194e-05,3.814700e-05,3.814438e-05,3.812298e-05,3.810526e-05,3.808183e-05,3.803776e-05,3.802530e-05,3.795498e-05,3.794568e-05,3.787232e-05,3.783239e-05,3.777865e-05,3.770084e-05,3.767517e-05,3.756296e-05,3.755364e-05,3.744301e-05,3.739307e-05,3.731622e-05,3.722115e-05,3.718339e-05,3.704527e-05,3.703965e-05,3.690253e-05,3.685013e-05,3.675577e-05,3.665397e-05,3.660555e-05,3.645236e-05,3.629667e-05,3.624639e-05,3.613888e-05,3.603697e-05,3.597937e-05,3.582495e-05,3.581849e-05,3.565655e-05,3.561105e-05,3.549382e-05,3.539591e-05,3.533056e-05,3.518011e-05,3.516702e-05,3.500340e-05,3.496414e-05,3.483989e-05,3.474845e-05,3.467668e-05,3.453343e-05,3.451393e-05,3.435177e-05,3.431942e-05,3.419034e-05,3.410673e-05,3.402977e-05,3.389562e-05,3.387015e-05,3.371160e-05,3.368633e-05,3.355419e-05,3.347906e-05,3.339800e-05,3.327399e-05,3.324312e-05,3.308960e-05,3.307128e-05,3.293751e-05,3.287105e-05,3.278689e-05,3.267343e-05,3.263778e-05,3.249025e-05,3.247851e-05,3.234430e-05,3.228638e-05,3.219999e-05,3.209711e-05,3.205733e-05,3.191636e-05,3.191075e-05,3.177708e-05,3.172736e-05,3.163952e-05,3.154696e-05,3.150368e-05,3.136959e-05,3.119527e-05,3.102400e-05,3.085580e-05,3.069067e-05,3.052859e-05,3.036957e-05,3.021357e-05,3.006060e-05,2.991062e-05,2.976362e-05,2.961955e-05,2.947840e-05,2.934013e-05,2.920471e-05,2.907211e-05,2.894227e-05,2.881518e-05,2.869078e-05,2.856904e-05,2.844992e-05,2.833337e-05,2.821936e-05,2.810783e-05,2.799876e-05
0.000000e+00,1.267554e-10,4.621664e-10,3.037979e-09,1.021459e-08,1.759117e-08,5.522619e-08,5.750380e-08,1.383863e-07,1.705164e-07,2.758465e-07,3.917090e-07,4.847760e-07,7.522060e-07,7.792223e-07,1.172007e-06,1.282113e-06,1.673034e-06,2.002577e-06,2.285821e-06,2.912877e-06,3.004214e-06,3.812541e-06,3.983160e-06,4.689384e-06,5.164855e-06,5.612107e-06,6.407329e-06,6.559886e-06,7.514943e-06,7.667408e-06,8.462641e-06,8.911340e-06,9.391092e-06,1.011347e-05,1.029069e-05,1.115376e-05,1.125457e-05,1.197428e-05,1.232061e-05,1.274771e-05,1.330204e-05,1.347089e-05,1.414186e-05,1.419325e-05,1.475976e-05,1.499205e-05,1.532470e-05,1.569917e-05,1.583762e-05,1.630011e-05,1.631759e-05,1.671429e-05,1.685205e-05,1.708268e-05,1.730843e-05,1.740804e-05,1.769329e-05,1.794140e-05,1.801344e-05,1.815534e-05,1.827567e-05,1.833800e-05,1.848651e-05,1.849216e-05,1.862047e-05,1.865210e-05,1.872539e-05,1.877808e-05,1.880923e-05,1.886957e-05,1.887410e-05,1.892197e-05,1.893113e-05,1.895461e-05,1.896684e-05,1.897363e-05,1.898028e-05,1.898051e-05,1.897655e-05,1.897457e-05,1.896294e-05,1.895241e-05,1.894074e-05,1.891615e-05,1.891090e-05,1.887428e-05,1.886784e-05,1.883163e-05,1.880922e-05,1.878364e-05,1.874182e-05,1.873093e-05,1.867402e-05,1.866694e-05,1.861342e-05,1.858570e-05,1.854956e-05,1.849910e-05,1.848285e-05,1.841363e-05,1.840799e-05,1.834223e-05,1.831312e-05,1.826893e-05,1.821513e-05,1.819400e-05,1.811767e-05,1.811459e-05,1.804015e-05,1.801199e-05,1.796165e-05,1.790779e-05,1.788232e-05,1.780235e-05,1.772186e-05,1.769601e-05,1.764099e-05,1.758909e-05,1.755986e-05,1.748183e-05,1.747858e-05,1.739724e-05,1.737447e-05,1.731595e-05,1.726723e-05,1.723479e-05,1.716029e-05,1.715382e-05,1.707312e-05,1.705380e-05,1.699275e-05,1.694791e-05,1.691278e-05,1.684276e-05,1.683324e-05,1.675419e-05,1.673844e-05,1.667567e-05,1.663507e-05,1.659773e-05,1.653272e-05,1.652039e-05,1.644369e-05,1.643148e-05,1.636766e-05,1.633141e-05,1.629232e-05,1.623256e-05,1.621770e-05,1.614382e-05,1.613500e-05,1.607070e-05,1.603877e-05,1.599835e-05,1.594389e-05,1.592679e-05,1.585604e-05,1.585041e-05,1.578609e-05,1.575834e-05,1.571697e-05,1.566772e-05,1.564868e-05,1.558123e-05,1.557855e-05,1.551461e-05,1.549084e-05,1.544885e-05,1.540461e-05,1.538393e-05,1.531986e-05,1.523660e-05,1.515483e-05,1.507453e-05,1.499572e-05,1.491837e-05,1.484249e-05,1.476807e-05,1.469508e-05,1.462352e-05,1.455338e-05,1.448464e-05,1.441729e-05,1.435130e-05,1.428667e-05,1.422337e-05,1.416138e-05,1.410069e-05,1.404128e-05,1.398313e-05,1.392621e-05,1.387051e-05,1.381601e-05,1.376269e-05,1.371052e-05
0.000000e+00,6.304490e-12,1.445741e-11,4.993766e-11,1.142087e-10,1.671872e-10,3.833997e-10,3.951360e-10,7.744549e-10,9.139886e-10,1.351936e-09,1.815485e-09,2.180642e-09,3.210221e-09,3.312985e-09,4.783353e-09,5.187351e-09,6.592582e-09,7.744416e-09,8.714162e-09,1.081192e-08,1.111340e-08,1.375887e-08,1.431512e-08,1.662418e-08,1.819330e-08,1.968631e-08,2.239485e-08,2.292375e-08,2.631552e-08,2.687113e-08,2.984066e-08,3.157395e-08,3.347823e-08,3.645532e-08,3.720755e-08,4.100843e-08,4.146842e-08,4.486155e-08,4.656873e-08,4.874869e-08,5.171523e-08,5.265296e-08,5.655891e-08,5.687103e-08,6.045263e-08,6.200387e-08,6.432175e-08,6.708613e-08,6.815541e-08,7.194420e-08,7.209470e-08,7.568002e-08,7.701060e-08,7.935606e-08,8.181865e-08,8.296659e-08,8.650690e-08,8.997318e-08,9.106624e-08,9.336239e-08,9.548993e-08,9.667219e-08,9.977324e-08,9.990081e-08,1.030470e-07,1.039131e-07,1.061100e-07,1.079077e-07,1.090893e-07,1.117564e-07,1.119849e-07,1.147969e-07,1.154594e-07,1.175257e-07,1.190177e-07,1.201719e-07,1.224328e-07,1.227363e-07,1.252197e-07,1.257067e-07,1.276231e-07,1.288417e-07,1.299478e-07,1.318404e-07,1.321948e-07,1.343655e-07,1.347058e-07,1.364611e-07,1.374407e-07,1.384830e-07,1.400484e-07,1.404326e-07,1.423113e-07,1.425320e-07,1.441205e-07,1.448950e-07,1.458618e-07,1.471406e-07,1.475365e-07,1.491461e-07,1.492722e-07,1.506922e-07,1.512931e-07,1.521761e-07,1.532069e-07,1.535994e-07,1.549634e-07,1.550167e-07,1.562696e-07,1.567260e-07,1.575195e-07,1.583380e-07,1.587145e-07,1.598559e-07,1.609452e-07,1.612830e-07,1.619837e-07,1.626223e-07,1.629728e-07,1.638771e-07,1.639138e-07,1.648080e-07,1.650502e-07,1.656567e-07,1.661447e-07,1.664612e-07,1.671634e-07,1.672228e-07,1.679425e-07,1.681092e-07,1.686218e-07,1.689849e-07,1.692616e-07,1.697931e-07,1.698633e-07,1.704279e-07,1.705364e-07,1.709565e-07,1.712175e-07,1.714502e-07,1.718388e-07,1.719101e-07,1.723373e-07,1.724026e-07,1.727327e-07,1.729115e-07,1.730973e-07,1.733676e-07,1.734322e-07,1.737383e-07,1.737731e-07,1.740165e-07,1.741303e-07,1.742677e-07,1.744411e-07,1.744928e-07,1.746928e-07,1.747077e-07,1.748683e-07,1.749319e-07,1.750203e-07,1.751156e-07,1.751496e-07,1.752569e-07,1.752608e-07,1.753431e-07,1.753690e-07,1.754088e-07,1.754421e-07,1.754548e-07,1.754818e-07,1.754895e-07,1.754668e-07,1.754153e-07,1.753364e-07,1.752314e-07,1.751017e-07,1.749485e-07,1.747732e-07,1.745768e-07,1.743606e-07,1.741257e-07,1.738731e-07,1.736039e-07,1.733189e-07,1.730193e-07,1.727059e-07,1.723795e-07,1.720410e-07,1.716912e-07,1.713309e-07,1.709608e-07,1.705816e-07,1.701941e-07,1.697988e-07
0.000000e+00,2.133767e-10,5.240827e-10,1.941564e-09,4.577424e-09,6.772707e-09,1.581655e-08,1.631005e-08,3.236522e-08,3.831706e-08,5.713164e-08,7.720587e-08,9.306718e-08,1.375262e-07,1.419164e-07,2.033578e-07,2.197725e-07,2.754576e-07,3.197225e-07,3.562160e-07,4.332511e-07,4.441414e-07,5.381175e-07,5.575542e-07,6.371985e-07,6.904399e-07,7.404872e-07,8.298463e-07,8.470876e-07,9.560925e-07,9.736957e-07,1.066596e-06,1.119907e-06,1.177709e-06,1.266470e-06,1.288589e-06,1.398447e-06,1.411527e-06,1.506575e-06,1.553438e-06,1.612345e-06,1.690821e-06,1.715222e-06,1.814758e-06,1.822566e-06,1.910595e-06,1.947830e-06,2.002456e-06,2.066019e-06,2.090140e-06,2.173514e-06,2.176758e-06,2.252503e-06,2.279860e-06,2.327084e-06,2.375289e-06,2.397275e-06,2.463133e-06,2.524740e-06,2.543573e-06,2.582203e-06,2.616861e-06,2.635646e-06,2.683296e-06,2.685206e-06,2.731031e-06,2.743213e-06,2.773273e-06,2.796963e-06,2.812088e-06,2.844907e-06,2.847634e-06,2.880070e-06,2.887409e-06,2.909549e-06,2.924824e-06,2.936226e-06,2.957502e-06,2.960250e-06,2.981765e-06,2.985779e-06,3.000912e-06,3.009977e-06,3.017826e-06,3.030403e-06,3.032636e-06,3.045468e-06,3.047346e-06,3.056441e-06,3.061081e-06,3.065668e-06,3.071866e-06,3.073258e-06,3.079315e-06,3.079943e-06,3.083936e-06,3.085539e-06,3.087216e-06,3.088866e-06,3.089242e-06,3.090099e-06,3.090120e-06,3.089867e-06,3.089486e-06,3.088621e-06,3.087135e-06,3.086431e-06,3.083366e-06,3.083226e-06,3.079490e-06,3.077907e-06,3.074861e-06,3.071314e-06,3.069539e-06,3.063574e-06,3.057020e-06,3.054805e-06,3.049922e-06,3.045115e-06,3.042326e-06,3.034605e-06,3.034274e-06,3.025806e-06,3.023366e-06,3.016960e-06,3.011485e-06,3.007770e-06,2.999040e-06,2.998269e-06,2.988489e-06,2.986103e-06,2.978459e-06,2.972743e-06,2.968206e-06,2.959019e-06,2.957756e-06,2.947132e-06,2.944989e-06,2.936359e-06,2.930704e-06,2.925456e-06,2.916212e-06,2.914443e-06,2.903339e-06,2.901555e-06,2.892162e-06,2.886775e-06,2.880927e-06,2.871907e-06,2.869649e-06,2.858342e-06,2.856984e-06,2.847021e-06,2.842037e-06,2.835695e-06,2.827093e-06,2.824378e-06,2.813080e-06,2.812177e-06,2.801810e-06,2.797312e-06,2.790577e-06,2.782517e-06,2.779390e-06,2.768256e-06,2.767812e-06,2.757183e-06,2.753213e-06,2.746178e-06,2.738736e-06,2.735246e-06,2.724392e-06,2.710195e-06,2.696155e-06,2.682281e-06,2.668581e-06,2.655063e-06,2.641733e-06,2.628596e-06,2.615656e-06,2.602918e-06,2.590384e-06,2.578057e-06,2.565939e-06,2.554031e-06,2.542334e-06,2.530848e-06,2.519574e-06,2.508511e-06,2.497658e-06,2.487015e-06,2.476581e-06,2.466354e-06,2.456332e-06,2.446513e-06,2.436896e-06
0.000000e+00,5.516277e-11,1.292978e-10,4.562246e-10,1.051440e-09,1.541916e-09,3.534106e-09,3.641748e-09,7.093880e-09,8.351535e-09,1.226186e-08,1.634839e-08,1.953612e-08,2.840965e-08,2.928785e-08,4.174746e-08,4.514346e-08,5.688996e-08,6.645754e-08,7.447820e-08,9.173624e-08,9.420688e-08,1.157895e-07,1.203057e-07,1.389726e-07,1.515830e-07,1.635251e-07,1.850467e-07,1.892276e-07,2.158678e-07,2.202034e-07,2.432400e-07,2.565802e-07,2.711466e-07,2.937311e-07,2.994014e-07,3.278311e-07,3.312467e-07,3.562779e-07,3.687631e-07,3.846010e-07,4.059667e-07,4.126761e-07,4.403962e-07,4.425957e-07,4.676704e-07,4.784377e-07,4.944228e-07,5.133262e-07,5.205915e-07,5.461270e-07,5.471346e-07,5.709906e-07,5.797712e-07,5.951536e-07,6.111733e-07,6.185952e-07,6.413021e-07,6.632666e-07,6.701380e-07,6.844864e-07,6.976771e-07,7.049635e-07,7.239278e-07,7.247033e-07,7.437141e-07,7.489078e-07,7.620063e-07,7.726420e-07,7.795926e-07,7.951603e-07,7.964867e-07,8.127038e-07,8.164969e-07,8.282597e-07,8.366884e-07,8.431710e-07,8.557734e-07,8.574549e-07,8.711285e-07,8.737916e-07,8.842096e-07,8.907834e-07,8.967156e-07,9.067890e-07,9.086641e-07,9.200725e-07,9.218489e-07,9.309582e-07,9.360027e-07,9.413383e-07,9.492897e-07,9.512296e-07,9.606488e-07,9.617481e-07,9.696120e-07,9.734155e-07,9.781353e-07,9.843283e-07,9.862342e-07,9.939239e-07,9.945219e-07,1.001219e-06,1.004031e-06,1.008135e-06,1.012888e-06,1.014686e-06,1.020884e-06,1.021125e-06,1.026744e-06,1.028773e-06,1.032279e-06,1.035863e-06,1.037501e-06,1.042422e-06,1.047055e-06,1.048478e-06,1.051410e-06,1.054058e-06,1.055500e-06,1.059186e-06,1.059335e-06,1.062925e-06,1.063888e-06,1.066280e-06,1.068185e-06,1.069412e-06,1.072102e-06,1.072327e-06,1.075037e-06,1.075658e-06,1.077550e-06,1.078875e-06,1.079875e-06,1.081771e-06,1.082019e-06,1.083990e-06,1.084365e-06,1.085798e-06,1.086675e-06,1.087447e-06,1.088717e-06,1.088947e-06,1.090304e-06,1.090508e-06,1.091524e-06,1.092064e-06,1.092615e-06,1.093397e-06,1.093581e-06,1.094429e-06,1.094523e-06,1.095165e-06,1.095455e-06,1.095794e-06,1.096205e-06,1.096322e-06,1.096754e-06,1.096784e-06,1.097094e-06,1.097205e-06,1.097347e-06,1.097478e-06,1.097517e-06,1.097610e-06,1.097612e-06,1.097629e-06,1.097619e-06,1.097579e-06,1.097506e-06,1.097462e-06,1.097283e-06,1.096958e-06,1.096538e-06,1.096030e-06,1.095443e-06,1.094781e-06,1.094052e-06,1.093261e-06,1.092414e-06,1.091516e-06,1.090571e-06,1.089585e-06,1.088561e-06,1.087505e-06,1.086418e-06,1.085306e-06,1.084172e-06,1.083018e-06,1.081847e-06,1.080663e-06,1.079468e-06,1.078264e-06,1.077054e-06,1.075839e-06,1.074622e-06
0.000000e+00,5.774351e-12,1.323489e-11,4.565465e-11,1.043305e-10,1.527133e-10,3.507251e-10,3.615055e-10,7.119453e-10,8.418250e-10,1.252352e-09,1.690106e-09,2.035729e-09,3.004393e-09,3.100159e-09,4.446157e-09,4.808117e-09,6.044738e-09,7.037482e-09,7.862227e-09,9.620768e-09,9.871198e-09,1.204988e-08,1.250429e-08,1.437928e-08,1.564407e-08,1.684114e-08,1.899794e-08,1.941695e-08,2.208772e-08,2.252256e-08,2.483406e-08,2.617345e-08,2.763661e-08,2.990638e-08,3.047643e-08,3.333523e-08,3.367875e-08,3.619609e-08,3.745143e-08,3.904336e-08,4.118953e-08,4.186305e-08,4.464278e-08,4.486310e-08,4.737183e-08,4.844718e-08,5.004116e-08,5.192187e-08,5.264333e-08,5.517230e-08,5.527186e-08,5.762331e-08,5.848587e-08,5.999280e-08,6.155614e-08,6.227821e-08,6.447787e-08,6.659089e-08,6.724869e-08,6.861699e-08,6.986820e-08,7.055646e-08,7.233753e-08,7.241004e-08,7.417881e-08,7.465905e-08,7.586418e-08,7.683604e-08,7.746778e-08,7.887245e-08,7.899145e-08,8.043715e-08,8.077274e-08,8.180696e-08,8.254170e-08,8.310303e-08,8.418433e-08,8.432758e-08,8.548284e-08,8.570577e-08,8.657107e-08,8.711120e-08,8.759452e-08,8.840580e-08,8.855544e-08,8.945604e-08,8.959469e-08,9.029853e-08,9.068291e-08,9.108505e-08,9.167540e-08,9.181773e-08,9.249863e-08,9.257696e-08,9.312980e-08,9.339226e-08,9.371319e-08,9.412582e-08,9.425075e-08,9.474435e-08,9.478199e-08,9.519581e-08,9.536500e-08,9.560691e-08,9.587887e-08,9.597936e-08,9.631482e-08,9.632750e-08,9.661492e-08,9.671460e-08,9.688122e-08,9.704376e-08,9.711522e-08,9.731838e-08,9.749212e-08,9.754173e-08,9.763780e-08,9.771692e-08,9.775673e-08,9.784693e-08,9.785019e-08,9.791939e-08,9.793459e-08,9.796552e-08,9.798260e-08,9.798971e-08,9.799353e-08,9.799306e-08,9.797661e-08,9.796983e-08,9.794138e-08,9.791382e-08,9.788835e-08,9.782770e-08,9.781845e-08,9.773259e-08,9.771358e-08,9.763163e-08,9.757344e-08,9.751640e-08,9.740917e-08,9.738770e-08,9.724630e-08,9.722255e-08,9.709294e-08,9.701528e-08,9.692831e-08,9.678895e-08,9.675310e-08,9.656795e-08,9.654509e-08,9.637349e-08,9.628513e-08,9.617032e-08,9.601043e-08,9.595900e-08,9.574008e-08,9.572225e-08,9.551408e-08,9.542182e-08,9.528151e-08,9.511026e-08,9.504285e-08,9.479854e-08,9.478866e-08,9.454904e-08,9.445803e-08,9.429475e-08,9.411931e-08,9.403609e-08,9.377342e-08,9.342119e-08,9.306341e-08,9.270084e-08,9.233417e-08,9.196406e-08,9.159113e-08,9.121594e-08,9.083905e-08,9.046094e-08,9.008210e-08,8.970297e-08,8.932395e-08,8.894542e-08,8.856774e-08,8.819123e-08,8.781621e-08,8.744296e-08,8.707173e-08,8.670277e-08,8.633630e-08,8.597252e-08,8.561162e-08,8.525377e-08,8.489913e-08
0.000000e+00,1.495880e-10,5.334701e-10,3.366751e-09,1.097452e-08,1.862706e-08,5.677983e-08,5.906520e-08,1.396991e-07,1.716572e-07,2.767534e-07,3.933574e-07,4.879320e-07,7.644392e-07,7.927598e-07,1.212057e-06,1.331984e-06,1.765392e-06,2.139157e-06,2.465922e-06,3.205350e-06,3.314732e-06,4.299169e-06,4.510461e-06,5.396874e-06,6.003890e-06,6.582138e-06,7.627563e-06,7.830680e-06,9.121711e-06,9.331026e-06,1.043807e-05,1.107468e-05,1.176564e-05,1.282772e-05,1.309253e-05,1.440861e-05,1.456539e-05,1.570506e-05,1.626726e-05,1.697420e-05,1.791638e-05,1.820942e-05,1.940511e-05,1.949891e-05,2.055661e-05,2.100397e-05,2.166021e-05,2.242353e-05,2.271308e-05,2.371317e-05,2.375206e-05,2.465920e-05,2.498639e-05,2.555053e-05,2.612535e-05,2.638712e-05,2.716943e-05,2.789831e-05,2.812046e-05,2.857498e-05,2.898133e-05,2.920092e-05,2.975566e-05,2.977782e-05,3.030752e-05,3.044764e-05,3.079198e-05,3.106178e-05,3.123322e-05,3.160277e-05,3.163331e-05,3.199432e-05,3.207538e-05,3.231830e-05,3.248430e-05,3.260726e-05,3.283415e-05,3.286319e-05,3.308799e-05,3.312938e-05,3.328351e-05,3.337421e-05,3.345155e-05,3.357270e-05,3.359379e-05,3.371188e-05,3.372864e-05,3.380736e-05,3.384560e-05,3.388171e-05,3.392693e-05,3.393635e-05,3.397259e-05,3.397577e-05,3.399170e-05,3.399500e-05,3.399488e-05,3.398732e-05,3.398324e-05,3.395784e-05,3.395524e-05,3.391968e-05,3.390106e-05,3.386972e-05,3.382693e-05,3.380882e-05,3.373784e-05,3.373480e-05,3.365754e-05,3.362650e-05,3.356868e-05,3.350371e-05,3.347193e-05,3.336795e-05,3.325736e-05,3.322066e-05,3.314071e-05,3.306313e-05,3.301855e-05,3.289656e-05,3.289138e-05,3.275967e-05,3.272204e-05,3.262386e-05,3.254058e-05,3.248437e-05,3.235311e-05,3.234157e-05,3.219584e-05,3.216046e-05,3.204751e-05,3.196342e-05,3.189689e-05,3.176269e-05,3.174428e-05,3.158996e-05,3.155891e-05,3.143418e-05,3.135268e-05,3.127718e-05,3.114453e-05,3.111920e-05,3.096042e-05,3.093496e-05,3.080106e-05,3.072440e-05,3.064128e-05,3.051328e-05,3.048126e-05,3.032115e-05,3.030194e-05,3.016110e-05,3.009074e-05,3.000125e-05,2.987996e-05,2.984171e-05,2.968260e-05,2.966989e-05,2.952403e-05,2.946078e-05,2.936610e-05,2.925283e-05,2.920890e-05,2.905250e-05,2.904627e-05,2.889700e-05,2.884125e-05,2.874246e-05,2.863795e-05,2.858894e-05,2.843651e-05,2.823705e-05,2.803968e-05,2.784450e-05,2.765160e-05,2.746106e-05,2.727293e-05,2.708727e-05,2.690413e-05,2.672355e-05,2.654554e-05,2.637015e-05,2.619738e-05,2.602725e-05,2.585976e-05,2.569492e-05,2.553273e-05,2.537317e-05,2.521625e-05,2.506194e-05,2.491024e-05,2.476112e-05,2.461457e-05,2.447056e-05,2.432907e-05
0.000000e+00,3.416785e-11,1.319757e-10,9.753375e-10,3.638178e-09,6.625058e-09,2.392759e-08,2.505373e-08,6.887146e-08,8.789636e-08,1.550191e-07,2.355841e-07,3.044459e-07,5.188722e-07,5.417176e-07,8.940732e-07,9.988688e-07,1.389114e-06,1.738011e-06,2.051315e-06,2.787085e-06,2.899040e-06,3.943255e-06,4.176124e-06,5.187683e-06,5.913252e-06,6.629667e-06,7.987907e-06,8.261237e-06,1.007012e-05,1.037498e-05,1.204062e-05,1.303856e-05,1.415441e-05,1.593505e-05,1.639123e-05,1.872949e-05,1.901584e-05,2.114686e-05,2.222977e-05,2.362084e-05,2.552521e-05,2.612918e-05,2.865043e-05,2.885206e-05,3.116422e-05,3.216336e-05,3.365167e-05,3.541660e-05,3.609559e-05,3.848069e-05,3.857468e-05,4.079366e-05,4.160644e-05,4.302324e-05,4.448692e-05,4.516018e-05,4.719718e-05,4.912883e-05,4.972406e-05,5.095141e-05,5.205958e-05,5.266278e-05,5.420037e-05,5.426220e-05,5.575010e-05,5.614692e-05,5.712801e-05,5.790290e-05,5.839828e-05,5.947453e-05,5.956403e-05,6.062890e-05,6.086990e-05,6.159699e-05,6.209848e-05,6.247272e-05,6.317063e-05,6.326072e-05,6.396573e-05,6.409720e-05,6.459254e-05,6.488915e-05,6.514590e-05,6.555738e-05,6.563048e-05,6.605087e-05,6.611247e-05,6.641147e-05,6.656458e-05,6.671654e-05,6.692333e-05,6.697012e-05,6.717605e-05,6.719773e-05,6.733796e-05,6.739615e-05,6.745929e-05,6.752634e-05,6.754324e-05,6.759283e-05,6.759540e-05,6.761088e-05,6.760986e-05,6.759999e-05,6.757561e-05,6.756260e-05,6.750097e-05,6.749803e-05,6.741717e-05,6.738196e-05,6.731316e-05,6.723180e-05,6.719072e-05,6.705150e-05,6.689702e-05,6.684460e-05,6.672870e-05,6.661431e-05,6.654783e-05,6.636350e-05,6.635561e-05,6.615314e-05,6.609475e-05,6.594143e-05,6.581036e-05,6.572142e-05,6.551243e-05,6.549398e-05,6.525990e-05,6.520282e-05,6.501991e-05,6.488319e-05,6.477470e-05,6.455507e-05,6.452487e-05,6.427101e-05,6.421981e-05,6.401365e-05,6.387861e-05,6.375328e-05,6.353257e-05,6.349035e-05,6.322527e-05,6.318268e-05,6.295843e-05,6.282983e-05,6.269019e-05,6.247481e-05,6.242088e-05,6.215079e-05,6.211834e-05,6.188021e-05,6.176107e-05,6.160940e-05,6.140358e-05,6.133860e-05,6.106802e-05,6.104638e-05,6.079786e-05,6.068996e-05,6.052832e-05,6.033473e-05,6.025957e-05,5.999177e-05,5.998108e-05,5.972506e-05,5.962934e-05,5.945959e-05,5.927983e-05,5.919547e-05,5.893282e-05,5.858855e-05,5.824724e-05,5.790908e-05,5.757426e-05,5.724292e-05,5.691519e-05,5.659120e-05,5.627104e-05,5.595481e-05,5.564257e-05,5.533439e-05,5.503033e-05,5.473043e-05,5.443471e-05,5.414322e-05,5.385595e-05,5.357293e-05,5.329416e-05,5.301964e-05,5.274936e-05,5.248331e-05,5.222147e-05,5.196383e-05,5.171035e-05
0.000000e+00,6.528153e-12,1.500082e-11,5.177627e-11,1.179251e-10,1.720313e-10,3.894014e-10,4.010553e-10,7.706888e-10,9.035578e-10,1.311346e-09,1.729904e-09,2.051756e-09,2.930590e-09,3.016455e-09,4.220513e-09,4.545618e-09,5.666431e-09,6.579510e-09,7.347512e-09,9.012659e-09,9.252687e-09,1.136852e-08,1.181564e-08,1.367941e-08,1.495231e-08,1.616749e-08,1.837987e-08,1.881281e-08,2.159380e-08,2.204984e-08,2.448777e-08,2.591024e-08,2.747166e-08,2.990811e-08,3.052258e-08,3.361842e-08,3.399193e-08,3.673828e-08,3.811359e-08,3.986284e-08,4.222979e-08,4.297457e-08,4.605787e-08,4.630288e-08,4.909910e-08,5.030113e-08,5.208656e-08,5.419866e-08,5.501043e-08,5.786258e-08,5.797508e-08,6.063645e-08,6.161484e-08,6.332686e-08,6.510666e-08,6.592998e-08,6.844306e-08,7.086431e-08,7.161953e-08,7.319273e-08,7.463405e-08,7.542804e-08,7.748662e-08,7.757055e-08,7.962101e-08,8.017880e-08,8.158061e-08,8.271336e-08,8.345083e-08,8.509399e-08,8.523342e-08,8.693032e-08,8.732506e-08,8.854365e-08,8.941143e-08,9.007563e-08,9.135829e-08,9.152855e-08,9.290478e-08,9.317104e-08,9.420673e-08,9.485518e-08,9.543680e-08,9.641627e-08,9.659740e-08,9.769093e-08,9.785983e-08,9.871977e-08,9.919133e-08,9.968627e-08,1.004161e-07,1.005927e-07,1.014414e-07,1.015395e-07,1.022346e-07,1.025665e-07,1.029743e-07,1.035022e-07,1.036628e-07,1.043021e-07,1.043512e-07,1.048942e-07,1.051183e-07,1.054410e-07,1.058078e-07,1.059445e-07,1.064064e-07,1.064241e-07,1.068286e-07,1.069712e-07,1.072128e-07,1.074531e-07,1.075606e-07,1.078736e-07,1.081534e-07,1.082362e-07,1.084016e-07,1.085444e-07,1.086194e-07,1.088015e-07,1.088085e-07,1.089700e-07,1.090105e-07,1.091054e-07,1.091746e-07,1.092158e-07,1.092964e-07,1.093025e-07,1.093666e-07,1.093787e-07,1.094092e-07,1.094242e-07,1.094315e-07,1.094351e-07,1.094345e-07,1.094191e-07,1.094139e-07,1.093863e-07,1.093626e-07,1.093370e-07,1.092835e-07,1.092721e-07,1.091925e-07,1.091785e-07,1.090990e-07,1.090494e-07,1.089923e-07,1.088980e-07,1.088733e-07,1.087425e-07,1.087261e-07,1.086008e-07,1.085351e-07,1.084487e-07,1.083266e-07,1.082869e-07,1.081160e-07,1.081020e-07,1.079366e-07,1.078626e-07,1.077493e-07,1.076098e-07,1.075545e-07,1.073528e-07,1.073446e-07,1.071447e-07,1.070683e-07,1.069306e-07,1.067818e-07,1.067109e-07,1.064862e-07,1.061824e-07,1.058713e-07,1.055537e-07,1.052305e-07,1.049023e-07,1.045698e-07,1.042337e-07,1.038945e-07,1.035529e-07,1.032094e-07,1.028645e-07,1.025185e-07,1.021721e-07,1.018255e-07,1.014792e-07,1.011334e-07,1.007886e-07,1.004449e-07,1.001028e-07,9.976240e-08,9.942400e-08,9.908781e-08,9.875402e-08,9.842282e-08
0.000000e+00,5.687968e-11,2.079576e-10,1.376977e-09,4.671265e-09,8.092991e-09,2.591566e-08,2.701023e-08,6.680636e-08,8.304814e-08,1.376804e-07,1.996792e-07,2.504649e-07,3.986986e-07,4.137398e-07,6.313233e-07,6.916519e-07,9.029417e-07,1.077798e-06,1.226191e-06,1.550760e-06,1.597783e-06,2.013946e-06,2.102161e-06,2.470416e-06,2.722134e-06,2.962380e-06,3.399151e-06,3.484476e-06,4.030902e-06,4.120184e-06,4.595586e-06,4.871316e-06,5.172399e-06,5.638555e-06,5.755363e-06,6.338841e-06,6.408642e-06,6.917682e-06,7.169705e-06,7.487327e-06,7.911674e-06,8.043862e-06,8.584043e-06,8.626469e-06,9.105275e-06,9.307999e-06,9.605577e-06,9.952015e-06,1.008352e-05,1.053819e-05,1.055588e-05,1.096905e-05,1.111830e-05,1.137598e-05,1.163907e-05,1.175910e-05,1.211879e-05,1.245562e-05,1.255869e-05,1.277028e-05,1.296039e-05,1.306356e-05,1.332580e-05,1.333633e-05,1.358949e-05,1.365699e-05,1.382397e-05,1.395608e-05,1.404070e-05,1.422522e-05,1.424061e-05,1.442459e-05,1.446648e-05,1.459354e-05,1.468189e-05,1.474829e-05,1.487338e-05,1.488967e-05,1.501846e-05,1.504277e-05,1.513541e-05,1.519177e-05,1.524122e-05,1.532198e-05,1.533656e-05,1.542208e-05,1.543490e-05,1.549838e-05,1.553190e-05,1.556602e-05,1.561427e-05,1.562555e-05,1.567745e-05,1.568319e-05,1.572222e-05,1.573977e-05,1.576030e-05,1.578502e-05,1.579210e-05,1.581803e-05,1.581986e-05,1.583846e-05,1.584517e-05,1.585373e-05,1.586173e-05,1.586418e-05,1.587012e-05,1.587027e-05,1.587183e-05,1.587147e-05,1.586959e-05,1.586595e-05,1.586366e-05,1.585427e-05,1.584166e-05,1.583698e-05,1.582604e-05,1.581455e-05,1.580760e-05,1.578743e-05,1.578654e-05,1.576304e-05,1.575604e-05,1.573726e-05,1.572076e-05,1.570935e-05,1.568193e-05,1.567947e-05,1.564775e-05,1.563988e-05,1.561433e-05,1.559492e-05,1.557933e-05,1.554732e-05,1.554287e-05,1.550505e-05,1.549733e-05,1.546598e-05,1.544520e-05,1.542575e-05,1.539113e-05,1.538446e-05,1.534219e-05,1.533534e-05,1.529903e-05,1.527801e-05,1.525504e-05,1.521931e-05,1.521031e-05,1.516490e-05,1.515941e-05,1.511887e-05,1.509844e-05,1.507229e-05,1.503655e-05,1.502521e-05,1.497769e-05,1.497387e-05,1.492977e-05,1.491050e-05,1.488151e-05,1.484657e-05,1.483294e-05,1.478412e-05,1.478217e-05,1.473509e-05,1.471739e-05,1.468587e-05,1.465232e-05,1.463651e-05,1.458703e-05,1.452162e-05,1.445613e-05,1.439064e-05,1.432520e-05,1.425987e-05,1.419469e-05,1.412972e-05,1.406499e-05,1.400054e-05,1.393641e-05,1.387264e-05,1.380924e-05,1.374626e-05,1.368372e-05,1.362163e-05,1.356002e-05,1.349891e-05,1.343832e-05,1.337826e-05,1.331875e-05,1.325979e-05,1.320141e-05,1.314361e-05,1.308640e-05
0.000000e+00,2.102297e-10,6.555903e-10,3.290826e-09,9.118428e-09,1.436428e-08,3.743607e-08,3.873016e-08,8.144952e-08,9.736525e-08,1.473784e-07,2.000402e-07,2.412259e-07,3.561664e-07,3.675756e-07,5.308024e-07,5.759111e-07,7.347675e-07,8.678777e-07,9.822347e-07,1.236879e-06,1.274266e-06,1.610124e-06,1.682392e-06,1.987789e-06,2.199824e-06,2.404593e-06,2.782817e-06,2.857607e-06,3.343757e-06,3.424405e-06,3.859850e-06,4.117242e-06,4.402572e-06,4.853628e-06,4.968505e-06,5.554170e-06,5.625609e-06,6.156074e-06,6.425165e-06,6.770771e-06,7.244435e-06,7.394918e-06,8.025321e-06,8.075932e-06,8.658973e-06,8.912710e-06,9.293082e-06,9.748484e-06,9.925101e-06,1.055273e-05,1.057771e-05,1.117392e-05,1.139562e-05,1.178687e-05,1.219817e-05,1.239002e-05,1.298204e-05,1.356180e-05,1.374458e-05,1.412837e-05,1.448370e-05,1.468099e-05,1.519783e-05,1.521907e-05,1.574213e-05,1.588586e-05,1.624986e-05,1.654703e-05,1.674202e-05,1.718094e-05,1.721848e-05,1.767918e-05,1.778741e-05,1.812416e-05,1.836650e-05,1.855349e-05,1.891845e-05,1.896729e-05,1.936576e-05,1.944363e-05,1.974908e-05,1.994251e-05,2.011751e-05,2.041567e-05,2.047130e-05,2.081074e-05,2.086374e-05,2.113612e-05,2.128740e-05,2.144775e-05,2.168737e-05,2.174595e-05,2.203105e-05,2.206440e-05,2.230338e-05,2.241925e-05,2.256327e-05,2.275267e-05,2.281105e-05,2.304707e-05,2.306545e-05,2.327165e-05,2.335835e-05,2.348512e-05,2.363212e-05,2.368781e-05,2.388005e-05,2.388753e-05,2.406216e-05,2.412530e-05,2.423445e-05,2.434616e-05,2.439724e-05,2.455083e-05,2.469552e-05,2.473999e-05,2.483160e-05,2.491431e-05,2.495936e-05,2.507445e-05,2.507909e-05,2.519106e-05,2.522106e-05,2.529554e-05,2.535474e-05,2.539279e-05,2.547610e-05,2.548308e-05,2.556664e-05,2.558572e-05,2.564373e-05,2.568416e-05,2.571458e-05,2.577195e-05,2.577943e-05,2.583849e-05,2.584963e-05,2.589200e-05,2.591770e-05,2.594016e-05,2.597664e-05,2.598318e-05,2.602127e-05,2.602692e-05,2.605462e-05,2.606899e-05,2.608341e-05,2.610330e-05,2.610784e-05,2.612809e-05,2.613024e-05,2.614432e-05,2.615023e-05,2.615671e-05,2.616365e-05,2.616541e-05,2.617060e-05,2.617087e-05,2.617242e-05,2.617224e-05,2.617102e-05,2.616810e-05,2.616655e-05,2.615914e-05,2.615878e-05,2.614893e-05,2.614459e-05,2.613605e-05,2.612583e-05,2.612063e-05,2.610278e-05,2.607572e-05,2.604491e-05,2.601059e-05,2.597300e-05,2.593238e-05,2.588894e-05,2.584288e-05,2.579441e-05,2.574370e-05,2.569095e-05,2.563632e-05,2.557996e-05,2.552205e-05,2.546271e-05,2.540210e-05,2.534034e-05,2.527756e-05,2.521388e-05,2.514940e-05,2.508424e-05,2.501850e-05,2.495227e-05,2.488564e-05,2.481869e-05
0.000000e+00,1.410730e-10,3.392574e-10,1.229217e-09,2.867311e-09,4.224040e-09,9.767645e-09,1.006833e-08,1.976125e-08,2.331409e-08,3.442407e-08,4.612122e-08,5.529225e-08,8.092701e-08,8.346555e-08,1.193291e-07,1.290279e-07,1.622672e-07,1.889980e-07,2.111966e-07,2.584206e-07,2.651293e-07,3.232849e-07,3.353641e-07,3.850120e-07,4.183227e-07,4.497144e-07,5.059407e-07,5.168141e-07,5.857404e-07,5.969006e-07,6.559344e-07,6.899188e-07,7.268581e-07,7.837804e-07,7.980045e-07,8.689071e-07,8.773786e-07,9.391462e-07,9.697441e-07,1.008352e-06,1.060061e-06,1.076208e-06,1.142445e-06,1.147667e-06,1.206845e-06,1.232051e-06,1.269234e-06,1.312832e-06,1.329477e-06,1.387476e-06,1.389748e-06,1.443163e-06,1.462636e-06,1.496498e-06,1.531412e-06,1.547463e-06,1.596058e-06,1.642301e-06,1.656607e-06,1.686222e-06,1.713130e-06,1.727860e-06,1.765729e-06,1.767263e-06,1.804486e-06,1.814525e-06,1.839588e-06,1.859657e-06,1.872631e-06,1.901270e-06,1.903682e-06,1.932807e-06,1.939518e-06,1.960074e-06,1.974557e-06,1.985550e-06,2.006542e-06,2.009304e-06,2.031403e-06,2.035630e-06,2.051913e-06,2.061972e-06,2.070900e-06,2.085719e-06,2.088428e-06,2.104559e-06,2.107015e-06,2.119356e-06,2.126001e-06,2.132876e-06,2.142813e-06,2.145179e-06,2.156320e-06,2.157581e-06,2.166353e-06,2.170431e-06,2.175332e-06,2.181482e-06,2.183306e-06,2.190326e-06,2.190848e-06,2.196438e-06,2.198639e-06,2.201688e-06,2.204959e-06,2.206120e-06,2.209776e-06,2.209907e-06,2.212697e-06,2.213576e-06,2.214922e-06,2.216057e-06,2.216489e-06,2.217434e-06,2.217790e-06,2.217786e-06,2.217592e-06,2.217189e-06,2.216871e-06,2.215716e-06,2.215658e-06,2.213982e-06,2.213433e-06,2.211870e-06,2.210405e-06,2.209350e-06,2.206692e-06,2.206446e-06,2.203184e-06,2.202350e-06,2.199586e-06,2.197434e-06,2.195676e-06,2.191992e-06,2.191473e-06,2.186999e-06,2.186073e-06,2.182272e-06,2.179721e-06,2.177312e-06,2.172977e-06,2.172135e-06,2.166759e-06,2.165881e-06,2.161199e-06,2.158469e-06,2.155470e-06,2.150776e-06,2.149588e-06,2.143565e-06,2.142833e-06,2.137414e-06,2.134671e-06,2.131149e-06,2.126318e-06,2.124780e-06,2.118320e-06,2.117799e-06,2.111777e-06,2.109140e-06,2.105163e-06,2.100362e-06,2.098487e-06,2.091758e-06,2.091488e-06,2.084984e-06,2.082536e-06,2.078174e-06,2.073526e-06,2.071334e-06,2.064473e-06,2.055394e-06,2.046303e-06,2.037214e-06,2.028139e-06,2.019089e-06,2.010074e-06,2.001106e-06,1.992191e-06,1.983339e-06,1.974556e-06,1.965850e-06,1.957226e-06,1.948689e-06,1.940245e-06,1.931899e-06,1.923653e-06,1.915511e-06,1.907477e-06,1.899554e-06,1.891742e-06,1.884045e-06,1.876464e-06,1.869000e-06,1.861655e-06
0.000000e+00,1.934388e-11,4.463634e-11,1.542636e-10,3.508209e-10,5.112975e-10,1.155929e-09,1.190537e-09,2.293289e-09,2.692602e-09,3.929341e-09,5.217523e-09,6.221610e-09,9.025568e-09,9.304509e-09,1.330947e-08,1.441975e-08,1.833020e-08,2.159284e-08,2.437370e-08,3.045542e-08,3.133299e-08,3.901625e-08,4.062071e-08,4.720972e-08,5.160767e-08,5.572444e-08,6.301429e-08,6.441048e-08,7.315285e-08,7.455062e-08,8.186253e-08,8.601020e-08,9.046861e-08,9.723951e-08,9.891301e-08,1.071473e-07,1.081193e-07,1.151311e-07,1.185557e-07,1.228307e-07,1.284755e-07,1.302190e-07,1.372748e-07,1.378244e-07,1.439825e-07,1.465656e-07,1.503318e-07,1.546779e-07,1.563169e-07,1.619366e-07,1.621538e-07,1.671932e-07,1.689976e-07,1.720921e-07,1.752232e-07,1.766416e-07,1.808519e-07,1.847349e-07,1.859104e-07,1.883038e-07,1.904295e-07,1.915726e-07,1.944419e-07,1.945559e-07,1.972686e-07,1.979817e-07,1.997255e-07,2.010831e-07,2.019415e-07,2.037798e-07,2.039309e-07,2.057080e-07,2.061044e-07,2.072862e-07,2.080880e-07,2.086786e-07,2.097601e-07,2.098977e-07,2.109553e-07,2.111485e-07,2.118627e-07,2.122787e-07,2.126305e-07,2.131748e-07,2.132686e-07,2.137865e-07,2.138588e-07,2.141929e-07,2.143509e-07,2.144962e-07,2.146698e-07,2.147041e-07,2.148236e-07,2.148324e-07,2.148617e-07,2.148542e-07,2.148245e-07,2.147495e-07,2.147179e-07,2.145474e-07,2.145312e-07,2.143180e-07,2.142108e-07,2.140344e-07,2.137992e-07,2.137011e-07,2.133220e-07,2.133060e-07,2.129011e-07,2.127399e-07,2.124417e-07,2.121092e-07,2.119473e-07,2.114208e-07,2.108652e-07,2.106816e-07,2.102829e-07,2.098975e-07,2.096765e-07,2.090738e-07,2.090483e-07,2.084003e-07,2.082156e-07,2.077346e-07,2.073274e-07,2.070529e-07,2.064132e-07,2.063571e-07,2.056485e-07,2.054768e-07,2.049288e-07,2.045214e-07,2.041993e-07,2.035503e-07,2.034613e-07,2.027159e-07,2.025661e-07,2.019643e-07,2.015713e-07,2.012075e-07,2.005684e-07,2.004463e-07,1.996818e-07,1.995592e-07,1.989147e-07,1.985458e-07,1.981458e-07,1.975299e-07,1.973759e-07,1.966055e-07,1.965130e-07,1.958352e-07,1.954965e-07,1.950657e-07,1.944817e-07,1.942975e-07,1.935311e-07,1.934698e-07,1.927668e-07,1.924618e-07,1.920052e-07,1.914587e-07,1.912466e-07,1.904914e-07,1.904613e-07,1.897399e-07,1.894704e-07,1.889925e-07,1.884866e-07,1.882493e-07,1.875107e-07,1.865432e-07,1.855845e-07,1.846351e-07,1.836954e-07,1.827658e-07,1.818465e-07,1.809379e-07,1.800401e-07,1.791534e-07,1.782780e-07,1.774139e-07,1.765612e-07,1.757202e-07,1.748908e-07,1.740731e-07,1.732671e-07,1.724729e-07,1.716905e-07,1.709198e-07,1.701608e-07,1.694136e-07,1.686780e-07,1.679540e-07,1.672415e-07
0.000000e+00,1.250686e-10,3.204257e-10,1.231797e-09,2.924726e-09,4.318433e-09,9.893120e-09,1.019003e-08,1.949476e-08,2.278920e-08,3.275548e-08,4.278843e-08,5.038922e-08,7.074741e-08,7.271124e-08,9.992182e-08,1.071895e-07,1.320755e-07,1.521990e-07,1.690351e-07,2.052375e-07,2.104174e-07,2.555478e-07,2.649431e-07,3.034573e-07,3.290789e-07,3.529579e-07,3.948497e-07,4.027973e-07,4.518309e-07,4.595363e-07,4.991378e-07,5.210277e-07,5.440543e-07,5.779677e-07,5.861456e-07,6.251604e-07,6.296288e-07,6.609839e-07,6.757284e-07,6.936004e-07,7.162764e-07,7.230657e-07,7.494860e-07,7.514722e-07,7.730031e-07,7.816334e-07,7.937819e-07,8.071477e-07,8.120021e-07,8.278503e-07,8.284375e-07,8.415147e-07,8.459352e-07,8.531807e-07,8.600637e-07,8.630271e-07,8.712248e-07,8.779351e-07,8.797931e-07,8.833082e-07,8.861100e-07,8.874833e-07,8.904830e-07,8.905882e-07,8.927398e-07,8.931861e-07,8.940443e-07,8.944609e-07,8.945980e-07,8.945189e-07,8.944875e-07,8.937910e-07,8.935445e-07,8.925786e-07,8.916980e-07,8.909131e-07,8.891173e-07,8.888505e-07,8.864407e-07,8.859211e-07,8.837283e-07,8.822115e-07,8.807529e-07,8.780764e-07,8.775500e-07,8.741512e-07,8.735911e-07,8.705846e-07,8.688204e-07,8.668751e-07,8.638196e-07,8.630449e-07,8.591140e-07,8.586364e-07,8.551001e-07,8.533117e-07,8.510188e-07,8.478807e-07,8.468843e-07,8.427090e-07,8.423736e-07,8.385042e-07,8.368162e-07,8.342797e-07,8.312311e-07,8.300446e-07,8.258068e-07,8.256373e-07,8.215733e-07,8.200515e-07,8.173504e-07,8.144878e-07,8.131438e-07,8.089584e-07,8.047989e-07,8.034739e-07,8.006690e-07,7.980432e-07,7.965725e-07,7.926739e-07,7.925123e-07,7.884912e-07,7.873726e-07,7.845116e-07,7.821447e-07,7.805757e-07,7.769948e-07,7.766853e-07,7.728420e-07,7.719268e-07,7.690473e-07,7.669438e-07,7.653022e-07,7.620485e-07,7.616079e-07,7.579652e-07,7.572429e-07,7.543748e-07,7.525286e-07,7.508372e-07,7.479067e-07,7.473528e-07,7.439221e-07,7.433782e-07,7.405452e-07,7.389434e-07,7.372222e-07,7.346027e-07,7.339532e-07,7.307382e-07,7.303560e-07,7.275769e-07,7.262030e-07,7.244694e-07,7.221435e-07,7.214154e-07,7.184145e-07,7.181767e-07,7.154664e-07,7.143019e-07,7.125709e-07,7.105183e-07,7.097274e-07,7.069355e-07,7.068249e-07,7.041948e-07,7.032206e-07,7.015047e-07,6.997041e-07,6.988648e-07,6.962743e-07,6.929299e-07,6.896695e-07,6.864917e-07,6.833950e-07,6.803780e-07,6.774392e-07,6.745770e-07,6.717900e-07,6.690767e-07,6.664354e-07,6.638647e-07,6.613629e-07,6.589287e-07,6.565605e-07,6.542567e-07,6.520159e-07,6.498366e-07,6.477173e-07,6.456566e-07,6.436531e-07,6.417053e-07,6.398119e-07,6.379715e-07,6.361828e-07
0.000000e+00,1.254417e-11,2.893751e-11,1.007319e-10,2.317581e-10,3.404855e-10,7.900901e-10,8.147496e-10,1.624580e-09,1.928189e-09,2.896902e-09,3.939526e-09,4.765645e-09,7.079115e-09,7.307309e-09,1.050756e-08,1.136772e-08,1.431365e-08,1.669256e-08,1.868148e-08,2.296675e-08,2.358227e-08,2.899577e-08,3.013841e-08,3.490378e-08,3.816488e-08,4.128632e-08,4.699714e-08,4.811966e-08,5.537561e-08,5.657366e-08,6.302157e-08,6.681960e-08,7.102112e-08,7.764889e-08,7.933477e-08,8.792094e-08,8.896757e-08,9.673691e-08,1.006777e-07,1.057398e-07,1.126810e-07,1.148874e-07,1.241388e-07,1.248822e-07,1.334552e-07,1.371917e-07,1.428001e-07,1.495270e-07,1.521398e-07,1.614436e-07,1.618146e-07,1.706837e-07,1.739897e-07,1.798354e-07,1.859968e-07,1.888769e-07,1.977891e-07,2.065558e-07,2.093280e-07,2.151629e-07,2.205823e-07,2.235988e-07,2.315273e-07,2.318539e-07,2.399204e-07,2.421443e-07,2.477921e-07,2.524195e-07,2.554642e-07,2.623434e-07,2.629334e-07,2.701974e-07,2.719101e-07,2.772548e-07,2.811165e-07,2.841051e-07,2.899623e-07,2.907486e-07,2.971862e-07,2.984491e-07,3.034191e-07,3.065800e-07,3.094494e-07,3.143597e-07,3.152791e-07,3.209110e-07,3.217939e-07,3.263478e-07,3.288891e-07,3.315926e-07,3.356523e-07,3.366486e-07,3.415191e-07,3.420913e-07,3.462078e-07,3.482141e-07,3.507181e-07,3.540289e-07,3.550537e-07,3.592185e-07,3.595444e-07,3.632160e-07,3.647690e-07,3.670501e-07,3.697116e-07,3.707246e-07,3.742432e-07,3.743807e-07,3.776097e-07,3.787851e-07,3.808279e-07,3.829334e-07,3.839014e-07,3.868341e-07,3.896294e-07,3.904956e-07,3.922912e-07,3.939262e-07,3.948228e-07,3.971340e-07,3.972278e-07,3.995098e-07,4.001271e-07,4.016720e-07,4.029133e-07,4.037180e-07,4.055003e-07,4.056509e-07,4.074740e-07,4.078955e-07,4.091905e-07,4.101064e-07,4.108036e-07,4.121399e-07,4.123162e-07,4.137315e-07,4.140031e-07,4.150523e-07,4.157027e-07,4.162815e-07,4.172454e-07,4.174220e-07,4.184765e-07,4.186374e-07,4.194477e-07,4.198850e-07,4.203382e-07,4.209943e-07,4.211507e-07,4.218876e-07,4.219711e-07,4.225515e-07,4.228210e-07,4.231446e-07,4.235496e-07,4.236695e-07,4.241282e-07,4.241621e-07,4.245232e-07,4.246638e-07,4.248565e-07,4.250595e-07,4.251303e-07,4.253466e-07,4.253541e-07,4.255075e-07,4.255523e-07,4.256150e-07,4.256585e-07,4.256709e-07,4.256771e-07,4.256122e-07,4.254680e-07,4.252482e-07,4.249568e-07,4.245973e-07,4.241731e-07,4.236877e-07,4.231443e-07,4.225460e-07,4.218959e-07,4.211967e-07,4.204514e-07,4.196625e-07,4.188326e-07,4.179642e-07,4.170596e-07,4.161212e-07,4.151511e-07,4.141514e-07,4.131241e-07,4.120712e-07,4.109944e-07,4.098956e-07,4.087764e-07
0.000000e+00,1.578547e-10,5.390013e-10,3.142940e-09,9.648481e-09,1.591821e-08,4.571895e-08,4.746307e-08,1.078254e-07,1.314269e-07,2.086939e-07,2.944545e-07,3.642914e-07,5.702120e-07,5.914320e-07,9.069783e-07,9.972854e-07,1.321629e-06,1.597114e-06,1.833937e-06,2.355569e-06,2.431143e-06,3.095737e-06,3.235236e-06,3.811196e-06,4.198780e-06,4.564183e-06,5.218067e-06,5.344368e-06,6.143590e-06,6.272766e-06,6.955076e-06,7.347191e-06,7.772935e-06,8.428243e-06,8.591883e-06,9.407133e-06,9.504504e-06,1.021435e-05,1.056596e-05,1.100964e-05,1.160395e-05,1.178957e-05,1.255117e-05,1.261123e-05,1.329191e-05,1.358190e-05,1.400974e-05,1.451145e-05,1.470300e-05,1.537045e-05,1.539659e-05,1.601118e-05,1.623519e-05,1.662464e-05,1.702606e-05,1.721054e-05,1.776882e-05,1.829964e-05,1.846376e-05,1.880332e-05,1.911164e-05,1.928031e-05,1.971363e-05,1.973117e-05,2.015657e-05,2.027121e-05,2.055720e-05,2.078601e-05,2.093384e-05,2.125984e-05,2.128728e-05,2.161836e-05,2.169458e-05,2.192790e-05,2.209214e-05,2.221673e-05,2.245444e-05,2.248570e-05,2.273561e-05,2.278338e-05,2.296729e-05,2.308082e-05,2.318153e-05,2.334858e-05,2.337910e-05,2.356076e-05,2.358839e-05,2.372723e-05,2.380196e-05,2.387923e-05,2.399088e-05,2.401745e-05,2.414254e-05,2.415670e-05,2.425514e-05,2.430089e-05,2.435587e-05,2.442485e-05,2.444532e-05,2.452404e-05,2.452990e-05,2.459260e-05,2.461729e-05,2.465150e-05,2.468821e-05,2.470124e-05,2.474232e-05,2.474379e-05,2.477518e-05,2.478508e-05,2.480026e-05,2.481309e-05,2.481798e-05,2.482875e-05,2.483294e-05,2.483296e-05,2.483093e-05,2.482654e-05,2.482306e-05,2.481030e-05,2.480966e-05,2.479105e-05,2.478495e-05,2.476755e-05,2.475121e-05,2.473943e-05,2.470972e-05,2.470697e-05,2.467044e-05,2.466109e-05,2.463008e-05,2.460590e-05,2.458614e-05,2.454469e-05,2.453884e-05,2.448840e-05,2.447796e-05,2.443503e-05,2.440619e-05,2.437892e-05,2.432981e-05,2.432026e-05,2.425923e-05,2.424926e-05,2.419600e-05,2.416491e-05,2.413072e-05,2.407713e-05,2.406355e-05,2.399463e-05,2.398625e-05,2.392411e-05,2.389261e-05,2.385212e-05,2.379649e-05,2.377877e-05,2.370420e-05,2.369818e-05,2.362850e-05,2.359793e-05,2.355179e-05,2.349598e-05,2.347416e-05,2.339572e-05,2.339257e-05,2.331656e-05,2.328790e-05,2.323675e-05,2.318216e-05,2.315639e-05,2.307555e-05,2.296822e-05,2.286035e-05,2.275207e-05,2.264353e-05,2.253484e-05,2.242613e-05,2.231751e-05,2.220907e-05,2.210091e-05,2.199312e-05,2.188577e-05,2.177893e-05,2.167269e-05,2.156708e-05,2.146218e-05,2.135804e-05,2.125469e-05,2.115219e-05,2.105058e-05,2.094988e-05,2.085013e-05,2.075135e-05,2.065359e-05,2.055684e-05
0.000000e+00,1.022639e-11,2.340923e-11,8.066027e-11,1.844174e-10,2.701917e-10,6.235030e-10,6.428415e-10,1.276640e-09,1.513779e-09,2.269453e-09,3.082507e-09,3.727509e-09,5.539033e-09,5.717976e-09,8.222725e-09,8.892279e-09,1.116584e-08,1.297581e-08,1.446982e-08,1.762882e-08,1.807597e-08,2.194061e-08,2.274132e-08,2.602781e-08,2.823008e-08,3.030444e-08,3.401928e-08,3.473778e-08,3.929458e-08,4.003288e-08,4.394120e-08,4.619361e-08,4.864408e-08,5.242480e-08,5.337041e-08,5.808887e-08,5.865314e-08,6.277023e-08,6.481130e-08,6.738782e-08,7.083978e-08,7.191783e-08,7.633951e-08,7.668802e-08,8.063520e-08,8.231482e-08,8.479024e-08,8.768804e-08,8.879282e-08,9.263382e-08,9.278399e-08,9.630650e-08,9.758651e-08,9.980628e-08,1.020859e-07,1.031305e-07,1.062780e-07,1.092492e-07,1.101630e-07,1.120456e-07,1.137447e-07,1.146696e-07,1.170295e-07,1.171245e-07,1.194142e-07,1.200263e-07,1.215430e-07,1.227450e-07,1.235157e-07,1.251970e-07,1.253373e-07,1.270131e-07,1.273942e-07,1.285484e-07,1.293488e-07,1.299486e-07,1.310734e-07,1.312192e-07,1.323657e-07,1.325806e-07,1.333934e-07,1.338826e-07,1.343076e-07,1.349916e-07,1.351135e-07,1.358163e-07,1.359195e-07,1.364210e-07,1.366778e-07,1.369323e-07,1.372774e-07,1.373551e-07,1.376938e-07,1.377290e-07,1.379529e-07,1.380428e-07,1.381367e-07,1.382285e-07,1.382493e-07,1.382946e-07,1.382955e-07,1.382766e-07,1.382524e-07,1.381988e-07,1.381077e-07,1.380648e-07,1.378779e-07,1.378694e-07,1.376415e-07,1.375449e-07,1.373587e-07,1.371414e-07,1.370324e-07,1.366655e-07,1.362607e-07,1.361236e-07,1.358207e-07,1.355217e-07,1.353478e-07,1.348653e-07,1.348446e-07,1.343133e-07,1.341597e-07,1.337559e-07,1.334099e-07,1.331747e-07,1.326205e-07,1.325715e-07,1.319481e-07,1.317958e-07,1.313065e-07,1.309398e-07,1.306482e-07,1.300564e-07,1.299749e-07,1.292880e-07,1.291491e-07,1.285890e-07,1.282211e-07,1.278792e-07,1.272757e-07,1.271600e-07,1.264325e-07,1.263155e-07,1.256980e-07,1.253432e-07,1.249574e-07,1.243613e-07,1.242119e-07,1.234623e-07,1.233721e-07,1.227096e-07,1.223777e-07,1.219547e-07,1.213799e-07,1.211983e-07,1.204412e-07,1.203806e-07,1.196841e-07,1.193814e-07,1.189277e-07,1.183839e-07,1.181726e-07,1.174194e-07,1.173894e-07,1.166687e-07,1.163991e-07,1.159208e-07,1.154142e-07,1.151764e-07,1.144359e-07,1.134649e-07,1.125022e-07,1.115485e-07,1.106046e-07,1.096710e-07,1.087483e-07,1.078370e-07,1.069375e-07,1.060501e-07,1.051753e-07,1.043132e-07,1.034641e-07,1.026281e-07,1.018055e-07,1.009963e-07,1.002006e-07,9.941837e-08,9.864976e-08,9.789470e-08,9.715318e-08,9.642515e-08,9.571053e-08,9.500925e-08,9.432120e-08
0.000000e+00,1.000106e-10,3.724529e-10,2.555450e-09,8.926009e-09,1.569343e-08,5.196867e-08,5.423020e-08,1.377694e-07,1.723454e-07,2.899446e-07,4.255682e-07,5.385239e-07,8.794917e-07,9.151009e-07,1.451297e-06,1.606591e-06,2.169834e-06,2.654584e-06,3.075820e-06,4.017640e-06,4.155587e-06,5.382640e-06,5.642950e-06,6.725216e-06,7.458450e-06,8.151825e-06,9.394237e-06,9.634082e-06,1.114753e-05,1.139114e-05,1.267144e-05,1.340138e-05,1.418826e-05,1.538645e-05,1.568298e-05,1.714272e-05,1.731500e-05,1.855646e-05,1.916147e-05,1.991486e-05,2.090541e-05,2.121019e-05,2.243632e-05,2.253127e-05,2.358868e-05,2.402823e-05,2.466417e-05,2.538990e-05,2.566107e-05,2.657892e-05,2.661399e-05,2.741838e-05,2.770168e-05,2.818106e-05,2.865702e-05,2.886935e-05,2.948625e-05,3.003528e-05,3.019725e-05,3.052024e-05,3.079882e-05,3.094510e-05,3.130021e-05,3.131394e-05,3.163084e-05,3.171081e-05,3.189981e-05,3.203981e-05,3.212474e-05,3.229600e-05,3.230937e-05,3.245723e-05,3.248762e-05,3.257165e-05,3.262227e-05,3.265571e-05,3.270686e-05,3.271229e-05,3.274405e-05,3.274764e-05,3.275342e-05,3.275020e-05,3.274264e-05,3.271950e-05,3.271373e-05,3.266855e-05,3.265992e-05,3.260876e-05,3.257534e-05,3.253591e-05,3.246915e-05,3.245137e-05,3.235638e-05,3.234433e-05,3.225208e-05,3.220350e-05,3.213948e-05,3.204893e-05,3.201951e-05,3.189299e-05,3.188261e-05,3.176069e-05,3.170630e-05,3.162328e-05,3.152153e-05,3.148138e-05,3.133555e-05,3.132964e-05,3.118629e-05,3.113181e-05,3.103406e-05,3.092907e-05,3.087928e-05,3.072233e-05,3.056354e-05,3.051239e-05,3.040324e-05,3.029998e-05,3.024170e-05,3.008571e-05,3.007919e-05,2.991594e-05,2.987013e-05,2.975218e-05,2.965375e-05,2.958808e-05,2.943699e-05,2.942385e-05,2.925963e-05,2.922024e-05,2.909558e-05,2.900384e-05,2.893184e-05,2.878810e-05,2.876853e-05,2.860577e-05,2.857330e-05,2.844366e-05,2.835965e-05,2.828230e-05,2.814740e-05,2.812177e-05,2.796216e-05,2.793671e-05,2.780353e-05,2.772776e-05,2.764595e-05,2.752069e-05,2.748949e-05,2.733420e-05,2.731564e-05,2.718012e-05,2.711272e-05,2.702730e-05,2.691202e-05,2.687578e-05,2.672559e-05,2.671364e-05,2.657678e-05,2.651764e-05,2.642935e-05,2.632409e-05,2.628335e-05,2.613879e-05,2.613304e-05,2.599569e-05,2.594454e-05,2.585408e-05,2.575863e-05,2.571395e-05,2.557533e-05,2.539467e-05,2.521666e-05,2.504133e-05,2.486867e-05,2.469868e-05,2.453137e-05,2.436673e-05,2.420474e-05,2.404541e-05,2.388871e-05,2.373463e-05,2.358315e-05,2.343424e-05,2.328789e-05,2.314407e-05,2.300274e-05,2.286390e-05,2.272750e-05,2.259352e-05,2.246192e-05,2.233269e-05,2.220577e-05,2.208115e-05,2.195879e-05
0.000000e+00,1.059485e-09,3.592819e-09,2.073130e-08,6.332433e-08,1.043847e-07,3.011196e-07,3.127273e-07,7.208453e-07,8.835963e-07,1.427323e-06,2.047453e-06,2.562934e-06,4.122331e-06,4.285507e-06,6.741745e-06,7.450360e-06,9.998195e-06,1.215565e-05,1.400132e-05,1.803365e-05,1.861420e-05,2.368435e-05,2.474143e-05,2.908419e-05,3.198967e-05,3.471850e-05,3.958087e-05,4.051740e-05,4.642745e-05,4.738036e-05,5.240511e-05,5.528726e-05,5.841301e-05,6.321874e-05,6.441805e-05,7.039045e-05,7.110365e-05,7.630362e-05,7.888046e-05,8.213393e-05,8.649666e-05,8.786062e-05,9.346596e-05,9.390868e-05,9.893501e-05,1.010816e-04,1.042555e-04,1.079888e-04,1.094178e-04,1.144142e-04,1.146105e-04,1.192394e-04,1.209338e-04,1.238896e-04,1.269506e-04,1.283627e-04,1.326577e-04,1.367748e-04,1.380549e-04,1.407151e-04,1.431450e-04,1.444806e-04,1.479330e-04,1.480735e-04,1.514968e-04,1.524254e-04,1.547539e-04,1.566298e-04,1.578483e-04,1.605548e-04,1.607839e-04,1.635647e-04,1.642095e-04,1.661949e-04,1.676035e-04,1.686786e-04,1.707465e-04,1.710202e-04,1.732239e-04,1.736484e-04,1.752940e-04,1.763191e-04,1.772348e-04,1.787683e-04,1.790506e-04,1.807454e-04,1.810057e-04,1.823236e-04,1.830408e-04,1.837890e-04,1.848830e-04,1.851458e-04,1.863979e-04,1.865412e-04,1.875490e-04,1.880245e-04,1.886029e-04,1.893412e-04,1.895634e-04,1.904340e-04,1.904998e-04,1.912181e-04,1.915084e-04,1.919193e-04,1.923746e-04,1.925407e-04,1.930857e-04,1.931059e-04,1.935573e-04,1.937097e-04,1.939586e-04,1.941929e-04,1.942926e-04,1.945621e-04,1.947699e-04,1.948238e-04,1.949186e-04,1.949841e-04,1.950110e-04,1.950489e-04,1.950495e-04,1.950365e-04,1.950240e-04,1.949745e-04,1.949147e-04,1.948658e-04,1.947263e-04,1.947124e-04,1.945167e-04,1.944636e-04,1.942806e-04,1.941315e-04,1.940061e-04,1.937344e-04,1.936952e-04,1.933497e-04,1.932766e-04,1.929715e-04,1.927624e-04,1.925621e-04,1.921955e-04,1.921234e-04,1.916570e-04,1.915798e-04,1.911642e-04,1.909188e-04,1.906468e-04,1.902159e-04,1.901060e-04,1.895433e-04,1.894743e-04,1.889600e-04,1.886971e-04,1.883573e-04,1.878871e-04,1.877365e-04,1.870989e-04,1.870472e-04,1.864454e-04,1.861798e-04,1.857772e-04,1.852877e-04,1.850954e-04,1.844010e-04,1.843729e-04,1.836948e-04,1.834379e-04,1.829779e-04,1.824847e-04,1.822510e-04,1.815152e-04,1.805314e-04,1.795351e-04,1.785279e-04,1.775114e-04,1.764871e-04,1.754564e-04,1.744206e-04,1.733810e-04,1.723387e-04,1.712949e-04,1.702505e-04,1.692065e-04,1.681638e-04,1.671233e-04,1.660858e-04,1.650519e-04,1.640223e-04,1.629978e-04,1.619788e-04,1.609660e-04,1.599597e-04,1.589606e-04,1.579689e-04,1.569852e-04
0.000000e+00,1.311722e-10,5.022567e-10,3.645219e-09,1.337449e-08,2.413422e-08,8.512881e-08,8.904917e-08,2.390356e-07,3.030768e-07,5.257096e-07,7.880761e-07,1.009264e-06,1.684960e-06,1.756007e-06,2.834536e-06,3.150102e-06,4.309222e-06,5.328363e-06,6.232714e-06,8.325696e-06,8.641066e-06,1.155270e-05,1.219588e-05,1.496990e-05,1.694334e-05,1.888128e-05,2.253239e-05,2.326410e-05,2.808646e-05,2.889628e-05,3.330889e-05,3.594460e-05,3.888589e-05,4.356916e-05,4.476724e-05,5.089924e-05,5.164928e-05,5.722597e-05,6.005678e-05,6.369057e-05,6.866096e-05,7.023637e-05,7.680807e-05,7.733332e-05,8.335276e-05,8.595183e-05,8.982083e-05,9.440464e-05,9.616671e-05,1.023494e-04,1.025928e-04,1.083330e-04,1.104322e-04,1.140866e-04,1.178544e-04,1.195846e-04,1.248068e-04,1.297377e-04,1.312522e-04,1.343664e-04,1.371671e-04,1.386865e-04,1.425408e-04,1.426952e-04,1.463931e-04,1.473733e-04,1.497839e-04,1.516734e-04,1.528736e-04,1.554573e-04,1.556705e-04,1.581843e-04,1.587468e-04,1.604264e-04,1.615677e-04,1.624087e-04,1.639486e-04,1.641442e-04,1.656460e-04,1.659196e-04,1.669276e-04,1.675115e-04,1.680024e-04,1.687552e-04,1.688837e-04,1.695846e-04,1.696808e-04,1.701176e-04,1.703175e-04,1.704951e-04,1.706930e-04,1.707287e-04,1.708297e-04,1.708334e-04,1.708087e-04,1.707634e-04,1.706756e-04,1.705055e-04,1.704401e-04,1.701109e-04,1.700808e-04,1.696965e-04,1.695086e-04,1.692045e-04,1.688065e-04,1.686424e-04,1.680168e-04,1.679906e-04,1.673341e-04,1.670755e-04,1.666000e-04,1.660743e-04,1.658200e-04,1.649990e-04,1.641417e-04,1.638604e-04,1.632522e-04,1.626680e-04,1.623346e-04,1.614306e-04,1.613925e-04,1.604290e-04,1.601559e-04,1.594474e-04,1.588509e-04,1.584504e-04,1.575218e-04,1.574406e-04,1.564203e-04,1.561741e-04,1.553917e-04,1.548128e-04,1.543568e-04,1.534423e-04,1.533174e-04,1.522751e-04,1.520664e-04,1.512314e-04,1.506887e-04,1.501878e-04,1.493121e-04,1.491455e-04,1.481055e-04,1.479394e-04,1.470691e-04,1.465731e-04,1.460370e-04,1.452150e-04,1.450101e-04,1.439893e-04,1.438672e-04,1.429751e-04,1.425312e-04,1.419683e-04,1.412083e-04,1.409693e-04,1.399787e-04,1.398998e-04,1.389969e-04,1.386068e-04,1.380244e-04,1.373300e-04,1.370613e-04,1.361082e-04,1.360703e-04,1.351652e-04,1.348282e-04,1.342325e-04,1.336044e-04,1.333105e-04,1.323991e-04,1.312128e-04,1.300456e-04,1.288979e-04,1.277696e-04,1.266609e-04,1.255718e-04,1.245022e-04,1.234522e-04,1.224215e-04,1.214101e-04,1.204178e-04,1.194444e-04,1.184898e-04,1.175537e-04,1.166359e-04,1.157361e-04,1.148541e-04,1.139897e-04,1.131424e-04,1.123122e-04,1.114986e-04,1.107014e-04,1.099204e-04,1.091551e-04
0.000000e+00,3.148464e-11,7.303286e-11,2.543555e-10,5.821327e-10,8.515892e-10,1.947241e-09,2.006598e-09,3.922507e-09,4.626856e-09,6.838542e-09,9.182879e-09,1.103278e-08,1.626528e-08,1.678887e-08,2.429851e-08,2.636429e-08,3.353365e-08,3.936657e-08,4.422986e-08,5.456128e-08,5.602269e-08,6.858147e-08,7.116141e-08,8.165087e-08,8.858318e-08,9.503908e-08,1.064210e-07,1.085962e-07,1.221980e-07,1.243711e-07,1.357374e-07,1.421859e-07,1.491195e-07,1.596552e-07,1.622604e-07,1.750865e-07,1.766013e-07,1.875345e-07,1.928779e-07,1.995517e-07,2.083701e-07,2.110956e-07,2.221334e-07,2.229939e-07,2.326417e-07,2.366929e-07,2.426047e-07,2.494359e-07,2.520148e-07,2.608704e-07,2.612131e-07,2.691750e-07,2.720312e-07,2.769367e-07,2.819105e-07,2.841674e-07,2.908818e-07,2.970967e-07,2.989830e-07,3.028306e-07,3.062569e-07,3.081031e-07,3.127495e-07,3.129345e-07,3.173453e-07,3.185078e-07,3.213564e-07,3.235798e-07,3.249885e-07,3.280126e-07,3.282617e-07,3.311959e-07,3.318518e-07,3.338102e-07,3.351414e-07,3.361230e-07,3.379231e-07,3.381523e-07,3.399150e-07,3.402370e-07,3.414276e-07,3.421205e-07,3.427057e-07,3.436089e-07,3.437640e-07,3.446168e-07,3.447351e-07,3.452774e-07,3.455299e-07,3.457585e-07,3.460222e-07,3.460721e-07,3.462296e-07,3.462386e-07,3.462418e-07,3.462038e-07,3.461188e-07,3.459408e-07,3.458702e-07,3.455050e-07,3.454710e-07,3.450317e-07,3.448140e-07,3.444584e-07,3.439879e-07,3.437926e-07,3.430413e-07,3.430096e-07,3.422114e-07,3.418946e-07,3.413090e-07,3.406571e-07,3.403402e-07,3.393103e-07,3.382247e-07,3.378663e-07,3.370882e-07,3.363363e-07,3.359055e-07,3.347306e-07,3.346808e-07,3.334182e-07,3.330584e-07,3.321215e-07,3.313286e-07,3.307942e-07,3.295489e-07,3.294396e-07,3.280610e-07,3.277268e-07,3.266611e-07,3.258689e-07,3.252427e-07,3.239812e-07,3.238083e-07,3.223604e-07,3.220694e-07,3.209012e-07,3.201386e-07,3.194327e-07,3.181935e-07,3.179569e-07,3.164757e-07,3.162382e-07,3.149905e-07,3.142768e-07,3.135032e-07,3.123127e-07,3.120150e-07,3.105274e-07,3.103490e-07,3.090417e-07,3.083888e-07,3.075589e-07,3.064347e-07,3.060802e-07,3.046066e-07,3.044890e-07,3.031390e-07,3.025539e-07,3.016783e-07,3.006313e-07,3.002253e-07,2.987806e-07,2.987230e-07,2.973451e-07,2.968306e-07,2.959192e-07,2.949554e-07,2.945035e-07,2.930987e-07,2.912615e-07,2.894449e-07,2.876496e-07,2.858765e-07,2.841262e-07,2.823992e-07,2.806959e-07,2.790169e-07,2.773623e-07,2.757324e-07,2.741274e-07,2.725475e-07,2.709927e-07,2.694631e-07,2.679587e-07,2.664794e-07,2.650251e-07,2.635958e-07,2.621914e-07,2.608116e-07,2.594562e-07,2.581252e-07,2.568182e-07,2.555351e-07
0.000000e+00,7.795629e-10,3.063339e-09,2.347581e-08,9.059425e-08,1.681445e-07,6.389122e-07,6.703996e-07,1.943198e-06,2.517160e-06,4.612983e-06,7.238719e-06,9.556896e-06,1.710908e-05,1.793879e-05,3.122227e-05,3.532626e-05,5.112081e-05,6.583775e-05,7.947150e-05,1.128497e-04,1.180811e-04,1.686032e-04,1.802672e-04,2.324646e-04,2.713417e-04,3.108297e-04,3.885237e-04,4.045881e-04,5.143555e-04,5.334309e-04,6.404808e-04,7.068684e-04,7.830584e-04,9.088759e-04,9.419426e-04,1.116766e-03,1.138790e-03,1.306957e-03,1.395322e-03,1.511765e-03,1.676641e-03,1.730282e-03,1.961465e-03,1.980473e-03,2.204166e-03,2.304197e-03,2.457152e-03,2.644946e-03,2.719130e-03,2.988772e-03,2.999698e-03,3.264735e-03,3.365370e-03,3.545679e-03,3.738891e-03,3.830285e-03,4.117271e-03,4.405403e-03,4.497653e-03,4.693505e-03,4.877359e-03,4.980468e-03,5.253918e-03,5.265256e-03,5.546909e-03,5.625089e-03,5.824549e-03,5.988871e-03,6.097377e-03,6.343509e-03,6.364673e-03,6.625800e-03,6.687489e-03,6.880196e-03,7.019533e-03,7.127374e-03,7.338587e-03,7.366917e-03,7.598479e-03,7.643808e-03,7.821775e-03,7.934545e-03,8.036579e-03,8.210326e-03,8.242722e-03,8.440084e-03,8.470842e-03,8.628593e-03,8.715923e-03,8.808219e-03,8.945528e-03,8.978970e-03,9.140889e-03,9.159729e-03,9.294050e-03,9.358691e-03,9.438553e-03,9.542662e-03,9.574524e-03,9.702109e-03,9.711959e-03,9.821473e-03,9.866957e-03,9.932796e-03,1.000808e-02,1.003627e-02,1.013210e-02,1.013578e-02,1.022050e-02,1.025055e-02,1.030169e-02,1.035289e-02,1.037589e-02,1.044334e-02,1.050426e-02,1.052242e-02,1.055889e-02,1.059067e-02,1.060747e-02,1.064862e-02,1.065022e-02,1.068738e-02,1.069682e-02,1.071918e-02,1.073578e-02,1.074584e-02,1.076602e-02,1.076759e-02,1.078464e-02,1.078805e-02,1.079721e-02,1.080237e-02,1.080551e-02,1.080944e-02,1.080974e-02,1.081010e-02,1.080973e-02,1.080679e-02,1.080369e-02,1.080000e-02,1.079174e-02,1.078991e-02,1.077669e-02,1.077430e-02,1.076052e-02,1.075176e-02,1.074157e-02,1.072451e-02,1.071999e-02,1.069594e-02,1.069290e-02,1.066957e-02,1.065727e-02,1.064103e-02,1.061796e-02,1.061044e-02,1.057794e-02,1.057526e-02,1.054367e-02,1.052949e-02,1.050774e-02,1.048090e-02,1.047026e-02,1.043136e-02,1.042978e-02,1.039114e-02,1.037636e-02,1.034971e-02,1.032089e-02,1.030715e-02,1.026357e-02,1.020463e-02,1.014425e-02,1.008261e-02,1.001990e-02,9.956271e-03,9.891871e-03,9.826844e-03,9.761318e-03,9.695417e-03,9.629254e-03,9.562935e-03,9.496555e-03,9.430207e-03,9.363974e-03,9.297932e-03,9.232152e-03,9.166700e-03,9.101635e-03,9.037011e-03,8.972879e-03,8.909284e-03,8.846266e-03,8.783862e-03,8.722106e-03
0.000000e+00,7.205192e-12,1.652474e-11,5.690185e-11,1.296211e-10,1.893346e-10,4.320485e-10,4.451978e-10,8.695551e-10,1.025380e-09,1.512606e-09,2.022341e-09,2.416929e-09,3.485983e-09,3.588981e-09,4.997270e-09,5.365978e-09,6.603277e-09,7.577201e-09,8.376081e-09,1.005388e-08,1.029027e-08,1.232228e-08,1.274077e-08,1.444887e-08,1.558438e-08,1.664691e-08,1.853198e-08,1.889389e-08,2.116854e-08,2.153372e-08,2.345141e-08,2.454496e-08,2.572527e-08,2.752783e-08,2.797530e-08,3.018917e-08,3.045191e-08,3.235690e-08,3.329400e-08,3.447069e-08,3.603744e-08,3.652470e-08,3.851475e-08,3.867110e-08,4.043809e-08,4.118835e-08,4.229313e-08,4.358610e-08,4.407926e-08,4.579660e-08,4.586387e-08,4.744587e-08,4.802315e-08,4.902824e-08,5.006679e-08,5.054521e-08,5.199856e-08,5.339018e-08,5.382279e-08,5.472211e-08,5.554419e-08,5.599646e-08,5.716762e-08,5.721534e-08,5.838087e-08,5.869795e-08,5.949517e-08,6.014002e-08,6.056031e-08,6.149854e-08,6.157830e-08,6.255111e-08,6.277807e-08,6.348064e-08,6.398298e-08,6.436875e-08,6.511743e-08,6.521721e-08,6.602773e-08,6.618542e-08,6.680193e-08,6.719070e-08,6.754141e-08,6.813684e-08,6.824767e-08,6.892215e-08,6.902721e-08,6.956622e-08,6.986497e-08,7.018122e-08,7.065312e-08,7.076839e-08,7.132894e-08,7.139447e-08,7.186402e-08,7.209168e-08,7.237473e-08,7.274721e-08,7.286211e-08,7.332715e-08,7.336342e-08,7.377081e-08,7.394249e-08,7.419400e-08,7.448650e-08,7.459757e-08,7.498236e-08,7.499737e-08,7.534915e-08,7.547693e-08,7.569869e-08,7.592689e-08,7.603170e-08,7.634885e-08,7.665080e-08,7.674432e-08,7.693818e-08,7.711472e-08,7.721157e-08,7.746139e-08,7.747154e-08,7.771862e-08,7.778557e-08,7.795335e-08,7.808846e-08,7.817620e-08,7.837115e-08,7.838766e-08,7.858816e-08,7.863470e-08,7.877815e-08,7.888010e-08,7.895802e-08,7.910827e-08,7.912819e-08,7.928901e-08,7.932008e-08,7.944085e-08,7.951637e-08,7.958406e-08,7.969792e-08,7.971896e-08,7.984587e-08,7.986546e-08,7.996510e-08,8.001969e-08,8.007694e-08,8.016127e-08,8.018165e-08,8.027952e-08,8.029081e-08,8.037079e-08,8.040892e-08,8.045571e-08,8.051615e-08,8.053452e-08,8.060745e-08,8.061303e-08,8.067470e-08,8.070006e-08,8.073649e-08,8.077771e-08,8.079302e-08,8.084448e-08,8.084644e-08,8.089106e-08,8.090667e-08,8.093294e-08,8.095881e-08,8.097028e-08,8.100326e-08,8.104036e-08,8.107049e-08,8.109396e-08,8.111110e-08,8.112221e-08,8.112758e-08,8.112747e-08,8.112216e-08,8.111190e-08,8.109692e-08,8.107744e-08,8.105370e-08,8.102589e-08,8.099421e-08,8.095886e-08,8.092002e-08,8.087786e-08,8.083255e-08,8.078425e-08,8.073311e-08,8.067929e-08,8.062291e-08,8.056412e-08,8.050304e-08
0.000000e+00,1.551249e-10,3.854542e-10,1.445153e-09,3.422487e-09,5.068853e-09,1.182308e-08,1.219007e-08,2.403489e-08,2.838012e-08,4.196412e-08,5.622671e-08,6.734907e-08,9.799451e-08,1.009889e-07,1.425951e-07,1.536681e-07,1.912735e-07,2.212985e-07,2.461761e-07,2.990978e-07,3.066243e-07,3.720184e-07,3.856388e-07,4.417626e-07,4.795427e-07,5.152321e-07,5.793463e-07,5.917710e-07,6.707028e-07,6.835085e-07,7.513492e-07,7.904729e-07,8.330480e-07,8.987409e-07,9.151707e-07,9.971359e-07,1.006936e-06,1.078419e-06,1.113847e-06,1.158559e-06,1.218453e-06,1.237157e-06,1.313881e-06,1.319929e-06,1.388459e-06,1.417639e-06,1.460676e-06,1.511118e-06,1.530370e-06,1.597423e-06,1.600049e-06,1.661758e-06,1.684244e-06,1.723332e-06,1.763617e-06,1.782130e-06,1.838164e-06,1.891461e-06,1.907945e-06,1.942067e-06,1.973069e-06,1.990040e-06,2.033677e-06,2.035445e-06,2.078358e-06,2.089938e-06,2.118857e-06,2.142032e-06,2.157024e-06,2.190152e-06,2.192944e-06,2.226703e-06,2.234493e-06,2.258385e-06,2.275252e-06,2.288076e-06,2.312623e-06,2.315859e-06,2.341817e-06,2.346796e-06,2.366029e-06,2.377956e-06,2.388574e-06,2.406279e-06,2.409528e-06,2.428964e-06,2.431937e-06,2.446952e-06,2.455092e-06,2.463561e-06,2.475900e-06,2.478857e-06,2.492903e-06,2.494507e-06,2.505758e-06,2.511053e-06,2.517482e-06,2.525670e-06,2.528131e-06,2.537757e-06,2.538484e-06,2.546411e-06,2.549612e-06,2.554143e-06,2.559165e-06,2.560999e-06,2.567024e-06,2.567248e-06,2.572261e-06,2.573960e-06,2.576749e-06,2.579394e-06,2.580529e-06,2.583636e-06,2.586108e-06,2.586770e-06,2.587976e-06,2.588871e-06,2.589274e-06,2.590012e-06,2.590032e-06,2.590280e-06,2.590261e-06,2.590045e-06,2.589683e-06,2.589353e-06,2.588336e-06,2.588231e-06,2.586703e-06,2.586278e-06,2.584791e-06,2.583560e-06,2.582517e-06,2.580233e-06,2.579902e-06,2.576966e-06,2.576342e-06,2.573728e-06,2.571931e-06,2.570206e-06,2.567040e-06,2.566416e-06,2.562377e-06,2.561708e-06,2.558102e-06,2.555971e-06,2.553607e-06,2.549862e-06,2.548906e-06,2.544012e-06,2.543412e-06,2.538938e-06,2.536652e-06,2.533696e-06,2.529608e-06,2.528298e-06,2.522755e-06,2.522306e-06,2.517077e-06,2.514770e-06,2.511274e-06,2.507023e-06,2.505355e-06,2.499330e-06,2.499087e-06,2.493207e-06,2.490981e-06,2.486995e-06,2.482723e-06,2.480700e-06,2.474331e-06,2.465821e-06,2.457209e-06,2.448508e-06,2.439732e-06,2.430893e-06,2.422003e-06,2.413073e-06,2.404112e-06,2.395131e-06,2.386137e-06,2.377140e-06,2.368146e-06,2.359162e-06,2.350197e-06,2.341254e-06,2.332341e-06,2.323462e-06,2.314622e-06,2.305826e-06,2.297079e-06,2.288383e-06,2.279742e-06,2.271161e-06,2.262641e-06
0.000000e+00,2.144350e-10,8.124789e-10,5.773654e-09,2.080333e-08,3.718879e-08,1.283364e-07,1.341383e-07,3.539372e-07,4.470869e-07,7.697990e-07,1.149707e-06,1.470471e-06,2.454862e-06,2.558755e-06,4.142009e-06,4.606448e-06,6.311571e-06,7.804994e-06,9.122715e-06,1.213860e-05,1.258862e-05,1.668738e-05,1.757936e-05,2.137363e-05,2.402354e-05,2.658887e-05,3.133131e-05,3.226852e-05,3.834593e-05,3.935077e-05,4.475448e-05,4.792885e-05,5.142841e-05,5.691530e-05,5.830332e-05,6.531647e-05,6.616444e-05,7.240728e-05,7.553680e-05,7.951782e-05,8.490128e-05,8.659347e-05,9.358353e-05,9.413762e-05,1.004418e-04,1.031388e-04,1.071271e-04,1.118131e-04,1.136036e-04,1.198408e-04,1.200849e-04,1.258138e-04,1.278955e-04,1.315031e-04,1.352022e-04,1.368942e-04,1.419774e-04,1.467472e-04,1.482070e-04,1.512021e-04,1.538886e-04,1.553437e-04,1.590291e-04,1.591766e-04,1.627077e-04,1.636434e-04,1.659458e-04,1.677523e-04,1.689013e-04,1.713806e-04,1.715856e-04,1.740111e-04,1.745561e-04,1.761906e-04,1.773084e-04,1.781370e-04,1.796676e-04,1.798636e-04,1.813834e-04,1.816637e-04,1.827093e-04,1.833263e-04,1.838538e-04,1.846838e-04,1.848290e-04,1.856464e-04,1.857633e-04,1.863172e-04,1.865903e-04,1.868520e-04,1.871886e-04,1.872607e-04,1.875527e-04,1.875803e-04,1.877370e-04,1.877862e-04,1.878220e-04,1.878249e-04,1.878154e-04,1.877245e-04,1.877138e-04,1.875563e-04,1.874688e-04,1.873171e-04,1.871042e-04,1.870128e-04,1.866489e-04,1.866332e-04,1.862307e-04,1.860678e-04,1.857629e-04,1.854187e-04,1.852498e-04,1.846957e-04,1.841044e-04,1.839079e-04,1.834793e-04,1.830631e-04,1.828238e-04,1.821688e-04,1.821409e-04,1.814335e-04,1.812314e-04,1.807041e-04,1.802569e-04,1.799551e-04,1.792507e-04,1.791888e-04,1.784073e-04,1.782177e-04,1.776125e-04,1.771623e-04,1.768061e-04,1.760883e-04,1.759899e-04,1.751652e-04,1.749994e-04,1.743335e-04,1.738988e-04,1.734962e-04,1.727893e-04,1.726544e-04,1.718092e-04,1.716737e-04,1.709616e-04,1.705542e-04,1.701126e-04,1.694330e-04,1.692631e-04,1.684138e-04,1.683120e-04,1.675656e-04,1.671928e-04,1.667190e-04,1.660771e-04,1.658747e-04,1.650333e-04,1.649662e-04,1.641954e-04,1.638613e-04,1.633613e-04,1.627635e-04,1.625316e-04,1.617067e-04,1.616738e-04,1.608869e-04,1.605931e-04,1.600726e-04,1.595221e-04,1.592641e-04,1.584616e-04,1.574121e-04,1.563742e-04,1.553483e-04,1.543347e-04,1.533339e-04,1.523462e-04,1.513717e-04,1.504107e-04,1.494633e-04,1.485297e-04,1.476099e-04,1.467040e-04,1.458121e-04,1.449341e-04,1.440701e-04,1.432201e-04,1.423839e-04,1.415616e-04,1.407530e-04,1.399580e-04,1.391767e-04,1.384087e-04,1.376542e-04,1.369128e-04
0.000000e+00,3.115986e-10,1.155581e-09,7.867539e-09,2.731959e-08,4.790062e-08,1.577464e-07,1.645816e-07,4.167138e-07,5.209790e-07,8.755057e-07,1.284303e-06,1.624734e-06,2.652206e-06,2.759513e-06,4.376337e-06,4.845219e-06,6.549277e-06,8.020754e-06,9.303221e-06,1.218268e-05,1.260574e-05,1.638193e-05,1.718581e-05,2.053732e-05,2.281585e-05,2.497591e-05,2.885855e-05,2.960980e-05,3.436237e-05,3.512928e-05,3.916820e-05,4.147724e-05,4.397163e-05,4.778060e-05,4.872534e-05,5.338917e-05,5.394112e-05,5.792933e-05,5.988042e-05,6.231786e-05,6.553766e-05,6.653220e-05,7.055489e-05,7.086801e-05,7.437312e-05,7.584111e-05,7.797832e-05,8.043933e-05,8.136570e-05,8.453376e-05,8.465594e-05,8.748380e-05,8.849306e-05,9.021932e-05,9.195959e-05,9.274563e-05,9.506947e-05,9.719866e-05,9.784027e-05,9.914176e-05,1.002919e-04,1.009078e-04,1.024454e-04,1.025062e-04,1.039462e-04,1.043223e-04,1.052372e-04,1.059442e-04,1.063884e-04,1.073316e-04,1.074086e-04,1.083065e-04,1.085047e-04,1.090901e-04,1.094820e-04,1.097675e-04,1.102815e-04,1.103459e-04,1.108325e-04,1.109194e-04,1.112339e-04,1.114110e-04,1.115563e-04,1.117703e-04,1.118055e-04,1.119872e-04,1.120103e-04,1.121064e-04,1.121428e-04,1.121679e-04,1.121786e-04,1.121762e-04,1.121356e-04,1.121276e-04,1.120499e-04,1.119988e-04,1.119227e-04,1.118004e-04,1.117575e-04,1.115574e-04,1.115399e-04,1.113253e-04,1.112242e-04,1.110640e-04,1.108592e-04,1.107761e-04,1.104638e-04,1.104508e-04,1.101294e-04,1.100040e-04,1.097749e-04,1.095234e-04,1.094023e-04,1.090132e-04,1.086094e-04,1.084773e-04,1.081923e-04,1.079191e-04,1.077634e-04,1.073418e-04,1.073240e-04,1.068753e-04,1.067481e-04,1.064183e-04,1.061407e-04,1.059543e-04,1.055219e-04,1.054841e-04,1.050087e-04,1.048939e-04,1.045288e-04,1.042585e-04,1.040454e-04,1.036175e-04,1.035590e-04,1.030703e-04,1.029724e-04,1.025801e-04,1.023247e-04,1.020888e-04,1.016756e-04,1.015969e-04,1.011050e-04,1.010263e-04,1.006135e-04,1.003778e-04,1.001228e-04,9.973113e-05,9.963335e-05,9.914544e-05,9.908701e-05,9.865941e-05,9.844624e-05,9.817557e-05,9.780949e-05,9.769419e-05,9.721552e-05,9.717736e-05,9.673980e-05,9.655038e-05,9.626723e-05,9.592904e-05,9.579801e-05,9.533231e-05,9.531376e-05,9.487029e-05,9.470490e-05,9.441210e-05,9.410279e-05,9.395787e-05,9.350772e-05,9.291994e-05,9.233965e-05,9.176704e-05,9.120227e-05,9.064546e-05,9.009671e-05,8.955610e-05,8.902371e-05,8.849956e-05,8.798369e-05,8.747611e-05,8.697682e-05,8.648582e-05,8.600306e-05,8.552853e-05,8.506217e-05,8.460394e-05,8.415377e-05,8.371161e-05,8.327738e-05,8.285101e-05,8.243242e-05,8.202151e-05,8.161821e-05
0.000000e+00,1.638994e-11,3.770951e-11,1.303372e-10,2.972331e-10,4.340370e-10,9.865469e-10,1.016304e-09,1.967355e-09,2.312532e-09,3.381531e-09,4.490341e-09,5.347496e-09,7.688682e-09,7.916624e-09,1.108693e-08,1.193433e-08,1.483119e-08,1.716795e-08,1.912083e-08,2.332490e-08,2.392814e-08,2.922243e-08,3.033664e-08,3.496744e-08,3.811911e-08,4.112069e-08,4.656978e-08,4.763397e-08,5.445468e-08,5.557085e-08,6.152745e-08,6.499533e-08,6.879583e-08,7.471377e-08,7.620395e-08,8.369795e-08,8.460055e-08,9.122708e-08,9.453883e-08,9.874461e-08,1.044240e-07,1.062083e-07,1.135810e-07,1.141659e-07,1.208302e-07,1.236890e-07,1.279284e-07,1.329327e-07,1.348528e-07,1.415848e-07,1.418499e-07,1.481097e-07,1.504058e-07,1.544165e-07,1.585762e-07,1.604970e-07,1.663458e-07,1.719600e-07,1.737067e-07,1.773384e-07,1.806570e-07,1.824816e-07,1.871996e-07,1.873915e-07,1.920713e-07,1.933409e-07,1.965248e-07,1.990903e-07,2.007568e-07,2.044591e-07,2.047725e-07,2.085775e-07,2.094600e-07,2.121778e-07,2.141070e-07,2.155797e-07,2.184143e-07,2.187896e-07,2.218137e-07,2.223968e-07,2.246586e-07,2.260693e-07,2.273307e-07,2.294464e-07,2.298364e-07,2.321820e-07,2.325428e-07,2.343736e-07,2.353727e-07,2.364173e-07,2.379498e-07,2.383191e-07,2.400847e-07,2.402877e-07,2.417198e-07,2.423993e-07,2.432298e-07,2.442971e-07,2.446201e-07,2.458958e-07,2.459931e-07,2.470620e-07,2.474989e-07,2.481234e-07,2.488254e-07,2.490847e-07,2.499505e-07,2.499832e-07,2.507250e-07,2.509823e-07,2.514125e-07,2.518323e-07,2.520170e-07,2.525424e-07,2.529924e-07,2.531211e-07,2.533707e-07,2.535767e-07,2.536807e-07,2.539171e-07,2.539257e-07,2.541091e-07,2.541497e-07,2.542337e-07,2.542816e-07,2.543026e-07,2.543193e-07,2.543187e-07,2.542846e-07,2.542692e-07,2.542029e-07,2.541374e-07,2.540762e-07,2.539294e-07,2.539069e-07,2.536972e-07,2.536506e-07,2.534494e-07,2.533062e-07,2.531656e-07,2.529008e-07,2.528478e-07,2.524979e-07,2.524391e-07,2.521178e-07,2.519251e-07,2.517093e-07,2.513631e-07,2.512740e-07,2.508137e-07,2.507568e-07,2.503297e-07,2.501097e-07,2.498237e-07,2.494253e-07,2.492971e-07,2.487512e-07,2.487067e-07,2.481872e-07,2.479569e-07,2.476065e-07,2.471787e-07,2.470103e-07,2.463995e-07,2.463748e-07,2.457755e-07,2.455477e-07,2.451390e-07,2.446997e-07,2.444912e-07,2.438330e-07,2.429497e-07,2.420518e-07,2.411410e-07,2.402190e-07,2.392875e-07,2.383480e-07,2.374018e-07,2.364503e-07,2.354946e-07,2.345361e-07,2.335756e-07,2.326143e-07,2.316530e-07,2.306926e-07,2.297340e-07,2.287778e-07,2.278248e-07,2.268755e-07,2.259307e-07,2.249909e-07,2.240565e-07,2.231280e-07,2.222059e-07,2.212906e-07
0.000000e+00,2.323958e-11,5.341207e-11,1.882598e-10,4.492876e-10,6.809361e-10,1.772286e-09,1.837815e-09,4.248048e-09,5.251312e-09,8.640462e-09,1.236946e-08,1.525761e-08,2.278130e-08,2.347719e-08,3.249215e-08,3.471127e-08,4.179451e-08,4.702727e-08,5.112715e-08,5.925943e-08,6.035916e-08,6.941460e-08,7.119963e-08,7.824061e-08,8.272517e-08,8.679490e-08,9.374357e-08,9.504089e-08,1.029479e-07,1.041797e-07,1.104904e-07,1.139755e-07,1.176491e-07,1.230900e-07,1.244100e-07,1.307658e-07,1.315011e-07,1.367142e-07,1.392028e-07,1.422575e-07,1.462034e-07,1.474022e-07,1.521577e-07,1.525217e-07,1.565359e-07,1.581846e-07,1.605506e-07,1.632245e-07,1.642169e-07,1.675505e-07,1.676772e-07,1.705679e-07,1.715799e-07,1.732855e-07,1.749705e-07,1.757196e-07,1.778864e-07,1.798015e-07,1.803637e-07,1.814801e-07,1.824372e-07,1.829370e-07,1.841399e-07,1.841860e-07,1.852406e-07,1.855028e-07,1.861136e-07,1.865553e-07,1.868171e-07,1.873244e-07,1.873625e-07,1.877608e-07,1.878356e-07,1.880222e-07,1.881124e-07,1.881565e-07,1.881767e-07,1.881728e-07,1.880797e-07,1.880487e-07,1.878853e-07,1.877468e-07,1.875974e-07,1.872885e-07,1.872230e-07,1.867690e-07,1.866894e-07,1.862416e-07,1.859641e-07,1.856467e-07,1.851261e-07,1.849900e-07,1.842767e-07,1.841875e-07,1.835116e-07,1.831598e-07,1.826994e-07,1.820532e-07,1.818443e-07,1.809503e-07,1.808772e-07,1.800212e-07,1.796405e-07,1.790604e-07,1.783509e-07,1.780713e-07,1.770569e-07,1.770159e-07,1.760201e-07,1.756419e-07,1.749635e-07,1.742350e-07,1.738896e-07,1.728006e-07,1.716989e-07,1.713439e-07,1.705863e-07,1.698694e-07,1.694647e-07,1.683811e-07,1.683358e-07,1.672013e-07,1.668828e-07,1.660627e-07,1.653781e-07,1.649212e-07,1.638698e-07,1.637783e-07,1.626351e-07,1.623608e-07,1.614927e-07,1.608537e-07,1.603521e-07,1.593506e-07,1.592142e-07,1.580799e-07,1.578536e-07,1.569501e-07,1.563645e-07,1.558254e-07,1.548850e-07,1.547064e-07,1.535939e-07,1.534165e-07,1.524883e-07,1.519603e-07,1.513903e-07,1.505175e-07,1.503002e-07,1.492184e-07,1.490892e-07,1.481454e-07,1.476762e-07,1.470816e-07,1.462793e-07,1.460271e-07,1.449823e-07,1.448991e-07,1.439475e-07,1.435364e-07,1.429228e-07,1.421914e-07,1.419084e-07,1.409046e-07,1.408647e-07,1.399114e-07,1.395565e-07,1.389291e-07,1.382672e-07,1.379576e-07,1.369970e-07,1.357461e-07,1.345144e-07,1.333022e-07,1.321095e-07,1.309362e-07,1.297822e-07,1.286477e-07,1.275323e-07,1.264361e-07,1.253589e-07,1.243005e-07,1.232608e-07,1.222395e-07,1.212365e-07,1.202516e-07,1.192844e-07,1.183349e-07,1.174028e-07,1.164877e-07,1.155896e-07,1.147080e-07,1.138428e-07,1.129937e-07,1.121604e-07
0.000000e+00,7.996668e-12,1.831367e-11,6.302438e-11,1.436020e-10,2.097828e-10,4.786450e-10,4.932010e-10,9.624551e-10,1.134650e-09,1.673859e-09,2.241861e-09,2.686363e-09,3.919402e-09,4.040575e-09,5.736056e-09,6.190518e-09,7.741461e-09,8.986135e-09,1.002057e-08,1.222830e-08,1.254296e-08,1.528305e-08,1.585510e-08,1.821709e-08,1.981153e-08,2.132117e-08,2.404188e-08,2.457048e-08,2.793921e-08,2.848753e-08,3.140097e-08,3.308788e-08,3.492932e-08,3.778259e-08,3.849849e-08,4.208385e-08,4.251407e-08,4.566243e-08,4.722936e-08,4.921321e-08,5.188159e-08,5.271744e-08,5.615869e-08,5.643083e-08,5.952287e-08,6.084425e-08,6.279819e-08,6.509591e-08,6.597501e-08,6.904567e-08,6.916620e-08,7.200435e-08,7.304120e-08,7.484681e-08,7.671181e-08,7.757024e-08,8.017304e-08,8.265468e-08,8.342325e-08,8.501548e-08,8.646345e-08,8.725652e-08,8.929678e-08,8.937946e-08,9.138647e-08,9.192800e-08,9.328011e-08,9.436305e-08,9.506324e-08,9.660877e-08,9.673895e-08,9.831050e-08,9.867255e-08,9.978127e-08,1.005622e-07,1.011547e-07,1.022856e-07,1.024343e-07,1.036235e-07,1.038509e-07,1.047260e-07,1.052660e-07,1.057450e-07,1.065390e-07,1.066840e-07,1.075465e-07,1.076776e-07,1.083355e-07,1.086892e-07,1.090545e-07,1.095813e-07,1.097064e-07,1.102944e-07,1.103608e-07,1.108214e-07,1.110347e-07,1.112903e-07,1.116094e-07,1.117037e-07,1.120645e-07,1.120912e-07,1.123752e-07,1.124860e-07,1.126382e-07,1.127995e-07,1.128560e-07,1.130310e-07,1.130371e-07,1.131652e-07,1.132041e-07,1.132610e-07,1.133052e-07,1.133203e-07,1.133451e-07,1.133374e-07,1.133283e-07,1.132988e-07,1.132589e-07,1.132313e-07,1.131407e-07,1.131364e-07,1.130158e-07,1.129777e-07,1.128710e-07,1.127732e-07,1.127035e-07,1.125305e-07,1.125147e-07,1.123058e-07,1.122529e-07,1.120783e-07,1.119432e-07,1.118333e-07,1.116042e-07,1.115720e-07,1.112955e-07,1.112385e-07,1.110050e-07,1.108486e-07,1.107013e-07,1.104368e-07,1.103854e-07,1.100584e-07,1.100051e-07,1.097211e-07,1.095557e-07,1.093742e-07,1.090905e-07,1.090187e-07,1.086552e-07,1.086111e-07,1.082846e-07,1.081193e-07,1.079073e-07,1.076167e-07,1.075242e-07,1.071359e-07,1.071046e-07,1.067429e-07,1.065845e-07,1.063457e-07,1.060575e-07,1.059449e-07,1.055411e-07,1.055249e-07,1.051346e-07,1.049877e-07,1.047259e-07,1.044470e-07,1.043155e-07,1.039037e-07,1.033588e-07,1.028129e-07,1.022668e-07,1.017213e-07,1.011770e-07,1.006344e-07,1.000942e-07,9.955674e-08,9.902257e-08,9.849207e-08,9.796563e-08,9.744359e-08,9.692627e-08,9.641394e-08,9.590686e-08,9.540526e-08,9.490934e-08,9.441928e-08,9.393524e-08,9.345735e-08,9.298573e-08,9.252050e-08,9.206172e-08,9.160948e-08
0.000000e+00,4.910469e-12,1.122330e-11,3.852272e-11,8.768378e-11,1.280895e-10,2.927544e-10,3.016949e-10,5.912774e-10,6.981516e-10,1.034752e-09,1.392581e-09,1.675246e-09,2.473904e-09,2.553629e-09,3.690283e-09,4.000238e-09,5.065587e-09,5.920543e-09,6.625877e-09,8.104672e-09,8.311959e-09,1.007715e-08,1.043658e-08,1.188829e-08,1.283999e-08,1.372124e-08,1.526392e-08,1.555722e-08,1.738077e-08,1.767049e-08,1.917885e-08,2.002955e-08,2.094037e-08,2.231700e-08,2.265610e-08,2.431849e-08,2.451410e-08,2.592162e-08,2.660702e-08,2.746102e-08,2.858635e-08,2.893353e-08,3.033716e-08,3.044644e-08,3.167087e-08,3.218471e-08,3.293446e-08,3.380105e-08,3.412837e-08,3.525361e-08,3.529721e-08,3.631157e-08,3.667629e-08,3.730398e-08,3.794237e-08,3.823281e-08,3.910017e-08,3.990832e-08,4.015479e-08,4.065954e-08,4.111152e-08,4.135617e-08,4.197577e-08,4.200057e-08,4.259505e-08,4.275287e-08,4.314190e-08,4.344809e-08,4.364338e-08,4.406654e-08,4.410167e-08,4.451890e-08,4.461315e-08,4.489713e-08,4.509265e-08,4.523835e-08,4.550956e-08,4.554450e-08,4.581743e-08,4.586818e-08,4.605890e-08,4.617260e-08,4.627061e-08,4.642665e-08,4.645420e-08,4.661122e-08,4.663398e-08,4.674317e-08,4.679802e-08,4.685147e-08,4.692199e-08,4.693748e-08,4.700250e-08,4.700895e-08,4.704777e-08,4.706174e-08,4.707447e-08,4.708303e-08,4.708372e-08,4.707659e-08,4.707534e-08,4.705410e-08,4.704102e-08,4.701722e-08,4.698227e-08,4.696686e-08,4.690391e-08,4.690114e-08,4.682919e-08,4.679957e-08,4.674349e-08,4.667933e-08,4.664756e-08,4.654211e-08,4.642781e-08,4.638947e-08,4.630530e-08,4.622287e-08,4.617519e-08,4.604365e-08,4.603804e-08,4.589440e-08,4.585309e-08,4.574479e-08,4.565236e-08,4.558969e-08,4.544254e-08,4.542956e-08,4.526483e-08,4.522466e-08,4.509593e-08,4.499966e-08,4.492322e-08,4.476840e-08,4.474709e-08,4.456788e-08,4.453169e-08,4.438591e-08,4.429030e-08,4.420150e-08,4.404491e-08,4.401493e-08,4.382648e-08,4.379617e-08,4.363640e-08,4.354466e-08,4.344495e-08,4.329095e-08,4.325235e-08,4.305881e-08,4.303553e-08,4.286454e-08,4.277888e-08,4.266973e-08,4.252142e-08,4.247455e-08,4.227918e-08,4.226354e-08,4.208376e-08,4.200562e-08,4.188846e-08,4.174798e-08,4.169340e-08,4.149871e-08,4.149093e-08,4.130452e-08,4.123475e-08,4.111093e-08,4.097969e-08,4.091806e-08,4.072599e-08,4.047386e-08,4.022348e-08,3.997504e-08,3.972869e-08,3.948457e-08,3.924280e-08,3.900351e-08,3.876679e-08,3.853272e-08,3.830139e-08,3.807287e-08,3.784721e-08,3.762446e-08,3.740467e-08,3.718787e-08,3.697408e-08,3.676334e-08,3.655565e-08,3.635103e-08,3.614948e-08,3.595101e-08,3.575560e-08,3.556326e-08,3.537397e-08
0.000000e+00,5.008052e-12,1.143847e-11,3.915930e-11,8.878585e-11,1.293281e-10,2.926031e-10,3.013881e-10,5.822450e-10,6.843357e-10,1.001506e-09,1.332807e-09,1.591118e-09,2.308656e-09,2.379475e-09,3.378273e-09,3.648203e-09,4.573155e-09,5.316213e-09,5.932044e-09,7.236117e-09,7.420557e-09,9.009339e-09,9.336929e-09,1.067422e-08,1.156309e-08,1.239457e-08,1.386896e-08,1.415191e-08,1.592935e-08,1.621455e-08,1.771131e-08,1.856404e-08,1.948359e-08,2.088585e-08,2.123347e-08,2.294983e-08,2.315307e-08,2.462317e-08,2.534374e-08,2.624568e-08,2.744088e-08,2.781110e-08,2.931468e-08,2.943218e-08,3.075298e-08,3.130948e-08,3.212375e-08,3.306818e-08,3.342580e-08,3.465881e-08,3.470670e-08,3.582327e-08,3.622587e-08,3.692011e-08,3.762799e-08,3.795066e-08,3.891678e-08,3.982050e-08,4.009687e-08,4.066406e-08,4.117346e-08,4.144984e-08,4.215211e-08,4.218029e-08,4.285789e-08,4.303848e-08,4.348508e-08,4.383823e-08,4.406432e-08,4.455694e-08,4.459802e-08,4.508850e-08,4.520004e-08,4.553805e-08,4.577273e-08,4.594885e-08,4.627997e-08,4.632300e-08,4.666255e-08,4.672647e-08,4.696941e-08,4.711668e-08,4.724544e-08,4.745477e-08,4.749240e-08,4.771196e-08,4.774466e-08,4.790573e-08,4.799002e-08,4.807521e-08,4.819429e-08,4.822185e-08,4.834701e-08,4.836064e-08,4.845197e-08,4.849208e-08,4.853797e-08,4.859136e-08,4.860616e-08,4.865763e-08,4.866106e-08,4.869343e-08,4.870359e-08,4.871454e-08,4.872115e-08,4.872187e-08,4.871631e-08,4.871584e-08,4.869869e-08,4.868955e-08,4.866979e-08,4.864406e-08,4.863034e-08,4.858104e-08,4.852256e-08,4.850200e-08,4.845551e-08,4.840837e-08,4.838048e-08,4.830146e-08,4.829803e-08,4.820867e-08,4.818249e-08,4.811291e-08,4.805258e-08,4.801121e-08,4.791278e-08,4.790401e-08,4.779172e-08,4.776406e-08,4.767474e-08,4.760731e-08,4.755343e-08,4.744337e-08,4.742814e-08,4.729920e-08,4.727301e-08,4.716693e-08,4.709692e-08,4.703160e-08,4.691578e-08,4.689351e-08,4.675290e-08,4.673018e-08,4.661002e-08,4.654070e-08,4.646511e-08,4.634785e-08,4.631837e-08,4.617002e-08,4.615212e-08,4.602025e-08,4.595395e-08,4.586924e-08,4.575374e-08,4.571715e-08,4.556416e-08,4.555188e-08,4.541041e-08,4.534872e-08,4.525604e-08,4.514459e-08,4.510119e-08,4.494599e-08,4.493977e-08,4.479054e-08,4.473455e-08,4.463498e-08,4.452917e-08,4.447939e-08,4.432388e-08,4.411888e-08,4.391436e-08,4.371052e-08,4.350751e-08,4.330550e-08,4.310460e-08,4.290496e-08,4.270668e-08,4.250988e-08,4.231464e-08,4.212105e-08,4.192919e-08,4.173913e-08,4.155094e-08,4.136466e-08,4.118035e-08,4.099805e-08,4.081780e-08,4.063963e-08,4.046357e-08,4.028965e-08,4.011789e-08,3.994830e-08,3.978089e-08
0.000000e+00,5.846340e-11,1.407779e-10,5.072852e-10,1.171793e-09,1.714710e-09,3.881458e-09,3.996986e-09,7.633951e-09,8.930518e-09,1.288335e-08,1.690927e-08,1.998985e-08,2.836320e-08,2.917968e-08,4.062397e-08,4.371462e-08,5.436579e-08,6.301948e-08,7.026441e-08,8.581190e-08,8.803135e-08,1.073273e-07,1.113410e-07,1.278298e-07,1.388711e-07,1.492512e-07,1.677661e-07,1.713338e-07,1.938407e-07,1.974662e-07,2.165506e-07,2.274620e-07,2.392562e-07,2.572875e-07,2.617648e-07,2.839004e-07,2.865240e-07,3.055061e-07,3.148088e-07,3.264454e-07,3.418422e-07,3.466036e-07,3.658885e-07,3.673914e-07,3.842296e-07,3.912897e-07,4.015760e-07,4.134315e-07,4.178969e-07,4.331785e-07,4.337681e-07,4.474205e-07,4.522952e-07,4.606355e-07,4.690465e-07,4.728466e-07,4.840852e-07,4.943886e-07,4.974950e-07,5.037991e-07,5.093741e-07,5.123621e-07,5.198287e-07,5.201244e-07,5.271340e-07,5.289683e-07,5.334387e-07,5.369028e-07,5.390857e-07,5.437392e-07,5.441205e-07,5.485872e-07,5.495794e-07,5.525276e-07,5.545192e-07,5.559814e-07,5.586480e-07,5.589861e-07,5.615765e-07,5.620478e-07,5.637854e-07,5.647935e-07,5.656433e-07,5.669532e-07,5.671782e-07,5.684164e-07,5.685886e-07,5.693818e-07,5.697550e-07,5.700969e-07,5.705023e-07,5.705818e-07,5.708556e-07,5.708751e-07,5.709355e-07,5.709134e-07,5.708374e-07,5.706529e-07,5.705760e-07,5.701645e-07,5.701255e-07,5.696154e-07,5.693598e-07,5.689399e-07,5.683813e-07,5.681486e-07,5.672509e-07,5.672129e-07,5.662557e-07,5.658751e-07,5.651711e-07,5.643863e-07,5.640045e-07,5.627630e-07,5.614528e-07,5.610200e-07,5.600799e-07,5.591708e-07,5.586496e-07,5.572273e-07,5.571671e-07,5.556370e-07,5.552006e-07,5.540636e-07,5.531004e-07,5.524509e-07,5.509357e-07,5.508026e-07,5.491223e-07,5.487146e-07,5.474132e-07,5.464445e-07,5.456781e-07,5.441321e-07,5.439200e-07,5.421415e-07,5.417835e-07,5.403449e-07,5.394043e-07,5.385325e-07,5.369995e-07,5.367065e-07,5.348688e-07,5.345739e-07,5.330213e-07,5.321316e-07,5.311657e-07,5.296765e-07,5.293037e-07,5.274366e-07,5.272123e-07,5.255661e-07,5.247422e-07,5.236933e-07,5.222692e-07,5.218195e-07,5.199459e-07,5.197961e-07,5.180736e-07,5.173253e-07,5.162036e-07,5.148591e-07,5.143368e-07,5.124741e-07,5.123997e-07,5.106164e-07,5.099490e-07,5.087645e-07,5.075088e-07,5.069190e-07,5.050807e-07,5.026661e-07,5.002665e-07,4.978831e-07,4.955169e-07,4.931691e-07,4.908404e-07,4.885319e-07,4.862442e-07,4.839780e-07,4.817339e-07,4.795125e-07,4.773143e-07,4.751396e-07,4.729889e-07,4.708624e-07,4.687605e-07,4.666834e-07,4.646312e-07,4.626042e-07,4.606024e-07,4.586260e-07,4.566750e-07,4.547494e-07,4.528493e-07
0.000000e+00,1.821097e-11,4.186732e-11,1.449362e-10,3.323124e-10,4.876244e-10,1.130624e-09,1.165954e-09,2.329958e-09,2.767942e-09,4.169604e-09,5.684137e-09,6.888104e-09,1.027116e-08,1.060497e-08,1.525750e-08,1.649270e-08,2.065296e-08,2.392392e-08,2.659535e-08,3.215877e-08,3.293705e-08,3.957154e-08,4.092605e-08,4.641664e-08,5.003614e-08,5.340359e-08,5.933771e-08,6.047176e-08,6.756671e-08,6.870106e-08,7.463975e-08,7.801420e-08,8.164796e-08,8.718280e-08,8.855436e-08,9.532780e-08,9.613041e-08,1.019428e-07,1.047978e-07,1.083790e-07,1.131412e-07,1.146208e-07,1.206568e-07,1.211306e-07,1.264791e-07,1.287469e-07,1.320826e-07,1.359803e-07,1.374650e-07,1.426258e-07,1.428276e-07,1.475662e-07,1.492913e-07,1.522888e-07,1.553775e-07,1.567970e-07,1.610953e-07,1.651884e-07,1.664558e-07,1.690818e-07,1.714713e-07,1.727810e-07,1.761550e-07,1.762919e-07,1.796205e-07,1.805206e-07,1.827728e-07,1.845821e-07,1.857549e-07,1.883532e-07,1.885728e-07,1.912324e-07,1.918478e-07,1.937397e-07,1.950794e-07,1.961004e-07,1.980610e-07,1.983201e-07,2.004045e-07,2.008056e-07,2.023589e-07,2.033255e-07,2.041885e-07,2.056327e-07,2.058984e-07,2.074937e-07,2.077386e-07,2.089790e-07,2.096543e-07,2.103591e-07,2.113904e-07,2.116384e-07,2.128213e-07,2.129569e-07,2.139119e-07,2.143636e-07,2.149144e-07,2.156197e-07,2.158325e-07,2.166702e-07,2.167339e-07,2.174310e-07,2.177146e-07,2.181184e-07,2.185698e-07,2.187358e-07,2.192864e-07,2.193071e-07,2.197733e-07,2.199336e-07,2.201996e-07,2.204562e-07,2.205680e-07,2.208814e-07,2.211424e-07,2.212152e-07,2.213535e-07,2.214636e-07,2.215173e-07,2.216321e-07,2.216360e-07,2.217119e-07,2.217258e-07,2.217472e-07,2.217497e-07,2.217439e-07,2.217085e-07,2.217040e-07,2.216294e-07,2.216066e-07,2.215220e-07,2.214482e-07,2.213835e-07,2.212373e-07,2.212156e-07,2.210199e-07,2.209775e-07,2.207978e-07,2.206725e-07,2.205510e-07,2.203255e-07,2.202807e-07,2.199884e-07,2.199397e-07,2.196753e-07,2.195180e-07,2.193427e-07,2.190633e-07,2.189917e-07,2.186235e-07,2.185782e-07,2.182391e-07,2.180651e-07,2.178396e-07,2.175264e-07,2.174259e-07,2.169991e-07,2.169644e-07,2.165599e-07,2.163810e-07,2.161094e-07,2.157783e-07,2.156482e-07,2.151771e-07,2.151581e-07,2.146970e-07,2.145221e-07,2.142085e-07,2.138719e-07,2.137123e-07,2.132091e-07,2.125351e-07,2.118513e-07,2.111589e-07,2.104591e-07,2.097530e-07,2.090418e-07,2.083262e-07,2.076073e-07,2.068860e-07,2.061629e-07,2.054390e-07,2.047148e-07,2.039910e-07,2.032683e-07,2.025472e-07,2.018282e-07,2.011118e-07,2.003986e-07,1.996888e-07,1.989828e-07,1.982812e-07,1.975841e-07,1.968919e-07,1.962049e-07
0.000000e+00,4.935622e-10,1.369899e-09,5.865624e-09,1.493868e-08,2.283575e-08,5.723527e-08,5.917930e-08,1.252615e-07,1.509366e-07,2.352753e-07,3.291222e-07,4.049912e-07,6.205642e-07,6.418824e-07,9.383081e-07,1.016768e-06,1.280793e-06,1.488705e-06,1.659092e-06,2.016492e-06,2.066820e-06,2.499658e-06,2.588923e-06,2.954085e-06,3.197814e-06,3.426769e-06,3.835462e-06,3.914330e-06,4.413312e-06,4.493976e-06,4.920234e-06,5.165367e-06,5.431672e-06,5.841864e-06,5.944348e-06,6.455204e-06,6.516250e-06,6.961459e-06,7.182104e-06,7.460639e-06,7.833953e-06,7.950600e-06,8.429523e-06,8.467313e-06,8.895907e-06,9.078670e-06,9.348543e-06,9.665390e-06,9.786488e-06,1.020903e-05,1.022561e-05,1.061569e-05,1.075813e-05,1.100614e-05,1.126231e-05,1.138023e-05,1.173792e-05,1.207930e-05,1.218512e-05,1.240453e-05,1.260431e-05,1.271385e-05,1.299609e-05,1.300754e-05,1.328596e-05,1.336123e-05,1.354947e-05,1.370058e-05,1.379847e-05,1.401509e-05,1.403338e-05,1.425462e-05,1.430574e-05,1.446265e-05,1.457353e-05,1.465788e-05,1.481947e-05,1.484078e-05,1.501177e-05,1.504457e-05,1.517129e-05,1.524985e-05,1.531977e-05,1.543627e-05,1.545763e-05,1.558529e-05,1.560480e-05,1.570315e-05,1.575636e-05,1.581161e-05,1.589187e-05,1.591106e-05,1.600186e-05,1.601220e-05,1.608439e-05,1.611818e-05,1.615900e-05,1.621062e-05,1.622603e-05,1.628582e-05,1.629030e-05,1.633869e-05,1.635796e-05,1.638494e-05,1.641433e-05,1.642489e-05,1.645883e-05,1.646006e-05,1.648702e-05,1.649582e-05,1.650976e-05,1.652223e-05,1.652729e-05,1.653987e-05,1.654774e-05,1.654930e-05,1.655114e-05,1.655107e-05,1.655029e-05,1.654567e-05,1.654540e-05,1.653670e-05,1.653360e-05,1.652436e-05,1.651530e-05,1.650860e-05,1.649122e-05,1.648959e-05,1.646750e-05,1.646176e-05,1.644252e-05,1.642732e-05,1.641479e-05,1.638826e-05,1.638449e-05,1.635176e-05,1.634493e-05,1.631673e-05,1.629767e-05,1.627956e-05,1.624678e-05,1.624037e-05,1.619930e-05,1.619255e-05,1.615645e-05,1.613528e-05,1.611194e-05,1.607522e-05,1.606589e-05,1.601841e-05,1.601262e-05,1.596959e-05,1.594771e-05,1.591953e-05,1.588071e-05,1.586832e-05,1.581605e-05,1.581183e-05,1.576281e-05,1.574126e-05,1.570868e-05,1.566919e-05,1.565373e-05,1.559803e-05,1.559579e-05,1.554166e-05,1.552122e-05,1.548469e-05,1.544563e-05,1.542717e-05,1.536916e-05,1.529196e-05,1.521413e-05,1.513581e-05,1.505709e-05,1.497808e-05,1.489889e-05,1.481958e-05,1.474026e-05,1.466099e-05,1.458184e-05,1.450289e-05,1.442420e-05,1.434582e-05,1.426780e-05,1.419020e-05,1.411306e-05,1.403642e-05,1.396031e-05,1.388479e-05,1.380986e-05,1.373557e-05,1.366195e-05,1.358900e-05,1.351676e-05
0.000000e+00,2.324526e-10,8.136154e-10,4.965257e-09,1.579666e-08,2.652627e-08,7.937106e-08,8.252709e-08,1.943805e-07,2.391565e-07,3.884744e-07,5.574099e-07,6.961904e-07,1.104408e-06,1.146044e-06,1.749715e-06,1.916893e-06,2.499325e-06,2.976579e-06,3.377895e-06,4.244239e-06,4.368546e-06,5.457307e-06,5.685779e-06,6.632487e-06,7.274175e-06,7.883399e-06,8.984965e-06,9.199474e-06,1.056990e-05,1.079348e-05,1.198361e-05,1.267429e-05,1.342947e-05,1.460195e-05,1.489655e-05,1.637437e-05,1.655196e-05,1.785316e-05,1.850180e-05,1.932399e-05,2.043157e-05,2.077892e-05,2.221103e-05,2.232442e-05,2.361440e-05,2.416657e-05,2.498413e-05,2.594722e-05,2.631621e-05,2.760750e-05,2.765827e-05,2.885561e-05,2.929401e-05,3.005882e-05,3.085075e-05,3.121598e-05,3.232643e-05,3.338993e-05,3.372035e-05,3.440660e-05,3.503286e-05,3.537683e-05,3.626513e-05,3.630124e-05,3.718063e-05,3.741893e-05,3.801598e-05,3.849648e-05,3.880834e-05,3.950034e-05,3.955887e-05,4.026878e-05,4.043326e-05,4.093934e-05,4.129815e-05,4.157183e-05,4.209797e-05,4.216756e-05,4.272783e-05,4.283574e-05,4.325393e-05,4.351444e-05,4.374717e-05,4.413702e-05,4.420881e-05,4.464011e-05,4.470638e-05,4.504229e-05,4.522535e-05,4.541656e-05,4.569666e-05,4.576408e-05,4.608600e-05,4.612297e-05,4.638343e-05,4.650682e-05,4.665744e-05,4.685068e-05,4.690908e-05,4.713936e-05,4.715689e-05,4.734926e-05,4.742772e-05,4.753972e-05,4.766533e-05,4.771165e-05,4.786595e-05,4.787176e-05,4.800344e-05,4.804899e-05,4.812497e-05,4.819888e-05,4.823130e-05,4.832321e-05,4.840142e-05,4.842367e-05,4.846664e-05,4.850187e-05,4.851953e-05,4.855932e-05,4.856075e-05,4.859091e-05,4.859746e-05,4.861062e-05,4.861767e-05,4.862045e-05,4.862124e-05,4.862095e-05,4.861263e-05,4.860938e-05,4.859601e-05,4.858326e-05,4.857157e-05,4.854396e-05,4.853977e-05,4.850105e-05,4.849251e-05,4.845584e-05,4.842989e-05,4.840453e-05,4.835701e-05,4.834752e-05,4.828518e-05,4.827474e-05,4.821786e-05,4.818387e-05,4.814589e-05,4.808519e-05,4.806960e-05,4.798929e-05,4.797939e-05,4.790525e-05,4.786717e-05,4.781777e-05,4.774915e-05,4.772711e-05,4.763353e-05,4.762592e-05,4.753725e-05,4.749805e-05,4.743853e-05,4.736604e-05,4.733756e-05,4.723456e-05,4.723040e-05,4.712973e-05,4.709158e-05,4.702326e-05,4.695001e-05,4.691532e-05,4.680607e-05,4.666015e-05,4.651260e-05,4.636373e-05,4.621384e-05,4.606321e-05,4.591211e-05,4.576078e-05,4.560943e-05,4.545827e-05,4.530749e-05,4.515727e-05,4.500776e-05,4.485913e-05,4.471149e-05,4.456497e-05,4.441970e-05,4.427576e-05,4.413326e-05,4.399227e-05,4.385288e-05,4.371515e-05,4.357914e-05,4.344490e-05,4.331249e-05
0.000000e+00,6.141600e-12,1.410541e-11,4.859222e-11,1.104864e-10,1.610695e-10,3.644352e-10,3.753545e-10,7.230049e-10,8.486824e-10,1.237006e-09,1.639876e-09,1.952728e-09,2.821048e-09,2.907009e-09,4.133119e-09,4.470402e-09,5.649588e-09,6.623600e-09,7.447508e-09,9.233511e-09,9.489858e-09,1.172629e-08,1.219248e-08,1.410841e-08,1.539096e-08,1.659582e-08,1.874237e-08,1.915562e-08,2.176047e-08,2.217981e-08,2.438686e-08,2.564902e-08,2.701415e-08,2.910426e-08,2.962405e-08,3.220049e-08,3.250674e-08,3.472954e-08,3.582416e-08,3.719929e-08,3.903049e-08,3.959987e-08,4.192332e-08,4.210566e-08,4.416345e-08,4.503510e-08,4.631569e-08,4.780909e-08,4.837694e-08,5.034534e-08,5.042213e-08,5.222012e-08,5.287213e-08,5.400144e-08,5.515979e-08,5.569020e-08,5.728794e-08,5.879666e-08,5.926103e-08,6.021876e-08,6.108466e-08,6.155690e-08,6.276520e-08,6.281397e-08,6.399297e-08,6.430953e-08,6.509701e-08,6.572476e-08,6.612922e-08,6.701811e-08,6.709274e-08,6.799065e-08,6.819674e-08,6.882604e-08,6.926766e-08,6.960188e-08,7.023767e-08,7.032108e-08,7.098647e-08,7.111333e-08,7.160076e-08,7.190088e-08,7.216659e-08,7.260627e-08,7.268647e-08,7.316282e-08,7.323516e-08,7.359797e-08,7.379286e-08,7.399414e-08,7.428442e-08,7.435343e-08,7.467788e-08,7.471456e-08,7.496939e-08,7.508771e-08,7.522982e-08,7.540803e-08,7.546090e-08,7.566430e-08,7.567942e-08,7.584159e-08,7.590553e-08,7.599427e-08,7.608976e-08,7.612376e-08,7.623143e-08,7.623530e-08,7.631855e-08,7.634512e-08,7.638634e-08,7.642198e-08,7.643595e-08,7.646849e-08,7.648499e-08,7.648705e-08,7.648644e-08,7.647990e-08,7.647377e-08,7.644914e-08,7.644786e-08,7.640956e-08,7.639673e-08,7.635966e-08,7.632446e-08,7.629891e-08,7.623405e-08,7.622802e-08,7.614767e-08,7.612705e-08,7.605851e-08,7.600495e-08,7.596112e-08,7.586908e-08,7.585609e-08,7.574397e-08,7.572073e-08,7.562525e-08,7.556107e-08,7.550043e-08,7.539120e-08,7.536997e-08,7.523429e-08,7.521213e-08,7.509382e-08,7.502481e-08,7.494894e-08,7.483011e-08,7.480002e-08,7.464740e-08,7.462885e-08,7.449141e-08,7.442179e-08,7.433237e-08,7.420963e-08,7.417056e-08,7.400627e-08,7.399303e-08,7.383975e-08,7.377257e-08,7.367125e-08,7.354883e-08,7.350100e-08,7.332923e-08,7.332233e-08,7.315614e-08,7.309354e-08,7.298193e-08,7.286292e-08,7.280678e-08,7.263086e-08,7.239776e-08,7.216397e-08,7.192980e-08,7.169556e-08,7.146153e-08,7.122795e-08,7.099506e-08,7.076308e-08,7.053221e-08,7.030261e-08,7.007447e-08,6.984792e-08,6.962311e-08,6.940016e-08,6.917919e-08,6.896029e-08,6.874357e-08,6.852909e-08,6.831694e-08,6.810718e-08,6.789987e-08,6.769506e-08,6.749279e-08,6.729311e-08
0.000000e+00,9.264230e-10,2.495394e-09,1.038800e-08,2.644784e-08,4.074473e-08,1.065883e-07,1.104695e-07,2.503291e-07,3.077712e-07,5.018056e-07,7.175840e-07,8.872360e-07,1.342409e-06,1.385614e-06,1.965011e-06,2.113709e-06,2.606020e-06,2.988091e-06,3.299021e-06,3.947569e-06,4.038649e-06,4.820842e-06,4.982043e-06,5.641614e-06,6.082230e-06,6.496602e-06,7.237737e-06,7.381009e-06,8.289670e-06,8.436946e-06,9.217160e-06,9.667442e-06,1.015805e-05,1.091688e-05,1.110710e-05,1.205932e-05,1.217358e-05,1.301012e-05,1.342692e-05,1.395531e-05,1.466761e-05,1.489120e-05,1.581457e-05,1.588781e-05,1.672265e-05,1.708108e-05,1.761314e-05,1.824231e-05,1.848412e-05,1.933403e-05,1.936757e-05,2.016166e-05,2.045397e-05,2.096608e-05,2.149946e-05,2.174658e-05,2.250270e-05,2.323413e-05,2.346294e-05,2.394072e-05,2.437990e-05,2.462247e-05,2.525365e-05,2.527946e-05,2.591186e-05,2.608456e-05,2.651993e-05,2.687322e-05,2.710398e-05,2.762039e-05,2.766436e-05,2.820147e-05,2.832696e-05,2.871574e-05,2.899393e-05,2.920763e-05,2.962235e-05,2.967761e-05,3.012617e-05,3.021336e-05,3.055381e-05,3.076809e-05,3.096104e-05,3.128772e-05,3.134838e-05,3.171633e-05,3.177344e-05,3.206542e-05,3.222643e-05,3.239616e-05,3.264789e-05,3.270907e-05,3.300466e-05,3.303899e-05,3.328343e-05,3.340089e-05,3.354589e-05,3.373475e-05,3.379252e-05,3.402383e-05,3.404168e-05,3.424027e-05,3.432280e-05,3.444234e-05,3.457919e-05,3.463049e-05,3.480519e-05,3.481190e-05,3.496686e-05,3.502197e-05,3.511596e-05,3.521039e-05,3.525292e-05,3.537815e-05,3.549206e-05,3.552619e-05,3.559506e-05,3.565543e-05,3.568753e-05,3.576676e-05,3.576986e-05,3.584243e-05,3.586104e-05,3.590559e-05,3.593912e-05,3.595970e-05,3.600178e-05,3.600510e-05,3.604214e-05,3.604981e-05,3.607113e-05,3.608397e-05,3.609240e-05,3.610497e-05,3.610625e-05,3.611299e-05,3.611351e-05,3.611291e-05,3.611027e-05,3.610630e-05,3.609589e-05,3.609342e-05,3.607454e-05,3.607098e-05,3.604993e-05,3.603616e-05,3.601984e-05,3.599198e-05,3.598451e-05,3.594418e-05,3.593901e-05,3.589907e-05,3.587777e-05,3.584941e-05,3.580876e-05,3.579542e-05,3.573730e-05,3.573248e-05,3.567526e-05,3.564938e-05,3.560948e-05,3.555992e-05,3.554016e-05,3.546749e-05,3.546451e-05,3.539163e-05,3.536357e-05,3.531275e-05,3.525749e-05,3.523103e-05,3.514663e-05,3.503135e-05,3.491200e-05,3.478890e-05,3.466235e-05,3.453265e-05,3.440007e-05,3.426490e-05,3.412737e-05,3.398773e-05,3.384622e-05,3.370304e-05,3.355841e-05,3.341252e-05,3.326555e-05,3.311769e-05,3.296911e-05,3.281995e-05,3.267037e-05,3.252051e-05,3.237051e-05,3.222048e-05,3.207055e-05,3.192084e-05,3.177144e-05
0.000000e+00,1.889887e-09,7.409770e-09,5.650390e-08,2.169655e-07,4.014897e-07,1.512259e-06,1.586163e-06,4.548827e-06,5.873063e-06,1.066561e-05,1.659865e-05,2.178672e-05,3.845364e-05,4.026738e-05,6.898451e-05,7.776484e-05,1.113054e-04,1.423286e-04,1.709589e-04,2.408534e-04,2.517977e-04,3.575129e-04,3.819394e-04,4.913898e-04,5.730636e-04,6.561489e-04,8.199514e-04,8.538673e-04,1.085957e-03,1.126340e-03,1.353178e-03,1.493989e-03,1.655678e-03,1.922813e-03,1.993034e-03,2.364309e-03,2.411080e-03,2.768110e-03,2.955637e-03,3.202644e-03,3.552146e-03,3.665783e-03,4.155119e-03,4.195321e-03,4.668030e-03,4.879175e-03,5.201729e-03,5.597244e-03,5.753326e-03,6.319875e-03,6.342806e-03,6.898421e-03,7.109071e-03,7.486044e-03,7.889353e-03,8.079892e-03,8.677214e-03,9.275389e-03,9.466576e-03,9.871939e-03,1.025180e-02,1.046455e-02,1.102777e-02,1.105109e-02,1.162960e-02,1.178990e-02,1.219831e-02,1.253416e-02,1.275563e-02,1.325709e-02,1.330015e-02,1.383065e-02,1.395577e-02,1.434609e-02,1.462781e-02,1.484556e-02,1.527131e-02,1.532834e-02,1.579384e-02,1.588483e-02,1.624161e-02,1.646733e-02,1.667132e-02,1.701817e-02,1.708276e-02,1.747583e-02,1.753701e-02,1.785050e-02,1.802384e-02,1.820687e-02,1.847886e-02,1.854506e-02,1.886529e-02,1.890252e-02,1.916783e-02,1.929543e-02,1.945300e-02,1.965833e-02,1.972116e-02,1.997269e-02,1.999211e-02,2.020803e-02,2.029773e-02,2.042761e-02,2.057622e-02,2.063191e-02,2.082140e-02,2.082867e-02,2.099656e-02,2.105621e-02,2.115791e-02,2.125998e-02,2.130593e-02,2.144112e-02,2.156398e-02,2.160078e-02,2.167501e-02,2.174009e-02,2.177470e-02,2.186017e-02,2.186352e-02,2.194195e-02,2.196211e-02,2.201044e-02,2.204697e-02,2.206947e-02,2.211578e-02,2.211945e-02,2.216084e-02,2.216953e-02,2.219403e-02,2.220919e-02,2.221944e-02,2.223568e-02,2.223746e-02,2.224847e-02,2.224987e-02,2.225284e-02,2.225260e-02,2.225091e-02,2.224468e-02,2.224303e-02,2.222953e-02,2.222687e-02,2.221073e-02,2.219990e-02,2.218691e-02,2.216446e-02,2.215839e-02,2.212543e-02,2.212119e-02,2.208830e-02,2.207072e-02,2.204727e-02,2.201362e-02,2.200257e-02,2.195444e-02,2.195045e-02,2.190310e-02,2.188172e-02,2.184877e-02,2.180792e-02,2.179166e-02,2.173195e-02,2.172951e-02,2.166984e-02,2.164692e-02,2.160550e-02,2.156056e-02,2.153910e-02,2.147080e-02,2.137800e-02,2.128250e-02,2.118460e-02,2.108459e-02,2.098276e-02,2.087934e-02,2.077458e-02,2.066870e-02,2.056191e-02,2.045439e-02,2.034631e-02,2.023786e-02,2.012917e-02,2.002039e-02,1.991164e-02,1.980306e-02,1.969475e-02,1.958680e-02,1.947933e-02,1.937240e-02,1.926610e-02,1.916051e-02,1.905568e-02,1.895168e-02
0.000000e+00,1.729545e-10,6.364945e-10,4.267784e-09,1.462454e-08,2.546101e-08,8.236129e-08,8.586808e-08,2.136233e-07,2.657941e-07,4.412708e-07,6.408985e-07,8.054546e-07,1.294784e-06,1.345324e-06,2.095475e-06,2.309377e-06,3.075300e-06,3.725048e-06,4.284931e-06,5.528554e-06,5.710340e-06,7.330762e-06,7.676260e-06,9.123569e-06,1.011646e-05,1.106625e-05,1.279779e-05,1.313676e-05,1.531327e-05,1.566990e-05,1.757398e-05,1.868262e-05,1.989710e-05,2.178606e-05,2.226112e-05,2.464510e-05,2.493156e-05,2.702913e-05,2.807328e-05,2.939469e-05,3.116975e-05,3.172497e-05,3.400511e-05,3.418496e-05,3.622231e-05,3.708911e-05,3.836589e-05,3.985875e-05,4.042721e-05,4.239957e-05,4.247654e-05,4.427808e-05,4.493070e-05,4.605948e-05,4.721437e-05,4.774193e-05,4.932480e-05,5.080855e-05,5.126260e-05,5.219446e-05,5.303099e-05,5.348452e-05,5.463518e-05,5.468130e-05,5.578775e-05,5.608181e-05,5.680716e-05,5.737848e-05,5.774304e-05,5.853340e-05,5.859902e-05,5.937884e-05,5.955507e-05,6.008622e-05,6.045211e-05,6.072489e-05,6.123301e-05,6.129853e-05,6.181071e-05,6.190608e-05,6.226493e-05,6.247933e-05,6.266454e-05,6.296040e-05,6.301280e-05,6.331283e-05,6.335656e-05,6.356761e-05,6.367466e-05,6.377997e-05,6.392116e-05,6.395264e-05,6.408819e-05,6.410208e-05,6.418907e-05,6.422307e-05,6.425759e-05,6.428939e-05,6.429596e-05,6.430624e-05,6.430591e-05,6.429041e-05,6.427718e-05,6.425030e-05,6.420739e-05,6.418769e-05,6.410420e-05,6.410045e-05,6.400139e-05,6.395994e-05,6.388073e-05,6.378919e-05,6.374359e-05,6.359127e-05,6.342498e-05,6.336901e-05,6.324587e-05,6.312501e-05,6.305501e-05,6.286167e-05,6.285342e-05,6.264203e-05,6.258121e-05,6.242174e-05,6.228565e-05,6.219339e-05,6.197685e-05,6.195775e-05,6.171555e-05,6.165653e-05,6.146749e-05,6.132626e-05,6.121420e-05,6.098747e-05,6.095630e-05,6.069432e-05,6.064149e-05,6.042882e-05,6.028952e-05,6.016027e-05,5.993267e-05,5.988913e-05,5.961585e-05,5.957195e-05,5.934080e-05,5.920827e-05,5.906437e-05,5.884247e-05,5.878691e-05,5.850874e-05,5.847533e-05,5.823016e-05,5.810753e-05,5.795145e-05,5.773970e-05,5.767286e-05,5.739465e-05,5.737241e-05,5.711703e-05,5.700619e-05,5.684021e-05,5.664150e-05,5.656438e-05,5.628973e-05,5.627877e-05,5.601640e-05,5.591836e-05,5.574457e-05,5.556063e-05,5.547435e-05,5.520588e-05,5.485438e-05,5.450637e-05,5.416207e-05,5.382166e-05,5.348531e-05,5.315316e-05,5.282533e-05,5.250194e-05,5.218306e-05,5.186878e-05,5.155914e-05,5.125421e-05,5.095400e-05,5.065856e-05,5.036789e-05,5.008199e-05,4.980087e-05,4.952452e-05,4.925292e-05,4.898605e-05,4.872389e-05,4.846639e-05,4.821353e-05,4.796526e-05
0.000000e+00,1.495660e-10,5.644166e-10,3.980767e-09,1.426140e-08,2.542792e-08,8.734346e-08,9.128127e-08,2.406005e-07,3.040279e-07,5.245426e-07,7.854947e-07,1.006676e-06,1.687802e-06,1.759744e-06,2.853319e-06,3.172515e-06,4.336561e-06,5.345945e-06,6.229310e-06,8.229094e-06,8.525207e-06,1.120011e-05,1.177768e-05,1.421992e-05,1.591374e-05,1.754583e-05,2.054645e-05,2.113722e-05,2.495325e-05,2.558195e-05,2.895355e-05,3.092756e-05,3.309883e-05,3.649398e-05,3.735130e-05,4.167516e-05,4.219720e-05,4.603700e-05,4.796026e-05,5.040625e-05,5.371479e-05,5.475540e-05,5.906019e-05,5.940201e-05,6.329966e-05,6.497307e-05,6.745605e-05,7.038886e-05,7.151470e-05,7.546377e-05,7.561931e-05,7.929401e-05,8.064241e-05,8.299849e-05,8.544310e-05,8.657227e-05,9.001214e-05,9.331636e-05,9.434495e-05,9.648444e-05,9.844074e-05,9.951685e-05,1.023016e-04,1.024149e-04,1.051806e-04,1.059316e-04,1.078164e-04,1.093367e-04,1.103252e-04,1.125238e-04,1.127102e-04,1.149747e-04,1.155007e-04,1.171224e-04,1.182754e-04,1.191569e-04,1.208565e-04,1.210818e-04,1.229010e-04,1.232525e-04,1.246181e-04,1.254719e-04,1.262369e-04,1.275233e-04,1.277609e-04,1.291938e-04,1.294148e-04,1.305390e-04,1.311546e-04,1.318000e-04,1.327504e-04,1.329801e-04,1.340825e-04,1.342098e-04,1.351105e-04,1.355400e-04,1.360670e-04,1.367480e-04,1.369551e-04,1.377775e-04,1.378406e-04,1.385371e-04,1.388240e-04,1.392366e-04,1.397044e-04,1.398785e-04,1.404653e-04,1.404876e-04,1.409994e-04,1.411792e-04,1.414831e-04,1.417844e-04,1.419187e-04,1.423082e-04,1.426539e-04,1.427555e-04,1.429576e-04,1.431308e-04,1.432212e-04,1.434382e-04,1.434466e-04,1.436355e-04,1.436821e-04,1.437896e-04,1.438661e-04,1.439106e-04,1.439940e-04,1.440000e-04,1.440593e-04,1.440692e-04,1.440899e-04,1.440951e-04,1.440933e-04,1.440747e-04,1.440706e-04,1.440233e-04,1.440110e-04,1.439524e-04,1.439067e-04,1.438593e-04,1.437646e-04,1.437449e-04,1.436104e-04,1.435871e-04,1.434568e-04,1.433765e-04,1.432850e-04,1.431352e-04,1.430960e-04,1.428908e-04,1.428651e-04,1.426701e-04,1.425683e-04,1.424348e-04,1.422467e-04,1.421857e-04,1.419236e-04,1.419021e-04,1.416491e-04,1.415361e-04,1.413631e-04,1.411503e-04,1.410660e-04,1.407587e-04,1.407462e-04,1.404416e-04,1.403252e-04,1.401154e-04,1.398886e-04,1.397806e-04,1.394378e-04,1.389739e-04,1.384979e-04,1.380111e-04,1.375143e-04,1.370085e-04,1.364946e-04,1.359735e-04,1.354458e-04,1.349124e-04,1.343740e-04,1.338311e-04,1.332845e-04,1.327346e-04,1.321821e-04,1.316275e-04,1.310712e-04,1.305137e-04,1.299555e-04,1.293969e-04,1.288382e-04,1.282800e-04,1.277224e-04,1.271658e-04,1.266105e-04
0.000000e+00,1.680491e-10,6.251453e-10,4.276560e-09,1.488351e-08,2.610342e-08,8.573393e-08,8.942916e-08,2.245824e-07,2.798820e-07,4.657657e-07,6.766857e-07,8.500685e-07,1.363938e-06,1.416946e-06,2.205001e-06,2.430649e-06,3.243577e-06,3.939475e-06,4.543290e-06,5.894965e-06,6.093425e-06,7.867378e-06,8.246067e-06,9.830987e-06,1.091531e-05,1.194925e-05,1.382452e-05,1.419008e-05,1.652551e-05,1.690630e-05,1.893148e-05,2.010512e-05,2.138691e-05,2.337403e-05,2.387276e-05,2.637125e-05,2.667111e-05,2.886535e-05,2.995708e-05,3.133853e-05,3.319428e-05,3.377477e-05,3.615868e-05,3.634669e-05,3.847570e-05,3.938073e-05,4.071242e-05,4.226630e-05,4.285678e-05,4.489833e-05,4.497773e-05,4.682830e-05,4.749438e-05,4.863972e-05,4.980109e-05,5.032748e-05,5.188823e-05,5.332035e-05,5.375141e-05,5.462379e-05,5.539107e-05,5.579998e-05,5.681189e-05,5.685160e-05,5.778235e-05,5.802190e-05,5.859675e-05,5.903171e-05,5.930007e-05,5.985398e-05,5.989809e-05,6.039695e-05,6.050262e-05,6.080302e-05,6.099231e-05,6.112280e-05,6.133796e-05,6.136275e-05,6.152922e-05,6.155424e-05,6.162834e-05,6.165525e-05,6.166606e-05,6.165442e-05,6.164802e-05,6.157956e-05,6.156427e-05,6.146570e-05,6.139630e-05,6.131111e-05,6.116104e-05,6.112013e-05,6.089676e-05,6.086796e-05,6.064470e-05,6.052557e-05,6.036729e-05,6.014142e-05,6.006762e-05,5.974845e-05,5.972216e-05,5.941233e-05,5.927365e-05,5.906154e-05,5.880105e-05,5.869814e-05,5.832399e-05,5.830882e-05,5.794075e-05,5.780086e-05,5.754993e-05,5.728053e-05,5.715286e-05,5.675074e-05,5.634465e-05,5.621402e-05,5.593554e-05,5.567252e-05,5.552427e-05,5.512813e-05,5.511161e-05,5.469824e-05,5.458245e-05,5.428476e-05,5.403686e-05,5.387173e-05,5.349254e-05,5.345961e-05,5.304885e-05,5.295051e-05,5.263982e-05,5.241165e-05,5.223286e-05,5.187670e-05,5.182828e-05,5.142634e-05,5.134630e-05,5.102728e-05,5.082098e-05,5.063131e-05,5.030122e-05,5.023862e-05,4.984936e-05,4.978741e-05,4.946368e-05,4.927986e-05,4.908171e-05,4.877887e-05,4.870355e-05,4.832930e-05,4.828465e-05,4.795903e-05,4.779740e-05,4.759282e-05,4.731724e-05,4.723072e-05,4.687277e-05,4.684432e-05,4.651903e-05,4.637871e-05,4.616950e-05,4.592048e-05,4.582423e-05,4.548321e-05,4.546966e-05,4.514647e-05,4.502629e-05,4.481400e-05,4.459037e-05,4.448581e-05,4.416188e-05,4.374081e-05,4.332711e-05,4.292075e-05,4.252167e-05,4.212979e-05,4.174506e-05,4.136740e-05,4.099672e-05,4.063293e-05,4.027595e-05,3.992568e-05,3.958202e-05,3.924488e-05,3.891414e-05,3.858972e-05,3.827149e-05,3.795937e-05,3.765323e-05,3.735297e-05,3.705849e-05,3.676968e-05,3.648644e-05,3.620865e-05,3.593620e-05
0.000000e+00,1.248141e-11,2.887105e-11,1.002005e-10,2.284628e-10,3.332205e-10,7.526936e-10,7.751252e-10,1.484039e-09,1.737790e-09,2.513668e-09,3.306388e-09,3.914178e-09,5.570619e-09,5.732500e-09,8.011190e-09,8.630647e-09,1.078447e-08,1.256140e-08,1.407108e-08,1.738563e-08,1.786741e-08,2.214732e-08,2.305784e-08,2.686930e-08,2.948350e-08,3.198502e-08,3.654991e-08,3.744446e-08,4.319778e-08,4.414228e-08,4.919569e-08,5.214725e-08,5.538952e-08,6.045339e-08,6.173132e-08,6.817428e-08,6.895206e-08,7.467313e-08,7.753914e-08,8.118478e-08,8.611719e-08,8.766878e-08,9.408778e-08,9.459745e-08,1.004079e-07,1.029013e-07,1.065988e-07,1.109612e-07,1.126341e-07,1.184911e-07,1.187214e-07,1.241508e-07,1.261369e-07,1.295979e-07,1.331741e-07,1.348201e-07,1.398086e-07,1.445571e-07,1.460253e-07,1.490618e-07,1.518162e-07,1.533213e-07,1.571800e-07,1.573359e-07,1.611077e-07,1.621208e-07,1.646402e-07,1.666467e-07,1.679381e-07,1.707696e-07,1.710068e-07,1.738529e-07,1.745036e-07,1.764833e-07,1.778649e-07,1.789054e-07,1.808708e-07,1.811271e-07,1.831562e-07,1.835396e-07,1.850009e-07,1.858900e-07,1.866694e-07,1.879407e-07,1.881698e-07,1.895102e-07,1.897103e-07,1.906984e-07,1.912171e-07,1.917424e-07,1.924788e-07,1.926497e-07,1.934277e-07,1.935127e-07,1.940836e-07,1.943353e-07,1.946243e-07,1.949623e-07,1.950565e-07,1.953867e-07,1.954089e-07,1.956210e-07,1.956892e-07,1.957653e-07,1.958168e-07,1.958254e-07,1.958067e-07,1.958044e-07,1.957144e-07,1.956641e-07,1.955534e-07,1.954070e-07,1.953284e-07,1.950439e-07,1.947042e-07,1.945845e-07,1.943133e-07,1.940381e-07,1.938752e-07,1.934134e-07,1.933933e-07,1.928713e-07,1.927184e-07,1.923124e-07,1.919606e-07,1.917196e-07,1.911469e-07,1.910959e-07,1.904442e-07,1.902839e-07,1.897669e-07,1.893774e-07,1.890666e-07,1.884331e-07,1.883456e-07,1.876061e-07,1.874561e-07,1.868501e-07,1.864511e-07,1.860796e-07,1.854226e-07,1.852965e-07,1.845024e-07,1.843745e-07,1.836990e-07,1.833105e-07,1.828878e-07,1.822341e-07,1.820701e-07,1.812474e-07,1.811484e-07,1.804208e-07,1.800562e-07,1.795915e-07,1.789602e-07,1.787607e-07,1.779292e-07,1.778627e-07,1.770981e-07,1.767659e-07,1.762682e-07,1.756719e-07,1.754404e-07,1.746153e-07,1.745824e-07,1.737937e-07,1.734989e-07,1.729763e-07,1.724231e-07,1.721636e-07,1.713561e-07,1.702992e-07,1.692535e-07,1.682198e-07,1.671989e-07,1.661916e-07,1.651986e-07,1.642203e-07,1.632573e-07,1.623099e-07,1.613784e-07,1.604632e-07,1.595644e-07,1.586822e-07,1.578166e-07,1.569679e-07,1.561359e-07,1.553207e-07,1.545223e-07,1.537405e-07,1.529754e-07,1.522267e-07,1.514944e-07,1.507782e-07,1.500780e-07
0.000000e+00,1.193284e-10,3.742908e-10,1.892782e-09,5.259733e-09,8.289717e-09,2.157988e-08,2.232356e-08,4.678500e-08,5.586083e-08,8.427512e-08,1.140523e-07,1.372574e-07,2.017084e-07,2.080845e-07,2.989573e-07,3.239682e-07,4.117378e-07,4.849319e-07,5.475633e-07,6.861671e-07,7.064129e-07,8.870165e-07,9.255692e-07,1.087247e-06,1.198310e-06,1.304647e-06,1.498730e-06,1.536758e-06,1.781211e-06,1.821316e-06,2.035737e-06,2.160839e-06,2.298137e-06,2.512292e-06,2.566280e-06,2.838110e-06,2.870883e-06,3.111667e-06,3.232098e-06,3.385105e-06,3.591782e-06,3.656717e-06,3.924953e-06,3.946223e-06,4.188429e-06,4.292211e-06,4.445938e-06,4.627061e-06,4.696444e-06,4.939085e-06,4.948617e-06,5.173162e-06,5.255223e-06,5.398126e-06,5.545683e-06,5.613570e-06,5.819211e-06,6.014881e-06,6.075374e-06,6.200506e-06,6.314037e-06,6.376099e-06,6.535304e-06,6.541741e-06,6.697571e-06,6.739471e-06,6.843782e-06,6.926986e-06,6.980604e-06,7.098413e-06,7.108300e-06,7.227154e-06,7.254396e-06,7.337469e-06,7.395634e-06,7.439564e-06,7.522863e-06,7.533760e-06,7.620387e-06,7.636832e-06,7.699771e-06,7.738298e-06,7.772241e-06,7.828009e-06,7.838120e-06,7.897724e-06,7.906700e-06,7.951366e-06,7.975085e-06,7.999347e-06,8.033855e-06,8.041963e-06,8.079496e-06,8.083672e-06,8.112222e-06,8.125166e-06,8.140402e-06,8.158936e-06,8.164291e-06,8.184133e-06,8.185553e-06,8.200163e-06,8.205558e-06,8.212604e-06,8.219459e-06,8.221670e-06,8.227565e-06,8.227738e-06,8.230485e-06,8.230844e-06,8.230616e-06,8.229203e-06,8.228135e-06,8.223211e-06,8.216004e-06,8.213242e-06,8.206669e-06,8.199643e-06,8.195348e-06,8.182742e-06,8.182181e-06,8.167298e-06,8.162841e-06,8.150824e-06,8.140224e-06,8.132875e-06,8.115157e-06,8.113564e-06,8.092997e-06,8.087885e-06,8.071272e-06,8.058637e-06,8.048486e-06,8.027626e-06,8.024726e-06,8.000079e-06,7.995050e-06,7.974624e-06,7.961093e-06,7.948436e-06,7.925924e-06,7.921587e-06,7.894144e-06,7.889702e-06,7.866170e-06,7.852572e-06,7.837725e-06,7.814668e-06,7.808866e-06,7.779645e-06,7.776117e-06,7.750113e-06,7.737032e-06,7.720315e-06,7.697519e-06,7.690297e-06,7.660099e-06,7.657677e-06,7.629761e-06,7.617594e-06,7.599318e-06,7.577354e-06,7.568805e-06,7.538254e-06,7.537031e-06,7.507694e-06,7.496695e-06,7.477153e-06,7.456410e-06,7.446658e-06,7.416232e-06,7.376214e-06,7.336405e-06,7.296847e-06,7.257580e-06,7.218639e-06,7.180055e-06,7.141858e-06,7.104073e-06,7.066721e-06,7.029825e-06,6.993400e-06,6.957462e-06,6.922024e-06,6.887097e-06,6.852691e-06,6.818813e-06,6.785470e-06,6.752667e-06,6.720407e-06,6.688693e-06,6.657527e-06,6.626908e-06,6.596836e-06,6.567310e-06
0.000000e+00,1.225173e-10,4.635561e-10,3.284266e-09,1.179830e-08,2.105248e-08,7.223834e-08,7.548386e-08,1.976295e-07,2.489995e-07,4.255248e-07,6.309660e-07,8.028033e-07,1.323328e-06,1.377805e-06,2.201726e-06,2.442109e-06,3.323656e-06,4.097343e-06,4.782803e-06,6.364511e-06,6.602193e-06,8.787336e-06,9.267654e-06,1.132900e-05,1.278531e-05,1.420743e-05,1.686639e-05,1.739623e-05,2.086503e-05,2.144386e-05,2.458124e-05,2.644302e-05,2.851110e-05,3.178573e-05,3.262024e-05,3.687413e-05,3.739269e-05,4.123846e-05,4.318502e-05,4.567949e-05,4.908580e-05,5.016451e-05,5.466218e-05,5.502164e-05,5.914290e-05,6.092421e-05,6.357918e-05,6.673159e-05,6.794591e-05,7.222060e-05,7.238939e-05,7.638351e-05,7.785143e-05,8.041764e-05,8.307993e-05,8.430878e-05,8.804539e-05,9.161846e-05,9.272615e-05,9.502134e-05,9.710773e-05,9.824956e-05,1.011820e-04,1.013006e-04,1.041736e-04,1.049463e-04,1.068694e-04,1.084026e-04,1.093899e-04,1.115566e-04,1.117382e-04,1.139184e-04,1.144171e-04,1.159351e-04,1.169950e-04,1.177937e-04,1.193030e-04,1.194999e-04,1.210598e-04,1.213548e-04,1.224797e-04,1.231649e-04,1.237660e-04,1.247479e-04,1.249250e-04,1.259633e-04,1.261187e-04,1.268872e-04,1.272918e-04,1.277029e-04,1.282817e-04,1.284165e-04,1.290340e-04,1.291019e-04,1.295611e-04,1.297658e-04,1.300032e-04,1.302858e-04,1.303658e-04,1.306540e-04,1.306739e-04,1.308724e-04,1.309414e-04,1.310259e-04,1.310987e-04,1.311188e-04,1.311554e-04,1.311557e-04,1.311395e-04,1.311217e-04,1.310750e-04,1.310052e-04,1.309655e-04,1.308142e-04,1.306245e-04,1.305561e-04,1.303992e-04,1.302377e-04,1.301413e-04,1.298654e-04,1.298534e-04,1.295379e-04,1.294450e-04,1.291974e-04,1.289819e-04,1.288339e-04,1.284810e-04,1.284495e-04,1.280463e-04,1.279469e-04,1.276260e-04,1.273838e-04,1.271904e-04,1.267956e-04,1.267410e-04,1.262793e-04,1.261856e-04,1.258068e-04,1.255573e-04,1.253249e-04,1.249135e-04,1.248346e-04,1.243371e-04,1.242570e-04,1.238336e-04,1.235901e-04,1.233250e-04,1.229151e-04,1.228123e-04,1.222963e-04,1.222342e-04,1.217778e-04,1.215490e-04,1.212575e-04,1.208614e-04,1.207362e-04,1.202145e-04,1.201728e-04,1.196930e-04,1.194846e-04,1.191723e-04,1.187981e-04,1.186528e-04,1.181350e-04,1.181143e-04,1.176194e-04,1.174344e-04,1.171063e-04,1.167591e-04,1.165962e-04,1.160893e-04,1.154257e-04,1.147690e-04,1.141197e-04,1.134783e-04,1.128452e-04,1.122208e-04,1.116054e-04,1.109994e-04,1.104028e-04,1.098160e-04,1.092390e-04,1.086721e-04,1.081152e-04,1.075685e-04,1.070319e-04,1.065055e-04,1.059893e-04,1.054833e-04,1.049874e-04,1.045016e-04,1.040258e-04,1.035599e-04,1.031038e-04,1.026574e-04
0.000000e+00,2.891251e-11,6.736564e-11,2.359445e-10,5.415314e-10,7.928555e-10,1.812669e-09,1.867778e-09,3.637714e-09,4.284054e-09,6.299019e-09,8.411540e-09,1.006171e-08,1.464707e-08,1.509921e-08,2.146395e-08,2.318176e-08,2.907482e-08,3.383119e-08,3.779782e-08,4.629419e-08,4.750787e-08,5.809928e-08,6.031488e-08,6.947708e-08,7.567358e-08,8.154849e-08,9.215504e-08,9.421843e-08,1.073882e-07,1.095350e-07,1.209563e-07,1.275802e-07,1.348199e-07,1.460555e-07,1.488778e-07,1.630319e-07,1.647325e-07,1.771903e-07,1.833988e-07,1.912666e-07,2.018619e-07,2.051837e-07,2.188731e-07,2.199566e-07,2.322760e-07,2.375454e-07,2.453424e-07,2.545184e-07,2.580312e-07,2.703097e-07,2.707919e-07,2.821528e-07,2.863060e-07,2.935422e-07,3.010215e-07,3.044658e-07,3.149166e-07,3.248922e-07,3.279843e-07,3.343943e-07,3.402291e-07,3.434274e-07,3.516648e-07,3.519990e-07,3.601183e-07,3.623122e-07,3.677966e-07,3.721969e-07,3.750461e-07,3.813485e-07,3.818802e-07,3.883129e-07,3.897986e-07,3.943585e-07,3.975805e-07,4.000318e-07,4.047279e-07,4.053473e-07,4.103199e-07,4.112745e-07,4.149639e-07,4.172537e-07,4.192937e-07,4.226982e-07,4.233233e-07,4.270663e-07,4.276394e-07,4.305359e-07,4.321080e-07,4.337450e-07,4.361330e-07,4.367059e-07,4.394308e-07,4.397425e-07,4.419310e-07,4.429629e-07,4.442178e-07,4.458195e-07,4.463016e-07,4.481928e-07,4.483361e-07,4.499012e-07,4.505354e-07,4.514360e-07,4.524386e-07,4.528062e-07,4.540205e-07,4.540660e-07,4.550870e-07,4.554363e-07,4.560136e-07,4.565675e-07,4.568076e-07,4.574763e-07,4.580263e-07,4.581784e-07,4.584643e-07,4.586886e-07,4.587963e-07,4.590209e-07,4.590283e-07,4.591658e-07,4.591881e-07,4.592142e-07,4.592026e-07,4.591786e-07,4.590758e-07,4.590638e-07,4.588745e-07,4.588184e-07,4.586149e-07,4.584405e-07,4.582894e-07,4.579514e-07,4.579017e-07,4.574559e-07,4.573600e-07,4.569553e-07,4.566746e-07,4.564035e-07,4.559028e-07,4.558037e-07,4.551590e-07,4.550518e-07,4.544723e-07,4.541285e-07,4.537463e-07,4.531392e-07,4.529839e-07,4.521874e-07,4.520897e-07,4.513593e-07,4.509855e-07,4.505018e-07,4.498319e-07,4.496172e-07,4.487074e-07,4.486336e-07,4.477744e-07,4.473951e-07,4.468201e-07,4.461207e-07,4.458462e-07,4.448543e-07,4.448143e-07,4.438461e-07,4.434795e-07,4.428231e-07,4.421197e-07,4.417866e-07,4.407381e-07,4.393377e-07,4.379213e-07,4.364914e-07,4.350504e-07,4.336006e-07,4.321440e-07,4.306825e-07,4.292181e-07,4.277522e-07,4.262864e-07,4.248223e-07,4.233610e-07,4.219039e-07,4.204520e-07,4.190065e-07,4.175682e-07,4.161381e-07,4.147169e-07,4.133055e-07,4.119044e-07,4.105144e-07,4.091360e-07,4.077697e-07,4.064160e-07
0.000000e+00,2.720441e-10,7.172476e-10,2.877918e-09,7.060332e-09,1.061245e-08,2.556354e-08,2.638951e-08,5.362709e-08,6.386193e-08,9.653896e-08,1.317593e-07,1.597301e-07,2.383114e-07,2.460659e-07,3.541922e-07,3.829241e-07,4.798560e-07,5.563173e-07,6.189738e-07,7.501600e-07,7.685920e-07,9.265383e-07,9.589649e-07,1.091010e-06,1.178563e-06,1.260354e-06,1.405205e-06,1.432983e-06,1.607370e-06,1.635337e-06,1.782067e-06,1.865632e-06,1.955732e-06,2.093107e-06,2.127161e-06,2.295299e-06,2.315210e-06,2.459251e-06,2.529871e-06,2.618286e-06,2.735498e-06,2.771817e-06,2.919399e-06,2.930939e-06,3.060719e-06,3.115443e-06,3.195567e-06,3.288586e-06,3.323834e-06,3.445489e-06,3.450217e-06,3.560564e-06,3.600396e-06,3.669148e-06,3.739341e-06,3.771369e-06,3.867389e-06,3.957394e-06,3.984958e-06,4.041586e-06,4.092518e-06,4.120181e-06,4.190575e-06,4.193403e-06,4.261478e-06,4.279648e-06,4.324634e-06,4.360260e-06,4.383096e-06,4.432926e-06,4.437086e-06,4.486825e-06,4.498153e-06,4.532522e-06,4.556426e-06,4.574387e-06,4.608214e-06,4.612616e-06,4.647404e-06,4.653965e-06,4.678934e-06,4.694103e-06,4.707386e-06,4.729030e-06,4.732928e-06,4.755725e-06,4.759128e-06,4.775931e-06,4.784754e-06,4.793695e-06,4.806244e-06,4.809160e-06,4.822459e-06,4.823916e-06,4.833723e-06,4.838065e-06,4.843072e-06,4.848970e-06,4.850624e-06,4.856489e-06,4.856888e-06,4.860772e-06,4.862065e-06,4.863572e-06,4.864724e-06,4.864985e-06,4.865100e-06,4.865078e-06,4.864001e-06,4.863324e-06,4.861770e-06,4.859645e-06,4.858483e-06,4.854212e-06,4.849025e-06,4.847183e-06,4.842987e-06,4.838705e-06,4.836160e-06,4.828917e-06,4.828602e-06,4.820366e-06,4.817946e-06,4.811505e-06,4.805909e-06,4.802068e-06,4.792917e-06,4.792101e-06,4.781648e-06,4.779071e-06,4.770749e-06,4.764465e-06,4.759443e-06,4.749187e-06,4.747768e-06,4.735757e-06,4.733317e-06,4.723443e-06,4.716930e-06,4.710856e-06,4.700094e-06,4.698026e-06,4.684980e-06,4.682874e-06,4.671743e-06,4.665329e-06,4.658339e-06,4.647511e-06,4.644791e-06,4.631120e-06,4.629472e-06,4.617346e-06,4.611257e-06,4.603487e-06,4.592909e-06,4.589562e-06,4.575586e-06,4.574466e-06,4.561575e-06,4.555964e-06,4.547543e-06,4.537436e-06,4.533505e-06,4.519472e-06,4.518911e-06,4.505456e-06,4.500417e-06,4.491468e-06,4.481978e-06,4.477519e-06,4.463619e-06,4.445358e-06,4.427215e-06,4.409207e-06,4.391349e-06,4.373655e-06,4.356137e-06,4.338806e-06,4.321673e-06,4.304746e-06,4.288033e-06,4.271540e-06,4.255273e-06,4.239238e-06,4.223438e-06,4.207877e-06,4.192558e-06,4.177484e-06,4.162655e-06,4.148074e-06,4.133740e-06,4.119656e-06,4.105820e-06,4.092231e-06,4.078891e-06
0.000000e+00,7.561225e-10,2.963555e-09,2.258009e-08,8.662196e-08,1.601937e-07,6.021918e-07,6.315609e-07,1.806233e-06,2.329943e-06,4.220073e-06,6.550831e-06,8.582097e-06,1.507307e-05,1.577671e-05,2.686110e-05,3.023234e-05,4.305217e-05,5.484620e-05,6.569047e-05,9.205157e-05,9.616828e-05,1.358268e-04,1.449682e-04,1.858512e-04,2.162871e-04,2.471931e-04,3.079700e-04,3.205294e-04,4.062520e-04,4.211284e-04,5.044756e-04,5.560307e-04,6.150579e-04,7.121777e-04,7.376248e-04,8.715992e-04,8.884086e-04,1.016230e-03,1.083018e-03,1.170624e-03,1.293876e-03,1.333773e-03,1.504584e-03,1.518545e-03,1.681906e-03,1.754393e-03,1.864555e-03,1.998692e-03,2.051339e-03,2.241075e-03,2.248710e-03,2.432611e-03,2.501790e-03,2.624838e-03,2.755408e-03,2.816704e-03,3.007226e-03,3.195493e-03,3.255124e-03,3.380676e-03,3.497226e-03,3.562028e-03,3.731907e-03,3.738887e-03,3.910675e-03,3.957798e-03,4.076896e-03,4.173781e-03,4.237135e-03,4.378976e-03,4.391050e-03,4.538374e-03,4.572728e-03,4.678907e-03,4.754585e-03,4.812509e-03,4.924279e-03,4.939098e-03,5.058643e-03,5.081707e-03,5.171158e-03,5.226906e-03,5.276701e-03,5.360034e-03,5.375362e-03,5.467263e-03,5.481350e-03,5.552555e-03,5.591197e-03,5.631409e-03,5.689983e-03,5.704014e-03,5.770575e-03,5.778167e-03,5.831310e-03,5.856245e-03,5.886443e-03,5.924741e-03,5.936207e-03,5.980836e-03,5.984192e-03,6.020569e-03,6.035143e-03,6.055641e-03,6.078140e-03,6.086289e-03,6.112745e-03,6.113720e-03,6.135239e-03,6.142410e-03,6.153993e-03,6.164722e-03,6.169226e-03,6.181150e-03,6.189968e-03,6.192166e-03,6.195878e-03,6.198223e-03,6.199071e-03,6.199748e-03,6.199728e-03,6.198024e-03,6.197146e-03,6.194125e-03,6.190798e-03,6.188190e-03,6.181062e-03,6.180370e-03,6.170809e-03,6.168270e-03,6.159642e-03,6.152736e-03,6.146998e-03,6.134747e-03,6.132999e-03,6.117759e-03,6.114572e-03,6.101387e-03,6.092460e-03,6.083985e-03,6.068641e-03,6.065649e-03,6.046468e-03,6.043327e-03,6.026528e-03,6.016711e-03,6.005908e-03,5.988972e-03,5.984681e-03,5.962918e-03,5.960274e-03,5.940683e-03,5.930766e-03,5.918036e-03,5.900584e-03,5.895035e-03,5.871730e-03,5.869855e-03,5.848173e-03,5.838689e-03,5.824407e-03,5.807192e-03,5.800477e-03,5.776419e-03,5.775455e-03,5.752272e-03,5.743563e-03,5.728068e-03,5.711594e-03,5.703840e-03,5.679615e-03,5.647688e-03,5.615870e-03,5.584210e-03,5.552752e-03,5.521536e-03,5.490598e-03,5.459968e-03,5.429673e-03,5.399738e-03,5.370183e-03,5.341027e-03,5.312285e-03,5.283971e-03,5.256094e-03,5.228665e-03,5.201691e-03,5.175178e-03,5.149129e-03,5.123548e-03,5.098436e-03,5.073795e-03,5.049624e-03,5.025922e-03,5.002688e-03
0.000000e+00,1.636045e-09,6.419541e-09,4.904851e-08,1.887809e-07,3.498947e-07,1.325181e-06,1.390321e-06,4.019380e-06,5.203441e-06,9.522489e-06,1.492356e-05,1.968005e-05,3.506708e-05,3.674577e-05,6.327694e-05,7.134574e-05,1.018962e-04,1.297444e-04,1.551061e-04,2.158093e-04,2.251761e-04,3.140734e-04,3.342611e-04,4.234164e-04,4.887818e-04,5.544435e-04,6.818891e-04,7.079932e-04,8.844973e-04,9.148757e-04,1.083986e-03,1.187814e-03,1.306104e-03,1.499625e-03,1.550140e-03,1.815062e-03,1.848196e-03,2.099560e-03,2.230552e-03,2.402097e-03,2.643035e-03,2.720950e-03,3.054268e-03,3.081500e-03,3.400109e-03,3.541508e-03,3.756490e-03,4.018492e-03,4.121420e-03,4.492937e-03,4.507907e-03,4.869134e-03,5.005356e-03,5.248184e-03,5.506680e-03,5.628356e-03,6.008028e-03,6.385703e-03,6.505908e-03,6.760005e-03,6.997208e-03,7.129689e-03,7.479205e-03,7.493641e-03,7.850871e-03,7.949570e-03,8.200513e-03,8.406342e-03,8.541822e-03,8.847919e-03,8.874163e-03,9.197006e-03,9.273026e-03,9.509922e-03,9.680688e-03,9.812570e-03,1.007020e-02,1.010470e-02,1.038612e-02,1.044111e-02,1.065672e-02,1.079315e-02,1.091647e-02,1.112626e-02,1.116535e-02,1.140343e-02,1.144053e-02,1.163080e-02,1.173617e-02,1.184760e-02,1.201354e-02,1.205399e-02,1.225017e-02,1.227303e-02,1.243635e-02,1.251516e-02,1.261277e-02,1.274047e-02,1.277968e-02,1.293734e-02,1.294956e-02,1.308603e-02,1.314306e-02,1.322604e-02,1.332162e-02,1.335763e-02,1.348111e-02,1.348588e-02,1.359676e-02,1.363653e-02,1.370487e-02,1.377422e-02,1.380572e-02,1.389961e-02,1.398680e-02,1.401334e-02,1.406758e-02,1.411604e-02,1.414222e-02,1.420833e-02,1.421097e-02,1.427410e-02,1.429080e-02,1.433185e-02,1.436402e-02,1.438447e-02,1.442855e-02,1.443219e-02,1.447525e-02,1.448491e-02,1.451385e-02,1.453361e-02,1.454823e-02,1.457514e-02,1.457857e-02,1.460509e-02,1.460995e-02,1.462797e-02,1.463848e-02,1.464739e-02,1.466116e-02,1.466353e-02,1.467655e-02,1.467836e-02,1.468664e-02,1.469047e-02,1.469393e-02,1.469785e-02,1.469857e-02,1.470072e-02,1.470081e-02,1.470050e-02,1.469969e-02,1.469805e-02,1.469477e-02,1.469349e-02,1.468694e-02,1.468633e-02,1.467851e-02,1.467464e-02,1.466833e-02,1.465996e-02,1.465648e-02,1.464306e-02,1.464250e-02,1.462818e-02,1.462249e-02,1.461193e-02,1.460013e-02,1.459438e-02,1.457563e-02,1.454915e-02,1.452087e-02,1.449095e-02,1.445954e-02,1.442678e-02,1.439280e-02,1.435772e-02,1.432165e-02,1.428471e-02,1.424700e-02,1.420860e-02,1.416961e-02,1.413011e-02,1.409017e-02,1.404987e-02,1.400926e-02,1.396842e-02,1.392740e-02,1.388625e-02,1.384503e-02,1.380378e-02,1.376254e-02,1.372135e-02,1.368025e-02
0.000000e+00,1.976514e-10,5.222945e-10,2.097670e-09,5.131559e-09,7.689097e-09,1.826220e-08,1.883767e-08,3.736522e-08,4.412619e-08,6.512277e-08,8.698538e-08,1.039663e-07,1.508572e-07,1.554667e-07,2.202554e-07,2.377219e-07,2.975429e-07,3.456329e-07,3.855445e-07,4.702770e-07,4.822863e-07,5.859839e-07,6.074163e-07,6.950586e-07,7.534213e-07,8.080739e-07,9.050741e-07,9.236968e-07,1.040691e-06,1.059460e-06,1.157926e-06,1.213983e-06,1.274392e-06,1.366413e-06,1.389206e-06,1.501623e-06,1.514921e-06,1.611027e-06,1.658079e-06,1.716926e-06,1.794831e-06,1.818945e-06,1.916809e-06,1.924452e-06,2.010331e-06,2.046497e-06,2.099401e-06,2.160745e-06,2.183970e-06,2.264040e-06,2.267150e-06,2.339655e-06,2.365800e-06,2.410891e-06,2.456880e-06,2.477848e-06,2.540646e-06,2.599418e-06,2.617398e-06,2.654306e-06,2.687463e-06,2.705457e-06,2.751189e-06,2.753025e-06,2.797164e-06,2.808929e-06,2.838027e-06,2.861035e-06,2.875765e-06,2.907852e-06,2.910527e-06,2.942460e-06,2.949719e-06,2.971705e-06,2.986960e-06,2.998400e-06,3.019887e-06,3.022677e-06,3.044665e-06,3.048799e-06,3.064487e-06,3.073978e-06,3.082262e-06,3.095694e-06,3.098103e-06,3.112119e-06,3.114200e-06,3.124415e-06,3.129736e-06,3.135090e-06,3.142527e-06,3.144240e-06,3.151954e-06,3.152787e-06,3.158319e-06,3.160714e-06,3.163418e-06,3.166495e-06,3.167329e-06,3.170126e-06,3.170304e-06,3.171881e-06,3.172307e-06,3.172661e-06,3.172655e-06,3.172530e-06,3.171548e-06,3.171492e-06,3.169773e-06,3.168951e-06,3.167260e-06,3.165156e-06,3.164060e-06,3.160222e-06,3.155794e-06,3.154259e-06,3.150818e-06,3.147365e-06,3.145336e-06,3.139634e-06,3.139388e-06,3.133010e-06,3.131153e-06,3.126239e-06,3.122001e-06,3.119106e-06,3.112252e-06,3.111644e-06,3.103881e-06,3.101977e-06,3.095847e-06,3.091238e-06,3.087565e-06,3.080094e-06,3.079063e-06,3.070362e-06,3.068600e-06,3.061485e-06,3.056806e-06,3.052453e-06,3.044759e-06,3.043284e-06,3.033996e-06,3.032501e-06,3.024608e-06,3.020071e-06,3.015135e-06,3.007506e-06,3.005592e-06,2.995993e-06,2.994838e-06,2.986352e-06,2.982099e-06,2.976680e-06,2.969316e-06,2.966989e-06,2.957290e-06,2.956514e-06,2.947593e-06,2.943717e-06,2.937908e-06,2.930946e-06,2.928243e-06,2.918605e-06,2.918221e-06,2.909004e-06,2.905558e-06,2.899446e-06,2.892974e-06,2.889937e-06,2.880483e-06,2.868098e-06,2.855830e-06,2.843690e-06,2.831687e-06,2.819830e-06,2.808124e-06,2.796578e-06,2.785196e-06,2.773982e-06,2.762942e-06,2.752079e-06,2.741394e-06,2.730891e-06,2.720571e-06,2.710436e-06,2.700485e-06,2.690721e-06,2.681143e-06,2.671750e-06,2.662543e-06,2.653520e-06,2.644680e-06,2.636023e-06,2.627546e-06
0.000000e+00,2.770781e-10,1.044195e-09,7.391922e-09,2.689001e-08,4.866915e-08,1.785582e-07,1.872768e-07,5.497070e-07,7.189622e-07,1.354248e-06,2.158468e-06,2.855742e-06,4.974622e-06,5.192207e-06,8.317298e-06,9.167154e-06,1.206137e-05,1.435083e-05,1.621713e-05,2.006323e-05,2.059493e-05,2.504524e-05,2.593386e-05,2.946056e-05,3.171745e-05,3.376816e-05,3.726785e-05,3.792031e-05,4.188591e-05,4.250160e-05,4.564421e-05,4.737021e-05,4.918100e-05,5.184423e-05,5.248647e-05,5.555425e-05,5.590623e-05,5.838117e-05,5.954858e-05,6.096717e-05,6.277315e-05,6.331528e-05,6.543144e-05,6.559096e-05,6.732424e-05,6.802116e-05,6.900445e-05,7.008955e-05,7.048461e-05,7.177842e-05,7.182650e-05,7.290032e-05,7.326493e-05,7.386493e-05,7.443843e-05,7.468674e-05,7.537974e-05,7.595719e-05,7.611962e-05,7.643148e-05,7.668619e-05,7.681400e-05,7.710452e-05,7.711512e-05,7.734418e-05,7.739656e-05,7.750952e-05,7.758127e-05,7.761856e-05,7.767479e-05,7.767784e-05,7.769311e-05,7.769080e-05,7.766940e-05,7.764077e-05,7.761113e-05,7.753435e-05,7.752216e-05,7.740586e-05,7.737959e-05,7.726519e-05,7.718328e-05,7.710273e-05,7.695111e-05,7.692077e-05,7.672132e-05,7.668790e-05,7.650615e-05,7.639776e-05,7.627685e-05,7.608420e-05,7.603484e-05,7.578137e-05,7.575024e-05,7.551758e-05,7.539852e-05,7.524451e-05,7.503135e-05,7.496309e-05,7.467416e-05,7.465074e-05,7.437849e-05,7.425850e-05,7.407680e-05,7.385621e-05,7.376973e-05,7.345788e-05,7.344532e-05,7.314181e-05,7.302710e-05,7.282203e-05,7.260270e-05,7.249901e-05,7.217319e-05,7.184497e-05,7.173949e-05,7.151473e-05,7.130248e-05,7.118282e-05,7.086294e-05,7.084958e-05,7.051531e-05,7.042157e-05,7.018030e-05,6.997904e-05,6.984480e-05,6.953593e-05,6.950907e-05,6.917334e-05,6.909279e-05,6.883783e-05,6.865010e-05,6.850272e-05,6.820832e-05,6.816822e-05,6.783450e-05,6.776786e-05,6.750171e-05,6.732908e-05,6.717001e-05,6.689234e-05,6.683955e-05,6.651045e-05,6.645793e-05,6.618284e-05,6.602615e-05,6.585683e-05,6.559724e-05,6.553252e-05,6.521002e-05,6.517144e-05,6.488941e-05,6.474897e-05,6.457078e-05,6.433000e-05,6.425421e-05,6.393977e-05,6.391470e-05,6.362751e-05,6.350324e-05,6.331752e-05,6.309575e-05,6.300983e-05,6.270451e-05,6.269235e-05,6.240160e-05,6.229314e-05,6.210113e-05,6.189823e-05,6.180315e-05,6.150769e-05,6.112160e-05,6.074002e-05,6.036300e-05,5.999059e-05,5.962281e-05,5.925971e-05,5.890129e-05,5.854758e-05,5.819858e-05,5.785429e-05,5.751472e-05,5.717986e-05,5.684968e-05,5.652419e-05,5.620337e-05,5.588718e-05,5.557560e-05,5.526861e-05,5.496617e-05,5.466826e-05,5.437483e-05,5.408585e-05,5.380129e-05,5.352109e-05
0.000000e+00,1.420245e-09,5.591644e-09,4.304556e-08,1.669543e-07,3.108845e-07,1.193884e-06,1.253358e-06,3.686370e-06,4.797909e-06,8.910565e-06,1.414868e-05,1.882575e-05,3.423266e-05,3.593274e-05,6.313223e-05,7.149844e-05,1.034487e-04,1.328611e-04,1.598298e-04,2.249275e-04,2.350305e-04,3.315443e-04,3.536028e-04,4.515564e-04,5.238748e-04,5.969073e-04,7.396695e-04,7.690653e-04,9.691065e-04,1.003751e-03,1.197705e-03,1.317670e-03,1.455131e-03,1.681761e-03,1.741266e-03,2.055613e-03,2.095195e-03,2.397335e-03,2.556079e-03,2.765281e-03,3.061593e-03,3.158030e-03,3.573930e-03,3.608148e-03,4.011144e-03,4.191558e-03,4.467691e-03,4.807208e-03,4.941486e-03,5.430382e-03,5.450221e-03,5.932203e-03,6.115602e-03,6.444773e-03,6.798365e-03,6.965948e-03,7.493637e-03,8.025820e-03,8.196750e-03,8.560568e-03,8.903302e-03,9.096049e-03,9.609204e-03,9.630544e-03,1.016245e-02,1.031071e-02,1.069028e-02,1.100445e-02,1.121267e-02,1.168739e-02,1.172838e-02,1.223629e-02,1.235691e-02,1.273539e-02,1.301071e-02,1.322480e-02,1.364683e-02,1.370372e-02,1.417149e-02,1.426365e-02,1.462752e-02,1.485985e-02,1.507132e-02,1.543436e-02,1.550248e-02,1.592070e-02,1.598639e-02,1.632570e-02,1.651536e-02,1.671733e-02,1.702091e-02,1.709545e-02,1.746000e-02,1.750284e-02,1.781099e-02,1.796113e-02,1.814844e-02,1.839589e-02,1.847243e-02,1.878308e-02,1.880736e-02,1.908054e-02,1.919587e-02,1.936499e-02,1.956185e-02,1.963664e-02,1.989570e-02,1.990580e-02,2.014243e-02,2.022828e-02,2.037708e-02,2.052989e-02,2.059993e-02,2.081128e-02,2.101140e-02,2.107312e-02,2.120061e-02,2.131612e-02,2.137922e-02,2.154098e-02,2.154752e-02,2.170584e-02,2.174842e-02,2.185448e-02,2.193916e-02,2.199377e-02,2.211391e-02,2.212400e-02,2.224550e-02,2.227339e-02,2.235856e-02,2.241830e-02,2.246349e-02,2.254933e-02,2.256058e-02,2.265012e-02,2.266715e-02,2.273241e-02,2.277242e-02,2.280771e-02,2.286578e-02,2.287631e-02,2.293848e-02,2.294784e-02,2.299447e-02,2.301922e-02,2.304453e-02,2.308049e-02,2.308893e-02,2.312789e-02,2.313221e-02,2.316165e-02,2.317492e-02,2.319044e-02,2.320913e-02,2.321448e-02,2.323398e-02,2.323535e-02,2.324914e-02,2.325404e-02,2.326017e-02,2.326567e-02,2.326727e-02,2.327060e-02,2.327066e-02,2.327037e-02,2.326944e-02,2.326673e-02,2.326240e-02,2.325985e-02,2.324991e-02,2.323233e-02,2.321002e-02,2.318328e-02,2.315244e-02,2.311778e-02,2.307958e-02,2.303810e-02,2.299360e-02,2.294630e-02,2.289644e-02,2.284423e-02,2.278986e-02,2.273353e-02,2.267540e-02,2.261566e-02,2.255446e-02,2.249195e-02,2.242826e-02,2.236354e-02,2.229791e-02,2.223149e-02,2.216438e-02,2.209669e-02,2.202852e-02
0.000000e+00,7.178567e-10,2.782711e-09,2.076065e-08,7.838705e-08,1.439733e-07,5.360926e-07,5.621865e-07,1.617931e-06,2.096879e-06,3.864339e-06,6.111195e-06,8.112372e-06,1.464448e-05,1.535828e-05,2.656721e-05,2.993564e-05,4.248218e-05,5.363164e-05,6.355941e-05,8.653481e-05,8.999011e-05,1.217519e-04,1.287301e-04,1.586605e-04,1.797900e-04,2.004123e-04,2.389419e-04,2.466154e-04,2.968132e-04,3.051824e-04,3.505018e-04,3.773553e-04,4.071437e-04,4.542086e-04,4.661802e-04,5.270425e-04,5.344417e-04,5.891624e-04,6.167493e-04,6.519824e-04,6.998620e-04,7.149648e-04,7.776007e-04,7.825822e-04,8.394168e-04,8.638156e-04,8.999819e-04,9.425961e-04,9.589109e-04,1.015868e-03,1.018101e-03,1.070566e-03,1.089658e-03,1.122771e-03,1.156748e-03,1.172294e-03,1.218995e-03,1.262777e-03,1.276161e-03,1.303583e-03,1.328125e-03,1.341390e-03,1.374872e-03,1.376208e-03,1.408073e-03,1.416474e-03,1.437047e-03,1.453075e-03,1.463208e-03,1.484873e-03,1.486651e-03,1.507484e-03,1.512108e-03,1.525823e-03,1.535049e-03,1.541792e-03,1.553984e-03,1.555517e-03,1.567129e-03,1.569209e-03,1.576757e-03,1.581022e-03,1.584528e-03,1.589715e-03,1.590570e-03,1.595005e-03,1.595574e-03,1.597952e-03,1.598872e-03,1.599526e-03,1.599869e-03,1.599834e-03,1.598981e-03,1.598806e-03,1.597066e-03,1.595910e-03,1.594179e-03,1.591391e-03,1.590410e-03,1.585839e-03,1.585441e-03,1.580543e-03,1.578238e-03,1.574593e-03,1.569942e-03,1.568056e-03,1.560992e-03,1.560699e-03,1.553459e-03,1.550643e-03,1.545510e-03,1.539891e-03,1.537192e-03,1.528551e-03,1.519628e-03,1.516719e-03,1.510461e-03,1.504482e-03,1.501084e-03,1.491915e-03,1.491530e-03,1.481828e-03,1.479088e-03,1.472003e-03,1.466061e-03,1.462082e-03,1.452887e-03,1.452086e-03,1.442034e-03,1.439616e-03,1.431947e-03,1.426288e-03,1.421840e-03,1.412941e-03,1.411728e-03,1.401627e-03,1.399608e-03,1.391547e-03,1.386318e-03,1.381500e-03,1.373095e-03,1.371498e-03,1.361547e-03,1.359961e-03,1.351659e-03,1.346936e-03,1.341838e-03,1.334036e-03,1.332093e-03,1.322429e-03,1.321275e-03,1.312852e-03,1.308666e-03,1.303366e-03,1.296219e-03,1.293974e-03,1.284682e-03,1.283943e-03,1.275492e-03,1.271845e-03,1.266406e-03,1.259931e-03,1.257428e-03,1.248559e-03,1.248206e-03,1.239800e-03,1.236674e-03,1.231154e-03,1.225339e-03,1.222621e-03,1.214202e-03,1.203264e-03,1.192528e-03,1.181993e-03,1.171659e-03,1.161525e-03,1.151591e-03,1.141856e-03,1.132316e-03,1.122972e-03,1.113821e-03,1.104860e-03,1.096087e-03,1.087500e-03,1.079095e-03,1.070870e-03,1.062823e-03,1.054949e-03,1.047246e-03,1.039712e-03,1.032342e-03,1.025134e-03,1.018084e-03,1.011190e-03,1.004448e-03
0.000000e+00,4.795553e-12,1.096447e-11,3.750587e-11,8.481267e-11,1.232881e-10,2.769399e-10,2.851543e-10,5.453669e-10,6.389319e-10,9.267821e-10,1.223790e-09,1.453451e-09,2.086476e-09,2.148769e-09,3.028673e-09,3.267625e-09,4.091916e-09,4.760385e-09,5.318229e-09,6.508850e-09,6.678094e-09,8.142639e-09,8.445855e-09,9.687053e-09,1.051457e-08,1.129015e-08,1.266833e-08,1.293318e-08,1.459903e-08,1.486660e-08,1.627176e-08,1.707274e-08,1.793662e-08,1.925370e-08,1.958006e-08,2.118989e-08,2.138029e-08,2.275541e-08,2.342779e-08,2.426748e-08,2.537622e-08,2.571857e-08,2.710271e-08,2.721041e-08,2.841543e-08,2.891979e-08,2.965365e-08,3.049796e-08,3.081552e-08,3.190032e-08,3.194211e-08,3.290825e-08,3.325247e-08,3.384033e-08,3.443163e-08,3.469819e-08,3.548395e-08,3.620019e-08,3.641516e-08,3.684974e-08,3.723185e-08,3.743564e-08,3.794118e-08,3.796107e-08,3.842928e-08,3.855057e-08,3.884351e-08,3.906749e-08,3.920699e-08,3.949930e-08,3.952289e-08,3.979430e-08,3.985315e-08,4.002419e-08,4.013588e-08,4.021546e-08,4.035399e-08,4.037083e-08,4.049290e-08,4.051354e-08,4.058413e-08,4.062017e-08,4.064687e-08,4.067916e-08,4.068331e-08,4.069553e-08,4.069537e-08,4.068547e-08,4.067327e-08,4.065495e-08,4.061695e-08,4.060567e-08,4.053923e-08,4.053018e-08,4.045711e-08,4.041638e-08,4.036072e-08,4.027871e-08,4.025134e-08,4.013018e-08,4.012001e-08,3.999837e-08,3.994289e-08,3.985694e-08,3.974971e-08,3.970687e-08,3.954906e-08,3.954260e-08,3.938434e-08,3.932351e-08,3.921350e-08,3.909419e-08,3.903724e-08,3.885623e-08,3.867109e-08,3.861107e-08,3.848239e-08,3.836000e-08,3.829066e-08,3.810419e-08,3.809637e-08,3.789999e-08,3.784468e-08,3.770191e-08,3.758242e-08,3.750253e-08,3.731825e-08,3.730220e-08,3.710123e-08,3.705294e-08,3.689994e-08,3.678717e-08,3.669858e-08,3.652153e-08,3.649741e-08,3.629665e-08,3.625657e-08,3.609653e-08,3.599277e-08,3.589722e-08,3.573056e-08,3.569891e-08,3.550174e-08,3.547032e-08,3.530588e-08,3.521236e-08,3.511144e-08,3.495699e-08,3.491854e-08,3.472729e-08,3.470446e-08,3.453779e-08,3.445499e-08,3.435012e-08,3.420876e-08,3.416436e-08,3.398057e-08,3.396595e-08,3.379882e-08,3.372670e-08,3.361915e-08,3.349111e-08,3.344162e-08,3.326626e-08,3.325929e-08,3.309310e-08,3.303131e-08,3.292217e-08,3.280723e-08,3.275350e-08,3.258710e-08,3.237096e-08,3.215882e-08,3.195070e-08,3.174661e-08,3.154652e-08,3.135043e-08,3.115832e-08,3.097015e-08,3.078591e-08,3.060554e-08,3.042901e-08,3.025626e-08,3.008727e-08,2.992196e-08,2.976030e-08,2.960222e-08,2.944767e-08,2.929658e-08,2.914891e-08,2.900459e-08,2.886355e-08,2.872575e-08,2.859111e-08,2.845957e-08
0.000000e+00,4.715638e-10,1.245026e-09,5.009400e-09,1.231592e-08,1.853027e-08,4.471348e-08,4.616028e-08,9.385476e-08,1.117678e-07,1.689632e-07,2.307393e-07,2.800262e-07,4.203962e-07,4.344381e-07,6.341403e-07,6.883724e-07,8.743311e-07,1.023649e-06,1.147326e-06,1.409131e-06,1.446165e-06,1.765451e-06,1.831374e-06,2.100945e-06,2.280604e-06,2.449072e-06,2.748904e-06,2.806619e-06,3.170600e-06,3.229244e-06,3.538216e-06,3.715191e-06,3.906865e-06,4.200919e-06,4.274165e-06,4.637977e-06,4.681308e-06,4.996424e-06,5.152016e-06,5.347892e-06,5.609497e-06,5.691026e-06,6.024720e-06,6.050979e-06,6.348096e-06,6.474400e-06,6.660481e-06,6.878309e-06,6.961382e-06,7.250468e-06,7.261782e-06,7.527536e-06,7.624320e-06,7.792502e-06,7.965767e-06,8.045374e-06,8.286238e-06,8.515243e-06,8.586051e-06,8.732587e-06,8.865677e-06,8.938510e-06,9.125702e-06,9.133283e-06,9.317197e-06,9.366789e-06,9.490563e-06,9.589654e-06,9.653704e-06,9.795046e-06,9.806949e-06,9.950634e-06,9.983732e-06,1.008509e-05,1.015649e-05,1.021066e-05,1.031408e-05,1.032768e-05,1.043647e-05,1.045727e-05,1.053736e-05,1.058681e-05,1.063067e-05,1.070342e-05,1.071671e-05,1.079578e-05,1.080781e-05,1.086819e-05,1.090066e-05,1.093422e-05,1.098264e-05,1.099415e-05,1.104827e-05,1.105438e-05,1.109683e-05,1.111650e-05,1.114009e-05,1.116958e-05,1.117830e-05,1.121170e-05,1.121418e-05,1.124053e-05,1.125083e-05,1.126501e-05,1.128006e-05,1.128535e-05,1.130176e-05,1.130234e-05,1.131445e-05,1.131814e-05,1.132360e-05,1.132791e-05,1.132941e-05,1.133206e-05,1.133171e-05,1.133099e-05,1.132853e-05,1.132509e-05,1.132268e-05,1.131470e-05,1.131432e-05,1.130358e-05,1.130017e-05,1.129062e-05,1.128182e-05,1.127556e-05,1.125996e-05,1.125853e-05,1.123965e-05,1.123486e-05,1.121905e-05,1.120681e-05,1.119684e-05,1.117605e-05,1.117313e-05,1.114801e-05,1.114282e-05,1.112158e-05,1.110736e-05,1.109395e-05,1.106987e-05,1.106520e-05,1.103542e-05,1.103056e-05,1.100468e-05,1.098961e-05,1.097307e-05,1.094720e-05,1.094066e-05,1.090752e-05,1.090350e-05,1.087372e-05,1.085866e-05,1.083933e-05,1.081282e-05,1.080439e-05,1.076898e-05,1.076613e-05,1.073314e-05,1.071870e-05,1.069694e-05,1.067067e-05,1.066041e-05,1.062360e-05,1.062213e-05,1.058657e-05,1.057319e-05,1.054934e-05,1.052395e-05,1.051197e-05,1.047449e-05,1.042490e-05,1.037526e-05,1.032564e-05,1.027610e-05,1.022670e-05,1.017750e-05,1.012855e-05,1.007989e-05,1.003158e-05,9.983646e-06,9.936128e-06,9.889058e-06,9.842465e-06,9.796376e-06,9.750815e-06,9.705804e-06,9.661361e-06,9.617503e-06,9.574245e-06,9.531599e-06,9.489576e-06,9.448186e-06,9.407436e-06,9.367331e-06
0.000000e+00,3.254189e-10,7.897620e-10,2.887165e-09,6.758078e-09,9.966399e-09,2.307976e-08,2.379112e-08,4.673040e-08,5.514426e-08,8.148756e-08,1.093043e-07,1.312022e-07,1.930764e-07,1.992738e-07,2.886010e-07,3.133748e-07,4.002114e-07,4.718901e-07,5.323323e-07,6.625370e-07,6.811286e-07,8.423405e-07,8.757360e-07,1.012304e-06,1.103161e-06,1.188139e-06,1.338709e-06,1.367583e-06,1.548798e-06,1.577850e-06,1.730230e-06,1.816992e-06,1.910530e-06,2.053155e-06,2.088514e-06,2.263146e-06,2.283833e-06,2.433532e-06,2.506956e-06,2.598913e-06,2.720866e-06,2.758665e-06,2.912288e-06,2.924301e-06,3.059404e-06,3.116363e-06,3.199738e-06,3.296479e-06,3.333118e-06,3.459456e-06,3.464363e-06,3.578738e-06,3.619959e-06,3.691010e-06,3.763400e-06,3.796372e-06,3.894965e-06,3.986961e-06,4.015039e-06,4.072560e-06,4.124086e-06,4.151979e-06,4.222623e-06,4.225450e-06,4.293212e-06,4.311196e-06,4.355510e-06,4.390368e-06,4.412589e-06,4.460705e-06,4.464696e-06,4.512073e-06,4.522766e-06,4.554957e-06,4.577097e-06,4.593582e-06,4.624228e-06,4.628174e-06,4.658950e-06,4.664666e-06,4.686122e-06,4.698895e-06,4.709894e-06,4.727377e-06,4.730460e-06,4.748008e-06,4.750547e-06,4.762715e-06,4.768817e-06,4.774754e-06,4.782573e-06,4.784287e-06,4.791469e-06,4.792180e-06,4.796449e-06,4.797979e-06,4.799366e-06,4.800287e-06,4.800355e-06,4.799542e-06,4.799403e-06,4.797048e-06,4.795605e-06,4.792987e-06,4.789153e-06,4.787466e-06,4.780589e-06,4.780288e-06,4.772453e-06,4.769234e-06,4.763149e-06,4.756200e-06,4.752764e-06,4.741380e-06,4.729075e-06,4.724955e-06,4.715922e-06,4.707091e-06,4.701990e-06,4.687942e-06,4.687344e-06,4.672045e-06,4.667653e-06,4.656152e-06,4.646354e-06,4.639720e-06,4.624169e-06,4.622799e-06,4.605438e-06,4.601211e-06,4.587683e-06,4.577584e-06,4.569577e-06,4.553385e-06,4.551159e-06,4.532468e-06,4.528700e-06,4.513539e-06,4.503614e-06,4.494406e-06,4.478199e-06,4.475099e-06,4.455649e-06,4.452525e-06,4.436082e-06,4.426656e-06,4.416424e-06,4.400649e-06,4.396699e-06,4.376930e-06,4.374556e-06,4.357138e-06,4.348427e-06,4.337342e-06,4.322306e-06,4.317561e-06,4.297811e-06,4.296233e-06,4.278108e-06,4.270243e-06,4.258467e-06,4.244371e-06,4.238901e-06,4.219424e-06,4.218647e-06,4.200046e-06,4.193097e-06,4.180779e-06,4.167746e-06,4.161633e-06,4.142616e-06,4.117727e-06,4.093096e-06,4.068738e-06,4.044668e-06,4.020898e-06,3.997437e-06,3.974296e-06,3.951481e-06,3.929000e-06,3.906858e-06,3.885059e-06,3.863607e-06,3.842504e-06,3.821753e-06,3.801354e-06,3.781309e-06,3.761616e-06,3.742275e-06,3.723286e-06,3.704646e-06,3.686353e-06,3.668406e-06,3.650801e-06,3.633535e-06
0.000000e+00,1.768379e-10,4.585904e-10,1.807833e-09,4.397338e-09,6.584893e-09,1.570265e-08,1.620246e-08,3.248250e-08,3.851007e-08,5.750441e-08,7.770175e-08,9.367231e-08,1.390308e-07,1.435889e-07,2.095313e-07,2.278959e-07,2.925421e-07,3.462653e-07,3.918576e-07,4.911013e-07,5.053958e-07,6.307480e-07,6.570410e-07,7.657766e-07,8.392202e-07,9.087283e-07,1.033862e-06,1.058151e-06,1.212791e-06,1.237940e-06,1.371518e-06,1.448850e-06,1.533292e-06,1.664251e-06,1.697143e-06,1.862172e-06,1.882015e-06,2.027550e-06,2.100231e-06,2.192524e-06,2.317216e-06,2.356419e-06,2.518639e-06,2.531529e-06,2.678668e-06,2.741964e-06,2.836063e-06,2.947548e-06,2.990457e-06,3.141539e-06,3.147510e-06,3.289059e-06,3.341256e-06,3.432825e-06,3.528365e-06,3.572690e-06,3.708546e-06,3.840324e-06,3.881625e-06,3.967985e-06,4.047518e-06,4.091511e-06,4.206213e-06,4.210910e-06,4.326204e-06,4.357756e-06,4.437433e-06,4.502241e-06,4.544649e-06,4.639796e-06,4.647913e-06,4.747293e-06,4.770575e-06,4.842866e-06,4.894753e-06,4.934710e-06,5.012517e-06,5.022911e-06,5.107555e-06,5.124065e-06,5.188731e-06,5.229601e-06,5.266528e-06,5.329333e-06,5.341037e-06,5.412349e-06,5.423468e-06,5.480555e-06,5.512216e-06,5.545744e-06,5.595783e-06,5.608006e-06,5.667429e-06,5.674373e-06,5.724100e-06,5.748186e-06,5.778105e-06,5.817418e-06,5.829528e-06,5.878452e-06,5.882261e-06,5.924958e-06,5.942902e-06,5.969126e-06,5.999522e-06,6.011032e-06,6.050753e-06,6.052297e-06,6.088362e-06,6.101399e-06,6.123933e-06,6.146993e-06,6.157536e-06,6.189238e-06,6.219108e-06,6.228290e-06,6.247210e-06,6.264296e-06,6.273607e-06,6.297401e-06,6.298361e-06,6.321531e-06,6.327743e-06,6.343176e-06,6.355455e-06,6.363353e-06,6.380665e-06,6.382115e-06,6.399516e-06,6.403495e-06,6.415607e-06,6.424065e-06,6.430439e-06,6.442488e-06,6.444060e-06,6.456516e-06,6.458872e-06,6.467854e-06,6.473322e-06,6.478117e-06,6.485939e-06,6.487348e-06,6.495588e-06,6.496817e-06,6.502878e-06,6.506050e-06,6.509255e-06,6.513725e-06,6.514758e-06,6.519422e-06,6.519927e-06,6.523283e-06,6.524735e-06,6.526374e-06,6.528228e-06,6.528728e-06,6.530377e-06,6.530479e-06,6.531351e-06,6.531558e-06,6.531680e-06,6.531533e-06,6.531392e-06,6.530515e-06,6.530468e-06,6.529075e-06,6.528424e-06,6.527099e-06,6.525461e-06,6.524611e-06,6.521634e-06,6.516996e-06,6.511599e-06,6.505490e-06,6.498717e-06,6.491324e-06,6.483351e-06,6.474840e-06,6.465829e-06,6.456353e-06,6.446447e-06,6.436144e-06,6.425476e-06,6.414471e-06,6.403158e-06,6.391564e-06,6.379714e-06,6.367633e-06,6.355342e-06,6.342865e-06,6.330220e-06,6.317429e-06,6.304509e-06,6.291477e-06,6.278351e-06
0.000000e+00,3.160127e-11,7.478787e-11,2.658317e-10,6.127163e-10,8.971836e-10,2.040157e-09,2.101377e-09,4.038627e-09,4.732829e-09,6.856929e-09,9.028717e-09,1.069456e-08,1.523588e-08,1.567968e-08,2.192202e-08,2.361628e-08,2.949189e-08,3.431654e-08,3.839705e-08,4.729679e-08,4.858419e-08,5.996524e-08,6.237600e-08,7.244036e-08,7.932564e-08,8.590629e-08,9.790551e-08,1.002564e-07,1.153798e-07,1.178637e-07,1.311608e-07,1.389343e-07,1.474800e-07,1.608413e-07,1.642160e-07,1.812474e-07,1.833054e-07,1.984557e-07,2.060537e-07,2.157265e-07,2.288277e-07,2.329524e-07,2.500335e-07,2.513910e-07,2.668797e-07,2.735339e-07,2.834102e-07,2.950769e-07,2.995549e-07,3.152538e-07,3.158717e-07,3.304568e-07,3.358004e-07,3.451236e-07,3.547743e-07,3.592227e-07,3.727311e-07,3.856331e-07,3.896319e-07,3.979193e-07,4.054576e-07,4.095864e-07,4.202059e-07,4.206361e-07,4.310744e-07,4.338888e-07,4.409108e-07,4.465289e-07,4.501579e-07,4.581576e-07,4.588306e-07,4.669458e-07,4.688125e-07,4.745218e-07,4.785361e-07,4.815780e-07,4.873733e-07,4.881344e-07,4.942116e-07,4.953713e-07,4.998303e-07,5.025777e-07,5.050113e-07,5.090403e-07,5.097753e-07,5.141426e-07,5.148059e-07,5.181331e-07,5.199204e-07,5.217661e-07,5.244278e-07,5.250605e-07,5.280345e-07,5.283707e-07,5.307057e-07,5.317895e-07,5.330910e-07,5.347227e-07,5.352067e-07,5.370684e-07,5.372068e-07,5.386908e-07,5.392761e-07,5.400883e-07,5.409628e-07,5.412744e-07,5.422618e-07,5.422974e-07,5.430631e-07,5.433082e-07,5.436898e-07,5.440219e-07,5.441529e-07,5.444632e-07,5.446304e-07,5.446552e-07,5.446640e-07,5.446196e-07,5.445731e-07,5.443764e-07,5.443660e-07,5.440507e-07,5.439441e-07,5.436349e-07,5.433402e-07,5.431257e-07,5.425806e-07,5.425299e-07,5.418537e-07,5.416802e-07,5.411034e-07,5.406529e-07,5.402844e-07,5.395113e-07,5.394023e-07,5.384620e-07,5.382674e-07,5.374683e-07,5.369320e-07,5.364258e-07,5.355154e-07,5.353386e-07,5.342107e-07,5.340267e-07,5.330459e-07,5.324747e-07,5.318476e-07,5.308672e-07,5.306193e-07,5.293640e-07,5.292117e-07,5.280847e-07,5.275149e-07,5.267841e-07,5.257830e-07,5.254648e-07,5.241293e-07,5.240218e-07,5.227797e-07,5.222365e-07,5.214183e-07,5.204319e-07,5.200471e-07,5.186679e-07,5.186126e-07,5.172825e-07,5.167825e-07,5.158925e-07,5.149454e-07,5.144994e-07,5.131048e-07,5.112637e-07,5.094250e-07,5.075912e-07,5.057648e-07,5.039479e-07,5.021424e-07,5.003501e-07,4.985725e-07,4.968111e-07,4.950672e-07,4.933419e-07,4.916361e-07,4.899509e-07,4.882870e-07,4.866451e-07,4.850257e-07,4.834295e-07,4.818568e-07,4.803081e-07,4.787835e-07,4.772833e-07,4.758078e-07,4.743570e-07,4.729310e-07
0.000000e+00,2.693273e-10,9.698646e-10,6.234266e-09,2.062109e-08,3.525205e-08,1.091582e-07,1.136147e-07,2.718208e-07,3.348284e-07,5.425515e-07,7.734130e-07,9.607174e-07,1.507813e-06,1.563768e-06,2.389422e-06,2.624395e-06,3.468290e-06,4.189165e-06,4.814513e-06,6.216460e-06,6.422717e-06,8.273348e-06,8.670328e-06,1.034056e-05,1.149220e-05,1.259767e-05,1.462185e-05,1.501940e-05,1.758216e-05,1.800378e-05,2.026355e-05,2.158637e-05,2.304186e-05,2.531993e-05,2.589573e-05,2.880406e-05,2.915573e-05,3.174617e-05,3.304619e-05,3.470197e-05,3.694569e-05,3.765228e-05,4.057907e-05,4.081169e-05,4.346572e-05,4.460572e-05,4.629719e-05,4.829413e-05,4.906015e-05,5.174306e-05,5.184857e-05,5.433617e-05,5.524611e-05,5.683146e-05,5.846908e-05,5.922257e-05,6.150468e-05,6.367441e-05,6.434461e-05,6.572966e-05,6.698447e-05,6.766949e-05,6.942317e-05,6.949394e-05,7.120393e-05,7.166242e-05,7.280108e-05,7.370613e-05,7.428765e-05,7.555998e-05,7.566638e-05,7.694038e-05,7.723094e-05,7.811311e-05,7.872695e-05,7.918822e-05,8.005662e-05,8.016956e-05,8.106104e-05,8.122890e-05,8.186665e-05,8.225296e-05,8.259038e-05,8.313793e-05,8.323618e-05,8.380798e-05,8.389286e-05,8.430962e-05,8.452659e-05,8.474485e-05,8.504768e-05,8.511732e-05,8.543057e-05,8.546434e-05,8.568800e-05,8.578445e-05,8.589293e-05,8.601550e-05,8.604851e-05,8.615777e-05,8.616460e-05,8.622362e-05,8.623843e-05,8.624883e-05,8.624331e-05,8.623604e-05,8.618779e-05,8.618516e-05,8.610646e-05,8.606953e-05,8.599435e-05,8.590163e-05,8.585361e-05,8.568630e-05,8.549437e-05,8.542806e-05,8.527967e-05,8.513112e-05,8.504394e-05,8.479939e-05,8.478883e-05,8.451591e-05,8.443650e-05,8.422665e-05,8.404583e-05,8.392244e-05,8.363050e-05,8.360460e-05,8.327436e-05,8.319339e-05,8.293289e-05,8.273717e-05,8.258128e-05,8.226431e-05,8.222058e-05,8.185175e-05,8.177709e-05,8.147571e-05,8.127760e-05,8.109331e-05,8.076777e-05,8.070535e-05,8.031260e-05,8.024936e-05,7.991576e-05,7.972402e-05,7.951549e-05,7.919323e-05,7.911241e-05,7.870711e-05,7.865835e-05,7.830012e-05,7.812064e-05,7.789195e-05,7.758124e-05,7.748307e-05,7.707391e-05,7.704118e-05,7.666490e-05,7.650142e-05,7.625641e-05,7.596282e-05,7.584879e-05,7.544237e-05,7.542614e-05,7.503745e-05,7.489210e-05,7.463431e-05,7.436133e-05,7.423322e-05,7.383440e-05,7.331183e-05,7.279408e-05,7.228154e-05,7.177459e-05,7.127353e-05,7.077866e-05,7.029020e-05,6.980837e-05,6.933334e-05,6.886527e-05,6.840427e-05,6.795046e-05,6.750390e-05,6.706465e-05,6.663276e-05,6.620825e-05,6.579113e-05,6.538138e-05,6.497901e-05,6.458397e-05,6.419622e-05,6.381573e-05,6.344244e-05,6.307627e-05
0.000000e+00,2.055384e-10,5.067474e-10,1.886101e-09,4.452760e-09,6.585192e-09,1.528694e-08,1.575747e-08,3.081571e-08,3.627918e-08,5.317645e-08,7.069022e-08,8.425417e-08,1.216028e-07,1.252693e-07,1.768243e-07,1.907585e-07,2.387455e-07,2.777421e-07,3.104666e-07,3.811929e-07,3.913648e-07,4.808153e-07,4.996741e-07,5.781498e-07,6.316361e-07,6.826253e-07,7.753036e-07,7.934193e-07,9.096427e-07,9.286804e-07,1.030363e-06,1.089626e-06,1.154629e-06,1.255961e-06,1.281499e-06,1.410063e-06,1.425563e-06,1.539462e-06,1.596455e-06,1.668902e-06,1.766859e-06,1.797664e-06,1.925107e-06,1.935228e-06,2.050673e-06,2.100265e-06,2.173885e-06,2.260911e-06,2.294340e-06,2.411708e-06,2.416334e-06,2.525725e-06,2.565909e-06,2.636184e-06,2.709184e-06,2.742932e-06,2.845862e-06,2.944905e-06,2.975771e-06,3.040026e-06,3.098841e-06,3.131219e-06,3.215086e-06,3.218503e-06,3.301916e-06,3.324586e-06,3.381515e-06,3.427472e-06,3.457368e-06,3.523911e-06,3.529552e-06,3.598157e-06,3.614099e-06,3.663274e-06,3.698253e-06,3.725003e-06,3.776602e-06,3.783444e-06,3.838702e-06,3.849381e-06,3.890882e-06,3.916834e-06,3.940088e-06,3.979201e-06,3.986426e-06,4.030001e-06,4.036723e-06,4.070914e-06,4.089637e-06,4.109268e-06,4.138176e-06,4.145163e-06,4.178696e-06,4.182566e-06,4.209963e-06,4.223026e-06,4.239057e-06,4.259770e-06,4.266068e-06,4.291085e-06,4.293003e-06,4.314194e-06,4.322922e-06,4.335478e-06,4.349718e-06,4.355017e-06,4.372890e-06,4.373571e-06,4.389171e-06,4.394657e-06,4.403934e-06,4.413142e-06,4.417249e-06,4.429184e-06,4.439805e-06,4.442937e-06,4.449175e-06,4.454543e-06,4.457354e-06,4.464141e-06,4.464402e-06,4.470375e-06,4.471862e-06,4.475327e-06,4.477830e-06,4.479310e-06,4.482162e-06,4.482375e-06,4.484569e-06,4.484972e-06,4.485940e-06,4.486364e-06,4.486531e-06,4.486440e-06,4.486385e-06,4.485543e-06,4.485294e-06,4.484044e-06,4.483018e-06,4.481926e-06,4.479695e-06,4.479225e-06,4.475976e-06,4.475407e-06,4.472211e-06,4.470230e-06,4.467962e-06,4.464235e-06,4.463259e-06,4.458132e-06,4.457489e-06,4.452607e-06,4.450058e-06,4.446712e-06,4.442000e-06,4.440472e-06,4.433910e-06,4.433372e-06,4.427050e-06,4.424228e-06,4.419914e-06,4.414617e-06,4.412523e-06,4.404897e-06,4.404587e-06,4.397054e-06,4.394181e-06,4.389014e-06,4.383442e-06,4.380792e-06,4.372407e-06,4.361113e-06,4.349594e-06,4.337883e-06,4.326008e-06,4.313998e-06,4.301878e-06,4.289673e-06,4.277404e-06,4.265094e-06,4.252761e-06,4.240424e-06,4.228098e-06,4.215800e-06,4.203543e-06,4.191341e-06,4.179207e-06,4.167150e-06,4.155181e-06,4.143310e-06,4.131544e-06,4.119892e-06,4.108361e-06,4.096957e-06,4.085685e-06
0.000000e+00,1.931283e-10,7.142580e-10,4.836691e-09,1.671696e-08,2.923727e-08,9.566745e-08,9.978654e-08,2.510259e-07,3.132790e-07,5.241466e-07,7.662498e-07,9.673166e-07,1.572460e-06,1.635565e-06,2.585319e-06,2.860556e-06,3.861069e-06,4.726373e-06,5.482494e-06,7.190411e-06,7.442829e-06,9.717014e-06,1.020662e-05,1.227155e-05,1.369898e-05,1.507126e-05,1.758775e-05,1.808242e-05,2.127360e-05,2.179891e-05,2.461532e-05,2.626451e-05,2.807944e-05,3.092054e-05,3.163872e-05,3.526660e-05,3.570532e-05,3.893713e-05,4.055917e-05,4.262520e-05,4.542503e-05,4.630678e-05,4.995923e-05,5.024953e-05,5.356158e-05,5.498414e-05,5.709473e-05,5.958611e-05,6.054166e-05,6.388755e-05,6.401910e-05,6.711979e-05,6.825350e-05,7.022796e-05,7.226632e-05,7.320374e-05,7.604077e-05,7.873451e-05,7.956573e-05,8.128209e-05,8.283512e-05,8.368209e-05,8.584716e-05,8.593443e-05,8.804010e-05,8.860366e-05,9.000110e-05,9.110938e-05,9.182019e-05,9.337135e-05,9.350080e-05,9.504687e-05,9.539839e-05,9.646279e-05,9.720058e-05,9.775321e-05,9.878888e-05,9.892306e-05,9.997736e-05,1.001748e-04,1.009213e-04,1.013702e-04,1.017599e-04,1.023868e-04,1.024985e-04,1.031420e-04,1.032365e-04,1.036955e-04,1.039307e-04,1.041639e-04,1.044806e-04,1.045520e-04,1.048644e-04,1.048970e-04,1.051056e-04,1.051903e-04,1.052799e-04,1.053701e-04,1.053914e-04,1.054442e-04,1.054460e-04,1.054421e-04,1.054267e-04,1.053887e-04,1.053206e-04,1.052876e-04,1.051421e-04,1.051354e-04,1.049553e-04,1.048785e-04,1.047302e-04,1.045568e-04,1.044698e-04,1.041767e-04,1.038536e-04,1.037442e-04,1.035028e-04,1.032649e-04,1.031267e-04,1.027439e-04,1.027275e-04,1.023072e-04,1.021860e-04,1.018677e-04,1.015956e-04,1.014110e-04,1.009770e-04,1.009386e-04,1.004524e-04,1.003338e-04,9.995373e-05,9.966960e-05,9.944410e-05,9.898762e-05,9.892485e-05,9.839724e-05,9.829083e-05,9.786248e-05,9.758194e-05,9.732166e-05,9.686347e-05,9.677584e-05,9.622598e-05,9.613769e-05,9.567299e-05,9.540669e-05,9.511772e-05,9.467239e-05,9.456096e-05,9.400344e-05,9.393653e-05,9.344586e-05,9.320066e-05,9.288883e-05,9.246623e-05,9.233295e-05,9.177877e-05,9.173452e-05,9.122677e-05,9.100670e-05,9.067744e-05,9.028380e-05,9.013119e-05,8.958841e-05,8.956677e-05,8.904946e-05,8.885645e-05,8.851468e-05,8.815356e-05,8.798436e-05,8.745877e-05,8.677265e-05,8.609571e-05,8.542838e-05,8.477103e-05,8.412398e-05,8.348750e-05,8.286179e-05,8.224705e-05,8.164339e-05,8.105092e-05,8.046969e-05,7.989975e-05,7.934111e-05,7.879375e-05,7.825762e-05,7.773268e-05,7.721884e-05,7.671602e-05,7.622411e-05,7.574299e-05,7.527253e-05,7.481258e-05,7.436301e-05,7.392366e-05
0.000000e+00,1.014468e-11,2.311332e-11,7.874912e-11,1.778321e-10,2.585092e-10,5.822234e-10,5.996081e-10,1.154689e-09,1.356328e-09,1.983010e-09,2.638668e-09,3.151065e-09,4.582327e-09,4.724347e-09,6.743581e-09,7.294228e-09,9.192366e-09,1.072313e-08,1.199038e-08,1.465426e-08,1.502786e-08,1.820404e-08,1.884869e-08,2.144132e-08,2.312930e-08,2.468274e-08,2.737737e-08,2.788585e-08,3.101780e-08,3.151048e-08,3.405244e-08,3.546818e-08,3.696884e-08,3.920557e-08,3.975045e-08,4.238460e-08,4.269032e-08,4.486223e-08,4.590119e-08,4.717751e-08,4.882668e-08,4.932756e-08,5.131201e-08,5.146366e-08,5.313267e-08,5.381582e-08,5.479308e-08,5.589207e-08,5.629818e-08,5.765405e-08,5.770528e-08,5.886764e-08,5.927113e-08,5.994640e-08,6.060689e-08,6.089807e-08,6.173056e-08,6.245177e-08,6.266033e-08,6.306948e-08,6.341401e-08,6.359127e-08,6.400873e-08,6.402445e-08,6.437602e-08,6.446075e-08,6.465263e-08,6.478525e-08,6.486058e-08,6.499635e-08,6.500579e-08,6.509383e-08,6.510703e-08,6.512988e-08,6.512918e-08,6.511879e-08,6.507362e-08,6.506506e-08,6.497287e-08,6.495017e-08,6.484609e-08,6.476768e-08,6.468828e-08,6.453416e-08,6.450274e-08,6.429252e-08,6.425678e-08,6.406040e-08,6.394198e-08,6.380897e-08,6.359550e-08,6.354057e-08,6.325738e-08,6.322250e-08,6.296138e-08,6.282755e-08,6.265438e-08,6.241472e-08,6.233803e-08,6.201387e-08,6.198764e-08,6.168325e-08,6.154949e-08,6.134746e-08,6.110312e-08,6.100762e-08,6.066478e-08,6.065102e-08,6.031988e-08,6.019538e-08,5.997378e-08,5.973815e-08,5.962726e-08,5.928101e-08,5.893566e-08,5.882543e-08,5.859177e-08,5.837270e-08,5.824987e-08,5.792391e-08,5.791039e-08,5.757374e-08,5.748004e-08,5.724029e-08,5.704189e-08,5.691036e-08,5.661016e-08,5.658421e-08,5.626211e-08,5.618543e-08,5.594426e-08,5.576820e-08,5.563086e-08,5.535886e-08,5.532205e-08,5.501798e-08,5.495775e-08,5.471876e-08,5.456511e-08,5.442448e-08,5.418116e-08,5.413522e-08,5.385102e-08,5.380603e-08,5.357195e-08,5.343982e-08,5.329802e-08,5.308259e-08,5.302925e-08,5.276565e-08,5.273437e-08,5.250722e-08,5.239514e-08,5.225393e-08,5.206487e-08,5.200578e-08,5.176272e-08,5.174350e-08,5.152473e-08,5.143095e-08,5.129176e-08,5.112711e-08,5.106377e-08,5.084070e-08,5.083187e-08,5.062249e-08,5.054511e-08,5.040908e-08,5.026668e-08,5.020042e-08,4.999644e-08,4.973423e-08,4.947988e-08,4.923324e-08,4.899413e-08,4.876239e-08,4.853782e-08,4.832027e-08,4.810955e-08,4.790549e-08,4.770791e-08,4.751664e-08,4.733150e-08,4.715233e-08,4.697896e-08,4.681122e-08,4.664895e-08,4.649198e-08,4.634017e-08,4.619335e-08,4.605138e-08,4.591411e-08,4.578139e-08,4.565308e-08,4.552905e-08
0.000000e+00,4.168830e-10,1.356340e-09,7.294611e-09,2.120291e-08,3.416520e-08,9.391994e-08,9.737372e-08,2.161424e-07,2.624931e-07,4.145143e-07,5.834518e-07,7.205201e-07,1.117097e-06,1.157098e-06,1.730729e-06,1.888081e-06,2.433726e-06,2.879667e-06,3.254882e-06,4.067929e-06,4.185069e-06,5.217513e-06,5.435769e-06,6.346562e-06,6.970013e-06,7.566651e-06,8.657481e-06,8.871738e-06,1.025508e-05,1.048319e-05,1.170926e-05,1.243011e-05,1.322632e-05,1.447961e-05,1.479787e-05,1.641542e-05,1.661222e-05,1.807049e-05,1.880846e-05,1.975481e-05,2.104960e-05,2.146052e-05,2.318019e-05,2.331816e-05,2.490700e-05,2.559829e-05,2.663467e-05,2.787596e-05,2.835760e-05,3.007079e-05,3.013905e-05,3.176985e-05,3.237730e-05,3.345095e-05,3.458214e-05,3.511079e-05,3.674658e-05,3.835593e-05,3.886501e-05,3.993686e-05,4.093297e-05,4.148773e-05,4.294706e-05,4.300722e-05,4.449425e-05,4.490469e-05,4.594801e-05,4.680402e-05,4.736786e-05,4.864379e-05,4.875336e-05,5.010421e-05,5.042324e-05,5.142024e-05,5.214199e-05,5.270141e-05,5.380002e-05,5.394774e-05,5.515937e-05,5.539755e-05,5.633650e-05,5.693505e-05,5.747938e-05,5.841315e-05,5.858831e-05,5.966366e-05,5.983263e-05,6.070582e-05,6.119439e-05,6.171521e-05,6.249942e-05,6.269227e-05,6.363750e-05,6.374881e-05,6.455137e-05,6.494368e-05,6.543441e-05,6.608522e-05,6.628713e-05,6.711008e-05,6.717464e-05,6.790379e-05,6.821321e-05,6.866881e-05,6.920217e-05,6.940570e-05,7.011502e-05,7.014283e-05,7.079733e-05,7.103646e-05,7.145319e-05,7.188435e-05,7.208316e-05,7.268781e-05,7.326769e-05,7.344811e-05,7.382336e-05,7.416653e-05,7.435536e-05,7.484434e-05,7.486426e-05,7.535058e-05,7.548279e-05,7.581488e-05,7.608311e-05,7.625768e-05,7.664653e-05,7.667951e-05,7.708089e-05,7.717424e-05,7.746234e-05,7.766743e-05,7.782436e-05,7.812726e-05,7.816745e-05,7.849211e-05,7.855487e-05,7.879881e-05,7.895136e-05,7.908804e-05,7.931784e-05,7.936028e-05,7.961597e-05,7.965537e-05,7.985557e-05,7.996500e-05,8.007954e-05,8.024775e-05,8.028831e-05,8.048230e-05,8.050461e-05,8.066195e-05,8.073655e-05,8.082766e-05,8.094453e-05,8.097984e-05,8.111889e-05,8.112946e-05,8.124520e-05,8.129225e-05,8.135916e-05,8.143376e-05,8.146113e-05,8.155148e-05,8.155485e-05,8.163057e-05,8.165635e-05,8.169875e-05,8.173906e-05,8.175637e-05,8.180376e-05,8.185120e-05,8.188213e-05,8.189725e-05,8.189725e-05,8.188282e-05,8.185459e-05,8.181319e-05,8.175923e-05,8.169331e-05,8.161599e-05,8.152782e-05,8.142933e-05,8.132105e-05,8.120346e-05,8.107705e-05,8.094228e-05,8.079960e-05,8.064944e-05,8.049222e-05,8.032834e-05,8.015818e-05,7.998213e-05,7.980053e-05,7.961374e-05
0.000000e+00,5.046629e-10,1.968900e-09,1.487772e-08,5.677174e-08,1.048164e-07,3.945094e-07,4.138526e-07,1.197574e-06,1.552803e-06,2.858963e-06,4.507900e-06,5.967043e-06,1.068813e-05,1.120149e-05,1.923955e-05,2.165404e-05,3.067353e-05,3.874245e-05,4.597996e-05,6.293933e-05,6.551605e-05,8.952504e-05,9.487737e-05,1.181429e-04,1.348612e-04,1.514048e-04,1.828928e-04,1.892513e-04,2.315346e-04,2.386975e-04,2.780270e-04,3.017529e-04,3.284290e-04,3.713252e-04,3.823803e-04,4.394710e-04,4.465119e-04,4.992537e-04,5.262899e-04,5.612564e-04,6.095649e-04,6.249942e-04,6.899810e-04,6.952195e-04,7.557396e-04,7.821555e-04,8.218109e-04,8.693310e-04,8.877609e-04,9.531867e-04,9.557875e-04,1.017721e-03,1.040670e-03,1.081033e-03,1.123238e-03,1.142834e-03,1.202873e-03,1.260938e-03,1.279073e-03,1.316857e-03,1.351454e-03,1.370492e-03,1.419734e-03,1.421737e-03,1.470520e-03,1.483731e-03,1.516793e-03,1.543343e-03,1.560536e-03,1.598544e-03,1.601748e-03,1.640449e-03,1.649367e-03,1.676673e-03,1.695894e-03,1.710469e-03,1.738249e-03,1.741897e-03,1.771027e-03,1.776583e-03,1.797934e-03,1.811074e-03,1.822700e-03,1.841911e-03,1.845410e-03,1.866154e-03,1.869297e-03,1.885020e-03,1.893436e-03,1.902099e-03,1.914535e-03,1.917480e-03,1.931252e-03,1.932800e-03,1.943501e-03,1.948430e-03,1.954313e-03,1.961619e-03,1.963770e-03,1.971951e-03,1.972552e-03,1.978933e-03,1.981407e-03,1.984790e-03,1.988349e-03,1.989592e-03,1.993406e-03,1.993539e-03,1.996296e-03,1.997123e-03,1.998324e-03,1.999239e-03,1.999546e-03,2.000018e-03,1.999790e-03,1.999577e-03,1.998911e-03,1.998029e-03,1.997428e-03,1.995476e-03,1.995384e-03,1.992819e-03,1.992013e-03,1.989772e-03,1.987727e-03,1.986278e-03,1.982698e-03,1.982371e-03,1.978084e-03,1.977001e-03,1.973445e-03,1.970704e-03,1.968482e-03,1.963868e-03,1.963222e-03,1.957689e-03,1.956552e-03,1.951906e-03,1.948807e-03,1.945894e-03,1.940683e-03,1.939674e-03,1.933264e-03,1.932222e-03,1.926681e-03,1.923465e-03,1.919943e-03,1.914450e-03,1.913064e-03,1.906059e-03,1.905210e-03,1.898941e-03,1.895777e-03,1.891723e-03,1.886178e-03,1.884417e-03,1.877033e-03,1.876440e-03,1.869583e-03,1.866586e-03,1.862074e-03,1.856638e-03,1.854518e-03,1.846921e-03,1.846616e-03,1.839291e-03,1.836538e-03,1.831637e-03,1.826422e-03,1.823965e-03,1.816280e-03,1.806129e-03,1.795980e-03,1.785845e-03,1.775734e-03,1.765657e-03,1.755623e-03,1.745639e-03,1.735713e-03,1.725850e-03,1.716058e-03,1.706341e-03,1.696704e-03,1.687151e-03,1.677686e-03,1.668312e-03,1.659033e-03,1.649851e-03,1.640768e-03,1.631787e-03,1.622909e-03,1.614136e-03,1.605468e-03,1.596908e-03,1.588456e-03
0.000000e+00,2.184325e-10,8.460932e-10,6.290387e-09,2.359370e-08,4.309191e-08,1.567724e-07,1.641963e-07,4.541072e-07,5.803298e-07,1.026215e-06,1.561471e-06,2.018509e-06,3.437453e-06,3.588238e-06,5.906062e-06,6.593339e-06,9.149552e-06,1.143640e-05,1.349540e-05,1.836431e-05,1.911018e-05,2.614105e-05,2.772828e-05,3.470837e-05,3.980145e-05,4.490112e-05,5.476070e-05,5.677471e-05,7.035054e-05,7.268029e-05,8.561664e-05,9.353308e-05,1.025293e-04,1.171968e-04,1.210154e-04,1.409753e-04,1.434639e-04,1.622861e-04,1.720548e-04,1.848057e-04,2.026327e-04,2.083768e-04,2.328311e-04,2.348204e-04,2.579935e-04,2.682169e-04,2.836859e-04,3.024130e-04,3.097311e-04,3.359558e-04,3.370062e-04,3.621939e-04,3.716124e-04,3.882885e-04,4.058759e-04,4.140937e-04,4.394763e-04,4.643163e-04,4.721329e-04,4.885080e-04,5.036075e-04,5.119596e-04,5.337042e-04,5.345930e-04,5.563440e-04,5.622688e-04,5.771610e-04,5.891859e-04,5.970045e-04,6.143763e-04,6.158463e-04,6.336685e-04,6.377929e-04,6.504622e-04,6.594171e-04,6.662271e-04,6.792543e-04,6.809699e-04,6.947037e-04,6.973309e-04,7.074470e-04,7.136896e-04,7.192230e-04,7.283868e-04,7.300585e-04,7.399834e-04,7.414890e-04,7.490300e-04,7.530705e-04,7.572326e-04,7.632107e-04,7.646266e-04,7.712482e-04,7.719926e-04,7.771342e-04,7.795005e-04,7.823214e-04,7.858189e-04,7.868465e-04,7.907455e-04,7.910315e-04,7.940542e-04,7.952201e-04,7.968070e-04,7.984639e-04,7.990378e-04,8.007792e-04,8.008391e-04,8.020627e-04,8.024185e-04,8.029185e-04,8.032711e-04,8.033757e-04,8.034620e-04,8.032039e-04,8.030527e-04,8.026266e-04,8.021006e-04,8.017538e-04,8.006592e-04,8.006084e-04,7.992117e-04,7.987783e-04,7.975839e-04,7.965043e-04,7.957441e-04,7.938798e-04,7.937103e-04,7.914994e-04,7.909442e-04,7.891272e-04,7.877339e-04,7.866086e-04,7.842823e-04,7.839576e-04,7.811872e-04,7.806199e-04,7.783097e-04,7.767748e-04,7.753363e-04,7.727726e-04,7.722779e-04,7.691443e-04,7.686365e-04,7.659447e-04,7.643880e-04,7.626878e-04,7.600463e-04,7.593815e-04,7.560333e-04,7.556290e-04,7.526500e-04,7.511520e-04,7.492382e-04,7.466297e-04,7.458036e-04,7.423518e-04,7.420751e-04,7.388879e-04,7.375000e-04,7.354165e-04,7.329149e-04,7.319420e-04,7.284683e-04,7.283294e-04,7.249991e-04,7.237520e-04,7.215378e-04,7.191903e-04,7.180875e-04,7.146511e-04,7.101405e-04,7.056639e-04,7.012261e-04,6.968312e-04,6.924830e-04,6.881847e-04,6.839390e-04,6.797485e-04,6.756151e-04,6.715406e-04,6.675265e-04,6.635740e-04,6.596840e-04,6.558572e-04,6.520943e-04,6.483957e-04,6.447615e-04,6.411919e-04,6.376867e-04,6.342460e-04,6.308694e-04,6.275565e-04,6.243071e-04,6.211204e-04
0.000000e+00,4.607252e-11,1.761874e-10,1.274989e-09,4.663999e-09,8.401156e-09,2.948332e-08,3.083427e-08,8.229467e-08,1.041677e-07,1.798876e-07,2.686444e-07,3.431700e-07,5.696638e-07,5.934041e-07,9.529327e-07,1.058006e-06,1.444372e-06,1.785291e-06,2.089123e-06,2.797465e-06,2.904803e-06,3.901929e-06,4.123377e-06,5.081160e-06,5.763384e-06,6.432411e-06,7.686321e-06,7.936136e-06,9.565945e-06,9.836423e-06,1.129161e-05,1.214474e-05,1.308174e-05,1.453971e-05,1.490586e-05,1.673580e-05,1.695455e-05,1.854648e-05,1.933140e-05,2.031637e-05,2.162305e-05,2.202756e-05,2.366567e-05,2.379321e-05,2.521962e-05,2.581575e-05,2.668138e-05,2.767365e-05,2.804558e-05,2.930924e-05,2.935767e-05,3.047137e-05,3.086498e-05,3.153271e-05,3.219788e-05,3.249537e-05,3.336260e-05,3.413847e-05,3.436822e-05,3.482771e-05,3.522572e-05,3.543545e-05,3.594722e-05,3.596709e-05,3.642813e-05,3.654532e-05,3.682405e-05,3.703260e-05,3.716025e-05,3.742129e-05,3.744193e-05,3.767406e-05,3.772292e-05,3.786133e-05,3.794826e-05,3.800814e-05,3.810712e-05,3.811857e-05,3.819641e-05,3.820837e-05,3.824509e-05,3.825994e-05,3.826778e-05,3.826885e-05,3.826733e-05,3.824635e-05,3.824125e-05,3.820718e-05,3.818254e-05,3.815191e-05,3.809739e-05,3.808244e-05,3.800045e-05,3.798985e-05,3.790745e-05,3.786340e-05,3.780480e-05,3.772106e-05,3.769368e-05,3.757518e-05,3.756541e-05,3.745025e-05,3.739867e-05,3.731974e-05,3.722275e-05,3.718441e-05,3.704495e-05,3.703929e-05,3.690195e-05,3.684972e-05,3.675597e-05,3.665524e-05,3.660748e-05,3.645691e-05,3.630467e-05,3.625565e-05,3.615109e-05,3.605224e-05,3.599649e-05,3.584738e-05,3.584116e-05,3.568535e-05,3.564167e-05,3.552929e-05,3.543562e-05,3.537319e-05,3.522971e-05,3.521724e-05,3.506161e-05,3.502432e-05,3.490645e-05,3.481982e-05,3.475190e-05,3.461650e-05,3.459808e-05,3.444512e-05,3.441463e-05,3.429310e-05,3.421446e-05,3.414213e-05,3.401619e-05,3.399229e-05,3.384366e-05,3.381999e-05,3.369630e-05,3.362603e-05,3.355027e-05,3.343445e-05,3.340563e-05,3.326244e-05,3.324535e-05,3.312072e-05,3.305885e-05,3.298053e-05,3.287502e-05,3.284189e-05,3.270484e-05,3.269394e-05,3.256940e-05,3.251568e-05,3.243559e-05,3.234027e-05,3.230343e-05,3.217295e-05,3.216776e-05,3.204414e-05,3.199819e-05,3.191703e-05,3.183157e-05,3.179162e-05,3.166792e-05,3.150724e-05,3.134955e-05,3.119484e-05,3.104310e-05,3.089432e-05,3.074849e-05,3.060558e-05,3.046557e-05,3.032845e-05,3.019417e-05,3.006271e-05,2.993405e-05,2.980813e-05,2.968494e-05,2.956443e-05,2.944657e-05,2.933132e-05,2.921863e-05,2.910847e-05,2.900080e-05,2.889557e-05,2.879275e-05,2.869229e-05,2.859415e-05
0.000000e+00,1.680442e-10,5.812028e-10,3.465041e-09,1.080415e-08,1.794790e-08,5.222676e-08,5.424101e-08,1.241105e-07,1.514512e-07,2.408809e-07,3.399140e-07,4.203633e-07,6.566166e-07,6.808883e-07,1.040451e-06,1.142943e-06,1.509775e-06,1.819896e-06,2.085449e-06,2.666753e-06,2.750535e-06,3.482079e-06,3.634377e-06,4.258284e-06,4.673545e-06,5.061573e-06,5.747427e-06,5.878635e-06,6.699357e-06,6.830457e-06,7.515764e-06,7.904138e-06,8.321293e-06,8.954119e-06,9.110382e-06,9.878260e-06,9.968780e-06,1.062086e-05,1.093871e-05,1.133481e-05,1.185654e-05,1.201737e-05,1.266646e-05,1.271689e-05,1.328060e-05,1.351624e-05,1.385886e-05,1.425275e-05,1.440084e-05,1.490660e-05,1.492608e-05,1.537657e-05,1.553714e-05,1.581150e-05,1.608775e-05,1.621241e-05,1.658049e-05,1.691713e-05,1.701845e-05,1.722378e-05,1.740498e-05,1.750192e-05,1.774356e-05,1.775311e-05,1.797888e-05,1.803775e-05,1.818076e-05,1.829105e-05,1.836026e-05,1.850689e-05,1.851884e-05,1.865790e-05,1.868852e-05,1.877878e-05,1.883901e-05,1.888276e-05,1.896126e-05,1.897106e-05,1.904481e-05,1.905792e-05,1.910510e-05,1.913147e-05,1.915293e-05,1.918418e-05,1.918926e-05,1.921496e-05,1.921815e-05,1.923088e-05,1.923527e-05,1.923778e-05,1.923730e-05,1.923639e-05,1.922736e-05,1.922580e-05,1.921134e-05,1.920223e-05,1.918890e-05,1.916788e-05,1.916057e-05,1.912687e-05,1.912395e-05,1.908825e-05,1.907152e-05,1.904514e-05,1.901155e-05,1.899795e-05,1.894704e-05,1.894494e-05,1.889277e-05,1.887247e-05,1.883545e-05,1.879488e-05,1.877538e-05,1.871282e-05,1.864805e-05,1.862689e-05,1.858128e-05,1.853761e-05,1.851275e-05,1.844548e-05,1.844265e-05,1.837117e-05,1.835094e-05,1.829849e-05,1.825437e-05,1.822477e-05,1.815614e-05,1.815014e-05,1.807477e-05,1.805658e-05,1.799876e-05,1.795597e-05,1.792225e-05,1.785458e-05,1.784533e-05,1.776811e-05,1.775264e-05,1.769069e-05,1.765038e-05,1.761315e-05,1.754798e-05,1.753557e-05,1.745802e-05,1.744562e-05,1.738057e-05,1.734345e-05,1.730329e-05,1.724162e-05,1.722623e-05,1.714945e-05,1.714026e-05,1.707299e-05,1.703946e-05,1.699690e-05,1.693935e-05,1.692122e-05,1.684600e-05,1.684000e-05,1.677125e-05,1.674149e-05,1.669702e-05,1.664391e-05,1.662333e-05,1.655021e-05,1.654730e-05,1.647769e-05,1.645173e-05,1.640578e-05,1.635725e-05,1.633451e-05,1.626388e-05,1.617169e-05,1.608068e-05,1.599090e-05,1.590236e-05,1.581509e-05,1.572909e-05,1.564437e-05,1.556096e-05,1.547885e-05,1.539805e-05,1.531856e-05,1.524037e-05,1.516349e-05,1.508792e-05,1.501363e-05,1.494064e-05,1.486893e-05,1.479849e-05,1.472932e-05,1.466139e-05,1.459471e-05,1.452924e-05,1.446500e-05,1.440195e-05
0.000000e+00,6.159092e-11,2.276594e-10,1.537730e-09,5.293263e-09,9.229883e-09,2.988268e-08,3.115300e-08,7.718360e-08,9.584348e-08,1.580755e-07,2.280147e-07,2.851112e-07,4.529393e-07,4.701712e-07,7.257760e-07,7.990296e-07,1.064432e-06,1.294417e-06,1.496545e-06,1.958173e-06,2.026982e-06,2.652043e-06,2.787438e-06,3.359168e-06,3.753216e-06,4.129602e-06,4.810269e-06,4.942279e-06,5.777069e-06,5.911483e-06,6.616647e-06,7.017135e-06,7.447119e-06,8.097709e-06,8.257869e-06,9.041039e-06,9.132877e-06,9.790941e-06,1.010927e-05,1.050353e-05,1.101839e-05,1.117602e-05,1.180659e-05,1.185519e-05,1.239417e-05,1.261706e-05,1.293836e-05,1.330336e-05,1.343928e-05,1.389753e-05,1.391498e-05,1.431411e-05,1.445413e-05,1.469037e-05,1.492402e-05,1.502795e-05,1.532869e-05,1.559461e-05,1.567270e-05,1.582785e-05,1.596097e-05,1.603058e-05,1.619856e-05,1.620502e-05,1.635335e-05,1.639049e-05,1.647768e-05,1.654162e-05,1.658007e-05,1.665657e-05,1.666247e-05,1.672673e-05,1.673965e-05,1.677457e-05,1.679480e-05,1.680761e-05,1.682561e-05,1.682732e-05,1.683506e-05,1.683529e-05,1.683209e-05,1.682669e-05,1.681954e-05,1.680234e-05,1.679843e-05,1.676969e-05,1.676444e-05,1.673418e-05,1.671494e-05,1.669263e-05,1.665552e-05,1.664575e-05,1.659413e-05,1.658764e-05,1.653832e-05,1.651257e-05,1.647881e-05,1.643137e-05,1.641603e-05,1.635037e-05,1.634500e-05,1.628218e-05,1.625427e-05,1.621179e-05,1.615990e-05,1.613947e-05,1.606548e-05,1.606249e-05,1.599004e-05,1.596258e-05,1.591338e-05,1.586063e-05,1.583566e-05,1.575706e-05,1.567773e-05,1.565222e-05,1.559782e-05,1.554642e-05,1.551744e-05,1.543995e-05,1.543672e-05,1.535574e-05,1.533304e-05,1.527462e-05,1.522591e-05,1.519344e-05,1.511876e-05,1.511227e-05,1.503118e-05,1.501174e-05,1.495025e-05,1.490502e-05,1.486953e-05,1.479872e-05,1.478908e-05,1.470894e-05,1.469296e-05,1.462917e-05,1.458784e-05,1.454980e-05,1.448347e-05,1.447087e-05,1.439243e-05,1.437992e-05,1.431449e-05,1.427727e-05,1.423709e-05,1.417557e-05,1.416025e-05,1.408400e-05,1.407489e-05,1.400836e-05,1.397528e-05,1.393336e-05,1.387678e-05,1.385899e-05,1.378529e-05,1.377943e-05,1.371227e-05,1.368326e-05,1.363994e-05,1.358829e-05,1.356831e-05,1.349738e-05,1.349456e-05,1.342718e-05,1.340209e-05,1.335770e-05,1.331088e-05,1.328896e-05,1.322095e-05,1.313232e-05,1.304498e-05,1.295895e-05,1.287423e-05,1.279081e-05,1.270871e-05,1.262790e-05,1.254840e-05,1.247019e-05,1.239326e-05,1.231762e-05,1.224324e-05,1.217013e-05,1.209826e-05,1.202763e-05,1.195822e-05,1.189002e-05,1.182302e-05,1.175721e-05,1.169256e-05,1.162907e-05,1.156671e-05,1.150548e-05,1.144536e-05
0.000000e+00,4.889379e-12,1.118386e-11,3.834856e-11,8.700379e-11,1.267498e-10,2.866849e-10,2.952826e-10,5.696964e-10,6.692280e-10,9.777987e-10,1.299343e-09,1.549797e-09,2.246611e-09,2.315612e-09,3.296580e-09,3.564661e-09,4.493397e-09,5.249748e-09,5.882196e-09,7.233532e-09,7.425634e-09,9.086677e-09,9.430163e-09,1.083440e-08,1.176899e-08,1.264381e-08,1.419606e-08,1.449407e-08,1.636714e-08,1.666785e-08,1.824695e-08,1.914737e-08,2.011912e-08,2.160270e-08,2.197085e-08,2.379094e-08,2.400675e-08,2.556982e-08,2.633736e-08,2.729949e-08,2.857710e-08,2.897349e-08,3.058683e-08,3.071316e-08,3.213586e-08,3.273688e-08,3.361811e-08,3.464313e-08,3.503214e-08,3.637742e-08,3.642981e-08,3.765416e-08,3.809714e-08,3.886315e-08,3.964722e-08,4.000570e-08,4.108346e-08,4.209837e-08,4.241022e-08,4.305261e-08,4.363252e-08,4.394844e-08,4.475570e-08,4.478825e-08,4.557446e-08,4.578532e-08,4.630948e-08,4.672694e-08,4.699574e-08,4.758605e-08,4.763558e-08,4.823131e-08,4.836798e-08,4.878517e-08,4.907784e-08,4.929930e-08,4.972053e-08,4.977579e-08,5.021661e-08,5.030066e-08,5.062366e-08,5.082258e-08,5.099875e-08,5.129040e-08,5.134362e-08,5.165989e-08,5.170795e-08,5.194914e-08,5.207881e-08,5.221283e-08,5.240633e-08,5.245237e-08,5.266909e-08,5.269362e-08,5.286425e-08,5.294360e-08,5.303904e-08,5.315895e-08,5.319459e-08,5.333196e-08,5.334220e-08,5.345217e-08,5.349567e-08,5.355618e-08,5.362153e-08,5.364488e-08,5.371913e-08,5.372181e-08,5.377974e-08,5.379837e-08,5.382747e-08,5.385295e-08,5.386305e-08,5.388717e-08,5.390046e-08,5.390252e-08,5.390354e-08,5.390042e-08,5.389698e-08,5.388214e-08,5.388135e-08,5.385715e-08,5.384891e-08,5.382488e-08,5.380184e-08,5.378500e-08,5.374197e-08,5.373795e-08,5.368415e-08,5.367028e-08,5.362400e-08,5.358767e-08,5.355786e-08,5.349499e-08,5.348609e-08,5.340903e-08,5.339301e-08,5.332700e-08,5.328248e-08,5.324029e-08,5.316406e-08,5.314920e-08,5.305399e-08,5.303840e-08,5.295493e-08,5.290608e-08,5.285225e-08,5.276767e-08,5.274620e-08,5.263698e-08,5.262367e-08,5.252481e-08,5.247457e-08,5.240989e-08,5.232082e-08,5.229240e-08,5.217252e-08,5.216284e-08,5.205043e-08,5.200101e-08,5.192629e-08,5.183572e-08,5.180024e-08,5.167244e-08,5.166729e-08,5.154302e-08,5.149606e-08,5.141212e-08,5.132232e-08,5.127986e-08,5.114636e-08,5.096843e-08,5.078878e-08,5.060764e-08,5.042523e-08,5.024176e-08,5.005739e-08,4.987233e-08,4.968672e-08,4.950073e-08,4.931450e-08,4.912816e-08,4.894185e-08,4.875567e-08,4.856975e-08,4.838418e-08,4.819907e-08,4.801449e-08,4.783054e-08,4.764730e-08,4.746484e-08,4.728322e-08,4.710251e-08,4.692277e-08,4.674406e-08
0.000000e+00,4.562830e-12,1.042598e-11,3.567192e-11,8.074276e-11,1.174515e-10,2.643539e-10,2.722177e-10,5.216404e-10,6.114189e-10,8.877156e-10,1.172764e-09,1.393080e-09,2.000018e-09,2.059745e-09,2.904714e-09,3.134892e-09,3.932312e-09,4.583147e-09,5.128953e-09,6.300487e-09,6.467602e-09,7.917874e-09,8.218840e-09,9.452441e-09,1.027593e-08,1.104824e-08,1.242155e-08,1.268557e-08,1.434700e-08,1.461399e-08,1.601674e-08,1.681690e-08,1.768042e-08,1.899817e-08,1.932498e-08,2.093876e-08,2.112985e-08,2.251160e-08,2.318839e-08,2.403483e-08,2.515487e-08,2.550133e-08,2.690545e-08,2.701495e-08,2.824295e-08,2.875860e-08,2.951087e-08,3.037960e-08,3.070735e-08,3.183160e-08,3.187506e-08,3.288370e-08,3.324493e-08,3.386445e-08,3.449128e-08,3.477522e-08,3.561786e-08,3.639460e-08,3.662964e-08,3.710791e-08,3.753238e-08,3.776048e-08,3.833238e-08,3.835508e-08,3.889460e-08,3.903618e-08,3.938190e-08,3.965041e-08,3.981986e-08,4.018162e-08,4.021129e-08,4.055894e-08,4.063617e-08,4.086549e-08,4.102017e-08,4.113351e-08,4.133946e-08,4.136547e-08,4.156372e-08,4.159952e-08,4.173051e-08,4.180553e-08,4.186799e-08,4.196230e-08,4.197818e-08,4.206298e-08,4.207432e-08,4.212422e-08,4.214574e-08,4.216358e-08,4.218042e-08,4.218269e-08,4.218305e-08,4.218190e-08,4.216607e-08,4.215345e-08,4.213308e-08,4.209808e-08,4.208534e-08,4.202402e-08,4.201856e-08,4.195020e-08,4.191741e-08,4.186492e-08,4.179697e-08,4.176914e-08,4.166375e-08,4.165935e-08,4.154960e-08,4.150651e-08,4.142746e-08,4.134022e-08,4.129807e-08,4.116212e-08,4.102023e-08,4.097368e-08,4.087302e-08,4.077626e-08,4.072102e-08,4.057109e-08,4.056476e-08,4.040473e-08,4.035930e-08,4.024136e-08,4.014192e-08,4.007508e-08,3.991987e-08,3.990628e-08,3.973531e-08,3.969400e-08,3.956252e-08,3.946508e-08,3.938822e-08,3.923381e-08,3.921269e-08,3.903620e-08,3.900081e-08,3.885901e-08,3.876667e-08,3.868135e-08,3.853190e-08,3.850342e-08,3.832544e-08,3.829696e-08,3.814757e-08,3.806229e-08,3.796999e-08,3.782825e-08,3.779287e-08,3.761633e-08,3.759519e-08,3.744051e-08,3.736341e-08,3.726554e-08,3.713319e-08,3.709152e-08,3.691856e-08,3.690477e-08,3.674675e-08,3.667837e-08,3.657618e-08,3.645417e-08,3.640692e-08,3.623904e-08,3.623235e-08,3.607261e-08,3.601306e-08,3.590769e-08,3.579643e-08,3.574432e-08,3.558256e-08,3.537156e-08,3.516351e-08,3.495848e-08,3.475652e-08,3.455769e-08,3.436202e-08,3.416954e-08,3.398028e-08,3.379423e-08,3.361141e-08,3.343183e-08,3.325547e-08,3.308232e-08,3.291237e-08,3.274561e-08,3.258200e-08,3.242153e-08,3.226417e-08,3.210987e-08,3.195863e-08,3.181038e-08,3.166511e-08,3.152277e-08,3.138333e-08
0.000000e+00,3.333737e-12,7.627249e-12,2.612659e-11,5.912510e-11,8.595214e-11,1.927757e-10,1.984690e-10,3.777202e-10,4.416277e-10,6.363986e-10,8.345680e-10,9.860178e-10,1.396879e-09,1.436893e-09,1.997753e-09,2.149481e-09,2.674718e-09,3.105439e-09,3.469593e-09,4.263449e-09,4.378195e-09,5.390258e-09,5.603863e-09,6.491418e-09,7.093972e-09,7.665822e-09,8.697480e-09,8.897862e-09,1.017287e-08,1.037993e-08,1.147720e-08,1.210994e-08,1.279821e-08,1.385917e-08,1.412425e-08,1.544469e-08,1.560230e-08,1.674992e-08,1.731718e-08,1.803147e-08,1.898505e-08,1.928199e-08,2.049527e-08,2.059056e-08,2.166621e-08,2.212180e-08,2.279079e-08,2.357005e-08,2.386598e-08,2.488965e-08,2.492950e-08,2.586044e-08,2.619684e-08,2.677773e-08,2.737089e-08,2.764149e-08,2.845222e-08,2.921079e-08,2.944272e-08,2.991847e-08,3.034535e-08,3.057674e-08,3.116379e-08,3.118732e-08,3.175204e-08,3.190221e-08,3.227286e-08,3.256512e-08,3.275179e-08,3.315714e-08,3.319085e-08,3.359208e-08,3.368297e-08,3.395750e-08,3.414722e-08,3.428906e-08,3.455436e-08,3.458869e-08,3.485826e-08,3.490873e-08,3.509955e-08,3.521442e-08,3.531428e-08,3.547533e-08,3.550410e-08,3.567056e-08,3.569513e-08,3.581516e-08,3.587723e-08,3.593933e-08,3.602484e-08,3.604438e-08,3.613160e-08,3.614092e-08,3.620218e-08,3.622825e-08,3.625724e-08,3.628937e-08,3.629786e-08,3.632503e-08,3.632665e-08,3.633969e-08,3.634225e-08,3.634274e-08,3.633820e-08,3.633500e-08,3.631725e-08,3.631635e-08,3.629024e-08,3.627838e-08,3.625465e-08,3.622588e-08,3.621113e-08,3.616028e-08,3.610267e-08,3.608289e-08,3.603884e-08,3.599495e-08,3.596928e-08,3.589755e-08,3.589446e-08,3.581483e-08,3.579173e-08,3.573079e-08,3.567841e-08,3.564273e-08,3.555847e-08,3.555100e-08,3.545596e-08,3.543268e-08,3.535790e-08,3.530178e-08,3.525713e-08,3.516642e-08,3.515392e-08,3.504853e-08,3.502721e-08,3.494120e-08,3.488471e-08,3.483217e-08,3.473941e-08,3.472163e-08,3.460980e-08,3.459179e-08,3.449684e-08,3.444228e-08,3.438294e-08,3.429125e-08,3.426825e-08,3.415293e-08,3.413906e-08,3.403712e-08,3.398604e-08,3.392094e-08,3.383247e-08,3.380452e-08,3.368796e-08,3.367864e-08,3.357139e-08,3.352477e-08,3.345489e-08,3.337111e-08,3.333856e-08,3.322247e-08,3.321784e-08,3.310672e-08,3.306514e-08,3.299137e-08,3.291320e-08,3.287649e-08,3.276214e-08,3.261212e-08,3.246325e-08,3.231564e-08,3.216938e-08,3.202457e-08,3.188128e-08,3.173958e-08,3.159954e-08,3.146120e-08,3.132460e-08,3.118980e-08,3.105682e-08,3.092570e-08,3.079645e-08,3.066909e-08,3.054365e-08,3.042012e-08,3.029852e-08,3.017886e-08,3.006112e-08,2.994532e-08,2.983145e-08,2.971950e-08,2.960946e-08
0.000000e+00,9.483777e-11,2.193418e-10,7.621769e-10,1.741885e-09,2.545116e-09,5.785908e-09,5.960247e-09,1.151947e-08,1.353133e-08,1.974817e-08,2.619234e-08,3.118924e-08,4.501145e-08,4.637559e-08,6.574406e-08,7.104324e-08,8.948229e-08,1.046277e-07,1.173950e-07,1.449888e-07,1.489444e-07,1.834505e-07,1.906479e-07,2.202641e-07,2.401301e-07,2.588268e-07,2.922229e-07,2.986653e-07,3.393705e-07,3.459390e-07,3.805814e-07,4.004467e-07,4.219773e-07,4.550348e-07,4.632735e-07,5.042199e-07,5.090993e-07,5.446000e-07,5.621393e-07,5.842299e-07,6.137513e-07,6.229561e-07,6.606538e-07,6.636220e-07,6.972237e-07,7.115181e-07,7.325897e-07,7.572755e-07,7.666956e-07,7.995027e-07,8.007876e-07,8.309868e-07,8.419947e-07,8.611364e-07,8.808747e-07,8.899500e-07,9.174347e-07,9.436044e-07,9.517039e-07,9.684783e-07,9.837283e-07,9.920799e-07,1.013566e-06,1.014437e-06,1.035578e-06,1.041284e-06,1.055536e-06,1.066956e-06,1.074344e-06,1.090660e-06,1.092035e-06,1.108646e-06,1.112476e-06,1.124211e-06,1.132485e-06,1.138767e-06,1.150768e-06,1.152348e-06,1.164989e-06,1.167407e-06,1.176725e-06,1.182481e-06,1.187589e-06,1.196067e-06,1.197617e-06,1.206839e-06,1.208243e-06,1.215290e-06,1.219081e-06,1.223000e-06,1.228655e-06,1.230000e-06,1.236320e-06,1.237034e-06,1.241988e-06,1.244284e-06,1.247035e-06,1.250471e-06,1.251486e-06,1.255369e-06,1.255656e-06,1.258710e-06,1.259900e-06,1.261534e-06,1.263260e-06,1.263864e-06,1.265725e-06,1.265790e-06,1.267139e-06,1.267543e-06,1.268128e-06,1.268569e-06,1.268713e-06,1.268915e-06,1.268753e-06,1.268628e-06,1.268247e-06,1.267750e-06,1.267414e-06,1.266323e-06,1.266271e-06,1.264837e-06,1.264385e-06,1.263127e-06,1.261975e-06,1.261157e-06,1.259127e-06,1.258941e-06,1.256495e-06,1.255875e-06,1.253832e-06,1.252250e-06,1.250965e-06,1.248283e-06,1.247907e-06,1.244670e-06,1.244002e-06,1.241266e-06,1.239434e-06,1.237706e-06,1.234604e-06,1.234002e-06,1.230162e-06,1.229535e-06,1.226197e-06,1.224252e-06,1.222116e-06,1.218774e-06,1.217929e-06,1.213643e-06,1.213122e-06,1.209267e-06,1.207315e-06,1.204809e-06,1.201371e-06,1.200277e-06,1.195676e-06,1.195305e-06,1.191015e-06,1.189135e-06,1.186299e-06,1.182873e-06,1.181535e-06,1.176728e-06,1.176535e-06,1.171884e-06,1.170132e-06,1.167008e-06,1.163678e-06,1.162106e-06,1.157182e-06,1.150656e-06,1.144110e-06,1.137551e-06,1.130990e-06,1.124434e-06,1.117889e-06,1.111363e-06,1.104862e-06,1.098392e-06,1.091957e-06,1.085564e-06,1.079215e-06,1.072916e-06,1.066670e-06,1.060480e-06,1.054350e-06,1.048282e-06,1.042279e-06,1.036343e-06,1.030476e-06,1.024679e-06,1.018954e-06,1.013303e-06,1.007727e-06
0.000000e+00,9.316926e-11,3.601177e-10,2.665372e-09,9.957638e-09,1.814980e-08,6.574022e-08,6.884343e-08,1.899596e-07,2.427279e-07,4.295831e-07,6.550205e-07,8.485578e-07,1.455376e-06,1.520357e-06,2.529401e-06,2.831706e-06,3.964915e-06,4.986570e-06,5.909662e-06,8.094084e-06,8.428144e-06,1.155966e-05,1.226112e-05,1.531727e-05,1.751600e-05,1.969050e-05,2.381856e-05,2.464973e-05,3.015057e-05,3.107740e-05,3.613784e-05,3.916631e-05,4.254883e-05,4.793742e-05,4.931600e-05,5.636916e-05,5.723139e-05,6.363727e-05,6.688515e-05,7.104998e-05,7.673820e-05,7.853896e-05,8.603899e-05,8.663761e-05,9.348894e-05,9.644210e-05,1.008325e-04,1.060252e-04,1.080188e-04,1.150028e-04,1.152773e-04,1.217455e-04,1.241073e-04,1.282141e-04,1.324422e-04,1.343818e-04,1.402278e-04,1.457366e-04,1.474264e-04,1.508981e-04,1.540165e-04,1.557069e-04,1.599901e-04,1.601615e-04,1.642645e-04,1.653510e-04,1.680215e-04,1.701130e-04,1.714409e-04,1.742974e-04,1.745330e-04,1.773103e-04,1.779314e-04,1.797862e-04,1.810464e-04,1.819753e-04,1.836765e-04,1.838928e-04,1.855543e-04,1.858572e-04,1.869754e-04,1.876245e-04,1.881717e-04,1.890141e-04,1.891585e-04,1.899507e-04,1.900604e-04,1.905628e-04,1.907967e-04,1.910085e-04,1.912542e-04,1.913011e-04,1.914530e-04,1.914623e-04,1.914761e-04,1.914483e-04,1.913814e-04,1.912371e-04,1.911794e-04,1.908797e-04,1.908518e-04,1.904915e-04,1.903133e-04,1.900230e-04,1.896405e-04,1.894822e-04,1.888761e-04,1.888506e-04,1.882113e-04,1.879589e-04,1.874941e-04,1.869793e-04,1.867300e-04,1.859242e-04,1.850813e-04,1.848045e-04,1.842059e-04,1.836303e-04,1.833017e-04,1.824101e-04,1.823725e-04,1.814217e-04,1.811520e-04,1.804521e-04,1.798626e-04,1.794667e-04,1.785483e-04,1.784680e-04,1.774582e-04,1.772145e-04,1.764396e-04,1.758660e-04,1.754139e-04,1.745070e-04,1.743830e-04,1.733485e-04,1.731413e-04,1.723119e-04,1.717724e-04,1.712744e-04,1.704031e-04,1.702372e-04,1.692016e-04,1.690360e-04,1.681683e-04,1.676735e-04,1.671385e-04,1.663176e-04,1.661129e-04,1.650922e-04,1.649700e-04,1.640771e-04,1.636323e-04,1.630682e-04,1.623059e-04,1.620660e-04,1.610711e-04,1.609919e-04,1.600840e-04,1.596913e-04,1.591049e-04,1.584051e-04,1.581342e-04,1.571723e-04,1.571341e-04,1.562195e-04,1.558788e-04,1.552760e-04,1.546398e-04,1.543419e-04,1.534176e-04,1.522126e-04,1.510251e-04,1.498554e-04,1.487036e-04,1.475698e-04,1.464543e-04,1.453569e-04,1.442778e-04,1.432170e-04,1.421743e-04,1.411497e-04,1.401431e-04,1.391544e-04,1.381834e-04,1.372300e-04,1.362941e-04,1.353754e-04,1.344737e-04,1.335888e-04,1.327206e-04,1.318688e-04,1.310331e-04,1.302134e-04,1.294094e-04
0.000000e+00,4.384384e-11,1.699861e-10,1.266208e-09,4.757397e-09,8.697063e-09,3.171498e-08,3.321994e-08,9.207795e-08,1.177399e-07,2.084956e-07,3.175851e-07,4.108175e-07,7.006003e-07,7.314168e-07,1.205528e-06,1.346240e-06,1.870087e-06,2.339422e-06,2.762618e-06,3.766060e-06,3.920150e-06,5.378142e-06,5.708740e-06,7.169383e-06,8.242355e-06,9.322946e-06,1.142998e-05,1.186328e-05,1.480953e-05,1.531958e-05,1.817513e-05,1.994201e-05,2.196761e-05,2.531018e-05,2.618852e-05,3.083358e-05,3.141908e-05,3.589288e-05,3.824645e-05,4.135114e-05,4.575401e-05,4.718819e-05,5.337935e-05,5.388910e-05,5.989597e-05,6.258667e-05,6.670604e-05,7.177157e-05,7.377479e-05,8.106532e-05,8.136101e-05,8.853922e-05,9.126716e-05,9.615723e-05,1.013996e-04,1.038798e-04,1.116678e-04,1.194829e-04,1.219833e-04,1.272879e-04,1.322614e-04,1.350475e-04,1.424231e-04,1.427285e-04,1.502997e-04,1.523961e-04,1.577328e-04,1.621154e-04,1.650019e-04,1.715247e-04,1.720839e-04,1.789587e-04,1.805758e-04,1.856087e-04,1.892289e-04,1.920192e-04,1.974527e-04,1.981781e-04,2.040757e-04,2.052232e-04,2.097049e-04,2.125242e-04,2.150606e-04,2.193458e-04,2.201399e-04,2.249416e-04,2.256842e-04,2.294665e-04,2.315407e-04,2.337166e-04,2.369212e-04,2.376955e-04,2.414078e-04,2.418356e-04,2.448592e-04,2.462968e-04,2.480561e-04,2.503202e-04,2.510060e-04,2.537166e-04,2.539233e-04,2.561962e-04,2.571253e-04,2.584534e-04,2.599459e-04,2.604972e-04,2.623366e-04,2.624060e-04,2.639807e-04,2.645265e-04,2.654387e-04,2.663285e-04,2.667197e-04,2.678326e-04,2.687863e-04,2.690593e-04,2.695894e-04,2.700283e-04,2.702504e-04,2.707589e-04,2.707775e-04,2.711785e-04,2.712692e-04,2.714610e-04,2.715768e-04,2.716326e-04,2.716984e-04,2.717001e-04,2.716704e-04,2.716496e-04,2.715500e-04,2.714452e-04,2.713449e-04,2.710992e-04,2.710611e-04,2.707041e-04,2.706244e-04,2.702793e-04,2.700332e-04,2.697915e-04,2.693367e-04,2.692456e-04,2.686460e-04,2.685454e-04,2.679970e-04,2.676691e-04,2.673025e-04,2.667167e-04,2.665663e-04,2.657919e-04,2.656965e-04,2.649826e-04,2.646163e-04,2.641415e-04,2.634829e-04,2.632717e-04,2.623757e-04,2.623030e-04,2.614562e-04,2.610824e-04,2.605156e-04,2.598266e-04,2.595562e-04,2.585800e-04,2.585406e-04,2.575890e-04,2.572290e-04,2.565850e-04,2.558959e-04,2.555699e-04,2.545451e-04,2.531801e-04,2.518041e-04,2.504200e-04,2.490304e-04,2.476376e-04,2.462439e-04,2.448512e-04,2.434612e-04,2.420757e-04,2.406959e-04,2.393232e-04,2.379589e-04,2.366039e-04,2.352591e-04,2.339255e-04,2.326038e-04,2.312945e-04,2.299984e-04,2.287160e-04,2.274476e-04,2.261937e-04,2.249547e-04,2.237307e-04,2.225221e-04
0.000000e+00,2.431677e-10,6.675080e-10,2.812300e-09,7.062575e-09,1.069723e-08,2.594784e-08,2.678445e-08,5.392348e-08,6.389784e-08,9.503947e-08,1.276893e-07,1.531983e-07,2.243849e-07,2.314482e-07,3.321696e-07,3.598189e-07,4.562189e-07,5.356685e-07,6.029389e-07,7.497600e-07,7.710097e-07,9.590573e-07,9.989482e-07,1.165769e-06,1.280199e-06,1.389823e-06,1.590412e-06,1.629823e-06,1.884264e-06,1.926208e-06,2.151538e-06,2.283894e-06,2.429958e-06,2.659557e-06,2.717794e-06,3.013308e-06,3.049204e-06,3.314794e-06,3.448913e-06,3.620607e-06,3.854958e-06,3.929192e-06,4.239100e-06,4.263909e-06,4.549006e-06,4.672695e-06,4.857711e-06,5.078632e-06,5.164149e-06,5.467384e-06,5.479435e-06,5.766599e-06,5.873195e-06,6.061096e-06,6.258353e-06,6.350285e-06,6.633675e-06,6.910866e-06,6.998203e-06,7.181536e-06,7.351224e-06,7.445434e-06,7.692231e-06,7.702373e-06,7.952218e-06,8.020890e-06,8.194881e-06,8.337012e-06,8.430317e-06,8.640523e-06,8.658512e-06,8.879485e-06,8.931448e-06,9.093279e-06,9.209889e-06,9.299955e-06,9.476006e-06,9.499595e-06,9.692292e-06,9.730008e-06,9.878154e-06,9.972140e-06,1.005730e-05,1.020268e-05,1.022985e-05,1.039593e-05,1.042192e-05,1.055569e-05,1.063017e-05,1.070926e-05,1.082775e-05,1.085678e-05,1.099840e-05,1.101501e-05,1.113426e-05,1.119225e-05,1.126451e-05,1.135984e-05,1.138929e-05,1.150875e-05,1.151809e-05,1.162304e-05,1.166733e-05,1.173229e-05,1.180791e-05,1.183664e-05,1.193625e-05,1.194014e-05,1.203124e-05,1.206433e-05,1.212175e-05,1.218081e-05,1.220792e-05,1.228987e-05,1.236775e-05,1.239182e-05,1.244166e-05,1.248695e-05,1.251175e-05,1.257553e-05,1.257812e-05,1.264090e-05,1.265785e-05,1.270021e-05,1.273417e-05,1.275616e-05,1.280475e-05,1.280885e-05,1.285841e-05,1.286985e-05,1.290493e-05,1.292970e-05,1.294852e-05,1.298454e-05,1.298928e-05,1.302731e-05,1.303460e-05,1.306271e-05,1.308010e-05,1.309556e-05,1.312125e-05,1.312595e-05,1.315399e-05,1.315826e-05,1.317974e-05,1.319132e-05,1.320331e-05,1.322063e-05,1.322476e-05,1.324417e-05,1.324637e-05,1.326163e-05,1.326871e-05,1.327720e-05,1.328782e-05,1.329097e-05,1.330299e-05,1.330388e-05,1.331334e-05,1.331703e-05,1.332209e-05,1.332742e-05,1.332929e-05,1.333501e-05,1.333521e-05,1.333932e-05,1.334053e-05,1.334226e-05,1.334351e-05,1.334390e-05,1.334429e-05,1.334298e-05,1.333971e-05,1.333458e-05,1.332770e-05,1.331919e-05,1.330913e-05,1.329762e-05,1.328476e-05,1.327062e-05,1.325530e-05,1.323887e-05,1.322141e-05,1.320298e-05,1.318367e-05,1.316352e-05,1.314262e-05,1.312101e-05,1.309876e-05,1.307591e-05,1.305252e-05,1.302864e-05,1.300432e-05,1.297959e-05,1.295451e-05
0.000000e+00,3.256465e-10,1.023291e-09,5.195773e-09,1.449770e-08,2.290589e-08,6.006298e-08,6.215312e-08,1.314180e-07,1.573428e-07,2.391890e-07,3.259528e-07,3.941896e-07,5.860973e-07,6.052425e-07,8.802067e-07,9.563389e-07,1.223955e-06,1.446893e-06,1.637125e-06,2.056119e-06,2.117122e-06,2.660028e-06,2.775793e-06,3.261684e-06,3.596375e-06,3.917900e-06,4.508126e-06,4.624348e-06,5.376430e-06,5.500674e-06,6.169229e-06,6.562716e-06,6.997536e-06,7.682104e-06,7.855921e-06,8.738840e-06,8.846175e-06,9.640745e-06,1.004219e-05,1.055619e-05,1.125776e-05,1.147995e-05,1.240705e-05,1.248123e-05,1.333292e-05,1.370195e-05,1.425332e-05,1.491049e-05,1.516448e-05,1.606305e-05,1.609869e-05,1.694609e-05,1.725969e-05,1.781108e-05,1.838785e-05,1.865588e-05,1.947873e-05,2.027820e-05,2.052891e-05,2.105318e-05,2.153589e-05,2.180279e-05,2.249799e-05,2.252643e-05,2.322371e-05,2.341419e-05,2.389441e-05,2.428403e-05,2.453846e-05,2.510753e-05,2.515596e-05,2.574709e-05,2.588507e-05,2.631215e-05,2.661733e-05,2.685151e-05,2.730525e-05,2.736562e-05,2.785496e-05,2.794990e-05,2.832005e-05,2.855251e-05,2.876148e-05,2.911443e-05,2.917984e-05,2.957573e-05,2.963703e-05,2.994978e-05,3.012176e-05,3.030263e-05,3.057007e-05,3.063491e-05,3.094726e-05,3.098344e-05,3.124033e-05,3.136333e-05,3.151474e-05,3.171120e-05,3.177112e-05,3.201009e-05,3.202847e-05,3.223226e-05,3.231656e-05,3.243824e-05,3.257684e-05,3.262861e-05,3.280394e-05,3.281065e-05,3.296481e-05,3.301929e-05,3.311177e-05,3.320402e-05,3.324535e-05,3.336607e-05,3.347446e-05,3.350661e-05,3.357100e-05,3.362680e-05,3.365618e-05,3.372771e-05,3.373048e-05,3.379434e-05,3.381042e-05,3.384822e-05,3.387593e-05,3.389254e-05,3.392523e-05,3.392772e-05,3.395416e-05,3.395925e-05,3.397225e-05,3.397888e-05,3.398238e-05,3.398499e-05,3.398491e-05,3.398019e-05,3.397840e-05,3.396856e-05,3.395989e-05,3.395036e-05,3.393022e-05,3.392590e-05,3.389550e-05,3.389011e-05,3.385945e-05,3.384023e-05,3.381804e-05,3.378124e-05,3.377155e-05,3.372023e-05,3.371377e-05,3.366436e-05,3.363840e-05,3.360418e-05,3.355570e-05,3.353992e-05,3.347182e-05,3.346621e-05,3.340009e-05,3.337043e-05,3.332496e-05,3.326886e-05,3.324662e-05,3.316527e-05,3.316195e-05,3.308110e-05,3.305014e-05,3.299429e-05,3.293385e-05,3.290502e-05,3.281346e-05,3.268935e-05,3.256187e-05,3.243136e-05,3.229812e-05,3.216247e-05,3.202467e-05,3.188500e-05,3.174370e-05,3.160102e-05,3.145717e-05,3.131236e-05,3.116679e-05,3.102064e-05,3.087409e-05,3.072730e-05,3.058042e-05,3.043360e-05,3.028696e-05,3.014064e-05,2.999474e-05,2.984937e-05,2.970464e-05,2.956064e-05,2.941746e-05
0.000000e+00,1.556451e-10,5.386134e-10,3.211797e-09,1.000350e-08,1.659739e-08,4.802135e-08,4.985738e-08,1.129003e-07,1.372552e-07,2.158343e-07,3.011599e-07,3.693672e-07,5.652781e-07,5.851157e-07,8.753748e-07,9.574707e-07,1.251891e-06,1.503852e-06,1.723248e-06,2.218129e-06,2.291224e-06,2.948027e-06,3.088690e-06,3.676884e-06,4.077222e-06,4.456124e-06,5.133662e-06,5.264042e-06,6.082077e-06,6.212883e-06,6.895840e-06,7.281701e-06,7.694765e-06,8.318058e-06,8.471286e-06,9.220024e-06,9.307811e-06,9.937177e-06,1.024200e-05,1.062011e-05,1.111514e-05,1.126706e-05,1.187699e-05,1.192417e-05,1.244946e-05,1.266794e-05,1.298448e-05,1.334676e-05,1.348253e-05,1.394438e-05,1.396211e-05,1.437110e-05,1.451637e-05,1.476399e-05,1.501256e-05,1.512449e-05,1.545416e-05,1.575463e-05,1.584489e-05,1.602758e-05,1.618860e-05,1.627468e-05,1.648910e-05,1.649757e-05,1.669788e-05,1.675013e-05,1.687715e-05,1.697524e-05,1.703688e-05,1.716779e-05,1.717849e-05,1.730332e-05,1.733093e-05,1.741264e-05,1.746753e-05,1.750764e-05,1.758026e-05,1.758941e-05,1.765899e-05,1.767153e-05,1.771734e-05,1.774353e-05,1.776533e-05,1.779825e-05,1.780380e-05,1.783350e-05,1.783748e-05,1.785513e-05,1.786283e-05,1.786933e-05,1.787575e-05,1.787671e-05,1.787780e-05,1.787754e-05,1.787313e-05,1.786936e-05,1.786314e-05,1.785226e-05,1.784827e-05,1.782892e-05,1.782719e-05,1.780545e-05,1.779498e-05,1.777819e-05,1.775640e-05,1.774746e-05,1.771354e-05,1.771212e-05,1.767669e-05,1.766275e-05,1.763716e-05,1.760886e-05,1.759517e-05,1.755093e-05,1.750464e-05,1.748942e-05,1.745647e-05,1.742473e-05,1.740659e-05,1.735723e-05,1.735514e-05,1.730228e-05,1.728725e-05,1.724814e-05,1.721509e-05,1.719283e-05,1.714102e-05,1.713648e-05,1.707918e-05,1.706530e-05,1.702104e-05,1.698815e-05,1.696215e-05,1.690977e-05,1.690259e-05,1.684244e-05,1.683035e-05,1.678179e-05,1.675006e-05,1.672068e-05,1.666907e-05,1.665921e-05,1.659741e-05,1.658750e-05,1.653535e-05,1.650549e-05,1.647309e-05,1.642316e-05,1.641066e-05,1.634813e-05,1.634062e-05,1.628552e-05,1.625796e-05,1.622288e-05,1.617528e-05,1.616025e-05,1.609766e-05,1.609266e-05,1.603515e-05,1.601018e-05,1.597275e-05,1.592790e-05,1.591048e-05,1.584838e-05,1.584590e-05,1.578646e-05,1.576422e-05,1.572476e-05,1.568293e-05,1.566328e-05,1.560206e-05,1.552168e-05,1.544180e-05,1.536248e-05,1.528375e-05,1.520563e-05,1.512816e-05,1.505135e-05,1.497524e-05,1.489983e-05,1.482516e-05,1.475123e-05,1.467806e-05,1.460566e-05,1.453404e-05,1.446321e-05,1.439319e-05,1.432397e-05,1.425556e-05,1.418797e-05,1.412120e-05,1.405525e-05,1.399012e-05,1.392582e-05,1.386234e-05
0.000000e+00,1.388246e-10,5.299843e-10,3.821810e-09,1.393503e-08,2.505481e-08,8.748665e-08,9.147554e-08,2.427558e-07,3.067523e-07,5.272521e-07,7.840385e-07,9.984845e-07,1.644770e-06,1.712089e-06,2.723214e-06,3.016036e-06,4.083729e-06,5.015298e-06,5.838206e-06,7.733719e-06,8.018483e-06,1.063862e-05,1.121525e-05,1.369273e-05,1.544492e-05,1.715639e-05,2.035385e-05,2.099015e-05,2.514381e-05,2.583433e-05,2.956030e-05,3.175581e-05,3.417892e-05,3.797780e-05,3.893786e-05,4.377615e-05,4.435926e-05,4.863518e-05,5.076540e-05,5.345991e-05,5.707246e-05,5.819976e-05,6.280932e-05,6.317123e-05,6.724890e-05,6.896937e-05,7.148477e-05,7.439272e-05,7.548931e-05,7.924096e-05,7.938552e-05,8.272396e-05,8.390994e-05,8.592805e-05,8.794466e-05,8.884801e-05,9.148313e-05,9.383665e-05,9.453129e-05,9.591515e-05,9.710528e-05,9.772798e-05,9.922906e-05,9.928670e-05,1.006045e-04,1.009323e-04,1.016958e-04,1.022481e-04,1.025757e-04,1.032119e-04,1.032598e-04,1.037636e-04,1.038594e-04,1.041024e-04,1.042258e-04,1.042913e-04,1.043449e-04,1.043446e-04,1.042760e-04,1.042488e-04,1.040984e-04,1.039669e-04,1.038237e-04,1.035264e-04,1.034634e-04,1.030276e-04,1.029515e-04,1.025258e-04,1.022641e-04,1.019668e-04,1.014836e-04,1.013583e-04,1.007076e-04,1.006269e-04,1.000209e-04,9.970890e-05,9.930410e-05,9.874238e-05,9.856234e-05,9.780021e-05,9.773848e-05,9.702180e-05,9.670671e-05,9.623075e-05,9.565519e-05,9.543027e-05,9.462322e-05,9.459084e-05,9.381209e-05,9.351952e-05,9.299910e-05,9.244620e-05,9.218618e-05,9.137502e-05,9.056710e-05,9.030947e-05,8.976372e-05,8.925245e-05,8.896598e-05,8.820637e-05,8.817487e-05,8.739121e-05,8.717322e-05,8.661572e-05,8.615461e-05,8.584902e-05,8.515187e-05,8.509163e-05,8.434398e-05,8.416603e-05,8.360643e-05,8.319794e-05,8.287929e-05,8.224821e-05,8.216280e-05,8.145715e-05,8.131734e-05,8.076249e-05,8.040566e-05,8.007894e-05,7.951340e-05,7.940657e-05,7.874541e-05,7.864067e-05,7.809549e-05,7.778752e-05,7.745679e-05,7.695390e-05,7.682929e-05,7.621293e-05,7.613971e-05,7.560764e-05,7.534480e-05,7.501335e-05,7.456898e-05,7.442996e-05,7.385737e-05,7.381203e-05,7.329547e-05,7.307367e-05,7.274413e-05,7.235363e-05,7.220322e-05,7.167261e-05,7.165160e-05,7.115216e-05,7.096726e-05,7.064172e-05,7.030026e-05,7.014113e-05,6.965026e-05,6.901691e-05,6.839984e-05,6.779869e-05,6.721309e-05,6.664267e-05,6.608707e-05,6.554592e-05,6.501885e-05,6.450550e-05,6.400553e-05,6.351857e-05,6.304429e-05,6.258233e-05,6.213238e-05,6.169410e-05,6.126716e-05,6.085125e-05,6.044607e-05,6.005131e-05,5.966668e-05,5.929189e-05,5.892666e-05,5.857072e-05,5.822380e-05
0.000000e+00,1.347017e-10,5.038727e-10,3.489720e-09,1.229365e-08,2.171259e-08,7.267318e-08,7.586523e-08,1.942600e-07,2.433790e-07,4.103818e-07,6.024104e-07,7.617126e-07,1.239278e-06,1.288916e-06,2.033568e-06,2.248937e-06,3.032424e-06,3.712556e-06,4.309797e-06,5.670828e-06,5.873463e-06,7.716292e-06,8.116949e-06,9.820842e-06,1.101104e-05,1.216379e-05,1.429695e-05,1.471890e-05,1.745874e-05,1.791240e-05,2.035552e-05,2.179360e-05,2.338163e-05,2.587739e-05,2.650996e-05,2.971423e-05,3.010264e-05,3.296941e-05,3.441170e-05,3.625199e-05,3.875164e-05,3.954026e-05,4.281457e-05,4.307537e-05,4.605741e-05,4.734224e-05,4.925352e-05,5.151836e-05,5.238982e-05,5.545536e-05,5.557638e-05,5.844118e-05,5.949514e-05,6.134015e-05,6.325897e-05,6.414676e-05,6.685701e-05,6.946813e-05,7.028246e-05,7.197848e-05,7.353185e-05,7.438733e-05,7.660439e-05,7.669474e-05,7.890142e-05,7.950140e-05,8.100861e-05,8.222585e-05,8.301797e-05,8.478190e-05,8.493151e-05,8.675146e-05,8.717460e-05,8.848031e-05,8.940962e-05,9.012063e-05,9.149303e-05,9.167513e-05,9.314656e-05,9.343113e-05,9.453772e-05,9.523033e-05,9.585141e-05,9.689708e-05,9.709042e-05,9.825751e-05,9.843775e-05,9.935541e-05,9.985861e-05,1.003868e-04,1.011658e-04,1.013543e-04,1.022605e-04,1.023652e-04,1.031078e-04,1.034627e-04,1.038988e-04,1.044637e-04,1.046357e-04,1.053209e-04,1.053736e-04,1.059566e-04,1.061975e-04,1.065449e-04,1.069402e-04,1.070878e-04,1.075875e-04,1.076066e-04,1.080458e-04,1.082010e-04,1.084645e-04,1.087276e-04,1.088456e-04,1.091906e-04,1.095013e-04,1.095938e-04,1.097793e-04,1.099408e-04,1.100261e-04,1.102351e-04,1.102432e-04,1.104321e-04,1.104801e-04,1.105940e-04,1.106787e-04,1.107302e-04,1.108341e-04,1.108422e-04,1.109310e-04,1.109490e-04,1.109978e-04,1.110260e-04,1.110437e-04,1.110677e-04,1.110698e-04,1.110772e-04,1.110765e-04,1.110667e-04,1.110546e-04,1.110394e-04,1.110041e-04,1.109961e-04,1.109377e-04,1.109270e-04,1.108650e-04,1.108252e-04,1.107788e-04,1.107006e-04,1.106799e-04,1.105689e-04,1.105548e-04,1.104466e-04,1.103894e-04,1.103137e-04,1.102059e-04,1.101707e-04,1.100183e-04,1.100057e-04,1.098570e-04,1.097902e-04,1.096875e-04,1.095605e-04,1.095101e-04,1.093255e-04,1.093180e-04,1.091341e-04,1.090637e-04,1.089364e-04,1.087986e-04,1.087328e-04,1.085238e-04,1.082401e-04,1.079485e-04,1.076497e-04,1.073446e-04,1.070338e-04,1.067180e-04,1.063979e-04,1.060740e-04,1.057470e-04,1.054173e-04,1.050855e-04,1.047519e-04,1.044170e-04,1.040813e-04,1.037450e-04,1.034086e-04,1.030723e-04,1.027365e-04,1.024015e-04,1.020674e-04,1.017346e-04,1.014033e-04,1.010736e-04,1.007459e-04
0.000000e+00,8.507810e-11,2.920592e-10,1.716310e-09,5.287538e-09,8.728896e-09,2.501179e-08,2.596051e-08,5.851584e-08,7.110510e-08,1.117905e-07,1.559593e-07,1.910927e-07,2.899837e-07,2.997735e-07,4.374180e-07,4.744300e-07,6.007853e-07,7.020235e-07,7.859235e-07,9.639659e-07,9.892086e-07,1.207402e-06,1.252559e-06,1.437442e-06,1.560740e-06,1.676303e-06,1.881557e-06,1.920971e-06,2.168490e-06,2.208168e-06,2.416057e-06,2.534139e-06,2.661097e-06,2.853772e-06,2.901339e-06,3.134856e-06,3.162348e-06,3.360089e-06,3.456246e-06,3.575839e-06,3.732928e-06,3.781250e-06,3.975771e-06,3.990853e-06,4.159123e-06,4.229316e-06,4.331247e-06,4.448290e-06,4.492271e-06,4.642462e-06,4.648250e-06,4.782195e-06,4.830023e-06,4.911919e-06,4.994667e-06,5.032133e-06,5.143366e-06,5.246155e-06,5.277352e-06,5.341038e-06,5.397857e-06,5.428539e-06,5.506067e-06,5.509166e-06,5.583402e-06,5.603106e-06,5.651705e-06,5.690018e-06,5.714503e-06,5.767762e-06,5.772199e-06,5.825164e-06,5.837211e-06,5.873747e-06,5.899158e-06,5.918265e-06,5.954314e-06,5.959014e-06,5.996266e-06,6.003319e-06,6.030271e-06,6.046747e-06,6.061259e-06,6.085113e-06,6.089442e-06,6.115014e-06,6.118876e-06,6.138155e-06,6.148447e-06,6.159029e-06,6.174198e-06,6.177787e-06,6.194570e-06,6.196458e-06,6.209507e-06,6.215525e-06,6.222716e-06,6.231668e-06,6.234308e-06,6.244385e-06,6.245129e-06,6.253041e-06,6.256125e-06,6.260363e-06,6.264856e-06,6.266433e-06,6.271327e-06,6.271499e-06,6.275114e-06,6.276219e-06,6.277860e-06,6.279164e-06,6.279626e-06,6.280470e-06,6.280444e-06,6.280261e-06,6.279600e-06,6.278652e-06,6.277984e-06,6.275747e-06,6.275639e-06,6.272609e-06,6.271643e-06,6.268931e-06,6.266428e-06,6.264642e-06,6.260186e-06,6.259777e-06,6.254368e-06,6.252993e-06,6.248448e-06,6.244919e-06,6.242044e-06,6.236031e-06,6.235185e-06,6.227896e-06,6.226389e-06,6.220203e-06,6.216050e-06,6.212128e-06,6.205068e-06,6.203695e-06,6.194924e-06,6.193491e-06,6.185836e-06,6.181367e-06,6.176450e-06,6.168738e-06,6.166783e-06,6.156853e-06,6.155644e-06,6.146677e-06,6.142125e-06,6.136270e-06,6.128216e-06,6.125648e-06,6.114824e-06,6.113949e-06,6.103812e-06,6.099358e-06,6.092626e-06,6.084470e-06,6.081277e-06,6.069777e-06,6.069314e-06,6.058139e-06,6.053917e-06,6.046371e-06,6.038301e-06,6.034486e-06,6.022492e-06,6.006510e-06,5.990375e-06,5.974109e-06,5.957727e-06,5.941248e-06,5.924688e-06,5.908062e-06,5.891384e-06,5.874667e-06,5.857925e-06,5.841170e-06,5.824412e-06,5.807662e-06,5.790930e-06,5.774226e-06,5.757559e-06,5.740936e-06,5.724365e-06,5.707855e-06,5.691410e-06,5.675039e-06,5.658747e-06,5.642539e-06,5.626421e-06
0.000000e+00,7.134763e-11,1.856386e-10,7.314337e-10,1.771831e-09,2.645644e-09,6.257025e-09,6.453932e-09,1.282670e-08,1.516969e-08,2.250554e-08,3.023444e-08,3.629713e-08,5.329813e-08,5.498990e-08,7.916402e-08,8.580529e-08,1.089017e-07,1.277703e-07,1.435429e-07,1.770404e-07,1.817643e-07,2.220260e-07,2.302004e-07,2.630056e-07,2.842684e-07,3.037502e-07,3.373237e-07,3.436266e-07,3.822228e-07,3.882600e-07,4.192711e-07,4.364515e-07,4.546006e-07,4.815557e-07,4.881084e-07,5.197424e-07,5.234116e-07,5.494899e-07,5.619846e-07,5.773681e-07,5.973298e-07,6.034178e-07,6.276967e-07,6.295645e-07,6.502751e-07,6.588477e-07,6.712315e-07,6.853624e-07,6.906492e-07,7.086139e-07,7.093035e-07,7.252115e-07,7.308684e-07,7.405267e-07,7.502505e-07,7.546416e-07,7.676355e-07,7.795838e-07,7.831983e-07,7.905581e-07,7.971017e-07,8.006257e-07,8.094964e-07,8.098499e-07,8.182901e-07,8.205205e-07,8.260016e-07,8.303003e-07,8.330360e-07,8.389510e-07,8.394414e-07,8.452624e-07,8.465772e-07,8.505406e-07,8.532737e-07,8.553143e-07,8.591264e-07,8.596194e-07,8.634889e-07,8.642133e-07,8.669536e-07,8.686048e-07,8.700420e-07,8.723648e-07,8.727804e-07,8.751935e-07,8.755509e-07,8.773038e-07,8.782154e-07,8.791325e-07,8.804059e-07,8.806991e-07,8.820220e-07,8.821651e-07,8.831178e-07,8.835321e-07,8.840023e-07,8.845421e-07,8.846899e-07,8.851941e-07,8.852269e-07,8.855277e-07,8.856159e-07,8.857021e-07,8.857354e-07,8.857285e-07,8.856169e-07,8.856097e-07,8.853768e-07,8.852606e-07,8.850170e-07,8.847082e-07,8.845458e-07,8.839708e-07,8.832993e-07,8.830651e-07,8.825379e-07,8.820064e-07,8.816929e-07,8.808087e-07,8.807703e-07,8.797756e-07,8.794848e-07,8.787138e-07,8.780466e-07,8.775899e-07,8.765049e-07,8.764084e-07,8.751735e-07,8.748696e-07,8.738892e-07,8.731498e-07,8.725592e-07,8.713539e-07,8.711872e-07,8.697763e-07,8.694898e-07,8.683297e-07,8.675644e-07,8.668504e-07,8.655844e-07,8.653410e-07,8.638042e-07,8.635560e-07,8.622425e-07,8.614846e-07,8.606580e-07,8.593756e-07,8.590531e-07,8.574297e-07,8.572338e-07,8.557898e-07,8.550635e-07,8.541352e-07,8.528689e-07,8.524676e-07,8.507886e-07,8.506538e-07,8.490998e-07,8.484218e-07,8.474025e-07,8.461761e-07,8.456983e-07,8.439883e-07,8.439198e-07,8.422737e-07,8.416556e-07,8.405558e-07,8.393862e-07,8.388356e-07,8.371141e-07,8.348413e-07,8.325702e-07,8.303024e-07,8.280399e-07,8.257843e-07,8.235371e-07,8.212997e-07,8.190735e-07,8.168596e-07,8.146591e-07,8.124731e-07,8.103026e-07,8.081483e-07,8.060112e-07,8.038918e-07,8.017909e-07,7.997091e-07,7.976468e-07,7.956047e-07,7.935832e-07,7.915825e-07,7.896033e-07,7.876456e-07,7.857098e-07
0.000000e+00,1.294275e-10,4.387627e-10,2.522720e-09,7.652574e-09,1.254650e-08,3.548164e-08,3.681264e-08,8.240377e-08,1.000393e-07,1.572263e-07,2.198602e-07,2.702517e-07,4.154871e-07,4.301549e-07,6.415238e-07,6.997844e-07,9.019883e-07,1.066628e-06,1.204192e-06,1.498052e-06,1.539850e-06,1.901972e-06,1.977069e-06,2.285078e-06,2.491078e-06,2.684701e-06,3.030249e-06,3.096889e-06,3.517908e-06,3.585847e-06,3.944130e-06,4.149522e-06,4.372022e-06,4.713254e-06,4.798195e-06,5.219466e-06,5.269548e-06,5.632934e-06,5.811713e-06,6.036030e-06,6.334079e-06,6.426555e-06,6.802700e-06,6.832125e-06,7.163040e-06,7.302501e-06,7.506514e-06,7.742956e-06,7.832405e-06,8.140319e-06,8.152259e-06,8.430149e-06,8.530078e-06,8.702013e-06,8.876766e-06,8.956214e-06,9.193214e-06,9.413611e-06,9.480741e-06,9.618084e-06,9.740918e-06,9.807344e-06,9.975416e-06,9.982140e-06,1.014327e-05,1.018604e-05,1.029151e-05,1.037460e-05,1.042765e-05,1.054286e-05,1.055245e-05,1.066665e-05,1.069256e-05,1.077095e-05,1.082529e-05,1.086602e-05,1.094256e-05,1.095251e-05,1.103100e-05,1.104579e-05,1.110207e-05,1.113626e-05,1.116623e-05,1.121515e-05,1.122398e-05,1.127577e-05,1.128354e-05,1.132203e-05,1.134239e-05,1.136316e-05,1.139261e-05,1.139952e-05,1.143144e-05,1.143499e-05,1.145924e-05,1.147025e-05,1.148322e-05,1.149904e-05,1.150363e-05,1.152072e-05,1.152196e-05,1.153474e-05,1.153953e-05,1.154588e-05,1.155223e-05,1.155435e-05,1.156032e-05,1.156051e-05,1.156397e-05,1.156475e-05,1.156546e-05,1.156530e-05,1.156492e-05,1.156250e-05,1.155832e-05,1.155663e-05,1.155249e-05,1.154796e-05,1.154514e-05,1.153673e-05,1.153635e-05,1.152623e-05,1.152317e-05,1.151486e-05,1.150747e-05,1.150232e-05,1.148983e-05,1.148870e-05,1.147407e-05,1.147041e-05,1.145849e-05,1.144937e-05,1.144202e-05,1.142685e-05,1.142474e-05,1.140668e-05,1.140299e-05,1.138792e-05,1.137790e-05,1.136849e-05,1.135169e-05,1.134845e-05,1.132783e-05,1.132448e-05,1.130668e-05,1.129635e-05,1.128504e-05,1.126740e-05,1.126295e-05,1.124044e-05,1.123771e-05,1.121754e-05,1.120735e-05,1.119429e-05,1.117640e-05,1.117071e-05,1.114684e-05,1.114492e-05,1.112270e-05,1.111297e-05,1.109831e-05,1.108061e-05,1.107370e-05,1.104889e-05,1.104789e-05,1.102390e-05,1.101487e-05,1.099876e-05,1.098158e-05,1.097348e-05,1.094808e-05,1.091440e-05,1.088057e-05,1.084665e-05,1.081264e-05,1.077860e-05,1.074454e-05,1.071049e-05,1.067648e-05,1.064254e-05,1.060867e-05,1.057490e-05,1.054126e-05,1.050775e-05,1.047440e-05,1.044122e-05,1.040822e-05,1.037541e-05,1.034282e-05,1.031044e-05,1.027829e-05,1.024638e-05,1.021472e-05,1.018332e-05,1.015218e-05
0.000000e+00,2.265485e-10,7.322545e-10,3.886929e-09,1.115467e-08,1.783168e-08,4.776695e-08,4.946113e-08,1.057899e-07,1.268956e-07,1.934173e-07,2.636378e-07,3.186155e-07,4.721368e-07,4.873761e-07,7.052918e-07,7.654604e-07,9.770947e-07,1.154064e-06,1.305801e-06,1.642605e-06,1.691926e-06,2.133506e-06,2.228176e-06,2.626915e-06,2.902523e-06,3.167749e-06,3.655276e-06,3.751323e-06,4.372829e-06,4.475464e-06,5.027369e-06,5.351823e-06,5.709967e-06,6.272876e-06,6.415606e-06,7.139283e-06,7.227102e-06,7.876091e-06,8.203218e-06,8.621292e-06,9.190479e-06,9.370386e-06,1.011917e-05,1.017894e-05,1.086377e-05,1.115965e-05,1.160072e-05,1.212482e-05,1.232691e-05,1.303962e-05,1.306781e-05,1.373653e-05,1.398316e-05,1.441568e-05,1.486651e-05,1.507544e-05,1.571453e-05,1.633192e-05,1.652478e-05,1.692687e-05,1.729562e-05,1.749887e-05,1.802608e-05,1.804758e-05,1.857288e-05,1.871577e-05,1.907478e-05,1.936473e-05,1.955341e-05,1.997342e-05,2.000903e-05,2.044199e-05,2.054257e-05,2.085270e-05,2.107315e-05,2.124163e-05,2.156629e-05,2.160931e-05,2.195630e-05,2.202327e-05,2.228320e-05,2.244545e-05,2.259062e-05,2.283425e-05,2.287918e-05,2.314951e-05,2.319112e-05,2.340226e-05,2.351752e-05,2.363806e-05,2.381493e-05,2.385755e-05,2.406135e-05,2.408478e-05,2.425009e-05,2.432851e-05,2.442436e-05,2.454751e-05,2.458478e-05,2.473192e-05,2.474313e-05,2.486635e-05,2.491668e-05,2.498862e-05,2.506944e-05,2.509929e-05,2.519887e-05,2.520263e-05,2.528788e-05,2.531743e-05,2.536680e-05,2.541495e-05,2.543612e-05,2.549629e-05,2.554777e-05,2.556248e-05,2.559099e-05,2.561450e-05,2.562636e-05,2.565330e-05,2.565428e-05,2.567514e-05,2.567977e-05,2.568932e-05,2.569476e-05,2.569716e-05,2.569909e-05,2.569902e-05,2.569523e-05,2.569352e-05,2.568610e-05,2.567877e-05,2.567194e-05,2.565555e-05,2.565305e-05,2.562969e-05,2.562451e-05,2.560216e-05,2.558627e-05,2.557069e-05,2.554140e-05,2.553554e-05,2.549695e-05,2.549047e-05,2.545514e-05,2.543399e-05,2.541033e-05,2.537246e-05,2.536273e-05,2.531253e-05,2.530634e-05,2.525993e-05,2.523607e-05,2.520510e-05,2.516205e-05,2.514822e-05,2.508945e-05,2.508468e-05,2.502895e-05,2.500430e-05,2.496687e-05,2.492127e-05,2.490335e-05,2.483852e-05,2.483590e-05,2.477252e-05,2.474849e-05,2.470546e-05,2.465932e-05,2.463747e-05,2.456865e-05,2.447672e-05,2.438376e-05,2.428998e-05,2.419558e-05,2.410074e-05,2.400564e-05,2.391042e-05,2.381523e-05,2.372021e-05,2.362549e-05,2.353117e-05,2.343736e-05,2.334416e-05,2.325166e-05,2.315994e-05,2.306907e-05,2.297911e-05,2.289013e-05,2.280218e-05,2.271531e-05,2.262956e-05,2.254497e-05,2.246157e-05,2.237939e-05
0.000000e+00,1.546954e-10,5.582259e-10,3.603641e-09,1.196693e-08,2.050312e-08,6.387031e-08,6.649469e-08,1.601039e-07,1.975662e-07,3.215625e-07,4.599874e-07,5.726121e-07,9.025530e-07,9.363563e-07,1.436120e-06,1.578689e-06,2.092149e-06,2.532591e-06,2.915893e-06,3.777821e-06,3.904758e-06,5.041994e-06,5.285076e-06,6.302101e-06,6.996673e-06,7.657390e-06,8.850487e-06,9.082162e-06,1.055422e-05,1.079284e-05,1.205481e-05,1.278048e-05,1.356805e-05,1.477852e-05,1.508030e-05,1.657987e-05,1.675847e-05,1.805667e-05,1.869700e-05,1.950217e-05,2.057539e-05,2.090925e-05,2.227212e-05,2.237909e-05,2.358623e-05,2.409743e-05,2.484818e-05,2.572309e-05,2.605556e-05,2.720684e-05,2.725172e-05,2.830127e-05,2.868131e-05,2.933872e-05,3.001182e-05,3.031958e-05,3.124468e-05,3.211516e-05,3.238241e-05,3.293245e-05,3.342833e-05,3.369815e-05,3.438630e-05,3.441400e-05,3.508184e-05,3.526049e-05,3.570357e-05,3.605527e-05,3.628111e-05,3.677507e-05,3.681638e-05,3.731129e-05,3.742427e-05,3.776772e-05,3.800720e-05,3.818752e-05,3.852805e-05,3.857247e-05,3.892432e-05,3.899086e-05,3.924475e-05,3.939949e-05,3.953538e-05,3.975763e-05,3.979778e-05,4.003344e-05,4.006876e-05,4.024381e-05,4.033621e-05,4.043026e-05,4.056308e-05,4.059410e-05,4.073660e-05,4.075233e-05,4.085896e-05,4.090671e-05,4.096232e-05,4.102884e-05,4.104777e-05,4.111635e-05,4.112113e-05,4.116904e-05,4.118589e-05,4.120680e-05,4.122524e-05,4.123052e-05,4.124104e-05,4.124119e-05,4.123917e-05,4.123561e-05,4.122568e-05,4.121024e-05,4.120130e-05,4.116672e-05,4.112259e-05,4.110656e-05,4.106954e-05,4.103118e-05,4.100816e-05,4.094191e-05,4.093901e-05,4.086261e-05,4.083998e-05,4.077946e-05,4.072654e-05,4.069006e-05,4.060265e-05,4.059483e-05,4.049422e-05,4.046931e-05,4.038862e-05,4.032745e-05,4.027841e-05,4.017791e-05,4.016396e-05,4.004561e-05,4.002150e-05,3.992368e-05,3.985897e-05,3.979848e-05,3.969100e-05,3.967030e-05,3.953940e-05,3.951822e-05,3.940604e-05,3.934123e-05,3.927048e-05,3.916059e-05,3.913293e-05,3.899362e-05,3.897679e-05,3.885275e-05,3.879032e-05,3.871051e-05,3.860160e-05,3.856708e-05,3.842264e-05,3.841104e-05,3.827734e-05,3.821901e-05,3.813134e-05,3.802586e-05,3.798478e-05,3.783779e-05,3.783190e-05,3.769050e-05,3.763743e-05,3.754304e-05,3.744271e-05,3.739550e-05,3.724800e-05,3.705351e-05,3.685947e-05,3.666605e-05,3.647345e-05,3.628181e-05,3.609129e-05,3.590201e-05,3.571411e-05,3.552768e-05,3.534283e-05,3.515965e-05,3.497821e-05,3.479860e-05,3.462087e-05,3.444508e-05,3.427128e-05,3.409952e-05,3.392983e-05,3.376225e-05,3.359680e-05,3.343351e-05,3.327240e-05,3.311347e-05,3.295675e-05
0.000000e+00,4.054402e-10,1.541395e-09,1.103057e-08,3.999732e-08,7.174644e-08,2.497337e-07,2.611127e-07,6.944633e-07,8.790036e-07,1.520657e-06,2.278926e-06,2.920654e-06,4.895257e-06,5.104003e-06,8.291855e-06,9.229358e-06,1.268103e-05,1.571751e-05,1.840756e-05,2.460318e-05,2.553230e-05,3.404875e-05,3.591475e-05,4.390038e-05,4.952204e-05,5.499745e-05,6.520112e-05,6.722959e-05,8.047413e-05,8.267860e-05,9.460117e-05,1.016564e-04,1.094769e-04,1.218254e-04,1.249657e-04,1.409325e-04,1.428743e-04,1.572443e-04,1.644973e-04,1.737720e-04,1.864014e-04,1.903924e-04,2.069898e-04,2.083134e-04,2.234574e-04,2.299859e-04,2.396979e-04,2.512016e-04,2.556250e-04,2.711631e-04,2.717756e-04,2.862477e-04,2.915564e-04,3.008249e-04,3.104250e-04,3.148512e-04,3.282928e-04,3.411244e-04,3.450987e-04,3.533291e-04,3.608062e-04,3.648969e-04,3.753992e-04,3.758240e-04,3.861122e-04,3.888792e-04,3.957677e-04,4.012613e-04,4.048005e-04,4.125720e-04,4.132238e-04,4.210534e-04,4.228461e-04,4.283070e-04,4.321245e-04,4.350038e-04,4.404525e-04,4.411641e-04,4.468090e-04,4.478780e-04,4.519600e-04,4.544505e-04,4.566388e-04,4.602200e-04,4.608672e-04,4.646668e-04,4.652363e-04,4.680587e-04,4.695481e-04,4.710638e-04,4.732030e-04,4.737024e-04,4.759943e-04,4.762469e-04,4.779586e-04,4.787240e-04,4.796140e-04,4.806763e-04,4.809781e-04,4.820683e-04,4.821441e-04,4.829008e-04,4.831653e-04,4.834917e-04,4.837759e-04,4.838558e-04,4.840077e-04,4.840096e-04,4.839612e-04,4.838984e-04,4.837294e-04,4.834722e-04,4.833247e-04,4.827590e-04,4.820438e-04,4.817851e-04,4.811896e-04,4.805748e-04,4.802068e-04,4.791511e-04,4.791049e-04,4.778931e-04,4.775353e-04,4.765801e-04,4.757471e-04,4.751741e-04,4.738051e-04,4.736828e-04,4.721137e-04,4.717262e-04,4.704735e-04,4.695264e-04,4.687689e-04,4.672204e-04,4.670060e-04,4.651906e-04,4.648217e-04,4.633282e-04,4.623429e-04,4.614239e-04,4.597956e-04,4.594827e-04,4.575090e-04,4.571905e-04,4.555071e-04,4.545374e-04,4.534811e-04,4.518455e-04,4.514347e-04,4.493715e-04,4.491229e-04,4.472947e-04,4.463774e-04,4.452075e-04,4.436159e-04,4.431127e-04,4.410130e-04,4.408449e-04,4.389110e-04,4.380700e-04,4.368090e-04,4.352967e-04,4.347091e-04,4.326135e-04,4.325298e-04,4.305240e-04,4.297736e-04,4.284423e-04,4.270321e-04,4.263701e-04,4.243088e-04,4.216070e-04,4.189296e-04,4.162791e-04,4.136578e-04,4.110677e-04,4.085106e-04,4.059880e-04,4.035014e-04,4.010518e-04,3.986403e-04,3.962677e-04,3.939347e-04,3.916417e-04,3.893892e-04,3.871776e-04,3.850070e-04,3.828774e-04,3.807890e-04,3.787417e-04,3.767353e-04,3.747696e-04,3.728445e-04,3.709595e-04,3.691144e-04
0.000000e+00,1.869010e-10,4.542310e-10,1.668482e-09,3.933684e-09,5.832635e-09,1.377639e-08,1.421514e-08,2.874416e-08,3.423839e-08,5.188854e-08,7.103221e-08,8.627103e-08,1.290546e-07,1.332701e-07,1.919786e-07,2.075793e-07,2.603037e-07,3.020473e-07,3.363804e-07,4.086804e-07,4.188866e-07,5.068601e-07,5.250395e-07,5.995072e-07,6.492859e-07,6.960924e-07,7.797356e-07,7.958887e-07,8.981645e-07,9.147100e-07,1.002193e-06,1.052540e-06,1.107264e-06,1.191610e-06,1.212693e-06,1.317844e-06,1.330415e-06,1.422132e-06,1.467610e-06,1.525038e-06,1.602038e-06,1.626104e-06,1.724941e-06,1.732742e-06,1.821221e-06,1.858954e-06,1.914673e-06,1.980091e-06,2.005093e-06,2.092328e-06,2.095749e-06,2.176266e-06,2.205661e-06,2.256835e-06,2.309678e-06,2.333999e-06,2.407749e-06,2.478100e-06,2.499899e-06,2.545085e-06,2.586213e-06,2.608756e-06,2.666820e-06,2.669175e-06,2.726417e-06,2.741886e-06,2.780558e-06,2.811583e-06,2.831670e-06,2.876102e-06,2.879852e-06,2.925208e-06,2.935683e-06,2.967828e-06,2.990537e-06,3.007811e-06,3.040891e-06,3.045253e-06,3.080244e-06,3.086956e-06,3.112879e-06,3.128950e-06,3.143252e-06,3.167081e-06,3.171450e-06,3.197563e-06,3.201553e-06,3.221676e-06,3.232565e-06,3.243874e-06,3.260309e-06,3.264240e-06,3.282853e-06,3.284972e-06,3.299789e-06,3.306729e-06,3.315122e-06,3.325749e-06,3.328925e-06,3.341267e-06,3.342194e-06,3.352215e-06,3.356219e-06,3.361835e-06,3.367973e-06,3.370188e-06,3.377336e-06,3.377597e-06,3.383335e-06,3.385225e-06,3.388243e-06,3.390983e-06,3.392111e-06,3.394992e-06,3.396935e-06,3.397367e-06,3.397988e-06,3.398216e-06,3.398197e-06,3.397643e-06,3.397605e-06,3.396253e-06,3.395745e-06,3.394184e-06,3.392613e-06,3.391434e-06,3.388335e-06,3.388041e-06,3.384041e-06,3.382994e-06,3.379467e-06,3.376667e-06,3.374352e-06,3.369427e-06,3.368726e-06,3.362621e-06,3.361345e-06,3.356064e-06,3.352485e-06,3.349083e-06,3.342909e-06,3.341703e-06,3.333950e-06,3.332676e-06,3.325847e-06,3.321840e-06,3.317417e-06,3.310452e-06,3.308681e-06,3.299662e-06,3.298561e-06,3.290377e-06,3.286213e-06,3.280847e-06,3.273451e-06,3.271089e-06,3.261121e-06,3.260315e-06,3.250958e-06,3.246842e-06,3.240617e-06,3.233069e-06,3.230112e-06,3.219458e-06,3.219029e-06,3.208668e-06,3.204752e-06,3.197754e-06,3.190269e-06,3.186730e-06,3.175607e-06,3.160792e-06,3.145847e-06,3.130796e-06,3.115659e-06,3.100456e-06,3.085205e-06,3.069923e-06,3.054627e-06,3.039332e-06,3.024050e-06,3.008795e-06,2.993578e-06,2.978412e-06,2.963305e-06,2.948268e-06,2.933309e-06,2.918436e-06,2.903657e-06,2.888978e-06,2.874406e-06,2.859945e-06,2.845603e-06,2.831382e-06,2.817288e-06
0.000000e+00,2.599778e-10,1.015844e-09,7.689785e-09,2.931807e-08,5.402865e-08,2.011513e-07,2.108745e-07,5.967029e-07,7.673230e-07,1.378319e-06,2.124093e-06,2.768789e-06,4.804460e-06,5.023277e-06,8.433540e-06,9.459178e-06,1.332089e-05,1.682968e-05,2.002631e-05,2.770629e-05,2.889624e-05,4.026510e-05,4.286629e-05,5.443818e-05,6.300564e-05,7.167833e-05,8.868673e-05,9.219718e-05,1.161503e-04,1.203088e-04,1.436351e-04,1.580959e-04,1.746904e-04,2.020951e-04,2.092980e-04,2.473845e-04,2.521833e-04,2.888248e-04,3.080781e-04,3.334460e-04,3.693543e-04,3.810325e-04,4.313310e-04,4.354637e-04,4.840569e-04,5.057582e-04,5.389001e-04,5.795140e-04,5.955315e-04,6.536094e-04,6.559577e-04,7.127858e-04,7.342909e-04,7.727118e-04,8.137136e-04,8.330431e-04,8.934450e-04,9.535966e-04,9.727421e-04,1.013194e-03,1.050913e-03,1.071953e-03,1.127331e-03,1.129614e-03,1.185937e-03,1.201438e-03,1.240711e-03,1.272754e-03,1.293750e-03,1.340873e-03,1.344891e-03,1.393998e-03,1.405468e-03,1.440959e-03,1.466286e-03,1.485686e-03,1.523144e-03,1.528112e-03,1.568191e-03,1.575923e-03,1.605897e-03,1.624562e-03,1.641220e-03,1.669055e-03,1.674167e-03,1.704759e-03,1.709438e-03,1.733030e-03,1.745787e-03,1.759022e-03,1.778213e-03,1.782792e-03,1.804399e-03,1.806850e-03,1.823914e-03,1.831856e-03,1.841409e-03,1.853404e-03,1.856964e-03,1.870660e-03,1.871677e-03,1.882579e-03,1.886869e-03,1.892809e-03,1.899176e-03,1.901434e-03,1.908540e-03,1.908794e-03,1.914213e-03,1.915921e-03,1.918537e-03,1.920748e-03,1.921593e-03,1.923464e-03,1.924228e-03,1.924251e-03,1.923960e-03,1.923281e-03,1.922733e-03,1.920721e-03,1.920620e-03,1.917687e-03,1.916728e-03,1.913999e-03,1.911451e-03,1.909619e-03,1.905028e-03,1.904605e-03,1.899014e-03,1.897591e-03,1.892897e-03,1.889261e-03,1.886306e-03,1.880150e-03,1.879287e-03,1.871885e-03,1.870363e-03,1.864142e-03,1.859994e-03,1.856097e-03,1.849133e-03,1.847787e-03,1.839246e-03,1.837860e-03,1.830506e-03,1.826249e-03,1.821596e-03,1.814366e-03,1.812546e-03,1.803379e-03,1.802273e-03,1.794121e-03,1.790024e-03,1.784793e-03,1.777670e-03,1.775416e-03,1.766007e-03,1.765254e-03,1.756586e-03,1.752817e-03,1.747167e-03,1.740394e-03,1.737764e-03,1.728392e-03,1.728018e-03,1.719062e-03,1.715716e-03,1.709785e-03,1.703512e-03,1.700571e-03,1.691430e-03,1.679487e-03,1.667701e-03,1.656085e-03,1.644652e-03,1.633411e-03,1.622372e-03,1.611541e-03,1.600923e-03,1.590523e-03,1.580345e-03,1.570390e-03,1.560660e-03,1.551155e-03,1.541876e-03,1.532821e-03,1.523989e-03,1.515378e-03,1.506987e-03,1.498812e-03,1.490851e-03,1.483100e-03,1.475557e-03,1.468217e-03,1.461077e-03
0.000000e+00,1.683799e-10,4.084396e-10,1.511812e-09,3.637824e-09,5.487747e-09,1.383538e-08,1.432234e-08,3.157839e-08,3.848716e-08,6.099868e-08,8.476206e-08,1.027934e-07,1.496006e-07,1.539699e-07,2.119110e-07,2.266442e-07,2.751593e-07,3.125791e-07,3.428976e-07,4.057618e-07,4.145494e-07,4.895902e-07,5.049577e-07,5.674751e-07,6.089073e-07,6.476219e-07,7.162477e-07,7.294211e-07,8.122559e-07,8.255649e-07,8.955221e-07,9.354736e-07,9.786481e-07,1.044693e-06,1.061109e-06,1.142437e-06,1.152101e-06,1.222228e-06,1.256758e-06,1.300138e-06,1.357918e-06,1.375888e-06,1.449254e-06,1.455015e-06,1.520069e-06,1.547652e-06,1.588211e-06,1.635573e-06,1.653601e-06,1.716194e-06,1.718639e-06,1.775972e-06,1.796805e-06,1.832944e-06,1.870096e-06,1.887137e-06,1.938593e-06,1.987368e-06,2.002421e-06,2.033530e-06,2.061731e-06,2.077143e-06,2.116685e-06,2.118284e-06,2.157033e-06,2.167465e-06,2.193471e-06,2.214259e-06,2.227681e-06,2.257257e-06,2.259745e-06,2.289746e-06,2.296648e-06,2.317766e-06,2.332621e-06,2.343885e-06,2.365360e-06,2.368182e-06,2.390735e-06,2.395043e-06,2.411619e-06,2.421844e-06,2.430907e-06,2.445928e-06,2.448670e-06,2.464977e-06,2.467455e-06,2.479894e-06,2.486579e-06,2.493484e-06,2.503444e-06,2.505811e-06,2.516934e-06,2.518191e-06,2.526910e-06,2.530951e-06,2.535795e-06,2.541850e-06,2.543642e-06,2.550501e-06,2.551009e-06,2.556423e-06,2.558539e-06,2.561453e-06,2.564549e-06,2.565638e-06,2.569020e-06,2.569139e-06,2.571642e-06,2.572407e-06,2.573542e-06,2.574442e-06,2.574760e-06,2.575330e-06,2.575290e-06,2.575153e-06,2.574671e-06,2.573986e-06,2.573505e-06,2.571901e-06,2.571824e-06,2.569657e-06,2.568967e-06,2.567031e-06,2.565246e-06,2.563972e-06,2.560799e-06,2.560507e-06,2.556660e-06,2.555682e-06,2.552453e-06,2.549949e-06,2.547910e-06,2.543650e-06,2.543051e-06,2.537895e-06,2.536831e-06,2.532464e-06,2.529536e-06,2.526774e-06,2.521807e-06,2.520843e-06,2.514688e-06,2.513683e-06,2.508324e-06,2.505200e-06,2.501767e-06,2.496392e-06,2.495032e-06,2.488131e-06,2.487292e-06,2.481077e-06,2.477929e-06,2.473884e-06,2.468331e-06,2.466563e-06,2.459125e-06,2.458525e-06,2.451581e-06,2.448536e-06,2.443940e-06,2.438385e-06,2.436214e-06,2.428409e-06,2.428096e-06,2.420536e-06,2.417687e-06,2.412603e-06,2.407178e-06,2.404617e-06,2.396586e-06,2.385927e-06,2.375217e-06,2.364470e-06,2.353698e-06,2.342915e-06,2.332131e-06,2.321357e-06,2.310602e-06,2.299877e-06,2.289188e-06,2.278545e-06,2.267953e-06,2.257420e-06,2.246952e-06,2.236553e-06,2.226230e-06,2.215986e-06,2.205827e-06,2.195755e-06,2.185775e-06,2.175889e-06,2.166101e-06,2.156412e-06,2.146825e-06
0.000000e+00,1.861975e-11,4.388663e-11,1.556745e-10,3.594348e-10,5.273208e-10,1.208505e-09,1.245275e-09,2.422792e-09,2.851075e-09,4.181012e-09,5.569166e-09,6.651486e-09,9.665328e-09,9.963869e-09,1.421002e-08,1.537203e-08,1.941301e-08,2.273428e-08,2.554232e-08,3.166513e-08,3.255114e-08,4.039634e-08,4.206240e-08,4.904070e-08,5.384007e-08,5.844944e-08,6.691719e-08,6.858647e-08,7.941197e-08,8.120503e-08,9.088116e-08,9.660048e-08,1.029439e-07,1.129843e-07,1.155448e-07,1.286242e-07,1.302229e-07,1.421189e-07,1.481712e-07,1.559630e-07,1.666770e-07,1.700895e-07,1.844310e-07,1.855857e-07,1.989214e-07,2.047448e-07,2.134963e-07,2.240077e-07,2.280939e-07,2.426563e-07,2.432373e-07,2.571292e-07,2.623079e-07,2.714631e-07,2.811075e-07,2.856128e-07,2.995384e-07,3.132045e-07,3.175177e-07,3.265805e-07,3.349768e-07,3.396406e-07,3.518610e-07,3.523632e-07,3.647305e-07,3.681277e-07,3.767282e-07,3.837449e-07,3.883457e-07,3.986918e-07,3.995759e-07,4.104143e-07,4.129570e-07,4.208590e-07,4.265359e-07,4.309100e-07,4.394310e-07,4.405696e-07,4.498418e-07,4.516502e-07,4.587319e-07,4.632058e-07,4.672463e-07,4.741135e-07,4.753924e-07,4.831787e-07,4.843916e-07,4.906139e-07,4.940609e-07,4.977077e-07,5.031440e-07,5.044706e-07,5.109129e-07,5.116650e-07,5.170448e-07,5.196469e-07,5.228757e-07,5.271121e-07,5.284157e-07,5.336748e-07,5.340837e-07,5.386630e-07,5.405846e-07,5.433899e-07,5.466368e-07,5.478650e-07,5.520976e-07,5.522619e-07,5.560967e-07,5.574810e-07,5.598714e-07,5.623143e-07,5.634301e-07,5.667815e-07,5.699335e-07,5.709013e-07,5.728940e-07,5.746917e-07,5.756705e-07,5.781698e-07,5.782705e-07,5.807008e-07,5.813518e-07,5.829683e-07,5.842534e-07,5.850795e-07,5.868894e-07,5.870409e-07,5.888584e-07,5.892739e-07,5.905380e-07,5.914205e-07,5.920853e-07,5.933418e-07,5.935057e-07,5.948043e-07,5.950499e-07,5.959863e-07,5.965563e-07,5.970563e-07,5.978719e-07,5.980189e-07,5.988787e-07,5.990070e-07,5.996399e-07,5.999715e-07,6.003065e-07,6.007744e-07,6.008826e-07,6.013717e-07,6.014247e-07,6.017776e-07,6.019307e-07,6.021037e-07,6.023002e-07,6.023534e-07,6.025297e-07,6.025408e-07,6.026359e-07,6.026594e-07,6.026749e-07,6.026629e-07,6.026494e-07,6.025623e-07,6.025576e-07,6.024160e-07,6.023494e-07,6.022132e-07,6.020442e-07,6.019562e-07,6.016473e-07,6.011639e-07,6.005988e-07,5.999567e-07,5.992420e-07,5.984587e-07,5.976109e-07,5.967023e-07,5.957364e-07,5.947167e-07,5.936463e-07,5.925283e-07,5.913655e-07,5.901607e-07,5.889166e-07,5.876356e-07,5.863200e-07,5.849721e-07,5.835941e-07,5.821880e-07,5.807557e-07,5.792990e-07,5.778197e-07,5.763194e-07,5.747998e-07
0.000000e+00,5.798929e-08,2.259280e-07,1.700015e-06,6.446610e-06,1.184537e-05,4.377415e-05,4.587642e-05,1.288893e-04,1.654290e-04,2.957667e-04,4.541225e-04,5.905678e-04,1.019568e-03,1.065554e-03,1.779987e-03,1.994187e-03,2.798639e-03,3.527313e-03,4.189658e-03,5.776172e-03,6.021458e-03,8.358741e-03,8.892048e-03,1.125855e-02,1.300464e-02,1.476728e-02,1.821045e-02,1.891894e-02,2.373454e-02,2.456737e-02,2.922216e-02,3.209412e-02,3.537752e-02,4.077229e-02,4.218476e-02,4.961750e-02,5.054985e-02,5.763993e-02,6.134553e-02,6.620804e-02,7.305365e-02,7.527092e-02,8.477211e-02,8.554935e-02,9.465090e-02,9.869397e-02,1.048437e-01,1.123403e-01,1.152853e-01,1.259100e-01,1.263378e-01,1.366528e-01,1.405369e-01,1.474505e-01,1.547930e-01,1.582421e-01,1.689701e-01,1.795806e-01,1.829429e-01,1.900239e-01,1.965988e-01,2.002549e-01,2.098393e-01,2.102331e-01,2.199230e-01,2.225802e-01,2.292936e-01,2.347515e-01,2.383186e-01,2.462978e-01,2.469764e-01,2.552496e-01,2.571764e-01,2.631249e-01,2.673575e-01,2.705926e-01,2.768223e-01,2.776468e-01,2.842845e-01,2.855620e-01,2.905057e-01,2.935769e-01,2.963130e-01,3.008746e-01,3.017111e-01,3.067068e-01,3.074693e-01,3.113087e-01,3.133805e-01,3.155265e-01,3.186318e-01,3.193716e-01,3.228558e-01,3.232503e-01,3.259922e-01,3.272655e-01,3.287942e-01,3.307087e-01,3.312758e-01,3.334510e-01,3.336123e-01,3.353344e-01,3.360093e-01,3.369403e-01,3.379328e-01,3.382830e-01,3.393768e-01,3.394156e-01,3.402357e-01,3.404900e-01,3.408733e-01,3.411874e-01,3.413031e-01,3.415381e-01,3.415908e-01,3.415712e-01,3.414735e-01,3.413146e-01,3.411979e-01,3.407948e-01,3.407752e-01,3.402163e-01,3.400368e-01,3.395315e-01,3.390643e-01,3.387306e-01,3.378993e-01,3.378230e-01,3.368176e-01,3.365627e-01,3.357229e-01,3.350737e-01,3.345467e-01,3.334504e-01,3.332968e-01,3.319802e-01,3.317094e-01,3.306036e-01,3.298662e-01,3.291733e-01,3.279348e-01,3.276954e-01,3.261753e-01,3.259285e-01,3.246183e-01,3.238592e-01,3.230292e-01,3.217380e-01,3.214127e-01,3.197729e-01,3.195748e-01,3.181139e-01,3.173788e-01,3.164393e-01,3.151583e-01,3.147526e-01,3.130569e-01,3.129209e-01,3.113551e-01,3.106734e-01,3.096501e-01,3.084218e-01,3.079442e-01,3.062399e-01,3.061718e-01,3.045392e-01,3.039283e-01,3.028442e-01,3.016956e-01,3.011565e-01,2.994778e-01,2.972783e-01,2.951003e-01,2.929463e-01,2.908188e-01,2.887198e-01,2.866511e-01,2.846142e-01,2.826102e-01,2.806404e-01,2.787055e-01,2.768062e-01,2.749431e-01,2.731165e-01,2.713266e-01,2.695736e-01,2.678575e-01,2.661783e-01,2.645358e-01,2.629298e-01,2.613600e-01,2.598260e-01,2.583275e-01,2.568641e-01,2.554353e-01
0.000000e+00,1.139219e-10,4.176673e-10,2.779698e-09,9.462648e-09,1.641428e-08,5.256829e-08,5.478264e-08,1.346905e-07,1.669685e-07,2.743365e-07,3.946106e-07,4.925399e-07,7.791502e-07,8.084768e-07,1.241396e-06,1.364786e-06,1.809633e-06,2.192810e-06,2.528287e-06,3.292126e-06,3.405906e-06,4.442040e-06,4.667609e-06,5.627497e-06,6.298000e-06,6.946906e-06,8.145269e-06,8.381827e-06,9.913105e-06,1.016580e-05,1.152215e-05,1.231694e-05,1.319149e-05,1.455941e-05,1.490488e-05,1.664731e-05,1.685768e-05,1.840497e-05,1.917987e-05,2.016525e-05,2.149777e-05,2.191676e-05,2.364934e-05,2.378685e-05,2.535405e-05,2.602638e-05,2.702323e-05,2.819934e-05,2.865038e-05,3.023017e-05,3.029231e-05,3.175834e-05,3.229519e-05,3.323161e-05,3.420081e-05,3.464758e-05,3.600463e-05,3.730185e-05,3.770425e-05,3.853888e-05,3.929905e-05,3.971588e-05,4.078985e-05,4.083342e-05,4.189242e-05,4.217860e-05,4.289404e-05,4.346804e-05,4.383968e-05,4.466159e-05,4.473092e-05,4.556944e-05,4.576303e-05,4.635700e-05,4.677646e-05,4.709544e-05,4.770611e-05,4.778662e-05,4.843242e-05,4.855630e-05,4.903471e-05,4.933133e-05,4.959536e-05,5.003546e-05,5.011619e-05,5.059899e-05,5.067283e-05,5.104552e-05,5.124747e-05,5.145748e-05,5.176326e-05,5.183651e-05,5.218423e-05,5.222393e-05,5.250218e-05,5.263303e-05,5.279184e-05,5.299395e-05,5.305465e-05,5.329198e-05,5.330991e-05,5.350517e-05,5.358397e-05,5.369548e-05,5.381902e-05,5.386413e-05,5.401228e-05,5.401779e-05,5.414104e-05,5.418285e-05,5.425147e-05,5.431662e-05,5.434460e-05,5.442140e-05,5.448279e-05,5.449933e-05,5.452966e-05,5.455243e-05,5.456285e-05,5.458260e-05,5.458317e-05,5.459138e-05,5.459161e-05,5.458822e-05,5.458115e-05,5.457437e-05,5.455276e-05,5.455050e-05,5.451724e-05,5.450793e-05,5.447519e-05,5.444801e-05,5.442491e-05,5.437430e-05,5.436696e-05,5.430183e-05,5.428799e-05,5.423003e-05,5.419021e-05,5.415202e-05,5.408200e-05,5.406823e-05,5.397909e-05,5.396435e-05,5.388499e-05,5.383817e-05,5.378631e-05,5.370430e-05,5.368340e-05,5.357661e-05,5.356355e-05,5.346626e-05,5.341666e-05,5.335265e-05,5.326430e-05,5.323606e-05,5.311678e-05,5.310713e-05,5.299505e-05,5.294574e-05,5.287113e-05,5.278068e-05,5.274524e-05,5.261760e-05,5.261246e-05,5.248842e-05,5.244158e-05,5.235790e-05,5.226846e-05,5.222620e-05,5.209352e-05,5.191714e-05,5.173967e-05,5.156144e-05,5.138274e-05,5.120385e-05,5.102502e-05,5.084650e-05,5.066849e-05,5.049119e-05,5.031479e-05,5.013944e-05,4.996530e-05,4.979251e-05,4.962119e-05,4.945145e-05,4.928340e-05,4.911712e-05,4.895269e-05,4.879020e-05,4.862969e-05,4.847124e-05,4.831488e-05,4.816067e-05,4.800864e-05
0.000000e+00,2.130209e-10,8.318139e-10,6.287972e-09,2.394266e-08,4.409118e-08,1.638518e-07,1.717592e-07,4.851508e-07,6.235778e-07,1.118815e-06,1.722625e-06,2.244196e-06,3.889411e-06,4.066134e-06,6.817741e-06,7.644338e-06,1.075240e-05,1.357001e-05,1.613112e-05,2.225988e-05,2.320632e-05,3.220612e-05,3.425468e-05,4.332291e-05,4.999179e-05,5.670638e-05,6.977723e-05,7.245995e-05,9.063966e-05,9.377482e-05,1.112546e-04,1.220059e-04,1.342688e-04,1.543562e-04,1.596038e-04,1.871423e-04,1.905881e-04,2.167331e-04,2.303576e-04,2.481956e-04,2.732340e-04,2.813256e-04,3.159007e-04,3.187221e-04,3.516860e-04,3.662849e-04,3.884396e-04,4.153648e-04,4.259177e-04,4.638791e-04,4.654043e-04,5.020894e-04,5.158625e-04,5.403244e-04,5.662299e-04,5.783728e-04,6.160387e-04,6.531430e-04,6.648709e-04,6.895244e-04,7.123623e-04,7.250399e-04,7.582046e-04,7.595652e-04,7.929940e-04,8.021451e-04,8.252379e-04,8.439850e-04,8.562252e-04,8.835754e-04,8.859000e-04,9.142210e-04,9.208133e-04,9.411606e-04,9.556372e-04,9.667033e-04,9.880214e-04,9.908445e-04,1.013589e-03,1.017972e-03,1.034951e-03,1.045520e-03,1.054952e-03,1.070719e-03,1.073617e-03,1.090981e-03,1.093640e-03,1.107079e-03,1.114368e-03,1.121951e-03,1.132996e-03,1.135642e-03,1.148194e-03,1.149626e-03,1.159655e-03,1.164364e-03,1.170072e-03,1.177319e-03,1.179491e-03,1.187961e-03,1.188599e-03,1.195528e-03,1.198313e-03,1.202239e-03,1.206567e-03,1.208140e-03,1.213275e-03,1.213465e-03,1.217686e-03,1.219105e-03,1.221417e-03,1.223585e-03,1.224506e-03,1.226994e-03,1.228918e-03,1.229420e-03,1.230313e-03,1.230945e-03,1.231214e-03,1.231644e-03,1.231653e-03,1.231661e-03,1.231590e-03,1.231267e-03,1.230851e-03,1.230501e-03,1.229489e-03,1.229387e-03,1.227952e-03,1.227563e-03,1.226220e-03,1.225127e-03,1.224211e-03,1.222232e-03,1.221948e-03,1.219451e-03,1.218925e-03,1.216738e-03,1.215248e-03,1.213827e-03,1.211241e-03,1.210735e-03,1.207477e-03,1.206941e-03,1.204068e-03,1.202382e-03,1.200521e-03,1.197594e-03,1.196850e-03,1.193067e-03,1.192606e-03,1.189183e-03,1.187445e-03,1.185209e-03,1.182134e-03,1.181154e-03,1.177029e-03,1.176696e-03,1.172840e-03,1.171149e-03,1.168598e-03,1.165514e-03,1.164309e-03,1.159980e-03,1.159806e-03,1.155618e-03,1.154041e-03,1.151230e-03,1.148233e-03,1.146820e-03,1.142395e-03,1.136538e-03,1.130672e-03,1.124808e-03,1.118954e-03,1.113118e-03,1.107307e-03,1.101527e-03,1.095784e-03,1.090084e-03,1.084431e-03,1.078829e-03,1.073281e-03,1.067792e-03,1.062363e-03,1.056999e-03,1.051699e-03,1.046468e-03,1.041305e-03,1.036214e-03,1.031194e-03,1.026246e-03,1.021373e-03,1.016573e-03,1.011848e-03
0.000000e+00,5.937992e-11,1.415990e-10,5.086185e-10,1.182909e-09,1.742056e-09,4.039456e-09,4.164715e-09,8.238916e-09,9.749368e-09,1.452773e-08,1.964309e-08,2.371134e-08,3.534897e-08,3.652306e-08,5.352790e-08,5.825437e-08,7.479502e-08,8.838751e-08,9.979830e-08,1.242357e-07,1.277116e-07,1.577513e-07,1.639576e-07,1.893071e-07,2.061601e-07,2.219258e-07,2.498903e-07,2.552595e-07,2.890243e-07,2.944499e-07,3.229743e-07,3.392703e-07,3.568881e-07,3.838565e-07,3.905633e-07,4.238154e-07,4.277691e-07,4.564772e-07,4.706226e-07,4.884012e-07,5.120910e-07,5.194601e-07,5.495447e-07,5.519066e-07,5.785663e-07,5.898612e-07,6.064556e-07,6.258050e-07,6.331608e-07,6.586467e-07,6.596405e-07,6.828931e-07,6.913164e-07,7.058916e-07,7.208193e-07,7.276461e-07,7.481706e-07,7.674870e-07,7.734174e-07,7.856230e-07,7.966258e-07,8.026118e-07,8.178761e-07,8.184904e-07,8.332989e-07,8.372591e-07,8.470789e-07,8.548712e-07,8.598735e-07,8.708115e-07,8.717261e-07,8.826804e-07,8.851805e-07,8.927796e-07,8.980776e-07,9.020663e-07,9.095998e-07,9.105824e-07,9.183682e-07,9.198412e-07,9.254631e-07,9.288921e-07,9.319051e-07,9.368385e-07,9.377306e-07,9.429746e-07,9.437620e-07,9.476708e-07,9.497397e-07,9.518510e-07,9.548443e-07,9.555459e-07,9.587845e-07,9.591438e-07,9.615945e-07,9.627019e-07,9.640021e-07,9.655782e-07,9.660323e-07,9.677087e-07,9.678282e-07,9.690537e-07,9.695037e-07,9.700885e-07,9.706528e-07,9.708332e-07,9.713067e-07,9.713202e-07,9.715269e-07,9.715475e-07,9.715109e-07,9.713733e-07,9.712746e-07,9.708332e-07,9.702008e-07,9.699603e-07,9.693910e-07,9.687854e-07,9.684164e-07,9.673369e-07,9.672890e-07,9.660202e-07,9.656410e-07,9.646204e-07,9.637220e-07,9.630998e-07,9.616023e-07,9.614679e-07,9.597334e-07,9.593028e-07,9.579048e-07,9.568426e-07,9.559899e-07,9.542394e-07,9.539962e-07,9.519307e-07,9.515096e-07,9.497999e-07,9.486681e-07,9.476099e-07,9.457290e-07,9.453667e-07,9.430756e-07,9.427049e-07,9.407417e-07,9.396077e-07,9.383700e-07,9.364483e-07,9.359648e-07,9.335305e-07,9.332366e-07,9.310710e-07,9.299818e-07,9.285900e-07,9.266923e-07,9.260911e-07,9.235776e-07,9.233760e-07,9.210524e-07,9.200398e-07,9.185186e-07,9.166903e-07,9.159786e-07,9.134352e-07,9.133334e-07,9.108906e-07,9.099747e-07,9.083470e-07,9.066190e-07,9.058065e-07,9.032710e-07,8.999347e-07,8.966139e-07,8.933121e-07,8.900323e-07,8.867774e-07,8.835499e-07,8.803521e-07,8.771859e-07,8.740533e-07,8.709558e-07,8.678948e-07,8.648717e-07,8.618875e-07,8.589431e-07,8.560395e-07,8.531773e-07,8.503571e-07,8.475793e-07,8.448444e-07,8.421526e-07,8.395042e-07,8.368992e-07,8.343377e-07,8.318198e-07
0.000000e+00,1.015263e-11,2.316633e-11,7.895349e-11,1.779654e-10,2.582380e-10,5.772669e-10,5.942658e-10,1.130386e-09,1.322172e-09,1.909418e-09,2.511567e-09,2.975035e-09,4.246189e-09,4.371004e-09,6.136181e-09,6.617806e-09,8.292741e-09,9.669054e-09,1.082985e-08,1.333722e-08,1.369605e-08,1.681249e-08,1.745838e-08,2.009651e-08,2.184615e-08,2.347676e-08,2.634853e-08,2.689634e-08,3.031031e-08,3.085350e-08,3.368243e-08,3.527720e-08,3.698281e-08,3.955456e-08,4.018651e-08,4.327277e-08,4.363439e-08,4.622468e-08,4.747740e-08,4.902891e-08,5.105507e-08,5.167543e-08,5.415732e-08,5.434862e-08,5.647058e-08,5.734827e-08,5.861375e-08,6.005186e-08,6.058759e-08,6.239475e-08,6.246362e-08,6.403946e-08,6.459282e-08,6.552720e-08,6.645244e-08,6.686438e-08,6.805814e-08,6.911605e-08,6.942717e-08,7.004598e-08,7.057765e-08,7.085590e-08,7.152791e-08,7.155378e-08,7.214743e-08,7.229602e-08,7.264449e-08,7.289943e-08,7.305231e-08,7.335475e-08,7.337793e-08,7.362805e-08,7.367755e-08,7.380898e-08,7.388232e-08,7.392669e-08,7.398241e-08,7.398674e-08,7.399436e-08,7.399002e-08,7.395438e-08,7.391629e-08,7.387131e-08,7.377130e-08,7.374933e-08,7.359228e-08,7.356414e-08,7.340373e-08,7.330302e-08,7.318697e-08,7.299528e-08,7.294500e-08,7.268062e-08,7.264751e-08,7.239636e-08,7.226560e-08,7.209457e-08,7.185481e-08,7.177739e-08,7.144677e-08,7.141980e-08,7.110451e-08,7.096472e-08,7.075226e-08,7.049328e-08,7.039150e-08,7.002360e-08,7.000875e-08,6.964981e-08,6.951403e-08,6.927126e-08,6.901167e-08,6.888899e-08,6.850394e-08,6.811695e-08,6.799284e-08,6.772881e-08,6.748011e-08,6.734021e-08,6.696731e-08,6.695179e-08,6.656412e-08,6.645578e-08,6.617772e-08,6.594669e-08,6.579307e-08,6.544108e-08,6.541057e-08,6.503060e-08,6.493983e-08,6.465352e-08,6.444372e-08,6.427961e-08,6.395341e-08,6.390914e-08,6.354236e-08,6.346947e-08,6.317948e-08,6.299238e-08,6.282067e-08,6.252254e-08,6.246610e-08,6.211591e-08,6.206029e-08,6.177022e-08,6.160592e-08,6.142913e-08,6.115964e-08,6.109274e-08,6.076110e-08,6.072163e-08,6.043428e-08,6.029202e-08,6.011233e-08,5.987092e-08,5.979528e-08,5.948315e-08,5.945839e-08,5.917596e-08,5.905447e-08,5.887371e-08,5.865915e-08,5.857640e-08,5.828403e-08,5.827244e-08,5.799658e-08,5.789429e-08,5.771402e-08,5.752466e-08,5.743633e-08,5.716349e-08,5.681068e-08,5.646616e-08,5.612982e-08,5.580154e-08,5.548123e-08,5.516875e-08,5.486397e-08,5.456676e-08,5.427699e-08,5.399452e-08,5.371921e-08,5.345091e-08,5.318949e-08,5.293479e-08,5.268669e-08,5.244502e-08,5.220966e-08,5.198046e-08,5.175727e-08,5.153997e-08,5.132840e-08,5.112243e-08,5.092194e-08,5.072677e-08
0.000000e+00,4.741033e-12,1.083615e-11,3.712705e-11,8.416078e-11,1.225177e-10,2.762077e-10,2.844391e-10,5.455450e-10,6.395024e-10,9.284676e-10,1.226217e-09,1.456070e-09,2.087993e-09,2.150078e-09,3.026536e-09,3.264736e-09,4.088504e-09,4.759733e-09,5.322360e-09,6.530727e-09,6.703293e-09,8.204176e-09,8.516513e-09,9.800285e-09,1.066061e-08,1.146999e-08,1.291532e-08,1.319410e-08,1.495518e-08,1.523930e-08,1.673731e-08,1.759588e-08,1.852592e-08,1.995263e-08,2.030791e-08,2.207165e-08,2.228158e-08,2.380706e-08,2.455940e-08,2.550557e-08,2.676737e-08,2.716013e-08,2.876508e-08,2.889119e-08,3.031604e-08,3.092055e-08,3.180980e-08,3.284858e-08,3.324410e-08,3.461759e-08,3.467125e-08,3.592963e-08,3.638691e-08,3.718021e-08,3.799572e-08,3.836980e-08,3.949929e-08,4.056989e-08,4.090027e-08,4.158303e-08,4.220204e-08,4.254036e-08,4.340851e-08,4.344363e-08,4.429471e-08,4.452392e-08,4.509552e-08,4.555268e-08,4.584799e-08,4.649926e-08,4.655409e-08,4.721574e-08,4.736814e-08,4.783486e-08,4.816370e-08,4.841333e-08,4.889022e-08,4.895299e-08,4.945561e-08,4.955184e-08,4.992292e-08,5.015253e-08,5.035660e-08,5.069609e-08,5.075827e-08,5.112948e-08,5.118615e-08,5.147172e-08,5.162614e-08,5.178644e-08,5.201932e-08,5.207501e-08,5.233875e-08,5.236879e-08,5.257892e-08,5.267745e-08,5.279675e-08,5.294806e-08,5.299338e-08,5.316991e-08,5.318320e-08,5.332742e-08,5.338532e-08,5.346689e-08,5.355669e-08,5.358930e-08,5.369556e-08,5.369949e-08,5.378655e-08,5.381573e-08,5.386309e-08,5.390730e-08,5.392599e-08,5.397600e-08,5.401383e-08,5.402348e-08,5.404018e-08,5.405131e-08,5.405569e-08,5.406097e-08,5.406099e-08,5.405667e-08,5.405382e-08,5.404330e-08,5.403115e-08,5.402140e-08,5.399416e-08,5.399148e-08,5.395403e-08,5.394398e-08,5.390951e-08,5.388166e-08,5.385836e-08,5.380819e-08,5.380099e-08,5.373779e-08,5.372449e-08,5.366914e-08,5.363142e-08,5.359541e-08,5.352978e-08,5.351692e-08,5.343400e-08,5.342034e-08,5.334695e-08,5.330379e-08,5.325607e-08,5.318079e-08,5.316163e-08,5.306389e-08,5.305195e-08,5.296310e-08,5.291785e-08,5.285950e-08,5.277902e-08,5.275331e-08,5.264474e-08,5.263596e-08,5.253399e-08,5.248912e-08,5.242125e-08,5.233896e-08,5.230671e-08,5.219054e-08,5.218586e-08,5.207290e-08,5.203022e-08,5.195394e-08,5.187237e-08,5.183381e-08,5.171264e-08,5.155135e-08,5.138876e-08,5.122515e-08,5.106076e-08,5.089582e-08,5.073053e-08,5.056510e-08,5.039970e-08,5.023449e-08,5.006965e-08,4.990530e-08,4.974158e-08,4.957862e-08,4.941652e-08,4.925539e-08,4.909533e-08,4.893641e-08,4.877872e-08,4.862234e-08,4.846732e-08,4.831373e-08,4.816162e-08,4.801104e-08,4.786204e-08
0.000000e+00,3.854258e-08,1.500948e-07,1.128427e-06,4.276140e-06,7.854550e-06,2.900454e-05,3.039669e-05,8.535291e-05,1.095377e-04,1.957968e-04,3.005955e-04,3.908983e-04,6.748745e-04,7.053208e-04,1.178516e-03,1.320464e-03,1.853948e-03,2.337791e-03,2.778192e-03,3.835846e-03,3.999755e-03,5.567413e-03,5.926658e-03,7.527958e-03,8.716960e-03,9.923530e-03,1.229779e-02,1.278903e-02,1.615013e-02,1.673508e-02,2.002221e-02,2.206412e-02,2.441011e-02,2.828864e-02,2.930862e-02,3.470326e-02,3.538296e-02,4.057144e-02,4.329605e-02,4.688356e-02,5.195609e-02,5.360424e-02,6.069344e-02,6.127522e-02,6.810759e-02,7.115396e-02,7.580057e-02,8.148545e-02,8.372473e-02,9.183171e-02,9.215911e-02,1.000733e-01,1.030640e-01,1.084019e-01,1.140916e-01,1.167717e-01,1.251384e-01,1.334603e-01,1.361074e-01,1.416984e-01,1.469100e-01,1.498165e-01,1.574665e-01,1.577818e-01,1.655644e-01,1.677071e-01,1.731379e-01,1.775720e-01,1.804793e-01,1.870111e-01,1.875686e-01,1.943889e-01,1.959841e-01,2.009264e-01,2.044597e-01,2.071702e-01,2.124151e-01,2.131119e-01,2.187457e-01,2.198352e-01,2.240680e-01,2.267119e-01,2.290772e-01,2.330433e-01,2.337738e-01,2.381598e-01,2.388329e-01,2.422387e-01,2.440888e-01,2.460153e-01,2.488229e-01,2.494956e-01,2.526867e-01,2.530505e-01,2.555962e-01,2.567893e-01,2.582326e-01,2.600592e-01,2.606050e-01,2.627227e-01,2.628814e-01,2.645956e-01,2.652784e-01,2.662336e-01,2.672733e-01,2.676470e-01,2.688458e-01,2.688895e-01,2.698405e-01,2.701505e-01,2.706411e-01,2.710798e-01,2.712577e-01,2.717002e-01,2.719784e-01,2.720342e-01,2.721017e-01,2.721037e-01,2.720795e-01,2.719295e-01,2.719206e-01,2.716340e-01,2.715319e-01,2.712278e-01,2.709302e-01,2.707103e-01,2.701427e-01,2.700893e-01,2.693723e-01,2.691867e-01,2.685664e-01,2.680788e-01,2.676785e-01,2.668345e-01,2.667151e-01,2.656824e-01,2.654681e-01,2.645865e-01,2.639934e-01,2.634328e-01,2.624231e-01,2.622268e-01,2.609735e-01,2.607689e-01,2.596777e-01,2.590419e-01,2.583438e-01,2.572522e-01,2.569762e-01,2.555788e-01,2.554093e-01,2.541554e-01,2.535218e-01,2.527096e-01,2.515978e-01,2.512446e-01,2.497636e-01,2.496445e-01,2.482694e-01,2.476687e-01,2.467649e-01,2.456766e-01,2.452524e-01,2.437345e-01,2.436737e-01,2.422132e-01,2.416651e-01,2.406906e-01,2.396555e-01,2.391686e-01,2.376490e-01,2.356494e-01,2.336601e-01,2.316842e-01,2.297242e-01,2.277827e-01,2.258616e-01,2.239630e-01,2.220885e-01,2.202393e-01,2.184168e-01,2.166220e-01,2.148558e-01,2.131188e-01,2.114116e-01,2.097347e-01,2.080885e-01,2.064731e-01,2.048887e-01,2.033353e-01,2.018129e-01,2.003215e-01,1.988609e-01,1.974308e-01,1.960311e-01
0.000000e+00,8.942939e-11,2.764506e-10,1.366365e-09,3.741589e-09,5.860232e-09,1.507609e-08,1.558988e-08,3.245394e-08,3.870670e-08,5.830759e-08,7.891723e-08,9.503678e-08,1.400700e-07,1.445430e-07,2.084717e-07,2.260762e-07,2.876334e-07,3.385164e-07,3.816437e-07,4.757034e-07,4.892946e-07,6.091734e-07,6.344980e-07,7.399601e-07,8.118757e-07,8.804440e-07,1.005090e-06,1.029457e-06,1.185821e-06,1.211441e-06,1.348326e-06,1.428145e-06,1.515728e-06,1.652327e-06,1.686765e-06,1.860181e-06,1.881092e-06,2.034746e-06,2.111614e-06,2.209287e-06,2.341239e-06,2.382700e-06,2.553974e-06,2.567555e-06,2.722199e-06,2.788453e-06,2.886578e-06,3.002158e-06,3.046422e-06,3.201159e-06,3.207235e-06,3.350323e-06,3.402585e-06,3.493553e-06,3.587419e-06,3.630580e-06,3.761225e-06,3.885382e-06,3.923734e-06,4.003014e-06,4.074883e-06,4.114143e-06,4.214773e-06,4.218838e-06,4.317210e-06,4.343640e-06,4.409403e-06,4.461823e-06,4.495588e-06,4.569734e-06,4.575954e-06,4.650708e-06,4.667837e-06,4.720066e-06,4.756633e-06,4.784252e-06,4.836636e-06,4.843491e-06,4.898013e-06,4.908371e-06,4.948042e-06,4.972356e-06,4.993802e-06,5.029101e-06,5.035511e-06,5.073381e-06,5.079098e-06,5.107620e-06,5.122822e-06,5.138424e-06,5.160725e-06,5.165987e-06,5.190491e-06,5.193234e-06,5.212112e-06,5.220756e-06,5.231018e-06,5.243670e-06,5.247370e-06,5.261318e-06,5.262335e-06,5.273009e-06,5.277084e-06,5.282579e-06,5.288230e-06,5.290159e-06,5.295871e-06,5.296062e-06,5.299833e-06,5.300853e-06,5.302156e-06,5.302852e-06,5.302942e-06,5.302293e-06,5.300299e-06,5.299392e-06,5.297051e-06,5.294351e-06,5.292630e-06,5.287355e-06,5.287115e-06,5.280580e-06,5.278577e-06,5.273095e-06,5.268175e-06,5.264725e-06,5.256298e-06,5.255533e-06,5.245578e-06,5.243081e-06,5.234913e-06,5.228651e-06,5.223592e-06,5.213126e-06,5.211664e-06,5.199173e-06,5.196612e-06,5.186165e-06,5.179209e-06,5.172679e-06,5.161011e-06,5.158755e-06,5.144429e-06,5.142102e-06,5.129736e-06,5.122562e-06,5.114706e-06,5.102462e-06,5.099372e-06,5.083761e-06,5.081871e-06,5.067901e-06,5.060850e-06,5.051817e-06,5.039458e-06,5.035532e-06,5.019070e-06,5.017746e-06,5.002451e-06,4.995764e-06,4.985696e-06,4.973558e-06,4.968822e-06,4.951849e-06,4.951168e-06,4.934791e-06,4.928633e-06,4.917665e-06,4.905988e-06,4.900486e-06,4.883267e-06,4.860499e-06,4.837711e-06,4.814930e-06,4.792178e-06,4.769478e-06,4.746848e-06,4.724307e-06,4.701871e-06,4.679555e-06,4.657374e-06,4.635339e-06,4.613461e-06,4.591753e-06,4.570221e-06,4.548876e-06,4.527725e-06,4.506774e-06,4.486030e-06,4.465497e-06,4.445182e-06,4.425088e-06,4.405219e-06,4.385577e-06,4.366166e-06
0.000000e+00,1.086734e-10,4.100446e-10,2.890533e-09,1.034706e-08,1.843698e-08,6.317909e-08,6.601941e-08,1.733836e-07,2.188271e-07,3.762534e-07,5.616444e-07,7.181476e-07,1.197031e-06,1.247371e-06,2.008078e-06,2.228836e-06,3.030774e-06,3.723840e-06,4.329768e-06,5.702747e-06,5.906431e-06,7.753685e-06,8.154599e-06,9.859357e-06,1.105143e-05,1.220807e-05,1.435593e-05,1.478213e-05,1.756184e-05,1.802426e-05,2.052570e-05,2.200703e-05,2.365063e-05,2.625022e-05,2.691229e-05,3.028553e-05,3.069661e-05,3.374487e-05,3.528772e-05,3.726504e-05,3.996592e-05,4.082151e-05,4.439096e-05,4.467641e-05,4.795164e-05,4.936893e-05,5.148365e-05,5.399886e-05,5.496918e-05,5.839254e-05,5.852798e-05,6.174026e-05,6.292467e-05,6.500101e-05,6.716384e-05,6.816554e-05,7.122649e-05,7.417829e-05,7.509911e-05,7.701691e-05,7.877299e-05,7.973977e-05,8.224351e-05,8.234548e-05,8.483375e-05,8.550947e-05,8.720510e-05,8.857230e-05,8.946081e-05,9.143552e-05,9.160274e-05,9.363327e-05,9.410432e-05,9.555515e-05,9.658506e-05,9.737141e-05,9.888497e-05,9.908536e-05,1.007004e-04,1.010119e-04,1.022201e-04,1.029738e-04,1.036480e-04,1.047791e-04,1.049877e-04,1.062428e-04,1.064359e-04,1.074167e-04,1.079525e-04,1.085131e-04,1.093367e-04,1.095353e-04,1.104867e-04,1.105963e-04,1.113705e-04,1.117387e-04,1.121897e-04,1.127711e-04,1.129475e-04,1.136468e-04,1.137003e-04,1.142904e-04,1.145328e-04,1.148810e-04,1.152748e-04,1.154211e-04,1.159134e-04,1.159322e-04,1.163602e-04,1.165104e-04,1.167638e-04,1.170147e-04,1.171264e-04,1.174501e-04,1.177369e-04,1.178212e-04,1.179887e-04,1.181323e-04,1.182074e-04,1.183877e-04,1.183947e-04,1.185522e-04,1.185912e-04,1.186817e-04,1.187465e-04,1.187845e-04,1.188569e-04,1.188622e-04,1.189162e-04,1.189257e-04,1.189476e-04,1.189559e-04,1.189579e-04,1.189504e-04,1.189482e-04,1.189196e-04,1.189117e-04,1.188733e-04,1.188425e-04,1.188101e-04,1.187449e-04,1.187313e-04,1.186376e-04,1.186213e-04,1.185299e-04,1.184736e-04,1.184092e-04,1.183037e-04,1.182762e-04,1.181317e-04,1.181136e-04,1.179764e-04,1.179048e-04,1.178110e-04,1.176789e-04,1.176361e-04,1.174525e-04,1.174374e-04,1.172607e-04,1.171817e-04,1.170612e-04,1.169131e-04,1.168546e-04,1.166414e-04,1.166328e-04,1.164222e-04,1.163418e-04,1.161973e-04,1.160414e-04,1.159672e-04,1.157323e-04,1.154157e-04,1.150923e-04,1.147629e-04,1.144283e-04,1.140891e-04,1.137461e-04,1.133999e-04,1.130510e-04,1.126999e-04,1.123471e-04,1.119932e-04,1.116384e-04,1.112833e-04,1.109282e-04,1.105734e-04,1.102192e-04,1.098659e-04,1.095139e-04,1.091633e-04,1.088144e-04,1.084675e-04,1.081226e-04,1.077800e-04,1.074398e-04
0.000000e+00,3.619657e-10,1.386261e-09,1.006777e-08,3.697169e-08,6.675503e-08,2.359170e-07,2.468035e-07,6.641331e-07,8.427074e-07,1.464806e-06,2.199993e-06,2.821208e-06,4.725682e-06,4.926473e-06,7.986364e-06,8.885682e-06,1.220368e-05,1.513867e-05,1.775554e-05,2.385067e-05,2.477323e-05,3.333311e-05,3.523305e-05,4.345831e-05,4.933599e-05,5.512581e-05,6.607487e-05,6.827484e-05,8.281454e-05,8.526258e-05,9.863040e-05,1.066369e-04,1.155895e-04,1.298819e-04,1.335454e-04,1.523419e-04,1.546463e-04,1.718174e-04,1.805595e-04,1.918082e-04,2.072462e-04,2.121525e-04,2.326929e-04,2.343400e-04,2.532793e-04,2.614951e-04,2.737716e-04,2.883949e-04,2.940408e-04,3.139705e-04,3.147592e-04,3.334579e-04,3.403475e-04,3.524137e-04,3.649607e-04,3.707621e-04,3.884405e-04,4.053990e-04,4.106671e-04,4.215990e-04,4.315558e-04,4.370129e-04,4.510535e-04,4.516223e-04,4.654176e-04,4.691339e-04,4.783966e-04,4.857937e-04,4.905636e-04,5.010482e-04,5.019281e-04,5.125046e-04,5.149276e-04,5.223109e-04,5.274738e-04,5.313682e-04,5.387375e-04,5.396997e-04,5.473308e-04,5.487752e-04,5.542877e-04,5.576480e-04,5.605980e-04,5.654191e-04,5.662893e-04,5.713899e-04,5.721531e-04,5.759278e-04,5.779143e-04,5.799307e-04,5.827662e-04,5.834260e-04,5.864405e-04,5.867712e-04,5.890004e-04,5.899893e-04,5.911311e-04,5.924785e-04,5.928572e-04,5.942024e-04,5.942943e-04,5.951898e-04,5.954895e-04,5.958413e-04,5.961142e-04,5.961780e-04,5.962201e-04,5.962160e-04,5.959870e-04,5.958393e-04,5.954972e-04,5.950265e-04,5.947682e-04,5.938168e-04,5.926590e-04,5.922474e-04,5.913099e-04,5.903527e-04,5.897839e-04,5.881652e-04,5.880946e-04,5.862551e-04,5.857147e-04,5.842774e-04,5.830295e-04,5.821734e-04,5.801353e-04,5.799537e-04,5.776290e-04,5.770565e-04,5.752088e-04,5.738153e-04,5.727024e-04,5.704324e-04,5.701186e-04,5.674654e-04,5.669271e-04,5.647506e-04,5.633170e-04,5.619814e-04,5.596183e-04,5.591647e-04,5.563067e-04,5.558461e-04,5.534136e-04,5.520141e-04,5.504909e-04,5.481350e-04,5.475439e-04,5.445774e-04,5.442204e-04,5.415962e-04,5.402808e-04,5.386044e-04,5.363261e-04,5.356061e-04,5.326050e-04,5.323649e-04,5.296046e-04,5.284053e-04,5.266080e-04,5.244546e-04,5.236184e-04,5.206384e-04,5.205194e-04,5.176706e-04,5.166056e-04,5.147173e-04,5.127186e-04,5.117809e-04,5.088632e-04,5.050436e-04,5.012638e-04,4.975270e-04,4.938363e-04,4.901942e-04,4.866031e-04,4.830649e-04,4.795812e-04,4.761535e-04,4.727828e-04,4.694702e-04,4.662164e-04,4.630218e-04,4.598870e-04,4.568119e-04,4.537969e-04,4.508417e-04,4.479462e-04,4.451102e-04,4.423332e-04,4.396149e-04,4.369546e-04,4.343519e-04,4.318061e-04
0.000000e+00,4.018061e-10,1.515569e-09,1.070085e-08,3.851170e-08,6.897257e-08,2.416928e-07,2.528702e-07,6.905648e-07,8.835481e-07,1.580155e-06,2.443287e-06,3.197247e-06,5.586300e-06,5.841731e-06,9.737430e-06,1.087177e-05,1.497938e-05,1.850073e-05,2.155333e-05,2.837919e-05,2.938145e-05,3.835982e-05,4.028394e-05,4.838006e-05,5.396753e-05,5.933811e-05,6.919585e-05,7.113608e-05,8.368081e-05,8.575121e-05,9.688210e-05,1.034258e-04,1.106513e-04,1.220166e-04,1.249007e-04,1.395440e-04,1.413237e-04,1.544970e-04,1.611534e-04,1.696785e-04,1.813217e-04,1.850115e-04,2.004241e-04,2.016585e-04,2.158503e-04,2.220109e-04,2.312301e-04,2.422448e-04,2.465104e-04,2.616441e-04,2.622458e-04,2.765905e-04,2.819185e-04,2.913150e-04,3.011859e-04,3.057885e-04,3.199868e-04,3.338902e-04,3.382744e-04,3.474832e-04,3.560142e-04,3.607538e-04,3.731816e-04,3.736927e-04,3.862937e-04,3.897608e-04,3.985526e-04,4.057427e-04,4.104671e-04,4.211238e-04,4.220367e-04,4.332620e-04,4.359051e-04,4.441450e-04,4.500909e-04,4.546884e-04,4.636886e-04,4.648959e-04,4.747718e-04,4.767076e-04,4.843208e-04,4.891589e-04,4.935482e-04,5.010548e-04,5.024596e-04,5.110607e-04,5.124085e-04,5.193578e-04,5.232341e-04,5.273569e-04,5.335460e-04,5.350645e-04,5.424870e-04,5.433589e-04,5.496310e-04,5.526878e-04,5.565029e-04,5.615476e-04,5.631093e-04,5.694567e-04,5.699535e-04,5.755516e-04,5.779204e-04,5.814005e-04,5.854630e-04,5.870099e-04,5.923859e-04,5.925962e-04,5.975349e-04,5.993342e-04,6.024631e-04,6.056913e-04,6.071766e-04,6.116814e-04,6.159834e-04,6.173182e-04,6.200885e-04,6.226150e-04,6.240022e-04,6.275848e-04,6.277304e-04,6.312784e-04,6.322403e-04,6.346516e-04,6.365939e-04,6.378554e-04,6.406576e-04,6.408949e-04,6.437751e-04,6.444432e-04,6.465010e-04,6.479620e-04,6.490775e-04,6.512250e-04,6.515093e-04,6.538010e-04,6.542429e-04,6.559571e-04,6.570262e-04,6.579821e-04,6.595848e-04,6.598802e-04,6.616556e-04,6.619285e-04,6.633124e-04,6.640667e-04,6.648546e-04,6.660085e-04,6.662861e-04,6.676106e-04,6.677626e-04,6.688319e-04,6.693375e-04,6.699535e-04,6.707415e-04,6.709790e-04,6.719117e-04,6.719824e-04,6.727549e-04,6.730678e-04,6.735119e-04,6.740052e-04,6.741857e-04,6.747794e-04,6.748016e-04,6.752961e-04,6.754637e-04,6.757384e-04,6.759983e-04,6.761094e-04,6.764115e-04,6.767096e-04,6.768982e-04,6.769832e-04,6.769699e-04,6.768634e-04,6.766688e-04,6.763910e-04,6.760344e-04,6.756035e-04,6.751027e-04,6.745358e-04,6.739069e-04,6.732196e-04,6.724777e-04,6.716844e-04,6.708431e-04,6.699570e-04,6.690291e-04,6.680621e-04,6.670590e-04,6.660224e-04,6.649547e-04,6.638583e-04,6.627357e-04
0.000000e+00,1.814029e-10,4.589109e-10,1.753386e-09,4.184072e-09,6.209105e-09,1.448260e-08,1.493006e-08,2.924632e-08,3.443895e-08,5.049699e-08,6.714899e-08,8.006282e-08,1.157944e-07,1.193220e-07,1.694354e-07,1.831541e-07,2.308976e-07,2.700956e-07,3.031067e-07,3.743031e-07,3.844898e-07,4.731310e-07,4.915698e-07,5.672645e-07,6.178812e-07,6.654054e-07,7.500219e-07,7.663051e-07,8.688820e-07,8.853843e-07,9.721760e-07,1.021756e-06,1.075329e-06,1.157232e-06,1.177575e-06,1.278242e-06,1.290187e-06,1.376749e-06,1.419278e-06,1.472606e-06,1.543435e-06,1.565412e-06,1.654849e-06,1.661851e-06,1.740674e-06,1.773952e-06,1.822714e-06,1.879372e-06,1.900854e-06,1.975033e-06,1.977917e-06,2.045237e-06,2.069541e-06,2.111490e-06,2.154311e-06,2.173843e-06,2.232365e-06,2.287154e-06,2.303916e-06,2.338318e-06,2.369216e-06,2.385977e-06,2.428552e-06,2.430260e-06,2.471300e-06,2.482228e-06,2.509231e-06,2.530556e-06,2.544192e-06,2.573848e-06,2.576317e-06,2.605741e-06,2.612416e-06,2.632599e-06,2.646566e-06,2.657018e-06,2.676591e-06,2.679126e-06,2.699045e-06,2.702776e-06,2.716893e-06,2.725393e-06,2.732784e-06,2.744701e-06,2.746828e-06,2.759130e-06,2.760944e-06,2.769792e-06,2.774355e-06,2.778909e-06,2.785153e-06,2.786574e-06,2.792875e-06,2.793544e-06,2.797896e-06,2.799721e-06,2.801718e-06,2.803867e-06,2.804416e-06,2.806062e-06,2.806151e-06,2.806726e-06,2.806732e-06,2.806473e-06,2.805758e-06,2.805365e-06,2.803461e-06,2.803369e-06,2.800816e-06,2.799693e-06,2.797484e-06,2.794851e-06,2.793514e-06,2.788954e-06,2.783849e-06,2.782107e-06,2.778240e-06,2.774405e-06,2.772169e-06,2.765940e-06,2.765672e-06,2.758786e-06,2.756793e-06,2.751544e-06,2.747041e-06,2.743978e-06,2.736756e-06,2.736117e-06,2.727991e-06,2.726004e-06,2.719625e-06,2.714845e-06,2.711045e-06,2.703335e-06,2.702273e-06,2.693333e-06,2.691526e-06,2.684244e-06,2.679466e-06,2.675027e-06,2.667198e-06,2.665699e-06,2.656278e-06,2.654763e-06,2.646780e-06,2.642198e-06,2.637219e-06,2.629535e-06,2.627610e-06,2.617966e-06,2.616807e-06,2.608299e-06,2.604041e-06,2.598621e-06,2.591264e-06,2.588941e-06,2.579271e-06,2.578498e-06,2.569619e-06,2.565766e-06,2.559995e-06,2.553086e-06,2.550405e-06,2.540857e-06,2.540476e-06,2.531358e-06,2.527952e-06,2.521915e-06,2.515528e-06,2.512533e-06,2.503217e-06,2.491031e-06,2.478979e-06,2.467070e-06,2.455313e-06,2.443715e-06,2.432281e-06,2.421017e-06,2.409926e-06,2.399014e-06,2.388283e-06,2.377735e-06,2.367372e-06,2.357196e-06,2.347208e-06,2.337408e-06,2.327797e-06,2.318374e-06,2.309139e-06,2.300091e-06,2.291229e-06,2.282552e-06,2.274058e-06,2.265746e-06,2.257613e-06
0.000000e+00,6.256183e-11,2.387417e-10,1.720086e-09,6.266574e-09,1.126206e-08,3.928173e-08,4.107104e-08,1.088976e-07,1.375807e-07,2.364044e-07,3.515219e-07,4.477043e-07,7.378957e-07,7.681525e-07,1.223256e-06,1.355259e-06,1.837176e-06,2.258197e-06,2.630344e-06,3.487820e-06,3.616634e-06,4.801482e-06,5.062140e-06,6.181723e-06,6.973407e-06,7.746797e-06,9.192583e-06,9.480521e-06,1.136282e-05,1.167630e-05,1.337119e-05,1.437301e-05,1.548178e-05,1.722749e-05,1.767025e-05,1.991238e-05,2.018391e-05,2.218457e-05,2.318799e-05,2.446424e-05,2.618867e-05,2.673016e-05,2.896278e-05,2.913941e-05,3.114443e-05,3.199925e-05,3.325951e-05,3.473354e-05,3.529462e-05,3.723864e-05,3.731437e-05,3.908266e-05,3.972068e-05,4.082001e-05,4.193804e-05,4.244607e-05,4.395817e-05,4.535539e-05,4.577829e-05,4.663834e-05,4.740031e-05,4.780897e-05,4.882994e-05,4.887035e-05,4.982641e-05,5.007586e-05,5.068182e-05,5.114889e-05,5.144175e-05,5.206130e-05,5.211172e-05,5.269745e-05,5.282613e-05,5.320473e-05,5.345670e-05,5.363935e-05,5.396620e-05,5.400696e-05,5.431306e-05,5.436736e-05,5.456288e-05,5.467222e-05,5.476143e-05,5.489202e-05,5.491339e-05,5.502316e-05,5.503708e-05,5.509483e-05,5.511681e-05,5.513216e-05,5.513966e-05,5.513864e-05,5.511743e-05,5.511317e-05,5.507144e-05,5.504404e-05,5.500331e-05,5.493820e-05,5.491542e-05,5.480996e-05,5.480083e-05,5.468889e-05,5.463649e-05,5.455397e-05,5.444916e-05,5.440680e-05,5.424882e-05,5.424229e-05,5.408130e-05,5.401890e-05,5.390543e-05,5.378160e-05,5.372224e-05,5.353267e-05,5.333758e-05,5.327411e-05,5.313771e-05,5.300762e-05,5.293377e-05,5.273472e-05,5.272636e-05,5.251605e-05,5.245671e-05,5.230334e-05,5.217475e-05,5.208868e-05,5.188984e-05,5.187250e-05,5.165515e-05,5.160286e-05,5.143699e-05,5.131457e-05,5.121831e-05,5.102567e-05,5.099940e-05,5.078051e-05,5.073676e-05,5.056188e-05,5.044836e-05,5.034370e-05,5.016093e-05,5.012618e-05,4.990948e-05,4.987490e-05,4.969377e-05,4.959062e-05,4.947918e-05,4.930840e-05,4.926584e-05,4.905388e-05,4.902854e-05,4.884340e-05,4.875128e-05,4.863450e-05,4.847685e-05,4.842727e-05,4.822178e-05,4.820542e-05,4.801811e-05,4.793717e-05,4.781632e-05,4.767224e-05,4.761648e-05,4.741863e-05,4.741075e-05,4.722281e-05,4.715283e-05,4.702908e-05,4.689854e-05,4.683745e-05,4.664798e-05,4.640120e-05,4.615826e-05,4.591919e-05,4.568404e-05,4.545281e-05,4.522553e-05,4.500220e-05,4.478281e-05,4.456737e-05,4.435585e-05,4.414825e-05,4.394454e-05,4.374469e-05,4.354867e-05,4.335646e-05,4.316801e-05,4.298329e-05,4.280226e-05,4.262487e-05,4.245108e-05,4.228085e-05,4.211412e-05,4.195085e-05,4.179098e-05
0.000000e+00,6.026971e-11,2.203741e-10,1.459196e-09,4.948972e-09,8.572070e-09,2.742270e-08,2.857945e-08,7.058399e-08,8.770953e-08,1.453475e-07,2.110792e-07,2.654058e-07,4.274940e-07,4.442615e-07,6.930319e-07,7.638082e-07,1.016202e-06,1.228825e-06,1.410877e-06,1.811478e-06,1.869619e-06,2.383611e-06,2.492282e-06,2.944416e-06,3.251991e-06,3.544470e-06,4.073847e-06,4.176960e-06,4.835542e-06,4.942927e-06,5.514111e-06,5.845164e-06,6.206691e-06,6.766907e-06,6.907433e-06,7.610681e-06,7.694980e-06,8.311067e-06,8.617031e-06,9.003616e-06,9.521928e-06,9.683837e-06,1.034779e-05,1.040010e-05,1.099212e-05,1.124372e-05,1.161408e-05,1.204681e-05,1.221151e-05,1.278281e-05,1.280511e-05,1.332690e-05,1.351598e-05,1.384315e-05,1.417816e-05,1.433132e-05,1.479155e-05,1.522421e-05,1.535694e-05,1.562995e-05,1.587585e-05,1.600955e-05,1.635026e-05,1.636396e-05,1.669422e-05,1.678251e-05,1.700141e-05,1.717512e-05,1.728667e-05,1.753072e-05,1.755114e-05,1.779596e-05,1.785191e-05,1.802225e-05,1.814128e-05,1.823110e-05,1.840130e-05,1.842356e-05,1.860064e-05,1.863430e-05,1.876330e-05,1.884250e-05,1.891246e-05,1.902794e-05,1.904897e-05,1.917364e-05,1.919255e-05,1.928725e-05,1.933806e-05,1.939050e-05,1.946610e-05,1.948407e-05,1.956858e-05,1.957815e-05,1.964463e-05,1.967554e-05,1.971274e-05,1.975953e-05,1.977345e-05,1.982721e-05,1.983123e-05,1.987448e-05,1.989166e-05,1.991567e-05,1.994178e-05,1.995116e-05,1.998131e-05,1.998241e-05,2.000646e-05,2.001435e-05,2.002692e-05,2.003830e-05,2.004298e-05,2.005492e-05,2.006298e-05,2.006478e-05,2.006740e-05,2.006843e-05,2.006842e-05,2.006638e-05,2.006623e-05,2.006103e-05,2.005906e-05,2.005301e-05,2.004691e-05,2.004233e-05,2.003029e-05,2.002915e-05,2.001363e-05,2.000957e-05,1.999591e-05,1.998507e-05,1.997612e-05,1.995709e-05,1.995438e-05,1.993082e-05,1.992590e-05,1.990554e-05,1.989176e-05,1.987866e-05,1.985490e-05,1.985026e-05,1.982044e-05,1.981554e-05,1.978929e-05,1.977389e-05,1.975690e-05,1.973014e-05,1.972334e-05,1.968868e-05,1.968445e-05,1.965300e-05,1.963699e-05,1.961636e-05,1.958792e-05,1.957884e-05,1.954047e-05,1.953737e-05,1.950134e-05,1.948548e-05,1.946148e-05,1.943236e-05,1.942095e-05,1.937979e-05,1.937814e-05,1.933806e-05,1.932291e-05,1.929580e-05,1.926678e-05,1.925305e-05,1.920985e-05,1.915220e-05,1.909391e-05,1.903506e-05,1.897573e-05,1.891597e-05,1.885586e-05,1.879545e-05,1.873480e-05,1.867396e-05,1.861298e-05,1.855191e-05,1.849079e-05,1.842966e-05,1.836856e-05,1.830752e-05,1.824659e-05,1.818578e-05,1.812513e-05,1.806468e-05,1.800443e-05,1.794442e-05,1.788468e-05,1.782521e-05,1.776605e-05
0.000000e+00,3.546357e-12,8.080836e-12,2.747300e-11,6.188772e-11,8.986073e-11,2.020646e-10,2.080955e-10,4.012301e-10,4.717040e-10,6.918507e-10,9.238502e-10,1.106169e-09,1.618682e-09,1.669705e-09,2.395615e-09,2.593182e-09,3.270885e-09,3.812593e-09,4.257390e-09,5.181502e-09,5.309958e-09,6.391388e-09,6.608682e-09,7.475776e-09,8.034874e-09,8.545947e-09,9.425277e-09,9.590258e-09,1.060041e-08,1.075843e-08,1.157018e-08,1.201988e-08,1.249480e-08,1.319951e-08,1.337064e-08,1.419507e-08,1.429047e-08,1.496647e-08,1.528884e-08,1.568400e-08,1.619324e-08,1.634762e-08,1.695798e-08,1.700454e-08,1.751632e-08,1.772546e-08,1.802437e-08,1.836020e-08,1.848424e-08,1.889831e-08,1.891396e-08,1.926916e-08,1.939260e-08,1.959947e-08,1.980231e-08,1.989195e-08,2.014928e-08,2.037413e-08,2.043964e-08,2.056907e-08,2.067928e-08,2.073656e-08,2.087370e-08,2.087894e-08,2.099836e-08,2.102796e-08,2.109686e-08,2.114672e-08,2.117635e-08,2.123417e-08,2.123855e-08,2.128506e-08,2.129406e-08,2.131736e-08,2.132975e-08,2.133679e-08,2.134422e-08,2.134458e-08,2.134185e-08,2.134013e-08,2.132962e-08,2.131981e-08,2.130881e-08,2.128532e-08,2.128026e-08,2.124475e-08,2.123847e-08,2.120296e-08,2.118086e-08,2.115552e-08,2.111390e-08,2.110302e-08,2.104597e-08,2.103884e-08,2.098484e-08,2.095677e-08,2.092007e-08,2.086865e-08,2.085205e-08,2.078114e-08,2.077535e-08,2.070765e-08,2.067761e-08,2.063189e-08,2.057610e-08,2.055414e-08,2.047462e-08,2.047141e-08,2.039358e-08,2.036407e-08,2.031121e-08,2.025455e-08,2.022771e-08,2.014325e-08,2.005799e-08,2.003056e-08,1.997207e-08,1.991680e-08,1.988562e-08,1.980225e-08,1.979877e-08,1.971164e-08,1.968720e-08,1.962431e-08,1.957186e-08,1.953689e-08,1.945646e-08,1.944946e-08,1.936211e-08,1.934117e-08,1.927490e-08,1.922616e-08,1.918791e-08,1.911158e-08,1.910119e-08,1.901480e-08,1.899757e-08,1.892880e-08,1.888424e-08,1.884322e-08,1.877170e-08,1.875812e-08,1.867353e-08,1.866005e-08,1.858950e-08,1.854936e-08,1.850604e-08,1.843972e-08,1.842320e-08,1.834100e-08,1.833118e-08,1.825947e-08,1.822381e-08,1.817862e-08,1.811766e-08,1.809849e-08,1.801908e-08,1.801276e-08,1.794042e-08,1.790916e-08,1.786251e-08,1.780690e-08,1.778538e-08,1.770903e-08,1.770599e-08,1.763347e-08,1.760647e-08,1.755872e-08,1.750835e-08,1.748478e-08,1.741165e-08,1.731638e-08,1.722255e-08,1.713017e-08,1.703924e-08,1.694976e-08,1.686173e-08,1.677516e-08,1.669003e-08,1.660634e-08,1.652409e-08,1.644326e-08,1.636385e-08,1.628584e-08,1.620922e-08,1.613398e-08,1.606011e-08,1.598759e-08,1.591641e-08,1.584656e-08,1.577801e-08,1.571075e-08,1.564476e-08,1.558003e-08,1.551654e-08
0.000000e+00,8.426590e-11,2.192577e-10,8.656399e-10,2.100164e-09,3.136345e-09,7.393099e-09,7.623714e-09,1.499643e-08,1.766324e-08,2.587359e-08,3.432351e-08,4.083173e-08,5.865904e-08,6.040679e-08,8.508506e-08,9.181477e-08,1.152733e-07,1.346932e-07,1.512391e-07,1.877149e-07,1.930334e-07,2.404460e-07,2.505675e-07,2.930426e-07,3.222565e-07,3.502585e-07,4.014458e-07,4.114869e-07,4.761241e-07,4.867431e-07,5.435862e-07,5.768056e-07,6.133113e-07,6.703575e-07,6.847601e-07,7.574175e-07,7.661941e-07,8.307957e-07,8.631916e-07,9.044380e-07,9.603219e-07,9.779226e-07,1.050865e-06,1.056667e-06,1.122922e-06,1.151427e-06,1.193789e-06,1.243928e-06,1.263204e-06,1.330942e-06,1.333614e-06,1.396818e-06,1.420047e-06,1.460680e-06,1.502893e-06,1.522408e-06,1.581913e-06,1.639130e-06,1.656949e-06,1.694019e-06,1.727915e-06,1.746558e-06,1.794782e-06,1.796744e-06,1.844588e-06,1.857567e-06,1.890112e-06,1.916327e-06,1.933350e-06,1.971148e-06,1.974346e-06,2.013147e-06,2.022139e-06,2.049809e-06,2.069426e-06,2.084390e-06,2.113149e-06,2.116952e-06,2.147560e-06,2.153453e-06,2.176279e-06,2.190490e-06,2.203177e-06,2.224413e-06,2.228321e-06,2.251776e-06,2.255377e-06,2.273611e-06,2.283535e-06,2.293890e-06,2.309037e-06,2.312678e-06,2.330040e-06,2.332030e-06,2.346036e-06,2.352657e-06,2.360727e-06,2.371055e-06,2.374171e-06,2.386426e-06,2.387357e-06,2.397548e-06,2.401691e-06,2.407588e-06,2.414178e-06,2.416600e-06,2.424634e-06,2.424936e-06,2.431738e-06,2.434076e-06,2.437958e-06,2.441705e-06,2.443339e-06,2.447924e-06,2.451756e-06,2.452829e-06,2.454873e-06,2.456511e-06,2.457315e-06,2.459057e-06,2.459117e-06,2.460316e-06,2.460548e-06,2.460944e-06,2.461062e-06,2.461036e-06,2.460672e-06,2.460620e-06,2.459728e-06,2.459447e-06,2.458388e-06,2.457452e-06,2.456627e-06,2.454749e-06,2.454470e-06,2.451944e-06,2.451396e-06,2.449071e-06,2.447447e-06,2.445874e-06,2.442954e-06,2.442374e-06,2.438594e-06,2.437964e-06,2.434551e-06,2.432523e-06,2.430266e-06,2.426674e-06,2.425755e-06,2.421035e-06,2.420456e-06,2.416124e-06,2.413907e-06,2.411037e-06,2.407061e-06,2.405787e-06,2.400389e-06,2.399951e-06,2.394857e-06,2.392609e-06,2.389202e-06,2.385062e-06,2.383438e-06,2.377574e-06,2.377337e-06,2.371622e-06,2.369460e-06,2.365592e-06,2.361453e-06,2.359494e-06,2.353337e-06,2.345134e-06,2.336861e-06,2.328536e-06,2.320175e-06,2.311793e-06,2.303403e-06,2.295018e-06,2.286650e-06,2.278309e-06,2.270006e-06,2.261750e-06,2.253548e-06,2.245408e-06,2.237337e-06,2.229342e-06,2.221427e-06,2.213599e-06,2.205861e-06,2.198217e-06,2.190672e-06,2.183227e-06,2.175887e-06,2.168654e-06,2.161529e-06
0.000000e+00,1.433884e-10,5.494817e-10,3.996396e-09,1.470188e-08,2.657884e-08,9.437239e-08,9.875141e-08,2.677779e-07,3.407076e-07,5.971555e-07,9.043629e-07,1.166954e-06,1.985835e-06,2.073185e-06,3.421045e-06,3.821529e-06,5.307903e-06,6.627370e-06,7.803051e-06,1.052699e-05,1.093684e-05,1.470196e-05,1.552791e-05,1.906148e-05,2.154486e-05,2.395801e-05,2.843516e-05,2.932161e-05,3.507564e-05,3.602723e-05,4.114087e-05,4.413948e-05,4.743839e-05,5.259206e-05,5.389160e-05,6.042773e-05,6.121435e-05,6.697894e-05,6.985006e-05,7.348324e-05,7.836068e-05,7.988504e-05,8.613558e-05,8.662779e-05,9.219314e-05,9.455412e-05,9.802298e-05,1.020635e-04,1.035972e-04,1.088943e-04,1.091002e-04,1.138988e-04,1.156268e-04,1.186008e-04,1.216225e-04,1.229951e-04,1.270806e-04,1.308602e-04,1.320059e-04,1.343393e-04,1.364120e-04,1.375262e-04,1.403197e-04,1.404306e-04,1.430641e-04,1.437546e-04,1.454390e-04,1.467454e-04,1.475686e-04,1.493228e-04,1.494664e-04,1.511459e-04,1.515181e-04,1.526209e-04,1.533625e-04,1.539047e-04,1.548866e-04,1.550103e-04,1.559502e-04,1.561194e-04,1.567365e-04,1.570886e-04,1.573807e-04,1.578200e-04,1.578937e-04,1.582858e-04,1.583380e-04,1.585666e-04,1.586646e-04,1.587452e-04,1.588203e-04,1.588302e-04,1.588294e-04,1.588239e-04,1.587503e-04,1.586925e-04,1.585997e-04,1.584414e-04,1.583840e-04,1.581091e-04,1.580847e-04,1.577805e-04,1.576352e-04,1.574032e-04,1.571042e-04,1.569821e-04,1.565213e-04,1.565021e-04,1.560248e-04,1.558381e-04,1.554965e-04,1.551208e-04,1.549397e-04,1.543575e-04,1.537528e-04,1.535550e-04,1.531283e-04,1.527193e-04,1.524864e-04,1.518560e-04,1.518294e-04,1.511595e-04,1.509698e-04,1.504784e-04,1.500651e-04,1.497879e-04,1.491459e-04,1.490898e-04,1.483854e-04,1.482155e-04,1.476761e-04,1.472772e-04,1.469632e-04,1.463337e-04,1.462477e-04,1.455309e-04,1.453874e-04,1.448135e-04,1.444406e-04,1.440966e-04,1.434953e-04,1.433809e-04,1.426671e-04,1.425531e-04,1.419559e-04,1.416156e-04,1.412479e-04,1.406842e-04,1.405437e-04,1.398438e-04,1.397601e-04,1.391486e-04,1.388444e-04,1.384586e-04,1.379379e-04,1.377741e-04,1.370955e-04,1.370414e-04,1.364230e-04,1.361558e-04,1.357569e-04,1.352815e-04,1.350976e-04,1.344451e-04,1.344191e-04,1.337996e-04,1.335690e-04,1.331614e-04,1.327317e-04,1.325306e-04,1.319073e-04,1.310962e-04,1.302986e-04,1.295146e-04,1.287443e-04,1.279878e-04,1.272452e-04,1.265164e-04,1.258014e-04,1.251002e-04,1.244127e-04,1.237389e-04,1.230785e-04,1.224317e-04,1.217981e-04,1.211776e-04,1.205702e-04,1.199756e-04,1.193936e-04,1.188242e-04,1.182671e-04,1.177221e-04,1.171891e-04,1.166678e-04,1.161581e-04
0.000000e+00,1.569689e-10,5.502872e-10,3.360945e-09,1.066489e-08,1.785562e-08,5.270278e-08,5.475697e-08,1.259239e-07,1.536373e-07,2.435347e-07,3.416945e-07,4.204231e-07,6.472858e-07,6.702913e-07,1.006809e-06,1.101762e-06,1.440386e-06,1.726793e-06,1.972997e-06,2.516422e-06,2.595293e-06,3.289638e-06,3.435384e-06,4.036157e-06,4.438910e-06,4.817011e-06,5.488788e-06,5.617736e-06,6.426860e-06,6.556455e-06,7.235116e-06,7.620457e-06,8.034782e-06,8.663875e-06,8.819277e-06,9.582969e-06,9.672979e-06,1.032110e-05,1.063674e-05,1.102974e-05,1.154666e-05,1.170580e-05,1.234695e-05,1.239668e-05,1.295161e-05,1.318303e-05,1.351886e-05,1.390392e-05,1.404839e-05,1.454038e-05,1.455929e-05,1.499545e-05,1.515041e-05,1.541456e-05,1.567962e-05,1.579893e-05,1.614999e-05,1.646933e-05,1.656508e-05,1.675858e-05,1.692870e-05,1.701946e-05,1.724481e-05,1.725369e-05,1.746296e-05,1.751731e-05,1.764893e-05,1.775001e-05,1.781323e-05,1.794656e-05,1.795739e-05,1.808288e-05,1.811038e-05,1.819110e-05,1.824466e-05,1.828337e-05,1.835236e-05,1.836092e-05,1.842492e-05,1.843619e-05,1.847645e-05,1.849865e-05,1.851651e-05,1.854199e-05,1.854604e-05,1.856591e-05,1.856825e-05,1.857693e-05,1.857929e-05,1.857983e-05,1.857677e-05,1.857530e-05,1.856396e-05,1.856217e-05,1.854640e-05,1.853684e-05,1.852317e-05,1.850205e-05,1.849479e-05,1.846173e-05,1.845890e-05,1.842440e-05,1.840837e-05,1.838321e-05,1.835136e-05,1.833852e-05,1.829067e-05,1.828869e-05,1.823996e-05,1.822106e-05,1.818667e-05,1.814910e-05,1.813107e-05,1.807340e-05,1.801388e-05,1.799447e-05,1.795271e-05,1.791280e-05,1.789011e-05,1.782880e-05,1.782622e-05,1.776123e-05,1.774285e-05,1.769527e-05,1.765530e-05,1.762849e-05,1.756644e-05,1.756102e-05,1.749297e-05,1.747657e-05,1.742446e-05,1.738592e-05,1.735557e-05,1.729473e-05,1.728642e-05,1.721707e-05,1.720319e-05,1.714762e-05,1.711149e-05,1.707813e-05,1.701979e-05,1.700868e-05,1.693932e-05,1.692823e-05,1.687010e-05,1.683695e-05,1.680110e-05,1.674607e-05,1.673234e-05,1.666388e-05,1.665568e-05,1.659575e-05,1.656589e-05,1.652800e-05,1.647678e-05,1.646066e-05,1.639375e-05,1.638842e-05,1.632732e-05,1.630088e-05,1.626138e-05,1.621422e-05,1.619596e-05,1.613108e-05,1.612849e-05,1.606675e-05,1.604374e-05,1.600300e-05,1.595999e-05,1.593985e-05,1.587730e-05,1.579569e-05,1.571518e-05,1.563580e-05,1.555756e-05,1.548048e-05,1.540457e-05,1.532983e-05,1.525628e-05,1.518392e-05,1.511275e-05,1.504277e-05,1.497398e-05,1.490637e-05,1.483994e-05,1.477469e-05,1.471061e-05,1.464768e-05,1.458591e-05,1.452528e-05,1.446578e-05,1.440739e-05,1.435012e-05,1.429394e-05,1.423884e-05
0.000000e+00,1.079787e-10,2.607949e-10,9.496032e-10,2.223119e-09,3.282648e-09,7.655053e-09,7.894157e-09,1.570262e-08,1.860991e-08,2.782812e-08,3.767797e-08,4.544731e-08,6.708022e-08,6.920369e-08,9.873373e-08,1.065800e-07,1.331291e-07,1.541956e-07,1.715563e-07,2.082117e-07,2.133959e-07,2.581642e-07,2.674313e-07,3.054331e-07,3.308628e-07,3.547853e-07,3.975420e-07,4.057979e-07,4.580411e-07,4.664855e-07,5.110854e-07,5.367073e-07,5.645111e-07,6.072573e-07,6.179193e-07,6.709405e-07,6.772608e-07,7.232411e-07,7.459479e-07,7.745278e-07,8.126717e-07,8.245498e-07,8.730986e-07,8.769136e-07,9.200067e-07,9.382803e-07,9.651445e-07,9.964931e-07,1.008417e-06,1.049761e-06,1.051374e-06,1.089139e-06,1.102830e-06,1.126536e-06,1.150837e-06,1.161959e-06,1.195427e-06,1.226975e-06,1.236671e-06,1.256646e-06,1.274674e-06,1.284492e-06,1.309561e-06,1.310571e-06,1.334943e-06,1.341470e-06,1.357673e-06,1.370550e-06,1.378827e-06,1.396953e-06,1.398471e-06,1.416670e-06,1.420831e-06,1.433492e-06,1.442334e-06,1.449000e-06,1.461611e-06,1.463258e-06,1.476326e-06,1.478803e-06,1.488265e-06,1.494047e-06,1.499133e-06,1.507473e-06,1.508983e-06,1.517869e-06,1.519205e-06,1.525843e-06,1.529361e-06,1.532953e-06,1.538050e-06,1.539245e-06,1.544765e-06,1.545378e-06,1.549555e-06,1.551442e-06,1.553655e-06,1.556334e-06,1.557104e-06,1.559940e-06,1.560141e-06,1.562196e-06,1.562943e-06,1.563906e-06,1.564817e-06,1.565102e-06,1.565814e-06,1.565833e-06,1.566071e-06,1.566057e-06,1.565899e-06,1.565551e-06,1.565325e-06,1.564372e-06,1.563065e-06,1.562575e-06,1.561424e-06,1.560209e-06,1.559472e-06,1.557322e-06,1.557227e-06,1.554708e-06,1.553957e-06,1.551934e-06,1.550154e-06,1.548921e-06,1.545952e-06,1.545685e-06,1.542241e-06,1.541385e-06,1.538604e-06,1.536487e-06,1.534786e-06,1.531289e-06,1.530802e-06,1.526663e-06,1.525817e-06,1.522380e-06,1.520100e-06,1.517965e-06,1.514162e-06,1.513428e-06,1.508779e-06,1.508025e-06,1.504026e-06,1.501711e-06,1.499179e-06,1.495239e-06,1.494246e-06,1.489235e-06,1.488629e-06,1.484153e-06,1.481896e-06,1.479007e-06,1.475058e-06,1.473804e-06,1.468550e-06,1.468128e-06,1.463251e-06,1.461120e-06,1.457913e-06,1.454048e-06,1.452540e-06,1.447139e-06,1.446922e-06,1.441713e-06,1.439754e-06,1.436266e-06,1.432554e-06,1.430804e-06,1.425330e-06,1.418093e-06,1.410849e-06,1.403606e-06,1.396371e-06,1.389150e-06,1.381949e-06,1.374774e-06,1.367629e-06,1.360518e-06,1.353446e-06,1.346417e-06,1.339434e-06,1.332501e-06,1.325619e-06,1.318792e-06,1.312022e-06,1.305312e-06,1.298662e-06,1.292076e-06,1.285553e-06,1.279097e-06,1.272707e-06,1.266386e-06,1.260133e-06
0.000000e+00,9.960452e-11,3.256981e-10,1.761020e-09,5.113593e-09,8.215283e-09,2.221866e-08,2.301400e-08,4.955544e-08,5.953840e-08,9.111272e-08,1.246076e-07,1.509436e-07,2.249823e-07,2.323705e-07,3.387368e-07,3.683279e-07,4.730762e-07,5.613360e-07,6.373777e-07,8.069008e-07,8.317709e-07,1.054402e-06,1.102057e-06,1.302201e-06,1.439881e-06,1.571810e-06,1.812835e-06,1.860097e-06,2.164258e-06,2.214224e-06,2.481745e-06,2.638167e-06,2.810171e-06,3.079248e-06,3.147249e-06,3.490763e-06,3.532315e-06,3.838570e-06,3.992432e-06,4.188613e-06,4.454934e-06,4.538938e-06,4.887724e-06,4.915509e-06,5.233294e-06,5.370278e-06,5.574137e-06,5.815858e-06,5.908913e-06,6.236456e-06,6.249393e-06,6.555779e-06,6.668560e-06,6.866061e-06,7.071548e-06,7.166646e-06,7.457025e-06,7.736828e-06,7.824088e-06,8.005809e-06,8.172212e-06,8.263834e-06,8.501190e-06,8.510861e-06,8.746933e-06,8.811085e-06,8.972165e-06,9.102170e-06,9.186728e-06,9.374890e-06,9.390841e-06,9.584762e-06,9.629818e-06,9.768781e-06,9.867620e-06,9.943207e-06,1.008903e-05,1.010837e-05,1.026460e-05,1.029481e-05,1.041225e-05,1.048575e-05,1.055166e-05,1.066266e-05,1.068318e-05,1.080715e-05,1.082631e-05,1.092390e-05,1.097748e-05,1.103377e-05,1.111692e-05,1.113707e-05,1.123411e-05,1.124535e-05,1.132519e-05,1.136346e-05,1.141061e-05,1.147191e-05,1.149064e-05,1.156554e-05,1.157132e-05,1.163558e-05,1.166229e-05,1.170099e-05,1.174536e-05,1.176201e-05,1.181887e-05,1.182106e-05,1.187177e-05,1.188988e-05,1.192091e-05,1.195228e-05,1.196649e-05,1.200870e-05,1.204770e-05,1.205953e-05,1.208366e-05,1.210515e-05,1.211673e-05,1.214591e-05,1.214707e-05,1.217482e-05,1.218214e-05,1.220011e-05,1.221415e-05,1.222306e-05,1.224223e-05,1.224381e-05,1.226246e-05,1.226663e-05,1.227912e-05,1.228762e-05,1.229389e-05,1.230542e-05,1.230689e-05,1.231818e-05,1.232025e-05,1.232787e-05,1.233231e-05,1.233605e-05,1.234179e-05,1.234277e-05,1.234814e-05,1.234888e-05,1.235221e-05,1.235372e-05,1.235505e-05,1.235649e-05,1.235674e-05,1.235732e-05,1.235732e-05,1.235686e-05,1.235635e-05,1.235542e-05,1.235370e-05,1.235305e-05,1.234979e-05,1.234950e-05,1.234570e-05,1.234384e-05,1.234082e-05,1.233685e-05,1.233520e-05,1.232887e-05,1.232861e-05,1.232188e-05,1.231921e-05,1.231426e-05,1.230874e-05,1.230605e-05,1.229728e-05,1.228490e-05,1.227168e-05,1.225767e-05,1.224295e-05,1.222756e-05,1.221157e-05,1.219502e-05,1.217797e-05,1.216045e-05,1.214251e-05,1.212419e-05,1.210552e-05,1.208655e-05,1.206730e-05,1.204781e-05,1.202810e-05,1.200821e-05,1.198815e-05,1.196795e-05,1.194764e-05,1.192724e-05,1.190676e-05,1.188623e-05,1.186566e-05
0.000000e+00,1.456502e-11,3.353974e-11,1.159280e-10,2.639874e-10,3.849498e-10,8.698153e-10,8.957661e-10,1.716889e-09,2.011211e-09,2.912191e-09,3.834042e-09,4.541533e-09,6.471976e-09,6.660783e-09,9.320976e-09,1.004501e-08,1.256636e-08,1.465265e-08,1.643107e-08,2.035998e-08,2.093424e-08,2.607396e-08,2.717629e-08,3.182156e-08,3.503252e-08,3.811952e-08,4.377569e-08,4.488593e-08,5.202498e-08,5.319522e-08,5.943901e-08,6.306833e-08,6.703707e-08,7.319363e-08,7.473879e-08,8.247494e-08,8.340270e-08,9.018650e-08,9.355855e-08,9.782321e-08,1.035506e-07,1.053425e-07,1.127084e-07,1.132901e-07,1.198908e-07,1.227067e-07,1.268651e-07,1.317464e-07,1.336114e-07,1.401139e-07,1.403688e-07,1.463611e-07,1.485459e-07,1.523445e-07,1.562598e-07,1.580589e-07,1.635015e-07,1.686718e-07,1.702690e-07,1.735712e-07,1.765660e-07,1.782028e-07,1.824010e-07,1.825707e-07,1.866804e-07,1.877857e-07,1.905380e-07,1.927345e-07,1.941505e-07,1.972637e-07,1.975251e-07,2.006696e-07,2.013909e-07,2.035919e-07,2.051344e-07,2.063003e-07,2.085130e-07,2.088027e-07,2.111075e-07,2.115455e-07,2.132228e-07,2.142505e-07,2.151566e-07,2.166465e-07,2.169168e-07,2.185113e-07,2.187515e-07,2.199476e-07,2.205830e-07,2.212330e-07,2.221577e-07,2.223749e-07,2.233801e-07,2.234919e-07,2.242554e-07,2.246011e-07,2.250074e-07,2.255002e-07,2.256423e-07,2.261662e-07,2.262035e-07,2.265849e-07,2.267243e-07,2.269042e-07,2.270755e-07,2.271294e-07,2.272656e-07,2.272693e-07,2.273180e-07,2.273173e-07,2.272913e-07,2.272303e-07,2.271900e-07,2.270186e-07,2.267813e-07,2.266921e-07,2.264821e-07,2.262599e-07,2.261248e-07,2.257306e-07,2.257131e-07,2.252506e-07,2.251124e-07,2.247405e-07,2.244130e-07,2.241861e-07,2.236395e-07,2.235904e-07,2.229564e-07,2.227988e-07,2.222867e-07,2.218971e-07,2.215841e-07,2.209405e-07,2.208510e-07,2.200898e-07,2.199344e-07,2.193028e-07,2.188841e-07,2.184922e-07,2.177945e-07,2.176600e-07,2.168081e-07,2.166701e-07,2.159384e-07,2.155151e-07,2.150526e-07,2.143336e-07,2.141525e-07,2.132395e-07,2.131292e-07,2.123152e-07,2.119053e-07,2.113810e-07,2.106652e-07,2.104382e-07,2.094880e-07,2.094117e-07,2.085317e-07,2.081478e-07,2.075704e-07,2.068758e-07,2.066051e-07,2.056369e-07,2.055981e-07,2.046667e-07,2.043170e-07,2.036953e-07,2.030345e-07,2.027236e-07,2.017524e-07,2.004724e-07,1.991960e-07,1.979248e-07,1.966600e-07,1.954029e-07,1.941545e-07,1.929158e-07,1.916877e-07,1.904710e-07,1.892665e-07,1.880748e-07,1.868966e-07,1.857322e-07,1.845822e-07,1.834470e-07,1.823269e-07,1.812222e-07,1.801332e-07,1.790600e-07,1.780028e-07,1.769618e-07,1.759371e-07,1.749286e-07,1.739365e-07
0.000000e+00,8.147969e-11,3.136302e-10,2.303314e-09,8.556275e-09,1.555890e-08,5.620055e-08,5.885384e-08,1.629818e-07,2.087152e-07,3.722719e-07,5.722107e-07,7.453277e-07,1.290900e-06,1.349262e-06,2.246564e-06,2.511228e-06,3.484822e-06,4.339152e-06,5.094415e-06,6.830545e-06,7.090734e-06,9.477356e-06,1.000116e-05,1.224868e-05,1.383775e-05,1.539174e-05,1.830537e-05,1.888743e-05,2.271132e-05,2.335171e-05,2.683427e-05,2.890992e-05,3.122312e-05,3.490121e-05,3.584137e-05,4.065003e-05,4.123795e-05,4.560847e-05,4.782701e-05,5.067542e-05,5.457359e-05,5.580984e-05,6.097183e-05,6.138483e-05,6.612343e-05,6.817312e-05,7.122922e-05,7.485875e-05,7.625689e-05,8.117760e-05,8.137183e-05,8.596616e-05,8.765345e-05,9.060117e-05,9.365610e-05,9.506496e-05,9.934349e-05,1.034261e-04,1.046899e-04,1.073054e-04,1.096792e-04,1.109767e-04,1.143035e-04,1.144379e-04,1.176893e-04,1.185623e-04,1.207328e-04,1.224606e-04,1.235721e-04,1.260081e-04,1.262121e-04,1.286589e-04,1.292181e-04,1.309192e-04,1.321063e-04,1.330005e-04,1.346901e-04,1.349105e-04,1.366573e-04,1.369878e-04,1.382491e-04,1.390183e-04,1.396941e-04,1.408003e-04,1.410003e-04,1.421758e-04,1.423522e-04,1.432282e-04,1.436919e-04,1.441651e-04,1.448363e-04,1.449937e-04,1.457208e-04,1.458015e-04,1.463530e-04,1.466028e-04,1.468966e-04,1.472541e-04,1.473575e-04,1.477412e-04,1.477688e-04,1.480532e-04,1.481589e-04,1.482982e-04,1.484358e-04,1.484810e-04,1.486060e-04,1.486099e-04,1.486772e-04,1.486905e-04,1.486986e-04,1.486864e-04,1.486736e-04,1.486057e-04,1.484981e-04,1.484557e-04,1.483535e-04,1.482430e-04,1.481749e-04,1.479737e-04,1.479647e-04,1.477254e-04,1.476534e-04,1.474591e-04,1.472873e-04,1.471680e-04,1.468800e-04,1.468540e-04,1.465190e-04,1.464356e-04,1.461646e-04,1.459582e-04,1.457924e-04,1.454513e-04,1.454039e-04,1.450004e-04,1.449181e-04,1.445834e-04,1.443615e-04,1.441539e-04,1.437843e-04,1.437131e-04,1.432621e-04,1.431890e-04,1.428018e-04,1.425778e-04,1.423332e-04,1.419528e-04,1.418571e-04,1.413743e-04,1.413160e-04,1.408856e-04,1.406689e-04,1.403918e-04,1.400134e-04,1.398934e-04,1.393910e-04,1.393507e-04,1.388853e-04,1.386822e-04,1.383768e-04,1.380092e-04,1.378659e-04,1.373533e-04,1.373327e-04,1.368392e-04,1.366539e-04,1.363242e-04,1.359736e-04,1.358086e-04,1.352927e-04,1.346120e-04,1.339322e-04,1.332540e-04,1.325779e-04,1.319045e-04,1.312344e-04,1.305680e-04,1.299056e-04,1.292477e-04,1.285946e-04,1.279466e-04,1.273041e-04,1.266671e-04,1.260361e-04,1.254111e-04,1.247924e-04,1.241801e-04,1.235744e-04,1.229754e-04,1.223831e-04,1.217978e-04,1.212194e-04,1.206480e-04,1.200837e-04
0.000000e+00,2.706688e-10,6.711533e-10,2.517020e-09,5.983490e-09,8.891243e-09,2.100237e-08,2.166811e-08,4.352137e-08,5.169790e-08,7.773796e-08,1.058047e-07,1.282042e-07,1.923928e-07,1.988662e-07,2.923368e-07,3.181915e-07,4.081689e-07,4.815154e-07,5.426905e-07,6.725653e-07,6.909194e-07,8.484185e-07,8.807191e-07,1.011853e-06,1.098352e-06,1.178796e-06,1.320389e-06,1.347417e-06,1.516247e-06,1.543194e-06,1.684059e-06,1.763932e-06,1.849800e-06,1.980289e-06,2.012565e-06,2.171582e-06,2.190380e-06,2.326208e-06,2.392714e-06,2.475922e-06,2.586163e-06,2.620314e-06,2.759079e-06,2.769930e-06,2.892001e-06,2.943502e-06,3.018950e-06,3.106620e-06,3.139868e-06,3.254756e-06,3.259226e-06,3.363663e-06,3.401419e-06,3.466665e-06,3.533392e-06,3.563879e-06,3.655445e-06,3.741519e-06,3.767931e-06,3.822274e-06,3.871248e-06,3.897890e-06,3.965818e-06,3.968551e-06,4.034447e-06,4.052069e-06,4.095764e-06,4.130435e-06,4.152692e-06,4.201349e-06,4.205416e-06,4.254120e-06,4.265231e-06,4.298983e-06,4.322493e-06,4.340178e-06,4.373530e-06,4.377875e-06,4.412238e-06,4.418725e-06,4.443427e-06,4.458441e-06,4.471594e-06,4.493029e-06,4.496889e-06,4.519453e-06,4.522819e-06,4.539423e-06,4.548126e-06,4.556931e-06,4.569249e-06,4.572102e-06,4.585059e-06,4.586470e-06,4.595916e-06,4.600057e-06,4.604785e-06,4.610262e-06,4.611773e-06,4.616980e-06,4.617323e-06,4.620504e-06,4.621464e-06,4.622438e-06,4.622897e-06,4.622871e-06,4.621888e-06,4.621820e-06,4.619568e-06,4.618421e-06,4.615990e-06,4.612876e-06,4.611227e-06,4.605349e-06,4.598423e-06,4.595996e-06,4.590513e-06,4.584962e-06,4.581679e-06,4.572383e-06,4.571979e-06,4.561469e-06,4.558388e-06,4.550201e-06,4.543096e-06,4.538224e-06,4.526620e-06,4.525586e-06,4.512333e-06,4.509065e-06,4.498506e-06,4.490528e-06,4.484147e-06,4.471102e-06,4.469295e-06,4.453987e-06,4.450873e-06,4.438257e-06,4.429921e-06,4.422138e-06,4.408322e-06,4.405663e-06,4.388861e-06,4.386144e-06,4.371760e-06,4.363453e-06,4.354387e-06,4.340311e-06,4.336769e-06,4.318929e-06,4.316774e-06,4.300890e-06,4.292896e-06,4.282674e-06,4.268724e-06,4.264301e-06,4.245792e-06,4.244306e-06,4.227164e-06,4.219683e-06,4.208434e-06,4.194896e-06,4.189621e-06,4.170738e-06,4.169981e-06,4.151800e-06,4.144972e-06,4.132823e-06,4.119902e-06,4.113818e-06,4.094798e-06,4.069689e-06,4.044600e-06,4.019553e-06,3.994570e-06,3.969672e-06,3.944875e-06,3.920196e-06,3.895652e-06,3.871255e-06,3.847020e-06,3.822956e-06,3.799075e-06,3.775387e-06,3.751900e-06,3.728622e-06,3.705560e-06,3.682721e-06,3.660110e-06,3.637731e-06,3.615590e-06,3.593690e-06,3.572034e-06,3.550625e-06,3.529465e-06
0.000000e+00,9.059291e-11,3.493057e-10,2.571776e-09,9.559044e-09,1.737172e-08,6.239874e-08,6.532041e-08,1.785090e-07,2.274354e-07,3.993375e-07,6.045473e-07,7.791866e-07,1.319396e-06,1.376667e-06,2.254080e-06,2.513090e-06,3.470943e-06,4.319686e-06,5.076787e-06,6.839931e-06,7.106701e-06,9.580296e-06,1.012895e-05,1.250272e-05,1.419771e-05,1.586644e-05,1.901979e-05,1.965303e-05,2.383492e-05,2.453844e-05,2.837687e-05,3.067292e-05,3.323740e-05,3.732419e-05,3.837016e-05,4.372531e-05,4.438041e-05,4.925081e-05,5.172238e-05,5.489382e-05,5.922881e-05,6.060194e-05,6.632439e-05,6.678134e-05,7.201305e-05,7.426893e-05,7.762334e-05,8.159138e-05,8.311491e-05,8.845212e-05,8.866194e-05,9.360437e-05,9.540884e-05,9.854620e-05,1.017759e-04,1.032573e-04,1.077221e-04,1.119300e-04,1.132211e-04,1.158744e-04,1.182592e-04,1.195526e-04,1.228340e-04,1.229655e-04,1.261165e-04,1.269526e-04,1.290117e-04,1.306294e-04,1.316593e-04,1.338844e-04,1.340687e-04,1.362508e-04,1.367419e-04,1.382172e-04,1.392286e-04,1.399799e-04,1.413726e-04,1.415515e-04,1.429443e-04,1.432024e-04,1.441705e-04,1.447463e-04,1.452422e-04,1.460315e-04,1.461710e-04,1.469679e-04,1.470839e-04,1.476436e-04,1.479277e-04,1.482078e-04,1.485854e-04,1.486701e-04,1.490391e-04,1.490775e-04,1.493230e-04,1.494228e-04,1.495292e-04,1.496383e-04,1.496647e-04,1.497360e-04,1.497391e-04,1.497489e-04,1.497389e-04,1.497087e-04,1.496497e-04,1.496204e-04,1.494885e-04,1.494823e-04,1.493170e-04,1.492464e-04,1.491098e-04,1.489502e-04,1.488702e-04,1.486014e-04,1.483061e-04,1.482065e-04,1.479870e-04,1.477713e-04,1.476463e-04,1.473011e-04,1.472863e-04,1.469089e-04,1.468004e-04,1.465159e-04,1.462732e-04,1.461088e-04,1.457232e-04,1.456892e-04,1.452585e-04,1.451536e-04,1.448179e-04,1.445672e-04,1.443685e-04,1.439666e-04,1.439114e-04,1.434476e-04,1.433541e-04,1.429779e-04,1.427317e-04,1.425032e-04,1.421012e-04,1.420243e-04,1.415418e-04,1.414643e-04,1.410563e-04,1.408224e-04,1.405685e-04,1.401770e-04,1.400790e-04,1.395881e-04,1.395292e-04,1.390965e-04,1.388800e-04,1.386045e-04,1.382306e-04,1.381125e-04,1.376210e-04,1.375817e-04,1.371302e-04,1.369342e-04,1.366405e-04,1.362888e-04,1.361522e-04,1.356656e-04,1.356461e-04,1.351809e-04,1.350069e-04,1.346983e-04,1.343715e-04,1.342181e-04,1.337405e-04,1.331144e-04,1.324934e-04,1.318781e-04,1.312686e-04,1.306654e-04,1.300685e-04,1.294784e-04,1.288951e-04,1.283188e-04,1.277497e-04,1.271879e-04,1.266336e-04,1.260867e-04,1.255475e-04,1.250159e-04,1.244920e-04,1.239759e-04,1.234675e-04,1.229669e-04,1.224741e-04,1.219890e-04,1.215117e-04,1.210421e-04,1.205802e-04
0.000000e+00,8.021998e-10,2.658508e-09,1.470731e-08,4.342045e-08,7.031092e-08,1.936470e-07,2.007194e-07,4.396074e-07,5.306608e-07,8.221182e-07,1.136207e-06,1.386161e-06,2.100144e-06,2.172146e-06,3.219060e-06,3.512644e-06,4.554397e-06,5.430172e-06,6.179849e-06,7.826577e-06,8.064863e-06,1.015766e-05,1.059622e-05,1.240345e-05,1.361577e-05,1.475537e-05,1.678547e-05,1.717612e-05,1.963590e-05,2.003138e-05,2.211000e-05,2.329631e-05,2.457718e-05,2.653344e-05,2.701896e-05,2.941920e-05,2.970375e-05,3.176401e-05,3.277507e-05,3.404167e-05,3.572177e-05,3.624253e-05,3.835891e-05,3.852438e-05,4.038498e-05,4.116914e-05,4.231657e-05,4.364723e-05,4.415096e-05,4.588671e-05,4.595408e-05,4.752347e-05,4.808855e-05,4.906179e-05,5.005225e-05,5.050295e-05,5.184883e-05,5.310174e-05,5.348347e-05,5.426440e-05,5.496253e-05,5.533983e-05,5.629311e-05,5.633119e-05,5.724176e-05,5.748269e-05,5.807489e-05,5.853902e-05,5.883399e-05,5.946986e-05,5.952241e-05,6.014351e-05,6.028292e-05,6.070054e-05,6.098570e-05,6.119673e-05,6.158552e-05,6.163519e-05,6.201895e-05,6.208940e-05,6.235097e-05,6.250411e-05,6.263407e-05,6.283606e-05,6.287097e-05,6.306431e-05,6.309137e-05,6.321659e-05,6.327582e-05,6.333024e-05,6.339489e-05,6.340755e-05,6.345074e-05,6.345373e-05,6.346191e-05,6.345721e-05,6.344308e-05,6.340989e-05,6.339617e-05,6.332300e-05,6.331606e-05,6.322531e-05,6.317974e-05,6.310475e-05,6.300468e-05,6.296290e-05,6.280125e-05,6.279440e-05,6.262123e-05,6.255218e-05,6.242417e-05,6.228109e-05,6.221135e-05,6.198398e-05,6.174321e-05,6.166351e-05,6.149012e-05,6.132215e-05,6.122574e-05,6.096220e-05,6.095103e-05,6.066691e-05,6.058579e-05,6.037426e-05,6.019490e-05,6.007388e-05,5.979137e-05,5.976654e-05,5.945298e-05,5.937688e-05,5.913388e-05,5.895301e-05,5.880988e-05,5.852120e-05,5.848160e-05,5.814959e-05,5.808280e-05,5.781441e-05,5.763902e-05,5.747655e-05,5.719102e-05,5.713648e-05,5.679465e-05,5.673982e-05,5.645148e-05,5.628639e-05,5.610735e-05,5.583160e-05,5.576263e-05,5.541765e-05,5.537626e-05,5.507275e-05,5.492109e-05,5.472820e-05,5.446676e-05,5.438429e-05,5.404128e-05,5.401389e-05,5.369940e-05,5.356302e-05,5.335888e-05,5.311466e-05,5.301991e-05,5.268270e-05,5.266925e-05,5.234741e-05,5.222721e-05,5.201421e-05,5.178890e-05,5.168324e-05,5.135465e-05,5.092475e-05,5.049945e-05,5.007900e-05,4.966358e-05,4.925337e-05,4.884852e-05,4.844916e-05,4.805540e-05,4.766731e-05,4.728499e-05,4.690847e-05,4.653781e-05,4.617302e-05,4.581413e-05,4.546114e-05,4.511404e-05,4.477282e-05,4.443745e-05,4.410790e-05,4.378414e-05,4.346613e-05,4.315380e-05,4.284712e-05,4.254602e-05
0.000000e+00,1.290240e-10,3.129570e-10,1.142781e-09,2.670088e-09,3.931675e-09,9.047104e-09,9.322730e-09,1.811229e-08,2.129063e-08,3.109870e-08,4.124547e-08,4.910222e-08,7.080387e-08,7.294424e-08,1.033340e-07,1.116535e-07,1.406421e-07,1.645197e-07,1.847118e-07,2.286079e-07,2.349333e-07,2.905103e-07,3.021981e-07,3.506577e-07,3.835006e-07,4.146611e-07,4.709250e-07,4.818676e-07,5.516625e-07,5.630302e-07,6.234551e-07,6.584562e-07,6.966726e-07,7.559001e-07,7.707620e-07,8.451955e-07,8.541267e-07,9.194771e-07,9.519934e-07,9.931488e-07,1.048473e-06,1.065794e-06,1.137042e-06,1.142672e-06,1.206572e-06,1.233840e-06,1.274111e-06,1.321376e-06,1.339430e-06,1.402349e-06,1.404813e-06,1.462726e-06,1.483818e-06,1.520459e-06,1.558170e-06,1.575478e-06,1.627746e-06,1.677248e-06,1.692506e-06,1.723994e-06,1.752477e-06,1.768012e-06,1.807742e-06,1.809345e-06,1.848049e-06,1.858423e-06,1.884190e-06,1.904675e-06,1.917842e-06,1.946672e-06,1.949085e-06,1.978004e-06,1.984608e-06,2.004685e-06,2.018682e-06,2.029217e-06,2.049098e-06,2.051689e-06,2.072190e-06,2.076061e-06,2.090808e-06,2.099774e-06,2.107630e-06,2.120436e-06,2.122743e-06,2.136228e-06,2.138240e-06,2.148168e-06,2.153373e-06,2.158641e-06,2.166014e-06,2.167723e-06,2.175488e-06,2.176335e-06,2.182007e-06,2.184498e-06,2.187348e-06,2.190659e-06,2.191575e-06,2.194753e-06,2.194964e-06,2.196942e-06,2.197553e-06,2.198198e-06,2.198556e-06,2.198577e-06,2.198131e-06,2.198097e-06,2.196912e-06,2.196293e-06,2.194966e-06,2.193251e-06,2.192339e-06,2.189076e-06,2.185217e-06,2.183862e-06,2.180801e-06,2.177700e-06,2.175866e-06,2.170674e-06,2.170449e-06,2.164582e-06,2.162863e-06,2.158298e-06,2.154340e-06,2.151627e-06,2.145174e-06,2.144599e-06,2.137241e-06,2.135428e-06,2.129578e-06,2.125163e-06,2.121636e-06,2.114434e-06,2.113437e-06,2.105005e-06,2.103292e-06,2.096360e-06,2.091786e-06,2.087521e-06,2.079960e-06,2.078507e-06,2.069337e-06,2.067856e-06,2.060027e-06,2.055512e-06,2.050592e-06,2.042964e-06,2.041047e-06,2.031407e-06,2.030244e-06,2.021684e-06,2.017384e-06,2.011892e-06,2.004410e-06,2.002041e-06,1.992144e-06,1.991350e-06,1.982209e-06,1.978227e-06,1.972248e-06,1.965064e-06,1.962268e-06,1.952279e-06,1.951880e-06,1.942289e-06,1.938694e-06,1.932306e-06,1.925524e-06,1.922335e-06,1.912384e-06,1.899290e-06,1.886255e-06,1.873289e-06,1.860405e-06,1.847612e-06,1.834918e-06,1.822333e-06,1.809862e-06,1.797512e-06,1.785290e-06,1.773199e-06,1.761245e-06,1.749432e-06,1.737762e-06,1.726239e-06,1.714865e-06,1.703643e-06,1.692573e-06,1.681657e-06,1.670897e-06,1.660292e-06,1.649843e-06,1.639551e-06,1.629415e-06
0.000000e+00,7.653684e-11,1.796672e-10,6.341660e-10,1.459588e-09,2.137883e-09,4.877732e-09,5.025132e-09,9.721714e-09,1.141925e-08,1.665773e-08,2.207867e-08,2.627792e-08,3.788871e-08,3.903506e-08,5.534543e-08,5.982440e-08,7.548902e-08,8.846616e-08,9.949336e-08,1.236182e-07,1.271098e-07,1.579196e-07,1.644241e-07,1.914642e-07,2.098437e-07,2.273136e-07,2.589239e-07,2.650807e-07,3.044126e-07,3.108288e-07,3.449815e-07,3.648025e-07,3.864782e-07,4.201464e-07,4.286101e-07,4.711015e-07,4.762122e-07,5.136953e-07,5.324073e-07,5.561548e-07,5.882014e-07,5.982654e-07,6.398351e-07,6.431321e-07,6.806954e-07,6.968077e-07,7.207015e-07,7.489070e-07,7.597302e-07,7.976792e-07,7.991735e-07,8.344660e-07,8.474118e-07,8.700258e-07,8.934800e-07,9.043096e-07,9.372826e-07,9.689225e-07,9.787635e-07,9.992175e-07,1.017899e-06,1.028165e-06,1.054693e-06,1.055771e-06,1.082048e-06,1.089169e-06,1.107011e-06,1.121368e-06,1.130684e-06,1.151344e-06,1.153091e-06,1.174260e-06,1.179160e-06,1.194222e-06,1.204886e-06,1.213009e-06,1.228597e-06,1.230655e-06,1.247193e-06,1.250371e-06,1.262658e-06,1.270288e-06,1.277086e-06,1.288429e-06,1.290511e-06,1.302969e-06,1.304874e-06,1.314494e-06,1.319704e-06,1.325120e-06,1.332997e-06,1.334882e-06,1.343813e-06,1.344831e-06,1.351946e-06,1.355280e-06,1.359312e-06,1.364417e-06,1.365943e-06,1.371870e-06,1.372314e-06,1.377121e-06,1.379039e-06,1.381727e-06,1.384659e-06,1.385715e-06,1.389112e-06,1.389236e-06,1.391945e-06,1.392832e-06,1.394240e-06,1.395506e-06,1.396022e-06,1.397315e-06,1.398141e-06,1.398311e-06,1.398524e-06,1.398546e-06,1.398485e-06,1.398070e-06,1.398045e-06,1.397225e-06,1.396930e-06,1.396044e-06,1.395170e-06,1.394521e-06,1.392833e-06,1.392674e-06,1.390520e-06,1.389959e-06,1.388076e-06,1.386588e-06,1.385359e-06,1.382755e-06,1.382384e-06,1.379166e-06,1.378495e-06,1.375719e-06,1.373841e-06,1.372058e-06,1.368825e-06,1.368194e-06,1.364142e-06,1.363476e-06,1.359912e-06,1.357823e-06,1.355518e-06,1.351890e-06,1.350969e-06,1.346277e-06,1.345705e-06,1.341452e-06,1.339289e-06,1.336504e-06,1.332666e-06,1.331442e-06,1.326275e-06,1.325857e-06,1.321011e-06,1.318881e-06,1.315660e-06,1.311757e-06,1.310228e-06,1.304723e-06,1.304502e-06,1.299153e-06,1.297133e-06,1.293524e-06,1.289666e-06,1.287842e-06,1.282114e-06,1.274493e-06,1.266813e-06,1.259088e-06,1.251329e-06,1.243545e-06,1.235747e-06,1.227944e-06,1.220144e-06,1.212354e-06,1.204583e-06,1.196837e-06,1.189123e-06,1.181445e-06,1.173809e-06,1.166221e-06,1.158685e-06,1.151204e-06,1.143782e-06,1.136424e-06,1.129132e-06,1.121908e-06,1.114756e-06,1.107678e-06,1.100675e-06
0.000000e+00,1.279847e-10,4.173474e-10,2.241041e-09,6.466678e-09,1.035928e-08,2.791905e-08,2.891888e-08,6.260007e-08,7.545407e-08,1.168264e-07,1.618590e-07,1.979989e-07,3.021038e-07,3.126254e-07,4.643804e-07,5.061702e-07,6.504314e-07,7.663443e-07,8.617023e-07,1.059939e-06,1.087488e-06,1.319219e-06,1.365735e-06,1.551224e-06,1.670739e-06,1.779956e-06,1.967849e-06,2.003104e-06,2.219016e-06,2.252800e-06,2.426393e-06,2.522582e-06,2.624172e-06,2.774899e-06,2.811492e-06,2.987690e-06,3.008063e-06,3.152310e-06,3.221002e-06,3.305098e-06,3.413264e-06,3.446001e-06,3.575145e-06,3.584976e-06,3.692811e-06,3.736752e-06,3.799410e-06,3.869590e-06,3.895449e-06,3.981509e-06,3.984753e-06,4.058215e-06,4.083664e-06,4.126215e-06,4.167815e-06,4.186162e-06,4.238698e-06,4.284446e-06,4.297749e-06,4.323997e-06,4.346316e-06,4.357908e-06,4.385638e-06,4.386698e-06,4.410845e-06,4.416836e-06,4.430791e-06,4.440909e-06,4.446935e-06,4.458745e-06,4.459643e-06,4.469245e-06,4.471121e-06,4.476037e-06,4.478715e-06,4.480288e-06,4.482120e-06,4.482240e-06,4.482109e-06,4.481851e-06,4.480091e-06,4.478354e-06,4.476360e-06,4.472018e-06,4.471074e-06,4.464375e-06,4.463181e-06,4.456391e-06,4.452136e-06,4.447236e-06,4.439141e-06,4.437016e-06,4.425824e-06,4.424420e-06,4.413747e-06,4.408172e-06,4.400861e-06,4.390572e-06,4.387239e-06,4.372943e-06,4.371772e-06,4.358034e-06,4.351911e-06,4.342566e-06,4.331111e-06,4.326589e-06,4.310148e-06,4.309481e-06,4.293285e-06,4.287119e-06,4.276040e-06,4.264113e-06,4.258448e-06,4.240543e-06,4.222355e-06,4.216480e-06,4.203914e-06,4.191991e-06,4.185246e-06,4.167134e-06,4.166376e-06,4.147327e-06,4.141964e-06,4.128120e-06,4.116530e-06,4.108777e-06,4.090877e-06,4.089316e-06,4.069755e-06,4.065047e-06,4.050110e-06,4.039078e-06,4.030397e-06,4.013004e-06,4.010630e-06,3.990823e-06,3.986857e-06,3.970988e-06,3.960667e-06,3.951137e-06,3.934459e-06,3.931283e-06,3.911434e-06,3.908260e-06,3.891602e-06,3.882091e-06,3.871795e-06,3.855973e-06,3.852022e-06,3.832290e-06,3.829926e-06,3.812609e-06,3.803967e-06,3.792984e-06,3.778112e-06,3.773423e-06,3.753932e-06,3.752376e-06,3.734516e-06,3.726772e-06,3.715181e-06,3.701313e-06,3.695932e-06,3.676775e-06,3.676010e-06,3.657712e-06,3.650874e-06,3.638749e-06,3.625913e-06,3.619890e-06,3.601137e-06,3.576553e-06,3.552168e-06,3.527989e-06,3.504020e-06,3.480268e-06,3.456736e-06,3.433429e-06,3.410351e-06,3.387503e-06,3.364889e-06,3.342511e-06,3.320371e-06,3.298470e-06,3.276810e-06,3.255392e-06,3.234215e-06,3.213281e-06,3.192589e-06,3.172141e-06,3.151934e-06,3.131969e-06,3.112245e-06,3.092761e-06,3.073516e-06
0.000000e+00,2.947532e-10,9.474356e-10,4.972544e-09,1.412469e-08,2.245220e-08,5.925531e-08,6.131904e-08,1.291347e-07,1.542209e-07,2.324023e-07,3.137188e-07,3.766506e-07,5.495071e-07,5.664589e-07,8.053440e-07,8.702497e-07,1.095395e-06,1.280269e-06,1.436568e-06,1.776837e-06,1.825935e-06,2.257644e-06,2.348404e-06,2.723983e-06,2.977437e-06,3.216762e-06,3.645397e-06,3.728172e-06,4.251060e-06,4.335346e-06,4.778954e-06,5.032386e-06,5.306026e-06,5.723585e-06,5.827089e-06,6.337605e-06,6.397967e-06,6.833699e-06,7.046559e-06,7.312155e-06,7.662380e-06,7.770401e-06,8.206471e-06,8.240353e-06,8.618958e-06,8.777131e-06,9.006955e-06,9.270869e-06,9.369991e-06,9.707968e-06,9.720967e-06,1.002110e-05,1.012782e-05,1.030984e-05,1.049259e-05,1.057486e-05,1.081697e-05,1.103709e-05,1.110304e-05,1.123622e-05,1.135313e-05,1.141541e-05,1.156967e-05,1.157574e-05,1.171828e-05,1.175514e-05,1.184410e-05,1.191200e-05,1.195425e-05,1.204262e-05,1.204975e-05,1.213158e-05,1.214929e-05,1.220068e-05,1.223416e-05,1.225796e-05,1.229927e-05,1.230428e-05,1.234044e-05,1.234652e-05,1.236721e-05,1.237766e-05,1.238532e-05,1.239433e-05,1.239544e-05,1.239823e-05,1.239803e-05,1.239427e-05,1.239014e-05,1.238412e-05,1.237191e-05,1.236832e-05,1.234734e-05,1.234450e-05,1.232164e-05,1.230895e-05,1.229165e-05,1.226623e-05,1.225776e-05,1.222034e-05,1.221721e-05,1.217973e-05,1.216267e-05,1.213625e-05,1.210333e-05,1.209019e-05,1.204183e-05,1.203985e-05,1.199142e-05,1.197281e-05,1.193919e-05,1.190275e-05,1.188537e-05,1.183015e-05,1.177372e-05,1.175544e-05,1.171626e-05,1.167902e-05,1.165793e-05,1.160123e-05,1.159886e-05,1.153920e-05,1.152240e-05,1.147907e-05,1.144281e-05,1.141858e-05,1.136272e-05,1.135785e-05,1.129697e-05,1.128235e-05,1.123603e-05,1.120191e-05,1.117511e-05,1.112157e-05,1.111428e-05,1.105362e-05,1.104152e-05,1.099319e-05,1.096187e-05,1.093304e-05,1.088277e-05,1.087323e-05,1.081380e-05,1.080433e-05,1.075479e-05,1.072664e-05,1.069626e-05,1.064978e-05,1.063822e-05,1.058071e-05,1.057385e-05,1.052376e-05,1.049889e-05,1.046740e-05,1.042496e-05,1.041164e-05,1.035651e-05,1.035212e-05,1.030201e-05,1.028040e-05,1.024818e-05,1.020984e-05,1.019502e-05,1.014254e-05,1.014045e-05,1.009075e-05,1.007227e-05,1.003965e-05,1.000531e-05,9.989262e-06,9.939580e-06,9.875092e-06,9.811848e-06,9.749849e-06,9.689096e-06,9.629582e-06,9.571303e-06,9.514249e-06,9.458410e-06,9.403776e-06,9.350332e-06,9.298064e-06,9.246958e-06,9.196998e-06,9.148166e-06,9.100444e-06,9.053816e-06,9.008261e-06,8.963762e-06,8.920300e-06,8.877854e-06,8.836405e-06,8.795935e-06,8.756423e-06,8.717849e-06
0.000000e+00,1.009692e-11,2.315359e-11,8.003860e-11,1.834462e-10,2.690719e-10,6.222577e-10,6.415996e-10,1.275706e-09,1.513083e-09,2.270698e-09,3.089907e-09,3.744685e-09,5.616029e-09,5.803756e-09,8.483013e-09,9.213371e-09,1.172545e-08,1.375036e-08,1.543234e-08,1.900646e-08,1.951350e-08,2.389992e-08,2.480898e-08,2.853868e-08,3.103581e-08,3.338602e-08,3.759033e-08,3.840291e-08,4.355294e-08,4.438697e-08,4.880155e-08,5.134619e-08,5.411596e-08,5.839416e-08,5.946548e-08,6.482181e-08,6.546378e-08,7.015933e-08,7.249591e-08,7.545528e-08,7.944003e-08,8.068973e-08,8.584563e-08,8.625426e-08,9.090859e-08,9.290499e-08,9.586660e-08,9.936585e-08,1.007100e-07,1.054310e-07,1.056172e-07,1.100237e-07,1.116448e-07,1.144836e-07,1.174387e-07,1.188074e-07,1.229931e-07,1.270396e-07,1.283050e-07,1.309465e-07,1.333738e-07,1.347142e-07,1.382010e-07,1.383435e-07,1.418358e-07,1.427893e-07,1.451927e-07,1.471427e-07,1.484162e-07,1.512660e-07,1.515086e-07,1.544722e-07,1.551646e-07,1.573096e-07,1.588445e-07,1.600235e-07,1.623118e-07,1.626167e-07,1.650920e-07,1.655731e-07,1.674522e-07,1.686351e-07,1.697004e-07,1.715044e-07,1.718394e-07,1.738721e-07,1.741877e-07,1.758016e-07,1.766919e-07,1.776307e-07,1.790237e-07,1.793624e-07,1.809994e-07,1.811896e-07,1.825447e-07,1.831963e-07,1.840011e-07,1.850502e-07,1.853714e-07,1.866582e-07,1.867576e-07,1.878643e-07,1.883247e-07,1.889923e-07,1.897575e-07,1.900447e-07,1.910242e-07,1.910619e-07,1.919332e-07,1.922437e-07,1.927742e-07,1.933084e-07,1.935495e-07,1.942614e-07,1.949123e-07,1.951081e-07,1.955044e-07,1.958534e-07,1.960398e-07,1.965024e-07,1.965206e-07,1.969490e-07,1.970598e-07,1.973268e-07,1.975301e-07,1.976561e-07,1.979179e-07,1.979388e-07,1.981767e-07,1.982274e-07,1.983717e-07,1.984627e-07,1.985254e-07,1.986279e-07,1.986396e-07,1.987159e-07,1.987268e-07,1.987560e-07,1.987630e-07,1.987613e-07,1.987401e-07,1.987334e-07,1.986738e-07,1.986614e-07,1.985839e-07,1.985304e-07,1.984650e-07,1.983500e-07,1.983186e-07,1.981458e-07,1.981234e-07,1.979479e-07,1.978533e-07,1.977262e-07,1.975425e-07,1.974819e-07,1.972159e-07,1.971937e-07,1.969295e-07,1.968095e-07,1.966238e-07,1.963922e-07,1.962996e-07,1.959581e-07,1.959441e-07,1.956001e-07,1.954674e-07,1.952266e-07,1.949643e-07,1.948386e-07,1.944367e-07,1.938866e-07,1.933159e-07,1.927261e-07,1.921191e-07,1.914963e-07,1.908593e-07,1.902095e-07,1.895482e-07,1.888768e-07,1.881965e-07,1.875083e-07,1.868134e-07,1.861129e-07,1.854077e-07,1.846987e-07,1.839869e-07,1.832729e-07,1.825577e-07,1.818420e-07,1.811263e-07,1.804115e-07,1.796980e-07,1.789865e-07,1.782775e-07
0.000000e+00,2.174905e-11,5.040475e-11,1.757325e-10,4.026654e-10,5.891377e-10,1.343847e-09,1.384530e-09,2.685256e-09,3.157443e-09,4.620783e-09,6.143277e-09,7.326564e-09,1.060158e-08,1.092425e-08,1.547909e-08,1.671503e-08,2.098440e-08,2.446716e-08,2.739820e-08,3.375833e-08,3.467589e-08,4.277631e-08,4.449151e-08,5.165768e-08,5.656944e-08,6.127350e-08,6.987970e-08,7.157062e-08,8.248888e-08,8.428908e-08,9.396191e-08,9.964528e-08,1.059186e-07,1.157824e-07,1.182848e-07,1.309849e-07,1.325278e-07,1.439441e-07,1.497092e-07,1.570891e-07,1.671606e-07,1.703503e-07,1.836618e-07,1.847271e-07,1.969633e-07,2.022684e-07,2.101993e-07,2.196607e-07,2.233203e-07,2.362826e-07,2.367973e-07,2.490479e-07,2.535887e-07,2.615833e-07,2.699616e-07,2.738609e-07,2.858576e-07,2.975545e-07,3.012317e-07,3.089366e-07,3.160504e-07,3.199922e-07,3.302905e-07,3.307128e-07,3.410926e-07,3.439373e-07,3.511280e-07,3.569832e-07,3.608174e-07,3.694263e-07,3.701611e-07,3.791607e-07,3.812697e-07,3.878192e-07,3.925203e-07,3.961403e-07,4.031878e-07,4.041290e-07,4.117908e-07,4.132845e-07,4.191317e-07,4.228243e-07,4.261583e-07,4.318228e-07,4.328775e-07,4.392965e-07,4.402961e-07,4.454227e-07,4.482614e-07,4.512636e-07,4.557360e-07,4.568268e-07,4.621202e-07,4.627376e-07,4.671513e-07,4.692840e-07,4.719280e-07,4.753927e-07,4.764578e-07,4.807483e-07,4.810814e-07,4.848070e-07,4.863672e-07,4.886413e-07,4.912672e-07,4.922585e-07,4.956658e-07,4.957978e-07,4.988702e-07,4.999755e-07,5.018786e-07,5.038158e-07,5.046977e-07,5.073342e-07,5.097944e-07,5.105455e-07,5.120847e-07,5.134642e-07,5.142113e-07,5.161043e-07,5.161801e-07,5.179969e-07,5.184792e-07,5.196675e-07,5.206019e-07,5.211973e-07,5.224851e-07,5.225918e-07,5.238562e-07,5.241408e-07,5.249954e-07,5.255807e-07,5.260146e-07,5.268159e-07,5.269184e-07,5.277115e-07,5.278572e-07,5.283984e-07,5.287150e-07,5.289834e-07,5.293993e-07,5.294709e-07,5.298648e-07,5.299194e-07,5.301692e-07,5.302846e-07,5.303878e-07,5.305036e-07,5.305245e-07,5.305828e-07,5.305847e-07,5.305662e-07,5.305360e-07,5.304781e-07,5.303652e-07,5.303216e-07,5.301000e-07,5.300796e-07,5.298163e-07,5.296861e-07,5.294734e-07,5.291915e-07,5.290742e-07,5.286214e-07,5.286022e-07,5.281176e-07,5.279243e-07,5.275654e-07,5.271635e-07,5.269672e-07,5.263255e-07,5.254155e-07,5.244386e-07,5.233995e-07,5.223029e-07,5.211530e-07,5.199540e-07,5.187099e-07,5.174244e-07,5.161009e-07,5.147430e-07,5.133537e-07,5.119361e-07,5.104931e-07,5.090274e-07,5.075416e-07,5.060381e-07,5.045192e-07,5.029871e-07,5.014439e-07,4.998914e-07,4.983316e-07,4.967662e-07,4.951968e-07,4.936249e-07
0.000000e+00,3.629495e-10,1.017176e-09,4.394939e-09,1.117316e-08,1.699722e-08,4.150106e-08,4.284594e-08,8.642269e-08,1.024023e-07,1.521447e-07,2.040568e-07,2.444600e-07,3.566616e-07,3.677629e-07,5.258392e-07,5.692367e-07,7.208224e-07,8.461854e-07,9.526497e-07,1.185920e-06,1.219773e-06,1.520160e-06,1.584046e-06,1.851727e-06,2.035761e-06,2.212344e-06,2.536064e-06,2.599751e-06,3.011503e-06,3.079468e-06,3.444955e-06,3.659900e-06,3.897297e-06,4.270806e-06,4.365601e-06,4.846881e-06,4.905365e-06,5.338159e-06,5.556734e-06,5.836520e-06,6.218286e-06,6.339168e-06,6.843465e-06,6.883805e-06,7.346963e-06,7.547630e-06,7.847428e-06,8.204747e-06,8.342850e-06,8.831452e-06,8.850831e-06,9.311679e-06,9.482248e-06,9.782200e-06,1.009603e-05,1.024189e-05,1.068982e-05,1.112523e-05,1.126182e-05,1.154753e-05,1.181072e-05,1.195628e-05,1.233563e-05,1.235116e-05,1.273195e-05,1.283603e-05,1.309855e-05,1.331169e-05,1.345094e-05,1.376261e-05,1.378915e-05,1.411331e-05,1.418903e-05,1.442355e-05,1.459129e-05,1.472010e-05,1.496992e-05,1.500318e-05,1.527306e-05,1.532548e-05,1.553003e-05,1.565865e-05,1.577439e-05,1.597015e-05,1.600647e-05,1.622659e-05,1.626072e-05,1.643509e-05,1.653114e-05,1.663231e-05,1.678219e-05,1.681859e-05,1.699428e-05,1.701467e-05,1.715972e-05,1.722935e-05,1.731525e-05,1.742703e-05,1.746120e-05,1.759792e-05,1.760846e-05,1.772571e-05,1.777441e-05,1.784491e-05,1.792559e-05,1.795583e-05,1.805877e-05,1.806273e-05,1.815404e-05,1.818652e-05,1.824193e-05,1.829762e-05,1.832272e-05,1.839669e-05,1.846412e-05,1.848436e-05,1.852527e-05,1.856123e-05,1.858039e-05,1.862787e-05,1.862973e-05,1.867354e-05,1.868485e-05,1.871205e-05,1.873270e-05,1.874548e-05,1.877194e-05,1.877406e-05,1.879799e-05,1.880306e-05,1.881748e-05,1.882654e-05,1.883274e-05,1.884281e-05,1.884395e-05,1.885130e-05,1.885233e-05,1.885497e-05,1.885549e-05,1.885514e-05,1.885269e-05,1.885196e-05,1.884561e-05,1.884431e-05,1.883623e-05,1.883070e-05,1.882398e-05,1.881222e-05,1.880901e-05,1.879145e-05,1.878917e-05,1.877143e-05,1.876188e-05,1.874909e-05,1.873063e-05,1.872455e-05,1.869793e-05,1.869571e-05,1.866934e-05,1.865739e-05,1.863891e-05,1.861590e-05,1.860672e-05,1.857290e-05,1.857151e-05,1.853752e-05,1.852443e-05,1.850070e-05,1.847488e-05,1.846251e-05,1.842306e-05,1.836917e-05,1.831339e-05,1.825590e-05,1.819686e-05,1.813642e-05,1.807473e-05,1.801194e-05,1.794816e-05,1.788353e-05,1.781816e-05,1.775216e-05,1.768564e-05,1.761868e-05,1.755138e-05,1.748383e-05,1.741610e-05,1.734828e-05,1.728042e-05,1.721261e-05,1.714489e-05,1.707732e-05,1.700997e-05,1.694287e-05,1.687608e-05
0.000000e+00,1.656053e-10,3.984517e-10,1.443034e-09,3.367699e-09,4.967054e-09,1.156892e-08,1.193026e-08,2.375398e-08,2.816790e-08,4.221127e-08,5.733150e-08,6.938242e-08,1.037544e-07,1.072012e-07,1.563687e-07,1.697353e-07,2.153800e-07,2.516074e-07,2.812057e-07,3.424275e-07,3.509222e-07,4.224495e-07,4.368439e-07,4.944356e-07,5.317368e-07,5.659723e-07,6.252284e-07,6.363998e-07,7.052059e-07,7.160357e-07,7.719792e-07,8.032089e-07,8.363906e-07,8.860443e-07,8.981834e-07,9.571689e-07,9.640519e-07,1.013220e-06,1.036933e-06,1.066265e-06,1.104554e-06,1.116282e-06,1.163287e-06,1.166919e-06,1.207332e-06,1.224137e-06,1.248493e-06,1.276397e-06,1.286867e-06,1.322565e-06,1.323939e-06,1.355708e-06,1.367038e-06,1.386421e-06,1.405984e-06,1.414833e-06,1.441073e-06,1.465268e-06,1.472598e-06,1.487540e-06,1.500841e-06,1.508009e-06,1.526069e-06,1.526789e-06,1.543989e-06,1.548535e-06,1.559711e-06,1.568477e-06,1.574055e-06,1.586111e-06,1.587111e-06,1.598966e-06,1.601641e-06,1.609701e-06,1.615252e-06,1.619393e-06,1.627114e-06,1.628112e-06,1.635924e-06,1.637384e-06,1.642893e-06,1.646202e-06,1.649075e-06,1.653700e-06,1.654525e-06,1.659293e-06,1.659996e-06,1.663426e-06,1.665197e-06,1.666968e-06,1.669403e-06,1.669960e-06,1.672438e-06,1.672703e-06,1.674440e-06,1.675178e-06,1.675997e-06,1.676903e-06,1.677141e-06,1.677901e-06,1.677946e-06,1.678302e-06,1.678368e-06,1.678370e-06,1.678226e-06,1.678128e-06,1.677599e-06,1.677572e-06,1.676801e-06,1.676452e-06,1.675755e-06,1.674911e-06,1.674478e-06,1.672986e-06,1.671296e-06,1.670715e-06,1.669421e-06,1.668130e-06,1.667375e-06,1.665262e-06,1.665171e-06,1.662820e-06,1.662137e-06,1.660335e-06,1.658783e-06,1.657724e-06,1.655221e-06,1.654999e-06,1.652168e-06,1.651473e-06,1.649239e-06,1.647559e-06,1.646221e-06,1.643498e-06,1.643122e-06,1.639948e-06,1.639305e-06,1.636706e-06,1.634995e-06,1.633402e-06,1.630584e-06,1.630043e-06,1.626633e-06,1.626083e-06,1.623178e-06,1.621505e-06,1.619683e-06,1.616861e-06,1.616152e-06,1.612590e-06,1.612161e-06,1.609001e-06,1.607414e-06,1.605388e-06,1.602628e-06,1.601755e-06,1.598106e-06,1.597813e-06,1.594443e-06,1.592974e-06,1.590769e-06,1.588120e-06,1.587089e-06,1.583403e-06,1.583255e-06,1.579714e-06,1.578386e-06,1.576026e-06,1.573518e-06,1.572339e-06,1.568656e-06,1.563805e-06,1.558968e-06,1.554149e-06,1.549352e-06,1.544580e-06,1.539836e-06,1.535123e-06,1.530443e-06,1.525798e-06,1.521191e-06,1.516622e-06,1.512095e-06,1.507611e-06,1.503170e-06,1.498774e-06,1.494425e-06,1.490123e-06,1.485869e-06,1.481664e-06,1.477508e-06,1.473403e-06,1.469349e-06,1.465345e-06,1.461393e-06
0.000000e+00,3.045728e-10,1.176331e-09,8.691188e-09,3.240842e-08,5.900017e-08,2.128854e-07,2.228934e-07,6.117226e-07,7.802314e-07,1.373420e-06,2.082909e-06,2.687381e-06,4.559738e-06,4.758456e-06,7.809838e-06,8.713822e-06,1.207399e-05,1.507785e-05,1.778078e-05,2.416557e-05,2.514270e-05,3.433801e-05,3.640934e-05,4.549368e-05,5.209247e-05,5.867036e-05,7.129115e-05,7.385188e-05,9.094091e-05,9.384146e-05,1.097617e-04,1.193413e-04,1.300698e-04,1.471882e-04,1.515671e-04,1.739212e-04,1.766448e-04,1.967846e-04,2.069168e-04,2.198140e-04,2.372272e-04,2.426858e-04,2.651077e-04,2.668741e-04,2.868261e-04,2.952678e-04,3.076303e-04,3.219474e-04,3.273526e-04,3.458674e-04,3.465815e-04,3.630873e-04,3.689584e-04,3.789596e-04,3.889700e-04,3.934609e-04,4.065933e-04,4.183792e-04,4.218723e-04,4.288574e-04,4.349003e-04,4.380790e-04,4.458055e-04,4.461043e-04,4.530002e-04,4.547382e-04,4.588371e-04,4.618612e-04,4.636878e-04,4.673418e-04,4.676249e-04,4.707206e-04,4.713462e-04,4.730448e-04,4.740348e-04,4.746652e-04,4.755600e-04,4.756460e-04,4.760481e-04,4.760642e-04,4.759287e-04,4.756785e-04,4.753414e-04,4.745228e-04,4.743357e-04,4.729578e-04,4.727056e-04,4.712498e-04,4.703244e-04,4.692509e-04,4.674662e-04,4.669965e-04,4.645192e-04,4.642083e-04,4.618485e-04,4.606192e-04,4.590115e-04,4.567592e-04,4.560324e-04,4.529334e-04,4.526809e-04,4.497343e-04,4.484308e-04,4.464531e-04,4.440489e-04,4.431059e-04,4.397070e-04,4.395702e-04,4.362697e-04,4.350250e-04,4.328053e-04,4.304394e-04,4.293243e-04,4.258359e-04,4.223482e-04,4.212336e-04,4.188687e-04,4.166489e-04,4.154035e-04,4.120959e-04,4.119586e-04,4.085388e-04,4.075863e-04,4.051485e-04,4.031302e-04,4.017916e-04,3.987356e-04,3.984714e-04,3.951907e-04,3.944095e-04,3.919521e-04,3.901576e-04,3.887575e-04,3.859842e-04,3.856088e-04,3.825075e-04,3.818930e-04,3.794547e-04,3.778867e-04,3.764514e-04,3.739675e-04,3.734984e-04,3.705963e-04,3.701367e-04,3.677454e-04,3.663953e-04,3.649461e-04,3.627438e-04,3.621984e-04,3.595025e-04,3.591824e-04,3.568580e-04,3.557107e-04,3.542649e-04,3.523284e-04,3.517229e-04,3.492316e-04,3.490345e-04,3.467907e-04,3.458283e-04,3.443995e-04,3.427085e-04,3.420577e-04,3.397646e-04,3.396739e-04,3.375196e-04,3.367231e-04,3.353222e-04,3.338547e-04,3.331715e-04,3.310671e-04,3.283586e-04,3.257277e-04,3.231726e-04,3.206916e-04,3.182830e-04,3.159449e-04,3.136757e-04,3.114737e-04,3.093370e-04,3.072640e-04,3.052529e-04,3.033021e-04,3.014100e-04,2.995748e-04,2.977951e-04,2.960691e-04,2.943955e-04,2.927726e-04,2.911991e-04,2.896734e-04,2.881941e-04,2.867600e-04,2.853695e-04,2.840215e-04
0.000000e+00,2.757166e-10,6.992774e-10,2.699119e-09,6.556716e-09,9.870193e-09,2.431836e-08,2.514037e-08,5.350764e-08,6.472567e-08,1.021122e-07,1.443079e-07,1.786470e-07,2.765059e-07,2.861763e-07,4.199515e-07,4.550558e-07,5.719549e-07,6.625292e-07,7.357315e-07,8.862724e-07,9.071503e-07,1.083603e-06,1.119330e-06,1.263281e-06,1.357507e-06,1.444762e-06,1.597700e-06,1.626821e-06,1.808344e-06,1.837268e-06,1.988303e-06,2.073848e-06,2.165758e-06,2.305353e-06,2.339872e-06,2.509912e-06,2.530013e-06,2.675249e-06,2.746370e-06,2.835366e-06,2.953324e-06,2.989879e-06,3.138502e-06,3.150131e-06,3.281035e-06,3.336315e-06,3.417365e-06,3.511653e-06,3.547446e-06,3.671289e-06,3.676113e-06,3.788954e-06,3.829819e-06,3.900539e-06,3.973000e-06,4.006158e-06,4.105974e-06,4.200158e-06,4.229137e-06,4.288893e-06,4.342910e-06,4.372366e-06,4.447729e-06,4.450770e-06,4.524300e-06,4.544042e-06,4.593152e-06,4.632298e-06,4.657519e-06,4.712941e-06,4.717593e-06,4.773560e-06,4.786401e-06,4.825602e-06,4.853098e-06,4.873897e-06,4.913433e-06,4.918616e-06,4.959926e-06,4.967793e-06,4.997985e-06,5.016544e-06,5.032949e-06,5.060035e-06,5.064966e-06,5.094177e-06,5.098600e-06,5.120719e-06,5.132550e-06,5.144724e-06,5.162184e-06,5.166315e-06,5.185615e-06,5.187782e-06,5.202736e-06,5.209607e-06,5.217788e-06,5.227910e-06,5.230878e-06,5.242103e-06,5.242924e-06,5.251561e-06,5.254870e-06,5.259342e-06,5.263955e-06,5.265534e-06,5.270218e-06,5.270376e-06,5.273476e-06,5.274314e-06,5.275381e-06,5.275941e-06,5.276006e-06,5.275420e-06,5.273688e-06,5.272902e-06,5.270872e-06,5.268529e-06,5.267032e-06,5.262434e-06,5.262224e-06,5.256502e-06,5.254743e-06,5.249917e-06,5.245573e-06,5.242519e-06,5.235033e-06,5.234353e-06,5.225464e-06,5.223228e-06,5.215895e-06,5.210254e-06,5.205685e-06,5.196201e-06,5.194873e-06,5.183495e-06,5.181155e-06,5.171586e-06,5.165194e-06,5.159178e-06,5.148394e-06,5.146304e-06,5.132993e-06,5.130824e-06,5.119273e-06,5.112550e-06,5.105172e-06,5.093634e-06,5.090715e-06,5.075927e-06,5.074132e-06,5.060832e-06,5.054098e-06,5.045450e-06,5.033583e-06,5.029805e-06,5.013915e-06,5.012634e-06,4.997800e-06,4.991295e-06,4.981478e-06,4.969608e-06,4.964966e-06,4.948281e-06,4.947611e-06,4.931439e-06,4.925340e-06,4.914454e-06,4.902830e-06,4.897340e-06,4.880111e-06,4.857215e-06,4.834168e-06,4.810996e-06,4.787724e-06,4.764375e-06,4.740969e-06,4.717526e-06,4.694065e-06,4.670603e-06,4.647156e-06,4.623739e-06,4.600365e-06,4.577049e-06,4.553802e-06,4.530635e-06,4.507558e-06,4.484582e-06,4.461715e-06,4.438965e-06,4.416341e-06,4.393848e-06,4.371495e-06,4.349286e-06,4.327227e-06
0.000000e+00,2.675732e-10,8.983384e-10,5.088981e-09,1.532542e-08,2.509236e-08,7.136970e-08,7.408594e-08,1.692215e-07,2.070689e-07,3.333925e-07,4.772371e-07,5.964567e-07,9.534174e-07,9.903441e-07,1.534043e-06,1.686483e-06,2.219084e-06,2.653266e-06,3.014428e-06,3.776967e-06,3.884226e-06,4.799374e-06,4.985913e-06,5.739392e-06,6.233176e-06,6.690205e-06,7.489750e-06,7.641692e-06,8.586055e-06,8.736052e-06,9.516948e-06,9.957401e-06,1.042907e-05,1.114222e-05,1.131794e-05,1.217988e-05,1.228135e-05,1.301190e-05,1.336791e-05,1.381174e-05,1.439706e-05,1.457775e-05,1.530882e-05,1.536578e-05,1.600437e-05,1.627259e-05,1.666424e-05,1.711735e-05,1.728863e-05,1.787803e-05,1.790088e-05,1.843315e-05,1.862477e-05,1.895489e-05,1.929113e-05,1.944428e-05,1.990242e-05,2.033050e-05,2.046134e-05,2.072974e-05,2.097068e-05,2.110136e-05,2.143328e-05,2.144660e-05,2.176667e-05,2.185195e-05,2.206279e-05,2.222944e-05,2.233611e-05,2.256841e-05,2.258777e-05,2.281887e-05,2.287139e-05,2.303047e-05,2.314083e-05,2.322359e-05,2.337902e-05,2.339920e-05,2.355823e-05,2.358813e-05,2.370159e-05,2.377022e-05,2.383012e-05,2.392722e-05,2.394463e-05,2.404590e-05,2.406093e-05,2.413467e-05,2.417305e-05,2.421164e-05,2.426516e-05,2.427747e-05,2.433279e-05,2.433876e-05,2.437822e-05,2.439521e-05,2.441430e-05,2.443582e-05,2.444160e-05,2.446062e-05,2.446180e-05,2.447185e-05,2.447426e-05,2.447574e-05,2.447425e-05,2.447275e-05,2.446327e-05,2.446276e-05,2.444771e-05,2.444069e-05,2.442643e-05,2.440888e-05,2.439980e-05,2.436813e-05,2.433175e-05,2.431917e-05,2.429096e-05,2.426267e-05,2.424604e-05,2.419929e-05,2.419726e-05,2.414488e-05,2.412960e-05,2.408912e-05,2.405415e-05,2.403023e-05,2.397346e-05,2.396841e-05,2.390387e-05,2.388800e-05,2.383681e-05,2.379821e-05,2.376739e-05,2.370451e-05,2.369581e-05,2.362222e-05,2.360727e-05,2.354677e-05,2.350685e-05,2.346961e-05,2.340358e-05,2.339088e-05,2.331072e-05,2.329776e-05,2.322923e-05,2.318969e-05,2.314655e-05,2.307962e-05,2.306278e-05,2.297803e-05,2.296779e-05,2.289239e-05,2.285445e-05,2.280596e-05,2.273980e-05,2.271882e-05,2.263107e-05,2.262403e-05,2.254278e-05,2.250733e-05,2.245402e-05,2.238986e-05,2.236486e-05,2.227538e-05,2.227179e-05,2.218563e-05,2.215327e-05,2.209568e-05,2.203442e-05,2.200557e-05,2.191537e-05,2.179623e-05,2.167712e-05,2.155813e-05,2.143934e-05,2.132085e-05,2.120274e-05,2.108507e-05,2.096792e-05,2.085133e-05,2.073538e-05,2.062011e-05,2.050556e-05,2.039178e-05,2.027881e-05,2.016669e-05,2.005545e-05,1.994510e-05,1.983569e-05,1.972724e-05,1.961976e-05,1.951327e-05,1.940780e-05,1.930336e-05,1.919995e-05
0.000000e+00,3.332210e-10,1.174234e-09,7.250617e-09,2.326205e-08,3.921347e-08,1.182970e-07,1.230367e-07,2.916976e-07,3.594907e-07,5.864387e-07,8.447696e-07,1.058361e-06,1.694849e-06,1.760472e-06,2.724092e-06,2.993942e-06,3.938033e-06,4.710666e-06,5.356095e-06,6.727631e-06,6.921494e-06,8.584075e-06,8.924651e-06,1.030508e-05,1.121318e-05,1.205553e-05,1.353224e-05,1.381316e-05,1.556011e-05,1.583761e-05,1.728158e-05,1.809511e-05,1.896516e-05,2.027772e-05,2.060051e-05,2.217926e-05,2.236458e-05,2.369488e-05,2.434046e-05,2.514256e-05,2.619532e-05,2.651907e-05,2.782253e-05,2.792362e-05,2.905218e-05,2.952341e-05,3.020831e-05,3.099579e-05,3.129202e-05,3.230506e-05,3.234414e-05,3.324967e-05,3.357346e-05,3.412840e-05,3.468973e-05,3.494406e-05,3.569955e-05,3.639788e-05,3.660976e-05,3.704204e-05,3.742725e-05,3.763500e-05,3.815875e-05,3.817964e-05,3.867877e-05,3.881074e-05,3.913508e-05,3.938940e-05,3.955116e-05,3.990053e-05,3.992946e-05,4.027233e-05,4.034959e-05,4.058196e-05,4.074162e-05,4.086046e-05,4.108134e-05,4.110979e-05,4.133181e-05,4.137309e-05,4.152827e-05,4.162087e-05,4.170081e-05,4.182838e-05,4.185097e-05,4.198019e-05,4.199902e-05,4.208985e-05,4.213591e-05,4.218121e-05,4.224192e-05,4.225546e-05,4.231372e-05,4.231969e-05,4.235705e-05,4.237163e-05,4.238642e-05,4.239998e-05,4.240276e-05,4.240693e-05,4.240676e-05,4.239974e-05,4.239385e-05,4.238195e-05,4.236298e-05,4.235427e-05,4.231737e-05,4.231571e-05,4.227187e-05,4.225350e-05,4.221836e-05,4.217768e-05,4.215740e-05,4.208949e-05,4.201512e-05,4.199003e-05,4.193475e-05,4.188036e-05,4.184880e-05,4.176142e-05,4.175768e-05,4.166176e-05,4.163409e-05,4.156140e-05,4.149918e-05,4.145692e-05,4.135744e-05,4.134864e-05,4.123686e-05,4.120954e-05,4.112185e-05,4.105613e-05,4.100387e-05,4.089778e-05,4.088316e-05,4.075995e-05,4.073503e-05,4.063447e-05,4.056839e-05,4.050691e-05,4.039830e-05,4.037747e-05,4.024632e-05,4.022519e-05,4.011364e-05,4.004946e-05,3.997959e-05,3.987146e-05,3.984431e-05,3.970795e-05,3.969152e-05,3.957065e-05,3.950996e-05,3.943252e-05,3.932706e-05,3.929369e-05,3.915426e-05,3.914309e-05,3.901435e-05,3.895828e-05,3.887406e-05,3.877286e-05,3.873347e-05,3.859267e-05,3.858704e-05,3.845176e-05,3.840101e-05,3.831079e-05,3.821495e-05,3.816986e-05,3.802902e-05,3.784338e-05,3.765815e-05,3.747348e-05,3.728948e-05,3.710625e-05,3.692390e-05,3.674253e-05,3.656220e-05,3.638302e-05,3.620503e-05,3.602831e-05,3.585292e-05,3.567891e-05,3.550633e-05,3.533523e-05,3.516563e-05,3.499759e-05,3.483113e-05,3.466628e-05,3.450306e-05,3.434150e-05,3.418162e-05,3.402342e-05,3.386694e-05
0.000000e+00,1.646183e-10,4.174844e-10,1.604186e-09,3.849858e-09,5.732223e-09,1.349724e-08,1.392001e-08,2.756724e-08,3.256814e-08,4.817694e-08,6.455627e-08,7.736496e-08,1.131022e-07,1.166430e-07,1.669236e-07,1.806479e-07,2.282443e-07,2.672230e-07,3.000918e-07,3.715197e-07,3.818304e-07,4.728614e-07,4.921325e-07,5.726137e-07,6.277381e-07,6.804997e-07,7.769464e-07,7.958838e-07,9.180693e-07,9.382004e-07,1.046299e-06,1.109762e-06,1.179768e-06,1.289750e-06,1.317633e-06,1.459037e-06,1.476203e-06,1.603124e-06,1.667155e-06,1.749056e-06,1.860704e-06,1.896032e-06,2.043296e-06,2.055068e-06,2.190146e-06,2.248626e-06,2.335946e-06,2.439947e-06,2.480122e-06,2.622168e-06,2.627799e-06,2.761643e-06,2.811150e-06,2.898172e-06,2.989167e-06,3.031441e-06,3.161190e-06,3.287211e-06,3.326723e-06,3.409344e-06,3.485411e-06,3.527468e-06,3.637020e-06,3.641502e-06,3.751393e-06,3.781417e-06,3.857120e-06,3.918557e-06,3.958684e-06,4.048464e-06,4.056106e-06,4.149424e-06,4.171216e-06,4.238693e-06,4.286937e-06,4.323975e-06,4.395786e-06,4.405347e-06,4.482890e-06,4.497947e-06,4.556693e-06,4.593622e-06,4.626848e-06,4.683029e-06,4.693451e-06,4.756603e-06,4.766394e-06,4.816403e-06,4.843946e-06,4.872953e-06,4.915921e-06,4.926354e-06,4.976707e-06,4.982550e-06,5.024114e-06,5.044065e-06,5.068673e-06,5.100694e-06,5.110483e-06,5.149641e-06,5.152662e-06,5.186241e-06,5.200186e-06,5.220376e-06,5.243479e-06,5.252138e-06,5.281616e-06,5.282749e-06,5.308895e-06,5.318194e-06,5.334061e-06,5.350009e-06,5.357196e-06,5.378379e-06,5.397689e-06,5.403485e-06,5.415201e-06,5.425499e-06,5.430988e-06,5.444587e-06,5.445122e-06,5.457670e-06,5.460908e-06,5.468700e-06,5.474615e-06,5.478275e-06,5.485854e-06,5.486459e-06,5.493312e-06,5.494766e-06,5.498892e-06,5.501482e-06,5.503256e-06,5.506133e-06,5.506458e-06,5.508550e-06,5.508839e-06,5.509583e-06,5.509718e-06,5.509606e-06,5.508880e-06,5.508667e-06,5.506811e-06,5.506432e-06,5.504082e-06,5.502475e-06,5.500522e-06,5.497104e-06,5.496173e-06,5.491072e-06,5.490411e-06,5.485259e-06,5.482485e-06,5.478769e-06,5.473406e-06,5.471638e-06,5.463900e-06,5.463255e-06,5.455586e-06,5.452106e-06,5.446728e-06,5.440031e-06,5.437356e-06,5.427499e-06,5.427095e-06,5.417185e-06,5.413365e-06,5.406440e-06,5.398900e-06,5.395290e-06,5.383759e-06,5.367995e-06,5.351661e-06,5.334805e-06,5.317475e-06,5.299713e-06,5.281561e-06,5.263059e-06,5.244243e-06,5.225149e-06,5.205809e-06,5.186255e-06,5.166516e-06,5.146620e-06,5.126593e-06,5.106459e-06,5.086242e-06,5.065962e-06,5.045641e-06,5.025297e-06,5.004949e-06,4.984612e-06,4.964304e-06,4.944037e-06,4.923827e-06
0.000000e+00,5.579709e-10,1.948814e-09,1.184151e-08,3.750743e-08,6.280419e-08,1.860819e-07,1.933850e-07,4.486482e-07,5.491282e-07,8.785505e-07,1.243042e-06,1.537764e-06,2.390256e-06,2.476496e-06,3.723372e-06,4.069241e-06,5.281953e-06,6.287716e-06,7.143273e-06,9.022855e-06,9.296266e-06,1.173045e-05,1.225009e-05,1.443484e-05,1.594370e-05,1.739641e-05,2.007122e-05,2.059910e-05,2.402365e-05,2.459071e-05,2.764781e-05,2.945115e-05,3.144696e-05,3.459466e-05,3.539483e-05,3.946426e-05,3.995946e-05,4.362798e-05,4.548297e-05,4.785927e-05,5.110443e-05,5.213253e-05,5.642371e-05,5.676710e-05,6.071066e-05,6.241969e-05,6.497333e-05,6.801730e-05,6.919385e-05,7.335655e-05,7.352166e-05,7.744796e-05,7.890114e-05,8.145663e-05,8.413035e-05,8.537307e-05,8.918953e-05,9.289979e-05,9.406383e-05,9.649910e-05,9.874278e-05,9.998399e-05,1.032196e-04,1.033521e-04,1.066020e-04,1.074906e-04,1.097329e-04,1.115544e-04,1.127451e-04,1.154118e-04,1.156390e-04,1.184159e-04,1.190651e-04,1.210771e-04,1.225176e-04,1.236247e-04,1.257741e-04,1.260605e-04,1.283871e-04,1.288395e-04,1.306067e-04,1.317195e-04,1.327221e-04,1.344203e-04,1.347358e-04,1.366507e-04,1.369481e-04,1.384695e-04,1.393093e-04,1.401951e-04,1.415103e-04,1.418302e-04,1.433777e-04,1.435577e-04,1.448404e-04,1.454578e-04,1.462210e-04,1.472171e-04,1.475223e-04,1.487469e-04,1.488417e-04,1.498976e-04,1.503377e-04,1.509768e-04,1.517110e-04,1.519871e-04,1.529311e-04,1.529675e-04,1.538111e-04,1.541127e-04,1.546295e-04,1.551520e-04,1.553886e-04,1.560907e-04,1.567379e-04,1.569338e-04,1.573324e-04,1.576862e-04,1.578763e-04,1.583526e-04,1.583715e-04,1.588201e-04,1.589376e-04,1.592238e-04,1.594453e-04,1.595846e-04,1.598801e-04,1.599042e-04,1.601843e-04,1.602459e-04,1.604266e-04,1.605464e-04,1.606328e-04,1.607855e-04,1.608043e-04,1.609427e-04,1.609665e-04,1.610494e-04,1.610929e-04,1.611259e-04,1.611678e-04,1.611736e-04,1.611936e-04,1.611943e-04,1.611873e-04,1.611754e-04,1.611560e-04,1.611137e-04,1.611008e-04,1.610228e-04,1.610120e-04,1.609232e-04,1.608728e-04,1.608030e-04,1.606986e-04,1.606633e-04,1.605049e-04,1.604915e-04,1.603290e-04,1.602539e-04,1.601363e-04,1.599877e-04,1.599278e-04,1.597043e-04,1.596951e-04,1.594667e-04,1.593778e-04,1.592156e-04,1.590376e-04,1.589519e-04,1.586764e-04,1.582956e-04,1.578968e-04,1.574814e-04,1.570509e-04,1.566066e-04,1.561496e-04,1.556812e-04,1.552025e-04,1.547145e-04,1.542182e-04,1.537146e-04,1.532045e-04,1.526887e-04,1.521682e-04,1.516435e-04,1.511155e-04,1.505847e-04,1.500518e-04,1.495174e-04,1.489820e-04,1.484462e-04,1.479104e-04,1.473750e-04,1.468405e-04
0.000000e+00,1.010467e-10,3.370960e-10,1.886402e-09,5.613338e-09,9.119632e-09,2.524097e-08,2.616509e-08,5.725959e-08,6.903450e-08,1.064099e-07,1.461595e-07,1.774283e-07,2.652245e-07,2.739708e-07,3.995376e-07,4.343633e-07,5.574098e-07,6.610348e-07,7.504933e-07,9.513468e-07,9.810430e-07,1.250264e-06,1.308755e-06,1.557879e-06,1.732408e-06,1.901857e-06,2.216251e-06,2.278525e-06,2.683076e-06,2.750041e-06,3.110241e-06,3.321778e-06,3.554838e-06,3.919833e-06,4.012080e-06,4.477682e-06,4.533931e-06,4.947850e-06,5.155294e-06,5.419237e-06,5.776472e-06,5.888884e-06,6.354186e-06,6.391153e-06,6.812864e-06,6.994027e-06,7.262937e-06,7.580699e-06,7.702710e-06,8.130755e-06,8.147615e-06,8.545892e-06,8.691993e-06,8.947174e-06,9.211748e-06,9.333865e-06,9.705418e-06,1.006146e-05,1.017208e-05,1.040177e-05,1.061126e-05,1.072624e-05,1.102287e-05,1.103492e-05,1.132790e-05,1.140714e-05,1.160538e-05,1.176455e-05,1.186764e-05,1.209574e-05,1.211499e-05,1.234780e-05,1.240155e-05,1.256645e-05,1.268287e-05,1.277137e-05,1.294069e-05,1.296300e-05,1.314180e-05,1.317606e-05,1.330823e-05,1.339004e-05,1.346275e-05,1.358368e-05,1.360582e-05,1.373791e-05,1.375805e-05,1.385946e-05,1.391421e-05,1.397094e-05,1.405317e-05,1.407278e-05,1.416541e-05,1.417593e-05,1.424925e-05,1.428346e-05,1.432470e-05,1.437668e-05,1.439216e-05,1.445202e-05,1.445649e-05,1.450463e-05,1.452373e-05,1.455037e-05,1.457924e-05,1.458958e-05,1.462258e-05,1.462378e-05,1.464970e-05,1.465809e-05,1.467125e-05,1.468287e-05,1.468752e-05,1.469880e-05,1.470535e-05,1.470649e-05,1.470744e-05,1.470656e-05,1.470533e-05,1.469956e-05,1.469925e-05,1.468942e-05,1.468603e-05,1.467608e-05,1.466647e-05,1.465943e-05,1.464136e-05,1.463967e-05,1.461699e-05,1.461114e-05,1.459159e-05,1.457623e-05,1.456362e-05,1.453703e-05,1.453327e-05,1.450069e-05,1.449392e-05,1.446603e-05,1.444723e-05,1.442943e-05,1.439730e-05,1.439105e-05,1.435100e-05,1.434444e-05,1.430941e-05,1.428894e-05,1.426641e-05,1.423106e-05,1.422210e-05,1.417660e-05,1.417107e-05,1.413001e-05,1.410918e-05,1.408241e-05,1.404564e-05,1.403392e-05,1.398461e-05,1.398063e-05,1.393457e-05,1.391437e-05,1.388387e-05,1.384701e-05,1.383260e-05,1.378082e-05,1.377874e-05,1.372861e-05,1.370971e-05,1.367601e-05,1.364006e-05,1.362310e-05,1.356993e-05,1.349945e-05,1.342872e-05,1.335786e-05,1.328696e-05,1.321612e-05,1.314541e-05,1.307493e-05,1.300474e-05,1.293490e-05,1.286548e-05,1.279653e-05,1.272810e-05,1.266023e-05,1.259297e-05,1.252636e-05,1.246042e-05,1.239519e-05,1.233069e-05,1.226695e-05,1.220399e-05,1.214183e-05,1.208048e-05,1.201996e-05,1.196027e-05
0.000000e+00,2.767536e-10,9.653160e-10,5.842878e-09,1.842081e-08,3.075299e-08,9.031447e-08,9.382219e-08,2.154518e-07,2.629256e-07,4.174806e-07,5.872510e-07,7.241382e-07,1.121566e-06,1.162064e-06,1.756554e-06,1.924522e-06,2.522027e-06,3.024039e-06,3.452511e-06,4.388312e-06,4.523106e-06,5.701038e-06,5.946695e-06,6.955429e-06,7.629308e-06,8.260997e-06,9.382495e-06,9.597776e-06,1.094963e-05,1.116639e-05,1.230297e-05,1.294956e-05,1.364594e-05,1.470581e-05,1.496813e-05,1.626038e-05,1.641305e-05,1.751482e-05,1.805305e-05,1.872486e-05,1.961149e-05,1.988520e-05,2.099178e-05,2.107789e-05,2.204173e-05,2.244541e-05,2.303324e-05,2.371042e-05,2.396545e-05,2.483834e-05,2.487203e-05,2.565254e-05,2.593150e-05,2.640925e-05,2.689181e-05,2.711013e-05,2.775714e-05,2.835253e-05,2.853254e-05,2.889869e-05,2.922355e-05,2.939812e-05,2.983596e-05,2.985336e-05,3.026694e-05,3.037563e-05,3.064140e-05,3.084831e-05,3.097917e-05,3.125956e-05,3.128263e-05,3.155407e-05,3.161470e-05,3.179569e-05,3.191874e-05,3.200954e-05,3.217632e-05,3.219759e-05,3.236167e-05,3.239177e-05,3.250353e-05,3.256906e-05,3.262480e-05,3.271188e-05,3.272701e-05,3.281158e-05,3.282356e-05,3.287984e-05,3.290718e-05,3.293304e-05,3.296553e-05,3.297233e-05,3.299879e-05,3.300115e-05,3.301343e-05,3.301637e-05,3.301718e-05,3.301327e-05,3.301090e-05,3.299539e-05,3.299378e-05,3.297142e-05,3.295962e-05,3.293968e-05,3.291237e-05,3.290080e-05,3.285539e-05,3.285344e-05,3.280401e-05,3.278415e-05,3.274717e-05,3.270565e-05,3.268536e-05,3.261901e-05,3.254856e-05,3.252520e-05,3.247437e-05,3.242510e-05,3.239681e-05,3.231948e-05,3.231620e-05,3.223287e-05,3.220908e-05,3.214708e-05,3.209455e-05,3.205912e-05,3.197648e-05,3.196922e-05,3.187761e-05,3.185540e-05,3.178451e-05,3.173180e-05,3.169012e-05,3.160613e-05,3.159461e-05,3.149817e-05,3.147878e-05,3.140094e-05,3.135012e-05,3.130307e-05,3.122047e-05,3.120470e-05,3.110596e-05,3.109014e-05,3.100696e-05,3.095939e-05,3.090782e-05,3.082846e-05,3.080863e-05,3.070948e-05,3.069759e-05,3.061047e-05,3.056696e-05,3.051167e-05,3.043676e-05,3.041315e-05,3.031499e-05,3.030715e-05,3.021724e-05,3.017828e-05,3.011997e-05,3.005026e-05,3.002323e-05,2.992707e-05,2.992323e-05,2.983152e-05,2.979729e-05,2.973664e-05,2.967253e-05,2.964247e-05,2.954903e-05,2.942687e-05,2.930611e-05,2.918681e-05,2.906903e-05,2.895280e-05,2.883816e-05,2.872514e-05,2.861378e-05,2.850408e-05,2.839607e-05,2.828977e-05,2.818518e-05,2.808231e-05,2.798116e-05,2.788174e-05,2.778404e-05,2.768806e-05,2.759379e-05,2.750123e-05,2.741037e-05,2.732120e-05,2.723370e-05,2.714786e-05,2.706366e-05
0.000000e+00,1.137861e-10,4.304484e-10,3.050135e-09,1.096756e-08,1.958873e-08,6.750291e-08,7.055238e-08,1.861226e-07,2.351364e-07,4.051069e-07,6.055076e-07,7.749712e-07,1.296924e-06,1.352217e-06,2.201523e-06,2.453442e-06,3.390708e-06,4.227980e-06,4.978918e-06,6.735254e-06,7.001224e-06,9.459276e-06,1.000103e-05,1.232361e-05,1.395737e-05,1.554370e-05,1.847932e-05,1.905902e-05,2.280742e-05,2.342478e-05,2.672996e-05,2.865870e-05,3.077316e-05,3.406248e-05,3.488953e-05,3.903736e-05,3.953543e-05,4.318018e-05,4.499309e-05,4.728621e-05,5.036512e-05,5.132793e-05,5.528167e-05,5.559354e-05,5.912735e-05,6.063152e-05,6.284827e-05,6.544234e-05,6.643086e-05,6.986447e-05,6.999859e-05,7.314116e-05,7.428122e-05,7.625541e-05,7.827856e-05,7.920394e-05,8.198535e-05,8.459995e-05,8.540165e-05,8.704948e-05,8.853185e-05,8.933684e-05,9.138374e-05,9.146592e-05,9.344137e-05,9.396767e-05,9.526843e-05,9.629578e-05,9.695277e-05,9.838143e-05,9.850035e-05,9.991733e-05,1.002387e-04,1.012099e-04,1.018818e-04,1.023844e-04,1.033252e-04,1.034470e-04,1.044038e-04,1.045829e-04,1.052606e-04,1.056686e-04,1.060233e-04,1.065953e-04,1.066974e-04,1.072883e-04,1.073755e-04,1.078012e-04,1.080210e-04,1.082408e-04,1.085430e-04,1.086119e-04,1.089190e-04,1.089517e-04,1.091662e-04,1.092570e-04,1.093575e-04,1.094679e-04,1.094968e-04,1.095876e-04,1.095928e-04,1.096332e-04,1.096396e-04,1.096369e-04,1.096154e-04,1.096017e-04,1.095304e-04,1.095269e-04,1.094257e-04,1.093803e-04,1.092900e-04,1.091812e-04,1.091256e-04,1.089349e-04,1.087199e-04,1.086463e-04,1.084826e-04,1.083197e-04,1.082246e-04,1.079593e-04,1.079479e-04,1.076539e-04,1.075688e-04,1.073443e-04,1.071515e-04,1.070203e-04,1.067108e-04,1.066834e-04,1.063348e-04,1.062495e-04,1.059755e-04,1.057702e-04,1.056068e-04,1.052754e-04,1.052297e-04,1.048450e-04,1.047673e-04,1.044538e-04,1.042479e-04,1.040567e-04,1.037192e-04,1.036546e-04,1.032482e-04,1.031828e-04,1.028382e-04,1.026403e-04,1.024252e-04,1.020931e-04,1.020098e-04,1.015926e-04,1.015424e-04,1.011740e-04,1.009896e-04,1.007546e-04,1.004355e-04,1.003347e-04,9.991485e-05,9.988127e-05,9.949534e-05,9.932772e-05,9.907655e-05,9.877565e-05,9.865880e-05,9.824241e-05,9.822579e-05,9.782765e-05,9.767878e-05,9.741477e-05,9.713522e-05,9.700403e-05,9.659563e-05,9.606049e-05,9.553021e-05,9.500517e-05,9.448570e-05,9.397210e-05,9.346463e-05,9.296351e-05,9.246893e-05,9.198107e-05,9.150005e-05,9.102602e-05,9.055906e-05,9.009924e-05,8.964665e-05,8.920130e-05,8.876325e-05,8.833250e-05,8.790905e-05,8.749290e-05,8.708403e-05,8.668241e-05,8.628800e-05,8.590077e-05,8.552066e-05
0.000000e+00,3.856188e-12,8.801711e-12,3.009391e-11,6.814154e-11,9.917185e-11,2.237429e-10,2.304291e-10,4.434257e-10,5.205238e-10,7.591730e-10,1.007470e-09,1.200764e-09,1.739154e-09,1.792586e-09,2.556722e-09,2.767455e-09,3.505413e-09,4.115829e-09,4.632329e-09,5.750723e-09,5.910962e-09,7.303894e-09,7.592862e-09,8.774362e-09,9.559279e-09,1.029200e-08,1.158586e-08,1.183324e-08,1.337981e-08,1.362674e-08,1.491713e-08,1.564817e-08,1.643327e-08,1.762421e-08,1.791831e-08,1.936399e-08,1.953450e-08,2.076355e-08,2.136329e-08,2.211153e-08,2.309888e-08,2.340374e-08,2.463715e-08,2.473321e-08,2.580974e-08,2.626146e-08,2.692037e-08,2.768147e-08,2.796875e-08,2.895526e-08,2.899344e-08,2.988075e-08,3.019923e-08,3.074655e-08,3.130206e-08,3.155437e-08,3.230616e-08,3.300407e-08,3.321639e-08,3.365039e-08,3.403805e-08,3.424749e-08,3.477661e-08,3.479776e-08,3.530361e-08,3.543761e-08,3.576744e-08,3.602655e-08,3.619160e-08,3.654875e-08,3.657836e-08,3.692993e-08,3.700931e-08,3.724843e-08,3.741310e-08,3.753588e-08,3.776470e-08,3.779423e-08,3.802531e-08,3.806841e-08,3.823088e-08,3.832825e-08,3.841260e-08,3.854794e-08,3.857201e-08,3.871061e-08,3.873095e-08,3.882979e-08,3.888048e-08,3.893085e-08,3.899948e-08,3.901502e-08,3.908348e-08,3.909069e-08,3.913729e-08,3.915660e-08,3.917750e-08,3.919954e-08,3.920505e-08,3.922084e-08,3.922162e-08,3.922572e-08,3.922480e-08,3.922048e-08,3.921086e-08,3.920586e-08,3.918256e-08,3.918146e-08,3.915122e-08,3.913809e-08,3.911245e-08,3.908214e-08,3.906683e-08,3.901489e-08,3.895712e-08,3.893749e-08,3.889401e-08,3.885101e-08,3.882597e-08,3.875642e-08,3.875344e-08,3.867678e-08,3.865463e-08,3.859636e-08,3.854644e-08,3.851251e-08,3.843262e-08,3.842556e-08,3.833579e-08,3.831385e-08,3.824347e-08,3.819076e-08,3.814887e-08,3.806393e-08,3.805223e-08,3.795377e-08,3.793388e-08,3.785370e-08,3.780109e-08,3.775221e-08,3.766601e-08,3.764950e-08,3.754574e-08,3.752904e-08,3.744107e-08,3.739056e-08,3.733566e-08,3.725089e-08,3.722964e-08,3.712315e-08,3.711035e-08,3.701631e-08,3.696921e-08,3.690922e-08,3.682773e-08,3.680199e-08,3.669473e-08,3.668615e-08,3.658752e-08,3.654467e-08,3.648045e-08,3.640349e-08,3.637360e-08,3.626704e-08,3.626279e-08,3.616084e-08,3.612271e-08,3.605507e-08,3.598341e-08,3.594977e-08,3.584501e-08,3.570764e-08,3.557140e-08,3.543638e-08,3.530266e-08,3.517033e-08,3.503944e-08,3.491007e-08,3.478226e-08,3.465605e-08,3.453149e-08,3.440861e-08,3.428745e-08,3.416801e-08,3.405033e-08,3.393442e-08,3.382030e-08,3.370796e-08,3.359742e-08,3.348868e-08,3.338174e-08,3.327660e-08,3.317326e-08,3.307170e-08,3.297192e-08
0.000000e+00,6.355154e-12,1.453393e-11,5.000510e-11,1.143654e-10,1.677586e-10,3.900547e-10,4.023385e-10,8.115329e-10,9.677799e-10,1.476026e-09,2.038740e-09,2.495542e-09,3.818958e-09,3.952322e-09,5.848989e-09,6.361251e-09,8.100636e-09,9.475105e-09,1.059782e-08,1.292853e-08,1.325340e-08,1.600861e-08,1.656793e-08,1.882438e-08,2.030301e-08,2.167294e-08,2.407505e-08,2.453254e-08,2.738454e-08,2.783901e-08,3.021207e-08,3.155596e-08,3.299949e-08,3.519075e-08,3.573228e-08,3.839726e-08,3.871192e-08,4.098247e-08,4.209196e-08,4.347759e-08,4.530828e-08,4.587401e-08,4.816475e-08,4.834327e-08,5.034448e-08,5.118439e-08,5.240943e-08,5.382379e-08,5.435732e-08,5.618726e-08,5.625801e-08,5.789958e-08,5.848739e-08,5.949529e-08,6.051478e-08,6.097645e-08,6.234582e-08,6.360661e-08,6.398774e-08,6.476257e-08,6.544919e-08,6.581767e-08,6.673962e-08,6.677616e-08,6.764245e-08,6.786909e-08,6.842097e-08,6.884781e-08,6.911618e-08,6.968598e-08,6.973249e-08,7.027424e-08,7.039365e-08,7.074571e-08,7.098058e-08,7.115102e-08,7.145613e-08,7.149416e-08,7.177898e-08,7.182927e-08,7.200917e-08,7.210846e-08,7.218826e-08,7.230168e-08,7.231963e-08,7.240647e-08,7.241644e-08,7.245183e-08,7.245972e-08,7.245860e-08,7.243808e-08,7.242952e-08,7.236717e-08,7.235758e-08,7.227401e-08,7.222386e-08,7.215234e-08,7.204215e-08,7.200434e-08,7.183205e-08,7.181728e-08,7.163742e-08,7.155371e-08,7.142224e-08,7.125557e-08,7.118824e-08,7.093701e-08,7.092663e-08,7.067007e-08,7.057039e-08,7.038881e-08,7.019006e-08,7.009457e-08,6.978859e-08,6.947204e-08,6.936868e-08,6.914599e-08,6.893281e-08,6.881147e-08,6.848325e-08,6.846944e-08,6.812077e-08,6.802207e-08,6.776631e-08,6.755118e-08,6.740683e-08,6.707229e-08,6.704305e-08,6.667565e-08,6.658701e-08,6.630526e-08,6.609676e-08,6.593247e-08,6.560285e-08,6.555781e-08,6.518179e-08,6.510646e-08,6.480489e-08,6.460869e-08,6.442753e-08,6.411050e-08,6.405013e-08,6.367306e-08,6.361278e-08,6.329666e-08,6.311633e-08,6.292126e-08,6.262186e-08,6.254715e-08,6.217461e-08,6.213002e-08,6.180388e-08,6.164139e-08,6.143519e-08,6.115648e-08,6.106876e-08,6.070477e-08,6.067576e-08,6.034341e-08,6.019963e-08,5.998482e-08,5.972845e-08,5.962917e-08,5.927658e-08,5.926254e-08,5.892716e-08,5.880217e-08,5.858104e-08,5.834759e-08,5.823829e-08,5.789900e-08,5.745659e-08,5.702049e-08,5.659083e-08,5.616772e-08,5.575123e-08,5.534142e-08,5.493833e-08,5.454199e-08,5.415242e-08,5.376960e-08,5.339354e-08,5.302420e-08,5.266156e-08,5.230556e-08,5.195618e-08,5.161334e-08,5.127698e-08,5.094705e-08,5.062346e-08,5.030615e-08,4.999503e-08,4.969002e-08,4.939103e-08,4.909798e-08
0.000000e+00,8.134064e-12,1.859250e-11,6.398523e-11,1.467291e-10,2.157940e-10,5.069300e-10,5.231605e-10,1.069516e-09,1.280133e-09,1.968863e-09,2.734152e-09,3.356026e-09,5.158516e-09,5.340160e-09,7.917393e-09,8.609285e-09,1.093380e-08,1.273554e-08,1.418048e-08,1.709849e-08,1.749638e-08,2.078569e-08,2.143523e-08,2.399581e-08,2.562343e-08,2.709724e-08,2.960521e-08,3.007217e-08,3.290909e-08,3.334964e-08,3.560039e-08,3.683902e-08,3.814138e-08,4.006433e-08,4.052976e-08,4.276535e-08,4.302342e-08,4.484978e-08,4.571980e-08,4.678619e-08,4.816154e-08,4.857899e-08,5.023354e-08,5.036011e-08,5.175588e-08,5.232925e-08,5.315252e-08,5.408406e-08,5.443022e-08,5.559584e-08,5.564023e-08,5.665620e-08,5.701346e-08,5.761799e-08,5.821903e-08,5.848770e-08,5.927153e-08,5.997542e-08,6.018471e-08,6.060498e-08,6.097134e-08,6.116549e-08,6.164325e-08,6.166193e-08,6.209894e-08,6.221125e-08,6.248086e-08,6.268526e-08,6.281174e-08,6.307431e-08,6.309534e-08,6.333518e-08,6.338659e-08,6.353450e-08,6.362955e-08,6.369632e-08,6.380992e-08,6.382343e-08,6.391844e-08,6.393381e-08,6.398375e-08,6.400672e-08,6.402159e-08,6.403366e-08,6.403402e-08,6.402296e-08,6.401914e-08,6.399019e-08,6.396724e-08,6.393735e-08,6.388166e-08,6.386597e-08,6.377745e-08,6.376575e-08,6.367313e-08,6.362253e-08,6.355420e-08,6.345475e-08,6.342180e-08,6.327698e-08,6.326489e-08,6.312072e-08,6.305522e-08,6.295392e-08,6.282776e-08,6.277741e-08,6.259199e-08,6.258440e-08,6.239837e-08,6.232680e-08,6.219724e-08,6.205651e-08,6.198923e-08,6.177492e-08,6.155485e-08,6.148330e-08,6.132954e-08,6.118281e-08,6.109946e-08,6.087451e-08,6.086506e-08,6.062674e-08,6.055937e-08,6.038490e-08,6.023825e-08,6.013988e-08,5.991196e-08,5.989203e-08,5.964167e-08,5.958124e-08,5.938907e-08,5.924675e-08,5.913453e-08,5.890912e-08,5.887828e-08,5.862059e-08,5.856889e-08,5.836166e-08,5.822659e-08,5.810170e-08,5.788270e-08,5.784092e-08,5.757950e-08,5.753763e-08,5.731761e-08,5.719179e-08,5.705541e-08,5.684553e-08,5.679306e-08,5.653068e-08,5.649920e-08,5.626842e-08,5.615310e-08,5.600640e-08,5.580749e-08,5.574473e-08,5.548352e-08,5.546265e-08,5.522288e-08,5.511880e-08,5.496290e-08,5.477616e-08,5.470366e-08,5.444525e-08,5.443493e-08,5.418775e-08,5.409529e-08,5.393123e-08,5.375739e-08,5.367576e-08,5.342140e-08,5.308745e-08,5.275566e-08,5.242614e-08,5.209900e-08,5.177434e-08,5.145224e-08,5.113276e-08,5.081599e-08,5.050199e-08,5.019080e-08,4.988247e-08,4.957706e-08,4.927459e-08,4.897510e-08,4.867861e-08,4.838515e-08,4.809474e-08,4.780740e-08,4.752313e-08,4.724194e-08,4.696384e-08,4.668884e-08,4.641693e-08,4.614811e-08
0.000000e+00,3.138959e-10,9.412185e-10,4.456243e-09,1.192611e-08,1.852981e-08,4.719744e-08,4.879949e-08,1.018121e-07,1.216984e-07,1.848460e-07,2.524885e-07,3.062085e-07,4.596313e-07,4.751160e-07,7.007026e-07,7.641177e-07,9.896632e-07,1.179868e-06,1.343096e-06,1.702949e-06,1.755171e-06,2.215496e-06,2.312351e-06,2.712949e-06,2.983039e-06,3.237958e-06,3.694638e-06,3.782903e-06,4.341701e-06,4.432046e-06,4.909300e-06,5.183570e-06,5.481329e-06,5.939516e-06,6.053900e-06,6.623513e-06,6.691515e-06,7.187020e-06,7.432294e-06,7.741617e-06,8.155625e-06,8.284843e-06,8.814584e-06,8.856325e-06,9.329058e-06,9.530234e-06,9.826802e-06,1.017416e-05,1.030666e-05,1.076776e-05,1.078581e-05,1.120947e-05,1.136365e-05,1.163138e-05,1.190685e-05,1.203328e-05,1.241513e-05,1.277699e-05,1.288860e-05,1.311909e-05,1.332780e-05,1.344173e-05,1.373350e-05,1.374529e-05,1.403021e-05,1.410671e-05,1.429699e-05,1.444857e-05,1.454616e-05,1.476033e-05,1.477829e-05,1.499396e-05,1.504333e-05,1.519375e-05,1.529892e-05,1.537826e-05,1.552846e-05,1.554808e-05,1.570381e-05,1.573331e-05,1.584603e-05,1.591484e-05,1.597532e-05,1.607435e-05,1.609225e-05,1.619736e-05,1.621312e-05,1.629121e-05,1.633241e-05,1.637431e-05,1.643340e-05,1.644718e-05,1.651030e-05,1.651725e-05,1.656417e-05,1.658506e-05,1.660925e-05,1.663790e-05,1.664597e-05,1.667478e-05,1.667676e-05,1.669609e-05,1.670261e-05,1.671030e-05,1.671636e-05,1.671780e-05,1.671896e-05,1.671888e-05,1.671413e-05,1.671099e-05,1.670365e-05,1.669347e-05,1.668786e-05,1.666706e-05,1.664157e-05,1.663246e-05,1.661166e-05,1.659033e-05,1.657761e-05,1.654128e-05,1.653970e-05,1.649816e-05,1.648591e-05,1.645324e-05,1.642477e-05,1.640518e-05,1.635837e-05,1.635419e-05,1.630048e-05,1.628720e-05,1.624425e-05,1.621173e-05,1.618569e-05,1.613238e-05,1.612499e-05,1.606231e-05,1.604955e-05,1.599783e-05,1.596363e-05,1.593169e-05,1.587497e-05,1.586405e-05,1.579505e-05,1.578389e-05,1.572482e-05,1.569072e-05,1.565349e-05,1.559572e-05,1.558119e-05,1.550802e-05,1.549918e-05,1.543409e-05,1.540135e-05,1.535951e-05,1.530245e-05,1.528438e-05,1.520878e-05,1.520271e-05,1.513280e-05,1.510233e-05,1.505653e-05,1.500148e-05,1.498005e-05,1.490342e-05,1.490035e-05,1.482671e-05,1.479909e-05,1.474999e-05,1.469785e-05,1.467333e-05,1.459677e-05,1.449596e-05,1.439556e-05,1.429565e-05,1.419634e-05,1.409771e-05,1.399984e-05,1.390281e-05,1.380668e-05,1.371151e-05,1.361735e-05,1.352425e-05,1.343225e-05,1.334139e-05,1.325169e-05,1.316320e-05,1.307592e-05,1.298989e-05,1.290512e-05,1.282162e-05,1.273940e-05,1.265848e-05,1.257885e-05,1.250052e-05,1.242349e-05
0.000000e+00,1.157591e-11,2.658098e-11,9.179069e-11,2.094489e-10,3.060126e-10,6.966591e-10,7.177194e-10,1.391475e-09,1.636275e-09,2.395516e-09,3.185964e-09,3.800265e-09,5.498210e-09,5.665238e-09,8.017052e-09,8.653352e-09,1.084587e-08,1.262863e-08,1.412521e-08,1.736125e-08,1.782684e-08,2.192350e-08,2.278780e-08,2.638707e-08,2.884309e-08,3.118693e-08,3.545411e-08,3.628935e-08,4.165766e-08,4.253869e-08,4.725297e-08,5.000758e-08,5.303512e-08,5.776821e-08,5.896373e-08,6.499914e-08,6.572874e-08,7.110332e-08,7.380164e-08,7.724051e-08,8.190644e-08,8.337772e-08,8.948509e-08,8.997157e-08,9.553601e-08,9.793524e-08,1.015072e-07,1.057456e-07,1.073785e-07,1.131330e-07,1.133605e-07,1.187565e-07,1.207466e-07,1.242374e-07,1.278783e-07,1.295667e-07,1.347370e-07,1.397433e-07,1.413099e-07,1.445817e-07,1.475891e-07,1.492500e-07,1.535705e-07,1.537471e-07,1.580728e-07,1.592534e-07,1.622280e-07,1.646398e-07,1.662140e-07,1.697334e-07,1.700328e-07,1.736870e-07,1.745399e-07,1.771795e-07,1.790658e-07,1.805134e-07,1.833187e-07,1.836921e-07,1.867194e-07,1.873070e-07,1.895989e-07,1.910392e-07,1.923346e-07,1.945242e-07,1.949303e-07,1.973901e-07,1.977713e-07,1.997180e-07,2.007897e-07,2.019179e-07,2.035884e-07,2.039939e-07,2.059498e-07,2.061767e-07,2.077897e-07,2.085635e-07,2.095174e-07,2.107577e-07,2.111366e-07,2.126511e-07,2.127679e-07,2.140647e-07,2.146026e-07,2.153808e-07,2.162701e-07,2.166031e-07,2.177349e-07,2.177783e-07,2.187796e-07,2.191351e-07,2.197406e-07,2.203478e-07,2.206209e-07,2.214238e-07,2.221523e-07,2.223701e-07,2.228092e-07,2.231935e-07,2.233976e-07,2.239004e-07,2.239201e-07,2.243795e-07,2.244972e-07,2.247784e-07,2.249898e-07,2.251194e-07,2.253841e-07,2.254049e-07,2.256374e-07,2.256855e-07,2.258191e-07,2.258995e-07,2.259522e-07,2.260310e-07,2.260391e-07,2.260817e-07,2.260850e-07,2.260820e-07,2.260662e-07,2.260422e-07,2.259790e-07,2.259640e-07,2.258494e-07,2.258277e-07,2.256999e-07,2.256164e-07,2.255175e-07,2.253489e-07,2.253037e-07,2.250601e-07,2.250290e-07,2.247883e-07,2.246601e-07,2.244897e-07,2.242457e-07,2.241657e-07,2.238178e-07,2.237890e-07,2.234473e-07,2.232930e-07,2.230554e-07,2.227606e-07,2.226433e-07,2.222123e-07,2.221947e-07,2.217634e-07,2.215977e-07,2.212978e-07,2.209722e-07,2.208166e-07,2.203206e-07,2.196451e-07,2.189479e-07,2.182308e-07,2.174960e-07,2.167451e-07,2.159799e-07,2.152020e-07,2.144128e-07,2.136140e-07,2.128067e-07,2.119923e-07,2.111721e-07,2.103470e-07,2.095183e-07,2.086869e-07,2.078537e-07,2.070196e-07,2.061855e-07,2.053521e-07,2.045202e-07,2.036904e-07,2.028634e-07,2.020397e-07,2.012200e-07
0.000000e+00,3.529042e-11,1.214778e-10,7.167095e-10,2.211208e-09,3.649744e-09,1.041653e-08,1.080864e-08,2.412644e-08,2.921101e-08,4.544335e-08,6.282360e-08,7.655858e-08,1.152813e-07,1.191419e-07,1.742910e-07,1.894228e-07,2.420202e-07,2.851034e-07,3.213529e-07,3.996583e-07,4.108957e-07,5.092737e-07,5.298988e-07,6.152540e-07,6.729903e-07,7.277044e-07,8.263590e-07,8.455259e-07,9.676077e-07,9.874605e-07,1.092813e-06,1.153682e-06,1.219987e-06,1.322369e-06,1.347979e-06,1.475665e-06,1.490915e-06,1.601981e-06,1.656868e-06,1.725942e-06,1.818031e-06,1.846667e-06,1.963388e-06,1.972533e-06,2.075463e-06,2.118872e-06,2.182376e-06,2.255933e-06,2.283736e-06,2.379271e-06,2.382968e-06,2.468816e-06,2.499571e-06,2.552306e-06,2.605628e-06,2.629761e-06,2.701273e-06,2.766992e-06,2.786830e-06,2.827117e-06,2.862768e-06,2.881882e-06,2.929654e-06,2.931546e-06,2.976386e-06,2.988116e-06,3.016689e-06,3.038812e-06,3.052742e-06,3.082406e-06,3.084834e-06,3.113244e-06,3.119545e-06,3.138244e-06,3.150852e-06,3.160093e-06,3.176912e-06,3.179040e-06,3.195315e-06,3.198269e-06,3.209138e-06,3.215425e-06,3.220712e-06,3.228833e-06,3.230224e-06,3.237851e-06,3.238908e-06,3.243753e-06,3.246017e-06,3.248078e-06,3.250494e-06,3.250962e-06,3.252529e-06,3.252635e-06,3.252894e-06,3.252701e-06,3.252161e-06,3.250928e-06,3.250425e-06,3.247773e-06,3.247523e-06,3.244284e-06,3.242671e-06,3.240031e-06,3.236533e-06,3.235080e-06,3.229492e-06,3.229256e-06,3.223322e-06,3.220968e-06,3.216621e-06,3.211785e-06,3.209435e-06,3.201807e-06,3.193776e-06,3.191126e-06,3.185377e-06,3.179824e-06,3.176644e-06,3.167974e-06,3.167607e-06,3.158295e-06,3.155641e-06,3.148732e-06,3.142885e-06,3.138944e-06,3.129758e-06,3.128952e-06,3.118776e-06,3.116309e-06,3.108436e-06,3.102581e-06,3.097950e-06,3.088614e-06,3.087333e-06,3.076602e-06,3.074443e-06,3.065769e-06,3.060101e-06,3.054850e-06,3.045618e-06,3.043855e-06,3.032796e-06,3.031021e-06,3.021684e-06,3.016335e-06,3.010530e-06,3.001582e-06,2.999342e-06,2.988130e-06,2.986783e-06,2.976901e-06,2.971957e-06,2.965663e-06,2.957121e-06,2.954424e-06,2.943189e-06,2.942291e-06,2.931967e-06,2.927482e-06,2.920761e-06,2.912707e-06,2.909578e-06,2.898423e-06,2.897977e-06,2.887301e-06,2.883305e-06,2.876216e-06,2.868701e-06,2.865172e-06,2.854174e-06,2.839732e-06,2.825383e-06,2.811135e-06,2.796994e-06,2.782965e-06,2.769053e-06,2.755265e-06,2.741603e-06,2.728073e-06,2.714676e-06,2.701417e-06,2.688298e-06,2.675321e-06,2.662489e-06,2.649803e-06,2.637265e-06,2.624876e-06,2.612637e-06,2.600549e-06,2.588612e-06,2.576828e-06,2.565195e-06,2.553715e-06,2.542386e-06
0.000000e+00,1.342443e-11,3.119494e-11,1.090987e-10,2.505511e-10,3.670946e-10,8.414827e-10,8.671757e-10,1.694909e-09,1.998296e-09,2.947610e-09,3.948543e-09,4.734605e-09,6.939552e-09,7.158654e-09,1.027270e-08,1.112154e-08,1.405379e-08,1.643732e-08,1.843290e-08,2.272268e-08,2.333666e-08,2.870255e-08,2.982640e-08,3.447735e-08,3.762559e-08,4.061230e-08,4.600913e-08,4.705975e-08,5.377169e-08,5.486690e-08,6.069946e-08,6.408709e-08,6.779422e-08,7.355788e-08,7.500784e-08,8.229376e-08,8.317081e-08,8.960789e-08,9.282437e-08,9.690929e-08,1.024268e-07,1.041607e-07,1.113288e-07,1.118978e-07,1.183845e-07,1.211695e-07,1.253027e-07,1.301866e-07,1.320622e-07,1.386457e-07,1.389052e-07,1.450393e-07,1.472923e-07,1.512321e-07,1.553243e-07,1.572161e-07,1.629857e-07,1.685374e-07,1.702676e-07,1.738696e-07,1.771670e-07,1.789823e-07,1.836850e-07,1.838766e-07,1.885548e-07,1.898264e-07,1.930201e-07,1.955988e-07,1.972765e-07,2.010116e-07,2.013283e-07,2.051805e-07,2.060759e-07,2.088382e-07,2.108037e-07,2.123070e-07,2.152078e-07,2.155926e-07,2.187006e-07,2.193014e-07,2.216369e-07,2.230979e-07,2.244074e-07,2.266107e-07,2.270178e-07,2.294740e-07,2.298531e-07,2.317816e-07,2.328381e-07,2.339462e-07,2.355787e-07,2.359734e-07,2.378684e-07,2.380872e-07,2.396366e-07,2.403757e-07,2.412830e-07,2.424560e-07,2.428128e-07,2.442306e-07,2.443394e-07,2.455413e-07,2.460365e-07,2.467493e-07,2.475580e-07,2.478590e-07,2.488748e-07,2.489136e-07,2.498008e-07,2.501129e-07,2.506409e-07,2.511651e-07,2.513990e-07,2.520788e-07,2.526839e-07,2.528624e-07,2.532178e-07,2.535237e-07,2.536838e-07,2.540702e-07,2.540851e-07,2.544247e-07,2.545092e-07,2.547058e-07,2.548474e-07,2.549310e-07,2.550914e-07,2.551032e-07,2.552251e-07,2.552471e-07,2.552991e-07,2.553205e-07,2.553277e-07,2.553172e-07,2.553132e-07,2.552580e-07,2.552422e-07,2.551641e-07,2.551007e-07,2.550336e-07,2.548972e-07,2.548686e-07,2.546708e-07,2.546363e-07,2.544423e-07,2.543221e-07,2.541846e-07,2.539587e-07,2.538995e-07,2.535886e-07,2.535497e-07,2.532535e-07,2.530987e-07,2.528956e-07,2.526092e-07,2.525163e-07,2.521170e-07,2.520842e-07,2.516989e-07,2.515267e-07,2.512634e-07,2.509396e-07,2.508115e-07,2.503445e-07,2.503255e-07,2.498634e-07,2.496869e-07,2.493692e-07,2.490262e-07,2.488629e-07,2.483455e-07,2.476470e-07,2.469325e-07,2.462041e-07,2.454633e-07,2.447118e-07,2.439511e-07,2.431826e-07,2.424077e-07,2.416276e-07,2.408436e-07,2.400565e-07,2.392676e-07,2.384777e-07,2.376878e-07,2.368986e-07,2.361109e-07,2.353254e-07,2.345429e-07,2.337638e-07,2.329888e-07,2.322183e-07,2.314530e-07,2.306931e-07,2.299391e-07
0.000000e+00,4.043157e-10,1.087432e-09,4.477555e-09,1.115387e-08,1.687948e-08,4.126984e-08,4.262715e-08,8.779014e-08,1.049326e-07,1.602187e-07,2.207789e-07,2.696796e-07,4.116303e-07,4.260392e-07,6.346051e-07,6.922738e-07,8.925527e-07,1.055532e-06,1.191558e-06,1.481646e-06,1.522859e-06,1.879532e-06,1.953435e-06,2.256444e-06,2.459088e-06,2.649624e-06,2.990028e-06,3.055754e-06,3.471878e-06,3.539200e-06,3.895261e-06,4.100304e-06,4.323339e-06,4.667568e-06,4.753718e-06,5.184172e-06,5.235733e-06,5.612683e-06,5.800138e-06,6.037441e-06,6.356760e-06,6.456855e-06,6.869553e-06,6.902242e-06,7.274379e-06,7.433884e-06,7.670372e-06,7.949562e-06,8.056733e-06,8.432837e-06,8.447661e-06,8.798211e-06,8.927048e-06,9.152506e-06,9.386974e-06,9.495485e-06,9.827004e-06,1.014700e-05,1.024696e-05,1.045547e-05,1.064687e-05,1.075248e-05,1.102691e-05,1.103812e-05,1.131254e-05,1.138739e-05,1.157591e-05,1.172870e-05,1.182841e-05,1.205130e-05,1.207026e-05,1.230169e-05,1.235571e-05,1.252294e-05,1.264248e-05,1.273424e-05,1.291217e-05,1.293586e-05,1.312804e-05,1.316537e-05,1.331105e-05,1.340268e-05,1.348515e-05,1.362469e-05,1.365059e-05,1.380762e-05,1.383199e-05,1.395651e-05,1.402516e-05,1.409751e-05,1.420479e-05,1.423086e-05,1.435681e-05,1.437144e-05,1.447560e-05,1.452566e-05,1.458747e-05,1.466800e-05,1.469265e-05,1.479136e-05,1.479898e-05,1.488383e-05,1.491911e-05,1.497027e-05,1.502890e-05,1.505090e-05,1.512592e-05,1.512881e-05,1.519554e-05,1.521932e-05,1.525996e-05,1.530088e-05,1.531935e-05,1.537391e-05,1.542383e-05,1.543885e-05,1.546927e-05,1.549609e-05,1.551042e-05,1.554602e-05,1.554742e-05,1.558045e-05,1.558901e-05,1.560967e-05,1.562543e-05,1.563522e-05,1.565562e-05,1.565725e-05,1.567591e-05,1.567990e-05,1.569133e-05,1.569860e-05,1.570365e-05,1.571203e-05,1.571300e-05,1.571950e-05,1.572047e-05,1.572328e-05,1.572420e-05,1.572445e-05,1.572350e-05,1.572312e-05,1.571942e-05,1.571861e-05,1.571344e-05,1.570979e-05,1.570528e-05,1.569726e-05,1.569505e-05,1.568285e-05,1.568125e-05,1.566876e-05,1.566198e-05,1.565287e-05,1.563965e-05,1.563528e-05,1.561606e-05,1.561446e-05,1.559530e-05,1.558658e-05,1.557308e-05,1.555621e-05,1.554946e-05,1.552452e-05,1.552350e-05,1.549833e-05,1.548861e-05,1.547097e-05,1.545171e-05,1.544248e-05,1.541294e-05,1.537244e-05,1.533033e-05,1.528675e-05,1.524182e-05,1.519564e-05,1.514833e-05,1.509999e-05,1.505072e-05,1.500060e-05,1.494974e-05,1.489820e-05,1.484607e-05,1.479342e-05,1.474033e-05,1.468685e-05,1.463306e-05,1.457901e-05,1.452476e-05,1.447036e-05,1.441586e-05,1.436131e-05,1.430675e-05,1.425223e-05,1.419777e-05
0.000000e+00,2.333869e-11,5.369534e-11,1.848073e-10,4.188902e-10,6.093042e-10,1.369033e-09,1.409608e-09,2.692599e-09,3.152840e-09,4.565473e-09,6.018567e-09,7.139735e-09,1.022389e-08,1.052721e-08,1.481816e-08,1.598750e-08,2.004254e-08,2.335974e-08,2.614945e-08,3.217023e-08,3.303338e-08,4.057688e-08,4.215506e-08,4.867306e-08,5.307012e-08,5.722877e-08,6.470948e-08,6.616059e-08,7.539055e-08,7.688995e-08,8.484334e-08,8.943812e-08,9.444519e-08,1.021853e-07,1.041237e-07,1.138085e-07,1.149679e-07,1.234323e-07,1.276308e-07,1.329314e-07,1.400312e-07,1.422474e-07,1.513273e-07,1.520421e-07,1.601246e-07,1.635552e-07,1.685995e-07,1.744829e-07,1.767188e-07,1.844560e-07,1.847572e-07,1.917911e-07,1.943305e-07,1.987102e-07,2.031731e-07,2.052050e-07,2.112720e-07,2.169125e-07,2.186281e-07,2.221314e-07,2.252539e-07,2.269368e-07,2.311711e-07,2.313397e-07,2.353529e-07,2.364088e-07,2.389913e-07,2.410010e-07,2.422707e-07,2.449852e-07,2.452080e-07,2.478204e-07,2.484010e-07,2.501256e-07,2.512888e-07,2.521412e-07,2.536892e-07,2.538847e-07,2.553731e-07,2.556417e-07,2.566231e-07,2.571842e-07,2.576506e-07,2.583531e-07,2.584710e-07,2.590992e-07,2.591828e-07,2.595491e-07,2.597057e-07,2.598341e-07,2.599518e-07,2.599667e-07,2.599588e-07,2.599490e-07,2.598216e-07,2.597230e-07,2.595655e-07,2.592975e-07,2.592004e-07,2.587354e-07,2.586941e-07,2.581791e-07,2.579328e-07,2.575394e-07,2.570314e-07,2.568238e-07,2.560392e-07,2.560065e-07,2.551921e-07,2.548729e-07,2.542883e-07,2.536442e-07,2.533334e-07,2.523325e-07,2.512904e-07,2.509490e-07,2.502116e-07,2.495037e-07,2.491000e-07,2.480056e-07,2.479594e-07,2.467934e-07,2.464628e-07,2.456051e-07,2.448827e-07,2.443975e-07,2.432719e-07,2.431734e-07,2.419353e-07,2.416364e-07,2.406856e-07,2.399815e-07,2.394264e-07,2.383120e-07,2.381597e-07,2.368873e-07,2.366323e-07,2.356110e-07,2.349463e-07,2.343323e-07,2.332573e-07,2.330526e-07,2.317732e-07,2.315686e-07,2.304954e-07,2.298829e-07,2.292202e-07,2.282027e-07,2.279487e-07,2.266819e-07,2.265302e-07,2.254204e-07,2.248673e-07,2.241652e-07,2.232159e-07,2.229170e-07,2.216764e-07,2.215775e-07,2.204439e-07,2.199534e-07,2.192202e-07,2.183448e-07,2.180057e-07,2.168008e-07,2.167528e-07,2.156060e-07,2.151783e-07,2.144215e-07,2.136222e-07,2.132478e-07,2.120850e-07,2.105674e-07,2.090698e-07,2.075927e-07,2.061365e-07,2.047013e-07,2.032874e-07,2.018949e-07,2.005240e-07,1.991747e-07,1.978470e-07,1.965409e-07,1.952563e-07,1.939932e-07,1.927515e-07,1.915310e-07,1.903315e-07,1.891530e-07,1.879952e-07,1.868579e-07,1.857409e-07,1.846440e-07,1.835669e-07,1.825093e-07,1.814711e-07
0.000000e+00,1.232334e-11,2.820507e-11,9.704680e-11,2.213117e-10,3.236002e-10,7.413232e-10,7.640367e-10,1.501410e-09,1.774379e-09,2.636986e-09,3.558316e-09,4.288520e-09,6.356680e-09,6.563158e-09,9.500765e-09,1.029975e-08,1.304442e-08,1.525308e-08,1.708481e-08,2.096699e-08,2.151651e-08,2.625683e-08,2.723608e-08,3.124219e-08,3.391393e-08,3.642085e-08,4.088728e-08,4.174786e-08,4.718248e-08,4.805945e-08,5.268709e-08,5.534385e-08,5.822694e-08,6.266271e-08,6.377021e-08,6.928820e-08,6.994742e-08,7.475546e-08,7.713915e-08,8.014981e-08,8.418896e-08,8.545227e-08,9.064693e-08,9.105744e-08,9.572074e-08,9.771399e-08,1.006632e-07,1.041358e-07,1.054662e-07,1.101235e-07,1.103067e-07,1.146308e-07,1.162161e-07,1.189851e-07,1.218579e-07,1.231850e-07,1.272297e-07,1.311198e-07,1.323321e-07,1.348562e-07,1.371677e-07,1.384407e-07,1.417409e-07,1.418755e-07,1.451630e-07,1.460575e-07,1.483063e-07,1.501242e-07,1.513083e-07,1.539484e-07,1.541725e-07,1.569023e-07,1.575378e-07,1.595012e-07,1.609007e-07,1.619728e-07,1.640454e-07,1.643207e-07,1.665488e-07,1.669803e-07,1.686605e-07,1.697138e-07,1.706595e-07,1.722543e-07,1.725495e-07,1.743339e-07,1.746099e-07,1.760165e-07,1.767889e-07,1.776005e-07,1.787990e-07,1.790894e-07,1.804866e-07,1.806482e-07,1.817952e-07,1.823439e-07,1.830187e-07,1.838934e-07,1.841599e-07,1.852221e-07,1.853038e-07,1.862082e-07,1.865820e-07,1.871211e-07,1.877347e-07,1.879636e-07,1.887385e-07,1.887681e-07,1.894484e-07,1.896886e-07,1.900960e-07,1.905020e-07,1.906837e-07,1.912140e-07,1.916893e-07,1.918301e-07,1.921118e-07,1.923556e-07,1.924838e-07,1.927955e-07,1.928075e-07,1.930849e-07,1.931546e-07,1.933180e-07,1.934375e-07,1.935089e-07,1.936487e-07,1.936593e-07,1.937712e-07,1.937925e-07,1.938462e-07,1.938727e-07,1.938861e-07,1.938934e-07,1.938924e-07,1.938669e-07,1.938581e-07,1.938110e-07,1.937704e-07,1.937262e-07,1.936337e-07,1.936139e-07,1.934755e-07,1.934510e-07,1.933123e-07,1.932256e-07,1.931256e-07,1.929601e-07,1.929166e-07,1.926864e-07,1.926575e-07,1.924363e-07,1.923202e-07,1.921673e-07,1.919509e-07,1.918804e-07,1.915767e-07,1.915517e-07,1.912572e-07,1.911251e-07,1.909227e-07,1.906731e-07,1.905742e-07,1.902124e-07,1.901977e-07,1.898384e-07,1.897009e-07,1.894528e-07,1.891844e-07,1.890564e-07,1.886500e-07,1.880992e-07,1.875337e-07,1.869549e-07,1.863642e-07,1.857628e-07,1.851520e-07,1.845329e-07,1.839067e-07,1.832743e-07,1.826367e-07,1.819949e-07,1.813497e-07,1.807019e-07,1.800522e-07,1.794014e-07,1.787501e-07,1.780989e-07,1.774485e-07,1.767994e-07,1.761521e-07,1.755070e-07,1.748646e-07,1.742254e-07,1.735896e-07
0.000000e+00,1.127507e-10,3.242953e-10,1.445500e-09,3.726518e-09,5.694369e-09,1.398164e-08,1.443618e-08,2.913312e-08,3.450661e-08,5.118092e-08,6.850230e-08,8.193096e-08,1.190142e-07,1.226690e-07,1.745385e-07,1.887476e-07,2.383996e-07,2.795672e-07,3.146304e-07,3.917057e-07,4.029033e-07,5.020340e-07,5.229998e-07,6.100384e-07,6.688947e-07,7.244468e-07,8.236464e-07,8.427365e-07,9.626687e-07,9.818827e-07,1.082425e-06,1.139418e-06,1.200597e-06,1.293270e-06,1.316121e-06,1.428201e-06,1.441389e-06,1.536249e-06,1.582398e-06,1.639841e-06,1.715408e-06,1.738687e-06,1.832605e-06,1.839902e-06,1.921500e-06,1.955645e-06,2.005352e-06,2.062622e-06,2.084198e-06,2.158122e-06,2.160979e-06,2.227246e-06,2.250982e-06,2.291715e-06,2.332982e-06,2.351700e-06,2.407381e-06,2.458947e-06,2.474612e-06,2.506594e-06,2.535122e-06,2.550517e-06,2.589359e-06,2.590909e-06,2.627961e-06,2.637762e-06,2.661858e-06,2.680756e-06,2.692778e-06,2.718744e-06,2.720894e-06,2.746372e-06,2.752112e-06,2.769369e-06,2.781221e-06,2.790036e-06,2.806409e-06,2.808516e-06,2.824944e-06,2.827995e-06,2.839449e-06,2.846272e-06,2.852152e-06,2.861513e-06,2.863167e-06,2.872602e-06,2.873972e-06,2.880559e-06,2.883882e-06,2.887134e-06,2.891459e-06,2.892417e-06,2.896493e-06,2.896904e-06,2.899441e-06,2.900401e-06,2.901337e-06,2.902118e-06,2.902252e-06,2.902251e-06,2.902213e-06,2.901397e-06,2.900829e-06,2.899748e-06,2.898099e-06,2.897359e-06,2.894282e-06,2.894145e-06,2.890565e-06,2.889079e-06,2.886254e-06,2.883006e-06,2.881392e-06,2.876019e-06,2.870172e-06,2.868207e-06,2.863888e-06,2.859651e-06,2.857198e-06,2.850425e-06,2.850136e-06,2.842729e-06,2.840597e-06,2.835005e-06,2.830230e-06,2.826991e-06,2.819382e-06,2.818711e-06,2.810187e-06,2.808107e-06,2.801440e-06,2.796453e-06,2.792492e-06,2.784466e-06,2.783361e-06,2.774065e-06,2.772187e-06,2.764620e-06,2.759655e-06,2.755042e-06,2.746904e-06,2.745346e-06,2.735545e-06,2.733968e-06,2.725653e-06,2.720875e-06,2.715681e-06,2.707654e-06,2.705641e-06,2.695544e-06,2.694329e-06,2.685399e-06,2.680923e-06,2.675217e-06,2.667458e-06,2.665005e-06,2.654773e-06,2.653953e-06,2.644527e-06,2.640427e-06,2.634276e-06,2.626895e-06,2.624025e-06,2.613782e-06,2.613373e-06,2.603552e-06,2.599874e-06,2.593341e-06,2.586411e-06,2.583154e-06,2.572996e-06,2.559638e-06,2.546349e-06,2.533136e-06,2.520008e-06,2.506971e-06,2.494033e-06,2.481199e-06,2.468474e-06,2.455864e-06,2.443373e-06,2.431004e-06,2.418761e-06,2.406647e-06,2.394665e-06,2.382817e-06,2.371105e-06,2.359531e-06,2.348096e-06,2.336801e-06,2.325647e-06,2.314635e-06,2.303765e-06,2.293039e-06,2.282455e-06
0.000000e+00,8.050732e-11,2.058681e-10,7.958490e-10,1.909217e-09,2.838398e-09,6.637239e-09,6.842658e-09,1.340820e-08,1.578575e-08,2.312508e-08,3.071699e-08,3.659401e-08,5.282770e-08,5.442958e-08,7.722034e-08,8.348217e-08,1.054077e-07,1.236075e-07,1.390970e-07,1.730374e-07,1.779530e-07,2.213232e-07,2.304732e-07,2.684670e-07,2.942419e-07,3.186987e-07,3.628389e-07,3.714189e-07,4.260977e-07,4.349952e-07,4.822509e-07,5.095939e-07,5.394245e-07,5.856079e-07,5.971877e-07,6.551316e-07,6.620784e-07,7.128711e-07,7.381187e-07,7.700491e-07,8.129267e-07,8.263391e-07,8.814494e-07,8.857993e-07,9.351240e-07,9.561417e-07,9.871444e-07,1.023471e-06,1.037329e-06,1.085531e-06,1.087417e-06,1.131640e-06,1.147710e-06,1.175574e-06,1.204179e-06,1.217280e-06,1.256733e-06,1.293926e-06,1.305353e-06,1.328876e-06,1.350079e-06,1.361611e-06,1.390996e-06,1.392177e-06,1.420629e-06,1.428225e-06,1.447030e-06,1.461916e-06,1.471452e-06,1.492235e-06,1.493968e-06,1.514659e-06,1.519362e-06,1.533604e-06,1.543482e-06,1.550887e-06,1.564784e-06,1.566587e-06,1.580788e-06,1.583455e-06,1.593567e-06,1.599677e-06,1.605005e-06,1.613630e-06,1.615175e-06,1.624153e-06,1.625483e-06,1.632008e-06,1.635400e-06,1.638809e-06,1.643535e-06,1.644622e-06,1.649507e-06,1.650034e-06,1.653526e-06,1.655034e-06,1.656734e-06,1.658664e-06,1.659186e-06,1.660931e-06,1.661042e-06,1.662019e-06,1.662281e-06,1.662495e-06,1.662484e-06,1.662403e-06,1.661783e-06,1.661747e-06,1.660673e-06,1.660161e-06,1.659110e-06,1.657806e-06,1.657128e-06,1.654759e-06,1.652034e-06,1.651091e-06,1.648980e-06,1.646866e-06,1.645625e-06,1.642144e-06,1.641993e-06,1.638109e-06,1.636979e-06,1.633994e-06,1.631423e-06,1.629669e-06,1.625521e-06,1.625153e-06,1.620466e-06,1.619317e-06,1.615623e-06,1.612849e-06,1.610641e-06,1.606153e-06,1.605534e-06,1.600317e-06,1.599262e-06,1.595004e-06,1.592206e-06,1.589605e-06,1.585013e-06,1.584133e-06,1.578597e-06,1.577707e-06,1.573009e-06,1.570311e-06,1.567378e-06,1.562847e-06,1.561711e-06,1.556018e-06,1.555333e-06,1.550305e-06,1.547787e-06,1.544579e-06,1.540224e-06,1.538848e-06,1.533117e-06,1.532659e-06,1.527391e-06,1.525104e-06,1.521677e-06,1.517571e-06,1.515978e-06,1.510299e-06,1.510072e-06,1.504644e-06,1.502615e-06,1.499017e-06,1.495208e-06,1.493422e-06,1.487861e-06,1.480579e-06,1.473368e-06,1.466234e-06,1.459182e-06,1.452216e-06,1.445339e-06,1.438555e-06,1.431867e-06,1.425276e-06,1.418785e-06,1.412396e-06,1.406109e-06,1.399926e-06,1.393847e-06,1.387873e-06,1.382005e-06,1.376242e-06,1.370584e-06,1.365031e-06,1.359582e-06,1.354238e-06,1.348997e-06,1.343858e-06,1.338822e-06
0.000000e+00,5.423501e-11,1.270450e-10,4.457899e-10,1.021184e-09,1.493046e-09,3.404088e-09,3.507367e-09,6.833692e-09,8.054531e-09,1.188552e-08,1.594301e-08,1.913974e-08,2.812370e-08,2.901566e-08,4.161661e-08,4.501534e-08,5.659610e-08,6.580709e-08,7.337248e-08,8.918877e-08,9.140413e-08,1.102822e-07,1.141317e-07,1.297084e-07,1.399487e-07,1.494534e-07,1.661456e-07,1.693269e-07,1.891613e-07,1.923208e-07,2.088048e-07,2.181247e-07,2.281191e-07,2.432495e-07,2.469800e-07,2.652787e-07,2.674322e-07,2.829233e-07,2.904598e-07,2.998388e-07,3.121710e-07,3.159677e-07,3.312697e-07,3.324573e-07,3.457203e-07,3.512594e-07,3.593089e-07,3.685593e-07,3.720369e-07,3.839163e-07,3.843741e-07,3.949681e-07,3.987495e-07,4.052199e-07,4.117490e-07,4.147015e-07,4.234485e-07,4.314983e-07,4.339333e-07,4.388898e-07,4.432931e-07,4.456624e-07,4.516182e-07,4.518553e-07,4.575063e-07,4.589965e-07,4.626523e-07,4.655123e-07,4.673287e-07,4.712452e-07,4.715691e-07,4.754052e-07,4.762690e-07,4.788667e-07,4.806521e-07,4.819817e-07,4.844569e-07,4.847761e-07,4.872742e-07,4.877402e-07,4.894984e-07,4.905536e-07,4.914694e-07,4.929436e-07,4.932065e-07,4.947274e-07,4.949518e-07,4.960483e-07,4.966159e-07,4.971845e-07,4.979696e-07,4.981496e-07,4.989566e-07,4.990433e-07,4.996171e-07,4.998642e-07,5.001421e-07,5.004565e-07,5.005414e-07,5.008243e-07,5.008422e-07,5.009993e-07,5.010408e-07,5.010741e-07,5.010702e-07,5.010561e-07,5.009520e-07,5.009461e-07,5.007678e-07,5.006830e-07,5.005094e-07,5.002939e-07,5.001819e-07,4.997904e-07,4.993395e-07,4.991833e-07,4.988332e-07,4.984821e-07,4.982757e-07,4.976956e-07,4.976706e-07,4.970212e-07,4.968319e-07,4.963308e-07,4.958981e-07,4.956024e-07,4.949010e-07,4.948387e-07,4.940424e-07,4.938466e-07,4.932158e-07,4.927406e-07,4.923613e-07,4.915880e-07,4.914811e-07,4.905770e-07,4.903935e-07,4.896511e-07,4.891616e-07,4.887051e-07,4.878961e-07,4.877406e-07,4.867592e-07,4.866008e-07,4.857625e-07,4.852790e-07,4.847517e-07,4.839339e-07,4.837282e-07,4.826933e-07,4.825684e-07,4.816480e-07,4.811851e-07,4.805936e-07,4.797867e-07,4.795310e-07,4.784612e-07,4.783753e-07,4.773851e-07,4.769531e-07,4.763037e-07,4.755222e-07,4.752177e-07,4.741280e-07,4.740843e-07,4.730352e-07,4.726412e-07,4.719401e-07,4.711944e-07,4.708433e-07,4.697455e-07,4.682959e-07,4.668467e-07,4.653992e-07,4.639544e-07,4.625135e-07,4.610773e-07,4.596468e-07,4.582227e-07,4.568058e-07,4.553969e-07,4.539964e-07,4.526051e-07,4.512235e-07,4.498521e-07,4.484914e-07,4.471417e-07,4.458036e-07,4.444772e-07,4.431630e-07,4.418613e-07,4.405722e-07,4.392961e-07,4.380332e-07,4.367836e-07
0.000000e+00,4.293098e-09,1.671339e-08,1.255740e-07,4.756252e-07,8.734721e-07,3.225174e-06,3.380019e-06,9.499239e-06,1.219641e-05,2.183696e-05,3.359005e-05,4.374980e-05,7.586469e-05,7.932070e-05,1.332671e-04,1.495130e-04,2.106975e-04,2.662277e-04,3.167013e-04,4.373123e-04,4.559052e-04,6.321473e-04,6.721116e-04,8.483110e-04,9.771576e-04,1.106279e-03,1.355967e-03,1.406955e-03,1.750328e-03,1.809184e-03,2.135546e-03,2.334870e-03,2.561005e-03,2.928844e-03,3.024440e-03,3.523022e-03,3.585062e-03,4.053460e-03,4.296012e-03,4.612096e-03,5.053117e-03,5.195015e-03,5.798134e-03,5.847131e-03,6.417295e-03,6.668520e-03,7.048353e-03,7.507795e-03,7.687246e-03,8.330064e-03,8.355805e-03,8.973100e-03,9.203972e-03,9.612895e-03,1.004447e-02,1.024627e-02,1.087033e-02,1.148252e-02,1.167554e-02,1.208058e-02,1.245502e-02,1.266258e-02,1.320466e-02,1.322688e-02,1.377213e-02,1.392124e-02,1.429728e-02,1.460237e-02,1.480150e-02,1.524641e-02,1.528423e-02,1.574510e-02,1.585243e-02,1.618392e-02,1.642004e-02,1.660071e-02,1.694937e-02,1.699561e-02,1.736887e-02,1.744096e-02,1.772089e-02,1.789569e-02,1.805212e-02,1.831470e-02,1.836312e-02,1.865448e-02,1.869932e-02,1.892686e-02,1.905106e-02,1.918093e-02,1.937149e-02,1.941742e-02,1.963703e-02,1.966229e-02,1.984051e-02,1.992511e-02,2.002858e-02,2.016166e-02,2.020197e-02,2.036140e-02,2.037357e-02,2.050757e-02,2.056248e-02,2.064117e-02,2.072995e-02,2.076286e-02,2.087331e-02,2.087750e-02,2.097312e-02,2.100656e-02,2.106289e-02,2.111851e-02,2.114322e-02,2.121464e-02,2.127768e-02,2.129617e-02,2.133285e-02,2.136424e-02,2.138062e-02,2.141994e-02,2.142144e-02,2.145576e-02,2.146426e-02,2.148397e-02,2.149813e-02,2.150647e-02,2.152243e-02,2.152361e-02,2.153575e-02,2.153795e-02,2.154320e-02,2.154545e-02,2.154629e-02,2.154561e-02,2.154529e-02,2.154048e-02,2.153909e-02,2.153213e-02,2.152646e-02,2.152046e-02,2.150827e-02,2.150572e-02,2.148811e-02,2.148504e-02,2.146784e-02,2.145722e-02,2.144509e-02,2.142524e-02,2.142006e-02,2.139290e-02,2.138950e-02,2.136377e-02,2.135037e-02,2.133282e-02,2.130818e-02,2.130020e-02,2.126603e-02,2.126323e-02,2.123044e-02,2.121583e-02,2.119354e-02,2.116622e-02,2.115544e-02,2.111625e-02,2.111466e-02,2.107606e-02,2.106136e-02,2.103496e-02,2.100653e-02,2.099303e-02,2.095037e-02,2.089304e-02,2.083471e-02,2.077553e-02,2.071563e-02,2.065514e-02,2.059417e-02,2.053284e-02,2.047124e-02,2.040946e-02,2.034759e-02,2.028570e-02,2.022386e-02,2.016215e-02,2.010061e-02,2.003930e-02,1.997828e-02,1.991758e-02,1.985726e-02,1.979734e-02,1.973787e-02,1.967887e-02,1.962037e-02,1.956241e-02,1.950500e-02
0.000000e+00,7.920981e-10,3.097458e-09,2.349848e-08,8.985491e-08,1.659436e-07,6.226440e-07,6.530008e-07,1.870232e-06,2.415049e-06,4.392174e-06,6.851746e-06,9.012705e-06,1.601062e-05,1.677665e-05,2.899674e-05,3.276085e-05,4.722049e-05,6.066939e-05,7.311369e-05,1.035218e-04,1.082794e-04,1.540856e-04,1.646206e-04,2.115575e-04,2.462823e-04,2.813401e-04,3.496836e-04,3.637100e-04,4.586107e-04,4.749384e-04,5.656995e-04,6.212681e-04,6.843938e-04,7.871889e-04,8.139172e-04,9.533404e-04,9.706879e-04,1.101619e-03,1.169379e-03,1.257627e-03,1.380639e-03,1.420187e-03,1.588098e-03,1.601726e-03,1.760157e-03,1.829877e-03,1.935182e-03,2.062391e-03,2.112027e-03,2.289598e-03,2.296701e-03,2.466863e-03,2.530417e-03,2.642864e-03,2.761370e-03,2.816720e-03,2.987633e-03,3.154888e-03,3.207533e-03,3.317858e-03,3.419653e-03,3.475995e-03,3.622831e-03,3.628838e-03,3.775998e-03,3.816141e-03,3.917164e-03,3.998880e-03,4.052088e-03,4.170550e-03,4.180590e-03,4.302546e-03,4.330832e-03,4.417884e-03,4.479572e-03,4.526581e-03,4.616757e-03,4.628658e-03,4.724174e-03,4.742497e-03,4.813220e-03,4.857007e-03,4.895919e-03,4.960587e-03,4.972416e-03,5.042875e-03,5.053600e-03,5.107479e-03,5.136466e-03,5.166422e-03,5.209639e-03,5.219910e-03,5.268156e-03,5.273603e-03,5.311376e-03,5.328857e-03,5.349791e-03,5.375911e-03,5.383624e-03,5.413097e-03,5.415273e-03,5.438428e-03,5.447450e-03,5.459836e-03,5.472940e-03,5.477533e-03,5.491727e-03,5.492225e-03,5.502623e-03,5.505776e-03,5.510417e-03,5.514044e-03,5.515301e-03,5.517459e-03,5.517069e-03,5.516435e-03,5.514302e-03,5.511360e-03,5.509321e-03,5.502603e-03,5.502284e-03,5.493338e-03,5.490511e-03,5.482628e-03,5.475411e-03,5.470288e-03,5.457607e-03,5.456448e-03,5.441229e-03,5.437384e-03,5.424747e-03,5.415007e-03,5.407112e-03,5.390722e-03,5.388428e-03,5.368791e-03,5.364757e-03,5.348293e-03,5.337324e-03,5.327022e-03,5.308616e-03,5.305059e-03,5.282480e-03,5.278815e-03,5.259357e-03,5.248085e-03,5.235757e-03,5.216576e-03,5.211743e-03,5.187374e-03,5.184429e-03,5.162705e-03,5.151769e-03,5.137787e-03,5.118712e-03,5.112667e-03,5.087391e-03,5.085363e-03,5.061998e-03,5.051818e-03,5.036529e-03,5.018163e-03,5.011018e-03,4.985498e-03,4.984477e-03,4.959999e-03,4.950831e-03,4.934551e-03,4.917287e-03,4.909178e-03,4.883904e-03,4.850732e-03,4.817817e-03,4.785199e-03,4.752914e-03,4.720993e-03,4.689465e-03,4.658353e-03,4.627677e-03,4.597455e-03,4.567703e-03,4.538433e-03,4.509655e-03,4.481378e-03,4.453607e-03,4.426348e-03,4.399603e-03,4.373375e-03,4.347663e-03,4.322468e-03,4.297787e-03,4.273617e-03,4.249957e-03,4.226801e-03,4.204146e-03
0.000000e+00,2.572422e-10,6.511446e-10,2.479629e-09,5.889467e-09,8.717231e-09,2.021852e-08,2.083945e-08,4.070819e-08,4.792752e-08,7.032809e-08,9.369276e-08,1.119082e-07,1.626988e-07,1.677402e-07,2.397428e-07,2.595444e-07,3.285807e-07,3.852285e-07,4.327755e-07,5.343826e-07,5.487822e-07,6.722364e-07,6.974601e-07,7.992198e-07,8.656200e-07,9.267540e-07,1.032742e-06,1.052725e-06,1.175643e-06,1.194950e-06,1.294440e-06,1.349760e-06,1.408333e-06,1.495525e-06,1.516747e-06,1.619268e-06,1.631160e-06,1.715614e-06,1.756004e-06,1.805621e-06,1.869745e-06,1.889227e-06,1.966454e-06,1.972359e-06,2.037401e-06,2.064056e-06,2.102230e-06,2.145232e-06,2.161146e-06,2.214393e-06,2.216408e-06,2.262244e-06,2.278205e-06,2.304988e-06,2.331291e-06,2.342927e-06,2.376364e-06,2.405602e-06,2.414121e-06,2.430940e-06,2.445243e-06,2.452666e-06,2.470380e-06,2.471055e-06,2.486372e-06,2.490144e-06,2.498866e-06,2.505104e-06,2.508770e-06,2.515784e-06,2.516304e-06,2.521673e-06,2.522660e-06,2.525066e-06,2.526169e-06,2.526660e-06,2.526704e-06,2.526617e-06,2.525089e-06,2.524617e-06,2.522213e-06,2.520229e-06,2.518118e-06,2.513822e-06,2.512921e-06,2.506729e-06,2.505652e-06,2.499641e-06,2.495947e-06,2.491748e-06,2.484910e-06,2.483133e-06,2.473872e-06,2.472721e-06,2.464035e-06,2.459541e-06,2.453685e-06,2.445513e-06,2.442882e-06,2.431679e-06,2.430767e-06,2.420124e-06,2.415414e-06,2.408263e-06,2.399556e-06,2.396136e-06,2.383782e-06,2.383283e-06,2.371234e-06,2.366675e-06,2.358523e-06,2.349803e-06,2.345680e-06,2.332729e-06,2.319695e-06,2.315510e-06,2.306599e-06,2.298195e-06,2.293463e-06,2.280829e-06,2.280303e-06,2.267137e-06,2.263451e-06,2.253979e-06,2.246095e-06,2.240845e-06,2.228792e-06,2.227745e-06,2.214693e-06,2.211568e-06,2.201697e-06,2.194448e-06,2.188768e-06,2.177453e-06,2.175915e-06,2.163145e-06,2.160601e-06,2.150464e-06,2.143908e-06,2.137880e-06,2.127389e-06,2.125399e-06,2.113024e-06,2.111054e-06,2.100761e-06,2.094915e-06,2.088613e-06,2.078981e-06,2.076585e-06,2.064680e-06,2.063259e-06,2.052899e-06,2.047756e-06,2.041247e-06,2.032478e-06,2.029724e-06,2.018333e-06,2.017427e-06,2.007075e-06,2.002609e-06,1.995951e-06,1.988026e-06,1.984963e-06,1.974110e-06,1.973679e-06,1.963395e-06,1.959571e-06,1.952816e-06,1.945701e-06,1.942375e-06,1.932071e-06,1.918679e-06,1.905527e-06,1.892612e-06,1.879933e-06,1.867489e-06,1.855278e-06,1.843298e-06,1.831547e-06,1.820022e-06,1.808720e-06,1.797640e-06,1.786777e-06,1.776130e-06,1.765695e-06,1.755470e-06,1.745450e-06,1.735633e-06,1.726015e-06,1.716594e-06,1.707365e-06,1.698326e-06,1.689474e-06,1.680804e-06,1.672314e-06
0.000000e+00,1.462002e-11,3.408204e-11,1.193019e-10,2.731668e-10,3.990715e-10,9.040308e-10,9.310521e-10,1.785208e-09,2.090900e-09,3.025010e-09,3.978139e-09,4.707890e-09,6.691745e-09,6.885222e-09,9.601072e-09,1.033700e-08,1.288853e-08,1.498600e-08,1.676352e-08,2.065550e-08,2.122037e-08,2.623443e-08,2.730105e-08,3.176952e-08,3.483987e-08,3.778358e-08,4.317224e-08,4.423097e-08,5.106301e-08,5.218843e-08,5.822828e-08,6.177029e-08,6.567317e-08,7.179351e-08,7.334275e-08,8.118178e-08,8.213125e-08,8.913579e-08,9.265832e-08,9.715210e-08,1.032553e-07,1.051807e-07,1.131750e-07,1.138118e-07,1.210925e-07,1.242292e-07,1.288948e-07,1.344221e-07,1.365483e-07,1.440237e-07,1.443187e-07,1.512966e-07,1.538612e-07,1.583465e-07,1.630047e-07,1.651573e-07,1.717164e-07,1.780147e-07,1.799741e-07,1.840463e-07,1.877648e-07,1.898077e-07,1.950836e-07,1.952980e-07,2.005182e-07,2.019318e-07,2.054710e-07,2.083160e-07,2.101606e-07,2.142471e-07,2.145923e-07,2.187724e-07,2.197389e-07,2.227079e-07,2.248078e-07,2.264064e-07,2.294715e-07,2.298760e-07,2.331249e-07,2.337489e-07,2.361615e-07,2.376595e-07,2.389945e-07,2.412230e-07,2.416323e-07,2.440836e-07,2.444590e-07,2.463566e-07,2.473867e-07,2.484595e-07,2.500249e-07,2.504005e-07,2.521873e-07,2.523918e-07,2.538276e-07,2.545048e-07,2.553286e-07,2.563807e-07,2.566975e-07,2.579411e-07,2.580354e-07,2.590660e-07,2.594841e-07,2.600784e-07,2.607411e-07,2.609844e-07,2.617898e-07,2.618200e-07,2.625001e-07,2.627335e-07,2.631206e-07,2.634938e-07,2.636563e-07,2.641120e-07,2.644923e-07,2.645989e-07,2.648017e-07,2.649643e-07,2.650441e-07,2.652176e-07,2.652236e-07,2.653440e-07,2.653676e-07,2.654088e-07,2.654224e-07,2.654214e-07,2.653896e-07,2.653850e-07,2.653027e-07,2.652764e-07,2.651774e-07,2.650895e-07,2.650118e-07,2.648349e-07,2.648087e-07,2.645704e-07,2.645187e-07,2.642992e-07,2.641461e-07,2.639976e-07,2.637221e-07,2.636675e-07,2.633109e-07,2.632516e-07,2.629299e-07,2.627388e-07,2.625260e-07,2.621878e-07,2.621012e-07,2.616569e-07,2.616024e-07,2.611947e-07,2.609861e-07,2.607161e-07,2.603422e-07,2.602224e-07,2.597149e-07,2.596737e-07,2.591948e-07,2.589835e-07,2.586633e-07,2.582742e-07,2.581215e-07,2.575704e-07,2.575481e-07,2.570109e-07,2.568077e-07,2.564441e-07,2.560549e-07,2.558707e-07,2.552917e-07,2.545198e-07,2.537411e-07,2.529569e-07,2.521687e-07,2.513778e-07,2.505855e-07,2.497927e-07,2.490007e-07,2.482102e-07,2.474222e-07,2.466374e-07,2.458566e-07,2.450805e-07,2.443096e-07,2.435445e-07,2.427856e-07,2.420336e-07,2.412886e-07,2.405513e-07,2.398217e-07,2.391003e-07,2.383873e-07,2.376830e-07,2.369875e-07
0.000000e+00,7.394236e-12,1.697230e-11,5.837380e-11,1.324686e-10,1.928651e-10,4.345050e-10,4.474307e-10,8.566596e-10,1.003573e-09,1.454386e-09,1.917474e-09,2.274095e-09,3.251311e-09,3.347101e-09,4.696147e-09,5.061917e-09,6.324718e-09,7.351752e-09,8.211614e-09,1.005621e-08,1.031946e-08,1.260797e-08,1.308405e-08,1.504046e-08,1.635134e-08,1.758448e-08,1.978615e-08,2.021074e-08,2.289222e-08,2.332468e-08,2.560384e-08,2.690926e-08,2.832249e-08,3.048831e-08,3.102721e-08,3.369931e-08,3.401698e-08,3.632259e-08,3.745774e-08,3.888330e-08,4.078052e-08,4.137010e-08,4.377397e-08,4.396247e-08,4.608800e-08,4.698727e-08,4.830718e-08,4.984434e-08,5.042819e-08,5.244914e-08,5.252788e-08,5.436935e-08,5.503601e-08,5.618917e-08,5.736987e-08,5.790977e-08,5.953295e-08,6.106104e-08,6.153039e-08,6.249676e-08,6.336852e-08,6.384310e-08,6.505445e-08,6.510324e-08,6.628050e-08,6.659574e-08,6.737825e-08,6.800015e-08,6.839989e-08,6.927548e-08,6.934880e-08,7.022832e-08,7.042944e-08,7.104171e-08,7.146953e-08,7.179218e-08,7.240299e-08,7.248281e-08,7.311660e-08,7.323680e-08,7.369644e-08,7.397757e-08,7.422511e-08,7.463160e-08,7.470527e-08,7.513948e-08,7.520485e-08,7.553017e-08,7.570294e-08,7.587969e-08,7.613116e-08,7.619026e-08,7.646401e-08,7.649449e-08,7.670297e-08,7.679758e-08,7.690905e-08,7.704483e-08,7.708411e-08,7.722987e-08,7.724031e-08,7.734800e-08,7.738788e-08,7.744008e-08,7.749109e-08,7.750761e-08,7.755200e-08,7.755331e-08,7.757460e-08,7.757766e-08,7.757671e-08,7.756705e-08,7.755952e-08,7.752421e-08,7.747185e-08,7.745167e-08,7.740350e-08,7.735181e-08,7.732013e-08,7.722684e-08,7.722268e-08,7.711203e-08,7.707880e-08,7.698902e-08,7.690961e-08,7.685444e-08,7.672107e-08,7.670905e-08,7.655357e-08,7.651483e-08,7.638866e-08,7.629244e-08,7.621498e-08,7.605536e-08,7.603312e-08,7.584366e-08,7.580491e-08,7.564716e-08,7.554236e-08,7.544411e-08,7.526886e-08,7.523502e-08,7.502034e-08,7.498550e-08,7.480051e-08,7.469329e-08,7.457596e-08,7.439317e-08,7.434706e-08,7.411420e-08,7.408601e-08,7.387772e-08,7.377261e-08,7.363796e-08,7.345375e-08,7.339524e-08,7.314985e-08,7.313011e-08,7.290207e-08,7.280235e-08,7.265217e-08,7.247108e-08,7.240041e-08,7.214702e-08,7.213685e-08,7.189223e-08,7.180020e-08,7.163624e-08,7.146160e-08,7.137927e-08,7.112151e-08,7.078035e-08,7.043851e-08,7.009634e-08,6.975416e-08,6.941229e-08,6.907100e-08,6.873056e-08,6.839121e-08,6.805318e-08,6.771667e-08,6.738187e-08,6.704896e-08,6.671809e-08,6.638941e-08,6.606305e-08,6.573915e-08,6.541779e-08,6.509908e-08,6.478313e-08,6.447000e-08,6.415975e-08,6.385248e-08,6.354822e-08,6.324703e-08
0.000000e+00,7.942869e-11,2.917791e-10,1.949486e-09,6.659632e-09,1.157449e-08,3.726650e-08,3.884528e-08,9.610140e-08,1.193595e-07,1.971575e-07,2.849806e-07,3.569343e-07,5.693773e-07,5.912448e-07,9.159760e-07,1.008981e-06,1.344820e-06,1.633743e-06,1.885720e-06,2.454230e-06,2.538199e-06,3.293746e-06,3.456071e-06,4.138665e-06,4.608140e-06,5.057253e-06,5.874395e-06,6.033967e-06,7.054457e-06,7.220918e-06,8.105876e-06,8.618150e-06,9.176849e-06,1.004093e-05,1.025735e-05,1.133861e-05,1.146804e-05,1.241300e-05,1.288183e-05,1.347399e-05,1.426797e-05,1.451609e-05,1.553479e-05,1.561516e-05,1.652645e-05,1.691490e-05,1.748830e-05,1.816119e-05,1.841827e-05,1.931494e-05,1.935010e-05,2.017744e-05,2.047949e-05,2.100537e-05,2.154858e-05,2.179869e-05,2.255769e-05,2.328289e-05,2.350794e-05,2.397503e-05,2.440104e-05,2.463496e-05,2.523910e-05,2.526366e-05,2.586217e-05,2.602449e-05,2.643157e-05,2.675971e-05,2.697298e-05,2.744732e-05,2.748752e-05,2.797630e-05,2.808989e-05,2.844041e-05,2.868995e-05,2.888095e-05,2.924994e-05,2.929895e-05,2.969543e-05,2.977223e-05,3.007137e-05,3.025906e-05,3.042773e-05,3.071260e-05,3.076541e-05,3.108528e-05,3.113486e-05,3.138818e-05,3.152778e-05,3.167490e-05,3.189315e-05,3.194622e-05,3.220286e-05,3.223270e-05,3.244551e-05,3.254801e-05,3.267483e-05,3.284059e-05,3.289146e-05,3.309599e-05,3.311185e-05,3.328900e-05,3.336310e-05,3.347103e-05,3.359558e-05,3.364259e-05,3.380419e-05,3.381045e-05,3.395628e-05,3.400880e-05,3.409932e-05,3.419163e-05,3.423372e-05,3.435989e-05,3.447821e-05,3.451448e-05,3.458905e-05,3.465622e-05,3.469275e-05,3.478589e-05,3.478964e-05,3.488003e-05,3.490422e-05,3.496423e-05,3.501190e-05,3.504252e-05,3.510956e-05,3.511517e-05,3.518244e-05,3.519781e-05,3.524456e-05,3.527720e-05,3.530178e-05,3.534826e-05,3.535432e-05,3.540239e-05,3.541149e-05,3.544619e-05,3.546735e-05,3.548592e-05,3.551627e-05,3.552175e-05,3.555386e-05,3.555867e-05,3.558243e-05,3.559493e-05,3.560761e-05,3.562541e-05,3.562955e-05,3.564839e-05,3.565045e-05,3.566428e-05,3.567037e-05,3.567735e-05,3.568548e-05,3.568773e-05,3.569553e-05,3.569604e-05,3.570087e-05,3.570234e-05,3.570387e-05,3.570463e-05,3.570462e-05,3.570323e-05,3.570313e-05,3.569980e-05,3.569808e-05,3.569442e-05,3.568969e-05,3.568718e-05,3.567816e-05,3.566366e-05,3.564640e-05,3.562652e-05,3.560419e-05,3.557957e-05,3.555278e-05,3.552398e-05,3.549329e-05,3.546082e-05,3.542669e-05,3.539102e-05,3.535391e-05,3.531544e-05,3.527573e-05,3.523484e-05,3.519288e-05,3.514991e-05,3.510602e-05,3.506127e-05,3.501574e-05,3.496948e-05,3.492257e-05,3.487505e-05,3.482698e-05
0.000000e+00,1.118307e-10,3.844595e-10,2.268245e-09,7.016162e-09,1.160697e-08,3.338949e-08,3.465909e-08,7.810662e-08,9.482166e-08,1.485006e-07,2.063679e-07,2.523236e-07,3.829277e-07,3.960432e-07,5.858334e-07,6.388341e-07,8.266649e-07,9.848927e-07,1.121070e-06,1.424220e-06,1.468670e-06,1.866904e-06,1.952317e-06,2.312147e-06,2.560939e-06,2.800434e-06,3.240898e-06,3.327715e-06,3.889871e-06,3.982772e-06,4.482678e-06,4.776841e-06,5.101792e-06,5.613048e-06,5.742781e-06,6.401177e-06,6.481143e-06,7.072551e-06,7.370952e-06,7.752595e-06,8.272682e-06,8.437188e-06,9.122460e-06,9.177202e-06,9.804841e-06,1.007625e-05,1.048110e-05,1.096257e-05,1.114834e-05,1.180404e-05,1.182999e-05,1.244602e-05,1.267342e-05,1.307247e-05,1.348879e-05,1.368186e-05,1.427297e-05,1.484487e-05,1.502370e-05,1.539685e-05,1.573945e-05,1.592846e-05,1.641935e-05,1.643939e-05,1.692952e-05,1.706304e-05,1.739889e-05,1.767060e-05,1.784764e-05,1.824247e-05,1.827599e-05,1.868430e-05,1.877935e-05,1.907294e-05,1.928215e-05,1.944237e-05,1.975196e-05,1.979307e-05,2.012558e-05,2.018995e-05,2.044045e-05,2.059739e-05,2.073822e-05,2.097557e-05,2.101949e-05,2.128483e-05,2.132584e-05,2.153481e-05,2.164952e-05,2.177002e-05,2.194794e-05,2.199103e-05,2.219840e-05,2.222240e-05,2.239268e-05,2.247416e-05,2.257442e-05,2.270447e-05,2.274413e-05,2.290234e-05,2.291452e-05,2.304955e-05,2.310546e-05,2.318623e-05,2.327839e-05,2.331286e-05,2.342989e-05,2.343438e-05,2.353776e-05,2.357444e-05,2.363690e-05,2.369953e-05,2.372771e-05,2.381058e-05,2.388590e-05,2.390847e-05,2.395403e-05,2.399402e-05,2.401531e-05,2.406803e-05,2.407010e-05,2.411870e-05,2.413124e-05,2.416142e-05,2.418437e-05,2.419858e-05,2.422808e-05,2.423044e-05,2.425730e-05,2.426302e-05,2.427940e-05,2.428979e-05,2.429700e-05,2.430895e-05,2.431033e-05,2.431964e-05,2.432104e-05,2.432514e-05,2.432657e-05,2.432704e-05,2.432601e-05,2.432555e-05,2.432085e-05,2.431981e-05,2.431313e-05,2.430840e-05,2.430256e-05,2.429218e-05,2.428932e-05,2.427357e-05,2.427152e-05,2.425545e-05,2.424677e-05,2.423513e-05,2.421828e-05,2.421272e-05,2.418838e-05,2.418635e-05,2.416222e-05,2.415128e-05,2.413437e-05,2.411333e-05,2.410494e-05,2.407405e-05,2.407278e-05,2.404179e-05,2.402987e-05,2.400827e-05,2.398481e-05,2.397359e-05,2.393783e-05,2.388913e-05,2.383889e-05,2.378730e-05,2.373450e-05,2.368066e-05,2.362592e-05,2.357042e-05,2.351427e-05,2.345760e-05,2.340051e-05,2.334310e-05,2.328547e-05,2.322771e-05,2.316989e-05,2.311208e-05,2.305437e-05,2.299681e-05,2.293945e-05,2.288237e-05,2.282560e-05,2.276919e-05,2.271318e-05,2.265762e-05,2.260253e-05
0.000000e+00,2.896827e-10,7.450819e-10,2.908077e-09,7.027445e-09,1.048549e-08,2.472216e-08,2.549497e-08,5.027912e-08,5.927817e-08,8.708455e-08,1.158439e-07,1.380792e-07,1.992799e-07,2.052974e-07,2.904073e-07,3.136180e-07,3.943312e-07,4.607932e-07,5.171190e-07,6.403743e-07,6.582558e-07,8.169869e-07,8.507687e-07,9.924260e-07,1.089924e-06,1.183550e-06,1.355360e-06,1.389183e-06,1.608000e-06,1.644139e-06,1.838549e-06,1.952927e-06,2.079281e-06,2.278122e-06,2.328593e-06,2.584869e-06,2.616013e-06,2.846508e-06,2.962929e-06,3.111968e-06,3.315367e-06,3.379783e-06,3.648586e-06,3.670095e-06,3.917125e-06,4.024209e-06,4.184267e-06,4.375172e-06,4.449002e-06,4.710442e-06,4.720820e-06,4.967820e-06,5.059353e-06,5.220482e-06,5.389314e-06,5.467879e-06,5.709562e-06,5.945165e-06,6.019223e-06,6.174393e-06,6.317650e-06,6.397028e-06,6.604406e-06,6.612911e-06,6.821929e-06,6.879215e-06,7.024021e-06,7.141941e-06,7.219165e-06,7.392570e-06,7.407372e-06,7.588682e-06,7.631177e-06,7.763162e-06,7.857920e-06,7.930901e-06,8.073024e-06,8.092012e-06,8.246625e-06,8.276779e-06,8.394867e-06,8.469478e-06,8.536869e-06,8.651434e-06,8.672776e-06,8.802739e-06,8.822992e-06,8.926910e-06,8.984500e-06,9.045443e-06,9.136314e-06,9.158493e-06,9.266219e-06,9.278796e-06,9.368779e-06,9.412309e-06,9.466330e-06,9.537214e-06,9.559028e-06,9.647027e-06,9.653868e-06,9.730478e-06,9.762619e-06,9.809532e-06,9.863810e-06,9.884335e-06,9.955033e-06,9.957778e-06,1.002177e-05,1.004485e-05,1.008468e-05,1.012535e-05,1.014391e-05,1.019958e-05,1.025183e-05,1.026785e-05,1.030078e-05,1.033044e-05,1.034657e-05,1.038764e-05,1.038930e-05,1.042909e-05,1.043972e-05,1.046607e-05,1.048695e-05,1.050034e-05,1.052956e-05,1.053200e-05,1.056117e-05,1.056782e-05,1.058795e-05,1.060194e-05,1.061243e-05,1.063216e-05,1.063472e-05,1.065489e-05,1.065868e-05,1.067305e-05,1.068173e-05,1.068928e-05,1.070148e-05,1.070366e-05,1.071628e-05,1.071815e-05,1.072722e-05,1.073189e-05,1.073655e-05,1.074290e-05,1.074434e-05,1.075067e-05,1.075133e-05,1.075560e-05,1.075735e-05,1.075921e-05,1.076110e-05,1.076155e-05,1.076269e-05,1.076273e-05,1.076269e-05,1.076238e-05,1.076160e-05,1.076018e-05,1.075949e-05,1.075640e-05,1.075625e-05,1.075238e-05,1.075072e-05,1.074750e-05,1.074370e-05,1.074178e-05,1.073529e-05,1.072559e-05,1.071472e-05,1.070275e-05,1.068977e-05,1.067588e-05,1.066114e-05,1.064563e-05,1.062943e-05,1.061259e-05,1.059519e-05,1.057728e-05,1.055892e-05,1.054016e-05,1.052105e-05,1.050165e-05,1.048198e-05,1.046210e-05,1.044205e-05,1.042185e-05,1.040155e-05,1.038118e-05,1.036077e-05,1.034034e-05,1.031993e-05
0.000000e+00,2.004544e-10,5.592296e-10,2.398834e-09,6.065823e-09,9.202477e-09,2.231588e-08,2.303263e-08,4.613660e-08,5.456008e-08,8.064851e-08,1.076947e-07,1.286386e-07,1.864218e-07,1.921148e-07,2.728998e-07,2.950260e-07,3.722972e-07,4.362652e-07,4.906503e-07,6.098964e-07,6.271963e-07,7.804116e-07,8.128972e-07,9.484906e-07,1.041160e-06,1.129614e-06,1.290544e-06,1.322015e-06,1.523971e-06,1.557056e-06,1.733777e-06,1.836775e-06,1.949745e-06,2.125837e-06,2.170212e-06,2.393558e-06,2.420479e-06,2.618228e-06,2.717121e-06,2.842754e-06,3.012456e-06,3.065775e-06,3.286053e-06,3.303522e-06,3.502479e-06,3.587750e-06,3.714085e-06,3.862985e-06,3.920039e-06,4.119644e-06,4.127488e-06,4.312333e-06,4.379919e-06,4.497660e-06,4.619296e-06,4.675279e-06,4.844956e-06,5.006547e-06,5.056535e-06,5.159977e-06,5.253882e-06,5.305236e-06,5.437049e-06,5.442380e-06,5.571512e-06,5.606252e-06,5.692775e-06,5.761827e-06,5.806343e-06,5.904205e-06,5.912421e-06,6.011231e-06,6.033891e-06,6.103016e-06,6.151441e-06,6.188029e-06,6.257447e-06,6.266533e-06,6.338787e-06,6.352511e-06,6.405057e-06,6.437240e-06,6.465607e-06,6.512241e-06,6.520700e-06,6.570593e-06,6.578111e-06,6.615540e-06,6.635430e-06,6.655787e-06,6.684764e-06,6.691577e-06,6.723141e-06,6.726656e-06,6.750708e-06,6.761627e-06,6.774495e-06,6.790175e-06,6.794713e-06,6.811565e-06,6.812774e-06,6.825246e-06,6.829872e-06,6.835941e-06,6.841894e-06,6.843830e-06,6.849084e-06,6.849242e-06,6.851867e-06,6.852293e-06,6.852333e-06,6.851404e-06,6.850633e-06,6.846908e-06,6.841293e-06,6.839118e-06,6.833917e-06,6.828329e-06,6.824902e-06,6.814814e-06,6.814365e-06,6.802415e-06,6.798831e-06,6.789158e-06,6.780618e-06,6.774693e-06,6.760400e-06,6.759114e-06,6.742511e-06,6.738383e-06,6.724967e-06,6.714762e-06,6.706564e-06,6.689717e-06,6.687376e-06,6.667475e-06,6.663415e-06,6.646929e-06,6.636011e-06,6.625801e-06,6.607648e-06,6.604151e-06,6.582037e-06,6.578460e-06,6.559512e-06,6.548569e-06,6.536626e-06,6.518089e-06,6.513426e-06,6.489957e-06,6.487125e-06,6.466261e-06,6.455773e-06,6.442377e-06,6.424122e-06,6.418342e-06,6.394190e-06,6.392254e-06,6.369955e-06,6.360244e-06,6.345665e-06,6.328159e-06,6.321350e-06,6.297036e-06,6.296064e-06,6.272747e-06,6.264014e-06,6.248507e-06,6.232062e-06,6.224337e-06,6.200256e-06,6.168638e-06,6.137248e-06,6.106120e-06,6.075285e-06,6.044772e-06,6.014606e-06,5.984809e-06,5.955400e-06,5.926397e-06,5.897814e-06,5.869665e-06,5.841961e-06,5.814710e-06,5.787920e-06,5.761597e-06,5.735746e-06,5.710370e-06,5.685472e-06,5.661052e-06,5.637111e-06,5.613648e-06,5.590662e-06,5.568151e-06,5.546111e-06
0.000000e+00,1.176651e-11,2.712726e-11,9.385841e-11,2.138338e-10,3.119066e-10,7.056572e-10,7.267634e-10,1.396458e-09,1.637416e-09,2.378118e-09,3.140762e-09,3.729268e-09,5.348257e-09,5.507565e-09,7.767289e-09,8.386356e-09,1.055021e-08,1.234407e-08,1.387055e-08,1.721724e-08,1.770220e-08,2.198175e-08,2.288430e-08,2.662760e-08,2.916099e-08,3.155881e-08,3.586889e-08,3.670382e-08,4.200135e-08,4.285948e-08,4.739858e-08,5.001089e-08,5.284930e-08,5.722075e-08,5.831262e-08,6.375233e-08,6.440195e-08,6.913655e-08,7.148074e-08,7.443755e-08,7.839590e-08,7.963158e-08,8.469870e-08,8.509807e-08,8.962255e-08,9.154895e-08,9.439010e-08,9.772022e-08,9.899133e-08,1.034189e-07,1.035923e-07,1.076679e-07,1.091533e-07,1.117355e-07,1.143971e-07,1.156204e-07,1.193231e-07,1.228451e-07,1.239344e-07,1.261889e-07,1.282370e-07,1.293580e-07,1.322395e-07,1.323562e-07,1.351882e-07,1.359520e-07,1.378587e-07,1.393857e-07,1.403729e-07,1.425525e-07,1.427361e-07,1.449536e-07,1.454648e-07,1.470309e-07,1.481350e-07,1.489735e-07,1.505757e-07,1.507867e-07,1.524758e-07,1.527992e-07,1.540462e-07,1.548175e-07,1.555028e-07,1.566423e-07,1.568509e-07,1.580951e-07,1.582848e-07,1.592402e-07,1.597560e-07,1.602909e-07,1.610663e-07,1.612515e-07,1.621263e-07,1.622257e-07,1.629195e-07,1.632437e-07,1.636350e-07,1.641292e-07,1.642767e-07,1.648483e-07,1.648911e-07,1.653532e-07,1.655373e-07,1.657949e-07,1.660756e-07,1.661766e-07,1.665015e-07,1.665133e-07,1.667725e-07,1.668575e-07,1.669925e-07,1.671145e-07,1.671643e-07,1.672905e-07,1.673736e-07,1.673915e-07,1.674159e-07,1.674227e-07,1.674199e-07,1.673896e-07,1.673876e-07,1.673212e-07,1.672968e-07,1.672227e-07,1.671489e-07,1.670939e-07,1.669503e-07,1.669368e-07,1.667529e-07,1.667050e-07,1.665441e-07,1.664169e-07,1.663119e-07,1.660893e-07,1.660577e-07,1.657831e-07,1.657258e-07,1.654894e-07,1.653295e-07,1.651778e-07,1.649032e-07,1.648496e-07,1.645061e-07,1.644498e-07,1.641483e-07,1.639718e-07,1.637773e-07,1.634716e-07,1.633940e-07,1.629996e-07,1.629515e-07,1.625948e-07,1.624136e-07,1.621805e-07,1.618599e-07,1.617577e-07,1.613270e-07,1.612922e-07,1.608892e-07,1.607122e-07,1.604450e-07,1.601216e-07,1.599951e-07,1.595401e-07,1.595218e-07,1.590806e-07,1.589142e-07,1.586172e-07,1.583002e-07,1.581505e-07,1.576808e-07,1.570573e-07,1.564307e-07,1.558019e-07,1.551719e-07,1.545414e-07,1.539112e-07,1.532821e-07,1.526547e-07,1.520296e-07,1.514073e-07,1.507883e-07,1.501732e-07,1.495623e-07,1.489560e-07,1.483548e-07,1.477588e-07,1.471684e-07,1.465839e-07,1.460054e-07,1.454333e-07,1.448676e-07,1.443087e-07,1.437565e-07,1.432112e-07
0.000000e+00,9.081893e-09,3.546898e-08,2.682672e-07,1.022349e-06,1.883938e-06,7.019178e-06,7.358927e-06,2.087552e-05,2.687314e-05,4.844225e-05,7.494311e-05,9.798956e-05,1.714736e-04,1.794293e-04,3.045544e-04,3.425312e-04,4.865404e-04,6.183794e-04,7.390071e-04,1.029852e-03,1.074979e-03,1.506098e-03,1.604638e-03,2.042186e-03,2.365110e-03,2.691055e-03,3.327539e-03,3.458470e-03,4.348186e-03,4.502038e-03,5.362014e-03,5.892790e-03,6.499904e-03,7.498373e-03,7.760034e-03,9.138916e-03,9.312138e-03,1.063150e-02,1.132264e-02,1.223131e-02,1.351414e-02,1.393057e-02,1.572038e-02,1.586718e-02,1.759086e-02,1.835928e-02,1.953138e-02,2.096562e-02,2.153069e-02,2.357715e-02,2.365982e-02,2.565891e-02,2.641469e-02,2.776409e-02,2.920300e-02,2.988096e-02,3.199808e-02,3.410444e-02,3.477448e-02,3.618961e-02,3.750844e-02,3.824379e-02,4.017824e-02,4.025793e-02,4.222378e-02,4.276453e-02,4.413392e-02,4.525050e-02,4.598179e-02,4.762194e-02,4.776171e-02,4.946885e-02,4.986727e-02,5.109921e-02,5.197746e-02,5.264961e-02,5.394588e-02,5.411764e-02,5.550159e-02,5.576820e-02,5.680047e-02,5.744211e-02,5.801387e-02,5.896717e-02,5.914195e-02,6.018540e-02,6.034457e-02,6.114534e-02,6.157688e-02,6.202328e-02,6.266786e-02,6.282111e-02,6.354098e-02,6.362224e-02,6.418530e-02,6.444553e-02,6.475667e-02,6.514382e-02,6.525786e-02,6.569177e-02,6.572367e-02,6.606137e-02,6.619189e-02,6.636970e-02,6.655548e-02,6.661983e-02,6.681481e-02,6.682150e-02,6.695770e-02,6.699697e-02,6.705153e-02,6.708882e-02,6.709925e-02,6.710378e-02,6.706794e-02,6.704839e-02,6.699448e-02,6.692895e-02,6.688605e-02,6.675144e-02,6.674522e-02,6.657443e-02,6.652157e-02,6.637604e-02,6.624470e-02,6.615230e-02,6.592590e-02,6.590533e-02,6.563719e-02,6.556990e-02,6.534979e-02,6.518113e-02,6.504497e-02,6.476368e-02,6.472444e-02,6.438984e-02,6.432136e-02,6.404268e-02,6.385768e-02,6.368441e-02,6.337585e-02,6.331636e-02,6.293981e-02,6.287885e-02,6.255592e-02,6.236937e-02,6.216579e-02,6.184989e-02,6.177045e-02,6.137083e-02,6.132263e-02,6.096783e-02,6.078965e-02,6.056226e-02,6.025278e-02,6.015488e-02,5.974637e-02,5.971366e-02,5.933739e-02,5.917380e-02,5.892852e-02,5.863451e-02,5.852031e-02,5.811325e-02,5.809700e-02,5.770780e-02,5.756231e-02,5.730436e-02,5.703137e-02,5.690332e-02,5.650502e-02,5.598397e-02,5.546885e-02,5.496022e-02,5.445853e-02,5.396419e-02,5.347752e-02,5.299882e-02,5.252830e-02,5.206614e-02,5.161249e-02,5.116744e-02,5.073107e-02,5.030340e-02,4.988446e-02,4.947422e-02,4.907265e-02,4.867971e-02,4.829533e-02,4.791941e-02,4.755188e-02,4.719262e-02,4.684151e-02,4.649844e-02,4.616328e-02
0.000000e+00,2.541933e-09,9.910301e-09,7.469086e-08,2.837406e-07,5.219689e-07,1.936350e-06,2.029723e-06,5.733925e-06,7.373076e-06,1.325388e-05,2.045831e-05,2.671024e-05,4.658937e-05,4.873798e-05,8.248529e-05,9.272158e-05,1.315641e-04,1.672018e-04,1.998960e-04,2.790878e-04,2.914186e-04,4.097049e-04,4.368414e-04,5.576203e-04,6.469311e-04,7.371113e-04,9.130205e-04,9.491444e-04,1.193750e-03,1.235866e-03,1.470125e-03,1.613651e-03,1.776764e-03,2.042487e-03,2.111593e-03,2.472089e-03,2.516941e-03,2.855405e-03,3.030507e-03,3.258465e-03,3.576023e-03,3.678059e-03,4.110923e-03,4.146028e-03,4.553806e-03,4.733050e-03,5.003531e-03,5.329848e-03,5.457041e-03,5.911442e-03,5.929597e-03,6.364029e-03,6.526030e-03,6.812314e-03,7.113528e-03,7.254038e-03,7.687179e-03,8.109956e-03,8.242797e-03,8.520828e-03,8.776924e-03,8.918486e-03,9.286795e-03,9.301843e-03,9.670026e-03,9.770300e-03,1.002235e-02,1.022593e-02,1.035833e-02,1.065270e-02,1.067762e-02,1.098005e-02,1.105011e-02,1.126556e-02,1.141808e-02,1.153422e-02,1.175685e-02,1.178621e-02,1.202179e-02,1.206696e-02,1.224128e-02,1.234919e-02,1.244509e-02,1.260449e-02,1.263365e-02,1.280747e-02,1.283395e-02,1.296706e-02,1.303877e-02,1.311297e-02,1.322022e-02,1.324575e-02,1.336598e-02,1.337959e-02,1.347423e-02,1.351821e-02,1.357107e-02,1.363739e-02,1.365708e-02,1.373281e-02,1.373844e-02,1.379882e-02,1.382262e-02,1.385565e-02,1.389117e-02,1.390381e-02,1.394382e-02,1.394526e-02,1.397617e-02,1.398603e-02,1.400132e-02,1.401455e-02,1.401973e-02,1.403184e-02,1.403804e-02,1.403885e-02,1.403875e-02,1.403650e-02,1.403434e-02,1.402561e-02,1.402516e-02,1.401155e-02,1.400699e-02,1.399384e-02,1.398136e-02,1.397232e-02,1.394941e-02,1.394729e-02,1.391901e-02,1.391177e-02,1.388775e-02,1.386902e-02,1.385373e-02,1.382171e-02,1.381720e-02,1.377836e-02,1.377033e-02,1.373741e-02,1.371535e-02,1.369455e-02,1.365719e-02,1.364994e-02,1.360376e-02,1.359623e-02,1.355615e-02,1.353284e-02,1.350727e-02,1.346733e-02,1.345724e-02,1.340621e-02,1.340002e-02,1.335427e-02,1.333117e-02,1.330156e-02,1.326103e-02,1.324816e-02,1.319417e-02,1.318983e-02,1.313970e-02,1.311779e-02,1.308481e-02,1.304508e-02,1.302959e-02,1.297411e-02,1.297189e-02,1.291844e-02,1.289836e-02,1.286264e-02,1.282465e-02,1.280677e-02,1.275088e-02,1.267717e-02,1.260361e-02,1.253032e-02,1.245737e-02,1.238484e-02,1.231281e-02,1.224132e-02,1.217045e-02,1.210023e-02,1.203071e-02,1.196193e-02,1.189393e-02,1.182672e-02,1.176035e-02,1.169483e-02,1.163017e-02,1.156640e-02,1.150353e-02,1.144156e-02,1.138051e-02,1.132039e-02,1.126119e-02,1.120292e-02,1.114558e-02
0.000000e+00,2.150394e-10,8.102647e-10,5.697532e-09,2.035893e-08,3.625008e-08,1.240976e-07,1.296753e-07,3.407357e-07,4.302148e-07,7.408427e-07,1.107897e-06,1.418796e-06,2.376129e-06,2.477289e-06,4.017133e-06,4.467490e-06,6.113759e-06,7.546427e-06,8.804199e-06,1.166534e-05,1.209062e-05,1.595160e-05,1.678984e-05,2.035256e-05,2.284102e-05,2.525259e-05,2.972233e-05,3.060792e-05,3.637321e-05,3.733060e-05,4.250196e-05,4.555895e-05,4.894669e-05,5.429756e-05,5.565913e-05,6.259065e-05,6.343485e-05,6.969287e-05,7.285965e-05,7.691837e-05,8.246400e-05,8.422145e-05,9.155878e-05,9.214601e-05,9.888998e-05,1.018123e-04,1.061780e-04,1.113799e-04,1.133897e-04,1.204957e-04,1.207773e-04,1.274703e-04,1.299448e-04,1.342920e-04,1.388341e-04,1.409427e-04,1.474075e-04,1.536749e-04,1.556373e-04,1.597360e-04,1.635037e-04,1.655843e-04,1.709945e-04,1.712156e-04,1.766276e-04,1.781035e-04,1.818195e-04,1.848293e-04,1.867920e-04,1.911743e-04,1.915468e-04,1.960865e-04,1.971443e-04,2.004145e-04,2.027473e-04,2.045350e-04,2.079931e-04,2.084526e-04,2.121723e-04,2.128929e-04,2.156992e-04,2.174589e-04,2.190390e-04,2.217038e-04,2.221971e-04,2.251794e-04,2.256406e-04,2.279914e-04,2.292824e-04,2.306390e-04,2.326426e-04,2.331280e-04,2.354640e-04,2.357343e-04,2.376526e-04,2.385703e-04,2.396993e-04,2.411632e-04,2.416094e-04,2.433884e-04,2.435252e-04,2.450413e-04,2.456682e-04,2.465731e-04,2.476039e-04,2.479889e-04,2.492933e-04,2.493432e-04,2.504910e-04,2.508969e-04,2.515865e-04,2.522753e-04,2.525842e-04,2.534882e-04,2.543026e-04,2.545450e-04,2.550315e-04,2.554549e-04,2.556786e-04,2.562264e-04,2.562477e-04,2.567422e-04,2.568677e-04,2.571656e-04,2.573869e-04,2.575212e-04,2.577913e-04,2.578123e-04,2.580418e-04,2.580881e-04,2.582128e-04,2.582840e-04,2.583281e-04,2.583856e-04,2.583904e-04,2.584024e-04,2.583990e-04,2.583667e-04,2.583300e-04,2.582856e-04,2.581842e-04,2.581616e-04,2.579968e-04,2.579668e-04,2.577935e-04,2.576828e-04,2.575536e-04,2.573368e-04,2.572793e-04,2.569724e-04,2.569335e-04,2.566348e-04,2.564769e-04,2.562682e-04,2.559712e-04,2.558743e-04,2.554547e-04,2.554201e-04,2.550110e-04,2.548271e-04,2.545447e-04,2.541957e-04,2.540572e-04,2.535498e-04,2.535291e-04,2.530239e-04,2.528303e-04,2.524807e-04,2.521020e-04,2.519214e-04,2.513471e-04,2.505680e-04,2.497672e-04,2.489468e-04,2.481090e-04,2.472558e-04,2.463890e-04,2.455104e-04,2.446217e-04,2.437243e-04,2.428198e-04,2.419095e-04,2.409947e-04,2.400765e-04,2.391561e-04,2.382345e-04,2.373128e-04,2.363917e-04,2.354721e-04,2.345549e-04,2.336408e-04,2.327303e-04,2.318242e-04,2.309231e-04,2.300274e-04
0.000000e+00,7.822303e-10,2.081356e-09,8.444336e-09,2.083623e-08,3.139108e-08,7.595368e-08,7.841999e-08,1.599490e-07,1.906804e-07,2.891706e-07,3.960647e-07,4.816129e-07,7.256973e-07,7.501039e-07,1.096078e-06,1.189567e-06,1.508515e-06,1.762922e-06,1.972628e-06,2.413946e-06,2.476120e-06,3.009916e-06,3.119675e-06,3.567068e-06,3.864065e-06,4.141779e-06,4.634296e-06,4.728856e-06,5.323466e-06,5.418995e-06,5.921072e-06,6.207731e-06,6.517440e-06,6.991024e-06,7.108693e-06,7.691362e-06,7.760556e-06,8.262406e-06,8.509296e-06,8.819225e-06,9.231552e-06,9.359664e-06,9.881983e-06,9.922943e-06,1.038483e-05,1.058029e-05,1.086722e-05,1.120148e-05,1.132848e-05,1.176821e-05,1.178535e-05,1.218621e-05,1.233137e-05,1.258250e-05,1.283966e-05,1.295726e-05,1.331081e-05,1.364358e-05,1.374576e-05,1.395608e-05,1.414569e-05,1.424886e-05,1.451197e-05,1.452256e-05,1.477781e-05,1.484607e-05,1.501531e-05,1.514957e-05,1.523573e-05,1.542403e-05,1.543977e-05,1.562812e-05,1.567106e-05,1.580146e-05,1.589224e-05,1.596048e-05,1.608910e-05,1.610584e-05,1.623818e-05,1.626315e-05,1.635815e-05,1.641585e-05,1.646635e-05,1.654859e-05,1.656339e-05,1.664984e-05,1.666273e-05,1.672626e-05,1.675954e-05,1.679319e-05,1.684024e-05,1.685114e-05,1.690061e-05,1.690600e-05,1.694208e-05,1.695791e-05,1.697601e-05,1.699702e-05,1.700283e-05,1.702297e-05,1.702430e-05,1.703683e-05,1.704070e-05,1.704479e-05,1.704708e-05,1.704723e-05,1.704449e-05,1.704428e-05,1.703690e-05,1.703305e-05,1.702480e-05,1.701413e-05,1.700847e-05,1.698821e-05,1.696430e-05,1.695592e-05,1.693700e-05,1.691786e-05,1.690655e-05,1.687459e-05,1.687320e-05,1.683717e-05,1.682663e-05,1.679866e-05,1.677446e-05,1.675790e-05,1.671855e-05,1.671505e-05,1.667032e-05,1.665932e-05,1.662386e-05,1.659716e-05,1.657585e-05,1.653243e-05,1.652643e-05,1.647575e-05,1.646548e-05,1.642395e-05,1.639662e-05,1.637116e-05,1.632614e-05,1.631750e-05,1.626308e-05,1.625431e-05,1.620801e-05,1.618138e-05,1.615240e-05,1.610759e-05,1.609634e-05,1.603992e-05,1.603313e-05,1.598323e-05,1.595822e-05,1.592634e-05,1.588301e-05,1.586932e-05,1.581226e-05,1.580769e-05,1.575521e-05,1.573240e-05,1.569823e-05,1.565728e-05,1.564138e-05,1.558471e-05,1.558245e-05,1.552827e-05,1.550802e-05,1.547211e-05,1.543410e-05,1.541627e-05,1.536078e-05,1.528815e-05,1.521628e-05,1.514523e-05,1.507507e-05,1.500585e-05,1.493761e-05,1.487041e-05,1.480426e-05,1.473921e-05,1.467527e-05,1.461248e-05,1.455083e-05,1.449036e-05,1.443107e-05,1.437296e-05,1.431604e-05,1.426031e-05,1.420577e-05,1.415242e-05,1.410025e-05,1.404926e-05,1.399944e-05,1.395077e-05,1.390325e-05
0.000000e+00,2.755881e-09,1.075576e-08,8.123670e-08,3.091807e-07,5.693153e-07,2.116675e-06,2.218923e-06,6.278903e-06,8.076656e-06,1.452803e-05,2.243105e-05,2.928709e-05,5.106820e-05,5.342046e-05,9.031193e-05,1.014806e-04,1.437661e-04,1.824288e-04,2.177888e-04,3.030480e-04,3.162798e-04,4.427458e-04,4.716647e-04,6.001066e-04,6.949148e-04,7.905997e-04,9.773581e-04,1.015755e-03,1.276406e-03,1.321424e-03,1.572726e-03,1.727522e-03,1.904273e-03,2.194212e-03,2.270036e-03,2.668494e-03,2.718417e-03,3.097674e-03,3.295648e-03,3.555208e-03,3.920250e-03,4.038403e-03,4.544303e-03,4.585662e-03,5.069756e-03,5.284680e-03,5.611480e-03,6.009715e-03,6.166123e-03,6.730325e-03,6.753044e-03,7.300767e-03,7.507029e-03,7.874223e-03,8.264309e-03,8.447597e-03,9.017960e-03,9.582574e-03,9.761619e-03,1.013892e-02,1.048957e-02,1.068470e-02,1.119679e-02,1.121785e-02,1.173656e-02,1.187899e-02,1.223925e-02,1.253261e-02,1.272457e-02,1.315476e-02,1.319140e-02,1.363883e-02,1.374324e-02,1.406615e-02,1.429647e-02,1.447286e-02,1.481342e-02,1.485860e-02,1.522319e-02,1.529357e-02,1.556660e-02,1.573682e-02,1.588890e-02,1.614347e-02,1.619030e-02,1.647110e-02,1.651414e-02,1.673168e-02,1.684971e-02,1.697250e-02,1.715128e-02,1.719408e-02,1.739699e-02,1.742011e-02,1.758184e-02,1.765761e-02,1.774927e-02,1.786527e-02,1.789994e-02,1.803455e-02,1.804464e-02,1.815377e-02,1.819732e-02,1.825832e-02,1.832489e-02,1.834888e-02,1.842615e-02,1.842897e-02,1.849081e-02,1.851113e-02,1.854353e-02,1.857289e-02,1.858497e-02,1.861577e-02,1.863655e-02,1.864118e-02,1.864792e-02,1.865053e-02,1.865046e-02,1.864512e-02,1.864474e-02,1.863129e-02,1.862621e-02,1.861064e-02,1.859499e-02,1.858327e-02,1.855258e-02,1.854967e-02,1.851029e-02,1.850003e-02,1.846556e-02,1.843833e-02,1.841589e-02,1.836841e-02,1.836167e-02,1.830327e-02,1.829112e-02,1.824104e-02,1.820727e-02,1.817530e-02,1.811761e-02,1.810638e-02,1.803456e-02,1.802282e-02,1.796013e-02,1.792355e-02,1.788334e-02,1.782038e-02,1.780444e-02,1.772367e-02,1.771387e-02,1.764124e-02,1.760450e-02,1.755736e-02,1.749275e-02,1.747221e-02,1.738597e-02,1.737903e-02,1.729881e-02,1.726373e-02,1.721089e-02,1.714720e-02,1.712236e-02,1.703333e-02,1.702976e-02,1.694395e-02,1.691171e-02,1.685434e-02,1.679332e-02,1.676459e-02,1.667481e-02,1.655641e-02,1.643833e-02,1.632073e-02,1.620377e-02,1.608760e-02,1.597235e-02,1.585812e-02,1.574503e-02,1.563314e-02,1.552256e-02,1.541334e-02,1.530553e-02,1.519920e-02,1.509438e-02,1.499111e-02,1.488942e-02,1.478933e-02,1.469085e-02,1.459401e-02,1.449882e-02,1.440526e-02,1.431336e-02,1.422311e-02,1.413449e-02
0.000000e+00,7.213848e-10,2.798255e-09,2.087111e-08,7.855433e-08,1.437928e-07,5.269523e-07,5.521010e-07,1.542864e-06,1.978636e-06,3.535246e-06,5.434063e-06,7.077930e-06,1.229354e-05,1.285665e-05,2.169145e-05,2.436750e-05,3.450072e-05,4.375917e-05,5.221287e-05,7.250797e-05,7.564385e-05,1.053924e-04,1.121341e-04,1.417890e-04,1.633733e-04,1.848965e-04,2.261726e-04,2.345422e-04,2.903617e-04,2.998333e-04,3.518444e-04,3.831898e-04,4.183743e-04,4.747729e-04,4.892655e-04,5.637907e-04,5.729427e-04,6.412062e-04,6.759932e-04,7.207709e-04,7.822323e-04,8.017631e-04,8.834926e-04,8.900430e-04,9.653114e-04,9.979281e-04,1.046621e-03,1.104541e-03,1.126878e-03,1.205597e-03,1.208708e-03,1.282352e-03,1.309431e-03,1.356778e-03,1.405898e-03,1.428567e-03,1.497467e-03,1.563281e-03,1.583664e-03,1.625859e-03,1.664161e-03,1.685098e-03,1.738766e-03,1.740934e-03,1.793340e-03,1.807399e-03,1.842321e-03,1.870078e-03,1.887910e-03,1.926903e-03,1.930162e-03,1.969153e-03,1.978036e-03,2.004975e-03,2.023690e-03,2.037733e-03,2.064116e-03,2.067541e-03,2.094522e-03,2.099590e-03,2.118802e-03,2.130404e-03,2.140512e-03,2.156860e-03,2.159785e-03,2.176752e-03,2.179262e-03,2.191545e-03,2.197911e-03,2.204292e-03,2.213102e-03,2.215120e-03,2.224150e-03,2.225119e-03,2.231502e-03,2.234234e-03,2.237288e-03,2.240707e-03,2.241619e-03,2.244598e-03,2.244781e-03,2.246324e-03,2.246685e-03,2.246892e-03,2.246633e-03,2.246390e-03,2.244904e-03,2.244825e-03,2.242511e-03,2.241443e-03,2.239288e-03,2.236658e-03,2.235304e-03,2.230625e-03,2.225312e-03,2.223488e-03,2.219423e-03,2.215377e-03,2.213012e-03,2.206413e-03,2.206129e-03,2.198820e-03,2.196703e-03,2.191129e-03,2.186349e-03,2.183097e-03,2.175438e-03,2.174761e-03,2.166155e-03,2.164053e-03,2.157312e-03,2.152268e-03,2.148262e-03,2.140149e-03,2.139033e-03,2.129650e-03,2.127757e-03,2.120136e-03,2.115145e-03,2.110515e-03,2.102364e-03,2.100805e-03,2.091025e-03,2.089455e-03,2.081193e-03,2.076460e-03,2.071325e-03,2.063413e-03,2.061434e-03,2.051534e-03,2.050346e-03,2.041638e-03,2.037288e-03,2.031756e-03,2.024262e-03,2.021900e-03,2.012077e-03,2.011293e-03,2.002297e-03,1.998399e-03,1.992568e-03,1.985598e-03,1.982896e-03,1.973289e-03,1.972906e-03,1.963752e-03,1.960337e-03,1.954290e-03,1.947902e-03,1.944909e-03,1.935613e-03,1.923477e-03,1.911503e-03,1.899698e-03,1.888067e-03,1.876615e-03,1.865346e-03,1.854264e-03,1.843369e-03,1.832665e-03,1.822153e-03,1.811833e-03,1.801706e-03,1.791772e-03,1.782031e-03,1.772481e-03,1.763122e-03,1.753952e-03,1.744970e-03,1.736174e-03,1.727563e-03,1.719133e-03,1.710884e-03,1.702813e-03,1.694917e-03
0.000000e+00,2.324288e-10,6.965039e-10,3.285170e-09,8.739585e-09,1.352106e-08,3.394702e-08,3.507490e-08,7.173729e-08,8.520044e-08,1.270793e-07,1.706789e-07,2.045172e-07,2.980402e-07,3.072607e-07,4.381144e-07,4.739520e-07,5.991299e-07,7.028484e-07,7.911392e-07,9.850856e-07,1.013250e-06,1.262465e-06,1.315144e-06,1.533693e-06,1.681278e-06,1.820358e-06,2.067968e-06,2.115482e-06,2.412730e-06,2.460127e-06,2.707004e-06,2.846041e-06,2.994516e-06,3.217835e-06,3.272599e-06,3.539434e-06,3.570637e-06,3.793830e-06,3.901623e-06,4.035059e-06,4.209339e-06,4.262735e-06,4.476732e-06,4.493262e-06,4.677124e-06,4.753517e-06,4.864134e-06,4.990681e-06,5.038101e-06,5.199447e-06,5.205645e-06,5.348654e-06,5.399496e-06,5.486244e-06,5.573448e-06,5.612764e-06,5.728773e-06,5.834832e-06,5.866760e-06,5.931493e-06,5.988675e-06,6.019297e-06,6.095746e-06,6.098771e-06,6.170425e-06,6.189154e-06,6.234745e-06,6.270012e-06,6.292198e-06,6.339372e-06,6.343229e-06,6.388260e-06,6.398221e-06,6.427695e-06,6.447475e-06,6.461911e-06,6.487989e-06,6.491266e-06,6.516095e-06,6.520546e-06,6.536716e-06,6.545875e-06,6.553425e-06,6.564645e-06,6.566505e-06,6.576218e-06,6.577476e-06,6.582811e-06,6.584935e-06,6.586514e-06,6.587543e-06,6.587545e-06,6.586108e-06,6.585779e-06,6.582392e-06,6.580081e-06,6.576575e-06,6.570853e-06,6.568825e-06,6.559297e-06,6.558462e-06,6.548136e-06,6.543246e-06,6.535480e-06,6.525513e-06,6.521455e-06,6.506180e-06,6.505545e-06,6.489767e-06,6.483600e-06,6.472319e-06,6.459914e-06,6.453934e-06,6.434701e-06,6.414704e-06,6.408157e-06,6.394023e-06,6.380462e-06,6.372731e-06,6.351778e-06,6.350895e-06,6.328580e-06,6.322254e-06,6.305844e-06,6.292024e-06,6.282744e-06,6.261212e-06,6.259329e-06,6.235648e-06,6.229930e-06,6.211745e-06,6.198278e-06,6.187661e-06,6.166349e-06,6.163435e-06,6.139102e-06,6.134226e-06,6.114695e-06,6.101984e-06,6.090244e-06,6.069692e-06,6.065778e-06,6.041322e-06,6.037412e-06,6.016901e-06,6.005198e-06,5.992538e-06,5.973102e-06,5.968252e-06,5.944063e-06,5.941167e-06,5.919988e-06,5.909435e-06,5.896043e-06,5.877942e-06,5.872244e-06,5.848602e-06,5.846718e-06,5.825132e-06,5.815794e-06,5.801843e-06,5.785194e-06,5.778746e-06,5.755851e-06,5.754939e-06,5.733165e-06,5.725051e-06,5.710697e-06,5.695546e-06,5.688452e-06,5.666438e-06,5.637741e-06,5.609464e-06,5.581618e-06,5.554209e-06,5.527244e-06,5.500727e-06,5.474662e-06,5.449052e-06,5.423896e-06,5.399197e-06,5.374954e-06,5.351166e-06,5.327831e-06,5.304947e-06,5.282511e-06,5.260520e-06,5.238970e-06,5.217857e-06,5.197176e-06,5.176923e-06,5.157093e-06,5.137681e-06,5.118681e-06,5.100087e-06
0.000000e+00,8.869326e-10,3.419122e-09,2.518502e-08,9.375384e-08,1.706060e-07,6.159957e-07,6.450106e-07,1.776869e-06,2.269982e-06,4.016923e-06,6.126608e-06,7.939520e-06,1.363320e-05,1.424371e-05,2.374272e-05,2.659557e-05,3.731932e-05,4.702859e-05,5.583499e-05,7.679956e-05,8.002065e-05,1.103979e-04,1.172456e-04,1.472525e-04,1.690056e-04,1.906472e-04,2.320638e-04,2.404537e-04,2.963886e-04,3.058813e-04,3.580473e-04,3.895332e-04,4.249318e-04,4.818233e-04,4.964760e-04,5.720653e-04,5.813775e-04,6.510557e-04,6.867195e-04,7.327889e-04,7.963351e-04,8.166065e-04,9.018627e-04,9.087264e-04,9.879341e-04,1.022457e-03,1.074229e-03,1.136188e-03,1.160195e-03,1.245323e-03,1.248704e-03,1.329152e-03,1.358931e-03,1.411268e-03,1.465943e-03,1.491312e-03,1.568969e-03,1.643978e-03,1.667385e-03,1.716121e-03,1.760707e-03,1.785225e-03,1.848581e-03,1.851156e-03,1.913820e-03,1.930771e-03,1.973154e-03,2.007141e-03,2.029126e-03,2.077647e-03,2.081732e-03,2.130992e-03,2.142320e-03,2.176943e-03,2.201252e-03,2.219644e-03,2.254588e-03,2.259165e-03,2.295589e-03,2.302511e-03,2.329011e-03,2.345237e-03,2.359531e-03,2.383003e-03,2.387256e-03,2.412298e-03,2.416063e-03,2.434770e-03,2.444678e-03,2.454790e-03,2.469117e-03,2.472472e-03,2.487935e-03,2.489646e-03,2.501292e-03,2.506531e-03,2.512657e-03,2.520031e-03,2.522142e-03,2.529854e-03,2.530397e-03,2.535899e-03,2.537873e-03,2.540378e-03,2.542690e-03,2.543392e-03,2.545033e-03,2.545071e-03,2.545393e-03,2.545225e-03,2.544558e-03,2.543352e-03,2.542613e-03,2.539637e-03,2.535704e-03,2.534255e-03,2.530886e-03,2.527370e-03,2.525252e-03,2.519135e-03,2.518866e-03,2.511789e-03,2.509692e-03,2.504079e-03,2.499171e-03,2.495789e-03,2.487695e-03,2.486971e-03,2.477674e-03,2.475376e-03,2.467942e-03,2.462319e-03,2.457819e-03,2.448617e-03,2.447343e-03,2.436552e-03,2.434360e-03,2.425482e-03,2.419627e-03,2.414166e-03,2.404492e-03,2.402633e-03,2.390913e-03,2.389022e-03,2.379031e-03,2.373279e-03,2.367014e-03,2.357318e-03,2.354884e-03,2.342663e-03,2.341191e-03,2.330370e-03,2.324943e-03,2.318024e-03,2.308617e-03,2.305643e-03,2.293243e-03,2.292250e-03,2.280837e-03,2.275877e-03,2.268441e-03,2.259528e-03,2.256065e-03,2.243723e-03,2.243230e-03,2.231425e-03,2.227010e-03,2.219180e-03,2.210888e-03,2.206997e-03,2.194885e-03,2.179018e-03,2.163303e-03,2.147753e-03,2.132380e-03,2.117195e-03,2.102207e-03,2.087423e-03,2.072850e-03,2.058493e-03,2.044358e-03,2.030448e-03,2.016765e-03,2.003311e-03,1.990089e-03,1.977100e-03,1.964343e-03,1.951818e-03,1.939525e-03,1.927463e-03,1.915631e-03,1.904028e-03,1.892650e-03,1.881497e-03,1.870566e-03
0.000000e+00,6.183933e-11,1.890283e-10,9.183260e-10,2.487014e-09,3.876039e-09,9.863670e-09,1.019562e-08,2.101247e-08,2.498965e-08,3.735752e-08,5.021629e-08,6.018140e-08,8.766483e-08,9.037083e-08,1.287418e-07,1.392488e-07,1.759787e-07,2.064729e-07,2.324894e-07,2.898692e-07,2.982323e-07,3.726803e-07,3.885429e-07,4.549853e-07,5.005717e-07,5.441904e-07,6.237593e-07,6.393461e-07,7.395397e-07,7.559788e-07,8.438867e-07,8.951937e-07,9.515212e-07,1.039423e-06,1.061592e-06,1.173270e-06,1.186741e-06,1.285752e-06,1.335301e-06,1.398276e-06,1.483381e-06,1.510129e-06,1.620657e-06,1.629424e-06,1.729274e-06,1.772067e-06,1.835462e-06,1.910159e-06,1.938774e-06,2.038839e-06,2.042770e-06,2.135354e-06,2.169182e-06,2.228080e-06,2.288878e-06,2.316842e-06,2.401521e-06,2.482048e-06,2.506934e-06,2.558397e-06,2.605072e-06,2.630580e-06,2.696000e-06,2.698644e-06,2.762660e-06,2.779872e-06,2.822723e-06,2.856910e-06,2.878946e-06,2.927386e-06,2.931453e-06,2.980381e-06,2.991606e-06,3.025872e-06,3.049902e-06,3.068076e-06,3.102613e-06,3.107141e-06,3.143218e-06,3.150088e-06,3.176456e-06,3.192668e-06,3.207004e-06,3.230690e-06,3.235004e-06,3.260598e-06,3.264479e-06,3.283921e-06,3.294348e-06,3.305103e-06,3.320593e-06,3.324271e-06,3.341544e-06,3.343495e-06,3.357036e-06,3.363318e-06,3.370858e-06,3.380309e-06,3.383113e-06,3.393899e-06,3.394702e-06,3.403310e-06,3.406709e-06,3.411434e-06,3.416533e-06,3.418353e-06,3.424148e-06,3.424357e-06,3.428891e-06,3.430355e-06,3.432653e-06,3.434684e-06,3.435499e-06,3.437492e-06,3.438689e-06,3.438914e-06,3.439146e-06,3.439073e-06,3.438913e-06,3.438086e-06,3.438040e-06,3.436570e-06,3.436058e-06,3.434548e-06,3.433086e-06,3.432013e-06,3.429260e-06,3.429003e-06,3.425553e-06,3.424663e-06,3.421695e-06,3.419369e-06,3.417462e-06,3.413449e-06,3.412882e-06,3.407983e-06,3.406968e-06,3.402791e-06,3.399982e-06,3.397328e-06,3.392548e-06,3.391619e-06,3.385684e-06,3.384715e-06,3.379543e-06,3.376528e-06,3.373215e-06,3.368029e-06,3.366717e-06,3.360066e-06,3.359258e-06,3.353277e-06,3.350249e-06,3.346364e-06,3.341036e-06,3.339341e-06,3.332221e-06,3.331648e-06,3.325016e-06,3.322112e-06,3.317736e-06,3.312454e-06,3.310392e-06,3.302995e-06,3.302698e-06,3.295552e-06,3.292864e-06,3.288074e-06,3.282971e-06,3.280567e-06,3.273039e-06,3.263083e-06,3.253117e-06,3.243157e-06,3.233214e-06,3.223299e-06,3.213424e-06,3.203597e-06,3.193828e-06,3.184124e-06,3.174492e-06,3.164938e-06,3.155469e-06,3.146090e-06,3.136805e-06,3.127618e-06,3.118534e-06,3.109555e-06,3.100685e-06,3.091926e-06,3.083280e-06,3.074749e-06,3.066335e-06,3.058038e-06,3.049861e-06
0.000000e+00,2.566838e-10,6.585990e-10,2.554271e-09,6.137914e-09,9.134258e-09,2.144500e-08,2.211367e-08,4.365539e-08,5.153814e-08,7.613954e-08,1.019882e-07,1.222497e-07,1.791305e-07,1.848001e-07,2.660249e-07,2.884000e-07,3.663760e-07,4.302800e-07,4.839008e-07,5.987794e-07,6.151270e-07,7.564681e-07,7.856746e-07,9.049321e-07,9.841476e-07,1.058170e-06,1.189195e-06,1.214303e-06,1.371762e-06,1.396985e-06,1.529184e-06,1.604373e-06,1.685359e-06,1.808675e-06,1.839212e-06,1.989795e-06,2.007605e-06,2.136284e-06,2.199257e-06,2.277980e-06,2.382109e-06,2.414315e-06,2.544838e-06,2.555018e-06,2.669215e-06,2.717191e-06,2.787219e-06,2.868157e-06,2.898716e-06,3.003656e-06,3.007717e-06,3.102061e-06,3.135901e-06,3.194010e-06,3.252911e-06,3.279631e-06,3.359095e-06,3.432602e-06,3.454903e-06,3.500375e-06,3.540850e-06,3.562652e-06,3.617495e-06,3.619679e-06,3.671709e-06,3.685416e-06,3.718995e-06,3.745195e-06,3.761789e-06,3.797405e-06,3.800339e-06,3.834885e-06,3.842607e-06,3.865663e-06,3.881337e-06,3.892897e-06,3.914104e-06,3.916804e-06,3.937592e-06,3.941392e-06,3.955456e-06,3.963654e-06,3.970586e-06,3.981312e-06,3.983159e-06,3.993344e-06,3.994762e-06,4.001299e-06,4.004370e-06,4.007176e-06,4.010476e-06,4.011116e-06,4.013253e-06,4.013394e-06,4.013713e-06,4.013415e-06,4.012614e-06,4.010805e-06,4.010068e-06,4.006178e-06,4.005812e-06,4.001044e-06,3.998663e-06,3.994757e-06,3.989566e-06,3.987404e-06,3.979066e-06,3.978713e-06,3.969819e-06,3.966281e-06,3.959734e-06,3.952432e-06,3.948879e-06,3.937315e-06,3.925102e-06,3.921066e-06,3.912294e-06,3.903810e-06,3.898944e-06,3.885662e-06,3.885099e-06,3.870804e-06,3.866727e-06,3.856102e-06,3.847102e-06,3.841032e-06,3.826875e-06,3.825632e-06,3.809936e-06,3.806128e-06,3.793975e-06,3.784934e-06,3.777782e-06,3.763361e-06,3.761383e-06,3.744806e-06,3.741472e-06,3.728075e-06,3.719322e-06,3.711214e-06,3.696965e-06,3.694243e-06,3.677183e-06,3.674447e-06,3.660054e-06,3.651812e-06,3.642871e-06,3.629098e-06,3.625652e-06,3.608412e-06,3.606343e-06,3.591166e-06,3.583578e-06,3.573925e-06,3.560834e-06,3.556704e-06,3.539512e-06,3.538138e-06,3.522361e-06,3.515514e-06,3.505261e-06,3.492985e-06,3.488220e-06,3.471248e-06,3.470571e-06,3.454352e-06,3.448289e-06,3.437539e-06,3.426157e-06,3.420816e-06,3.404189e-06,3.382399e-06,3.360798e-06,3.339397e-06,3.318206e-06,3.297232e-06,3.276484e-06,3.255967e-06,3.235687e-06,3.215649e-06,3.195857e-06,3.176314e-06,3.157023e-06,3.137986e-06,3.119206e-06,3.100683e-06,3.082418e-06,3.064412e-06,3.046664e-06,3.029175e-06,3.011944e-06,2.994970e-06,2.978252e-06,2.961789e-06,2.945579e-06
0.000000e+00,2.179631e-09,8.521900e-09,6.461322e-08,2.468495e-07,4.555632e-07,1.704824e-06,1.787697e-06,5.098624e-06,6.574384e-06,1.190565e-05,1.849556e-05,2.425426e-05,4.274579e-05,4.475750e-05,7.657966e-05,8.629241e-05,1.232835e-04,1.573076e-04,1.885262e-04,2.639965e-04,2.757210e-04,3.877880e-04,4.133998e-04,5.270248e-04,6.107344e-04,6.950657e-04,8.592155e-04,8.928910e-04,1.120861e-03,1.160127e-03,1.378762e-03,1.512988e-03,1.665858e-03,1.915761e-03,1.980947e-03,2.322415e-03,2.365075e-03,2.688302e-03,2.856457e-03,3.076356e-03,3.384583e-03,3.484097e-03,3.908880e-03,3.943517e-03,4.347952e-03,4.526954e-03,4.798508e-03,5.128443e-03,5.257742e-03,5.722895e-03,5.741586e-03,6.191291e-03,6.360211e-03,6.660375e-03,6.978511e-03,7.127741e-03,7.591148e-03,8.048543e-03,8.193330e-03,8.498065e-03,8.780853e-03,8.938054e-03,9.350118e-03,9.367051e-03,9.783792e-03,9.898134e-03,1.018721e-02,1.042249e-02,1.057641e-02,1.092131e-02,1.095069e-02,1.130950e-02,1.139326e-02,1.165242e-02,1.183742e-02,1.197920e-02,1.225330e-02,1.228970e-02,1.258389e-02,1.264077e-02,1.286183e-02,1.299999e-02,1.312368e-02,1.333137e-02,1.336967e-02,1.360010e-02,1.363555e-02,1.381532e-02,1.391333e-02,1.401571e-02,1.416565e-02,1.420172e-02,1.437379e-02,1.439353e-02,1.453242e-02,1.459809e-02,1.467810e-02,1.478048e-02,1.481135e-02,1.493268e-02,1.494188e-02,1.504260e-02,1.508349e-02,1.514164e-02,1.520649e-02,1.523030e-02,1.530909e-02,1.531205e-02,1.537851e-02,1.540131e-02,1.543905e-02,1.547537e-02,1.549116e-02,1.553532e-02,1.557196e-02,1.558217e-02,1.560151e-02,1.561690e-02,1.562439e-02,1.564044e-02,1.564098e-02,1.565168e-02,1.565367e-02,1.565684e-02,1.565743e-02,1.565682e-02,1.565250e-02,1.565193e-02,1.564251e-02,1.563961e-02,1.562885e-02,1.561945e-02,1.561123e-02,1.559268e-02,1.558994e-02,1.556522e-02,1.555988e-02,1.553732e-02,1.552163e-02,1.550647e-02,1.547844e-02,1.547289e-02,1.543679e-02,1.543079e-02,1.539836e-02,1.537915e-02,1.535780e-02,1.532392e-02,1.531526e-02,1.527092e-02,1.526548e-02,1.522492e-02,1.520420e-02,1.517743e-02,1.514041e-02,1.512856e-02,1.507846e-02,1.507440e-02,1.502724e-02,1.500647e-02,1.497502e-02,1.493686e-02,1.492190e-02,1.486798e-02,1.486581e-02,1.481336e-02,1.479354e-02,1.475813e-02,1.472026e-02,1.470236e-02,1.464614e-02,1.457136e-02,1.449607e-02,1.442041e-02,1.434452e-02,1.426850e-02,1.419247e-02,1.411652e-02,1.404076e-02,1.396525e-02,1.389007e-02,1.381530e-02,1.374098e-02,1.366718e-02,1.359394e-02,1.352131e-02,1.344934e-02,1.337804e-02,1.330746e-02,1.323763e-02,1.316856e-02,1.310028e-02,1.303282e-02,1.296617e-02,1.290037e-02
0.000000e+00,9.475329e-10,3.701072e-09,2.799783e-08,1.066927e-07,1.965789e-07,7.317071e-07,7.670772e-07,2.171311e-06,2.792759e-06,5.020502e-06,7.744226e-06,1.010249e-05,1.756862e-05,1.837279e-05,3.094043e-05,3.473152e-05,4.904483e-05,6.209512e-05,7.401462e-05,1.027395e-04,1.071987e-04,1.498702e-04,1.596435e-04,2.031240e-04,2.352872e-04,2.677951e-04,3.313378e-04,3.444116e-04,4.331847e-04,4.485143e-04,5.340212e-04,5.866092e-04,6.465533e-04,7.445995e-04,7.701750e-04,9.040823e-04,9.207981e-04,1.047314e-03,1.113014e-03,1.198788e-03,1.318709e-03,1.357343e-03,1.521768e-03,1.535139e-03,1.690832e-03,1.759481e-03,1.863312e-03,1.988942e-03,2.038017e-03,2.213804e-03,2.220842e-03,2.389592e-03,2.452680e-03,2.564378e-03,2.682187e-03,2.737241e-03,2.907349e-03,3.073960e-03,3.126429e-03,3.236427e-03,3.337969e-03,3.394191e-03,3.540782e-03,3.546781e-03,3.693810e-03,3.733938e-03,3.834971e-03,3.916750e-03,3.970028e-03,4.088744e-03,4.098814e-03,4.221222e-03,4.249644e-03,4.337202e-03,4.399340e-03,4.446750e-03,4.537865e-03,4.549909e-03,4.646755e-03,4.665377e-03,4.737400e-03,4.782130e-03,4.821981e-03,4.888459e-03,4.900658e-03,4.973610e-03,4.984764e-03,5.041030e-03,5.071486e-03,5.103123e-03,5.149104e-03,5.160101e-03,5.212183e-03,5.218115e-03,5.259591e-03,5.279028e-03,5.302548e-03,5.332355e-03,5.341276e-03,5.375994e-03,5.378605e-03,5.406920e-03,5.418276e-03,5.434266e-03,5.451854e-03,5.458239e-03,5.479040e-03,5.479809e-03,5.496864e-03,5.502589e-03,5.511899e-03,5.520621e-03,5.524324e-03,5.534314e-03,5.542033e-03,5.544049e-03,5.547639e-03,5.550188e-03,5.551283e-03,5.553069e-03,5.553109e-03,5.553252e-03,5.553008e-03,5.551840e-03,5.550297e-03,5.548995e-03,5.545210e-03,5.544831e-03,5.539458e-03,5.538000e-03,5.532977e-03,5.528900e-03,5.525484e-03,5.518124e-03,5.517068e-03,5.507815e-03,5.505871e-03,5.497804e-03,5.492323e-03,5.487109e-03,5.477647e-03,5.475798e-03,5.463938e-03,5.461994e-03,5.451588e-03,5.445503e-03,5.438805e-03,5.428303e-03,5.425642e-03,5.412147e-03,5.410508e-03,5.398366e-03,5.392223e-03,5.384341e-03,5.373544e-03,5.370112e-03,5.355714e-03,5.354556e-03,5.341182e-03,5.335339e-03,5.326547e-03,5.315961e-03,5.311837e-03,5.297078e-03,5.296487e-03,5.282296e-03,5.276973e-03,5.267513e-03,5.257471e-03,5.252750e-03,5.238025e-03,5.218676e-03,5.199460e-03,5.180410e-03,5.161554e-03,5.142916e-03,5.124518e-03,5.106379e-03,5.088515e-03,5.070939e-03,5.053665e-03,5.036701e-03,5.020055e-03,5.003734e-03,4.987744e-03,4.972087e-03,4.956766e-03,4.941783e-03,4.927139e-03,4.912833e-03,4.898864e-03,4.885231e-03,4.871931e-03,4.858961e-03,4.846319e-03
0.000000e+00,1.208984e-11,2.771051e-11,9.523901e-11,2.162681e-10,3.150967e-10,7.119590e-10,7.332503e-10,1.410378e-09,1.654831e-09,2.409047e-09,3.189490e-09,3.793739e-09,5.458841e-09,5.622474e-09,7.926413e-09,8.549639e-09,1.069405e-08,1.243107e-08,1.388263e-08,1.699631e-08,1.744127e-08,2.132251e-08,2.213361e-08,2.548302e-08,2.774311e-08,2.988149e-08,3.373020e-08,3.447704e-08,3.922863e-08,4.000062e-08,4.409518e-08,4.646002e-08,4.903619e-08,5.301625e-08,5.401253e-08,5.898713e-08,5.958231e-08,6.392568e-08,6.607908e-08,6.879710e-08,7.243743e-08,7.357389e-08,7.823231e-08,7.859924e-08,8.275232e-08,8.451778e-08,8.711753e-08,9.015720e-08,9.131494e-08,9.533468e-08,9.549166e-08,9.916985e-08,1.005044e-07,1.028161e-07,1.051864e-07,1.062711e-07,1.095348e-07,1.126082e-07,1.135520e-07,1.154941e-07,1.172444e-07,1.181962e-07,1.206215e-07,1.207190e-07,1.230677e-07,1.236949e-07,1.252479e-07,1.264778e-07,1.272659e-07,1.289844e-07,1.291277e-07,1.308400e-07,1.312294e-07,1.324091e-07,1.332277e-07,1.338416e-07,1.349944e-07,1.351440e-07,1.363225e-07,1.365439e-07,1.373835e-07,1.378907e-07,1.383328e-07,1.390484e-07,1.391765e-07,1.399202e-07,1.400302e-07,1.405693e-07,1.408489e-07,1.411292e-07,1.415163e-07,1.416049e-07,1.420014e-07,1.420438e-07,1.423232e-07,1.424422e-07,1.425747e-07,1.427216e-07,1.427604e-07,1.428841e-07,1.428914e-07,1.429498e-07,1.429607e-07,1.429611e-07,1.429376e-07,1.429216e-07,1.428346e-07,1.428301e-07,1.427031e-07,1.426455e-07,1.425303e-07,1.423906e-07,1.423189e-07,1.420717e-07,1.417912e-07,1.416948e-07,1.414798e-07,1.412653e-07,1.411398e-07,1.407885e-07,1.407734e-07,1.403827e-07,1.402691e-07,1.399695e-07,1.397116e-07,1.395357e-07,1.391199e-07,1.390831e-07,1.386132e-07,1.384980e-07,1.381276e-07,1.378494e-07,1.376278e-07,1.371773e-07,1.371151e-07,1.365908e-07,1.364847e-07,1.360562e-07,1.357745e-07,1.355124e-07,1.350492e-07,1.349604e-07,1.344012e-07,1.343112e-07,1.338359e-07,1.335626e-07,1.332653e-07,1.328056e-07,1.326903e-07,1.321116e-07,1.320419e-07,1.315299e-07,1.312733e-07,1.309460e-07,1.305012e-07,1.303606e-07,1.297741e-07,1.297272e-07,1.291873e-07,1.289525e-07,1.286005e-07,1.281784e-07,1.280144e-07,1.274293e-07,1.274059e-07,1.268457e-07,1.266361e-07,1.262640e-07,1.258697e-07,1.256846e-07,1.251077e-07,1.243508e-07,1.235996e-07,1.228548e-07,1.221169e-07,1.213863e-07,1.206635e-07,1.199489e-07,1.192428e-07,1.185455e-07,1.178572e-07,1.171782e-07,1.165087e-07,1.158487e-07,1.151985e-07,1.145581e-07,1.139275e-07,1.133070e-07,1.126964e-07,1.120958e-07,1.115052e-07,1.109246e-07,1.103540e-07,1.097933e-07,1.092424e-07
0.000000e+00,1.331497e-10,4.748691e-10,3.001441e-09,9.818423e-09,1.671569e-08,5.158735e-08,5.369899e-08,1.296023e-07,1.603612e-07,2.638170e-07,3.821389e-07,4.803687e-07,7.760858e-07,8.069014e-07,1.268414e-06,1.400933e-06,1.876140e-06,2.277882e-06,2.621668e-06,3.374453e-06,3.483104e-06,4.435484e-06,4.634873e-06,5.457019e-06,6.009669e-06,6.530492e-06,7.462385e-06,7.642394e-06,8.781674e-06,8.965847e-06,9.938805e-06,1.049803e-05,1.110527e-05,1.203995e-05,1.227335e-05,1.343608e-05,1.357494e-05,1.458723e-05,1.508863e-05,1.572135e-05,1.656900e-05,1.683379e-05,1.792064e-05,1.800638e-05,1.897872e-05,1.939331e-05,2.000552e-05,2.072437e-05,2.099915e-05,2.195823e-05,2.199586e-05,2.288186e-05,2.320558e-05,2.376951e-05,2.435244e-05,2.462097e-05,2.543634e-05,2.621590e-05,2.645787e-05,2.696012e-05,2.741816e-05,2.766963e-05,2.831875e-05,2.834513e-05,2.898745e-05,2.916146e-05,2.959744e-05,2.994829e-05,3.017601e-05,3.068135e-05,3.072410e-05,3.124268e-05,3.136286e-05,3.173272e-05,3.199505e-05,3.219520e-05,3.258016e-05,3.263109e-05,3.304134e-05,3.312039e-05,3.342688e-05,3.361791e-05,3.378865e-05,3.407483e-05,3.412755e-05,3.444448e-05,3.449321e-05,3.474030e-05,3.487505e-05,3.501586e-05,3.522226e-05,3.527197e-05,3.550943e-05,3.553671e-05,3.572902e-05,3.582018e-05,3.593149e-05,3.607437e-05,3.611757e-05,3.628795e-05,3.630093e-05,3.644332e-05,3.650141e-05,3.658433e-05,3.667733e-05,3.671162e-05,3.682581e-05,3.683011e-05,3.692747e-05,3.696111e-05,3.701718e-05,3.707164e-05,3.709549e-05,3.716292e-05,3.721999e-05,3.723615e-05,3.726719e-05,3.729243e-05,3.730498e-05,3.733283e-05,3.733381e-05,3.735414e-05,3.735836e-05,3.736636e-05,3.736997e-05,3.737088e-05,3.736858e-05,3.736810e-05,3.735838e-05,3.735505e-05,3.734207e-05,3.733019e-05,3.731952e-05,3.729478e-05,3.729106e-05,3.725700e-05,3.724955e-05,3.721765e-05,3.719519e-05,3.717328e-05,3.713235e-05,3.712419e-05,3.707063e-05,3.706166e-05,3.701286e-05,3.698370e-05,3.695112e-05,3.689903e-05,3.688565e-05,3.681667e-05,3.680817e-05,3.674440e-05,3.671161e-05,3.666904e-05,3.660982e-05,3.659078e-05,3.650982e-05,3.650323e-05,3.642633e-05,3.639226e-05,3.634048e-05,3.627731e-05,3.625245e-05,3.616238e-05,3.615874e-05,3.607043e-05,3.603689e-05,3.597673e-05,3.591209e-05,3.588143e-05,3.578466e-05,3.565487e-05,3.552301e-05,3.538931e-05,3.525404e-05,3.511740e-05,3.497962e-05,3.484088e-05,3.470138e-05,3.456128e-05,3.442076e-05,3.427996e-05,3.413902e-05,3.399808e-05,3.385726e-05,3.371668e-05,3.357644e-05,3.343665e-05,3.329739e-05,3.315876e-05,3.302083e-05,3.288367e-05,3.274736e-05,3.261195e-05,3.247751e-05
0.000000e+00,5.311875e-10,2.077280e-09,1.575558e-08,6.020523e-08,1.111161e-07,4.158110e-07,4.360208e-07,1.243169e-06,1.602781e-06,2.901266e-06,4.505211e-06,5.906069e-06,1.040092e-05,1.088969e-05,1.861794e-05,2.097597e-05,2.995492e-05,3.821185e-05,4.578604e-05,6.408480e-05,6.692566e-05,9.404584e-05,1.002342e-04,1.276391e-04,1.477737e-04,1.680082e-04,2.072464e-04,2.152717e-04,2.693782e-04,2.786587e-04,3.301240e-04,3.615459e-04,3.971722e-04,4.550498e-04,4.700734e-04,5.482847e-04,5.579983e-04,6.311906e-04,6.689854e-04,7.181215e-04,7.864480e-04,8.083725e-04,9.012207e-04,9.087389e-04,9.959408e-04,1.034193e-03,1.091820e-03,1.161182e-03,1.188169e-03,1.284334e-03,1.288167e-03,1.379702e-03,1.413730e-03,1.473713e-03,1.536603e-03,1.565857e-03,1.655682e-03,1.742794e-03,1.770040e-03,1.826855e-03,1.878921e-03,1.907584e-03,1.981739e-03,1.984755e-03,2.058192e-03,2.078066e-03,2.127766e-03,2.167620e-03,2.193394e-03,2.250249e-03,2.255032e-03,2.312672e-03,2.325913e-03,2.366337e-03,2.394671e-03,2.416078e-03,2.456664e-03,2.461970e-03,2.504109e-03,2.512096e-03,2.542606e-03,2.561226e-03,2.577586e-03,2.604350e-03,2.609185e-03,2.637547e-03,2.641795e-03,2.662822e-03,2.673902e-03,2.685163e-03,2.701027e-03,2.704725e-03,2.721662e-03,2.723526e-03,2.736129e-03,2.741752e-03,2.748278e-03,2.756052e-03,2.758257e-03,2.766211e-03,2.766764e-03,2.772279e-03,2.774209e-03,2.776597e-03,2.778694e-03,2.779293e-03,2.780492e-03,2.780510e-03,2.780311e-03,2.779930e-03,2.778863e-03,2.777208e-03,2.776253e-03,2.772581e-03,2.767943e-03,2.766269e-03,2.762426e-03,2.758473e-03,2.756114e-03,2.749378e-03,2.749084e-03,2.741410e-03,2.739155e-03,2.733159e-03,2.727958e-03,2.724395e-03,2.715928e-03,2.715175e-03,2.705555e-03,2.703193e-03,2.695585e-03,2.689867e-03,2.685312e-03,2.676055e-03,2.674779e-03,2.664024e-03,2.661850e-03,2.653086e-03,2.647337e-03,2.641998e-03,2.632591e-03,2.630791e-03,2.619493e-03,2.617678e-03,2.608129e-03,2.602659e-03,2.596725e-03,2.587586e-03,2.585301e-03,2.573877e-03,2.572507e-03,2.562472e-03,2.557464e-03,2.551101e-03,2.542492e-03,2.539780e-03,2.528522e-03,2.527624e-03,2.517339e-03,2.512889e-03,2.506242e-03,2.498311e-03,2.495240e-03,2.484343e-03,2.483910e-03,2.473559e-03,2.469705e-03,2.462893e-03,2.455711e-03,2.452352e-03,2.441943e-03,2.428410e-03,2.415121e-03,2.402085e-03,2.389308e-03,2.376793e-03,2.364544e-03,2.352563e-03,2.340853e-03,2.329412e-03,2.318242e-03,2.307340e-03,2.296707e-03,2.286338e-03,2.276233e-03,2.266388e-03,2.256799e-03,2.247465e-03,2.238380e-03,2.229540e-03,2.220942e-03,2.212582e-03,2.204454e-03,2.196554e-03,2.188878e-03
0.000000e+00,1.117172e-10,4.287755e-10,3.127864e-09,1.153425e-08,2.087559e-08,7.427266e-08,7.772297e-08,2.108132e-07,2.681506e-07,4.692756e-07,7.092358e-07,9.136166e-07,1.548020e-06,1.615529e-06,2.657368e-06,2.967929e-06,4.129364e-06,5.175628e-06,6.121934e-06,8.368063e-06,8.712470e-06,1.195092e-05,1.267823e-05,1.585094e-05,1.813415e-05,2.038976e-05,2.465802e-05,2.551449e-05,3.115127e-05,3.209503e-05,3.721416e-05,4.024908e-05,4.361238e-05,4.891156e-05,5.025557e-05,5.705722e-05,5.788018e-05,6.393684e-05,6.696939e-05,7.082107e-05,7.601549e-05,7.764426e-05,8.434857e-05,8.487822e-05,9.088387e-05,9.344089e-05,9.720757e-05,1.016094e-04,1.032842e-04,1.090852e-04,1.093111e-04,1.145881e-04,1.164928e-04,1.197765e-04,1.231190e-04,1.246392e-04,1.291700e-04,1.333667e-04,1.346393e-04,1.372311e-04,1.395321e-04,1.407682e-04,1.438628e-04,1.439855e-04,1.468929e-04,1.476530e-04,1.495022e-04,1.509299e-04,1.518262e-04,1.537245e-04,1.538791e-04,1.556755e-04,1.560702e-04,1.572305e-04,1.580015e-04,1.585593e-04,1.595536e-04,1.596770e-04,1.605985e-04,1.607606e-04,1.613383e-04,1.616558e-04,1.619103e-04,1.622710e-04,1.623280e-04,1.626043e-04,1.626362e-04,1.627511e-04,1.627791e-04,1.627800e-04,1.627255e-04,1.627017e-04,1.625263e-04,1.624991e-04,1.622630e-04,1.621216e-04,1.619207e-04,1.616126e-04,1.615073e-04,1.610304e-04,1.609897e-04,1.604968e-04,1.602689e-04,1.599129e-04,1.594646e-04,1.592844e-04,1.586168e-04,1.585893e-04,1.579148e-04,1.576546e-04,1.571830e-04,1.566704e-04,1.564255e-04,1.556459e-04,1.548476e-04,1.545888e-04,1.540338e-04,1.535061e-04,1.532073e-04,1.524041e-04,1.523705e-04,1.515258e-04,1.512881e-04,1.506753e-04,1.501630e-04,1.498208e-04,1.490327e-04,1.489642e-04,1.481068e-04,1.479011e-04,1.472502e-04,1.467713e-04,1.463956e-04,1.456460e-04,1.455440e-04,1.446966e-04,1.445277e-04,1.438542e-04,1.434184e-04,1.430176e-04,1.423199e-04,1.421876e-04,1.413647e-04,1.412338e-04,1.405497e-04,1.401613e-04,1.397428e-04,1.391036e-04,1.389447e-04,1.381557e-04,1.380616e-04,1.373760e-04,1.370361e-04,1.366061e-04,1.360276e-04,1.358462e-04,1.350964e-04,1.350368e-04,1.343569e-04,1.340640e-04,1.336279e-04,1.331096e-04,1.329095e-04,1.322018e-04,1.321737e-04,1.315048e-04,1.312565e-04,1.308186e-04,1.303582e-04,1.301433e-04,1.294787e-04,1.286180e-04,1.277761e-04,1.269529e-04,1.261481e-04,1.253618e-04,1.245936e-04,1.238434e-04,1.231109e-04,1.223959e-04,1.216981e-04,1.210173e-04,1.203531e-04,1.197053e-04,1.190736e-04,1.184577e-04,1.178573e-04,1.172720e-04,1.167016e-04,1.161458e-04,1.156043e-04,1.150767e-04,1.145627e-04,1.140621e-04,1.135745e-04
0.000000e+00,1.011194e-10,2.664183e-10,1.065301e-09,2.596949e-09,3.883386e-09,9.166487e-09,9.452592e-09,1.859607e-08,2.190316e-08,3.208954e-08,4.258640e-08,5.068299e-08,7.291637e-08,7.510004e-08,1.059774e-07,1.144014e-07,1.437172e-07,1.678727e-07,1.883382e-07,2.330265e-07,2.394929e-07,2.966380e-07,3.087337e-07,3.591805e-07,3.936404e-07,4.265335e-07,4.864045e-07,4.981187e-07,5.733551e-07,5.856925e-07,6.516524e-07,6.901463e-07,7.324099e-07,7.983798e-07,8.150213e-07,8.988829e-07,9.090020e-07,9.834036e-07,1.020654e-06,1.068015e-06,1.132048e-06,1.152179e-06,1.235396e-06,1.241999e-06,1.317215e-06,1.349458e-06,1.397230e-06,1.453523e-06,1.475088e-06,1.550491e-06,1.553452e-06,1.623189e-06,1.648658e-06,1.692983e-06,1.738704e-06,1.759720e-06,1.823292e-06,1.883626e-06,1.902243e-06,1.940687e-06,1.975486e-06,1.994472e-06,2.043041e-06,2.045001e-06,2.092318e-06,2.105000e-06,2.136488e-06,2.161511e-06,2.177589e-06,2.212768e-06,2.215710e-06,2.250954e-06,2.258996e-06,2.283428e-06,2.300444e-06,2.313243e-06,2.337373e-06,2.340515e-06,2.365362e-06,2.370051e-06,2.387902e-06,2.398749e-06,2.408250e-06,2.423733e-06,2.426521e-06,2.442830e-06,2.445264e-06,2.457284e-06,2.463595e-06,2.469991e-06,2.478968e-06,2.481054e-06,2.490570e-06,2.491613e-06,2.498636e-06,2.501749e-06,2.505342e-06,2.509581e-06,2.510773e-06,2.515014e-06,2.515304e-06,2.518142e-06,2.519098e-06,2.520231e-06,2.521132e-06,2.521352e-06,2.521573e-06,2.521564e-06,2.520955e-06,2.520539e-06,2.519559e-06,2.518193e-06,2.517440e-06,2.514653e-06,2.511246e-06,2.510033e-06,2.507267e-06,2.504441e-06,2.502761e-06,2.497977e-06,2.497768e-06,2.492329e-06,2.490731e-06,2.486479e-06,2.482787e-06,2.480254e-06,2.474223e-06,2.473685e-06,2.466804e-06,2.465109e-06,2.459639e-06,2.455512e-06,2.452216e-06,2.445490e-06,2.444560e-06,2.436696e-06,2.435100e-06,2.428645e-06,2.424391e-06,2.420427e-06,2.413409e-06,2.412062e-06,2.403568e-06,2.402198e-06,2.394961e-06,2.390795e-06,2.386258e-06,2.379236e-06,2.377474e-06,2.368620e-06,2.367554e-06,2.359712e-06,2.355777e-06,2.350760e-06,2.343934e-06,2.341775e-06,2.332768e-06,2.332047e-06,2.323749e-06,2.320140e-06,2.314726e-06,2.308233e-06,2.305708e-06,2.296703e-06,2.296343e-06,2.287718e-06,2.284489e-06,2.278758e-06,2.272684e-06,2.269831e-06,2.260943e-06,2.249277e-06,2.237697e-06,2.226214e-06,2.214837e-06,2.203572e-06,2.192427e-06,2.181408e-06,2.170520e-06,2.159769e-06,2.149157e-06,2.138690e-06,2.128369e-06,2.118196e-06,2.108175e-06,2.098307e-06,2.088592e-06,2.079033e-06,2.069628e-06,2.060379e-06,2.051286e-06,2.042349e-06,2.033566e-06,2.024938e-06,2.016464e-06
0.000000e+00,8.016311e-12,1.840174e-11,6.404830e-11,1.488409e-10,2.208207e-10,5.333920e-10,5.511798e-10,1.164549e-09,1.405271e-09,2.188566e-09,3.026400e-09,3.672446e-09,5.386443e-09,5.548753e-09,7.730378e-09,8.292564e-09,1.016129e-08,1.161878e-08,1.280880e-08,1.529974e-08,1.565031e-08,1.866596e-08,1.928822e-08,2.183540e-08,2.353709e-08,2.513678e-08,2.799494e-08,2.854687e-08,3.204149e-08,3.260685e-08,3.559632e-08,3.731700e-08,3.918757e-08,4.207160e-08,4.279270e-08,4.639061e-08,4.682094e-08,4.996218e-08,5.152097e-08,5.349084e-08,5.613508e-08,5.696234e-08,6.036447e-08,6.063333e-08,6.368720e-08,6.499220e-08,6.692247e-08,6.919405e-08,7.006388e-08,7.310660e-08,7.322621e-08,7.604717e-08,7.708029e-08,7.888332e-08,8.075150e-08,8.161357e-08,8.423684e-08,8.675371e-08,8.753680e-08,8.916510e-08,9.065350e-08,9.147210e-08,9.359018e-08,9.367640e-08,9.577968e-08,9.635078e-08,9.778405e-08,9.894012e-08,9.969175e-08,1.013635e-07,1.015051e-07,1.032266e-07,1.036264e-07,1.048589e-07,1.057349e-07,1.064045e-07,1.076950e-07,1.078660e-07,1.092461e-07,1.095126e-07,1.105474e-07,1.111938e-07,1.117725e-07,1.127446e-07,1.129240e-07,1.140044e-07,1.141709e-07,1.150163e-07,1.154784e-07,1.159622e-07,1.166729e-07,1.168444e-07,1.176653e-07,1.177598e-07,1.184273e-07,1.187444e-07,1.191325e-07,1.196320e-07,1.197833e-07,1.203817e-07,1.204274e-07,1.209299e-07,1.211356e-07,1.214299e-07,1.217611e-07,1.218836e-07,1.222930e-07,1.223085e-07,1.226600e-07,1.227820e-07,1.229863e-07,1.231858e-07,1.232737e-07,1.235238e-07,1.237384e-07,1.237999e-07,1.239191e-07,1.240175e-07,1.240672e-07,1.241803e-07,1.241844e-07,1.242721e-07,1.242915e-07,1.243316e-07,1.243543e-07,1.243643e-07,1.243718e-07,1.243714e-07,1.243543e-07,1.243467e-07,1.243141e-07,1.242819e-07,1.242519e-07,1.241799e-07,1.241689e-07,1.240661e-07,1.240433e-07,1.239446e-07,1.238744e-07,1.238054e-07,1.236755e-07,1.236494e-07,1.234775e-07,1.234486e-07,1.232907e-07,1.231959e-07,1.230897e-07,1.229193e-07,1.228754e-07,1.226486e-07,1.226206e-07,1.224100e-07,1.223015e-07,1.221604e-07,1.219637e-07,1.219004e-07,1.216306e-07,1.216087e-07,1.213519e-07,1.212380e-07,1.210646e-07,1.208529e-07,1.207696e-07,1.204672e-07,1.204549e-07,1.201580e-07,1.200452e-07,1.198426e-07,1.196248e-07,1.195215e-07,1.191950e-07,1.187568e-07,1.183111e-07,1.178589e-07,1.174011e-07,1.169385e-07,1.164718e-07,1.160018e-07,1.155292e-07,1.150546e-07,1.145786e-07,1.141017e-07,1.136245e-07,1.131475e-07,1.126712e-07,1.121959e-07,1.117220e-07,1.112499e-07,1.107801e-07,1.103126e-07,1.098480e-07,1.093864e-07,1.089281e-07,1.084734e-07,1.080223e-07
0.000000e+00,7.714848e-12,1.769689e-11,6.135292e-11,1.417113e-10,2.093294e-10,4.984623e-10,5.147478e-10,1.070118e-09,1.286370e-09,1.990428e-09,2.749397e-09,3.339512e-09,4.919295e-09,5.069560e-09,7.093259e-09,7.615041e-09,9.347914e-09,1.069678e-08,1.179601e-08,1.409037e-08,1.441255e-08,1.717687e-08,1.774572e-08,2.006888e-08,2.161627e-08,2.306759e-08,2.565287e-08,2.615097e-08,2.929636e-08,2.980386e-08,3.248107e-08,3.401716e-08,3.568299e-08,3.824287e-08,3.888130e-08,4.205679e-08,4.243548e-08,4.519229e-08,4.655529e-08,4.827278e-08,5.056920e-08,5.128545e-08,5.421968e-08,5.445076e-08,5.706691e-08,5.817989e-08,5.982046e-08,6.174216e-08,6.247537e-08,6.502830e-08,6.512826e-08,6.747719e-08,6.833308e-08,6.982095e-08,7.135453e-08,7.205939e-08,7.419313e-08,7.622337e-08,7.685146e-08,7.815184e-08,7.933364e-08,7.998071e-08,8.164505e-08,8.171249e-08,8.334986e-08,8.379180e-08,8.489574e-08,8.578059e-08,8.635314e-08,8.761862e-08,8.772534e-08,8.901580e-08,8.931370e-08,9.022763e-08,9.087301e-08,9.136382e-08,9.230355e-08,9.242746e-08,9.342149e-08,9.361220e-08,9.434883e-08,9.480563e-08,9.521232e-08,9.589035e-08,9.601474e-08,9.675880e-08,9.687260e-08,9.744707e-08,9.775835e-08,9.808204e-08,9.855328e-08,9.866615e-08,9.920174e-08,9.926286e-08,9.969109e-08,9.989232e-08,1.001364e-07,1.004466e-07,1.005397e-07,1.009030e-07,1.009304e-07,1.012283e-07,1.013482e-07,1.015174e-07,1.017042e-07,1.017721e-07,1.019942e-07,1.020024e-07,1.021852e-07,1.022467e-07,1.023468e-07,1.024405e-07,1.024803e-07,1.025874e-07,1.026693e-07,1.026904e-07,1.027273e-07,1.027525e-07,1.027628e-07,1.027767e-07,1.027769e-07,1.027708e-07,1.027656e-07,1.027456e-07,1.027217e-07,1.027023e-07,1.026474e-07,1.026420e-07,1.025656e-07,1.025450e-07,1.024740e-07,1.024164e-07,1.023681e-07,1.022638e-07,1.022488e-07,1.021168e-07,1.020889e-07,1.019729e-07,1.018936e-07,1.018178e-07,1.016794e-07,1.016522e-07,1.014768e-07,1.014479e-07,1.012922e-07,1.012005e-07,1.010991e-07,1.009387e-07,1.008979e-07,1.006892e-07,1.006637e-07,1.004736e-07,1.003766e-07,1.002515e-07,1.000787e-07,1.000234e-07,9.978985e-08,9.977093e-08,9.955113e-08,9.945431e-08,9.930772e-08,9.912976e-08,9.905998e-08,9.880830e-08,9.879816e-08,9.855302e-08,9.846030e-08,9.829447e-08,9.811696e-08,9.803298e-08,9.776883e-08,9.741659e-08,9.706085e-08,9.670219e-08,9.634115e-08,9.597823e-08,9.561391e-08,9.524863e-08,9.488278e-08,9.451676e-08,9.415090e-08,9.378555e-08,9.342101e-08,9.305755e-08,9.269543e-08,9.233491e-08,9.197620e-08,9.161950e-08,9.126501e-08,9.091291e-08,9.056334e-08,9.021646e-08,8.987240e-08,8.953129e-08,8.919323e-08
0.000000e+00,6.184844e-11,1.433452e-10,4.983453e-10,1.137305e-09,1.659823e-09,3.759111e-09,3.871709e-09,7.448320e-09,8.736981e-09,1.270336e-08,1.679335e-08,1.995213e-08,2.864517e-08,2.950034e-08,4.161537e-08,4.492759e-08,5.647676e-08,6.601680e-08,7.411089e-08,9.178136e-08,9.433317e-08,1.167425e-07,1.214402e-07,1.407955e-07,1.537618e-07,1.659230e-07,1.874882e-07,1.916200e-07,2.174792e-07,2.216095e-07,2.431860e-07,2.553984e-07,2.685004e-07,2.883443e-07,2.932385e-07,3.172601e-07,3.200892e-07,3.404590e-07,3.503848e-07,3.627567e-07,3.790654e-07,3.840978e-07,4.044460e-07,4.060303e-07,4.237811e-07,4.312295e-07,4.420960e-07,4.546527e-07,4.593944e-07,4.756888e-07,4.763199e-07,4.909983e-07,4.962732e-07,5.053475e-07,5.145707e-07,5.187647e-07,5.312810e-07,5.429297e-07,5.464796e-07,5.537449e-07,5.602453e-07,5.637615e-07,5.726586e-07,5.730145e-07,5.815386e-07,5.837994e-07,5.893680e-07,5.937463e-07,5.965364e-07,6.025755e-07,6.030763e-07,6.090193e-07,6.103603e-07,6.143962e-07,6.171710e-07,6.192365e-07,6.230746e-07,6.235685e-07,6.274196e-07,6.281344e-07,6.308160e-07,6.324107e-07,6.337826e-07,6.359601e-07,6.363435e-07,6.385215e-07,6.388359e-07,6.403383e-07,6.410883e-07,6.418148e-07,6.427643e-07,6.429708e-07,6.438251e-07,6.439082e-07,6.443956e-07,6.445612e-07,6.446995e-07,6.447620e-07,6.447528e-07,6.445711e-07,6.445468e-07,6.441688e-07,6.439493e-07,6.435600e-07,6.430011e-07,6.427577e-07,6.417744e-07,6.417315e-07,6.406220e-07,6.401679e-07,6.393116e-07,6.383358e-07,6.378540e-07,6.362591e-07,6.345366e-07,6.339599e-07,6.326954e-07,6.314588e-07,6.307441e-07,6.287749e-07,6.286909e-07,6.265433e-07,6.259261e-07,6.243086e-07,6.229289e-07,6.219937e-07,6.197987e-07,6.196051e-07,6.171488e-07,6.165498e-07,6.146306e-07,6.131954e-07,6.120560e-07,6.097478e-07,6.094301e-07,6.067579e-07,6.062183e-07,6.040439e-07,6.026175e-07,6.012924e-07,5.989552e-07,5.985075e-07,5.956931e-07,5.952403e-07,5.928529e-07,5.914813e-07,5.899901e-07,5.876859e-07,5.871081e-07,5.842099e-07,5.838612e-07,5.812983e-07,5.800137e-07,5.783761e-07,5.761496e-07,5.754456e-07,5.725094e-07,5.722743e-07,5.695696e-07,5.683932e-07,5.666284e-07,5.645109e-07,5.636876e-07,5.607492e-07,5.606317e-07,5.578148e-07,5.567597e-07,5.548861e-07,5.528986e-07,5.519645e-07,5.490515e-07,5.452217e-07,5.414119e-07,5.376246e-07,5.338622e-07,5.301267e-07,5.264200e-07,5.227438e-07,5.190997e-07,5.154890e-07,5.119130e-07,5.083727e-07,5.048691e-07,5.014030e-07,4.979751e-07,4.945862e-07,4.912366e-07,4.879268e-07,4.846572e-07,4.814282e-07,4.782398e-07,4.750922e-07,4.719856e-07,4.689200e-07,4.658953e-07
0.000000e+00,2.546035e-09,9.988322e-09,7.650943e-08,2.966271e-07,5.534658e-07,2.156639e-06,2.266143e-06,6.873910e-06,9.047672e-06,1.736773e-05,2.842894e-05,3.861092e-05,7.334266e-05,7.724637e-05,1.405439e-04,1.601620e-04,2.350751e-04,3.036525e-04,3.660290e-04,5.143471e-04,5.370769e-04,7.504857e-04,7.983624e-04,1.007305e-03,1.158050e-03,1.307555e-03,1.592735e-03,1.650394e-03,2.034262e-03,2.099351e-03,2.457001e-03,2.672964e-03,2.915972e-03,3.307210e-03,3.408144e-03,3.930194e-03,3.994682e-03,4.478586e-03,4.727282e-03,5.049653e-03,5.496534e-03,5.639665e-03,6.244900e-03,6.293866e-03,6.861693e-03,7.110846e-03,7.486492e-03,7.939386e-03,8.115893e-03,8.746677e-03,8.771894e-03,9.375831e-03,9.601384e-03,1.000057e-02,1.042156e-02,1.061834e-02,1.122684e-02,1.182400e-02,1.201239e-02,1.240799e-02,1.277409e-02,1.297723e-02,1.350854e-02,1.353034e-02,1.406617e-02,1.421297e-02,1.458376e-02,1.488523e-02,1.508234e-02,1.552372e-02,1.556130e-02,1.602022e-02,1.612734e-02,1.645879e-02,1.669543e-02,1.687684e-02,1.722770e-02,1.727431e-02,1.765126e-02,1.772419e-02,1.800782e-02,1.818525e-02,1.834422e-02,1.861143e-02,1.866075e-02,1.895776e-02,1.900349e-02,1.923564e-02,1.936236e-02,1.949484e-02,1.968908e-02,1.973585e-02,1.995916e-02,1.998479e-02,2.016531e-02,2.025072e-02,2.035485e-02,2.048813e-02,2.052834e-02,2.068634e-02,2.069833e-02,2.082944e-02,2.088263e-02,2.095820e-02,2.104236e-02,2.107321e-02,2.117504e-02,2.117884e-02,2.126424e-02,2.129337e-02,2.134138e-02,2.138723e-02,2.140701e-02,2.146165e-02,2.150585e-02,2.151787e-02,2.154011e-02,2.155706e-02,2.156494e-02,2.158035e-02,2.158081e-02,2.158821e-02,2.158883e-02,2.158759e-02,2.158355e-02,2.157939e-02,2.156553e-02,2.156405e-02,2.154196e-02,2.153570e-02,2.151354e-02,2.149500e-02,2.147917e-02,2.144429e-02,2.143921e-02,2.139403e-02,2.138439e-02,2.134395e-02,2.131609e-02,2.128932e-02,2.124013e-02,2.123044e-02,2.116761e-02,2.115721e-02,2.110113e-02,2.106800e-02,2.103126e-02,2.097310e-02,2.095826e-02,2.088240e-02,2.087311e-02,2.080390e-02,2.076859e-02,2.072300e-02,2.066004e-02,2.063991e-02,2.055484e-02,2.054795e-02,2.046798e-02,2.043278e-02,2.037953e-02,2.031495e-02,2.028965e-02,2.019852e-02,2.019485e-02,2.010630e-02,2.007286e-02,2.001314e-02,1.994932e-02,1.991917e-02,1.982454e-02,1.969884e-02,1.957247e-02,1.944569e-02,1.931875e-02,1.919185e-02,1.906520e-02,1.893899e-02,1.881336e-02,1.868850e-02,1.856452e-02,1.844157e-02,1.831975e-02,1.819917e-02,1.807992e-02,1.796209e-02,1.784575e-02,1.773097e-02,1.761780e-02,1.750630e-02,1.739652e-02,1.728848e-02,1.718221e-02,1.707776e-02,1.697512e-02
0.000000e+00,1.908233e-09,7.476860e-09,5.710909e-08,2.207462e-07,4.111187e-07,1.593173e-06,1.673657e-06,5.044585e-06,6.627959e-06,1.266737e-05,2.067126e-05,2.802981e-05,5.313498e-05,5.595914e-05,1.018366e-04,1.160850e-04,1.705918e-04,2.205932e-04,2.661360e-04,3.745944e-04,3.912313e-04,5.475751e-04,5.826769e-04,7.359517e-04,8.466022e-04,9.563886e-04,1.165914e-03,1.208293e-03,1.490565e-03,1.538450e-03,1.801691e-03,1.960750e-03,2.139826e-03,2.428367e-03,2.502855e-03,2.888461e-03,2.936135e-03,3.294174e-03,3.478399e-03,3.717427e-03,4.049218e-03,4.155600e-03,4.606062e-03,4.642552e-03,5.066214e-03,5.252417e-03,5.533518e-03,5.873027e-03,6.005526e-03,6.479910e-03,6.498903e-03,6.954473e-03,7.124960e-03,7.427169e-03,7.746567e-03,7.896113e-03,8.359581e-03,8.816017e-03,8.960359e-03,9.264031e-03,9.545767e-03,9.702397e-03,1.011316e-02,1.013005e-02,1.054607e-02,1.066036e-02,1.094968e-02,1.118563e-02,1.134025e-02,1.168762e-02,1.171728e-02,1.208035e-02,1.216538e-02,1.242919e-02,1.261825e-02,1.276360e-02,1.304587e-02,1.308349e-02,1.338883e-02,1.344815e-02,1.367966e-02,1.382519e-02,1.395609e-02,1.417729e-02,1.421830e-02,1.446648e-02,1.450490e-02,1.470088e-02,1.480858e-02,1.492178e-02,1.508899e-02,1.512949e-02,1.532434e-02,1.534687e-02,1.550667e-02,1.558302e-02,1.567684e-02,1.579828e-02,1.583524e-02,1.598223e-02,1.599351e-02,1.611820e-02,1.616959e-02,1.624353e-02,1.632741e-02,1.635862e-02,1.646384e-02,1.646785e-02,1.655959e-02,1.659181e-02,1.664623e-02,1.670014e-02,1.672415e-02,1.679370e-02,1.685525e-02,1.687331e-02,1.690915e-02,1.693979e-02,1.695575e-02,1.699391e-02,1.699537e-02,1.702835e-02,1.703643e-02,1.705500e-02,1.706808e-02,1.707563e-02,1.708955e-02,1.709054e-02,1.710002e-02,1.710152e-02,1.710435e-02,1.710463e-02,1.710380e-02,1.709949e-02,1.709863e-02,1.708909e-02,1.708668e-02,1.707542e-02,1.706676e-02,1.705786e-02,1.704027e-02,1.703663e-02,1.701195e-02,1.700770e-02,1.698403e-02,1.696953e-02,1.695306e-02,1.692622e-02,1.691923e-02,1.688274e-02,1.687819e-02,1.684375e-02,1.682585e-02,1.680244e-02,1.676958e-02,1.675896e-02,1.671347e-02,1.670975e-02,1.666613e-02,1.664670e-02,1.661706e-02,1.658074e-02,1.656640e-02,1.651429e-02,1.651218e-02,1.646085e-02,1.644130e-02,1.640618e-02,1.636837e-02,1.635041e-02,1.629365e-02,1.621735e-02,1.613971e-02,1.606094e-02,1.598121e-02,1.590072e-02,1.581962e-02,1.573809e-02,1.565625e-02,1.557424e-02,1.549220e-02,1.541023e-02,1.532844e-02,1.524694e-02,1.516580e-02,1.508512e-02,1.500497e-02,1.492542e-02,1.484653e-02,1.476837e-02,1.469099e-02,1.461443e-02,1.453873e-02,1.446394e-02,1.439009e-02
0.000000e+00,1.194558e-10,4.554192e-10,3.276374e-09,1.192895e-08,2.143844e-08,7.488431e-08,7.830382e-08,2.084694e-07,2.638149e-07,4.557418e-07,6.815429e-07,8.718876e-07,1.454421e-06,1.515807e-06,2.451467e-06,2.726586e-06,3.741841e-06,4.639460e-06,5.438725e-06,7.293733e-06,7.573491e-06,1.015367e-05,1.072226e-05,1.316535e-05,1.489244e-05,1.657840e-05,1.972587e-05,2.035198e-05,2.443905e-05,2.511875e-05,2.878958e-05,3.095647e-05,3.335268e-05,3.712224e-05,3.807786e-05,4.291586e-05,4.350173e-05,4.781920e-05,4.998561e-05,5.274257e-05,5.647132e-05,5.764323e-05,6.248132e-05,6.286455e-05,6.722028e-05,6.908059e-05,7.182709e-05,7.504564e-05,7.627258e-05,8.053160e-05,8.069777e-05,8.458310e-05,8.598746e-05,8.841018e-05,9.087769e-05,9.199999e-05,9.534354e-05,9.843551e-05,9.937140e-05,1.012739e-04,1.029579e-04,1.038599e-04,1.061084e-04,1.061972e-04,1.082918e-04,1.088358e-04,1.101515e-04,1.111586e-04,1.117859e-04,1.130997e-04,1.132056e-04,1.144221e-04,1.146851e-04,1.154474e-04,1.159426e-04,1.162938e-04,1.169007e-04,1.169740e-04,1.175002e-04,1.175880e-04,1.178845e-04,1.180323e-04,1.181389e-04,1.182603e-04,1.182745e-04,1.183021e-04,1.182972e-04,1.182319e-04,1.181663e-04,1.180735e-04,1.178894e-04,1.178359e-04,1.175274e-04,1.174859e-04,1.171555e-04,1.169738e-04,1.167276e-04,1.163688e-04,1.162499e-04,1.157286e-04,1.156852e-04,1.151690e-04,1.149356e-04,1.145761e-04,1.141310e-04,1.139543e-04,1.133077e-04,1.132814e-04,1.126400e-04,1.123951e-04,1.119544e-04,1.114796e-04,1.112540e-04,1.105414e-04,1.098190e-04,1.095861e-04,1.090889e-04,1.086186e-04,1.083532e-04,1.076430e-04,1.076134e-04,1.068712e-04,1.066631e-04,1.061278e-04,1.056818e-04,1.053846e-04,1.047020e-04,1.046427e-04,1.039029e-04,1.037258e-04,1.031661e-04,1.027552e-04,1.024332e-04,1.017919e-04,1.017048e-04,1.009814e-04,1.008374e-04,1.002637e-04,9.989283e-05,9.955202e-05,9.895921e-05,9.884684e-05,9.814850e-05,9.803742e-05,9.745732e-05,9.712817e-05,9.677355e-05,9.623204e-05,9.609744e-05,9.542917e-05,9.534951e-05,9.476892e-05,9.448098e-05,9.411682e-05,9.362674e-05,9.347298e-05,9.283751e-05,9.278703e-05,9.221047e-05,9.196202e-05,9.159191e-05,9.115183e-05,9.098188e-05,9.038039e-05,9.035651e-05,8.978746e-05,8.957610e-05,8.920309e-05,8.881059e-05,8.862724e-05,8.805991e-05,8.732402e-05,8.660280e-05,8.589613e-05,8.520388e-05,8.452590e-05,8.386200e-05,8.321202e-05,8.257577e-05,8.195303e-05,8.134361e-05,8.074729e-05,8.016385e-05,7.959307e-05,7.903472e-05,7.848859e-05,7.795443e-05,7.743201e-05,7.692112e-05,7.642151e-05,7.593296e-05,7.545524e-05,7.498813e-05,7.453139e-05,7.408481e-05
0.000000e+00,4.653520e-10,1.818799e-09,1.378061e-08,5.261827e-08,9.708254e-08,3.631543e-07,3.808046e-07,1.086214e-06,1.400819e-06,2.538312e-06,3.946078e-06,5.177293e-06,9.131388e-06,9.561223e-06,1.633895e-05,1.839746e-05,2.618828e-05,3.328785e-05,3.975160e-05,5.521119e-05,5.759486e-05,8.018830e-05,8.531118e-05,1.078992e-04,1.244227e-04,1.409902e-04,1.730630e-04,1.796193e-04,2.238422e-04,2.314354e-04,2.736149e-04,2.994397e-04,3.287983e-04,3.766906e-04,3.891648e-04,4.544057e-04,4.625447e-04,5.241408e-04,5.561365e-04,5.979299e-04,6.564214e-04,6.752839e-04,7.556775e-04,7.622239e-04,8.385616e-04,8.722870e-04,9.233751e-04,9.853199e-04,1.009556e-03,1.096553e-03,1.100042e-03,1.183832e-03,1.215222e-03,1.270884e-03,1.329706e-03,1.357235e-03,1.442443e-03,1.526111e-03,1.552500e-03,1.607880e-03,1.659068e-03,1.687435e-03,1.761472e-03,1.764504e-03,1.838858e-03,1.859163e-03,1.910305e-03,1.951714e-03,1.978695e-03,2.038814e-03,2.043912e-03,2.105873e-03,2.120253e-03,2.164526e-03,2.195916e-03,2.219846e-03,2.265770e-03,2.271833e-03,2.320507e-03,2.329848e-03,2.365909e-03,2.388243e-03,2.408095e-03,2.441096e-03,2.447134e-03,2.483109e-03,2.488586e-03,2.516109e-03,2.530921e-03,2.546232e-03,2.568329e-03,2.573582e-03,2.598268e-03,2.601056e-03,2.620399e-03,2.629357e-03,2.640089e-03,2.653489e-03,2.657450e-03,2.672594e-03,2.673713e-03,2.685634e-03,2.690286e-03,2.696680e-03,2.703458e-03,2.705839e-03,2.713216e-03,2.713476e-03,2.718915e-03,2.720574e-03,2.723033e-03,2.724979e-03,2.725666e-03,2.726907e-03,2.726843e-03,2.726561e-03,2.725560e-03,2.724136e-03,2.723138e-03,2.719813e-03,2.719654e-03,2.715183e-03,2.713763e-03,2.709793e-03,2.706145e-03,2.703550e-03,2.697110e-03,2.696519e-03,2.688759e-03,2.686794e-03,2.680325e-03,2.675328e-03,2.671271e-03,2.662831e-03,2.661648e-03,2.651502e-03,2.649414e-03,2.640878e-03,2.635178e-03,2.629818e-03,2.620220e-03,2.618362e-03,2.606546e-03,2.604625e-03,2.594407e-03,2.588474e-03,2.581976e-03,2.571841e-03,2.569283e-03,2.556359e-03,2.554793e-03,2.543229e-03,2.537393e-03,2.529919e-03,2.519697e-03,2.516452e-03,2.502851e-03,2.501758e-03,2.489136e-03,2.483623e-03,2.475327e-03,2.465335e-03,2.461440e-03,2.447494e-03,2.446935e-03,2.433503e-03,2.428458e-03,2.419481e-03,2.409937e-03,2.405444e-03,2.391402e-03,2.372880e-03,2.354396e-03,2.335972e-03,2.317628e-03,2.299382e-03,2.281250e-03,2.263247e-03,2.245386e-03,2.227677e-03,2.210133e-03,2.192761e-03,2.175570e-03,2.158567e-03,2.141757e-03,2.125146e-03,2.108738e-03,2.092537e-03,2.076546e-03,2.060767e-03,2.045203e-03,2.029855e-03,2.014723e-03,1.999809e-03,1.985112e-03
0.000000e+00,2.565470e-12,5.882841e-12,2.028925e-11,4.629430e-11,6.766246e-11,1.543947e-10,1.590843e-10,3.098578e-10,3.649943e-10,5.371888e-10,7.184027e-10,8.606722e-10,1.261092e-09,1.301085e-09,1.875688e-09,2.034577e-09,2.590808e-09,3.050202e-09,3.438638e-09,4.281466e-09,4.402688e-09,5.465307e-09,5.688263e-09,6.611191e-09,7.235651e-09,7.827616e-09,8.895906e-09,9.103666e-09,1.042950e-08,1.064564e-08,1.179595e-08,1.246370e-08,1.319430e-08,1.433034e-08,1.461623e-08,1.605388e-08,1.622710e-08,1.749991e-08,1.813704e-08,1.894752e-08,2.004495e-08,2.039056e-08,2.182349e-08,2.193754e-08,2.324146e-08,2.380349e-08,2.464024e-08,2.563342e-08,2.601621e-08,2.736631e-08,2.741974e-08,2.868805e-08,2.915653e-08,2.997937e-08,3.083925e-08,3.123864e-08,3.246462e-08,3.365640e-08,3.403043e-08,3.481334e-08,3.553531e-08,3.593505e-08,3.697860e-08,3.702138e-08,3.807231e-08,3.836024e-08,3.908799e-08,3.968060e-08,4.006871e-08,4.094041e-08,4.101484e-08,4.192685e-08,4.214071e-08,4.280528e-08,4.328275e-08,4.365073e-08,4.436794e-08,4.446383e-08,4.524526e-08,4.539780e-08,4.599570e-08,4.637392e-08,4.671587e-08,4.729794e-08,4.740649e-08,4.806830e-08,4.817156e-08,4.870205e-08,4.899649e-08,4.930847e-08,4.977443e-08,4.988831e-08,5.044230e-08,5.050708e-08,5.097119e-08,5.119613e-08,5.147568e-08,5.184323e-08,5.195651e-08,5.241436e-08,5.245002e-08,5.284995e-08,5.301811e-08,5.326396e-08,5.354905e-08,5.365704e-08,5.402988e-08,5.404438e-08,5.438310e-08,5.450558e-08,5.471734e-08,5.493410e-08,5.503322e-08,5.533134e-08,5.561229e-08,5.569866e-08,5.587665e-08,5.603739e-08,5.612498e-08,5.634880e-08,5.635782e-08,5.657572e-08,5.663412e-08,5.677919e-08,5.689455e-08,5.696873e-08,5.713124e-08,5.714485e-08,5.730801e-08,5.734529e-08,5.745869e-08,5.753778e-08,5.759733e-08,5.770974e-08,5.772439e-08,5.784028e-08,5.786215e-08,5.794542e-08,5.799598e-08,5.804021e-08,5.811213e-08,5.812505e-08,5.820032e-08,5.821149e-08,5.826637e-08,5.829492e-08,5.832358e-08,5.836321e-08,5.837229e-08,5.841283e-08,5.841716e-08,5.844552e-08,5.845750e-08,5.847069e-08,5.848497e-08,5.848863e-08,5.849965e-08,5.850024e-08,5.850403e-08,5.850399e-08,5.850205e-08,5.849683e-08,5.849397e-08,5.848006e-08,5.847939e-08,5.846056e-08,5.845223e-08,5.843573e-08,5.841591e-08,5.840578e-08,5.837096e-08,5.831790e-08,5.825721e-08,5.818934e-08,5.811475e-08,5.803386e-08,5.794708e-08,5.785479e-08,5.775735e-08,5.765513e-08,5.754845e-08,5.743765e-08,5.732301e-08,5.720484e-08,5.708341e-08,5.695899e-08,5.683182e-08,5.670214e-08,5.657019e-08,5.643618e-08,5.630031e-08,5.616278e-08,5.602377e-08,5.588347e-08,5.574204e-08
0.000000e+00,4.423136e-11,1.715906e-10,1.279368e-09,4.809357e-09,8.793374e-09,3.206451e-08,3.358554e-08,9.302817e-08,1.189213e-07,2.104019e-07,3.202054e-07,4.139369e-07,7.047524e-07,7.356393e-07,1.210062e-06,1.350623e-06,1.873068e-06,2.340132e-06,2.760516e-06,3.754464e-06,3.906743e-06,5.342791e-06,5.667170e-06,7.094593e-06,8.137031e-06,9.181501e-06,1.120241e-05,1.161542e-05,1.440055e-05,1.487864e-05,1.753358e-05,1.915823e-05,2.100420e-05,2.401280e-05,2.479580e-05,2.888623e-05,2.939593e-05,3.324864e-05,3.524647e-05,3.785233e-05,4.149188e-05,4.266364e-05,4.764676e-05,4.805173e-05,5.276460e-05,5.484102e-05,5.797952e-05,6.177336e-05,6.325414e-05,6.855196e-05,6.876386e-05,7.383796e-05,7.573160e-05,7.907911e-05,8.260174e-05,8.424478e-05,8.930706e-05,9.424098e-05,9.578906e-05,9.902464e-05,1.019985e-04,1.036393e-04,1.078958e-04,1.080693e-04,1.123020e-04,1.134504e-04,1.163278e-04,1.186408e-04,1.201396e-04,1.234536e-04,1.237330e-04,1.271059e-04,1.278825e-04,1.302582e-04,1.319277e-04,1.331916e-04,1.355946e-04,1.359095e-04,1.384166e-04,1.388932e-04,1.407187e-04,1.418370e-04,1.428225e-04,1.444418e-04,1.447354e-04,1.464654e-04,1.467258e-04,1.480209e-04,1.487081e-04,1.494105e-04,1.504085e-04,1.506428e-04,1.517268e-04,1.518473e-04,1.526709e-04,1.530442e-04,1.534837e-04,1.540187e-04,1.541735e-04,1.547483e-04,1.547896e-04,1.552159e-04,1.553746e-04,1.555837e-04,1.557906e-04,1.558587e-04,1.560477e-04,1.560535e-04,1.561570e-04,1.561780e-04,1.561926e-04,1.561777e-04,1.561602e-04,1.560651e-04,1.559122e-04,1.558518e-04,1.557061e-04,1.555484e-04,1.554513e-04,1.551644e-04,1.551516e-04,1.548110e-04,1.547087e-04,1.544327e-04,1.541891e-04,1.540201e-04,1.536128e-04,1.535762e-04,1.531037e-04,1.529864e-04,1.526053e-04,1.523157e-04,1.520832e-04,1.516060e-04,1.515397e-04,1.509768e-04,1.508621e-04,1.503964e-04,1.500883e-04,1.498003e-04,1.492886e-04,1.491900e-04,1.485671e-04,1.484664e-04,1.479329e-04,1.476249e-04,1.472888e-04,1.467670e-04,1.466358e-04,1.459750e-04,1.458953e-04,1.453076e-04,1.450121e-04,1.446344e-04,1.441194e-04,1.439563e-04,1.432740e-04,1.432193e-04,1.425884e-04,1.423134e-04,1.419002e-04,1.414033e-04,1.412099e-04,1.405181e-04,1.404904e-04,1.398255e-04,1.395760e-04,1.391325e-04,1.386612e-04,1.384395e-04,1.377471e-04,1.368346e-04,1.359246e-04,1.350179e-04,1.341151e-04,1.332169e-04,1.323239e-04,1.314366e-04,1.305554e-04,1.296808e-04,1.288131e-04,1.279527e-04,1.270999e-04,1.262550e-04,1.254181e-04,1.245896e-04,1.237695e-04,1.229580e-04,1.221554e-04,1.213616e-04,1.205767e-04,1.198010e-04,1.190344e-04,1.182769e-04,1.175287e-04
0.000000e+00,4.084206e-11,9.380032e-11,3.238995e-10,7.397285e-10,1.082059e-09,2.478841e-09,2.554712e-09,5.012714e-09,5.920155e-09,8.780114e-09,1.182568e-08,1.423680e-08,2.108219e-08,2.176862e-08,3.162863e-08,3.434388e-08,4.377355e-08,5.145447e-08,5.786767e-08,7.152974e-08,7.346722e-08,9.017496e-08,9.362076e-08,1.076805e-07,1.170168e-07,1.257436e-07,1.412043e-07,1.441698e-07,1.627927e-07,1.657805e-07,1.814648e-07,1.904054e-07,2.000532e-07,2.147825e-07,2.184378e-07,2.365119e-07,2.386553e-07,2.541817e-07,2.618072e-07,2.713671e-07,2.840624e-07,2.880012e-07,3.040298e-07,3.052846e-07,3.194108e-07,3.253746e-07,3.341134e-07,3.442674e-07,3.481173e-07,3.614103e-07,3.619271e-07,3.739867e-07,3.783390e-07,3.858485e-07,3.935097e-07,3.970026e-07,4.074603e-07,4.172365e-07,4.202239e-07,4.263491e-07,4.318418e-07,4.348176e-07,4.423610e-07,4.426632e-07,4.499082e-07,4.518324e-07,4.565758e-07,4.603090e-07,4.626896e-07,4.678452e-07,4.682730e-07,4.733496e-07,4.744952e-07,4.779429e-07,4.803126e-07,4.820758e-07,4.853498e-07,4.857708e-07,4.890499e-07,4.896577e-07,4.919344e-07,4.932854e-07,4.944451e-07,4.962798e-07,4.966020e-07,4.984244e-07,4.986862e-07,4.999310e-07,5.005473e-07,5.011397e-07,5.019038e-07,5.020678e-07,5.027318e-07,5.027945e-07,5.031475e-07,5.032557e-07,5.033302e-07,5.033220e-07,5.032942e-07,5.030536e-07,5.030259e-07,5.026215e-07,5.023979e-07,5.020105e-07,5.014666e-07,5.012327e-07,5.002996e-07,5.002592e-07,4.992220e-07,4.988008e-07,4.980104e-07,4.971150e-07,4.966747e-07,4.952241e-07,4.936676e-07,4.931486e-07,4.920137e-07,4.909078e-07,4.902704e-07,4.885198e-07,4.884453e-07,4.865455e-07,4.860011e-07,4.845779e-07,4.833674e-07,4.825489e-07,4.806332e-07,4.804645e-07,4.783306e-07,4.778117e-07,4.761526e-07,4.749156e-07,4.739356e-07,4.719561e-07,4.716843e-07,4.694034e-07,4.689441e-07,4.670972e-07,4.658892e-07,4.647696e-07,4.628007e-07,4.624244e-07,4.600652e-07,4.596867e-07,4.576953e-07,4.565549e-07,4.553179e-07,4.534125e-07,4.529358e-07,4.505518e-07,4.502657e-07,4.481685e-07,4.471206e-07,4.457881e-07,4.439824e-07,4.434130e-07,4.410452e-07,4.408562e-07,4.386866e-07,4.377462e-07,4.363390e-07,4.346565e-07,4.340041e-07,4.316834e-07,4.315909e-07,4.293782e-07,4.285524e-07,4.270900e-07,4.255442e-07,4.248198e-07,4.225687e-07,4.196284e-07,4.167252e-07,4.138610e-07,4.110374e-07,4.082558e-07,4.055172e-07,4.028226e-07,4.001730e-07,3.975689e-07,3.950109e-07,3.924993e-07,3.900344e-07,3.876163e-07,3.852452e-07,3.829210e-07,3.806436e-07,3.784128e-07,3.762283e-07,3.740897e-07,3.719968e-07,3.699490e-07,3.679460e-07,3.659871e-07,3.640718e-07
0.000000e+00,3.519035e-12,8.060983e-12,2.768032e-11,6.278294e-11,9.138525e-11,2.056596e-10,2.117637e-10,4.045038e-10,4.734467e-10,6.841939e-10,8.995068e-10,1.064621e-09,1.514854e-09,1.558876e-09,2.178943e-09,2.347615e-09,2.934281e-09,3.418360e-09,3.829593e-09,4.732289e-09,4.863497e-09,6.029612e-09,6.277932e-09,7.318961e-09,8.034872e-09,8.721711e-09,9.980294e-09,1.022779e-08,1.182694e-08,1.209074e-08,1.350862e-08,1.434196e-08,1.526195e-08,1.670869e-08,1.707574e-08,1.893856e-08,1.916485e-08,2.083893e-08,2.168405e-08,2.276546e-08,2.424026e-08,2.470703e-08,2.665293e-08,2.680848e-08,2.859305e-08,2.936534e-08,3.051796e-08,3.188960e-08,3.241903e-08,3.428846e-08,3.436248e-08,3.611937e-08,3.676789e-08,3.790578e-08,3.909246e-08,3.964255e-08,4.132541e-08,4.295092e-08,4.345852e-08,4.451642e-08,4.548590e-08,4.601992e-08,4.740372e-08,4.746010e-08,4.883619e-08,4.920997e-08,5.014795e-08,5.090418e-08,5.139556e-08,5.248720e-08,5.257961e-08,5.370099e-08,5.396092e-08,5.476087e-08,5.532806e-08,5.576067e-08,5.659203e-08,5.670195e-08,5.758643e-08,5.775667e-08,5.841594e-08,5.882619e-08,5.919238e-08,5.980502e-08,5.991772e-08,6.059392e-08,6.069768e-08,6.122298e-08,6.150877e-08,6.180689e-08,6.224284e-08,6.234762e-08,6.284711e-08,6.290437e-08,6.330726e-08,6.349774e-08,6.372992e-08,6.402719e-08,6.411690e-08,6.446994e-08,6.449676e-08,6.479071e-08,6.491034e-08,6.508083e-08,6.527163e-08,6.534188e-08,6.557536e-08,6.558414e-08,6.578270e-08,6.585121e-08,6.596529e-08,6.607598e-08,6.612444e-08,6.626141e-08,6.637740e-08,6.641028e-08,6.647357e-08,6.652522e-08,6.655101e-08,6.660869e-08,6.661075e-08,6.665380e-08,6.666299e-08,6.668109e-08,6.669028e-08,6.669353e-08,6.669259e-08,6.669197e-08,6.667721e-08,6.667180e-08,6.665004e-08,6.662967e-08,6.661118e-08,6.656787e-08,6.656132e-08,6.650114e-08,6.648792e-08,6.643125e-08,6.639128e-08,6.635226e-08,6.627928e-08,6.626472e-08,6.616918e-08,6.615318e-08,6.606613e-08,6.601415e-08,6.595608e-08,6.586329e-08,6.583946e-08,6.571672e-08,6.570160e-08,6.558827e-08,6.553005e-08,6.545451e-08,6.534951e-08,6.531579e-08,6.517248e-08,6.516082e-08,6.502490e-08,6.496474e-08,6.487337e-08,6.476200e-08,6.471820e-08,6.455966e-08,6.455325e-08,6.439803e-08,6.433913e-08,6.423355e-08,6.412021e-08,6.406648e-08,6.389705e-08,6.367013e-08,6.343993e-08,6.320689e-08,6.297142e-08,6.273390e-08,6.249467e-08,6.225407e-08,6.201241e-08,6.176996e-08,6.152698e-08,6.128374e-08,6.104044e-08,6.079730e-08,6.055452e-08,6.031228e-08,6.007075e-08,5.983007e-08,5.959040e-08,5.935187e-08,5.911459e-08,5.887869e-08,5.864425e-08,5.841139e-08,5.818017e-08
0.000000e+00,4.149463e-10,1.628688e-09,1.245119e-08,4.794227e-08,8.887235e-08,3.366460e-07,3.531933e-07,1.020844e-06,1.321438e-06,2.417838e-06,3.790068e-06,5.000985e-06,8.944619e-06,9.377823e-06,1.631168e-05,1.845301e-05,2.668784e-05,3.434995e-05,4.143763e-05,5.874576e-05,6.145290e-05,8.752250e-05,9.352284e-05,1.202972e-04,1.401615e-04,1.602753e-04,1.996800e-04,2.078011e-04,2.630690e-04,2.726357e-04,3.261311e-04,3.591505e-04,3.969066e-04,4.589479e-04,4.751923e-04,5.606735e-04,5.713960e-04,6.529361e-04,6.955538e-04,7.514795e-04,8.302221e-04,8.557295e-04,9.650522e-04,9.739970e-04,1.078768e-03,1.125325e-03,1.196163e-03,1.282556e-03,1.316507e-03,1.439062e-03,1.443999e-03,1.563092e-03,1.607965e-03,1.687880e-03,1.772813e-03,1.812730e-03,1.936981e-03,2.060007e-03,2.099020e-03,2.181227e-03,2.257612e-03,2.300109e-03,2.411585e-03,2.416167e-03,2.528971e-03,2.559920e-03,2.638139e-03,2.701757e-03,2.743344e-03,2.836390e-03,2.844305e-03,2.940795e-03,2.963266e-03,3.032631e-03,3.081972e-03,3.119673e-03,3.192227e-03,3.201824e-03,3.279027e-03,3.293870e-03,3.351255e-03,3.386850e-03,3.418518e-03,3.471208e-03,3.480852e-03,3.538319e-03,3.547068e-03,3.591004e-03,3.614623e-03,3.639010e-03,3.674126e-03,3.682458e-03,3.721483e-03,3.725876e-03,3.756232e-03,3.770207e-03,3.786862e-03,3.807485e-03,3.813535e-03,3.836420e-03,3.838092e-03,3.855690e-03,3.862426e-03,3.871521e-03,3.880888e-03,3.884088e-03,3.893567e-03,3.893885e-03,3.900132e-03,3.901815e-03,3.903955e-03,3.905075e-03,3.905205e-03,3.904047e-03,3.900642e-03,3.899103e-03,3.895146e-03,3.890601e-03,3.887709e-03,3.878880e-03,3.878478e-03,3.867592e-03,3.864266e-03,3.855186e-03,3.847065e-03,3.841387e-03,3.827567e-03,3.826317e-03,3.810095e-03,3.806042e-03,3.792829e-03,3.782743e-03,3.774624e-03,3.757907e-03,3.755580e-03,3.735790e-03,3.731750e-03,3.715341e-03,3.704475e-03,3.694317e-03,3.676269e-03,3.672795e-03,3.650847e-03,3.647301e-03,3.628543e-03,3.617728e-03,3.605944e-03,3.587693e-03,3.583111e-03,3.560097e-03,3.557326e-03,3.536954e-03,3.526743e-03,3.513729e-03,3.496050e-03,3.490465e-03,3.467203e-03,3.465343e-03,3.443979e-03,3.434707e-03,3.420826e-03,3.404219e-03,3.397777e-03,3.374859e-03,3.373945e-03,3.352097e-03,3.343946e-03,3.329516e-03,3.314274e-03,3.307135e-03,3.284975e-03,3.256089e-03,3.227649e-03,3.199686e-03,3.172223e-03,3.145281e-03,3.118876e-03,3.093021e-03,3.067726e-03,3.042998e-03,3.018841e-03,2.995259e-03,2.972250e-03,2.949815e-03,2.927950e-03,2.906651e-03,2.885912e-03,2.865727e-03,2.846089e-03,2.826989e-03,2.808417e-03,2.790366e-03,2.772825e-03,2.755783e-03,2.739230e-03
0.000000e+00,9.613831e-10,3.779211e-09,2.897909e-08,1.118571e-07,2.075978e-07,7.880917e-07,8.268755e-07,2.390716e-06,3.093707e-06,5.650904e-06,8.836367e-06,1.163456e-05,2.067853e-05,2.166658e-05,3.737878e-05,4.220242e-05,6.068410e-05,7.783389e-05,9.369237e-05,1.324905e-04,1.385735e-04,1.974105e-04,2.110225e-04,2.720813e-04,3.177104e-04,3.641832e-04,4.559627e-04,4.749919e-04,6.054446e-04,6.281846e-04,7.561386e-04,8.357522e-04,9.273412e-04,1.079048e-03,1.119005e-03,1.330791e-03,1.357531e-03,1.562094e-03,1.669840e-03,1.812070e-03,2.013902e-03,2.079671e-03,2.363675e-03,2.387064e-03,2.662719e-03,2.786221e-03,2.975332e-03,3.207947e-03,3.299963e-03,3.635017e-03,3.648613e-03,3.978873e-03,4.104504e-03,4.329915e-03,4.571913e-03,4.686548e-03,5.047220e-03,5.410435e-03,5.526966e-03,5.774766e-03,6.007897e-03,6.138864e-03,6.487006e-03,6.501467e-03,6.861400e-03,6.961554e-03,7.217585e-03,7.429084e-03,7.569038e-03,7.887428e-03,7.914868e-03,8.254279e-03,8.334702e-03,8.586563e-03,8.769295e-03,8.911101e-03,9.189861e-03,9.227359e-03,9.534879e-03,9.595299e-03,9.833279e-03,9.984737e-03,1.012225e-02,1.035751e-02,1.040154e-02,1.067096e-02,1.071314e-02,1.093038e-02,1.105133e-02,1.117972e-02,1.137191e-02,1.141894e-02,1.164805e-02,1.167487e-02,1.186709e-02,1.196029e-02,1.207613e-02,1.222837e-02,1.227527e-02,1.246465e-02,1.247938e-02,1.264442e-02,1.271367e-02,1.281474e-02,1.293164e-02,1.297582e-02,1.312785e-02,1.313374e-02,1.327104e-02,1.332047e-02,1.340562e-02,1.349234e-02,1.353183e-02,1.364990e-02,1.376007e-02,1.379370e-02,1.386259e-02,1.392431e-02,1.395771e-02,1.404230e-02,1.404568e-02,1.412674e-02,1.414823e-02,1.420114e-02,1.424269e-02,1.426913e-02,1.432622e-02,1.433094e-02,1.438682e-02,1.439938e-02,1.443701e-02,1.446271e-02,1.448172e-02,1.451673e-02,1.452119e-02,1.455565e-02,1.456196e-02,1.458530e-02,1.459889e-02,1.461036e-02,1.462801e-02,1.463103e-02,1.464751e-02,1.464978e-02,1.466001e-02,1.466464e-02,1.466869e-02,1.467303e-02,1.467376e-02,1.467538e-02,1.467536e-02,1.467373e-02,1.467201e-02,1.466898e-02,1.466338e-02,1.466127e-02,1.465078e-02,1.464982e-02,1.463764e-02,1.463167e-02,1.462200e-02,1.460927e-02,1.460400e-02,1.458377e-02,1.458291e-02,1.456144e-02,1.455291e-02,1.453713e-02,1.451954e-02,1.451097e-02,1.448306e-02,1.444373e-02,1.440179e-02,1.435746e-02,1.431097e-02,1.426250e-02,1.421226e-02,1.416041e-02,1.410713e-02,1.405258e-02,1.399691e-02,1.394026e-02,1.388275e-02,1.382452e-02,1.376568e-02,1.370634e-02,1.364659e-02,1.358654e-02,1.352628e-02,1.346587e-02,1.340541e-02,1.334496e-02,1.328459e-02,1.322436e-02,1.316432e-02
0.000000e+00,1.799915e-10,6.991855e-10,5.230153e-09,1.973680e-08,3.618008e-08,1.330937e-07,1.394678e-07,3.913400e-07,5.024679e-07,9.006107e-07,1.388118e-06,1.811304e-06,3.157526e-06,3.302994e-06,5.581611e-06,6.269168e-06,8.856762e-06,1.119732e-05,1.331534e-05,1.833535e-05,1.910395e-05,2.632254e-05,2.794338e-05,3.502520e-05,4.014271e-05,4.522425e-05,5.493092e-05,5.689522e-05,6.998181e-05,7.220180e-05,8.440056e-05,9.176429e-05,1.000452e-04,1.133600e-04,1.167907e-04,1.344974e-04,1.366798e-04,1.530151e-04,1.613794e-04,1.721864e-04,1.870953e-04,1.918512e-04,2.118494e-04,2.134589e-04,2.320246e-04,2.401103e-04,2.522266e-04,2.667088e-04,2.723139e-04,2.921557e-04,2.929425e-04,3.116328e-04,3.185345e-04,3.306392e-04,3.432468e-04,3.490821e-04,3.668825e-04,3.839745e-04,3.892854e-04,4.003053e-04,4.103383e-04,4.158342e-04,4.299604e-04,4.305320e-04,4.443800e-04,4.481036e-04,4.573687e-04,4.647487e-04,4.694971e-04,4.799007e-04,4.807715e-04,4.912043e-04,4.935848e-04,5.008133e-04,5.058427e-04,5.096208e-04,5.167287e-04,5.176525e-04,5.249368e-04,5.263066e-04,5.315044e-04,5.346470e-04,5.373874e-04,5.418242e-04,5.426188e-04,5.472321e-04,5.479151e-04,5.512609e-04,5.529970e-04,5.547386e-04,5.571461e-04,5.576981e-04,5.601714e-04,5.604371e-04,5.621899e-04,5.629418e-04,5.637838e-04,5.647290e-04,5.649820e-04,5.658125e-04,5.658639e-04,5.663019e-04,5.664078e-04,5.664754e-04,5.664183e-04,5.663571e-04,5.659697e-04,5.659489e-04,5.653346e-04,5.650493e-04,5.644720e-04,5.637653e-04,5.634010e-04,5.621394e-04,5.607040e-04,5.602105e-04,5.591102e-04,5.580140e-04,5.573729e-04,5.555827e-04,5.555057e-04,5.535212e-04,5.529462e-04,5.514313e-04,5.501315e-04,5.492472e-04,5.471632e-04,5.469789e-04,5.446360e-04,5.440637e-04,5.422275e-04,5.408531e-04,5.397614e-04,5.375496e-04,5.372453e-04,5.346863e-04,5.341700e-04,5.320909e-04,5.307289e-04,5.294651e-04,5.272399e-04,5.268144e-04,5.241439e-04,5.237151e-04,5.214584e-04,5.201653e-04,5.187622e-04,5.166002e-04,5.160593e-04,5.133533e-04,5.130286e-04,5.106477e-04,5.094581e-04,5.079455e-04,5.058959e-04,5.052496e-04,5.025625e-04,5.023480e-04,4.998867e-04,4.988200e-04,4.972243e-04,4.953167e-04,4.945772e-04,4.919472e-04,4.918424e-04,4.893360e-04,4.884009e-04,4.867450e-04,4.849954e-04,4.841756e-04,4.816289e-04,4.783039e-04,4.750224e-04,4.717865e-04,4.685975e-04,4.654567e-04,4.623654e-04,4.593242e-04,4.563340e-04,4.533951e-04,4.505079e-04,4.476726e-04,4.448893e-04,4.421581e-04,4.394786e-04,4.368509e-04,4.342745e-04,4.317490e-04,4.292742e-04,4.268494e-04,4.244743e-04,4.221481e-04,4.198703e-04,4.176403e-04,4.154575e-04
0.000000e+00,1.000751e-10,2.399983e-10,8.652236e-10,2.008030e-09,2.948460e-09,6.744039e-09,6.947956e-09,1.342790e-08,1.576192e-08,2.294002e-08,3.033346e-08,3.603973e-08,5.173967e-08,5.328451e-08,7.518846e-08,8.118358e-08,1.021046e-07,1.193970e-07,1.340712e-07,1.661284e-07,1.707637e-07,2.116224e-07,2.202392e-07,2.560276e-07,2.803236e-07,3.033949e-07,3.450837e-07,3.531947e-07,4.049414e-07,4.133707e-07,4.581792e-07,4.841348e-07,5.124740e-07,5.563912e-07,5.674105e-07,6.225935e-07,6.292141e-07,6.776505e-07,7.017457e-07,7.322362e-07,7.732110e-07,7.860355e-07,8.387663e-07,8.429310e-07,8.901815e-07,9.103307e-07,9.400694e-07,9.749424e-07,9.882532e-07,1.034590e-06,1.036403e-06,1.078969e-06,1.094449e-06,1.121308e-06,1.148904e-06,1.161552e-06,1.199668e-06,1.235647e-06,1.246709e-06,1.269495e-06,1.290049e-06,1.301234e-06,1.329753e-06,1.330901e-06,1.358540e-06,1.365924e-06,1.384208e-06,1.398686e-06,1.407963e-06,1.428186e-06,1.429873e-06,1.450007e-06,1.454582e-06,1.468437e-06,1.478041e-06,1.485237e-06,1.498732e-06,1.500482e-06,1.514244e-06,1.516825e-06,1.526597e-06,1.532487e-06,1.537613e-06,1.545884e-06,1.547361e-06,1.555912e-06,1.557173e-06,1.563330e-06,1.566508e-06,1.569681e-06,1.574034e-06,1.575025e-06,1.579423e-06,1.579890e-06,1.582931e-06,1.584207e-06,1.585604e-06,1.587109e-06,1.587494e-06,1.588652e-06,1.588714e-06,1.589124e-06,1.589131e-06,1.588955e-06,1.588462e-06,1.588189e-06,1.586867e-06,1.586803e-06,1.585027e-06,1.584245e-06,1.582706e-06,1.580870e-06,1.579938e-06,1.576757e-06,1.573194e-06,1.571977e-06,1.569277e-06,1.566599e-06,1.565036e-06,1.560683e-06,1.560496e-06,1.555682e-06,1.554289e-06,1.550618e-06,1.547468e-06,1.545325e-06,1.540271e-06,1.539824e-06,1.534135e-06,1.532744e-06,1.528276e-06,1.524927e-06,1.522264e-06,1.516861e-06,1.516117e-06,1.509848e-06,1.508581e-06,1.503473e-06,1.500120e-06,1.497004e-06,1.491508e-06,1.490455e-06,1.483837e-06,1.482773e-06,1.477162e-06,1.473940e-06,1.470439e-06,1.465034e-06,1.463679e-06,1.456890e-06,1.456074e-06,1.450081e-06,1.447081e-06,1.443260e-06,1.438072e-06,1.436434e-06,1.429610e-06,1.429064e-06,1.422794e-06,1.420072e-06,1.415993e-06,1.411108e-06,1.409211e-06,1.402454e-06,1.402185e-06,1.395727e-06,1.393313e-06,1.389034e-06,1.384504e-06,1.382378e-06,1.375764e-06,1.367103e-06,1.358528e-06,1.350044e-06,1.341657e-06,1.333372e-06,1.325194e-06,1.317125e-06,1.309170e-06,1.301331e-06,1.293609e-06,1.286008e-06,1.278528e-06,1.271170e-06,1.263936e-06,1.256826e-06,1.249839e-06,1.242977e-06,1.236239e-06,1.229625e-06,1.223133e-06,1.216764e-06,1.210517e-06,1.204390e-06,1.198382e-06
0.000000e+00,1.682591e-10,4.647734e-10,1.973088e-09,4.978153e-09,7.559087e-09,1.848676e-08,1.909070e-08,3.892740e-08,4.633388e-08,6.982990e-08,9.500057e-08,1.149782e-07,1.716489e-07,1.773130e-07,2.580572e-07,2.800888e-07,3.561234e-07,4.178159e-07,4.693940e-07,5.801084e-07,5.959426e-07,7.342769e-07,7.632481e-07,8.831762e-07,9.644060e-07,1.041518e-06,1.181003e-06,1.208181e-06,1.382001e-06,1.410397e-06,1.561770e-06,1.649808e-06,1.746247e-06,1.896384e-06,1.934190e-06,2.124379e-06,2.147297e-06,2.315644e-06,2.399854e-06,2.506885e-06,2.651590e-06,2.697097e-06,2.885369e-06,2.900322e-06,3.070900e-06,3.144187e-06,3.252998e-06,3.381649e-06,3.431076e-06,3.604648e-06,3.611491e-06,3.773324e-06,3.832788e-06,3.936800e-06,4.044875e-06,4.094850e-06,4.247315e-06,4.394099e-06,4.439861e-06,4.535154e-06,4.622420e-06,4.670478e-06,4.795028e-06,4.800104e-06,4.924097e-06,4.957817e-06,5.042544e-06,5.110995e-06,5.155554e-06,5.254826e-06,5.263249e-06,5.365766e-06,5.389616e-06,5.463248e-06,5.515695e-06,5.555846e-06,5.633413e-06,5.643713e-06,5.727006e-06,5.743130e-06,5.805883e-06,5.845205e-06,5.880500e-06,5.940000e-06,5.951013e-06,6.017575e-06,6.027869e-06,6.080338e-06,6.109158e-06,6.139448e-06,6.184205e-06,6.195051e-06,6.247286e-06,6.253335e-06,6.296290e-06,6.316862e-06,6.342195e-06,6.375089e-06,6.385129e-06,6.425217e-06,6.428305e-06,6.462578e-06,6.476785e-06,6.497328e-06,6.520794e-06,6.529579e-06,6.559438e-06,6.560584e-06,6.587008e-06,6.596392e-06,6.612389e-06,6.628447e-06,6.635678e-06,6.656966e-06,6.676342e-06,6.682153e-06,6.693891e-06,6.704202e-06,6.709696e-06,6.723299e-06,6.723834e-06,6.736381e-06,6.739619e-06,6.747410e-06,6.753327e-06,6.756989e-06,6.764580e-06,6.765187e-06,6.772066e-06,6.773527e-06,6.777687e-06,6.780308e-06,6.782111e-06,6.785057e-06,6.785392e-06,6.787586e-06,6.787899e-06,6.788744e-06,6.788953e-06,6.788915e-06,6.788332e-06,6.788148e-06,6.786487e-06,6.786142e-06,6.783977e-06,6.782483e-06,6.780660e-06,6.777451e-06,6.776575e-06,6.771762e-06,6.771137e-06,6.766256e-06,6.763623e-06,6.760093e-06,6.754991e-06,6.753308e-06,6.745931e-06,6.745316e-06,6.737995e-06,6.734671e-06,6.729529e-06,6.723121e-06,6.720561e-06,6.711119e-06,6.710732e-06,6.701228e-06,6.697563e-06,6.690915e-06,6.683672e-06,6.680201e-06,6.669112e-06,6.653934e-06,6.638186e-06,6.621914e-06,6.605159e-06,6.587964e-06,6.570364e-06,6.552396e-06,6.534095e-06,6.515491e-06,6.496616e-06,6.477497e-06,6.458161e-06,6.438634e-06,6.418940e-06,6.399101e-06,6.379139e-06,6.359073e-06,6.338922e-06,6.318705e-06,6.298436e-06,6.278133e-06,6.257810e-06,6.237480e-06,6.217157e-06
0.000000e+00,1.390046e-10,3.863559e-10,1.655472e-09,4.203614e-09,6.402951e-09,1.577834e-08,1.629876e-08,3.348412e-08,3.993571e-08,6.046163e-08,8.241942e-08,9.972007e-08,1.478392e-07,1.525692e-07,2.188662e-07,2.367169e-07,2.980875e-07,3.479642e-07,3.898972e-07,4.809420e-07,4.940932e-07,6.104622e-07,6.351715e-07,7.386899e-07,8.099091e-07,8.783189e-07,1.003976e-06,1.028740e-06,1.189201e-06,1.215749e-06,1.358825e-06,1.443215e-06,1.536636e-06,1.684078e-06,1.721587e-06,1.912590e-06,1.935864e-06,2.108539e-06,2.196044e-06,2.308353e-06,2.462152e-06,2.510986e-06,2.715442e-06,2.731849e-06,2.920790e-06,3.002986e-06,3.126178e-06,3.273643e-06,3.330830e-06,3.534052e-06,3.542142e-06,3.735231e-06,3.807050e-06,3.933833e-06,4.067172e-06,4.129397e-06,4.321533e-06,4.509911e-06,4.569353e-06,4.694261e-06,4.810029e-06,4.874366e-06,5.043111e-06,5.050051e-06,5.221185e-06,5.268273e-06,5.387671e-06,5.485302e-06,5.549442e-06,5.694073e-06,5.706459e-06,5.858704e-06,5.894534e-06,6.006182e-06,6.086694e-06,6.148911e-06,6.270611e-06,6.286925e-06,6.420269e-06,6.446382e-06,6.548998e-06,6.614134e-06,6.673175e-06,6.774017e-06,6.792871e-06,6.908160e-06,6.926202e-06,7.019122e-06,7.070872e-06,7.125842e-06,7.208221e-06,7.228406e-06,7.326901e-06,7.338451e-06,7.421418e-06,7.461768e-06,7.512047e-06,7.578381e-06,7.598880e-06,7.682009e-06,7.688502e-06,7.761526e-06,7.792341e-06,7.837521e-06,7.890109e-06,7.910087e-06,7.979312e-06,7.982013e-06,8.045288e-06,8.068260e-06,8.108101e-06,8.149053e-06,8.167840e-06,8.224590e-06,8.278437e-06,8.295068e-06,8.329463e-06,8.360678e-06,8.377751e-06,8.421606e-06,8.423381e-06,8.466432e-06,8.478035e-06,8.506983e-06,8.530144e-06,8.545108e-06,8.578105e-06,8.580882e-06,8.614379e-06,8.622087e-06,8.645669e-06,8.662253e-06,8.674822e-06,8.698763e-06,8.701906e-06,8.726988e-06,8.731770e-06,8.750133e-06,8.761424e-06,8.771404e-06,8.787869e-06,8.790863e-06,8.808571e-06,8.811245e-06,8.824585e-06,8.831688e-06,8.838965e-06,8.849328e-06,8.851764e-06,8.863039e-06,8.864292e-06,8.872842e-06,8.876702e-06,8.881224e-06,8.886676e-06,8.888237e-06,8.893928e-06,8.894327e-06,8.898345e-06,8.899766e-06,8.901535e-06,8.903097e-06,8.903543e-06,8.904412e-06,8.904423e-06,8.904184e-06,8.903842e-06,8.902902e-06,8.901449e-06,8.900606e-06,8.897333e-06,8.891583e-06,8.884283e-06,8.875513e-06,8.865352e-06,8.853874e-06,8.841151e-06,8.827251e-06,8.812242e-06,8.796186e-06,8.779144e-06,8.761175e-06,8.742335e-06,8.722677e-06,8.702254e-06,8.681114e-06,8.659305e-06,8.636871e-06,8.613857e-06,8.590305e-06,8.566252e-06,8.541737e-06,8.516796e-06,8.491464e-06,8.465774e-06
0.000000e+00,3.700807e-10,1.439698e-09,1.079888e-08,4.083104e-08,7.490641e-08,2.757306e-07,2.889289e-07,8.090050e-07,1.037538e-06,1.851919e-06,2.840782e-06,3.692873e-06,6.374175e-06,6.661844e-06,1.113704e-05,1.248058e-05,1.753009e-05,2.210415e-05,2.625778e-05,3.617610e-05,3.770458e-05,5.218909e-05,5.547260e-05,6.994359e-05,8.051803e-05,9.110692e-05,1.115556e-04,1.157263e-04,1.437642e-04,1.485609e-04,1.751068e-04,1.912744e-04,2.095740e-04,2.392399e-04,2.469289e-04,2.868880e-04,2.918432e-04,3.291301e-04,3.483507e-04,3.733061e-04,4.079472e-04,4.190479e-04,4.659772e-04,4.697714e-04,5.137135e-04,5.329497e-04,5.618818e-04,5.966258e-04,6.101187e-04,6.580789e-04,6.599869e-04,7.054392e-04,7.222840e-04,7.519027e-04,7.828475e-04,7.972011e-04,8.410973e-04,8.833854e-04,8.965487e-04,9.238914e-04,9.488128e-04,9.624726e-04,9.975947e-04,9.990161e-04,1.033438e-03,1.042687e-03,1.065680e-03,1.083964e-03,1.095708e-03,1.121370e-03,1.123513e-03,1.149101e-03,1.154915e-03,1.172499e-03,1.184659e-03,1.193747e-03,1.210709e-03,1.212898e-03,1.230017e-03,1.233204e-03,1.245176e-03,1.252311e-03,1.258455e-03,1.268217e-03,1.269937e-03,1.279710e-03,1.281121e-03,1.287865e-03,1.291231e-03,1.294493e-03,1.298757e-03,1.299685e-03,1.303532e-03,1.303908e-03,1.306124e-03,1.306889e-03,1.307547e-03,1.307900e-03,1.307887e-03,1.307225e-03,1.307131e-03,1.305641e-03,1.304765e-03,1.303209e-03,1.300974e-03,1.300001e-03,1.296087e-03,1.295916e-03,1.291530e-03,1.289744e-03,1.286392e-03,1.282595e-03,1.280730e-03,1.274598e-03,1.268047e-03,1.265870e-03,1.261124e-03,1.256518e-03,1.253873e-03,1.246641e-03,1.246335e-03,1.238548e-03,1.236327e-03,1.230547e-03,1.225657e-03,1.222365e-03,1.214703e-03,1.214032e-03,1.205575e-03,1.203530e-03,1.197021e-03,1.192196e-03,1.188392e-03,1.180754e-03,1.179710e-03,1.170994e-03,1.169248e-03,1.162263e-03,1.157722e-03,1.153532e-03,1.146209e-03,1.144816e-03,1.136129e-03,1.134743e-03,1.127483e-03,1.123351e-03,1.118888e-03,1.112057e-03,1.110355e-03,1.101892e-03,1.100882e-03,1.093507e-03,1.089844e-03,1.085207e-03,1.078959e-03,1.076998e-03,1.068885e-03,1.068240e-03,1.060873e-03,1.057698e-03,1.052966e-03,1.047341e-03,1.045168e-03,1.037482e-03,1.037177e-03,1.029909e-03,1.027211e-03,1.022453e-03,1.017449e-03,1.015114e-03,1.007894e-03,9.985474e-04,9.894108e-04,9.804848e-04,9.717691e-04,9.632628e-04,9.549646e-04,9.468725e-04,9.389843e-04,9.312973e-04,9.238086e-04,9.165149e-04,9.094129e-04,9.024989e-04,8.957694e-04,8.892203e-04,8.828479e-04,8.766482e-04,8.706171e-04,8.647507e-04,8.590448e-04,8.534954e-04,8.480986e-04,8.428504e-04,8.377467e-04
0.000000e+00,1.021059e-10,3.762985e-10,2.526775e-09,8.652523e-09,1.504413e-08,4.832970e-08,5.036734e-08,1.236795e-07,1.531582e-07,2.506542e-07,3.589103e-07,4.463688e-07,6.992051e-07,7.248353e-07,1.098635e-06,1.203739e-06,1.577965e-06,1.894900e-06,2.168618e-06,2.779922e-06,2.869664e-06,3.672749e-06,3.844438e-06,4.563749e-06,5.056173e-06,5.525532e-06,6.375108e-06,6.540321e-06,7.591116e-06,7.761520e-06,8.662309e-06,9.179541e-06,9.739842e-06,1.059795e-05,1.081116e-05,1.186517e-05,1.199001e-05,1.289217e-05,1.333331e-05,1.388388e-05,1.460967e-05,1.483338e-05,1.573515e-05,1.580510e-05,1.658500e-05,1.690971e-05,1.738001e-05,1.791743e-05,1.811843e-05,1.879958e-05,1.882564e-05,1.942370e-05,1.963461e-05,1.999182e-05,2.034698e-05,2.050560e-05,2.096720e-05,2.137916e-05,2.150096e-05,2.174428e-05,2.195472e-05,2.206550e-05,2.233539e-05,2.234585e-05,2.258837e-05,2.264991e-05,2.279604e-05,2.290511e-05,2.297173e-05,2.310750e-05,2.311820e-05,2.323808e-05,2.326316e-05,2.333380e-05,2.337771e-05,2.340764e-05,2.345622e-05,2.346173e-05,2.349801e-05,2.350328e-05,2.351825e-05,2.352299e-05,2.352409e-05,2.351895e-05,2.351700e-05,2.349833e-05,2.349435e-05,2.346931e-05,2.345202e-05,2.343102e-05,2.339440e-05,2.338447e-05,2.333056e-05,2.332364e-05,2.327010e-05,2.324161e-05,2.320381e-05,2.314995e-05,2.313236e-05,2.305634e-05,2.305008e-05,2.297628e-05,2.294324e-05,2.289268e-05,2.283053e-05,2.280596e-05,2.271652e-05,2.271289e-05,2.262471e-05,2.259115e-05,2.253087e-05,2.246603e-05,2.243527e-05,2.233819e-05,2.223986e-05,2.220817e-05,2.214050e-05,2.207647e-05,2.204032e-05,2.194352e-05,2.193948e-05,2.183816e-05,2.180972e-05,2.173650e-05,2.167540e-05,2.163465e-05,2.154087e-05,2.153271e-05,2.143082e-05,2.140638e-05,2.132906e-05,2.127217e-05,2.122753e-05,2.113845e-05,2.112633e-05,2.102552e-05,2.100541e-05,2.092518e-05,2.087321e-05,2.082537e-05,2.074199e-05,2.072615e-05,2.062758e-05,2.061187e-05,2.052971e-05,2.048299e-05,2.043257e-05,2.035542e-05,2.033621e-05,2.024066e-05,2.022925e-05,2.014596e-05,2.010457e-05,2.005214e-05,1.998144e-05,1.995922e-05,1.986722e-05,1.985990e-05,1.977617e-05,1.974002e-05,1.968609e-05,1.962183e-05,1.959698e-05,1.950887e-05,1.950537e-05,1.942176e-05,1.939065e-05,1.933567e-05,1.927771e-05,1.925060e-05,1.916657e-05,1.905723e-05,1.894970e-05,1.884400e-05,1.874011e-05,1.863804e-05,1.853779e-05,1.843935e-05,1.834271e-05,1.824786e-05,1.815478e-05,1.806347e-05,1.797390e-05,1.788606e-05,1.779993e-05,1.771549e-05,1.763273e-05,1.755161e-05,1.747212e-05,1.739424e-05,1.731795e-05,1.724321e-05,1.717001e-05,1.709832e-05,1.702812e-05
0.000000e+00,3.260589e-10,8.876889e-10,3.709648e-09,9.318746e-09,1.415762e-08,3.497051e-08,3.613678e-08,7.528764e-08,9.025067e-08,1.383075e-07,1.895961e-07,2.294541e-07,3.372351e-07,3.476107e-07,4.900080e-07,5.275814e-07,6.549710e-07,7.568737e-07,8.416393e-07,1.023323e-06,1.049331e-06,1.277215e-06,1.325122e-06,1.524175e-06,1.659670e-06,1.788779e-06,2.023430e-06,2.069306e-06,2.363797e-06,2.412071e-06,2.670124e-06,2.820715e-06,2.986067e-06,3.244234e-06,3.309380e-06,3.637855e-06,3.677518e-06,3.969377e-06,4.115695e-06,4.301962e-06,4.554308e-06,4.633786e-06,4.963207e-06,4.989412e-06,5.288771e-06,5.417628e-06,5.609216e-06,5.836155e-06,5.923465e-06,6.230613e-06,6.242741e-06,6.529923e-06,6.635637e-06,6.820801e-06,7.013544e-06,7.102790e-06,7.375548e-06,7.638834e-06,7.721059e-06,7.892500e-06,8.049760e-06,8.136470e-06,8.361547e-06,8.370731e-06,8.595328e-06,8.656494e-06,8.810346e-06,8.934808e-06,9.015908e-06,9.196805e-06,9.212168e-06,9.399301e-06,9.442877e-06,9.577504e-06,9.673474e-06,9.746985e-06,9.889089e-06,9.907966e-06,1.006068e-05,1.009024e-05,1.020535e-05,1.027748e-05,1.034222e-05,1.045134e-05,1.047153e-05,1.059352e-05,1.061237e-05,1.070842e-05,1.076113e-05,1.081648e-05,1.089816e-05,1.091793e-05,1.101299e-05,1.102398e-05,1.110189e-05,1.113912e-05,1.118486e-05,1.124408e-05,1.126211e-05,1.133386e-05,1.133937e-05,1.140031e-05,1.142545e-05,1.146167e-05,1.150280e-05,1.151813e-05,1.156988e-05,1.157185e-05,1.161711e-05,1.163305e-05,1.166001e-05,1.168679e-05,1.169874e-05,1.173348e-05,1.176440e-05,1.177351e-05,1.179165e-05,1.180723e-05,1.181538e-05,1.183501e-05,1.183576e-05,1.185292e-05,1.185717e-05,1.186700e-05,1.187403e-05,1.187815e-05,1.188591e-05,1.188648e-05,1.189213e-05,1.189310e-05,1.189522e-05,1.189587e-05,1.189586e-05,1.189450e-05,1.189418e-05,1.189027e-05,1.188923e-05,1.188425e-05,1.188032e-05,1.187622e-05,1.186798e-05,1.186627e-05,1.185450e-05,1.185245e-05,1.184099e-05,1.183392e-05,1.182585e-05,1.181261e-05,1.180915e-05,1.179097e-05,1.178869e-05,1.177139e-05,1.176235e-05,1.175048e-05,1.173375e-05,1.172832e-05,1.170498e-05,1.170306e-05,1.168052e-05,1.167044e-05,1.165501e-05,1.163602e-05,1.162850e-05,1.160106e-05,1.159995e-05,1.157275e-05,1.156235e-05,1.154361e-05,1.152335e-05,1.151370e-05,1.148307e-05,1.144162e-05,1.139910e-05,1.135561e-05,1.131125e-05,1.126610e-05,1.122025e-05,1.117378e-05,1.112675e-05,1.107925e-05,1.103134e-05,1.098307e-05,1.093452e-05,1.088573e-05,1.083675e-05,1.078764e-05,1.073844e-05,1.068919e-05,1.063993e-05,1.059070e-05,1.054154e-05,1.049248e-05,1.044355e-05,1.039478e-05,1.034619e-05
0.000000e+00,1.700642e-11,3.958539e-11,1.382201e-10,3.159514e-10,4.612701e-10,1.044252e-09,1.075476e-09,2.064882e-09,2.420285e-09,3.511034e-09,4.631525e-09,5.494492e-09,7.861324e-09,8.093662e-09,1.137891e-08,1.227565e-08,1.539971e-08,1.797838e-08,2.016556e-08,2.494032e-08,2.563004e-08,3.169325e-08,3.296650e-08,3.822538e-08,4.176313e-08,4.509450e-08,5.103854e-08,5.218320e-08,5.939306e-08,6.055224e-08,6.664299e-08,7.011708e-08,7.386610e-08,7.958775e-08,8.100705e-08,8.802011e-08,8.885123e-08,9.486785e-08,9.782047e-08,1.015201e-07,1.064304e-07,1.079533e-07,1.141496e-07,1.146346e-07,1.200962e-07,1.224029e-07,1.257848e-07,1.297183e-07,1.312111e-07,1.363736e-07,1.365747e-07,1.412740e-07,1.429745e-07,1.459157e-07,1.489270e-07,1.503041e-07,1.544460e-07,1.583490e-07,1.595489e-07,1.620218e-07,1.642556e-07,1.654732e-07,1.685869e-07,1.687125e-07,1.717494e-07,1.725647e-07,1.745931e-07,1.762106e-07,1.772531e-07,1.795462e-07,1.797388e-07,1.820591e-07,1.825924e-07,1.842228e-07,1.853693e-07,1.862385e-07,1.878962e-07,1.881141e-07,1.898577e-07,1.901913e-07,1.914767e-07,1.922718e-07,1.929784e-07,1.941540e-07,1.943694e-07,1.956564e-07,1.958531e-07,1.968455e-07,1.973832e-07,1.979425e-07,1.987576e-07,1.989530e-07,1.998823e-07,1.999886e-07,2.007354e-07,2.010877e-07,2.015168e-07,2.020655e-07,2.022311e-07,2.028824e-07,2.029319e-07,2.034747e-07,2.036959e-07,2.040117e-07,2.043661e-07,2.044970e-07,2.049338e-07,2.049503e-07,2.053252e-07,2.054556e-07,2.056743e-07,2.058889e-07,2.059837e-07,2.062561e-07,2.064940e-07,2.065632e-07,2.066996e-07,2.068152e-07,2.068751e-07,2.070171e-07,2.070225e-07,2.071439e-07,2.071734e-07,2.072409e-07,2.072882e-07,2.073153e-07,2.073652e-07,2.073688e-07,2.074027e-07,2.074081e-07,2.074185e-07,2.074200e-07,2.074176e-07,2.074039e-07,2.074012e-07,2.073704e-07,2.073626e-07,2.073263e-07,2.072985e-07,2.072701e-07,2.072141e-07,2.072026e-07,2.071247e-07,2.071114e-07,2.070374e-07,2.069924e-07,2.069414e-07,2.068589e-07,2.068375e-07,2.067263e-07,2.067125e-07,2.066086e-07,2.065549e-07,2.064849e-07,2.063873e-07,2.063559e-07,2.062220e-07,2.062111e-07,2.060838e-07,2.060274e-07,2.059417e-07,2.058373e-07,2.057962e-07,2.056477e-07,2.056417e-07,2.054966e-07,2.054417e-07,2.053433e-07,2.052379e-07,2.051881e-07,2.050312e-07,2.048222e-07,2.046116e-07,2.043999e-07,2.041876e-07,2.039752e-07,2.037631e-07,2.035517e-07,2.033413e-07,2.031322e-07,2.029248e-07,2.027192e-07,2.025157e-07,2.023145e-07,2.021158e-07,2.019196e-07,2.017262e-07,2.015357e-07,2.013481e-07,2.011635e-07,2.009820e-07,2.008037e-07,2.006286e-07,2.004567e-07,2.002881e-07
0.000000e+00,1.292645e-10,4.822184e-10,3.320857e-09,1.163805e-08,2.049569e-08,6.808720e-08,7.105592e-08,1.805688e-07,2.257535e-07,3.786502e-07,5.534409e-07,6.978408e-07,1.128539e-06,1.173171e-06,1.841216e-06,2.034199e-06,2.736670e-06,3.347808e-06,3.885838e-06,5.116883e-06,5.300718e-06,6.978083e-06,7.343900e-06,8.903159e-06,9.995132e-06,1.105453e-05,1.301884e-05,1.340793e-05,1.593837e-05,1.635801e-05,1.862106e-05,1.995567e-05,2.143168e-05,2.375620e-05,2.434632e-05,2.734152e-05,2.770526e-05,3.039433e-05,3.175004e-05,3.348245e-05,3.583983e-05,3.658449e-05,3.968022e-05,3.992704e-05,4.275085e-05,4.396816e-05,4.577920e-05,4.792473e-05,4.874990e-05,5.164952e-05,5.176385e-05,5.446653e-05,5.545853e-05,5.719138e-05,5.898764e-05,5.981638e-05,6.233560e-05,6.474477e-05,6.549196e-05,6.704106e-05,6.845072e-05,6.922299e-05,7.120972e-05,7.129021e-05,7.324337e-05,7.377000e-05,7.508395e-05,7.613513e-05,7.681411e-05,7.831068e-05,7.843659e-05,7.995455e-05,8.030369e-05,8.137149e-05,8.212224e-05,8.269116e-05,8.377509e-05,8.391745e-05,8.505436e-05,8.527137e-05,8.610594e-05,8.662038e-05,8.707622e-05,8.783135e-05,8.796920e-05,8.878880e-05,8.891338e-05,8.953885e-05,8.987526e-05,9.022305e-05,9.072542e-05,9.084500e-05,9.140812e-05,9.147190e-05,9.191572e-05,9.212230e-05,9.237097e-05,9.268380e-05,9.277687e-05,9.313631e-05,9.316314e-05,9.345201e-05,9.356663e-05,9.372656e-05,9.390015e-05,9.396243e-05,9.416192e-05,9.416918e-05,9.432725e-05,9.437881e-05,9.446049e-05,9.453378e-05,9.456362e-05,9.463848e-05,9.468684e-05,9.469698e-05,9.471033e-05,9.471305e-05,9.471053e-05,9.469017e-05,9.468890e-05,9.464684e-05,9.463158e-05,9.458564e-05,9.454026e-05,9.450655e-05,9.441898e-05,9.441073e-05,9.429926e-05,9.427030e-05,9.417320e-05,9.409658e-05,9.403350e-05,9.390002e-05,9.388108e-05,9.371683e-05,9.368263e-05,9.354154e-05,9.344629e-05,9.335599e-05,9.319273e-05,9.316090e-05,9.295697e-05,9.292356e-05,9.274483e-05,9.264027e-05,9.252509e-05,9.234421e-05,9.229833e-05,9.206508e-05,9.203668e-05,9.182586e-05,9.171884e-05,9.158115e-05,9.139178e-05,9.133141e-05,9.107706e-05,9.105652e-05,9.081851e-05,9.071399e-05,9.055613e-05,9.036506e-05,9.029030e-05,9.002134e-05,9.001053e-05,8.974959e-05,8.965113e-05,8.947534e-05,8.928757e-05,8.919888e-05,8.892047e-05,8.855044e-05,8.817800e-05,8.780368e-05,8.742794e-05,8.705121e-05,8.667391e-05,8.629639e-05,8.591901e-05,8.554208e-05,8.516590e-05,8.479073e-05,8.441683e-05,8.404442e-05,8.367372e-05,8.330493e-05,8.293822e-05,8.257375e-05,8.221169e-05,8.185216e-05,8.149530e-05,8.114122e-05,8.079002e-05,8.044179e-05,8.009663e-05
0.000000e+00,6.886677e-11,2.631612e-10,1.902259e-09,6.954588e-09,1.252507e-08,4.395330e-08,4.596753e-08,1.227092e-07,1.553311e-07,2.682438e-07,4.005203e-07,5.114998e-07,8.481990e-07,8.834375e-07,1.415889e-06,1.571098e-06,2.140515e-06,2.641634e-06,3.087591e-06,4.126731e-06,4.284304e-06,5.752611e-06,6.080308e-06,7.507321e-06,8.535503e-06,9.555121e-06,1.150105e-05,1.189472e-05,1.451781e-05,1.496293e-05,1.741023e-05,1.888890e-05,2.055323e-05,2.323316e-05,2.392451e-05,2.749907e-05,2.794041e-05,3.124996e-05,3.294897e-05,3.514893e-05,3.819333e-05,3.916694e-05,4.327474e-05,4.360638e-05,4.744332e-05,4.912139e-05,5.164434e-05,5.467384e-05,5.585060e-05,6.003630e-05,6.020296e-05,6.417745e-05,6.565305e-05,6.825201e-05,7.097443e-05,7.224009e-05,7.612411e-05,7.988877e-05,8.106607e-05,8.352108e-05,8.577127e-05,8.701033e-05,9.021745e-05,9.034796e-05,9.352745e-05,9.438869e-05,9.654418e-05,9.827482e-05,9.939526e-05,1.018708e-04,1.020793e-04,1.045965e-04,1.051759e-04,1.069480e-04,1.081933e-04,1.091361e-04,1.109290e-04,1.111640e-04,1.130358e-04,1.133917e-04,1.147558e-04,1.155919e-04,1.163291e-04,1.175413e-04,1.177611e-04,1.190575e-04,1.192527e-04,1.202240e-04,1.207395e-04,1.212666e-04,1.220154e-04,1.221912e-04,1.230039e-04,1.230941e-04,1.237104e-04,1.239892e-04,1.243166e-04,1.247137e-04,1.248282e-04,1.252506e-04,1.252807e-04,1.255892e-04,1.257024e-04,1.258492e-04,1.259905e-04,1.260355e-04,1.261528e-04,1.261561e-04,1.262057e-04,1.262098e-04,1.261986e-04,1.261615e-04,1.261355e-04,1.260205e-04,1.258572e-04,1.257953e-04,1.256491e-04,1.254941e-04,1.253997e-04,1.251243e-04,1.251121e-04,1.247893e-04,1.246929e-04,1.244340e-04,1.242065e-04,1.240491e-04,1.236708e-04,1.236369e-04,1.231998e-04,1.230915e-04,1.227401e-04,1.224735e-04,1.222598e-04,1.218217e-04,1.217609e-04,1.212452e-04,1.211402e-04,1.207145e-04,1.204331e-04,1.201703e-04,1.197038e-04,1.196141e-04,1.190474e-04,1.189559e-04,1.184716e-04,1.181922e-04,1.178877e-04,1.174156e-04,1.172970e-04,1.167005e-04,1.166286e-04,1.160993e-04,1.158336e-04,1.154943e-04,1.150325e-04,1.148864e-04,1.142763e-04,1.142274e-04,1.136648e-04,1.134200e-04,1.130526e-04,1.126118e-04,1.124404e-04,1.118288e-04,1.118043e-04,1.112182e-04,1.109988e-04,1.106093e-04,1.101964e-04,1.100025e-04,1.093982e-04,1.086051e-04,1.078180e-04,1.070375e-04,1.062644e-04,1.054993e-04,1.047426e-04,1.039949e-04,1.032565e-04,1.025277e-04,1.018089e-04,1.011002e-04,1.004019e-04,9.971424e-05,9.903722e-05,9.837098e-05,9.771560e-05,9.707112e-05,9.643757e-05,9.581496e-05,9.520324e-05,9.460241e-05,9.401241e-05,9.343316e-05,9.286459e-05
0.000000e+00,3.231632e-10,1.158694e-09,7.380446e-09,2.420909e-08,4.119739e-08,1.261101e-07,1.311991e-07,3.105827e-07,3.815451e-07,6.142814e-07,8.712627e-07,1.078556e-06,1.676629e-06,1.737059e-06,2.609423e-06,2.850691e-06,3.692079e-06,4.382412e-06,4.962958e-06,6.213714e-06,6.392675e-06,7.951820e-06,8.276744e-06,9.613136e-06,1.050892e-05,1.135126e-05,1.285294e-05,1.314203e-05,1.496216e-05,1.525460e-05,1.678931e-05,1.766260e-05,1.860247e-05,2.002992e-05,2.038240e-05,2.211208e-05,2.231555e-05,2.377697e-05,2.448585e-05,2.536521e-05,2.651526e-05,2.686760e-05,2.827752e-05,2.838617e-05,2.959069e-05,3.008833e-05,3.080498e-05,3.161779e-05,3.192006e-05,3.293709e-05,3.297576e-05,3.385849e-05,3.416740e-05,3.468761e-05,3.520074e-05,3.542849e-05,3.608568e-05,3.666402e-05,3.683325e-05,3.716852e-05,3.745499e-05,3.760423e-05,3.796243e-05,3.797614e-05,3.828912e-05,3.836683e-05,3.854785e-05,3.867892e-05,3.875680e-05,3.890873e-05,3.892023e-05,3.904210e-05,3.906559e-05,3.912616e-05,3.915803e-05,3.917589e-05,3.919381e-05,3.919450e-05,3.918499e-05,3.917996e-05,3.915011e-05,3.912280e-05,3.909240e-05,3.902799e-05,3.901419e-05,3.891761e-05,3.890059e-05,3.880464e-05,3.874512e-05,3.867706e-05,3.856559e-05,3.853652e-05,3.838451e-05,3.836556e-05,3.822239e-05,3.814819e-05,3.805143e-05,3.791627e-05,3.787274e-05,3.768737e-05,3.767228e-05,3.749625e-05,3.741839e-05,3.730025e-05,3.715654e-05,3.710014e-05,3.689663e-05,3.688843e-05,3.669037e-05,3.661555e-05,3.648193e-05,3.633922e-05,3.627185e-05,3.606060e-05,3.584863e-05,3.578071e-05,3.563631e-05,3.550042e-05,3.542402e-05,3.522052e-05,3.521206e-05,3.500072e-05,3.494170e-05,3.479027e-05,3.466453e-05,3.458094e-05,3.438953e-05,3.437294e-05,3.416646e-05,3.411715e-05,3.396166e-05,3.384776e-05,3.375869e-05,3.358169e-05,3.355768e-05,3.335875e-05,3.331922e-05,3.316200e-05,3.306059e-05,3.296752e-05,3.280598e-05,3.277540e-05,3.258568e-05,3.255556e-05,3.239844e-05,3.230946e-05,3.221372e-05,3.206778e-05,3.203156e-05,3.185199e-05,3.183062e-05,3.167504e-05,3.159802e-05,3.150073e-05,3.137003e-05,3.132907e-05,3.116008e-05,3.114667e-05,3.099374e-05,3.092796e-05,3.083008e-05,3.071388e-05,3.066907e-05,3.051072e-05,3.050444e-05,3.035501e-05,3.029960e-05,3.020193e-05,3.009933e-05,3.005146e-05,2.990359e-05,2.971234e-05,2.952552e-05,2.934308e-05,2.916495e-05,2.899107e-05,2.882138e-05,2.865580e-05,2.849426e-05,2.833669e-05,2.818302e-05,2.803315e-05,2.788703e-05,2.774457e-05,2.760570e-05,2.747034e-05,2.733840e-05,2.720983e-05,2.708453e-05,2.696243e-05,2.684347e-05,2.672756e-05,2.661463e-05,2.650461e-05,2.639743e-05
0.000000e+00,1.195471e-10,4.567776e-10,3.301061e-09,1.206830e-08,2.173813e-08,7.638590e-08,7.989375e-08,2.140161e-07,2.712980e-07,4.707090e-07,7.064069e-07,9.057500e-07,1.518375e-06,1.583106e-06,2.572687e-06,2.864519e-06,3.943942e-06,4.900687e-06,5.753726e-06,7.734541e-06,8.033131e-06,1.078126e-05,1.138492e-05,1.396809e-05,1.578222e-05,1.754247e-05,2.079812e-05,2.144081e-05,2.559425e-05,2.627782e-05,2.993360e-05,3.206289e-05,3.439256e-05,3.800435e-05,3.890965e-05,4.342917e-05,4.396926e-05,4.790170e-05,4.984344e-05,5.228433e-05,5.553233e-05,5.654060e-05,6.064035e-05,6.096081e-05,6.455948e-05,6.607225e-05,6.827956e-05,7.082715e-05,7.178738e-05,7.507450e-05,7.520133e-05,7.813670e-05,7.918382e-05,8.097341e-05,8.277475e-05,8.358715e-05,8.598301e-05,8.816812e-05,8.882423e-05,9.015117e-05,9.131879e-05,9.194200e-05,9.349018e-05,9.355119e-05,9.498979e-05,9.536355e-05,9.626900e-05,9.696466e-05,9.739997e-05,9.831894e-05,9.839363e-05,9.926054e-05,9.945087e-05,1.000108e-04,1.003836e-04,1.006540e-04,1.011387e-04,1.011992e-04,1.016547e-04,1.017358e-04,1.020285e-04,1.021929e-04,1.023276e-04,1.025261e-04,1.025587e-04,1.027280e-04,1.027498e-04,1.028411e-04,1.028769e-04,1.029031e-04,1.029191e-04,1.029187e-04,1.028922e-04,1.028864e-04,1.028274e-04,1.027877e-04,1.027280e-04,1.026312e-04,1.025970e-04,1.024375e-04,1.024236e-04,1.022521e-04,1.021712e-04,1.020431e-04,1.018793e-04,1.018128e-04,1.015631e-04,1.015527e-04,1.012959e-04,1.011957e-04,1.010127e-04,1.008119e-04,1.007153e-04,1.004048e-04,1.000825e-04,9.997713e-05,9.974971e-05,9.953165e-05,9.940737e-05,9.907069e-05,9.905650e-05,9.869801e-05,9.859637e-05,9.833271e-05,9.811059e-05,9.796138e-05,9.761504e-05,9.758473e-05,9.720339e-05,9.711125e-05,9.681799e-05,9.660059e-05,9.642906e-05,9.608431e-05,9.603714e-05,9.564270e-05,9.556355e-05,9.524618e-05,9.503931e-05,9.484802e-05,9.451257e-05,9.444859e-05,9.404824e-05,9.398412e-05,9.364733e-05,9.345479e-05,9.324616e-05,9.292523e-05,9.284502e-05,9.244417e-05,9.239610e-05,9.204388e-05,9.186798e-05,9.164436e-05,9.134137e-05,9.124583e-05,9.084849e-05,9.081677e-05,9.045254e-05,9.029458e-05,9.005813e-05,8.977521e-05,8.966544e-05,8.927461e-05,8.925901e-05,8.888578e-05,8.874631e-05,8.849908e-05,8.823740e-05,8.811463e-05,8.773254e-05,8.723198e-05,8.673593e-05,8.624458e-05,8.575809e-05,8.527663e-05,8.480032e-05,8.432929e-05,8.386362e-05,8.340343e-05,8.294877e-05,8.249972e-05,8.205632e-05,8.161863e-05,8.118668e-05,8.076048e-05,8.034007e-05,7.992543e-05,7.951659e-05,7.911353e-05,7.871624e-05,7.832471e-05,7.793892e-05,7.755885e-05,7.718446e-05
0.000000e+00,3.279538e-10,1.016206e-09,5.013774e-09,1.363284e-08,2.123828e-08,5.372249e-08,5.551148e-08,1.133445e-07,1.344424e-07,1.997003e-07,2.671793e-07,3.192977e-07,4.623062e-07,4.763165e-07,6.728102e-07,7.256761e-07,9.062071e-07,1.050353e-06,1.169012e-06,1.417219e-06,1.451948e-06,1.746887e-06,1.806735e-06,2.047560e-06,2.204522e-06,2.349107e-06,2.600169e-06,2.647572e-06,2.939614e-06,2.985548e-06,3.222388e-06,3.354112e-06,3.493522e-06,3.700762e-06,3.751126e-06,3.993787e-06,4.021853e-06,4.220557e-06,4.315154e-06,4.430919e-06,4.579722e-06,4.624734e-06,4.802192e-06,4.815694e-06,4.963743e-06,5.024051e-06,5.110040e-06,5.206372e-06,5.241881e-06,5.360159e-06,5.364622e-06,5.465822e-06,5.500958e-06,5.559835e-06,5.617598e-06,5.643154e-06,5.716708e-06,5.781380e-06,5.800337e-06,5.838002e-06,5.870375e-06,5.887346e-06,5.928528e-06,5.930121e-06,5.966976e-06,5.976317e-06,5.998503e-06,6.015085e-06,6.025234e-06,6.046006e-06,6.047651e-06,6.066183e-06,6.070097e-06,6.081220e-06,6.088244e-06,6.093108e-06,6.101211e-06,6.102157e-06,6.108644e-06,6.109656e-06,6.112816e-06,6.114145e-06,6.114893e-06,6.115163e-06,6.115072e-06,6.113529e-06,6.113134e-06,6.110426e-06,6.108424e-06,6.105905e-06,6.101354e-06,6.100095e-06,6.093112e-06,6.092200e-06,6.085062e-06,6.081207e-06,6.076041e-06,6.068589e-06,6.066135e-06,6.055426e-06,6.054536e-06,6.043984e-06,6.039217e-06,6.031877e-06,6.022781e-06,6.019164e-06,6.005903e-06,6.005362e-06,5.992145e-06,5.987080e-06,5.977938e-06,5.968042e-06,5.963324e-06,5.948346e-06,5.933041e-06,5.928080e-06,5.917444e-06,5.907323e-06,5.901587e-06,5.886148e-06,5.885500e-06,5.869213e-06,5.864620e-06,5.852750e-06,5.842798e-06,5.836136e-06,5.820739e-06,5.819395e-06,5.802547e-06,5.798490e-06,5.785612e-06,5.776098e-06,5.768609e-06,5.753604e-06,5.751555e-06,5.734466e-06,5.731046e-06,5.717358e-06,5.708458e-06,5.700243e-06,5.685872e-06,5.683136e-06,5.666049e-06,5.663317e-06,5.648993e-06,5.640820e-06,5.631979e-06,5.618404e-06,5.615016e-06,5.598115e-06,5.596091e-06,5.581284e-06,5.573902e-06,5.564530e-06,5.551854e-06,5.547862e-06,5.531286e-06,5.529964e-06,5.514809e-06,5.508247e-06,5.498437e-06,5.486717e-06,5.482175e-06,5.466029e-06,5.465386e-06,5.450003e-06,5.444264e-06,5.434102e-06,5.423362e-06,5.418329e-06,5.402688e-06,5.382251e-06,5.362057e-06,5.342111e-06,5.322421e-06,5.302989e-06,5.283821e-06,5.264919e-06,5.246286e-06,5.227925e-06,5.209836e-06,5.192022e-06,5.174482e-06,5.157219e-06,5.140231e-06,5.123518e-06,5.107080e-06,5.090916e-06,5.075025e-06,5.059406e-06,5.044056e-06,5.028975e-06,5.014160e-06,4.999610e-06,4.985321e-06
0.000000e+00,3.823386e-10,1.249870e-09,6.771316e-09,1.979125e-08,3.199665e-08,8.900460e-08,9.233473e-08,2.089376e-07,2.554322e-07,4.111084e-07,5.886513e-07,7.352943e-07,1.167157e-06,1.211038e-06,1.838855e-06,2.009264e-06,2.589706e-06,3.050019e-06,3.426945e-06,4.211843e-06,4.321489e-06,5.253604e-06,5.443274e-06,6.209794e-06,6.713095e-06,7.179967e-06,7.999590e-06,8.155789e-06,9.129920e-06,9.285173e-06,1.009575e-05,1.055462e-05,1.104733e-05,1.179480e-05,1.197943e-05,1.288756e-05,1.299474e-05,1.376797e-05,1.414578e-05,1.461767e-05,1.524145e-05,1.543435e-05,1.621640e-05,1.627743e-05,1.696277e-05,1.725120e-05,1.767293e-05,1.816172e-05,1.834672e-05,1.898441e-05,1.900917e-05,1.958652e-05,1.979471e-05,2.015381e-05,2.052014e-05,2.068720e-05,2.118773e-05,2.165656e-05,2.180009e-05,2.209488e-05,2.235997e-05,2.250393e-05,2.287024e-05,2.288496e-05,2.323922e-05,2.333378e-05,2.356794e-05,2.375342e-05,2.387233e-05,2.413192e-05,2.415359e-05,2.441287e-05,2.447195e-05,2.465127e-05,2.477606e-05,2.486988e-05,2.504670e-05,2.506972e-05,2.525180e-05,2.528616e-05,2.541705e-05,2.549663e-05,2.556638e-05,2.568016e-05,2.570067e-05,2.582074e-05,2.583869e-05,2.592738e-05,2.597401e-05,2.602133e-05,2.608785e-05,2.610332e-05,2.617402e-05,2.618178e-05,2.623408e-05,2.625729e-05,2.628410e-05,2.631577e-05,2.632468e-05,2.635636e-05,2.635853e-05,2.637967e-05,2.638676e-05,2.639510e-05,2.640161e-05,2.640313e-05,2.640421e-05,2.640411e-05,2.639875e-05,2.639527e-05,2.638716e-05,2.637597e-05,2.636982e-05,2.634709e-05,2.631931e-05,2.630941e-05,2.628680e-05,2.626366e-05,2.624988e-05,2.621054e-05,2.620882e-05,2.616390e-05,2.615067e-05,2.611539e-05,2.608466e-05,2.606353e-05,2.601306e-05,2.600855e-05,2.595067e-05,2.593637e-05,2.589010e-05,2.585508e-05,2.582704e-05,2.576962e-05,2.576166e-05,2.569416e-05,2.568042e-05,2.562469e-05,2.558785e-05,2.555342e-05,2.549226e-05,2.548049e-05,2.540604e-05,2.539400e-05,2.533021e-05,2.529335e-05,2.525312e-05,2.519062e-05,2.517489e-05,2.509563e-05,2.508606e-05,2.501545e-05,2.497991e-05,2.493446e-05,2.487241e-05,2.485273e-05,2.477038e-05,2.476376e-05,2.468747e-05,2.465417e-05,2.460409e-05,2.454380e-05,2.452031e-05,2.443620e-05,2.443283e-05,2.435184e-05,2.432142e-05,2.426728e-05,2.420970e-05,2.418259e-05,2.409782e-05,2.398588e-05,2.387401e-05,2.376231e-05,2.365088e-05,2.353980e-05,2.342915e-05,2.331902e-05,2.320947e-05,2.310056e-05,2.299235e-05,2.288489e-05,2.277824e-05,2.267243e-05,2.256750e-05,2.246349e-05,2.236044e-05,2.225837e-05,2.215730e-05,2.205727e-05,2.195829e-05,2.186038e-05,2.176355e-05,2.166782e-05,2.157319e-05
0.000000e+00,6.213277e-11,1.479702e-10,5.313130e-10,1.240286e-09,1.834207e-09,4.336226e-09,4.475471e-09,9.150277e-09,1.094779e-08,1.681296e-08,2.329930e-08,2.853244e-08,4.342530e-08,4.490113e-08,6.541353e-08,7.081674e-08,8.881579e-08,1.027262e-07,1.139227e-07,1.367728e-07,1.399204e-07,1.662922e-07,1.715792e-07,1.926942e-07,2.063493e-07,2.188747e-07,2.405469e-07,2.446324e-07,2.697983e-07,2.737599e-07,2.942287e-07,3.056579e-07,3.178033e-07,3.359801e-07,3.404240e-07,3.620149e-07,3.645338e-07,3.825229e-07,3.911944e-07,4.019152e-07,4.158965e-07,4.201755e-07,4.373040e-07,4.386257e-07,4.533132e-07,4.594083e-07,4.682260e-07,4.783016e-07,4.820736e-07,4.948938e-07,4.953858e-07,5.067286e-07,5.107566e-07,5.176238e-07,5.245201e-07,5.276267e-07,5.367823e-07,5.451383e-07,5.476509e-07,5.527410e-07,5.572321e-07,5.596352e-07,5.656278e-07,5.658648e-07,5.714718e-07,5.729356e-07,5.764961e-07,5.792468e-07,5.809755e-07,5.846462e-07,5.849459e-07,5.884415e-07,5.892133e-07,5.914942e-07,5.930217e-07,5.941344e-07,5.961390e-07,5.963904e-07,5.982887e-07,5.986277e-07,5.998544e-07,6.005450e-07,6.011109e-07,6.019435e-07,6.020801e-07,6.027824e-07,6.028713e-07,6.032370e-07,6.033725e-07,6.034617e-07,6.034873e-07,6.034734e-07,6.032877e-07,6.032528e-07,6.029191e-07,6.027025e-07,6.023813e-07,6.018673e-07,6.016871e-07,6.008483e-07,6.007752e-07,5.998760e-07,5.994521e-07,5.987807e-07,5.979213e-07,5.975719e-07,5.962589e-07,5.962043e-07,5.948499e-07,5.943207e-07,5.933529e-07,5.922884e-07,5.917752e-07,5.901237e-07,5.884050e-07,5.878417e-07,5.866248e-07,5.854559e-07,5.847889e-07,5.829789e-07,5.829025e-07,5.809705e-07,5.804220e-07,5.789974e-07,5.777956e-07,5.769875e-07,5.751094e-07,5.749448e-07,5.728730e-07,5.723719e-07,5.707756e-07,5.695911e-07,5.686558e-07,5.667743e-07,5.665167e-07,5.643611e-07,5.639282e-07,5.621916e-07,5.610588e-07,5.600106e-07,5.581715e-07,5.578206e-07,5.556236e-07,5.552716e-07,5.534217e-07,5.523636e-07,5.512167e-07,5.494516e-07,5.490103e-07,5.468043e-07,5.465397e-07,5.446000e-07,5.436311e-07,5.423990e-07,5.407291e-07,5.402025e-07,5.380117e-07,5.378367e-07,5.358278e-07,5.349564e-07,5.336518e-07,5.320906e-07,5.314848e-07,5.293276e-07,5.292415e-07,5.271810e-07,5.264110e-07,5.250459e-07,5.236010e-07,5.229230e-07,5.208129e-07,5.180483e-07,5.153084e-07,5.125944e-07,5.099073e-07,5.072479e-07,5.046172e-07,5.020158e-07,4.994444e-07,4.969033e-07,4.943932e-07,4.919144e-07,4.894672e-07,4.870519e-07,4.846686e-07,4.823176e-07,4.799989e-07,4.777125e-07,4.754586e-07,4.732370e-07,4.710478e-07,4.688908e-07,4.667659e-07,4.646730e-07,4.626120e-07
0.000000e+00,4.905250e-11,1.142130e-10,3.985669e-10,9.102860e-10,1.328402e-09,3.005487e-09,3.095337e-09,5.945646e-09,6.971320e-09,1.012586e-08,1.337710e-08,1.588837e-08,2.280717e-08,2.348876e-08,3.317207e-08,3.583038e-08,4.514605e-08,5.290507e-08,5.954049e-08,7.421489e-08,7.635680e-08,9.542336e-08,9.947833e-08,1.163845e-07,1.278719e-07,1.387456e-07,1.582122e-07,1.619627e-07,1.855294e-07,1.893031e-07,2.090264e-07,2.201821e-07,2.321315e-07,2.501716e-07,2.546074e-07,2.762837e-07,2.788250e-07,2.970399e-07,3.058585e-07,3.167928e-07,3.310997e-07,3.354882e-07,3.530940e-07,3.544548e-07,3.695960e-07,3.758874e-07,3.849945e-07,3.954041e-07,3.993010e-07,4.125365e-07,4.130440e-07,4.247293e-07,4.288699e-07,4.359135e-07,4.429620e-07,4.461274e-07,4.554120e-07,4.638109e-07,4.663187e-07,4.713683e-07,4.757841e-07,4.781290e-07,4.839114e-07,4.841379e-07,4.894388e-07,4.908021e-07,4.940749e-07,4.965549e-07,4.980881e-07,5.012647e-07,5.015187e-07,5.044056e-07,5.050217e-07,5.067859e-07,5.079109e-07,5.086951e-07,5.100122e-07,5.101668e-07,5.112330e-07,5.114002e-07,5.119238e-07,5.121442e-07,5.122678e-07,5.123084e-07,5.122918e-07,5.120211e-07,5.119521e-07,5.114796e-07,5.111301e-07,5.106896e-07,5.098927e-07,5.096719e-07,5.084463e-07,5.082861e-07,5.070310e-07,5.063526e-07,5.054432e-07,5.041310e-07,5.036989e-07,5.018131e-07,5.016566e-07,4.997998e-07,4.989617e-07,4.976720e-07,4.960759e-07,4.954418e-07,4.931205e-07,4.930259e-07,4.907185e-07,4.898360e-07,4.882457e-07,4.865284e-07,4.857111e-07,4.831231e-07,4.804894e-07,4.796382e-07,4.778174e-07,4.760903e-07,4.751137e-07,4.724940e-07,4.723844e-07,4.696353e-07,4.688628e-07,4.668717e-07,4.652086e-07,4.640984e-07,4.615423e-07,4.613199e-07,4.585403e-07,4.578735e-07,4.557634e-07,4.542108e-07,4.529926e-07,4.505619e-07,4.502311e-07,4.474819e-07,4.469337e-07,4.447475e-07,4.433323e-07,4.420304e-07,4.397629e-07,4.393327e-07,4.366564e-07,4.362303e-07,4.340033e-07,4.327386e-07,4.313751e-07,4.292914e-07,4.287731e-07,4.261987e-07,4.258917e-07,4.236530e-07,4.225422e-07,4.211370e-07,4.192452e-07,4.186516e-07,4.161975e-07,4.160026e-07,4.137756e-07,4.128159e-07,4.113862e-07,4.096863e-07,4.090299e-07,4.067071e-07,4.066149e-07,4.044182e-07,4.036025e-07,4.021632e-07,4.006495e-07,3.999426e-07,3.977562e-07,3.949230e-07,3.921497e-07,3.894363e-07,3.867824e-07,3.841878e-07,3.816519e-07,3.791743e-07,3.767542e-07,3.743910e-07,3.720840e-07,3.698323e-07,3.676351e-07,3.654916e-07,3.634008e-07,3.613617e-07,3.593735e-07,3.574352e-07,3.555458e-07,3.537043e-07,3.519098e-07,3.501611e-07,3.484575e-07,3.467977e-07,3.451810e-07
0.000000e+00,1.927804e-10,7.529533e-10,5.695510e-09,2.170548e-08,3.999632e-08,1.489733e-07,1.561809e-07,4.427285e-07,5.697611e-07,1.026095e-06,1.585803e-06,2.071798e-06,3.617640e-06,3.784720e-06,6.407695e-06,7.202601e-06,1.021487e-05,1.297205e-05,1.549550e-05,2.158395e-05,2.252907e-05,3.156030e-05,3.362426e-05,4.278202e-05,4.952962e-05,5.632735e-05,6.955587e-05,7.226878e-05,9.062118e-05,9.377947e-05,1.113468e-04,1.221148e-04,1.343610e-04,1.543375e-04,1.595390e-04,1.867215e-04,1.901094e-04,2.157215e-04,2.290043e-04,2.463307e-04,2.705323e-04,2.783248e-04,3.114700e-04,3.141642e-04,3.455277e-04,3.593529e-04,3.802600e-04,4.055534e-04,4.154331e-04,4.508220e-04,4.522390e-04,4.862128e-04,4.989150e-04,5.214055e-04,5.451286e-04,5.562157e-04,5.904759e-04,6.240363e-04,6.346058e-04,6.567651e-04,6.772217e-04,6.885483e-04,7.180807e-04,7.192893e-04,7.489083e-04,7.569914e-04,7.773413e-04,7.938108e-04,8.045392e-04,8.284396e-04,8.304665e-04,8.551000e-04,8.608180e-04,8.784279e-04,8.909202e-04,9.004484e-04,9.187503e-04,9.211684e-04,9.406025e-04,9.443368e-04,9.587718e-04,9.677287e-04,9.757031e-04,9.889914e-04,9.914276e-04,1.005981e-03,1.008203e-03,1.019400e-03,1.025450e-03,1.031726e-03,1.040828e-03,1.043001e-03,1.053269e-03,1.054435e-03,1.062572e-03,1.066372e-03,1.070956e-03,1.076739e-03,1.078464e-03,1.085139e-03,1.085639e-03,1.091026e-03,1.093169e-03,1.096165e-03,1.099426e-03,1.100598e-03,1.104365e-03,1.104502e-03,1.107504e-03,1.108488e-03,1.110053e-03,1.111468e-03,1.112048e-03,1.113523e-03,1.114510e-03,1.114729e-03,1.115042e-03,1.115158e-03,1.115149e-03,1.114877e-03,1.114859e-03,1.114199e-03,1.113951e-03,1.113195e-03,1.112438e-03,1.111871e-03,1.110392e-03,1.110252e-03,1.108358e-03,1.107865e-03,1.106211e-03,1.104905e-03,1.103830e-03,1.101556e-03,1.101233e-03,1.098438e-03,1.097857e-03,1.095462e-03,1.093847e-03,1.092319e-03,1.089561e-03,1.089024e-03,1.085591e-03,1.085030e-03,1.082033e-03,1.080284e-03,1.078361e-03,1.075349e-03,1.074587e-03,1.070721e-03,1.070251e-03,1.066773e-03,1.065013e-03,1.062753e-03,1.059654e-03,1.058669e-03,1.054529e-03,1.054196e-03,1.050341e-03,1.048654e-03,1.046112e-03,1.043045e-03,1.041848e-03,1.037556e-03,1.037384e-03,1.033241e-03,1.031683e-03,1.028909e-03,1.025956e-03,1.024565e-03,1.020213e-03,1.014464e-03,1.008719e-03,1.002985e-03,9.972706e-04,9.915821e-04,9.859255e-04,9.803066e-04,9.747301e-04,9.692006e-04,9.637218e-04,9.582975e-04,9.529306e-04,9.476239e-04,9.423798e-04,9.372004e-04,9.320875e-04,9.270425e-04,9.220669e-04,9.171617e-04,9.123278e-04,9.075658e-04,9.028763e-04,8.982597e-04,8.937161e-04
0.000000e+00,1.048742e-10,3.228487e-10,1.585090e-09,4.320185e-09,6.750774e-09,1.726415e-08,1.784797e-08,3.689885e-08,4.391186e-08,6.573558e-08,8.844088e-08,1.060434e-07,1.546092e-07,1.593921e-07,2.272332e-07,2.458170e-07,3.108188e-07,3.648473e-07,4.110065e-07,5.130998e-07,5.280195e-07,6.613630e-07,6.899063e-07,8.099988e-07,8.929038e-07,9.726208e-07,1.119019e-06,1.147844e-06,1.334276e-06,1.365052e-06,1.530526e-06,1.627803e-06,1.735194e-06,1.904038e-06,1.946864e-06,2.164108e-06,2.190484e-06,2.385498e-06,2.483858e-06,2.609619e-06,2.780926e-06,2.835091e-06,3.060586e-06,3.078588e-06,3.284849e-06,3.373945e-06,3.506713e-06,3.664366e-06,3.725109e-06,3.939074e-06,3.947528e-06,4.147758e-06,4.221446e-06,4.350428e-06,4.484490e-06,4.546468e-06,4.735372e-06,4.916739e-06,4.973134e-06,5.090273e-06,5.197124e-06,5.255766e-06,5.406961e-06,5.413096e-06,5.562216e-06,5.602500e-06,5.703144e-06,5.783798e-06,5.835956e-06,5.951082e-06,5.960777e-06,6.077773e-06,6.104710e-06,6.187144e-06,6.245144e-06,6.289116e-06,6.372927e-06,6.383937e-06,6.471871e-06,6.488655e-06,6.553192e-06,6.592960e-06,6.628184e-06,6.686494e-06,6.697132e-06,6.760321e-06,6.769917e-06,6.818038e-06,6.843881e-06,6.870562e-06,6.909025e-06,6.918165e-06,6.961114e-06,6.965967e-06,6.999668e-06,7.015305e-06,7.034079e-06,7.057607e-06,7.064585e-06,7.091418e-06,7.093413e-06,7.114799e-06,7.123232e-06,7.134937e-06,7.147543e-06,7.152035e-06,7.166282e-06,7.166795e-06,7.177859e-06,7.181407e-06,7.186940e-06,7.191771e-06,7.193684e-06,7.198247e-06,7.200773e-06,7.201174e-06,7.201399e-06,7.200863e-06,7.200254e-06,7.197602e-06,7.197460e-06,7.193130e-06,7.191657e-06,7.187373e-06,7.183276e-06,7.180290e-06,7.172684e-06,7.171976e-06,7.162522e-06,7.160092e-06,7.152010e-06,7.145692e-06,7.140521e-06,7.129661e-06,7.128128e-06,7.114902e-06,7.112162e-06,7.100907e-06,7.093347e-06,7.086206e-06,7.073354e-06,7.070856e-06,7.054911e-06,7.052309e-06,7.038423e-06,7.030329e-06,7.021438e-06,7.007523e-06,7.004002e-06,6.986156e-06,6.983989e-06,6.967941e-06,6.959819e-06,6.949393e-06,6.935095e-06,6.930546e-06,6.911434e-06,6.909894e-06,6.892086e-06,6.884288e-06,6.872532e-06,6.858340e-06,6.852798e-06,6.832909e-06,6.832110e-06,6.812889e-06,6.805654e-06,6.792759e-06,6.779020e-06,6.772542e-06,6.752255e-06,6.725401e-06,6.698497e-06,6.671579e-06,6.644678e-06,6.617825e-06,6.591046e-06,6.564366e-06,6.537808e-06,6.511393e-06,6.485138e-06,6.459061e-06,6.433178e-06,6.407502e-06,6.382046e-06,6.356821e-06,6.331837e-06,6.307104e-06,6.282630e-06,6.258421e-06,6.234484e-06,6.210825e-06,6.187448e-06,6.164357e-06,6.141556e-06
0.000000e+00,1.487692e-10,5.350407e-10,3.429953e-09,1.131720e-08,1.932080e-08,5.962284e-08,6.204853e-08,1.479657e-07,1.821041e-07,2.944203e-07,4.189007e-07,5.196596e-07,8.128931e-07,8.428019e-07,1.282654e-06,1.407394e-06,1.854044e-06,2.233926e-06,2.562077e-06,3.291886e-06,3.398456e-06,4.343678e-06,4.543634e-06,5.373078e-06,5.933407e-06,6.462176e-06,7.407222e-06,7.589336e-06,8.736355e-06,8.920671e-06,9.888095e-06,1.043881e-05,1.103191e-05,1.193407e-05,1.215720e-05,1.325511e-05,1.338466e-05,1.431834e-05,1.477361e-05,1.534103e-05,1.608832e-05,1.631863e-05,1.724784e-05,1.732001e-05,1.812641e-05,1.846334e-05,1.895306e-05,1.951583e-05,1.972735e-05,2.044953e-05,2.047734e-05,2.112038e-05,2.134955e-05,2.174115e-05,2.213547e-05,2.231344e-05,2.283906e-05,2.332006e-05,2.346490e-05,2.375855e-05,2.401789e-05,2.415673e-05,2.450310e-05,2.451680e-05,2.484095e-05,2.492557e-05,2.513134e-05,2.529024e-05,2.539005e-05,2.560183e-05,2.561911e-05,2.582044e-05,2.586484e-05,2.599590e-05,2.608352e-05,2.614725e-05,2.626181e-05,2.627615e-05,2.638419e-05,2.640342e-05,2.647284e-05,2.651175e-05,2.654352e-05,2.658996e-05,2.659753e-05,2.663612e-05,2.664094e-05,2.666044e-05,2.666737e-05,2.667158e-05,2.667169e-05,2.667056e-05,2.665832e-05,2.665614e-05,2.663576e-05,2.662277e-05,2.660370e-05,2.657346e-05,2.656292e-05,2.651415e-05,2.650992e-05,2.645805e-05,2.643370e-05,2.639526e-05,2.634624e-05,2.632636e-05,2.625191e-05,2.624883e-05,2.617241e-05,2.614265e-05,2.608833e-05,2.602878e-05,2.600013e-05,2.590820e-05,2.581293e-05,2.578180e-05,2.571468e-05,2.565038e-05,2.561377e-05,2.551470e-05,2.551053e-05,2.540522e-05,2.537541e-05,2.529813e-05,2.523311e-05,2.518948e-05,2.508836e-05,2.507952e-05,2.496846e-05,2.494166e-05,2.485649e-05,2.479346e-05,2.474379e-05,2.464415e-05,2.463054e-05,2.451688e-05,2.449412e-05,2.440297e-05,2.434368e-05,2.428894e-05,2.419315e-05,2.417491e-05,2.406100e-05,2.404280e-05,2.394731e-05,2.389285e-05,2.383394e-05,2.374353e-05,2.372098e-05,2.360850e-05,2.359504e-05,2.349659e-05,2.344755e-05,2.338531e-05,2.330120e-05,2.327473e-05,2.316491e-05,2.315615e-05,2.305588e-05,2.301251e-05,2.294772e-05,2.287039e-05,2.284045e-05,2.273412e-05,2.272988e-05,2.262876e-05,2.259107e-05,2.252440e-05,2.245403e-05,2.242107e-05,2.231881e-05,2.218547e-05,2.205405e-05,2.192460e-05,2.179713e-05,2.167168e-05,2.154827e-05,2.142689e-05,2.130757e-05,2.119031e-05,2.107511e-05,2.096196e-05,2.085085e-05,2.074179e-05,2.063475e-05,2.052973e-05,2.042670e-05,2.032565e-05,2.022656e-05,2.012942e-05,2.003419e-05,1.994085e-05,1.984939e-05,1.975977e-05,1.967197e-05
0.000000e+00,7.208107e-10,2.652425e-09,1.780034e-08,6.115016e-08,1.067050e-07,3.485566e-07,3.635913e-07,9.199466e-07,1.151467e-06,1.945854e-06,2.874748e-06,3.657268e-06,6.053020e-06,6.305164e-06,1.011767e-05,1.122255e-05,1.521690e-05,1.863335e-05,2.158675e-05,2.815208e-05,2.911078e-05,3.763059e-05,3.943977e-05,4.698660e-05,5.213376e-05,5.703526e-05,6.591953e-05,6.765161e-05,7.872546e-05,8.053294e-05,9.015668e-05,9.574292e-05,1.018516e-04,1.113375e-04,1.137213e-04,1.256807e-04,1.271179e-04,1.376491e-04,1.428984e-04,1.495511e-04,1.585093e-04,1.613174e-04,1.728858e-04,1.738011e-04,1.842016e-04,1.886463e-04,1.952175e-04,2.029408e-04,2.058941e-04,2.161996e-04,2.166037e-04,2.261088e-04,2.295754e-04,2.356032e-04,2.418157e-04,2.446700e-04,2.533013e-04,2.614941e-04,2.640231e-04,2.692486e-04,2.739831e-04,2.765685e-04,2.831926e-04,2.834601e-04,2.899317e-04,2.916698e-04,2.959932e-04,2.994381e-04,3.016561e-04,3.065244e-04,3.069326e-04,3.118357e-04,3.129583e-04,3.163788e-04,3.187707e-04,3.205756e-04,3.239933e-04,3.244400e-04,3.279858e-04,3.286579e-04,3.312267e-04,3.327960e-04,3.341763e-04,3.364386e-04,3.368479e-04,3.392543e-04,3.396156e-04,3.414084e-04,3.423563e-04,3.433223e-04,3.446885e-04,3.450080e-04,3.464769e-04,3.466391e-04,3.477402e-04,3.482337e-04,3.488085e-04,3.494965e-04,3.496923e-04,3.504012e-04,3.504506e-04,3.509449e-04,3.511181e-04,3.513324e-04,3.515196e-04,3.515725e-04,3.516735e-04,3.516747e-04,3.516434e-04,3.516019e-04,3.514898e-04,3.513187e-04,3.512202e-04,3.508413e-04,3.503600e-04,3.501853e-04,3.497824e-04,3.493652e-04,3.491148e-04,3.483945e-04,3.483629e-04,3.475321e-04,3.472860e-04,3.466277e-04,3.460518e-04,3.456547e-04,3.447030e-04,3.446178e-04,3.435215e-04,3.432501e-04,3.423702e-04,3.417029e-04,3.411679e-04,3.400707e-04,3.399184e-04,3.386255e-04,3.383620e-04,3.372926e-04,3.365848e-04,3.359230e-04,3.347465e-04,3.345199e-04,3.330863e-04,3.328543e-04,3.316249e-04,3.309144e-04,3.301385e-04,3.289330e-04,3.286295e-04,3.271004e-04,3.269157e-04,3.255534e-04,3.248676e-04,3.239907e-04,3.227937e-04,3.224142e-04,3.208260e-04,3.206985e-04,3.192277e-04,3.185860e-04,3.176212e-04,3.164602e-04,3.160079e-04,3.143894e-04,3.143246e-04,3.127672e-04,3.121826e-04,3.111426e-04,3.100371e-04,3.095168e-04,3.078910e-04,3.057468e-04,3.036070e-04,3.014737e-04,2.993489e-04,2.972345e-04,2.951320e-04,2.930431e-04,2.909691e-04,2.889113e-04,2.868707e-04,2.848485e-04,2.828455e-04,2.808625e-04,2.789003e-04,2.769594e-04,2.750405e-04,2.731441e-04,2.712706e-04,2.694203e-04,2.675935e-04,2.657905e-04,2.640115e-04,2.622566e-04,2.605259e-04
0.000000e+00,1.348955e-10,3.201835e-10,1.142085e-09,2.639127e-09,3.870387e-09,8.847107e-09,9.114954e-09,1.765386e-08,2.074195e-08,3.027482e-08,4.013979e-08,4.777788e-08,6.886398e-08,7.094263e-08,1.004551e-07,1.085424e-07,1.367978e-07,1.602054e-07,1.801172e-07,2.237744e-07,2.301019e-07,2.859296e-07,2.976912e-07,3.463432e-07,3.790811e-07,4.098641e-07,4.645605e-07,4.750477e-07,5.406643e-07,5.511356e-07,6.057602e-07,6.366070e-07,6.696338e-07,7.195104e-07,7.317838e-07,7.918575e-07,7.989144e-07,8.496114e-07,8.742438e-07,9.048827e-07,9.451642e-07,9.575699e-07,1.007619e-06,1.011508e-06,1.055013e-06,1.073229e-06,1.099764e-06,1.130366e-06,1.141906e-06,1.181491e-06,1.183022e-06,1.218585e-06,1.231343e-06,1.253262e-06,1.275503e-06,1.285604e-06,1.315698e-06,1.343634e-06,1.352132e-06,1.369502e-06,1.385015e-06,1.393394e-06,1.414554e-06,1.415399e-06,1.435609e-06,1.440957e-06,1.454109e-06,1.464424e-06,1.470985e-06,1.485149e-06,1.486321e-06,1.500196e-06,1.503317e-06,1.512688e-06,1.519108e-06,1.523872e-06,1.532689e-06,1.533819e-06,1.542599e-06,1.544220e-06,1.550276e-06,1.553855e-06,1.556916e-06,1.561734e-06,1.562576e-06,1.567317e-06,1.567994e-06,1.571192e-06,1.572760e-06,1.574254e-06,1.576152e-06,1.576553e-06,1.578137e-06,1.578281e-06,1.579050e-06,1.579251e-06,1.579337e-06,1.579161e-06,1.579038e-06,1.578191e-06,1.578101e-06,1.576835e-06,1.576158e-06,1.575003e-06,1.573409e-06,1.572730e-06,1.570046e-06,1.569931e-06,1.566982e-06,1.565791e-06,1.563565e-06,1.561054e-06,1.559823e-06,1.555781e-06,1.551462e-06,1.550025e-06,1.546890e-06,1.543840e-06,1.542085e-06,1.537273e-06,1.537069e-06,1.531859e-06,1.530368e-06,1.526474e-06,1.523166e-06,1.520931e-06,1.515706e-06,1.515247e-06,1.509435e-06,1.508022e-06,1.503510e-06,1.500147e-06,1.497485e-06,1.492111e-06,1.491374e-06,1.485187e-06,1.483942e-06,1.478936e-06,1.475664e-06,1.472631e-06,1.467301e-06,1.466283e-06,1.459899e-06,1.458875e-06,1.453488e-06,1.450404e-06,1.447060e-06,1.441909e-06,1.440620e-06,1.434176e-06,1.433403e-06,1.427735e-06,1.424904e-06,1.421303e-06,1.416423e-06,1.414885e-06,1.408486e-06,1.407975e-06,1.402111e-06,1.399570e-06,1.395766e-06,1.391218e-06,1.389454e-06,1.383178e-06,1.382928e-06,1.376944e-06,1.374710e-06,1.370753e-06,1.366569e-06,1.364608e-06,1.358514e-06,1.350549e-06,1.342681e-06,1.334913e-06,1.327250e-06,1.319696e-06,1.312252e-06,1.304923e-06,1.297709e-06,1.290614e-06,1.283637e-06,1.276781e-06,1.270045e-06,1.263431e-06,1.256939e-06,1.250568e-06,1.244319e-06,1.238191e-06,1.232184e-06,1.226297e-06,1.220528e-06,1.214878e-06,1.209345e-06,1.203928e-06,1.198626e-06
0.000000e+00,2.047457e-10,7.757249e-10,5.511136e-09,1.984488e-08,3.545264e-08,1.219544e-07,1.274436e-07,3.340513e-07,4.208822e-07,7.187301e-07,1.064128e-06,1.351941e-06,2.217952e-06,2.308119e-06,3.663098e-06,4.055960e-06,5.490914e-06,6.746463e-06,7.858423e-06,1.042978e-05,1.081724e-05,1.439561e-05,1.518619e-05,1.859455e-05,2.101608e-05,2.338991e-05,2.784742e-05,2.873805e-05,3.458227e-05,3.555915e-05,4.085821e-05,4.400410e-05,4.749787e-05,5.302518e-05,5.443239e-05,6.159399e-05,6.246551e-05,6.891737e-05,7.217482e-05,7.634066e-05,8.201357e-05,8.380627e-05,9.126142e-05,9.185592e-05,9.865855e-05,1.015915e-04,1.059555e-04,1.111265e-04,1.131156e-04,1.201075e-04,1.203833e-04,1.269052e-04,1.293005e-04,1.334873e-04,1.378314e-04,1.398372e-04,1.459422e-04,1.517933e-04,1.536110e-04,1.573847e-04,1.608254e-04,1.627134e-04,1.675813e-04,1.677789e-04,1.725825e-04,1.738810e-04,1.771274e-04,1.797320e-04,1.814181e-04,1.851458e-04,1.854601e-04,1.892599e-04,1.901366e-04,1.928246e-04,1.947209e-04,1.961618e-04,1.989167e-04,1.992795e-04,2.021858e-04,2.027425e-04,2.048892e-04,2.062175e-04,2.073979e-04,2.093608e-04,2.097202e-04,2.118645e-04,2.121916e-04,2.138388e-04,2.147285e-04,2.156511e-04,2.169896e-04,2.173092e-04,2.188206e-04,2.189925e-04,2.201926e-04,2.207540e-04,2.214324e-04,2.222905e-04,2.225469e-04,2.235425e-04,2.236172e-04,2.244257e-04,2.247488e-04,2.252025e-04,2.256994e-04,2.258790e-04,2.264606e-04,2.264820e-04,2.269528e-04,2.271091e-04,2.273608e-04,2.275926e-04,2.276895e-04,2.279435e-04,2.281275e-04,2.281723e-04,2.282457e-04,2.282887e-04,2.283022e-04,2.283020e-04,2.283009e-04,2.282456e-04,2.282209e-04,2.281398e-04,2.280534e-04,2.279868e-04,2.278072e-04,2.277899e-04,2.275522e-04,2.274894e-04,2.272764e-04,2.271065e-04,2.269655e-04,2.266648e-04,2.266219e-04,2.262482e-04,2.261701e-04,2.258467e-04,2.256277e-04,2.254197e-04,2.250427e-04,2.249692e-04,2.244972e-04,2.244198e-04,2.240057e-04,2.237633e-04,2.234964e-04,2.230773e-04,2.229710e-04,2.224311e-04,2.223654e-04,2.218782e-04,2.216312e-04,2.213137e-04,2.208778e-04,2.207390e-04,2.201554e-04,2.201083e-04,2.195639e-04,2.193254e-04,2.189658e-04,2.185317e-04,2.183621e-04,2.177538e-04,2.177294e-04,2.171418e-04,2.169208e-04,2.165270e-04,2.161078e-04,2.159102e-04,2.152922e-04,2.144757e-04,2.136599e-04,2.128460e-04,2.120355e-04,2.112294e-04,2.104288e-04,2.096346e-04,2.088477e-04,2.080689e-04,2.072988e-04,2.065381e-04,2.057873e-04,2.050468e-04,2.043171e-04,2.035986e-04,2.028916e-04,2.021963e-04,2.015129e-04,2.008417e-04,2.001827e-04,1.995361e-04,1.989020e-04,1.982804e-04,1.976713e-04
0.000000e+00,9.759486e-11,2.404644e-10,8.917713e-10,2.097984e-09,3.098016e-09,7.180182e-09,7.401334e-09,1.451578e-08,1.711690e-08,2.523117e-08,3.374982e-08,4.042037e-08,5.911071e-08,6.097101e-08,8.759322e-08,9.492437e-08,1.204909e-07,1.414662e-07,1.590660e-07,1.966642e-07,2.019922e-07,2.476867e-07,2.570290e-07,2.947539e-07,3.194091e-07,3.421422e-07,3.816429e-07,3.891042e-07,4.351083e-07,4.423528e-07,4.797693e-07,5.006431e-07,5.228037e-07,5.559187e-07,5.640043e-07,6.032252e-07,6.077937e-07,6.403714e-07,6.560438e-07,6.753917e-07,7.005753e-07,7.082716e-07,7.390264e-07,7.413961e-07,7.676979e-07,7.785960e-07,7.943455e-07,8.123191e-07,8.190424e-07,8.418733e-07,8.427490e-07,8.629292e-07,8.700930e-07,8.823048e-07,8.945696e-07,9.000965e-07,9.164002e-07,9.313102e-07,9.358021e-07,9.449181e-07,9.529846e-07,9.573119e-07,9.681456e-07,9.685755e-07,9.787882e-07,9.814698e-07,9.880248e-07,9.931276e-07,9.963555e-07,1.003276e-06,1.003846e-06,1.010558e-06,1.012060e-06,1.016549e-06,1.019608e-06,1.021871e-06,1.026041e-06,1.026574e-06,1.030704e-06,1.031465e-06,1.034303e-06,1.035978e-06,1.037411e-06,1.039668e-06,1.040064e-06,1.042295e-06,1.042615e-06,1.044137e-06,1.044891e-06,1.045617e-06,1.046559e-06,1.046763e-06,1.047600e-06,1.047680e-06,1.048149e-06,1.048306e-06,1.048434e-06,1.048485e-06,1.048473e-06,1.048284e-06,1.048260e-06,1.047886e-06,1.047671e-06,1.047292e-06,1.046752e-06,1.046518e-06,1.045578e-06,1.045537e-06,1.044484e-06,1.044055e-06,1.043248e-06,1.042332e-06,1.041880e-06,1.040392e-06,1.038791e-06,1.038257e-06,1.037088e-06,1.035947e-06,1.035289e-06,1.033481e-06,1.033404e-06,1.031438e-06,1.030874e-06,1.029399e-06,1.028143e-06,1.027293e-06,1.025301e-06,1.025126e-06,1.022902e-06,1.022361e-06,1.020628e-06,1.019333e-06,1.018307e-06,1.016230e-06,1.015945e-06,1.013545e-06,1.013061e-06,1.011111e-06,1.009834e-06,1.008648e-06,1.006557e-06,1.006157e-06,1.003643e-06,1.003239e-06,1.001109e-06,9.998861e-07,9.985571e-07,9.965045e-07,9.959900e-07,9.934104e-07,9.931002e-07,9.908206e-07,9.896784e-07,9.882227e-07,9.862441e-07,9.856188e-07,9.830107e-07,9.828019e-07,9.804004e-07,9.793559e-07,9.777894e-07,9.759100e-07,9.751793e-07,9.725718e-07,9.724675e-07,9.699680e-07,9.690318e-07,9.673694e-07,9.656059e-07,9.647771e-07,9.621924e-07,9.587939e-07,9.554127e-07,9.520508e-07,9.487102e-07,9.453926e-07,9.420997e-07,9.388329e-07,9.355935e-07,9.323828e-07,9.292019e-07,9.260516e-07,9.229330e-07,9.198468e-07,9.167937e-07,9.137743e-07,9.107892e-07,9.078389e-07,9.049238e-07,9.020442e-07,8.992005e-07,8.963928e-07,8.936214e-07,8.908865e-07,8.881881e-07
0.000000e+00,1.228073e-10,2.850829e-10,9.964114e-10,2.289087e-09,3.355358e-09,7.706419e-09,7.942536e-09,1.557133e-08,1.837690e-08,2.718204e-08,3.650085e-08,4.383898e-08,6.449392e-08,6.655111e-08,9.585434e-08,1.038561e-07,1.315060e-07,1.539587e-07,1.727201e-07,2.128890e-07,2.186174e-07,2.684389e-07,2.788169e-07,3.215553e-07,3.502949e-07,3.774215e-07,4.261084e-07,4.355386e-07,4.954348e-07,5.051529e-07,5.566590e-07,5.863913e-07,6.187819e-07,6.688554e-07,6.814003e-07,7.441421e-07,7.516630e-07,8.066700e-07,8.340357e-07,8.686833e-07,9.153062e-07,9.299195e-07,9.901542e-07,9.949237e-07,1.049197e-06,1.072444e-06,1.106891e-06,1.147524e-06,1.163110e-06,1.217755e-06,1.219907e-06,1.270751e-06,1.289414e-06,1.322042e-06,1.355926e-06,1.371591e-06,1.419378e-06,1.465394e-06,1.479744e-06,1.509639e-06,1.537032e-06,1.552125e-06,1.591273e-06,1.592869e-06,1.631896e-06,1.642520e-06,1.669235e-06,1.690841e-06,1.704917e-06,1.736312e-06,1.738978e-06,1.771454e-06,1.779017e-06,1.802385e-06,1.819047e-06,1.831811e-06,1.856494e-06,1.859773e-06,1.886312e-06,1.891453e-06,1.911470e-06,1.924021e-06,1.935289e-06,1.954293e-06,1.957811e-06,1.979076e-06,1.982365e-06,1.999126e-06,2.008331e-06,2.018001e-06,2.032282e-06,2.035741e-06,2.052385e-06,2.054311e-06,2.067972e-06,2.074504e-06,2.082538e-06,2.092949e-06,2.096121e-06,2.108757e-06,2.109728e-06,2.120481e-06,2.124923e-06,2.131327e-06,2.138611e-06,2.141329e-06,2.150518e-06,2.150870e-06,2.158928e-06,2.161771e-06,2.166589e-06,2.171386e-06,2.173530e-06,2.179781e-06,2.185370e-06,2.187024e-06,2.190325e-06,2.193175e-06,2.194671e-06,2.198296e-06,2.198435e-06,2.201642e-06,2.202443e-06,2.204316e-06,2.205674e-06,2.206479e-06,2.208039e-06,2.208156e-06,2.209367e-06,2.209591e-06,2.210134e-06,2.210377e-06,2.210477e-06,2.210444e-06,2.210416e-06,2.209970e-06,2.209837e-06,2.209158e-06,2.208597e-06,2.207997e-06,2.206765e-06,2.206504e-06,2.204696e-06,2.204379e-06,2.202589e-06,2.201476e-06,2.200199e-06,2.198092e-06,2.197539e-06,2.194624e-06,2.194258e-06,2.191469e-06,2.190008e-06,2.188086e-06,2.185370e-06,2.184487e-06,2.180686e-06,2.180374e-06,2.176694e-06,2.175047e-06,2.172523e-06,2.169414e-06,2.168182e-06,2.163683e-06,2.163500e-06,2.159036e-06,2.157329e-06,2.154250e-06,2.150922e-06,2.149335e-06,2.144300e-06,2.137483e-06,2.130489e-06,2.123337e-06,2.116044e-06,2.108624e-06,2.101093e-06,2.093464e-06,2.085753e-06,2.077969e-06,2.070127e-06,2.062236e-06,2.054307e-06,2.046351e-06,2.038375e-06,2.030389e-06,2.022401e-06,2.014419e-06,2.006449e-06,1.998498e-06,1.990572e-06,1.982678e-06,1.974820e-06,1.967003e-06,1.959233e-06
0.000000e+00,1.121376e-10,3.887318e-10,2.327079e-09,7.274842e-09,1.209454e-08,3.516484e-08,3.651599e-08,8.301062e-08,1.010006e-07,1.590639e-07,2.220621e-07,2.723283e-07,4.159049e-07,4.303551e-07,6.392346e-07,6.973120e-07,9.015377e-07,1.071295e-06,1.215637e-06,1.531409e-06,1.577110e-06,1.980549e-06,2.065791e-06,2.420521e-06,2.662001e-06,2.891796e-06,3.308132e-06,3.389283e-06,3.907948e-06,3.992566e-06,4.442798e-06,4.703829e-06,4.988930e-06,5.430776e-06,5.541620e-06,6.096406e-06,6.162922e-06,6.649175e-06,6.890785e-06,7.196230e-06,7.606159e-06,7.734331e-06,8.260711e-06,8.302243e-06,8.773078e-06,8.973674e-06,9.269592e-06,9.616455e-06,9.748836e-06,1.020978e-05,1.022782e-05,1.065172e-05,1.080608e-05,1.107426e-05,1.135042e-05,1.147725e-05,1.186075e-05,1.222499e-05,1.233753e-05,1.257033e-05,1.278164e-05,1.289724e-05,1.319425e-05,1.320628e-05,1.349804e-05,1.357672e-05,1.377317e-05,1.393055e-05,1.403235e-05,1.425729e-05,1.427625e-05,1.450556e-05,1.455850e-05,1.472096e-05,1.483575e-05,1.492310e-05,1.509054e-05,1.511264e-05,1.529021e-05,1.532434e-05,1.545642e-05,1.553855e-05,1.561184e-05,1.573448e-05,1.575705e-05,1.589256e-05,1.591338e-05,1.601891e-05,1.607643e-05,1.613656e-05,1.622474e-05,1.624599e-05,1.634763e-05,1.635932e-05,1.644190e-05,1.648114e-05,1.652919e-05,1.659109e-05,1.660988e-05,1.668432e-05,1.669001e-05,1.675285e-05,1.677867e-05,1.681578e-05,1.685779e-05,1.687341e-05,1.692603e-05,1.692804e-05,1.697391e-05,1.699004e-05,1.701730e-05,1.704436e-05,1.705643e-05,1.709154e-05,1.712285e-05,1.713209e-05,1.715054e-05,1.716646e-05,1.717482e-05,1.719509e-05,1.719587e-05,1.721386e-05,1.721837e-05,1.722894e-05,1.723667e-05,1.724129e-05,1.725035e-05,1.725104e-05,1.725832e-05,1.725972e-05,1.726328e-05,1.726509e-05,1.726604e-05,1.726673e-05,1.726671e-05,1.726540e-05,1.726491e-05,1.726222e-05,1.725987e-05,1.725728e-05,1.725183e-05,1.725066e-05,1.724246e-05,1.724101e-05,1.723276e-05,1.722760e-05,1.722165e-05,1.721179e-05,1.720920e-05,1.719548e-05,1.719375e-05,1.718057e-05,1.717365e-05,1.716453e-05,1.715163e-05,1.714743e-05,1.712933e-05,1.712784e-05,1.711027e-05,1.710240e-05,1.709033e-05,1.707545e-05,1.706955e-05,1.704797e-05,1.704709e-05,1.702565e-05,1.701745e-05,1.700264e-05,1.698661e-05,1.697897e-05,1.695468e-05,1.692175e-05,1.688790e-05,1.685321e-05,1.681775e-05,1.678160e-05,1.674483e-05,1.670749e-05,1.666964e-05,1.663134e-05,1.659264e-05,1.655359e-05,1.651423e-05,1.647462e-05,1.643478e-05,1.639475e-05,1.635459e-05,1.631430e-05,1.627394e-05,1.623352e-05,1.619309e-05,1.615265e-05,1.611225e-05,1.607189e-05,1.603161e-05
0.000000e+00,9.924856e-11,3.383367e-10,1.953488e-09,5.900479e-09,9.621378e-09,2.657328e-08,2.753578e-08,5.940111e-08,7.124258e-08,1.082057e-07,1.467129e-07,1.765647e-07,2.588863e-07,2.669901e-07,3.818129e-07,4.131962e-07,5.224707e-07,6.123741e-07,6.882324e-07,8.519786e-07,8.753795e-07,1.077941e-06,1.119726e-06,1.289497e-06,1.401204e-06,1.504633e-06,1.685196e-06,1.719415e-06,1.931188e-06,1.964664e-06,2.138154e-06,2.235396e-06,2.339008e-06,2.494578e-06,2.532697e-06,2.718311e-06,2.740002e-06,2.895037e-06,2.969793e-06,3.062163e-06,3.182388e-06,3.219096e-06,3.365384e-06,3.376617e-06,3.500728e-06,3.551766e-06,3.624992e-06,3.707604e-06,3.738192e-06,3.840493e-06,3.844362e-06,3.932185e-06,3.962670e-06,4.013665e-06,4.063486e-06,4.085423e-06,4.148016e-06,4.202042e-06,4.217621e-06,4.248112e-06,4.273703e-06,4.286837e-06,4.317672e-06,4.318830e-06,4.344680e-06,4.350894e-06,4.364953e-06,4.374669e-06,4.380196e-06,4.390214e-06,4.390916e-06,4.397576e-06,4.398619e-06,4.400611e-06,4.400875e-06,4.400413e-06,4.397846e-06,4.397335e-06,4.391701e-06,4.390293e-06,4.383799e-06,4.378881e-06,4.373889e-06,4.364181e-06,4.362200e-06,4.348939e-06,4.346684e-06,4.334290e-06,4.326814e-06,4.318416e-06,4.304933e-06,4.301463e-06,4.283559e-06,4.281353e-06,4.264821e-06,4.256338e-06,4.245350e-06,4.230119e-06,4.225239e-06,4.204568e-06,4.202893e-06,4.183412e-06,4.174828e-06,4.161835e-06,4.146072e-06,4.139896e-06,4.117649e-06,4.116753e-06,4.095140e-06,4.086982e-06,4.072414e-06,4.056856e-06,4.049509e-06,4.026460e-06,4.003299e-06,3.995869e-06,3.980056e-06,3.965150e-06,3.956758e-06,3.934362e-06,3.933429e-06,3.910090e-06,3.903557e-06,3.886764e-06,3.872781e-06,3.863467e-06,3.842075e-06,3.840217e-06,3.817030e-06,3.811476e-06,3.793921e-06,3.781018e-06,3.770901e-06,3.750728e-06,3.747984e-06,3.725180e-06,3.720634e-06,3.702500e-06,3.690758e-06,3.679952e-06,3.661121e-06,3.657546e-06,3.635289e-06,3.631742e-06,3.613187e-06,3.602636e-06,3.591248e-06,3.573817e-06,3.569477e-06,3.547879e-06,3.545299e-06,3.526459e-06,3.517092e-06,3.505222e-06,3.489206e-06,3.484171e-06,3.463309e-06,3.461648e-06,3.442640e-06,3.434426e-06,3.422166e-06,3.407546e-06,3.401889e-06,3.381812e-06,3.381013e-06,3.361936e-06,3.354830e-06,3.342262e-06,3.329001e-06,3.322793e-06,3.303528e-06,3.278412e-06,3.253655e-06,3.229258e-06,3.205220e-06,3.181540e-06,3.158218e-06,3.135252e-06,3.112641e-06,3.090382e-06,3.068473e-06,3.046912e-06,3.025695e-06,3.004820e-06,2.984283e-06,2.964080e-06,2.944209e-06,2.924665e-06,2.905444e-06,2.886543e-06,2.867958e-06,2.849683e-06,2.831716e-06,2.814052e-06,2.796686e-06
0.000000e+00,2.311901e-10,7.506966e-10,4.011408e-09,1.155528e-08,1.850036e-08,4.972811e-08,5.149931e-08,1.106243e-07,1.328972e-07,2.035257e-07,2.787639e-07,3.381286e-07,5.057577e-07,5.225271e-07,7.641791e-07,8.313351e-07,1.068059e-06,1.265669e-06,1.434149e-06,1.802868e-06,1.856114e-06,2.322900e-06,2.420531e-06,2.822070e-06,3.090606e-06,3.342322e-06,3.788751e-06,3.874336e-06,4.410621e-06,4.496401e-06,4.945096e-06,5.199495e-06,5.472748e-06,5.887141e-06,5.989424e-06,6.491696e-06,6.550863e-06,6.976792e-06,7.184211e-06,7.442532e-06,7.782521e-06,7.887275e-06,8.309866e-06,8.342692e-06,8.709576e-06,8.862960e-06,9.086040e-06,9.342660e-06,9.439205e-06,9.769270e-06,9.781998e-06,1.007664e-05,1.018184e-05,1.036188e-05,1.054355e-05,1.062568e-05,1.086881e-05,1.109211e-05,1.115952e-05,1.129645e-05,1.141769e-05,1.148273e-05,1.164541e-05,1.165185e-05,1.180471e-05,1.184472e-05,1.194219e-05,1.201766e-05,1.206516e-05,1.216618e-05,1.217444e-05,1.227084e-05,1.229215e-05,1.235515e-05,1.239735e-05,1.242810e-05,1.248347e-05,1.249041e-05,1.254275e-05,1.255208e-05,1.258577e-05,1.260466e-05,1.262008e-05,1.264260e-05,1.264627e-05,1.266488e-05,1.266719e-05,1.267643e-05,1.267961e-05,1.268141e-05,1.268098e-05,1.268029e-05,1.267351e-05,1.267234e-05,1.266148e-05,1.265462e-05,1.264459e-05,1.262872e-05,1.262320e-05,1.259766e-05,1.259545e-05,1.256829e-05,1.255554e-05,1.253540e-05,1.250971e-05,1.249928e-05,1.246019e-05,1.245857e-05,1.241839e-05,1.240273e-05,1.237411e-05,1.234270e-05,1.232758e-05,1.227900e-05,1.222857e-05,1.221207e-05,1.217648e-05,1.214234e-05,1.212288e-05,1.207017e-05,1.206795e-05,1.201183e-05,1.199593e-05,1.195467e-05,1.191992e-05,1.189659e-05,1.184245e-05,1.183771e-05,1.177816e-05,1.176378e-05,1.171803e-05,1.168415e-05,1.165743e-05,1.160378e-05,1.159645e-05,1.153517e-05,1.152288e-05,1.147367e-05,1.144163e-05,1.141204e-05,1.136020e-05,1.135033e-05,1.128861e-05,1.127874e-05,1.122694e-05,1.119738e-05,1.116538e-05,1.111624e-05,1.110398e-05,1.104278e-05,1.103545e-05,1.098183e-05,1.095509e-05,1.092116e-05,1.087527e-05,1.086082e-05,1.080083e-05,1.079605e-05,1.074124e-05,1.071751e-05,1.068205e-05,1.063972e-05,1.062332e-05,1.056504e-05,1.056272e-05,1.050726e-05,1.048658e-05,1.044998e-05,1.041133e-05,1.039323e-05,1.033701e-05,1.026365e-05,1.019129e-05,1.011994e-05,1.004963e-05,9.980365e-06,9.912166e-06,9.845040e-06,9.778995e-06,9.714035e-06,9.650162e-06,9.587376e-06,9.525676e-06,9.465059e-06,9.405519e-06,9.347051e-06,9.289648e-06,9.233300e-06,9.177999e-06,9.123734e-06,9.070495e-06,9.018270e-06,8.967046e-06,8.916810e-06,8.867549e-06
0.000000e+00,8.461086e-11,2.041608e-10,7.382934e-10,1.711046e-09,2.508917e-09,5.716237e-09,5.888206e-09,1.134792e-08,1.331493e-08,1.937469e-08,2.563780e-08,3.048679e-08,4.387081e-08,4.518868e-08,6.379398e-08,6.883743e-08,8.618115e-08,1.001719e-07,1.117929e-07,1.364383e-07,1.399254e-07,1.699559e-07,1.761441e-07,2.013866e-07,2.181462e-07,2.338099e-07,2.615523e-07,2.668714e-07,3.002475e-07,3.055964e-07,3.336367e-07,3.495848e-07,3.667579e-07,3.928876e-07,3.993531e-07,4.311905e-07,4.349502e-07,4.620682e-07,4.753052e-07,4.918158e-07,5.135823e-07,5.202956e-07,5.474022e-07,5.495090e-07,5.730606e-07,5.829071e-07,5.972241e-07,6.136835e-07,6.198717e-07,6.410036e-07,6.418176e-07,6.606382e-07,6.673461e-07,6.788089e-07,6.903518e-07,6.955616e-07,7.109513e-07,7.250392e-07,7.292830e-07,7.378911e-07,7.454992e-07,7.495755e-07,7.597585e-07,7.601618e-07,7.697191e-07,7.722201e-07,7.783156e-07,7.830398e-07,7.860172e-07,7.923670e-07,7.928875e-07,7.989873e-07,8.003431e-07,8.043741e-07,8.070997e-07,8.091024e-07,8.127592e-07,8.132232e-07,8.167844e-07,8.174335e-07,8.198305e-07,8.212247e-07,8.224027e-07,8.242252e-07,8.245393e-07,8.262757e-07,8.265186e-07,8.276448e-07,8.281804e-07,8.286767e-07,8.292783e-07,8.293993e-07,8.298384e-07,8.298731e-07,8.300174e-07,8.300195e-07,8.299582e-07,8.297663e-07,8.296808e-07,8.292037e-07,8.291574e-07,8.285436e-07,8.282320e-07,8.277164e-07,8.270253e-07,8.267362e-07,8.256164e-07,8.255689e-07,8.243691e-07,8.238911e-07,8.230055e-07,8.220172e-07,8.215360e-07,8.199701e-07,8.183167e-07,8.177704e-07,8.165838e-07,8.154365e-07,8.147790e-07,8.129851e-07,8.129092e-07,8.109809e-07,8.104313e-07,8.089999e-07,8.077884e-07,8.069719e-07,8.050690e-07,8.049019e-07,8.027947e-07,8.022839e-07,8.006545e-07,7.994432e-07,7.984856e-07,7.965561e-07,7.962916e-07,7.940761e-07,7.936307e-07,7.918423e-07,7.906745e-07,7.895933e-07,7.876944e-07,7.873319e-07,7.850606e-07,7.846965e-07,7.827820e-07,7.816863e-07,7.804982e-07,7.786689e-07,7.782114e-07,7.759235e-07,7.756490e-07,7.736364e-07,7.726307e-07,7.713517e-07,7.696179e-07,7.690710e-07,7.667958e-07,7.666141e-07,7.645274e-07,7.636223e-07,7.622672e-07,7.606454e-07,7.600162e-07,7.577755e-07,7.576861e-07,7.555462e-07,7.547466e-07,7.533291e-07,7.518289e-07,7.511251e-07,7.489351e-07,7.460668e-07,7.432256e-07,7.404128e-07,7.376296e-07,7.348772e-07,7.321565e-07,7.294683e-07,7.268135e-07,7.241925e-07,7.216061e-07,7.190546e-07,7.165384e-07,7.140579e-07,7.116133e-07,7.092048e-07,7.068325e-07,7.044964e-07,7.021968e-07,6.999334e-07,6.977063e-07,6.955153e-07,6.933604e-07,6.912414e-07,6.891580e-07
0.000000e+00,2.662903e-10,1.040046e-09,7.869218e-09,3.001159e-08,5.533912e-08,2.067162e-07,2.167519e-07,6.175409e-07,7.961637e-07,1.441525e-06,2.239192e-06,2.935765e-06,5.165277e-06,5.406926e-06,9.200325e-06,1.034686e-05,1.466770e-05,1.858530e-05,2.213975e-05,3.060715e-05,3.190944e-05,4.422337e-05,4.700961e-05,5.927724e-05,6.823757e-05,7.721368e-05,9.457437e-05,9.812133e-05,1.220351e-04,1.261398e-04,1.489375e-04,1.628943e-04,1.787614e-04,2.046494e-04,2.113936e-04,2.466800e-04,2.510841e-04,2.844309e-04,3.017665e-04,3.244274e-04,3.561786e-04,3.664280e-04,4.101748e-04,4.137420e-04,4.554003e-04,4.738437e-04,5.018328e-04,5.358596e-04,5.492019e-04,5.972430e-04,5.991749e-04,6.457009e-04,6.632006e-04,6.943333e-04,7.273865e-04,7.429133e-04,7.912310e-04,8.390948e-04,8.542867e-04,8.863321e-04,9.161635e-04,9.327892e-04,9.765286e-04,9.783312e-04,1.022841e-03,1.035105e-03,1.066220e-03,1.091669e-03,1.108384e-03,1.146044e-03,1.149266e-03,1.188812e-03,1.198099e-03,1.226981e-03,1.247743e-03,1.263744e-03,1.294917e-03,1.299082e-03,1.332987e-03,1.339595e-03,1.365455e-03,1.381773e-03,1.396495e-03,1.421472e-03,1.426116e-03,1.454339e-03,1.458726e-03,1.481183e-03,1.493587e-03,1.506676e-03,1.526116e-03,1.530846e-03,1.553725e-03,1.556386e-03,1.575347e-03,1.584472e-03,1.595748e-03,1.610457e-03,1.614962e-03,1.633029e-03,1.634426e-03,1.649986e-03,1.656467e-03,1.665871e-03,1.676666e-03,1.680722e-03,1.694577e-03,1.695111e-03,1.707474e-03,1.711889e-03,1.719450e-03,1.727086e-03,1.730541e-03,1.740784e-03,1.750213e-03,1.753064e-03,1.758862e-03,1.764005e-03,1.766766e-03,1.773682e-03,1.773956e-03,1.780464e-03,1.782168e-03,1.786320e-03,1.789533e-03,1.791554e-03,1.795845e-03,1.796195e-03,1.800270e-03,1.801166e-03,1.803805e-03,1.805559e-03,1.806827e-03,1.809082e-03,1.809361e-03,1.811429e-03,1.811789e-03,1.813055e-03,1.813733e-03,1.814261e-03,1.814965e-03,1.815068e-03,1.815497e-03,1.815532e-03,1.815567e-03,1.815478e-03,1.815296e-03,1.814846e-03,1.814703e-03,1.813804e-03,1.813677e-03,1.812617e-03,1.812008e-03,1.811157e-03,1.809875e-03,1.809440e-03,1.807479e-03,1.807312e-03,1.805288e-03,1.804351e-03,1.802882e-03,1.801022e-03,1.800271e-03,1.797470e-03,1.797354e-03,1.794489e-03,1.793374e-03,1.791339e-03,1.789106e-03,1.788031e-03,1.784574e-03,1.779802e-03,1.774810e-03,1.769617e-03,1.764243e-03,1.758704e-03,1.753018e-03,1.747199e-03,1.741263e-03,1.735222e-03,1.729089e-03,1.722877e-03,1.716596e-03,1.710258e-03,1.703870e-03,1.697444e-03,1.690988e-03,1.684508e-03,1.678013e-03,1.671510e-03,1.665005e-03,1.658504e-03,1.652013e-03,1.645537e-03,1.639081e-03
0.000000e+00,1.876618e-10,5.592907e-10,2.620997e-09,6.955721e-09,1.075534e-08,2.699927e-08,2.789671e-08,5.707954e-08,6.779694e-08,1.011236e-07,1.357944e-07,1.626855e-07,2.369603e-07,2.442820e-07,3.482597e-07,3.767817e-07,4.766689e-07,5.598376e-07,6.309937e-07,7.886689e-07,8.117384e-07,1.018026e-06,1.062166e-06,1.247517e-06,1.374915e-06,1.496802e-06,1.718686e-06,1.762037e-06,2.039453e-06,2.084734e-06,2.325596e-06,2.465127e-06,2.617386e-06,2.853034e-06,2.912086e-06,3.207269e-06,3.242618e-06,3.500781e-06,3.628899e-06,3.790726e-06,4.007673e-06,4.075453e-06,4.353547e-06,4.375470e-06,4.623819e-06,4.729512e-06,4.885295e-06,5.067669e-06,5.137201e-06,5.378947e-06,5.388399e-06,5.610110e-06,5.690681e-06,5.830414e-06,5.973939e-06,6.039713e-06,6.237972e-06,6.425250e-06,6.482880e-06,6.601683e-06,6.709000e-06,6.767474e-06,6.916854e-06,6.922874e-06,7.068177e-06,7.107096e-06,7.203705e-06,7.280473e-06,7.329803e-06,7.437793e-06,7.446830e-06,7.555156e-06,7.579901e-06,7.655153e-06,7.707652e-06,7.747194e-06,7.821904e-06,7.831650e-06,7.908885e-06,7.923497e-06,7.979256e-06,8.013252e-06,8.043111e-06,8.091961e-06,8.100788e-06,8.152614e-06,8.160385e-06,8.198904e-06,8.219247e-06,8.239961e-06,8.269235e-06,8.276077e-06,8.307530e-06,8.311004e-06,8.334587e-06,8.345167e-06,8.357505e-06,8.372304e-06,8.376526e-06,8.391883e-06,8.392960e-06,8.403797e-06,8.407645e-06,8.412478e-06,8.416839e-06,8.418126e-06,8.420933e-06,8.420988e-06,8.421078e-06,8.420512e-06,8.418733e-06,8.415800e-06,8.414061e-06,8.407216e-06,8.398345e-06,8.395100e-06,8.387585e-06,8.379769e-06,8.375068e-06,8.361515e-06,8.360919e-06,8.345255e-06,8.340613e-06,8.328187e-06,8.317316e-06,8.309820e-06,8.291861e-06,8.290254e-06,8.269582e-06,8.264467e-06,8.247894e-06,8.235336e-06,8.225273e-06,8.204658e-06,8.201798e-06,8.177544e-06,8.172606e-06,8.152582e-06,8.139343e-06,8.126977e-06,8.105018e-06,8.100792e-06,8.074086e-06,8.069769e-06,8.046915e-06,8.033724e-06,8.019332e-06,7.997000e-06,7.991384e-06,7.963119e-06,7.959708e-06,7.934579e-06,7.921946e-06,7.905807e-06,7.883808e-06,7.876840e-06,7.847714e-06,7.845378e-06,7.818464e-06,7.806736e-06,7.789120e-06,7.767952e-06,7.759713e-06,7.730270e-06,7.729092e-06,7.700818e-06,7.690217e-06,7.671380e-06,7.651383e-06,7.641980e-06,7.612639e-06,7.574031e-06,7.535603e-06,7.497391e-06,7.459430e-06,7.421752e-06,7.384385e-06,7.347354e-06,7.310682e-06,7.274390e-06,7.238496e-06,7.203015e-06,7.167962e-06,7.133349e-06,7.099187e-06,7.065485e-06,7.032251e-06,6.999491e-06,6.967210e-06,6.935412e-06,6.904102e-06,6.873280e-06,6.842948e-06,6.813108e-06,6.783757e-06
0.000000e+00,1.230488e-11,2.832986e-11,9.802553e-11,2.238684e-10,3.272788e-10,7.472686e-10,7.699937e-10,1.501757e-09,1.769930e-09,2.609430e-09,3.496022e-09,4.194226e-09,6.169237e-09,6.367297e-09,9.229306e-09,1.002601e-08,1.283143e-08,1.516412e-08,1.714407e-08,2.145112e-08,2.207084e-08,2.749414e-08,2.862872e-08,3.330839e-08,3.645738e-08,3.942873e-08,4.475655e-08,4.578758e-08,5.232892e-08,5.338913e-08,5.900380e-08,6.224197e-08,6.576768e-08,7.121494e-08,7.257914e-08,7.939929e-08,8.021654e-08,8.619182e-08,8.916304e-08,9.292319e-08,9.797920e-08,9.956283e-08,1.060834e-07,1.065992e-07,1.124609e-07,1.149671e-07,1.186748e-07,1.230377e-07,1.247078e-07,1.305459e-07,1.307752e-07,1.361782e-07,1.381538e-07,1.415964e-07,1.451555e-07,1.467949e-07,1.517702e-07,1.565209e-07,1.579937e-07,1.610473e-07,1.638272e-07,1.653510e-07,1.692759e-07,1.694351e-07,1.733033e-07,1.743483e-07,1.769604e-07,1.790556e-07,1.804119e-07,1.834105e-07,1.836634e-07,1.867212e-07,1.874270e-07,1.895919e-07,1.911201e-07,1.922818e-07,1.945050e-07,1.947979e-07,1.971468e-07,1.975971e-07,1.993351e-07,2.004118e-07,2.013695e-07,2.029642e-07,2.032564e-07,2.050023e-07,2.052690e-07,2.066134e-07,2.073406e-07,2.080956e-07,2.091927e-07,2.094550e-07,2.106972e-07,2.108387e-07,2.118277e-07,2.122911e-07,2.128518e-07,2.135620e-07,2.137745e-07,2.146008e-07,2.146629e-07,2.153355e-07,2.156047e-07,2.159830e-07,2.163977e-07,2.165477e-07,2.170337e-07,2.170516e-07,2.174451e-07,2.175757e-07,2.177857e-07,2.179787e-07,2.180590e-07,2.182687e-07,2.184181e-07,2.184536e-07,2.185102e-07,2.185407e-07,2.185483e-07,2.185367e-07,2.185352e-07,2.184736e-07,2.184481e-07,2.183663e-07,2.182810e-07,2.182158e-07,2.180412e-07,2.180244e-07,2.177946e-07,2.177339e-07,2.175284e-07,2.173643e-07,2.172280e-07,2.169370e-07,2.168954e-07,2.165325e-07,2.164565e-07,2.161411e-07,2.159269e-07,2.157230e-07,2.153523e-07,2.152797e-07,2.148129e-07,2.147361e-07,2.143241e-07,2.140820e-07,2.138146e-07,2.133931e-07,2.132858e-07,2.127391e-07,2.126724e-07,2.121757e-07,2.119228e-07,2.115966e-07,2.111469e-07,2.110032e-07,2.103963e-07,2.103472e-07,2.097770e-07,2.095261e-07,2.091463e-07,2.086856e-07,2.085051e-07,2.078542e-07,2.078280e-07,2.071945e-07,2.069550e-07,2.065268e-07,2.060685e-07,2.058517e-07,2.051701e-07,2.042614e-07,2.033438e-07,2.024188e-07,2.014875e-07,2.005511e-07,1.996109e-07,1.986677e-07,1.977226e-07,1.967765e-07,1.958301e-07,1.948843e-07,1.939398e-07,1.929973e-07,1.920573e-07,1.911205e-07,1.901873e-07,1.892583e-07,1.883340e-07,1.874146e-07,1.865008e-07,1.855927e-07,1.846907e-07,1.837951e-07,1.829062e-07
0.000000e+00,1.331914e-10,4.566669e-10,2.681681e-09,8.270231e-09,1.366776e-08,3.931667e-08,4.081533e-08,9.242788e-08,1.124660e-07,1.775271e-07,2.488677e-07,3.063825e-07,4.736541e-07,4.907381e-07,7.427712e-07,8.144928e-07,1.071866e-06,1.291107e-06,1.480548e-06,1.901898e-06,1.963448e-06,2.510358e-06,2.626426e-06,3.110137e-06,3.439556e-06,3.752870e-06,4.319889e-06,4.430316e-06,5.135577e-06,5.250589e-06,5.862620e-06,6.217705e-06,6.605931e-06,7.208792e-06,7.360311e-06,8.120793e-06,8.212233e-06,8.882632e-06,9.217104e-06,9.641341e-06,1.021328e-05,1.039273e-05,1.113298e-05,1.119162e-05,1.185866e-05,1.214415e-05,1.256673e-05,1.306417e-05,1.325460e-05,1.392013e-05,1.394626e-05,1.456157e-05,1.478631e-05,1.517755e-05,1.558135e-05,1.576708e-05,1.632951e-05,1.686447e-05,1.702983e-05,1.737186e-05,1.768216e-05,1.785179e-05,1.828698e-05,1.830457e-05,1.873067e-05,1.884528e-05,1.913069e-05,1.935846e-05,1.950531e-05,1.982820e-05,1.985531e-05,2.018153e-05,2.025638e-05,2.048485e-05,2.064505e-05,2.076618e-05,2.099629e-05,2.102643e-05,2.126655e-05,2.131223e-05,2.148743e-05,2.159499e-05,2.168998e-05,2.184662e-05,2.187510e-05,2.204366e-05,2.206915e-05,2.219649e-05,2.226451e-05,2.233442e-05,2.243456e-05,2.245823e-05,2.256869e-05,2.258108e-05,2.266652e-05,2.270575e-05,2.275243e-05,2.281015e-05,2.282707e-05,2.289110e-05,2.289579e-05,2.294513e-05,2.296406e-05,2.298972e-05,2.301630e-05,2.302544e-05,2.305281e-05,2.305374e-05,2.307234e-05,2.307755e-05,2.308450e-05,2.308879e-05,2.308974e-05,2.308849e-05,2.308116e-05,2.307759e-05,2.306813e-05,2.305697e-05,2.304977e-05,2.302744e-05,2.302642e-05,2.299841e-05,2.298977e-05,2.296604e-05,2.294466e-05,2.292963e-05,2.289278e-05,2.288943e-05,2.284572e-05,2.283473e-05,2.279874e-05,2.277109e-05,2.274873e-05,2.270238e-05,2.269590e-05,2.264048e-05,2.262910e-05,2.258266e-05,2.255170e-05,2.252262e-05,2.247060e-05,2.246054e-05,2.239659e-05,2.238619e-05,2.233093e-05,2.229884e-05,2.226370e-05,2.220889e-05,2.219505e-05,2.212512e-05,2.211664e-05,2.205401e-05,2.202239e-05,2.198186e-05,2.192640e-05,2.190878e-05,2.183486e-05,2.182892e-05,2.176022e-05,2.173017e-05,2.168493e-05,2.163038e-05,2.160910e-05,2.153279e-05,2.152973e-05,2.145610e-05,2.142841e-05,2.137909e-05,2.132658e-05,2.130184e-05,2.122440e-05,2.112200e-05,2.101952e-05,2.091708e-05,2.081479e-05,2.071274e-05,2.061103e-05,2.050976e-05,2.040898e-05,2.030878e-05,2.020922e-05,2.011035e-05,2.001224e-05,1.991493e-05,1.981846e-05,1.972287e-05,1.962820e-05,1.953448e-05,1.944173e-05,1.934999e-05,1.925927e-05,1.916960e-05,1.908098e-05,1.899344e-05,1.890698e-05
0.000000e+00,9.852130e-11,2.323646e-10,8.246620e-10,1.904418e-09,2.794256e-09,6.407011e-09,6.602140e-09,1.285676e-08,1.513422e-08,2.221371e-08,2.961432e-08,3.539362e-08,5.155049e-08,5.315773e-08,7.619471e-08,8.256108e-08,1.048870e-07,1.233873e-07,1.390671e-07,1.731307e-07,1.780272e-07,2.208143e-07,2.297483e-07,2.665176e-07,2.911777e-07,3.143783e-07,3.557955e-07,3.637817e-07,4.142189e-07,4.223549e-07,4.652556e-07,4.898529e-07,5.165123e-07,5.574501e-07,5.676548e-07,6.183889e-07,6.244371e-07,6.684588e-07,6.902211e-07,7.176444e-07,7.543189e-07,7.657605e-07,8.126543e-07,8.163491e-07,8.582027e-07,8.760231e-07,9.023099e-07,9.331336e-07,9.449042e-07,9.859349e-07,9.875431e-07,1.025370e-06,1.039172e-06,1.063193e-06,1.087989e-06,1.099399e-06,1.133998e-06,1.167004e-06,1.177234e-06,1.198442e-06,1.217752e-06,1.228341e-06,1.255627e-06,1.256735e-06,1.283661e-06,1.290942e-06,1.309159e-06,1.323790e-06,1.333272e-06,1.354270e-06,1.356043e-06,1.377516e-06,1.382482e-06,1.397736e-06,1.408528e-06,1.416747e-06,1.432513e-06,1.434594e-06,1.451322e-06,1.454537e-06,1.466973e-06,1.474700e-06,1.481590e-06,1.493101e-06,1.495216e-06,1.507891e-06,1.509834e-06,1.519655e-06,1.524989e-06,1.530546e-06,1.538657e-06,1.540603e-06,1.549862e-06,1.550922e-06,1.558359e-06,1.561866e-06,1.566129e-06,1.571567e-06,1.573204e-06,1.579616e-06,1.580102e-06,1.585398e-06,1.587541e-06,1.590579e-06,1.593954e-06,1.595188e-06,1.599253e-06,1.599405e-06,1.602802e-06,1.603957e-06,1.605859e-06,1.607670e-06,1.608450e-06,1.610599e-06,1.612329e-06,1.612798e-06,1.613663e-06,1.614318e-06,1.614621e-06,1.615207e-06,1.615224e-06,1.615492e-06,1.615509e-06,1.615443e-06,1.615270e-06,1.615096e-06,1.614528e-06,1.614468e-06,1.613575e-06,1.613323e-06,1.612433e-06,1.611690e-06,1.611057e-06,1.609665e-06,1.609463e-06,1.607663e-06,1.607280e-06,1.605672e-06,1.604565e-06,1.603501e-06,1.601548e-06,1.601163e-06,1.598670e-06,1.598257e-06,1.596032e-06,1.594718e-06,1.593260e-06,1.590953e-06,1.590365e-06,1.587355e-06,1.586986e-06,1.584239e-06,1.582838e-06,1.581028e-06,1.578527e-06,1.577728e-06,1.574347e-06,1.574074e-06,1.570894e-06,1.569494e-06,1.567375e-06,1.564805e-06,1.563797e-06,1.560167e-06,1.560020e-06,1.556489e-06,1.555155e-06,1.552772e-06,1.550223e-06,1.549019e-06,1.545236e-06,1.540204e-06,1.535140e-06,1.530052e-06,1.524950e-06,1.519842e-06,1.514736e-06,1.509639e-06,1.504559e-06,1.499500e-06,1.494469e-06,1.489471e-06,1.484511e-06,1.479592e-06,1.474719e-06,1.469896e-06,1.465125e-06,1.460409e-06,1.455751e-06,1.451154e-06,1.446618e-06,1.442147e-06,1.437742e-06,1.433403e-06,1.429132e-06
0.000000e+00,3.245391e-11,7.503286e-11,2.604524e-10,5.946483e-10,8.684300e-10,1.972465e-09,2.031856e-09,3.927048e-09,4.613884e-09,6.740685e-09,8.953328e-09,1.067523e-08,1.546811e-08,1.594356e-08,2.274169e-08,2.461695e-08,3.119100e-08,3.664310e-08,4.127087e-08,5.135020e-08,5.280177e-08,6.550661e-08,6.816238e-08,7.909424e-08,8.642151e-08,9.330741e-08,1.055725e-07,1.079325e-07,1.227933e-07,1.251826e-07,1.377414e-07,1.449096e-07,1.526501e-07,1.644744e-07,1.674097e-07,1.819254e-07,1.836469e-07,1.961162e-07,2.022391e-07,2.099137e-07,2.201018e-07,2.232617e-07,2.361155e-07,2.371214e-07,2.484407e-07,2.532169e-07,2.602123e-07,2.683356e-07,2.714139e-07,2.820364e-07,2.824492e-07,2.920770e-07,2.955494e-07,3.015381e-07,3.076440e-07,3.104267e-07,3.187532e-07,3.265311e-07,3.289067e-07,3.337759e-07,3.381406e-07,3.405046e-07,3.464959e-07,3.467358e-07,3.524885e-07,3.540162e-07,3.577825e-07,3.607469e-07,3.626375e-07,3.667336e-07,3.670735e-07,3.711102e-07,3.720217e-07,3.747669e-07,3.766559e-07,3.780628e-07,3.806793e-07,3.810162e-07,3.836453e-07,3.841337e-07,3.859674e-07,3.870592e-07,3.879993e-07,3.894938e-07,3.897573e-07,3.912568e-07,3.914737e-07,3.925128e-07,3.930334e-07,3.935395e-07,3.942051e-07,3.943508e-07,3.949595e-07,3.950196e-07,3.953783e-07,3.955054e-07,3.956189e-07,3.956896e-07,3.956927e-07,3.956105e-07,3.955975e-07,3.953825e-07,3.952527e-07,3.950185e-07,3.946774e-07,3.945277e-07,3.939190e-07,3.938923e-07,3.932006e-07,3.929167e-07,3.923805e-07,3.917685e-07,3.914661e-07,3.904646e-07,3.893827e-07,3.890205e-07,3.882267e-07,3.874508e-07,3.870027e-07,3.857688e-07,3.857162e-07,3.843728e-07,3.839871e-07,3.829774e-07,3.821173e-07,3.815349e-07,3.801701e-07,3.800498e-07,3.785262e-07,3.781553e-07,3.769683e-07,3.760823e-07,3.753798e-07,3.739594e-07,3.737642e-07,3.721250e-07,3.717945e-07,3.704651e-07,3.695948e-07,3.687876e-07,3.673669e-07,3.670953e-07,3.653907e-07,3.651170e-07,3.636762e-07,3.628505e-07,3.619542e-07,3.605727e-07,3.602268e-07,3.584960e-07,3.582882e-07,3.567636e-07,3.560013e-07,3.550314e-07,3.537161e-07,3.533010e-07,3.515739e-07,3.514359e-07,3.498515e-07,3.491642e-07,3.481352e-07,3.469038e-07,3.464260e-07,3.447252e-07,3.446574e-07,3.430338e-07,3.424273e-07,3.413527e-07,3.402159e-07,3.396828e-07,3.380250e-07,3.358563e-07,3.337114e-07,3.315916e-07,3.294983e-07,3.274323e-07,3.253947e-07,3.233861e-07,3.214074e-07,3.194589e-07,3.175413e-07,3.156548e-07,3.137997e-07,3.119762e-07,3.101845e-07,3.084246e-07,3.066966e-07,3.050003e-07,3.033357e-07,3.017026e-07,3.001009e-07,2.985303e-07,2.969907e-07,2.954816e-07,2.940029e-07
0.000000e+00,1.318781e-11,3.000425e-11,1.017647e-10,2.284890e-10,3.308592e-10,7.355603e-10,7.570456e-10,1.431373e-09,1.671185e-09,2.401199e-09,3.143218e-09,3.709918e-09,5.244889e-09,5.394123e-09,7.478471e-09,8.039434e-09,9.969306e-09,1.153617e-08,1.284870e-08,1.566822e-08,1.607076e-08,1.956201e-08,2.028448e-08,2.322757e-08,2.516782e-08,2.696294e-08,3.008145e-08,3.066874e-08,3.426285e-08,3.482325e-08,3.768596e-08,3.925658e-08,4.090055e-08,4.330805e-08,4.388641e-08,4.663583e-08,4.694983e-08,4.914941e-08,5.018210e-08,5.143321e-08,5.302096e-08,5.349669e-08,5.535135e-08,5.549108e-08,5.700986e-08,5.762128e-08,5.848538e-08,5.944188e-08,5.979113e-08,6.094010e-08,6.098298e-08,6.194481e-08,6.227351e-08,6.281719e-08,6.334059e-08,6.356848e-08,6.420922e-08,6.474919e-08,6.490220e-08,6.519745e-08,6.544009e-08,6.556235e-08,6.584135e-08,6.585156e-08,6.607210e-08,6.612243e-08,6.623040e-08,6.629797e-08,6.633233e-08,6.638093e-08,6.638324e-08,6.638799e-08,6.638276e-08,6.635102e-08,6.631363e-08,6.627639e-08,6.618250e-08,6.616779e-08,6.602857e-08,6.599733e-08,6.586178e-08,6.576509e-08,6.567020e-08,6.549197e-08,6.545636e-08,6.522256e-08,6.518344e-08,6.497090e-08,6.484433e-08,6.470330e-08,6.447891e-08,6.442149e-08,6.412707e-08,6.409096e-08,6.382147e-08,6.368381e-08,6.350602e-08,6.326044e-08,6.318192e-08,6.285028e-08,6.282345e-08,6.251209e-08,6.237520e-08,6.216828e-08,6.191773e-08,6.181968e-08,6.146706e-08,6.145288e-08,6.111110e-08,6.098226e-08,6.075243e-08,6.050730e-08,6.039165e-08,6.002928e-08,5.966581e-08,5.954934e-08,5.930168e-08,5.906849e-08,5.893730e-08,5.858761e-08,5.857305e-08,5.820925e-08,5.810752e-08,5.784623e-08,5.762890e-08,5.748426e-08,5.715239e-08,5.712359e-08,5.676447e-08,5.667854e-08,5.640711e-08,5.620783e-08,5.605170e-08,5.574069e-08,5.569841e-08,5.534742e-08,5.527751e-08,5.499886e-08,5.481861e-08,5.465287e-08,5.436431e-08,5.430956e-08,5.396905e-08,5.391484e-08,5.363143e-08,5.347043e-08,5.329679e-08,5.303126e-08,5.296519e-08,5.263672e-08,5.259751e-08,5.231142e-08,5.216931e-08,5.198935e-08,5.174676e-08,5.167055e-08,5.135507e-08,5.132998e-08,5.104293e-08,5.091902e-08,5.073417e-08,5.051396e-08,5.042880e-08,5.012685e-08,5.011484e-08,4.982832e-08,4.972169e-08,4.953323e-08,4.933454e-08,4.924158e-08,4.895338e-08,4.857822e-08,4.820905e-08,4.784585e-08,4.748860e-08,4.713725e-08,4.679178e-08,4.645215e-08,4.611829e-08,4.579017e-08,4.546772e-08,4.515089e-08,4.483961e-08,4.453382e-08,4.423345e-08,4.393843e-08,4.364870e-08,4.336418e-08,4.308479e-08,4.281047e-08,4.254113e-08,4.227671e-08,4.201713e-08,4.176230e-08,4.151216e-08
0.000000e+00,1.736311e-10,4.815223e-10,2.053862e-09,5.196113e-09,7.901223e-09,1.940817e-08,2.004646e-08,4.112639e-08,4.904664e-08,7.430625e-08,1.015246e-07,1.231951e-07,1.847374e-07,1.908809e-07,2.779843e-07,3.015427e-07,3.819855e-07,4.462050e-07,4.991619e-07,6.106430e-07,6.263509e-07,7.612199e-07,7.889506e-07,9.019656e-07,9.769612e-07,1.047057e-06,1.171275e-06,1.195107e-06,1.344826e-06,1.368855e-06,1.495023e-06,1.566965e-06,1.644615e-06,1.763202e-06,1.792641e-06,1.938272e-06,1.955552e-06,2.080811e-06,2.142398e-06,2.219690e-06,2.322511e-06,2.354462e-06,2.484788e-06,2.495014e-06,2.610427e-06,2.659331e-06,2.731218e-06,2.815134e-06,2.847072e-06,2.957957e-06,2.962290e-06,3.063888e-06,3.100819e-06,3.164916e-06,3.230855e-06,3.261123e-06,3.352611e-06,3.439501e-06,3.466356e-06,3.521925e-06,3.572398e-06,3.600024e-06,3.671064e-06,3.673942e-06,3.743829e-06,3.762695e-06,3.809834e-06,3.847636e-06,3.872107e-06,3.926228e-06,3.930795e-06,3.986043e-06,3.998806e-06,4.037993e-06,4.065697e-06,4.086785e-06,4.127217e-06,4.132553e-06,4.175429e-06,4.183669e-06,4.215539e-06,4.235344e-06,4.253005e-06,4.282520e-06,4.287946e-06,4.320474e-06,4.325462e-06,4.350700e-06,4.364422e-06,4.378728e-06,4.399637e-06,4.404660e-06,4.428592e-06,4.431334e-06,4.450618e-06,4.459728e-06,4.470826e-06,4.485021e-06,4.489301e-06,4.506127e-06,4.507404e-06,4.521380e-06,4.527058e-06,4.535136e-06,4.544153e-06,4.547466e-06,4.558440e-06,4.558851e-06,4.568122e-06,4.571303e-06,4.576575e-06,4.581652e-06,4.583859e-06,4.590031e-06,4.595147e-06,4.596569e-06,4.599258e-06,4.601385e-06,4.602414e-06,4.604590e-06,4.604663e-06,4.606051e-06,4.606291e-06,4.606621e-06,4.606587e-06,4.606414e-06,4.605572e-06,4.605471e-06,4.603829e-06,4.603334e-06,4.601524e-06,4.599956e-06,4.598591e-06,4.595516e-06,4.595063e-06,4.590971e-06,4.590087e-06,4.586345e-06,4.583739e-06,4.581215e-06,4.576535e-06,4.575607e-06,4.569548e-06,4.568538e-06,4.563062e-06,4.559805e-06,4.556174e-06,4.550389e-06,4.548906e-06,4.541280e-06,4.540342e-06,4.533317e-06,4.529711e-06,4.525036e-06,4.518541e-06,4.516456e-06,4.507596e-06,4.506875e-06,4.498472e-06,4.494753e-06,4.489102e-06,4.482211e-06,4.479500e-06,4.469682e-06,4.469285e-06,4.459662e-06,4.456008e-06,4.449454e-06,4.442411e-06,4.439070e-06,4.428524e-06,4.414374e-06,4.399987e-06,4.385388e-06,4.370598e-06,4.355640e-06,4.340534e-06,4.325299e-06,4.309953e-06,4.294513e-06,4.278993e-06,4.263410e-06,4.247777e-06,4.232107e-06,4.216412e-06,4.200705e-06,4.184995e-06,4.169292e-06,4.153607e-06,4.137948e-06,4.122324e-06,4.106741e-06,4.091208e-06,4.075731e-06,4.060317e-06
0.000000e+00,5.087796e-11,1.227524e-10,4.428567e-10,1.022985e-09,1.496884e-09,3.389422e-09,3.490424e-09,6.676870e-09,7.816237e-09,1.130053e-08,1.486260e-08,1.759313e-08,2.500102e-08,2.571990e-08,3.567093e-08,3.830934e-08,4.722694e-08,5.428345e-08,6.007764e-08,7.222633e-08,7.393366e-08,8.854956e-08,9.154461e-08,1.037098e-07,1.117419e-07,1.192159e-07,1.323712e-07,1.348809e-07,1.505307e-07,1.530223e-07,1.660058e-07,1.733298e-07,1.811656e-07,1.929852e-07,1.958903e-07,2.100825e-07,2.117460e-07,2.236672e-07,2.294374e-07,2.365907e-07,2.459488e-07,2.488191e-07,2.603355e-07,2.612259e-07,2.711378e-07,2.752605e-07,2.812355e-07,2.880799e-07,2.906476e-07,2.994000e-07,2.997368e-07,3.075234e-07,3.103003e-07,3.150517e-07,3.198492e-07,3.220205e-07,3.284658e-07,3.344234e-07,3.362325e-07,3.399280e-07,3.432287e-07,3.450129e-07,3.495288e-07,3.497096e-07,3.540476e-07,3.552017e-07,3.580544e-07,3.603101e-07,3.617554e-07,3.649104e-07,3.651740e-07,3.683318e-07,3.690531e-07,3.712485e-07,3.727833e-07,3.739420e-07,3.761408e-07,3.764288e-07,3.787238e-07,3.791609e-07,3.808405e-07,3.818750e-07,3.827915e-07,3.843105e-07,3.845880e-07,3.862404e-07,3.864920e-07,3.877580e-07,3.884412e-07,3.891496e-07,3.901774e-07,3.904230e-07,3.915853e-07,3.917177e-07,3.926433e-07,3.930773e-07,3.936030e-07,3.942701e-07,3.944700e-07,3.952495e-07,3.953082e-07,3.959463e-07,3.962029e-07,3.965649e-07,3.969643e-07,3.971095e-07,3.975838e-07,3.976014e-07,3.979915e-07,3.981226e-07,3.983360e-07,3.985357e-07,3.986203e-07,3.988474e-07,3.990202e-07,3.990644e-07,3.991411e-07,3.991925e-07,3.992128e-07,3.992372e-07,3.992374e-07,3.992171e-07,3.992037e-07,3.991541e-07,3.990966e-07,3.990503e-07,3.989204e-07,3.989076e-07,3.987277e-07,3.986792e-07,3.985124e-07,3.983769e-07,3.982632e-07,3.980170e-07,3.979816e-07,3.976691e-07,3.976030e-07,3.973271e-07,3.971380e-07,3.969569e-07,3.966251e-07,3.965598e-07,3.961369e-07,3.960670e-07,3.956895e-07,3.954664e-07,3.952187e-07,3.948258e-07,3.947254e-07,3.942108e-07,3.941477e-07,3.936758e-07,3.934342e-07,3.931214e-07,3.926875e-07,3.925483e-07,3.919576e-07,3.919096e-07,3.913500e-07,3.911024e-07,3.907264e-07,3.902678e-07,3.900874e-07,3.894339e-07,3.894074e-07,3.887665e-07,3.885230e-07,3.880859e-07,3.876159e-07,3.873928e-07,3.866879e-07,3.857401e-07,3.847741e-07,3.837910e-07,3.827922e-07,3.817786e-07,3.807515e-07,3.797118e-07,3.786607e-07,3.775990e-07,3.765277e-07,3.754476e-07,3.743595e-07,3.732643e-07,3.721626e-07,3.710553e-07,3.699430e-07,3.688262e-07,3.677058e-07,3.665822e-07,3.654561e-07,3.643279e-07,3.631981e-07,3.620674e-07,3.609360e-07
0.000000e+00,1.623764e-10,6.005195e-10,4.064355e-09,1.403031e-08,2.451252e-08,7.985857e-08,8.327732e-08,2.079214e-07,2.587801e-07,4.293788e-07,6.224631e-07,7.808860e-07,1.249447e-06,1.297745e-06,2.016920e-06,2.223758e-06,2.974995e-06,3.627825e-06,4.202759e-06,5.519832e-06,5.716659e-06,7.511747e-06,7.902504e-06,9.561711e-06,1.071520e-05,1.182576e-05,1.385899e-05,1.425739e-05,1.681098e-05,1.722803e-05,1.944516e-05,2.072741e-05,2.212389e-05,2.427796e-05,2.481617e-05,2.749535e-05,2.781485e-05,3.013847e-05,3.128480e-05,3.272569e-05,3.464402e-05,3.523998e-05,3.766690e-05,3.785691e-05,3.999445e-05,4.089540e-05,4.221294e-05,4.373845e-05,4.431491e-05,4.629499e-05,4.637161e-05,4.814971e-05,4.878634e-05,4.987735e-05,5.097940e-05,5.147772e-05,5.295197e-05,5.430240e-05,5.470889e-05,5.553223e-05,5.625783e-05,5.664542e-05,5.760858e-05,5.764653e-05,5.854054e-05,5.877239e-05,5.933273e-05,5.976144e-05,6.002856e-05,6.058838e-05,6.063357e-05,6.115330e-05,6.126595e-05,6.159322e-05,6.180673e-05,6.195871e-05,6.222290e-05,6.225496e-05,6.248700e-05,6.252613e-05,6.265965e-05,6.272748e-05,6.277748e-05,6.283728e-05,6.284484e-05,6.286587e-05,6.286520e-05,6.284444e-05,6.282015e-05,6.278421e-05,6.271039e-05,6.268859e-05,6.256081e-05,6.254345e-05,6.240383e-05,6.232625e-05,6.222046e-05,6.206505e-05,6.201329e-05,6.178472e-05,6.176558e-05,6.153699e-05,6.143301e-05,6.127218e-05,6.107201e-05,6.099219e-05,6.069881e-05,6.068682e-05,6.039368e-05,6.028124e-05,6.007829e-05,5.985869e-05,5.975405e-05,5.942223e-05,5.908401e-05,5.897462e-05,5.874049e-05,5.851831e-05,5.839264e-05,5.805550e-05,5.804139e-05,5.768757e-05,5.758814e-05,5.733193e-05,5.711798e-05,5.697519e-05,5.664655e-05,5.661797e-05,5.626085e-05,5.617522e-05,5.590437e-05,5.570520e-05,5.554900e-05,5.523754e-05,5.519518e-05,5.484328e-05,5.477317e-05,5.449368e-05,5.431290e-05,5.414669e-05,5.385744e-05,5.380259e-05,5.346164e-05,5.340740e-05,5.312407e-05,5.296329e-05,5.279007e-05,5.252557e-05,5.245984e-05,5.213351e-05,5.209462e-05,5.181123e-05,5.167075e-05,5.149312e-05,5.125421e-05,5.117928e-05,5.086979e-05,5.084522e-05,5.056473e-05,5.044396e-05,5.026415e-05,5.005053e-05,4.996809e-05,4.967660e-05,4.966504e-05,4.938970e-05,4.928754e-05,4.910739e-05,4.891806e-05,4.882970e-05,4.855662e-05,4.820320e-05,4.785776e-05,4.752026e-05,4.719062e-05,4.686878e-05,4.655464e-05,4.624810e-05,4.594906e-05,4.565740e-05,4.537301e-05,4.509575e-05,4.482551e-05,4.456214e-05,4.430551e-05,4.405549e-05,4.381193e-05,4.357471e-05,4.334368e-05,4.311869e-05,4.289963e-05,4.268634e-05,4.247869e-05,4.227654e-05,4.207976e-05
0.000000e+00,3.358948e-10,1.178746e-09,7.213934e-09,2.293586e-08,3.844677e-08,1.139378e-07,1.184025e-07,2.739723e-07,3.349917e-07,5.344547e-07,7.545741e-07,9.325073e-07,1.449025e-06,1.501508e-06,2.265096e-06,2.478067e-06,3.225572e-06,3.843223e-06,4.364878e-06,5.493862e-06,5.655875e-06,7.071860e-06,7.367979e-06,8.590062e-06,9.413472e-06,1.019137e-05,1.158831e-05,1.185890e-05,1.357685e-05,1.385536e-05,1.532975e-05,1.617904e-05,1.710225e-05,1.852416e-05,1.887919e-05,2.064583e-05,2.085646e-05,2.238811e-05,2.314359e-05,2.409300e-05,2.535645e-05,2.574878e-05,2.734521e-05,2.747009e-05,2.887363e-05,2.946433e-05,3.032702e-05,3.132393e-05,3.170002e-05,3.298879e-05,3.303855e-05,3.419097e-05,3.460232e-05,3.530550e-05,3.601331e-05,3.633246e-05,3.727294e-05,3.812884e-05,3.838527e-05,3.890274e-05,3.935642e-05,3.959775e-05,4.019396e-05,4.021735e-05,4.076531e-05,4.090644e-05,4.124559e-05,4.150294e-05,4.166221e-05,4.199276e-05,4.201923e-05,4.232066e-05,4.238516e-05,4.257042e-05,4.268914e-05,4.277232e-05,4.291331e-05,4.293002e-05,4.304700e-05,4.306581e-05,4.312659e-05,4.315424e-05,4.317191e-05,4.318564e-05,4.318589e-05,4.317129e-05,4.316647e-05,4.313067e-05,4.310265e-05,4.306644e-05,4.299954e-05,4.298080e-05,4.287580e-05,4.286200e-05,4.275336e-05,4.269441e-05,4.261521e-05,4.250071e-05,4.246297e-05,4.229814e-05,4.228445e-05,4.212208e-05,4.204879e-05,4.193604e-05,4.179657e-05,4.174118e-05,4.153855e-05,4.153030e-05,4.132913e-05,4.125224e-05,4.111378e-05,4.096439e-05,4.089334e-05,4.066854e-05,4.044005e-05,4.036626e-05,4.020850e-05,4.005896e-05,3.997444e-05,3.974789e-05,3.973841e-05,3.950087e-05,3.943414e-05,3.926224e-05,3.911871e-05,3.902292e-05,3.880244e-05,3.878326e-05,3.854359e-05,3.848610e-05,3.830419e-05,3.817036e-05,3.806535e-05,3.785581e-05,3.782729e-05,3.759023e-05,3.754296e-05,3.735439e-05,3.723228e-05,3.711992e-05,3.692415e-05,3.688699e-05,3.665575e-05,3.661892e-05,3.642633e-05,3.631689e-05,3.619884e-05,3.601831e-05,3.597339e-05,3.575007e-05,3.572342e-05,3.552895e-05,3.543238e-05,3.531012e-05,3.514537e-05,3.509363e-05,3.487954e-05,3.486252e-05,3.466789e-05,3.458392e-05,3.445872e-05,3.430968e-05,3.425207e-05,3.404797e-05,3.403986e-05,3.384643e-05,3.377451e-05,3.364747e-05,3.351366e-05,3.345111e-05,3.325736e-05,3.300560e-05,3.275838e-05,3.251571e-05,3.227756e-05,3.204392e-05,3.181474e-05,3.159001e-05,3.136966e-05,3.115368e-05,3.094199e-05,3.073455e-05,3.053131e-05,3.033221e-05,3.013718e-05,2.994617e-05,2.975912e-05,2.957596e-05,2.939662e-05,2.922104e-05,2.904916e-05,2.888091e-05,2.871621e-05,2.855501e-05,2.839724e-05
0.000000e+00,1.231400e-10,3.329532e-10,1.373490e-09,3.402917e-09,5.121724e-09,1.224379e-08,1.263144e-08,2.508969e-08,2.962232e-08,4.365203e-08,5.819759e-08,6.946444e-08,1.005282e-07,1.035834e-07,1.466992e-07,1.584057e-07,1.988772e-07,2.319145e-07,2.597186e-07,3.200098e-07,3.287004e-07,4.053125e-07,4.215060e-07,4.890436e-07,5.352166e-07,5.793427e-07,6.598233e-07,6.755969e-07,7.771269e-07,7.938127e-07,8.831949e-07,9.354910e-07,9.930191e-07,1.083041e-06,1.105793e-06,1.220702e-06,1.234596e-06,1.336947e-06,1.388317e-06,1.453756e-06,1.542459e-06,1.570403e-06,1.686214e-06,1.695424e-06,1.800581e-06,1.845799e-06,1.912962e-06,1.992379e-06,2.022885e-06,2.129951e-06,2.134169e-06,2.233825e-06,2.270385e-06,2.334241e-06,2.400439e-06,2.430989e-06,2.523918e-06,2.612924e-06,2.640567e-06,2.697947e-06,2.750261e-06,2.778966e-06,2.852986e-06,2.855991e-06,2.929060e-06,2.948819e-06,2.998236e-06,3.037904e-06,3.063597e-06,3.120441e-06,3.125238e-06,3.183266e-06,3.196668e-06,3.237795e-06,3.266848e-06,3.288947e-06,3.331266e-06,3.336847e-06,3.381621e-06,3.390213e-06,3.423400e-06,3.443983e-06,3.462310e-06,3.492870e-06,3.498478e-06,3.532029e-06,3.537162e-06,3.563084e-06,3.577139e-06,3.591763e-06,3.613071e-06,3.618179e-06,3.642444e-06,3.645216e-06,3.664665e-06,3.673821e-06,3.684945e-06,3.699121e-06,3.703383e-06,3.720073e-06,3.721336e-06,3.735107e-06,3.740676e-06,3.748570e-06,3.757338e-06,3.760546e-06,3.771112e-06,3.771507e-06,3.780345e-06,3.783356e-06,3.788316e-06,3.793049e-06,3.795092e-06,3.800738e-06,3.805316e-06,3.806566e-06,3.808885e-06,3.810665e-06,3.811500e-06,3.813162e-06,3.813214e-06,3.814077e-06,3.814172e-06,3.814136e-06,3.813805e-06,3.813437e-06,3.812161e-06,3.812023e-06,3.809935e-06,3.809337e-06,3.807210e-06,3.805421e-06,3.803887e-06,3.800495e-06,3.800000e-06,3.795581e-06,3.794637e-06,3.790663e-06,3.787918e-06,3.785275e-06,3.780407e-06,3.779446e-06,3.773202e-06,3.772166e-06,3.766569e-06,3.763254e-06,3.759571e-06,3.753725e-06,3.752231e-06,3.744571e-06,3.743631e-06,3.736611e-06,3.733019e-06,3.728372e-06,3.721935e-06,3.719872e-06,3.711128e-06,3.710419e-06,3.702159e-06,3.698511e-06,3.692978e-06,3.686247e-06,3.683603e-06,3.674046e-06,3.673661e-06,3.664323e-06,3.660784e-06,3.654445e-06,3.647647e-06,3.644426e-06,3.634276e-06,3.620699e-06,3.606938e-06,3.593017e-06,3.578957e-06,3.564777e-06,3.550495e-06,3.536129e-06,3.521695e-06,3.507208e-06,3.492681e-06,3.478128e-06,3.463561e-06,3.448991e-06,3.434429e-06,3.419884e-06,3.405366e-06,3.390884e-06,3.376445e-06,3.362056e-06,3.347725e-06,3.333457e-06,3.319259e-06,3.305136e-06,3.291093e-06
0.000000e+00,4.917670e-11,1.834304e-10,1.262837e-09,4.423851e-09,7.788358e-09,2.584005e-08,2.696483e-08,6.836539e-08,8.539898e-08,1.428469e-07,2.081856e-07,2.619127e-07,4.209379e-07,4.373201e-07,6.806443e-07,7.503567e-07,1.002400e-06,1.219992e-06,1.410661e-06,1.845117e-06,1.909878e-06,2.500631e-06,2.629580e-06,3.180271e-06,3.567237e-06,3.943852e-06,4.645451e-06,4.784938e-06,5.696139e-06,5.847909e-06,6.669437e-06,7.156206e-06,7.696375e-06,8.550677e-06,8.768209e-06,9.876043e-06,1.001098e-05,1.101097e-05,1.151665e-05,1.216422e-05,1.304772e-05,1.332733e-05,1.449224e-05,1.458529e-05,1.565147e-05,1.611201e-05,1.679817e-05,1.761256e-05,1.792621e-05,1.903021e-05,1.907380e-05,2.010557e-05,2.048492e-05,2.114844e-05,2.183741e-05,2.215569e-05,2.312489e-05,2.405423e-05,2.434298e-05,2.494247e-05,2.548903e-05,2.578889e-05,2.656183e-05,2.659320e-05,2.735549e-05,2.756145e-05,2.807617e-05,2.848889e-05,2.875593e-05,2.934593e-05,2.939566e-05,2.999644e-05,3.013495e-05,3.055944e-05,3.085871e-05,3.108599e-05,3.152026e-05,3.157743e-05,3.203517e-05,3.212281e-05,3.246066e-05,3.266964e-05,3.285532e-05,3.316406e-05,3.322058e-05,3.355785e-05,3.360931e-05,3.386851e-05,3.400858e-05,3.415391e-05,3.436492e-05,3.441535e-05,3.465408e-05,3.468126e-05,3.487132e-05,3.496040e-05,3.506824e-05,3.520500e-05,3.524595e-05,3.540552e-05,3.541753e-05,3.554797e-05,3.560037e-05,3.567426e-05,3.575571e-05,3.578533e-05,3.588204e-05,3.588562e-05,3.596524e-05,3.599203e-05,3.603570e-05,3.607674e-05,3.609420e-05,3.614143e-05,3.617806e-05,3.618765e-05,3.620475e-05,3.621688e-05,3.622208e-05,3.623046e-05,3.623064e-05,3.623095e-05,3.622964e-05,3.622355e-05,3.621560e-05,3.620890e-05,3.618942e-05,3.618746e-05,3.615967e-05,3.615210e-05,3.612594e-05,3.610459e-05,3.608664e-05,3.604776e-05,3.604216e-05,3.599282e-05,3.598240e-05,3.593896e-05,3.590927e-05,3.588088e-05,3.582905e-05,3.581888e-05,3.575323e-05,3.574241e-05,3.568419e-05,3.564992e-05,3.561201e-05,3.555216e-05,3.553691e-05,3.545912e-05,3.544962e-05,3.537885e-05,3.534279e-05,3.529628e-05,3.523211e-05,3.521161e-05,3.512500e-05,3.511800e-05,3.503663e-05,3.500082e-05,3.494665e-05,3.488094e-05,3.485520e-05,3.476242e-05,3.475869e-05,3.466846e-05,3.463436e-05,3.457342e-05,3.450824e-05,3.447742e-05,3.438059e-05,3.425165e-05,3.412164e-05,3.399078e-05,3.385925e-05,3.372724e-05,3.359490e-05,3.346240e-05,3.332986e-05,3.319743e-05,3.306521e-05,3.293333e-05,3.280187e-05,3.267095e-05,3.254063e-05,3.241101e-05,3.228216e-05,3.215413e-05,3.202700e-05,3.190081e-05,3.177563e-05,3.165149e-05,3.152843e-05,3.140650e-05,3.128572e-05
0.000000e+00,2.562469e-11,5.965280e-11,2.081093e-10,4.754117e-10,6.940898e-10,1.574464e-09,1.621790e-09,3.132001e-09,3.679636e-09,5.376854e-09,7.143454e-09,8.516600e-09,1.231103e-08,1.268388e-08,1.791027e-08,1.931266e-08,2.408871e-08,2.789660e-08,3.103595e-08,3.764219e-08,3.857250e-08,4.655008e-08,4.818744e-08,5.484668e-08,5.925156e-08,6.335700e-08,7.060140e-08,7.198648e-08,8.064882e-08,8.203250e-08,8.926573e-08,9.336487e-08,9.776739e-08,1.044446e-07,1.060931e-07,1.141916e-07,1.151460e-07,1.220212e-07,1.253724e-07,1.295496e-07,1.350546e-07,1.367527e-07,1.436143e-07,1.441481e-07,1.501250e-07,1.526300e-07,1.562811e-07,1.604943e-07,1.620835e-07,1.675374e-07,1.677484e-07,1.726507e-07,1.744100e-07,1.774336e-07,1.805031e-07,1.818978e-07,1.860564e-07,1.899233e-07,1.911014e-07,1.935126e-07,1.956706e-07,1.968385e-07,1.997968e-07,1.999153e-07,2.027567e-07,2.035120e-07,2.053764e-07,2.068472e-07,2.077873e-07,2.098317e-07,2.100020e-07,2.120324e-07,2.124936e-07,2.138901e-07,2.148589e-07,2.155857e-07,2.169519e-07,2.171294e-07,2.185309e-07,2.187949e-07,2.197992e-07,2.204089e-07,2.209428e-07,2.218129e-07,2.219697e-07,2.228875e-07,2.230247e-07,2.237032e-07,2.240605e-07,2.244235e-07,2.249351e-07,2.250545e-07,2.256020e-07,2.256624e-07,2.260715e-07,2.262547e-07,2.264682e-07,2.267238e-07,2.267967e-07,2.270616e-07,2.270802e-07,2.272670e-07,2.273334e-07,2.274169e-07,2.274926e-07,2.275150e-07,2.275647e-07,2.275657e-07,2.275692e-07,2.275604e-07,2.275316e-07,2.274834e-07,2.274547e-07,2.273412e-07,2.271935e-07,2.271395e-07,2.270141e-07,2.268836e-07,2.268050e-07,2.265785e-07,2.265685e-07,2.263063e-07,2.262286e-07,2.260204e-07,2.258382e-07,2.257124e-07,2.254110e-07,2.253840e-07,2.250366e-07,2.249506e-07,2.246717e-07,2.244602e-07,2.242906e-07,2.239428e-07,2.238946e-07,2.234847e-07,2.234012e-07,2.230623e-07,2.228379e-07,2.226282e-07,2.222553e-07,2.221834e-07,2.217290e-07,2.216555e-07,2.212657e-07,2.210405e-07,2.207945e-07,2.204122e-07,2.203159e-07,2.198309e-07,2.197723e-07,2.193400e-07,2.191224e-07,2.188440e-07,2.184639e-07,2.183433e-07,2.178387e-07,2.177982e-07,2.173306e-07,2.171265e-07,2.168195e-07,2.164500e-07,2.163060e-07,2.157904e-07,2.157697e-07,2.152732e-07,2.150867e-07,2.147548e-07,2.144018e-07,2.142356e-07,2.137159e-07,2.130297e-07,2.123440e-07,2.116594e-07,2.109766e-07,2.102960e-07,2.096183e-07,2.089438e-07,2.082731e-07,2.076065e-07,2.069444e-07,2.062871e-07,2.056350e-07,2.049882e-07,2.043471e-07,2.037119e-07,2.030828e-07,2.024600e-07,2.018437e-07,2.012340e-07,2.006310e-07,2.000348e-07,1.994457e-07,1.988635e-07,1.982886e-07
0.000000e+00,4.605534e-09,1.813330e-08,1.394880e-07,5.398351e-07,1.003200e-06,3.818831e-06,4.007118e-06,1.160252e-05,1.501628e-05,2.742211e-05,4.284429e-05,5.636218e-05,9.988334e-05,1.046240e-04,1.797209e-04,2.026877e-04,2.904380e-04,3.716592e-04,4.467038e-04,6.304547e-04,6.593128e-04,9.394843e-04,1.004612e-03,1.298328e-03,1.519540e-03,1.746343e-03,2.198568e-03,2.293021e-03,2.946573e-03,3.061532e-03,3.713753e-03,4.123948e-03,4.599761e-03,5.396591e-03,5.608189e-03,6.741020e-03,6.885355e-03,7.998655e-03,8.591314e-03,9.379963e-03,1.051094e-02,1.088237e-02,1.250194e-02,1.263642e-02,1.423354e-02,1.495618e-02,1.607091e-02,1.745530e-02,1.800685e-02,2.003338e-02,2.011620e-02,2.214183e-02,2.291919e-02,2.432308e-02,2.584306e-02,2.656761e-02,2.886572e-02,3.120761e-02,3.196467e-02,3.358353e-02,3.511753e-02,3.598387e-02,3.830246e-02,3.839924e-02,4.082060e-02,4.149846e-02,4.323927e-02,4.468574e-02,4.564703e-02,4.784587e-02,4.803614e-02,5.039938e-02,5.096196e-02,5.273008e-02,5.401876e-02,5.502213e-02,5.700272e-02,5.726996e-02,5.946858e-02,5.990200e-02,6.161357e-02,6.270644e-02,6.370101e-02,6.540751e-02,6.572753e-02,6.769026e-02,6.799821e-02,6.958680e-02,7.047304e-02,7.141521e-02,7.282784e-02,7.317396e-02,7.486194e-02,7.505970e-02,7.647839e-02,7.716685e-02,7.802291e-02,7.914856e-02,7.949539e-02,8.089603e-02,8.100499e-02,8.222527e-02,8.273712e-02,8.348379e-02,8.434662e-02,8.467247e-02,8.579239e-02,8.583577e-02,8.684477e-02,8.720735e-02,8.783098e-02,8.846458e-02,8.875253e-02,8.961100e-02,9.040808e-02,9.065046e-02,9.114551e-02,9.158700e-02,9.182511e-02,9.242483e-02,9.244872e-02,9.301823e-02,9.316825e-02,9.353552e-02,9.382164e-02,9.400252e-02,9.438939e-02,9.442114e-02,9.479327e-02,9.487588e-02,9.512082e-02,9.528546e-02,9.540564e-02,9.562241e-02,9.564959e-02,9.585448e-02,9.589092e-02,9.602209e-02,9.609510e-02,9.615417e-02,9.623891e-02,9.625243e-02,9.631852e-02,9.632622e-02,9.635407e-02,9.636075e-02,9.636065e-02,9.634607e-02,9.633977e-02,9.629292e-02,9.628562e-02,9.622153e-02,9.618270e-02,9.612697e-02,9.604042e-02,9.601057e-02,9.587361e-02,9.586180e-02,9.571733e-02,9.564967e-02,9.554291e-02,9.540674e-02,9.535149e-02,9.514417e-02,9.513556e-02,9.492200e-02,9.483857e-02,9.468597e-02,9.451805e-02,9.443705e-02,9.417616e-02,9.381493e-02,9.343626e-02,9.304196e-02,9.263369e-02,9.221305e-02,9.178149e-02,9.134040e-02,9.089106e-02,9.043467e-02,8.997234e-02,8.950511e-02,8.903394e-02,8.855971e-02,8.808327e-02,8.760537e-02,8.712671e-02,8.664795e-02,8.616968e-02,8.569246e-02,8.521679e-02,8.474314e-02,8.427192e-02,8.380352e-02,8.333830e-02
0.000000e+00,5.573394e-12,1.276595e-11,4.389126e-11,9.977849e-11,1.454824e-10,3.294107e-10,3.392922e-10,6.540756e-10,7.679302e-10,1.119846e-09,1.485092e-09,1.768804e-09,2.556375e-09,2.634336e-09,3.745677e-09,4.051089e-09,5.117925e-09,5.998916e-09,6.745063e-09,8.369962e-09,8.604400e-09,1.066724e-08,1.110174e-08,1.290590e-08,1.413115e-08,1.529557e-08,1.740310e-08,1.781377e-08,2.043946e-08,2.086819e-08,2.315237e-08,2.447972e-08,2.593271e-08,2.819252e-08,2.876114e-08,3.161890e-08,3.196294e-08,3.448804e-08,3.574966e-08,3.735161e-08,3.951452e-08,4.019396e-08,4.300077e-08,4.322338e-08,4.575922e-08,4.684650e-08,4.845813e-08,5.035902e-08,5.108788e-08,5.364030e-08,5.374069e-08,5.610873e-08,5.697576e-08,5.848794e-08,6.005274e-08,6.077392e-08,6.296382e-08,6.505583e-08,6.570443e-08,6.704904e-08,6.827277e-08,6.894335e-08,7.066934e-08,7.073930e-08,7.243801e-08,7.289643e-08,7.404106e-08,7.495778e-08,7.555041e-08,7.685822e-08,7.696835e-08,7.829736e-08,7.860340e-08,7.954017e-08,8.019952e-08,8.069958e-08,8.165320e-08,8.177852e-08,8.277997e-08,8.297122e-08,8.370692e-08,8.416049e-08,8.456238e-08,8.522790e-08,8.534933e-08,8.607071e-08,8.618025e-08,8.672943e-08,8.702420e-08,8.732832e-08,8.776622e-08,8.787016e-08,8.835763e-08,8.841259e-08,8.879335e-08,8.896933e-08,8.917985e-08,8.944219e-08,8.951959e-08,8.981494e-08,8.983671e-08,9.006815e-08,9.015814e-08,9.028144e-08,9.041147e-08,9.045691e-08,9.059659e-08,9.060146e-08,9.070241e-08,9.073258e-08,9.077625e-08,9.080911e-08,9.081989e-08,9.083503e-08,9.082332e-08,9.081416e-08,9.078631e-08,9.075004e-08,9.072550e-08,9.064606e-08,9.064232e-08,9.053812e-08,9.050536e-08,9.041422e-08,9.033093e-08,9.027184e-08,9.012556e-08,9.011217e-08,8.993634e-08,8.989186e-08,8.974542e-08,8.963230e-08,8.954043e-08,8.934918e-08,8.932235e-08,8.909209e-08,8.904466e-08,8.885055e-08,8.872076e-08,8.859854e-08,8.837937e-08,8.833688e-08,8.806632e-08,8.802225e-08,8.778757e-08,8.765106e-08,8.750131e-08,8.726734e-08,8.720820e-08,8.690884e-08,8.687252e-08,8.660382e-08,8.646795e-08,8.629368e-08,8.605487e-08,8.597895e-08,8.566012e-08,8.563445e-08,8.533766e-08,8.520776e-08,8.501202e-08,8.477581e-08,8.468360e-08,8.435281e-08,8.433954e-08,8.402002e-08,8.389980e-08,8.368559e-08,8.345740e-08,8.334984e-08,8.301308e-08,8.256754e-08,8.212140e-08,8.167524e-08,8.122962e-08,8.078503e-08,8.034191e-08,7.990070e-08,7.946177e-08,7.902548e-08,7.859215e-08,7.816206e-08,7.773548e-08,7.731265e-08,7.689378e-08,7.647907e-08,7.606869e-08,7.566280e-08,7.526152e-08,7.486499e-08,7.447330e-08,7.408655e-08,7.370480e-08,7.332814e-08,7.295660e-08
0.000000e+00,1.252835e-09,4.879342e-09,3.669745e-08,1.391644e-07,2.557810e-07,9.470420e-07,9.926443e-07,2.800729e-06,3.600646e-06,6.471082e-06,9.989705e-06,1.304513e-05,2.276962e-05,2.382122e-05,4.033666e-05,4.534160e-05,6.429081e-05,8.159641e-05,9.739230e-05,1.353119e-04,1.411730e-04,1.968416e-04,2.094807e-04,2.652125e-04,3.059376e-04,3.466981e-04,4.253212e-04,4.413399e-04,5.488568e-04,5.672208e-04,6.686986e-04,7.303823e-04,8.000990e-04,9.129191e-04,9.421253e-04,1.093723e-03,1.112505e-03,1.253759e-03,1.326545e-03,1.421053e-03,1.552317e-03,1.594413e-03,1.772660e-03,1.787096e-03,1.954647e-03,2.028243e-03,2.139282e-03,2.273278e-03,2.325535e-03,2.512450e-03,2.519927e-03,2.699150e-03,2.766154e-03,2.884841e-03,3.010169e-03,3.068813e-03,3.250436e-03,3.429159e-03,3.485658e-03,3.604507e-03,3.714769e-03,3.776075e-03,3.936909e-03,3.943525e-03,4.106575e-03,4.151409e-03,4.265002e-03,4.357763e-03,4.418628e-03,4.555610e-03,4.567322e-03,4.710990e-03,4.744715e-03,4.849572e-03,4.924944e-03,4.983039e-03,5.096256e-03,5.111388e-03,5.234638e-03,5.258679e-03,5.352827e-03,5.412303e-03,5.466011e-03,5.557268e-03,5.574259e-03,5.677651e-03,5.693748e-03,5.776276e-03,5.821952e-03,5.870234e-03,5.942110e-03,5.959629e-03,6.044570e-03,6.054469e-03,6.125170e-03,6.159289e-03,6.201546e-03,6.256839e-03,6.273815e-03,6.342097e-03,6.347391e-03,6.406511e-03,6.431221e-03,6.467178e-03,6.508605e-03,6.524217e-03,6.577746e-03,6.579816e-03,6.627882e-03,6.645124e-03,6.674743e-03,6.704794e-03,6.718441e-03,6.759088e-03,6.796796e-03,6.808260e-03,6.831672e-03,6.852556e-03,6.863822e-03,6.892217e-03,6.893349e-03,6.920354e-03,6.927477e-03,6.944935e-03,6.958560e-03,6.967188e-03,6.985685e-03,6.987206e-03,7.005080e-03,7.009061e-03,7.020899e-03,7.028891e-03,7.034746e-03,7.045369e-03,7.046707e-03,7.056861e-03,7.058682e-03,7.065287e-03,7.069011e-03,7.072061e-03,7.076527e-03,7.077255e-03,7.080941e-03,7.081396e-03,7.083188e-03,7.083775e-03,7.084062e-03,7.083817e-03,7.083628e-03,7.081947e-03,7.081665e-03,7.079080e-03,7.077457e-03,7.075084e-03,7.071327e-03,7.070015e-03,7.063928e-03,7.063399e-03,7.056874e-03,7.053793e-03,7.048904e-03,7.042625e-03,7.040065e-03,7.030405e-03,7.030002e-03,7.019968e-03,7.016029e-03,7.008798e-03,7.000804e-03,6.996935e-03,6.984421e-03,6.966970e-03,6.948534e-03,6.929194e-03,6.909026e-03,6.888102e-03,6.866491e-03,6.844258e-03,6.821463e-03,6.798165e-03,6.774418e-03,6.750275e-03,6.725783e-03,6.700990e-03,6.675937e-03,6.650667e-03,6.625218e-03,6.599625e-03,6.573923e-03,6.548144e-03,6.522317e-03,6.496471e-03,6.470632e-03,6.444823e-03,6.419069e-03
0.000000e+00,1.479756e-10,3.487974e-10,1.246151e-09,2.922151e-09,4.342320e-09,1.045831e-08,1.080416e-08,2.267213e-08,2.734191e-08,4.284151e-08,6.022757e-08,7.429588e-08,1.140972e-07,1.180171e-07,1.723006e-07,1.866158e-07,2.346719e-07,2.724063e-07,3.032674e-07,3.678426e-07,3.769212e-07,4.548977e-07,4.709636e-07,5.366741e-07,5.805526e-07,6.218114e-07,6.956154e-07,7.098873e-07,8.004648e-07,8.151590e-07,8.930850e-07,9.381280e-07,9.872679e-07,1.063408e-06,1.082520e-06,1.178347e-06,1.189861e-06,1.274260e-06,1.316368e-06,1.369792e-06,1.441870e-06,1.464504e-06,1.557988e-06,1.565403e-06,1.649880e-06,1.686117e-06,1.739855e-06,1.803291e-06,1.827632e-06,1.912974e-06,1.916334e-06,1.995683e-06,2.024783e-06,2.075603e-06,2.128291e-06,2.152611e-06,2.226620e-06,2.297571e-06,2.319623e-06,2.365429e-06,2.407231e-06,2.430186e-06,2.489442e-06,2.491850e-06,2.550446e-06,2.566308e-06,2.606014e-06,2.637922e-06,2.658605e-06,2.704410e-06,2.708278e-06,2.755101e-06,2.765923e-06,2.799148e-06,2.822631e-06,2.840496e-06,2.874715e-06,2.879227e-06,2.915422e-06,2.922364e-06,2.949167e-06,2.965774e-06,2.980547e-06,3.005140e-06,3.009646e-06,3.036549e-06,3.040656e-06,3.061340e-06,3.072514e-06,3.084102e-06,3.100904e-06,3.104915e-06,3.123859e-06,3.126010e-06,3.141011e-06,3.148010e-06,3.156447e-06,3.167077e-06,3.170242e-06,3.182465e-06,3.183377e-06,3.193187e-06,3.197070e-06,3.202475e-06,3.208311e-06,3.210394e-06,3.217007e-06,3.217245e-06,3.222375e-06,3.224014e-06,3.226557e-06,3.228752e-06,3.229609e-06,3.231587e-06,3.232542e-06,3.232641e-06,3.232526e-06,3.232029e-06,3.231588e-06,3.229863e-06,3.229774e-06,3.227130e-06,3.226247e-06,3.223699e-06,3.221280e-06,3.219522e-06,3.215056e-06,3.214641e-06,3.209093e-06,3.207666e-06,3.202915e-06,3.199193e-06,3.196142e-06,3.189718e-06,3.188810e-06,3.180949e-06,3.179317e-06,3.172592e-06,3.168060e-06,3.163769e-06,3.156017e-06,3.154507e-06,3.144834e-06,3.143250e-06,3.134777e-06,3.129820e-06,3.124361e-06,3.115785e-06,3.113609e-06,3.102544e-06,3.101197e-06,3.091190e-06,3.086107e-06,3.079565e-06,3.070563e-06,3.067691e-06,3.055587e-06,3.054609e-06,3.043271e-06,3.038289e-06,3.030760e-06,3.021640e-06,3.018070e-06,3.005219e-06,3.004702e-06,2.992220e-06,2.987507e-06,2.979089e-06,2.970090e-06,2.965838e-06,2.952482e-06,2.934710e-06,2.916802e-06,2.898783e-06,2.880677e-06,2.862505e-06,2.844290e-06,2.826049e-06,2.807801e-06,2.789562e-06,2.771348e-06,2.753173e-06,2.735050e-06,2.716992e-06,2.699011e-06,2.681116e-06,2.663318e-06,2.645626e-06,2.628047e-06,2.610590e-06,2.593262e-06,2.576067e-06,2.559014e-06,2.542105e-06,2.525347e-06
0.000000e+00,1.319372e-10,5.028050e-10,3.616849e-09,1.318193e-08,2.371750e-08,8.330100e-08,8.713213e-08,2.343621e-07,2.976894e-07,5.200799e-07,7.863008e-07,1.013742e-06,1.721121e-06,1.796313e-06,2.947516e-06,3.286016e-06,4.528409e-06,5.614788e-06,6.571752e-06,8.757397e-06,9.083123e-06,1.204729e-05,1.269206e-05,1.543494e-05,1.735145e-05,1.920790e-05,2.264317e-05,2.332258e-05,2.773212e-05,2.846177e-05,3.238784e-05,3.469553e-05,3.724033e-05,4.123086e-05,4.224032e-05,4.733958e-05,4.795593e-05,5.249175e-05,5.476410e-05,5.765313e-05,6.155692e-05,6.278328e-05,6.784559e-05,6.824664e-05,7.280761e-05,7.475791e-05,7.764129e-05,8.102861e-05,8.232296e-05,8.683328e-05,8.700990e-05,9.115703e-05,9.266560e-05,9.528280e-05,9.797105e-05,9.920264e-05,1.029117e-04,1.064079e-04,1.074817e-04,1.096914e-04,1.116821e-04,1.127643e-04,1.155195e-04,1.156303e-04,1.182944e-04,1.190050e-04,1.207627e-04,1.221525e-04,1.230419e-04,1.249782e-04,1.251395e-04,1.270630e-04,1.274997e-04,1.288206e-04,1.297352e-04,1.304201e-04,1.317033e-04,1.318696e-04,1.331771e-04,1.334222e-04,1.343503e-04,1.349099e-04,1.353969e-04,1.361836e-04,1.363243e-04,1.371395e-04,1.372599e-04,1.378493e-04,1.381545e-04,1.384603e-04,1.388822e-04,1.389788e-04,1.394107e-04,1.394570e-04,1.397616e-04,1.398918e-04,1.400370e-04,1.401989e-04,1.402419e-04,1.403810e-04,1.403895e-04,1.404591e-04,1.404742e-04,1.404803e-04,1.404627e-04,1.404487e-04,1.403682e-04,1.403640e-04,1.402424e-04,1.401866e-04,1.400745e-04,1.399381e-04,1.398679e-04,1.396255e-04,1.393502e-04,1.392555e-04,1.390445e-04,1.388341e-04,1.387110e-04,1.383668e-04,1.383520e-04,1.379697e-04,1.378587e-04,1.375661e-04,1.373145e-04,1.371432e-04,1.367386e-04,1.367027e-04,1.362465e-04,1.361348e-04,1.357759e-04,1.355068e-04,1.352926e-04,1.348579e-04,1.347979e-04,1.342931e-04,1.341911e-04,1.337795e-04,1.335092e-04,1.332580e-04,1.328148e-04,1.327299e-04,1.321960e-04,1.321101e-04,1.316573e-04,1.313973e-04,1.311147e-04,1.306783e-04,1.305690e-04,1.300208e-04,1.299549e-04,1.294710e-04,1.292287e-04,1.289201e-04,1.285010e-04,1.283687e-04,1.278174e-04,1.277733e-04,1.272667e-04,1.270467e-04,1.267171e-04,1.263223e-04,1.261690e-04,1.256229e-04,1.256011e-04,1.250791e-04,1.248839e-04,1.245379e-04,1.241716e-04,1.239997e-04,1.234648e-04,1.227641e-04,1.220702e-04,1.213836e-04,1.207046e-04,1.200337e-04,1.193711e-04,1.187173e-04,1.180724e-04,1.174367e-04,1.168103e-04,1.161934e-04,1.155861e-04,1.149885e-04,1.144006e-04,1.138226e-04,1.132544e-04,1.126961e-04,1.121476e-04,1.116090e-04,1.110801e-04,1.105609e-04,1.100515e-04,1.095516e-04,1.090613e-04
0.000000e+00,3.951231e-11,9.151875e-11,3.202982e-10,7.418527e-10,1.095808e-09,2.598828e-09,2.683019e-09,5.537397e-09,6.647470e-09,1.030905e-08,1.441832e-08,1.777336e-08,2.749257e-08,2.846864e-08,4.226116e-08,4.596225e-08,5.848757e-08,6.836968e-08,7.644960e-08,9.328603e-08,9.564196e-08,1.157368e-07,1.198436e-07,1.365164e-07,1.475382e-07,1.578215e-07,1.760274e-07,1.795207e-07,2.014946e-07,2.050282e-07,2.236280e-07,2.342755e-07,2.458081e-07,2.635113e-07,2.679241e-07,2.898683e-07,2.924852e-07,3.115398e-07,3.209647e-07,3.328460e-07,3.487421e-07,3.537025e-07,3.740351e-07,3.756371e-07,3.937803e-07,4.015016e-07,4.128850e-07,4.262195e-07,4.313067e-07,4.490137e-07,4.497067e-07,4.659812e-07,4.719051e-07,4.821932e-07,4.927817e-07,4.976420e-07,5.123256e-07,5.262482e-07,5.305440e-07,5.394184e-07,5.474581e-07,5.518487e-07,5.630998e-07,5.635543e-07,5.745534e-07,5.775092e-07,5.848659e-07,5.907328e-07,5.945134e-07,6.028209e-07,6.035182e-07,6.119037e-07,6.138266e-07,6.196932e-07,6.238040e-07,6.269106e-07,6.328073e-07,6.335794e-07,6.397228e-07,6.408905e-07,6.453640e-07,6.481064e-07,6.505253e-07,6.545062e-07,6.552289e-07,6.594960e-07,6.601396e-07,6.633473e-07,6.650542e-07,6.668030e-07,6.692957e-07,6.698823e-07,6.726039e-07,6.729073e-07,6.749858e-07,6.759306e-07,6.770451e-07,6.784046e-07,6.787984e-07,6.802615e-07,6.803665e-07,6.814498e-07,6.818514e-07,6.823776e-07,6.828923e-07,6.830590e-07,6.835072e-07,6.835205e-07,6.837350e-07,6.837654e-07,6.837545e-07,6.836547e-07,6.835773e-07,6.832144e-07,6.826765e-07,6.824690e-07,6.819735e-07,6.814414e-07,6.811151e-07,6.801533e-07,6.801104e-07,6.789681e-07,6.786247e-07,6.776965e-07,6.768748e-07,6.763035e-07,6.749212e-07,6.747967e-07,6.731831e-07,6.727807e-07,6.714696e-07,6.704688e-07,6.696627e-07,6.680002e-07,6.677685e-07,6.657929e-07,6.653886e-07,6.637415e-07,6.626466e-07,6.616196e-07,6.597863e-07,6.594321e-07,6.571839e-07,6.568189e-07,6.548796e-07,6.537548e-07,6.525233e-07,6.506038e-07,6.501193e-07,6.476715e-07,6.473750e-07,6.451834e-07,6.440769e-07,6.426587e-07,6.407174e-07,6.401006e-07,6.375123e-07,6.373040e-07,6.348968e-07,6.338437e-07,6.322570e-07,6.303427e-07,6.295954e-07,6.269147e-07,6.268071e-07,6.242173e-07,6.232426e-07,6.215055e-07,6.196543e-07,6.187814e-07,6.160470e-07,6.124253e-07,6.087932e-07,6.051548e-07,6.015136e-07,5.978729e-07,5.942359e-07,5.906053e-07,5.869838e-07,5.833740e-07,5.797779e-07,5.761977e-07,5.726354e-07,5.690926e-07,5.655709e-07,5.620720e-07,5.585970e-07,5.551472e-07,5.517237e-07,5.483276e-07,5.449597e-07,5.416209e-07,5.383119e-07,5.350333e-07,5.317858e-07
0.000000e+00,2.126178e-10,7.262234e-10,4.233877e-09,1.297796e-08,2.137822e-08,6.096785e-08,6.326848e-08,1.418755e-07,1.721119e-07,2.693550e-07,3.744843e-07,4.581587e-07,6.961515e-07,7.200116e-07,1.062626e-06,1.157064e-06,1.486194e-06,1.756410e-06,1.983967e-06,2.475560e-06,2.546069e-06,3.162408e-06,3.291345e-06,3.823597e-06,4.182214e-06,4.520880e-06,5.128393e-06,5.245935e-06,5.990803e-06,6.111309e-06,6.747938e-06,7.113637e-06,7.510328e-06,8.119725e-06,8.271611e-06,9.026155e-06,9.116009e-06,9.769106e-06,1.009125e-05,1.049639e-05,1.103658e-05,1.120469e-05,1.189137e-05,1.194531e-05,1.255444e-05,1.281272e-05,1.319246e-05,1.363575e-05,1.380444e-05,1.438982e-05,1.441267e-05,1.494835e-05,1.514284e-05,1.548005e-05,1.582640e-05,1.598517e-05,1.646412e-05,1.691744e-05,1.705719e-05,1.734577e-05,1.760712e-05,1.774983e-05,1.811559e-05,1.813037e-05,1.848821e-05,1.858444e-05,1.882415e-05,1.901556e-05,1.913904e-05,1.941085e-05,1.943369e-05,1.970894e-05,1.977221e-05,1.996560e-05,2.010151e-05,2.020447e-05,2.040058e-05,2.042633e-05,2.063194e-05,2.067118e-05,2.082205e-05,2.091502e-05,2.099738e-05,2.113373e-05,2.115861e-05,2.130642e-05,2.132887e-05,2.144146e-05,2.150192e-05,2.156434e-05,2.165430e-05,2.167567e-05,2.177602e-05,2.178735e-05,2.186595e-05,2.190235e-05,2.194598e-05,2.200050e-05,2.201662e-05,2.207836e-05,2.208293e-05,2.213167e-05,2.215072e-05,2.217698e-05,2.220490e-05,2.221473e-05,2.224532e-05,2.224640e-05,2.226914e-05,2.227614e-05,2.228657e-05,2.229495e-05,2.229796e-05,2.230365e-05,2.230395e-05,2.230297e-05,2.229919e-05,2.229362e-05,2.228965e-05,2.227626e-05,2.227561e-05,2.225735e-05,2.225151e-05,2.223511e-05,2.221996e-05,2.220913e-05,2.218214e-05,2.217966e-05,2.214690e-05,2.213857e-05,2.211107e-05,2.208973e-05,2.207236e-05,2.203607e-05,2.203097e-05,2.198707e-05,2.197801e-05,2.194084e-05,2.191594e-05,2.189244e-05,2.185022e-05,2.184202e-05,2.178973e-05,2.178120e-05,2.173571e-05,2.170921e-05,2.168010e-05,2.163454e-05,2.162301e-05,2.156456e-05,2.155747e-05,2.150488e-05,2.147826e-05,2.144407e-05,2.139716e-05,2.138223e-05,2.131945e-05,2.131439e-05,2.125583e-05,2.123017e-05,2.119146e-05,2.114469e-05,2.112642e-05,2.106078e-05,2.105814e-05,2.099463e-05,2.097070e-05,2.092802e-05,2.088250e-05,2.086103e-05,2.079372e-05,2.070448e-05,2.061490e-05,2.052512e-05,2.043524e-05,2.034535e-05,2.025556e-05,2.016595e-05,2.007660e-05,1.998758e-05,1.989897e-05,1.981081e-05,1.972318e-05,1.963612e-05,1.954969e-05,1.946392e-05,1.937885e-05,1.929452e-05,1.921097e-05,1.912822e-05,1.904630e-05,1.896523e-05,1.888503e-05,1.880572e-05,1.872733e-05
0.000000e+00,2.941766e-08,1.156231e-07,8.862102e-07,3.418723e-06,6.342286e-06,2.404274e-05,2.522417e-05,7.277988e-05,9.411664e-05,1.715751e-04,2.677990e-04,3.521358e-04,6.238180e-04,6.534312e-04,1.123007e-03,1.266751e-03,1.816149e-03,2.324439e-03,2.793476e-03,3.938192e-03,4.117406e-03,5.848717e-03,6.248937e-03,8.043956e-03,9.385899e-03,1.075375e-02,1.345975e-02,1.402171e-02,1.788377e-02,1.855881e-02,2.236777e-02,2.474704e-02,2.749317e-02,3.206295e-02,3.327094e-02,3.970368e-02,4.051943e-02,4.678568e-02,5.010421e-02,5.450332e-02,6.078111e-02,6.283547e-02,7.175408e-02,7.249191e-02,8.122478e-02,8.515889e-02,9.120771e-02,9.868771e-02,1.016583e-01,1.125280e-01,1.129708e-01,1.237654e-01,1.278906e-01,1.353168e-01,1.433232e-01,1.471274e-01,1.591416e-01,1.713042e-01,1.752187e-01,1.835608e-01,1.914297e-01,1.958583e-01,2.076552e-01,2.081459e-01,2.203748e-01,2.237821e-01,2.324993e-01,2.397059e-01,2.444764e-01,2.553310e-01,2.562665e-01,2.678332e-01,2.705723e-01,2.791437e-01,2.853545e-01,2.901685e-01,2.996134e-01,3.008817e-01,3.112606e-01,3.132946e-01,3.212859e-01,3.263539e-01,3.309414e-01,3.387565e-01,3.402139e-01,3.490931e-01,3.504767e-01,3.575712e-01,3.614966e-01,3.656430e-01,3.718059e-01,3.733056e-01,3.805583e-01,3.814011e-01,3.874021e-01,3.902845e-01,3.938399e-01,3.984636e-01,3.998760e-01,4.055162e-01,4.059505e-01,4.107676e-01,4.127610e-01,4.156381e-01,4.189140e-01,4.201366e-01,4.242730e-01,4.244311e-01,4.280576e-01,4.293360e-01,4.315012e-01,4.336539e-01,4.346152e-01,4.374112e-01,4.399011e-01,4.406352e-01,4.420969e-01,4.433534e-01,4.440107e-01,4.455938e-01,4.456545e-01,4.470404e-01,4.473839e-01,4.481804e-01,4.487513e-01,4.490862e-01,4.497227e-01,4.497695e-01,4.502416e-01,4.503247e-01,4.505137e-01,4.505827e-01,4.505966e-01,4.505215e-01,4.505009e-01,4.502370e-01,4.501649e-01,4.498147e-01,4.495358e-01,4.492438e-01,4.486560e-01,4.485334e-01,4.476925e-01,4.475464e-01,4.467298e-01,4.462269e-01,4.456535e-01,4.447161e-01,4.444716e-01,4.431917e-01,4.430319e-01,4.418210e-01,4.411909e-01,4.403665e-01,4.392091e-01,4.388348e-01,4.372322e-01,4.371011e-01,4.355647e-01,4.348808e-01,4.338380e-01,4.325612e-01,4.320576e-01,4.302285e-01,4.301544e-01,4.283557e-01,4.276717e-01,4.264437e-01,4.251235e-01,4.244970e-01,4.225196e-01,4.198691e-01,4.171802e-01,4.144608e-01,4.117178e-01,4.089579e-01,4.061870e-01,4.034106e-01,4.006338e-01,3.978611e-01,3.950967e-01,3.923444e-01,3.896076e-01,3.868894e-01,3.841926e-01,3.815197e-01,3.788728e-01,3.762541e-01,3.736652e-01,3.711077e-01,3.685828e-01,3.660918e-01,3.636357e-01,3.612153e-01,3.588313e-01
0.000000e+00,1.906865e-10,5.689815e-10,2.666467e-09,7.069118e-09,1.092614e-08,2.745656e-08,2.837306e-08,5.843300e-08,6.961218e-08,1.048943e-07,1.424453e-07,1.721498e-07,2.565733e-07,2.650625e-07,3.879556e-07,4.221856e-07,5.425099e-07,6.420626e-07,7.260411e-07,9.066487e-07,9.323759e-07,1.154519e-06,1.200294e-06,1.386509e-06,1.509482e-06,1.623817e-06,1.824771e-06,1.863067e-06,2.101658e-06,2.139627e-06,2.337504e-06,2.449215e-06,2.568870e-06,2.749746e-06,2.794293e-06,3.012543e-06,3.038201e-06,3.222607e-06,3.312225e-06,3.423675e-06,3.570087e-06,3.615135e-06,3.796560e-06,3.810631e-06,3.967687e-06,4.033226e-06,4.128411e-06,4.237699e-06,4.278754e-06,4.418846e-06,4.424240e-06,4.548914e-06,4.593340e-06,4.669255e-06,4.745707e-06,4.780218e-06,4.882200e-06,4.975622e-06,5.003780e-06,5.060921e-06,5.111456e-06,5.138544e-06,5.206255e-06,5.208937e-06,5.272538e-06,5.289188e-06,5.329776e-06,5.361238e-06,5.381066e-06,5.423340e-06,5.426804e-06,5.467372e-06,5.476379e-06,5.503131e-06,5.521185e-06,5.534424e-06,5.558522e-06,5.561570e-06,5.584868e-06,5.589090e-06,5.604596e-06,5.613533e-06,5.621020e-06,5.632442e-06,5.634384e-06,5.644917e-06,5.646354e-06,5.652831e-06,5.655758e-06,5.658323e-06,5.661097e-06,5.661577e-06,5.662765e-06,5.662776e-06,5.662043e-06,5.661160e-06,5.659560e-06,5.656580e-06,5.655453e-06,5.649847e-06,5.649337e-06,5.642861e-06,5.639704e-06,5.634603e-06,5.627928e-06,5.625176e-06,5.614673e-06,5.614232e-06,5.603183e-06,5.598820e-06,5.590785e-06,5.581875e-06,5.577556e-06,5.563565e-06,5.548879e-06,5.544042e-06,5.533557e-06,5.523444e-06,5.517656e-06,5.501895e-06,5.501228e-06,5.484323e-06,5.479510e-06,5.466986e-06,5.456393e-06,5.449258e-06,5.432638e-06,5.431180e-06,5.412788e-06,5.408331e-06,5.394117e-06,5.383551e-06,5.375198e-06,5.358368e-06,5.356061e-06,5.336734e-06,5.332848e-06,5.317242e-06,5.307050e-06,5.297610e-06,5.281028e-06,5.277861e-06,5.258015e-06,5.254832e-06,5.238092e-06,5.228507e-06,5.218110e-06,5.202094e-06,5.198086e-06,5.178037e-06,5.175630e-06,5.157977e-06,5.149150e-06,5.137919e-06,5.122685e-06,5.117878e-06,5.097864e-06,5.096264e-06,5.077889e-06,5.069912e-06,5.057963e-06,5.043653e-06,5.038097e-06,5.018299e-06,5.017508e-06,4.998577e-06,4.991498e-06,4.978940e-06,4.965639e-06,4.959395e-06,4.939948e-06,4.914440e-06,4.889128e-06,4.864022e-06,4.839136e-06,4.814477e-06,4.790054e-06,4.765876e-06,4.741948e-06,4.718277e-06,4.694869e-06,4.671727e-06,4.648855e-06,4.626258e-06,4.603937e-06,4.581895e-06,4.560134e-06,4.538655e-06,4.517460e-06,4.496548e-06,4.475921e-06,4.455578e-06,4.435519e-06,4.415743e-06,4.396249e-06
0.000000e+00,1.759808e-10,6.339993e-10,4.079158e-09,1.351955e-08,2.315939e-08,7.245885e-08,7.546317e-08,1.842913e-07,2.287328e-07,3.791265e-07,5.521644e-07,6.961116e-07,1.127660e-06,1.172297e-06,1.829158e-06,2.013249e-06,2.656145e-06,3.179388e-06,3.613371e-06,4.522972e-06,4.649933e-06,5.720013e-06,5.934825e-06,6.789364e-06,7.337119e-06,7.834936e-06,8.683847e-06,8.841939e-06,9.800953e-06,9.949500e-06,1.070587e-05,1.111977e-05,1.155267e-05,1.218654e-05,1.233885e-05,1.306306e-05,1.314578e-05,1.372505e-05,1.399675e-05,1.432548e-05,1.474157e-05,1.486592e-05,1.534867e-05,1.538488e-05,1.577660e-05,1.593314e-05,1.615300e-05,1.639410e-05,1.648145e-05,1.676565e-05,1.677615e-05,1.700935e-05,1.708788e-05,1.721621e-05,1.733762e-05,1.738973e-05,1.753320e-05,1.764972e-05,1.768178e-05,1.774213e-05,1.778984e-05,1.781305e-05,1.786311e-05,1.786484e-05,1.789962e-05,1.790657e-05,1.791929e-05,1.792457e-05,1.792557e-05,1.792083e-05,1.791998e-05,1.790385e-05,1.789855e-05,1.787838e-05,1.786043e-05,1.784461e-05,1.780878e-05,1.780349e-05,1.775584e-05,1.774560e-05,1.770240e-05,1.767254e-05,1.764382e-05,1.759106e-05,1.758067e-05,1.751348e-05,1.750238e-05,1.744269e-05,1.740757e-05,1.736874e-05,1.730753e-05,1.729197e-05,1.721273e-05,1.720307e-05,1.713131e-05,1.709486e-05,1.704798e-05,1.698352e-05,1.696298e-05,1.687654e-05,1.686957e-05,1.678885e-05,1.675347e-05,1.670009e-05,1.663562e-05,1.661044e-05,1.652004e-05,1.651641e-05,1.642902e-05,1.639613e-05,1.633753e-05,1.627509e-05,1.624566e-05,1.615353e-05,1.606123e-05,1.603168e-05,1.596886e-05,1.590974e-05,1.587650e-05,1.578790e-05,1.578421e-05,1.569208e-05,1.566632e-05,1.560016e-05,1.554514e-05,1.550852e-05,1.542449e-05,1.541720e-05,1.532626e-05,1.530450e-05,1.523574e-05,1.518525e-05,1.514569e-05,1.506686e-05,1.505614e-05,1.496713e-05,1.494940e-05,1.487869e-05,1.483294e-05,1.479086e-05,1.471756e-05,1.470364e-05,1.461709e-05,1.460330e-05,1.453120e-05,1.449022e-05,1.444601e-05,1.437837e-05,1.436153e-05,1.427778e-05,1.426778e-05,1.419478e-05,1.415849e-05,1.411253e-05,1.405053e-05,1.403105e-05,1.395035e-05,1.394393e-05,1.387043e-05,1.383869e-05,1.379132e-05,1.373485e-05,1.371300e-05,1.363549e-05,1.363241e-05,1.355879e-05,1.353138e-05,1.348291e-05,1.343178e-05,1.340785e-05,1.333361e-05,1.323687e-05,1.314156e-05,1.304768e-05,1.295523e-05,1.286420e-05,1.277459e-05,1.268639e-05,1.259960e-05,1.251419e-05,1.243017e-05,1.234751e-05,1.226622e-05,1.218626e-05,1.210764e-05,1.203033e-05,1.195433e-05,1.187961e-05,1.180616e-05,1.173396e-05,1.166300e-05,1.159327e-05,1.152473e-05,1.145739e-05,1.139121e-05
0.000000e+00,1.170549e-10,2.872902e-10,1.066834e-09,2.528965e-09,3.758007e-09,8.916309e-09,9.201828e-09,1.868833e-08,2.229212e-08,3.394053e-08,4.672518e-08,5.703777e-08,8.671027e-08,8.969048e-08,1.320548e-07,1.435229e-07,1.826678e-07,2.139007e-07,2.396495e-07,2.938583e-07,3.014991e-07,3.671638e-07,3.806841e-07,4.358809e-07,4.726138e-07,5.070396e-07,5.683045e-07,5.801011e-07,6.545583e-07,6.665681e-07,7.299222e-07,7.662794e-07,8.057202e-07,8.663679e-07,8.815023e-07,9.568459e-07,9.658388e-07,1.031363e-06,1.063798e-06,1.104707e-06,1.159475e-06,1.176573e-06,1.246701e-06,1.252230e-06,1.314875e-06,1.341557e-06,1.380919e-06,1.427075e-06,1.444699e-06,1.506113e-06,1.508519e-06,1.565092e-06,1.585719e-06,1.621594e-06,1.658592e-06,1.675604e-06,1.727120e-06,1.776162e-06,1.791338e-06,1.822763e-06,1.851326e-06,1.866966e-06,1.907194e-06,1.908824e-06,1.948396e-06,1.959076e-06,1.985749e-06,2.007123e-06,2.020950e-06,2.051495e-06,2.054070e-06,2.085181e-06,2.092357e-06,2.114358e-06,2.129879e-06,2.141672e-06,2.164227e-06,2.167198e-06,2.191007e-06,2.195569e-06,2.213169e-06,2.224066e-06,2.233754e-06,2.249876e-06,2.252829e-06,2.270460e-06,2.273152e-06,2.286712e-06,2.294040e-06,2.301645e-06,2.312683e-06,2.315320e-06,2.327795e-06,2.329214e-06,2.339125e-06,2.343761e-06,2.349364e-06,2.356448e-06,2.358564e-06,2.366776e-06,2.367391e-06,2.374046e-06,2.376701e-06,2.380421e-06,2.384481e-06,2.385945e-06,2.390660e-06,2.390833e-06,2.394608e-06,2.395848e-06,2.397826e-06,2.399618e-06,2.400353e-06,2.402225e-06,2.403474e-06,2.403748e-06,2.404135e-06,2.404264e-06,2.404239e-06,2.403842e-06,2.403815e-06,2.402892e-06,2.402549e-06,2.401499e-06,2.400447e-06,2.399660e-06,2.397597e-06,2.397401e-06,2.394746e-06,2.394053e-06,2.391718e-06,2.389868e-06,2.388339e-06,2.385091e-06,2.384629e-06,2.380609e-06,2.379769e-06,2.376296e-06,2.373945e-06,2.371711e-06,2.367660e-06,2.366869e-06,2.361787e-06,2.360953e-06,2.356481e-06,2.353859e-06,2.350966e-06,2.346413e-06,2.345256e-06,2.339365e-06,2.338647e-06,2.333306e-06,2.330589e-06,2.327090e-06,2.322269e-06,2.320730e-06,2.314238e-06,2.313713e-06,2.307622e-06,2.304944e-06,2.300895e-06,2.295987e-06,2.294065e-06,2.287141e-06,2.286862e-06,2.280132e-06,2.277590e-06,2.273048e-06,2.268190e-06,2.265894e-06,2.258679e-06,2.249075e-06,2.239391e-06,2.229643e-06,2.219844e-06,2.210007e-06,2.200143e-06,2.190262e-06,2.180376e-06,2.170494e-06,2.160623e-06,2.150773e-06,2.140951e-06,2.131164e-06,2.121417e-06,2.111718e-06,2.102071e-06,2.092482e-06,2.082955e-06,2.073494e-06,2.064104e-06,2.054787e-06,2.045548e-06,2.036389e-06,2.027312e-06
0.000000e+00,2.168446e-10,5.257459e-10,1.925481e-09,4.527961e-09,6.701774e-09,1.572151e-08,1.621637e-08,3.243178e-08,3.848872e-08,5.775374e-08,7.848366e-08,9.500427e-08,1.422249e-07,1.469765e-07,2.153610e-07,2.342062e-07,2.996004e-07,3.527605e-07,3.970551e-07,4.911267e-07,5.044362e-07,6.189145e-07,6.424635e-07,7.383604e-07,8.018924e-07,8.611853e-07,9.660540e-07,9.861473e-07,1.112222e-06,1.132437e-06,1.238534e-06,1.299020e-06,1.364321e-06,1.464124e-06,1.488919e-06,1.611758e-06,1.626356e-06,1.732352e-06,1.784595e-06,1.850296e-06,1.937958e-06,1.965263e-06,2.076992e-06,2.085784e-06,2.185282e-06,2.227601e-06,2.289985e-06,2.363090e-06,2.390998e-06,2.488255e-06,2.492067e-06,2.581726e-06,2.614447e-06,2.671405e-06,2.730228e-06,2.757308e-06,2.839471e-06,2.917943e-06,2.942284e-06,2.992785e-06,3.038812e-06,3.064069e-06,3.129225e-06,3.131871e-06,3.196274e-06,3.213710e-06,3.257364e-06,3.292464e-06,3.315229e-06,3.365694e-06,3.369960e-06,3.421649e-06,3.433612e-06,3.470388e-06,3.496428e-06,3.516270e-06,3.554354e-06,3.559384e-06,3.599824e-06,3.607599e-06,3.637679e-06,3.656371e-06,3.673038e-06,3.700874e-06,3.705988e-06,3.736616e-06,3.741307e-06,3.765006e-06,3.777863e-06,3.791241e-06,3.810732e-06,3.815402e-06,3.837567e-06,3.840096e-06,3.857813e-06,3.866133e-06,3.876216e-06,3.889015e-06,3.892849e-06,3.907783e-06,3.908906e-06,3.921086e-06,3.925967e-06,3.932827e-06,3.940350e-06,3.943071e-06,3.951880e-06,3.952203e-06,3.959316e-06,3.961668e-06,3.965438e-06,3.968881e-06,3.970305e-06,3.973972e-06,3.976493e-06,3.977066e-06,3.977920e-06,3.978282e-06,3.978303e-06,3.977735e-06,3.977692e-06,3.976133e-06,3.975533e-06,3.973673e-06,3.971781e-06,3.970353e-06,3.966578e-06,3.966218e-06,3.961308e-06,3.960019e-06,3.955663e-06,3.952194e-06,3.949319e-06,3.943189e-06,3.942315e-06,3.934684e-06,3.933086e-06,3.926461e-06,3.921962e-06,3.917679e-06,3.909893e-06,3.908369e-06,3.898561e-06,3.896947e-06,3.888284e-06,3.883192e-06,3.877566e-06,3.868692e-06,3.866434e-06,3.854913e-06,3.853506e-06,3.843029e-06,3.837691e-06,3.830805e-06,3.821302e-06,3.818264e-06,3.805428e-06,3.804389e-06,3.792317e-06,3.787000e-06,3.778952e-06,3.769183e-06,3.765352e-06,3.751535e-06,3.750979e-06,3.737520e-06,3.732429e-06,3.723323e-06,3.713573e-06,3.708960e-06,3.694446e-06,3.675084e-06,3.655517e-06,3.635777e-06,3.615892e-06,3.595890e-06,3.575795e-06,3.555631e-06,3.535420e-06,3.515184e-06,3.494942e-06,3.474711e-06,3.454510e-06,3.434353e-06,3.414257e-06,3.394234e-06,3.374297e-06,3.354458e-06,3.334729e-06,3.315119e-06,3.295638e-06,3.276295e-06,3.257097e-06,3.238051e-06,3.219165e-06
0.000000e+00,1.337362e-10,5.139855e-10,3.762318e-09,1.393158e-08,2.528658e-08,9.086674e-08,9.513540e-08,2.619307e-07,3.348595e-07,5.945610e-07,9.102435e-07,1.182343e-06,2.034220e-06,2.124931e-06,3.511973e-06,3.918794e-06,5.408224e-06,6.707365e-06,7.850604e-06,1.046213e-05,1.085168e-05,1.440443e-05,1.517944e-05,1.848634e-05,2.080687e-05,2.306242e-05,2.725545e-05,2.808753e-05,3.350829e-05,3.440841e-05,3.926489e-05,4.212855e-05,4.529290e-05,5.026562e-05,5.152514e-05,5.789361e-05,5.866377e-05,6.433127e-05,6.716905e-05,7.077376e-05,7.563602e-05,7.716082e-05,8.343745e-05,8.393331e-05,8.955480e-05,9.194745e-05,9.547066e-05,9.958523e-05,1.011497e-04,1.065637e-04,1.067744e-04,1.116907e-04,1.134631e-04,1.165154e-04,1.196183e-04,1.210281e-04,1.252240e-04,1.291032e-04,1.302782e-04,1.326693e-04,1.347903e-04,1.359291e-04,1.387790e-04,1.388920e-04,1.415694e-04,1.422696e-04,1.439741e-04,1.452919e-04,1.461201e-04,1.478784e-04,1.480219e-04,1.496944e-04,1.500633e-04,1.511524e-04,1.518807e-04,1.524107e-04,1.533642e-04,1.534836e-04,1.543852e-04,1.545461e-04,1.551286e-04,1.554569e-04,1.557266e-04,1.561253e-04,1.561912e-04,1.565336e-04,1.565777e-04,1.567643e-04,1.568383e-04,1.568933e-04,1.569293e-04,1.569296e-04,1.568817e-04,1.568707e-04,1.567574e-04,1.566804e-04,1.565640e-04,1.563748e-04,1.563079e-04,1.559954e-04,1.559682e-04,1.556320e-04,1.554736e-04,1.552229e-04,1.549025e-04,1.547726e-04,1.542855e-04,1.542653e-04,1.537654e-04,1.535709e-04,1.532161e-04,1.528274e-04,1.526406e-04,1.520421e-04,1.514231e-04,1.512212e-04,1.507863e-04,1.503704e-04,1.501338e-04,1.494946e-04,1.494678e-04,1.487900e-04,1.485984e-04,1.481024e-04,1.476856e-04,1.474063e-04,1.467598e-04,1.467033e-04,1.459947e-04,1.458239e-04,1.452817e-04,1.448809e-04,1.445653e-04,1.439330e-04,1.438467e-04,1.431267e-04,1.429826e-04,1.424061e-04,1.420315e-04,1.416858e-04,1.410814e-04,1.409664e-04,1.402485e-04,1.401338e-04,1.395328e-04,1.391902e-04,1.388198e-04,1.382516e-04,1.381099e-04,1.374037e-04,1.373192e-04,1.367015e-04,1.363939e-04,1.360036e-04,1.354764e-04,1.353105e-04,1.346225e-04,1.345676e-04,1.339397e-04,1.336681e-04,1.332625e-04,1.327784e-04,1.325910e-04,1.319256e-04,1.318991e-04,1.312662e-04,1.310304e-04,1.306133e-04,1.301729e-04,1.299667e-04,1.293268e-04,1.284923e-04,1.276698e-04,1.268593e-04,1.260609e-04,1.252750e-04,1.245014e-04,1.237402e-04,1.229915e-04,1.222553e-04,1.215315e-04,1.208202e-04,1.201212e-04,1.194346e-04,1.187602e-04,1.180980e-04,1.174478e-04,1.168096e-04,1.161832e-04,1.155685e-04,1.149654e-04,1.143737e-04,1.137933e-04,1.132241e-04,1.126658e-04
0.000000e+00,1.023647e-10,3.620489e-10,2.250091e-09,7.246423e-09,1.222608e-08,3.676131e-08,3.822134e-08,8.934368e-08,1.094527e-07,1.751672e-07,2.475017e-07,3.058152e-07,4.748289e-07,4.920304e-07,7.446595e-07,8.162668e-07,1.072869e-06,1.291601e-06,1.481043e-06,1.904298e-06,1.966343e-06,2.519485e-06,2.637178e-06,3.128080e-06,3.462300e-06,3.779740e-06,4.352386e-06,4.463560e-06,5.170345e-06,5.285025e-06,5.892316e-06,6.242260e-06,6.622792e-06,7.209353e-06,7.355943e-06,8.086666e-06,8.173972e-06,8.810518e-06,9.125830e-06,9.523679e-06,1.005653e-05,1.022293e-05,1.090559e-05,1.095942e-05,1.156953e-05,1.182948e-05,1.221308e-05,1.266308e-05,1.283496e-05,1.343431e-05,1.345780e-05,1.401053e-05,1.421224e-05,1.456332e-05,1.492578e-05,1.509259e-05,1.559842e-05,1.608105e-05,1.623065e-05,1.654084e-05,1.682331e-05,1.697822e-05,1.737750e-05,1.739370e-05,1.778786e-05,1.789448e-05,1.816129e-05,1.837566e-05,1.851462e-05,1.882248e-05,1.884849e-05,1.916357e-05,1.923646e-05,1.946050e-05,1.961910e-05,1.973994e-05,1.997190e-05,2.000254e-05,2.024895e-05,2.029635e-05,2.047980e-05,2.059389e-05,2.069569e-05,2.086593e-05,2.089724e-05,2.108504e-05,2.111385e-05,2.125965e-05,2.133894e-05,2.142163e-05,2.154249e-05,2.157153e-05,2.170986e-05,2.172571e-05,2.183713e-05,2.188975e-05,2.195383e-05,2.203574e-05,2.206043e-05,2.215738e-05,2.216473e-05,2.224513e-05,2.227774e-05,2.232409e-05,2.237574e-05,2.239468e-05,2.245728e-05,2.245963e-05,2.251228e-05,2.253029e-05,2.256003e-05,2.258854e-05,2.260089e-05,2.263518e-05,2.266323e-05,2.267094e-05,2.268535e-05,2.269653e-05,2.270183e-05,2.271261e-05,2.271296e-05,2.271900e-05,2.271982e-05,2.272023e-05,2.271876e-05,2.271689e-05,2.270999e-05,2.270922e-05,2.269745e-05,2.269404e-05,2.268180e-05,2.267142e-05,2.266248e-05,2.264260e-05,2.263969e-05,2.261363e-05,2.260804e-05,2.258448e-05,2.256816e-05,2.255242e-05,2.252336e-05,2.251761e-05,2.248023e-05,2.247402e-05,2.244041e-05,2.242049e-05,2.239832e-05,2.236310e-05,2.235409e-05,2.230786e-05,2.230218e-05,2.225975e-05,2.223802e-05,2.220989e-05,2.217090e-05,2.215840e-05,2.210538e-05,2.210108e-05,2.205096e-05,2.202881e-05,2.199522e-05,2.195433e-05,2.193826e-05,2.188018e-05,2.187784e-05,2.182108e-05,2.179956e-05,2.176102e-05,2.171968e-05,2.170009e-05,2.163838e-05,2.155582e-05,2.147218e-05,2.138759e-05,2.130220e-05,2.121613e-05,2.112952e-05,2.104246e-05,2.095508e-05,2.086747e-05,2.077972e-05,2.069192e-05,2.060415e-05,2.051649e-05,2.042900e-05,2.034176e-05,2.025481e-05,2.016823e-05,2.008205e-05,1.999634e-05,1.991112e-05,1.982644e-05,1.974235e-05,1.965886e-05,1.957603e-05
0.000000e+00,1.286498e-11,2.953633e-11,1.018258e-10,2.317455e-10,3.379678e-10,7.645949e-10,7.874671e-10,1.513146e-09,1.774164e-09,2.576059e-09,3.400826e-09,4.036609e-09,5.782639e-09,5.954211e-09,8.383528e-09,9.047699e-09,1.136522e-08,1.328285e-08,1.491333e-08,1.849003e-08,1.900915e-08,2.360865e-08,2.458419e-08,2.865644e-08,3.143950e-08,3.409564e-08,3.892699e-08,3.987160e-08,4.593217e-08,4.692490e-08,5.222727e-08,5.531796e-08,5.870850e-08,6.399601e-08,6.532910e-08,7.204420e-08,7.285431e-08,7.881126e-08,8.179486e-08,8.559048e-08,9.072809e-08,9.234512e-08,9.904181e-08,9.957412e-08,1.056507e-07,1.082637e-07,1.121456e-07,1.167384e-07,1.185038e-07,1.247060e-07,1.249506e-07,1.307364e-07,1.328627e-07,1.365819e-07,1.404460e-07,1.422324e-07,1.476801e-07,1.529196e-07,1.545517e-07,1.579474e-07,1.610533e-07,1.627618e-07,1.671824e-07,1.673623e-07,1.717500e-07,1.729406e-07,1.759268e-07,1.783328e-07,1.798956e-07,1.833664e-07,1.836601e-07,1.872244e-07,1.880506e-07,1.905933e-07,1.923964e-07,1.937718e-07,1.964157e-07,1.967653e-07,1.995793e-07,2.001210e-07,2.022195e-07,2.035257e-07,2.046918e-07,2.066430e-07,2.070019e-07,2.091558e-07,2.094863e-07,2.111593e-07,2.120692e-07,2.130181e-07,2.144048e-07,2.147379e-07,2.163244e-07,2.165061e-07,2.177831e-07,2.183859e-07,2.191194e-07,2.200563e-07,2.203385e-07,2.214456e-07,2.215295e-07,2.224457e-07,2.228169e-07,2.233437e-07,2.239296e-07,2.241442e-07,2.248519e-07,2.248784e-07,2.254712e-07,2.256734e-07,2.260064e-07,2.263244e-07,2.264616e-07,2.268409e-07,2.271480e-07,2.272317e-07,2.273868e-07,2.275054e-07,2.275607e-07,2.276700e-07,2.276734e-07,2.277281e-07,2.277334e-07,2.277279e-07,2.277028e-07,2.276761e-07,2.275852e-07,2.275754e-07,2.274289e-07,2.273872e-07,2.272391e-07,2.271150e-07,2.270088e-07,2.267745e-07,2.267403e-07,2.264362e-07,2.263713e-07,2.260987e-07,2.259107e-07,2.257300e-07,2.253977e-07,2.253322e-07,2.249073e-07,2.248370e-07,2.244573e-07,2.242329e-07,2.239840e-07,2.235897e-07,2.234890e-07,2.229743e-07,2.229112e-07,2.224412e-07,2.222012e-07,2.218913e-07,2.214631e-07,2.213261e-07,2.207470e-07,2.207001e-07,2.201552e-07,2.199153e-07,2.195521e-07,2.191115e-07,2.189388e-07,2.183164e-07,2.182914e-07,2.176861e-07,2.174574e-07,2.170488e-07,2.166119e-07,2.164054e-07,2.157570e-07,2.148948e-07,2.140270e-07,2.131555e-07,2.122819e-07,2.114076e-07,2.105340e-07,2.096624e-07,2.087939e-07,2.079297e-07,2.070706e-07,2.062177e-07,2.053718e-07,2.045335e-07,2.037036e-07,2.028826e-07,2.020712e-07,2.012699e-07,2.004790e-07,1.996989e-07,1.989301e-07,1.981727e-07,1.974271e-07,1.966935e-07,1.959721e-07
0.000000e+00,1.285798e-10,3.032441e-10,1.076673e-09,2.486637e-09,3.647545e-09,8.344615e-09,8.597465e-09,1.665306e-08,1.956261e-08,2.852987e-08,3.778899e-08,4.494715e-08,6.468429e-08,6.662952e-08,9.427744e-08,1.018704e-07,1.284816e-07,1.506407e-07,1.695811e-07,2.114341e-07,2.175411e-07,2.719632e-07,2.835705e-07,3.322265e-07,3.656419e-07,3.976385e-07,4.560657e-07,4.675203e-07,5.412321e-07,5.533407e-07,6.181709e-07,6.560785e-07,6.977638e-07,7.629808e-07,7.794639e-07,8.627487e-07,8.728255e-07,9.471217e-07,9.844691e-07,1.032116e-06,1.096858e-06,1.117296e-06,1.202263e-06,1.209040e-06,1.286654e-06,1.320176e-06,1.370146e-06,1.429540e-06,1.452451e-06,1.533323e-06,1.536525e-06,1.612548e-06,1.640630e-06,1.689947e-06,1.741459e-06,1.765373e-06,1.838706e-06,1.909855e-06,1.932149e-06,1.978749e-06,2.021634e-06,2.045339e-06,2.107068e-06,2.109593e-06,2.171496e-06,2.188407e-06,2.231045e-06,2.265648e-06,2.288250e-06,2.338823e-06,2.343129e-06,2.395709e-06,2.407990e-06,2.446025e-06,2.473228e-06,2.494117e-06,2.534632e-06,2.540028e-06,2.583806e-06,2.592310e-06,2.625502e-06,2.646379e-06,2.665170e-06,2.696962e-06,2.702863e-06,2.738637e-06,2.744187e-06,2.772550e-06,2.788183e-06,2.804657e-06,2.829081e-06,2.835016e-06,2.863684e-06,2.867013e-06,2.890716e-06,2.902106e-06,2.916169e-06,2.934491e-06,2.940097e-06,2.962556e-06,2.964290e-06,2.983597e-06,2.991629e-06,3.003274e-06,3.016625e-06,3.021638e-06,3.038738e-06,3.039396e-06,3.054624e-06,3.060055e-06,3.069343e-06,3.078709e-06,3.082942e-06,3.095466e-06,3.106959e-06,3.110427e-06,3.117465e-06,3.123689e-06,3.127024e-06,3.135347e-06,3.135676e-06,3.143462e-06,3.145492e-06,3.150420e-06,3.154211e-06,3.156584e-06,3.161587e-06,3.161993e-06,3.166679e-06,3.167700e-06,3.170677e-06,3.172627e-06,3.174018e-06,3.176440e-06,3.176734e-06,3.178854e-06,3.179210e-06,3.180409e-06,3.181003e-06,3.181425e-06,3.181883e-06,3.181930e-06,3.181950e-06,3.181910e-06,3.181510e-06,3.181143e-06,3.180635e-06,3.179637e-06,3.179347e-06,3.177670e-06,3.177443e-06,3.175624e-06,3.174612e-06,3.173231e-06,3.171192e-06,3.170510e-06,3.167481e-06,3.167226e-06,3.164162e-06,3.162758e-06,3.160572e-06,3.157828e-06,3.156726e-06,3.152642e-06,3.152474e-06,3.148335e-06,3.146733e-06,3.143820e-06,3.140639e-06,3.139112e-06,3.134224e-06,3.127520e-06,3.120554e-06,3.113355e-06,3.105948e-06,3.098358e-06,3.090606e-06,3.082716e-06,3.074706e-06,3.066597e-06,3.058405e-06,3.050147e-06,3.041839e-06,3.033496e-06,3.025130e-06,3.016756e-06,3.008383e-06,3.000025e-06,2.991690e-06,2.983388e-06,2.975128e-06,2.966918e-06,2.958765e-06,2.950677e-06,2.942659e-06
0.000000e+00,4.941562e-11,1.532146e-10,7.609441e-10,2.090390e-09,3.278470e-09,8.453504e-09,8.742091e-09,1.820661e-08,2.170969e-08,3.266261e-08,4.412855e-08,5.305993e-08,7.785982e-08,8.031287e-08,1.152563e-07,1.248636e-07,1.585140e-07,1.864721e-07,2.103033e-07,2.627158e-07,2.703347e-07,3.379288e-07,3.522811e-07,4.122329e-07,4.532311e-07,4.923710e-07,5.635727e-07,5.774930e-07,6.667773e-07,6.813952e-07,7.594225e-07,8.048552e-07,8.546452e-07,9.321660e-07,9.516832e-07,1.049804e-06,1.061618e-06,1.148316e-06,1.191617e-06,1.246576e-06,1.320722e-06,1.343998e-06,1.440060e-06,1.447672e-06,1.534305e-06,1.571404e-06,1.626343e-06,1.691058e-06,1.715848e-06,1.802559e-06,1.805966e-06,1.886269e-06,1.915639e-06,1.966826e-06,2.019749e-06,2.044125e-06,2.118102e-06,2.188729e-06,2.210621e-06,2.256007e-06,2.297320e-06,2.319965e-06,2.378287e-06,2.380653e-06,2.438135e-06,2.453667e-06,2.492492e-06,2.523643e-06,2.543814e-06,2.588432e-06,2.592197e-06,2.637744e-06,2.648265e-06,2.680561e-06,2.703387e-06,2.720757e-06,2.754047e-06,2.758440e-06,2.793719e-06,2.800496e-06,2.826701e-06,2.842978e-06,2.857490e-06,2.881734e-06,2.886190e-06,2.912900e-06,2.916996e-06,2.937718e-06,2.948985e-06,2.960736e-06,2.977915e-06,2.982045e-06,3.001730e-06,3.003988e-06,3.019875e-06,3.027391e-06,3.036558e-06,3.048307e-06,3.051855e-06,3.065839e-06,3.066903e-06,3.078577e-06,3.083338e-06,3.090136e-06,3.097764e-06,3.100579e-06,3.109965e-06,3.110319e-06,3.118350e-06,3.121134e-06,3.125789e-06,3.130333e-06,3.132333e-06,3.138030e-06,3.142927e-06,3.144332e-06,3.147068e-06,3.149341e-06,3.150494e-06,3.153148e-06,3.153246e-06,3.155360e-06,3.155843e-06,3.156873e-06,3.157506e-06,3.157818e-06,3.158213e-06,3.158227e-06,3.158132e-06,3.158037e-06,3.157561e-06,3.157043e-06,3.156541e-06,3.155294e-06,3.155099e-06,3.153260e-06,3.152846e-06,3.151046e-06,3.149755e-06,3.148482e-06,3.146071e-06,3.145586e-06,3.142381e-06,3.141840e-06,3.138884e-06,3.137107e-06,3.135114e-06,3.131913e-06,3.131088e-06,3.126822e-06,3.126295e-06,3.122333e-06,3.120290e-06,3.117634e-06,3.113931e-06,3.112740e-06,3.107663e-06,3.107250e-06,3.102417e-06,3.100274e-06,3.097014e-06,3.093032e-06,3.091464e-06,3.085779e-06,3.085549e-06,3.079968e-06,3.077848e-06,3.074042e-06,3.069951e-06,3.068010e-06,3.061880e-06,3.053653e-06,3.045289e-06,3.036803e-06,3.028213e-06,3.019532e-06,3.010774e-06,3.001952e-06,2.993077e-06,2.984162e-06,2.975216e-06,2.966249e-06,2.957269e-06,2.948286e-06,2.939306e-06,2.930338e-06,2.921388e-06,2.912461e-06,2.903565e-06,2.894704e-06,2.885883e-06,2.877107e-06,2.868380e-06,2.859706e-06,2.851089e-06
0.000000e+00,5.204532e-11,2.012341e-10,1.490442e-09,5.571161e-09,1.015674e-08,3.679263e-08,3.852888e-08,1.062146e-07,1.356535e-07,2.396520e-07,3.646327e-07,4.715183e-07,8.043183e-07,8.397544e-07,1.385354e-06,1.547235e-06,2.148580e-06,2.684646e-06,3.165224e-06,4.292813e-06,4.464426e-06,6.067960e-06,6.426585e-06,7.990278e-06,9.118604e-06,1.023882e-05,1.238047e-05,1.281438e-05,1.571155e-05,1.620427e-05,1.891912e-05,2.056435e-05,2.242062e-05,2.541938e-05,2.619490e-05,3.021679e-05,3.071473e-05,3.445785e-05,3.638545e-05,3.888716e-05,4.235932e-05,4.347213e-05,4.817929e-05,4.856014e-05,5.297507e-05,5.491076e-05,5.782645e-05,6.133595e-05,6.270161e-05,6.757042e-05,6.776464e-05,7.240484e-05,7.413179e-05,7.717921e-05,8.037963e-05,8.187050e-05,8.645835e-05,9.092515e-05,9.232645e-05,9.525598e-05,9.795057e-05,9.943853e-05,1.033051e-04,1.034630e-04,1.073217e-04,1.083717e-04,1.110093e-04,1.131382e-04,1.145222e-04,1.175982e-04,1.178586e-04,1.210182e-04,1.217502e-04,1.240018e-04,1.255965e-04,1.268116e-04,1.291427e-04,1.294504e-04,1.319222e-04,1.323968e-04,1.342311e-04,1.353691e-04,1.363822e-04,1.380710e-04,1.383807e-04,1.402320e-04,1.405149e-04,1.419419e-04,1.427141e-04,1.435162e-04,1.446819e-04,1.449607e-04,1.462813e-04,1.464317e-04,1.474838e-04,1.479769e-04,1.485739e-04,1.493306e-04,1.495572e-04,1.504391e-04,1.505054e-04,1.512250e-04,1.515136e-04,1.519199e-04,1.523666e-04,1.525287e-04,1.530563e-04,1.530758e-04,1.535072e-04,1.536516e-04,1.538857e-04,1.541039e-04,1.541960e-04,1.544421e-04,1.546278e-04,1.546751e-04,1.547567e-04,1.548110e-04,1.548323e-04,1.548576e-04,1.548577e-04,1.548362e-04,1.548222e-04,1.547707e-04,1.547114e-04,1.546639e-04,1.545315e-04,1.545185e-04,1.543370e-04,1.542884e-04,1.541219e-04,1.539875e-04,1.538752e-04,1.536339e-04,1.535993e-04,1.532960e-04,1.532322e-04,1.529673e-04,1.527869e-04,1.526149e-04,1.523020e-04,1.522407e-04,1.518461e-04,1.517812e-04,1.514327e-04,1.512281e-04,1.510020e-04,1.506458e-04,1.505552e-04,1.500937e-04,1.500374e-04,1.496187e-04,1.494056e-04,1.491312e-04,1.487531e-04,1.486324e-04,1.481233e-04,1.480822e-04,1.476049e-04,1.473951e-04,1.470779e-04,1.466938e-04,1.465434e-04,1.460020e-04,1.459802e-04,1.454546e-04,1.452561e-04,1.449018e-04,1.445231e-04,1.443443e-04,1.437827e-04,1.430362e-04,1.422850e-04,1.415301e-04,1.407727e-04,1.400138e-04,1.392542e-04,1.384949e-04,1.377366e-04,1.369799e-04,1.362256e-04,1.354743e-04,1.347265e-04,1.339826e-04,1.332432e-04,1.325087e-04,1.317794e-04,1.310556e-04,1.303378e-04,1.296261e-04,1.289208e-04,1.282222e-04,1.275304e-04,1.268455e-04,1.261679e-04
0.000000e+00,3.667507e-10,1.081235e-09,4.979638e-09,1.306657e-08,2.011095e-08,5.014502e-08,5.180631e-08,1.062127e-07,1.264292e-07,1.902215e-07,2.580675e-07,3.116247e-07,4.625236e-07,4.775387e-07,6.904507e-07,7.481612e-07,9.458192e-07,1.104207e-06,1.235099e-06,1.511069e-06,1.549971e-06,1.883843e-06,1.952427e-06,2.231574e-06,2.416428e-06,2.588882e-06,2.893620e-06,2.951950e-06,3.317233e-06,3.375658e-06,3.681397e-06,3.854873e-06,4.041326e-06,4.324297e-06,4.394173e-06,4.737392e-06,4.777822e-06,5.068775e-06,5.210349e-06,5.386494e-06,5.617916e-06,5.689098e-06,5.975493e-06,5.997680e-06,6.244934e-06,6.347856e-06,6.496987e-06,6.667600e-06,6.731494e-06,6.948533e-06,6.956854e-06,7.148381e-06,7.216198e-06,7.331475e-06,7.446692e-06,7.498377e-06,7.649744e-06,7.786297e-06,7.826990e-06,7.908802e-06,7.980197e-06,8.018048e-06,8.111189e-06,8.114831e-06,8.199942e-06,8.221787e-06,8.274154e-06,8.313764e-06,8.338221e-06,8.388823e-06,8.392864e-06,8.438776e-06,8.448569e-06,8.476611e-06,8.494503e-06,8.506989e-06,8.528018e-06,8.530494e-06,8.547673e-06,8.550395e-06,8.559036e-06,8.562807e-06,8.565062e-06,8.566325e-06,8.566195e-06,8.562846e-06,8.561921e-06,8.555400e-06,8.550476e-06,8.544211e-06,8.532787e-06,8.529608e-06,8.511896e-06,8.509575e-06,8.491355e-06,8.481488e-06,8.468245e-06,8.449112e-06,8.442807e-06,8.415262e-06,8.412974e-06,8.385815e-06,8.373547e-06,8.354655e-06,8.331257e-06,8.321956e-06,8.287878e-06,8.286488e-06,8.252570e-06,8.239585e-06,8.216170e-06,8.190857e-06,8.178802e-06,8.140583e-06,8.101620e-06,8.089011e-06,8.062013e-06,8.036368e-06,8.021852e-06,7.982854e-06,7.981221e-06,7.940197e-06,7.928650e-06,7.898853e-06,7.873919e-06,7.857253e-06,7.818807e-06,7.815458e-06,7.773523e-06,7.763444e-06,7.731500e-06,7.707946e-06,7.689436e-06,7.652420e-06,7.647374e-06,7.605354e-06,7.596958e-06,7.563412e-06,7.541645e-06,7.521583e-06,7.486555e-06,7.479896e-06,7.438379e-06,7.431754e-06,7.397060e-06,7.377303e-06,7.355960e-06,7.323253e-06,7.315101e-06,7.274503e-06,7.269650e-06,7.234184e-06,7.216536e-06,7.194160e-06,7.163947e-06,7.154445e-06,7.115052e-06,7.111915e-06,7.075993e-06,7.060466e-06,7.037280e-06,7.009625e-06,6.998920e-06,6.960924e-06,6.959412e-06,6.923298e-06,6.909845e-06,6.886049e-06,6.860938e-06,6.849183e-06,6.812704e-06,6.765152e-06,6.718291e-06,6.672126e-06,6.626662e-06,6.581902e-06,6.537847e-06,6.494498e-06,6.451853e-06,6.409911e-06,6.368668e-06,6.328122e-06,6.288268e-06,6.249101e-06,6.210615e-06,6.172804e-06,6.135661e-06,6.099180e-06,6.063354e-06,6.028173e-06,5.993631e-06,5.959719e-06,5.926429e-06,5.893751e-06,5.861678e-06
0.000000e+00,2.591572e-11,5.962643e-11,2.092752e-10,4.926846e-10,7.379016e-10,1.839188e-09,1.903290e-09,4.182854e-09,5.110377e-09,8.259003e-09,1.186299e-08,1.480490e-08,2.314074e-08,2.395820e-08,3.513755e-08,3.803345e-08,4.757909e-08,5.488450e-08,6.073887e-08,7.265749e-08,7.429884e-08,8.807199e-08,9.084073e-08,1.019356e-07,1.091490e-07,1.157971e-07,1.273818e-07,1.295785e-07,1.432109e-07,1.453740e-07,1.566323e-07,1.629835e-07,1.697887e-07,1.800914e-07,1.826334e-07,1.951273e-07,1.966014e-07,2.072389e-07,2.124403e-07,2.189437e-07,2.275560e-07,2.302237e-07,2.410667e-07,2.419150e-07,2.514652e-07,2.554994e-07,2.614163e-07,2.683042e-07,2.709204e-07,2.799806e-07,2.803339e-07,2.886027e-07,2.916008e-07,2.967941e-07,3.021227e-07,3.045636e-07,3.119210e-07,3.188772e-07,3.210202e-07,3.254434e-07,3.294464e-07,3.316312e-07,3.372267e-07,3.374526e-07,3.429197e-07,3.443886e-07,3.480444e-07,3.509599e-07,3.528388e-07,3.569681e-07,3.573147e-07,3.614840e-07,3.624403e-07,3.653581e-07,3.674030e-07,3.689485e-07,3.718821e-07,3.722662e-07,3.753221e-07,3.759028e-07,3.781268e-07,3.794894e-07,3.806905e-07,3.826652e-07,3.830234e-07,3.851351e-07,3.854531e-07,3.870351e-07,3.878746e-07,3.887326e-07,3.899508e-07,3.902366e-07,3.915555e-07,3.917017e-07,3.926977e-07,3.931464e-07,3.936714e-07,3.943034e-07,3.944842e-07,3.951437e-07,3.951901e-07,3.956572e-07,3.958233e-07,3.960316e-07,3.962189e-07,3.962738e-07,3.963902e-07,3.963923e-07,3.963870e-07,3.963578e-07,3.962705e-07,3.961294e-07,3.960463e-07,3.957201e-07,3.952972e-07,3.951423e-07,3.947828e-07,3.944079e-07,3.941819e-07,3.935282e-07,3.934994e-07,3.927397e-07,3.925137e-07,3.919072e-07,3.913747e-07,3.910064e-07,3.901206e-07,3.900411e-07,3.890152e-07,3.887605e-07,3.879327e-07,3.873029e-07,3.867969e-07,3.857561e-07,3.856113e-07,3.843793e-07,3.841276e-07,3.831039e-07,3.824246e-07,3.817883e-07,3.806541e-07,3.804352e-07,3.790474e-07,3.788223e-07,3.776276e-07,3.769354e-07,3.761783e-07,3.749992e-07,3.747018e-07,3.732006e-07,3.730189e-07,3.716768e-07,3.709997e-07,3.701324e-07,3.689463e-07,3.685696e-07,3.669901e-07,3.668631e-07,3.653959e-07,3.647545e-07,3.637886e-07,3.626242e-07,3.621700e-07,3.605415e-07,3.604761e-07,3.589046e-07,3.583136e-07,3.572609e-07,3.561399e-07,3.556116e-07,3.539580e-07,3.517707e-07,3.495808e-07,3.473906e-07,3.452025e-07,3.430185e-07,3.408407e-07,3.386709e-07,3.365107e-07,3.343618e-07,3.322256e-07,3.301034e-07,3.279965e-07,3.259059e-07,3.238327e-07,3.217778e-07,3.197421e-07,3.177264e-07,3.157313e-07,3.137574e-07,3.118054e-07,3.098757e-07,3.079687e-07,3.060849e-07,3.042245e-07
0.000000e+00,9.038699e-11,2.095898e-10,7.318227e-10,1.682950e-09,2.470727e-09,5.721271e-09,5.899376e-09,1.174565e-08,1.393721e-08,2.093042e-08,2.845518e-08,3.441120e-08,5.102328e-08,5.265422e-08,7.533206e-08,8.135885e-08,1.017662e-07,1.179834e-07,1.313681e-07,1.596978e-07,1.637127e-07,1.984766e-07,2.056945e-07,2.353770e-07,2.553183e-07,2.741381e-07,3.079267e-07,3.144742e-07,3.560869e-07,3.628429e-07,3.986675e-07,4.193582e-07,4.419034e-07,4.767555e-07,4.854849e-07,5.291119e-07,5.343366e-07,5.725019e-07,5.914503e-07,6.153940e-07,6.475130e-07,6.575526e-07,6.987705e-07,7.020218e-07,7.388691e-07,7.545605e-07,7.776984e-07,8.047999e-07,8.151363e-07,8.510865e-07,8.524925e-07,8.854766e-07,8.974646e-07,9.182554e-07,9.396078e-07,9.493914e-07,9.788704e-07,1.006692e-06,1.015247e-06,1.032869e-06,1.048768e-06,1.057421e-06,1.079490e-06,1.080378e-06,1.101774e-06,1.107490e-06,1.121648e-06,1.132861e-06,1.140046e-06,1.155711e-06,1.157017e-06,1.172612e-06,1.176155e-06,1.186882e-06,1.194314e-06,1.199881e-06,1.210312e-06,1.211663e-06,1.222284e-06,1.224274e-06,1.231801e-06,1.236335e-06,1.240275e-06,1.246622e-06,1.247754e-06,1.254288e-06,1.255249e-06,1.259925e-06,1.262325e-06,1.264710e-06,1.267957e-06,1.268690e-06,1.271908e-06,1.272245e-06,1.274405e-06,1.275286e-06,1.276222e-06,1.277172e-06,1.277397e-06,1.277969e-06,1.277990e-06,1.277973e-06,1.277823e-06,1.277443e-06,1.276750e-06,1.276413e-06,1.274912e-06,1.274843e-06,1.272972e-06,1.272172e-06,1.270622e-06,1.268803e-06,1.267888e-06,1.264796e-06,1.261373e-06,1.260211e-06,1.257640e-06,1.255100e-06,1.253621e-06,1.249514e-06,1.249338e-06,1.244809e-06,1.243500e-06,1.240056e-06,1.237104e-06,1.235096e-06,1.230365e-06,1.229947e-06,1.224624e-06,1.223323e-06,1.219145e-06,1.216013e-06,1.213523e-06,1.208469e-06,1.207773e-06,1.201908e-06,1.200722e-06,1.195940e-06,1.192800e-06,1.189881e-06,1.184730e-06,1.183743e-06,1.177536e-06,1.176537e-06,1.171270e-06,1.168244e-06,1.164954e-06,1.159871e-06,1.158597e-06,1.152208e-06,1.151439e-06,1.145793e-06,1.142965e-06,1.139361e-06,1.134466e-06,1.132919e-06,1.126472e-06,1.125956e-06,1.120026e-06,1.117450e-06,1.113588e-06,1.108961e-06,1.107163e-06,1.100755e-06,1.100499e-06,1.094369e-06,1.092076e-06,1.088009e-06,1.083702e-06,1.081680e-06,1.075384e-06,1.067131e-06,1.058950e-06,1.050847e-06,1.042828e-06,1.034898e-06,1.027061e-06,1.019321e-06,1.011683e-06,1.004148e-06,9.967187e-07,9.893983e-07,9.821879e-07,9.750892e-07,9.681032e-07,9.612306e-07,9.544722e-07,9.478282e-07,9.412988e-07,9.348837e-07,9.285828e-07,9.223957e-07,9.163216e-07,9.103599e-07,9.045097e-07
0.000000e+00,2.357538e-12,5.377789e-12,1.833011e-11,4.132454e-11,5.996345e-11,1.339468e-10,1.378835e-10,2.617248e-10,3.058704e-10,4.405324e-10,5.778413e-10,6.830282e-10,9.695253e-10,9.975122e-10,1.390962e-09,1.497645e-09,1.866918e-09,2.168856e-09,2.422903e-09,2.971325e-09,3.049904e-09,3.735025e-09,3.877827e-09,4.464860e-09,4.857948e-09,5.227264e-09,5.885083e-09,6.011673e-09,6.808855e-09,6.937030e-09,7.610620e-09,7.994914e-09,8.409646e-09,9.042481e-09,9.199404e-09,9.974138e-09,1.006585e-08,1.072887e-08,1.105352e-08,1.145942e-08,1.199633e-08,1.216236e-08,1.283503e-08,1.288747e-08,1.347545e-08,1.372227e-08,1.408230e-08,1.449802e-08,1.465485e-08,1.519284e-08,1.521365e-08,1.569647e-08,1.586945e-08,1.616625e-08,1.646679e-08,1.660303e-08,1.700782e-08,1.738185e-08,1.749526e-08,1.772645e-08,1.793219e-08,1.804302e-08,1.832191e-08,1.833302e-08,1.859792e-08,1.866780e-08,1.883919e-08,1.897322e-08,1.905828e-08,1.924146e-08,1.925659e-08,1.943548e-08,1.947568e-08,1.959627e-08,1.967886e-08,1.974017e-08,1.985379e-08,1.986838e-08,1.998201e-08,2.000308e-08,2.008210e-08,2.012912e-08,2.016963e-08,2.023414e-08,2.024554e-08,2.031067e-08,2.032015e-08,2.036583e-08,2.038899e-08,2.041177e-08,2.044236e-08,2.044919e-08,2.047873e-08,2.048178e-08,2.050100e-08,2.050865e-08,2.051656e-08,2.052422e-08,2.052593e-08,2.052958e-08,2.052964e-08,2.052796e-08,2.052594e-08,2.052150e-08,2.051406e-08,2.051057e-08,2.049554e-08,2.049486e-08,2.047673e-08,2.046909e-08,2.045444e-08,2.043746e-08,2.042898e-08,2.040059e-08,2.036954e-08,2.035907e-08,2.033603e-08,2.031341e-08,2.030030e-08,2.026407e-08,2.026252e-08,2.022289e-08,2.021149e-08,2.018158e-08,2.015605e-08,2.013874e-08,2.009811e-08,2.009453e-08,2.004907e-08,2.003799e-08,2.000249e-08,1.997597e-08,1.995492e-08,1.991232e-08,1.990646e-08,1.985722e-08,1.984729e-08,1.980729e-08,1.978109e-08,1.975676e-08,1.971391e-08,1.970571e-08,1.965423e-08,1.964595e-08,1.960237e-08,1.957737e-08,1.955022e-08,1.950832e-08,1.949782e-08,1.944524e-08,1.943892e-08,1.939254e-08,1.936932e-08,1.933976e-08,1.929962e-08,1.928695e-08,1.923415e-08,1.922993e-08,1.918140e-08,1.916033e-08,1.912875e-08,1.909092e-08,1.907623e-08,1.902386e-08,1.902177e-08,1.897168e-08,1.895295e-08,1.891973e-08,1.888453e-08,1.886801e-08,1.881656e-08,1.874910e-08,1.868219e-08,1.861587e-08,1.855019e-08,1.848517e-08,1.842085e-08,1.835724e-08,1.829439e-08,1.823230e-08,1.817099e-08,1.811049e-08,1.805080e-08,1.799194e-08,1.793391e-08,1.787672e-08,1.782038e-08,1.776489e-08,1.771026e-08,1.765649e-08,1.760357e-08,1.755151e-08,1.750031e-08,1.744997e-08,1.740047e-08
0.000000e+00,6.875774e-11,2.641858e-10,1.930780e-09,7.127414e-09,1.290310e-08,4.587898e-08,4.800690e-08,1.298216e-07,1.649182e-07,2.873903e-07,4.323526e-07,5.549373e-07,9.309257e-07,9.705679e-07,1.574408e-06,1.751731e-06,2.405152e-06,2.981892e-06,3.494970e-06,4.685224e-06,4.864748e-06,6.521794e-06,6.887369e-06,8.460202e-06,9.574054e-06,1.066283e-05,1.269849e-05,1.310379e-05,1.575099e-05,1.619130e-05,1.856820e-05,1.996960e-05,2.151696e-05,2.394434e-05,2.455808e-05,2.765288e-05,2.802608e-05,3.076425e-05,3.212946e-05,3.385749e-05,3.617663e-05,3.690096e-05,3.986657e-05,4.009970e-05,4.273007e-05,4.384222e-05,4.547123e-05,4.735985e-05,4.807383e-05,5.052553e-05,5.062033e-05,5.281769e-05,5.360269e-05,5.494500e-05,5.629616e-05,5.690522e-05,5.869869e-05,6.032803e-05,6.081543e-05,6.179767e-05,6.265711e-05,6.311353e-05,6.423861e-05,6.428265e-05,6.531287e-05,6.557757e-05,6.621256e-05,6.669332e-05,6.699039e-05,6.760589e-05,6.765512e-05,6.821542e-05,6.833531e-05,6.867979e-05,6.890100e-05,6.905641e-05,6.932146e-05,6.935309e-05,6.957719e-05,6.961392e-05,6.973563e-05,6.979423e-05,6.983486e-05,6.987680e-05,6.988081e-05,6.987896e-05,6.987457e-05,6.983434e-05,6.979909e-05,6.975152e-05,6.966060e-05,6.963470e-05,6.948763e-05,6.946811e-05,6.931374e-05,6.922954e-05,6.911612e-05,6.895178e-05,6.889755e-05,6.866054e-05,6.864085e-05,6.840734e-05,6.830199e-05,6.813998e-05,6.793975e-05,6.786028e-05,6.756988e-05,6.755807e-05,6.727025e-05,6.716037e-05,6.696269e-05,6.674964e-05,6.664841e-05,6.632846e-05,6.600380e-05,6.589906e-05,6.567530e-05,6.546340e-05,6.534373e-05,6.502318e-05,6.500978e-05,6.467410e-05,6.457987e-05,6.433724e-05,6.413478e-05,6.399972e-05,6.368903e-05,6.366201e-05,6.332453e-05,6.324361e-05,6.298764e-05,6.279938e-05,6.265170e-05,6.235709e-05,6.231700e-05,6.198384e-05,6.191741e-05,6.165245e-05,6.148090e-05,6.132306e-05,6.104807e-05,6.099588e-05,6.067110e-05,6.061937e-05,6.034887e-05,6.019516e-05,6.002935e-05,5.977577e-05,5.971267e-05,5.939895e-05,5.936150e-05,5.908829e-05,5.895259e-05,5.878078e-05,5.854924e-05,5.847652e-05,5.817557e-05,5.815163e-05,5.787799e-05,5.775991e-05,5.758383e-05,5.737420e-05,5.729316e-05,5.700600e-05,5.699458e-05,5.672238e-05,5.662115e-05,5.644234e-05,5.625396e-05,5.616589e-05,5.589305e-05,5.553844e-05,5.519015e-05,5.484818e-05,5.451251e-05,5.418313e-05,5.386000e-05,5.354308e-05,5.323233e-05,5.292769e-05,5.262911e-05,5.233652e-05,5.204987e-05,5.176907e-05,5.149405e-05,5.122473e-05,5.096104e-05,5.070290e-05,5.045021e-05,5.020289e-05,4.996086e-05,4.972403e-05,4.949231e-05,4.926562e-05,4.904385e-05
0.000000e+00,2.163014e-10,5.010817e-10,1.758480e-09,4.092968e-09,6.068426e-09,1.457965e-08,1.506123e-08,3.157355e-08,3.804661e-08,5.932909e-08,8.270888e-08,1.012105e-07,1.517938e-07,1.566596e-07,2.225551e-07,2.395748e-07,2.959476e-07,3.395565e-07,3.748705e-07,4.478640e-07,4.580340e-07,5.444833e-07,5.620952e-07,6.334149e-07,6.803958e-07,7.240984e-07,8.011268e-07,8.158528e-07,9.080463e-07,9.227988e-07,1.000105e-06,1.044091e-06,1.091514e-06,1.163875e-06,1.181832e-06,1.270680e-06,1.281227e-06,1.357741e-06,1.395415e-06,1.442762e-06,1.505886e-06,1.525539e-06,1.605919e-06,1.612242e-06,1.683787e-06,1.714212e-06,1.759062e-06,1.811626e-06,1.831694e-06,1.901654e-06,1.904397e-06,1.968934e-06,1.992499e-06,2.033540e-06,2.075956e-06,2.095494e-06,2.154827e-06,2.211575e-06,2.229196e-06,2.265784e-06,2.299168e-06,2.317504e-06,2.364861e-06,2.366786e-06,2.413688e-06,2.426401e-06,2.458267e-06,2.483925e-06,2.500584e-06,2.537570e-06,2.540700e-06,2.578676e-06,2.587479e-06,2.614575e-06,2.633793e-06,2.648457e-06,2.676656e-06,2.680386e-06,2.710423e-06,2.716209e-06,2.738628e-06,2.752591e-06,2.765063e-06,2.785942e-06,2.789785e-06,2.812854e-06,2.816396e-06,2.834328e-06,2.844085e-06,2.854262e-06,2.869139e-06,2.872713e-06,2.889734e-06,2.891683e-06,2.905379e-06,2.911840e-06,2.919699e-06,2.929728e-06,2.932745e-06,2.944567e-06,2.945461e-06,2.955213e-06,2.959152e-06,2.964728e-06,2.970906e-06,2.973161e-06,2.980553e-06,2.980828e-06,2.986950e-06,2.989017e-06,2.992392e-06,2.995569e-06,2.996921e-06,3.000575e-06,3.003394e-06,3.004126e-06,3.005414e-06,3.006305e-06,3.006672e-06,3.007194e-06,3.007202e-06,3.007037e-06,3.006872e-06,3.006212e-06,3.005412e-06,3.004756e-06,3.002887e-06,3.002702e-06,3.000077e-06,2.999366e-06,2.996911e-06,2.994912e-06,2.993232e-06,2.989590e-06,2.989065e-06,2.984436e-06,2.983457e-06,2.979371e-06,2.976572e-06,2.973893e-06,2.968988e-06,2.968024e-06,2.961788e-06,2.960757e-06,2.955205e-06,2.951928e-06,2.948296e-06,2.942547e-06,2.941080e-06,2.933577e-06,2.932659e-06,2.925805e-06,2.922305e-06,2.917782e-06,2.911526e-06,2.909524e-06,2.901048e-06,2.900360e-06,2.892368e-06,2.888843e-06,2.883501e-06,2.877008e-06,2.874460e-06,2.865260e-06,2.864889e-06,2.855913e-06,2.852514e-06,2.846432e-06,2.839914e-06,2.836829e-06,2.827115e-06,2.814144e-06,2.801024e-06,2.787778e-06,2.774428e-06,2.760994e-06,2.747495e-06,2.733949e-06,2.720373e-06,2.706783e-06,2.693192e-06,2.679616e-06,2.666067e-06,2.652556e-06,2.639095e-06,2.625695e-06,2.612365e-06,2.599114e-06,2.585950e-06,2.572881e-06,2.559914e-06,2.547056e-06,2.534312e-06,2.521687e-06,2.509188e-06
0.000000e+00,1.818008e-09,7.118244e-09,5.412171e-08,2.072261e-07,3.828309e-07,1.435231e-06,1.505062e-06,4.292890e-06,5.533584e-06,1.000453e-05,1.550771e-05,2.029746e-05,3.557564e-05,3.722975e-05,6.324122e-05,7.113592e-05,1.010856e-04,1.285364e-04,1.536895e-04,2.145023e-04,2.239596e-04,3.146004e-04,3.353885e-04,4.279804e-04,4.965905e-04,5.660517e-04,7.022200e-04,7.303084e-04,9.217711e-04,9.549729e-04,1.140987e-03,1.256111e-03,1.388042e-03,1.605507e-03,1.662584e-03,1.963849e-03,2.001747e-03,2.290701e-03,2.442254e-03,2.641670e-03,2.923464e-03,3.014999e-03,3.408693e-03,3.441003e-03,3.820569e-03,3.989895e-03,4.248308e-03,4.564752e-03,4.689501e-03,5.141695e-03,5.159977e-03,5.602441e-03,5.769935e-03,6.069323e-03,6.389109e-03,6.539999e-03,7.012227e-03,7.483884e-03,7.634366e-03,7.952989e-03,8.251026e-03,8.417713e-03,8.858178e-03,8.876389e-03,9.327516e-03,9.452293e-03,9.769760e-03,1.003035e-02,1.020195e-02,1.058982e-02,1.062308e-02,1.103230e-02,1.112866e-02,1.142891e-02,1.164528e-02,1.181232e-02,1.213848e-02,1.218212e-02,1.253798e-02,1.260746e-02,1.287968e-02,1.305173e-02,1.320712e-02,1.347112e-02,1.352027e-02,1.381918e-02,1.386569e-02,1.410397e-02,1.423571e-02,1.437482e-02,1.458163e-02,1.463197e-02,1.487569e-02,1.490405e-02,1.510629e-02,1.520368e-02,1.532410e-02,1.548132e-02,1.552951e-02,1.572288e-02,1.573784e-02,1.590461e-02,1.597414e-02,1.607512e-02,1.619116e-02,1.623481e-02,1.638410e-02,1.638986e-02,1.652339e-02,1.657117e-02,1.665311e-02,1.673606e-02,1.677366e-02,1.688543e-02,1.698883e-02,1.702021e-02,1.708422e-02,1.714125e-02,1.717199e-02,1.724942e-02,1.725250e-02,1.732609e-02,1.734550e-02,1.739311e-02,1.743029e-02,1.745387e-02,1.750452e-02,1.750870e-02,1.755789e-02,1.756889e-02,1.760174e-02,1.762406e-02,1.764052e-02,1.767066e-02,1.767449e-02,1.770391e-02,1.770927e-02,1.772903e-02,1.774046e-02,1.775006e-02,1.776474e-02,1.776724e-02,1.778077e-02,1.778261e-02,1.779085e-02,1.779452e-02,1.779768e-02,1.780091e-02,1.780142e-02,1.780226e-02,1.780218e-02,1.780036e-02,1.779869e-02,1.779587e-02,1.779082e-02,1.778894e-02,1.777970e-02,1.777887e-02,1.776830e-02,1.776316e-02,1.775486e-02,1.774398e-02,1.773949e-02,1.772231e-02,1.772159e-02,1.770343e-02,1.769623e-02,1.768294e-02,1.766815e-02,1.766095e-02,1.763755e-02,1.760464e-02,1.756961e-02,1.753263e-02,1.749387e-02,1.745347e-02,1.741159e-02,1.736834e-02,1.732387e-02,1.727828e-02,1.723168e-02,1.718417e-02,1.713585e-02,1.708680e-02,1.703711e-02,1.698686e-02,1.693611e-02,1.688493e-02,1.683339e-02,1.678155e-02,1.672945e-02,1.667716e-02,1.662471e-02,1.657216e-02,1.651955e-02
0.000000e+00,8.766356e-09,3.438650e-08,2.624500e-07,1.008449e-06,1.866669e-06,7.034083e-06,7.377876e-06,2.115275e-05,2.730459e-05,4.954117e-05,7.701268e-05,1.009874e-04,1.777451e-04,1.860765e-04,3.175237e-04,3.575656e-04,5.100429e-04,6.505691e-04,7.799623e-04,1.095164e-03,1.144468e-03,1.620519e-03,1.730522e-03,2.223698e-03,2.592112e-03,2.967289e-03,3.708116e-03,3.861692e-03,4.914172e-03,5.097556e-03,6.128824e-03,6.769880e-03,7.506699e-03,8.725413e-03,9.046019e-03,1.074245e-02,1.095628e-02,1.258938e-02,1.344758e-02,1.457829e-02,1.617860e-02,1.669899e-02,1.894003e-02,1.912414e-02,2.128894e-02,2.225577e-02,2.373255e-02,2.554296e-02,2.625726e-02,2.884930e-02,2.895419e-02,3.149493e-02,3.245786e-02,3.418065e-02,3.602314e-02,3.689336e-02,3.962052e-02,4.235023e-02,4.322243e-02,4.507132e-02,4.680348e-02,4.777344e-02,5.034080e-02,5.044709e-02,5.308361e-02,5.381411e-02,5.567524e-02,5.720575e-02,5.821506e-02,6.050071e-02,6.069700e-02,6.311583e-02,6.368644e-02,6.546705e-02,6.675280e-02,6.774696e-02,6.969184e-02,6.995249e-02,7.208125e-02,7.249762e-02,7.413143e-02,7.516604e-02,7.610178e-02,7.769460e-02,7.799153e-02,7.980035e-02,8.008225e-02,8.152833e-02,8.232917e-02,8.317592e-02,8.443659e-02,8.474385e-02,8.623317e-02,8.640667e-02,8.764514e-02,8.824228e-02,8.898124e-02,8.994693e-02,9.024310e-02,9.143253e-02,9.152461e-02,9.255143e-02,9.297969e-02,9.360181e-02,9.431681e-02,9.458574e-02,9.550536e-02,9.554084e-02,9.636284e-02,9.665674e-02,9.716037e-02,9.766958e-02,9.790016e-02,9.858440e-02,9.921529e-02,9.940626e-02,9.979498e-02,1.001401e-01,1.003256e-01,1.007908e-01,1.008093e-01,1.012481e-01,1.013632e-01,1.016440e-01,1.018618e-01,1.019991e-01,1.022912e-01,1.023151e-01,1.025940e-01,1.026556e-01,1.028376e-01,1.029592e-01,1.030476e-01,1.032059e-01,1.032257e-01,1.033735e-01,1.033996e-01,1.034927e-01,1.035439e-01,1.035848e-01,1.036421e-01,1.036511e-01,1.036931e-01,1.036977e-01,1.037122e-01,1.037136e-01,1.037096e-01,1.036928e-01,1.036866e-01,1.036444e-01,1.036381e-01,1.035841e-01,1.035521e-01,1.035068e-01,1.034373e-01,1.034135e-01,1.033053e-01,1.032960e-01,1.031830e-01,1.031304e-01,1.030477e-01,1.029426e-01,1.029001e-01,1.027410e-01,1.027344e-01,1.025714e-01,1.025078e-01,1.023918e-01,1.022644e-01,1.022030e-01,1.020058e-01,1.017334e-01,1.014488e-01,1.011532e-01,1.008478e-01,1.005337e-01,1.002120e-01,9.988376e-02,9.954981e-02,9.921102e-02,9.886820e-02,9.852209e-02,9.817335e-02,9.782264e-02,9.747054e-02,9.711758e-02,9.676429e-02,9.641110e-02,9.605847e-02,9.570677e-02,9.535637e-02,9.500761e-02,9.466078e-02,9.431617e-02,9.397403e-02
0.000000e+00,1.928678e-10,4.855739e-10,1.853960e-09,4.445053e-09,6.622848e-09,1.566819e-08,1.616341e-08,3.228746e-08,3.825789e-08,5.708412e-08,7.713040e-08,9.300747e-08,1.382683e-07,1.428334e-07,2.093174e-07,2.280001e-07,2.944126e-07,3.503736e-07,3.983790e-07,5.042769e-07,5.196660e-07,6.557734e-07,6.845460e-07,8.041882e-07,8.855085e-07,9.627963e-07,1.102647e-06,1.129892e-06,1.304065e-06,1.332506e-06,1.484093e-06,1.572257e-06,1.668867e-06,1.819405e-06,1.857352e-06,2.048574e-06,2.071660e-06,2.241608e-06,2.326892e-06,2.435588e-06,2.583149e-06,2.629710e-06,2.823232e-06,2.838667e-06,3.015484e-06,3.091892e-06,3.205866e-06,3.341483e-06,3.393849e-06,3.578970e-06,3.586310e-06,3.760833e-06,3.825440e-06,3.939102e-06,4.058129e-06,4.113501e-06,4.283804e-06,4.449833e-06,4.502036e-06,4.611447e-06,4.712512e-06,4.768538e-06,4.915018e-06,4.921028e-06,5.068868e-06,5.109426e-06,5.212032e-06,5.295683e-06,5.350516e-06,5.473800e-06,5.484335e-06,5.613517e-06,5.643836e-06,5.738106e-06,5.805888e-06,5.858154e-06,5.960091e-06,5.973725e-06,6.084897e-06,6.106612e-06,6.191764e-06,6.245662e-06,6.294409e-06,6.377426e-06,6.392911e-06,6.487359e-06,6.502100e-06,6.577840e-06,6.619887e-06,6.664442e-06,6.730993e-06,6.747258e-06,6.826378e-06,6.835629e-06,6.901896e-06,6.934006e-06,6.973903e-06,7.026336e-06,7.042490e-06,7.107749e-06,7.112828e-06,7.169769e-06,7.193690e-06,7.228641e-06,7.269130e-06,7.284454e-06,7.337297e-06,7.339350e-06,7.387256e-06,7.404552e-06,7.434417e-06,7.464931e-06,7.478863e-06,7.520678e-06,7.559942e-06,7.571981e-06,7.596736e-06,7.619024e-06,7.631137e-06,7.661984e-06,7.663224e-06,7.693070e-06,7.701036e-06,7.720750e-06,7.736349e-06,7.746337e-06,7.768088e-06,7.769900e-06,7.791510e-06,7.796412e-06,7.811232e-06,7.821477e-06,7.829133e-06,7.843431e-06,7.845278e-06,7.859729e-06,7.862422e-06,7.872548e-06,7.878588e-06,7.883793e-06,7.892067e-06,7.893524e-06,7.901797e-06,7.902989e-06,7.908667e-06,7.911482e-06,7.914188e-06,7.917669e-06,7.918412e-06,7.921390e-06,7.921666e-06,7.923172e-06,7.923589e-06,7.923805e-06,7.923547e-06,7.923336e-06,7.921812e-06,7.921645e-06,7.919275e-06,7.917987e-06,7.915769e-06,7.912668e-06,7.911336e-06,7.906015e-06,7.905784e-06,7.899847e-06,7.897426e-06,7.892868e-06,7.887679e-06,7.885117e-06,7.876628e-06,7.864353e-06,7.850930e-06,7.836433e-06,7.820933e-06,7.804498e-06,7.787192e-06,7.769077e-06,7.750212e-06,7.730655e-06,7.710459e-06,7.689676e-06,7.668356e-06,7.646546e-06,7.624290e-06,7.601632e-06,7.578612e-06,7.555270e-06,7.531641e-06,7.507763e-06,7.483667e-06,7.459385e-06,7.434949e-06,7.410385e-06,7.385722e-06
0.000000e+00,1.930308e-10,4.520944e-10,1.589526e-09,3.658143e-09,5.369202e-09,1.242493e-08,1.281162e-08,2.551700e-08,3.028430e-08,4.549458e-08,6.182194e-08,7.468705e-08,1.101241e-07,1.135592e-07,1.603633e-07,1.724890e-07,2.125842e-07,2.434343e-07,2.682654e-07,3.190912e-07,3.261158e-07,3.852379e-07,3.971508e-07,4.449260e-07,4.759814e-07,5.045667e-07,5.542189e-07,5.636024e-07,6.215251e-07,6.306584e-07,6.778827e-07,7.042611e-07,7.322842e-07,7.741771e-07,7.844059e-07,8.339940e-07,8.397647e-07,8.808623e-07,9.005890e-07,9.248884e-07,9.564053e-07,9.660070e-07,1.004202e-06,1.007132e-06,1.039500e-06,1.052820e-06,1.071958e-06,1.093618e-06,1.101664e-06,1.128720e-06,1.129749e-06,1.153244e-06,1.161477e-06,1.175362e-06,1.189097e-06,1.195209e-06,1.212920e-06,1.228630e-06,1.233256e-06,1.242469e-06,1.250405e-06,1.254567e-06,1.264656e-06,1.265045e-06,1.274021e-06,1.276280e-06,1.281605e-06,1.285531e-06,1.287901e-06,1.292642e-06,1.293009e-06,1.297021e-06,1.297830e-06,1.300022e-06,1.301292e-06,1.302093e-06,1.303206e-06,1.303309e-06,1.303739e-06,1.303737e-06,1.303449e-06,1.303033e-06,1.302497e-06,1.301228e-06,1.300941e-06,1.298830e-06,1.298444e-06,1.296214e-06,1.294792e-06,1.293136e-06,1.290369e-06,1.289638e-06,1.285756e-06,1.285267e-06,1.281527e-06,1.279565e-06,1.276983e-06,1.273337e-06,1.272154e-06,1.267067e-06,1.266650e-06,1.261748e-06,1.259561e-06,1.256222e-06,1.252126e-06,1.250509e-06,1.244630e-06,1.244392e-06,1.238604e-06,1.236402e-06,1.232449e-06,1.228197e-06,1.226179e-06,1.219811e-06,1.213357e-06,1.211276e-06,1.206831e-06,1.202622e-06,1.200244e-06,1.193873e-06,1.193606e-06,1.186929e-06,1.185053e-06,1.180220e-06,1.176183e-06,1.173489e-06,1.167282e-06,1.166742e-06,1.159989e-06,1.158367e-06,1.153234e-06,1.149453e-06,1.146484e-06,1.140553e-06,1.139745e-06,1.133022e-06,1.131680e-06,1.126320e-06,1.122845e-06,1.119643e-06,1.114056e-06,1.112995e-06,1.106379e-06,1.105324e-06,1.099800e-06,1.096655e-06,1.093259e-06,1.088057e-06,1.086761e-06,1.080307e-06,1.079535e-06,1.073899e-06,1.071096e-06,1.067541e-06,1.062742e-06,1.061233e-06,1.054978e-06,1.054479e-06,1.048776e-06,1.046311e-06,1.042630e-06,1.038239e-06,1.036540e-06,1.030508e-06,1.030268e-06,1.024534e-06,1.022398e-06,1.018620e-06,1.014632e-06,1.012765e-06,1.006972e-06,9.994178e-07,9.919713e-07,9.846329e-07,9.774030e-07,9.702819e-07,9.632697e-07,9.563662e-07,9.495712e-07,9.428842e-07,9.363048e-07,9.298323e-07,9.234659e-07,9.172048e-07,9.110482e-07,9.049949e-07,8.990441e-07,8.931945e-07,8.874451e-07,8.817946e-07,8.762418e-07,8.707854e-07,8.654242e-07,8.601568e-07,8.549820e-07
0.000000e+00,1.518655e-10,4.534112e-10,2.134686e-09,5.700888e-09,8.856258e-09,2.261930e-08,2.339185e-08,4.915716e-08,5.891730e-08,9.021090e-08,1.241601e-07,1.513665e-07,2.297619e-07,2.376999e-07,3.529054e-07,3.849608e-07,4.971805e-07,5.894995e-07,6.671543e-07,8.342562e-07,8.581368e-07,1.065984e-06,1.109284e-06,1.287529e-06,1.407315e-06,1.520327e-06,1.723073e-06,1.762336e-06,2.011703e-06,2.052166e-06,2.266659e-06,2.390515e-06,2.525478e-06,2.734182e-06,2.786477e-06,3.048038e-06,3.079389e-06,3.308627e-06,3.422607e-06,3.566823e-06,3.760654e-06,3.821338e-06,4.071025e-06,4.090760e-06,4.314885e-06,4.410604e-06,4.552079e-06,4.718334e-06,4.781910e-06,5.003817e-06,5.012522e-06,5.217373e-06,5.292147e-06,5.422271e-06,5.556546e-06,5.618303e-06,5.805359e-06,5.983407e-06,6.038484e-06,6.152483e-06,6.256023e-06,6.312679e-06,6.458243e-06,6.464135e-06,6.607031e-06,6.645535e-06,6.741573e-06,6.818386e-06,6.867997e-06,6.977352e-06,6.986553e-06,7.097504e-06,7.123030e-06,7.201117e-06,7.256038e-06,7.297668e-06,7.377011e-06,7.387433e-06,7.470691e-06,7.486586e-06,7.547714e-06,7.585392e-06,7.618773e-06,7.674047e-06,7.684133e-06,7.744053e-06,7.753152e-06,7.798785e-06,7.823286e-06,7.848576e-06,7.885010e-06,7.893662e-06,7.934274e-06,7.938857e-06,7.970633e-06,7.985339e-06,8.002953e-06,8.024943e-06,8.031441e-06,8.056293e-06,8.058130e-06,8.077701e-06,8.085340e-06,8.095846e-06,8.106989e-06,8.110903e-06,8.123040e-06,8.123467e-06,8.132418e-06,8.135148e-06,8.139189e-06,8.142379e-06,8.143500e-06,8.145491e-06,8.145296e-06,8.144793e-06,8.143043e-06,8.140578e-06,8.138854e-06,8.133119e-06,8.132846e-06,8.125128e-06,8.122675e-06,8.115807e-06,8.109487e-06,8.104983e-06,8.093781e-06,8.092753e-06,8.079207e-06,8.075770e-06,8.064433e-06,8.055655e-06,8.048514e-06,8.033620e-06,8.031528e-06,8.013549e-06,8.009841e-06,7.994650e-06,7.984481e-06,7.974897e-06,7.957693e-06,7.954356e-06,7.933086e-06,7.929619e-06,7.911146e-06,7.900393e-06,7.888591e-06,7.870138e-06,7.865472e-06,7.841840e-06,7.838972e-06,7.817741e-06,7.807001e-06,7.793219e-06,7.774326e-06,7.768317e-06,7.743075e-06,7.741042e-06,7.717529e-06,7.707234e-06,7.691717e-06,7.672985e-06,7.665671e-06,7.639424e-06,7.638370e-06,7.613005e-06,7.603458e-06,7.586444e-06,7.568314e-06,7.559766e-06,7.532998e-06,7.497566e-06,7.462069e-06,7.426554e-06,7.391065e-06,7.355643e-06,7.320325e-06,7.285144e-06,7.250133e-06,7.215319e-06,7.180728e-06,7.146386e-06,7.112313e-06,7.078528e-06,7.045051e-06,7.011897e-06,6.979081e-06,6.946614e-06,6.914510e-06,6.882778e-06,6.851427e-06,6.820465e-06,6.789898e-06,6.759732e-06,6.729972e-06
0.000000e+00,6.624598e-11,1.758499e-10,7.114429e-10,1.750599e-09,2.631407e-09,6.303624e-09,6.504653e-09,1.302736e-08,1.542910e-08,2.295201e-08,3.088252e-08,3.710990e-08,5.463072e-08,5.638032e-08,8.153104e-08,8.849404e-08,1.129119e-07,1.331312e-07,1.502644e-07,1.875537e-07,1.929297e-07,2.401960e-07,2.501461e-07,2.914592e-07,3.195270e-07,3.462200e-07,3.945994e-07,4.040386e-07,4.644990e-07,4.743903e-07,5.271895e-07,5.579518e-07,5.916966e-07,6.443317e-07,6.576060e-07,7.245076e-07,7.325834e-07,7.920029e-07,8.217899e-07,8.597108e-07,9.110902e-07,9.272742e-07,9.943645e-07,9.997022e-07,1.060685e-06,1.086937e-06,1.125971e-06,1.172207e-06,1.189994e-06,1.252558e-06,1.255028e-06,1.313498e-06,1.335013e-06,1.372682e-06,1.411869e-06,1.430004e-06,1.485383e-06,1.538763e-06,1.555415e-06,1.590104e-06,1.621883e-06,1.639388e-06,1.684760e-06,1.686609e-06,1.731774e-06,1.744055e-06,1.774903e-06,1.799813e-06,1.816022e-06,1.852106e-06,1.855165e-06,1.892374e-06,1.901021e-06,1.927693e-06,1.946664e-06,1.961171e-06,1.989149e-06,1.992859e-06,2.022811e-06,2.028597e-06,2.051080e-06,2.065133e-06,2.077722e-06,2.098885e-06,2.102793e-06,2.126348e-06,2.129980e-06,2.148442e-06,2.158544e-06,2.169128e-06,2.184701e-06,2.188462e-06,2.206494e-06,2.208573e-06,2.223276e-06,2.230278e-06,2.238859e-06,2.249930e-06,2.253292e-06,2.266621e-06,2.267641e-06,2.278893e-06,2.283516e-06,2.290152e-06,2.297656e-06,2.300442e-06,2.309805e-06,2.310161e-06,2.318282e-06,2.321124e-06,2.325910e-06,2.330633e-06,2.332729e-06,2.338774e-06,2.344081e-06,2.345629e-06,2.348684e-06,2.351275e-06,2.352614e-06,2.355784e-06,2.355904e-06,2.358584e-06,2.359228e-06,2.360682e-06,2.361673e-06,2.362226e-06,2.363182e-06,2.363244e-06,2.363762e-06,2.363814e-06,2.363803e-06,2.363627e-06,2.363391e-06,2.362673e-06,2.362550e-06,2.361302e-06,2.361005e-06,2.359667e-06,2.358670e-06,2.357665e-06,2.355714e-06,2.355316e-06,2.352639e-06,2.352181e-06,2.349650e-06,2.348110e-06,2.346368e-06,2.343542e-06,2.342808e-06,2.338987e-06,2.338511e-06,2.334918e-06,2.333054e-06,2.330617e-06,2.327201e-06,2.326097e-06,2.321371e-06,2.320985e-06,2.316453e-06,2.314434e-06,2.311353e-06,2.307575e-06,2.306083e-06,2.300655e-06,2.300435e-06,2.295079e-06,2.293037e-06,2.289364e-06,2.285405e-06,2.283522e-06,2.277560e-06,2.269523e-06,2.261312e-06,2.252946e-06,2.244442e-06,2.235816e-06,2.227083e-06,2.218256e-06,2.209349e-06,2.200375e-06,2.191345e-06,2.182269e-06,2.173159e-06,2.164024e-06,2.154873e-06,2.145713e-06,2.136554e-06,2.127402e-06,2.118264e-06,2.109147e-06,2.100056e-06,2.090996e-06,2.081974e-06,2.072993e-06,2.064059e-06
0.000000e+00,6.439887e-11,2.509769e-10,1.889578e-09,7.168480e-09,1.317417e-08,4.869754e-08,5.103643e-08,1.433670e-07,1.839894e-07,3.287936e-07,5.045307e-07,6.557914e-07,1.130495e-06,1.181307e-06,1.969126e-06,2.204801e-06,3.088103e-06,3.886148e-06,4.610232e-06,6.341113e-06,6.608418e-06,9.153848e-06,9.734574e-06,1.231306e-05,1.421840e-05,1.614515e-05,1.992058e-05,2.069953e-05,2.601447e-05,2.693736e-05,3.211629e-05,3.532929e-05,3.901920e-05,4.512022e-05,4.672546e-05,5.522587e-05,5.629845e-05,6.450050e-05,6.881927e-05,7.451955e-05,8.260842e-05,8.524439e-05,9.662864e-05,9.756632e-05,1.086194e-04,1.135727e-04,1.211585e-04,1.304914e-04,1.341837e-04,1.476300e-04,1.481756e-04,1.614305e-04,1.664725e-04,1.755181e-04,1.852274e-04,1.898259e-04,2.042885e-04,2.188425e-04,2.235092e-04,2.334276e-04,2.427518e-04,2.479866e-04,2.618891e-04,2.624661e-04,2.768169e-04,2.808058e-04,2.909939e-04,2.993996e-04,3.049565e-04,3.175816e-04,3.186685e-04,3.320980e-04,3.352759e-04,3.452173e-04,3.524196e-04,3.580027e-04,3.689621e-04,3.704347e-04,3.824972e-04,3.848641e-04,3.941774e-04,4.000967e-04,4.054658e-04,4.146403e-04,4.163557e-04,4.268432e-04,4.284837e-04,4.369265e-04,4.416230e-04,4.466060e-04,4.540603e-04,4.558839e-04,4.647642e-04,4.658033e-04,4.732520e-04,4.768640e-04,4.813539e-04,4.872579e-04,4.890775e-04,4.964309e-04,4.970035e-04,5.034234e-04,5.061215e-04,5.100646e-04,5.146343e-04,5.163645e-04,5.223335e-04,5.225655e-04,5.279822e-04,5.299395e-04,5.333216e-04,5.367811e-04,5.383623e-04,5.431152e-04,5.475912e-04,5.489668e-04,5.518009e-04,5.543603e-04,5.557549e-04,5.593198e-04,5.594636e-04,5.629371e-04,5.638689e-04,5.661854e-04,5.680303e-04,5.692181e-04,5.718261e-04,5.720448e-04,5.746746e-04,5.752774e-04,5.771163e-04,5.784048e-04,5.793787e-04,5.812277e-04,5.814699e-04,5.833981e-04,5.837648e-04,5.851709e-04,5.860339e-04,5.867959e-04,5.880519e-04,5.882802e-04,5.896307e-04,5.898348e-04,5.908541e-04,5.913981e-04,5.919567e-04,5.927560e-04,5.929447e-04,5.938238e-04,5.939223e-04,5.945998e-04,5.949099e-04,5.952779e-04,5.957311e-04,5.958634e-04,5.963612e-04,5.963974e-04,5.967760e-04,5.969196e-04,5.971122e-04,5.973081e-04,5.973743e-04,5.975663e-04,5.975725e-04,5.976921e-04,5.977219e-04,5.977555e-04,5.977649e-04,5.977602e-04,5.977095e-04,5.975632e-04,5.973332e-04,5.970262e-04,5.966483e-04,5.962056e-04,5.957035e-04,5.951471e-04,5.945413e-04,5.938906e-04,5.931994e-04,5.924715e-04,5.917106e-04,5.909204e-04,5.901039e-04,5.892642e-04,5.884041e-04,5.875263e-04,5.866333e-04,5.857273e-04,5.848104e-04,5.838847e-04,5.829519e-04,5.820138e-04,5.810721e-04
0.000000e+00,6.759617e-11,2.281242e-10,1.297502e-09,3.888229e-09,6.324584e-09,1.743383e-08,1.806566e-08,3.903829e-08,4.684984e-08,7.124554e-08,9.661687e-08,1.162174e-07,1.698283e-07,1.750665e-07,2.485188e-07,2.683660e-07,3.369048e-07,3.928979e-07,4.400952e-07,5.425988e-07,5.573759e-07,6.872944e-07,7.146095e-07,8.275981e-07,9.037181e-07,9.754032e-07,1.103062e-06,1.127577e-06,1.281139e-06,1.305658e-06,1.433509e-06,1.505586e-06,1.582579e-06,1.698328e-06,1.726686e-06,1.864556e-06,1.880633e-06,1.995240e-06,2.050284e-06,2.118073e-06,2.205907e-06,2.232631e-06,2.338696e-06,2.346812e-06,2.436229e-06,2.472872e-06,2.525334e-06,2.584394e-06,2.606236e-06,2.679251e-06,2.682012e-06,2.744760e-06,2.766588e-06,2.803194e-06,2.839119e-06,2.855007e-06,2.900670e-06,2.940650e-06,2.952319e-06,2.975407e-06,2.995115e-06,3.005382e-06,3.030051e-06,3.030997e-06,3.052647e-06,3.058049e-06,3.070700e-06,3.079948e-06,3.085497e-06,3.096504e-06,3.097351e-06,3.106548e-06,3.108389e-06,3.113348e-06,3.116199e-06,3.117988e-06,3.120454e-06,3.120681e-06,3.121619e-06,3.121612e-06,3.120977e-06,3.120072e-06,3.118914e-06,3.116185e-06,3.115570e-06,3.111073e-06,3.110254e-06,3.105537e-06,3.102542e-06,3.099066e-06,3.093280e-06,3.091754e-06,3.083685e-06,3.082669e-06,3.074934e-06,3.070885e-06,3.065570e-06,3.058082e-06,3.055656e-06,3.045248e-06,3.044395e-06,3.034397e-06,3.029944e-06,3.023151e-06,3.014833e-06,3.011552e-06,2.999638e-06,2.999156e-06,2.987446e-06,2.982994e-06,2.975007e-06,2.966423e-06,2.962351e-06,2.949505e-06,2.936495e-06,2.932300e-06,2.923342e-06,2.914860e-06,2.910069e-06,2.897232e-06,2.896696e-06,2.883239e-06,2.879459e-06,2.869716e-06,2.861578e-06,2.856143e-06,2.843623e-06,2.842533e-06,2.828900e-06,2.825625e-06,2.815255e-06,2.807613e-06,2.801611e-06,2.789612e-06,2.787977e-06,2.774364e-06,2.771644e-06,2.760780e-06,2.753730e-06,2.747233e-06,2.735890e-06,2.733733e-06,2.720284e-06,2.718138e-06,2.706895e-06,2.700491e-06,2.693571e-06,2.682962e-06,2.680317e-06,2.667139e-06,2.665563e-06,2.654042e-06,2.648306e-06,2.641029e-06,2.631199e-06,2.628106e-06,2.615275e-06,2.614252e-06,2.602539e-06,2.597473e-06,2.589903e-06,2.580868e-06,2.577368e-06,2.564938e-06,2.564443e-06,2.552614e-06,2.548204e-06,2.540399e-06,2.532156e-06,2.528294e-06,2.516301e-06,2.500645e-06,2.485189e-06,2.469935e-06,2.454887e-06,2.440045e-06,2.425411e-06,2.410985e-06,2.396767e-06,2.382758e-06,2.368958e-06,2.355365e-06,2.341981e-06,2.328803e-06,2.315831e-06,2.303064e-06,2.290500e-06,2.278138e-06,2.265976e-06,2.254012e-06,2.242245e-06,2.230673e-06,2.219293e-06,2.208104e-06,2.197103e-06
0.000000e+00,1.308635e-10,4.583303e-10,2.794249e-09,8.850994e-09,1.480129e-08,4.349710e-08,4.518193e-08,1.031200e-07,1.254632e-07,1.971472e-07,2.741245e-07,3.349659e-07,5.063795e-07,5.234748e-07,7.687926e-07,8.367252e-07,1.076146e-06,1.276908e-06,1.449496e-06,1.834282e-06,1.890834e-06,2.399291e-06,2.508722e-06,2.970606e-06,3.290185e-06,3.597421e-06,4.160008e-06,4.270363e-06,4.979320e-06,5.095424e-06,5.714365e-06,6.073707e-06,6.466256e-06,7.074235e-06,7.226609e-06,7.987916e-06,8.079012e-06,8.743507e-06,9.072615e-06,9.487513e-06,1.004205e-05,1.021484e-05,1.092115e-05,1.097663e-05,1.160282e-05,1.186792e-05,1.225693e-05,1.270952e-05,1.288120e-05,1.347397e-05,1.349700e-05,1.403409e-05,1.422760e-05,1.456093e-05,1.490005e-05,1.505427e-05,1.551427e-05,1.594135e-05,1.607118e-05,1.633624e-05,1.657248e-05,1.669982e-05,1.702039e-05,1.703316e-05,1.733742e-05,1.741757e-05,1.761386e-05,1.776691e-05,1.786378e-05,1.807143e-05,1.808852e-05,1.828942e-05,1.833423e-05,1.846781e-05,1.855838e-05,1.862502e-05,1.874685e-05,1.876232e-05,1.888096e-05,1.890256e-05,1.898215e-05,1.902825e-05,1.906703e-05,1.912654e-05,1.913671e-05,1.919224e-05,1.919987e-05,1.923461e-05,1.925056e-05,1.926478e-05,1.928073e-05,1.928364e-05,1.929202e-05,1.929236e-05,1.929073e-05,1.928730e-05,1.928052e-05,1.926722e-05,1.926208e-05,1.923608e-05,1.923369e-05,1.920313e-05,1.918813e-05,1.916381e-05,1.913186e-05,1.911866e-05,1.906819e-05,1.906607e-05,1.901288e-05,1.899187e-05,1.895316e-05,1.891024e-05,1.888944e-05,1.882212e-05,1.875154e-05,1.872833e-05,1.867805e-05,1.862962e-05,1.860194e-05,1.852670e-05,1.852352e-05,1.844305e-05,1.842019e-05,1.836078e-05,1.831066e-05,1.827695e-05,1.819862e-05,1.819176e-05,1.810542e-05,1.808454e-05,1.801811e-05,1.796886e-05,1.793001e-05,1.785194e-05,1.784127e-05,1.775204e-05,1.773415e-05,1.766246e-05,1.761578e-05,1.757265e-05,1.749713e-05,1.748274e-05,1.739282e-05,1.737844e-05,1.730299e-05,1.725994e-05,1.721335e-05,1.714183e-05,1.712398e-05,1.703496e-05,1.702430e-05,1.694635e-05,1.690751e-05,1.685822e-05,1.679160e-05,1.677063e-05,1.668363e-05,1.667670e-05,1.659727e-05,1.656292e-05,1.651160e-05,1.645036e-05,1.642665e-05,1.634246e-05,1.633911e-05,1.625906e-05,1.622923e-05,1.617648e-05,1.612081e-05,1.609475e-05,1.601388e-05,1.590851e-05,1.580472e-05,1.570256e-05,1.560204e-05,1.550319e-05,1.540602e-05,1.531054e-05,1.521676e-05,1.512469e-05,1.503431e-05,1.494563e-05,1.485864e-05,1.477333e-05,1.468969e-05,1.460770e-05,1.452735e-05,1.444863e-05,1.437151e-05,1.429597e-05,1.422200e-05,1.414958e-05,1.407867e-05,1.400927e-05,1.394134e-05
0.000000e+00,1.935385e-10,7.506604e-10,5.595563e-09,2.103547e-08,3.846646e-08,1.403839e-07,1.470507e-07,4.080105e-07,5.219076e-07,9.252191e-07,1.410948e-06,1.826823e-06,3.123416e-06,3.261629e-06,5.394935e-06,6.030299e-06,8.402694e-06,1.053539e-05,1.246219e-05,1.703670e-05,1.773917e-05,2.437473e-05,2.587496e-05,3.247601e-05,3.729240e-05,4.211206e-05,5.141592e-05,5.331354e-05,6.607497e-05,6.825943e-05,8.035808e-05,8.773574e-05,9.609570e-05,1.096719e-04,1.131958e-04,1.315456e-04,1.338256e-04,1.510157e-04,1.599012e-04,1.714639e-04,1.875662e-04,1.927395e-04,2.146863e-04,2.164663e-04,2.371469e-04,2.462399e-04,2.599652e-04,2.765303e-04,2.829893e-04,3.060742e-04,3.069969e-04,3.290832e-04,3.373232e-04,3.518898e-04,3.672233e-04,3.743785e-04,3.964457e-04,4.179999e-04,4.247756e-04,4.389618e-04,4.520349e-04,4.592639e-04,4.780813e-04,4.788504e-04,4.976765e-04,5.028065e-04,5.157072e-04,5.261330e-04,5.329173e-04,5.480113e-04,5.492900e-04,5.648161e-04,5.684160e-04,5.794933e-04,5.873429e-04,5.933253e-04,6.048052e-04,6.063209e-04,6.184934e-04,6.208306e-04,6.298597e-04,6.354581e-04,6.404399e-04,6.487361e-04,6.502564e-04,6.593337e-04,6.607192e-04,6.676977e-04,6.714670e-04,6.753755e-04,6.810423e-04,6.823948e-04,6.887837e-04,6.895094e-04,6.945706e-04,6.969333e-04,6.997835e-04,7.033788e-04,7.044506e-04,7.085992e-04,7.089095e-04,7.122564e-04,7.135876e-04,7.154484e-04,7.174731e-04,7.182009e-04,7.205387e-04,7.206239e-04,7.224856e-04,7.230953e-04,7.240647e-04,7.249399e-04,7.252983e-04,7.262077e-04,7.268131e-04,7.269459e-04,7.271342e-04,7.271990e-04,7.271894e-04,7.270088e-04,7.269965e-04,7.265725e-04,7.264145e-04,7.259333e-04,7.254529e-04,7.250942e-04,7.241582e-04,7.240697e-04,7.228736e-04,7.225624e-04,7.215188e-04,7.206954e-04,7.200176e-04,7.185848e-04,7.183818e-04,7.166222e-04,7.162563e-04,7.147492e-04,7.137338e-04,7.127728e-04,7.110394e-04,7.107021e-04,7.085459e-04,7.081935e-04,7.063123e-04,7.052150e-04,7.040091e-04,7.021213e-04,7.016436e-04,6.992225e-04,6.989286e-04,6.967524e-04,6.956516e-04,6.942393e-04,6.923039e-04,6.916887e-04,6.891060e-04,6.888981e-04,6.864962e-04,6.854457e-04,6.838638e-04,6.819571e-04,6.812134e-04,6.785488e-04,6.784420e-04,6.758740e-04,6.749092e-04,6.731923e-04,6.713667e-04,6.705073e-04,6.678218e-04,6.642811e-04,6.607507e-04,6.572360e-04,6.537419e-04,6.502728e-04,6.468328e-04,6.434253e-04,6.400536e-04,6.367204e-04,6.334283e-04,6.301793e-04,6.269755e-04,6.238184e-04,6.207094e-04,6.176497e-04,6.146403e-04,6.116820e-04,6.087755e-04,6.059211e-04,6.031192e-04,6.003702e-04,5.976740e-04,5.950306e-04,5.924400e-04
0.000000e+00,4.998566e-10,1.953163e-09,1.478587e-08,5.637949e-08,1.039110e-07,3.870842e-07,4.058084e-07,1.149583e-06,1.478921e-06,2.660127e-06,4.105285e-06,5.357208e-06,9.323815e-06,9.751279e-06,1.643560e-05,1.845291e-05,2.607039e-05,3.301409e-05,3.935223e-05,5.460261e-05,5.696645e-05,7.953254e-05,8.468702e-05,1.075583e-04,1.244175e-04,1.414116e-04,1.745147e-04,1.813089e-04,2.273165e-04,2.352417e-04,2.793597e-04,3.064292e-04,3.372358e-04,3.875283e-04,4.006302e-04,4.691339e-04,4.776752e-04,5.422604e-04,5.757617e-04,6.194641e-04,6.805045e-04,7.001561e-04,7.837215e-04,7.905121e-04,8.695330e-04,9.043459e-04,9.569647e-04,1.020574e-03,1.045404e-03,1.134260e-03,1.137815e-03,1.222975e-03,1.254776e-03,1.311026e-03,1.370274e-03,1.397933e-03,1.483261e-03,1.566623e-03,1.592827e-03,1.647679e-03,1.698207e-03,1.726135e-03,1.798779e-03,1.801746e-03,1.874309e-03,1.894058e-03,1.943664e-03,1.983684e-03,2.009688e-03,2.067416e-03,2.072298e-03,2.131440e-03,2.145115e-03,2.187092e-03,2.216733e-03,2.239258e-03,2.282300e-03,2.287963e-03,2.333256e-03,2.341911e-03,2.375201e-03,2.395715e-03,2.413878e-03,2.443906e-03,2.449376e-03,2.481799e-03,2.486708e-03,2.511255e-03,2.524374e-03,2.537860e-03,2.557171e-03,2.561733e-03,2.582996e-03,2.585378e-03,2.601775e-03,2.609282e-03,2.618193e-03,2.629169e-03,2.632375e-03,2.644443e-03,2.645321e-03,2.654519e-03,2.658018e-03,2.662720e-03,2.667529e-03,2.669162e-03,2.673957e-03,2.674116e-03,2.677211e-03,2.678026e-03,2.679031e-03,2.679499e-03,2.679515e-03,2.678759e-03,2.676855e-03,2.676017e-03,2.673890e-03,2.671474e-03,2.669947e-03,2.665315e-03,2.665105e-03,2.659438e-03,2.657714e-03,2.653018e-03,2.648832e-03,2.645911e-03,2.638819e-03,2.638179e-03,2.629883e-03,2.627814e-03,2.621077e-03,2.615942e-03,2.611814e-03,2.603323e-03,2.602143e-03,2.592109e-03,2.590063e-03,2.581756e-03,2.576260e-03,2.571124e-03,2.562005e-03,2.560250e-03,2.549169e-03,2.547379e-03,2.537913e-03,2.532457e-03,2.526512e-03,2.517306e-03,2.514995e-03,2.503386e-03,2.501988e-03,2.491711e-03,2.486559e-03,2.479991e-03,2.471067e-03,2.468247e-03,2.456497e-03,2.455558e-03,2.444759e-03,2.440071e-03,2.433049e-03,2.424643e-03,2.421381e-03,2.409769e-03,2.409306e-03,2.398224e-03,2.394087e-03,2.386759e-03,2.379012e-03,2.375382e-03,2.364103e-03,2.349379e-03,2.334857e-03,2.320552e-03,2.306475e-03,2.292637e-03,2.279047e-03,2.265712e-03,2.252638e-03,2.239829e-03,2.227289e-03,2.215020e-03,2.203024e-03,2.191301e-03,2.179851e-03,2.168673e-03,2.157766e-03,2.147127e-03,2.136755e-03,2.126647e-03,2.116799e-03,2.107208e-03,2.097871e-03,2.088782e-03,2.079939e-03
0.000000e+00,7.655892e-11,2.073277e-10,8.541517e-10,2.108427e-09,3.165437e-09,7.512701e-09,7.748191e-09,1.527420e-08,1.799658e-08,2.638544e-08,3.503855e-08,4.172064e-08,6.011053e-08,6.192025e-08,8.758656e-08,9.461539e-08,1.191673e-07,1.394940e-07,1.567656e-07,1.945317e-07,1.999916e-07,2.480183e-07,2.581100e-07,2.998201e-07,3.279133e-07,3.544002e-07,4.017562e-07,4.108919e-07,4.685677e-07,4.778632e-07,5.268114e-07,5.548108e-07,5.850892e-07,6.314173e-07,6.429295e-07,6.999117e-07,7.066736e-07,7.556615e-07,7.797146e-07,8.098500e-07,8.498127e-07,8.621933e-07,9.124538e-07,9.163785e-07,9.604392e-07,9.789619e-07,1.006002e-06,1.037247e-06,1.049038e-06,1.089482e-06,1.091045e-06,1.127304e-06,1.140278e-06,1.162508e-06,1.184966e-06,1.195125e-06,1.225205e-06,1.252822e-06,1.261152e-06,1.278062e-06,1.293013e-06,1.301024e-06,1.321022e-06,1.321814e-06,1.340543e-06,1.345434e-06,1.357328e-06,1.366513e-06,1.372283e-06,1.384524e-06,1.385523e-06,1.397161e-06,1.399728e-06,1.407306e-06,1.412375e-06,1.416065e-06,1.422706e-06,1.423538e-06,1.429824e-06,1.430947e-06,1.435012e-06,1.437304e-06,1.439186e-06,1.441967e-06,1.442426e-06,1.444806e-06,1.445112e-06,1.446398e-06,1.446900e-06,1.447264e-06,1.447475e-06,1.447465e-06,1.447057e-06,1.446969e-06,1.446089e-06,1.445499e-06,1.444611e-06,1.443172e-06,1.442665e-06,1.440292e-06,1.440085e-06,1.437530e-06,1.436323e-06,1.434412e-06,1.431966e-06,1.430972e-06,1.427237e-06,1.427082e-06,1.423235e-06,1.421734e-06,1.418990e-06,1.415978e-06,1.414527e-06,1.409864e-06,1.405023e-06,1.403438e-06,1.400020e-06,1.396741e-06,1.394873e-06,1.389809e-06,1.389596e-06,1.384204e-06,1.382675e-06,1.378709e-06,1.375369e-06,1.373125e-06,1.367916e-06,1.367461e-06,1.361728e-06,1.360343e-06,1.355935e-06,1.352669e-06,1.350092e-06,1.344914e-06,1.344206e-06,1.338284e-06,1.337097e-06,1.332335e-06,1.329232e-06,1.326364e-06,1.321335e-06,1.320376e-06,1.314379e-06,1.313418e-06,1.308376e-06,1.305494e-06,1.302372e-06,1.297572e-06,1.296372e-06,1.290381e-06,1.289662e-06,1.284400e-06,1.281774e-06,1.278435e-06,1.273914e-06,1.272488e-06,1.266562e-06,1.266089e-06,1.260661e-06,1.258307e-06,1.254785e-06,1.250573e-06,1.248939e-06,1.243123e-06,1.242891e-06,1.237341e-06,1.235267e-06,1.231593e-06,1.227705e-06,1.225882e-06,1.220208e-06,1.212780e-06,1.205424e-06,1.198141e-06,1.190936e-06,1.183808e-06,1.176761e-06,1.169796e-06,1.162913e-06,1.156114e-06,1.149401e-06,1.142773e-06,1.136231e-06,1.129776e-06,1.123407e-06,1.117126e-06,1.110932e-06,1.104825e-06,1.098804e-06,1.092871e-06,1.087024e-06,1.081262e-06,1.075587e-06,1.069996e-06,1.064490e-06
0.000000e+00,2.302973e-11,5.317124e-11,1.848123e-10,4.233145e-10,6.195566e-10,1.416207e-09,1.459253e-09,2.840315e-09,3.343748e-09,4.910104e-09,6.549061e-09,7.829400e-09,1.140592e-08,1.176114e-08,1.683112e-08,1.822340e-08,2.307253e-08,2.705633e-08,3.041592e-08,3.769481e-08,3.874167e-08,4.792974e-08,4.986130e-08,5.787466e-08,6.331370e-08,6.848266e-08,7.784157e-08,7.966607e-08,9.133992e-08,9.324765e-08,1.034208e-07,1.093402e-07,1.158272e-07,1.259336e-07,1.284803e-07,1.413053e-07,1.428524e-07,1.542321e-07,1.599355e-07,1.671968e-07,1.770393e-07,1.801412e-07,1.930140e-07,1.940393e-07,2.057699e-07,2.108306e-07,2.183701e-07,2.273269e-07,2.307813e-07,2.429758e-07,2.434587e-07,2.549305e-07,2.591718e-07,2.666268e-07,2.744248e-07,2.780496e-07,2.891874e-07,3.000315e-07,3.034385e-07,3.105756e-07,3.171644e-07,3.208155e-07,3.303574e-07,3.307488e-07,3.403746e-07,3.430147e-07,3.496932e-07,3.551376e-07,3.587062e-07,3.667301e-07,3.674157e-07,3.758249e-07,3.777988e-07,3.839373e-07,3.883522e-07,3.917572e-07,3.984003e-07,3.992891e-07,4.065378e-07,4.079540e-07,4.135085e-07,4.170253e-07,4.202068e-07,4.256267e-07,4.266380e-07,4.328079e-07,4.337712e-07,4.387223e-07,4.414722e-07,4.443870e-07,4.487429e-07,4.498079e-07,4.549909e-07,4.555972e-07,4.599420e-07,4.620485e-07,4.646669e-07,4.681103e-07,4.691717e-07,4.734620e-07,4.737962e-07,4.775438e-07,4.791194e-07,4.814226e-07,4.840930e-07,4.851043e-07,4.885943e-07,4.887300e-07,4.918981e-07,4.930430e-07,4.950213e-07,4.970445e-07,4.979690e-07,5.007467e-07,5.033594e-07,5.041614e-07,5.058121e-07,5.073003e-07,5.081100e-07,5.101747e-07,5.102578e-07,5.122603e-07,5.127957e-07,5.141223e-07,5.151738e-07,5.158481e-07,5.173196e-07,5.174424e-07,5.189096e-07,5.192432e-07,5.202537e-07,5.209544e-07,5.214792e-07,5.224626e-07,5.225900e-07,5.235900e-07,5.237771e-07,5.244833e-07,5.249068e-07,5.252734e-07,5.258603e-07,5.259643e-07,5.265593e-07,5.266459e-07,5.270621e-07,5.272717e-07,5.274760e-07,5.277454e-07,5.278044e-07,5.280504e-07,5.280746e-07,5.282173e-07,5.282664e-07,5.283080e-07,5.283278e-07,5.283255e-07,5.282728e-07,5.282656e-07,5.281526e-07,5.280862e-07,5.279676e-07,5.277958e-07,5.277205e-07,5.274139e-07,5.274004e-07,5.270502e-07,5.269058e-07,5.266319e-07,5.263174e-07,5.261613e-07,5.256406e-07,5.248806e-07,5.240422e-07,5.231300e-07,5.221487e-07,5.211026e-07,5.199957e-07,5.188321e-07,5.176155e-07,5.163497e-07,5.150380e-07,5.136839e-07,5.122905e-07,5.108609e-07,5.093979e-07,5.079044e-07,5.063829e-07,5.048361e-07,5.032664e-07,5.016760e-07,5.000671e-07,4.984419e-07,4.968022e-07,4.951501e-07,4.934872e-07
0.000000e+00,2.764934e-10,9.356728e-10,5.367434e-09,1.626418e-08,2.665329e-08,7.524772e-08,7.806210e-08,1.740023e-07,2.108578e-07,3.293944e-07,4.577031e-07,5.600460e-07,8.529659e-07,8.825365e-07,1.313059e-06,1.434033e-06,1.864676e-06,2.228971e-06,2.542856e-06,3.239522e-06,3.341132e-06,4.240925e-06,4.430876e-06,5.216991e-06,5.746243e-06,6.244328e-06,7.131498e-06,7.302060e-06,8.374021e-06,8.545986e-06,9.447854e-06,9.961051e-06,1.051393e-05,1.135599e-05,1.156457e-05,1.259357e-05,1.271535e-05,1.359593e-05,1.402747e-05,1.456768e-05,1.528381e-05,1.550573e-05,1.640781e-05,1.647837e-05,1.727229e-05,1.760731e-05,1.809815e-05,1.866854e-05,1.888486e-05,1.963229e-05,1.966137e-05,2.034065e-05,2.058619e-05,2.101042e-05,2.144416e-05,2.164229e-05,2.223709e-05,2.279580e-05,2.296714e-05,2.331950e-05,2.363680e-05,2.380929e-05,2.424868e-05,2.426635e-05,2.469184e-05,2.480549e-05,2.508697e-05,2.530997e-05,2.545293e-05,2.576487e-05,2.579091e-05,2.610207e-05,2.617289e-05,2.638757e-05,2.653666e-05,2.664854e-05,2.685876e-05,2.688607e-05,2.710123e-05,2.714167e-05,2.729507e-05,2.738777e-05,2.746859e-05,2.759938e-05,2.762279e-05,2.775860e-05,2.777869e-05,2.787694e-05,2.792779e-05,2.797867e-05,2.804867e-05,2.806464e-05,2.813565e-05,2.814320e-05,2.819248e-05,2.821319e-05,2.823589e-05,2.826034e-05,2.826659e-05,2.828526e-05,2.828626e-05,2.829257e-05,2.829246e-05,2.828915e-05,2.828038e-05,2.827560e-05,2.825250e-05,2.825139e-05,2.822041e-05,2.820675e-05,2.817985e-05,2.814769e-05,2.813133e-05,2.807534e-05,2.801233e-05,2.799076e-05,2.794274e-05,2.789495e-05,2.786700e-05,2.778886e-05,2.778550e-05,2.769862e-05,2.767338e-05,2.760673e-05,2.754934e-05,2.751018e-05,2.741752e-05,2.740929e-05,2.730438e-05,2.727864e-05,2.719575e-05,2.713339e-05,2.708367e-05,2.698242e-05,2.696843e-05,2.685028e-05,2.682632e-05,2.672945e-05,2.666564e-05,2.660618e-05,2.650092e-05,2.648070e-05,2.635321e-05,2.633263e-05,2.622390e-05,2.616124e-05,2.609296e-05,2.598717e-05,2.596058e-05,2.582692e-05,2.581080e-05,2.569214e-05,2.563251e-05,2.555638e-05,2.545264e-05,2.541980e-05,2.528252e-05,2.527151e-05,2.514468e-05,2.508941e-05,2.500638e-05,2.490660e-05,2.486776e-05,2.472891e-05,2.472335e-05,2.458993e-05,2.453989e-05,2.445093e-05,2.435643e-05,2.431198e-05,2.417317e-05,2.399029e-05,2.380796e-05,2.362635e-05,2.344558e-05,2.326578e-05,2.308709e-05,2.290960e-05,2.273341e-05,2.255862e-05,2.238530e-05,2.221352e-05,2.204336e-05,2.187486e-05,2.170807e-05,2.154306e-05,2.137984e-05,2.121846e-05,2.105895e-05,2.090134e-05,2.074563e-05,2.059185e-05,2.044002e-05,2.029014e-05,2.014221e-05
0.000000e+00,3.625059e-10,1.409244e-09,1.056334e-08,3.996720e-08,7.339894e-08,2.717089e-07,2.848095e-07,8.063747e-07,1.038418e-06,1.876976e-06,2.915934e-06,3.826631e-06,6.768057e-06,7.089493e-06,1.220383e-05,1.377385e-05,1.977893e-05,2.532446e-05,3.042038e-05,4.273114e-05,4.463970e-05,6.278977e-05,6.690980e-05,8.504349e-05,9.824474e-05,1.114057e-04,1.366301e-04,1.417421e-04,1.758115e-04,1.815887e-04,2.132972e-04,2.323974e-04,2.538325e-04,2.881916e-04,2.970225e-04,3.424602e-04,3.480444e-04,3.897397e-04,4.110238e-04,4.384658e-04,4.762322e-04,4.882612e-04,5.387717e-04,5.428334e-04,5.896696e-04,6.100692e-04,6.406558e-04,6.772680e-04,6.914607e-04,7.418446e-04,7.438481e-04,7.915967e-04,8.093168e-04,8.405344e-04,8.732662e-04,8.885016e-04,9.353668e-04,9.810215e-04,9.953606e-04,1.025378e-03,1.053053e-03,1.068368e-03,1.108303e-03,1.109938e-03,1.150052e-03,1.161019e-03,1.188685e-03,1.211149e-03,1.225825e-03,1.258672e-03,1.261468e-03,1.295620e-03,1.303595e-03,1.328292e-03,1.345950e-03,1.359505e-03,1.385782e-03,1.389280e-03,1.417645e-03,1.423151e-03,1.444631e-03,1.458130e-03,1.470271e-03,1.490795e-03,1.494601e-03,1.517657e-03,1.521230e-03,1.539477e-03,1.549523e-03,1.560100e-03,1.575762e-03,1.579564e-03,1.597908e-03,1.600036e-03,1.615172e-03,1.622436e-03,1.631395e-03,1.643050e-03,1.646613e-03,1.660865e-03,1.661965e-03,1.674188e-03,1.679265e-03,1.686618e-03,1.695035e-03,1.698191e-03,1.708940e-03,1.709353e-03,1.718900e-03,1.722298e-03,1.728103e-03,1.733945e-03,1.736580e-03,1.744364e-03,1.751483e-03,1.753625e-03,1.757966e-03,1.761795e-03,1.763842e-03,1.768936e-03,1.769137e-03,1.773877e-03,1.775109e-03,1.778088e-03,1.780371e-03,1.781794e-03,1.784777e-03,1.785018e-03,1.787783e-03,1.788381e-03,1.790110e-03,1.791230e-03,1.792021e-03,1.793374e-03,1.793535e-03,1.794673e-03,1.794856e-03,1.795451e-03,1.795721e-03,1.795890e-03,1.796007e-03,1.796004e-03,1.795813e-03,1.795754e-03,1.795330e-03,1.794999e-03,1.794571e-03,1.793776e-03,1.793551e-03,1.792285e-03,1.792117e-03,1.790785e-03,1.790054e-03,1.789064e-03,1.787616e-03,1.787135e-03,1.785009e-03,1.784831e-03,1.782699e-03,1.781725e-03,1.780214e-03,1.778323e-03,1.777566e-03,1.774764e-03,1.774649e-03,1.771818e-03,1.770725e-03,1.768738e-03,1.766570e-03,1.765531e-03,1.762207e-03,1.757652e-03,1.752923e-03,1.748038e-03,1.743011e-03,1.737857e-03,1.732590e-03,1.727223e-03,1.721768e-03,1.716237e-03,1.710640e-03,1.704988e-03,1.699289e-03,1.693553e-03,1.687789e-03,1.682002e-03,1.676202e-03,1.670395e-03,1.664587e-03,1.658784e-03,1.652992e-03,1.647215e-03,1.641458e-03,1.635726e-03,1.630023e-03
0.000000e+00,2.425548e-09,9.519995e-09,7.275948e-08,2.799810e-07,5.187216e-07,1.960067e-06,2.056126e-06,5.915674e-06,7.644506e-06,1.391260e-05,2.168805e-05,2.849615e-05,5.039829e-05,5.278342e-05,9.055949e-05,1.021084e-04,1.461940e-04,1.869086e-04,2.244199e-04,3.157327e-04,3.299979e-04,4.673773e-04,4.990232e-04,6.404464e-04,7.456345e-04,8.523904e-04,1.062257e-03,1.105627e-03,1.401792e-03,1.453231e-03,1.741759e-03,1.920571e-03,2.125675e-03,2.464118e-03,2.553012e-03,3.022627e-03,3.081747e-03,3.532831e-03,3.769638e-03,4.081464e-03,4.522565e-03,4.665968e-03,5.283470e-03,5.334203e-03,5.930849e-03,6.197435e-03,6.604818e-03,7.104637e-03,7.301982e-03,8.018904e-03,8.047943e-03,8.752157e-03,9.019474e-03,9.498371e-03,1.001153e-02,1.025427e-02,1.101672e-02,1.178272e-02,1.202812e-02,1.254945e-02,1.303933e-02,1.331429e-02,1.404450e-02,1.407481e-02,1.482876e-02,1.503841e-02,1.557411e-02,1.601643e-02,1.630904e-02,1.697455e-02,1.703190e-02,1.774123e-02,1.790931e-02,1.843576e-02,1.881782e-02,1.911440e-02,1.969769e-02,1.977619e-02,2.042033e-02,2.054699e-02,2.104619e-02,2.136422e-02,2.165321e-02,2.214826e-02,2.224100e-02,2.280925e-02,2.289834e-02,2.335776e-02,2.361399e-02,2.388641e-02,2.429500e-02,2.439516e-02,2.488404e-02,2.494138e-02,2.535316e-02,2.555335e-02,2.580267e-02,2.613130e-02,2.623277e-02,2.664370e-02,2.667576e-02,2.703577e-02,2.718737e-02,2.740927e-02,2.766689e-02,2.776456e-02,2.810200e-02,2.811513e-02,2.842199e-02,2.853299e-02,2.872493e-02,2.892140e-02,2.901123e-02,2.928133e-02,2.953565e-02,2.961378e-02,2.977465e-02,2.991977e-02,2.999876e-02,3.020031e-02,3.020843e-02,3.040410e-02,3.045644e-02,3.058622e-02,3.068916e-02,3.075522e-02,3.089950e-02,3.091155e-02,3.105563e-02,3.108843e-02,3.118789e-02,3.125694e-02,3.130874e-02,3.140600e-02,3.141861e-02,3.151790e-02,3.153652e-02,3.160700e-02,3.164943e-02,3.168630e-02,3.174561e-02,3.175618e-02,3.181701e-02,3.182592e-02,3.186915e-02,3.189120e-02,3.191297e-02,3.194225e-02,3.194879e-02,3.197696e-02,3.197984e-02,3.199780e-02,3.200473e-02,3.201163e-02,3.201764e-02,3.201875e-02,3.201947e-02,3.201926e-02,3.201407e-02,3.201025e-02,3.200282e-02,3.199127e-02,3.198602e-02,3.196391e-02,3.196292e-02,3.193675e-02,3.192578e-02,3.190479e-02,3.188043e-02,3.186826e-02,3.182740e-02,3.176720e-02,3.170033e-02,3.162726e-02,3.154842e-02,3.146425e-02,3.137515e-02,3.128151e-02,3.118369e-02,3.108204e-02,3.097690e-02,3.086857e-02,3.075735e-02,3.064353e-02,3.052737e-02,3.040913e-02,3.028905e-02,3.016735e-02,3.004424e-02,2.991993e-02,2.979461e-02,2.966845e-02,2.954163e-02,2.941430e-02,2.928662e-02
0.000000e+00,7.320827e-09,2.841075e-08,2.121158e-07,7.990372e-07,1.463217e-06,5.365738e-06,5.621881e-06,1.570698e-05,2.013817e-05,3.594233e-05,5.517220e-05,7.178122e-05,1.242801e-04,1.299330e-04,2.183373e-04,2.450343e-04,3.459284e-04,4.379801e-04,5.220267e-04,7.241446e-04,7.554442e-04,1.053652e-03,1.121599e-03,1.422277e-03,1.643075e-03,1.864951e-03,2.295329e-03,2.383389e-03,2.977577e-03,3.079594e-03,3.645995e-03,3.992423e-03,4.385841e-03,5.026566e-03,5.193230e-03,6.063379e-03,6.171760e-03,6.990782e-03,7.415428e-03,7.969360e-03,8.743316e-03,8.992611e-03,1.005375e-02,1.014007e-02,1.114585e-02,1.158979e-02,1.226193e-02,1.307648e-02,1.339510e-02,1.453865e-02,1.458452e-02,1.568613e-02,1.609899e-02,1.683140e-02,1.760598e-02,1.796873e-02,1.909281e-02,2.019880e-02,2.054818e-02,2.128235e-02,2.196222e-02,2.233956e-02,2.332657e-02,2.336706e-02,2.436194e-02,2.463431e-02,2.532173e-02,2.587991e-02,2.624443e-02,2.705915e-02,2.712842e-02,2.797248e-02,2.816901e-02,2.877574e-02,2.920754e-02,2.953767e-02,3.017376e-02,3.025800e-02,3.093676e-02,3.106754e-02,3.157420e-02,3.188947e-02,3.217077e-02,3.264078e-02,3.272712e-02,3.324408e-02,3.332320e-02,3.372257e-02,3.393889e-02,3.416364e-02,3.449032e-02,3.456843e-02,3.493815e-02,3.498022e-02,3.527404e-02,3.541145e-02,3.557741e-02,3.578703e-02,3.584957e-02,3.609187e-02,3.611000e-02,3.630563e-02,3.638344e-02,3.649219e-02,3.661042e-02,3.665288e-02,3.678899e-02,3.679394e-02,3.690181e-02,3.693697e-02,3.699259e-02,3.704236e-02,3.706256e-02,3.711289e-02,3.714474e-02,3.715121e-02,3.715922e-02,3.715987e-02,3.715741e-02,3.714129e-02,3.714033e-02,3.710898e-02,3.709777e-02,3.706430e-02,3.703148e-02,3.700721e-02,3.694447e-02,3.693857e-02,3.685922e-02,3.683867e-02,3.676994e-02,3.671589e-02,3.667149e-02,3.657782e-02,3.656457e-02,3.644986e-02,3.642604e-02,3.632801e-02,3.626202e-02,3.619962e-02,3.608714e-02,3.606526e-02,3.592548e-02,3.590265e-02,3.578080e-02,3.570975e-02,3.563168e-02,3.550951e-02,3.547859e-02,3.532196e-02,3.530295e-02,3.516219e-02,3.509099e-02,3.499965e-02,3.487449e-02,3.483470e-02,3.466768e-02,3.465424e-02,3.449889e-02,3.443095e-02,3.432862e-02,3.420527e-02,3.415716e-02,3.398474e-02,3.397783e-02,3.381162e-02,3.374916e-02,3.363800e-02,3.351977e-02,3.346410e-02,3.329011e-02,3.306060e-02,3.283161e-02,3.260348e-02,3.237651e-02,3.215099e-02,3.192715e-02,3.170522e-02,3.148539e-02,3.126783e-02,3.105270e-02,3.084012e-02,3.063022e-02,3.042310e-02,3.021883e-02,3.001750e-02,2.981916e-02,2.962387e-02,2.943165e-02,2.924255e-02,2.905658e-02,2.887376e-02,2.869409e-02,2.851758e-02,2.834422e-02
0.000000e+00,1.363079e-10,4.824005e-10,3.000202e-09,9.664218e-09,1.630632e-08,4.905447e-08,5.100498e-08,1.194805e-07,1.465246e-07,2.353677e-07,3.339448e-07,4.139041e-07,6.468509e-07,6.705668e-07,1.016236e-06,1.112852e-06,1.452915e-06,1.735382e-06,1.975270e-06,2.499394e-06,2.575217e-06,3.245004e-06,3.386744e-06,3.978048e-06,4.382313e-06,4.768631e-06,5.473233e-06,5.611346e-06,6.500652e-06,6.646877e-06,7.430638e-06,7.889628e-06,8.394938e-06,9.186538e-06,9.386770e-06,1.039904e-05,1.052155e-05,1.142451e-05,1.187802e-05,1.245592e-05,1.323939e-05,1.348617e-05,1.450850e-05,1.458975e-05,1.551655e-05,1.591446e-05,1.650453e-05,1.720050e-05,1.746724e-05,1.840016e-05,1.843680e-05,1.929945e-05,1.961433e-05,2.016195e-05,2.072614e-05,2.098517e-05,2.176727e-05,2.250699e-05,2.273462e-05,2.320361e-05,2.362669e-05,2.385688e-05,2.444340e-05,2.446698e-05,2.503445e-05,2.518581e-05,2.556014e-05,2.585595e-05,2.604515e-05,2.645653e-05,2.649076e-05,2.689844e-05,2.699081e-05,2.726975e-05,2.746240e-05,2.760632e-05,2.787513e-05,2.790986e-05,2.818208e-05,2.823292e-05,2.842470e-05,2.853973e-05,2.863941e-05,2.879942e-05,2.882788e-05,2.899172e-05,2.901576e-05,2.913251e-05,2.919234e-05,2.925175e-05,2.933260e-05,2.935088e-05,2.943129e-05,2.943974e-05,2.949428e-05,2.951680e-05,2.954109e-05,2.956657e-05,2.957289e-05,2.959079e-05,2.959165e-05,2.959581e-05,2.959444e-05,2.958895e-05,2.957715e-05,2.957110e-05,2.954312e-05,2.954181e-05,2.950582e-05,2.949025e-05,2.945993e-05,2.942419e-05,2.940616e-05,2.934515e-05,2.927751e-05,2.925455e-05,2.920379e-05,2.915367e-05,2.912453e-05,2.904367e-05,2.904020e-05,2.895127e-05,2.892560e-05,2.885816e-05,2.880044e-05,2.876124e-05,2.866905e-05,2.866090e-05,2.855747e-05,2.853222e-05,2.845126e-05,2.839068e-05,2.834256e-05,2.824507e-05,2.823165e-05,2.811878e-05,2.809599e-05,2.800418e-05,2.794398e-05,2.788807e-05,2.778951e-05,2.777064e-05,2.765210e-05,2.763304e-05,2.753260e-05,2.747496e-05,2.741232e-05,2.731563e-05,2.729141e-05,2.716999e-05,2.715539e-05,2.704820e-05,2.699453e-05,2.692617e-05,2.683332e-05,2.680399e-05,2.668178e-05,2.667201e-05,2.655963e-05,2.651081e-05,2.643763e-05,2.634992e-05,2.631585e-05,2.619438e-05,2.618953e-05,2.607328e-05,2.602979e-05,2.595263e-05,2.587086e-05,2.583247e-05,2.571287e-05,2.555592e-05,2.540014e-05,2.524561e-05,2.509242e-05,2.494063e-05,2.479033e-05,2.464157e-05,2.449439e-05,2.434885e-05,2.420499e-05,2.406283e-05,2.392240e-05,2.378374e-05,2.364685e-05,2.351176e-05,2.337847e-05,2.324700e-05,2.311735e-05,2.298952e-05,2.286352e-05,2.273934e-05,2.261698e-05,2.249644e-05,2.237770e-05
0.000000e+00,2.392449e-11,5.570744e-11,1.950659e-10,4.477398e-10,6.555221e-10,1.497815e-09,1.543283e-09,3.000534e-09,3.531269e-09,5.182023e-09,6.909726e-09,8.260738e-09,1.204816e-08,1.242590e-08,1.786414e-08,1.937606e-08,2.471440e-08,2.918446e-08,3.300731e-08,4.141753e-08,4.263763e-08,5.340464e-08,5.567438e-08,6.508268e-08,7.144602e-08,7.746714e-08,8.829003e-08,9.038708e-08,1.037010e-07,1.058595e-07,1.172889e-07,1.238772e-07,1.310461e-07,1.421107e-07,1.448792e-07,1.587040e-07,1.603587e-07,1.724445e-07,1.784459e-07,1.860329e-07,1.962210e-07,1.994089e-07,2.125202e-07,2.135563e-07,2.253218e-07,2.303471e-07,2.377761e-07,2.465108e-07,2.498526e-07,2.615268e-07,2.619851e-07,2.727802e-07,2.767257e-07,2.835996e-07,2.907043e-07,2.939764e-07,3.039061e-07,3.133877e-07,3.163274e-07,3.224231e-07,3.279737e-07,3.310170e-07,3.388576e-07,3.391757e-07,3.469075e-07,3.489972e-07,3.542219e-07,3.584146e-07,3.611295e-07,3.671351e-07,3.676418e-07,3.737708e-07,3.751861e-07,3.795289e-07,3.825961e-07,3.849287e-07,3.893942e-07,3.899829e-07,3.947041e-07,3.956095e-07,3.991051e-07,4.012713e-07,4.031985e-07,4.064081e-07,4.069965e-07,4.105113e-07,4.110481e-07,4.137547e-07,4.152186e-07,4.167384e-07,4.189460e-07,4.194737e-07,4.219715e-07,4.222558e-07,4.242424e-07,4.251724e-07,4.262968e-07,4.277195e-07,4.281446e-07,4.297955e-07,4.299194e-07,4.312588e-07,4.317936e-07,4.325434e-07,4.333626e-07,4.336581e-07,4.346111e-07,4.346460e-07,4.354104e-07,4.356621e-07,4.360638e-07,4.364286e-07,4.365787e-07,4.369622e-07,4.372210e-07,4.372786e-07,4.373619e-07,4.373930e-07,4.373910e-07,4.373195e-07,4.373145e-07,4.371380e-07,4.370715e-07,4.368672e-07,4.366617e-07,4.365073e-07,4.361020e-07,4.360635e-07,4.355405e-07,4.354038e-07,4.349431e-07,4.345777e-07,4.342757e-07,4.336338e-07,4.335425e-07,4.327476e-07,4.325816e-07,4.318949e-07,4.314299e-07,4.309881e-07,4.301872e-07,4.300308e-07,4.290263e-07,4.288615e-07,4.279779e-07,4.274600e-07,4.268887e-07,4.259899e-07,4.257615e-07,4.245993e-07,4.244576e-07,4.234045e-07,4.228693e-07,4.221799e-07,4.212307e-07,4.209279e-07,4.196506e-07,4.195474e-07,4.183504e-07,4.178244e-07,4.170293e-07,4.160663e-07,4.156893e-07,4.143323e-07,4.142777e-07,4.129601e-07,4.124627e-07,4.115744e-07,4.106252e-07,4.101768e-07,4.087689e-07,4.068970e-07,4.050128e-07,4.031192e-07,4.012190e-07,3.993146e-07,3.974084e-07,3.955027e-07,3.935994e-07,3.917005e-07,3.898077e-07,3.879225e-07,3.860465e-07,3.841811e-07,3.823274e-07,3.804866e-07,3.786598e-07,3.768479e-07,3.750519e-07,3.732724e-07,3.715102e-07,3.697660e-07,3.680403e-07,3.663336e-07,3.646463e-07
0.000000e+00,5.759486e-10,2.248560e-09,1.699177e-08,6.468494e-08,1.191106e-07,4.426484e-07,4.640144e-07,1.311199e-06,1.685642e-06,3.026303e-06,4.662839e-06,6.077988e-06,1.054970e-05,1.103068e-05,1.853390e-05,2.079292e-05,2.930694e-05,3.705238e-05,4.411487e-05,6.109823e-05,6.373084e-05,8.888276e-05,9.463471e-05,1.201928e-04,1.390693e-04,1.581260e-04,1.953177e-04,2.029608e-04,2.547824e-04,2.637182e-04,3.134934e-04,3.440508e-04,3.788332e-04,4.356141e-04,4.504035e-04,5.276939e-04,5.373256e-04,6.101072e-04,6.478236e-04,6.969834e-04,7.655640e-04,7.876220e-04,8.813016e-04,8.889056e-04,9.772974e-04,1.016184e-03,1.074896e-03,1.145771e-03,1.173408e-03,1.272179e-03,1.276127e-03,1.370597e-03,1.405830e-03,1.468096e-03,1.533608e-03,1.564165e-03,1.658346e-03,1.750236e-03,1.779098e-03,1.839486e-03,1.895082e-03,1.925801e-03,2.005677e-03,2.008939e-03,2.088702e-03,2.110409e-03,2.164939e-03,2.208942e-03,2.237542e-03,2.301062e-03,2.306436e-03,2.371584e-03,2.386661e-03,2.432977e-03,2.465721e-03,2.490631e-03,2.538307e-03,2.544588e-03,2.594907e-03,2.604541e-03,2.641666e-03,2.664603e-03,2.684954e-03,2.718708e-03,2.724873e-03,2.761534e-03,2.767105e-03,2.795055e-03,2.810065e-03,2.825557e-03,2.847871e-03,2.853168e-03,2.878015e-03,2.880817e-03,2.900228e-03,2.909200e-03,2.919934e-03,2.933314e-03,2.937262e-03,2.952338e-03,2.953450e-03,2.965284e-03,2.969893e-03,2.976220e-03,2.982917e-03,2.985265e-03,2.992531e-03,2.992786e-03,2.998127e-03,2.999753e-03,3.002158e-03,3.004057e-03,3.004726e-03,3.005927e-03,3.005854e-03,3.005576e-03,3.004595e-03,3.003206e-03,3.002234e-03,2.999005e-03,2.998851e-03,2.994522e-03,2.993150e-03,2.989318e-03,2.985805e-03,2.983309e-03,2.977123e-03,2.976557e-03,2.969124e-03,2.967245e-03,2.961067e-03,2.956304e-03,2.952441e-03,2.944419e-03,2.943296e-03,2.933681e-03,2.931705e-03,2.923639e-03,2.918263e-03,2.913214e-03,2.904190e-03,2.902445e-03,2.891370e-03,2.889572e-03,2.880022e-03,2.874489e-03,2.868436e-03,2.859015e-03,2.856640e-03,2.844665e-03,2.843217e-03,2.832535e-03,2.827156e-03,2.820277e-03,2.810889e-03,2.807913e-03,2.795465e-03,2.794466e-03,2.782953e-03,2.777934e-03,2.770395e-03,2.761335e-03,2.757809e-03,2.745210e-03,2.744706e-03,2.732614e-03,2.728083e-03,2.720035e-03,2.711497e-03,2.707485e-03,2.694975e-03,2.678543e-03,2.662223e-03,2.646036e-03,2.629998e-03,2.614128e-03,2.598437e-03,2.582939e-03,2.567644e-03,2.552562e-03,2.537701e-03,2.523067e-03,2.508667e-03,2.494504e-03,2.480582e-03,2.466905e-03,2.453475e-03,2.440293e-03,2.427359e-03,2.414675e-03,2.402240e-03,2.390054e-03,2.378115e-03,2.366422e-03,2.354973e-03
0.000000e+00,1.507792e-08,5.807128e-08,4.269776e-07,1.587045e-06,2.885673e-06,1.039847e-05,1.088740e-05,2.993531e-05,3.822308e-05,6.755048e-05,1.029177e-04,1.332777e-04,2.284866e-04,2.386849e-04,3.971506e-04,4.446734e-04,6.230673e-04,7.843067e-04,9.303751e-04,1.277665e-03,1.330991e-03,1.833820e-03,1.947202e-03,2.444483e-03,2.805599e-03,3.165517e-03,3.856428e-03,3.996756e-03,4.935749e-03,5.095719e-03,5.978127e-03,6.513495e-03,7.117932e-03,8.095077e-03,8.347897e-03,9.659706e-03,9.822196e-03,1.104423e-02,1.167398e-02,1.249178e-02,1.362787e-02,1.399227e-02,1.553548e-02,1.566048e-02,1.711123e-02,1.774839e-02,1.870953e-02,1.986882e-02,2.032072e-02,2.193562e-02,2.200017e-02,2.354563e-02,2.412248e-02,2.514277e-02,2.621772e-02,2.671974e-02,2.826999e-02,2.978769e-02,3.026562e-02,3.126771e-02,3.219311e-02,3.270568e-02,3.404310e-02,3.409787e-02,3.544123e-02,3.580827e-02,3.673331e-02,3.748312e-02,3.797220e-02,3.906384e-02,3.915656e-02,4.028546e-02,4.054809e-02,4.135845e-02,4.193485e-02,4.237542e-02,4.322420e-02,4.333661e-02,4.424254e-02,4.441716e-02,4.509399e-02,4.551553e-02,4.589194e-02,4.652174e-02,4.663758e-02,4.733223e-02,4.743874e-02,4.797733e-02,4.826983e-02,4.857443e-02,4.901864e-02,4.912516e-02,4.963117e-02,4.968897e-02,5.009420e-02,5.028475e-02,5.051596e-02,5.080998e-02,5.089821e-02,5.124269e-02,5.126867e-02,5.155114e-02,5.166480e-02,5.182524e-02,5.200228e-02,5.206670e-02,5.227714e-02,5.228494e-02,5.245818e-02,5.251646e-02,5.261139e-02,5.270044e-02,5.273827e-02,5.284030e-02,5.291889e-02,5.293932e-02,5.297542e-02,5.300062e-02,5.301118e-02,5.302717e-02,5.302746e-02,5.302545e-02,5.302177e-02,5.300632e-02,5.298708e-02,5.297117e-02,5.292559e-02,5.292106e-02,5.285699e-02,5.283964e-02,5.277993e-02,5.273144e-02,5.269078e-02,5.260302e-02,5.259041e-02,5.247965e-02,5.245632e-02,5.235928e-02,5.229313e-02,5.223003e-02,5.211511e-02,5.209260e-02,5.194766e-02,5.192382e-02,5.179584e-02,5.172069e-02,5.163772e-02,5.150707e-02,5.147387e-02,5.130480e-02,5.128419e-02,5.113103e-02,5.105319e-02,5.095300e-02,5.081514e-02,5.077118e-02,5.058596e-02,5.057101e-02,5.039774e-02,5.032169e-02,5.020688e-02,5.006802e-02,5.001373e-02,4.981861e-02,4.981076e-02,4.962181e-02,4.955062e-02,4.942364e-02,4.928822e-02,4.922434e-02,4.902416e-02,4.875899e-02,4.849318e-02,4.822720e-02,4.796144e-02,4.769629e-02,4.743208e-02,4.716911e-02,4.690766e-02,4.664798e-02,4.639030e-02,4.613482e-02,4.588172e-02,4.563115e-02,4.538327e-02,4.513820e-02,4.489604e-02,4.465689e-02,4.442084e-02,4.418795e-02,4.395829e-02,4.373191e-02,4.350884e-02,4.328912e-02,4.307276e-02
0.000000e+00,1.378690e-10,4.854611e-10,2.992063e-09,9.570252e-09,1.608903e-08,4.793054e-08,4.981480e-08,1.152604e-07,1.407646e-07,2.233337e-07,3.130231e-07,3.845286e-07,5.883653e-07,6.088606e-07,9.056140e-07,9.885249e-07,1.282574e-06,1.530704e-06,1.744670e-06,2.222484e-06,2.292708e-06,2.923274e-06,3.058756e-06,3.629875e-06,4.024696e-06,4.404404e-06,5.101153e-06,5.238176e-06,6.122434e-06,6.268021e-06,7.048546e-06,7.505466e-06,8.008099e-06,8.794350e-06,8.992972e-06,9.995425e-06,1.011655e-05,1.100820e-05,1.145533e-05,1.202458e-05,1.279569e-05,1.303851e-05,1.404458e-05,1.412458e-05,1.503808e-05,1.543103e-05,1.601495e-05,1.670608e-05,1.697181e-05,1.790585e-05,1.794270e-05,1.881483e-05,1.913558e-05,1.969701e-05,2.028090e-05,2.055108e-05,2.137613e-05,2.217158e-05,2.241981e-05,2.293712e-05,2.341134e-05,2.367270e-05,2.435078e-05,2.437844e-05,2.505465e-05,2.523876e-05,2.570177e-05,2.607630e-05,2.632033e-05,2.686471e-05,2.691095e-05,2.747432e-05,2.760555e-05,2.801117e-05,2.830051e-05,2.852227e-05,2.895136e-05,2.900841e-05,2.947039e-05,2.955996e-05,2.990903e-05,3.012817e-05,3.032514e-05,3.065785e-05,3.071953e-05,3.109299e-05,3.115086e-05,3.144632e-05,3.160900e-05,3.178030e-05,3.203404e-05,3.209567e-05,3.239318e-05,3.242771e-05,3.267355e-05,3.279166e-05,3.293748e-05,3.312750e-05,3.318566e-05,3.341875e-05,3.343676e-05,3.363739e-05,3.372093e-05,3.384219e-05,3.398142e-05,3.403376e-05,3.421269e-05,3.421959e-05,3.437952e-05,3.443672e-05,3.453480e-05,3.463406e-05,3.467905e-05,3.481276e-05,3.493643e-05,3.497396e-05,3.505052e-05,3.511872e-05,3.515547e-05,3.524803e-05,3.525172e-05,3.533968e-05,3.536287e-05,3.541974e-05,3.546414e-05,3.549228e-05,3.555270e-05,3.555768e-05,3.561629e-05,3.562938e-05,3.566843e-05,3.569493e-05,3.571444e-05,3.575010e-05,3.575463e-05,3.578929e-05,3.579558e-05,3.581870e-05,3.583202e-05,3.584315e-05,3.586004e-05,3.586289e-05,3.587818e-05,3.588023e-05,3.588925e-05,3.589314e-05,3.589634e-05,3.589928e-05,3.589965e-05,3.589942e-05,3.589916e-05,3.589582e-05,3.589323e-05,3.588907e-05,3.588193e-05,3.587934e-05,3.586680e-05,3.586568e-05,3.585163e-05,3.584486e-05,3.583399e-05,3.581984e-05,3.581402e-05,3.579189e-05,3.579096e-05,3.576771e-05,3.575854e-05,3.574164e-05,3.572289e-05,3.571379e-05,3.568429e-05,3.564301e-05,3.559930e-05,3.555341e-05,3.550554e-05,3.545591e-05,3.540472e-05,3.535213e-05,3.529834e-05,3.524348e-05,3.518772e-05,3.513119e-05,3.507402e-05,3.501634e-05,3.495824e-05,3.489985e-05,3.484125e-05,3.478254e-05,3.472379e-05,3.466510e-05,3.460652e-05,3.454813e-05,3.448999e-05,3.443216e-05,3.437467e-05
0.000000e+00,2.847347e-10,1.024323e-09,6.564817e-09,2.163372e-08,3.689273e-08,1.133713e-07,1.179586e-07,2.795444e-07,3.433390e-07,5.519007e-07,7.810630e-07,9.652816e-07,1.496287e-06,1.550095e-06,2.336235e-06,2.557951e-06,3.350163e-06,4.024328e-06,4.608529e-06,5.917086e-06,6.109336e-06,7.826032e-06,8.191325e-06,9.710707e-06,1.073787e-05,1.170520e-05,1.342376e-05,1.375285e-05,1.580559e-05,1.613185e-05,1.782597e-05,1.877581e-05,1.978630e-05,2.129774e-05,2.166668e-05,2.345323e-05,2.366082e-05,2.513654e-05,2.584287e-05,2.671072e-05,2.783208e-05,2.817262e-05,2.952134e-05,2.962437e-05,3.075779e-05,3.122143e-05,3.188434e-05,3.262934e-05,3.290451e-05,3.382269e-05,3.385737e-05,3.464395e-05,3.491691e-05,3.537373e-05,3.582064e-05,3.601775e-05,3.658182e-05,3.707171e-05,3.721374e-05,3.749307e-05,3.772932e-05,3.785138e-05,3.814086e-05,3.815183e-05,3.839938e-05,3.845986e-05,3.859866e-05,3.869687e-05,3.875400e-05,3.886156e-05,3.886941e-05,3.894863e-05,3.896265e-05,3.899510e-05,3.900800e-05,3.901197e-05,3.900464e-05,3.900214e-05,3.896826e-05,3.895881e-05,3.891274e-05,3.887606e-05,3.883780e-05,3.876131e-05,3.874544e-05,3.863750e-05,3.861889e-05,3.851563e-05,3.845265e-05,3.838137e-05,3.826596e-05,3.823608e-05,3.808102e-05,3.806181e-05,3.791732e-05,3.784282e-05,3.774602e-05,3.761132e-05,3.756805e-05,3.738427e-05,3.736934e-05,3.719545e-05,3.711866e-05,3.700228e-05,3.686088e-05,3.680542e-05,3.660544e-05,3.659738e-05,3.640287e-05,3.632940e-05,3.619818e-05,3.605802e-05,3.599183e-05,3.578419e-05,3.557563e-05,3.550876e-05,3.536649e-05,3.523246e-05,3.515705e-05,3.495596e-05,3.494758e-05,3.473835e-05,3.467983e-05,3.452955e-05,3.440458e-05,3.432141e-05,3.413065e-05,3.411410e-05,3.390779e-05,3.385844e-05,3.370263e-05,3.358829e-05,3.349874e-05,3.332049e-05,3.329627e-05,3.309530e-05,3.305530e-05,3.289595e-05,3.279295e-05,3.269830e-05,3.253364e-05,3.250242e-05,3.230839e-05,3.227752e-05,3.211628e-05,3.202476e-05,3.192613e-05,3.177545e-05,3.173799e-05,3.155190e-05,3.152971e-05,3.136791e-05,3.128762e-05,3.118604e-05,3.104925e-05,3.100631e-05,3.082875e-05,3.081464e-05,3.065338e-05,3.058385e-05,3.048021e-05,3.035690e-05,3.030925e-05,3.014050e-05,3.013380e-05,2.997398e-05,2.991457e-05,2.980968e-05,2.969922e-05,2.964760e-05,2.948773e-05,2.928010e-05,2.907630e-05,2.887631e-05,2.868011e-05,2.848767e-05,2.829894e-05,2.811390e-05,2.793250e-05,2.775469e-05,2.758044e-05,2.740969e-05,2.724239e-05,2.707850e-05,2.691797e-05,2.676073e-05,2.660674e-05,2.645595e-05,2.630830e-05,2.616373e-05,2.602220e-05,2.588364e-05,2.574800e-05,2.561524e-05,2.548529e-05
0.000000e+00,1.062319e-10,4.027952e-10,2.867634e-09,1.035952e-08,1.855701e-08,6.456967e-08,6.751891e-08,1.807008e-07,2.294152e-07,4.010296e-07,6.077692e-07,7.855181e-07,1.344113e-06,1.403925e-06,2.326569e-06,2.599420e-06,3.601982e-06,4.475728e-06,5.240206e-06,6.960239e-06,7.213001e-06,9.465930e-06,9.944362e-06,1.193262e-05,1.327727e-05,1.454580e-05,1.680872e-05,1.724380e-05,1.997354e-05,2.041018e-05,2.269105e-05,2.398039e-05,2.536084e-05,2.744320e-05,2.795479e-05,3.045091e-05,3.074303e-05,3.283238e-05,3.384054e-05,3.508669e-05,3.670940e-05,3.720506e-05,3.918189e-05,3.933382e-05,4.101439e-05,4.170684e-05,4.270223e-05,4.382881e-05,4.424715e-05,4.565270e-05,4.570608e-05,4.692387e-05,4.734974e-05,4.806678e-05,4.877421e-05,4.908837e-05,4.999614e-05,5.079793e-05,5.103342e-05,5.150169e-05,5.190429e-05,5.211530e-05,5.262669e-05,5.264644e-05,5.310249e-05,5.321768e-05,5.349040e-05,5.369317e-05,5.381670e-05,5.406768e-05,5.408743e-05,5.430813e-05,5.435423e-05,5.448387e-05,5.456438e-05,5.461924e-05,5.470828e-05,5.471839e-05,5.478503e-05,5.479476e-05,5.482250e-05,5.483145e-05,5.483377e-05,5.482494e-05,5.482150e-05,5.478805e-05,5.478087e-05,5.473551e-05,5.470408e-05,5.466577e-05,5.459871e-05,5.458048e-05,5.448114e-05,5.446834e-05,5.436907e-05,5.431604e-05,5.424547e-05,5.414447e-05,5.411139e-05,5.396779e-05,5.395592e-05,5.381556e-05,5.375242e-05,5.365546e-05,5.353572e-05,5.348821e-05,5.331446e-05,5.330738e-05,5.313479e-05,5.306877e-05,5.294976e-05,5.282111e-05,5.275984e-05,5.256550e-05,5.236716e-05,5.230291e-05,5.216520e-05,5.203423e-05,5.196000e-05,5.176026e-05,5.175189e-05,5.154117e-05,5.148175e-05,5.132814e-05,5.119933e-05,5.111307e-05,5.091362e-05,5.089621e-05,5.067779e-05,5.062516e-05,5.045803e-05,5.033446e-05,5.023714e-05,5.004197e-05,5.001530e-05,4.979271e-05,4.974811e-05,4.956952e-05,4.945328e-05,4.934590e-05,4.915784e-05,4.912200e-05,4.889795e-05,4.886210e-05,4.867390e-05,4.856638e-05,4.844995e-05,4.827095e-05,4.822622e-05,4.800283e-05,4.797605e-05,4.777988e-05,4.768194e-05,4.755745e-05,4.738881e-05,4.733564e-05,4.711453e-05,4.709687e-05,4.689420e-05,4.680630e-05,4.667472e-05,4.651727e-05,4.645617e-05,4.623860e-05,4.622991e-05,4.602207e-05,4.594439e-05,4.580664e-05,4.566081e-05,4.559237e-05,4.537929e-05,4.509995e-05,4.482286e-05,4.454813e-05,4.427582e-05,4.400601e-05,4.373875e-05,4.347411e-05,4.321212e-05,4.295284e-05,4.269631e-05,4.244254e-05,4.219157e-05,4.194343e-05,4.169813e-05,4.145568e-05,4.121610e-05,4.097940e-05,4.074557e-05,4.051463e-05,4.028656e-05,4.006138e-05,3.983906e-05,3.961960e-05,3.940300e-05
0.000000e+00,2.093532e-10,5.936751e-10,2.603131e-09,6.668982e-09,1.017723e-08,2.502145e-08,2.583938e-08,5.250014e-08,6.234948e-08,9.324294e-08,1.258343e-07,1.514229e-07,2.233194e-07,2.304870e-07,3.331955e-07,3.615118e-07,4.604084e-07,5.418785e-07,6.106651e-07,7.597301e-07,7.811564e-07,9.688981e-07,1.008275e-06,1.171217e-06,1.281394e-06,1.385762e-06,1.573857e-06,1.610390e-06,1.843078e-06,1.880925e-06,2.081880e-06,2.198124e-06,2.324926e-06,2.521216e-06,2.570433e-06,2.816728e-06,2.846261e-06,3.062270e-06,3.169705e-06,3.305667e-06,3.488450e-06,3.545687e-06,3.781261e-06,3.799887e-06,4.011485e-06,4.101903e-06,4.235607e-06,4.392852e-06,4.453022e-06,4.663260e-06,4.671515e-06,4.865975e-06,4.937061e-06,5.060927e-06,5.188983e-06,5.247970e-06,5.427026e-06,5.598087e-06,5.651145e-06,5.761204e-06,5.861468e-06,5.916464e-06,6.058241e-06,6.063995e-06,6.203957e-06,6.241814e-06,6.336531e-06,6.412611e-06,6.461916e-06,6.571105e-06,6.580327e-06,6.691993e-06,6.717816e-06,6.797160e-06,6.853308e-06,6.896075e-06,6.978129e-06,6.988965e-06,7.076056e-06,7.092799e-06,7.157584e-06,7.197855e-06,7.233775e-06,7.293812e-06,7.304849e-06,7.371023e-06,7.381170e-06,7.432509e-06,7.460418e-06,7.489514e-06,7.532025e-06,7.542237e-06,7.590872e-06,7.596442e-06,7.635605e-06,7.654099e-06,7.676618e-06,7.705406e-06,7.714083e-06,7.748170e-06,7.750756e-06,7.779041e-06,7.790524e-06,7.806851e-06,7.825064e-06,7.831750e-06,7.853883e-06,7.854713e-06,7.873387e-06,7.879790e-06,7.890394e-06,7.900599e-06,7.905033e-06,7.917425e-06,7.927688e-06,7.930540e-06,7.935932e-06,7.940199e-06,7.942266e-06,7.946644e-06,7.946792e-06,7.949608e-06,7.950103e-06,7.950807e-06,7.950789e-06,7.950481e-06,7.948907e-06,7.948715e-06,7.945590e-06,7.944646e-06,7.941185e-06,7.938187e-06,7.935575e-06,7.929699e-06,7.928832e-06,7.921024e-06,7.919340e-06,7.912215e-06,7.907260e-06,7.902468e-06,7.893600e-06,7.891843e-06,7.880395e-06,7.878491e-06,7.868179e-06,7.862057e-06,7.855245e-06,7.844415e-06,7.841643e-06,7.827420e-06,7.825674e-06,7.812620e-06,7.805935e-06,7.797284e-06,7.785296e-06,7.781454e-06,7.765167e-06,7.763846e-06,7.748460e-06,7.741668e-06,7.731368e-06,7.718842e-06,7.713923e-06,7.696157e-06,7.695440e-06,7.678100e-06,7.671533e-06,7.659778e-06,7.647183e-06,7.641221e-06,7.622452e-06,7.597394e-06,7.572063e-06,7.546506e-06,7.520770e-06,7.494896e-06,7.468923e-06,7.442889e-06,7.416825e-06,7.390765e-06,7.364737e-06,7.338767e-06,7.312881e-06,7.287101e-06,7.261449e-06,7.235943e-06,7.210602e-06,7.185442e-06,7.160478e-06,7.135722e-06,7.111188e-06,7.086887e-06,7.062829e-06,7.039023e-06,7.015476e-06
0.000000e+00,5.193260e-11,1.277274e-10,4.747028e-10,1.121145e-09,1.658986e-09,3.858979e-09,3.978133e-09,7.798721e-09,9.187795e-09,1.349161e-08,1.796471e-08,2.143939e-08,3.107830e-08,3.203203e-08,4.563542e-08,4.938151e-08,6.251909e-08,7.344834e-08,8.277093e-08,1.032914e-07,1.062764e-07,1.327895e-07,1.384277e-07,1.620211e-07,1.782007e-07,1.936865e-07,2.219690e-07,2.275165e-07,2.632524e-07,2.691301e-07,3.006418e-07,3.191026e-07,3.394350e-07,3.713147e-07,3.793858e-07,4.202528e-07,4.252072e-07,4.618025e-07,4.802428e-07,5.038121e-07,5.359177e-07,5.460723e-07,5.883895e-07,5.917719e-07,6.305870e-07,6.473962e-07,6.725055e-07,7.024338e-07,7.140033e-07,7.549570e-07,7.565823e-07,7.952598e-07,8.095915e-07,8.348209e-07,8.612595e-07,8.735644e-07,9.114279e-07,9.483613e-07,9.599769e-07,9.843254e-07,1.006820e-06,1.019290e-06,1.051898e-06,1.053236e-06,1.086147e-06,1.095176e-06,1.118017e-06,1.136638e-06,1.148844e-06,1.176285e-06,1.178630e-06,1.207382e-06,1.214130e-06,1.235110e-06,1.250195e-06,1.261827e-06,1.284513e-06,1.287547e-06,1.312288e-06,1.317120e-06,1.336066e-06,1.348057e-06,1.358902e-06,1.377370e-06,1.380815e-06,1.401827e-06,1.405107e-06,1.421959e-06,1.431315e-06,1.441232e-06,1.456047e-06,1.459668e-06,1.477291e-06,1.479352e-06,1.494121e-06,1.501281e-06,1.510182e-06,1.521886e-06,1.525494e-06,1.540079e-06,1.541216e-06,1.553960e-06,1.559320e-06,1.567157e-06,1.576248e-06,1.579692e-06,1.591584e-06,1.592047e-06,1.602855e-06,1.606764e-06,1.613523e-06,1.620444e-06,1.623609e-06,1.633132e-06,1.642109e-06,1.644870e-06,1.650560e-06,1.655701e-06,1.658503e-06,1.665665e-06,1.665954e-06,1.672931e-06,1.674802e-06,1.679450e-06,1.683148e-06,1.685528e-06,1.690742e-06,1.691179e-06,1.696420e-06,1.697619e-06,1.701266e-06,1.703812e-06,1.705730e-06,1.709355e-06,1.709828e-06,1.713572e-06,1.714279e-06,1.716976e-06,1.718616e-06,1.720053e-06,1.722394e-06,1.722815e-06,1.725276e-06,1.725642e-06,1.727446e-06,1.728387e-06,1.729337e-06,1.730656e-06,1.730960e-06,1.732326e-06,1.732473e-06,1.733445e-06,1.733863e-06,1.734329e-06,1.734848e-06,1.734985e-06,1.735425e-06,1.735451e-06,1.735657e-06,1.735693e-06,1.735689e-06,1.735595e-06,1.735532e-06,1.735193e-06,1.735175e-06,1.734679e-06,1.734454e-06,1.734000e-06,1.733447e-06,1.733163e-06,1.732174e-06,1.730649e-06,1.728889e-06,1.726908e-06,1.724722e-06,1.722342e-06,1.719783e-06,1.717056e-06,1.714174e-06,1.711148e-06,1.707988e-06,1.704705e-06,1.701309e-06,1.697808e-06,1.694212e-06,1.690528e-06,1.686766e-06,1.682932e-06,1.679034e-06,1.675078e-06,1.671071e-06,1.667019e-06,1.662928e-06,1.658803e-06,1.654650e-06
0.000000e+00,2.268361e-10,6.070720e-10,2.471146e-09,6.074595e-09,9.110948e-09,2.161015e-08,2.228765e-08,4.394731e-08,5.178106e-08,7.589885e-08,1.007271e-07,1.198591e-07,1.723234e-07,1.774722e-07,2.502903e-07,2.701885e-07,3.397009e-07,3.974392e-07,4.467829e-07,5.560864e-07,5.720852e-07,7.153542e-07,7.460707e-07,8.753118e-07,9.643514e-07,1.049641e-06,1.204945e-06,1.235265e-06,1.428813e-06,1.460295e-06,1.627052e-06,1.723021e-06,1.827142e-06,1.986935e-06,2.026707e-06,2.223809e-06,2.247218e-06,2.416882e-06,2.500224e-06,2.604668e-06,2.743224e-06,2.786164e-06,2.960579e-06,2.974207e-06,3.127304e-06,3.191735e-06,3.285889e-06,3.394848e-06,3.436019e-06,3.577504e-06,3.582982e-06,3.710254e-06,3.755904e-06,3.834273e-06,3.913656e-06,3.949639e-06,4.056494e-06,4.155035e-06,4.184850e-06,4.245500e-06,4.299282e-06,4.328158e-06,4.400440e-06,4.403306e-06,4.471258e-06,4.489039e-06,4.532339e-06,4.565827e-06,4.586880e-06,4.631571e-06,4.635217e-06,4.677683e-06,4.687037e-06,4.714605e-06,4.732980e-06,4.746306e-06,4.770134e-06,4.773101e-06,4.795293e-06,4.799205e-06,4.813177e-06,4.820868e-06,4.827034e-06,4.835761e-06,4.837136e-06,4.843741e-06,4.844490e-06,4.847096e-06,4.847621e-06,4.847435e-06,4.845684e-06,4.844980e-06,4.839942e-06,4.839173e-06,4.832520e-06,4.828548e-06,4.822903e-06,4.814236e-06,4.811269e-06,4.797784e-06,4.796630e-06,4.782607e-06,4.776095e-06,4.765885e-06,4.752967e-06,4.747757e-06,4.728355e-06,4.727554e-06,4.707800e-06,4.700140e-06,4.686207e-06,4.670986e-06,4.663683e-06,4.640330e-06,4.616240e-06,4.608390e-06,4.591501e-06,4.575366e-06,4.566195e-06,4.541439e-06,4.540398e-06,4.514181e-06,4.506774e-06,4.487609e-06,4.471521e-06,4.460744e-06,4.435818e-06,4.433643e-06,4.406358e-06,4.399788e-06,4.378938e-06,4.363541e-06,4.351429e-06,4.327180e-06,4.323872e-06,4.296305e-06,4.290794e-06,4.268765e-06,4.254465e-06,4.241283e-06,4.218267e-06,4.213891e-06,4.186615e-06,4.182263e-06,4.159481e-06,4.146514e-06,4.132511e-06,4.111069e-06,4.105728e-06,4.079149e-06,4.075974e-06,4.052792e-06,4.041269e-06,4.026672e-06,4.006989e-06,4.000805e-06,3.975201e-06,3.973165e-06,3.949873e-06,3.939822e-06,3.924831e-06,3.906982e-06,3.900083e-06,3.875637e-06,3.874665e-06,3.851499e-06,3.842886e-06,3.827676e-06,3.811659e-06,3.804172e-06,3.780992e-06,3.750894e-06,3.721372e-06,3.692427e-06,3.664064e-06,3.636281e-06,3.609079e-06,3.582455e-06,3.556406e-06,3.530928e-06,3.506016e-06,3.481664e-06,3.457865e-06,3.434613e-06,3.411899e-06,3.389717e-06,3.368056e-06,3.346910e-06,3.326268e-06,3.306121e-06,3.286461e-06,3.267278e-06,3.248562e-06,3.230303e-06,3.212492e-06
0.000000e+00,6.961502e-10,2.523521e-09,1.643367e-08,5.495602e-08,9.447489e-08,2.963236e-07,3.085655e-07,7.455367e-07,9.202736e-07,1.497136e-06,2.137863e-06,2.656524e-06,4.163181e-06,4.316558e-06,6.566816e-06,7.203860e-06,9.486255e-06,1.143545e-05,1.313009e-05,1.695049e-05,1.751537e-05,2.261517e-05,2.371578e-05,2.836629e-05,3.158678e-05,3.468470e-05,4.036412e-05,4.147960e-05,4.866215e-05,4.984169e-05,5.614946e-05,5.982909e-05,6.386574e-05,7.015725e-05,7.174233e-05,7.971747e-05,8.067842e-05,8.773603e-05,9.126519e-05,9.574935e-05,1.018096e-04,1.037150e-04,1.115964e-04,1.122223e-04,1.193626e-04,1.224309e-04,1.269878e-04,1.323787e-04,1.344510e-04,1.417351e-04,1.420225e-04,1.488269e-04,1.513308e-04,1.557162e-04,1.602814e-04,1.623957e-04,1.688603e-04,1.751069e-04,1.770595e-04,1.811340e-04,1.848761e-04,1.869416e-04,1.923112e-04,1.925305e-04,1.979027e-04,1.993685e-04,2.030609e-04,2.060543e-04,2.080081e-04,2.123765e-04,2.127481e-04,2.172851e-04,2.183442e-04,2.216233e-04,2.239676e-04,2.257673e-04,2.292573e-04,2.297220e-04,2.334921e-04,2.342244e-04,2.370827e-04,2.388805e-04,2.404987e-04,2.432370e-04,2.437453e-04,2.468274e-04,2.473056e-04,2.497501e-04,2.510978e-04,2.525183e-04,2.546250e-04,2.551370e-04,2.576111e-04,2.578985e-04,2.599453e-04,2.609293e-04,2.621445e-04,2.637285e-04,2.642133e-04,2.661563e-04,2.663064e-04,2.679778e-04,2.686735e-04,2.696825e-04,2.708398e-04,2.712744e-04,2.727578e-04,2.728150e-04,2.741369e-04,2.746086e-04,2.754156e-04,2.762297e-04,2.765977e-04,2.776871e-04,2.786875e-04,2.789895e-04,2.796025e-04,2.801449e-04,2.804355e-04,2.811612e-04,2.811899e-04,2.818691e-04,2.820462e-04,2.824762e-04,2.828071e-04,2.830142e-04,2.834509e-04,2.834863e-04,2.838953e-04,2.839844e-04,2.842440e-04,2.844139e-04,2.845351e-04,2.847458e-04,2.847714e-04,2.849552e-04,2.849859e-04,2.850892e-04,2.851399e-04,2.851756e-04,2.852132e-04,2.852169e-04,2.852151e-04,2.852109e-04,2.851724e-04,2.851381e-04,2.850910e-04,2.849993e-04,2.849728e-04,2.848198e-04,2.847991e-04,2.846337e-04,2.845418e-04,2.844164e-04,2.842314e-04,2.841696e-04,2.838949e-04,2.838718e-04,2.835941e-04,2.834667e-04,2.832685e-04,2.830196e-04,2.829196e-04,2.825490e-04,2.825337e-04,2.821579e-04,2.820123e-04,2.817476e-04,2.814583e-04,2.813195e-04,2.808746e-04,2.802639e-04,2.796286e-04,2.789713e-04,2.782941e-04,2.775992e-04,2.768886e-04,2.761643e-04,2.754280e-04,2.746815e-04,2.739262e-04,2.731638e-04,2.723957e-04,2.716230e-04,2.708472e-04,2.700692e-04,2.692903e-04,2.685115e-04,2.677336e-04,2.669575e-04,2.661841e-04,2.654142e-04,2.646483e-04,2.638872e-04,2.631315e-04
0.000000e+00,9.678803e-12,2.216107e-11,7.612551e-11,1.728887e-10,2.519236e-10,5.692703e-10,5.862897e-10,1.127000e-09,1.321899e-09,1.922164e-09,2.541871e-09,3.021063e-09,4.342475e-09,4.472662e-09,6.319401e-09,6.824639e-09,8.584858e-09,1.003481e-08,1.126085e-08,1.392360e-08,1.430677e-08,1.766401e-08,1.836740e-08,2.127193e-08,2.322862e-08,2.507565e-08,2.838680e-08,2.902718e-08,3.308427e-08,3.374061e-08,3.720900e-08,3.920272e-08,4.136712e-08,4.469669e-08,4.552759e-08,4.966259e-08,5.015588e-08,5.374746e-08,5.552329e-08,5.776076e-08,6.075164e-08,6.168421e-08,6.550257e-08,6.580311e-08,6.920357e-08,7.064886e-08,7.277753e-08,7.526790e-08,7.621710e-08,7.951714e-08,7.964619e-08,8.267436e-08,8.377562e-08,8.568704e-08,8.765288e-08,8.855483e-08,9.127853e-08,9.385982e-08,9.465614e-08,9.630115e-08,9.779154e-08,9.860557e-08,1.006923e-07,1.007766e-07,1.028181e-07,1.033670e-07,1.047341e-07,1.058253e-07,1.065290e-07,1.080770e-07,1.082070e-07,1.097727e-07,1.101322e-07,1.112304e-07,1.120012e-07,1.125845e-07,1.136939e-07,1.138394e-07,1.149994e-07,1.152204e-07,1.160686e-07,1.165901e-07,1.170512e-07,1.178125e-07,1.179511e-07,1.187721e-07,1.188964e-07,1.195181e-07,1.198506e-07,1.201926e-07,1.206831e-07,1.207991e-07,1.213410e-07,1.214018e-07,1.218214e-07,1.220142e-07,1.222436e-07,1.225274e-07,1.226105e-07,1.229250e-07,1.229480e-07,1.231898e-07,1.232824e-07,1.234075e-07,1.235366e-07,1.235808e-07,1.237119e-07,1.237163e-07,1.238032e-07,1.238268e-07,1.238570e-07,1.238732e-07,1.238753e-07,1.238602e-07,1.238136e-07,1.237924e-07,1.237374e-07,1.236738e-07,1.236332e-07,1.235085e-07,1.235028e-07,1.233478e-07,1.233002e-07,1.231696e-07,1.230523e-07,1.229699e-07,1.227682e-07,1.227499e-07,1.225109e-07,1.224509e-07,1.222543e-07,1.221033e-07,1.219811e-07,1.217281e-07,1.216927e-07,1.213899e-07,1.213277e-07,1.210739e-07,1.209047e-07,1.207457e-07,1.204611e-07,1.204061e-07,1.200561e-07,1.199991e-07,1.196964e-07,1.195206e-07,1.193279e-07,1.190273e-07,1.189514e-07,1.185676e-07,1.185210e-07,1.181770e-07,1.180033e-07,1.177805e-07,1.174755e-07,1.173786e-07,1.169718e-07,1.169390e-07,1.165607e-07,1.163952e-07,1.161459e-07,1.158452e-07,1.157278e-07,1.153069e-07,1.152900e-07,1.148836e-07,1.147308e-07,1.144584e-07,1.141684e-07,1.140316e-07,1.136037e-07,1.130375e-07,1.124706e-07,1.119037e-07,1.113375e-07,1.107724e-07,1.102090e-07,1.096479e-07,1.090895e-07,1.085343e-07,1.079825e-07,1.074346e-07,1.068909e-07,1.063517e-07,1.058171e-07,1.052876e-07,1.047632e-07,1.042443e-07,1.037308e-07,1.032231e-07,1.027211e-07,1.022252e-07,1.017352e-07,1.012514e-07,1.007738e-07
0.000000e+00,1.498532e-10,5.538680e-10,3.744749e-09,1.292523e-08,2.259323e-08,7.392375e-08,7.711093e-08,1.946180e-07,2.432748e-07,4.092996e-07,6.019798e-07,7.633834e-07,1.254156e-06,1.305597e-06,2.080210e-06,2.303717e-06,3.107911e-06,3.790252e-06,4.375312e-06,5.657529e-06,5.842475e-06,7.458497e-06,7.795098e-06,9.173880e-06,1.009080e-05,1.094646e-05,1.245480e-05,1.274260e-05,1.453609e-05,1.482136e-05,1.630630e-05,1.714274e-05,1.803664e-05,1.938297e-05,1.971348e-05,2.132542e-05,2.151402e-05,2.286296e-05,2.351387e-05,2.431841e-05,2.536590e-05,2.568578e-05,2.696076e-05,2.705868e-05,2.814070e-05,2.858576e-05,2.922444e-05,2.994526e-05,3.021224e-05,3.110562e-05,3.113943e-05,3.190726e-05,3.217404e-05,3.262067e-05,3.305751e-05,3.325004e-05,3.380004e-05,3.427568e-05,3.441302e-05,3.468212e-05,3.490832e-05,3.502455e-05,3.529783e-05,3.530811e-05,3.553778e-05,3.559308e-05,3.571831e-05,3.580493e-05,3.585423e-05,3.594357e-05,3.594983e-05,3.600910e-05,3.601834e-05,3.603577e-05,3.603774e-05,3.603323e-05,3.600931e-05,3.600460e-05,3.595269e-05,3.593975e-05,3.588009e-05,3.583494e-05,3.578913e-05,3.570008e-05,3.568192e-05,3.556035e-05,3.553968e-05,3.542614e-05,3.535769e-05,3.528084e-05,3.515755e-05,3.512583e-05,3.496236e-05,3.494223e-05,3.479156e-05,3.471434e-05,3.461441e-05,3.447610e-05,3.443183e-05,3.424462e-05,3.422946e-05,3.405350e-05,3.397611e-05,3.385913e-05,3.371751e-05,3.366210e-05,3.346294e-05,3.345494e-05,3.326211e-05,3.318949e-05,3.306005e-05,3.292213e-05,3.285712e-05,3.265368e-05,3.245003e-05,3.238486e-05,3.224645e-05,3.211631e-05,3.204319e-05,3.184857e-05,3.184047e-05,3.163851e-05,3.158212e-05,3.143747e-05,3.131736e-05,3.123752e-05,3.105466e-05,3.103881e-05,3.084147e-05,3.079433e-05,3.064561e-05,3.053662e-05,3.045135e-05,3.028178e-05,3.025876e-05,3.006794e-05,3.002999e-05,2.987896e-05,2.978144e-05,2.969188e-05,2.953625e-05,2.950676e-05,2.932366e-05,2.929455e-05,2.914260e-05,2.905644e-05,2.896364e-05,2.882199e-05,2.878679e-05,2.861209e-05,2.859128e-05,2.843956e-05,2.836434e-05,2.826922e-05,2.814122e-05,2.810107e-05,2.793513e-05,2.792195e-05,2.777140e-05,2.770653e-05,2.760989e-05,2.749497e-05,2.745060e-05,2.729352e-05,2.728728e-05,2.713866e-05,2.708344e-05,2.698600e-05,2.688344e-05,2.683554e-05,2.668726e-05,2.649487e-05,2.630624e-05,2.612133e-05,2.594011e-05,2.576253e-05,2.558856e-05,2.541814e-05,2.525123e-05,2.508778e-05,2.492773e-05,2.477104e-05,2.461765e-05,2.446750e-05,2.432054e-05,2.417672e-05,2.403598e-05,2.389826e-05,2.376351e-05,2.363167e-05,2.350269e-05,2.337651e-05,2.325308e-05,2.313234e-05,2.301423e-05
0.000000e+00,1.319246e-10,4.505406e-10,2.620573e-09,8.000203e-09,1.314116e-08,3.715556e-08,3.854320e-08,8.564232e-08,1.036473e-07,1.613327e-07,2.235348e-07,2.730585e-07,4.146580e-07,4.289481e-07,6.367626e-07,6.949806e-07,9.009082e-07,1.072822e-06,1.218848e-06,1.535364e-06,1.580654e-06,1.972669e-06,2.053499e-06,2.381740e-06,2.597576e-06,2.797308e-06,3.145635e-06,3.211577e-06,3.618874e-06,3.683098e-06,4.014983e-06,4.200162e-06,4.396667e-06,4.689906e-06,4.761393e-06,5.107186e-06,5.147334e-06,5.432559e-06,5.568971e-06,5.736472e-06,5.952695e-06,6.018301e-06,6.277805e-06,6.297602e-06,6.515086e-06,6.603856e-06,6.730540e-06,6.872504e-06,6.924810e-06,7.098737e-06,7.105285e-06,7.253309e-06,7.304426e-06,7.389620e-06,7.472469e-06,7.508826e-06,7.612117e-06,7.700683e-06,7.726107e-06,7.775696e-06,7.817118e-06,7.838292e-06,7.887709e-06,7.889555e-06,7.930514e-06,7.940269e-06,7.962132e-06,7.976996e-06,7.985307e-06,7.999887e-06,8.000870e-06,8.009585e-06,8.010736e-06,8.012151e-06,8.011143e-06,8.009208e-06,8.002523e-06,8.001337e-06,7.989067e-06,7.986128e-06,7.972878e-06,7.963056e-06,7.953203e-06,7.934269e-06,7.930433e-06,7.904920e-06,7.900605e-06,7.876983e-06,7.862797e-06,7.846909e-06,7.821485e-06,7.814956e-06,7.781356e-06,7.777223e-06,7.746318e-06,7.730496e-06,7.710033e-06,7.681727e-06,7.672669e-06,7.634381e-06,7.631282e-06,7.595306e-06,7.579484e-06,7.555569e-06,7.526612e-06,7.515282e-06,7.474548e-06,7.472910e-06,7.433457e-06,7.418594e-06,7.392094e-06,7.363849e-06,7.350532e-06,7.308839e-06,7.267076e-06,7.253706e-06,7.225298e-06,7.198577e-06,7.183557e-06,7.143561e-06,7.141896e-06,7.100358e-06,7.088755e-06,7.058979e-06,7.034242e-06,7.017792e-06,6.980096e-06,6.976828e-06,6.936114e-06,6.926382e-06,6.895674e-06,6.873155e-06,6.855530e-06,6.820465e-06,6.815703e-06,6.776209e-06,6.768352e-06,6.737066e-06,6.716855e-06,6.698287e-06,6.666004e-06,6.659885e-06,6.621871e-06,6.615825e-06,6.584254e-06,6.566341e-06,6.547043e-06,6.517571e-06,6.510245e-06,6.473867e-06,6.469530e-06,6.437913e-06,6.422230e-06,6.402389e-06,6.375680e-06,6.367298e-06,6.332643e-06,6.329890e-06,6.298427e-06,6.284863e-06,6.264650e-06,6.240604e-06,6.231315e-06,6.198421e-06,6.197114e-06,6.165968e-06,6.154393e-06,6.133957e-06,6.112440e-06,6.102385e-06,6.071253e-06,6.030827e-06,5.991158e-06,5.952242e-06,5.914070e-06,5.876638e-06,5.839937e-06,5.803959e-06,5.768696e-06,5.734138e-06,5.700277e-06,5.667102e-06,5.634605e-06,5.602774e-06,5.571599e-06,5.541071e-06,5.511178e-06,5.481911e-06,5.453257e-06,5.425208e-06,5.397751e-06,5.370876e-06,5.344573e-06,5.318831e-06,5.293639e-06
0.000000e+00,4.737522e-11,1.768879e-10,1.219324e-09,4.272006e-09,7.518397e-09,2.488533e-08,2.596485e-08,6.552449e-08,8.171410e-08,1.360058e-07,1.972553e-07,2.472773e-07,3.938241e-07,4.088086e-07,6.294041e-07,6.920351e-07,9.169306e-07,1.109656e-06,1.277805e-06,1.659347e-06,1.716083e-06,2.232326e-06,2.344682e-06,2.822842e-06,3.156813e-06,3.479837e-06,4.075208e-06,4.192461e-06,4.948213e-06,5.072271e-06,5.734209e-06,6.118565e-06,6.538090e-06,7.186431e-06,7.348549e-06,8.155588e-06,8.251779e-06,8.950574e-06,9.294624e-06,9.726217e-06,1.029903e-05,1.047651e-05,1.119664e-05,1.125283e-05,1.188290e-05,1.214729e-05,1.253258e-05,1.297666e-05,1.314388e-05,1.371580e-05,1.373785e-05,1.424802e-05,1.442994e-05,1.474084e-05,1.505383e-05,1.519504e-05,1.561178e-05,1.599254e-05,1.610706e-05,1.633902e-05,1.654363e-05,1.665308e-05,1.692588e-05,1.693666e-05,1.719174e-05,1.725833e-05,1.742030e-05,1.754552e-05,1.762429e-05,1.779188e-05,1.780559e-05,1.796599e-05,1.800157e-05,1.810721e-05,1.817852e-05,1.823085e-05,1.832631e-05,1.833841e-05,1.843129e-05,1.844822e-05,1.851077e-05,1.854720e-05,1.857804e-05,1.862590e-05,1.863418e-05,1.868020e-05,1.868668e-05,1.871700e-05,1.873164e-05,1.874541e-05,1.876261e-05,1.876619e-05,1.878002e-05,1.878125e-05,1.878753e-05,1.878897e-05,1.878926e-05,1.878704e-05,1.878574e-05,1.877742e-05,1.877656e-05,1.876473e-05,1.875852e-05,1.874806e-05,1.873378e-05,1.872775e-05,1.870412e-05,1.870311e-05,1.867745e-05,1.866717e-05,1.864803e-05,1.862656e-05,1.861607e-05,1.858182e-05,1.854546e-05,1.853342e-05,1.850720e-05,1.848179e-05,1.846719e-05,1.842730e-05,1.842561e-05,1.838258e-05,1.837029e-05,1.833825e-05,1.831108e-05,1.829275e-05,1.824994e-05,1.824618e-05,1.819865e-05,1.818712e-05,1.815027e-05,1.812284e-05,1.810113e-05,1.805731e-05,1.805130e-05,1.800088e-05,1.799072e-05,1.794992e-05,1.792325e-05,1.789852e-05,1.785503e-05,1.784672e-05,1.779458e-05,1.778622e-05,1.774217e-05,1.771694e-05,1.768954e-05,1.764731e-05,1.763674e-05,1.758380e-05,1.757744e-05,1.753078e-05,1.750743e-05,1.747771e-05,1.743737e-05,1.742464e-05,1.737159e-05,1.736735e-05,1.731860e-05,1.729743e-05,1.726570e-05,1.722769e-05,1.721293e-05,1.716030e-05,1.715819e-05,1.710784e-05,1.708900e-05,1.705557e-05,1.702015e-05,1.700352e-05,1.695171e-05,1.688372e-05,1.681621e-05,1.674923e-05,1.668280e-05,1.661696e-05,1.655174e-05,1.648715e-05,1.642323e-05,1.635999e-05,1.629745e-05,1.623562e-05,1.617452e-05,1.611416e-05,1.605455e-05,1.599570e-05,1.593762e-05,1.588030e-05,1.582377e-05,1.576801e-05,1.571304e-05,1.565885e-05,1.560545e-05,1.555284e-05,1.550100e-05
0.000000e+00,7.400374e-11,2.843628e-10,2.079089e-09,7.680981e-09,1.391446e-08,4.960830e-08,5.191670e-08,1.410400e-07,1.794634e-07,3.142960e-07,4.751812e-07,6.121556e-07,1.036404e-06,1.081426e-06,1.771655e-06,1.975415e-06,2.728045e-06,3.392986e-06,3.984096e-06,5.352121e-06,5.558008e-06,7.453039e-06,7.869950e-06,9.659896e-06,1.092470e-05,1.215957e-05,1.446657e-05,1.492585e-05,1.792740e-05,1.842718e-05,2.112934e-05,2.272661e-05,2.449457e-05,2.727867e-05,2.798489e-05,3.156196e-05,3.199524e-05,3.518818e-05,3.678993e-05,3.882750e-05,4.158124e-05,4.244611e-05,4.601299e-05,4.629525e-05,4.950039e-05,5.086756e-05,5.288414e-05,5.524464e-05,5.614380e-05,5.926270e-05,5.938433e-05,6.222786e-05,6.325576e-05,6.502984e-05,6.683870e-05,6.766245e-05,7.012246e-05,7.240926e-05,7.310466e-05,7.452447e-05,7.578972e-05,7.647162e-05,7.818744e-05,7.825575e-05,7.988313e-05,8.031166e-05,8.136091e-05,8.217900e-05,8.269689e-05,8.380779e-05,8.389926e-05,8.497639e-05,8.521720e-05,8.593669e-05,8.642652e-05,8.678845e-05,8.745463e-05,8.753974e-05,8.819835e-05,8.831960e-05,8.877166e-05,8.903843e-05,8.926671e-05,8.962689e-05,8.969007e-05,9.004788e-05,9.009943e-05,9.034585e-05,9.046919e-05,9.058926e-05,9.074798e-05,9.078296e-05,9.093143e-05,9.094640e-05,9.103873e-05,9.107388e-05,9.110860e-05,9.113878e-05,9.114445e-05,9.114937e-05,9.114851e-05,9.112617e-05,9.110960e-05,9.107743e-05,9.102782e-05,9.100546e-05,9.091238e-05,9.090824e-05,9.080011e-05,9.075534e-05,9.067041e-05,9.057306e-05,9.052485e-05,9.036490e-05,9.019186e-05,9.013392e-05,9.000694e-05,8.988287e-05,8.981124e-05,8.961417e-05,8.960577e-05,8.939145e-05,8.932997e-05,8.916911e-05,8.903219e-05,8.893955e-05,8.872257e-05,8.870346e-05,8.846151e-05,8.840264e-05,8.821430e-05,8.807378e-05,8.796240e-05,8.773725e-05,8.770632e-05,8.744654e-05,8.739418e-05,8.718350e-05,8.704558e-05,8.691762e-05,8.669237e-05,8.664928e-05,8.637885e-05,8.633540e-05,8.610663e-05,8.597543e-05,8.583296e-05,8.561318e-05,8.555813e-05,8.528239e-05,8.524925e-05,8.500600e-05,8.488424e-05,8.472919e-05,8.451867e-05,8.445218e-05,8.417518e-05,8.415302e-05,8.389836e-05,8.378773e-05,8.362192e-05,8.342320e-05,8.334601e-05,8.307079e-05,8.305980e-05,8.279640e-05,8.269786e-05,8.252299e-05,8.233768e-05,8.225066e-05,8.197955e-05,8.162372e-05,8.127043e-05,8.091987e-05,8.057224e-05,8.022771e-05,7.988644e-05,7.954856e-05,7.921419e-05,7.888345e-05,7.855644e-05,7.823324e-05,7.791393e-05,7.759858e-05,7.728724e-05,7.697995e-05,7.667676e-05,7.637771e-05,7.608281e-05,7.579209e-05,7.550556e-05,7.522322e-05,7.494509e-05,7.467115e-05,7.440141e-05
0.000000e+00,1.670912e-10,5.898925e-10,3.652188e-09,1.171925e-08,1.973039e-08,5.895181e-08,6.127548e-08,1.420827e-07,1.736121e-07,2.757998e-07,3.869662e-07,4.757007e-07,7.290335e-07,7.545265e-07,1.123642e-06,1.226656e-06,1.590979e-06,1.896643e-06,2.158614e-06,2.737741e-06,2.822161e-06,3.572577e-06,3.732112e-06,4.398634e-06,4.854175e-06,5.288589e-06,6.077061e-06,6.230879e-06,7.214328e-06,7.374776e-06,8.228208e-06,8.722657e-06,9.262302e-06,1.009766e-05,1.030702e-05,1.135351e-05,1.147882e-05,1.239380e-05,1.284771e-05,1.342083e-05,1.418874e-05,1.442854e-05,1.541184e-05,1.548932e-05,1.636657e-05,1.673969e-05,1.728942e-05,1.793272e-05,1.817792e-05,1.903025e-05,1.906357e-05,1.984523e-05,2.012934e-05,2.062221e-05,2.112872e-05,2.136096e-05,2.206163e-05,2.272464e-05,2.292896e-05,2.335067e-05,2.373231e-05,2.394057e-05,2.447379e-05,2.449532e-05,2.501602e-05,2.515587e-05,2.550383e-05,2.578124e-05,2.595997e-05,2.635271e-05,2.638567e-05,2.678218e-05,2.687313e-05,2.715074e-05,2.734538e-05,2.749258e-05,2.777226e-05,2.780891e-05,2.810092e-05,2.815651e-05,2.836976e-05,2.850077e-05,2.861655e-05,2.880761e-05,2.884238e-05,2.904829e-05,2.907945e-05,2.923529e-05,2.931862e-05,2.940435e-05,2.952731e-05,2.955640e-05,2.969234e-05,2.970761e-05,2.981302e-05,2.986150e-05,2.991926e-05,2.999083e-05,3.001185e-05,3.009154e-05,3.009738e-05,3.015903e-05,3.018277e-05,3.021502e-05,3.024857e-05,3.026015e-05,3.029505e-05,3.029624e-05,3.032030e-05,3.032714e-05,3.033647e-05,3.034255e-05,3.034410e-05,3.034369e-05,3.033573e-05,3.033166e-05,3.032068e-05,3.030754e-05,3.029899e-05,3.027229e-05,3.027106e-05,3.023730e-05,3.022685e-05,3.019807e-05,3.017207e-05,3.015375e-05,3.010876e-05,3.010466e-05,3.005113e-05,3.003766e-05,2.999347e-05,2.995948e-05,2.993196e-05,2.987487e-05,2.986688e-05,2.979849e-05,2.978444e-05,2.972704e-05,2.968875e-05,2.965276e-05,2.958834e-05,2.957587e-05,2.949659e-05,2.948369e-05,2.941510e-05,2.937527e-05,2.933161e-05,2.926349e-05,2.924629e-05,2.915930e-05,2.914876e-05,2.907081e-05,2.903143e-05,2.898096e-05,2.891186e-05,2.888991e-05,2.879777e-05,2.879036e-05,2.870469e-05,2.866722e-05,2.861078e-05,2.854272e-05,2.851616e-05,2.842093e-05,2.841710e-05,2.832518e-05,2.829061e-05,2.822903e-05,2.816346e-05,2.813255e-05,2.803584e-05,2.790794e-05,2.777994e-05,2.765198e-05,2.752422e-05,2.739678e-05,2.726979e-05,2.714337e-05,2.701760e-05,2.689259e-05,2.676842e-05,2.664517e-05,2.652291e-05,2.640170e-05,2.628160e-05,2.616266e-05,2.604493e-05,2.592845e-05,2.581326e-05,2.569939e-05,2.558687e-05,2.547572e-05,2.536596e-05,2.525761e-05,2.515070e-05
0.000000e+00,9.234594e-11,2.397343e-10,9.366945e-10,2.244216e-09,3.326281e-09,7.679353e-09,7.911953e-09,1.522503e-08,1.782267e-08,2.569976e-08,3.365220e-08,3.968934e-08,5.590533e-08,5.747289e-08,7.924937e-08,8.508309e-08,1.051126e-07,1.213671e-07,1.350029e-07,1.644230e-07,1.686423e-07,2.054933e-07,2.131846e-07,2.447934e-07,2.659087e-07,2.856723e-07,3.206092e-07,3.272843e-07,3.688906e-07,3.755046e-07,4.098831e-07,4.291948e-07,4.497768e-07,4.806415e-07,4.881906e-07,5.248318e-07,5.290985e-07,5.594820e-07,5.740556e-07,5.919874e-07,6.151952e-07,6.222506e-07,6.502226e-07,6.523609e-07,6.758965e-07,6.855278e-07,6.993003e-07,7.147763e-07,7.204908e-07,7.395478e-07,7.402671e-07,7.565685e-07,7.622182e-07,7.716620e-07,7.808841e-07,7.849450e-07,7.965386e-07,8.065660e-07,8.094640e-07,8.151491e-07,8.199393e-07,8.224065e-07,8.282327e-07,8.284527e-07,8.333967e-07,8.345978e-07,8.373417e-07,8.392695e-07,8.403839e-07,8.424628e-07,8.426133e-07,8.441127e-07,8.443727e-07,8.449590e-07,8.451740e-07,8.452223e-07,8.450229e-07,8.449669e-07,8.442510e-07,8.440573e-07,8.431275e-07,8.423984e-07,8.416445e-07,8.401527e-07,8.398452e-07,8.377689e-07,8.374134e-07,8.354508e-07,8.342617e-07,8.329228e-07,8.307684e-07,8.302133e-07,8.273480e-07,8.269948e-07,8.243498e-07,8.229939e-07,8.212393e-07,8.188116e-07,8.180349e-07,8.147532e-07,8.144878e-07,8.114090e-07,8.100568e-07,8.080154e-07,8.055481e-07,8.045843e-07,8.011262e-07,8.009874e-07,7.976504e-07,7.963965e-07,7.941655e-07,7.917944e-07,7.906789e-07,7.871972e-07,7.837264e-07,7.826189e-07,7.802717e-07,7.780713e-07,7.768377e-07,7.735645e-07,7.734287e-07,7.700482e-07,7.691072e-07,7.666994e-07,7.647066e-07,7.633852e-07,7.603689e-07,7.601081e-07,7.568702e-07,7.560991e-07,7.536733e-07,7.519015e-07,7.505190e-07,7.477796e-07,7.474087e-07,7.443436e-07,7.437361e-07,7.413246e-07,7.397732e-07,7.383525e-07,7.358926e-07,7.354279e-07,7.325514e-07,7.320956e-07,7.297232e-07,7.283830e-07,7.269438e-07,7.247553e-07,7.242131e-07,7.215313e-07,7.212128e-07,7.188984e-07,7.177553e-07,7.163141e-07,7.143826e-07,7.137785e-07,7.112911e-07,7.110942e-07,7.088518e-07,7.078894e-07,7.064602e-07,7.047675e-07,7.041158e-07,7.018184e-07,7.017275e-07,6.995674e-07,6.987683e-07,6.973624e-07,6.958889e-07,6.952027e-07,6.930880e-07,6.903643e-07,6.877165e-07,6.851431e-07,6.826428e-07,6.802140e-07,6.778554e-07,6.755653e-07,6.733422e-07,6.711848e-07,6.690913e-07,6.670604e-07,6.650905e-07,6.631801e-07,6.613276e-07,6.595318e-07,6.577910e-07,6.561038e-07,6.544688e-07,6.528847e-07,6.513500e-07,6.498633e-07,6.484234e-07,6.470289e-07,6.456786e-07
0.000000e+00,2.286923e-10,6.273993e-10,2.630023e-09,6.562533e-09,9.903193e-09,2.380792e-08,2.456748e-08,4.913108e-08,5.814314e-08,8.629254e-08,1.158735e-07,1.390528e-07,2.040847e-07,2.105647e-07,3.033937e-07,3.289669e-07,4.180589e-07,4.909595e-07,5.519759e-07,6.819972e-07,7.004068e-07,8.584767e-07,8.908834e-07,1.022268e-06,1.108702e-06,1.188866e-06,1.329345e-06,1.356059e-06,1.522094e-06,1.548452e-06,1.685521e-06,1.762674e-06,1.845122e-06,1.969360e-06,1.999882e-06,2.148967e-06,2.166443e-06,2.291717e-06,2.352387e-06,2.427639e-06,2.526158e-06,2.556392e-06,2.677773e-06,2.687161e-06,2.791700e-06,2.835186e-06,2.898195e-06,2.970328e-06,2.997366e-06,3.089389e-06,3.092924e-06,3.174493e-06,3.203487e-06,3.252947e-06,3.302649e-06,3.325049e-06,3.391113e-06,3.451465e-06,3.469625e-06,3.506433e-06,3.538940e-06,3.556346e-06,3.599803e-06,3.601523e-06,3.642273e-06,3.652931e-06,3.678895e-06,3.699005e-06,3.711672e-06,3.738666e-06,3.740877e-06,3.766762e-06,3.772508e-06,3.789571e-06,3.801084e-06,3.809527e-06,3.824899e-06,3.826844e-06,3.841719e-06,3.844417e-06,3.854336e-06,3.860062e-06,3.864867e-06,3.872218e-06,3.873472e-06,3.880300e-06,3.881237e-06,3.885490e-06,3.887437e-06,3.889169e-06,3.891104e-06,3.891456e-06,3.892462e-06,3.892502e-06,3.892290e-06,3.891866e-06,3.891034e-06,3.889410e-06,3.888783e-06,3.885618e-06,3.885328e-06,3.881615e-06,3.879795e-06,3.876844e-06,3.872970e-06,3.871370e-06,3.865253e-06,3.864996e-06,3.858551e-06,3.856004e-06,3.851313e-06,3.846111e-06,3.843589e-06,3.835424e-06,3.826858e-06,3.824039e-06,3.817930e-06,3.812043e-06,3.808676e-06,3.799517e-06,3.799130e-06,3.789321e-06,3.786532e-06,3.779279e-06,3.773152e-06,3.769029e-06,3.759438e-06,3.758597e-06,3.748006e-06,3.745443e-06,3.737276e-06,3.731214e-06,3.726428e-06,3.716797e-06,3.715479e-06,3.704447e-06,3.702232e-06,3.693347e-06,3.687553e-06,3.682195e-06,3.672795e-06,3.671003e-06,3.659784e-06,3.657987e-06,3.648551e-06,3.643156e-06,3.637313e-06,3.628327e-06,3.626081e-06,3.614865e-06,3.613520e-06,3.603672e-06,3.598757e-06,3.592511e-06,3.584055e-06,3.581390e-06,3.570314e-06,3.569430e-06,3.559291e-06,3.554898e-06,3.548326e-06,3.540470e-06,3.537425e-06,3.526592e-06,3.526160e-06,3.515832e-06,3.511977e-06,3.505149e-06,3.497931e-06,3.494547e-06,3.484030e-06,3.470282e-06,3.456694e-06,3.443270e-06,3.430016e-06,3.416937e-06,3.404036e-06,3.391316e-06,3.378780e-06,3.366430e-06,3.354267e-06,3.342294e-06,3.330512e-06,3.318919e-06,3.307518e-06,3.296308e-06,3.285289e-06,3.274461e-06,3.263822e-06,3.253372e-06,3.243111e-06,3.233035e-06,3.223145e-06,3.213439e-06,3.203916e-06
0.000000e+00,6.793289e-11,2.472820e-10,1.621743e-09,5.448528e-09,9.384066e-09,2.951494e-08,3.073593e-08,7.426634e-08,9.163906e-08,1.488529e-07,2.121752e-07,2.632830e-07,4.111258e-07,4.261324e-07,6.456158e-07,7.075716e-07,9.291726e-07,1.118219e-06,1.282607e-06,1.653779e-06,1.708749e-06,2.205942e-06,2.313381e-06,2.767128e-06,3.080405e-06,3.380315e-06,3.924591e-06,4.030436e-06,4.701726e-06,4.810097e-06,5.379654e-06,5.703725e-06,6.051983e-06,6.579249e-06,6.709066e-06,7.343672e-06,7.418049e-06,7.950606e-06,8.207927e-06,8.526325e-06,8.941577e-06,9.068590e-06,9.576179e-06,9.615270e-06,1.004867e-05,1.022786e-05,1.048626e-05,1.078008e-05,1.088962e-05,1.125981e-05,1.127394e-05,1.159812e-05,1.171239e-05,1.190606e-05,1.209893e-05,1.218525e-05,1.243738e-05,1.266418e-05,1.273169e-05,1.286736e-05,1.298576e-05,1.304858e-05,1.320341e-05,1.320948e-05,1.335161e-05,1.338824e-05,1.347644e-05,1.354363e-05,1.358538e-05,1.367268e-05,1.367972e-05,1.376070e-05,1.377827e-05,1.382944e-05,1.386298e-05,1.388700e-05,1.392917e-05,1.393435e-05,1.397239e-05,1.397895e-05,1.400195e-05,1.401422e-05,1.402378e-05,1.403666e-05,1.403859e-05,1.404701e-05,1.404781e-05,1.404964e-05,1.404900e-05,1.404700e-05,1.404144e-05,1.403960e-05,1.402788e-05,1.402621e-05,1.401226e-05,1.400425e-05,1.399311e-05,1.397641e-05,1.397078e-05,1.394559e-05,1.394345e-05,1.391781e-05,1.390604e-05,1.388773e-05,1.386478e-05,1.385558e-05,1.382159e-05,1.382019e-05,1.378595e-05,1.377275e-05,1.374886e-05,1.372289e-05,1.371048e-05,1.367097e-05,1.363047e-05,1.361733e-05,1.358913e-05,1.356227e-05,1.354704e-05,1.350606e-05,1.350434e-05,1.346112e-05,1.344893e-05,1.341746e-05,1.339110e-05,1.337347e-05,1.333275e-05,1.332920e-05,1.328475e-05,1.327406e-05,1.324016e-05,1.321516e-05,1.319551e-05,1.315621e-05,1.315085e-05,1.310622e-05,1.309730e-05,1.306168e-05,1.303856e-05,1.301726e-05,1.298008e-05,1.297301e-05,1.292896e-05,1.292193e-05,1.288514e-05,1.286420e-05,1.284158e-05,1.280694e-05,1.279831e-05,1.275535e-05,1.275022e-05,1.271273e-05,1.269409e-05,1.267047e-05,1.263859e-05,1.262857e-05,1.258706e-05,1.258376e-05,1.254596e-05,1.252964e-05,1.250527e-05,1.247624e-05,1.246502e-05,1.242520e-05,1.242361e-05,1.238582e-05,1.237176e-05,1.234691e-05,1.232071e-05,1.230845e-05,1.227046e-05,1.222104e-05,1.217246e-05,1.212472e-05,1.207782e-05,1.203177e-05,1.198657e-05,1.194223e-05,1.189873e-05,1.185607e-05,1.181426e-05,1.177329e-05,1.173314e-05,1.169382e-05,1.165532e-05,1.161762e-05,1.158073e-05,1.154462e-05,1.150930e-05,1.147475e-05,1.144095e-05,1.140791e-05,1.137561e-05,1.134403e-05,1.131317e-05
0.000000e+00,1.654790e-11,3.854996e-11,1.347506e-10,3.083605e-10,4.505626e-10,1.023455e-09,1.054251e-09,2.036144e-09,2.391717e-09,3.492110e-09,4.635415e-09,5.523025e-09,7.972766e-09,8.213357e-09,1.158848e-08,1.249666e-08,1.560704e-08,1.811416e-08,2.020423e-08,2.468211e-08,2.532208e-08,3.091181e-08,3.208240e-08,3.692817e-08,4.021009e-08,4.332511e-08,4.895705e-08,5.005383e-08,5.706247e-08,5.820623e-08,6.429676e-08,6.783308e-08,7.170119e-08,7.770998e-08,7.922038e-08,8.680042e-08,8.771164e-08,9.439001e-08,9.772003e-08,1.019415e-07,1.076283e-07,1.094116e-07,1.167618e-07,1.173436e-07,1.239587e-07,1.267880e-07,1.309740e-07,1.358993e-07,1.377844e-07,1.443713e-07,1.446299e-07,1.507205e-07,1.529460e-07,1.568219e-07,1.608258e-07,1.626689e-07,1.682577e-07,1.735877e-07,1.752388e-07,1.786601e-07,1.817728e-07,1.834783e-07,1.878690e-07,1.880470e-07,1.923722e-07,1.935406e-07,1.964609e-07,1.988037e-07,2.003207e-07,2.036765e-07,2.039597e-07,2.073865e-07,2.081783e-07,2.106096e-07,2.123289e-07,2.136379e-07,2.161484e-07,2.164799e-07,2.191444e-07,2.196567e-07,2.216397e-07,2.228731e-07,2.239740e-07,2.258162e-07,2.261553e-07,2.281912e-07,2.285040e-07,2.300893e-07,2.309535e-07,2.318566e-07,2.331808e-07,2.334998e-07,2.350256e-07,2.352011e-07,2.364401e-07,2.370287e-07,2.377492e-07,2.386771e-07,2.389585e-07,2.400734e-07,2.401587e-07,2.410989e-07,2.414852e-07,2.420398e-07,2.426675e-07,2.429008e-07,2.436860e-07,2.437159e-07,2.443996e-07,2.446397e-07,2.450454e-07,2.454478e-07,2.456272e-07,2.461484e-07,2.466122e-07,2.467490e-07,2.470217e-07,2.472568e-07,2.473800e-07,2.476783e-07,2.476898e-07,2.479537e-07,2.480197e-07,2.481741e-07,2.482866e-07,2.483536e-07,2.484844e-07,2.484942e-07,2.485982e-07,2.486179e-07,2.486675e-07,2.486918e-07,2.487040e-07,2.487104e-07,2.487095e-07,2.486857e-07,2.486776e-07,2.486343e-07,2.485971e-07,2.485567e-07,2.484724e-07,2.484544e-07,2.483288e-07,2.483067e-07,2.481812e-07,2.481030e-07,2.480129e-07,2.478641e-07,2.478250e-07,2.476185e-07,2.475926e-07,2.473947e-07,2.472910e-07,2.471545e-07,2.469615e-07,2.468988e-07,2.466286e-07,2.466064e-07,2.463447e-07,2.462276e-07,2.460480e-07,2.458269e-07,2.457392e-07,2.454191e-07,2.454061e-07,2.450884e-07,2.449669e-07,2.447477e-07,2.445107e-07,2.443977e-07,2.440391e-07,2.435533e-07,2.430547e-07,2.425443e-07,2.420234e-07,2.414929e-07,2.409539e-07,2.404072e-07,2.398537e-07,2.392943e-07,2.387296e-07,2.381604e-07,2.375873e-07,2.370111e-07,2.364322e-07,2.358512e-07,2.352687e-07,2.346851e-07,2.341009e-07,2.335165e-07,2.329323e-07,2.323488e-07,2.317662e-07,2.311848e-07,2.306051e-07
0.000000e+00,6.237633e-11,2.381944e-10,1.718597e-09,6.269514e-09,1.127579e-08,3.940818e-08,4.120668e-08,1.094816e-07,1.383963e-07,2.381363e-07,3.544727e-07,4.517473e-07,7.453782e-07,7.759927e-07,1.236053e-06,1.369262e-06,1.854273e-06,2.275937e-06,2.646789e-06,3.493870e-06,3.620180e-06,4.769968e-06,5.019963e-06,6.081582e-06,6.820434e-06,7.532843e-06,8.840197e-06,9.096818e-06,1.074437e-05,1.101376e-05,1.244615e-05,1.327396e-05,1.417412e-05,1.555797e-05,1.590255e-05,1.760866e-05,1.781093e-05,1.927304e-05,1.998793e-05,2.087978e-05,2.205454e-05,2.241639e-05,2.387364e-05,2.398658e-05,2.524530e-05,2.576912e-05,2.652780e-05,2.739515e-05,2.771978e-05,2.882182e-05,2.886406e-05,2.983596e-05,3.018013e-05,3.076542e-05,3.135111e-05,3.161423e-05,3.238701e-05,3.308870e-05,3.329906e-05,3.372439e-05,3.409894e-05,3.429916e-05,3.479821e-05,3.481795e-05,3.528553e-05,3.540790e-05,3.570639e-05,3.593823e-05,3.608471e-05,3.639855e-05,3.642438e-05,3.672896e-05,3.679720e-05,3.700169e-05,3.714161e-05,3.724551e-05,3.743827e-05,3.746307e-05,3.765678e-05,3.769285e-05,3.782877e-05,3.791027e-05,3.798097e-05,3.809479e-05,3.811510e-05,3.823271e-05,3.825008e-05,3.833517e-05,3.837934e-05,3.842373e-05,3.848531e-05,3.849949e-05,3.856346e-05,3.857039e-05,3.861654e-05,3.863666e-05,3.865955e-05,3.868594e-05,3.869321e-05,3.871819e-05,3.871984e-05,3.873512e-05,3.873976e-05,3.874453e-05,3.874695e-05,3.874695e-05,3.874283e-05,3.874254e-05,3.873262e-05,3.872752e-05,3.871670e-05,3.870280e-05,3.869544e-05,3.866919e-05,3.863826e-05,3.862742e-05,3.860295e-05,3.857819e-05,3.856355e-05,3.852210e-05,3.852030e-05,3.847345e-05,3.845972e-05,3.842324e-05,3.839158e-05,3.836987e-05,3.831816e-05,3.831355e-05,3.825447e-05,3.823990e-05,3.819282e-05,3.815722e-05,3.812875e-05,3.807050e-05,3.806243e-05,3.799402e-05,3.798010e-05,3.792365e-05,3.788634e-05,3.785147e-05,3.778954e-05,3.777761e-05,3.770218e-05,3.768998e-05,3.762531e-05,3.758793e-05,3.754710e-05,3.748365e-05,3.746767e-05,3.738710e-05,3.737736e-05,3.730550e-05,3.726930e-05,3.722296e-05,3.715965e-05,3.713956e-05,3.705538e-05,3.704862e-05,3.697050e-05,3.693637e-05,3.688500e-05,3.682309e-05,3.679895e-05,3.671240e-05,3.670893e-05,3.662543e-05,3.659403e-05,3.653810e-05,3.647854e-05,3.645046e-05,3.636257e-05,3.624626e-05,3.612971e-05,3.601303e-05,3.589633e-05,3.577968e-05,3.566318e-05,3.554691e-05,3.543093e-05,3.531534e-05,3.520018e-05,3.508551e-05,3.497141e-05,3.485791e-05,3.474506e-05,3.463292e-05,3.452152e-05,3.441091e-05,3.430111e-05,3.419216e-05,3.408409e-05,3.397693e-05,3.387071e-05,3.376544e-05,3.366115e-05
0.000000e+00,8.649537e-11,2.864992e-10,1.580094e-09,4.640751e-09,7.485797e-09,2.033872e-08,2.106741e-08,4.525320e-08,5.428046e-08,8.258774e-08,1.122375e-07,1.352987e-07,1.990774e-07,2.053640e-07,2.945267e-07,3.189339e-07,4.041923e-07,4.748934e-07,5.351595e-07,6.679628e-07,6.873114e-07,8.595555e-07,8.962662e-07,1.050111e-06,1.155749e-06,1.256895e-06,1.441569e-06,1.477769e-06,1.710634e-06,1.748867e-06,1.953430e-06,2.072900e-06,2.204117e-06,2.408985e-06,2.460667e-06,2.721067e-06,2.752479e-06,2.983335e-06,3.098826e-06,3.245545e-06,3.443648e-06,3.505854e-06,3.762531e-06,3.782859e-06,4.013980e-06,4.112769e-06,4.258766e-06,4.430165e-06,4.495617e-06,4.723444e-06,4.732356e-06,4.941342e-06,5.017210e-06,5.148590e-06,5.283150e-06,5.344642e-06,5.529118e-06,5.701795e-06,5.754543e-06,5.862590e-06,5.959276e-06,6.011541e-06,6.143529e-06,6.148798e-06,6.274601e-06,6.307815e-06,6.389268e-06,6.452879e-06,6.493179e-06,6.579643e-06,6.586760e-06,6.670476e-06,6.689154e-06,6.744815e-06,6.782535e-06,6.810279e-06,6.860952e-06,6.867380e-06,6.916626e-06,6.925578e-06,6.958523e-06,6.977570e-06,6.993564e-06,7.018053e-06,7.022230e-06,7.044981e-06,7.048102e-06,7.062260e-06,7.068733e-06,7.074485e-06,7.080895e-06,7.082055e-06,7.085345e-06,7.085470e-06,7.084710e-06,7.083274e-06,7.080481e-06,7.075055e-06,7.072968e-06,7.062458e-06,7.061496e-06,7.049219e-06,7.043216e-06,7.033501e-06,7.020780e-06,7.015535e-06,6.995534e-06,6.994694e-06,6.973695e-06,6.965418e-06,6.950199e-06,6.933362e-06,6.925215e-06,6.898895e-06,6.871383e-06,6.862349e-06,6.842809e-06,6.824020e-06,6.813292e-06,6.784172e-06,6.782944e-06,6.751864e-06,6.743044e-06,6.720147e-06,6.700846e-06,6.687876e-06,6.657766e-06,6.655131e-06,6.621982e-06,6.613974e-06,6.588495e-06,6.569618e-06,6.554732e-06,6.524834e-06,6.520745e-06,6.486587e-06,6.479739e-06,6.452304e-06,6.434441e-06,6.417938e-06,6.389035e-06,6.383527e-06,6.349108e-06,6.343603e-06,6.314713e-06,6.298221e-06,6.280372e-06,6.252956e-06,6.246112e-06,6.211957e-06,6.207867e-06,6.177931e-06,6.163006e-06,6.144054e-06,6.118419e-06,6.110345e-06,6.076822e-06,6.074149e-06,6.043500e-06,6.030230e-06,6.010392e-06,5.986695e-06,5.977513e-06,5.944873e-06,5.943572e-06,5.912483e-06,5.900886e-06,5.880353e-06,5.858657e-06,5.848491e-06,5.816904e-06,5.775644e-06,5.734890e-06,5.694652e-06,5.654942e-06,5.615766e-06,5.577131e-06,5.539042e-06,5.501502e-06,5.464513e-06,5.428078e-06,5.392196e-06,5.356868e-06,5.322091e-06,5.287865e-06,5.254186e-06,5.221052e-06,5.188459e-06,5.156403e-06,5.124880e-06,5.093885e-06,5.063412e-06,5.033456e-06,5.004013e-06,4.975075e-06
0.000000e+00,1.837379e-10,7.053584e-10,5.147663e-09,1.898951e-08,3.437667e-08,1.224090e-07,1.281011e-07,3.479654e-07,4.428520e-07,7.763916e-07,1.175595e-06,1.516518e-06,2.578415e-06,2.691617e-06,4.438176e-06,4.957331e-06,6.886113e-06,8.601509e-06,1.013275e-05,1.369056e-05,1.422707e-05,1.916982e-05,2.025737e-05,2.492282e-05,2.821365e-05,3.142058e-05,3.739394e-05,3.858021e-05,4.630892e-05,4.759183e-05,5.450906e-05,5.858346e-05,6.308149e-05,7.014129e-05,7.192781e-05,8.095199e-05,8.204241e-05,9.006161e-05,9.407413e-05,9.916900e-05,1.060384e-04,1.081922e-04,1.170558e-04,1.177559e-04,1.256920e-04,1.290691e-04,1.340407e-04,1.398446e-04,1.420506e-04,1.496785e-04,1.499752e-04,1.568903e-04,1.593795e-04,1.636601e-04,1.680015e-04,1.699697e-04,1.758087e-04,1.811733e-04,1.827899e-04,1.860656e-04,1.889521e-04,1.904931e-04,1.943170e-04,1.944675e-04,1.980043e-04,1.989186e-04,2.011218e-04,2.027996e-04,2.038406e-04,2.060085e-04,2.061825e-04,2.081707e-04,2.085978e-04,2.098285e-04,2.106214e-04,2.111796e-04,2.121334e-04,2.122473e-04,2.130541e-04,2.131862e-04,2.136222e-04,2.138303e-04,2.139725e-04,2.141131e-04,2.141250e-04,2.140984e-04,2.140787e-04,2.139104e-04,2.137676e-04,2.135773e-04,2.132168e-04,2.131145e-04,2.125359e-04,2.124593e-04,2.118545e-04,2.115252e-04,2.110821e-04,2.104410e-04,2.102296e-04,2.093069e-04,2.092303e-04,2.083229e-04,2.079139e-04,2.072857e-04,2.065101e-04,2.062026e-04,2.050805e-04,2.050348e-04,2.039251e-04,2.035021e-04,2.027420e-04,2.019241e-04,2.015360e-04,2.003114e-04,1.990722e-04,1.986732e-04,1.978219e-04,1.970174e-04,1.965637e-04,1.953508e-04,1.953002e-04,1.940342e-04,1.936795e-04,1.927678e-04,1.920086e-04,1.915029e-04,1.903423e-04,1.902415e-04,1.889851e-04,1.886845e-04,1.877351e-04,1.870384e-04,1.864928e-04,1.854068e-04,1.852593e-04,1.840355e-04,1.837920e-04,1.828224e-04,1.821960e-04,1.816206e-04,1.806205e-04,1.804310e-04,1.792539e-04,1.790668e-04,1.780901e-04,1.775362e-04,1.769398e-04,1.760296e-04,1.758035e-04,1.746814e-04,1.745477e-04,1.735739e-04,1.730912e-04,1.724811e-04,1.716606e-04,1.714033e-04,1.703405e-04,1.702562e-04,1.692929e-04,1.688781e-04,1.682606e-04,1.675267e-04,1.672435e-04,1.662417e-04,1.662020e-04,1.652553e-04,1.649039e-04,1.642841e-04,1.636323e-04,1.633281e-04,1.623873e-04,1.611685e-04,1.599758e-04,1.588090e-04,1.576677e-04,1.565516e-04,1.554605e-04,1.543939e-04,1.533515e-04,1.523329e-04,1.513377e-04,1.503655e-04,1.494160e-04,1.484886e-04,1.475829e-04,1.466986e-04,1.458352e-04,1.449923e-04,1.441695e-04,1.433663e-04,1.425823e-04,1.418171e-04,1.410703e-04,1.403414e-04,1.396301e-04
0.000000e+00,7.735416e-12,1.788802e-11,6.199923e-11,1.412387e-10,2.059886e-10,4.661912e-10,4.801588e-10,9.248547e-10,1.085638e-09,1.582439e-09,2.097260e-09,2.495830e-09,3.589831e-09,3.696760e-09,5.187176e-09,5.585328e-09,6.940772e-09,8.025055e-09,8.923884e-09,1.083524e-08,1.110688e-08,1.346398e-08,1.395415e-08,1.597082e-08,1.732542e-08,1.860284e-08,2.089211e-08,2.133492e-08,2.414159e-08,2.459588e-08,2.699756e-08,2.837872e-08,2.987842e-08,3.218552e-08,3.276118e-08,3.562484e-08,3.596628e-08,3.845067e-08,3.967778e-08,4.122247e-08,4.328442e-08,4.392661e-08,4.655198e-08,4.675833e-08,4.908988e-08,5.007902e-08,5.153379e-08,5.323261e-08,5.387920e-08,5.612331e-08,5.621094e-08,5.826478e-08,5.901054e-08,6.030354e-08,6.163167e-08,6.224052e-08,6.407746e-08,6.581675e-08,6.635315e-08,6.746124e-08,6.846545e-08,6.901416e-08,7.042200e-08,7.047894e-08,7.185919e-08,7.223101e-08,7.315858e-08,7.390093e-08,7.438079e-08,7.544021e-08,7.552949e-08,7.660825e-08,7.685714e-08,7.762060e-08,7.815976e-08,7.856991e-08,7.935576e-08,7.945946e-08,8.029238e-08,8.045244e-08,8.107167e-08,8.145666e-08,8.180018e-08,8.237489e-08,8.248064e-08,8.311563e-08,8.321317e-08,8.370758e-08,8.397713e-08,8.425883e-08,8.467199e-08,8.477155e-08,8.524782e-08,8.530261e-08,8.568957e-08,8.587350e-08,8.609867e-08,8.638882e-08,8.647686e-08,8.682577e-08,8.685246e-08,8.714696e-08,8.726801e-08,8.744189e-08,8.763877e-08,8.771195e-08,8.795843e-08,8.796782e-08,8.818257e-08,8.825802e-08,8.838553e-08,8.851200e-08,8.856839e-08,8.873221e-08,8.887796e-08,8.892093e-08,8.900656e-08,8.908026e-08,8.911888e-08,8.921217e-08,8.921575e-08,8.929796e-08,8.931845e-08,8.936624e-08,8.940082e-08,8.942130e-08,8.946084e-08,8.946380e-08,8.949436e-08,8.949998e-08,8.951358e-08,8.951961e-08,8.952204e-08,8.952099e-08,8.952026e-08,8.950875e-08,8.950532e-08,8.948800e-08,8.947371e-08,8.945847e-08,8.942719e-08,8.942059e-08,8.937477e-08,8.936673e-08,8.932142e-08,8.929325e-08,8.926091e-08,8.920758e-08,8.919359e-08,8.911981e-08,8.911054e-08,8.903989e-08,8.900286e-08,8.895413e-08,8.888525e-08,8.886285e-08,8.876630e-08,8.875836e-08,8.866478e-08,8.862283e-08,8.855852e-08,8.847922e-08,8.844778e-08,8.833278e-08,8.832809e-08,8.821376e-08,8.816996e-08,8.809092e-08,8.800531e-08,8.796447e-08,8.783460e-08,8.765827e-08,8.747671e-08,8.729033e-08,8.709948e-08,8.690450e-08,8.670573e-08,8.650347e-08,8.629801e-08,8.608963e-08,8.587858e-08,8.566512e-08,8.544947e-08,8.523186e-08,8.501251e-08,8.479160e-08,8.456932e-08,8.434586e-08,8.412139e-08,8.389606e-08,8.367002e-08,8.344343e-08,8.321641e-08,8.298910e-08,8.276162e-08
0.000000e+00,4.365509e-09,1.711032e-08,1.304156e-07,5.007668e-07,9.268653e-07,3.496777e-06,3.668042e-06,1.055764e-05,1.365035e-05,2.489970e-05,3.892937e-05,5.127546e-05,9.132074e-05,9.570738e-05,1.656780e-04,1.872117e-04,2.697795e-04,3.463255e-04,4.169389e-04,5.887271e-04,6.155222e-04,8.726616e-04,9.316338e-04,1.193901e-03,1.387623e-03,1.583089e-03,1.964160e-03,2.042407e-03,2.572477e-03,2.663820e-03,3.172505e-03,3.484807e-03,3.840433e-03,4.421575e-03,4.573105e-03,5.366428e-03,5.465479e-03,6.215541e-03,6.605433e-03,7.114972e-03,7.828556e-03,8.058792e-03,9.040764e-03,9.120778e-03,1.005448e-02,1.046740e-02,1.109348e-02,1.185362e-02,1.215137e-02,1.322190e-02,1.326490e-02,1.429908e-02,1.468739e-02,1.537721e-02,1.610814e-02,1.645095e-02,1.751533e-02,1.856583e-02,1.889837e-02,1.959834e-02,2.024800e-02,2.060920e-02,2.155626e-02,2.159519e-02,2.255350e-02,2.281653e-02,2.348173e-02,2.402340e-02,2.437791e-02,2.517266e-02,2.524039e-02,2.606790e-02,2.626118e-02,2.685947e-02,2.728680e-02,2.761445e-02,2.824823e-02,2.833243e-02,2.901326e-02,2.914497e-02,2.965700e-02,2.997717e-02,3.026390e-02,3.074553e-02,3.083438e-02,3.136901e-02,3.145127e-02,3.186848e-02,3.209596e-02,3.233358e-02,3.268153e-02,3.276522e-02,3.316436e-02,3.321012e-02,3.353202e-02,3.368409e-02,3.386927e-02,3.410592e-02,3.417721e-02,3.445698e-02,3.447818e-02,3.470973e-02,3.480351e-02,3.493659e-02,3.508456e-02,3.513873e-02,3.531729e-02,3.532396e-02,3.547341e-02,3.552433e-02,3.560819e-02,3.568822e-02,3.572274e-02,3.581812e-02,3.589539e-02,3.591646e-02,3.595556e-02,3.598556e-02,3.599962e-02,3.602765e-02,3.602853e-02,3.604320e-02,3.604488e-02,3.604453e-02,3.603929e-02,3.603338e-02,3.601281e-02,3.601058e-02,3.597690e-02,3.596728e-02,3.593311e-02,3.590444e-02,3.587993e-02,3.582591e-02,3.581805e-02,3.574813e-02,3.573324e-02,3.567080e-02,3.562786e-02,3.558666e-02,3.551113e-02,3.549627e-02,3.540018e-02,3.538431e-02,3.529889e-02,3.524857e-02,3.519289e-02,3.510501e-02,3.508265e-02,3.496858e-02,3.495465e-02,3.485110e-02,3.479843e-02,3.473060e-02,3.463722e-02,3.460744e-02,3.448196e-02,3.447183e-02,3.435449e-02,3.430301e-02,3.422533e-02,3.413145e-02,3.409477e-02,3.396306e-02,3.395777e-02,3.383047e-02,3.378256e-02,3.369722e-02,3.360634e-02,3.356352e-02,3.342960e-02,3.325277e-02,3.307626e-02,3.290044e-02,3.272562e-02,3.255210e-02,3.238015e-02,3.221001e-02,3.204188e-02,3.187596e-02,3.171240e-02,3.155134e-02,3.139293e-02,3.123725e-02,3.108440e-02,3.093445e-02,3.078748e-02,3.064351e-02,3.050260e-02,3.036477e-02,3.023003e-02,3.009840e-02,2.996987e-02,2.984445e-02,2.972211e-02
0.000000e+00,5.235023e-10,1.285481e-09,4.786393e-09,1.139930e-08,1.699977e-08,4.084792e-08,4.218193e-08,8.713610e-08,1.044697e-07,1.611421e-07,2.240624e-07,2.750832e-07,4.218831e-07,4.365701e-07,6.433773e-07,6.986869e-07,8.855027e-07,1.032691e-06,1.153029e-06,1.404048e-06,1.439219e-06,1.739786e-06,1.801348e-06,2.051732e-06,2.217623e-06,2.372629e-06,2.647489e-06,2.700279e-06,3.032579e-06,3.086041e-06,3.367484e-06,3.528584e-06,3.703034e-06,3.970689e-06,4.037376e-06,4.368788e-06,4.408284e-06,4.695708e-06,4.837772e-06,5.016768e-06,5.256117e-06,5.330780e-06,5.636745e-06,5.660849e-06,5.933843e-06,6.050045e-06,6.221410e-06,6.422266e-06,6.498939e-06,6.766065e-06,6.776530e-06,7.022534e-06,7.112222e-06,7.268197e-06,7.429041e-06,7.502993e-06,7.726933e-06,7.940092e-06,8.006044e-06,8.142592e-06,8.266673e-06,8.334599e-06,8.509236e-06,8.516310e-06,8.687948e-06,8.734234e-06,8.849758e-06,8.942233e-06,9.001997e-06,9.133838e-06,9.144938e-06,9.278857e-06,9.309687e-06,9.404039e-06,9.470430e-06,9.520768e-06,9.616725e-06,9.629331e-06,9.730015e-06,9.749232e-06,9.823104e-06,9.868601e-06,9.908877e-06,9.975476e-06,9.987612e-06,1.005958e-05,1.007049e-05,1.012505e-05,1.015425e-05,1.018429e-05,1.022736e-05,1.023754e-05,1.028507e-05,1.029040e-05,1.032710e-05,1.034392e-05,1.036389e-05,1.038848e-05,1.039566e-05,1.042263e-05,1.042459e-05,1.044502e-05,1.045275e-05,1.046305e-05,1.047344e-05,1.047691e-05,1.048681e-05,1.048713e-05,1.049293e-05,1.049425e-05,1.049546e-05,1.049523e-05,1.049459e-05,1.049047e-05,1.048328e-05,1.048036e-05,1.047318e-05,1.046526e-05,1.046033e-05,1.044553e-05,1.044486e-05,1.042693e-05,1.042149e-05,1.040668e-05,1.039346e-05,1.038423e-05,1.036175e-05,1.035972e-05,1.033326e-05,1.032663e-05,1.030498e-05,1.028839e-05,1.027499e-05,1.024726e-05,1.024339e-05,1.021030e-05,1.020351e-05,1.017581e-05,1.015735e-05,1.014001e-05,1.010900e-05,1.010300e-05,1.006487e-05,1.005868e-05,1.002571e-05,1.000656e-05,9.985579e-06,9.952839e-06,9.944570e-06,9.902753e-06,9.897684e-06,9.860198e-06,9.841258e-06,9.816972e-06,9.783712e-06,9.773140e-06,9.728761e-06,9.725189e-06,9.683895e-06,9.665824e-06,9.638596e-06,9.605744e-06,9.592918e-06,9.546911e-06,9.545065e-06,9.500623e-06,9.483899e-06,9.454098e-06,9.422349e-06,9.407381e-06,9.360512e-06,9.298478e-06,9.236332e-06,9.174150e-06,9.112008e-06,9.049971e-06,8.988102e-06,8.926460e-06,8.865098e-06,8.804065e-06,8.743407e-06,8.683166e-06,8.623379e-06,8.564082e-06,8.505306e-06,8.447080e-06,8.389431e-06,8.332380e-06,8.275951e-06,8.220160e-06,8.165026e-06,8.110561e-06,8.056780e-06,8.003692e-06,7.951307e-06
0.000000e+00,5.690070e-10,2.088348e-09,1.395136e-08,4.779604e-08,8.333768e-08,2.725284e-07,2.843279e-07,7.244350e-07,9.095030e-07,1.552163e-06,2.316512e-06,2.969195e-06,5.003474e-06,5.219948e-06,8.525162e-06,9.490001e-06,1.298670e-05,1.597667e-05,1.855438e-05,2.424784e-05,2.507427e-05,3.235753e-05,3.388962e-05,4.022564e-05,4.449695e-05,4.852779e-05,5.574666e-05,5.714143e-05,6.596654e-05,6.739239e-05,7.491915e-05,7.924001e-05,8.392659e-05,9.112853e-05,9.292449e-05,1.018553e-04,1.029200e-04,1.106676e-04,1.144955e-04,1.193160e-04,1.257548e-04,1.277613e-04,1.359702e-04,1.366158e-04,1.439152e-04,1.470143e-04,1.515745e-04,1.569028e-04,1.589315e-04,1.659740e-04,1.662491e-04,1.726945e-04,1.750341e-04,1.790887e-04,1.832498e-04,1.851556e-04,1.908969e-04,1.963162e-04,1.979833e-04,2.014191e-04,2.045222e-04,2.062127e-04,2.105307e-04,2.107047e-04,2.149042e-04,2.160288e-04,2.188204e-04,2.210383e-04,2.224633e-04,2.255820e-04,2.258429e-04,2.289696e-04,2.296834e-04,2.318534e-04,2.333661e-04,2.345046e-04,2.366533e-04,2.369334e-04,2.391495e-04,2.395681e-04,2.411629e-04,2.421329e-04,2.429829e-04,2.443691e-04,2.446189e-04,2.460797e-04,2.462977e-04,2.473741e-04,2.479387e-04,2.485104e-04,2.493112e-04,2.494969e-04,2.503413e-04,2.504334e-04,2.510511e-04,2.513226e-04,2.516336e-04,2.519954e-04,2.520957e-04,2.524442e-04,2.524674e-04,2.526854e-04,2.527533e-04,2.528255e-04,2.528671e-04,2.528704e-04,2.528257e-04,2.528221e-04,2.526967e-04,2.526307e-04,2.524887e-04,2.523046e-04,2.522065e-04,2.518548e-04,2.514382e-04,2.512918e-04,2.509608e-04,2.506253e-04,2.504268e-04,2.498645e-04,2.498400e-04,2.492042e-04,2.490179e-04,2.485228e-04,2.480935e-04,2.477992e-04,2.470990e-04,2.470367e-04,2.462381e-04,2.460414e-04,2.454064e-04,2.449272e-04,2.445443e-04,2.437626e-04,2.436544e-04,2.427392e-04,2.425533e-04,2.418010e-04,2.413047e-04,2.408419e-04,2.400218e-04,2.398642e-04,2.388698e-04,2.387092e-04,2.378604e-04,2.373712e-04,2.368380e-04,2.360118e-04,2.358042e-04,2.347606e-04,2.346348e-04,2.337086e-04,2.332435e-04,2.326497e-04,2.318411e-04,2.315852e-04,2.305163e-04,2.304307e-04,2.294443e-04,2.290148e-04,2.283702e-04,2.275961e-04,2.272950e-04,2.262198e-04,2.261768e-04,2.251454e-04,2.247590e-04,2.240727e-04,2.233447e-04,2.230026e-04,2.219357e-04,2.205335e-04,2.191398e-04,2.177557e-04,2.163826e-04,2.150216e-04,2.136736e-04,2.123396e-04,2.110203e-04,2.097165e-04,2.084288e-04,2.071578e-04,2.059039e-04,2.046675e-04,2.034491e-04,2.022489e-04,2.010672e-04,1.999041e-04,1.987599e-04,1.976346e-04,1.965283e-04,1.954411e-04,1.943729e-04,1.933238e-04,1.922937e-04
0.000000e+00,7.025686e-11,2.678389e-10,1.926702e-09,7.015744e-09,1.261164e-08,4.412560e-08,4.614557e-08,1.233472e-07,1.563460e-07,2.715041e-07,4.082740e-07,5.245008e-07,8.842705e-07,9.224552e-07,1.507783e-06,1.680364e-06,2.315712e-06,2.873016e-06,3.364450e-06,4.485421e-06,4.652052e-06,6.159897e-06,6.485434e-06,7.858634e-06,8.806011e-06,9.713631e-06,1.136620e-05,1.168885e-05,1.374922e-05,1.408455e-05,1.586188e-05,1.688560e-05,1.799680e-05,1.970248e-05,2.012692e-05,2.222828e-05,2.247748e-05,2.427991e-05,2.516215e-05,2.626388e-05,2.771712e-05,2.816521e-05,2.997180e-05,3.011194e-05,3.167437e-05,3.232470e-05,3.326627e-05,3.434147e-05,3.474332e-05,3.610358e-05,3.615556e-05,3.734712e-05,3.776651e-05,3.847569e-05,3.917901e-05,3.949246e-05,4.040178e-05,4.120882e-05,4.144641e-05,4.191942e-05,4.232644e-05,4.253977e-05,4.305639e-05,4.307632e-05,4.353552e-05,4.365112e-05,4.392377e-05,4.412523e-05,4.424723e-05,4.449270e-05,4.451184e-05,4.472317e-05,4.476656e-05,4.488647e-05,4.495876e-05,4.500658e-05,4.508010e-05,4.508796e-05,4.513469e-05,4.514021e-05,4.515049e-05,4.514761e-05,4.513871e-05,4.510974e-05,4.510239e-05,4.504425e-05,4.503309e-05,4.496673e-05,4.492329e-05,4.487201e-05,4.478517e-05,4.476204e-05,4.463855e-05,4.462290e-05,4.450310e-05,4.444008e-05,4.435707e-05,4.423978e-05,4.420169e-05,4.403807e-05,4.402465e-05,4.386718e-05,4.379699e-05,4.368991e-05,4.355877e-05,4.350704e-05,4.331929e-05,4.331169e-05,4.312729e-05,4.305724e-05,4.293162e-05,4.279672e-05,4.273278e-05,4.253127e-05,4.232748e-05,4.226186e-05,4.212182e-05,4.198937e-05,4.191463e-05,4.171459e-05,4.170623e-05,4.149692e-05,4.143818e-05,4.128696e-05,4.116077e-05,4.107659e-05,4.088288e-05,4.086604e-05,4.065551e-05,4.060500e-05,4.044518e-05,4.032756e-05,4.023524e-05,4.005092e-05,4.002583e-05,3.981710e-05,3.977545e-05,3.960918e-05,3.950143e-05,3.940220e-05,3.922914e-05,3.919626e-05,3.899147e-05,3.895882e-05,3.878792e-05,3.869069e-05,3.858570e-05,3.842493e-05,3.838489e-05,3.818554e-05,3.816173e-05,3.798774e-05,3.790121e-05,3.779154e-05,3.764353e-05,3.759699e-05,3.740414e-05,3.738879e-05,3.721304e-05,3.713709e-05,3.702371e-05,3.688852e-05,3.683621e-05,3.665055e-05,3.664316e-05,3.646676e-05,3.640106e-05,3.628488e-05,3.616229e-05,3.610491e-05,3.592687e-05,3.569486e-05,3.546627e-05,3.524113e-05,3.501944e-05,3.480121e-05,3.458646e-05,3.437516e-05,3.416732e-05,3.396292e-05,3.376194e-05,3.356437e-05,3.337019e-05,3.317936e-05,3.299186e-05,3.280767e-05,3.262674e-05,3.244905e-05,3.227456e-05,3.210323e-05,3.193503e-05,3.176991e-05,3.160784e-05,3.144877e-05,3.129267e-05
0.000000e+00,2.851580e-11,6.562680e-11,2.269845e-10,5.192111e-10,7.606369e-10,1.755052e-09,1.809505e-09,3.595594e-09,4.264000e-09,6.388260e-09,8.651643e-09,1.042219e-08,1.525618e-08,1.572292e-08,2.209067e-08,2.374962e-08,2.928220e-08,3.359735e-08,3.711101e-08,4.441926e-08,4.544169e-08,5.416534e-08,5.594851e-08,6.318409e-08,6.795942e-08,7.240482e-08,8.024058e-08,8.173783e-08,9.109789e-08,9.259263e-08,1.004060e-07,1.048343e-07,1.095913e-07,1.168091e-07,1.185917e-07,1.273554e-07,1.283890e-07,1.358399e-07,1.394758e-07,1.440121e-07,1.499988e-07,1.518477e-07,1.593299e-07,1.599128e-07,1.664486e-07,1.691932e-07,1.731995e-07,1.778324e-07,1.795829e-07,1.856027e-07,1.858360e-07,1.912660e-07,1.932192e-07,1.965821e-07,2.000042e-07,2.015619e-07,2.062177e-07,2.105624e-07,2.118892e-07,2.146094e-07,2.170496e-07,2.183725e-07,2.217305e-07,2.218652e-07,2.251012e-07,2.259631e-07,2.280936e-07,2.297776e-07,2.308554e-07,2.332033e-07,2.333990e-07,2.357365e-07,2.362681e-07,2.378794e-07,2.389986e-07,2.398388e-07,2.414195e-07,2.416251e-07,2.432485e-07,2.435545e-07,2.447184e-07,2.454252e-07,2.460440e-07,2.470523e-07,2.472339e-07,2.482961e-07,2.484548e-07,2.492385e-07,2.496504e-07,2.500682e-07,2.506556e-07,2.507923e-07,2.514172e-07,2.514858e-07,2.519491e-07,2.521551e-07,2.523937e-07,2.526767e-07,2.527567e-07,2.530431e-07,2.530628e-07,2.532578e-07,2.533247e-07,2.534056e-07,2.534728e-07,2.534906e-07,2.535170e-07,2.535169e-07,2.534886e-07,2.534658e-07,2.534092e-07,2.533278e-07,2.532821e-07,2.531106e-07,2.528976e-07,2.528212e-07,2.526462e-07,2.524663e-07,2.523589e-07,2.520518e-07,2.520384e-07,2.516870e-07,2.515834e-07,2.513071e-07,2.510662e-07,2.509006e-07,2.505050e-07,2.504697e-07,2.500162e-07,2.499042e-07,2.495420e-07,2.492680e-07,2.490486e-07,2.485999e-07,2.485377e-07,2.480108e-07,2.479036e-07,2.474693e-07,2.471823e-07,2.469144e-07,2.464389e-07,2.463474e-07,2.457695e-07,2.456761e-07,2.451819e-07,2.448966e-07,2.445854e-07,2.441026e-07,2.439812e-07,2.433700e-07,2.432963e-07,2.427529e-07,2.424796e-07,2.421305e-07,2.416545e-07,2.415037e-07,2.408732e-07,2.408226e-07,2.402396e-07,2.399854e-07,2.396036e-07,2.391445e-07,2.389657e-07,2.383266e-07,2.383010e-07,2.376867e-07,2.374563e-07,2.370466e-07,2.366114e-07,2.364067e-07,2.357674e-07,2.349252e-07,2.340856e-07,2.332495e-07,2.324176e-07,2.315905e-07,2.307689e-07,2.299532e-07,2.291441e-07,2.283418e-07,2.275469e-07,2.267596e-07,2.259804e-07,2.252095e-07,2.244472e-07,2.236937e-07,2.229492e-07,2.222140e-07,2.214880e-07,2.207715e-07,2.200646e-07,2.193674e-07,2.186800e-07,2.180023e-07,2.173345e-07
0.000000e+00,3.701949e-11,8.535574e-11,2.956022e-10,6.745933e-10,9.852834e-10,2.240168e-09,2.307759e-09,4.468314e-09,5.252751e-09,7.684527e-09,1.021499e-08,1.218101e-08,1.761360e-08,1.814780e-08,2.565561e-08,2.767885e-08,3.460508e-08,4.017048e-08,4.478870e-08,5.459485e-08,5.598516e-08,6.799899e-08,7.048454e-08,8.066029e-08,8.744883e-08,9.381631e-08,1.051463e-07,1.073261e-07,1.210590e-07,1.232688e-07,1.348947e-07,1.415401e-07,1.487247e-07,1.597195e-07,1.624528e-07,1.759959e-07,1.776052e-07,1.892839e-07,1.950346e-07,2.022593e-07,2.118827e-07,2.148758e-07,2.270974e-07,2.280573e-07,2.388977e-07,2.434954e-07,2.502580e-07,2.581582e-07,2.611666e-07,2.716171e-07,2.720256e-07,2.816081e-07,2.850927e-07,2.911417e-07,2.973658e-07,3.002231e-07,3.088599e-07,3.170616e-07,3.195960e-07,3.248389e-07,3.295991e-07,3.322037e-07,3.388975e-07,3.391686e-07,3.457467e-07,3.475211e-07,3.519513e-07,3.555005e-07,3.577960e-07,3.628669e-07,3.632943e-07,3.684597e-07,3.696514e-07,3.733056e-07,3.758845e-07,3.778449e-07,3.815962e-07,3.820906e-07,3.860553e-07,3.868156e-07,3.897511e-07,3.915707e-07,3.931900e-07,3.958886e-07,3.963835e-07,3.993429e-07,3.997954e-07,4.020788e-07,4.033158e-07,4.046019e-07,4.064738e-07,4.069221e-07,4.090493e-07,4.092920e-07,4.109927e-07,4.117920e-07,4.127615e-07,4.139942e-07,4.143642e-07,4.158093e-07,4.159183e-07,4.171047e-07,4.175827e-07,4.182581e-07,4.190048e-07,4.192769e-07,4.201682e-07,4.202013e-07,4.209387e-07,4.211878e-07,4.215950e-07,4.219791e-07,4.221432e-07,4.225892e-07,4.229389e-07,4.230313e-07,4.231975e-07,4.233177e-07,4.233704e-07,4.234603e-07,4.234624e-07,4.234784e-07,4.234698e-07,4.234228e-07,4.233569e-07,4.233000e-07,4.231311e-07,4.231140e-07,4.228689e-07,4.228017e-07,4.225683e-07,4.223772e-07,4.222159e-07,4.218656e-07,4.218151e-07,4.213690e-07,4.212746e-07,4.208808e-07,4.206113e-07,4.203535e-07,4.198823e-07,4.197897e-07,4.191922e-07,4.190937e-07,4.185636e-07,4.182514e-07,4.179061e-07,4.173609e-07,4.172221e-07,4.165138e-07,4.164272e-07,4.157831e-07,4.154551e-07,4.150322e-07,4.144490e-07,4.142627e-07,4.134766e-07,4.134130e-07,4.126753e-07,4.123510e-07,4.118606e-07,4.112665e-07,4.110339e-07,4.101966e-07,4.101629e-07,4.093500e-07,4.090433e-07,4.084955e-07,4.079105e-07,4.076342e-07,4.067673e-07,4.056160e-07,4.044590e-07,4.032984e-07,4.021362e-07,4.009740e-07,3.998137e-07,3.986568e-07,3.975045e-07,3.963583e-07,3.952192e-07,3.940884e-07,3.929669e-07,3.918554e-07,3.907549e-07,3.896659e-07,3.885893e-07,3.875255e-07,3.864751e-07,3.854385e-07,3.844161e-07,3.834083e-07,3.824154e-07,3.814376e-07,3.804751e-07
0.000000e+00,4.268251e-12,9.770174e-12,3.361443e-11,7.658510e-11,1.118676e-10,2.550334e-10,2.627754e-10,5.118632e-10,6.030562e-10,8.882516e-10,1.189053e-09,1.425721e-09,2.094708e-09,2.161798e-09,3.132840e-09,3.404027e-09,4.363497e-09,5.167403e-09,5.854081e-09,7.359188e-09,7.576731e-09,9.486027e-09,9.885994e-09,1.153424e-08,1.264021e-08,1.368024e-08,1.553428e-08,1.589129e-08,1.814161e-08,1.850386e-08,2.041048e-08,2.150099e-08,2.268077e-08,2.448818e-08,2.493795e-08,2.716957e-08,2.743512e-08,2.936493e-08,3.031702e-08,3.151496e-08,3.311391e-08,3.361202e-08,3.564985e-08,3.581016e-08,3.762347e-08,3.839405e-08,3.952904e-08,4.085731e-08,4.136377e-08,4.312579e-08,4.319474e-08,4.481402e-08,4.540363e-08,4.642810e-08,4.748340e-08,4.796823e-08,4.943512e-08,5.082986e-08,5.126116e-08,5.215386e-08,5.296486e-08,5.340879e-08,5.455027e-08,5.459651e-08,5.571902e-08,5.602192e-08,5.677842e-08,5.738467e-08,5.777688e-08,5.864354e-08,5.871661e-08,5.959983e-08,5.980364e-08,6.042876e-08,6.087007e-08,6.120560e-08,6.184785e-08,6.193251e-08,6.261162e-08,6.274189e-08,6.324500e-08,6.355696e-08,6.383467e-08,6.429766e-08,6.438261e-08,6.489070e-08,6.496842e-08,6.536080e-08,6.557347e-08,6.579468e-08,6.611686e-08,6.619406e-08,6.656058e-08,6.660243e-08,6.689585e-08,6.703386e-08,6.720138e-08,6.741461e-08,6.747865e-08,6.772906e-08,6.774797e-08,6.795396e-08,6.803707e-08,6.815465e-08,6.828485e-08,6.833237e-08,6.848830e-08,6.849410e-08,6.862359e-08,6.866744e-08,6.873931e-08,6.880736e-08,6.883651e-08,6.891619e-08,6.897929e-08,6.899613e-08,6.902672e-08,6.904925e-08,6.905935e-08,6.907752e-08,6.907800e-08,6.908347e-08,6.908275e-08,6.907651e-08,6.906667e-08,6.905785e-08,6.903092e-08,6.902815e-08,6.898809e-08,6.897700e-08,6.893828e-08,6.890635e-08,6.887931e-08,6.882031e-08,6.881177e-08,6.873617e-08,6.872014e-08,6.865305e-08,6.860701e-08,6.856289e-08,6.848205e-08,6.846614e-08,6.836327e-08,6.834627e-08,6.825469e-08,6.820066e-08,6.814080e-08,6.804613e-08,6.802199e-08,6.789861e-08,6.788351e-08,6.777102e-08,6.771362e-08,6.763953e-08,6.753720e-08,6.750447e-08,6.736613e-08,6.735493e-08,6.722479e-08,6.716748e-08,6.708072e-08,6.697544e-08,6.693417e-08,6.678538e-08,6.677939e-08,6.663458e-08,6.657985e-08,6.648199e-08,6.637731e-08,6.632782e-08,6.617224e-08,6.596507e-08,6.575618e-08,6.554595e-08,6.533472e-08,6.512282e-08,6.491053e-08,6.469812e-08,6.448587e-08,6.427399e-08,6.406270e-08,6.385220e-08,6.364268e-08,6.343431e-08,6.322724e-08,6.302161e-08,6.281755e-08,6.261518e-08,6.241461e-08,6.221594e-08,6.201924e-08,6.182462e-08,6.163212e-08,6.144183e-08,6.125378e-08
0.000000e+00,1.023429e-10,3.733248e-10,2.457671e-09,8.279304e-09,1.427586e-08,4.497718e-08,4.683914e-08,1.131275e-07,1.395200e-07,2.261592e-07,3.215518e-07,3.981794e-07,6.181739e-07,6.403763e-07,9.627890e-07,1.053105e-06,1.374117e-06,1.645942e-06,1.881166e-06,2.409677e-06,2.487749e-06,3.193197e-06,3.345698e-06,3.991181e-06,4.438925e-06,4.869744e-06,5.658280e-06,5.812755e-06,6.802101e-06,6.963473e-06,7.819709e-06,8.313229e-06,8.848900e-06,9.670667e-06,9.875014e-06,1.088559e-05,1.100530e-05,1.187026e-05,1.229307e-05,1.282058e-05,1.351565e-05,1.372982e-05,1.459276e-05,1.465967e-05,1.540555e-05,1.571599e-05,1.616554e-05,1.667912e-05,1.687116e-05,1.752178e-05,1.754666e-05,1.811757e-05,1.831877e-05,1.865936e-05,1.899764e-05,1.914856e-05,1.958701e-05,1.997688e-05,2.009177e-05,2.032060e-05,2.051754e-05,2.062075e-05,2.087040e-05,2.088002e-05,2.110112e-05,2.115656e-05,2.128678e-05,2.138226e-05,2.143963e-05,2.155351e-05,2.156227e-05,2.165716e-05,2.167607e-05,2.172668e-05,2.175536e-05,2.177305e-05,2.179638e-05,2.179837e-05,2.180462e-05,2.180374e-05,2.179361e-05,2.178164e-05,2.176705e-05,2.173387e-05,2.172651e-05,2.167342e-05,2.166386e-05,2.160913e-05,2.157465e-05,2.153484e-05,2.146898e-05,2.145169e-05,2.136068e-05,2.134927e-05,2.126275e-05,2.121768e-05,2.115874e-05,2.107612e-05,2.104944e-05,2.093555e-05,2.092626e-05,2.081770e-05,2.076959e-05,2.069649e-05,2.060742e-05,2.057243e-05,2.044600e-05,2.044090e-05,2.031763e-05,2.027103e-05,2.018773e-05,2.009869e-05,2.005664e-05,1.992467e-05,1.979213e-05,1.974964e-05,1.965927e-05,1.957418e-05,1.952632e-05,1.939880e-05,1.939350e-05,1.926099e-05,1.922397e-05,1.912897e-05,1.905005e-05,1.899758e-05,1.887739e-05,1.886697e-05,1.873725e-05,1.870626e-05,1.860854e-05,1.853693e-05,1.848092e-05,1.836959e-05,1.835449e-05,1.822931e-05,1.820443e-05,1.810546e-05,1.804160e-05,1.798299e-05,1.788122e-05,1.786195e-05,1.774238e-05,1.772339e-05,1.762432e-05,1.756819e-05,1.750780e-05,1.741570e-05,1.739284e-05,1.727947e-05,1.726597e-05,1.716769e-05,1.711902e-05,1.705753e-05,1.697490e-05,1.694900e-05,1.684209e-05,1.683361e-05,1.673681e-05,1.669516e-05,1.663316e-05,1.655954e-05,1.653114e-05,1.643075e-05,1.642676e-05,1.633197e-05,1.629680e-05,1.623479e-05,1.616963e-05,1.613922e-05,1.604524e-05,1.592358e-05,1.580464e-05,1.568838e-05,1.557476e-05,1.546374e-05,1.535528e-05,1.524933e-05,1.514586e-05,1.504482e-05,1.494616e-05,1.484983e-05,1.475580e-05,1.466401e-05,1.457442e-05,1.448698e-05,1.440164e-05,1.431836e-05,1.423709e-05,1.415778e-05,1.408040e-05,1.400490e-05,1.393122e-05,1.385934e-05,1.378920e-05
0.000000e+00,2.078191e-10,7.030698e-10,4.040617e-09,1.230998e-08,2.027157e-08,5.841290e-08,6.066478e-08,1.400141e-07,1.717559e-07,2.781503e-07,3.999199e-07,5.012146e-07,8.058754e-07,8.374808e-07,1.304482e-06,1.436049e-06,1.898725e-06,2.280348e-06,2.601564e-06,3.293072e-06,3.391933e-06,4.253055e-06,4.432652e-06,5.173013e-06,5.671687e-06,6.143145e-06,6.991702e-06,7.156476e-06,8.206725e-06,8.377781e-06,9.287754e-06,9.815764e-06,1.039336e-05,1.129130e-05,1.151722e-05,1.265300e-05,1.278979e-05,1.379444e-05,1.429689e-05,1.493549e-05,1.579890e-05,1.607043e-05,1.719396e-05,1.728320e-05,1.830124e-05,1.873862e-05,1.938798e-05,2.015559e-05,2.045043e-05,2.148539e-05,2.152618e-05,2.249019e-05,2.284410e-05,2.346266e-05,2.410460e-05,2.440112e-05,2.530430e-05,2.617131e-05,2.644101e-05,2.700160e-05,2.751359e-05,2.779492e-05,2.852174e-05,2.855128e-05,2.927090e-05,2.946585e-05,2.995416e-05,3.034690e-05,3.060164e-05,3.116627e-05,3.121398e-05,3.179198e-05,3.192568e-05,3.233648e-05,3.262710e-05,3.284838e-05,3.327264e-05,3.332864e-05,3.377824e-05,3.386457e-05,3.419819e-05,3.440518e-05,3.458951e-05,3.489682e-05,3.495320e-05,3.529029e-05,3.534183e-05,3.560179e-05,3.574251e-05,3.588869e-05,3.610115e-05,3.615196e-05,3.639257e-05,3.641997e-05,3.661147e-05,3.670114e-05,3.680956e-05,3.694675e-05,3.698775e-05,3.714690e-05,3.715884e-05,3.728787e-05,3.733934e-05,3.741146e-05,3.749014e-05,3.751849e-05,3.760971e-05,3.761304e-05,3.768587e-05,3.770974e-05,3.774769e-05,3.778190e-05,3.779588e-05,3.783109e-05,3.785397e-05,3.785880e-05,3.786516e-05,3.786645e-05,3.786523e-05,3.785540e-05,3.785479e-05,3.783437e-05,3.782694e-05,3.780452e-05,3.778230e-05,3.776575e-05,3.772262e-05,3.771855e-05,3.766339e-05,3.764902e-05,3.760073e-05,3.756253e-05,3.753101e-05,3.746414e-05,3.745464e-05,3.737202e-05,3.735478e-05,3.728354e-05,3.723534e-05,3.718957e-05,3.710665e-05,3.709046e-05,3.698654e-05,3.696949e-05,3.687815e-05,3.682461e-05,3.676557e-05,3.667271e-05,3.664912e-05,3.652908e-05,3.651444e-05,3.640570e-05,3.635043e-05,3.627926e-05,3.618126e-05,3.614999e-05,3.601813e-05,3.600748e-05,3.588390e-05,3.582960e-05,3.574752e-05,3.564811e-05,3.560919e-05,3.546910e-05,3.546346e-05,3.532743e-05,3.527608e-05,3.518436e-05,3.508636e-05,3.504006e-05,3.489469e-05,3.470140e-05,3.450683e-05,3.431128e-05,3.411503e-05,3.391835e-05,3.372147e-05,3.352464e-05,3.332806e-05,3.313193e-05,3.293642e-05,3.274172e-05,3.254797e-05,3.235531e-05,3.216388e-05,3.197379e-05,3.178516e-05,3.159809e-05,3.141266e-05,3.122897e-05,3.104708e-05,3.086706e-05,3.068897e-05,3.051286e-05,3.033879e-05
0.000000e+00,1.331259e-10,4.876249e-10,3.239590e-09,1.101323e-08,1.909213e-08,6.107944e-08,6.365080e-08,1.564971e-07,1.940460e-07,3.191740e-07,4.597811e-07,5.746058e-07,9.122457e-07,9.469092e-07,1.460237e-06,1.606850e-06,2.135087e-06,2.588340e-06,2.983012e-06,3.872636e-06,4.004059e-06,5.188905e-06,5.444300e-06,6.523022e-06,7.270315e-06,7.989965e-06,9.312641e-06,9.573063e-06,1.125593e-05,1.153338e-05,1.302254e-05,1.389561e-05,1.485709e-05,1.636324e-05,1.674410e-05,1.866842e-05,1.890115e-05,2.061547e-05,2.147578e-05,2.257143e-05,2.405596e-05,2.452343e-05,2.645972e-05,2.661363e-05,2.836982e-05,2.912441e-05,3.024450e-05,3.156788e-05,3.207591e-05,3.385745e-05,3.392759e-05,3.558376e-05,3.619087e-05,3.725063e-05,3.834850e-05,3.885490e-05,4.039432e-05,4.186748e-05,4.232476e-05,4.327367e-05,4.413841e-05,4.461278e-05,4.583558e-05,4.588521e-05,4.709178e-05,4.741796e-05,4.823364e-05,4.888828e-05,4.931223e-05,5.025005e-05,5.032918e-05,5.128628e-05,5.150729e-05,5.218546e-05,5.266444e-05,5.302870e-05,5.372610e-05,5.381804e-05,5.455555e-05,5.469701e-05,5.524329e-05,5.558193e-05,5.588333e-05,5.638558e-05,5.647770e-05,5.702839e-05,5.711258e-05,5.753736e-05,5.776741e-05,5.800652e-05,5.835442e-05,5.843771e-05,5.883272e-05,5.887777e-05,5.919329e-05,5.934146e-05,5.952109e-05,5.974930e-05,5.981774e-05,6.008477e-05,6.010490e-05,6.032369e-05,6.041171e-05,6.053592e-05,6.067298e-05,6.072284e-05,6.088576e-05,6.089180e-05,6.102594e-05,6.107107e-05,6.114457e-05,6.121353e-05,6.124282e-05,6.132178e-05,6.138251e-05,6.139826e-05,6.142601e-05,6.144525e-05,6.145324e-05,6.146492e-05,6.146511e-05,6.146250e-05,6.145929e-05,6.144624e-05,6.143026e-05,6.141711e-05,6.137962e-05,6.137589e-05,6.132329e-05,6.130904e-05,6.125999e-05,6.122011e-05,6.118664e-05,6.111429e-05,6.110388e-05,6.101229e-05,6.099296e-05,6.091243e-05,6.085742e-05,6.080485e-05,6.070887e-05,6.069004e-05,6.056850e-05,6.054846e-05,6.044069e-05,6.037724e-05,6.030704e-05,6.019620e-05,6.016797e-05,6.002388e-05,6.000627e-05,5.987514e-05,5.980832e-05,5.972211e-05,5.960315e-05,5.956513e-05,5.940451e-05,5.939152e-05,5.924057e-05,5.917413e-05,5.907359e-05,5.895164e-05,5.890385e-05,5.873161e-05,5.872467e-05,5.855711e-05,5.849378e-05,5.838059e-05,5.825952e-05,5.820227e-05,5.802236e-05,5.778278e-05,5.754120e-05,5.729803e-05,5.705362e-05,5.680833e-05,5.656248e-05,5.631635e-05,5.607023e-05,5.582436e-05,5.557899e-05,5.533432e-05,5.509055e-05,5.484788e-05,5.460646e-05,5.436645e-05,5.412799e-05,5.389121e-05,5.365623e-05,5.342316e-05,5.319209e-05,5.296312e-05,5.273632e-05,5.251176e-05,5.228950e-05
0.000000e+00,6.394238e-11,1.505054e-10,5.323476e-10,1.228728e-09,1.805065e-09,4.178670e-09,4.308555e-09,8.564243e-09,1.015573e-08,1.521805e-08,2.063215e-08,2.488925e-08,3.661929e-08,3.775943e-08,5.341090e-08,5.751039e-08,7.122122e-08,8.194278e-08,9.068472e-08,1.088934e-07,1.114434e-07,1.332273e-07,1.376865e-07,1.558066e-07,1.677907e-07,1.789667e-07,1.987167e-07,2.024982e-07,2.261964e-07,2.299903e-07,2.498640e-07,2.611585e-07,2.733153e-07,2.918059e-07,2.963805e-07,3.189095e-07,3.215706e-07,3.407727e-07,3.501533e-07,3.618636e-07,3.773243e-07,3.820992e-07,4.014174e-07,4.029218e-07,4.197754e-07,4.268436e-07,4.371482e-07,4.490406e-07,4.535260e-07,4.689115e-07,4.695064e-07,4.833182e-07,4.882694e-07,4.967694e-07,5.053836e-07,5.092913e-07,5.209165e-07,5.316819e-07,5.349514e-07,5.416256e-07,5.475768e-07,5.507877e-07,5.588857e-07,5.592088e-07,5.669288e-07,5.689701e-07,5.739868e-07,5.779198e-07,5.804211e-07,5.858218e-07,5.862689e-07,5.915658e-07,5.927589e-07,5.963457e-07,5.988088e-07,6.006410e-07,6.040442e-07,6.044822e-07,6.078984e-07,6.085331e-07,6.109170e-07,6.123382e-07,6.135638e-07,6.155175e-07,6.158629e-07,6.178371e-07,6.181242e-07,6.195076e-07,6.202075e-07,6.208944e-07,6.218123e-07,6.220164e-07,6.228909e-07,6.229800e-07,6.235343e-07,6.237483e-07,6.239621e-07,6.241519e-07,6.241886e-07,6.242272e-07,6.242226e-07,6.240905e-07,6.239894e-07,6.237903e-07,6.234790e-07,6.233375e-07,6.227425e-07,6.227159e-07,6.220150e-07,6.217224e-07,6.211640e-07,6.205190e-07,6.201979e-07,6.191246e-07,6.179517e-07,6.175565e-07,6.166861e-07,6.158305e-07,6.153343e-07,6.139612e-07,6.139025e-07,6.123963e-07,6.119620e-07,6.108213e-07,6.098453e-07,6.091824e-07,6.076223e-07,6.074844e-07,6.057319e-07,6.053036e-07,6.039289e-07,6.028988e-07,6.020795e-07,6.004166e-07,6.001874e-07,5.982561e-07,5.978654e-07,5.962888e-07,5.952526e-07,5.942886e-07,5.925852e-07,5.922585e-07,5.902012e-07,5.898697e-07,5.881193e-07,5.871120e-07,5.860153e-07,5.843176e-07,5.838913e-07,5.817496e-07,5.814915e-07,5.795922e-07,5.786385e-07,5.774211e-07,5.757629e-07,5.752379e-07,5.730446e-07,5.728687e-07,5.708425e-07,5.699597e-07,5.686334e-07,5.670392e-07,5.664185e-07,5.641993e-07,5.641105e-07,5.619770e-07,5.611765e-07,5.597528e-07,5.582399e-07,5.575279e-07,5.553033e-07,5.523689e-07,5.494391e-07,5.465156e-07,5.436004e-07,5.406952e-07,5.378016e-07,5.349209e-07,5.320546e-07,5.292038e-07,5.263697e-07,5.235533e-07,5.207556e-07,5.179773e-07,5.152194e-07,5.124826e-07,5.097674e-07,5.070744e-07,5.044043e-07,5.017575e-07,4.991344e-07,4.965354e-07,4.939608e-07,4.914110e-07,4.888862e-07
0.000000e+00,3.468730e-10,1.225778e-09,7.623731e-09,2.467249e-08,4.183420e-08,1.286597e-07,1.339387e-07,3.260191e-07,4.051710e-07,6.763497e-07,9.938460e-07,1.261325e-06,2.073638e-06,2.158171e-06,3.406937e-06,3.758241e-06,4.991887e-06,6.008035e-06,6.862775e-06,8.701613e-06,8.964359e-06,1.125093e-05,1.172724e-05,1.368793e-05,1.500557e-05,1.624875e-05,1.847928e-05,1.891128e-05,2.165560e-05,2.210101e-05,2.446275e-05,2.582709e-05,2.731437e-05,2.961569e-05,3.019265e-05,3.308060e-05,3.342703e-05,3.596232e-05,3.722449e-05,3.882323e-05,4.097551e-05,4.165026e-05,4.443197e-05,4.465224e-05,4.715854e-05,4.823183e-05,4.982171e-05,5.169607e-05,5.241470e-05,5.493212e-05,5.503118e-05,5.736982e-05,5.822725e-05,5.972473e-05,6.127769e-05,6.199479e-05,6.417879e-05,6.627622e-05,6.692911e-05,6.828713e-05,6.952894e-05,7.021207e-05,7.198001e-05,7.205199e-05,7.380817e-05,7.428509e-05,7.548212e-05,7.644772e-05,7.707555e-05,7.847202e-05,7.859036e-05,8.002852e-05,8.036251e-05,8.139212e-05,8.212395e-05,8.268326e-05,8.376126e-05,8.390412e-05,8.505688e-05,8.527945e-05,8.614371e-05,8.668354e-05,8.716680e-05,8.797851e-05,8.812830e-05,8.903033e-05,8.916928e-05,8.987500e-05,9.026067e-05,9.066436e-05,9.125739e-05,9.140044e-05,9.208522e-05,9.216404e-05,9.272062e-05,9.298504e-05,9.330853e-05,9.372471e-05,9.385079e-05,9.434918e-05,9.438720e-05,9.480543e-05,9.497652e-05,9.522125e-05,9.549652e-05,9.559826e-05,9.593806e-05,9.595090e-05,9.624218e-05,9.634321e-05,9.651211e-05,9.667688e-05,9.674930e-05,9.695515e-05,9.713100e-05,9.718116e-05,9.727817e-05,9.735788e-05,9.739791e-05,9.748818e-05,9.749143e-05,9.755993e-05,9.757478e-05,9.760453e-05,9.762027e-05,9.762632e-05,9.762713e-05,9.762636e-05,9.760568e-05,9.759774e-05,9.756524e-05,9.753432e-05,9.750600e-05,9.743904e-05,9.742886e-05,9.733471e-05,9.731391e-05,9.722438e-05,9.716088e-05,9.709868e-05,9.698180e-05,9.695841e-05,9.680430e-05,9.677840e-05,9.663708e-05,9.655236e-05,9.645744e-05,9.630525e-05,9.626606e-05,9.606357e-05,9.603856e-05,9.585059e-05,9.575371e-05,9.562771e-05,9.545206e-05,9.539551e-05,9.515451e-05,9.513487e-05,9.490526e-05,9.480335e-05,9.464824e-05,9.445866e-05,9.438395e-05,9.411284e-05,9.410186e-05,9.383536e-05,9.373399e-05,9.355194e-05,9.335602e-05,9.326298e-05,9.296886e-05,9.257338e-05,9.217040e-05,9.176068e-05,9.134497e-05,9.092394e-05,9.049824e-05,9.006849e-05,8.963526e-05,8.919910e-05,8.876051e-05,8.831997e-05,8.787793e-05,8.743482e-05,8.699104e-05,8.654694e-05,8.610290e-05,8.565922e-05,8.521622e-05,8.477418e-05,8.433337e-05,8.389403e-05,8.345641e-05,8.302070e-05,8.258713e-05
0.000000e+00,7.023338e-11,1.748113e-10,6.571121e-10,1.559090e-09,2.311082e-09,5.399902e-09,5.567807e-09,1.098683e-08,1.297417e-08,1.918833e-08,2.573287e-08,3.087202e-08,4.534428e-08,4.679105e-08,6.763378e-08,7.342155e-08,9.378048e-08,1.106965e-07,1.250471e-07,1.562135e-07,1.606888e-07,1.997080e-07,2.078312e-07,2.411623e-07,2.634189e-07,2.842838e-07,3.213488e-07,3.284687e-07,3.732314e-07,3.804191e-07,4.181664e-07,4.396922e-07,4.629249e-07,4.983985e-07,5.072022e-07,5.507324e-07,5.558945e-07,5.932858e-07,6.116485e-07,6.346679e-07,6.652347e-07,6.747178e-07,7.133072e-07,7.163281e-07,7.503375e-07,7.646963e-07,7.857377e-07,8.101893e-07,8.194610e-07,8.514825e-07,8.527279e-07,8.817964e-07,8.922930e-07,9.104130e-07,9.289136e-07,9.373543e-07,9.626514e-07,9.863446e-07,9.935951e-07,1.008480e-06,1.021852e-06,1.029108e-06,1.047541e-06,1.048281e-06,1.066056e-06,1.070790e-06,1.082489e-06,1.091730e-06,1.097640e-06,1.110494e-06,1.111564e-06,1.124322e-06,1.127216e-06,1.135972e-06,1.142033e-06,1.146571e-06,1.155070e-06,1.156171e-06,1.164824e-06,1.166446e-06,1.172580e-06,1.176274e-06,1.179486e-06,1.184664e-06,1.185588e-06,1.190930e-06,1.191717e-06,1.195555e-06,1.197532e-06,1.199502e-06,1.202198e-06,1.202811e-06,1.205518e-06,1.205804e-06,1.207658e-06,1.208429e-06,1.209264e-06,1.210147e-06,1.210368e-06,1.211001e-06,1.211032e-06,1.211190e-06,1.211147e-06,1.210963e-06,1.210557e-06,1.210346e-06,1.209364e-06,1.209317e-06,1.208039e-06,1.207483e-06,1.206395e-06,1.205105e-06,1.204451e-06,1.202229e-06,1.199746e-06,1.198899e-06,1.197020e-06,1.195157e-06,1.194069e-06,1.191039e-06,1.190909e-06,1.187554e-06,1.186582e-06,1.184019e-06,1.181817e-06,1.180317e-06,1.176776e-06,1.176462e-06,1.172465e-06,1.171486e-06,1.168338e-06,1.165975e-06,1.164092e-06,1.160265e-06,1.159737e-06,1.155282e-06,1.154380e-06,1.150738e-06,1.148341e-06,1.146111e-06,1.142168e-06,1.141411e-06,1.136645e-06,1.135877e-06,1.131821e-06,1.129486e-06,1.126944e-06,1.123010e-06,1.122023e-06,1.117062e-06,1.116464e-06,1.112067e-06,1.109860e-06,1.107044e-06,1.103211e-06,1.101998e-06,1.096933e-06,1.096527e-06,1.091854e-06,1.089820e-06,1.086766e-06,1.083098e-06,1.081671e-06,1.076574e-06,1.076370e-06,1.071479e-06,1.069645e-06,1.066388e-06,1.062930e-06,1.061304e-06,1.056231e-06,1.049555e-06,1.042907e-06,1.036293e-06,1.029717e-06,1.023183e-06,1.016696e-06,1.010259e-06,1.003874e-06,9.975456e-07,9.912755e-07,9.850661e-07,9.789194e-07,9.728373e-07,9.668212e-07,9.608727e-07,9.549928e-07,9.491825e-07,9.434427e-07,9.377742e-07,9.321774e-07,9.266528e-07,9.212007e-07,9.158214e-07,9.105148e-07
0.000000e+00,1.817552e-08,7.086774e-08,5.341930e-07,2.029458e-06,3.733319e-06,1.384529e-05,1.451261e-05,4.096441e-05,5.265776e-05,9.456010e-05,1.458036e-04,1.902040e-04,3.310311e-04,3.462232e-04,5.841697e-04,6.561049e-04,9.281025e-04,1.176378e-03,1.403161e-03,1.949156e-03,2.033815e-03,2.842400e-03,3.027228e-03,3.848224e-03,4.454603e-03,5.067127e-03,6.264732e-03,6.511348e-03,8.189530e-03,8.480141e-03,1.010680e-02,1.111265e-02,1.226488e-02,1.416379e-02,1.466222e-02,1.729414e-02,1.762540e-02,2.015302e-02,2.148026e-02,2.322851e-02,2.570293e-02,2.650776e-02,2.997571e-02,3.026080e-02,3.361540e-02,3.511525e-02,3.740828e-02,4.022297e-02,4.133460e-02,4.537371e-02,4.553732e-02,4.950441e-02,5.100977e-02,5.370534e-02,5.659120e-02,5.795521e-02,6.223316e-02,6.651898e-02,6.788893e-02,7.079335e-02,7.351445e-02,7.503800e-02,7.906906e-02,7.923588e-02,8.337126e-02,8.451598e-02,8.742983e-02,8.982268e-02,9.139871e-02,9.496105e-02,9.526651e-02,9.902330e-02,9.990743e-02,1.026606e-01,1.046425e-01,1.061712e-01,1.091512e-01,1.095495e-01,1.127908e-01,1.134223e-01,1.158918e-01,1.174481e-01,1.188502e-01,1.212242e-01,1.216648e-01,1.243353e-01,1.247492e-01,1.268620e-01,1.280240e-01,1.292461e-01,1.310519e-01,1.314895e-01,1.335945e-01,1.338379e-01,1.355639e-01,1.363884e-01,1.374011e-01,1.387111e-01,1.391096e-01,1.406933e-01,1.408147e-01,1.421562e-01,1.427085e-01,1.435026e-01,1.444023e-01,1.447368e-01,1.458633e-01,1.459062e-01,1.468866e-01,1.472306e-01,1.478112e-01,1.483857e-01,1.486414e-01,1.493818e-01,1.500367e-01,1.502289e-01,1.506104e-01,1.509368e-01,1.511069e-01,1.515149e-01,1.515305e-01,1.518850e-01,1.519725e-01,1.521743e-01,1.523182e-01,1.524021e-01,1.525604e-01,1.525719e-01,1.526872e-01,1.527071e-01,1.527512e-01,1.527659e-01,1.527671e-01,1.527437e-01,1.527379e-01,1.526665e-01,1.526473e-01,1.525555e-01,1.524831e-01,1.524077e-01,1.522569e-01,1.522255e-01,1.520112e-01,1.519741e-01,1.517672e-01,1.516401e-01,1.514954e-01,1.512594e-01,1.511980e-01,1.508768e-01,1.508367e-01,1.505336e-01,1.503761e-01,1.501702e-01,1.498814e-01,1.497881e-01,1.493888e-01,1.493562e-01,1.489739e-01,1.488038e-01,1.485445e-01,1.482272e-01,1.481021e-01,1.476477e-01,1.476293e-01,1.471826e-01,1.470127e-01,1.467077e-01,1.463798e-01,1.462241e-01,1.457327e-01,1.450736e-01,1.444042e-01,1.437265e-01,1.430418e-01,1.423516e-01,1.416574e-01,1.409603e-01,1.402613e-01,1.395617e-01,1.388622e-01,1.381637e-01,1.374670e-01,1.367728e-01,1.360817e-01,1.353943e-01,1.347112e-01,1.340328e-01,1.333595e-01,1.326917e-01,1.320298e-01,1.313741e-01,1.307248e-01,1.300822e-01,1.294465e-01
0.000000e+00,1.006715e-11,2.305037e-11,7.910768e-11,1.794556e-10,2.613291e-10,5.897246e-10,6.073293e-10,1.166688e-09,1.368422e-09,1.990366e-09,2.633519e-09,3.131472e-09,4.505615e-09,4.640924e-09,6.553643e-09,7.073685e-09,8.871053e-09,1.033421e-08,1.156026e-08,1.419567e-08,1.457256e-08,1.785966e-08,1.854619e-08,2.137856e-08,2.328704e-08,2.509056e-08,2.833125e-08,2.895933e-08,3.294976e-08,3.359721e-08,3.702750e-08,3.900596e-08,4.115911e-08,4.448155e-08,4.531248e-08,4.945734e-08,4.995280e-08,5.356573e-08,5.535523e-08,5.761230e-08,6.063248e-08,6.157470e-08,6.543362e-08,6.573736e-08,6.917287e-08,7.063201e-08,7.277926e-08,7.528767e-08,7.624244e-08,7.955471e-08,7.968398e-08,8.271073e-08,8.380796e-08,8.570727e-08,8.765305e-08,8.854295e-08,9.121794e-08,9.373372e-08,9.450554e-08,9.609287e-08,9.752208e-08,9.829882e-08,1.002763e-07,1.003557e-07,1.022683e-07,1.027786e-07,1.040414e-07,1.050407e-07,1.056807e-07,1.070751e-07,1.071914e-07,1.085792e-07,1.088946e-07,1.098497e-07,1.105121e-07,1.110085e-07,1.119403e-07,1.120611e-07,1.130129e-07,1.131916e-07,1.138691e-07,1.142782e-07,1.146348e-07,1.152116e-07,1.153149e-07,1.159141e-07,1.160028e-07,1.164371e-07,1.166623e-07,1.168881e-07,1.171999e-07,1.172713e-07,1.175908e-07,1.176250e-07,1.178503e-07,1.179464e-07,1.180534e-07,1.181722e-07,1.182036e-07,1.183042e-07,1.183102e-07,1.183583e-07,1.183675e-07,1.183688e-07,1.183509e-07,1.183385e-07,1.182701e-07,1.182666e-07,1.181660e-07,1.181203e-07,1.180288e-07,1.179176e-07,1.178605e-07,1.176635e-07,1.174395e-07,1.173625e-07,1.171907e-07,1.170191e-07,1.169187e-07,1.166374e-07,1.166252e-07,1.163120e-07,1.162209e-07,1.159804e-07,1.157732e-07,1.156319e-07,1.152975e-07,1.152678e-07,1.148895e-07,1.147968e-07,1.144982e-07,1.142737e-07,1.140948e-07,1.137309e-07,1.136806e-07,1.132565e-07,1.131706e-07,1.128235e-07,1.125951e-07,1.123825e-07,1.120064e-07,1.119342e-07,1.114795e-07,1.114062e-07,1.110191e-07,1.107964e-07,1.105538e-07,1.101784e-07,1.100841e-07,1.096107e-07,1.095537e-07,1.091342e-07,1.089237e-07,1.086551e-07,1.082895e-07,1.081738e-07,1.076910e-07,1.076523e-07,1.072070e-07,1.070132e-07,1.067223e-07,1.063730e-07,1.062372e-07,1.057521e-07,1.057327e-07,1.052674e-07,1.050930e-07,1.047833e-07,1.044547e-07,1.043002e-07,1.038184e-07,1.031847e-07,1.025542e-07,1.019273e-07,1.013046e-07,1.006865e-07,1.000732e-07,9.946519e-08,9.886270e-08,9.826600e-08,9.767535e-08,9.709093e-08,9.651295e-08,9.594155e-08,9.537688e-08,9.481905e-08,9.426816e-08,9.372430e-08,9.318754e-08,9.265792e-08,9.213549e-08,9.162028e-08,9.111230e-08,9.061156e-08,9.011806e-08
0.000000e+00,1.277418e-10,3.569207e-10,1.535095e-09,3.890245e-09,5.908978e-09,1.437602e-08,1.483985e-08,2.983627e-08,3.532307e-08,5.237114e-08,7.011957e-08,8.390517e-08,1.220552e-07,1.258183e-07,1.791526e-07,1.937092e-07,2.442669e-07,2.857610e-07,3.207947e-07,3.969695e-07,4.079621e-07,5.048762e-07,5.253485e-07,6.106235e-07,6.687940e-07,7.242691e-07,8.251258e-07,8.448417e-07,9.713301e-07,9.920480e-07,1.102694e-06,1.167172e-06,1.237883e-06,1.348090e-06,1.375859e-06,1.515615e-06,1.532459e-06,1.656200e-06,1.718089e-06,1.796730e-06,1.902999e-06,1.936403e-06,2.074508e-06,2.085469e-06,2.210418e-06,2.264043e-06,2.343593e-06,2.437529e-06,2.473582e-06,2.600013e-06,2.604992e-06,2.722591e-06,2.765729e-06,2.841086e-06,2.919244e-06,2.955332e-06,3.065213e-06,3.170663e-06,3.203465e-06,3.271653e-06,3.333947e-06,3.368189e-06,3.456707e-06,3.460307e-06,3.548066e-06,3.571868e-06,3.631544e-06,3.679613e-06,3.710832e-06,3.780168e-06,3.786037e-06,3.857272e-06,3.873792e-06,3.924659e-06,3.960762e-06,3.988323e-06,4.041371e-06,4.048394e-06,4.105001e-06,4.115918e-06,4.158276e-06,4.184705e-06,4.208349e-06,4.248032e-06,4.255351e-06,4.299409e-06,4.306194e-06,4.340649e-06,4.359479e-06,4.379192e-06,4.408167e-06,4.415160e-06,4.448667e-06,4.452528e-06,4.479828e-06,4.492824e-06,4.508752e-06,4.529304e-06,4.535545e-06,4.560309e-06,4.562205e-06,4.583142e-06,4.591757e-06,4.604141e-06,4.618175e-06,4.623396e-06,4.640995e-06,4.641666e-06,4.657024e-06,4.662425e-06,4.671562e-06,4.680637e-06,4.684688e-06,4.696477e-06,4.707000e-06,4.710112e-06,4.716326e-06,4.721696e-06,4.724519e-06,4.731378e-06,4.731643e-06,4.737758e-06,4.739297e-06,4.742920e-06,4.745584e-06,4.747185e-06,4.750361e-06,4.750605e-06,4.753229e-06,4.753745e-06,4.755104e-06,4.755845e-06,4.756278e-06,4.756763e-06,4.756791e-06,4.756686e-06,4.756595e-06,4.756003e-06,4.755431e-06,4.754777e-06,4.753355e-06,4.753045e-06,4.750840e-06,4.750446e-06,4.748196e-06,4.746779e-06,4.745141e-06,4.742422e-06,4.741706e-06,4.737917e-06,4.737440e-06,4.733802e-06,4.731894e-06,4.729385e-06,4.725840e-06,4.724689e-06,4.719737e-06,4.719331e-06,4.714550e-06,4.712415e-06,4.709149e-06,4.705138e-06,4.703552e-06,4.697777e-06,4.697543e-06,4.691842e-06,4.689669e-06,4.685762e-06,4.681553e-06,4.679553e-06,4.673229e-06,4.664729e-06,4.656082e-06,4.647314e-06,4.638452e-06,4.629517e-06,4.620532e-06,4.611516e-06,4.602487e-06,4.593461e-06,4.584453e-06,4.575478e-06,4.566549e-06,4.557676e-06,4.548870e-06,4.540140e-06,4.531496e-06,4.522945e-06,4.514493e-06,4.506146e-06,4.497911e-06,4.489792e-06,4.481793e-06,4.473918e-06,4.466169e-06
0.000000e+00,1.395265e-12,3.184536e-12,1.089611e-11,2.473192e-11,3.607893e-11,8.225406e-11,8.476117e-11,1.660928e-10,1.961635e-10,2.907322e-10,3.901468e-10,4.671811e-10,6.757342e-10,6.958177e-10,9.706159e-10,1.042693e-09,1.285208e-09,1.476952e-09,1.634888e-09,1.968767e-09,2.016064e-09,2.425517e-09,2.510516e-09,2.859966e-09,3.094596e-09,3.315874e-09,3.712628e-09,3.789414e-09,4.276517e-09,4.355431e-09,4.772961e-09,5.013322e-09,5.274496e-09,5.676589e-09,5.776964e-09,6.276409e-09,6.335961e-09,6.769158e-09,6.982979e-09,7.251901e-09,7.610288e-09,7.721729e-09,8.176163e-09,8.211788e-09,8.613158e-09,8.782697e-09,9.031096e-09,9.319513e-09,9.428760e-09,9.805302e-09,9.819916e-09,1.016021e-08,1.028263e-08,1.049327e-08,1.070727e-08,1.080451e-08,1.109417e-08,1.136269e-08,1.144424e-08,1.161062e-08,1.175880e-08,1.183864e-08,1.203950e-08,1.204749e-08,1.223800e-08,1.228817e-08,1.241102e-08,1.250679e-08,1.256740e-08,1.269735e-08,1.270804e-08,1.283381e-08,1.286187e-08,1.294556e-08,1.300233e-08,1.304414e-08,1.312063e-08,1.313035e-08,1.320499e-08,1.321859e-08,1.326880e-08,1.329794e-08,1.332250e-08,1.336030e-08,1.336678e-08,1.340228e-08,1.340719e-08,1.342961e-08,1.344000e-08,1.344935e-08,1.346005e-08,1.346205e-08,1.346821e-08,1.346854e-08,1.346832e-08,1.346657e-08,1.346283e-08,1.345518e-08,1.345217e-08,1.343672e-08,1.343528e-08,1.341685e-08,1.340775e-08,1.339293e-08,1.337336e-08,1.336526e-08,1.333415e-08,1.333284e-08,1.329988e-08,1.328683e-08,1.326273e-08,1.323594e-08,1.322292e-08,1.318070e-08,1.313628e-08,1.312164e-08,1.308986e-08,1.305918e-08,1.304162e-08,1.299376e-08,1.299173e-08,1.294037e-08,1.292574e-08,1.288767e-08,1.285548e-08,1.283379e-08,1.278328e-08,1.277884e-08,1.272296e-08,1.270942e-08,1.266626e-08,1.263418e-08,1.260884e-08,1.255779e-08,1.255080e-08,1.249223e-08,1.248046e-08,1.243321e-08,1.240238e-08,1.237384e-08,1.232374e-08,1.231417e-08,1.225429e-08,1.224469e-08,1.219424e-08,1.216538e-08,1.213410e-08,1.208595e-08,1.207391e-08,1.201373e-08,1.200651e-08,1.195360e-08,1.192717e-08,1.189357e-08,1.184804e-08,1.183368e-08,1.177396e-08,1.176919e-08,1.171445e-08,1.169072e-08,1.165519e-08,1.161268e-08,1.159619e-08,1.153749e-08,1.153515e-08,1.147912e-08,1.145818e-08,1.142109e-08,1.138183e-08,1.136342e-08,1.130615e-08,1.123116e-08,1.115692e-08,1.108344e-08,1.101077e-08,1.093891e-08,1.086791e-08,1.079776e-08,1.072850e-08,1.066012e-08,1.059265e-08,1.052608e-08,1.046043e-08,1.039571e-08,1.033190e-08,1.026902e-08,1.020706e-08,1.014603e-08,1.008592e-08,1.002672e-08,9.968442e-09,9.911070e-09,9.854600e-09,9.799027e-09,9.744342e-09
0.000000e+00,2.461555e-11,9.267036e-11,6.495085e-10,2.309123e-09,4.095804e-09,1.382577e-08,1.443684e-08,3.712612e-08,4.653398e-08,7.843947e-08,1.149397e-07,1.450638e-07,2.346064e-07,2.438555e-07,3.816430e-07,4.212435e-07,5.648160e-07,6.892071e-07,7.984867e-07,1.048176e-06,1.085448e-06,1.425571e-06,1.499763e-06,1.815972e-06,2.037275e-06,2.251734e-06,2.648372e-06,2.726740e-06,3.234355e-06,3.318151e-06,3.767886e-06,4.031265e-06,4.320832e-06,4.773008e-06,4.887021e-06,5.460659e-06,5.529735e-06,6.036352e-06,6.289011e-06,6.609130e-06,7.039687e-06,7.174462e-06,7.728282e-06,7.771979e-06,8.267003e-06,8.477557e-06,8.787545e-06,9.149614e-06,9.287335e-06,9.764310e-06,9.782891e-06,1.021691e-05,1.037365e-05,1.064403e-05,1.091958e-05,1.104503e-05,1.141966e-05,1.176801e-05,1.187399e-05,1.209048e-05,1.228358e-05,1.238774e-05,1.265019e-05,1.266065e-05,1.291022e-05,1.297607e-05,1.313758e-05,1.326385e-05,1.334396e-05,1.351637e-05,1.353061e-05,1.369880e-05,1.373656e-05,1.384981e-05,1.392733e-05,1.398488e-05,1.409152e-05,1.410523e-05,1.421200e-05,1.423182e-05,1.430629e-05,1.435074e-05,1.438915e-05,1.445062e-05,1.446153e-05,1.452434e-05,1.453356e-05,1.457842e-05,1.460150e-05,1.462453e-05,1.465616e-05,1.466338e-05,1.469562e-05,1.469908e-05,1.472184e-05,1.473161e-05,1.474257e-05,1.475496e-05,1.475831e-05,1.476949e-05,1.477020e-05,1.477653e-05,1.477826e-05,1.477978e-05,1.477997e-05,1.477958e-05,1.477623e-05,1.477604e-05,1.477000e-05,1.476710e-05,1.476114e-05,1.475373e-05,1.474988e-05,1.473641e-05,1.472093e-05,1.471557e-05,1.470360e-05,1.469162e-05,1.468459e-05,1.466488e-05,1.466403e-05,1.464205e-05,1.463566e-05,1.461878e-05,1.460425e-05,1.459433e-05,1.457087e-05,1.456879e-05,1.454226e-05,1.453575e-05,1.451482e-05,1.449909e-05,1.448656e-05,1.446107e-05,1.445755e-05,1.442786e-05,1.442184e-05,1.439754e-05,1.438156e-05,1.436668e-05,1.434035e-05,1.433530e-05,1.430348e-05,1.429835e-05,1.427125e-05,1.425565e-05,1.423867e-05,1.421237e-05,1.420576e-05,1.417259e-05,1.416859e-05,1.413917e-05,1.412441e-05,1.410556e-05,1.407989e-05,1.407177e-05,1.403784e-05,1.403512e-05,1.400379e-05,1.399015e-05,1.396967e-05,1.394506e-05,1.393548e-05,1.390126e-05,1.389989e-05,1.386703e-05,1.385470e-05,1.383280e-05,1.380954e-05,1.379860e-05,1.376445e-05,1.371948e-05,1.367465e-05,1.363001e-05,1.358558e-05,1.354141e-05,1.349750e-05,1.345389e-05,1.341060e-05,1.336765e-05,1.332506e-05,1.328285e-05,1.324102e-05,1.319961e-05,1.315861e-05,1.311804e-05,1.307792e-05,1.303824e-05,1.299902e-05,1.296027e-05,1.292198e-05,1.288417e-05,1.284684e-05,1.281000e-05,1.277364e-05
0.000000e+00,1.301445e-10,5.000417e-10,3.655918e-09,1.350853e-08,2.447510e-08,8.731163e-08,9.137721e-08,2.484572e-07,3.162341e-07,5.542848e-07,8.387364e-07,1.081274e-06,1.835021e-06,1.915272e-06,3.153291e-06,3.521796e-06,4.895812e-06,6.126589e-06,7.233477e-06,9.837702e-06,1.023442e-05,1.393825e-05,1.476485e-05,1.835691e-05,2.093420e-05,2.347933e-05,2.830551e-05,2.927692e-05,3.570850e-05,3.679315e-05,4.272412e-05,4.628279e-05,5.026772e-05,5.664232e-05,5.827898e-05,6.669457e-05,6.772853e-05,7.544913e-05,7.939137e-05,8.447601e-05,9.147723e-05,9.370804e-05,1.030783e-04,1.038319e-04,1.125208e-04,1.163036e-04,1.219715e-04,1.287463e-04,1.313687e-04,1.406542e-04,1.410225e-04,1.497737e-04,1.530064e-04,1.586775e-04,1.645859e-04,1.673209e-04,1.756644e-04,1.836741e-04,1.861619e-04,1.913215e-04,1.960149e-04,1.985837e-04,2.051766e-04,2.054431e-04,2.118870e-04,2.136156e-04,2.179074e-04,2.213148e-04,2.235008e-04,2.282698e-04,2.286675e-04,2.334112e-04,2.344875e-04,2.377389e-04,2.399841e-04,2.416600e-04,2.447834e-04,2.451862e-04,2.483311e-04,2.489156e-04,2.511096e-04,2.524150e-04,2.535379e-04,2.553192e-04,2.556327e-04,2.574114e-04,2.576678e-04,2.588917e-04,2.595014e-04,2.600913e-04,2.608607e-04,2.610278e-04,2.617186e-04,2.617858e-04,2.621806e-04,2.623157e-04,2.624303e-04,2.624879e-04,2.624836e-04,2.623559e-04,2.623383e-04,2.620616e-04,2.619004e-04,2.616148e-04,2.612060e-04,2.610285e-04,2.603154e-04,2.602844e-04,2.594871e-04,2.591629e-04,2.585547e-04,2.578665e-04,2.575286e-04,2.564185e-04,2.552333e-04,2.548396e-04,2.539816e-04,2.531491e-04,2.526710e-04,2.513643e-04,2.513089e-04,2.499020e-04,2.495009e-04,2.484564e-04,2.475729e-04,2.469779e-04,2.455932e-04,2.454718e-04,2.439428e-04,2.435729e-04,2.423953e-04,2.415223e-04,2.408336e-04,2.394504e-04,2.392613e-04,2.376817e-04,2.373652e-04,2.360981e-04,2.352739e-04,2.345132e-04,2.331827e-04,2.329295e-04,2.313495e-04,2.310972e-04,2.297752e-04,2.290221e-04,2.282085e-04,2.269618e-04,2.266511e-04,2.251047e-04,2.249199e-04,2.235704e-04,2.228995e-04,2.220497e-04,2.209036e-04,2.205435e-04,2.190528e-04,2.189343e-04,2.175786e-04,2.169936e-04,2.161214e-04,2.150833e-04,2.146821e-04,2.132611e-04,2.132047e-04,2.118590e-04,2.113589e-04,2.104760e-04,2.095468e-04,2.091126e-04,2.077690e-04,2.060263e-04,2.043187e-04,2.026467e-04,2.010102e-04,1.994093e-04,1.978439e-04,1.963137e-04,1.948185e-04,1.933579e-04,1.919316e-04,1.905391e-04,1.891800e-04,1.878538e-04,1.865599e-04,1.852977e-04,1.840667e-04,1.828663e-04,1.816959e-04,1.805548e-04,1.794425e-04,1.783584e-04,1.773017e-04,1.762719e-04,1.752685e-04
0.000000e+00,7.382624e-11,2.788645e-10,1.972882e-09,7.102946e-09,1.271452e-08,4.436762e-08,4.640703e-08,1.256014e-07,1.601971e-07,2.841193e-07,4.368482e-07,5.704660e-07,9.992640e-07,1.045703e-06,1.767395e-06,1.981556e-06,2.767513e-06,3.449811e-06,4.044503e-06,5.376272e-06,5.571452e-06,7.308840e-06,7.677822e-06,9.214359e-06,1.025832e-05,1.124834e-05,1.303049e-05,1.337589e-05,1.556706e-05,1.592179e-05,1.779631e-05,1.887331e-05,2.004168e-05,2.183670e-05,2.228413e-05,2.450701e-05,2.477173e-05,2.669580e-05,2.764474e-05,2.883784e-05,3.042783e-05,3.092235e-05,3.294024e-05,3.309856e-05,3.488415e-05,3.563965e-05,3.674830e-05,3.803867e-05,3.852845e-05,4.022171e-05,4.028760e-05,4.182647e-05,4.238239e-05,4.334221e-05,4.432225e-05,4.476935e-05,4.610912e-05,4.736339e-05,4.774707e-05,4.853453e-05,4.924172e-05,4.962534e-05,5.059978e-05,5.063888e-05,5.157842e-05,5.182870e-05,5.244736e-05,5.293626e-05,5.324913e-05,5.393040e-05,5.398718e-05,5.466494e-05,5.481900e-05,5.528573e-05,5.560971e-05,5.585282e-05,5.630992e-05,5.636934e-05,5.683830e-05,5.692664e-05,5.726258e-05,5.746648e-05,5.764494e-05,5.793564e-05,5.798799e-05,5.829418e-05,5.833991e-05,5.856585e-05,5.868465e-05,5.880522e-05,5.897485e-05,5.901436e-05,5.919521e-05,5.921510e-05,5.934962e-05,5.940964e-05,5.947932e-05,5.956236e-05,5.958592e-05,5.967095e-05,5.967686e-05,5.973582e-05,5.975644e-05,5.978189e-05,5.980412e-05,5.981040e-05,5.982253e-05,5.982269e-05,5.981937e-05,5.981470e-05,5.980197e-05,5.978249e-05,5.977128e-05,5.972823e-05,5.967364e-05,5.965387e-05,5.960833e-05,5.956125e-05,5.953304e-05,5.945202e-05,5.944847e-05,5.935528e-05,5.932772e-05,5.925408e-05,5.918976e-05,5.914545e-05,5.903942e-05,5.902994e-05,5.890805e-05,5.887790e-05,5.878027e-05,5.870630e-05,5.864703e-05,5.852561e-05,5.850877e-05,5.836587e-05,5.833677e-05,5.821872e-05,5.814063e-05,5.806765e-05,5.793797e-05,5.791300e-05,5.775508e-05,5.772952e-05,5.759417e-05,5.751595e-05,5.743054e-05,5.729787e-05,5.726447e-05,5.709618e-05,5.707584e-05,5.692590e-05,5.685040e-05,5.675385e-05,5.662203e-05,5.658022e-05,5.640521e-05,5.639116e-05,5.622900e-05,5.615821e-05,5.605174e-05,5.592356e-05,5.587360e-05,5.569473e-05,5.568756e-05,5.551526e-05,5.545053e-05,5.533533e-05,5.521277e-05,5.515505e-05,5.497456e-05,5.473614e-05,5.449776e-05,5.425963e-05,5.402194e-05,5.378489e-05,5.354863e-05,5.331333e-05,5.307913e-05,5.284615e-05,5.261453e-05,5.238435e-05,5.215574e-05,5.192878e-05,5.170355e-05,5.148013e-05,5.125859e-05,5.103899e-05,5.082139e-05,5.060584e-05,5.039238e-05,5.018106e-05,4.997191e-05,4.976496e-05,4.956025e-05
0.000000e+00,6.221570e-11,2.254105e-10,1.464864e-09,4.884111e-09,8.379241e-09,2.611507e-08,2.718611e-08,6.518983e-08,8.029259e-08,1.298893e-07,1.846327e-07,2.287571e-07,3.562970e-07,3.692420e-07,5.586848e-07,6.122091e-07,8.038019e-07,9.673255e-07,1.109456e-06,1.429623e-06,1.476909e-06,1.902585e-06,1.994057e-06,2.378392e-06,2.642065e-06,2.893459e-06,3.347953e-06,3.436185e-06,3.995707e-06,4.086137e-06,4.562593e-06,4.834946e-06,5.128974e-06,5.577352e-06,5.688421e-06,6.235727e-06,6.300380e-06,6.766720e-06,6.994311e-06,7.278102e-06,7.652049e-06,7.767334e-06,8.232548e-06,8.268685e-06,8.672465e-06,8.841164e-06,9.086332e-06,9.367999e-06,9.473845e-06,9.835092e-06,9.849000e-06,1.017048e-05,1.028501e-05,1.048067e-05,1.067765e-05,1.076654e-05,1.102911e-05,1.126951e-05,1.134195e-05,1.148894e-05,1.161893e-05,1.168862e-05,1.186289e-05,1.186980e-05,1.203369e-05,1.207665e-05,1.218150e-05,1.226294e-05,1.231437e-05,1.242437e-05,1.243341e-05,1.253966e-05,1.256337e-05,1.263411e-05,1.268220e-05,1.271768e-05,1.278291e-05,1.279124e-05,1.285558e-05,1.286740e-05,1.291144e-05,1.293738e-05,1.295953e-05,1.299437e-05,1.300046e-05,1.303483e-05,1.303976e-05,1.306318e-05,1.307479e-05,1.308599e-05,1.310056e-05,1.310373e-05,1.311680e-05,1.311808e-05,1.312561e-05,1.312822e-05,1.313049e-05,1.313177e-05,1.313177e-05,1.312974e-05,1.312945e-05,1.312469e-05,1.312187e-05,1.311685e-05,1.310962e-05,1.310647e-05,1.309374e-05,1.309319e-05,1.307887e-05,1.307303e-05,1.306204e-05,1.304956e-05,1.304341e-05,1.302314e-05,1.300136e-05,1.299409e-05,1.297820e-05,1.296271e-05,1.295379e-05,1.292928e-05,1.292824e-05,1.290164e-05,1.289402e-05,1.287410e-05,1.285716e-05,1.284570e-05,1.281889e-05,1.281653e-05,1.278666e-05,1.277940e-05,1.275616e-05,1.273884e-05,1.272511e-05,1.269736e-05,1.269355e-05,1.266155e-05,1.265510e-05,1.262916e-05,1.261218e-05,1.259643e-05,1.256870e-05,1.256340e-05,1.253012e-05,1.252478e-05,1.249663e-05,1.248050e-05,1.246297e-05,1.243594e-05,1.242917e-05,1.239526e-05,1.239118e-05,1.236127e-05,1.234630e-05,1.232723e-05,1.230135e-05,1.229318e-05,1.225913e-05,1.225640e-05,1.222510e-05,1.221150e-05,1.219112e-05,1.216670e-05,1.215721e-05,1.212339e-05,1.212204e-05,1.208967e-05,1.207756e-05,1.205607e-05,1.203330e-05,1.202261e-05,1.198930e-05,1.194558e-05,1.190218e-05,1.185911e-05,1.181641e-05,1.177409e-05,1.173217e-05,1.169067e-05,1.164960e-05,1.160898e-05,1.156882e-05,1.152912e-05,1.148991e-05,1.145118e-05,1.141294e-05,1.137521e-05,1.133798e-05,1.130126e-05,1.126504e-05,1.122935e-05,1.119417e-05,1.115950e-05,1.112536e-05,1.109173e-05,1.105861e-05
0.000000e+00,1.939941e-10,6.685421e-10,3.961961e-09,1.230308e-08,2.039977e-08,5.910968e-08,6.137898e-08,1.398099e-07,1.703621e-07,2.698006e-07,3.790987e-07,4.673098e-07,7.237427e-07,7.498894e-07,1.133702e-06,1.242097e-06,1.627553e-06,1.951590e-06,2.228665e-06,2.836866e-06,2.924930e-06,3.700784e-06,3.864166e-06,4.541427e-06,4.999884e-06,5.434213e-06,6.216568e-06,6.368428e-06,7.334688e-06,7.491683e-06,8.324451e-06,8.805530e-06,9.329760e-06,1.014017e-05,1.034315e-05,1.135766e-05,1.147916e-05,1.236687e-05,1.280773e-05,1.336500e-05,1.411298e-05,1.434691e-05,1.530815e-05,1.538404e-05,1.624498e-05,1.661216e-05,1.715430e-05,1.779056e-05,1.803363e-05,1.888111e-05,1.891432e-05,1.969535e-05,1.998016e-05,2.047546e-05,2.098617e-05,2.122094e-05,2.193162e-05,2.260762e-05,2.281667e-05,2.324932e-05,2.364224e-05,2.385725e-05,2.440976e-05,2.443214e-05,2.497480e-05,2.512109e-05,2.548616e-05,2.577836e-05,2.596720e-05,2.638386e-05,2.641895e-05,2.684247e-05,2.694003e-05,2.723883e-05,2.744933e-05,2.760911e-05,2.791423e-05,2.795437e-05,2.827568e-05,2.833716e-05,2.857408e-05,2.872053e-05,2.885059e-05,2.906666e-05,2.910619e-05,2.934185e-05,2.937777e-05,2.955851e-05,2.965602e-05,2.975707e-05,2.990347e-05,2.993840e-05,3.010334e-05,3.012207e-05,3.025270e-05,3.031368e-05,3.038725e-05,3.048007e-05,3.050775e-05,3.061490e-05,3.062292e-05,3.070939e-05,3.074379e-05,3.079187e-05,3.084418e-05,3.086298e-05,3.092331e-05,3.092551e-05,3.097344e-05,3.098910e-05,3.101391e-05,3.103619e-05,3.104525e-05,3.106796e-05,3.108251e-05,3.108552e-05,3.108936e-05,3.108990e-05,3.108893e-05,3.108208e-05,3.108166e-05,3.106792e-05,3.106297e-05,3.104810e-05,3.103344e-05,3.102256e-05,3.099429e-05,3.099162e-05,3.095563e-05,3.094627e-05,3.091488e-05,3.089009e-05,3.086967e-05,3.082642e-05,3.082028e-05,3.076698e-05,3.075587e-05,3.071002e-05,3.067903e-05,3.064963e-05,3.059644e-05,3.058606e-05,3.051952e-05,3.050861e-05,3.045021e-05,3.041602e-05,3.037833e-05,3.031911e-05,3.030407e-05,3.022761e-05,3.021829e-05,3.014911e-05,3.011396e-05,3.006873e-05,3.000649e-05,2.998663e-05,2.990295e-05,2.989619e-05,2.981783e-05,2.978341e-05,2.973140e-05,2.966842e-05,2.964377e-05,2.955508e-05,2.955151e-05,2.946542e-05,2.943293e-05,2.937491e-05,2.931292e-05,2.928364e-05,2.919171e-05,2.906949e-05,2.894647e-05,2.882282e-05,2.869871e-05,2.857430e-05,2.844972e-05,2.832511e-05,2.820060e-05,2.807629e-05,2.795230e-05,2.782872e-05,2.770563e-05,2.758314e-05,2.746130e-05,2.734019e-05,2.721988e-05,2.710042e-05,2.698186e-05,2.686427e-05,2.674767e-05,2.663211e-05,2.651762e-05,2.640425e-05,2.629201e-05
0.000000e+00,8.105154e-12,1.857455e-11,6.401289e-11,1.459491e-10,2.131953e-10,4.854084e-10,5.000939e-10,9.705788e-10,1.141875e-09,1.674523e-09,2.231667e-09,2.666881e-09,3.882507e-09,4.003216e-09,5.725090e-09,6.197604e-09,7.842719e-09,9.194395e-09,1.033499e-08,1.280986e-08,1.316628e-08,1.630023e-08,1.696038e-08,1.970389e-08,2.157031e-08,2.334711e-08,2.657144e-08,2.720106e-08,3.123716e-08,3.189793e-08,3.542674e-08,3.748381e-08,3.974104e-08,4.326306e-08,4.415149e-08,4.863013e-08,4.917086e-08,5.315009e-08,5.514535e-08,5.768597e-08,6.112929e-08,6.221417e-08,6.671317e-08,6.707124e-08,7.116363e-08,7.292631e-08,7.554845e-08,7.865647e-08,7.985281e-08,8.406401e-08,8.423037e-08,8.817146e-08,8.962302e-08,9.216648e-08,9.481527e-08,9.604214e-08,9.979309e-08,1.034154e-07,1.045468e-07,1.069063e-07,1.090707e-07,1.102642e-07,1.133620e-07,1.134884e-07,1.165790e-07,1.174205e-07,1.195368e-07,1.212483e-07,1.223632e-07,1.248488e-07,1.250599e-07,1.276291e-07,1.282270e-07,1.300734e-07,1.313887e-07,1.323956e-07,1.343404e-07,1.345986e-07,1.366855e-07,1.370892e-07,1.386596e-07,1.396426e-07,1.405241e-07,1.420081e-07,1.422825e-07,1.439380e-07,1.441936e-07,1.454942e-07,1.462068e-07,1.469543e-07,1.480555e-07,1.483218e-07,1.495998e-07,1.497474e-07,1.507918e-07,1.512898e-07,1.519009e-07,1.526903e-07,1.529302e-07,1.538829e-07,1.539559e-07,1.547620e-07,1.550937e-07,1.555704e-07,1.561104e-07,1.563111e-07,1.569867e-07,1.570124e-07,1.576001e-07,1.578063e-07,1.581540e-07,1.584978e-07,1.586508e-07,1.590930e-07,1.594832e-07,1.595975e-07,1.598237e-07,1.600165e-07,1.601166e-07,1.603552e-07,1.603643e-07,1.605689e-07,1.606187e-07,1.607323e-07,1.608115e-07,1.608567e-07,1.609382e-07,1.609439e-07,1.609957e-07,1.610031e-07,1.610140e-07,1.610103e-07,1.610005e-07,1.609636e-07,1.609568e-07,1.608846e-07,1.608668e-07,1.607853e-07,1.607235e-07,1.606605e-07,1.605370e-07,1.605116e-07,1.603399e-07,1.603104e-07,1.601468e-07,1.600468e-07,1.599335e-07,1.597492e-07,1.597013e-07,1.594512e-07,1.594201e-07,1.591846e-07,1.590622e-07,1.589023e-07,1.586780e-07,1.586055e-07,1.582951e-07,1.582697e-07,1.579720e-07,1.578395e-07,1.576373e-07,1.573895e-07,1.572917e-07,1.569361e-07,1.569217e-07,1.565712e-07,1.564378e-07,1.561979e-07,1.559396e-07,1.558168e-07,1.554287e-07,1.549067e-07,1.543750e-07,1.538350e-07,1.532879e-07,1.527349e-07,1.521771e-07,1.516156e-07,1.510513e-07,1.504852e-07,1.499181e-07,1.493508e-07,1.487841e-07,1.482185e-07,1.476548e-07,1.470936e-07,1.465353e-07,1.459804e-07,1.454295e-07,1.448830e-07,1.443411e-07,1.438044e-07,1.432731e-07,1.427475e-07,1.422278e-07
0.000000e+00,4.461474e-10,1.430798e-09,7.498027e-09,2.134495e-08,3.401902e-08,9.085473e-08,9.407992e-08,2.021604e-07,2.431168e-07,3.737537e-07,5.136260e-07,6.239106e-07,9.315183e-07,9.618349e-07,1.387766e-06,1.502597e-06,1.897048e-06,2.216676e-06,2.484425e-06,3.062005e-06,3.144969e-06,3.873568e-06,4.026959e-06,4.664417e-06,5.098073e-06,5.510820e-06,6.259233e-06,6.405234e-06,7.339457e-06,7.492056e-06,8.304883e-06,8.776802e-06,9.292775e-06,1.009348e-05,1.029454e-05,1.130195e-05,1.142285e-05,1.230733e-05,1.274723e-05,1.330371e-05,1.405110e-05,1.428491e-05,1.524557e-05,1.532140e-05,1.618119e-05,1.654757e-05,1.708805e-05,1.772149e-05,1.796319e-05,1.880436e-05,1.883728e-05,1.960992e-05,1.989098e-05,2.037878e-05,2.088031e-05,2.111032e-05,2.180432e-05,2.246090e-05,2.266317e-05,2.308048e-05,2.345786e-05,2.366365e-05,2.419001e-05,2.421124e-05,2.472417e-05,2.486172e-05,2.520348e-05,2.547540e-05,2.565030e-05,2.603368e-05,2.606580e-05,2.645116e-05,2.653930e-05,2.680762e-05,2.699506e-05,2.713638e-05,2.740374e-05,2.743866e-05,2.771565e-05,2.776811e-05,2.796852e-05,2.809087e-05,2.819843e-05,2.837462e-05,2.840648e-05,2.859376e-05,2.862187e-05,2.876131e-05,2.883503e-05,2.891015e-05,2.901640e-05,2.904124e-05,2.915552e-05,2.916815e-05,2.925389e-05,2.929235e-05,2.933721e-05,2.939097e-05,2.940630e-05,2.946196e-05,2.946585e-05,2.950493e-05,2.951874e-05,2.953595e-05,2.955127e-05,2.955570e-05,2.956483e-05,2.956498e-05,2.956398e-05,2.956134e-05,2.955373e-05,2.954169e-05,2.953467e-05,2.950732e-05,2.947221e-05,2.945941e-05,2.942982e-05,2.939909e-05,2.938063e-05,2.932740e-05,2.932506e-05,2.926356e-05,2.924533e-05,2.919651e-05,2.915377e-05,2.912429e-05,2.905360e-05,2.904727e-05,2.896578e-05,2.894560e-05,2.888016e-05,2.883052e-05,2.879070e-05,2.870904e-05,2.869770e-05,2.860144e-05,2.858182e-05,2.850218e-05,2.844945e-05,2.840015e-05,2.831250e-05,2.829561e-05,2.818877e-05,2.817148e-05,2.807985e-05,2.802688e-05,2.796903e-05,2.787914e-05,2.785651e-05,2.774246e-05,2.772868e-05,2.762706e-05,2.757589e-05,2.751045e-05,2.742113e-05,2.739280e-05,2.727424e-05,2.726472e-05,2.715490e-05,2.710698e-05,2.703491e-05,2.694819e-05,2.691439e-05,2.679345e-05,2.678860e-05,2.667219e-05,2.662848e-05,2.655071e-05,2.646803e-05,2.642911e-05,2.630747e-05,2.614698e-05,2.598674e-05,2.582691e-05,2.566763e-05,2.550904e-05,2.535127e-05,2.519442e-05,2.503859e-05,2.488389e-05,2.473039e-05,2.457817e-05,2.442729e-05,2.427782e-05,2.412982e-05,2.398332e-05,2.383838e-05,2.369503e-05,2.355330e-05,2.341323e-05,2.327483e-05,2.313813e-05,2.300314e-05,2.286987e-05,2.273835e-05
0.000000e+00,1.063221e-10,2.596237e-10,9.514378e-10,2.228693e-09,3.292511e-09,7.722571e-09,7.967134e-09,1.608963e-08,1.917251e-08,2.906754e-08,3.966335e-08,4.791597e-08,7.007660e-08,7.218374e-08,1.003976e-07,1.076022e-07,1.312787e-07,1.494378e-07,1.640689e-07,1.941727e-07,1.983574e-07,2.338968e-07,2.411377e-07,2.704957e-07,2.898837e-07,3.079648e-07,3.399589e-07,3.460947e-07,3.846516e-07,3.908435e-07,4.233789e-07,4.419493e-07,4.620057e-07,4.926495e-07,5.002564e-07,5.378591e-07,5.423154e-07,5.745567e-07,5.903558e-07,6.101160e-07,6.362519e-07,6.443310e-07,6.770265e-07,6.795720e-07,7.080616e-07,7.199858e-07,7.373298e-07,7.572661e-07,7.647573e-07,7.903018e-07,7.912842e-07,8.139498e-07,8.220003e-07,8.357127e-07,8.494508e-07,8.556238e-07,8.737380e-07,8.901178e-07,8.950040e-07,9.048349e-07,9.134216e-07,9.179764e-07,9.291912e-07,9.296299e-07,9.398880e-07,9.425229e-07,9.488435e-07,9.536297e-07,9.565879e-07,9.627207e-07,9.632114e-07,9.688009e-07,9.699978e-07,9.734392e-07,9.756505e-07,9.772045e-07,9.798541e-07,9.801701e-07,9.824050e-07,9.827700e-07,9.839734e-07,9.845454e-07,9.849345e-07,9.853127e-07,9.853430e-07,9.852489e-07,9.851904e-07,9.846983e-07,9.842843e-07,9.837332e-07,9.826885e-07,9.823918e-07,9.807092e-07,9.804859e-07,9.787170e-07,9.777500e-07,9.764442e-07,9.745454e-07,9.739170e-07,9.711592e-07,9.709293e-07,9.681926e-07,9.669520e-07,9.650369e-07,9.626579e-07,9.617101e-07,9.582286e-07,9.580863e-07,9.546072e-07,9.532719e-07,9.508595e-07,9.482454e-07,9.469981e-07,9.430342e-07,9.389783e-07,9.376626e-07,9.348399e-07,9.321522e-07,9.306279e-07,9.265225e-07,9.263502e-07,9.220143e-07,9.207908e-07,9.176271e-07,9.149728e-07,9.131949e-07,9.090824e-07,9.087234e-07,9.042182e-07,9.031325e-07,8.996842e-07,8.971343e-07,8.951261e-07,8.910983e-07,8.905481e-07,8.859543e-07,8.850340e-07,8.813484e-07,8.789497e-07,8.767339e-07,8.728534e-07,8.721139e-07,8.674916e-07,8.667520e-07,8.628696e-07,8.606520e-07,8.582507e-07,8.545592e-07,8.536371e-07,8.490311e-07,8.484790e-07,8.444350e-07,8.424163e-07,8.398505e-07,8.363753e-07,8.352796e-07,8.307240e-07,8.303602e-07,8.261852e-07,8.243747e-07,8.216647e-07,8.184220e-07,8.171639e-07,8.126840e-07,8.125053e-07,8.082264e-07,8.066272e-07,8.037919e-07,8.007903e-07,7.993818e-07,7.949968e-07,7.892487e-07,7.835480e-07,7.778961e-07,7.722946e-07,7.667447e-07,7.612477e-07,7.558046e-07,7.504161e-07,7.450832e-07,7.398064e-07,7.345862e-07,7.294233e-07,7.243178e-07,7.192701e-07,7.142804e-07,7.093488e-07,7.044754e-07,6.996602e-07,6.949032e-07,6.902042e-07,6.855632e-07,6.809798e-07,6.764539e-07,6.719853e-07
0.000000e+00,1.216930e-10,3.816793e-10,1.929531e-09,5.359251e-09,8.443605e-09,2.195356e-08,2.270874e-08,4.750691e-08,5.668867e-08,8.537401e-08,1.153439e-07,1.386394e-07,2.030984e-07,2.094579e-07,2.998249e-07,3.246284e-07,4.115610e-07,4.840697e-07,5.462472e-07,6.847244e-07,7.050876e-07,8.886918e-07,9.283809e-07,1.096827e-06,1.214384e-06,1.328266e-06,1.539137e-06,1.580865e-06,1.851845e-06,1.896704e-06,2.138158e-06,2.280137e-06,2.436765e-06,2.682560e-06,2.744786e-06,3.059549e-06,3.097655e-06,3.378600e-06,3.519754e-06,3.699687e-06,3.943799e-06,4.020748e-06,4.339901e-06,4.365299e-06,4.655445e-06,4.780303e-06,4.965850e-06,5.185395e-06,5.269766e-06,5.566013e-06,5.577689e-06,5.853582e-06,5.954814e-06,6.131626e-06,6.314898e-06,6.399456e-06,6.656528e-06,6.902435e-06,6.978717e-06,7.136892e-06,7.280852e-06,7.359727e-06,7.562647e-06,7.570868e-06,7.770328e-06,7.824094e-06,7.958198e-06,8.065419e-06,8.134633e-06,8.287032e-06,8.299841e-06,8.454077e-06,8.489492e-06,8.597630e-06,8.673471e-06,8.730819e-06,8.839723e-06,8.853986e-06,8.967487e-06,8.989060e-06,9.071692e-06,9.122329e-06,9.166975e-06,9.240394e-06,9.253713e-06,9.332286e-06,9.344125e-06,9.403067e-06,9.434384e-06,9.466427e-06,9.512016e-06,9.522728e-06,9.572327e-06,9.577844e-06,9.615567e-06,9.632666e-06,9.652785e-06,9.677244e-06,9.684307e-06,9.710444e-06,9.712312e-06,9.731500e-06,9.738565e-06,9.747766e-06,9.756667e-06,9.759519e-06,9.767027e-06,9.767243e-06,9.770547e-06,9.770885e-06,9.770322e-06,9.768151e-06,9.766588e-06,9.759566e-06,9.749470e-06,9.745623e-06,9.736502e-06,9.726784e-06,9.720854e-06,9.703481e-06,9.702709e-06,9.682242e-06,9.676118e-06,9.659618e-06,9.645073e-06,9.634993e-06,9.610699e-06,9.608516e-06,9.580328e-06,9.573324e-06,9.550563e-06,9.533254e-06,9.519348e-06,9.490773e-06,9.486801e-06,9.453036e-06,9.446146e-06,9.418160e-06,9.399619e-06,9.382274e-06,9.351420e-06,9.345474e-06,9.307850e-06,9.301759e-06,9.269486e-06,9.250833e-06,9.230463e-06,9.198821e-06,9.190857e-06,9.150738e-06,9.145893e-06,9.110174e-06,9.092201e-06,9.069227e-06,9.037888e-06,9.027957e-06,8.986419e-06,8.983086e-06,8.944667e-06,8.927916e-06,8.902747e-06,8.872488e-06,8.860708e-06,8.818591e-06,8.816905e-06,8.776437e-06,8.761260e-06,8.734284e-06,8.705638e-06,8.692167e-06,8.650118e-06,8.594771e-06,8.539662e-06,8.484849e-06,8.430387e-06,8.376323e-06,8.322701e-06,8.269560e-06,8.216936e-06,8.164858e-06,8.113356e-06,8.062453e-06,8.012171e-06,7.962529e-06,7.913542e-06,7.865224e-06,7.817587e-06,7.770640e-06,7.724391e-06,7.678846e-06,7.634008e-06,7.589882e-06,7.546468e-06,7.503766e-06,7.461777e-06
0.000000e+00,2.502449e-12,5.723764e-12,1.965477e-11,4.467514e-11,6.515181e-11,1.477192e-10,1.521625e-10,2.940918e-10,3.456008e-10,5.053467e-10,6.719211e-10,8.017982e-10,1.164240e-09,1.200252e-09,1.715706e-09,1.857927e-09,2.356001e-09,2.768192e-09,3.117462e-09,3.877293e-09,3.986742e-09,4.946968e-09,5.148489e-09,5.982258e-09,6.545679e-09,7.079028e-09,8.039272e-09,8.225642e-09,9.411771e-09,9.604575e-09,1.062791e-08,1.121967e-08,1.186511e-08,1.286432e-08,1.311489e-08,1.436924e-08,1.451971e-08,1.562069e-08,1.616860e-08,1.686233e-08,1.779555e-08,1.808792e-08,1.929192e-08,1.938715e-08,2.046949e-08,2.093218e-08,2.161654e-08,2.242156e-08,2.272964e-08,2.380603e-08,2.384829e-08,2.484358e-08,2.520727e-08,2.584070e-08,2.649508e-08,2.679631e-08,2.770976e-08,2.858083e-08,2.885062e-08,2.940958e-08,2.991793e-08,3.019638e-08,3.091277e-08,3.094180e-08,3.164663e-08,3.183683e-08,3.231180e-08,3.269229e-08,3.293835e-08,3.348164e-08,3.352742e-08,3.408020e-08,3.420761e-08,3.459794e-08,3.487305e-08,3.508192e-08,3.548092e-08,3.553343e-08,3.595375e-08,3.603418e-08,3.634416e-08,3.653578e-08,3.670594e-08,3.698861e-08,3.704032e-08,3.734853e-08,3.739550e-08,3.763176e-08,3.775917e-08,3.789116e-08,3.808227e-08,3.812784e-08,3.834291e-08,3.836732e-08,3.853740e-08,3.861672e-08,3.871233e-08,3.883279e-08,3.886867e-08,3.900735e-08,3.901771e-08,3.912929e-08,3.917356e-08,3.923532e-08,3.930230e-08,3.932630e-08,3.940300e-08,3.940579e-08,3.946620e-08,3.948578e-08,3.951661e-08,3.954394e-08,3.955493e-08,3.958182e-08,3.959793e-08,3.960090e-08,3.960385e-08,3.960257e-08,3.960017e-08,3.958811e-08,3.958744e-08,3.956618e-08,3.955877e-08,3.953690e-08,3.951568e-08,3.950007e-08,3.945992e-08,3.945616e-08,3.940560e-08,3.939252e-08,3.934880e-08,3.931441e-08,3.928615e-08,3.922649e-08,3.921804e-08,3.914482e-08,3.912960e-08,3.906683e-08,3.902450e-08,3.898440e-08,3.891195e-08,3.889783e-08,3.880741e-08,3.879261e-08,3.871343e-08,3.866713e-08,3.861614e-08,3.853610e-08,3.851580e-08,3.841265e-08,3.840010e-08,3.830692e-08,3.825963e-08,3.819881e-08,3.811518e-08,3.808853e-08,3.797628e-08,3.796722e-08,3.786224e-08,3.781616e-08,3.774658e-08,3.766240e-08,3.762947e-08,3.751107e-08,3.750630e-08,3.739151e-08,3.734822e-08,3.727096e-08,3.718847e-08,3.714952e-08,3.702734e-08,3.686512e-08,3.670205e-08,3.653838e-08,3.637432e-08,3.621008e-08,3.604585e-08,3.588181e-08,3.571810e-08,3.555489e-08,3.539231e-08,3.523048e-08,3.506953e-08,3.490955e-08,3.475064e-08,3.459290e-08,3.443639e-08,3.428121e-08,3.412740e-08,3.397504e-08,3.382418e-08,3.367485e-08,3.352712e-08,3.338101e-08,3.323656e-08
0.000000e+00,8.739198e-11,3.267629e-10,2.257837e-09,7.924579e-09,1.395954e-08,4.633187e-08,4.834824e-08,1.225402e-07,1.530671e-07,2.561194e-07,3.736152e-07,4.705211e-07,7.590685e-07,7.889418e-07,1.235656e-06,1.364555e-06,1.832996e-06,2.239140e-06,2.595162e-06,3.402207e-06,3.521628e-06,4.595024e-06,4.824819e-06,5.785037e-06,6.437906e-06,7.055292e-06,8.157777e-06,8.369658e-06,9.696283e-06,9.907866e-06,1.100932e-05,1.162873e-05,1.228901e-05,1.327890e-05,1.352093e-05,1.469500e-05,1.483165e-05,1.580444e-05,1.627096e-05,1.684501e-05,1.758825e-05,1.781432e-05,1.871149e-05,1.878014e-05,1.953675e-05,1.984696e-05,2.029130e-05,2.079187e-05,2.097711e-05,2.159679e-05,2.162024e-05,2.215344e-05,2.233906e-05,2.265053e-05,2.295644e-05,2.309181e-05,2.348116e-05,2.382254e-05,2.392228e-05,2.411985e-05,2.428878e-05,2.437693e-05,2.458928e-05,2.459744e-05,2.478486e-05,2.483186e-05,2.494244e-05,2.502394e-05,2.507321e-05,2.517222e-05,2.517993e-05,2.526513e-05,2.528264e-05,2.533110e-05,2.536042e-05,2.537989e-05,2.541007e-05,2.541333e-05,2.543306e-05,2.543549e-05,2.544054e-05,2.544002e-05,2.543705e-05,2.542648e-05,2.542373e-05,2.540161e-05,2.539731e-05,2.537157e-05,2.535457e-05,2.533440e-05,2.530002e-05,2.529082e-05,2.524144e-05,2.523516e-05,2.518684e-05,2.516128e-05,2.512750e-05,2.507952e-05,2.506388e-05,2.499638e-05,2.499082e-05,2.492536e-05,2.489604e-05,2.485115e-05,2.479592e-05,2.477405e-05,2.469434e-05,2.469110e-05,2.461226e-05,2.458217e-05,2.452804e-05,2.446965e-05,2.444188e-05,2.435399e-05,2.426453e-05,2.423560e-05,2.417368e-05,2.411487e-05,2.408158e-05,2.399213e-05,2.398838e-05,2.389421e-05,2.386769e-05,2.379919e-05,2.374182e-05,2.370344e-05,2.361479e-05,2.360705e-05,2.351014e-05,2.348682e-05,2.341280e-05,2.335813e-05,2.331510e-05,2.322891e-05,2.321714e-05,2.311898e-05,2.309934e-05,2.302071e-05,2.296958e-05,2.292238e-05,2.283979e-05,2.282406e-05,2.272581e-05,2.271010e-05,2.262768e-05,2.258064e-05,2.252972e-05,2.245151e-05,2.243199e-05,2.233451e-05,2.232284e-05,2.223735e-05,2.219471e-05,2.214053e-05,2.206721e-05,2.204410e-05,2.194808e-05,2.194042e-05,2.185252e-05,2.181442e-05,2.175743e-05,2.168928e-05,2.166285e-05,2.156880e-05,2.156505e-05,2.147531e-05,2.144179e-05,2.138239e-05,2.131955e-05,2.129007e-05,2.119837e-05,2.107830e-05,2.095938e-05,2.084163e-05,2.072508e-05,2.060976e-05,2.049570e-05,2.038290e-05,2.027140e-05,2.016120e-05,2.005231e-05,1.994475e-05,1.983853e-05,1.973364e-05,1.963009e-05,1.952789e-05,1.942704e-05,1.932753e-05,1.922937e-05,1.913255e-05,1.903707e-05,1.894292e-05,1.885010e-05,1.875861e-05,1.866842e-05
0.000000e+00,1.928407e-09,7.536797e-09,5.708936e-08,2.178470e-07,4.017060e-07,1.498873e-06,1.571501e-06,4.461901e-06,5.744441e-06,1.035459e-05,1.601205e-05,2.092485e-05,3.654014e-05,3.822611e-05,6.462680e-05,7.259964e-05,1.026911e-04,1.300810e-04,1.550435e-04,2.149797e-04,2.242582e-04,3.127800e-04,3.330037e-04,4.228676e-04,4.893199e-04,5.565506e-04,6.883781e-04,7.155934e-04,9.014656e-04,9.337765e-04,1.115317e-03,1.228155e-03,1.357958e-03,1.573119e-03,1.629846e-03,1.931079e-03,1.969190e-03,2.261396e-03,2.415804e-03,2.620186e-03,2.911338e-03,3.006501e-03,3.419082e-03,3.453179e-03,3.856383e-03,4.037829e-03,4.316603e-03,4.661030e-03,4.797729e-03,5.297567e-03,5.317917e-03,5.813790e-03,6.003176e-03,6.343971e-03,6.711202e-03,6.885629e-03,7.436262e-03,7.993386e-03,8.172636e-03,8.554562e-03,8.914747e-03,9.117429e-03,9.657271e-03,9.679725e-03,1.023931e-02,1.039523e-02,1.079417e-02,1.112404e-02,1.134245e-02,1.183958e-02,1.188244e-02,1.241261e-02,1.253823e-02,1.293157e-02,1.321683e-02,1.343811e-02,1.387274e-02,1.393117e-02,1.440984e-02,1.450378e-02,1.487338e-02,1.510823e-02,1.532117e-02,1.568480e-02,1.575274e-02,1.616773e-02,1.623257e-02,1.656590e-02,1.675101e-02,1.694712e-02,1.723987e-02,1.731136e-02,1.765865e-02,1.769919e-02,1.798913e-02,1.812926e-02,1.830299e-02,1.853057e-02,1.860049e-02,1.888194e-02,1.890377e-02,1.914767e-02,1.924965e-02,1.939808e-02,1.956912e-02,1.963359e-02,1.985462e-02,1.986317e-02,2.006164e-02,2.013283e-02,2.025512e-02,2.037919e-02,2.043553e-02,2.060337e-02,2.075911e-02,2.080647e-02,2.090325e-02,2.098963e-02,2.103626e-02,2.115394e-02,2.115863e-02,2.127082e-02,2.130048e-02,2.137330e-02,2.143031e-02,2.146651e-02,2.154445e-02,2.155088e-02,2.162685e-02,2.164388e-02,2.169483e-02,2.172956e-02,2.175522e-02,2.180239e-02,2.180840e-02,2.185474e-02,2.186322e-02,2.189460e-02,2.191289e-02,2.192833e-02,2.195216e-02,2.195625e-02,2.197867e-02,2.198177e-02,2.199590e-02,2.200242e-02,2.200823e-02,2.201475e-02,2.201594e-02,2.201927e-02,2.201939e-02,2.201850e-02,2.201691e-02,2.201384e-02,2.200785e-02,2.200554e-02,2.199380e-02,2.199272e-02,2.197884e-02,2.197200e-02,2.196085e-02,2.194612e-02,2.194000e-02,2.191649e-02,2.191550e-02,2.189048e-02,2.188053e-02,2.186211e-02,2.184156e-02,2.183156e-02,2.179895e-02,2.175299e-02,2.170399e-02,2.165221e-02,2.159791e-02,2.154132e-02,2.148266e-02,2.142215e-02,2.135996e-02,2.129627e-02,2.123126e-02,2.116506e-02,2.109783e-02,2.102970e-02,2.096079e-02,2.089120e-02,2.082106e-02,2.075045e-02,2.067948e-02,2.060822e-02,2.053675e-02,2.046515e-02,2.039348e-02,2.032181e-02,2.025020e-02
0.000000e+00,3.059859e-12,7.002537e-12,2.404356e-11,5.462259e-11,7.963537e-11,1.804664e-10,1.858930e-10,3.593279e-10,4.223282e-10,6.179179e-10,8.221666e-10,9.815897e-10,1.427012e-09,1.471297e-09,2.105326e-09,2.280245e-09,2.892417e-09,3.398171e-09,3.825777e-09,4.751799e-09,4.884612e-09,6.042368e-09,6.283510e-09,7.273918e-09,7.936345e-09,8.558254e-09,9.665324e-09,9.878330e-09,1.122011e-08,1.143599e-08,1.257170e-08,1.322088e-08,1.392285e-08,1.499740e-08,1.526462e-08,1.658924e-08,1.674671e-08,1.789004e-08,1.845336e-08,1.916139e-08,2.010504e-08,2.039867e-08,2.159816e-08,2.169239e-08,2.275702e-08,2.320871e-08,2.387322e-08,2.464964e-08,2.494533e-08,2.597258e-08,2.601273e-08,2.695468e-08,2.729720e-08,2.789178e-08,2.850354e-08,2.878438e-08,2.963326e-08,3.043943e-08,3.068857e-08,3.120407e-08,3.167224e-08,3.192848e-08,3.258736e-08,3.261405e-08,3.326225e-08,3.343725e-08,3.387457e-08,3.422535e-08,3.445248e-08,3.495505e-08,3.499747e-08,3.551099e-08,3.562972e-08,3.599448e-08,3.625265e-08,3.644935e-08,3.682702e-08,3.687693e-08,3.727854e-08,3.735585e-08,3.765542e-08,3.784204e-08,3.800880e-08,3.828833e-08,3.833984e-08,3.864964e-08,3.869731e-08,3.893927e-08,3.907143e-08,3.920975e-08,3.941299e-08,3.946204e-08,3.969706e-08,3.972414e-08,3.991569e-08,4.000691e-08,4.011876e-08,4.026318e-08,4.030707e-08,4.048138e-08,4.049474e-08,4.064240e-08,4.070324e-08,4.079081e-08,4.089022e-08,4.092726e-08,4.105236e-08,4.105714e-08,4.116670e-08,4.120534e-08,4.127083e-08,4.133608e-08,4.136528e-08,4.145055e-08,4.152711e-08,4.154984e-08,4.159541e-08,4.163499e-08,4.165588e-08,4.170694e-08,4.170892e-08,4.175492e-08,4.176659e-08,4.179425e-08,4.181479e-08,4.182725e-08,4.185231e-08,4.185426e-08,4.187558e-08,4.187988e-08,4.189151e-08,4.189819e-08,4.190235e-08,4.190787e-08,4.190835e-08,4.190977e-08,4.190952e-08,4.190685e-08,4.190370e-08,4.189983e-08,4.189093e-08,4.188893e-08,4.187435e-08,4.187169e-08,4.185629e-08,4.184644e-08,4.183494e-08,4.181561e-08,4.181048e-08,4.178309e-08,4.177961e-08,4.175292e-08,4.173880e-08,4.172012e-08,4.169354e-08,4.168486e-08,4.164726e-08,4.164416e-08,4.160747e-08,4.159096e-08,4.156560e-08,4.153424e-08,4.152178e-08,4.147613e-08,4.147427e-08,4.142876e-08,4.141130e-08,4.137976e-08,4.134557e-08,4.132925e-08,4.127731e-08,4.120672e-08,4.113401e-08,4.105936e-08,4.098295e-08,4.090493e-08,4.082547e-08,4.074471e-08,4.066278e-08,4.057982e-08,4.049594e-08,4.041125e-08,4.032587e-08,4.023989e-08,4.015341e-08,4.006652e-08,3.997929e-08,3.989181e-08,3.980415e-08,3.971638e-08,3.962857e-08,3.954077e-08,3.945304e-08,3.936543e-08,3.927801e-08
0.000000e+00,1.044939e-10,3.723847e-10,2.345833e-09,7.628928e-09,1.292713e-08,3.916782e-08,4.073168e-08,9.542459e-08,1.168665e-07,1.865619e-07,2.625877e-07,3.233664e-07,4.972212e-07,5.147435e-07,7.691776e-07,8.404905e-07,1.094122e-06,1.308920e-06,1.494618e-06,1.910429e-06,1.971624e-06,2.521314e-06,2.639347e-06,3.136026e-06,3.478189e-06,3.806070e-06,4.404207e-06,4.521259e-06,5.271762e-06,5.394496e-06,6.048384e-06,6.427911e-06,6.842599e-06,7.485320e-06,7.646524e-06,8.452882e-06,8.549485e-06,9.255017e-06,9.605047e-06,1.004692e-05,1.063863e-05,1.082327e-05,1.157945e-05,1.163895e-05,1.231154e-05,1.259689e-05,1.301634e-05,1.350546e-05,1.369133e-05,1.433460e-05,1.435965e-05,1.494484e-05,1.515627e-05,1.552124e-05,1.589366e-05,1.606345e-05,1.657150e-05,1.704575e-05,1.719046e-05,1.748682e-05,1.775209e-05,1.789557e-05,1.825849e-05,1.827300e-05,1.862025e-05,1.871224e-05,1.893855e-05,1.911618e-05,1.922921e-05,1.947333e-05,1.949354e-05,1.973289e-05,1.978677e-05,1.994862e-05,2.005960e-05,2.014204e-05,2.029484e-05,2.031446e-05,2.046714e-05,2.049541e-05,2.060129e-05,2.066413e-05,2.071810e-05,2.080365e-05,2.081870e-05,2.090415e-05,2.091649e-05,2.097549e-05,2.100500e-05,2.103368e-05,2.107139e-05,2.107965e-05,2.111427e-05,2.111770e-05,2.113836e-05,2.114582e-05,2.115270e-05,2.115752e-05,2.115801e-05,2.115499e-05,2.115441e-05,2.114429e-05,2.113799e-05,2.112650e-05,2.110962e-05,2.110219e-05,2.107190e-05,2.107057e-05,2.103613e-05,2.102200e-05,2.099533e-05,2.096495e-05,2.094996e-05,2.090042e-05,2.084708e-05,2.082927e-05,2.079030e-05,2.075232e-05,2.073043e-05,2.067031e-05,2.066776e-05,2.060258e-05,2.058392e-05,2.053517e-05,2.049376e-05,2.046578e-05,2.040038e-05,2.039463e-05,2.032195e-05,2.030430e-05,2.024794e-05,2.020599e-05,2.017279e-05,2.010585e-05,2.009667e-05,2.001974e-05,2.000427e-05,1.994216e-05,1.990160e-05,1.986405e-05,1.979814e-05,1.978556e-05,1.970681e-05,1.969419e-05,1.962789e-05,1.958998e-05,1.954892e-05,1.948576e-05,1.946998e-05,1.939117e-05,1.938173e-05,1.931257e-05,1.927807e-05,1.923425e-05,1.917495e-05,1.915627e-05,1.907870e-05,1.907251e-05,1.900159e-05,1.897089e-05,1.892500e-05,1.887021e-05,1.884898e-05,1.877356e-05,1.877056e-05,1.869879e-05,1.867204e-05,1.862470e-05,1.857472e-05,1.855132e-05,1.847868e-05,1.838398e-05,1.829066e-05,1.819877e-05,1.810835e-05,1.801943e-05,1.793203e-05,1.784617e-05,1.776186e-05,1.767912e-05,1.759794e-05,1.751834e-05,1.744031e-05,1.736384e-05,1.728894e-05,1.721559e-05,1.714378e-05,1.707350e-05,1.700473e-05,1.693746e-05,1.687168e-05,1.680735e-05,1.674447e-05,1.668302e-05,1.662296e-05
0.000000e+00,1.577180e-10,4.978904e-10,2.535968e-09,7.061559e-09,1.113233e-08,2.899580e-08,2.999712e-08,6.313473e-08,7.555297e-08,1.149374e-07,1.570652e-07,1.904811e-07,2.855220e-07,2.950605e-07,4.319842e-07,4.695863e-07,5.994485e-07,7.041297e-07,7.906509e-07,9.721520e-07,9.975823e-07,1.213834e-06,1.257783e-06,1.434951e-06,1.550779e-06,1.657798e-06,1.844553e-06,1.879969e-06,2.099439e-06,2.134181e-06,2.314417e-06,2.415532e-06,2.523296e-06,2.685050e-06,2.724660e-06,2.917296e-06,2.939777e-06,3.100218e-06,3.177424e-06,3.272674e-06,3.396410e-06,3.434140e-06,3.584315e-06,3.595837e-06,3.723099e-06,3.775435e-06,3.850568e-06,3.935459e-06,3.966945e-06,4.072576e-06,4.076583e-06,4.167901e-06,4.199791e-06,4.253429e-06,4.306271e-06,4.329710e-06,4.397323e-06,4.456858e-06,4.474300e-06,4.508905e-06,4.538552e-06,4.554039e-06,4.591381e-06,4.592817e-06,4.625770e-06,4.634022e-06,4.653401e-06,4.667624e-06,4.676183e-06,4.693237e-06,4.694554e-06,4.708923e-06,4.711819e-06,4.719666e-06,4.724229e-06,4.727130e-06,4.731239e-06,4.731632e-06,4.733462e-06,4.733531e-06,4.732882e-06,4.731709e-06,4.730133e-06,4.726306e-06,4.725431e-06,4.718975e-06,4.717792e-06,4.710946e-06,4.706581e-06,4.701505e-06,4.693037e-06,4.690801e-06,4.678968e-06,4.677477e-06,4.666125e-06,4.660183e-06,4.652383e-06,4.641399e-06,4.637841e-06,4.622591e-06,4.621343e-06,4.606714e-06,4.600204e-06,4.590284e-06,4.578151e-06,4.573370e-06,4.556033e-06,4.555331e-06,4.538329e-06,4.531875e-06,4.520309e-06,4.507899e-06,4.502020e-06,4.483504e-06,4.464800e-06,4.458781e-06,4.445944e-06,4.433811e-06,4.426967e-06,4.408664e-06,4.407900e-06,4.388769e-06,4.383404e-06,4.369599e-06,4.358088e-06,4.350413e-06,4.332765e-06,4.331231e-06,4.312072e-06,4.307479e-06,4.292954e-06,4.282271e-06,4.273892e-06,4.257176e-06,4.254901e-06,4.235994e-06,4.232223e-06,4.217183e-06,4.207443e-06,4.198479e-06,4.182858e-06,4.179892e-06,4.161431e-06,4.158490e-06,4.143105e-06,4.134359e-06,4.124921e-06,4.110481e-06,4.106886e-06,4.089006e-06,4.086871e-06,4.071286e-06,4.063542e-06,4.053732e-06,4.040505e-06,4.036348e-06,4.019138e-06,4.017769e-06,4.002106e-06,3.995343e-06,3.985254e-06,3.973235e-06,3.968586e-06,3.952104e-06,3.951448e-06,3.935809e-06,3.929990e-06,3.919704e-06,3.908862e-06,3.903790e-06,3.888068e-06,3.867611e-06,3.847492e-06,3.827710e-06,3.808268e-06,3.789164e-06,3.770397e-06,3.751967e-06,3.733872e-06,3.716109e-06,3.698677e-06,3.681573e-06,3.664793e-06,3.648335e-06,3.632196e-06,3.616372e-06,3.600860e-06,3.585655e-06,3.570753e-06,3.556152e-06,3.541846e-06,3.527831e-06,3.514104e-06,3.500659e-06,3.487493e-06
0.000000e+00,1.520332e-10,5.477328e-10,3.524028e-09,1.166371e-08,1.994285e-08,6.172674e-08,6.424336e-08,1.533196e-07,1.886429e-07,3.044650e-07,4.320736e-07,5.347883e-07,8.311070e-07,8.611410e-07,1.299982e-06,1.423780e-06,1.866504e-06,2.244179e-06,2.572629e-06,3.314702e-06,3.424714e-06,4.422734e-06,4.639458e-06,5.561449e-06,6.206447e-06,6.832376e-06,7.994738e-06,8.225377e-06,9.729532e-06,9.979755e-06,1.133344e-05,1.213529e-05,1.302528e-05,1.443388e-05,1.479285e-05,1.662360e-05,1.684693e-05,1.850475e-05,1.934510e-05,2.042342e-05,2.189886e-05,2.236687e-05,2.432269e-05,2.447933e-05,2.627898e-05,2.705909e-05,2.822451e-05,2.961276e-05,3.014888e-05,3.204260e-05,3.211758e-05,3.389717e-05,3.455377e-05,3.570515e-05,3.690464e-05,3.746011e-05,3.915664e-05,4.079032e-05,4.129923e-05,4.235765e-05,4.332468e-05,4.385600e-05,4.522778e-05,4.528350e-05,4.663901e-05,4.700556e-05,4.792199e-05,4.865697e-05,4.913249e-05,5.018256e-05,5.027101e-05,5.133846e-05,5.158421e-05,5.233612e-05,5.286488e-05,5.326552e-05,5.402834e-05,5.412845e-05,5.492686e-05,5.507899e-05,5.566288e-05,5.602168e-05,5.633871e-05,5.686156e-05,5.695664e-05,5.751901e-05,5.760399e-05,5.802819e-05,5.825439e-05,5.848653e-05,5.881817e-05,5.889637e-05,5.926003e-05,5.930067e-05,5.957978e-05,5.970714e-05,5.985786e-05,6.004267e-05,6.009644e-05,6.029764e-05,6.031218e-05,6.046349e-05,6.052039e-05,6.059599e-05,6.067181e-05,6.069705e-05,6.076850e-05,6.077076e-05,6.081211e-05,6.082133e-05,6.082959e-05,6.082738e-05,6.082256e-05,6.079258e-05,6.074112e-05,6.072036e-05,6.066962e-05,6.061397e-05,6.057943e-05,6.047646e-05,6.047184e-05,6.034808e-05,6.031069e-05,6.020932e-05,6.011933e-05,6.005668e-05,5.990488e-05,5.989120e-05,5.971389e-05,5.966968e-05,5.952570e-05,5.941590e-05,5.932753e-05,5.914557e-05,5.912024e-05,5.890462e-05,5.886057e-05,5.868146e-05,5.856267e-05,5.845146e-05,5.825348e-05,5.821531e-05,5.797365e-05,5.793451e-05,5.772709e-05,5.760717e-05,5.747620e-05,5.727273e-05,5.722152e-05,5.696355e-05,5.693240e-05,5.670278e-05,5.658727e-05,5.643966e-05,5.623836e-05,5.617459e-05,5.590798e-05,5.588659e-05,5.564020e-05,5.553283e-05,5.537158e-05,5.517786e-05,5.510247e-05,5.483316e-05,5.482238e-05,5.456392e-05,5.446707e-05,5.429504e-05,5.411252e-05,5.402674e-05,5.375927e-05,5.340781e-05,5.305860e-05,5.271203e-05,5.236847e-05,5.202825e-05,5.169164e-05,5.135892e-05,5.103031e-05,5.070600e-05,5.038617e-05,5.007098e-05,4.976055e-05,4.945499e-05,4.915439e-05,4.885882e-05,4.856834e-05,4.828300e-05,4.800282e-05,4.772782e-05,4.745801e-05,4.719338e-05,4.693392e-05,4.667961e-05,4.643043e-05
0.000000e+00,1.181942e-10,3.456289e-10,1.575329e-09,4.110755e-09,6.311354e-09,1.563039e-08,1.614296e-08,3.276144e-08,3.885516e-08,5.781526e-08,7.758850e-08,9.296939e-08,1.356377e-07,1.398546e-07,1.997508e-07,2.161296e-07,2.730454e-07,3.197146e-07,3.590357e-07,4.441513e-07,4.563846e-07,5.636587e-07,5.861861e-07,6.795359e-07,7.427847e-07,8.027968e-07,9.111840e-07,9.322690e-07,1.066789e-06,1.088702e-06,1.205189e-06,1.272657e-06,1.346306e-06,1.460386e-06,1.488996e-06,1.632160e-06,1.649321e-06,1.774758e-06,1.837071e-06,1.915833e-06,2.021498e-06,2.054524e-06,2.190076e-06,2.200765e-06,2.321843e-06,2.373365e-06,2.449287e-06,2.538127e-06,2.571982e-06,2.689600e-06,2.694195e-06,2.801906e-06,2.841005e-06,2.908752e-06,2.978246e-06,3.010061e-06,3.105823e-06,3.196081e-06,3.223815e-06,3.280924e-06,3.332437e-06,3.360475e-06,3.432010e-06,3.434890e-06,3.504343e-06,3.522927e-06,3.569027e-06,3.605632e-06,3.629144e-06,3.680597e-06,3.684903e-06,3.736516e-06,3.748310e-06,3.784196e-06,3.809256e-06,3.828151e-06,3.863915e-06,3.868589e-06,3.905707e-06,3.912749e-06,3.939699e-06,3.956201e-06,3.970751e-06,3.994692e-06,3.999040e-06,4.024737e-06,4.028619e-06,4.048002e-06,4.058351e-06,4.068989e-06,4.084235e-06,4.087841e-06,4.104695e-06,4.106590e-06,4.119681e-06,4.125713e-06,4.132917e-06,4.141878e-06,4.144519e-06,4.154593e-06,4.155336e-06,4.163240e-06,4.166320e-06,4.170553e-06,4.175042e-06,4.176620e-06,4.181525e-06,4.181698e-06,4.185344e-06,4.186467e-06,4.188149e-06,4.189513e-06,4.190009e-06,4.190987e-06,4.191142e-06,4.191027e-06,4.190530e-06,4.189760e-06,4.189203e-06,4.187303e-06,4.187211e-06,4.184598e-06,4.183761e-06,4.181407e-06,4.179233e-06,4.177679e-06,4.173808e-06,4.173452e-06,4.168761e-06,4.167569e-06,4.163638e-06,4.160592e-06,4.158115e-06,4.152947e-06,4.152221e-06,4.145984e-06,4.144697e-06,4.139429e-06,4.135902e-06,4.132580e-06,4.126616e-06,4.125460e-06,4.118090e-06,4.116889e-06,4.110490e-06,4.106766e-06,4.102679e-06,4.096291e-06,4.094675e-06,4.086495e-06,4.085502e-06,4.078153e-06,4.074436e-06,4.069666e-06,4.063126e-06,4.061045e-06,4.052306e-06,4.051602e-06,4.043460e-06,4.039894e-06,4.034518e-06,4.028027e-06,4.025492e-06,4.016391e-06,4.016025e-06,4.007226e-06,4.003912e-06,3.998005e-06,3.991707e-06,3.988737e-06,3.979430e-06,3.967098e-06,3.954728e-06,3.942334e-06,3.929931e-06,3.917532e-06,3.905148e-06,3.892791e-06,3.880469e-06,3.868194e-06,3.855972e-06,3.843813e-06,3.831723e-06,3.819709e-06,3.807777e-06,3.795933e-06,3.784181e-06,3.772527e-06,3.760975e-06,3.749528e-06,3.738190e-06,3.726963e-06,3.715852e-06,3.704858e-06,3.693983e-06
0.000000e+00,1.684539e-10,6.441976e-10,4.664574e-09,1.708521e-08,3.080672e-08,1.085241e-07,1.135184e-07,3.046764e-07,3.863717e-07,6.707843e-07,1.006779e-06,1.290719e-06,2.161899e-06,2.253829e-06,3.657042e-06,4.070304e-06,5.598326e-06,6.954004e-06,8.165543e-06,1.099569e-05,1.142490e-05,1.541469e-05,1.630169e-05,2.014561e-05,2.289516e-05,2.560500e-05,3.073179e-05,3.176214e-05,3.857308e-05,3.972003e-05,4.598430e-05,4.973739e-05,5.393546e-05,6.064145e-05,6.236136e-05,7.119351e-05,7.227734e-05,8.036143e-05,8.448333e-05,8.979385e-05,9.709571e-05,9.941986e-05,1.091700e-04,1.099533e-04,1.189772e-04,1.229017e-04,1.287780e-04,1.357971e-04,1.385130e-04,1.481277e-04,1.485090e-04,1.575728e-04,1.609230e-04,1.668049e-04,1.729416e-04,1.757862e-04,1.844846e-04,1.928737e-04,1.954893e-04,2.009323e-04,2.059089e-04,2.086445e-04,2.157117e-04,2.159989e-04,2.229883e-04,2.248794e-04,2.296092e-04,2.334047e-04,2.358615e-04,2.412903e-04,2.417479e-04,2.472734e-04,2.485466e-04,2.524452e-04,2.551902e-04,2.572721e-04,2.612424e-04,2.617641e-04,2.659323e-04,2.667281e-04,2.697885e-04,2.716745e-04,2.733451e-04,2.761103e-04,2.766147e-04,2.796102e-04,2.800649e-04,2.823444e-04,2.835677e-04,2.848301e-04,2.866481e-04,2.870798e-04,2.891057e-04,2.893344e-04,2.909199e-04,2.916541e-04,2.925340e-04,2.936337e-04,2.939591e-04,2.952060e-04,2.952983e-04,2.962850e-04,2.966718e-04,2.972060e-04,2.977767e-04,2.979785e-04,2.986114e-04,2.986340e-04,2.991133e-04,2.992635e-04,2.994924e-04,2.996839e-04,2.997563e-04,2.999123e-04,2.999674e-04,2.999648e-04,2.999282e-04,2.998564e-04,2.998008e-04,2.996009e-04,2.995910e-04,2.993045e-04,2.992112e-04,2.989464e-04,2.986992e-04,2.985216e-04,2.980760e-04,2.980349e-04,2.974906e-04,2.973518e-04,2.968927e-04,2.965360e-04,2.962453e-04,2.956375e-04,2.955520e-04,2.948161e-04,2.946642e-04,2.940411e-04,2.936236e-04,2.932299e-04,2.925227e-04,2.923854e-04,2.915104e-04,2.913677e-04,2.906074e-04,2.901647e-04,2.896788e-04,2.889190e-04,2.887268e-04,2.877537e-04,2.876356e-04,2.867614e-04,2.863192e-04,2.857517e-04,2.849739e-04,2.847265e-04,2.836875e-04,2.836038e-04,2.826361e-04,2.822124e-04,2.815738e-04,2.808031e-04,2.805021e-04,2.794222e-04,2.793789e-04,2.783354e-04,2.779426e-04,2.772427e-04,2.764970e-04,2.761454e-04,2.750443e-04,2.735867e-04,2.721263e-04,2.706649e-04,2.692042e-04,2.677458e-04,2.662910e-04,2.648413e-04,2.633977e-04,2.619614e-04,2.605333e-04,2.591144e-04,2.577054e-04,2.563071e-04,2.549202e-04,2.535452e-04,2.521827e-04,2.508332e-04,2.494971e-04,2.481748e-04,2.468666e-04,2.455728e-04,2.442937e-04,2.430295e-04,2.417803e-04
0.000000e+00,2.810675e-11,6.783541e-11,2.454250e-10,5.687514e-10,8.336468e-10,1.894469e-09,1.951144e-09,3.738782e-09,4.377152e-09,6.325076e-09,8.310122e-09,9.829030e-09,1.395563e-08,1.435784e-08,1.999456e-08,2.151733e-08,2.677069e-08,3.104684e-08,3.463166e-08,4.232884e-08,4.342689e-08,5.294617e-08,5.491746e-08,6.297216e-08,6.832042e-08,7.331123e-08,8.211764e-08,8.379998e-08,9.430139e-08,9.597479e-08,1.046998e-07,1.096253e-07,1.148978e-07,1.228566e-07,1.248138e-07,1.343811e-07,1.355031e-07,1.435469e-07,1.474419e-07,1.522712e-07,1.585887e-07,1.605259e-07,1.682933e-07,1.688933e-07,1.755649e-07,1.783343e-07,1.823400e-07,1.869136e-07,1.886243e-07,1.944288e-07,1.946512e-07,1.997686e-07,2.015805e-07,2.046616e-07,2.077439e-07,2.091281e-07,2.131896e-07,2.168685e-07,2.179687e-07,2.201877e-07,2.221335e-07,2.231696e-07,2.257355e-07,2.258364e-07,2.282098e-07,2.288246e-07,2.303104e-07,2.314482e-07,2.321583e-07,2.336511e-07,2.337721e-07,2.351697e-07,2.354749e-07,2.363679e-07,2.369577e-07,2.373824e-07,2.381350e-07,2.382280e-07,2.389184e-07,2.390391e-07,2.394666e-07,2.396993e-07,2.398843e-07,2.401425e-07,2.401826e-07,2.403718e-07,2.403926e-07,2.404615e-07,2.404717e-07,2.404603e-07,2.403994e-07,2.403764e-07,2.402173e-07,2.401935e-07,2.399899e-07,2.398699e-07,2.397007e-07,2.394431e-07,2.393555e-07,2.389598e-07,2.389261e-07,2.385185e-07,2.383303e-07,2.380364e-07,2.376663e-07,2.375176e-07,2.369661e-07,2.369435e-07,2.363856e-07,2.361701e-07,2.357792e-07,2.353537e-07,2.351501e-07,2.345012e-07,2.338349e-07,2.336185e-07,2.331537e-07,2.327110e-07,2.324598e-07,2.317836e-07,2.317552e-07,2.310418e-07,2.308407e-07,2.303212e-07,2.298860e-07,2.295950e-07,2.289232e-07,2.288646e-07,2.281314e-07,2.279552e-07,2.273966e-07,2.269848e-07,2.266612e-07,2.260144e-07,2.259263e-07,2.251928e-07,2.250463e-07,2.244615e-07,2.240823e-07,2.237332e-07,2.231242e-07,2.230086e-07,2.222883e-07,2.221735e-07,2.215729e-07,2.212314e-07,2.208630e-07,2.202992e-07,2.201589e-07,2.194612e-07,2.193779e-07,2.187701e-07,2.184683e-07,2.180861e-07,2.175712e-07,2.174095e-07,2.167404e-07,2.166872e-07,2.160792e-07,2.158170e-07,2.154261e-07,2.149610e-07,2.147813e-07,2.141448e-07,2.141195e-07,2.135169e-07,2.132929e-07,2.128976e-07,2.124815e-07,2.122871e-07,2.116854e-07,2.109048e-07,2.101397e-07,2.093903e-07,2.086565e-07,2.079384e-07,2.072358e-07,2.065487e-07,2.058771e-07,2.052207e-07,2.045795e-07,2.039532e-07,2.033418e-07,2.027450e-07,2.021626e-07,2.015944e-07,2.010403e-07,2.005000e-07,1.999732e-07,1.994598e-07,1.989595e-07,1.984720e-07,1.979971e-07,1.975346e-07,1.970842e-07
0.000000e+00,2.160534e-10,7.474856e-10,4.454648e-09,1.386435e-08,2.299179e-08,6.641346e-08,6.894727e-08,1.557834e-07,1.892563e-07,2.970284e-07,4.137148e-07,5.067548e-07,7.726936e-07,7.994957e-07,1.188026e-06,1.296424e-06,1.678541e-06,1.996671e-06,2.266993e-06,2.856062e-06,2.940936e-06,3.684770e-06,3.840583e-06,4.483668e-06,4.916544e-06,5.324888e-06,6.056233e-06,6.197569e-06,7.092108e-06,7.236666e-06,7.999704e-06,8.437545e-06,8.912099e-06,9.640229e-06,9.821519e-06,1.072072e-05,1.082761e-05,1.160308e-05,1.198444e-05,1.246271e-05,1.309766e-05,1.329451e-05,1.409423e-05,1.415671e-05,1.485844e-05,1.515359e-05,1.558459e-05,1.608282e-05,1.627089e-05,1.691626e-05,1.694122e-05,1.752029e-05,1.772763e-05,1.808310e-05,1.844254e-05,1.860527e-05,1.908779e-05,1.953193e-05,1.966619e-05,1.993919e-05,2.018124e-05,2.031123e-05,2.063691e-05,2.064983e-05,2.095682e-05,2.103737e-05,2.123406e-05,2.138688e-05,2.148338e-05,2.168967e-05,2.170661e-05,2.190550e-05,2.194980e-05,2.208175e-05,2.217116e-05,2.223697e-05,2.235740e-05,2.237271e-05,2.249040e-05,2.251189e-05,2.259141e-05,2.263777e-05,2.267701e-05,2.273787e-05,2.274838e-05,2.280664e-05,2.281481e-05,2.285280e-05,2.287094e-05,2.288781e-05,2.290839e-05,2.291256e-05,2.292785e-05,2.292909e-05,2.293444e-05,2.293477e-05,2.293303e-05,2.292699e-05,2.292424e-05,2.290868e-05,2.290716e-05,2.288688e-05,2.287653e-05,2.285935e-05,2.283625e-05,2.282656e-05,2.278893e-05,2.278733e-05,2.274685e-05,2.273069e-05,2.270070e-05,2.266716e-05,2.265080e-05,2.259748e-05,2.254102e-05,2.252233e-05,2.248169e-05,2.244232e-05,2.241973e-05,2.235800e-05,2.235538e-05,2.228885e-05,2.226986e-05,2.222034e-05,2.217835e-05,2.215002e-05,2.208389e-05,2.207808e-05,2.200466e-05,2.198684e-05,2.192993e-05,2.188755e-05,2.185400e-05,2.178631e-05,2.177702e-05,2.169910e-05,2.168341e-05,2.162035e-05,2.157911e-05,2.154088e-05,2.147364e-05,2.146078e-05,2.138015e-05,2.136720e-05,2.129906e-05,2.126000e-05,2.121760e-05,2.115221e-05,2.113584e-05,2.105385e-05,2.104400e-05,2.097169e-05,2.093550e-05,2.088942e-05,2.082686e-05,2.080710e-05,2.072479e-05,2.071820e-05,2.064252e-05,2.060964e-05,2.056035e-05,2.050127e-05,2.047832e-05,2.039647e-05,2.039320e-05,2.031483e-05,2.028550e-05,2.023344e-05,2.017826e-05,2.015234e-05,2.007156e-05,1.996545e-05,1.986000e-05,1.975525e-05,1.965127e-05,1.954810e-05,1.944577e-05,1.934433e-05,1.924380e-05,1.914422e-05,1.904561e-05,1.894800e-05,1.885140e-05,1.875584e-05,1.866133e-05,1.856788e-05,1.847551e-05,1.838422e-05,1.829403e-05,1.820494e-05,1.811695e-05,1.803008e-05,1.794431e-05,1.785965e-05,1.777611e-05
0.000000e+00,1.239991e-09,4.836134e-09,3.646880e-08,1.385664e-07,2.548894e-07,9.447070e-07,9.901997e-07,2.790833e-06,3.585364e-06,6.426249e-06,9.888843e-06,1.288003e-05,2.232046e-05,2.333510e-05,3.914759e-05,4.390241e-05,6.179464e-05,7.802682e-05,9.278575e-05,1.281029e-04,1.335555e-04,1.853724e-04,1.971576e-04,2.492801e-04,2.875630e-04,3.260679e-04,4.009140e-04,4.162591e-04,5.201118e-04,5.379996e-04,6.376264e-04,6.988233e-04,7.685586e-04,8.826554e-04,9.124370e-04,1.068584e-03,1.088107e-03,1.236142e-03,1.313225e-03,1.414097e-03,1.555601e-03,1.601313e-03,1.796558e-03,1.812486e-03,1.998537e-03,2.080916e-03,2.205917e-03,2.357824e-03,2.417361e-03,2.631543e-03,2.640149e-03,2.847181e-03,2.924928e-03,3.063046e-03,3.209371e-03,3.277982e-03,3.490919e-03,3.700877e-03,3.767288e-03,3.906975e-03,4.036486e-03,4.108431e-03,4.296830e-03,4.304566e-03,4.494799e-03,4.546939e-03,4.678648e-03,4.785725e-03,4.855718e-03,5.012372e-03,5.025705e-03,5.188381e-03,5.226317e-03,5.343594e-03,5.427219e-03,5.491257e-03,5.614932e-03,5.631343e-03,5.763875e-03,5.789481e-03,5.888926e-03,5.951031e-03,6.006605e-03,6.099863e-03,6.117056e-03,6.220451e-03,6.236352e-03,6.316984e-03,6.360945e-03,6.406870e-03,6.474144e-03,6.490334e-03,6.567616e-03,6.576486e-03,6.638959e-03,6.668534e-03,6.704615e-03,6.750863e-03,6.764833e-03,6.819866e-03,6.824052e-03,6.869962e-03,6.888673e-03,6.915366e-03,6.945288e-03,6.956321e-03,6.993059e-03,6.994444e-03,7.025810e-03,7.036667e-03,7.054795e-03,7.072461e-03,7.080225e-03,7.102307e-03,7.121237e-03,7.126659e-03,7.137202e-03,7.145948e-03,7.150384e-03,7.160578e-03,7.160953e-03,7.169072e-03,7.170927e-03,7.174896e-03,7.177351e-03,7.178573e-03,7.180178e-03,7.180241e-03,7.180033e-03,7.179717e-03,7.178073e-03,7.176254e-03,7.174479e-03,7.170053e-03,7.169362e-03,7.162828e-03,7.161360e-03,7.154975e-03,7.150401e-03,7.145896e-03,7.137386e-03,7.135679e-03,7.124406e-03,7.122510e-03,7.112156e-03,7.105950e-03,7.099001e-03,7.087873e-03,7.085011e-03,7.070249e-03,7.068428e-03,7.054776e-03,7.047757e-03,7.038649e-03,7.025988e-03,7.021922e-03,7.004645e-03,7.003240e-03,6.986865e-03,6.979622e-03,6.968626e-03,6.955233e-03,6.949970e-03,6.930936e-03,6.930168e-03,6.911561e-03,6.904509e-03,6.891879e-03,6.878336e-03,6.871922e-03,6.851720e-03,6.824727e-03,6.797418e-03,6.769849e-03,6.742071e-03,6.714130e-03,6.686071e-03,6.657933e-03,6.629753e-03,6.601563e-03,6.573395e-03,6.545277e-03,6.517233e-03,6.489289e-03,6.461465e-03,6.433780e-03,6.406254e-03,6.378902e-03,6.351739e-03,6.324779e-03,6.298034e-03,6.271515e-03,6.245232e-03,6.219193e-03,6.193408e-03
0.000000e+00,1.693873e-09,6.628749e-09,5.034169e-08,1.925283e-07,3.554316e-07,1.329837e-06,1.394416e-06,3.967791e-06,5.110803e-06,9.221693e-06,1.426842e-05,1.865158e-05,3.258893e-05,3.409456e-05,5.770732e-05,6.485464e-05,9.190924e-05,1.166424e-04,1.392647e-04,1.938388e-04,2.023135e-04,2.834022e-04,3.019698e-04,3.845600e-04,4.456543e-04,5.074261e-04,6.283105e-04,6.532142e-04,8.227020e-04,8.520484e-04,1.016235e-03,1.117665e-03,1.233740e-03,1.424703e-03,1.474751e-03,1.738434e-03,1.771548e-03,2.023627e-03,2.155560e-03,2.328873e-03,2.573234e-03,2.652473e-03,2.992524e-03,3.020378e-03,3.346972e-03,3.492300e-03,3.713654e-03,3.983993e-03,4.090347e-03,4.474809e-03,4.490317e-03,4.864816e-03,5.006155e-03,5.258198e-03,5.526557e-03,5.652870e-03,6.046850e-03,6.438288e-03,6.562727e-03,6.825472e-03,7.070310e-03,7.206843e-03,7.566188e-03,7.581000e-03,7.946702e-03,8.047433e-03,8.302869e-03,8.511602e-03,8.648577e-03,8.956724e-03,8.983053e-03,9.305666e-03,9.381271e-03,9.615923e-03,9.784127e-03,9.913455e-03,1.016455e-02,1.019801e-02,1.046944e-02,1.052214e-02,1.072769e-02,1.085677e-02,1.097279e-02,1.116859e-02,1.120485e-02,1.142404e-02,1.145793e-02,1.163059e-02,1.172532e-02,1.182477e-02,1.197142e-02,1.200689e-02,1.217731e-02,1.219699e-02,1.233638e-02,1.240288e-02,1.248451e-02,1.259001e-02,1.262209e-02,1.274954e-02,1.275931e-02,1.286728e-02,1.291175e-02,1.297573e-02,1.304831e-02,1.307532e-02,1.316646e-02,1.316993e-02,1.324955e-02,1.327758e-02,1.332501e-02,1.337216e-02,1.339323e-02,1.345458e-02,1.350944e-02,1.352568e-02,1.355816e-02,1.358629e-02,1.360110e-02,1.363717e-02,1.363857e-02,1.367090e-02,1.367907e-02,1.369839e-02,1.371269e-02,1.372134e-02,1.373867e-02,1.374001e-02,1.375468e-02,1.375763e-02,1.376559e-02,1.377014e-02,1.377297e-02,1.377674e-02,1.377707e-02,1.377808e-02,1.377793e-02,1.377622e-02,1.377418e-02,1.377167e-02,1.376591e-02,1.376462e-02,1.375523e-02,1.375352e-02,1.374366e-02,1.373738e-02,1.373008e-02,1.371785e-02,1.371461e-02,1.369740e-02,1.369523e-02,1.367858e-02,1.366982e-02,1.365826e-02,1.364188e-02,1.363656e-02,1.361357e-02,1.361168e-02,1.358941e-02,1.357944e-02,1.356417e-02,1.354537e-02,1.353793e-02,1.351077e-02,1.350967e-02,1.348278e-02,1.347252e-02,1.345403e-02,1.343408e-02,1.342458e-02,1.339451e-02,1.335395e-02,1.331253e-02,1.327037e-02,1.322758e-02,1.318426e-02,1.314050e-02,1.309640e-02,1.305201e-02,1.300743e-02,1.296272e-02,1.291793e-02,1.287313e-02,1.282836e-02,1.278367e-02,1.273910e-02,1.269470e-02,1.265050e-02,1.260654e-02,1.256283e-02,1.251942e-02,1.247633e-02,1.243357e-02,1.239117e-02,1.234916e-02
0.000000e+00,3.853046e-11,9.058140e-11,3.207118e-10,7.405886e-10,1.087068e-09,2.497523e-09,2.573858e-09,5.028118e-09,5.925105e-09,8.723696e-09,1.166425e-08,1.396962e-08,2.044267e-08,2.108787e-08,3.032953e-08,3.287577e-08,4.176307e-08,4.908141e-08,5.526246e-08,6.867913e-08,7.061127e-08,8.759471e-08,9.117074e-08,1.060274e-07,1.161309e-07,1.257479e-07,1.431996e-07,1.466078e-07,1.684629e-07,1.720425e-07,1.911694e-07,2.023286e-07,2.145829e-07,2.337257e-07,2.385591e-07,2.629556e-07,2.659048e-07,2.876342e-07,2.985480e-07,3.124632e-07,3.313573e-07,3.373189e-07,3.620872e-07,3.640617e-07,3.866650e-07,3.964216e-07,4.109598e-07,4.282309e-07,4.348906e-07,4.583876e-07,4.593175e-07,4.813912e-07,4.895420e-07,5.038522e-07,5.187949e-07,5.257304e-07,5.469942e-07,5.676196e-07,5.740818e-07,5.875890e-07,6.000198e-07,6.068912e-07,6.247876e-07,6.255198e-07,6.434729e-07,6.483788e-07,6.607522e-07,6.707984e-07,6.773629e-07,6.920606e-07,6.933125e-07,7.086109e-07,7.121868e-07,7.232696e-07,7.312039e-07,7.373017e-07,7.491430e-07,7.507216e-07,7.635442e-07,7.660384e-07,7.757852e-07,7.819260e-07,7.874607e-07,7.968430e-07,7.985869e-07,8.091804e-07,8.108270e-07,8.192577e-07,8.239163e-07,8.288354e-07,8.361488e-07,8.379298e-07,8.465572e-07,8.475619e-07,8.547335e-07,8.581923e-07,8.624746e-07,8.680761e-07,8.697957e-07,8.767120e-07,8.772483e-07,8.832383e-07,8.857429e-07,8.893890e-07,8.935928e-07,8.951781e-07,9.006192e-07,9.008298e-07,9.057257e-07,9.074846e-07,9.105104e-07,9.135866e-07,9.149858e-07,9.191642e-07,9.230572e-07,9.242445e-07,9.266762e-07,9.288538e-07,9.300324e-07,9.330169e-07,9.331363e-07,9.359984e-07,9.367578e-07,9.386285e-07,9.400993e-07,9.410364e-07,9.430633e-07,9.432313e-07,9.452222e-07,9.456707e-07,9.470179e-07,9.479413e-07,9.486267e-07,9.498943e-07,9.500567e-07,9.513157e-07,9.515476e-07,9.524112e-07,9.529187e-07,9.533505e-07,9.540239e-07,9.541405e-07,9.547880e-07,9.548789e-07,9.552995e-07,9.554986e-07,9.556813e-07,9.558972e-07,9.559392e-07,9.560792e-07,9.560883e-07,9.561067e-07,9.560846e-07,9.560272e-07,9.558984e-07,9.558459e-07,9.555676e-07,9.555413e-07,9.551971e-07,9.550242e-07,9.547391e-07,9.543576e-07,9.541980e-07,9.535780e-07,9.535516e-07,9.528831e-07,9.526154e-07,9.521174e-07,9.515581e-07,9.512845e-07,9.503881e-07,9.491135e-07,9.477419e-07,9.462806e-07,9.447363e-07,9.431156e-07,9.414246e-07,9.396691e-07,9.378547e-07,9.359865e-07,9.340694e-07,9.321081e-07,9.301071e-07,9.280703e-07,9.260019e-07,9.239053e-07,9.217843e-07,9.196419e-07,9.174814e-07,9.153057e-07,9.131175e-07,9.109194e-07,9.087138e-07,9.065031e-07,9.042893e-07
0.000000e+00,8.310032e-12,1.905141e-11,6.546101e-11,1.485950e-10,2.164762e-10,4.893028e-10,5.039556e-10,9.710408e-10,1.140227e-09,1.664197e-09,2.209496e-09,2.633733e-09,3.810586e-09,3.926740e-09,5.567583e-09,6.012233e-09,7.540782e-09,8.774741e-09,9.801751e-09,1.199012e-08,1.230116e-08,1.499660e-08,1.555601e-08,1.785268e-08,1.939086e-08,2.083818e-08,2.342465e-08,2.392394e-08,2.708191e-08,2.759206e-08,3.028489e-08,3.183059e-08,3.350676e-08,3.608122e-08,3.672285e-08,3.991038e-08,4.028996e-08,4.304876e-08,4.440932e-08,4.611987e-08,4.839926e-08,4.910816e-08,5.200068e-08,5.222762e-08,5.478702e-08,5.586996e-08,5.745915e-08,5.930900e-08,6.001122e-08,6.243936e-08,6.253387e-08,6.474141e-08,6.553911e-08,6.691671e-08,6.832377e-08,6.896584e-08,7.089045e-08,7.269301e-08,7.324455e-08,7.437667e-08,7.539348e-08,7.594507e-08,7.734606e-08,7.740226e-08,7.875255e-08,7.911208e-08,8.000041e-08,8.070186e-08,8.115041e-08,8.212593e-08,8.220715e-08,8.317521e-08,8.339485e-08,8.405911e-08,8.451898e-08,8.486326e-08,8.550838e-08,8.559198e-08,8.624943e-08,8.637272e-08,8.683962e-08,8.712123e-08,8.736642e-08,8.776265e-08,8.783353e-08,8.824449e-08,8.830526e-08,8.860269e-08,8.875683e-08,8.891133e-08,8.912462e-08,8.917347e-08,8.939201e-08,8.941544e-08,8.956972e-08,8.963564e-08,8.970918e-08,8.979112e-08,8.981288e-08,8.988314e-08,8.988738e-08,8.992217e-08,8.992951e-08,8.993206e-08,8.992224e-08,8.991477e-08,8.987216e-08,8.986995e-08,8.980598e-08,8.977671e-08,8.971789e-08,8.964626e-08,8.960944e-08,8.948209e-08,8.933723e-08,8.928739e-08,8.917617e-08,8.906515e-08,8.900011e-08,8.881808e-08,8.881023e-08,8.860761e-08,8.854873e-08,8.839325e-08,8.825942e-08,8.816814e-08,8.795231e-08,8.793317e-08,8.768918e-08,8.762937e-08,8.743699e-08,8.729245e-08,8.717733e-08,8.694322e-08,8.691091e-08,8.663840e-08,8.658323e-08,8.636042e-08,8.621390e-08,8.607755e-08,8.583656e-08,8.579034e-08,8.549930e-08,8.545241e-08,8.520491e-08,8.506255e-08,8.490763e-08,8.466801e-08,8.460788e-08,8.430607e-08,8.426973e-08,8.400254e-08,8.386855e-08,8.369767e-08,8.346527e-08,8.339177e-08,8.308516e-08,8.306060e-08,8.277810e-08,8.265522e-08,8.247088e-08,8.224971e-08,8.216373e-08,8.185689e-08,8.184463e-08,8.155058e-08,8.144047e-08,8.124499e-08,8.103770e-08,8.094032e-08,8.063673e-08,8.023794e-08,7.984166e-08,7.944821e-08,7.905787e-08,7.867088e-08,7.828747e-08,7.790784e-08,7.753217e-08,7.716063e-08,7.679334e-08,7.643043e-08,7.607200e-08,7.571816e-08,7.536897e-08,7.502451e-08,7.468482e-08,7.434996e-08,7.401994e-08,7.369481e-08,7.337456e-08,7.305922e-08,7.274878e-08,7.244324e-08,7.214259e-08
0.000000e+00,3.753121e-12,8.583455e-12,2.947147e-11,6.699154e-11,9.770666e-11,2.216614e-10,2.283371e-10,4.418520e-10,5.194673e-10,7.604903e-10,1.011955e-09,1.207692e-09,1.749068e-09,1.802273e-09,2.548476e-09,2.749129e-09,3.435862e-09,3.988953e-09,4.449798e-09,5.436509e-09,5.577460e-09,6.807850e-09,7.065336e-09,8.130493e-09,8.851166e-09,9.534591e-09,1.076863e-08,1.100871e-08,1.254082e-08,1.279052e-08,1.411854e-08,1.488838e-08,1.572942e-08,1.703381e-08,1.736130e-08,1.900253e-08,1.919959e-08,2.064230e-08,2.136075e-08,2.227072e-08,2.349527e-08,2.387898e-08,2.545940e-08,2.558443e-08,2.700542e-08,2.761294e-08,2.851157e-08,2.956877e-08,2.997340e-08,3.138742e-08,3.144294e-08,3.275099e-08,3.322914e-08,3.406224e-08,3.492335e-08,3.531994e-08,3.652344e-08,3.767258e-08,3.802886e-08,3.876760e-08,3.944026e-08,3.980906e-08,4.075926e-08,4.079781e-08,4.173491e-08,4.198820e-08,4.262157e-08,4.312993e-08,4.345916e-08,4.418765e-08,4.424913e-08,4.499299e-08,4.516483e-08,4.569231e-08,4.606507e-08,4.634868e-08,4.689202e-08,4.696369e-08,4.753893e-08,4.764934e-08,4.807598e-08,4.834067e-08,4.857639e-08,4.896955e-08,4.904170e-08,4.947340e-08,4.953945e-08,4.987294e-08,5.005371e-08,5.024174e-08,5.051557e-08,5.058117e-08,5.089258e-08,5.092812e-08,5.117724e-08,5.129434e-08,5.143639e-08,5.161704e-08,5.167125e-08,5.188296e-08,5.189893e-08,5.207264e-08,5.214258e-08,5.224135e-08,5.235043e-08,5.239013e-08,5.251997e-08,5.252478e-08,5.263180e-08,5.266783e-08,5.272654e-08,5.278165e-08,5.280506e-08,5.286820e-08,5.291675e-08,5.292934e-08,5.295149e-08,5.296681e-08,5.297314e-08,5.298226e-08,5.298240e-08,5.297996e-08,5.297726e-08,5.296644e-08,5.295327e-08,5.294246e-08,5.291167e-08,5.290861e-08,5.286545e-08,5.285377e-08,5.281351e-08,5.278079e-08,5.275331e-08,5.269388e-08,5.268533e-08,5.261003e-08,5.259413e-08,5.252786e-08,5.248256e-08,5.243925e-08,5.236013e-08,5.234459e-08,5.224428e-08,5.222773e-08,5.213867e-08,5.208621e-08,5.202813e-08,5.193636e-08,5.191298e-08,5.179354e-08,5.177893e-08,5.167011e-08,5.161461e-08,5.154299e-08,5.144407e-08,5.141244e-08,5.127872e-08,5.126790e-08,5.114210e-08,5.108669e-08,5.100280e-08,5.090096e-08,5.086104e-08,5.071704e-08,5.071124e-08,5.057101e-08,5.051798e-08,5.042314e-08,5.032162e-08,5.027360e-08,5.012258e-08,4.992124e-08,4.971796e-08,4.951307e-08,4.930689e-08,4.909970e-08,4.889178e-08,4.868337e-08,4.847471e-08,4.826603e-08,4.805751e-08,4.784935e-08,4.764172e-08,4.743479e-08,4.722869e-08,4.702356e-08,4.681954e-08,4.661674e-08,4.641526e-08,4.621520e-08,4.601665e-08,4.581970e-08,4.562441e-08,4.543086e-08,4.523911e-08
0.000000e+00,7.686870e-11,1.792812e-10,6.290939e-10,1.446225e-09,2.119305e-09,4.856627e-09,5.004766e-09,9.771097e-09,1.151519e-08,1.696329e-08,2.269436e-08,2.718763e-08,3.976910e-08,4.101807e-08,5.874822e-08,6.357223e-08,8.019056e-08,9.363361e-08,1.048367e-07,1.287512e-07,1.321551e-07,1.617080e-07,1.678542e-07,1.931367e-07,2.101150e-07,2.261249e-07,2.548223e-07,2.603752e-07,2.955994e-07,3.013068e-07,3.315176e-07,3.489254e-07,3.678610e-07,3.970707e-07,4.043759e-07,4.408280e-07,4.451878e-07,4.770057e-07,4.927876e-07,5.127212e-07,5.394552e-07,5.478123e-07,5.821408e-07,5.848506e-07,6.155926e-07,6.287066e-07,6.480759e-07,6.708224e-07,6.795177e-07,7.098633e-07,7.110537e-07,7.390737e-07,7.493062e-07,7.671232e-07,7.855262e-07,7.939978e-07,8.196933e-07,8.442133e-07,8.518131e-07,8.675685e-07,8.819117e-07,8.897747e-07,9.100307e-07,9.108524e-07,9.308253e-07,9.362233e-07,9.497201e-07,9.605514e-07,9.675655e-07,9.830824e-07,9.843918e-07,1.000230e-06,1.003887e-06,1.015112e-06,1.023040e-06,1.029069e-06,1.040613e-06,1.042135e-06,1.054341e-06,1.056682e-06,1.065720e-06,1.071320e-06,1.076302e-06,1.084599e-06,1.086120e-06,1.095204e-06,1.096591e-06,1.103583e-06,1.107363e-06,1.111287e-06,1.116983e-06,1.118345e-06,1.124783e-06,1.125516e-06,1.130631e-06,1.133023e-06,1.135912e-06,1.139564e-06,1.140654e-06,1.144881e-06,1.145197e-06,1.148616e-06,1.149977e-06,1.151883e-06,1.153957e-06,1.154703e-06,1.157100e-06,1.157187e-06,1.159092e-06,1.159715e-06,1.160701e-06,1.161586e-06,1.161946e-06,1.162846e-06,1.163417e-06,1.163534e-06,1.163678e-06,1.163690e-06,1.163646e-06,1.163353e-06,1.163335e-06,1.162762e-06,1.162556e-06,1.161941e-06,1.161335e-06,1.160886e-06,1.159720e-06,1.159610e-06,1.158128e-06,1.157743e-06,1.156451e-06,1.155431e-06,1.154590e-06,1.152811e-06,1.152558e-06,1.150366e-06,1.149909e-06,1.148024e-06,1.146750e-06,1.145541e-06,1.143354e-06,1.142928e-06,1.140193e-06,1.139745e-06,1.137346e-06,1.135942e-06,1.134394e-06,1.131963e-06,1.131346e-06,1.128210e-06,1.127828e-06,1.124991e-06,1.123551e-06,1.121698e-06,1.119149e-06,1.118337e-06,1.114914e-06,1.114637e-06,1.111435e-06,1.110029e-06,1.107906e-06,1.105337e-06,1.104332e-06,1.100718e-06,1.100573e-06,1.097070e-06,1.095748e-06,1.093391e-06,1.090874e-06,1.089686e-06,1.085960e-06,1.081015e-06,1.076047e-06,1.071065e-06,1.066076e-06,1.061087e-06,1.056103e-06,1.051131e-06,1.046177e-06,1.041244e-06,1.036339e-06,1.031464e-06,1.026624e-06,1.021823e-06,1.017062e-06,1.012347e-06,1.007678e-06,1.003059e-06,9.984908e-07,9.939764e-07,9.895171e-07,9.851144e-07,9.807697e-07,9.764840e-07,9.722583e-07
0.000000e+00,3.083924e-12,7.062984e-12,2.431499e-11,5.546179e-11,8.110555e-11,1.858837e-10,1.915834e-10,3.767598e-10,4.453823e-10,6.625723e-10,8.953958e-10,1.080886e-09,1.613758e-09,1.667751e-09,2.456124e-09,2.677670e-09,3.462040e-09,4.116734e-09,4.672450e-09,5.876481e-09,6.048845e-09,7.544387e-09,7.853995e-09,9.117890e-09,9.956157e-09,1.073804e-08,1.211815e-08,1.238205e-08,1.403302e-08,1.429692e-08,1.567797e-08,1.646226e-08,1.730643e-08,1.859144e-08,1.890971e-08,2.048052e-08,2.066653e-08,2.201268e-08,2.267323e-08,2.350107e-08,2.460040e-08,2.494156e-08,2.633082e-08,2.643966e-08,2.766635e-08,2.818510e-08,2.894641e-08,2.983307e-08,3.016991e-08,3.133636e-08,3.138183e-08,3.244574e-08,3.283123e-08,3.349850e-08,3.418243e-08,3.449543e-08,3.543759e-08,3.632631e-08,3.659965e-08,3.716307e-08,3.767209e-08,3.794952e-08,3.865876e-08,3.868736e-08,3.937839e-08,3.956374e-08,4.002443e-08,4.039121e-08,4.062729e-08,4.114538e-08,4.118883e-08,4.171084e-08,4.183044e-08,4.219511e-08,4.245046e-08,4.264338e-08,4.300942e-08,4.305734e-08,4.343865e-08,4.351114e-08,4.378891e-08,4.395928e-08,4.410964e-08,4.435733e-08,4.440234e-08,4.466843e-08,4.470863e-08,4.490928e-08,4.501632e-08,4.512621e-08,4.528338e-08,4.532048e-08,4.549328e-08,4.551263e-08,4.564577e-08,4.570672e-08,4.577906e-08,4.586815e-08,4.589418e-08,4.599214e-08,4.599926e-08,4.607389e-08,4.610226e-08,4.614035e-08,4.617922e-08,4.619238e-08,4.623081e-08,4.623207e-08,4.625642e-08,4.626264e-08,4.626995e-08,4.627263e-08,4.627213e-08,4.626363e-08,4.624508e-08,4.623713e-08,4.621711e-08,4.619453e-08,4.618029e-08,4.613713e-08,4.613517e-08,4.608228e-08,4.606615e-08,4.602212e-08,4.598273e-08,4.595515e-08,4.588793e-08,4.588184e-08,4.580259e-08,4.578274e-08,4.571783e-08,4.566809e-08,4.562792e-08,4.554485e-08,4.553324e-08,4.543413e-08,4.541381e-08,4.533092e-08,4.527573e-08,4.522391e-08,4.513130e-08,4.511340e-08,4.499967e-08,4.498119e-08,4.488297e-08,4.482599e-08,4.476358e-08,4.466627e-08,4.464171e-08,4.451759e-08,4.450255e-08,4.439143e-08,4.433533e-08,4.426344e-08,4.416505e-08,4.413380e-08,4.400269e-08,4.399215e-08,4.387029e-08,4.381700e-08,4.373675e-08,4.363999e-08,4.360223e-08,4.346686e-08,4.346143e-08,4.333078e-08,4.328165e-08,4.319413e-08,4.310093e-08,4.305701e-08,4.291955e-08,4.273774e-08,4.255575e-08,4.237378e-08,4.219203e-08,4.201068e-08,4.182990e-08,4.164983e-08,4.147062e-08,4.129239e-08,4.111527e-08,4.093936e-08,4.076476e-08,4.059156e-08,4.041983e-08,4.024966e-08,4.008111e-08,3.991423e-08,3.974908e-08,3.958571e-08,3.942416e-08,3.926447e-08,3.910667e-08,3.895078e-08,3.879683e-08
0.000000e+00,1.511989e-10,5.501461e-10,3.613280e-09,1.219704e-08,2.109750e-08,6.756137e-08,7.042478e-08,1.754404e-07,2.188063e-07,3.667015e-07,5.379937e-07,6.807085e-07,1.107026e-06,1.150939e-06,1.795352e-06,1.976325e-06,2.615278e-06,3.148492e-06,3.603372e-06,4.604584e-06,4.750305e-06,6.047332e-06,6.324031e-06,7.486331e-06,8.288001e-06,9.059035e-06,1.047680e-05,1.075633e-05,1.256785e-05,1.286754e-05,1.448197e-05,1.543347e-05,1.648592e-05,1.814467e-05,1.856615e-05,2.070870e-05,2.096933e-05,2.289959e-05,2.387534e-05,2.512513e-05,2.683166e-05,2.737228e-05,2.962885e-05,2.980944e-05,3.188364e-05,3.278275e-05,3.412655e-05,3.572903e-05,3.634865e-05,3.854212e-05,3.862917e-05,4.070027e-05,4.146744e-05,4.281744e-05,4.423128e-05,4.488893e-05,4.691091e-05,4.888033e-05,4.949904e-05,5.079484e-05,5.199048e-05,5.265269e-05,5.438177e-05,5.445265e-05,5.619393e-05,5.667092e-05,5.787615e-05,5.885709e-05,5.949923e-05,6.094041e-05,6.106338e-05,6.256902e-05,6.292173e-05,6.401677e-05,6.480251e-05,6.540741e-05,6.658464e-05,6.674183e-05,6.802104e-05,6.827035e-05,6.924612e-05,6.986215e-05,7.041822e-05,7.136272e-05,7.153854e-05,7.260831e-05,7.277486e-05,7.362879e-05,7.410149e-05,7.460126e-05,7.534554e-05,7.552702e-05,7.640735e-05,7.651000e-05,7.724355e-05,7.759782e-05,7.803690e-05,7.861198e-05,7.878868e-05,7.950016e-05,7.955538e-05,8.017259e-05,8.043091e-05,8.080720e-05,8.124139e-05,8.140521e-05,8.196781e-05,8.198960e-05,8.249618e-05,8.267823e-05,8.299146e-05,8.330994e-05,8.345479e-05,8.388727e-05,8.428998e-05,8.441274e-05,8.466398e-05,8.488874e-05,8.501029e-05,8.531764e-05,8.532993e-05,8.562386e-05,8.570169e-05,8.589306e-05,8.604309e-05,8.613845e-05,8.634396e-05,8.636093e-05,8.656140e-05,8.660633e-05,8.674070e-05,8.683217e-05,8.689966e-05,8.702339e-05,8.703911e-05,8.715983e-05,8.718180e-05,8.726258e-05,8.730915e-05,8.734810e-05,8.740715e-05,8.741711e-05,8.747031e-05,8.747740e-05,8.750838e-05,8.752147e-05,8.753196e-05,8.754083e-05,8.754170e-05,8.753820e-05,8.753692e-05,8.752207e-05,8.751111e-05,8.749387e-05,8.746472e-05,8.745417e-05,8.740349e-05,8.739898e-05,8.734237e-05,8.731511e-05,8.727131e-05,8.721426e-05,8.719079e-05,8.710128e-05,8.709752e-05,8.700323e-05,8.696593e-05,8.689709e-05,8.682050e-05,8.678327e-05,8.666218e-05,8.649189e-05,8.631048e-05,8.611879e-05,8.591759e-05,8.570765e-05,8.548967e-05,8.526432e-05,8.503226e-05,8.479410e-05,8.455040e-05,8.430173e-05,8.404861e-05,8.379152e-05,8.353094e-05,8.326732e-05,8.300106e-05,8.273258e-05,8.246223e-05,8.219038e-05,8.191735e-05,8.164346e-05,8.136902e-05,8.109428e-05,8.081953e-05
0.000000e+00,2.829253e-10,1.101616e-09,8.278839e-09,3.136160e-08,5.759782e-08,2.126834e-07,2.228945e-07,6.263486e-07,8.041276e-07,1.439263e-06,2.212872e-06,2.880949e-06,4.988763e-06,5.215250e-06,8.743134e-06,9.803194e-06,1.378809e-05,1.739661e-05,2.067101e-05,2.847518e-05,2.967556e-05,4.101287e-05,4.357218e-05,5.479758e-05,6.294055e-05,7.104088e-05,8.652548e-05,8.965767e-05,1.104821e-04,1.140044e-04,1.332863e-04,1.448570e-04,1.577988e-04,1.784392e-04,1.837218e-04,2.107454e-04,2.140475e-04,2.385602e-04,2.509716e-04,2.668665e-04,2.885336e-04,2.953821e-04,3.238470e-04,3.261148e-04,3.520274e-04,3.631727e-04,3.797171e-04,3.992492e-04,4.067388e-04,4.329432e-04,4.339726e-04,4.582081e-04,4.670541e-04,4.824368e-04,4.982823e-04,5.055562e-04,5.275143e-04,5.482780e-04,5.546671e-04,5.678309e-04,5.797077e-04,5.861707e-04,6.026447e-04,6.033073e-04,6.192606e-04,6.235191e-04,6.340587e-04,6.423974e-04,6.477366e-04,6.593648e-04,6.603338e-04,6.718940e-04,6.745192e-04,6.824634e-04,6.879672e-04,6.920898e-04,6.998197e-04,7.008219e-04,7.087087e-04,7.101888e-04,7.157985e-04,7.191861e-04,7.221391e-04,7.269202e-04,7.277769e-04,7.327568e-04,7.334955e-04,7.371222e-04,7.390116e-04,7.409146e-04,7.435625e-04,7.441734e-04,7.469362e-04,7.472361e-04,7.492386e-04,7.501145e-04,7.511141e-04,7.522735e-04,7.525943e-04,7.537089e-04,7.537831e-04,7.544858e-04,7.547079e-04,7.549510e-04,7.551067e-04,7.551289e-04,7.550421e-04,7.550334e-04,7.547119e-04,7.545372e-04,7.541579e-04,7.536627e-04,7.533984e-04,7.524506e-04,7.513303e-04,7.509377e-04,7.500520e-04,7.491574e-04,7.486295e-04,7.471400e-04,7.470754e-04,7.454014e-04,7.449128e-04,7.436185e-04,7.425006e-04,7.417366e-04,7.399259e-04,7.397651e-04,7.377126e-04,7.372089e-04,7.355873e-04,7.343681e-04,7.333965e-04,7.314199e-04,7.311471e-04,7.288455e-04,7.283794e-04,7.264976e-04,7.252602e-04,7.241089e-04,7.220745e-04,7.216844e-04,7.192289e-04,7.188335e-04,7.167468e-04,7.155471e-04,7.142420e-04,7.122244e-04,7.117184e-04,7.091794e-04,7.088738e-04,7.066282e-04,7.055026e-04,7.040679e-04,7.021176e-04,7.015011e-04,6.989306e-04,6.987248e-04,6.963585e-04,6.953298e-04,6.937873e-04,6.919376e-04,6.912188e-04,6.886551e-04,6.885527e-04,6.860978e-04,6.851790e-04,6.835485e-04,6.818204e-04,6.810089e-04,6.784801e-04,6.751611e-04,6.718661e-04,6.685975e-04,6.653573e-04,6.621477e-04,6.589702e-04,6.558264e-04,6.527176e-04,6.496450e-04,6.466097e-04,6.436125e-04,6.406543e-04,6.377356e-04,6.348570e-04,6.320190e-04,6.292219e-04,6.264660e-04,6.237516e-04,6.210787e-04,6.184474e-04,6.158578e-04,6.133098e-04,6.108033e-04,6.083383e-04
0.000000e+00,4.475434e-11,1.707164e-10,1.228833e-09,4.472572e-09,8.033334e-09,2.797350e-08,2.924556e-08,7.739092e-08,9.771735e-08,1.676355e-07,2.489026e-07,3.166798e-07,5.206078e-07,5.418268e-07,8.601207e-07,9.521588e-07,1.287177e-06,1.578649e-06,1.835393e-06,2.423934e-06,2.511996e-06,3.317938e-06,3.494293e-06,4.248091e-06,4.777655e-06,5.292320e-06,6.247637e-06,6.436860e-06,7.665594e-06,7.868852e-06,8.961110e-06,9.601426e-06,1.030552e-05,1.140431e-05,1.168108e-05,1.307070e-05,1.323762e-05,1.445825e-05,1.506426e-05,1.582895e-05,1.685119e-05,1.716953e-05,1.846838e-05,1.857018e-05,1.971569e-05,2.019832e-05,2.090343e-05,2.171817e-05,2.202539e-05,2.307704e-05,2.311760e-05,2.405545e-05,2.438942e-05,2.495913e-05,2.553080e-05,2.578789e-05,2.654263e-05,2.722518e-05,2.742875e-05,2.783808e-05,2.819522e-05,2.838448e-05,2.884973e-05,2.886791e-05,2.929219e-05,2.940093e-05,2.966130e-05,2.985796e-05,2.997928e-05,3.023010e-05,3.025012e-05,3.047774e-05,3.052636e-05,3.066590e-05,3.075538e-05,3.081818e-05,3.092519e-05,3.093795e-05,3.102836e-05,3.104318e-05,3.109233e-05,3.111604e-05,3.113254e-05,3.114977e-05,3.115146e-05,3.115133e-05,3.114968e-05,3.113418e-05,3.112046e-05,3.110187e-05,3.106621e-05,3.105604e-05,3.099820e-05,3.099052e-05,3.092969e-05,3.089649e-05,3.085172e-05,3.078681e-05,3.076538e-05,3.067162e-05,3.066382e-05,3.057132e-05,3.052954e-05,3.046525e-05,3.038571e-05,3.035412e-05,3.023856e-05,3.023385e-05,3.011911e-05,3.007526e-05,2.999629e-05,2.991108e-05,2.987055e-05,2.974231e-05,2.961193e-05,2.956981e-05,2.947974e-05,2.939433e-05,2.934605e-05,2.921655e-05,2.921113e-05,2.907524e-05,2.903704e-05,2.893859e-05,2.885632e-05,2.880139e-05,2.867484e-05,2.866383e-05,2.852608e-05,2.849300e-05,2.838829e-05,2.831116e-05,2.825061e-05,2.812964e-05,2.811316e-05,2.797607e-05,2.794870e-05,2.783944e-05,2.776861e-05,2.770337e-05,2.758957e-05,2.756795e-05,2.743326e-05,2.741179e-05,2.729938e-05,2.723543e-05,2.716638e-05,2.706065e-05,2.703431e-05,2.690324e-05,2.688758e-05,2.677321e-05,2.671634e-05,2.664428e-05,2.654704e-05,2.651647e-05,2.638984e-05,2.637976e-05,2.626441e-05,2.621458e-05,2.614021e-05,2.605157e-05,2.601728e-05,2.589563e-05,2.589079e-05,2.577529e-05,2.573228e-05,2.565626e-05,2.557609e-05,2.553858e-05,2.542225e-05,2.527078e-05,2.512170e-05,2.497504e-05,2.483079e-05,2.468896e-05,2.454956e-05,2.441258e-05,2.427800e-05,2.414583e-05,2.401605e-05,2.388864e-05,2.376359e-05,2.364088e-05,2.352048e-05,2.340237e-05,2.328652e-05,2.317292e-05,2.306154e-05,2.295234e-05,2.284529e-05,2.274038e-05,2.263756e-05,2.253681e-05,2.243809e-05
0.000000e+00,1.017575e-10,2.362419e-10,8.222170e-10,1.876976e-09,2.739944e-09,6.214905e-09,6.401729e-09,1.236380e-08,1.452585e-08,2.122675e-08,2.820292e-08,3.362720e-08,4.863116e-08,5.010718e-08,7.084610e-08,7.643076e-08,9.553222e-08,1.108653e-07,1.235824e-07,1.505810e-07,1.544096e-07,1.875145e-07,1.943703e-07,2.224704e-07,2.412502e-07,2.588925e-07,2.903535e-07,2.964169e-07,3.346928e-07,3.408639e-07,3.733824e-07,3.920051e-07,4.121640e-07,4.430531e-07,4.507376e-07,4.888294e-07,4.933561e-07,5.261958e-07,5.423517e-07,5.626260e-07,5.895762e-07,5.979423e-07,6.320001e-07,6.346668e-07,6.646860e-07,6.773566e-07,6.959164e-07,7.174685e-07,7.256350e-07,7.538083e-07,7.549028e-07,7.804231e-07,7.896232e-07,8.054840e-07,8.216480e-07,8.290116e-07,8.510337e-07,8.715872e-07,8.778619e-07,8.907197e-07,9.022418e-07,9.084814e-07,9.242938e-07,9.249271e-07,9.401141e-07,9.441488e-07,9.541008e-07,9.619409e-07,9.669455e-07,9.778037e-07,9.787060e-07,9.894397e-07,9.918692e-07,9.992025e-07,1.004266e-06,1.008049e-06,1.015117e-06,1.016031e-06,1.023200e-06,1.024540e-06,1.029603e-06,1.032646e-06,1.035288e-06,1.039539e-06,1.040297e-06,1.044673e-06,1.045318e-06,1.048456e-06,1.050072e-06,1.051683e-06,1.053888e-06,1.054390e-06,1.056610e-06,1.056845e-06,1.058375e-06,1.059015e-06,1.059715e-06,1.060468e-06,1.060659e-06,1.061233e-06,1.061264e-06,1.061462e-06,1.061463e-06,1.061370e-06,1.061118e-06,1.060979e-06,1.060311e-06,1.060278e-06,1.059383e-06,1.058990e-06,1.058216e-06,1.057294e-06,1.056827e-06,1.055231e-06,1.053444e-06,1.052835e-06,1.051482e-06,1.050139e-06,1.049356e-06,1.047175e-06,1.047081e-06,1.044667e-06,1.043968e-06,1.042127e-06,1.040546e-06,1.039470e-06,1.036932e-06,1.036707e-06,1.033847e-06,1.033147e-06,1.030898e-06,1.029211e-06,1.027869e-06,1.025144e-06,1.024768e-06,1.021601e-06,1.020961e-06,1.018376e-06,1.016678e-06,1.015098e-06,1.012309e-06,1.011774e-06,1.008410e-06,1.007868e-06,1.005009e-06,1.003366e-06,1.001578e-06,9.988148e-07,9.981215e-07,9.946427e-07,9.942240e-07,9.911462e-07,9.896030e-07,9.876356e-07,9.849603e-07,9.841145e-07,9.805861e-07,9.803036e-07,9.770536e-07,9.756401e-07,9.735199e-07,9.709763e-07,9.699875e-07,9.664590e-07,9.663180e-07,9.629368e-07,9.616707e-07,9.594229e-07,9.570393e-07,9.559195e-07,9.524284e-07,9.478419e-07,9.432836e-07,9.387568e-07,9.342646e-07,9.298098e-07,9.253946e-07,9.210215e-07,9.166923e-07,9.124087e-07,9.081724e-07,9.039847e-07,8.998468e-07,8.957596e-07,8.917242e-07,8.877412e-07,8.838112e-07,8.799349e-07,8.761124e-07,8.723443e-07,8.686307e-07,8.649718e-07,8.613676e-07,8.578181e-07,8.543233e-07
0.000000e+00,3.868379e-11,8.898427e-11,3.081665e-10,7.067959e-10,1.037449e-09,2.409023e-09,2.484507e-09,4.978097e-09,5.919449e-09,8.942644e-09,1.222795e-08,1.485444e-08,2.230862e-08,2.304981e-08,3.346366e-08,3.624753e-08,4.565088e-08,5.305145e-08,5.908857e-08,7.161941e-08,7.336679e-08,8.819950e-08,9.121357e-08,1.033818e-07,1.113608e-07,1.187550e-07,1.317192e-07,1.341875e-07,1.495659e-07,1.520146e-07,1.647910e-07,1.720190e-07,1.797771e-07,1.915445e-07,1.944513e-07,2.087533e-07,2.104421e-07,2.226346e-07,2.285990e-07,2.360575e-07,2.459353e-07,2.489948e-07,2.614274e-07,2.623998e-07,2.733431e-07,2.779635e-07,2.847372e-07,2.926173e-07,2.956089e-07,3.059621e-07,3.063656e-07,3.158039e-07,3.192236e-07,3.251440e-07,3.312145e-07,3.339940e-07,3.423675e-07,3.502787e-07,3.527150e-07,3.577423e-07,3.622912e-07,3.647738e-07,3.711320e-07,3.713888e-07,3.776031e-07,3.792734e-07,3.834321e-07,3.867511e-07,3.888914e-07,3.936003e-07,3.939960e-07,3.987608e-07,3.998554e-07,4.032004e-07,4.055498e-07,4.073288e-07,4.107153e-07,4.111598e-07,4.147066e-07,4.153830e-07,4.179820e-07,4.195822e-07,4.209986e-07,4.233411e-07,4.237681e-07,4.263023e-07,4.266867e-07,4.286121e-07,4.296443e-07,4.307083e-07,4.322383e-07,4.326011e-07,4.343004e-07,4.344917e-07,4.358156e-07,4.364263e-07,4.371558e-07,4.380628e-07,4.383298e-07,4.393458e-07,4.394205e-07,4.402119e-07,4.405181e-07,4.409357e-07,4.413729e-07,4.415246e-07,4.419855e-07,4.420014e-07,4.423251e-07,4.424190e-07,4.425500e-07,4.426404e-07,4.426661e-07,4.426793e-07,4.425954e-07,4.425488e-07,4.424195e-07,4.422610e-07,4.421568e-07,4.418275e-07,4.418122e-07,4.413903e-07,4.412590e-07,4.408956e-07,4.405657e-07,4.403324e-07,4.397571e-07,4.397046e-07,4.390161e-07,4.388422e-07,4.382706e-07,4.378295e-07,4.374716e-07,4.367269e-07,4.366225e-07,4.357264e-07,4.355418e-07,4.347863e-07,4.342811e-07,4.338053e-07,4.329515e-07,4.327859e-07,4.317309e-07,4.315590e-07,4.306428e-07,4.301094e-07,4.295239e-07,4.286081e-07,4.283764e-07,4.272027e-07,4.270601e-07,4.260046e-07,4.254703e-07,4.247842e-07,4.238429e-07,4.235433e-07,4.222837e-07,4.221822e-07,4.210070e-07,4.204920e-07,4.197149e-07,4.187759e-07,4.184089e-07,4.170904e-07,4.170374e-07,4.157608e-07,4.152796e-07,4.144213e-07,4.135055e-07,4.130733e-07,4.117178e-07,4.099192e-07,4.081119e-07,4.062983e-07,4.044805e-07,4.026603e-07,4.008396e-07,3.990201e-07,3.972033e-07,3.953906e-07,3.935834e-07,3.917830e-07,3.899904e-07,3.882068e-07,3.864330e-07,3.846701e-07,3.829188e-07,3.811799e-07,3.794541e-07,3.777420e-07,3.760442e-07,3.743612e-07,3.726935e-07,3.710415e-07,3.694055e-07
0.000000e+00,2.263281e-10,8.571860e-10,6.084189e-09,2.188702e-08,3.907998e-08,1.342761e-07,1.403150e-07,3.676569e-07,4.632769e-07,7.917875e-07,1.173880e-06,1.493247e-06,2.459371e-06,2.560378e-06,4.085970e-06,4.530466e-06,6.158808e-06,7.585973e-06,8.848887e-06,1.175667e-05,1.219271e-05,1.618753e-05,1.706183e-05,2.079602e-05,2.341507e-05,2.595622e-05,3.066149e-05,3.159173e-05,3.761961e-05,3.861484e-05,4.395562e-05,4.708203e-05,5.051735e-05,5.587618e-05,5.722604e-05,6.400761e-05,6.482297e-05,7.079324e-05,7.376374e-05,7.751990e-05,8.255751e-05,8.413074e-05,9.057538e-05,9.108242e-05,9.681011e-05,9.923671e-05,1.027979e-04,1.069390e-04,1.085085e-04,1.139180e-04,1.141278e-04,1.190086e-04,1.207607e-04,1.237684e-04,1.268124e-04,1.281906e-04,1.322729e-04,1.360171e-04,1.371447e-04,1.394287e-04,1.414411e-04,1.425156e-04,1.451834e-04,1.452884e-04,1.477595e-04,1.483992e-04,1.499426e-04,1.511202e-04,1.518521e-04,1.533805e-04,1.535035e-04,1.549120e-04,1.552157e-04,1.560933e-04,1.566614e-04,1.570628e-04,1.577526e-04,1.578354e-04,1.584258e-04,1.585232e-04,1.588479e-04,1.590054e-04,1.591152e-04,1.592294e-04,1.592403e-04,1.592354e-04,1.592233e-04,1.591118e-04,1.590134e-04,1.588800e-04,1.586235e-04,1.585501e-04,1.581313e-04,1.580755e-04,1.576323e-04,1.573894e-04,1.570610e-04,1.565832e-04,1.564250e-04,1.557310e-04,1.556732e-04,1.549855e-04,1.546742e-04,1.541943e-04,1.535993e-04,1.533627e-04,1.524957e-04,1.524604e-04,1.515979e-04,1.512679e-04,1.506734e-04,1.500315e-04,1.497261e-04,1.487595e-04,1.477767e-04,1.474593e-04,1.467807e-04,1.461376e-04,1.457743e-04,1.448004e-04,1.447597e-04,1.437393e-04,1.434528e-04,1.427151e-04,1.420994e-04,1.416888e-04,1.407444e-04,1.406623e-04,1.396369e-04,1.393911e-04,1.386140e-04,1.380428e-04,1.375950e-04,1.367023e-04,1.365809e-04,1.355726e-04,1.353717e-04,1.345712e-04,1.340534e-04,1.335773e-04,1.327489e-04,1.325918e-04,1.316153e-04,1.314599e-04,1.306482e-04,1.301876e-04,1.296912e-04,1.289331e-04,1.287447e-04,1.278090e-04,1.276974e-04,1.268844e-04,1.264813e-04,1.259714e-04,1.252852e-04,1.250699e-04,1.241804e-04,1.241098e-04,1.233030e-04,1.229554e-04,1.224377e-04,1.218222e-04,1.215846e-04,1.207440e-04,1.207106e-04,1.199157e-04,1.196205e-04,1.190998e-04,1.185521e-04,1.182964e-04,1.175054e-04,1.164801e-04,1.154764e-04,1.144939e-04,1.135325e-04,1.125920e-04,1.116721e-04,1.107726e-04,1.098932e-04,1.090335e-04,1.081933e-04,1.073721e-04,1.065698e-04,1.057858e-04,1.050199e-04,1.042718e-04,1.035409e-04,1.028271e-04,1.021299e-04,1.014489e-04,1.007839e-04,1.001344e-04,9.950012e-05,9.888067e-05,9.827572e-05
0.000000e+00,9.487045e-11,2.237945e-10,7.985938e-10,1.865341e-09,2.762562e-09,6.566214e-09,6.778737e-09,1.394432e-08,1.670971e-08,2.574260e-08,3.570518e-08,4.369512e-08,6.616570e-08,6.837502e-08,9.898510e-08,1.070687e-07,1.342494e-07,1.556376e-07,1.731554e-07,2.098655e-07,2.150308e-07,2.594118e-07,2.685555e-07,3.059317e-07,3.308570e-07,3.542594e-07,3.960135e-07,4.040691e-07,4.550316e-07,4.632704e-07,5.068134e-07,5.318621e-07,5.590833e-07,6.010352e-07,6.115214e-07,6.638247e-07,6.700784e-07,7.157125e-07,7.383453e-07,7.669320e-07,8.052732e-07,8.172597e-07,8.665031e-07,8.703907e-07,9.145005e-07,9.333199e-07,9.611194e-07,9.937715e-07,1.006255e-06,1.049827e-06,1.051536e-06,1.091778e-06,1.106476e-06,1.132071e-06,1.158511e-06,1.170683e-06,1.207610e-06,1.242856e-06,1.253783e-06,1.276438e-06,1.297068e-06,1.308380e-06,1.337529e-06,1.338712e-06,1.367470e-06,1.375246e-06,1.394694e-06,1.410310e-06,1.420427e-06,1.442823e-06,1.444714e-06,1.467602e-06,1.472892e-06,1.489137e-06,1.500623e-06,1.509367e-06,1.526129e-06,1.528341e-06,1.546105e-06,1.549517e-06,1.562707e-06,1.570896e-06,1.578192e-06,1.590370e-06,1.592606e-06,1.605993e-06,1.608042e-06,1.618396e-06,1.624012e-06,1.629857e-06,1.638374e-06,1.640416e-06,1.650114e-06,1.651222e-06,1.658988e-06,1.662641e-06,1.667076e-06,1.672718e-06,1.674412e-06,1.681032e-06,1.681532e-06,1.686969e-06,1.689160e-06,1.692255e-06,1.695675e-06,1.696920e-06,1.700995e-06,1.701146e-06,1.704508e-06,1.705640e-06,1.707485e-06,1.709218e-06,1.709954e-06,1.711941e-06,1.713468e-06,1.713864e-06,1.714560e-06,1.715041e-06,1.715239e-06,1.715522e-06,1.715526e-06,1.715442e-06,1.715355e-06,1.715007e-06,1.714585e-06,1.714239e-06,1.713254e-06,1.713156e-06,1.711777e-06,1.711403e-06,1.710117e-06,1.709070e-06,1.708192e-06,1.706291e-06,1.706017e-06,1.703608e-06,1.703099e-06,1.700977e-06,1.699526e-06,1.698138e-06,1.695602e-06,1.695104e-06,1.691887e-06,1.691356e-06,1.688499e-06,1.686814e-06,1.684949e-06,1.682002e-06,1.681250e-06,1.677411e-06,1.676942e-06,1.673442e-06,1.671656e-06,1.669351e-06,1.666167e-06,1.665148e-06,1.660842e-06,1.660493e-06,1.656438e-06,1.654652e-06,1.651947e-06,1.648662e-06,1.647374e-06,1.642727e-06,1.642540e-06,1.638012e-06,1.636299e-06,1.633235e-06,1.629955e-06,1.628403e-06,1.623521e-06,1.617008e-06,1.610430e-06,1.603797e-06,1.597118e-06,1.590404e-06,1.583663e-06,1.576904e-06,1.570135e-06,1.563362e-06,1.556592e-06,1.549832e-06,1.543087e-06,1.536362e-06,1.529663e-06,1.522995e-06,1.516360e-06,1.509764e-06,1.503210e-06,1.496701e-06,1.490241e-06,1.483831e-06,1.477475e-06,1.471174e-06,1.464932e-06
0.000000e+00,3.862272e-10,1.162080e-09,5.524110e-09,1.479917e-08,2.298749e-08,5.837542e-08,6.034555e-08,1.251423e-07,1.492706e-07,2.253352e-07,3.059752e-07,3.694353e-07,5.477636e-07,5.655090e-07,8.183643e-07,8.875151e-07,1.127075e-06,1.322418e-06,1.486232e-06,1.838689e-06,1.889134e-06,2.329529e-06,2.421604e-06,2.801802e-06,3.058235e-06,3.300715e-06,3.736671e-06,3.821189e-06,4.358226e-06,4.445360e-06,4.906939e-06,5.173077e-06,5.462621e-06,5.909191e-06,6.020835e-06,6.577490e-06,6.644005e-06,7.128908e-06,7.369023e-06,7.671854e-06,8.077103e-06,8.203553e-06,8.721688e-06,8.762493e-06,9.224372e-06,9.420775e-06,9.710124e-06,1.004874e-05,1.017783e-05,1.062670e-05,1.064425e-05,1.105620e-05,1.120602e-05,1.146606e-05,1.173350e-05,1.185620e-05,1.222671e-05,1.257780e-05,1.268611e-05,1.290983e-05,1.311250e-05,1.322319e-05,1.350692e-05,1.351839e-05,1.379594e-05,1.387058e-05,1.405643e-05,1.420478e-05,1.430044e-05,1.451091e-05,1.452859e-05,1.474150e-05,1.479039e-05,1.493977e-05,1.504464e-05,1.512402e-05,1.527504e-05,1.529485e-05,1.545285e-05,1.548296e-05,1.559861e-05,1.566975e-05,1.573268e-05,1.583668e-05,1.585562e-05,1.596796e-05,1.598498e-05,1.607020e-05,1.611583e-05,1.616284e-05,1.623036e-05,1.624636e-05,1.632122e-05,1.632964e-05,1.638787e-05,1.641470e-05,1.644672e-05,1.648648e-05,1.649818e-05,1.654265e-05,1.654592e-05,1.658050e-05,1.659387e-05,1.661209e-05,1.663114e-05,1.663775e-05,1.665782e-05,1.665851e-05,1.667262e-05,1.667671e-05,1.668243e-05,1.668640e-05,1.668755e-05,1.668824e-05,1.668478e-05,1.668283e-05,1.667740e-05,1.667073e-05,1.666634e-05,1.665247e-05,1.665183e-05,1.663408e-05,1.662856e-05,1.661330e-05,1.659946e-05,1.658968e-05,1.656560e-05,1.656340e-05,1.653465e-05,1.652740e-05,1.650359e-05,1.648524e-05,1.647037e-05,1.643949e-05,1.643516e-05,1.639809e-05,1.639046e-05,1.635930e-05,1.633849e-05,1.631892e-05,1.628386e-05,1.627707e-05,1.623387e-05,1.622684e-05,1.618943e-05,1.616769e-05,1.614385e-05,1.610665e-05,1.609725e-05,1.604969e-05,1.604393e-05,1.600129e-05,1.597975e-05,1.595212e-05,1.591429e-05,1.590227e-05,1.585180e-05,1.584774e-05,1.580079e-05,1.578025e-05,1.574931e-05,1.571199e-05,1.569743e-05,1.564519e-05,1.564310e-05,1.559267e-05,1.557370e-05,1.553991e-05,1.550392e-05,1.548696e-05,1.543388e-05,1.536368e-05,1.529341e-05,1.522317e-05,1.515304e-05,1.508309e-05,1.501339e-05,1.494401e-05,1.487500e-05,1.480643e-05,1.473833e-05,1.467075e-05,1.460373e-05,1.453731e-05,1.447153e-05,1.440640e-05,1.434197e-05,1.427824e-05,1.421524e-05,1.415300e-05,1.409152e-05,1.403082e-05,1.397091e-05,1.391181e-05,1.385352e-05
0.000000e+00,1.124156e-10,3.543055e-10,1.802615e-09,5.021243e-09,7.918089e-09,2.061514e-08,2.132534e-08,4.469199e-08,5.337181e-08,8.060959e-08,1.092811e-07,1.317242e-07,1.945039e-07,2.007466e-07,2.901378e-07,3.148158e-07,4.013166e-07,4.730089e-07,5.338318e-07,6.663190e-07,6.854137e-07,8.529052e-07,8.880284e-07,1.033139e-06,1.130947e-06,1.223302e-06,1.388904e-06,1.420935e-06,1.623851e-06,1.656672e-06,1.830048e-06,1.929639e-06,2.037672e-06,2.203634e-06,2.244997e-06,2.450437e-06,2.474893e-06,2.652558e-06,2.740106e-06,2.850086e-06,2.996450e-06,3.041918e-06,3.227135e-06,3.241643e-06,3.404989e-06,3.473935e-06,3.574906e-06,3.692094e-06,3.736472e-06,3.889417e-06,3.895353e-06,4.033603e-06,4.083357e-06,4.169003e-06,4.256089e-06,4.295688e-06,4.413808e-06,4.523580e-06,4.556987e-06,4.625271e-06,4.686252e-06,4.719185e-06,4.802333e-06,4.805654e-06,4.885027e-06,4.906028e-06,4.957664e-06,4.998164e-06,5.023929e-06,5.079575e-06,5.084183e-06,5.138782e-06,5.151083e-06,5.188072e-06,5.213481e-06,5.232389e-06,5.267529e-06,5.272054e-06,5.307376e-06,5.313945e-06,5.338647e-06,5.353399e-06,5.366144e-06,5.386518e-06,5.390130e-06,5.410850e-06,5.413878e-06,5.428537e-06,5.436014e-06,5.443408e-06,5.453414e-06,5.455666e-06,5.465502e-06,5.466528e-06,5.473092e-06,5.475764e-06,5.478603e-06,5.481497e-06,5.482190e-06,5.483995e-06,5.484067e-06,5.484154e-06,5.483784e-06,5.482790e-06,5.480931e-06,5.480020e-06,5.475952e-06,5.475764e-06,5.470687e-06,5.468517e-06,5.464318e-06,5.459401e-06,5.456932e-06,5.448610e-06,5.439427e-06,5.436318e-06,5.429454e-06,5.422686e-06,5.418755e-06,5.407859e-06,5.407392e-06,5.395421e-06,5.391968e-06,5.382895e-06,5.375133e-06,5.369863e-06,5.357465e-06,5.356370e-06,5.342460e-06,5.339063e-06,5.328171e-06,5.320018e-06,5.313541e-06,5.300413e-06,5.298605e-06,5.283395e-06,5.280323e-06,5.267940e-06,5.259817e-06,5.252270e-06,5.238958e-06,5.236409e-06,5.220382e-06,5.217804e-06,5.204213e-06,5.196407e-06,5.187922e-06,5.174815e-06,5.171529e-06,5.155053e-06,5.153071e-06,5.138511e-06,5.131216e-06,5.121919e-06,5.109285e-06,5.105292e-06,5.088645e-06,5.087312e-06,5.071989e-06,5.065327e-06,5.055338e-06,5.043358e-06,5.038703e-06,5.022094e-06,5.021430e-06,5.005522e-06,4.999566e-06,4.988995e-06,4.977787e-06,4.972522e-06,4.956111e-06,4.934556e-06,4.913138e-06,4.891870e-06,4.870767e-06,4.849838e-06,4.829095e-06,4.808546e-06,4.788201e-06,4.768067e-06,4.748149e-06,4.728455e-06,4.708990e-06,4.689757e-06,4.670760e-06,4.652004e-06,4.633490e-06,4.615220e-06,4.597198e-06,4.579424e-06,4.561899e-06,4.544624e-06,4.527599e-06,4.510824e-06,4.494300e-06
0.000000e+00,8.619284e-11,3.294240e-10,2.382554e-09,8.717399e-09,1.570879e-08,5.523593e-08,5.777296e-08,1.546782e-07,1.959926e-07,3.394417e-07,5.082458e-07,6.504117e-07,1.084270e-06,1.129874e-06,1.822689e-06,2.025794e-06,2.774393e-06,3.436689e-06,4.027982e-06,5.409607e-06,5.619330e-06,7.572604e-06,8.007816e-06,9.897661e-06,1.125270e-05,1.259018e-05,1.512417e-05,1.563378e-05,1.900290e-05,1.957011e-05,2.266570e-05,2.451776e-05,2.658645e-05,2.988347e-05,3.072746e-05,3.505056e-05,3.557977e-05,3.951815e-05,4.152028e-05,4.409406e-05,4.762309e-05,4.874412e-05,5.343662e-05,5.381296e-05,5.814253e-05,6.002271e-05,6.283575e-05,6.619386e-05,6.749307e-05,7.209426e-05,7.227688e-05,7.662185e-05,7.823085e-05,8.106109e-05,8.402297e-05,8.539974e-05,8.962781e-05,9.373742e-05,9.502644e-05,9.772253e-05,1.002056e-04,1.015787e-04,1.051567e-04,1.053031e-04,1.088938e-04,1.098751e-04,1.123502e-04,1.143596e-04,1.156725e-04,1.186113e-04,1.188616e-04,1.219190e-04,1.226335e-04,1.248470e-04,1.264309e-04,1.276478e-04,1.300096e-04,1.303243e-04,1.328795e-04,1.333763e-04,1.353167e-04,1.365385e-04,1.376391e-04,1.395039e-04,1.398504e-04,1.419539e-04,1.422807e-04,1.439532e-04,1.448769e-04,1.458518e-04,1.473006e-04,1.476533e-04,1.493612e-04,1.495601e-04,1.509790e-04,1.516631e-04,1.525099e-04,1.536174e-04,1.539573e-04,1.553246e-04,1.554306e-04,1.566148e-04,1.571100e-04,1.578310e-04,1.586626e-04,1.589763e-04,1.600536e-04,1.600953e-04,1.610657e-04,1.614147e-04,1.620154e-04,1.626269e-04,1.629054e-04,1.637381e-04,1.645162e-04,1.647540e-04,1.652420e-04,1.656802e-04,1.659178e-04,1.665217e-04,1.665460e-04,1.671286e-04,1.672838e-04,1.676677e-04,1.679712e-04,1.681654e-04,1.685883e-04,1.686236e-04,1.690441e-04,1.691396e-04,1.694288e-04,1.696292e-04,1.697793e-04,1.700608e-04,1.700973e-04,1.703845e-04,1.704384e-04,1.706423e-04,1.707653e-04,1.708722e-04,1.710449e-04,1.710757e-04,1.712540e-04,1.712803e-04,1.714085e-04,1.714745e-04,1.715404e-04,1.716304e-04,1.716509e-04,1.717411e-04,1.717507e-04,1.718123e-04,1.718377e-04,1.718653e-04,1.718940e-04,1.719012e-04,1.719209e-04,1.719218e-04,1.719255e-04,1.719232e-04,1.719157e-04,1.719002e-04,1.718924e-04,1.718564e-04,1.718547e-04,1.718085e-04,1.717885e-04,1.717495e-04,1.717033e-04,1.716799e-04,1.716006e-04,1.714818e-04,1.713486e-04,1.712020e-04,1.710434e-04,1.708739e-04,1.706946e-04,1.705065e-04,1.703105e-04,1.701076e-04,1.698986e-04,1.696842e-04,1.694653e-04,1.692423e-04,1.690161e-04,1.687872e-04,1.685560e-04,1.683232e-04,1.680893e-04,1.678545e-04,1.676194e-04,1.673844e-04,1.671497e-04,1.669156e-04,1.666826e-04
0.000000e+00,4.205935e-10,1.423772e-09,8.171119e-09,2.477297e-08,4.061785e-08,1.149846e-07,1.193054e-07,2.675663e-07,3.250317e-07,5.117724e-07,7.170704e-07,8.829791e-07,1.366267e-06,1.415581e-06,2.137884e-06,2.340768e-06,3.055879e-06,3.648144e-06,4.147861e-06,5.224388e-06,5.378129e-06,6.712572e-06,6.989479e-06,8.124461e-06,8.882339e-06,9.593536e-06,1.085976e-05,1.110350e-05,1.264015e-05,1.288761e-05,1.419038e-05,1.493564e-05,1.574178e-05,1.697584e-05,1.728263e-05,1.880206e-05,1.898247e-05,2.029017e-05,2.093271e-05,2.173818e-05,2.280717e-05,2.313856e-05,2.448502e-05,2.459025e-05,2.577256e-05,2.627018e-05,2.699737e-05,2.783885e-05,2.815678e-05,2.924914e-05,2.929143e-05,3.027371e-05,3.062594e-05,3.123049e-05,3.184268e-05,3.212013e-05,3.294386e-05,3.370339e-05,3.393321e-05,3.440077e-05,3.481551e-05,3.503826e-05,3.559620e-05,3.561833e-05,3.614362e-05,3.628124e-05,3.661675e-05,3.687668e-05,3.704034e-05,3.738864e-05,3.741713e-05,3.774976e-05,3.782331e-05,3.804083e-05,3.818663e-05,3.829289e-05,3.848436e-05,3.850836e-05,3.868958e-05,3.872191e-05,3.883878e-05,3.890443e-05,3.895812e-05,3.903678e-05,3.904963e-05,3.911525e-05,3.912347e-05,3.915681e-05,3.916873e-05,3.917606e-05,3.917651e-05,3.917465e-05,3.915410e-05,3.915042e-05,3.911590e-05,3.909385e-05,3.906140e-05,3.900989e-05,3.899191e-05,3.890863e-05,3.890140e-05,3.881269e-05,3.877102e-05,3.870518e-05,3.862116e-05,3.858708e-05,3.845933e-05,3.845403e-05,3.832281e-05,3.827167e-05,3.817834e-05,3.807594e-05,3.802668e-05,3.786854e-05,3.770461e-05,3.765103e-05,3.753549e-05,3.742481e-05,3.736177e-05,3.719118e-05,3.718400e-05,3.700267e-05,3.695132e-05,3.681825e-05,3.670630e-05,3.663118e-05,3.645709e-05,3.644187e-05,3.625070e-05,3.620458e-05,3.605801e-05,3.594956e-05,3.586412e-05,3.569276e-05,3.566935e-05,3.547396e-05,3.543483e-05,3.527822e-05,3.517638e-05,3.508236e-05,3.491792e-05,3.488661e-05,3.469116e-05,3.465993e-05,3.449621e-05,3.440286e-05,3.430192e-05,3.414708e-05,3.410846e-05,3.391596e-05,3.389293e-05,3.372455e-05,3.364072e-05,3.353437e-05,3.339072e-05,3.334552e-05,3.315810e-05,3.314317e-05,3.297220e-05,3.289828e-05,3.278790e-05,3.265624e-05,3.260528e-05,3.242440e-05,3.241721e-05,3.224533e-05,3.218132e-05,3.206811e-05,3.194869e-05,3.189280e-05,3.171943e-05,3.149361e-05,3.127132e-05,3.105259e-05,3.083748e-05,3.062603e-05,3.041824e-05,3.021413e-05,3.001371e-05,2.981698e-05,2.962392e-05,2.943452e-05,2.924875e-05,2.906661e-05,2.888804e-05,2.871302e-05,2.854152e-05,2.837349e-05,2.820888e-05,2.804767e-05,2.788979e-05,2.773520e-05,2.758385e-05,2.743570e-05,2.729068e-05
0.000000e+00,1.002209e-10,3.843928e-10,2.801956e-09,1.033716e-08,1.872602e-08,6.698008e-08,7.011440e-08,1.923147e-07,2.456599e-07,4.356091e-07,6.671393e-07,8.678204e-07,1.505770e-06,1.574665e-06,2.650890e-06,2.973962e-06,4.179748e-06,5.254343e-06,6.212418e-06,8.427741e-06,8.760143e-06,1.179882e-05,1.246145e-05,1.527907e-05,1.724228e-05,1.913647e-05,2.261600e-05,2.329964e-05,2.769591e-05,2.841618e-05,3.225491e-05,3.448150e-05,3.691082e-05,4.066471e-05,4.160351e-05,4.627919e-05,4.683682e-05,5.089068e-05,5.288872e-05,5.539743e-05,5.873132e-05,5.976538e-05,6.396668e-05,6.429489e-05,6.797939e-05,6.952779e-05,7.178699e-05,7.439480e-05,7.537794e-05,7.874513e-05,7.887510e-05,8.188534e-05,8.296018e-05,8.479868e-05,8.665156e-05,8.748808e-05,8.995872e-05,9.221763e-05,9.289711e-05,9.427322e-05,9.548640e-05,9.613488e-05,9.774899e-05,9.781270e-05,9.931716e-05,9.970878e-05,1.006589e-04,1.013902e-04,1.018485e-04,1.028176e-04,1.028965e-04,1.038129e-04,1.040144e-04,1.046077e-04,1.050031e-04,1.052901e-04,1.058047e-04,1.058689e-04,1.063526e-04,1.064386e-04,1.067489e-04,1.069228e-04,1.070651e-04,1.072738e-04,1.073080e-04,1.074839e-04,1.075063e-04,1.075987e-04,1.076337e-04,1.076577e-04,1.076681e-04,1.076659e-04,1.076279e-04,1.076204e-04,1.075478e-04,1.075002e-04,1.074295e-04,1.073162e-04,1.072765e-04,1.070921e-04,1.070761e-04,1.068793e-04,1.067868e-04,1.066407e-04,1.064544e-04,1.063789e-04,1.060961e-04,1.060844e-04,1.057945e-04,1.056816e-04,1.054759e-04,1.052505e-04,1.051421e-04,1.047948e-04,1.044354e-04,1.043180e-04,1.040652e-04,1.038233e-04,1.036856e-04,1.033133e-04,1.032976e-04,1.029023e-04,1.027905e-04,1.025008e-04,1.022572e-04,1.020937e-04,1.017152e-04,1.016821e-04,1.012667e-04,1.011664e-04,1.008480e-04,1.006124e-04,1.004268e-04,1.000545e-04,1.000037e-04,9.957913e-05,9.949409e-05,9.915365e-05,9.893220e-05,9.872771e-05,9.836988e-05,9.830173e-05,9.787610e-05,9.780805e-05,9.745116e-05,9.724753e-05,9.702724e-05,9.668905e-05,9.660465e-05,9.618367e-05,9.613327e-05,9.576453e-05,9.558077e-05,9.534749e-05,9.503207e-05,9.493275e-05,9.452050e-05,9.448764e-05,9.411093e-05,9.394789e-05,9.370420e-05,9.341320e-05,9.330046e-05,9.289984e-05,9.288388e-05,9.250246e-05,9.236023e-05,9.210845e-05,9.184249e-05,9.171789e-05,9.133089e-05,9.082562e-05,9.032683e-05,8.983469e-05,8.934929e-05,8.887074e-05,8.839912e-05,8.793450e-05,8.747691e-05,8.702641e-05,8.658300e-05,8.614669e-05,8.571750e-05,8.529540e-05,8.488038e-05,8.447241e-05,8.407146e-05,8.367749e-05,8.329044e-05,8.291028e-05,8.253693e-05,8.217035e-05,8.181046e-05,8.145720e-05,8.111049e-05
0.000000e+00,3.406062e-10,1.010676e-09,4.708642e-09,1.247400e-08,1.929921e-08,4.880888e-08,5.045676e-08,1.051140e-07,1.257127e-07,1.915171e-07,2.625822e-07,3.192931e-07,4.811754e-07,4.974143e-07,7.293575e-07,7.926189e-07,1.010006e-06,1.184659e-06,1.329109e-06,1.633641e-06,1.676545e-06,2.044358e-06,2.119807e-06,2.426486e-06,2.629202e-06,2.818062e-06,3.151235e-06,3.214934e-06,3.613418e-06,3.677100e-06,4.010209e-06,4.199187e-06,4.402358e-06,4.710992e-06,4.787290e-06,5.162803e-06,5.207140e-06,5.527069e-06,5.683395e-06,5.878633e-06,6.136632e-06,6.216386e-06,6.539526e-06,6.564729e-06,6.847531e-06,6.966423e-06,7.140113e-06,7.341166e-06,7.417184e-06,7.678828e-06,7.688976e-06,7.925273e-06,8.010324e-06,8.156807e-06,8.305933e-06,8.373825e-06,8.576770e-06,8.766143e-06,8.823961e-06,8.942466e-06,9.048713e-06,9.106278e-06,9.252274e-06,9.258125e-06,9.398551e-06,9.435898e-06,9.528099e-06,9.600827e-06,9.647298e-06,9.748268e-06,9.756667e-06,9.856710e-06,9.879386e-06,9.947912e-06,9.995299e-06,1.003074e-05,1.009707e-05,1.010565e-05,1.017308e-05,1.018570e-05,1.023343e-05,1.026215e-05,1.028710e-05,1.032730e-05,1.033447e-05,1.037590e-05,1.038200e-05,1.041173e-05,1.042704e-05,1.044229e-05,1.046315e-05,1.046789e-05,1.048882e-05,1.049103e-05,1.050535e-05,1.051131e-05,1.051777e-05,1.052460e-05,1.052631e-05,1.053122e-05,1.053146e-05,1.053272e-05,1.053241e-05,1.053102e-05,1.052794e-05,1.052634e-05,1.051885e-05,1.051850e-05,1.050875e-05,1.050450e-05,1.049619e-05,1.048634e-05,1.048136e-05,1.046439e-05,1.044544e-05,1.043898e-05,1.042464e-05,1.041042e-05,1.040212e-05,1.037900e-05,1.037801e-05,1.035241e-05,1.034500e-05,1.032545e-05,1.030866e-05,1.029722e-05,1.027022e-05,1.026783e-05,1.023735e-05,1.022989e-05,1.020589e-05,1.018787e-05,1.017352e-05,1.014435e-05,1.014032e-05,1.010637e-05,1.009949e-05,1.007173e-05,1.005346e-05,1.003646e-05,1.000641e-05,1.000064e-05,9.964311e-06,9.958456e-06,9.927536e-06,9.909740e-06,9.890364e-06,9.860373e-06,9.852843e-06,9.815020e-06,9.810462e-06,9.776936e-06,9.760107e-06,9.738633e-06,9.709399e-06,9.700148e-06,9.661518e-06,9.658422e-06,9.622775e-06,9.607253e-06,9.583951e-06,9.555964e-06,9.545076e-06,9.506178e-06,9.504622e-06,9.467283e-06,9.453286e-06,9.428414e-06,9.402012e-06,9.389597e-06,9.350851e-06,9.299849e-06,9.249051e-06,9.198495e-06,9.148216e-06,9.098248e-06,9.048619e-06,8.999357e-06,8.950487e-06,8.902029e-06,8.854004e-06,8.806431e-06,8.759323e-06,8.712697e-06,8.666563e-06,8.620934e-06,8.575818e-06,8.531224e-06,8.487159e-06,8.443629e-06,8.400639e-06,8.358193e-06,8.316293e-06,8.274942e-06,8.234141e-06
0.000000e+00,1.580994e-10,3.993962e-10,1.529898e-09,3.674216e-09,5.479614e-09,1.301154e-08,1.342551e-08,2.699117e-08,3.205217e-08,4.809505e-08,6.520074e-08,7.865860e-08,1.160224e-07,1.196873e-07,1.707767e-07,1.844187e-07,2.308718e-07,2.680851e-07,2.989938e-07,3.649534e-07,3.743559e-07,4.562652e-07,4.733730e-07,5.440389e-07,5.917643e-07,6.369660e-07,7.184622e-07,7.343004e-07,8.352733e-07,8.517150e-07,9.391127e-07,9.897504e-07,1.045062e-06,1.130853e-06,1.152399e-06,1.260452e-06,1.273437e-06,1.368610e-06,1.416089e-06,1.476325e-06,1.557597e-06,1.583121e-06,1.688584e-06,1.696953e-06,1.792368e-06,1.833344e-06,1.894183e-06,1.966138e-06,1.993795e-06,2.091016e-06,2.094853e-06,2.185700e-06,2.219143e-06,2.277740e-06,2.338779e-06,2.367062e-06,2.453612e-06,2.537355e-06,2.563558e-06,2.618279e-06,2.668592e-06,2.696386e-06,2.768731e-06,2.771689e-06,2.844216e-06,2.864030e-06,2.914001e-06,2.954573e-06,2.981087e-06,3.040463e-06,3.045521e-06,3.107358e-06,3.121819e-06,3.166661e-06,3.198789e-06,3.223498e-06,3.271525e-06,3.277932e-06,3.330020e-06,3.340161e-06,3.379824e-06,3.404840e-06,3.427407e-06,3.465706e-06,3.472831e-06,3.516157e-06,3.522899e-06,3.557448e-06,3.576562e-06,3.596763e-06,3.626834e-06,3.634164e-06,3.669710e-06,3.673854e-06,3.703460e-06,3.717756e-06,3.735471e-06,3.758671e-06,3.765800e-06,3.794501e-06,3.796729e-06,3.821631e-06,3.832054e-06,3.847241e-06,3.864769e-06,3.871384e-06,3.894111e-06,3.894991e-06,3.915471e-06,3.922835e-06,3.935512e-06,3.948412e-06,3.954283e-06,3.971828e-06,3.988193e-06,3.993187e-06,4.003420e-06,4.012588e-06,4.017553e-06,4.030128e-06,4.030631e-06,4.042696e-06,4.045898e-06,4.053786e-06,4.059987e-06,4.063938e-06,4.072481e-06,4.073189e-06,4.081574e-06,4.083461e-06,4.089127e-06,4.093007e-06,4.095883e-06,4.101193e-06,4.101872e-06,4.107126e-06,4.108091e-06,4.111675e-06,4.113772e-06,4.115549e-06,4.118302e-06,4.118776e-06,4.121383e-06,4.121744e-06,4.123396e-06,4.124159e-06,4.124841e-06,4.125605e-06,4.125743e-06,4.126126e-06,4.126138e-06,4.126013e-06,4.125811e-06,4.125425e-06,4.124675e-06,4.124385e-06,4.122914e-06,4.122778e-06,4.121031e-06,4.120167e-06,4.118756e-06,4.116885e-06,4.116107e-06,4.113103e-06,4.112975e-06,4.109761e-06,4.108478e-06,4.106097e-06,4.103431e-06,4.102128e-06,4.097870e-06,4.091831e-06,4.085347e-06,4.078449e-06,4.071167e-06,4.063529e-06,4.055564e-06,4.047296e-06,4.038749e-06,4.029948e-06,4.020914e-06,4.011668e-06,4.002231e-06,3.992620e-06,3.982853e-06,3.972949e-06,3.962922e-06,3.952787e-06,3.942560e-06,3.932253e-06,3.921879e-06,3.911451e-06,3.900980e-06,3.890477e-06,3.879951e-06
0.000000e+00,1.733783e-10,6.698493e-10,4.954479e-09,1.850450e-08,3.372876e-08,1.222545e-07,1.280319e-07,3.539328e-07,4.525733e-07,8.027219e-07,1.226580e-06,1.591378e-06,2.738415e-06,2.861406e-06,4.770802e-06,5.341869e-06,7.475207e-06,9.387070e-06,1.110492e-05,1.513677e-05,1.574962e-05,2.145437e-05,2.272353e-05,2.822308e-05,3.215428e-05,3.602506e-05,4.333521e-05,4.480196e-05,5.447405e-05,5.609845e-05,6.494566e-05,7.022493e-05,7.610982e-05,8.546320e-05,8.785235e-05,1.000555e-04,1.015452e-04,1.126009e-04,1.181993e-04,1.253728e-04,1.351623e-04,1.382601e-04,1.511583e-04,1.521877e-04,1.639715e-04,1.690532e-04,1.766129e-04,1.855650e-04,1.890061e-04,2.010849e-04,2.015606e-04,2.127936e-04,2.169090e-04,2.240867e-04,2.315099e-04,2.349282e-04,2.452912e-04,2.551568e-04,2.582067e-04,2.645134e-04,2.702319e-04,2.733558e-04,2.813611e-04,2.816844e-04,2.895043e-04,2.916038e-04,2.968243e-04,3.009813e-04,3.036565e-04,3.095240e-04,3.100156e-04,3.159181e-04,3.172687e-04,3.213818e-04,3.242568e-04,3.264255e-04,3.305320e-04,3.310687e-04,3.353310e-04,3.361395e-04,3.392320e-04,3.411242e-04,3.427911e-04,3.455305e-04,3.460274e-04,3.489594e-04,3.494015e-04,3.516050e-04,3.527783e-04,3.539814e-04,3.556998e-04,3.561051e-04,3.579918e-04,3.582030e-04,3.596565e-04,3.603223e-04,3.611133e-04,3.620897e-04,3.623756e-04,3.634561e-04,3.635350e-04,3.643667e-04,3.646859e-04,3.651186e-04,3.655677e-04,3.657224e-04,3.661880e-04,3.662039e-04,3.665247e-04,3.666161e-04,3.667412e-04,3.668240e-04,3.668457e-04,3.668457e-04,3.667485e-04,3.666980e-04,3.665608e-04,3.663961e-04,3.662889e-04,3.659540e-04,3.659385e-04,3.655153e-04,3.653845e-04,3.650244e-04,3.646993e-04,3.644705e-04,3.639093e-04,3.638583e-04,3.631918e-04,3.630243e-04,3.624752e-04,3.620533e-04,3.617120e-04,3.610047e-04,3.609058e-04,3.600598e-04,3.598861e-04,3.591770e-04,3.587044e-04,3.582604e-04,3.574662e-04,3.573126e-04,3.563360e-04,3.561773e-04,3.553332e-04,3.548431e-04,3.543062e-04,3.534686e-04,3.532572e-04,3.521881e-04,3.520585e-04,3.511007e-04,3.506169e-04,3.499968e-04,3.491478e-04,3.488780e-04,3.477459e-04,3.476548e-04,3.466017e-04,3.461410e-04,3.454470e-04,3.446097e-04,3.442829e-04,3.431106e-04,3.430636e-04,3.419314e-04,3.415053e-04,3.407461e-04,3.399372e-04,3.395558e-04,3.383614e-04,3.367801e-04,3.351951e-04,3.336081e-04,3.320207e-04,3.304344e-04,3.288506e-04,3.272705e-04,3.256952e-04,3.241258e-04,3.225633e-04,3.210086e-04,3.194624e-04,3.179256e-04,3.163988e-04,3.148826e-04,3.133777e-04,3.118844e-04,3.104034e-04,3.089351e-04,3.074797e-04,3.060378e-04,3.046095e-04,3.031951e-04,3.017950e-04
0.000000e+00,1.195822e-10,4.604455e-10,3.381243e-09,1.254368e-08,2.277738e-08,8.173285e-08,8.555949e-08,2.340560e-07,2.984074e-07,5.252725e-07,7.975383e-07,1.030359e-06,1.756145e-06,1.833536e-06,3.027991e-06,3.383286e-06,4.705000e-06,5.883227e-06,6.937259e-06,9.393930e-06,9.765198e-06,1.319307e-05,1.394869e-05,1.719326e-05,1.948309e-05,2.171401e-05,2.586429e-05,2.668730e-05,3.203549e-05,3.292054e-05,3.767655e-05,4.046397e-05,4.352790e-05,4.830635e-05,4.950933e-05,5.554518e-05,5.626976e-05,6.156578e-05,6.419364e-05,6.750863e-05,7.193919e-05,7.331895e-05,7.895008e-05,7.939161e-05,8.436347e-05,8.646074e-05,8.952848e-05,9.308020e-05,9.442192e-05,9.902751e-05,9.920558e-05,1.033352e-04,1.048120e-04,1.073404e-04,1.098910e-04,1.110432e-04,1.144477e-04,1.175614e-04,1.184978e-04,1.203940e-04,1.220647e-04,1.229573e-04,1.251771e-04,1.252647e-04,1.273302e-04,1.278672e-04,1.291685e-04,1.301685e-04,1.307943e-04,1.321152e-04,1.322226e-04,1.334675e-04,1.337406e-04,1.345433e-04,1.350767e-04,1.354631e-04,1.361536e-04,1.362397e-04,1.368850e-04,1.369994e-04,1.374104e-04,1.376396e-04,1.378261e-04,1.380977e-04,1.381419e-04,1.383668e-04,1.383949e-04,1.385090e-04,1.385501e-04,1.385761e-04,1.385804e-04,1.385751e-04,1.385122e-04,1.385008e-04,1.383934e-04,1.383248e-04,1.382239e-04,1.380642e-04,1.380086e-04,1.377518e-04,1.377296e-04,1.374576e-04,1.373303e-04,1.371297e-04,1.368745e-04,1.367713e-04,1.363855e-04,1.363695e-04,1.359751e-04,1.358218e-04,1.355426e-04,1.352370e-04,1.350902e-04,1.346202e-04,1.341343e-04,1.339758e-04,1.336344e-04,1.333078e-04,1.331220e-04,1.326198e-04,1.325987e-04,1.320657e-04,1.319150e-04,1.315244e-04,1.311960e-04,1.309758e-04,1.304655e-04,1.304209e-04,1.298608e-04,1.297257e-04,1.292963e-04,1.289785e-04,1.287282e-04,1.282259e-04,1.281572e-04,1.275842e-04,1.274694e-04,1.270096e-04,1.267105e-04,1.264342e-04,1.259505e-04,1.258583e-04,1.252826e-04,1.251905e-04,1.247074e-04,1.244317e-04,1.241333e-04,1.236750e-04,1.235606e-04,1.229896e-04,1.229212e-04,1.224207e-04,1.221711e-04,1.218542e-04,1.214254e-04,1.212903e-04,1.207295e-04,1.206847e-04,1.201718e-04,1.199496e-04,1.196175e-04,1.192206e-04,1.190668e-04,1.185199e-04,1.184981e-04,1.179770e-04,1.177826e-04,1.174382e-04,1.170743e-04,1.169037e-04,1.163735e-04,1.156806e-04,1.149958e-04,1.143193e-04,1.136513e-04,1.129919e-04,1.123413e-04,1.116995e-04,1.110667e-04,1.104428e-04,1.098281e-04,1.092224e-04,1.086258e-04,1.080384e-04,1.074600e-04,1.068908e-04,1.063306e-04,1.057795e-04,1.052374e-04,1.047042e-04,1.041799e-04,1.036643e-04,1.031576e-04,1.026595e-04,1.021699e-04
0.000000e+00,6.681790e-10,1.849216e-09,7.901765e-09,2.017169e-08,3.092902e-08,7.858752e-08,8.131577e-08,1.757661e-07,2.131799e-07,3.380813e-07,4.799443e-07,5.966147e-07,9.373521e-07,9.717290e-07,1.458578e-06,1.589157e-06,2.029327e-06,2.373839e-06,2.653311e-06,3.228675e-06,3.308410e-06,3.980667e-06,4.116328e-06,4.661081e-06,5.015950e-06,5.343314e-06,5.914180e-06,6.022463e-06,6.694502e-06,6.801135e-06,7.356052e-06,7.669015e-06,8.004268e-06,8.511644e-06,8.636797e-06,9.251740e-06,9.324277e-06,9.847610e-06,1.010345e-05,1.042329e-05,1.084681e-05,1.097799e-05,1.151120e-05,1.155292e-05,1.202263e-05,1.222109e-05,1.251222e-05,1.285122e-05,1.298002e-05,1.342623e-05,1.344364e-05,1.385118e-05,1.399902e-05,1.425522e-05,1.451825e-05,1.463880e-05,1.500242e-05,1.534658e-05,1.545270e-05,1.567184e-05,1.587035e-05,1.597876e-05,1.625667e-05,1.626790e-05,1.653984e-05,1.661298e-05,1.679516e-05,1.694062e-05,1.703444e-05,1.724089e-05,1.725823e-05,1.746712e-05,1.751509e-05,1.766164e-05,1.776451e-05,1.784236e-05,1.799038e-05,1.800979e-05,1.816447e-05,1.819392e-05,1.830691e-05,1.837630e-05,1.843760e-05,1.853866e-05,1.855703e-05,1.866568e-05,1.868209e-05,1.876400e-05,1.880766e-05,1.885244e-05,1.891637e-05,1.893144e-05,1.900140e-05,1.900921e-05,1.906275e-05,1.908711e-05,1.911587e-05,1.915097e-05,1.916115e-05,1.919894e-05,1.920165e-05,1.922962e-05,1.923997e-05,1.925351e-05,1.926671e-05,1.927096e-05,1.928228e-05,1.928261e-05,1.928778e-05,1.928840e-05,1.928776e-05,1.928474e-05,1.928251e-05,1.927229e-05,1.925737e-05,1.925165e-05,1.923802e-05,1.922341e-05,1.921446e-05,1.918812e-05,1.918695e-05,1.915570e-05,1.914631e-05,1.912093e-05,1.909847e-05,1.908286e-05,1.904508e-05,1.904167e-05,1.899757e-05,1.898657e-05,1.895074e-05,1.892338e-05,1.890134e-05,1.885590e-05,1.884957e-05,1.879556e-05,1.878451e-05,1.873949e-05,1.870956e-05,1.868149e-05,1.863139e-05,1.862171e-05,1.856028e-05,1.855031e-05,1.849734e-05,1.846663e-05,1.843301e-05,1.838062e-05,1.836740e-05,1.830063e-05,1.829255e-05,1.823281e-05,1.820266e-05,1.816404e-05,1.811119e-05,1.809441e-05,1.802402e-05,1.801836e-05,1.795296e-05,1.792437e-05,1.788132e-05,1.782941e-05,1.780917e-05,1.773658e-05,1.773367e-05,1.766364e-05,1.763731e-05,1.759041e-05,1.754049e-05,1.751696e-05,1.744335e-05,1.734603e-05,1.724866e-05,1.715136e-05,1.705423e-05,1.695738e-05,1.686090e-05,1.676488e-05,1.666939e-05,1.657452e-05,1.648033e-05,1.638688e-05,1.629423e-05,1.620243e-05,1.611152e-05,1.602156e-05,1.593257e-05,1.584460e-05,1.575767e-05,1.567181e-05,1.558704e-05,1.550339e-05,1.542087e-05,1.533950e-05,1.525929e-05
0.000000e+00,2.632863e-10,8.490604e-10,4.472587e-09,1.271516e-08,2.020904e-08,5.328651e-08,5.514071e-08,1.161447e-07,1.387748e-07,2.096167e-07,2.838670e-07,3.417352e-07,5.022630e-07,5.181049e-07,7.421177e-07,8.029346e-07,1.012248e-06,1.181056e-06,1.320992e-06,1.615984e-06,1.657454e-06,2.010949e-06,2.082882e-06,2.372702e-06,2.561744e-06,2.735877e-06,3.038078e-06,3.095099e-06,3.446049e-06,3.501190e-06,3.785246e-06,3.943051e-06,4.109936e-06,4.357816e-06,4.418027e-06,4.708042e-06,4.741580e-06,4.979057e-06,5.092158e-06,5.230642e-06,5.408828e-06,5.462781e-06,5.675801e-06,5.692033e-06,5.870291e-06,5.943070e-06,6.047042e-06,6.163840e-06,6.206989e-06,6.351158e-06,6.356611e-06,6.480611e-06,6.523819e-06,6.596427e-06,6.667938e-06,6.699672e-06,6.791380e-06,6.872552e-06,6.896454e-06,6.944100e-06,6.985230e-06,7.006868e-06,7.059626e-06,7.061675e-06,7.109251e-06,7.121370e-06,7.150280e-06,7.172016e-06,7.185384e-06,7.212930e-06,7.215125e-06,7.240022e-06,7.245330e-06,7.260542e-06,7.270279e-06,7.277103e-06,7.288706e-06,7.290087e-06,7.299841e-06,7.301432e-06,7.306676e-06,7.309171e-06,7.310873e-06,7.312547e-06,7.312687e-06,7.312349e-06,7.312110e-06,7.310068e-06,7.308338e-06,7.306032e-06,7.301655e-06,7.300412e-06,7.293365e-06,7.292430e-06,7.285029e-06,7.280988e-06,7.275535e-06,7.267616e-06,7.264997e-06,7.253523e-06,7.252567e-06,7.241208e-06,7.236067e-06,7.228141e-06,7.218313e-06,7.214403e-06,7.200066e-06,7.199481e-06,7.185200e-06,7.179730e-06,7.169864e-06,7.159198e-06,7.154117e-06,7.138011e-06,7.121592e-06,7.116279e-06,7.104904e-06,7.094102e-06,7.087989e-06,7.071570e-06,7.070883e-06,7.053619e-06,7.048762e-06,7.036231e-06,7.025749e-06,7.018745e-06,7.002596e-06,7.001190e-06,6.983589e-06,6.979361e-06,6.965966e-06,6.956095e-06,6.948341e-06,6.932844e-06,6.930732e-06,6.913159e-06,6.909650e-06,6.895636e-06,6.886550e-06,6.878180e-06,6.863577e-06,6.860803e-06,6.843518e-06,6.840761e-06,6.826336e-06,6.818129e-06,6.809269e-06,6.795705e-06,6.792326e-06,6.775516e-06,6.773508e-06,6.758847e-06,6.751559e-06,6.742326e-06,6.729873e-06,6.725959e-06,6.709754e-06,6.708464e-06,6.693714e-06,6.687346e-06,6.677846e-06,6.666529e-06,6.662152e-06,6.646638e-06,6.646021e-06,6.631306e-06,6.625832e-06,6.616160e-06,6.605968e-06,6.601202e-06,6.586434e-06,6.567235e-06,6.548374e-06,6.529854e-06,6.511676e-06,6.493843e-06,6.476353e-06,6.459208e-06,6.442405e-06,6.425944e-06,6.409823e-06,6.394040e-06,6.378593e-06,6.363478e-06,6.348692e-06,6.334232e-06,6.320095e-06,6.306276e-06,6.292771e-06,6.279576e-06,6.266686e-06,6.254098e-06,6.241806e-06,6.229805e-06,6.218092e-06
0.000000e+00,2.928830e-10,1.106750e-09,7.821855e-09,2.804369e-08,4.999455e-08,1.712781e-07,1.789669e-07,4.685775e-07,5.905771e-07,1.010875e-06,1.502131e-06,1.914720e-06,3.173017e-06,3.305377e-06,5.319598e-06,5.910812e-06,8.087755e-06,1.000468e-05,1.170417e-05,1.561815e-05,1.620457e-05,2.156532e-05,2.273531e-05,2.771871e-05,3.120142e-05,3.457178e-05,4.079346e-05,4.202106e-05,4.996174e-05,5.127101e-05,5.829247e-05,6.240134e-05,6.691721e-05,7.396798e-05,7.574593e-05,8.469460e-05,8.577274e-05,9.368530e-05,9.763581e-05,1.026463e-04,1.093963e-04,1.115122e-04,1.202244e-04,1.209132e-04,1.287312e-04,1.320662e-04,1.369879e-04,1.427565e-04,1.449570e-04,1.526077e-04,1.529068e-04,1.599162e-04,1.624599e-04,1.668647e-04,1.713778e-04,1.734413e-04,1.796391e-04,1.854559e-04,1.872370e-04,1.908934e-04,1.941765e-04,1.959567e-04,2.004726e-04,2.006536e-04,2.049942e-04,2.061473e-04,2.089905e-04,2.112284e-04,2.126555e-04,2.157470e-04,2.160035e-04,2.190492e-04,2.197368e-04,2.218076e-04,2.232326e-04,2.242941e-04,2.262693e-04,2.265238e-04,2.285115e-04,2.288813e-04,2.302719e-04,2.311021e-04,2.318191e-04,2.329639e-04,2.331667e-04,2.343278e-04,2.344972e-04,2.353150e-04,2.357306e-04,2.361401e-04,2.366910e-04,2.368143e-04,2.373483e-04,2.374034e-04,2.377522e-04,2.378912e-04,2.380356e-04,2.381758e-04,2.382073e-04,2.382757e-04,2.382769e-04,2.382487e-04,2.382129e-04,2.381337e-04,2.380003e-04,2.379376e-04,2.376668e-04,2.376545e-04,2.373274e-04,2.371895e-04,2.369250e-04,2.366182e-04,2.364650e-04,2.359521e-04,2.353911e-04,2.352021e-04,2.347862e-04,2.343778e-04,2.341413e-04,2.334882e-04,2.334603e-04,2.327465e-04,2.325412e-04,2.320031e-04,2.315442e-04,2.312333e-04,2.305040e-04,2.304397e-04,2.296249e-04,2.294265e-04,2.287915e-04,2.283174e-04,2.279416e-04,2.271817e-04,2.270773e-04,2.262005e-04,2.260238e-04,2.253131e-04,2.248480e-04,2.244167e-04,2.236579e-04,2.235129e-04,2.226031e-04,2.224570e-04,2.216886e-04,2.212484e-04,2.207707e-04,2.200347e-04,2.198506e-04,2.189292e-04,2.188186e-04,2.180076e-04,2.176023e-04,2.170867e-04,2.163878e-04,2.161673e-04,2.152502e-04,2.151770e-04,2.143361e-04,2.139715e-04,2.134257e-04,2.127727e-04,2.125195e-04,2.116181e-04,2.115822e-04,2.107221e-04,2.104009e-04,2.098318e-04,2.092300e-04,2.089478e-04,2.080703e-04,2.069228e-04,2.057881e-04,2.046668e-04,2.035596e-04,2.024669e-04,2.013891e-04,2.003266e-04,1.992796e-04,1.982484e-04,1.972332e-04,1.962341e-04,1.952513e-04,1.942848e-04,1.933346e-04,1.924008e-04,1.914833e-04,1.905822e-04,1.896973e-04,1.888285e-04,1.879759e-04,1.871392e-04,1.863183e-04,1.855131e-04,1.847234e-04
0.000000e+00,5.000606e-12,1.144839e-11,3.927213e-11,8.898449e-11,1.294399e-10,2.906849e-10,2.992818e-10,5.699445e-10,6.663999e-10,9.601091e-10,1.258450e-09,1.486080e-09,2.101919e-09,2.161768e-09,2.998546e-09,3.224356e-09,4.004936e-09,4.644687e-09,5.186114e-09,6.371138e-09,6.543202e-09,8.072416e-09,8.398187e-09,9.764294e-09,1.070347e-08,1.160345e-08,1.324722e-08,1.356931e-08,1.563788e-08,1.597669e-08,1.778387e-08,1.883414e-08,1.998262e-08,2.176413e-08,2.221121e-08,2.444893e-08,2.471718e-08,2.667743e-08,2.765083e-08,2.888063e-08,3.052950e-08,3.104460e-08,3.315745e-08,3.332396e-08,3.520917e-08,3.601084e-08,3.719151e-08,3.857208e-08,3.909788e-08,4.092314e-08,4.099441e-08,4.266354e-08,4.326878e-08,4.431651e-08,4.538979e-08,4.588056e-08,4.735511e-08,4.874037e-08,4.916492e-08,5.003723e-08,5.082147e-08,5.124712e-08,5.232855e-08,5.237194e-08,5.341394e-08,5.369120e-08,5.437566e-08,5.491530e-08,5.525986e-08,5.600734e-08,5.606943e-08,5.680738e-08,5.697417e-08,5.747678e-08,5.782286e-08,5.808073e-08,5.856052e-08,5.862232e-08,5.910461e-08,5.919422e-08,5.953062e-08,5.973088e-08,5.990329e-08,6.017722e-08,6.022550e-08,6.050005e-08,6.053973e-08,6.072964e-08,6.082464e-08,6.091687e-08,6.103786e-08,6.106427e-08,6.117425e-08,6.118505e-08,6.124912e-08,6.127152e-08,6.129110e-08,6.130231e-08,6.130230e-08,6.128475e-08,6.128216e-08,6.124036e-08,6.121551e-08,6.117098e-08,6.110653e-08,6.107834e-08,6.096411e-08,6.095911e-08,6.082986e-08,6.077692e-08,6.067708e-08,6.056332e-08,6.050718e-08,6.032151e-08,6.012133e-08,6.005440e-08,5.990784e-08,5.976474e-08,5.968217e-08,5.945507e-08,5.944540e-08,5.919853e-08,5.912773e-08,5.894251e-08,5.878489e-08,5.867825e-08,5.842857e-08,5.840659e-08,5.812831e-08,5.806063e-08,5.784418e-08,5.768277e-08,5.755489e-08,5.729657e-08,5.726109e-08,5.696342e-08,5.690347e-08,5.666245e-08,5.650482e-08,5.635872e-08,5.610183e-08,5.605274e-08,5.574500e-08,5.569562e-08,5.543592e-08,5.528721e-08,5.512592e-08,5.487753e-08,5.481540e-08,5.450471e-08,5.446744e-08,5.419419e-08,5.405769e-08,5.388414e-08,5.364901e-08,5.357486e-08,5.326662e-08,5.324201e-08,5.295965e-08,5.283727e-08,5.265418e-08,5.243530e-08,5.235044e-08,5.204860e-08,5.203657e-08,5.174885e-08,5.164148e-08,5.145135e-08,5.125041e-08,5.115625e-08,5.086368e-08,5.048158e-08,5.010436e-08,4.973223e-08,4.936538e-08,4.900398e-08,4.864816e-08,4.829803e-08,4.795368e-08,4.761518e-08,4.728258e-08,4.695591e-08,4.663521e-08,4.632047e-08,4.601170e-08,4.570888e-08,4.541197e-08,4.512096e-08,4.483578e-08,4.455641e-08,4.428277e-08,4.401481e-08,4.375246e-08,4.349565e-08,4.324430e-08
0.000000e+00,9.528605e-11,3.440940e-10,2.226259e-09,7.415730e-09,1.273374e-08,3.998568e-08,4.164557e-08,1.015213e-07,1.258146e-07,2.074185e-07,3.004673e-07,3.775057e-07,6.086953e-07,6.327528e-07,9.933303e-07,1.097200e-06,1.472062e-06,1.792806e-06,2.070616e-06,2.690839e-06,2.781763e-06,3.594248e-06,3.767860e-06,4.496357e-06,4.997274e-06,5.477396e-06,6.355463e-06,6.527829e-06,7.638930e-06,7.821780e-06,8.802427e-06,9.377144e-06,1.001026e-05,1.100310e-05,1.125448e-05,1.252731e-05,1.268161e-05,1.382115e-05,1.439522e-05,1.512877e-05,1.612755e-05,1.644333e-05,1.775854e-05,1.786360e-05,1.906866e-05,1.959011e-05,2.036858e-05,2.129565e-05,2.165379e-05,2.292039e-05,2.297062e-05,2.416508e-05,2.460724e-05,2.538506e-05,2.619935e-05,2.657806e-05,2.774226e-05,2.887619e-05,2.923247e-05,2.997877e-05,3.066758e-05,3.104918e-05,3.204604e-05,3.208691e-05,3.309165e-05,3.336705e-05,3.406331e-05,3.463043e-05,3.500192e-05,3.583641e-05,3.590767e-05,3.678085e-05,3.698561e-05,3.762185e-05,3.807893e-05,3.843114e-05,3.911749e-05,3.920923e-05,3.995670e-05,4.010257e-05,4.067416e-05,4.103559e-05,4.136225e-05,4.191804e-05,4.202165e-05,4.265302e-05,4.275148e-05,4.325707e-05,4.353751e-05,4.383448e-05,4.427772e-05,4.438598e-05,4.491225e-05,4.497375e-05,4.541401e-05,4.562720e-05,4.589195e-05,4.623968e-05,4.634676e-05,4.677913e-05,4.681277e-05,4.718973e-05,4.734802e-05,4.757923e-05,4.784698e-05,4.794829e-05,4.829755e-05,4.831111e-05,4.862764e-05,4.874190e-05,4.893919e-05,4.914076e-05,4.923280e-05,4.950906e-05,4.976857e-05,4.984817e-05,5.001189e-05,5.015937e-05,5.023957e-05,5.044394e-05,5.045216e-05,5.065019e-05,5.070310e-05,5.083417e-05,5.093802e-05,5.100460e-05,5.114986e-05,5.116198e-05,5.130678e-05,5.133971e-05,5.143947e-05,5.150865e-05,5.156049e-05,5.165768e-05,5.167028e-05,5.176928e-05,5.178782e-05,5.185789e-05,5.189999e-05,5.193652e-05,5.199513e-05,5.200555e-05,5.206537e-05,5.207411e-05,5.211634e-05,5.213778e-05,5.215883e-05,5.218694e-05,5.219317e-05,5.221970e-05,5.222238e-05,5.223875e-05,5.224484e-05,5.225063e-05,5.225505e-05,5.225564e-05,5.225409e-05,5.225369e-05,5.224625e-05,5.224141e-05,5.223240e-05,5.221886e-05,5.221282e-05,5.218775e-05,5.218664e-05,5.215745e-05,5.214531e-05,5.212217e-05,5.209545e-05,5.208213e-05,5.203757e-05,5.197218e-05,5.189976e-05,5.182078e-05,5.173567e-05,5.164486e-05,5.154875e-05,5.144772e-05,5.134213e-05,5.123233e-05,5.111865e-05,5.100141e-05,5.088090e-05,5.075742e-05,5.063122e-05,5.050257e-05,5.037172e-05,5.023889e-05,5.010430e-05,4.996817e-05,4.983069e-05,4.969205e-05,4.955242e-05,4.941198e-05,4.927088e-05
0.000000e+00,4.512369e-12,1.026877e-11,3.489680e-11,7.862184e-11,1.141502e-10,2.563447e-10,2.639700e-10,5.071239e-10,5.953549e-10,8.694314e-10,1.156126e-09,1.380240e-09,2.006952e-09,2.069214e-09,2.956189e-09,3.198608e-09,4.035515e-09,4.711073e-09,5.270104e-09,6.442737e-09,6.606808e-09,7.996807e-09,8.277792e-09,9.403853e-09,1.013361e-08,1.080294e-08,1.195919e-08,1.217674e-08,1.351281e-08,1.372242e-08,1.480183e-08,1.540173e-08,1.603681e-08,1.698233e-08,1.721253e-08,1.832529e-08,1.845447e-08,1.937277e-08,1.981264e-08,2.035382e-08,2.105490e-08,2.126835e-08,2.211716e-08,2.218227e-08,2.290177e-08,2.319809e-08,2.362426e-08,2.410741e-08,2.428718e-08,2.489343e-08,2.491654e-08,2.544610e-08,2.563259e-08,2.594849e-08,2.626298e-08,2.640370e-08,2.681491e-08,2.718521e-08,2.729557e-08,2.751763e-08,2.771182e-08,2.781503e-08,2.807015e-08,2.808017e-08,2.831559e-08,2.837651e-08,2.852369e-08,2.863638e-08,2.870672e-08,2.885475e-08,2.886675e-08,2.900570e-08,2.903611e-08,2.912535e-08,2.918453e-08,2.922732e-08,2.930363e-08,2.931312e-08,2.938413e-08,2.939667e-08,2.944162e-08,2.946656e-08,2.948675e-08,2.951588e-08,2.952058e-08,2.954408e-08,2.954695e-08,2.955816e-08,2.956181e-08,2.956363e-08,2.956231e-08,2.956123e-08,2.955167e-08,2.955007e-08,2.953555e-08,2.952654e-08,2.951347e-08,2.949303e-08,2.948595e-08,2.945348e-08,2.945068e-08,2.941651e-08,2.940055e-08,2.937543e-08,2.934354e-08,2.933064e-08,2.928247e-08,2.928048e-08,2.923126e-08,2.921213e-08,2.917728e-08,2.913914e-08,2.912081e-08,2.906211e-08,2.900139e-08,2.898157e-08,2.893888e-08,2.889802e-08,2.887477e-08,2.881188e-08,2.880924e-08,2.874245e-08,2.872355e-08,2.867457e-08,2.863338e-08,2.860574e-08,2.854169e-08,2.853609e-08,2.846574e-08,2.844876e-08,2.839480e-08,2.835487e-08,2.832339e-08,2.826023e-08,2.825160e-08,2.817951e-08,2.816507e-08,2.810722e-08,2.806958e-08,2.803480e-08,2.797393e-08,2.796233e-08,2.788986e-08,2.787828e-08,2.781747e-08,2.778277e-08,2.774521e-08,2.768753e-08,2.767313e-08,2.760129e-08,2.759268e-08,2.752972e-08,2.749833e-08,2.745847e-08,2.740455e-08,2.738758e-08,2.731708e-08,2.731146e-08,2.724701e-08,2.721910e-08,2.717739e-08,2.712757e-08,2.710826e-08,2.703965e-08,2.703691e-08,2.697156e-08,2.694719e-08,2.690403e-08,2.685844e-08,2.683708e-08,2.677072e-08,2.668407e-08,2.659851e-08,2.651407e-08,2.643079e-08,2.634867e-08,2.626775e-08,2.618803e-08,2.610952e-08,2.603224e-08,2.595620e-08,2.588139e-08,2.580782e-08,2.573550e-08,2.566441e-08,2.559457e-08,2.552596e-08,2.545858e-08,2.539243e-08,2.532749e-08,2.526376e-08,2.520123e-08,2.513989e-08,2.507972e-08,2.502073e-08
0.000000e+00,5.609014e-10,1.709698e-09,8.286718e-09,2.245979e-08,3.504794e-08,8.965844e-08,9.270032e-08,1.924894e-07,2.294648e-07,3.452637e-07,4.667928e-07,5.616586e-07,8.258662e-07,8.520554e-07,1.225972e-06,1.329005e-06,1.690425e-06,1.991124e-06,2.247590e-06,2.811804e-06,2.893822e-06,3.621426e-06,3.775914e-06,4.421314e-06,4.862822e-06,5.284499e-06,6.052191e-06,6.202382e-06,7.166632e-06,7.324666e-06,8.169069e-06,8.661436e-06,9.201652e-06,1.004414e-05,1.025654e-05,1.132621e-05,1.145522e-05,1.240355e-05,1.287830e-05,1.348198e-05,1.429861e-05,1.455551e-05,1.561879e-05,1.570326e-05,1.666710e-05,1.708131e-05,1.769641e-05,1.842381e-05,1.870330e-05,1.968492e-05,1.972363e-05,2.063899e-05,2.097535e-05,2.156371e-05,2.217503e-05,2.245770e-05,2.331999e-05,2.414992e-05,2.440861e-05,2.494715e-05,2.544015e-05,2.571155e-05,2.641458e-05,2.644322e-05,2.714241e-05,2.733241e-05,2.780952e-05,2.819461e-05,2.844509e-05,2.900246e-05,2.904971e-05,2.962407e-05,2.975750e-05,3.016891e-05,3.046142e-05,3.068501e-05,3.111605e-05,3.117319e-05,3.163428e-05,3.172332e-05,3.206913e-05,3.228517e-05,3.247860e-05,3.280357e-05,3.286355e-05,3.322483e-05,3.328049e-05,3.356328e-05,3.371788e-05,3.387975e-05,3.411765e-05,3.417506e-05,3.445003e-05,3.448169e-05,3.470544e-05,3.481182e-05,3.494207e-05,3.510982e-05,3.516068e-05,3.536202e-05,3.537741e-05,3.554681e-05,3.561624e-05,3.571573e-05,3.582793e-05,3.586949e-05,3.600873e-05,3.601400e-05,3.613410e-05,3.617595e-05,3.624621e-05,3.631519e-05,3.634568e-05,3.643308e-05,3.650897e-05,3.653091e-05,3.657390e-05,3.660994e-05,3.662838e-05,3.667134e-05,3.667294e-05,3.670805e-05,3.671625e-05,3.673419e-05,3.674575e-05,3.675180e-05,3.676086e-05,3.676133e-05,3.676320e-05,3.676255e-05,3.675781e-05,3.675176e-05,3.674555e-05,3.672937e-05,3.672679e-05,3.670189e-05,3.669621e-05,3.667120e-05,3.665307e-05,3.663506e-05,3.660071e-05,3.659377e-05,3.654764e-05,3.653983e-05,3.649697e-05,3.647112e-05,3.644204e-05,3.639520e-05,3.638311e-05,3.632044e-05,3.631269e-05,3.625429e-05,3.622414e-05,3.618488e-05,3.613010e-05,3.611245e-05,3.603720e-05,3.603107e-05,3.595935e-05,3.592753e-05,3.587909e-05,3.581993e-05,3.579662e-05,3.571211e-05,3.570868e-05,3.562573e-05,3.559420e-05,3.553764e-05,3.547685e-05,3.544801e-05,3.535699e-05,3.523494e-05,3.511101e-05,3.498549e-05,3.485866e-05,3.473076e-05,3.460203e-05,3.447270e-05,3.434296e-05,3.421301e-05,3.408303e-05,3.395318e-05,3.382362e-05,3.369449e-05,3.356591e-05,3.343801e-05,3.331090e-05,3.318468e-05,3.305945e-05,3.293529e-05,3.281228e-05,3.269049e-05,3.256999e-05,3.245082e-05,3.233306e-05
0.000000e+00,1.650070e-10,5.960089e-10,3.852173e-09,1.279293e-08,2.190874e-08,6.805737e-08,7.084187e-08,1.696425e-07,2.089334e-07,3.381514e-07,4.811647e-07,5.967494e-07,9.324520e-07,9.666599e-07,1.470170e-06,1.613432e-06,2.130025e-06,2.575828e-06,2.967158e-06,3.862428e-06,3.996301e-06,5.220673e-06,5.488225e-06,6.628816e-06,7.425873e-06,8.196038e-06,9.611623e-06,9.889654e-06,1.167493e-05,1.196685e-05,1.351933e-05,1.441716e-05,1.539459e-05,1.690100e-05,1.727710e-05,1.914756e-05,1.937043e-05,2.099020e-05,2.178874e-05,2.279215e-05,2.412789e-05,2.454292e-05,2.623403e-05,2.636653e-05,2.785871e-05,2.848875e-05,2.941169e-05,3.048321e-05,3.088909e-05,3.228821e-05,3.234252e-05,3.360746e-05,3.406269e-05,3.484620e-05,3.564262e-05,3.600462e-05,3.708364e-05,3.808477e-05,3.838900e-05,3.901001e-05,3.956344e-05,3.986177e-05,4.061283e-05,4.064275e-05,4.135586e-05,4.154378e-05,4.200418e-05,4.236339e-05,4.259088e-05,4.307897e-05,4.311916e-05,4.359224e-05,4.369791e-05,4.401328e-05,4.422749e-05,4.438539e-05,4.467478e-05,4.471160e-05,4.499483e-05,4.504657e-05,4.523790e-05,4.534932e-05,4.544350e-05,4.558913e-05,4.561420e-05,4.575245e-05,4.577171e-05,4.586055e-05,4.590238e-05,4.594069e-05,4.598607e-05,4.599495e-05,4.602526e-05,4.602738e-05,4.603346e-05,4.603050e-05,4.602126e-05,4.599933e-05,4.599026e-05,4.594198e-05,4.593742e-05,4.587783e-05,4.584802e-05,4.579912e-05,4.573413e-05,4.570708e-05,4.560287e-05,4.559846e-05,4.548755e-05,4.544351e-05,4.536213e-05,4.527154e-05,4.522753e-05,4.508462e-05,4.493421e-05,4.488462e-05,4.477705e-05,4.467325e-05,4.461384e-05,4.445207e-05,4.444523e-05,4.427182e-05,4.422248e-05,4.409416e-05,4.398576e-05,4.391279e-05,4.374306e-05,4.372818e-05,4.354079e-05,4.349544e-05,4.335101e-05,4.324385e-05,4.315925e-05,4.298914e-05,4.296586e-05,4.277117e-05,4.273210e-05,4.257548e-05,4.247342e-05,4.237907e-05,4.221373e-05,4.218221e-05,4.198513e-05,4.195359e-05,4.178806e-05,4.169353e-05,4.159120e-05,4.143400e-05,4.139475e-05,4.119886e-05,4.117540e-05,4.100371e-05,4.091811e-05,4.080944e-05,4.066246e-05,4.061617e-05,4.042404e-05,4.040872e-05,4.023316e-05,4.015718e-05,4.004362e-05,3.990804e-05,3.985552e-05,3.966895e-05,3.966152e-05,3.948397e-05,3.941778e-05,3.930066e-05,3.917700e-05,3.911908e-05,3.893929e-05,3.870477e-05,3.847354e-05,3.824568e-05,3.802127e-05,3.780036e-05,3.758298e-05,3.736919e-05,3.715899e-05,3.695241e-05,3.674946e-05,3.655014e-05,3.635443e-05,3.616233e-05,3.597383e-05,3.578890e-05,3.560752e-05,3.542966e-05,3.525529e-05,3.508438e-05,3.491688e-05,3.475276e-05,3.459198e-05,3.443449e-05,3.428025e-05
0.000000e+00,3.233796e-10,1.248119e-09,9.208649e-09,3.429384e-08,6.238810e-08,2.246880e-07,2.352328e-07,6.443779e-07,8.214731e-07,1.444306e-06,2.188593e-06,2.822474e-06,4.786059e-06,4.994535e-06,8.198647e-06,9.148945e-06,1.268448e-05,1.584707e-05,1.869203e-05,2.539952e-05,2.642369e-05,3.602168e-05,3.817286e-05,4.755883e-05,5.432894e-05,6.104114e-05,7.383278e-05,7.641642e-05,9.358483e-05,9.648944e-05,1.124089e-04,1.219846e-04,1.327222e-04,1.499193e-04,1.543367e-04,1.770494e-04,1.798387e-04,2.006474e-04,2.112551e-04,2.249133e-04,2.436680e-04,2.496293e-04,2.745815e-04,2.765817e-04,2.995637e-04,3.095206e-04,3.243801e-04,3.420426e-04,3.488488e-04,3.728035e-04,3.737488e-04,3.960950e-04,4.042919e-04,4.185928e-04,4.333802e-04,4.401853e-04,4.607798e-04,4.803023e-04,4.863135e-04,4.986969e-04,5.098586e-04,5.159241e-04,5.313421e-04,5.319605e-04,5.467968e-04,5.507360e-04,5.604362e-04,5.680509e-04,5.728931e-04,5.833292e-04,5.841911e-04,5.943621e-04,5.966396e-04,6.034442e-04,6.080705e-04,6.114808e-04,6.177257e-04,6.185192e-04,6.246096e-04,6.257185e-04,6.298040e-04,6.321685e-04,6.341554e-04,6.371980e-04,6.377170e-04,6.405417e-04,6.409287e-04,6.426814e-04,6.434800e-04,6.441867e-04,6.449672e-04,6.451066e-04,6.454882e-04,6.454999e-04,6.453763e-04,6.451819e-04,6.448139e-04,6.441100e-04,6.438413e-04,6.424966e-04,6.423740e-04,6.408156e-04,6.400566e-04,6.388317e-04,6.372334e-04,6.365762e-04,6.340782e-04,6.339736e-04,6.313646e-04,6.303397e-04,6.284603e-04,6.263882e-04,6.253883e-04,6.221699e-04,6.188246e-04,6.177303e-04,6.153703e-04,6.131099e-04,6.118233e-04,6.083450e-04,6.081987e-04,6.045102e-04,6.034677e-04,6.007703e-04,5.985064e-04,5.969903e-04,5.934862e-04,5.931805e-04,5.893504e-04,5.884291e-04,5.855084e-04,5.833545e-04,5.816621e-04,5.782794e-04,5.778186e-04,5.739839e-04,5.732186e-04,5.701638e-04,5.681847e-04,5.663632e-04,5.631891e-04,5.625866e-04,5.588380e-04,5.582411e-04,5.551210e-04,5.533490e-04,5.514387e-04,5.485197e-04,5.477939e-04,5.441890e-04,5.437592e-04,5.406263e-04,5.390725e-04,5.371074e-04,5.344635e-04,5.336341e-04,5.302076e-04,5.299356e-04,5.268292e-04,5.254915e-04,5.234997e-04,5.211332e-04,5.202199e-04,5.169905e-04,5.168624e-04,5.138119e-04,5.126801e-04,5.106844e-04,5.085870e-04,5.076083e-04,5.045836e-04,5.006699e-04,4.968456e-04,4.931105e-04,4.894637e-04,4.859046e-04,4.824322e-04,4.790453e-04,4.757428e-04,4.725235e-04,4.693859e-04,4.663286e-04,4.633501e-04,4.604490e-04,4.576237e-04,4.548726e-04,4.521941e-04,4.495866e-04,4.470486e-04,4.445783e-04,4.421743e-04,4.398350e-04,4.375587e-04,4.353439e-04,4.331891e-04
0.000000e+00,1.333585e-10,3.121722e-10,1.101541e-09,2.544674e-09,3.740038e-09,8.651859e-09,8.919779e-09,1.764150e-08,2.087780e-08,3.111689e-08,4.205432e-08,5.070866e-08,7.507842e-08,7.749768e-08,1.116860e-07,1.209347e-07,1.526855e-07,1.783287e-07,1.997272e-07,2.456205e-07,2.521845e-07,3.095795e-07,3.216152e-07,3.715119e-07,4.053837e-07,4.376010e-07,4.960419e-07,5.074545e-07,5.806553e-07,5.926488e-07,6.567598e-07,6.941856e-07,7.353038e-07,7.995758e-07,8.158114e-07,8.978058e-07,9.077227e-07,9.808180e-07,1.017548e-06,1.064395e-06,1.128028e-06,1.148111e-06,1.231568e-06,1.238223e-06,1.314406e-06,1.347293e-06,1.396297e-06,1.454512e-06,1.476957e-06,1.556134e-06,1.559268e-06,1.633616e-06,1.661059e-06,1.709223e-06,1.759488e-06,1.782807e-06,1.854251e-06,1.923464e-06,1.945128e-06,1.990375e-06,2.031968e-06,2.054939e-06,2.114683e-06,2.117124e-06,2.176918e-06,2.193230e-06,2.234316e-06,2.267611e-06,2.289334e-06,2.337869e-06,2.341995e-06,2.392327e-06,2.404063e-06,2.440364e-06,2.466278e-06,2.486149e-06,2.524614e-06,2.529729e-06,2.571151e-06,2.579181e-06,2.610468e-06,2.630098e-06,2.647733e-06,2.677491e-06,2.683003e-06,2.716334e-06,2.721490e-06,2.747783e-06,2.762228e-06,2.777409e-06,2.799835e-06,2.805268e-06,2.831418e-06,2.834444e-06,2.855916e-06,2.866186e-06,2.878817e-06,2.895189e-06,2.900178e-06,2.920052e-06,2.921579e-06,2.938493e-06,2.945481e-06,2.955555e-06,2.967013e-06,2.971287e-06,2.985740e-06,2.986293e-06,2.998964e-06,3.003433e-06,3.011007e-06,3.018545e-06,3.021914e-06,3.031733e-06,3.040506e-06,3.043099e-06,3.048276e-06,3.052743e-06,3.055087e-06,3.060759e-06,3.060977e-06,3.065987e-06,3.067237e-06,3.070155e-06,3.072266e-06,3.073517e-06,3.075930e-06,3.076110e-06,3.077967e-06,3.078308e-06,3.079124e-06,3.079478e-06,3.079612e-06,3.079513e-06,3.079462e-06,3.078706e-06,3.078484e-06,3.077371e-06,3.076459e-06,3.075488e-06,3.073501e-06,3.073082e-06,3.070180e-06,3.069672e-06,3.066808e-06,3.065030e-06,3.062990e-06,3.059631e-06,3.058750e-06,3.054111e-06,3.053528e-06,3.049094e-06,3.046772e-06,3.043721e-06,3.039411e-06,3.038011e-06,3.031986e-06,3.031491e-06,3.025662e-06,3.023054e-06,3.019059e-06,3.014142e-06,3.012194e-06,3.005084e-06,3.004794e-06,2.997744e-06,2.995048e-06,2.990190e-06,2.984938e-06,2.982436e-06,2.974498e-06,2.963759e-06,2.952751e-06,2.941503e-06,2.930040e-06,2.918389e-06,2.906572e-06,2.894612e-06,2.882531e-06,2.870347e-06,2.858080e-06,2.845748e-06,2.833366e-06,2.820950e-06,2.808515e-06,2.796075e-06,2.783641e-06,2.771225e-06,2.758839e-06,2.746494e-06,2.734198e-06,2.721960e-06,2.709789e-06,2.697692e-06,2.685677e-06
0.000000e+00,5.064594e-11,1.187843e-10,4.201872e-10,9.726497e-10,1.431400e-09,3.325739e-09,3.429458e-09,6.824088e-09,8.091284e-09,1.211969e-08,1.644319e-08,1.987015e-08,2.950313e-08,3.045602e-08,4.382291e-08,4.740428e-08,5.958603e-08,6.930274e-08,7.733342e-08,9.433718e-08,9.674608e-08,1.175800e-07,1.218988e-07,1.396287e-07,1.515103e-07,1.627007e-07,1.827352e-07,1.866092e-07,2.111711e-07,2.151497e-07,2.362085e-07,2.483450e-07,2.615516e-07,2.819398e-07,2.870427e-07,3.125375e-07,3.155908e-07,3.379077e-07,3.490015e-07,3.630408e-07,3.819231e-07,3.878399e-07,4.122235e-07,4.141542e-07,4.361245e-07,4.455371e-07,4.594882e-07,4.759529e-07,4.822717e-07,5.044418e-07,5.053154e-07,5.259741e-07,5.335660e-07,5.468514e-07,5.606680e-07,5.670627e-07,5.866023e-07,6.054687e-07,6.113640e-07,6.236641e-07,6.349592e-07,6.411935e-07,6.574016e-07,6.580639e-07,6.742844e-07,6.787111e-07,6.898655e-07,6.989122e-07,7.048190e-07,7.180327e-07,7.191575e-07,7.328942e-07,7.361030e-07,7.460431e-07,7.531550e-07,7.586184e-07,7.692216e-07,7.706345e-07,7.821062e-07,7.843365e-07,7.930482e-07,7.985335e-07,8.034751e-07,8.118466e-07,8.134018e-07,8.228429e-07,8.243093e-07,8.318127e-07,8.359551e-07,8.403257e-07,8.468166e-07,8.483959e-07,8.560373e-07,8.569261e-07,8.632635e-07,8.663149e-07,8.700879e-07,8.750138e-07,8.765237e-07,8.825838e-07,8.830528e-07,8.882808e-07,8.904607e-07,8.936271e-07,8.972659e-07,8.986346e-07,9.033151e-07,9.034957e-07,9.076802e-07,9.091765e-07,9.117409e-07,9.143339e-07,9.155082e-07,9.189926e-07,9.222045e-07,9.231764e-07,9.251538e-07,9.269081e-07,9.278504e-07,9.302100e-07,9.303036e-07,9.325227e-07,9.331034e-07,9.345167e-07,9.356085e-07,9.362940e-07,9.377452e-07,9.378633e-07,9.392325e-07,9.395323e-07,9.404097e-07,9.409878e-07,9.414024e-07,9.421293e-07,9.422181e-07,9.428639e-07,9.429733e-07,9.433468e-07,9.435358e-07,9.436736e-07,9.438322e-07,9.438507e-07,9.438845e-07,9.438771e-07,9.437811e-07,9.436844e-07,9.435463e-07,9.432677e-07,9.431859e-07,9.427053e-07,9.426398e-07,9.421099e-07,9.418129e-07,9.414048e-07,9.407987e-07,9.405951e-07,9.396855e-07,9.396085e-07,9.386806e-07,9.382530e-07,9.375849e-07,9.367423e-07,9.364028e-07,9.351384e-07,9.350862e-07,9.337958e-07,9.332940e-07,9.323788e-07,9.313746e-07,9.308911e-07,9.293365e-07,9.271876e-07,9.249357e-07,9.225881e-07,9.201517e-07,9.176332e-07,9.150388e-07,9.123746e-07,9.096464e-07,9.068594e-07,9.040188e-07,9.011297e-07,8.981965e-07,8.952237e-07,8.922155e-07,8.891759e-07,8.861087e-07,8.830173e-07,8.799052e-07,8.767756e-07,8.736316e-07,8.704759e-07,8.673113e-07,8.641403e-07,8.609654e-07
0.000000e+00,1.200243e-10,2.995732e-10,1.134016e-09,2.711827e-09,4.040002e-09,9.589632e-09,9.895129e-09,1.993365e-08,2.369182e-08,3.564701e-08,4.845309e-08,5.855997e-08,8.671671e-08,8.948479e-08,1.281974e-07,1.385801e-07,1.741069e-07,2.027787e-07,2.267460e-07,2.783754e-07,2.857896e-07,3.509602e-07,3.647043e-07,4.219615e-07,4.610736e-07,4.984463e-07,5.666354e-07,5.800081e-07,6.661855e-07,6.803690e-07,7.564739e-07,8.011167e-07,8.503401e-07,9.276418e-07,9.472375e-07,1.046621e-06,1.058689e-06,1.147960e-06,1.193037e-06,1.250747e-06,1.329541e-06,1.354508e-06,1.458804e-06,1.467159e-06,1.563239e-06,1.604970e-06,1.667455e-06,1.742176e-06,1.771136e-06,1.874008e-06,1.878102e-06,1.975829e-06,2.012186e-06,2.076394e-06,2.143971e-06,2.175530e-06,2.273090e-06,2.368953e-06,2.399254e-06,2.463020e-06,2.522243e-06,2.555211e-06,2.641891e-06,2.645463e-06,2.733728e-06,2.758080e-06,2.819969e-06,2.870731e-06,2.904161e-06,2.979795e-06,2.986289e-06,3.066344e-06,3.085248e-06,3.144325e-06,3.187091e-06,3.220238e-06,3.285336e-06,3.294090e-06,3.365897e-06,3.380014e-06,3.435675e-06,3.471164e-06,3.503444e-06,3.558835e-06,3.569228e-06,3.633051e-06,3.643083e-06,3.694940e-06,3.723969e-06,3.754924e-06,3.801559e-06,3.813032e-06,3.869295e-06,3.875924e-06,3.923744e-06,3.947135e-06,3.976411e-06,4.015266e-06,4.027328e-06,4.076530e-06,4.080393e-06,4.124050e-06,4.142594e-06,4.169920e-06,4.201944e-06,4.214175e-06,4.256848e-06,4.258523e-06,4.297973e-06,4.312406e-06,4.337584e-06,4.363672e-06,4.375714e-06,4.412396e-06,4.447664e-06,4.458656e-06,4.481550e-06,4.502526e-06,4.514086e-06,4.544080e-06,4.545304e-06,4.575237e-06,4.583392e-06,4.603915e-06,4.620533e-06,4.631370e-06,4.655575e-06,4.657632e-06,4.682731e-06,4.688585e-06,4.706697e-06,4.719634e-06,4.729558e-06,4.748786e-06,4.751344e-06,4.772083e-06,4.776108e-06,4.791802e-06,4.801662e-06,4.810529e-06,4.825512e-06,4.828290e-06,4.845112e-06,4.847718e-06,4.861021e-06,4.868340e-06,4.876041e-06,4.887434e-06,4.890197e-06,4.903515e-06,4.905057e-06,4.916016e-06,4.921265e-06,4.927726e-06,4.936110e-06,4.938667e-06,4.948860e-06,4.949644e-06,4.958328e-06,4.961917e-06,4.967093e-06,4.972979e-06,4.975174e-06,4.982594e-06,4.982877e-06,4.989370e-06,4.991657e-06,4.995525e-06,4.999363e-06,5.001075e-06,5.006040e-06,5.011730e-06,5.016472e-06,5.020307e-06,5.023273e-06,5.025407e-06,5.026745e-06,5.027322e-06,5.027171e-06,5.026324e-06,5.024814e-06,5.022670e-06,5.019921e-06,5.016597e-06,5.012725e-06,5.008330e-06,5.003439e-06,4.998076e-06,4.992264e-06,4.986028e-06,4.979388e-06,4.972366e-06,4.964983e-06,4.957258e-06,4.949211e-06
0.000000e+00,1.050232e-10,2.491389e-10,8.918089e-10,2.075036e-09,3.058946e-09,7.122862e-09,7.345258e-09,1.460525e-08,1.729950e-08,2.575970e-08,3.459968e-08,4.141426e-08,5.983141e-08,6.160982e-08,8.616319e-08,9.268715e-08,1.149304e-07,1.328426e-07,1.478097e-07,1.800582e-07,1.846906e-07,2.254209e-07,2.340115e-07,2.697915e-07,2.942163e-07,3.175347e-07,3.600116e-07,3.683291e-07,4.218097e-07,4.305897e-07,4.775786e-07,5.050384e-07,5.352189e-07,5.823942e-07,5.943076e-07,6.544267e-07,6.616909e-07,7.151736e-07,7.420019e-07,7.761668e-07,8.224685e-07,8.370544e-07,8.975217e-07,9.023323e-07,9.572890e-07,9.809439e-07,1.016111e-06,1.057760e-06,1.073780e-06,1.130119e-06,1.132343e-06,1.184985e-06,1.204353e-06,1.238262e-06,1.273536e-06,1.289861e-06,1.339714e-06,1.387776e-06,1.402773e-06,1.434017e-06,1.462649e-06,1.478423e-06,1.519323e-06,1.520990e-06,1.561729e-06,1.572810e-06,1.600656e-06,1.623153e-06,1.637796e-06,1.670411e-06,1.673178e-06,1.706838e-06,1.714665e-06,1.738815e-06,1.756001e-06,1.769148e-06,1.794517e-06,1.797883e-06,1.825062e-06,1.830316e-06,1.850733e-06,1.863501e-06,1.874942e-06,1.894181e-06,1.897734e-06,1.919158e-06,1.922462e-06,1.939258e-06,1.948450e-06,1.958081e-06,1.972250e-06,1.975672e-06,1.992076e-06,1.993966e-06,2.007335e-06,2.013698e-06,2.021493e-06,2.031543e-06,2.034592e-06,2.046672e-06,2.047596e-06,2.057774e-06,2.061949e-06,2.067935e-06,2.074690e-06,2.077193e-06,2.085586e-06,2.085904e-06,2.093148e-06,2.095673e-06,2.099914e-06,2.104077e-06,2.105917e-06,2.111189e-06,2.115762e-06,2.117083e-06,2.119666e-06,2.121827e-06,2.122931e-06,2.125489e-06,2.125583e-06,2.127652e-06,2.128130e-06,2.129163e-06,2.129812e-06,2.130141e-06,2.130591e-06,2.130611e-06,2.130596e-06,2.130523e-06,2.130120e-06,2.129660e-06,2.129205e-06,2.128052e-06,2.127871e-06,2.126138e-06,2.125746e-06,2.124028e-06,2.122787e-06,2.121557e-06,2.119218e-06,2.118746e-06,2.115610e-06,2.115079e-06,2.112167e-06,2.110410e-06,2.108433e-06,2.105247e-06,2.104424e-06,2.100154e-06,2.099625e-06,2.095638e-06,2.093576e-06,2.090889e-06,2.087132e-06,2.085921e-06,2.080746e-06,2.080324e-06,2.075377e-06,2.073178e-06,2.069825e-06,2.065721e-06,2.064102e-06,2.058218e-06,2.057979e-06,2.052183e-06,2.049976e-06,2.046008e-06,2.041734e-06,2.039702e-06,2.033274e-06,2.024616e-06,2.015780e-06,2.006783e-06,1.997642e-06,1.988373e-06,1.978992e-06,1.969512e-06,1.959948e-06,1.950310e-06,1.940611e-06,1.930863e-06,1.921076e-06,1.911259e-06,1.901421e-06,1.891572e-06,1.881720e-06,1.871871e-06,1.862033e-06,1.852213e-06,1.842417e-06,1.832650e-06,1.822918e-06,1.813226e-06,1.803578e-06
0.000000e+00,1.744917e-10,6.820631e-10,5.167547e-09,1.971994e-08,3.636175e-08,1.356189e-07,1.421863e-07,4.032842e-07,5.189902e-07,9.342568e-07,1.442689e-06,1.883332e-06,3.279937e-06,3.430447e-06,5.782849e-06,6.492136e-06,9.166735e-06,1.159937e-05,1.381566e-05,1.913550e-05,1.995889e-05,2.781208e-05,2.960551e-05,3.757045e-05,4.345522e-05,4.940382e-05,6.105136e-05,6.345304e-05,7.982731e-05,8.266850e-05,9.860238e-05,1.084806e-04,1.198195e-04,1.385571e-04,1.434853e-04,1.695721e-04,1.728627e-04,1.980196e-04,2.112619e-04,2.287366e-04,2.535272e-04,2.616042e-04,2.964783e-04,2.993501e-04,3.331940e-04,3.483556e-04,3.715690e-04,4.001170e-04,4.114076e-04,4.525050e-04,4.541722e-04,4.946510e-04,5.100393e-04,5.376332e-04,5.672313e-04,5.812413e-04,6.252689e-04,6.695168e-04,6.836912e-04,7.137947e-04,7.420650e-04,7.579233e-04,7.999909e-04,8.017354e-04,8.450769e-04,8.571088e-04,8.878076e-04,9.130996e-04,9.298010e-04,9.676872e-04,9.709450e-04,1.011141e-03,1.020638e-03,1.050305e-03,1.071759e-03,1.088365e-03,1.120897e-03,1.125261e-03,1.160946e-03,1.167934e-03,1.195382e-03,1.212786e-03,1.228542e-03,1.255397e-03,1.260408e-03,1.290971e-03,1.295739e-03,1.320227e-03,1.333807e-03,1.348182e-03,1.369615e-03,1.374845e-03,1.400231e-03,1.403193e-03,1.424361e-03,1.434586e-03,1.447257e-03,1.463849e-03,1.468946e-03,1.489456e-03,1.491047e-03,1.508821e-03,1.516253e-03,1.527071e-03,1.539542e-03,1.544243e-03,1.560371e-03,1.560995e-03,1.575491e-03,1.580695e-03,1.589640e-03,1.598725e-03,1.602854e-03,1.615169e-03,1.626622e-03,1.630111e-03,1.637249e-03,1.643633e-03,1.647085e-03,1.655815e-03,1.656164e-03,1.664520e-03,1.666734e-03,1.672186e-03,1.676468e-03,1.679194e-03,1.685088e-03,1.685576e-03,1.691362e-03,1.692665e-03,1.696581e-03,1.699266e-03,1.701261e-03,1.704956e-03,1.705430e-03,1.709114e-03,1.709795e-03,1.712339e-03,1.713842e-03,1.715128e-03,1.717151e-03,1.717505e-03,1.719493e-03,1.719776e-03,1.721112e-03,1.721765e-03,1.722385e-03,1.723166e-03,1.723330e-03,1.723965e-03,1.724022e-03,1.724311e-03,1.724375e-03,1.724382e-03,1.724264e-03,1.724197e-03,1.723770e-03,1.723726e-03,1.723116e-03,1.722795e-03,1.722251e-03,1.721503e-03,1.721186e-03,1.719936e-03,1.719883e-03,1.718513e-03,1.717960e-03,1.716928e-03,1.715763e-03,1.715192e-03,1.713317e-03,1.710644e-03,1.707766e-03,1.704705e-03,1.701478e-03,1.698105e-03,1.694600e-03,1.690980e-03,1.687259e-03,1.683450e-03,1.679566e-03,1.675618e-03,1.671617e-03,1.667573e-03,1.663495e-03,1.659392e-03,1.655270e-03,1.651139e-03,1.647003e-03,1.642870e-03,1.638746e-03,1.634634e-03,1.630541e-03,1.626470e-03,1.622425e-03
0.000000e+00,7.873396e-12,1.795553e-11,6.152842e-11,1.405471e-10,2.062493e-10,4.816460e-10,4.969415e-10,1.008857e-09,1.204535e-09,1.835584e-09,2.515275e-09,3.047038e-09,4.480204e-09,4.616482e-09,6.431712e-09,6.890890e-09,8.382545e-09,9.505920e-09,1.039659e-08,1.218565e-08,1.242954e-08,1.445176e-08,1.485285e-08,1.644078e-08,1.745573e-08,1.837826e-08,1.995469e-08,2.024897e-08,2.204050e-08,2.231912e-08,2.374327e-08,2.452696e-08,2.535042e-08,2.656433e-08,2.685765e-08,2.826273e-08,2.842445e-08,2.956558e-08,3.010683e-08,3.076786e-08,3.161602e-08,3.187238e-08,3.288290e-08,3.295981e-08,3.380384e-08,3.414820e-08,3.464000e-08,3.519235e-08,3.539640e-08,3.607812e-08,3.610391e-08,3.669019e-08,3.689443e-08,3.723751e-08,3.757511e-08,3.772479e-08,3.815652e-08,3.853694e-08,3.864850e-08,3.887003e-08,3.906009e-08,3.915951e-08,3.939960e-08,3.940885e-08,3.962127e-08,3.967454e-08,3.979975e-08,3.989171e-08,3.994706e-08,4.005724e-08,4.006574e-08,4.015815e-08,4.017666e-08,4.022645e-08,4.025492e-08,4.027265e-08,4.029648e-08,4.029858e-08,4.030595e-08,4.030533e-08,4.029631e-08,4.028506e-08,4.027110e-08,4.023887e-08,4.023165e-08,4.017918e-08,4.016965e-08,4.011481e-08,4.007999e-08,4.003957e-08,3.997221e-08,3.995444e-08,3.986027e-08,3.984840e-08,3.975789e-08,3.971043e-08,3.964804e-08,3.955998e-08,3.953141e-08,3.940864e-08,3.939858e-08,3.928033e-08,3.922757e-08,3.914701e-08,3.904820e-08,3.900918e-08,3.886732e-08,3.886157e-08,3.872185e-08,3.866867e-08,3.857317e-08,3.847042e-08,3.842164e-08,3.826761e-08,3.811138e-08,3.806098e-08,3.795326e-08,3.785119e-08,3.779351e-08,3.763885e-08,3.763238e-08,3.747011e-08,3.742450e-08,3.730690e-08,3.720861e-08,3.714296e-08,3.699164e-08,3.697847e-08,3.681360e-08,3.677399e-08,3.664850e-08,3.655601e-08,3.648333e-08,3.633803e-08,3.631823e-08,3.615330e-08,3.612035e-08,3.598868e-08,3.590323e-08,3.582446e-08,3.568691e-08,3.566076e-08,3.549765e-08,3.547161e-08,3.533522e-08,3.525753e-08,3.517356e-08,3.504483e-08,3.501273e-08,3.485280e-08,3.483368e-08,3.469384e-08,3.462421e-08,3.453588e-08,3.441655e-08,3.437900e-08,3.422323e-08,3.421082e-08,3.406862e-08,3.400711e-08,3.391521e-08,3.380551e-08,3.376303e-08,3.361212e-08,3.360611e-08,3.346250e-08,3.340896e-08,3.331420e-08,3.321412e-08,3.316724e-08,3.302165e-08,3.283159e-08,3.264399e-08,3.245886e-08,3.227623e-08,3.209613e-08,3.191857e-08,3.174356e-08,3.157110e-08,3.140121e-08,3.123387e-08,3.106909e-08,3.090686e-08,3.074717e-08,3.059000e-08,3.043536e-08,3.028321e-08,3.013354e-08,2.998634e-08,2.984158e-08,2.969924e-08,2.955930e-08,2.942174e-08,2.928653e-08,2.915364e-08
0.000000e+00,2.484147e-10,8.203284e-10,4.498162e-09,1.315527e-08,2.118400e-08,5.746716e-08,5.952859e-08,1.284032e-07,1.543709e-07,2.368062e-07,3.248085e-07,3.943936e-07,5.915188e-07,6.112792e-07,8.962390e-07,9.753220e-07,1.252700e-06,1.481651e-06,1.674375e-06,2.086857e-06,2.145306e-06,2.645425e-06,2.747278e-06,3.156557e-06,3.421960e-06,3.664976e-06,4.082902e-06,4.161180e-06,4.638742e-06,4.713107e-06,5.093277e-06,5.302350e-06,5.521776e-06,5.844448e-06,5.922224e-06,6.293379e-06,6.335915e-06,6.634650e-06,6.775315e-06,6.946000e-06,7.162868e-06,7.227865e-06,7.481070e-06,7.500120e-06,7.706750e-06,7.789616e-06,7.906275e-06,8.034591e-06,8.081174e-06,8.233088e-06,8.238711e-06,8.363711e-06,8.405849e-06,8.474733e-06,8.539880e-06,8.567813e-06,8.644556e-06,8.706489e-06,8.723416e-06,8.755045e-06,8.779725e-06,8.791566e-06,8.816453e-06,8.817289e-06,8.833354e-06,8.836266e-06,8.840802e-06,8.841532e-06,8.840579e-06,8.834340e-06,8.833546e-06,8.820477e-06,8.816521e-06,8.802072e-06,8.789672e-06,8.778961e-06,8.755181e-06,8.751710e-06,8.720824e-06,8.714252e-06,8.686759e-06,8.667926e-06,8.649921e-06,8.617102e-06,8.610675e-06,8.569345e-06,8.562559e-06,8.526224e-06,8.504968e-06,8.481573e-06,8.444907e-06,8.435624e-06,8.388586e-06,8.382877e-06,8.340646e-06,8.319311e-06,8.291972e-06,8.254580e-06,8.242712e-06,8.193002e-06,8.189009e-06,8.142960e-06,8.122876e-06,8.092695e-06,8.056421e-06,8.042303e-06,7.991870e-06,7.989853e-06,7.941474e-06,7.923353e-06,7.891183e-06,7.857077e-06,7.841059e-06,7.791158e-06,7.741528e-06,7.725712e-06,7.692215e-06,7.660838e-06,7.643255e-06,7.596621e-06,7.594686e-06,7.546537e-06,7.533135e-06,7.498836e-06,7.470440e-06,7.451607e-06,7.408591e-06,7.404870e-06,7.358646e-06,7.347630e-06,7.312948e-06,7.287594e-06,7.267793e-06,7.228513e-06,7.223190e-06,7.179151e-06,7.170412e-06,7.135684e-06,7.113309e-06,7.092795e-06,7.057220e-06,7.050491e-06,7.008775e-06,7.002156e-06,6.967651e-06,6.948122e-06,6.927121e-06,6.895125e-06,6.887185e-06,6.847845e-06,6.843164e-06,6.809100e-06,6.792240e-06,6.770948e-06,6.742348e-06,6.733388e-06,6.696417e-06,6.693484e-06,6.660032e-06,6.645642e-06,6.624230e-06,6.598812e-06,6.589007e-06,6.554359e-06,6.552985e-06,6.520281e-06,6.508151e-06,6.486767e-06,6.464298e-06,6.453814e-06,6.421414e-06,6.379486e-06,6.338499e-06,6.298440e-06,6.259294e-06,6.221045e-06,6.183679e-06,6.147180e-06,6.111532e-06,6.076720e-06,6.042726e-06,6.009536e-06,5.977133e-06,5.945500e-06,5.914624e-06,5.884486e-06,5.855073e-06,5.826367e-06,5.798354e-06,5.771019e-06,5.744346e-06,5.718321e-06,5.692928e-06,5.668153e-06,5.643983e-06
0.000000e+00,2.770902e-10,1.059454e-09,7.671827e-09,2.811876e-08,5.073566e-08,1.792649e-07,1.875459e-07,5.060542e-07,6.429788e-07,1.122771e-06,1.694794e-06,2.181781e-06,3.690660e-06,3.850833e-06,6.307162e-06,7.032537e-06,9.713440e-06,1.208525e-05,1.419745e-05,1.910385e-05,1.984483e-05,2.670209e-05,2.822046e-05,3.478340e-05,3.946650e-05,4.407734e-05,5.279862e-05,5.455213e-05,6.615949e-05,6.811780e-05,7.883744e-05,8.528196e-05,9.251259e-05,1.041154e-04,1.071022e-04,1.225164e-04,1.244170e-04,1.386600e-04,1.459690e-04,1.554350e-04,1.685453e-04,1.727424e-04,1.904842e-04,1.919194e-04,2.085649e-04,2.158716e-04,2.268935e-04,2.401949e-04,2.453837e-04,2.639558e-04,2.646993e-04,2.825363e-04,2.892144e-04,3.010589e-04,3.135906e-04,3.194642e-04,3.376996e-04,3.557193e-04,3.614333e-04,3.734835e-04,3.847026e-04,3.909584e-04,4.074356e-04,4.081155e-04,4.249312e-04,4.295758e-04,4.413864e-04,4.510798e-04,4.574655e-04,4.719160e-04,4.731568e-04,4.884514e-04,4.920623e-04,5.033430e-04,5.115048e-04,5.178277e-04,5.302361e-04,5.319036e-04,5.455704e-04,5.482547e-04,5.588292e-04,5.655633e-04,5.716825e-04,5.821684e-04,5.841337e-04,5.961872e-04,5.980791e-04,6.078479e-04,6.133073e-04,6.191217e-04,6.278662e-04,6.300146e-04,6.405332e-04,6.417706e-04,6.506844e-04,6.550364e-04,6.604754e-04,6.676802e-04,6.699136e-04,6.790064e-04,6.797191e-04,6.877616e-04,6.911708e-04,6.961868e-04,7.020530e-04,7.042898e-04,7.120783e-04,7.123834e-04,7.195602e-04,7.221801e-04,7.267431e-04,7.314607e-04,7.336348e-04,7.402429e-04,7.465748e-04,7.485440e-04,7.526382e-04,7.563812e-04,7.584404e-04,7.637714e-04,7.639886e-04,7.692900e-04,7.707312e-04,7.743518e-04,7.772766e-04,7.791807e-04,7.834237e-04,7.837837e-04,7.881675e-04,7.891877e-04,7.923385e-04,7.945838e-04,7.963033e-04,7.996267e-04,8.000682e-04,8.036392e-04,8.043307e-04,8.070225e-04,8.087096e-04,8.102239e-04,8.127769e-04,8.132493e-04,8.161043e-04,8.165457e-04,8.187944e-04,8.200287e-04,8.213250e-04,8.232381e-04,8.237013e-04,8.259285e-04,8.261860e-04,8.280115e-04,8.288837e-04,8.299553e-04,8.313424e-04,8.317646e-04,8.334440e-04,8.335728e-04,8.349980e-04,8.355854e-04,8.364310e-04,8.373902e-04,8.377472e-04,8.389509e-04,8.389968e-04,8.400461e-04,8.404145e-04,8.410366e-04,8.416524e-04,8.419264e-04,8.427192e-04,8.436231e-04,8.443722e-04,8.449743e-04,8.454368e-04,8.457668e-04,8.459712e-04,8.460566e-04,8.460295e-04,8.458958e-04,8.456614e-04,8.453320e-04,8.449130e-04,8.444094e-04,8.438263e-04,8.431685e-04,8.424404e-04,8.416464e-04,8.407907e-04,8.398773e-04,8.389100e-04,8.378925e-04,8.368282e-04,8.357206e-04,8.345727e-04
0.000000e+00,7.395036e-12,1.700324e-11,5.841239e-11,1.320676e-10,1.917564e-10,4.280933e-10,4.406377e-10,8.334638e-10,9.726406e-10,1.394431e-09,1.820366e-09,2.143970e-09,3.014688e-09,3.098989e-09,4.272788e-09,4.588171e-09,5.674490e-09,6.560630e-09,7.307737e-09,8.933668e-09,9.168649e-09,1.124376e-08,1.168258e-08,1.350951e-08,1.475279e-08,1.593441e-08,1.806843e-08,1.848304e-08,2.111978e-08,2.154755e-08,2.381092e-08,2.511282e-08,2.652561e-08,2.869546e-08,2.923594e-08,3.191695e-08,3.223562e-08,3.454652e-08,3.568216e-08,3.710534e-08,3.899247e-08,3.957690e-08,4.194740e-08,4.213233e-08,4.420571e-08,4.507562e-08,4.634324e-08,4.780390e-08,4.835379e-08,5.023333e-08,5.030575e-08,5.197982e-08,5.257589e-08,5.359297e-08,5.461429e-08,5.507396e-08,5.642523e-08,5.765029e-08,5.801634e-08,5.875345e-08,5.939776e-08,5.973965e-08,6.058139e-08,6.061431e-08,6.138316e-08,6.158028e-08,6.205211e-08,6.240803e-08,6.262717e-08,6.307844e-08,6.311432e-08,6.351947e-08,6.360515e-08,6.384839e-08,6.400137e-08,6.410665e-08,6.427975e-08,6.429963e-08,6.443245e-08,6.445223e-08,6.450999e-08,6.453001e-08,6.453686e-08,6.452346e-08,6.451740e-08,6.445569e-08,6.444216e-08,6.435555e-08,6.429488e-08,6.422053e-08,6.408965e-08,6.405396e-08,6.385892e-08,6.383374e-08,6.363826e-08,6.353375e-08,6.339465e-08,6.319565e-08,6.313051e-08,6.284812e-08,6.282481e-08,6.254955e-08,6.242603e-08,6.223673e-08,6.200366e-08,6.191141e-08,6.157522e-08,6.156156e-08,6.122964e-08,6.110319e-08,6.087603e-08,6.063164e-08,6.051565e-08,6.014964e-08,5.977904e-08,5.965963e-08,5.940480e-08,5.916379e-08,5.902780e-08,5.866403e-08,5.864884e-08,5.826862e-08,5.816203e-08,5.788782e-08,5.765931e-08,5.750702e-08,5.715716e-08,5.712677e-08,5.674755e-08,5.665675e-08,5.636982e-08,5.615908e-08,5.599396e-08,5.566504e-08,5.562033e-08,5.524927e-08,5.517539e-08,5.488106e-08,5.469080e-08,5.451595e-08,5.421183e-08,5.415418e-08,5.379595e-08,5.373897e-08,5.344144e-08,5.327264e-08,5.309080e-08,5.281318e-08,5.274418e-08,5.240170e-08,5.236088e-08,5.206345e-08,5.191598e-08,5.172952e-08,5.147867e-08,5.139999e-08,5.107491e-08,5.104910e-08,5.075434e-08,5.062738e-08,5.043830e-08,5.021359e-08,5.012684e-08,4.981995e-08,4.980777e-08,4.951767e-08,4.940997e-08,4.921998e-08,4.902017e-08,4.892688e-08,4.863836e-08,4.826451e-08,4.789856e-08,4.754045e-08,4.719010e-08,4.684744e-08,4.651236e-08,4.618476e-08,4.586454e-08,4.555158e-08,4.524575e-08,4.494696e-08,4.465505e-08,4.436992e-08,4.409142e-08,4.381944e-08,4.355383e-08,4.329447e-08,4.304123e-08,4.279398e-08,4.255258e-08,4.231691e-08,4.208684e-08,4.186224e-08,4.164299e-08
0.000000e+00,2.619300e-10,1.017792e-09,7.616377e-09,2.873787e-08,5.266157e-08,1.932936e-07,2.025226e-07,5.654902e-07,7.246898e-07,1.291091e-06,1.977518e-06,2.568188e-06,4.423651e-06,4.622511e-06,7.713531e-06,8.641105e-06,1.212854e-05,1.529195e-05,1.816996e-05,2.506739e-05,2.613368e-05,3.628266e-05,3.859413e-05,4.882487e-05,5.634213e-05,6.390099e-05,7.857684e-05,8.158173e-05,1.018719e-04,1.053576e-04,1.247173e-04,1.365619e-04,1.500138e-04,1.719187e-04,1.776151e-04,2.073413e-04,2.110417e-04,2.389860e-04,2.534598e-04,2.723233e-04,2.986446e-04,3.071137e-04,3.431099e-04,3.460342e-04,3.800619e-04,3.950545e-04,4.177213e-04,4.451375e-04,4.558453e-04,4.942005e-04,4.957363e-04,5.325650e-04,5.463381e-04,5.707315e-04,5.964732e-04,6.085084e-04,6.457214e-04,6.822140e-04,6.937164e-04,7.178478e-04,7.401466e-04,7.525028e-04,7.847552e-04,7.860763e-04,8.184829e-04,8.273379e-04,8.496534e-04,8.677391e-04,8.795334e-04,9.058486e-04,9.080829e-04,9.352745e-04,9.415964e-04,9.610924e-04,9.749479e-04,9.855311e-04,1.005899e-03,1.008594e-03,1.030294e-03,1.034471e-03,1.050648e-03,1.060708e-03,1.069681e-03,1.084669e-03,1.087422e-03,1.103905e-03,1.106428e-03,1.119167e-03,1.126070e-03,1.133246e-03,1.143685e-03,1.146183e-03,1.158022e-03,1.159371e-03,1.168805e-03,1.173226e-03,1.178576e-03,1.185353e-03,1.187380e-03,1.195259e-03,1.195851e-03,1.202259e-03,1.204821e-03,1.208420e-03,1.212361e-03,1.213786e-03,1.218396e-03,1.218565e-03,1.222291e-03,1.223526e-03,1.225510e-03,1.227331e-03,1.228089e-03,1.230065e-03,1.231473e-03,1.231809e-03,1.232346e-03,1.232639e-03,1.232716e-03,1.232627e-03,1.232614e-03,1.232069e-03,1.231841e-03,1.231110e-03,1.230346e-03,1.229763e-03,1.228203e-03,1.228053e-03,1.226006e-03,1.225468e-03,1.223645e-03,1.222194e-03,1.220991e-03,1.218431e-03,1.218066e-03,1.214889e-03,1.214225e-03,1.211480e-03,1.209621e-03,1.207856e-03,1.204658e-03,1.204034e-03,1.200030e-03,1.199374e-03,1.195860e-03,1.193804e-03,1.191538e-03,1.187980e-03,1.187078e-03,1.182491e-03,1.181933e-03,1.177791e-03,1.175691e-03,1.172990e-03,1.169278e-03,1.168096e-03,1.163122e-03,1.162721e-03,1.158076e-03,1.156040e-03,1.152967e-03,1.149255e-03,1.147805e-03,1.142596e-03,1.142387e-03,1.137348e-03,1.135451e-03,1.132069e-03,1.128464e-03,1.126765e-03,1.121442e-03,1.114396e-03,1.107340e-03,1.100284e-03,1.093239e-03,1.086215e-03,1.079220e-03,1.072261e-03,1.065346e-03,1.058481e-03,1.051672e-03,1.044924e-03,1.038241e-03,1.031628e-03,1.025088e-03,1.018625e-03,1.012241e-03,1.005938e-03,9.997193e-04,9.935860e-04,9.875399e-04,9.815820e-04,9.757134e-04,9.699348e-04,9.642468e-04
0.000000e+00,2.337004e-10,5.997478e-10,2.332579e-09,5.625921e-09,8.390725e-09,1.981268e-08,2.043513e-08,4.055427e-08,4.793835e-08,7.101813e-08,9.527478e-08,1.142547e-07,1.671373e-07,1.723624e-07,2.460383e-07,2.659366e-07,3.341239e-07,3.889968e-07,4.346096e-07,5.317910e-07,5.456124e-07,6.655602e-07,6.904991e-07,7.930619e-07,8.619073e-07,9.267926e-07,1.042984e-06,1.065446e-06,1.207733e-06,1.230752e-06,1.352400e-06,1.422334e-06,1.498258e-06,1.615058e-06,1.644205e-06,1.789245e-06,1.806546e-06,1.932502e-06,1.994771e-06,2.073221e-06,2.178077e-06,2.210770e-06,2.344633e-06,2.355170e-06,2.474400e-06,2.525087e-06,2.599758e-06,2.687155e-06,2.720479e-06,2.836410e-06,2.840946e-06,2.947457e-06,2.986230e-06,3.053583e-06,3.122936e-06,3.154789e-06,3.251116e-06,3.342631e-06,3.370913e-06,3.429421e-06,3.482537e-06,3.511594e-06,3.586245e-06,3.589267e-06,3.662571e-06,3.682331e-06,3.731640e-06,3.771107e-06,3.796614e-06,3.852896e-06,3.857636e-06,3.914849e-06,3.928030e-06,3.968398e-06,3.996838e-06,4.018424e-06,4.059646e-06,4.065069e-06,4.108471e-06,4.116774e-06,4.148764e-06,4.168532e-06,4.186080e-06,4.215221e-06,4.220550e-06,4.252297e-06,4.257132e-06,4.281443e-06,4.294544e-06,4.308106e-06,4.327725e-06,4.332399e-06,4.354432e-06,4.356929e-06,4.374311e-06,4.382402e-06,4.392138e-06,4.404375e-06,4.408012e-06,4.422027e-06,4.423071e-06,4.434275e-06,4.438699e-06,4.444843e-06,4.451459e-06,4.453815e-06,4.461272e-06,4.461540e-06,4.467292e-06,4.469122e-06,4.471949e-06,4.474374e-06,4.475315e-06,4.477456e-06,4.478441e-06,4.478521e-06,4.478329e-06,4.477711e-06,4.477183e-06,4.475162e-06,4.475059e-06,4.472011e-06,4.471000e-06,4.468094e-06,4.465347e-06,4.463356e-06,4.458314e-06,4.457846e-06,4.451610e-06,4.450010e-06,4.444691e-06,4.440534e-06,4.437131e-06,4.429980e-06,4.428970e-06,4.420246e-06,4.418437e-06,4.410996e-06,4.405990e-06,4.401254e-06,4.392715e-06,4.391053e-06,4.380424e-06,4.378686e-06,4.369399e-06,4.363973e-06,4.358004e-06,4.348641e-06,4.346267e-06,4.334215e-06,4.332749e-06,4.321872e-06,4.316355e-06,4.309262e-06,4.299512e-06,4.296406e-06,4.283326e-06,4.282270e-06,4.270042e-06,4.264676e-06,4.256574e-06,4.246772e-06,4.242939e-06,4.229155e-06,4.228601e-06,4.215239e-06,4.210199e-06,4.201205e-06,4.191603e-06,4.187069e-06,4.172845e-06,4.153957e-06,4.134967e-06,4.115902e-06,4.096787e-06,4.077645e-06,4.058497e-06,4.039363e-06,4.020262e-06,4.001211e-06,3.982226e-06,3.963320e-06,3.944508e-06,3.925801e-06,3.907212e-06,3.888750e-06,3.870424e-06,3.852245e-06,3.834218e-06,3.816352e-06,3.798653e-06,3.781126e-06,3.763778e-06,3.746612e-06,3.729632e-06
0.000000e+00,5.328383e-11,1.282092e-10,4.645047e-10,1.081574e-09,1.590336e-09,3.645682e-09,3.756078e-09,7.257117e-09,8.513682e-09,1.235988e-08,1.629042e-08,1.930194e-08,2.749200e-08,2.829076e-08,3.950051e-08,4.253721e-08,5.306528e-08,6.172343e-08,6.906712e-08,8.517675e-08,8.751873e-08,1.083476e-07,1.127861e-07,1.313956e-07,1.441853e-07,1.564399e-07,1.788324e-07,1.832238e-07,2.114812e-07,2.161214e-07,2.409486e-07,2.554473e-07,2.713706e-07,2.962308e-07,3.025026e-07,3.341129e-07,3.379278e-07,3.659844e-07,3.800382e-07,3.979164e-07,4.221123e-07,4.297266e-07,4.612517e-07,4.637569e-07,4.923477e-07,5.046374e-07,5.228901e-07,5.444778e-07,5.527731e-07,5.819085e-07,5.830573e-07,6.102245e-07,6.202063e-07,6.376644e-07,6.558006e-07,6.641851e-07,6.897551e-07,7.143538e-07,7.220181e-07,7.379694e-07,7.525654e-07,7.605981e-07,7.813955e-07,7.822425e-07,8.029107e-07,8.085245e-07,8.226155e-07,8.339827e-07,8.413735e-07,8.578111e-07,8.592039e-07,8.761287e-07,8.800585e-07,8.921714e-07,9.007794e-07,9.073572e-07,9.200324e-07,9.217120e-07,9.352624e-07,9.378783e-07,9.480355e-07,9.543793e-07,9.600585e-07,9.695979e-07,9.713585e-07,9.819625e-07,9.835964e-07,9.918973e-07,9.964360e-07,1.001189e-06,1.008177e-06,1.009864e-06,1.017946e-06,1.018878e-06,1.025462e-06,1.028595e-06,1.032434e-06,1.037383e-06,1.038886e-06,1.044841e-06,1.045296e-06,1.050320e-06,1.052384e-06,1.055346e-06,1.058695e-06,1.059939e-06,1.064118e-06,1.064277e-06,1.067903e-06,1.069173e-06,1.071312e-06,1.073426e-06,1.074364e-06,1.077076e-06,1.079463e-06,1.080162e-06,1.081543e-06,1.082720e-06,1.083331e-06,1.084785e-06,1.084840e-06,1.086087e-06,1.086390e-06,1.087083e-06,1.087566e-06,1.087842e-06,1.088343e-06,1.088378e-06,1.088701e-06,1.088748e-06,1.088824e-06,1.088809e-06,1.088757e-06,1.088550e-06,1.088511e-06,1.088096e-06,1.087994e-06,1.087523e-06,1.087165e-06,1.086799e-06,1.086082e-06,1.085935e-06,1.084939e-06,1.084767e-06,1.083818e-06,1.083238e-06,1.082581e-06,1.081512e-06,1.081235e-06,1.079787e-06,1.079606e-06,1.078244e-06,1.077536e-06,1.076612e-06,1.075317e-06,1.074898e-06,1.073107e-06,1.072961e-06,1.071246e-06,1.070483e-06,1.069319e-06,1.067894e-06,1.067332e-06,1.065289e-06,1.065206e-06,1.063195e-06,1.062429e-06,1.061054e-06,1.059574e-06,1.058871e-06,1.056650e-06,1.053666e-06,1.050630e-06,1.047549e-06,1.044431e-06,1.041283e-06,1.038110e-06,1.034919e-06,1.031715e-06,1.028503e-06,1.025287e-06,1.022072e-06,1.018862e-06,1.015661e-06,1.012471e-06,1.009297e-06,1.006140e-06,1.003005e-06,9.998917e-07,9.968040e-07,9.937436e-07,9.907122e-07,9.877116e-07,9.847432e-07,9.818084e-07
0.000000e+00,6.978913e-11,2.690446e-10,1.980184e-09,7.358097e-09,1.337004e-08,4.800966e-08,5.025702e-08,1.373108e-07,1.749365e-07,3.071310e-07,4.649573e-07,5.993138e-07,1.015448e-06,1.059636e-06,1.739225e-06,1.941014e-06,2.693027e-06,3.367711e-06,3.976412e-06,5.418319e-06,5.639290e-06,7.719094e-06,8.187161e-06,1.023548e-05,1.171734e-05,1.318859e-05,1.599412e-05,1.656061e-05,2.031926e-05,2.095377e-05,2.442173e-05,2.649868e-05,2.881852e-05,3.251218e-05,3.345645e-05,3.828118e-05,3.887013e-05,4.323897e-05,4.544909e-05,4.827798e-05,5.213169e-05,5.334924e-05,5.840733e-05,5.881013e-05,6.341075e-05,6.538833e-05,6.832232e-05,7.178321e-05,7.310929e-05,7.774342e-05,7.792525e-05,8.220096e-05,8.375858e-05,8.646253e-05,8.924056e-05,9.051297e-05,9.434105e-05,9.793923e-05,9.904132e-05,1.013033e-04,1.033328e-04,1.044322e-04,1.072159e-04,1.073272e-04,1.099922e-04,1.106979e-04,1.124328e-04,1.137923e-04,1.146561e-04,1.165169e-04,1.166706e-04,1.184857e-04,1.188928e-04,1.201115e-04,1.209431e-04,1.215584e-04,1.226923e-04,1.228372e-04,1.239587e-04,1.241651e-04,1.249336e-04,1.253861e-04,1.257723e-04,1.263790e-04,1.264850e-04,1.270814e-04,1.271667e-04,1.275709e-04,1.277705e-04,1.279623e-04,1.282103e-04,1.282638e-04,1.284834e-04,1.285046e-04,1.286282e-04,1.286700e-04,1.287050e-04,1.287217e-04,1.287200e-04,1.286791e-04,1.286735e-04,1.285875e-04,1.285378e-04,1.284501e-04,1.283254e-04,1.282714e-04,1.280555e-04,1.280461e-04,1.278061e-04,1.277088e-04,1.275266e-04,1.273210e-04,1.272202e-04,1.268895e-04,1.265373e-04,1.264204e-04,1.261658e-04,1.259189e-04,1.257772e-04,1.253898e-04,1.253734e-04,1.249561e-04,1.248371e-04,1.245270e-04,1.242645e-04,1.240875e-04,1.236751e-04,1.236390e-04,1.231825e-04,1.230719e-04,1.227193e-04,1.224574e-04,1.222504e-04,1.218337e-04,1.217766e-04,1.212988e-04,1.212028e-04,1.208177e-04,1.205665e-04,1.203341e-04,1.199263e-04,1.198485e-04,1.193616e-04,1.192837e-04,1.188740e-04,1.186398e-04,1.183860e-04,1.179957e-04,1.178982e-04,1.174109e-04,1.173525e-04,1.169246e-04,1.167110e-04,1.164396e-04,1.160720e-04,1.159562e-04,1.154747e-04,1.154362e-04,1.149953e-04,1.148042e-04,1.145184e-04,1.141766e-04,1.140441e-04,1.135726e-04,1.135538e-04,1.131042e-04,1.129364e-04,1.126390e-04,1.123246e-04,1.121772e-04,1.117189e-04,1.111195e-04,1.105268e-04,1.099409e-04,1.093621e-04,1.087905e-04,1.082263e-04,1.076696e-04,1.071206e-04,1.065793e-04,1.060458e-04,1.055202e-04,1.050024e-04,1.044926e-04,1.039907e-04,1.034968e-04,1.030108e-04,1.025327e-04,1.020625e-04,1.016002e-04,1.011456e-04,1.006989e-04,1.002599e-04,9.982849e-05,9.940471e-05
0.000000e+00,3.385763e-11,8.120775e-11,2.926505e-10,6.786503e-10,9.959067e-10,2.273399e-09,2.341910e-09,4.513182e-09,5.292637e-09,7.681606e-09,1.012962e-08,1.201019e-08,1.714229e-08,1.764373e-08,2.467815e-08,2.657788e-08,3.312175e-08,3.843846e-08,4.289490e-08,5.249546e-08,5.387170e-08,6.591486e-08,6.843935e-08,7.888678e-08,8.595335e-08,9.264902e-08,1.047172e-07,1.070609e-07,1.219797e-07,1.244042e-07,1.372627e-07,1.446866e-07,1.527697e-07,1.652460e-07,1.683663e-07,1.839263e-07,1.857854e-07,1.993344e-07,2.060387e-07,2.144874e-07,2.257775e-07,2.292957e-07,2.436829e-07,2.448137e-07,2.575861e-07,2.630003e-07,2.709554e-07,2.802289e-07,2.837527e-07,2.959505e-07,2.964257e-07,3.075314e-07,3.115475e-07,3.184860e-07,3.255762e-07,3.288124e-07,3.385144e-07,3.476012e-07,3.503810e-07,3.560857e-07,3.612071e-07,3.639842e-07,3.710327e-07,3.713153e-07,3.780996e-07,3.799041e-07,3.843587e-07,3.878715e-07,3.901152e-07,3.949870e-07,3.953921e-07,4.002124e-07,4.013039e-07,4.045992e-07,4.068749e-07,4.085751e-07,4.117517e-07,4.121624e-07,4.153825e-07,4.159843e-07,4.182565e-07,4.196209e-07,4.208045e-07,4.227071e-07,4.230460e-07,4.249995e-07,4.252866e-07,4.266830e-07,4.274002e-07,4.281133e-07,4.290861e-07,4.293066e-07,4.302781e-07,4.303805e-07,4.310425e-07,4.313168e-07,4.316135e-07,4.319263e-07,4.320043e-07,4.322272e-07,4.322381e-07,4.322939e-07,4.322794e-07,4.322155e-07,4.320749e-07,4.320022e-07,4.316641e-07,4.316481e-07,4.312104e-07,4.310204e-07,4.306497e-07,4.302116e-07,4.299903e-07,4.292400e-07,4.284060e-07,4.281226e-07,4.274951e-07,4.268748e-07,4.265139e-07,4.255112e-07,4.254682e-07,4.243639e-07,4.240449e-07,4.232061e-07,4.224880e-07,4.220000e-07,4.208517e-07,4.207502e-07,4.194611e-07,4.191463e-07,4.181368e-07,4.173812e-07,4.167811e-07,4.155651e-07,4.153977e-07,4.139899e-07,4.137057e-07,4.125610e-07,4.118105e-07,4.111137e-07,4.098860e-07,4.096510e-07,4.081753e-07,4.079382e-07,4.066891e-07,4.059726e-07,4.051946e-07,4.039944e-07,4.036938e-07,4.021888e-07,4.020080e-07,4.006813e-07,4.000177e-07,3.991731e-07,3.980272e-07,3.976655e-07,3.961602e-07,3.960399e-07,3.946584e-07,3.940590e-07,3.931614e-07,3.920872e-07,3.916703e-07,3.901862e-07,3.901270e-07,3.887101e-07,3.881808e-07,3.872427e-07,3.862505e-07,3.857851e-07,3.843379e-07,3.824447e-07,3.805723e-07,3.787220e-07,3.768948e-07,3.750918e-07,3.733137e-07,3.715613e-07,3.698351e-07,3.681358e-07,3.664637e-07,3.648190e-07,3.632022e-07,3.616133e-07,3.600525e-07,3.585199e-07,3.570154e-07,3.555390e-07,3.540906e-07,3.526701e-07,3.512773e-07,3.499121e-07,3.485742e-07,3.472634e-07,3.459794e-07
0.000000e+00,1.837482e-11,4.231927e-11,1.460524e-10,3.322000e-10,4.843887e-10,1.097718e-09,1.130734e-09,2.187224e-09,2.571736e-09,3.767719e-09,5.018098e-09,5.992390e-09,8.686114e-09,8.950464e-09,1.264321e-08,1.363017e-08,1.698356e-08,1.965390e-08,2.185683e-08,2.650522e-08,2.716171e-08,3.281520e-08,3.398131e-08,3.874580e-08,4.191723e-08,4.488766e-08,5.016390e-08,5.117774e-08,5.755510e-08,5.857963e-08,6.396134e-08,6.703035e-08,7.034167e-08,7.539336e-08,7.664589e-08,8.282936e-08,8.356136e-08,8.885336e-08,9.144480e-08,9.468542e-08,9.897312e-08,1.002994e-07,1.056752e-07,1.060945e-07,1.107980e-07,1.127741e-07,1.156584e-07,1.189922e-07,1.202510e-07,1.245744e-07,1.247418e-07,1.286302e-07,1.300256e-07,1.324227e-07,1.348543e-07,1.359580e-07,1.392441e-07,1.422899e-07,1.432154e-07,1.451052e-07,1.467908e-07,1.477004e-07,1.499945e-07,1.500861e-07,1.522730e-07,1.528513e-07,1.542720e-07,1.553856e-07,1.560936e-07,1.576215e-07,1.577480e-07,1.592451e-07,1.595822e-07,1.605947e-07,1.612895e-07,1.618059e-07,1.627642e-07,1.628874e-07,1.638475e-07,1.640257e-07,1.646943e-07,1.650922e-07,1.654350e-07,1.659805e-07,1.660769e-07,1.666264e-07,1.667062e-07,1.670900e-07,1.672837e-07,1.674735e-07,1.677263e-07,1.677823e-07,1.680218e-07,1.680461e-07,1.681967e-07,1.682544e-07,1.683116e-07,1.683615e-07,1.683708e-07,1.683784e-07,1.683768e-07,1.683379e-07,1.683091e-07,1.682530e-07,1.681663e-07,1.681270e-07,1.679629e-07,1.679556e-07,1.677636e-07,1.676837e-07,1.675317e-07,1.673568e-07,1.672699e-07,1.669804e-07,1.666655e-07,1.665597e-07,1.663272e-07,1.660993e-07,1.659675e-07,1.656036e-07,1.655881e-07,1.651908e-07,1.650765e-07,1.647771e-07,1.645216e-07,1.643484e-07,1.639421e-07,1.639063e-07,1.634519e-07,1.633412e-07,1.629865e-07,1.627215e-07,1.625112e-07,1.620856e-07,1.620270e-07,1.615350e-07,1.614358e-07,1.610361e-07,1.607742e-07,1.605311e-07,1.601028e-07,1.600208e-07,1.595060e-07,1.594233e-07,1.589874e-07,1.587373e-07,1.584657e-07,1.580464e-07,1.579414e-07,1.574151e-07,1.573519e-07,1.568875e-07,1.566550e-07,1.563589e-07,1.559568e-07,1.558298e-07,1.553007e-07,1.552584e-07,1.547720e-07,1.545607e-07,1.542440e-07,1.538645e-07,1.537171e-07,1.531916e-07,1.531707e-07,1.526679e-07,1.524799e-07,1.521462e-07,1.517927e-07,1.516268e-07,1.511099e-07,1.504317e-07,1.497589e-07,1.490917e-07,1.484305e-07,1.477758e-07,1.471277e-07,1.464866e-07,1.458527e-07,1.452262e-07,1.446074e-07,1.439962e-07,1.433930e-07,1.427978e-07,1.422107e-07,1.416317e-07,1.410611e-07,1.404987e-07,1.399446e-07,1.393989e-07,1.388615e-07,1.383325e-07,1.378118e-07,1.372994e-07,1.367953e-07
0.000000e+00,1.352996e-12,3.093141e-12,1.063061e-11,2.426065e-11,3.552082e-11,8.196579e-11,8.451328e-11,1.684131e-10,2.000152e-10,3.013758e-10,4.111383e-10,4.983236e-10,7.416363e-10,7.654761e-10,1.095204e-09,1.182221e-09,1.475006e-09,1.705813e-09,1.895234e-09,2.293480e-09,2.349665e-09,2.834015e-09,2.934162e-09,3.344788e-09,3.619729e-09,3.878653e-09,4.342435e-09,4.432171e-09,5.001707e-09,5.094067e-09,5.583456e-09,5.865890e-09,6.173519e-09,6.648932e-09,6.767997e-09,7.363095e-09,7.434374e-09,7.955209e-09,8.213923e-09,8.541004e-09,8.980116e-09,9.117469e-09,9.681955e-09,9.726526e-09,1.023218e-08,1.044784e-08,1.076624e-08,1.113988e-08,1.128260e-08,1.178008e-08,1.179957e-08,1.225779e-08,1.242482e-08,1.271518e-08,1.301441e-08,1.315190e-08,1.356787e-08,1.396316e-08,1.408532e-08,1.433801e-08,1.456737e-08,1.469281e-08,1.501498e-08,1.502802e-08,1.534420e-08,1.542940e-08,1.564195e-08,1.581204e-08,1.592195e-08,1.616445e-08,1.618487e-08,1.643141e-08,1.648822e-08,1.666229e-08,1.678500e-08,1.687821e-08,1.705640e-08,1.707987e-08,1.726796e-08,1.730401e-08,1.744314e-08,1.752935e-08,1.760606e-08,1.773389e-08,1.775733e-08,1.789757e-08,1.791902e-08,1.802735e-08,1.808609e-08,1.814721e-08,1.823632e-08,1.825769e-08,1.835927e-08,1.837089e-08,1.845245e-08,1.849090e-08,1.853767e-08,1.859738e-08,1.861536e-08,1.868593e-08,1.869128e-08,1.874977e-08,1.877350e-08,1.880723e-08,1.884486e-08,1.885868e-08,1.890443e-08,1.890614e-08,1.894480e-08,1.895807e-08,1.898007e-08,1.900130e-08,1.901054e-08,1.903646e-08,1.905807e-08,1.906412e-08,1.907562e-08,1.908483e-08,1.908933e-08,1.909907e-08,1.909941e-08,1.910605e-08,1.910732e-08,1.910944e-08,1.911000e-08,1.910977e-08,1.910751e-08,1.910721e-08,1.910190e-08,1.910023e-08,1.909400e-08,1.908851e-08,1.908367e-08,1.907265e-08,1.907102e-08,1.905619e-08,1.905298e-08,1.903931e-08,1.902975e-08,1.902048e-08,1.900325e-08,1.899982e-08,1.897744e-08,1.897370e-08,1.895342e-08,1.894134e-08,1.892786e-08,1.890637e-08,1.890086e-08,1.887250e-08,1.886900e-08,1.884285e-08,1.882941e-08,1.881199e-08,1.878778e-08,1.878000e-08,1.874694e-08,1.874425e-08,1.871288e-08,1.869899e-08,1.867788e-08,1.865214e-08,1.864201e-08,1.860530e-08,1.860382e-08,1.856783e-08,1.855416e-08,1.852964e-08,1.850328e-08,1.849078e-08,1.845129e-08,1.839828e-08,1.834436e-08,1.828961e-08,1.823412e-08,1.817796e-08,1.812121e-08,1.806393e-08,1.800621e-08,1.794809e-08,1.788963e-08,1.783089e-08,1.777191e-08,1.771276e-08,1.765346e-08,1.759407e-08,1.753461e-08,1.747514e-08,1.741569e-08,1.735628e-08,1.729695e-08,1.723773e-08,1.717864e-08,1.711971e-08,1.706097e-08
0.000000e+00,5.334950e-10,1.935502e-09,1.262439e-08,4.227618e-08,7.273418e-08,2.286609e-07,2.381330e-07,5.771622e-07,7.131912e-07,1.163939e-06,1.667375e-06,2.076862e-06,3.274876e-06,3.397434e-06,5.203878e-06,5.716992e-06,7.555693e-06,9.121677e-06,1.047736e-05,1.351043e-05,1.395621e-05,1.795436e-05,1.881205e-05,2.242245e-05,2.491419e-05,2.730809e-05,3.169652e-05,3.255912e-05,3.812425e-05,3.904043e-05,4.395291e-05,4.682960e-05,4.999526e-05,5.495017e-05,5.620253e-05,6.252760e-05,6.329237e-05,6.892572e-05,7.175315e-05,7.535514e-05,8.023879e-05,8.177766e-05,8.815894e-05,8.866673e-05,9.446862e-05,9.696642e-05,1.006804e-04,1.050796e-04,1.067719e-04,1.127244e-04,1.129594e-04,1.185227e-04,1.205699e-04,1.241546e-04,1.278844e-04,1.296108e-04,1.348841e-04,1.399698e-04,1.415571e-04,1.448648e-04,1.478968e-04,1.495676e-04,1.539011e-04,1.540778e-04,1.583964e-04,1.595714e-04,1.625249e-04,1.649119e-04,1.664660e-04,1.699287e-04,1.702225e-04,1.737980e-04,1.746297e-04,1.771964e-04,1.790236e-04,1.804217e-04,1.831203e-04,1.834783e-04,1.863707e-04,1.869299e-04,1.891035e-04,1.904631e-04,1.916814e-04,1.937306e-04,1.941091e-04,1.963913e-04,1.967433e-04,1.985328e-04,1.995121e-04,2.005382e-04,2.020476e-04,2.024121e-04,2.041592e-04,2.043605e-04,2.057838e-04,2.064611e-04,2.072906e-04,2.083595e-04,2.086837e-04,2.099675e-04,2.100656e-04,2.111461e-04,2.115890e-04,2.122236e-04,2.129390e-04,2.132039e-04,2.140909e-04,2.141245e-04,2.148884e-04,2.151542e-04,2.155999e-04,2.160365e-04,2.162291e-04,2.167794e-04,2.172541e-04,2.173906e-04,2.176566e-04,2.178776e-04,2.179898e-04,2.182475e-04,2.182570e-04,2.184610e-04,2.185071e-04,2.186046e-04,2.186630e-04,2.186907e-04,2.187214e-04,2.187219e-04,2.187008e-04,2.186882e-04,2.186299e-04,2.185692e-04,2.185115e-04,2.183699e-04,2.183480e-04,2.181416e-04,2.180954e-04,2.178945e-04,2.177506e-04,2.176087e-04,2.173403e-04,2.172863e-04,2.169292e-04,2.168689e-04,2.165392e-04,2.163408e-04,2.161181e-04,2.157600e-04,2.156676e-04,2.151894e-04,2.151302e-04,2.146851e-04,2.144553e-04,2.141562e-04,2.137386e-04,2.136041e-04,2.130303e-04,2.129835e-04,2.124361e-04,2.121930e-04,2.118228e-04,2.113702e-04,2.111917e-04,2.105440e-04,2.105178e-04,2.098807e-04,2.096384e-04,2.092031e-04,2.087346e-04,2.085121e-04,2.078087e-04,2.068630e-04,2.058996e-04,2.049205e-04,2.039275e-04,2.029224e-04,2.019068e-04,2.008824e-04,1.998507e-04,1.988129e-04,1.977704e-04,1.967244e-04,1.956760e-04,1.946264e-04,1.935765e-04,1.925272e-04,1.914794e-04,1.904340e-04,1.893917e-04,1.883531e-04,1.873190e-04,1.862899e-04,1.852664e-04,1.842491e-04,1.832383e-04
0.000000e+00,8.927995e-11,2.269100e-10,8.723412e-10,2.090725e-09,3.109902e-09,7.303265e-09,7.531255e-09,1.488327e-08,1.757573e-08,2.598133e-08,3.481304e-08,4.173317e-08,6.113487e-08,6.306595e-08,9.066190e-08,9.824167e-08,1.246091e-07,1.462112e-07,1.643756e-07,2.035486e-07,2.091616e-07,2.582034e-07,2.684640e-07,3.108591e-07,3.394844e-07,3.665825e-07,4.153991e-07,4.248801e-07,4.852812e-07,4.951097e-07,5.473235e-07,5.775519e-07,6.105485e-07,6.616762e-07,6.745047e-07,7.387535e-07,7.464629e-07,8.028765e-07,8.309484e-07,8.664807e-07,9.142498e-07,9.292058e-07,9.907296e-07,9.955909e-07,1.050769e-06,1.074314e-06,1.109082e-06,1.149883e-06,1.165466e-06,1.219759e-06,1.221885e-06,1.271833e-06,1.290018e-06,1.321597e-06,1.354084e-06,1.368988e-06,1.413973e-06,1.456540e-06,1.469652e-06,1.496699e-06,1.521148e-06,1.534476e-06,1.568541e-06,1.569914e-06,1.603064e-06,1.611944e-06,1.633989e-06,1.651505e-06,1.662758e-06,1.687386e-06,1.689446e-06,1.714130e-06,1.719766e-06,1.736893e-06,1.748830e-06,1.757814e-06,1.774769e-06,1.776978e-06,1.794466e-06,1.797769e-06,1.810359e-06,1.818019e-06,1.824736e-06,1.835699e-06,1.837676e-06,1.849253e-06,1.850984e-06,1.859541e-06,1.864043e-06,1.868611e-06,1.875035e-06,1.876530e-06,1.883363e-06,1.884113e-06,1.889174e-06,1.891422e-06,1.894021e-06,1.897096e-06,1.897962e-06,1.901051e-06,1.901263e-06,1.903341e-06,1.904045e-06,1.904881e-06,1.905552e-06,1.905718e-06,1.905896e-06,1.905890e-06,1.905457e-06,1.905157e-06,1.904443e-06,1.903444e-06,1.902891e-06,1.900837e-06,1.898316e-06,1.897415e-06,1.895359e-06,1.893253e-06,1.891998e-06,1.888417e-06,1.888261e-06,1.884176e-06,1.882973e-06,1.879769e-06,1.876980e-06,1.875064e-06,1.870492e-06,1.870084e-06,1.864851e-06,1.863560e-06,1.859386e-06,1.856232e-06,1.853708e-06,1.848550e-06,1.847836e-06,1.841786e-06,1.840556e-06,1.835575e-06,1.832287e-06,1.829218e-06,1.823776e-06,1.822730e-06,1.816124e-06,1.815057e-06,1.809413e-06,1.806158e-06,1.802610e-06,1.797107e-06,1.795724e-06,1.788768e-06,1.787929e-06,1.781751e-06,1.778646e-06,1.774682e-06,1.769280e-06,1.767570e-06,1.760424e-06,1.759851e-06,1.753251e-06,1.750376e-06,1.746058e-06,1.740871e-06,1.738853e-06,1.731641e-06,1.731352e-06,1.724428e-06,1.721833e-06,1.717221e-06,1.712326e-06,1.710024e-06,1.702842e-06,1.693393e-06,1.683987e-06,1.674634e-06,1.665341e-06,1.656115e-06,1.646964e-06,1.637891e-06,1.628904e-06,1.620006e-06,1.611201e-06,1.602494e-06,1.593887e-06,1.585383e-06,1.576985e-06,1.568695e-06,1.560514e-06,1.552444e-06,1.544486e-06,1.536641e-06,1.528910e-06,1.521294e-06,1.513792e-06,1.506405e-06,1.499133e-06
0.000000e+00,1.297666e-12,2.962210e-12,1.012072e-11,2.287876e-11,3.325236e-11,7.462317e-11,7.683160e-11,1.465713e-10,1.715345e-10,2.479330e-10,3.261366e-10,3.862052e-10,5.503608e-10,5.664350e-10,7.931718e-10,8.549351e-10,1.069985e-09,1.247665e-09,1.398740e-09,1.730509e-09,1.778708e-09,2.205809e-09,2.296277e-09,2.672546e-09,2.927672e-09,3.169012e-09,3.601259e-09,3.684626e-09,4.209672e-09,4.293988e-09,4.736046e-09,4.987240e-09,5.257349e-09,5.667374e-09,5.768633e-09,6.266102e-09,6.324724e-09,6.746861e-09,6.952516e-09,7.208727e-09,7.546108e-09,7.650103e-09,8.069881e-09,8.102507e-09,8.467364e-09,8.620026e-09,8.842205e-09,9.098030e-09,9.194349e-09,9.523987e-09,9.536709e-09,9.831506e-09,9.936898e-09,1.011745e-08,1.029990e-08,1.038249e-08,1.062737e-08,1.085292e-08,1.092116e-08,1.106001e-08,1.118326e-08,1.124951e-08,1.141572e-08,1.142233e-08,1.157934e-08,1.162059e-08,1.172143e-08,1.179988e-08,1.184945e-08,1.195551e-08,1.196423e-08,1.206655e-08,1.208935e-08,1.215720e-08,1.220313e-08,1.223690e-08,1.229852e-08,1.230633e-08,1.236618e-08,1.237705e-08,1.241705e-08,1.244015e-08,1.245953e-08,1.248916e-08,1.249420e-08,1.252156e-08,1.252530e-08,1.254213e-08,1.254972e-08,1.255635e-08,1.256347e-08,1.256468e-08,1.256752e-08,1.256751e-08,1.256525e-08,1.256273e-08,1.255825e-08,1.254996e-08,1.254684e-08,1.253135e-08,1.252995e-08,1.251208e-08,1.250338e-08,1.248931e-08,1.247089e-08,1.246329e-08,1.243428e-08,1.243306e-08,1.240250e-08,1.239043e-08,1.236817e-08,1.234348e-08,1.233150e-08,1.229266e-08,1.225184e-08,1.223839e-08,1.220921e-08,1.218104e-08,1.216491e-08,1.212096e-08,1.211910e-08,1.207190e-08,1.205846e-08,1.202346e-08,1.199383e-08,1.197387e-08,1.192735e-08,1.192327e-08,1.187174e-08,1.185925e-08,1.181939e-08,1.178976e-08,1.176632e-08,1.171907e-08,1.171259e-08,1.165831e-08,1.164739e-08,1.160353e-08,1.157487e-08,1.154833e-08,1.150168e-08,1.149277e-08,1.143692e-08,1.142796e-08,1.138083e-08,1.135384e-08,1.132456e-08,1.127944e-08,1.126815e-08,1.121165e-08,1.120487e-08,1.115511e-08,1.113022e-08,1.109856e-08,1.105560e-08,1.104204e-08,1.098559e-08,1.098107e-08,1.092923e-08,1.090673e-08,1.087301e-08,1.083263e-08,1.081695e-08,1.076107e-08,1.075884e-08,1.070540e-08,1.068541e-08,1.064996e-08,1.061240e-08,1.059477e-08,1.053986e-08,1.046781e-08,1.039631e-08,1.032539e-08,1.025507e-08,1.018538e-08,1.011635e-08,1.004800e-08,9.980345e-09,9.913403e-09,9.847188e-09,9.781713e-09,9.716987e-09,9.653020e-09,9.589818e-09,9.527386e-09,9.465730e-09,9.404852e-09,9.344755e-09,9.285438e-09,9.226903e-09,9.169147e-09,9.112171e-09,9.055970e-09,9.000542e-09
0.000000e+00,2.586102e-11,5.923079e-11,2.032823e-10,4.610410e-10,6.712799e-10,1.514285e-09,1.559472e-09,2.995308e-09,3.513280e-09,5.110938e-09,6.764567e-09,8.046066e-09,1.158839e-08,1.193767e-08,1.688226e-08,1.822823e-08,2.288048e-08,2.666311e-08,2.982636e-08,3.659881e-08,3.756394e-08,4.594283e-08,4.768393e-08,5.483500e-08,5.962485e-08,6.413080e-08,7.217911e-08,7.373200e-08,8.354728e-08,8.513177e-08,9.349050e-08,9.828466e-08,1.034805e-07,1.114552e-07,1.134417e-07,1.233052e-07,1.244792e-07,1.330089e-07,1.372138e-07,1.424991e-07,1.495401e-07,1.517295e-07,1.606622e-07,1.613630e-07,1.692667e-07,1.726112e-07,1.775198e-07,1.832346e-07,1.854045e-07,1.929097e-07,1.932019e-07,2.000296e-07,2.024980e-07,2.067625e-07,2.111207e-07,2.131103e-07,2.190780e-07,2.246731e-07,2.263863e-07,2.299049e-07,2.330676e-07,2.347843e-07,2.391482e-07,2.393234e-07,2.435349e-07,2.446572e-07,2.474322e-07,2.496255e-07,2.510291e-07,2.540846e-07,2.543392e-07,2.573763e-07,2.580660e-07,2.601538e-07,2.616009e-07,2.626851e-07,2.647194e-07,2.649832e-07,2.670606e-07,2.674507e-07,2.689295e-07,2.698228e-07,2.706015e-07,2.718621e-07,2.720879e-07,2.733995e-07,2.735939e-07,2.745467e-07,2.750418e-07,2.755392e-07,2.762282e-07,2.763865e-07,2.770975e-07,2.771741e-07,2.776807e-07,2.778989e-07,2.781442e-07,2.784211e-07,2.784956e-07,2.787422e-07,2.787576e-07,2.788909e-07,2.789244e-07,2.789481e-07,2.789363e-07,2.789202e-07,2.788128e-07,2.788069e-07,2.786315e-07,2.785492e-07,2.783816e-07,2.781749e-07,2.780679e-07,2.776950e-07,2.772674e-07,2.771197e-07,2.767892e-07,2.764584e-07,2.762643e-07,2.757199e-07,2.756964e-07,2.750888e-07,2.749121e-07,2.744450e-07,2.740425e-07,2.737679e-07,2.731180e-07,2.730604e-07,2.723253e-07,2.721450e-07,2.715650e-07,2.711293e-07,2.707821e-07,2.700762e-07,2.699788e-07,2.691572e-07,2.689908e-07,2.683192e-07,2.678776e-07,2.674668e-07,2.667409e-07,2.666017e-07,2.657256e-07,2.655845e-07,2.648399e-07,2.644118e-07,2.639462e-07,2.632263e-07,2.630458e-07,2.621399e-07,2.620309e-07,2.612298e-07,2.608283e-07,2.603165e-07,2.596210e-07,2.594012e-07,2.584846e-07,2.584113e-07,2.575679e-07,2.572013e-07,2.566517e-07,2.559928e-07,2.557369e-07,2.548241e-07,2.547877e-07,2.539142e-07,2.535874e-07,2.530077e-07,2.523935e-07,2.521051e-07,2.512070e-07,2.500294e-07,2.488615e-07,2.477043e-07,2.465587e-07,2.454253e-07,2.443050e-07,2.431981e-07,2.421053e-07,2.410270e-07,2.399636e-07,2.389154e-07,2.378826e-07,2.368656e-07,2.358645e-07,2.348794e-07,2.339105e-07,2.329578e-07,2.320213e-07,2.311012e-07,2.301973e-07,2.293096e-07,2.284382e-07,2.275828e-07,2.267435e-07
0.000000e+00,1.084143e-10,3.519310e-10,1.879252e-09,5.408076e-09,8.651838e-09,2.318396e-08,2.400574e-08,5.129632e-08,6.151029e-08,9.368318e-08,1.276352e-07,1.542229e-07,2.285336e-07,2.359165e-07,3.416032e-07,3.708102e-07,4.735292e-07,5.592772e-07,6.325826e-07,7.942338e-07,8.177597e-07,1.026522e-06,1.070828e-06,1.255709e-06,1.381914e-06,1.502205e-06,1.720535e-06,1.763144e-06,2.035873e-06,2.080434e-06,2.317872e-06,2.455808e-06,2.606710e-06,2.841116e-06,2.900028e-06,3.195558e-06,3.231066e-06,3.491145e-06,3.620698e-06,3.784783e-06,4.005509e-06,4.074639e-06,4.359075e-06,4.381551e-06,4.636658e-06,4.745493e-06,4.906172e-06,5.094650e-06,5.166607e-06,5.417158e-06,5.426965e-06,5.657211e-06,5.740971e-06,5.886326e-06,6.035726e-06,6.104219e-06,6.310747e-06,6.505886e-06,6.565935e-06,6.689713e-06,6.801498e-06,6.862392e-06,7.017891e-06,7.024156e-06,7.175294e-06,7.215752e-06,7.316137e-06,7.395852e-06,7.447050e-06,7.559052e-06,7.568419e-06,7.680647e-06,7.706266e-06,7.784141e-06,7.838437e-06,7.879315e-06,7.956511e-06,7.966579e-06,8.046337e-06,8.061423e-06,8.118987e-06,8.154086e-06,8.184917e-06,8.235377e-06,8.244499e-06,8.298094e-06,8.306137e-06,8.346050e-06,8.367163e-06,8.388697e-06,8.419208e-06,8.426356e-06,8.459327e-06,8.462982e-06,8.487898e-06,8.499147e-06,8.512344e-06,8.528322e-06,8.532921e-06,8.549876e-06,8.551082e-06,8.563439e-06,8.567964e-06,8.573830e-06,8.579465e-06,8.581257e-06,8.585914e-06,8.586045e-06,8.587986e-06,8.588133e-06,8.587647e-06,8.586123e-06,8.585061e-06,8.580380e-06,8.573752e-06,8.571242e-06,8.565312e-06,8.559020e-06,8.555189e-06,8.544001e-06,8.543505e-06,8.530373e-06,8.526451e-06,8.515900e-06,8.506615e-06,8.500187e-06,8.484718e-06,8.483329e-06,8.465415e-06,8.460968e-06,8.446528e-06,8.435557e-06,8.426748e-06,8.408661e-06,8.406148e-06,8.384797e-06,8.380442e-06,8.362761e-06,8.351052e-06,8.340101e-06,8.320628e-06,8.316876e-06,8.293138e-06,8.289296e-06,8.268939e-06,8.257174e-06,8.244327e-06,8.224370e-06,8.219346e-06,8.194039e-06,8.190982e-06,8.168444e-06,8.157101e-06,8.142600e-06,8.122812e-06,8.116539e-06,8.090296e-06,8.088190e-06,8.063901e-06,8.053306e-06,8.037381e-06,8.018226e-06,8.010765e-06,7.984076e-06,7.983008e-06,7.957340e-06,7.947707e-06,7.930577e-06,7.912373e-06,7.903808e-06,7.877052e-06,7.841785e-06,7.806612e-06,7.771565e-06,7.736678e-06,7.701979e-06,7.667495e-06,7.633249e-06,7.599263e-06,7.565556e-06,7.532147e-06,7.499050e-06,7.466280e-06,7.433851e-06,7.401771e-06,7.370053e-06,7.338703e-06,7.307731e-06,7.277141e-06,7.246940e-06,7.217132e-06,7.187721e-06,7.158711e-06,7.130103e-06,7.101899e-06
0.000000e+00,5.081012e-10,1.979274e-09,1.489049e-08,5.647089e-08,1.037828e-07,3.839624e-07,4.024302e-07,1.133294e-06,1.455863e-06,2.609970e-06,4.018270e-06,5.236137e-06,9.086080e-06,9.500329e-06,1.596481e-05,1.791135e-05,2.524518e-05,3.190965e-05,3.797736e-05,5.252246e-05,5.477056e-05,7.615110e-05,8.101488e-05,1.025088e-04,1.182611e-04,1.340605e-04,1.646077e-04,1.708399e-04,2.127091e-04,2.198635e-04,2.593871e-04,2.833890e-04,3.104826e-04,3.542269e-04,3.655276e-04,4.240072e-04,4.312301e-04,4.853847e-04,5.131698e-04,5.491218e-04,5.988167e-04,6.146942e-04,6.816027e-04,6.869989e-04,7.493812e-04,7.766390e-04,8.176017e-04,8.667751e-04,8.858770e-04,9.538615e-04,9.565704e-04,1.021251e-03,1.045313e-03,1.087781e-03,1.132413e-03,1.153224e-03,1.217388e-03,1.280114e-03,1.299861e-03,1.341271e-03,1.379539e-03,1.400754e-03,1.456208e-03,1.458482e-03,1.514395e-03,1.529719e-03,1.568450e-03,1.599980e-03,1.620621e-03,1.666942e-03,1.670893e-03,1.719267e-03,1.730594e-03,1.765748e-03,1.790958e-03,1.810356e-03,1.848078e-03,1.853112e-03,1.894046e-03,1.902018e-03,1.933193e-03,1.952855e-03,1.970590e-03,2.000681e-03,2.006278e-03,2.040300e-03,2.045591e-03,2.072701e-03,2.087691e-03,2.103527e-03,2.127086e-03,2.132826e-03,2.160644e-03,2.163885e-03,2.187030e-03,2.198198e-03,2.212031e-03,2.230134e-03,2.235694e-03,2.258065e-03,2.259801e-03,2.279192e-03,2.287304e-03,2.299118e-03,2.312748e-03,2.317890e-03,2.335549e-03,2.336233e-03,2.352139e-03,2.357857e-03,2.367701e-03,2.377717e-03,2.382275e-03,2.395902e-03,2.408618e-03,2.412501e-03,2.420461e-03,2.427599e-03,2.431467e-03,2.441277e-03,2.441670e-03,2.451105e-03,2.453614e-03,2.459804e-03,2.464683e-03,2.467798e-03,2.474557e-03,2.475118e-03,2.481794e-03,2.483303e-03,2.487853e-03,2.490987e-03,2.493324e-03,2.497671e-03,2.498231e-03,2.502602e-03,2.503414e-03,2.506461e-03,2.508272e-03,2.509830e-03,2.512299e-03,2.512733e-03,2.515193e-03,2.515547e-03,2.517229e-03,2.518062e-03,2.518863e-03,2.519893e-03,2.520113e-03,2.520999e-03,2.521081e-03,2.521538e-03,2.521670e-03,2.521749e-03,2.521699e-03,2.521646e-03,2.521248e-03,2.521204e-03,2.520568e-03,2.520221e-03,2.519623e-03,2.518785e-03,2.518425e-03,2.516988e-03,2.516926e-03,2.515326e-03,2.514675e-03,2.513452e-03,2.512061e-03,2.511376e-03,2.509111e-03,2.505849e-03,2.502301e-03,2.498489e-03,2.494434e-03,2.490158e-03,2.485679e-03,2.481015e-03,2.476184e-03,2.471201e-03,2.466083e-03,2.460842e-03,2.455493e-03,2.450049e-03,2.444521e-03,2.438920e-03,2.433257e-03,2.427542e-03,2.421784e-03,2.415992e-03,2.410174e-03,2.404337e-03,2.398489e-03,2.392637e-03,2.386786e-03
0.000000e+00,2.610751e-12,5.925869e-12,2.002806e-11,4.486281e-11,6.489724e-11,1.440527e-10,1.482565e-10,2.804627e-10,3.276492e-10,4.719962e-10,6.199237e-10,7.337433e-10,1.045311e-09,1.075811e-09,1.503666e-09,1.618890e-09,2.013141e-09,2.329147e-09,2.590314e-09,3.140140e-09,3.217478e-09,3.878540e-09,4.013632e-09,4.560591e-09,4.920068e-09,5.253377e-09,5.837380e-09,5.948429e-09,6.638469e-09,6.747971e-09,7.317086e-09,7.637077e-09,7.978626e-09,8.492231e-09,8.618169e-09,9.231551e-09,9.303230e-09,9.815381e-09,1.006220e-08,1.036704e-08,1.076363e-08,1.088469e-08,1.136719e-08,1.140425e-08,1.181401e-08,1.198274e-08,1.222521e-08,1.249951e-08,1.260133e-08,1.294330e-08,1.295629e-08,1.325236e-08,1.335585e-08,1.352999e-08,1.370166e-08,1.377783e-08,1.399763e-08,1.419118e-08,1.424787e-08,1.436029e-08,1.445653e-08,1.450676e-08,1.462769e-08,1.463233e-08,1.473867e-08,1.476522e-08,1.482737e-08,1.487277e-08,1.489997e-08,1.495374e-08,1.495786e-08,1.500236e-08,1.501119e-08,1.503470e-08,1.504791e-08,1.505599e-08,1.506642e-08,1.506728e-08,1.506951e-08,1.506894e-08,1.506355e-08,1.505749e-08,1.505021e-08,1.503382e-08,1.503019e-08,1.500417e-08,1.499949e-08,1.497275e-08,1.495591e-08,1.493646e-08,1.490427e-08,1.489581e-08,1.485125e-08,1.484566e-08,1.480319e-08,1.478103e-08,1.475200e-08,1.471121e-08,1.469802e-08,1.464156e-08,1.463694e-08,1.458290e-08,1.455888e-08,1.452230e-08,1.447759e-08,1.445998e-08,1.439617e-08,1.439359e-08,1.433105e-08,1.430732e-08,1.426480e-08,1.421920e-08,1.419759e-08,1.412956e-08,1.406084e-08,1.403872e-08,1.399156e-08,1.394697e-08,1.392183e-08,1.385456e-08,1.385175e-08,1.378142e-08,1.376169e-08,1.371092e-08,1.366858e-08,1.364034e-08,1.357539e-08,1.356975e-08,1.349920e-08,1.348229e-08,1.342877e-08,1.338940e-08,1.335851e-08,1.329686e-08,1.328847e-08,1.321870e-08,1.320478e-08,1.314923e-08,1.311324e-08,1.308011e-08,1.302235e-08,1.301138e-08,1.294307e-08,1.293218e-08,1.287520e-08,1.284279e-08,1.280780e-08,1.275424e-08,1.274090e-08,1.267452e-08,1.266659e-08,1.260869e-08,1.257989e-08,1.254340e-08,1.249417e-08,1.247870e-08,1.241458e-08,1.240947e-08,1.235106e-08,1.232583e-08,1.228816e-08,1.224325e-08,1.222588e-08,1.216423e-08,1.216178e-08,1.210322e-08,1.208142e-08,1.204286e-08,1.200219e-08,1.198315e-08,1.192410e-08,1.184716e-08,1.177138e-08,1.169676e-08,1.162330e-08,1.155101e-08,1.147987e-08,1.140990e-08,1.134108e-08,1.127341e-08,1.120688e-08,1.114149e-08,1.107722e-08,1.101407e-08,1.095202e-08,1.089107e-08,1.083119e-08,1.077239e-08,1.071465e-08,1.065795e-08,1.060229e-08,1.054764e-08,1.049399e-08,1.044134e-08,1.038966e-08
0.000000e+00,1.548493e-10,4.413254e-10,1.943461e-09,4.977569e-09,7.586604e-09,1.854338e-08,1.914364e-08,3.854302e-08,4.563768e-08,6.768023e-08,9.064105e-08,1.084948e-07,1.580480e-07,1.629503e-07,2.327636e-07,2.519280e-07,3.188050e-07,3.739486e-07,4.205823e-07,5.218688e-07,5.364478e-07,6.643079e-07,6.911373e-07,8.021361e-07,8.771361e-07,9.481185e-07,1.075845e-06,1.100619e-06,1.258120e-06,1.283687e-06,1.419179e-06,1.497343e-06,1.582416e-06,1.713688e-06,1.746517e-06,1.910246e-06,1.929813e-06,2.072457e-06,2.143078e-06,2.232112e-06,2.351168e-06,2.388288e-06,2.540189e-06,2.552136e-06,2.687143e-06,2.744413e-06,2.828603e-06,2.926808e-06,2.964142e-06,3.093443e-06,3.098482e-06,3.216291e-06,3.258911e-06,3.332563e-06,3.407846e-06,3.442213e-06,3.545265e-06,3.641798e-06,3.671331e-06,3.731940e-06,3.786354e-06,3.815860e-06,3.890754e-06,3.893757e-06,3.965849e-06,3.985024e-06,4.032361e-06,4.069689e-06,4.093532e-06,4.145305e-06,4.149610e-06,4.200847e-06,4.212452e-06,4.247494e-06,4.271703e-06,4.289798e-06,4.323629e-06,4.328006e-06,4.362358e-06,4.368786e-06,4.393084e-06,4.407704e-06,4.420409e-06,4.440891e-06,4.444547e-06,4.465707e-06,4.468829e-06,4.484092e-06,4.491994e-06,4.499912e-06,4.510841e-06,4.513343e-06,4.524540e-06,4.525741e-06,4.533660e-06,4.537054e-06,4.540850e-06,4.545104e-06,4.546241e-06,4.549964e-06,4.550193e-06,4.552139e-06,4.552600e-06,4.552877e-06,4.552580e-06,4.552287e-06,4.550466e-06,4.550369e-06,4.547510e-06,4.546184e-06,4.543504e-06,4.540223e-06,4.538531e-06,4.532668e-06,4.525987e-06,4.523687e-06,4.518554e-06,4.513432e-06,4.510433e-06,4.502043e-06,4.501682e-06,4.492356e-06,4.489649e-06,4.482507e-06,4.476367e-06,4.472183e-06,4.462303e-06,4.461428e-06,4.450284e-06,4.447556e-06,4.438791e-06,4.432216e-06,4.426985e-06,4.416364e-06,4.414900e-06,4.402568e-06,4.400074e-06,4.390018e-06,4.383415e-06,4.377278e-06,4.366449e-06,4.364374e-06,4.351330e-06,4.349232e-06,4.338168e-06,4.331815e-06,4.324910e-06,4.314246e-06,4.311573e-06,4.298178e-06,4.296567e-06,4.284740e-06,4.278817e-06,4.271274e-06,4.261031e-06,4.257796e-06,4.244319e-06,4.243241e-06,4.230855e-06,4.225476e-06,4.217416e-06,4.207762e-06,4.204013e-06,4.190655e-06,4.190122e-06,4.177352e-06,4.172577e-06,4.164111e-06,4.155148e-06,4.150941e-06,4.137850e-06,4.120698e-06,4.103708e-06,4.086891e-06,4.070258e-06,4.053817e-06,4.037579e-06,4.021550e-06,4.005736e-06,3.990143e-06,3.974775e-06,3.959636e-06,3.944730e-06,3.930059e-06,3.915624e-06,3.901428e-06,3.887471e-06,3.873754e-06,3.860277e-06,3.847039e-06,3.834040e-06,3.821280e-06,3.808756e-06,3.796467e-06,3.784413e-06
0.000000e+00,1.733685e-10,4.512416e-10,1.786205e-09,4.350098e-09,6.512969e-09,1.547834e-08,1.596727e-08,3.174706e-08,3.752010e-08,5.548896e-08,7.426588e-08,8.890829e-08,1.297355e-07,1.337897e-07,1.918604e-07,2.079242e-07,2.644746e-07,3.117429e-07,3.521984e-07,4.415983e-07,4.546355e-07,5.706947e-07,5.954228e-07,6.990222e-07,7.701519e-07,8.382754e-07,9.627708e-07,9.871992e-07,1.144618e-06,1.170517e-06,1.309405e-06,1.390797e-06,1.480466e-06,1.621111e-06,1.656730e-06,1.837156e-06,1.859038e-06,2.020738e-06,2.102264e-06,2.206516e-06,2.348617e-06,2.393586e-06,2.581112e-06,2.596110e-06,2.768325e-06,2.842966e-06,2.954535e-06,3.087634e-06,3.139122e-06,3.321545e-06,3.328790e-06,3.501331e-06,3.565329e-06,3.678076e-06,3.796349e-06,3.851438e-06,4.021132e-06,4.186925e-06,4.239123e-06,4.348630e-06,4.449907e-06,4.506102e-06,4.653190e-06,4.659231e-06,4.807939e-06,4.848778e-06,4.952176e-06,5.036559e-06,5.091913e-06,5.216490e-06,5.227143e-06,5.357877e-06,5.388586e-06,5.484138e-06,5.552904e-06,5.605964e-06,5.709538e-06,5.723401e-06,5.836505e-06,5.858611e-06,5.945339e-06,6.000268e-06,6.049972e-06,6.134671e-06,6.150478e-06,6.246934e-06,6.261996e-06,6.339420e-06,6.382428e-06,6.428021e-06,6.496160e-06,6.512820e-06,6.593904e-06,6.603388e-06,6.671359e-06,6.704313e-06,6.745275e-06,6.799138e-06,6.815739e-06,6.882838e-06,6.888063e-06,6.946660e-06,6.971292e-06,7.007294e-06,7.049023e-06,7.064824e-06,7.119337e-06,7.121456e-06,7.170917e-06,7.188784e-06,7.219649e-06,7.251201e-06,7.265615e-06,7.308896e-06,7.349573e-06,7.362052e-06,7.387724e-06,7.410852e-06,7.423428e-06,7.455471e-06,7.456759e-06,7.487794e-06,7.496082e-06,7.516605e-06,7.532853e-06,7.543263e-06,7.565948e-06,7.567839e-06,7.590403e-06,7.595526e-06,7.611020e-06,7.621740e-06,7.629757e-06,7.644741e-06,7.646678e-06,7.661846e-06,7.664674e-06,7.675321e-06,7.681680e-06,7.687165e-06,7.695895e-06,7.697434e-06,7.706187e-06,7.707450e-06,7.713477e-06,7.716473e-06,7.719360e-06,7.723088e-06,7.723888e-06,7.727111e-06,7.727413e-06,7.729081e-06,7.729562e-06,7.729845e-06,7.729648e-06,7.729450e-06,7.727943e-06,7.727775e-06,7.725367e-06,7.724048e-06,7.721767e-06,7.718564e-06,7.717184e-06,7.711660e-06,7.711420e-06,7.705233e-06,7.702706e-06,7.697943e-06,7.692512e-06,7.689827e-06,7.680921e-06,7.668016e-06,7.653873e-06,7.638570e-06,7.622176e-06,7.604761e-06,7.586393e-06,7.567133e-06,7.547042e-06,7.526179e-06,7.504600e-06,7.482357e-06,7.459502e-06,7.436083e-06,7.412146e-06,7.387736e-06,7.362896e-06,7.337665e-06,7.312082e-06,7.286183e-06,7.260005e-06,7.233579e-06,7.206937e-06,7.180111e-06,7.153127e-06
0.000000e+00,2.807154e-10,9.875431e-10,6.073303e-09,1.938184e-08,3.254054e-08,9.659244e-08,1.003747e-07,2.314048e-07,2.823377e-07,4.469177e-07,6.253233e-07,7.673827e-07,1.171875e-06,1.212524e-06,1.801039e-06,1.965516e-06,2.549295e-06,3.042607e-06,3.468544e-06,4.421176e-06,4.561289e-06,5.819166e-06,6.089110e-06,7.224293e-06,8.005472e-06,8.753234e-06,1.011495e-05,1.038103e-05,1.208371e-05,1.236159e-05,1.383930e-05,1.469489e-05,1.562802e-05,1.707085e-05,1.743211e-05,1.923574e-05,1.945146e-05,2.102483e-05,2.180419e-05,2.278705e-05,2.410174e-05,2.451173e-05,2.618989e-05,2.632190e-05,2.781411e-05,2.844732e-05,2.937847e-05,3.046515e-05,3.087844e-05,3.231075e-05,3.236660e-05,3.367325e-05,3.414640e-05,3.496476e-05,3.580224e-05,3.618496e-05,3.733422e-05,3.841350e-05,3.874431e-05,3.942423e-05,4.003594e-05,4.036821e-05,4.121359e-05,4.124755e-05,4.206453e-05,4.228245e-05,4.282162e-05,4.324818e-05,4.352135e-05,4.411668e-05,4.416633e-05,4.475915e-05,4.489396e-05,4.530242e-05,4.558596e-05,4.579870e-05,4.619854e-05,4.625049e-05,4.666023e-05,4.673735e-05,4.703029e-05,4.720781e-05,4.736296e-05,4.761509e-05,4.766041e-05,4.792475e-05,4.796411e-05,4.815800e-05,4.825947e-05,4.836206e-05,4.850553e-05,4.853877e-05,4.868985e-05,4.870634e-05,4.881697e-05,4.886571e-05,4.892167e-05,4.898718e-05,4.900545e-05,4.906970e-05,4.907404e-05,4.911575e-05,4.912936e-05,4.914486e-05,4.915598e-05,4.915819e-05,4.915688e-05,4.915654e-05,4.914197e-05,4.913347e-05,4.911446e-05,4.908903e-05,4.907528e-05,4.902531e-05,4.896538e-05,4.894423e-05,4.889628e-05,4.884757e-05,4.881872e-05,4.873697e-05,4.873342e-05,4.864100e-05,4.861394e-05,4.854209e-05,4.847987e-05,4.843725e-05,4.833603e-05,4.832703e-05,4.821192e-05,4.818362e-05,4.809239e-05,4.802370e-05,4.796890e-05,4.785727e-05,4.784185e-05,4.771163e-05,4.768524e-05,4.757861e-05,4.750844e-05,4.744313e-05,4.732765e-05,4.730550e-05,4.716603e-05,4.714356e-05,4.702499e-05,4.695682e-05,4.688265e-05,4.676799e-05,4.673924e-05,4.659499e-05,4.657763e-05,4.645011e-05,4.638622e-05,4.630480e-05,4.619419e-05,4.615924e-05,4.601360e-05,4.600195e-05,4.586803e-05,4.580986e-05,4.572269e-05,4.561826e-05,4.557771e-05,4.543320e-05,4.542743e-05,4.528930e-05,4.523766e-05,4.514610e-05,4.504918e-05,4.500371e-05,4.486221e-05,4.467694e-05,4.449355e-05,4.431219e-05,4.413299e-05,4.395609e-05,4.378157e-05,4.360953e-05,4.344005e-05,4.327319e-05,4.310901e-05,4.294756e-05,4.278887e-05,4.263297e-05,4.247989e-05,4.232964e-05,4.218222e-05,4.203765e-05,4.189591e-05,4.175699e-05,4.162090e-05,4.148761e-05,4.135709e-05,4.122934e-05,4.110433e-05
0.000000e+00,1.472847e-10,4.009068e-10,1.670939e-09,4.170072e-09,6.298271e-09,1.517363e-08,1.565844e-08,3.128818e-08,3.698912e-08,5.465347e-08,7.297408e-08,8.716311e-08,1.263089e-07,1.301657e-07,1.849205e-07,1.999377e-07,2.525323e-07,2.963390e-07,3.338408e-07,4.170700e-07,4.292675e-07,5.386540e-07,5.621452e-07,6.611699e-07,7.296067e-07,7.953708e-07,9.157846e-07,9.394106e-07,1.091313e-06,1.116218e-06,1.249179e-06,1.326559e-06,1.411289e-06,1.543016e-06,1.576140e-06,1.742427e-06,1.762422e-06,1.909026e-06,1.982174e-06,2.074970e-06,2.200134e-06,2.239430e-06,2.401701e-06,2.414569e-06,2.561189e-06,2.624091e-06,2.717401e-06,2.827615e-06,2.869933e-06,3.018464e-06,3.024318e-06,3.162741e-06,3.213602e-06,3.302577e-06,3.395059e-06,3.437838e-06,3.568437e-06,3.694328e-06,3.733615e-06,3.815497e-06,3.890574e-06,3.931962e-06,4.039378e-06,4.043761e-06,4.150955e-06,4.180154e-06,4.253618e-06,4.313077e-06,4.351838e-06,4.438359e-06,4.445712e-06,4.535346e-06,4.556239e-06,4.620850e-06,4.666972e-06,4.702341e-06,4.770826e-06,4.779936e-06,4.853755e-06,4.868076e-06,4.923919e-06,4.959000e-06,4.990548e-06,5.043874e-06,5.053764e-06,5.113683e-06,5.122972e-06,5.170425e-06,5.196566e-06,5.224105e-06,5.264920e-06,5.274835e-06,5.322728e-06,5.328290e-06,5.367893e-06,5.386928e-06,5.410434e-06,5.441075e-06,5.450456e-06,5.488060e-06,5.490966e-06,5.523342e-06,5.536826e-06,5.556398e-06,5.578873e-06,5.587321e-06,5.616200e-06,5.617313e-06,5.643120e-06,5.652349e-06,5.668167e-06,5.684170e-06,5.691421e-06,5.712961e-06,5.732862e-06,5.738897e-06,5.751198e-06,5.762144e-06,5.768039e-06,5.782864e-06,5.783454e-06,5.797508e-06,5.801208e-06,5.810264e-06,5.817321e-06,5.821784e-06,5.831342e-06,5.832127e-06,5.841349e-06,5.843402e-06,5.849505e-06,5.853626e-06,5.856646e-06,5.862133e-06,5.862825e-06,5.868088e-06,5.869035e-06,5.872484e-06,5.874441e-06,5.876056e-06,5.878452e-06,5.878848e-06,5.880901e-06,5.881163e-06,5.882254e-06,5.882667e-06,5.882946e-06,5.883049e-06,5.883014e-06,5.882492e-06,5.882391e-06,5.881414e-06,5.880772e-06,5.879812e-06,5.878263e-06,5.877717e-06,5.875158e-06,5.874935e-06,5.872165e-06,5.870851e-06,5.868763e-06,5.866075e-06,5.864978e-06,5.860836e-06,5.860664e-06,5.856360e-06,5.854672e-06,5.851573e-06,5.848151e-06,5.846497e-06,5.841151e-06,5.833716e-06,5.825889e-06,5.817711e-06,5.809220e-06,5.800451e-06,5.791438e-06,5.782211e-06,5.772800e-06,5.763233e-06,5.753534e-06,5.743728e-06,5.733837e-06,5.723881e-06,5.713879e-06,5.703851e-06,5.693811e-06,5.683775e-06,5.673758e-06,5.663773e-06,5.653832e-06,5.643945e-06,5.634123e-06,5.624376e-06,5.614712e-06
0.000000e+00,6.942302e-10,2.397973e-09,1.426327e-08,4.437854e-08,7.361858e-08,2.131011e-07,2.212572e-07,5.016176e-07,6.100393e-07,9.600681e-07,1.340247e-06,1.644004e-06,2.513977e-06,2.601731e-06,3.873607e-06,4.228111e-06,5.476040e-06,6.513397e-06,7.394518e-06,9.317123e-06,9.594716e-06,1.203756e-05,1.255197e-05,1.468660e-05,1.613455e-05,1.750890e-05,1.999105e-05,2.047379e-05,2.355165e-05,2.405265e-05,2.671354e-05,2.825277e-05,2.993125e-05,3.252735e-05,3.317768e-05,3.642733e-05,3.681637e-05,3.965672e-05,4.106568e-05,4.284469e-05,4.522832e-05,4.597266e-05,4.902468e-05,4.926515e-05,5.198741e-05,5.314499e-05,5.485001e-05,5.684424e-05,5.760400e-05,6.024301e-05,6.034611e-05,6.276251e-05,6.363968e-05,6.515966e-05,6.671907e-05,6.743306e-05,6.958249e-05,7.160874e-05,7.223137e-05,7.351344e-05,7.466969e-05,7.529888e-05,7.690333e-05,7.696789e-05,7.852370e-05,7.893951e-05,7.996984e-05,8.078645e-05,8.131009e-05,8.245296e-05,8.254836e-05,8.368866e-05,8.394821e-05,8.473506e-05,8.528154e-05,8.569161e-05,8.646226e-05,8.656235e-05,8.735125e-05,8.749956e-05,8.806223e-05,8.840242e-05,8.869911e-05,8.917956e-05,8.926562e-05,8.976538e-05,8.983938e-05,9.020189e-05,9.038994e-05,9.057853e-05,9.083895e-05,9.089859e-05,9.116520e-05,9.119375e-05,9.138140e-05,9.146130e-05,9.155007e-05,9.164821e-05,9.167402e-05,9.175591e-05,9.176073e-05,9.179830e-05,9.180474e-05,9.180362e-05,9.178581e-05,9.177420e-05,9.171228e-05,9.170915e-05,9.161997e-05,9.157969e-05,9.149929e-05,9.140202e-05,9.135218e-05,9.118046e-05,9.098587e-05,9.091905e-05,9.077008e-05,9.062157e-05,9.053464e-05,9.029154e-05,9.028107e-05,9.001076e-05,8.993227e-05,8.972508e-05,8.954681e-05,8.942527e-05,8.913802e-05,8.911256e-05,8.878808e-05,8.870857e-05,8.845290e-05,8.826092e-05,8.810805e-05,8.779735e-05,8.775449e-05,8.739313e-05,8.732000e-05,8.702482e-05,8.683082e-05,8.665037e-05,8.633165e-05,8.627054e-05,8.588605e-05,8.582415e-05,8.549758e-05,8.530988e-05,8.510575e-05,8.479027e-05,8.471116e-05,8.431437e-05,8.426663e-05,8.391590e-05,8.374017e-05,8.351625e-05,8.321201e-05,8.311587e-05,8.271520e-05,8.268314e-05,8.231463e-05,8.215451e-05,8.191454e-05,8.162697e-05,8.151528e-05,8.111716e-05,8.110127e-05,8.072051e-05,8.057812e-05,8.032558e-05,8.005816e-05,7.993265e-05,7.954196e-05,7.903003e-05,7.852284e-05,7.802081e-05,7.752430e-05,7.703365e-05,7.654913e-05,7.607101e-05,7.559950e-05,7.513478e-05,7.467703e-05,7.422636e-05,7.378290e-05,7.334672e-05,7.291790e-05,7.249648e-05,7.208249e-05,7.167595e-05,7.127686e-05,7.088520e-05,7.050095e-05,7.012409e-05,6.975455e-05,6.939230e-05,6.903727e-05
0.000000e+00,1.559346e-10,3.790146e-10,1.384658e-09,3.231952e-09,4.755986e-09,1.093334e-08,1.126639e-08,2.191487e-08,2.578208e-08,3.778135e-08,5.030040e-08,6.006167e-08,8.724598e-08,8.993804e-08,1.281498e-07,1.385629e-07,1.745306e-07,2.037324e-07,2.281272e-07,2.803168e-07,2.877533e-07,3.523457e-07,3.657800e-07,4.210247e-07,4.581005e-07,4.930405e-07,5.556150e-07,5.677147e-07,6.444034e-07,6.568184e-07,7.224791e-07,7.602671e-07,8.013273e-07,8.645596e-07,8.803503e-07,9.589757e-07,9.683580e-07,1.036664e-06,1.070420e-06,1.112918e-06,1.169632e-06,1.187287e-06,1.259378e-06,1.265037e-06,1.328854e-06,1.355846e-06,1.395432e-06,1.441448e-06,1.458891e-06,1.519061e-06,1.521397e-06,1.575823e-06,1.595408e-06,1.629106e-06,1.663333e-06,1.678878e-06,1.725145e-06,1.767942e-06,1.780914e-06,1.807332e-06,1.830793e-06,1.843401e-06,1.874997e-06,1.876250e-06,1.905997e-06,1.913786e-06,1.932764e-06,1.947448e-06,1.956682e-06,1.976287e-06,1.977886e-06,1.996512e-06,2.000614e-06,2.012697e-06,2.020745e-06,2.026577e-06,2.036995e-06,2.038291e-06,2.047973e-06,2.049677e-06,2.055751e-06,2.059086e-06,2.061753e-06,2.065510e-06,2.066099e-06,2.068907e-06,2.069221e-06,2.070291e-06,2.070483e-06,2.070368e-06,2.069565e-06,2.069251e-06,2.067032e-06,2.066695e-06,2.063794e-06,2.062069e-06,2.059623e-06,2.055875e-06,2.054594e-06,2.048779e-06,2.048282e-06,2.042248e-06,2.039449e-06,2.035063e-06,2.029519e-06,2.027284e-06,2.018966e-06,2.018623e-06,2.010162e-06,2.006883e-06,2.000921e-06,1.994410e-06,1.991288e-06,1.981305e-06,1.971012e-06,1.967658e-06,1.960445e-06,1.953554e-06,1.949638e-06,1.939068e-06,1.938624e-06,1.927430e-06,1.924268e-06,1.916086e-06,1.909217e-06,1.904615e-06,1.893971e-06,1.893042e-06,1.881388e-06,1.878581e-06,1.869673e-06,1.863092e-06,1.857915e-06,1.847546e-06,1.846131e-06,1.834337e-06,1.831979e-06,1.822548e-06,1.816424e-06,1.810776e-06,1.800910e-06,1.799034e-06,1.787333e-06,1.785465e-06,1.775683e-06,1.770112e-06,1.764093e-06,1.754870e-06,1.752572e-06,1.741127e-06,1.739759e-06,1.729765e-06,1.724794e-06,1.718494e-06,1.709991e-06,1.707317e-06,1.696241e-06,1.695360e-06,1.685271e-06,1.680913e-06,1.674409e-06,1.666658e-06,1.663660e-06,1.653027e-06,1.652604e-06,1.642512e-06,1.638756e-06,1.632119e-06,1.625121e-06,1.621848e-06,1.611703e-06,1.598504e-06,1.585528e-06,1.572777e-06,1.560251e-06,1.547952e-06,1.535879e-06,1.524032e-06,1.512411e-06,1.501013e-06,1.489837e-06,1.478882e-06,1.468145e-06,1.457625e-06,1.447317e-06,1.437221e-06,1.427332e-06,1.417648e-06,1.408165e-06,1.398881e-06,1.389792e-06,1.380895e-06,1.372186e-06,1.363662e-06,1.355320e-06
0.000000e+00,4.668377e-10,1.379485e-09,6.394259e-09,1.689017e-08,2.608942e-08,6.558128e-08,6.777266e-08,1.396281e-07,1.663105e-07,2.502770e-07,3.391817e-07,4.091777e-07,6.068400e-07,6.266401e-07,9.128494e-07,9.927062e-07,1.275286e-06,1.512405e-06,1.715443e-06,2.162881e-06,2.227889e-06,2.802910e-06,2.924484e-06,3.429981e-06,3.773419e-06,4.099603e-06,4.688973e-06,4.803628e-06,5.534993e-06,5.654119e-06,6.287377e-06,6.654266e-06,7.054973e-06,7.676357e-06,7.832374e-06,8.614528e-06,8.708479e-06,9.396743e-06,9.739811e-06,1.017471e-05,1.076070e-05,1.094452e-05,1.170271e-05,1.176277e-05,1.244623e-05,1.273893e-05,1.317246e-05,1.368340e-05,1.387921e-05,1.456468e-05,1.459163e-05,1.522743e-05,1.546023e-05,1.586635e-05,1.628678e-05,1.648064e-05,1.706977e-05,1.763344e-05,1.780842e-05,1.817156e-05,1.850256e-05,1.868418e-05,1.915254e-05,1.917155e-05,1.963400e-05,1.975908e-05,2.007198e-05,2.032324e-05,2.048601e-05,2.084627e-05,2.087668e-05,2.124460e-05,2.132960e-05,2.159046e-05,2.177476e-05,2.191495e-05,2.218337e-05,2.221876e-05,2.250264e-05,2.255708e-05,2.276729e-05,2.289755e-05,2.301344e-05,2.320644e-05,2.324182e-05,2.345313e-05,2.348540e-05,2.364807e-05,2.373603e-05,2.382733e-05,2.395990e-05,2.399158e-05,2.414147e-05,2.415852e-05,2.427764e-05,2.433336e-05,2.440071e-05,2.448585e-05,2.451128e-05,2.460993e-05,2.461733e-05,2.469724e-05,2.472911e-05,2.477374e-05,2.482242e-05,2.483996e-05,2.489641e-05,2.489847e-05,2.494357e-05,2.495837e-05,2.498193e-05,2.500322e-05,2.501193e-05,2.503402e-05,2.504860e-05,2.505176e-05,2.505610e-05,2.505735e-05,2.505688e-05,2.505167e-05,2.505133e-05,2.503980e-05,2.503555e-05,2.502263e-05,2.500977e-05,2.500016e-05,2.497506e-05,2.497269e-05,2.494053e-05,2.493214e-05,2.490396e-05,2.488166e-05,2.486326e-05,2.482423e-05,2.481869e-05,2.477050e-05,2.476045e-05,2.471894e-05,2.469087e-05,2.466424e-05,2.461601e-05,2.460660e-05,2.454625e-05,2.453635e-05,2.448337e-05,2.445236e-05,2.441817e-05,2.436446e-05,2.435082e-05,2.428150e-05,2.427306e-05,2.421036e-05,2.417853e-05,2.413757e-05,2.408124e-05,2.406328e-05,2.398762e-05,2.398151e-05,2.391073e-05,2.387966e-05,2.383274e-05,2.377598e-05,2.375377e-05,2.367394e-05,2.367073e-05,2.359334e-05,2.356417e-05,2.351210e-05,2.345653e-05,2.343030e-05,2.334804e-05,2.323890e-05,2.312930e-05,2.301941e-05,2.290940e-05,2.279941e-05,2.268960e-05,2.258008e-05,2.247097e-05,2.236239e-05,2.225443e-05,2.214719e-05,2.204075e-05,2.193518e-05,2.183055e-05,2.172694e-05,2.162438e-05,2.152295e-05,2.142267e-05,2.132360e-05,2.122576e-05,2.112919e-05,2.103392e-05,2.093997e-05,2.084736e-05
0.000000e+00,1.730864e-11,3.965311e-11,1.361555e-10,3.090153e-10,4.501890e-10,1.017928e-09,1.048435e-09,2.021631e-09,2.374456e-09,3.468164e-09,4.608241e-09,5.496994e-09,7.975953e-09,8.222101e-09,1.173942e-08,1.270730e-08,1.608468e-08,1.886241e-08,2.120204e-08,2.624317e-08,2.696361e-08,3.322131e-08,3.452031e-08,3.984290e-08,4.339323e-08,4.672049e-08,5.263093e-08,5.376642e-08,6.090705e-08,6.205394e-08,6.807820e-08,7.151418e-08,7.522272e-08,8.088449e-08,8.228928e-08,8.923193e-08,9.005474e-08,9.601015e-08,9.893125e-08,1.025889e-07,1.074369e-07,1.089385e-07,1.150349e-07,1.155111e-07,1.208591e-07,1.231092e-07,1.263968e-07,1.302010e-07,1.316385e-07,1.365783e-07,1.367696e-07,1.412144e-07,1.428091e-07,1.455478e-07,1.483234e-07,1.495822e-07,1.533227e-07,1.567767e-07,1.578229e-07,1.599530e-07,1.618446e-07,1.628613e-07,1.654108e-07,1.655120e-07,1.679162e-07,1.685467e-07,1.700851e-07,1.712782e-07,1.720301e-07,1.736316e-07,1.737627e-07,1.752941e-07,1.756329e-07,1.766355e-07,1.773077e-07,1.777977e-07,1.786807e-07,1.787913e-07,1.796266e-07,1.797755e-07,1.803133e-07,1.806148e-07,1.808609e-07,1.812200e-07,1.812785e-07,1.815746e-07,1.816112e-07,1.817575e-07,1.818074e-07,1.818350e-07,1.818261e-07,1.818146e-07,1.817032e-07,1.816841e-07,1.815076e-07,1.813965e-07,1.812341e-07,1.809778e-07,1.808886e-07,1.804767e-07,1.804411e-07,1.800038e-07,1.797987e-07,1.794749e-07,1.790620e-07,1.788946e-07,1.782675e-07,1.782415e-07,1.775975e-07,1.773467e-07,1.768888e-07,1.763865e-07,1.761449e-07,1.753692e-07,1.745650e-07,1.743022e-07,1.737354e-07,1.731923e-07,1.728831e-07,1.720460e-07,1.720107e-07,1.711209e-07,1.708689e-07,1.702158e-07,1.696663e-07,1.692976e-07,1.684431e-07,1.683684e-07,1.674300e-07,1.672036e-07,1.664841e-07,1.659517e-07,1.655324e-07,1.646912e-07,1.645763e-07,1.636173e-07,1.634253e-07,1.626567e-07,1.621570e-07,1.616957e-07,1.608889e-07,1.607353e-07,1.597767e-07,1.596235e-07,1.588206e-07,1.583629e-07,1.578681e-07,1.571092e-07,1.569199e-07,1.559768e-07,1.558640e-07,1.550394e-07,1.546289e-07,1.541083e-07,1.534053e-07,1.531842e-07,1.522674e-07,1.521944e-07,1.513585e-07,1.509973e-07,1.504579e-07,1.498149e-07,1.495660e-07,1.486831e-07,1.486480e-07,1.478096e-07,1.474974e-07,1.469456e-07,1.463636e-07,1.460914e-07,1.452472e-07,1.441485e-07,1.430680e-07,1.420059e-07,1.409623e-07,1.399375e-07,1.389315e-07,1.379445e-07,1.369763e-07,1.360270e-07,1.350965e-07,1.341847e-07,1.332914e-07,1.324166e-07,1.315600e-07,1.307215e-07,1.299008e-07,1.290977e-07,1.283120e-07,1.275434e-07,1.267917e-07,1.260566e-07,1.253378e-07,1.246351e-07,1.239481e-07
0.000000e+00,5.588756e-12,1.280086e-11,4.406078e-11,1.003393e-10,1.464728e-10,3.328919e-10,3.429369e-10,6.642019e-10,7.809180e-10,1.142955e-09,1.520000e-09,1.813145e-09,2.624048e-09,2.703861e-09,3.827580e-09,4.131271e-09,5.174911e-09,6.019015e-09,6.723783e-09,8.234463e-09,8.450273e-09,1.033237e-08,1.072566e-08,1.234972e-08,1.344565e-08,1.448266e-08,1.634949e-08,1.671183e-08,1.901810e-08,1.939301e-08,2.138280e-08,2.253331e-08,2.378803e-08,2.573008e-08,2.621702e-08,2.865434e-08,2.894670e-08,3.108611e-08,3.215111e-08,3.350007e-08,3.531614e-08,3.588554e-08,3.823342e-08,3.841939e-08,4.053610e-08,4.144308e-08,4.278734e-08,4.437352e-08,4.498212e-08,4.711650e-08,4.720057e-08,4.918747e-08,4.991706e-08,5.119289e-08,5.251839e-08,5.313135e-08,5.500198e-08,5.680444e-08,5.736684e-08,5.853882e-08,5.961327e-08,6.020552e-08,6.174252e-08,6.180524e-08,6.333889e-08,6.375662e-08,6.480758e-08,6.565814e-08,6.621257e-08,6.745006e-08,6.755522e-08,6.883697e-08,6.913570e-08,7.005936e-08,7.071855e-08,7.122395e-08,7.220225e-08,7.233234e-08,7.338616e-08,7.359052e-08,7.438704e-08,7.488711e-08,7.533660e-08,7.609578e-08,7.623649e-08,7.708833e-08,7.722027e-08,7.789370e-08,7.826425e-08,7.865420e-08,7.923135e-08,7.937139e-08,8.004680e-08,8.012511e-08,8.068193e-08,8.094900e-08,8.127825e-08,8.170640e-08,8.183722e-08,8.236023e-08,8.240056e-08,8.284867e-08,8.303467e-08,8.330388e-08,8.361178e-08,8.372716e-08,8.411979e-08,8.413488e-08,8.448302e-08,8.460681e-08,8.481803e-08,8.503033e-08,8.512601e-08,8.540808e-08,8.566535e-08,8.574262e-08,8.589889e-08,8.603637e-08,8.610972e-08,8.629170e-08,8.629886e-08,8.646726e-08,8.651083e-08,8.661588e-08,8.669592e-08,8.674560e-08,8.684903e-08,8.685732e-08,8.695187e-08,8.697210e-08,8.703008e-08,8.706703e-08,8.709273e-08,8.713560e-08,8.714058e-08,8.717437e-08,8.717951e-08,8.719481e-08,8.720038e-08,8.720257e-08,8.719978e-08,8.719832e-08,8.718268e-08,8.717916e-08,8.715627e-08,8.713994e-08,8.711967e-08,8.708343e-08,8.707344e-08,8.701813e-08,8.701090e-08,8.695425e-08,8.692356e-08,8.688231e-08,8.682254e-08,8.680279e-08,8.671614e-08,8.670891e-08,8.662281e-08,8.658371e-08,8.652323e-08,8.644789e-08,8.641780e-08,8.630691e-08,8.630237e-08,8.619094e-08,8.614801e-08,8.607024e-08,8.598564e-08,8.594516e-08,8.581602e-08,8.563987e-08,8.545790e-08,8.527073e-08,8.507898e-08,8.488322e-08,8.468399e-08,8.448179e-08,8.427710e-08,8.407035e-08,8.386196e-08,8.365233e-08,8.344180e-08,8.323073e-08,8.301943e-08,8.280818e-08,8.259726e-08,8.238693e-08,8.217742e-08,8.196894e-08,8.176170e-08,8.155588e-08,8.135164e-08,8.114914e-08,8.094854e-08
0.000000e+00,5.477979e-10,1.354054e-09,5.056057e-09,1.197425e-08,1.775102e-08,4.160695e-08,4.291001e-08,8.530147e-08,1.009943e-07,1.504001e-07,2.025863e-07,2.433280e-07,3.552790e-07,3.661882e-07,5.174718e-07,5.577086e-07,6.945142e-07,8.040331e-07,8.950186e-07,1.089364e-06,1.117093e-06,1.358955e-06,1.409539e-06,1.618724e-06,1.760206e-06,1.894344e-06,2.136476e-06,2.183569e-06,2.484014e-06,2.532962e-06,2.793208e-06,2.943999e-06,3.108670e-06,3.363916e-06,3.427970e-06,3.748795e-06,3.787292e-06,4.068988e-06,4.209159e-06,4.386586e-06,4.625140e-06,4.699840e-06,5.007225e-06,5.031522e-06,5.307439e-06,5.425267e-06,5.599398e-06,5.803993e-06,5.882218e-06,6.155202e-06,6.165909e-06,6.417826e-06,6.509759e-06,6.669720e-06,6.834754e-06,6.910648e-06,7.140485e-06,7.359188e-06,7.426827e-06,7.566801e-06,7.693903e-06,7.763436e-06,7.942020e-06,7.949247e-06,8.124436e-06,8.171618e-06,8.289249e-06,8.383268e-06,8.443956e-06,8.577612e-06,8.588849e-06,8.724236e-06,8.755350e-06,8.850442e-06,8.917239e-06,8.967823e-06,9.064104e-06,9.076737e-06,9.177502e-06,9.196706e-06,9.270446e-06,9.315794e-06,9.355893e-06,9.422104e-06,9.434156e-06,9.505549e-06,9.516355e-06,9.570376e-06,9.599249e-06,9.628936e-06,9.671465e-06,9.681516e-06,9.728396e-06,9.733652e-06,9.769848e-06,9.786435e-06,9.806134e-06,9.830414e-06,9.837510e-06,9.864223e-06,9.866166e-06,9.886510e-06,9.894237e-06,9.904600e-06,9.915149e-06,9.918712e-06,9.929058e-06,9.929397e-06,9.935842e-06,9.937450e-06,9.939259e-06,9.939755e-06,9.939496e-06,9.936734e-06,9.931146e-06,9.928789e-06,9.922898e-06,9.916295e-06,9.912146e-06,9.899611e-06,9.899044e-06,9.883735e-06,9.879073e-06,9.866360e-06,9.854997e-06,9.847049e-06,9.827683e-06,9.825929e-06,9.803123e-06,9.797411e-06,9.778744e-06,9.764446e-06,9.752902e-06,9.729035e-06,9.725703e-06,9.697247e-06,9.691413e-06,9.667627e-06,9.651796e-06,9.636936e-06,9.610389e-06,9.605258e-06,9.572677e-06,9.567385e-06,9.539269e-06,9.522961e-06,9.505108e-06,9.477286e-06,9.470266e-06,9.434808e-06,9.430515e-06,9.398799e-06,9.382795e-06,9.362297e-06,9.334262e-06,9.325360e-06,9.288042e-06,9.285041e-06,9.250393e-06,9.235252e-06,9.212462e-06,9.185003e-06,9.174295e-06,9.135934e-06,9.134396e-06,9.097420e-06,9.083525e-06,9.058792e-06,9.032478e-06,9.020085e-06,8.981334e-06,8.930169e-06,8.879052e-06,8.828045e-06,8.777206e-06,8.726590e-06,8.676244e-06,8.626214e-06,8.576540e-06,8.527260e-06,8.478405e-06,8.430009e-06,8.382096e-06,8.334692e-06,8.287819e-06,8.241496e-06,8.195740e-06,8.150565e-06,8.105985e-06,8.062011e-06,8.018651e-06,7.975915e-06,7.933807e-06,7.892333e-06,7.851497e-06
0.000000e+00,1.334406e-11,3.058623e-11,1.052471e-10,2.397136e-10,3.501933e-10,8.001628e-10,8.245885e-10,1.616049e-09,1.908483e-09,2.831217e-09,3.814730e-09,4.592544e-09,6.783807e-09,7.001368e-09,1.006824e-08,1.089322e-08,1.370148e-08,1.593807e-08,1.778147e-08,2.166523e-08,2.221318e-08,2.692920e-08,2.790186e-08,3.187851e-08,3.452971e-08,3.701744e-08,4.145062e-08,4.230493e-08,4.770052e-08,4.857115e-08,5.316394e-08,5.579878e-08,5.865548e-08,6.304305e-08,6.413667e-08,6.957111e-08,7.021846e-08,7.492508e-08,7.724737e-08,8.016817e-08,8.406214e-08,8.527359e-08,9.021835e-08,9.060639e-08,9.498333e-08,9.683543e-08,9.955318e-08,1.027159e-07,1.039161e-07,1.080634e-07,1.082248e-07,1.119897e-07,1.133484e-07,1.156920e-07,1.180812e-07,1.191696e-07,1.224238e-07,1.254574e-07,1.263823e-07,1.282749e-07,1.299670e-07,1.308815e-07,1.331911e-07,1.332833e-07,1.354873e-07,1.360699e-07,1.375008e-07,1.386205e-07,1.393313e-07,1.408607e-07,1.409869e-07,1.424753e-07,1.428086e-07,1.438046e-07,1.444825e-07,1.449827e-07,1.459005e-07,1.460173e-07,1.469161e-07,1.470803e-07,1.476866e-07,1.480388e-07,1.483357e-07,1.487924e-07,1.488706e-07,1.492978e-07,1.493566e-07,1.496240e-07,1.497465e-07,1.498555e-07,1.499766e-07,1.499983e-07,1.500581e-07,1.500599e-07,1.500401e-07,1.500089e-07,1.499496e-07,1.498355e-07,1.497916e-07,1.495708e-07,1.495505e-07,1.492915e-07,1.491643e-07,1.489579e-07,1.486864e-07,1.485741e-07,1.481439e-07,1.481258e-07,1.476709e-07,1.474907e-07,1.471583e-07,1.467889e-07,1.466096e-07,1.460276e-07,1.454152e-07,1.452133e-07,1.447752e-07,1.443522e-07,1.441100e-07,1.434500e-07,1.434221e-07,1.427136e-07,1.425119e-07,1.419868e-07,1.415427e-07,1.412436e-07,1.405470e-07,1.404858e-07,1.397153e-07,1.395287e-07,1.389337e-07,1.384917e-07,1.381425e-07,1.374394e-07,1.373431e-07,1.365370e-07,1.363751e-07,1.357254e-07,1.353015e-07,1.349094e-07,1.342214e-07,1.340902e-07,1.332687e-07,1.331372e-07,1.324461e-07,1.320510e-07,1.316231e-07,1.309650e-07,1.308005e-07,1.299792e-07,1.298808e-07,1.291599e-07,1.288002e-07,1.283432e-07,1.277246e-07,1.275297e-07,1.267200e-07,1.266554e-07,1.259146e-07,1.255937e-07,1.251140e-07,1.245407e-07,1.243186e-07,1.235288e-07,1.234974e-07,1.227451e-07,1.224644e-07,1.219676e-07,1.214427e-07,1.211968e-07,1.204329e-07,1.194355e-07,1.184511e-07,1.174801e-07,1.165228e-07,1.155796e-07,1.146506e-07,1.137362e-07,1.128365e-07,1.119515e-07,1.110813e-07,1.102261e-07,1.093858e-07,1.085603e-07,1.077497e-07,1.069538e-07,1.061726e-07,1.054060e-07,1.046538e-07,1.039159e-07,1.031922e-07,1.024825e-07,1.017867e-07,1.011044e-07,1.004357e-07
0.000000e+00,3.540833e-10,8.867010e-10,3.347533e-09,7.936270e-09,1.174478e-08,2.723571e-08,2.807129e-08,5.472720e-08,6.436646e-08,9.410624e-08,1.248610e-07,1.486646e-07,2.143438e-07,2.208136e-07,3.124254e-07,3.374019e-07,4.239898e-07,4.947544e-07,5.541978e-07,6.822299e-07,7.005528e-07,8.603003e-07,8.936281e-07,1.030898e-06,1.123136e-06,1.210079e-06,1.365710e-06,1.395779e-06,1.586066e-06,1.616814e-06,1.779112e-06,1.872242e-06,1.973187e-06,2.128094e-06,2.166669e-06,2.358065e-06,2.380826e-06,2.546028e-06,2.627332e-06,2.729371e-06,2.864986e-06,2.907072e-06,3.078285e-06,3.091681e-06,3.242328e-06,3.305814e-06,3.398672e-06,3.506252e-06,3.546935e-06,3.686870e-06,3.692291e-06,3.818343e-06,3.863593e-06,3.941324e-06,4.020125e-06,4.055867e-06,4.162099e-06,4.260205e-06,4.289919e-06,4.350415e-06,4.404129e-06,4.432997e-06,4.505371e-06,4.508244e-06,4.576466e-06,4.594354e-06,4.637988e-06,4.671822e-06,4.693140e-06,4.738538e-06,4.742253e-06,4.785659e-06,4.795263e-06,4.823683e-06,4.842745e-06,4.856644e-06,4.881704e-06,4.884847e-06,4.908591e-06,4.912830e-06,4.928161e-06,4.936781e-06,4.943834e-06,4.954179e-06,4.955871e-06,4.964522e-06,4.965608e-06,4.970025e-06,4.971615e-06,4.972606e-06,4.972710e-06,4.972478e-06,4.969843e-06,4.969367e-06,4.964892e-06,4.962026e-06,4.957805e-06,4.951095e-06,4.948751e-06,4.937890e-06,4.936948e-06,4.925372e-06,4.919933e-06,4.911338e-06,4.900368e-06,4.895919e-06,4.879240e-06,4.878548e-06,4.861416e-06,4.854740e-06,4.842556e-06,4.829192e-06,4.822763e-06,4.802130e-06,4.780747e-06,4.773760e-06,4.758697e-06,4.744271e-06,4.736057e-06,4.713834e-06,4.712899e-06,4.689290e-06,4.682607e-06,4.665293e-06,4.650733e-06,4.640966e-06,4.618340e-06,4.616363e-06,4.591534e-06,4.585546e-06,4.566525e-06,4.552458e-06,4.541381e-06,4.519173e-06,4.516140e-06,4.490840e-06,4.485776e-06,4.465515e-06,4.452347e-06,4.440197e-06,4.418956e-06,4.414914e-06,4.389693e-06,4.385665e-06,4.364559e-06,4.352533e-06,4.339535e-06,4.319608e-06,4.314640e-06,4.289894e-06,4.286936e-06,4.265314e-06,4.254556e-06,4.240916e-06,4.222504e-06,4.216714e-06,4.192720e-06,4.190810e-06,4.168947e-06,4.159502e-06,4.145404e-06,4.128602e-06,4.122102e-06,4.099048e-06,4.098131e-06,4.076249e-06,4.068105e-06,4.053712e-06,4.038540e-06,4.031444e-06,4.009447e-06,3.980837e-06,3.952716e-06,3.925091e-06,3.897966e-06,3.871344e-06,3.845227e-06,3.819614e-06,3.794505e-06,3.769899e-06,3.745792e-06,3.722182e-06,3.699064e-06,3.676433e-06,3.654285e-06,3.632613e-06,3.611412e-06,3.590675e-06,3.570395e-06,3.550565e-06,3.531179e-06,3.512228e-06,3.493706e-06,3.475604e-06,3.457914e-06
0.000000e+00,5.502480e-11,1.431298e-10,5.603439e-10,1.343442e-09,1.991495e-09,4.597549e-09,4.736746e-09,9.110281e-09,1.066238e-08,1.536432e-08,2.010385e-08,2.369673e-08,3.332446e-08,3.425335e-08,4.712458e-08,5.056251e-08,6.233648e-08,7.186191e-08,7.983727e-08,9.701796e-08,9.948099e-08,1.210131e-07,1.255156e-07,1.440658e-07,1.565030e-07,1.681750e-07,1.888645e-07,1.928227e-07,2.174972e-07,2.214161e-07,2.417454e-07,2.531224e-07,2.652027e-07,2.832139e-07,2.875978e-07,3.087424e-07,3.111894e-07,3.285167e-07,3.367647e-07,3.468549e-07,3.598151e-07,3.637325e-07,3.791571e-07,3.803291e-07,3.931609e-07,3.983753e-07,4.057940e-07,4.140763e-07,4.171197e-07,4.272105e-07,4.275895e-07,4.361442e-07,4.390926e-07,4.440015e-07,4.487712e-07,4.508638e-07,4.568112e-07,4.619213e-07,4.633920e-07,4.662685e-07,4.686829e-07,4.699230e-07,4.728406e-07,4.729504e-07,4.754120e-07,4.760076e-07,4.773640e-07,4.783124e-07,4.788583e-07,4.798695e-07,4.799422e-07,4.806586e-07,4.807802e-07,4.810465e-07,4.811337e-07,4.811414e-07,4.810078e-07,4.809750e-07,4.805760e-07,4.804706e-07,4.799703e-07,4.795814e-07,4.791810e-07,4.783914e-07,4.782290e-07,4.771330e-07,4.769454e-07,4.759097e-07,4.752819e-07,4.745743e-07,4.734344e-07,4.731403e-07,4.716197e-07,4.714319e-07,4.700235e-07,4.692998e-07,4.683616e-07,4.670599e-07,4.666426e-07,4.648746e-07,4.647313e-07,4.630647e-07,4.623304e-07,4.612193e-07,4.598719e-07,4.593442e-07,4.574448e-07,4.573684e-07,4.555256e-07,4.548308e-07,4.535911e-07,4.522688e-07,4.516450e-07,4.496908e-07,4.477318e-07,4.471043e-07,4.457707e-07,4.445158e-07,4.438102e-07,4.419309e-07,4.418527e-07,4.399002e-07,4.393546e-07,4.379547e-07,4.367914e-07,4.360178e-07,4.342451e-07,4.340913e-07,4.321765e-07,4.317189e-07,4.302748e-07,4.292159e-07,4.283872e-07,4.267386e-07,4.265148e-07,4.246585e-07,4.242893e-07,4.228193e-07,4.218699e-07,4.209978e-07,4.194820e-07,4.191947e-07,4.174107e-07,4.171270e-07,4.156462e-07,4.148063e-07,4.139016e-07,4.125207e-07,4.121775e-07,4.104741e-07,4.102711e-07,4.087917e-07,4.080582e-07,4.071307e-07,4.058826e-07,4.054911e-07,4.038732e-07,4.037447e-07,4.022771e-07,4.016448e-07,4.007029e-07,3.995831e-07,3.991506e-07,3.976204e-07,3.975597e-07,3.961123e-07,3.955747e-07,3.946261e-07,3.936281e-07,3.931619e-07,3.917197e-07,3.898494e-07,3.880170e-07,3.862223e-07,3.844648e-07,3.827444e-07,3.810605e-07,3.794129e-07,3.778011e-07,3.762246e-07,3.746831e-07,3.731758e-07,3.717025e-07,3.702626e-07,3.688554e-07,3.674807e-07,3.661376e-07,3.648258e-07,3.635447e-07,3.622937e-07,3.610723e-07,3.598799e-07,3.587159e-07,3.575799e-07,3.564712e-07
0.000000e+00,1.998456e-11,4.603061e-11,1.589334e-10,3.614420e-10,5.267435e-10,1.189500e-09,1.225005e-09,2.351532e-09,2.757005e-09,4.004333e-09,5.290096e-09,6.283099e-09,9.015896e-09,9.284669e-09,1.308635e-08,1.412226e-08,1.771377e-08,2.064870e-08,2.311207e-08,2.840238e-08,2.915700e-08,3.570108e-08,3.705753e-08,4.260955e-08,4.630785e-08,4.977008e-08,5.591099e-08,5.708932e-08,6.448776e-08,6.567411e-08,7.189624e-08,7.543782e-08,7.925429e-08,8.506884e-08,8.650935e-08,9.361638e-08,9.445742e-08,1.005377e-07,1.035161e-07,1.072426e-07,1.121784e-07,1.137067e-07,1.199120e-07,1.203968e-07,1.258453e-07,1.281405e-07,1.314984e-07,1.353926e-07,1.368670e-07,1.419499e-07,1.421473e-07,1.467489e-07,1.484077e-07,1.512679e-07,1.541838e-07,1.555126e-07,1.594899e-07,1.632080e-07,1.643444e-07,1.666755e-07,1.687676e-07,1.699019e-07,1.727812e-07,1.728967e-07,1.756698e-07,1.764079e-07,1.782312e-07,1.796705e-07,1.805907e-07,1.825913e-07,1.827578e-07,1.847420e-07,1.851921e-07,1.865526e-07,1.874940e-07,1.881985e-07,1.895175e-07,1.896883e-07,1.910304e-07,1.912818e-07,1.922327e-07,1.928052e-07,1.933030e-07,1.941053e-07,1.942485e-07,1.950765e-07,1.951985e-07,1.957936e-07,1.961003e-07,1.964062e-07,1.968253e-07,1.969206e-07,1.973426e-07,1.973873e-07,1.976778e-07,1.977991e-07,1.979314e-07,1.980728e-07,1.981086e-07,1.982140e-07,1.982195e-07,1.982524e-07,1.982499e-07,1.982279e-07,1.981737e-07,1.981448e-07,1.980068e-07,1.980002e-07,1.978177e-07,1.977378e-07,1.975809e-07,1.973944e-07,1.972998e-07,1.969776e-07,1.966170e-07,1.964941e-07,1.962211e-07,1.959503e-07,1.957924e-07,1.953523e-07,1.953333e-07,1.948464e-07,1.947054e-07,1.943338e-07,1.940148e-07,1.937976e-07,1.932852e-07,1.932399e-07,1.926624e-07,1.925211e-07,1.920671e-07,1.917265e-07,1.914555e-07,1.909051e-07,1.908292e-07,1.901897e-07,1.900604e-07,1.895385e-07,1.891956e-07,1.888767e-07,1.883137e-07,1.882058e-07,1.875267e-07,1.874174e-07,1.868407e-07,1.865092e-07,1.861487e-07,1.855915e-07,1.854518e-07,1.847507e-07,1.846664e-07,1.840465e-07,1.837358e-07,1.833398e-07,1.828015e-07,1.826314e-07,1.819220e-07,1.818652e-07,1.812123e-07,1.809284e-07,1.805028e-07,1.799925e-07,1.797942e-07,1.790870e-07,1.790587e-07,1.783816e-07,1.781282e-07,1.776786e-07,1.772020e-07,1.769783e-07,1.762812e-07,1.753664e-07,1.744585e-07,1.735583e-07,1.726663e-07,1.717832e-07,1.709093e-07,1.700452e-07,1.691913e-07,1.683478e-07,1.675152e-07,1.666936e-07,1.658833e-07,1.650845e-07,1.642973e-07,1.635219e-07,1.627583e-07,1.620066e-07,1.612669e-07,1.605393e-07,1.598236e-07,1.591199e-07,1.584282e-07,1.577485e-07,1.570806e-07
0.000000e+00,1.179276e-10,4.365030e-10,2.959296e-09,1.023112e-08,1.788998e-08,5.841850e-08,6.092557e-08,1.525336e-07,1.900078e-07,3.160370e-07,4.591768e-07,5.769184e-07,9.258664e-07,9.618325e-07,1.494999e-06,1.646999e-06,2.191872e-06,2.655144e-06,3.055166e-06,3.946064e-06,4.076512e-06,5.240936e-06,5.489446e-06,6.530656e-06,7.244693e-06,7.927198e-06,9.169423e-06,9.412229e-06,1.096777e-05,1.122202e-05,1.257625e-05,1.336208e-05,1.422057e-05,1.555075e-05,1.588428e-05,1.755183e-05,1.775150e-05,1.920882e-05,1.993114e-05,2.084223e-05,2.206072e-05,2.244057e-05,2.399406e-05,2.411614e-05,2.549458e-05,2.607847e-05,2.693572e-05,2.793378e-05,2.831262e-05,2.962190e-05,2.967284e-05,3.086147e-05,3.129044e-05,3.203038e-05,3.278484e-05,3.312862e-05,3.415703e-05,3.511705e-05,3.541013e-05,3.601066e-05,3.654878e-05,3.684019e-05,3.757869e-05,3.760826e-05,3.831768e-05,3.850620e-05,3.897135e-05,3.933802e-05,3.957222e-05,4.008092e-05,4.012324e-05,4.062730e-05,4.074160e-05,4.108724e-05,4.132655e-05,4.150577e-05,4.184192e-05,4.188553e-05,4.222901e-05,4.229356e-05,4.253857e-05,4.268690e-05,4.281648e-05,4.302700e-05,4.306483e-05,4.328563e-05,4.331852e-05,4.348073e-05,4.356578e-05,4.365190e-05,4.377270e-05,4.380077e-05,4.392887e-05,4.394291e-05,4.403763e-05,4.407971e-05,4.412839e-05,4.418610e-05,4.420240e-05,4.426080e-05,4.426484e-05,4.430470e-05,4.431842e-05,4.433509e-05,4.434914e-05,4.435292e-05,4.435907e-05,4.435908e-05,4.435434e-05,4.435013e-05,4.433952e-05,4.432403e-05,4.431530e-05,4.428235e-05,4.424129e-05,4.422654e-05,4.419270e-05,4.415790e-05,4.413712e-05,4.407766e-05,4.407506e-05,4.400698e-05,4.398690e-05,4.393332e-05,4.388663e-05,4.385451e-05,4.377778e-05,4.377092e-05,4.368292e-05,4.366118e-05,4.359084e-05,4.353762e-05,4.349501e-05,4.340780e-05,4.339571e-05,4.329323e-05,4.327238e-05,4.318783e-05,4.313195e-05,4.307976e-05,4.298708e-05,4.296924e-05,4.285648e-05,4.283825e-05,4.274170e-05,4.268594e-05,4.262508e-05,4.253059e-05,4.250681e-05,4.238704e-05,4.237258e-05,4.226594e-05,4.221228e-05,4.214366e-05,4.205002e-05,4.202034e-05,4.189610e-05,4.188613e-05,4.177108e-05,4.172087e-05,4.164538e-05,4.155453e-05,4.151913e-05,4.139241e-05,4.138734e-05,4.126534e-05,4.121952e-05,4.113799e-05,4.105129e-05,4.101046e-05,4.088283e-05,4.071432e-05,4.054592e-05,4.037779e-05,4.021007e-05,4.004287e-05,3.987632e-05,3.971053e-05,3.954559e-05,3.938160e-05,3.921864e-05,3.905678e-05,3.889610e-05,3.873666e-05,3.857852e-05,3.842173e-05,3.826634e-05,3.811239e-05,3.795992e-05,3.780896e-05,3.765955e-05,3.751172e-05,3.736548e-05,3.722086e-05,3.707788e-05
0.000000e+00,2.065393e-10,4.958723e-10,1.794441e-09,4.186248e-09,6.169574e-09,1.429646e-08,1.473830e-08,2.903604e-08,3.430182e-08,5.084657e-08,6.837941e-08,8.219612e-08,1.210901e-07,1.249613e-07,1.799837e-07,1.949602e-07,2.465375e-07,2.882331e-07,3.229597e-07,3.970153e-07,4.075476e-07,4.988937e-07,5.178695e-07,5.958484e-07,6.481467e-07,6.974146e-07,7.856198e-07,8.026726e-07,9.107461e-07,9.282424e-07,1.020793e-06,1.074077e-06,1.132006e-06,1.221304e-06,1.243627e-06,1.354953e-06,1.368262e-06,1.465351e-06,1.513483e-06,1.574254e-06,1.655716e-06,1.681171e-06,1.785686e-06,1.793933e-06,1.887455e-06,1.927329e-06,1.986199e-06,2.055297e-06,2.081700e-06,2.173796e-06,2.177407e-06,2.262370e-06,2.293380e-06,2.347350e-06,2.403062e-06,2.428697e-06,2.506409e-06,2.580497e-06,2.603445e-06,2.650995e-06,2.694256e-06,2.717960e-06,2.778981e-06,2.781456e-06,2.841561e-06,2.857794e-06,2.898362e-06,2.930895e-06,2.951951e-06,2.998497e-06,3.002422e-06,3.049874e-06,3.060824e-06,3.094406e-06,3.118107e-06,3.136121e-06,3.170580e-06,3.175120e-06,3.211504e-06,3.218475e-06,3.245372e-06,3.262022e-06,3.276823e-06,3.301445e-06,3.305954e-06,3.332859e-06,3.336964e-06,3.357632e-06,3.368791e-06,3.380361e-06,3.397133e-06,3.401136e-06,3.420041e-06,3.422188e-06,3.437159e-06,3.444146e-06,3.452571e-06,3.463190e-06,3.466353e-06,3.478583e-06,3.479496e-06,3.489331e-06,3.493232e-06,3.498669e-06,3.504556e-06,3.506663e-06,3.513380e-06,3.513623e-06,3.518881e-06,3.520576e-06,3.523228e-06,3.525554e-06,3.526479e-06,3.528689e-06,3.529912e-06,3.530104e-06,3.530201e-06,3.529919e-06,3.529605e-06,3.528245e-06,3.528172e-06,3.525947e-06,3.525188e-06,3.522974e-06,3.520849e-06,3.519296e-06,3.515323e-06,3.514952e-06,3.509982e-06,3.508700e-06,3.504422e-06,3.501064e-06,3.498308e-06,3.492496e-06,3.491674e-06,3.484552e-06,3.483072e-06,3.476973e-06,3.472862e-06,3.468967e-06,3.461933e-06,3.460563e-06,3.451786e-06,3.450349e-06,3.442664e-06,3.438170e-06,3.433221e-06,3.425451e-06,3.423480e-06,3.413464e-06,3.412245e-06,3.403194e-06,3.398601e-06,3.392691e-06,3.384565e-06,3.381975e-06,3.371063e-06,3.370182e-06,3.359973e-06,3.355491e-06,3.348723e-06,3.340532e-06,3.337328e-06,3.325803e-06,3.325340e-06,3.314163e-06,3.309947e-06,3.302422e-06,3.294387e-06,3.290592e-06,3.278687e-06,3.262875e-06,3.246976e-06,3.231015e-06,3.215013e-06,3.198990e-06,3.182966e-06,3.166958e-06,3.150982e-06,3.135054e-06,3.119188e-06,3.103396e-06,3.087690e-06,3.072081e-06,3.056580e-06,3.041194e-06,3.025933e-06,3.010805e-06,2.995815e-06,2.980970e-06,2.966276e-06,2.951738e-06,2.937360e-06,2.923146e-06,2.909100e-06
0.000000e+00,7.701927e-12,1.766609e-11,6.076484e-11,1.380152e-10,2.010752e-10,4.540107e-10,4.675659e-10,8.978508e-10,1.052816e-09,1.529841e-09,2.022145e-09,2.402863e-09,3.453803e-09,3.557483e-09,5.032648e-09,5.438064e-09,6.858504e-09,8.039156e-09,9.045443e-09,1.125527e-08,1.157580e-08,1.440660e-08,1.500398e-08,1.748216e-08,1.915939e-08,2.074650e-08,2.359766e-08,2.414965e-08,2.764874e-08,2.821497e-08,3.120714e-08,3.292677e-08,3.479315e-08,3.766307e-08,3.837901e-08,4.194027e-08,4.236492e-08,4.545545e-08,4.698261e-08,4.890582e-08,5.147479e-08,5.227533e-08,5.555044e-08,5.580802e-08,5.872002e-08,5.995625e-08,6.177521e-08,6.390023e-08,6.470923e-08,6.751719e-08,6.762683e-08,7.019590e-08,7.112823e-08,7.274367e-08,7.440110e-08,7.516007e-08,7.744580e-08,7.960245e-08,8.026568e-08,8.163236e-08,8.286634e-08,8.353850e-08,8.525512e-08,8.532429e-08,8.699353e-08,8.744058e-08,8.855029e-08,8.943211e-08,8.999880e-08,9.123959e-08,9.134344e-08,9.258862e-08,9.287315e-08,9.373877e-08,9.434298e-08,9.479829e-08,9.565914e-08,9.577152e-08,9.666271e-08,9.683147e-08,9.747602e-08,9.786951e-08,9.821548e-08,9.878242e-08,9.888500e-08,9.948835e-08,9.957899e-08,1.000292e-07,1.002676e-07,1.005109e-07,1.008560e-07,1.009369e-07,1.013105e-07,1.013519e-07,1.016346e-07,1.017623e-07,1.019122e-07,1.020937e-07,1.021460e-07,1.023388e-07,1.023525e-07,1.024930e-07,1.025444e-07,1.026110e-07,1.026749e-07,1.026952e-07,1.027477e-07,1.027492e-07,1.027706e-07,1.027719e-07,1.027657e-07,1.027476e-07,1.027351e-07,1.026803e-07,1.026032e-07,1.025740e-07,1.025052e-07,1.024322e-07,1.023878e-07,1.022582e-07,1.022525e-07,1.021006e-07,1.020552e-07,1.019333e-07,1.018260e-07,1.017518e-07,1.015733e-07,1.015573e-07,1.013508e-07,1.012995e-07,1.011333e-07,1.010070e-07,1.009057e-07,1.006979e-07,1.006690e-07,1.004240e-07,1.003741e-07,1.001715e-07,1.000374e-07,9.991213e-08,9.968956e-08,9.964671e-08,9.937586e-08,9.933206e-08,9.910020e-08,9.896635e-08,9.882031e-08,9.859373e-08,9.853675e-08,9.825001e-08,9.821542e-08,9.796059e-08,9.783252e-08,9.766894e-08,9.744606e-08,9.737548e-08,9.708061e-08,9.705697e-08,9.678469e-08,9.666611e-08,9.648808e-08,9.627427e-08,9.619110e-08,9.589405e-08,9.588217e-08,9.559721e-08,9.549046e-08,9.530086e-08,9.509973e-08,9.500522e-08,9.471054e-08,9.432337e-08,9.393868e-08,9.355686e-08,9.317828e-08,9.280328e-08,9.243213e-08,9.206511e-08,9.170244e-08,9.134433e-08,9.099096e-08,9.064248e-08,9.029903e-08,8.996072e-08,8.962765e-08,8.929990e-08,8.897754e-08,8.866061e-08,8.834915e-08,8.804320e-08,8.774275e-08,8.744783e-08,8.715842e-08,8.687452e-08,8.659610e-08
0.000000e+00,5.803252e-11,1.434480e-10,5.348655e-10,1.262368e-09,1.865774e-09,4.319299e-09,4.451598e-09,8.667613e-09,1.018941e-08,1.487317e-08,1.969780e-08,2.341943e-08,3.364510e-08,3.465015e-08,4.888452e-08,5.277752e-08,6.636758e-08,7.762100e-08,8.719597e-08,1.082225e-07,1.112770e-07,1.383703e-07,1.441239e-07,1.681708e-07,1.846325e-07,2.003650e-07,2.290363e-07,2.346503e-07,2.707341e-07,2.766553e-07,3.083305e-07,3.268309e-07,3.471571e-07,3.789172e-07,3.869360e-07,4.273952e-07,4.322835e-07,4.682720e-07,4.863251e-07,5.093163e-07,5.404770e-07,5.502936e-07,5.909880e-07,5.942253e-07,6.312036e-07,6.471160e-07,6.707660e-07,6.987600e-07,7.095227e-07,7.473426e-07,7.488343e-07,7.841158e-07,7.970801e-07,8.197523e-07,8.432986e-07,8.541806e-07,8.873459e-07,9.192090e-07,9.291256e-07,9.497443e-07,9.685832e-07,9.789380e-07,1.005699e-06,1.006787e-06,1.033296e-06,1.040481e-06,1.058480e-06,1.072961e-06,1.082357e-06,1.103190e-06,1.104951e-06,1.126293e-06,1.131232e-06,1.146413e-06,1.157160e-06,1.165346e-06,1.181056e-06,1.183130e-06,1.199802e-06,1.203006e-06,1.215400e-06,1.223100e-06,1.229965e-06,1.241429e-06,1.243535e-06,1.256151e-06,1.258083e-06,1.267851e-06,1.273153e-06,1.278673e-06,1.286725e-06,1.288656e-06,1.297836e-06,1.298886e-06,1.306250e-06,1.309718e-06,1.313932e-06,1.319303e-06,1.320917e-06,1.327238e-06,1.327716e-06,1.332926e-06,1.335031e-06,1.338012e-06,1.341317e-06,1.342525e-06,1.346495e-06,1.346643e-06,1.349950e-06,1.351072e-06,1.352914e-06,1.354663e-06,1.355414e-06,1.357475e-06,1.359119e-06,1.359561e-06,1.360369e-06,1.360973e-06,1.361247e-06,1.361758e-06,1.361773e-06,1.361966e-06,1.361963e-06,1.361846e-06,1.361632e-06,1.361431e-06,1.360803e-06,1.360738e-06,1.359782e-06,1.359516e-06,1.358581e-06,1.357806e-06,1.357149e-06,1.355708e-06,1.355499e-06,1.353647e-06,1.353253e-06,1.351604e-06,1.350471e-06,1.349384e-06,1.347390e-06,1.346997e-06,1.344456e-06,1.344036e-06,1.341771e-06,1.340434e-06,1.338952e-06,1.336607e-06,1.336009e-06,1.332951e-06,1.332577e-06,1.329787e-06,1.328363e-06,1.326525e-06,1.323985e-06,1.323173e-06,1.319739e-06,1.319461e-06,1.316230e-06,1.314807e-06,1.312652e-06,1.310038e-06,1.309013e-06,1.305317e-06,1.305168e-06,1.301572e-06,1.300212e-06,1.297782e-06,1.295182e-06,1.293953e-06,1.290089e-06,1.284944e-06,1.279758e-06,1.274539e-06,1.269296e-06,1.264038e-06,1.258771e-06,1.253503e-06,1.248240e-06,1.242988e-06,1.237753e-06,1.232538e-06,1.227350e-06,1.222191e-06,1.217067e-06,1.211980e-06,1.206933e-06,1.201930e-06,1.196973e-06,1.192065e-06,1.187207e-06,1.182402e-06,1.177651e-06,1.172956e-06,1.168318e-06
0.000000e+00,4.111510e-11,9.468016e-11,3.285886e-10,7.539870e-10,1.105974e-09,2.553843e-09,2.632930e-09,5.213708e-09,6.173920e-09,9.218217e-09,1.247719e-08,1.505892e-08,2.233370e-08,2.305577e-08,3.324279e-08,3.599047e-08,4.538827e-08,5.293525e-08,5.920269e-08,7.255342e-08,7.445307e-08,9.096318e-08,9.440323e-08,1.085867e-07,1.181457e-07,1.271875e-07,1.434681e-07,1.466297e-07,1.667752e-07,1.700544e-07,1.874837e-07,1.975827e-07,2.086155e-07,2.257341e-07,2.300346e-07,2.516110e-07,2.542049e-07,2.732237e-07,2.827159e-07,2.947620e-07,3.110198e-07,3.161266e-07,3.372301e-07,3.389047e-07,3.579970e-07,3.661948e-07,3.783633e-07,3.927485e-07,3.982755e-07,4.176901e-07,4.184558e-07,4.365724e-07,4.432343e-07,4.548956e-07,4.670256e-07,4.726398e-07,4.897912e-07,5.063407e-07,5.115086e-07,5.222840e-07,5.321691e-07,5.376203e-07,5.517741e-07,5.523518e-07,5.664832e-07,5.703334e-07,5.800214e-07,5.878631e-07,5.929749e-07,6.043842e-07,6.053536e-07,6.171686e-07,6.199217e-07,6.284318e-07,6.345027e-07,6.391556e-07,6.481567e-07,6.493531e-07,6.590378e-07,6.609144e-07,6.682234e-07,6.728073e-07,6.769237e-07,6.838671e-07,6.851526e-07,6.929238e-07,6.941257e-07,7.002514e-07,7.036150e-07,7.071490e-07,7.123667e-07,7.136303e-07,7.197087e-07,7.204117e-07,7.253976e-07,7.277806e-07,7.307100e-07,7.345035e-07,7.356587e-07,7.402565e-07,7.406095e-07,7.445155e-07,7.461271e-07,7.484481e-07,7.510839e-07,7.520659e-07,7.553805e-07,7.555069e-07,7.584033e-07,7.594221e-07,7.611452e-07,7.628547e-07,7.636170e-07,7.658291e-07,7.677917e-07,7.683687e-07,7.695147e-07,7.704961e-07,7.710077e-07,7.722333e-07,7.722801e-07,7.733409e-07,7.736013e-07,7.741990e-07,7.746201e-07,7.748629e-07,7.753093e-07,7.753409e-07,7.756409e-07,7.756874e-07,7.757709e-07,7.757723e-07,7.757384e-07,7.755811e-07,7.755506e-07,7.752147e-07,7.751303e-07,7.747373e-07,7.744355e-07,7.741253e-07,7.735118e-07,7.733849e-07,7.725224e-07,7.723735e-07,7.715437e-07,7.710343e-07,7.704545e-07,7.695074e-07,7.692605e-07,7.679670e-07,7.678053e-07,7.665791e-07,7.659399e-07,7.651020e-07,7.639226e-07,7.635403e-07,7.618988e-07,7.617642e-07,7.601819e-07,7.594750e-07,7.583940e-07,7.570650e-07,7.565391e-07,7.546214e-07,7.545434e-07,7.526446e-07,7.519192e-07,7.506124e-07,7.492007e-07,7.485284e-07,7.463960e-07,7.435128e-07,7.405583e-07,7.375393e-07,7.344623e-07,7.313335e-07,7.281588e-07,7.249435e-07,7.216930e-07,7.184121e-07,7.151055e-07,7.117776e-07,7.084325e-07,7.050741e-07,7.017061e-07,6.983319e-07,6.949548e-07,6.915777e-07,6.882035e-07,6.848350e-07,6.814746e-07,6.781246e-07,6.747872e-07,6.714645e-07,6.681583e-07
0.000000e+00,3.400198e-10,1.223858e-09,7.848377e-09,2.586494e-08,4.410259e-08,1.354379e-07,1.409135e-07,3.337189e-07,4.098350e-07,6.588225e-07,9.328214e-07,1.153474e-06,1.791409e-06,1.856184e-06,2.803598e-06,3.070599e-06,4.020630e-06,4.821213e-06,5.507312e-06,7.015728e-06,7.234062e-06,9.150516e-06,9.551541e-06,1.119982e-05,1.230013e-05,1.332922e-05,1.514712e-05,1.549439e-05,1.765974e-05,1.800423e-05,1.979685e-05,2.080572e-05,2.188278e-05,2.350194e-05,2.389876e-05,2.582937e-05,2.605468e-05,2.766210e-05,2.843487e-05,2.938712e-05,3.062151e-05,3.099713e-05,3.248729e-05,3.260124e-05,3.385502e-05,3.436766e-05,3.509983e-05,3.592066e-05,3.622305e-05,3.722760e-05,3.726537e-05,3.811768e-05,3.841107e-05,3.889852e-05,3.937011e-05,3.957608e-05,4.015689e-05,4.064775e-05,4.078695e-05,4.105556e-05,4.127616e-05,4.138720e-05,4.164018e-05,4.164941e-05,4.184867e-05,4.189402e-05,4.199112e-05,4.205176e-05,4.208258e-05,4.212634e-05,4.212846e-05,4.213377e-05,4.212954e-05,4.210315e-05,4.207189e-05,4.204081e-05,4.196277e-05,4.195059e-05,4.183598e-05,4.181042e-05,4.170014e-05,4.162206e-05,4.154588e-05,4.140395e-05,4.137576e-05,4.119203e-05,4.116151e-05,4.099674e-05,4.089944e-05,4.079170e-05,4.062173e-05,4.057851e-05,4.035861e-05,4.033183e-05,4.013326e-05,4.003268e-05,3.990359e-05,3.972676e-05,3.967059e-05,3.943514e-05,3.941622e-05,3.919802e-05,3.910285e-05,3.895991e-05,3.878820e-05,3.872141e-05,3.848306e-05,3.847354e-05,3.824533e-05,3.815997e-05,3.800862e-05,3.784842e-05,3.777329e-05,3.753965e-05,3.730799e-05,3.723431e-05,3.707853e-05,3.693294e-05,3.685149e-05,3.663597e-05,3.662704e-05,3.640534e-05,3.634377e-05,3.618651e-05,3.605664e-05,3.597067e-05,3.577482e-05,3.575791e-05,3.554831e-05,3.549849e-05,3.534193e-05,3.522779e-05,3.513883e-05,3.496283e-05,3.493903e-05,3.474257e-05,3.470368e-05,3.454947e-05,3.445038e-05,3.435973e-05,3.420297e-05,3.417338e-05,3.399039e-05,3.396143e-05,3.381077e-05,3.372575e-05,3.363451e-05,3.349589e-05,3.346157e-05,3.329195e-05,3.327182e-05,3.312562e-05,3.305347e-05,3.296255e-05,3.284078e-05,3.280271e-05,3.264607e-05,3.263368e-05,3.249259e-05,3.243207e-05,3.234222e-05,3.223587e-05,3.219494e-05,3.205071e-05,3.204500e-05,3.190947e-05,3.185935e-05,3.177120e-05,3.167883e-05,3.163583e-05,3.150334e-05,3.133276e-05,3.116700e-05,3.100595e-05,3.084950e-05,3.069756e-05,3.055000e-05,3.040672e-05,3.026763e-05,3.013261e-05,3.000156e-05,2.987438e-05,2.975097e-05,2.963122e-05,2.951505e-05,2.940235e-05,2.929302e-05,2.918699e-05,2.908415e-05,2.898441e-05,2.888769e-05,2.879390e-05,2.870297e-05,2.861480e-05,2.852931e-05
0.000000e+00,6.726770e-11,1.550985e-10,5.363074e-10,1.222016e-09,1.783774e-09,4.055858e-09,4.178495e-09,8.117777e-09,9.557995e-09,1.405669e-08,1.878654e-08,2.248729e-08,3.276339e-08,3.377371e-08,4.788042e-08,5.164221e-08,6.438066e-08,7.447358e-08,8.276695e-08,1.001782e-07,1.026283e-07,1.236472e-07,1.279659e-07,1.455569e-07,1.572204e-07,1.681132e-07,1.873892e-07,1.910827e-07,2.142404e-07,2.179486e-07,2.373722e-07,2.484072e-07,2.602791e-07,2.783209e-07,2.827809e-07,3.047191e-07,3.073071e-07,3.259588e-07,3.350535e-07,3.463889e-07,3.613196e-07,3.659218e-07,3.844917e-07,3.859342e-07,4.020529e-07,4.087881e-07,4.185774e-07,4.298257e-07,4.340529e-07,4.484798e-07,4.490352e-07,4.618694e-07,4.664394e-07,4.742418e-07,4.820875e-07,4.856239e-07,4.960480e-07,5.055500e-07,5.084022e-07,5.141687e-07,5.192398e-07,5.219446e-07,5.286548e-07,5.289189e-07,5.351334e-07,5.367429e-07,5.406294e-07,5.435992e-07,5.454479e-07,5.493168e-07,5.496287e-07,5.532106e-07,5.539854e-07,5.562312e-07,5.576910e-07,5.587265e-07,5.605154e-07,5.607311e-07,5.622781e-07,5.625354e-07,5.633988e-07,5.638231e-07,5.641231e-07,5.644461e-07,5.644795e-07,5.644947e-07,5.644672e-07,5.641943e-07,5.639451e-07,5.636022e-07,5.629339e-07,5.627412e-07,5.616325e-07,5.614838e-07,5.602963e-07,5.596412e-07,5.587515e-07,5.574489e-07,5.570159e-07,5.551061e-07,5.549462e-07,5.530378e-07,5.521694e-07,5.508256e-07,5.491516e-07,5.484834e-07,5.460240e-07,5.459234e-07,5.434594e-07,5.425125e-07,5.408008e-07,5.389447e-07,5.380588e-07,5.352431e-07,5.323630e-07,5.314291e-07,5.294268e-07,5.275219e-07,5.264425e-07,5.235392e-07,5.234175e-07,5.203587e-07,5.194970e-07,5.172723e-07,5.154098e-07,5.141644e-07,5.112906e-07,5.110402e-07,5.079050e-07,5.071514e-07,5.047633e-07,5.030028e-07,5.016195e-07,4.988544e-07,4.984776e-07,4.953412e-07,4.947148e-07,4.922136e-07,4.905918e-07,4.890980e-07,4.864923e-07,4.859973e-07,4.829139e-07,4.824223e-07,4.798502e-07,4.783873e-07,4.768084e-07,4.743921e-07,4.737905e-07,4.707981e-07,4.704408e-07,4.678330e-07,4.665373e-07,4.648964e-07,4.626846e-07,4.619898e-07,4.591142e-07,4.588855e-07,4.562706e-07,4.551423e-07,4.534600e-07,4.514571e-07,4.506830e-07,4.479405e-07,4.478315e-07,4.452328e-07,4.442668e-07,4.425607e-07,4.407640e-07,4.399243e-07,4.373241e-07,4.339475e-07,4.306348e-07,4.273861e-07,4.242014e-07,4.210806e-07,4.180236e-07,4.150299e-07,4.120991e-07,4.092307e-07,4.064241e-07,4.036785e-07,4.009932e-07,3.983674e-07,3.958002e-07,3.932907e-07,3.908381e-07,3.884412e-07,3.860992e-07,3.838111e-07,3.815758e-07,3.793924e-07,3.772597e-07,3.751768e-07,3.731426e-07
0.000000e+00,1.063363e-10,4.013923e-10,2.829461e-09,1.011559e-08,1.800107e-08,6.132814e-08,6.406464e-08,1.665217e-07,2.093881e-07,3.560166e-07,5.256709e-07,6.669362e-07,1.092115e-06,1.136415e-06,1.802986e-06,1.996495e-06,2.703587e-06,3.321669e-06,3.867675e-06,5.121637e-06,5.309241e-06,7.020933e-06,7.393504e-06,8.974362e-06,1.007161e-05,1.112600e-05,1.304939e-05,1.342497e-05,1.581962e-05,1.620836e-05,1.826187e-05,1.943840e-05,2.070944e-05,2.264712e-05,2.312664e-05,2.548429e-05,2.576205e-05,2.775932e-05,2.872942e-05,2.993404e-05,3.151164e-05,3.199555e-05,3.393500e-05,3.408470e-05,3.574708e-05,3.643561e-05,3.742937e-05,3.856019e-05,3.898190e-05,4.040667e-05,4.046105e-05,4.170719e-05,4.214584e-05,4.288818e-05,4.362579e-05,4.395521e-05,4.491441e-05,4.577228e-05,4.602648e-05,4.653547e-05,4.697729e-05,4.721062e-05,4.778201e-05,4.780427e-05,4.832272e-05,4.845525e-05,4.877203e-05,4.901083e-05,4.915793e-05,4.946157e-05,4.948579e-05,4.976064e-05,4.981924e-05,4.998714e-05,5.009449e-05,5.016962e-05,5.029695e-05,5.031205e-05,5.041808e-05,5.043522e-05,5.049105e-05,5.051695e-05,5.053400e-05,5.054894e-05,5.054974e-05,5.054079e-05,5.053723e-05,5.050948e-05,5.048713e-05,5.045790e-05,5.040335e-05,5.038798e-05,5.030145e-05,5.029003e-05,5.019991e-05,5.015085e-05,5.008480e-05,4.998904e-05,4.995742e-05,4.981899e-05,4.980747e-05,4.967059e-05,4.960867e-05,4.951322e-05,4.939488e-05,4.934779e-05,4.917513e-05,4.916808e-05,4.899599e-05,4.893005e-05,4.881107e-05,4.868235e-05,4.862101e-05,4.842639e-05,4.822774e-05,4.816341e-05,4.802556e-05,4.789452e-05,4.782030e-05,4.762073e-05,4.761237e-05,4.740215e-05,4.734293e-05,4.718999e-05,4.706191e-05,4.697623e-05,4.677840e-05,4.676115e-05,4.654503e-05,4.649304e-05,4.632814e-05,4.620642e-05,4.611069e-05,4.591906e-05,4.589292e-05,4.567501e-05,4.563143e-05,4.545716e-05,4.534395e-05,4.523953e-05,4.505701e-05,4.502228e-05,4.480555e-05,4.477094e-05,4.458949e-05,4.448604e-05,4.437420e-05,4.420261e-05,4.415981e-05,4.394642e-05,4.392088e-05,4.373413e-05,4.364109e-05,4.352302e-05,4.336342e-05,4.331318e-05,4.310469e-05,4.308807e-05,4.289761e-05,4.281518e-05,4.269200e-05,4.254491e-05,4.248792e-05,4.228543e-05,4.227736e-05,4.208457e-05,4.201266e-05,4.188538e-05,4.175091e-05,4.168791e-05,4.149218e-05,4.123655e-05,4.098409e-05,4.073485e-05,4.048887e-05,4.024619e-05,4.000683e-05,3.977083e-05,3.953820e-05,3.930895e-05,3.908309e-05,3.886062e-05,3.864153e-05,3.842582e-05,3.821348e-05,3.800449e-05,3.779883e-05,3.759650e-05,3.739745e-05,3.720168e-05,3.700915e-05,3.681983e-05,3.663370e-05,3.645073e-05,3.627087e-05
0.000000e+00,1.032505e-10,2.760585e-10,1.121957e-09,2.754872e-09,4.129691e-09,9.785053e-09,1.009152e-08,1.989154e-08,2.343847e-08,3.437187e-08,4.565283e-08,5.436461e-08,7.832949e-08,8.068593e-08,1.140260e-07,1.231196e-07,1.547154e-07,1.806626e-07,2.025733e-07,2.501872e-07,2.570526e-07,3.174977e-07,3.302463e-07,3.832780e-07,4.193953e-07,4.538032e-07,5.162917e-07,5.284998e-07,6.067897e-07,6.196100e-07,6.880784e-07,7.279830e-07,7.717541e-07,8.399938e-07,8.571923e-07,9.437650e-07,9.542003e-07,1.030851e-06,1.069176e-06,1.117849e-06,1.183554e-06,1.204185e-06,1.289325e-06,1.296070e-06,1.372781e-06,1.405591e-06,1.454114e-06,1.511144e-06,1.532944e-06,1.608946e-06,1.611923e-06,1.681849e-06,1.707293e-06,1.751441e-06,1.796787e-06,1.817560e-06,1.880093e-06,1.938973e-06,1.957037e-06,1.994171e-06,2.027568e-06,2.045695e-06,2.091736e-06,2.093582e-06,2.137897e-06,2.149676e-06,2.178725e-06,2.201590e-06,2.216169e-06,2.247730e-06,2.250347e-06,2.281386e-06,2.288384e-06,2.309423e-06,2.323864e-06,2.334597e-06,2.354496e-06,2.357052e-06,2.376933e-06,2.380613e-06,2.394384e-06,2.402545e-06,2.409546e-06,2.420617e-06,2.422560e-06,2.433559e-06,2.435141e-06,2.442676e-06,2.446420e-06,2.450035e-06,2.454739e-06,2.455759e-06,2.459962e-06,2.460369e-06,2.462754e-06,2.463563e-06,2.464240e-06,2.464556e-06,2.464518e-06,2.463681e-06,2.463568e-06,2.461817e-06,2.460802e-06,2.459008e-06,2.456445e-06,2.455333e-06,2.450864e-06,2.450669e-06,2.445668e-06,2.443632e-06,2.439810e-06,2.435479e-06,2.433349e-06,2.426340e-06,2.418834e-06,2.416335e-06,2.410880e-06,2.405576e-06,2.402523e-06,2.394160e-06,2.393804e-06,2.384762e-06,2.382178e-06,2.375433e-06,2.369712e-06,2.365851e-06,2.356837e-06,2.356045e-06,2.346045e-06,2.343619e-06,2.335877e-06,2.330120e-06,2.325567e-06,2.316393e-06,2.315136e-06,2.304605e-06,2.302489e-06,2.293995e-06,2.288452e-06,2.283323e-06,2.274323e-06,2.272606e-06,2.261858e-06,2.260136e-06,2.251094e-06,2.245926e-06,2.240327e-06,2.231719e-06,2.229569e-06,2.218830e-06,2.217544e-06,2.208122e-06,2.203422e-06,2.197452e-06,2.189374e-06,2.186829e-06,2.176261e-06,2.175418e-06,2.165755e-06,2.161572e-06,2.155317e-06,2.147848e-06,2.144954e-06,2.134670e-06,2.134260e-06,2.124469e-06,2.120819e-06,2.114358e-06,2.107534e-06,2.104338e-06,2.094414e-06,2.081466e-06,2.068696e-06,2.056110e-06,2.043711e-06,2.031504e-06,2.019490e-06,2.007672e-06,1.996053e-06,1.984632e-06,1.973411e-06,1.962389e-06,1.951567e-06,1.940945e-06,1.930520e-06,1.920292e-06,1.910260e-06,1.900423e-06,1.890778e-06,1.881323e-06,1.872057e-06,1.862977e-06,1.854081e-06,1.845367e-06,1.836832e-06
0.000000e+00,3.339608e-10,9.023286e-10,3.717409e-09,9.202466e-09,1.384709e-08,3.311087e-08,3.416072e-08,6.799348e-08,8.035165e-08,1.187779e-07,1.588961e-07,1.901635e-07,2.772058e-07,2.858301e-07,4.085941e-07,4.422064e-07,5.589141e-07,6.543072e-07,7.343492e-07,9.063203e-07,9.308794e-07,1.144464e-06,1.188911e-06,1.371616e-06,1.494090e-06,1.609347e-06,1.815257e-06,1.854987e-06,2.106055e-06,2.146571e-06,2.360207e-06,2.482640e-06,2.615230e-06,2.818480e-06,2.869056e-06,3.119790e-06,3.149588e-06,3.365732e-06,3.472038e-06,3.605396e-06,3.782555e-06,3.837517e-06,4.061052e-06,4.078537e-06,4.275171e-06,4.358036e-06,4.479250e-06,4.619719e-06,4.672854e-06,4.855710e-06,4.862798e-06,5.027692e-06,5.086940e-06,5.188799e-06,5.292191e-06,5.339140e-06,5.478914e-06,5.608361e-06,5.647652e-06,5.727793e-06,5.799140e-06,5.837570e-06,5.934221e-06,5.938068e-06,6.029695e-06,6.053816e-06,6.112863e-06,6.158879e-06,6.187994e-06,6.250377e-06,6.255508e-06,6.315821e-06,6.329270e-06,6.369342e-06,6.396495e-06,6.416467e-06,6.452952e-06,6.457581e-06,6.493057e-06,6.499507e-06,6.523252e-06,6.536980e-06,6.548507e-06,6.566144e-06,6.569150e-06,6.585491e-06,6.587726e-06,6.597825e-06,6.602406e-06,6.606433e-06,6.610815e-06,6.611579e-06,6.613515e-06,6.613542e-06,6.612476e-06,6.611135e-06,6.608688e-06,6.604099e-06,6.602359e-06,6.593689e-06,6.592900e-06,6.582863e-06,6.577969e-06,6.570057e-06,6.559703e-06,6.555434e-06,6.539150e-06,6.538466e-06,6.521349e-06,6.514596e-06,6.502167e-06,6.488399e-06,6.481730e-06,6.460158e-06,6.437561e-06,6.430131e-06,6.414044e-06,6.398555e-06,6.389704e-06,6.365647e-06,6.364631e-06,6.338911e-06,6.331604e-06,6.312622e-06,6.296606e-06,6.285837e-06,6.260817e-06,6.258626e-06,6.231052e-06,6.224387e-06,6.203174e-06,6.187451e-06,6.175048e-06,6.150132e-06,6.146725e-06,6.118252e-06,6.112543e-06,6.089673e-06,6.074784e-06,6.061029e-06,6.036946e-06,6.032358e-06,6.003694e-06,5.999111e-06,5.975071e-06,5.961354e-06,5.946517e-06,5.923741e-06,5.918059e-06,5.889723e-06,5.886332e-06,5.861532e-06,5.849180e-06,5.833507e-06,5.812331e-06,5.805667e-06,5.778030e-06,5.775828e-06,5.750612e-06,5.739709e-06,5.723426e-06,5.704005e-06,5.696487e-06,5.669807e-06,5.668745e-06,5.643395e-06,5.633954e-06,5.617261e-06,5.599654e-06,5.591414e-06,5.565862e-06,5.532594e-06,5.499863e-06,5.467679e-06,5.436051e-06,5.404985e-06,5.374486e-06,5.344557e-06,5.315200e-06,5.286414e-06,5.258201e-06,5.230556e-06,5.203479e-06,5.176964e-06,5.151008e-06,5.125605e-06,5.100751e-06,5.076438e-06,5.052661e-06,5.029411e-06,5.006683e-06,4.984468e-06,4.962758e-06,4.941546e-06,4.920822e-06
0.000000e+00,5.074061e-11,1.167082e-10,4.040157e-10,9.246229e-10,1.354074e-09,3.111999e-09,3.207711e-09,6.319157e-09,7.472688e-09,1.112367e-08,1.503470e-08,1.814555e-08,2.703107e-08,2.792542e-08,4.081253e-08,4.437030e-08,5.674413e-08,6.684249e-08,7.528921e-08,9.333980e-08,9.590669e-08,1.181246e-07,1.227263e-07,1.415755e-07,1.541594e-07,1.659716e-07,1.870199e-07,1.910752e-07,2.166790e-07,2.208092e-07,2.425949e-07,2.550941e-07,2.686500e-07,2.894864e-07,2.946845e-07,3.205528e-07,3.236395e-07,3.461237e-07,3.572503e-07,3.712816e-07,3.900630e-07,3.959260e-07,4.199711e-07,4.218667e-07,4.433471e-07,4.524970e-07,4.659971e-07,4.818297e-07,4.878760e-07,5.089510e-07,5.097769e-07,5.291992e-07,5.362832e-07,5.486064e-07,5.613191e-07,5.671658e-07,5.848775e-07,6.017467e-07,6.069684e-07,6.177832e-07,6.276155e-07,6.330002e-07,6.468529e-07,6.474143e-07,6.610440e-07,6.647225e-07,6.739101e-07,6.812725e-07,6.860349e-07,6.965545e-07,6.974411e-07,7.081520e-07,7.106217e-07,7.181911e-07,7.235285e-07,7.275825e-07,7.353302e-07,7.363501e-07,7.445179e-07,7.460816e-07,7.521093e-07,7.558368e-07,7.591475e-07,7.646488e-07,7.656553e-07,7.716551e-07,7.725693e-07,7.771686e-07,7.796487e-07,7.822172e-07,7.859352e-07,7.868215e-07,7.910016e-07,7.914757e-07,7.947772e-07,7.963151e-07,7.981670e-07,8.004965e-07,8.011893e-07,8.038620e-07,8.040612e-07,8.062020e-07,8.070486e-07,8.082258e-07,8.094962e-07,8.099494e-07,8.113882e-07,8.114400e-07,8.125567e-07,8.129141e-07,8.134694e-07,8.139508e-07,8.141398e-07,8.145811e-07,8.148059e-07,8.148342e-07,8.148264e-07,8.147376e-07,8.146541e-07,8.143178e-07,8.143003e-07,8.137756e-07,8.135995e-07,8.130903e-07,8.126062e-07,8.122543e-07,8.113600e-07,8.112768e-07,8.101669e-07,8.098818e-07,8.089333e-07,8.081915e-07,8.075841e-07,8.063075e-07,8.061273e-07,8.045702e-07,8.042474e-07,8.029202e-07,8.020277e-07,8.011840e-07,7.996638e-07,7.993681e-07,7.974789e-07,7.971702e-07,7.955222e-07,7.945606e-07,7.935036e-07,7.918479e-07,7.914286e-07,7.893023e-07,7.890439e-07,7.871294e-07,7.861599e-07,7.849148e-07,7.832063e-07,7.826627e-07,7.803772e-07,7.801931e-07,7.780625e-07,7.771293e-07,7.757222e-07,7.740233e-07,7.733599e-07,7.709789e-07,7.708833e-07,7.685825e-07,7.677165e-07,7.661736e-07,7.645299e-07,7.637551e-07,7.613297e-07,7.581218e-07,7.549118e-07,7.517046e-07,7.485050e-07,7.453171e-07,7.421449e-07,7.389920e-07,7.358618e-07,7.327571e-07,7.296807e-07,7.266352e-07,7.236227e-07,7.206452e-07,7.177046e-07,7.148024e-07,7.119401e-07,7.091190e-07,7.063400e-07,7.036042e-07,7.009123e-07,6.982650e-07,6.956629e-07,6.931064e-07,6.905958e-07
0.000000e+00,8.576191e-12,1.966085e-11,6.791622e-11,1.556272e-10,2.283058e-10,5.288244e-10,5.453183e-10,1.088063e-09,1.292172e-09,1.946608e-09,2.658833e-09,3.231157e-09,4.879954e-09,5.046321e-09,7.436377e-09,8.092151e-09,1.035783e-08,1.219285e-08,1.372150e-08,1.698022e-08,1.744354e-08,2.146202e-08,2.229718e-08,2.573297e-08,2.804237e-08,3.022323e-08,3.414409e-08,3.490496e-08,3.975240e-08,4.054168e-08,4.474022e-08,4.717672e-08,4.984277e-08,5.398995e-08,5.503404e-08,6.028782e-08,6.092123e-08,6.557808e-08,6.791078e-08,7.087943e-08,7.490084e-08,7.616752e-08,8.141940e-08,8.183734e-08,8.661382e-08,8.867109e-08,9.173142e-08,9.535874e-08,9.675491e-08,1.016691e-07,1.018632e-07,1.064608e-07,1.081537e-07,1.111191e-07,1.142057e-07,1.156347e-07,1.200005e-07,1.242107e-07,1.255244e-07,1.282613e-07,1.307687e-07,1.321496e-07,1.357283e-07,1.358741e-07,1.394343e-07,1.404017e-07,1.428307e-07,1.447904e-07,1.460645e-07,1.488978e-07,1.491378e-07,1.520530e-07,1.527295e-07,1.548131e-07,1.562922e-07,1.574214e-07,1.595940e-07,1.598815e-07,1.621974e-07,1.626436e-07,1.643731e-07,1.654504e-07,1.664127e-07,1.680240e-07,1.683205e-07,1.701009e-07,1.703743e-07,1.717582e-07,1.725113e-07,1.732967e-07,1.744449e-07,1.747208e-07,1.760346e-07,1.761850e-07,1.772424e-07,1.777413e-07,1.783483e-07,1.791232e-07,1.793564e-07,1.802707e-07,1.803399e-07,1.810949e-07,1.814003e-07,1.818329e-07,1.823129e-07,1.824883e-07,1.830648e-07,1.830862e-07,1.835657e-07,1.837282e-07,1.839944e-07,1.842464e-07,1.843543e-07,1.846483e-07,1.848797e-07,1.849410e-07,1.850513e-07,1.851310e-07,1.851659e-07,1.852250e-07,1.852264e-07,1.852354e-07,1.852291e-07,1.851955e-07,1.851490e-07,1.851090e-07,1.849904e-07,1.849784e-07,1.848059e-07,1.847586e-07,1.845938e-07,1.844585e-07,1.843442e-07,1.840951e-07,1.840591e-07,1.837405e-07,1.836729e-07,1.833901e-07,1.831961e-07,1.830100e-07,1.826688e-07,1.826017e-07,1.821669e-07,1.820950e-07,1.817073e-07,1.814783e-07,1.812243e-07,1.808221e-07,1.807195e-07,1.801941e-07,1.801298e-07,1.796497e-07,1.794044e-07,1.790874e-07,1.786489e-07,1.785085e-07,1.779142e-07,1.778660e-07,1.773056e-07,1.770584e-07,1.766838e-07,1.762285e-07,1.760498e-07,1.754046e-07,1.753786e-07,1.747491e-07,1.745108e-07,1.740843e-07,1.736274e-07,1.734110e-07,1.727301e-07,1.718208e-07,1.709012e-07,1.699728e-07,1.690373e-07,1.680959e-07,1.671501e-07,1.662009e-07,1.652496e-07,1.642973e-07,1.633448e-07,1.623933e-07,1.614434e-07,1.604961e-07,1.595520e-07,1.586119e-07,1.576764e-07,1.567460e-07,1.558214e-07,1.549029e-07,1.539912e-07,1.530865e-07,1.521894e-07,1.513000e-07,1.504188e-07
0.000000e+00,2.196598e-12,5.034937e-12,1.736851e-11,3.967212e-11,5.803769e-11,1.329255e-10,1.369898e-10,2.684287e-10,3.168451e-10,4.691193e-10,6.308408e-10,7.586053e-10,1.120150e-09,1.156309e-09,1.674149e-09,1.816425e-09,2.310819e-09,2.715377e-09,3.055514e-09,3.790089e-09,3.895547e-09,4.820099e-09,5.014357e-09,5.820465e-09,6.368130e-09,6.889240e-09,7.834856e-09,8.019567e-09,9.204670e-09,9.398910e-09,1.043763e-08,1.104437e-08,1.171132e-08,1.275470e-08,1.301845e-08,1.435164e-08,1.451303e-08,1.570360e-08,1.630257e-08,1.706722e-08,1.810716e-08,1.843568e-08,1.980258e-08,1.991168e-08,2.116198e-08,2.170243e-08,2.250853e-08,2.346736e-08,2.383741e-08,2.514444e-08,2.519622e-08,2.642601e-08,2.688050e-08,2.767892e-08,2.851320e-08,2.890061e-08,3.008898e-08,3.124239e-08,3.160389e-08,3.235962e-08,3.305522e-08,3.343976e-08,3.444127e-08,3.448224e-08,3.548675e-08,3.576120e-08,3.645324e-08,3.701494e-08,3.738187e-08,3.820302e-08,3.827293e-08,3.912691e-08,3.932640e-08,3.994437e-08,4.038646e-08,4.072601e-08,4.138482e-08,4.147258e-08,4.218489e-08,4.232332e-08,4.286382e-08,4.320395e-08,4.351024e-08,4.402881e-08,4.412510e-08,4.470933e-08,4.480002e-08,4.526387e-08,4.551978e-08,4.578967e-08,4.619025e-08,4.628768e-08,4.675882e-08,4.681360e-08,4.720404e-08,4.739195e-08,4.762423e-08,4.792739e-08,4.802029e-08,4.839309e-08,4.842194e-08,4.874350e-08,4.887758e-08,4.907235e-08,4.929623e-08,4.938046e-08,4.966861e-08,4.967973e-08,4.993758e-08,5.002986e-08,5.018812e-08,5.034833e-08,5.042096e-08,5.063679e-08,5.083630e-08,5.089681e-08,5.102016e-08,5.112991e-08,5.118900e-08,5.133753e-08,5.134344e-08,5.148408e-08,5.152106e-08,5.161149e-08,5.168182e-08,5.172623e-08,5.182107e-08,5.182884e-08,5.191984e-08,5.194001e-08,5.199974e-08,5.203980e-08,5.206900e-08,5.212153e-08,5.212810e-08,5.217749e-08,5.218624e-08,5.221760e-08,5.223493e-08,5.224885e-08,5.226854e-08,5.227164e-08,5.228635e-08,5.228798e-08,5.229335e-08,5.229409e-08,5.229301e-08,5.228769e-08,5.228568e-08,5.227167e-08,5.226955e-08,5.225131e-08,5.224042e-08,5.222491e-08,5.220099e-08,5.219276e-08,5.215515e-08,5.215191e-08,5.211235e-08,5.209383e-08,5.206462e-08,5.202734e-08,5.201221e-08,5.195536e-08,5.195300e-08,5.189432e-08,5.187136e-08,5.182929e-08,5.178291e-08,5.176050e-08,5.168816e-08,5.158755e-08,5.148152e-08,5.137048e-08,5.125482e-08,5.113490e-08,5.101109e-08,5.088371e-08,5.075307e-08,5.061946e-08,5.048317e-08,5.034447e-08,5.020359e-08,5.006078e-08,4.991626e-08,4.977024e-08,4.962292e-08,4.947448e-08,4.932510e-08,4.917495e-08,4.902418e-08,4.887294e-08,4.872137e-08,4.856959e-08,4.841774e-08
0.000000e+00,4.687624e-11,1.630892e-10,9.808653e-10,3.069338e-09,5.098886e-09,1.473210e-08,1.529221e-08,3.432129e-08,4.156733e-08,6.456707e-08,8.893406e-08,1.079987e-07,1.609706e-07,1.662015e-07,2.404006e-07,2.606918e-07,3.314480e-07,3.899681e-07,4.397521e-07,5.492090e-07,5.651329e-07,7.066349e-07,7.367228e-07,8.624105e-07,9.482003e-07,1.029814e-06,1.177141e-06,1.205725e-06,1.386939e-06,1.416222e-06,1.570476e-06,1.658616e-06,1.753721e-06,1.898605e-06,1.934460e-06,2.110861e-06,2.131663e-06,2.281435e-06,2.354328e-06,2.445002e-06,2.564058e-06,2.600654e-06,2.747732e-06,2.759114e-06,2.885801e-06,2.938445e-06,3.014619e-06,3.101595e-06,3.134118e-06,3.244371e-06,3.248592e-06,3.345575e-06,3.379845e-06,3.438015e-06,3.496052e-06,3.522055e-06,3.598107e-06,3.666619e-06,3.687026e-06,3.728059e-06,3.763889e-06,3.782903e-06,3.829787e-06,3.831624e-06,3.874684e-06,3.885787e-06,3.912529e-06,3.932911e-06,3.945585e-06,3.972115e-06,3.974256e-06,3.998918e-06,4.004281e-06,4.019925e-06,4.030214e-06,4.037602e-06,4.050642e-06,4.052250e-06,4.064146e-06,4.066217e-06,4.073543e-06,4.077519e-06,4.080672e-06,4.085062e-06,4.085743e-06,4.088951e-06,4.089303e-06,4.090469e-06,4.090645e-06,4.090458e-06,4.089446e-06,4.089063e-06,4.086413e-06,4.086017e-06,4.082628e-06,4.080631e-06,4.077816e-06,4.073532e-06,4.072074e-06,4.065494e-06,4.064933e-06,4.058154e-06,4.055023e-06,4.050129e-06,4.043964e-06,4.041486e-06,4.032285e-06,4.031906e-06,4.022583e-06,4.018978e-06,4.012431e-06,4.005294e-06,4.001875e-06,3.990957e-06,3.979716e-06,3.976057e-06,3.968189e-06,3.960676e-06,3.956407e-06,3.944886e-06,3.944402e-06,3.932200e-06,3.928752e-06,3.919828e-06,3.912332e-06,3.907308e-06,3.895679e-06,3.894663e-06,3.881912e-06,3.878839e-06,3.869075e-06,3.861854e-06,3.856167e-06,3.844764e-06,3.843206e-06,3.830205e-06,3.827602e-06,3.817179e-06,3.810399e-06,3.804139e-06,3.793184e-06,3.791098e-06,3.778065e-06,3.775982e-06,3.765052e-06,3.758815e-06,3.752068e-06,3.741706e-06,3.739120e-06,3.726217e-06,3.724672e-06,3.713367e-06,3.707731e-06,3.700575e-06,3.690897e-06,3.687849e-06,3.675194e-06,3.674185e-06,3.662616e-06,3.657607e-06,3.650119e-06,3.641174e-06,3.637708e-06,3.625387e-06,3.624896e-06,3.613160e-06,3.608782e-06,3.601030e-06,3.592839e-06,3.589001e-06,3.577075e-06,3.561496e-06,3.546107e-06,3.530913e-06,3.515919e-06,3.501126e-06,3.486540e-06,3.472161e-06,3.457992e-06,3.444034e-06,3.430289e-06,3.416757e-06,3.403439e-06,3.390335e-06,3.377445e-06,3.364768e-06,3.352305e-06,3.340053e-06,3.328012e-06,3.316180e-06,3.304557e-06,3.293141e-06,3.281930e-06,3.270923e-06,3.260117e-06
0.000000e+00,2.173846e-10,8.128257e-10,5.621774e-09,1.978046e-08,3.492312e-08,1.170474e-07,1.222070e-07,3.151067e-07,3.960257e-07,6.749003e-07,1.002112e-06,1.278171e-06,2.124748e-06,2.213968e-06,3.565767e-06,3.958273e-06,5.377446e-06,6.587726e-06,7.627962e-06,9.908502e-06,1.023691e-05,1.309182e-05,1.368191e-05,1.607635e-05,1.764477e-05,1.908831e-05,2.158001e-05,2.204721e-05,2.489451e-05,2.533684e-05,2.759052e-05,2.882307e-05,3.011021e-05,3.198918e-05,3.243936e-05,3.457153e-05,3.481406e-05,3.650579e-05,3.729486e-05,3.824525e-05,3.944058e-05,3.979594e-05,4.116606e-05,4.126815e-05,4.236541e-05,4.279976e-05,4.340492e-05,4.406091e-05,4.429623e-05,4.505134e-05,4.507888e-05,4.568232e-05,4.588138e-05,4.620103e-05,4.649549e-05,4.661891e-05,4.694682e-05,4.719489e-05,4.725896e-05,4.737247e-05,4.745310e-05,4.748808e-05,4.754793e-05,4.754943e-05,4.756341e-05,4.755968e-05,4.753615e-05,4.750228e-05,4.747306e-05,4.738749e-05,4.737891e-05,4.725787e-05,4.722523e-05,4.711357e-05,4.702380e-05,4.694918e-05,4.679012e-05,4.676748e-05,4.657086e-05,4.652993e-05,4.636139e-05,4.624801e-05,4.614091e-05,4.594835e-05,4.591099e-05,4.567302e-05,4.563428e-05,4.542821e-05,4.530859e-05,4.517762e-05,4.497363e-05,4.492220e-05,4.466277e-05,4.463140e-05,4.440006e-05,4.428360e-05,4.413473e-05,4.393169e-05,4.386737e-05,4.359848e-05,4.357692e-05,4.332853e-05,4.322036e-05,4.305795e-05,4.286295e-05,4.278711e-05,4.251635e-05,4.250553e-05,4.224597e-05,4.214879e-05,4.197626e-05,4.179336e-05,4.170746e-05,4.143980e-05,4.117348e-05,4.108857e-05,4.090868e-05,4.074009e-05,4.064558e-05,4.039473e-05,4.038432e-05,4.012504e-05,4.005281e-05,3.986785e-05,3.971460e-05,3.961288e-05,3.938035e-05,3.936022e-05,3.910995e-05,3.905026e-05,3.886216e-05,3.872450e-05,3.861691e-05,3.840324e-05,3.837426e-05,3.813427e-05,3.808660e-05,3.789698e-05,3.777467e-05,3.766244e-05,3.746756e-05,3.743067e-05,3.720170e-05,3.716533e-05,3.697556e-05,3.686802e-05,3.675226e-05,3.657568e-05,3.653182e-05,3.631426e-05,3.628834e-05,3.609956e-05,3.600601e-05,3.588774e-05,3.572869e-05,3.567880e-05,3.547274e-05,3.545638e-05,3.526954e-05,3.518906e-05,3.506920e-05,3.492671e-05,3.487170e-05,3.467704e-05,3.466931e-05,3.448520e-05,3.441683e-05,3.429616e-05,3.416921e-05,3.410991e-05,3.392642e-05,3.368841e-05,3.345514e-05,3.322653e-05,3.300254e-05,3.278310e-05,3.256815e-05,3.235763e-05,3.215147e-05,3.194961e-05,3.175197e-05,3.155849e-05,3.136909e-05,3.118371e-05,3.100227e-05,3.082471e-05,3.065095e-05,3.048093e-05,3.031457e-05,3.015180e-05,2.999256e-05,2.983677e-05,2.968437e-05,2.953529e-05,2.938946e-05
0.000000e+00,2.085716e-10,7.084190e-10,4.086569e-09,1.241637e-08,2.035754e-08,5.735068e-08,5.948410e-08,1.316019e-07,1.590040e-07,2.461072e-07,3.388137e-07,4.117356e-07,6.163168e-07,6.366789e-07,9.285591e-07,1.009346e-06,1.294113e-06,1.533002e-06,1.738430e-06,2.196431e-06,2.263720e-06,2.868029e-06,2.997868e-06,3.544765e-06,3.921975e-06,4.283648e-06,4.943481e-06,5.072557e-06,5.899255e-06,6.034258e-06,6.752395e-06,7.168281e-06,7.621877e-06,8.323233e-06,8.498835e-06,9.375515e-06,9.480366e-06,1.024514e-05,1.062400e-05,1.110184e-05,1.174114e-05,1.194055e-05,1.275701e-05,1.282126e-05,1.354772e-05,1.385614e-05,1.430985e-05,1.483966e-05,1.504125e-05,1.574035e-05,1.576762e-05,1.640611e-05,1.663751e-05,1.703799e-05,1.744820e-05,1.763581e-05,1.819977e-05,1.873034e-05,1.889317e-05,1.922821e-05,1.953010e-05,1.969428e-05,2.011273e-05,2.012956e-05,2.053517e-05,2.064358e-05,2.091230e-05,2.112541e-05,2.126218e-05,2.156109e-05,2.158607e-05,2.188525e-05,2.195351e-05,2.216094e-05,2.230552e-05,2.241437e-05,2.261994e-05,2.264675e-05,2.285923e-05,2.289944e-05,2.305293e-05,2.314658e-05,2.322891e-05,2.336379e-05,2.338820e-05,2.353178e-05,2.355336e-05,2.366058e-05,2.371742e-05,2.377548e-05,2.385794e-05,2.387730e-05,2.396683e-05,2.397679e-05,2.404482e-05,2.407566e-05,2.411197e-05,2.415616e-05,2.416893e-05,2.421635e-05,2.421975e-05,2.425480e-05,2.426779e-05,2.428484e-05,2.430155e-05,2.430698e-05,2.432172e-05,2.432217e-05,2.432953e-05,2.433073e-05,2.433083e-05,2.432822e-05,2.432605e-05,2.431555e-05,2.429970e-05,2.429356e-05,2.427885e-05,2.426303e-05,2.425331e-05,2.422467e-05,2.422340e-05,2.418938e-05,2.417916e-05,2.415153e-05,2.412709e-05,2.411011e-05,2.406904e-05,2.406534e-05,2.401745e-05,2.400552e-05,2.396665e-05,2.393701e-05,2.391315e-05,2.386398e-05,2.385713e-05,2.379875e-05,2.378681e-05,2.373820e-05,2.370591e-05,2.367563e-05,2.362161e-05,2.361118e-05,2.354500e-05,2.353426e-05,2.347721e-05,2.344414e-05,2.340794e-05,2.335154e-05,2.333731e-05,2.326543e-05,2.325672e-05,2.319240e-05,2.315993e-05,2.311832e-05,2.306138e-05,2.304329e-05,2.296738e-05,2.296128e-05,2.289070e-05,2.285982e-05,2.281331e-05,2.275719e-05,2.273528e-05,2.265670e-05,2.265354e-05,2.257761e-05,2.254904e-05,2.249810e-05,2.244381e-05,2.241821e-05,2.233801e-05,2.223174e-05,2.212513e-05,2.201827e-05,2.191127e-05,2.180422e-05,2.169720e-05,2.159029e-05,2.148356e-05,2.137709e-05,2.127092e-05,2.116513e-05,2.105976e-05,2.095486e-05,2.085048e-05,2.074666e-05,2.064344e-05,2.054086e-05,2.043894e-05,2.033771e-05,2.023721e-05,2.013746e-05,2.003848e-05,1.994029e-05,1.984291e-05
0.000000e+00,1.611991e-10,6.002939e-10,4.114615e-09,1.434161e-08,2.517099e-08,8.278849e-08,8.636051e-08,2.170185e-07,2.704641e-07,4.499817e-07,6.533800e-07,8.203339e-07,1.314024e-06,1.364874e-06,2.120044e-06,2.336202e-06,3.115515e-06,3.783696e-06,4.364188e-06,5.664559e-06,5.855405e-06,7.556896e-06,7.918549e-06,9.423227e-06,1.044244e-05,1.140508e-05,1.312483e-05,1.345581e-05,1.553473e-05,1.586761e-05,1.760791e-05,1.859268e-05,1.964774e-05,2.124045e-05,2.163192e-05,2.354247e-05,2.376607e-05,2.536497e-05,2.613593e-05,2.708800e-05,2.832548e-05,2.870277e-05,3.020291e-05,3.031783e-05,3.158429e-05,3.210306e-05,3.284485e-05,3.367752e-05,3.398450e-05,3.500481e-05,3.504318e-05,3.590889e-05,3.620671e-05,3.670108e-05,3.717854e-05,3.738670e-05,3.797186e-05,3.846316e-05,3.860169e-05,3.886756e-05,3.908405e-05,3.919216e-05,3.943520e-05,3.944396e-05,3.962976e-05,3.967086e-05,3.975613e-05,3.980601e-05,3.982926e-05,3.985454e-05,3.985498e-05,3.983868e-05,3.982908e-05,3.978532e-05,3.974097e-05,3.969944e-05,3.960023e-05,3.958514e-05,3.944611e-05,3.941563e-05,3.928565e-05,3.919474e-05,3.910673e-05,3.894411e-05,3.891199e-05,3.870377e-05,3.866934e-05,3.848412e-05,3.837517e-05,3.825486e-05,3.806562e-05,3.801759e-05,3.777374e-05,3.774409e-05,3.752453e-05,3.741346e-05,3.727105e-05,3.707616e-05,3.701428e-05,3.675503e-05,3.673421e-05,3.649406e-05,3.638933e-05,3.623200e-05,3.604297e-05,3.596942e-05,3.570682e-05,3.569632e-05,3.544464e-05,3.535043e-05,3.518326e-05,3.500616e-05,3.492303e-05,3.466423e-05,3.440713e-05,3.432526e-05,3.415196e-05,3.398975e-05,3.389891e-05,3.365815e-05,3.364817e-05,3.339988e-05,3.333082e-05,3.315418e-05,3.300804e-05,3.291117e-05,3.269008e-05,3.267097e-05,3.243366e-05,3.237714e-05,3.219930e-05,3.206937e-05,3.196795e-05,3.176690e-05,3.173967e-05,3.151450e-05,3.146984e-05,3.129247e-05,3.117826e-05,3.107360e-05,3.089221e-05,3.085792e-05,3.064543e-05,3.061172e-05,3.043613e-05,3.033681e-05,3.023004e-05,3.006747e-05,3.002715e-05,2.982744e-05,2.980369e-05,2.963091e-05,2.954544e-05,2.943754e-05,2.929268e-05,2.924731e-05,2.906020e-05,2.904537e-05,2.887619e-05,2.880345e-05,2.869526e-05,2.856687e-05,2.851737e-05,2.834249e-05,2.833556e-05,2.817061e-05,2.810945e-05,2.800167e-05,2.788846e-05,2.783565e-05,2.767252e-05,2.746154e-05,2.725543e-05,2.705413e-05,2.685752e-05,2.666554e-05,2.647808e-05,2.629506e-05,2.611638e-05,2.594196e-05,2.577171e-05,2.560553e-05,2.544333e-05,2.528504e-05,2.513055e-05,2.497979e-05,2.483266e-05,2.468909e-05,2.454898e-05,2.441226e-05,2.427884e-05,2.414864e-05,2.402159e-05,2.389761e-05,2.377663e-05
0.000000e+00,2.077669e-10,8.019089e-10,5.925707e-09,2.215797e-08,4.045963e-08,1.480414e-07,1.551237e-07,4.367905e-07,5.622750e-07,1.017389e-06,1.584098e-06,2.081979e-06,3.683687e-06,3.857379e-06,6.566874e-06,7.376387e-06,1.037779e-05,1.302878e-05,1.537728e-05,2.077027e-05,2.157633e-05,2.892595e-05,3.052647e-05,3.733476e-05,4.208715e-05,4.668361e-05,5.516388e-05,5.683645e-05,6.764816e-05,6.942926e-05,7.897020e-05,8.454252e-05,9.065475e-05,1.001666e-04,1.025580e-04,1.145428e-04,1.159803e-04,1.264808e-04,1.316881e-04,1.382546e-04,1.470276e-04,1.497589e-04,1.609016e-04,1.617750e-04,1.716044e-04,1.757475e-04,1.818029e-04,1.888046e-04,1.914465e-04,2.004974e-04,2.008467e-04,2.089302e-04,2.118116e-04,2.167305e-04,2.216708e-04,2.238939e-04,2.304245e-04,2.363337e-04,2.380961e-04,2.416391e-04,2.447278e-04,2.463629e-04,2.503747e-04,2.505311e-04,2.541723e-04,2.551015e-04,2.573170e-04,2.589786e-04,2.599967e-04,2.620787e-04,2.622433e-04,2.640883e-04,2.644749e-04,2.655629e-04,2.662382e-04,2.666973e-04,2.674370e-04,2.675203e-04,2.680595e-04,2.681356e-04,2.683409e-04,2.683935e-04,2.683889e-04,2.682657e-04,2.682265e-04,2.678747e-04,2.678022e-04,2.673534e-04,2.670482e-04,2.666804e-04,2.660441e-04,2.658725e-04,2.649449e-04,2.648262e-04,2.639114e-04,2.634265e-04,2.627849e-04,2.618736e-04,2.615768e-04,2.602975e-04,2.601924e-04,2.589567e-04,2.584050e-04,2.575628e-04,2.565307e-04,2.561236e-04,2.546462e-04,2.545864e-04,2.531368e-04,2.525868e-04,2.516012e-04,2.505447e-04,2.500445e-04,2.484713e-04,2.468858e-04,2.463764e-04,2.452916e-04,2.442683e-04,2.436921e-04,2.421544e-04,2.420903e-04,2.404889e-04,2.400410e-04,2.388904e-04,2.379334e-04,2.372967e-04,2.358366e-04,2.357099e-04,2.341317e-04,2.337544e-04,2.325635e-04,2.316903e-04,2.310068e-04,2.296472e-04,2.294626e-04,2.279322e-04,2.276278e-04,2.264163e-04,2.256340e-04,2.249158e-04,2.236678e-04,2.234314e-04,2.219638e-04,2.217305e-04,2.205134e-04,2.198235e-04,2.190808e-04,2.179477e-04,2.176662e-04,2.162702e-04,2.161039e-04,2.148928e-04,2.142927e-04,2.135343e-04,2.125146e-04,2.121949e-04,2.108748e-04,2.107700e-04,2.095739e-04,2.090590e-04,2.082924e-04,2.073817e-04,2.070303e-04,2.057876e-04,2.057383e-04,2.045642e-04,2.041285e-04,2.033600e-04,2.025522e-04,2.021751e-04,2.010093e-04,1.994995e-04,1.980224e-04,1.965778e-04,1.951652e-04,1.937843e-04,1.924346e-04,1.911156e-04,1.898269e-04,1.885679e-04,1.873382e-04,1.861372e-04,1.849645e-04,1.838194e-04,1.827015e-04,1.816102e-04,1.805449e-04,1.795052e-04,1.784905e-04,1.775002e-04,1.765339e-04,1.755910e-04,1.746710e-04,1.737733e-04,1.728975e-04
0.000000e+00,1.974856e-10,6.742376e-10,3.924890e-09,1.200644e-08,1.975068e-08,5.607937e-08,5.818363e-08,1.297458e-07,1.571284e-07,2.447820e-07,3.390076e-07,4.137316e-07,6.257053e-07,6.469540e-07,9.531149e-07,1.038019e-06,1.336099e-06,1.583347e-06,1.793164e-06,2.250609e-06,2.316619e-06,2.897022e-06,3.019115e-06,3.525205e-06,3.867936e-06,4.192801e-06,4.778379e-06,4.892089e-06,5.615740e-06,5.733310e-06,6.356683e-06,6.716464e-06,7.108095e-06,7.712376e-06,7.863469e-06,8.616717e-06,8.706693e-06,9.362272e-06,9.686577e-06,1.009517e-05,1.064104e-05,1.081112e-05,1.150651e-05,1.156116e-05,1.217840e-05,1.244005e-05,1.282451e-05,1.327277e-05,1.344314e-05,1.403318e-05,1.405617e-05,1.459396e-05,1.478862e-05,1.512525e-05,1.546974e-05,1.562718e-05,1.610014e-05,1.654478e-05,1.668121e-05,1.696191e-05,1.721487e-05,1.735248e-05,1.770341e-05,1.771753e-05,1.805819e-05,1.814935e-05,1.837558e-05,1.855534e-05,1.867088e-05,1.892403e-05,1.894524e-05,1.919979e-05,1.925806e-05,1.943566e-05,1.955998e-05,1.965392e-05,1.983224e-05,1.985560e-05,2.004169e-05,2.007712e-05,2.021313e-05,2.029679e-05,2.037081e-05,2.049326e-05,2.051559e-05,2.064826e-05,2.066841e-05,2.076957e-05,2.082397e-05,2.088022e-05,2.096151e-05,2.098088e-05,2.107217e-05,2.108252e-05,2.115467e-05,2.118833e-05,2.122893e-05,2.128018e-05,2.129547e-05,2.135476e-05,2.135920e-05,2.140725e-05,2.142643e-05,2.145335e-05,2.148282e-05,2.149347e-05,2.152797e-05,2.152924e-05,2.155720e-05,2.156649e-05,2.158146e-05,2.159529e-05,2.160108e-05,2.161633e-05,2.162748e-05,2.163022e-05,2.163477e-05,2.163752e-05,2.163844e-05,2.163876e-05,2.163871e-05,2.163578e-05,2.163441e-05,2.162985e-05,2.162492e-05,2.162110e-05,2.161070e-05,2.160969e-05,2.159580e-05,2.159211e-05,2.157957e-05,2.156951e-05,2.156114e-05,2.154322e-05,2.154065e-05,2.151823e-05,2.151353e-05,2.149399e-05,2.148071e-05,2.146805e-05,2.144502e-05,2.144052e-05,2.141148e-05,2.140671e-05,2.138105e-05,2.136597e-05,2.134931e-05,2.132303e-05,2.131634e-05,2.128223e-05,2.127806e-05,2.124704e-05,2.123125e-05,2.121087e-05,2.118275e-05,2.117376e-05,2.113579e-05,2.113272e-05,2.109702e-05,2.108130e-05,2.105750e-05,2.102862e-05,2.101730e-05,2.097645e-05,2.097481e-05,2.093503e-05,2.091998e-05,2.089306e-05,2.086424e-05,2.085060e-05,2.080769e-05,2.075043e-05,2.069254e-05,2.063410e-05,2.057519e-05,2.051589e-05,2.045626e-05,2.039637e-05,2.033627e-05,2.027602e-05,2.021567e-05,2.015527e-05,2.009486e-05,2.003449e-05,1.997420e-05,1.991403e-05,1.985400e-05,1.979416e-05,1.973453e-05,1.967514e-05,1.961602e-05,1.955718e-05,1.949867e-05,1.944049e-05,1.938266e-05
0.000000e+00,8.295572e-11,2.093043e-10,7.959052e-10,1.891553e-09,2.800778e-09,6.493499e-09,6.692398e-09,1.302114e-08,1.530173e-08,2.231044e-08,2.951442e-08,3.506033e-08,5.024291e-08,5.173041e-08,7.269769e-08,7.839861e-08,9.818603e-08,1.144379e-07,1.281691e-07,1.579835e-07,1.622715e-07,1.997384e-07,2.075479e-07,2.395490e-07,2.608194e-07,2.806398e-07,3.154653e-07,3.220896e-07,3.631863e-07,3.696917e-07,4.034056e-07,4.222833e-07,4.423675e-07,4.724446e-07,4.797978e-07,5.155014e-07,5.196629e-07,5.493454e-07,5.636246e-07,5.812464e-07,6.041646e-07,6.111624e-07,6.390848e-07,6.412328e-07,6.650319e-07,6.748661e-07,6.890440e-07,7.051657e-07,7.111776e-07,7.315020e-07,7.322784e-07,7.500949e-07,7.563805e-07,7.670401e-07,7.776659e-07,7.824244e-07,7.963361e-07,8.088630e-07,8.125934e-07,8.200918e-07,8.266360e-07,8.301066e-07,8.386544e-07,8.389889e-07,8.468165e-07,8.488295e-07,8.536637e-07,8.573307e-07,8.596005e-07,8.643151e-07,8.646930e-07,8.690038e-07,8.699287e-07,8.725919e-07,8.743063e-07,8.755125e-07,8.775715e-07,8.778172e-07,8.795541e-07,8.798373e-07,8.807684e-07,8.812074e-07,8.815022e-07,8.817760e-07,8.817947e-07,8.816823e-07,8.816291e-07,8.811991e-07,8.808449e-07,8.803768e-07,8.794947e-07,8.792449e-07,8.778311e-07,8.776437e-07,8.761607e-07,8.753505e-07,8.742570e-07,8.726674e-07,8.721414e-07,8.698340e-07,8.696417e-07,8.673535e-07,8.663167e-07,8.647170e-07,8.627314e-07,8.619409e-07,8.590399e-07,8.589215e-07,8.560278e-07,8.549187e-07,8.529171e-07,8.507516e-07,8.497197e-07,8.464463e-07,8.431071e-07,8.420262e-07,8.397114e-07,8.375125e-07,8.362677e-07,8.329241e-07,8.327841e-07,8.292677e-07,8.282782e-07,8.257255e-07,8.235903e-07,8.221635e-07,8.188740e-07,8.185875e-07,8.150029e-07,8.141418e-07,8.114144e-07,8.094048e-07,8.078264e-07,8.046727e-07,8.042431e-07,8.006683e-07,7.999546e-07,7.971053e-07,7.952583e-07,7.935573e-07,7.905907e-07,7.900272e-07,7.865176e-07,7.859582e-07,7.830310e-07,7.813661e-07,7.795694e-07,7.768195e-07,7.761348e-07,7.727291e-07,7.723225e-07,7.693539e-07,7.678788e-07,7.660105e-07,7.634916e-07,7.627002e-07,7.594243e-07,7.591638e-07,7.561838e-07,7.548977e-07,7.529795e-07,7.506953e-07,7.498123e-07,7.466828e-07,7.465584e-07,7.435917e-07,7.424883e-07,7.405394e-07,7.384862e-07,7.375264e-07,7.345530e-07,7.306892e-07,7.268955e-07,7.231720e-07,7.195189e-07,7.159362e-07,7.124237e-07,7.089812e-07,7.056083e-07,7.023045e-07,6.990694e-07,6.959023e-07,6.928025e-07,6.897692e-07,6.868018e-07,6.838993e-07,6.810609e-07,6.782857e-07,6.755726e-07,6.729209e-07,6.703295e-07,6.677974e-07,6.653237e-07,6.629072e-07,6.605470e-07
0.000000e+00,2.772112e-10,8.854544e-10,4.615036e-09,1.310794e-08,2.088270e-08,5.583529e-08,5.782336e-08,1.247227e-07,1.502116e-07,2.320754e-07,3.209288e-07,3.921389e-07,5.977225e-07,6.186042e-07,9.240739e-07,1.010050e-06,1.314820e-06,1.569779e-06,1.786822e-06,2.260127e-06,2.328321e-06,2.925892e-06,3.051079e-06,3.568068e-06,3.916553e-06,4.245825e-06,4.837273e-06,4.951876e-06,5.679969e-06,5.798125e-06,6.424457e-06,6.786082e-06,7.180101e-06,7.789357e-06,7.942020e-06,8.705690e-06,8.797247e-06,9.466974e-06,9.800210e-06,1.022216e-05,1.078998e-05,1.096796e-05,1.170154e-05,1.175962e-05,1.242049e-05,1.270350e-05,1.312279e-05,1.361722e-05,1.380683e-05,1.447132e-05,1.449748e-05,1.511527e-05,1.534192e-05,1.573797e-05,1.614902e-05,1.633894e-05,1.691789e-05,1.747470e-05,1.764820e-05,1.800939e-05,1.834005e-05,1.852210e-05,1.899384e-05,1.901307e-05,1.948260e-05,1.961028e-05,1.993108e-05,2.019022e-05,2.035891e-05,2.073469e-05,2.076657e-05,2.115454e-05,2.124477e-05,2.152332e-05,2.172165e-05,2.187344e-05,2.216652e-05,2.220542e-05,2.251982e-05,2.258065e-05,2.281722e-05,2.296532e-05,2.309814e-05,2.332176e-05,2.336311e-05,2.361267e-05,2.365121e-05,2.384736e-05,2.395489e-05,2.406770e-05,2.423398e-05,2.427419e-05,2.446733e-05,2.448963e-05,2.464761e-05,2.472299e-05,2.481552e-05,2.493514e-05,2.497152e-05,2.511607e-05,2.512715e-05,2.524960e-05,2.530003e-05,2.537257e-05,2.545479e-05,2.548538e-05,2.558844e-05,2.559236e-05,2.568215e-05,2.571368e-05,2.576691e-05,2.581961e-05,2.584307e-05,2.591101e-05,2.597108e-05,2.598869e-05,2.602360e-05,2.605342e-05,2.606892e-05,2.610594e-05,2.610735e-05,2.613919e-05,2.614697e-05,2.616475e-05,2.617719e-05,2.618431e-05,2.619725e-05,2.619815e-05,2.620654e-05,2.620777e-05,2.620972e-05,2.620933e-05,2.620796e-05,2.620251e-05,2.620149e-05,2.619055e-05,2.618784e-05,2.617534e-05,2.616583e-05,2.615610e-05,2.613697e-05,2.613303e-05,2.610632e-05,2.610172e-05,2.607617e-05,2.606052e-05,2.604276e-05,2.601380e-05,2.600626e-05,2.596686e-05,2.596194e-05,2.592471e-05,2.590533e-05,2.587996e-05,2.584432e-05,2.583278e-05,2.578331e-05,2.577926e-05,2.573168e-05,2.571045e-05,2.567803e-05,2.563822e-05,2.562249e-05,2.556518e-05,2.556285e-05,2.550621e-05,2.548461e-05,2.544572e-05,2.540375e-05,2.538379e-05,2.532053e-05,2.523518e-05,2.514791e-05,2.505892e-05,2.496842e-05,2.487658e-05,2.478359e-05,2.468959e-05,2.459474e-05,2.449919e-05,2.440307e-05,2.430651e-05,2.420963e-05,2.411254e-05,2.401534e-05,2.391812e-05,2.382100e-05,2.372403e-05,2.362732e-05,2.353092e-05,2.343491e-05,2.333936e-05,2.324432e-05,2.314984e-05,2.305599e-05
0.000000e+00,2.247204e-10,7.896487e-10,4.895442e-09,1.602039e-08,2.752961e-08,9.003442e-08,9.403878e-08,2.512490e-07,3.204918e-07,5.640063e-07,8.442255e-07,1.068784e-06,1.683202e-06,1.742123e-06,2.535698e-06,2.739340e-06,3.410262e-06,3.925916e-06,4.341664e-06,5.196790e-06,5.315550e-06,6.321960e-06,6.526380e-06,7.352275e-06,7.894670e-06,8.397995e-06,9.281995e-06,9.450496e-06,1.050123e-05,1.066863e-05,1.154203e-05,1.203587e-05,1.256546e-05,1.336726e-05,1.356498e-05,1.453510e-05,1.464932e-05,1.547144e-05,1.587182e-05,1.637063e-05,1.702770e-05,1.723032e-05,1.804899e-05,1.811269e-05,1.882587e-05,1.912487e-05,1.956080e-05,2.006415e-05,2.025413e-05,2.090658e-05,2.093184e-05,2.151918e-05,2.173020e-05,2.209318e-05,2.246216e-05,2.262998e-05,2.313107e-05,2.359799e-05,2.374046e-05,2.403234e-05,2.429396e-05,2.443569e-05,2.479518e-05,2.480959e-05,2.515556e-05,2.524763e-05,2.547508e-05,2.565469e-05,2.576958e-05,2.601960e-05,2.604043e-05,2.628893e-05,2.634539e-05,2.651634e-05,2.663493e-05,2.672386e-05,2.689092e-05,2.691262e-05,2.708369e-05,2.711588e-05,2.723811e-05,2.731214e-05,2.737682e-05,2.748188e-05,2.750075e-05,2.761077e-05,2.762714e-05,2.770770e-05,2.774980e-05,2.779230e-05,2.785159e-05,2.786530e-05,2.792740e-05,2.793415e-05,2.797924e-05,2.799897e-05,2.802145e-05,2.804743e-05,2.805459e-05,2.807921e-05,2.808083e-05,2.809583e-05,2.810035e-05,2.810494e-05,2.810710e-05,2.810699e-05,2.810242e-05,2.810210e-05,2.809162e-05,2.808629e-05,2.807500e-05,2.806055e-05,2.805290e-05,2.802568e-05,2.799366e-05,2.798244e-05,2.795713e-05,2.793153e-05,2.791639e-05,2.787358e-05,2.787172e-05,2.782335e-05,2.780918e-05,2.777155e-05,2.773891e-05,2.771653e-05,2.766326e-05,2.765851e-05,2.759769e-05,2.758270e-05,2.753428e-05,2.749769e-05,2.746844e-05,2.740863e-05,2.740035e-05,2.733018e-05,2.731590e-05,2.725807e-05,2.721985e-05,2.718417e-05,2.712081e-05,2.710861e-05,2.703154e-05,2.701907e-05,2.695306e-05,2.691493e-05,2.687330e-05,2.680864e-05,2.679237e-05,2.671036e-05,2.670045e-05,2.662737e-05,2.659058e-05,2.654351e-05,2.647924e-05,2.645885e-05,2.637348e-05,2.636662e-05,2.628747e-05,2.625291e-05,2.620091e-05,2.613828e-05,2.611386e-05,2.602639e-05,2.602288e-05,2.593855e-05,2.590686e-05,2.585042e-05,2.579034e-05,2.576204e-05,2.567347e-05,2.555635e-05,2.543909e-05,2.532179e-05,2.520455e-05,2.508745e-05,2.497058e-05,2.485400e-05,2.473778e-05,2.462200e-05,2.450670e-05,2.439195e-05,2.427779e-05,2.416427e-05,2.405143e-05,2.393932e-05,2.382796e-05,2.371739e-05,2.360764e-05,2.349875e-05,2.339072e-05,2.328360e-05,2.317739e-05,2.307212e-05,2.296780e-05
0.000000e+00,6.418945e-11,1.479836e-10,5.127750e-10,1.172512e-09,1.715753e-09,3.933174e-09,4.053669e-09,7.959444e-09,9.401418e-09,1.393486e-08,1.871544e-08,2.244088e-08,3.263143e-08,3.361996e-08,4.723307e-08,5.082319e-08,6.293676e-08,7.253646e-08,8.045026e-08,9.718208e-08,9.955137e-08,1.200401e-07,1.242868e-07,1.417165e-07,1.533893e-07,1.643736e-07,1.840067e-07,1.877970e-07,2.117709e-07,2.156436e-07,2.360833e-07,2.478135e-07,2.605319e-07,2.800624e-07,2.849294e-07,3.091066e-07,3.119857e-07,3.329149e-07,3.432401e-07,3.562270e-07,3.735463e-07,3.789368e-07,4.009579e-07,4.026877e-07,4.222229e-07,4.305054e-07,4.426816e-07,4.568925e-07,4.622991e-07,4.810526e-07,4.817846e-07,4.989307e-07,5.051518e-07,5.159313e-07,5.269934e-07,5.320605e-07,5.473285e-07,5.617503e-07,5.661899e-07,5.753463e-07,5.836244e-07,5.881385e-07,5.996856e-07,6.001515e-07,6.114116e-07,6.144332e-07,6.219458e-07,6.279293e-07,6.317815e-07,6.402370e-07,6.409462e-07,6.494674e-07,6.514199e-07,6.573728e-07,6.615409e-07,6.646893e-07,6.706617e-07,6.714433e-07,6.776606e-07,6.788419e-07,6.833663e-07,6.861391e-07,6.885845e-07,6.926085e-07,6.933390e-07,6.976524e-07,6.983031e-07,7.015466e-07,7.032732e-07,7.050429e-07,7.075669e-07,7.081614e-07,7.109216e-07,7.112296e-07,7.133423e-07,7.143045e-07,7.154413e-07,7.168321e-07,7.172359e-07,7.187425e-07,7.188511e-07,7.199768e-07,7.203976e-07,7.209538e-07,7.215060e-07,7.216878e-07,7.221927e-07,7.222083e-07,7.224814e-07,7.225348e-07,7.225664e-07,7.225140e-07,7.224597e-07,7.221727e-07,7.217160e-07,7.215357e-07,7.211001e-07,7.206268e-07,7.203346e-07,7.194679e-07,7.194291e-07,7.183923e-07,7.180796e-07,7.172327e-07,7.164814e-07,7.159584e-07,7.146912e-07,7.145769e-07,7.130956e-07,7.127260e-07,7.115214e-07,7.106017e-07,7.098608e-07,7.083330e-07,7.081201e-07,7.063051e-07,7.059337e-07,7.044215e-07,7.034167e-07,7.024747e-07,7.007941e-07,7.004696e-07,6.984110e-07,6.980770e-07,6.963035e-07,6.952758e-07,6.941515e-07,6.924004e-07,6.919589e-07,6.897296e-07,6.894598e-07,6.874673e-07,6.864624e-07,6.851755e-07,6.834160e-07,6.828574e-07,6.805162e-07,6.803279e-07,6.781546e-07,6.772050e-07,6.757756e-07,6.740534e-07,6.733818e-07,6.709755e-07,6.708790e-07,6.685591e-07,6.676872e-07,6.661349e-07,6.644830e-07,6.637049e-07,6.612710e-07,6.580554e-07,6.548402e-07,6.516291e-07,6.484254e-07,6.452321e-07,6.420521e-07,6.388879e-07,6.357420e-07,6.326165e-07,6.295133e-07,6.264343e-07,6.233811e-07,6.203552e-07,6.173578e-07,6.143903e-07,6.114536e-07,6.085487e-07,6.056764e-07,6.028375e-07,6.000327e-07,5.972623e-07,5.945271e-07,5.918272e-07,5.891631e-07
0.000000e+00,1.846324e-10,6.936778e-10,4.845816e-09,1.719548e-08,3.048401e-08,1.029364e-07,1.074934e-07,2.772906e-07,3.480172e-07,5.891264e-07,8.670244e-07,1.097774e-06,1.789184e-06,1.860948e-06,2.933458e-06,3.241995e-06,4.357861e-06,5.318884e-06,6.157898e-06,8.057191e-06,8.338823e-06,1.089169e-05,1.144538e-05,1.379775e-05,1.544023e-05,1.703151e-05,1.997898e-05,2.056256e-05,2.435664e-05,2.498565e-05,2.837656e-05,3.037486e-05,3.258304e-05,3.605538e-05,3.693563e-05,4.139370e-05,4.193385e-05,4.591741e-05,4.791874e-05,5.046864e-05,5.392392e-05,5.501171e-05,5.951400e-05,5.987152e-05,6.394633e-05,6.569385e-05,6.828325e-05,7.133443e-05,7.250307e-05,7.658781e-05,7.674817e-05,8.052302e-05,8.190085e-05,8.429755e-05,8.676819e-05,8.790327e-05,9.133469e-05,9.458871e-05,9.559229e-05,9.766419e-05,9.953903e-05,1.005617e-04,1.031779e-04,1.032834e-04,1.058323e-04,1.065155e-04,1.082125e-04,1.095617e-04,1.104290e-04,1.123281e-04,1.124871e-04,1.143925e-04,1.148278e-04,1.161514e-04,1.170747e-04,1.177700e-04,1.190832e-04,1.192545e-04,1.206113e-04,1.208679e-04,1.218467e-04,1.224431e-04,1.229667e-04,1.238229e-04,1.239775e-04,1.248849e-04,1.250208e-04,1.256945e-04,1.260501e-04,1.264120e-04,1.269232e-04,1.270427e-04,1.275915e-04,1.276521e-04,1.280634e-04,1.282479e-04,1.284631e-04,1.287214e-04,1.287951e-04,1.290636e-04,1.290824e-04,1.292726e-04,1.293405e-04,1.294261e-04,1.295043e-04,1.295277e-04,1.295810e-04,1.295821e-04,1.295891e-04,1.295816e-04,1.295553e-04,1.295099e-04,1.294825e-04,1.293736e-04,1.292311e-04,1.291789e-04,1.290577e-04,1.289315e-04,1.288557e-04,1.286369e-04,1.286273e-04,1.283747e-04,1.282999e-04,1.280998e-04,1.279250e-04,1.278046e-04,1.275165e-04,1.274908e-04,1.271601e-04,1.270783e-04,1.268140e-04,1.266141e-04,1.264541e-04,1.261270e-04,1.260817e-04,1.256981e-04,1.256202e-04,1.253046e-04,1.250965e-04,1.249023e-04,1.245584e-04,1.244923e-04,1.240756e-04,1.240084e-04,1.236531e-04,1.234486e-04,1.232258e-04,1.228810e-04,1.227944e-04,1.223597e-04,1.223074e-04,1.219225e-04,1.217295e-04,1.214834e-04,1.211488e-04,1.210430e-04,1.206020e-04,1.205667e-04,1.201608e-04,1.199844e-04,1.197200e-04,1.194031e-04,1.192800e-04,1.188414e-04,1.188238e-04,1.184043e-04,1.182475e-04,1.179693e-04,1.176749e-04,1.175367e-04,1.171068e-04,1.165440e-04,1.159869e-04,1.154361e-04,1.148921e-04,1.143554e-04,1.138262e-04,1.133049e-04,1.127917e-04,1.122869e-04,1.117906e-04,1.113031e-04,1.108244e-04,1.103546e-04,1.098938e-04,1.094421e-04,1.089994e-04,1.085658e-04,1.081412e-04,1.077257e-04,1.073192e-04,1.069215e-04,1.065328e-04,1.061528e-04,1.057815e-04
0.000000e+00,1.076177e-11,2.467854e-11,8.491585e-11,1.931049e-10,2.816379e-10,6.387062e-10,6.579292e-10,1.272552e-09,1.495909e-09,2.189428e-09,2.913150e-09,3.476918e-09,5.040247e-09,5.194289e-09,7.361192e-09,7.945067e-09,9.941825e-09,1.154388e-08,1.287210e-08,1.569114e-08,1.609087e-08,1.954785e-08,2.026398e-08,2.320021e-08,2.516359e-08,2.700884e-08,3.030146e-08,3.093634e-08,3.494664e-08,3.559363e-08,3.900517e-08,4.096077e-08,4.307950e-08,4.633024e-08,4.713987e-08,5.115962e-08,5.163811e-08,5.511547e-08,5.683059e-08,5.898765e-08,6.186433e-08,6.275975e-08,6.641866e-08,6.670616e-08,6.995420e-08,7.133213e-08,7.335892e-08,7.572635e-08,7.662769e-08,7.975744e-08,7.987971e-08,8.274676e-08,8.378850e-08,8.559564e-08,8.745321e-08,8.830523e-08,9.087765e-08,9.331572e-08,9.406806e-08,9.562281e-08,9.703234e-08,9.780271e-08,9.977958e-08,9.985955e-08,1.017976e-07,1.023196e-07,1.036213e-07,1.046625e-07,1.053352e-07,1.068187e-07,1.069436e-07,1.084512e-07,1.087985e-07,1.098623e-07,1.106120e-07,1.111812e-07,1.122689e-07,1.124121e-07,1.135591e-07,1.137788e-07,1.146262e-07,1.151507e-07,1.156171e-07,1.163934e-07,1.165356e-07,1.173852e-07,1.175150e-07,1.181693e-07,1.185234e-07,1.188912e-07,1.194260e-07,1.195540e-07,1.201607e-07,1.202299e-07,1.207142e-07,1.209416e-07,1.212173e-07,1.215675e-07,1.216725e-07,1.220823e-07,1.221132e-07,1.224492e-07,1.225844e-07,1.227754e-07,1.229863e-07,1.230631e-07,1.233143e-07,1.233237e-07,1.235311e-07,1.236011e-07,1.237153e-07,1.238229e-07,1.238688e-07,1.239931e-07,1.240899e-07,1.241154e-07,1.241609e-07,1.241933e-07,1.242073e-07,1.242302e-07,1.242308e-07,1.242324e-07,1.242292e-07,1.242137e-07,1.241931e-07,1.241756e-07,1.241246e-07,1.241195e-07,1.240463e-07,1.240263e-07,1.239570e-07,1.239005e-07,1.238528e-07,1.237494e-07,1.237345e-07,1.236030e-07,1.235752e-07,1.234591e-07,1.233797e-07,1.233037e-07,1.231647e-07,1.231374e-07,1.229611e-07,1.229320e-07,1.227753e-07,1.226831e-07,1.225809e-07,1.224194e-07,1.223783e-07,1.221681e-07,1.221424e-07,1.219510e-07,1.218534e-07,1.217274e-07,1.215535e-07,1.214979e-07,1.212628e-07,1.212438e-07,1.210228e-07,1.209254e-07,1.207781e-07,1.205994e-07,1.205293e-07,1.202766e-07,1.202664e-07,1.200205e-07,1.199275e-07,1.197613e-07,1.195834e-07,1.194993e-07,1.192349e-07,1.188826e-07,1.185271e-07,1.181691e-07,1.178090e-07,1.174475e-07,1.170850e-07,1.167219e-07,1.163586e-07,1.159955e-07,1.156330e-07,1.152714e-07,1.149110e-07,1.145520e-07,1.141947e-07,1.138394e-07,1.134863e-07,1.131355e-07,1.127873e-07,1.124418e-07,1.120992e-07,1.117595e-07,1.114230e-07,1.110898e-07,1.107599e-07
0.000000e+00,5.457744e-10,1.401225e-09,5.451174e-09,1.314398e-08,1.959639e-08,4.619106e-08,4.763743e-08,9.422524e-08,1.112461e-07,1.641979e-07,2.195006e-07,2.625894e-07,3.823369e-07,3.941789e-07,5.622265e-07,6.080692e-07,7.667536e-07,8.959804e-07,1.004140e-06,1.235821e-06,1.268836e-06,1.555283e-06,1.614744e-06,1.858650e-06,2.021693e-06,2.174802e-06,2.447572e-06,2.500094e-06,2.831243e-06,2.884566e-06,3.165260e-06,3.325804e-06,3.499448e-06,3.765295e-06,3.831402e-06,4.159021e-06,4.197956e-06,4.480510e-06,4.619626e-06,4.794368e-06,5.027037e-06,5.099376e-06,5.394574e-06,5.417742e-06,5.679224e-06,5.790004e-06,5.952794e-06,6.142700e-06,6.214931e-06,6.465419e-06,6.475194e-06,6.704163e-06,6.787236e-06,6.931175e-06,7.078885e-06,7.146545e-06,7.350430e-06,7.543039e-06,7.602333e-06,7.724622e-06,7.835177e-06,7.895459e-06,8.049635e-06,8.055854e-06,8.206130e-06,8.246438e-06,8.346616e-06,8.426350e-06,8.477652e-06,8.590152e-06,8.599579e-06,8.712738e-06,8.738630e-06,8.817471e-06,8.872567e-06,8.914114e-06,8.992733e-06,9.003000e-06,9.084454e-06,9.099882e-06,9.158797e-06,9.194749e-06,9.226340e-06,9.278044e-06,9.287388e-06,9.342235e-06,9.350455e-06,9.391171e-06,9.412643e-06,9.434474e-06,9.465241e-06,9.472413e-06,9.505250e-06,9.508859e-06,9.533237e-06,9.544078e-06,9.556617e-06,9.571451e-06,9.575627e-06,9.590491e-06,9.591508e-06,9.601429e-06,9.604752e-06,9.608649e-06,9.611660e-06,9.612354e-06,9.612738e-06,9.612687e-06,9.609986e-06,9.608262e-06,9.604277e-06,9.598793e-06,9.595782e-06,9.584666e-06,9.571086e-06,9.566244e-06,9.555192e-06,9.543872e-06,9.537128e-06,9.517874e-06,9.517033e-06,9.495038e-06,9.488556e-06,9.471269e-06,9.456206e-06,9.445846e-06,9.421095e-06,9.418884e-06,9.390492e-06,9.383477e-06,9.360776e-06,9.343593e-06,9.329834e-06,9.301667e-06,9.297762e-06,9.264649e-06,9.257909e-06,9.230582e-06,9.212517e-06,9.195642e-06,9.165676e-06,9.159908e-06,9.123453e-06,9.117558e-06,9.086347e-06,9.068325e-06,9.048657e-06,9.018128e-06,9.010447e-06,8.971775e-06,8.967107e-06,8.932700e-06,8.915393e-06,8.893274e-06,8.863108e-06,8.853549e-06,8.813573e-06,8.810365e-06,8.773391e-06,8.757271e-06,8.733047e-06,8.703921e-06,8.692580e-06,8.652030e-06,8.650407e-06,8.611432e-06,8.596812e-06,8.570821e-06,8.543214e-06,8.530228e-06,8.489683e-06,8.436286e-06,8.383082e-06,8.330127e-06,8.277471e-06,8.225161e-06,8.173239e-06,8.121742e-06,8.070706e-06,8.020162e-06,7.970138e-06,7.920659e-06,7.871747e-06,7.823422e-06,7.775702e-06,7.728601e-06,7.682133e-06,7.636308e-06,7.591137e-06,7.546626e-06,7.502783e-06,7.459611e-06,7.417113e-06,7.375293e-06,7.334151e-06
0.000000e+00,1.405746e-11,3.253161e-11,1.132621e-10,2.597969e-10,3.807800e-10,8.768781e-10,9.039300e-10,1.785733e-09,2.113752e-09,3.154755e-09,4.271399e-09,5.157323e-09,7.655777e-09,7.903706e-09,1.139670e-08,1.233704e-08,1.554739e-08,1.811935e-08,2.025148e-08,2.478314e-08,2.542694e-08,3.101345e-08,3.217572e-08,3.696293e-08,4.018575e-08,4.323233e-08,4.871499e-08,4.977942e-08,5.656109e-08,5.766498e-08,6.353294e-08,6.693366e-08,7.064953e-08,7.641630e-08,7.786518e-08,8.513487e-08,8.600878e-08,9.241512e-08,9.561105e-08,9.966470e-08,1.051302e-07,1.068453e-07,1.139224e-07,1.144831e-07,1.208652e-07,1.235986e-07,1.276470e-07,1.324171e-07,1.342448e-07,1.406398e-07,1.408911e-07,1.468165e-07,1.489843e-07,1.527631e-07,1.566706e-07,1.584706e-07,1.639329e-07,1.691465e-07,1.707620e-07,1.741098e-07,1.771553e-07,1.788235e-07,1.831156e-07,1.832895e-07,1.875107e-07,1.886494e-07,1.914914e-07,1.937666e-07,1.952370e-07,1.984802e-07,1.987533e-07,2.020466e-07,2.028046e-07,2.051240e-07,2.067557e-07,2.079925e-07,2.103499e-07,2.106596e-07,2.131326e-07,2.136045e-07,2.154190e-07,2.165367e-07,2.175263e-07,2.191635e-07,2.194620e-07,2.212333e-07,2.215019e-07,2.228475e-07,2.235686e-07,2.243116e-07,2.253794e-07,2.256325e-07,2.268168e-07,2.269501e-07,2.278711e-07,2.282955e-07,2.288017e-07,2.294299e-07,2.296146e-07,2.303158e-07,2.303672e-07,2.309108e-07,2.311203e-07,2.314052e-07,2.317018e-07,2.318042e-07,2.321128e-07,2.321233e-07,2.323360e-07,2.323963e-07,2.324783e-07,2.325312e-07,2.325443e-07,2.325382e-07,2.324641e-07,2.324267e-07,2.323259e-07,2.322056e-07,2.321275e-07,2.318835e-07,2.318723e-07,2.315638e-07,2.314683e-07,2.312053e-07,2.309675e-07,2.308000e-07,2.303882e-07,2.303507e-07,2.298604e-07,2.297369e-07,2.293317e-07,2.290199e-07,2.287673e-07,2.282430e-07,2.281696e-07,2.275409e-07,2.274117e-07,2.268836e-07,2.265311e-07,2.261996e-07,2.256060e-07,2.254911e-07,2.247600e-07,2.246410e-07,2.240081e-07,2.236402e-07,2.232371e-07,2.226076e-07,2.224486e-07,2.216443e-07,2.215468e-07,2.208257e-07,2.204613e-07,2.199941e-07,2.193542e-07,2.191509e-07,2.182973e-07,2.182286e-07,2.174346e-07,2.170871e-07,2.165638e-07,2.159325e-07,2.156861e-07,2.148024e-07,2.147670e-07,2.139138e-07,2.135929e-07,2.130211e-07,2.124122e-07,2.121252e-07,2.112269e-07,2.100388e-07,2.088494e-07,2.076603e-07,2.064729e-07,2.052885e-07,2.041082e-07,2.029331e-07,2.017642e-07,2.006024e-07,1.994486e-07,1.983035e-07,1.971678e-07,1.960420e-07,1.949268e-07,1.938227e-07,1.927301e-07,1.916494e-07,1.905810e-07,1.895251e-07,1.884820e-07,1.874521e-07,1.864353e-07,1.854321e-07,1.844423e-07
0.000000e+00,1.694707e-10,6.465108e-10,4.659947e-09,1.701398e-08,3.064321e-08,1.079375e-07,1.129165e-07,3.048252e-07,3.876492e-07,6.795843e-07,1.031043e-06,1.332956e-06,2.281740e-06,2.383460e-06,3.959893e-06,4.429434e-06,6.170111e-06,7.707618e-06,9.068477e-06,1.218200e-05,1.264538e-05,1.683865e-05,1.774326e-05,2.155311e-05,2.417416e-05,2.667834e-05,3.121823e-05,3.210140e-05,3.771455e-05,3.862356e-05,4.341940e-05,4.616428e-05,4.912885e-05,5.364866e-05,5.476751e-05,6.027166e-05,6.092051e-05,6.558872e-05,6.785775e-05,7.067658e-05,7.436979e-05,7.550284e-05,8.004394e-05,8.039439e-05,8.428431e-05,8.589413e-05,8.821542e-05,9.085274e-05,9.183482e-05,9.514522e-05,9.527130e-05,9.815356e-05,9.916451e-05,1.008701e-04,1.025573e-04,1.033078e-04,1.054814e-04,1.074068e-04,1.079732e-04,1.091006e-04,1.100709e-04,1.105797e-04,1.118132e-04,1.118609e-04,1.129604e-04,1.132379e-04,1.138940e-04,1.143807e-04,1.146765e-04,1.152752e-04,1.153221e-04,1.158437e-04,1.159519e-04,1.162536e-04,1.164384e-04,1.165627e-04,1.167596e-04,1.167814e-04,1.169189e-04,1.169375e-04,1.169838e-04,1.169913e-04,1.169835e-04,1.169381e-04,1.169251e-04,1.168148e-04,1.167927e-04,1.166580e-04,1.165678e-04,1.164599e-04,1.162747e-04,1.162249e-04,1.159571e-04,1.159229e-04,1.156601e-04,1.155210e-04,1.153371e-04,1.150761e-04,1.149911e-04,1.146247e-04,1.145946e-04,1.142402e-04,1.140818e-04,1.138398e-04,1.135426e-04,1.134253e-04,1.129985e-04,1.129812e-04,1.125610e-04,1.124011e-04,1.121141e-04,1.118055e-04,1.116591e-04,1.111973e-04,1.107296e-04,1.105788e-04,1.102570e-04,1.099523e-04,1.097803e-04,1.093197e-04,1.093005e-04,1.088181e-04,1.086827e-04,1.083339e-04,1.080427e-04,1.078484e-04,1.074012e-04,1.073623e-04,1.068760e-04,1.067593e-04,1.063900e-04,1.061181e-04,1.059047e-04,1.054786e-04,1.054205e-04,1.049378e-04,1.048415e-04,1.044570e-04,1.042077e-04,1.039782e-04,1.035779e-04,1.035018e-04,1.030281e-04,1.029525e-04,1.025572e-04,1.023323e-04,1.020894e-04,1.017175e-04,1.016249e-04,1.011639e-04,1.011088e-04,1.007065e-04,1.005064e-04,1.002528e-04,9.991067e-05,9.980309e-05,9.935739e-05,9.932191e-05,9.891581e-05,9.874036e-05,9.847847e-05,9.816625e-05,9.804544e-05,9.761681e-05,9.759975e-05,9.719264e-05,9.704104e-05,9.677299e-05,9.649024e-05,9.635792e-05,9.594746e-05,9.541280e-05,9.488633e-05,9.436809e-05,9.385813e-05,9.335647e-05,9.286311e-05,9.237805e-05,9.190128e-05,9.143276e-05,9.097247e-05,9.052036e-05,9.007638e-05,8.964047e-05,8.921256e-05,8.879259e-05,8.838048e-05,8.797615e-05,8.757951e-05,8.719049e-05,8.680898e-05,8.643489e-05,8.606814e-05,8.570861e-05,8.535622e-05
0.000000e+00,1.290937e-10,3.345924e-10,1.309309e-09,3.149932e-09,4.682305e-09,1.090855e-08,1.124359e-08,2.187661e-08,2.569485e-08,3.738874e-08,4.935462e-08,5.853694e-08,8.358371e-08,8.603260e-08,1.205072e-07,1.298755e-07,1.624090e-07,1.891685e-07,2.118139e-07,2.611143e-07,2.682211e-07,3.305329e-07,3.435790e-07,3.973089e-07,4.333098e-07,4.671016e-07,5.271274e-07,5.386469e-07,6.109009e-07,6.224678e-07,6.830067e-07,7.173516e-07,7.542541e-07,8.102311e-07,8.240487e-07,8.918949e-07,8.998852e-07,9.573845e-07,9.853664e-07,1.020191e-06,1.065971e-06,1.080061e-06,1.136815e-06,1.141216e-06,1.190332e-06,1.210817e-06,1.240550e-06,1.274655e-06,1.287455e-06,1.331076e-06,1.332753e-06,1.371474e-06,1.385245e-06,1.408739e-06,1.432346e-06,1.442983e-06,1.474330e-06,1.502920e-06,1.511509e-06,1.528895e-06,1.544216e-06,1.552404e-06,1.572789e-06,1.573594e-06,1.592612e-06,1.597567e-06,1.609600e-06,1.618876e-06,1.624696e-06,1.637029e-06,1.638034e-06,1.649739e-06,1.652318e-06,1.659931e-06,1.665019e-06,1.668722e-06,1.675385e-06,1.676220e-06,1.682524e-06,1.683649e-06,1.687725e-06,1.690024e-06,1.691911e-06,1.694702e-06,1.695163e-06,1.697554e-06,1.697862e-06,1.699155e-06,1.699661e-06,1.700029e-06,1.700245e-06,1.700236e-06,1.699831e-06,1.699743e-06,1.698864e-06,1.698273e-06,1.697383e-06,1.695941e-06,1.695431e-06,1.693049e-06,1.692841e-06,1.690273e-06,1.689060e-06,1.687137e-06,1.684675e-06,1.683674e-06,1.679912e-06,1.679755e-06,1.675878e-06,1.674365e-06,1.671598e-06,1.668559e-06,1.667095e-06,1.662390e-06,1.657502e-06,1.655903e-06,1.652451e-06,1.649140e-06,1.647252e-06,1.642138e-06,1.641923e-06,1.636476e-06,1.634932e-06,1.630926e-06,1.627552e-06,1.625286e-06,1.620026e-06,1.619565e-06,1.613776e-06,1.612378e-06,1.607929e-06,1.604632e-06,1.602032e-06,1.596808e-06,1.596093e-06,1.590122e-06,1.588924e-06,1.584124e-06,1.580998e-06,1.578108e-06,1.573043e-06,1.572078e-06,1.566042e-06,1.565076e-06,1.560004e-06,1.557106e-06,1.553969e-06,1.549147e-06,1.547942e-06,1.541928e-06,1.541207e-06,1.535929e-06,1.533296e-06,1.529951e-06,1.525423e-06,1.523996e-06,1.518067e-06,1.517594e-06,1.512168e-06,1.509817e-06,1.506300e-06,1.502097e-06,1.500467e-06,1.494671e-06,1.494440e-06,1.488913e-06,1.486850e-06,1.483196e-06,1.479332e-06,1.477521e-06,1.471890e-06,1.464527e-06,1.457246e-06,1.450050e-06,1.442940e-06,1.435919e-06,1.428989e-06,1.422151e-06,1.415406e-06,1.408754e-06,1.402198e-06,1.395737e-06,1.389373e-06,1.383104e-06,1.376931e-06,1.370854e-06,1.364874e-06,1.358989e-06,1.353200e-06,1.347506e-06,1.341907e-06,1.336401e-06,1.330989e-06,1.325669e-06,1.320441e-06
0.000000e+00,2.062788e-10,7.088581e-10,4.181522e-09,1.295058e-08,2.145669e-08,6.219890e-08,6.459310e-08,1.477968e-07,1.804475e-07,2.875503e-07,4.064348e-07,5.029247e-07,7.836070e-07,8.121015e-07,1.224917e-06,1.339443e-06,1.739978e-06,2.070308e-06,2.349690e-06,2.957996e-06,3.045867e-06,3.821836e-06,3.986119e-06,4.672246e-06,5.142282e-06,5.592292e-06,6.415364e-06,6.577062e-06,7.621175e-06,7.793348e-06,8.718634e-06,9.262440e-06,9.862820e-06,1.080703e-05,1.104659e-05,1.226243e-05,1.241012e-05,1.350257e-05,1.405392e-05,1.475922e-05,1.572061e-05,1.602474e-05,1.729174e-05,1.739296e-05,1.855326e-05,1.905487e-05,1.980283e-05,2.069180e-05,2.103457e-05,2.224321e-05,2.229101e-05,2.342414e-05,2.384171e-05,2.457340e-05,2.533508e-05,2.568765e-05,2.676418e-05,2.780083e-05,2.812386e-05,2.879599e-05,2.941056e-05,2.974850e-05,3.062213e-05,3.065765e-05,3.152310e-05,3.175759e-05,3.234484e-05,3.281701e-05,3.312314e-05,3.380125e-05,3.385851e-05,3.455167e-05,3.471185e-05,3.520350e-05,3.555085e-05,3.581502e-05,3.632068e-05,3.638733e-05,3.692164e-05,3.702406e-05,3.741922e-05,3.766387e-05,3.788135e-05,3.824312e-05,3.830937e-05,3.870460e-05,3.876489e-05,3.906840e-05,3.923224e-05,3.940208e-05,3.964822e-05,3.970696e-05,3.998433e-05,4.001582e-05,4.023545e-05,4.033794e-05,4.046155e-05,4.061740e-05,4.066384e-05,4.084348e-05,4.085690e-05,4.100158e-05,4.105904e-05,4.113924e-05,4.122629e-05,4.125751e-05,4.135739e-05,4.136102e-05,4.143986e-05,4.146547e-05,4.150585e-05,4.154176e-05,4.155625e-05,4.159192e-05,4.161367e-05,4.161783e-05,4.162230e-05,4.162129e-05,4.161856e-05,4.160399e-05,4.160316e-05,4.157678e-05,4.156752e-05,4.154008e-05,4.151337e-05,4.149369e-05,4.144296e-05,4.143820e-05,4.137417e-05,4.135759e-05,4.130214e-05,4.125851e-05,4.122264e-05,4.114687e-05,4.113614e-05,4.104312e-05,4.102377e-05,4.094401e-05,4.089021e-05,4.083924e-05,4.074715e-05,4.072921e-05,4.061430e-05,4.059548e-05,4.049486e-05,4.043603e-05,4.037125e-05,4.026958e-05,4.024379e-05,4.011279e-05,4.009685e-05,3.997854e-05,3.991851e-05,3.984132e-05,3.973521e-05,3.970139e-05,3.955900e-05,3.954751e-05,3.941440e-05,3.935599e-05,3.926780e-05,3.916113e-05,3.911941e-05,3.896944e-05,3.896342e-05,3.881808e-05,3.876329e-05,3.866551e-05,3.856115e-05,3.851189e-05,3.835739e-05,3.815235e-05,3.794636e-05,3.773972e-05,3.753270e-05,3.732558e-05,3.711858e-05,3.691192e-05,3.670580e-05,3.650042e-05,3.629593e-05,3.609250e-05,3.589026e-05,3.568936e-05,3.548989e-05,3.529198e-05,3.509572e-05,3.490120e-05,3.470849e-05,3.451767e-05,3.432880e-05,3.414194e-05,3.395713e-05,3.377442e-05,3.359385e-05
0.000000e+00,7.282829e-11,2.765019e-10,1.974720e-09,7.155741e-09,1.283892e-08,4.482739e-08,4.687979e-08,1.256062e-07,1.594123e-07,2.778278e-07,4.186398e-07,5.378741e-07,9.019516e-07,9.400863e-07,1.513367e-06,1.678977e-06,2.279562e-06,2.798952e-06,3.254350e-06,4.293401e-06,4.448550e-06,5.868997e-06,6.180584e-06,7.518952e-06,8.467707e-06,9.398233e-06,1.115152e-05,1.150324e-05,1.382702e-05,1.421850e-05,1.635947e-05,1.764544e-05,1.908759e-05,2.140067e-05,2.199595e-05,2.506716e-05,2.544577e-05,2.828244e-05,2.973777e-05,3.162217e-05,3.423131e-05,3.506639e-05,3.859534e-05,3.888073e-05,4.218980e-05,4.364180e-05,4.583149e-05,4.847306e-05,4.950324e-05,5.318926e-05,5.333678e-05,5.687513e-05,5.819948e-05,6.054795e-05,6.303212e-05,6.419627e-05,6.781006e-05,7.138064e-05,7.251285e-05,7.490058e-05,7.712384e-05,7.836363e-05,8.162977e-05,8.176456e-05,8.509909e-05,8.602038e-05,8.836378e-05,9.028792e-05,9.155592e-05,9.442683e-05,9.467344e-05,9.771483e-05,9.843331e-05,1.006791e-04,1.023051e-04,1.035655e-04,1.060410e-04,1.063739e-04,1.091043e-04,1.096411e-04,1.117570e-04,1.131059e-04,1.143325e-04,1.164368e-04,1.168315e-04,1.192548e-04,1.196356e-04,1.216034e-04,1.227044e-04,1.238783e-04,1.256459e-04,1.260807e-04,1.282118e-04,1.284628e-04,1.302729e-04,1.311580e-04,1.322653e-04,1.337345e-04,1.341904e-04,1.360495e-04,1.361955e-04,1.378441e-04,1.385442e-04,1.395755e-04,1.407838e-04,1.412452e-04,1.428545e-04,1.429177e-04,1.444050e-04,1.449490e-04,1.458979e-04,1.468810e-04,1.473348e-04,1.487169e-04,1.500458e-04,1.504600e-04,1.513227e-04,1.521132e-04,1.525489e-04,1.536798e-04,1.537259e-04,1.548550e-04,1.551627e-04,1.559373e-04,1.565648e-04,1.569743e-04,1.578892e-04,1.579670e-04,1.589169e-04,1.591386e-04,1.598250e-04,1.603158e-04,1.606926e-04,1.614235e-04,1.615208e-04,1.623108e-04,1.624643e-04,1.630636e-04,1.634408e-04,1.637804e-04,1.643554e-04,1.644622e-04,1.651101e-04,1.652107e-04,1.657250e-04,1.660088e-04,1.663080e-04,1.667521e-04,1.668601e-04,1.673822e-04,1.674429e-04,1.678752e-04,1.680832e-04,1.683401e-04,1.686751e-04,1.687777e-04,1.691888e-04,1.692206e-04,1.695744e-04,1.697217e-04,1.699353e-04,1.701802e-04,1.702722e-04,1.705859e-04,1.705980e-04,1.708772e-04,1.709767e-04,1.711468e-04,1.713182e-04,1.713955e-04,1.716239e-04,1.718956e-04,1.721347e-04,1.723427e-04,1.725210e-04,1.726709e-04,1.727939e-04,1.728911e-04,1.729637e-04,1.730131e-04,1.730402e-04,1.730461e-04,1.730320e-04,1.729988e-04,1.729475e-04,1.728791e-04,1.727943e-04,1.726941e-04,1.725793e-04,1.724508e-04,1.723092e-04,1.721552e-04,1.719897e-04,1.718133e-04,1.716265e-04
0.000000e+00,1.589914e-11,3.647821e-11,1.258799e-10,2.871511e-10,4.194745e-10,9.543689e-10,9.831844e-10,1.903785e-09,2.237679e-09,3.271565e-09,4.346337e-09,5.181697e-09,7.500057e-09,7.729373e-09,1.099216e-08,1.188654e-08,1.500313e-08,1.756980e-08,1.974072e-08,2.446696e-08,2.514930e-08,3.116503e-08,3.243562e-08,3.772731e-08,4.133675e-08,4.477938e-08,5.104138e-08,5.226623e-08,6.013287e-08,6.142307e-08,6.832369e-08,7.235400e-08,7.678274e-08,8.370571e-08,8.545442e-08,9.428440e-08,9.535213e-08,1.032205e-07,1.071732e-07,1.122135e-07,1.190580e-07,1.212178e-07,1.301918e-07,1.309073e-07,1.390982e-07,1.426343e-07,1.479041e-07,1.541658e-07,1.565808e-07,1.651036e-07,1.654410e-07,1.734517e-07,1.764108e-07,1.816079e-07,1.870373e-07,1.895583e-07,1.972920e-07,2.048006e-07,2.071547e-07,2.120775e-07,2.166109e-07,2.191181e-07,2.256526e-07,2.259201e-07,2.324820e-07,2.342763e-07,2.388038e-07,2.424820e-07,2.448866e-07,2.502732e-07,2.507322e-07,2.563432e-07,2.576553e-07,2.617227e-07,2.646355e-07,2.668744e-07,2.712227e-07,2.718024e-07,2.765108e-07,2.774266e-07,2.810045e-07,2.832578e-07,2.852881e-07,2.887276e-07,2.893665e-07,2.932450e-07,2.938473e-07,2.969284e-07,2.986288e-07,3.004222e-07,3.030840e-07,3.037313e-07,3.068610e-07,3.072247e-07,3.098164e-07,3.110629e-07,3.126027e-07,3.146104e-07,3.152250e-07,3.176883e-07,3.178786e-07,3.199975e-07,3.208791e-07,3.221575e-07,3.236231e-07,3.241732e-07,3.260493e-07,3.261216e-07,3.277905e-07,3.283851e-07,3.294012e-07,3.304243e-07,3.308860e-07,3.322492e-07,3.334950e-07,3.338696e-07,3.346278e-07,3.352953e-07,3.356515e-07,3.365353e-07,3.365701e-07,3.373876e-07,3.375988e-07,3.381076e-07,3.384944e-07,3.387339e-07,3.392304e-07,3.392700e-07,3.397196e-07,3.398149e-07,3.400858e-07,3.402558e-07,3.403722e-07,3.405606e-07,3.405818e-07,3.407178e-07,3.407364e-07,3.407832e-07,3.407903e-07,3.407810e-07,3.407290e-07,3.407140e-07,3.405850e-07,3.405588e-07,3.403966e-07,3.402859e-07,3.401516e-07,3.399163e-07,3.398523e-07,3.395012e-07,3.394557e-07,3.391007e-07,3.389095e-07,3.386531e-07,3.382828e-07,3.381607e-07,3.376254e-07,3.375808e-07,3.370495e-07,3.368082e-07,3.364349e-07,3.359696e-07,3.357836e-07,3.350974e-07,3.350693e-07,3.343782e-07,3.341115e-07,3.336276e-07,3.331003e-07,3.328475e-07,3.320393e-07,3.309324e-07,3.297828e-07,3.285940e-07,3.273691e-07,3.261111e-07,3.248228e-07,3.235069e-07,3.221661e-07,3.208028e-07,3.194193e-07,3.180178e-07,3.166004e-07,3.151692e-07,3.137260e-07,3.122725e-07,3.108105e-07,3.093416e-07,3.078672e-07,3.063889e-07,3.049079e-07,3.034255e-07,3.019429e-07,3.004612e-07,2.989815e-07
0.000000e+00,1.990602e-11,4.579446e-11,1.584773e-10,3.624184e-10,5.304551e-10,1.216779e-09,1.254083e-09,2.463561e-09,2.910405e-09,4.318478e-09,5.813302e-09,6.988725e-09,1.025927e-08,1.058072e-08,1.506858e-08,1.626791e-08,2.035146e-08,2.362171e-08,2.633753e-08,3.213460e-08,3.296139e-08,4.017223e-08,4.168068e-08,4.792254e-08,5.214940e-08,5.616204e-08,6.342091e-08,6.483534e-08,7.388171e-08,7.535945e-08,8.323613e-08,8.781585e-08,9.283089e-08,1.006336e-07,1.025973e-07,1.124677e-07,1.136560e-07,1.223766e-07,1.267327e-07,1.322626e-07,1.397255e-07,1.420689e-07,1.517445e-07,1.525115e-07,1.612439e-07,1.649854e-07,1.705280e-07,1.770603e-07,1.795635e-07,1.883229e-07,1.886672e-07,1.967842e-07,1.997538e-07,2.049303e-07,2.102829e-07,2.127485e-07,2.202305e-07,2.273711e-07,2.295835e-07,2.341682e-07,2.383384e-07,2.406226e-07,2.464989e-07,2.467370e-07,2.525159e-07,2.540747e-07,2.579655e-07,2.610801e-07,2.630929e-07,2.675327e-07,2.679065e-07,2.724150e-07,2.734528e-07,2.766281e-07,2.788620e-07,2.805555e-07,2.837834e-07,2.842074e-07,2.875939e-07,2.882403e-07,2.907253e-07,2.922562e-07,2.936117e-07,2.958545e-07,2.962634e-07,2.986903e-07,2.990584e-07,3.009021e-07,3.018902e-07,3.029085e-07,3.043719e-07,3.047187e-07,3.063420e-07,3.065246e-07,3.077870e-07,3.083686e-07,3.090624e-07,3.099233e-07,3.101764e-07,3.111370e-07,3.112075e-07,3.119519e-07,3.122388e-07,3.126286e-07,3.130342e-07,3.131741e-07,3.135953e-07,3.136097e-07,3.138989e-07,3.139807e-07,3.140912e-07,3.141615e-07,3.141783e-07,3.141659e-07,3.140597e-07,3.140068e-07,3.138651e-07,3.136964e-07,3.135871e-07,3.132463e-07,3.132306e-07,3.128004e-07,3.126673e-07,3.123009e-07,3.119697e-07,3.117363e-07,3.111631e-07,3.111109e-07,3.104284e-07,3.102565e-07,3.096926e-07,3.092586e-07,3.089071e-07,3.081773e-07,3.080751e-07,3.072001e-07,3.070201e-07,3.062849e-07,3.057941e-07,3.053326e-07,3.045059e-07,3.043459e-07,3.033274e-07,3.031617e-07,3.022798e-07,3.017672e-07,3.012053e-07,3.003279e-07,3.001063e-07,2.989849e-07,2.988489e-07,2.978432e-07,2.973349e-07,2.966831e-07,2.957903e-07,2.955065e-07,2.943151e-07,2.942192e-07,2.931106e-07,2.926254e-07,2.918945e-07,2.910126e-07,2.906684e-07,2.894336e-07,2.893841e-07,2.881916e-07,2.877429e-07,2.869435e-07,2.860919e-07,2.856905e-07,2.844339e-07,2.827711e-07,2.811060e-07,2.794407e-07,2.777770e-07,2.761169e-07,2.744619e-07,2.728135e-07,2.711732e-07,2.695423e-07,2.679218e-07,2.663130e-07,2.647166e-07,2.631337e-07,2.615650e-07,2.600112e-07,2.584730e-07,2.569509e-07,2.554454e-07,2.539571e-07,2.524862e-07,2.510332e-07,2.495982e-07,2.481817e-07,2.467837e-07
0.000000e+00,2.974010e-10,8.591537e-10,3.867516e-09,1.007066e-08,1.548086e-08,3.867870e-08,3.996724e-08,8.236624e-08,9.818786e-08,1.482365e-07,2.016093e-07,2.438618e-07,3.639880e-07,3.760696e-07,5.511579e-07,6.000529e-07,7.727907e-07,9.171831e-07,1.040376e-06,1.310695e-06,1.349875e-06,1.696068e-06,1.769268e-06,2.074075e-06,2.281801e-06,2.479722e-06,2.839158e-06,2.909377e-06,3.359719e-06,3.433481e-06,3.827590e-06,4.057489e-06,4.309918e-06,4.704172e-06,4.803705e-06,5.306047e-06,5.366770e-06,5.814165e-06,6.038885e-06,6.325435e-06,6.714605e-06,6.837427e-06,7.347921e-06,7.388634e-06,7.854908e-06,8.056316e-06,8.356614e-06,8.713695e-06,8.851490e-06,9.338197e-06,9.357479e-06,9.815607e-06,9.985012e-06,1.028278e-05,1.059420e-05,1.073894e-05,1.118347e-05,1.161589e-05,1.175165e-05,1.203585e-05,1.229796e-05,1.244308e-05,1.282191e-05,1.283743e-05,1.321881e-05,1.332327e-05,1.358720e-05,1.380201e-05,1.394264e-05,1.425826e-05,1.428519e-05,1.461500e-05,1.469227e-05,1.493220e-05,1.510439e-05,1.523697e-05,1.549506e-05,1.552953e-05,1.581008e-05,1.586477e-05,1.607886e-05,1.621405e-05,1.633611e-05,1.654348e-05,1.658209e-05,1.681706e-05,1.685365e-05,1.704127e-05,1.714516e-05,1.725500e-05,1.741862e-05,1.745852e-05,1.765208e-05,1.767465e-05,1.783597e-05,1.791388e-05,1.801044e-05,1.813691e-05,1.817577e-05,1.833222e-05,1.834436e-05,1.848005e-05,1.853682e-05,1.861951e-05,1.871489e-05,1.875087e-05,1.887436e-05,1.887914e-05,1.899025e-05,1.903015e-05,1.909876e-05,1.916845e-05,1.920013e-05,1.929461e-05,1.938241e-05,1.940913e-05,1.946376e-05,1.951254e-05,1.953888e-05,1.960533e-05,1.960798e-05,1.967127e-05,1.968798e-05,1.972896e-05,1.976097e-05,1.978124e-05,1.982473e-05,1.982831e-05,1.987036e-05,1.987972e-05,1.990757e-05,1.992636e-05,1.994012e-05,1.996504e-05,1.996818e-05,1.999193e-05,1.999618e-05,2.001154e-05,2.002015e-05,2.002716e-05,2.003732e-05,2.003895e-05,2.004707e-05,2.004803e-05,2.005165e-05,2.005264e-05,2.005285e-05,2.005147e-05,2.005081e-05,2.004565e-05,2.004483e-05,2.003752e-05,2.003303e-05,2.002654e-05,2.001636e-05,2.001283e-05,1.999651e-05,1.999510e-05,1.997770e-05,1.996951e-05,1.995652e-05,1.993985e-05,1.993306e-05,1.990745e-05,1.990638e-05,1.987977e-05,1.986932e-05,1.985013e-05,1.982890e-05,1.981862e-05,1.978535e-05,1.973885e-05,1.968963e-05,1.963785e-05,1.958371e-05,1.952738e-05,1.946902e-05,1.940880e-05,1.934685e-05,1.928334e-05,1.921838e-05,1.915211e-05,1.908466e-05,1.901614e-05,1.894667e-05,1.887635e-05,1.880528e-05,1.873356e-05,1.866127e-05,1.858852e-05,1.851537e-05,1.844191e-05,1.836820e-05,1.829433e-05,1.822035e-05
0.000000e+00,2.899010e-10,1.041481e-09,6.663834e-09,2.195850e-08,3.746723e-08,1.155326e-07,1.202317e-07,2.868212e-07,3.531148e-07,5.716980e-07,8.148552e-07,1.012370e-06,1.590338e-06,1.649510e-06,2.522422e-06,2.770377e-06,3.657274e-06,4.409118e-06,5.056495e-06,6.491482e-06,6.700776e-06,8.559918e-06,8.954702e-06,1.060219e-05,1.172674e-05,1.279845e-05,1.474316e-05,1.512263e-05,1.755088e-05,1.794753e-05,2.006058e-05,2.128770e-05,2.262978e-05,2.471354e-05,2.523702e-05,2.786148e-05,2.817661e-05,3.048321e-05,3.163103e-05,3.308350e-05,3.503474e-05,3.564516e-05,3.815279e-05,3.835065e-05,4.059293e-05,4.154747e-05,4.295418e-05,4.460007e-05,4.522714e-05,4.740436e-05,4.748938e-05,4.948027e-05,5.020199e-05,5.145097e-05,5.272970e-05,5.331411e-05,5.506870e-05,5.671487e-05,5.721892e-05,5.825378e-05,5.918326e-05,5.968737e-05,6.096694e-05,6.101824e-05,6.224950e-05,6.257688e-05,6.338467e-05,6.402122e-05,6.442754e-05,6.530888e-05,6.538209e-05,6.625242e-05,6.644922e-05,6.704266e-05,6.745176e-05,6.775697e-05,6.832600e-05,6.839944e-05,6.897410e-05,6.908124e-05,6.948487e-05,6.972649e-05,6.993556e-05,7.027037e-05,7.032980e-05,7.067109e-05,7.072101e-05,7.096279e-05,7.108613e-05,7.120809e-05,7.137296e-05,7.141002e-05,7.157147e-05,7.158826e-05,7.169517e-05,7.173831e-05,7.178370e-05,7.182896e-05,7.183949e-05,7.186485e-05,7.186563e-05,7.186194e-05,7.185333e-05,7.183281e-05,7.179668e-05,7.177937e-05,7.170342e-05,7.169994e-05,7.160667e-05,7.156706e-05,7.149070e-05,7.140164e-05,7.135701e-05,7.120700e-05,7.104197e-05,7.098620e-05,7.086317e-05,7.074204e-05,7.067174e-05,7.047710e-05,7.046877e-05,7.025527e-05,7.019373e-05,7.003218e-05,6.989409e-05,6.980038e-05,6.958017e-05,6.956072e-05,6.931396e-05,6.925376e-05,6.906083e-05,6.891655e-05,6.880200e-05,6.857003e-05,6.853812e-05,6.826976e-05,6.821560e-05,6.799748e-05,6.785452e-05,6.772180e-05,6.748795e-05,6.744320e-05,6.716212e-05,6.711695e-05,6.687898e-05,6.674246e-05,6.659418e-05,6.636538e-05,6.630807e-05,6.602099e-05,6.598649e-05,6.573327e-05,6.560653e-05,6.544518e-05,6.522615e-05,6.515700e-05,6.486898e-05,6.484596e-05,6.458136e-05,6.446648e-05,6.429436e-05,6.408821e-05,6.400817e-05,6.372298e-05,6.371160e-05,6.343896e-05,6.333703e-05,6.315627e-05,6.296488e-05,6.287506e-05,6.259546e-05,6.222906e-05,6.186594e-05,6.150633e-05,6.115042e-05,6.079842e-05,6.045045e-05,6.010668e-05,5.976720e-05,5.943214e-05,5.910156e-05,5.877555e-05,5.845416e-05,5.813745e-05,5.782543e-05,5.751815e-05,5.721562e-05,5.691785e-05,5.662484e-05,5.633658e-05,5.605306e-05,5.577427e-05,5.550019e-05,5.523077e-05,5.496601e-05
0.000000e+00,2.642138e-12,6.036131e-12,2.064790e-11,4.671358e-11,6.791794e-11,1.525160e-10,1.570326e-10,2.996646e-10,3.507172e-10,5.069480e-10,6.668464e-10,7.896374e-10,1.124884e-09,1.157668e-09,1.618389e-09,1.743093e-09,2.173363e-09,2.523308e-09,2.816474e-09,3.446337e-09,3.536357e-09,4.320507e-09,4.484007e-09,5.157338e-09,5.609801e-09,6.036384e-09,6.800306e-09,6.947963e-09,7.882942e-09,8.034126e-09,8.832680e-09,9.291396e-09,9.789077e-09,1.055395e-08,1.074467e-08,1.169273e-08,1.180570e-08,1.262733e-08,1.303295e-08,1.354339e-08,1.422455e-08,1.443666e-08,1.530372e-08,1.537187e-08,1.614189e-08,1.646861e-08,1.694920e-08,1.751058e-08,1.772430e-08,1.846636e-08,1.849535e-08,1.917503e-08,1.942196e-08,1.985031e-08,2.029059e-08,2.049254e-08,2.110230e-08,2.168037e-08,2.185881e-08,2.222768e-08,2.256227e-08,2.274524e-08,2.321515e-08,2.323417e-08,2.369562e-08,2.382006e-08,2.413075e-08,2.437968e-08,2.454074e-08,2.489674e-08,2.492677e-08,2.528998e-08,2.537388e-08,2.563150e-08,2.581368e-08,2.595241e-08,2.621861e-08,2.625378e-08,2.653661e-08,2.659103e-08,2.680187e-08,2.693317e-08,2.705049e-08,2.724713e-08,2.728336e-08,2.750131e-08,2.753485e-08,2.770513e-08,2.779817e-08,2.789558e-08,2.803880e-08,2.807338e-08,2.823921e-08,2.825834e-08,2.839371e-08,2.845826e-08,2.853749e-08,2.863995e-08,2.867112e-08,2.879515e-08,2.880467e-08,2.891008e-08,2.895362e-08,2.901641e-08,2.908790e-08,2.911460e-08,2.920507e-08,2.920853e-08,2.928823e-08,2.931645e-08,2.936447e-08,2.941256e-08,2.943417e-08,2.949765e-08,2.955525e-08,2.957249e-08,2.960728e-08,2.963780e-08,2.965404e-08,2.969421e-08,2.969578e-08,2.973279e-08,2.974234e-08,2.976530e-08,2.978275e-08,2.979355e-08,2.981597e-08,2.981776e-08,2.983815e-08,2.984249e-08,2.985491e-08,2.986278e-08,2.986822e-08,2.987724e-08,2.987828e-08,2.988524e-08,2.988628e-08,2.988928e-08,2.989027e-08,2.989054e-08,2.988956e-08,2.988917e-08,2.988530e-08,2.988446e-08,2.987907e-08,2.987528e-08,2.987060e-08,2.986230e-08,2.986002e-08,2.984742e-08,2.984578e-08,2.983293e-08,2.982598e-08,2.981664e-08,2.980311e-08,2.979865e-08,2.977905e-08,2.977741e-08,2.975792e-08,2.974907e-08,2.973537e-08,2.971828e-08,2.971145e-08,2.968625e-08,2.968522e-08,2.965985e-08,2.965006e-08,2.963230e-08,2.961296e-08,2.960368e-08,2.957406e-08,2.953350e-08,2.949143e-08,2.944795e-08,2.940318e-08,2.935724e-08,2.931023e-08,2.926224e-08,2.921336e-08,2.916369e-08,2.911329e-08,2.906226e-08,2.901065e-08,2.895854e-08,2.890599e-08,2.885307e-08,2.879982e-08,2.874631e-08,2.869257e-08,2.863867e-08,2.858465e-08,2.853054e-08,2.847639e-08,2.842223e-08,2.836810e-08
0.000000e+00,1.047158e-10,2.717535e-10,1.062555e-09,2.549907e-09,3.783914e-09,8.771943e-09,9.039445e-09,1.749524e-08,2.051877e-08,2.974697e-08,3.914952e-08,4.634195e-08,6.587656e-08,6.778057e-08,9.448559e-08,1.017130e-07,1.267242e-07,1.472039e-07,1.644770e-07,2.019160e-07,2.072951e-07,2.542566e-07,2.640393e-07,3.041163e-07,3.307514e-07,3.555707e-07,3.991763e-07,4.074693e-07,4.588941e-07,4.670289e-07,5.091494e-07,5.326989e-07,5.577176e-07,5.950984e-07,6.042189e-07,6.483808e-07,6.535134e-07,6.900160e-07,7.075027e-07,7.290077e-07,7.568358e-07,7.652979e-07,7.988781e-07,8.014482e-07,8.297810e-07,8.414063e-07,8.580726e-07,8.768765e-07,8.838448e-07,9.072083e-07,9.080944e-07,9.282878e-07,9.353430e-07,9.472177e-07,9.589327e-07,9.641363e-07,9.791832e-07,9.924968e-07,9.964132e-07,1.004212e-06,1.010930e-06,1.014457e-06,1.023024e-06,1.023356e-06,1.031025e-06,1.032966e-06,1.037571e-06,1.041003e-06,1.043097e-06,1.047360e-06,1.047696e-06,1.051453e-06,1.052238e-06,1.054448e-06,1.055819e-06,1.056752e-06,1.058262e-06,1.058433e-06,1.059549e-06,1.059709e-06,1.060156e-06,1.060287e-06,1.060303e-06,1.060104e-06,1.060034e-06,1.059392e-06,1.059257e-06,1.058413e-06,1.057834e-06,1.057131e-06,1.055907e-06,1.055575e-06,1.053774e-06,1.053543e-06,1.051753e-06,1.050800e-06,1.049534e-06,1.047729e-06,1.047138e-06,1.044584e-06,1.044374e-06,1.041889e-06,1.040775e-06,1.039068e-06,1.036966e-06,1.036135e-06,1.033103e-06,1.032980e-06,1.029985e-06,1.028843e-06,1.026790e-06,1.024578e-06,1.023528e-06,1.020209e-06,1.016840e-06,1.015753e-06,1.013430e-06,1.011228e-06,1.009984e-06,1.006649e-06,1.006510e-06,1.003012e-06,1.002030e-06,9.994972e-07,9.973817e-07,9.959692e-07,9.927159e-07,9.924327e-07,9.888919e-07,9.880419e-07,9.853506e-07,9.833685e-07,9.818121e-07,9.787032e-07,9.782797e-07,9.747563e-07,9.740529e-07,9.712446e-07,9.694239e-07,9.677469e-07,9.648214e-07,9.642656e-07,9.608028e-07,9.602506e-07,9.573603e-07,9.557156e-07,9.539398e-07,9.512205e-07,9.505431e-07,9.471715e-07,9.467686e-07,9.438263e-07,9.423631e-07,9.405087e-07,9.380065e-07,9.372199e-07,9.339607e-07,9.337013e-07,9.307321e-07,9.294495e-07,9.275349e-07,9.252528e-07,9.243698e-07,9.212374e-07,9.211128e-07,9.181383e-07,9.170309e-07,9.150730e-07,9.130081e-07,9.120418e-07,9.090453e-07,9.051434e-07,9.013030e-07,8.975244e-07,8.938080e-07,8.901541e-07,8.865627e-07,8.830337e-07,8.795673e-07,8.761631e-07,8.728209e-07,8.695404e-07,8.663213e-07,8.631631e-07,8.600653e-07,8.570274e-07,8.540488e-07,8.511290e-07,8.482672e-07,8.454629e-07,8.427153e-07,8.400238e-07,8.373875e-07,8.348058e-07,8.322779e-07
0.000000e+00,2.460616e-10,6.531445e-10,2.633725e-09,6.452606e-09,9.675869e-09,2.305689e-08,2.378818e-08,4.752240e-08,5.627909e-08,8.380544e-08,1.129831e-07,1.359797e-07,2.007271e-07,2.071714e-07,2.986996e-07,3.235739e-07,4.090414e-07,4.778741e-07,5.350139e-07,6.563097e-07,6.735025e-07,8.220730e-07,8.528254e-07,9.788547e-07,1.063103e-06,1.142294e-06,1.283696e-06,1.310982e-06,1.483562e-06,1.511445e-06,1.658690e-06,1.743266e-06,1.835039e-06,1.976123e-06,2.011311e-06,2.186259e-06,2.207108e-06,2.358717e-06,2.433529e-06,2.527614e-06,2.653003e-06,2.691997e-06,2.851040e-06,2.863511e-06,3.004050e-06,3.063435e-06,3.150466e-06,3.251557e-06,3.289858e-06,3.421916e-06,3.427043e-06,3.546442e-06,3.589407e-06,3.663340e-06,3.738466e-06,3.772601e-06,3.874292e-06,3.968543e-06,3.997160e-06,4.055535e-06,4.107502e-06,4.135490e-06,4.205863e-06,4.208663e-06,4.275331e-06,4.292872e-06,4.335788e-06,4.369206e-06,4.390336e-06,4.435566e-06,4.439283e-06,4.482936e-06,4.492659e-06,4.521600e-06,4.541184e-06,4.555573e-06,4.581819e-06,4.585144e-06,4.610593e-06,4.615212e-06,4.632189e-06,4.641981e-06,4.650188e-06,4.662708e-06,4.664836e-06,4.676366e-06,4.677936e-06,4.684997e-06,4.688172e-06,4.690937e-06,4.693883e-06,4.694381e-06,4.695511e-06,4.695499e-06,4.694500e-06,4.693419e-06,4.691510e-06,4.688007e-06,4.686692e-06,4.680187e-06,4.679598e-06,4.672128e-06,4.668497e-06,4.662638e-06,4.654984e-06,4.651833e-06,4.639819e-06,4.639315e-06,4.626698e-06,4.621722e-06,4.612563e-06,4.602417e-06,4.597502e-06,4.581594e-06,4.564918e-06,4.559430e-06,4.547541e-06,4.536084e-06,4.529531e-06,4.511703e-06,4.510949e-06,4.491851e-06,4.486419e-06,4.472291e-06,4.460353e-06,4.452317e-06,4.433615e-06,4.431976e-06,4.411310e-06,4.406306e-06,4.390359e-06,4.378515e-06,4.369159e-06,4.350326e-06,4.347747e-06,4.326152e-06,4.321814e-06,4.304405e-06,4.293046e-06,4.282534e-06,4.264085e-06,4.260564e-06,4.238520e-06,4.234987e-06,4.216422e-06,4.205802e-06,4.194291e-06,4.176577e-06,4.172148e-06,4.150008e-06,4.147353e-06,4.127890e-06,4.118168e-06,4.105807e-06,4.089057e-06,4.083774e-06,4.061804e-06,4.060049e-06,4.039908e-06,4.031174e-06,4.018099e-06,4.002455e-06,3.996386e-06,3.974778e-06,3.973916e-06,3.953284e-06,3.945576e-06,3.931913e-06,3.917454e-06,3.910671e-06,3.889566e-06,3.861925e-06,3.834545e-06,3.807437e-06,3.780610e-06,3.754074e-06,3.727835e-06,3.701900e-06,3.676275e-06,3.650963e-06,3.625970e-06,3.601297e-06,3.576947e-06,3.552921e-06,3.529222e-06,3.505849e-06,3.482803e-06,3.460083e-06,3.437688e-06,3.415618e-06,3.393872e-06,3.372447e-06,3.351342e-06,3.330554e-06,3.310081e-06
0.000000e+00,1.446783e-10,5.575228e-10,4.102657e-09,1.525845e-08,2.775426e-08,1.001656e-07,1.048848e-07,2.893126e-07,3.698826e-07,6.563505e-07,1.004090e-06,1.304000e-06,2.247948e-06,2.349067e-06,3.911455e-06,4.375307e-06,6.092741e-06,7.612179e-06,8.963190e-06,1.208944e-05,1.255989e-05,1.689066e-05,1.784385e-05,2.193933e-05,2.483727e-05,2.767055e-05,3.297560e-05,3.403372e-05,4.096624e-05,4.212358e-05,4.839628e-05,5.211656e-05,5.624536e-05,6.277082e-05,6.443075e-05,7.286784e-05,7.389318e-05,8.147228e-05,8.528999e-05,9.016206e-05,9.677521e-05,9.885922e-05,1.074913e-04,1.081770e-04,1.159925e-04,1.193430e-04,1.243043e-04,1.301430e-04,1.323763e-04,1.401659e-04,1.404711e-04,1.476384e-04,1.502454e-04,1.547668e-04,1.594071e-04,1.615312e-04,1.679182e-04,1.739204e-04,1.757593e-04,1.795353e-04,1.829264e-04,1.847650e-04,1.894287e-04,1.896155e-04,1.940956e-04,1.952852e-04,1.982169e-04,2.005228e-04,2.019926e-04,2.051737e-04,2.054375e-04,2.085676e-04,2.092738e-04,2.113992e-04,2.128608e-04,2.139491e-04,2.159732e-04,2.162340e-04,2.182706e-04,2.186496e-04,2.200751e-04,2.209271e-04,2.216634e-04,2.228416e-04,2.230507e-04,2.242514e-04,2.244271e-04,2.252795e-04,2.257155e-04,2.261481e-04,2.267364e-04,2.268695e-04,2.274554e-04,2.275171e-04,2.279166e-04,2.280827e-04,2.282633e-04,2.284560e-04,2.285050e-04,2.286504e-04,2.286581e-04,2.287077e-04,2.287077e-04,2.286846e-04,2.286220e-04,2.285879e-04,2.284241e-04,2.284163e-04,2.281993e-04,2.281045e-04,2.279189e-04,2.276990e-04,2.275879e-04,2.272112e-04,2.267929e-04,2.266509e-04,2.263371e-04,2.260273e-04,2.258473e-04,2.253484e-04,2.253270e-04,2.247792e-04,2.246213e-04,2.242069e-04,2.238527e-04,2.236125e-04,2.230483e-04,2.229986e-04,2.223673e-04,2.222134e-04,2.217206e-04,2.213525e-04,2.210606e-04,2.204700e-04,2.203888e-04,2.197069e-04,2.195695e-04,2.190164e-04,2.186544e-04,2.183187e-04,2.177278e-04,2.176148e-04,2.169062e-04,2.167924e-04,2.161937e-04,2.158506e-04,2.154784e-04,2.149047e-04,2.147611e-04,2.140427e-04,2.139565e-04,2.133241e-04,2.130079e-04,2.126057e-04,2.120605e-04,2.118885e-04,2.111729e-04,2.111157e-04,2.104594e-04,2.101748e-04,2.097487e-04,2.092389e-04,2.090411e-04,2.083372e-04,2.083091e-04,2.076372e-04,2.073863e-04,2.069416e-04,2.064713e-04,2.062507e-04,2.055648e-04,2.046676e-04,2.037801e-04,2.029028e-04,2.020363e-04,2.011809e-04,2.003369e-04,1.995046e-04,1.986843e-04,1.978762e-04,1.970805e-04,1.962973e-04,1.955266e-04,1.947686e-04,1.940234e-04,1.932909e-04,1.925712e-04,1.918643e-04,1.911701e-04,1.904886e-04,1.898198e-04,1.891635e-04,1.885197e-04,1.878883e-04,1.872692e-04
0.000000e+00,1.293912e-10,3.050115e-10,1.082902e-09,2.502709e-09,3.673454e-09,8.425934e-09,8.682461e-09,1.689103e-08,1.987241e-08,2.911365e-08,3.873458e-08,4.622358e-08,6.707731e-08,6.914703e-08,9.878201e-08,1.069762e-07,1.358008e-07,1.598552e-07,1.804045e-07,2.256639e-07,2.322452e-07,2.906093e-07,3.029925e-07,3.546748e-07,3.899786e-07,4.236574e-07,4.848830e-07,4.968494e-07,5.736078e-07,5.861797e-07,6.533344e-07,6.924900e-07,7.354618e-07,8.025262e-07,8.194463e-07,9.047674e-07,9.150720e-07,9.909297e-07,1.028986e-06,1.077466e-06,1.143217e-06,1.163944e-06,1.249965e-06,1.256816e-06,1.335169e-06,1.368949e-06,1.419237e-06,1.478903e-06,1.501888e-06,1.582880e-06,1.586082e-06,1.662008e-06,1.690003e-06,1.739100e-06,1.790287e-06,1.814017e-06,1.886650e-06,1.956913e-06,1.978886e-06,2.024746e-06,2.066864e-06,2.090108e-06,2.150509e-06,2.152975e-06,2.213340e-06,2.229794e-06,2.271208e-06,2.304736e-06,2.326594e-06,2.375381e-06,2.379525e-06,2.430034e-06,2.441800e-06,2.478160e-06,2.504086e-06,2.523948e-06,2.562347e-06,2.567448e-06,2.608711e-06,2.616700e-06,2.647793e-06,2.667273e-06,2.684751e-06,2.714197e-06,2.719643e-06,2.752528e-06,2.757607e-06,2.783466e-06,2.797642e-06,2.812517e-06,2.834439e-06,2.839741e-06,2.865197e-06,2.868136e-06,2.888945e-06,2.898868e-06,2.911043e-06,2.926769e-06,2.931548e-06,2.950517e-06,2.951970e-06,2.968006e-06,2.974600e-06,2.984070e-06,2.994784e-06,2.998762e-06,3.012135e-06,3.012643e-06,3.024239e-06,3.028296e-06,3.035125e-06,3.041856e-06,3.044841e-06,3.053434e-06,3.060952e-06,3.063137e-06,3.067438e-06,3.071068e-06,3.072937e-06,3.077326e-06,3.077490e-06,3.081140e-06,3.082005e-06,3.083925e-06,3.085198e-06,3.085885e-06,3.086992e-06,3.087057e-06,3.087478e-06,3.087471e-06,3.087182e-06,3.086716e-06,3.086204e-06,3.084805e-06,3.084576e-06,3.082331e-06,3.081811e-06,3.079500e-06,3.077805e-06,3.076111e-06,3.072854e-06,3.072193e-06,3.067775e-06,3.067024e-06,3.062883e-06,3.060374e-06,3.057542e-06,3.052964e-06,3.051779e-06,3.045615e-06,3.044850e-06,3.039075e-06,3.036084e-06,3.032181e-06,3.026717e-06,3.024953e-06,3.017414e-06,3.016798e-06,3.009581e-06,3.006370e-06,3.001475e-06,2.995479e-06,2.993113e-06,2.984514e-06,2.984165e-06,2.975693e-06,2.972467e-06,2.966667e-06,2.960421e-06,2.957452e-06,2.948063e-06,2.935425e-06,2.922539e-06,2.909434e-06,2.896139e-06,2.882678e-06,2.869078e-06,2.855360e-06,2.841548e-06,2.827661e-06,2.813720e-06,2.799741e-06,2.785742e-06,2.771739e-06,2.757747e-06,2.743780e-06,2.729849e-06,2.715969e-06,2.702148e-06,2.688399e-06,2.674731e-06,2.661152e-06,2.647670e-06,2.634294e-06,2.621030e-06
0.000000e+00,1.031462e-10,3.929026e-10,2.821691e-09,1.025651e-08,1.841456e-08,6.412531e-08,6.704372e-08,1.777197e-07,2.245664e-07,3.861907e-07,5.748816e-07,7.328582e-07,1.211105e-06,1.261101e-06,2.015980e-06,2.235942e-06,3.043006e-06,3.753635e-06,4.386439e-06,5.862483e-06,6.086474e-06,8.174982e-06,8.641218e-06,1.067050e-05,1.213016e-05,1.357424e-05,1.631679e-05,1.686902e-05,2.052123e-05,2.113582e-05,2.448503e-05,2.648282e-05,2.870702e-05,3.223244e-05,3.313052e-05,3.769893e-05,3.825426e-05,4.235794e-05,4.442344e-05,4.705707e-05,5.062685e-05,5.175047e-05,5.639730e-05,5.676593e-05,6.096189e-05,6.275767e-05,6.541361e-05,6.853432e-05,6.972671e-05,7.388005e-05,7.404261e-05,7.785675e-05,7.924251e-05,8.164387e-05,8.410591e-05,8.523204e-05,8.861507e-05,9.178959e-05,9.276118e-05,9.475465e-05,9.654284e-05,9.751144e-05,9.996471e-05,1.000629e-04,1.024134e-04,1.030362e-04,1.045685e-04,1.057704e-04,1.065347e-04,1.081830e-04,1.083193e-04,1.099300e-04,1.102916e-04,1.113749e-04,1.121147e-04,1.126623e-04,1.136716e-04,1.138006e-04,1.147981e-04,1.149815e-04,1.156631e-04,1.160633e-04,1.164038e-04,1.169356e-04,1.170280e-04,1.175433e-04,1.176162e-04,1.179572e-04,1.181219e-04,1.182767e-04,1.184688e-04,1.185085e-04,1.186591e-04,1.186720e-04,1.187347e-04,1.187456e-04,1.187409e-04,1.187027e-04,1.186833e-04,1.185671e-04,1.185554e-04,1.183971e-04,1.183150e-04,1.181778e-04,1.179919e-04,1.179137e-04,1.176086e-04,1.175956e-04,1.172664e-04,1.171348e-04,1.168906e-04,1.166176e-04,1.164845e-04,1.160512e-04,1.155936e-04,1.154424e-04,1.151142e-04,1.147972e-04,1.146157e-04,1.141212e-04,1.141003e-04,1.135701e-04,1.134193e-04,1.130272e-04,1.126961e-04,1.124734e-04,1.119558e-04,1.119104e-04,1.113398e-04,1.112019e-04,1.107631e-04,1.104379e-04,1.101816e-04,1.096669e-04,1.095965e-04,1.090090e-04,1.088913e-04,1.084202e-04,1.081138e-04,1.078310e-04,1.073365e-04,1.072424e-04,1.066550e-04,1.065612e-04,1.060697e-04,1.057897e-04,1.054872e-04,1.050236e-04,1.049080e-04,1.043328e-04,1.042641e-04,1.037620e-04,1.035124e-04,1.031961e-04,1.027695e-04,1.026354e-04,1.020805e-04,1.020364e-04,1.015316e-04,1.013137e-04,1.009889e-04,1.006023e-04,1.004528e-04,9.992353e-05,9.990250e-05,9.940121e-05,9.921492e-05,9.888605e-05,9.853990e-05,9.837819e-05,9.787776e-05,9.722874e-05,9.659302e-05,9.597073e-05,9.536196e-05,9.476673e-05,9.418506e-05,9.361690e-05,9.306220e-05,9.252085e-05,9.199276e-05,9.147777e-05,9.097574e-05,9.048650e-05,9.000986e-05,8.954562e-05,8.909359e-05,8.865354e-05,8.822526e-05,8.780851e-05,8.740308e-05,8.700872e-05,8.662520e-05,8.625228e-05,8.588973e-05
0.000000e+00,5.964578e-12,1.366100e-11,4.706182e-11,1.074776e-10,1.573175e-10,3.617774e-10,3.729348e-10,7.371613e-10,8.729100e-10,1.304775e-09,1.770376e-09,2.142176e-09,3.205833e-09,3.312702e-09,4.840715e-09,5.257646e-09,6.690343e-09,7.841929e-09,8.795498e-09,1.081208e-08,1.109711e-08,1.355290e-08,1.405976e-08,1.613280e-08,1.751546e-08,1.881334e-08,2.112778e-08,2.157408e-08,2.439576e-08,2.485163e-08,2.725963e-08,2.864386e-08,3.014731e-08,3.246258e-08,3.304095e-08,3.592352e-08,3.626792e-08,3.877909e-08,4.002317e-08,4.159306e-08,4.369576e-08,4.435238e-08,4.704562e-08,4.725792e-08,4.966304e-08,5.068691e-08,5.219653e-08,5.396495e-08,5.463956e-08,5.698709e-08,5.707895e-08,5.923542e-08,6.002003e-08,6.138208e-08,6.278297e-08,6.342565e-08,6.536565e-08,6.720239e-08,6.776849e-08,6.893688e-08,6.999397e-08,7.057064e-08,7.204613e-08,7.210567e-08,7.354433e-08,7.393024e-08,7.488926e-08,7.565242e-08,7.614333e-08,7.721940e-08,7.730954e-08,7.839101e-08,7.863831e-08,7.939094e-08,7.991647e-08,8.031253e-08,8.106129e-08,8.115901e-08,8.193359e-08,8.208016e-08,8.263944e-08,8.298036e-08,8.327968e-08,8.376900e-08,8.385735e-08,8.437543e-08,8.445298e-08,8.483681e-08,8.503897e-08,8.524432e-08,8.553336e-08,8.560066e-08,8.590848e-08,8.594228e-08,8.617031e-08,8.627158e-08,8.638860e-08,8.652683e-08,8.656570e-08,8.670388e-08,8.671332e-08,8.680530e-08,8.683605e-08,8.687206e-08,8.689978e-08,8.690614e-08,8.690947e-08,8.690899e-08,8.688385e-08,8.686789e-08,8.683106e-08,8.678049e-08,8.675275e-08,8.665053e-08,8.652592e-08,8.648155e-08,8.638037e-08,8.627687e-08,8.621527e-08,8.603960e-08,8.603194e-08,8.583163e-08,8.577267e-08,8.561554e-08,8.547880e-08,8.538482e-08,8.516056e-08,8.514055e-08,8.488374e-08,8.482036e-08,8.461540e-08,8.446043e-08,8.433643e-08,8.408286e-08,8.404773e-08,8.375013e-08,8.368961e-08,8.344442e-08,8.328250e-08,8.313136e-08,8.286322e-08,8.281165e-08,8.248597e-08,8.243335e-08,8.215496e-08,8.199436e-08,8.181923e-08,8.154762e-08,8.147933e-08,8.113581e-08,8.109437e-08,8.078918e-08,8.063580e-08,8.043992e-08,8.017300e-08,8.008847e-08,7.973527e-08,7.970695e-08,7.938072e-08,7.923860e-08,7.902518e-08,7.876880e-08,7.866903e-08,7.831258e-08,7.829832e-08,7.795616e-08,7.782791e-08,7.760005e-08,7.735821e-08,7.724452e-08,7.688985e-08,7.642337e-08,7.595930e-08,7.549808e-08,7.504015e-08,7.458588e-08,7.413563e-08,7.368969e-08,7.324836e-08,7.281188e-08,7.238047e-08,7.195434e-08,7.153364e-08,7.111853e-08,7.070914e-08,7.030557e-08,6.990793e-08,6.951627e-08,6.913067e-08,6.875118e-08,6.837781e-08,6.801060e-08,6.764956e-08,6.729469e-08,6.694597e-08
0.000000e+00,6.748599e-11,2.591985e-10,1.895872e-09,7.022338e-09,1.275477e-08,4.602117e-08,4.819502e-08,1.338031e-07,1.715833e-07,3.074577e-07,4.747753e-07,6.203833e-07,1.081720e-06,1.131201e-06,1.893057e-06,2.117853e-06,2.943992e-06,3.667272e-06,4.305080e-06,5.765010e-06,5.983045e-06,7.973825e-06,8.408586e-06,1.026557e-05,1.157058e-05,1.284075e-05,1.520712e-05,1.567760e-05,1.875103e-05,1.926291e-05,2.203340e-05,2.367455e-05,2.549521e-05,2.837321e-05,2.910570e-05,3.283358e-05,3.328733e-05,3.664770e-05,3.834535e-05,4.051764e-05,4.347820e-05,4.441436e-05,4.831064e-05,4.862156e-05,5.218149e-05,5.371757e-05,5.600439e-05,5.871594e-05,5.975949e-05,6.342963e-05,6.357445e-05,6.700034e-05,6.825909e-05,7.045973e-05,7.274360e-05,7.379833e-05,7.700892e-05,8.008630e-05,8.104233e-05,8.302708e-05,8.483658e-05,8.582942e-05,8.838900e-05,8.849288e-05,9.101812e-05,9.170063e-05,9.340680e-05,9.477544e-05,9.566134e-05,9.761967e-05,9.778480e-05,9.978073e-05,1.002412e-04,1.016530e-04,1.026491e-04,1.034059e-04,1.048532e-04,1.050438e-04,1.065712e-04,1.068638e-04,1.079925e-04,1.086912e-04,1.093124e-04,1.103461e-04,1.105355e-04,1.116660e-04,1.118386e-04,1.127085e-04,1.131789e-04,1.136672e-04,1.143766e-04,1.145462e-04,1.153496e-04,1.154411e-04,1.160811e-04,1.163812e-04,1.167445e-04,1.172054e-04,1.173434e-04,1.178813e-04,1.179218e-04,1.183613e-04,1.185379e-04,1.187867e-04,1.190608e-04,1.191604e-04,1.194853e-04,1.194973e-04,1.197641e-04,1.198538e-04,1.199995e-04,1.201360e-04,1.201939e-04,1.203496e-04,1.204690e-04,1.204998e-04,1.205540e-04,1.205914e-04,1.206068e-04,1.206290e-04,1.206293e-04,1.206233e-04,1.206168e-04,1.205906e-04,1.205588e-04,1.205327e-04,1.204586e-04,1.204513e-04,1.203478e-04,1.203198e-04,1.202236e-04,1.201455e-04,1.200800e-04,1.199387e-04,1.199184e-04,1.197399e-04,1.197023e-04,1.195457e-04,1.194388e-04,1.193368e-04,1.191507e-04,1.191142e-04,1.188789e-04,1.188402e-04,1.186319e-04,1.185094e-04,1.183739e-04,1.181602e-04,1.181058e-04,1.178284e-04,1.177945e-04,1.175424e-04,1.174141e-04,1.172485e-04,1.170203e-04,1.169474e-04,1.166396e-04,1.166148e-04,1.163259e-04,1.161988e-04,1.160066e-04,1.157736e-04,1.156824e-04,1.153537e-04,1.153404e-04,1.150210e-04,1.149004e-04,1.146848e-04,1.144543e-04,1.143454e-04,1.140034e-04,1.135483e-04,1.130898e-04,1.126289e-04,1.121660e-04,1.117019e-04,1.112371e-04,1.107723e-04,1.103078e-04,1.098442e-04,1.093818e-04,1.089211e-04,1.084624e-04,1.080061e-04,1.075525e-04,1.071017e-04,1.066542e-04,1.062101e-04,1.057696e-04,1.053329e-04,1.049002e-04,1.044716e-04,1.040473e-04,1.036275e-04,1.032121e-04
0.000000e+00,2.862730e-11,1.095585e-10,7.940269e-10,2.908146e-09,5.241355e-09,1.841220e-08,1.925628e-08,5.138981e-08,6.503232e-08,1.121742e-07,1.672574e-07,2.133643e-07,3.527226e-07,3.672663e-07,5.861948e-07,6.497474e-07,8.820095e-07,1.085366e-06,1.265593e-06,1.683098e-06,1.746127e-06,2.330177e-06,2.459752e-06,3.020879e-06,3.422113e-06,3.817537e-06,4.565510e-06,4.715778e-06,5.708088e-06,5.874950e-06,6.784528e-06,7.327733e-06,7.933464e-06,8.896308e-06,9.142213e-06,1.039758e-05,1.055072e-05,1.168626e-05,1.226046e-05,1.299521e-05,1.399583e-05,1.431189e-05,1.562448e-05,1.572898e-05,1.692204e-05,1.743459e-05,1.819463e-05,1.909045e-05,1.943345e-05,2.063082e-05,2.067776e-05,2.178028e-05,2.218130e-05,2.287655e-05,2.358949e-05,2.391552e-05,2.489420e-05,2.581062e-05,2.609053e-05,2.666377e-05,2.717649e-05,2.745351e-05,2.815254e-05,2.818043e-05,2.884577e-05,2.902126e-05,2.945129e-05,2.978680e-05,2.999920e-05,3.045457e-05,3.049203e-05,3.093256e-05,3.103082e-05,3.132372e-05,3.152234e-05,3.166856e-05,3.193613e-05,3.197014e-05,3.223152e-05,3.227924e-05,3.245570e-05,3.255854e-05,3.264558e-05,3.278062e-05,3.280395e-05,3.293347e-05,3.295169e-05,3.303665e-05,3.307751e-05,3.311583e-05,3.316338e-05,3.317322e-05,3.321085e-05,3.321412e-05,3.323060e-05,3.323407e-05,3.323420e-05,3.322711e-05,3.322323e-05,3.319915e-05,3.319670e-05,3.316327e-05,3.314589e-05,3.311679e-05,3.307738e-05,3.306080e-05,3.299629e-05,3.299355e-05,3.292416e-05,3.289648e-05,3.284520e-05,3.278798e-05,3.276015e-05,3.266966e-05,3.257434e-05,3.254291e-05,3.247473e-05,3.240895e-05,3.237131e-05,3.226885e-05,3.226452e-05,3.215476e-05,3.212355e-05,3.204240e-05,3.197388e-05,3.192777e-05,3.182055e-05,3.181115e-05,3.169283e-05,3.166421e-05,3.157305e-05,3.150542e-05,3.145204e-05,3.134469e-05,3.133000e-05,3.120712e-05,3.118245e-05,3.108356e-05,3.101910e-05,3.095950e-05,3.085500e-05,3.083507e-05,3.071040e-05,3.069044e-05,3.058562e-05,3.052571e-05,3.046083e-05,3.036107e-05,3.033615e-05,3.021166e-05,3.019673e-05,3.008745e-05,3.003291e-05,2.996360e-05,2.986977e-05,2.984019e-05,2.971728e-05,2.970747e-05,2.959494e-05,2.954617e-05,2.947322e-05,2.938600e-05,2.935217e-05,2.923185e-05,2.922706e-05,2.911230e-05,2.906946e-05,2.899356e-05,2.891330e-05,2.887566e-05,2.875865e-05,2.860559e-05,2.845419e-05,2.830450e-05,2.815657e-05,2.801044e-05,2.786616e-05,2.772374e-05,2.758323e-05,2.744464e-05,2.730799e-05,2.717329e-05,2.704056e-05,2.690979e-05,2.678101e-05,2.665420e-05,2.652937e-05,2.640650e-05,2.628561e-05,2.616667e-05,2.604969e-05,2.593464e-05,2.582151e-05,2.571030e-05,2.560098e-05
0.000000e+00,1.571688e-10,6.068907e-10,4.482887e-09,1.671708e-08,3.043835e-08,1.099193e-07,1.150924e-07,3.163740e-07,4.037633e-07,7.120431e-07,1.081946e-06,1.398014e-06,2.381847e-06,2.486662e-06,4.104730e-06,4.586943e-06,6.389223e-06,8.011653e-06,9.478879e-06,1.296486e-05,1.350019e-05,1.855133e-05,1.969102e-05,2.469018e-05,2.831843e-05,3.193021e-05,3.884348e-05,4.024352e-05,4.956772e-05,5.114778e-05,5.981420e-05,6.502919e-05,7.087594e-05,8.023288e-05,8.263436e-05,9.496482e-05,9.647691e-05,1.077410e-04,1.134716e-04,1.208386e-04,1.309337e-04,1.341377e-04,1.475249e-04,1.485965e-04,1.608953e-04,1.662169e-04,1.741529e-04,1.835797e-04,1.872115e-04,1.999954e-04,2.005001e-04,2.124389e-04,2.168242e-04,2.244865e-04,2.324289e-04,2.360923e-04,2.472194e-04,2.578398e-04,2.611277e-04,2.679327e-04,2.741089e-04,2.774847e-04,2.861389e-04,2.864884e-04,2.949420e-04,2.972107e-04,3.028482e-04,3.073319e-04,3.102139e-04,3.165215e-04,3.170491e-04,3.233667e-04,3.248075e-04,3.291817e-04,3.322249e-04,3.345111e-04,3.388134e-04,3.393727e-04,3.437857e-04,3.446161e-04,3.477695e-04,3.496782e-04,3.513442e-04,3.540454e-04,3.545298e-04,3.573462e-04,3.577639e-04,3.598131e-04,3.608788e-04,3.619500e-04,3.634346e-04,3.637757e-04,3.653087e-04,3.654738e-04,3.665666e-04,3.670374e-04,3.675666e-04,3.681643e-04,3.683252e-04,3.688583e-04,3.688916e-04,3.691807e-04,3.692540e-04,3.693071e-04,3.692843e-04,3.692510e-04,3.690256e-04,3.690132e-04,3.686432e-04,3.684693e-04,3.681154e-04,3.676793e-04,3.674536e-04,3.666680e-04,3.657687e-04,3.654584e-04,3.647650e-04,3.640719e-04,3.636657e-04,3.625281e-04,3.624791e-04,3.612131e-04,3.608453e-04,3.598749e-04,3.590403e-04,3.584715e-04,3.571284e-04,3.570094e-04,3.554946e-04,3.551239e-04,3.539329e-04,3.530398e-04,3.523295e-04,3.508881e-04,3.506895e-04,3.490175e-04,3.486796e-04,3.473179e-04,3.464245e-04,3.455947e-04,3.441318e-04,3.438517e-04,3.420926e-04,3.418098e-04,3.403205e-04,3.394662e-04,3.385385e-04,3.371077e-04,3.367495e-04,3.349561e-04,3.347407e-04,3.331607e-04,3.323707e-04,3.313656e-04,3.300029e-04,3.295730e-04,3.277847e-04,3.276419e-04,3.260025e-04,3.252917e-04,3.242280e-04,3.229561e-04,3.224629e-04,3.207083e-04,3.206384e-04,3.189657e-04,3.183415e-04,3.172361e-04,3.160680e-04,3.155206e-04,3.138202e-04,3.116002e-04,3.094097e-04,3.072502e-04,3.051230e-04,3.030292e-04,3.009698e-04,2.989456e-04,2.969571e-04,2.950048e-04,2.930891e-04,2.912103e-04,2.893684e-04,2.875635e-04,2.857956e-04,2.840646e-04,2.823703e-04,2.807125e-04,2.790910e-04,2.775053e-04,2.759550e-04,2.744399e-04,2.729595e-04,2.715132e-04,2.701006e-04
0.000000e+00,5.098472e-10,1.398317e-09,5.895128e-09,1.492532e-08,2.281124e-08,5.771983e-08,5.972091e-08,1.292524e-07,1.568805e-07,2.488493e-07,3.515314e-07,4.336914e-07,6.601114e-07,6.819044e-07,9.748147e-07,1.049480e-06,1.293116e-06,1.477500e-06,1.624176e-06,1.920083e-06,1.960558e-06,2.297539e-06,2.364689e-06,2.631649e-06,2.803280e-06,2.960008e-06,3.229523e-06,3.280083e-06,3.589629e-06,3.638046e-06,3.886725e-06,4.024435e-06,4.169803e-06,4.385351e-06,4.437660e-06,4.689458e-06,4.718568e-06,4.924704e-06,5.022910e-06,5.143209e-06,5.298117e-06,5.345052e-06,5.530525e-06,5.544669e-06,5.700095e-06,5.763599e-06,5.854355e-06,5.956327e-06,5.993994e-06,6.119758e-06,6.124511e-06,6.232427e-06,6.269934e-06,6.332794e-06,6.394420e-06,6.421649e-06,6.499765e-06,6.567893e-06,6.587702e-06,6.626750e-06,6.659871e-06,6.677021e-06,6.717803e-06,6.719352e-06,6.754352e-06,6.762918e-06,6.782593e-06,6.796517e-06,6.804609e-06,6.819794e-06,6.820897e-06,6.831921e-06,6.833832e-06,6.838110e-06,6.839615e-06,6.839866e-06,6.838037e-06,6.837557e-06,6.831527e-06,6.829902e-06,6.822093e-06,6.815940e-06,6.809548e-06,6.796806e-06,6.794164e-06,6.776192e-06,6.773092e-06,6.755863e-06,6.745332e-06,6.733392e-06,6.714006e-06,6.708976e-06,6.682798e-06,6.679547e-06,6.655027e-06,6.642344e-06,6.625819e-06,6.602748e-06,6.595317e-06,6.563654e-06,6.561074e-06,6.530953e-06,6.517607e-06,6.497326e-06,6.472602e-06,6.462880e-06,6.427710e-06,6.426289e-06,6.391905e-06,6.378876e-06,6.355547e-06,6.330548e-06,6.318713e-06,6.281473e-06,6.243890e-06,6.231802e-06,6.206026e-06,6.181670e-06,6.167934e-06,6.131199e-06,6.129666e-06,6.091268e-06,6.080499e-06,6.052783e-06,6.029667e-06,6.014252e-06,5.978793e-06,5.975710e-06,5.937192e-06,5.927954e-06,5.898728e-06,5.877223e-06,5.860347e-06,5.826661e-06,5.822075e-06,5.783936e-06,5.776326e-06,5.745952e-06,5.726269e-06,5.708143e-06,5.676533e-06,5.670529e-06,5.633124e-06,5.627160e-06,5.595946e-06,5.578185e-06,5.559007e-06,5.529638e-06,5.522322e-06,5.485900e-06,5.481548e-06,5.449753e-06,5.433938e-06,5.413891e-06,5.386830e-06,5.378321e-06,5.343051e-06,5.340243e-06,5.308088e-06,5.294190e-06,5.273438e-06,5.248687e-06,5.239107e-06,5.205098e-06,5.203745e-06,5.171417e-06,5.159372e-06,5.138066e-06,5.115577e-06,5.105048e-06,5.072366e-06,5.029743e-06,4.987711e-06,4.946274e-06,4.905432e-06,4.865186e-06,4.825534e-06,4.786476e-06,4.748008e-06,4.710129e-06,4.672835e-06,4.636121e-06,4.599984e-06,4.564419e-06,4.529421e-06,4.494983e-06,4.461101e-06,4.427768e-06,4.394977e-06,4.362723e-06,4.330999e-06,4.299797e-06,4.269111e-06,4.238934e-06,4.209259e-06
0.000000e+00,1.042009e-11,2.386162e-11,8.194597e-11,1.859852e-10,2.708656e-10,6.108839e-10,6.290850e-10,1.205668e-09,1.412746e-09,2.048235e-09,2.700987e-09,3.203648e-09,4.581713e-09,4.716921e-09,6.626438e-09,7.146615e-09,8.953757e-09,1.043823e-08,1.169168e-08,1.441092e-08,1.480203e-08,1.822803e-08,1.894575e-08,2.190959e-08,2.390636e-08,2.579131e-08,2.917034e-08,2.982378e-08,3.396271e-08,3.463208e-08,3.816783e-08,4.019887e-08,4.240235e-08,4.578856e-08,4.663285e-08,5.082927e-08,5.132925e-08,5.496508e-08,5.675958e-08,5.901729e-08,6.202897e-08,6.296646e-08,6.679657e-08,6.709743e-08,7.049480e-08,7.193488e-08,7.405135e-08,7.652022e-08,7.745906e-08,8.071318e-08,8.084010e-08,8.381100e-08,8.488773e-08,8.675161e-08,8.866166e-08,8.953557e-08,9.216464e-08,9.464152e-08,9.540253e-08,9.696972e-08,9.838365e-08,9.915342e-08,1.011181e-07,1.011972e-07,1.031060e-07,1.036170e-07,1.048851e-07,1.058924e-07,1.065396e-07,1.079564e-07,1.080750e-07,1.094967e-07,1.098216e-07,1.108100e-07,1.115001e-07,1.120202e-07,1.130039e-07,1.131324e-07,1.141517e-07,1.143448e-07,1.150830e-07,1.155341e-07,1.159310e-07,1.165823e-07,1.167003e-07,1.173952e-07,1.174998e-07,1.180199e-07,1.182961e-07,1.185785e-07,1.189803e-07,1.190748e-07,1.195124e-07,1.195612e-07,1.198950e-07,1.200468e-07,1.202259e-07,1.204446e-07,1.205081e-07,1.207449e-07,1.207619e-07,1.209390e-07,1.210053e-07,1.210932e-07,1.211810e-07,1.212102e-07,1.212923e-07,1.212949e-07,1.213419e-07,1.213522e-07,1.213613e-07,1.213582e-07,1.213525e-07,1.213175e-07,1.212582e-07,1.212344e-07,1.211764e-07,1.211130e-07,1.210737e-07,1.209571e-07,1.209519e-07,1.208122e-07,1.207701e-07,1.206562e-07,1.205554e-07,1.204853e-07,1.203158e-07,1.203005e-07,1.201032e-07,1.200541e-07,1.198945e-07,1.197730e-07,1.196754e-07,1.194748e-07,1.194469e-07,1.192099e-07,1.191615e-07,1.189653e-07,1.188354e-07,1.187139e-07,1.184981e-07,1.184565e-07,1.181939e-07,1.181514e-07,1.179266e-07,1.177969e-07,1.176554e-07,1.174360e-07,1.173808e-07,1.171034e-07,1.170699e-07,1.168237e-07,1.167000e-07,1.165422e-07,1.163273e-07,1.162593e-07,1.159755e-07,1.159528e-07,1.156912e-07,1.155774e-07,1.154067e-07,1.152019e-07,1.151223e-07,1.148385e-07,1.148272e-07,1.145555e-07,1.144538e-07,1.142735e-07,1.140824e-07,1.139928e-07,1.137136e-07,1.133478e-07,1.129856e-07,1.126272e-07,1.122731e-07,1.119236e-07,1.115789e-07,1.112392e-07,1.109049e-07,1.105760e-07,1.102527e-07,1.099352e-07,1.096235e-07,1.093178e-07,1.090180e-07,1.087243e-07,1.084366e-07,1.081550e-07,1.078794e-07,1.076100e-07,1.073465e-07,1.070891e-07,1.068377e-07,1.065921e-07,1.063524e-07
0.000000e+00,8.548162e-11,2.977467e-10,1.798723e-09,5.664155e-09,9.450001e-09,2.767792e-08,2.874824e-08,6.562081e-08,7.988188e-08,1.258015e-07,1.753850e-07,2.147643e-07,3.265443e-07,3.377560e-07,4.998160e-07,5.450607e-07,7.057003e-07,8.417426e-07,9.596170e-07,1.225319e-06,1.264694e-06,1.622265e-06,1.700033e-06,2.031339e-06,2.263410e-06,2.488680e-06,2.906652e-06,2.989475e-06,3.528198e-06,3.617535e-06,4.099228e-06,4.383204e-06,4.697178e-06,5.191512e-06,5.316993e-06,5.953951e-06,6.031325e-06,6.603637e-06,6.892458e-06,7.261925e-06,7.765606e-06,7.924979e-06,8.589257e-06,8.642353e-06,9.251520e-06,9.515195e-06,9.908843e-06,1.037758e-05,1.055862e-05,1.119855e-05,1.122391e-05,1.182666e-05,1.204955e-05,1.244126e-05,1.285073e-05,1.304093e-05,1.362453e-05,1.419114e-05,1.436875e-05,1.474006e-05,1.508185e-05,1.527079e-05,1.576285e-05,1.578298e-05,1.627645e-05,1.641125e-05,1.675112e-05,1.702691e-05,1.720703e-05,1.761001e-05,1.764431e-05,1.806319e-05,1.816101e-05,1.846393e-05,1.868055e-05,1.884687e-05,1.916942e-05,1.921237e-05,1.956084e-05,1.962853e-05,1.989271e-05,2.005888e-05,2.020844e-05,2.046151e-05,2.050849e-05,2.079332e-05,2.083752e-05,2.106343e-05,2.118799e-05,2.131929e-05,2.151405e-05,2.156139e-05,2.179021e-05,2.181679e-05,2.200621e-05,2.209731e-05,2.220987e-05,2.235667e-05,2.240164e-05,2.258196e-05,2.259591e-05,2.275129e-05,2.281604e-05,2.291004e-05,2.301803e-05,2.305863e-05,2.319747e-05,2.320283e-05,2.332696e-05,2.337136e-05,2.344747e-05,2.352449e-05,2.355939e-05,2.366306e-05,2.375884e-05,2.378788e-05,2.384707e-05,2.389973e-05,2.392808e-05,2.399933e-05,2.400217e-05,2.406966e-05,2.408741e-05,2.413083e-05,2.416463e-05,2.418598e-05,2.423163e-05,2.423538e-05,2.427929e-05,2.428904e-05,2.431796e-05,2.433742e-05,2.435164e-05,2.437734e-05,2.438057e-05,2.440497e-05,2.440933e-05,2.442507e-05,2.443389e-05,2.444107e-05,2.445148e-05,2.445317e-05,2.446157e-05,2.446258e-05,2.446645e-05,2.446760e-05,2.446800e-05,2.446695e-05,2.446639e-05,2.446178e-05,2.446103e-05,2.445433e-05,2.445019e-05,2.444419e-05,2.443478e-05,2.443152e-05,2.441644e-05,2.441513e-05,2.439910e-05,2.439156e-05,2.437963e-05,2.436435e-05,2.435814e-05,2.433476e-05,2.433378e-05,2.430959e-05,2.430012e-05,2.428276e-05,2.426361e-05,2.425436e-05,2.422449e-05,2.418298e-05,2.413928e-05,2.409360e-05,2.404612e-05,2.399701e-05,2.394643e-05,2.389455e-05,2.384151e-05,2.378743e-05,2.373247e-05,2.367672e-05,2.362031e-05,2.356334e-05,2.350591e-05,2.344812e-05,2.339005e-05,2.333178e-05,2.327339e-05,2.321495e-05,2.315652e-05,2.309817e-05,2.303995e-05,2.298192e-05,2.292412e-05
0.000000e+00,2.192870e-09,8.518083e-09,6.379673e-08,2.415416e-07,4.441011e-07,1.654646e-06,1.735098e-06,4.976924e-06,6.439850e-06,1.180746e-05,1.858664e-05,2.460494e-05,4.424343e-05,4.639357e-05,8.034305e-05,9.061842e-05,1.291814e-04,1.638046e-04,1.948866e-04,2.676227e-04,2.786499e-04,3.809662e-04,4.036576e-04,5.017553e-04,5.717012e-04,6.404729e-04,7.701886e-04,7.962012e-04,9.677214e-04,9.965353e-04,1.153572e-03,1.247391e-03,1.352100e-03,1.518846e-03,1.561508e-03,1.779902e-03,1.806621e-03,2.005332e-03,2.106243e-03,2.235833e-03,2.413213e-03,2.469471e-03,2.704370e-03,2.723162e-03,2.938751e-03,3.031982e-03,3.170953e-03,3.335929e-03,3.399455e-03,3.622889e-03,3.631703e-03,3.840050e-03,3.916488e-03,4.049901e-03,4.187971e-03,4.251567e-03,4.444338e-03,4.627655e-03,4.684249e-03,4.801105e-03,4.906800e-03,4.964407e-03,5.111477e-03,5.117398e-03,5.260026e-03,5.298108e-03,5.392331e-03,5.466807e-03,5.514435e-03,5.617924e-03,5.626529e-03,5.728862e-03,5.752002e-03,5.821731e-03,5.869727e-03,5.905470e-03,5.971894e-03,5.980440e-03,6.047024e-03,6.059370e-03,6.105621e-03,6.133069e-03,6.156636e-03,6.193928e-03,6.200478e-03,6.237554e-03,6.242885e-03,6.268267e-03,6.280866e-03,6.293014e-03,6.308773e-03,6.312177e-03,6.326132e-03,6.327474e-03,6.335239e-03,6.337799e-03,6.339841e-03,6.340532e-03,6.340271e-03,6.336843e-03,6.336411e-03,6.329856e-03,6.326129e-03,6.319594e-03,6.310327e-03,6.306324e-03,6.290298e-03,6.289603e-03,6.271755e-03,6.264506e-03,6.250916e-03,6.235542e-03,6.227992e-03,6.203177e-03,6.176653e-03,6.167833e-03,6.148592e-03,6.129899e-03,6.119151e-03,6.089728e-03,6.088479e-03,6.056711e-03,6.047638e-03,6.023977e-03,6.003921e-03,5.990393e-03,5.958839e-03,5.956069e-03,5.921106e-03,5.912630e-03,5.885598e-03,5.865508e-03,5.849631e-03,5.817663e-03,5.813284e-03,5.776632e-03,5.769271e-03,5.739741e-03,5.720485e-03,5.702675e-03,5.671444e-03,5.665489e-03,5.628236e-03,5.622273e-03,5.590965e-03,5.573082e-03,5.553720e-03,5.523969e-03,5.516541e-03,5.479464e-03,5.475023e-03,5.442523e-03,5.426320e-03,5.405748e-03,5.377928e-03,5.369168e-03,5.332808e-03,5.329909e-03,5.296690e-03,5.282315e-03,5.260834e-03,5.235191e-03,5.225260e-03,5.189984e-03,5.188579e-03,5.155020e-03,5.142512e-03,5.120382e-03,5.097021e-03,5.086083e-03,5.052131e-03,5.007863e-03,4.964235e-03,4.921261e-03,4.878953e-03,4.837321e-03,4.796370e-03,4.756105e-03,4.716529e-03,4.677644e-03,4.639448e-03,4.601939e-03,4.565115e-03,4.528972e-03,4.493504e-03,4.458706e-03,4.424570e-03,4.391091e-03,4.358260e-03,4.326068e-03,4.294508e-03,4.263570e-03,4.233245e-03,4.203523e-03,4.174395e-03
0.000000e+00,6.633688e-11,2.406465e-10,1.567765e-09,5.237578e-09,8.993928e-09,2.807516e-08,2.922759e-08,7.007662e-08,8.627695e-08,1.393127e-07,1.975363e-07,2.442195e-07,3.779535e-07,3.914316e-07,5.868726e-07,6.415413e-07,8.356317e-07,9.997509e-07,1.141624e-06,1.459951e-06,1.506928e-06,1.930935e-06,2.022503e-06,2.409851e-06,2.678465e-06,2.937020e-06,3.410957e-06,3.503966e-06,4.101564e-06,4.199420e-06,4.720890e-06,5.023425e-06,5.353677e-06,5.864567e-06,5.992479e-06,6.630681e-06,6.706941e-06,7.262474e-06,7.537106e-06,7.882813e-06,8.343931e-06,8.487386e-06,9.072581e-06,9.118467e-06,9.635456e-06,9.853820e-06,1.017371e-05,1.054501e-05,1.068561e-05,1.116999e-05,1.118878e-05,1.162615e-05,1.178340e-05,1.205381e-05,1.232837e-05,1.245306e-05,1.282428e-05,1.316811e-05,1.327248e-05,1.348538e-05,1.367493e-05,1.377705e-05,1.403399e-05,1.404422e-05,1.428803e-05,1.435227e-05,1.450969e-05,1.463256e-05,1.471042e-05,1.487766e-05,1.489145e-05,1.505398e-05,1.509037e-05,1.519920e-05,1.527338e-05,1.532824e-05,1.542931e-05,1.544222e-05,1.554219e-05,1.556060e-05,1.562916e-05,1.566956e-05,1.570407e-05,1.575834e-05,1.576783e-05,1.582128e-05,1.582892e-05,1.586520e-05,1.588312e-05,1.590034e-05,1.592261e-05,1.592740e-05,1.594701e-05,1.594890e-05,1.595979e-05,1.596339e-05,1.596628e-05,1.596733e-05,1.596701e-05,1.596245e-05,1.596188e-05,1.595306e-05,1.594805e-05,1.593926e-05,1.592679e-05,1.592141e-05,1.589990e-05,1.589896e-05,1.587503e-05,1.586532e-05,1.584713e-05,1.582657e-05,1.581647e-05,1.578332e-05,1.574791e-05,1.573615e-05,1.571048e-05,1.568556e-05,1.567124e-05,1.563203e-05,1.563036e-05,1.558804e-05,1.557595e-05,1.554443e-05,1.551772e-05,1.549969e-05,1.545765e-05,1.545396e-05,1.540737e-05,1.539607e-05,1.536004e-05,1.533325e-05,1.531207e-05,1.526943e-05,1.526358e-05,1.521466e-05,1.520483e-05,1.516539e-05,1.513965e-05,1.511585e-05,1.507409e-05,1.506612e-05,1.501627e-05,1.500829e-05,1.496636e-05,1.494240e-05,1.491644e-05,1.487655e-05,1.486658e-05,1.481682e-05,1.481086e-05,1.476721e-05,1.474544e-05,1.471778e-05,1.468037e-05,1.466858e-05,1.461964e-05,1.461574e-05,1.457099e-05,1.455162e-05,1.452267e-05,1.448809e-05,1.447469e-05,1.442708e-05,1.442519e-05,1.437987e-05,1.436297e-05,1.433307e-05,1.430150e-05,1.428671e-05,1.424079e-05,1.418088e-05,1.412182e-05,1.406361e-05,1.400628e-05,1.394985e-05,1.389433e-05,1.383974e-05,1.378608e-05,1.373336e-05,1.368158e-05,1.363075e-05,1.358087e-05,1.353193e-05,1.348393e-05,1.343687e-05,1.339074e-05,1.334554e-05,1.330126e-05,1.325789e-05,1.321542e-05,1.317385e-05,1.313316e-05,1.309334e-05,1.305438e-05
0.000000e+00,3.922739e-11,1.506375e-10,1.099685e-09,4.055151e-09,7.336561e-09,2.603373e-08,2.723853e-08,7.344191e-08,9.320015e-08,1.619007e-07,2.427767e-07,3.108372e-07,5.179737e-07,5.396878e-07,8.681227e-07,9.639020e-07,1.315137e-06,1.623849e-06,1.898162e-06,2.535649e-06,2.632105e-06,3.528266e-06,3.727634e-06,4.593129e-06,5.213971e-06,5.827247e-06,6.990506e-06,7.224617e-06,8.772844e-06,9.033434e-06,1.045412e-05,1.130211e-05,1.224669e-05,1.374472e-05,1.412646e-05,1.606847e-05,1.630452e-05,1.804813e-05,1.892504e-05,2.004211e-05,2.155382e-05,2.202895e-05,2.398950e-05,2.414469e-05,2.590712e-05,2.665891e-05,2.776773e-05,2.906549e-05,2.955978e-05,3.127412e-05,3.134098e-05,3.290385e-05,3.346885e-05,3.444409e-05,3.543870e-05,3.589176e-05,3.724537e-05,3.850475e-05,3.888798e-05,3.967086e-05,4.036908e-05,4.074561e-05,4.169385e-05,4.173162e-05,4.263208e-05,4.286937e-05,4.345062e-05,4.390404e-05,4.419115e-05,4.480706e-05,4.485776e-05,4.545468e-05,4.558803e-05,4.598611e-05,4.625667e-05,4.645624e-05,4.682252e-05,4.686918e-05,4.722892e-05,4.729482e-05,4.753927e-05,4.768237e-05,4.780392e-05,4.799346e-05,4.802634e-05,4.820984e-05,4.823580e-05,4.835752e-05,4.841655e-05,4.847230e-05,4.854228e-05,4.855692e-05,4.861392e-05,4.861901e-05,4.864567e-05,4.865222e-05,4.865439e-05,4.864688e-05,4.864212e-05,4.861076e-05,4.860748e-05,4.856206e-05,4.853810e-05,4.849765e-05,4.844239e-05,4.841902e-05,4.832755e-05,4.832364e-05,4.822452e-05,4.818483e-05,4.811110e-05,4.802859e-05,4.798837e-05,4.785732e-05,4.771886e-05,4.767313e-05,4.757385e-05,4.747795e-05,4.742304e-05,4.727347e-05,4.726715e-05,4.710683e-05,4.706123e-05,4.694268e-05,4.684258e-05,4.677524e-05,4.661873e-05,4.660503e-05,4.643250e-05,4.639079e-05,4.625807e-05,4.615971e-05,4.608214e-05,4.592637e-05,4.590507e-05,4.572717e-05,4.569152e-05,4.554874e-05,4.545584e-05,4.537006e-05,4.521996e-05,4.519138e-05,4.501291e-05,4.498439e-05,4.483488e-05,4.474963e-05,4.465746e-05,4.451608e-05,4.448083e-05,4.430514e-05,4.428413e-05,4.413054e-05,4.405409e-05,4.395715e-05,4.382626e-05,4.378510e-05,4.361447e-05,4.360089e-05,4.344538e-05,4.337818e-05,4.327789e-05,4.315834e-05,4.311209e-05,4.294805e-05,4.294152e-05,4.278582e-05,4.272787e-05,4.262545e-05,4.251749e-05,4.246700e-05,4.231050e-05,4.210696e-05,4.190694e-05,4.171050e-05,4.151768e-05,4.132849e-05,4.114297e-05,4.096111e-05,4.078292e-05,4.060838e-05,4.043750e-05,4.027025e-05,4.010659e-05,3.994652e-05,3.978998e-05,3.963694e-05,3.948737e-05,3.934122e-05,3.919845e-05,3.905900e-05,3.892284e-05,3.878990e-05,3.866014e-05,3.853350e-05,3.840993e-05
0.000000e+00,1.898250e-10,6.818912e-10,4.350866e-09,1.425977e-08,2.423364e-08,7.373281e-08,7.668375e-08,1.798733e-07,2.203359e-07,3.520291e-07,4.961827e-07,6.119063e-07,9.454165e-07,9.792177e-07,1.472469e-06,1.611056e-06,2.102229e-06,2.513292e-06,2.863164e-06,3.623761e-06,3.732834e-06,4.679063e-06,4.874558e-06,5.669331e-06,6.192421e-06,6.676627e-06,7.521161e-06,7.681045e-06,8.668775e-06,8.824585e-06,9.630342e-06,1.008054e-05,1.055896e-05,1.127460e-05,1.144941e-05,1.229738e-05,1.239610e-05,1.309915e-05,1.343647e-05,1.385160e-05,1.438890e-05,1.455221e-05,1.519907e-05,1.524846e-05,1.579103e-05,1.601233e-05,1.632770e-05,1.668003e-05,1.680942e-05,1.723728e-05,1.725329e-05,1.761294e-05,1.773582e-05,1.793861e-05,1.813282e-05,1.821688e-05,1.845066e-05,1.864304e-05,1.869637e-05,1.879720e-05,1.887731e-05,1.891638e-05,1.900083e-05,1.900375e-05,1.906237e-05,1.907404e-05,1.909519e-05,1.910365e-05,1.910497e-05,1.909584e-05,1.909429e-05,1.906552e-05,1.905617e-05,1.902086e-05,1.898964e-05,1.896227e-05,1.890064e-05,1.889157e-05,1.881034e-05,1.879297e-05,1.872005e-05,1.866994e-05,1.862196e-05,1.853439e-05,1.851723e-05,1.840685e-05,1.838873e-05,1.829172e-05,1.823501e-05,1.817263e-05,1.807497e-05,1.805027e-05,1.792524e-05,1.791008e-05,1.779808e-05,1.774158e-05,1.766926e-05,1.757050e-05,1.753919e-05,1.740823e-05,1.739773e-05,1.727671e-05,1.722400e-05,1.714489e-05,1.704994e-05,1.701303e-05,1.688133e-05,1.687607e-05,1.674999e-05,1.670283e-05,1.661918e-05,1.653059e-05,1.648903e-05,1.635968e-05,1.623124e-05,1.619035e-05,1.610380e-05,1.602282e-05,1.597746e-05,1.585728e-05,1.585229e-05,1.572836e-05,1.569388e-05,1.560571e-05,1.553276e-05,1.548440e-05,1.537402e-05,1.536448e-05,1.524598e-05,1.521775e-05,1.512892e-05,1.506401e-05,1.501334e-05,1.491287e-05,1.489925e-05,1.478668e-05,1.476435e-05,1.467563e-05,1.461850e-05,1.456612e-05,1.447532e-05,1.445815e-05,1.435172e-05,1.433484e-05,1.424684e-05,1.419705e-05,1.414351e-05,1.406196e-05,1.404172e-05,1.394147e-05,1.392955e-05,1.384276e-05,1.379980e-05,1.374556e-05,1.367271e-05,1.364989e-05,1.355571e-05,1.354824e-05,1.346304e-05,1.342638e-05,1.337184e-05,1.330709e-05,1.328211e-05,1.319384e-05,1.319033e-05,1.310700e-05,1.307609e-05,1.302159e-05,1.296431e-05,1.293758e-05,1.285497e-05,1.274802e-05,1.264342e-05,1.254114e-05,1.244113e-05,1.234335e-05,1.224776e-05,1.215431e-05,1.206296e-05,1.197368e-05,1.188641e-05,1.180111e-05,1.171775e-05,1.163627e-05,1.155665e-05,1.147883e-05,1.140278e-05,1.132845e-05,1.125582e-05,1.118483e-05,1.111545e-05,1.104764e-05,1.098137e-05,1.091659e-05,1.085328e-05
0.000000e+00,6.796490e-12,1.553669e-11,5.320997e-11,1.205570e-10,1.754692e-10,3.956362e-10,4.074388e-10,7.826080e-10,9.180186e-10,1.335916e-09,1.768813e-09,2.104562e-09,3.034341e-09,3.126200e-09,4.431967e-09,4.789532e-09,6.033514e-09,7.053809e-09,7.911990e-09,9.758546e-09,1.002219e-08,1.230944e-08,1.278355e-08,1.472336e-08,1.601450e-08,1.722229e-08,1.936213e-08,1.977237e-08,2.234557e-08,2.275779e-08,2.491811e-08,2.614656e-08,2.746948e-08,2.948337e-08,2.998201e-08,3.244057e-08,3.273134e-08,3.483245e-08,3.586098e-08,3.714721e-08,3.884968e-08,3.937657e-08,4.151423e-08,4.168114e-08,4.355566e-08,4.434458e-08,4.549792e-08,4.683402e-08,4.733945e-08,4.907984e-08,4.914736e-08,5.071969e-08,5.128567e-08,5.226038e-08,5.325242e-08,5.370393e-08,5.505289e-08,5.631015e-08,5.669363e-08,5.747891e-08,5.818202e-08,5.856253e-08,5.952596e-08,5.956452e-08,6.048841e-08,6.073359e-08,6.133779e-08,6.181313e-08,6.211620e-08,6.277266e-08,6.282714e-08,6.347402e-08,6.362012e-08,6.406019e-08,6.436314e-08,6.458888e-08,6.500905e-08,6.506320e-08,6.548616e-08,6.556484e-08,6.586064e-08,6.603714e-08,6.618942e-08,6.643220e-08,6.647513e-08,6.672030e-08,6.675593e-08,6.692735e-08,6.701386e-08,6.709855e-08,6.721119e-08,6.723611e-08,6.734209e-08,6.735278e-08,6.741846e-08,6.744318e-08,6.746710e-08,6.748662e-08,6.748978e-08,6.748819e-08,6.748706e-08,6.746390e-08,6.744818e-08,6.741845e-08,6.737341e-08,6.735324e-08,6.726964e-08,6.726594e-08,6.716893e-08,6.712872e-08,6.705231e-08,6.696450e-08,6.692092e-08,6.677584e-08,6.661809e-08,6.656509e-08,6.644863e-08,6.633446e-08,6.626838e-08,6.608596e-08,6.607818e-08,6.587884e-08,6.582149e-08,6.567112e-08,6.554277e-08,6.545574e-08,6.525142e-08,6.523338e-08,6.500468e-08,6.494891e-08,6.477022e-08,6.463663e-08,6.453058e-08,6.431583e-08,6.428628e-08,6.403783e-08,6.398768e-08,6.378569e-08,6.365327e-08,6.353031e-08,6.331358e-08,6.327209e-08,6.301142e-08,6.296952e-08,6.274868e-08,6.262193e-08,6.248420e-08,6.227158e-08,6.221831e-08,6.195129e-08,6.191919e-08,6.168345e-08,6.156540e-08,6.141503e-08,6.121080e-08,6.114628e-08,6.087744e-08,6.085594e-08,6.060872e-08,6.050131e-08,6.034032e-08,6.014738e-08,6.007243e-08,5.980522e-08,5.979455e-08,5.953885e-08,5.944319e-08,5.927348e-08,5.909366e-08,5.900924e-08,5.874626e-08,5.840128e-08,5.805895e-08,5.771952e-08,5.738319e-08,5.705013e-08,5.672051e-08,5.639447e-08,5.607215e-08,5.575364e-08,5.543905e-08,5.512845e-08,5.482193e-08,5.451953e-08,5.422131e-08,5.392730e-08,5.363754e-08,5.335203e-08,5.307081e-08,5.279386e-08,5.252120e-08,5.225282e-08,5.198871e-08,5.172884e-08,5.147321e-08
0.000000e+00,2.243475e-08,8.828730e-08,6.784175e-07,2.622991e-06,4.871792e-06,1.851944e-05,1.943145e-05,5.618763e-05,7.269367e-05,1.326364e-04,2.070967e-04,2.723304e-04,4.822298e-04,5.050858e-04,8.670057e-04,9.776448e-04,1.400167e-03,1.790929e-03,2.151657e-03,3.033457e-03,3.171744e-03,4.511403e-03,4.822068e-03,6.219808e-03,7.269140e-03,8.342239e-03,1.047439e-02,1.091857e-02,1.398225e-02,1.451953e-02,1.755968e-02,1.946521e-02,2.166991e-02,2.534971e-02,2.632447e-02,3.152752e-02,3.218867e-02,3.727604e-02,3.997590e-02,4.356023e-02,4.868479e-02,5.036400e-02,5.766553e-02,5.827039e-02,6.543796e-02,6.867192e-02,7.365007e-02,7.981559e-02,8.226701e-02,9.125107e-02,9.161751e-02,1.005624e-01,1.039866e-01,1.101596e-01,1.168275e-01,1.200005e-01,1.300429e-01,1.402446e-01,1.435361e-01,1.505645e-01,1.572128e-01,1.609627e-01,1.709829e-01,1.714008e-01,1.818422e-01,1.847616e-01,1.922525e-01,1.984704e-01,2.025998e-01,2.120378e-01,2.128540e-01,2.229881e-01,2.253995e-01,2.329771e-01,2.384991e-01,2.427987e-01,2.512874e-01,2.524331e-01,2.618626e-01,2.637226e-01,2.710723e-01,2.757699e-01,2.800489e-01,2.874012e-01,2.887816e-01,2.972615e-01,2.985943e-01,3.054815e-01,3.093331e-01,3.134361e-01,3.196061e-01,3.211216e-01,3.285355e-01,3.294069e-01,3.356770e-01,3.387329e-01,3.425461e-01,3.475852e-01,3.491441e-01,3.554731e-01,3.559679e-01,3.615363e-01,3.638879e-01,3.673374e-01,3.713544e-01,3.728808e-01,3.781717e-01,3.783781e-01,3.832154e-01,3.849718e-01,3.880179e-01,3.911489e-01,3.925853e-01,3.969241e-01,4.010410e-01,4.023126e-01,4.049428e-01,4.073303e-01,4.086364e-01,4.119930e-01,4.121289e-01,4.154271e-01,4.163168e-01,4.185382e-01,4.203179e-01,4.214690e-01,4.240121e-01,4.242265e-01,4.268173e-01,4.274150e-01,4.292482e-01,4.305421e-01,4.315257e-01,4.334082e-01,4.336563e-01,4.356462e-01,4.360278e-01,4.375014e-01,4.384149e-01,4.392279e-01,4.405830e-01,4.408315e-01,4.423177e-01,4.425450e-01,4.436919e-01,4.443133e-01,4.449594e-01,4.458998e-01,4.461250e-01,4.471938e-01,4.473157e-01,4.481702e-01,4.485718e-01,4.490590e-01,4.496783e-01,4.498642e-01,4.505902e-01,4.506449e-01,4.512408e-01,4.514808e-01,4.518199e-01,4.521946e-01,4.523311e-01,4.527779e-01,4.527945e-01,4.531637e-01,4.532883e-01,4.534916e-01,4.536831e-01,4.537648e-01,4.539860e-01,4.542034e-01,4.543412e-01,4.544053e-01,4.544010e-01,4.543333e-01,4.542069e-01,4.540263e-01,4.537956e-01,4.535187e-01,4.531993e-01,4.528407e-01,4.524461e-01,4.520186e-01,4.515610e-01,4.510757e-01,4.505654e-01,4.500323e-01,4.494786e-01,4.489062e-01,4.483170e-01,4.477127e-01,4.470951e-01,4.464657e-01,4.458258e-01
0.000000e+00,2.310014e-10,8.931596e-10,6.614491e-09,2.471993e-08,4.506079e-08,1.631613e-07,1.708574e-07,4.707302e-07,6.010786e-07,1.061250e-06,1.613722e-06,2.085839e-06,3.554776e-06,3.711179e-06,6.122519e-06,6.839926e-06,9.516208e-06,1.191892e-05,1.408692e-05,1.922146e-05,2.000811e-05,2.740846e-05,2.907295e-05,3.635206e-05,4.161244e-05,4.682965e-05,5.676027e-05,5.876221e-05,7.201303e-05,7.424399e-05,8.640329e-05,9.365569e-05,1.017277e-04,1.145132e-04,1.177679e-04,1.343039e-04,1.363112e-04,1.511220e-04,1.585592e-04,1.680218e-04,1.808065e-04,1.848195e-04,2.013514e-04,2.026581e-04,2.174751e-04,2.237825e-04,2.330697e-04,2.439135e-04,2.480357e-04,2.622940e-04,2.628487e-04,2.757847e-04,2.804447e-04,2.884650e-04,2.966105e-04,3.003081e-04,3.113008e-04,3.214416e-04,3.245079e-04,3.307392e-04,3.362547e-04,3.392106e-04,3.465877e-04,3.468794e-04,3.537745e-04,3.555709e-04,3.599289e-04,3.632807e-04,3.653781e-04,3.698010e-04,3.701599e-04,3.743126e-04,3.752200e-04,3.778753e-04,3.796272e-04,3.808867e-04,3.831110e-04,3.833849e-04,3.854068e-04,3.857573e-04,3.869883e-04,3.876480e-04,3.881635e-04,3.888606e-04,3.889650e-04,3.894236e-04,3.894671e-04,3.895684e-04,3.895345e-04,3.894266e-04,3.891241e-04,3.890239e-04,3.883839e-04,3.882922e-04,3.875288e-04,3.870898e-04,3.864792e-04,3.855632e-04,3.852541e-04,3.838711e-04,3.837541e-04,3.823463e-04,3.817001e-04,3.806947e-04,3.794348e-04,3.789301e-04,3.770650e-04,3.769885e-04,3.751111e-04,3.743880e-04,3.730789e-04,3.716574e-04,3.709783e-04,3.688181e-04,3.666064e-04,3.658891e-04,3.643509e-04,3.628874e-04,3.620581e-04,3.598279e-04,3.597345e-04,3.573856e-04,3.567240e-04,3.550165e-04,3.535875e-04,3.526321e-04,3.504286e-04,3.502366e-04,3.478339e-04,3.472566e-04,3.454276e-04,3.440797e-04,3.430209e-04,3.409049e-04,3.406166e-04,3.382176e-04,3.377386e-04,3.358260e-04,3.345862e-04,3.334443e-04,3.314525e-04,3.310741e-04,3.287175e-04,3.283418e-04,3.263759e-04,3.252577e-04,3.240508e-04,3.222034e-04,3.217434e-04,3.194549e-04,3.191816e-04,3.171864e-04,3.161949e-04,3.149388e-04,3.132450e-04,3.127127e-04,3.105091e-04,3.103338e-04,3.083284e-04,3.074626e-04,3.061711e-04,3.046327e-04,3.040378e-04,3.019289e-04,3.018450e-04,2.998446e-04,2.991003e-04,2.977852e-04,2.963992e-04,2.957510e-04,2.937421e-04,2.911293e-04,2.885609e-04,2.860372e-04,2.835580e-04,2.811232e-04,2.787326e-04,2.763860e-04,2.740831e-04,2.718234e-04,2.696066e-04,2.674322e-04,2.652997e-04,2.632085e-04,2.611582e-04,2.591482e-04,2.571778e-04,2.552465e-04,2.533537e-04,2.514986e-04,2.496807e-04,2.478993e-04,2.461538e-04,2.444436e-04,2.427679e-04
0.000000e+00,7.991870e-11,3.062223e-10,2.226007e-09,8.181865e-09,1.478165e-08,5.235179e-08,5.477383e-08,1.479336e-07,1.879628e-07,3.280858e-07,4.948756e-07,6.367015e-07,1.075889e-06,1.122540e-06,1.840424e-06,2.053625e-06,2.847355e-06,3.557103e-06,4.194443e-06,5.689085e-06,5.915996e-06,8.020784e-06,8.486517e-06,1.048984e-05,1.190434e-05,1.328070e-05,1.583126e-05,1.633494e-05,1.958610e-05,2.011999e-05,2.296614e-05,2.461506e-05,2.641012e-05,2.917152e-05,2.985915e-05,3.326203e-05,3.366515e-05,3.657580e-05,3.799640e-05,3.976578e-05,4.209058e-05,4.280511e-05,4.567408e-05,4.589580e-05,4.835933e-05,4.938006e-05,5.085299e-05,5.252784e-05,5.315187e-05,5.525660e-05,5.533679e-05,5.717093e-05,5.781461e-05,5.890103e-05,5.997627e-05,6.045486e-05,6.184169e-05,6.307163e-05,6.343380e-05,6.415526e-05,6.477696e-05,6.510331e-05,6.589581e-05,6.592647e-05,6.663514e-05,6.681443e-05,6.723932e-05,6.755565e-05,6.774852e-05,6.814079e-05,6.817167e-05,6.851713e-05,6.858935e-05,6.879261e-05,6.891898e-05,6.900521e-05,6.914546e-05,6.916144e-05,6.926721e-05,6.928279e-05,6.932790e-05,6.934328e-05,6.934838e-05,6.933772e-05,6.933302e-05,6.928578e-05,6.927551e-05,6.921020e-05,6.916480e-05,6.910946e-05,6.901268e-05,6.898641e-05,6.884359e-05,6.882524e-05,6.868330e-05,6.860777e-05,6.850757e-05,6.836483e-05,6.831824e-05,6.811694e-05,6.810036e-05,6.790514e-05,6.781778e-05,6.768415e-05,6.752002e-05,6.745516e-05,6.721922e-05,6.720965e-05,6.697729e-05,6.688889e-05,6.673021e-05,6.655967e-05,6.647878e-05,6.622367e-05,6.596551e-05,6.588236e-05,6.570489e-05,6.553703e-05,6.544230e-05,6.518881e-05,6.517822e-05,6.491308e-05,6.483870e-05,6.464725e-05,6.448758e-05,6.438110e-05,6.413622e-05,6.411493e-05,6.384904e-05,6.378530e-05,6.358369e-05,6.343542e-05,6.331912e-05,6.308711e-05,6.305555e-05,6.279316e-05,6.274085e-05,6.253216e-05,6.239703e-05,6.227269e-05,6.205604e-05,6.201492e-05,6.175896e-05,6.171819e-05,6.150496e-05,6.138377e-05,6.125303e-05,6.105303e-05,6.100325e-05,6.075573e-05,6.072618e-05,6.051054e-05,6.040342e-05,6.026777e-05,6.008491e-05,6.002747e-05,5.978970e-05,5.977079e-05,5.955452e-05,5.946118e-05,5.932197e-05,5.915618e-05,5.909209e-05,5.886492e-05,5.885589e-05,5.864048e-05,5.856036e-05,5.841880e-05,5.826965e-05,5.819990e-05,5.798380e-05,5.770286e-05,5.742682e-05,5.715571e-05,5.688953e-05,5.662827e-05,5.637192e-05,5.612046e-05,5.587385e-05,5.563209e-05,5.539511e-05,5.516290e-05,5.493539e-05,5.471255e-05,5.449433e-05,5.428067e-05,5.407151e-05,5.386680e-05,5.366648e-05,5.347049e-05,5.327876e-05,5.309123e-05,5.290784e-05,5.272852e-05,5.255321e-05
0.000000e+00,2.440835e-10,8.445500e-10,5.044557e-09,1.576438e-08,2.621746e-08,7.639167e-08,7.933611e-08,1.809243e-07,2.203330e-07,3.477613e-07,4.862942e-07,5.969928e-07,9.141837e-07,9.462172e-07,1.412717e-06,1.543844e-06,2.010913e-06,2.406698e-06,2.748652e-06,3.513179e-06,3.625585e-06,4.635304e-06,4.852400e-06,5.768708e-06,6.403733e-06,7.016079e-06,8.144837e-06,8.367701e-06,9.813791e-06,1.005327e-05,1.134434e-05,1.210599e-05,1.294906e-05,1.427920e-05,1.461748e-05,1.633910e-05,1.654878e-05,1.810357e-05,1.889092e-05,1.990089e-05,2.128297e-05,2.172159e-05,2.355682e-05,2.370402e-05,2.539848e-05,2.613527e-05,2.723922e-05,2.856028e-05,2.907249e-05,3.089250e-05,3.096495e-05,3.269421e-05,3.333750e-05,3.447331e-05,3.566827e-05,3.622610e-05,3.794948e-05,3.964089e-05,4.017504e-05,4.129824e-05,4.234027e-05,4.291983e-05,4.444170e-05,4.450435e-05,4.605080e-05,4.647687e-05,4.755842e-05,4.844415e-05,4.902673e-05,5.034259e-05,5.045543e-05,5.184437e-05,5.217180e-05,5.319358e-05,5.393184e-05,5.450321e-05,5.562314e-05,5.577350e-05,5.700478e-05,5.724638e-05,5.819744e-05,5.880251e-05,5.935194e-05,6.029262e-05,6.046882e-05,6.154861e-05,6.171798e-05,6.259193e-05,6.307994e-05,6.359938e-05,6.437996e-05,6.457162e-05,6.550930e-05,6.561954e-05,6.641312e-05,6.680025e-05,6.728376e-05,6.792368e-05,6.812191e-05,6.892829e-05,6.899145e-05,6.970360e-05,7.000519e-05,7.044856e-05,7.096652e-05,7.116386e-05,7.185023e-05,7.187709e-05,7.250835e-05,7.273850e-05,7.313894e-05,7.355236e-05,7.374268e-05,7.432027e-05,7.487238e-05,7.504378e-05,7.539968e-05,7.572445e-05,7.590285e-05,7.636379e-05,7.638254e-05,7.683938e-05,7.696329e-05,7.727403e-05,7.752442e-05,7.768710e-05,7.804861e-05,7.807922e-05,7.845098e-05,7.853724e-05,7.880298e-05,7.899169e-05,7.913581e-05,7.941330e-05,7.945004e-05,7.974624e-05,7.980336e-05,8.002494e-05,8.016313e-05,8.028669e-05,8.049385e-05,8.053202e-05,8.076145e-05,8.079672e-05,8.097548e-05,8.107289e-05,8.117460e-05,8.132350e-05,8.135931e-05,8.153007e-05,8.154965e-05,8.168734e-05,8.175239e-05,8.183158e-05,8.193276e-05,8.196323e-05,8.208272e-05,8.209176e-05,8.219046e-05,8.223036e-05,8.228686e-05,8.234948e-05,8.237233e-05,8.244725e-05,8.245004e-05,8.251201e-05,8.253290e-05,8.256696e-05,8.259892e-05,8.261248e-05,8.264890e-05,8.268365e-05,8.270391e-05,8.271042e-05,8.270388e-05,8.268499e-05,8.265439e-05,8.261271e-05,8.256057e-05,8.249855e-05,8.242721e-05,8.234709e-05,8.225871e-05,8.216258e-05,8.205917e-05,8.194894e-05,8.183233e-05,8.170977e-05,8.158166e-05,8.144839e-05,8.131034e-05,8.116786e-05,8.102129e-05,8.087096e-05,8.071718e-05
0.000000e+00,6.231397e-11,2.415698e-10,1.798534e-09,6.752471e-09,1.233804e-08,4.492180e-08,4.705017e-08,1.301790e-07,1.663769e-07,2.942650e-07,4.478267e-07,5.789902e-07,9.865040e-07,1.029838e-06,1.696756e-06,1.894817e-06,2.632815e-06,3.294926e-06,3.892646e-06,5.312068e-06,5.530242e-06,7.595819e-06,8.064218e-06,1.013197e-05,1.164769e-05,1.317008e-05,1.612342e-05,1.672791e-05,2.080887e-05,2.150986e-05,2.540270e-05,2.778376e-05,3.048704e-05,3.488609e-05,3.602933e-05,4.198890e-05,4.272992e-05,4.831888e-05,5.120831e-05,5.496793e-05,6.020130e-05,6.188182e-05,6.900472e-05,6.958189e-05,7.628041e-05,7.922097e-05,8.365329e-05,8.899150e-05,9.106927e-05,9.847650e-05,9.877190e-05,1.058261e-04,1.084489e-04,1.130725e-04,1.179198e-04,1.201742e-04,1.270938e-04,1.337981e-04,1.358932e-04,1.402586e-04,1.442541e-04,1.464513e-04,1.521260e-04,1.523565e-04,1.579589e-04,1.594717e-04,1.632472e-04,1.662661e-04,1.682138e-04,1.724957e-04,1.728550e-04,1.771698e-04,1.781570e-04,1.811605e-04,1.832553e-04,1.848317e-04,1.878033e-04,1.881901e-04,1.912444e-04,1.918196e-04,1.940048e-04,1.953278e-04,1.964826e-04,1.983546e-04,1.986902e-04,2.006405e-04,2.009295e-04,2.023469e-04,2.030835e-04,2.038233e-04,2.048480e-04,2.050833e-04,2.061407e-04,2.062546e-04,2.070089e-04,2.073344e-04,2.077011e-04,2.081174e-04,2.082301e-04,2.086082e-04,2.086323e-04,2.088471e-04,2.089063e-04,2.089582e-04,2.089649e-04,2.089519e-04,2.088385e-04,2.088319e-04,2.086273e-04,2.085291e-04,2.083273e-04,2.080767e-04,2.079467e-04,2.074932e-04,2.069740e-04,2.067951e-04,2.063958e-04,2.059977e-04,2.057647e-04,2.051144e-04,2.050865e-04,2.043662e-04,2.041576e-04,2.036087e-04,2.031382e-04,2.028185e-04,2.020660e-04,2.019995e-04,2.011555e-04,2.009496e-04,2.002899e-04,1.997968e-04,1.994057e-04,1.986145e-04,1.985057e-04,1.975926e-04,1.974086e-04,1.966687e-04,1.961846e-04,1.957360e-04,1.949473e-04,1.947966e-04,1.938521e-04,1.937006e-04,1.929042e-04,1.924484e-04,1.919543e-04,1.911939e-04,1.910038e-04,1.900538e-04,1.899398e-04,1.891053e-04,1.886888e-04,1.881594e-04,1.874428e-04,1.872170e-04,1.862788e-04,1.862039e-04,1.853455e-04,1.849737e-04,1.844178e-04,1.837537e-04,1.834963e-04,1.825815e-04,1.825450e-04,1.816738e-04,1.813488e-04,1.807736e-04,1.801661e-04,1.798814e-04,1.789975e-04,1.778438e-04,1.767055e-04,1.755832e-04,1.744772e-04,1.733879e-04,1.723155e-04,1.712603e-04,1.702223e-04,1.692017e-04,1.681986e-04,1.672129e-04,1.662447e-04,1.652939e-04,1.643605e-04,1.634444e-04,1.625455e-04,1.616636e-04,1.607986e-04,1.599503e-04,1.591186e-04,1.583033e-04,1.575042e-04,1.567211e-04,1.559538e-04
0.000000e+00,1.346523e-10,4.934670e-10,3.283625e-09,1.118832e-08,1.942812e-08,6.253516e-08,6.518813e-08,1.618000e-07,2.012737e-07,3.342523e-07,4.860107e-07,6.115484e-07,9.877329e-07,1.026872e-06,1.615371e-06,1.785985e-06,2.407408e-06,2.946779e-06,3.419548e-06,4.491475e-06,4.650264e-06,6.083317e-06,6.392161e-06,7.694742e-06,8.594551e-06,9.458644e-06,1.104003e-05,1.135033e-05,1.334735e-05,1.367526e-05,1.542943e-05,1.645356e-05,1.757811e-05,1.933356e-05,1.977641e-05,2.200862e-05,2.227806e-05,2.426020e-05,2.525356e-05,2.651783e-05,2.823018e-05,2.876940e-05,3.100412e-05,3.118187e-05,3.321247e-05,3.408654e-05,3.538622e-05,3.692595e-05,3.751842e-05,3.960325e-05,3.968558e-05,4.163600e-05,4.235430e-05,4.361297e-05,4.492396e-05,4.553131e-05,4.738896e-05,4.918453e-05,4.974586e-05,5.091722e-05,5.199297e-05,5.258669e-05,5.412999e-05,5.419303e-05,5.573666e-05,5.615773e-05,5.721828e-05,5.807785e-05,5.863880e-05,5.989265e-05,5.999932e-05,6.130108e-05,6.160491e-05,6.254543e-05,6.321772e-05,6.373380e-05,6.473444e-05,6.486768e-05,6.594859e-05,6.615855e-05,6.697808e-05,6.749361e-05,6.795772e-05,6.874323e-05,6.888907e-05,6.977370e-05,6.991101e-05,7.061316e-05,7.100050e-05,7.140897e-05,7.201521e-05,7.216264e-05,7.287565e-05,7.295855e-05,7.354945e-05,7.383387e-05,7.418546e-05,7.464441e-05,7.478507e-05,7.534963e-05,7.539332e-05,7.588046e-05,7.608364e-05,7.637884e-05,7.671829e-05,7.684603e-05,7.728322e-05,7.730010e-05,7.769161e-05,7.783179e-05,7.807232e-05,7.831597e-05,7.842647e-05,7.875514e-05,7.905934e-05,7.915169e-05,7.934011e-05,7.950794e-05,7.959839e-05,7.982607e-05,7.983514e-05,8.005126e-05,8.010819e-05,8.024762e-05,8.035632e-05,8.042509e-05,8.057236e-05,8.058446e-05,8.072654e-05,8.075815e-05,8.085209e-05,8.091545e-05,8.096183e-05,8.104590e-05,8.105648e-05,8.113672e-05,8.115110e-05,8.120321e-05,8.123256e-05,8.125659e-05,8.129173e-05,8.129745e-05,8.132639e-05,8.132996e-05,8.134398e-05,8.134855e-05,8.135076e-05,8.134876e-05,8.134726e-05,8.133398e-05,8.133175e-05,8.131140e-05,8.129864e-05,8.128000e-05,8.125050e-05,8.124021e-05,8.119248e-05,8.118833e-05,8.113721e-05,8.111309e-05,8.107481e-05,8.102568e-05,8.100566e-05,8.093012e-05,8.092697e-05,8.084855e-05,8.081777e-05,8.076128e-05,8.069886e-05,8.066865e-05,8.057096e-05,8.043478e-05,8.029096e-05,8.014013e-05,7.998288e-05,7.981976e-05,7.965130e-05,7.947799e-05,7.930030e-05,7.911869e-05,7.893355e-05,7.874529e-05,7.855427e-05,7.836086e-05,7.816537e-05,7.796812e-05,7.776939e-05,7.756947e-05,7.736861e-05,7.716705e-05,7.696502e-05,7.676273e-05,7.656038e-05,7.635816e-05,7.615624e-05
0.000000e+00,9.113615e-10,3.577399e-09,2.734305e-08,1.051941e-07,1.948425e-07,7.353109e-07,7.712915e-07,2.213850e-06,2.858378e-06,5.188435e-06,8.066715e-06,1.057782e-05,1.861076e-05,1.948200e-05,3.321074e-05,3.738654e-05,5.326267e-05,6.786168e-05,8.127873e-05,1.138718e-04,1.189595e-04,1.679550e-04,1.792469e-04,2.297565e-04,2.673806e-04,3.056151e-04,3.809136e-04,3.964945e-04,5.030508e-04,5.215821e-04,6.256315e-04,6.901877e-04,7.642870e-04,8.866414e-04,9.187903e-04,1.088662e-03,1.110048e-03,1.273198e-03,1.358815e-03,1.471503e-03,1.630778e-03,1.682519e-03,1.905063e-03,1.923327e-03,2.137852e-03,2.233536e-03,2.379539e-03,2.558286e-03,2.628738e-03,2.884050e-03,2.894369e-03,3.144085e-03,3.238591e-03,3.407484e-03,3.587844e-03,3.672934e-03,3.939180e-03,4.205040e-03,4.289851e-03,4.469408e-03,4.637345e-03,4.731262e-03,4.979411e-03,4.989670e-03,5.243787e-03,5.314066e-03,5.492857e-03,5.639595e-03,5.736213e-03,5.954552e-03,5.973273e-03,6.203537e-03,6.257741e-03,6.426585e-03,6.548207e-03,6.642068e-03,6.825214e-03,6.849709e-03,7.049294e-03,7.088229e-03,7.240666e-03,7.336899e-03,7.423726e-03,7.571033e-03,7.598421e-03,7.764743e-03,7.790579e-03,7.922723e-03,7.995609e-03,8.072428e-03,8.186299e-03,8.213956e-03,8.347431e-03,8.362913e-03,8.473000e-03,8.525789e-03,8.590832e-03,8.675321e-03,8.701110e-03,8.804032e-03,8.811954e-03,8.899809e-03,8.936167e-03,8.988658e-03,9.048466e-03,9.070805e-03,9.146480e-03,9.149376e-03,9.215917e-03,9.239432e-03,9.279349e-03,9.319175e-03,9.337014e-03,9.389145e-03,9.435975e-03,9.449878e-03,9.477733e-03,9.501902e-03,9.514647e-03,9.545732e-03,9.546938e-03,9.574824e-03,9.581871e-03,9.598517e-03,9.610807e-03,9.618225e-03,9.633010e-03,9.634149e-03,9.646485e-03,9.648932e-03,9.655420e-03,9.659008e-03,9.661140e-03,9.663652e-03,9.663819e-03,9.663629e-03,9.663261e-03,9.660732e-03,9.658210e-03,9.655288e-03,9.648856e-03,9.647446e-03,9.637353e-03,9.635539e-03,9.625148e-03,9.618578e-03,9.610963e-03,9.598276e-03,9.594927e-03,9.577161e-03,9.574918e-03,9.557781e-03,9.548772e-03,9.536899e-03,9.520089e-03,9.514620e-03,9.491045e-03,9.489106e-03,9.466271e-03,9.456045e-03,9.440387e-03,9.421114e-03,9.413483e-03,9.385638e-03,9.384506e-03,9.356934e-03,9.346404e-03,9.327443e-03,9.306976e-03,9.297236e-03,9.266380e-03,9.224764e-03,9.182264e-03,9.139007e-03,9.095110e-03,9.050684e-03,9.005830e-03,8.960640e-03,8.915202e-03,8.869596e-03,8.823894e-03,8.778166e-03,8.732472e-03,8.686871e-03,8.641414e-03,8.596150e-03,8.551122e-03,8.506370e-03,8.461930e-03,8.417835e-03,8.374114e-03,8.330794e-03,8.287899e-03,8.245450e-03,8.203467e-03
0.000000e+00,7.285463e-11,1.733129e-10,6.197058e-10,1.433563e-09,2.103092e-09,4.808891e-09,4.954480e-09,9.593936e-09,1.127116e-08,1.644833e-08,2.180764e-08,2.595968e-08,3.743386e-08,3.856554e-08,5.461741e-08,5.900230e-08,7.422749e-08,8.668962e-08,9.716427e-08,1.197238e-07,1.229510e-07,1.510632e-07,1.569225e-07,1.810360e-07,1.972236e-07,2.124738e-07,2.397593e-07,2.450302e-07,2.783898e-07,2.837820e-07,3.122594e-07,3.286171e-07,3.463661e-07,3.736520e-07,3.804578e-07,4.143062e-07,4.183417e-07,4.477080e-07,4.622169e-07,4.804866e-07,5.048883e-07,5.124921e-07,5.436011e-07,5.460480e-07,5.737149e-07,5.854641e-07,6.027579e-07,6.229744e-07,6.306754e-07,6.574306e-07,6.584763e-07,6.830031e-07,6.919179e-07,7.073856e-07,7.232876e-07,7.305822e-07,7.526062e-07,7.734784e-07,7.799185e-07,7.932254e-07,8.052871e-07,8.118781e-07,8.287869e-07,8.294708e-07,8.460403e-07,8.505017e-07,8.616254e-07,8.705202e-07,8.762652e-07,8.889330e-07,8.899993e-07,9.028672e-07,9.058309e-07,9.149078e-07,9.213036e-07,9.261596e-07,9.354383e-07,9.366599e-07,9.464450e-07,9.483193e-07,9.555500e-07,9.600272e-07,9.640090e-07,9.706390e-07,9.718543e-07,9.791176e-07,9.802277e-07,9.858287e-07,9.888625e-07,9.920165e-07,9.966085e-07,9.977085e-07,1.002931e-06,1.003527e-06,1.007708e-06,1.009676e-06,1.012065e-06,1.015109e-06,1.016024e-06,1.019606e-06,1.019877e-06,1.022832e-06,1.024027e-06,1.025721e-06,1.027604e-06,1.028293e-06,1.030564e-06,1.030649e-06,1.032552e-06,1.033201e-06,1.034271e-06,1.035296e-06,1.035739e-06,1.036967e-06,1.037972e-06,1.038248e-06,1.038764e-06,1.039165e-06,1.039356e-06,1.039748e-06,1.039761e-06,1.039988e-06,1.040022e-06,1.040049e-06,1.040010e-06,1.039953e-06,1.039735e-06,1.039710e-06,1.039329e-06,1.039217e-06,1.038817e-06,1.038477e-06,1.038183e-06,1.037531e-06,1.037436e-06,1.036580e-06,1.036397e-06,1.035625e-06,1.035090e-06,1.034575e-06,1.033626e-06,1.033438e-06,1.032219e-06,1.032016e-06,1.030923e-06,1.030275e-06,1.029556e-06,1.028414e-06,1.028122e-06,1.026627e-06,1.026444e-06,1.025075e-06,1.024375e-06,1.023470e-06,1.022218e-06,1.021816e-06,1.020117e-06,1.019979e-06,1.018376e-06,1.017669e-06,1.016597e-06,1.015295e-06,1.014783e-06,1.012938e-06,1.012863e-06,1.011063e-06,1.010381e-06,1.009162e-06,1.007855e-06,1.007237e-06,1.005291e-06,1.002694e-06,1.000069e-06,9.974203e-07,9.947532e-07,9.920711e-07,9.893781e-07,9.866774e-07,9.839724e-07,9.812660e-07,9.785610e-07,9.758600e-07,9.731654e-07,9.704793e-07,9.678039e-07,9.651410e-07,9.624923e-07,9.598594e-07,9.572438e-07,9.546468e-07,9.520697e-07,9.495135e-07,9.469794e-07,9.444682e-07,9.419808e-07
0.000000e+00,2.364471e-09,9.287155e-09,7.107792e-08,2.737891e-07,5.074721e-07,1.918776e-06,2.012829e-06,5.789402e-06,7.479363e-06,1.359771e-05,2.116968e-05,2.778523e-05,4.899109e-05,5.129423e-05,8.764647e-05,9.872193e-05,1.408885e-04,1.797281e-04,2.154660e-04,3.024101e-04,3.159948e-04,4.469406e-04,4.771418e-04,6.122831e-04,7.129629e-04,8.152560e-04,1.016573e-03,1.058199e-03,1.342507e-03,1.391879e-03,1.668654e-03,1.839981e-03,2.036249e-03,2.359408e-03,2.444127e-03,2.890447e-03,2.946479e-03,3.372794e-03,3.595712e-03,3.888288e-03,4.300247e-03,4.433686e-03,5.005479e-03,5.052254e-03,5.599986e-03,5.843305e-03,6.213434e-03,6.664716e-03,6.842032e-03,7.482035e-03,7.507820e-03,8.129797e-03,8.364212e-03,8.781818e-03,9.225922e-03,9.434777e-03,1.008556e-02,1.073127e-02,1.093639e-02,1.136927e-02,1.177242e-02,1.199716e-02,1.258840e-02,1.261276e-02,1.321419e-02,1.337982e-02,1.379977e-02,1.414291e-02,1.436807e-02,1.487460e-02,1.491788e-02,1.544819e-02,1.557247e-02,1.595820e-02,1.623470e-02,1.644729e-02,1.686003e-02,1.691502e-02,1.736109e-02,1.744768e-02,1.778533e-02,1.799731e-02,1.818774e-02,1.850894e-02,1.856839e-02,1.892746e-02,1.898293e-02,1.926525e-02,1.941992e-02,1.958210e-02,1.982078e-02,1.987842e-02,2.015471e-02,2.018654e-02,2.041148e-02,2.051842e-02,2.064929e-02,2.081772e-02,2.086875e-02,2.107047e-02,2.108586e-02,2.125509e-02,2.132429e-02,2.142325e-02,2.153452e-02,2.157563e-02,2.171288e-02,2.171806e-02,2.183565e-02,2.187643e-02,2.194461e-02,2.201114e-02,2.204040e-02,2.212367e-02,2.219504e-02,2.221547e-02,2.225513e-02,2.228794e-02,2.230453e-02,2.234244e-02,2.234382e-02,2.237358e-02,2.238028e-02,2.239435e-02,2.240271e-02,2.240665e-02,2.241093e-02,2.241099e-02,2.240787e-02,2.240607e-02,2.239776e-02,2.238921e-02,2.238110e-02,2.236137e-02,2.235833e-02,2.232986e-02,2.232352e-02,2.229609e-02,2.227655e-02,2.225738e-02,2.222132e-02,2.221410e-02,2.216659e-02,2.215862e-02,2.211517e-02,2.208919e-02,2.206015e-02,2.201373e-02,2.200181e-02,2.194044e-02,2.193289e-02,2.187630e-02,2.184726e-02,2.180963e-02,2.175741e-02,2.174066e-02,2.166963e-02,2.166386e-02,2.159672e-02,2.156708e-02,2.152215e-02,2.146752e-02,2.144609e-02,2.136871e-02,2.136559e-02,2.129019e-02,2.126167e-02,2.121067e-02,2.115609e-02,2.113029e-02,2.104919e-02,2.094125e-02,2.083255e-02,2.072332e-02,2.061380e-02,2.050418e-02,2.039466e-02,2.028540e-02,2.017655e-02,2.006826e-02,1.996065e-02,1.985383e-02,1.974790e-02,1.964295e-02,1.953907e-02,1.943632e-02,1.933477e-02,1.923447e-02,1.913547e-02,1.903782e-02,1.894154e-02,1.884666e-02,1.875322e-02,1.866123e-02,1.857071e-02
0.000000e+00,2.168976e-09,8.538359e-09,6.568264e-08,2.543858e-07,4.731069e-07,1.807600e-06,1.897122e-06,5.531053e-06,7.176589e-06,1.320838e-05,2.080199e-05,2.753149e-05,4.957989e-05,5.201224e-05,9.118530e-05,1.033696e-04,1.505864e-04,1.950035e-04,2.364738e-04,3.391168e-04,3.553302e-04,5.133517e-04,5.501581e-04,7.160853e-04,8.407744e-04,9.682330e-04,1.221015e-03,1.273572e-03,1.634941e-03,1.698101e-03,2.054267e-03,2.276469e-03,2.532598e-03,2.957926e-03,3.070162e-03,3.666415e-03,3.741857e-03,4.320107e-03,4.625461e-03,5.029342e-03,5.604007e-03,5.791649e-03,6.604048e-03,6.671105e-03,7.463130e-03,7.819000e-03,8.365123e-03,9.038860e-03,9.305969e-03,1.028139e-02,1.032107e-02,1.128697e-02,1.165549e-02,1.231819e-02,1.303176e-02,1.337053e-02,1.443947e-02,1.552059e-02,1.586841e-02,1.660957e-02,1.730871e-02,1.770225e-02,1.875103e-02,1.879467e-02,1.988305e-02,2.018658e-02,2.096384e-02,2.160729e-02,2.203375e-02,2.300582e-02,2.308972e-02,2.412895e-02,2.437558e-02,2.514889e-02,2.571076e-02,2.614725e-02,2.700632e-02,2.712198e-02,2.807129e-02,2.825795e-02,2.899359e-02,2.946207e-02,2.988756e-02,3.061576e-02,3.075206e-02,3.158615e-02,3.171673e-02,3.238910e-02,3.276328e-02,3.316034e-02,3.375423e-02,3.389948e-02,3.460627e-02,3.468890e-02,3.528060e-02,3.556702e-02,3.592249e-02,3.638871e-02,3.653207e-02,3.710960e-02,3.715443e-02,3.765540e-02,3.786492e-02,3.816989e-02,3.852121e-02,3.865356e-02,3.910698e-02,3.912449e-02,3.953075e-02,3.967618e-02,3.992554e-02,4.017781e-02,4.029206e-02,4.063105e-02,4.094327e-02,4.103765e-02,4.122951e-02,4.139945e-02,4.149059e-02,4.171832e-02,4.172733e-02,4.194056e-02,4.199616e-02,4.213110e-02,4.223489e-02,4.229981e-02,4.243644e-02,4.244750e-02,4.257502e-02,4.260271e-02,4.268318e-02,4.273560e-02,4.277280e-02,4.283696e-02,4.284468e-02,4.289960e-02,4.290862e-02,4.293834e-02,4.295234e-02,4.296165e-02,4.296985e-02,4.297028e-02,4.296494e-02,4.296284e-02,4.294635e-02,4.293292e-02,4.291518e-02,4.288165e-02,4.287212e-02,4.281779e-02,4.281054e-02,4.275283e-02,4.272104e-02,4.267784e-02,4.261451e-02,4.259342e-02,4.250013e-02,4.249230e-02,4.239851e-02,4.235565e-02,4.228909e-02,4.220576e-02,4.217238e-02,4.204886e-02,4.204379e-02,4.191901e-02,4.187080e-02,4.178328e-02,4.168784e-02,4.164209e-02,4.149587e-02,4.129582e-02,4.108854e-02,4.087487e-02,4.065556e-02,4.043134e-02,4.020289e-02,3.997085e-02,3.973582e-02,3.949834e-02,3.925893e-02,3.901810e-02,3.877627e-02,3.853387e-02,3.829129e-02,3.804889e-02,3.780699e-02,3.756591e-02,3.732592e-02,3.708729e-02,3.685025e-02,3.661501e-02,3.638177e-02,3.615071e-02,3.592199e-02
0.000000e+00,4.082082e-09,1.602461e-08,1.225531e-07,4.721198e-07,8.755091e-07,3.320856e-06,3.484325e-06,1.009139e-05,1.307181e-05,2.396475e-05,3.763527e-05,4.972501e-05,8.922240e-05,9.357046e-05,1.633451e-04,1.849464e-04,2.681695e-04,3.457406e-04,4.175528e-04,5.929467e-04,6.203696e-04,8.841259e-04,9.447308e-04,1.214605e-03,1.414213e-03,1.615780e-03,2.009070e-03,2.089867e-03,2.637457e-03,2.731854e-03,3.257675e-03,3.580584e-03,3.948349e-03,4.549440e-03,4.706191e-03,5.526970e-03,5.629463e-03,6.405690e-03,6.809259e-03,7.336756e-03,8.075671e-03,8.314129e-03,9.331483e-03,9.414405e-03,1.038233e-02,1.081059e-02,1.146016e-02,1.224927e-02,1.255851e-02,1.367111e-02,1.371583e-02,1.479192e-02,1.519630e-02,1.591519e-02,1.667765e-02,1.703553e-02,1.814793e-02,1.924779e-02,1.959640e-02,2.033093e-02,2.101362e-02,2.139360e-02,2.239141e-02,2.243247e-02,2.344463e-02,2.372289e-02,2.442756e-02,2.500239e-02,2.537914e-02,2.622539e-02,2.629761e-02,2.718156e-02,2.738844e-02,2.802988e-02,2.848907e-02,2.884177e-02,2.952566e-02,2.961669e-02,3.035435e-02,3.049740e-02,3.105468e-02,3.140413e-02,3.171780e-02,3.224628e-02,3.234401e-02,3.293377e-02,3.302479e-02,3.348767e-02,3.374101e-02,3.400641e-02,3.439661e-02,3.449078e-02,3.494167e-02,3.499358e-02,3.536004e-02,3.553407e-02,3.574688e-02,3.602043e-02,3.610324e-02,3.643019e-02,3.645511e-02,3.672884e-02,3.684063e-02,3.700030e-02,3.717955e-02,3.724569e-02,3.746612e-02,3.747443e-02,3.766269e-02,3.772783e-02,3.783651e-02,3.794227e-02,3.798866e-02,3.812020e-02,3.823216e-02,3.826402e-02,3.832556e-02,3.837605e-02,3.840138e-02,3.845851e-02,3.846057e-02,3.850406e-02,3.851354e-02,3.853274e-02,3.854320e-02,3.854747e-02,3.854941e-02,3.854908e-02,3.853836e-02,3.853404e-02,3.851608e-02,3.849882e-02,3.848296e-02,3.844541e-02,3.843971e-02,3.838699e-02,3.837536e-02,3.832544e-02,3.829014e-02,3.825566e-02,3.819112e-02,3.817824e-02,3.809373e-02,3.807959e-02,3.800265e-02,3.795674e-02,3.790549e-02,3.782371e-02,3.780273e-02,3.769481e-02,3.768153e-02,3.758215e-02,3.753119e-02,3.746516e-02,3.737358e-02,3.734421e-02,3.721966e-02,3.720956e-02,3.709185e-02,3.703989e-02,3.696110e-02,3.686530e-02,3.682770e-02,3.669194e-02,3.668647e-02,3.655409e-02,3.650400e-02,3.641439e-02,3.631847e-02,3.627309e-02,3.613040e-02,3.594028e-02,3.574855e-02,3.555563e-02,3.536187e-02,3.516764e-02,3.497325e-02,3.477897e-02,3.458508e-02,3.439182e-02,3.419939e-02,3.400800e-02,3.381782e-02,3.362902e-02,3.344174e-02,3.325611e-02,3.307224e-02,3.289025e-02,3.271022e-02,3.253223e-02,3.235635e-02,3.218265e-02,3.201118e-02,3.184199e-02,3.167510e-02
0.000000e+00,3.881857e-11,1.481864e-10,1.068317e-09,3.893599e-09,6.998261e-09,2.440612e-08,2.551726e-08,6.758333e-08,8.534118e-08,1.463832e-07,2.172266e-07,2.762105e-07,4.531134e-07,4.714724e-07,7.458983e-07,8.249572e-07,1.111939e-06,1.361012e-06,1.580298e-06,2.083927e-06,2.159507e-06,2.855461e-06,3.008964e-06,3.670914e-06,4.142055e-06,4.605055e-06,5.478247e-06,5.653354e-06,6.807767e-06,7.001619e-06,8.057262e-06,8.686947e-06,9.388512e-06,1.050241e-05,1.078664e-05,1.223591e-05,1.241249e-05,1.372031e-05,1.438050e-05,1.522409e-05,1.637059e-05,1.673213e-05,1.823022e-05,1.834924e-05,1.970539e-05,2.028638e-05,2.114598e-05,2.215602e-05,2.254182e-05,2.388426e-05,2.393674e-05,2.516620e-05,2.561176e-05,2.638203e-05,2.716887e-05,2.752762e-05,2.860019e-05,2.959819e-05,2.990170e-05,3.052120e-05,3.107279e-05,3.136977e-05,3.211565e-05,3.214529e-05,3.284985e-05,3.303476e-05,3.348607e-05,3.383627e-05,3.405703e-05,3.452756e-05,3.456609e-05,3.501684e-05,3.511675e-05,3.541298e-05,3.561237e-05,3.575826e-05,3.602297e-05,3.605638e-05,3.631098e-05,3.635699e-05,3.652557e-05,3.662248e-05,3.670353e-05,3.682704e-05,3.684804e-05,3.696210e-05,3.697772e-05,3.704853e-05,3.708097e-05,3.710993e-05,3.714266e-05,3.714872e-05,3.716711e-05,3.716804e-05,3.716714e-05,3.716182e-05,3.715066e-05,3.712814e-05,3.711936e-05,3.707479e-05,3.707069e-05,3.701832e-05,3.699269e-05,3.695122e-05,3.689697e-05,3.687462e-05,3.678956e-05,3.678599e-05,3.669694e-05,3.666191e-05,3.659761e-05,3.652661e-05,3.649230e-05,3.638171e-05,3.626643e-05,3.622864e-05,3.614701e-05,3.606865e-05,3.602396e-05,3.590282e-05,3.589771e-05,3.576868e-05,3.573210e-05,3.563722e-05,3.555733e-05,3.550368e-05,3.537924e-05,3.536836e-05,3.523152e-05,3.519849e-05,3.509343e-05,3.501563e-05,3.495430e-05,3.483119e-05,3.481436e-05,3.467377e-05,3.464560e-05,3.453273e-05,3.445926e-05,3.439139e-05,3.427253e-05,3.424989e-05,3.410837e-05,3.408573e-05,3.396696e-05,3.389915e-05,3.382576e-05,3.371302e-05,3.368488e-05,3.354441e-05,3.352759e-05,3.340446e-05,3.334305e-05,3.326508e-05,3.315959e-05,3.312636e-05,3.298837e-05,3.297737e-05,3.285117e-05,3.279652e-05,3.271481e-05,3.261719e-05,3.257935e-05,3.244484e-05,3.243948e-05,3.231132e-05,3.226350e-05,3.217883e-05,3.208934e-05,3.204741e-05,3.191708e-05,3.174679e-05,3.157853e-05,3.141236e-05,3.124831e-05,3.108644e-05,3.092677e-05,3.076933e-05,3.061414e-05,3.046122e-05,3.031058e-05,3.016224e-05,3.001619e-05,2.987243e-05,2.973098e-05,2.959182e-05,2.945494e-05,2.932034e-05,2.918800e-05,2.905792e-05,2.893007e-05,2.880444e-05,2.868101e-05,2.855976e-05,2.844068e-05
0.000000e+00,8.228569e-12,1.864785e-11,6.270001e-11,1.396803e-10,2.014356e-10,4.436531e-10,4.564601e-10,8.574507e-10,9.999731e-10,1.434769e-09,1.879026e-09,2.220090e-09,3.149760e-09,3.240382e-09,4.501759e-09,4.837877e-09,5.975467e-09,6.873707e-09,7.607634e-09,9.130674e-09,9.342732e-09,1.113625e-08,1.149888e-08,1.295499e-08,1.390208e-08,1.477361e-08,1.628598e-08,1.657150e-08,1.833108e-08,1.860800e-08,2.003699e-08,2.083276e-08,2.167585e-08,2.293091e-08,2.323623e-08,2.470884e-08,2.487929e-08,2.608652e-08,2.666127e-08,2.736431e-08,2.826677e-08,2.853932e-08,2.961056e-08,2.969179e-08,3.057884e-08,3.093778e-08,3.144642e-08,3.201065e-08,3.221679e-08,3.289435e-08,3.291960e-08,3.348420e-08,3.367614e-08,3.399191e-08,3.429320e-08,3.442329e-08,3.478436e-08,3.508107e-08,3.516331e-08,3.531888e-08,3.544274e-08,3.550334e-08,3.563510e-08,3.563970e-08,3.573278e-08,3.575173e-08,3.578719e-08,3.580302e-08,3.580709e-08,3.579824e-08,3.579633e-08,3.575841e-08,3.574563e-08,3.569650e-08,3.565244e-08,3.561348e-08,3.552500e-08,3.551191e-08,3.539412e-08,3.536880e-08,3.526218e-08,3.518860e-08,3.511793e-08,3.498847e-08,3.496304e-08,3.479896e-08,3.477194e-08,3.462701e-08,3.454202e-08,3.444834e-08,3.430128e-08,3.426400e-08,3.407491e-08,3.405194e-08,3.388189e-08,3.379591e-08,3.368567e-08,3.353480e-08,3.348690e-08,3.328614e-08,3.327001e-08,3.308392e-08,3.300272e-08,3.288068e-08,3.273396e-08,3.267685e-08,3.247277e-08,3.246461e-08,3.226877e-08,3.219541e-08,3.206514e-08,3.192702e-08,3.186214e-08,3.165999e-08,3.145889e-08,3.139479e-08,3.125902e-08,3.113183e-08,3.106055e-08,3.087147e-08,3.086362e-08,3.066835e-08,3.061399e-08,3.047486e-08,3.035966e-08,3.028324e-08,3.010867e-08,3.009357e-08,2.990594e-08,2.986122e-08,2.972041e-08,2.961746e-08,2.953704e-08,2.937749e-08,2.935587e-08,2.917695e-08,2.914144e-08,2.900031e-08,2.890936e-08,2.882597e-08,2.868133e-08,2.865397e-08,2.848431e-08,2.845739e-08,2.831702e-08,2.823756e-08,2.815210e-08,2.802188e-08,2.798956e-08,2.782939e-08,2.781033e-08,2.767161e-08,2.760293e-08,2.751619e-08,2.739966e-08,2.736315e-08,2.721246e-08,2.720051e-08,2.706412e-08,2.700543e-08,2.691810e-08,2.681441e-08,2.677441e-08,2.663302e-08,2.662741e-08,2.649391e-08,2.644438e-08,2.635706e-08,2.626528e-08,2.622245e-08,2.609007e-08,2.591868e-08,2.575106e-08,2.558717e-08,2.542693e-08,2.527029e-08,2.511720e-08,2.496758e-08,2.482137e-08,2.467851e-08,2.453894e-08,2.440259e-08,2.426940e-08,2.413931e-08,2.401225e-08,2.388816e-08,2.376697e-08,2.364862e-08,2.353306e-08,2.342022e-08,2.331004e-08,2.320246e-08,2.309742e-08,2.299487e-08,2.289474e-08
0.000000e+00,2.688839e-10,8.969964e-10,5.023636e-09,1.497466e-08,2.436212e-08,6.777916e-08,7.027932e-08,1.550277e-07,1.874142e-07,2.911882e-07,4.030713e-07,4.921087e-07,7.465341e-07,7.722138e-07,1.146751e-06,1.252364e-06,1.630304e-06,1.952974e-06,2.233554e-06,2.865993e-06,2.959452e-06,3.801958e-06,3.983430e-06,4.748768e-06,5.277546e-06,5.785503e-06,6.715800e-06,6.898481e-06,8.075584e-06,8.269142e-06,9.306134e-06,9.912919e-06,1.058048e-05,1.162546e-05,1.188968e-05,1.322530e-05,1.338696e-05,1.457936e-05,1.517904e-05,1.594435e-05,1.698470e-05,1.731324e-05,1.867953e-05,1.878854e-05,2.003734e-05,2.057687e-05,2.138134e-05,2.233782e-05,2.270685e-05,2.400978e-05,2.406138e-05,2.528662e-05,2.573931e-05,2.653442e-05,2.736506e-05,2.775072e-05,2.893355e-05,3.008135e-05,3.044104e-05,3.119293e-05,3.188494e-05,3.226745e-05,3.326356e-05,3.330431e-05,3.430319e-05,3.457606e-05,3.526399e-05,3.582222e-05,3.618679e-05,3.700239e-05,3.707181e-05,3.791940e-05,3.811731e-05,3.873004e-05,3.916806e-05,3.950428e-05,4.015600e-05,4.024275e-05,4.094613e-05,4.108266e-05,4.161516e-05,4.194974e-05,4.225061e-05,4.275903e-05,4.285329e-05,4.342401e-05,4.351241e-05,4.396362e-05,4.421182e-05,4.447295e-05,4.485919e-05,4.495285e-05,4.540418e-05,4.545645e-05,4.582775e-05,4.600556e-05,4.622443e-05,4.650843e-05,4.659505e-05,4.694043e-05,4.696699e-05,4.726139e-05,4.738311e-05,4.755872e-05,4.775862e-05,4.783323e-05,4.808568e-05,4.809533e-05,4.831683e-05,4.839498e-05,4.852745e-05,4.865931e-05,4.871825e-05,4.888996e-05,4.904327e-05,4.908856e-05,4.917888e-05,4.925668e-05,4.929744e-05,4.939583e-05,4.939961e-05,4.948603e-05,4.950749e-05,4.955731e-05,4.959307e-05,4.961406e-05,4.965394e-05,4.965687e-05,4.968630e-05,4.969143e-05,4.970291e-05,4.970681e-05,4.970723e-05,4.970130e-05,4.969980e-05,4.968112e-05,4.967607e-05,4.965168e-05,4.963227e-05,4.961196e-05,4.957099e-05,4.956242e-05,4.950352e-05,4.949325e-05,4.943569e-05,4.940008e-05,4.935934e-05,4.929242e-05,4.927490e-05,4.918275e-05,4.917119e-05,4.908328e-05,4.903728e-05,4.897685e-05,4.889153e-05,4.886382e-05,4.874454e-05,4.873474e-05,4.861935e-05,4.856768e-05,4.848855e-05,4.839109e-05,4.835247e-05,4.821140e-05,4.820566e-05,4.806563e-05,4.801206e-05,4.791545e-05,4.781094e-05,4.776112e-05,4.760289e-05,4.738851e-05,4.716833e-05,4.694287e-05,4.671265e-05,4.647812e-05,4.623974e-05,4.599793e-05,4.575310e-05,4.550562e-05,4.525586e-05,4.500415e-05,4.475083e-05,4.449620e-05,4.424054e-05,4.398413e-05,4.372722e-05,4.347005e-05,4.321285e-05,4.295583e-05,4.269919e-05,4.244312e-05,4.218779e-05,4.193336e-05,4.168000e-05
0.000000e+00,4.100195e-10,1.552751e-09,1.102835e-08,3.974230e-08,7.106830e-08,2.456652e-07,2.567953e-07,6.794959e-07,8.591347e-07,1.483217e-06,2.220703e-06,2.845390e-06,4.773235e-06,4.977654e-06,8.116505e-06,9.045861e-06,1.249071e-05,1.554782e-05,1.827336e-05,2.459797e-05,2.555098e-05,3.432607e-05,3.625637e-05,4.453955e-05,5.038810e-05,5.609559e-05,6.675679e-05,6.887983e-05,8.277044e-05,8.508734e-05,9.764356e-05,1.050953e-04,1.133757e-04,1.264978e-04,1.298447e-04,1.469304e-04,1.490165e-04,1.645149e-04,1.723805e-04,1.824840e-04,1.963301e-04,2.007280e-04,2.191426e-04,2.206202e-04,2.376301e-04,2.450251e-04,2.561002e-04,2.693413e-04,2.744705e-04,2.926671e-04,2.933904e-04,3.106244e-04,3.170192e-04,3.282852e-04,3.401000e-04,3.456007e-04,3.625294e-04,3.790373e-04,3.842263e-04,3.950966e-04,4.051288e-04,4.106855e-04,4.251928e-04,4.257873e-04,4.403902e-04,4.443884e-04,4.544862e-04,4.626986e-04,4.680711e-04,4.801167e-04,4.811436e-04,4.937050e-04,4.966440e-04,5.057587e-04,5.122889e-04,5.173099e-04,5.270648e-04,5.283656e-04,5.389336e-04,5.409895e-04,5.490229e-04,5.540834e-04,5.586433e-04,5.663697e-04,5.678052e-04,5.765196e-04,5.778731e-04,5.847976e-04,5.886194e-04,5.926508e-04,5.986353e-04,6.000909e-04,6.071296e-04,6.079478e-04,6.137788e-04,6.165841e-04,6.200503e-04,6.245713e-04,6.259559e-04,6.315071e-04,6.319362e-04,6.367156e-04,6.387055e-04,6.415926e-04,6.449051e-04,6.461494e-04,6.503970e-04,6.505607e-04,6.543463e-04,6.556970e-04,6.580078e-04,6.603385e-04,6.613919e-04,6.645087e-04,6.673682e-04,6.682305e-04,6.699802e-04,6.715262e-04,6.723539e-04,6.744172e-04,6.744987e-04,6.764236e-04,6.769243e-04,6.781371e-04,6.790674e-04,6.796479e-04,6.808659e-04,6.809642e-04,6.820941e-04,6.823384e-04,6.830452e-04,6.835027e-04,6.838253e-04,6.843760e-04,6.844415e-04,6.849011e-04,6.849748e-04,6.852108e-04,6.853149e-04,6.853775e-04,6.854116e-04,6.854075e-04,6.853071e-04,6.852794e-04,6.850824e-04,6.849321e-04,6.847393e-04,6.843832e-04,6.842833e-04,6.837200e-04,6.836454e-04,6.830546e-04,6.827309e-04,6.822923e-04,6.816512e-04,6.814381e-04,6.804966e-04,6.804176e-04,6.794724e-04,6.790406e-04,6.783700e-04,6.775303e-04,6.771937e-04,6.759476e-04,6.758963e-04,6.746356e-04,6.741479e-04,6.732616e-04,6.722937e-04,6.718292e-04,6.703420e-04,6.683008e-04,6.661775e-04,6.639792e-04,6.617127e-04,6.593844e-04,6.570004e-04,6.545665e-04,6.520880e-04,6.495701e-04,6.470178e-04,6.444355e-04,6.418277e-04,6.391984e-04,6.365516e-04,6.338907e-04,6.312193e-04,6.285406e-04,6.258576e-04,6.231731e-04,6.204898e-04,6.178102e-04,6.151365e-04,6.124711e-04,6.098158e-04
0.000000e+00,1.400873e-10,5.210468e-10,3.568001e-09,1.246161e-08,2.193268e-08,7.321359e-08,7.643945e-08,1.978021e-07,2.491907e-07,4.283521e-07,6.420910e-07,8.248263e-07,1.395059e-06,1.455800e-06,2.384492e-06,2.655801e-06,3.637225e-06,4.470484e-06,5.181320e-06,6.715955e-06,6.933853e-06,8.790909e-06,9.165964e-06,1.065511e-05,1.160115e-05,1.245074e-05,1.386857e-05,1.412748e-05,1.565747e-05,1.588774e-05,1.702981e-05,1.763239e-05,1.824506e-05,1.910907e-05,1.931076e-05,2.023820e-05,2.034081e-05,2.104028e-05,2.135690e-05,2.173021e-05,2.218745e-05,2.232078e-05,2.282394e-05,2.286075e-05,2.325063e-05,2.340214e-05,2.361073e-05,2.383376e-05,2.391306e-05,2.416539e-05,2.417454e-05,2.437455e-05,2.444045e-05,2.454650e-05,2.464482e-05,2.468638e-05,2.479863e-05,2.488704e-05,2.491084e-05,2.495486e-05,2.498875e-05,2.500484e-05,2.503823e-05,2.503934e-05,2.506033e-05,2.506402e-05,2.506950e-05,2.506993e-05,2.506828e-05,2.505905e-05,2.505791e-05,2.503941e-05,2.503387e-05,2.501369e-05,2.499642e-05,2.498152e-05,2.494840e-05,2.494356e-05,2.490041e-05,2.489120e-05,2.485257e-05,2.482599e-05,2.480050e-05,2.475378e-05,2.474459e-05,2.468521e-05,2.467541e-05,2.462269e-05,2.459165e-05,2.455731e-05,2.450313e-05,2.448934e-05,2.441903e-05,2.441044e-05,2.434658e-05,2.431408e-05,2.427221e-05,2.421451e-05,2.419610e-05,2.411842e-05,2.411214e-05,2.403934e-05,2.400734e-05,2.395900e-05,2.390045e-05,2.387754e-05,2.379509e-05,2.379177e-05,2.371176e-05,2.368158e-05,2.362768e-05,2.357012e-05,2.354293e-05,2.345763e-05,2.337185e-05,2.334431e-05,2.328568e-05,2.323037e-05,2.319920e-05,2.311597e-05,2.311250e-05,2.302562e-05,2.300128e-05,2.293865e-05,2.288644e-05,2.285163e-05,2.277159e-05,2.276463e-05,2.267771e-05,2.265686e-05,2.259090e-05,2.254236e-05,2.250426e-05,2.242819e-05,2.241783e-05,2.233164e-05,2.231444e-05,2.224575e-05,2.220121e-05,2.216018e-05,2.208858e-05,2.207497e-05,2.199015e-05,2.197662e-05,2.190575e-05,2.186539e-05,2.182179e-05,2.175495e-05,2.173829e-05,2.165530e-05,2.164537e-05,2.157281e-05,2.153669e-05,2.149086e-05,2.142895e-05,2.140947e-05,2.132864e-05,2.132220e-05,2.124840e-05,2.121647e-05,2.116876e-05,2.111180e-05,2.108974e-05,2.101134e-05,2.100822e-05,2.093358e-05,2.090575e-05,2.085647e-05,2.080441e-05,2.078002e-05,2.070423e-05,2.060523e-05,2.050741e-05,2.041080e-05,2.031540e-05,2.022122e-05,2.012827e-05,2.003655e-05,1.994608e-05,1.985685e-05,1.976885e-05,1.968210e-05,1.959660e-05,1.951232e-05,1.942929e-05,1.934748e-05,1.926690e-05,1.918754e-05,1.910939e-05,1.903245e-05,1.895670e-05,1.888214e-05,1.880876e-05,1.873654e-05,1.866549e-05
0.000000e+00,2.133765e-10,5.474314e-10,2.125433e-09,5.112526e-09,7.610024e-09,1.784341e-08,1.839749e-08,3.612962e-08,4.255806e-08,6.240966e-08,8.293133e-08,9.878603e-08,1.422848e-07,1.465443e-07,2.062792e-07,2.223791e-07,2.776789e-07,3.224363e-07,3.598546e-07,4.402467e-07,4.517525e-07,5.523040e-07,5.733578e-07,6.604236e-07,7.192652e-07,7.749871e-07,8.753492e-07,8.948301e-07,1.018765e-06,1.038895e-06,1.145610e-06,1.207189e-06,1.274216e-06,1.377640e-06,1.403502e-06,1.532467e-06,1.547877e-06,1.660215e-06,1.715833e-06,1.785963e-06,1.879778e-06,1.909042e-06,2.028895e-06,2.038329e-06,2.145075e-06,2.190438e-06,2.257235e-06,2.335353e-06,2.365117e-06,2.468540e-06,2.472583e-06,2.567397e-06,2.601856e-06,2.661636e-06,2.723080e-06,2.751257e-06,2.836298e-06,2.916828e-06,2.941661e-06,2.992945e-06,3.039396e-06,3.064763e-06,3.129783e-06,3.132410e-06,3.196028e-06,3.213139e-06,3.255764e-06,3.289804e-06,3.311767e-06,3.360125e-06,3.364191e-06,3.413188e-06,3.424454e-06,3.458909e-06,3.483138e-06,3.501504e-06,3.536518e-06,3.541119e-06,3.577894e-06,3.584920e-06,3.611967e-06,3.628662e-06,3.643471e-06,3.668043e-06,3.672534e-06,3.699279e-06,3.703351e-06,3.723823e-06,3.734856e-06,3.746280e-06,3.762816e-06,3.766758e-06,3.785360e-06,3.787471e-06,3.802185e-06,3.809049e-06,3.817326e-06,3.827763e-06,3.830874e-06,3.842913e-06,3.843814e-06,3.853526e-06,3.857389e-06,3.862789e-06,3.868665e-06,3.870777e-06,3.877559e-06,3.877806e-06,3.883201e-06,3.884966e-06,3.887767e-06,3.890289e-06,3.891318e-06,3.893910e-06,3.895597e-06,3.895954e-06,3.896431e-06,3.896540e-06,3.896461e-06,3.895776e-06,3.895733e-06,3.894292e-06,3.893767e-06,3.892179e-06,3.890606e-06,3.889434e-06,3.886383e-06,3.886095e-06,3.882198e-06,3.881183e-06,3.877776e-06,3.875082e-06,3.872861e-06,3.868154e-06,3.867486e-06,3.861677e-06,3.860466e-06,3.855464e-06,3.852082e-06,3.848872e-06,3.843060e-06,3.841926e-06,3.834649e-06,3.833456e-06,3.827065e-06,3.823321e-06,3.819193e-06,3.812703e-06,3.811055e-06,3.802669e-06,3.801647e-06,3.794054e-06,3.790195e-06,3.785226e-06,3.778385e-06,3.776202e-06,3.766998e-06,3.766254e-06,3.757627e-06,3.753836e-06,3.748105e-06,3.741162e-06,3.738444e-06,3.728656e-06,3.728262e-06,3.718755e-06,3.715164e-06,3.708750e-06,3.701893e-06,3.698652e-06,3.688472e-06,3.674925e-06,3.661271e-06,3.647531e-06,3.633722e-06,3.619861e-06,3.605963e-06,3.592043e-06,3.578114e-06,3.564189e-06,3.550280e-06,3.536397e-06,3.522550e-06,3.508748e-06,3.495001e-06,3.481315e-06,3.467698e-06,3.454157e-06,3.440699e-06,3.427328e-06,3.414050e-06,3.400870e-06,3.387793e-06,3.374821e-06,3.361960e-06
0.000000e+00,3.912478e-11,9.417361e-11,3.400440e-10,7.888604e-10,1.158225e-09,2.654509e-09,2.735249e-09,5.324569e-09,6.269204e-09,9.214729e-09,1.230772e-08,1.472920e-08,2.148592e-08,2.215416e-08,3.157827e-08,3.412100e-08,4.281145e-08,4.976799e-08,5.551954e-08,6.767123e-08,6.938804e-08,8.417367e-08,8.722373e-08,9.968982e-08,1.079950e-07,1.157822e-07,1.296435e-07,1.323121e-07,1.491474e-07,1.518607e-07,1.661591e-07,1.743503e-07,1.832216e-07,1.968268e-07,2.002141e-07,2.170230e-07,2.190226e-07,2.335436e-07,2.406969e-07,2.496826e-07,2.616427e-07,2.653589e-07,2.805048e-07,2.816918e-07,2.950657e-07,3.007165e-07,3.090000e-07,3.186279e-07,3.222786e-07,3.348834e-07,3.353735e-07,3.468061e-07,3.509310e-07,3.580467e-07,3.653045e-07,3.686132e-07,3.785194e-07,3.877838e-07,3.906164e-07,3.964286e-07,4.016478e-07,4.044791e-07,4.116734e-07,4.119622e-07,4.189059e-07,4.207574e-07,4.253389e-07,4.289654e-07,4.312897e-07,4.363631e-07,4.367868e-07,4.418577e-07,4.430143e-07,4.465291e-07,4.489802e-07,4.508266e-07,4.543186e-07,4.547747e-07,4.583964e-07,4.590835e-07,4.617137e-07,4.633254e-07,4.647473e-07,4.670903e-07,4.675163e-07,4.700386e-07,4.704204e-07,4.723310e-07,4.733542e-07,4.744089e-07,4.759266e-07,4.762869e-07,4.779784e-07,4.781695e-07,4.794960e-07,4.801116e-07,4.808511e-07,4.817789e-07,4.820544e-07,4.831160e-07,4.831950e-07,4.840449e-07,4.843813e-07,4.848497e-07,4.853569e-07,4.855384e-07,4.861183e-07,4.861393e-07,4.865962e-07,4.867445e-07,4.869784e-07,4.871866e-07,4.872708e-07,4.874789e-07,4.876078e-07,4.876331e-07,4.876623e-07,4.876601e-07,4.876467e-07,4.875698e-07,4.875653e-07,4.874219e-07,4.873712e-07,4.872202e-07,4.870725e-07,4.869635e-07,4.866815e-07,4.866550e-07,4.862977e-07,4.862050e-07,4.858945e-07,4.856496e-07,4.854479e-07,4.850211e-07,4.849605e-07,4.844346e-07,4.843250e-07,4.838724e-07,4.835664e-07,4.832760e-07,4.827500e-07,4.826473e-07,4.819883e-07,4.818802e-07,4.813007e-07,4.809609e-07,4.805861e-07,4.799961e-07,4.798462e-07,4.790824e-07,4.789892e-07,4.782962e-07,4.779435e-07,4.774889e-07,4.768621e-07,4.766619e-07,4.758162e-07,4.757478e-07,4.749532e-07,4.746033e-07,4.740739e-07,4.734312e-07,4.731793e-07,4.722705e-07,4.722339e-07,4.713484e-07,4.710134e-07,4.704140e-07,4.697720e-07,4.694681e-07,4.685116e-07,4.672340e-07,4.659409e-07,4.646341e-07,4.633149e-07,4.619849e-07,4.606454e-07,4.592978e-07,4.579432e-07,4.565827e-07,4.552175e-07,4.538486e-07,4.524769e-07,4.511033e-07,4.497287e-07,4.483540e-07,4.469797e-07,4.456068e-07,4.442358e-07,4.428673e-07,4.415021e-07,4.401406e-07,4.387833e-07,4.374309e-07,4.360837e-07
0.000000e+00,5.106334e-11,1.933655e-10,1.371044e-09,4.922544e-09,8.775901e-09,2.998085e-08,3.131999e-08,8.134312e-08,1.021910e-07,1.731188e-07,2.544697e-07,3.216643e-07,5.212864e-07,5.418822e-07,8.479856e-07,9.357121e-07,1.253025e-06,1.527356e-06,1.768246e-06,2.319505e-06,2.401991e-06,3.158106e-06,3.323934e-06,4.034298e-06,4.534562e-06,5.021278e-06,5.924575e-06,6.103274e-06,7.259721e-06,7.450133e-06,8.467503e-06,9.058528e-06,9.703080e-06,1.069650e-05,1.094416e-05,1.217078e-05,1.231615e-05,1.336583e-05,1.387793e-05,1.451531e-05,1.535156e-05,1.560821e-05,1.663632e-05,1.671558e-05,1.759394e-05,1.795639e-05,1.847754e-05,1.906691e-05,1.928547e-05,2.001766e-05,2.004538e-05,2.067529e-05,2.089419e-05,2.126060e-05,2.161879e-05,2.177658e-05,2.222683e-05,2.261538e-05,2.272737e-05,2.294647e-05,2.313024e-05,2.322450e-05,2.344557e-05,2.345386e-05,2.363890e-05,2.368334e-05,2.378381e-05,2.385317e-05,2.389259e-05,2.396402e-05,2.396903e-05,2.401667e-05,2.402418e-05,2.403877e-05,2.404113e-05,2.403835e-05,2.402153e-05,2.401815e-05,2.398066e-05,2.397129e-05,2.392813e-05,2.389554e-05,2.386257e-05,2.379876e-05,2.378579e-05,2.369940e-05,2.368478e-05,2.360481e-05,2.355687e-05,2.350329e-05,2.341784e-05,2.339595e-05,2.328378e-05,2.327004e-05,2.316763e-05,2.311547e-05,2.304827e-05,2.295581e-05,2.292635e-05,2.280246e-05,2.279248e-05,2.267711e-05,2.262666e-05,2.255074e-05,2.245935e-05,2.242374e-05,2.229646e-05,2.229136e-05,2.216918e-05,2.212341e-05,2.204216e-05,2.195606e-05,2.191564e-05,2.178980e-05,2.166483e-05,2.162504e-05,2.154086e-05,2.146211e-05,2.141802e-05,2.130127e-05,2.129644e-05,2.117619e-05,2.114277e-05,2.105737e-05,2.098679e-05,2.094005e-05,2.083348e-05,2.082428e-05,2.071012e-05,2.068296e-05,2.059761e-05,2.053534e-05,2.048678e-05,2.039067e-05,2.037767e-05,2.027029e-05,2.024903e-05,2.016467e-05,2.011044e-05,2.006081e-05,1.997494e-05,1.995872e-05,1.985842e-05,1.984253e-05,1.975989e-05,1.971322e-05,1.966313e-05,1.958701e-05,1.956815e-05,1.947494e-05,1.946387e-05,1.938348e-05,1.934379e-05,1.929377e-05,1.922674e-05,1.920578e-05,1.911952e-05,1.911269e-05,1.903495e-05,1.900160e-05,1.895207e-05,1.889343e-05,1.887085e-05,1.879129e-05,1.878814e-05,1.871334e-05,1.868568e-05,1.863700e-05,1.858600e-05,1.856225e-05,1.848906e-05,1.839480e-05,1.830317e-05,1.821412e-05,1.812759e-05,1.804353e-05,1.796188e-05,1.788259e-05,1.780560e-05,1.773086e-05,1.765831e-05,1.758791e-05,1.751958e-05,1.745329e-05,1.738898e-05,1.732660e-05,1.726609e-05,1.720742e-05,1.715052e-05,1.709535e-05,1.704186e-05,1.699001e-05,1.693974e-05,1.689102e-05,1.684381e-05
0.000000e+00,6.047593e-11,2.274075e-10,1.590441e-09,5.645665e-09,1.000769e-08,3.375602e-08,3.524792e-08,9.071812e-08,1.137664e-07,1.921468e-07,2.822063e-07,3.568267e-07,5.800259e-07,6.031885e-07,9.502531e-07,1.050603e-06,1.416178e-06,1.734623e-06,2.015285e-06,2.658249e-06,2.754310e-06,3.630086e-06,3.820689e-06,4.630127e-06,5.193106e-06,5.735404e-06,6.728904e-06,6.923652e-06,8.172065e-06,8.375924e-06,9.459029e-06,1.008463e-05,1.076498e-05,1.181178e-05,1.207274e-05,1.336749e-05,1.352137e-05,1.463669e-05,1.518428e-05,1.586986e-05,1.677762e-05,1.705840e-05,1.819548e-05,1.828405e-05,1.927584e-05,1.969121e-05,2.029570e-05,2.099109e-05,2.125258e-05,2.214519e-05,2.217955e-05,2.297326e-05,2.325565e-05,2.373738e-05,2.422111e-05,2.443888e-05,2.507968e-05,2.566217e-05,2.583669e-05,2.618907e-05,2.649849e-05,2.666336e-05,2.707207e-05,2.708815e-05,2.746660e-05,2.756469e-05,2.780188e-05,2.798362e-05,2.809710e-05,2.833590e-05,2.835526e-05,2.857926e-05,2.862825e-05,2.877184e-05,2.886693e-05,2.893558e-05,2.905774e-05,2.907289e-05,2.918602e-05,2.920593e-05,2.927703e-05,2.931627e-05,2.934786e-05,2.939303e-05,2.940024e-05,2.943581e-05,2.944004e-05,2.945604e-05,2.946071e-05,2.946229e-05,2.945805e-05,2.945579e-05,2.943766e-05,2.943475e-05,2.940893e-05,2.939316e-05,2.937052e-05,2.933538e-05,2.932328e-05,2.926799e-05,2.926324e-05,2.920536e-05,2.917840e-05,2.913603e-05,2.908229e-05,2.906058e-05,2.897956e-05,2.897621e-05,2.889346e-05,2.886130e-05,2.880272e-05,2.873858e-05,2.870776e-05,2.860897e-05,2.850668e-05,2.847327e-05,2.840123e-05,2.833221e-05,2.829290e-05,2.818646e-05,2.818198e-05,2.806871e-05,2.803660e-05,2.795333e-05,2.788317e-05,2.783605e-05,2.772665e-05,2.771708e-05,2.759660e-05,2.756748e-05,2.747479e-05,2.740605e-05,2.735180e-05,2.724272e-05,2.722779e-05,2.710289e-05,2.707782e-05,2.697725e-05,2.691165e-05,2.685097e-05,2.674449e-05,2.672417e-05,2.659696e-05,2.657657e-05,2.646943e-05,2.640814e-05,2.634169e-05,2.623939e-05,2.621380e-05,2.608587e-05,2.607051e-05,2.595795e-05,2.590169e-05,2.583012e-05,2.573307e-05,2.570245e-05,2.557499e-05,2.556480e-05,2.544781e-05,2.539703e-05,2.532096e-05,2.522985e-05,2.519448e-05,2.506843e-05,2.506340e-05,2.494286e-05,2.489777e-05,2.481779e-05,2.473305e-05,2.469327e-05,2.456933e-05,2.440668e-05,2.424518e-05,2.408488e-05,2.392585e-05,2.376813e-05,2.361177e-05,2.345682e-05,2.330331e-05,2.315127e-05,2.300073e-05,2.285172e-05,2.270426e-05,2.255837e-05,2.241407e-05,2.227136e-05,2.213026e-05,2.199077e-05,2.185292e-05,2.171669e-05,2.158209e-05,2.144912e-05,2.131779e-05,2.118808e-05,2.106000e-05
0.000000e+00,1.826793e-10,6.921161e-10,4.920008e-09,1.774586e-08,3.175283e-08,1.100064e-07,1.150038e-07,3.054344e-07,3.866882e-07,6.701611e-07,1.006933e-06,1.293155e-06,2.177627e-06,2.271251e-06,3.697285e-06,4.114163e-06,5.635222e-06,6.953979e-06,8.107212e-06,1.071316e-05,1.109836e-05,1.456901e-05,1.531614e-05,1.846595e-05,2.064125e-05,2.272990e-05,2.655054e-05,2.729976e-05,3.211493e-05,3.290415e-05,3.711654e-05,3.956691e-05,4.224837e-05,4.641189e-05,4.745749e-05,5.269492e-05,5.332316e-05,5.791619e-05,6.019804e-05,6.308170e-05,6.694880e-05,6.815699e-05,7.311281e-05,7.350335e-05,7.792499e-05,7.980517e-05,8.257423e-05,8.581231e-05,8.704572e-05,9.132870e-05,9.149599e-05,9.541602e-05,9.683869e-05,9.930363e-05,1.018323e-04,1.029901e-04,1.064763e-04,1.097646e-04,1.107757e-04,1.128591e-04,1.147402e-04,1.157649e-04,1.183823e-04,1.184878e-04,1.210343e-04,1.217166e-04,1.234112e-04,1.247589e-04,1.256257e-04,1.275258e-04,1.276850e-04,1.295963e-04,1.300337e-04,1.313667e-04,1.322993e-04,1.330034e-04,1.343384e-04,1.345131e-04,1.359025e-04,1.361665e-04,1.371781e-04,1.377985e-04,1.383460e-04,1.392483e-04,1.394122e-04,1.403824e-04,1.405291e-04,1.412619e-04,1.416534e-04,1.420560e-04,1.426330e-04,1.427694e-04,1.434071e-04,1.434787e-04,1.439733e-04,1.442008e-04,1.444722e-04,1.448089e-04,1.449079e-04,1.452842e-04,1.453118e-04,1.456046e-04,1.457178e-04,1.458725e-04,1.460347e-04,1.460911e-04,1.462634e-04,1.462694e-04,1.463924e-04,1.464287e-04,1.464807e-04,1.465188e-04,1.465309e-04,1.465453e-04,1.465264e-04,1.465136e-04,1.464762e-04,1.464286e-04,1.463967e-04,1.462948e-04,1.462900e-04,1.461578e-04,1.461164e-04,1.460018e-04,1.458974e-04,1.458236e-04,1.456414e-04,1.456248e-04,1.454069e-04,1.453518e-04,1.451711e-04,1.450317e-04,1.449187e-04,1.446839e-04,1.446511e-04,1.443692e-04,1.443112e-04,1.440742e-04,1.439160e-04,1.437672e-04,1.435006e-04,1.434490e-04,1.431206e-04,1.430671e-04,1.427828e-04,1.426176e-04,1.424364e-04,1.421537e-04,1.420823e-04,1.417210e-04,1.416772e-04,1.413533e-04,1.411897e-04,1.409799e-04,1.406926e-04,1.406012e-04,1.402180e-04,1.401871e-04,1.398306e-04,1.396747e-04,1.394397e-04,1.391563e-04,1.390457e-04,1.386490e-04,1.386331e-04,1.382501e-04,1.381060e-04,1.378493e-04,1.375759e-04,1.374470e-04,1.370437e-04,1.365100e-04,1.359757e-04,1.354413e-04,1.349075e-04,1.343747e-04,1.338436e-04,1.333145e-04,1.327880e-04,1.322643e-04,1.317438e-04,1.312269e-04,1.307139e-04,1.302050e-04,1.297004e-04,1.292004e-04,1.287052e-04,1.282150e-04,1.277299e-04,1.272500e-04,1.267755e-04,1.263065e-04,1.258431e-04,1.253854e-04,1.249334e-04
0.000000e+00,2.190956e-10,7.762085e-10,4.844523e-09,1.569405e-08,2.660059e-08,8.146450e-08,8.478363e-08,2.044401e-07,2.532002e-07,4.183655e-07,6.089196e-07,7.677881e-07,1.244640e-06,1.293938e-06,2.017707e-06,2.220026e-06,2.926021e-06,3.501776e-06,3.981561e-06,4.998387e-06,5.141880e-06,6.370865e-06,6.622354e-06,7.641135e-06,8.311019e-06,8.932322e-06,1.002151e-05,1.022873e-05,1.151764e-05,1.172243e-05,1.278836e-05,1.338912e-05,1.403181e-05,1.500175e-05,1.524034e-05,1.640769e-05,1.654475e-05,1.752889e-05,1.800660e-05,1.860025e-05,1.937956e-05,1.961924e-05,2.058433e-05,2.065918e-05,2.149489e-05,2.184386e-05,2.235104e-05,2.293416e-05,2.315349e-05,2.390343e-05,2.393235e-05,2.460239e-05,2.484189e-05,2.525220e-05,2.566701e-05,2.585485e-05,2.641242e-05,2.692709e-05,2.708308e-05,2.740104e-05,2.768399e-05,2.783642e-05,2.822007e-05,2.823536e-05,2.859991e-05,2.869610e-05,2.893208e-05,2.911663e-05,2.923377e-05,2.948598e-05,2.950681e-05,2.975295e-05,2.980820e-05,2.997384e-05,3.008710e-05,3.017105e-05,3.032619e-05,3.034607e-05,3.050029e-05,3.052876e-05,3.063505e-05,3.069785e-05,3.075158e-05,3.083625e-05,3.085107e-05,3.093461e-05,3.094656e-05,3.100324e-05,3.103118e-05,3.105794e-05,3.109229e-05,3.109963e-05,3.112917e-05,3.113193e-05,3.114736e-05,3.115197e-05,3.115497e-05,3.115411e-05,3.115270e-05,3.114123e-05,3.113994e-05,3.112119e-05,3.111091e-05,3.109316e-05,3.106835e-05,3.105770e-05,3.101533e-05,3.101349e-05,3.096652e-05,3.094747e-05,3.091175e-05,3.087132e-05,3.085144e-05,3.078599e-05,3.071578e-05,3.069237e-05,3.064117e-05,3.059126e-05,3.056248e-05,3.048340e-05,3.048004e-05,3.039413e-05,3.036949e-05,3.030503e-05,3.025014e-05,3.021300e-05,3.012595e-05,3.011828e-05,3.002110e-05,2.999744e-05,2.992168e-05,2.986510e-05,2.982022e-05,2.972940e-05,2.971691e-05,2.961192e-05,2.959073e-05,2.950542e-05,2.944950e-05,2.939757e-05,2.930604e-05,2.928852e-05,2.917840e-05,2.916069e-05,2.906735e-05,2.901374e-05,2.895548e-05,2.886548e-05,2.884292e-05,2.872976e-05,2.871615e-05,2.861612e-05,2.856599e-05,2.850209e-05,2.841521e-05,2.838775e-05,2.827318e-05,2.826401e-05,2.815848e-05,2.811258e-05,2.804371e-05,2.796108e-05,2.792894e-05,2.781424e-05,2.780966e-05,2.769967e-05,2.765846e-05,2.758528e-05,2.750762e-05,2.747112e-05,2.735726e-05,2.720748e-05,2.705838e-05,2.691005e-05,2.676259e-05,2.661605e-05,2.647052e-05,2.632605e-05,2.618270e-05,2.604053e-05,2.589958e-05,2.575988e-05,2.562149e-05,2.548443e-05,2.534874e-05,2.521443e-05,2.508153e-05,2.495007e-05,2.482005e-05,2.469150e-05,2.456442e-05,2.443883e-05,2.431473e-05,2.419212e-05,2.407102e-05
0.000000e+00,1.426072e-10,5.313177e-10,3.644613e-09,1.270726e-08,2.230155e-08,7.327497e-08,7.643072e-08,1.915135e-07,2.383975e-07,3.951095e-07,5.713312e-07,7.149991e-07,1.135328e-06,1.178286e-06,1.810653e-06,1.990192e-06,2.634631e-06,3.186013e-06,3.665811e-06,4.747388e-06,4.907138e-06,6.344124e-06,6.652443e-06,7.944708e-06,8.827198e-06,9.664469e-06,1.116519e-05,1.145427e-05,1.326699e-05,1.355632e-05,1.506175e-05,1.590687e-05,1.680561e-05,1.814703e-05,1.847362e-05,2.004795e-05,2.022995e-05,2.151673e-05,2.212758e-05,2.287287e-05,2.382604e-05,2.411305e-05,2.523691e-05,2.532184e-05,2.624636e-05,2.661888e-05,2.714506e-05,2.772629e-05,2.793797e-05,2.863098e-05,2.865672e-05,2.923062e-05,2.942495e-05,2.974376e-05,3.004687e-05,3.017743e-05,3.053858e-05,3.083402e-05,3.091575e-05,3.107024e-05,3.119318e-05,3.125336e-05,3.138451e-05,3.138909e-05,3.148269e-05,3.150201e-05,3.153894e-05,3.155659e-05,3.156218e-05,3.155778e-05,3.155632e-05,3.152484e-05,3.151383e-05,3.147085e-05,3.143182e-05,3.139709e-05,3.131777e-05,3.130600e-05,3.119972e-05,3.117681e-05,3.108014e-05,3.101327e-05,3.094894e-05,3.083082e-05,3.080757e-05,3.065733e-05,3.063254e-05,3.049935e-05,3.042107e-05,3.033464e-05,3.019863e-05,3.016409e-05,2.998848e-05,2.996710e-05,2.980851e-05,2.972811e-05,2.962482e-05,2.948306e-05,2.943795e-05,2.924840e-05,2.923314e-05,2.905664e-05,2.897940e-05,2.886304e-05,2.872273e-05,2.866798e-05,2.847177e-05,2.846390e-05,2.827471e-05,2.820361e-05,2.807707e-05,2.794246e-05,2.787908e-05,2.768097e-05,2.748294e-05,2.741961e-05,2.728517e-05,2.715881e-05,2.708782e-05,2.689891e-05,2.689105e-05,2.669499e-05,2.664024e-05,2.649977e-05,2.638309e-05,2.630551e-05,2.612771e-05,2.611230e-05,2.592024e-05,2.587433e-05,2.572943e-05,2.562314e-05,2.553993e-05,2.537432e-05,2.535182e-05,2.516516e-05,2.512801e-05,2.498002e-05,2.488435e-05,2.479643e-05,2.464345e-05,2.461445e-05,2.443411e-05,2.440541e-05,2.425545e-05,2.417031e-05,2.407851e-05,2.393821e-05,2.390332e-05,2.372989e-05,2.370919e-05,2.355825e-05,2.348329e-05,2.338841e-05,2.326055e-05,2.322040e-05,2.305422e-05,2.304100e-05,2.288987e-05,2.282466e-05,2.272738e-05,2.261153e-05,2.256674e-05,2.240796e-05,2.240164e-05,2.225103e-05,2.219499e-05,2.209595e-05,2.199156e-05,2.194273e-05,2.179136e-05,2.159436e-05,2.140056e-05,2.120994e-05,2.102246e-05,2.083811e-05,2.065685e-05,2.047866e-05,2.030350e-05,2.013134e-05,1.996215e-05,1.979587e-05,1.963249e-05,1.947195e-05,1.931422e-05,1.915925e-05,1.900701e-05,1.885745e-05,1.871052e-05,1.856620e-05,1.842443e-05,1.828518e-05,1.814839e-05,1.801403e-05,1.788205e-05
0.000000e+00,4.240871e-11,1.595755e-10,1.116850e-09,3.963804e-09,7.023003e-09,2.362655e-08,2.466700e-08,6.317337e-08,7.908335e-08,1.328589e-07,1.941040e-07,2.444686e-07,3.933828e-07,4.087053e-07,6.358884e-07,7.008567e-07,9.354546e-07,1.137768e-06,1.314967e-06,1.718425e-06,1.778503e-06,2.324891e-06,2.443571e-06,2.946792e-06,3.295924e-06,3.631340e-06,4.242761e-06,4.362041e-06,5.121085e-06,5.243993e-06,5.891311e-06,6.260426e-06,6.657493e-06,7.258929e-06,7.406974e-06,8.129814e-06,8.214390e-06,8.818643e-06,9.109563e-06,9.468350e-06,9.933937e-06,1.007574e-05,1.063918e-05,1.068234e-05,1.115830e-05,1.135364e-05,1.163367e-05,1.194959e-05,1.206665e-05,1.245909e-05,1.247398e-05,1.281325e-05,1.293184e-05,1.313159e-05,1.332894e-05,1.341674e-05,1.367133e-05,1.389798e-05,1.396503e-05,1.409922e-05,1.421580e-05,1.427746e-05,1.442902e-05,1.443495e-05,1.457378e-05,1.460958e-05,1.469588e-05,1.476184e-05,1.480299e-05,1.488965e-05,1.489669e-05,1.497839e-05,1.499636e-05,1.504936e-05,1.508484e-05,1.511072e-05,1.515756e-05,1.516347e-05,1.520847e-05,1.521662e-05,1.524652e-05,1.526379e-05,1.527829e-05,1.530058e-05,1.530439e-05,1.532536e-05,1.532827e-05,1.534165e-05,1.534794e-05,1.535369e-05,1.536052e-05,1.536186e-05,1.536647e-05,1.536680e-05,1.536783e-05,1.536747e-05,1.536620e-05,1.536311e-05,1.536181e-05,1.535489e-05,1.535423e-05,1.534562e-05,1.534129e-05,1.533418e-05,1.532469e-05,1.532073e-05,1.530543e-05,1.530478e-05,1.528840e-05,1.528188e-05,1.526978e-05,1.525627e-05,1.524968e-05,1.522820e-05,1.520545e-05,1.519792e-05,1.518153e-05,1.516563e-05,1.515650e-05,1.513153e-05,1.513047e-05,1.510350e-05,1.509579e-05,1.507567e-05,1.505859e-05,1.504704e-05,1.502006e-05,1.501768e-05,1.498765e-05,1.498034e-05,1.495699e-05,1.493958e-05,1.492577e-05,1.489787e-05,1.489404e-05,1.486183e-05,1.485534e-05,1.482921e-05,1.481209e-05,1.479620e-05,1.476820e-05,1.476284e-05,1.472919e-05,1.472377e-05,1.469526e-05,1.467888e-05,1.466109e-05,1.463361e-05,1.462672e-05,1.459218e-05,1.458802e-05,1.455748e-05,1.454218e-05,1.452267e-05,1.449615e-05,1.448776e-05,1.445278e-05,1.444998e-05,1.441776e-05,1.440374e-05,1.438270e-05,1.435746e-05,1.434764e-05,1.431260e-05,1.431120e-05,1.427758e-05,1.426499e-05,1.424261e-05,1.421887e-05,1.420771e-05,1.417288e-05,1.412706e-05,1.408143e-05,1.403602e-05,1.399086e-05,1.394597e-05,1.390138e-05,1.385711e-05,1.381317e-05,1.376958e-05,1.372636e-05,1.368353e-05,1.364109e-05,1.359906e-05,1.355745e-05,1.351627e-05,1.347552e-05,1.343522e-05,1.339538e-05,1.335599e-05,1.331706e-05,1.327861e-05,1.324062e-05,1.320311e-05,1.316608e-05
0.000000e+00,5.322711e-10,2.091765e-09,1.602752e-08,6.180642e-08,1.146331e-07,4.342137e-07,4.555330e-07,1.312910e-06,1.697198e-06,3.090758e-06,4.819292e-06,6.332340e-06,1.119669e-05,1.172613e-05,2.010580e-05,2.266600e-05,3.243545e-05,4.145693e-05,4.977126e-05,7.003424e-05,7.320383e-05,1.037987e-04,1.108662e-04,1.425482e-04,1.662196e-04,1.903377e-04,2.380241e-04,2.479230e-04,3.159162e-04,3.277939e-04,3.947771e-04,4.365854e-04,4.848082e-04,5.649783e-04,5.861545e-04,6.988049e-04,7.130764e-04,8.225976e-04,8.805227e-04,9.572278e-04,1.066530e-03,1.102258e-03,1.257128e-03,1.269924e-03,1.421175e-03,1.489195e-03,1.593639e-03,1.722562e-03,1.773690e-03,1.960434e-03,1.968030e-03,2.152937e-03,2.223463e-03,2.350236e-03,2.486641e-03,2.551355e-03,2.755321e-03,2.961172e-03,3.027289e-03,3.167973e-03,3.300406e-03,3.374822e-03,3.572644e-03,3.580859e-03,3.785274e-03,3.842115e-03,3.987309e-03,4.107095e-03,4.186265e-03,4.366036e-03,4.381504e-03,4.572448e-03,4.617577e-03,4.758581e-03,4.860543e-03,4.939450e-03,5.093946e-03,5.114660e-03,5.283877e-03,5.316976e-03,5.446821e-03,5.528996e-03,5.603267e-03,5.729529e-03,5.753038e-03,5.896007e-03,5.918245e-03,6.032089e-03,6.094948e-03,6.161239e-03,6.259562e-03,6.283450e-03,6.398747e-03,6.412120e-03,6.507185e-03,6.552746e-03,6.608847e-03,6.681643e-03,6.703839e-03,6.792286e-03,6.799083e-03,6.874333e-03,6.905395e-03,6.950140e-03,7.000953e-03,7.019878e-03,7.083731e-03,7.086166e-03,7.141890e-03,7.161471e-03,7.194551e-03,7.227325e-03,7.241919e-03,7.284198e-03,7.321597e-03,7.332568e-03,7.354324e-03,7.372913e-03,7.382585e-03,7.405708e-03,7.406588e-03,7.426537e-03,7.431423e-03,7.442631e-03,7.450520e-03,7.455069e-03,7.463448e-03,7.464043e-03,7.469742e-03,7.470642e-03,7.472347e-03,7.472522e-03,7.472038e-03,7.469492e-03,7.468986e-03,7.463358e-03,7.461937e-03,7.455313e-03,7.450227e-03,7.445007e-03,7.434711e-03,7.432588e-03,7.418198e-03,7.415722e-03,7.401974e-03,7.393573e-03,7.384045e-03,7.368560e-03,7.364538e-03,7.343571e-03,7.340962e-03,7.321257e-03,7.311040e-03,7.297704e-03,7.279038e-03,7.273014e-03,7.247284e-03,7.245184e-03,7.220608e-03,7.209692e-03,7.193072e-03,7.172760e-03,7.164759e-03,7.135747e-03,7.134573e-03,7.106111e-03,7.095303e-03,7.075920e-03,7.055107e-03,7.045240e-03,7.014133e-03,6.972515e-03,6.930379e-03,6.887838e-03,6.844998e-03,6.801955e-03,6.758797e-03,6.715605e-03,6.672452e-03,6.629405e-03,6.586524e-03,6.543863e-03,6.501473e-03,6.459396e-03,6.417673e-03,6.376339e-03,6.335426e-03,6.294962e-03,6.254970e-03,6.215473e-03,6.176488e-03,6.138033e-03,6.100119e-03,6.062760e-03,6.025963e-03
0.000000e+00,1.197651e-10,4.644333e-10,3.461356e-09,1.301588e-08,2.381124e-08,8.709717e-08,9.124596e-08,2.543824e-07,3.259903e-07,5.812730e-07,8.918732e-07,1.160229e-06,2.009221e-06,2.100703e-06,3.532366e-06,3.964827e-06,5.597923e-06,7.084188e-06,8.436639e-06,1.166685e-05,1.216402e-05,1.685773e-05,1.791629e-05,2.255354e-05,2.591180e-05,2.924855e-05,3.561959e-05,3.690758e-05,4.547017e-05,4.691895e-05,5.485709e-05,5.962882e-05,6.497578e-05,7.352973e-05,7.572494e-05,8.699827e-05,8.838116e-05,9.868758e-05,1.039349e-04,1.106854e-04,1.199455e-04,1.228871e-04,1.351926e-04,1.361787e-04,1.475080e-04,1.524172e-04,1.597465e-04,1.684659e-04,1.718291e-04,1.836853e-04,1.841539e-04,1.952533e-04,1.993368e-04,2.064801e-04,2.138962e-04,2.173209e-04,2.277396e-04,2.377074e-04,2.407982e-04,2.472029e-04,2.530251e-04,2.562113e-04,2.643928e-04,2.647237e-04,2.727364e-04,2.748904e-04,2.802503e-04,2.845212e-04,2.872705e-04,2.933000e-04,2.938052e-04,2.998654e-04,3.012507e-04,3.054646e-04,3.084043e-04,3.106178e-04,3.147969e-04,3.153417e-04,3.196537e-04,3.204683e-04,3.235721e-04,3.254603e-04,3.271155e-04,3.298159e-04,3.303026e-04,3.331523e-04,3.335782e-04,3.356830e-04,3.367898e-04,3.379129e-04,3.394923e-04,3.398598e-04,3.415409e-04,3.417256e-04,3.429728e-04,3.435281e-04,3.441715e-04,3.449359e-04,3.451522e-04,3.459296e-04,3.459834e-04,3.465175e-04,3.467027e-04,3.469292e-04,3.471236e-04,3.471772e-04,3.472733e-04,3.472742e-04,3.472287e-04,3.471802e-04,3.470538e-04,3.468656e-04,3.467586e-04,3.463524e-04,3.458439e-04,3.456609e-04,3.452414e-04,3.448099e-04,3.445524e-04,3.438165e-04,3.437843e-04,3.429437e-04,3.426962e-04,3.420370e-04,3.414636e-04,3.410699e-04,3.401317e-04,3.400481e-04,3.389766e-04,3.387125e-04,3.378602e-04,3.372170e-04,3.367033e-04,3.356552e-04,3.355102e-04,3.342847e-04,3.340361e-04,3.330304e-04,3.323679e-04,3.317507e-04,3.306583e-04,3.304486e-04,3.291272e-04,3.289141e-04,3.277891e-04,3.271416e-04,3.264367e-04,3.253462e-04,3.250726e-04,3.236987e-04,3.235333e-04,3.223172e-04,3.217074e-04,3.209299e-04,3.198727e-04,3.195385e-04,3.181446e-04,3.180330e-04,3.167497e-04,3.161918e-04,3.153553e-04,3.143522e-04,3.139624e-04,3.125724e-04,3.125169e-04,3.111863e-04,3.106885e-04,3.098051e-04,3.088692e-04,3.084297e-04,3.070610e-04,3.052658e-04,3.034852e-04,3.017206e-04,2.999733e-04,2.982444e-04,2.965349e-04,2.948456e-04,2.931774e-04,2.915308e-04,2.899065e-04,2.883048e-04,2.867262e-04,2.851710e-04,2.836395e-04,2.821318e-04,2.806480e-04,2.791883e-04,2.777527e-04,2.763413e-04,2.749539e-04,2.735905e-04,2.722510e-04,2.709354e-04,2.696433e-04
0.000000e+00,1.027078e-09,4.014757e-09,3.043295e-08,1.162919e-07,2.146947e-07,8.050102e-07,8.442402e-07,2.417172e-06,3.121254e-06,5.676931e-06,8.857354e-06,1.165233e-05,2.070407e-05,2.169474e-05,3.748406e-05,4.234008e-05,6.095108e-05,7.819284e-05,9.408538e-05,1.326767e-04,1.386849e-04,1.961545e-04,2.092822e-04,2.674076e-04,3.100621e-04,3.528560e-04,4.355798e-04,4.524519e-04,5.657527e-04,5.851054e-04,6.919920e-04,7.568904e-04,8.301476e-04,9.484413e-04,9.790060e-04,1.137218e-03,1.156765e-03,1.303350e-03,1.378578e-03,1.475927e-03,1.610484e-03,1.653469e-03,1.834524e-03,1.849118e-03,2.017694e-03,2.091255e-03,2.201654e-03,2.333897e-03,2.385168e-03,2.567099e-03,2.574329e-03,2.746420e-03,2.810156e-03,2.922213e-03,3.039321e-03,3.093672e-03,3.260103e-03,3.420919e-03,3.471112e-03,3.575635e-03,3.671268e-03,3.723862e-03,3.859776e-03,3.865300e-03,3.999732e-03,4.036096e-03,4.127015e-03,4.199919e-03,4.247073e-03,4.351129e-03,4.359888e-03,4.465497e-03,4.489778e-03,4.563978e-03,4.616058e-03,4.655452e-03,4.730272e-03,4.740070e-03,4.818011e-03,4.832815e-03,4.889475e-03,4.924149e-03,4.954681e-03,5.004789e-03,5.013863e-03,5.067261e-03,5.075284e-03,5.115125e-03,5.136208e-03,5.157708e-03,5.188144e-03,5.195265e-03,5.228051e-03,5.231677e-03,5.256317e-03,5.267387e-03,5.280312e-03,5.295843e-03,5.300280e-03,5.316460e-03,5.317597e-03,5.329081e-03,5.333184e-03,5.338368e-03,5.343113e-03,5.344538e-03,5.347798e-03,5.347871e-03,5.348349e-03,5.347921e-03,5.346381e-03,5.343698e-03,5.342078e-03,5.335613e-03,5.327153e-03,5.324051e-03,5.316855e-03,5.309369e-03,5.304868e-03,5.291904e-03,5.291334e-03,5.276386e-03,5.271965e-03,5.260151e-03,5.249842e-03,5.242748e-03,5.225802e-03,5.224289e-03,5.204879e-03,5.200091e-03,5.184618e-03,5.172935e-03,5.163598e-03,5.144542e-03,5.141907e-03,5.119625e-03,5.115104e-03,5.096829e-03,5.084796e-03,5.073591e-03,5.053777e-03,5.049976e-03,5.026046e-03,5.022192e-03,5.001860e-03,4.990175e-03,4.977470e-03,4.957845e-03,4.952926e-03,4.928274e-03,4.925311e-03,4.903557e-03,4.892672e-03,4.878815e-03,4.860016e-03,4.854083e-03,4.829395e-03,4.827423e-03,4.804782e-03,4.794964e-03,4.780273e-03,4.762705e-03,4.755893e-03,4.731665e-03,4.730700e-03,4.707613e-03,4.699001e-03,4.683755e-03,4.667652e-03,4.660109e-03,4.636692e-03,4.606155e-03,4.576072e-03,4.546467e-03,4.517362e-03,4.488776e-03,4.460724e-03,4.433217e-03,4.406265e-03,4.379877e-03,4.354056e-03,4.328806e-03,4.304129e-03,4.280024e-03,4.256491e-03,4.233526e-03,4.211127e-03,4.189287e-03,4.168002e-03,4.147265e-03,4.127069e-03,4.107407e-03,4.088270e-03,4.069650e-03,4.051538e-03
0.000000e+00,1.435267e-10,5.555537e-10,4.127912e-09,1.550018e-08,2.835444e-08,1.040268e-07,1.090075e-07,3.066169e-07,3.943318e-07,7.110566e-07,1.103310e-06,1.446898e-06,2.551848e-06,2.671911e-06,4.556505e-06,5.124350e-06,7.249412e-06,9.150985e-06,1.085349e-05,1.482101e-05,1.542048e-05,2.095711e-05,2.217876e-05,2.743433e-05,3.115649e-05,3.479619e-05,4.160894e-05,4.296710e-05,5.185762e-05,5.334039e-05,6.136911e-05,6.612474e-05,7.139748e-05,7.972094e-05,8.183650e-05,9.258051e-05,9.388537e-05,1.035269e-04,1.083820e-04,1.145779e-04,1.229902e-04,1.256423e-04,1.366370e-04,1.375112e-04,1.474869e-04,1.517713e-04,1.581263e-04,1.656241e-04,1.684985e-04,1.785560e-04,1.789511e-04,1.882597e-04,1.916603e-04,1.975789e-04,2.036842e-04,2.064903e-04,2.149774e-04,2.230299e-04,2.255139e-04,2.306426e-04,2.352835e-04,2.378150e-04,2.442895e-04,2.445506e-04,2.508560e-04,2.525457e-04,2.567406e-04,2.600739e-04,2.622156e-04,2.669023e-04,2.672943e-04,2.719909e-04,2.730629e-04,2.763206e-04,2.785908e-04,2.802992e-04,2.835227e-04,2.839428e-04,2.872676e-04,2.878958e-04,2.902899e-04,2.917472e-04,2.930255e-04,2.951133e-04,2.954900e-04,2.976988e-04,2.980295e-04,2.996666e-04,3.005297e-04,3.014076e-04,3.026464e-04,3.029356e-04,3.042636e-04,3.044101e-04,3.054042e-04,3.058499e-04,3.063695e-04,3.069927e-04,3.071706e-04,3.078186e-04,3.078641e-04,3.083235e-04,3.084876e-04,3.086951e-04,3.088853e-04,3.089425e-04,3.090745e-04,3.090774e-04,3.090990e-04,3.090831e-04,3.090239e-04,3.089197e-04,3.088565e-04,3.086034e-04,3.082711e-04,3.081491e-04,3.078658e-04,3.075706e-04,3.073929e-04,3.068804e-04,3.068579e-04,3.062658e-04,3.060904e-04,3.056211e-04,3.052110e-04,3.049284e-04,3.042523e-04,3.041918e-04,3.034151e-04,3.032231e-04,3.026019e-04,3.021319e-04,3.017557e-04,3.009861e-04,3.008795e-04,2.999764e-04,2.997928e-04,2.990492e-04,2.985584e-04,2.981004e-04,2.972886e-04,2.971326e-04,2.961478e-04,2.959889e-04,2.951484e-04,2.946641e-04,2.941363e-04,2.933187e-04,2.931133e-04,2.920811e-04,2.919567e-04,2.910414e-04,2.905819e-04,2.899957e-04,2.891977e-04,2.889453e-04,2.878916e-04,2.878072e-04,2.868357e-04,2.864131e-04,2.857789e-04,2.850180e-04,2.847221e-04,2.836664e-04,2.836242e-04,2.826126e-04,2.822339e-04,2.815616e-04,2.808488e-04,2.805141e-04,2.794708e-04,2.781014e-04,2.767419e-04,2.753937e-04,2.740577e-04,2.727351e-04,2.714266e-04,2.701331e-04,2.688553e-04,2.675937e-04,2.663489e-04,2.651213e-04,2.639113e-04,2.627193e-04,2.615454e-04,2.603899e-04,2.592530e-04,2.581348e-04,2.570353e-04,2.559546e-04,2.548928e-04,2.538498e-04,2.528256e-04,2.518201e-04,2.508332e-04
0.000000e+00,1.003437e-10,3.845810e-10,2.798908e-09,1.030883e-08,1.865470e-08,6.648452e-08,6.958316e-08,1.898295e-07,2.420373e-07,4.268566e-07,6.503399e-07,8.428301e-07,1.449714e-06,1.514931e-06,2.529655e-06,2.833546e-06,3.968074e-06,4.981791e-06,5.888889e-06,8.000888e-06,8.319681e-06,1.125819e-05,1.190489e-05,1.467894e-05,1.663511e-05,1.854085e-05,2.208909e-05,2.279354e-05,2.738188e-05,2.814338e-05,3.224913e-05,3.466787e-05,3.733888e-05,4.153397e-05,4.259632e-05,4.796913e-05,4.861924e-05,5.340808e-05,5.581027e-05,5.886752e-05,6.300458e-05,6.430574e-05,6.968520e-05,7.011200e-05,7.497271e-05,7.705537e-05,8.013944e-05,8.377080e-05,8.516092e-05,9.001686e-05,9.020741e-05,9.469098e-05,9.632663e-05,9.917073e-05,1.021011e-04,1.034470e-04,1.075136e-04,1.113673e-04,1.125553e-04,1.150070e-04,1.172246e-04,1.184338e-04,1.215257e-04,1.216504e-04,1.246609e-04,1.254675e-04,1.274704e-04,1.290622e-04,1.300852e-04,1.323245e-04,1.325119e-04,1.347578e-04,1.352708e-04,1.368305e-04,1.379184e-04,1.387377e-04,1.402853e-04,1.404871e-04,1.420866e-04,1.423892e-04,1.435439e-04,1.442479e-04,1.448664e-04,1.458786e-04,1.460615e-04,1.471364e-04,1.472977e-04,1.480980e-04,1.485212e-04,1.489528e-04,1.495641e-04,1.497072e-04,1.503673e-04,1.504404e-04,1.509387e-04,1.511635e-04,1.514271e-04,1.517459e-04,1.518375e-04,1.521751e-04,1.521991e-04,1.524444e-04,1.525340e-04,1.526499e-04,1.527607e-04,1.527958e-04,1.528860e-04,1.528885e-04,1.529243e-04,1.529261e-04,1.529143e-04,1.528815e-04,1.528592e-04,1.527621e-04,1.526262e-04,1.525749e-04,1.524540e-04,1.523260e-04,1.522482e-04,1.520214e-04,1.520114e-04,1.517457e-04,1.516665e-04,1.514535e-04,1.512662e-04,1.511367e-04,1.508252e-04,1.507972e-04,1.504369e-04,1.503476e-04,1.500575e-04,1.498373e-04,1.496606e-04,1.492980e-04,1.492477e-04,1.488201e-04,1.487330e-04,1.483793e-04,1.481452e-04,1.479263e-04,1.475374e-04,1.474626e-04,1.469890e-04,1.469124e-04,1.465066e-04,1.462723e-04,1.460165e-04,1.456193e-04,1.455194e-04,1.450163e-04,1.449556e-04,1.445079e-04,1.442828e-04,1.439951e-04,1.436027e-04,1.434783e-04,1.429584e-04,1.429167e-04,1.424360e-04,1.422264e-04,1.419115e-04,1.415330e-04,1.413856e-04,1.408587e-04,1.408376e-04,1.403313e-04,1.401414e-04,1.398038e-04,1.394453e-04,1.392767e-04,1.387503e-04,1.380571e-04,1.373665e-04,1.366792e-04,1.359958e-04,1.353168e-04,1.346428e-04,1.339742e-04,1.333114e-04,1.326547e-04,1.320046e-04,1.313613e-04,1.307250e-04,1.300960e-04,1.294744e-04,1.288605e-04,1.282544e-04,1.276562e-04,1.270660e-04,1.264840e-04,1.259101e-04,1.253445e-04,1.247871e-04,1.242380e-04,1.236973e-04
0.000000e+00,1.158982e-10,3.133508e-10,1.286841e-09,3.172602e-09,4.765407e-09,1.138464e-08,1.174690e-08,2.354712e-08,2.792388e-08,4.175738e-08,5.650726e-08,6.814957e-08,1.006757e-07,1.038746e-07,1.482441e-07,1.599397e-07,1.990133e-07,2.293698e-07,2.539240e-07,3.044064e-07,3.114018e-07,3.704217e-07,3.823433e-07,4.302505e-07,4.614783e-07,4.902860e-07,5.404783e-07,5.499867e-07,6.088473e-07,6.181552e-07,6.664004e-07,6.934357e-07,7.222249e-07,7.653945e-07,7.759588e-07,8.273057e-07,8.332954e-07,8.760389e-07,8.966105e-07,9.220010e-07,9.550198e-07,9.650997e-07,1.005302e-06,1.008393e-06,1.042623e-06,1.056758e-06,1.077124e-06,1.100269e-06,1.108896e-06,1.138056e-06,1.139170e-06,1.164737e-06,1.173763e-06,1.189084e-06,1.204384e-06,1.211249e-06,1.231381e-06,1.249631e-06,1.255097e-06,1.266142e-06,1.275862e-06,1.281054e-06,1.293984e-06,1.294495e-06,1.306588e-06,1.309747e-06,1.317445e-06,1.323410e-06,1.327170e-06,1.335201e-06,1.335861e-06,1.343603e-06,1.345329e-06,1.350476e-06,1.353973e-06,1.356554e-06,1.361296e-06,1.361901e-06,1.366579e-06,1.367439e-06,1.370640e-06,1.372525e-06,1.374134e-06,1.376663e-06,1.377105e-06,1.379594e-06,1.379950e-06,1.381638e-06,1.382470e-06,1.383269e-06,1.384298e-06,1.384519e-06,1.385414e-06,1.385499e-06,1.385980e-06,1.386131e-06,1.386240e-06,1.386246e-06,1.386215e-06,1.385926e-06,1.385891e-06,1.385388e-06,1.385108e-06,1.384620e-06,1.383932e-06,1.383636e-06,1.382450e-06,1.382399e-06,1.381076e-06,1.380537e-06,1.379525e-06,1.378376e-06,1.377810e-06,1.375939e-06,1.373924e-06,1.373250e-06,1.371773e-06,1.370329e-06,1.369495e-06,1.367197e-06,1.367099e-06,1.364590e-06,1.363869e-06,1.361978e-06,1.360364e-06,1.359268e-06,1.356695e-06,1.356467e-06,1.353581e-06,1.352877e-06,1.350616e-06,1.348922e-06,1.347576e-06,1.344843e-06,1.344466e-06,1.341293e-06,1.340651e-06,1.338060e-06,1.336356e-06,1.334771e-06,1.331968e-06,1.331430e-06,1.328042e-06,1.327496e-06,1.324610e-06,1.322948e-06,1.321137e-06,1.318332e-06,1.317628e-06,1.314084e-06,1.313657e-06,1.310509e-06,1.308927e-06,1.306906e-06,1.304151e-06,1.303277e-06,1.299626e-06,1.299333e-06,1.295954e-06,1.294480e-06,1.292264e-06,1.289598e-06,1.288559e-06,1.284839e-06,1.284690e-06,1.281108e-06,1.279762e-06,1.277367e-06,1.274818e-06,1.273618e-06,1.269863e-06,1.264899e-06,1.259931e-06,1.254963e-06,1.249996e-06,1.245035e-06,1.240082e-06,1.235140e-06,1.230211e-06,1.225297e-06,1.220401e-06,1.215525e-06,1.210670e-06,1.205839e-06,1.201032e-06,1.196251e-06,1.191499e-06,1.186775e-06,1.182082e-06,1.177420e-06,1.172791e-06,1.168195e-06,1.163634e-06,1.159108e-06,1.154617e-06
0.000000e+00,4.480689e-10,1.623043e-09,1.056017e-08,3.532778e-08,6.078727e-08,1.917357e-07,1.997268e-07,4.885435e-07,6.059179e-07,1.000522e-06,1.450416e-06,1.822282e-06,2.931073e-06,3.045648e-06,4.741824e-06,5.223193e-06,6.936921e-06,8.379057e-06,9.614217e-06,1.233786e-05,1.273411e-05,1.625128e-05,1.699851e-05,2.012237e-05,2.226180e-05,2.430729e-05,2.803724e-05,2.876792e-05,3.346656e-05,3.423790e-05,3.836509e-05,4.077601e-05,4.342472e-05,4.756215e-05,4.860637e-05,5.387131e-05,5.450690e-05,5.918190e-05,6.152373e-05,6.450238e-05,6.853195e-05,6.979944e-05,7.504277e-05,7.545908e-05,8.020531e-05,8.224230e-05,8.526344e-05,8.882918e-05,9.019698e-05,9.498905e-05,9.517759e-05,9.962596e-05,1.012551e-04,1.040970e-04,1.070383e-04,1.083940e-04,1.125114e-04,1.164456e-04,1.176655e-04,1.201947e-04,1.224968e-04,1.237585e-04,1.270063e-04,1.271379e-04,1.303350e-04,1.311978e-04,1.333523e-04,1.350779e-04,1.361935e-04,1.386552e-04,1.388625e-04,1.413638e-04,1.419397e-04,1.437023e-04,1.449427e-04,1.458833e-04,1.476771e-04,1.479128e-04,1.497963e-04,1.501560e-04,1.515395e-04,1.523924e-04,1.531479e-04,1.543988e-04,1.546270e-04,1.559821e-04,1.561877e-04,1.572185e-04,1.577713e-04,1.583414e-04,1.591614e-04,1.593559e-04,1.602669e-04,1.603695e-04,1.610791e-04,1.614064e-04,1.617973e-04,1.622829e-04,1.624259e-04,1.629693e-04,1.630092e-04,1.634318e-04,1.635950e-04,1.638174e-04,1.640497e-04,1.641302e-04,1.643737e-04,1.643821e-04,1.645518e-04,1.646005e-04,1.646679e-04,1.647131e-04,1.647253e-04,1.647275e-04,1.646773e-04,1.646508e-04,1.645780e-04,1.644898e-04,1.644322e-04,1.642511e-04,1.642428e-04,1.640123e-04,1.639407e-04,1.637433e-04,1.635644e-04,1.634382e-04,1.631276e-04,1.630993e-04,1.627288e-04,1.626354e-04,1.623288e-04,1.620926e-04,1.619012e-04,1.615037e-04,1.614481e-04,1.609711e-04,1.608731e-04,1.604722e-04,1.602045e-04,1.599528e-04,1.595019e-04,1.594146e-04,1.588591e-04,1.587688e-04,1.582878e-04,1.580083e-04,1.577019e-04,1.572236e-04,1.571027e-04,1.564916e-04,1.564175e-04,1.558696e-04,1.555928e-04,1.552379e-04,1.547519e-04,1.545974e-04,1.539493e-04,1.538971e-04,1.532944e-04,1.530308e-04,1.526336e-04,1.521547e-04,1.519679e-04,1.512979e-04,1.512710e-04,1.506244e-04,1.503812e-04,1.499481e-04,1.494871e-04,1.492698e-04,1.485900e-04,1.476915e-04,1.467928e-04,1.458950e-04,1.449993e-04,1.441067e-04,1.432180e-04,1.423341e-04,1.414559e-04,1.405839e-04,1.397189e-04,1.388614e-04,1.380119e-04,1.371709e-04,1.363388e-04,1.355160e-04,1.347028e-04,1.338995e-04,1.331065e-04,1.323238e-04,1.315517e-04,1.307903e-04,1.300398e-04,1.293003e-04,1.285719e-04
0.000000e+00,1.710022e-10,6.664604e-10,5.018750e-09,1.904850e-08,3.502226e-08,1.297108e-07,1.359559e-07,3.833469e-07,4.926624e-07,8.843423e-07,1.363410e-06,1.778633e-06,3.096433e-06,3.238654e-06,5.466646e-06,6.140086e-06,8.684277e-06,1.100208e-05,1.311456e-05,1.818006e-05,1.896282e-05,2.640325e-05,2.809510e-05,3.557226e-05,4.105700e-05,4.656669e-05,5.725627e-05,5.944461e-05,7.422739e-05,7.676901e-05,9.090226e-05,9.956639e-05,1.094249e-04,1.255253e-04,1.297224e-04,1.516958e-04,1.544396e-04,1.752231e-04,1.860317e-04,2.001629e-04,2.199650e-04,2.263570e-04,2.536342e-04,2.558578e-04,2.818138e-04,2.932966e-04,3.107091e-04,3.318506e-04,3.401308e-04,3.698905e-04,3.710853e-04,3.998033e-04,4.105748e-04,4.296910e-04,4.499133e-04,4.593840e-04,4.887238e-04,5.175640e-04,5.266653e-04,5.457719e-04,5.634379e-04,5.732292e-04,5.987857e-04,5.998322e-04,6.254921e-04,6.324975e-04,6.501347e-04,6.644062e-04,6.736996e-04,6.943873e-04,6.961403e-04,7.174225e-04,7.223551e-04,7.375239e-04,7.482603e-04,7.564331e-04,7.720851e-04,7.741480e-04,7.906757e-04,7.938399e-04,8.060306e-04,8.135585e-04,8.202341e-04,8.312951e-04,8.333136e-04,8.453009e-04,8.471199e-04,8.562320e-04,8.611151e-04,8.661459e-04,8.733722e-04,8.750837e-04,8.830884e-04,8.839883e-04,8.902037e-04,8.930641e-04,8.964740e-04,9.007016e-04,9.019437e-04,9.066569e-04,9.070026e-04,9.106570e-04,9.120669e-04,9.139866e-04,9.159919e-04,9.166869e-04,9.187982e-04,9.188710e-04,9.203591e-04,9.207934e-04,9.214066e-04,9.218438e-04,9.219762e-04,9.221018e-04,9.218158e-04,9.216424e-04,9.211486e-04,9.205351e-04,9.201293e-04,9.188448e-04,9.187851e-04,9.171417e-04,9.166313e-04,9.152235e-04,9.139501e-04,9.130531e-04,9.108519e-04,9.106518e-04,9.080396e-04,9.073834e-04,9.052351e-04,9.035872e-04,9.022559e-04,8.995025e-04,8.991181e-04,8.958370e-04,8.951648e-04,8.924265e-04,8.906064e-04,8.889000e-04,8.858568e-04,8.852694e-04,8.815463e-04,8.809427e-04,8.777411e-04,8.758884e-04,8.738636e-04,8.707156e-04,8.699228e-04,8.659272e-04,8.654444e-04,8.618844e-04,8.600925e-04,8.578017e-04,8.546763e-04,8.536858e-04,8.495428e-04,8.492104e-04,8.453784e-04,8.437079e-04,8.411979e-04,8.381806e-04,8.370060e-04,8.328074e-04,8.326394e-04,8.286061e-04,8.270937e-04,8.244059e-04,8.215521e-04,8.202103e-04,8.160225e-04,8.105117e-04,8.050259e-04,7.995707e-04,7.941510e-04,7.887712e-04,7.834351e-04,7.781462e-04,7.729077e-04,7.677220e-04,7.625916e-04,7.575185e-04,7.525044e-04,7.475509e-04,7.426592e-04,7.378304e-04,7.330653e-04,7.283647e-04,7.237291e-04,7.191589e-04,7.146544e-04,7.102158e-04,7.058430e-04,7.015362e-04,6.972951e-04
0.000000e+00,1.327355e-10,3.225022e-10,1.180060e-09,2.762804e-09,4.074594e-09,9.437398e-09,9.728407e-09,1.911944e-08,2.256692e-08,3.336079e-08,4.472283e-08,5.360210e-08,7.813161e-08,8.053229e-08,1.139337e-07,1.228330e-07,1.530751e-07,1.772356e-07,1.972616e-07,2.398863e-07,2.459512e-07,2.986825e-07,3.096745e-07,3.550067e-07,3.855603e-07,4.144534e-07,4.664352e-07,4.765205e-07,5.406791e-07,5.511023e-07,6.063846e-07,6.383122e-07,6.730915e-07,7.268199e-07,7.402681e-07,8.074095e-07,8.154415e-07,8.740488e-07,9.031007e-07,9.397648e-07,9.888616e-07,1.004187e-06,1.066996e-06,1.071943e-06,1.127928e-06,1.151725e-06,1.186766e-06,1.227739e-06,1.243345e-06,1.297542e-06,1.299659e-06,1.349273e-06,1.367281e-06,1.398488e-06,1.430507e-06,1.445169e-06,1.489321e-06,1.530970e-06,1.543776e-06,1.570161e-06,1.593978e-06,1.606950e-06,1.640070e-06,1.641405e-06,1.673601e-06,1.682222e-06,1.703621e-06,1.720622e-06,1.731548e-06,1.755468e-06,1.757470e-06,1.781476e-06,1.786962e-06,1.803653e-06,1.815307e-06,1.824090e-06,1.840703e-06,1.842872e-06,1.860083e-06,1.863343e-06,1.875803e-06,1.883415e-06,1.890112e-06,1.901096e-06,1.903085e-06,1.914795e-06,1.916556e-06,1.925312e-06,1.929955e-06,1.934702e-06,1.941445e-06,1.943029e-06,1.950353e-06,1.951168e-06,1.956734e-06,1.959256e-06,1.962225e-06,1.965835e-06,1.966878e-06,1.970743e-06,1.971020e-06,1.973868e-06,1.974920e-06,1.976296e-06,1.977637e-06,1.978070e-06,1.979230e-06,1.979264e-06,1.979814e-06,1.979890e-06,1.979857e-06,1.979595e-06,1.979394e-06,1.978455e-06,1.977073e-06,1.976541e-06,1.975275e-06,1.973918e-06,1.973088e-06,1.970647e-06,1.970538e-06,1.967650e-06,1.966784e-06,1.964445e-06,1.962380e-06,1.960947e-06,1.957485e-06,1.957174e-06,1.953146e-06,1.952144e-06,1.948882e-06,1.946398e-06,1.944399e-06,1.940285e-06,1.939713e-06,1.934838e-06,1.933842e-06,1.929791e-06,1.927102e-06,1.924584e-06,1.920096e-06,1.919230e-06,1.913741e-06,1.912851e-06,1.908129e-06,1.905395e-06,1.902405e-06,1.897752e-06,1.896579e-06,1.890661e-06,1.889945e-06,1.884659e-06,1.881994e-06,1.878583e-06,1.873920e-06,1.872440e-06,1.866238e-06,1.865739e-06,1.859984e-06,1.857469e-06,1.853685e-06,1.849126e-06,1.847348e-06,1.840978e-06,1.840722e-06,1.834581e-06,1.832272e-06,1.828162e-06,1.823788e-06,1.821727e-06,1.815281e-06,1.806760e-06,1.798237e-06,1.789719e-06,1.781214e-06,1.772731e-06,1.764275e-06,1.755854e-06,1.747473e-06,1.739136e-06,1.730850e-06,1.722619e-06,1.714446e-06,1.706335e-06,1.698290e-06,1.690313e-06,1.682407e-06,1.674574e-06,1.666818e-06,1.659139e-06,1.651540e-06,1.644021e-06,1.636585e-06,1.629232e-06,1.621963e-06
0.000000e+00,3.735891e-11,8.721265e-11,3.053431e-10,6.988931e-10,1.021071e-09,2.317552e-09,2.387181e-09,4.603980e-09,5.405216e-09,7.880016e-09,1.044554e-08,1.243595e-08,1.794879e-08,1.849345e-08,2.623649e-08,2.835734e-08,3.573920e-08,4.179782e-08,4.689572e-08,5.786313e-08,5.942803e-08,7.298209e-08,7.578519e-08,8.722460e-08,9.480959e-08,1.018823e-07,1.143572e-07,1.167405e-07,1.316290e-07,1.340044e-07,1.464102e-07,1.534329e-07,1.609708e-07,1.723972e-07,1.752176e-07,1.890745e-07,1.907081e-07,2.024808e-07,2.082243e-07,2.153897e-07,2.248462e-07,2.277668e-07,2.395887e-07,2.405100e-07,2.508419e-07,2.551824e-07,2.615209e-07,2.688549e-07,2.716273e-07,2.811673e-07,2.815373e-07,2.901521e-07,2.932535e-07,2.985967e-07,3.040390e-07,3.065181e-07,3.139358e-07,3.208702e-07,3.229905e-07,3.273424e-07,3.312520e-07,3.333740e-07,3.387697e-07,3.389864e-07,3.442009e-07,3.455926e-07,3.490385e-07,3.517686e-07,3.535194e-07,3.573438e-07,3.576633e-07,3.614892e-07,3.623621e-07,3.650152e-07,3.668652e-07,3.682586e-07,3.708923e-07,3.712360e-07,3.739632e-07,3.744800e-07,3.764551e-07,3.776626e-07,3.787258e-07,3.804721e-07,3.807888e-07,3.826567e-07,3.829383e-07,3.843415e-07,3.850886e-07,3.858546e-07,3.869486e-07,3.872066e-07,3.884076e-07,3.885421e-07,3.894671e-07,3.898908e-07,3.903941e-07,3.910151e-07,3.911968e-07,3.918834e-07,3.919335e-07,3.924612e-07,3.926635e-07,3.929374e-07,3.932209e-07,3.933184e-07,3.936105e-07,3.936205e-07,3.938197e-07,3.938758e-07,3.939514e-07,3.939993e-07,3.940108e-07,3.940027e-07,3.939319e-07,3.938966e-07,3.938025e-07,3.936909e-07,3.936187e-07,3.933946e-07,3.933843e-07,3.931028e-07,3.930160e-07,3.927777e-07,3.925631e-07,3.924122e-07,3.920427e-07,3.920092e-07,3.915715e-07,3.914616e-07,3.911019e-07,3.908258e-07,3.906027e-07,3.901409e-07,3.900764e-07,3.895251e-07,3.894120e-07,3.889509e-07,3.886439e-07,3.883557e-07,3.878410e-07,3.877415e-07,3.871098e-07,3.870073e-07,3.864624e-07,3.861465e-07,3.858008e-07,3.852621e-07,3.851263e-07,3.844403e-07,3.843573e-07,3.837442e-07,3.834349e-07,3.830390e-07,3.824977e-07,3.823259e-07,3.816060e-07,3.815482e-07,3.808803e-07,3.805885e-07,3.801495e-07,3.796209e-07,3.794148e-07,3.786767e-07,3.786472e-07,3.779362e-07,3.776692e-07,3.771939e-07,3.766885e-07,3.764506e-07,3.757067e-07,3.747251e-07,3.737449e-07,3.727673e-07,3.717934e-07,3.708241e-07,3.698603e-07,3.689028e-07,3.679523e-07,3.670095e-07,3.660750e-07,3.651492e-07,3.642328e-07,3.633261e-07,3.624294e-07,3.615433e-07,3.606678e-07,3.598034e-07,3.589503e-07,3.581086e-07,3.572785e-07,3.564602e-07,3.556538e-07,3.548594e-07,3.540771e-07
0.000000e+00,1.132440e-10,4.262220e-10,2.985323e-09,1.060762e-08,1.881211e-08,6.353121e-08,6.634291e-08,1.710700e-07,2.146896e-07,3.634765e-07,5.352412e-07,6.781393e-07,1.107813e-06,1.152524e-06,1.822258e-06,2.015124e-06,2.711381e-06,3.307456e-06,3.823750e-06,4.974436e-06,5.142682e-06,6.637350e-06,6.954131e-06,8.270472e-06,9.161730e-06,1.000408e-05,1.151192e-05,1.180272e-05,1.363481e-05,1.392916e-05,1.547284e-05,1.635012e-05,1.729312e-05,1.872283e-05,1.907537e-05,2.080245e-05,2.100528e-05,2.246003e-05,2.316427e-05,2.403654e-05,2.517485e-05,2.552301e-05,2.691298e-05,2.701987e-05,2.820233e-05,2.868940e-05,2.938912e-05,3.018003e-05,3.047334e-05,3.145664e-05,3.149391e-05,3.234209e-05,3.263767e-05,3.313385e-05,3.362124e-05,3.383690e-05,3.445680e-05,3.499946e-05,3.515778e-05,3.547090e-05,3.573803e-05,3.587714e-05,3.621124e-05,3.622404e-05,3.651722e-05,3.659042e-05,3.676197e-05,3.688765e-05,3.696323e-05,3.711390e-05,3.712555e-05,3.725308e-05,3.727894e-05,3.734960e-05,3.739138e-05,3.741850e-05,3.745872e-05,3.746284e-05,3.748532e-05,3.748741e-05,3.748837e-05,3.748300e-05,3.747414e-05,3.745022e-05,3.744452e-05,3.740121e-05,3.739311e-05,3.734570e-05,3.731511e-05,3.727930e-05,3.721914e-05,3.720319e-05,3.711841e-05,3.710770e-05,3.702588e-05,3.698293e-05,3.692643e-05,3.684667e-05,3.682079e-05,3.670963e-05,3.670051e-05,3.659353e-05,3.654583e-05,3.647302e-05,3.638381e-05,3.634860e-05,3.622070e-05,3.621552e-05,3.608972e-05,3.604188e-05,3.595602e-05,3.586371e-05,3.581992e-05,3.568174e-05,3.554175e-05,3.549661e-05,3.540020e-05,3.530891e-05,3.525734e-05,3.511915e-05,3.511338e-05,3.496851e-05,3.492781e-05,3.482292e-05,3.473530e-05,3.467679e-05,3.454201e-05,3.453028e-05,3.438352e-05,3.434828e-05,3.423666e-05,3.415442e-05,3.408982e-05,3.396071e-05,3.394312e-05,3.379667e-05,3.376742e-05,3.365056e-05,3.357475e-05,3.350489e-05,3.338294e-05,3.335975e-05,3.321522e-05,3.319215e-05,3.307136e-05,3.300257e-05,3.292825e-05,3.281434e-05,3.278595e-05,3.264451e-05,3.262760e-05,3.250400e-05,3.244248e-05,3.236446e-05,3.225908e-05,3.222593e-05,3.208846e-05,3.207751e-05,3.195208e-05,3.189785e-05,3.181684e-05,3.172017e-05,3.168275e-05,3.154985e-05,3.154456e-05,3.141816e-05,3.137105e-05,3.128771e-05,3.119972e-05,3.115852e-05,3.103060e-05,3.086373e-05,3.069914e-05,3.053687e-05,3.037692e-05,3.021931e-05,3.006407e-05,2.991119e-05,2.976069e-05,2.961255e-05,2.946679e-05,2.932339e-05,2.918234e-05,2.904365e-05,2.890728e-05,2.877324e-05,2.864150e-05,2.851205e-05,2.838486e-05,2.825992e-05,2.813721e-05,2.801670e-05,2.789837e-05,2.778219e-05,2.766814e-05
0.000000e+00,3.080492e-12,7.018862e-12,2.383604e-11,5.360166e-11,7.773478e-11,1.740867e-10,1.792474e-10,3.436642e-10,4.032843e-10,5.883571e-10,7.815397e-10,9.319880e-10,1.347866e-09,1.388660e-09,1.956806e-09,2.107666e-09,2.615005e-09,3.011756e-09,3.333524e-09,3.995235e-09,4.086797e-09,4.856511e-09,5.011227e-09,5.629813e-09,6.030089e-09,6.397152e-09,7.031524e-09,7.150951e-09,7.884971e-09,8.000219e-09,8.594047e-09,8.924281e-09,9.274009e-09,9.794834e-09,9.921656e-09,1.053472e-08,1.060589e-08,1.111181e-08,1.135416e-08,1.165233e-08,1.203870e-08,1.215637e-08,1.262459e-08,1.266053e-08,1.305810e-08,1.322210e-08,1.345834e-08,1.372686e-08,1.382700e-08,1.416589e-08,1.417886e-08,1.447693e-08,1.458246e-08,1.476204e-08,1.494207e-08,1.502312e-08,1.526201e-08,1.548048e-08,1.554635e-08,1.568018e-08,1.579887e-08,1.586269e-08,1.602305e-08,1.602944e-08,1.618175e-08,1.622198e-08,1.632084e-08,1.639842e-08,1.644783e-08,1.655484e-08,1.656372e-08,1.666944e-08,1.669339e-08,1.676581e-08,1.681598e-08,1.685359e-08,1.692428e-08,1.693346e-08,1.700604e-08,1.701973e-08,1.707189e-08,1.710365e-08,1.713153e-08,1.717715e-08,1.718541e-08,1.723395e-08,1.724124e-08,1.727753e-08,1.729679e-08,1.731651e-08,1.734458e-08,1.735119e-08,1.738188e-08,1.738531e-08,1.740883e-08,1.741957e-08,1.743229e-08,1.744793e-08,1.745249e-08,1.746962e-08,1.747087e-08,1.748389e-08,1.748884e-08,1.749547e-08,1.750222e-08,1.750451e-08,1.751118e-08,1.751140e-08,1.751561e-08,1.751668e-08,1.751794e-08,1.751838e-08,1.751828e-08,1.751676e-08,1.751347e-08,1.751207e-08,1.750853e-08,1.750454e-08,1.750202e-08,1.749438e-08,1.749403e-08,1.748466e-08,1.748179e-08,1.747397e-08,1.746695e-08,1.746204e-08,1.745003e-08,1.744894e-08,1.743473e-08,1.743117e-08,1.741949e-08,1.741053e-08,1.740327e-08,1.738824e-08,1.738613e-08,1.736812e-08,1.736442e-08,1.734929e-08,1.733919e-08,1.732969e-08,1.731267e-08,1.730937e-08,1.728837e-08,1.728495e-08,1.726673e-08,1.725612e-08,1.724449e-08,1.722629e-08,1.722169e-08,1.719837e-08,1.719554e-08,1.717456e-08,1.716394e-08,1.715030e-08,1.713157e-08,1.712561e-08,1.710052e-08,1.709850e-08,1.707507e-08,1.706479e-08,1.704928e-08,1.703051e-08,1.702317e-08,1.699678e-08,1.699572e-08,1.697012e-08,1.696047e-08,1.694323e-08,1.692481e-08,1.691611e-08,1.688879e-08,1.685246e-08,1.681587e-08,1.677904e-08,1.674203e-08,1.670486e-08,1.666757e-08,1.663020e-08,1.659277e-08,1.655531e-08,1.651785e-08,1.648042e-08,1.644303e-08,1.640572e-08,1.636849e-08,1.633137e-08,1.629439e-08,1.625755e-08,1.622087e-08,1.618437e-08,1.614806e-08,1.611196e-08,1.607607e-08,1.604042e-08,1.600500e-08
0.000000e+00,1.975276e-10,5.241586e-10,2.116618e-09,5.194839e-09,7.795451e-09,1.857696e-08,1.916480e-08,3.813028e-08,4.506690e-08,6.665450e-08,8.920688e-08,1.067853e-07,1.557261e-07,1.605781e-07,2.298502e-07,2.489263e-07,3.157256e-07,3.710837e-07,4.180743e-07,5.204710e-07,5.352222e-07,6.643010e-07,6.912596e-07,8.020503e-07,8.760933e-07,9.454799e-07,1.068536e-06,1.092132e-06,1.240064e-06,1.263745e-06,1.387749e-06,1.458183e-06,1.533971e-06,1.649234e-06,1.677756e-06,1.818327e-06,1.834949e-06,1.955069e-06,2.013894e-06,2.087504e-06,2.185052e-06,2.215277e-06,2.338134e-06,2.347745e-06,2.455909e-06,2.501573e-06,2.568509e-06,2.646356e-06,2.675901e-06,2.778102e-06,2.782083e-06,2.875169e-06,2.908872e-06,2.967190e-06,3.026938e-06,3.054276e-06,3.136558e-06,3.214179e-06,3.238059e-06,3.287292e-06,3.331791e-06,3.356055e-06,3.418125e-06,3.420630e-06,3.481179e-06,3.497434e-06,3.537867e-06,3.570094e-06,3.590855e-06,3.636472e-06,3.640301e-06,3.686361e-06,3.696929e-06,3.729188e-06,3.751813e-06,3.768928e-06,3.801460e-06,3.805725e-06,3.839718e-06,3.846192e-06,3.871041e-06,3.886317e-06,3.899823e-06,3.922128e-06,3.926189e-06,3.950258e-06,3.953904e-06,3.972145e-06,3.981908e-06,3.991961e-06,4.006393e-06,4.009811e-06,4.025797e-06,4.027594e-06,4.040016e-06,4.045736e-06,4.052561e-06,4.061030e-06,4.063520e-06,4.072980e-06,4.073675e-06,4.081021e-06,4.083858e-06,4.087721e-06,4.091757e-06,4.093154e-06,4.097391e-06,4.097537e-06,4.100499e-06,4.101354e-06,4.102543e-06,4.103356e-06,4.103584e-06,4.103680e-06,4.102888e-06,4.102456e-06,4.101261e-06,4.099804e-06,4.098848e-06,4.095838e-06,4.095698e-06,4.091858e-06,4.090665e-06,4.087370e-06,4.084384e-06,4.082277e-06,4.077089e-06,4.076617e-06,4.070428e-06,4.068868e-06,4.063746e-06,4.059801e-06,4.056605e-06,4.049966e-06,4.049036e-06,4.041071e-06,4.039433e-06,4.032739e-06,4.028270e-06,4.024067e-06,4.016539e-06,4.015081e-06,4.005807e-06,4.004297e-06,3.996267e-06,3.991600e-06,3.986484e-06,3.978497e-06,3.976479e-06,3.966273e-06,3.965035e-06,3.955884e-06,3.951259e-06,3.945330e-06,3.937210e-06,3.934629e-06,3.923796e-06,3.922924e-06,3.912847e-06,3.908439e-06,3.901797e-06,3.893785e-06,3.890658e-06,3.879444e-06,3.878994e-06,3.868167e-06,3.864095e-06,3.856839e-06,3.849112e-06,3.845470e-06,3.834071e-06,3.818994e-06,3.803902e-06,3.788813e-06,3.773745e-06,3.758716e-06,3.743739e-06,3.728828e-06,3.713997e-06,3.699256e-06,3.684616e-06,3.670087e-06,3.655678e-06,3.641397e-06,3.627250e-06,3.613244e-06,3.599385e-06,3.585678e-06,3.572128e-06,3.558739e-06,3.545515e-06,3.532458e-06,3.519571e-06,3.506857e-06,3.494318e-06
0.000000e+00,9.884296e-11,3.644843e-10,2.452692e-09,8.428299e-09,1.469483e-08,4.772136e-08,4.976192e-08,1.244167e-07,1.550611e-07,2.587294e-07,3.776964e-07,4.765371e-07,7.744189e-07,8.055186e-07,1.274168e-06,1.410080e-06,1.903708e-06,2.329140e-06,2.698988e-06,3.525315e-06,3.646189e-06,4.718533e-06,4.945246e-06,5.884458e-06,6.517525e-06,7.113707e-06,8.176010e-06,8.380228e-06,9.662786e-06,9.868298e-06,1.094443e-05,1.155521e-05,1.221161e-05,1.320750e-05,1.345335e-05,1.466068e-05,1.480287e-05,1.582617e-05,1.632414e-05,1.694381e-05,1.775819e-05,1.800875e-05,1.901729e-05,1.909545e-05,1.996681e-05,2.032970e-05,2.085571e-05,2.145778e-05,2.168332e-05,2.244981e-05,2.247920e-05,2.315604e-05,2.339581e-05,2.380352e-05,2.421124e-05,2.439423e-05,2.493052e-05,2.541504e-05,2.555961e-05,2.585062e-05,2.610506e-05,2.624019e-05,2.657367e-05,2.658675e-05,2.689324e-05,2.697228e-05,2.716257e-05,2.730752e-05,2.739757e-05,2.758574e-05,2.760090e-05,2.777515e-05,2.781290e-05,2.792270e-05,2.799452e-05,2.804582e-05,2.813562e-05,2.814661e-05,2.822701e-05,2.824081e-05,2.828883e-05,2.831419e-05,2.833373e-05,2.835948e-05,2.836323e-05,2.837872e-05,2.837999e-05,2.838149e-05,2.837865e-05,2.837271e-05,2.835809e-05,2.835344e-05,2.832466e-05,2.832061e-05,2.828725e-05,2.826827e-05,2.824203e-05,2.820289e-05,2.818973e-05,2.813102e-05,2.812607e-05,2.806653e-05,2.803924e-05,2.799680e-05,2.794365e-05,2.792236e-05,2.784366e-05,2.784043e-05,2.776113e-05,2.773057e-05,2.767518e-05,2.761495e-05,2.758614e-05,2.749436e-05,2.740012e-05,2.736950e-05,2.730371e-05,2.724099e-05,2.720539e-05,2.710940e-05,2.710537e-05,2.700388e-05,2.697522e-05,2.690111e-05,2.683891e-05,2.679725e-05,2.670087e-05,2.669246e-05,2.658689e-05,2.656146e-05,2.648069e-05,2.642100e-05,2.637399e-05,2.627978e-05,2.626692e-05,2.615957e-05,2.613808e-05,2.605206e-05,2.599613e-05,2.594449e-05,2.585414e-05,2.583693e-05,2.572948e-05,2.571230e-05,2.562221e-05,2.557080e-05,2.551519e-05,2.542979e-05,2.540848e-05,2.530214e-05,2.528941e-05,2.519623e-05,2.514978e-05,2.509081e-05,2.501103e-05,2.498591e-05,2.488158e-05,2.487326e-05,2.477786e-05,2.473655e-05,2.467479e-05,2.460100e-05,2.457240e-05,2.447073e-05,2.446668e-05,2.436980e-05,2.433365e-05,2.426963e-05,2.420197e-05,2.417026e-05,2.407170e-05,2.394288e-05,2.381555e-05,2.368974e-05,2.356550e-05,2.344283e-05,2.332177e-05,2.320233e-05,2.308453e-05,2.296838e-05,2.285388e-05,2.274105e-05,2.262988e-05,2.252039e-05,2.241255e-05,2.230638e-05,2.220187e-05,2.209902e-05,2.199781e-05,2.189823e-05,2.180029e-05,2.170396e-05,2.160923e-05,2.151609e-05,2.142453e-05
0.000000e+00,2.309996e-10,7.239672e-10,3.657211e-09,1.016052e-08,1.601676e-08,4.176323e-08,4.320697e-08,9.087522e-08,1.086482e-07,1.645779e-07,2.236253e-07,2.699228e-07,3.996492e-07,4.125641e-07,5.979146e-07,6.492806e-07,8.303696e-07,9.820082e-07,1.111919e-06,1.398905e-06,1.440686e-06,1.810786e-06,1.889063e-06,2.214092e-06,2.434178e-06,2.642418e-06,3.016326e-06,3.088678e-06,3.547022e-06,3.621141e-06,4.012574e-06,4.237357e-06,4.481180e-06,4.855824e-06,4.949233e-06,5.413590e-06,5.468931e-06,5.871527e-06,6.070372e-06,6.320719e-06,6.655046e-06,6.759221e-06,7.185448e-06,7.218977e-06,7.598147e-06,7.759216e-06,7.996365e-06,8.273724e-06,8.379421e-06,8.746869e-06,8.761239e-06,9.098465e-06,9.221140e-06,9.434135e-06,9.653323e-06,9.753947e-06,1.005808e-05,1.034682e-05,1.043602e-05,1.062050e-05,1.078795e-05,1.087954e-05,1.111484e-05,1.112437e-05,1.135546e-05,1.141777e-05,1.157331e-05,1.169786e-05,1.177841e-05,1.195628e-05,1.197127e-05,1.215240e-05,1.219418e-05,1.232229e-05,1.241270e-05,1.248143e-05,1.261297e-05,1.263031e-05,1.276939e-05,1.279607e-05,1.289913e-05,1.296305e-05,1.301996e-05,1.311490e-05,1.313232e-05,1.323661e-05,1.325258e-05,1.333323e-05,1.337699e-05,1.342255e-05,1.348901e-05,1.350495e-05,1.358076e-05,1.358943e-05,1.365032e-05,1.367903e-05,1.371395e-05,1.375853e-05,1.377195e-05,1.382463e-05,1.382862e-05,1.387224e-05,1.388993e-05,1.391507e-05,1.394308e-05,1.395335e-05,1.398734e-05,1.398862e-05,1.401726e-05,1.402708e-05,1.404334e-05,1.405898e-05,1.406577e-05,1.408476e-05,1.410051e-05,1.410489e-05,1.411317e-05,1.411975e-05,1.412294e-05,1.412975e-05,1.412998e-05,1.413443e-05,1.413523e-05,1.413645e-05,1.413655e-05,1.413617e-05,1.413401e-05,1.413374e-05,1.412928e-05,1.412791e-05,1.412290e-05,1.411854e-05,1.411473e-05,1.410613e-05,1.410487e-05,1.409342e-05,1.409095e-05,1.408050e-05,1.407322e-05,1.406618e-05,1.405314e-05,1.405056e-05,1.403372e-05,1.403092e-05,1.401575e-05,1.400674e-05,1.399672e-05,1.398078e-05,1.397670e-05,1.395576e-05,1.395319e-05,1.393396e-05,1.392412e-05,1.391138e-05,1.389373e-05,1.388807e-05,1.386407e-05,1.386213e-05,1.383946e-05,1.382945e-05,1.381427e-05,1.379581e-05,1.378856e-05,1.376237e-05,1.376131e-05,1.373574e-05,1.372606e-05,1.370872e-05,1.369014e-05,1.368134e-05,1.365364e-05,1.361664e-05,1.357922e-05,1.354145e-05,1.350339e-05,1.346511e-05,1.342665e-05,1.338807e-05,1.334943e-05,1.331075e-05,1.327210e-05,1.323350e-05,1.319499e-05,1.315660e-05,1.311837e-05,1.308032e-05,1.304248e-05,1.300487e-05,1.296751e-05,1.293043e-05,1.289364e-05,1.285716e-05,1.282100e-05,1.278518e-05,1.274971e-05
0.000000e+00,2.928546e-11,6.743255e-11,2.339157e-10,5.367426e-10,7.875996e-10,1.823803e-09,1.880631e-09,3.748793e-09,4.450555e-09,6.696847e-09,9.130669e-09,1.107360e-08,1.658273e-08,1.713068e-08,2.485766e-08,2.693844e-08,3.404130e-08,3.973037e-08,4.444593e-08,5.446818e-08,5.589211e-08,6.825124e-08,7.082354e-08,8.142334e-08,8.856470e-08,9.532034e-08,1.074916e-07,1.098569e-07,1.249459e-07,1.274054e-07,1.404972e-07,1.480987e-07,1.564178e-07,1.693568e-07,1.726135e-07,1.889909e-07,1.909641e-07,2.054593e-07,2.127116e-07,2.219317e-07,2.344031e-07,2.383268e-07,2.545701e-07,2.558609e-07,2.705938e-07,2.769283e-07,2.863383e-07,2.974719e-07,3.017514e-07,3.167884e-07,3.173815e-07,3.314121e-07,3.365694e-07,3.455919e-07,3.549681e-07,3.593037e-07,3.725288e-07,3.852539e-07,3.892187e-07,3.974700e-07,4.050189e-07,4.091723e-07,4.199217e-07,4.203593e-07,4.310322e-07,4.339290e-07,4.411950e-07,4.470503e-07,4.508538e-07,4.593012e-07,4.600161e-07,4.686911e-07,4.707017e-07,4.768890e-07,4.812756e-07,4.846210e-07,4.910492e-07,4.918990e-07,4.987353e-07,5.000506e-07,5.051426e-07,5.083092e-07,5.111340e-07,5.158550e-07,5.167227e-07,5.219219e-07,5.227185e-07,5.267447e-07,5.289299e-07,5.312044e-07,5.345195e-07,5.353140e-07,5.390863e-07,5.395169e-07,5.425340e-07,5.439513e-07,5.456694e-07,5.478511e-07,5.485049e-07,5.510524e-07,5.512441e-07,5.533235e-07,5.541570e-07,5.553295e-07,5.566160e-07,5.570816e-07,5.585905e-07,5.586459e-07,5.598666e-07,5.602711e-07,5.609203e-07,5.615147e-07,5.617613e-07,5.623992e-07,5.628433e-07,5.629459e-07,5.631025e-07,5.631754e-07,5.631855e-07,5.631073e-07,5.631008e-07,5.628564e-07,5.627605e-07,5.624602e-07,5.621528e-07,5.619197e-07,5.613013e-07,5.612423e-07,5.604349e-07,5.602225e-07,5.595043e-07,5.589318e-07,5.584571e-07,5.574441e-07,5.572996e-07,5.560378e-07,5.557734e-07,5.546775e-07,5.539331e-07,5.532244e-07,5.519359e-07,5.516838e-07,5.500609e-07,5.497939e-07,5.483606e-07,5.475185e-07,5.465878e-07,5.451205e-07,5.447471e-07,5.428428e-07,5.426102e-07,5.408791e-07,5.399973e-07,5.388601e-07,5.372911e-07,5.367897e-07,5.346716e-07,5.345002e-07,5.325093e-07,5.316328e-07,5.303062e-07,5.286966e-07,5.280656e-07,5.257906e-07,5.256990e-07,5.234842e-07,5.226468e-07,5.211492e-07,5.195465e-07,5.187884e-07,5.164043e-07,5.132258e-07,5.100165e-07,5.067815e-07,5.035254e-07,5.002527e-07,4.969676e-07,4.936741e-07,4.903756e-07,4.870757e-07,4.837776e-07,4.804841e-07,4.771980e-07,4.739219e-07,4.706581e-07,4.674088e-07,4.641761e-07,4.609618e-07,4.577677e-07,4.545952e-07,4.514460e-07,4.483212e-07,4.452221e-07,4.421497e-07,4.391052e-07
0.000000e+00,2.811983e-10,1.013595e-09,6.534463e-09,2.170511e-08,3.722203e-08,1.166177e-07,1.214522e-07,2.959844e-07,3.669096e-07,6.056507e-07,8.786331e-07,1.105040e-06,1.784914e-06,1.855599e-06,2.910927e-06,3.213090e-06,4.295602e-06,5.211795e-06,5.998173e-06,7.731792e-06,7.983577e-06,1.020969e-05,1.068023e-05,1.263713e-05,1.396752e-05,1.523207e-05,1.751995e-05,1.796552e-05,2.081175e-05,2.127599e-05,2.374690e-05,2.518066e-05,2.674829e-05,2.918244e-05,2.979416e-05,3.286371e-05,3.323270e-05,3.593733e-05,3.728628e-05,3.899687e-05,4.130250e-05,4.202585e-05,4.500955e-05,4.524589e-05,4.793518e-05,4.908667e-05,5.079184e-05,5.280078e-05,5.357048e-05,5.626378e-05,5.636965e-05,5.886602e-05,5.977968e-05,6.137295e-05,6.302163e-05,6.378155e-05,6.608997e-05,6.829733e-05,6.898232e-05,7.040358e-05,7.169877e-05,7.240932e-05,7.424130e-05,7.431567e-05,7.612418e-05,7.661327e-05,7.783670e-05,7.881903e-05,7.945539e-05,8.086375e-05,8.098263e-05,8.242101e-05,8.275330e-05,8.377326e-05,8.449393e-05,8.504216e-05,8.609213e-05,8.623059e-05,8.734144e-05,8.755456e-05,8.837771e-05,8.888812e-05,8.934250e-05,9.010000e-05,9.023896e-05,9.106995e-05,9.119702e-05,9.183824e-05,9.218554e-05,9.254651e-05,9.307164e-05,9.319732e-05,9.379315e-05,9.386107e-05,9.433643e-05,9.455945e-05,9.482954e-05,9.517212e-05,9.527471e-05,9.567414e-05,9.570418e-05,9.602993e-05,9.616049e-05,9.634414e-05,9.654574e-05,9.661875e-05,9.685566e-05,9.686438e-05,9.705671e-05,9.712065e-05,9.722366e-05,9.731856e-05,9.735819e-05,9.746193e-05,9.753644e-05,9.755436e-05,9.758324e-05,9.759931e-05,9.760376e-05,9.760003e-05,9.759940e-05,9.757147e-05,9.755961e-05,9.752127e-05,9.748096e-05,9.745000e-05,9.736683e-05,9.735883e-05,9.724890e-05,9.721984e-05,9.712127e-05,9.704244e-05,9.697696e-05,9.683695e-05,9.681695e-05,9.664218e-05,9.660554e-05,9.645356e-05,9.635028e-05,9.625193e-05,9.607311e-05,9.603812e-05,9.581291e-05,9.577587e-05,9.557705e-05,9.546027e-05,9.533126e-05,9.512793e-05,9.507621e-05,9.481256e-05,9.478037e-05,9.454093e-05,9.441903e-05,9.426190e-05,9.404524e-05,9.397604e-05,9.368389e-05,9.366026e-05,9.338596e-05,9.326528e-05,9.308274e-05,9.286140e-05,9.277469e-05,9.246225e-05,9.244967e-05,9.214585e-05,9.203105e-05,9.182587e-05,9.160645e-05,9.150272e-05,9.117673e-05,9.074268e-05,9.030504e-05,8.986450e-05,8.942172e-05,8.897730e-05,8.853179e-05,8.808571e-05,8.763956e-05,8.719379e-05,8.674880e-05,8.630499e-05,8.586271e-05,8.542230e-05,8.498405e-05,8.454825e-05,8.411516e-05,8.368501e-05,8.325801e-05,8.283437e-05,8.241426e-05,8.199785e-05,8.158529e-05,8.117670e-05,8.077221e-05
0.000000e+00,1.114148e-10,3.507838e-10,1.784514e-09,4.979242e-09,7.863233e-09,2.057292e-08,2.128649e-08,4.487527e-08,5.368164e-08,8.142821e-08,1.107754e-07,1.338250e-07,1.985997e-07,2.050640e-07,2.981498e-07,3.240496e-07,4.157084e-07,4.928722e-07,5.592738e-07,7.069223e-07,7.285282e-07,9.211328e-07,9.621440e-07,1.133409e-06,1.250220e-06,1.361323e-06,1.562109e-06,1.601141e-06,1.849635e-06,1.890010e-06,2.104059e-06,2.227582e-06,2.362048e-06,2.569608e-06,2.621534e-06,2.880690e-06,2.911688e-06,3.137904e-06,3.250091e-06,3.391759e-06,3.581679e-06,3.641025e-06,3.884654e-06,3.903873e-06,4.121770e-06,4.214628e-06,4.351661e-06,4.512389e-06,4.573767e-06,4.787664e-06,4.796044e-06,4.993052e-06,5.064869e-06,5.189741e-06,5.318467e-06,5.377633e-06,5.556713e-06,5.727031e-06,5.779698e-06,5.888692e-06,5.987680e-06,6.041848e-06,6.181049e-06,6.186685e-06,6.323418e-06,6.360282e-06,6.452280e-06,6.525922e-06,6.573520e-06,6.678554e-06,6.687399e-06,6.794185e-06,6.818789e-06,6.894149e-06,6.947248e-06,6.987558e-06,7.064549e-06,7.074681e-06,7.155782e-06,7.171303e-06,7.231122e-06,7.268107e-06,7.300955e-06,7.355538e-06,7.365526e-06,7.425076e-06,7.434153e-06,7.479837e-06,7.504487e-06,7.530033e-06,7.567048e-06,7.575880e-06,7.617586e-06,7.622322e-06,7.655351e-06,7.670768e-06,7.689366e-06,7.712824e-06,7.719816e-06,7.746879e-06,7.748902e-06,7.770722e-06,7.779395e-06,7.791510e-06,7.804671e-06,7.809395e-06,7.824528e-06,7.825078e-06,7.837049e-06,7.840944e-06,7.847095e-06,7.852578e-06,7.854794e-06,7.860271e-06,7.863643e-06,7.864297e-06,7.865024e-06,7.864912e-06,7.864520e-06,7.862359e-06,7.862235e-06,7.858265e-06,7.856865e-06,7.852705e-06,7.848643e-06,7.845643e-06,7.837893e-06,7.837165e-06,7.827349e-06,7.824804e-06,7.816275e-06,7.809551e-06,7.804015e-06,7.792300e-06,7.790638e-06,7.776212e-06,7.773206e-06,7.760800e-06,7.752416e-06,7.744462e-06,7.730064e-06,7.727255e-06,7.709235e-06,7.706280e-06,7.690453e-06,7.681182e-06,7.670960e-06,7.654884e-06,7.650801e-06,7.630023e-06,7.627490e-06,7.608667e-06,7.599098e-06,7.586775e-06,7.569802e-06,7.564385e-06,7.541534e-06,7.539687e-06,7.518257e-06,7.508835e-06,7.494587e-06,7.477320e-06,7.470556e-06,7.446195e-06,7.445214e-06,7.421530e-06,7.412582e-06,7.396591e-06,7.379488e-06,7.371401e-06,7.345988e-06,7.312136e-06,7.277984e-06,7.243578e-06,7.208963e-06,7.174179e-06,7.139266e-06,7.104258e-06,7.069191e-06,7.034093e-06,6.998995e-06,6.963922e-06,6.928901e-06,6.893955e-06,6.859104e-06,6.824370e-06,6.789770e-06,6.755322e-06,6.721041e-06,6.686943e-06,6.653040e-06,6.619346e-06,6.585872e-06,6.552627e-06,6.519622e-06
0.000000e+00,2.843045e-10,1.044867e-09,6.994944e-09,2.399081e-08,4.184414e-08,1.368355e-07,1.427565e-07,3.632948e-07,4.558555e-07,7.763787e-07,1.155337e-06,1.476449e-06,2.458942e-06,2.561733e-06,4.090651e-06,4.523944e-06,6.054302e-06,7.322517e-06,8.392500e-06,1.069716e-05,1.102621e-05,1.387983e-05,1.447111e-05,1.688970e-05,1.849906e-05,2.000429e-05,2.267044e-05,2.318146e-05,2.638555e-05,2.689857e-05,2.958534e-05,3.111140e-05,3.275291e-05,3.524690e-05,3.586330e-05,3.889438e-05,3.925184e-05,4.182707e-05,4.308207e-05,4.464545e-05,4.670301e-05,4.733678e-05,4.989148e-05,5.008973e-05,5.230294e-05,5.322646e-05,5.456727e-05,5.610558e-05,5.668301e-05,5.865074e-05,5.872640e-05,6.047278e-05,6.109373e-05,6.215284e-05,6.321657e-05,6.369568e-05,6.510687e-05,6.639253e-05,6.677848e-05,6.755913e-05,6.824633e-05,6.861331e-05,6.952575e-05,6.956174e-05,7.041103e-05,7.063195e-05,7.116765e-05,7.157975e-05,7.183784e-05,7.238326e-05,7.242761e-05,7.294268e-05,7.305578e-05,7.338845e-05,7.360974e-05,7.377005e-05,7.405660e-05,7.409229e-05,7.435966e-05,7.440692e-05,7.457638e-05,7.467037e-05,7.474638e-05,7.485575e-05,7.487331e-05,7.496059e-05,7.497108e-05,7.501136e-05,7.502363e-05,7.502856e-05,7.501998e-05,7.501491e-05,7.497294e-05,7.496611e-05,7.490498e-05,7.486740e-05,7.481319e-05,7.472873e-05,7.469958e-05,7.456600e-05,7.455450e-05,7.441418e-05,7.434870e-05,7.424569e-05,7.411491e-05,7.406203e-05,7.386455e-05,7.385638e-05,7.365451e-05,7.357604e-05,7.343308e-05,7.327655e-05,7.320134e-05,7.296031e-05,7.271090e-05,7.262946e-05,7.245398e-05,7.228599e-05,7.219036e-05,7.193165e-05,7.192076e-05,7.164588e-05,7.156805e-05,7.136634e-05,7.119663e-05,7.108274e-05,7.081871e-05,7.079562e-05,7.050549e-05,7.043546e-05,7.021282e-05,7.004797e-05,6.991803e-05,6.965720e-05,6.962155e-05,6.932372e-05,6.926403e-05,6.902491e-05,6.886925e-05,6.872544e-05,6.847358e-05,6.842559e-05,6.812564e-05,6.807766e-05,6.782586e-05,6.768208e-05,6.752646e-05,6.728738e-05,6.722768e-05,6.692970e-05,6.689401e-05,6.663272e-05,6.650241e-05,6.633691e-05,6.611298e-05,6.604243e-05,6.574941e-05,6.572604e-05,6.545801e-05,6.534192e-05,6.516833e-05,6.496090e-05,6.488050e-05,6.459461e-05,6.458322e-05,6.431076e-05,6.420909e-05,6.402904e-05,6.383873e-05,6.374953e-05,6.347229e-05,6.310993e-05,6.275178e-05,6.239795e-05,6.204855e-05,6.170366e-05,6.136335e-05,6.102768e-05,6.069670e-05,6.037044e-05,6.004893e-05,5.973220e-05,5.942024e-05,5.911308e-05,5.881069e-05,5.851309e-05,5.822025e-05,5.793214e-05,5.764876e-05,5.737008e-05,5.709605e-05,5.682665e-05,5.656184e-05,5.630157e-05,5.604582e-05
0.000000e+00,1.930649e-10,7.083711e-10,4.722943e-09,1.610787e-08,2.797205e-08,8.985358e-08,9.365034e-08,2.309727e-07,2.865677e-07,4.718335e-07,6.798043e-07,8.493746e-07,1.346436e-06,1.397341e-06,2.149232e-06,2.363575e-06,3.136015e-06,3.800687e-06,4.382012e-06,5.704016e-06,5.900842e-06,7.694232e-06,8.085276e-06,9.754009e-06,1.092563e-05,1.206535e-05,1.418768e-05,1.460956e-05,1.736579e-05,1.782500e-05,2.031202e-05,2.178704e-05,2.342551e-05,2.602123e-05,2.668319e-05,3.006194e-05,3.047444e-05,3.353894e-05,3.509420e-05,3.709202e-05,3.983015e-05,4.069997e-05,4.434281e-05,4.463517e-05,4.800199e-05,4.946640e-05,5.166061e-05,5.428584e-05,5.530343e-05,5.891695e-05,5.906071e-05,6.248935e-05,6.376333e-05,6.601044e-05,6.837099e-05,6.947156e-05,7.286547e-05,7.618623e-05,7.723261e-05,7.942903e-05,8.146175e-05,8.259014e-05,8.554529e-05,8.566670e-05,8.865667e-05,8.947815e-05,9.155870e-05,9.325735e-05,9.437201e-05,9.688167e-05,9.709635e-05,9.973190e-05,1.003513e-04,1.022792e-04,1.036674e-04,1.047391e-04,1.068323e-04,1.071126e-04,1.094010e-04,1.098486e-04,1.116058e-04,1.127198e-04,1.137286e-04,1.154495e-04,1.157710e-04,1.177348e-04,1.180419e-04,1.196220e-04,1.205011e-04,1.214342e-04,1.228314e-04,1.231735e-04,1.248418e-04,1.250374e-04,1.264411e-04,1.271234e-04,1.279732e-04,1.290939e-04,1.294401e-04,1.308437e-04,1.309533e-04,1.321860e-04,1.327061e-04,1.334688e-04,1.343566e-04,1.346939e-04,1.358632e-04,1.359088e-04,1.369785e-04,1.373671e-04,1.380415e-04,1.387354e-04,1.390540e-04,1.400177e-04,1.409342e-04,1.412178e-04,1.418051e-04,1.423393e-04,1.426320e-04,1.433859e-04,1.434165e-04,1.441600e-04,1.443611e-04,1.448641e-04,1.452682e-04,1.455301e-04,1.461104e-04,1.461594e-04,1.467534e-04,1.468909e-04,1.473134e-04,1.476126e-04,1.478407e-04,1.482786e-04,1.483365e-04,1.488020e-04,1.488916e-04,1.492384e-04,1.494543e-04,1.496469e-04,1.499692e-04,1.500284e-04,1.503842e-04,1.504388e-04,1.507152e-04,1.508656e-04,1.510224e-04,1.512517e-04,1.513068e-04,1.515694e-04,1.515995e-04,1.518110e-04,1.519109e-04,1.520325e-04,1.521880e-04,1.522348e-04,1.524188e-04,1.524327e-04,1.525851e-04,1.526469e-04,1.527346e-04,1.528322e-04,1.528680e-04,1.529861e-04,1.529905e-04,1.530894e-04,1.531232e-04,1.531788e-04,1.532319e-04,1.532548e-04,1.533181e-04,1.533832e-04,1.534285e-04,1.534552e-04,1.534646e-04,1.534578e-04,1.534359e-04,1.534000e-04,1.533509e-04,1.532898e-04,1.532174e-04,1.531346e-04,1.530422e-04,1.529409e-04,1.528316e-04,1.527148e-04,1.525912e-04,1.524614e-04,1.523261e-04,1.521857e-04,1.520407e-04,1.518917e-04,1.517391e-04,1.515834e-04,1.514249e-04
0.000000e+00,3.754903e-10,1.394877e-09,9.533197e-09,3.324239e-08,5.844405e-08,1.942060e-07,2.027097e-07,5.198962e-07,6.527738e-07,1.110712e-06,1.648646e-06,2.103341e-06,3.504318e-06,3.652635e-06,5.918058e-06,6.582671e-06,9.012706e-06,1.111907e-05,1.295482e-05,1.706296e-05,1.766423e-05,2.299886e-05,2.412656e-05,2.879720e-05,3.194416e-05,3.490674e-05,4.018270e-05,4.119646e-05,4.755886e-05,4.857755e-05,5.390746e-05,5.692896e-05,6.017288e-05,6.508748e-05,6.629937e-05,7.224213e-05,7.294114e-05,7.796548e-05,8.040680e-05,8.344152e-05,8.742477e-05,8.864927e-05,9.357385e-05,9.395526e-05,9.820580e-05,9.997544e-05,1.025404e-04,1.054768e-04,1.065771e-04,1.103188e-04,1.104624e-04,1.137712e-04,1.149447e-04,1.169422e-04,1.189427e-04,1.198416e-04,1.224804e-04,1.248706e-04,1.255850e-04,1.270246e-04,1.282851e-04,1.289552e-04,1.306102e-04,1.306751e-04,1.321971e-04,1.325894e-04,1.335335e-04,1.342512e-04,1.346963e-04,1.356229e-04,1.356972e-04,1.365473e-04,1.367301e-04,1.372572e-04,1.375972e-04,1.378369e-04,1.382469e-04,1.382959e-04,1.386432e-04,1.387000e-04,1.388873e-04,1.389760e-04,1.390360e-04,1.390927e-04,1.390968e-04,1.390767e-04,1.390664e-04,1.389821e-04,1.389121e-04,1.388193e-04,1.386436e-04,1.385937e-04,1.383108e-04,1.382732e-04,1.379754e-04,1.378124e-04,1.375922e-04,1.372716e-04,1.371654e-04,1.366990e-04,1.366601e-04,1.361967e-04,1.359865e-04,1.356619e-04,1.352585e-04,1.350978e-04,1.345075e-04,1.344834e-04,1.338936e-04,1.336673e-04,1.332587e-04,1.328162e-04,1.326052e-04,1.319352e-04,1.312508e-04,1.310291e-04,1.305539e-04,1.301022e-04,1.298463e-04,1.291583e-04,1.291294e-04,1.284049e-04,1.282009e-04,1.276741e-04,1.272332e-04,1.269383e-04,1.262580e-04,1.261987e-04,1.254563e-04,1.252778e-04,1.247122e-04,1.242951e-04,1.239672e-04,1.233116e-04,1.232223e-04,1.224781e-04,1.223295e-04,1.217355e-04,1.213502e-04,1.209951e-04,1.203752e-04,1.202574e-04,1.195230e-04,1.194058e-04,1.187925e-04,1.184433e-04,1.180662e-04,1.174886e-04,1.173446e-04,1.166282e-04,1.165426e-04,1.159171e-04,1.156061e-04,1.152118e-04,1.146798e-04,1.145125e-04,1.138195e-04,1.137643e-04,1.131329e-04,1.128602e-04,1.124531e-04,1.119678e-04,1.117801e-04,1.111141e-04,1.110877e-04,1.104553e-04,1.102200e-04,1.098038e-04,1.093650e-04,1.091597e-04,1.085230e-04,1.076942e-04,1.068786e-04,1.060764e-04,1.052875e-04,1.045121e-04,1.037502e-04,1.030016e-04,1.022665e-04,1.015446e-04,1.008360e-04,1.001405e-04,9.945799e-05,9.878841e-05,9.813159e-05,9.748739e-05,9.685566e-05,9.623624e-05,9.562897e-05,9.503367e-05,9.445016e-05,9.387828e-05,9.331785e-05,9.276866e-05,9.223056e-05
0.000000e+00,9.620164e-11,3.405431e-10,2.118987e-09,6.826335e-09,1.151502e-08,3.455561e-08,3.592341e-08,8.359403e-08,1.022333e-07,1.627453e-07,2.287167e-07,2.814715e-07,4.325737e-07,4.478238e-07,6.697858e-07,7.321856e-07,9.548404e-07,1.144332e-06,1.308863e-06,1.679680e-06,1.734530e-06,2.230223e-06,2.337327e-06,2.790349e-06,3.104447e-06,3.406828e-06,3.961663e-06,4.070698e-06,4.773147e-06,4.888560e-06,5.505951e-06,5.866235e-06,6.261548e-06,6.877740e-06,7.032976e-06,7.813803e-06,7.907847e-06,8.598088e-06,8.942845e-06,9.380373e-06,9.970501e-06,1.015570e-05,1.091962e-05,1.098012e-05,1.166823e-05,1.196261e-05,1.239816e-05,1.291053e-05,1.310657e-05,1.379116e-05,1.381802e-05,1.445009e-05,1.468075e-05,1.508199e-05,1.549574e-05,1.568590e-05,1.626121e-05,1.680767e-05,1.697643e-05,1.732525e-05,1.764145e-05,1.781420e-05,1.825705e-05,1.827495e-05,1.870807e-05,1.882449e-05,1.911429e-05,1.934543e-05,1.949440e-05,1.982180e-05,1.984929e-05,2.017988e-05,2.025572e-05,2.048715e-05,2.064939e-05,2.077207e-05,2.100510e-05,2.103563e-05,2.127882e-05,2.132510e-05,2.150261e-05,2.161163e-05,2.170795e-05,2.186687e-05,2.189578e-05,2.206700e-05,2.209291e-05,2.222249e-05,2.229178e-05,2.236308e-05,2.246538e-05,2.248959e-05,2.260280e-05,2.261552e-05,2.270344e-05,2.274393e-05,2.279224e-05,2.285222e-05,2.286987e-05,2.293697e-05,2.294190e-05,2.299416e-05,2.301440e-05,2.304203e-05,2.307103e-05,2.308113e-05,2.311198e-05,2.311305e-05,2.313510e-05,2.314161e-05,2.315094e-05,2.315779e-05,2.315996e-05,2.316259e-05,2.315923e-05,2.315696e-05,2.315026e-05,2.314175e-05,2.313604e-05,2.311777e-05,2.311692e-05,2.309321e-05,2.308579e-05,2.306522e-05,2.304649e-05,2.303323e-05,2.300052e-05,2.299754e-05,2.295838e-05,2.294849e-05,2.291600e-05,2.289095e-05,2.287064e-05,2.282842e-05,2.282251e-05,2.277181e-05,2.276138e-05,2.271875e-05,2.269028e-05,2.266349e-05,2.261552e-05,2.260623e-05,2.254711e-05,2.253749e-05,2.248629e-05,2.245654e-05,2.242393e-05,2.237301e-05,2.236014e-05,2.229507e-05,2.228718e-05,2.222884e-05,2.219936e-05,2.216155e-05,2.210978e-05,2.209333e-05,2.202426e-05,2.201871e-05,2.195446e-05,2.192635e-05,2.188400e-05,2.183291e-05,2.181297e-05,2.174146e-05,2.173859e-05,2.166953e-05,2.164355e-05,2.159727e-05,2.154797e-05,2.152473e-05,2.145198e-05,2.135573e-05,2.125935e-05,2.116294e-05,2.106662e-05,2.097049e-05,2.087464e-05,2.077914e-05,2.068408e-05,2.058952e-05,2.049553e-05,2.040217e-05,2.030948e-05,2.021752e-05,2.012633e-05,2.003595e-05,1.994641e-05,1.985775e-05,1.976999e-05,1.968315e-05,1.959727e-05,1.951235e-05,1.942842e-05,1.934549e-05,1.926357e-05
0.000000e+00,6.453879e-11,2.477362e-10,1.806994e-09,6.658689e-09,1.204299e-08,4.271574e-08,4.469250e-08,1.205667e-07,1.530607e-07,2.662877e-07,4.000756e-07,5.130733e-07,8.591664e-07,8.956288e-07,1.450853e-06,1.613938e-06,2.215544e-06,2.747796e-06,3.222507e-06,4.328581e-06,4.496007e-06,6.048627e-06,6.392870e-06,7.880572e-06,8.940355e-06,9.981001e-06,1.193867e-05,1.233026e-05,1.490228e-05,1.533249e-05,1.766673e-05,1.905244e-05,2.059080e-05,2.302221e-05,2.364058e-05,2.678218e-05,2.716376e-05,2.998260e-05,3.140125e-05,3.321041e-05,3.566375e-05,3.643631e-05,3.963354e-05,3.988734e-05,4.277814e-05,4.401646e-05,4.584923e-05,4.800477e-05,4.882900e-05,5.170278e-05,5.181535e-05,5.445892e-05,5.542057e-05,5.708868e-05,5.880152e-05,5.958598e-05,6.194716e-05,6.417076e-05,6.485326e-05,6.625713e-05,6.752123e-05,6.820821e-05,6.995700e-05,7.002727e-05,7.171861e-05,7.216997e-05,7.328730e-05,7.417200e-05,7.473904e-05,7.597657e-05,7.607991e-05,7.731619e-05,7.759804e-05,7.845426e-05,7.905105e-05,7.950047e-05,8.035009e-05,8.046104e-05,8.134201e-05,8.150916e-05,8.214914e-05,8.254151e-05,8.288794e-05,8.345951e-05,8.356358e-05,8.418091e-05,8.427458e-05,8.474447e-05,8.499712e-05,8.525845e-05,8.563655e-05,8.572672e-05,8.615285e-05,8.620132e-05,8.654013e-05,8.669901e-05,8.689156e-05,8.713638e-05,8.720990e-05,8.749767e-05,8.751944e-05,8.775715e-05,8.785350e-05,8.799044e-05,8.814328e-05,8.819946e-05,8.838594e-05,8.839295e-05,8.855148e-05,8.860623e-05,8.869754e-05,8.878641e-05,8.882543e-05,8.893640e-05,8.903154e-05,8.905881e-05,8.911189e-05,8.915599e-05,8.917839e-05,8.923002e-05,8.923192e-05,8.927327e-05,8.928278e-05,8.930320e-05,8.931596e-05,8.932239e-05,8.933111e-05,8.933148e-05,8.933107e-05,8.932962e-05,8.932171e-05,8.931276e-05,8.930392e-05,8.928169e-05,8.927820e-05,8.924499e-05,8.923749e-05,8.920473e-05,8.918114e-05,8.915782e-05,8.911355e-05,8.910463e-05,8.904553e-05,8.903555e-05,8.898085e-05,8.894792e-05,8.891092e-05,8.885139e-05,8.883603e-05,8.875646e-05,8.874661e-05,8.867250e-05,8.863422e-05,8.858439e-05,8.851481e-05,8.849238e-05,8.839671e-05,8.838891e-05,8.829760e-05,8.825703e-05,8.819525e-05,8.811967e-05,8.808987e-05,8.798165e-05,8.797726e-05,8.787076e-05,8.783023e-05,8.775740e-05,8.767897e-05,8.764171e-05,8.752386e-05,8.736524e-05,8.720345e-05,8.703879e-05,8.687156e-05,8.670203e-05,8.653046e-05,8.635710e-05,8.618217e-05,8.600589e-05,8.582846e-05,8.565008e-05,8.547093e-05,8.529118e-05,8.511098e-05,8.493050e-05,8.474987e-05,8.456922e-05,8.438869e-05,8.420838e-05,8.402842e-05,8.384890e-05,8.366993e-05,8.349159e-05,8.331398e-05
0.000000e+00,7.277936e-12,1.663892e-11,5.700103e-11,1.292067e-10,1.881277e-10,4.247518e-10,4.374524e-10,8.418547e-10,9.880933e-10,1.440097e-09,1.909155e-09,2.273393e-09,3.283963e-09,3.383978e-09,4.810987e-09,5.204089e-09,6.583042e-09,7.730162e-09,8.707830e-09,1.085165e-08,1.116192e-08,1.388835e-08,1.445951e-08,1.680789e-08,1.837475e-08,1.983848e-08,2.241823e-08,2.291004e-08,2.596927e-08,2.645486e-08,2.897782e-08,3.039563e-08,3.190855e-08,3.418397e-08,3.474221e-08,3.746520e-08,3.778404e-08,4.006806e-08,4.117355e-08,4.254452e-08,4.433974e-08,4.489088e-08,4.710545e-08,4.727691e-08,4.918823e-08,4.998471e-08,5.114059e-08,5.246685e-08,5.296495e-08,5.466458e-08,5.473002e-08,5.624338e-08,5.678300e-08,5.770573e-08,5.863599e-08,5.905631e-08,6.030001e-08,6.144182e-08,6.178650e-08,6.248675e-08,6.310698e-08,6.343979e-08,6.427281e-08,6.430584e-08,6.508967e-08,6.529505e-08,6.579593e-08,6.618431e-08,6.642908e-08,6.695072e-08,6.699343e-08,6.749310e-08,6.760384e-08,6.793202e-08,6.815269e-08,6.831395e-08,6.860575e-08,6.864247e-08,6.892095e-08,6.897093e-08,6.915263e-08,6.925562e-08,6.934054e-08,6.946668e-08,6.948758e-08,6.959646e-08,6.961051e-08,6.966976e-08,6.969303e-08,6.970992e-08,6.971973e-08,6.971923e-08,6.969985e-08,6.969569e-08,6.965381e-08,6.962561e-08,6.958305e-08,6.951384e-08,6.948936e-08,6.937444e-08,6.936438e-08,6.923991e-08,6.918094e-08,6.908726e-08,6.896693e-08,6.891790e-08,6.873317e-08,6.872547e-08,6.853429e-08,6.845947e-08,6.832246e-08,6.817157e-08,6.809876e-08,6.786423e-08,6.761984e-08,6.753970e-08,6.736650e-08,6.720006e-08,6.710505e-08,6.684718e-08,6.683630e-08,6.656099e-08,6.648283e-08,6.627982e-08,6.610859e-08,6.599345e-08,6.572593e-08,6.570249e-08,6.540752e-08,6.533619e-08,6.510907e-08,6.494061e-08,6.480764e-08,6.454030e-08,6.450371e-08,6.419770e-08,6.413629e-08,6.389004e-08,6.372953e-08,6.358110e-08,6.332086e-08,6.327123e-08,6.296077e-08,6.291106e-08,6.265002e-08,6.250085e-08,6.233928e-08,6.209086e-08,6.202880e-08,6.171883e-08,6.168168e-08,6.140960e-08,6.127383e-08,6.110133e-08,6.086780e-08,6.079421e-08,6.048842e-08,6.046402e-08,6.018414e-08,6.006288e-08,5.988151e-08,5.966473e-08,5.958068e-08,5.928178e-08,5.926987e-08,5.898494e-08,5.887859e-08,5.869025e-08,5.849114e-08,5.839782e-08,5.810774e-08,5.772859e-08,5.735384e-08,5.698366e-08,5.661816e-08,5.625747e-08,5.590167e-08,5.555084e-08,5.520504e-08,5.486432e-08,5.452873e-08,5.419828e-08,5.387299e-08,5.355288e-08,5.323794e-08,5.292817e-08,5.262354e-08,5.232405e-08,5.202965e-08,5.174033e-08,5.145605e-08,5.117676e-08,5.090242e-08,5.063298e-08,5.036840e-08
0.000000e+00,2.110143e-10,7.996101e-10,5.681839e-09,2.046162e-08,3.655817e-08,1.258491e-07,1.315203e-07,3.454423e-07,4.356173e-07,7.461191e-07,1.108380e-06,1.411931e-06,2.333598e-06,2.430213e-06,3.894486e-06,4.322744e-06,5.897297e-06,7.284078e-06,8.515854e-06,1.136455e-05,1.179283e-05,1.572218e-05,1.658222e-05,2.024855e-05,2.280845e-05,2.527925e-05,2.981218e-05,3.070103e-05,3.639507e-05,3.732365e-05,4.224765e-05,4.508260e-05,4.815633e-05,5.286382e-05,5.403279e-05,5.980352e-05,6.048595e-05,6.540917e-05,6.781099e-05,7.080341e-05,7.473982e-05,7.595141e-05,8.082840e-05,8.120631e-05,8.541817e-05,8.717143e-05,8.971173e-05,9.261778e-05,9.370606e-05,9.740300e-05,9.754476e-05,1.008082e-04,1.019643e-04,1.039305e-04,1.058975e-04,1.067806e-04,1.093712e-04,1.117156e-04,1.124162e-04,1.138282e-04,1.150652e-04,1.157232e-04,1.173511e-04,1.174150e-04,1.189177e-04,1.193065e-04,1.202450e-04,1.209626e-04,1.214098e-04,1.223488e-04,1.224247e-04,1.233014e-04,1.234925e-04,1.240510e-04,1.244192e-04,1.246839e-04,1.251519e-04,1.252096e-04,1.256371e-04,1.257116e-04,1.259748e-04,1.261174e-04,1.262303e-04,1.263865e-04,1.264106e-04,1.265223e-04,1.265342e-04,1.265715e-04,1.265745e-04,1.265635e-04,1.265195e-04,1.265036e-04,1.263963e-04,1.263805e-04,1.262460e-04,1.261673e-04,1.260566e-04,1.258887e-04,1.258317e-04,1.255746e-04,1.255527e-04,1.252884e-04,1.251664e-04,1.249758e-04,1.247359e-04,1.246395e-04,1.242817e-04,1.242670e-04,1.239047e-04,1.237647e-04,1.235105e-04,1.232335e-04,1.231008e-04,1.226774e-04,1.222418e-04,1.221001e-04,1.217955e-04,1.215048e-04,1.213397e-04,1.208944e-04,1.208757e-04,1.204046e-04,1.202716e-04,1.199274e-04,1.196385e-04,1.194450e-04,1.189974e-04,1.189584e-04,1.184682e-04,1.183501e-04,1.179753e-04,1.176983e-04,1.174804e-04,1.170436e-04,1.169839e-04,1.164867e-04,1.163872e-04,1.159891e-04,1.157303e-04,1.154916e-04,1.150742e-04,1.149948e-04,1.144989e-04,1.144197e-04,1.140045e-04,1.137678e-04,1.135118e-04,1.131192e-04,1.130212e-04,1.125330e-04,1.124746e-04,1.120474e-04,1.118346e-04,1.115647e-04,1.111999e-04,1.110851e-04,1.106088e-04,1.105708e-04,1.101360e-04,1.099479e-04,1.096669e-04,1.093315e-04,1.092016e-04,1.087403e-04,1.087219e-04,1.082831e-04,1.081195e-04,1.078301e-04,1.075245e-04,1.073814e-04,1.069372e-04,1.063576e-04,1.057861e-04,1.052227e-04,1.046675e-04,1.041207e-04,1.035822e-04,1.030522e-04,1.025307e-04,1.020177e-04,1.015132e-04,1.010172e-04,1.005297e-04,1.000506e-04,9.958001e-05,9.911775e-05,9.866380e-05,9.821811e-05,9.778060e-05,9.735121e-05,9.692986e-05,9.651646e-05,9.611093e-05,9.571317e-05,9.532310e-05
0.000000e+00,1.183130e-10,4.409414e-10,3.029022e-09,1.059090e-08,1.863306e-08,6.187350e-08,6.457628e-08,1.649625e-07,2.068098e-07,3.503401e-07,5.179246e-07,6.589273e-07,1.090357e-06,1.135783e-06,1.823769e-06,2.023518e-06,2.745978e-06,3.362628e-06,3.893239e-06,5.059299e-06,5.227612e-06,6.696243e-06,7.001221e-06,8.244949e-06,9.065875e-06,9.826592e-06,1.115332e-05,1.140425e-05,1.295099e-05,1.319425e-05,1.444809e-05,1.514519e-05,1.588300e-05,1.698051e-05,1.724749e-05,1.853629e-05,1.868569e-05,1.974619e-05,2.025307e-05,2.087550e-05,2.167953e-05,2.192371e-05,2.289136e-05,2.296533e-05,2.377988e-05,2.411360e-05,2.459148e-05,2.512982e-05,2.532908e-05,2.599618e-05,2.602145e-05,2.659668e-05,2.679736e-05,2.713482e-05,2.746738e-05,2.761500e-05,2.804171e-05,2.841936e-05,2.853056e-05,2.875227e-05,2.894375e-05,2.904453e-05,2.929048e-05,2.930005e-05,2.952241e-05,2.957919e-05,2.971495e-05,2.981743e-05,2.988070e-05,3.001189e-05,3.002240e-05,3.014254e-05,3.016841e-05,3.024332e-05,3.029205e-05,3.032672e-05,3.038713e-05,3.039449e-05,3.044820e-05,3.045738e-05,3.048922e-05,3.050595e-05,3.051878e-05,3.053554e-05,3.053795e-05,3.054771e-05,3.054845e-05,3.054889e-05,3.054664e-05,3.054226e-05,3.053179e-05,3.052849e-05,3.050819e-05,3.050534e-05,3.048190e-05,3.046856e-05,3.045010e-05,3.042254e-05,3.041325e-05,3.037174e-05,3.036822e-05,3.032593e-05,3.030647e-05,3.027615e-05,3.023803e-05,3.022272e-05,3.016591e-05,3.016357e-05,3.010599e-05,3.008369e-05,3.004318e-05,2.999894e-05,2.997771e-05,2.990979e-05,2.983961e-05,2.981671e-05,2.976735e-05,2.972009e-05,2.969317e-05,2.962031e-05,2.961724e-05,2.953969e-05,2.951771e-05,2.946067e-05,2.941261e-05,2.938031e-05,2.930529e-05,2.929872e-05,2.921603e-05,2.919603e-05,2.913234e-05,2.908507e-05,2.904775e-05,2.897264e-05,2.896235e-05,2.887624e-05,2.885895e-05,2.878951e-05,2.874419e-05,2.870223e-05,2.862855e-05,2.861448e-05,2.852633e-05,2.851220e-05,2.843785e-05,2.839528e-05,2.834911e-05,2.827796e-05,2.826015e-05,2.817105e-05,2.816035e-05,2.808185e-05,2.804258e-05,2.799261e-05,2.792478e-05,2.790337e-05,2.781417e-05,2.780704e-05,2.772508e-05,2.768947e-05,2.763611e-05,2.757216e-05,2.754731e-05,2.745872e-05,2.745518e-05,2.737037e-05,2.733863e-05,2.728229e-05,2.722257e-05,2.719452e-05,2.710708e-05,2.699220e-05,2.687801e-05,2.676455e-05,2.665187e-05,2.654001e-05,2.642903e-05,2.631894e-05,2.620980e-05,2.610162e-05,2.599444e-05,2.588828e-05,2.578316e-05,2.567911e-05,2.557614e-05,2.547427e-05,2.537352e-05,2.527388e-05,2.517539e-05,2.507804e-05,2.498183e-05,2.488679e-05,2.479291e-05,2.470020e-05,2.460865e-05
0.000000e+00,2.176834e-11,5.087482e-11,1.788332e-10,4.117019e-10,6.040525e-10,1.392419e-09,1.435381e-09,2.833522e-09,3.351885e-09,4.984944e-09,6.705323e-09,8.041216e-09,1.167602e-08,1.202782e-08,1.687957e-08,1.816475e-08,2.252919e-08,2.602392e-08,2.893133e-08,3.516163e-08,3.605327e-08,4.386443e-08,4.550641e-08,5.232996e-08,5.697703e-08,6.140787e-08,6.947009e-08,7.104798e-08,8.119232e-08,8.285797e-08,9.177619e-08,9.699222e-08,1.027298e-07,1.117097e-07,1.139798e-07,1.254516e-07,1.268396e-07,1.370706e-07,1.422109e-07,1.487644e-07,1.576589e-07,1.604636e-07,1.721037e-07,1.730305e-07,1.836252e-07,1.881885e-07,1.949749e-07,2.030136e-07,2.061057e-07,2.169770e-07,2.174059e-07,2.275545e-07,2.312850e-07,2.378103e-07,2.445889e-07,2.477221e-07,2.572728e-07,2.664504e-07,2.693071e-07,2.752474e-07,2.806757e-07,2.836597e-07,2.913725e-07,2.916862e-07,2.993291e-07,3.014009e-07,3.065930e-07,3.107722e-07,3.134846e-07,3.195029e-07,3.200119e-07,3.261843e-07,3.276141e-07,3.320125e-07,3.351302e-07,3.375078e-07,3.420777e-07,3.426820e-07,3.475472e-07,3.484842e-07,3.521158e-07,3.543783e-07,3.564001e-07,3.597885e-07,3.604129e-07,3.641668e-07,3.647442e-07,3.676741e-07,3.692734e-07,3.709461e-07,3.734016e-07,3.739937e-07,3.768278e-07,3.771541e-07,3.794589e-07,3.805549e-07,3.818970e-07,3.836268e-07,3.841517e-07,3.862322e-07,3.863913e-07,3.881472e-07,3.888689e-07,3.899054e-07,3.910786e-07,3.915147e-07,3.929828e-07,3.930387e-07,3.943171e-07,3.947660e-07,3.955244e-07,3.962763e-07,3.966114e-07,3.975843e-07,3.984491e-07,3.987039e-07,3.992114e-07,3.996481e-07,3.998767e-07,4.004289e-07,4.004501e-07,4.009364e-07,4.010576e-07,4.013402e-07,4.015448e-07,4.016660e-07,4.019002e-07,4.019178e-07,4.020995e-07,4.021332e-07,4.022151e-07,4.022522e-07,4.022679e-07,4.022652e-07,4.022614e-07,4.021988e-07,4.021798e-07,4.020830e-07,4.020028e-07,4.019170e-07,4.017408e-07,4.017036e-07,4.014452e-07,4.013999e-07,4.011444e-07,4.009857e-07,4.008036e-07,4.005035e-07,4.004249e-07,4.000104e-07,3.999584e-07,3.995623e-07,3.993549e-07,3.990824e-07,3.986975e-07,3.985724e-07,3.980343e-07,3.979900e-07,3.974695e-07,3.972365e-07,3.968797e-07,3.964403e-07,3.962663e-07,3.956307e-07,3.956049e-07,3.949744e-07,3.947333e-07,3.942986e-07,3.938285e-07,3.936045e-07,3.928932e-07,3.919300e-07,3.909414e-07,3.899294e-07,3.888964e-07,3.878442e-07,3.867747e-07,3.856897e-07,3.845908e-07,3.834797e-07,3.823576e-07,3.812260e-07,3.800862e-07,3.789393e-07,3.777866e-07,3.766290e-07,3.754676e-07,3.743033e-07,3.731369e-07,3.719694e-07,3.708014e-07,3.696338e-07,3.684671e-07,3.673021e-07,3.661393e-07
0.000000e+00,1.275375e-10,4.856623e-10,3.483874e-09,1.264356e-08,2.267645e-08,7.871477e-08,8.228554e-08,2.173403e-07,2.743582e-07,4.706692e-07,6.993507e-07,8.905542e-07,1.468640e-06,1.529033e-06,2.440325e-06,2.705662e-06,3.678041e-06,4.531880e-06,5.289484e-06,7.042792e-06,7.306836e-06,9.738388e-06,1.027316e-05,1.256451e-05,1.417590e-05,1.574014e-05,1.863170e-05,1.920183e-05,2.287609e-05,2.347859e-05,2.668686e-05,2.854283e-05,3.056100e-05,3.366082e-05,3.443177e-05,3.824075e-05,3.869124e-05,4.193859e-05,4.351973e-05,4.548500e-05,4.805919e-05,4.884829e-05,5.200471e-05,5.224774e-05,5.493765e-05,5.604574e-05,5.763678e-05,5.943246e-05,6.009725e-05,6.231882e-05,6.240276e-05,6.430517e-05,6.496390e-05,6.606311e-05,6.713270e-05,6.760193e-05,6.893280e-05,7.006822e-05,7.039244e-05,7.102153e-05,7.154244e-05,7.180652e-05,7.241464e-05,7.243707e-05,7.292687e-05,7.304061e-05,7.328921e-05,7.345075e-05,7.353681e-05,7.367362e-05,7.368170e-05,7.373512e-05,7.373551e-05,7.370751e-05,7.366027e-05,7.360846e-05,7.346917e-05,7.344672e-05,7.323025e-05,7.318103e-05,7.296620e-05,7.281227e-05,7.266105e-05,7.237718e-05,7.232054e-05,7.194981e-05,7.188800e-05,7.155343e-05,7.135525e-05,7.113542e-05,7.078786e-05,7.069936e-05,7.024839e-05,7.019340e-05,6.978527e-05,6.957828e-05,6.931242e-05,6.894789e-05,6.883199e-05,6.834585e-05,6.830676e-05,6.785561e-05,6.765871e-05,6.736273e-05,6.700693e-05,6.686846e-05,6.637388e-05,6.635411e-05,6.587996e-05,6.570247e-05,6.538753e-05,6.505391e-05,6.489733e-05,6.440998e-05,6.392606e-05,6.377200e-05,6.344603e-05,6.314106e-05,6.297033e-05,6.251806e-05,6.249931e-05,6.203328e-05,6.190373e-05,6.157252e-05,6.129868e-05,6.111725e-05,6.070342e-05,6.066767e-05,6.022394e-05,6.011833e-05,5.978620e-05,5.954373e-05,5.935458e-05,5.897987e-05,5.892914e-05,5.850998e-05,5.842691e-05,5.809714e-05,5.788498e-05,5.769067e-05,5.735416e-05,5.729058e-05,5.689689e-05,5.683449e-05,5.650960e-05,5.632597e-05,5.612870e-05,5.582857e-05,5.575418e-05,5.538600e-05,5.534224e-05,5.502413e-05,5.486690e-05,5.466854e-05,5.440246e-05,5.431918e-05,5.397599e-05,5.394879e-05,5.363891e-05,5.350578e-05,5.330790e-05,5.307328e-05,5.298288e-05,5.266379e-05,5.265115e-05,5.235056e-05,5.223921e-05,5.204311e-05,5.183731e-05,5.174137e-05,5.144527e-05,5.106291e-05,5.069005e-05,5.032651e-05,4.997209e-05,4.962661e-05,4.928988e-05,4.896171e-05,4.864190e-05,4.833028e-05,4.802665e-05,4.773082e-05,4.744261e-05,4.716184e-05,4.688833e-05,4.662190e-05,4.636237e-05,4.610957e-05,4.586333e-05,4.562349e-05,4.538988e-05,4.516233e-05,4.494070e-05,4.472483e-05,4.451456e-05
0.000000e+00,1.003877e-10,3.681776e-10,2.453244e-09,8.370242e-09,1.454886e-08,4.702442e-08,4.903100e-08,1.226900e-07,1.530983e-07,2.567519e-07,3.770621e-07,4.779342e-07,7.852279e-07,8.174830e-07,1.304044e-06,1.444723e-06,1.952051e-06,2.384152e-06,2.756073e-06,3.576619e-06,3.695662e-06,4.744208e-06,4.964637e-06,5.875541e-06,6.488838e-06,7.066905e-06,8.100132e-06,8.299423e-06,9.557494e-06,9.760250e-06,1.082796e-05,1.143879e-05,1.209944e-05,1.311057e-05,1.336189e-05,1.460638e-05,1.475413e-05,1.582503e-05,1.635125e-05,1.701099e-05,1.788686e-05,1.815848e-05,1.926274e-05,1.934909e-05,2.032006e-05,2.072921e-05,2.132773e-05,2.202145e-05,2.228392e-05,2.318764e-05,2.322269e-05,2.403862e-05,2.433211e-05,2.483721e-05,2.535075e-05,2.558428e-05,2.628113e-05,2.692937e-05,2.712684e-05,2.753086e-05,2.789223e-05,2.808766e-05,2.858212e-05,2.860190e-05,2.907580e-05,2.920158e-05,2.951162e-05,2.975575e-05,2.991156e-05,3.024971e-05,3.027783e-05,3.061251e-05,3.068837e-05,3.091765e-05,3.107636e-05,3.119520e-05,3.141809e-05,3.144701e-05,3.167484e-05,3.171767e-05,3.188034e-05,3.197889e-05,3.206506e-05,3.220526e-05,3.223049e-05,3.237797e-05,3.239999e-05,3.250881e-05,3.256605e-05,3.262418e-05,3.270611e-05,3.272522e-05,3.281294e-05,3.282262e-05,3.288833e-05,3.291782e-05,3.295227e-05,3.299372e-05,3.300560e-05,3.304910e-05,3.305217e-05,3.308348e-05,3.309484e-05,3.310943e-05,3.312323e-05,3.312755e-05,3.313843e-05,3.313873e-05,3.314261e-05,3.314257e-05,3.314058e-05,3.313589e-05,3.313281e-05,3.311973e-05,3.310173e-05,3.309500e-05,3.307920e-05,3.306257e-05,3.305249e-05,3.302319e-05,3.302190e-05,3.298775e-05,3.297759e-05,3.295032e-05,3.292639e-05,3.290986e-05,3.287017e-05,3.286662e-05,3.282083e-05,3.280948e-05,3.277270e-05,3.274479e-05,3.272242e-05,3.267656e-05,3.267019e-05,3.261617e-05,3.260517e-05,3.256053e-05,3.253100e-05,3.250341e-05,3.245440e-05,3.244496e-05,3.238531e-05,3.237566e-05,3.232458e-05,3.229508e-05,3.226288e-05,3.221290e-05,3.220033e-05,3.213702e-05,3.212938e-05,3.207305e-05,3.204472e-05,3.200851e-05,3.195913e-05,3.194348e-05,3.187803e-05,3.187278e-05,3.181225e-05,3.178586e-05,3.174619e-05,3.169850e-05,3.167992e-05,3.161351e-05,3.161085e-05,3.154700e-05,3.152304e-05,3.148044e-05,3.143519e-05,3.141390e-05,3.134740e-05,3.125979e-05,3.117242e-05,3.108540e-05,3.099880e-05,3.091268e-05,3.082711e-05,3.074214e-05,3.065784e-05,3.057424e-05,3.049138e-05,3.040932e-05,3.032808e-05,3.024769e-05,3.016818e-05,3.008958e-05,3.001191e-05,2.993518e-05,2.985942e-05,2.978464e-05,2.971085e-05,2.963806e-05,2.956628e-05,2.949552e-05,2.942578e-05
0.000000e+00,2.192399e-10,6.211966e-10,2.719949e-09,6.959626e-09,1.061290e-08,2.603165e-08,2.687960e-08,5.443397e-08,6.457422e-08,9.625100e-08,1.294622e-07,1.553890e-07,2.275073e-07,2.346360e-07,3.355499e-07,3.629827e-07,4.576761e-07,5.346444e-07,5.991051e-07,7.377308e-07,7.575748e-07,9.309557e-07,9.672447e-07,1.117257e-06,1.218595e-06,1.314535e-06,1.487309e-06,1.520846e-06,1.734243e-06,1.768916e-06,1.952812e-06,2.059015e-06,2.174703e-06,2.353434e-06,2.398177e-06,2.621631e-06,2.648374e-06,2.843628e-06,2.940513e-06,3.062903e-06,3.227057e-06,3.278370e-06,3.489118e-06,3.505750e-06,3.694401e-06,3.774847e-06,3.893627e-06,4.033057e-06,4.086339e-06,4.272203e-06,4.279492e-06,4.450991e-06,4.513592e-06,4.622562e-06,4.735074e-06,4.786854e-06,4.943868e-06,5.093656e-06,5.140077e-06,5.236313e-06,5.323929e-06,5.371966e-06,5.495747e-06,5.500770e-06,5.622900e-06,5.655925e-06,5.738545e-06,5.804902e-06,5.847905e-06,5.943145e-06,5.951189e-06,6.048610e-06,6.071142e-06,6.140380e-06,6.189384e-06,6.226716e-06,6.298364e-06,6.307829e-06,6.383932e-06,6.398569e-06,6.455231e-06,6.490476e-06,6.521930e-06,6.574548e-06,6.584228e-06,6.642317e-06,6.651234e-06,6.696387e-06,6.720966e-06,6.746619e-06,6.784160e-06,6.793190e-06,6.836271e-06,6.841214e-06,6.876026e-06,6.892506e-06,6.912615e-06,6.938400e-06,6.946191e-06,6.976901e-06,6.979239e-06,7.004888e-06,7.015351e-06,7.030287e-06,7.047046e-06,7.053230e-06,7.073841e-06,7.074619e-06,7.092243e-06,7.098349e-06,7.108550e-06,7.118498e-06,7.122872e-06,7.135317e-06,7.145985e-06,7.149040e-06,7.154974e-06,7.159889e-06,7.162376e-06,7.168073e-06,7.168281e-06,7.172773e-06,7.173789e-06,7.175933e-06,7.177223e-06,7.177839e-06,7.178549e-06,7.178565e-06,7.178181e-06,7.177931e-06,7.176754e-06,7.175523e-06,7.174348e-06,7.171471e-06,7.171026e-06,7.166845e-06,7.165910e-06,7.161860e-06,7.158968e-06,7.156125e-06,7.150764e-06,7.149689e-06,7.142602e-06,7.141410e-06,7.134908e-06,7.131012e-06,7.126650e-06,7.119666e-06,7.117871e-06,7.108608e-06,7.107466e-06,7.098901e-06,7.094497e-06,7.088782e-06,7.080839e-06,7.078287e-06,7.067448e-06,7.066566e-06,7.056293e-06,7.051750e-06,7.044853e-06,7.036454e-06,7.033153e-06,7.021221e-06,7.020739e-06,7.009079e-06,7.004662e-06,6.996752e-06,6.988275e-06,6.984261e-06,6.971626e-06,6.954762e-06,6.937724e-06,6.920552e-06,6.903280e-06,6.885942e-06,6.868569e-06,6.851189e-06,6.833829e-06,6.816512e-06,6.799260e-06,6.782094e-06,6.765031e-06,6.748090e-06,6.731284e-06,6.714628e-06,6.698135e-06,6.681816e-06,6.665680e-06,6.649738e-06,6.633998e-06,6.618466e-06,6.603148e-06,6.588051e-06,6.573178e-06
0.000000e+00,3.203570e-10,1.193619e-09,8.198790e-09,2.866077e-08,5.039864e-08,1.666716e-07,1.739024e-07,4.393011e-07,5.481561e-07,9.141608e-07,1.328683e-06,1.668356e-06,2.668601e-06,2.771268e-06,4.290077e-06,4.723622e-06,6.288062e-06,7.637678e-06,8.821613e-06,1.152958e-05,1.193479e-05,1.565189e-05,1.646814e-05,1.997142e-05,2.244725e-05,2.486518e-05,2.938357e-05,3.028313e-05,3.616096e-05,3.713936e-05,4.242725e-05,4.555149e-05,4.900864e-05,5.445203e-05,5.583296e-05,6.283096e-05,6.367925e-05,6.993725e-05,7.308240e-05,7.709068e-05,8.252389e-05,8.423478e-05,9.131800e-05,9.188060e-05,9.829394e-05,1.010449e-04,1.051215e-04,1.099252e-04,1.117650e-04,1.181939e-04,1.184463e-04,1.243832e-04,1.265487e-04,1.303126e-04,1.341880e-04,1.359665e-04,1.413337e-04,1.464068e-04,1.479673e-04,1.511818e-04,1.540809e-04,1.556580e-04,1.596754e-04,1.598369e-04,1.637226e-04,1.647587e-04,1.673207e-04,1.693446e-04,1.706387e-04,1.734510e-04,1.736849e-04,1.764687e-04,1.770989e-04,1.790002e-04,1.803116e-04,1.812900e-04,1.831137e-04,1.833489e-04,1.851880e-04,1.855304e-04,1.868182e-04,1.875871e-04,1.882507e-04,1.893090e-04,1.894962e-04,1.905653e-04,1.907207e-04,1.914684e-04,1.918458e-04,1.922155e-04,1.927074e-04,1.928163e-04,1.932801e-04,1.933270e-04,1.936160e-04,1.937255e-04,1.938325e-04,1.939222e-04,1.939378e-04,1.939397e-04,1.939357e-04,1.938458e-04,1.937830e-04,1.936630e-04,1.934802e-04,1.933981e-04,1.930575e-04,1.930424e-04,1.926471e-04,1.924834e-04,1.921727e-04,1.918163e-04,1.916397e-04,1.910530e-04,1.904175e-04,1.902046e-04,1.897377e-04,1.892813e-04,1.890177e-04,1.882925e-04,1.882617e-04,1.874732e-04,1.872470e-04,1.866557e-04,1.861528e-04,1.858126e-04,1.850170e-04,1.849470e-04,1.840616e-04,1.838464e-04,1.831591e-04,1.826473e-04,1.822421e-04,1.814250e-04,1.813129e-04,1.803736e-04,1.801848e-04,1.794263e-04,1.789312e-04,1.784729e-04,1.776685e-04,1.775150e-04,1.765543e-04,1.764005e-04,1.755924e-04,1.751306e-04,1.746305e-04,1.738619e-04,1.736699e-04,1.727119e-04,1.725972e-04,1.717575e-04,1.713390e-04,1.708077e-04,1.700895e-04,1.698635e-04,1.689255e-04,1.688508e-04,1.679947e-04,1.676246e-04,1.670717e-04,1.664124e-04,1.661572e-04,1.652516e-04,1.652156e-04,1.643555e-04,1.640353e-04,1.634694e-04,1.628727e-04,1.625937e-04,1.617286e-04,1.606038e-04,1.594988e-04,1.584142e-04,1.573504e-04,1.563077e-04,1.552864e-04,1.542867e-04,1.533085e-04,1.523520e-04,1.514171e-04,1.505038e-04,1.496119e-04,1.487413e-04,1.478918e-04,1.470632e-04,1.462552e-04,1.454675e-04,1.447000e-04,1.439522e-04,1.432238e-04,1.425145e-04,1.418240e-04,1.411518e-04,1.404977e-04
0.000000e+00,3.049157e-10,9.778397e-10,5.134490e-09,1.468271e-08,2.348895e-08,6.366173e-08,6.597235e-08,1.451338e-07,1.759504e-07,2.769773e-07,3.893942e-07,4.808372e-07,7.467385e-07,7.736523e-07,1.160370e-06,1.266434e-06,1.633083e-06,1.930780e-06,2.179621e-06,2.713387e-06,2.789677e-06,3.455728e-06,3.595131e-06,4.171997e-06,4.562618e-06,4.933435e-06,5.604338e-06,5.735100e-06,6.571872e-06,6.708657e-06,7.438377e-06,7.863231e-06,8.329044e-06,9.055134e-06,9.238158e-06,1.016004e-05,1.027126e-05,1.108916e-05,1.149890e-05,1.202025e-05,1.272616e-05,1.294841e-05,1.386912e-05,1.394233e-05,1.477834e-05,1.513801e-05,1.567253e-05,1.630528e-05,1.654859e-05,1.740393e-05,1.743768e-05,1.823637e-05,1.853010e-05,1.904418e-05,1.957869e-05,1.982597e-05,2.058071e-05,2.130767e-05,2.153435e-05,2.200639e-05,2.243861e-05,2.267660e-05,2.329316e-05,2.331828e-05,2.393153e-05,2.409817e-05,2.451660e-05,2.485427e-05,2.507386e-05,2.556238e-05,2.560378e-05,2.610688e-05,2.622370e-05,2.658377e-05,2.683961e-05,2.703507e-05,2.741160e-05,2.746148e-05,2.786369e-05,2.794129e-05,2.824242e-05,2.843032e-05,2.859840e-05,2.888038e-05,2.893237e-05,2.924506e-05,2.929317e-05,2.953722e-05,2.967037e-05,2.980955e-05,3.001364e-05,3.006280e-05,3.029766e-05,3.032464e-05,3.051482e-05,3.060495e-05,3.071498e-05,3.085614e-05,3.089880e-05,3.106693e-05,3.107972e-05,3.122001e-05,3.127716e-05,3.135865e-05,3.144987e-05,3.148346e-05,3.159502e-05,3.159921e-05,3.169390e-05,3.172650e-05,3.178065e-05,3.183299e-05,3.185581e-05,3.191990e-05,3.197340e-05,3.198837e-05,3.201682e-05,3.203952e-05,3.205061e-05,3.207441e-05,3.207522e-05,3.209110e-05,3.209404e-05,3.209867e-05,3.209939e-05,3.209833e-05,3.209136e-05,3.209047e-05,3.207547e-05,3.207085e-05,3.205369e-05,3.203867e-05,3.202549e-05,3.199563e-05,3.199121e-05,3.195115e-05,3.194248e-05,3.190565e-05,3.187993e-05,3.185499e-05,3.180867e-05,3.179947e-05,3.173937e-05,3.172934e-05,3.167494e-05,3.164255e-05,3.160644e-05,3.154888e-05,3.153413e-05,3.145823e-05,3.144889e-05,3.137896e-05,3.134308e-05,3.129656e-05,3.123196e-05,3.121122e-05,3.112314e-05,3.111598e-05,3.103251e-05,3.099559e-05,3.093952e-05,3.087120e-05,3.084433e-05,3.074713e-05,3.074320e-05,3.064805e-05,3.061196e-05,3.054726e-05,3.047783e-05,3.044491e-05,3.034113e-05,3.020217e-05,3.006125e-05,2.991863e-05,2.977457e-05,2.962931e-05,2.948308e-05,2.933608e-05,2.918851e-05,2.904056e-05,2.889240e-05,2.874418e-05,2.859606e-05,2.844819e-05,2.830068e-05,2.815366e-05,2.800723e-05,2.786152e-05,2.771660e-05,2.757257e-05,2.742950e-05,2.728748e-05,2.714657e-05,2.700684e-05,2.686833e-05
0.000000e+00,8.907242e-11,3.432856e-10,2.525289e-09,9.379215e-09,1.703741e-08,6.111166e-08,6.396858e-08,1.744333e-07,2.220671e-07,3.889516e-07,5.873150e-07,7.554907e-07,1.272771e-06,1.327404e-06,2.161424e-06,2.407041e-06,3.315564e-06,4.122983e-06,4.846479e-06,6.546534e-06,6.805769e-06,9.235374e-06,9.780483e-06,1.216338e-05,1.388753e-05,1.560172e-05,1.888169e-05,1.954621e-05,2.397812e-05,2.473056e-05,2.886670e-05,3.136388e-05,3.417163e-05,3.868371e-05,3.984556e-05,4.583623e-05,4.657380e-05,5.208839e-05,5.490761e-05,5.854546e-05,6.355511e-05,6.515099e-05,7.184987e-05,7.238821e-05,7.858934e-05,8.128527e-05,8.531984e-05,9.013440e-05,9.199564e-05,9.857530e-05,9.883595e-05,1.050219e-04,1.073038e-04,1.113034e-04,1.154662e-04,1.173921e-04,1.232653e-04,1.289043e-04,1.306569e-04,1.342949e-04,1.376094e-04,1.394263e-04,1.441022e-04,1.442916e-04,1.488866e-04,1.501245e-04,1.532100e-04,1.556740e-04,1.572629e-04,1.607552e-04,1.610483e-04,1.645710e-04,1.653780e-04,1.678372e-04,1.695569e-04,1.708542e-04,1.733096e-04,1.736303e-04,1.761742e-04,1.766560e-04,1.784955e-04,1.796178e-04,1.806039e-04,1.822175e-04,1.825091e-04,1.842214e-04,1.844781e-04,1.857505e-04,1.864224e-04,1.871065e-04,1.880730e-04,1.882989e-04,1.893372e-04,1.894519e-04,1.902307e-04,1.905802e-04,1.909882e-04,1.914783e-04,1.916183e-04,1.921294e-04,1.921653e-04,1.925291e-04,1.926596e-04,1.928253e-04,1.929784e-04,1.930250e-04,1.931350e-04,1.931377e-04,1.931620e-04,1.931526e-04,1.931120e-04,1.930371e-04,1.929910e-04,1.928044e-04,1.925574e-04,1.924665e-04,1.922551e-04,1.920346e-04,1.919019e-04,1.915191e-04,1.915023e-04,1.910604e-04,1.909296e-04,1.905800e-04,1.902748e-04,1.900648e-04,1.895628e-04,1.895180e-04,1.889430e-04,1.888011e-04,1.883427e-04,1.879964e-04,1.877198e-04,1.871550e-04,1.870769e-04,1.864165e-04,1.862826e-04,1.857409e-04,1.853842e-04,1.850521e-04,1.844648e-04,1.843521e-04,1.836428e-04,1.835285e-04,1.829258e-04,1.825793e-04,1.822027e-04,1.816208e-04,1.814749e-04,1.807439e-04,1.806560e-04,1.800109e-04,1.796880e-04,1.792770e-04,1.787193e-04,1.785433e-04,1.778108e-04,1.777523e-04,1.770804e-04,1.767890e-04,1.763530e-04,1.758314e-04,1.756292e-04,1.749098e-04,1.748812e-04,1.741955e-04,1.739397e-04,1.734868e-04,1.730083e-04,1.727842e-04,1.720882e-04,1.711803e-04,1.702857e-04,1.694049e-04,1.685386e-04,1.676875e-04,1.668519e-04,1.660322e-04,1.652287e-04,1.644417e-04,1.636713e-04,1.629176e-04,1.621806e-04,1.614604e-04,1.607570e-04,1.600702e-04,1.594001e-04,1.587464e-04,1.581090e-04,1.574877e-04,1.568824e-04,1.562928e-04,1.557187e-04,1.551599e-04,1.546161e-04
0.000000e+00,7.310536e-10,2.210003e-09,1.057004e-08,2.839545e-08,4.414045e-08,1.121352e-07,1.159172e-07,2.401102e-07,2.862733e-07,4.316098e-07,5.855576e-07,7.067878e-07,1.049066e-06,1.083331e-06,1.577475e-06,1.714776e-06,2.197738e-06,2.599013e-06,2.939604e-06,3.681089e-06,3.787884e-06,4.724065e-06,4.920314e-06,5.731273e-06,6.278307e-06,6.795383e-06,7.724385e-06,7.904391e-06,9.047599e-06,9.233014e-06,1.021507e-05,1.078128e-05,1.139734e-05,1.234774e-05,1.258539e-05,1.377061e-05,1.391226e-05,1.494497e-05,1.545630e-05,1.610103e-05,1.696325e-05,1.723210e-05,1.833227e-05,1.841879e-05,1.939645e-05,1.981106e-05,2.042037e-05,2.113069e-05,2.140058e-05,2.233439e-05,2.237075e-05,2.321987e-05,2.352654e-05,2.405570e-05,2.459534e-05,2.484119e-05,2.557616e-05,2.626087e-05,2.646945e-05,2.689596e-05,2.727682e-05,2.748241e-05,2.800077e-05,2.802144e-05,2.851446e-05,2.864447e-05,2.896306e-05,2.921162e-05,2.936897e-05,2.970623e-05,2.973396e-05,3.005989e-05,3.013251e-05,3.034862e-05,3.049477e-05,3.060204e-05,3.079733e-05,3.082202e-05,3.101040e-05,3.104444e-05,3.116899e-05,3.124026e-05,3.129955e-05,3.138881e-05,3.140379e-05,3.148338e-05,3.149393e-05,3.153990e-05,3.155929e-05,3.157489e-05,3.158837e-05,3.158982e-05,3.158608e-05,3.158444e-05,3.156500e-05,3.155057e-05,3.152786e-05,3.148964e-05,3.147586e-05,3.141015e-05,3.140433e-05,3.133181e-05,3.129717e-05,3.124186e-05,3.117047e-05,3.114129e-05,3.103099e-05,3.102639e-05,3.091184e-05,3.086693e-05,3.078464e-05,3.069394e-05,3.065016e-05,3.050913e-05,3.036221e-05,3.031405e-05,3.021003e-05,3.011016e-05,3.005320e-05,2.989877e-05,2.989226e-05,2.972774e-05,2.968110e-05,2.956012e-05,2.945825e-05,2.938985e-05,2.923124e-05,2.921737e-05,2.904306e-05,2.900099e-05,2.886728e-05,2.876834e-05,2.869039e-05,2.853405e-05,2.851269e-05,2.833448e-05,2.829880e-05,2.815604e-05,2.806323e-05,2.797760e-05,2.782790e-05,2.779941e-05,2.762168e-05,2.759330e-05,2.744461e-05,2.735990e-05,2.726837e-05,2.712809e-05,2.709313e-05,2.691904e-05,2.689823e-05,2.674624e-05,2.667065e-05,2.657486e-05,2.644562e-05,2.640500e-05,2.623678e-05,2.622339e-05,2.607027e-05,2.600418e-05,2.590558e-05,2.578816e-05,2.574276e-05,2.558189e-05,2.557550e-05,2.542303e-05,2.536634e-05,2.526621e-05,2.516077e-05,2.511149e-05,2.495891e-05,2.476082e-05,2.456655e-05,2.437615e-05,2.418965e-05,2.400707e-05,2.382840e-05,2.365365e-05,2.348281e-05,2.331584e-05,2.315272e-05,2.299342e-05,2.283789e-05,2.268609e-05,2.253797e-05,2.239347e-05,2.225255e-05,2.211513e-05,2.198117e-05,2.185059e-05,2.172332e-05,2.159932e-05,2.147850e-05,2.136080e-05,2.124615e-05
0.000000e+00,7.589958e-11,1.787314e-10,6.332120e-10,1.460623e-09,2.141668e-09,4.899693e-09,5.048347e-09,9.797553e-09,1.151969e-08,1.685084e-08,2.239124e-08,2.669688e-08,3.864556e-08,3.982743e-08,5.664185e-08,6.124913e-08,7.728804e-08,9.046532e-08,1.015781e-07,1.256361e-07,1.290920e-07,1.593491e-07,1.656893e-07,1.919009e-07,2.096003e-07,2.263474e-07,2.564801e-07,2.623252e-07,2.994961e-07,3.055325e-07,3.375401e-07,3.560219e-07,3.761548e-07,4.072661e-07,4.150565e-07,4.539833e-07,4.586446e-07,4.926977e-07,5.096091e-07,5.309875e-07,5.596884e-07,5.686669e-07,6.055778e-07,6.084933e-07,6.415873e-07,6.557138e-07,6.765873e-07,7.011132e-07,7.104920e-07,7.432362e-07,7.445211e-07,7.747725e-07,7.858234e-07,8.050694e-07,8.249537e-07,8.341089e-07,8.618844e-07,8.883991e-07,8.966192e-07,9.136642e-07,9.291859e-07,9.376971e-07,9.596307e-07,9.605208e-07,9.821621e-07,9.880138e-07,1.002651e-06,1.014405e-06,1.022021e-06,1.038882e-06,1.040306e-06,1.057541e-06,1.061526e-06,1.073763e-06,1.082418e-06,1.089007e-06,1.101643e-06,1.103311e-06,1.116710e-06,1.119284e-06,1.129240e-06,1.135424e-06,1.140937e-06,1.150144e-06,1.151835e-06,1.161969e-06,1.163521e-06,1.171370e-06,1.175632e-06,1.180071e-06,1.186550e-06,1.188104e-06,1.195498e-06,1.196344e-06,1.202283e-06,1.205083e-06,1.208487e-06,1.212830e-06,1.214137e-06,1.219260e-06,1.219648e-06,1.223881e-06,1.225595e-06,1.228025e-06,1.230725e-06,1.231714e-06,1.234972e-06,1.235093e-06,1.237820e-06,1.238749e-06,1.240279e-06,1.241740e-06,1.242370e-06,1.244111e-06,1.245521e-06,1.245905e-06,1.246617e-06,1.247163e-06,1.247417e-06,1.247922e-06,1.247937e-06,1.248192e-06,1.248218e-06,1.248197e-06,1.248087e-06,1.247967e-06,1.247559e-06,1.247514e-06,1.246853e-06,1.246664e-06,1.245995e-06,1.245433e-06,1.244952e-06,1.243890e-06,1.243736e-06,1.242357e-06,1.242062e-06,1.240826e-06,1.239972e-06,1.239152e-06,1.237643e-06,1.237346e-06,1.235415e-06,1.235095e-06,1.233369e-06,1.232349e-06,1.231216e-06,1.229421e-06,1.228963e-06,1.226618e-06,1.226331e-06,1.224188e-06,1.223094e-06,1.221680e-06,1.219725e-06,1.219099e-06,1.216452e-06,1.216238e-06,1.213745e-06,1.212647e-06,1.210984e-06,1.208964e-06,1.208172e-06,1.205317e-06,1.205201e-06,1.202421e-06,1.201369e-06,1.199489e-06,1.197477e-06,1.196526e-06,1.193536e-06,1.189553e-06,1.185538e-06,1.181497e-06,1.177438e-06,1.173366e-06,1.169290e-06,1.165213e-06,1.161141e-06,1.157079e-06,1.153031e-06,1.149002e-06,1.144994e-06,1.141012e-06,1.137059e-06,1.133137e-06,1.129249e-06,1.125397e-06,1.121584e-06,1.117811e-06,1.114081e-06,1.110394e-06,1.106752e-06,1.103156e-06,1.099608e-06
0.000000e+00,2.438119e-10,9.485524e-10,7.117417e-09,2.693020e-08,4.943461e-08,1.824350e-07,1.911944e-07,5.377784e-07,6.908282e-07,1.239294e-06,1.910736e-06,2.493397e-06,4.346964e-06,4.547381e-06,7.694991e-06,8.648841e-06,1.225918e-05,1.555343e-05,1.855655e-05,2.574656e-05,2.685513e-05,3.734360e-05,3.971426e-05,5.011941e-05,5.767305e-05,6.519164e-05,7.957875e-05,8.249167e-05,1.018869e-04,1.051730e-04,1.231949e-04,1.340387e-04,1.461958e-04,1.656512e-04,1.706444e-04,1.962798e-04,1.994231e-04,2.228345e-04,2.347408e-04,2.500415e-04,2.709946e-04,2.776406e-04,3.053836e-04,3.076022e-04,3.330382e-04,3.440269e-04,3.603912e-04,3.797900e-04,3.872506e-04,4.134467e-04,4.144786e-04,4.388332e-04,4.477496e-04,4.632865e-04,4.793293e-04,4.867057e-04,5.090110e-04,5.301427e-04,5.366498e-04,5.500597e-04,5.621570e-04,5.687373e-04,5.854927e-04,5.861658e-04,6.023488e-04,6.066586e-04,6.173008e-04,6.256910e-04,6.310463e-04,6.426542e-04,6.436175e-04,6.550530e-04,6.576333e-04,6.653962e-04,6.707289e-04,6.746947e-04,6.820528e-04,6.829985e-04,6.903595e-04,6.917232e-04,6.968304e-04,6.998610e-04,7.024641e-04,7.065878e-04,7.073130e-04,7.114287e-04,7.120225e-04,7.148614e-04,7.162809e-04,7.176599e-04,7.194736e-04,7.198710e-04,7.215395e-04,7.217053e-04,7.227081e-04,7.230744e-04,7.234172e-04,7.236725e-04,7.237052e-04,7.236079e-04,7.235845e-04,7.231591e-04,7.228884e-04,7.223905e-04,7.216557e-04,7.213315e-04,7.200096e-04,7.199516e-04,7.184503e-04,7.178355e-04,7.166774e-04,7.153609e-04,7.147126e-04,7.125764e-04,7.102873e-04,7.095254e-04,7.078626e-04,7.062470e-04,7.053182e-04,7.027765e-04,7.026687e-04,6.999274e-04,6.991451e-04,6.971067e-04,6.953808e-04,6.942178e-04,6.915086e-04,6.912709e-04,6.882757e-04,6.875505e-04,6.852405e-04,6.835265e-04,6.821735e-04,6.794538e-04,6.790817e-04,6.759716e-04,6.753480e-04,6.728493e-04,6.712227e-04,6.697202e-04,6.670901e-04,6.665892e-04,6.634608e-04,6.629607e-04,6.603389e-04,6.588439e-04,6.572274e-04,6.547479e-04,6.541295e-04,6.510482e-04,6.506797e-04,6.479863e-04,6.466458e-04,6.449461e-04,6.426515e-04,6.419298e-04,6.389395e-04,6.387014e-04,6.359768e-04,6.347998e-04,6.330433e-04,6.309501e-04,6.301404e-04,6.272693e-04,6.271551e-04,6.244310e-04,6.234175e-04,6.216266e-04,6.197393e-04,6.188567e-04,6.161222e-04,6.125676e-04,6.090767e-04,6.056503e-04,6.022889e-04,5.989930e-04,5.957628e-04,5.925984e-04,5.894997e-04,5.864664e-04,5.834982e-04,5.805947e-04,5.777554e-04,5.749796e-04,5.722667e-04,5.696160e-04,5.670266e-04,5.644978e-04,5.620286e-04,5.596182e-04,5.572656e-04,5.549699e-04,5.527301e-04,5.505452e-04,5.484143e-04
0.000000e+00,7.919719e-11,3.021984e-10,2.176941e-09,7.930147e-09,1.425127e-08,4.970841e-08,5.197287e-08,1.378283e-07,1.741455e-07,2.993062e-07,4.451535e-07,5.670373e-07,9.348284e-07,9.731769e-07,1.549946e-06,1.717229e-06,2.328032e-06,2.861994e-06,3.334443e-06,4.425337e-06,4.589522e-06,6.103250e-06,6.436966e-06,7.871783e-06,8.886304e-06,9.875780e-06,1.171679e-05,1.208154e-05,1.444465e-05,1.483403e-05,1.691489e-05,1.812355e-05,1.944103e-05,2.146946e-05,2.197461e-05,2.447250e-05,2.476805e-05,2.689831e-05,2.793507e-05,2.922291e-05,3.090811e-05,3.142426e-05,3.348688e-05,3.364557e-05,3.540108e-05,3.612400e-05,3.716211e-05,3.833468e-05,3.876926e-05,4.022504e-05,4.028018e-05,4.153443e-05,4.197125e-05,4.270424e-05,4.342404e-05,4.374249e-05,4.465797e-05,4.545986e-05,4.569399e-05,4.615742e-05,4.655333e-05,4.675976e-05,4.725658e-05,4.727566e-05,4.771344e-05,4.782310e-05,4.808092e-05,4.827070e-05,4.838533e-05,4.861542e-05,4.863332e-05,4.883096e-05,4.887152e-05,4.898373e-05,4.905155e-05,4.909658e-05,4.916641e-05,4.917396e-05,4.921982e-05,4.922553e-05,4.923769e-05,4.923698e-05,4.923072e-05,4.920771e-05,4.920168e-05,4.915306e-05,4.914361e-05,4.908703e-05,4.904973e-05,4.900554e-05,4.893037e-05,4.891029e-05,4.880283e-05,4.878918e-05,4.868451e-05,4.862932e-05,4.855652e-05,4.845346e-05,4.841995e-05,4.827575e-05,4.826391e-05,4.812479e-05,4.806268e-05,4.796782e-05,4.785149e-05,4.780556e-05,4.763863e-05,4.763186e-05,4.746758e-05,4.740510e-05,4.729294e-05,4.717237e-05,4.711516e-05,4.693468e-05,4.675186e-05,4.669293e-05,4.656707e-05,4.644792e-05,4.638063e-05,4.620037e-05,4.619284e-05,4.600396e-05,4.595092e-05,4.581425e-05,4.570012e-05,4.562393e-05,4.544849e-05,4.543322e-05,4.524231e-05,4.519648e-05,4.505138e-05,4.494451e-05,4.486059e-05,4.469294e-05,4.467011e-05,4.448006e-05,4.444212e-05,4.429059e-05,4.419233e-05,4.410181e-05,4.394385e-05,4.391383e-05,4.372676e-05,4.369692e-05,4.354069e-05,4.345176e-05,4.335571e-05,4.320856e-05,4.317189e-05,4.298932e-05,4.296749e-05,4.280804e-05,4.272871e-05,4.262814e-05,4.249236e-05,4.244966e-05,4.227265e-05,4.225856e-05,4.209717e-05,4.202741e-05,4.192325e-05,4.179902e-05,4.175094e-05,4.158026e-05,4.157347e-05,4.141125e-05,4.135082e-05,4.124394e-05,4.113114e-05,4.107834e-05,4.091449e-05,4.070090e-05,4.049041e-05,4.028306e-05,4.007885e-05,3.987782e-05,3.967996e-05,3.948529e-05,3.929381e-05,3.910551e-05,3.892038e-05,3.873842e-05,3.855960e-05,3.838392e-05,3.821135e-05,3.804186e-05,3.787545e-05,3.771207e-05,3.755170e-05,3.739430e-05,3.723986e-05,3.708833e-05,3.693968e-05,3.679387e-05,3.665088e-05
0.000000e+00,1.373484e-10,4.816421e-10,2.944786e-09,9.356628e-09,1.567747e-08,4.635973e-08,4.816973e-08,1.108823e-07,1.352873e-07,2.143214e-07,3.003271e-07,3.690526e-07,5.656682e-07,5.854807e-07,8.724908e-07,9.525287e-07,1.234882e-06,1.470620e-06,1.671723e-06,2.113350e-06,2.177419e-06,2.744147e-06,2.864082e-06,3.363590e-06,3.703822e-06,4.027612e-06,4.614058e-06,4.728315e-06,5.457960e-06,5.576879e-06,6.208948e-06,6.574818e-06,6.973872e-06,7.591058e-06,7.745629e-06,8.517551e-06,8.609896e-06,9.283528e-06,9.617241e-06,1.003810e-05,1.060099e-05,1.077650e-05,1.149473e-05,1.155122e-05,1.218950e-05,1.246023e-05,1.285818e-05,1.332233e-05,1.349878e-05,1.410990e-05,1.413372e-05,1.469065e-05,1.489218e-05,1.524057e-05,1.559686e-05,1.575960e-05,1.624796e-05,1.670613e-05,1.684648e-05,1.713479e-05,1.739403e-05,1.753477e-05,1.789263e-05,1.790700e-05,1.825250e-05,1.834460e-05,1.857235e-05,1.875241e-05,1.886766e-05,1.911862e-05,1.913953e-05,1.938910e-05,1.944580e-05,1.961747e-05,1.973650e-05,1.982572e-05,1.999318e-05,2.001491e-05,2.018607e-05,2.021823e-05,2.034019e-05,2.041391e-05,2.047821e-05,2.058239e-05,2.060106e-05,2.070962e-05,2.072571e-05,2.080470e-05,2.084580e-05,2.088713e-05,2.094445e-05,2.095764e-05,2.101696e-05,2.102336e-05,2.106578e-05,2.108410e-05,2.110474e-05,2.112813e-05,2.113446e-05,2.115551e-05,2.115684e-05,2.116846e-05,2.117149e-05,2.117383e-05,2.117327e-05,2.117210e-05,2.116374e-05,2.116327e-05,2.114919e-05,2.114252e-05,2.112887e-05,2.111196e-05,2.110318e-05,2.107247e-05,2.103710e-05,2.102486e-05,2.099741e-05,2.096988e-05,2.095370e-05,2.090823e-05,2.090626e-05,2.085537e-05,2.084054e-05,2.080130e-05,2.076743e-05,2.074429e-05,2.068944e-05,2.068456e-05,2.062235e-05,2.060707e-05,2.055785e-05,2.052080e-05,2.049125e-05,2.043106e-05,2.042274e-05,2.035250e-05,2.033825e-05,2.028067e-05,2.024275e-05,2.020742e-05,2.014489e-05,2.013288e-05,2.005720e-05,2.004499e-05,1.998049e-05,1.994334e-05,1.990288e-05,1.984021e-05,1.982447e-05,1.974537e-05,1.973584e-05,1.966569e-05,1.963046e-05,1.958550e-05,1.952429e-05,1.950491e-05,1.942399e-05,1.941750e-05,1.934281e-05,1.931028e-05,1.926145e-05,1.920279e-05,1.917997e-05,1.909844e-05,1.909518e-05,1.901692e-05,1.898758e-05,1.893546e-05,1.888012e-05,1.885411e-05,1.877292e-05,1.866607e-05,1.855967e-05,1.845381e-05,1.834857e-05,1.824401e-05,1.814021e-05,1.803721e-05,1.793508e-05,1.783386e-05,1.773360e-05,1.763432e-05,1.753607e-05,1.743887e-05,1.734275e-05,1.724773e-05,1.715383e-05,1.706107e-05,1.696946e-05,1.687901e-05,1.678974e-05,1.670164e-05,1.661473e-05,1.652900e-05,1.644447e-05
0.000000e+00,7.676908e-12,1.761281e-11,6.091820e-11,1.398023e-10,2.053176e-10,4.774277e-10,4.924104e-10,9.873187e-10,1.174063e-09,1.773365e-09,2.423965e-09,2.943749e-09,4.418615e-09,4.565340e-09,6.631735e-09,7.186432e-09,9.070300e-09,1.056593e-08,1.179547e-08,1.437646e-08,1.473957e-08,1.785389e-08,1.849380e-08,2.110160e-08,2.283285e-08,2.445222e-08,2.732634e-08,2.787860e-08,3.135568e-08,3.191514e-08,3.486018e-08,3.654569e-08,3.837061e-08,4.117005e-08,4.186747e-08,4.533342e-08,4.574652e-08,4.875336e-08,5.024015e-08,5.211438e-08,5.462267e-08,5.540574e-08,5.861864e-08,5.887207e-08,6.174615e-08,6.297198e-08,6.478288e-08,6.691086e-08,6.772490e-08,7.056943e-08,7.068116e-08,7.331476e-08,7.427860e-08,7.596000e-08,7.770148e-08,7.850498e-08,8.095011e-08,8.329628e-08,8.402635e-08,8.554475e-08,8.693321e-08,8.769708e-08,8.967455e-08,8.975508e-08,9.172074e-08,9.225486e-08,9.359618e-08,9.467906e-08,9.538362e-08,9.695234e-08,9.708538e-08,9.870381e-08,9.908010e-08,1.002413e-07,1.010678e-07,1.017002e-07,1.029210e-07,1.030830e-07,1.043920e-07,1.046452e-07,1.056297e-07,1.062458e-07,1.067983e-07,1.077283e-07,1.079002e-07,1.089376e-07,1.090978e-07,1.099128e-07,1.103595e-07,1.108280e-07,1.115184e-07,1.116854e-07,1.124869e-07,1.125794e-07,1.132347e-07,1.135473e-07,1.139308e-07,1.144265e-07,1.145771e-07,1.151756e-07,1.152214e-07,1.157280e-07,1.159364e-07,1.162361e-07,1.165756e-07,1.167018e-07,1.171266e-07,1.171428e-07,1.175123e-07,1.176419e-07,1.178604e-07,1.180765e-07,1.181725e-07,1.184500e-07,1.186945e-07,1.187660e-07,1.189073e-07,1.190274e-07,1.190897e-07,1.192375e-07,1.192431e-07,1.193688e-07,1.193992e-07,1.194680e-07,1.195152e-07,1.195418e-07,1.195883e-07,1.195914e-07,1.196179e-07,1.196210e-07,1.196225e-07,1.196157e-07,1.196060e-07,1.195749e-07,1.195695e-07,1.195139e-07,1.195006e-07,1.194402e-07,1.193951e-07,1.193493e-07,1.192603e-07,1.192420e-07,1.191192e-07,1.190981e-07,1.189816e-07,1.189105e-07,1.188299e-07,1.186990e-07,1.186650e-07,1.184876e-07,1.184655e-07,1.182983e-07,1.182114e-07,1.180977e-07,1.179382e-07,1.178866e-07,1.176655e-07,1.176474e-07,1.174350e-07,1.173403e-07,1.171956e-07,1.170181e-07,1.169480e-07,1.166925e-07,1.166821e-07,1.164298e-07,1.163335e-07,1.161602e-07,1.159732e-07,1.158842e-07,1.156024e-07,1.152220e-07,1.148329e-07,1.144360e-07,1.140321e-07,1.136220e-07,1.132064e-07,1.127861e-07,1.123616e-07,1.119336e-07,1.115027e-07,1.110693e-07,1.106341e-07,1.101975e-07,1.097600e-07,1.093219e-07,1.088837e-07,1.084458e-07,1.080085e-07,1.075721e-07,1.071369e-07,1.067033e-07,1.062714e-07,1.058416e-07,1.054140e-07
0.000000e+00,1.288947e-10,3.262906e-10,1.247086e-09,2.974023e-09,4.410150e-09,1.025107e-08,1.056574e-08,2.056685e-08,2.416315e-08,3.518440e-08,4.646309e-08,5.511329e-08,7.866863e-08,8.096792e-08,1.132614e-07,1.220148e-07,1.523621e-07,1.772999e-07,1.984217e-07,2.445969e-07,2.512860e-07,3.104302e-07,3.229409e-07,3.749845e-07,4.103350e-07,4.438662e-07,5.042426e-07,5.159451e-07,5.901623e-07,6.021710e-07,6.655786e-07,7.019605e-07,7.413791e-07,8.018220e-07,8.168635e-07,8.914340e-07,9.002961e-07,9.645849e-07,9.962102e-07,1.035895e-06,1.088646e-06,1.105021e-06,1.171690e-06,1.176911e-06,1.235696e-06,1.260517e-06,1.296887e-06,1.339146e-06,1.355167e-06,1.410478e-06,1.412628e-06,1.462803e-06,1.480910e-06,1.512155e-06,1.544034e-06,1.558571e-06,1.602112e-06,1.642850e-06,1.655309e-06,1.680874e-06,1.703827e-06,1.716277e-06,1.747894e-06,1.749162e-06,1.779633e-06,1.787747e-06,1.807798e-06,1.823635e-06,1.833765e-06,1.855804e-06,1.857640e-06,1.879529e-06,1.884498e-06,1.899535e-06,1.909953e-06,1.917757e-06,1.932395e-06,1.934294e-06,1.949238e-06,1.952043e-06,1.962679e-06,1.969103e-06,1.974702e-06,1.983768e-06,1.985392e-06,1.994824e-06,1.996222e-06,2.003076e-06,2.006638e-06,2.010217e-06,2.015175e-06,2.016315e-06,2.021434e-06,2.021986e-06,2.025636e-06,2.027209e-06,2.028977e-06,2.030975e-06,2.031513e-06,2.033295e-06,2.033406e-06,2.034372e-06,2.034616e-06,2.034790e-06,2.034707e-06,2.034593e-06,2.033822e-06,2.033779e-06,2.032516e-06,2.031922e-06,2.030711e-06,2.029218e-06,2.028444e-06,2.025745e-06,2.022647e-06,2.021576e-06,2.019178e-06,2.016776e-06,2.015365e-06,2.011407e-06,2.011236e-06,2.006813e-06,2.005525e-06,2.002120e-06,1.999184e-06,1.997179e-06,1.992431e-06,1.992009e-06,1.986631e-06,1.985311e-06,1.981062e-06,1.977866e-06,1.975319e-06,1.970134e-06,1.969418e-06,1.963375e-06,1.962150e-06,1.957203e-06,1.953947e-06,1.950915e-06,1.945553e-06,1.944524e-06,1.938042e-06,1.936997e-06,1.931480e-06,1.928304e-06,1.924848e-06,1.919498e-06,1.918155e-06,1.911412e-06,1.910600e-06,1.904626e-06,1.901629e-06,1.897805e-06,1.892603e-06,1.890958e-06,1.884090e-06,1.883540e-06,1.877209e-06,1.874454e-06,1.870321e-06,1.865360e-06,1.863431e-06,1.856545e-06,1.856269e-06,1.849667e-06,1.847194e-06,1.842803e-06,1.838145e-06,1.835957e-06,1.829132e-06,1.820164e-06,1.811248e-06,1.802393e-06,1.793603e-06,1.784886e-06,1.776246e-06,1.767689e-06,1.759218e-06,1.750838e-06,1.742551e-06,1.734361e-06,1.726270e-06,1.718281e-06,1.710395e-06,1.702614e-06,1.694940e-06,1.687372e-06,1.679914e-06,1.672564e-06,1.665323e-06,1.658193e-06,1.651172e-06,1.644261e-06,1.637460e-06
0.000000e+00,1.381377e-10,3.265645e-10,1.160686e-09,2.682327e-09,3.938559e-09,9.069602e-09,9.348309e-09,1.837285e-08,2.170233e-08,3.218908e-08,4.334222e-08,5.215497e-08,7.702665e-08,7.950427e-08,1.146711e-07,1.242103e-07,1.568878e-07,1.830694e-07,2.046979e-07,2.502670e-07,2.566869e-07,3.117483e-07,3.230516e-07,3.690394e-07,3.994822e-07,4.278812e-07,4.780766e-07,4.876883e-07,5.479310e-07,5.575771e-07,6.081215e-07,6.368612e-07,6.678115e-07,7.149289e-07,7.265951e-07,7.841116e-07,7.909130e-07,8.400487e-07,8.640915e-07,8.941448e-07,9.338941e-07,9.461875e-07,9.960123e-07,9.998985e-07,1.043499e-06,1.061820e-06,1.088567e-06,1.119492e-06,1.131172e-06,1.171294e-06,1.172848e-06,1.208948e-06,1.221905e-06,1.244168e-06,1.266752e-06,1.277005e-06,1.307523e-06,1.335799e-06,1.344387e-06,1.361916e-06,1.377538e-06,1.385962e-06,1.407182e-06,1.408027e-06,1.428207e-06,1.433532e-06,1.446593e-06,1.456804e-06,1.463280e-06,1.477210e-06,1.478359e-06,1.491918e-06,1.494956e-06,1.504046e-06,1.510243e-06,1.514824e-06,1.523258e-06,1.524335e-06,1.532656e-06,1.534184e-06,1.539860e-06,1.543189e-06,1.546018e-06,1.550432e-06,1.551198e-06,1.555463e-06,1.556065e-06,1.558875e-06,1.560226e-06,1.561489e-06,1.563044e-06,1.563362e-06,1.564544e-06,1.564642e-06,1.565084e-06,1.565130e-06,1.565028e-06,1.564613e-06,1.564418e-06,1.563296e-06,1.563186e-06,1.561701e-06,1.560938e-06,1.559668e-06,1.557952e-06,1.557231e-06,1.554422e-06,1.554302e-06,1.551271e-06,1.550059e-06,1.547807e-06,1.545286e-06,1.544056e-06,1.540043e-06,1.535791e-06,1.534383e-06,1.531322e-06,1.528357e-06,1.526656e-06,1.522011e-06,1.521814e-06,1.516812e-06,1.515385e-06,1.511668e-06,1.508520e-06,1.506397e-06,1.501449e-06,1.501015e-06,1.495534e-06,1.494205e-06,1.489968e-06,1.486818e-06,1.484329e-06,1.479315e-06,1.478628e-06,1.472875e-06,1.471719e-06,1.467080e-06,1.464054e-06,1.461253e-06,1.456339e-06,1.455401e-06,1.449533e-06,1.448593e-06,1.443655e-06,1.440833e-06,1.437775e-06,1.433074e-06,1.431899e-06,1.426032e-06,1.425329e-06,1.420181e-06,1.417612e-06,1.414349e-06,1.409933e-06,1.408541e-06,1.402763e-06,1.402302e-06,1.397017e-06,1.394728e-06,1.391307e-06,1.387220e-06,1.385637e-06,1.380009e-06,1.379784e-06,1.374426e-06,1.372427e-06,1.368890e-06,1.365155e-06,1.363405e-06,1.357972e-06,1.350882e-06,1.343890e-06,1.336999e-06,1.330210e-06,1.323528e-06,1.316953e-06,1.310487e-06,1.304131e-06,1.297887e-06,1.291754e-06,1.285733e-06,1.279824e-06,1.274028e-06,1.268343e-06,1.262770e-06,1.257308e-06,1.251955e-06,1.246713e-06,1.241578e-06,1.236551e-06,1.231629e-06,1.226813e-06,1.222100e-06,1.217490e-06
0.000000e+00,2.162335e-10,5.442045e-10,2.074883e-09,4.964079e-09,7.384396e-09,1.736959e-08,1.791339e-08,3.547591e-08,4.191388e-08,6.200331e-08,8.304891e-08,9.945507e-08,1.448464e-07,1.493075e-07,2.119648e-07,2.288706e-07,2.870307e-07,3.342753e-07,3.739398e-07,4.597938e-07,4.721597e-07,5.811391e-07,6.041719e-07,7.002391e-07,7.659248e-07,8.287043e-07,9.432180e-07,9.656633e-07,1.110149e-06,1.133897e-06,1.261127e-06,1.335589e-06,1.417528e-06,1.545834e-06,1.578281e-06,1.742339e-06,1.762200e-06,1.908703e-06,1.982390e-06,2.076439e-06,2.204306e-06,2.244690e-06,2.412686e-06,2.426093e-06,2.579739e-06,2.646160e-06,2.745251e-06,2.863172e-06,2.908705e-06,3.069660e-06,3.076041e-06,3.227748e-06,3.283898e-06,3.382666e-06,3.486071e-06,3.534166e-06,3.682054e-06,3.826178e-06,3.871483e-06,3.966425e-06,4.054110e-06,4.102715e-06,4.229782e-06,4.234996e-06,4.363241e-06,4.398425e-06,4.487443e-06,4.560026e-06,4.607610e-06,4.714621e-06,4.723766e-06,4.835947e-06,4.862284e-06,4.944199e-06,5.003122e-06,5.048573e-06,5.137264e-06,5.149131e-06,5.245938e-06,5.264855e-06,5.339062e-06,5.386056e-06,5.428578e-06,5.501037e-06,5.514560e-06,5.597086e-06,5.609975e-06,5.676236e-06,5.713051e-06,5.752088e-06,5.810451e-06,5.824725e-06,5.894226e-06,5.902359e-06,5.960673e-06,5.988963e-06,6.024147e-06,6.070447e-06,6.084727e-06,6.142494e-06,6.146996e-06,6.197526e-06,6.218790e-06,6.249901e-06,6.286009e-06,6.299696e-06,6.346987e-06,6.348828e-06,6.391849e-06,6.407419e-06,6.434356e-06,6.461951e-06,6.474578e-06,6.512588e-06,6.548454e-06,6.559490e-06,6.582245e-06,6.602813e-06,6.614027e-06,6.642709e-06,6.643866e-06,6.671825e-06,6.679326e-06,6.697967e-06,6.712806e-06,6.722353e-06,6.743288e-06,6.745042e-06,6.766092e-06,6.770906e-06,6.785559e-06,6.795790e-06,6.803500e-06,6.818067e-06,6.819967e-06,6.835013e-06,6.837856e-06,6.848689e-06,6.855276e-06,6.861046e-06,6.870440e-06,6.872130e-06,6.881989e-06,6.883456e-06,6.890669e-06,6.894429e-06,6.898213e-06,6.903461e-06,6.904666e-06,6.910070e-06,6.910649e-06,6.914464e-06,6.916088e-06,6.917889e-06,6.919867e-06,6.920383e-06,6.921983e-06,6.922074e-06,6.922726e-06,6.922791e-06,6.922646e-06,6.922099e-06,6.921778e-06,6.920154e-06,6.920074e-06,6.917807e-06,6.916790e-06,6.914767e-06,6.912319e-06,6.911064e-06,6.906728e-06,6.900082e-06,6.892443e-06,6.883871e-06,6.874424e-06,6.864156e-06,6.853120e-06,6.841365e-06,6.828939e-06,6.815889e-06,6.802257e-06,6.788086e-06,6.773416e-06,6.758284e-06,6.742728e-06,6.726780e-06,6.710475e-06,6.693844e-06,6.676917e-06,6.659722e-06,6.642286e-06,6.624636e-06,6.606795e-06,6.588786e-06,6.570633e-06
0.000000e+00,3.547862e-10,1.161760e-09,6.264572e-09,1.805784e-08,2.885673e-08,7.681926e-08,7.951619e-08,1.685861e-07,2.017878e-07,3.062968e-07,4.167802e-07,5.035364e-07,7.467190e-07,7.708761e-07,1.113796e-06,1.206900e-06,1.525430e-06,1.778856e-06,1.985952e-06,2.412810e-06,2.471748e-06,2.963825e-06,3.061794e-06,3.449653e-06,3.697098e-06,3.921434e-06,4.303121e-06,4.374104e-06,4.804096e-06,4.870602e-06,5.208742e-06,5.393360e-06,5.586049e-06,5.867267e-06,5.934644e-06,6.253754e-06,6.290051e-06,6.543183e-06,6.661198e-06,6.803268e-06,6.981786e-06,7.034811e-06,7.238997e-06,7.254193e-06,7.417304e-06,7.481752e-06,7.571413e-06,7.668402e-06,7.703134e-06,7.814327e-06,7.818374e-06,7.906850e-06,7.935939e-06,7.982512e-06,8.025216e-06,8.043040e-06,8.090056e-06,8.125064e-06,8.133959e-06,8.149443e-06,8.160052e-06,8.164447e-06,8.171076e-06,8.171201e-06,8.170712e-06,8.169403e-06,8.163880e-06,8.157073e-06,8.151505e-06,8.135833e-06,8.134293e-06,8.112866e-06,8.107158e-06,8.087772e-06,8.072301e-06,8.059497e-06,8.032326e-06,8.028470e-06,7.995066e-06,7.988130e-06,7.959616e-06,7.940470e-06,7.922407e-06,7.889978e-06,7.883692e-06,7.843698e-06,7.837193e-06,7.802622e-06,7.782575e-06,7.760644e-06,7.726518e-06,7.717921e-06,7.674591e-06,7.669357e-06,7.630778e-06,7.611376e-06,7.586592e-06,7.552822e-06,7.542132e-06,7.497487e-06,7.493910e-06,7.452736e-06,7.434823e-06,7.407951e-06,7.375720e-06,7.363194e-06,7.318523e-06,7.316739e-06,7.273989e-06,7.257999e-06,7.229638e-06,7.199606e-06,7.185512e-06,7.141648e-06,7.098079e-06,7.084204e-06,7.054835e-06,7.027343e-06,7.011944e-06,6.971121e-06,6.969428e-06,6.927309e-06,6.915589e-06,6.885606e-06,6.860791e-06,6.844336e-06,6.806761e-06,6.803512e-06,6.763149e-06,6.753532e-06,6.723257e-06,6.701127e-06,6.683846e-06,6.649568e-06,6.644924e-06,6.606498e-06,6.598873e-06,6.568574e-06,6.549053e-06,6.531156e-06,6.500120e-06,6.494249e-06,6.457855e-06,6.452080e-06,6.421976e-06,6.404937e-06,6.386613e-06,6.358695e-06,6.351767e-06,6.317437e-06,6.313352e-06,6.283622e-06,6.268907e-06,6.250322e-06,6.225356e-06,6.217533e-06,6.185255e-06,6.182695e-06,6.153485e-06,6.140918e-06,6.122218e-06,6.100016e-06,6.091452e-06,6.061182e-06,6.059982e-06,6.031406e-06,6.020806e-06,6.002118e-06,5.982479e-06,5.973314e-06,5.944989e-06,5.908326e-06,5.872477e-06,5.837430e-06,5.803173e-06,5.769692e-06,5.736975e-06,5.705008e-06,5.673778e-06,5.643271e-06,5.613473e-06,5.584371e-06,5.555951e-06,5.528199e-06,5.501101e-06,5.474645e-06,5.448816e-06,5.423602e-06,5.398988e-06,5.374963e-06,5.351512e-06,5.328623e-06,5.306284e-06,5.284483e-06,5.263205e-06
0.000000e+00,9.946384e-11,2.502655e-10,9.490490e-10,2.253183e-09,3.335317e-09,7.731711e-09,7.968600e-09,1.551175e-08,1.823282e-08,2.660569e-08,3.522963e-08,4.188194e-08,6.015663e-08,6.195222e-08,8.736178e-08,9.430220e-08,1.184907e-07,1.384629e-07,1.554035e-07,1.923700e-07,1.977061e-07,2.445386e-07,2.543503e-07,2.947630e-07,3.218309e-07,3.472209e-07,3.922650e-07,4.008994e-07,4.549751e-07,4.636182e-07,5.087917e-07,5.343735e-07,5.618249e-07,6.034013e-07,6.136533e-07,6.639374e-07,6.698542e-07,7.124078e-07,7.331045e-07,7.588560e-07,7.927074e-07,8.031278e-07,8.451169e-07,8.483753e-07,8.847591e-07,8.999516e-07,9.220268e-07,9.473902e-07,9.569235e-07,9.894780e-07,9.907321e-07,1.019740e-06,1.030086e-06,1.047776e-06,1.065608e-06,1.073663e-06,1.097489e-06,1.119346e-06,1.125941e-06,1.139332e-06,1.151185e-06,1.157543e-06,1.173448e-06,1.174078e-06,1.189033e-06,1.192951e-06,1.202504e-06,1.209911e-06,1.214581e-06,1.224536e-06,1.225352e-06,1.234901e-06,1.237021e-06,1.243310e-06,1.247549e-06,1.250654e-06,1.256294e-06,1.257006e-06,1.262433e-06,1.263413e-06,1.266999e-06,1.269054e-06,1.270766e-06,1.273353e-06,1.273789e-06,1.276122e-06,1.276435e-06,1.277815e-06,1.278414e-06,1.278914e-06,1.279395e-06,1.279463e-06,1.279502e-06,1.279474e-06,1.279070e-06,1.278740e-06,1.278202e-06,1.277271e-06,1.276931e-06,1.275289e-06,1.275142e-06,1.273304e-06,1.272420e-06,1.271003e-06,1.269165e-06,1.268411e-06,1.265553e-06,1.265433e-06,1.262450e-06,1.261276e-06,1.259121e-06,1.256740e-06,1.255587e-06,1.251866e-06,1.247973e-06,1.246694e-06,1.243924e-06,1.241258e-06,1.239734e-06,1.235592e-06,1.235417e-06,1.230983e-06,1.229723e-06,1.226447e-06,1.223680e-06,1.221817e-06,1.217485e-06,1.217105e-06,1.212320e-06,1.211162e-06,1.207471e-06,1.204731e-06,1.202566e-06,1.198209e-06,1.197613e-06,1.192618e-06,1.191615e-06,1.187589e-06,1.184963e-06,1.182532e-06,1.178267e-06,1.177453e-06,1.172356e-06,1.171540e-06,1.167248e-06,1.164793e-06,1.162132e-06,1.158037e-06,1.157013e-06,1.151895e-06,1.151281e-06,1.146782e-06,1.144534e-06,1.141677e-06,1.137805e-06,1.136583e-06,1.131504e-06,1.131099e-06,1.126443e-06,1.124424e-06,1.121401e-06,1.117784e-06,1.116381e-06,1.111386e-06,1.111187e-06,1.106417e-06,1.104635e-06,1.101477e-06,1.098134e-06,1.096566e-06,1.091688e-06,1.085299e-06,1.078970e-06,1.072705e-06,1.066506e-06,1.060375e-06,1.054313e-06,1.048322e-06,1.042404e-06,1.036560e-06,1.030791e-06,1.025097e-06,1.019479e-06,1.013938e-06,1.008474e-06,1.003087e-06,9.977771e-07,9.925448e-07,9.873897e-07,9.823117e-07,9.773106e-07,9.723859e-07,9.675374e-07,9.627646e-07,9.580670e-07
0.000000e+00,4.583295e-10,1.541319e-09,8.727151e-09,2.613132e-08,4.254370e-08,1.181023e-07,1.224362e-07,2.685053e-07,3.239913e-07,5.009619e-07,6.907934e-07,8.413527e-07,1.269369e-06,1.312364e-06,1.933190e-06,2.105534e-06,2.709512e-06,3.207597e-06,3.627208e-06,4.530232e-06,4.659117e-06,5.776896e-06,6.008601e-06,6.957230e-06,7.589601e-06,8.182169e-06,9.235028e-06,9.437369e-06,1.071048e-05,1.091507e-05,1.199016e-05,1.260357e-05,1.326568e-05,1.427622e-05,1.452683e-05,1.576405e-05,1.591048e-05,1.696853e-05,1.748607e-05,1.813242e-05,1.898563e-05,1.924896e-05,2.031254e-05,2.039519e-05,2.131873e-05,2.170437e-05,2.226428e-05,2.290629e-05,2.314706e-05,2.396597e-05,2.399739e-05,2.472084e-05,2.497701e-05,2.541229e-05,2.584690e-05,2.604163e-05,2.661068e-05,2.712172e-05,2.727343e-05,2.757738e-05,2.784125e-05,2.798051e-05,2.832087e-05,2.833410e-05,2.864121e-05,2.871930e-05,2.890496e-05,2.904366e-05,2.912839e-05,2.930092e-05,2.931451e-05,2.946621e-05,2.949780e-05,2.958626e-05,2.964065e-05,2.967730e-05,2.973541e-05,2.974183e-05,2.978220e-05,2.978757e-05,2.980059e-05,2.980215e-05,2.979905e-05,2.978375e-05,2.977948e-05,2.974362e-05,2.973648e-05,2.969308e-05,2.966405e-05,2.962935e-05,2.956977e-05,2.955377e-05,2.946762e-05,2.945662e-05,2.937202e-05,2.932723e-05,2.926802e-05,2.918395e-05,2.915657e-05,2.903854e-05,2.902883e-05,2.891472e-05,2.886373e-05,2.878583e-05,2.869027e-05,2.865254e-05,2.851543e-05,2.850987e-05,2.837505e-05,2.832381e-05,2.823189e-05,2.813319e-05,2.808641e-05,2.793900e-05,2.779005e-05,2.774211e-05,2.763988e-05,2.754327e-05,2.748880e-05,2.734316e-05,2.733708e-05,2.718498e-05,2.714236e-05,2.703273e-05,2.694139e-05,2.688053e-05,2.674071e-05,2.672857e-05,2.657701e-05,2.654072e-05,2.642601e-05,2.634175e-05,2.627571e-05,2.614411e-05,2.612622e-05,2.597767e-05,2.594808e-05,2.583014e-05,2.575387e-05,2.568374e-05,2.556168e-05,2.553853e-05,2.539460e-05,2.537169e-05,2.525201e-05,2.518405e-05,2.511081e-05,2.499888e-05,2.497105e-05,2.483278e-05,2.481628e-05,2.469603e-05,2.463635e-05,2.456084e-05,2.445916e-05,2.442724e-05,2.429525e-05,2.428476e-05,2.416489e-05,2.411321e-05,2.403618e-05,2.394454e-05,2.390913e-05,2.378375e-05,2.377877e-05,2.366006e-05,2.361594e-05,2.353804e-05,2.345603e-05,2.341771e-05,2.329907e-05,2.314505e-05,2.299395e-05,2.284577e-05,2.270049e-05,2.255808e-05,2.241853e-05,2.228180e-05,2.214787e-05,2.201669e-05,2.188825e-05,2.176250e-05,2.163940e-05,2.151892e-05,2.140101e-05,2.128564e-05,2.117276e-05,2.106233e-05,2.095431e-05,2.084866e-05,2.074533e-05,2.064429e-05,2.054548e-05,2.044887e-05,2.035441e-05
0.000000e+00,3.106300e-10,9.735812e-10,4.922899e-09,1.371482e-08,2.167776e-08,5.722121e-08,5.924027e-08,1.274105e-07,1.535417e-07,2.379814e-07,3.299772e-07,4.033863e-07,6.102712e-07,6.307234e-07,9.168827e-07,9.933179e-07,1.252662e-06,1.458893e-06,1.628945e-06,1.987828e-06,2.038536e-06,2.475593e-06,2.565835e-06,2.934882e-06,3.180828e-06,3.411385e-06,3.821365e-06,3.900206e-06,4.396610e-06,4.476434e-06,4.896118e-06,5.135759e-06,5.394611e-06,5.790188e-06,5.888413e-06,6.374334e-06,6.431982e-06,6.849681e-06,7.054899e-06,7.312254e-06,7.654198e-06,7.760344e-06,8.192665e-06,8.226540e-06,8.608301e-06,8.769742e-06,9.006665e-06,9.282607e-06,9.387443e-06,9.750541e-06,9.764698e-06,1.009605e-05,1.021617e-05,1.042422e-05,1.063765e-05,1.073540e-05,1.103000e-05,1.130852e-05,1.139433e-05,1.157147e-05,1.173186e-05,1.181944e-05,1.204392e-05,1.205300e-05,1.227274e-05,1.233186e-05,1.247924e-05,1.259703e-05,1.267308e-05,1.284073e-05,1.285484e-05,1.302508e-05,1.306428e-05,1.318433e-05,1.326891e-05,1.333313e-05,1.345582e-05,1.347197e-05,1.360135e-05,1.362613e-05,1.372174e-05,1.378094e-05,1.383359e-05,1.392126e-05,1.393733e-05,1.403337e-05,1.404805e-05,1.412211e-05,1.416222e-05,1.420392e-05,1.426463e-05,1.427917e-05,1.434819e-05,1.435607e-05,1.441131e-05,1.443730e-05,1.446885e-05,1.450903e-05,1.452110e-05,1.456834e-05,1.457191e-05,1.461083e-05,1.462656e-05,1.464884e-05,1.467357e-05,1.468261e-05,1.471236e-05,1.471347e-05,1.473832e-05,1.474677e-05,1.476068e-05,1.477395e-05,1.477966e-05,1.479544e-05,1.480819e-05,1.481166e-05,1.481809e-05,1.482300e-05,1.482530e-05,1.482982e-05,1.482996e-05,1.483223e-05,1.483245e-05,1.483224e-05,1.483121e-05,1.483012e-05,1.482640e-05,1.482600e-05,1.481999e-05,1.481828e-05,1.481221e-05,1.480712e-05,1.480276e-05,1.479315e-05,1.479175e-05,1.477926e-05,1.477660e-05,1.476540e-05,1.475767e-05,1.475024e-05,1.473657e-05,1.473387e-05,1.471637e-05,1.471347e-05,1.469781e-05,1.468854e-05,1.467826e-05,1.466195e-05,1.465778e-05,1.463645e-05,1.463383e-05,1.461432e-05,1.460434e-05,1.459144e-05,1.457359e-05,1.456788e-05,1.454367e-05,1.454171e-05,1.451888e-05,1.450881e-05,1.449355e-05,1.447500e-05,1.446772e-05,1.444144e-05,1.444038e-05,1.441473e-05,1.440503e-05,1.438765e-05,1.436904e-05,1.436022e-05,1.433249e-05,1.429545e-05,1.425800e-05,1.422021e-05,1.418212e-05,1.414379e-05,1.410529e-05,1.406665e-05,1.402792e-05,1.398915e-05,1.395037e-05,1.391162e-05,1.387294e-05,1.383435e-05,1.379588e-05,1.375757e-05,1.371943e-05,1.368149e-05,1.364377e-05,1.360629e-05,1.356907e-05,1.353212e-05,1.349547e-05,1.345911e-05,1.342307e-05
0.000000e+00,5.285432e-10,1.879577e-09,1.180193e-08,3.832575e-08,6.493624e-08,1.972264e-07,2.051398e-07,4.840287e-07,5.944767e-07,9.576007e-07,1.360449e-06,1.687132e-06,2.640773e-06,2.738216e-06,4.171535e-06,4.577330e-06,6.024915e-06,7.248749e-06,8.301288e-06,1.063406e-05,1.097453e-05,1.400460e-05,1.464967e-05,1.734911e-05,1.919911e-05,2.096801e-05,2.419261e-05,2.482404e-05,2.888166e-05,2.954726e-05,3.310611e-05,3.518298e-05,3.746293e-05,4.102073e-05,4.191797e-05,4.643776e-05,4.698294e-05,5.098998e-05,5.299528e-05,5.554405e-05,5.898879e-05,6.007154e-05,6.454660e-05,6.490163e-05,6.894618e-05,7.068027e-05,7.325018e-05,7.628018e-05,7.744152e-05,8.150599e-05,8.166576e-05,8.543212e-05,8.680987e-05,8.921102e-05,9.169315e-05,9.283614e-05,9.630288e-05,9.960843e-05,1.006319e-04,1.027516e-04,1.046781e-04,1.057326e-04,1.084428e-04,1.085526e-04,1.112139e-04,1.119310e-04,1.137194e-04,1.151494e-04,1.160728e-04,1.181069e-04,1.182780e-04,1.203395e-04,1.208134e-04,1.222620e-04,1.232796e-04,1.240502e-04,1.255168e-04,1.257093e-04,1.272441e-04,1.275366e-04,1.286597e-04,1.293504e-04,1.299612e-04,1.309698e-04,1.311534e-04,1.322413e-04,1.324060e-04,1.332295e-04,1.336699e-04,1.341229e-04,1.347722e-04,1.349258e-04,1.356427e-04,1.357231e-04,1.362778e-04,1.365324e-04,1.368353e-04,1.372095e-04,1.373191e-04,1.377330e-04,1.377632e-04,1.380807e-04,1.382020e-04,1.383657e-04,1.385341e-04,1.385915e-04,1.387613e-04,1.387670e-04,1.388782e-04,1.389079e-04,1.389452e-04,1.389637e-04,1.389651e-04,1.389407e-04,1.388746e-04,1.388451e-04,1.387693e-04,1.386825e-04,1.386272e-04,1.384583e-04,1.384506e-04,1.382415e-04,1.381775e-04,1.380022e-04,1.378449e-04,1.377345e-04,1.374649e-04,1.374404e-04,1.371216e-04,1.370416e-04,1.367799e-04,1.365791e-04,1.364168e-04,1.360808e-04,1.360338e-04,1.356326e-04,1.355503e-04,1.352144e-04,1.349906e-04,1.347805e-04,1.344049e-04,1.343323e-04,1.338709e-04,1.337959e-04,1.333974e-04,1.331661e-04,1.329129e-04,1.325181e-04,1.324184e-04,1.319149e-04,1.318540e-04,1.314033e-04,1.311759e-04,1.308845e-04,1.304858e-04,1.303592e-04,1.298282e-04,1.297856e-04,1.292924e-04,1.290768e-04,1.287522e-04,1.283611e-04,1.282085e-04,1.276618e-04,1.276399e-04,1.271126e-04,1.269145e-04,1.265616e-04,1.261862e-04,1.260093e-04,1.254561e-04,1.247253e-04,1.239947e-04,1.232653e-04,1.225378e-04,1.218130e-04,1.210917e-04,1.203743e-04,1.196616e-04,1.189540e-04,1.182520e-04,1.175560e-04,1.168665e-04,1.161837e-04,1.155080e-04,1.148396e-04,1.141788e-04,1.135258e-04,1.128809e-04,1.122440e-04,1.116155e-04,1.109954e-04,1.103838e-04,1.097808e-04,1.091865e-04
0.000000e+00,1.012408e-11,2.329567e-11,8.033785e-11,1.828780e-10,2.669624e-10,6.083211e-10,6.268089e-10,1.224002e-09,1.443872e-09,2.135668e-09,2.871540e-09,3.454379e-09,5.116234e-09,5.283829e-09,7.721371e-09,8.404491e-09,1.082182e-08,1.284075e-08,1.455582e-08,1.827212e-08,1.880364e-08,2.340166e-08,2.434929e-08,2.819760e-08,3.072974e-08,3.307563e-08,3.717709e-08,3.795551e-08,4.278270e-08,4.354746e-08,4.751926e-08,4.975219e-08,5.213742e-08,5.573216e-08,5.661577e-08,6.093708e-08,6.144439e-08,6.508735e-08,6.685629e-08,6.905527e-08,7.194339e-08,7.283196e-08,7.641090e-08,7.668853e-08,7.978782e-08,8.108148e-08,8.296061e-08,8.511846e-08,8.592912e-08,8.869507e-08,8.880154e-08,9.126173e-08,9.213781e-08,9.363378e-08,9.513855e-08,9.581707e-08,9.781835e-08,9.964504e-08,1.001940e-07,1.013050e-07,1.022838e-07,1.028066e-07,1.041070e-07,1.041583e-07,1.053685e-07,1.056832e-07,1.064458e-07,1.070319e-07,1.073985e-07,1.081719e-07,1.082347e-07,1.089623e-07,1.091216e-07,1.095888e-07,1.098982e-07,1.101214e-07,1.105180e-07,1.105671e-07,1.109322e-07,1.109961e-07,1.112230e-07,1.113468e-07,1.114453e-07,1.115830e-07,1.116044e-07,1.117054e-07,1.117165e-07,1.117530e-07,1.117582e-07,1.117516e-07,1.117179e-07,1.117052e-07,1.116177e-07,1.116046e-07,1.114925e-07,1.114264e-07,1.113331e-07,1.111908e-07,1.111423e-07,1.109231e-07,1.109044e-07,1.106779e-07,1.105731e-07,1.104092e-07,1.102023e-07,1.101190e-07,1.098094e-07,1.097967e-07,1.094825e-07,1.093610e-07,1.091401e-07,1.088993e-07,1.087838e-07,1.084150e-07,1.080351e-07,1.079114e-07,1.076455e-07,1.073915e-07,1.072472e-07,1.068578e-07,1.068414e-07,1.064291e-07,1.063126e-07,1.060111e-07,1.057580e-07,1.055883e-07,1.051958e-07,1.051616e-07,1.047315e-07,1.046279e-07,1.042988e-07,1.040556e-07,1.038641e-07,1.034804e-07,1.034280e-07,1.029910e-07,1.029035e-07,1.025535e-07,1.023260e-07,1.021161e-07,1.017489e-07,1.016790e-07,1.012428e-07,1.011731e-07,1.008076e-07,1.005992e-07,1.003739e-07,1.000282e-07,9.994196e-08,9.951199e-08,9.946055e-08,9.908427e-08,9.889684e-08,9.865902e-08,9.833760e-08,9.823643e-08,9.781670e-08,9.778325e-08,9.740000e-08,9.723419e-08,9.698647e-08,9.669078e-08,9.657626e-08,9.616949e-08,9.615329e-08,9.576627e-08,9.562200e-08,9.536671e-08,9.509714e-08,9.497089e-08,9.457890e-08,9.406745e-08,9.356294e-08,9.306549e-08,9.257521e-08,9.209217e-08,9.161643e-08,9.114804e-08,9.068703e-08,9.023341e-08,8.978719e-08,8.934836e-08,8.891690e-08,8.849280e-08,8.807602e-08,8.766651e-08,8.726423e-08,8.686913e-08,8.648116e-08,8.610025e-08,8.572632e-08,8.535933e-08,8.499918e-08,8.464580e-08,8.429912e-08
0.000000e+00,1.408389e-10,5.180968e-10,3.469017e-09,1.186456e-08,2.062923e-08,6.645948e-08,6.927616e-08,1.714634e-07,2.130002e-07,3.520775e-07,5.093308e-07,6.383413e-07,1.019717e-06,1.058977e-06,1.640634e-06,1.806402e-06,2.400246e-06,2.903996e-06,3.337380e-06,4.294455e-06,4.433429e-06,5.657951e-06,5.915245e-06,6.976600e-06,7.688474e-06,8.356619e-06,9.542098e-06,9.769262e-06,1.119029e-05,1.141703e-05,1.259955e-05,1.326682e-05,1.398043e-05,1.505547e-05,1.531933e-05,1.660529e-05,1.675561e-05,1.782977e-05,1.834737e-05,1.898646e-05,1.981748e-05,2.007103e-05,2.108097e-05,2.115851e-05,2.201537e-05,2.236803e-05,2.287464e-05,2.344762e-05,2.366031e-05,2.437481e-05,2.440195e-05,2.502119e-05,2.523788e-05,2.560297e-05,2.596362e-05,2.612397e-05,2.658813e-05,2.699948e-05,2.712060e-05,2.736196e-05,2.757008e-05,2.767941e-05,2.794523e-05,2.795552e-05,2.819376e-05,2.825413e-05,2.839739e-05,2.850424e-05,2.856946e-05,2.870229e-05,2.871276e-05,2.882988e-05,2.885437e-05,2.892320e-05,2.896588e-05,2.899489e-05,2.904165e-05,2.904691e-05,2.908108e-05,2.908592e-05,2.909902e-05,2.910245e-05,2.910224e-05,2.909455e-05,2.909208e-05,2.906976e-05,2.906514e-05,2.903641e-05,2.901678e-05,2.899303e-05,2.895174e-05,2.894055e-05,2.887980e-05,2.887200e-05,2.881155e-05,2.877932e-05,2.873649e-05,2.867527e-05,2.865524e-05,2.856839e-05,2.856122e-05,2.847647e-05,2.843839e-05,2.837996e-05,2.830788e-05,2.827930e-05,2.817490e-05,2.817065e-05,2.806712e-05,2.802756e-05,2.795631e-05,2.787939e-05,2.784279e-05,2.772683e-05,2.760872e-05,2.757051e-05,2.748869e-05,2.741097e-05,2.736697e-05,2.724873e-05,2.724378e-05,2.711930e-05,2.708425e-05,2.699373e-05,2.691792e-05,2.686721e-05,2.675012e-05,2.673991e-05,2.661197e-05,2.658118e-05,2.648352e-05,2.641142e-05,2.635469e-05,2.624109e-05,2.622559e-05,2.609632e-05,2.607046e-05,2.596699e-05,2.589974e-05,2.583768e-05,2.572915e-05,2.570849e-05,2.557948e-05,2.555886e-05,2.545074e-05,2.538906e-05,2.532233e-05,2.521988e-05,2.519432e-05,2.506675e-05,2.505148e-05,2.493970e-05,2.488397e-05,2.481321e-05,2.471747e-05,2.468732e-05,2.456208e-05,2.455209e-05,2.443752e-05,2.438790e-05,2.431370e-05,2.422501e-05,2.419063e-05,2.406835e-05,2.406348e-05,2.394690e-05,2.390338e-05,2.382629e-05,2.374477e-05,2.370655e-05,2.358770e-05,2.343222e-05,2.327838e-05,2.312620e-05,2.297573e-05,2.282698e-05,2.267998e-05,2.253475e-05,2.239131e-05,2.224967e-05,2.210983e-05,2.197181e-05,2.183560e-05,2.170122e-05,2.156865e-05,2.143791e-05,2.130898e-05,2.118185e-05,2.105653e-05,2.093301e-05,2.081126e-05,2.069129e-05,2.057308e-05,2.045661e-05,2.034188e-05
0.000000e+00,1.325600e-09,5.205071e-09,3.981175e-08,1.532749e-07,2.840264e-07,1.073385e-06,1.125983e-06,3.238102e-06,4.183468e-06,7.607743e-06,1.184938e-05,1.555851e-05,2.746416e-05,2.875833e-05,4.919679e-05,5.542376e-05,7.910778e-05,1.008723e-04,1.208466e-04,1.692293e-04,1.767636e-04,2.491030e-04,2.657270e-04,3.399292e-04,3.950834e-04,4.510739e-04,5.612864e-04,5.840955e-04,7.402490e-04,7.674469e-04,9.204630e-04,1.015698e-03,1.125324e-03,1.307131e-03,1.355070e-03,1.609588e-03,1.641776e-03,1.888419e-03,2.018617e-03,2.190779e-03,2.435645e-03,2.515572e-03,2.861424e-03,2.889954e-03,3.226709e-03,3.377858e-03,3.609588e-03,3.895031e-03,4.008049e-03,4.419940e-03,4.436663e-03,4.843015e-03,4.997617e-03,5.274970e-03,5.572585e-03,5.713480e-03,6.156232e-03,6.600958e-03,6.743326e-03,7.045460e-03,7.328848e-03,7.487636e-03,7.908090e-03,7.925497e-03,8.357187e-03,8.476716e-03,8.780987e-03,9.030822e-03,9.195332e-03,9.566964e-03,9.598813e-03,9.990176e-03,1.008218e-02,1.036833e-02,1.057397e-02,1.073234e-02,1.104033e-02,1.108141e-02,1.141491e-02,1.147969e-02,1.173233e-02,1.189092e-02,1.203332e-02,1.227325e-02,1.231761e-02,1.258507e-02,1.262630e-02,1.283568e-02,1.295000e-02,1.306950e-02,1.324455e-02,1.328667e-02,1.348742e-02,1.351042e-02,1.367204e-02,1.374825e-02,1.384088e-02,1.395888e-02,1.399433e-02,1.413285e-02,1.414330e-02,1.425690e-02,1.430258e-02,1.436699e-02,1.443791e-02,1.446365e-02,1.454742e-02,1.455051e-02,1.461885e-02,1.464166e-02,1.467851e-02,1.471265e-02,1.472697e-02,1.476478e-02,1.479251e-02,1.479935e-02,1.481072e-02,1.481762e-02,1.481994e-02,1.482084e-02,1.482072e-02,1.481357e-02,1.481022e-02,1.479900e-02,1.478691e-02,1.477751e-02,1.475202e-02,1.474956e-02,1.471562e-02,1.470663e-02,1.467612e-02,1.465174e-02,1.463150e-02,1.458830e-02,1.458214e-02,1.452844e-02,1.451722e-02,1.447077e-02,1.443933e-02,1.440948e-02,1.435544e-02,1.434489e-02,1.427733e-02,1.426626e-02,1.420709e-02,1.417250e-02,1.413445e-02,1.407478e-02,1.405967e-02,1.398301e-02,1.397370e-02,1.390470e-02,1.386978e-02,1.382497e-02,1.376354e-02,1.374401e-02,1.366202e-02,1.365542e-02,1.357918e-02,1.354584e-02,1.349566e-02,1.343519e-02,1.341161e-02,1.332719e-02,1.332380e-02,1.324252e-02,1.321200e-02,1.315773e-02,1.310006e-02,1.307293e-02,1.298824e-02,1.287677e-02,1.276585e-02,1.265567e-02,1.254639e-02,1.243815e-02,1.233108e-02,1.222529e-02,1.212087e-02,1.201791e-02,1.191648e-02,1.181663e-02,1.171841e-02,1.162187e-02,1.152703e-02,1.143392e-02,1.134256e-02,1.125296e-02,1.116511e-02,1.107904e-02,1.099472e-02,1.091215e-02,1.083133e-02,1.075224e-02,1.067485e-02
0.000000e+00,4.257472e-10,1.035491e-09,3.793469e-09,8.893713e-09,1.313173e-08,3.056412e-08,3.151488e-08,6.243399e-08,7.388576e-08,1.099961e-07,1.482519e-07,1.781812e-07,2.603280e-07,2.682983e-07,3.775979e-07,4.062131e-07,5.019594e-07,5.769206e-07,6.381152e-07,7.657822e-07,7.836795e-07,9.366823e-07,9.680132e-07,1.095291e-06,1.179389e-06,1.257718e-06,1.395826e-06,1.422214e-06,1.587112e-06,1.613427e-06,1.750865e-06,1.828646e-06,1.912088e-06,2.038431e-06,2.069580e-06,2.222336e-06,2.240308e-06,2.369549e-06,2.432400e-06,2.510596e-06,2.613385e-06,2.645027e-06,2.772540e-06,2.782436e-06,2.892966e-06,2.939135e-06,3.006244e-06,3.083392e-06,3.112404e-06,3.211547e-06,3.215369e-06,3.303829e-06,3.335409e-06,3.389451e-06,3.443986e-06,3.468643e-06,3.541656e-06,3.608758e-06,3.629027e-06,3.670223e-06,3.706729e-06,3.726326e-06,3.775398e-06,3.777345e-06,3.823550e-06,3.835661e-06,3.865208e-06,3.888128e-06,3.902578e-06,3.933385e-06,3.935908e-06,3.965441e-06,3.971989e-06,3.991406e-06,4.004470e-06,4.014023e-06,4.031324e-06,4.033503e-06,4.050043e-06,4.053015e-06,4.063833e-06,4.069978e-06,4.075054e-06,4.082621e-06,4.083879e-06,4.090469e-06,4.091327e-06,4.094978e-06,4.096445e-06,4.097550e-06,4.098304e-06,4.098321e-06,4.097421e-06,4.097206e-06,4.094972e-06,4.093433e-06,4.091088e-06,4.087244e-06,4.085878e-06,4.079443e-06,4.078878e-06,4.071878e-06,4.068557e-06,4.063275e-06,4.056485e-06,4.053717e-06,4.043283e-06,4.042848e-06,4.032046e-06,4.027818e-06,4.020077e-06,4.011553e-06,4.007441e-06,3.994199e-06,3.980410e-06,3.975891e-06,3.966127e-06,3.956749e-06,3.951399e-06,3.936885e-06,3.936273e-06,3.920793e-06,3.916401e-06,3.905001e-06,3.895392e-06,3.888935e-06,3.873943e-06,3.872631e-06,3.856122e-06,3.852132e-06,3.839439e-06,3.830031e-06,3.822611e-06,3.807704e-06,3.805666e-06,3.788628e-06,3.785212e-06,3.771522e-06,3.762607e-06,3.754369e-06,3.739939e-06,3.737189e-06,3.720002e-06,3.717252e-06,3.702824e-06,3.694587e-06,3.685673e-06,3.671980e-06,3.668562e-06,3.651507e-06,3.649464e-06,3.634519e-06,3.627068e-06,3.617610e-06,3.604819e-06,3.600792e-06,3.584074e-06,3.582741e-06,3.567465e-06,3.560854e-06,3.550974e-06,3.539177e-06,3.534608e-06,3.518375e-06,3.517728e-06,3.502280e-06,3.496521e-06,3.486330e-06,3.475569e-06,3.470529e-06,3.454883e-06,3.434473e-06,3.414347e-06,3.394513e-06,3.374976e-06,3.355741e-06,3.336812e-06,3.318193e-06,3.299884e-06,3.281889e-06,3.264207e-06,3.246839e-06,3.229784e-06,3.213041e-06,3.196611e-06,3.180489e-06,3.164675e-06,3.149167e-06,3.133960e-06,3.119053e-06,3.104443e-06,3.090126e-06,3.076097e-06,3.062355e-06,3.048895e-06
0.000000e+00,2.766810e-10,8.907444e-10,4.696862e-09,1.343426e-08,2.146948e-08,5.786036e-08,5.994202e-08,1.306983e-07,1.580100e-07,2.469560e-07,3.453545e-07,4.253196e-07,6.593129e-07,6.831884e-07,1.030455e-06,1.126839e-06,1.461917e-06,1.734277e-06,1.960948e-06,2.441405e-06,2.509285e-06,3.092384e-06,3.212196e-06,3.699775e-06,4.022586e-06,4.323746e-06,4.856165e-06,4.958143e-06,5.597632e-06,5.700092e-06,6.237337e-06,6.543123e-06,6.872699e-06,7.374984e-06,7.499453e-06,8.113679e-06,8.186372e-06,8.711858e-06,8.969163e-06,9.290913e-06,9.716587e-06,9.848245e-06,1.038174e-05,1.042334e-05,1.088977e-05,1.108558e-05,1.137116e-05,1.170084e-05,1.182517e-05,1.225141e-05,1.226788e-05,1.264986e-05,1.278653e-05,1.302075e-05,1.325746e-05,1.336458e-05,1.368201e-05,1.397388e-05,1.406203e-05,1.424112e-05,1.439970e-05,1.448476e-05,1.469744e-05,1.470587e-05,1.490556e-05,1.495779e-05,1.508496e-05,1.518332e-05,1.524518e-05,1.537661e-05,1.538734e-05,1.551251e-05,1.554014e-05,1.562173e-05,1.567632e-05,1.571603e-05,1.578743e-05,1.579637e-05,1.586368e-05,1.587565e-05,1.591884e-05,1.594300e-05,1.596269e-05,1.599137e-05,1.599603e-05,1.601960e-05,1.602252e-05,1.603412e-05,1.603807e-05,1.604024e-05,1.603952e-05,1.603860e-05,1.602978e-05,1.602827e-05,1.601433e-05,1.600557e-05,1.599277e-05,1.597260e-05,1.596559e-05,1.593323e-05,1.593043e-05,1.589611e-05,1.588003e-05,1.585464e-05,1.582229e-05,1.580918e-05,1.576008e-05,1.575805e-05,1.570766e-05,1.568804e-05,1.565222e-05,1.561294e-05,1.559404e-05,1.553338e-05,1.547049e-05,1.544992e-05,1.540558e-05,1.536309e-05,1.533888e-05,1.527333e-05,1.527057e-05,1.520085e-05,1.518110e-05,1.512988e-05,1.508677e-05,1.505782e-05,1.499069e-05,1.498482e-05,1.491101e-05,1.489319e-05,1.483652e-05,1.479456e-05,1.476148e-05,1.469506e-05,1.468598e-05,1.461013e-05,1.459493e-05,1.453403e-05,1.449439e-05,1.445777e-05,1.439363e-05,1.438141e-05,1.430504e-05,1.429283e-05,1.422874e-05,1.419215e-05,1.415255e-05,1.409172e-05,1.407654e-05,1.400077e-05,1.399169e-05,1.392528e-05,1.389217e-05,1.385012e-05,1.379325e-05,1.377534e-05,1.370097e-05,1.369504e-05,1.362705e-05,1.359761e-05,1.355360e-05,1.350104e-05,1.348067e-05,1.340828e-05,1.340539e-05,1.333644e-05,1.331073e-05,1.326520e-05,1.321709e-05,1.319455e-05,1.312453e-05,1.303308e-05,1.294277e-05,1.285364e-05,1.276571e-05,1.267899e-05,1.259350e-05,1.250925e-05,1.242626e-05,1.234452e-05,1.226405e-05,1.218485e-05,1.210691e-05,1.203022e-05,1.195480e-05,1.188063e-05,1.180771e-05,1.173602e-05,1.166556e-05,1.159632e-05,1.152829e-05,1.146145e-05,1.139579e-05,1.133130e-05,1.126797e-05
0.000000e+00,1.369703e-10,4.573561e-10,2.562807e-09,7.636437e-09,1.242071e-08,3.457401e-08,3.585220e-08,7.941928e-08,9.620797e-08,1.505689e-07,2.101493e-07,2.582546e-07,3.986615e-07,4.130400e-07,6.255951e-07,6.861165e-07,9.028178e-07,1.086350e-06,1.243897e-06,1.590493e-06,1.640679e-06,2.081917e-06,2.174538e-06,2.557090e-06,2.814733e-06,3.057856e-06,3.493622e-06,3.577914e-06,4.112388e-06,4.198964e-06,4.657257e-06,4.921435e-06,5.208977e-06,5.653065e-06,5.764251e-06,6.319927e-06,6.386490e-06,6.872972e-06,7.114721e-06,7.420466e-06,7.831143e-06,7.959648e-06,8.487946e-06,8.529667e-06,9.002981e-06,9.204798e-06,9.502636e-06,9.851820e-06,9.985068e-06,1.044871e-05,1.046684e-05,1.089228e-05,1.104685e-05,1.131478e-05,1.158967e-05,1.171549e-05,1.209392e-05,1.244983e-05,1.255895e-05,1.278320e-05,1.298480e-05,1.309420e-05,1.337200e-05,1.338314e-05,1.365045e-05,1.372149e-05,1.389667e-05,1.403453e-05,1.412241e-05,1.431258e-05,1.432835e-05,1.451523e-05,1.455734e-05,1.468387e-05,1.477066e-05,1.483512e-05,1.495451e-05,1.496983e-05,1.508885e-05,1.511085e-05,1.519305e-05,1.524166e-05,1.528329e-05,1.534894e-05,1.536044e-05,1.542548e-05,1.543482e-05,1.547928e-05,1.550134e-05,1.552262e-05,1.555021e-05,1.555617e-05,1.558062e-05,1.558297e-05,1.559659e-05,1.560108e-05,1.560467e-05,1.560588e-05,1.560543e-05,1.559941e-05,1.559865e-05,1.558713e-05,1.558058e-05,1.556907e-05,1.555273e-05,1.554566e-05,1.551734e-05,1.551611e-05,1.548451e-05,1.547166e-05,1.544754e-05,1.542022e-05,1.540678e-05,1.536257e-05,1.531521e-05,1.529944e-05,1.526498e-05,1.523146e-05,1.521216e-05,1.515925e-05,1.515700e-05,1.509973e-05,1.508334e-05,1.504056e-05,1.500424e-05,1.497971e-05,1.492240e-05,1.491736e-05,1.485369e-05,1.483823e-05,1.478886e-05,1.475211e-05,1.472302e-05,1.466437e-05,1.465632e-05,1.458889e-05,1.457533e-05,1.452085e-05,1.448527e-05,1.445232e-05,1.439444e-05,1.438339e-05,1.431417e-05,1.430307e-05,1.424474e-05,1.421137e-05,1.417520e-05,1.411953e-05,1.410561e-05,1.403605e-05,1.402771e-05,1.396659e-05,1.393607e-05,1.389728e-05,1.384474e-05,1.382818e-05,1.375935e-05,1.375385e-05,1.369082e-05,1.366351e-05,1.362265e-05,1.357380e-05,1.355487e-05,1.348751e-05,1.348483e-05,1.342062e-05,1.339666e-05,1.335423e-05,1.330937e-05,1.328835e-05,1.322301e-05,1.313764e-05,1.305330e-05,1.297004e-05,1.288788e-05,1.280685e-05,1.272698e-05,1.264829e-05,1.257080e-05,1.249450e-05,1.241943e-05,1.234558e-05,1.227295e-05,1.220154e-05,1.213137e-05,1.206241e-05,1.199468e-05,1.192816e-05,1.186284e-05,1.179872e-05,1.173578e-05,1.167402e-05,1.161343e-05,1.155398e-05,1.149568e-05
0.000000e+00,1.521785e-10,5.948597e-10,4.507021e-09,1.719989e-08,3.171599e-08,1.183114e-07,1.240420e-07,3.519594e-07,4.530127e-07,8.159278e-07,1.260732e-06,1.646626e-06,2.872008e-06,3.004270e-06,5.076447e-06,5.703006e-06,8.072302e-06,1.023528e-05,1.221142e-05,1.697126e-05,1.770961e-05,2.476637e-05,2.638061e-05,3.355632e-05,3.886147e-05,4.422454e-05,5.472112e-05,5.688420e-05,7.161587e-05,7.416888e-05,8.846749e-05,9.731514e-05,1.074549e-04,1.241735e-04,1.285630e-04,1.517467e-04,1.546651e-04,1.769331e-04,1.886249e-04,2.040231e-04,2.258102e-04,2.328945e-04,2.634043e-04,2.659111e-04,2.953920e-04,3.085622e-04,3.286830e-04,3.533556e-04,3.630917e-04,3.984254e-04,3.998552e-04,4.344872e-04,4.476095e-04,4.710794e-04,4.961652e-04,5.080066e-04,5.450783e-04,5.821112e-04,5.939249e-04,6.189314e-04,6.423089e-04,6.553759e-04,6.898692e-04,6.912941e-04,7.265486e-04,7.362838e-04,7.610160e-04,7.812725e-04,7.945869e-04,8.245985e-04,8.271664e-04,8.586736e-04,8.660680e-04,8.890412e-04,9.055286e-04,9.182150e-04,9.428670e-04,9.461533e-04,9.728256e-04,9.780063e-04,9.982125e-04,1.010902e-03,1.022304e-03,1.041539e-03,1.045099e-03,1.066606e-03,1.069928e-03,1.086836e-03,1.096100e-03,1.105812e-03,1.120105e-03,1.123557e-03,1.140102e-03,1.142009e-03,1.155481e-03,1.161888e-03,1.169731e-03,1.179829e-03,1.182890e-03,1.195000e-03,1.195925e-03,1.206104e-03,1.210273e-03,1.216244e-03,1.222973e-03,1.225464e-03,1.233808e-03,1.234125e-03,1.241319e-03,1.243827e-03,1.248039e-03,1.252179e-03,1.254011e-03,1.259275e-03,1.263870e-03,1.265206e-03,1.267835e-03,1.270060e-03,1.271208e-03,1.273920e-03,1.274023e-03,1.276314e-03,1.276867e-03,1.278116e-03,1.278974e-03,1.279457e-03,1.280311e-03,1.280369e-03,1.280879e-03,1.280945e-03,1.281014e-03,1.280936e-03,1.280800e-03,1.280341e-03,1.280260e-03,1.279418e-03,1.279215e-03,1.278294e-03,1.277605e-03,1.276909e-03,1.275558e-03,1.275282e-03,1.273430e-03,1.273114e-03,1.271371e-03,1.270314e-03,1.269121e-03,1.267192e-03,1.266693e-03,1.264103e-03,1.263782e-03,1.261363e-03,1.260113e-03,1.258485e-03,1.256213e-03,1.255481e-03,1.252362e-03,1.252107e-03,1.249137e-03,1.247820e-03,1.245816e-03,1.243371e-03,1.242409e-03,1.238922e-03,1.238781e-03,1.235365e-03,1.234068e-03,1.231743e-03,1.229248e-03,1.228065e-03,1.224336e-03,1.219345e-03,1.214288e-03,1.209178e-03,1.204023e-03,1.198835e-03,1.193621e-03,1.188389e-03,1.183148e-03,1.177903e-03,1.172661e-03,1.167428e-03,1.162207e-03,1.157005e-03,1.151826e-03,1.146672e-03,1.141548e-03,1.136457e-03,1.131401e-03,1.126384e-03,1.121407e-03,1.116473e-03,1.111583e-03,1.106740e-03,1.101944e-03
0.000000e+00,2.693782e-09,1.058953e-08,8.120220e-08,3.134307e-07,5.816938e-07,2.208157e-06,2.316822e-06,6.698567e-06,8.668452e-06,1.583532e-05,2.476604e-05,3.261398e-05,5.799775e-05,6.077257e-05,1.049364e-04,1.185070e-04,1.705408e-04,2.188609e-04,2.635588e-04,3.729260e-04,3.900714e-04,5.558337e-04,5.941597e-04,7.659566e-04,8.942085e-04,1.024719e-03,1.282152e-03,1.335478e-03,1.700635e-03,1.764219e-03,2.121650e-03,2.343771e-03,2.599065e-03,3.021418e-03,3.132560e-03,3.721011e-03,3.795238e-03,4.362565e-03,4.661048e-03,5.054718e-03,5.612726e-03,5.794403e-03,6.578079e-03,6.642559e-03,7.401823e-03,7.741602e-03,8.261415e-03,8.900039e-03,9.152429e-03,1.007031e-02,1.010752e-02,1.101045e-02,1.135346e-02,1.196826e-02,1.262734e-02,1.293921e-02,1.391891e-02,1.490315e-02,1.521839e-02,1.588788e-02,1.651660e-02,1.686931e-02,1.780510e-02,1.784391e-02,1.880840e-02,1.907622e-02,1.975976e-02,2.032314e-02,2.069529e-02,2.153987e-02,2.161252e-02,2.250928e-02,2.272124e-02,2.338367e-02,2.386293e-02,2.423404e-02,2.496136e-02,2.505897e-02,2.585730e-02,2.601368e-02,2.662807e-02,2.701773e-02,2.737054e-02,2.797193e-02,2.808414e-02,2.876851e-02,2.887527e-02,2.942340e-02,2.972725e-02,3.004875e-02,3.052779e-02,3.064461e-02,3.121116e-02,3.127719e-02,3.174868e-02,3.197608e-02,3.225753e-02,3.262537e-02,3.273818e-02,3.319116e-02,3.322622e-02,3.361704e-02,3.377995e-02,3.401647e-02,3.428807e-02,3.439014e-02,3.473876e-02,3.475220e-02,3.506309e-02,3.517404e-02,3.536388e-02,3.555538e-02,3.564193e-02,3.589803e-02,3.613299e-02,3.620384e-02,3.634761e-02,3.647467e-02,3.654270e-02,3.671234e-02,3.671905e-02,3.687745e-02,3.691869e-02,3.701868e-02,3.709550e-02,3.714351e-02,3.724452e-02,3.725269e-02,3.734696e-02,3.736745e-02,3.742704e-02,3.746594e-02,3.749362e-02,3.754160e-02,3.754740e-02,3.758902e-02,3.759595e-02,3.761914e-02,3.763046e-02,3.763837e-02,3.764655e-02,3.764731e-02,3.764655e-02,3.764556e-02,3.763663e-02,3.762878e-02,3.761810e-02,3.759742e-02,3.759147e-02,3.755724e-02,3.755265e-02,3.751588e-02,3.749555e-02,3.746785e-02,3.742716e-02,3.741359e-02,3.735351e-02,3.734847e-02,3.728802e-02,3.726038e-02,3.721748e-02,3.716378e-02,3.714227e-02,3.706274e-02,3.705947e-02,3.697921e-02,3.694822e-02,3.689200e-02,3.683075e-02,3.680141e-02,3.670772e-02,3.657977e-02,3.644749e-02,3.631140e-02,3.617204e-02,3.602987e-02,3.588533e-02,3.573883e-02,3.559075e-02,3.544144e-02,3.529122e-02,3.514039e-02,3.498923e-02,3.483799e-02,3.468691e-02,3.453619e-02,3.438604e-02,3.423663e-02,3.408812e-02,3.394067e-02,3.379440e-02,3.364944e-02,3.350590e-02,3.336387e-02,3.322344e-02
0.000000e+00,6.727936e-11,1.569313e-10,5.526634e-10,1.279315e-09,1.884852e-09,4.406579e-09,4.545592e-09,9.143301e-09,1.088137e-08,1.647713e-08,2.259828e-08,2.753799e-08,4.187883e-08,4.333561e-08,6.446454e-08,7.032127e-08,9.069555e-08,1.072894e-07,1.211288e-07,1.505582e-07,1.547266e-07,1.906399e-07,1.980425e-07,2.282487e-07,2.483197e-07,2.670980e-07,3.004286e-07,3.068331e-07,3.471589e-07,3.536481e-07,3.878167e-07,4.073813e-07,4.285743e-07,4.611097e-07,4.692207e-07,5.095664e-07,5.143795e-07,5.494425e-07,5.668004e-07,5.887013e-07,6.180463e-07,6.272159e-07,6.648796e-07,6.678532e-07,7.016045e-07,7.160152e-07,7.373199e-07,7.623788e-07,7.719714e-07,8.055186e-07,8.068370e-07,8.379332e-07,8.493216e-07,8.691977e-07,8.897956e-07,8.993031e-07,9.282483e-07,9.560384e-07,9.646888e-07,9.826836e-07,9.991422e-07,1.008198e-06,1.031645e-06,1.032600e-06,1.055910e-06,1.062245e-06,1.078151e-06,1.090992e-06,1.099347e-06,1.117945e-06,1.119523e-06,1.138705e-06,1.143164e-06,1.156922e-06,1.166711e-06,1.174200e-06,1.188649e-06,1.190566e-06,1.206049e-06,1.209042e-06,1.220676e-06,1.227953e-06,1.234474e-06,1.245444e-06,1.247471e-06,1.259692e-06,1.261577e-06,1.271165e-06,1.276413e-06,1.281915e-06,1.290011e-06,1.291967e-06,1.301347e-06,1.302429e-06,1.310079e-06,1.313722e-06,1.318186e-06,1.323944e-06,1.325692e-06,1.332619e-06,1.333149e-06,1.338990e-06,1.341387e-06,1.344826e-06,1.348707e-06,1.350147e-06,1.354974e-06,1.355157e-06,1.359327e-06,1.360782e-06,1.363226e-06,1.365626e-06,1.366688e-06,1.369731e-06,1.372374e-06,1.373138e-06,1.374633e-06,1.375885e-06,1.376525e-06,1.378010e-06,1.378065e-06,1.379269e-06,1.379548e-06,1.380153e-06,1.380534e-06,1.380729e-06,1.381001e-06,1.381013e-06,1.381018e-06,1.380979e-06,1.380756e-06,1.380498e-06,1.380241e-06,1.379588e-06,1.379485e-06,1.378498e-06,1.378275e-06,1.377294e-06,1.376585e-06,1.375882e-06,1.374543e-06,1.374273e-06,1.372477e-06,1.372173e-06,1.370504e-06,1.369497e-06,1.368364e-06,1.366537e-06,1.366065e-06,1.363616e-06,1.363313e-06,1.361027e-06,1.359844e-06,1.358303e-06,1.356150e-06,1.355455e-06,1.352488e-06,1.352246e-06,1.349411e-06,1.348151e-06,1.346230e-06,1.343880e-06,1.342952e-06,1.339583e-06,1.339447e-06,1.336130e-06,1.334867e-06,1.332598e-06,1.330154e-06,1.328993e-06,1.325320e-06,1.320377e-06,1.315337e-06,1.310211e-06,1.305008e-06,1.299739e-06,1.294411e-06,1.289035e-06,1.283618e-06,1.278168e-06,1.272691e-06,1.267195e-06,1.261685e-06,1.256169e-06,1.250650e-06,1.245135e-06,1.239629e-06,1.234136e-06,1.228659e-06,1.223204e-06,1.217774e-06,1.212372e-06,1.207002e-06,1.201666e-06,1.196367e-06
0.000000e+00,7.502500e-11,2.910924e-10,2.171334e-09,8.167911e-09,1.494188e-08,5.459450e-08,5.719037e-08,1.589439e-07,2.034282e-07,3.612437e-07,5.518421e-07,7.154393e-07,1.227628e-06,1.282401e-06,2.131653e-06,2.385878e-06,3.339829e-06,4.203144e-06,4.987279e-06,6.862472e-06,7.151907e-06,9.901232e-06,1.052604e-05,1.328544e-05,1.530665e-05,1.733358e-05,2.125313e-05,2.205307e-05,2.743156e-05,2.835152e-05,3.343983e-05,3.653537e-05,4.003510e-05,4.569843e-05,4.716409e-05,5.476580e-05,5.570667e-05,6.277397e-05,6.640848e-05,7.111906e-05,7.764301e-05,7.973010e-05,8.853612e-05,8.924692e-05,9.746748e-05,1.010600e-04,1.064570e-04,1.129295e-04,1.154408e-04,1.243593e-04,1.247139e-04,1.331574e-04,1.362856e-04,1.417855e-04,1.475326e-04,1.501991e-04,1.583598e-04,1.662345e-04,1.686894e-04,1.737958e-04,1.784603e-04,1.810219e-04,1.876278e-04,1.878959e-04,1.944058e-04,1.961622e-04,2.005441e-04,2.040472e-04,2.063074e-04,2.112783e-04,2.116956e-04,2.167121e-04,2.178614e-04,2.213629e-04,2.238105e-04,2.256562e-04,2.291467e-04,2.296023e-04,2.332129e-04,2.338959e-04,2.365012e-04,2.380882e-04,2.394809e-04,2.417561e-04,2.421667e-04,2.445733e-04,2.449335e-04,2.467160e-04,2.476551e-04,2.486097e-04,2.499556e-04,2.502695e-04,2.517099e-04,2.518687e-04,2.529452e-04,2.534272e-04,2.539890e-04,2.546625e-04,2.548548e-04,2.555550e-04,2.556043e-04,2.561019e-04,2.562802e-04,2.565067e-04,2.567164e-04,2.567804e-04,2.569331e-04,2.569369e-04,2.569744e-04,2.569637e-04,2.569131e-04,2.568172e-04,2.567577e-04,2.565160e-04,2.561952e-04,2.560769e-04,2.558020e-04,2.555154e-04,2.553429e-04,2.548453e-04,2.548234e-04,2.542492e-04,2.540792e-04,2.536250e-04,2.532285e-04,2.529556e-04,2.523034e-04,2.522452e-04,2.514976e-04,2.513131e-04,2.507167e-04,2.502660e-04,2.499056e-04,2.491694e-04,2.490675e-04,2.482052e-04,2.480301e-04,2.473214e-04,2.468541e-04,2.464184e-04,2.456468e-04,2.454986e-04,2.445640e-04,2.444132e-04,2.436164e-04,2.431576e-04,2.426578e-04,2.418839e-04,2.416895e-04,2.407133e-04,2.405957e-04,2.397304e-04,2.392961e-04,2.387421e-04,2.379881e-04,2.377496e-04,2.367540e-04,2.366743e-04,2.357563e-04,2.353569e-04,2.347574e-04,2.340380e-04,2.337582e-04,2.327595e-04,2.327195e-04,2.317619e-04,2.314032e-04,2.307662e-04,2.300905e-04,2.297730e-04,2.287828e-04,2.274814e-04,2.261874e-04,2.249017e-04,2.236253e-04,2.223589e-04,2.211033e-04,2.198591e-04,2.186268e-04,2.174071e-04,2.162002e-04,2.150066e-04,2.138266e-04,2.126606e-04,2.115087e-04,2.103713e-04,2.092484e-04,2.081402e-04,2.070468e-04,2.059683e-04,2.049048e-04,2.038564e-04,2.028229e-04,2.018045e-04,2.008011e-04
0.000000e+00,2.602658e-10,9.187764e-10,5.689625e-09,1.826923e-08,3.077607e-08,9.217868e-08,9.582453e-08,2.231058e-07,2.730114e-07,4.356120e-07,6.138601e-07,7.570479e-07,1.169414e-06,1.211145e-06,1.818232e-06,1.988237e-06,2.590128e-06,3.095353e-06,3.528547e-06,4.488073e-06,4.628305e-06,5.881217e-06,6.149382e-06,7.278131e-06,8.058241e-06,8.809337e-06,1.019168e-05,1.046434e-05,1.223159e-05,1.252394e-05,1.409843e-05,1.502588e-05,1.605111e-05,1.766533e-05,1.807512e-05,2.015545e-05,2.040815e-05,2.227696e-05,2.321960e-05,2.442472e-05,2.606568e-05,2.658432e-05,2.874218e-05,2.891434e-05,3.088567e-05,3.173644e-05,3.300336e-05,3.450633e-05,3.508503e-05,3.712179e-05,3.720221e-05,3.910600e-05,3.980619e-05,4.103129e-05,4.230413e-05,4.289247e-05,4.468544e-05,4.640712e-05,4.694262e-05,4.805532e-05,4.907095e-05,4.962868e-05,5.106809e-05,5.112655e-05,5.254890e-05,5.293367e-05,5.389617e-05,5.466884e-05,5.516922e-05,5.627590e-05,5.636925e-05,5.749774e-05,5.775812e-05,5.855641e-05,5.911946e-05,5.954713e-05,6.036435e-05,6.047191e-05,6.133291e-05,6.149764e-05,6.213232e-05,6.252443e-05,6.287241e-05,6.344990e-05,6.355544e-05,6.418373e-05,6.427934e-05,6.475967e-05,6.501823e-05,6.528565e-05,6.567201e-05,6.576396e-05,6.619673e-05,6.624570e-05,6.658609e-05,6.674418e-05,6.693408e-05,6.717209e-05,6.724266e-05,6.751374e-05,6.753386e-05,6.774918e-05,6.783378e-05,6.795077e-05,6.807594e-05,6.812025e-05,6.825926e-05,6.826421e-05,6.836936e-05,6.840223e-05,6.845211e-05,6.849349e-05,6.850895e-05,6.854132e-05,6.855056e-05,6.854885e-05,6.853797e-05,6.851903e-05,6.850479e-05,6.845465e-05,6.845219e-05,6.838131e-05,6.835834e-05,6.829323e-05,6.823256e-05,6.818899e-05,6.807965e-05,6.806956e-05,6.793589e-05,6.790180e-05,6.778889e-05,6.770107e-05,6.762941e-05,6.747940e-05,6.745827e-05,6.727624e-05,6.723860e-05,6.708407e-05,6.698037e-05,6.688246e-05,6.670631e-05,6.667209e-05,6.645359e-05,6.641792e-05,6.622758e-05,6.611659e-05,6.599462e-05,6.580363e-05,6.575527e-05,6.551006e-05,6.548027e-05,6.525948e-05,6.514764e-05,6.500399e-05,6.480682e-05,6.474406e-05,6.448009e-05,6.445881e-05,6.421249e-05,6.410452e-05,6.394164e-05,6.374482e-05,6.366790e-05,6.339161e-05,6.338051e-05,6.311310e-05,6.301236e-05,6.283268e-05,6.264104e-05,6.255062e-05,6.226720e-05,6.189146e-05,6.151435e-05,6.113640e-05,6.075808e-05,6.037983e-05,6.000206e-05,5.962514e-05,5.924941e-05,5.887519e-05,5.850277e-05,5.813241e-05,5.776437e-05,5.739885e-05,5.703606e-05,5.667618e-05,5.631937e-05,5.596580e-05,5.561557e-05,5.526883e-05,5.492566e-05,5.458617e-05,5.425044e-05,5.391853e-05,5.359051e-05
0.000000e+00,7.530888e-10,2.929430e-09,2.197559e-08,8.313806e-08,1.526053e-07,5.631222e-07,5.901575e-07,1.659719e-06,2.131942e-06,3.823674e-06,5.893429e-06,7.688044e-06,1.338449e-05,1.399902e-05,2.360634e-05,2.650029e-05,3.738087e-05,4.721719e-05,5.611986e-05,7.724410e-05,8.048245e-05,1.109621e-04,1.178235e-04,1.478824e-04,1.696858e-04,1.914040e-04,2.330748e-04,2.415365e-04,2.981509e-04,3.077955e-04,3.609945e-04,3.932697e-04,4.297060e-04,4.885976e-04,5.038313e-04,5.828409e-04,5.926229e-04,6.661474e-04,7.040027e-04,7.531226e-04,8.212766e-04,8.431145e-04,9.354628e-04,9.429328e-04,1.029514e-03,1.067467e-03,1.124631e-03,1.193434e-03,1.220208e-03,1.315675e-03,1.319484e-03,1.410504e-03,1.444392e-03,1.504215e-03,1.567078e-03,1.596378e-03,1.686613e-03,1.774590e-03,1.802218e-03,1.860028e-03,1.913267e-03,1.942694e-03,2.019267e-03,2.022396e-03,2.098986e-03,2.119857e-03,2.172351e-03,2.214787e-03,2.242411e-03,2.303907e-03,2.309119e-03,2.372453e-03,2.387151e-03,2.432414e-03,2.464526e-03,2.489024e-03,2.536099e-03,2.542322e-03,2.592362e-03,2.601984e-03,2.639210e-03,2.662335e-03,2.682943e-03,2.717332e-03,2.723645e-03,2.761407e-03,2.767182e-03,2.796324e-03,2.812104e-03,2.828497e-03,2.852328e-03,2.858028e-03,2.885018e-03,2.888091e-03,2.909573e-03,2.919632e-03,2.931795e-03,2.947188e-03,2.951788e-03,2.969654e-03,2.970995e-03,2.985493e-03,2.991283e-03,2.999402e-03,3.008276e-03,3.011478e-03,3.021814e-03,3.022193e-03,3.030500e-03,3.033241e-03,3.037625e-03,3.041621e-03,3.043273e-03,3.047526e-03,3.050463e-03,3.051138e-03,3.052161e-03,3.052632e-03,3.052693e-03,3.052172e-03,3.052129e-03,3.050537e-03,3.049915e-03,3.047980e-03,3.046009e-03,3.044522e-03,3.040594e-03,3.040220e-03,3.035131e-03,3.033799e-03,3.029310e-03,3.025749e-03,3.022807e-03,3.016559e-03,3.015671e-03,3.007950e-03,3.006339e-03,2.999687e-03,2.995190e-03,2.990924e-03,2.983207e-03,2.981703e-03,2.972060e-03,2.970480e-03,2.962032e-03,2.957092e-03,2.951653e-03,2.943120e-03,2.940956e-03,2.929972e-03,2.928636e-03,2.918729e-03,2.913707e-03,2.907254e-03,2.898396e-03,2.895575e-03,2.883716e-03,2.882760e-03,2.871699e-03,2.866853e-03,2.859547e-03,2.850725e-03,2.847280e-03,2.834918e-03,2.834422e-03,2.822479e-03,2.817985e-03,2.809979e-03,2.801454e-03,2.797436e-03,2.784864e-03,2.768249e-03,2.751639e-03,2.735060e-03,2.718540e-03,2.702099e-03,2.685760e-03,2.669541e-03,2.653459e-03,2.637530e-03,2.621767e-03,2.606183e-03,2.590788e-03,2.575593e-03,2.560605e-03,2.545833e-03,2.531282e-03,2.516957e-03,2.502864e-03,2.489006e-03,2.475386e-03,2.462007e-03,2.448869e-03,2.435975e-03,2.423324e-03
0.000000e+00,3.433908e-12,7.875088e-12,2.716305e-11,6.194975e-11,9.048891e-11,2.058212e-10,2.120326e-10,4.103644e-10,4.822397e-10,7.045977e-10,9.354683e-10,1.114782e-09,1.612572e-09,1.661880e-09,2.367017e-09,2.561992e-09,3.249499e-09,3.826702e-09,4.323266e-09,5.430016e-09,5.592484e-09,7.048929e-09,7.361159e-09,8.673774e-09,9.577291e-09,1.044289e-08,1.202250e-08,1.233184e-08,1.431842e-08,1.464400e-08,1.638323e-08,1.739703e-08,1.850919e-08,2.024371e-08,2.068108e-08,2.288506e-08,2.315108e-08,2.510843e-08,2.608981e-08,2.733950e-08,2.903366e-08,2.956759e-08,3.178297e-08,3.195939e-08,3.397691e-08,3.484670e-08,3.614162e-08,3.767827e-08,3.827032e-08,4.035714e-08,4.043967e-08,4.239711e-08,4.311920e-08,4.438608e-08,4.570772e-08,4.632070e-08,4.819830e-08,5.001683e-08,5.058603e-08,5.177483e-08,5.286772e-08,5.347132e-08,5.504158e-08,5.510576e-08,5.667797e-08,5.710705e-08,5.818810e-08,5.906454e-08,5.963655e-08,6.091522e-08,6.102399e-08,6.235122e-08,6.266091e-08,6.361925e-08,6.430389e-08,6.482918e-08,6.584683e-08,6.598223e-08,6.707969e-08,6.729263e-08,6.812292e-08,6.864443e-08,6.911331e-08,6.990545e-08,7.005230e-08,7.094133e-08,7.107904e-08,7.178188e-08,7.216855e-08,7.257540e-08,7.317735e-08,7.332337e-08,7.402724e-08,7.410881e-08,7.468845e-08,7.496624e-08,7.530842e-08,7.575289e-08,7.588857e-08,7.643026e-08,7.647197e-08,7.693485e-08,7.712660e-08,7.740367e-08,7.771981e-08,7.783803e-08,7.823919e-08,7.825456e-08,7.860838e-08,7.873371e-08,7.894684e-08,7.916002e-08,7.925572e-08,7.953618e-08,7.978935e-08,7.986477e-08,8.001630e-08,8.014828e-08,8.021809e-08,8.038910e-08,8.039576e-08,8.055028e-08,8.058954e-08,8.068264e-08,8.075181e-08,8.079377e-08,8.087803e-08,8.088457e-08,8.095592e-08,8.097025e-08,8.100869e-08,8.103042e-08,8.104368e-08,8.106042e-08,8.106171e-08,8.106354e-08,8.106203e-08,8.104992e-08,8.103697e-08,8.102157e-08,8.098689e-08,8.097919e-08,8.092345e-08,8.091334e-08,8.085501e-08,8.081782e-08,8.077448e-08,8.070177e-08,8.068248e-08,8.057958e-08,8.056653e-08,8.046637e-08,8.041342e-08,8.034336e-08,8.024366e-08,8.021110e-08,8.007008e-08,8.005844e-08,7.992080e-08,7.985887e-08,7.976371e-08,7.964603e-08,7.959927e-08,7.942791e-08,7.942092e-08,7.925005e-08,7.918451e-08,7.906609e-08,7.893771e-08,7.887642e-08,7.868140e-08,7.841640e-08,7.814348e-08,7.786340e-08,7.757684e-08,7.728448e-08,7.698695e-08,7.668483e-08,7.637869e-08,7.606907e-08,7.575645e-08,7.544131e-08,7.512410e-08,7.480523e-08,7.448510e-08,7.416408e-08,7.384251e-08,7.352073e-08,7.319903e-08,7.287770e-08,7.255702e-08,7.223722e-08,7.191855e-08,7.160123e-08,7.128544e-08
0.000000e+00,1.300789e-10,4.849889e-10,3.337138e-09,1.168936e-08,2.058181e-08,6.833734e-08,7.131510e-08,1.810551e-07,2.262691e-07,3.789676e-07,5.529561e-07,6.962315e-07,1.121214e-06,1.165064e-06,1.817742e-06,2.005194e-06,2.684584e-06,3.273198e-06,3.790584e-06,4.975185e-06,5.152456e-06,6.778035e-06,7.134939e-06,8.667723e-06,9.753225e-06,1.081645e-05,1.281509e-05,1.321523e-05,1.585205e-05,1.629509e-05,1.871237e-05,2.015987e-05,2.177943e-05,2.436943e-05,2.503454e-05,2.845734e-05,2.887833e-05,3.202623e-05,3.363707e-05,3.571879e-05,3.859382e-05,3.951223e-05,4.338383e-05,4.369627e-05,4.731141e-05,4.889331e-05,5.127364e-05,5.413653e-05,5.525036e-05,5.922282e-05,5.938138e-05,6.317384e-05,6.458791e-05,6.708790e-05,6.972124e-05,7.095120e-05,7.475163e-05,7.847872e-05,7.965441e-05,8.212359e-05,8.440968e-05,8.567884e-05,8.900193e-05,8.913841e-05,9.249750e-05,9.341951e-05,9.575241e-05,9.765420e-05,9.890046e-05,1.017007e-04,1.019398e-04,1.048695e-04,1.055563e-04,1.076891e-04,1.092201e-04,1.103989e-04,1.126931e-04,1.129994e-04,1.154920e-04,1.159776e-04,1.178779e-04,1.190770e-04,1.201590e-04,1.219956e-04,1.223373e-04,1.244148e-04,1.247381e-04,1.263941e-04,1.273099e-04,1.282774e-04,1.297168e-04,1.300674e-04,1.317666e-04,1.319645e-04,1.333777e-04,1.340593e-04,1.349032e-04,1.360071e-04,1.363459e-04,1.377084e-04,1.378141e-04,1.389934e-04,1.394863e-04,1.402035e-04,1.410298e-04,1.413412e-04,1.424091e-04,1.424504e-04,1.434096e-04,1.437538e-04,1.443453e-04,1.449457e-04,1.452185e-04,1.460316e-04,1.467868e-04,1.470166e-04,1.474864e-04,1.479060e-04,1.481326e-04,1.487046e-04,1.487274e-04,1.492730e-04,1.494172e-04,1.497713e-04,1.500484e-04,1.502243e-04,1.506027e-04,1.506339e-04,1.510018e-04,1.510841e-04,1.513299e-04,1.514969e-04,1.516199e-04,1.518449e-04,1.518734e-04,1.520921e-04,1.521318e-04,1.522775e-04,1.523612e-04,1.524310e-04,1.525365e-04,1.525543e-04,1.526486e-04,1.526611e-04,1.527153e-04,1.527379e-04,1.527558e-04,1.527700e-04,1.527712e-04,1.527628e-04,1.527603e-04,1.527319e-04,1.527114e-04,1.526794e-04,1.526259e-04,1.526066e-04,1.525144e-04,1.525062e-04,1.524039e-04,1.523548e-04,1.522760e-04,1.521737e-04,1.521317e-04,1.519719e-04,1.519652e-04,1.517975e-04,1.517313e-04,1.516092e-04,1.514738e-04,1.514080e-04,1.511945e-04,1.508952e-04,1.505775e-04,1.502429e-04,1.498929e-04,1.495289e-04,1.491521e-04,1.487639e-04,1.483653e-04,1.479575e-04,1.475415e-04,1.471183e-04,1.466889e-04,1.462540e-04,1.458145e-04,1.453712e-04,1.449247e-04,1.444759e-04,1.440252e-04,1.435733e-04,1.431208e-04,1.426682e-04,1.422159e-04,1.417644e-04,1.413142e-04
0.000000e+00,8.997783e-11,3.322396e-10,2.239295e-09,7.692684e-09,1.339813e-08,4.323253e-08,4.506356e-08,1.111850e-07,1.378826e-07,2.265520e-07,3.256040e-07,4.060454e-07,6.405092e-07,6.644249e-07,1.015934e-06,1.115588e-06,1.472734e-06,1.777439e-06,2.041771e-06,2.634513e-06,2.721695e-06,3.502343e-06,3.669174e-06,4.367151e-06,4.843680e-06,5.296668e-06,6.113185e-06,6.271424e-06,7.273550e-06,7.435352e-06,8.287382e-06,8.774148e-06,9.299457e-06,1.010006e-05,1.029827e-05,1.127400e-05,1.138913e-05,1.221828e-05,1.262195e-05,1.312408e-05,1.378311e-05,1.398556e-05,1.479811e-05,1.486089e-05,1.555822e-05,1.584701e-05,1.626348e-05,1.673650e-05,1.691252e-05,1.750487e-05,1.752739e-05,1.804095e-05,1.822035e-05,1.852187e-05,1.881825e-05,1.894937e-05,1.932566e-05,1.965335e-05,1.974840e-05,1.993528e-05,2.009310e-05,2.017448e-05,2.036683e-05,2.037409e-05,2.053725e-05,2.057683e-05,2.066706e-05,2.073019e-05,2.076652e-05,2.083366e-05,2.083847e-05,2.088560e-05,2.089350e-05,2.091042e-05,2.091544e-05,2.091526e-05,2.090473e-05,2.090230e-05,2.087357e-05,2.086609e-05,2.083088e-05,2.080374e-05,2.077593e-05,2.072141e-05,2.071023e-05,2.063519e-05,2.062240e-05,2.055208e-05,2.050969e-05,2.046213e-05,2.038598e-05,2.036643e-05,2.026588e-05,2.025353e-05,2.016129e-05,2.011417e-05,2.005335e-05,1.996944e-05,1.994265e-05,1.982971e-05,1.982060e-05,1.971500e-05,1.966871e-05,1.959892e-05,1.951470e-05,1.948183e-05,1.936404e-05,1.935932e-05,1.924583e-05,1.920322e-05,1.912746e-05,1.904698e-05,1.900914e-05,1.889107e-05,1.877343e-05,1.873590e-05,1.865637e-05,1.858181e-05,1.854001e-05,1.842909e-05,1.842448e-05,1.830989e-05,1.827798e-05,1.819632e-05,1.812871e-05,1.808386e-05,1.798144e-05,1.797258e-05,1.786253e-05,1.783631e-05,1.775378e-05,1.769345e-05,1.764635e-05,1.755295e-05,1.754030e-05,1.743566e-05,1.741490e-05,1.733244e-05,1.727934e-05,1.723068e-05,1.714634e-05,1.713039e-05,1.703158e-05,1.701591e-05,1.693428e-05,1.688810e-05,1.683847e-05,1.676291e-05,1.674417e-05,1.665138e-05,1.664035e-05,1.656010e-05,1.652041e-05,1.647032e-05,1.640310e-05,1.638205e-05,1.629526e-05,1.628838e-05,1.620996e-05,1.617625e-05,1.612614e-05,1.606669e-05,1.604378e-05,1.596287e-05,1.595966e-05,1.588340e-05,1.585514e-05,1.580536e-05,1.575310e-05,1.572873e-05,1.565350e-05,1.555630e-05,1.546147e-05,1.536897e-05,1.527875e-05,1.519078e-05,1.510501e-05,1.502141e-05,1.493992e-05,1.486050e-05,1.478312e-05,1.470773e-05,1.463427e-05,1.456272e-05,1.449303e-05,1.442515e-05,1.435905e-05,1.429468e-05,1.423200e-05,1.417097e-05,1.411155e-05,1.405370e-05,1.399739e-05,1.394256e-05,1.388920e-05
0.000000e+00,2.424309e-11,5.575817e-11,1.929255e-10,4.410817e-10,6.453942e-10,1.477939e-09,1.523091e-09,2.981075e-09,3.516856e-09,5.196748e-09,6.972062e-09,8.368818e-09,1.230276e-08,1.269535e-08,1.831795e-08,1.986472e-08,2.524416e-08,2.963947e-08,3.331871e-08,4.117784e-08,4.229400e-08,5.192699e-08,5.391447e-08,6.202308e-08,6.740567e-08,7.243490e-08,8.134064e-08,8.304834e-08,9.377143e-08,9.549200e-08,1.045275e-07,1.096827e-07,1.152516e-07,1.237707e-07,1.258889e-07,1.363930e-07,1.376426e-07,1.467256e-07,1.512094e-07,1.568557e-07,1.644034e-07,1.667582e-07,1.764138e-07,1.771751e-07,1.858079e-07,1.894898e-07,1.949299e-07,2.013250e-07,2.037725e-07,2.123315e-07,2.126679e-07,2.206046e-07,2.235129e-07,2.285918e-07,2.338603e-07,2.362942e-07,2.437145e-07,2.508561e-07,2.530833e-07,2.577233e-07,2.619766e-07,2.643210e-07,2.704061e-07,2.706544e-07,2.767294e-07,2.783848e-07,2.825517e-07,2.859264e-07,2.881276e-07,2.930452e-07,2.934634e-07,2.985654e-07,2.997558e-07,3.034400e-07,3.060729e-07,3.080937e-07,3.120114e-07,3.125330e-07,3.167641e-07,3.175859e-07,3.207934e-07,3.228110e-07,3.246272e-07,3.277011e-07,3.282717e-07,3.317330e-07,3.322702e-07,3.350170e-07,3.365321e-07,3.381296e-07,3.405000e-07,3.410764e-07,3.438632e-07,3.441871e-07,3.464954e-07,3.476060e-07,3.489784e-07,3.507689e-07,3.513174e-07,3.535176e-07,3.536878e-07,3.555839e-07,3.563740e-07,3.575212e-07,3.588388e-07,3.593342e-07,3.610275e-07,3.610928e-07,3.626056e-07,3.631464e-07,3.640729e-07,3.650094e-07,3.654334e-07,3.666914e-07,3.678509e-07,3.682017e-07,3.689156e-07,3.695491e-07,3.698894e-07,3.707419e-07,3.707758e-07,3.715783e-07,3.717885e-07,3.723004e-07,3.726965e-07,3.729454e-07,3.734734e-07,3.735164e-07,3.740166e-07,3.741264e-07,3.744489e-07,3.746624e-07,3.748162e-07,3.750878e-07,3.751213e-07,3.753668e-07,3.754091e-07,3.755555e-07,3.756320e-07,3.756899e-07,3.757625e-07,3.757723e-07,3.758051e-07,3.758059e-07,3.757906e-07,3.757674e-07,3.757309e-07,3.756521e-07,3.756283e-07,3.754846e-07,3.754647e-07,3.753020e-07,3.752098e-07,3.750822e-07,3.748915e-07,3.748272e-07,3.745386e-07,3.745142e-07,3.742182e-07,3.740816e-07,3.738677e-07,3.735975e-07,3.734885e-07,3.730822e-07,3.730654e-07,3.726503e-07,3.724888e-07,3.721942e-07,3.718708e-07,3.717152e-07,3.712146e-07,3.705229e-07,3.697986e-07,3.690442e-07,3.682623e-07,3.674553e-07,3.666252e-07,3.657743e-07,3.649046e-07,3.640180e-07,3.631162e-07,3.622010e-07,3.612739e-07,3.603366e-07,3.593903e-07,3.584366e-07,3.574766e-07,3.565116e-07,3.555427e-07,3.545710e-07,3.535975e-07,3.526231e-07,3.516487e-07,3.506752e-07,3.497034e-07
0.000000e+00,3.564019e-11,1.240412e-10,7.479715e-10,2.350868e-09,3.917628e-09,1.143510e-08,1.187547e-08,2.699335e-08,3.281686e-08,5.149380e-08,7.154859e-08,8.740189e-08,1.320820e-07,1.365392e-07,2.005136e-07,2.182316e-07,2.806703e-07,3.330073e-07,3.779779e-07,4.781715e-07,4.928924e-07,6.253075e-07,6.538461e-07,7.746416e-07,8.586873e-07,9.399778e-07,1.090395e-06,1.120172e-06,1.313914e-06,1.346074e-06,1.519753e-06,1.622398e-06,1.736126e-06,1.915701e-06,1.961381e-06,2.193807e-06,2.222098e-06,2.431673e-06,2.537614e-06,2.673261e-06,2.858326e-06,2.916899e-06,3.160994e-06,3.180496e-06,3.404056e-06,3.500680e-06,3.644714e-06,3.815801e-06,3.881735e-06,4.114027e-06,4.123207e-06,4.340646e-06,4.420681e-06,4.560789e-06,4.706444e-06,4.773795e-06,4.979132e-06,5.176394e-06,5.237760e-06,5.365282e-06,5.481682e-06,5.545601e-06,5.710545e-06,5.717243e-06,5.880178e-06,5.924242e-06,6.034441e-06,6.122874e-06,6.180126e-06,6.306701e-06,6.317375e-06,6.446365e-06,6.476117e-06,6.567308e-06,6.631608e-06,6.680439e-06,6.773733e-06,6.786012e-06,6.884294e-06,6.903100e-06,6.975564e-06,7.020346e-06,7.060102e-06,7.126122e-06,7.138195e-06,7.210126e-06,7.221083e-06,7.276179e-06,7.305878e-06,7.336630e-06,7.381143e-06,7.391754e-06,7.441816e-06,7.447496e-06,7.487075e-06,7.505533e-06,7.527782e-06,7.555825e-06,7.564179e-06,7.596500e-06,7.598916e-06,7.624969e-06,7.635326e-06,7.649801e-06,7.665544e-06,7.671202e-06,7.689372e-06,7.690034e-06,7.704497e-06,7.709232e-06,7.716758e-06,7.723548e-06,7.726327e-06,7.733367e-06,7.738035e-06,7.739052e-06,7.740477e-06,7.740938e-06,7.740835e-06,7.739342e-06,7.739242e-06,7.735825e-06,7.734558e-06,7.730705e-06,7.726862e-06,7.723995e-06,7.716511e-06,7.715803e-06,7.706233e-06,7.703741e-06,7.695380e-06,7.688777e-06,7.683337e-06,7.671824e-06,7.670191e-06,7.656024e-06,7.653075e-06,7.640914e-06,7.632708e-06,7.624933e-06,7.610888e-06,7.608152e-06,7.590637e-06,7.587770e-06,7.572448e-06,7.563496e-06,7.553645e-06,7.538197e-06,7.534282e-06,7.514412e-06,7.511996e-06,7.494084e-06,7.485007e-06,7.473344e-06,7.457333e-06,7.452236e-06,7.430800e-06,7.429072e-06,7.409076e-06,7.400314e-06,7.387099e-06,7.371139e-06,7.364905e-06,7.342524e-06,7.341625e-06,7.319988e-06,7.311842e-06,7.297324e-06,7.281853e-06,7.274559e-06,7.251719e-06,7.221493e-06,7.191226e-06,7.160963e-06,7.130746e-06,7.100615e-06,7.070602e-06,7.040742e-06,7.011061e-06,6.981588e-06,6.952344e-06,6.923353e-06,6.894632e-06,6.866200e-06,6.838072e-06,6.810261e-06,6.782780e-06,6.755640e-06,6.728849e-06,6.702416e-06,6.676347e-06,6.650649e-06,6.625327e-06,6.600383e-06,6.575822e-06
0.000000e+00,2.230816e-10,7.573635e-10,4.369063e-09,1.330472e-08,2.187233e-08,6.247247e-08,6.484944e-08,1.475156e-07,1.800994e-07,2.878201e-07,4.088950e-07,5.081721e-07,8.004265e-07,8.302724e-07,1.262999e-06,1.382535e-06,1.796493e-06,2.131771e-06,2.410451e-06,3.001276e-06,3.084840e-06,3.804336e-06,3.952630e-06,4.558064e-06,4.960803e-06,5.338025e-06,6.008690e-06,6.137722e-06,6.951297e-06,7.082379e-06,7.773111e-06,8.168867e-06,8.597578e-06,9.255323e-06,9.419139e-06,1.023235e-05,1.032912e-05,1.103197e-05,1.137823e-05,1.181312e-05,1.239166e-05,1.257131e-05,1.330261e-05,1.335984e-05,1.400365e-05,1.427496e-05,1.467171e-05,1.513106e-05,1.530464e-05,1.590090e-05,1.592397e-05,1.645948e-05,1.665124e-05,1.697991e-05,1.731198e-05,1.746216e-05,1.790661e-05,1.831391e-05,1.843655e-05,1.868501e-05,1.890408e-05,1.902113e-05,1.931213e-05,1.932360e-05,1.959392e-05,1.966406e-05,1.983367e-05,1.996353e-05,2.004449e-05,2.021431e-05,2.022802e-05,2.038591e-05,2.042016e-05,2.051978e-05,2.058485e-05,2.063123e-05,2.071198e-05,2.072180e-05,2.079298e-05,2.080501e-05,2.084619e-05,2.086720e-05,2.088278e-05,2.090161e-05,2.090403e-05,2.091117e-05,2.091107e-05,2.090531e-05,2.089821e-05,2.088754e-05,2.086541e-05,2.085885e-05,2.082017e-05,2.081490e-05,2.077238e-05,2.074868e-05,2.071629e-05,2.066857e-05,2.065264e-05,2.058214e-05,2.057623e-05,2.050544e-05,2.047316e-05,2.042313e-05,2.036071e-05,2.033577e-05,2.024387e-05,2.024010e-05,2.014790e-05,2.011245e-05,2.004832e-05,1.997873e-05,1.994551e-05,1.983985e-05,1.973169e-05,1.969660e-05,1.962135e-05,1.954971e-05,1.950911e-05,1.939983e-05,1.939525e-05,1.928001e-05,1.924753e-05,1.916362e-05,1.909333e-05,1.904630e-05,1.893771e-05,1.892824e-05,1.880961e-05,1.878107e-05,1.869058e-05,1.862380e-05,1.857129e-05,1.846622e-05,1.845189e-05,1.833251e-05,1.830864e-05,1.821325e-05,1.815132e-05,1.809422e-05,1.799449e-05,1.797552e-05,1.785724e-05,1.783836e-05,1.773947e-05,1.768313e-05,1.762226e-05,1.752895e-05,1.750569e-05,1.738983e-05,1.737597e-05,1.727472e-05,1.722432e-05,1.716042e-05,1.707411e-05,1.704697e-05,1.693441e-05,1.692544e-05,1.682277e-05,1.677839e-05,1.671210e-05,1.663303e-05,1.660242e-05,1.649376e-05,1.648943e-05,1.638613e-05,1.634765e-05,1.627957e-05,1.620772e-05,1.617408e-05,1.606968e-05,1.593356e-05,1.579939e-05,1.566718e-05,1.553695e-05,1.540870e-05,1.528244e-05,1.515817e-05,1.503589e-05,1.491559e-05,1.479725e-05,1.468088e-05,1.456645e-05,1.445395e-05,1.434337e-05,1.423468e-05,1.412787e-05,1.402291e-05,1.391979e-05,1.381847e-05,1.371894e-05,1.362118e-05,1.352514e-05,1.343082e-05,1.333819e-05
0.000000e+00,7.479186e-11,1.848082e-10,6.864704e-10,1.612720e-09,2.377438e-09,5.470432e-09,5.636763e-09,1.092859e-08,1.283772e-08,1.872026e-08,2.479763e-08,2.950069e-08,4.248980e-08,4.377116e-08,6.197511e-08,6.696209e-08,8.434222e-08,9.864684e-08,1.107195e-07,1.368252e-07,1.405661e-07,1.731476e-07,1.799268e-07,2.077400e-07,2.263117e-07,2.437210e-07,2.746384e-07,2.805751e-07,3.178699e-07,3.238523e-07,3.552321e-07,3.730922e-07,3.923338e-07,4.216310e-07,4.288841e-07,4.646259e-07,4.688496e-07,4.993356e-07,5.142306e-07,5.328228e-07,5.573580e-07,5.649310e-07,5.955357e-07,5.979161e-07,6.245435e-07,6.356844e-07,6.518912e-07,6.705316e-07,6.775413e-07,7.014795e-07,7.024014e-07,7.237125e-07,7.313032e-07,7.442647e-07,7.572989e-07,7.631740e-07,7.804903e-07,7.962723e-07,8.010090e-07,8.105852e-07,8.190066e-07,8.234988e-07,8.346466e-07,8.350855e-07,8.454189e-07,8.480978e-07,8.545729e-07,8.595294e-07,8.626201e-07,8.691076e-07,8.696320e-07,8.756775e-07,8.769921e-07,8.808231e-07,8.833352e-07,8.851321e-07,8.882802e-07,8.886651e-07,8.914793e-07,8.919606e-07,8.936287e-07,8.945007e-07,8.951642e-07,8.960146e-07,8.961335e-07,8.965814e-07,8.966074e-07,8.965494e-07,8.963752e-07,8.960766e-07,8.954055e-07,8.951994e-07,8.939513e-07,8.937782e-07,8.923639e-07,8.915656e-07,8.904664e-07,8.888335e-07,8.882857e-07,8.858470e-07,8.856415e-07,8.831737e-07,8.820435e-07,8.802872e-07,8.780882e-07,8.772075e-07,8.739532e-07,8.738197e-07,8.705415e-07,8.692778e-07,8.669882e-07,8.644986e-07,8.633079e-07,8.595144e-07,8.556201e-07,8.543546e-07,8.516367e-07,8.490456e-07,8.475750e-07,8.436113e-07,8.434449e-07,8.392555e-07,8.380731e-07,8.350155e-07,8.324504e-07,8.307326e-07,8.267608e-07,8.264141e-07,8.220668e-07,8.210198e-07,8.176967e-07,8.152418e-07,8.133097e-07,8.094393e-07,8.089110e-07,8.045054e-07,8.036238e-07,8.000973e-07,7.978056e-07,7.956911e-07,7.919940e-07,7.912904e-07,7.868988e-07,7.861972e-07,7.825195e-07,7.804227e-07,7.781554e-07,7.746770e-07,7.738093e-07,7.694836e-07,7.689660e-07,7.651806e-07,7.632950e-07,7.609024e-07,7.576687e-07,7.566509e-07,7.524277e-07,7.520912e-07,7.482346e-07,7.465660e-07,7.440728e-07,7.410965e-07,7.399437e-07,7.358485e-07,7.356854e-07,7.317882e-07,7.303352e-07,7.277637e-07,7.250479e-07,7.237759e-07,7.198255e-07,7.146694e-07,7.095809e-07,7.045611e-07,6.996108e-07,6.947307e-07,6.899214e-07,6.851832e-07,6.805162e-07,6.759206e-07,6.713964e-07,6.669433e-07,6.625613e-07,6.582500e-07,6.540089e-07,6.498377e-07,6.457359e-07,6.417028e-07,6.377378e-07,6.338404e-07,6.300097e-07,6.262451e-07,6.225458e-07,6.189111e-07,6.153400e-07
0.000000e+00,4.147122e-10,1.308902e-09,6.691391e-09,1.875564e-08,2.969714e-08,7.829751e-08,8.104141e-08,1.725023e-07,2.069869e-07,3.167119e-07,4.343887e-07,5.278769e-07,7.949740e-07,8.219424e-07,1.215180e-06,1.325871e-06,1.720264e-06,2.053952e-06,2.341371e-06,2.979556e-06,3.072781e-06,3.902429e-06,4.078932e-06,4.816630e-06,5.321167e-06,5.802743e-06,6.678570e-06,6.849781e-06,7.948152e-06,8.128067e-06,9.089206e-06,9.649695e-06,1.026490e-05,1.122526e-05,1.146760e-05,1.269001e-05,1.283769e-05,1.392514e-05,1.447091e-05,1.516638e-05,1.610997e-05,1.640752e-05,1.764280e-05,1.774121e-05,1.886697e-05,1.935245e-05,2.007531e-05,2.093313e-05,2.126362e-05,2.242826e-05,2.247430e-05,2.356609e-05,2.396864e-05,2.467451e-05,2.541030e-05,2.575133e-05,2.679485e-05,2.780372e-05,2.811907e-05,2.877697e-05,2.938082e-05,2.971391e-05,3.057887e-05,3.061417e-05,3.147759e-05,3.171274e-05,3.230421e-05,3.278260e-05,3.309426e-05,3.378912e-05,3.384811e-05,3.456625e-05,3.473336e-05,3.524930e-05,3.561672e-05,3.589791e-05,3.644081e-05,3.651285e-05,3.709490e-05,3.720744e-05,3.764491e-05,3.791854e-05,3.816374e-05,3.857612e-05,3.865229e-05,3.911145e-05,3.918225e-05,3.954214e-05,3.973903e-05,3.994527e-05,4.024853e-05,4.032174e-05,4.067246e-05,4.071285e-05,4.099831e-05,4.113404e-05,4.130019e-05,4.151412e-05,4.157896e-05,4.183547e-05,4.185505e-05,4.207055e-05,4.215877e-05,4.228503e-05,4.242714e-05,4.247970e-05,4.265533e-05,4.266198e-05,4.281270e-05,4.286503e-05,4.295254e-05,4.303799e-05,4.307557e-05,4.318249e-05,4.327398e-05,4.330011e-05,4.335070e-05,4.339234e-05,4.341328e-05,4.346064e-05,4.346235e-05,4.349851e-05,4.350639e-05,4.352233e-05,4.353094e-05,4.353438e-05,4.353554e-05,4.353520e-05,4.352533e-05,4.352142e-05,4.350526e-05,4.348975e-05,4.347548e-05,4.344163e-05,4.343647e-05,4.338869e-05,4.337812e-05,4.333257e-05,4.330024e-05,4.326855e-05,4.320895e-05,4.319702e-05,4.311838e-05,4.310517e-05,4.303302e-05,4.298977e-05,4.294130e-05,4.286358e-05,4.284356e-05,4.274016e-05,4.272738e-05,4.263141e-05,4.258194e-05,4.251762e-05,4.242797e-05,4.239910e-05,4.227614e-05,4.226612e-05,4.214902e-05,4.209706e-05,4.201799e-05,4.192138e-05,4.188332e-05,4.174525e-05,4.173966e-05,4.160402e-05,4.155245e-05,4.145985e-05,4.136025e-05,4.131296e-05,4.116356e-05,4.096283e-05,4.075851e-05,4.055099e-05,4.034068e-05,4.012792e-05,3.991306e-05,3.969643e-05,3.947834e-05,3.925905e-05,3.903886e-05,3.881799e-05,3.859670e-05,3.837520e-05,3.815370e-05,3.793239e-05,3.771145e-05,3.749104e-05,3.727134e-05,3.705247e-05,3.683458e-05,3.661779e-05,3.640222e-05,3.618797e-05,3.597514e-05
0.000000e+00,4.039787e-08,1.576089e-07,1.189320e-06,4.521610e-06,8.319915e-06,3.085662e-05,3.234322e-05,9.118865e-05,1.171515e-04,2.099493e-04,3.229685e-04,4.205193e-04,7.279218e-04,7.609209e-04,1.274379e-03,1.428537e-03,2.008020e-03,2.533322e-03,3.010915e-03,4.154590e-03,4.331321e-03,6.013458e-03,6.396720e-03,8.094585e-03,9.344234e-03,1.060298e-02,1.305391e-02,1.355694e-02,1.696455e-02,1.755188e-02,2.082406e-02,2.283429e-02,2.512466e-02,2.887023e-02,2.984739e-02,3.496623e-02,3.560565e-02,4.044930e-02,4.296796e-02,4.626005e-02,5.087082e-02,5.235842e-02,5.870200e-02,5.921877e-02,6.524705e-02,6.791162e-02,7.194955e-02,7.684837e-02,7.876598e-02,8.565409e-02,8.593052e-02,9.257349e-02,9.506473e-02,9.948617e-02,1.041648e-01,1.063568e-01,1.131532e-01,1.198460e-01,1.219615e-01,1.264094e-01,1.305314e-01,1.328207e-01,1.388141e-01,1.390601e-01,1.451113e-01,1.467700e-01,1.509606e-01,1.543686e-01,1.565971e-01,1.615875e-01,1.620124e-01,1.672004e-01,1.684112e-01,1.721572e-01,1.748312e-01,1.768808e-01,1.808442e-01,1.813707e-01,1.856281e-01,1.864519e-01,1.896555e-01,1.916599e-01,1.934562e-01,1.964771e-01,1.970349e-01,2.003968e-01,2.009149e-01,2.035477e-01,2.049871e-01,2.064942e-01,2.087087e-01,2.092429e-01,2.118012e-01,2.120958e-01,2.141764e-01,2.151653e-01,2.163759e-01,2.179346e-01,2.184072e-01,2.202781e-01,2.204210e-01,2.219959e-01,2.226419e-01,2.235682e-01,2.246141e-01,2.250021e-01,2.263049e-01,2.263544e-01,2.274836e-01,2.278788e-01,2.285448e-01,2.292027e-01,2.294952e-01,2.303410e-01,2.310885e-01,2.313078e-01,2.317433e-01,2.321164e-01,2.323112e-01,2.327795e-01,2.327974e-01,2.332072e-01,2.333089e-01,2.335454e-01,2.337159e-01,2.338166e-01,2.340109e-01,2.340254e-01,2.341758e-01,2.342037e-01,2.342719e-01,2.343034e-01,2.343175e-01,2.343186e-01,2.343161e-01,2.342711e-01,2.342571e-01,2.341857e-01,2.341263e-01,2.340629e-01,2.339330e-01,2.339056e-01,2.337164e-01,2.336834e-01,2.334979e-01,2.333833e-01,2.332524e-01,2.330381e-01,2.329821e-01,2.326892e-01,2.326527e-01,2.323756e-01,2.322316e-01,2.320432e-01,2.317791e-01,2.316937e-01,2.313287e-01,2.312989e-01,2.309497e-01,2.307946e-01,2.305582e-01,2.302694e-01,2.301556e-01,2.297429e-01,2.297262e-01,2.293215e-01,2.291679e-01,2.288924e-01,2.285967e-01,2.284566e-01,2.280151e-01,2.274251e-01,2.268285e-01,2.262271e-01,2.256224e-01,2.250158e-01,2.244087e-01,2.238021e-01,2.231971e-01,2.225947e-01,2.219958e-01,2.214010e-01,2.208111e-01,2.202267e-01,2.196482e-01,2.190763e-01,2.185114e-01,2.179537e-01,2.174037e-01,2.168616e-01,2.163277e-01,2.158021e-01,2.152851e-01,2.147767e-01,2.142771e-01
0.000000e+00,2.935069e-10,1.096992e-09,7.586141e-09,2.670112e-08,4.715022e-08,1.579754e-07,1.649303e-07,4.240708e-07,5.322517e-07,9.028469e-07,1.333825e-06,1.694762e-06,2.790650e-06,2.905433e-06,4.636607e-06,5.138444e-06,6.960071e-06,8.531721e-06,9.902685e-06,1.299495e-05,1.345178e-05,1.757003e-05,1.845778e-05,2.220856e-05,2.480875e-05,2.731470e-05,3.192641e-05,3.283540e-05,3.871796e-05,3.968924e-05,4.490986e-05,4.797640e-05,5.135846e-05,5.666666e-05,5.801093e-05,6.481459e-05,6.563871e-05,7.171749e-05,7.477313e-05,7.866917e-05,8.395536e-05,8.562152e-05,9.252954e-05,9.307900e-05,9.935195e-05,1.020485e-04,1.060517e-04,1.107810e-04,1.125961e-04,1.189574e-04,1.192077e-04,1.251123e-04,1.272737e-04,1.310418e-04,1.349375e-04,1.367314e-04,1.421703e-04,1.473514e-04,1.489541e-04,1.522704e-04,1.552804e-04,1.569262e-04,1.611488e-04,1.613195e-04,1.654535e-04,1.665651e-04,1.693326e-04,1.715401e-04,1.729626e-04,1.760883e-04,1.763507e-04,1.795043e-04,1.802273e-04,1.824320e-04,1.839760e-04,1.851423e-04,1.873548e-04,1.876443e-04,1.899471e-04,1.903846e-04,1.920598e-04,1.930863e-04,1.939915e-04,1.954807e-04,1.957510e-04,1.973471e-04,1.975879e-04,1.987884e-04,1.994276e-04,2.000829e-04,2.010184e-04,2.012389e-04,2.022638e-04,2.023783e-04,2.031651e-04,2.035243e-04,2.039498e-04,2.044724e-04,2.046248e-04,2.051964e-04,2.052378e-04,2.056708e-04,2.058346e-04,2.060538e-04,2.062762e-04,2.063511e-04,2.065679e-04,2.065750e-04,2.067093e-04,2.067426e-04,2.067799e-04,2.067899e-04,2.067844e-04,2.067270e-04,2.066118e-04,2.065633e-04,2.064425e-04,2.063076e-04,2.062229e-04,2.059679e-04,2.059564e-04,2.056461e-04,2.055519e-04,2.052953e-04,2.050664e-04,2.049066e-04,2.045181e-04,2.044830e-04,2.040270e-04,2.039130e-04,2.035410e-04,2.032566e-04,2.030273e-04,2.025540e-04,2.024880e-04,2.019253e-04,2.018102e-04,2.013411e-04,2.010294e-04,2.007372e-04,2.002159e-04,2.001152e-04,1.994769e-04,1.993733e-04,1.988237e-04,1.985053e-04,1.981570e-04,1.976149e-04,1.974783e-04,1.967887e-04,1.967053e-04,1.960895e-04,1.957791e-04,1.953818e-04,1.948389e-04,1.946667e-04,1.939451e-04,1.938871e-04,1.932179e-04,1.929257e-04,1.924862e-04,1.919569e-04,1.917505e-04,1.910119e-04,1.909823e-04,1.902709e-04,1.900037e-04,1.895282e-04,1.890226e-04,1.887846e-04,1.880405e-04,1.870586e-04,1.860781e-04,1.851001e-04,1.841256e-04,1.831555e-04,1.821907e-04,1.812317e-04,1.802795e-04,1.793344e-04,1.783972e-04,1.774683e-04,1.765482e-04,1.756372e-04,1.747357e-04,1.738440e-04,1.729624e-04,1.720912e-04,1.712305e-04,1.703806e-04,1.695415e-04,1.687134e-04,1.678965e-04,1.670907e-04,1.662962e-04
0.000000e+00,5.322176e-08,2.085147e-07,1.587389e-06,6.084647e-06,1.124735e-05,4.222519e-05,4.428201e-05,1.264553e-04,1.630481e-04,2.949651e-04,4.573867e-04,5.987580e-04,1.049547e-03,1.098329e-03,1.864537e-03,2.096703e-03,2.975677e-03,3.778872e-03,4.512949e-03,6.281383e-03,6.555711e-03,9.177625e-03,9.777417e-03,1.244390e-02,1.441569e-02,1.640941e-02,2.031278e-02,2.111737e-02,2.659851e-02,2.754862e-02,3.287061e-02,3.616402e-02,3.993832e-02,4.616022e-02,4.779342e-02,5.641530e-02,5.750004e-02,6.577180e-02,7.011075e-02,7.582026e-02,8.388823e-02,8.650877e-02,9.777762e-02,9.870226e-02,1.095608e-01,1.144024e-01,1.217877e-01,1.308243e-01,1.343842e-01,1.472749e-01,1.477956e-01,1.603837e-01,1.651418e-01,1.736357e-01,1.826914e-01,1.869577e-01,2.002799e-01,2.135359e-01,2.177537e-01,2.266639e-01,2.349720e-01,2.396067e-01,2.518092e-01,2.523123e-01,2.647341e-01,2.681556e-01,2.768309e-01,2.839179e-01,2.885668e-01,2.990187e-01,2.999112e-01,3.108384e-01,3.133965e-01,3.213278e-01,3.270043e-01,3.313631e-01,3.398091e-01,3.409325e-01,3.500279e-01,3.517897e-01,3.586450e-01,3.629362e-01,3.667824e-01,3.732484e-01,3.744420e-01,3.816280e-01,3.827342e-01,3.883469e-01,3.914085e-01,3.946073e-01,3.992923e-01,4.004194e-01,4.057946e-01,4.064109e-01,4.107459e-01,4.127936e-01,4.152868e-01,4.184724e-01,4.194319e-01,4.231960e-01,4.234812e-01,4.265946e-01,4.278552e-01,4.296434e-01,4.316306e-01,4.323579e-01,4.347541e-01,4.348435e-01,4.368475e-01,4.375299e-01,4.386535e-01,4.397253e-01,4.401874e-01,4.414641e-01,4.424981e-01,4.427801e-01,4.433035e-01,4.437054e-01,4.438940e-01,4.442710e-01,4.442828e-01,4.444827e-01,4.445065e-01,4.445058e-01,4.444398e-01,4.443640e-01,4.440974e-01,4.440684e-01,4.436298e-01,4.435044e-01,4.430585e-01,4.426842e-01,4.423642e-01,4.416588e-01,4.415561e-01,4.406430e-01,4.404486e-01,4.396334e-01,4.390728e-01,4.385349e-01,4.375491e-01,4.373552e-01,4.361012e-01,4.358941e-01,4.347796e-01,4.341230e-01,4.333966e-01,4.322499e-01,4.319580e-01,4.304696e-01,4.302878e-01,4.289363e-01,4.282487e-01,4.273631e-01,4.261436e-01,4.257546e-01,4.241150e-01,4.239826e-01,4.224484e-01,4.217749e-01,4.207583e-01,4.195291e-01,4.190485e-01,4.173220e-01,4.172527e-01,4.155820e-01,4.149528e-01,4.138312e-01,4.126359e-01,4.120723e-01,4.103077e-01,4.079735e-01,4.056382e-01,4.033059e-01,4.009805e-01,3.986657e-01,3.963644e-01,3.940794e-01,3.918133e-01,3.895683e-01,3.873463e-01,3.851490e-01,3.829780e-01,3.808345e-01,3.787197e-01,3.766346e-01,3.745799e-01,3.725564e-01,3.705645e-01,3.686049e-01,3.666777e-01,3.647833e-01,3.629218e-01,3.610933e-01,3.592978e-01
0.000000e+00,3.369631e-12,7.715732e-12,2.653821e-11,6.038763e-11,8.810923e-11,1.999462e-10,2.059652e-10,3.981430e-10,4.678276e-10,6.836665e-10,9.082489e-10,1.083018e-09,1.569477e-09,1.617739e-09,2.308327e-09,2.499110e-09,3.169539e-09,3.727975e-09,4.204008e-09,5.247687e-09,5.398769e-09,6.729033e-09,7.008817e-09,8.166235e-09,8.946927e-09,9.684011e-09,1.100482e-08,1.126012e-08,1.287613e-08,1.313732e-08,1.451649e-08,1.530851e-08,1.616782e-08,1.748887e-08,1.781842e-08,1.945800e-08,1.965357e-08,2.107755e-08,2.178175e-08,2.266927e-08,2.385625e-08,2.422653e-08,2.574376e-08,2.586327e-08,2.721644e-08,2.779220e-08,2.864097e-08,2.963526e-08,3.001463e-08,3.133543e-08,3.138715e-08,3.260207e-08,3.304464e-08,3.381380e-08,3.460626e-08,3.497037e-08,3.607194e-08,3.711902e-08,3.744269e-08,3.811237e-08,3.872038e-08,3.905300e-08,3.990750e-08,3.994209e-08,4.078094e-08,4.100700e-08,4.157097e-08,4.202216e-08,4.231366e-08,4.295645e-08,4.301055e-08,4.366321e-08,4.381345e-08,4.427322e-08,4.459679e-08,4.484216e-08,4.531011e-08,4.537161e-08,4.586313e-08,4.595702e-08,4.631824e-08,4.654102e-08,4.673846e-08,4.706556e-08,4.712526e-08,4.748008e-08,4.753397e-08,4.780431e-08,4.794948e-08,4.809933e-08,4.831519e-08,4.836645e-08,4.860695e-08,4.863408e-08,4.882207e-08,4.890899e-08,4.901301e-08,4.914266e-08,4.918092e-08,4.932693e-08,4.933770e-08,4.945210e-08,4.949657e-08,4.955747e-08,4.962164e-08,4.964404e-08,4.971277e-08,4.971517e-08,4.976459e-08,4.977927e-08,4.980036e-08,4.981597e-08,4.982096e-08,4.982719e-08,4.981984e-08,4.981475e-08,4.979966e-08,4.978035e-08,4.976738e-08,4.972563e-08,4.972367e-08,4.966920e-08,4.965211e-08,4.960461e-08,4.956125e-08,4.953050e-08,4.945441e-08,4.944746e-08,4.935602e-08,4.933289e-08,4.925673e-08,4.919788e-08,4.915009e-08,4.905054e-08,4.903658e-08,4.891666e-08,4.889195e-08,4.879078e-08,4.872310e-08,4.865935e-08,4.854496e-08,4.852278e-08,4.838144e-08,4.835841e-08,4.823571e-08,4.816430e-08,4.808592e-08,4.796340e-08,4.793242e-08,4.777550e-08,4.775646e-08,4.761548e-08,4.754416e-08,4.745263e-08,4.732715e-08,4.728723e-08,4.711954e-08,4.710603e-08,4.694979e-08,4.688137e-08,4.677822e-08,4.665369e-08,4.660505e-08,4.643049e-08,4.642348e-08,4.625474e-08,4.619121e-08,4.607798e-08,4.595730e-08,4.590039e-08,4.572214e-08,4.548610e-08,4.524954e-08,4.501275e-08,4.477605e-08,4.453969e-08,4.430394e-08,4.406902e-08,4.383515e-08,4.360252e-08,4.337132e-08,4.314170e-08,4.291382e-08,4.268782e-08,4.246382e-08,4.224193e-08,4.202225e-08,4.180489e-08,4.158991e-08,4.137738e-08,4.116739e-08,4.095996e-08,4.075517e-08,4.055305e-08,4.035364e-08
0.000000e+00,6.445793e-12,1.475215e-11,5.054915e-11,1.145341e-10,1.667309e-10,3.764952e-10,3.877664e-10,7.475754e-10,8.781728e-10,1.283470e-09,1.706315e-09,2.035738e-09,2.949817e-09,3.039951e-09,4.309096e-09,4.651267e-09,5.820383e-09,6.755378e-09,7.527272e-09,9.152804e-09,9.381738e-09,1.134425e-08,1.174684e-08,1.338341e-08,1.446529e-08,1.547326e-08,1.725133e-08,1.759124e-08,1.971722e-08,2.005689e-08,2.183309e-08,2.284029e-08,2.392270e-08,2.556595e-08,2.597198e-08,2.796892e-08,2.820454e-08,2.990362e-08,3.073308e-08,3.176822e-08,3.313470e-08,3.355675e-08,3.526496e-08,3.539806e-08,3.689016e-08,3.751664e-08,3.843096e-08,3.948790e-08,3.988711e-08,4.125927e-08,4.131242e-08,4.254882e-08,4.299320e-08,4.375774e-08,4.453497e-08,4.488845e-08,4.594366e-08,4.692632e-08,4.722595e-08,4.783952e-08,4.838896e-08,4.868639e-08,4.943995e-08,4.947013e-08,5.019386e-08,5.038618e-08,5.086070e-08,5.123474e-08,5.147365e-08,5.199249e-08,5.203564e-08,5.254950e-08,5.266596e-08,5.301792e-08,5.326137e-08,5.344351e-08,5.378455e-08,5.382873e-08,5.417593e-08,5.424100e-08,5.448735e-08,5.463586e-08,5.476511e-08,5.497389e-08,5.501122e-08,5.522759e-08,5.525957e-08,5.541600e-08,5.549702e-08,5.557816e-08,5.569007e-08,5.571568e-08,5.583006e-08,5.584230e-08,5.592273e-08,5.595698e-08,5.599505e-08,5.603717e-08,5.604827e-08,5.608361e-08,5.608569e-08,5.610218e-08,5.610515e-08,5.610505e-08,5.609796e-08,5.609322e-08,5.606764e-08,5.606634e-08,5.602919e-08,5.601237e-08,5.597872e-08,5.593793e-08,5.591701e-08,5.584480e-08,5.576281e-08,5.573461e-08,5.567167e-08,5.560885e-08,5.557203e-08,5.546891e-08,5.546446e-08,5.534952e-08,5.531609e-08,5.522773e-08,5.515157e-08,5.509958e-08,5.497646e-08,5.496553e-08,5.482602e-08,5.479177e-08,5.468145e-08,5.459843e-08,5.453222e-08,5.439733e-08,5.437869e-08,5.422121e-08,5.418927e-08,5.406010e-08,5.397499e-08,5.389566e-08,5.375518e-08,5.372819e-08,5.355796e-08,5.353049e-08,5.338522e-08,5.330149e-08,5.321022e-08,5.306875e-08,5.303319e-08,5.285433e-08,5.283276e-08,5.267386e-08,5.259399e-08,5.249197e-08,5.235289e-08,5.230883e-08,5.212462e-08,5.210984e-08,5.193950e-08,5.186523e-08,5.175361e-08,5.161939e-08,5.156711e-08,5.138012e-08,5.137263e-08,5.119278e-08,5.112527e-08,5.100519e-08,5.087755e-08,5.081748e-08,5.062974e-08,5.038207e-08,5.013475e-08,4.988798e-08,4.964194e-08,4.939680e-08,4.915270e-08,4.890980e-08,4.866822e-08,4.842809e-08,4.818950e-08,4.795257e-08,4.771738e-08,4.748401e-08,4.725254e-08,4.702303e-08,4.679555e-08,4.657015e-08,4.634688e-08,4.612577e-08,4.590689e-08,4.569025e-08,4.547588e-08,4.526382e-08,4.505409e-08
0.000000e+00,6.520874e-12,1.496246e-11,5.165967e-11,1.181276e-10,1.730001e-10,3.982633e-10,4.105596e-10,8.119543e-10,9.614974e-10,1.436828e-09,1.948432e-09,2.356368e-09,3.522079e-09,3.639233e-09,5.319069e-09,5.779570e-09,7.369635e-09,8.654966e-09,9.722645e-09,1.198527e-08,1.230520e-08,1.505847e-08,1.562552e-08,1.793840e-08,1.947447e-08,2.091106e-08,2.345933e-08,2.394869e-08,2.702720e-08,2.752209e-08,3.012505e-08,3.161309e-08,3.322273e-08,3.568885e-08,3.630262e-08,3.934906e-08,3.971171e-08,4.234833e-08,4.364996e-08,4.528866e-08,4.747782e-08,4.816029e-08,5.095524e-08,5.117533e-08,5.366718e-08,5.472761e-08,5.629139e-08,5.812456e-08,5.882451e-08,6.126437e-08,6.136001e-08,6.360985e-08,6.443104e-08,6.586069e-08,6.733740e-08,6.801733e-08,7.008083e-08,7.205271e-08,7.266465e-08,7.393484e-08,7.509331e-08,7.572943e-08,7.737211e-08,7.743889e-08,7.906577e-08,7.950685e-08,8.061268e-08,8.150356e-08,8.208231e-08,8.336846e-08,8.347739e-08,8.480065e-08,8.510785e-08,8.605481e-08,8.672795e-08,8.724253e-08,8.823485e-08,8.836644e-08,8.942912e-08,8.963453e-08,9.043307e-08,9.093273e-08,9.138075e-08,9.213503e-08,9.227450e-08,9.311664e-08,9.324674e-08,9.390938e-08,9.427297e-08,9.465485e-08,9.521859e-08,9.535513e-08,9.601220e-08,9.608824e-08,9.662799e-08,9.688634e-08,9.720433e-08,9.761706e-08,9.774300e-08,9.824569e-08,9.828441e-08,9.871405e-08,9.889213e-08,9.914963e-08,9.944380e-08,9.955393e-08,9.992842e-08,9.994279e-08,1.002744e-07,1.003923e-07,1.005934e-07,1.007954e-07,1.008864e-07,1.011548e-07,1.013998e-07,1.014734e-07,1.016223e-07,1.017535e-07,1.018236e-07,1.019977e-07,1.020046e-07,1.021663e-07,1.022082e-07,1.023096e-07,1.023872e-07,1.024355e-07,1.025366e-07,1.025447e-07,1.026381e-07,1.026583e-07,1.027165e-07,1.027541e-07,1.027807e-07,1.028258e-07,1.028312e-07,1.028689e-07,1.028750e-07,1.028944e-07,1.029030e-07,1.029082e-07,1.029113e-07,1.029111e-07,1.029035e-07,1.029014e-07,1.028860e-07,1.028743e-07,1.028592e-07,1.028313e-07,1.028235e-07,1.027794e-07,1.027736e-07,1.027274e-07,1.027021e-07,1.026678e-07,1.026178e-07,1.026012e-07,1.025279e-07,1.025217e-07,1.024482e-07,1.024147e-07,1.023626e-07,1.022975e-07,1.022714e-07,1.021749e-07,1.021710e-07,1.020735e-07,1.020358e-07,1.019674e-07,1.018927e-07,1.018569e-07,1.017423e-07,1.015852e-07,1.014220e-07,1.012533e-07,1.010794e-07,1.009010e-07,1.007184e-07,1.005321e-07,1.003425e-07,1.001499e-07,9.995475e-08,9.975729e-08,9.955786e-08,9.935675e-08,9.915423e-08,9.895056e-08,9.874597e-08,9.854069e-08,9.833493e-08,9.812889e-08,9.792275e-08,9.771667e-08,9.751084e-08,9.730538e-08,9.710045e-08
0.000000e+00,4.868647e-11,1.171153e-10,4.256388e-10,9.985319e-10,1.477555e-09,3.472678e-09,3.582493e-09,7.198846e-09,8.557644e-09,1.290349e-08,1.761444e-08,2.139050e-08,3.226771e-08,3.336784e-08,4.927356e-08,5.367174e-08,6.894709e-08,8.135924e-08,9.169006e-08,1.135956e-07,1.166918e-07,1.433107e-07,1.487862e-07,1.710968e-07,1.858967e-07,1.997281e-07,2.242461e-07,2.289527e-07,2.585557e-07,2.633142e-07,2.883439e-07,3.026550e-07,3.181387e-07,3.418686e-07,3.477761e-07,3.771063e-07,3.805988e-07,4.059960e-07,4.185371e-07,4.343284e-07,4.554268e-07,4.620046e-07,4.889420e-07,4.910629e-07,5.150741e-07,5.252897e-07,5.403504e-07,5.579977e-07,5.647330e-07,5.881956e-07,5.891147e-07,6.107233e-07,6.186030e-07,6.323098e-07,6.464513e-07,6.529562e-07,6.726703e-07,6.914645e-07,6.972871e-07,7.093558e-07,7.203413e-07,7.263639e-07,7.418819e-07,7.425116e-07,7.578234e-07,7.619644e-07,7.723249e-07,7.806477e-07,7.860422e-07,7.979923e-07,7.990018e-07,8.112306e-07,8.140598e-07,8.227555e-07,8.289119e-07,8.336032e-07,8.426097e-07,8.437997e-07,8.533708e-07,8.552123e-07,8.623418e-07,8.667776e-07,8.707370e-07,8.773616e-07,8.785805e-07,8.858953e-07,8.870181e-07,8.927040e-07,8.957987e-07,8.990282e-07,9.037528e-07,9.048889e-07,9.103064e-07,9.109276e-07,9.153002e-07,9.173681e-07,9.198891e-07,9.231170e-07,9.240912e-07,9.279239e-07,9.282151e-07,9.314040e-07,9.327009e-07,9.345476e-07,9.366112e-07,9.373700e-07,9.398862e-07,9.399807e-07,9.421103e-07,9.428422e-07,9.440561e-07,9.452270e-07,9.457367e-07,9.471645e-07,9.483516e-07,9.486826e-07,9.493096e-07,9.498076e-07,9.500496e-07,9.505646e-07,9.505820e-07,9.509172e-07,9.509770e-07,9.510646e-07,9.510670e-07,9.510338e-07,9.508556e-07,9.508335e-07,9.504724e-07,9.503627e-07,9.499585e-07,9.496069e-07,9.492996e-07,9.486059e-07,9.485033e-07,9.475767e-07,9.473763e-07,9.465265e-07,9.459338e-07,9.453595e-07,9.442933e-07,9.440817e-07,9.426992e-07,9.424687e-07,9.412178e-07,9.404731e-07,9.396428e-07,9.383190e-07,9.379795e-07,9.362329e-07,9.360180e-07,9.344079e-07,9.335812e-07,9.325089e-07,9.310189e-07,9.305403e-07,9.285064e-07,9.283410e-07,9.264110e-07,9.255566e-07,9.242581e-07,9.226744e-07,9.220512e-07,9.197939e-07,9.197026e-07,9.174895e-07,9.166490e-07,9.151411e-07,9.135207e-07,9.127518e-07,9.103245e-07,9.070670e-07,9.037541e-07,9.003915e-07,8.969846e-07,8.935384e-07,8.900577e-07,8.865468e-07,8.830100e-07,8.794512e-07,8.758742e-07,8.722822e-07,8.686787e-07,8.650666e-07,8.614489e-07,8.578281e-07,8.542069e-07,8.505876e-07,8.469724e-07,8.433634e-07,8.397624e-07,8.361713e-07,8.325919e-07,8.290255e-07,8.254738e-07
0.000000e+00,2.387975e-11,5.751889e-11,2.083719e-10,4.850264e-10,7.133173e-10,1.639736e-09,1.689728e-09,3.289458e-09,3.870798e-09,5.674811e-09,7.557031e-09,9.025324e-09,1.312833e-08,1.353664e-08,1.940049e-08,2.102628e-08,2.675125e-08,3.152485e-08,3.559099e-08,4.447979e-08,4.576278e-08,5.701701e-08,5.937498e-08,6.910251e-08,7.564440e-08,8.181082e-08,9.284578e-08,9.497749e-08,1.084699e-07,1.106512e-07,1.221754e-07,1.287999e-07,1.359937e-07,1.470677e-07,1.498331e-07,1.636086e-07,1.652535e-07,1.772418e-07,1.831767e-07,1.906612e-07,2.006772e-07,2.038026e-07,2.166094e-07,2.176180e-07,2.290333e-07,2.338863e-07,2.410338e-07,2.493937e-07,2.525787e-07,2.636429e-07,2.640752e-07,2.742087e-07,2.778881e-07,2.842647e-07,2.908083e-07,2.938049e-07,3.028286e-07,3.113394e-07,3.139555e-07,3.193442e-07,3.242063e-07,3.268532e-07,3.336070e-07,3.338789e-07,3.404359e-07,3.421900e-07,3.465400e-07,3.499921e-07,3.522081e-07,3.570530e-07,3.574580e-07,3.623078e-07,3.634142e-07,3.667756e-07,3.691176e-07,3.708798e-07,3.742049e-07,3.746383e-07,3.780689e-07,3.787173e-07,3.811891e-07,3.826945e-07,3.840155e-07,3.861745e-07,3.865643e-07,3.888509e-07,3.891934e-07,3.908902e-07,3.917855e-07,3.926966e-07,3.939831e-07,3.942836e-07,3.956643e-07,3.958168e-07,3.968510e-07,3.973147e-07,3.978554e-07,3.985036e-07,3.986885e-07,3.993610e-07,3.994081e-07,3.998828e-07,4.000514e-07,4.002633e-07,4.004548e-07,4.005115e-07,4.006358e-07,4.006383e-07,4.006441e-07,4.006201e-07,4.005439e-07,4.004174e-07,4.003423e-07,4.000461e-07,3.996614e-07,3.995206e-07,3.991943e-07,3.988547e-07,3.986503e-07,3.980607e-07,3.980348e-07,3.973526e-07,3.971503e-07,3.966085e-07,3.961342e-07,3.958069e-07,3.950222e-07,3.949519e-07,3.940475e-07,3.938235e-07,3.930974e-07,3.925466e-07,3.921050e-07,3.911993e-07,3.910736e-07,3.900062e-07,3.897887e-07,3.889059e-07,3.883216e-07,3.877752e-07,3.868040e-07,3.866169e-07,3.854333e-07,3.852417e-07,3.842267e-07,3.836400e-07,3.829992e-07,3.820036e-07,3.817529e-07,3.804897e-07,3.803370e-07,3.792113e-07,3.786445e-07,3.779195e-07,3.769297e-07,3.766158e-07,3.753018e-07,3.751963e-07,3.739788e-07,3.734474e-07,3.726482e-07,3.716861e-07,3.713111e-07,3.699689e-07,3.699151e-07,3.686225e-07,3.681370e-07,3.672731e-07,3.663541e-07,3.659215e-07,3.645686e-07,3.627825e-07,3.609976e-07,3.592155e-07,3.574379e-07,3.556661e-07,3.539015e-07,3.521451e-07,3.503982e-07,3.486617e-07,3.469365e-07,3.452235e-07,3.435233e-07,3.418367e-07,3.401643e-07,3.385067e-07,3.368642e-07,3.352375e-07,3.336268e-07,3.320325e-07,3.304549e-07,3.288944e-07,3.273511e-07,3.258252e-07,3.243169e-07
0.000000e+00,6.349819e-12,1.458941e-11,5.046249e-11,1.152892e-10,1.685152e-10,3.835963e-10,3.951730e-10,7.641927e-10,8.975896e-10,1.309081e-09,1.734439e-09,2.063519e-09,2.971336e-09,3.060801e-09,4.331015e-09,4.679153e-09,5.896123e-09,6.905817e-09,7.766827e-09,9.667055e-09,9.944484e-09,1.242525e-08,1.295725e-08,1.520273e-08,1.676163e-08,1.826873e-08,2.105985e-08,2.161321e-08,2.522406e-08,2.582559e-08,2.908704e-08,3.102612e-08,3.318584e-08,3.662251e-08,3.750228e-08,4.201663e-08,4.257067e-08,4.670801e-08,4.882274e-08,5.155477e-08,5.532865e-08,5.653485e-08,6.162621e-08,6.203768e-08,6.680718e-08,6.889992e-08,7.205674e-08,7.586756e-08,7.735477e-08,8.268225e-08,8.289571e-08,8.802141e-08,8.994315e-08,9.335579e-08,9.697272e-08,9.867037e-08,1.039515e-07,1.091869e-07,1.108507e-07,1.143656e-07,1.176458e-07,1.194781e-07,1.243160e-07,1.245160e-07,1.294719e-07,1.308441e-07,1.343398e-07,1.372160e-07,1.391142e-07,1.434205e-07,1.437910e-07,1.483664e-07,1.494491e-07,1.528377e-07,1.552953e-07,1.572027e-07,1.609545e-07,1.614596e-07,1.656073e-07,1.664237e-07,1.696452e-07,1.717014e-07,1.735729e-07,1.767871e-07,1.773905e-07,1.810983e-07,1.816814e-07,1.846969e-07,1.863856e-07,1.881870e-07,1.909018e-07,1.915698e-07,1.948463e-07,1.952324e-07,1.980179e-07,1.993806e-07,2.010860e-07,2.033495e-07,2.040521e-07,2.069179e-07,2.071429e-07,2.096850e-07,2.107646e-07,2.123552e-07,2.142186e-07,2.149302e-07,2.174118e-07,2.175092e-07,2.198020e-07,2.206404e-07,2.221026e-07,2.236167e-07,2.243154e-07,2.264423e-07,2.284853e-07,2.291217e-07,2.304463e-07,2.316591e-07,2.323271e-07,2.340589e-07,2.341295e-07,2.358555e-07,2.363253e-07,2.375069e-07,2.384627e-07,2.390856e-07,2.404752e-07,2.405933e-07,2.420318e-07,2.423670e-07,2.434030e-07,2.441420e-07,2.447085e-07,2.458044e-07,2.459501e-07,2.471295e-07,2.473581e-07,2.482484e-07,2.488068e-07,2.493083e-07,2.501544e-07,2.503110e-07,2.512580e-07,2.514045e-07,2.521509e-07,2.525607e-07,2.529912e-07,2.536266e-07,2.537804e-07,2.545201e-07,2.546056e-07,2.552116e-07,2.555009e-07,2.558563e-07,2.563160e-07,2.564558e-07,2.570112e-07,2.570538e-07,2.575241e-07,2.577176e-07,2.579956e-07,2.583102e-07,2.584271e-07,2.588197e-07,2.588347e-07,2.591749e-07,2.592937e-07,2.594936e-07,2.596902e-07,2.597772e-07,2.600267e-07,2.603057e-07,2.605299e-07,2.607016e-07,2.608232e-07,2.608970e-07,2.609251e-07,2.609096e-07,2.608527e-07,2.607563e-07,2.606223e-07,2.604526e-07,2.602489e-07,2.600131e-07,2.597467e-07,2.594514e-07,2.591288e-07,2.587802e-07,2.584072e-07,2.580112e-07,2.575934e-07,2.571552e-07,2.566978e-07,2.562224e-07,2.557301e-07
0.000000e+00,4.650285e-08,1.829941e-07,1.406136e-06,5.437228e-06,1.010021e-05,3.842144e-05,4.031519e-05,1.167341e-04,1.511038e-04,2.761417e-04,4.318722e-04,5.686222e-04,1.010297e-03,1.058525e-03,1.825126e-03,2.060439e-03,2.962515e-03,3.800904e-03,4.577776e-03,6.486248e-03,6.786546e-03,9.706161e-03,1.038537e-02,1.344803e-02,1.575224e-02,1.811111e-02,2.280064e-02,2.377751e-02,3.051001e-02,3.168927e-02,3.835113e-02,4.251598e-02,4.732329e-02,5.531806e-02,5.742958e-02,6.865506e-02,7.007600e-02,8.096834e-02,8.671939e-02,9.432329e-02,1.051339e-01,1.086610e-01,1.239115e-01,1.251687e-01,1.399962e-01,1.466446e-01,1.568292e-01,1.693614e-01,1.743196e-01,1.923729e-01,1.931054e-01,2.108930e-01,2.176558e-01,2.297833e-01,2.427913e-01,2.489482e-01,2.682943e-01,2.877313e-01,2.939560e-01,3.071725e-01,3.195792e-01,3.265363e-01,3.449812e-01,3.457457e-01,3.647293e-01,3.699952e-01,3.834217e-01,3.944721e-01,4.017629e-01,4.182802e-01,4.196991e-01,4.371822e-01,4.413060e-01,4.541701e-01,4.634531e-01,4.706261e-01,4.846424e-01,4.865189e-01,5.018226e-01,5.048106e-01,5.165157e-01,5.239093e-01,5.305819e-01,5.419038e-01,5.440088e-01,5.567879e-01,5.587721e-01,5.689147e-01,5.745034e-01,5.803878e-01,5.890967e-01,5.912090e-01,6.013825e-01,6.025602e-01,6.109155e-01,6.149093e-01,6.198170e-01,6.261665e-01,6.280980e-01,6.357712e-01,6.363592e-01,6.428509e-01,6.455200e-01,6.493524e-01,6.536847e-01,6.552922e-01,6.606876e-01,6.608923e-01,6.655565e-01,6.671840e-01,6.699176e-01,6.726026e-01,6.737897e-01,6.771919e-01,6.801437e-01,6.809963e-01,6.826643e-01,6.840602e-01,6.847731e-01,6.864279e-01,6.864893e-01,6.878318e-01,6.881433e-01,6.888195e-01,6.892493e-01,6.894705e-01,6.897878e-01,6.898031e-01,6.898347e-01,6.897995e-01,6.895826e-01,6.893238e-01,6.890635e-01,6.883986e-01,6.882935e-01,6.872885e-01,6.870606e-01,6.860635e-01,6.853445e-01,6.846333e-01,6.832836e-01,6.830119e-01,6.812130e-01,6.809096e-01,6.792496e-01,6.782524e-01,6.771342e-01,6.753405e-01,6.748788e-01,6.724948e-01,6.722006e-01,6.699932e-01,6.688579e-01,6.673843e-01,6.653360e-01,6.646782e-01,6.618842e-01,6.616572e-01,6.590113e-01,6.578420e-01,6.560681e-01,6.539100e-01,6.530626e-01,6.500024e-01,6.498790e-01,6.468948e-01,6.457657e-01,6.437465e-01,6.415857e-01,6.405640e-01,6.373532e-01,6.330816e-01,6.287828e-01,6.244681e-01,6.201477e-01,6.158310e-01,6.115265e-01,6.072418e-01,6.029840e-01,5.987594e-01,5.945737e-01,5.904319e-01,5.863385e-01,5.822976e-01,5.783127e-01,5.743867e-01,5.705224e-01,5.667221e-01,5.629877e-01,5.593207e-01,5.557225e-01,5.521941e-01,5.487364e-01,5.453498e-01,5.420346e-01
0.000000e+00,1.493698e-10,5.132957e-10,3.010673e-09,9.217160e-09,1.513731e-08,4.256440e-08,4.413796e-08,9.691215e-08,1.167978e-07,1.796142e-07,2.460417e-07,2.980970e-07,4.434492e-07,4.578564e-07,6.625077e-07,7.183077e-07,9.108395e-07,1.066382e-06,1.195298e-06,1.466376e-06,1.504367e-06,1.826556e-06,1.891716e-06,2.152746e-06,2.321708e-06,2.476462e-06,2.743152e-06,2.793224e-06,3.099830e-06,3.147775e-06,3.393867e-06,3.529971e-06,3.673455e-06,3.885743e-06,3.937157e-06,4.183945e-06,4.212388e-06,4.413183e-06,4.508410e-06,4.624620e-06,4.773453e-06,4.818351e-06,4.994779e-06,5.008163e-06,5.154554e-06,5.213986e-06,5.298522e-06,5.392936e-06,5.427661e-06,5.543030e-06,5.547374e-06,5.645727e-06,5.679807e-06,5.736848e-06,5.792744e-06,5.817459e-06,5.888577e-06,5.951154e-06,5.969519e-06,6.006064e-06,6.037555e-06,6.054106e-06,6.094436e-06,6.096002e-06,6.132402e-06,6.141689e-06,6.163883e-06,6.180627e-06,6.190958e-06,6.212366e-06,6.214080e-06,6.233650e-06,6.237859e-06,6.250022e-06,6.257910e-06,6.263505e-06,6.273199e-06,6.274373e-06,6.282872e-06,6.284307e-06,6.289215e-06,6.291726e-06,6.293592e-06,6.295873e-06,6.296170e-06,6.297097e-06,6.297101e-06,6.296506e-06,6.295719e-06,6.294518e-06,6.291997e-06,6.291244e-06,6.286783e-06,6.286172e-06,6.281223e-06,6.278450e-06,6.274646e-06,6.269013e-06,6.267127e-06,6.258734e-06,6.258027e-06,6.249534e-06,6.245641e-06,6.239584e-06,6.231987e-06,6.228939e-06,6.217649e-06,6.217184e-06,6.205761e-06,6.201344e-06,6.193321e-06,6.184566e-06,6.180368e-06,6.166943e-06,6.153081e-06,6.148559e-06,6.138816e-06,6.129490e-06,6.124180e-06,6.109807e-06,6.109202e-06,6.093912e-06,6.089578e-06,6.078336e-06,6.068863e-06,6.062499e-06,6.047718e-06,6.046424e-06,6.030135e-06,6.026196e-06,6.013652e-06,6.004344e-06,5.996995e-06,5.982208e-06,5.980183e-06,5.963233e-06,5.959828e-06,5.946163e-06,5.937244e-06,5.928988e-06,5.914492e-06,5.911724e-06,5.894384e-06,5.891603e-06,5.876981e-06,5.868610e-06,5.859529e-06,5.845540e-06,5.842040e-06,5.824524e-06,5.822421e-06,5.806993e-06,5.799277e-06,5.789456e-06,5.776131e-06,5.771924e-06,5.754404e-06,5.753003e-06,5.736906e-06,5.729915e-06,5.719438e-06,5.706883e-06,5.702006e-06,5.684620e-06,5.683925e-06,5.667284e-06,5.661056e-06,5.650005e-06,5.638291e-06,5.632790e-06,5.615644e-06,5.593125e-06,5.570747e-06,5.548519e-06,5.526453e-06,5.504555e-06,5.482834e-06,5.461298e-06,5.439953e-06,5.418805e-06,5.397859e-06,5.377121e-06,5.356595e-06,5.336284e-06,5.316192e-06,5.296322e-06,5.276677e-06,5.257259e-06,5.238070e-06,5.219111e-06,5.200384e-06,5.181890e-06,5.163630e-06,5.145604e-06,5.127812e-06
0.000000e+00,1.278768e-08,5.039925e-08,3.885504e-07,1.507110e-06,2.804496e-06,1.071801e-05,1.124846e-05,3.272778e-05,4.242083e-05,7.779242e-05,1.220135e-04,1.609553e-04,2.872284e-04,3.010535e-04,5.215224e-04,5.894188e-04,8.504334e-04,1.093863e-03,1.320012e-03,1.877462e-03,1.965386e-03,2.822664e-03,3.022669e-03,3.926835e-03,4.609384e-03,5.309990e-03,6.708022e-03,7.000072e-03,9.020132e-03,9.375227e-03,1.138795e-02,1.265186e-02,1.411591e-02,1.656253e-02,1.721112e-02,2.067556e-02,2.111602e-02,2.450641e-02,2.630634e-02,2.869640e-02,3.211419e-02,3.323426e-02,3.810511e-02,3.850865e-02,4.329102e-02,4.544906e-02,4.877140e-02,5.288694e-02,5.452355e-02,6.052310e-02,6.076787e-02,6.674443e-02,6.903334e-02,7.316115e-02,7.762244e-02,7.974641e-02,8.647330e-02,9.331512e-02,9.552448e-02,1.002457e-01,1.047160e-01,1.072395e-01,1.139903e-01,1.142720e-01,1.213198e-01,1.232928e-01,1.283605e-01,1.325727e-01,1.353731e-01,1.417831e-01,1.423381e-01,1.492371e-01,1.508812e-01,1.560534e-01,1.598285e-01,1.627715e-01,1.685911e-01,1.693775e-01,1.758587e-01,1.771390e-01,1.822040e-01,1.854465e-01,1.884034e-01,1.934917e-01,1.944482e-01,2.003308e-01,2.012565e-01,2.060449e-01,2.087262e-01,2.115852e-01,2.158894e-01,2.169474e-01,2.221281e-01,2.227374e-01,2.271248e-01,2.292646e-01,2.319358e-01,2.354673e-01,2.365601e-01,2.409975e-01,2.413445e-01,2.452484e-01,2.468966e-01,2.493135e-01,2.521263e-01,2.531944e-01,2.568930e-01,2.570371e-01,2.604114e-01,2.616345e-01,2.637524e-01,2.659245e-01,2.669190e-01,2.699143e-01,2.727420e-01,2.736120e-01,2.754057e-01,2.770262e-01,2.779093e-01,2.801658e-01,2.802568e-01,2.824523e-01,2.830405e-01,2.845003e-01,2.856599e-01,2.864048e-01,2.880342e-01,2.881705e-01,2.898015e-01,2.901734e-01,2.913024e-01,2.920878e-01,2.926776e-01,2.937873e-01,2.939315e-01,2.950685e-01,2.952822e-01,2.960929e-01,2.965825e-01,2.970089e-01,2.976979e-01,2.978210e-01,2.985331e-01,2.986381e-01,2.991495e-01,2.994125e-01,2.996741e-01,3.000305e-01,3.001110e-01,3.004639e-01,3.005008e-01,3.007366e-01,3.008322e-01,3.009329e-01,3.010330e-01,3.010562e-01,3.011100e-01,3.011115e-01,3.010979e-01,3.010753e-01,3.010230e-01,3.009321e-01,3.008886e-01,3.006977e-01,3.006890e-01,3.004534e-01,3.003530e-01,3.001586e-01,2.999307e-01,2.998161e-01,2.994285e-01,2.988525e-01,2.982083e-01,2.975015e-01,2.967374e-01,2.959208e-01,2.950566e-01,2.941491e-01,2.932026e-01,2.922211e-01,2.912083e-01,2.901679e-01,2.891031e-01,2.880172e-01,2.869131e-01,2.857935e-01,2.846611e-01,2.835184e-01,2.823676e-01,2.812109e-01,2.800503e-01,2.788876e-01,2.777245e-01,2.765627e-01,2.754037e-01
0.000000e+00,2.067269e-12,4.712314e-12,1.604987e-11,3.618083e-11,5.250984e-11,1.174607e-10,1.209235e-10,2.302265e-10,2.693674e-10,3.893483e-10,5.125865e-10,6.075922e-10,8.688128e-10,8.945090e-10,1.258576e-09,1.358063e-09,1.704281e-09,1.988979e-09,2.229357e-09,2.750471e-09,2.825380e-09,3.481350e-09,3.618783e-09,4.186702e-09,4.569924e-09,4.932346e-09,5.584135e-09,5.710546e-09,6.514467e-09,6.645055e-09,7.337811e-09,7.738149e-09,8.174590e-09,8.849792e-09,9.019018e-09,9.865506e-09,9.966966e-09,1.070869e-08,1.107732e-08,1.154349e-08,1.216940e-08,1.236517e-08,1.316944e-08,1.323291e-08,1.395246e-08,1.425896e-08,1.471090e-08,1.524015e-08,1.544193e-08,1.614326e-08,1.617067e-08,1.681311e-08,1.704629e-08,1.745019e-08,1.786424e-08,1.805365e-08,1.862308e-08,1.915841e-08,1.932254e-08,1.965990e-08,1.996333e-08,2.012809e-08,2.054693e-08,2.056374e-08,2.096780e-08,2.107542e-08,2.134136e-08,2.155135e-08,2.168562e-08,2.197753e-08,2.200183e-08,2.229128e-08,2.235693e-08,2.255538e-08,2.269273e-08,2.279554e-08,2.298814e-08,2.301309e-08,2.320933e-08,2.324613e-08,2.338556e-08,2.346971e-08,2.354303e-08,2.366168e-08,2.368293e-08,2.380639e-08,2.382469e-08,2.391450e-08,2.396125e-08,2.400830e-08,2.407369e-08,2.408876e-08,2.415678e-08,2.416415e-08,2.421322e-08,2.423460e-08,2.425889e-08,2.428686e-08,2.429454e-08,2.432088e-08,2.432260e-08,2.433855e-08,2.434333e-08,2.434817e-08,2.435043e-08,2.435030e-08,2.434549e-08,2.434516e-08,2.433421e-08,2.432866e-08,2.431694e-08,2.430198e-08,2.429408e-08,2.426605e-08,2.423321e-08,2.422174e-08,2.419590e-08,2.416983e-08,2.415444e-08,2.411102e-08,2.410914e-08,2.406025e-08,2.404596e-08,2.400805e-08,2.397524e-08,2.395278e-08,2.389940e-08,2.389465e-08,2.383387e-08,2.381892e-08,2.377065e-08,2.373424e-08,2.370516e-08,2.364579e-08,2.363757e-08,2.356805e-08,2.355392e-08,2.349673e-08,2.345899e-08,2.342378e-08,2.336131e-08,2.334930e-08,2.327343e-08,2.326117e-08,2.319628e-08,2.315882e-08,2.311795e-08,2.305452e-08,2.303856e-08,2.295819e-08,2.294849e-08,2.287694e-08,2.284093e-08,2.279489e-08,2.273205e-08,2.271212e-08,2.262870e-08,2.262200e-08,2.254471e-08,2.251097e-08,2.246021e-08,2.239909e-08,2.237527e-08,2.228994e-08,2.228652e-08,2.220428e-08,2.217337e-08,2.211835e-08,2.205978e-08,2.203218e-08,2.194584e-08,2.183167e-08,2.171735e-08,2.160298e-08,2.148863e-08,2.137440e-08,2.126033e-08,2.114651e-08,2.103299e-08,2.091983e-08,2.080708e-08,2.069479e-08,2.058301e-08,2.047177e-08,2.036112e-08,2.025108e-08,2.014170e-08,2.003299e-08,1.992500e-08,1.981774e-08,1.971125e-08,1.960553e-08,1.950061e-08,1.939650e-08,1.929323e-08
0.000000e+00,1.141771e-10,2.786879e-10,1.023992e-09,2.397857e-09,3.532454e-09,8.124159e-09,8.371103e-09,1.622021e-08,1.904641e-08,2.772975e-08,3.665637e-08,4.353174e-08,6.237076e-08,6.421740e-08,9.023543e-08,9.729801e-08,1.217424e-07,1.417339e-07,1.585799e-07,1.951453e-07,2.004176e-07,2.468824e-07,2.566975e-07,2.975966e-07,3.255190e-07,3.521712e-07,4.006973e-07,4.101951e-07,4.712297e-07,4.812440e-07,5.348108e-07,5.660929e-07,6.004552e-07,6.541248e-07,6.676695e-07,7.359607e-07,7.442049e-07,8.048461e-07,8.352237e-07,8.738629e-07,9.261344e-07,9.425757e-07,1.010583e-06,1.015982e-06,1.077522e-06,1.103925e-06,1.143071e-06,1.189246e-06,1.206949e-06,1.268920e-06,1.271356e-06,1.328787e-06,1.349793e-06,1.386394e-06,1.424213e-06,1.441620e-06,1.494376e-06,1.544606e-06,1.560140e-06,1.592278e-06,1.621442e-06,1.637385e-06,1.678285e-06,1.679938e-06,1.719967e-06,1.730728e-06,1.757515e-06,1.778875e-06,1.792636e-06,1.822860e-06,1.825395e-06,1.855864e-06,1.862844e-06,1.884120e-06,1.899006e-06,1.910243e-06,1.931533e-06,1.934317e-06,1.956428e-06,1.960623e-06,1.976663e-06,1.986471e-06,1.995106e-06,2.009276e-06,2.011843e-06,2.026958e-06,2.029231e-06,2.040533e-06,2.046525e-06,2.052647e-06,2.061340e-06,2.063379e-06,2.072804e-06,2.073851e-06,2.080995e-06,2.084226e-06,2.088021e-06,2.092623e-06,2.093949e-06,2.098845e-06,2.099194e-06,2.102769e-06,2.104080e-06,2.105781e-06,2.107416e-06,2.107937e-06,2.109290e-06,2.109328e-06,2.109892e-06,2.109934e-06,2.109791e-06,2.109344e-06,2.109033e-06,2.107662e-06,2.105720e-06,2.104984e-06,2.103246e-06,2.101401e-06,2.100278e-06,2.096996e-06,2.096850e-06,2.092997e-06,2.091847e-06,2.088751e-06,2.086027e-06,2.084141e-06,2.079603e-06,2.079195e-06,2.073941e-06,2.072637e-06,2.068404e-06,2.065188e-06,2.062607e-06,2.057309e-06,2.056573e-06,2.050324e-06,2.049050e-06,2.043879e-06,2.040456e-06,2.037257e-06,2.031571e-06,2.030476e-06,2.023553e-06,2.022433e-06,2.016503e-06,2.013078e-06,2.009341e-06,2.003541e-06,2.002082e-06,1.994737e-06,1.993851e-06,1.987320e-06,1.984036e-06,1.979842e-06,1.974124e-06,1.972313e-06,1.964744e-06,1.964137e-06,1.957144e-06,1.954097e-06,1.949521e-06,1.944024e-06,1.941885e-06,1.934243e-06,1.933937e-06,1.926602e-06,1.923853e-06,1.918969e-06,1.913786e-06,1.911349e-06,1.903750e-06,1.893758e-06,1.883822e-06,1.873952e-06,1.864156e-06,1.854445e-06,1.844824e-06,1.835300e-06,1.825881e-06,1.816570e-06,1.807372e-06,1.798293e-06,1.789334e-06,1.780500e-06,1.771792e-06,1.763213e-06,1.754765e-06,1.746449e-06,1.738266e-06,1.730217e-06,1.722302e-06,1.714522e-06,1.706877e-06,1.699367e-06,1.691990e-06
0.000000e+00,7.414118e-11,2.794993e-10,1.966399e-09,7.026323e-09,1.250822e-08,4.277594e-08,4.469601e-08,1.172462e-07,1.479554e-07,2.544162e-07,3.800576e-07,4.864677e-07,8.150328e-07,8.498856e-07,1.384865e-06,1.543022e-06,2.127221e-06,2.641907e-06,3.097049e-06,4.137674e-06,4.292478e-06,5.692346e-06,5.994079e-06,7.263842e-06,8.136574e-06,8.969978e-06,1.048067e-05,1.077464e-05,1.264514e-05,1.294857e-05,1.455306e-05,1.547488e-05,1.647411e-05,1.800640e-05,1.838761e-05,2.027597e-05,2.050014e-05,2.212415e-05,2.292126e-05,2.391940e-05,2.524170e-05,2.565096e-05,2.730997e-05,2.743933e-05,2.888931e-05,2.949747e-05,3.038356e-05,3.140452e-05,3.178889e-05,3.310293e-05,3.315357e-05,3.432465e-05,3.474187e-05,3.545422e-05,3.617028e-05,3.649285e-05,3.744263e-05,3.830636e-05,3.856511e-05,3.908741e-05,3.954565e-05,3.978961e-05,4.039333e-05,4.041705e-05,4.097401e-05,4.111793e-05,4.146490e-05,4.172953e-05,4.189408e-05,4.223815e-05,4.226589e-05,4.258455e-05,4.265358e-05,4.285413e-05,4.298512e-05,4.307852e-05,4.324155e-05,4.326142e-05,4.340629e-05,4.343100e-05,4.351640e-05,4.356094e-05,4.359478e-05,4.363817e-05,4.364426e-05,4.366743e-05,4.366886e-05,4.366671e-05,4.365854e-05,4.364433e-05,4.361220e-05,4.360231e-05,4.354254e-05,4.353425e-05,4.346671e-05,4.342868e-05,4.337641e-05,4.329898e-05,4.327306e-05,4.315797e-05,4.314829e-05,4.303233e-05,4.297937e-05,4.289725e-05,4.279469e-05,4.275370e-05,4.260261e-05,4.259642e-05,4.244480e-05,4.238650e-05,4.228104e-05,4.216662e-05,4.211200e-05,4.193833e-05,4.176059e-05,4.170295e-05,4.157932e-05,4.146168e-05,4.139500e-05,4.121559e-05,4.120807e-05,4.101893e-05,4.096562e-05,4.082794e-05,4.071261e-05,4.063546e-05,4.045730e-05,4.044177e-05,4.024718e-05,4.020037e-05,4.005193e-05,3.994239e-05,3.985626e-05,3.968391e-05,3.966040e-05,3.946453e-05,3.942538e-05,3.926885e-05,3.916722e-05,3.907351e-05,3.890981e-05,3.887868e-05,3.868449e-05,3.865348e-05,3.849106e-05,3.839853e-05,3.829852e-05,3.814521e-05,3.810698e-05,3.791653e-05,3.789375e-05,3.772726e-05,3.764438e-05,3.753925e-05,3.739725e-05,3.735258e-05,3.716730e-05,3.715254e-05,3.698349e-05,3.691039e-05,3.680120e-05,3.667091e-05,3.662047e-05,3.644135e-05,3.643422e-05,3.626388e-05,3.620040e-05,3.608809e-05,3.596953e-05,3.591402e-05,3.574169e-05,3.551693e-05,3.529530e-05,3.507683e-05,3.486155e-05,3.464949e-05,3.444067e-05,3.423508e-05,3.403275e-05,3.383365e-05,3.363781e-05,3.344519e-05,3.325579e-05,3.306959e-05,3.288658e-05,3.270673e-05,3.253001e-05,3.235641e-05,3.218588e-05,3.201841e-05,3.185395e-05,3.169248e-05,3.153396e-05,3.137835e-05,3.122562e-05
0.000000e+00,1.402700e-10,3.339435e-10,1.195808e-09,2.768939e-09,4.063444e-09,9.290681e-09,9.571623e-09,1.850240e-08,2.171990e-08,3.161422e-08,4.180030e-08,4.965587e-08,7.122637e-08,7.334442e-08,1.032573e-07,1.113996e-07,1.396487e-07,1.628177e-07,1.823767e-07,2.249088e-07,2.310479e-07,2.851956e-07,2.966409e-07,3.443504e-07,3.769339e-07,4.080416e-07,4.646929e-07,4.757831e-07,5.470653e-07,5.587637e-07,6.213553e-07,6.579218e-07,6.981031e-07,7.608960e-07,7.767507e-07,8.567438e-07,8.664075e-07,9.375420e-07,9.732142e-07,1.018629e-06,1.080149e-06,1.099521e-06,1.179772e-06,1.186152e-06,1.258979e-06,1.290288e-06,1.336785e-06,1.391761e-06,1.412879e-06,1.486994e-06,1.489915e-06,1.558910e-06,1.584225e-06,1.628445e-06,1.674296e-06,1.695458e-06,1.759842e-06,1.821520e-06,1.840677e-06,1.880446e-06,1.916702e-06,1.936595e-06,1.987885e-06,1.989967e-06,2.040576e-06,2.054255e-06,2.088454e-06,2.115887e-06,2.133644e-06,2.172893e-06,2.176202e-06,2.216189e-06,2.225411e-06,2.253675e-06,2.273603e-06,2.288735e-06,2.317641e-06,2.321445e-06,2.351888e-06,2.357712e-06,2.380146e-06,2.394003e-06,2.406301e-06,2.426708e-06,2.430438e-06,2.452639e-06,2.456017e-06,2.472988e-06,2.482121e-06,2.491564e-06,2.505203e-06,2.508449e-06,2.523719e-06,2.525446e-06,2.537450e-06,2.543024e-06,2.549718e-06,2.558106e-06,2.560593e-06,2.570145e-06,2.570854e-06,2.578440e-06,2.581422e-06,2.585545e-06,2.589959e-06,2.591522e-06,2.596431e-06,2.596606e-06,2.600329e-06,2.601496e-06,2.603273e-06,2.604758e-06,2.605317e-06,2.606511e-06,2.606904e-06,2.606869e-06,2.606545e-06,2.605940e-06,2.605477e-06,2.603826e-06,2.603745e-06,2.601389e-06,2.600623e-06,2.598448e-06,2.596420e-06,2.594962e-06,2.591302e-06,2.590964e-06,2.586491e-06,2.585350e-06,2.581573e-06,2.578637e-06,2.576243e-06,2.571235e-06,2.570530e-06,2.564462e-06,2.563208e-06,2.558066e-06,2.554619e-06,2.551368e-06,2.545526e-06,2.544392e-06,2.537160e-06,2.535981e-06,2.529695e-06,2.526035e-06,2.522018e-06,2.515736e-06,2.514148e-06,2.506103e-06,2.505127e-06,2.497902e-06,2.494249e-06,2.489561e-06,2.483139e-06,2.481097e-06,2.472523e-06,2.471833e-06,2.463854e-06,2.460363e-06,2.455104e-06,2.448761e-06,2.446285e-06,2.437410e-06,2.437053e-06,2.428488e-06,2.425267e-06,2.419531e-06,2.413426e-06,2.410549e-06,2.401551e-06,2.389665e-06,2.377785e-06,2.365928e-06,2.354111e-06,2.342348e-06,2.330652e-06,2.319035e-06,2.307508e-06,2.296081e-06,2.284763e-06,2.273562e-06,2.262485e-06,2.251539e-06,2.240729e-06,2.230060e-06,2.219537e-06,2.209163e-06,2.198942e-06,2.188876e-06,2.178968e-06,2.169220e-06,2.159632e-06,2.150207e-06,2.140944e-06
0.000000e+00,5.861915e-11,1.685734e-10,7.527810e-10,1.946860e-09,2.981234e-09,7.366401e-09,7.608020e-09,1.546801e-08,1.836209e-08,2.740281e-08,3.688296e-08,4.428997e-08,6.497559e-08,6.703063e-08,9.643041e-08,1.045405e-07,1.329711e-07,1.565788e-07,1.766781e-07,2.208323e-07,2.272500e-07,2.842767e-07,2.964206e-07,3.473538e-07,3.824176e-07,4.160987e-07,4.779472e-07,4.901319e-07,5.690578e-07,5.821121e-07,6.524523e-07,6.939362e-07,7.398593e-07,8.123480e-07,8.307924e-07,9.247406e-07,9.361921e-07,1.021177e-06,1.064259e-06,1.119567e-06,1.195323e-06,1.219380e-06,1.320098e-06,1.328179e-06,1.421220e-06,1.461674e-06,1.522272e-06,1.594740e-06,1.622817e-06,1.722452e-06,1.726413e-06,1.820814e-06,1.855849e-06,1.917579e-06,1.982324e-06,2.012468e-06,2.105240e-06,2.195691e-06,2.224117e-06,2.283656e-06,2.338587e-06,2.369003e-06,2.448382e-06,2.451634e-06,2.531475e-06,2.553324e-06,2.608482e-06,2.653314e-06,2.682629e-06,2.748316e-06,2.753913e-06,2.822348e-06,2.838351e-06,2.887959e-06,2.923483e-06,2.950788e-06,3.003814e-06,3.010883e-06,3.068303e-06,3.079471e-06,3.123112e-06,3.150604e-06,3.175380e-06,3.217375e-06,3.225181e-06,3.272590e-06,3.279959e-06,3.317686e-06,3.338534e-06,3.360548e-06,3.393282e-06,3.401255e-06,3.439886e-06,3.444386e-06,3.476520e-06,3.492025e-06,3.511232e-06,3.536376e-06,3.544100e-06,3.575197e-06,3.577611e-06,3.604595e-06,3.615895e-06,3.632365e-06,3.651388e-06,3.658573e-06,3.683286e-06,3.684245e-06,3.706568e-06,3.714611e-06,3.728479e-06,3.742626e-06,3.749079e-06,3.768424e-06,3.786568e-06,3.792129e-06,3.803565e-06,3.813863e-06,3.819464e-06,3.833739e-06,3.834313e-06,3.848159e-06,3.851862e-06,3.861047e-06,3.868336e-06,3.873017e-06,3.883256e-06,3.884112e-06,3.894369e-06,3.896711e-06,3.903827e-06,3.908787e-06,3.912520e-06,3.919564e-06,3.920482e-06,3.927747e-06,3.929119e-06,3.934345e-06,3.937522e-06,3.940306e-06,3.944842e-06,3.945658e-06,3.950429e-06,3.951141e-06,3.954645e-06,3.956479e-06,3.958330e-06,3.960913e-06,3.961509e-06,3.964204e-06,3.964496e-06,3.966436e-06,3.967278e-06,3.968228e-06,3.969306e-06,3.969598e-06,3.970565e-06,3.970626e-06,3.971149e-06,3.971279e-06,3.971366e-06,3.971305e-06,3.971233e-06,3.970767e-06,3.970741e-06,3.969981e-06,3.969623e-06,3.968892e-06,3.967985e-06,3.967512e-06,3.965857e-06,3.963269e-06,3.960251e-06,3.956827e-06,3.953024e-06,3.948865e-06,3.944373e-06,3.939568e-06,3.934472e-06,3.929102e-06,3.923478e-06,3.917616e-06,3.911532e-06,3.905241e-06,3.898759e-06,3.892098e-06,3.885271e-06,3.878292e-06,3.871172e-06,3.863921e-06,3.856551e-06,3.849070e-06,3.841490e-06,3.833818e-06,3.826063e-06
0.000000e+00,2.989054e-12,6.836199e-12,2.344635e-11,5.317707e-11,7.741932e-11,1.744171e-10,1.796042e-10,3.436456e-10,4.024268e-10,5.823726e-10,7.665213e-10,9.078741e-10,1.293572e-09,1.331286e-09,1.862124e-09,2.006327e-09,2.506967e-09,2.918774e-09,3.267525e-09,4.028774e-09,4.138847e-09,5.109227e-09,5.313808e-09,6.162499e-09,6.737161e-09,7.281273e-09,8.259643e-09,8.449194e-09,9.651791e-09,9.846558e-09,1.087646e-08,1.146887e-08,1.211225e-08,1.310243e-08,1.334962e-08,1.458031e-08,1.472719e-08,1.579722e-08,1.632672e-08,1.699435e-08,1.788783e-08,1.816670e-08,1.931020e-08,1.940033e-08,2.042163e-08,2.085666e-08,2.149856e-08,2.225157e-08,2.253921e-08,2.354236e-08,2.358169e-08,2.450727e-08,2.484521e-08,2.543364e-08,2.604157e-08,2.632151e-08,2.717117e-08,2.798314e-08,2.823513e-08,2.875814e-08,2.923512e-08,2.949700e-08,3.017315e-08,3.020064e-08,3.087007e-08,3.105153e-08,3.150636e-08,3.187267e-08,3.211059e-08,3.263912e-08,3.268387e-08,3.322732e-08,3.335343e-08,3.374203e-08,3.401812e-08,3.422909e-08,3.463570e-08,3.468959e-08,3.512457e-08,3.520860e-08,3.553506e-08,3.573917e-08,3.592206e-08,3.622970e-08,3.628655e-08,3.662945e-08,3.668237e-08,3.695168e-08,3.709927e-08,3.725412e-08,3.748238e-08,3.753760e-08,3.780295e-08,3.783361e-08,3.805095e-08,3.815477e-08,3.828235e-08,3.844756e-08,3.849788e-08,3.869823e-08,3.871362e-08,3.888407e-08,3.895449e-08,3.905604e-08,3.917162e-08,3.921476e-08,3.936082e-08,3.936640e-08,3.949477e-08,3.954014e-08,3.961717e-08,3.969407e-08,3.972853e-08,3.982935e-08,3.992010e-08,3.994709e-08,4.000124e-08,4.004833e-08,4.007321e-08,4.013405e-08,4.013642e-08,4.019127e-08,4.020519e-08,4.023815e-08,4.026261e-08,4.027743e-08,4.030714e-08,4.030944e-08,4.033454e-08,4.033957e-08,4.035303e-08,4.036062e-08,4.036524e-08,4.037100e-08,4.037144e-08,4.037193e-08,4.037136e-08,4.036696e-08,4.036232e-08,4.035681e-08,4.034445e-08,4.034172e-08,4.032192e-08,4.031833e-08,4.029763e-08,4.028445e-08,4.026909e-08,4.024332e-08,4.023648e-08,4.020002e-08,4.019539e-08,4.015988e-08,4.014111e-08,4.011626e-08,4.008089e-08,4.006933e-08,4.001925e-08,4.001511e-08,3.996618e-08,3.994415e-08,3.991028e-08,3.986835e-08,3.985168e-08,3.979054e-08,3.978804e-08,3.972699e-08,3.970354e-08,3.966114e-08,3.961513e-08,3.959314e-08,3.952309e-08,3.942768e-08,3.932916e-08,3.922775e-08,3.912367e-08,3.901714e-08,3.890835e-08,3.879748e-08,3.868472e-08,3.857023e-08,3.845417e-08,3.833668e-08,3.821791e-08,3.809800e-08,3.797706e-08,3.785521e-08,3.773258e-08,3.760926e-08,3.748535e-08,3.736096e-08,3.723616e-08,3.711105e-08,3.698571e-08,3.686020e-08,3.673461e-08
0.000000e+00,2.933569e-10,1.020340e-09,6.141753e-09,1.927134e-08,3.209259e-08,9.367013e-08,9.728470e-08,2.221437e-07,2.706994e-07,4.283377e-07,6.009249e-07,7.397146e-07,1.140591e-06,1.181237e-06,1.772539e-06,1.937665e-06,2.518393e-06,2.999440e-06,3.406279e-06,4.287305e-06,4.413697e-06,5.516743e-06,5.746907e-06,6.694314e-06,7.330104e-06,7.928675e-06,8.998231e-06,9.204593e-06,1.050837e-05,1.071870e-05,1.182725e-05,1.246210e-05,1.314913e-05,1.420109e-05,1.446258e-05,1.575689e-05,1.591045e-05,1.702230e-05,1.756763e-05,1.825008e-05,1.915336e-05,1.943271e-05,2.056390e-05,2.065201e-05,2.163862e-05,2.205182e-05,2.265313e-05,2.334480e-05,2.360485e-05,2.449229e-05,2.452644e-05,2.531489e-05,2.559520e-05,2.607298e-05,2.655214e-05,2.676759e-05,2.740031e-05,2.797313e-05,2.814417e-05,2.848845e-05,2.878929e-05,2.894892e-05,2.934198e-05,2.935735e-05,2.971670e-05,2.980893e-05,3.002995e-05,3.019700e-05,3.030006e-05,3.051297e-05,3.052995e-05,3.072250e-05,3.076346e-05,3.088043e-05,3.095475e-05,3.100640e-05,3.109281e-05,3.110291e-05,3.117234e-05,3.118318e-05,3.121694e-05,3.123102e-05,3.123880e-05,3.124105e-05,3.123991e-05,3.122210e-05,3.121761e-05,3.118707e-05,3.116461e-05,3.113642e-05,3.108564e-05,3.107161e-05,3.099402e-05,3.098391e-05,3.090490e-05,3.086234e-05,3.080542e-05,3.072354e-05,3.069664e-05,3.057957e-05,3.056987e-05,3.045509e-05,3.040342e-05,3.032405e-05,3.022608e-05,3.018722e-05,3.004529e-05,3.003952e-05,2.989892e-05,2.984526e-05,2.974870e-05,2.964462e-05,2.959516e-05,2.943881e-05,2.928010e-05,2.922888e-05,2.911945e-05,2.901579e-05,2.895723e-05,2.880036e-05,2.879380e-05,2.862948e-05,2.858335e-05,2.846455e-05,2.836540e-05,2.829927e-05,2.814712e-05,2.813389e-05,2.796863e-05,2.792900e-05,2.780368e-05,2.771151e-05,2.763922e-05,2.749504e-05,2.747543e-05,2.731244e-05,2.727995e-05,2.715039e-05,2.706654e-05,2.698941e-05,2.685508e-05,2.682959e-05,2.667105e-05,2.664580e-05,2.651385e-05,2.643891e-05,2.635809e-05,2.623457e-05,2.620384e-05,2.605114e-05,2.603293e-05,2.590007e-05,2.583412e-05,2.575066e-05,2.563824e-05,2.560295e-05,2.545699e-05,2.544539e-05,2.531280e-05,2.525562e-05,2.517040e-05,2.506900e-05,2.502983e-05,2.489109e-05,2.488557e-05,2.475419e-05,2.470537e-05,2.461916e-05,2.452840e-05,2.448599e-05,2.435469e-05,2.418424e-05,2.401704e-05,2.385309e-05,2.369237e-05,2.353485e-05,2.338052e-05,2.322934e-05,2.308129e-05,2.293632e-05,2.279441e-05,2.265550e-05,2.251956e-05,2.238654e-05,2.225640e-05,2.212909e-05,2.200456e-05,2.188278e-05,2.176368e-05,2.164722e-05,2.153335e-05,2.142202e-05,2.131319e-05,2.120680e-05,2.110281e-05
0.000000e+00,2.349758e-10,8.877024e-10,6.277046e-09,2.255516e-08,4.029708e-08,1.393986e-07,1.457351e-07,3.882927e-07,4.924806e-07,8.590919e-07,1.300338e-06,1.679560e-06,2.870723e-06,2.998217e-06,4.963979e-06,5.545231e-06,7.682907e-06,9.551261e-06,1.119245e-05,1.491572e-05,1.546713e-05,2.044024e-05,2.151122e-05,2.602522e-05,2.914064e-05,3.213005e-05,3.759403e-05,3.866496e-05,4.554550e-05,4.667313e-05,5.269316e-05,5.619734e-05,6.003513e-05,6.600296e-05,6.750372e-05,7.503610e-05,7.594147e-05,8.257418e-05,8.587885e-05,9.006475e-05,9.569598e-05,9.745965e-05,1.047160e-04,1.052893e-04,1.117963e-04,1.145718e-04,1.186687e-04,1.234731e-04,1.253068e-04,1.316894e-04,1.319391e-04,1.378000e-04,1.399309e-04,1.436269e-04,1.474230e-04,1.491622e-04,1.544016e-04,1.593440e-04,1.608630e-04,1.639908e-04,1.668112e-04,1.683456e-04,1.722567e-04,1.724141e-04,1.762029e-04,1.772147e-04,1.797201e-04,1.817037e-04,1.829746e-04,1.857447e-04,1.859757e-04,1.887335e-04,1.893602e-04,1.912580e-04,1.925736e-04,1.935595e-04,1.954085e-04,1.956483e-04,1.975346e-04,1.978884e-04,1.992284e-04,2.000363e-04,2.007395e-04,2.018748e-04,2.020776e-04,2.032520e-04,2.034253e-04,2.042716e-04,2.047086e-04,2.051452e-04,2.057445e-04,2.058810e-04,2.064872e-04,2.065516e-04,2.069713e-04,2.071476e-04,2.073409e-04,2.075493e-04,2.076027e-04,2.077637e-04,2.077724e-04,2.078301e-04,2.078316e-04,2.078081e-04,2.077408e-04,2.077035e-04,2.075216e-04,2.075128e-04,2.072679e-04,2.071599e-04,2.069472e-04,2.066933e-04,2.065642e-04,2.061234e-04,2.056291e-04,2.054603e-04,2.050852e-04,2.047129e-04,2.044955e-04,2.038897e-04,2.038637e-04,2.031930e-04,2.029987e-04,2.024867e-04,2.020471e-04,2.017478e-04,2.010417e-04,2.009792e-04,2.001836e-04,1.999889e-04,1.993634e-04,1.988943e-04,1.985211e-04,1.977634e-04,1.976589e-04,1.967790e-04,1.966011e-04,1.958834e-04,1.954120e-04,1.949738e-04,1.942004e-04,1.940522e-04,1.931200e-04,1.929700e-04,1.921790e-04,1.917246e-04,1.912305e-04,1.904673e-04,1.902759e-04,1.893165e-04,1.892011e-04,1.883535e-04,1.879289e-04,1.873880e-04,1.866532e-04,1.864210e-04,1.854536e-04,1.853762e-04,1.844866e-04,1.841001e-04,1.835208e-04,1.828267e-04,1.825571e-04,1.815963e-04,1.815579e-04,1.806389e-04,1.802952e-04,1.796856e-04,1.790400e-04,1.787370e-04,1.777936e-04,1.765572e-04,1.753318e-04,1.741183e-04,1.729177e-04,1.717305e-04,1.705575e-04,1.693992e-04,1.682561e-04,1.671286e-04,1.660171e-04,1.649219e-04,1.638432e-04,1.627813e-04,1.617362e-04,1.607082e-04,1.596972e-04,1.587033e-04,1.577266e-04,1.567669e-04,1.558243e-04,1.548987e-04,1.539900e-04,1.530981e-04,1.522228e-04
0.000000e+00,9.955086e-11,3.786552e-10,2.712029e-09,9.838623e-09,1.765006e-08,6.140602e-08,6.420093e-08,1.704134e-07,2.155150e-07,3.718008e-07,5.555707e-07,7.104693e-07,1.184767e-06,1.234787e-06,1.998811e-06,2.224195e-06,3.059567e-06,3.803445e-06,4.470166e-06,6.032742e-06,6.270127e-06,8.478249e-06,8.968951e-06,1.109174e-05,1.260476e-05,1.409030e-05,1.688342e-05,1.744185e-05,2.110768e-05,2.172061e-05,2.504615e-05,2.702103e-05,2.921499e-05,3.268791e-05,3.357257e-05,3.807858e-05,3.862742e-05,4.269438e-05,4.475057e-05,4.738320e-05,5.097409e-05,5.211032e-05,5.684322e-05,5.722118e-05,6.155180e-05,6.342217e-05,6.620854e-05,6.951526e-05,7.078864e-05,7.527012e-05,7.544705e-05,7.963387e-05,8.117279e-05,8.386365e-05,8.665640e-05,8.794599e-05,9.187009e-05,9.562767e-05,9.679390e-05,9.921277e-05,1.014149e-04,1.026215e-04,1.057262e-04,1.058520e-04,1.089038e-04,1.097264e-04,1.117782e-04,1.134185e-04,1.144774e-04,1.168088e-04,1.170048e-04,1.193645e-04,1.199065e-04,1.215616e-04,1.227228e-04,1.236011e-04,1.252703e-04,1.254890e-04,1.272312e-04,1.275627e-04,1.288339e-04,1.296142e-04,1.303032e-04,1.314389e-04,1.316454e-04,1.328667e-04,1.330513e-04,1.339731e-04,1.344651e-04,1.349705e-04,1.356939e-04,1.358647e-04,1.366614e-04,1.367507e-04,1.373658e-04,1.376479e-04,1.379832e-04,1.383972e-04,1.385184e-04,1.389764e-04,1.390098e-04,1.393615e-04,1.394962e-04,1.396782e-04,1.398661e-04,1.399305e-04,1.401222e-04,1.401287e-04,1.402572e-04,1.402926e-04,1.403390e-04,1.403658e-04,1.403707e-04,1.403557e-04,1.402969e-04,1.402692e-04,1.401970e-04,1.401128e-04,1.400588e-04,1.398924e-04,1.398847e-04,1.396772e-04,1.396135e-04,1.394385e-04,1.392812e-04,1.391707e-04,1.389003e-04,1.388758e-04,1.385556e-04,1.384752e-04,1.382120e-04,1.380100e-04,1.378466e-04,1.375083e-04,1.374610e-04,1.370568e-04,1.369738e-04,1.366352e-04,1.364096e-04,1.361976e-04,1.358187e-04,1.357454e-04,1.352795e-04,1.352038e-04,1.348013e-04,1.345676e-04,1.343116e-04,1.339123e-04,1.338115e-04,1.333020e-04,1.332402e-04,1.327838e-04,1.325533e-04,1.322578e-04,1.318534e-04,1.317249e-04,1.311856e-04,1.311422e-04,1.306407e-04,1.304214e-04,1.300909e-04,1.296924e-04,1.295368e-04,1.289789e-04,1.289565e-04,1.284177e-04,1.282150e-04,1.278539e-04,1.274691e-04,1.272877e-04,1.267198e-04,1.259682e-04,1.252150e-04,1.244612e-04,1.237074e-04,1.229545e-04,1.222031e-04,1.214537e-04,1.207068e-04,1.199631e-04,1.192229e-04,1.184867e-04,1.177548e-04,1.170277e-04,1.163055e-04,1.155886e-04,1.148773e-04,1.141718e-04,1.134722e-04,1.127789e-04,1.120919e-04,1.114113e-04,1.107375e-04,1.100703e-04,1.094101e-04
0.000000e+00,7.407734e-11,2.825662e-10,2.035193e-09,7.418478e-09,1.334140e-08,4.669154e-08,4.882775e-08,1.302731e-07,1.649578e-07,2.853928e-07,4.272847e-07,5.470015e-07,9.137712e-07,9.524506e-07,1.542949e-06,1.717022e-06,2.361901e-06,2.936111e-06,3.451065e-06,4.660051e-06,4.844017e-06,6.558642e-06,6.940316e-06,8.592365e-06,9.769147e-06,1.092241e-05,1.308078e-05,1.351024e-05,1.630762e-05,1.677116e-05,1.926226e-05,2.072100e-05,2.232219e-05,2.481293e-05,2.543850e-05,2.856701e-05,2.894135e-05,3.166895e-05,3.301666e-05,3.471121e-05,3.696619e-05,3.766611e-05,4.051109e-05,4.073337e-05,4.322833e-05,4.427628e-05,4.580425e-05,4.756581e-05,4.822912e-05,5.049652e-05,5.058388e-05,5.260296e-05,5.332161e-05,5.454745e-05,5.577770e-05,5.633112e-05,5.795685e-05,5.942892e-05,5.986839e-05,6.075276e-05,6.152509e-05,6.193462e-05,6.294203e-05,6.298140e-05,6.390038e-05,6.413582e-05,6.469912e-05,6.512380e-05,6.538522e-05,6.592348e-05,6.596628e-05,6.644979e-05,6.655212e-05,6.684300e-05,6.702639e-05,6.715295e-05,6.736215e-05,6.738632e-05,6.754951e-05,6.757426e-05,6.764854e-05,6.767658e-05,6.768909e-05,6.768185e-05,6.767647e-05,6.761564e-05,6.760175e-05,6.751123e-05,6.744690e-05,6.736751e-05,6.722692e-05,6.718846e-05,6.697773e-05,6.695048e-05,6.673870e-05,6.662537e-05,6.647447e-05,6.625858e-05,6.618791e-05,6.588161e-05,6.585633e-05,6.555799e-05,6.542419e-05,6.521924e-05,6.496711e-05,6.486737e-05,6.450420e-05,6.448946e-05,6.413141e-05,6.399515e-05,6.375053e-05,6.348762e-05,6.336293e-05,6.296989e-05,6.257255e-05,6.244466e-05,6.217194e-05,6.191428e-05,6.176901e-05,6.138082e-05,6.136463e-05,6.095955e-05,6.084610e-05,6.055448e-05,6.031171e-05,6.015005e-05,5.977902e-05,5.974682e-05,5.934531e-05,5.924925e-05,5.894597e-05,5.872345e-05,5.854922e-05,5.820252e-05,5.815543e-05,5.776491e-05,5.768723e-05,5.737797e-05,5.717825e-05,5.699484e-05,5.667614e-05,5.661577e-05,5.624095e-05,5.618138e-05,5.587054e-05,5.569436e-05,5.550470e-05,5.521541e-05,5.514356e-05,5.478722e-05,5.474478e-05,5.443577e-05,5.428270e-05,5.408929e-05,5.382933e-05,5.374784e-05,5.341146e-05,5.338477e-05,5.308019e-05,5.294912e-05,5.275405e-05,5.252242e-05,5.243306e-05,5.211722e-05,5.210469e-05,5.180652e-05,5.169593e-05,5.150096e-05,5.129610e-05,5.120051e-05,5.090515e-05,5.052302e-05,5.014963e-05,4.978489e-05,4.942868e-05,4.908090e-05,4.874143e-05,4.841012e-05,4.808686e-05,4.777149e-05,4.746389e-05,4.716389e-05,4.687135e-05,4.658613e-05,4.630807e-05,4.603702e-05,4.577283e-05,4.551535e-05,4.526442e-05,4.501991e-05,4.478165e-05,4.454951e-05,4.432334e-05,4.410299e-05,4.388833e-05
0.000000e+00,8.291660e-11,3.027959e-10,1.998628e-09,6.751802e-09,1.166179e-08,3.692116e-08,3.845781e-08,9.339930e-08,1.153741e-07,1.878069e-07,2.679759e-07,3.326313e-07,5.192721e-07,5.381810e-07,8.140146e-07,8.916592e-07,1.168816e-06,1.404862e-06,1.610104e-06,2.074627e-06,2.143660e-06,2.772632e-06,2.909902e-06,3.496433e-06,3.908757e-06,4.309877e-06,5.055345e-06,5.203093e-06,6.162462e-06,6.321061e-06,7.172240e-06,7.670076e-06,8.216285e-06,9.065880e-06,9.279326e-06,1.034770e-05,1.047568e-05,1.140961e-05,1.187219e-05,1.245515e-05,1.323370e-05,1.347611e-05,1.446581e-05,1.454346e-05,1.541891e-05,1.578894e-05,1.633128e-05,1.696116e-05,1.719978e-05,1.802221e-05,1.805413e-05,1.879718e-05,1.906439e-05,1.952397e-05,1.999058e-05,2.020245e-05,2.083302e-05,2.141648e-05,2.159342e-05,2.195398e-05,2.227451e-05,2.244694e-05,2.287979e-05,2.289699e-05,2.330592e-05,2.341330e-05,2.367561e-05,2.387940e-05,2.400801e-05,2.428262e-05,2.430513e-05,2.456895e-05,2.462753e-05,2.480145e-05,2.491868e-05,2.500455e-05,2.516046e-05,2.518014e-05,2.533003e-05,2.535708e-05,2.545599e-05,2.551258e-05,2.555967e-05,2.563072e-05,2.564268e-05,2.570653e-05,2.571506e-05,2.575265e-05,2.576889e-05,2.578239e-05,2.579526e-05,2.579704e-05,2.579778e-05,2.579699e-05,2.578575e-05,2.577669e-05,2.576200e-05,2.573672e-05,2.572752e-05,2.568322e-05,2.567928e-05,2.562998e-05,2.560635e-05,2.556858e-05,2.551976e-05,2.549979e-05,2.542430e-05,2.542115e-05,2.534275e-05,2.531203e-05,2.525575e-05,2.519377e-05,2.516387e-05,2.506761e-05,2.496747e-05,2.493467e-05,2.486388e-05,2.479597e-05,2.475727e-05,2.465244e-05,2.464802e-05,2.453648e-05,2.450489e-05,2.442299e-05,2.435408e-05,2.430784e-05,2.420068e-05,2.419131e-05,2.407368e-05,2.404530e-05,2.395516e-05,2.388850e-05,2.383599e-05,2.373074e-05,2.371637e-05,2.359648e-05,2.357248e-05,2.347649e-05,2.341411e-05,2.335656e-05,2.325598e-05,2.323684e-05,2.311745e-05,2.309839e-05,2.299852e-05,2.294163e-05,2.288015e-05,2.278593e-05,2.276245e-05,2.264551e-05,2.263153e-05,2.252940e-05,2.247860e-05,2.241421e-05,2.232732e-05,2.230000e-05,2.218683e-05,2.217782e-05,2.207476e-05,2.203024e-05,2.196383e-05,2.188469e-05,2.185408e-05,2.174557e-05,2.174125e-05,2.163831e-05,2.160001e-05,2.153233e-05,2.146102e-05,2.142768e-05,2.132435e-05,2.119004e-05,2.105811e-05,2.092860e-05,2.080152e-05,2.067688e-05,2.055469e-05,2.043494e-05,2.031763e-05,2.020274e-05,2.009027e-05,1.998019e-05,1.987248e-05,1.976712e-05,1.966409e-05,1.956334e-05,1.946486e-05,1.936861e-05,1.927456e-05,1.918267e-05,1.909291e-05,1.900525e-05,1.891964e-05,1.883604e-05,1.875443e-05
0.000000e+00,6.454870e-11,1.544496e-10,5.547373e-10,1.286279e-09,1.890481e-09,4.361323e-09,4.495712e-09,8.858593e-09,1.047365e-08,1.557702e-08,2.102700e-08,2.534603e-08,3.757986e-08,3.880132e-08,5.616048e-08,6.086659e-08,7.692388e-08,8.966787e-08,1.000834e-07,1.216309e-07,1.246199e-07,1.497619e-07,1.548132e-07,1.749831e-07,1.880051e-07,1.999226e-07,2.204614e-07,2.243196e-07,2.479749e-07,2.516799e-07,2.707313e-07,2.812976e-07,2.924650e-07,3.090505e-07,3.130805e-07,3.325088e-07,3.347581e-07,3.507054e-07,3.583151e-07,3.676478e-07,3.796829e-07,3.833333e-07,3.977763e-07,3.988788e-07,4.110048e-07,4.159645e-07,4.230573e-07,4.310329e-07,4.339808e-07,4.438301e-07,4.442025e-07,4.526634e-07,4.556064e-07,4.605414e-07,4.653840e-07,4.675253e-07,4.736760e-07,4.790530e-07,4.806197e-07,4.837140e-07,4.863468e-07,4.877141e-07,4.909813e-07,4.911059e-07,4.939389e-07,4.946384e-07,4.962595e-07,4.974241e-07,4.981112e-07,4.994356e-07,4.995346e-07,5.005671e-07,5.007607e-07,5.012437e-07,5.014792e-07,5.015964e-07,5.016626e-07,5.016551e-07,5.014469e-07,5.013755e-07,5.009972e-07,5.006756e-07,5.003290e-07,4.996144e-07,4.994635e-07,4.984204e-07,4.982382e-07,4.972174e-07,4.965881e-07,4.958710e-07,4.947007e-07,4.943962e-07,4.928067e-07,4.926089e-07,4.911152e-07,4.903417e-07,4.893333e-07,4.879250e-07,4.874714e-07,4.855394e-07,4.853820e-07,4.835459e-07,4.827332e-07,4.814993e-07,4.799968e-07,4.794067e-07,4.772751e-07,4.771891e-07,4.751106e-07,4.743245e-07,4.729190e-07,4.714157e-07,4.707053e-07,4.684743e-07,4.662303e-07,4.655102e-07,4.639773e-07,4.625324e-07,4.617190e-07,4.595489e-07,4.594584e-07,4.571987e-07,4.565666e-07,4.549426e-07,4.535917e-07,4.526925e-07,4.506297e-07,4.504507e-07,4.482192e-07,4.476854e-07,4.459998e-07,4.447630e-07,4.437943e-07,4.418662e-07,4.416042e-07,4.394307e-07,4.389982e-07,4.372752e-07,4.361618e-07,4.351387e-07,4.333595e-07,4.330223e-07,4.309267e-07,4.305934e-07,4.288527e-07,4.278652e-07,4.268012e-07,4.251764e-07,4.247725e-07,4.227674e-07,4.225284e-07,4.207862e-07,4.199221e-07,4.188293e-07,4.173586e-07,4.168971e-07,4.149898e-07,4.148383e-07,4.131076e-07,4.123619e-07,4.112508e-07,4.099297e-07,4.094195e-07,4.076137e-07,4.075420e-07,4.058335e-07,4.051989e-07,4.040790e-07,4.029006e-07,4.023501e-07,4.006468e-07,3.984376e-07,3.962727e-07,3.941518e-07,3.920746e-07,3.900408e-07,3.880499e-07,3.861015e-07,3.841950e-07,3.823300e-07,3.805060e-07,3.787223e-07,3.769783e-07,3.752735e-07,3.736073e-07,3.719790e-07,3.703880e-07,3.688336e-07,3.673152e-07,3.658321e-07,3.643837e-07,3.629694e-07,3.615884e-07,3.602402e-07,3.589240e-07
0.000000e+00,1.975709e-10,7.506755e-10,5.365977e-09,1.943960e-08,3.485421e-08,1.211787e-07,1.266940e-07,3.365028e-07,4.257273e-07,7.354494e-07,1.100509e-06,1.408754e-06,2.354283e-06,2.454068e-06,3.977253e-06,4.425705e-06,6.081905e-06,7.547035e-06,8.851537e-06,1.187576e-05,1.233117e-05,1.651905e-05,1.743839e-05,2.137162e-05,2.413427e-05,2.681612e-05,3.178230e-05,3.276389e-05,3.912081e-05,4.016964e-05,4.579431e-05,4.908421e-05,5.269737e-05,5.833147e-05,5.975061e-05,6.688321e-05,6.774141e-05,7.403306e-05,7.717035e-05,8.114656e-05,8.650024e-05,8.817822e-05,9.509002e-05,9.563681e-05,1.018509e-04,1.045072e-04,1.084359e-04,1.130571e-04,1.148256e-04,1.210055e-04,1.212482e-04,1.269653e-04,1.290555e-04,1.326982e-04,1.364649e-04,1.382003e-04,1.434705e-04,1.485095e-04,1.500735e-04,1.533197e-04,1.562798e-04,1.579048e-04,1.620992e-04,1.622696e-04,1.664197e-04,1.675440e-04,1.703610e-04,1.726282e-04,1.741000e-04,1.773672e-04,1.776437e-04,1.809988e-04,1.817767e-04,1.841724e-04,1.858730e-04,1.871716e-04,1.896720e-04,1.900032e-04,1.926742e-04,1.931898e-04,1.951913e-04,1.964416e-04,1.975611e-04,1.994426e-04,1.997900e-04,2.018841e-04,2.022071e-04,2.038496e-04,2.047490e-04,2.056922e-04,2.070816e-04,2.074175e-04,2.090310e-04,2.092174e-04,2.105379e-04,2.111684e-04,2.119432e-04,2.129462e-04,2.132516e-04,2.144679e-04,2.145614e-04,2.155965e-04,2.160243e-04,2.166415e-04,2.173445e-04,2.176071e-04,2.184972e-04,2.185313e-04,2.193155e-04,2.195932e-04,2.200656e-04,2.205385e-04,2.207509e-04,2.213747e-04,2.219400e-04,2.221090e-04,2.224499e-04,2.227485e-04,2.229072e-04,2.232993e-04,2.233147e-04,2.236749e-04,2.237676e-04,2.239903e-04,2.241590e-04,2.242633e-04,2.244789e-04,2.244961e-04,2.246910e-04,2.247323e-04,2.248499e-04,2.249239e-04,2.249748e-04,2.250581e-04,2.250676e-04,2.251301e-04,2.251391e-04,2.251640e-04,2.251708e-04,2.251708e-04,2.251568e-04,2.251522e-04,2.251096e-04,2.251006e-04,2.250444e-04,2.250054e-04,2.249579e-04,2.248743e-04,2.248515e-04,2.247262e-04,2.247100e-04,2.245834e-04,2.245153e-04,2.244241e-04,2.242926e-04,2.242492e-04,2.240600e-04,2.240442e-04,2.238571e-04,2.237724e-04,2.236417e-04,2.234792e-04,2.234144e-04,2.231763e-04,2.231665e-04,2.229279e-04,2.228361e-04,2.226701e-04,2.224898e-04,2.224036e-04,2.221290e-04,2.217552e-04,2.213698e-04,2.209742e-04,2.205695e-04,2.201568e-04,2.197371e-04,2.193115e-04,2.188809e-04,2.184461e-04,2.180079e-04,2.175670e-04,2.171241e-04,2.166799e-04,2.162350e-04,2.157899e-04,2.153451e-04,2.149010e-04,2.144582e-04,2.140170e-04,2.135778e-04,2.131410e-04,2.127068e-04,2.122755e-04,2.118475e-04
0.000000e+00,1.577752e-08,6.206625e-08,4.770332e-07,1.847838e-06,3.438761e-06,1.319002e-05,1.384659e-05,4.070428e-05,5.297785e-05,9.843336e-05,1.564793e-04,2.085007e-04,3.814353e-04,4.006722e-04,7.123324e-04,8.095103e-04,1.185146e-03,1.535952e-03,1.860791e-03,2.653817e-03,2.777755e-03,3.969585e-03,4.243490e-03,5.464150e-03,6.368502e-03,7.283452e-03,9.074639e-03,9.443690e-03,1.195545e-02,1.239038e-02,1.482398e-02,1.632783e-02,1.804944e-02,2.088391e-02,2.162731e-02,2.554870e-02,2.604179e-02,2.980085e-02,3.177250e-02,3.436751e-02,3.803680e-02,3.922948e-02,4.436508e-02,4.478705e-02,4.975066e-02,5.196930e-02,5.536111e-02,5.952522e-02,6.117029e-02,6.715151e-02,6.739396e-02,7.327792e-02,7.551383e-02,7.952289e-02,8.382382e-02,8.586027e-02,9.226474e-02,9.871195e-02,1.007803e-01,1.051787e-01,1.093176e-01,1.116433e-01,1.178282e-01,1.180852e-01,1.244854e-01,1.262676e-01,1.308266e-01,1.345964e-01,1.370930e-01,1.427794e-01,1.432700e-01,1.493449e-01,1.507864e-01,1.553063e-01,1.585912e-01,1.611440e-01,1.661720e-01,1.668494e-01,1.724151e-01,1.735109e-01,1.778347e-01,1.805934e-01,1.831031e-01,1.874086e-01,1.882161e-01,1.931705e-01,1.939483e-01,1.979640e-01,2.002073e-01,2.025951e-01,2.061824e-01,2.070629e-01,2.113672e-01,2.118727e-01,2.155084e-01,2.172792e-01,2.194876e-01,2.224041e-01,2.233060e-01,2.269655e-01,2.272514e-01,2.304682e-01,2.318260e-01,2.338167e-01,2.361336e-01,2.370137e-01,2.400621e-01,2.401810e-01,2.429651e-01,2.439753e-01,2.457262e-01,2.475243e-01,2.483486e-01,2.508361e-01,2.531922e-01,2.539190e-01,2.554207e-01,2.567817e-01,2.575253e-01,2.594326e-01,2.595097e-01,2.613778e-01,2.618805e-01,2.631332e-01,2.641340e-01,2.647797e-01,2.662016e-01,2.663211e-01,2.677610e-01,2.680918e-01,2.691029e-01,2.698130e-01,2.703505e-01,2.713731e-01,2.715072e-01,2.725765e-01,2.727801e-01,2.735616e-01,2.740417e-01,2.744659e-01,2.751654e-01,2.752926e-01,2.760448e-01,2.761584e-01,2.767255e-01,2.770278e-01,2.773377e-01,2.777801e-01,2.778843e-01,2.783681e-01,2.784220e-01,2.787917e-01,2.789597e-01,2.791578e-01,2.793991e-01,2.794689e-01,2.797276e-01,2.797461e-01,2.799361e-01,2.800060e-01,2.800968e-01,2.801841e-01,2.802119e-01,2.802836e-01,2.802856e-01,2.803139e-01,2.803151e-01,2.803049e-01,2.802772e-01,2.802584e-01,2.801764e-01,2.800167e-01,2.798020e-01,2.795363e-01,2.792229e-01,2.788654e-01,2.784669e-01,2.780304e-01,2.775590e-01,2.770552e-01,2.765218e-01,2.759611e-01,2.753755e-01,2.747672e-01,2.741382e-01,2.734906e-01,2.728261e-01,2.721466e-01,2.714536e-01,2.707487e-01,2.700334e-01,2.693090e-01,2.685769e-01,2.678382e-01,2.670941e-01
0.000000e+00,9.451433e-09,3.718014e-08,2.857185e-07,1.106369e-06,2.058282e-06,7.885093e-06,8.277049e-06,2.428190e-05,3.158128e-05,5.855656e-05,9.290122e-05,1.236052e-04,2.252860e-04,2.365662e-04,4.186865e-04,4.752761e-04,6.933944e-04,8.964294e-04,1.084029e-03,1.540908e-03,1.612208e-03,2.296945e-03,2.454143e-03,3.154244e-03,3.672629e-03,4.196957e-03,5.223293e-03,5.434758e-03,6.874182e-03,7.123475e-03,8.518708e-03,9.381197e-03,1.036887e-02,1.199561e-02,1.242238e-02,1.467437e-02,1.495763e-02,1.711754e-02,1.825073e-02,1.974243e-02,2.185197e-02,2.253770e-02,2.549044e-02,2.573304e-02,2.858642e-02,2.986153e-02,3.181041e-02,3.420204e-02,3.514650e-02,3.857834e-02,3.871737e-02,4.208942e-02,4.336963e-02,4.566328e-02,4.812110e-02,4.928376e-02,5.293513e-02,5.660227e-02,5.777672e-02,6.027081e-02,6.261310e-02,6.392717e-02,6.741406e-02,6.755869e-02,7.115367e-02,7.215223e-02,7.470137e-02,7.680320e-02,7.819205e-02,8.134556e-02,8.161695e-02,8.496830e-02,8.576090e-02,8.823927e-02,9.003366e-02,9.142395e-02,9.415106e-02,9.451730e-02,9.751511e-02,9.810289e-02,1.004140e-01,1.018813e-01,1.032111e-01,1.054807e-01,1.059046e-01,1.084930e-01,1.088973e-01,1.109754e-01,1.121292e-01,1.133515e-01,1.151760e-01,1.156215e-01,1.177860e-01,1.180387e-01,1.198458e-01,1.207193e-01,1.218023e-01,1.232210e-01,1.236570e-01,1.254117e-01,1.255478e-01,1.270685e-01,1.277042e-01,1.286295e-01,1.296955e-01,1.300972e-01,1.314740e-01,1.315273e-01,1.327626e-01,1.332054e-01,1.339656e-01,1.347362e-01,1.350858e-01,1.361259e-01,1.370887e-01,1.373810e-01,1.379771e-01,1.385079e-01,1.387939e-01,1.395132e-01,1.395418e-01,1.402236e-01,1.404031e-01,1.408421e-01,1.411839e-01,1.413999e-01,1.418618e-01,1.418997e-01,1.423441e-01,1.424428e-01,1.427356e-01,1.429326e-01,1.430766e-01,1.433369e-01,1.433696e-01,1.436169e-01,1.436611e-01,1.438208e-01,1.439103e-01,1.439834e-01,1.440897e-01,1.441069e-01,1.441933e-01,1.442038e-01,1.442447e-01,1.442574e-01,1.442629e-01,1.442548e-01,1.442497e-01,1.442070e-01,1.442000e-01,1.441364e-01,1.440969e-01,1.440396e-01,1.439494e-01,1.439181e-01,1.437734e-01,1.437608e-01,1.436069e-01,1.435346e-01,1.434202e-01,1.432738e-01,1.432143e-01,1.429907e-01,1.429814e-01,1.427505e-01,1.426602e-01,1.424948e-01,1.423127e-01,1.422248e-01,1.419415e-01,1.415489e-01,1.411370e-01,1.407078e-01,1.402632e-01,1.398051e-01,1.393350e-01,1.388545e-01,1.383650e-01,1.378679e-01,1.373644e-01,1.368557e-01,1.363429e-01,1.358268e-01,1.353086e-01,1.347890e-01,1.342687e-01,1.337487e-01,1.332294e-01,1.327115e-01,1.321957e-01,1.316823e-01,1.311719e-01,1.306650e-01,1.301619e-01
0.000000e+00,9.734728e-11,2.366789e-10,8.680616e-10,2.036670e-09,3.006474e-09,6.970617e-09,7.185490e-09,1.409731e-08,1.662294e-08,2.449452e-08,3.274369e-08,3.918822e-08,5.712955e-08,5.890313e-08,8.399959e-08,9.082156e-08,1.144040e-07,1.336498e-07,1.498475e-07,1.849917e-07,1.900614e-07,2.348170e-07,2.442945e-07,2.839021e-07,3.110644e-07,3.370939e-07,3.847664e-07,3.941418e-07,4.547593e-07,4.647682e-07,5.186235e-07,5.503281e-07,5.853782e-07,6.406062e-07,6.546400e-07,7.260058e-07,7.346915e-07,7.990619e-07,8.316345e-07,8.733916e-07,9.304807e-07,9.485840e-07,1.024241e-06,1.030302e-06,1.099983e-06,1.130223e-06,1.175454e-06,1.229440e-06,1.250326e-06,1.324299e-06,1.327235e-06,1.397106e-06,1.422984e-06,1.468511e-06,1.516161e-06,1.538311e-06,1.606331e-06,1.672427e-06,1.693151e-06,1.736481e-06,1.776362e-06,1.798402e-06,1.855775e-06,1.858121e-06,1.915588e-06,1.931271e-06,1.970774e-06,2.002784e-06,2.023665e-06,2.070298e-06,2.074261e-06,2.122576e-06,2.133834e-06,2.168631e-06,2.193448e-06,2.212460e-06,2.249219e-06,2.254102e-06,2.293602e-06,2.301250e-06,2.331011e-06,2.349655e-06,2.366382e-06,2.394561e-06,2.399773e-06,2.431244e-06,2.436105e-06,2.460854e-06,2.474425e-06,2.488667e-06,2.509663e-06,2.514742e-06,2.539144e-06,2.541963e-06,2.561933e-06,2.571465e-06,2.583171e-06,2.598311e-06,2.602917e-06,2.621232e-06,2.622637e-06,2.638172e-06,2.644576e-06,2.653794e-06,2.664258e-06,2.668155e-06,2.681307e-06,2.681808e-06,2.693302e-06,2.697347e-06,2.704192e-06,2.710990e-06,2.714025e-06,2.722848e-06,2.730709e-06,2.733028e-06,2.737649e-06,2.741629e-06,2.743714e-06,2.748749e-06,2.748943e-06,2.753376e-06,2.754480e-06,2.757051e-06,2.758908e-06,2.760006e-06,2.762118e-06,2.762275e-06,2.763892e-06,2.764187e-06,2.764891e-06,2.765191e-06,2.765301e-06,2.765200e-06,2.765154e-06,2.764478e-06,2.764282e-06,2.763301e-06,2.762500e-06,2.761650e-06,2.759914e-06,2.759549e-06,2.757023e-06,2.756581e-06,2.754096e-06,2.752555e-06,2.750790e-06,2.747887e-06,2.747127e-06,2.743126e-06,2.742624e-06,2.738807e-06,2.736812e-06,2.734190e-06,2.730493e-06,2.729293e-06,2.724131e-06,2.723708e-06,2.718723e-06,2.716494e-06,2.713083e-06,2.708888e-06,2.707227e-06,2.701169e-06,2.700923e-06,2.694922e-06,2.692630e-06,2.688501e-06,2.684040e-06,2.681916e-06,2.675181e-06,2.666079e-06,2.656758e-06,2.647243e-06,2.637555e-06,2.627714e-06,2.617740e-06,2.607651e-06,2.597464e-06,2.587195e-06,2.576858e-06,2.566467e-06,2.556036e-06,2.545576e-06,2.535099e-06,2.524616e-06,2.514135e-06,2.503667e-06,2.493220e-06,2.482801e-06,2.472419e-06,2.462079e-06,2.451789e-06,2.441553e-06,2.431378e-06
0.000000e+00,1.793598e-10,4.917979e-10,2.059839e-09,5.137660e-09,7.752620e-09,1.864909e-08,1.924503e-08,3.856154e-08,4.567072e-08,6.795288e-08,9.148791e-08,1.100088e-07,1.622879e-07,1.675190e-07,2.427831e-07,2.636054e-07,3.363942e-07,3.962483e-07,4.465735e-07,5.546170e-07,5.700115e-07,7.032681e-07,7.308351e-07,8.435022e-07,9.184361e-07,9.885340e-07,1.112817e-06,1.136667e-06,1.286504e-06,1.310554e-06,1.436833e-06,1.508837e-06,1.586548e-06,1.705191e-06,1.734630e-06,1.880130e-06,1.897374e-06,2.022179e-06,2.083384e-06,2.159999e-06,2.261483e-06,2.292896e-06,2.420290e-06,2.430229e-06,2.541707e-06,2.588512e-06,2.656767e-06,2.735518e-06,2.765200e-06,2.866834e-06,2.870757e-06,2.961586e-06,2.994009e-06,3.049453e-06,3.105303e-06,3.130505e-06,3.204870e-06,3.272726e-06,3.293101e-06,3.334294e-06,3.370513e-06,3.389825e-06,3.437707e-06,3.439591e-06,3.483879e-06,3.495339e-06,3.522988e-06,3.544092e-06,3.557218e-06,3.584658e-06,3.586868e-06,3.612235e-06,3.617718e-06,3.633607e-06,3.643935e-06,3.651263e-06,3.663940e-06,3.665472e-06,3.676490e-06,3.678332e-06,3.684560e-06,3.687669e-06,3.689913e-06,3.692469e-06,3.692766e-06,3.693323e-06,3.693212e-06,3.691774e-06,3.690336e-06,3.688298e-06,3.684241e-06,3.683061e-06,3.676216e-06,3.675294e-06,3.667909e-06,3.663825e-06,3.658271e-06,3.650133e-06,3.647426e-06,3.635488e-06,3.634489e-06,3.622563e-06,3.617138e-06,3.608747e-06,3.598299e-06,3.594131e-06,3.578797e-06,3.578170e-06,3.562822e-06,3.556928e-06,3.546276e-06,3.534733e-06,3.529225e-06,3.511727e-06,3.493838e-06,3.488040e-06,3.475609e-06,3.463785e-06,3.457086e-06,3.439067e-06,3.438311e-06,3.419325e-06,3.413976e-06,3.400164e-06,3.388597e-06,3.380860e-06,3.363001e-06,3.361445e-06,3.341946e-06,3.337257e-06,3.322389e-06,3.311421e-06,3.302798e-06,3.285548e-06,3.283195e-06,3.263599e-06,3.259683e-06,3.244029e-06,3.233869e-06,3.224502e-06,3.208142e-06,3.205032e-06,3.185633e-06,3.182537e-06,3.166319e-06,3.157081e-06,3.147101e-06,3.131802e-06,3.127989e-06,3.108993e-06,3.106722e-06,3.090122e-06,3.081860e-06,3.071384e-06,3.057236e-06,3.052785e-06,3.034333e-06,3.032863e-06,3.016032e-06,3.008756e-06,2.997889e-06,2.984926e-06,2.979907e-06,2.962092e-06,2.961382e-06,2.944445e-06,2.938135e-06,2.926972e-06,2.915190e-06,2.909673e-06,2.892553e-06,2.870230e-06,2.848224e-06,2.826538e-06,2.805174e-06,2.784134e-06,2.763418e-06,2.743027e-06,2.722960e-06,2.703217e-06,2.683795e-06,2.664694e-06,2.645912e-06,2.627445e-06,2.609292e-06,2.591450e-06,2.573916e-06,2.556685e-06,2.539756e-06,2.523125e-06,2.506787e-06,2.490739e-06,2.474977e-06,2.459497e-06,2.444296e-06
0.000000e+00,5.979827e-11,1.392349e-10,4.881044e-10,1.121987e-09,1.643983e-09,3.763139e-09,3.877608e-09,7.547082e-09,8.883162e-09,1.303533e-08,1.737354e-08,2.075953e-08,3.021725e-08,3.115744e-08,4.462310e-08,4.834177e-08,6.138063e-08,7.219359e-08,8.137401e-08,1.014063e-07,1.042987e-07,1.297472e-07,1.351042e-07,1.573246e-07,1.723897e-07,1.866857e-07,2.125072e-07,2.175308e-07,2.495921e-07,2.548180e-07,2.826234e-07,2.987552e-07,3.163957e-07,3.438025e-07,3.506947e-07,3.853217e-07,3.894902e-07,4.200942e-07,4.353968e-07,4.548466e-07,4.811534e-07,4.894312e-07,5.237179e-07,5.264445e-07,5.575941e-07,5.710076e-07,5.909637e-07,6.146300e-07,6.237456e-07,6.558724e-07,6.571430e-07,6.872898e-07,6.984178e-07,7.179545e-07,7.383590e-07,7.478329e-07,7.769000e-07,8.051385e-07,8.139978e-07,8.325370e-07,8.496283e-07,8.590897e-07,8.837833e-07,8.847953e-07,9.096564e-07,9.164670e-07,9.336790e-07,9.476935e-07,9.568714e-07,9.774837e-07,9.792436e-07,1.000808e-06,1.005864e-06,1.021577e-06,1.032867e-06,1.041567e-06,1.058525e-06,1.060792e-06,1.079269e-06,1.082876e-06,1.097014e-06,1.105958e-06,1.114045e-06,1.127810e-06,1.130377e-06,1.146030e-06,1.148472e-06,1.161020e-06,1.167985e-06,1.175365e-06,1.186389e-06,1.189083e-06,1.202191e-06,1.203723e-06,1.214706e-06,1.220029e-06,1.226645e-06,1.235343e-06,1.238025e-06,1.248862e-06,1.249706e-06,1.259174e-06,1.263155e-06,1.268976e-06,1.275727e-06,1.278284e-06,1.287114e-06,1.287457e-06,1.295480e-06,1.298382e-06,1.303398e-06,1.308534e-06,1.310883e-06,1.317948e-06,1.324607e-06,1.326655e-06,1.330874e-06,1.334686e-06,1.336763e-06,1.342073e-06,1.342287e-06,1.347457e-06,1.348844e-06,1.352287e-06,1.355027e-06,1.356789e-06,1.360650e-06,1.360973e-06,1.364853e-06,1.365740e-06,1.368438e-06,1.370321e-06,1.371739e-06,1.374418e-06,1.374767e-06,1.377533e-06,1.378055e-06,1.380045e-06,1.381255e-06,1.382314e-06,1.384039e-06,1.384350e-06,1.386160e-06,1.386429e-06,1.387754e-06,1.388445e-06,1.389141e-06,1.390106e-06,1.390328e-06,1.391324e-06,1.391431e-06,1.392137e-06,1.392438e-06,1.392773e-06,1.393144e-06,1.393242e-06,1.393548e-06,1.393566e-06,1.393700e-06,1.393719e-06,1.393704e-06,1.393619e-06,1.393566e-06,1.393293e-06,1.393280e-06,1.392891e-06,1.392716e-06,1.392365e-06,1.391940e-06,1.391721e-06,1.390965e-06,1.389804e-06,1.388467e-06,1.386966e-06,1.385313e-06,1.383515e-06,1.381585e-06,1.379530e-06,1.377360e-06,1.375082e-06,1.372706e-06,1.370238e-06,1.367686e-06,1.365058e-06,1.362358e-06,1.359594e-06,1.356772e-06,1.353897e-06,1.350975e-06,1.348010e-06,1.345008e-06,1.341974e-06,1.338911e-06,1.335824e-06,1.332716e-06
0.000000e+00,1.370956e-10,4.208820e-10,2.059665e-09,5.607817e-09,8.762376e-09,2.242961e-08,2.318955e-08,4.803179e-08,5.719453e-08,8.575300e-08,1.155198e-07,1.386248e-07,2.024569e-07,2.087482e-07,2.980482e-07,3.225284e-07,4.082214e-07,4.795541e-07,5.406018e-07,6.760718e-07,6.959272e-07,8.740629e-07,9.123433e-07,1.073857e-06,1.185660e-06,1.293277e-06,1.490901e-06,1.529777e-06,1.780649e-06,1.821943e-06,2.043239e-06,2.172700e-06,2.315032e-06,2.537497e-06,2.593660e-06,2.876901e-06,2.911100e-06,3.162671e-06,3.288704e-06,3.449026e-06,3.665938e-06,3.734174e-06,4.016479e-06,4.038895e-06,4.294471e-06,4.404164e-06,4.566853e-06,4.758853e-06,4.832495e-06,5.090442e-06,5.100588e-06,5.339899e-06,5.427497e-06,5.580227e-06,5.738178e-06,5.810932e-06,6.031651e-06,6.242142e-06,6.307314e-06,6.442269e-06,6.564887e-06,6.631987e-06,6.804355e-06,6.811330e-06,6.980399e-06,7.025917e-06,7.139349e-06,7.229948e-06,7.288389e-06,7.416963e-06,7.427763e-06,7.557745e-06,7.587576e-06,7.678630e-06,7.742469e-06,7.790734e-06,7.882380e-06,7.894382e-06,7.989909e-06,8.008069e-06,8.077651e-06,8.120313e-06,8.157947e-06,8.219887e-06,8.231133e-06,8.297541e-06,8.307559e-06,8.357498e-06,8.384080e-06,8.411324e-06,8.450180e-06,8.459331e-06,8.501821e-06,8.506563e-06,8.539087e-06,8.553901e-06,8.571409e-06,8.592836e-06,8.599060e-06,8.622300e-06,8.623976e-06,8.641380e-06,8.647902e-06,8.656542e-06,8.665163e-06,8.668017e-06,8.676025e-06,8.676276e-06,8.680776e-06,8.681728e-06,8.682470e-06,8.681975e-06,8.681301e-06,8.677449e-06,8.671091e-06,8.668553e-06,8.662390e-06,8.655665e-06,8.651504e-06,8.639137e-06,8.638582e-06,8.623768e-06,8.619299e-06,8.607194e-06,8.596459e-06,8.588990e-06,8.570905e-06,8.569275e-06,8.548166e-06,8.542905e-06,8.525771e-06,8.512706e-06,8.502192e-06,8.480542e-06,8.477528e-06,8.451870e-06,8.446627e-06,8.425306e-06,8.411162e-06,8.397917e-06,8.374331e-06,8.369782e-06,8.340974e-06,8.336307e-06,8.311562e-06,8.297250e-06,8.281612e-06,8.257306e-06,8.251185e-06,8.220338e-06,8.216611e-06,8.189127e-06,8.175292e-06,8.157603e-06,8.133465e-06,8.125814e-06,8.093805e-06,8.091236e-06,8.061619e-06,8.048704e-06,8.029296e-06,8.005959e-06,7.996873e-06,7.964385e-06,7.963085e-06,7.931866e-06,7.920157e-06,7.899345e-06,7.877246e-06,7.866852e-06,7.834414e-06,7.791720e-06,7.749217e-06,7.706953e-06,7.664972e-06,7.623312e-06,7.582010e-06,7.541096e-06,7.500600e-06,7.460548e-06,7.420961e-06,7.381860e-06,7.343261e-06,7.305182e-06,7.267633e-06,7.230626e-06,7.194171e-06,7.158275e-06,7.122944e-06,7.088183e-06,7.053996e-06,7.020384e-06,6.987348e-06,6.954890e-06,6.923008e-06
0.000000e+00,6.523574e-11,2.486367e-10,1.787419e-09,6.502324e-09,1.167957e-08,4.072968e-08,4.258634e-08,1.131407e-07,1.430825e-07,2.467038e-07,3.682523e-07,4.704412e-07,7.817251e-07,8.144016e-07,1.309483e-06,1.453981e-06,1.983025e-06,2.445481e-06,2.853370e-06,3.787398e-06,3.926871e-06,5.198474e-06,5.475468e-06,6.654315e-06,7.477757e-06,8.274597e-06,9.745682e-06,1.003595e-05,1.191316e-05,1.222254e-05,1.388033e-05,1.484894e-05,1.591170e-05,1.756619e-05,1.798229e-05,2.006836e-05,2.031866e-05,2.214782e-05,2.305543e-05,2.420056e-05,2.573169e-05,2.620871e-05,2.815676e-05,2.830961e-05,3.003173e-05,3.075882e-05,3.182312e-05,3.305655e-05,3.352288e-05,3.512525e-05,3.518726e-05,3.662662e-05,3.714200e-05,3.802527e-05,3.891758e-05,3.932113e-05,4.051555e-05,4.161104e-05,4.194125e-05,4.261106e-05,4.320286e-05,4.351975e-05,4.431046e-05,4.434174e-05,4.508199e-05,4.527532e-05,4.574566e-05,4.610927e-05,4.633795e-05,4.682425e-05,4.686402e-05,4.732892e-05,4.743195e-05,4.773754e-05,4.794353e-05,4.809453e-05,4.836947e-05,4.840429e-05,4.867094e-05,4.871944e-05,4.889832e-05,4.900224e-05,4.909002e-05,4.922589e-05,4.924933e-05,4.937928e-05,4.939754e-05,4.948265e-05,4.952359e-05,4.956198e-05,4.960969e-05,4.961957e-05,4.965752e-05,4.966085e-05,4.967774e-05,4.968148e-05,4.968197e-05,4.967545e-05,4.967177e-05,4.964856e-05,4.964618e-05,4.961364e-05,4.959665e-05,4.956816e-05,4.952948e-05,4.951318e-05,4.944967e-05,4.944696e-05,4.937848e-05,4.935113e-05,4.930041e-05,4.924376e-05,4.921617e-05,4.912641e-05,4.903172e-05,4.900046e-05,4.893263e-05,4.886713e-05,4.882963e-05,4.872750e-05,4.872318e-05,4.861369e-05,4.858253e-05,4.850151e-05,4.843307e-05,4.838701e-05,4.827988e-05,4.827049e-05,4.815223e-05,4.812362e-05,4.803250e-05,4.796490e-05,4.791155e-05,4.780426e-05,4.778958e-05,4.766681e-05,4.764218e-05,4.754343e-05,4.747909e-05,4.741961e-05,4.731537e-05,4.729550e-05,4.717126e-05,4.715138e-05,4.704702e-05,4.698742e-05,4.692290e-05,4.682377e-05,4.679902e-05,4.667548e-05,4.666068e-05,4.655239e-05,4.649839e-05,4.642982e-05,4.633708e-05,4.630787e-05,4.618661e-05,4.617694e-05,4.606610e-05,4.601813e-05,4.594642e-05,4.586080e-05,4.582762e-05,4.570976e-05,4.570506e-05,4.559288e-05,4.555105e-05,4.547702e-05,4.539885e-05,4.536224e-05,4.524856e-05,4.510025e-05,4.495398e-05,4.480982e-05,4.466781e-05,4.452800e-05,4.439042e-05,4.425510e-05,4.412206e-05,4.399132e-05,4.386289e-05,4.373678e-05,4.361298e-05,4.349151e-05,4.337235e-05,4.325550e-05,4.314094e-05,4.302867e-05,4.291867e-05,4.281092e-05,4.270540e-05,4.260210e-05,4.250098e-05,4.240203e-05,4.230521e-05
0.000000e+00,1.722368e-10,4.810294e-10,2.065508e-09,5.224560e-09,7.926971e-09,1.923061e-08,1.984881e-08,3.980308e-08,4.709274e-08,6.972267e-08,9.326720e-08,1.115528e-07,1.621727e-07,1.671677e-07,2.379781e-07,2.573016e-07,3.243583e-07,3.792883e-07,4.255730e-07,5.258924e-07,5.403333e-07,6.672803e-07,6.940170e-07,8.051160e-07,8.806734e-07,9.525734e-07,1.082935e-06,1.108368e-06,1.271177e-06,1.297787e-06,1.439639e-06,1.522103e-06,1.612374e-06,1.752715e-06,1.788010e-06,1.965209e-06,1.986517e-06,2.142697e-06,2.220573e-06,2.319284e-06,2.452214e-06,2.493882e-06,2.665519e-06,2.679096e-06,2.833345e-06,2.899242e-06,2.996634e-06,3.111048e-06,3.154779e-06,3.307288e-06,3.313266e-06,3.453777e-06,3.504982e-06,3.593962e-06,3.685585e-06,3.727649e-06,3.854719e-06,3.975126e-06,4.012250e-06,4.088881e-06,4.158219e-06,4.196044e-06,4.292813e-06,4.296717e-06,4.391035e-06,4.416327e-06,4.479160e-06,4.529138e-06,4.561276e-06,4.631685e-06,4.637581e-06,4.708285e-06,4.724445e-06,4.773607e-06,4.807919e-06,4.833769e-06,4.882620e-06,4.888994e-06,4.939508e-06,4.949065e-06,4.985533e-06,5.007765e-06,5.027288e-06,5.059220e-06,5.064988e-06,5.098840e-06,5.103912e-06,5.129045e-06,5.142307e-06,5.155801e-06,5.174848e-06,5.179295e-06,5.199711e-06,5.201963e-06,5.217223e-06,5.224052e-06,5.231998e-06,5.241496e-06,5.244197e-06,5.253974e-06,5.254656e-06,5.261474e-06,5.263869e-06,5.266839e-06,5.269453e-06,5.270200e-06,5.271685e-06,5.271707e-06,5.271414e-06,5.270909e-06,5.269502e-06,5.267321e-06,5.266058e-06,5.261185e-06,5.254982e-06,5.252731e-06,5.247540e-06,5.242169e-06,5.238949e-06,5.229697e-06,5.229291e-06,5.218646e-06,5.215499e-06,5.207088e-06,5.199745e-06,5.194688e-06,5.182593e-06,5.181512e-06,5.167625e-06,5.164192e-06,5.153084e-06,5.144678e-06,5.137948e-06,5.124176e-06,5.122268e-06,5.106094e-06,5.102804e-06,5.089475e-06,5.080671e-06,5.072453e-06,5.057876e-06,5.055072e-06,5.037371e-06,5.034511e-06,5.019386e-06,5.010662e-06,5.001152e-06,4.986408e-06,4.982703e-06,4.964068e-06,4.961821e-06,4.945277e-06,4.936967e-06,4.926358e-06,4.911908e-06,4.907334e-06,4.888231e-06,4.886700e-06,4.869070e-06,4.861394e-06,4.849872e-06,4.836038e-06,4.830657e-06,4.811443e-06,4.810674e-06,4.792246e-06,4.785343e-06,4.773083e-06,4.760079e-06,4.753969e-06,4.734916e-06,4.709883e-06,4.685007e-06,4.660312e-06,4.635820e-06,4.611551e-06,4.587521e-06,4.563747e-06,4.540243e-06,4.517021e-06,4.494091e-06,4.471463e-06,4.449144e-06,4.427143e-06,4.405464e-06,4.384112e-06,4.363092e-06,4.342405e-06,4.322055e-06,4.302043e-06,4.282370e-06,4.263037e-06,4.244042e-06,4.225385e-06,4.207065e-06
0.000000e+00,3.268025e-10,1.275799e-09,9.641793e-09,3.672081e-08,6.764694e-08,2.518939e-07,2.640821e-07,7.490097e-07,9.642326e-07,1.738530e-06,2.690348e-06,3.518268e-06,6.156407e-06,6.441690e-06,1.091395e-05,1.226502e-05,1.735953e-05,2.198514e-05,2.618834e-05,3.622589e-05,3.777266e-05,5.243444e-05,5.576048e-05,7.043893e-05,8.119289e-05,9.199136e-05,1.129440e-04,1.172352e-04,1.462514e-04,1.512463e-04,1.790591e-04,1.961435e-04,2.156165e-04,2.474971e-04,2.558240e-04,2.995280e-04,3.049983e-04,3.465259e-04,3.681867e-04,3.965724e-04,4.364745e-04,4.493859e-04,5.046563e-04,5.091743e-04,5.620523e-04,5.855289e-04,6.212291e-04,6.647417e-04,6.818351e-04,7.435192e-04,7.460041e-04,8.059365e-04,8.285215e-04,8.687534e-04,9.115342e-04,9.316521e-04,9.943341e-04,1.056523e-03,1.076278e-03,1.117966e-03,1.156793e-03,1.178437e-03,1.235385e-03,1.237732e-03,1.295676e-03,1.311637e-03,1.352117e-03,1.385207e-03,1.406929e-03,1.455826e-03,1.460007e-03,1.511268e-03,1.523293e-03,1.560651e-03,1.587468e-03,1.608111e-03,1.648264e-03,1.653621e-03,1.697168e-03,1.705642e-03,1.738753e-03,1.759605e-03,1.778387e-03,1.810190e-03,1.816094e-03,1.851905e-03,1.857461e-03,1.885857e-03,1.901507e-03,1.917996e-03,1.942433e-03,1.948369e-03,1.977031e-03,1.980358e-03,2.004038e-03,2.015411e-03,2.029447e-03,2.047727e-03,2.053319e-03,2.075715e-03,2.077444e-03,2.096694e-03,2.104703e-03,2.116318e-03,2.129642e-03,2.134647e-03,2.151741e-03,2.152400e-03,2.167657e-03,2.173109e-03,2.182452e-03,2.191900e-03,2.196181e-03,2.208899e-03,2.220656e-03,2.224224e-03,2.231503e-03,2.237990e-03,2.241489e-03,2.250306e-03,2.250658e-03,2.259055e-03,2.261274e-03,2.266723e-03,2.270990e-03,2.273701e-03,2.279546e-03,2.280030e-03,2.285744e-03,2.287028e-03,2.290880e-03,2.293516e-03,2.295470e-03,2.299084e-03,2.299547e-03,2.303140e-03,2.303803e-03,2.306278e-03,2.307738e-03,2.308987e-03,2.310951e-03,2.311294e-03,2.313222e-03,2.313497e-03,2.314796e-03,2.315431e-03,2.316035e-03,2.316801e-03,2.316962e-03,2.317595e-03,2.317652e-03,2.317953e-03,2.318028e-03,2.318054e-03,2.317968e-03,2.317913e-03,2.317547e-03,2.317508e-03,2.316970e-03,2.316683e-03,2.316196e-03,2.315524e-03,2.315237e-03,2.314108e-03,2.314059e-03,2.312819e-03,2.312318e-03,2.311381e-03,2.310324e-03,2.309805e-03,2.308101e-03,2.305671e-03,2.303053e-03,2.300267e-03,2.297330e-03,2.294258e-03,2.291064e-03,2.287765e-03,2.284371e-03,2.280895e-03,2.277348e-03,2.273739e-03,2.270079e-03,2.266376e-03,2.262637e-03,2.258871e-03,2.255084e-03,2.251282e-03,2.247472e-03,2.243658e-03,2.239846e-03,2.236039e-03,2.232243e-03,2.228462e-03,2.224697e-03
0.000000e+00,4.356686e-12,9.962889e-12,3.421481e-11,7.783023e-11,1.135915e-10,2.584504e-10,2.662766e-10,5.179044e-10,6.099880e-10,8.978887e-10,1.201141e-09,1.439008e-09,2.104016e-09,2.169870e-09,3.100934e-09,3.353234e-09,4.220881e-09,4.922810e-09,5.508910e-09,6.765779e-09,6.945448e-09,8.514553e-09,8.843068e-09,1.020271e-08,1.112342e-08,1.199735e-08,1.357793e-08,1.388587e-08,1.585520e-08,1.617689e-08,1.789173e-08,1.888901e-08,1.998138e-08,2.168173e-08,2.210984e-08,2.426290e-08,2.452225e-08,2.642668e-08,2.737871e-08,2.858796e-08,3.022121e-08,3.073436e-08,3.285452e-08,3.302269e-08,3.493826e-08,3.575950e-08,3.697658e-08,3.841167e-08,3.896176e-08,4.088726e-08,4.096296e-08,4.274771e-08,4.340071e-08,4.453894e-08,4.571578e-08,4.625777e-08,4.790195e-08,4.947006e-08,4.995566e-08,5.096143e-08,5.187558e-08,5.237600e-08,5.366217e-08,5.371424e-08,5.497710e-08,5.531736e-08,5.616588e-08,5.684426e-08,5.728221e-08,5.824684e-08,5.832795e-08,5.930514e-08,5.952971e-08,6.021598e-08,6.069793e-08,6.106277e-08,6.175682e-08,6.184786e-08,6.257364e-08,6.271189e-08,6.324254e-08,6.356868e-08,6.385695e-08,6.433269e-08,6.441925e-08,6.493179e-08,6.500934e-08,6.539688e-08,6.560392e-08,6.581674e-08,6.612155e-08,6.619358e-08,6.652950e-08,6.656716e-08,6.682655e-08,6.694545e-08,6.708672e-08,6.726095e-08,6.731191e-08,6.750396e-08,6.751795e-08,6.766464e-08,6.772051e-08,6.779564e-08,6.787249e-08,6.789857e-08,6.797501e-08,6.797753e-08,6.802642e-08,6.803908e-08,6.805424e-08,6.806038e-08,6.805983e-08,6.804448e-08,6.800942e-08,6.799424e-08,6.795584e-08,6.791236e-08,6.788487e-08,6.780137e-08,6.779758e-08,6.769497e-08,6.766364e-08,6.757804e-08,6.750139e-08,6.744770e-08,6.731670e-08,6.730483e-08,6.715027e-08,6.711153e-08,6.698481e-08,6.688768e-08,6.680921e-08,6.664686e-08,6.662418e-08,6.643041e-08,6.639067e-08,6.622854e-08,6.612057e-08,6.601919e-08,6.583797e-08,6.580293e-08,6.558032e-08,6.554415e-08,6.535188e-08,6.524031e-08,6.511811e-08,6.492757e-08,6.487948e-08,6.463642e-08,6.460698e-08,6.438937e-08,6.427951e-08,6.413872e-08,6.394605e-08,6.388485e-08,6.362811e-08,6.360746e-08,6.336884e-08,6.326450e-08,6.310736e-08,6.291790e-08,6.284397e-08,6.257895e-08,6.256832e-08,6.231257e-08,6.221640e-08,6.204509e-08,6.186269e-08,6.177674e-08,6.150774e-08,6.115203e-08,6.079602e-08,6.044013e-08,6.008473e-08,5.973018e-08,5.937681e-08,5.902491e-08,5.867477e-08,5.832661e-08,5.798068e-08,5.763718e-08,5.729630e-08,5.695821e-08,5.662306e-08,5.629098e-08,5.596211e-08,5.563655e-08,5.531440e-08,5.499575e-08,5.468066e-08,5.436922e-08,5.406147e-08,5.375746e-08,5.345723e-08
0.000000e+00,1.296474e-10,4.940514e-10,3.550410e-09,1.290986e-08,2.318055e-08,8.071317e-08,8.438521e-08,2.235416e-07,2.823893e-07,4.852030e-07,7.216088e-07,9.192601e-07,1.516284e-06,1.578590e-06,2.517083e-06,2.789777e-06,3.787396e-06,4.661915e-06,5.437465e-06,7.234157e-06,7.505254e-06,1.001296e-05,1.056788e-05,1.296325e-05,1.466738e-05,1.633911e-05,1.947942e-05,2.010680e-05,2.422019e-05,2.490687e-05,2.862521e-05,3.082617e-05,3.326358e-05,3.710225e-05,3.807574e-05,4.300293e-05,4.359922e-05,4.798880e-05,5.018740e-05,5.298044e-05,5.674784e-05,5.792921e-05,6.279126e-05,6.317528e-05,6.752792e-05,6.937982e-05,7.210584e-05,7.528775e-05,7.649707e-05,8.067893e-05,8.084159e-05,8.463384e-05,8.599943e-05,8.834896e-05,9.073381e-05,9.181587e-05,9.503011e-05,9.799072e-05,9.888481e-05,1.006998e-04,1.023036e-04,1.031619e-04,1.052996e-04,1.053840e-04,1.073743e-04,1.078914e-04,1.091427e-04,1.101016e-04,1.106999e-04,1.119557e-04,1.120573e-04,1.132265e-04,1.134805e-04,1.142197e-04,1.147033e-04,1.150485e-04,1.156514e-04,1.157249e-04,1.162600e-04,1.163511e-04,1.166651e-04,1.168279e-04,1.169507e-04,1.171056e-04,1.171268e-04,1.172030e-04,1.172065e-04,1.171883e-04,1.171513e-04,1.170909e-04,1.169590e-04,1.169190e-04,1.166796e-04,1.166467e-04,1.163797e-04,1.162303e-04,1.160256e-04,1.157238e-04,1.156230e-04,1.151774e-04,1.151400e-04,1.146935e-04,1.144903e-04,1.141760e-04,1.137849e-04,1.136290e-04,1.130563e-04,1.130330e-04,1.124614e-04,1.122424e-04,1.118474e-04,1.114205e-04,1.112172e-04,1.105735e-04,1.099186e-04,1.097070e-04,1.092547e-04,1.088260e-04,1.085837e-04,1.079347e-04,1.079076e-04,1.072278e-04,1.070370e-04,1.065458e-04,1.061362e-04,1.058630e-04,1.052352e-04,1.051806e-04,1.044996e-04,1.043365e-04,1.038210e-04,1.034423e-04,1.031456e-04,1.025545e-04,1.024742e-04,1.018076e-04,1.016749e-04,1.011463e-04,1.008047e-04,1.004908e-04,9.994512e-05,9.984171e-05,9.919939e-05,9.909727e-05,9.856422e-05,9.826197e-05,9.793651e-05,9.743991e-05,9.731655e-05,9.670458e-05,9.663169e-05,9.610080e-05,9.583778e-05,9.550539e-05,9.505856e-05,9.491848e-05,9.434020e-05,9.429431e-05,9.377061e-05,9.354524e-05,9.320981e-05,9.281149e-05,9.265782e-05,9.211468e-05,9.209314e-05,9.158041e-05,9.139023e-05,9.105498e-05,9.070274e-05,9.053840e-05,9.003062e-05,8.937377e-05,8.873207e-05,8.810539e-05,8.749354e-05,8.689634e-05,8.631359e-05,8.574506e-05,8.519053e-05,8.464976e-05,8.412250e-05,8.360849e-05,8.310748e-05,8.261921e-05,8.214341e-05,8.167981e-05,8.122816e-05,8.078817e-05,8.035959e-05,7.994215e-05,7.953560e-05,7.913967e-05,7.875409e-05,7.837863e-05,7.801303e-05
0.000000e+00,1.012336e-07,3.979608e-07,3.051795e-06,1.178110e-05,2.186700e-05,8.305005e-05,8.713940e-05,2.521668e-04,3.264282e-04,5.969039e-04,9.344836e-04,1.231534e-03,2.194215e-03,2.299585e-03,3.978628e-03,4.494974e-03,6.474903e-03,8.312421e-03,1.001063e-02,1.415889e-02,1.480837e-02,2.107785e-02,2.252535e-02,2.900708e-02,3.384081e-02,3.875702e-02,4.845076e-02,5.045866e-02,6.421157e-02,6.660736e-02,8.008333e-02,8.846610e-02,9.810972e-02,1.140863e-01,1.182954e-01,1.406153e-01,1.434348e-01,1.650159e-01,1.763919e-01,1.914182e-01,2.127601e-01,2.197192e-01,2.497956e-01,2.522743e-01,2.815064e-01,2.946139e-01,3.146961e-01,3.394152e-01,3.491980e-01,3.848374e-01,3.862841e-01,4.214344e-01,4.348087e-01,4.588070e-01,4.845705e-01,4.967733e-01,5.351546e-01,5.737765e-01,5.861587e-01,6.124712e-01,6.371999e-01,6.510790e-01,6.879208e-01,6.894492e-01,7.274411e-01,7.379930e-01,7.649246e-01,7.871207e-01,8.017807e-01,8.350414e-01,8.379017e-01,8.731911e-01,8.815271e-01,9.075637e-01,9.263836e-01,9.409450e-01,9.694497e-01,9.732712e-01,1.004489e+00,1.010595e+00,1.034553e+00,1.049719e+00,1.063430e+00,1.086748e+00,1.091091e+00,1.117520e+00,1.121633e+00,1.142703e+00,1.154347e+00,1.166637e+00,1.184884e+00,1.189321e+00,1.210763e+00,1.213253e+00,1.230974e+00,1.239480e+00,1.249969e+00,1.263604e+00,1.267768e+00,1.284394e+00,1.285674e+00,1.299872e+00,1.305747e+00,1.314229e+00,1.323891e+00,1.327498e+00,1.339707e+00,1.340174e+00,1.350892e+00,1.354674e+00,1.361085e+00,1.367469e+00,1.370322e+00,1.378639e+00,1.386069e+00,1.388266e+00,1.392650e+00,1.396433e+00,1.398417e+00,1.403221e+00,1.403406e+00,1.407650e+00,1.408710e+00,1.411186e+00,1.412981e+00,1.414047e+00,1.416111e+00,1.416265e+00,1.417875e+00,1.418174e+00,1.418907e+00,1.419244e+00,1.419392e+00,1.419390e+00,1.419360e+00,1.418841e+00,1.418681e+00,1.417862e+00,1.417180e+00,1.416450e+00,1.414949e+00,1.414632e+00,1.412433e+00,1.412047e+00,1.409877e+00,1.408530e+00,1.406987e+00,1.404450e+00,1.403786e+00,1.400295e+00,1.399857e+00,1.396534e+00,1.394799e+00,1.392523e+00,1.389319e+00,1.388281e+00,1.383825e+00,1.383460e+00,1.379172e+00,1.377260e+00,1.374339e+00,1.370756e+00,1.369341e+00,1.364191e+00,1.363983e+00,1.358905e+00,1.356972e+00,1.353496e+00,1.349753e+00,1.347975e+00,1.342354e+00,1.334801e+00,1.327118e+00,1.319328e+00,1.311449e+00,1.303503e+00,1.295506e+00,1.287474e+00,1.279422e+00,1.271365e+00,1.263313e+00,1.255280e+00,1.247275e+00,1.239307e+00,1.231386e+00,1.223518e+00,1.215712e+00,1.207974e+00,1.200308e+00,1.192721e+00,1.185217e+00,1.177799e+00,1.170472e+00,1.163237e+00,1.156099e+00
0.000000e+00,8.123537e-11,2.044442e-10,7.760175e-10,1.844719e-09,2.733040e-09,6.353989e-09,6.549599e-09,1.280320e-08,1.507046e-08,2.208272e-08,2.935856e-08,3.500497e-08,5.064412e-08,5.218900e-08,7.413584e-08,8.013900e-08,1.009913e-07,1.180493e-07,1.323654e-07,1.630889e-07,1.674688e-07,2.054342e-07,2.133018e-07,2.455080e-07,2.669709e-07,2.870752e-07,3.227686e-07,3.296234e-07,3.727098e-07,3.796268e-07,4.159421e-07,4.366409e-07,4.589695e-07,4.930336e-07,5.014811e-07,5.432058e-07,5.481486e-07,5.839130e-07,6.014511e-07,6.234113e-07,6.525263e-07,6.615482e-07,6.982069e-07,7.010730e-07,7.333035e-07,7.468917e-07,7.667836e-07,7.898710e-07,7.986179e-07,8.287990e-07,8.299720e-07,8.573373e-07,8.672133e-07,8.842578e-07,9.016579e-07,9.095970e-07,9.334006e-07,9.557203e-07,9.625584e-07,9.766130e-07,9.892629e-07,9.961382e-07,1.013653e-06,1.014357e-06,1.031332e-06,1.035870e-06,1.047124e-06,1.056057e-06,1.061794e-06,1.074351e-06,1.075402e-06,1.088005e-06,1.090887e-06,1.099659e-06,1.105791e-06,1.110418e-06,1.119187e-06,1.120333e-06,1.129453e-06,1.131186e-06,1.137825e-06,1.141897e-06,1.145493e-06,1.151420e-06,1.152498e-06,1.158880e-06,1.159846e-06,1.164678e-06,1.167263e-06,1.169925e-06,1.173749e-06,1.174656e-06,1.178901e-06,1.179380e-06,1.182692e-06,1.184222e-06,1.186055e-06,1.188341e-06,1.189017e-06,1.191602e-06,1.191793e-06,1.193835e-06,1.194634e-06,1.195737e-06,1.196913e-06,1.197328e-06,1.198629e-06,1.198675e-06,1.199657e-06,1.199963e-06,1.200429e-06,1.200817e-06,1.200963e-06,1.201273e-06,1.201373e-06,1.201363e-06,1.201277e-06,1.201119e-06,1.200998e-06,1.200569e-06,1.200548e-06,1.199938e-06,1.199740e-06,1.199178e-06,1.198655e-06,1.198279e-06,1.197337e-06,1.197250e-06,1.196100e-06,1.195807e-06,1.194837e-06,1.194083e-06,1.193469e-06,1.192184e-06,1.192003e-06,1.190447e-06,1.190126e-06,1.188808e-06,1.187924e-06,1.187090e-06,1.185592e-06,1.185301e-06,1.183445e-06,1.183142e-06,1.181528e-06,1.180588e-06,1.179555e-06,1.177939e-06,1.177530e-06,1.175459e-06,1.175207e-06,1.173344e-06,1.172401e-06,1.171190e-06,1.169528e-06,1.169000e-06,1.166778e-06,1.166599e-06,1.164528e-06,1.163620e-06,1.162251e-06,1.160598e-06,1.159952e-06,1.157633e-06,1.157540e-06,1.155296e-06,1.154451e-06,1.152945e-06,1.151338e-06,1.150580e-06,1.148205e-06,1.145057e-06,1.141899e-06,1.138735e-06,1.135567e-06,1.132401e-06,1.129238e-06,1.126083e-06,1.122937e-06,1.119803e-06,1.116684e-06,1.113581e-06,1.110498e-06,1.107434e-06,1.104393e-06,1.101375e-06,1.098382e-06,1.095415e-06,1.092476e-06,1.089564e-06,1.086683e-06,1.083831e-06,1.081010e-06,1.078220e-06,1.075462e-06
0.000000e+00,6.428741e-11,1.514018e-10,5.358397e-10,1.234131e-09,1.807844e-09,4.124869e-09,4.249530e-09,8.223510e-09,9.661124e-09,1.410242e-08,1.870553e-08,2.227477e-08,3.214363e-08,3.311680e-08,4.689951e-08,5.065522e-08,6.366163e-08,7.427565e-08,8.318390e-08,1.023625e-07,1.051075e-07,1.290592e-07,1.340624e-07,1.546999e-07,1.685986e-07,1.817258e-07,2.052930e-07,2.098574e-07,2.388319e-07,2.435292e-07,2.684004e-07,2.827348e-07,2.983284e-07,3.223821e-07,3.283973e-07,3.584070e-07,3.619955e-07,3.881780e-07,4.011601e-07,4.175522e-07,4.395266e-07,4.463934e-07,4.745872e-07,4.768118e-07,5.020402e-07,5.127965e-07,5.286771e-07,5.473172e-07,5.544400e-07,5.792867e-07,5.802610e-07,6.031884e-07,6.115580e-07,6.261278e-07,6.411730e-07,6.480978e-07,6.690993e-07,6.891400e-07,6.953522e-07,7.082333e-07,7.199637e-07,7.263968e-07,7.429789e-07,7.436520e-07,7.600226e-07,7.644513e-07,7.755343e-07,7.844402e-07,7.902140e-07,8.030085e-07,8.040897e-07,8.171897e-07,8.202214e-07,8.295426e-07,8.361445e-07,8.411768e-07,8.508430e-07,8.521207e-07,8.624021e-07,8.643813e-07,8.720482e-07,8.768221e-07,8.810859e-07,8.882263e-07,8.895410e-07,8.974388e-07,8.986524e-07,9.048039e-07,9.081569e-07,9.116598e-07,9.167934e-07,9.180295e-07,9.239351e-07,9.246135e-07,9.293977e-07,9.316662e-07,9.344378e-07,9.379980e-07,9.390752e-07,9.433288e-07,9.436530e-07,9.472165e-07,9.486732e-07,9.507560e-07,9.530982e-07,9.539639e-07,9.568562e-07,9.569656e-07,9.594482e-07,9.603107e-07,9.617547e-07,9.631672e-07,9.637897e-07,9.655666e-07,9.670983e-07,9.675387e-07,9.683972e-07,9.691118e-07,9.694751e-07,9.703123e-07,9.703431e-07,9.710121e-07,9.711652e-07,9.714924e-07,9.716940e-07,9.717937e-07,9.719210e-07,9.719255e-07,9.718968e-07,9.718669e-07,9.717160e-07,9.715515e-07,9.713915e-07,9.709932e-07,9.709310e-07,9.703419e-07,9.702093e-07,9.696315e-07,9.692163e-07,9.688064e-07,9.680295e-07,9.678732e-07,9.668380e-07,9.666633e-07,9.657068e-07,9.651314e-07,9.644852e-07,9.634464e-07,9.631785e-07,9.617920e-07,9.616205e-07,9.603305e-07,9.596648e-07,9.587986e-07,9.575900e-07,9.572008e-07,9.555413e-07,9.554060e-07,9.538243e-07,9.531222e-07,9.520534e-07,9.507472e-07,9.502325e-07,9.483650e-07,9.482894e-07,9.464542e-07,9.457564e-07,9.445034e-07,9.431555e-07,9.425156e-07,9.404936e-07,9.377769e-07,9.350114e-07,9.322029e-07,9.293564e-07,9.264770e-07,9.235692e-07,9.206373e-07,9.176855e-07,9.147174e-07,9.117367e-07,9.087466e-07,9.057501e-07,9.027503e-07,8.997497e-07,8.967509e-07,8.937562e-07,8.907678e-07,8.877877e-07,8.848179e-07,8.818599e-07,8.789156e-07,8.759864e-07,8.730736e-07,8.701786e-07
0.000000e+00,6.474387e-11,1.744082e-10,7.146951e-10,1.761274e-09,2.643701e-09,6.280106e-09,6.477425e-09,1.280060e-08,1.509561e-08,2.219137e-08,2.954542e-08,3.524607e-08,5.101449e-08,5.257120e-08,7.469181e-08,8.074944e-08,1.018341e-07,1.191431e-07,1.337159e-07,1.651315e-07,1.696253e-07,2.087280e-07,2.168638e-07,2.502798e-07,2.726466e-07,2.936671e-07,3.311513e-07,3.383738e-07,3.839462e-07,3.912900e-07,4.299706e-07,4.521092e-07,4.760639e-07,5.127498e-07,5.218729e-07,5.670754e-07,5.724449e-07,6.113836e-07,6.305298e-07,6.545466e-07,6.864526e-07,6.963523e-07,7.366272e-07,7.397788e-07,7.752357e-07,7.901890e-07,8.120777e-07,8.374711e-07,8.470857e-07,8.802218e-07,8.815081e-07,9.114733e-07,9.222637e-07,9.408496e-07,9.597676e-07,9.683779e-07,9.941002e-07,1.018070e-06,1.025380e-06,1.040350e-06,1.053754e-06,1.061008e-06,1.079382e-06,1.080118e-06,1.097754e-06,1.102439e-06,1.113993e-06,1.123098e-06,1.128911e-06,1.141534e-06,1.142583e-06,1.155082e-06,1.157916e-06,1.166480e-06,1.172407e-06,1.176844e-06,1.185161e-06,1.186239e-06,1.194728e-06,1.196322e-06,1.202369e-06,1.206026e-06,1.209219e-06,1.214399e-06,1.215329e-06,1.220749e-06,1.221555e-06,1.225525e-06,1.227601e-06,1.229700e-06,1.232636e-06,1.233316e-06,1.236411e-06,1.236749e-06,1.239019e-06,1.240021e-06,1.241174e-06,1.242528e-06,1.242907e-06,1.244248e-06,1.244339e-06,1.245222e-06,1.245515e-06,1.245856e-06,1.246114e-06,1.246172e-06,1.246193e-06,1.246188e-06,1.245939e-06,1.245783e-06,1.245429e-06,1.244945e-06,1.244680e-06,1.243711e-06,1.242536e-06,1.242118e-06,1.241169e-06,1.240200e-06,1.239624e-06,1.237986e-06,1.237914e-06,1.236051e-06,1.235504e-06,1.234046e-06,1.232779e-06,1.231909e-06,1.229835e-06,1.229650e-06,1.227278e-06,1.226692e-06,1.224801e-06,1.223372e-06,1.222228e-06,1.219890e-06,1.219567e-06,1.216823e-06,1.216265e-06,1.214004e-06,1.212511e-06,1.211117e-06,1.208642e-06,1.208166e-06,1.205157e-06,1.204671e-06,1.202096e-06,1.200610e-06,1.198988e-06,1.196470e-06,1.195836e-06,1.192646e-06,1.192261e-06,1.189421e-06,1.187992e-06,1.186165e-06,1.183672e-06,1.182881e-06,1.179574e-06,1.179309e-06,1.176246e-06,1.174910e-06,1.172900e-06,1.170482e-06,1.169539e-06,1.166166e-06,1.166031e-06,1.162783e-06,1.161563e-06,1.159392e-06,1.157084e-06,1.155997e-06,1.152598e-06,1.148110e-06,1.143624e-06,1.139144e-06,1.134674e-06,1.130217e-06,1.125776e-06,1.121354e-06,1.116953e-06,1.112576e-06,1.108225e-06,1.103903e-06,1.099610e-06,1.095349e-06,1.091121e-06,1.086928e-06,1.082771e-06,1.078651e-06,1.074569e-06,1.070526e-06,1.066523e-06,1.062561e-06,1.058640e-06,1.054761e-06,1.050924e-06
0.000000e+00,3.086205e-10,1.063543e-09,6.303129e-09,1.957693e-08,3.246682e-08,9.415916e-08,9.777909e-08,2.231096e-07,2.720443e-07,4.317409e-07,6.080259e-07,7.508896e-07,1.169460e-06,1.212435e-06,1.850515e-06,2.033353e-06,2.693343e-06,3.259520e-06,3.750916e-06,4.847931e-06,5.008377e-06,6.432257e-06,6.733516e-06,7.983201e-06,8.827732e-06,9.625317e-06,1.105359e-05,1.132939e-05,1.307250e-05,1.335375e-05,1.483644e-05,1.568606e-05,1.660632e-05,1.801799e-05,1.836957e-05,2.011539e-05,2.032326e-05,2.183447e-05,2.258028e-05,2.351878e-05,2.477137e-05,2.516151e-05,2.675702e-05,2.688248e-05,2.830073e-05,2.890287e-05,2.978905e-05,3.082483e-05,3.121935e-05,3.258977e-05,3.264332e-05,3.389920e-05,3.435556e-05,3.514717e-05,3.596069e-05,3.633373e-05,3.745937e-05,3.852495e-05,3.885344e-05,3.953163e-05,4.014564e-05,4.048082e-05,4.133940e-05,4.137408e-05,4.221313e-05,4.243860e-05,4.299980e-05,4.344742e-05,4.373594e-05,4.437023e-05,4.442349e-05,4.506438e-05,4.521146e-05,4.566053e-05,4.597555e-05,4.621386e-05,4.666687e-05,4.672626e-05,4.719959e-05,4.728973e-05,4.763566e-05,4.784827e-05,4.803622e-05,4.834650e-05,4.840298e-05,4.873760e-05,4.878826e-05,4.904165e-05,4.917720e-05,4.931669e-05,4.951682e-05,4.956418e-05,4.978556e-05,4.981044e-05,4.998220e-05,5.006122e-05,5.015540e-05,5.027213e-05,5.030641e-05,5.043645e-05,5.044598e-05,5.054666e-05,5.058544e-05,5.063815e-05,5.069302e-05,5.071196e-05,5.076911e-05,5.077107e-05,5.081056e-05,5.082181e-05,5.083721e-05,5.084733e-05,5.084994e-05,5.084959e-05,5.083695e-05,5.083044e-05,5.081278e-05,5.079159e-05,5.077779e-05,5.073466e-05,5.073267e-05,5.067807e-05,5.066117e-05,5.061461e-05,5.057253e-05,5.054289e-05,5.047008e-05,5.046345e-05,5.037684e-05,5.035505e-05,5.028356e-05,5.022859e-05,5.018409e-05,5.009180e-05,5.007889e-05,4.996838e-05,4.994568e-05,4.985299e-05,4.979118e-05,4.973309e-05,4.962917e-05,4.960906e-05,4.948124e-05,4.946046e-05,4.934997e-05,4.928583e-05,4.921556e-05,4.910598e-05,4.907831e-05,4.893850e-05,4.892156e-05,4.879639e-05,4.873320e-05,4.865224e-05,4.854146e-05,4.850627e-05,4.835873e-05,4.834686e-05,4.820981e-05,4.814990e-05,4.805971e-05,4.795103e-05,4.790864e-05,4.775675e-05,4.775066e-05,4.760423e-05,4.754919e-05,4.745122e-05,4.734698e-05,4.729788e-05,4.714435e-05,4.694160e-05,4.673903e-05,4.653687e-05,4.633538e-05,4.613477e-05,4.593523e-05,4.573694e-05,4.554008e-05,4.534478e-05,4.515119e-05,4.495942e-05,4.476959e-05,4.458180e-05,4.439612e-05,4.421265e-05,4.403145e-05,4.385257e-05,4.367608e-05,4.350202e-05,4.333043e-05,4.316133e-05,4.299477e-05,4.283075e-05,4.266929e-05
0.000000e+00,9.017469e-11,3.202121e-10,2.001674e-09,6.462293e-09,1.090571e-08,3.269611e-08,3.398711e-08,7.882293e-08,9.628227e-08,1.527499e-07,2.140172e-07,2.628348e-07,4.019457e-07,4.159297e-07,6.181812e-07,6.745439e-07,8.734669e-07,1.039706e-06,1.181594e-06,1.493094e-06,1.538244e-06,1.936751e-06,2.020842e-06,2.369981e-06,2.606747e-06,2.831278e-06,3.236051e-06,3.314642e-06,3.814584e-06,3.895765e-06,4.325950e-06,4.574010e-06,4.843816e-06,5.259614e-06,5.363469e-06,5.880442e-06,5.942098e-06,6.390584e-06,6.611895e-06,6.890124e-06,7.260621e-06,7.375737e-06,7.844582e-06,7.881292e-06,8.294324e-06,8.468447e-06,8.723138e-06,9.018155e-06,9.129685e-06,9.513088e-06,9.527934e-06,9.872880e-06,9.996596e-06,1.020896e-05,1.042405e-05,1.052154e-05,1.081108e-05,1.107825e-05,1.115915e-05,1.132389e-05,1.147023e-05,1.154894e-05,1.174659e-05,1.175445e-05,1.194148e-05,1.199068e-05,1.211113e-05,1.220505e-05,1.226452e-05,1.239219e-05,1.240271e-05,1.252677e-05,1.255455e-05,1.263770e-05,1.269445e-05,1.273648e-05,1.281406e-05,1.282400e-05,1.290113e-05,1.291539e-05,1.296868e-05,1.300026e-05,1.302738e-05,1.307036e-05,1.307793e-05,1.312097e-05,1.312720e-05,1.315709e-05,1.317214e-05,1.318684e-05,1.320639e-05,1.321072e-05,1.322917e-05,1.323105e-05,1.324264e-05,1.324708e-05,1.325150e-05,1.325538e-05,1.325611e-05,1.325680e-05,1.325670e-05,1.325387e-05,1.325175e-05,1.324760e-05,1.324115e-05,1.323822e-05,1.322599e-05,1.322545e-05,1.321111e-05,1.320515e-05,1.319378e-05,1.318070e-05,1.317419e-05,1.315250e-05,1.312886e-05,1.312091e-05,1.310342e-05,1.308626e-05,1.307632e-05,1.304885e-05,1.304768e-05,1.301760e-05,1.300894e-05,1.298621e-05,1.296679e-05,1.295360e-05,1.292260e-05,1.291986e-05,1.288508e-05,1.287659e-05,1.284934e-05,1.282894e-05,1.281272e-05,1.277981e-05,1.277528e-05,1.273710e-05,1.272938e-05,1.269823e-05,1.267777e-05,1.265874e-05,1.262512e-05,1.261867e-05,1.257809e-05,1.257155e-05,1.253703e-05,1.251718e-05,1.249556e-05,1.246210e-05,1.245370e-05,1.241150e-05,1.240641e-05,1.236899e-05,1.235021e-05,1.232623e-05,1.229356e-05,1.228322e-05,1.224002e-05,1.223656e-05,1.219665e-05,1.217927e-05,1.215314e-05,1.212174e-05,1.210952e-05,1.206581e-05,1.206406e-05,1.202203e-05,1.200626e-05,1.197822e-05,1.194841e-05,1.193438e-05,1.189055e-05,1.183272e-05,1.177498e-05,1.171735e-05,1.165987e-05,1.160258e-05,1.154550e-05,1.148868e-05,1.143212e-05,1.137586e-05,1.131991e-05,1.126431e-05,1.120906e-05,1.115419e-05,1.109971e-05,1.104564e-05,1.099199e-05,1.093877e-05,1.088600e-05,1.083367e-05,1.078181e-05,1.073042e-05,1.067951e-05,1.062909e-05,1.057915e-05
0.000000e+00,1.521472e-10,3.614463e-10,1.294718e-09,3.012676e-09,4.441951e-09,1.036123e-08,1.068609e-08,2.136063e-08,2.536426e-08,3.813462e-08,5.185249e-08,6.268560e-08,9.277665e-08,9.572213e-08,1.365655e-07,1.473946e-07,1.840200e-07,2.130968e-07,2.370850e-07,2.878406e-07,2.950323e-07,3.572863e-07,3.702078e-07,4.233247e-07,4.589871e-07,4.926236e-07,5.529563e-07,5.646378e-07,6.387997e-07,6.508262e-07,7.145278e-07,7.512623e-07,7.912402e-07,8.529367e-07,8.683696e-07,9.453766e-07,9.545850e-07,1.021761e-06,1.055055e-06,1.097070e-06,1.153336e-06,1.170901e-06,1.242911e-06,1.248584e-06,1.312811e-06,1.340126e-06,1.380367e-06,1.427450e-06,1.445394e-06,1.507753e-06,1.510190e-06,1.567348e-06,1.588113e-06,1.624119e-06,1.661093e-06,1.678036e-06,1.729100e-06,1.777333e-06,1.792175e-06,1.822770e-06,1.850406e-06,1.865464e-06,1.903932e-06,1.905482e-06,1.942899e-06,1.952921e-06,1.977799e-06,1.997567e-06,2.010268e-06,2.038072e-06,2.040398e-06,2.068281e-06,2.074648e-06,2.094009e-06,2.107512e-06,2.117678e-06,2.136877e-06,2.139380e-06,2.159205e-06,2.162953e-06,2.177244e-06,2.185947e-06,2.193583e-06,2.206057e-06,2.208308e-06,2.221500e-06,2.223474e-06,2.233240e-06,2.238381e-06,2.243603e-06,2.250953e-06,2.252665e-06,2.260495e-06,2.261355e-06,2.267162e-06,2.269744e-06,2.272731e-06,2.276268e-06,2.277265e-06,2.280823e-06,2.281068e-06,2.283463e-06,2.284274e-06,2.285239e-06,2.286011e-06,2.286202e-06,2.286403e-06,2.286396e-06,2.285889e-06,2.285538e-06,2.284705e-06,2.283539e-06,2.282894e-06,2.280495e-06,2.277549e-06,2.276496e-06,2.274091e-06,2.271626e-06,2.270157e-06,2.265962e-06,2.265779e-06,2.260990e-06,2.259580e-06,2.255819e-06,2.252545e-06,2.250295e-06,2.244923e-06,2.244443e-06,2.238291e-06,2.236772e-06,2.231861e-06,2.228147e-06,2.225176e-06,2.219100e-06,2.218259e-06,2.211129e-06,2.209679e-06,2.203805e-06,2.199927e-06,2.196307e-06,2.189885e-06,2.188650e-06,2.180852e-06,2.179593e-06,2.172928e-06,2.169084e-06,2.164892e-06,2.158392e-06,2.156758e-06,2.148538e-06,2.147547e-06,2.140245e-06,2.136576e-06,2.131891e-06,2.125506e-06,2.123485e-06,2.115038e-06,2.114361e-06,2.106559e-06,2.103161e-06,2.098058e-06,2.091927e-06,2.089542e-06,2.081020e-06,2.080679e-06,2.072498e-06,2.069432e-06,2.063984e-06,2.058202e-06,2.055484e-06,2.047004e-06,2.035851e-06,2.024753e-06,2.013723e-06,2.002770e-06,1.991902e-06,1.981129e-06,1.970456e-06,1.959890e-06,1.949438e-06,1.939104e-06,1.928893e-06,1.918808e-06,1.908853e-06,1.899032e-06,1.889346e-06,1.879798e-06,1.870390e-06,1.861123e-06,1.851997e-06,1.843015e-06,1.834176e-06,1.825481e-06,1.816930e-06,1.808522e-06
0.000000e+00,7.271467e-11,2.730177e-10,1.905077e-09,6.755815e-09,1.197488e-08,4.045855e-08,4.225208e-08,1.092633e-07,1.372801e-07,2.332270e-07,3.445882e-07,4.376219e-07,7.189561e-07,7.483453e-07,1.190736e-06,1.318874e-06,1.784472e-06,2.187297e-06,2.539786e-06,3.338892e-06,3.457417e-06,4.530988e-06,4.763517e-06,5.749699e-06,6.436447e-06,7.100290e-06,8.326063e-06,8.568184e-06,1.013807e-05,1.039767e-05,1.179423e-05,1.261516e-05,1.352072e-05,1.494184e-05,1.530161e-05,1.712119e-05,1.734142e-05,1.896428e-05,1.977894e-05,2.081644e-05,2.222183e-05,2.266422e-05,2.449536e-05,2.464079e-05,2.629891e-05,2.701042e-05,2.806534e-05,2.930956e-05,2.978652e-05,3.145571e-05,3.152132e-05,3.306754e-05,3.363293e-05,3.461788e-05,3.563542e-05,3.610374e-05,3.752316e-05,3.887506e-05,3.929335e-05,4.015916e-05,4.094553e-05,4.137579e-05,4.248109e-05,4.252583e-05,4.361058e-05,4.390283e-05,4.463169e-05,4.521460e-05,4.559107e-05,4.642098e-05,4.649081e-05,4.733315e-05,4.752702e-05,4.812039e-05,4.853807e-05,4.885492e-05,4.945958e-05,4.953911e-05,5.017531e-05,5.029701e-05,5.076588e-05,5.105569e-05,5.131308e-05,5.174085e-05,5.181914e-05,5.228622e-05,5.235747e-05,5.271639e-05,5.291035e-05,5.311165e-05,5.340400e-05,5.347391e-05,5.380500e-05,5.384272e-05,5.410667e-05,5.423051e-05,5.438058e-05,5.457117e-05,5.462832e-05,5.485139e-05,5.486821e-05,5.505122e-05,5.512495e-05,5.522916e-05,5.534446e-05,5.538651e-05,5.552447e-05,5.552960e-05,5.564419e-05,5.568304e-05,5.574677e-05,5.580727e-05,5.583324e-05,5.590457e-05,5.596168e-05,5.597710e-05,5.600545e-05,5.602684e-05,5.603669e-05,5.605563e-05,5.605619e-05,5.606467e-05,5.606517e-05,5.606284e-05,5.605706e-05,5.605135e-05,5.603277e-05,5.603081e-05,5.600181e-05,5.599366e-05,5.596491e-05,5.594099e-05,5.592062e-05,5.587593e-05,5.586944e-05,5.581183e-05,5.579958e-05,5.574824e-05,5.571294e-05,5.567906e-05,5.561694e-05,5.560471e-05,5.552554e-05,5.551245e-05,5.544191e-05,5.540027e-05,5.535414e-05,5.528115e-05,5.526254e-05,5.516742e-05,5.515578e-05,5.506904e-05,5.502479e-05,5.496767e-05,5.488878e-05,5.486356e-05,5.475693e-05,5.474830e-05,5.464802e-05,5.460386e-05,5.453703e-05,5.445593e-05,5.442415e-05,5.430956e-05,5.430495e-05,5.419346e-05,5.415132e-05,5.407599e-05,5.399542e-05,5.395732e-05,5.383759e-05,5.367816e-05,5.351743e-05,5.335567e-05,5.319313e-05,5.303005e-05,5.286665e-05,5.270313e-05,5.253967e-05,5.237645e-05,5.221362e-05,5.205133e-05,5.188971e-05,5.172888e-05,5.156896e-05,5.141005e-05,5.125224e-05,5.109562e-05,5.094026e-05,5.078625e-05,5.063363e-05,5.048248e-05,5.033284e-05,5.018477e-05,5.003830e-05
0.000000e+00,5.611338e-11,1.784305e-10,9.198865e-10,2.581886e-09,4.083159e-09,1.067907e-08,1.104825e-08,2.319248e-08,2.770027e-08,4.182986e-08,5.667596e-08,6.827878e-08,1.006740e-07,1.038926e-07,1.500229e-07,1.627995e-07,2.078748e-07,2.457054e-07,2.782068e-07,3.503489e-07,3.608895e-07,4.545389e-07,4.743747e-07,5.566006e-07,6.119669e-07,6.639724e-07,7.561163e-07,7.737346e-07,8.835489e-07,9.010019e-07,9.917066e-07,1.042666e-06,1.097008e-06,1.178622e-06,1.198618e-06,1.295959e-06,1.307332e-06,1.388634e-06,1.427864e-06,1.476389e-06,1.539697e-06,1.559075e-06,1.636637e-06,1.642621e-06,1.709092e-06,1.736661e-06,1.776521e-06,1.822027e-06,1.839050e-06,1.896849e-06,1.899066e-06,1.950115e-06,1.968222e-06,1.999065e-06,2.030003e-06,2.043930e-06,2.084948e-06,2.122358e-06,2.133606e-06,2.156396e-06,2.176518e-06,2.187294e-06,2.214208e-06,2.215274e-06,2.240549e-06,2.247169e-06,2.263319e-06,2.275859e-06,2.283776e-06,2.300704e-06,2.302095e-06,2.318442e-06,2.322090e-06,2.332972e-06,2.340368e-06,2.345826e-06,2.355856e-06,2.357136e-06,2.367022e-06,2.368838e-06,2.375596e-06,2.379571e-06,2.382961e-06,2.388282e-06,2.389211e-06,2.394432e-06,2.395177e-06,2.398703e-06,2.400438e-06,2.402099e-06,2.404229e-06,2.404685e-06,2.406523e-06,2.406696e-06,2.407669e-06,2.407968e-06,2.408176e-06,2.408163e-06,2.408091e-06,2.407457e-06,2.407384e-06,2.406317e-06,2.405726e-06,2.404705e-06,2.403273e-06,2.402658e-06,2.400206e-06,2.400100e-06,2.397380e-06,2.396276e-06,2.394206e-06,2.391862e-06,2.390709e-06,2.386914e-06,2.382841e-06,2.381482e-06,2.378510e-06,2.375612e-06,2.373940e-06,2.369346e-06,2.369150e-06,2.364154e-06,2.362721e-06,2.358969e-06,2.355773e-06,2.353609e-06,2.348534e-06,2.348086e-06,2.342414e-06,2.341031e-06,2.336603e-06,2.333293e-06,2.330666e-06,2.325343e-06,2.324611e-06,2.318449e-06,2.317205e-06,2.312189e-06,2.308898e-06,2.305839e-06,2.300442e-06,2.299407e-06,2.292902e-06,2.291854e-06,2.286329e-06,2.283152e-06,2.279695e-06,2.274349e-06,2.273008e-06,2.266272e-06,2.265461e-06,2.259494e-06,2.256500e-06,2.252679e-06,2.247477e-06,2.245831e-06,2.238957e-06,2.238406e-06,2.232059e-06,2.229294e-06,2.225142e-06,2.220153e-06,2.218211e-06,2.211269e-06,2.210991e-06,2.204320e-06,2.201817e-06,2.197367e-06,2.192638e-06,2.190413e-06,2.183462e-06,2.174294e-06,2.165142e-06,2.156011e-06,2.146906e-06,2.137833e-06,2.128796e-06,2.119799e-06,2.110847e-06,2.101942e-06,2.093089e-06,2.084290e-06,2.075548e-06,2.066867e-06,2.058248e-06,2.049693e-06,2.041206e-06,2.032787e-06,2.024439e-06,2.016162e-06,2.007959e-06,1.999831e-06,1.991778e-06,1.983802e-06,1.975904e-06
0.000000e+00,1.377492e-10,4.887867e-10,3.053181e-09,9.858885e-09,1.664483e-08,5.000345e-08,5.198343e-08,1.209404e-07,1.478776e-07,2.352509e-07,3.304031e-07,4.064319e-07,6.239048e-07,6.458247e-07,9.638993e-07,1.052871e-06,1.368003e-06,1.632669e-06,1.859479e-06,2.360176e-06,2.433044e-06,3.079134e-06,3.216092e-06,3.786789e-06,4.175526e-06,4.545332e-06,5.214548e-06,5.344832e-06,6.176015e-06,6.311351e-06,7.030073e-06,7.445649e-06,7.898548e-06,8.598246e-06,8.773331e-06,9.646733e-06,9.751102e-06,1.051159e-05,1.088772e-05,1.136139e-05,1.199356e-05,1.219031e-05,1.299336e-05,1.305635e-05,1.376633e-05,1.406630e-05,1.450582e-05,1.501604e-05,1.520924e-05,1.587472e-05,1.590053e-05,1.650104e-05,1.671680e-05,1.708760e-05,1.746368e-05,1.763430e-05,1.814150e-05,1.860990e-05,1.875175e-05,1.904051e-05,1.929682e-05,1.943456e-05,1.977976e-05,1.979346e-05,2.011876e-05,2.020403e-05,2.041206e-05,2.057337e-05,2.067503e-05,2.089162e-05,2.090935e-05,2.111670e-05,2.116263e-05,2.129873e-05,2.139020e-05,2.145704e-05,2.157798e-05,2.159320e-05,2.170870e-05,2.172945e-05,2.180499e-05,2.184792e-05,2.188343e-05,2.193647e-05,2.194531e-05,2.199187e-05,2.199798e-05,2.202426e-05,2.203510e-05,2.204358e-05,2.205030e-05,2.205084e-05,2.204700e-05,2.204583e-05,2.203296e-05,2.202376e-05,2.200955e-05,2.198597e-05,2.197755e-05,2.193769e-05,2.193419e-05,2.189066e-05,2.186998e-05,2.183708e-05,2.179477e-05,2.177753e-05,2.171257e-05,2.170986e-05,2.164270e-05,2.161643e-05,2.156839e-05,2.151554e-05,2.149008e-05,2.140817e-05,2.132304e-05,2.129518e-05,2.123504e-05,2.117737e-05,2.114450e-05,2.105545e-05,2.105170e-05,2.095694e-05,2.093008e-05,2.086046e-05,2.080184e-05,2.076250e-05,2.067126e-05,2.066328e-05,2.056301e-05,2.053881e-05,2.046187e-05,2.040492e-05,2.036004e-05,2.026998e-05,2.025767e-05,2.015492e-05,2.013434e-05,2.005192e-05,1.999830e-05,1.994879e-05,1.986215e-05,1.984566e-05,1.974262e-05,1.972615e-05,1.963977e-05,1.959050e-05,1.953721e-05,1.945542e-05,1.943501e-05,1.933326e-05,1.932108e-05,1.923202e-05,1.918765e-05,1.913134e-05,1.905525e-05,1.903130e-05,1.893194e-05,1.892402e-05,1.883331e-05,1.879407e-05,1.873545e-05,1.866550e-05,1.863841e-05,1.854221e-05,1.853838e-05,1.844688e-05,1.841279e-05,1.835246e-05,1.828879e-05,1.825898e-05,1.816644e-05,1.804578e-05,1.792685e-05,1.780968e-05,1.769430e-05,1.758073e-05,1.746897e-05,1.735905e-05,1.725096e-05,1.714471e-05,1.704030e-05,1.693772e-05,1.683697e-05,1.673803e-05,1.664089e-05,1.654554e-05,1.645197e-05,1.636016e-05,1.627009e-05,1.618173e-05,1.609508e-05,1.601011e-05,1.592679e-05,1.584510e-05,1.576503e-05
0.000000e+00,1.023639e-10,3.724995e-10,2.444605e-09,8.235842e-09,1.422281e-08,4.527543e-08,4.718022e-08,1.165210e-07,1.449137e-07,2.409049e-07,3.506723e-07,4.411000e-07,7.065516e-07,7.335538e-07,1.124281e-06,1.232485e-06,1.610547e-06,1.922245e-06,2.185971e-06,2.760671e-06,2.843735e-06,3.577466e-06,3.732788e-06,4.380988e-06,4.824273e-06,5.247823e-06,6.019704e-06,6.170847e-06,7.142149e-06,7.301470e-06,8.153102e-06,8.649770e-06,9.194557e-06,1.004336e-05,1.025711e-05,1.133138e-05,1.146064e-05,1.240831e-05,1.288077e-05,1.347936e-05,1.428461e-05,1.453676e-05,1.557357e-05,1.565544e-05,1.658383e-05,1.697935e-05,1.756254e-05,1.824537e-05,1.850567e-05,1.941011e-05,1.944545e-05,2.027363e-05,2.057417e-05,2.109474e-05,2.162844e-05,2.187265e-05,2.260715e-05,2.329852e-05,2.351075e-05,2.394745e-05,2.434094e-05,2.455494e-05,2.510031e-05,2.512224e-05,2.565082e-05,2.579209e-05,2.614223e-05,2.641994e-05,2.659815e-05,2.698772e-05,2.702029e-05,2.741036e-05,2.749939e-05,2.777008e-05,2.795890e-05,2.810114e-05,2.837008e-05,2.840519e-05,2.868382e-05,2.873663e-05,2.893854e-05,2.906204e-05,2.917083e-05,2.934963e-05,2.938207e-05,2.957357e-05,2.960246e-05,2.974658e-05,2.982341e-05,2.990228e-05,3.001512e-05,3.004177e-05,3.016609e-05,3.018004e-05,3.027622e-05,3.032042e-05,3.037308e-05,3.043834e-05,3.045751e-05,3.053033e-05,3.053567e-05,3.059228e-05,3.061417e-05,3.064406e-05,3.067542e-05,3.068634e-05,3.071972e-05,3.072088e-05,3.074479e-05,3.075188e-05,3.076208e-05,3.076964e-05,3.077208e-05,3.077528e-05,3.077212e-05,3.076983e-05,3.076299e-05,3.075421e-05,3.074830e-05,3.072929e-05,3.072840e-05,3.070363e-05,3.069587e-05,3.067431e-05,3.065466e-05,3.064074e-05,3.060633e-05,3.060319e-05,3.056193e-05,3.055150e-05,3.051720e-05,3.049073e-05,3.046924e-05,3.042453e-05,3.041826e-05,3.036447e-05,3.035339e-05,3.030806e-05,3.027775e-05,3.024921e-05,3.019801e-05,3.018809e-05,3.012486e-05,3.011456e-05,3.005968e-05,3.002774e-05,2.999268e-05,2.993786e-05,2.992400e-05,2.985377e-05,2.984524e-05,2.978211e-05,2.975015e-05,2.970912e-05,2.965284e-05,2.963492e-05,2.955961e-05,2.955354e-05,2.948329e-05,2.945249e-05,2.940603e-05,2.934988e-05,2.932793e-05,2.924908e-05,2.924591e-05,2.916954e-05,2.914075e-05,2.908938e-05,2.903456e-05,2.900868e-05,2.892751e-05,2.881972e-05,2.871134e-05,2.860248e-05,2.849327e-05,2.838380e-05,2.827418e-05,2.816450e-05,2.805484e-05,2.794528e-05,2.783591e-05,2.772678e-05,2.761797e-05,2.750952e-05,2.740151e-05,2.729397e-05,2.718696e-05,2.708052e-05,2.697469e-05,2.686951e-05,2.676501e-05,2.666123e-05,2.655819e-05,2.645593e-05,2.635446e-05
0.000000e+00,2.876071e-11,6.593697e-11,2.273240e-10,5.193627e-10,7.604505e-10,1.751568e-09,1.805755e-09,3.579835e-09,4.243038e-09,6.355039e-09,8.624440e-09,1.042132e-08,1.544256e-08,1.593612e-08,2.279438e-08,2.461197e-08,3.073773e-08,3.556716e-08,3.952448e-08,4.781162e-08,4.897625e-08,5.895950e-08,6.100995e-08,6.936334e-08,7.490579e-08,8.008669e-08,8.927041e-08,9.103288e-08,1.021084e-07,1.038865e-07,1.132240e-07,1.185488e-07,1.242959e-07,1.330701e-07,1.352474e-07,1.460103e-07,1.472862e-07,1.565252e-07,1.610600e-07,1.667422e-07,1.742823e-07,1.766203e-07,1.861274e-07,1.868712e-07,1.952392e-07,1.987692e-07,2.039386e-07,2.099404e-07,2.122146e-07,2.200618e-07,2.203667e-07,2.274792e-07,2.300447e-07,2.344695e-07,2.389819e-07,2.410386e-07,2.471945e-07,2.529473e-07,2.547049e-07,2.583087e-07,2.615405e-07,2.632916e-07,2.677316e-07,2.679095e-07,2.721763e-07,2.733101e-07,2.761063e-07,2.783086e-07,2.797139e-07,2.827603e-07,2.830132e-07,2.860185e-07,2.866975e-07,2.887435e-07,2.901523e-07,2.912020e-07,2.931555e-07,2.934072e-07,2.953718e-07,2.957370e-07,2.971085e-07,2.979254e-07,2.986291e-07,2.997480e-07,2.999453e-07,3.010682e-07,3.012306e-07,3.020086e-07,3.023981e-07,3.027767e-07,3.032737e-07,3.033823e-07,3.038351e-07,3.038795e-07,3.041438e-07,3.042363e-07,3.043172e-07,3.043636e-07,3.043635e-07,3.042905e-07,3.042798e-07,3.041058e-07,3.040022e-07,3.038164e-07,3.035470e-07,3.034291e-07,3.029504e-07,3.029294e-07,3.023864e-07,3.021637e-07,3.017431e-07,3.012630e-07,3.010258e-07,3.002399e-07,2.993904e-07,2.991059e-07,2.984820e-07,2.978718e-07,2.975192e-07,2.965476e-07,2.965062e-07,2.954471e-07,2.951429e-07,2.943458e-07,2.936662e-07,2.932058e-07,2.921257e-07,2.920305e-07,2.908231e-07,2.905290e-07,2.895868e-07,2.888829e-07,2.883244e-07,2.871940e-07,2.870386e-07,2.857320e-07,2.854684e-07,2.844069e-07,2.837114e-07,2.830658e-07,2.819283e-07,2.817106e-07,2.803435e-07,2.801238e-07,2.789664e-07,2.783023e-07,2.775809e-07,2.764677e-07,2.761889e-07,2.747918e-07,2.746239e-07,2.733911e-07,2.727741e-07,2.719883e-07,2.709215e-07,2.705847e-07,2.691813e-07,2.690691e-07,2.677794e-07,2.672193e-07,2.663801e-07,2.653747e-07,2.649842e-07,2.635928e-07,2.635373e-07,2.622067e-07,2.617091e-07,2.608266e-07,2.598920e-07,2.594534e-07,2.580876e-07,2.562973e-07,2.545226e-07,2.527644e-07,2.510240e-07,2.493023e-07,2.476000e-07,2.459180e-07,2.442569e-07,2.426171e-07,2.409993e-07,2.394037e-07,2.378308e-07,2.362808e-07,2.347538e-07,2.332501e-07,2.317698e-07,2.303129e-07,2.288794e-07,2.274694e-07,2.260828e-07,2.247195e-07,2.233794e-07,2.220624e-07,2.207683e-07
0.000000e+00,5.294363e-11,1.977568e-10,1.365415e-09,4.795912e-09,8.455830e-09,2.816379e-08,2.939446e-08,7.482740e-08,9.357785e-08,1.569921e-07,2.293679e-07,2.890297e-07,4.660941e-07,4.843569e-07,7.555704e-07,8.331646e-07,1.113002e-06,1.353662e-06,1.563937e-06,2.041703e-06,2.112835e-06,2.761963e-06,2.903895e-06,3.511930e-06,3.941566e-06,4.361988e-06,5.151969e-06,5.310150e-06,6.353225e-06,6.528649e-06,7.486839e-06,8.061554e-06,8.705470e-06,9.737194e-06,1.000253e-05,1.137049e-05,1.153902e-05,1.280101e-05,1.344798e-05,1.428516e-05,1.544322e-05,1.581357e-05,1.737665e-05,1.750290e-05,1.896479e-05,1.960494e-05,2.056854e-05,2.172775e-05,2.217875e-05,2.378672e-05,2.385087e-05,2.538432e-05,2.595545e-05,2.696406e-05,2.802460e-05,2.851918e-05,3.004364e-05,3.153216e-05,3.200014e-05,3.298023e-05,3.388397e-05,3.438404e-05,3.568719e-05,3.574050e-05,3.704718e-05,3.740386e-05,3.830222e-05,3.902990e-05,3.950434e-05,4.056287e-05,4.065276e-05,4.174711e-05,4.200171e-05,4.278745e-05,4.334656e-05,4.377413e-05,4.459854e-05,4.470781e-05,4.558940e-05,4.575956e-05,4.642000e-05,4.683216e-05,4.720085e-05,4.781934e-05,4.793335e-05,4.861900e-05,4.872446e-05,4.925934e-05,4.955109e-05,4.985600e-05,5.030297e-05,5.041061e-05,5.092483e-05,5.098391e-05,5.140033e-05,5.159770e-05,5.183874e-05,5.214813e-05,5.224170e-05,5.261080e-05,5.263891e-05,5.294760e-05,5.307363e-05,5.325364e-05,5.345577e-05,5.353040e-05,5.377930e-05,5.378869e-05,5.400174e-05,5.407559e-05,5.419904e-05,5.431952e-05,5.437252e-05,5.452338e-05,5.465284e-05,5.468993e-05,5.476201e-05,5.482175e-05,5.485200e-05,5.492131e-05,5.492385e-05,5.497854e-05,5.499091e-05,5.501704e-05,5.503275e-05,5.504025e-05,5.504885e-05,5.504904e-05,5.504423e-05,5.504115e-05,5.502662e-05,5.501143e-05,5.499693e-05,5.496140e-05,5.495590e-05,5.490420e-05,5.489264e-05,5.484247e-05,5.480662e-05,5.477133e-05,5.470472e-05,5.469136e-05,5.460311e-05,5.458826e-05,5.450711e-05,5.445843e-05,5.440387e-05,5.431637e-05,5.429385e-05,5.417750e-05,5.416314e-05,5.405526e-05,5.399972e-05,5.392754e-05,5.382703e-05,5.379471e-05,5.365715e-05,5.364595e-05,5.351520e-05,5.345726e-05,5.336918e-05,5.326172e-05,5.321943e-05,5.306622e-05,5.306002e-05,5.290984e-05,5.285282e-05,5.275056e-05,5.264072e-05,5.258863e-05,5.242428e-05,5.220404e-05,5.198048e-05,5.175405e-05,5.152518e-05,5.129427e-05,5.106168e-05,5.082775e-05,5.059279e-05,5.035710e-05,5.012095e-05,4.988459e-05,4.964825e-05,4.941215e-05,4.917649e-05,4.894146e-05,4.870721e-05,4.847391e-05,4.824170e-05,4.801072e-05,4.778108e-05,4.755290e-05,4.732628e-05,4.710131e-05,4.687807e-05
0.000000e+00,2.340044e-10,6.215427e-10,2.516169e-09,6.197051e-09,9.323849e-09,2.244161e-08,2.316377e-08,4.682820e-08,5.565179e-08,8.362107e-08,1.135059e-07,1.371128e-07,2.032354e-07,2.097667e-07,3.014530e-07,3.260814e-07,4.101828e-07,4.776885e-07,5.337825e-07,6.534558e-07,6.705069e-07,8.189374e-07,8.499140e-07,9.777816e-07,1.064069e-06,1.145748e-06,1.292910e-06,1.321495e-06,1.503622e-06,1.533259e-06,1.690695e-06,1.781824e-06,1.881277e-06,2.035322e-06,2.073962e-06,2.267410e-06,2.290615e-06,2.460371e-06,2.544823e-06,2.651710e-06,2.795415e-06,2.840415e-06,3.025606e-06,3.040246e-06,3.206536e-06,3.277572e-06,3.382585e-06,3.506033e-06,3.553254e-06,3.718155e-06,3.724627e-06,3.877000e-06,3.932660e-06,4.029586e-06,4.129704e-06,4.175790e-06,4.315554e-06,4.448880e-06,4.490191e-06,4.575815e-06,4.653736e-06,4.696441e-06,4.806411e-06,4.810870e-06,4.919231e-06,4.948504e-06,5.021671e-06,5.080360e-06,5.118353e-06,5.202369e-06,5.209456e-06,5.295168e-06,5.314957e-06,5.375676e-06,5.418559e-06,5.451173e-06,5.513620e-06,5.521854e-06,5.587913e-06,5.600588e-06,5.649550e-06,5.679924e-06,5.706979e-06,5.752116e-06,5.760401e-06,5.809980e-06,5.817568e-06,5.855894e-06,5.876680e-06,5.898308e-06,5.929826e-06,5.937380e-06,5.973267e-06,5.977366e-06,6.006119e-06,6.019649e-06,6.036080e-06,6.057002e-06,6.063288e-06,6.087876e-06,6.089734e-06,6.109972e-06,6.118140e-06,6.129699e-06,6.142502e-06,6.147174e-06,6.162512e-06,6.163083e-06,6.175820e-06,6.180135e-06,6.187203e-06,6.193893e-06,6.196758e-06,6.204581e-06,6.210763e-06,6.212408e-06,6.215389e-06,6.217573e-06,6.218544e-06,6.220262e-06,6.220306e-06,6.220752e-06,6.220650e-06,6.219953e-06,6.218905e-06,6.217978e-06,6.215179e-06,6.214893e-06,6.210762e-06,6.209621e-06,6.205644e-06,6.202368e-06,6.199595e-06,6.193547e-06,6.192672e-06,6.184925e-06,6.183282e-06,6.176405e-06,6.171684e-06,6.167158e-06,6.158863e-06,6.157230e-06,6.146664e-06,6.144917e-06,6.135500e-06,6.129940e-06,6.123777e-06,6.114021e-06,6.111533e-06,6.098802e-06,6.097243e-06,6.085619e-06,6.079683e-06,6.072014e-06,6.061413e-06,6.058020e-06,6.043664e-06,6.042501e-06,6.028975e-06,6.023011e-06,6.013978e-06,6.003003e-06,5.998698e-06,5.983159e-06,5.982532e-06,5.967383e-06,5.961651e-06,5.951393e-06,5.940407e-06,5.935208e-06,5.918847e-06,5.897013e-06,5.874945e-06,5.852680e-06,5.830252e-06,5.807694e-06,5.785036e-06,5.762305e-06,5.739528e-06,5.716729e-06,5.693931e-06,5.671154e-06,5.648418e-06,5.625741e-06,5.603140e-06,5.580629e-06,5.558224e-06,5.535936e-06,5.513779e-06,5.491763e-06,5.469899e-06,5.448195e-06,5.426661e-06,5.405305e-06,5.384132e-06
0.000000e+00,3.992806e-11,9.365390e-11,3.255111e-10,7.342139e-10,1.062483e-09,2.346710e-09,2.414409e-09,4.523155e-09,5.267769e-09,7.525387e-09,9.814051e-09,1.156215e-08,1.631245e-08,1.677598e-08,2.328445e-08,2.504559e-08,3.111950e-08,3.604681e-08,4.015395e-08,4.886323e-08,5.009096e-08,6.055584e-08,6.268091e-08,7.121023e-08,7.673887e-08,8.180433e-08,9.053361e-08,9.217239e-08,1.022083e-07,1.037783e-07,1.118434e-07,1.163117e-07,1.210315e-07,1.280385e-07,1.297408e-07,1.379497e-07,1.389004e-07,1.456447e-07,1.488659e-07,1.528199e-07,1.579255e-07,1.594759e-07,1.656201e-07,1.660899e-07,1.712651e-07,1.733871e-07,1.764284e-07,1.798596e-07,1.811314e-07,1.853986e-07,1.855606e-07,1.892560e-07,1.905497e-07,1.927312e-07,1.948903e-07,1.958520e-07,1.986459e-07,2.011398e-07,2.018786e-07,2.033591e-07,2.046468e-07,2.053283e-07,2.070044e-07,2.070699e-07,2.086050e-07,2.090005e-07,2.099527e-07,2.106788e-07,2.111307e-07,2.120782e-07,2.121548e-07,2.130395e-07,2.132325e-07,2.137977e-07,2.141714e-07,2.144410e-07,2.149203e-07,2.149798e-07,2.154234e-07,2.155014e-07,2.157801e-07,2.159337e-07,2.160572e-07,2.162336e-07,2.162617e-07,2.163993e-07,2.164155e-07,2.164756e-07,2.164918e-07,2.164952e-07,2.164731e-07,2.164626e-07,2.163816e-07,2.163688e-07,2.162558e-07,2.161871e-07,2.160885e-07,2.159353e-07,2.158825e-07,2.156406e-07,2.156198e-07,2.153652e-07,2.152462e-07,2.150586e-07,2.148197e-07,2.147228e-07,2.143599e-07,2.143448e-07,2.139715e-07,2.138258e-07,2.135594e-07,2.132664e-07,2.131251e-07,2.126700e-07,2.121955e-07,2.120398e-07,2.117029e-07,2.113787e-07,2.111934e-07,2.106893e-07,2.106680e-07,2.101279e-07,2.099742e-07,2.095741e-07,2.092355e-07,2.090074e-07,2.084755e-07,2.084288e-07,2.078390e-07,2.076960e-07,2.072390e-07,2.068988e-07,2.066295e-07,2.060858e-07,2.060112e-07,2.053846e-07,2.052584e-07,2.047506e-07,2.044182e-07,2.041097e-07,2.035665e-07,2.034625e-07,2.028096e-07,2.027046e-07,2.021514e-07,2.018337e-07,2.014884e-07,2.009550e-07,2.008212e-07,2.001502e-07,2.000694e-07,1.994758e-07,1.991781e-07,1.987984e-07,1.982819e-07,1.981185e-07,1.974363e-07,1.973816e-07,1.967522e-07,1.964782e-07,1.960667e-07,1.955723e-07,1.953799e-07,1.946922e-07,1.946647e-07,1.940039e-07,1.937560e-07,1.933152e-07,1.928468e-07,1.926265e-07,1.919379e-07,1.910296e-07,1.901225e-07,1.892171e-07,1.883139e-07,1.874132e-07,1.865155e-07,1.856211e-07,1.847304e-07,1.838436e-07,1.829611e-07,1.820832e-07,1.812101e-07,1.803420e-07,1.794792e-07,1.786218e-07,1.777702e-07,1.769243e-07,1.760845e-07,1.752507e-07,1.744233e-07,1.736023e-07,1.727877e-07,1.719798e-07,1.711786e-07
0.000000e+00,6.592258e-12,1.501474e-11,5.105179e-11,1.150286e-10,1.670206e-10,3.753006e-10,3.864809e-10,7.436107e-10,8.734561e-10,1.277098e-09,1.698137e-09,2.024675e-09,2.914806e-09,3.000903e-09,4.177826e-09,4.484547e-09,5.505181e-09,6.297262e-09,6.938931e-09,8.262919e-09,8.446942e-09,1.000461e-08,1.032023e-08,1.159106e-08,1.242107e-08,1.318744e-08,1.452336e-08,1.477643e-08,1.634233e-08,1.658978e-08,1.787133e-08,1.858864e-08,1.935179e-08,2.049483e-08,2.077433e-08,2.213184e-08,2.229011e-08,2.341935e-08,2.396284e-08,2.463386e-08,2.550719e-08,2.577403e-08,2.683995e-08,2.692204e-08,2.783284e-08,2.820999e-08,2.875479e-08,2.937620e-08,2.960856e-08,3.039733e-08,3.042758e-08,3.112458e-08,3.137202e-08,3.179392e-08,3.221787e-08,3.240902e-08,3.297348e-08,3.349082e-08,3.364697e-08,3.396441e-08,3.424603e-08,3.439745e-08,3.477782e-08,3.479296e-08,3.515376e-08,3.524892e-08,3.548248e-08,3.566533e-08,3.578155e-08,3.603247e-08,3.605324e-08,3.629962e-08,3.635520e-08,3.652260e-08,3.663790e-08,3.672393e-08,3.688449e-08,3.690524e-08,3.706801e-08,3.709846e-08,3.721360e-08,3.728294e-08,3.734326e-08,3.744070e-08,3.745813e-08,3.755928e-08,3.757426e-08,3.764767e-08,3.768583e-08,3.772419e-08,3.777741e-08,3.778966e-08,3.784484e-08,3.785081e-08,3.789044e-08,3.790763e-08,3.792708e-08,3.794931e-08,3.795537e-08,3.797587e-08,3.797718e-08,3.798907e-08,3.799242e-08,3.799546e-08,3.799609e-08,3.799548e-08,3.798953e-08,3.798917e-08,3.797800e-08,3.797255e-08,3.796124e-08,3.794703e-08,3.793959e-08,3.791336e-08,3.788283e-08,3.787219e-08,3.784827e-08,3.782417e-08,3.780995e-08,3.776984e-08,3.776810e-08,3.772295e-08,3.770974e-08,3.767470e-08,3.764435e-08,3.762356e-08,3.757411e-08,3.756971e-08,3.751332e-08,3.749943e-08,3.745457e-08,3.742070e-08,3.739361e-08,3.733826e-08,3.733059e-08,3.726565e-08,3.725245e-08,3.719892e-08,3.716356e-08,3.713053e-08,3.707188e-08,3.706060e-08,3.698923e-08,3.697769e-08,3.691654e-08,3.688121e-08,3.684262e-08,3.678268e-08,3.676758e-08,3.669151e-08,3.668231e-08,3.661448e-08,3.658031e-08,3.653659e-08,3.647685e-08,3.645790e-08,3.637850e-08,3.637212e-08,3.629846e-08,3.626628e-08,3.621784e-08,3.615947e-08,3.613670e-08,3.605511e-08,3.605184e-08,3.597313e-08,3.594353e-08,3.589080e-08,3.583465e-08,3.580819e-08,3.572534e-08,3.561568e-08,3.550580e-08,3.539577e-08,3.528570e-08,3.517567e-08,3.506575e-08,3.495602e-08,3.484655e-08,3.473740e-08,3.462862e-08,3.452029e-08,3.441244e-08,3.430513e-08,3.419839e-08,3.409229e-08,3.398684e-08,3.388209e-08,3.377807e-08,3.367482e-08,3.357235e-08,3.347070e-08,3.336989e-08,3.326994e-08,3.317087e-08
0.000000e+00,9.490923e-11,3.457785e-10,2.271629e-09,7.642637e-09,1.317168e-08,4.147580e-08,4.319274e-08,1.043652e-07,1.287470e-07,2.088849e-07,2.972778e-07,3.683898e-07,5.730040e-07,5.936878e-07,8.946442e-07,9.791308e-07,1.279992e-06,1.535393e-06,1.756852e-06,2.255915e-06,2.329812e-06,2.999638e-06,3.144951e-06,3.762124e-06,4.192296e-06,4.607853e-06,5.372733e-06,5.523233e-06,6.492356e-06,6.651303e-06,7.498873e-06,7.990691e-06,8.527342e-06,9.356583e-06,9.563957e-06,1.059679e-05,1.071999e-05,1.161579e-05,1.205756e-05,1.261259e-05,1.335107e-05,1.358038e-05,1.451373e-05,1.458677e-05,1.540840e-05,1.575471e-05,1.626129e-05,1.684824e-05,1.707022e-05,1.783387e-05,1.786346e-05,1.855163e-05,1.879878e-05,1.922354e-05,1.965449e-05,1.985011e-05,2.043230e-05,2.097138e-05,2.113503e-05,2.146890e-05,2.176628e-05,2.192657e-05,2.233015e-05,2.234623e-05,2.272982e-05,2.283103e-05,2.307929e-05,2.327341e-05,2.339660e-05,2.366180e-05,2.368370e-05,2.394249e-05,2.400059e-05,2.417479e-05,2.429397e-05,2.438238e-05,2.454596e-05,2.456694e-05,2.473009e-05,2.476028e-05,2.487334e-05,2.494044e-05,2.499812e-05,2.508966e-05,2.510579e-05,2.519760e-05,2.521090e-05,2.527475e-05,2.530689e-05,2.533833e-05,2.538013e-05,2.538939e-05,2.542888e-05,2.543288e-05,2.545769e-05,2.546721e-05,2.547667e-05,2.548500e-05,2.548659e-05,2.548816e-05,2.548794e-05,2.548205e-05,2.547759e-05,2.546888e-05,2.545535e-05,2.544923e-05,2.542362e-05,2.542248e-05,2.539256e-05,2.538014e-05,2.535651e-05,2.532935e-05,2.531588e-05,2.527108e-05,2.522246e-05,2.520616e-05,2.517038e-05,2.513537e-05,2.511514e-05,2.505942e-05,2.505704e-05,2.499635e-05,2.497893e-05,2.493332e-05,2.489448e-05,2.486819e-05,2.480659e-05,2.480117e-05,2.473246e-05,2.471574e-05,2.466225e-05,2.462235e-05,2.459072e-05,2.452681e-05,2.451803e-05,2.444433e-05,2.442947e-05,2.436975e-05,2.433066e-05,2.429442e-05,2.423066e-05,2.421847e-05,2.414201e-05,2.412973e-05,2.406513e-05,2.402812e-05,2.398794e-05,2.392603e-05,2.391053e-05,2.383297e-05,2.382366e-05,2.375535e-05,2.372120e-05,2.367773e-05,2.361879e-05,2.360019e-05,2.352277e-05,2.351659e-05,2.344555e-05,2.341472e-05,2.336856e-05,2.331331e-05,2.329187e-05,2.321551e-05,2.321246e-05,2.313952e-05,2.311226e-05,2.306394e-05,2.301281e-05,2.298882e-05,2.291417e-05,2.281642e-05,2.271962e-05,2.262383e-05,2.252909e-05,2.243544e-05,2.234293e-05,2.225158e-05,2.216143e-05,2.207250e-05,2.198480e-05,2.189836e-05,2.181319e-05,2.172930e-05,2.164670e-05,2.156540e-05,2.148539e-05,2.140669e-05,2.132928e-05,2.125318e-05,2.117837e-05,2.110485e-05,2.103262e-05,2.096166e-05,2.089198e-05
0.000000e+00,1.768045e-10,5.496963e-10,2.741297e-09,7.554124e-09,1.187010e-08,3.081830e-08,3.188198e-08,6.717296e-08,8.043206e-08,1.225495e-07,1.676625e-07,2.034841e-07,3.058007e-07,3.161323e-07,4.669269e-07,5.094599e-07,6.615086e-07,7.908931e-07,9.028830e-07,1.152822e-06,1.189402e-06,1.514131e-06,1.582771e-06,1.866623e-06,2.057192e-06,2.235885e-06,2.552091e-06,2.612529e-06,2.989415e-06,3.049371e-06,3.361391e-06,3.537073e-06,3.724783e-06,4.007511e-06,4.076943e-06,4.415936e-06,4.455659e-06,4.740341e-06,4.878181e-06,5.049134e-06,5.272936e-06,5.341617e-06,5.617359e-06,5.638688e-06,5.876162e-06,5.974937e-06,6.118036e-06,6.281795e-06,6.343156e-06,6.551843e-06,6.559854e-06,6.744537e-06,6.810091e-06,6.921768e-06,7.033757e-06,7.084137e-06,7.232296e-06,7.366931e-06,7.407272e-06,7.488745e-06,7.560306e-06,7.598448e-06,7.693026e-06,7.696747e-06,7.784336e-06,7.807035e-06,7.861892e-06,7.903882e-06,7.930067e-06,7.985045e-06,7.989491e-06,8.040764e-06,8.051920e-06,8.084455e-06,8.105814e-06,8.121107e-06,8.147943e-06,8.151229e-06,8.175302e-06,8.179431e-06,8.193779e-06,8.201316e-06,8.207081e-06,8.214548e-06,8.215607e-06,8.219726e-06,8.219999e-06,8.219784e-06,8.218466e-06,8.216106e-06,8.210676e-06,8.208992e-06,8.198722e-06,8.197290e-06,8.185557e-06,8.178911e-06,8.169740e-06,8.156085e-06,8.151496e-06,8.131035e-06,8.129309e-06,8.108553e-06,8.099034e-06,8.084229e-06,8.065671e-06,8.058232e-06,8.030718e-06,8.029588e-06,8.001833e-06,7.991124e-06,7.971709e-06,7.950582e-06,7.940473e-06,7.908240e-06,7.875116e-06,7.864345e-06,7.841202e-06,7.819126e-06,7.806590e-06,7.772786e-06,7.771366e-06,7.735608e-06,7.725510e-06,7.699390e-06,7.677466e-06,7.662780e-06,7.628807e-06,7.625841e-06,7.588632e-06,7.579667e-06,7.551206e-06,7.530172e-06,7.513613e-06,7.480431e-06,7.475901e-06,7.438110e-06,7.430546e-06,7.400281e-06,7.380607e-06,7.362450e-06,7.330695e-06,7.324650e-06,7.286913e-06,7.280883e-06,7.249268e-06,7.231238e-06,7.211739e-06,7.181817e-06,7.174352e-06,7.137129e-06,7.132674e-06,7.100090e-06,7.083856e-06,7.063254e-06,7.035405e-06,7.026638e-06,6.990257e-06,6.987357e-06,6.954126e-06,6.939747e-06,6.918258e-06,6.892602e-06,6.882664e-06,6.847356e-06,6.845950e-06,6.812343e-06,6.799812e-06,6.777633e-06,6.754207e-06,6.743234e-06,6.709154e-06,6.664665e-06,6.620755e-06,6.577432e-06,6.534706e-06,6.492582e-06,6.451068e-06,6.410166e-06,6.369879e-06,6.330209e-06,6.291156e-06,6.252720e-06,6.214900e-06,6.177694e-06,6.141098e-06,6.105111e-06,6.069727e-06,6.034943e-06,6.000754e-06,5.967155e-06,5.934139e-06,5.901702e-06,5.869837e-06,5.838537e-06,5.807796e-06
0.000000e+00,1.525625e-11,3.506529e-11,1.209680e-10,2.754439e-10,4.019166e-10,9.121239e-10,9.395914e-10,1.817686e-09,2.136732e-09,3.127267e-09,4.160837e-09,4.965864e-09,7.197701e-09,7.417637e-09,1.051709e-08,1.135565e-08,1.424213e-08,1.658460e-08,1.854765e-08,2.278311e-08,2.339163e-08,2.873968e-08,2.986708e-08,3.456130e-08,3.776562e-08,4.082586e-08,4.640621e-08,4.750016e-08,5.454725e-08,5.570669e-08,6.192618e-08,6.557298e-08,6.959241e-08,7.590043e-08,7.749848e-08,8.559497e-08,8.657696e-08,9.383155e-08,9.748705e-08,1.021580e-07,1.085158e-07,1.105251e-07,1.188856e-07,1.195529e-07,1.271952e-07,1.304954e-07,1.354126e-07,1.412508e-07,1.435003e-07,1.514249e-07,1.517381e-07,1.591572e-07,1.618888e-07,1.666719e-07,1.716468e-07,1.739480e-07,1.809684e-07,1.877196e-07,1.898215e-07,1.941917e-07,1.981841e-07,2.003779e-07,2.060437e-07,2.062739e-07,2.118784e-07,2.133955e-07,2.171920e-07,2.202414e-07,2.222171e-07,2.265889e-07,2.269578e-07,2.314197e-07,2.324497e-07,2.356091e-07,2.378390e-07,2.395336e-07,2.427743e-07,2.432012e-07,2.466204e-07,2.472753e-07,2.498003e-07,2.513624e-07,2.527501e-07,2.550569e-07,2.554790e-07,2.579965e-07,2.583803e-07,2.603118e-07,2.613541e-07,2.624342e-07,2.639993e-07,2.643728e-07,2.661364e-07,2.663366e-07,2.677336e-07,2.683859e-07,2.691728e-07,2.701660e-07,2.704622e-07,2.716093e-07,2.716952e-07,2.726219e-07,2.729909e-07,2.735071e-07,2.740695e-07,2.742719e-07,2.749227e-07,2.749465e-07,2.754661e-07,2.756365e-07,2.759079e-07,2.761533e-07,2.762540e-07,2.765098e-07,2.766806e-07,2.767181e-07,2.767714e-07,2.767896e-07,2.767867e-07,2.767348e-07,2.767313e-07,2.766092e-07,2.765636e-07,2.764246e-07,2.762854e-07,2.761812e-07,2.759086e-07,2.758828e-07,2.755327e-07,2.754414e-07,2.751343e-07,2.748912e-07,2.746906e-07,2.742651e-07,2.742046e-07,2.736791e-07,2.735695e-07,2.731167e-07,2.728105e-07,2.725198e-07,2.719936e-07,2.718910e-07,2.712323e-07,2.711243e-07,2.705460e-07,2.702073e-07,2.698340e-07,2.692471e-07,2.690982e-07,2.683404e-07,2.682481e-07,2.675624e-07,2.672140e-07,2.667657e-07,2.661486e-07,2.659518e-07,2.651223e-07,2.650553e-07,2.642783e-07,2.639371e-07,2.634214e-07,2.627970e-07,2.625526e-07,2.616731e-07,2.616377e-07,2.607839e-07,2.604617e-07,2.598862e-07,2.592714e-07,2.589809e-07,2.580689e-07,2.568563e-07,2.556354e-07,2.544080e-07,2.531756e-07,2.519397e-07,2.507017e-07,2.494629e-07,2.482245e-07,2.469875e-07,2.457529e-07,2.445217e-07,2.432946e-07,2.420726e-07,2.408563e-07,2.396464e-07,2.384434e-07,2.372480e-07,2.360606e-07,2.348817e-07,2.337118e-07,2.325511e-07,2.314002e-07,2.302591e-07,2.291284e-07
0.000000e+00,1.823350e-10,7.087023e-10,5.305611e-09,2.002215e-08,3.668931e-08,1.345976e-07,1.410188e-07,3.932109e-07,5.036293e-07,8.956415e-07,1.369176e-06,1.775438e-06,3.045189e-06,3.180741e-06,5.275790e-06,5.900394e-06,8.233358e-06,1.033015e-05,1.222323e-05,1.671058e-05,1.739870e-05,2.388557e-05,2.534904e-05,3.177585e-05,3.645343e-05,4.112547e-05,5.012269e-05,5.195458e-05,6.424915e-05,6.634964e-05,7.796345e-05,8.502977e-05,9.302310e-05,1.059732e-04,1.093284e-04,1.267583e-04,1.289190e-04,1.451740e-04,1.535505e-04,1.644239e-04,1.795128e-04,1.843470e-04,2.047776e-04,2.064289e-04,2.255490e-04,2.339161e-04,2.464972e-04,2.616001e-04,2.674638e-04,2.882992e-04,2.891279e-04,3.088641e-04,3.161764e-04,3.290315e-04,3.424599e-04,3.486881e-04,3.677343e-04,3.860852e-04,3.917986e-04,4.036698e-04,4.144949e-04,4.204311e-04,4.357066e-04,4.363253e-04,4.513208e-04,4.553555e-04,4.653973e-04,4.733976e-04,4.785449e-04,4.898193e-04,4.907627e-04,5.020579e-04,5.046329e-04,5.124447e-04,5.178717e-04,5.219430e-04,5.295864e-04,5.305779e-04,5.383782e-04,5.398408e-04,5.453758e-04,5.487087e-04,5.516052e-04,5.562705e-04,5.571024e-04,5.619044e-04,5.626107e-04,5.660490e-04,5.678159e-04,5.695738e-04,5.719727e-04,5.725164e-04,5.749137e-04,5.751664e-04,5.768017e-04,5.774801e-04,5.782153e-04,5.789934e-04,5.791886e-04,5.797537e-04,5.797823e-04,5.799420e-04,5.799184e-04,5.797828e-04,5.794689e-04,5.793043e-04,5.785332e-04,5.784966e-04,5.774944e-04,5.770595e-04,5.762115e-04,5.752112e-04,5.747068e-04,5.730010e-04,5.711134e-04,5.704740e-04,5.690622e-04,5.676714e-04,5.668642e-04,5.646306e-04,5.645351e-04,5.620895e-04,5.613857e-04,5.595408e-04,5.579674e-04,5.569016e-04,5.544035e-04,5.541834e-04,5.513968e-04,5.507190e-04,5.485518e-04,5.469364e-04,5.456573e-04,5.430759e-04,5.427218e-04,5.397528e-04,5.391556e-04,5.367574e-04,5.351915e-04,5.337421e-04,5.311981e-04,5.307127e-04,5.276747e-04,5.271881e-04,5.246330e-04,5.231729e-04,5.215920e-04,5.191625e-04,5.185559e-04,5.155284e-04,5.151658e-04,5.125128e-04,5.111906e-04,5.095123e-04,5.072437e-04,5.065296e-04,5.035672e-04,5.033311e-04,5.006273e-04,4.994581e-04,4.977120e-04,4.956292e-04,4.948230e-04,4.919620e-04,4.918482e-04,4.891304e-04,4.881184e-04,4.863293e-04,4.844427e-04,4.835600e-04,4.808233e-04,4.772623e-04,4.737613e-04,4.703214e-04,4.669438e-04,4.636290e-04,4.603777e-04,4.571900e-04,4.540661e-04,4.510059e-04,4.480092e-04,4.450758e-04,4.422051e-04,4.393966e-04,4.366497e-04,4.339638e-04,4.313380e-04,4.287716e-04,4.262636e-04,4.238133e-04,4.214197e-04,4.190817e-04,4.167985e-04,4.145691e-04,4.123924e-04
0.000000e+00,2.219463e-10,5.933851e-10,2.415036e-09,5.943861e-09,8.924615e-09,2.125728e-08,2.192844e-08,4.351831e-08,5.138708e-08,7.579807e-08,1.011972e-07,1.209350e-07,1.756481e-07,1.810529e-07,2.577553e-07,2.786978e-07,3.512956e-07,4.105514e-07,4.602453e-07,5.670090e-07,5.822604e-07,7.149962e-07,7.426456e-07,8.564190e-07,9.327952e-07,1.004752e-06,1.133501e-06,1.158370e-06,1.315734e-06,1.341161e-06,1.475376e-06,1.552401e-06,1.635904e-06,1.764090e-06,1.796023e-06,1.954550e-06,1.973415e-06,2.110434e-06,2.177945e-06,2.262760e-06,2.375667e-06,2.410755e-06,2.553785e-06,2.564997e-06,2.691350e-06,2.744757e-06,2.823070e-06,2.914134e-06,2.948676e-06,3.067996e-06,3.072636e-06,3.180943e-06,3.220038e-06,3.287501e-06,3.356330e-06,3.387713e-06,3.481671e-06,3.569508e-06,3.596348e-06,3.651384e-06,3.700741e-06,3.727484e-06,3.795293e-06,3.798010e-06,3.863176e-06,3.880492e-06,3.923203e-06,3.956845e-06,3.978315e-06,4.024873e-06,4.028740e-06,4.074701e-06,4.085093e-06,4.116421e-06,4.138013e-06,4.154117e-06,4.184128e-06,4.188000e-06,4.218277e-06,4.223918e-06,4.245147e-06,4.257837e-06,4.268802e-06,4.286323e-06,4.289426e-06,4.307196e-06,4.309786e-06,4.322282e-06,4.328617e-06,4.334845e-06,4.343183e-06,4.345040e-06,4.353014e-06,4.353829e-06,4.358908e-06,4.360876e-06,4.362854e-06,4.364629e-06,4.364980e-06,4.365405e-06,4.365369e-06,4.364245e-06,4.363361e-06,4.361606e-06,4.358848e-06,4.357591e-06,4.352299e-06,4.352062e-06,4.345819e-06,4.343212e-06,4.338239e-06,4.332498e-06,4.329641e-06,4.320102e-06,4.309695e-06,4.306193e-06,4.298490e-06,4.290930e-06,4.286552e-06,4.274458e-06,4.273941e-06,4.260716e-06,4.256911e-06,4.246932e-06,4.238414e-06,4.232639e-06,4.219082e-06,4.217886e-06,4.202718e-06,4.199021e-06,4.187179e-06,4.178329e-06,4.171307e-06,4.157096e-06,4.155141e-06,4.138717e-06,4.135404e-06,4.122067e-06,4.113331e-06,4.105223e-06,4.090945e-06,4.088213e-06,4.071066e-06,4.068311e-06,4.053806e-06,4.045488e-06,4.036457e-06,4.022530e-06,4.019043e-06,4.001583e-06,3.999485e-06,3.984097e-06,3.976399e-06,3.966603e-06,3.953312e-06,3.949118e-06,3.931658e-06,3.930262e-06,3.914237e-06,3.907283e-06,3.896869e-06,3.884404e-06,3.879566e-06,3.862341e-06,3.861653e-06,3.845203e-06,3.839057e-06,3.828163e-06,3.816636e-06,3.811229e-06,3.794411e-06,3.772401e-06,3.750620e-06,3.729083e-06,3.707804e-06,3.686791e-06,3.666056e-06,3.645606e-06,3.625448e-06,3.605589e-06,3.586032e-06,3.566783e-06,3.547843e-06,3.529216e-06,3.510903e-06,3.492904e-06,3.475221e-06,3.457853e-06,3.440798e-06,3.424057e-06,3.407627e-06,3.391507e-06,3.375693e-06,3.360185e-06,3.344978e-06
0.000000e+00,9.774032e-11,3.705027e-10,2.633525e-09,9.481211e-09,1.693251e-08,5.816259e-08,6.077604e-08,1.589878e-07,2.001997e-07,3.414038e-07,5.049833e-07,6.412405e-07,1.051327e-06,1.094047e-06,1.736871e-06,1.923575e-06,2.606755e-06,3.205897e-06,3.737301e-06,4.967288e-06,5.152591e-06,6.860112e-06,7.235886e-06,8.846587e-06,9.979536e-06,1.107918e-05,1.311077e-05,1.351108e-05,1.608838e-05,1.651054e-05,1.875612e-05,2.005337e-05,2.146255e-05,2.362435e-05,2.416157e-05,2.681376e-05,2.712726e-05,2.938660e-05,3.048662e-05,3.185420e-05,3.364672e-05,3.419663e-05,3.639933e-05,3.656919e-05,3.845240e-05,3.923028e-05,4.034994e-05,4.161835e-05,4.208947e-05,4.367136e-05,4.373139e-05,4.509831e-05,4.557492e-05,4.637492e-05,4.716016e-05,4.750721e-05,4.850233e-05,4.936818e-05,4.961931e-05,5.011313e-05,5.053042e-05,5.074580e-05,5.125557e-05,5.127485e-05,5.170884e-05,5.181446e-05,5.205607e-05,5.222609e-05,5.232450e-05,5.250837e-05,5.252169e-05,5.265476e-05,5.267790e-05,5.273033e-05,5.274984e-05,5.275454e-05,5.273785e-05,5.273304e-05,5.267100e-05,5.265415e-05,5.257314e-05,5.250953e-05,5.244374e-05,5.231351e-05,5.228666e-05,5.210541e-05,5.207438e-05,5.190312e-05,5.179938e-05,5.168260e-05,5.149477e-05,5.144638e-05,5.119671e-05,5.116594e-05,5.093560e-05,5.081756e-05,5.066486e-05,5.045363e-05,5.038607e-05,5.010066e-05,5.007758e-05,4.980990e-05,4.969235e-05,4.951491e-05,4.930046e-05,4.921668e-05,4.891611e-05,4.890405e-05,4.861398e-05,4.850497e-05,4.831099e-05,4.810478e-05,4.800775e-05,4.770482e-05,4.740267e-05,4.730623e-05,4.710175e-05,4.690997e-05,4.680241e-05,4.651687e-05,4.650501e-05,4.620984e-05,4.612762e-05,4.591714e-05,4.574282e-05,4.562716e-05,4.536294e-05,4.534008e-05,4.505609e-05,4.498840e-05,4.477532e-05,4.461955e-05,4.449792e-05,4.425667e-05,4.422398e-05,4.395361e-05,4.389997e-05,4.368689e-05,4.354965e-05,4.342387e-05,4.320585e-05,4.316462e-05,4.290917e-05,4.286866e-05,4.265757e-05,4.253816e-05,4.240982e-05,4.221442e-05,4.216595e-05,4.192598e-05,4.189744e-05,4.168989e-05,4.158724e-05,4.145768e-05,4.128380e-05,4.122935e-05,4.100488e-05,4.098709e-05,4.078425e-05,4.069707e-05,4.056744e-05,4.041370e-05,4.035443e-05,4.014518e-05,4.013689e-05,3.993967e-05,3.986659e-05,3.973786e-05,3.960272e-05,3.953971e-05,3.934518e-05,3.909389e-05,3.884874e-05,3.860964e-05,3.837649e-05,3.814917e-05,3.792758e-05,3.771161e-05,3.750114e-05,3.729607e-05,3.709629e-05,3.690167e-05,3.671211e-05,3.652750e-05,3.634773e-05,3.617268e-05,3.600224e-05,3.583631e-05,3.567479e-05,3.551755e-05,3.536451e-05,3.521555e-05,3.507058e-05,3.492950e-05,3.479221e-05
0.000000e+00,3.257040e-10,1.179883e-09,7.673245e-09,2.562992e-08,4.403340e-08,1.379188e-07,1.436094e-07,3.466494e-07,4.278310e-07,6.959346e-07,9.940336e-07,1.235660e-06,1.939450e-06,2.011262e-06,3.068331e-06,3.368708e-06,4.448396e-06,5.374091e-06,6.181061e-06,8.006172e-06,8.276637e-06,1.072502e-05,1.125500e-05,1.350098e-05,1.506305e-05,1.657126e-05,1.935138e-05,1.989981e-05,2.345050e-05,2.403685e-05,2.718804e-05,2.903835e-05,3.107824e-05,3.427797e-05,3.508791e-05,3.918503e-05,3.968109e-05,4.333893e-05,4.517709e-05,4.752056e-05,5.070039e-05,5.170282e-05,5.586080e-05,5.619170e-05,5.997205e-05,6.159892e-05,6.401665e-05,6.687766e-05,6.797727e-05,7.183914e-05,7.199138e-05,7.558993e-05,7.691103e-05,7.921965e-05,8.161458e-05,8.272039e-05,8.608620e-05,8.931285e-05,9.031550e-05,9.239761e-05,9.429670e-05,9.533907e-05,9.802778e-05,9.813694e-05,1.007919e-04,1.015098e-04,1.033053e-04,1.047464e-04,1.056794e-04,1.077428e-04,1.079168e-04,1.100205e-04,1.105059e-04,1.119940e-04,1.130437e-04,1.138410e-04,1.153646e-04,1.155652e-04,1.171707e-04,1.174779e-04,1.186615e-04,1.193928e-04,1.200419e-04,1.211190e-04,1.213158e-04,1.224875e-04,1.226658e-04,1.235611e-04,1.240427e-04,1.245405e-04,1.252589e-04,1.254298e-04,1.262328e-04,1.263235e-04,1.269534e-04,1.272453e-04,1.275953e-04,1.280327e-04,1.281621e-04,1.286573e-04,1.286939e-04,1.290844e-04,1.292369e-04,1.294467e-04,1.296691e-04,1.297473e-04,1.299894e-04,1.299979e-04,1.301759e-04,1.302300e-04,1.303098e-04,1.303722e-04,1.303938e-04,1.304307e-04,1.304229e-04,1.304114e-04,1.303730e-04,1.303200e-04,1.302833e-04,1.301620e-04,1.301562e-04,1.299939e-04,1.299424e-04,1.297984e-04,1.296660e-04,1.295717e-04,1.293374e-04,1.293159e-04,1.290328e-04,1.289609e-04,1.287241e-04,1.285407e-04,1.283915e-04,1.280804e-04,1.280367e-04,1.276612e-04,1.275837e-04,1.272665e-04,1.270541e-04,1.268540e-04,1.264948e-04,1.264251e-04,1.259810e-04,1.259086e-04,1.255230e-04,1.252986e-04,1.250522e-04,1.246672e-04,1.245698e-04,1.240768e-04,1.240170e-04,1.235743e-04,1.233503e-04,1.230630e-04,1.226693e-04,1.225441e-04,1.220183e-04,1.219760e-04,1.214865e-04,1.212723e-04,1.209495e-04,1.205599e-04,1.204079e-04,1.198624e-04,1.198405e-04,1.193138e-04,1.191157e-04,1.187627e-04,1.183868e-04,1.182096e-04,1.176551e-04,1.169218e-04,1.161882e-04,1.154552e-04,1.147238e-04,1.139948e-04,1.132691e-04,1.125474e-04,1.118305e-04,1.111188e-04,1.104130e-04,1.097136e-04,1.090210e-04,1.083357e-04,1.076580e-04,1.069882e-04,1.063267e-04,1.056737e-04,1.050295e-04,1.043941e-04,1.037679e-04,1.031509e-04,1.025432e-04,1.019449e-04,1.013562e-04
0.000000e+00,7.497696e-11,2.866272e-10,2.074115e-09,7.594716e-09,1.369488e-08,4.830501e-08,5.053293e-08,1.361540e-07,1.729461e-07,3.019079e-07,4.558727e-07,5.872129e-07,9.960692e-07,1.039652e-06,1.712242e-06,1.912220e-06,2.655246e-06,3.315925e-06,3.905367e-06,5.273146e-06,5.479139e-06,7.373059e-06,7.788784e-06,9.567894e-06,1.081857e-05,1.203400e-05,1.428932e-05,1.473592e-05,1.763564e-05,1.811538e-05,2.069476e-05,2.220866e-05,2.387569e-05,2.648387e-05,2.714241e-05,3.046083e-05,3.086098e-05,3.379903e-05,3.526639e-05,3.712743e-05,3.963372e-05,4.041898e-05,4.364929e-05,4.390441e-05,4.679675e-05,4.802824e-05,4.984261e-05,5.196370e-05,5.277101e-05,5.556901e-05,5.567806e-05,5.822643e-05,5.914718e-05,6.073583e-05,6.235504e-05,6.309224e-05,6.529299e-05,6.733749e-05,6.795888e-05,6.922693e-05,7.035601e-05,7.096406e-05,7.249214e-05,7.255291e-05,7.399853e-05,7.437842e-05,7.530680e-05,7.602852e-05,7.648420e-05,7.745774e-05,7.753761e-05,7.847416e-05,7.868234e-05,7.930108e-05,7.971897e-05,8.002560e-05,8.058412e-05,8.065483e-05,8.119572e-05,8.129389e-05,8.165494e-05,8.186360e-05,8.203891e-05,8.230774e-05,8.235370e-05,8.260507e-05,8.263977e-05,8.279841e-05,8.287210e-05,8.293878e-05,8.301609e-05,8.303086e-05,8.307904e-05,8.308207e-05,8.308736e-05,8.307935e-05,8.305953e-05,8.301633e-05,8.299899e-05,8.290890e-05,8.290050e-05,8.279213e-05,8.273856e-05,8.265134e-05,8.253646e-05,8.248895e-05,8.230716e-05,8.229951e-05,8.210801e-05,8.203242e-05,8.189333e-05,8.173934e-05,8.166481e-05,8.142398e-05,8.117224e-05,8.108959e-05,8.091087e-05,8.073907e-05,8.064103e-05,8.037500e-05,8.036378e-05,8.008009e-05,7.999962e-05,7.979084e-05,7.961496e-05,7.949684e-05,7.922279e-05,7.919882e-05,7.889745e-05,7.882469e-05,7.859335e-05,7.842207e-05,7.828707e-05,7.801615e-05,7.797913e-05,7.766999e-05,7.760806e-05,7.736008e-05,7.719876e-05,7.704979e-05,7.678912e-05,7.673948e-05,7.642947e-05,7.637992e-05,7.612006e-05,7.597183e-05,7.581151e-05,7.556546e-05,7.550408e-05,7.519798e-05,7.516135e-05,7.489344e-05,7.475998e-05,7.459063e-05,7.436176e-05,7.428972e-05,7.399088e-05,7.396706e-05,7.369423e-05,7.357622e-05,7.339991e-05,7.318951e-05,7.310804e-05,7.281871e-05,7.280719e-05,7.253203e-05,7.242948e-05,7.224806e-05,7.205657e-05,7.196690e-05,7.168861e-05,7.132575e-05,7.096810e-05,7.061576e-05,7.026882e-05,6.992733e-05,6.959134e-05,6.926090e-05,6.893602e-05,6.861672e-05,6.830300e-05,6.799486e-05,6.769228e-05,6.739524e-05,6.710373e-05,6.681769e-05,6.653709e-05,6.626190e-05,6.599205e-05,6.572751e-05,6.546821e-05,6.521409e-05,6.496511e-05,6.472118e-05,6.448226e-05
0.000000e+00,2.445091e-10,7.117246e-10,3.229084e-09,8.419000e-09,1.292953e-08,3.208386e-08,3.313935e-08,6.743157e-08,8.002980e-08,1.192717e-07,1.602344e-07,1.921126e-07,2.806359e-07,2.893967e-07,4.143147e-07,4.486933e-07,5.691663e-07,6.692628e-07,7.545418e-07,9.418710e-07,9.690721e-07,1.210065e-06,1.261163e-06,1.474364e-06,1.619963e-06,1.758833e-06,2.011180e-06,2.060477e-06,2.376422e-06,2.428113e-06,2.703870e-06,2.864324e-06,3.040083e-06,3.313568e-06,3.382393e-06,3.728226e-06,3.769845e-06,4.075137e-06,4.227524e-06,4.420840e-06,4.681464e-06,4.763231e-06,5.100421e-06,5.127120e-06,5.430741e-06,5.560613e-06,5.752745e-06,5.978747e-06,6.065216e-06,6.367151e-06,6.378997e-06,6.657749e-06,6.759466e-06,6.936400e-06,7.118826e-06,7.202662e-06,7.456246e-06,7.696998e-06,7.771318e-06,7.924876e-06,8.063985e-06,8.139939e-06,8.334475e-06,8.342330e-06,8.532257e-06,8.583238e-06,8.709988e-06,8.810901e-06,8.875835e-06,9.018215e-06,9.030144e-06,9.173285e-06,9.206020e-06,9.305648e-06,9.375214e-06,9.427636e-06,9.526729e-06,9.539659e-06,9.642130e-06,9.661515e-06,9.735462e-06,9.780519e-06,9.820064e-06,9.884680e-06,9.896341e-06,9.964688e-06,9.974913e-06,1.002549e-05,1.005211e-05,1.007913e-05,1.011713e-05,1.012597e-05,1.016637e-05,1.017080e-05,1.020067e-05,1.021391e-05,1.022920e-05,1.024721e-05,1.025227e-05,1.027020e-05,1.027142e-05,1.028328e-05,1.028722e-05,1.029179e-05,1.029524e-05,1.029600e-05,1.029617e-05,1.029609e-05,1.029254e-05,1.029036e-05,1.028536e-05,1.027856e-05,1.027485e-05,1.026121e-05,1.024467e-05,1.023879e-05,1.022540e-05,1.021173e-05,1.020361e-05,1.018047e-05,1.017946e-05,1.015312e-05,1.014538e-05,1.012476e-05,1.010683e-05,1.009452e-05,1.006516e-05,1.006254e-05,1.002898e-05,1.002070e-05,9.993945e-06,9.973733e-06,9.957570e-06,9.924541e-06,9.919968e-06,9.881250e-06,9.873382e-06,9.841520e-06,9.820494e-06,9.800877e-06,9.766099e-06,9.759413e-06,9.717217e-06,9.710403e-06,9.674371e-06,9.653597e-06,9.630954e-06,9.595859e-06,9.587040e-06,9.542698e-06,9.537351e-06,9.497994e-06,9.478226e-06,9.452990e-06,9.418622e-06,9.407743e-06,9.362309e-06,9.358668e-06,9.316738e-06,9.298482e-06,9.271078e-06,9.238173e-06,9.225374e-06,9.179668e-06,9.177841e-06,9.134001e-06,9.117577e-06,9.088407e-06,9.057464e-06,9.042923e-06,8.997579e-06,8.937992e-06,8.878765e-06,8.819955e-06,8.761614e-06,8.703788e-06,8.646520e-06,8.589846e-06,8.533800e-06,8.478410e-06,8.423703e-06,8.369701e-06,8.316424e-06,8.263888e-06,8.212108e-06,8.161095e-06,8.110859e-06,8.061407e-06,8.012745e-06,7.964876e-06,7.917803e-06,7.871526e-06,7.826045e-06,7.781358e-06,7.737463e-06
0.000000e+00,9.752055e-11,2.334228e-10,8.414485e-10,1.955844e-09,2.874767e-09,6.591614e-09,6.791484e-09,1.314258e-08,1.542789e-08,2.244130e-08,2.963569e-08,3.516540e-08,5.027283e-08,5.175107e-08,7.256695e-08,7.822291e-08,9.785570e-08,1.139977e-07,1.276644e-07,1.575125e-07,1.618341e-07,2.000694e-07,2.081736e-07,2.420163e-07,2.651713e-07,2.872990e-07,3.276302e-07,3.355286e-07,3.863046e-07,3.946378e-07,4.392177e-07,4.652542e-07,4.938564e-07,5.385360e-07,5.498138e-07,6.066963e-07,6.135664e-07,6.641299e-07,6.894845e-07,7.217663e-07,7.655085e-07,7.792871e-07,8.364061e-07,8.409505e-07,8.928709e-07,9.152233e-07,9.484619e-07,9.878403e-07,1.002992e-06,1.056305e-06,1.058411e-06,1.108273e-06,1.126631e-06,1.158792e-06,1.192275e-06,1.207782e-06,1.255184e-06,1.300957e-06,1.315255e-06,1.345073e-06,1.372431e-06,1.387519e-06,1.426694e-06,1.428293e-06,1.467402e-06,1.478056e-06,1.504860e-06,1.526551e-06,1.540689e-06,1.572235e-06,1.574915e-06,1.607569e-06,1.615175e-06,1.638684e-06,1.655450e-06,1.668298e-06,1.693146e-06,1.696448e-06,1.723174e-06,1.728352e-06,1.748518e-06,1.761164e-06,1.772521e-06,1.791677e-06,1.795223e-06,1.816669e-06,1.819986e-06,1.836898e-06,1.846188e-06,1.855953e-06,1.870378e-06,1.873873e-06,1.890701e-06,1.892648e-06,1.906474e-06,1.913091e-06,1.921233e-06,1.931794e-06,1.935014e-06,1.947856e-06,1.948844e-06,1.959795e-06,1.964325e-06,1.970865e-06,1.978318e-06,1.981102e-06,1.990539e-06,1.990900e-06,1.999208e-06,2.002148e-06,2.007142e-06,2.012133e-06,2.014371e-06,2.020924e-06,2.026831e-06,2.028590e-06,2.032120e-06,2.035192e-06,2.036817e-06,2.040794e-06,2.040948e-06,2.044540e-06,2.045452e-06,2.047616e-06,2.049224e-06,2.050199e-06,2.052161e-06,2.052314e-06,2.053981e-06,2.054317e-06,2.055222e-06,2.055738e-06,2.056057e-06,2.056472e-06,2.056506e-06,2.056588e-06,2.056562e-06,2.056321e-06,2.056050e-06,2.055723e-06,2.054976e-06,2.054810e-06,2.053599e-06,2.053379e-06,2.052106e-06,2.051294e-06,2.050346e-06,2.048755e-06,2.048333e-06,2.046081e-06,2.045795e-06,2.043603e-06,2.042445e-06,2.040913e-06,2.038734e-06,2.038022e-06,2.034943e-06,2.034689e-06,2.031687e-06,2.030337e-06,2.028264e-06,2.025703e-06,2.024686e-06,2.020961e-06,2.020809e-06,2.017101e-06,2.015679e-06,2.013113e-06,2.010333e-06,2.009007e-06,2.004791e-06,1.999072e-06,1.993193e-06,1.987171e-06,1.981022e-06,1.974760e-06,1.968399e-06,1.961952e-06,1.955432e-06,1.948851e-06,1.942218e-06,1.935544e-06,1.928839e-06,1.922111e-06,1.915369e-06,1.908621e-06,1.901873e-06,1.895133e-06,1.888407e-06,1.881701e-06,1.875020e-06,1.868370e-06,1.861754e-06,1.855178e-06,1.848645e-06
0.000000e+00,1.536837e-12,3.516362e-12,1.208603e-11,2.750081e-11,4.013333e-11,9.119551e-11,9.394846e-11,1.821153e-10,2.142091e-10,3.139621e-10,4.180884e-10,4.991015e-10,7.226772e-10,7.446020e-10,1.051288e-09,1.133559e-09,1.414784e-09,1.641075e-09,1.829565e-09,2.233072e-09,2.290708e-09,2.793763e-09,2.899018e-09,3.334322e-09,3.628720e-09,3.907792e-09,4.411410e-09,4.509339e-09,5.133959e-09,5.235701e-09,5.776593e-09,6.089986e-09,6.432257e-09,6.962947e-09,7.096169e-09,7.763851e-09,7.844027e-09,8.431208e-09,8.723781e-09,9.094572e-09,9.594062e-09,9.750726e-09,1.039690e-08,1.044810e-08,1.103078e-08,1.128045e-08,1.165045e-08,1.208693e-08,1.225436e-08,1.284132e-08,1.286443e-08,1.341044e-08,1.361082e-08,1.396108e-08,1.432473e-08,1.449282e-08,1.500545e-08,1.549890e-08,1.565276e-08,1.597325e-08,1.626688e-08,1.642866e-08,1.684830e-08,1.686542e-08,1.728384e-08,1.739777e-08,1.768432e-08,1.791618e-08,1.806730e-08,1.840456e-08,1.843322e-08,1.878257e-08,1.886400e-08,1.911585e-08,1.929565e-08,1.943356e-08,1.970068e-08,1.973622e-08,2.002434e-08,2.008027e-08,2.029843e-08,2.043557e-08,2.055898e-08,2.076775e-08,2.080650e-08,2.104146e-08,2.107792e-08,2.126434e-08,2.136718e-08,2.147562e-08,2.163658e-08,2.167573e-08,2.186512e-08,2.188715e-08,2.204422e-08,2.211987e-08,2.221344e-08,2.233568e-08,2.237318e-08,2.252383e-08,2.253550e-08,2.266577e-08,2.272018e-08,2.279935e-08,2.289056e-08,2.292494e-08,2.304286e-08,2.304742e-08,2.315344e-08,2.319152e-08,2.325700e-08,2.332357e-08,2.335384e-08,2.344425e-08,2.352852e-08,2.355422e-08,2.360690e-08,2.365410e-08,2.367966e-08,2.374446e-08,2.374706e-08,2.380932e-08,2.382587e-08,2.386668e-08,2.389884e-08,2.391937e-08,2.396389e-08,2.396759e-08,2.401155e-08,2.402149e-08,2.405145e-08,2.407208e-08,2.408746e-08,2.411610e-08,2.411979e-08,2.414859e-08,2.415394e-08,2.417404e-08,2.418600e-08,2.419629e-08,2.421262e-08,2.421549e-08,2.423181e-08,2.423416e-08,2.424536e-08,2.425093e-08,2.425630e-08,2.426325e-08,2.426475e-08,2.427083e-08,2.427141e-08,2.427466e-08,2.427567e-08,2.427636e-08,2.427630e-08,2.427604e-08,2.427380e-08,2.427354e-08,2.426973e-08,2.426762e-08,2.426395e-08,2.425877e-08,2.425653e-08,2.424757e-08,2.424718e-08,2.423715e-08,2.423306e-08,2.422535e-08,2.421658e-08,2.421225e-08,2.419793e-08,2.417726e-08,2.415473e-08,2.413048e-08,2.410466e-08,2.407739e-08,2.404880e-08,2.401900e-08,2.398809e-08,2.395619e-08,2.392338e-08,2.388977e-08,2.385542e-08,2.382043e-08,2.378487e-08,2.374881e-08,2.371232e-08,2.367545e-08,2.363828e-08,2.360084e-08,2.356320e-08,2.352540e-08,2.348749e-08,2.344951e-08,2.341150e-08
0.000000e+00,4.693755e-12,1.074081e-11,3.687506e-11,8.371304e-11,1.219457e-10,2.752137e-10,2.834218e-10,5.435693e-10,6.370453e-10,9.240145e-10,1.218932e-09,1.446155e-09,2.069828e-09,2.131097e-09,2.998678e-09,3.235990e-09,4.064953e-09,4.752321e-09,5.337948e-09,6.626029e-09,6.813273e-09,8.473184e-09,8.825036e-09,1.029076e-08,1.128826e-08,1.223611e-08,1.394803e-08,1.428076e-08,1.639921e-08,1.674348e-08,1.856902e-08,1.962285e-08,2.077031e-08,2.254205e-08,2.298538e-08,2.519841e-08,2.546315e-08,2.739531e-08,2.835358e-08,2.956366e-08,3.118581e-08,3.169266e-08,3.377306e-08,3.393715e-08,3.579713e-08,3.658953e-08,3.775855e-08,3.912913e-08,3.965232e-08,4.147463e-08,4.154600e-08,4.322275e-08,4.383354e-08,4.489490e-08,4.598804e-08,4.649011e-08,4.800814e-08,4.944931e-08,4.989438e-08,5.081448e-08,5.164885e-08,5.210487e-08,5.327476e-08,5.332206e-08,5.446787e-08,5.477618e-08,5.554433e-08,5.615780e-08,5.655358e-08,5.742470e-08,5.749792e-08,5.837965e-08,5.858222e-08,5.920117e-08,5.963580e-08,5.996485e-08,6.059093e-08,6.067306e-08,6.132817e-08,6.145303e-08,6.193249e-08,6.222742e-08,6.248829e-08,6.291930e-08,6.299780e-08,6.346317e-08,6.353367e-08,6.388650e-08,6.407536e-08,6.426982e-08,6.454899e-08,6.461509e-08,6.492421e-08,6.495897e-08,6.519901e-08,6.530951e-08,6.544125e-08,6.560460e-08,6.565260e-08,6.583470e-08,6.584805e-08,6.598910e-08,6.604343e-08,6.611728e-08,6.619415e-08,6.622068e-08,6.630067e-08,6.630340e-08,6.635855e-08,6.637421e-08,6.639557e-08,6.640944e-08,6.641292e-08,6.641175e-08,6.639314e-08,6.638368e-08,6.635814e-08,6.632759e-08,6.630773e-08,6.624571e-08,6.624285e-08,6.616441e-08,6.614014e-08,6.607327e-08,6.601283e-08,6.597024e-08,6.586562e-08,6.585610e-08,6.573159e-08,6.570024e-08,6.559741e-08,6.551829e-08,6.545423e-08,6.532129e-08,6.530268e-08,6.514338e-08,6.511064e-08,6.497690e-08,6.488767e-08,6.480378e-08,6.465361e-08,6.462454e-08,6.443967e-08,6.440960e-08,6.424964e-08,6.415672e-08,6.405489e-08,6.389597e-08,6.385584e-08,6.365288e-08,6.362828e-08,6.344640e-08,6.335452e-08,6.323675e-08,6.307550e-08,6.302426e-08,6.280927e-08,6.279197e-08,6.259206e-08,6.250462e-08,6.237292e-08,6.221410e-08,6.215213e-08,6.192993e-08,6.192102e-08,6.170658e-08,6.162593e-08,6.148229e-08,6.132935e-08,6.125728e-08,6.103175e-08,6.073358e-08,6.043524e-08,6.013710e-08,5.983953e-08,5.954282e-08,5.924727e-08,5.895316e-08,5.866072e-08,5.837019e-08,5.808175e-08,5.779561e-08,5.751192e-08,5.723083e-08,5.695249e-08,5.667701e-08,5.640451e-08,5.613508e-08,5.586881e-08,5.560576e-08,5.534602e-08,5.508963e-08,5.483663e-08,5.458708e-08,5.434100e-08
0.000000e+00,2.928432e-12,6.700385e-12,2.301936e-11,5.231738e-11,7.626864e-11,1.725234e-10,1.776873e-10,3.417371e-10,4.008442e-10,5.827515e-10,7.703198e-10,9.152130e-10,1.314386e-09,1.353706e-09,1.912287e-09,2.065621e-09,2.602916e-09,3.050313e-09,3.432764e-09,4.277799e-09,4.401046e-09,5.497450e-09,5.730611e-09,6.703984e-09,7.367820e-09,7.999267e-09,9.140537e-09,9.362400e-09,1.077483e-08,1.100430e-08,1.222068e-08,1.292251e-08,1.368642e-08,1.486547e-08,1.516043e-08,1.663264e-08,1.680875e-08,1.809431e-08,1.873211e-08,1.953788e-08,2.061887e-08,2.095688e-08,2.234582e-08,2.245550e-08,2.370017e-08,2.423136e-08,2.501621e-08,2.593837e-08,2.629102e-08,2.752237e-08,2.757070e-08,2.870865e-08,2.912445e-08,2.984877e-08,3.059735e-08,3.094211e-08,3.198847e-08,3.298794e-08,3.329793e-08,3.394093e-08,3.452672e-08,3.484805e-08,3.567648e-08,3.571010e-08,3.652805e-08,3.674931e-08,3.730294e-08,3.774769e-08,3.803594e-08,3.867435e-08,3.872827e-08,3.938118e-08,3.953215e-08,3.999597e-08,4.032408e-08,4.057394e-08,4.105315e-08,4.111641e-08,4.162470e-08,4.172237e-08,4.210009e-08,4.233472e-08,4.254387e-08,4.289315e-08,4.295731e-08,4.334163e-08,4.340050e-08,4.369805e-08,4.385957e-08,4.402775e-08,4.427304e-08,4.433188e-08,4.461154e-08,4.464351e-08,4.486783e-08,4.497347e-08,4.510180e-08,4.526531e-08,4.531446e-08,4.550679e-08,4.552133e-08,4.567975e-08,4.574371e-08,4.583425e-08,4.593455e-08,4.597117e-08,4.609137e-08,4.609584e-08,4.619567e-08,4.622948e-08,4.628486e-08,4.633726e-08,4.635969e-08,4.642091e-08,4.646921e-08,4.648205e-08,4.650527e-08,4.652223e-08,4.652974e-08,4.654289e-08,4.654323e-08,4.654635e-08,4.654544e-08,4.653967e-08,4.653118e-08,4.652373e-08,4.650135e-08,4.649906e-08,4.646617e-08,4.645711e-08,4.642554e-08,4.639958e-08,4.637763e-08,4.632980e-08,4.632288e-08,4.626171e-08,4.624874e-08,4.619453e-08,4.615735e-08,4.612172e-08,4.605648e-08,4.604366e-08,4.596068e-08,4.594697e-08,4.587314e-08,4.582959e-08,4.578135e-08,4.570506e-08,4.568561e-08,4.558623e-08,4.557407e-08,4.548347e-08,4.543726e-08,4.537761e-08,4.529523e-08,4.526889e-08,4.515756e-08,4.514854e-08,4.504384e-08,4.499773e-08,4.492795e-08,4.484329e-08,4.481011e-08,4.469050e-08,4.468568e-08,4.456932e-08,4.452534e-08,4.444674e-08,4.436267e-08,4.432293e-08,4.419805e-08,4.403183e-08,4.386434e-08,4.369589e-08,4.352676e-08,4.335721e-08,4.318749e-08,4.301782e-08,4.284842e-08,4.267948e-08,4.251118e-08,4.234369e-08,4.217715e-08,4.201170e-08,4.184747e-08,4.168458e-08,4.152313e-08,4.136322e-08,4.120494e-08,4.104836e-08,4.089356e-08,4.074059e-08,4.058952e-08,4.044039e-08,4.029324e-08
0.000000e+00,4.667500e-11,1.757261e-10,1.232568e-09,4.389055e-09,7.795300e-09,2.644731e-08,2.762349e-08,7.160897e-08,9.000273e-08,1.529513e-07,2.258948e-07,2.867303e-07,4.701846e-07,4.893099e-07,7.765106e-07,8.595062e-07,1.160620e-06,1.420821e-06,1.648460e-06,2.164967e-06,2.241674e-06,2.938168e-06,3.089500e-06,3.733527e-06,4.184296e-06,4.621939e-06,5.435211e-06,5.596668e-06,6.650243e-06,6.825596e-06,7.774513e-06,8.336716e-06,8.960688e-06,9.947918e-06,1.019940e-05,1.148080e-05,1.163695e-05,1.279473e-05,1.338052e-05,1.413092e-05,1.515501e-05,1.547915e-05,1.682949e-05,1.693732e-05,1.817248e-05,1.870562e-05,1.949929e-05,2.044001e-05,2.080185e-05,2.207297e-05,2.212307e-05,2.330636e-05,2.374009e-05,2.449669e-05,2.527926e-05,2.563960e-05,2.673163e-05,2.777021e-05,2.809096e-05,2.875357e-05,2.935344e-05,2.968068e-05,3.051745e-05,3.055119e-05,3.136528e-05,3.158319e-05,3.212364e-05,3.255236e-05,3.282739e-05,3.342783e-05,3.347796e-05,3.407705e-05,3.421338e-05,3.462658e-05,3.491342e-05,3.512859e-05,3.553278e-05,3.558526e-05,3.599880e-05,3.607653e-05,3.637146e-05,3.654982e-05,3.670547e-05,3.695779e-05,3.700304e-05,3.726636e-05,3.730545e-05,3.749750e-05,3.759763e-05,3.769851e-05,3.783894e-05,3.787134e-05,3.801785e-05,3.803375e-05,3.813981e-05,3.818613e-05,3.823891e-05,3.829990e-05,3.831672e-05,3.837477e-05,3.837860e-05,3.841445e-05,3.842548e-05,3.843710e-05,3.844356e-05,3.844396e-05,3.843620e-05,3.843560e-05,3.841491e-05,3.840414e-05,3.838112e-05,3.835148e-05,3.833577e-05,3.827975e-05,3.821390e-05,3.819088e-05,3.813898e-05,3.808662e-05,3.805573e-05,3.796858e-05,3.796480e-05,3.786683e-05,3.783822e-05,3.776241e-05,3.769688e-05,3.765206e-05,3.754576e-05,3.753631e-05,3.741562e-05,3.738596e-05,3.729042e-05,3.721850e-05,3.716114e-05,3.704429e-05,3.702815e-05,3.689180e-05,3.686415e-05,3.675242e-05,3.667885e-05,3.661033e-05,3.648908e-05,3.646581e-05,3.631913e-05,3.629547e-05,3.617053e-05,3.609859e-05,3.602025e-05,3.589896e-05,3.586851e-05,3.571551e-05,3.569707e-05,3.556143e-05,3.549334e-05,3.540646e-05,3.528818e-05,3.525075e-05,3.509446e-05,3.508193e-05,3.493772e-05,3.487494e-05,3.478069e-05,3.466750e-05,3.462346e-05,3.446617e-05,3.445988e-05,3.430891e-05,3.425233e-05,3.415179e-05,3.404508e-05,3.399490e-05,3.383833e-05,3.363227e-05,3.342707e-05,3.322289e-05,3.301985e-05,3.281810e-05,3.261774e-05,3.241887e-05,3.222159e-05,3.202598e-05,3.183212e-05,3.164006e-05,3.144988e-05,3.126161e-05,3.107531e-05,3.089102e-05,3.070876e-05,3.052857e-05,3.035048e-05,3.017450e-05,3.000064e-05,2.982894e-05,2.965938e-05,2.949198e-05,2.932675e-05
0.000000e+00,1.192231e-10,2.905592e-10,1.068397e-09,2.510096e-09,3.707693e-09,8.611156e-09,8.877275e-09,1.745263e-08,2.059261e-08,3.039857e-08,4.070850e-08,4.879222e-08,7.148580e-08,7.374736e-08,1.061343e-07,1.150534e-07,1.461480e-07,1.716790e-07,1.931650e-07,2.394917e-07,2.461241e-07,3.039670e-07,3.160403e-07,3.658035e-07,3.992873e-07,4.308959e-07,4.876209e-07,4.986061e-07,5.683559e-07,5.796687e-07,6.396071e-07,6.741915e-07,7.118551e-07,7.700536e-07,7.846291e-07,8.574954e-07,8.662265e-07,9.300613e-07,9.618033e-07,1.001977e-06,1.056009e-06,1.072937e-06,1.142682e-06,1.148202e-06,1.210991e-06,1.237872e-06,1.277686e-06,1.324627e-06,1.342626e-06,1.405700e-06,1.408183e-06,1.466826e-06,1.488343e-06,1.525948e-06,1.564987e-06,1.583030e-06,1.638057e-06,1.691026e-06,1.707542e-06,1.741947e-06,1.773473e-06,1.790844e-06,1.835906e-06,1.837744e-06,1.882685e-06,1.894923e-06,1.925707e-06,1.950618e-06,1.966855e-06,2.003099e-06,2.006178e-06,2.043727e-06,2.052480e-06,2.079553e-06,2.098882e-06,2.113707e-06,2.142422e-06,2.146243e-06,2.177212e-06,2.183223e-06,2.206667e-06,2.221403e-06,2.234660e-06,2.257081e-06,2.261241e-06,2.286460e-06,2.290372e-06,2.310366e-06,2.321388e-06,2.333006e-06,2.350237e-06,2.354426e-06,2.374673e-06,2.377025e-06,2.393789e-06,2.401854e-06,2.411819e-06,2.424821e-06,2.428804e-06,2.444784e-06,2.446020e-06,2.459798e-06,2.465541e-06,2.473883e-06,2.483471e-06,2.487077e-06,2.499415e-06,2.499892e-06,2.510931e-06,2.514882e-06,2.521658e-06,2.528518e-06,2.531628e-06,2.540872e-06,2.549418e-06,2.552011e-06,2.557297e-06,2.562001e-06,2.564535e-06,2.570906e-06,2.571159e-06,2.577195e-06,2.578783e-06,2.582667e-06,2.585689e-06,2.587598e-06,2.591679e-06,2.592013e-06,2.595933e-06,2.596802e-06,2.599379e-06,2.601109e-06,2.602371e-06,2.604645e-06,2.604929e-06,2.607073e-06,2.607453e-06,2.608819e-06,2.609576e-06,2.610186e-06,2.611053e-06,2.611190e-06,2.611848e-06,2.611923e-06,2.612176e-06,2.612219e-06,2.612187e-06,2.611978e-06,2.611896e-06,2.611318e-06,2.611230e-06,2.610465e-06,2.610006e-06,2.609350e-06,2.608336e-06,2.607986e-06,2.606384e-06,2.606246e-06,2.604556e-06,2.603763e-06,2.602512e-06,2.600912e-06,2.600262e-06,2.597818e-06,2.597716e-06,2.595188e-06,2.594198e-06,2.592383e-06,2.590379e-06,2.589409e-06,2.586278e-06,2.581915e-06,2.577307e-06,2.572473e-06,2.567427e-06,2.562186e-06,2.556764e-06,2.551174e-06,2.545431e-06,2.539546e-06,2.533530e-06,2.527396e-06,2.521153e-06,2.514812e-06,2.508381e-06,2.501871e-06,2.495289e-06,2.488644e-06,2.481942e-06,2.475191e-06,2.468399e-06,2.461570e-06,2.454712e-06,2.447830e-06,2.440929e-06
0.000000e+00,3.056303e-11,7.114212e-11,2.489567e-10,5.709427e-10,8.353281e-10,1.903479e-09,1.960978e-09,3.795473e-09,4.459744e-09,6.513544e-09,8.644258e-09,1.029758e-08,1.487300e-08,1.532443e-08,2.172159e-08,2.346602e-08,2.951409e-08,3.446269e-08,3.862958e-08,4.765721e-08,4.895672e-08,6.038593e-08,6.279507e-08,7.281678e-08,7.964466e-08,8.615281e-08,9.798307e-08,1.002961e-07,1.151447e-07,1.175789e-07,1.305924e-07,1.381880e-07,1.465297e-07,1.595579e-07,1.628462e-07,1.794325e-07,1.814359e-07,1.961827e-07,2.035785e-07,2.129959e-07,2.257581e-07,2.297784e-07,2.464442e-07,2.477701e-07,2.629163e-07,2.694353e-07,2.791266e-07,2.906024e-07,2.950161e-07,3.105349e-07,3.111473e-07,3.256413e-07,3.309719e-07,3.403015e-07,3.500019e-07,3.544891e-07,3.681840e-07,3.813720e-07,3.854834e-07,3.940437e-07,4.018802e-07,4.061942e-07,4.173672e-07,4.178223e-07,4.289302e-07,4.319478e-07,4.395226e-07,4.456333e-07,4.496062e-07,4.584414e-07,4.591899e-07,4.682838e-07,4.703947e-07,4.768992e-07,4.815193e-07,4.850483e-07,4.918439e-07,4.927439e-07,4.999993e-07,5.013988e-07,5.068282e-07,5.102152e-07,5.132443e-07,5.183251e-07,5.192617e-07,5.248941e-07,5.257605e-07,5.301554e-07,5.325529e-07,5.350591e-07,5.387336e-07,5.396186e-07,5.438472e-07,5.443330e-07,5.477577e-07,5.493808e-07,5.513627e-07,5.539058e-07,5.546745e-07,5.577051e-07,5.579358e-07,5.604662e-07,5.614977e-07,5.629690e-07,5.646173e-07,5.652245e-07,5.672434e-07,5.673193e-07,5.690358e-07,5.696276e-07,5.706118e-07,5.715648e-07,5.719810e-07,5.731526e-07,5.741356e-07,5.744117e-07,5.749386e-07,5.753620e-07,5.755701e-07,5.760222e-07,5.760379e-07,5.763499e-07,5.764104e-07,5.765135e-07,5.765434e-07,5.765358e-07,5.764376e-07,5.764238e-07,5.761841e-07,5.761083e-07,5.758230e-07,5.755701e-07,5.753467e-07,5.748370e-07,5.747611e-07,5.740718e-07,5.739220e-07,5.732843e-07,5.728376e-07,5.724037e-07,5.715957e-07,5.714350e-07,5.703832e-07,5.702075e-07,5.692527e-07,5.686834e-07,5.680479e-07,5.670336e-07,5.667732e-07,5.654325e-07,5.652674e-07,5.640298e-07,5.633939e-07,5.625688e-07,5.614215e-07,5.610529e-07,5.594858e-07,5.593583e-07,5.578705e-07,5.572116e-07,5.562103e-07,5.549888e-07,5.545081e-07,5.527668e-07,5.526964e-07,5.509892e-07,5.503408e-07,5.491778e-07,5.479280e-07,5.473351e-07,5.454636e-07,5.429529e-07,5.404009e-07,5.378122e-07,5.351913e-07,5.325423e-07,5.298692e-07,5.271755e-07,5.244648e-07,5.217402e-07,5.190047e-07,5.162611e-07,5.135122e-07,5.107604e-07,5.080079e-07,5.052570e-07,5.025096e-07,4.997677e-07,4.970329e-07,4.943070e-07,4.915913e-07,4.888874e-07,4.861965e-07,4.835198e-07,4.808584e-07
0.000000e+00,2.168669e-10,6.769650e-10,3.405141e-09,9.467884e-09,1.496255e-08,3.958155e-08,4.098499e-08,8.868514e-08,1.071314e-07,1.673579e-07,2.340710e-07,2.881193e-07,4.438831e-07,4.595150e-07,6.812585e-07,7.411930e-07,9.459295e-07,1.109849e-06,1.245591e-06,1.533625e-06,1.574493e-06,1.928597e-06,2.002150e-06,2.304662e-06,2.507894e-06,2.699679e-06,3.043932e-06,3.110628e-06,3.534412e-06,3.603199e-06,3.967891e-06,4.178485e-06,4.407943e-06,4.762683e-06,4.851549e-06,5.295856e-06,5.349092e-06,5.738237e-06,5.931655e-06,6.176329e-06,6.505122e-06,6.608056e-06,7.031630e-06,7.065117e-06,7.445556e-06,7.608141e-06,7.848607e-06,8.131516e-06,8.239812e-06,8.618428e-06,8.633303e-06,8.983910e-06,9.112193e-06,9.335892e-06,9.567415e-06,9.674161e-06,9.998633e-06,1.030933e-05,1.040586e-05,1.060636e-05,1.078937e-05,1.088991e-05,1.114967e-05,1.116023e-05,1.141759e-05,1.148738e-05,1.166233e-05,1.180326e-05,1.189479e-05,1.209812e-05,1.211534e-05,1.232436e-05,1.237285e-05,1.252223e-05,1.262832e-05,1.270936e-05,1.286546e-05,1.288614e-05,1.305295e-05,1.308515e-05,1.321018e-05,1.328828e-05,1.335821e-05,1.347572e-05,1.349742e-05,1.362816e-05,1.364832e-05,1.375080e-05,1.380688e-05,1.386567e-05,1.395220e-05,1.397311e-05,1.407344e-05,1.408502e-05,1.416699e-05,1.420608e-05,1.425405e-05,1.431605e-05,1.433491e-05,1.440986e-05,1.441561e-05,1.447918e-05,1.450538e-05,1.454311e-05,1.458596e-05,1.460192e-05,1.465585e-05,1.465791e-05,1.470513e-05,1.472178e-05,1.474999e-05,1.477807e-05,1.479063e-05,1.482728e-05,1.486011e-05,1.486985e-05,1.488933e-05,1.490622e-05,1.491512e-05,1.493680e-05,1.493764e-05,1.495708e-05,1.496199e-05,1.497358e-05,1.498214e-05,1.498730e-05,1.499760e-05,1.499839e-05,1.500699e-05,1.500870e-05,1.501323e-05,1.501574e-05,1.501724e-05,1.501902e-05,1.501914e-05,1.501905e-05,1.501881e-05,1.501709e-05,1.501536e-05,1.501335e-05,1.500892e-05,1.500794e-05,1.500097e-05,1.499971e-05,1.499251e-05,1.498796e-05,1.498267e-05,1.497385e-05,1.497152e-05,1.495915e-05,1.495759e-05,1.494564e-05,1.493935e-05,1.493105e-05,1.491929e-05,1.491547e-05,1.489894e-05,1.489758e-05,1.488155e-05,1.487436e-05,1.486335e-05,1.484977e-05,1.484439e-05,1.482474e-05,1.482394e-05,1.480445e-05,1.479700e-05,1.478356e-05,1.476904e-05,1.476213e-05,1.474019e-05,1.471054e-05,1.468019e-05,1.464921e-05,1.461771e-05,1.458574e-05,1.455338e-05,1.452070e-05,1.448777e-05,1.445463e-05,1.442134e-05,1.438795e-05,1.435450e-05,1.432105e-05,1.428763e-05,1.425427e-05,1.422101e-05,1.418789e-05,1.415492e-05,1.412215e-05,1.408958e-05,1.405725e-05,1.402518e-05,1.399338e-05,1.396188e-05
0.000000e+00,1.033158e-10,3.865176e-10,2.676230e-09,9.420376e-09,1.662749e-08,5.553695e-08,5.797078e-08,1.480786e-07,1.853979e-07,3.121288e-07,4.576958e-07,5.784076e-07,9.403409e-07,9.779764e-07,1.543070e-06,1.706665e-06,2.302116e-06,2.818906e-06,3.272149e-06,4.301203e-06,4.453808e-06,5.832412e-06,6.129691e-06,7.383094e-06,8.247712e-06,9.076321e-06,1.058661e-05,1.088182e-05,1.277073e-05,1.307888e-05,1.471644e-05,1.566336e-05,1.669476e-05,1.828612e-05,1.868381e-05,2.066388e-05,2.090002e-05,2.261726e-05,2.346419e-05,2.452829e-05,2.594384e-05,2.638327e-05,2.817055e-05,2.831030e-05,2.988047e-05,3.054099e-05,3.150537e-05,3.261937e-05,3.303952e-05,3.447896e-05,3.453453e-05,3.582142e-05,3.628076e-05,3.706607e-05,3.785677e-05,3.821340e-05,3.926499e-05,4.022334e-05,4.051083e-05,4.109169e-05,4.160195e-05,4.187386e-05,4.254755e-05,4.257404e-05,4.319666e-05,4.335772e-05,4.374631e-05,4.404301e-05,4.422764e-05,4.461408e-05,4.464525e-05,4.500367e-05,4.508138e-05,4.530729e-05,4.545497e-05,4.556034e-05,4.574437e-05,4.576681e-05,4.593052e-05,4.595844e-05,4.605502e-05,4.610540e-05,4.614369e-05,4.619276e-05,4.619963e-05,4.622576e-05,4.622736e-05,4.622476e-05,4.621539e-05,4.619913e-05,4.616242e-05,4.615114e-05,4.608292e-05,4.607346e-05,4.599639e-05,4.595299e-05,4.589335e-05,4.580500e-05,4.577542e-05,4.564409e-05,4.563305e-05,4.550074e-05,4.544032e-05,4.534663e-05,4.522965e-05,4.518289e-05,4.501058e-05,4.500353e-05,4.483066e-05,4.476420e-05,4.464400e-05,4.451364e-05,4.445141e-05,4.425362e-05,4.405130e-05,4.398571e-05,4.384507e-05,4.371129e-05,4.363548e-05,4.343160e-05,4.342305e-05,4.320825e-05,4.314774e-05,4.299151e-05,4.286070e-05,4.277322e-05,4.257133e-05,4.255373e-05,4.233338e-05,4.228041e-05,4.211247e-05,4.198862e-05,4.189127e-05,4.169658e-05,4.167003e-05,4.144899e-05,4.140482e-05,4.122834e-05,4.111383e-05,4.100829e-05,4.082403e-05,4.078900e-05,4.057065e-05,4.053580e-05,4.035335e-05,4.024947e-05,4.013727e-05,3.996534e-05,3.992250e-05,3.970916e-05,3.968365e-05,3.949734e-05,3.940465e-05,3.928714e-05,3.912852e-05,3.907864e-05,3.887190e-05,3.885544e-05,3.866699e-05,3.858556e-05,3.846398e-05,3.831900e-05,3.826290e-05,3.806381e-05,3.805589e-05,3.786674e-05,3.779630e-05,3.767174e-05,3.754033e-05,3.747882e-05,3.728803e-05,3.703945e-05,3.679464e-05,3.655363e-05,3.631644e-05,3.608308e-05,3.585356e-05,3.562788e-05,3.540602e-05,3.518799e-05,3.497376e-05,3.476330e-05,3.455660e-05,3.435362e-05,3.415434e-05,3.395871e-05,3.376671e-05,3.357828e-05,3.339339e-05,3.321200e-05,3.303406e-05,3.285952e-05,3.268834e-05,3.252046e-05,3.235585e-05
0.000000e+00,5.202714e-11,1.214248e-10,4.266971e-10,9.823331e-10,1.440719e-09,3.309468e-09,3.410775e-09,6.677604e-09,7.875906e-09,1.162532e-08,1.557243e-08,1.866277e-08,2.726257e-08,2.811076e-08,4.004642e-08,4.326661e-08,5.431415e-08,6.323523e-08,7.068002e-08,8.664381e-08,8.892612e-08,1.088615e-07,1.130355e-07,1.303080e-07,1.419988e-07,1.530887e-07,1.731232e-07,1.770224e-07,2.019235e-07,2.059849e-07,2.276047e-07,2.401541e-07,2.538805e-07,2.752085e-07,2.805717e-07,3.075088e-07,3.107501e-07,3.345345e-07,3.464164e-07,3.615058e-07,3.818886e-07,3.882953e-07,4.147912e-07,4.168952e-07,4.408972e-07,4.512117e-07,4.665319e-07,4.846585e-07,4.916276e-07,5.161294e-07,5.170964e-07,5.399935e-07,5.484217e-07,5.631862e-07,5.785606e-07,5.856825e-07,6.074650e-07,6.285226e-07,6.351069e-07,6.488499e-07,6.614754e-07,6.684458e-07,6.865724e-07,6.873132e-07,7.054581e-07,7.104104e-07,7.228893e-07,7.330098e-07,7.396175e-07,7.543972e-07,7.556552e-07,7.710159e-07,7.746034e-07,7.857144e-07,7.936621e-07,7.997662e-07,8.116096e-07,8.131874e-07,8.259946e-07,8.284839e-07,8.382045e-07,8.443233e-07,8.498341e-07,8.591670e-07,8.609004e-07,8.714204e-07,8.730540e-07,8.814109e-07,8.860233e-07,8.908888e-07,8.981131e-07,8.998706e-07,9.083726e-07,9.093614e-07,9.164109e-07,9.198049e-07,9.240013e-07,9.294799e-07,9.311592e-07,9.378999e-07,9.384216e-07,9.442382e-07,9.466641e-07,9.501885e-07,9.542405e-07,9.557650e-07,9.609815e-07,9.611829e-07,9.658515e-07,9.675224e-07,9.703880e-07,9.732888e-07,9.746037e-07,9.785110e-07,9.821220e-07,9.832169e-07,9.854484e-07,9.874331e-07,9.885014e-07,9.911853e-07,9.912920e-07,9.938310e-07,9.944982e-07,9.961286e-07,9.973955e-07,9.981949e-07,9.998998e-07,1.000039e-06,1.001672e-06,1.002033e-06,1.003101e-06,1.003816e-06,1.004336e-06,1.005268e-06,1.005384e-06,1.006255e-06,1.006409e-06,1.006957e-06,1.007257e-06,1.007496e-06,1.007828e-06,1.007880e-06,1.008117e-06,1.008141e-06,1.008212e-06,1.008210e-06,1.008174e-06,1.008052e-06,1.008008e-06,1.007721e-06,1.007679e-06,1.007318e-06,1.007106e-06,1.006806e-06,1.006346e-06,1.006189e-06,1.005473e-06,1.005411e-06,1.004663e-06,1.004314e-06,1.003765e-06,1.003065e-06,1.002782e-06,1.001720e-06,1.001676e-06,1.000583e-06,1.000156e-06,9.993747e-07,9.985148e-07,9.980998e-07,9.967620e-07,9.949062e-07,9.929555e-07,9.909179e-07,9.888008e-07,9.866112e-07,9.843557e-07,9.820407e-07,9.796721e-07,9.772556e-07,9.747964e-07,9.722996e-07,9.697699e-07,9.672118e-07,9.646295e-07,9.620270e-07,9.594079e-07,9.567759e-07,9.541343e-07,9.514860e-07,9.488341e-07,9.461812e-07,9.435300e-07,9.408827e-07,9.382417e-07
0.000000e+00,9.396959e-11,3.550713e-10,2.509003e-09,8.991760e-09,1.602293e-08,5.476916e-08,5.721993e-08,1.490881e-07,1.875449e-07,3.190276e-07,4.709071e-07,5.971123e-07,9.754583e-07,1.014752e-06,1.603451e-06,1.773575e-06,2.393018e-06,2.932626e-06,3.408756e-06,4.503975e-06,4.668370e-06,6.180147e-06,6.512825e-06,7.943119e-06,8.956490e-06,9.948539e-06,1.180985e-05,1.218172e-05,1.462367e-05,1.503231e-05,1.725238e-05,1.857351e-05,2.004385e-05,2.237727e-05,2.297284e-05,2.601359e-05,2.638476e-05,2.914039e-05,3.053694e-05,3.232814e-05,3.477676e-05,3.555282e-05,3.879183e-05,3.905094e-05,4.202438e-05,4.331129e-05,4.523161e-05,4.751566e-05,4.839679e-05,5.150533e-05,5.162831e-05,5.454476e-05,5.561997e-05,5.750468e-05,5.946760e-05,6.037660e-05,6.315384e-05,6.583132e-05,6.666642e-05,6.840542e-05,6.999745e-05,7.087378e-05,7.314275e-05,7.323515e-05,7.548921e-05,7.610117e-05,7.763645e-05,7.887398e-05,7.967803e-05,8.146439e-05,8.161562e-05,8.345134e-05,8.387703e-05,8.518767e-05,8.611761e-05,8.682734e-05,8.819262e-05,8.837329e-05,8.982857e-05,9.010903e-05,9.119637e-05,9.187412e-05,9.247991e-05,9.349534e-05,9.368243e-05,9.480716e-05,9.498011e-05,9.585731e-05,9.633582e-05,9.683605e-05,9.756972e-05,9.774649e-05,9.859166e-05,9.868884e-05,9.937452e-05,9.969998e-05,1.000979e-04,1.006097e-04,1.007647e-04,1.013775e-04,1.014243e-04,1.019390e-04,1.021497e-04,1.024516e-04,1.027918e-04,1.029177e-04,1.033398e-04,1.033558e-04,1.037200e-04,1.038471e-04,1.040605e-04,1.042704e-04,1.043634e-04,1.046305e-04,1.048639e-04,1.049317e-04,1.050652e-04,1.051781e-04,1.052364e-04,1.053737e-04,1.053789e-04,1.054944e-04,1.055221e-04,1.055844e-04,1.056268e-04,1.056504e-04,1.056910e-04,1.056937e-04,1.057156e-04,1.057179e-04,1.057175e-04,1.057102e-04,1.057004e-04,1.056707e-04,1.056656e-04,1.056142e-04,1.056020e-04,1.055471e-04,1.055063e-04,1.054653e-04,1.053860e-04,1.053699e-04,1.052617e-04,1.052432e-04,1.051415e-04,1.050798e-04,1.050101e-04,1.048976e-04,1.048684e-04,1.047171e-04,1.046983e-04,1.045568e-04,1.044836e-04,1.043883e-04,1.042550e-04,1.042120e-04,1.040288e-04,1.040138e-04,1.038390e-04,1.037614e-04,1.036433e-04,1.034990e-04,1.034422e-04,1.032361e-04,1.032277e-04,1.030255e-04,1.029486e-04,1.028108e-04,1.026627e-04,1.025925e-04,1.023709e-04,1.020740e-04,1.017728e-04,1.014682e-04,1.011607e-04,1.008510e-04,1.005396e-04,1.002272e-04,9.991429e-05,9.960122e-05,9.928847e-05,9.897643e-05,9.866547e-05,9.835591e-05,9.804806e-05,9.774219e-05,9.743856e-05,9.713740e-05,9.683892e-05,9.654330e-05,9.625073e-05,9.596134e-05,9.567528e-05,9.539267e-05,9.511362e-05
0.000000e+00,6.897733e-11,1.635251e-10,5.832862e-10,1.349139e-09,1.979756e-09,4.531473e-09,4.668860e-09,9.048286e-09,1.063134e-08,1.551439e-08,2.056111e-08,2.446391e-08,3.521276e-08,3.626987e-08,5.120524e-08,5.526696e-08,6.931803e-08,8.077039e-08,9.037193e-08,1.110044e-07,1.139527e-07,1.396214e-07,1.449700e-07,1.669824e-07,1.817612e-07,1.956854e-07,2.205990e-07,2.254116e-07,2.558654e-07,2.607869e-07,2.867720e-07,3.016927e-07,3.178782e-07,3.427521e-07,3.489550e-07,3.797990e-07,3.834759e-07,4.102337e-07,4.234556e-07,4.401090e-07,4.623626e-07,4.693005e-07,4.977074e-07,4.999435e-07,5.252505e-07,5.360119e-07,5.518699e-07,5.704390e-07,5.775223e-07,6.021787e-07,6.031440e-07,6.258225e-07,6.340846e-07,6.484462e-07,6.632479e-07,6.700509e-07,6.906444e-07,7.102401e-07,7.163027e-07,7.288553e-07,7.402639e-07,7.465107e-07,7.625786e-07,7.632297e-07,7.790375e-07,7.833040e-07,7.939607e-07,8.025015e-07,8.080269e-07,8.202351e-07,8.212642e-07,8.337014e-07,8.365704e-07,8.453669e-07,8.515731e-07,8.562891e-07,8.653079e-07,8.664959e-07,8.760151e-07,8.778388e-07,8.848739e-07,8.892284e-07,8.930991e-07,8.995377e-07,9.007168e-07,9.077526e-07,9.088259e-07,9.142311e-07,9.171500e-07,9.201766e-07,9.245651e-07,9.256126e-07,9.305617e-07,9.311239e-07,9.350460e-07,9.368774e-07,9.390868e-07,9.418739e-07,9.427047e-07,9.459197e-07,9.461600e-07,9.487508e-07,9.497800e-07,9.512168e-07,9.527761e-07,9.533353e-07,9.551237e-07,9.551886e-07,9.565985e-07,9.570557e-07,9.577756e-07,9.584138e-07,9.586703e-07,9.592974e-07,9.596710e-07,9.597393e-07,9.598047e-07,9.597705e-07,9.597116e-07,9.594204e-07,9.594041e-07,9.588942e-07,9.587168e-07,9.581935e-07,9.576860e-07,9.573129e-07,9.563530e-07,9.562630e-07,9.550538e-07,9.547410e-07,9.536952e-07,9.528724e-07,9.521962e-07,9.507680e-07,9.505657e-07,9.488122e-07,9.484475e-07,9.469438e-07,9.459293e-07,9.449681e-07,9.432311e-07,9.428926e-07,9.407242e-07,9.403691e-07,9.384697e-07,9.373588e-07,9.361354e-07,9.342147e-07,9.337275e-07,9.312518e-07,9.309504e-07,9.287137e-07,9.275787e-07,9.261187e-07,9.241114e-07,9.234717e-07,9.207774e-07,9.205600e-07,9.180405e-07,9.169347e-07,9.152651e-07,9.132455e-07,9.124556e-07,9.096156e-07,9.095014e-07,9.067490e-07,9.057112e-07,9.038592e-07,9.018826e-07,9.009496e-07,8.980233e-07,8.941401e-07,8.902395e-07,8.863274e-07,8.824095e-07,8.784908e-07,8.745763e-07,8.706702e-07,8.667767e-07,8.628995e-07,8.590421e-07,8.552076e-07,8.513991e-07,8.476190e-07,8.438699e-07,8.401540e-07,8.364733e-07,8.328295e-07,8.292244e-07,8.256593e-07,8.221356e-07,8.186544e-07,8.152167e-07,8.118235e-07,8.084754e-07
0.000000e+00,2.589452e-07,1.016414e-06,7.769313e-06,2.989945e-05,5.539747e-05,2.093588e-04,2.196208e-04,6.320418e-04,8.168447e-04,1.487186e-03,2.319378e-03,3.048579e-03,5.397408e-03,5.653428e-03,9.712582e-03,1.095466e-02,1.569778e-02,2.007778e-02,2.411082e-02,3.391390e-02,3.544328e-02,5.014186e-02,5.352026e-02,6.858621e-02,7.976083e-02,9.107736e-02,1.132590e-01,1.178330e-01,1.489868e-01,1.543841e-01,1.845901e-01,2.032552e-01,2.246161e-01,2.597559e-01,2.689641e-01,3.174663e-01,3.235555e-01,3.698950e-01,3.941371e-01,4.259703e-01,4.708287e-01,4.853687e-01,5.477320e-01,5.528378e-01,6.126760e-01,6.392866e-01,6.797990e-01,7.292460e-01,7.486896e-01,8.189349e-01,8.217671e-01,8.901263e-01,9.159098e-01,9.618660e-01,1.010766e+00,1.033772e+00,1.105481e+00,1.176654e+00,1.199264e+00,1.246977e+00,1.291404e+00,1.316163e+00,1.381270e+00,1.383952e+00,1.450114e+00,1.468320e+00,1.514447e+00,1.552095e+00,1.576776e+00,1.632222e+00,1.636954e+00,1.694859e+00,1.708407e+00,1.750394e+00,1.780429e+00,1.803484e+00,1.848138e+00,1.854076e+00,1.902136e+00,1.911443e+00,1.947649e+00,1.970307e+00,1.990612e+00,2.024742e+00,2.031041e+00,2.068963e+00,2.074800e+00,2.104414e+00,2.120567e+00,2.137443e+00,2.162159e+00,2.168105e+00,2.196463e+00,2.199714e+00,2.222584e+00,2.233388e+00,2.246543e+00,2.263351e+00,2.268414e+00,2.288278e+00,2.289783e+00,2.306215e+00,2.312869e+00,2.322309e+00,2.332801e+00,2.336641e+00,2.349295e+00,2.349767e+00,2.360352e+00,2.363958e+00,2.369896e+00,2.375561e+00,2.378004e+00,2.384757e+00,2.390230e+00,2.391724e+00,2.394499e+00,2.396632e+00,2.397635e+00,2.399644e+00,2.399708e+00,2.400786e+00,2.400918e+00,2.400934e+00,2.400602e+00,2.400214e+00,2.398837e+00,2.398686e+00,2.396407e+00,2.395755e+00,2.393432e+00,2.391481e+00,2.389812e+00,2.386132e+00,2.385597e+00,2.380833e+00,2.379819e+00,2.375566e+00,2.372642e+00,2.369837e+00,2.364698e+00,2.363687e+00,2.357153e+00,2.356074e+00,2.350270e+00,2.346853e+00,2.343072e+00,2.337108e+00,2.335591e+00,2.327856e+00,2.326912e+00,2.319894e+00,2.316326e+00,2.311733e+00,2.305411e+00,2.303396e+00,2.294906e+00,2.294221e+00,2.286285e+00,2.282804e+00,2.277553e+00,2.271207e+00,2.268728e+00,2.259827e+00,2.259470e+00,2.250868e+00,2.247631e+00,2.241864e+00,2.235724e+00,2.232831e+00,2.223780e+00,2.211827e+00,2.199889e+00,2.187991e+00,2.176151e+00,2.164388e+00,2.152719e+00,2.141158e+00,2.129717e+00,2.118408e+00,2.107240e+00,2.096223e+00,2.085363e+00,2.074668e+00,2.064141e+00,2.053788e+00,2.043613e+00,2.033618e+00,2.023806e+00,2.014178e+00,2.004735e+00,1.995479e+00,1.986408e+00,1.977524e+00,1.968825e+00
0.000000e+00,3.479958e-10,1.023145e-09,4.705885e-09,1.236461e-08,1.905026e-08,4.759188e-08,4.916991e-08,1.006684e-07,1.196887e-07,1.792459e-07,2.418732e-07,2.908969e-07,4.280251e-07,4.416518e-07,6.361821e-07,6.896003e-07,8.755967e-07,1.028329e-06,1.157089e-06,1.436006e-06,1.476121e-06,1.828270e-06,1.902324e-06,2.209639e-06,2.418300e-06,2.616632e-06,2.975726e-06,3.045717e-06,3.493305e-06,3.566392e-06,3.955731e-06,4.181880e-06,4.429298e-06,4.813705e-06,4.910339e-06,5.395300e-06,5.453596e-06,5.880810e-06,6.093793e-06,6.363740e-06,6.727279e-06,6.841244e-06,7.310795e-06,7.347947e-06,7.770192e-06,7.950678e-06,8.217564e-06,8.531344e-06,8.651361e-06,9.070333e-06,9.086769e-06,9.473511e-06,9.614644e-06,9.860179e-06,1.011343e-05,1.022985e-05,1.058222e-05,1.091719e-05,1.102070e-05,1.123476e-05,1.142895e-05,1.153509e-05,1.180742e-05,1.181843e-05,1.208509e-05,1.215683e-05,1.233548e-05,1.247809e-05,1.257004e-05,1.277226e-05,1.278924e-05,1.299361e-05,1.304051e-05,1.318367e-05,1.328405e-05,1.335995e-05,1.350413e-05,1.352301e-05,1.367340e-05,1.370201e-05,1.381166e-05,1.387894e-05,1.393832e-05,1.403614e-05,1.405392e-05,1.415896e-05,1.417483e-05,1.425396e-05,1.429614e-05,1.433941e-05,1.440120e-05,1.441577e-05,1.448351e-05,1.449108e-05,1.454307e-05,1.456679e-05,1.459487e-05,1.462931e-05,1.463933e-05,1.467683e-05,1.467955e-05,1.470777e-05,1.471838e-05,1.473249e-05,1.474665e-05,1.475136e-05,1.476469e-05,1.476512e-05,1.477282e-05,1.477453e-05,1.477604e-05,1.477557e-05,1.477464e-05,1.476891e-05,1.475910e-05,1.475514e-05,1.474547e-05,1.473486e-05,1.472827e-05,1.470859e-05,1.470771e-05,1.468402e-05,1.467686e-05,1.465741e-05,1.464012e-05,1.462807e-05,1.459883e-05,1.459619e-05,1.456195e-05,1.455340e-05,1.452552e-05,1.450423e-05,1.448707e-05,1.445167e-05,1.444673e-05,1.440467e-05,1.439606e-05,1.436101e-05,1.433772e-05,1.431589e-05,1.427695e-05,1.426943e-05,1.422175e-05,1.421401e-05,1.417296e-05,1.414917e-05,1.412316e-05,1.408267e-05,1.407246e-05,1.402094e-05,1.401471e-05,1.396871e-05,1.394552e-05,1.391583e-05,1.387527e-05,1.386240e-05,1.380848e-05,1.380415e-05,1.375415e-05,1.373231e-05,1.369947e-05,1.365992e-05,1.364450e-05,1.358931e-05,1.358710e-05,1.353395e-05,1.351399e-05,1.347848e-05,1.344071e-05,1.342293e-05,1.336736e-05,1.329405e-05,1.322087e-05,1.314791e-05,1.307523e-05,1.300292e-05,1.293103e-05,1.285963e-05,1.278877e-05,1.271850e-05,1.264886e-05,1.257988e-05,1.251162e-05,1.244409e-05,1.237733e-05,1.231135e-05,1.224619e-05,1.218185e-05,1.211836e-05,1.205573e-05,1.199396e-05,1.193308e-05,1.187308e-05,1.181398e-05,1.175577e-05
0.000000e+00,2.884356e-10,1.037822e-09,6.662062e-09,2.202796e-08,3.767090e-08,1.170861e-07,1.218977e-07,2.944084e-07,3.639829e-07,5.962471e-07,8.578837e-07,1.071168e-06,1.688951e-06,1.751226e-06,2.642969e-06,2.887149e-06,3.732080e-06,4.419892e-06,4.996123e-06,6.234931e-06,6.412154e-06,7.958580e-06,8.281681e-06,9.614643e-06,1.051227e-05,1.135966e-05,1.287894e-05,1.317274e-05,1.503300e-05,1.533365e-05,1.692006e-05,1.782963e-05,1.881460e-05,2.032366e-05,2.069892e-05,2.255733e-05,2.277794e-05,2.437638e-05,2.516134e-05,2.614495e-05,2.744980e-05,2.785422e-05,2.949753e-05,2.962600e-05,3.107018e-05,3.167873e-05,3.256915e-05,3.360188e-05,3.399292e-05,3.534113e-05,3.539350e-05,3.661445e-05,3.705475e-05,3.781427e-05,3.858916e-05,3.894259e-05,4.000183e-05,4.099470e-05,4.129887e-05,4.192411e-05,4.248701e-05,4.279306e-05,4.357320e-05,4.360460e-05,4.436177e-05,4.456444e-05,4.506753e-05,4.546752e-05,4.572478e-05,4.628902e-05,4.633632e-05,4.690482e-05,4.703514e-05,4.743284e-05,4.771176e-05,4.792280e-05,4.832432e-05,4.837701e-05,4.879763e-05,4.887790e-05,4.918671e-05,4.937721e-05,4.954618e-05,4.982659e-05,4.987786e-05,5.018344e-05,5.023002e-05,5.046453e-05,5.059119e-05,5.072261e-05,5.091346e-05,5.095909e-05,5.117530e-05,5.119994e-05,5.137246e-05,5.145347e-05,5.155172e-05,5.167667e-05,5.171418e-05,5.186085e-05,5.187193e-05,5.199267e-05,5.204144e-05,5.211054e-05,5.218725e-05,5.221530e-05,5.230773e-05,5.231119e-05,5.238857e-05,5.241497e-05,5.245851e-05,5.250018e-05,5.251820e-05,5.256824e-05,5.260921e-05,5.262050e-05,5.264165e-05,5.265818e-05,5.266607e-05,5.268240e-05,5.268294e-05,5.269271e-05,5.269423e-05,5.269580e-05,5.269461e-05,5.269261e-05,5.268444e-05,5.268351e-05,5.266886e-05,5.266456e-05,5.264899e-05,5.263571e-05,5.262422e-05,5.259861e-05,5.259485e-05,5.256115e-05,5.255392e-05,5.252340e-05,5.250224e-05,5.248183e-05,5.244415e-05,5.243669e-05,5.238821e-05,5.238016e-05,5.233659e-05,5.231076e-05,5.228204e-05,5.223642e-05,5.222475e-05,5.216489e-05,5.215754e-05,5.210264e-05,5.207454e-05,5.203816e-05,5.198776e-05,5.197161e-05,5.190312e-05,5.189756e-05,5.183285e-05,5.180426e-05,5.176091e-05,5.170815e-05,5.168743e-05,5.161254e-05,5.160952e-05,5.153634e-05,5.150861e-05,5.145895e-05,5.140568e-05,5.138045e-05,5.130095e-05,5.119464e-05,5.108694e-05,5.097803e-05,5.086810e-05,5.075730e-05,5.064578e-05,5.053369e-05,5.042116e-05,5.030831e-05,5.019526e-05,5.008212e-05,4.996898e-05,4.985594e-05,4.974310e-05,4.963052e-05,4.951829e-05,4.940648e-05,4.929516e-05,4.918438e-05,4.907420e-05,4.896468e-05,4.885587e-05,4.874780e-05,4.864053e-05
0.000000e+00,8.467002e-11,3.252232e-10,2.375327e-09,8.762709e-09,1.585695e-08,5.630275e-08,5.890998e-08,1.589594e-07,2.017769e-07,3.507848e-07,5.264333e-07,6.744271e-07,1.125736e-06,1.173119e-06,1.891234e-06,2.101085e-06,2.871825e-06,3.550219e-06,4.153265e-06,5.553628e-06,5.765220e-06,7.725301e-06,8.159688e-06,1.003756e-05,1.137659e-05,1.269294e-05,1.517392e-05,1.567095e-05,1.894191e-05,1.949008e-05,2.246917e-05,2.424125e-05,2.621125e-05,2.932980e-05,3.012374e-05,3.416094e-05,3.465162e-05,3.827731e-05,4.010214e-05,4.242868e-05,4.558129e-05,4.657325e-05,5.067241e-05,5.099731e-05,5.469134e-05,5.626944e-05,5.859943e-05,6.132973e-05,6.237047e-05,6.598275e-05,6.612368e-05,6.941899e-05,7.061029e-05,7.266611e-05,7.476132e-05,7.571499e-05,7.856011e-05,8.119914e-05,8.200010e-05,8.363254e-05,8.508322e-05,8.586314e-05,8.781820e-05,8.789578e-05,8.973686e-05,9.021905e-05,9.139405e-05,9.230364e-05,9.287595e-05,9.409243e-05,9.419182e-05,9.535130e-05,9.560740e-05,9.636426e-05,9.687119e-05,9.724055e-05,9.790640e-05,9.798995e-05,9.862196e-05,9.873509e-05,9.914580e-05,9.937839e-05,9.957028e-05,9.985622e-05,9.990380e-05,1.001543e-04,1.001871e-04,1.003292e-04,1.003883e-04,1.004354e-04,1.004754e-04,1.004795e-04,1.004675e-04,1.004626e-04,1.004050e-04,1.003628e-04,1.002970e-04,1.001875e-04,1.001483e-04,9.996327e-05,9.994702e-05,9.974584e-05,9.965063e-05,9.949965e-05,9.930645e-05,9.922800e-05,9.893391e-05,9.892172e-05,9.862013e-05,9.850284e-05,9.828917e-05,9.805547e-05,9.794329e-05,9.758455e-05,9.721483e-05,9.709449e-05,9.683582e-05,9.658910e-05,9.644906e-05,9.607176e-05,9.605593e-05,9.565770e-05,9.554543e-05,9.525549e-05,9.501270e-05,9.485035e-05,9.447582e-05,9.444319e-05,9.403486e-05,9.393677e-05,9.362609e-05,9.339726e-05,9.321759e-05,9.285881e-05,9.280996e-05,9.240375e-05,9.232273e-05,9.199946e-05,9.179014e-05,9.159753e-05,9.126202e-05,9.119836e-05,9.080229e-05,9.073923e-05,9.040964e-05,9.022247e-05,9.002070e-05,8.971238e-05,8.963571e-05,8.925488e-05,8.920947e-05,8.887841e-05,8.871419e-05,8.850647e-05,8.822691e-05,8.813920e-05,8.777673e-05,8.774794e-05,8.741917e-05,8.727753e-05,8.706660e-05,8.681588e-05,8.671910e-05,8.637673e-05,8.636315e-05,8.603955e-05,8.591944e-05,8.570758e-05,8.548484e-05,8.538086e-05,8.505940e-05,8.464313e-05,8.423604e-05,8.383810e-05,8.344927e-05,8.306949e-05,8.269868e-05,8.233676e-05,8.198362e-05,8.163917e-05,8.130328e-05,8.097582e-05,8.065668e-05,8.034571e-05,8.004278e-05,7.974774e-05,7.946046e-05,7.918078e-05,7.890855e-05,7.864362e-05,7.838584e-05,7.813506e-05,7.789113e-05,7.765389e-05,7.742320e-05
0.000000e+00,8.894642e-11,3.407962e-10,2.476741e-09,9.098574e-09,1.642954e-08,5.805319e-08,6.073092e-08,1.632934e-07,2.071329e-07,3.596706e-07,5.396192e-07,6.914452e-07,1.155884e-06,1.204777e-06,1.948634e-06,2.166926e-06,2.971483e-06,3.682390e-06,4.315752e-06,5.789140e-06,6.011906e-06,8.075089e-06,8.532005e-06,1.050516e-05,1.190983e-05,1.328887e-05,1.588352e-05,1.640272e-05,1.981572e-05,2.038720e-05,2.349166e-05,2.533796e-05,2.739093e-05,3.064329e-05,3.147203e-05,3.569279e-05,3.620668e-05,4.001140e-05,4.193206e-05,4.438726e-05,4.772737e-05,4.878179e-05,5.315902e-05,5.350744e-05,5.748606e-05,5.919612e-05,6.173351e-05,6.472777e-05,6.587560e-05,6.989036e-05,7.004803e-05,7.375957e-05,7.511393e-05,7.746863e-05,7.989349e-05,8.100640e-05,8.436490e-05,8.753907e-05,8.851540e-05,9.052640e-05,9.234004e-05,9.332664e-05,9.584038e-05,9.594145e-05,9.837408e-05,9.902316e-05,1.006291e-04,1.018992e-04,1.027121e-04,1.044821e-04,1.046296e-04,1.063884e-04,1.067877e-04,1.079960e-04,1.088330e-04,1.094600e-04,1.106355e-04,1.107880e-04,1.119878e-04,1.122130e-04,1.130670e-04,1.135829e-04,1.140329e-04,1.147621e-04,1.148928e-04,1.156537e-04,1.157667e-04,1.163221e-04,1.166119e-04,1.169043e-04,1.173121e-04,1.174064e-04,1.178341e-04,1.178807e-04,1.181926e-04,1.183298e-04,1.184871e-04,1.186709e-04,1.187222e-04,1.189023e-04,1.189145e-04,1.190316e-04,1.190700e-04,1.191140e-04,1.191462e-04,1.191529e-04,1.191519e-04,1.191510e-04,1.191139e-04,1.190918e-04,1.190419e-04,1.189749e-04,1.189386e-04,1.188065e-04,1.186479e-04,1.185919e-04,1.184649e-04,1.183360e-04,1.182597e-04,1.180434e-04,1.180340e-04,1.177897e-04,1.177181e-04,1.175282e-04,1.173637e-04,1.172511e-04,1.169836e-04,1.169598e-04,1.166557e-04,1.165809e-04,1.163398e-04,1.161582e-04,1.160133e-04,1.157180e-04,1.156772e-04,1.153326e-04,1.152627e-04,1.149802e-04,1.147943e-04,1.146211e-04,1.143146e-04,1.142558e-04,1.138852e-04,1.138254e-04,1.135099e-04,1.133283e-04,1.131305e-04,1.128245e-04,1.127477e-04,1.123619e-04,1.123154e-04,1.119737e-04,1.118023e-04,1.115835e-04,1.112860e-04,1.111919e-04,1.107991e-04,1.107676e-04,1.104055e-04,1.102480e-04,1.100116e-04,1.097279e-04,1.096176e-04,1.092239e-04,1.092082e-04,1.088307e-04,1.086893e-04,1.084383e-04,1.081720e-04,1.080469e-04,1.076568e-04,1.071442e-04,1.066345e-04,1.061283e-04,1.056258e-04,1.051274e-04,1.046333e-04,1.041440e-04,1.036594e-04,1.031800e-04,1.027058e-04,1.022371e-04,1.017739e-04,1.013164e-04,1.008647e-04,1.004189e-04,9.997900e-05,9.954516e-05,9.911738e-05,9.869571e-05,9.828017e-05,9.787079e-05,9.746757e-05,9.707052e-05,9.667962e-05
0.000000e+00,2.135325e-10,7.128047e-10,3.992768e-09,1.189135e-08,1.933100e-08,5.364881e-08,5.562181e-08,1.223934e-07,1.478776e-07,2.294955e-07,3.174847e-07,3.875184e-07,5.875616e-07,6.077285e-07,9.005117e-07,9.823815e-07,1.271693e-06,1.513358e-06,1.719219e-06,2.169277e-06,2.234277e-06,2.805594e-06,2.925651e-06,3.422598e-06,3.758439e-06,4.076250e-06,4.647908e-06,4.758750e-06,5.463070e-06,5.577343e-06,6.182654e-06,6.531643e-06,6.911306e-06,7.496824e-06,7.643194e-06,8.372900e-06,8.460078e-06,9.095485e-06,9.410013e-06,9.806549e-06,1.033687e-05,1.050226e-05,1.117937e-05,1.123266e-05,1.183521e-05,1.209109e-05,1.246764e-05,1.290756e-05,1.307503e-05,1.365621e-05,1.367890e-05,1.421042e-05,1.440323e-05,1.473722e-05,1.507972e-05,1.523650e-05,1.570837e-05,1.615315e-05,1.628984e-05,1.657134e-05,1.682531e-05,1.696357e-05,1.731633e-05,1.733054e-05,1.767305e-05,1.776469e-05,1.799197e-05,1.817235e-05,1.828816e-05,1.854137e-05,1.856254e-05,1.881603e-05,1.887385e-05,1.904953e-05,1.917191e-05,1.926397e-05,1.943760e-05,1.946022e-05,1.963918e-05,1.967297e-05,1.980168e-05,1.987995e-05,1.994855e-05,2.006043e-05,2.008059e-05,2.019858e-05,2.021620e-05,2.030325e-05,2.034898e-05,2.039533e-05,2.046038e-05,2.047550e-05,2.054440e-05,2.055194e-05,2.060268e-05,2.062511e-05,2.065093e-05,2.068125e-05,2.068973e-05,2.071963e-05,2.072165e-05,2.074115e-05,2.074752e-05,2.075478e-05,2.075999e-05,2.076101e-05,2.076029e-05,2.076012e-05,2.075304e-05,2.074892e-05,2.073968e-05,2.072730e-05,2.072060e-05,2.069615e-05,2.066670e-05,2.065628e-05,2.063258e-05,2.060844e-05,2.059410e-05,2.055334e-05,2.055156e-05,2.050526e-05,2.049165e-05,2.045544e-05,2.042398e-05,2.040238e-05,2.035091e-05,2.034632e-05,2.028747e-05,2.027296e-05,2.022607e-05,2.019064e-05,2.016231e-05,2.010441e-05,2.009639e-05,2.002849e-05,2.001469e-05,1.995878e-05,1.992188e-05,1.988744e-05,1.982636e-05,1.981461e-05,1.974044e-05,1.972846e-05,1.966507e-05,1.962850e-05,1.958863e-05,1.952678e-05,1.951124e-05,1.943301e-05,1.942357e-05,1.935406e-05,1.931912e-05,1.927449e-05,1.921366e-05,1.919440e-05,1.911387e-05,1.910741e-05,1.903299e-05,1.900056e-05,1.895185e-05,1.889330e-05,1.887051e-05,1.878905e-05,1.878579e-05,1.870754e-05,1.867819e-05,1.862603e-05,1.857064e-05,1.854460e-05,1.846328e-05,1.835621e-05,1.824955e-05,1.814340e-05,1.803784e-05,1.793296e-05,1.782884e-05,1.772554e-05,1.762312e-05,1.752164e-05,1.742115e-05,1.732169e-05,1.722329e-05,1.712600e-05,1.702984e-05,1.693484e-05,1.684103e-05,1.674841e-05,1.665701e-05,1.656684e-05,1.647792e-05,1.639024e-05,1.630381e-05,1.621865e-05,1.613475e-05
0.000000e+00,1.767822e-10,6.785193e-10,4.950008e-09,1.825427e-08,3.303850e-08,1.175490e-07,1.230098e-07,3.336446e-07,4.243817e-07,7.425521e-07,1.121664e-06,1.443821e-06,2.436702e-06,2.541568e-06,4.136713e-06,4.603361e-06,6.313029e-06,7.808818e-06,9.129937e-06,1.216654e-05,1.262178e-05,1.680005e-05,1.771765e-05,2.165629e-05,2.444151e-05,2.716467e-05,3.226621e-05,3.328437e-05,3.996162e-05,4.107755e-05,4.713195e-05,5.072767e-05,5.472234e-05,6.104405e-05,6.265365e-05,7.084305e-05,7.183913e-05,7.920647e-05,8.292001e-05,8.766086e-05,9.409771e-05,9.612632e-05,1.045278e-04,1.051951e-04,1.127966e-04,1.160530e-04,1.208714e-04,1.265348e-04,1.286987e-04,1.362335e-04,1.365283e-04,1.434389e-04,1.459465e-04,1.502863e-04,1.547269e-04,1.567545e-04,1.628292e-04,1.685028e-04,1.702330e-04,1.737727e-04,1.769347e-04,1.786416e-04,1.829442e-04,1.831157e-04,1.872050e-04,1.882827e-04,1.909219e-04,1.929791e-04,1.942807e-04,1.970684e-04,1.972975e-04,1.999892e-04,2.005888e-04,2.023735e-04,2.035811e-04,2.044682e-04,2.060863e-04,2.062913e-04,2.078604e-04,2.081452e-04,2.091928e-04,2.097977e-04,2.103053e-04,2.110817e-04,2.112140e-04,2.119343e-04,2.120331e-04,2.124809e-04,2.126857e-04,2.128676e-04,2.130707e-04,2.131075e-04,2.132129e-04,2.132170e-04,2.131952e-04,2.131512e-04,2.130651e-04,2.128974e-04,2.128328e-04,2.125074e-04,2.124776e-04,2.120976e-04,2.119119e-04,2.116115e-04,2.112184e-04,2.110564e-04,2.104392e-04,2.104134e-04,2.097663e-04,2.095115e-04,2.090433e-04,2.085260e-04,2.082758e-04,2.074687e-04,2.066266e-04,2.063504e-04,2.057536e-04,2.051805e-04,2.048537e-04,2.039676e-04,2.039303e-04,2.029867e-04,2.027193e-04,2.020260e-04,2.014424e-04,2.010508e-04,2.001430e-04,2.000637e-04,1.990669e-04,1.988265e-04,1.980627e-04,1.974978e-04,1.970529e-04,1.961610e-04,1.960392e-04,1.950234e-04,1.948201e-04,1.940068e-04,1.934784e-04,1.929909e-04,1.921389e-04,1.919768e-04,1.909657e-04,1.908043e-04,1.899585e-04,1.894768e-04,1.889563e-04,1.881585e-04,1.879597e-04,1.869696e-04,1.868513e-04,1.859867e-04,1.855566e-04,1.850115e-04,1.842759e-04,1.840446e-04,1.830865e-04,1.830103e-04,1.821377e-04,1.817608e-04,1.811985e-04,1.805284e-04,1.802692e-04,1.793503e-04,1.793137e-04,1.784419e-04,1.781175e-04,1.775442e-04,1.769401e-04,1.766575e-04,1.757820e-04,1.746435e-04,1.735250e-04,1.724265e-04,1.713483e-04,1.702903e-04,1.692526e-04,1.682351e-04,1.672379e-04,1.662608e-04,1.653036e-04,1.643663e-04,1.634486e-04,1.625504e-04,1.616714e-04,1.608114e-04,1.599701e-04,1.591473e-04,1.583427e-04,1.575560e-04,1.567869e-04,1.560352e-04,1.553005e-04,1.545826e-04,1.538811e-04
0.000000e+00,9.969692e-11,2.389875e-10,8.693242e-10,2.057150e-09,3.069066e-09,7.462328e-09,7.712057e-09,1.631344e-08,1.968937e-08,3.070119e-08,4.254423e-08,5.172422e-08,7.625048e-08,7.858373e-08,1.100760e-07,1.182231e-07,1.453727e-07,1.666055e-07,1.839713e-07,2.203901e-07,2.255219e-07,2.697220e-07,2.788534e-07,3.162662e-07,3.412883e-07,3.648286e-07,4.069273e-07,4.150621e-07,4.666048e-07,4.749486e-07,5.190906e-07,5.445129e-07,5.721604e-07,6.148050e-07,6.254705e-07,6.787014e-07,6.850696e-07,7.315623e-07,7.546360e-07,7.837948e-07,8.229320e-07,8.351746e-07,8.855109e-07,8.894877e-07,9.346449e-07,9.539321e-07,9.824480e-07,1.015984e-06,1.028819e-06,1.073681e-06,1.075443e-06,1.116978e-06,1.132174e-06,1.158673e-06,1.186100e-06,1.198746e-06,1.237187e-06,1.274001e-06,1.285440e-06,1.309200e-06,1.330888e-06,1.342803e-06,1.373585e-06,1.374836e-06,1.405331e-06,1.413598e-06,1.434320e-06,1.451007e-06,1.461842e-06,1.485899e-06,1.487935e-06,1.512639e-06,1.518366e-06,1.535996e-06,1.548504e-06,1.558049e-06,1.576411e-06,1.578840e-06,1.598412e-06,1.602183e-06,1.616805e-06,1.625919e-06,1.634063e-06,1.647713e-06,1.650227e-06,1.665337e-06,1.667659e-06,1.679432e-06,1.685849e-06,1.692553e-06,1.702373e-06,1.704736e-06,1.716020e-06,1.717315e-06,1.726440e-06,1.730760e-06,1.736032e-06,1.742789e-06,1.744829e-06,1.752866e-06,1.753477e-06,1.760174e-06,1.762900e-06,1.766785e-06,1.771130e-06,1.772729e-06,1.778035e-06,1.778234e-06,1.782731e-06,1.784278e-06,1.786846e-06,1.789325e-06,1.790405e-06,1.793434e-06,1.795958e-06,1.796662e-06,1.798000e-06,1.799065e-06,1.799583e-06,1.800692e-06,1.800730e-06,1.801462e-06,1.801595e-06,1.801799e-06,1.801820e-06,1.801760e-06,1.801410e-06,1.801366e-06,1.800634e-06,1.800410e-06,1.799582e-06,1.798859e-06,1.798226e-06,1.796795e-06,1.796583e-06,1.794669e-06,1.794254e-06,1.792497e-06,1.791272e-06,1.790084e-06,1.787879e-06,1.787442e-06,1.784584e-06,1.784108e-06,1.781524e-06,1.779987e-06,1.778273e-06,1.775543e-06,1.774844e-06,1.771246e-06,1.770804e-06,1.767492e-06,1.765793e-06,1.763590e-06,1.760533e-06,1.759552e-06,1.755386e-06,1.755047e-06,1.751101e-06,1.749356e-06,1.746706e-06,1.743478e-06,1.742210e-06,1.737619e-06,1.737433e-06,1.732941e-06,1.731238e-06,1.728184e-06,1.724908e-06,1.723355e-06,1.718459e-06,1.711906e-06,1.705263e-06,1.698541e-06,1.691753e-06,1.684911e-06,1.678024e-06,1.671102e-06,1.664155e-06,1.657191e-06,1.650218e-06,1.643243e-06,1.636275e-06,1.629318e-06,1.622379e-06,1.615465e-06,1.608579e-06,1.601727e-06,1.594913e-06,1.588141e-06,1.581415e-06,1.574739e-06,1.568115e-06,1.561547e-06,1.555037e-06
0.000000e+00,2.727475e-11,6.314998e-11,2.215356e-10,5.165100e-10,7.674181e-10,1.862663e-09,1.925272e-09,4.100916e-09,4.962387e-09,7.786545e-09,1.082872e-08,1.318006e-08,1.940675e-08,1.999427e-08,2.783920e-08,2.984366e-08,3.645444e-08,4.155599e-08,4.568759e-08,5.424409e-08,5.543887e-08,6.562811e-08,6.771183e-08,7.617925e-08,8.178319e-08,8.701460e-08,9.627731e-08,9.805396e-08,1.092158e-07,1.110076e-07,1.204193e-07,1.257888e-07,1.315870e-07,1.404468e-07,1.426469e-07,1.535335e-07,1.548255e-07,1.641893e-07,1.687917e-07,1.745648e-07,1.822373e-07,1.846193e-07,1.943206e-07,1.950806e-07,2.036437e-07,2.072629e-07,2.125707e-07,2.187461e-07,2.210899e-07,2.291948e-07,2.295103e-07,2.368837e-07,2.395500e-07,2.441577e-07,2.488693e-07,2.510216e-07,2.574827e-07,2.635504e-07,2.654106e-07,2.692354e-07,2.726785e-07,2.745498e-07,2.793147e-07,2.795063e-07,2.841179e-07,2.853492e-07,2.883984e-07,2.908134e-07,2.923614e-07,2.957388e-07,2.960207e-07,2.993898e-07,3.001567e-07,3.024823e-07,3.040981e-07,3.053111e-07,3.075927e-07,3.078893e-07,3.102291e-07,3.106695e-07,3.123427e-07,3.133562e-07,3.142417e-07,3.156793e-07,3.159374e-07,3.174405e-07,3.176639e-07,3.187616e-07,3.193339e-07,3.199105e-07,3.207121e-07,3.208968e-07,3.217297e-07,3.218197e-07,3.224179e-07,3.226770e-07,3.229697e-07,3.233029e-07,3.233932e-07,3.236960e-07,3.237152e-07,3.238853e-07,3.239308e-07,3.239680e-07,3.239653e-07,3.239508e-07,3.238398e-07,3.238335e-07,3.236411e-07,3.235492e-07,3.233603e-07,3.231253e-07,3.230029e-07,3.225738e-07,3.220781e-07,3.219061e-07,3.215202e-07,3.211326e-07,3.209046e-07,3.202631e-07,3.202354e-07,3.195166e-07,3.193069e-07,3.187518e-07,3.182724e-07,3.179447e-07,3.171676e-07,3.170985e-07,3.162165e-07,3.159998e-07,3.153015e-07,3.147759e-07,3.143566e-07,3.135023e-07,3.133842e-07,3.123870e-07,3.121848e-07,3.113674e-07,3.108290e-07,3.103275e-07,3.094400e-07,3.092696e-07,3.081956e-07,3.080224e-07,3.071075e-07,3.065807e-07,3.060070e-07,3.051188e-07,3.048958e-07,3.037755e-07,3.036405e-07,3.026476e-07,3.021493e-07,3.015135e-07,3.006482e-07,3.003744e-07,2.992317e-07,2.991402e-07,2.980865e-07,2.976280e-07,2.969399e-07,2.961141e-07,2.957929e-07,2.946465e-07,2.946006e-07,2.935015e-07,2.930898e-07,2.923588e-07,2.915834e-07,2.912191e-07,2.900833e-07,2.885910e-07,2.871078e-07,2.856352e-07,2.841744e-07,2.827263e-07,2.812919e-07,2.798721e-07,2.784677e-07,2.770793e-07,2.757076e-07,2.743530e-07,2.730160e-07,2.716971e-07,2.703965e-07,2.691146e-07,2.678516e-07,2.666076e-07,2.653828e-07,2.641774e-07,2.629913e-07,2.618247e-07,2.606776e-07,2.595498e-07,2.584414e-07
0.000000e+00,3.118831e-10,1.099288e-09,6.788649e-09,2.175468e-08,3.661529e-08,1.094961e-07,1.138221e-07,2.648787e-07,3.241428e-07,5.174376e-07,7.297513e-07,9.006809e-07,1.395419e-06,1.445736e-06,2.184492e-06,2.393908e-06,3.144868e-06,3.786124e-06,4.342766e-06,5.592237e-06,5.776204e-06,7.427229e-06,7.781277e-06,9.269389e-06,1.029348e-05,1.127462e-05,1.306575e-05,1.341666e-05,1.567186e-05,1.604173e-05,1.801867e-05,1.917178e-05,2.043713e-05,2.241076e-05,2.290836e-05,2.541442e-05,2.571668e-05,2.793836e-05,2.905042e-05,3.046427e-05,3.237619e-05,3.297745e-05,3.546455e-05,3.566202e-05,3.791363e-05,3.888023e-05,4.031424e-05,4.200757e-05,4.265740e-05,4.493557e-05,4.502525e-05,4.714258e-05,4.791870e-05,4.927353e-05,5.067719e-05,5.132471e-05,5.329341e-05,5.517788e-05,5.576293e-05,5.697712e-05,5.808377e-05,5.869087e-05,6.025593e-05,6.031945e-05,6.186366e-05,6.228108e-05,6.332472e-05,6.416208e-05,6.470419e-05,6.590280e-05,6.600388e-05,6.722585e-05,6.750780e-05,6.837228e-05,6.898215e-05,6.944550e-05,7.033128e-05,7.044791e-05,7.138199e-05,7.156082e-05,7.225022e-05,7.267652e-05,7.305512e-05,7.368410e-05,7.379916e-05,7.448480e-05,7.458925e-05,7.511448e-05,7.539756e-05,7.569059e-05,7.611448e-05,7.621547e-05,7.669141e-05,7.674534e-05,7.712062e-05,7.729523e-05,7.750527e-05,7.776908e-05,7.784744e-05,7.814918e-05,7.817163e-05,7.841244e-05,7.850740e-05,7.863914e-05,7.878075e-05,7.883110e-05,7.899011e-05,7.899580e-05,7.911785e-05,7.915650e-05,7.921598e-05,7.926659e-05,7.928606e-05,7.932962e-05,7.934811e-05,7.934896e-05,7.934293e-05,7.932781e-05,7.931542e-05,7.926920e-05,7.926687e-05,7.919850e-05,7.917597e-05,7.911150e-05,7.905083e-05,7.900700e-05,7.889632e-05,7.888606e-05,7.874974e-05,7.871484e-05,7.859901e-05,7.850866e-05,7.843482e-05,7.827990e-05,7.825806e-05,7.806960e-05,7.803057e-05,7.787025e-05,7.776254e-05,7.766079e-05,7.747759e-05,7.744198e-05,7.721452e-05,7.717736e-05,7.697908e-05,7.686342e-05,7.673631e-05,7.653722e-05,7.648682e-05,7.623119e-05,7.620012e-05,7.596997e-05,7.585340e-05,7.570370e-05,7.549825e-05,7.543286e-05,7.515793e-05,7.513578e-05,7.487937e-05,7.476702e-05,7.459759e-05,7.439295e-05,7.431301e-05,7.402599e-05,7.401447e-05,7.373691e-05,7.363240e-05,7.344610e-05,7.324754e-05,7.315390e-05,7.286059e-05,7.247224e-05,7.208309e-05,7.169373e-05,7.130468e-05,7.091642e-05,7.052942e-05,7.014407e-05,6.976076e-05,6.937983e-05,6.900160e-05,6.862636e-05,6.825437e-05,6.788585e-05,6.752103e-05,6.716009e-05,6.680322e-05,6.645054e-05,6.610221e-05,6.575834e-05,6.541903e-05,6.508437e-05,6.475443e-05,6.442928e-05,6.410897e-05
0.000000e+00,1.154411e-10,4.080472e-10,2.529137e-09,8.111576e-09,1.364555e-08,4.062719e-08,4.222089e-08,9.739973e-08,1.188268e-07,1.879879e-07,2.628548e-07,3.224125e-07,4.917994e-07,5.088080e-07,7.547116e-07,8.232809e-07,1.065773e-06,1.269205e-06,1.443437e-06,1.827485e-06,1.883268e-06,2.375877e-06,2.479722e-06,2.909718e-06,3.199816e-06,3.473509e-06,3.962922e-06,4.057309e-06,4.652634e-06,4.748455e-06,5.252204e-06,5.539611e-06,5.849673e-06,6.322371e-06,6.439475e-06,7.016743e-06,7.084967e-06,7.577298e-06,7.817722e-06,8.117647e-06,8.513048e-06,8.634985e-06,9.127172e-06,9.165411e-06,9.592702e-06,9.771223e-06,1.003065e-05,1.032864e-05,1.044059e-05,1.082258e-05,1.083728e-05,1.117701e-05,1.129798e-05,1.150458e-05,1.171247e-05,1.180625e-05,1.208311e-05,1.233641e-05,1.241270e-05,1.256744e-05,1.270424e-05,1.277756e-05,1.296085e-05,1.296811e-05,1.314044e-05,1.318560e-05,1.329582e-05,1.338144e-05,1.343552e-05,1.355121e-05,1.356072e-05,1.367254e-05,1.369751e-05,1.377205e-05,1.382276e-05,1.386022e-05,1.392917e-05,1.393797e-05,1.400617e-05,1.401873e-05,1.406558e-05,1.409324e-05,1.411693e-05,1.415434e-05,1.416090e-05,1.419809e-05,1.420345e-05,1.422907e-05,1.424188e-05,1.425434e-05,1.427078e-05,1.427439e-05,1.428964e-05,1.429117e-05,1.430049e-05,1.430396e-05,1.430730e-05,1.430998e-05,1.431040e-05,1.431010e-05,1.430994e-05,1.430667e-05,1.430448e-05,1.430038e-05,1.429420e-05,1.429145e-05,1.428010e-05,1.427960e-05,1.426653e-05,1.426114e-05,1.425093e-05,1.423924e-05,1.423346e-05,1.421427e-05,1.419351e-05,1.418656e-05,1.417132e-05,1.415641e-05,1.414781e-05,1.412410e-05,1.412309e-05,1.409728e-05,1.408987e-05,1.407047e-05,1.405394e-05,1.404274e-05,1.401651e-05,1.401420e-05,1.398490e-05,1.397776e-05,1.395492e-05,1.393787e-05,1.392434e-05,1.389698e-05,1.389322e-05,1.386160e-05,1.385523e-05,1.382956e-05,1.381274e-05,1.379713e-05,1.376964e-05,1.376437e-05,1.373133e-05,1.372602e-05,1.369804e-05,1.368198e-05,1.366454e-05,1.363762e-05,1.363087e-05,1.359706e-05,1.359300e-05,1.356316e-05,1.354821e-05,1.352917e-05,1.350331e-05,1.349514e-05,1.346109e-05,1.345837e-05,1.342705e-05,1.341344e-05,1.339303e-05,1.336857e-05,1.335906e-05,1.332517e-05,1.332381e-05,1.329135e-05,1.327921e-05,1.325765e-05,1.323480e-05,1.322407e-05,1.319062e-05,1.314671e-05,1.310309e-05,1.305979e-05,1.301684e-05,1.297426e-05,1.293207e-05,1.289029e-05,1.284894e-05,1.280803e-05,1.276757e-05,1.272759e-05,1.268807e-05,1.264905e-05,1.261051e-05,1.257248e-05,1.253496e-05,1.249795e-05,1.246146e-05,1.242548e-05,1.239003e-05,1.235510e-05,1.232069e-05,1.228681e-05,1.225345e-05
0.000000e+00,7.474980e-11,1.838421e-10,6.789729e-10,1.590197e-09,2.341474e-09,5.377851e-09,5.541129e-09,1.073786e-08,1.261362e-08,1.839421e-08,2.436248e-08,2.897434e-08,4.165823e-08,4.290406e-08,6.046895e-08,6.523182e-08,8.164489e-08,9.492253e-08,1.059594e-07,1.292936e-07,1.325788e-07,1.605998e-07,1.663027e-07,1.892739e-07,2.042526e-07,2.180495e-07,2.420053e-07,2.465291e-07,2.744203e-07,2.788128e-07,3.015036e-07,3.141664e-07,3.276141e-07,3.477201e-07,3.526318e-07,3.764740e-07,3.792533e-07,3.990902e-07,4.086462e-07,4.204573e-07,4.358596e-07,4.405744e-07,4.594586e-07,4.609169e-07,4.771411e-07,4.838867e-07,4.936635e-07,5.048685e-07,5.090746e-07,5.234278e-07,5.239807e-07,5.367794e-07,5.413518e-07,5.491866e-07,5.571131e-07,5.607063e-07,5.713945e-07,5.813048e-07,5.843203e-07,5.904886e-07,5.960076e-07,5.989946e-07,6.065657e-07,6.068691e-07,6.141554e-07,6.160958e-07,6.208941e-07,6.246903e-07,6.271229e-07,6.324337e-07,6.328774e-07,6.381901e-07,6.394029e-07,6.430917e-07,6.456677e-07,6.476107e-07,6.512917e-07,6.517733e-07,6.556036e-07,6.563318e-07,6.591239e-07,6.608388e-07,6.623547e-07,6.648588e-07,6.653151e-07,6.680228e-07,6.684338e-07,6.704945e-07,6.716014e-07,6.727451e-07,6.743959e-07,6.747888e-07,6.766386e-07,6.768481e-07,6.783066e-07,6.789859e-07,6.798042e-07,6.808349e-07,6.811419e-07,6.823293e-07,6.824181e-07,6.833757e-07,6.837566e-07,6.842893e-07,6.848695e-07,6.850783e-07,6.857498e-07,6.857743e-07,6.863108e-07,6.864870e-07,6.867678e-07,6.870223e-07,6.871268e-07,6.873935e-07,6.875732e-07,6.876131e-07,6.876707e-07,6.876923e-07,6.876909e-07,6.876416e-07,6.876381e-07,6.875164e-07,6.874706e-07,6.873298e-07,6.871882e-07,6.870818e-07,6.868026e-07,6.867761e-07,6.864157e-07,6.863214e-07,6.860039e-07,6.857518e-07,6.855434e-07,6.851003e-07,6.850372e-07,6.844878e-07,6.843729e-07,6.838976e-07,6.835754e-07,6.832690e-07,6.827130e-07,6.826043e-07,6.819055e-07,6.817907e-07,6.811747e-07,6.808131e-07,6.804137e-07,6.797844e-07,6.796244e-07,6.788085e-07,6.787089e-07,6.779676e-07,6.775901e-07,6.771033e-07,6.764317e-07,6.762171e-07,6.753103e-07,6.752369e-07,6.743844e-07,6.740089e-07,6.734405e-07,6.727506e-07,6.724800e-07,6.715040e-07,6.714647e-07,6.705136e-07,6.701538e-07,6.695099e-07,6.688203e-07,6.684939e-07,6.674665e-07,6.660946e-07,6.647065e-07,6.633042e-07,6.618894e-07,6.604638e-07,6.590291e-07,6.575866e-07,6.561379e-07,6.546842e-07,6.532268e-07,6.517669e-07,6.503055e-07,6.488437e-07,6.473825e-07,6.459227e-07,6.444654e-07,6.430112e-07,6.415610e-07,6.401154e-07,6.386752e-07,6.372409e-07,6.358132e-07,6.343926e-07,6.329796e-07
0.000000e+00,4.143178e-11,1.589967e-10,1.159029e-09,4.268355e-09,7.717001e-09,2.734356e-08,2.860766e-08,7.708400e-08,9.782479e-08,1.700313e-07,2.552478e-07,3.271552e-07,5.471290e-07,5.702875e-07,9.227920e-07,1.026350e-06,1.408834e-06,1.748246e-06,2.052070e-06,2.764803e-06,2.873314e-06,3.887376e-06,4.114025e-06,5.100165e-06,5.808322e-06,6.507369e-06,7.829723e-06,8.095072e-06,9.841761e-06,1.013426e-05,1.172084e-05,1.266126e-05,1.370300e-05,1.534277e-05,1.575824e-05,1.785729e-05,1.811079e-05,1.997262e-05,2.090195e-05,2.207909e-05,2.366021e-05,2.415432e-05,2.617883e-05,2.633808e-05,2.813607e-05,2.889699e-05,3.001240e-05,3.130703e-05,3.179691e-05,3.348128e-05,3.354648e-05,3.505959e-05,3.560103e-05,3.652806e-05,3.746288e-05,3.788486e-05,3.912984e-05,4.026430e-05,4.060437e-05,4.129075e-05,4.189258e-05,4.221270e-05,4.300342e-05,4.303442e-05,4.376080e-05,4.394781e-05,4.439712e-05,4.473799e-05,4.494894e-05,4.538687e-05,4.542195e-05,4.582184e-05,4.590757e-05,4.615426e-05,4.631300e-05,4.642469e-05,4.661560e-05,4.663842e-05,4.680048e-05,4.682712e-05,4.691564e-05,4.695848e-05,4.698837e-05,4.701972e-05,4.702283e-05,4.702287e-05,4.701993e-05,4.699207e-05,4.696729e-05,4.693367e-05,4.686910e-05,4.685066e-05,4.674575e-05,4.673180e-05,4.662140e-05,4.656111e-05,4.647985e-05,4.636202e-05,4.632313e-05,4.615304e-05,4.613890e-05,4.597122e-05,4.589555e-05,4.577915e-05,4.563526e-05,4.557815e-05,4.536940e-05,4.536091e-05,4.515397e-05,4.507497e-05,4.493282e-05,4.477960e-05,4.470680e-05,4.447667e-05,4.424313e-05,4.416778e-05,4.400680e-05,4.385434e-05,4.376823e-05,4.353756e-05,4.352792e-05,4.328632e-05,4.321850e-05,4.304383e-05,4.289806e-05,4.280081e-05,4.257706e-05,4.255760e-05,4.231448e-05,4.225617e-05,4.207171e-05,4.193601e-05,4.182955e-05,4.161711e-05,4.158820e-05,4.134786e-05,4.129993e-05,4.110871e-05,4.098487e-05,4.087090e-05,4.067228e-05,4.063457e-05,4.039986e-05,4.036247e-05,4.016688e-05,4.005570e-05,3.993573e-05,3.975220e-05,3.970651e-05,3.947929e-05,3.945216e-05,3.925415e-05,3.915576e-05,3.903115e-05,3.886315e-05,3.881036e-05,3.859182e-05,3.857444e-05,3.837558e-05,3.828974e-05,3.816168e-05,3.800914e-05,3.795016e-05,3.774103e-05,3.773271e-05,3.753432e-05,3.746050e-05,3.733006e-05,3.719256e-05,3.712825e-05,3.692892e-05,3.666960e-05,3.641460e-05,3.616395e-05,3.591762e-05,3.567562e-05,3.543792e-05,3.520450e-05,3.497533e-05,3.475039e-05,3.452963e-05,3.431302e-05,3.410051e-05,3.389206e-05,3.368763e-05,3.348716e-05,3.329060e-05,3.309789e-05,3.290900e-05,3.272385e-05,3.254239e-05,3.236457e-05,3.219033e-05,3.201961e-05,3.185235e-05
0.000000e+00,3.328306e-11,7.660370e-11,2.647350e-10,6.033662e-10,8.806651e-10,1.998465e-09,2.058579e-09,3.975497e-09,4.669388e-09,6.814387e-09,9.038998e-09,1.076460e-08,1.553914e-08,1.601036e-08,2.269840e-08,2.452684e-08,3.088096e-08,3.608659e-08,4.046196e-08,4.986666e-08,5.120823e-08,6.283246e-08,6.523851e-08,7.506981e-08,8.160197e-08,8.770436e-08,9.849749e-08,1.005641e-07,1.135094e-07,1.155805e-07,1.264240e-07,1.325829e-07,1.392105e-07,1.492922e-07,1.517873e-07,1.640868e-07,1.655414e-07,1.760543e-07,1.812034e-07,1.876468e-07,1.961859e-07,1.988318e-07,2.095857e-07,2.104268e-07,2.198930e-07,2.238888e-07,2.297449e-07,2.365539e-07,2.391376e-07,2.480723e-07,2.484202e-07,2.565537e-07,2.594974e-07,2.645891e-07,2.698033e-07,2.721883e-07,2.793627e-07,2.861249e-07,2.882040e-07,2.924885e-07,2.963585e-07,2.984676e-07,3.038594e-07,3.040769e-07,3.093312e-07,3.107407e-07,3.142450e-07,3.170359e-07,3.188328e-07,3.227778e-07,3.231088e-07,3.270870e-07,3.279990e-07,3.307812e-07,3.327308e-07,3.342046e-07,3.370033e-07,3.373699e-07,3.402896e-07,3.408451e-07,3.429758e-07,3.442841e-07,3.454400e-07,3.473466e-07,3.476934e-07,3.497469e-07,3.500576e-07,3.516107e-07,3.524408e-07,3.532947e-07,3.545188e-07,3.548084e-07,3.561609e-07,3.563128e-07,3.573611e-07,3.578430e-07,3.584171e-07,3.591282e-07,3.593370e-07,3.601283e-07,3.601863e-07,3.607984e-07,3.610341e-07,3.613543e-07,3.616874e-07,3.618024e-07,3.621493e-07,3.621611e-07,3.624008e-07,3.624691e-07,3.625627e-07,3.626245e-07,3.626406e-07,3.626395e-07,3.625645e-07,3.625257e-07,3.624203e-07,3.622937e-07,3.622113e-07,3.619537e-07,3.619418e-07,3.616159e-07,3.615151e-07,3.612374e-07,3.609866e-07,3.608100e-07,3.603766e-07,3.603371e-07,3.598221e-07,3.596926e-07,3.592680e-07,3.589418e-07,3.586778e-07,3.581308e-07,3.580544e-07,3.574003e-07,3.572660e-07,3.567181e-07,3.563531e-07,3.560102e-07,3.553974e-07,3.552789e-07,3.545263e-07,3.544040e-07,3.537543e-07,3.533775e-07,3.529650e-07,3.523222e-07,3.521601e-07,3.513413e-07,3.512422e-07,3.505102e-07,3.501411e-07,3.496684e-07,3.490223e-07,3.488173e-07,3.479582e-07,3.478891e-07,3.470924e-07,3.467444e-07,3.462211e-07,3.455909e-07,3.453454e-07,3.444663e-07,3.444311e-07,3.435850e-07,3.432673e-07,3.427022e-07,3.421016e-07,3.418190e-07,3.409360e-07,3.397722e-07,3.386118e-07,3.374565e-07,3.363074e-07,3.351660e-07,3.340332e-07,3.329102e-07,3.317978e-07,3.306968e-07,3.296081e-07,3.285322e-07,3.274698e-07,3.264214e-07,3.253874e-07,3.243682e-07,3.233641e-07,3.223755e-07,3.214026e-07,3.204456e-07,3.195047e-07,3.185799e-07,3.176714e-07,3.167791e-07,3.159032e-07
0.000000e+00,1.165209e-09,4.560411e-09,3.464404e-08,1.325397e-07,2.447400e-07,9.163381e-07,9.608686e-07,2.736678e-06,3.526079e-06,6.367588e-06,9.860031e-06,1.289623e-05,2.256537e-05,2.361109e-05,4.003614e-05,4.501614e-05,6.389680e-05,8.119427e-05,9.704292e-05,1.353714e-04,1.413344e-04,1.985261e-04,2.116542e-04,2.701824e-04,3.136097e-04,3.576259e-04,4.440586e-04,4.619114e-04,5.838151e-04,6.049917e-04,7.238330e-04,7.975507e-04,8.821855e-04,1.022046e-03,1.058827e-03,1.253457e-03,1.277998e-03,1.465539e-03,1.564197e-03,1.694320e-03,1.878786e-03,1.938853e-03,2.198022e-03,2.219351e-03,2.470571e-03,2.583034e-03,2.755130e-03,2.966635e-03,3.050244e-03,3.354400e-03,3.366733e-03,3.666055e-03,3.779787e-03,3.983656e-03,4.202238e-03,4.305670e-03,4.630595e-03,4.956982e-03,5.061506e-03,5.283448e-03,5.491821e-03,5.608686e-03,5.918628e-03,5.931478e-03,6.250694e-03,6.339290e-03,6.565301e-03,6.751462e-03,6.874367e-03,7.153093e-03,7.177055e-03,7.472626e-03,7.542431e-03,7.760436e-03,7.918010e-03,8.039932e-03,8.278637e-03,8.310646e-03,8.572194e-03,8.623375e-03,8.824267e-03,8.951520e-03,9.066630e-03,9.262582e-03,9.299109e-03,9.521595e-03,9.556261e-03,9.734029e-03,9.832424e-03,9.936405e-03,1.009109e-02,1.012876e-02,1.031116e-02,1.033239e-02,1.048373e-02,1.055657e-02,1.064659e-02,1.076398e-02,1.079992e-02,1.094391e-02,1.095503e-02,1.107875e-02,1.113017e-02,1.120467e-02,1.128995e-02,1.132191e-02,1.143071e-02,1.143489e-02,1.153133e-02,1.156559e-02,1.162401e-02,1.168265e-02,1.170904e-02,1.178666e-02,1.185716e-02,1.187825e-02,1.192079e-02,1.195803e-02,1.197782e-02,1.202660e-02,1.202851e-02,1.207312e-02,1.208456e-02,1.211191e-02,1.213250e-02,1.214514e-02,1.217099e-02,1.217303e-02,1.219585e-02,1.220059e-02,1.221381e-02,1.222184e-02,1.222716e-02,1.223526e-02,1.223611e-02,1.224089e-02,1.224136e-02,1.224169e-02,1.224061e-02,1.223874e-02,1.223349e-02,1.223221e-02,1.222231e-02,1.222043e-02,1.220923e-02,1.220186e-02,1.219313e-02,1.217819e-02,1.217418e-02,1.215257e-02,1.214980e-02,1.212844e-02,1.211706e-02,1.210194e-02,1.208031e-02,1.207323e-02,1.204244e-02,1.203990e-02,1.200972e-02,1.199612e-02,1.197519e-02,1.194927e-02,1.193897e-02,1.190119e-02,1.189965e-02,1.186196e-02,1.184750e-02,1.182139e-02,1.179309e-02,1.177958e-02,1.173664e-02,1.167837e-02,1.161850e-02,1.155722e-02,1.149471e-02,1.143114e-02,1.136668e-02,1.130146e-02,1.123565e-02,1.116935e-02,1.110270e-02,1.103581e-02,1.096879e-02,1.090172e-02,1.083471e-02,1.076783e-02,1.070116e-02,1.063477e-02,1.056874e-02,1.050311e-02,1.043794e-02,1.037328e-02,1.030918e-02,1.024567e-02,1.018281e-02
0.000000e+00,4.400647e-11,1.014204e-10,3.519377e-10,8.065953e-10,1.181962e-09,2.719136e-09,2.802810e-09,5.518889e-09,6.523227e-09,9.691263e-09,1.306814e-08,1.574470e-08,2.337483e-08,2.414377e-08,3.530934e-08,3.843197e-08,4.946266e-08,5.866309e-08,6.648255e-08,8.349262e-08,8.593771e-08,1.072827e-07,1.117333e-07,1.300260e-07,1.422733e-07,1.537824e-07,1.743034e-07,1.782576e-07,2.032190e-07,2.072446e-07,2.284725e-07,2.406473e-07,2.538482e-07,2.741341e-07,2.791940e-07,3.043718e-07,3.073758e-07,3.292567e-07,3.400841e-07,3.537373e-07,3.720113e-07,3.777155e-07,4.011067e-07,4.029504e-07,4.238398e-07,4.327352e-07,4.458561e-07,4.612375e-07,4.671093e-07,4.875641e-07,4.883653e-07,5.071951e-07,5.140570e-07,5.259851e-07,5.382773e-07,5.439256e-07,5.610144e-07,5.772547e-07,5.822736e-07,5.926544e-07,6.020744e-07,6.072254e-07,6.204481e-07,6.209830e-07,6.339448e-07,6.374341e-07,6.461305e-07,6.530781e-07,6.575611e-07,6.674298e-07,6.682592e-07,6.782478e-07,6.805421e-07,6.875506e-07,6.924697e-07,6.961918e-07,7.032680e-07,7.041956e-07,7.115856e-07,7.129921e-07,7.183855e-07,7.216959e-07,7.246184e-07,7.294328e-07,7.303074e-07,7.354748e-07,7.362547e-07,7.401428e-07,7.422123e-07,7.443328e-07,7.473546e-07,7.480656e-07,7.513615e-07,7.517286e-07,7.542401e-07,7.553795e-07,7.567207e-07,7.583511e-07,7.588217e-07,7.605609e-07,7.606850e-07,7.619558e-07,7.624210e-07,7.630229e-07,7.635974e-07,7.637784e-07,7.642379e-07,7.642503e-07,7.644162e-07,7.644144e-07,7.643279e-07,7.641226e-07,7.639868e-07,7.634062e-07,7.625990e-07,7.622949e-07,7.615775e-07,7.608168e-07,7.603536e-07,7.589988e-07,7.589387e-07,7.573436e-07,7.568661e-07,7.555788e-07,7.544427e-07,7.536544e-07,7.517512e-07,7.515800e-07,7.493648e-07,7.488131e-07,7.470175e-07,7.456486e-07,7.445468e-07,7.422768e-07,7.419606e-07,7.392667e-07,7.387157e-07,7.364725e-07,7.349822e-07,7.335850e-07,7.310924e-07,7.306110e-07,7.275570e-07,7.270613e-07,7.244290e-07,7.229031e-07,7.212330e-07,7.186310e-07,7.179746e-07,7.146591e-07,7.142576e-07,7.112915e-07,7.097946e-07,7.078768e-07,7.052529e-07,7.044196e-07,7.009242e-07,7.006430e-07,6.973948e-07,6.959744e-07,6.938354e-07,6.912562e-07,6.902498e-07,6.866416e-07,6.864968e-07,6.830141e-07,6.817041e-07,6.793706e-07,6.768855e-07,6.757142e-07,6.720478e-07,6.671973e-07,6.623401e-07,6.574817e-07,6.526272e-07,6.477813e-07,6.429484e-07,6.381325e-07,6.333375e-07,6.285667e-07,6.238233e-07,6.191103e-07,6.144303e-07,6.097856e-07,6.051786e-07,6.006112e-07,5.960852e-07,5.916022e-07,5.871638e-07,5.827711e-07,5.784254e-07,5.741277e-07,5.698788e-07,5.656796e-07,5.615306e-07
0.000000e+00,6.452840e-11,1.579966e-10,5.836964e-10,1.373261e-09,2.028393e-09,4.699238e-09,4.843609e-09,9.463285e-09,1.113947e-08,1.632511e-08,2.170551e-08,2.588026e-08,3.744724e-08,3.859104e-08,5.490437e-08,5.939923e-08,7.518396e-08,8.834678e-08,9.959632e-08,1.243972e-07,1.280051e-07,1.599786e-07,1.667502e-07,1.949288e-07,2.140798e-07,2.322623e-07,2.650784e-07,2.714550e-07,3.120617e-07,3.186637e-07,3.537007e-07,3.739545e-07,3.960380e-07,4.302100e-07,4.387766e-07,4.816510e-07,4.867935e-07,5.244240e-07,5.431570e-07,5.668860e-07,5.988356e-07,6.088540e-07,6.501707e-07,6.534437e-07,6.907034e-07,7.066717e-07,7.303421e-07,7.582777e-07,7.689979e-07,8.066017e-07,8.080831e-07,8.431002e-07,8.559612e-07,8.784549e-07,9.018295e-07,9.126407e-07,9.456432e-07,9.774571e-07,9.873868e-07,1.008085e-06,1.027069e-06,1.037536e-06,1.064715e-06,1.065825e-06,1.092969e-06,1.100367e-06,1.118990e-06,1.134075e-06,1.143914e-06,1.165897e-06,1.167766e-06,1.190575e-06,1.195897e-06,1.212369e-06,1.224141e-06,1.233177e-06,1.250697e-06,1.253030e-06,1.271958e-06,1.275635e-06,1.289991e-06,1.299024e-06,1.307158e-06,1.320930e-06,1.323488e-06,1.339011e-06,1.341422e-06,1.353756e-06,1.360564e-06,1.367749e-06,1.378421e-06,1.381018e-06,1.393590e-06,1.395053e-06,1.405490e-06,1.410520e-06,1.416744e-06,1.424879e-06,1.427376e-06,1.437409e-06,1.438187e-06,1.446867e-06,1.450495e-06,1.455773e-06,1.461854e-06,1.464147e-06,1.472010e-06,1.472314e-06,1.479383e-06,1.481921e-06,1.486285e-06,1.490719e-06,1.492735e-06,1.498752e-06,1.504352e-06,1.506059e-06,1.509553e-06,1.512680e-06,1.514371e-06,1.518651e-06,1.518822e-06,1.522921e-06,1.524008e-06,1.526684e-06,1.528785e-06,1.530123e-06,1.533013e-06,1.533252e-06,1.536086e-06,1.536723e-06,1.538635e-06,1.539944e-06,1.540914e-06,1.542703e-06,1.542932e-06,1.544702e-06,1.545027e-06,1.546234e-06,1.546940e-06,1.547539e-06,1.548467e-06,1.548627e-06,1.549507e-06,1.549629e-06,1.550189e-06,1.550449e-06,1.550682e-06,1.550946e-06,1.550994e-06,1.551133e-06,1.551139e-06,1.551109e-06,1.551047e-06,1.550927e-06,1.550688e-06,1.550595e-06,1.550122e-06,1.550078e-06,1.549512e-06,1.549232e-06,1.548774e-06,1.548165e-06,1.547912e-06,1.546934e-06,1.546892e-06,1.545844e-06,1.545426e-06,1.544649e-06,1.543779e-06,1.543354e-06,1.541964e-06,1.539991e-06,1.537872e-06,1.535617e-06,1.533236e-06,1.530738e-06,1.528131e-06,1.525424e-06,1.522625e-06,1.519741e-06,1.516778e-06,1.513745e-06,1.510646e-06,1.507489e-06,1.504278e-06,1.501019e-06,1.497716e-06,1.494376e-06,1.491002e-06,1.487598e-06,1.484168e-06,1.480717e-06,1.477248e-06,1.473764e-06,1.470268e-06
0.000000e+00,3.156471e-10,8.518740e-10,3.512261e-09,8.717877e-09,1.314379e-08,3.163035e-08,3.264292e-08,6.550176e-08,7.760129e-08,1.155057e-07,1.554800e-07,1.868817e-07,2.752300e-07,2.840465e-07,4.104556e-07,4.453073e-07,5.669631e-07,6.671117e-07,7.516606e-07,9.350719e-07,9.614746e-07,1.193481e-06,1.242323e-06,1.445226e-06,1.583221e-06,1.714582e-06,1.952992e-06,1.999556e-06,2.298171e-06,2.347081e-06,2.608402e-06,2.760829e-06,2.928165e-06,3.189413e-06,3.255338e-06,3.587786e-06,3.627933e-06,3.923405e-06,4.071554e-06,4.260158e-06,4.515653e-06,4.596110e-06,4.929454e-06,4.955958e-06,5.258539e-06,5.388641e-06,5.581878e-06,5.810384e-06,5.898164e-06,6.206263e-06,6.218402e-06,6.505218e-06,6.610447e-06,6.794242e-06,6.984778e-06,7.072705e-06,7.340125e-06,7.596148e-06,7.675628e-06,7.840542e-06,7.990787e-06,8.073178e-06,8.285418e-06,8.294026e-06,8.503131e-06,8.559590e-06,8.700606e-06,8.813578e-06,8.886622e-06,9.047825e-06,9.061399e-06,9.225194e-06,9.262901e-06,9.378294e-06,9.459474e-06,9.521011e-06,9.638276e-06,9.653676e-06,9.776632e-06,9.800089e-06,9.890231e-06,9.945724e-06,9.994832e-06,1.007600e-05,1.009079e-05,1.017847e-05,1.019175e-05,1.025822e-05,1.029378e-05,1.033039e-05,1.038290e-05,1.039532e-05,1.045336e-05,1.045988e-05,1.050483e-05,1.052548e-05,1.055005e-05,1.058042e-05,1.058932e-05,1.062296e-05,1.062542e-05,1.065125e-05,1.066113e-05,1.067447e-05,1.068820e-05,1.069289e-05,1.070677e-05,1.070724e-05,1.071637e-05,1.071882e-05,1.072192e-05,1.072350e-05,1.072366e-05,1.072180e-05,1.071656e-05,1.071420e-05,1.070814e-05,1.070117e-05,1.069674e-05,1.068316e-05,1.068254e-05,1.066572e-05,1.066057e-05,1.064645e-05,1.063378e-05,1.062490e-05,1.060317e-05,1.060120e-05,1.057553e-05,1.056908e-05,1.054800e-05,1.053183e-05,1.051877e-05,1.049172e-05,1.048795e-05,1.045566e-05,1.044904e-05,1.042202e-05,1.040404e-05,1.038715e-05,1.035697e-05,1.035114e-05,1.031408e-05,1.030807e-05,1.027609e-05,1.025754e-05,1.023724e-05,1.020560e-05,1.019762e-05,1.015730e-05,1.015242e-05,1.011637e-05,1.009818e-05,1.007489e-05,1.004305e-05,1.003294e-05,9.990566e-06,9.987161e-06,9.947842e-06,9.930666e-06,9.904821e-06,9.873692e-06,9.861556e-06,9.818097e-06,9.816355e-06,9.774492e-06,9.758768e-06,9.730787e-06,9.701031e-06,9.687022e-06,9.643239e-06,9.585476e-06,9.527824e-06,9.470354e-06,9.413133e-06,9.356222e-06,9.299675e-06,9.243543e-06,9.187872e-06,9.132703e-06,9.078073e-06,9.024014e-06,8.970557e-06,8.917729e-06,8.865551e-06,8.814046e-06,8.763229e-06,8.713118e-06,8.663724e-06,8.615058e-06,8.567129e-06,8.519944e-06,8.473509e-06,8.427827e-06,8.382900e-06
0.000000e+00,1.348720e-10,3.883261e-10,1.739595e-09,4.522398e-09,6.955368e-09,1.749818e-08,1.808968e-08,3.791062e-08,4.548018e-08,6.999256e-08,9.697478e-08,1.188574e-07,1.829973e-07,1.895710e-07,2.863360e-07,3.136497e-07,4.102329e-07,4.903941e-07,5.579817e-07,7.028915e-07,7.234705e-07,9.004642e-07,9.367858e-07,1.084076e-06,1.180983e-06,1.270875e-06,1.428497e-06,1.458496e-06,1.645262e-06,1.674977e-06,1.829927e-06,1.917530e-06,2.011534e-06,2.154109e-06,2.189334e-06,2.362741e-06,2.383231e-06,2.531301e-06,2.603842e-06,2.694679e-06,2.815231e-06,2.852637e-06,3.005023e-06,3.016970e-06,3.151757e-06,3.208862e-06,3.292820e-06,3.390890e-06,3.428243e-06,3.558093e-06,3.563172e-06,3.682471e-06,3.725930e-06,3.801499e-06,3.879454e-06,3.915319e-06,4.024083e-06,4.127952e-06,4.160183e-06,4.227093e-06,4.288139e-06,4.321674e-06,4.408340e-06,4.411866e-06,4.497836e-06,4.521173e-06,4.579750e-06,4.627019e-06,4.657771e-06,4.726248e-06,4.732057e-06,4.802764e-06,4.819218e-06,4.870041e-06,4.906271e-06,4.934032e-06,4.987738e-06,4.994878e-06,5.052713e-06,5.063930e-06,5.107667e-06,5.135147e-06,5.159865e-06,5.201669e-06,5.209426e-06,5.256466e-06,5.263766e-06,5.301094e-06,5.321690e-06,5.343416e-06,5.375681e-06,5.383532e-06,5.421541e-06,5.425965e-06,5.457534e-06,5.472755e-06,5.491599e-06,5.516253e-06,5.523823e-06,5.554285e-06,5.556649e-06,5.583064e-06,5.594120e-06,5.610233e-06,5.628837e-06,5.635862e-06,5.660021e-06,5.660957e-06,5.682772e-06,5.690630e-06,5.704179e-06,5.717997e-06,5.724299e-06,5.743190e-06,5.760905e-06,5.766334e-06,5.777496e-06,5.787546e-06,5.793011e-06,5.806938e-06,5.807498e-06,5.821001e-06,5.824612e-06,5.833564e-06,5.840668e-06,5.845228e-06,5.855197e-06,5.856030e-06,5.866010e-06,5.868287e-06,5.875202e-06,5.880019e-06,5.883642e-06,5.890471e-06,5.891360e-06,5.898390e-06,5.899716e-06,5.904760e-06,5.907822e-06,5.910500e-06,5.914853e-06,5.915635e-06,5.920194e-06,5.920872e-06,5.924200e-06,5.925934e-06,5.927678e-06,5.930096e-06,5.930651e-06,5.933140e-06,5.933407e-06,5.935166e-06,5.935916e-06,5.936750e-06,5.937670e-06,5.937910e-06,5.938666e-06,5.938710e-06,5.939035e-06,5.939078e-06,5.939033e-06,5.938812e-06,5.938677e-06,5.937983e-06,5.937948e-06,5.936965e-06,5.936522e-06,5.935637e-06,5.934565e-06,5.934014e-06,5.932108e-06,5.929181e-06,5.925811e-06,5.922024e-06,5.917845e-06,5.913298e-06,5.908404e-06,5.903184e-06,5.897659e-06,5.891848e-06,5.885768e-06,5.879436e-06,5.872870e-06,5.866083e-06,5.859091e-06,5.851907e-06,5.844545e-06,5.837017e-06,5.829336e-06,5.821511e-06,5.813555e-06,5.805477e-06,5.797287e-06,5.788995e-06,5.780609e-06
0.000000e+00,1.025813e-11,2.338122e-11,7.943786e-11,1.783782e-10,2.581792e-10,5.722787e-10,5.888894e-10,1.106918e-09,1.289650e-09,1.841462e-09,2.396145e-09,2.816073e-09,3.940162e-09,4.048561e-09,5.549957e-09,5.950754e-09,7.322121e-09,8.429355e-09,9.354104e-09,1.133636e-08,1.161923e-08,1.407636e-08,1.458655e-08,1.667627e-08,1.806794e-08,1.936904e-08,2.166902e-08,2.210881e-08,2.485534e-08,2.529302e-08,2.757401e-08,2.886029e-08,3.023552e-08,3.230696e-08,3.281539e-08,3.529376e-08,3.558356e-08,3.765505e-08,3.865381e-08,3.988768e-08,4.149342e-08,4.198370e-08,4.393841e-08,4.408860e-08,4.574991e-08,4.643445e-08,4.741871e-08,4.853319e-08,4.894725e-08,5.033955e-08,5.039248e-08,5.160079e-08,5.202390e-08,5.273702e-08,5.344161e-08,5.375486e-08,5.466128e-08,5.546341e-08,5.569923e-08,5.616836e-08,5.657177e-08,5.678314e-08,5.729480e-08,5.731453e-08,5.776906e-08,5.788341e-08,5.815292e-08,5.835177e-08,5.847198e-08,5.871299e-08,5.873171e-08,5.893726e-08,5.897906e-08,5.909338e-08,5.916089e-08,5.920451e-08,5.926834e-08,5.927473e-08,5.930780e-08,5.931027e-08,5.930719e-08,5.929462e-08,5.927607e-08,5.922851e-08,5.921738e-08,5.913378e-08,5.911825e-08,5.902771e-08,5.896949e-08,5.890143e-08,5.878723e-08,5.875697e-08,5.859622e-08,5.857592e-08,5.842088e-08,5.833952e-08,5.823251e-08,5.808153e-08,5.803255e-08,5.782230e-08,5.780507e-08,5.760295e-08,5.751291e-08,5.737559e-08,5.720750e-08,5.714123e-08,5.690075e-08,5.689102e-08,5.665501e-08,5.656540e-08,5.640475e-08,5.623236e-08,5.615068e-08,5.589342e-08,5.563355e-08,5.554993e-08,5.537161e-08,5.520311e-08,5.510808e-08,5.485400e-08,5.484340e-08,5.457797e-08,5.450357e-08,5.431216e-08,5.415264e-08,5.404632e-08,5.380196e-08,5.378073e-08,5.351569e-08,5.345219e-08,5.325145e-08,5.310391e-08,5.298824e-08,5.275763e-08,5.272627e-08,5.246573e-08,5.241381e-08,5.220680e-08,5.207285e-08,5.194964e-08,5.173509e-08,5.169438e-08,5.144116e-08,5.140084e-08,5.119008e-08,5.107036e-08,5.094125e-08,5.074388e-08,5.069477e-08,5.045072e-08,5.042160e-08,5.020917e-08,5.010369e-08,4.997018e-08,4.979030e-08,4.973381e-08,4.950011e-08,4.948154e-08,4.926913e-08,4.917751e-08,4.904090e-08,4.887829e-08,4.881545e-08,4.859280e-08,4.858395e-08,4.837298e-08,4.829454e-08,4.815600e-08,4.801008e-08,4.794188e-08,4.773061e-08,4.745613e-08,4.718664e-08,4.692214e-08,4.666260e-08,4.640801e-08,4.615834e-08,4.591355e-08,4.567359e-08,4.543843e-08,4.520801e-08,4.498229e-08,4.476120e-08,4.454469e-08,4.433269e-08,4.412515e-08,4.392200e-08,4.372317e-08,4.352860e-08,4.333821e-08,4.315195e-08,4.296972e-08,4.279148e-08,4.261715e-08,4.244665e-08
0.000000e+00,1.051121e-10,3.516183e-10,1.975641e-09,5.890989e-09,9.576200e-09,2.650379e-08,2.747300e-08,6.000904e-08,7.229368e-08,1.111691e-07,1.523367e-07,1.846056e-07,2.747295e-07,2.836718e-07,4.114146e-07,4.466459e-07,5.704973e-07,6.740865e-07,7.630189e-07,9.610986e-07,9.902029e-07,1.251986e-06,1.308376e-06,1.546665e-06,1.711834e-06,1.870857e-06,2.162604e-06,2.219910e-06,2.588581e-06,2.649036e-06,2.971658e-06,3.159217e-06,3.364324e-06,3.682466e-06,3.762298e-06,4.161831e-06,4.209720e-06,4.559657e-06,4.733415e-06,4.952944e-06,5.247295e-06,5.339257e-06,5.716520e-06,5.746255e-06,6.082993e-06,6.226233e-06,6.437253e-06,6.684109e-06,6.778164e-06,7.104856e-06,7.117618e-06,7.416699e-06,7.525241e-06,7.713277e-06,7.906106e-06,7.994360e-06,8.259879e-06,8.509902e-06,8.586664e-06,8.744614e-06,8.886918e-06,8.964291e-06,9.161363e-06,9.169286e-06,9.360013e-06,9.410920e-06,9.536927e-06,9.636649e-06,9.700521e-06,9.839703e-06,9.851307e-06,9.989814e-06,1.002129e-05,1.011658e-05,1.018263e-05,1.023213e-05,1.032497e-05,1.033701e-05,1.043173e-05,1.044951e-05,1.051682e-05,1.055743e-05,1.059278e-05,1.064988e-05,1.066008e-05,1.071921e-05,1.072795e-05,1.077062e-05,1.079268e-05,1.081475e-05,1.084509e-05,1.085201e-05,1.088281e-05,1.088610e-05,1.090754e-05,1.091660e-05,1.092657e-05,1.093743e-05,1.094024e-05,1.094889e-05,1.094938e-05,1.095285e-05,1.095318e-05,1.095240e-05,1.094952e-05,1.094785e-05,1.093947e-05,1.093906e-05,1.092751e-05,1.092238e-05,1.091222e-05,1.090005e-05,1.089384e-05,1.087259e-05,1.084868e-05,1.084049e-05,1.082230e-05,1.080421e-05,1.079364e-05,1.076415e-05,1.076288e-05,1.073019e-05,1.072071e-05,1.069572e-05,1.067425e-05,1.065963e-05,1.062511e-05,1.062205e-05,1.058313e-05,1.057360e-05,1.054297e-05,1.051999e-05,1.050170e-05,1.046456e-05,1.045944e-05,1.041628e-05,1.040755e-05,1.037233e-05,1.034919e-05,1.032767e-05,1.028968e-05,1.028240e-05,1.023659e-05,1.022921e-05,1.019032e-05,1.016797e-05,1.014366e-05,1.010610e-05,1.009668e-05,1.004945e-05,1.004377e-05,1.000202e-05,9.981099e-06,9.954442e-06,9.918221e-06,9.906775e-06,9.859064e-06,9.855246e-06,9.811353e-06,9.792279e-06,9.763686e-06,9.729414e-06,9.716101e-06,9.668633e-06,9.666737e-06,9.621317e-06,9.604327e-06,9.574184e-06,9.542253e-06,9.527263e-06,9.480580e-06,9.419365e-06,9.358660e-06,9.298511e-06,9.238960e-06,9.180044e-06,9.121795e-06,9.064240e-06,9.007407e-06,8.951315e-06,8.895983e-06,8.841427e-06,8.787661e-06,8.734693e-06,8.682534e-06,8.631189e-06,8.580663e-06,8.530959e-06,8.482078e-06,8.434020e-06,8.386784e-06,8.340367e-06,8.294766e-06,8.249976e-06,8.205992e-06
0.000000e+00,4.430621e-10,1.468343e-09,8.119427e-09,2.395078e-08,3.876137e-08,1.065862e-07,1.104722e-07,2.416584e-07,2.916572e-07,4.518129e-07,6.246963e-07,7.625231e-07,1.157228e-06,1.197090e-06,1.776619e-06,1.938799e-06,2.511633e-06,2.989148e-06,3.394750e-06,4.276404e-06,4.403069e-06,5.508066e-06,5.738273e-06,6.683481e-06,7.315218e-06,7.907855e-06,8.961454e-06,9.163943e-06,1.043746e-05,1.064200e-05,1.171613e-05,1.232849e-05,1.298912e-05,1.399693e-05,1.424682e-05,1.548076e-05,1.562688e-05,1.668362e-05,1.720139e-05,1.784919e-05,1.870693e-05,1.897241e-05,2.004931e-05,2.013337e-05,2.107687e-05,2.147358e-05,2.205301e-05,2.272325e-05,2.297646e-05,2.384666e-05,2.388036e-05,2.466366e-05,2.494486e-05,2.542802e-05,2.591816e-05,2.614065e-05,2.680284e-05,2.741616e-05,2.760238e-05,2.798234e-05,2.832081e-05,2.850324e-05,2.896254e-05,2.898083e-05,2.941710e-05,2.953213e-05,2.981406e-05,3.003420e-05,3.017370e-05,3.047332e-05,3.049801e-05,3.078891e-05,3.085396e-05,3.104827e-05,3.118041e-05,3.127791e-05,3.145679e-05,3.147956e-05,3.165491e-05,3.168697e-05,3.180555e-05,3.187463e-05,3.193301e-05,3.202322e-05,3.203874e-05,3.212411e-05,3.213597e-05,3.219045e-05,3.221589e-05,3.223899e-05,3.226579e-05,3.227090e-05,3.228730e-05,3.228828e-05,3.228924e-05,3.228577e-05,3.227771e-05,3.226052e-05,3.225365e-05,3.221793e-05,3.221460e-05,3.217139e-05,3.214992e-05,3.211481e-05,3.206828e-05,3.204894e-05,3.197445e-05,3.197130e-05,3.189201e-05,3.186051e-05,3.180223e-05,3.173729e-05,3.170569e-05,3.160293e-05,3.149447e-05,3.145863e-05,3.138077e-05,3.130546e-05,3.126229e-05,3.114444e-05,3.113945e-05,3.101265e-05,3.097649e-05,3.088226e-05,3.080245e-05,3.074863e-05,3.062310e-05,3.061208e-05,3.047292e-05,3.043917e-05,3.033144e-05,3.025130e-05,3.018791e-05,3.006011e-05,3.004258e-05,2.989569e-05,2.986614e-05,2.974745e-05,2.966990e-05,2.959807e-05,2.947185e-05,2.944774e-05,2.929665e-05,2.927242e-05,2.914496e-05,2.907199e-05,2.899283e-05,2.887091e-05,2.884041e-05,2.868783e-05,2.866951e-05,2.853521e-05,2.846808e-05,2.838268e-05,2.826689e-05,2.823036e-05,2.807833e-05,2.806618e-05,2.792669e-05,2.786617e-05,2.777554e-05,2.766705e-05,2.762495e-05,2.747500e-05,2.746902e-05,2.732576e-05,2.727222e-05,2.717730e-05,2.707682e-05,2.702967e-05,2.688293e-05,2.669067e-05,2.650016e-05,2.631148e-05,2.612472e-05,2.593994e-05,2.575722e-05,2.557660e-05,2.539813e-05,2.522186e-05,2.504781e-05,2.487602e-05,2.470651e-05,2.453928e-05,2.437437e-05,2.421177e-05,2.405148e-05,2.389352e-05,2.373787e-05,2.358454e-05,2.343351e-05,2.328477e-05,2.313831e-05,2.299412e-05,2.285219e-05
0.000000e+00,3.213763e-12,7.314659e-12,2.483730e-11,5.587975e-11,8.105387e-11,1.814684e-10,1.868400e-10,3.575683e-10,4.192931e-10,6.104746e-10,8.098464e-10,9.654742e-10,1.400742e-09,1.444048e-09,2.063568e-09,2.233950e-09,2.826350e-09,3.309594e-09,3.713044e-09,4.570213e-09,4.691362e-09,5.730458e-09,5.943405e-09,6.807329e-09,7.376766e-09,7.906160e-09,8.837909e-09,9.015806e-09,1.012772e-08,1.030534e-08,1.123469e-08,1.176236e-08,1.233022e-08,1.319427e-08,1.340818e-08,1.446286e-08,1.458760e-08,1.548892e-08,1.593005e-08,1.648152e-08,1.721088e-08,1.743641e-08,1.834999e-08,1.842120e-08,1.921936e-08,1.955421e-08,2.004233e-08,2.060529e-08,2.081743e-08,2.154383e-08,2.157187e-08,2.222133e-08,2.245331e-08,2.285028e-08,2.325062e-08,2.343148e-08,2.396616e-08,2.445584e-08,2.460333e-08,2.490233e-08,2.516633e-08,2.530761e-08,2.565984e-08,2.567376e-08,2.600297e-08,2.608883e-08,2.629745e-08,2.645838e-08,2.655939e-08,2.677350e-08,2.679096e-08,2.699428e-08,2.703910e-08,2.717138e-08,2.725983e-08,2.732421e-08,2.744008e-08,2.745460e-08,2.756430e-08,2.758390e-08,2.765495e-08,2.769507e-08,2.772807e-08,2.777699e-08,2.778509e-08,2.782732e-08,2.783279e-08,2.785600e-08,2.786528e-08,2.787225e-08,2.787700e-08,2.787711e-08,2.787155e-08,2.787022e-08,2.785644e-08,2.784698e-08,2.783259e-08,2.780908e-08,2.780074e-08,2.776157e-08,2.775813e-08,2.771569e-08,2.769558e-08,2.766366e-08,2.762270e-08,2.760602e-08,2.754322e-08,2.754060e-08,2.747571e-08,2.745033e-08,2.740390e-08,2.735282e-08,2.732819e-08,2.724892e-08,2.716644e-08,2.713942e-08,2.708105e-08,2.702499e-08,2.699301e-08,2.690624e-08,2.690258e-08,2.680998e-08,2.678370e-08,2.671542e-08,2.665781e-08,2.661907e-08,2.652902e-08,2.652113e-08,2.642174e-08,2.639769e-08,2.632106e-08,2.626415e-08,2.621920e-08,2.612868e-08,2.611628e-08,2.601243e-08,2.599156e-08,2.590778e-08,2.585308e-08,2.580245e-08,2.571353e-08,2.569655e-08,2.559016e-08,2.557310e-08,2.548335e-08,2.543196e-08,2.537621e-08,2.529030e-08,2.526880e-08,2.516121e-08,2.514829e-08,2.505351e-08,2.500612e-08,2.494579e-08,2.486394e-08,2.483810e-08,2.473049e-08,2.472188e-08,2.462301e-08,2.458006e-08,2.451571e-08,2.443858e-08,2.440863e-08,2.430182e-08,2.429755e-08,2.419532e-08,2.415706e-08,2.408917e-08,2.401721e-08,2.398341e-08,2.387807e-08,2.373971e-08,2.360219e-08,2.346558e-08,2.332992e-08,2.319526e-08,2.306166e-08,2.292915e-08,2.279776e-08,2.266754e-08,2.253850e-08,2.241068e-08,2.228410e-08,2.215878e-08,2.203473e-08,2.191198e-08,2.179052e-08,2.167039e-08,2.155157e-08,2.143409e-08,2.131795e-08,2.120315e-08,2.108969e-08,2.097758e-08,2.086681e-08
0.000000e+00,2.338303e-11,5.373932e-11,1.853108e-10,4.215506e-10,6.145829e-10,1.389579e-09,1.431129e-09,2.750116e-09,3.224977e-09,4.685466e-09,6.190054e-09,7.351359e-09,1.054552e-08,1.085968e-08,1.531036e-08,1.652736e-08,2.077142e-08,2.427722e-08,2.725117e-08,3.374209e-08,3.467948e-08,4.291933e-08,4.465009e-08,5.180390e-08,5.662396e-08,6.117055e-08,6.930580e-08,7.087623e-08,8.079895e-08,8.239954e-08,9.083442e-08,9.566452e-08,1.008924e-07,1.089017e-07,1.108942e-07,1.207715e-07,1.219456e-07,1.304656e-07,1.346597e-07,1.399264e-07,1.469348e-07,1.491124e-07,1.579902e-07,1.586863e-07,1.665335e-07,1.698525e-07,1.747225e-07,1.803913e-07,1.825435e-07,1.899879e-07,1.902777e-07,1.970512e-07,1.995006e-07,2.037331e-07,2.080600e-07,2.100360e-07,2.159651e-07,2.215274e-07,2.232313e-07,2.267318e-07,2.298794e-07,2.315883e-07,2.359332e-07,2.361076e-07,2.403014e-07,2.414190e-07,2.441817e-07,2.463645e-07,2.477607e-07,2.507979e-07,2.510508e-07,2.540643e-07,2.547477e-07,2.568135e-07,2.582421e-07,2.593105e-07,2.613087e-07,2.615672e-07,2.635951e-07,2.639742e-07,2.654055e-07,2.662646e-07,2.670094e-07,2.682048e-07,2.684174e-07,2.696397e-07,2.698187e-07,2.706862e-07,2.711289e-07,2.715665e-07,2.721571e-07,2.722896e-07,2.728645e-07,2.729239e-07,2.732994e-07,2.734485e-07,2.736025e-07,2.737495e-07,2.737815e-07,2.738438e-07,2.738440e-07,2.737966e-07,2.737485e-07,2.736464e-07,2.734782e-07,2.733998e-07,2.730630e-07,2.730477e-07,2.726417e-07,2.724705e-07,2.721416e-07,2.717593e-07,2.715680e-07,2.709260e-07,2.702203e-07,2.699818e-07,2.694555e-07,2.689371e-07,2.686360e-07,2.678016e-07,2.677659e-07,2.668491e-07,2.665845e-07,2.658893e-07,2.652942e-07,2.648900e-07,2.639387e-07,2.638546e-07,2.627863e-07,2.625253e-07,2.616880e-07,2.610609e-07,2.605625e-07,2.595517e-07,2.594125e-07,2.582406e-07,2.580038e-07,2.570491e-07,2.564226e-07,2.558403e-07,2.548131e-07,2.546163e-07,2.533792e-07,2.531801e-07,2.521307e-07,2.515280e-07,2.508728e-07,2.498607e-07,2.496069e-07,2.483348e-07,2.481818e-07,2.470579e-07,2.464949e-07,2.457776e-07,2.448031e-07,2.444952e-07,2.432119e-07,2.431092e-07,2.419288e-07,2.414159e-07,2.406471e-07,2.397256e-07,2.393676e-07,2.380914e-07,2.380405e-07,2.368193e-07,2.363625e-07,2.355521e-07,2.346936e-07,2.342906e-07,2.330354e-07,2.313894e-07,2.297570e-07,2.281393e-07,2.265375e-07,2.249526e-07,2.233853e-07,2.218366e-07,2.203069e-07,2.187970e-07,2.173073e-07,2.158383e-07,2.143903e-07,2.129636e-07,2.115584e-07,2.101750e-07,2.088134e-07,2.074738e-07,2.061562e-07,2.048605e-07,2.035869e-07,2.023351e-07,2.011052e-07,1.998970e-07,1.987104e-07
0.000000e+00,1.312624e-10,5.020976e-10,3.638347e-09,1.334038e-08,2.407317e-08,8.505437e-08,8.898235e-08,2.399825e-07,3.048561e-07,5.320499e-07,8.027903e-07,1.033294e-06,1.748431e-06,1.824476e-06,2.994897e-06,3.342134e-06,4.631415e-06,5.778634e-06,6.804233e-06,9.195840e-06,9.557730e-06,1.290938e-05,1.365135e-05,1.685383e-05,1.913228e-05,2.136857e-05,2.557660e-05,2.641896e-05,3.196210e-05,3.289154e-05,3.794949e-05,4.096603e-05,4.432898e-05,4.967830e-05,5.104605e-05,5.804487e-05,5.890099e-05,6.526926e-05,6.850509e-05,7.266360e-05,7.836349e-05,8.017361e-05,8.774711e-05,8.835423e-05,9.533475e-05,9.836335e-05,1.028906e-04,1.082873e-04,1.103725e-04,1.177426e-04,1.180346e-04,1.249673e-04,1.275269e-04,1.320175e-04,1.366992e-04,1.388685e-04,1.454999e-04,1.518951e-04,1.538896e-04,1.580416e-04,1.618403e-04,1.639299e-04,1.693341e-04,1.695539e-04,1.749100e-04,1.763615e-04,1.799971e-04,1.829205e-04,1.848161e-04,1.890153e-04,1.893699e-04,1.936625e-04,1.946545e-04,1.976994e-04,1.998507e-04,2.014869e-04,2.046192e-04,2.050321e-04,2.083427e-04,2.089773e-04,2.114268e-04,2.129438e-04,2.142928e-04,2.165380e-04,2.169493e-04,2.194048e-04,2.197797e-04,2.216681e-04,2.226887e-04,2.237477e-04,2.252847e-04,2.256519e-04,2.273891e-04,2.275868e-04,2.289674e-04,2.296135e-04,2.303946e-04,2.313829e-04,2.316782e-04,2.328257e-04,2.329119e-04,2.338442e-04,2.342169e-04,2.347403e-04,2.353136e-04,2.355209e-04,2.361920e-04,2.362166e-04,2.367598e-04,2.369400e-04,2.372299e-04,2.374967e-04,2.376080e-04,2.378993e-04,2.381087e-04,2.381593e-04,2.382412e-04,2.382876e-04,2.383012e-04,2.382946e-04,2.382930e-04,2.382209e-04,2.381898e-04,2.380888e-04,2.379822e-04,2.379003e-04,2.376803e-04,2.376591e-04,2.373685e-04,2.372918e-04,2.370317e-04,2.368241e-04,2.366518e-04,2.362841e-04,2.362316e-04,2.357740e-04,2.356782e-04,2.352814e-04,2.350123e-04,2.347564e-04,2.342921e-04,2.342013e-04,2.336184e-04,2.335226e-04,2.330096e-04,2.327088e-04,2.323770e-04,2.318551e-04,2.317225e-04,2.310478e-04,2.309656e-04,2.303547e-04,2.300443e-04,2.296448e-04,2.290948e-04,2.289194e-04,2.281802e-04,2.281205e-04,2.274284e-04,2.271244e-04,2.266652e-04,2.261095e-04,2.258920e-04,2.251098e-04,2.250783e-04,2.243197e-04,2.240335e-04,2.235227e-04,2.229773e-04,2.227198e-04,2.219118e-04,2.208390e-04,2.197608e-04,2.186787e-04,2.175945e-04,2.165094e-04,2.154248e-04,2.143419e-04,2.132619e-04,2.121857e-04,2.111142e-04,2.100485e-04,2.089891e-04,2.079369e-04,2.068924e-04,2.058563e-04,2.048291e-04,2.038113e-04,2.028033e-04,2.018055e-04,2.008182e-04,1.998417e-04,1.988764e-04,1.979223e-04,1.969798e-04
0.000000e+00,8.221882e-11,1.987953e-10,7.258835e-10,1.704397e-09,2.521071e-09,5.906505e-09,6.092154e-09,1.217393e-08,1.444607e-08,2.167992e-08,2.948260e-08,3.571924e-08,5.365214e-08,5.546594e-08,8.175975e-08,8.906544e-08,1.145965e-07,1.355357e-07,1.530949e-07,1.906884e-07,1.960381e-07,2.423481e-07,2.519383e-07,2.912111e-07,3.174223e-07,3.420230e-07,3.858620e-07,3.943099e-07,4.476717e-07,4.562850e-07,5.017501e-07,5.278640e-07,5.562131e-07,5.998508e-07,6.107498e-07,6.650706e-07,6.715617e-07,7.189084e-07,7.423807e-07,7.720212e-07,8.117686e-07,8.241937e-07,8.752387e-07,8.792686e-07,9.249965e-07,9.445087e-07,9.733349e-07,1.007199e-06,1.020147e-06,1.065351e-06,1.067125e-06,1.108886e-06,1.124141e-06,1.150709e-06,1.178159e-06,1.190797e-06,1.229140e-06,1.265741e-06,1.277087e-06,1.300612e-06,1.322033e-06,1.333777e-06,1.364037e-06,1.365264e-06,1.395109e-06,1.403176e-06,1.423350e-06,1.439542e-06,1.450030e-06,1.473237e-06,1.475195e-06,1.498892e-06,1.504366e-06,1.521169e-06,1.533042e-06,1.542074e-06,1.559376e-06,1.561658e-06,1.579968e-06,1.583482e-06,1.597054e-06,1.605470e-06,1.612962e-06,1.625449e-06,1.627740e-06,1.641434e-06,1.643527e-06,1.654088e-06,1.659806e-06,1.665747e-06,1.674387e-06,1.676453e-06,1.686248e-06,1.687364e-06,1.695170e-06,1.698830e-06,1.703260e-06,1.708874e-06,1.710554e-06,1.717088e-06,1.717579e-06,1.722898e-06,1.725027e-06,1.728017e-06,1.731293e-06,1.732478e-06,1.736311e-06,1.736451e-06,1.739546e-06,1.740570e-06,1.742213e-06,1.743716e-06,1.744340e-06,1.745952e-06,1.747075e-06,1.747336e-06,1.747735e-06,1.747924e-06,1.747954e-06,1.747771e-06,1.747755e-06,1.747160e-06,1.746925e-06,1.746190e-06,1.745436e-06,1.744864e-06,1.743347e-06,1.743202e-06,1.741221e-06,1.740701e-06,1.738941e-06,1.737538e-06,1.736376e-06,1.733897e-06,1.733543e-06,1.730458e-06,1.729813e-06,1.727136e-06,1.725319e-06,1.723589e-06,1.720447e-06,1.719833e-06,1.715879e-06,1.715228e-06,1.711739e-06,1.709690e-06,1.707426e-06,1.703859e-06,1.702951e-06,1.698325e-06,1.697760e-06,1.693557e-06,1.691416e-06,1.688657e-06,1.684851e-06,1.683635e-06,1.678500e-06,1.678084e-06,1.673259e-06,1.671136e-06,1.667922e-06,1.664024e-06,1.662496e-06,1.656987e-06,1.656765e-06,1.651404e-06,1.649377e-06,1.645753e-06,1.641875e-06,1.640040e-06,1.634271e-06,1.626581e-06,1.618816e-06,1.610988e-06,1.603108e-06,1.595187e-06,1.587233e-06,1.579256e-06,1.571264e-06,1.563265e-06,1.555267e-06,1.547275e-06,1.539297e-06,1.531338e-06,1.523403e-06,1.515498e-06,1.507627e-06,1.499794e-06,1.492004e-06,1.484261e-06,1.476566e-06,1.468924e-06,1.461338e-06,1.453810e-06,1.446342e-06
0.000000e+00,1.829538e-10,6.189507e-10,3.546993e-09,1.074247e-08,1.760989e-08,4.993971e-08,5.182480e-08,1.170409e-07,1.426061e-07,2.267560e-07,3.209629e-07,3.981585e-07,6.265717e-07,6.500598e-07,9.947800e-07,1.091324e-06,1.429037e-06,1.705097e-06,1.935315e-06,2.423057e-06,2.491831e-06,3.080084e-06,3.200286e-06,3.686724e-06,4.006258e-06,4.302518e-06,4.821964e-06,4.920840e-06,5.536541e-06,5.634514e-06,6.145316e-06,6.433943e-06,6.743389e-06,7.211860e-06,7.327383e-06,7.894312e-06,7.961069e-06,8.441588e-06,8.675590e-06,8.967047e-06,9.350722e-06,9.468956e-06,9.946027e-06,9.983092e-06,1.039744e-05,1.057071e-05,1.082276e-05,1.111278e-05,1.122192e-05,1.159515e-05,1.160955e-05,1.194296e-05,1.206208e-05,1.226606e-05,1.247210e-05,1.256533e-05,1.284177e-05,1.309649e-05,1.317359e-05,1.333059e-05,1.347012e-05,1.354522e-05,1.373402e-05,1.374154e-05,1.392068e-05,1.396791e-05,1.408376e-05,1.417436e-05,1.423187e-05,1.435580e-05,1.436604e-05,1.448722e-05,1.451448e-05,1.459635e-05,1.465252e-05,1.469428e-05,1.477185e-05,1.478184e-05,1.485977e-05,1.487426e-05,1.492878e-05,1.496137e-05,1.498953e-05,1.503462e-05,1.504263e-05,1.508863e-05,1.509537e-05,1.512806e-05,1.514479e-05,1.516139e-05,1.518396e-05,1.518906e-05,1.521150e-05,1.521386e-05,1.522907e-05,1.523535e-05,1.524213e-05,1.524923e-05,1.525099e-05,1.525596e-05,1.525620e-05,1.525732e-05,1.525690e-05,1.525531e-05,1.525191e-05,1.525017e-05,1.524213e-05,1.524175e-05,1.523138e-05,1.522689e-05,1.521812e-05,1.520776e-05,1.520252e-05,1.518473e-05,1.516492e-05,1.515818e-05,1.514323e-05,1.512841e-05,1.511977e-05,1.509572e-05,1.509468e-05,1.506808e-05,1.506037e-05,1.504006e-05,1.502261e-05,1.501072e-05,1.498266e-05,1.498017e-05,1.494848e-05,1.494072e-05,1.491575e-05,1.489698e-05,1.488204e-05,1.485163e-05,1.484743e-05,1.481198e-05,1.480480e-05,1.477577e-05,1.475665e-05,1.473885e-05,1.470732e-05,1.470127e-05,1.466310e-05,1.465694e-05,1.462437e-05,1.460560e-05,1.458514e-05,1.455343e-05,1.454546e-05,1.450536e-05,1.450052e-05,1.446489e-05,1.444697e-05,1.442408e-05,1.439286e-05,1.438297e-05,1.434159e-05,1.433827e-05,1.429997e-05,1.428327e-05,1.425815e-05,1.422793e-05,1.421616e-05,1.417401e-05,1.417232e-05,1.413174e-05,1.411649e-05,1.408937e-05,1.406051e-05,1.404692e-05,1.400442e-05,1.394826e-05,1.389209e-05,1.383595e-05,1.377987e-05,1.372389e-05,1.366805e-05,1.361238e-05,1.355689e-05,1.350163e-05,1.344662e-05,1.339188e-05,1.333743e-05,1.328329e-05,1.322948e-05,1.317602e-05,1.312292e-05,1.307020e-05,1.301787e-05,1.296594e-05,1.291443e-05,1.286335e-05,1.281269e-05,1.276248e-05,1.271272e-05
0.000000e+00,1.583399e-10,6.019895e-10,4.307318e-09,1.561512e-08,2.800811e-08,9.752297e-08,1.019704e-07,2.717085e-07,3.442163e-07,5.973883e-07,8.986307e-07,1.155223e-06,1.953274e-06,2.038320e-06,3.350120e-06,3.739741e-06,5.184490e-06,6.464068e-06,7.600881e-06,1.021967e-05,1.061167e-05,1.418638e-05,1.496406e-05,1.826507e-05,2.056047e-05,2.277254e-05,2.683189e-05,2.762918e-05,3.275777e-05,3.359871e-05,3.808687e-05,4.069681e-05,4.355183e-05,4.798243e-05,4.909465e-05,5.466322e-05,5.533090e-05,6.021048e-05,6.263336e-05,6.569366e-05,6.979394e-05,7.107384e-05,7.631569e-05,7.672809e-05,8.138737e-05,8.336195e-05,8.626065e-05,8.963268e-05,9.091107e-05,9.531812e-05,9.548909e-05,9.946523e-05,1.008920e-04,1.033399e-04,1.058144e-04,1.069333e-04,1.102408e-04,1.132609e-04,1.141668e-04,1.159954e-04,1.175977e-04,1.184491e-04,1.205470e-04,1.206291e-04,1.225446e-04,1.230351e-04,1.242068e-04,1.250876e-04,1.256279e-04,1.267337e-04,1.268211e-04,1.278003e-04,1.280050e-04,1.285796e-04,1.289340e-04,1.291733e-04,1.295535e-04,1.295956e-04,1.298604e-04,1.298956e-04,1.299811e-04,1.299912e-04,1.299705e-04,1.298692e-04,1.298410e-04,1.296041e-04,1.295570e-04,1.292707e-04,1.290794e-04,1.288509e-04,1.284592e-04,1.283541e-04,1.277890e-04,1.277169e-04,1.271634e-04,1.268710e-04,1.264849e-04,1.259378e-04,1.257599e-04,1.249946e-04,1.249318e-04,1.241944e-04,1.238657e-04,1.233644e-04,1.227508e-04,1.225090e-04,1.216322e-04,1.215967e-04,1.207378e-04,1.204121e-04,1.198289e-04,1.192041e-04,1.189085e-04,1.179793e-04,1.170436e-04,1.167431e-04,1.161034e-04,1.155003e-04,1.151608e-04,1.142549e-04,1.142172e-04,1.132742e-04,1.130105e-04,1.123332e-04,1.117700e-04,1.113953e-04,1.105360e-04,1.104615e-04,1.095328e-04,1.093107e-04,1.086099e-04,1.080960e-04,1.076937e-04,1.068933e-04,1.067846e-04,1.058834e-04,1.057041e-04,1.049904e-04,1.045294e-04,1.041061e-04,1.033702e-04,1.032308e-04,1.023649e-04,1.022272e-04,1.015086e-04,1.011010e-04,1.006621e-04,9.999221e-05,9.982574e-05,9.899955e-05,9.890110e-05,9.818369e-05,9.782801e-05,9.737826e-05,9.677316e-05,9.658334e-05,9.579898e-05,9.573669e-05,9.502522e-05,9.471868e-05,9.426206e-05,9.371917e-05,9.350952e-05,9.276758e-05,9.273812e-05,9.203620e-05,9.177548e-05,9.131535e-05,9.083116e-05,9.060498e-05,8.990503e-05,8.899693e-05,8.810669e-05,8.723410e-05,8.637895e-05,8.554101e-05,8.472004e-05,8.391579e-05,8.312799e-05,8.235637e-05,8.160066e-05,8.086057e-05,8.013582e-05,7.942612e-05,7.873120e-05,7.805075e-05,7.738448e-05,7.673213e-05,7.609338e-05,7.546797e-05,7.485560e-05,7.425600e-05,7.366889e-05,7.309400e-05,7.253105e-05
0.000000e+00,5.030057e-10,1.970169e-09,1.498973e-08,5.742245e-08,1.061040e-07,3.978593e-07,4.172152e-07,1.189425e-06,1.532743e-06,2.768196e-06,4.285450e-06,5.603213e-06,9.791753e-06,1.024404e-05,1.733308e-05,1.947776e-05,2.759594e-05,3.502360e-05,4.182799e-05,5.830548e-05,6.087371e-05,8.559567e-05,9.129602e-05,1.168336e-04,1.359126e-04,1.553595e-04,1.938439e-04,2.018387e-04,2.568017e-04,2.664107e-04,3.206295e-04,3.544879e-04,3.935482e-04,4.584830e-04,4.756315e-04,5.668087e-04,5.783527e-04,6.668751e-04,7.136402e-04,7.755040e-04,8.635249e-04,8.922611e-04,1.016619e-03,1.026878e-03,1.147971e-03,1.202322e-03,1.285647e-03,1.388288e-03,1.428928e-03,1.577061e-03,1.583077e-03,1.729270e-03,1.784912e-03,1.884770e-03,1.991991e-03,2.042780e-03,2.202531e-03,2.363275e-03,2.414805e-03,2.524294e-03,2.627175e-03,2.684907e-03,2.838118e-03,2.844473e-03,3.002394e-03,3.046241e-03,3.158121e-03,3.250295e-03,3.311156e-03,3.449180e-03,3.461046e-03,3.607393e-03,3.641949e-03,3.749844e-03,3.827801e-03,3.888098e-03,4.006082e-03,4.021895e-03,4.151022e-03,4.176271e-03,4.275308e-03,4.337977e-03,4.394618e-03,4.490921e-03,4.508855e-03,4.617954e-03,4.634930e-03,4.721881e-03,4.769926e-03,4.820629e-03,4.895910e-03,4.914216e-03,5.002681e-03,5.012956e-03,5.086083e-03,5.121196e-03,5.164499e-03,5.220815e-03,5.238018e-03,5.306745e-03,5.312039e-03,5.370792e-03,5.395129e-03,5.430285e-03,5.470371e-03,5.485352e-03,5.536130e-03,5.538073e-03,5.582759e-03,5.598557e-03,5.625383e-03,5.652154e-03,5.664148e-03,5.699201e-03,5.730690e-03,5.740037e-03,5.758761e-03,5.775001e-03,5.783561e-03,5.804426e-03,5.805234e-03,5.823923e-03,5.828640e-03,5.839766e-03,5.847964e-03,5.852902e-03,5.862710e-03,5.863463e-03,5.871581e-03,5.873180e-03,5.877383e-03,5.879666e-03,5.880991e-03,5.882446e-03,5.882525e-03,5.882100e-03,5.881790e-03,5.879829e-03,5.877954e-03,5.875818e-03,5.871181e-03,5.870172e-03,5.862990e-03,5.861705e-03,5.854368e-03,5.849746e-03,5.844399e-03,5.835513e-03,5.833170e-03,5.820767e-03,5.819203e-03,5.807270e-03,5.801005e-03,5.792757e-03,5.781092e-03,5.777301e-03,5.760974e-03,5.759632e-03,5.743842e-03,5.736779e-03,5.725970e-03,5.712679e-03,5.707419e-03,5.688248e-03,5.687469e-03,5.668510e-03,5.661277e-03,5.648260e-03,5.634223e-03,5.627547e-03,5.606418e-03,5.577966e-03,5.548965e-03,5.519504e-03,5.489667e-03,5.459532e-03,5.429170e-03,5.398647e-03,5.368025e-03,5.337361e-03,5.306705e-03,5.276106e-03,5.245608e-03,5.215249e-03,5.185067e-03,5.155095e-03,5.125363e-03,5.095897e-03,5.066722e-03,5.037860e-03,5.009330e-03,4.981150e-03,4.953335e-03,4.925899e-03,4.898853e-03
0.000000e+00,8.998651e-11,2.115797e-10,7.507264e-10,1.739457e-09,2.559374e-09,5.928148e-09,6.111753e-09,1.207531e-08,1.428098e-08,2.123413e-08,2.862321e-08,3.444628e-08,5.076473e-08,5.238048e-08,7.518991e-08,8.136280e-08,1.025965e-07,1.198095e-07,1.342226e-07,1.652867e-07,1.697461e-07,2.088981e-07,2.171419e-07,2.514279e-07,2.747933e-07,2.970773e-07,3.376318e-07,3.455695e-07,3.966070e-07,4.049884e-07,4.498757e-07,4.761423e-07,5.050517e-07,5.503465e-07,5.618089e-07,6.198267e-07,6.268588e-07,6.787966e-07,7.049692e-07,7.384273e-07,7.840213e-07,7.984483e-07,8.586130e-07,8.634256e-07,9.186994e-07,9.426670e-07,9.785103e-07,1.021306e-06,1.037873e-06,1.096635e-06,1.098972e-06,1.154670e-06,1.175363e-06,1.211867e-06,1.250235e-06,1.268135e-06,1.323397e-06,1.377592e-06,1.394701e-06,1.430670e-06,1.464035e-06,1.482592e-06,1.531322e-06,1.533328e-06,1.582856e-06,1.596506e-06,1.631162e-06,1.659554e-06,1.678236e-06,1.720452e-06,1.724074e-06,1.768676e-06,1.779196e-06,1.812045e-06,1.835796e-06,1.854189e-06,1.890269e-06,1.895116e-06,1.934838e-06,1.942639e-06,1.973368e-06,1.992937e-06,2.010720e-06,2.041199e-06,2.046912e-06,2.081959e-06,2.087462e-06,2.115880e-06,2.131768e-06,2.148694e-06,2.174160e-06,2.180419e-06,2.211076e-06,2.214684e-06,2.240686e-06,2.253387e-06,2.269267e-06,2.290314e-06,2.296841e-06,2.323430e-06,2.325515e-06,2.349053e-06,2.359036e-06,2.373731e-06,2.390927e-06,2.397487e-06,2.420339e-06,2.421235e-06,2.442310e-06,2.450007e-06,2.463419e-06,2.477292e-06,2.483687e-06,2.503135e-06,2.521783e-06,2.527584e-06,2.539649e-06,2.550683e-06,2.556755e-06,2.572478e-06,2.573119e-06,2.588761e-06,2.593013e-06,2.603698e-06,2.612331e-06,2.617951e-06,2.630474e-06,2.631537e-06,2.644474e-06,2.647484e-06,2.656779e-06,2.663401e-06,2.668471e-06,2.678265e-06,2.679566e-06,2.690080e-06,2.692115e-06,2.700031e-06,2.704988e-06,2.709435e-06,2.716922e-06,2.718306e-06,2.726661e-06,2.727951e-06,2.734515e-06,2.738112e-06,2.741883e-06,2.747437e-06,2.748779e-06,2.755217e-06,2.755959e-06,2.761211e-06,2.763712e-06,2.766776e-06,2.770725e-06,2.771924e-06,2.776667e-06,2.777030e-06,2.781020e-06,2.782654e-06,2.784994e-06,2.787628e-06,2.788601e-06,2.791854e-06,2.791977e-06,2.794764e-06,2.795729e-06,2.797341e-06,2.798910e-06,2.799598e-06,2.801544e-06,2.803656e-06,2.805270e-06,2.806406e-06,2.807089e-06,2.807338e-06,2.807174e-06,2.806617e-06,2.805685e-06,2.804398e-06,2.802772e-06,2.800826e-06,2.798574e-06,2.796034e-06,2.793219e-06,2.790146e-06,2.786829e-06,2.783280e-06,2.779513e-06,2.775541e-06,2.771375e-06,2.767028e-06,2.762511e-06,2.757834e-06,2.753008e-06
0.000000e+00,1.690393e-11,3.880924e-11,1.341462e-10,3.068598e-10,4.493005e-10,1.031815e-09,1.063498e-09,2.091430e-09,2.471504e-09,3.671196e-09,4.952029e-09,5.968855e-09,8.872691e-09,9.165469e-09,1.340851e-08,1.459007e-08,1.873891e-08,2.216965e-08,2.506799e-08,3.133929e-08,3.223890e-08,4.009732e-08,4.174001e-08,4.851875e-08,5.308740e-08,5.740633e-08,6.517433e-08,6.668151e-08,7.627622e-08,7.783681e-08,8.612812e-08,9.093094e-08,9.617815e-08,1.043227e-07,1.063697e-07,1.166486e-07,1.178854e-07,1.269634e-07,1.315007e-07,1.372656e-07,1.450592e-07,1.475104e-07,1.576574e-07,1.584638e-07,1.676699e-07,1.716300e-07,1.775161e-07,1.844865e-07,1.871681e-07,1.966025e-07,1.969750e-07,2.057995e-07,2.090491e-07,2.147431e-07,2.206735e-07,2.234208e-07,2.318226e-07,2.399417e-07,2.424792e-07,2.477733e-07,2.526333e-07,2.553147e-07,2.622807e-07,2.625651e-07,2.695251e-07,2.714220e-07,2.761964e-07,2.800619e-07,2.825821e-07,2.882079e-07,2.886859e-07,2.945123e-07,2.958700e-07,3.000666e-07,3.030601e-07,3.053542e-07,3.097916e-07,3.103812e-07,3.151539e-07,3.160784e-07,3.196786e-07,3.219357e-07,3.239621e-07,3.273786e-07,3.280110e-07,3.318322e-07,3.324229e-07,3.354324e-07,3.370841e-07,3.388186e-07,3.413779e-07,3.419974e-07,3.449755e-07,3.453197e-07,3.477597e-07,3.489249e-07,3.503564e-07,3.522084e-07,3.527720e-07,3.550130e-07,3.551849e-07,3.570855e-07,3.578687e-07,3.589957e-07,3.602738e-07,3.607494e-07,3.623526e-07,3.624136e-07,3.638108e-07,3.643014e-07,3.651297e-07,3.659498e-07,3.663147e-07,3.673710e-07,3.683038e-07,3.685770e-07,3.691180e-07,3.695791e-07,3.698185e-07,3.703884e-07,3.704100e-07,3.708972e-07,3.710155e-07,3.712843e-07,3.714704e-07,3.715758e-07,3.717631e-07,3.717758e-07,3.718884e-07,3.719028e-07,3.719174e-07,3.718986e-07,3.718667e-07,3.717590e-07,3.717399e-07,3.715406e-07,3.714924e-07,3.712723e-07,3.711065e-07,3.709382e-07,3.706090e-07,3.705415e-07,3.700854e-07,3.700071e-07,3.695728e-07,3.693076e-07,3.690067e-07,3.685171e-07,3.683898e-07,3.677248e-07,3.676419e-07,3.670143e-07,3.666879e-07,3.662608e-07,3.656608e-07,3.654667e-07,3.646343e-07,3.645661e-07,3.637659e-07,3.634090e-07,3.628636e-07,3.621942e-07,3.619295e-07,3.609656e-07,3.609265e-07,3.599738e-07,3.596103e-07,3.589559e-07,3.582498e-07,3.579137e-07,3.568490e-07,3.554116e-07,3.539413e-07,3.524415e-07,3.509153e-07,3.493658e-07,3.477959e-07,3.462083e-07,3.446055e-07,3.429900e-07,3.413640e-07,3.397296e-07,3.380890e-07,3.364439e-07,3.347963e-07,3.331476e-07,3.314995e-07,3.298536e-07,3.282110e-07,3.265732e-07,3.249413e-07,3.233164e-07,3.216995e-07,3.200917e-07,3.184938e-07
0.000000e+00,3.132849e-10,8.667872e-10,3.695789e-09,9.379506e-09,1.430396e-08,3.554179e-08,3.673263e-08,7.671866e-08,9.202874e-08,1.415778e-07,1.955625e-07,2.384945e-07,3.584102e-07,3.701853e-07,5.341551e-07,5.778738e-07,7.266080e-07,8.457031e-07,9.446506e-07,1.156071e-06,1.186251e-06,1.449747e-06,1.504932e-06,1.733512e-06,1.888504e-06,2.035789e-06,2.302592e-06,2.354636e-06,2.687942e-06,2.742464e-06,3.033472e-06,3.202992e-06,3.388920e-06,3.678868e-06,3.751980e-06,4.120403e-06,4.164871e-06,4.492045e-06,4.656067e-06,4.864909e-06,5.147972e-06,5.237168e-06,5.607180e-06,5.636639e-06,5.973500e-06,6.118706e-06,6.334872e-06,6.591386e-06,6.690223e-06,7.038654e-06,7.052436e-06,7.379430e-06,7.500118e-06,7.711961e-06,7.933133e-06,8.035786e-06,8.350552e-06,8.655994e-06,8.751734e-06,8.951928e-06,9.136281e-06,9.238243e-06,9.504017e-06,9.514897e-06,9.781907e-06,9.854947e-06,1.003933e-05,1.018921e-05,1.028724e-05,1.050705e-05,1.052579e-05,1.075512e-05,1.080880e-05,1.097541e-05,1.109492e-05,1.118690e-05,1.136590e-05,1.138980e-05,1.158429e-05,1.162219e-05,1.177058e-05,1.186428e-05,1.194888e-05,1.209263e-05,1.211940e-05,1.228236e-05,1.230775e-05,1.243797e-05,1.251012e-05,1.258645e-05,1.270024e-05,1.272800e-05,1.286284e-05,1.287858e-05,1.299117e-05,1.304563e-05,1.311321e-05,1.320186e-05,1.322914e-05,1.333916e-05,1.334772e-05,1.344348e-05,1.348365e-05,1.354228e-05,1.361011e-05,1.363575e-05,1.372406e-05,1.372749e-05,1.380740e-05,1.383622e-05,1.388594e-05,1.393669e-05,1.395985e-05,1.402929e-05,1.409442e-05,1.411437e-05,1.415539e-05,1.419231e-05,1.421237e-05,1.426344e-05,1.426549e-05,1.431490e-05,1.432809e-05,1.436074e-05,1.438658e-05,1.440314e-05,1.443922e-05,1.444223e-05,1.447815e-05,1.448630e-05,1.451100e-05,1.452811e-05,1.454092e-05,1.456491e-05,1.456801e-05,1.459239e-05,1.459696e-05,1.461418e-05,1.462451e-05,1.463346e-05,1.464780e-05,1.465034e-05,1.466493e-05,1.466706e-05,1.467731e-05,1.468250e-05,1.468759e-05,1.469435e-05,1.469584e-05,1.470215e-05,1.470278e-05,1.470661e-05,1.470800e-05,1.470929e-05,1.471020e-05,1.471028e-05,1.470965e-05,1.470953e-05,1.470747e-05,1.470618e-05,1.470381e-05,1.470029e-05,1.469873e-05,1.469231e-05,1.469203e-05,1.468460e-05,1.468153e-05,1.467567e-05,1.466893e-05,1.466558e-05,1.465437e-05,1.463797e-05,1.461986e-05,1.460013e-05,1.457891e-05,1.455630e-05,1.453239e-05,1.450729e-05,1.448106e-05,1.445382e-05,1.442562e-05,1.439655e-05,1.436669e-05,1.433609e-05,1.430484e-05,1.427298e-05,1.424057e-05,1.420768e-05,1.417436e-05,1.414065e-05,1.410661e-05,1.407227e-05,1.403769e-05,1.400290e-05,1.396793e-05
0.000000e+00,1.193529e-07,4.691056e-07,3.595332e-06,1.386759e-05,2.572309e-05,9.745438e-05,1.022398e-04,2.946759e-04,3.809141e-04,6.935476e-04,1.081100e-03,1.420116e-03,2.508473e-03,2.626777e-03,4.494749e-03,5.063697e-03,7.226911e-03,9.213784e-03,1.103641e-02,1.544830e-02,1.613498e-02,2.272351e-02,2.423650e-02,3.098511e-02,3.599653e-02,4.107987e-02,5.107432e-02,5.314081e-02,6.727089e-02,6.972892e-02,8.354095e-02,9.212304e-02,1.019886e-01,1.183187e-01,1.226183e-01,1.454018e-01,1.482780e-01,1.702801e-01,1.818687e-01,1.971659e-01,2.188731e-01,2.259463e-01,2.564865e-01,2.590013e-01,2.886333e-01,3.019047e-01,3.222191e-01,3.471919e-01,3.570652e-01,3.929863e-01,3.944428e-01,4.297931e-01,4.432237e-01,4.672957e-01,4.930991e-01,5.053067e-01,5.436433e-01,5.821294e-01,5.944489e-01,6.205974e-01,6.451342e-01,6.588896e-01,6.953482e-01,6.968590e-01,7.343702e-01,7.447741e-01,7.712998e-01,7.931316e-01,8.075365e-01,8.401767e-01,8.429809e-01,8.775460e-01,8.857022e-01,9.111561e-01,9.295361e-01,9.437467e-01,9.715402e-01,9.752641e-01,1.005665e+00,1.011607e+00,1.034914e+00,1.049660e+00,1.062986e+00,1.085645e+00,1.089864e+00,1.115538e+00,1.119534e+00,1.140004e+00,1.151319e+00,1.163265e+00,1.181011e+00,1.185328e+00,1.206208e+00,1.208634e+00,1.225919e+00,1.234228e+00,1.244484e+00,1.257841e+00,1.261926e+00,1.278271e+00,1.279532e+00,1.293548e+00,1.299367e+00,1.307788e+00,1.317416e+00,1.321022e+00,1.333284e+00,1.333754e+00,1.344607e+00,1.348460e+00,1.355026e+00,1.361612e+00,1.364575e+00,1.373290e+00,1.381205e+00,1.383575e+00,1.388356e+00,1.392546e+00,1.394775e+00,1.400280e+00,1.400496e+00,1.405554e+00,1.406855e+00,1.409979e+00,1.412343e+00,1.413803e+00,1.416818e+00,1.417058e+00,1.419772e+00,1.420346e+00,1.421975e+00,1.422995e+00,1.423694e+00,1.424828e+00,1.424956e+00,1.425788e+00,1.425905e+00,1.426214e+00,1.426284e+00,1.426259e+00,1.426018e+00,1.425944e+00,1.425293e+00,1.425159e+00,1.424326e+00,1.423756e+00,1.423064e+00,1.421854e+00,1.421525e+00,1.419729e+00,1.419497e+00,1.417692e+00,1.416723e+00,1.415431e+00,1.413572e+00,1.412962e+00,1.410300e+00,1.410079e+00,1.407459e+00,1.406276e+00,1.404453e+00,1.402194e+00,1.401295e+00,1.397997e+00,1.397862e+00,1.394570e+00,1.393307e+00,1.391026e+00,1.388553e+00,1.387374e+00,1.383624e+00,1.378541e+00,1.373323e+00,1.367989e+00,1.362557e+00,1.357041e+00,1.351456e+00,1.345815e+00,1.340132e+00,1.334416e+00,1.328678e+00,1.322929e+00,1.317176e+00,1.311427e+00,1.305691e+00,1.299973e+00,1.294280e+00,1.288617e+00,1.282989e+00,1.277401e+00,1.271857e+00,1.266360e+00,1.260914e+00,1.255521e+00,1.250185e+00
0.000000e+00,2.332366e-10,7.888071e-10,4.528716e-09,1.376902e-08,2.263209e-08,6.466743e-08,6.712844e-08,1.525428e-07,1.860761e-07,2.963046e-07,4.191375e-07,5.192155e-07,8.122497e-07,8.421485e-07,1.277843e-06,1.399386e-06,1.825892e-06,2.178625e-06,2.477236e-06,3.127324e-06,3.221163e-06,4.048504e-06,4.223301e-06,4.951743e-06,5.449196e-06,5.924210e-06,6.789832e-06,6.959407e-06,8.050661e-06,8.230003e-06,9.191021e-06,9.753737e-06,1.037332e-05,1.134447e-05,1.159029e-05,1.283476e-05,1.298562e-05,1.409979e-05,1.466120e-05,1.537880e-05,1.635641e-05,1.666567e-05,1.795482e-05,1.805790e-05,1.924124e-05,1.975403e-05,2.052047e-05,2.143486e-05,2.178862e-05,2.304234e-05,2.309215e-05,2.427882e-05,2.471925e-05,2.549563e-05,2.631078e-05,2.669076e-05,2.786258e-05,2.900977e-05,2.937149e-05,3.013131e-05,3.083527e-05,3.122643e-05,3.225234e-05,3.229454e-05,3.333525e-05,3.362170e-05,3.434832e-05,3.494285e-05,3.533364e-05,3.621561e-05,3.629119e-05,3.722106e-05,3.744013e-05,3.812342e-05,3.861681e-05,3.899849e-05,3.974621e-05,3.984656e-05,4.066795e-05,4.082905e-05,4.146302e-05,4.186619e-05,4.223217e-05,4.285854e-05,4.297583e-05,4.369442e-05,4.380710e-05,4.438841e-05,4.471293e-05,4.505828e-05,4.557712e-05,4.570449e-05,4.632754e-05,4.640077e-05,4.692792e-05,4.718504e-05,4.750613e-05,4.793105e-05,4.806267e-05,4.859803e-05,4.863996e-05,4.911272e-05,4.931292e-05,4.960723e-05,4.995106e-05,5.008205e-05,5.053768e-05,5.055551e-05,5.097460e-05,5.112740e-05,5.139329e-05,5.166783e-05,5.179423e-05,5.217788e-05,5.254472e-05,5.265863e-05,5.289519e-05,5.311112e-05,5.322975e-05,5.353637e-05,5.354884e-05,5.385290e-05,5.393540e-05,5.414235e-05,5.430918e-05,5.441761e-05,5.465868e-05,5.467910e-05,5.492722e-05,5.498483e-05,5.516237e-05,5.528853e-05,5.538493e-05,5.557068e-05,5.559530e-05,5.579383e-05,5.583215e-05,5.598089e-05,5.607376e-05,5.615685e-05,5.629633e-05,5.632205e-05,5.647683e-05,5.650065e-05,5.662153e-05,5.668749e-05,5.675646e-05,5.685760e-05,5.688196e-05,5.699832e-05,5.701169e-05,5.710586e-05,5.715045e-05,5.720486e-05,5.727458e-05,5.729562e-05,5.737842e-05,5.738471e-05,5.745353e-05,5.748147e-05,5.752121e-05,5.756549e-05,5.758173e-05,5.763534e-05,5.763735e-05,5.768229e-05,5.769761e-05,5.772282e-05,5.774683e-05,5.775716e-05,5.778554e-05,5.781424e-05,5.783344e-05,5.784360e-05,5.784519e-05,5.783863e-05,5.782437e-05,5.780281e-05,5.777433e-05,5.773932e-05,5.769814e-05,5.765114e-05,5.759866e-05,5.754101e-05,5.747851e-05,5.741145e-05,5.734012e-05,5.726478e-05,5.718571e-05,5.710315e-05,5.701734e-05,5.692852e-05,5.683690e-05,5.674269e-05,5.664610e-05
0.000000e+00,2.179157e-10,8.390731e-10,6.162024e-09,2.286060e-08,4.151029e-08,1.489017e-07,1.558693e-07,4.259905e-07,5.429077e-07,9.545356e-07,1.447637e-06,1.868711e-06,3.179094e-06,3.318689e-06,5.472218e-06,6.112978e-06,8.500423e-06,1.063684e-05,1.255697e-05,1.707293e-05,1.776094e-05,2.418987e-05,2.562660e-05,3.188124e-05,3.638182e-05,4.083792e-05,4.932144e-05,5.103445e-05,6.242261e-05,6.435107e-05,7.493579e-05,8.131830e-05,8.849252e-05,1.000267e-04,1.029992e-04,1.183523e-04,1.202464e-04,1.344410e-04,1.417231e-04,1.511486e-04,1.641865e-04,1.683551e-04,1.859391e-04,1.873586e-04,2.037801e-04,2.109618e-04,2.217599e-04,2.347272e-04,2.397648e-04,2.576871e-04,2.584008e-04,2.754262e-04,2.817494e-04,2.928898e-04,3.045648e-04,3.099946e-04,3.266667e-04,3.428419e-04,3.479039e-04,3.584657e-04,3.681542e-04,3.734928e-04,3.873240e-04,3.878872e-04,4.016213e-04,4.053456e-04,4.146753e-04,4.221758e-04,4.270368e-04,4.377925e-04,4.386997e-04,4.496640e-04,4.521919e-04,4.599343e-04,4.653859e-04,4.695201e-04,4.773994e-04,4.784341e-04,4.866925e-04,4.882671e-04,4.943138e-04,4.980319e-04,5.013186e-04,5.067421e-04,5.077288e-04,5.135676e-04,5.144504e-04,5.188591e-04,5.212117e-04,5.236275e-04,5.270821e-04,5.278974e-04,5.316934e-04,5.321182e-04,5.350396e-04,5.363756e-04,5.379599e-04,5.399089e-04,5.404777e-04,5.426155e-04,5.427708e-04,5.443956e-04,5.450122e-04,5.458390e-04,5.466814e-04,5.469664e-04,5.477973e-04,5.478246e-04,5.483505e-04,5.484852e-04,5.486440e-04,5.487041e-04,5.486950e-04,5.485198e-04,5.481338e-04,5.479682e-04,5.475518e-04,5.470829e-04,5.467876e-04,5.458950e-04,5.458546e-04,5.447651e-04,5.444336e-04,5.435309e-04,5.427256e-04,5.421632e-04,5.407960e-04,5.406725e-04,5.390686e-04,5.386678e-04,5.373608e-04,5.363624e-04,5.355580e-04,5.338994e-04,5.336683e-04,5.316995e-04,5.312969e-04,5.296590e-04,5.285718e-04,5.275534e-04,5.257392e-04,5.253893e-04,5.231726e-04,5.228135e-04,5.209091e-04,5.198074e-04,5.186039e-04,5.167331e-04,5.162620e-04,5.138881e-04,5.136013e-04,5.114866e-04,5.104221e-04,5.090613e-04,5.072047e-04,5.066163e-04,5.041549e-04,5.039574e-04,5.016805e-04,5.006878e-04,4.991962e-04,4.974030e-04,4.967048e-04,4.942090e-04,4.941091e-04,4.917113e-04,4.908122e-04,4.892140e-04,4.875172e-04,4.867193e-04,4.842291e-04,4.809521e-04,4.776901e-04,4.744466e-04,4.712248e-04,4.680274e-04,4.648571e-04,4.617160e-04,4.586062e-04,4.555294e-04,4.524872e-04,4.494809e-04,4.465118e-04,4.435807e-04,4.406887e-04,4.378363e-04,4.350243e-04,4.322530e-04,4.295228e-04,4.268341e-04,4.241870e-04,4.215815e-04,4.190178e-04,4.164957e-04,4.140153e-04
0.000000e+00,4.010782e-08,1.579816e-07,1.216284e-06,4.710671e-06,8.757478e-06,3.336777e-05,3.501419e-05,1.014603e-04,1.313353e-04,2.399241e-04,3.749272e-04,4.932513e-04,8.740363e-04,9.154938e-04,1.571473e-03,1.771756e-03,2.535263e-03,3.239284e-03,3.887369e-03,5.464662e-03,5.711193e-03,8.089672e-03,8.639022e-03,1.110246e-02,1.294465e-02,1.482359e-02,1.854565e-02,1.931955e-02,2.464767e-02,2.558068e-02,3.085482e-02,3.415736e-02,3.797650e-02,4.434847e-02,4.603616e-02,5.504496e-02,5.618988e-02,6.500182e-02,6.968026e-02,7.589376e-02,8.478250e-02,8.769655e-02,1.003756e-01,1.014265e-01,1.138868e-01,1.195130e-01,1.281782e-01,1.389182e-01,1.431907e-01,1.588593e-01,1.594987e-01,1.751150e-01,1.810970e-01,1.918855e-01,2.035457e-01,2.090965e-01,2.266729e-01,2.445395e-01,2.503060e-01,2.626223e-01,2.742752e-01,2.808490e-01,2.984170e-01,2.991496e-01,3.174573e-01,3.225760e-01,3.357084e-01,3.466069e-01,3.538432e-01,3.703765e-01,3.718059e-01,3.895447e-01,3.937634e-01,4.070124e-01,4.166596e-01,4.241657e-01,4.389699e-01,4.409661e-01,4.573788e-01,4.606121e-01,4.733735e-01,4.815166e-01,4.889237e-01,5.016255e-01,5.040066e-01,5.186033e-01,5.208926e-01,5.326983e-01,5.392819e-01,5.462791e-01,5.567673e-01,5.593366e-01,5.718640e-01,5.733315e-01,5.838577e-01,5.889653e-01,5.953160e-01,6.036665e-01,6.062395e-01,6.166311e-01,6.174395e-01,6.264950e-01,6.302941e-01,6.358373e-01,6.422449e-01,6.446655e-01,6.529882e-01,6.533107e-01,6.608153e-01,6.635137e-01,6.681575e-01,6.728791e-01,6.750264e-01,6.814342e-01,6.873939e-01,6.892085e-01,6.929186e-01,6.962325e-01,6.980221e-01,7.025381e-01,7.027183e-01,7.070212e-01,7.081575e-01,7.109452e-01,7.131236e-01,7.145045e-01,7.174692e-01,7.177133e-01,7.205859e-01,7.212268e-01,7.231362e-01,7.244289e-01,7.253783e-01,7.271073e-01,7.273259e-01,7.289923e-01,7.292930e-01,7.303909e-01,7.310166e-01,7.315345e-01,7.323074e-01,7.324359e-01,7.331073e-01,7.331942e-01,7.335606e-01,7.337043e-01,7.338077e-01,7.338643e-01,7.338596e-01,7.337274e-01,7.336996e-01,7.334215e-01,7.332346e-01,7.329522e-01,7.324923e-01,7.323293e-01,7.315624e-01,7.314951e-01,7.306604e-01,7.302639e-01,7.296323e-01,7.288187e-01,7.284864e-01,7.272308e-01,7.271784e-01,7.258732e-01,7.253609e-01,7.244210e-01,7.233830e-01,7.228812e-01,7.212607e-01,7.190088e-01,7.166413e-01,7.141715e-01,7.116116e-01,7.089731e-01,7.062667e-01,7.035025e-01,7.006898e-01,6.978372e-01,6.949527e-01,6.920438e-01,6.891173e-01,6.861796e-01,6.832364e-01,6.802932e-01,6.773548e-01,6.744259e-01,6.715104e-01,6.686121e-01,6.657345e-01,6.628805e-01,6.600530e-01,6.572546e-01,6.544873e-01
0.000000e+00,1.551993e-10,5.986405e-10,4.411140e-09,1.640749e-08,2.982758e-08,1.071981e-07,1.122183e-07,3.065765e-07,3.904907e-07,6.847961e-07,1.035060e-06,1.332290e-06,2.247581e-06,2.344322e-06,3.822329e-06,4.257926e-06,5.870120e-06,7.303982e-06,8.589647e-06,1.161422e-05,1.207593e-05,1.641084e-05,1.738551e-05,2.165593e-05,2.475563e-05,2.784518e-05,3.377550e-05,3.497950e-05,4.302458e-05,4.439223e-05,5.191304e-05,5.645207e-05,6.155002e-05,6.972180e-05,7.182064e-05,8.259810e-05,8.391922e-05,9.375088e-05,9.874327e-05,1.051487e-04,1.138982e-04,1.166673e-04,1.281915e-04,1.291105e-04,1.396173e-04,1.441391e-04,1.508530e-04,1.587804e-04,1.618201e-04,1.724523e-04,1.728698e-04,1.826959e-04,1.862799e-04,1.925082e-04,1.989176e-04,2.018573e-04,2.107205e-04,2.190835e-04,2.216526e-04,2.269391e-04,2.316997e-04,2.342864e-04,2.408655e-04,2.411297e-04,2.474776e-04,2.491678e-04,2.533423e-04,2.566352e-04,2.587385e-04,2.633039e-04,2.636833e-04,2.681951e-04,2.692157e-04,2.722936e-04,2.744158e-04,2.759991e-04,2.789510e-04,2.793320e-04,2.823130e-04,2.828688e-04,2.849625e-04,2.862158e-04,2.873004e-04,2.890379e-04,2.893464e-04,2.911193e-04,2.913788e-04,2.926372e-04,2.932803e-04,2.939175e-04,2.947819e-04,2.949769e-04,2.958311e-04,2.959205e-04,2.964951e-04,2.967306e-04,2.969830e-04,2.972442e-04,2.973081e-04,2.974830e-04,2.974909e-04,2.975195e-04,2.974978e-04,2.974286e-04,2.972901e-04,2.972207e-04,2.969055e-04,2.968908e-04,2.964920e-04,2.963208e-04,2.959887e-04,2.955992e-04,2.954035e-04,2.947437e-04,2.940162e-04,2.937702e-04,2.932273e-04,2.926930e-04,2.923830e-04,2.915255e-04,2.914888e-04,2.905498e-04,2.902795e-04,2.895707e-04,2.889658e-04,2.885559e-04,2.875944e-04,2.875097e-04,2.864356e-04,2.861741e-04,2.853373e-04,2.847129e-04,2.842181e-04,2.832181e-04,2.830808e-04,2.819284e-04,2.816963e-04,2.807633e-04,2.801533e-04,2.795880e-04,2.785944e-04,2.784047e-04,2.772153e-04,2.770246e-04,2.760218e-04,2.754480e-04,2.748259e-04,2.738686e-04,2.736292e-04,2.724331e-04,2.722897e-04,2.712390e-04,2.707146e-04,2.700481e-04,2.691459e-04,2.688615e-04,2.676803e-04,2.675861e-04,2.665054e-04,2.660374e-04,2.653376e-04,2.645017e-04,2.641778e-04,2.630266e-04,2.629807e-04,2.618847e-04,2.614760e-04,2.607527e-04,2.599889e-04,2.596312e-04,2.585205e-04,2.570717e-04,2.556436e-04,2.542367e-04,2.528516e-04,2.514890e-04,2.501492e-04,2.488325e-04,2.475391e-04,2.462693e-04,2.450232e-04,2.438008e-04,2.426021e-04,2.414271e-04,2.402758e-04,2.391479e-04,2.380434e-04,2.369621e-04,2.359037e-04,2.348681e-04,2.338550e-04,2.328641e-04,2.318952e-04,2.309479e-04,2.300220e-04
0.000000e+00,9.025632e-12,2.064739e-11,7.115818e-11,1.631244e-10,2.396370e-10,5.593271e-10,5.770208e-10,1.165867e-09,1.389615e-09,2.108069e-09,2.878384e-09,3.479578e-09,5.102327e-09,5.257456e-09,7.353180e-09,7.894590e-09,9.693308e-09,1.109303e-08,1.223287e-08,1.460841e-08,1.494151e-08,1.779360e-08,1.837903e-08,2.076396e-08,2.234670e-08,2.382661e-08,2.645103e-08,2.695486e-08,3.012207e-08,3.063070e-08,3.330248e-08,3.482659e-08,3.647192e-08,3.898473e-08,3.960842e-08,4.269256e-08,4.305832e-08,4.570767e-08,4.700878e-08,4.863988e-08,5.080590e-08,5.147795e-08,5.421316e-08,5.442733e-08,5.683905e-08,5.785772e-08,5.935111e-08,6.108771e-08,6.174659e-08,6.402417e-08,6.411281e-08,6.618373e-08,6.693243e-08,6.822616e-08,6.954895e-08,7.015315e-08,7.196700e-08,7.367051e-08,7.419283e-08,7.526682e-08,7.623377e-08,7.675936e-08,7.809791e-08,7.815172e-08,7.944763e-08,7.979372e-08,8.065087e-08,8.132990e-08,8.176522e-08,8.271518e-08,8.279448e-08,8.374238e-08,8.395817e-08,8.461259e-08,8.506732e-08,8.540871e-08,8.605079e-08,8.613424e-08,8.679257e-08,8.691646e-08,8.738700e-08,8.767191e-08,8.792072e-08,8.832439e-08,8.839681e-08,8.881827e-08,8.888082e-08,8.918793e-08,8.934779e-08,8.950856e-08,8.973153e-08,8.978278e-08,9.001313e-08,9.003794e-08,9.020203e-08,9.027262e-08,9.035180e-08,9.044084e-08,9.046468e-08,9.054278e-08,9.054759e-08,9.058816e-08,9.059757e-08,9.060271e-08,9.059515e-08,9.058830e-08,9.054665e-08,9.054444e-08,9.047944e-08,9.044931e-08,9.038830e-08,9.031342e-08,9.027473e-08,9.014019e-08,8.998606e-08,8.993282e-08,8.981365e-08,8.969428e-08,8.962419e-08,8.942737e-08,8.941887e-08,8.919881e-08,8.913469e-08,8.896506e-08,8.881866e-08,8.871864e-08,8.848155e-08,8.846049e-08,8.819154e-08,8.812548e-08,8.791264e-08,8.775241e-08,8.762460e-08,8.736419e-08,8.732820e-08,8.702417e-08,8.696251e-08,8.671319e-08,8.654896e-08,8.639593e-08,8.612503e-08,8.607301e-08,8.574500e-08,8.569208e-08,8.541246e-08,8.525139e-08,8.507592e-08,8.480413e-08,8.473586e-08,8.439276e-08,8.435140e-08,8.404705e-08,8.389422e-08,8.369914e-08,8.343350e-08,8.334943e-08,8.299827e-08,8.297013e-08,8.264603e-08,8.250490e-08,8.229301e-08,8.203854e-08,8.193953e-08,8.158587e-08,8.157173e-08,8.123231e-08,8.110510e-08,8.087909e-08,8.063921e-08,8.052644e-08,8.017460e-08,7.971175e-08,7.925109e-08,7.879303e-08,7.833792e-08,7.788611e-08,7.743789e-08,7.699353e-08,7.655328e-08,7.611736e-08,7.568595e-08,7.525924e-08,7.483738e-08,7.442050e-08,7.400873e-08,7.360215e-08,7.320086e-08,7.280493e-08,7.241443e-08,7.202938e-08,7.164985e-08,7.127584e-08,7.090738e-08,7.054448e-08,7.018714e-08
0.000000e+00,5.986878e-11,2.286097e-10,1.651012e-09,6.038140e-09,1.088416e-08,3.840460e-08,4.017827e-08,1.085495e-07,1.380478e-07,2.419480e-07,3.669065e-07,4.741981e-07,8.117223e-07,8.479859e-07,1.413508e-06,1.583528e-06,2.221206e-06,2.794406e-06,3.309358e-06,4.512526e-06,4.694372e-06,6.369467e-06,6.737345e-06,8.309774e-06,9.411878e-06,1.047938e-05,1.244922e-05,1.283745e-05,1.534251e-05,1.575428e-05,1.795498e-05,1.923628e-05,2.063842e-05,2.281407e-05,2.335998e-05,2.609045e-05,2.641745e-05,2.880405e-05,2.998675e-05,3.147816e-05,3.347192e-05,3.409319e-05,3.663232e-05,3.683173e-05,3.908138e-05,4.003309e-05,4.142871e-05,4.305052e-05,4.366507e-05,4.578344e-05,4.586564e-05,4.777894e-05,4.846661e-05,4.964863e-05,5.084749e-05,5.139134e-05,5.300748e-05,5.449881e-05,5.495013e-05,5.586825e-05,5.668248e-05,5.711968e-05,5.821430e-05,5.825771e-05,5.928755e-05,5.955727e-05,6.021479e-05,6.072433e-05,6.104531e-05,6.172910e-05,6.178509e-05,6.244012e-05,6.258538e-05,6.301635e-05,6.330678e-05,6.351956e-05,6.390642e-05,6.395533e-05,6.432899e-05,6.439672e-05,6.464560e-05,6.478929e-05,6.490993e-05,6.509484e-05,6.512644e-05,6.529926e-05,6.532312e-05,6.543225e-05,6.548299e-05,6.552896e-05,6.558240e-05,6.559264e-05,6.562631e-05,6.562846e-05,6.563268e-05,6.562748e-05,6.561425e-05,6.558507e-05,6.557330e-05,6.551191e-05,6.550617e-05,6.543194e-05,6.539515e-05,6.533512e-05,6.525585e-05,6.522300e-05,6.509699e-05,6.509168e-05,6.495837e-05,6.490561e-05,6.480831e-05,6.470028e-05,6.464787e-05,6.447801e-05,6.429962e-05,6.424087e-05,6.411350e-05,6.399067e-05,6.392039e-05,6.372903e-05,6.372094e-05,6.351578e-05,6.345739e-05,6.330547e-05,6.317703e-05,6.309053e-05,6.288910e-05,6.287143e-05,6.264862e-05,6.259464e-05,6.242250e-05,6.229456e-05,6.219344e-05,6.198971e-05,6.196178e-05,6.172786e-05,6.168083e-05,6.149197e-05,6.136861e-05,6.125437e-05,6.105367e-05,6.101533e-05,6.077509e-05,6.073656e-05,6.053386e-05,6.041779e-05,6.029186e-05,6.009783e-05,6.004927e-05,5.980628e-05,5.977711e-05,5.956306e-05,5.945601e-05,5.931975e-05,5.913488e-05,5.907652e-05,5.883348e-05,5.881405e-05,5.859078e-05,5.849382e-05,5.834853e-05,5.817446e-05,5.810685e-05,5.786583e-05,5.785620e-05,5.762558e-05,5.753929e-05,5.738618e-05,5.722392e-05,5.714772e-05,5.691029e-05,5.659856e-05,5.628890e-05,5.598145e-05,5.567633e-05,5.537367e-05,5.507358e-05,5.477614e-05,5.448144e-05,5.418957e-05,5.390059e-05,5.361457e-05,5.333155e-05,5.305159e-05,5.277472e-05,5.250098e-05,5.223040e-05,5.196300e-05,5.169881e-05,5.143785e-05,5.118011e-05,5.092561e-05,5.067436e-05,5.042636e-05,5.018159e-05
0.000000e+00,1.045001e-11,2.388257e-11,8.215614e-11,1.881450e-10,2.763517e-10,6.458661e-10,6.663695e-10,1.351219e-09,1.612110e-09,2.447375e-09,3.331705e-09,4.011383e-09,5.807070e-09,5.976472e-09,8.241668e-09,8.821891e-09,1.074078e-08,1.222736e-08,1.343481e-08,1.594408e-08,1.629526e-08,1.929584e-08,1.991041e-08,2.240937e-08,2.406361e-08,2.560729e-08,2.833721e-08,2.886014e-08,3.213861e-08,3.266363e-08,3.541453e-08,3.697830e-08,3.866177e-08,4.122302e-08,4.185683e-08,4.497927e-08,4.534823e-08,4.801187e-08,4.931404e-08,5.094066e-08,5.309028e-08,5.375471e-08,5.644597e-08,5.665578e-08,5.900890e-08,5.999733e-08,6.144019e-08,6.310834e-08,6.373841e-08,6.590371e-08,6.598757e-08,6.793752e-08,6.863795e-08,6.984229e-08,7.106546e-08,7.162128e-08,7.327831e-08,7.481768e-08,7.528616e-08,7.624395e-08,7.709961e-08,7.756189e-08,7.872970e-08,7.877636e-08,7.989223e-08,8.018767e-08,8.091435e-08,8.148462e-08,8.184750e-08,8.263144e-08,8.269635e-08,8.346542e-08,8.363862e-08,8.415911e-08,8.451622e-08,8.478162e-08,8.527378e-08,8.533701e-08,8.582916e-08,8.592034e-08,8.626179e-08,8.646442e-08,8.663844e-08,8.691404e-08,8.696249e-08,8.723713e-08,8.727670e-08,8.746543e-08,8.755941e-08,8.765027e-08,8.776870e-08,8.779439e-08,8.790040e-08,8.791068e-08,8.797075e-08,8.799101e-08,8.800777e-08,8.801497e-08,8.801366e-08,8.799051e-08,8.798746e-08,8.794027e-08,8.791302e-08,8.786481e-08,8.779585e-08,8.776588e-08,8.764512e-08,8.763986e-08,8.750411e-08,8.744867e-08,8.734430e-08,8.722561e-08,8.716710e-08,8.697380e-08,8.676563e-08,8.669606e-08,8.654375e-08,8.639506e-08,8.630925e-08,8.607321e-08,8.606316e-08,8.580644e-08,8.573278e-08,8.554000e-08,8.537582e-08,8.526469e-08,8.500427e-08,8.498132e-08,8.469064e-08,8.461987e-08,8.439336e-08,8.422426e-08,8.409016e-08,8.381893e-08,8.378165e-08,8.346842e-08,8.340526e-08,8.315103e-08,8.298452e-08,8.283000e-08,8.255788e-08,8.250581e-08,8.217892e-08,8.212640e-08,8.184976e-08,8.169108e-08,8.151873e-08,8.125281e-08,8.118620e-08,8.085252e-08,8.081242e-08,8.051803e-08,8.037068e-08,8.018303e-08,7.992827e-08,7.984781e-08,7.951263e-08,7.948583e-08,7.917775e-08,7.904394e-08,7.884341e-08,7.860313e-08,7.850981e-08,7.817716e-08,7.816388e-08,7.784565e-08,7.772662e-08,7.751546e-08,7.729176e-08,7.718675e-08,7.685966e-08,7.643063e-08,7.600499e-08,7.558297e-08,7.516484e-08,7.475079e-08,7.434101e-08,7.393568e-08,7.353494e-08,7.313891e-08,7.274772e-08,7.236144e-08,7.198017e-08,7.160397e-08,7.123290e-08,7.086701e-08,7.050632e-08,7.015086e-08,6.980065e-08,6.945570e-08,6.911600e-08,6.878155e-08,6.845234e-08,6.812835e-08,6.780955e-08
0.000000e+00,1.747404e-10,5.619566e-10,2.956164e-09,8.428153e-09,1.343419e-08,3.581157e-08,3.707755e-08,7.927516e-08,9.516341e-08,1.455858e-07,1.994151e-07,2.419902e-07,3.626877e-07,3.747957e-07,5.496251e-07,5.982310e-07,7.691317e-07,9.109176e-07,1.031038e-06,1.291676e-06,1.329109e-06,1.656055e-06,1.724320e-06,2.005430e-06,2.194180e-06,2.371961e-06,2.689852e-06,2.751225e-06,3.139320e-06,3.201992e-06,3.532666e-06,3.722349e-06,3.927931e-06,4.243440e-06,4.322026e-06,4.712127e-06,4.758547e-06,5.095703e-06,5.261826e-06,5.470539e-06,5.748399e-06,5.834753e-06,6.186788e-06,6.214386e-06,6.525407e-06,6.656878e-06,6.849670e-06,7.073865e-06,7.158909e-06,7.452690e-06,7.464116e-06,7.730798e-06,7.827070e-06,7.993201e-06,8.162712e-06,8.240002e-06,8.471430e-06,8.687822e-06,8.753957e-06,8.889585e-06,9.011249e-06,9.077185e-06,9.244432e-06,9.251134e-06,9.411974e-06,9.454736e-06,9.560263e-06,9.643451e-06,9.696574e-06,9.811892e-06,9.821478e-06,9.935540e-06,9.961364e-06,1.003932e-05,1.009314e-05,1.013335e-05,1.020847e-05,1.021818e-05,1.029431e-05,1.030854e-05,1.036225e-05,1.039449e-05,1.042245e-05,1.046738e-05,1.047538e-05,1.052147e-05,1.052824e-05,1.056115e-05,1.057802e-05,1.059479e-05,1.061762e-05,1.062279e-05,1.064549e-05,1.064787e-05,1.066323e-05,1.066956e-05,1.067635e-05,1.068340e-05,1.068513e-05,1.068988e-05,1.069009e-05,1.069086e-05,1.069025e-05,1.068833e-05,1.068447e-05,1.068253e-05,1.067369e-05,1.067328e-05,1.066204e-05,1.065719e-05,1.064777e-05,1.063667e-05,1.063108e-05,1.061214e-05,1.059114e-05,1.058401e-05,1.056823e-05,1.055264e-05,1.054357e-05,1.051837e-05,1.051729e-05,1.048954e-05,1.048152e-05,1.046043e-05,1.044237e-05,1.043010e-05,1.040119e-05,1.039864e-05,1.036617e-05,1.035823e-05,1.033278e-05,1.031371e-05,1.029856e-05,1.026784e-05,1.026361e-05,1.022801e-05,1.022081e-05,1.019182e-05,1.017280e-05,1.015513e-05,1.012397e-05,1.011800e-05,1.008049e-05,1.007446e-05,1.004267e-05,1.002441e-05,1.000458e-05,9.973951e-06,9.966277e-06,9.927813e-06,9.923189e-06,9.889232e-06,9.872229e-06,9.850574e-06,9.821167e-06,9.811878e-06,9.773182e-06,9.770087e-06,9.734519e-06,9.719070e-06,9.695920e-06,9.668186e-06,9.657416e-06,9.619032e-06,9.617500e-06,9.580795e-06,9.567070e-06,9.542728e-06,9.516950e-06,9.504852e-06,9.467187e-06,9.417825e-06,9.368902e-06,9.320451e-06,9.272505e-06,9.225090e-06,9.178230e-06,9.131945e-06,9.086255e-06,9.041175e-06,8.996719e-06,8.952897e-06,8.909720e-06,8.867195e-06,8.825328e-06,8.784123e-06,8.743583e-06,8.703711e-06,8.664507e-06,8.625971e-06,8.588101e-06,8.550896e-06,8.514352e-06,8.478466e-06,8.443233e-06
0.000000e+00,3.005369e-11,1.093029e-10,7.153026e-10,2.397496e-09,4.123142e-09,1.291093e-08,1.344237e-08,3.230773e-08,3.980134e-08,6.437213e-08,9.141083e-08,1.131382e-07,1.756180e-07,1.819344e-07,2.739247e-07,2.997877e-07,3.920601e-07,4.706146e-07,5.388972e-07,6.933047e-07,7.162249e-07,9.245097e-07,9.697936e-07,1.162317e-06,1.296527e-06,1.426031e-06,1.663572e-06,1.710132e-06,2.007995e-06,2.056471e-06,2.312841e-06,2.459800e-06,2.618505e-06,2.860141e-06,2.919860e-06,3.212913e-06,3.247372e-06,3.494729e-06,3.614614e-06,3.763265e-06,3.957629e-06,4.017188e-06,4.255713e-06,4.274117e-06,4.478483e-06,4.563162e-06,4.685461e-06,4.824818e-06,4.876860e-06,5.053078e-06,5.059818e-06,5.214657e-06,5.269364e-06,5.362242e-06,5.454971e-06,5.496550e-06,5.618343e-06,5.728405e-06,5.761277e-06,5.827527e-06,5.885586e-06,5.916492e-06,5.993049e-06,5.996061e-06,6.066967e-06,6.085365e-06,6.129910e-06,6.164130e-06,6.185550e-06,6.230822e-06,6.234506e-06,6.277353e-06,6.286788e-06,6.314627e-06,6.333251e-06,6.346820e-06,6.371308e-06,6.374385e-06,6.397737e-06,6.401936e-06,6.417254e-06,6.426004e-06,6.433283e-06,6.444281e-06,6.446136e-06,6.456100e-06,6.457444e-06,6.463435e-06,6.466091e-06,6.468375e-06,6.470747e-06,6.471134e-06,6.471906e-06,6.471874e-06,6.470867e-06,6.469877e-06,6.468175e-06,6.465114e-06,6.463976e-06,6.458401e-06,6.457900e-06,6.451571e-06,6.448512e-06,6.443594e-06,6.437196e-06,6.434569e-06,6.424588e-06,6.424170e-06,6.413733e-06,6.409627e-06,6.402081e-06,6.393738e-06,6.389702e-06,6.376658e-06,6.363009e-06,6.358522e-06,6.348808e-06,6.339454e-06,6.334107e-06,6.319565e-06,6.318950e-06,6.303381e-06,6.298953e-06,6.287439e-06,6.277710e-06,6.271160e-06,6.255915e-06,6.254578e-06,6.237724e-06,6.233642e-06,6.220627e-06,6.210958e-06,6.203316e-06,6.187924e-06,6.185814e-06,6.168147e-06,6.164595e-06,6.150334e-06,6.141022e-06,6.132398e-06,6.117250e-06,6.114357e-06,6.096230e-06,6.093322e-06,6.078032e-06,6.069277e-06,6.059780e-06,6.045149e-06,6.041488e-06,6.023171e-06,6.020972e-06,6.004841e-06,5.996774e-06,5.986509e-06,5.972583e-06,5.968188e-06,5.949888e-06,5.948425e-06,5.931619e-06,5.924322e-06,5.913390e-06,5.900295e-06,5.895210e-06,5.877087e-06,5.876364e-06,5.859029e-06,5.852545e-06,5.841042e-06,5.828856e-06,5.823134e-06,5.805310e-06,5.781921e-06,5.758702e-06,5.735664e-06,5.712816e-06,5.690169e-06,5.667730e-06,5.645507e-06,5.623508e-06,5.601737e-06,5.580200e-06,5.558903e-06,5.537849e-06,5.517042e-06,5.496485e-06,5.476181e-06,5.456132e-06,5.436340e-06,5.416807e-06,5.397534e-06,5.378521e-06,5.359770e-06,5.341279e-06,5.323051e-06,5.305083e-06
0.000000e+00,2.347591e-11,5.393482e-11,1.855908e-10,4.211205e-10,6.130626e-10,1.381086e-09,1.422183e-09,2.724657e-09,3.193011e-09,4.633135e-09,6.117317e-09,7.263585e-09,1.041757e-08,1.072760e-08,1.510417e-08,1.629277e-08,2.039719e-08,2.373304e-08,2.652305e-08,3.249843e-08,3.335015e-08,4.074444e-08,4.228062e-08,4.858723e-08,5.280785e-08,5.677485e-08,6.385037e-08,6.521387e-08,7.381780e-08,7.520425e-08,8.250567e-08,8.668327e-08,9.120198e-08,9.811820e-08,9.983726e-08,1.083489e-07,1.093593e-07,1.166816e-07,1.202789e-07,1.247882e-07,1.307734e-07,1.326292e-07,1.401729e-07,1.407628e-07,1.473952e-07,1.501899e-07,1.542784e-07,1.590177e-07,1.608111e-07,1.669873e-07,1.672269e-07,1.728054e-07,1.748126e-07,1.782677e-07,1.817816e-07,1.833797e-07,1.881495e-07,1.925869e-07,1.939385e-07,1.967035e-07,1.991755e-07,2.005118e-07,2.038901e-07,2.040251e-07,2.072571e-07,2.081136e-07,2.102217e-07,2.118778e-07,2.129327e-07,2.152147e-07,2.154039e-07,2.176486e-07,2.181551e-07,2.196800e-07,2.207291e-07,2.215106e-07,2.229651e-07,2.231526e-07,2.246176e-07,2.248904e-07,2.259169e-07,2.265305e-07,2.270609e-07,2.279092e-07,2.280596e-07,2.289227e-07,2.290488e-07,2.296591e-07,2.299701e-07,2.302774e-07,2.306923e-07,2.307855e-07,2.311911e-07,2.312332e-07,2.315013e-07,2.316093e-07,2.317227e-07,2.318356e-07,2.318618e-07,2.319243e-07,2.319262e-07,2.319159e-07,2.318938e-07,2.318417e-07,2.317502e-07,2.317065e-07,2.315151e-07,2.315063e-07,2.312716e-07,2.311720e-07,2.309802e-07,2.307565e-07,2.306445e-07,2.302681e-07,2.298542e-07,2.297144e-07,2.294061e-07,2.291026e-07,2.289266e-07,2.284391e-07,2.284183e-07,2.278839e-07,2.277298e-07,2.273256e-07,2.269802e-07,2.267458e-07,2.261951e-07,2.261465e-07,2.255296e-07,2.253791e-07,2.248969e-07,2.245364e-07,2.242502e-07,2.236707e-07,2.235910e-07,2.229208e-07,2.227856e-07,2.222410e-07,2.218841e-07,2.215529e-07,2.209693e-07,2.208576e-07,2.201563e-07,2.200437e-07,2.194501e-07,2.191097e-07,2.187399e-07,2.181695e-07,2.180267e-07,2.173112e-07,2.172252e-07,2.165943e-07,2.162786e-07,2.158767e-07,2.153312e-07,2.151590e-07,2.144420e-07,2.143847e-07,2.137262e-07,2.134403e-07,2.130121e-07,2.124994e-07,2.123003e-07,2.115912e-07,2.115629e-07,2.108853e-07,2.106320e-07,2.101829e-07,2.097075e-07,2.094844e-07,2.087902e-07,2.078810e-07,2.069803e-07,2.060889e-07,2.052072e-07,2.043356e-07,2.034747e-07,2.026246e-07,2.017858e-07,2.009585e-07,2.001429e-07,1.993392e-07,1.985476e-07,1.977681e-07,1.970008e-07,1.962459e-07,1.955034e-07,1.947733e-07,1.940556e-07,1.933502e-07,1.926572e-07,1.919765e-07,1.913081e-07,1.906518e-07,1.900077e-07
0.000000e+00,3.122930e-11,7.211742e-11,2.506057e-10,5.747922e-10,8.428903e-10,1.946734e-09,2.007114e-09,3.981071e-09,4.715327e-09,7.024809e-09,9.436937e-09,1.128963e-08,1.624374e-08,1.671729e-08,2.316305e-08,2.484731e-08,3.050545e-08,3.497303e-08,3.864969e-08,4.641056e-08,4.750836e-08,5.699004e-08,5.895256e-08,6.699594e-08,7.237161e-08,7.742147e-08,8.642467e-08,8.815930e-08,9.910347e-08,1.008668e-07,1.101529e-07,1.154662e-07,1.212141e-07,1.300150e-07,1.322034e-07,1.430476e-07,1.443361e-07,1.536845e-07,1.582855e-07,1.640629e-07,1.717524e-07,1.741424e-07,1.838915e-07,1.846564e-07,1.932870e-07,1.969424e-07,2.023130e-07,2.085771e-07,2.109595e-07,2.192217e-07,2.195442e-07,2.270988e-07,2.298406e-07,2.345933e-07,2.394736e-07,2.417104e-07,2.484574e-07,2.548429e-07,2.568116e-07,2.608770e-07,2.645594e-07,2.665705e-07,2.717261e-07,2.719345e-07,2.769809e-07,2.783386e-07,2.817214e-07,2.844239e-07,2.861680e-07,2.900095e-07,2.903325e-07,2.942266e-07,2.951222e-07,2.978618e-07,2.997886e-07,3.012493e-07,3.040342e-07,3.044002e-07,3.073250e-07,3.078837e-07,3.100341e-07,3.113610e-07,3.125376e-07,3.144886e-07,3.148450e-07,3.169657e-07,3.172883e-07,3.189087e-07,3.197807e-07,3.206826e-07,3.219855e-07,3.222956e-07,3.237558e-07,3.239211e-07,3.250708e-07,3.256053e-07,3.262479e-07,3.270546e-07,3.272941e-07,3.282161e-07,3.282847e-07,3.290205e-07,3.293106e-07,3.297132e-07,3.301462e-07,3.303002e-07,3.307872e-07,3.308047e-07,3.311794e-07,3.312985e-07,3.314821e-07,3.316393e-07,3.317001e-07,3.318380e-07,3.319004e-07,3.319051e-07,3.318915e-07,3.318503e-07,3.318154e-07,3.316826e-07,3.316758e-07,3.314765e-07,3.314105e-07,3.312211e-07,3.310423e-07,3.309128e-07,3.305853e-07,3.305549e-07,3.301503e-07,3.300466e-07,3.297020e-07,3.294329e-07,3.292127e-07,3.287503e-07,3.286851e-07,3.281215e-07,3.280047e-07,3.275245e-07,3.272016e-07,3.268963e-07,3.263459e-07,3.262389e-07,3.255545e-07,3.254426e-07,3.248449e-07,3.244959e-07,3.241121e-07,3.235102e-07,3.233577e-07,3.225835e-07,3.224893e-07,3.217909e-07,3.214368e-07,3.209816e-07,3.203562e-07,3.201570e-07,3.193183e-07,3.192506e-07,3.184669e-07,3.181230e-07,3.176040e-07,3.169762e-07,3.167307e-07,3.158482e-07,3.158127e-07,3.149574e-07,3.146349e-07,3.140594e-07,3.134452e-07,3.131552e-07,3.122455e-07,3.110378e-07,3.098239e-07,3.086056e-07,3.073842e-07,3.061614e-07,3.049384e-07,3.037165e-07,3.024969e-07,3.012805e-07,3.000684e-07,2.988615e-07,2.976606e-07,2.964665e-07,2.952798e-07,2.941013e-07,2.929315e-07,2.917710e-07,2.906202e-07,2.894796e-07,2.883496e-07,2.872305e-07,2.861228e-07,2.850266e-07,2.839422e-07
0.000000e+00,9.169208e-11,3.512045e-10,2.551490e-09,9.374129e-09,1.693146e-08,5.991324e-08,6.268211e-08,1.690160e-07,2.146134e-07,3.738370e-07,5.626576e-07,7.226937e-07,1.215828e-06,1.268030e-06,2.068497e-06,2.305561e-06,3.187656e-06,3.978089e-06,4.691084e-06,6.381502e-06,6.640869e-06,9.087427e-06,9.639424e-06,1.206058e-05,1.381687e-05,1.556337e-05,1.889779e-05,1.957125e-05,2.403617e-05,2.478883e-05,2.889363e-05,3.134320e-05,3.407003e-05,3.838945e-05,3.948903e-05,4.507621e-05,4.575461e-05,5.076214e-05,5.327882e-05,5.648415e-05,6.082278e-05,6.218709e-05,6.782356e-05,6.827036e-05,7.335362e-05,7.552826e-05,7.874434e-05,8.252424e-05,8.396918e-05,8.900735e-05,8.920476e-05,9.384319e-05,9.553228e-05,9.846548e-05,1.014828e-04,1.028669e-04,1.070433e-04,1.109936e-04,1.122100e-04,1.147187e-04,1.169860e-04,1.182217e-04,1.213797e-04,1.215070e-04,1.245804e-04,1.254039e-04,1.274486e-04,1.290740e-04,1.301188e-04,1.324074e-04,1.325990e-04,1.348973e-04,1.354227e-04,1.370221e-04,1.381393e-04,1.389818e-04,1.405765e-04,1.407848e-04,1.424395e-04,1.427534e-04,1.439540e-04,1.446887e-04,1.453361e-04,1.464004e-04,1.465935e-04,1.477337e-04,1.479057e-04,1.487636e-04,1.492208e-04,1.496900e-04,1.503611e-04,1.505195e-04,1.512580e-04,1.513408e-04,1.519116e-04,1.521736e-04,1.524856e-04,1.528719e-04,1.529854e-04,1.534158e-04,1.534474e-04,1.537817e-04,1.539109e-04,1.540873e-04,1.542724e-04,1.543368e-04,1.545343e-04,1.545411e-04,1.546832e-04,1.547257e-04,1.547873e-04,1.548340e-04,1.548495e-04,1.548732e-04,1.548611e-04,1.548501e-04,1.548159e-04,1.547709e-04,1.547403e-04,1.546411e-04,1.546364e-04,1.545067e-04,1.544661e-04,1.543532e-04,1.542505e-04,1.541778e-04,1.539988e-04,1.539825e-04,1.537688e-04,1.537150e-04,1.535385e-04,1.534028e-04,1.532930e-04,1.530655e-04,1.530338e-04,1.527621e-04,1.527064e-04,1.524792e-04,1.523281e-04,1.521863e-04,1.519332e-04,1.518844e-04,1.515745e-04,1.515242e-04,1.512576e-04,1.511033e-04,1.509346e-04,1.506723e-04,1.506062e-04,1.502733e-04,1.502330e-04,1.499365e-04,1.497872e-04,1.495964e-04,1.493363e-04,1.492539e-04,1.489092e-04,1.488816e-04,1.485632e-04,1.484244e-04,1.482161e-04,1.479658e-04,1.478685e-04,1.475207e-04,1.475068e-04,1.471733e-04,1.470484e-04,1.468265e-04,1.465912e-04,1.464807e-04,1.461362e-04,1.456839e-04,1.452349e-04,1.447898e-04,1.443491e-04,1.439131e-04,1.434822e-04,1.430569e-04,1.426373e-04,1.422236e-04,1.418163e-04,1.414153e-04,1.410208e-04,1.406330e-04,1.402520e-04,1.398779e-04,1.395107e-04,1.391505e-04,1.387972e-04,1.384509e-04,1.381117e-04,1.377794e-04,1.374541e-04,1.371356e-04,1.368241e-04
0.000000e+00,6.656541e-11,1.727237e-10,6.757793e-10,1.623447e-09,2.410729e-09,5.599368e-09,5.770599e-09,1.119240e-08,1.313484e-08,1.907413e-08,2.514111e-08,2.979194e-08,4.246226e-08,4.369981e-08,6.108590e-08,6.579439e-08,8.206504e-08,9.533252e-08,1.064701e-07,1.304488e-07,1.338793e-07,1.637693e-07,1.699999e-07,1.956385e-07,2.128434e-07,2.290437e-07,2.580019e-07,2.635911e-07,2.989201e-07,3.046224e-07,3.346919e-07,3.519247e-07,3.705854e-07,3.991836e-07,4.062977e-07,4.415470e-07,4.457334e-07,4.760765e-07,4.909814e-07,5.096574e-07,5.344217e-07,5.420921e-07,5.732156e-07,5.756446e-07,6.028955e-07,6.143398e-07,6.310318e-07,6.502938e-07,6.575547e-07,6.824224e-07,6.833824e-07,7.056184e-07,7.135600e-07,7.271478e-07,7.408475e-07,7.470348e-07,7.653190e-07,7.820523e-07,7.870893e-07,7.972964e-07,8.063026e-07,8.111200e-07,8.231225e-07,8.235967e-07,8.348029e-07,8.377235e-07,8.448164e-07,8.502843e-07,8.537148e-07,8.609824e-07,8.615747e-07,8.684706e-07,8.699903e-07,8.744744e-07,8.774726e-07,8.796548e-07,8.835844e-07,8.840771e-07,8.878030e-07,8.884698e-07,8.908904e-07,8.922616e-07,8.933933e-07,8.950811e-07,8.953622e-07,8.968438e-07,8.970386e-07,8.978816e-07,8.982340e-07,8.985157e-07,8.987573e-07,8.987831e-07,8.987177e-07,8.986889e-07,8.983506e-07,8.981009e-07,8.977104e-07,8.970575e-07,8.968235e-07,8.957137e-07,8.956160e-07,8.944031e-07,8.938272e-07,8.929118e-07,8.917364e-07,8.912580e-07,8.894585e-07,8.893837e-07,8.875286e-07,8.868047e-07,8.854824e-07,8.840312e-07,8.833327e-07,8.810911e-07,8.787684e-07,8.780095e-07,8.763741e-07,8.748083e-07,8.739172e-07,8.715072e-07,8.714058e-07,8.688473e-07,8.681234e-07,8.662486e-07,8.646726e-07,8.636158e-07,8.611686e-07,8.609548e-07,8.582707e-07,8.576237e-07,8.555684e-07,8.540487e-07,8.528521e-07,8.504535e-07,8.501260e-07,8.473936e-07,8.468466e-07,8.446583e-07,8.432359e-07,8.419233e-07,8.396281e-07,8.391914e-07,8.364651e-07,8.360295e-07,8.337468e-07,8.324455e-07,8.310387e-07,8.288809e-07,8.283428e-07,8.256609e-07,8.253401e-07,8.229946e-07,8.218267e-07,8.203454e-07,8.183443e-07,8.177147e-07,8.151039e-07,8.148959e-07,8.125139e-07,8.114840e-07,8.099458e-07,8.081109e-07,8.074006e-07,8.048791e-07,8.047788e-07,8.023821e-07,8.014893e-07,7.999102e-07,7.982440e-07,7.974641e-07,7.950442e-07,7.918909e-07,7.887851e-07,7.857276e-07,7.827189e-07,7.797596e-07,7.768500e-07,7.739904e-07,7.711809e-07,7.684216e-07,7.657124e-07,7.630533e-07,7.604442e-07,7.578846e-07,7.553745e-07,7.529134e-07,7.505010e-07,7.481368e-07,7.458205e-07,7.435514e-07,7.413292e-07,7.391531e-07,7.370228e-07,7.349375e-07,7.328968e-07
0.000000e+00,1.326787e-10,4.981319e-10,3.474701e-09,1.231519e-08,2.182026e-08,7.362232e-08,7.688099e-08,1.984441e-07,2.491787e-07,4.226161e-07,6.234578e-07,7.909983e-07,1.297397e-06,1.350353e-06,2.151523e-06,2.385560e-06,3.245709e-06,4.003250e-06,4.676206e-06,6.232464e-06,6.466359e-06,8.609699e-06,9.077959e-06,1.106929e-05,1.245428e-05,1.378640e-05,1.621774e-05,1.669257e-05,1.971977e-05,2.021112e-05,2.280654e-05,2.429366e-05,2.590072e-05,2.835252e-05,2.895981e-05,3.195031e-05,3.230327e-05,3.484652e-05,3.608583e-05,3.762925e-05,3.965959e-05,4.028475e-05,4.280371e-05,4.299914e-05,4.518050e-05,4.609071e-05,4.741242e-05,4.892946e-05,4.949919e-05,5.144247e-05,5.151725e-05,5.324538e-05,5.386087e-05,5.491223e-05,5.597058e-05,5.644818e-05,5.785897e-05,5.915074e-05,5.954001e-05,6.032987e-05,6.102837e-05,6.140280e-05,6.233886e-05,6.237595e-05,6.325564e-05,6.348604e-05,6.404798e-05,6.448393e-05,6.475889e-05,6.534587e-05,6.539402e-05,6.595875e-05,6.608438e-05,6.645817e-05,6.671112e-05,6.689709e-05,6.723688e-05,6.728002e-05,6.761120e-05,6.767158e-05,6.789459e-05,6.802432e-05,6.813391e-05,6.830339e-05,6.833259e-05,6.849385e-05,6.851638e-05,6.862067e-05,6.867014e-05,6.871583e-05,6.877091e-05,6.878192e-05,6.882131e-05,6.882435e-05,6.883623e-05,6.883558e-05,6.882873e-05,6.880921e-05,6.880071e-05,6.875395e-05,6.874944e-05,6.869006e-05,6.866005e-05,6.861056e-05,6.854445e-05,6.851686e-05,6.841024e-05,6.840573e-05,6.829191e-05,6.824666e-05,6.816297e-05,6.806975e-05,6.802444e-05,6.787728e-05,6.772237e-05,6.767129e-05,6.756051e-05,6.745363e-05,6.739246e-05,6.722595e-05,6.721891e-05,6.704051e-05,6.698977e-05,6.685784e-05,6.674643e-05,6.667146e-05,6.649715e-05,6.648188e-05,6.628956e-05,6.624304e-05,6.609493e-05,6.598509e-05,6.589841e-05,6.572419e-05,6.570036e-05,6.550111e-05,6.546115e-05,6.530099e-05,6.519667e-05,6.510028e-05,6.493142e-05,6.489925e-05,6.469815e-05,6.466598e-05,6.449720e-05,6.440085e-05,6.429660e-05,6.413652e-05,6.409657e-05,6.389726e-05,6.387340e-05,6.369883e-05,6.361185e-05,6.350145e-05,6.335221e-05,6.330524e-05,6.311032e-05,6.309478e-05,6.291680e-05,6.283982e-05,6.272480e-05,6.258755e-05,6.253440e-05,6.234568e-05,6.233817e-05,6.215873e-05,6.209187e-05,6.197361e-05,6.184880e-05,6.179037e-05,6.160909e-05,6.137285e-05,6.114019e-05,6.091117e-05,6.068588e-05,6.046436e-05,6.024666e-05,6.003281e-05,5.982283e-05,5.961673e-05,5.941453e-05,5.921622e-05,5.902179e-05,5.883123e-05,5.864452e-05,5.846163e-05,5.828254e-05,5.810722e-05,5.793562e-05,5.776772e-05,5.760346e-05,5.744282e-05,5.728573e-05,5.713216e-05,5.698205e-05
0.000000e+00,5.617728e-11,1.302594e-10,4.579147e-10,1.067053e-09,1.582708e-09,3.803446e-09,3.929014e-09,8.226337e-09,9.904770e-09,1.538473e-08,2.132492e-08,2.597262e-08,3.854865e-08,3.975468e-08,5.614575e-08,6.041313e-08,7.469162e-08,8.590891e-08,9.511067e-08,1.144775e-07,1.172134e-07,1.408436e-07,1.457397e-07,1.658488e-07,1.793420e-07,1.920686e-07,2.149081e-07,2.193335e-07,2.474668e-07,2.520368e-07,2.762899e-07,2.903178e-07,3.056260e-07,3.293503e-07,3.353060e-07,3.651712e-07,3.687604e-07,3.950761e-07,4.082126e-07,4.248899e-07,4.474157e-07,4.544968e-07,4.837965e-07,4.861245e-07,5.127028e-07,5.241385e-07,5.411431e-07,5.612972e-07,5.690571e-07,5.963960e-07,5.974771e-07,6.231212e-07,6.325859e-07,6.492015e-07,6.665549e-07,6.746124e-07,6.993359e-07,7.233597e-07,7.308981e-07,7.466759e-07,7.612250e-07,7.692807e-07,7.903117e-07,7.911737e-07,8.123574e-07,8.181623e-07,8.328364e-07,8.447881e-07,8.526172e-07,8.702066e-07,8.717088e-07,8.901232e-07,8.944433e-07,9.078726e-07,9.175254e-07,9.249670e-07,9.394780e-07,9.414187e-07,9.572399e-07,9.603295e-07,9.724430e-07,9.801088e-07,9.870413e-07,9.988462e-07,1.001048e-06,1.014477e-06,1.016573e-06,1.027341e-06,1.033319e-06,1.039654e-06,1.049117e-06,1.051430e-06,1.062681e-06,1.063997e-06,1.073423e-06,1.077991e-06,1.083667e-06,1.091129e-06,1.093429e-06,1.102720e-06,1.103443e-06,1.111554e-06,1.114962e-06,1.119943e-06,1.125716e-06,1.127902e-06,1.135441e-06,1.135734e-06,1.142574e-06,1.145045e-06,1.149313e-06,1.153676e-06,1.155669e-06,1.161655e-06,1.167281e-06,1.169008e-06,1.172560e-06,1.175761e-06,1.177502e-06,1.181940e-06,1.182119e-06,1.186420e-06,1.187569e-06,1.190416e-06,1.192672e-06,1.194118e-06,1.197272e-06,1.197535e-06,1.200677e-06,1.201391e-06,1.203553e-06,1.205051e-06,1.206173e-06,1.208273e-06,1.208545e-06,1.210679e-06,1.211078e-06,1.212582e-06,1.213484e-06,1.214264e-06,1.215512e-06,1.215733e-06,1.216995e-06,1.217179e-06,1.218060e-06,1.218503e-06,1.218934e-06,1.219501e-06,1.219625e-06,1.220139e-06,1.220190e-06,1.220485e-06,1.220585e-06,1.220667e-06,1.220701e-06,1.220694e-06,1.220570e-06,1.220554e-06,1.220304e-06,1.220158e-06,1.219899e-06,1.219525e-06,1.219362e-06,1.218699e-06,1.218670e-06,1.217915e-06,1.217605e-06,1.217016e-06,1.216341e-06,1.216006e-06,1.214890e-06,1.213264e-06,1.211473e-06,1.209527e-06,1.207436e-06,1.205210e-06,1.202857e-06,1.200386e-06,1.197805e-06,1.195123e-06,1.192346e-06,1.189482e-06,1.186537e-06,1.183519e-06,1.180433e-06,1.177286e-06,1.174082e-06,1.170829e-06,1.167529e-06,1.164190e-06,1.160815e-06,1.157408e-06,1.153974e-06,1.150518e-06,1.147042e-06
0.000000e+00,9.815391e-11,3.028894e-10,1.492970e-09,4.083976e-09,6.397667e-09,1.652059e-08,1.708822e-08,3.592738e-08,4.301506e-08,6.556488e-08,8.972124e-08,1.088264e-07,1.624234e-07,1.677232e-07,2.421682e-07,2.621627e-07,3.303546e-07,3.849437e-07,4.301798e-07,5.262646e-07,5.399055e-07,6.581125e-07,6.826580e-07,7.835182e-07,8.511559e-07,9.148602e-07,1.028834e-06,1.050852e-06,1.190183e-06,1.212699e-06,1.331549e-06,1.399752e-06,1.473679e-06,1.587126e-06,1.615376e-06,1.755540e-06,1.772208e-06,1.893193e-06,1.952742e-06,2.027491e-06,2.126876e-06,2.157731e-06,2.283345e-06,2.293180e-06,2.403899e-06,2.450631e-06,2.519081e-06,2.598566e-06,2.628685e-06,2.732604e-06,2.736642e-06,2.830809e-06,2.864769e-06,2.923338e-06,2.983062e-06,3.010285e-06,3.091786e-06,3.168009e-06,3.191317e-06,3.239147e-06,3.282104e-06,3.305411e-06,3.364641e-06,3.367019e-06,3.424198e-06,3.439445e-06,3.477174e-06,3.507035e-06,3.526171e-06,3.567924e-06,3.571410e-06,3.613105e-06,3.622608e-06,3.651463e-06,3.671560e-06,3.686683e-06,3.715231e-06,3.718954e-06,3.748455e-06,3.754038e-06,3.775358e-06,3.788374e-06,3.799823e-06,3.818602e-06,3.822003e-06,3.842040e-06,3.845057e-06,3.860070e-06,3.868049e-06,3.876220e-06,3.887865e-06,3.890606e-06,3.903342e-06,3.904764e-06,3.914531e-06,3.918990e-06,3.924271e-06,3.930761e-06,3.932654e-06,3.939765e-06,3.940281e-06,3.945685e-06,3.947736e-06,3.950488e-06,3.953295e-06,3.954246e-06,3.957024e-06,3.957116e-06,3.958884e-06,3.959340e-06,3.959884e-06,3.960101e-06,3.960078e-06,3.959518e-06,3.958250e-06,3.957703e-06,3.956320e-06,3.954757e-06,3.953771e-06,3.950776e-06,3.950640e-06,3.946966e-06,3.945845e-06,3.942784e-06,3.940044e-06,3.938126e-06,3.933446e-06,3.933022e-06,3.927503e-06,3.926120e-06,3.921595e-06,3.918127e-06,3.915325e-06,3.909526e-06,3.908716e-06,3.901791e-06,3.900370e-06,3.894571e-06,3.890708e-06,3.887078e-06,3.880586e-06,3.879330e-06,3.871345e-06,3.870047e-06,3.863141e-06,3.859130e-06,3.854733e-06,3.847871e-06,3.846138e-06,3.837368e-06,3.836304e-06,3.828438e-06,3.824461e-06,3.819361e-06,3.812371e-06,3.810148e-06,3.800812e-06,3.800060e-06,3.791364e-06,3.787555e-06,3.781813e-06,3.774879e-06,3.772170e-06,3.762444e-06,3.762053e-06,3.752643e-06,3.749098e-06,3.742776e-06,3.736033e-06,3.732851e-06,3.722875e-06,3.709641e-06,3.696346e-06,3.683005e-06,3.669630e-06,3.656234e-06,3.642829e-06,3.629425e-06,3.616032e-06,3.602660e-06,3.589317e-06,3.576011e-06,3.562750e-06,3.549541e-06,3.536390e-06,3.523303e-06,3.510286e-06,3.497343e-06,3.484480e-06,3.471701e-06,3.459010e-06,3.446411e-06,3.433907e-06,3.421501e-06,3.409196e-06
0.000000e+00,5.808616e-11,2.259527e-10,1.694557e-09,6.405737e-09,1.174939e-08,4.321324e-08,4.527955e-08,1.265763e-07,1.622304e-07,2.889850e-07,4.423367e-07,5.740392e-07,9.861887e-07,1.030223e-06,1.711501e-06,1.914860e-06,2.675563e-06,3.361028e-06,3.981561e-06,5.459525e-06,5.687084e-06,7.844520e-06,8.334264e-06,1.049750e-05,1.208409e-05,1.367827e-05,1.677265e-05,1.740634e-05,2.168827e-05,2.242455e-05,2.651827e-05,2.902674e-05,3.187931e-05,3.653270e-05,3.774447e-05,4.407845e-05,4.486809e-05,5.083911e-05,5.393691e-05,5.797904e-05,6.362765e-05,6.544705e-05,7.318961e-05,7.381924e-05,8.115211e-05,8.438647e-05,8.928010e-05,9.520472e-05,9.752026e-05,1.058213e-04,1.061539e-04,1.141346e-04,1.171216e-04,1.224150e-04,1.280053e-04,1.306206e-04,1.387139e-04,1.466611e-04,1.491684e-04,1.544326e-04,1.593022e-04,1.620028e-04,1.690607e-04,1.693501e-04,1.764564e-04,1.784010e-04,1.833073e-04,1.872904e-04,1.898915e-04,1.957062e-04,1.962006e-04,2.022290e-04,2.036336e-04,2.079734e-04,2.110657e-04,2.134326e-04,2.180015e-04,2.186075e-04,2.235002e-04,2.244452e-04,2.281146e-04,2.304056e-04,2.324554e-04,2.358946e-04,2.365286e-04,2.403407e-04,2.409269e-04,2.438991e-04,2.455193e-04,2.472116e-04,2.496900e-04,2.502863e-04,2.531317e-04,2.534581e-04,2.557563e-04,2.568435e-04,2.581690e-04,2.598663e-04,2.603785e-04,2.623934e-04,2.625464e-04,2.642223e-04,2.649038e-04,2.658739e-04,2.669579e-04,2.673565e-04,2.686781e-04,2.687278e-04,2.698469e-04,2.702317e-04,2.708704e-04,2.714874e-04,2.717563e-04,2.725118e-04,2.731439e-04,2.733212e-04,2.736594e-04,2.739311e-04,2.740647e-04,2.743561e-04,2.743662e-04,2.745698e-04,2.746101e-04,2.746814e-04,2.747064e-04,2.747063e-04,2.746573e-04,2.746500e-04,2.745173e-04,2.744747e-04,2.743132e-04,2.741694e-04,2.740422e-04,2.737519e-04,2.737087e-04,2.733169e-04,2.732319e-04,2.728708e-04,2.726185e-04,2.723740e-04,2.719203e-04,2.718303e-04,2.712430e-04,2.711452e-04,2.706153e-04,2.703006e-04,2.699504e-04,2.693936e-04,2.692511e-04,2.685203e-04,2.684306e-04,2.677605e-04,2.674177e-04,2.669743e-04,2.663605e-04,2.661639e-04,2.653317e-04,2.652643e-04,2.644797e-04,2.641338e-04,2.636099e-04,2.629737e-04,2.627242e-04,2.618244e-04,2.617882e-04,2.609121e-04,2.605810e-04,2.599890e-04,2.593558e-04,2.590564e-04,2.581159e-04,2.568644e-04,2.556041e-04,2.543376e-04,2.530673e-04,2.517955e-04,2.505240e-04,2.492549e-04,2.479897e-04,2.467300e-04,2.454772e-04,2.442327e-04,2.429974e-04,2.417726e-04,2.405592e-04,2.393579e-04,2.381695e-04,2.369948e-04,2.358343e-04,2.346885e-04,2.335579e-04,2.324428e-04,2.313437e-04,2.302608e-04,2.291944e-04
0.000000e+00,3.071810e-11,7.074136e-11,2.451091e-10,5.604087e-10,8.195812e-10,1.870799e-09,1.927583e-09,3.749586e-09,4.414053e-09,6.483031e-09,8.650573e-09,1.034541e-08,1.508293e-08,1.555342e-08,2.225983e-08,2.409760e-08,3.048442e-08,3.571807e-08,4.012522e-08,4.966330e-08,5.103456e-08,6.307149e-08,6.560305e-08,7.611242e-08,8.325308e-08,9.004540e-08,1.023599e-07,1.047631e-07,1.201587e-07,1.226778e-07,1.361250e-07,1.439598e-07,1.525542e-07,1.659594e-07,1.693401e-07,1.863794e-07,1.884363e-07,2.035733e-07,2.111636e-07,2.208295e-07,2.339332e-07,2.380629e-07,2.551964e-07,2.565607e-07,2.721614e-07,2.788864e-07,2.888977e-07,3.007769e-07,3.053536e-07,3.214848e-07,3.221228e-07,3.372545e-07,3.428372e-07,3.526328e-07,3.628539e-07,3.675956e-07,3.821244e-07,3.962055e-07,4.006152e-07,4.098293e-07,4.183056e-07,4.229898e-07,4.351855e-07,4.356843e-07,4.479126e-07,4.512532e-07,4.596767e-07,4.665139e-07,4.709805e-07,4.809783e-07,4.818296e-07,4.922309e-07,4.946614e-07,5.021922e-07,5.075815e-07,5.117222e-07,5.197592e-07,5.208303e-07,5.295262e-07,5.312168e-07,5.378201e-07,5.419776e-07,5.457226e-07,5.520660e-07,5.532444e-07,5.603963e-07,5.615070e-07,5.671891e-07,5.703253e-07,5.736337e-07,5.785459e-07,5.797409e-07,5.855215e-07,5.861937e-07,5.909861e-07,5.932931e-07,5.961451e-07,5.998681e-07,6.010090e-07,6.055879e-07,6.059422e-07,6.098917e-07,6.115385e-07,6.139303e-07,6.166793e-07,6.177132e-07,6.212498e-07,6.213863e-07,6.245493e-07,6.256807e-07,6.276204e-07,6.295829e-07,6.304720e-07,6.331125e-07,6.355502e-07,6.362887e-07,6.377930e-07,6.391298e-07,6.398488e-07,6.416535e-07,6.417252e-07,6.434295e-07,6.438768e-07,6.449688e-07,6.458161e-07,6.463501e-07,6.474871e-07,6.475801e-07,6.486652e-07,6.489048e-07,6.496118e-07,6.500837e-07,6.504261e-07,6.510377e-07,6.511138e-07,6.516807e-07,6.517800e-07,6.521323e-07,6.523234e-07,6.524740e-07,6.526798e-07,6.527108e-07,6.528479e-07,6.528609e-07,6.528900e-07,6.528778e-07,6.528417e-07,6.527410e-07,6.527076e-07,6.524918e-07,6.524607e-07,6.521987e-07,6.520463e-07,6.518323e-07,6.515071e-07,6.513963e-07,6.508946e-07,6.508517e-07,6.503306e-07,6.500884e-07,6.497080e-07,6.492252e-07,6.490299e-07,6.482997e-07,6.482694e-07,6.475203e-07,6.472283e-07,6.466948e-07,6.461085e-07,6.458260e-07,6.449165e-07,6.436584e-07,6.423398e-07,6.409663e-07,6.395430e-07,6.380748e-07,6.365663e-07,6.350219e-07,6.334456e-07,6.318415e-07,6.302130e-07,6.285638e-07,6.268969e-07,6.252155e-07,6.235225e-07,6.218205e-07,6.201120e-07,6.183995e-07,6.166851e-07,6.149709e-07,6.132588e-07,6.115507e-07,6.098481e-07,6.081527e-07,6.064659e-07
0.000000e+00,1.855652e-10,6.559074e-10,4.072271e-09,1.310441e-08,2.209913e-08,6.633138e-08,6.895921e-08,1.606712e-07,1.965889e-07,3.133711e-07,4.409301e-07,5.430722e-07,8.361070e-07,8.657110e-07,1.296933e-06,1.418225e-06,1.851017e-06,2.219189e-06,2.538691e-06,3.258419e-06,3.364884e-06,4.328243e-06,4.536898e-06,5.422698e-06,6.040809e-06,6.639611e-06,7.749368e-06,7.969279e-06,9.401597e-06,9.639606e-06,1.092624e-05,1.168776e-05,1.253264e-05,1.386940e-05,1.421004e-05,1.594749e-05,1.615950e-05,1.773403e-05,1.853285e-05,1.955881e-05,2.096470e-05,2.141126e-05,2.328127e-05,2.343134e-05,2.515929e-05,2.591072e-05,2.703644e-05,2.838287e-05,2.890462e-05,3.075651e-05,3.083015e-05,3.258560e-05,3.323737e-05,3.438620e-05,3.559178e-05,3.615338e-05,3.788296e-05,3.957148e-05,4.010265e-05,4.121608e-05,4.224451e-05,4.281450e-05,4.430390e-05,4.436498e-05,4.586626e-05,4.627767e-05,4.731744e-05,4.816387e-05,4.871800e-05,4.996163e-05,5.006774e-05,5.136669e-05,5.167091e-05,5.261513e-05,5.329236e-05,5.381352e-05,5.482719e-05,5.496248e-05,5.606277e-05,5.627706e-05,5.711524e-05,5.764394e-05,5.812085e-05,5.893008e-05,5.908061e-05,5.999559e-05,6.013791e-05,6.086691e-05,6.126998e-05,6.169572e-05,6.232894e-05,6.248317e-05,6.323045e-05,6.331748e-05,6.393874e-05,6.423833e-05,6.460921e-05,6.509421e-05,6.524306e-05,6.584144e-05,6.588781e-05,6.640552e-05,6.662180e-05,6.693643e-05,6.729879e-05,6.743531e-05,6.790325e-05,6.792134e-05,6.834135e-05,6.849197e-05,6.875067e-05,6.901309e-05,6.913224e-05,6.948709e-05,6.981620e-05,6.991624e-05,7.012054e-05,7.030277e-05,7.040107e-05,7.064881e-05,7.065869e-05,7.089430e-05,7.095645e-05,7.110878e-05,7.122767e-05,7.130296e-05,7.146438e-05,7.147766e-05,7.163369e-05,7.166844e-05,7.177181e-05,7.184162e-05,7.189278e-05,7.198562e-05,7.199732e-05,7.208613e-05,7.210207e-05,7.215990e-05,7.219253e-05,7.221928e-05,7.225851e-05,7.226491e-05,7.229741e-05,7.230144e-05,7.231738e-05,7.232269e-05,7.232539e-05,7.232357e-05,7.232200e-05,7.230775e-05,7.230534e-05,7.228316e-05,7.226919e-05,7.224872e-05,7.221627e-05,7.220493e-05,7.215225e-05,7.214766e-05,7.209112e-05,7.206441e-05,7.202200e-05,7.196750e-05,7.194528e-05,7.186138e-05,7.185788e-05,7.177068e-05,7.173644e-05,7.167356e-05,7.160404e-05,7.157038e-05,7.146148e-05,7.130955e-05,7.114896e-05,7.098043e-05,7.080460e-05,7.062210e-05,7.043353e-05,7.023944e-05,7.004038e-05,6.983684e-05,6.962931e-05,6.941822e-05,6.920401e-05,6.898707e-05,6.876780e-05,6.854653e-05,6.832362e-05,6.809937e-05,6.787409e-05,6.764804e-05,6.742151e-05,6.719472e-05,6.696792e-05,6.674132e-05,6.651512e-05
0.000000e+00,5.859633e-10,1.675362e-09,7.421212e-09,1.913636e-08,2.931472e-08,7.308420e-08,7.552955e-08,1.571683e-07,1.882585e-07,2.888064e-07,3.992653e-07,4.885206e-07,7.465731e-07,7.726057e-07,1.144640e-06,1.245821e-06,1.591745e-06,1.867582e-06,2.094409e-06,2.569262e-06,2.635845e-06,3.204061e-06,3.320130e-06,3.790607e-06,4.100677e-06,4.389079e-06,4.897111e-06,4.994170e-06,5.601145e-06,5.698139e-06,6.205620e-06,6.493667e-06,6.803499e-06,7.274482e-06,7.390973e-06,7.964587e-06,8.032340e-06,8.521302e-06,8.760213e-06,9.058504e-06,9.452380e-06,9.574032e-06,1.006619e-05,1.010451e-05,1.053370e-05,1.071360e-05,1.097571e-05,1.127790e-05,1.139175e-05,1.178166e-05,1.179672e-05,1.214558e-05,1.227030e-05,1.248391e-05,1.269963e-05,1.279720e-05,1.308616e-05,1.335164e-05,1.343178e-05,1.359457e-05,1.373868e-05,1.381597e-05,1.400920e-05,1.401685e-05,1.419829e-05,1.424575e-05,1.436134e-05,1.445078e-05,1.450705e-05,1.462668e-05,1.463646e-05,1.475056e-05,1.477577e-05,1.485032e-05,1.490027e-05,1.493667e-05,1.500228e-05,1.501051e-05,1.507269e-05,1.508380e-05,1.512401e-05,1.514666e-05,1.516523e-05,1.519259e-05,1.519709e-05,1.522026e-05,1.522320e-05,1.523537e-05,1.523995e-05,1.524305e-05,1.524420e-05,1.524384e-05,1.523828e-05,1.523721e-05,1.522687e-05,1.522012e-05,1.521008e-05,1.519398e-05,1.518833e-05,1.516203e-05,1.515974e-05,1.513157e-05,1.511830e-05,1.509729e-05,1.507044e-05,1.505954e-05,1.501860e-05,1.501691e-05,1.497479e-05,1.495836e-05,1.492835e-05,1.489540e-05,1.487954e-05,1.482859e-05,1.477573e-05,1.475844e-05,1.472114e-05,1.468539e-05,1.466502e-05,1.460986e-05,1.460754e-05,1.454886e-05,1.453223e-05,1.448913e-05,1.445285e-05,1.442850e-05,1.437202e-05,1.436708e-05,1.430501e-05,1.429003e-05,1.424240e-05,1.420713e-05,1.417934e-05,1.412355e-05,1.411593e-05,1.405226e-05,1.403951e-05,1.398842e-05,1.395518e-05,1.392448e-05,1.387074e-05,1.386051e-05,1.379657e-05,1.378635e-05,1.373273e-05,1.370214e-05,1.366904e-05,1.361823e-05,1.360555e-05,1.354231e-05,1.353474e-05,1.347936e-05,1.345177e-05,1.341674e-05,1.336940e-05,1.335449e-05,1.329264e-05,1.328771e-05,1.323122e-05,1.320678e-05,1.317025e-05,1.312666e-05,1.310977e-05,1.304980e-05,1.304741e-05,1.299035e-05,1.296908e-05,1.293145e-05,1.289171e-05,1.287310e-05,1.281534e-05,1.273999e-05,1.266569e-05,1.259248e-05,1.252035e-05,1.244933e-05,1.237944e-05,1.231067e-05,1.224303e-05,1.217654e-05,1.211118e-05,1.204696e-05,1.198388e-05,1.192194e-05,1.186112e-05,1.180142e-05,1.174284e-05,1.168536e-05,1.162897e-05,1.157367e-05,1.151944e-05,1.146628e-05,1.141416e-05,1.136307e-05,1.131301e-05
0.000000e+00,2.592398e-11,5.966571e-11,2.051075e-10,4.641301e-10,6.745418e-10,1.513555e-09,1.558380e-09,2.978256e-09,3.489101e-09,5.062682e-09,6.690136e-09,7.951473e-09,1.144161e-08,1.178612e-08,1.667113e-08,1.800306e-08,2.260922e-08,2.635013e-08,2.946950e-08,3.610129e-08,3.703987e-08,4.510697e-08,4.676383e-08,5.349555e-08,5.793827e-08,6.206971e-08,6.933641e-08,7.072228e-08,7.936491e-08,8.074160e-08,8.792177e-08,9.197878e-08,9.632643e-08,1.029011e-07,1.045205e-07,1.124532e-07,1.133855e-07,1.200816e-07,1.233323e-07,1.273704e-07,1.326654e-07,1.342919e-07,1.408260e-07,1.413315e-07,1.469596e-07,1.492992e-07,1.526859e-07,1.565560e-07,1.580040e-07,1.629178e-07,1.631060e-07,1.674352e-07,1.689665e-07,1.715676e-07,1.741648e-07,1.753290e-07,1.787354e-07,1.818040e-07,1.827175e-07,1.845530e-07,1.861532e-07,1.870011e-07,1.890856e-07,1.891670e-07,1.910695e-07,1.915574e-07,1.927266e-07,1.936104e-07,1.941559e-07,1.952844e-07,1.953745e-07,1.963984e-07,1.966168e-07,1.972430e-07,1.976431e-07,1.979228e-07,1.983954e-07,1.984513e-07,1.988410e-07,1.989034e-07,1.991037e-07,1.991938e-07,1.992504e-07,1.992913e-07,1.992911e-07,1.992352e-07,1.992179e-07,1.990915e-07,1.989936e-07,1.988677e-07,1.986361e-07,1.985714e-07,1.982091e-07,1.981615e-07,1.977872e-07,1.975841e-07,1.973114e-07,1.969170e-07,1.967870e-07,1.962188e-07,1.961715e-07,1.956112e-07,1.953581e-07,1.949684e-07,1.944858e-07,1.942940e-07,1.935916e-07,1.935630e-07,1.928643e-07,1.925970e-07,1.921150e-07,1.915943e-07,1.913464e-07,1.905608e-07,1.897606e-07,1.895018e-07,1.889478e-07,1.884219e-07,1.881243e-07,1.873253e-07,1.872918e-07,1.864520e-07,1.862157e-07,1.856062e-07,1.850965e-07,1.847559e-07,1.839707e-07,1.839023e-07,1.830465e-07,1.828409e-07,1.821896e-07,1.817095e-07,1.813324e-07,1.805786e-07,1.804759e-07,1.796209e-07,1.794501e-07,1.787681e-07,1.783257e-07,1.779181e-07,1.772068e-07,1.770717e-07,1.762292e-07,1.760949e-07,1.753914e-07,1.749910e-07,1.745586e-07,1.738962e-07,1.737312e-07,1.729096e-07,1.728114e-07,1.720942e-07,1.717375e-07,1.712853e-07,1.706751e-07,1.704832e-07,1.696882e-07,1.696249e-07,1.689004e-07,1.685873e-07,1.681201e-07,1.675630e-07,1.673474e-07,1.665825e-07,1.665521e-07,1.658256e-07,1.655551e-07,1.650768e-07,1.645723e-07,1.643362e-07,1.636039e-07,1.626500e-07,1.617109e-07,1.607866e-07,1.598772e-07,1.589827e-07,1.581032e-07,1.572386e-07,1.563889e-07,1.555541e-07,1.547341e-07,1.539288e-07,1.531381e-07,1.523619e-07,1.516001e-07,1.508525e-07,1.501190e-07,1.493994e-07,1.486935e-07,1.480013e-07,1.473225e-07,1.466570e-07,1.460045e-07,1.453649e-07,1.447380e-07
0.000000e+00,2.560749e-12,5.848277e-12,1.999912e-11,4.523478e-11,6.575537e-11,1.475374e-10,1.518995e-10,2.894300e-10,3.385526e-10,4.885489e-10,6.415852e-10,7.588070e-10,1.077757e-09,1.108877e-09,1.545519e-09,1.663624e-09,2.071576e-09,2.404436e-09,2.684326e-09,3.289304e-09,3.376183e-09,4.137182e-09,4.296762e-09,4.956946e-09,5.403091e-09,5.825415e-09,6.585483e-09,6.732919e-09,7.670123e-09,7.822224e-09,8.628015e-09,9.092601e-09,9.597967e-09,1.037713e-08,1.057184e-08,1.154210e-08,1.165796e-08,1.250190e-08,1.291930e-08,1.344515e-08,1.414768e-08,1.436658e-08,1.526174e-08,1.533210e-08,1.612694e-08,1.646395e-08,1.695928e-08,1.753694e-08,1.775654e-08,1.851714e-08,1.854679e-08,1.924008e-08,1.949100e-08,1.992483e-08,2.036858e-08,2.057129e-08,2.117970e-08,2.175058e-08,2.192546e-08,2.228473e-08,2.260774e-08,2.278310e-08,2.322889e-08,2.324679e-08,2.367702e-08,2.379167e-08,2.407508e-08,2.429903e-08,2.444230e-08,2.475408e-08,2.478005e-08,2.508969e-08,2.515998e-08,2.537260e-08,2.551986e-08,2.563012e-08,2.583680e-08,2.586359e-08,2.607429e-08,2.611381e-08,2.626349e-08,2.635376e-08,2.643237e-08,2.655938e-08,2.658210e-08,2.671380e-08,2.673328e-08,2.682855e-08,2.687790e-08,2.692735e-08,2.699558e-08,2.701119e-08,2.708099e-08,2.708847e-08,2.713764e-08,2.715861e-08,2.718196e-08,2.720789e-08,2.721475e-08,2.723677e-08,2.723809e-08,2.724873e-08,2.725085e-08,2.725131e-08,2.724771e-08,2.724514e-08,2.723083e-08,2.723010e-08,2.720895e-08,2.719933e-08,2.718004e-08,2.715663e-08,2.714461e-08,2.710314e-08,2.705607e-08,2.703990e-08,2.700384e-08,2.696789e-08,2.694685e-08,2.688801e-08,2.688548e-08,2.682008e-08,2.680109e-08,2.675098e-08,2.670789e-08,2.667852e-08,2.660912e-08,2.660297e-08,2.652462e-08,2.650543e-08,2.644373e-08,2.639742e-08,2.636055e-08,2.628564e-08,2.627531e-08,2.618823e-08,2.617061e-08,2.609951e-08,2.605279e-08,2.600933e-08,2.593260e-08,2.591789e-08,2.582535e-08,2.581045e-08,2.573186e-08,2.568669e-08,2.563757e-08,2.556166e-08,2.554263e-08,2.544715e-08,2.543566e-08,2.535126e-08,2.530897e-08,2.525508e-08,2.518184e-08,2.515870e-08,2.506222e-08,2.505450e-08,2.496574e-08,2.492716e-08,2.486934e-08,2.480002e-08,2.477310e-08,2.467709e-08,2.467325e-08,2.458138e-08,2.454701e-08,2.448603e-08,2.442144e-08,2.439111e-08,2.429666e-08,2.417281e-08,2.404998e-08,2.392826e-08,2.380774e-08,2.368849e-08,2.357058e-08,2.345408e-08,2.333902e-08,2.322545e-08,2.311342e-08,2.300295e-08,2.289407e-08,2.278680e-08,2.268116e-08,2.257717e-08,2.247484e-08,2.237416e-08,2.227516e-08,2.217782e-08,2.208214e-08,2.198813e-08,2.189578e-08,2.180507e-08,2.171600e-08
0.000000e+00,7.157314e-12,1.640453e-11,5.647905e-11,1.286100e-10,1.877446e-10,4.269446e-10,4.398483e-10,8.535029e-10,1.004253e-09,1.473245e-09,1.963145e-09,2.344268e-09,3.395019e-09,3.497971e-09,4.937405e-09,5.323592e-09,6.644838e-09,7.709784e-09,8.598273e-09,1.050494e-08,1.077782e-08,1.316508e-08,1.366584e-08,1.574149e-08,1.714946e-08,1.848724e-08,2.090898e-08,2.138101e-08,2.440013e-08,2.489326e-08,2.752108e-08,2.904833e-08,3.072008e-08,3.331963e-08,3.397359e-08,3.725889e-08,3.765423e-08,4.055459e-08,4.200284e-08,4.384094e-08,4.632122e-08,4.710004e-08,5.031604e-08,5.057103e-08,5.347514e-08,5.472015e-08,5.656557e-08,5.874252e-08,5.957741e-08,6.250255e-08,6.261766e-08,6.533474e-08,6.633062e-08,6.806922e-08,6.987104e-08,7.070254e-08,7.323243e-08,7.565766e-08,7.641154e-08,7.797783e-08,7.940772e-08,8.019326e-08,8.222241e-08,8.230490e-08,8.431419e-08,8.485869e-08,8.622298e-08,8.732091e-08,8.803344e-08,8.961429e-08,8.974798e-08,9.136922e-08,9.174474e-08,9.289990e-08,9.371859e-08,9.434289e-08,9.554248e-08,9.570109e-08,9.697745e-08,9.722317e-08,9.817495e-08,9.876747e-08,9.929654e-08,1.001821e-07,1.003451e-07,1.013236e-07,1.014739e-07,1.022349e-07,1.026492e-07,1.030816e-07,1.037144e-07,1.038666e-07,1.045925e-07,1.046758e-07,1.052619e-07,1.055391e-07,1.058772e-07,1.063102e-07,1.064409e-07,1.069554e-07,1.069945e-07,1.074229e-07,1.075973e-07,1.078457e-07,1.081235e-07,1.082258e-07,1.085653e-07,1.085781e-07,1.088662e-07,1.089654e-07,1.091303e-07,1.092899e-07,1.093596e-07,1.095556e-07,1.097203e-07,1.097666e-07,1.098551e-07,1.099264e-07,1.099616e-07,1.100386e-07,1.100413e-07,1.100957e-07,1.101066e-07,1.101261e-07,1.101334e-07,1.101338e-07,1.101220e-07,1.101202e-07,1.100863e-07,1.100754e-07,1.100335e-07,1.099960e-07,1.099627e-07,1.098864e-07,1.098750e-07,1.097715e-07,1.097490e-07,1.096531e-07,1.095860e-07,1.095208e-07,1.093994e-07,1.093753e-07,1.092177e-07,1.091914e-07,1.090486e-07,1.089636e-07,1.088688e-07,1.087179e-07,1.086792e-07,1.084803e-07,1.084558e-07,1.082728e-07,1.081790e-07,1.080575e-07,1.078888e-07,1.078348e-07,1.076053e-07,1.075867e-07,1.073697e-07,1.072738e-07,1.071284e-07,1.069514e-07,1.068819e-07,1.066308e-07,1.066206e-07,1.063753e-07,1.062824e-07,1.061161e-07,1.059378e-07,1.058534e-07,1.055877e-07,1.052329e-07,1.048742e-07,1.045124e-07,1.041482e-07,1.037821e-07,1.034148e-07,1.030468e-07,1.026786e-07,1.023107e-07,1.019436e-07,1.015776e-07,1.012131e-07,1.008504e-07,1.004899e-07,1.001318e-07,9.977639e-08,9.942394e-08,9.907464e-08,9.872869e-08,9.838627e-08,9.804753e-08,9.771263e-08,9.738168e-08,9.705481e-08
0.000000e+00,5.401606e-12,1.236000e-11,4.243908e-11,9.639112e-11,1.404808e-10,3.177301e-10,3.272461e-10,6.301152e-10,7.395433e-10,1.077398e-09,1.427363e-09,1.698595e-09,2.447532e-09,2.521270e-09,3.562558e-09,3.845270e-09,4.821455e-09,5.615924e-09,6.282226e-09,7.718269e-09,7.924194e-09,9.727349e-09,1.010568e-08,1.167320e-08,1.273554e-08,1.374403e-08,1.556726e-08,1.592227e-08,1.819012e-08,1.856010e-08,2.052967e-08,2.167286e-08,2.292304e-08,2.486472e-08,2.535274e-08,2.780197e-08,2.809642e-08,3.025492e-08,3.133157e-08,3.269695e-08,3.453739e-08,3.511482e-08,3.749678e-08,3.768547e-08,3.983259e-08,4.075198e-08,4.211349e-08,4.371759e-08,4.433219e-08,4.648277e-08,4.656731e-08,4.856054e-08,4.928999e-08,5.056197e-08,5.187803e-08,5.248457e-08,5.432664e-08,5.608729e-08,5.663346e-08,5.776638e-08,5.879834e-08,5.936428e-08,6.082264e-08,6.088182e-08,6.232024e-08,6.270903e-08,6.368110e-08,6.446113e-08,6.496620e-08,6.608329e-08,6.617753e-08,6.731723e-08,6.758035e-08,6.838757e-08,6.895753e-08,6.939088e-08,7.022023e-08,7.032954e-08,7.120594e-08,7.137397e-08,7.202251e-08,7.242427e-08,7.278163e-08,7.337662e-08,7.348567e-08,7.413697e-08,7.423644e-08,7.473782e-08,7.500897e-08,7.529046e-08,7.569933e-08,7.579708e-08,7.625979e-08,7.631247e-08,7.668067e-08,7.685313e-08,7.706172e-08,7.732587e-08,7.740487e-08,7.771199e-08,7.773506e-08,7.798490e-08,7.808487e-08,7.822531e-08,7.837924e-08,7.843492e-08,7.861533e-08,7.862197e-08,7.876810e-08,7.881661e-08,7.889470e-08,7.896657e-08,7.899656e-08,7.907506e-08,7.913151e-08,7.914512e-08,7.916716e-08,7.917961e-08,7.918321e-08,7.918125e-08,7.918081e-08,7.916107e-08,7.915258e-08,7.912504e-08,7.909602e-08,7.907372e-08,7.901383e-08,7.900807e-08,7.892901e-08,7.890813e-08,7.883740e-08,7.878094e-08,7.873409e-08,7.863412e-08,7.861987e-08,7.849548e-08,7.846945e-08,7.836166e-08,7.828858e-08,7.821909e-08,7.809305e-08,7.806842e-08,7.791027e-08,7.788431e-08,7.774523e-08,7.766373e-08,7.757386e-08,7.743257e-08,7.739670e-08,7.721424e-08,7.719202e-08,7.702697e-08,7.694317e-08,7.683535e-08,7.668706e-08,7.663980e-08,7.644072e-08,7.642466e-08,7.623852e-08,7.615685e-08,7.603355e-08,7.588446e-08,7.582616e-08,7.561668e-08,7.560826e-08,7.540541e-08,7.532898e-08,7.519265e-08,7.504726e-08,7.497868e-08,7.476374e-08,7.447897e-08,7.419349e-08,7.390776e-08,7.362225e-08,7.333735e-08,7.305345e-08,7.277088e-08,7.248996e-08,7.221098e-08,7.193420e-08,7.165986e-08,7.138816e-08,7.111931e-08,7.085347e-08,7.059080e-08,7.033143e-08,7.007549e-08,6.982308e-08,6.957430e-08,6.932922e-08,6.908791e-08,6.885043e-08,6.861682e-08,6.838713e-08
0.000000e+00,1.032302e-08,4.032689e-08,3.051396e-07,1.163027e-06,2.143015e-06,7.977299e-06,8.362898e-06,2.366746e-05,3.043783e-05,5.469485e-05,8.432667e-05,1.099620e-04,1.910132e-04,1.997343e-04,3.358396e-04,3.768342e-04,5.313878e-04,6.720359e-04,8.003063e-04,1.108825e-03,1.156658e-03,1.613880e-03,1.718527e-03,2.184133e-03,2.528877e-03,2.877859e-03,3.562264e-03,3.703524e-03,4.667478e-03,4.834854e-03,5.773908e-03,6.356276e-03,7.024834e-03,8.129616e-03,8.420158e-03,9.957745e-03,1.015164e-02,1.163353e-02,1.241322e-02,1.344169e-02,1.489988e-02,1.537476e-02,1.742389e-02,1.759254e-02,1.957903e-02,2.046833e-02,2.182917e-02,2.350149e-02,2.416252e-02,2.656682e-02,2.666429e-02,2.902949e-02,2.992790e-02,3.153788e-02,3.326329e-02,3.407945e-02,3.664191e-02,3.921344e-02,4.003639e-02,4.178275e-02,4.342101e-02,4.433922e-02,4.677216e-02,4.687295e-02,4.937485e-02,5.006853e-02,5.183664e-02,5.329134e-02,5.425090e-02,5.642439e-02,5.661108e-02,5.891145e-02,5.945407e-02,6.114711e-02,6.236926e-02,6.331397e-02,6.516120e-02,6.540866e-02,6.742853e-02,6.782334e-02,6.937159e-02,7.035114e-02,7.123645e-02,7.274188e-02,7.302229e-02,7.472876e-02,7.499443e-02,7.635599e-02,7.710905e-02,7.790449e-02,7.908717e-02,7.937512e-02,8.076907e-02,8.093126e-02,8.208777e-02,8.264457e-02,8.333287e-02,8.423104e-02,8.450621e-02,8.560978e-02,8.569511e-02,8.664569e-02,8.704160e-02,8.761615e-02,8.827562e-02,8.852342e-02,8.936982e-02,8.940244e-02,9.015769e-02,9.042744e-02,9.088937e-02,9.135601e-02,9.156720e-02,9.219352e-02,9.277059e-02,9.294523e-02,9.330068e-02,9.361630e-02,9.378599e-02,9.421174e-02,9.422865e-02,9.463077e-02,9.473637e-02,9.499436e-02,9.519484e-02,9.532138e-02,9.559158e-02,9.561373e-02,9.587323e-02,9.593081e-02,9.610162e-02,9.621657e-02,9.630060e-02,9.645264e-02,9.647176e-02,9.661667e-02,9.664263e-02,9.673678e-02,9.678991e-02,9.683351e-02,9.689767e-02,9.690820e-02,9.696213e-02,9.696891e-02,9.699652e-02,9.700643e-02,9.701253e-02,9.701284e-02,9.701126e-02,9.699375e-02,9.699061e-02,9.696101e-02,9.694202e-02,9.691397e-02,9.686920e-02,9.685352e-02,9.678053e-02,9.677417e-02,9.669578e-02,9.665876e-02,9.660005e-02,9.652472e-02,9.649404e-02,9.637846e-02,9.637364e-02,9.625393e-02,9.620703e-02,9.612107e-02,9.602626e-02,9.598046e-02,9.583264e-02,9.562737e-02,9.541154e-02,9.518621e-02,9.495233e-02,9.471079e-02,9.446241e-02,9.420796e-02,9.394816e-02,9.368366e-02,9.341507e-02,9.314296e-02,9.286785e-02,9.259024e-02,9.231057e-02,9.202926e-02,9.174670e-02,9.146325e-02,9.117924e-02,9.089498e-02,9.061074e-02,9.032680e-02,9.004339e-02,8.976074e-02,8.947906e-02
0.000000e+00,5.893603e-10,1.923962e-09,1.039506e-08,3.024659e-08,4.869373e-08,1.327688e-07,1.375778e-07,2.997728e-07,3.615394e-07,5.592086e-07,7.722396e-07,9.418096e-07,1.426400e-06,1.475284e-06,2.186220e-06,2.385620e-06,3.093495e-06,3.689702e-06,4.201777e-06,5.336273e-06,5.501903e-06,6.977498e-06,7.292112e-06,8.611012e-06,9.517371e-06,1.038612e-05,1.197565e-05,1.228784e-05,1.430194e-05,1.463370e-05,1.641457e-05,1.745961e-05,1.861204e-05,2.042203e-05,2.088086e-05,2.320788e-05,2.349043e-05,2.558048e-05,2.663575e-05,2.798671e-05,2.983107e-05,3.041547e-05,3.285656e-05,3.305210e-05,3.530077e-05,3.627746e-05,3.773989e-05,3.948879e-05,4.016665e-05,4.257470e-05,4.267055e-05,4.495853e-05,4.580987e-05,4.731351e-05,4.889636e-05,4.963566e-05,5.192167e-05,5.416878e-05,5.487926e-05,5.637476e-05,5.776415e-05,5.853779e-05,6.057257e-05,6.065645e-05,6.272962e-05,6.330184e-05,6.475648e-05,6.595012e-05,6.673646e-05,6.851630e-05,6.866917e-05,7.055443e-05,7.099982e-05,7.239218e-05,7.340060e-05,7.418251e-05,7.571893e-05,7.592562e-05,7.762177e-05,7.795541e-05,7.927136e-05,8.011088e-05,8.087481e-05,8.218641e-05,8.243262e-05,8.394532e-05,8.418321e-05,8.541352e-05,8.610262e-05,8.683783e-05,8.794610e-05,8.821889e-05,8.955739e-05,8.971519e-05,9.085403e-05,9.141148e-05,9.210952e-05,9.303662e-05,9.332459e-05,9.449997e-05,9.459231e-05,9.563642e-05,9.608027e-05,9.673470e-05,9.750224e-05,9.779555e-05,9.881973e-05,9.885995e-05,9.980803e-05,1.001552e-04,1.007612e-04,1.013896e-04,1.016800e-04,1.025651e-04,1.034174e-04,1.036833e-04,1.042376e-04,1.047460e-04,1.050264e-04,1.057548e-04,1.057845e-04,1.065127e-04,1.067114e-04,1.072118e-04,1.076175e-04,1.078823e-04,1.084747e-04,1.085251e-04,1.091408e-04,1.092847e-04,1.097302e-04,1.100489e-04,1.102938e-04,1.107690e-04,1.108323e-04,1.113465e-04,1.114465e-04,1.118369e-04,1.120828e-04,1.123043e-04,1.126794e-04,1.127491e-04,1.131721e-04,1.132378e-04,1.135738e-04,1.137592e-04,1.139548e-04,1.142452e-04,1.143158e-04,1.146573e-04,1.146969e-04,1.149797e-04,1.151158e-04,1.152838e-04,1.155030e-04,1.155701e-04,1.158390e-04,1.158597e-04,1.160910e-04,1.161873e-04,1.163268e-04,1.164867e-04,1.165468e-04,1.167514e-04,1.167593e-04,1.169412e-04,1.170059e-04,1.171165e-04,1.172278e-04,1.172780e-04,1.174259e-04,1.176013e-04,1.177549e-04,1.178877e-04,1.180006e-04,1.180944e-04,1.181701e-04,1.182284e-04,1.182702e-04,1.182962e-04,1.183072e-04,1.183040e-04,1.182871e-04,1.182574e-04,1.182154e-04,1.181617e-04,1.180971e-04,1.180220e-04,1.179371e-04,1.178429e-04,1.177399e-04,1.176287e-04,1.175096e-04,1.173833e-04,1.172500e-04
0.000000e+00,7.426334e-11,2.853008e-10,2.087084e-09,7.726492e-09,1.402451e-08,5.043489e-08,5.280701e-08,1.456810e-07,1.863975e-07,3.319653e-07,5.103809e-07,6.657841e-07,1.164355e-06,1.218623e-06,2.077712e-06,2.339823e-06,3.334843e-06,4.242471e-06,5.066673e-06,7.019446e-06,7.317496e-06,1.009363e-05,1.071002e-05,1.336832e-05,1.525218e-05,1.709139e-05,2.051877e-05,2.119897e-05,2.562132e-05,2.635339e-05,3.028827e-05,3.259540e-05,3.513267e-05,3.909398e-05,4.009234e-05,4.511101e-05,4.571477e-05,5.013867e-05,5.234219e-05,5.513157e-05,5.887951e-05,6.005199e-05,6.486796e-05,6.524789e-05,6.955282e-05,7.138505e-05,7.408492e-05,7.724363e-05,7.844709e-05,8.262627e-05,8.278949e-05,8.661309e-05,8.799997e-05,9.040138e-05,9.286223e-05,9.398784e-05,9.737157e-05,1.005537e-04,1.015299e-04,1.035372e-04,1.053443e-04,1.063263e-04,1.088259e-04,1.089264e-04,1.113436e-04,1.119886e-04,1.135850e-04,1.148484e-04,1.156578e-04,1.174224e-04,1.175697e-04,1.193283e-04,1.197284e-04,1.209415e-04,1.217842e-04,1.224170e-04,1.236076e-04,1.237624e-04,1.249852e-04,1.252157e-04,1.260925e-04,1.266250e-04,1.270913e-04,1.278513e-04,1.279882e-04,1.287896e-04,1.289094e-04,1.295015e-04,1.298132e-04,1.301297e-04,1.305757e-04,1.306796e-04,1.311565e-04,1.312090e-04,1.315650e-04,1.317244e-04,1.319099e-04,1.321321e-04,1.321955e-04,1.324257e-04,1.324419e-04,1.326045e-04,1.326624e-04,1.327354e-04,1.328018e-04,1.328217e-04,1.328666e-04,1.328676e-04,1.328730e-04,1.328665e-04,1.328438e-04,1.328049e-04,1.327815e-04,1.326884e-04,1.325670e-04,1.325224e-04,1.324192e-04,1.323118e-04,1.322471e-04,1.320608e-04,1.320526e-04,1.318374e-04,1.317736e-04,1.316030e-04,1.314539e-04,1.313511e-04,1.311051e-04,1.310831e-04,1.308002e-04,1.307303e-04,1.305038e-04,1.303323e-04,1.301950e-04,1.299138e-04,1.298748e-04,1.295444e-04,1.294772e-04,1.292046e-04,1.290245e-04,1.288564e-04,1.285579e-04,1.285005e-04,1.281378e-04,1.280792e-04,1.277691e-04,1.275901e-04,1.273949e-04,1.270920e-04,1.270159e-04,1.266327e-04,1.265865e-04,1.262459e-04,1.260747e-04,1.258560e-04,1.255579e-04,1.254635e-04,1.250688e-04,1.250371e-04,1.246724e-04,1.245134e-04,1.242747e-04,1.239877e-04,1.238760e-04,1.234766e-04,1.234607e-04,1.230770e-04,1.229332e-04,1.226775e-04,1.224059e-04,1.222782e-04,1.218795e-04,1.213544e-04,1.208313e-04,1.203106e-04,1.197927e-04,1.192781e-04,1.187670e-04,1.182598e-04,1.177568e-04,1.172582e-04,1.167644e-04,1.162754e-04,1.157915e-04,1.153128e-04,1.148396e-04,1.143718e-04,1.139097e-04,1.134533e-04,1.130026e-04,1.125579e-04,1.121191e-04,1.116863e-04,1.112595e-04,1.108387e-04,1.104240e-04
0.000000e+00,1.101914e-10,3.384822e-10,1.646773e-09,4.436593e-09,6.884205e-09,1.728300e-08,1.785436e-08,3.630325e-08,4.303200e-08,6.386506e-08,8.546045e-08,1.021904e-07,1.484200e-07,1.529823e-07,2.179035e-07,2.357500e-07,2.983115e-07,3.503694e-07,3.947823e-07,4.923550e-07,5.064949e-07,6.307959e-07,6.568107e-07,7.634215e-07,8.340376e-07,8.994586e-07,1.013090e-06,1.034472e-06,1.165153e-06,1.185503e-06,1.289390e-06,1.346369e-06,1.406030e-06,1.493515e-06,1.514564e-06,1.614888e-06,1.626379e-06,1.707134e-06,1.745229e-06,1.791572e-06,1.850735e-06,1.868550e-06,1.938460e-06,1.943760e-06,2.001723e-06,2.025264e-06,2.058772e-06,2.096246e-06,2.110045e-06,2.155977e-06,2.157710e-06,2.196995e-06,2.210639e-06,2.233513e-06,2.255977e-06,2.265926e-06,2.294606e-06,2.319901e-06,2.327333e-06,2.342130e-06,2.354888e-06,2.361594e-06,2.377931e-06,2.378566e-06,2.393292e-06,2.397043e-06,2.405994e-06,2.412730e-06,2.416877e-06,2.425437e-06,2.426120e-06,2.433885e-06,2.435545e-06,2.440316e-06,2.443383e-06,2.445541e-06,2.449233e-06,2.449675e-06,2.452820e-06,2.453339e-06,2.455068e-06,2.455910e-06,2.456501e-06,2.457126e-06,2.457188e-06,2.457193e-06,2.457134e-06,2.456571e-06,2.456066e-06,2.455376e-06,2.454037e-06,2.453651e-06,2.451439e-06,2.451142e-06,2.448776e-06,2.447470e-06,2.445696e-06,2.443096e-06,2.442231e-06,2.438408e-06,2.438087e-06,2.434252e-06,2.432502e-06,2.429788e-06,2.426396e-06,2.425038e-06,2.420021e-06,2.419815e-06,2.414756e-06,2.412804e-06,2.409261e-06,2.405401e-06,2.403552e-06,2.397643e-06,2.391548e-06,2.389561e-06,2.385281e-06,2.381186e-06,2.378855e-06,2.372545e-06,2.372279e-06,2.365567e-06,2.363664e-06,2.358727e-06,2.354566e-06,2.351770e-06,2.345273e-06,2.344703e-06,2.337538e-06,2.335804e-06,2.330280e-06,2.326178e-06,2.322938e-06,2.316413e-06,2.315519e-06,2.308030e-06,2.306524e-06,2.300478e-06,2.296527e-06,2.292868e-06,2.286436e-06,2.285207e-06,2.277500e-06,2.276263e-06,2.269752e-06,2.266021e-06,2.261969e-06,2.255720e-06,2.254155e-06,2.246315e-06,2.245373e-06,2.238453e-06,2.234987e-06,2.230572e-06,2.224574e-06,2.222678e-06,2.214773e-06,2.214140e-06,2.206861e-06,2.203696e-06,2.198946e-06,2.193247e-06,2.191030e-06,2.183117e-06,2.182801e-06,2.175209e-06,2.172364e-06,2.167310e-06,2.161944e-06,2.159421e-06,2.151545e-06,2.141172e-06,2.130831e-06,2.120527e-06,2.110264e-06,2.100045e-06,2.089875e-06,2.079757e-06,2.069694e-06,2.059690e-06,2.049746e-06,2.039866e-06,2.030053e-06,2.020307e-06,2.010631e-06,2.001028e-06,1.991498e-06,1.982044e-06,1.972666e-06,1.963366e-06,1.954145e-06,1.945004e-06,1.935944e-06,1.926966e-06,1.918070e-06
0.000000e+00,1.626050e-11,3.772472e-11,1.310717e-10,2.985714e-10,4.351895e-10,9.819492e-10,1.011203e-09,1.937955e-09,2.271029e-09,3.294600e-09,4.348373e-09,5.161131e-09,7.389447e-09,7.607647e-09,1.066775e-08,1.149213e-08,1.431997e-08,1.660252e-08,1.850559e-08,2.257745e-08,2.315837e-08,2.821731e-08,2.927287e-08,3.362657e-08,3.655999e-08,3.933244e-08,4.431535e-08,4.528126e-08,5.141882e-08,5.241470e-08,5.769060e-08,6.073284e-08,6.404266e-08,6.914693e-08,7.042277e-08,7.678147e-08,7.754087e-08,8.307310e-08,8.580937e-08,8.925644e-08,9.386090e-08,9.529530e-08,1.011587e-07,1.016194e-07,1.068212e-07,1.090251e-07,1.122621e-07,1.160336e-07,1.174661e-07,1.224220e-07,1.226150e-07,1.271229e-07,1.287520e-07,1.315654e-07,1.344384e-07,1.357491e-07,1.396764e-07,1.433516e-07,1.444753e-07,1.467808e-07,1.488499e-07,1.499717e-07,1.528184e-07,1.529326e-07,1.556728e-07,1.564018e-07,1.582020e-07,1.596225e-07,1.605304e-07,1.625036e-07,1.626679e-07,1.646246e-07,1.650685e-07,1.664107e-07,1.673399e-07,1.680358e-07,1.693402e-07,1.695093e-07,1.708404e-07,1.710903e-07,1.720379e-07,1.726106e-07,1.731102e-07,1.739198e-07,1.740651e-07,1.749102e-07,1.750357e-07,1.756528e-07,1.759748e-07,1.762995e-07,1.767522e-07,1.768567e-07,1.773305e-07,1.773820e-07,1.777264e-07,1.778773e-07,1.780498e-07,1.782501e-07,1.783055e-07,1.784984e-07,1.785112e-07,1.786326e-07,1.786709e-07,1.787124e-07,1.787383e-07,1.787415e-07,1.787235e-07,1.787219e-07,1.786618e-07,1.786295e-07,1.785594e-07,1.784681e-07,1.784194e-07,1.782444e-07,1.780370e-07,1.779642e-07,1.777997e-07,1.776331e-07,1.775346e-07,1.772559e-07,1.772438e-07,1.769293e-07,1.768373e-07,1.765930e-07,1.763814e-07,1.762365e-07,1.758922e-07,1.758616e-07,1.754695e-07,1.753731e-07,1.750619e-07,1.748273e-07,1.746400e-07,1.742578e-07,1.742050e-07,1.737581e-07,1.736674e-07,1.733004e-07,1.730584e-07,1.728328e-07,1.724332e-07,1.723564e-07,1.718721e-07,1.717939e-07,1.713806e-07,1.711424e-07,1.708828e-07,1.704805e-07,1.703794e-07,1.698710e-07,1.698097e-07,1.693584e-07,1.691316e-07,1.688421e-07,1.684476e-07,1.683227e-07,1.678007e-07,1.677589e-07,1.672767e-07,1.670666e-07,1.667510e-07,1.663718e-07,1.662242e-07,1.656966e-07,1.656755e-07,1.651686e-07,1.649785e-07,1.646406e-07,1.642818e-07,1.641130e-07,1.635859e-07,1.628917e-07,1.621997e-07,1.615105e-07,1.608247e-07,1.601426e-07,1.594648e-07,1.587917e-07,1.581236e-07,1.574607e-07,1.568036e-07,1.561523e-07,1.555071e-07,1.548683e-07,1.542361e-07,1.536105e-07,1.529918e-07,1.523802e-07,1.517756e-07,1.511782e-07,1.505881e-07,1.500054e-07,1.494301e-07,1.488622e-07,1.483019e-07
0.000000e+00,3.049567e-11,6.986691e-11,2.402908e-10,5.476475e-10,8.008456e-10,1.839639e-09,1.896388e-09,3.754686e-09,4.450095e-09,6.668879e-09,9.060727e-09,1.095992e-08,1.628758e-08,1.681259e-08,2.412428e-08,2.606573e-08,3.261548e-08,3.778407e-08,4.202194e-08,5.090594e-08,5.215575e-08,6.288783e-08,6.509717e-08,7.412106e-08,8.013246e-08,8.577197e-08,9.582320e-08,9.776082e-08,1.100069e-07,1.119846e-07,1.224274e-07,1.284265e-07,1.349381e-07,1.449545e-07,1.474540e-07,1.598919e-07,1.613753e-07,1.721716e-07,1.775051e-07,1.842183e-07,1.931752e-07,1.959629e-07,2.073438e-07,2.082370e-07,2.183085e-07,2.225678e-07,2.288133e-07,2.360719e-07,2.388229e-07,2.483102e-07,2.486785e-07,2.572560e-07,2.603415e-07,2.656488e-07,2.710369e-07,2.734831e-07,2.807595e-07,2.874835e-07,2.895201e-07,2.936650e-07,2.973425e-07,2.993174e-07,3.042612e-07,3.044572e-07,3.091025e-07,3.103172e-07,3.132727e-07,3.155556e-07,3.169891e-07,3.200262e-07,3.202736e-07,3.231484e-07,3.237799e-07,3.256361e-07,3.268683e-07,3.277587e-07,3.293421e-07,3.295382e-07,3.309958e-07,3.312505e-07,3.321523e-07,3.326413e-07,3.330277e-07,3.335598e-07,3.336412e-07,3.340112e-07,3.340490e-07,3.341551e-07,3.341488e-07,3.340896e-07,3.338970e-07,3.338304e-07,3.333923e-07,3.333283e-07,3.327893e-07,3.324752e-07,3.320348e-07,3.313676e-07,3.311410e-07,3.301198e-07,3.300329e-07,3.289820e-07,3.284965e-07,3.277377e-07,3.267814e-07,3.263967e-07,3.249678e-07,3.249090e-07,3.234594e-07,3.228984e-07,3.218793e-07,3.207675e-07,3.202346e-07,3.185322e-07,3.167784e-07,3.162073e-07,3.149790e-07,3.138060e-07,3.131394e-07,3.113403e-07,3.112647e-07,3.093596e-07,3.088214e-07,3.074285e-07,3.062589e-07,3.054753e-07,3.036621e-07,3.035037e-07,3.015174e-07,3.010388e-07,2.995193e-07,2.983964e-07,2.975126e-07,2.957416e-07,2.954999e-07,2.934837e-07,2.930803e-07,2.914664e-07,2.904176e-07,2.894501e-07,2.877586e-07,2.874367e-07,2.854281e-07,2.851073e-07,2.834260e-07,2.824677e-07,2.814317e-07,2.798430e-07,2.794468e-07,2.774725e-07,2.772364e-07,2.755100e-07,2.746505e-07,2.735602e-07,2.720875e-07,2.716242e-07,2.697028e-07,2.695497e-07,2.677968e-07,2.670388e-07,2.659068e-07,2.645564e-07,2.640336e-07,2.621776e-07,2.621038e-07,2.603394e-07,2.596821e-07,2.585195e-07,2.572925e-07,2.567180e-07,2.549355e-07,2.526121e-07,2.503226e-07,2.480676e-07,2.458473e-07,2.436620e-07,2.415117e-07,2.393966e-07,2.373166e-07,2.352717e-07,2.332617e-07,2.312863e-07,2.293455e-07,2.274389e-07,2.255662e-07,2.237271e-07,2.219212e-07,2.201481e-07,2.184074e-07,2.166986e-07,2.150214e-07,2.133753e-07,2.117597e-07,2.101743e-07,2.086186e-07
0.000000e+00,1.856047e-10,7.127472e-10,5.207818e-09,1.925020e-08,3.490481e-08,1.250811e-07,1.309415e-07,3.594289e-07,4.591267e-07,8.138004e-07,1.245544e-06,1.619497e-06,2.809305e-06,2.938070e-06,4.962444e-06,5.575895e-06,7.891890e-06,9.990779e-06,1.188790e-05,1.635549e-05,1.703439e-05,2.332400e-05,2.471259e-05,3.066972e-05,3.486097e-05,3.892875e-05,4.644535e-05,4.792719e-05,5.748016e-05,5.904782e-05,6.740601e-05,7.225247e-05,7.753521e-05,8.568184e-05,8.771524e-05,9.781284e-05,9.901341e-05,1.077144e-04,1.119841e-04,1.173256e-04,1.243882e-04,1.265699e-04,1.353875e-04,1.360731e-04,1.437335e-04,1.469324e-04,1.515763e-04,1.569001e-04,1.588962e-04,1.656834e-04,1.659438e-04,1.719372e-04,1.740590e-04,1.776640e-04,1.812633e-04,1.828761e-04,1.875908e-04,1.918289e-04,1.930882e-04,1.956139e-04,1.978101e-04,1.989710e-04,2.018157e-04,2.019266e-04,2.045075e-04,2.051667e-04,2.067406e-04,2.079244e-04,2.086521e-04,2.101487e-04,2.102676e-04,2.116115e-04,2.118963e-04,2.127072e-04,2.132205e-04,2.135765e-04,2.141706e-04,2.142400e-04,2.147170e-04,2.147916e-04,2.150252e-04,2.151242e-04,2.151809e-04,2.152050e-04,2.151993e-04,2.150940e-04,2.150666e-04,2.148778e-04,2.147381e-04,2.145622e-04,2.142451e-04,2.141575e-04,2.136733e-04,2.136102e-04,2.131181e-04,2.128534e-04,2.124998e-04,2.119921e-04,2.118255e-04,2.111014e-04,2.110415e-04,2.103333e-04,2.100150e-04,2.095266e-04,2.089244e-04,2.086858e-04,2.078152e-04,2.077798e-04,2.069187e-04,2.065902e-04,2.059997e-04,2.053636e-04,2.050614e-04,2.041066e-04,2.031379e-04,2.028254e-04,2.021577e-04,2.015252e-04,2.011679e-04,2.002107e-04,2.001707e-04,1.991677e-04,1.988860e-04,1.981604e-04,1.975546e-04,1.971503e-04,1.962197e-04,1.961388e-04,1.951269e-04,1.948841e-04,1.941158e-04,1.935502e-04,1.931064e-04,1.922202e-04,1.920996e-04,1.910962e-04,1.908960e-04,1.900970e-04,1.895792e-04,1.891026e-04,1.882714e-04,1.881136e-04,1.871306e-04,1.869739e-04,1.861540e-04,1.856877e-04,1.851843e-04,1.844138e-04,1.842220e-04,1.832673e-04,1.831532e-04,1.823206e-04,1.819067e-04,1.813822e-04,1.806747e-04,1.804524e-04,1.795313e-04,1.794581e-04,1.786193e-04,1.782571e-04,1.777165e-04,1.770722e-04,1.768230e-04,1.759390e-04,1.759039e-04,1.750647e-04,1.747523e-04,1.742000e-04,1.736177e-04,1.733452e-04,1.725002e-04,1.714001e-04,1.703175e-04,1.692523e-04,1.682046e-04,1.671745e-04,1.661618e-04,1.651667e-04,1.641889e-04,1.632284e-04,1.622850e-04,1.613588e-04,1.604495e-04,1.595569e-04,1.586810e-04,1.578215e-04,1.569783e-04,1.561512e-04,1.553399e-04,1.545444e-04,1.537643e-04,1.529995e-04,1.522497e-04,1.515148e-04,1.507945e-04
0.000000e+00,2.134983e-10,8.084191e-10,5.741493e-09,2.069673e-08,3.702367e-08,1.281997e-07,1.340208e-07,3.557257e-07,4.502576e-07,7.797366e-07,1.170503e-06,1.502046e-06,2.523612e-06,2.631531e-06,4.272548e-06,4.751927e-06,6.502964e-06,8.026216e-06,9.363846e-06,1.240984e-05,1.286310e-05,1.698467e-05,1.788109e-05,2.169694e-05,2.436726e-05,2.695837e-05,3.176736e-05,3.272092e-05,3.893213e-05,3.996388e-05,4.553648e-05,4.882942e-05,5.247669e-05,5.823183e-05,5.969498e-05,6.713426e-05,6.803918e-05,7.473933e-05,7.812447e-05,8.245784e-05,8.836970e-05,9.024116e-05,9.804491e-05,9.866887e-05,1.058293e-04,1.089297e-04,1.135593e-04,1.190741e-04,1.212046e-04,1.287393e-04,1.290381e-04,1.361417e-04,1.387706e-04,1.433939e-04,1.482321e-04,1.504815e-04,1.573931e-04,1.641199e-04,1.662323e-04,1.706554e-04,1.747357e-04,1.769952e-04,1.828946e-04,1.831364e-04,1.890775e-04,1.907051e-04,1.948182e-04,1.981666e-04,2.003591e-04,2.052815e-04,2.057016e-04,2.108478e-04,2.120539e-04,2.158002e-04,2.184900e-04,2.205618e-04,2.245968e-04,2.251359e-04,2.295260e-04,2.303823e-04,2.337360e-04,2.358553e-04,2.377698e-04,2.410250e-04,2.416314e-04,2.453250e-04,2.459006e-04,2.488547e-04,2.504919e-04,2.522247e-04,2.548086e-04,2.554393e-04,2.585026e-04,2.588603e-04,2.614189e-04,2.626566e-04,2.641924e-04,2.662073e-04,2.668272e-04,2.693273e-04,2.695216e-04,2.716968e-04,2.726089e-04,2.739396e-04,2.754782e-04,2.760597e-04,2.780609e-04,2.781385e-04,2.799469e-04,2.805984e-04,2.817215e-04,2.828663e-04,2.833882e-04,2.849505e-04,2.864121e-04,2.868590e-04,2.877761e-04,2.885994e-04,2.890459e-04,2.901793e-04,2.902248e-04,2.913158e-04,2.916059e-04,2.923220e-04,2.928863e-04,2.932464e-04,2.940272e-04,2.940920e-04,2.948614e-04,2.950351e-04,2.955575e-04,2.959163e-04,2.961830e-04,2.966770e-04,2.967403e-04,2.972322e-04,2.973229e-04,2.976609e-04,2.978597e-04,2.980289e-04,2.982928e-04,2.983385e-04,2.985920e-04,2.986275e-04,2.987915e-04,2.988686e-04,2.989390e-04,2.990211e-04,2.990368e-04,2.990867e-04,2.990895e-04,2.990906e-04,2.990783e-04,2.990505e-04,2.989917e-04,2.989682e-04,2.988453e-04,2.988337e-04,2.986836e-04,2.986084e-04,2.984847e-04,2.983193e-04,2.982502e-04,2.979816e-04,2.979702e-04,2.976805e-04,2.975644e-04,2.973482e-04,2.971051e-04,2.969861e-04,2.965957e-04,2.960389e-04,2.954378e-04,2.947951e-04,2.941133e-04,2.933950e-04,2.926426e-04,2.918584e-04,2.910445e-04,2.902030e-04,2.893360e-04,2.884452e-04,2.875325e-04,2.865997e-04,2.856483e-04,2.846799e-04,2.836960e-04,2.826980e-04,2.816873e-04,2.806651e-04,2.796326e-04,2.785910e-04,2.775414e-04,2.764849e-04,2.754223e-04
0.000000e+00,2.589890e-10,9.383023e-10,6.101412e-09,2.037054e-08,3.498492e-08,1.094477e-07,1.139575e-07,2.747087e-07,3.389238e-07,5.508680e-07,7.863883e-07,9.772150e-07,1.532470e-06,1.589051e-06,2.418976e-06,2.653447e-06,3.489624e-06,4.197367e-06,4.807247e-06,6.163886e-06,6.362490e-06,8.136453e-06,8.515515e-06,1.010637e-05,1.120033e-05,1.224861e-05,1.416401e-05,1.453959e-05,1.695578e-05,1.735242e-05,1.947367e-05,2.071146e-05,2.206974e-05,2.418728e-05,2.472079e-05,2.740430e-05,2.772747e-05,3.009884e-05,3.128272e-05,3.278445e-05,3.480831e-05,3.544299e-05,3.805836e-05,3.826529e-05,4.061659e-05,4.162117e-05,4.310590e-05,4.485002e-05,4.551663e-05,4.784114e-05,4.793224e-05,5.007366e-05,5.085402e-05,5.221011e-05,5.360663e-05,5.424787e-05,5.618563e-05,5.802318e-05,5.859012e-05,5.976120e-05,6.082195e-05,6.140116e-05,6.288515e-05,6.294510e-05,6.439554e-05,6.478529e-05,6.575537e-05,6.652907e-05,6.702772e-05,6.812389e-05,6.821593e-05,6.932342e-05,6.957760e-05,7.035368e-05,7.089820e-05,7.131021e-05,7.209373e-05,7.219649e-05,7.301592e-05,7.317208e-05,7.377186e-05,7.414095e-05,7.446757e-05,7.500773e-05,7.510620e-05,7.569079e-05,7.577950e-05,7.622426e-05,7.646300e-05,7.670942e-05,7.706457e-05,7.714894e-05,7.754540e-05,7.759020e-05,7.790124e-05,7.804554e-05,7.821877e-05,7.843584e-05,7.850021e-05,7.874767e-05,7.876605e-05,7.896313e-05,7.904078e-05,7.914848e-05,7.926431e-05,7.930553e-05,7.943596e-05,7.944065e-05,7.954139e-05,7.957352e-05,7.962334e-05,7.966640e-05,7.968325e-05,7.972249e-05,7.974234e-05,7.974479e-05,7.974402e-05,7.973609e-05,7.972868e-05,7.969896e-05,7.969742e-05,7.965126e-05,7.963580e-05,7.959118e-05,7.954884e-05,7.951810e-05,7.944013e-05,7.943289e-05,7.933636e-05,7.931159e-05,7.922929e-05,7.916500e-05,7.911241e-05,7.900200e-05,7.898642e-05,7.885196e-05,7.882411e-05,7.870967e-05,7.863276e-05,7.856010e-05,7.842926e-05,7.840383e-05,7.824136e-05,7.821483e-05,7.807319e-05,7.799058e-05,7.789978e-05,7.775757e-05,7.772156e-05,7.753896e-05,7.751677e-05,7.735234e-05,7.726906e-05,7.716209e-05,7.701528e-05,7.696855e-05,7.677204e-05,7.675620e-05,7.657288e-05,7.649253e-05,7.637135e-05,7.622494e-05,7.616773e-05,7.596227e-05,7.595402e-05,7.575522e-05,7.568034e-05,7.554681e-05,7.540442e-05,7.533725e-05,7.512675e-05,7.484777e-05,7.456789e-05,7.428749e-05,7.400692e-05,7.372649e-05,7.344651e-05,7.316725e-05,7.288896e-05,7.261187e-05,7.233618e-05,7.206210e-05,7.178980e-05,7.151944e-05,7.125116e-05,7.098511e-05,7.072140e-05,7.046013e-05,7.020141e-05,6.994533e-05,6.969195e-05,6.944136e-05,6.919361e-05,6.894876e-05,6.870686e-05
0.000000e+00,2.663888e-10,1.022585e-09,7.463651e-09,2.754293e-08,4.987457e-08,1.777488e-07,1.860213e-07,5.057579e-07,6.438157e-07,1.129205e-06,1.710038e-06,2.205729e-06,3.745981e-06,3.909757e-06,6.424806e-06,7.168222e-06,9.916396e-06,1.234719e-05,1.451084e-05,1.953177e-05,2.028940e-05,2.729250e-05,2.884118e-05,3.552689e-05,4.028948e-05,4.497199e-05,5.381063e-05,5.558480e-05,6.730331e-05,6.927586e-05,8.004922e-05,8.650557e-05,9.373026e-05,1.052789e-04,1.082426e-04,1.234732e-04,1.253435e-04,1.393028e-04,1.464259e-04,1.556083e-04,1.682424e-04,1.722657e-04,1.891527e-04,1.905100e-04,2.061512e-04,2.129564e-04,2.231489e-04,2.353279e-04,2.400415e-04,2.567336e-04,2.573958e-04,2.731394e-04,2.789606e-04,2.891837e-04,2.998538e-04,3.048015e-04,3.199382e-04,3.345490e-04,3.391073e-04,3.485983e-04,3.572824e-04,3.620592e-04,3.744104e-04,3.749127e-04,3.871468e-04,3.904603e-04,3.987555e-04,4.054202e-04,4.097384e-04,4.192936e-04,4.200998e-04,4.298477e-04,4.320971e-04,4.389934e-04,4.438570e-04,4.475509e-04,4.546076e-04,4.555362e-04,4.629671e-04,4.643884e-04,4.698624e-04,4.732429e-04,4.762420e-04,4.812170e-04,4.821261e-04,4.875353e-04,4.883581e-04,4.924904e-04,4.947137e-04,4.970121e-04,5.003309e-04,5.011205e-04,5.048358e-04,5.052561e-04,5.081774e-04,5.095343e-04,5.111645e-04,5.132089e-04,5.138154e-04,5.161481e-04,5.163215e-04,5.181798e-04,5.189119e-04,5.199270e-04,5.210179e-04,5.214057e-04,5.226312e-04,5.226751e-04,5.236179e-04,5.239174e-04,5.243799e-04,5.247765e-04,5.249305e-04,5.252823e-04,5.254476e-04,5.254630e-04,5.254378e-04,5.253447e-04,5.252638e-04,5.249521e-04,5.249362e-04,5.244647e-04,5.243082e-04,5.238589e-04,5.234346e-04,5.231275e-04,5.223511e-04,5.222792e-04,5.213218e-04,5.210767e-04,5.202630e-04,5.196285e-04,5.191100e-04,5.180229e-04,5.178697e-04,5.165484e-04,5.162749e-04,5.151522e-04,5.143986e-04,5.136870e-04,5.124069e-04,5.121583e-04,5.105711e-04,5.103120e-04,5.089303e-04,5.081251e-04,5.072406e-04,5.058566e-04,5.055064e-04,5.037316e-04,5.035161e-04,5.019202e-04,5.011125e-04,5.000759e-04,4.986542e-04,4.982020e-04,4.963019e-04,4.961488e-04,4.943786e-04,4.936034e-04,4.924349e-04,4.910244e-04,4.904736e-04,4.884973e-04,4.884180e-04,4.865083e-04,4.857896e-04,4.845089e-04,4.831444e-04,4.825012e-04,4.804871e-04,4.778221e-04,4.751534e-04,4.724845e-04,4.698189e-04,4.671597e-04,4.645095e-04,4.618711e-04,4.592466e-04,4.566383e-04,4.540481e-04,4.514777e-04,4.489286e-04,4.464024e-04,4.439002e-04,4.414232e-04,4.389724e-04,4.365486e-04,4.341528e-04,4.317854e-04,4.294472e-04,4.271386e-04,4.248601e-04,4.226120e-04,4.203946e-04
0.000000e+00,7.633872e-10,2.270034e-09,1.062734e-08,2.830978e-08,4.396154e-08,1.125402e-07,1.164070e-07,2.463632e-07,2.960174e-07,4.560978e-07,6.297931e-07,7.677448e-07,1.152766e-06,1.190502e-06,1.712213e-06,1.849649e-06,2.310458e-06,2.671324e-06,2.965517e-06,3.577309e-06,3.662823e-06,4.391077e-06,4.539577e-06,5.140684e-06,5.536040e-06,5.903076e-06,6.547702e-06,6.670547e-06,7.436278e-06,7.558227e-06,8.194393e-06,8.554105e-06,8.939981e-06,9.524730e-06,9.669066e-06,1.037854e-05,1.046224e-05,1.106605e-05,1.136116e-05,1.172995e-05,1.221800e-05,1.236909e-05,1.298280e-05,1.303078e-05,1.357077e-05,1.379873e-05,1.413297e-05,1.452191e-05,1.466962e-05,1.518107e-05,1.520101e-05,1.566785e-05,1.583716e-05,1.613053e-05,1.643173e-05,1.656979e-05,1.698633e-05,1.738090e-05,1.750265e-05,1.775427e-05,1.798245e-05,1.810720e-05,1.842750e-05,1.844046e-05,1.875483e-05,1.883956e-05,1.905104e-05,1.922037e-05,1.932985e-05,1.957159e-05,1.959196e-05,1.983810e-05,1.989487e-05,2.006894e-05,2.019178e-05,2.028515e-05,2.046382e-05,2.048737e-05,2.067623e-05,2.071245e-05,2.085232e-05,2.093905e-05,2.101624e-05,2.114493e-05,2.116854e-05,2.130975e-05,2.133135e-05,2.144040e-05,2.149950e-05,2.156098e-05,2.165052e-05,2.167197e-05,2.177383e-05,2.178547e-05,2.186701e-05,2.190536e-05,2.195192e-05,2.201117e-05,2.202896e-05,2.209853e-05,2.210379e-05,2.216100e-05,2.218408e-05,2.221672e-05,2.225285e-05,2.226603e-05,2.230926e-05,2.231087e-05,2.234672e-05,2.235885e-05,2.237871e-05,2.239748e-05,2.240551e-05,2.242739e-05,2.244461e-05,2.244918e-05,2.245742e-05,2.246342e-05,2.246606e-05,2.247064e-05,2.247076e-05,2.247172e-05,2.247135e-05,2.246916e-05,2.246601e-05,2.246327e-05,2.245507e-05,2.245424e-05,2.244224e-05,2.243894e-05,2.242746e-05,2.241802e-05,2.241005e-05,2.239268e-05,2.239017e-05,2.236796e-05,2.236325e-05,2.234357e-05,2.233006e-05,2.231713e-05,2.229343e-05,2.228876e-05,2.225860e-05,2.225362e-05,2.222676e-05,2.221091e-05,2.219335e-05,2.216555e-05,2.215847e-05,2.212222e-05,2.211778e-05,2.208471e-05,2.206782e-05,2.204601e-05,2.201587e-05,2.200623e-05,2.196543e-05,2.196213e-05,2.192371e-05,2.190677e-05,2.188113e-05,2.184998e-05,2.183776e-05,2.179368e-05,2.179190e-05,2.174894e-05,2.173269e-05,2.170362e-05,2.167248e-05,2.165775e-05,2.161142e-05,2.154960e-05,2.148716e-05,2.142420e-05,2.136081e-05,2.129709e-05,2.123313e-05,2.116900e-05,2.110478e-05,2.104054e-05,2.097634e-05,2.091224e-05,2.084830e-05,2.078458e-05,2.072111e-05,2.065794e-05,2.059512e-05,2.053267e-05,2.047064e-05,2.040906e-05,2.034796e-05,2.028735e-05,2.022728e-05,2.016775e-05,2.010879e-05
0.000000e+00,1.687519e-11,3.875986e-11,1.338564e-10,3.058737e-10,4.477098e-10,1.028956e-09,1.060652e-09,2.094460e-09,2.479413e-09,3.702762e-09,5.018400e-09,6.065355e-09,9.036353e-09,9.332715e-09,1.353260e-08,1.466897e-08,1.855597e-08,2.166985e-08,2.424624e-08,2.969722e-08,3.046833e-08,3.712095e-08,3.849603e-08,4.412652e-08,4.788718e-08,5.142049e-08,5.772750e-08,5.894449e-08,6.664290e-08,6.788720e-08,7.446165e-08,7.824186e-08,8.234804e-08,8.867166e-08,9.025132e-08,9.812345e-08,9.906386e-08,1.059199e-07,1.093157e-07,1.136001e-07,1.193371e-07,1.211282e-07,1.284730e-07,1.290518e-07,1.356079e-07,1.383981e-07,1.425113e-07,1.473286e-07,1.491661e-07,1.555592e-07,1.558093e-07,1.616814e-07,1.638178e-07,1.675267e-07,1.713417e-07,1.730921e-07,1.783771e-07,1.833834e-07,1.849270e-07,1.881143e-07,1.909997e-07,1.925746e-07,1.966077e-07,1.967706e-07,2.007090e-07,2.017666e-07,2.043975e-07,2.064941e-07,2.078444e-07,2.108094e-07,2.110582e-07,2.140476e-07,2.147326e-07,2.168215e-07,2.182841e-07,2.193888e-07,2.214842e-07,2.217584e-07,2.239391e-07,2.243534e-07,2.259395e-07,2.269112e-07,2.277680e-07,2.291771e-07,2.294328e-07,2.309418e-07,2.311694e-07,2.323029e-07,2.329059e-07,2.335235e-07,2.344037e-07,2.346109e-07,2.355718e-07,2.356789e-07,2.364131e-07,2.367470e-07,2.371411e-07,2.376223e-07,2.377619e-07,2.382815e-07,2.383188e-07,2.387054e-07,2.388494e-07,2.390391e-07,2.392264e-07,2.392877e-07,2.394561e-07,2.394612e-07,2.395490e-07,2.395648e-07,2.395708e-07,2.395473e-07,2.395259e-07,2.394183e-07,2.392519e-07,2.391868e-07,2.390302e-07,2.388611e-07,2.387569e-07,2.384491e-07,2.384353e-07,2.380686e-07,2.379582e-07,2.376596e-07,2.373952e-07,2.372114e-07,2.367667e-07,2.367267e-07,2.362079e-07,2.360786e-07,2.356576e-07,2.353365e-07,2.350781e-07,2.345457e-07,2.344715e-07,2.338401e-07,2.337110e-07,2.331857e-07,2.328369e-07,2.325102e-07,2.319278e-07,2.318154e-07,2.311030e-07,2.309875e-07,2.303747e-07,2.300198e-07,2.296318e-07,2.290280e-07,2.288758e-07,2.281081e-07,2.280152e-07,2.273299e-07,2.269845e-07,2.265425e-07,2.259386e-07,2.257470e-07,2.249444e-07,2.248799e-07,2.241358e-07,2.238109e-07,2.233221e-07,2.227336e-07,2.225042e-07,2.216830e-07,2.216501e-07,2.208593e-07,2.205623e-07,2.200338e-07,2.194718e-07,2.192072e-07,2.183802e-07,2.172889e-07,2.161993e-07,2.151127e-07,2.140300e-07,2.129525e-07,2.118809e-07,2.108161e-07,2.097590e-07,2.087102e-07,2.076703e-07,2.066400e-07,2.056197e-07,2.046100e-07,2.036112e-07,2.026236e-07,2.016477e-07,2.006837e-07,1.997319e-07,1.987924e-07,1.978654e-07,1.969511e-07,1.960497e-07,1.951611e-07,1.942855e-07
0.000000e+00,2.815507e-10,9.887069e-10,6.062016e-09,1.930984e-08,3.240023e-08,9.618465e-08,9.995693e-08,2.311441e-07,2.824147e-07,4.491428e-07,6.315921e-07,7.779958e-07,1.198839e-06,1.241349e-06,1.857506e-06,2.029154e-06,2.633215e-06,3.135646e-06,3.563059e-06,4.498967e-06,4.634542e-06,5.833005e-06,6.086639e-06,7.143791e-06,7.865014e-06,8.552523e-06,9.801031e-06,1.004481e-05,1.160607e-05,1.186129e-05,1.322152e-05,1.401185e-05,1.487643e-05,1.621908e-05,1.655642e-05,1.824779e-05,1.845091e-05,1.993783e-05,2.067801e-05,2.161500e-05,2.287472e-05,2.326911e-05,2.489137e-05,2.501954e-05,2.647441e-05,2.709526e-05,2.801224e-05,2.908878e-05,2.950014e-05,3.093456e-05,3.099078e-05,3.231299e-05,3.279519e-05,3.363386e-05,3.449871e-05,3.489633e-05,3.610027e-05,3.724604e-05,3.760053e-05,3.833449e-05,3.900153e-05,3.936677e-05,4.030625e-05,4.034432e-05,4.126880e-05,4.151838e-05,4.214199e-05,4.264207e-05,4.296578e-05,4.368171e-05,4.374211e-05,4.447297e-05,4.464183e-05,4.516032e-05,4.552697e-05,4.580613e-05,4.634160e-05,4.641231e-05,4.698076e-05,4.709008e-05,4.751329e-05,4.777661e-05,4.801168e-05,4.840519e-05,4.847764e-05,4.891279e-05,4.897966e-05,4.931871e-05,4.950362e-05,4.969692e-05,4.998049e-05,5.004884e-05,5.037585e-05,5.041348e-05,5.067925e-05,5.080559e-05,5.096029e-05,5.115966e-05,5.122016e-05,5.145997e-05,5.147832e-05,5.168081e-05,5.176405e-05,5.188367e-05,5.201915e-05,5.206953e-05,5.223930e-05,5.224577e-05,5.239385e-05,5.244592e-05,5.253400e-05,5.262148e-05,5.266053e-05,5.277418e-05,5.287565e-05,5.290566e-05,5.296561e-05,5.301743e-05,5.304468e-05,5.311090e-05,5.311346e-05,5.317253e-05,5.318740e-05,5.322241e-05,5.324814e-05,5.326361e-05,5.329427e-05,5.329662e-05,5.332190e-05,5.332687e-05,5.333988e-05,5.334691e-05,5.335096e-05,5.335533e-05,5.335555e-05,5.335401e-05,5.335299e-05,5.334668e-05,5.334070e-05,5.333391e-05,5.331921e-05,5.331601e-05,5.329328e-05,5.328922e-05,5.326600e-05,5.325138e-05,5.323445e-05,5.320630e-05,5.319888e-05,5.315952e-05,5.315456e-05,5.311662e-05,5.309668e-05,5.307040e-05,5.303317e-05,5.302105e-05,5.296878e-05,5.296448e-05,5.291378e-05,5.289106e-05,5.285622e-05,5.281329e-05,5.279628e-05,5.273411e-05,5.273158e-05,5.266986e-05,5.264626e-05,5.260369e-05,5.255766e-05,5.253573e-05,5.246611e-05,5.237188e-05,5.227524e-05,5.217646e-05,5.207576e-05,5.197336e-05,5.186948e-05,5.176430e-05,5.165801e-05,5.155078e-05,5.144275e-05,5.133408e-05,5.122491e-05,5.111536e-05,5.100556e-05,5.089561e-05,5.078563e-05,5.067570e-05,5.056592e-05,5.045637e-05,5.034714e-05,5.023829e-05,5.012989e-05,5.002201e-05,4.991470e-05
0.000000e+00,6.891436e-08,2.695917e-07,2.045900e-06,7.819226e-06,1.443009e-05,5.394095e-05,5.655837e-05,1.607994e-04,2.070757e-04,3.734385e-04,5.775730e-04,7.548046e-04,1.318080e-03,1.378908e-03,2.332334e-03,2.620721e-03,3.711429e-03,4.707227e-03,5.616934e-03,7.807349e-03,8.146995e-03,1.139082e-02,1.213217e-02,1.542426e-02,1.785430e-02,2.030734e-02,2.509769e-02,2.608305e-02,3.277700e-02,3.393405e-02,4.039767e-02,4.438300e-02,4.893698e-02,5.641446e-02,5.837130e-02,6.866263e-02,6.995289e-02,7.976011e-02,8.488277e-02,9.160172e-02,1.010554e-01,1.041161e-01,1.172243e-01,1.182962e-01,1.308422e-01,1.364124e-01,1.448817e-01,1.552010e-01,1.592533e-01,1.738669e-01,1.744552e-01,1.886343e-01,1.939715e-01,2.034696e-01,2.135546e-01,2.182911e-01,2.330216e-01,2.475895e-01,2.522060e-01,2.619291e-01,2.709589e-01,2.759810e-01,2.891513e-01,2.896926e-01,3.030175e-01,3.066737e-01,3.159162e-01,3.234366e-01,3.283551e-01,3.393693e-01,3.403070e-01,3.517503e-01,3.544191e-01,3.626688e-01,3.685495e-01,3.730513e-01,3.817390e-01,3.828910e-01,3.921854e-01,3.939789e-01,4.009357e-01,4.052721e-01,4.091461e-01,4.156310e-01,4.168240e-01,4.239791e-01,4.250761e-01,4.306231e-01,4.336346e-01,4.367697e-01,4.413389e-01,4.424340e-01,4.476321e-01,4.482254e-01,4.523813e-01,4.543332e-01,4.566992e-01,4.597037e-01,4.606042e-01,4.641148e-01,4.643792e-01,4.672497e-01,4.684026e-01,4.700275e-01,4.718168e-01,4.724667e-01,4.745855e-01,4.746639e-01,4.764019e-01,4.769851e-01,4.779332e-01,4.788204e-01,4.791965e-01,4.802082e-01,4.809843e-01,4.811854e-01,4.815400e-01,4.817869e-01,4.818902e-01,4.820460e-01,4.820489e-01,4.820295e-01,4.819940e-01,4.818450e-01,4.816601e-01,4.815076e-01,4.810721e-01,4.810289e-01,4.804199e-01,4.802555e-01,4.796910e-01,4.792342e-01,4.788522e-01,4.780305e-01,4.779128e-01,4.768815e-01,4.766649e-01,4.757665e-01,4.751563e-01,4.745757e-01,4.735222e-01,4.733164e-01,4.719954e-01,4.717787e-01,4.706191e-01,4.699406e-01,4.691935e-01,4.680213e-01,4.677242e-01,4.662165e-01,4.660332e-01,4.646753e-01,4.639877e-01,4.631050e-01,4.618949e-01,4.615101e-01,4.598943e-01,4.597642e-01,4.582614e-01,4.576042e-01,4.566147e-01,4.554224e-01,4.549575e-01,4.532926e-01,4.532259e-01,4.516227e-01,4.510208e-01,4.499503e-01,4.488128e-01,4.482777e-01,4.466070e-01,4.444080e-01,4.422197e-01,4.400458e-01,4.378895e-01,4.357537e-01,4.336408e-01,4.315530e-01,4.294922e-01,4.274601e-01,4.254581e-01,4.234875e-01,4.215491e-01,4.196440e-01,4.177726e-01,4.159357e-01,4.141337e-01,4.123667e-01,4.106351e-01,4.089389e-01,4.072781e-01,4.056527e-01,4.040625e-01,4.025074e-01,4.009870e-01
0.000000e+00,2.544349e-10,6.588291e-10,2.585453e-09,6.278046e-09,9.411586e-09,2.272251e-08,2.346541e-08,4.844095e-08,5.805119e-08,8.938559e-08,1.238767e-07,1.514660e-07,2.283699e-07,2.358567e-07,3.378844e-07,3.642749e-07,4.513362e-07,5.181172e-07,5.717585e-07,6.813331e-07,6.964615e-07,8.237424e-07,8.493936e-07,9.523507e-07,1.019395e-06,1.081225e-06,1.188967e-06,1.209386e-06,1.335909e-06,1.355941e-06,1.459927e-06,1.518331e-06,1.580654e-06,1.674399e-06,1.697401e-06,1.809587e-06,1.822720e-06,1.916753e-06,1.962222e-06,2.018553e-06,2.092187e-06,2.114757e-06,2.205237e-06,2.212227e-06,2.289957e-06,2.322239e-06,2.368958e-06,2.422354e-06,2.442345e-06,2.510273e-06,2.512879e-06,2.572934e-06,2.594246e-06,2.630555e-06,2.666982e-06,2.683380e-06,2.731671e-06,2.775685e-06,2.788907e-06,2.815671e-06,2.839269e-06,2.851889e-06,2.883343e-06,2.884586e-06,2.913999e-06,2.921677e-06,2.940357e-06,2.954795e-06,2.963876e-06,2.983180e-06,2.984758e-06,3.003196e-06,3.007278e-06,3.019368e-06,3.027498e-06,3.033443e-06,3.044218e-06,3.045576e-06,3.055912e-06,3.057776e-06,3.064586e-06,3.068480e-06,3.071721e-06,3.076611e-06,3.077434e-06,3.081832e-06,3.082421e-06,3.085014e-06,3.086136e-06,3.087070e-06,3.087963e-06,3.088086e-06,3.088141e-06,3.088087e-06,3.087307e-06,3.086675e-06,3.085650e-06,3.083880e-06,3.083234e-06,3.080116e-06,3.079838e-06,3.076349e-06,3.074672e-06,3.071983e-06,3.068494e-06,3.067063e-06,3.061633e-06,3.061406e-06,3.055732e-06,3.053499e-06,3.049396e-06,3.044858e-06,3.042661e-06,3.035557e-06,3.028114e-06,3.025665e-06,3.020360e-06,3.015246e-06,3.012320e-06,3.004356e-06,3.004019e-06,2.995479e-06,2.993048e-06,2.986720e-06,2.981368e-06,2.977763e-06,2.969362e-06,2.968624e-06,2.959323e-06,2.957067e-06,2.949873e-06,2.944522e-06,2.940290e-06,2.931759e-06,2.930589e-06,2.920781e-06,2.918808e-06,2.910880e-06,2.905698e-06,2.900897e-06,2.892455e-06,2.890842e-06,2.880725e-06,2.879102e-06,2.870557e-06,2.865660e-06,2.860346e-06,2.852151e-06,2.850099e-06,2.839826e-06,2.838592e-06,2.829533e-06,2.824999e-06,2.819227e-06,2.811390e-06,2.808915e-06,2.798602e-06,2.797777e-06,2.788295e-06,2.784174e-06,2.777998e-06,2.770594e-06,2.767717e-06,2.757456e-06,2.757046e-06,2.747220e-06,2.743542e-06,2.737013e-06,2.730091e-06,2.726839e-06,2.716701e-06,2.703380e-06,2.690136e-06,2.676975e-06,2.663903e-06,2.650925e-06,2.638047e-06,2.625273e-06,2.612608e-06,2.600054e-06,2.587616e-06,2.575296e-06,2.563097e-06,2.551021e-06,2.539071e-06,2.527248e-06,2.515555e-06,2.503991e-06,2.492559e-06,2.481260e-06,2.470094e-06,2.459062e-06,2.448165e-06,2.437402e-06,2.426774e-06
0.000000e+00,1.391265e-10,3.685124e-10,1.478867e-09,3.606666e-09,5.394563e-09,1.277077e-08,1.317233e-08,2.614587e-08,3.090930e-08,4.581819e-08,6.152034e-08,7.381961e-08,1.080347e-07,1.114038e-07,1.585106e-07,1.710788e-07,2.135748e-07,2.471078e-07,2.745326e-07,3.316555e-07,3.396412e-07,4.075953e-07,4.214351e-07,4.773833e-07,5.141129e-07,5.481598e-07,6.078270e-07,6.191774e-07,6.897609e-07,7.009725e-07,7.593045e-07,7.921568e-07,8.272758e-07,8.802137e-07,8.932220e-07,9.567730e-07,9.642237e-07,1.017642e-06,1.043518e-06,1.075621e-06,1.117668e-06,1.130576e-06,1.182436e-06,1.186451e-06,1.231188e-06,1.249823e-06,1.276861e-06,1.307876e-06,1.319524e-06,1.359273e-06,1.360804e-06,1.396225e-06,1.408867e-06,1.430508e-06,1.452367e-06,1.462262e-06,1.491630e-06,1.518755e-06,1.526985e-06,1.543780e-06,1.558757e-06,1.566841e-06,1.587257e-06,1.588073e-06,1.607601e-06,1.612780e-06,1.625545e-06,1.635598e-06,1.642017e-06,1.655962e-06,1.657123e-06,1.670960e-06,1.674102e-06,1.683620e-06,1.690228e-06,1.695188e-06,1.704526e-06,1.705741e-06,1.715351e-06,1.717166e-06,1.724085e-06,1.728301e-06,1.732005e-06,1.738069e-06,1.739166e-06,1.745621e-06,1.746592e-06,1.751419e-06,1.753981e-06,1.756603e-06,1.760336e-06,1.761214e-06,1.765291e-06,1.765746e-06,1.768869e-06,1.770293e-06,1.771979e-06,1.774050e-06,1.774653e-06,1.776917e-06,1.777081e-06,1.778798e-06,1.779448e-06,1.780318e-06,1.781203e-06,1.781502e-06,1.782369e-06,1.782397e-06,1.782938e-06,1.783074e-06,1.783229e-06,1.783275e-06,1.783256e-06,1.783037e-06,1.782585e-06,1.782394e-06,1.781915e-06,1.781378e-06,1.781040e-06,1.780017e-06,1.779971e-06,1.778720e-06,1.778339e-06,1.777298e-06,1.776366e-06,1.775714e-06,1.774122e-06,1.773978e-06,1.772100e-06,1.771629e-06,1.770087e-06,1.768904e-06,1.767947e-06,1.765966e-06,1.765689e-06,1.763319e-06,1.762832e-06,1.760843e-06,1.759517e-06,1.758269e-06,1.756035e-06,1.755603e-06,1.752849e-06,1.752401e-06,1.750014e-06,1.748626e-06,1.747103e-06,1.744722e-06,1.744120e-06,1.741071e-06,1.740701e-06,1.737960e-06,1.736572e-06,1.734791e-06,1.732346e-06,1.731568e-06,1.728294e-06,1.728031e-06,1.724975e-06,1.723635e-06,1.721612e-06,1.719167e-06,1.718210e-06,1.714772e-06,1.714634e-06,1.711300e-06,1.710042e-06,1.707797e-06,1.705400e-06,1.704267e-06,1.700712e-06,1.695984e-06,1.691223e-06,1.686432e-06,1.681618e-06,1.676784e-06,1.671935e-06,1.667074e-06,1.662206e-06,1.657334e-06,1.652462e-06,1.647592e-06,1.642728e-06,1.637871e-06,1.633026e-06,1.628194e-06,1.623378e-06,1.618579e-06,1.613800e-06,1.609043e-06,1.604309e-06,1.599600e-06,1.594917e-06,1.590263e-06,1.585638e-06
0.000000e+00,1.495808e-10,3.567444e-10,1.281820e-09,2.978219e-09,4.379862e-09,1.008136e-08,1.038948e-08,2.026233e-08,2.385302e-08,3.499078e-08,4.658253e-08,5.558724e-08,8.046252e-08,8.290844e-08,1.173068e-07,1.265916e-07,1.584655e-07,1.842093e-07,2.056805e-07,2.516378e-07,2.581958e-07,3.153132e-07,3.272311e-07,3.763806e-07,4.094867e-07,4.407666e-07,4.969603e-07,5.078495e-07,5.770209e-07,5.882426e-07,6.476948e-07,6.819881e-07,7.193186e-07,7.769576e-07,7.913829e-07,8.634280e-07,8.720522e-07,9.350476e-07,9.663329e-07,1.005890e-06,1.059024e-06,1.075656e-06,1.144095e-06,1.149507e-06,1.211006e-06,1.237305e-06,1.276225e-06,1.322062e-06,1.339624e-06,1.401108e-06,1.403526e-06,1.460606e-06,1.481529e-06,1.518071e-06,1.555972e-06,1.573476e-06,1.626809e-06,1.678070e-06,1.694037e-06,1.727271e-06,1.757687e-06,1.774432e-06,1.817813e-06,1.819581e-06,1.862751e-06,1.874489e-06,1.903980e-06,1.927803e-06,1.943309e-06,1.977851e-06,1.980782e-06,2.016444e-06,2.024739e-06,2.050344e-06,2.068575e-06,2.082529e-06,2.109473e-06,2.113049e-06,2.141953e-06,2.147544e-06,2.169291e-06,2.182904e-06,2.195112e-06,2.215666e-06,2.219466e-06,2.242402e-06,2.245943e-06,2.263966e-06,2.273844e-06,2.284208e-06,2.299480e-06,2.303173e-06,2.320908e-06,2.322956e-06,2.337457e-06,2.344375e-06,2.352866e-06,2.363839e-06,2.367176e-06,2.380430e-06,2.381446e-06,2.392670e-06,2.397291e-06,2.403935e-06,2.411464e-06,2.414264e-06,2.423696e-06,2.424055e-06,2.432267e-06,2.435149e-06,2.440014e-06,2.444829e-06,2.446971e-06,2.453173e-06,2.458651e-06,2.460257e-06,2.463439e-06,2.466155e-06,2.467566e-06,2.470935e-06,2.471064e-06,2.473959e-06,2.474666e-06,2.476282e-06,2.477412e-06,2.478058e-06,2.479233e-06,2.479315e-06,2.480076e-06,2.480188e-06,2.480367e-06,2.480333e-06,2.480211e-06,2.479721e-06,2.479630e-06,2.478647e-06,2.478404e-06,2.477283e-06,2.476430e-06,2.475558e-06,2.473844e-06,2.473491e-06,2.471102e-06,2.470691e-06,2.468408e-06,2.467012e-06,2.465427e-06,2.462847e-06,2.462176e-06,2.458671e-06,2.458234e-06,2.454927e-06,2.453208e-06,2.450960e-06,2.447804e-06,2.446783e-06,2.442410e-06,2.442052e-06,2.437854e-06,2.435983e-06,2.433128e-06,2.429627e-06,2.428244e-06,2.423214e-06,2.423010e-06,2.418049e-06,2.416158e-06,2.412758e-06,2.409095e-06,2.407354e-06,2.401844e-06,2.394426e-06,2.386862e-06,2.379171e-06,2.371370e-06,2.363477e-06,2.355507e-06,2.347475e-06,2.339395e-06,2.331281e-06,2.323143e-06,2.314994e-06,2.306844e-06,2.298703e-06,2.290581e-06,2.282485e-06,2.274423e-06,2.266403e-06,2.258432e-06,2.250516e-06,2.242660e-06,2.234870e-06,2.227150e-06,2.219506e-06,2.211940e-06
0.000000e+00,2.563905e-10,9.629751e-10,6.721584e-09,2.383807e-08,4.225708e-08,1.428943e-07,1.492390e-07,3.870510e-07,4.869232e-07,8.308089e-07,1.232953e-06,1.570635e-06,2.594731e-06,2.701575e-06,4.296615e-06,4.752547e-06,6.382796e-06,7.760061e-06,8.941431e-06,1.154567e-05,1.192395e-05,1.526798e-05,1.597438e-05,1.890779e-05,2.089596e-05,2.277924e-05,2.616574e-05,2.682160e-05,3.097778e-05,3.164971e-05,3.519427e-05,3.722481e-05,3.942116e-05,4.277910e-05,4.361244e-05,4.772651e-05,4.821322e-05,5.172667e-05,5.344236e-05,5.558155e-05,5.839807e-05,5.926544e-05,6.275835e-05,6.302907e-05,6.604584e-05,6.730109e-05,6.911869e-05,7.119555e-05,7.197242e-05,7.460669e-05,7.470753e-05,7.702466e-05,7.784326e-05,7.923232e-05,8.061752e-05,8.123788e-05,8.305117e-05,8.468308e-05,8.516887e-05,8.614520e-05,8.699732e-05,8.744937e-05,8.856372e-05,8.860738e-05,8.963081e-05,8.989477e-05,9.053074e-05,9.101585e-05,9.131775e-05,9.195060e-05,9.200175e-05,9.259198e-05,9.272065e-05,9.309698e-05,9.334551e-05,9.352460e-05,9.384262e-05,9.388202e-05,9.417578e-05,9.422743e-05,9.441181e-05,9.451353e-05,9.459547e-05,9.471286e-05,9.473164e-05,9.482470e-05,9.483586e-05,9.487861e-05,9.489164e-05,9.489693e-05,9.488814e-05,9.488288e-05,9.483937e-05,9.483230e-05,9.476902e-05,9.473018e-05,9.467420e-05,9.458710e-05,9.455706e-05,9.441954e-05,9.440772e-05,9.426343e-05,9.419614e-05,9.409032e-05,9.395599e-05,9.390168e-05,9.369886e-05,9.369047e-05,9.348309e-05,9.340246e-05,9.325548e-05,9.309448e-05,9.301707e-05,9.276882e-05,9.251159e-05,9.242752e-05,9.224620e-05,9.207241e-05,9.197340e-05,9.170518e-05,9.169387e-05,9.140828e-05,9.132730e-05,9.111720e-05,9.094016e-05,9.082120e-05,9.054498e-05,9.052080e-05,9.021647e-05,9.014290e-05,8.990867e-05,8.973494e-05,8.959781e-05,8.932205e-05,8.928430e-05,8.896848e-05,8.890507e-05,8.865071e-05,8.848481e-05,8.833131e-05,8.806198e-05,8.801058e-05,8.768880e-05,8.763724e-05,8.736624e-05,8.721120e-05,8.704313e-05,8.678442e-05,8.671972e-05,8.639622e-05,8.635740e-05,8.607283e-05,8.593062e-05,8.574974e-05,8.550451e-05,8.542714e-05,8.510518e-05,8.507946e-05,8.478403e-05,8.465583e-05,8.446384e-05,8.423396e-05,8.414473e-05,8.382684e-05,8.381415e-05,8.351029e-05,8.339669e-05,8.319519e-05,8.298181e-05,8.288165e-05,8.256976e-05,8.216074e-05,8.175495e-05,8.135256e-05,8.095373e-05,8.055859e-05,8.016728e-05,7.977991e-05,7.939658e-05,7.901739e-05,7.864240e-05,7.827169e-05,7.790533e-05,7.754335e-05,7.718580e-05,7.683273e-05,7.648415e-05,7.614009e-05,7.580056e-05,7.546558e-05,7.513515e-05,7.480927e-05,7.448793e-05,7.417114e-05,7.385886e-05
0.000000e+00,5.444482e-10,2.128118e-09,1.612195e-08,6.151626e-08,1.134224e-07,4.229548e-07,4.434333e-07,1.257517e-06,1.618258e-06,2.912951e-06,4.498238e-06,5.872385e-06,1.023003e-05,1.069993e-05,1.805441e-05,2.027639e-05,2.867741e-05,3.635124e-05,4.337021e-05,6.031856e-05,6.295333e-05,8.820933e-05,9.400379e-05,1.198218e-04,1.389570e-04,1.583264e-04,1.962653e-04,2.040832e-04,2.572675e-04,2.664684e-04,3.178759e-04,3.495615e-04,3.857404e-04,4.450497e-04,4.605469e-04,5.418562e-04,5.520255e-04,6.291258e-04,6.692541e-04,7.217310e-04,7.952589e-04,8.189856e-04,9.201615e-04,9.284025e-04,1.024506e-03,1.066961e-03,1.131260e-03,1.209191e-03,1.239669e-03,1.349001e-03,1.353384e-03,1.458553e-03,1.497916e-03,1.567660e-03,1.641281e-03,1.675704e-03,1.782117e-03,1.886388e-03,1.919226e-03,1.988059e-03,2.051578e-03,2.086731e-03,2.178316e-03,2.182061e-03,2.273760e-03,2.298752e-03,2.361593e-03,2.412358e-03,2.445375e-03,2.518756e-03,2.524967e-03,2.600272e-03,2.617701e-03,2.671236e-03,2.709071e-03,2.737838e-03,2.792847e-03,2.800089e-03,2.858028e-03,2.869104e-03,2.911720e-03,2.937988e-03,2.961248e-03,2.999710e-03,3.006717e-03,3.048243e-03,3.054530e-03,3.085957e-03,3.102745e-03,3.119996e-03,3.144681e-03,3.150508e-03,3.177644e-03,3.180681e-03,3.201560e-03,3.211103e-03,3.222412e-03,3.236307e-03,3.240357e-03,3.255551e-03,3.256653e-03,3.268150e-03,3.272497e-03,3.278306e-03,3.284188e-03,3.286166e-03,3.291876e-03,3.292062e-03,3.295576e-03,3.296441e-03,3.297400e-03,3.297636e-03,3.297479e-03,3.295939e-03,3.292898e-03,3.291626e-03,3.288469e-03,3.284958e-03,3.282763e-03,3.276179e-03,3.275882e-03,3.267923e-03,3.265514e-03,3.258979e-03,3.253177e-03,3.249138e-03,3.239361e-03,3.238480e-03,3.227084e-03,3.224247e-03,3.215022e-03,3.208002e-03,3.202363e-03,3.190779e-03,3.189169e-03,3.175501e-03,3.172716e-03,3.161415e-03,3.153942e-03,3.146962e-03,3.134574e-03,3.132191e-03,3.117146e-03,3.114716e-03,3.101870e-03,3.094467e-03,3.086401e-03,3.073912e-03,3.070776e-03,3.055027e-03,3.053130e-03,3.039185e-03,3.032193e-03,3.023279e-03,3.011164e-03,3.007335e-03,2.991377e-03,2.990100e-03,2.975426e-03,2.969053e-03,2.959504e-03,2.948068e-03,2.943629e-03,2.927817e-03,2.927186e-03,2.912084e-03,2.906443e-03,2.896445e-03,2.885870e-03,2.880911e-03,2.865495e-03,2.845343e-03,2.825435e-03,2.805790e-03,2.786422e-03,2.767346e-03,2.748572e-03,2.730110e-03,2.711967e-03,2.694150e-03,2.676663e-03,2.659509e-03,2.642690e-03,2.626208e-03,2.610063e-03,2.594255e-03,2.578781e-03,2.563641e-03,2.548831e-03,2.534350e-03,2.520193e-03,2.506356e-03,2.492837e-03,2.479630e-03,2.466731e-03
0.000000e+00,8.050395e-11,3.067902e-10,2.205211e-09,8.021627e-09,1.440740e-08,5.021095e-08,5.249747e-08,1.392213e-07,1.759273e-07,3.025215e-07,4.502029e-07,5.737383e-07,9.470910e-07,9.860663e-07,1.573292e-06,1.743972e-06,2.368674e-06,2.916880e-06,3.403754e-06,4.535482e-06,4.706822e-06,6.300842e-06,6.656056e-06,8.200876e-06,9.311820e-06,1.041148e-05,1.250312e-05,1.292494e-05,1.572124e-05,1.619298e-05,1.876974e-05,2.031154e-05,2.203205e-05,2.476712e-05,2.546532e-05,2.902520e-05,2.945880e-05,3.266812e-05,3.428662e-05,3.635304e-05,3.915842e-05,4.004241e-05,4.370273e-05,4.399340e-05,4.730480e-05,4.872359e-05,5.082370e-05,5.329397e-05,5.423862e-05,5.753265e-05,5.766170e-05,6.069242e-05,6.179502e-05,6.370779e-05,6.567196e-05,6.657152e-05,6.927890e-05,7.182746e-05,7.260931e-05,7.421659e-05,7.566238e-05,7.644731e-05,7.844194e-05,7.852197e-05,8.044399e-05,8.095537e-05,8.221766e-05,8.321271e-05,8.384796e-05,8.522590e-05,8.534035e-05,8.670064e-05,8.700813e-05,8.793489e-05,8.857330e-05,8.904925e-05,8.993565e-05,9.004994e-05,9.094314e-05,9.110942e-05,9.173495e-05,9.210861e-05,9.243133e-05,9.294680e-05,9.303809e-05,9.356083e-05,9.363704e-05,9.400495e-05,9.419172e-05,9.437561e-05,9.462259e-05,9.467777e-05,9.491614e-05,9.494067e-05,9.509519e-05,9.515628e-05,9.521916e-05,9.527902e-05,9.529207e-05,9.531770e-05,9.531782e-05,9.529964e-05,9.528095e-05,9.524127e-05,9.517606e-05,9.514574e-05,9.501604e-05,9.501018e-05,9.485496e-05,9.478980e-05,9.466511e-05,9.452083e-05,9.444894e-05,9.420874e-05,9.394667e-05,9.385852e-05,9.366473e-05,9.347474e-05,9.336481e-05,9.306158e-05,9.304864e-05,9.271787e-05,9.262285e-05,9.237402e-05,9.216203e-05,9.201852e-05,9.168229e-05,9.165268e-05,9.127773e-05,9.118652e-05,9.089484e-05,9.067735e-05,9.050506e-05,9.015715e-05,9.010939e-05,8.970875e-05,8.962811e-05,8.930400e-05,8.909217e-05,8.889593e-05,8.855113e-05,8.848528e-05,8.807272e-05,8.800658e-05,8.765888e-05,8.745996e-05,8.724435e-05,8.691258e-05,8.682965e-05,8.641529e-05,8.636561e-05,8.600172e-05,8.582010e-05,8.558935e-05,8.527700e-05,8.517858e-05,8.476976e-05,8.473714e-05,8.436320e-05,8.420128e-05,8.395921e-05,8.367008e-05,8.355806e-05,8.315998e-05,8.314412e-05,8.276520e-05,8.262393e-05,8.237393e-05,8.210995e-05,8.198633e-05,8.160258e-05,8.110217e-05,8.060900e-05,8.012332e-05,7.964535e-05,7.917525e-05,7.871317e-05,7.825921e-05,7.781345e-05,7.737596e-05,7.694676e-05,7.652588e-05,7.611330e-05,7.570902e-05,7.531300e-05,7.492519e-05,7.454554e-05,7.417397e-05,7.381042e-05,7.345479e-05,7.310700e-05,7.276693e-05,7.243450e-05,7.210959e-05,7.179209e-05
0.000000e+00,1.042486e-10,3.927051e-10,2.757725e-09,9.830628e-09,1.747051e-08,5.936805e-08,6.201245e-08,1.610260e-07,2.024828e-07,3.445187e-07,5.093569e-07,6.470253e-07,1.063404e-06,1.106936e-06,1.764088e-06,1.955271e-06,2.653611e-06,3.262350e-06,3.798133e-06,5.021540e-06,5.203850e-06,6.862299e-06,7.222808e-06,8.754943e-06,9.823781e-06,1.085763e-05,1.276675e-05,1.314372e-05,1.558582e-05,1.598921e-05,1.815669e-05,1.942858e-05,2.082964e-05,2.302401e-05,2.357870e-05,2.637885e-05,2.671716e-05,2.920622e-05,3.045302e-05,3.203829e-05,3.418092e-05,3.485422e-05,3.763499e-05,3.785542e-05,4.036368e-05,4.143719e-05,4.302551e-05,4.489350e-05,4.560794e-05,4.810065e-05,4.819837e-05,5.049543e-05,5.133234e-05,5.278612e-05,5.428206e-05,5.496840e-05,5.703962e-05,5.899862e-05,5.960178e-05,6.084549e-05,6.196915e-05,6.258141e-05,6.414543e-05,6.420845e-05,6.572939e-05,6.613668e-05,6.714754e-05,6.795064e-05,6.846666e-05,6.959626e-05,6.969079e-05,7.082418e-05,7.108317e-05,7.187115e-05,7.242135e-05,7.283610e-05,7.362086e-05,7.372337e-05,7.453723e-05,7.469156e-05,7.528185e-05,7.564303e-05,7.596126e-05,7.648440e-05,7.657933e-05,7.713978e-05,7.722435e-05,7.764616e-05,7.787100e-05,7.810180e-05,7.843195e-05,7.850991e-05,7.887350e-05,7.891427e-05,7.919538e-05,7.932450e-05,7.947825e-05,7.966868e-05,7.972460e-05,7.993679e-05,7.995236e-05,8.011704e-05,8.018067e-05,8.026742e-05,8.035829e-05,8.038987e-05,8.048621e-05,8.048955e-05,8.055814e-05,8.057838e-05,8.060727e-05,8.062841e-05,8.063507e-05,8.064296e-05,8.063223e-05,8.062507e-05,8.060412e-05,8.057754e-05,8.055977e-05,8.050292e-05,8.050026e-05,8.042659e-05,8.040355e-05,8.033970e-05,8.028160e-05,8.024049e-05,8.013904e-05,8.012977e-05,8.000834e-05,7.997768e-05,7.987691e-05,7.979921e-05,7.973618e-05,7.960515e-05,7.958678e-05,7.942933e-05,7.939693e-05,7.926439e-05,7.917584e-05,7.909250e-05,7.894310e-05,7.891415e-05,7.872983e-05,7.869981e-05,7.853997e-05,7.844700e-05,7.834500e-05,7.818560e-05,7.814531e-05,7.794126e-05,7.791650e-05,7.773322e-05,7.764050e-05,7.752151e-05,7.735835e-05,7.730644e-05,7.708831e-05,7.707073e-05,7.686739e-05,7.677830e-05,7.664395e-05,7.648165e-05,7.641823e-05,7.619047e-05,7.618132e-05,7.596088e-05,7.587782e-05,7.572967e-05,7.557163e-05,7.549705e-05,7.526319e-05,7.495291e-05,7.464116e-05,7.432829e-05,7.401463e-05,7.370048e-05,7.338613e-05,7.307183e-05,7.275782e-05,7.244434e-05,7.213157e-05,7.181973e-05,7.150899e-05,7.119951e-05,7.089144e-05,7.058493e-05,7.028011e-05,6.997709e-05,6.967600e-05,6.937692e-05,6.907995e-05,6.878518e-05,6.849269e-05,6.820255e-05,6.791482e-05
0.000000e+00,1.693275e-11,3.888149e-11,1.340436e-10,3.051665e-10,4.452488e-10,1.009966e-09,1.040346e-09,2.010213e-09,2.361958e-09,3.452076e-09,4.587366e-09,5.471111e-09,7.926089e-09,8.168783e-09,1.160898e-08,1.254595e-08,1.578573e-08,1.842404e-08,2.063596e-08,2.539730e-08,2.607924e-08,3.204065e-08,3.328916e-08,3.845403e-08,4.194730e-08,4.525856e-08,5.123371e-08,5.239558e-08,5.980692e-08,6.101431e-08,6.743456e-08,7.115574e-08,7.522104e-08,8.152685e-08,8.311031e-08,9.104862e-08,9.200207e-08,9.898539e-08,1.024649e-07,1.068740e-07,1.128110e-07,1.146722e-07,1.223426e-07,1.229497e-07,1.298526e-07,1.328054e-07,1.371746e-07,1.423168e-07,1.442854e-07,1.511666e-07,1.514368e-07,1.578033e-07,1.601305e-07,1.641847e-07,1.683741e-07,1.703030e-07,1.761535e-07,1.817340e-07,1.834627e-07,1.870447e-07,1.903027e-07,1.920874e-07,1.966789e-07,1.968649e-07,2.013817e-07,2.026003e-07,2.056427e-07,2.080790e-07,2.096539e-07,2.131294e-07,2.134221e-07,2.169544e-07,2.177679e-07,2.202585e-07,2.220120e-07,2.233422e-07,2.258799e-07,2.262135e-07,2.288807e-07,2.293903e-07,2.313520e-07,2.325627e-07,2.336366e-07,2.354181e-07,2.357437e-07,2.376810e-07,2.379757e-07,2.394560e-07,2.402526e-07,2.410764e-07,2.422662e-07,2.425493e-07,2.438817e-07,2.440325e-07,2.450806e-07,2.455676e-07,2.461526e-07,2.468864e-07,2.471040e-07,2.479411e-07,2.480033e-07,2.486697e-07,2.489320e-07,2.492955e-07,2.496856e-07,2.498242e-07,2.502609e-07,2.502766e-07,2.506109e-07,2.507166e-07,2.508789e-07,2.510168e-07,2.510697e-07,2.511877e-07,2.512371e-07,2.512391e-07,2.512222e-07,2.511806e-07,2.511467e-07,2.510209e-07,2.510146e-07,2.508293e-07,2.507684e-07,2.505943e-07,2.504307e-07,2.503128e-07,2.500154e-07,2.499879e-07,2.496226e-07,2.495292e-07,2.492197e-07,2.489787e-07,2.487820e-07,2.483699e-07,2.483118e-07,2.478118e-07,2.477084e-07,2.472842e-07,2.469997e-07,2.467312e-07,2.462485e-07,2.461548e-07,2.455571e-07,2.454597e-07,2.449400e-07,2.446374e-07,2.443052e-07,2.437857e-07,2.436544e-07,2.429892e-07,2.429084e-07,2.423111e-07,2.420090e-07,2.416215e-07,2.410907e-07,2.409219e-07,2.402135e-07,2.401564e-07,2.394974e-07,2.392091e-07,2.387749e-07,2.382513e-07,2.380470e-07,2.373147e-07,2.372853e-07,2.365790e-07,2.363135e-07,2.358408e-07,2.353377e-07,2.351008e-07,2.343600e-07,2.333821e-07,2.324054e-07,2.314316e-07,2.304619e-07,2.294975e-07,2.285395e-07,2.275890e-07,2.266468e-07,2.257138e-07,2.247908e-07,2.238783e-07,2.229770e-07,2.220874e-07,2.212099e-07,2.203450e-07,2.194931e-07,2.186543e-07,2.178290e-07,2.170173e-07,2.162195e-07,2.154357e-07,2.146660e-07,2.139104e-07,2.131690e-07
0.000000e+00,3.174694e-09,1.236729e-08,9.304472e-08,3.528433e-07,6.484058e-07,2.397866e-06,2.513136e-06,7.071512e-06,9.081587e-06,1.626649e-05,2.502248e-05,3.258671e-05,5.646569e-05,5.903276e-05,9.905734e-05,1.111005e-04,1.564574e-04,1.976656e-04,2.351850e-04,3.251491e-04,3.390582e-04,4.714098e-04,5.015370e-04,6.347707e-04,7.325242e-04,8.306739e-04,1.020765e-03,1.059603e-03,1.321052e-03,1.365820e-03,1.613644e-03,1.764559e-03,1.935286e-03,2.211748e-03,2.283325e-03,2.654691e-03,2.700666e-03,3.046041e-03,3.223666e-03,3.453873e-03,3.772663e-03,3.874635e-03,4.304809e-03,4.339527e-03,4.740986e-03,4.916405e-03,5.179922e-03,5.495950e-03,5.618580e-03,6.054166e-03,6.071488e-03,6.484142e-03,6.637116e-03,6.906245e-03,7.187751e-03,7.318484e-03,7.719140e-03,8.106754e-03,8.227833e-03,8.480120e-03,8.711137e-03,8.838263e-03,9.167055e-03,9.180428e-03,9.506058e-03,9.594216e-03,9.814778e-03,9.991797e-03,1.010637e-02,1.035945e-02,1.038077e-02,1.063802e-02,1.069723e-02,1.087829e-02,1.100552e-02,1.110185e-02,1.128500e-02,1.130901e-02,1.150019e-02,1.153655e-02,1.167584e-02,1.176121e-02,1.183646e-02,1.196016e-02,1.198259e-02,1.211478e-02,1.213467e-02,1.223360e-02,1.228607e-02,1.233966e-02,1.241570e-02,1.243353e-02,1.251580e-02,1.252493e-02,1.258708e-02,1.261511e-02,1.264794e-02,1.268757e-02,1.269895e-02,1.274067e-02,1.274362e-02,1.277364e-02,1.278450e-02,1.279840e-02,1.281142e-02,1.281545e-02,1.282528e-02,1.282553e-02,1.282838e-02,1.282793e-02,1.282518e-02,1.281964e-02,1.281614e-02,1.280166e-02,1.278213e-02,1.277488e-02,1.275794e-02,1.274018e-02,1.272945e-02,1.269836e-02,1.269699e-02,1.266088e-02,1.265016e-02,1.262143e-02,1.259628e-02,1.257893e-02,1.253736e-02,1.253364e-02,1.248582e-02,1.247399e-02,1.243571e-02,1.240673e-02,1.238353e-02,1.233608e-02,1.232951e-02,1.227383e-02,1.226251e-02,1.221668e-02,1.218645e-02,1.215825e-02,1.210828e-02,1.209868e-02,1.203813e-02,1.202837e-02,1.197675e-02,1.194704e-02,1.191467e-02,1.186459e-02,1.185201e-02,1.178889e-02,1.178129e-02,1.172540e-02,1.169738e-02,1.166166e-02,1.161310e-02,1.159775e-02,1.153376e-02,1.152864e-02,1.146977e-02,1.144419e-02,1.140585e-02,1.135990e-02,1.134206e-02,1.127847e-02,1.127593e-02,1.121513e-02,1.119241e-02,1.115211e-02,1.110945e-02,1.108943e-02,1.102716e-02,1.094563e-02,1.086494e-02,1.078517e-02,1.070638e-02,1.062863e-02,1.055195e-02,1.047639e-02,1.040198e-02,1.032876e-02,1.025674e-02,1.018594e-02,1.011638e-02,1.004806e-02,9.980997e-03,9.915185e-03,9.850628e-03,9.787323e-03,9.725266e-03,9.664451e-03,9.604868e-03,9.546507e-03,9.489358e-03,9.433406e-03,9.378639e-03
0.000000e+00,4.479860e-12,1.024446e-11,3.512053e-11,7.963148e-11,1.159287e-10,2.613012e-10,2.690837e-10,5.157555e-10,6.044295e-10,8.768779e-10,1.157238e-09,1.373446e-09,1.967009e-09,2.025263e-09,2.846607e-09,3.069555e-09,3.840261e-09,4.468725e-09,4.996555e-09,6.135707e-09,6.299165e-09,7.730783e-09,8.031132e-09,9.275075e-09,1.011747e-08,1.091655e-08,1.235943e-08,1.264009e-08,1.443063e-08,1.472233e-08,1.627318e-08,1.717172e-08,1.815294e-08,1.967387e-08,2.005554e-08,2.196730e-08,2.219671e-08,2.387543e-08,2.471081e-08,2.576824e-08,2.719004e-08,2.763525e-08,2.946727e-08,2.961207e-08,3.125638e-08,3.195849e-08,3.299598e-08,3.421475e-08,3.468066e-08,3.630615e-08,3.636989e-08,3.786926e-08,3.841623e-08,3.936766e-08,4.034882e-08,4.079986e-08,4.216508e-08,4.346315e-08,4.386440e-08,4.469444e-08,4.544775e-08,4.585970e-08,4.691728e-08,4.696007e-08,4.799695e-08,4.827612e-08,4.897197e-08,4.952803e-08,4.988692e-08,5.067728e-08,5.074373e-08,5.154440e-08,5.172844e-08,5.229101e-08,5.268627e-08,5.298565e-08,5.355563e-08,5.363044e-08,5.422748e-08,5.434133e-08,5.477882e-08,5.504815e-08,5.528652e-08,5.568072e-08,5.575257e-08,5.617892e-08,5.624358e-08,5.656747e-08,5.674108e-08,5.692005e-08,5.717742e-08,5.723844e-08,5.752436e-08,5.755657e-08,5.777947e-08,5.788236e-08,5.800534e-08,5.815840e-08,5.820352e-08,5.837546e-08,5.838813e-08,5.852258e-08,5.857478e-08,5.864622e-08,5.872142e-08,5.874767e-08,5.882816e-08,5.883096e-08,5.888887e-08,5.890611e-08,5.893094e-08,5.894943e-08,5.895542e-08,5.896335e-08,5.895571e-08,5.895013e-08,5.893342e-08,5.891188e-08,5.889738e-08,5.885062e-08,5.884842e-08,5.878736e-08,5.876820e-08,5.871496e-08,5.866638e-08,5.863195e-08,5.854680e-08,5.853902e-08,5.843683e-08,5.841099e-08,5.832600e-08,5.826039e-08,5.820714e-08,5.809633e-08,5.808080e-08,5.794752e-08,5.792008e-08,5.780781e-08,5.773278e-08,5.766216e-08,5.753555e-08,5.751102e-08,5.735482e-08,5.732939e-08,5.719398e-08,5.711525e-08,5.702890e-08,5.689401e-08,5.685993e-08,5.668742e-08,5.666650e-08,5.651172e-08,5.643348e-08,5.633313e-08,5.619566e-08,5.615195e-08,5.596846e-08,5.595369e-08,5.578293e-08,5.570820e-08,5.559561e-08,5.545976e-08,5.540673e-08,5.521651e-08,5.520888e-08,5.502518e-08,5.495606e-08,5.483292e-08,5.470176e-08,5.463993e-08,5.444638e-08,5.419033e-08,5.393394e-08,5.367756e-08,5.342149e-08,5.316600e-08,5.291136e-08,5.265778e-08,5.240550e-08,5.215471e-08,5.190559e-08,5.165829e-08,5.141298e-08,5.116978e-08,5.092881e-08,5.069018e-08,5.045400e-08,5.022034e-08,4.998928e-08,4.976090e-08,4.953525e-08,4.931239e-08,4.909235e-08,4.887517e-08,4.866089e-08
0.000000e+00,1.591629e-10,4.464798e-10,1.930319e-09,4.906200e-09,7.461287e-09,1.819803e-08,1.878682e-08,3.784630e-08,4.482844e-08,6.654697e-08,8.919542e-08,1.068164e-07,1.557590e-07,1.606047e-07,2.297517e-07,2.488008e-07,3.156178e-07,3.711989e-07,4.185895e-07,5.227801e-07,5.379175e-07,6.721087e-07,7.005793e-07,8.194469e-07,9.007014e-07,9.782674e-07,1.119406e-06,1.147010e-06,1.324187e-06,1.353221e-06,1.508354e-06,1.598820e-06,1.698093e-06,1.852960e-06,1.892013e-06,2.088767e-06,2.112506e-06,2.287064e-06,2.374487e-06,2.485688e-06,2.636166e-06,2.683516e-06,2.879524e-06,2.895098e-06,3.072800e-06,3.149163e-06,3.262546e-06,3.396585e-06,3.448072e-06,3.628802e-06,3.635924e-06,3.804261e-06,3.866060e-06,3.974071e-06,4.086163e-06,4.137941e-06,4.295660e-06,4.447086e-06,4.494199e-06,4.592139e-06,4.681613e-06,4.730790e-06,4.857889e-06,4.863058e-06,4.988995e-06,5.023135e-06,5.108690e-06,5.177555e-06,5.222252e-06,5.321428e-06,5.329816e-06,5.431528e-06,5.455086e-06,5.527550e-06,5.578900e-06,5.618052e-06,5.693268e-06,5.703211e-06,5.783210e-06,5.798606e-06,5.858231e-06,5.895336e-06,5.928459e-06,5.983882e-06,5.994079e-06,6.055272e-06,6.064664e-06,6.112218e-06,6.138096e-06,6.165096e-06,6.204584e-06,6.214076e-06,6.259330e-06,6.264518e-06,6.301021e-06,6.318277e-06,6.339308e-06,6.366225e-06,6.374346e-06,6.406284e-06,6.408710e-06,6.435269e-06,6.446067e-06,6.461439e-06,6.478614e-06,6.484929e-06,6.505870e-06,6.506656e-06,6.524387e-06,6.530483e-06,6.540599e-06,6.550367e-06,6.554624e-06,6.566571e-06,6.576547e-06,6.579341e-06,6.584656e-06,6.588910e-06,6.590994e-06,6.595501e-06,6.595657e-06,6.598733e-06,6.599323e-06,6.600311e-06,6.600572e-06,6.600471e-06,6.599436e-06,6.599294e-06,6.596855e-06,6.596090e-06,6.593226e-06,6.590701e-06,6.588477e-06,6.583424e-06,6.582674e-06,6.575879e-06,6.574406e-06,6.568153e-06,6.563787e-06,6.559553e-06,6.551695e-06,6.550136e-06,6.539952e-06,6.538255e-06,6.529052e-06,6.523580e-06,6.517484e-06,6.507779e-06,6.505293e-06,6.492522e-06,6.490953e-06,6.479213e-06,6.473197e-06,6.465405e-06,6.454601e-06,6.451136e-06,6.436441e-06,6.435248e-06,6.421354e-06,6.415216e-06,6.405906e-06,6.394579e-06,6.390130e-06,6.374054e-06,6.373405e-06,6.357706e-06,6.351759e-06,6.341112e-06,6.329700e-06,6.324296e-06,6.307284e-06,6.284563e-06,6.261587e-06,6.238400e-06,6.215045e-06,6.191560e-06,6.167983e-06,6.144348e-06,6.120685e-06,6.097025e-06,6.073393e-06,6.049816e-06,6.026315e-06,6.002913e-06,5.979629e-06,5.956480e-06,5.933484e-06,5.910655e-06,5.888007e-06,5.865552e-06,5.843303e-06,5.821268e-06,5.799458e-06,5.777881e-06,5.756545e-06
0.000000e+00,4.093776e-10,1.602624e-09,1.217998e-08,4.661071e-08,8.607630e-08,3.222630e-07,3.379195e-07,9.618195e-07,1.238884e-06,2.234874e-06,3.456411e-06,4.516225e-06,7.879569e-06,8.242337e-06,1.391926e-05,1.563368e-05,2.211144e-05,2.802271e-05,3.342537e-05,4.645987e-05,4.848535e-05,6.790014e-05,7.235585e-05,9.222386e-05,1.069702e-04,1.219189e-04,1.512690e-04,1.573291e-04,1.986657e-04,2.058365e-04,2.460057e-04,2.708508e-04,2.992976e-04,3.461071e-04,3.583734e-04,4.229631e-04,4.310683e-04,4.927108e-04,5.249263e-04,5.671909e-04,6.266675e-04,6.459242e-04,7.283936e-04,7.351364e-04,8.140576e-04,8.490940e-04,9.023635e-04,9.672691e-04,9.927587e-04,1.084700e-03,1.088403e-03,1.177663e-03,1.211283e-03,1.271147e-03,1.334771e-03,1.364680e-03,1.457826e-03,1.550181e-03,1.579508e-03,1.641383e-03,1.698995e-03,1.731105e-03,1.815577e-03,1.819058e-03,1.904991e-03,1.928660e-03,1.988687e-03,2.037755e-03,2.069966e-03,2.142476e-03,2.148676e-03,2.224697e-03,2.242531e-03,2.297936e-03,2.337708e-03,2.368324e-03,2.427872e-03,2.435817e-03,2.500390e-03,2.512953e-03,2.562034e-03,2.592934e-03,2.620759e-03,2.667849e-03,2.676589e-03,2.729558e-03,2.737771e-03,2.779712e-03,2.802802e-03,2.827106e-03,2.863074e-03,2.871800e-03,2.913864e-03,2.918739e-03,2.953370e-03,2.969962e-03,2.990395e-03,3.016922e-03,3.025017e-03,3.057319e-03,3.059805e-03,3.087382e-03,3.098800e-03,3.115292e-03,3.134100e-03,3.141131e-03,3.164983e-03,3.165897e-03,3.186930e-03,3.194380e-03,3.207053e-03,3.219737e-03,3.225434e-03,3.242149e-03,3.257275e-03,3.261793e-03,3.270888e-03,3.278839e-03,3.283059e-03,3.293453e-03,3.293860e-03,3.303357e-03,3.305792e-03,3.311617e-03,3.316005e-03,3.318702e-03,3.324237e-03,3.324675e-03,3.329593e-03,3.330623e-03,3.333513e-03,3.335293e-03,3.336490e-03,3.338370e-03,3.338574e-03,3.339817e-03,3.339969e-03,3.340266e-03,3.340200e-03,3.339965e-03,3.339166e-03,3.338959e-03,3.337290e-03,3.336964e-03,3.334996e-03,3.333685e-03,3.332117e-03,3.329415e-03,3.328687e-03,3.324741e-03,3.324235e-03,3.320313e-03,3.318219e-03,3.315433e-03,3.311440e-03,3.310130e-03,3.304434e-03,3.303962e-03,3.298370e-03,3.295848e-03,3.291965e-03,3.287156e-03,3.285243e-03,3.278226e-03,3.277940e-03,3.270937e-03,3.268251e-03,3.263397e-03,3.258135e-03,3.255624e-03,3.247638e-03,3.236799e-03,3.225658e-03,3.214250e-03,3.202608e-03,3.190762e-03,3.178743e-03,3.166576e-03,3.154286e-03,3.141897e-03,3.129429e-03,3.116902e-03,3.104334e-03,3.091744e-03,3.079145e-03,3.066553e-03,3.053980e-03,3.041440e-03,3.028943e-03,3.016500e-03,3.004121e-03,2.991813e-03,2.979586e-03,2.967445e-03,2.955399e-03
0.000000e+00,1.684600e-10,4.392481e-10,1.736565e-09,4.215830e-09,6.300192e-09,1.491403e-08,1.538340e-08,3.055094e-08,3.611679e-08,5.351331e-08,7.179518e-08,8.609438e-08,1.258817e-07,1.298081e-07,1.851221e-07,2.000616e-07,2.513358e-07,2.927405e-07,3.272816e-07,4.012999e-07,4.118769e-07,5.042223e-07,5.235508e-07,6.035262e-07,6.576609e-07,7.090242e-07,8.018562e-07,8.199314e-07,9.354239e-07,9.542711e-07,1.054639e-06,1.112923e-06,1.176685e-06,1.275754e-06,1.300661e-06,1.425672e-06,1.440702e-06,1.550854e-06,1.605774e-06,1.675384e-06,1.769120e-06,1.798501e-06,1.919513e-06,1.929085e-06,2.037806e-06,2.084240e-06,2.152847e-06,2.233405e-06,2.264182e-06,2.371443e-06,2.375644e-06,2.474335e-06,2.510262e-06,2.572637e-06,2.636779e-06,2.666195e-06,2.754912e-06,2.838747e-06,2.864542e-06,2.917702e-06,2.965691e-06,2.991821e-06,3.058494e-06,3.061178e-06,3.125878e-06,3.143175e-06,3.186044e-06,3.220026e-06,3.241819e-06,3.289386e-06,3.293357e-06,3.340824e-06,3.351629e-06,3.384389e-06,3.407146e-06,3.424227e-06,3.456342e-06,3.460515e-06,3.493426e-06,3.499619e-06,3.523136e-06,3.537376e-06,3.549814e-06,3.570002e-06,3.573626e-06,3.594734e-06,3.597871e-06,3.613295e-06,3.621343e-06,3.629458e-06,3.640759e-06,3.643368e-06,3.655163e-06,3.656443e-06,3.664976e-06,3.668698e-06,3.672932e-06,3.677811e-06,3.679151e-06,3.683746e-06,3.684047e-06,3.686826e-06,3.687657e-06,3.688493e-06,3.688872e-06,3.688843e-06,3.687968e-06,3.687909e-06,3.685954e-06,3.684966e-06,3.682883e-06,3.680230e-06,3.678831e-06,3.673871e-06,3.668070e-06,3.666047e-06,3.661494e-06,3.656906e-06,3.654202e-06,3.646582e-06,3.646252e-06,3.637696e-06,3.635198e-06,3.628584e-06,3.622871e-06,3.618965e-06,3.609704e-06,3.608881e-06,3.598375e-06,3.595795e-06,3.587485e-06,3.581233e-06,3.576248e-06,3.566099e-06,3.564698e-06,3.552867e-06,3.550470e-06,3.540785e-06,3.534413e-06,3.528481e-06,3.517993e-06,3.515980e-06,3.503308e-06,3.501266e-06,3.490487e-06,3.484286e-06,3.477538e-06,3.467102e-06,3.464483e-06,3.451340e-06,3.449757e-06,3.438126e-06,3.432293e-06,3.424858e-06,3.414747e-06,3.411550e-06,3.398218e-06,3.397151e-06,3.384875e-06,3.379537e-06,3.371533e-06,3.361933e-06,3.358202e-06,3.344895e-06,3.344363e-06,3.331621e-06,3.326852e-06,3.318388e-06,3.309419e-06,3.305207e-06,3.292083e-06,3.274862e-06,3.257770e-06,3.240822e-06,3.224028e-06,3.207401e-06,3.190951e-06,3.174684e-06,3.158609e-06,3.142733e-06,3.127062e-06,3.111599e-06,3.096349e-06,3.081316e-06,3.066502e-06,3.051909e-06,3.037541e-06,3.023397e-06,3.009478e-06,2.995786e-06,2.982319e-06,2.969079e-06,2.956063e-06,2.943272e-06,2.930705e-06
0.000000e+00,3.466701e-12,7.934532e-12,2.729779e-11,6.219704e-11,9.085580e-11,2.071768e-10,2.134685e-10,4.159759e-10,4.901482e-10,7.221568e-10,9.667123e-10,1.158761e-09,1.697708e-09,1.751299e-09,2.513929e-09,2.722097e-09,3.441665e-09,4.026510e-09,4.515665e-09,5.564476e-09,5.714217e-09,7.018305e-09,7.290342e-09,8.411998e-09,9.167462e-09,9.881385e-09,1.116475e-08,1.141361e-08,1.299637e-08,1.325350e-08,1.461771e-08,1.540625e-08,1.626608e-08,1.759677e-08,1.793041e-08,1.960032e-08,1.980062e-08,2.126622e-08,2.199567e-08,2.291942e-08,2.416257e-08,2.455220e-08,2.615784e-08,2.628494e-08,2.773058e-08,2.834935e-08,2.926560e-08,3.034524e-08,3.075900e-08,3.220766e-08,3.226464e-08,3.360918e-08,3.410183e-08,3.496182e-08,3.585307e-08,3.626439e-08,3.751620e-08,3.871695e-08,3.909041e-08,3.986672e-08,4.057596e-08,4.096584e-08,4.197390e-08,4.201491e-08,4.301472e-08,4.328596e-08,4.396619e-08,4.451432e-08,4.487041e-08,4.566153e-08,4.572851e-08,4.654174e-08,4.673038e-08,4.731137e-08,4.772381e-08,4.803872e-08,4.864489e-08,4.872514e-08,4.937196e-08,4.949669e-08,4.998054e-08,5.028234e-08,5.055223e-08,5.100491e-08,5.108835e-08,5.159024e-08,5.166745e-08,5.205917e-08,5.227292e-08,5.249642e-08,5.282424e-08,5.290323e-08,5.328083e-08,5.332423e-08,5.363038e-08,5.377561e-08,5.395306e-08,5.418102e-08,5.424999e-08,5.452224e-08,5.454299e-08,5.477089e-08,5.486397e-08,5.499696e-08,5.514630e-08,5.520143e-08,5.538528e-08,5.539222e-08,5.554944e-08,5.560388e-08,5.569479e-08,5.578334e-08,5.582222e-08,5.593255e-08,5.602660e-08,5.605338e-08,5.610514e-08,5.614762e-08,5.616894e-08,5.621697e-08,5.621870e-08,5.625512e-08,5.626302e-08,5.627889e-08,5.628733e-08,5.629063e-08,5.629135e-08,5.629098e-08,5.628052e-08,5.627647e-08,5.625984e-08,5.624399e-08,5.622947e-08,5.619517e-08,5.618996e-08,5.614180e-08,5.613117e-08,5.608548e-08,5.605313e-08,5.602148e-08,5.596210e-08,5.595023e-08,5.587217e-08,5.585907e-08,5.578770e-08,5.574500e-08,5.569723e-08,5.562078e-08,5.560112e-08,5.549975e-08,5.548725e-08,5.539345e-08,5.534520e-08,5.528255e-08,5.519540e-08,5.516738e-08,5.504824e-08,5.503854e-08,5.492540e-08,5.487530e-08,5.479916e-08,5.470630e-08,5.466977e-08,5.453748e-08,5.453213e-08,5.440254e-08,5.435335e-08,5.426517e-08,5.417049e-08,5.412559e-08,5.398402e-08,5.379442e-08,5.360210e-08,5.340749e-08,5.321095e-08,5.301284e-08,5.281350e-08,5.261322e-08,5.241231e-08,5.221102e-08,5.200960e-08,5.180830e-08,5.160733e-08,5.140689e-08,5.120715e-08,5.100831e-08,5.081051e-08,5.061390e-08,5.041862e-08,5.022479e-08,5.003252e-08,4.984192e-08,4.965308e-08,4.946609e-08,4.928102e-08
0.000000e+00,6.362724e-09,2.491229e-08,1.894130e-07,7.252868e-07,1.340005e-06,5.025780e-06,5.270442e-06,1.504593e-05,1.940079e-05,3.511253e-05,5.448571e-05,7.137320e-05,1.253708e-04,1.312270e-04,2.235196e-04,2.515919e-04,3.582660e-04,4.562076e-04,5.460305e-04,7.632902e-04,7.970733e-04,1.120558e-03,1.194643e-03,1.524014e-03,1.767361e-03,2.013061e-03,2.492711e-03,2.591318e-03,3.260435e-03,3.375935e-03,4.020182e-03,4.416537e-03,4.868593e-03,5.608826e-03,5.802124e-03,6.815840e-03,6.942595e-03,7.903611e-03,8.403887e-03,9.058317e-03,9.975820e-03,1.027205e-02,1.153635e-02,1.163941e-02,1.284233e-02,1.337438e-02,1.418097e-02,1.515992e-02,1.554320e-02,1.692010e-02,1.697536e-02,1.830302e-02,1.880074e-02,1.968370e-02,2.061730e-02,2.105437e-02,2.240779e-02,2.373735e-02,2.415677e-02,2.503707e-02,2.585075e-02,2.630164e-02,2.747823e-02,2.752640e-02,2.870736e-02,2.902971e-02,2.984117e-02,3.049765e-02,3.092508e-02,3.187633e-02,3.195692e-02,3.293509e-02,3.316173e-02,3.385848e-02,3.435138e-02,3.472642e-02,3.544417e-02,3.553871e-02,3.629548e-02,3.644021e-02,3.699723e-02,3.734064e-02,3.764472e-02,3.814745e-02,3.823901e-02,3.878135e-02,3.886340e-02,3.927317e-02,3.949177e-02,3.971608e-02,4.003633e-02,4.011178e-02,4.046210e-02,4.050118e-02,4.076893e-02,4.089065e-02,4.103419e-02,4.120921e-02,4.125986e-02,4.144793e-02,4.146142e-02,4.160038e-02,4.165183e-02,4.171918e-02,4.178498e-02,4.180628e-02,4.186358e-02,4.186528e-02,4.189296e-02,4.189705e-02,4.189623e-02,4.188444e-02,4.187515e-02,4.183145e-02,4.176675e-02,4.174187e-02,4.168264e-02,4.161932e-02,4.158062e-02,4.146720e-02,4.146216e-02,4.132862e-02,4.128871e-02,4.118131e-02,4.108684e-02,4.102149e-02,4.086440e-02,4.085032e-02,4.066892e-02,4.062398e-02,4.047834e-02,4.036797e-02,4.027957e-02,4.009862e-02,4.007355e-02,3.986114e-02,3.981796e-02,3.964317e-02,3.952788e-02,3.942039e-02,3.923008e-02,3.919354e-02,3.896326e-02,3.892614e-02,3.873018e-02,3.861748e-02,3.849488e-02,3.830540e-02,3.825789e-02,3.801970e-02,3.799106e-02,3.778077e-02,3.767552e-02,3.754152e-02,3.735972e-02,3.730234e-02,3.706358e-02,3.704450e-02,3.682556e-02,3.673064e-02,3.658860e-02,3.641878e-02,3.635295e-02,3.611886e-02,3.610954e-02,3.588656e-02,3.580341e-02,3.565625e-02,3.550087e-02,3.542811e-02,3.520231e-02,3.490805e-02,3.461841e-02,3.433362e-02,3.405389e-02,3.377939e-02,3.351024e-02,3.324656e-02,3.298843e-02,3.273588e-02,3.248896e-02,3.224768e-02,3.201203e-02,3.178198e-02,3.155751e-02,3.133857e-02,3.112510e-02,3.091703e-02,3.071430e-02,3.051682e-02,3.032451e-02,3.013727e-02,2.995502e-02,2.977765e-02,2.960507e-02
0.000000e+00,1.471649e-10,5.153671e-10,3.139416e-09,9.932694e-09,1.659865e-08,4.870759e-08,5.059230e-08,1.154636e-07,1.405331e-07,2.212369e-07,3.084225e-07,3.777359e-07,5.749020e-07,5.947102e-07,8.813908e-07,9.614361e-07,1.244876e-06,1.483069e-06,1.687325e-06,2.138105e-06,2.203613e-06,2.781865e-06,2.903618e-06,3.406726e-06,3.744907e-06,4.062831e-06,4.628206e-06,4.736747e-06,5.417423e-06,5.526333e-06,6.095873e-06,6.418530e-06,6.764748e-06,7.288821e-06,7.417952e-06,8.050430e-06,8.124729e-06,8.658034e-06,8.916618e-06,9.237454e-06,9.657388e-06,9.786174e-06,1.030242e-05,1.034228e-05,1.078511e-05,1.096867e-05,1.123377e-05,1.153574e-05,1.164845e-05,1.202968e-05,1.204425e-05,1.237833e-05,1.249609e-05,1.269559e-05,1.289409e-05,1.298284e-05,1.324162e-05,1.347357e-05,1.354241e-05,1.368038e-05,1.380032e-05,1.386373e-05,1.401923e-05,1.402529e-05,1.416668e-05,1.420287e-05,1.428946e-05,1.435482e-05,1.439511e-05,1.447838e-05,1.448502e-05,1.456051e-05,1.457662e-05,1.462279e-05,1.465232e-05,1.467299e-05,1.470802e-05,1.471217e-05,1.474129e-05,1.474599e-05,1.476123e-05,1.476825e-05,1.477281e-05,1.477663e-05,1.477678e-05,1.477381e-05,1.477273e-05,1.476453e-05,1.475800e-05,1.474951e-05,1.473371e-05,1.472926e-05,1.470427e-05,1.470098e-05,1.467497e-05,1.466081e-05,1.464174e-05,1.461410e-05,1.460496e-05,1.456496e-05,1.456163e-05,1.452204e-05,1.450411e-05,1.447646e-05,1.444215e-05,1.442850e-05,1.437836e-05,1.437632e-05,1.432628e-05,1.430709e-05,1.427244e-05,1.423492e-05,1.421702e-05,1.416019e-05,1.410210e-05,1.408327e-05,1.404290e-05,1.400447e-05,1.398269e-05,1.392408e-05,1.392162e-05,1.385978e-05,1.384234e-05,1.379727e-05,1.375949e-05,1.373420e-05,1.367575e-05,1.367065e-05,1.360670e-05,1.359130e-05,1.354241e-05,1.350630e-05,1.347787e-05,1.342091e-05,1.341314e-05,1.334827e-05,1.333528e-05,1.328331e-05,1.324952e-05,1.321833e-05,1.316375e-05,1.315336e-05,1.308845e-05,1.307807e-05,1.302364e-05,1.299257e-05,1.295896e-05,1.290735e-05,1.289446e-05,1.283017e-05,1.282247e-05,1.276611e-05,1.273800e-05,1.270231e-05,1.265402e-05,1.263880e-05,1.257560e-05,1.257056e-05,1.251273e-05,1.248769e-05,1.245022e-05,1.240544e-05,1.238808e-05,1.232633e-05,1.232387e-05,1.226498e-05,1.224300e-05,1.220405e-05,1.216287e-05,1.214356e-05,1.208351e-05,1.200494e-05,1.192719e-05,1.185027e-05,1.177421e-05,1.169901e-05,1.162470e-05,1.155128e-05,1.147876e-05,1.140714e-05,1.133644e-05,1.126666e-05,1.119779e-05,1.112985e-05,1.106283e-05,1.099673e-05,1.093155e-05,1.086728e-05,1.080393e-05,1.074149e-05,1.067995e-05,1.061931e-05,1.055956e-05,1.050070e-05,1.044272e-05
0.000000e+00,1.009806e-09,3.922156e-09,2.932611e-08,1.105703e-07,2.025302e-07,7.423936e-07,7.777903e-07,2.167599e-06,2.775967e-06,4.935420e-06,7.543308e-06,9.780245e-06,1.676956e-05,1.751557e-05,2.904537e-05,3.248369e-05,4.533675e-05,5.691107e-05,6.738570e-05,9.233071e-05,9.617176e-05,1.326022e-04,1.408769e-04,1.774553e-04,2.043162e-04,2.313364e-04,2.838771e-04,2.946524e-04,3.676033e-04,3.801722e-04,4.501875e-04,4.932002e-04,5.422134e-04,6.223934e-04,6.433178e-04,7.529851e-04,7.666912e-04,8.705700e-04,9.246249e-04,9.953195e-04,1.094408e-03,1.126396e-03,1.262902e-03,1.274029e-03,1.403898e-03,1.461340e-03,1.548428e-03,1.654140e-03,1.695535e-03,1.844278e-03,1.850249e-03,1.993751e-03,2.047572e-03,2.143089e-03,2.244147e-03,2.291484e-03,2.438187e-03,2.582517e-03,2.628100e-03,2.723864e-03,2.812507e-03,2.861687e-03,2.990246e-03,2.995517e-03,3.124957e-03,3.160367e-03,3.249675e-03,3.322126e-03,3.369404e-03,3.474969e-03,3.483936e-03,3.593120e-03,3.618516e-03,3.696855e-03,3.752544e-03,3.795086e-03,3.876965e-03,3.887800e-03,3.975020e-03,3.991810e-03,4.056803e-03,4.097208e-03,4.133232e-03,4.193373e-03,4.204415e-03,4.270478e-03,4.280582e-03,4.331566e-03,4.359167e-03,4.387837e-03,4.429497e-03,4.439458e-03,4.486605e-03,4.491971e-03,4.529459e-03,4.547003e-03,4.568206e-03,4.595022e-03,4.603033e-03,4.634126e-03,4.636458e-03,4.661673e-03,4.671739e-03,4.685856e-03,4.701288e-03,4.706858e-03,4.724854e-03,4.725514e-03,4.740019e-03,4.744817e-03,4.752518e-03,4.759579e-03,4.762515e-03,4.770166e-03,4.775621e-03,4.776926e-03,4.779024e-03,4.780190e-03,4.780514e-03,4.780267e-03,4.780223e-03,4.778276e-03,4.777451e-03,4.774794e-03,4.772015e-03,4.769890e-03,4.764215e-03,4.763672e-03,4.756242e-03,4.754290e-03,4.747698e-03,4.742460e-03,4.738130e-03,4.728932e-03,4.727624e-03,4.716263e-03,4.713895e-03,4.704122e-03,4.697524e-03,4.691273e-03,4.679982e-03,4.677784e-03,4.663718e-03,4.661418e-03,4.649135e-03,4.641968e-03,4.634090e-03,4.621757e-03,4.618636e-03,4.602820e-03,4.600901e-03,4.586690e-03,4.579503e-03,4.570286e-03,4.557660e-03,4.553648e-03,4.536814e-03,4.535460e-03,4.519817e-03,4.512980e-03,4.502690e-03,4.490294e-03,4.485461e-03,4.468159e-03,4.467466e-03,4.450809e-03,4.444556e-03,4.433434e-03,4.421616e-03,4.416056e-03,4.398695e-03,4.375837e-03,4.353079e-03,4.330457e-03,4.308001e-03,4.285740e-03,4.263696e-03,4.241893e-03,4.220348e-03,4.199078e-03,4.178097e-03,4.157418e-03,4.137050e-03,4.117004e-03,4.097285e-03,4.077900e-03,4.058854e-03,4.040150e-03,4.021790e-03,4.003777e-03,3.986111e-03,3.968792e-03,3.951819e-03,3.935191e-03,3.918907e-03
0.000000e+00,2.264436e-10,5.541328e-10,2.041559e-09,4.786821e-09,7.055505e-09,1.624562e-08,1.674019e-08,3.247430e-08,3.814528e-08,5.558327e-08,7.352715e-08,8.735742e-08,1.253013e-07,1.290256e-07,1.816480e-07,1.959937e-07,2.458865e-07,2.869487e-07,3.216776e-07,3.971548e-07,4.080192e-07,5.031474e-07,5.230466e-07,6.050113e-07,6.599887e-07,7.116722e-07,8.037405e-07,8.214541e-07,9.329368e-07,9.508485e-07,1.044910e-06,1.098519e-06,1.156330e-06,1.244460e-06,1.266298e-06,1.374043e-06,1.386791e-06,1.478915e-06,1.524007e-06,1.580379e-06,1.654944e-06,1.678005e-06,1.771464e-06,1.778753e-06,1.860514e-06,1.894861e-06,1.944993e-06,2.002933e-06,2.024808e-06,2.099925e-06,2.102832e-06,2.170356e-06,2.194575e-06,2.236159e-06,2.278303e-06,2.297419e-06,2.354250e-06,2.406786e-06,2.422713e-06,2.455172e-06,2.484035e-06,2.499568e-06,2.538586e-06,2.540137e-06,2.577049e-06,2.586752e-06,2.610473e-06,2.628924e-06,2.640579e-06,2.665490e-06,2.667535e-06,2.691505e-06,2.696832e-06,2.712651e-06,2.723318e-06,2.731130e-06,2.745307e-06,2.747094e-06,2.760690e-06,2.763137e-06,2.772058e-06,2.777135e-06,2.781335e-06,2.787606e-06,2.788650e-06,2.794128e-06,2.794842e-06,2.797888e-06,2.799116e-06,2.800043e-06,2.800684e-06,2.800701e-06,2.799966e-06,2.799789e-06,2.797935e-06,2.796655e-06,2.794701e-06,2.791493e-06,2.790353e-06,2.784972e-06,2.784499e-06,2.778638e-06,2.775854e-06,2.771424e-06,2.765726e-06,2.763402e-06,2.754638e-06,2.754273e-06,2.745194e-06,2.741640e-06,2.735131e-06,2.727962e-06,2.724503e-06,2.713363e-06,2.701761e-06,2.697959e-06,2.689743e-06,2.681854e-06,2.677353e-06,2.665147e-06,2.664632e-06,2.651619e-06,2.647928e-06,2.638349e-06,2.630278e-06,2.624857e-06,2.612274e-06,2.611174e-06,2.597329e-06,2.593986e-06,2.583351e-06,2.575475e-06,2.569266e-06,2.556801e-06,2.555097e-06,2.540867e-06,2.538016e-06,2.526597e-06,2.519167e-06,2.512306e-06,2.500298e-06,2.498012e-06,2.483732e-06,2.481450e-06,2.469482e-06,2.462656e-06,2.455275e-06,2.443950e-06,2.441125e-06,2.427045e-06,2.425360e-06,2.413044e-06,2.406912e-06,2.399135e-06,2.388630e-06,2.385325e-06,2.371624e-06,2.370533e-06,2.358039e-06,2.352640e-06,2.344578e-06,2.334966e-06,2.331247e-06,2.318051e-06,2.317526e-06,2.304997e-06,2.300332e-06,2.292088e-06,2.283395e-06,2.279328e-06,2.266722e-06,2.250321e-06,2.234200e-06,2.218362e-06,2.202811e-06,2.187551e-06,2.172583e-06,2.157908e-06,2.143528e-06,2.129441e-06,2.115648e-06,2.102146e-06,2.088933e-06,2.076009e-06,2.063369e-06,2.051011e-06,2.038932e-06,2.027128e-06,2.015595e-06,2.004330e-06,1.993328e-06,1.982584e-06,1.972095e-06,1.961856e-06,1.951862e-06
0.000000e+00,1.628026e-11,3.732648e-11,1.285884e-10,2.928352e-10,4.273682e-10,9.698523e-10,9.990298e-10,1.929418e-09,2.266175e-09,3.307241e-09,4.387515e-09,5.226342e-09,7.554555e-09,7.785132e-09,1.108046e-08,1.199050e-08,1.519246e-08,1.786887e-08,2.016006e-08,2.522121e-08,2.595842e-08,3.249837e-08,3.388442e-08,3.965257e-08,4.357081e-08,4.728766e-08,5.398432e-08,5.528347e-08,6.353775e-08,6.487648e-08,7.196443e-08,7.604851e-08,8.049008e-08,8.733884e-08,8.905110e-08,9.759188e-08,9.861303e-08,1.060637e-07,1.097583e-07,1.144240e-07,1.206804e-07,1.226360e-07,1.306686e-07,1.313027e-07,1.384957e-07,1.415640e-07,1.460958e-07,1.514178e-07,1.534522e-07,1.605519e-07,1.608304e-07,1.673853e-07,1.697789e-07,1.739464e-07,1.782503e-07,1.802313e-07,1.862389e-07,1.919699e-07,1.937457e-07,1.974266e-07,2.007766e-07,2.026128e-07,2.073414e-07,2.075332e-07,2.121936e-07,2.134527e-07,2.166003e-07,2.191255e-07,2.207604e-07,2.243761e-07,2.246811e-07,2.283701e-07,2.292219e-07,2.318352e-07,2.336808e-07,2.350843e-07,2.377711e-07,2.381254e-07,2.409663e-07,2.415112e-07,2.436150e-07,2.449190e-07,2.460793e-07,2.480123e-07,2.483668e-07,2.504849e-07,2.508086e-07,2.524412e-07,2.533247e-07,2.542426e-07,2.555769e-07,2.558961e-07,2.574086e-07,2.575810e-07,2.587866e-07,2.593520e-07,2.600365e-07,2.609045e-07,2.611644e-07,2.621762e-07,2.622523e-07,2.630777e-07,2.634087e-07,2.638745e-07,2.643863e-07,2.645718e-07,2.651748e-07,2.651971e-07,2.656885e-07,2.658525e-07,2.661176e-07,2.663634e-07,2.664667e-07,2.667401e-07,2.669421e-07,2.669923e-07,2.670767e-07,2.671293e-07,2.671478e-07,2.671597e-07,2.671590e-07,2.671140e-07,2.670918e-07,2.670162e-07,2.669335e-07,2.668687e-07,2.666920e-07,2.666748e-07,2.664373e-07,2.663742e-07,2.661592e-07,2.659867e-07,2.658431e-07,2.655356e-07,2.654917e-07,2.651073e-07,2.650267e-07,2.646924e-07,2.644654e-07,2.642493e-07,2.638567e-07,2.637799e-07,2.632865e-07,2.632054e-07,2.627709e-07,2.625161e-07,2.622349e-07,2.617927e-07,2.616804e-07,2.611090e-07,2.610394e-07,2.605223e-07,2.602596e-07,2.599217e-07,2.594569e-07,2.593088e-07,2.586848e-07,2.586344e-07,2.580510e-07,2.577951e-07,2.574087e-07,2.569416e-07,2.567590e-07,2.561030e-07,2.560766e-07,2.554417e-07,2.552025e-07,2.547760e-07,2.543214e-07,2.541070e-07,2.534354e-07,2.525463e-07,2.516560e-07,2.507660e-07,2.498778e-07,2.489927e-07,2.481119e-07,2.472367e-07,2.463681e-07,2.455069e-07,2.446540e-07,2.438103e-07,2.429763e-07,2.421527e-07,2.413401e-07,2.405389e-07,2.397496e-07,2.389726e-07,2.382081e-07,2.374564e-07,2.367179e-07,2.359926e-07,2.352807e-07,2.345823e-07,2.338976e-07
0.000000e+00,7.963343e-10,3.108990e-09,2.349514e-08,8.945116e-08,1.647274e-07,6.123336e-07,6.418982e-07,1.814523e-06,2.332979e-06,4.189892e-06,6.457669e-06,8.419410e-06,1.462176e-05,1.528914e-05,2.570464e-05,2.884155e-05,4.066532e-05,5.141928e-05,6.121964e-05,8.475418e-05,8.839740e-05,1.231324e-04,1.310578e-04,1.661989e-04,1.920857e-04,2.181731e-04,2.689883e-04,2.794197e-04,3.500939e-04,3.622764e-04,4.301528e-04,4.718552e-04,5.193725e-04,5.970902e-04,6.173681e-04,7.236152e-04,7.368900e-04,8.374732e-04,8.897955e-04,9.582080e-04,1.054073e-03,1.085015e-03,1.217042e-03,1.227803e-03,1.353407e-03,1.408968e-03,1.493221e-03,1.595528e-03,1.635603e-03,1.779696e-03,1.785483e-03,1.924675e-03,1.976933e-03,2.069763e-03,2.168112e-03,2.214234e-03,2.357420e-03,2.498716e-03,2.543441e-03,2.637578e-03,2.724948e-03,2.773526e-03,2.900906e-03,2.906142e-03,3.035068e-03,3.070465e-03,3.160006e-03,3.232949e-03,3.280708e-03,3.387845e-03,3.396980e-03,3.508671e-03,3.534783e-03,3.615675e-03,3.673523e-03,3.717923e-03,3.803938e-03,3.815380e-03,3.908041e-03,3.926000e-03,3.995930e-03,4.039760e-03,4.079091e-03,4.145339e-03,4.157588e-03,4.231505e-03,4.242913e-03,4.300938e-03,4.332704e-03,4.365994e-03,4.414967e-03,4.426791e-03,4.483455e-03,4.489983e-03,4.536115e-03,4.558052e-03,4.584908e-03,4.619488e-03,4.629970e-03,4.671442e-03,4.674608e-03,4.709463e-03,4.723737e-03,4.744174e-03,4.767195e-03,4.775714e-03,4.804220e-03,4.805299e-03,4.829828e-03,4.838362e-03,4.852669e-03,4.866687e-03,4.872874e-03,4.890569e-03,4.905878e-03,4.910292e-03,4.918919e-03,4.926129e-03,4.929808e-03,4.938342e-03,4.938658e-03,4.945576e-03,4.947181e-03,4.950666e-03,4.952884e-03,4.954028e-03,4.955679e-03,4.955760e-03,4.955952e-03,4.955779e-03,4.954694e-03,4.953389e-03,4.952072e-03,4.948700e-03,4.948166e-03,4.943054e-03,4.941894e-03,4.936812e-03,4.933143e-03,4.929510e-03,4.922608e-03,4.921217e-03,4.911997e-03,4.910440e-03,4.901912e-03,4.896782e-03,4.891022e-03,4.881767e-03,4.879381e-03,4.867044e-03,4.865520e-03,4.854062e-03,4.848158e-03,4.840483e-03,4.829792e-03,4.826353e-03,4.811716e-03,4.810524e-03,4.796613e-03,4.790450e-03,4.781083e-03,4.769658e-03,4.765164e-03,4.748891e-03,4.748233e-03,4.732298e-03,4.726253e-03,4.715417e-03,4.703788e-03,4.698277e-03,4.680907e-03,4.657672e-03,4.634141e-03,4.610368e-03,4.586402e-03,4.562290e-03,4.538074e-03,4.513794e-03,4.489486e-03,4.465183e-03,4.440916e-03,4.416714e-03,4.392602e-03,4.368603e-03,4.344740e-03,4.321032e-03,4.297497e-03,4.274152e-03,4.251010e-03,4.228085e-03,4.205389e-03,4.182932e-03,4.160724e-03,4.138773e-03,4.117087e-03
0.000000e+00,3.370639e-10,8.683175e-10,3.389319e-09,8.184994e-09,1.221212e-08,2.885912e-08,2.976690e-08,5.915359e-08,6.996401e-08,1.038552e-07,1.396688e-07,1.678584e-07,2.473989e-07,2.553517e-07,3.695642e-07,4.010839e-07,5.110262e-07,6.012383e-07,6.770425e-07,8.399485e-07,8.631998e-07,1.065114e-06,1.107051e-06,1.279116e-06,1.394165e-06,1.502228e-06,1.694837e-06,1.731940e-06,1.966038e-06,2.003763e-06,2.202499e-06,2.316286e-06,2.439453e-06,2.628199e-06,2.675164e-06,2.908044e-06,2.935730e-06,3.136665e-06,3.235577e-06,3.359765e-06,3.524958e-06,3.576264e-06,3.785255e-06,3.801627e-06,3.986006e-06,4.063867e-06,4.177950e-06,4.310459e-06,4.360675e-06,4.533914e-06,4.540644e-06,4.697522e-06,4.754050e-06,4.851443e-06,4.950594e-06,4.995721e-06,5.130481e-06,5.255904e-06,5.294105e-06,5.372225e-06,5.442018e-06,5.479717e-06,5.574881e-06,5.578679e-06,5.669435e-06,5.693421e-06,5.752320e-06,5.798417e-06,5.827681e-06,5.890668e-06,5.895867e-06,5.957225e-06,5.970974e-06,6.012102e-06,6.040128e-06,6.060836e-06,6.098905e-06,6.103760e-06,6.141197e-06,6.148054e-06,6.173459e-06,6.188291e-06,6.200847e-06,6.220300e-06,6.223653e-06,6.242154e-06,6.244732e-06,6.256617e-06,6.262201e-06,6.267298e-06,6.273284e-06,6.274440e-06,6.278275e-06,6.278524e-06,6.279023e-06,6.278429e-06,6.276894e-06,6.273475e-06,6.272087e-06,6.264791e-06,6.264105e-06,6.255184e-06,6.250733e-06,6.243437e-06,6.233743e-06,6.229708e-06,6.214149e-06,6.213491e-06,6.196904e-06,6.190310e-06,6.178108e-06,6.164506e-06,6.157887e-06,6.136363e-06,6.113648e-06,6.106145e-06,6.089849e-06,6.074095e-06,6.065066e-06,6.040436e-06,6.039393e-06,6.012920e-06,6.005376e-06,5.985730e-06,5.969104e-06,5.957900e-06,5.931796e-06,5.929505e-06,5.900613e-06,5.893612e-06,5.871288e-06,5.854700e-06,5.841592e-06,5.815196e-06,5.811580e-06,5.781305e-06,5.775223e-06,5.750818e-06,5.734895e-06,5.720163e-06,5.694315e-06,5.689384e-06,5.658520e-06,5.653577e-06,5.627610e-06,5.612767e-06,5.596688e-06,5.571963e-06,5.565785e-06,5.534933e-06,5.531235e-06,5.504157e-06,5.490648e-06,5.473485e-06,5.450258e-06,5.442940e-06,5.412543e-06,5.410119e-06,5.382316e-06,5.370276e-06,5.352275e-06,5.330771e-06,5.322438e-06,5.292821e-06,5.291641e-06,5.263438e-06,5.252920e-06,5.234302e-06,5.214636e-06,5.205424e-06,5.176815e-06,5.139479e-06,5.102648e-06,5.066338e-06,5.030563e-06,4.995335e-06,4.960664e-06,4.926558e-06,4.893022e-06,4.860060e-06,4.827677e-06,4.795873e-06,4.764648e-06,4.734002e-06,4.703934e-06,4.674440e-06,4.645517e-06,4.617162e-06,4.589368e-06,4.562132e-06,4.535447e-06,4.509307e-06,4.483705e-06,4.458634e-06,4.434087e-06
0.000000e+00,9.415861e-11,3.475660e-10,2.341964e-09,8.052931e-09,1.404443e-08,4.566814e-08,4.762497e-08,1.194761e-07,1.491125e-07,2.498735e-07,3.660589e-07,4.625778e-07,7.498313e-07,7.793170e-07,1.208305e-06,1.327098e-06,1.738591e-06,2.071112e-06,2.346245e-06,2.923272e-06,3.003996e-06,3.687452e-06,3.825435e-06,4.377275e-06,4.733534e-06,5.059016e-06,5.617630e-06,5.722134e-06,6.358990e-06,6.458059e-06,6.964117e-06,7.242145e-06,7.533748e-06,7.962273e-06,8.065532e-06,8.558339e-06,8.614843e-06,9.012092e-06,9.199551e-06,9.427597e-06,9.718709e-06,9.806366e-06,1.015044e-05,1.017653e-05,1.046220e-05,1.057844e-05,1.074425e-05,1.093042e-05,1.099924e-05,1.122977e-05,1.123852e-05,1.143836e-05,1.150854e-05,1.162734e-05,1.174574e-05,1.179884e-05,1.195478e-05,1.209687e-05,1.213967e-05,1.222663e-05,1.230381e-05,1.234536e-05,1.245005e-05,1.245423e-05,1.255420e-05,1.258072e-05,1.264615e-05,1.269779e-05,1.273082e-05,1.280284e-05,1.280885e-05,1.288080e-05,1.289722e-05,1.294715e-05,1.298202e-05,1.300833e-05,1.305819e-05,1.306471e-05,1.311663e-05,1.312651e-05,1.316438e-05,1.318766e-05,1.320823e-05,1.324222e-05,1.324841e-05,1.328514e-05,1.329070e-05,1.331861e-05,1.333357e-05,1.334901e-05,1.337123e-05,1.337650e-05,1.340124e-05,1.340403e-05,1.342336e-05,1.343230e-05,1.344301e-05,1.345636e-05,1.346030e-05,1.347534e-05,1.347646e-05,1.348826e-05,1.349285e-05,1.349915e-05,1.350578e-05,1.350810e-05,1.351521e-05,1.351546e-05,1.352056e-05,1.352208e-05,1.352424e-05,1.352583e-05,1.352632e-05,1.352688e-05,1.352597e-05,1.352539e-05,1.352368e-05,1.352152e-05,1.352006e-05,1.351540e-05,1.351518e-05,1.350909e-05,1.350717e-05,1.350184e-05,1.349696e-05,1.349349e-05,1.348487e-05,1.348408e-05,1.347368e-05,1.347103e-05,1.346231e-05,1.345554e-05,1.345002e-05,1.343849e-05,1.343686e-05,1.342287e-05,1.341998e-05,1.340808e-05,1.340009e-05,1.339254e-05,1.337892e-05,1.337627e-05,1.335931e-05,1.335653e-05,1.334169e-05,1.333301e-05,1.332345e-05,1.330842e-05,1.330461e-05,1.328520e-05,1.328284e-05,1.326526e-05,1.325631e-05,1.324480e-05,1.322892e-05,1.322385e-05,1.320244e-05,1.320071e-05,1.318059e-05,1.317173e-05,1.315832e-05,1.314205e-05,1.313566e-05,1.311263e-05,1.311170e-05,1.308924e-05,1.308074e-05,1.306552e-05,1.304921e-05,1.304149e-05,1.301715e-05,1.298461e-05,1.295161e-05,1.291821e-05,1.288443e-05,1.285030e-05,1.281586e-05,1.278114e-05,1.274616e-05,1.271096e-05,1.267555e-05,1.263997e-05,1.260423e-05,1.256837e-05,1.253239e-05,1.249633e-05,1.246020e-05,1.242401e-05,1.238779e-05,1.235156e-05,1.231532e-05,1.227910e-05,1.224290e-05,1.220675e-05,1.217065e-05
0.000000e+00,3.496703e-11,8.139917e-11,2.847447e-10,6.535311e-10,9.574222e-10,2.198271e-09,2.265713e-09,4.454033e-09,5.263950e-09,7.824950e-09,1.056622e-08,1.274553e-08,1.896107e-08,1.958551e-08,2.854567e-08,3.100475e-08,3.950416e-08,4.638202e-08,5.209859e-08,6.421962e-08,6.593401e-08,8.069168e-08,8.373185e-08,9.613437e-08,1.043736e-07,1.120809e-07,1.257564e-07,1.283831e-07,1.449114e-07,1.475689e-07,1.615472e-07,1.695379e-07,1.781802e-07,1.914151e-07,1.947074e-07,2.110341e-07,2.129756e-07,2.270744e-07,2.340214e-07,2.427523e-07,2.543842e-07,2.580020e-07,2.727688e-07,2.739279e-07,2.870089e-07,2.925496e-07,3.006889e-07,3.101781e-07,3.137848e-07,3.262793e-07,3.267665e-07,3.381643e-07,3.422931e-07,3.494377e-07,3.567561e-07,3.601035e-07,3.701703e-07,3.796505e-07,3.825627e-07,3.885595e-07,3.939695e-07,3.969149e-07,4.044334e-07,4.047362e-07,4.120441e-07,4.140012e-07,4.188599e-07,4.227222e-07,4.252053e-07,4.306465e-07,4.311023e-07,4.365726e-07,4.378243e-07,4.416375e-07,4.443046e-07,4.463180e-07,4.501350e-07,4.506344e-07,4.546063e-07,4.553610e-07,4.582526e-07,4.600260e-07,4.615914e-07,4.641711e-07,4.646401e-07,4.674153e-07,4.678350e-07,4.699326e-07,4.710538e-07,4.722071e-07,4.738615e-07,4.742530e-07,4.760837e-07,4.762896e-07,4.777120e-07,4.783675e-07,4.791500e-07,4.801226e-07,4.804090e-07,4.814999e-07,4.815802e-07,4.824327e-07,4.827638e-07,4.832172e-07,4.836952e-07,4.838623e-07,4.843766e-07,4.843946e-07,4.847682e-07,4.848806e-07,4.850446e-07,4.851705e-07,4.852130e-07,4.852803e-07,4.852526e-07,4.852247e-07,4.851361e-07,4.850175e-07,4.849364e-07,4.846713e-07,4.846588e-07,4.843083e-07,4.841978e-07,4.838898e-07,4.836078e-07,4.834075e-07,4.829113e-07,4.828659e-07,4.822688e-07,4.821176e-07,4.816199e-07,4.812353e-07,4.809229e-07,4.802722e-07,4.801810e-07,4.793973e-07,4.792359e-07,4.785750e-07,4.781329e-07,4.777166e-07,4.769698e-07,4.768250e-07,4.759025e-07,4.757522e-07,4.749515e-07,4.744855e-07,4.739742e-07,4.731749e-07,4.729728e-07,4.719492e-07,4.718249e-07,4.709052e-07,4.704399e-07,4.698426e-07,4.690237e-07,4.687632e-07,4.676684e-07,4.675802e-07,4.665597e-07,4.661127e-07,4.654385e-07,4.646244e-07,4.643063e-07,4.631641e-07,4.631182e-07,4.620132e-07,4.615969e-07,4.608546e-07,4.600630e-07,4.596896e-07,4.585189e-07,4.569667e-07,4.554084e-07,4.538460e-07,4.522810e-07,4.507152e-07,4.491499e-07,4.475867e-07,4.460267e-07,4.444710e-07,4.429209e-07,4.413772e-07,4.398409e-07,4.383129e-07,4.367939e-07,4.352846e-07,4.337858e-07,4.322978e-07,4.308215e-07,4.293572e-07,4.279053e-07,4.264664e-07,4.250407e-07,4.236287e-07,4.222306e-07
0.000000e+00,2.503229e-10,6.422562e-10,2.500540e-09,6.047604e-09,9.040843e-09,2.154998e-08,2.223808e-08,4.480761e-08,5.323685e-08,7.998522e-08,1.085435e-07,1.310291e-07,1.934780e-07,1.996024e-07,2.849201e-07,3.076810e-07,3.851218e-07,4.470999e-07,4.985486e-07,6.082881e-07,6.239283e-07,7.601825e-07,7.886465e-07,9.062591e-07,9.857348e-07,1.061045e-06,1.196921e-06,1.223341e-06,1.391869e-06,1.419323e-06,1.565299e-06,1.649892e-06,1.742287e-06,1.885547e-06,1.921507e-06,2.101690e-06,2.123320e-06,2.281647e-06,2.360472e-06,2.460290e-06,2.594579e-06,2.636650e-06,2.809876e-06,2.823576e-06,2.979241e-06,3.045767e-06,3.144140e-06,3.259825e-06,3.304086e-06,3.458697e-06,3.464766e-06,3.607684e-06,3.659901e-06,3.750844e-06,3.844799e-06,3.888055e-06,4.019252e-06,4.144410e-06,4.183189e-06,4.263565e-06,4.336704e-06,4.376786e-06,4.479984e-06,4.484169e-06,4.585839e-06,4.613302e-06,4.681937e-06,4.736984e-06,4.772616e-06,4.851395e-06,4.858040e-06,4.938379e-06,4.956923e-06,5.013809e-06,5.053972e-06,5.084508e-06,5.142951e-06,5.150654e-06,5.212425e-06,5.224270e-06,5.269996e-06,5.298331e-06,5.323540e-06,5.365529e-06,5.373226e-06,5.419219e-06,5.426246e-06,5.461681e-06,5.480854e-06,5.500766e-06,5.529707e-06,5.536628e-06,5.569412e-06,5.573146e-06,5.599260e-06,5.611499e-06,5.626308e-06,5.645074e-06,5.650688e-06,5.672527e-06,5.674168e-06,5.691945e-06,5.699061e-06,5.709061e-06,5.720021e-06,5.723986e-06,5.736828e-06,5.737300e-06,5.747691e-06,5.751136e-06,5.756673e-06,5.761756e-06,5.763870e-06,5.769373e-06,5.773269e-06,5.774190e-06,5.775641e-06,5.776396e-06,5.776568e-06,5.776171e-06,5.776128e-06,5.774394e-06,5.773685e-06,5.771434e-06,5.769098e-06,5.767316e-06,5.762559e-06,5.762103e-06,5.755856e-06,5.754209e-06,5.748634e-06,5.744184e-06,5.740491e-06,5.732607e-06,5.731481e-06,5.721655e-06,5.719596e-06,5.711060e-06,5.705262e-06,5.699743e-06,5.689711e-06,5.687747e-06,5.675115e-06,5.673038e-06,5.661887e-06,5.655337e-06,5.648100e-06,5.636693e-06,5.633791e-06,5.618995e-06,5.617188e-06,5.603744e-06,5.596898e-06,5.588070e-06,5.575894e-06,5.572003e-06,5.555572e-06,5.554242e-06,5.538803e-06,5.532007e-06,5.521723e-06,5.509247e-06,5.504356e-06,5.486726e-06,5.486016e-06,5.468855e-06,5.462367e-06,5.450764e-06,5.438347e-06,5.432474e-06,5.414003e-06,5.389376e-06,5.364506e-06,5.339431e-06,5.314184e-06,5.288798e-06,5.263303e-06,5.237728e-06,5.212099e-06,5.186440e-06,5.160773e-06,5.135121e-06,5.109503e-06,5.083937e-06,5.058440e-06,5.033028e-06,5.007716e-06,4.982517e-06,4.957443e-06,4.932506e-06,4.907718e-06,4.883086e-06,4.858621e-06,4.834330e-06,4.810222e-06
0.000000e+00,7.203257e-12,1.656548e-11,5.722983e-11,1.304305e-10,1.903481e-10,4.314254e-10,4.443659e-10,8.555900e-10,1.003765e-09,1.459656e-09,1.929375e-09,2.291887e-09,3.288700e-09,3.386723e-09,4.775590e-09,5.155575e-09,6.482426e-09,7.581538e-09,8.516879e-09,1.057004e-08,1.086800e-08,1.350396e-08,1.406148e-08,1.637978e-08,1.795400e-08,1.944759e-08,2.214039e-08,2.266315e-08,2.598786e-08,2.652766e-08,2.938845e-08,3.103904e-08,3.283599e-08,3.561073e-08,3.630520e-08,3.977395e-08,4.018922e-08,4.322293e-08,4.472983e-08,4.663548e-08,4.919584e-08,4.999741e-08,5.329682e-08,5.355776e-08,5.652392e-08,5.779269e-08,5.967084e-08,6.188346e-08,6.273143e-08,6.570103e-08,6.581787e-08,6.857630e-08,6.958784e-08,7.135499e-08,7.318866e-08,7.403584e-08,7.661834e-08,7.910268e-08,7.987704e-08,8.148955e-08,8.296651e-08,8.378010e-08,8.588980e-08,8.597583e-08,8.807848e-08,8.865082e-08,9.009006e-08,9.125417e-08,9.201269e-08,9.370491e-08,9.384865e-08,9.560027e-08,9.600838e-08,9.726996e-08,9.817010e-08,9.886015e-08,1.001957e-07,1.003733e-07,1.018118e-07,1.020908e-07,1.031782e-07,1.038610e-07,1.044748e-07,1.055118e-07,1.057040e-07,1.068682e-07,1.070486e-07,1.079697e-07,1.084767e-07,1.090106e-07,1.098013e-07,1.099932e-07,1.109197e-07,1.110272e-07,1.117921e-07,1.121594e-07,1.126125e-07,1.132024e-07,1.133828e-07,1.141049e-07,1.141607e-07,1.147808e-07,1.150386e-07,1.154122e-07,1.158402e-07,1.160008e-07,1.165485e-07,1.165695e-07,1.170567e-07,1.172303e-07,1.175272e-07,1.178263e-07,1.179614e-07,1.183608e-07,1.187268e-07,1.188372e-07,1.190610e-07,1.192586e-07,1.193645e-07,1.196282e-07,1.196386e-07,1.198847e-07,1.199488e-07,1.201040e-07,1.202231e-07,1.202975e-07,1.204538e-07,1.204664e-07,1.206118e-07,1.206434e-07,1.207348e-07,1.207942e-07,1.208362e-07,1.209085e-07,1.209172e-07,1.209785e-07,1.209885e-07,1.210212e-07,1.210363e-07,1.210460e-07,1.210537e-07,1.210538e-07,1.210455e-07,1.210427e-07,1.210216e-07,1.210049e-07,1.209831e-07,1.209422e-07,1.209306e-07,1.208648e-07,1.208560e-07,1.207863e-07,1.207479e-07,1.206958e-07,1.206193e-07,1.205938e-07,1.204811e-07,1.204716e-07,1.203580e-07,1.203061e-07,1.202252e-07,1.201239e-07,1.200832e-07,1.199325e-07,1.199263e-07,1.197735e-07,1.197143e-07,1.196067e-07,1.194890e-07,1.194325e-07,1.192514e-07,1.190025e-07,1.187430e-07,1.184739e-07,1.181959e-07,1.179098e-07,1.176163e-07,1.173161e-07,1.170097e-07,1.166979e-07,1.163812e-07,1.160601e-07,1.157350e-07,1.154066e-07,1.150753e-07,1.147414e-07,1.144054e-07,1.140676e-07,1.137285e-07,1.133882e-07,1.130473e-07,1.127059e-07,1.123643e-07,1.120228e-07,1.116817e-07
0.000000e+00,2.133397e-10,7.697588e-10,4.965587e-09,1.646587e-08,2.817728e-08,8.735211e-08,9.091783e-08,2.171484e-07,2.671987e-07,4.312208e-07,6.117144e-07,7.567904e-07,1.174092e-06,1.216279e-06,1.830218e-06,2.002573e-06,2.616057e-06,3.136126e-06,3.586231e-06,4.596549e-06,4.745591e-06,6.088819e-06,6.378246e-06,7.599061e-06,8.441672e-06,9.249091e-06,1.071848e-05,1.100508e-05,1.283144e-05,1.312791e-05,1.469484e-05,1.559377e-05,1.656646e-05,1.805359e-05,1.842262e-05,2.024456e-05,2.046016e-05,2.201773e-05,2.277953e-05,2.373111e-05,2.498818e-05,2.537654e-05,2.694822e-05,2.707064e-05,2.844225e-05,2.901757e-05,2.985634e-05,3.082435e-05,3.118944e-05,3.244156e-05,3.248997e-05,3.361355e-05,3.401611e-05,3.470686e-05,3.540638e-05,3.572350e-05,3.666580e-05,3.753640e-05,3.780030e-05,3.833809e-05,3.881636e-05,3.907380e-05,3.972078e-05,3.974652e-05,4.035924e-05,4.052046e-05,4.091496e-05,4.122225e-05,4.141661e-05,4.183287e-05,4.186709e-05,4.226919e-05,4.235880e-05,4.262563e-05,4.280628e-05,4.293905e-05,4.318128e-05,4.321197e-05,4.344683e-05,4.348944e-05,4.364595e-05,4.373611e-05,4.381156e-05,4.392634e-05,4.394579e-05,4.405066e-05,4.406485e-05,4.412811e-05,4.415608e-05,4.417996e-05,4.420419e-05,4.420797e-05,4.421378e-05,4.421306e-05,4.419896e-05,4.418629e-05,4.416500e-05,4.412726e-05,4.411331e-05,4.404521e-05,4.403910e-05,4.396197e-05,4.392470e-05,4.386477e-05,4.378678e-05,4.375474e-05,4.363293e-05,4.362782e-05,4.350033e-05,4.345013e-05,4.335788e-05,4.325585e-05,4.320647e-05,4.304693e-05,4.288002e-05,4.282518e-05,4.270650e-05,4.259229e-05,4.252704e-05,4.234977e-05,4.234229e-05,4.215286e-05,4.209906e-05,4.195931e-05,4.184143e-05,4.176218e-05,4.157808e-05,4.156196e-05,4.135911e-05,4.131008e-05,4.115407e-05,4.103844e-05,4.094723e-05,4.076404e-05,4.073899e-05,4.052968e-05,4.048772e-05,4.031964e-05,4.021023e-05,4.010917e-05,3.993224e-05,3.989854e-05,3.968803e-05,3.965437e-05,3.947787e-05,3.937718e-05,3.926828e-05,3.910116e-05,3.905947e-05,3.885163e-05,3.882677e-05,3.864494e-05,3.855440e-05,3.843955e-05,3.828441e-05,3.823561e-05,3.803325e-05,3.801714e-05,3.783260e-05,3.775284e-05,3.763377e-05,3.749179e-05,3.743685e-05,3.724194e-05,3.723419e-05,3.704912e-05,3.698024e-05,3.685847e-05,3.673009e-05,3.667003e-05,3.648389e-05,3.624175e-05,3.600377e-05,3.577004e-05,3.554061e-05,3.531553e-05,3.509483e-05,3.487854e-05,3.466667e-05,3.445921e-05,3.425615e-05,3.405748e-05,3.386317e-05,3.367319e-05,3.348750e-05,3.330605e-05,3.312880e-05,3.295570e-05,3.278669e-05,3.262171e-05,3.246070e-05,3.230359e-05,3.215033e-05,3.200083e-05,3.185505e-05
0.000000e+00,4.985854e-10,1.510128e-09,7.259831e-09,1.963672e-08,3.067747e-08,7.936390e-08,8.211677e-08,1.749122e-07,2.105138e-07,3.260648e-07,4.533257e-07,5.562402e-07,8.539619e-07,8.840204e-07,1.314906e-06,1.432751e-06,1.838848e-06,2.166978e-06,2.440103e-06,3.022402e-06,3.105240e-06,3.824536e-06,3.974229e-06,4.590738e-06,5.005662e-06,5.397774e-06,6.103087e-06,6.239968e-06,7.111635e-06,7.253450e-06,8.006948e-06,8.443350e-06,8.919944e-06,9.659032e-06,9.844612e-06,1.077500e-05,1.088676e-05,1.170538e-05,1.211332e-05,1.263030e-05,1.332647e-05,1.354472e-05,1.444407e-05,1.451524e-05,1.532428e-05,1.567020e-05,1.618183e-05,1.678353e-05,1.701372e-05,1.781752e-05,1.784905e-05,1.859123e-05,1.886211e-05,1.933337e-05,1.981941e-05,2.004283e-05,2.071890e-05,2.136121e-05,2.155960e-05,2.196968e-05,2.234141e-05,2.254448e-05,2.306494e-05,2.308596e-05,2.359465e-05,2.373128e-05,2.407115e-05,2.434190e-05,2.451620e-05,2.489859e-05,2.493064e-05,2.531539e-05,2.540342e-05,2.567144e-05,2.585866e-05,2.599978e-05,2.626663e-05,2.630146e-05,2.657752e-05,2.662975e-05,2.682904e-05,2.695048e-05,2.705709e-05,2.723137e-05,2.726285e-05,2.744749e-05,2.747514e-05,2.761197e-05,2.768403e-05,2.775724e-05,2.786027e-05,2.788426e-05,2.799390e-05,2.800593e-05,2.808706e-05,2.812304e-05,2.816457e-05,2.821351e-05,2.822724e-05,2.827588e-05,2.827919e-05,2.831123e-05,2.832182e-05,2.833402e-05,2.834305e-05,2.834496e-05,2.834470e-05,2.834446e-05,2.833389e-05,2.832754e-05,2.831315e-05,2.829368e-05,2.828307e-05,2.824422e-05,2.819712e-05,2.818039e-05,2.814230e-05,2.810338e-05,2.808024e-05,2.801429e-05,2.801142e-05,2.793628e-05,2.791417e-05,2.785525e-05,2.780397e-05,2.776873e-05,2.768463e-05,2.767712e-05,2.758078e-05,2.755699e-05,2.748005e-05,2.742186e-05,2.737528e-05,2.727999e-05,2.726678e-05,2.715485e-05,2.713208e-05,2.703978e-05,2.697879e-05,2.692183e-05,2.682072e-05,2.680127e-05,2.667833e-05,2.665846e-05,2.655325e-05,2.649252e-05,2.642625e-05,2.632341e-05,2.629754e-05,2.616730e-05,2.615158e-05,2.603574e-05,2.597747e-05,2.590301e-05,2.580147e-05,2.576929e-05,2.563474e-05,2.562394e-05,2.549949e-05,2.544523e-05,2.536369e-05,2.526565e-05,2.522748e-05,2.509097e-05,2.508550e-05,2.495427e-05,2.490504e-05,2.481751e-05,2.472452e-05,2.468078e-05,2.454417e-05,2.436420e-05,2.418480e-05,2.400614e-05,2.382840e-05,2.365170e-05,2.347620e-05,2.330200e-05,2.312922e-05,2.295795e-05,2.278829e-05,2.262032e-05,2.245409e-05,2.228969e-05,2.212716e-05,2.196655e-05,2.180790e-05,2.165124e-05,2.149661e-05,2.134403e-05,2.119353e-05,2.104511e-05,2.089878e-05,2.075456e-05,2.061245e-05
0.000000e+00,1.451648e-12,3.328306e-12,1.139743e-11,2.573857e-11,3.736790e-11,8.355949e-11,8.601893e-11,1.634755e-10,1.911291e-10,2.756216e-10,3.619768e-10,4.282582e-10,6.093106e-10,6.270371e-10,8.770553e-10,9.451385e-10,1.181975e-09,1.377193e-09,1.542657e-09,1.903622e-09,1.955731e-09,2.413192e-09,2.509050e-09,2.903800e-09,3.168008e-09,3.415592e-09,3.854003e-09,3.937901e-09,4.462181e-09,4.545789e-09,4.981924e-09,5.228310e-09,5.492269e-09,5.891317e-09,5.989604e-09,6.471264e-09,6.527912e-09,6.935319e-09,7.133563e-09,7.380431e-09,7.705506e-09,7.805747e-09,8.210824e-09,8.242351e-09,8.595557e-09,8.743785e-09,8.960119e-09,9.210331e-09,9.304910e-09,9.630502e-09,9.643136e-09,9.937603e-09,1.004378e-08,1.022701e-08,1.041414e-08,1.049959e-08,1.075623e-08,1.099784e-08,1.107213e-08,1.122533e-08,1.136391e-08,1.143956e-08,1.163356e-08,1.164141e-08,1.183167e-08,1.188297e-08,1.201112e-08,1.211391e-08,1.218050e-08,1.232801e-08,1.234048e-08,1.249170e-08,1.252675e-08,1.263475e-08,1.271149e-08,1.277018e-08,1.288346e-08,1.289850e-08,1.302017e-08,1.304375e-08,1.313565e-08,1.319338e-08,1.324531e-08,1.333322e-08,1.334954e-08,1.344867e-08,1.346407e-08,1.354300e-08,1.358667e-08,1.363284e-08,1.370164e-08,1.371843e-08,1.380003e-08,1.380957e-08,1.387786e-08,1.391097e-08,1.395213e-08,1.400630e-08,1.402302e-08,1.409072e-08,1.409600e-08,1.415538e-08,1.418044e-08,1.421717e-08,1.425995e-08,1.427621e-08,1.433265e-08,1.433485e-08,1.438660e-08,1.440543e-08,1.443817e-08,1.447194e-08,1.448748e-08,1.453462e-08,1.457969e-08,1.459368e-08,1.462276e-08,1.464933e-08,1.466394e-08,1.470174e-08,1.470328e-08,1.474086e-08,1.475108e-08,1.477676e-08,1.479751e-08,1.481103e-08,1.484117e-08,1.484373e-08,1.487494e-08,1.488221e-08,1.490469e-08,1.492074e-08,1.493304e-08,1.495688e-08,1.496005e-08,1.498575e-08,1.499074e-08,1.501020e-08,1.502243e-08,1.503343e-08,1.505204e-08,1.505549e-08,1.507642e-08,1.507966e-08,1.509625e-08,1.510538e-08,1.511501e-08,1.512928e-08,1.513275e-08,1.514950e-08,1.515144e-08,1.516528e-08,1.517193e-08,1.518013e-08,1.519081e-08,1.519408e-08,1.520715e-08,1.520816e-08,1.521938e-08,1.522403e-08,1.523078e-08,1.523849e-08,1.524138e-08,1.525121e-08,1.525159e-08,1.526030e-08,1.526339e-08,1.526865e-08,1.527393e-08,1.527630e-08,1.528326e-08,1.529144e-08,1.529851e-08,1.530451e-08,1.530947e-08,1.531345e-08,1.531648e-08,1.531860e-08,1.531983e-08,1.532022e-08,1.531980e-08,1.531860e-08,1.531664e-08,1.531396e-08,1.531059e-08,1.530654e-08,1.530186e-08,1.529656e-08,1.529066e-08,1.528419e-08,1.527718e-08,1.526964e-08,1.526159e-08,1.525306e-08,1.524406e-08
0.000000e+00,6.797052e-11,1.621528e-10,5.819016e-10,1.349115e-09,1.981224e-09,4.540489e-09,4.678345e-09,9.076581e-09,1.066854e-08,1.558708e-08,2.068388e-08,2.463458e-08,3.554950e-08,3.662495e-08,5.183222e-08,5.596672e-08,7.025009e-08,8.186964e-08,9.160276e-08,1.125260e-07,1.155196e-07,1.416553e-07,1.471214e-07,1.697057e-07,1.849545e-07,1.993885e-07,2.253817e-07,2.304277e-07,2.625469e-07,2.677678e-07,2.954703e-07,3.114791e-07,3.289263e-07,3.558981e-07,3.626530e-07,3.964037e-07,4.004444e-07,4.299509e-07,4.445935e-07,4.630896e-07,4.878900e-07,4.956396e-07,5.274457e-07,5.299540e-07,5.583778e-07,5.704814e-07,5.883298e-07,6.092405e-07,6.172180e-07,6.449790e-07,6.460653e-07,6.715678e-07,6.808468e-07,6.969555e-07,7.135249e-07,7.211270e-07,7.440789e-07,7.658178e-07,7.725202e-07,7.863583e-07,7.988850e-07,8.057219e-07,8.232283e-07,8.239351e-07,8.410285e-07,8.456185e-07,8.570358e-07,8.661338e-07,8.719931e-07,8.848587e-07,8.859379e-07,8.989086e-07,9.018809e-07,9.109441e-07,9.172901e-07,9.220835e-07,9.311757e-07,9.323655e-07,9.418285e-07,9.436261e-07,9.505100e-07,9.547278e-07,9.584468e-07,9.645646e-07,9.656749e-07,9.722290e-07,9.732174e-07,9.781428e-07,9.807635e-07,9.834488e-07,9.872771e-07,9.881784e-07,9.923619e-07,9.928286e-07,9.960282e-07,9.974848e-07,9.992053e-07,1.001309e-06,1.001920e-06,1.004198e-06,1.004362e-06,1.006063e-06,1.006699e-06,1.007540e-06,1.008375e-06,1.008650e-06,1.009415e-06,1.009439e-06,1.009855e-06,1.009938e-06,1.009990e-06,1.009917e-06,1.009839e-06,1.009418e-06,1.008745e-06,1.008479e-06,1.007836e-06,1.007138e-06,1.006707e-06,1.005428e-06,1.005371e-06,1.003842e-06,1.003382e-06,1.002134e-06,1.001028e-06,1.000259e-06,9.983967e-07,9.982289e-07,9.960546e-07,9.955126e-07,9.937470e-07,9.924003e-07,9.913162e-07,9.890826e-07,9.887716e-07,9.861224e-07,9.855808e-07,9.833772e-07,9.819144e-07,9.805440e-07,9.781019e-07,9.776307e-07,9.746444e-07,9.741603e-07,9.715921e-07,9.701055e-07,9.684803e-07,9.659521e-07,9.653150e-07,9.621023e-07,9.617138e-07,9.588474e-07,9.574033e-07,9.555557e-07,9.530323e-07,9.522319e-07,9.488807e-07,9.486116e-07,9.455065e-07,9.441513e-07,9.421133e-07,9.396606e-07,9.387049e-07,9.352851e-07,9.351481e-07,9.318571e-07,9.306216e-07,9.284241e-07,9.260885e-07,9.249893e-07,9.215553e-07,9.170282e-07,9.125128e-07,9.080142e-07,9.035371e-07,8.990859e-07,8.946643e-07,8.902759e-07,8.859240e-07,8.816114e-07,8.773407e-07,8.731142e-07,8.689340e-07,8.648020e-07,8.607197e-07,8.566887e-07,8.527100e-07,8.487849e-07,8.449141e-07,8.410985e-07,8.373387e-07,8.336352e-07,8.299883e-07,8.263983e-07,8.228653e-07
0.000000e+00,1.195649e-10,4.300916e-10,2.758625e-09,9.105845e-09,1.554675e-08,4.793884e-08,4.988553e-08,1.185802e-07,1.457302e-07,2.344650e-07,3.317888e-07,4.098295e-07,6.336552e-07,6.562419e-07,9.844608e-07,1.076512e-06,1.404164e-06,1.682197e-06,1.923214e-06,2.466089e-06,2.546442e-06,3.274535e-06,3.432490e-06,4.103926e-06,4.573057e-06,5.027749e-06,5.870295e-06,6.037153e-06,7.122336e-06,7.302320e-06,8.273110e-06,8.845751e-06,9.479159e-06,1.047687e-05,1.073017e-05,1.201592e-05,1.217207e-05,1.332637e-05,1.390828e-05,1.465180e-05,1.566342e-05,1.598294e-05,1.731106e-05,1.741693e-05,1.862813e-05,1.915021e-05,1.992687e-05,2.084694e-05,2.120080e-05,2.244426e-05,2.249330e-05,2.365243e-05,2.407793e-05,2.482127e-05,2.559193e-05,2.594754e-05,2.702869e-05,2.806283e-05,2.838360e-05,2.904867e-05,2.965389e-05,2.998545e-05,3.083829e-05,3.087284e-05,3.171093e-05,3.193682e-05,3.250016e-05,3.295052e-05,3.324122e-05,3.388127e-05,3.393506e-05,3.458281e-05,3.473155e-05,3.518575e-05,3.550434e-05,3.574528e-05,3.620293e-05,3.626288e-05,3.674009e-05,3.683083e-05,3.717851e-05,3.739168e-05,3.757973e-05,3.788919e-05,3.794536e-05,3.827701e-05,3.832703e-05,3.857626e-05,3.870885e-05,3.884466e-05,3.903820e-05,3.908374e-05,3.929499e-05,3.931854e-05,3.947984e-05,3.955318e-05,3.963970e-05,3.974532e-05,3.977593e-05,3.988982e-05,3.989801e-05,3.998264e-05,4.001414e-05,4.005559e-05,4.009647e-05,4.010984e-05,4.014650e-05,4.014761e-05,4.016662e-05,4.017002e-05,4.017123e-05,4.016601e-05,4.016131e-05,4.013777e-05,4.010150e-05,4.008734e-05,4.005335e-05,4.001666e-05,3.999411e-05,3.992753e-05,3.992456e-05,3.984541e-05,3.982162e-05,3.975736e-05,3.970052e-05,3.966105e-05,3.956571e-05,3.955713e-05,3.944616e-05,3.941854e-05,3.932871e-05,3.926031e-05,3.920532e-05,3.909221e-05,3.907647e-05,3.894265e-05,3.891533e-05,3.880431e-05,3.873072e-05,3.866186e-05,3.853932e-05,3.851570e-05,3.836622e-05,3.834202e-05,3.821378e-05,3.813965e-05,3.805870e-05,3.793295e-05,3.790130e-05,3.774189e-05,3.772264e-05,3.758074e-05,3.750936e-05,3.741812e-05,3.729370e-05,3.725427e-05,3.708944e-05,3.707621e-05,3.692383e-05,3.685741e-05,3.675765e-05,3.663776e-05,3.659109e-05,3.642434e-05,3.641767e-05,3.625756e-05,3.619755e-05,3.609091e-05,3.597774e-05,3.592453e-05,3.575857e-05,3.554033e-05,3.532330e-05,3.510771e-05,3.489379e-05,3.468173e-05,3.447171e-05,3.426389e-05,3.405840e-05,3.385538e-05,3.365492e-05,3.345714e-05,3.326210e-05,3.306988e-05,3.288055e-05,3.269414e-05,3.251071e-05,3.233027e-05,3.215287e-05,3.197850e-05,3.180719e-05,3.163894e-05,3.147374e-05,3.131160e-05,3.115249e-05
0.000000e+00,1.275129e-10,4.703091e-10,3.167468e-09,1.089568e-08,1.900768e-08,6.179658e-08,6.444060e-08,1.610776e-07,2.006669e-07,3.341851e-07,4.866224e-07,6.126897e-07,9.902449e-07,1.029520e-06,1.620657e-06,1.792443e-06,2.420655e-06,2.969693e-06,3.453940e-06,4.561183e-06,4.726129e-06,6.221947e-06,6.545425e-06,7.910781e-06,8.852860e-06,9.755097e-06,1.139679e-05,1.171717e-05,1.376276e-05,1.409577e-05,1.586238e-05,1.688192e-05,1.799112e-05,1.970087e-05,2.012800e-05,2.225536e-05,2.250926e-05,2.435820e-05,2.527233e-05,2.642383e-05,2.796219e-05,2.844159e-05,3.040267e-05,3.055688e-05,3.229991e-05,3.303963e-05,3.412772e-05,3.539835e-05,3.588191e-05,3.755956e-05,3.762505e-05,3.915889e-05,3.971530e-05,4.067912e-05,4.166770e-05,4.212032e-05,4.348324e-05,4.476918e-05,4.516470e-05,4.597991e-05,4.671627e-05,4.711754e-05,4.814313e-05,4.818448e-05,4.918332e-05,4.945115e-05,5.011677e-05,5.064662e-05,5.098763e-05,5.173597e-05,5.179872e-05,5.255283e-05,5.272565e-05,5.325275e-05,5.362204e-05,5.390118e-05,5.443132e-05,5.450077e-05,5.505410e-05,5.515943e-05,5.556362e-05,5.581204e-05,5.603170e-05,5.639454e-05,5.646063e-05,5.685257e-05,5.691199e-05,5.720960e-05,5.736916e-05,5.753370e-05,5.777052e-05,5.782672e-05,5.809046e-05,5.812022e-05,5.832659e-05,5.842216e-05,5.853672e-05,5.867995e-05,5.872235e-05,5.888493e-05,5.889698e-05,5.902579e-05,5.907635e-05,5.914624e-05,5.922099e-05,5.924746e-05,5.933061e-05,5.933358e-05,5.939677e-05,5.941663e-05,5.944696e-05,5.947245e-05,5.948213e-05,5.950321e-05,5.951104e-05,5.951088e-05,5.950644e-05,5.949733e-05,5.949018e-05,5.946426e-05,5.946297e-05,5.942551e-05,5.941327e-05,5.937843e-05,5.934583e-05,5.932235e-05,5.926330e-05,5.925784e-05,5.918544e-05,5.916695e-05,5.910567e-05,5.905795e-05,5.901900e-05,5.893740e-05,5.892590e-05,5.882681e-05,5.880630e-05,5.872211e-05,5.866559e-05,5.861222e-05,5.851614e-05,5.849748e-05,5.837824e-05,5.835876e-05,5.825483e-05,5.819420e-05,5.812755e-05,5.802314e-05,5.799670e-05,5.786255e-05,5.784624e-05,5.772536e-05,5.766410e-05,5.758538e-05,5.747726e-05,5.744283e-05,5.729794e-05,5.728626e-05,5.715092e-05,5.709156e-05,5.700196e-05,5.689361e-05,5.685125e-05,5.669896e-05,5.669284e-05,5.654526e-05,5.648961e-05,5.639030e-05,5.628429e-05,5.623424e-05,5.607721e-05,5.586868e-05,5.565898e-05,5.544838e-05,5.523712e-05,5.502544e-05,5.481354e-05,5.460162e-05,5.438987e-05,5.417844e-05,5.396751e-05,5.375721e-05,5.354767e-05,5.333903e-05,5.313139e-05,5.292486e-05,5.271953e-05,5.251550e-05,5.231285e-05,5.211165e-05,5.191197e-05,5.171387e-05,5.151741e-05,5.132265e-05,5.112962e-05
0.000000e+00,6.959320e-11,2.414834e-10,1.447732e-09,4.529036e-09,7.530502e-09,2.188173e-08,2.272128e-08,5.154463e-08,6.266353e-08,9.843374e-08,1.370697e-07,1.677957e-07,2.553079e-07,2.641124e-07,3.919392e-07,4.278050e-07,5.556803e-07,6.644915e-07,7.590217e-07,9.723876e-07,1.003988e-06,1.289890e-06,1.351692e-06,1.612794e-06,1.793190e-06,1.966041e-06,2.280343e-06,2.341591e-06,2.731428e-06,2.794637e-06,3.128463e-06,3.319830e-06,3.526839e-06,3.843333e-06,3.921888e-06,4.309944e-06,4.355898e-06,4.688141e-06,4.850830e-06,5.054249e-06,5.323331e-06,5.406549e-06,5.743754e-06,5.770049e-06,6.064939e-06,6.188780e-06,6.369490e-06,6.578265e-06,6.657065e-06,6.927547e-06,6.938012e-06,7.181014e-06,7.268138e-06,7.417703e-06,7.569253e-06,7.637985e-06,7.842330e-06,8.031290e-06,8.088606e-06,8.205475e-06,8.309498e-06,8.365534e-06,8.506526e-06,8.512141e-06,8.645982e-06,8.681263e-06,8.767744e-06,8.835287e-06,8.878107e-06,8.970150e-06,8.977741e-06,9.067291e-06,9.087353e-06,9.147386e-06,9.188333e-06,9.218624e-06,9.274447e-06,9.281583e-06,9.336809e-06,9.346972e-06,9.384822e-06,9.407103e-06,9.426114e-06,9.455945e-06,9.461149e-06,9.490366e-06,9.494528e-06,9.514176e-06,9.523800e-06,9.532968e-06,9.544633e-06,9.547105e-06,9.556927e-06,9.557831e-06,9.562755e-06,9.564131e-06,9.564887e-06,9.564208e-06,9.563603e-06,9.559164e-06,9.558680e-06,9.551815e-06,9.548112e-06,9.541784e-06,9.533021e-06,9.529284e-06,9.514514e-06,9.513879e-06,9.497661e-06,9.491117e-06,9.478896e-06,9.465128e-06,9.458382e-06,9.436270e-06,9.412700e-06,9.404872e-06,9.387803e-06,9.371230e-06,9.361702e-06,9.335617e-06,9.334510e-06,9.306334e-06,9.298282e-06,9.277272e-06,9.259448e-06,9.247416e-06,9.219322e-06,9.216853e-06,9.185661e-06,9.178090e-06,9.153916e-06,9.135924e-06,9.121687e-06,9.092976e-06,9.089038e-06,9.056030e-06,9.049390e-06,9.022717e-06,9.005291e-06,8.989151e-06,8.960797e-06,8.955382e-06,8.921453e-06,8.916012e-06,8.887406e-06,8.871033e-06,8.853280e-06,8.825946e-06,8.819110e-06,8.784931e-06,8.780830e-06,8.750771e-06,8.735755e-06,8.716661e-06,8.690786e-06,8.682626e-06,8.648691e-06,8.645981e-06,8.614878e-06,8.601392e-06,8.581209e-06,8.557066e-06,8.547702e-06,8.514375e-06,8.513046e-06,8.481244e-06,8.469368e-06,8.448325e-06,8.426067e-06,8.415630e-06,8.383173e-06,8.340712e-06,8.298708e-06,8.257181e-06,8.216151e-06,8.175632e-06,8.135639e-06,8.096182e-06,8.057273e-06,8.018918e-06,7.981126e-06,7.943900e-06,7.907245e-06,7.871165e-06,7.835660e-06,7.800731e-06,7.766379e-06,7.732603e-06,7.699401e-06,7.666771e-06,7.634710e-06,7.603214e-06,7.572281e-06,7.541905e-06,7.512081e-06
0.000000e+00,4.188447e-10,1.328354e-09,6.837593e-09,1.923247e-08,3.048558e-08,8.044823e-08,8.326654e-08,1.770304e-07,2.122978e-07,3.242353e-07,4.438558e-07,5.385863e-07,8.076485e-07,8.346684e-07,1.224799e-06,1.333129e-06,1.713180e-06,2.027565e-06,2.293533e-06,2.870815e-06,2.953860e-06,3.682055e-06,3.834903e-06,4.467859e-06,4.896305e-06,5.302532e-06,6.035581e-06,6.178101e-06,7.086862e-06,7.234832e-06,8.021171e-06,8.476481e-06,8.973437e-06,9.743162e-06,9.936207e-06,1.090230e-05,1.101812e-05,1.186493e-05,1.228575e-05,1.281784e-05,1.353206e-05,1.375539e-05,1.467262e-05,1.474498e-05,1.556522e-05,1.591455e-05,1.642965e-05,1.703292e-05,1.726296e-05,1.806288e-05,1.809416e-05,1.882768e-05,1.909417e-05,1.955619e-05,2.003045e-05,2.024766e-05,2.090178e-05,2.151856e-05,2.170809e-05,2.209831e-05,2.245016e-05,2.264157e-05,2.312946e-05,2.314909e-05,2.362176e-05,2.374799e-05,2.406059e-05,2.430811e-05,2.446671e-05,2.481244e-05,2.484127e-05,2.518550e-05,2.526374e-05,2.550065e-05,2.566489e-05,2.578797e-05,2.601880e-05,2.604873e-05,2.628417e-05,2.632833e-05,2.649552e-05,2.659631e-05,2.668398e-05,2.682546e-05,2.685072e-05,2.699688e-05,2.701843e-05,2.712357e-05,2.717778e-05,2.723185e-05,2.730591e-05,2.732274e-05,2.739725e-05,2.740513e-05,2.745631e-05,2.747764e-05,2.750084e-05,2.752551e-05,2.753172e-05,2.754977e-05,2.755068e-05,2.755580e-05,2.755501e-05,2.755056e-05,2.754022e-05,2.753478e-05,2.750915e-05,2.750793e-05,2.747433e-05,2.745966e-05,2.743094e-05,2.739685e-05,2.737958e-05,2.732081e-05,2.725518e-05,2.723281e-05,2.718318e-05,2.713398e-05,2.710530e-05,2.702543e-05,2.702200e-05,2.693370e-05,2.690814e-05,2.684083e-05,2.678307e-05,2.674376e-05,2.665107e-05,2.664286e-05,2.653848e-05,2.651295e-05,2.643095e-05,2.636947e-05,2.632057e-05,2.622131e-05,2.620763e-05,2.609241e-05,2.606912e-05,2.597517e-05,2.591348e-05,2.585614e-05,2.575495e-05,2.573557e-05,2.561365e-05,2.559403e-05,2.549060e-05,2.543119e-05,2.536660e-05,2.526685e-05,2.524184e-05,2.511648e-05,2.510140e-05,2.499067e-05,2.493521e-05,2.486456e-05,2.476860e-05,2.473829e-05,2.461198e-05,2.460188e-05,2.448576e-05,2.443532e-05,2.435974e-05,2.426918e-05,2.423401e-05,2.410868e-05,2.410368e-05,2.398383e-05,2.393902e-05,2.385955e-05,2.377540e-05,2.373591e-05,2.361299e-05,2.345193e-05,2.329237e-05,2.313442e-05,2.297820e-05,2.282379e-05,2.267129e-05,2.252076e-05,2.237228e-05,2.222589e-05,2.208164e-05,2.193957e-05,2.179971e-05,2.166209e-05,2.152672e-05,2.139361e-05,2.126279e-05,2.113424e-05,2.100797e-05,2.088398e-05,2.076226e-05,2.064279e-05,2.052556e-05,2.041057e-05,2.029778e-05
0.000000e+00,1.467811e-10,4.002865e-10,1.664609e-09,4.132064e-09,6.218997e-09,1.484036e-08,1.530865e-08,3.032382e-08,3.577495e-08,5.262634e-08,7.008298e-08,8.360765e-08,1.209822e-07,1.246691e-07,1.770021e-07,1.913151e-07,2.410768e-07,2.818695e-07,3.161812e-07,3.900807e-07,4.006463e-07,4.925563e-07,5.116762e-07,5.902046e-07,6.427672e-07,6.921662e-07,7.802506e-07,7.972210e-07,9.042747e-07,9.215203e-07,1.012315e-06,1.064245e-06,1.120396e-06,1.206297e-06,1.227638e-06,1.333234e-06,1.345760e-06,1.436466e-06,1.480975e-06,1.536708e-06,1.610560e-06,1.633427e-06,1.726192e-06,1.733432e-06,1.814671e-06,1.848805e-06,1.898620e-06,1.956166e-06,1.977881e-06,2.052372e-06,2.055252e-06,2.122077e-06,2.146005e-06,2.187036e-06,2.228539e-06,2.247335e-06,2.303098e-06,2.354479e-06,2.370024e-06,2.401653e-06,2.429723e-06,2.444809e-06,2.482646e-06,2.484149e-06,2.519878e-06,2.529264e-06,2.552205e-06,2.570054e-06,2.581335e-06,2.605486e-06,2.607471e-06,2.630806e-06,2.636011e-06,2.651530e-06,2.662062e-06,2.669823e-06,2.684045e-06,2.685855e-06,2.699790e-06,2.702338e-06,2.711779e-06,2.717293e-06,2.721967e-06,2.729232e-06,2.730488e-06,2.737469e-06,2.738451e-06,2.743026e-06,2.745221e-06,2.747270e-06,2.749787e-06,2.750301e-06,2.752215e-06,2.752374e-06,2.753100e-06,2.753184e-06,2.753036e-06,2.752400e-06,2.752100e-06,2.750362e-06,2.750190e-06,2.747886e-06,2.746703e-06,2.744733e-06,2.742075e-06,2.740958e-06,2.736614e-06,2.736429e-06,2.731747e-06,2.729876e-06,2.726403e-06,2.722516e-06,2.720621e-06,2.714441e-06,2.707898e-06,2.705732e-06,2.701023e-06,2.696464e-06,2.693848e-06,2.686704e-06,2.686401e-06,2.678708e-06,2.676513e-06,2.670792e-06,2.665946e-06,2.662677e-06,2.655053e-06,2.654383e-06,2.645930e-06,2.643880e-06,2.637336e-06,2.632467e-06,2.628616e-06,2.620853e-06,2.619788e-06,2.610866e-06,2.609071e-06,2.601862e-06,2.597152e-06,2.592789e-06,2.585124e-06,2.583660e-06,2.574485e-06,2.573013e-06,2.565273e-06,2.560841e-06,2.556035e-06,2.548630e-06,2.546778e-06,2.537512e-06,2.536399e-06,2.528243e-06,2.524165e-06,2.518978e-06,2.511944e-06,2.509725e-06,2.500488e-06,2.499750e-06,2.491274e-06,2.487596e-06,2.482088e-06,2.475494e-06,2.472935e-06,2.463818e-06,2.463455e-06,2.454743e-06,2.451487e-06,2.445713e-06,2.439601e-06,2.436732e-06,2.427803e-06,2.416100e-06,2.404500e-06,2.393007e-06,2.381627e-06,2.370365e-06,2.359223e-06,2.348206e-06,2.337318e-06,2.326559e-06,2.315934e-06,2.305443e-06,2.295088e-06,2.284871e-06,2.274793e-06,2.264855e-06,2.255057e-06,2.245400e-06,2.235883e-06,2.226508e-06,2.217273e-06,2.208179e-06,2.199225e-06,2.190410e-06,2.181735e-06
0.000000e+00,1.082991e-10,2.649488e-10,9.767332e-10,2.295005e-09,3.389337e-09,7.869636e-09,8.112919e-09,1.596750e-08,1.885234e-08,2.789535e-08,3.745829e-08,4.499365e-08,6.629911e-08,6.843283e-08,9.913900e-08,1.076307e-07,1.372872e-07,1.616389e-07,1.820944e-07,2.259829e-07,2.322361e-07,2.863986e-07,2.976152e-07,3.435164e-07,3.741046e-07,4.027658e-07,4.536993e-07,4.634908e-07,5.251411e-07,5.350580e-07,5.872335e-07,6.170654e-07,6.493326e-07,6.987503e-07,7.110439e-07,7.720122e-07,7.792630e-07,8.319217e-07,8.578737e-07,8.904961e-07,9.339739e-07,9.475010e-07,1.002743e-06,1.007081e-06,1.056066e-06,1.076831e-06,1.107354e-06,1.142971e-06,1.156521e-06,1.203513e-06,1.205347e-06,1.248302e-06,1.263885e-06,1.290884e-06,1.318584e-06,1.331271e-06,1.369495e-06,1.405598e-06,1.416711e-06,1.439632e-06,1.460356e-06,1.471658e-06,1.500577e-06,1.501744e-06,1.529958e-06,1.537534e-06,1.556377e-06,1.571397e-06,1.581074e-06,1.602339e-06,1.604124e-06,1.625603e-06,1.630532e-06,1.645584e-06,1.656145e-06,1.664139e-06,1.679344e-06,1.681339e-06,1.697251e-06,1.700285e-06,1.711943e-06,1.719121e-06,1.725477e-06,1.735996e-06,1.737914e-06,1.749313e-06,1.751044e-06,1.759729e-06,1.764396e-06,1.769216e-06,1.776171e-06,1.777824e-06,1.785602e-06,1.786482e-06,1.792596e-06,1.795437e-06,1.798850e-06,1.803133e-06,1.804405e-06,1.809300e-06,1.809664e-06,1.813573e-06,1.815116e-06,1.817260e-06,1.819570e-06,1.820394e-06,1.823006e-06,1.823101e-06,1.825128e-06,1.825778e-06,1.826788e-06,1.827667e-06,1.828013e-06,1.828828e-06,1.829258e-06,1.829318e-06,1.829326e-06,1.829190e-06,1.829054e-06,1.828491e-06,1.828462e-06,1.827569e-06,1.827268e-06,1.826395e-06,1.825563e-06,1.824957e-06,1.823415e-06,1.823271e-06,1.821354e-06,1.820861e-06,1.819219e-06,1.817934e-06,1.816881e-06,1.814666e-06,1.814353e-06,1.811648e-06,1.811086e-06,1.808777e-06,1.807223e-06,1.805753e-06,1.803101e-06,1.802585e-06,1.799283e-06,1.798743e-06,1.795858e-06,1.794173e-06,1.792318e-06,1.789409e-06,1.788672e-06,1.784928e-06,1.784472e-06,1.781093e-06,1.779379e-06,1.777175e-06,1.774146e-06,1.773181e-06,1.769117e-06,1.768789e-06,1.764990e-06,1.763322e-06,1.760805e-06,1.757759e-06,1.756567e-06,1.752282e-06,1.752110e-06,1.747956e-06,1.746389e-06,1.743592e-06,1.740605e-06,1.739194e-06,1.734768e-06,1.728888e-06,1.722974e-06,1.717032e-06,1.711070e-06,1.705096e-06,1.699116e-06,1.693134e-06,1.687158e-06,1.681191e-06,1.675239e-06,1.669306e-06,1.663396e-06,1.657512e-06,1.651658e-06,1.645837e-06,1.640052e-06,1.634306e-06,1.628600e-06,1.622938e-06,1.617321e-06,1.611751e-06,1.606230e-06,1.600759e-06,1.595339e-06
0.000000e+00,3.970118e-10,1.534709e-09,1.136584e-08,4.251355e-08,7.757056e-08,2.822026e-07,2.955945e-07,8.218903e-07,1.053073e-06,1.879056e-06,2.887917e-06,3.762345e-06,6.536721e-06,6.835762e-06,1.149632e-05,1.289305e-05,1.810745e-05,2.276734e-05,2.693981e-05,3.667403e-05,3.814647e-05,5.176700e-05,5.477728e-05,6.774526e-05,7.694464e-05,8.595015e-05,1.028274e-04,1.061946e-04,1.282515e-04,1.319320e-04,1.518660e-04,1.636749e-04,1.767664e-04,1.974239e-04,2.026719e-04,2.293005e-04,2.325313e-04,2.563749e-04,2.683596e-04,2.836281e-04,3.043042e-04,3.108078e-04,3.376806e-04,3.398106e-04,3.640348e-04,3.743885e-04,3.896829e-04,4.076201e-04,4.144626e-04,4.382376e-04,4.391660e-04,4.608975e-04,4.687649e-04,4.823568e-04,4.962309e-04,5.025536e-04,5.214481e-04,5.390198e-04,5.443624e-04,5.552658e-04,5.649727e-04,5.701986e-04,5.833216e-04,5.838431e-04,5.962352e-04,5.994864e-04,6.074191e-04,6.135704e-04,6.174456e-04,6.256955e-04,6.263703e-04,6.342522e-04,6.359955e-04,6.411524e-04,6.446105e-04,6.471322e-04,6.516817e-04,6.522528e-04,6.565746e-04,6.573483e-04,6.601562e-04,6.617451e-04,6.630543e-04,6.650001e-04,6.653230e-04,6.670135e-04,6.672336e-04,6.681744e-04,6.685571e-04,6.688513e-04,6.690728e-04,6.690865e-04,6.689197e-04,6.688745e-04,6.683878e-04,6.680469e-04,6.675247e-04,6.666667e-04,6.663619e-04,6.649283e-04,6.648027e-04,6.632503e-04,6.625163e-04,6.613524e-04,6.598622e-04,6.592567e-04,6.569837e-04,6.568894e-04,6.545520e-04,6.536411e-04,6.519786e-04,6.501557e-04,6.492790e-04,6.464674e-04,6.435566e-04,6.426062e-04,6.405585e-04,6.385989e-04,6.374839e-04,6.344692e-04,6.343423e-04,6.311430e-04,6.302379e-04,6.278939e-04,6.259237e-04,6.246025e-04,6.215429e-04,6.212756e-04,6.179195e-04,6.171103e-04,6.145397e-04,6.126387e-04,6.111415e-04,6.081397e-04,6.077297e-04,6.043085e-04,6.036235e-04,6.008819e-04,5.990992e-04,5.974536e-04,5.945750e-04,5.940270e-04,5.906049e-04,5.900580e-04,5.871903e-04,5.855547e-04,5.837857e-04,5.810707e-04,5.803933e-04,5.770154e-04,5.766111e-04,5.736538e-04,5.721804e-04,5.703104e-04,5.677825e-04,5.669867e-04,5.636842e-04,5.634210e-04,5.604043e-04,5.590990e-04,5.571482e-04,5.548192e-04,5.539171e-04,5.507118e-04,5.505841e-04,5.475333e-04,5.463958e-04,5.443825e-04,5.422561e-04,5.412601e-04,5.381666e-04,5.341286e-04,5.301433e-04,5.262117e-04,5.223346e-04,5.185125e-04,5.147461e-04,5.110356e-04,5.073814e-04,5.037836e-04,5.002422e-04,4.967572e-04,4.933284e-04,4.899558e-04,4.866391e-04,4.833779e-04,4.801718e-04,4.770205e-04,4.739235e-04,4.708804e-04,4.678905e-04,4.649533e-04,4.620682e-04,4.592347e-04,4.564520e-04
0.000000e+00,2.617002e-11,9.299969e-11,5.829867e-10,1.889429e-09,3.196780e-09,9.658569e-09,1.004335e-08,2.349359e-08,2.876542e-08,4.590141e-08,6.459561e-08,7.954154e-08,1.222939e-07,1.266027e-07,1.891786e-07,2.067264e-07,2.692182e-07,3.223114e-07,3.684013e-07,4.724802e-07,4.879183e-07,6.281786e-07,6.586849e-07,7.885626e-07,8.793920e-07,9.673813e-07,1.130005e-06,1.162111e-06,1.369795e-06,1.404023e-06,1.587418e-06,1.694568e-06,1.812158e-06,1.995363e-06,2.041485e-06,2.273192e-06,2.301063e-06,2.505365e-06,2.607236e-06,2.736358e-06,2.910246e-06,2.964758e-06,3.189364e-06,3.207137e-06,3.409167e-06,3.495551e-06,3.623333e-06,3.773657e-06,3.831187e-06,4.032197e-06,4.040089e-06,4.225964e-06,4.293889e-06,4.412201e-06,4.534443e-06,4.590723e-06,4.761429e-06,4.924296e-06,4.974762e-06,5.079358e-06,5.174542e-06,5.226705e-06,5.361019e-06,5.366466e-06,5.498803e-06,5.534552e-06,5.623905e-06,5.695579e-06,5.741980e-06,5.844595e-06,5.853251e-06,5.957952e-06,5.982129e-06,6.056321e-06,6.108732e-06,6.148600e-06,6.224962e-06,6.235033e-06,6.315862e-06,6.331377e-06,6.391327e-06,6.428526e-06,6.461661e-06,6.516946e-06,6.527096e-06,6.587855e-06,6.597157e-06,6.644156e-06,6.669660e-06,6.696211e-06,6.734935e-06,6.744224e-06,6.788391e-06,6.793442e-06,6.828903e-06,6.845618e-06,6.865942e-06,6.891878e-06,6.899684e-06,6.930298e-06,6.932616e-06,6.957943e-06,6.968206e-06,6.982777e-06,6.998998e-06,7.004945e-06,7.024591e-06,7.025326e-06,7.041849e-06,7.047502e-06,7.056849e-06,7.065822e-06,7.069714e-06,7.080563e-06,7.089509e-06,7.091987e-06,7.096658e-06,7.100338e-06,7.102112e-06,7.105846e-06,7.105971e-06,7.108325e-06,7.108728e-06,7.109265e-06,7.109185e-06,7.108875e-06,7.107409e-06,7.107234e-06,7.104419e-06,7.103577e-06,7.100503e-06,7.097855e-06,7.095555e-06,7.090400e-06,7.089641e-06,7.082824e-06,7.081357e-06,7.075162e-06,7.070863e-06,7.066712e-06,7.059045e-06,7.057528e-06,7.047662e-06,7.046023e-06,7.037160e-06,7.031908e-06,7.026070e-06,7.016803e-06,7.014434e-06,7.002295e-06,7.000806e-06,6.989691e-06,6.984008e-06,6.976660e-06,6.966492e-06,6.963236e-06,6.949454e-06,6.948337e-06,6.935345e-06,6.929617e-06,6.920939e-06,6.910399e-06,6.906264e-06,6.891348e-06,6.890746e-06,6.876215e-06,6.870719e-06,6.860890e-06,6.850371e-06,6.845396e-06,6.829753e-06,6.808913e-06,6.787894e-06,6.766737e-06,6.745479e-06,6.724155e-06,6.702797e-06,6.681435e-06,6.660095e-06,6.638803e-06,6.617583e-06,6.596454e-06,6.575438e-06,6.554551e-06,6.533810e-06,6.513229e-06,6.492822e-06,6.472602e-06,6.452579e-06,6.432763e-06,6.413163e-06,6.393787e-06,6.374643e-06,6.355735e-06,6.337070e-06
0.000000e+00,1.108512e-10,4.249183e-10,3.090870e-09,1.136347e-08,2.052802e-08,7.261788e-08,7.597115e-08,2.045421e-07,2.595629e-07,4.512415e-07,6.777605e-07,8.691589e-07,1.455886e-06,1.517737e-06,2.459920e-06,2.736631e-06,3.756392e-06,4.656598e-06,5.457573e-06,7.316686e-06,7.597275e-06,1.019064e-05,1.076385e-05,1.323561e-05,1.499255e-05,1.671593e-05,1.995618e-05,2.060437e-05,2.486546e-05,2.557911e-05,2.945766e-05,3.176620e-05,3.433514e-05,3.840983e-05,3.944915e-05,4.474923e-05,4.539532e-05,5.018431e-05,5.260542e-05,5.570374e-05,5.992455e-05,6.125828e-05,6.680090e-05,6.724246e-05,7.228764e-05,7.445752e-05,7.767818e-05,8.147935e-05,8.293639e-05,8.803066e-05,8.823063e-05,9.293409e-05,9.464819e-05,9.762452e-05,1.006832e-04,1.020845e-04,1.063010e-04,1.102652e-04,1.114796e-04,1.139722e-04,1.162088e-04,1.174204e-04,1.204885e-04,1.206112e-04,1.235488e-04,1.243267e-04,1.262392e-04,1.277381e-04,1.286904e-04,1.307423e-04,1.309118e-04,1.329135e-04,1.333625e-04,1.347067e-04,1.356241e-04,1.363029e-04,1.375538e-04,1.377137e-04,1.389509e-04,1.391785e-04,1.400260e-04,1.405248e-04,1.409505e-04,1.416185e-04,1.417351e-04,1.423906e-04,1.424841e-04,1.429268e-04,1.431447e-04,1.433534e-04,1.436216e-04,1.436791e-04,1.439125e-04,1.439347e-04,1.440614e-04,1.441020e-04,1.441330e-04,1.441400e-04,1.441342e-04,1.440711e-04,1.440635e-04,1.439497e-04,1.438859e-04,1.437751e-04,1.436192e-04,1.435523e-04,1.432858e-04,1.432743e-04,1.429797e-04,1.428606e-04,1.426379e-04,1.423867e-04,1.422637e-04,1.418604e-04,1.414309e-04,1.412884e-04,1.409779e-04,1.406767e-04,1.405037e-04,1.400307e-04,1.400107e-04,1.395008e-04,1.393553e-04,1.389760e-04,1.386547e-04,1.384380e-04,1.379326e-04,1.378883e-04,1.373284e-04,1.371926e-04,1.367596e-04,1.364376e-04,1.361831e-04,1.356703e-04,1.356000e-04,1.350115e-04,1.348932e-04,1.344183e-04,1.341084e-04,1.338214e-04,1.333178e-04,1.332217e-04,1.326197e-04,1.325232e-04,1.320162e-04,1.317261e-04,1.314118e-04,1.309280e-04,1.308070e-04,1.302025e-04,1.301300e-04,1.295987e-04,1.293333e-04,1.289959e-04,1.285389e-04,1.283948e-04,1.277955e-04,1.277477e-04,1.271986e-04,1.269605e-04,1.266042e-04,1.261780e-04,1.260127e-04,1.254243e-04,1.254009e-04,1.248394e-04,1.246297e-04,1.242581e-04,1.238650e-04,1.236806e-04,1.231072e-04,1.223567e-04,1.216138e-04,1.208790e-04,1.201524e-04,1.194344e-04,1.187250e-04,1.180245e-04,1.173331e-04,1.166509e-04,1.159779e-04,1.153142e-04,1.146600e-04,1.140152e-04,1.133799e-04,1.127541e-04,1.121378e-04,1.115310e-04,1.109337e-04,1.103458e-04,1.097672e-04,1.091980e-04,1.086381e-04,1.080874e-04,1.075459e-04
0.000000e+00,4.740555e-11,1.125483e-10,4.019505e-10,9.341033e-10,1.378086e-09,3.237927e-09,3.341072e-09,6.789657e-09,8.109554e-09,1.239104e-08,1.706389e-08,2.077000e-08,3.096397e-08,3.194738e-08,4.524910e-08,4.867051e-08,5.993968e-08,6.858651e-08,7.554474e-08,8.981551e-08,9.179309e-08,1.085137e-07,1.119026e-07,1.255750e-07,1.345418e-07,1.428577e-07,1.574601e-07,1.602439e-07,1.776154e-07,1.803856e-07,1.948555e-07,2.030512e-07,2.118534e-07,2.252085e-07,2.285072e-07,2.447267e-07,2.466401e-07,2.604354e-07,2.671689e-07,2.755713e-07,2.866617e-07,2.900869e-07,3.039488e-07,3.050288e-07,3.171364e-07,3.222204e-07,3.296408e-07,3.382210e-07,3.414628e-07,3.526112e-07,3.530433e-07,3.631017e-07,3.667212e-07,3.729552e-07,3.793041e-07,3.821962e-07,3.908519e-07,3.989512e-07,4.014303e-07,4.065239e-07,4.111080e-07,4.136000e-07,4.199534e-07,4.202092e-07,4.263802e-07,4.280334e-07,4.321411e-07,4.354119e-07,4.375185e-07,4.421489e-07,4.425378e-07,4.472229e-07,4.483001e-07,4.515962e-07,4.539170e-07,4.556789e-07,4.590467e-07,4.594904e-07,4.630490e-07,4.637318e-07,4.663716e-07,4.680113e-07,4.694739e-07,4.719202e-07,4.723704e-07,4.750746e-07,4.754902e-07,4.775987e-07,4.787498e-07,4.799544e-07,4.817247e-07,4.821521e-07,4.842017e-07,4.844381e-07,4.861122e-07,4.869109e-07,4.878919e-07,4.891619e-07,4.895487e-07,4.910896e-07,4.912081e-07,4.925214e-07,4.930649e-07,4.938502e-07,4.947464e-07,4.950817e-07,4.962213e-07,4.962650e-07,4.972739e-07,4.976324e-07,4.982442e-07,4.988591e-07,4.991364e-07,4.999547e-07,5.007028e-07,5.009279e-07,5.013842e-07,5.017868e-07,5.020022e-07,5.025388e-07,5.025600e-07,5.030605e-07,5.031907e-07,5.035064e-07,5.037489e-07,5.039004e-07,5.042190e-07,5.042448e-07,5.045420e-07,5.046066e-07,5.047942e-07,5.049165e-07,5.050034e-07,5.051536e-07,5.051717e-07,5.053008e-07,5.053221e-07,5.053925e-07,5.054260e-07,5.054485e-07,5.054692e-07,5.054705e-07,5.054598e-07,5.054552e-07,5.054180e-07,5.053873e-07,5.053465e-07,5.052687e-07,5.052465e-07,5.051193e-07,5.051023e-07,5.049661e-07,5.048908e-07,5.047881e-07,5.046369e-07,5.045864e-07,5.043619e-07,5.043430e-07,5.041158e-07,5.040115e-07,5.038489e-07,5.036444e-07,5.035622e-07,5.032566e-07,5.032440e-07,5.029330e-07,5.028122e-07,5.025921e-07,5.023508e-07,5.022347e-07,5.018616e-07,5.013463e-07,5.008064e-07,5.002436e-07,4.996591e-07,4.990545e-07,4.984309e-07,4.977897e-07,4.971319e-07,4.964588e-07,4.957715e-07,4.950708e-07,4.943578e-07,4.936335e-07,4.928986e-07,4.921541e-07,4.914008e-07,4.906393e-07,4.898705e-07,4.890951e-07,4.883136e-07,4.875268e-07,4.867353e-07,4.859396e-07,4.851402e-07
0.000000e+00,1.888242e-11,4.333231e-11,1.494117e-10,3.405870e-10,4.974934e-10,1.133614e-09,1.167993e-09,2.273311e-09,2.677674e-09,3.941088e-09,5.270251e-09,6.311606e-09,9.217481e-09,9.504828e-09,1.355971e-08,1.465602e-08,1.841802e-08,2.145212e-08,2.397906e-08,2.937794e-08,3.014746e-08,3.684378e-08,3.824023e-08,4.399923e-08,4.788013e-08,5.154962e-08,5.815109e-08,5.943198e-08,6.758339e-08,6.890839e-08,7.594118e-08,8.000811e-08,8.444390e-08,9.131060e-08,9.303245e-08,1.016512e-07,1.026850e-07,1.102489e-07,1.140132e-07,1.187794e-07,1.251923e-07,1.272019e-07,1.354812e-07,1.361364e-07,1.435874e-07,1.467758e-07,1.514962e-07,1.570569e-07,1.591877e-07,1.666467e-07,1.669401e-07,1.738620e-07,1.763982e-07,1.808258e-07,1.854148e-07,1.875331e-07,1.939817e-07,2.001714e-07,2.020977e-07,2.061039e-07,2.097672e-07,2.117824e-07,2.169985e-07,2.172109e-07,2.223949e-07,2.238033e-07,2.273401e-07,2.301954e-07,2.320532e-07,2.361900e-07,2.365409e-07,2.408105e-07,2.418035e-07,2.448691e-07,2.470525e-07,2.487242e-07,2.519543e-07,2.523832e-07,2.558536e-07,2.565256e-07,2.591424e-07,2.607833e-07,2.622570e-07,2.647436e-07,2.652042e-07,2.679908e-07,2.684222e-07,2.706236e-07,2.718346e-07,2.731090e-07,2.749953e-07,2.754531e-07,2.776622e-07,2.779185e-07,2.797419e-07,2.806175e-07,2.816980e-07,2.831053e-07,2.835359e-07,2.852607e-07,2.853940e-07,2.868775e-07,2.874951e-07,2.883912e-07,2.894198e-07,2.898064e-07,2.911275e-07,2.911784e-07,2.923588e-07,2.927809e-07,2.935044e-07,2.942365e-07,2.945682e-07,2.955541e-07,2.964656e-07,2.967421e-07,2.973062e-07,2.978085e-07,2.980792e-07,2.987606e-07,2.987877e-07,2.994349e-07,2.996055e-07,3.000236e-07,3.003499e-07,3.005566e-07,3.010000e-07,3.010365e-07,3.014660e-07,3.015618e-07,3.018474e-07,3.020409e-07,3.021832e-07,3.024426e-07,3.024754e-07,3.027263e-07,3.027717e-07,3.029379e-07,3.030330e-07,3.031121e-07,3.032310e-07,3.032509e-07,3.033559e-07,3.033697e-07,3.034290e-07,3.034532e-07,3.034717e-07,3.034850e-07,3.034856e-07,3.034721e-07,3.034687e-07,3.034328e-07,3.034076e-07,3.033689e-07,3.033048e-07,3.032818e-07,3.031727e-07,3.031631e-07,3.030428e-07,3.029853e-07,3.028933e-07,3.027741e-07,3.027252e-07,3.025395e-07,3.025317e-07,3.023373e-07,3.022607e-07,3.021195e-07,3.019630e-07,3.018870e-07,3.016407e-07,3.012958e-07,3.009300e-07,3.005451e-07,3.001426e-07,2.997240e-07,2.992908e-07,2.988444e-07,2.983858e-07,2.979164e-07,2.974372e-07,2.969493e-07,2.964536e-07,2.959511e-07,2.954427e-07,2.949291e-07,2.944111e-07,2.938895e-07,2.933649e-07,2.928379e-07,2.923091e-07,2.917791e-07,2.912484e-07,2.907175e-07,2.901869e-07
0.000000e+00,1.952774e-11,4.469704e-11,1.536893e-10,3.503548e-10,5.123530e-10,1.175998e-09,1.212192e-09,2.393212e-09,2.832999e-09,4.228252e-09,5.719344e-09,6.894543e-09,1.015853e-08,1.047820e-08,1.491111e-08,1.608535e-08,2.004869e-08,2.318363e-08,2.576113e-08,3.118736e-08,3.195321e-08,3.855265e-08,3.991591e-08,4.549774e-08,4.922636e-08,5.273001e-08,5.898428e-08,6.019097e-08,6.782136e-08,6.905396e-08,7.556157e-08,7.929856e-08,8.335287e-08,8.958454e-08,9.113865e-08,9.886570e-08,9.978660e-08,1.064848e-07,1.097917e-07,1.139526e-07,1.195031e-07,1.212308e-07,1.282875e-07,1.288416e-07,1.350962e-07,1.377454e-07,1.416360e-07,1.461691e-07,1.478911e-07,1.538504e-07,1.540825e-07,1.595069e-07,1.614684e-07,1.648574e-07,1.683208e-07,1.699018e-07,1.746424e-07,1.790838e-07,1.804429e-07,1.832325e-07,1.857376e-07,1.870962e-07,1.905454e-07,1.906837e-07,1.940046e-07,1.948880e-07,1.970689e-07,1.987888e-07,1.998873e-07,2.022721e-07,2.024703e-07,2.048287e-07,2.053625e-07,2.069732e-07,2.080847e-07,2.089144e-07,2.104625e-07,2.106624e-07,2.122275e-07,2.125195e-07,2.136194e-07,2.142779e-07,2.148476e-07,2.157594e-07,2.159211e-07,2.168488e-07,2.169842e-07,2.176390e-07,2.179718e-07,2.182998e-07,2.187404e-07,2.188388e-07,2.192635e-07,2.193071e-07,2.195807e-07,2.196880e-07,2.197972e-07,2.198982e-07,2.199192e-07,2.199528e-07,2.199519e-07,2.199037e-07,2.198621e-07,2.197772e-07,2.196412e-07,2.195786e-07,2.193126e-07,2.193006e-07,2.189839e-07,2.188510e-07,2.185967e-07,2.183022e-07,2.181553e-07,2.176635e-07,2.171250e-07,2.169434e-07,2.165433e-07,2.161498e-07,2.159216e-07,2.152901e-07,2.152630e-07,2.145706e-07,2.143710e-07,2.138469e-07,2.133988e-07,2.130947e-07,2.123795e-07,2.123163e-07,2.115141e-07,2.113183e-07,2.106903e-07,2.102203e-07,2.098469e-07,2.090900e-07,2.089858e-07,2.081089e-07,2.079317e-07,2.072178e-07,2.067494e-07,2.063142e-07,2.055465e-07,2.053995e-07,2.044752e-07,2.043265e-07,2.035426e-07,2.030924e-07,2.026030e-07,2.018470e-07,2.016575e-07,2.007072e-07,2.005929e-07,1.997532e-07,1.993325e-07,1.987964e-07,1.980679e-07,1.978377e-07,1.968780e-07,1.968012e-07,1.959181e-07,1.955342e-07,1.949586e-07,1.942685e-07,1.940003e-07,1.930438e-07,1.930056e-07,1.920897e-07,1.917469e-07,1.911386e-07,1.904938e-07,1.901909e-07,1.892472e-07,1.880083e-07,1.867780e-07,1.855572e-07,1.843465e-07,1.831467e-07,1.819584e-07,1.807821e-07,1.796183e-07,1.784674e-07,1.773298e-07,1.762058e-07,1.750956e-07,1.739996e-07,1.729178e-07,1.718504e-07,1.707976e-07,1.697595e-07,1.687361e-07,1.677274e-07,1.667335e-07,1.657544e-07,1.647901e-07,1.638404e-07,1.629055e-07
0.000000e+00,1.880560e-10,6.864926e-10,4.529657e-09,1.530745e-08,2.645358e-08,8.399801e-08,8.750927e-08,2.137899e-07,2.646808e-07,4.338740e-07,6.235747e-07,7.783046e-07,1.232712e-06,1.279322e-06,1.968441e-06,2.164776e-06,2.869793e-06,3.471400e-06,3.992609e-06,5.158728e-06,5.330032e-06,6.864588e-06,7.193270e-06,8.574644e-06,9.525930e-06,1.043833e-05,1.210736e-05,1.243492e-05,1.454476e-05,1.489157e-05,1.674879e-05,1.783464e-05,1.902816e-05,2.089324e-05,2.136403e-05,2.373762e-05,2.402411e-05,2.613043e-05,2.718469e-05,2.852448e-05,3.033424e-05,3.090269e-05,3.324913e-05,3.343503e-05,3.554928e-05,3.645342e-05,3.779018e-05,3.936057e-05,3.996061e-05,4.205106e-05,4.213290e-05,4.405378e-05,4.475206e-05,4.596268e-05,4.720479e-05,4.777327e-05,4.948250e-05,5.108863e-05,5.158070e-05,5.259112e-05,5.349847e-05,5.399039e-05,5.523778e-05,5.528775e-05,5.648521e-05,5.680294e-05,5.758539e-05,5.820005e-05,5.859134e-05,5.943654e-05,5.950650e-05,6.033455e-05,6.052074e-05,6.107936e-05,6.146157e-05,6.174491e-05,6.226823e-05,6.233523e-05,6.285436e-05,6.294999e-05,6.330629e-05,6.351604e-05,6.369493e-05,6.397530e-05,6.402413e-05,6.429758e-05,6.433640e-05,6.451888e-05,6.460758e-05,6.469144e-05,6.479663e-05,6.481858e-05,6.490342e-05,6.491090e-05,6.494896e-05,6.495728e-05,6.495805e-05,6.494224e-05,6.493338e-05,6.487751e-05,6.487176e-05,6.479282e-05,6.475138e-05,6.468156e-05,6.458621e-05,6.454587e-05,6.438773e-05,6.438096e-05,6.420902e-05,6.413999e-05,6.401151e-05,6.386731e-05,6.379685e-05,6.356658e-05,6.332215e-05,6.324116e-05,6.306490e-05,6.289412e-05,6.279609e-05,6.252826e-05,6.251690e-05,6.222844e-05,6.214615e-05,6.193173e-05,6.175014e-05,6.162772e-05,6.134235e-05,6.131730e-05,6.100130e-05,6.092472e-05,6.068049e-05,6.049899e-05,6.035557e-05,6.006678e-05,6.002722e-05,5.969605e-05,5.962953e-05,5.936264e-05,5.918855e-05,5.902750e-05,5.874502e-05,5.869114e-05,5.835401e-05,5.830002e-05,5.801652e-05,5.785451e-05,5.767905e-05,5.740934e-05,5.734197e-05,5.700560e-05,5.696530e-05,5.667025e-05,5.652309e-05,5.633618e-05,5.608331e-05,5.600366e-05,5.567292e-05,5.564654e-05,5.534416e-05,5.521326e-05,5.501758e-05,5.478390e-05,5.469336e-05,5.437166e-05,5.435885e-05,5.405262e-05,5.393844e-05,5.373636e-05,5.352297e-05,5.342302e-05,5.311269e-05,5.270782e-05,5.230854e-05,5.191502e-05,5.152738e-05,5.114573e-05,5.077015e-05,5.040070e-05,5.003744e-05,4.968038e-05,4.932955e-05,4.898494e-05,4.864654e-05,4.831434e-05,4.798830e-05,4.766838e-05,4.735455e-05,4.704673e-05,4.674488e-05,4.644893e-05,4.615881e-05,4.587444e-05,4.559576e-05,4.532267e-05,4.505510e-05
0.000000e+00,3.057917e-11,7.046455e-11,2.443230e-10,5.589948e-10,8.179477e-10,1.871201e-09,1.928231e-09,3.765551e-09,4.439117e-09,6.547766e-09,8.773545e-09,1.052390e-08,1.544741e-08,1.593780e-08,2.292868e-08,2.484043e-08,3.146195e-08,3.686369e-08,4.139972e-08,5.119496e-08,5.260214e-08,6.496015e-08,6.756258e-08,7.838731e-08,8.576622e-08,9.280629e-08,1.056281e-07,1.081396e-07,1.243049e-07,1.269627e-07,1.412133e-07,1.495656e-07,1.587699e-07,1.732147e-07,1.768746e-07,1.954245e-07,1.976754e-07,2.143154e-07,2.227088e-07,2.334444e-07,2.480798e-07,2.527111e-07,2.720200e-07,2.735637e-07,2.912813e-07,2.989537e-07,3.104124e-07,3.240638e-07,3.293382e-07,3.479912e-07,3.487308e-07,3.663119e-07,3.728159e-07,3.842488e-07,3.962038e-07,4.017577e-07,4.188017e-07,4.353506e-07,4.405375e-07,4.513802e-07,4.613578e-07,4.668719e-07,4.812254e-07,4.818123e-07,4.961920e-07,5.001171e-07,5.100060e-07,5.180219e-07,5.232523e-07,5.349386e-07,5.359322e-07,5.480491e-07,5.508741e-07,5.596090e-07,5.658420e-07,5.706195e-07,5.798614e-07,5.810896e-07,5.910296e-07,5.929550e-07,6.004510e-07,6.051491e-07,6.093658e-07,6.164720e-07,6.177867e-07,6.257270e-07,6.269538e-07,6.332003e-07,6.366255e-07,6.402202e-07,6.455191e-07,6.468007e-07,6.529558e-07,6.536665e-07,6.586993e-07,6.610997e-07,6.640451e-07,6.678505e-07,6.690070e-07,6.735985e-07,6.739502e-07,6.778330e-07,6.794297e-07,6.817235e-07,6.843190e-07,6.852830e-07,6.885242e-07,6.886474e-07,6.914593e-07,6.924433e-07,6.941004e-07,6.957345e-07,6.964594e-07,6.985476e-07,7.003763e-07,7.009085e-07,7.019563e-07,7.028419e-07,7.032982e-07,7.043719e-07,7.044122e-07,7.053083e-07,7.055214e-07,7.059960e-07,7.063126e-07,7.064848e-07,7.067666e-07,7.067837e-07,7.069015e-07,7.069038e-07,7.068466e-07,7.067435e-07,7.066273e-07,7.063045e-07,7.062514e-07,7.057266e-07,7.056044e-07,7.050603e-07,7.046603e-07,7.042597e-07,7.034883e-07,7.033316e-07,7.022826e-07,7.021039e-07,7.011191e-07,7.005219e-07,6.998474e-07,6.987561e-07,6.984733e-07,6.970026e-07,6.968199e-07,6.954408e-07,6.947261e-07,6.937931e-07,6.924866e-07,6.920647e-07,6.902605e-07,6.901130e-07,6.883851e-07,6.876160e-07,6.864431e-07,6.850061e-07,6.844388e-07,6.823764e-07,6.822928e-07,6.802600e-07,6.794855e-07,6.780932e-07,6.765930e-07,6.758799e-07,6.736235e-07,6.705848e-07,6.674844e-07,6.643293e-07,6.611259e-07,6.578806e-07,6.545992e-07,6.512872e-07,6.479497e-07,6.445917e-07,6.412178e-07,6.378321e-07,6.344387e-07,6.310414e-07,6.276437e-07,6.242489e-07,6.208600e-07,6.174799e-07,6.141112e-07,6.107565e-07,6.074180e-07,6.040978e-07,6.007979e-07,5.975201e-07,5.942662e-07
0.000000e+00,1.706442e-11,3.932631e-11,1.365785e-10,3.133729e-10,4.595239e-10,1.059296e-09,1.091994e-09,2.155936e-09,2.550538e-09,3.798978e-09,5.134696e-09,6.195536e-09,9.216281e-09,9.519477e-09,1.386956e-08,1.506449e-08,1.920460e-08,2.257199e-08,2.538649e-08,3.141169e-08,3.227089e-08,3.974552e-08,4.130350e-08,4.772593e-08,5.205242e-08,5.614325e-08,6.350597e-08,6.493545e-08,7.404299e-08,7.552554e-08,8.340727e-08,8.797630e-08,9.297049e-08,1.007264e-07,1.026764e-07,1.124710e-07,1.136499e-07,1.223038e-07,1.266301e-07,1.321280e-07,1.395625e-07,1.419014e-07,1.515862e-07,1.523562e-07,1.611496e-07,1.649344e-07,1.705632e-07,1.772345e-07,1.798029e-07,1.888488e-07,1.892063e-07,1.976846e-07,2.008115e-07,2.062973e-07,2.120213e-07,2.146770e-07,2.228160e-07,2.307091e-07,2.331824e-07,2.383529e-07,2.431133e-07,2.457458e-07,2.526063e-07,2.528871e-07,2.597778e-07,2.616625e-07,2.664195e-07,2.702860e-07,2.728147e-07,2.784832e-07,2.789664e-07,2.848785e-07,2.862621e-07,2.905548e-07,2.936323e-07,2.959999e-07,3.006041e-07,3.012185e-07,3.062155e-07,3.071887e-07,3.109959e-07,3.133978e-07,3.155648e-07,3.192432e-07,3.199276e-07,3.240896e-07,3.247372e-07,3.280560e-07,3.298920e-07,3.318322e-07,3.347197e-07,3.354234e-07,3.388349e-07,3.392325e-07,3.420720e-07,3.434424e-07,3.451398e-07,3.473612e-07,3.480434e-07,3.507878e-07,3.510006e-07,3.533779e-07,3.543718e-07,3.558186e-07,3.574860e-07,3.581146e-07,3.602707e-07,3.603541e-07,3.622913e-07,3.629865e-07,3.641811e-07,3.653936e-07,3.659444e-07,3.675854e-07,3.691084e-07,3.695715e-07,3.705174e-07,3.713613e-07,3.718165e-07,3.729638e-07,3.730095e-07,3.741003e-07,3.743879e-07,3.750925e-07,3.756419e-07,3.759897e-07,3.767342e-07,3.767954e-07,3.775131e-07,3.776726e-07,3.781460e-07,3.784646e-07,3.786974e-07,3.791177e-07,3.791704e-07,3.795681e-07,3.796388e-07,3.798933e-07,3.800348e-07,3.801490e-07,3.803122e-07,3.803380e-07,3.804630e-07,3.804772e-07,3.805265e-07,3.805359e-07,3.805311e-07,3.804941e-07,3.804794e-07,3.803736e-07,3.803573e-07,3.802160e-07,3.801309e-07,3.800090e-07,3.798199e-07,3.797547e-07,3.794551e-07,3.794293e-07,3.791124e-07,3.789637e-07,3.787285e-07,3.784276e-07,3.783053e-07,3.778446e-07,3.778254e-07,3.773482e-07,3.771611e-07,3.768178e-07,3.764386e-07,3.762551e-07,3.756618e-07,3.748341e-07,3.739591e-07,3.730400e-07,3.720800e-07,3.710820e-07,3.700488e-07,3.689832e-07,3.678878e-07,3.667650e-07,3.656171e-07,3.644465e-07,3.632552e-07,3.620451e-07,3.608184e-07,3.595767e-07,3.583218e-07,3.570553e-07,3.557788e-07,3.544938e-07,3.532016e-07,3.519037e-07,3.506011e-07,3.492952e-07,3.479870e-07
0.000000e+00,2.725955e-10,8.972918e-10,4.915114e-09,1.445048e-08,2.339353e-08,6.485115e-08,6.725331e-08,1.500418e-07,1.824254e-07,2.889612e-07,4.081975e-07,5.058797e-07,7.947474e-07,8.244417e-07,1.260435e-06,1.382749e-06,1.812167e-06,2.165788e-06,2.463023e-06,3.101192e-06,3.192195e-06,3.981814e-06,4.145731e-06,4.818314e-06,5.268307e-06,5.691380e-06,6.446855e-06,6.592642e-06,7.514807e-06,7.663841e-06,8.451202e-06,8.903874e-06,9.395566e-06,1.015283e-05,1.034201e-05,1.128507e-05,1.139777e-05,1.221972e-05,1.262712e-05,1.314145e-05,1.383086e-05,1.404629e-05,1.493082e-05,1.500061e-05,1.579217e-05,1.612967e-05,1.662799e-05,1.721292e-05,1.743643e-05,1.821610e-05,1.824667e-05,1.896598e-05,1.922852e-05,1.968543e-05,2.015709e-05,2.037410e-05,2.103190e-05,2.165895e-05,2.185316e-05,2.225558e-05,2.262165e-05,2.282223e-05,2.333854e-05,2.335948e-05,2.386800e-05,2.400533e-05,2.434853e-05,2.462374e-05,2.480186e-05,2.519562e-05,2.522883e-05,2.563029e-05,2.572294e-05,2.600712e-05,2.620771e-05,2.636019e-05,2.665195e-05,2.669040e-05,2.699860e-05,2.705768e-05,2.728568e-05,2.742689e-05,2.755247e-05,2.776152e-05,2.779982e-05,2.802855e-05,2.806347e-05,2.823944e-05,2.833456e-05,2.843327e-05,2.857656e-05,2.861080e-05,2.877276e-05,2.879118e-05,2.891985e-05,2.898004e-05,2.905276e-05,2.914470e-05,2.917215e-05,2.927866e-05,2.928665e-05,2.937291e-05,2.940731e-05,2.945548e-05,2.950803e-05,2.952695e-05,2.958787e-05,2.959009e-05,2.963877e-05,2.965473e-05,2.968015e-05,2.970310e-05,2.971250e-05,2.973630e-05,2.975198e-05,2.975536e-05,2.975999e-05,2.976128e-05,2.976074e-05,2.975499e-05,2.975462e-05,2.974201e-05,2.973737e-05,2.972328e-05,2.970925e-05,2.969877e-05,2.967142e-05,2.966883e-05,2.963376e-05,2.962461e-05,2.959387e-05,2.956954e-05,2.954946e-05,2.950686e-05,2.950080e-05,2.944816e-05,2.943718e-05,2.939180e-05,2.936109e-05,2.933195e-05,2.927915e-05,2.926884e-05,2.920271e-05,2.919186e-05,2.913376e-05,2.909972e-05,2.906219e-05,2.900318e-05,2.898820e-05,2.891196e-05,2.890267e-05,2.883365e-05,2.879858e-05,2.875344e-05,2.869130e-05,2.867148e-05,2.858792e-05,2.858118e-05,2.850292e-05,2.846854e-05,2.841660e-05,2.835370e-05,2.832909e-05,2.824051e-05,2.823695e-05,2.815099e-05,2.811855e-05,2.806063e-05,2.799877e-05,2.796954e-05,2.787782e-05,2.775594e-05,2.763332e-05,2.751016e-05,2.738664e-05,2.726291e-05,2.713913e-05,2.701545e-05,2.689199e-05,2.676887e-05,2.664621e-05,2.652411e-05,2.640266e-05,2.628195e-05,2.616207e-05,2.604308e-05,2.592504e-05,2.580803e-05,2.569210e-05,2.557729e-05,2.546365e-05,2.535122e-05,2.524004e-05,2.513014e-05,2.502154e-05
0.000000e+00,9.197590e-09,3.592926e-08,2.723754e-07,1.043434e-06,1.931579e-06,7.334585e-06,7.697488e-06,2.254788e-05,2.935205e-05,5.465870e-05,8.712745e-05,1.162564e-04,2.124602e-04,2.230665e-04,3.917214e-04,4.431092e-04,6.370336e-04,8.123749e-04,9.706505e-04,1.343906e-03,1.400820e-03,1.932639e-03,2.051451e-03,2.568437e-03,2.940207e-03,3.308141e-03,4.008271e-03,4.149599e-03,5.088857e-03,5.247866e-03,6.120411e-03,6.646382e-03,7.237439e-03,8.187321e-03,8.432036e-03,9.695442e-03,9.851234e-03,1.101828e-02,1.161664e-02,1.239076e-02,1.346092e-02,1.380293e-02,1.524485e-02,1.536119e-02,1.670678e-02,1.729505e-02,1.817936e-02,1.924118e-02,1.965367e-02,2.112144e-02,2.117990e-02,2.257503e-02,2.309350e-02,2.400755e-02,2.496646e-02,2.541285e-02,2.678556e-02,2.812104e-02,2.853988e-02,2.941542e-02,3.022073e-02,3.066548e-02,3.182149e-02,3.186869e-02,3.302312e-02,3.333742e-02,3.412738e-02,3.476547e-02,3.518058e-02,3.610407e-02,3.618231e-02,3.713252e-02,3.735294e-02,3.803156e-02,3.851288e-02,3.888003e-02,3.958556e-02,3.967883e-02,4.042904e-02,4.057336e-02,4.113193e-02,4.147919e-02,4.178889e-02,4.230636e-02,4.240144e-02,4.297117e-02,4.305846e-02,4.349970e-02,4.373926e-02,4.398873e-02,4.435264e-02,4.443993e-02,4.485500e-02,4.490247e-02,4.523562e-02,4.539261e-02,4.558344e-02,4.582685e-02,4.590008e-02,4.618714e-02,4.620887e-02,4.644614e-02,4.654222e-02,4.667858e-02,4.683029e-02,4.688589e-02,4.706946e-02,4.707633e-02,4.723062e-02,4.728339e-02,4.737063e-02,4.745438e-02,4.749071e-02,4.759202e-02,4.767565e-02,4.769885e-02,4.774266e-02,4.777728e-02,4.779403e-02,4.782951e-02,4.783071e-02,4.785359e-02,4.785764e-02,4.786352e-02,4.786360e-02,4.786130e-02,4.784917e-02,4.784768e-02,4.782338e-02,4.781603e-02,4.778907e-02,4.776572e-02,4.774538e-02,4.769966e-02,4.769293e-02,4.763226e-02,4.761919e-02,4.756393e-02,4.752553e-02,4.748842e-02,4.741980e-02,4.740621e-02,4.731776e-02,4.730306e-02,4.722348e-02,4.717627e-02,4.712377e-02,4.704034e-02,4.701900e-02,4.690953e-02,4.689609e-02,4.679568e-02,4.674429e-02,4.667778e-02,4.658564e-02,4.655611e-02,4.643096e-02,4.642080e-02,4.630259e-02,4.625039e-02,4.617124e-02,4.607496e-02,4.603715e-02,4.590054e-02,4.589502e-02,4.576162e-02,4.571108e-02,4.562058e-02,4.552356e-02,4.547761e-02,4.533288e-02,4.513943e-02,4.494356e-02,4.474560e-02,4.454586e-02,4.434461e-02,4.414213e-02,4.393865e-02,4.373440e-02,4.352960e-02,4.332443e-02,4.311908e-02,4.291370e-02,4.270847e-02,4.250352e-02,4.229898e-02,4.209499e-02,4.189164e-02,4.168905e-02,4.148732e-02,4.128653e-02,4.108677e-02,4.088812e-02,4.069064e-02,4.049440e-02
0.000000e+00,2.327686e-10,6.166937e-10,2.488568e-09,6.115276e-09,9.188618e-09,2.201846e-08,2.272198e-08,4.563298e-08,5.411148e-08,8.079404e-08,1.090327e-07,1.311765e-07,1.926223e-07,1.986567e-07,2.830380e-07,3.056641e-07,3.830384e-07,4.454021e-07,4.974605e-07,6.093371e-07,6.253707e-07,7.659250e-07,7.954760e-07,9.182258e-07,1.001732e-06,1.081256e-06,1.225656e-06,1.253866e-06,1.434787e-06,1.464416e-06,1.622663e-06,1.714904e-06,1.816093e-06,1.973887e-06,2.013666e-06,2.214003e-06,2.238165e-06,2.415782e-06,2.504700e-06,2.617769e-06,2.770718e-06,2.818833e-06,3.017960e-06,3.033778e-06,3.214255e-06,3.291803e-06,3.406947e-06,3.543084e-06,3.595384e-06,3.779028e-06,3.786267e-06,3.957442e-06,4.020324e-06,4.130291e-06,4.244517e-06,4.297322e-06,4.458359e-06,4.613293e-06,4.661573e-06,4.762072e-06,4.854056e-06,4.904691e-06,5.035845e-06,5.041188e-06,5.171634e-06,5.207088e-06,5.296128e-06,5.368017e-06,5.414790e-06,5.518928e-06,5.527759e-06,5.635187e-06,5.660163e-06,5.737236e-06,5.792097e-06,5.834075e-06,5.915122e-06,5.925878e-06,6.012821e-06,6.029643e-06,6.095083e-06,6.136068e-06,6.172841e-06,6.234805e-06,6.246270e-06,6.315544e-06,6.326253e-06,6.380833e-06,6.410806e-06,6.442305e-06,6.488842e-06,6.500121e-06,6.554440e-06,6.560731e-06,6.605416e-06,6.626825e-06,6.653198e-06,6.687465e-06,6.697929e-06,6.739749e-06,6.742973e-06,6.778791e-06,6.793659e-06,6.815185e-06,6.839819e-06,6.849055e-06,6.880521e-06,6.881731e-06,6.909697e-06,6.919662e-06,6.936695e-06,6.953862e-06,6.961618e-06,6.984570e-06,7.005648e-06,7.012012e-06,7.024944e-06,7.036400e-06,7.042548e-06,7.057936e-06,7.058546e-06,7.073019e-06,7.076809e-06,7.086045e-06,7.093198e-06,7.097700e-06,7.107273e-06,7.108055e-06,7.117178e-06,7.119192e-06,7.125135e-06,7.129105e-06,7.131988e-06,7.137152e-06,7.137796e-06,7.142617e-06,7.143468e-06,7.146505e-06,7.148175e-06,7.149512e-06,7.151392e-06,7.151686e-06,7.153077e-06,7.153229e-06,7.153728e-06,7.153790e-06,7.153682e-06,7.153171e-06,7.152980e-06,7.151662e-06,7.151464e-06,7.149765e-06,7.148756e-06,7.147323e-06,7.145125e-06,7.144372e-06,7.140942e-06,7.140648e-06,7.137065e-06,7.135395e-06,7.132769e-06,7.129433e-06,7.128083e-06,7.123032e-06,7.122823e-06,7.117643e-06,7.115624e-06,7.111938e-06,7.107890e-06,7.105941e-06,7.099673e-06,7.091019e-06,7.081973e-06,7.072577e-06,7.062869e-06,7.052887e-06,7.042663e-06,7.032229e-06,7.021615e-06,7.010848e-06,6.999954e-06,6.988956e-06,6.977877e-06,6.966736e-06,6.955553e-06,6.944345e-06,6.933129e-06,6.921920e-06,6.910731e-06,6.899575e-06,6.888465e-06,6.877410e-06,6.866421e-06,6.855507e-06,6.844676e-06
0.000000e+00,4.763458e-11,1.830505e-10,1.338462e-09,4.944835e-09,8.957566e-09,3.193063e-08,3.341613e-08,9.075359e-08,1.154663e-07,2.021665e-07,3.056065e-07,3.936917e-07,6.668945e-07,6.959391e-07,1.143072e-06,1.275839e-06,1.769545e-06,2.209920e-06,2.604368e-06,3.526082e-06,3.665687e-06,4.958553e-06,5.244479e-06,6.475954e-06,7.348579e-06,8.201473e-06,9.795129e-06,1.011222e-05,1.218138e-05,1.252523e-05,1.438011e-05,1.547288e-05,1.667898e-05,1.857058e-05,1.904889e-05,2.146180e-05,2.175297e-05,2.389124e-05,2.495902e-05,2.631262e-05,2.813359e-05,2.870352e-05,3.104395e-05,3.122846e-05,3.331640e-05,3.420292e-05,3.550597e-05,3.702413e-05,3.760036e-05,3.958979e-05,3.966707e-05,4.146695e-05,4.211421e-05,4.322681e-05,4.435493e-05,4.486643e-05,4.638477e-05,4.778242e-05,4.820447e-05,4.906139e-05,4.981907e-05,5.022486e-05,5.123697e-05,5.127697e-05,5.222257e-05,5.246897e-05,5.306704e-05,5.352756e-05,5.381613e-05,5.442617e-05,5.447579e-05,5.505206e-05,5.517862e-05,5.555092e-05,5.579867e-05,5.597825e-05,5.629964e-05,5.633973e-05,5.664080e-05,5.669422e-05,5.688663e-05,5.699426e-05,5.708208e-05,5.721067e-05,5.723171e-05,5.733975e-05,5.735344e-05,5.741011e-05,5.743158e-05,5.744641e-05,5.745314e-05,5.745193e-05,5.742972e-05,5.742532e-05,5.738253e-05,5.735450e-05,5.731286e-05,5.724629e-05,5.722300e-05,5.711500e-05,5.710564e-05,5.699075e-05,5.693688e-05,5.685192e-05,5.674381e-05,5.670005e-05,5.653652e-05,5.652975e-05,5.636258e-05,5.629763e-05,5.617935e-05,5.604998e-05,5.598787e-05,5.578905e-05,5.558373e-05,5.551678e-05,5.537268e-05,5.523491e-05,5.515658e-05,5.494495e-05,5.493605e-05,5.471168e-05,5.464824e-05,5.448397e-05,5.434595e-05,5.425341e-05,5.403914e-05,5.402042e-05,5.378540e-05,5.372873e-05,5.354870e-05,5.341555e-05,5.331068e-05,5.310035e-05,5.307162e-05,5.283180e-05,5.278377e-05,5.259149e-05,5.246641e-05,5.235092e-05,5.214879e-05,5.211030e-05,5.186984e-05,5.183139e-05,5.162972e-05,5.151463e-05,5.139011e-05,5.119890e-05,5.115117e-05,5.091304e-05,5.088453e-05,5.067586e-05,5.057183e-05,5.043975e-05,5.026109e-05,5.020482e-05,4.997116e-05,4.995253e-05,4.973889e-05,4.964639e-05,4.950808e-05,4.934285e-05,4.927882e-05,4.905117e-05,4.904210e-05,4.882520e-05,4.874428e-05,4.860099e-05,4.844955e-05,4.837857e-05,4.815801e-05,4.786978e-05,4.758495e-05,4.730361e-05,4.702581e-05,4.675162e-05,4.648109e-05,4.621426e-05,4.595115e-05,4.569180e-05,4.543623e-05,4.518444e-05,4.493644e-05,4.469223e-05,4.445180e-05,4.421515e-05,4.398227e-05,4.375314e-05,4.352773e-05,4.330603e-05,4.308801e-05,4.287365e-05,4.266290e-05,4.245574e-05,4.225214e-05
0.000000e+00,4.970740e-11,1.861374e-10,1.290716e-09,4.545911e-09,8.022823e-09,2.673729e-08,2.790454e-08,7.084677e-08,8.848285e-08,1.477703e-07,2.148128e-07,2.696301e-07,4.303297e-07,4.467609e-07,6.884655e-07,7.570008e-07,1.002710e-06,1.212791e-06,1.395755e-06,1.810053e-06,1.871588e-06,2.431214e-06,2.553041e-06,3.072203e-06,3.435884e-06,3.788824e-06,4.443185e-06,4.572732e-06,5.413863e-06,5.553028e-06,6.301260e-06,6.740347e-06,7.223704e-06,7.979453e-06,8.170144e-06,9.129990e-06,9.245593e-06,1.009332e-05,1.051591e-05,1.105102e-05,1.177001e-05,1.199487e-05,1.291767e-05,1.299039e-05,1.381319e-05,1.416257e-05,1.467627e-05,1.527523e-05,1.550276e-05,1.628947e-05,1.632007e-05,1.703412e-05,1.729159e-05,1.773527e-05,1.818682e-05,1.839222e-05,1.900491e-05,1.957382e-05,1.974677e-05,2.009990e-05,2.041471e-05,2.058445e-05,2.101201e-05,2.102905e-05,2.143548e-05,2.154270e-05,2.180566e-05,2.201122e-05,2.214162e-05,2.242224e-05,2.244541e-05,2.271906e-05,2.278048e-05,2.296461e-05,2.309057e-05,2.318401e-05,2.335697e-05,2.337917e-05,2.355189e-05,2.358389e-05,2.370389e-05,2.377528e-05,2.383678e-05,2.393476e-05,2.395209e-05,2.405122e-05,2.406567e-05,2.413550e-05,2.417105e-05,2.420616e-05,2.425363e-05,2.426431e-05,2.431101e-05,2.431589e-05,2.434722e-05,2.436006e-05,2.437383e-05,2.438812e-05,2.439164e-05,2.440141e-05,2.440187e-05,2.440383e-05,2.440287e-05,2.439951e-05,2.439257e-05,2.438906e-05,2.437298e-05,2.437222e-05,2.435177e-05,2.434296e-05,2.432587e-05,2.430579e-05,2.429569e-05,2.426162e-05,2.422399e-05,2.421125e-05,2.418312e-05,2.415540e-05,2.413930e-05,2.409471e-05,2.409280e-05,2.404388e-05,2.402978e-05,2.399275e-05,2.396111e-05,2.393963e-05,2.388917e-05,2.388471e-05,2.382818e-05,2.381439e-05,2.377019e-05,2.373714e-05,2.371091e-05,2.365778e-05,2.365047e-05,2.358900e-05,2.357660e-05,2.352664e-05,2.349389e-05,2.346348e-05,2.340990e-05,2.339965e-05,2.333523e-05,2.332487e-05,2.327031e-05,2.323901e-05,2.320499e-05,2.315249e-05,2.313934e-05,2.307343e-05,2.306550e-05,2.300733e-05,2.297820e-05,2.294110e-05,2.289072e-05,2.287481e-05,2.280850e-05,2.280320e-05,2.274224e-05,2.271575e-05,2.267606e-05,2.262849e-05,2.261001e-05,2.254413e-05,2.254150e-05,2.247847e-05,2.245489e-05,2.241305e-05,2.236872e-05,2.234790e-05,2.228307e-05,2.219801e-05,2.211360e-05,2.202989e-05,2.194693e-05,2.186477e-05,2.178344e-05,2.170298e-05,2.162341e-05,2.154478e-05,2.146709e-05,2.139038e-05,2.131466e-05,2.123995e-05,2.116625e-05,2.109359e-05,2.102196e-05,2.095139e-05,2.088186e-05,2.081339e-05,2.074598e-05,2.067962e-05,2.061433e-05,2.055009e-05,2.048690e-05
0.000000e+00,6.589846e-10,2.582664e-09,1.967306e-08,7.543731e-08,1.394606e-07,5.235254e-07,5.490172e-07,1.566500e-06,2.019017e-06,3.647636e-06,5.647625e-06,7.384234e-06,1.289979e-05,1.349488e-05,2.280591e-05,2.561581e-05,3.621655e-05,4.586097e-05,5.464667e-05,7.571999e-05,7.897884e-05,1.100094e-04,1.170811e-04,1.484132e-04,1.714792e-04,1.947201e-04,2.400015e-04,2.493009e-04,3.123602e-04,3.232414e-04,3.839360e-04,4.212870e-04,4.639043e-04,5.337411e-04,5.519895e-04,6.477783e-04,6.597665e-04,7.507370e-04,7.981497e-04,8.602306e-04,9.473785e-04,9.755437e-04,1.095901e-03,1.105723e-03,1.220488e-03,1.271320e-03,1.348469e-03,1.442246e-03,1.479006e-03,1.611272e-03,1.616587e-03,1.744467e-03,1.792496e-03,1.877826e-03,1.968234e-03,2.010628e-03,2.142207e-03,2.271950e-03,2.312987e-03,2.399303e-03,2.479326e-03,2.523776e-03,2.640159e-03,2.644937e-03,2.762412e-03,2.794601e-03,2.875889e-03,2.941946e-03,2.985108e-03,3.081650e-03,3.089862e-03,3.189992e-03,3.213321e-03,3.285384e-03,3.336706e-03,3.375966e-03,3.451670e-03,3.461702e-03,3.542590e-03,3.558188e-03,3.618658e-03,3.656325e-03,3.689958e-03,3.746220e-03,3.756566e-03,3.818578e-03,3.828080e-03,3.876104e-03,3.902160e-03,3.929271e-03,3.968757e-03,3.978215e-03,4.023079e-03,4.028196e-03,4.064018e-03,4.080827e-03,4.101186e-03,4.127011e-03,4.134744e-03,4.164854e-03,4.167118e-03,4.191677e-03,4.201522e-03,4.215375e-03,4.230593e-03,4.236109e-03,4.254035e-03,4.254696e-03,4.269308e-03,4.274186e-03,4.282078e-03,4.289408e-03,4.292493e-03,4.300695e-03,4.306821e-03,4.308364e-03,4.311002e-03,4.312718e-03,4.313368e-03,4.314044e-03,4.314040e-03,4.313134e-03,4.312613e-03,4.310762e-03,4.308679e-03,4.307030e-03,4.302483e-03,4.302039e-03,4.295886e-03,4.294247e-03,4.288661e-03,4.284180e-03,4.280452e-03,4.272477e-03,4.271338e-03,4.261398e-03,4.259317e-03,4.250704e-03,4.244868e-03,4.239324e-03,4.229283e-03,4.227323e-03,4.214762e-03,4.212704e-03,4.201696e-03,4.195262e-03,4.188180e-03,4.177077e-03,4.174263e-03,4.159992e-03,4.158258e-03,4.145411e-03,4.138907e-03,4.130559e-03,4.119116e-03,4.115476e-03,4.100197e-03,4.098967e-03,4.084755e-03,4.078539e-03,4.069179e-03,4.057899e-03,4.053500e-03,4.037743e-03,4.037111e-03,4.021932e-03,4.016232e-03,4.006091e-03,3.995313e-03,3.990241e-03,3.974400e-03,3.953535e-03,3.932756e-03,3.912095e-03,3.891583e-03,3.871246e-03,3.851108e-03,3.831189e-03,3.811507e-03,3.792078e-03,3.772917e-03,3.754034e-03,3.735439e-03,3.717142e-03,3.699148e-03,3.681465e-03,3.664095e-03,3.647042e-03,3.630310e-03,3.613898e-03,3.597809e-03,3.582042e-03,3.566596e-03,3.551470e-03,3.536663e-03
0.000000e+00,7.925398e-11,3.055162e-10,2.248530e-09,8.355531e-09,1.518303e-08,5.452735e-08,5.708015e-08,1.559725e-07,1.987160e-07,3.488797e-07,5.281053e-07,6.806014e-07,1.152143e-06,1.202121e-06,1.967479e-06,2.193318e-06,3.028236e-06,3.767817e-06,4.427456e-06,5.963631e-06,6.196083e-06,8.352064e-06,8.830444e-06,1.090106e-05,1.238050e-05,1.383775e-05,1.659350e-05,1.714720e-05,2.080620e-05,2.142215e-05,2.478463e-05,2.679740e-05,2.904668e-05,3.263369e-05,3.355224e-05,3.825814e-05,3.883418e-05,4.311948e-05,4.529601e-05,4.809089e-05,5.191522e-05,5.312766e-05,5.818675e-05,5.859121e-05,6.322765e-05,6.523045e-05,6.821308e-05,7.174923e-05,7.310946e-05,7.788725e-05,7.807552e-05,8.252112e-05,8.414988e-05,8.698991e-05,8.992555e-05,9.127660e-05,9.536804e-05,9.925472e-05,1.004541e-04,1.029304e-04,1.051705e-04,1.063919e-04,1.095127e-04,1.096384e-04,1.126716e-04,1.134831e-04,1.154948e-04,1.170899e-04,1.181130e-04,1.203459e-04,1.205323e-04,1.227598e-04,1.232668e-04,1.248035e-04,1.258707e-04,1.266716e-04,1.281773e-04,1.283729e-04,1.299160e-04,1.302064e-04,1.313099e-04,1.319786e-04,1.325632e-04,1.335136e-04,1.336845e-04,1.346822e-04,1.348309e-04,1.355643e-04,1.359489e-04,1.363385e-04,1.368852e-04,1.370123e-04,1.375926e-04,1.376563e-04,1.380861e-04,1.382774e-04,1.384991e-04,1.387628e-04,1.388375e-04,1.391068e-04,1.391255e-04,1.393123e-04,1.393777e-04,1.394588e-04,1.395303e-04,1.395508e-04,1.395927e-04,1.395934e-04,1.395883e-04,1.395761e-04,1.395413e-04,1.394868e-04,1.394552e-04,1.393331e-04,1.391781e-04,1.391219e-04,1.389928e-04,1.388595e-04,1.387797e-04,1.385513e-04,1.385414e-04,1.382798e-04,1.382028e-04,1.379972e-04,1.378183e-04,1.376954e-04,1.374022e-04,1.373761e-04,1.370410e-04,1.369583e-04,1.366915e-04,1.364901e-04,1.363291e-04,1.360006e-04,1.359552e-04,1.355708e-04,1.354927e-04,1.351771e-04,1.349690e-04,1.347751e-04,1.344318e-04,1.343659e-04,1.339503e-04,1.338833e-04,1.335291e-04,1.333252e-04,1.331032e-04,1.327594e-04,1.326731e-04,1.322397e-04,1.321875e-04,1.318035e-04,1.316108e-04,1.313651e-04,1.310307e-04,1.309250e-04,1.304837e-04,1.304484e-04,1.300417e-04,1.298648e-04,1.295994e-04,1.292810e-04,1.291573e-04,1.287155e-04,1.286979e-04,1.282746e-04,1.281162e-04,1.278348e-04,1.275366e-04,1.273964e-04,1.269597e-04,1.263862e-04,1.258166e-04,1.252514e-04,1.246909e-04,1.241355e-04,1.235856e-04,1.230414e-04,1.225033e-04,1.219714e-04,1.214460e-04,1.209273e-04,1.204153e-04,1.199102e-04,1.194122e-04,1.189213e-04,1.184376e-04,1.179611e-04,1.174919e-04,1.170301e-04,1.165756e-04,1.161284e-04,1.156886e-04,1.152561e-04,1.148310e-04
0.000000e+00,4.117282e-10,1.604831e-09,1.208482e-08,4.584795e-08,8.425702e-08,3.113932e-07,3.263455e-07,9.164415e-07,1.175986e-06,2.100895e-06,3.222913e-06,4.188283e-06,7.215437e-06,7.539205e-06,1.255062e-05,1.404604e-05,1.963142e-05,2.464719e-05,2.917013e-05,3.986658e-05,4.150364e-05,5.689503e-05,6.035744e-05,7.552159e-05,8.651845e-05,9.747045e-05,1.184760e-04,1.227396e-04,1.512429e-04,1.560937e-04,1.828175e-04,1.989993e-04,2.172343e-04,2.466247e-04,2.542091e-04,2.934151e-04,2.982530e-04,3.344953e-04,3.530682e-04,3.770752e-04,4.102040e-04,4.207732e-04,4.652113e-04,4.687873e-04,5.100238e-04,5.279751e-04,5.548638e-04,5.869837e-04,5.994092e-04,6.433666e-04,6.451089e-04,6.864735e-04,7.017385e-04,7.285000e-04,7.563590e-04,7.692489e-04,8.085554e-04,8.462853e-04,8.580081e-04,8.823339e-04,9.044856e-04,9.166233e-04,9.478365e-04,9.491003e-04,9.797340e-04,9.879791e-04,1.008513e-03,1.024892e-03,1.035443e-03,1.058603e-03,1.060544e-03,1.083851e-03,1.089181e-03,1.105405e-03,1.116729e-03,1.125258e-03,1.141370e-03,1.143470e-03,1.160104e-03,1.163247e-03,1.175227e-03,1.182517e-03,1.188909e-03,1.199340e-03,1.201221e-03,1.212235e-03,1.213882e-03,1.222023e-03,1.226307e-03,1.230656e-03,1.236777e-03,1.238203e-03,1.244731e-03,1.245449e-03,1.250307e-03,1.252476e-03,1.254995e-03,1.258000e-03,1.258853e-03,1.261942e-03,1.262157e-03,1.264316e-03,1.265077e-03,1.266028e-03,1.266879e-03,1.267128e-03,1.267664e-03,1.267674e-03,1.267679e-03,1.267565e-03,1.267215e-03,1.266647e-03,1.266313e-03,1.265009e-03,1.263337e-03,1.262730e-03,1.261330e-03,1.259884e-03,1.259018e-03,1.256538e-03,1.256430e-03,1.253591e-03,1.252754e-03,1.250526e-03,1.248588e-03,1.247257e-03,1.244089e-03,1.243807e-03,1.240193e-03,1.239304e-03,1.236435e-03,1.234274e-03,1.232550e-03,1.229037e-03,1.228552e-03,1.224457e-03,1.223627e-03,1.220277e-03,1.218074e-03,1.216025e-03,1.212406e-03,1.211712e-03,1.207349e-03,1.206647e-03,1.202946e-03,1.200820e-03,1.198510e-03,1.194945e-03,1.194052e-03,1.189577e-03,1.189039e-03,1.185093e-03,1.183119e-03,1.180607e-03,1.177199e-03,1.176124e-03,1.171649e-03,1.171292e-03,1.167188e-03,1.165408e-03,1.162744e-03,1.159558e-03,1.158323e-03,1.153927e-03,1.153752e-03,1.149560e-03,1.147995e-03,1.145225e-03,1.142297e-03,1.140925e-03,1.136662e-03,1.131096e-03,1.125603e-03,1.120188e-03,1.114854e-03,1.109603e-03,1.104438e-03,1.099362e-03,1.094374e-03,1.089478e-03,1.084673e-03,1.079961e-03,1.075341e-03,1.070814e-03,1.066380e-03,1.062039e-03,1.057789e-03,1.053632e-03,1.049566e-03,1.045589e-03,1.041703e-03,1.037905e-03,1.034194e-03,1.030569e-03,1.027030e-03
0.000000e+00,2.042442e-10,7.994467e-10,6.073507e-09,2.323280e-08,4.289342e-08,1.604707e-07,1.682613e-07,4.785007e-07,6.161766e-07,1.110762e-06,1.716812e-06,2.242245e-06,3.907690e-06,4.087144e-06,6.890409e-06,7.734985e-06,1.091673e-05,1.380648e-05,1.643587e-05,2.273491e-05,2.370837e-05,3.297408e-05,3.508554e-05,4.444363e-05,5.133837e-05,5.829188e-05,7.186220e-05,7.465315e-05,9.361790e-05,9.689750e-05,1.152309e-04,1.265471e-04,1.394906e-04,1.607743e-04,1.663506e-04,1.957216e-04,1.994091e-04,2.274750e-04,2.421604e-04,2.614477e-04,2.886335e-04,2.974468e-04,3.352559e-04,3.383519e-04,3.746402e-04,3.907800e-04,4.153530e-04,4.453466e-04,4.571408e-04,4.997487e-04,5.014665e-04,5.429251e-04,5.585604e-04,5.864254e-04,6.160708e-04,6.300158e-04,6.734757e-04,7.166004e-04,7.302983e-04,7.592021e-04,7.861137e-04,8.011113e-04,8.405522e-04,8.421769e-04,8.822669e-04,8.933013e-04,9.212674e-04,9.441042e-04,9.590826e-04,9.927575e-04,9.956335e-04,1.030857e-03,1.039108e-03,1.064706e-03,1.083047e-03,1.097146e-03,1.124509e-03,1.128154e-03,1.157722e-03,1.163462e-03,1.185848e-03,1.199906e-03,1.212541e-03,1.233867e-03,1.237816e-03,1.261698e-03,1.265391e-03,1.284213e-03,1.294545e-03,1.305395e-03,1.321405e-03,1.325281e-03,1.343910e-03,1.346062e-03,1.361324e-03,1.368612e-03,1.377567e-03,1.389156e-03,1.392683e-03,1.406719e-03,1.407797e-03,1.419721e-03,1.424642e-03,1.431733e-03,1.439794e-03,1.442800e-03,1.452969e-03,1.453358e-03,1.462282e-03,1.465433e-03,1.470781e-03,1.476118e-03,1.478509e-03,1.485505e-03,1.491809e-03,1.493686e-03,1.497457e-03,1.500744e-03,1.502485e-03,1.506761e-03,1.506927e-03,1.510817e-03,1.511812e-03,1.514186e-03,1.515970e-03,1.517064e-03,1.519302e-03,1.519478e-03,1.521457e-03,1.521870e-03,1.523025e-03,1.523734e-03,1.524208e-03,1.524948e-03,1.525028e-03,1.525506e-03,1.525563e-03,1.525664e-03,1.525627e-03,1.525522e-03,1.525183e-03,1.525097e-03,1.524407e-03,1.524274e-03,1.523469e-03,1.522935e-03,1.522298e-03,1.521204e-03,1.520909e-03,1.519316e-03,1.519112e-03,1.517531e-03,1.516689e-03,1.515568e-03,1.513963e-03,1.513437e-03,1.511149e-03,1.510960e-03,1.508716e-03,1.507704e-03,1.506147e-03,1.504218e-03,1.503450e-03,1.500635e-03,1.500520e-03,1.497710e-03,1.496632e-03,1.494683e-03,1.492570e-03,1.491560e-03,1.488350e-03,1.483987e-03,1.479496e-03,1.474890e-03,1.470180e-03,1.465378e-03,1.460494e-03,1.455538e-03,1.450518e-03,1.445444e-03,1.440322e-03,1.435161e-03,1.429966e-03,1.424744e-03,1.419501e-03,1.414242e-03,1.408972e-03,1.403696e-03,1.398418e-03,1.393142e-03,1.387872e-03,1.382612e-03,1.377364e-03,1.372132e-03,1.366918e-03
0.000000e+00,3.710004e-10,1.260064e-09,7.284379e-09,2.226150e-08,3.669541e-08,1.058255e-07,1.099045e-07,2.534556e-07,3.107791e-07,5.023306e-07,7.198083e-07,8.986419e-07,1.422069e-06,1.475073e-06,2.233117e-06,2.439455e-06,3.146706e-06,3.713938e-06,4.183314e-06,5.176043e-06,5.316420e-06,6.526803e-06,6.776822e-06,7.799923e-06,8.482615e-06,9.123487e-06,1.026586e-05,1.048602e-05,1.187625e-05,1.210050e-05,1.328303e-05,1.396094e-05,1.469545e-05,1.582241e-05,1.610307e-05,1.749616e-05,1.766192e-05,1.886586e-05,1.945908e-05,2.020441e-05,2.119672e-05,2.150513e-05,2.276254e-05,2.286112e-05,2.397222e-05,2.444195e-05,2.513083e-05,2.593204e-05,2.623599e-05,2.728617e-05,2.732702e-05,2.828065e-05,2.862499e-05,2.921933e-05,2.982596e-05,3.010265e-05,3.093151e-05,3.170712e-05,3.194429e-05,3.243092e-05,3.286775e-05,3.310461e-05,3.370588e-05,3.372999e-05,3.430901e-05,3.446309e-05,3.484365e-05,3.514397e-05,3.533593e-05,3.575316e-05,3.578788e-05,3.620147e-05,3.629524e-05,3.657867e-05,3.677473e-05,3.692140e-05,3.719596e-05,3.723151e-05,3.751078e-05,3.756309e-05,3.776094e-05,3.788008e-05,3.798365e-05,3.815067e-05,3.818049e-05,3.835297e-05,3.837841e-05,3.850254e-05,3.856660e-05,3.863056e-05,3.871835e-05,3.873835e-05,3.882714e-05,3.883657e-05,3.889811e-05,3.892398e-05,3.895237e-05,3.898309e-05,3.899098e-05,3.901494e-05,3.901625e-05,3.902519e-05,3.902565e-05,3.902263e-05,3.901333e-05,3.900810e-05,3.898240e-05,3.898115e-05,3.894628e-05,3.893087e-05,3.890046e-05,3.886410e-05,3.884560e-05,3.878235e-05,3.871129e-05,3.868700e-05,3.863300e-05,3.857934e-05,3.854800e-05,3.846055e-05,3.845679e-05,3.835985e-05,3.833174e-05,3.825762e-05,3.819391e-05,3.815052e-05,3.804802e-05,3.803894e-05,3.792326e-05,3.789493e-05,3.780383e-05,3.773543e-05,3.768097e-05,3.757028e-05,3.755500e-05,3.742621e-05,3.740014e-05,3.729487e-05,3.722566e-05,3.716125e-05,3.704741e-05,3.702557e-05,3.688807e-05,3.686592e-05,3.674897e-05,3.668169e-05,3.660847e-05,3.649518e-05,3.646675e-05,3.632399e-05,3.630680e-05,3.618036e-05,3.611693e-05,3.603602e-05,3.592593e-05,3.589111e-05,3.574577e-05,3.573412e-05,3.560012e-05,3.554181e-05,3.545430e-05,3.534925e-05,3.530840e-05,3.516254e-05,3.515671e-05,3.501682e-05,3.496441e-05,3.487133e-05,3.477256e-05,3.472614e-05,3.458136e-05,3.439097e-05,3.420155e-05,3.401325e-05,3.382621e-05,3.364053e-05,3.345633e-05,3.327369e-05,3.309272e-05,3.291348e-05,3.273605e-05,3.256048e-05,3.238683e-05,3.221515e-05,3.204547e-05,3.187784e-05,3.171228e-05,3.154881e-05,3.138747e-05,3.122826e-05,3.107120e-05,3.091630e-05,3.076356e-05,3.061299e-05,3.046458e-05
0.000000e+00,5.853086e-11,2.226253e-10,1.594070e-09,5.779980e-09,1.036505e-08,3.601279e-08,3.764949e-08,9.975240e-08,1.260787e-07,2.171472e-07,3.239737e-07,4.138339e-07,6.880771e-07,7.169243e-07,1.155865e-06,1.284755e-06,1.760153e-06,2.180481e-06,2.554928e-06,3.424794e-06,3.556073e-06,4.767666e-06,5.034790e-06,6.182701e-06,6.994057e-06,7.785797e-06,9.262716e-06,9.556302e-06,1.147084e-05,1.178891e-05,1.350508e-05,1.451690e-05,1.563481e-05,1.739153e-05,1.783655e-05,2.008783e-05,2.036029e-05,2.236740e-05,2.337418e-05,2.465532e-05,2.638829e-05,2.693310e-05,2.918375e-05,2.936216e-05,3.139194e-05,3.226022e-05,3.354406e-05,3.505217e-05,3.562830e-05,3.763467e-05,3.771318e-05,3.955499e-05,4.022396e-05,4.138287e-05,4.257056e-05,4.311361e-05,4.474409e-05,4.627263e-05,4.674013e-05,4.769884e-05,4.855822e-05,4.902347e-05,5.020112e-05,5.024823e-05,5.137560e-05,5.167423e-05,5.240874e-05,5.298490e-05,5.335131e-05,5.414193e-05,5.420733e-05,5.498107e-05,5.515501e-05,5.567696e-05,5.603434e-05,5.629952e-05,5.679027e-05,5.685323e-05,5.734253e-05,5.743305e-05,5.777175e-05,5.797259e-05,5.814507e-05,5.841838e-05,5.846648e-05,5.873981e-05,5.877932e-05,5.896867e-05,5.906373e-05,5.915646e-05,5.927928e-05,5.930638e-05,5.942142e-05,5.943301e-05,5.950435e-05,5.953134e-05,5.955775e-05,5.958008e-05,5.958403e-05,5.958539e-05,5.958449e-05,5.956389e-05,5.954932e-05,5.952142e-05,5.947884e-05,5.945972e-05,5.938039e-05,5.937687e-05,5.928492e-05,5.924686e-05,5.917466e-05,5.909188e-05,5.905087e-05,5.891470e-05,5.876721e-05,5.871779e-05,5.860938e-05,5.850337e-05,5.844212e-05,5.827344e-05,5.826625e-05,5.808253e-05,5.802978e-05,5.789168e-05,5.777402e-05,5.769434e-05,5.750758e-05,5.749112e-05,5.728257e-05,5.723179e-05,5.706922e-05,5.694782e-05,5.685153e-05,5.665673e-05,5.662995e-05,5.640488e-05,5.635949e-05,5.617672e-05,5.605696e-05,5.594580e-05,5.574994e-05,5.571246e-05,5.547700e-05,5.543915e-05,5.523970e-05,5.512523e-05,5.500084e-05,5.480878e-05,5.476064e-05,5.451935e-05,5.449033e-05,5.427717e-05,5.417038e-05,5.403430e-05,5.384938e-05,5.379093e-05,5.354723e-05,5.352773e-05,5.330336e-05,5.320580e-05,5.305947e-05,5.288394e-05,5.281571e-05,5.257219e-05,5.256246e-05,5.232905e-05,5.224163e-05,5.208640e-05,5.192173e-05,5.184434e-05,5.160298e-05,5.128559e-05,5.096978e-05,5.065570e-05,5.034353e-05,5.003342e-05,4.972550e-05,4.941988e-05,4.911669e-05,4.881601e-05,4.851794e-05,4.822256e-05,4.792994e-05,4.764013e-05,4.735321e-05,4.706920e-05,4.678816e-05,4.651013e-05,4.623512e-05,4.596318e-05,4.569432e-05,4.542855e-05,4.516589e-05,4.490635e-05,4.464994e-05
0.000000e+00,6.959819e-10,2.728043e-09,2.078887e-08,7.976201e-08,1.475197e-07,5.546883e-07,5.817475e-07,1.664346e-06,2.147171e-06,3.890453e-06,6.041449e-06,7.917081e-06,1.391583e-05,1.456648e-05,2.482121e-05,2.794071e-05,3.979729e-05,5.068816e-05,6.068150e-05,8.487777e-05,8.864364e-05,1.247543e-04,1.330380e-04,1.699285e-04,1.972503e-04,2.248936e-04,2.790219e-04,2.901761e-04,3.660975e-04,3.792430e-04,4.527780e-04,4.981919e-04,5.501443e-04,6.355651e-04,6.579407e-04,7.757440e-04,7.905270e-04,9.029796e-04,9.617737e-04,1.038941e-03,1.147608e-03,1.182810e-03,1.333679e-03,1.346022e-03,1.490571e-03,1.554786e-03,1.652462e-03,1.771530e-03,1.818302e-03,1.987035e-03,1.993830e-03,2.157614e-03,2.219277e-03,2.329020e-03,2.445546e-03,2.500272e-03,2.670442e-03,2.838660e-03,2.891945e-03,3.004126e-03,3.108238e-03,3.166108e-03,3.317726e-03,3.323953e-03,3.477082e-03,3.519043e-03,3.624995e-03,3.711057e-03,3.767263e-03,3.892860e-03,3.903534e-03,4.033523e-03,4.063760e-03,4.157011e-03,4.223265e-03,4.273844e-03,4.371070e-03,4.383920e-03,4.487193e-03,4.507030e-03,4.583661e-03,4.631148e-03,4.673367e-03,4.743552e-03,4.756392e-03,4.832846e-03,4.844478e-03,4.902872e-03,4.934248e-03,4.966634e-03,5.013259e-03,5.024319e-03,5.076129e-03,5.081961e-03,5.122279e-03,5.140851e-03,5.162997e-03,5.190451e-03,5.198514e-03,5.229071e-03,5.231308e-03,5.254908e-03,5.263976e-03,5.276268e-03,5.289011e-03,5.293393e-03,5.306521e-03,5.306966e-03,5.315887e-03,5.318383e-03,5.321723e-03,5.323790e-03,5.324253e-03,5.323697e-03,5.320265e-03,5.318594e-03,5.314163e-03,5.308947e-03,5.305587e-03,5.295200e-03,5.294724e-03,5.281757e-03,5.277772e-03,5.266856e-03,5.257055e-03,5.250185e-03,5.233418e-03,5.231900e-03,5.212148e-03,5.207205e-03,5.191068e-03,5.178733e-03,5.168793e-03,5.148299e-03,5.145445e-03,5.121142e-03,5.116176e-03,5.095993e-03,5.082615e-03,5.070100e-03,5.047845e-03,5.043559e-03,5.016460e-03,5.012078e-03,4.988886e-03,4.975505e-03,4.960915e-03,4.938301e-03,4.932619e-03,4.904066e-03,4.900625e-03,4.875317e-03,4.862621e-03,4.846430e-03,4.824416e-03,4.817458e-03,4.788450e-03,4.786129e-03,4.759450e-03,4.747862e-03,4.730500e-03,4.709708e-03,4.701637e-03,4.672896e-03,4.671750e-03,4.644308e-03,4.634060e-03,4.615902e-03,4.596703e-03,4.587704e-03,4.559736e-03,4.523207e-03,4.487160e-03,4.451630e-03,4.416648e-03,4.382242e-03,4.348431e-03,4.315235e-03,4.282668e-03,4.250739e-03,4.219457e-03,4.188827e-03,4.158852e-03,4.129532e-03,4.100868e-03,4.072855e-03,4.045490e-03,4.018768e-03,3.992682e-03,3.967224e-03,3.942386e-03,3.918160e-03,3.894536e-03,3.871505e-03,3.849054e-03
0.000000e+00,3.123622e-10,1.217013e-09,9.157194e-09,3.471958e-08,6.378747e-08,2.356138e-07,2.469236e-07,6.932928e-07,8.896694e-07,1.589823e-06,2.440018e-06,3.172305e-06,5.473761e-06,5.720410e-06,9.551992e-06,1.070083e-05,1.501659e-05,1.892828e-05,2.248657e-05,3.102204e-05,3.234337e-05,4.495723e-05,4.784121e-05,6.066287e-05,7.014629e-05,7.973684e-05,9.851275e-05,1.023820e-04,1.287201e-04,1.332807e-04,1.587920e-04,1.745450e-04,1.925618e-04,2.221714e-04,2.299241e-04,2.707123e-04,2.758271e-04,3.147072e-04,3.350145e-04,3.616459e-04,3.991057e-04,4.112302e-04,4.631341e-04,4.673764e-04,5.170124e-04,5.390366e-04,5.725071e-04,6.132601e-04,6.292547e-04,6.868920e-04,6.892109e-04,7.450621e-04,7.660668e-04,8.034192e-04,8.430393e-04,8.616325e-04,9.193907e-04,9.764039e-04,9.944467e-04,1.032407e-03,1.067606e-03,1.087158e-03,1.138345e-03,1.140446e-03,1.192083e-03,1.206223e-03,1.241909e-03,1.270878e-03,1.289790e-03,1.332029e-03,1.335617e-03,1.379306e-03,1.389466e-03,1.420795e-03,1.443051e-03,1.460041e-03,1.492705e-03,1.497023e-03,1.531735e-03,1.538406e-03,1.564189e-03,1.580180e-03,1.594408e-03,1.618092e-03,1.622430e-03,1.648299e-03,1.652242e-03,1.672072e-03,1.682757e-03,1.693812e-03,1.709785e-03,1.713586e-03,1.731467e-03,1.733489e-03,1.747532e-03,1.754045e-03,1.761859e-03,1.771635e-03,1.774528e-03,1.785621e-03,1.786443e-03,1.795218e-03,1.798656e-03,1.803399e-03,1.808457e-03,1.810243e-03,1.815829e-03,1.816027e-03,1.820231e-03,1.821540e-03,1.823523e-03,1.825164e-03,1.825777e-03,1.827060e-03,1.827440e-03,1.827380e-03,1.826978e-03,1.826269e-03,1.825735e-03,1.823861e-03,1.823769e-03,1.821134e-03,1.820283e-03,1.817882e-03,1.815655e-03,1.814062e-03,1.810087e-03,1.809722e-03,1.804903e-03,1.803680e-03,1.799648e-03,1.796530e-03,1.793996e-03,1.788722e-03,1.787983e-03,1.781643e-03,1.780339e-03,1.775009e-03,1.771452e-03,1.768110e-03,1.762131e-03,1.760975e-03,1.753630e-03,1.752436e-03,1.746099e-03,1.742425e-03,1.738406e-03,1.732148e-03,1.730571e-03,1.722615e-03,1.721653e-03,1.714556e-03,1.710982e-03,1.706411e-03,1.700173e-03,1.698196e-03,1.689925e-03,1.689261e-03,1.681613e-03,1.678279e-03,1.673271e-03,1.667254e-03,1.664913e-03,1.656547e-03,1.656212e-03,1.648185e-03,1.645177e-03,1.639834e-03,1.634168e-03,1.631505e-03,1.623204e-03,1.612302e-03,1.601476e-03,1.590740e-03,1.580104e-03,1.569580e-03,1.559175e-03,1.548898e-03,1.538755e-03,1.528752e-03,1.518893e-03,1.509183e-03,1.499625e-03,1.490222e-03,1.480976e-03,1.471888e-03,1.462959e-03,1.454191e-03,1.445584e-03,1.437137e-03,1.428851e-03,1.420724e-03,1.412756e-03,1.404946e-03,1.397292e-03
0.000000e+00,1.123600e-10,2.791501e-10,1.045355e-09,2.469704e-09,3.650343e-09,8.445007e-09,8.703337e-09,1.692922e-08,1.989652e-08,2.902655e-08,3.842899e-08,4.567970e-08,6.557160e-08,6.752242e-08,9.499667e-08,1.024447e-07,1.281673e-07,1.491281e-07,1.667340e-07,2.047731e-07,2.102387e-07,2.582118e-07,2.683026e-07,3.101987e-07,3.386670e-07,3.657425e-07,4.148025e-07,4.243699e-07,4.855868e-07,4.955878e-07,5.488824e-07,5.798506e-07,6.137389e-07,6.664023e-07,6.796426e-07,7.460953e-07,7.540838e-07,8.126248e-07,8.418078e-07,8.787930e-07,9.285930e-07,9.442025e-07,1.008501e-06,1.013587e-06,1.071381e-06,1.096077e-06,1.132585e-06,1.175492e-06,1.191899e-06,1.249151e-06,1.251396e-06,1.304212e-06,1.323479e-06,1.356988e-06,1.391537e-06,1.407416e-06,1.455462e-06,1.501117e-06,1.515223e-06,1.544392e-06,1.570851e-06,1.585315e-06,1.622428e-06,1.623929e-06,1.660287e-06,1.670071e-06,1.694451e-06,1.713924e-06,1.726490e-06,1.754152e-06,1.756478e-06,1.784491e-06,1.790930e-06,1.810610e-06,1.824439e-06,1.834914e-06,1.854863e-06,1.857482e-06,1.878394e-06,1.882385e-06,1.897729e-06,1.907184e-06,1.915562e-06,1.929435e-06,1.931967e-06,1.947018e-06,1.949305e-06,1.960784e-06,1.966955e-06,1.973332e-06,1.982537e-06,1.984726e-06,1.995029e-06,1.996195e-06,2.004299e-06,2.008065e-06,2.012593e-06,2.018277e-06,2.019965e-06,2.026466e-06,2.026950e-06,2.032146e-06,2.034198e-06,2.037051e-06,2.040127e-06,2.041225e-06,2.044710e-06,2.044836e-06,2.047547e-06,2.048417e-06,2.049773e-06,2.050957e-06,2.051425e-06,2.052536e-06,2.053139e-06,2.053229e-06,2.053264e-06,2.053107e-06,2.052941e-06,2.052235e-06,2.052198e-06,2.051059e-06,2.050673e-06,2.049551e-06,2.048478e-06,2.047696e-06,2.045702e-06,2.045516e-06,2.043033e-06,2.042394e-06,2.040267e-06,2.038601e-06,2.037235e-06,2.034363e-06,2.033957e-06,2.030448e-06,2.029720e-06,2.026726e-06,2.024710e-06,2.022804e-06,2.019366e-06,2.018697e-06,2.014418e-06,2.013719e-06,2.009982e-06,2.007799e-06,2.005398e-06,2.001633e-06,2.000679e-06,1.995836e-06,1.995247e-06,1.990879e-06,1.988664e-06,1.985817e-06,1.981906e-06,1.980660e-06,1.975417e-06,1.974994e-06,1.970094e-06,1.967945e-06,1.964701e-06,1.960778e-06,1.959244e-06,1.953731e-06,1.953509e-06,1.948167e-06,1.946153e-06,1.942559e-06,1.938724e-06,1.936913e-06,1.931235e-06,1.923697e-06,1.916123e-06,1.908522e-06,1.900903e-06,1.893277e-06,1.885650e-06,1.878030e-06,1.870425e-06,1.862840e-06,1.855282e-06,1.847756e-06,1.840267e-06,1.832820e-06,1.825418e-06,1.818066e-06,1.810767e-06,1.803525e-06,1.796341e-06,1.789220e-06,1.782163e-06,1.775172e-06,1.768249e-06,1.761397e-06,1.754616e-06
0.000000e+00,4.590457e-09,1.803713e-08,1.381943e-07,5.331188e-07,9.892356e-07,3.755582e-06,3.940493e-06,1.140606e-05,1.476759e-05,2.701635e-05,4.229805e-05,5.572125e-05,9.894575e-05,1.036458e-04,1.776501e-04,2.000819e-04,2.848429e-04,3.619857e-04,4.322123e-04,6.003797e-04,6.263499e-04,8.732267e-04,9.294009e-04,1.178001e-03,1.360798e-03,1.544863e-03,1.903308e-03,1.976910e-03,2.476078e-03,2.562239e-03,3.043103e-03,3.339292e-03,3.677543e-03,4.232616e-03,4.377831e-03,5.141363e-03,5.237078e-03,5.964618e-03,6.344686e-03,6.843290e-03,7.545118e-03,7.772431e-03,8.746600e-03,8.826307e-03,9.760006e-03,1.017501e-02,1.080664e-02,1.157737e-02,1.188041e-02,1.297523e-02,1.301938e-02,1.408514e-02,1.448729e-02,1.520438e-02,1.596795e-02,1.632742e-02,1.744907e-02,1.856449e-02,1.891937e-02,1.966921e-02,2.036870e-02,2.075913e-02,2.178813e-02,2.183059e-02,2.288029e-02,2.316991e-02,2.390536e-02,2.450752e-02,2.490328e-02,2.579555e-02,2.587192e-02,2.680947e-02,2.702969e-02,2.771448e-02,2.820663e-02,2.858579e-02,2.932395e-02,2.942250e-02,3.022402e-02,3.038006e-02,3.098995e-02,3.137411e-02,3.172013e-02,3.230586e-02,3.241458e-02,3.307349e-02,3.317565e-02,3.369723e-02,3.398426e-02,3.428626e-02,3.473290e-02,3.484119e-02,3.536270e-02,3.542307e-02,3.585158e-02,3.605656e-02,3.630867e-02,3.663535e-02,3.673488e-02,3.713116e-02,3.716160e-02,3.749849e-02,3.763755e-02,3.783790e-02,3.806555e-02,3.815040e-02,3.843704e-02,3.844798e-02,3.869885e-02,3.878723e-02,3.893688e-02,3.908568e-02,3.915216e-02,3.934571e-02,3.951853e-02,3.956962e-02,3.967161e-02,3.975967e-02,3.980592e-02,3.991806e-02,3.992239e-02,4.002194e-02,4.004691e-02,4.010547e-02,4.014824e-02,4.017382e-02,4.022402e-02,4.022783e-02,4.026831e-02,4.027610e-02,4.029603e-02,4.030625e-02,4.031173e-02,4.031617e-02,4.031612e-02,4.030990e-02,4.030744e-02,4.029371e-02,4.028156e-02,4.026818e-02,4.023997e-02,4.023392e-02,4.019150e-02,4.018399e-02,4.014145e-02,4.011487e-02,4.008430e-02,4.003380e-02,4.002054e-02,3.995065e-02,3.994187e-02,3.987507e-02,3.984012e-02,3.979422e-02,3.972951e-02,3.970852e-02,3.961833e-02,3.961093e-02,3.952403e-02,3.948523e-02,3.942595e-02,3.935317e-02,3.932441e-02,3.921974e-02,3.921549e-02,3.911220e-02,3.907284e-02,3.900208e-02,3.892585e-02,3.888963e-02,3.877510e-02,3.862111e-02,3.846439e-02,3.830537e-02,3.814449e-02,3.798213e-02,3.781863e-02,3.765434e-02,3.748954e-02,3.732452e-02,3.715951e-02,3.699477e-02,3.683048e-02,3.666685e-02,3.650404e-02,3.634222e-02,3.618153e-02,3.602210e-02,3.586404e-02,3.570745e-02,3.555244e-02,3.539909e-02,3.524746e-02,3.509762e-02,3.494964e-02
0.000000e+00,4.655871e-09,1.828294e-08,1.399018e-07,5.391087e-07,9.997659e-07,3.790266e-06,3.976675e-06,1.149753e-05,1.488205e-05,2.721017e-05,4.258565e-05,5.608810e-05,9.954939e-05,1.042734e-04,1.786049e-04,2.011170e-04,2.861052e-04,3.633554e-04,4.336039e-04,6.015605e-04,6.274678e-04,8.733873e-04,9.292602e-04,1.176198e-03,1.357460e-03,1.539736e-03,1.894068e-03,1.966730e-03,2.458736e-03,2.543532e-03,3.016123e-03,3.306699e-03,3.638090e-03,4.180920e-03,4.322738e-03,5.067165e-03,5.160342e-03,5.867588e-03,6.236372e-03,6.719486e-03,7.398224e-03,7.617742e-03,8.556801e-03,8.633515e-03,9.530807e-03,9.928850e-03,1.053374e-02,1.127037e-02,1.155955e-02,1.260223e-02,1.264421e-02,1.365596e-02,1.403692e-02,1.471514e-02,1.543578e-02,1.577448e-02,1.682900e-02,1.787414e-02,1.820590e-02,1.890570e-02,1.955701e-02,1.991991e-02,2.087410e-02,2.091340e-02,2.188322e-02,2.215017e-02,2.282680e-02,2.337942e-02,2.374194e-02,2.455720e-02,2.462684e-02,2.548001e-02,2.567991e-02,2.630027e-02,2.674491e-02,2.708675e-02,2.775044e-02,2.783886e-02,2.855622e-02,2.869550e-02,2.923869e-02,2.957980e-02,2.988633e-02,3.040359e-02,3.049937e-02,3.107818e-02,3.116765e-02,3.162329e-02,3.187315e-02,3.213532e-02,3.252162e-02,3.261501e-02,3.306316e-02,3.311486e-02,3.348065e-02,3.365487e-02,3.386841e-02,3.414383e-02,3.422742e-02,3.455868e-02,3.458401e-02,3.486322e-02,3.497779e-02,3.514208e-02,3.532754e-02,3.539631e-02,3.562695e-02,3.563570e-02,3.583504e-02,3.590463e-02,3.602162e-02,3.613672e-02,3.618769e-02,3.633426e-02,3.646229e-02,3.649950e-02,3.657274e-02,3.663463e-02,3.666653e-02,3.674172e-02,3.674455e-02,3.680767e-02,3.682279e-02,3.685673e-02,3.687975e-02,3.689253e-02,3.691442e-02,3.691585e-02,3.692743e-02,3.692854e-02,3.692798e-02,3.692374e-02,3.691820e-02,3.690156e-02,3.689873e-02,3.687019e-02,3.686345e-02,3.683319e-02,3.681079e-02,3.678829e-02,3.674486e-02,3.673602e-02,3.667691e-02,3.666685e-02,3.661144e-02,3.657789e-02,3.654007e-02,3.647902e-02,3.646324e-02,3.638138e-02,3.637123e-02,3.629486e-02,3.625542e-02,3.620408e-02,3.613244e-02,3.610937e-02,3.601108e-02,3.600307e-02,3.590951e-02,3.586803e-02,3.580497e-02,3.572801e-02,3.569773e-02,3.558806e-02,3.558362e-02,3.547620e-02,3.543545e-02,3.536240e-02,3.528401e-02,3.524687e-02,3.512982e-02,3.497331e-02,3.481491e-02,3.465500e-02,3.449392e-02,3.433202e-02,3.416957e-02,3.400685e-02,3.384412e-02,3.368159e-02,3.351947e-02,3.335796e-02,3.319722e-02,3.303740e-02,3.287865e-02,3.272110e-02,3.256486e-02,3.241002e-02,3.225669e-02,3.210494e-02,3.195485e-02,3.180648e-02,3.165988e-02,3.151511e-02,3.137221e-02
0.000000e+00,2.678633e-10,7.372323e-10,3.107449e-09,7.783955e-09,1.176598e-08,2.835815e-08,2.926414e-08,5.848664e-08,6.916160e-08,1.023248e-07,1.368805e-07,1.637561e-07,2.382857e-07,2.456460e-07,3.499483e-07,3.783668e-07,4.767324e-07,5.569876e-07,6.243952e-07,7.699155e-07,7.908069e-07,9.739805e-07,1.012467e-06,1.172124e-06,1.280503e-06,1.383515e-06,1.570041e-06,1.606401e-06,1.838964e-06,1.876947e-06,2.079323e-06,2.196902e-06,2.325560e-06,2.525496e-06,2.575764e-06,2.828068e-06,2.858400e-06,3.080694e-06,3.191519e-06,3.331984e-06,3.521132e-06,3.580423e-06,3.824663e-06,3.843984e-06,4.063526e-06,4.157335e-06,4.296011e-06,4.458980e-06,4.521290e-06,4.738697e-06,4.747222e-06,4.947722e-06,5.020843e-06,5.147993e-06,5.279046e-06,5.339262e-06,5.521395e-06,5.694349e-06,5.747760e-06,5.858164e-06,5.958256e-06,6.012947e-06,6.153192e-06,6.158861e-06,6.296113e-06,6.333023e-06,6.424945e-06,6.498313e-06,6.545625e-06,6.649699e-06,6.658442e-06,6.763696e-06,6.787866e-06,6.861697e-06,6.913525e-06,6.952756e-06,7.027394e-06,7.037186e-06,7.115298e-06,7.130189e-06,7.187396e-06,7.222609e-06,7.253778e-06,7.305335e-06,7.314736e-06,7.370549e-06,7.379020e-06,7.421490e-06,7.444288e-06,7.467819e-06,7.501731e-06,7.509788e-06,7.547635e-06,7.551911e-06,7.581591e-06,7.595356e-06,7.611875e-06,7.632563e-06,7.638694e-06,7.662249e-06,7.663998e-06,7.682727e-06,7.690098e-06,7.700309e-06,7.711269e-06,7.715163e-06,7.727453e-06,7.727893e-06,7.737330e-06,7.740324e-06,7.744941e-06,7.748891e-06,7.750422e-06,7.753903e-06,7.755508e-06,7.755645e-06,7.755354e-06,7.754382e-06,7.753550e-06,7.750363e-06,7.750200e-06,7.745405e-06,7.743815e-06,7.739255e-06,7.734953e-06,7.731841e-06,7.723974e-06,7.723244e-06,7.713545e-06,7.711061e-06,7.702817e-06,7.696386e-06,7.691130e-06,7.680106e-06,7.678551e-06,7.665143e-06,7.662368e-06,7.650966e-06,7.643308e-06,7.636074e-06,7.623053e-06,7.620522e-06,7.604359e-06,7.601719e-06,7.587632e-06,7.579416e-06,7.570386e-06,7.556245e-06,7.552664e-06,7.534505e-06,7.532298e-06,7.515946e-06,7.507663e-06,7.497023e-06,7.482419e-06,7.477770e-06,7.458218e-06,7.456642e-06,7.438397e-06,7.430399e-06,7.418335e-06,7.403756e-06,7.398058e-06,7.377593e-06,7.376771e-06,7.356962e-06,7.349499e-06,7.336188e-06,7.321990e-06,7.315291e-06,7.294292e-06,7.266448e-06,7.238498e-06,7.210480e-06,7.182427e-06,7.154371e-06,7.126342e-06,7.098365e-06,7.070466e-06,7.042668e-06,7.014991e-06,6.987454e-06,6.960076e-06,6.932871e-06,6.905855e-06,6.879042e-06,6.852442e-06,6.826068e-06,6.799930e-06,6.774035e-06,6.748394e-06,6.723012e-06,6.697896e-06,6.673052e-06,6.648485e-06
0.000000e+00,2.637568e-10,6.976601e-10,2.810294e-09,6.904027e-09,1.037755e-08,2.493470e-08,2.573566e-08,5.196670e-08,6.174171e-08,9.272767e-08,1.258966e-07,1.522031e-07,2.267127e-07,2.341496e-07,3.399203e-07,3.686863e-07,4.675561e-07,5.472266e-07,6.134040e-07,7.540294e-07,7.739778e-07,9.465067e-07,9.822457e-07,1.128779e-06,1.226774e-06,1.318898e-06,1.483385e-06,1.515122e-06,1.715802e-06,1.748217e-06,1.919355e-06,2.017636e-06,2.124279e-06,2.288258e-06,2.329170e-06,2.532744e-06,2.557029e-06,2.733850e-06,2.821289e-06,2.931478e-06,3.078816e-06,3.124770e-06,3.313013e-06,3.327836e-06,3.495630e-06,3.566997e-06,3.672171e-06,3.795325e-06,3.842300e-06,4.005780e-06,4.012179e-06,4.162468e-06,4.217198e-06,4.312297e-06,4.410251e-06,4.455247e-06,4.591353e-06,4.720704e-06,4.760686e-06,4.843411e-06,4.918523e-06,4.959620e-06,5.065218e-06,5.069494e-06,5.173211e-06,5.201174e-06,5.270961e-06,5.326828e-06,5.362940e-06,5.442637e-06,5.449350e-06,5.530393e-06,5.549068e-06,5.606274e-06,5.646588e-06,5.677195e-06,5.735661e-06,5.743355e-06,5.804952e-06,5.816741e-06,5.862178e-06,5.890271e-06,5.915221e-06,5.956677e-06,5.964262e-06,6.009481e-06,6.016372e-06,6.051048e-06,6.069753e-06,6.089131e-06,6.117196e-06,6.123890e-06,6.155480e-06,6.159065e-06,6.184052e-06,6.195704e-06,6.209748e-06,6.227440e-06,6.232708e-06,6.253064e-06,6.254584e-06,6.270945e-06,6.277432e-06,6.286474e-06,6.296264e-06,6.299768e-06,6.310940e-06,6.311344e-06,6.320099e-06,6.322923e-06,6.327348e-06,6.331237e-06,6.332786e-06,6.336510e-06,6.338609e-06,6.338953e-06,6.339172e-06,6.338764e-06,6.338280e-06,6.336131e-06,6.336015e-06,6.332451e-06,6.331231e-06,6.327663e-06,6.324230e-06,6.321718e-06,6.315285e-06,6.314684e-06,6.306624e-06,6.304543e-06,6.297598e-06,6.292143e-06,6.287664e-06,6.278215e-06,6.276877e-06,6.265290e-06,6.262881e-06,6.252952e-06,6.246256e-06,6.239912e-06,6.228449e-06,6.226215e-06,6.211904e-06,6.209560e-06,6.197021e-06,6.189685e-06,6.181605e-06,6.168914e-06,6.165693e-06,6.149322e-06,6.147328e-06,6.132526e-06,6.125009e-06,6.115336e-06,6.102027e-06,6.097783e-06,6.079897e-06,6.078453e-06,6.061707e-06,6.054351e-06,6.043237e-06,6.029780e-06,6.024514e-06,6.005561e-06,6.004799e-06,5.986402e-06,5.979458e-06,5.967057e-06,5.953807e-06,5.947547e-06,5.927893e-06,5.901758e-06,5.875442e-06,5.848983e-06,5.822415e-06,5.795771e-06,5.769081e-06,5.742374e-06,5.715674e-06,5.689006e-06,5.662393e-06,5.635855e-06,5.609411e-06,5.583079e-06,5.556876e-06,5.530816e-06,5.504914e-06,5.479182e-06,5.453631e-06,5.428273e-06,5.403118e-06,5.378174e-06,5.353448e-06,5.328950e-06,5.304684e-06
0.000000e+00,2.041281e-10,5.027400e-10,1.862007e-09,4.372173e-09,6.447031e-09,1.486620e-08,1.532022e-08,2.983114e-08,3.509706e-08,5.142031e-08,6.842898e-08,8.168328e-08,1.186391e-07,1.223079e-07,1.747276e-07,1.891497e-07,2.394620e-07,2.808250e-07,3.156552e-07,3.906940e-07,4.014190e-07,4.946183e-07,5.139781e-07,5.933682e-07,6.463908e-07,6.961370e-07,7.846494e-07,8.016766e-07,9.089302e-07,9.261862e-07,1.016966e-06,1.068850e-06,1.124940e-06,1.210752e-06,1.232077e-06,1.337670e-06,1.350206e-06,1.441076e-06,1.485732e-06,1.541724e-06,1.616064e-06,1.639119e-06,1.732839e-06,1.740167e-06,1.822534e-06,1.857223e-06,1.907938e-06,1.966657e-06,1.988850e-06,2.065139e-06,2.068093e-06,2.136732e-06,2.161350e-06,2.203608e-06,2.246404e-06,2.265797e-06,2.323365e-06,2.376413e-06,2.392454e-06,2.425066e-06,2.453966e-06,2.469473e-06,2.508260e-06,2.509797e-06,2.546213e-06,2.555734e-06,2.578904e-06,2.596809e-06,2.608057e-06,2.631915e-06,2.633861e-06,2.656502e-06,2.661485e-06,2.676165e-06,2.685944e-06,2.693032e-06,2.705701e-06,2.707278e-06,2.719072e-06,2.721152e-06,2.728578e-06,2.732669e-06,2.735951e-06,2.740605e-06,2.741340e-06,2.744886e-06,2.745291e-06,2.746722e-06,2.747034e-06,2.746976e-06,2.746119e-06,2.745766e-06,2.743204e-06,2.742811e-06,2.739398e-06,2.737354e-06,2.734445e-06,2.729972e-06,2.728439e-06,2.721467e-06,2.720870e-06,2.713611e-06,2.710238e-06,2.704947e-06,2.698249e-06,2.695547e-06,2.685476e-06,2.685060e-06,2.674798e-06,2.670817e-06,2.663570e-06,2.655649e-06,2.651847e-06,2.639677e-06,2.627110e-06,2.623011e-06,2.614187e-06,2.605749e-06,2.600950e-06,2.587981e-06,2.587436e-06,2.573680e-06,2.569789e-06,2.559714e-06,2.551247e-06,2.545570e-06,2.532423e-06,2.531274e-06,2.516853e-06,2.513377e-06,2.502331e-06,2.494163e-06,2.487730e-06,2.474832e-06,2.473071e-06,2.458372e-06,2.455429e-06,2.443651e-06,2.435993e-06,2.428924e-06,2.416561e-06,2.414207e-06,2.399513e-06,2.397165e-06,2.384854e-06,2.377834e-06,2.370243e-06,2.358595e-06,2.355689e-06,2.341204e-06,2.339470e-06,2.326795e-06,2.320481e-06,2.312470e-06,2.301646e-06,2.298239e-06,2.284106e-06,2.282980e-06,2.270078e-06,2.264498e-06,2.256162e-06,2.246213e-06,2.242361e-06,2.228680e-06,2.228136e-06,2.215124e-06,2.210275e-06,2.201696e-06,2.192639e-06,2.188399e-06,2.175236e-06,2.158070e-06,2.141146e-06,2.124469e-06,2.108041e-06,2.091865e-06,2.075943e-06,2.060275e-06,2.044862e-06,2.029704e-06,2.014801e-06,2.000151e-06,1.985754e-06,1.971608e-06,1.957711e-06,1.944062e-06,1.930657e-06,1.917495e-06,1.904573e-06,1.891887e-06,1.879436e-06,1.867216e-06,1.855224e-06,1.843456e-06,1.831909e-06
0.000000e+00,4.227481e-10,1.123773e-09,4.556155e-09,1.122789e-08,1.688973e-08,4.053283e-08,4.182843e-08,8.391303e-08,9.942504e-08,1.480358e-07,1.992688e-07,2.394507e-07,3.520119e-07,3.631967e-07,5.224600e-07,5.659927e-07,7.166714e-07,8.392754e-07,9.418328e-07,1.161557e-06,1.192895e-06,1.465346e-06,1.522061e-06,1.755421e-06,1.912128e-06,2.059854e-06,2.324490e-06,2.375669e-06,2.700088e-06,2.752617e-06,3.030514e-06,3.190539e-06,3.364547e-06,3.632899e-06,3.700008e-06,4.034954e-06,4.075029e-06,4.367683e-06,4.512998e-06,4.696738e-06,4.943597e-06,5.020888e-06,5.339117e-06,5.364293e-06,5.650591e-06,5.773136e-06,5.954652e-06,6.168693e-06,6.250787e-06,6.538601e-06,6.549936e-06,6.817809e-06,6.916177e-06,7.088215e-06,7.267000e-06,7.349698e-06,7.602198e-06,7.845707e-06,7.921735e-06,8.080259e-06,8.225704e-06,8.305925e-06,8.514294e-06,8.522801e-06,8.731006e-06,8.787767e-06,8.930675e-06,9.046443e-06,9.121962e-06,9.290682e-06,9.305029e-06,9.480051e-06,9.520879e-06,9.647206e-06,9.737446e-06,9.806680e-06,9.940813e-06,9.958662e-06,1.010334e-05,1.013142e-05,1.024092e-05,1.030971e-05,1.037158e-05,1.047613e-05,1.049552e-05,1.061293e-05,1.063113e-05,1.072402e-05,1.077514e-05,1.082896e-05,1.090862e-05,1.092795e-05,1.102118e-05,1.103198e-05,1.110882e-05,1.114566e-05,1.119107e-05,1.125008e-05,1.126810e-05,1.134008e-05,1.134563e-05,1.140719e-05,1.143271e-05,1.146960e-05,1.151172e-05,1.152748e-05,1.158098e-05,1.158303e-05,1.163026e-05,1.164700e-05,1.167548e-05,1.170399e-05,1.171679e-05,1.175434e-05,1.178827e-05,1.179838e-05,1.181872e-05,1.183644e-05,1.184583e-05,1.186883e-05,1.186972e-05,1.189054e-05,1.189583e-05,1.190840e-05,1.191775e-05,1.192343e-05,1.193485e-05,1.193574e-05,1.194545e-05,1.194741e-05,1.195267e-05,1.195567e-05,1.195752e-05,1.195989e-05,1.196008e-05,1.196048e-05,1.196030e-05,1.195880e-05,1.195713e-05,1.195514e-05,1.195060e-05,1.194959e-05,1.194224e-05,1.194091e-05,1.193319e-05,1.192826e-05,1.192250e-05,1.191284e-05,1.191027e-05,1.189657e-05,1.189484e-05,1.188148e-05,1.187442e-05,1.186507e-05,1.185176e-05,1.184741e-05,1.182856e-05,1.182701e-05,1.180860e-05,1.180032e-05,1.178759e-05,1.177184e-05,1.176558e-05,1.174264e-05,1.174170e-05,1.171882e-05,1.171004e-05,1.169418e-05,1.167698e-05,1.166877e-05,1.164264e-05,1.160712e-05,1.157054e-05,1.153300e-05,1.149460e-05,1.145541e-05,1.141554e-05,1.137506e-05,1.133405e-05,1.129258e-05,1.125073e-05,1.120855e-05,1.116611e-05,1.112346e-05,1.108066e-05,1.103777e-05,1.099482e-05,1.095187e-05,1.090895e-05,1.086611e-05,1.082338e-05,1.078080e-05,1.073840e-05,1.069621e-05,1.065426e-05
0.000000e+00,1.285822e-10,4.495153e-10,2.732087e-09,8.637102e-09,1.443290e-08,4.238056e-08,4.402224e-08,1.005670e-07,1.224252e-07,1.927619e-07,2.686456e-07,3.288741e-07,4.996577e-07,5.167706e-07,7.635825e-07,8.322398e-07,1.074736e-06,1.278209e-06,1.452912e-06,1.841104e-06,1.897990e-06,2.407923e-06,2.517436e-06,2.979688e-06,3.300294e-06,3.609784e-06,4.181340e-06,4.294366e-06,5.029218e-06,5.151156e-06,5.809709e-06,6.199086e-06,6.630778e-06,7.313194e-06,7.486968e-06,8.372501e-06,8.480454e-06,9.281372e-06,9.687093e-06,1.020746e-05,1.091904e-05,1.114465e-05,1.208694e-05,1.216237e-05,1.302856e-05,1.340378e-05,1.396403e-05,1.463089e-05,1.488828e-05,1.579668e-05,1.583263e-05,1.668509e-05,1.699931e-05,1.754984e-05,1.812274e-05,1.838780e-05,1.919635e-05,1.997337e-05,2.021507e-05,2.071722e-05,2.117531e-05,2.142671e-05,2.207473e-05,2.210103e-05,2.273973e-05,2.291217e-05,2.334272e-05,2.368744e-05,2.391017e-05,2.440119e-05,2.444250e-05,2.494032e-05,2.505475e-05,2.540445e-05,2.564998e-05,2.583581e-05,2.618913e-05,2.623545e-05,2.660452e-05,2.667477e-05,2.694420e-05,2.710963e-05,2.725574e-05,2.749661e-05,2.754040e-05,2.779944e-05,2.783860e-05,2.803415e-05,2.813853e-05,2.824576e-05,2.839926e-05,2.843552e-05,2.860463e-05,2.862359e-05,2.875425e-05,2.881421e-05,2.888552e-05,2.897368e-05,2.899953e-05,2.909731e-05,2.910446e-05,2.917988e-05,2.920886e-05,2.924818e-05,2.928903e-05,2.930312e-05,2.934557e-05,2.934702e-05,2.937635e-05,2.938473e-05,2.939624e-05,2.940391e-05,2.940596e-05,2.940622e-05,2.939767e-05,2.939317e-05,2.938092e-05,2.936618e-05,2.935657e-05,2.932653e-05,2.932514e-05,2.928717e-05,2.927543e-05,2.924313e-05,2.921399e-05,2.919348e-05,2.914322e-05,2.913865e-05,2.907903e-05,2.906405e-05,2.901501e-05,2.897736e-05,2.894693e-05,2.888393e-05,2.887513e-05,2.879991e-05,2.878448e-05,2.872157e-05,2.867970e-05,2.864039e-05,2.857017e-05,2.855661e-05,2.847047e-05,2.845648e-05,2.838220e-05,2.833914e-05,2.829201e-05,2.821861e-05,2.820010e-05,2.810664e-05,2.809533e-05,2.801182e-05,2.796970e-05,2.791579e-05,2.784209e-05,2.781870e-05,2.772069e-05,2.771281e-05,2.762190e-05,2.758219e-05,2.752245e-05,2.745050e-05,2.742245e-05,2.732202e-05,2.731799e-05,2.722124e-05,2.718490e-05,2.712023e-05,2.705144e-05,2.701905e-05,2.691780e-05,2.678417e-05,2.665070e-05,2.651755e-05,2.638484e-05,2.625270e-05,2.612124e-05,2.599056e-05,2.586074e-05,2.573189e-05,2.560405e-05,2.547731e-05,2.535172e-05,2.522734e-05,2.510420e-05,2.498236e-05,2.486186e-05,2.474271e-05,2.462495e-05,2.450861e-05,2.439371e-05,2.428026e-05,2.416827e-05,2.405776e-05,2.394874e-05
0.000000e+00,4.421038e-12,1.009467e-11,3.464845e-11,7.921104e-11,1.162702e-10,2.716390e-10,2.802712e-10,5.694791e-10,6.801531e-10,1.036920e-09,1.419682e-09,1.717515e-09,2.514777e-09,2.590389e-09,3.599782e-09,3.856646e-09,4.697949e-09,5.339768e-09,5.854274e-09,6.903956e-09,7.048793e-09,8.266522e-09,8.511701e-09,9.494621e-09,1.013339e-08,1.072132e-08,1.174264e-08,1.193569e-08,1.312781e-08,1.331588e-08,1.428892e-08,1.483301e-08,1.541163e-08,1.627811e-08,1.649000e-08,1.751954e-08,1.763965e-08,1.849713e-08,1.891027e-08,1.942085e-08,2.008633e-08,2.028991e-08,2.110439e-08,2.116721e-08,2.186511e-08,2.215465e-08,2.257347e-08,2.305206e-08,2.323125e-08,2.384052e-08,2.386392e-08,2.440358e-08,2.459543e-08,2.492282e-08,2.525213e-08,2.540071e-08,2.583970e-08,2.624219e-08,2.636367e-08,2.661054e-08,2.682940e-08,2.694698e-08,2.724192e-08,2.725364e-08,2.753256e-08,2.760595e-08,2.778564e-08,2.792585e-08,2.801469e-08,2.820563e-08,2.822138e-08,2.840728e-08,2.844896e-08,2.857385e-08,2.865921e-08,2.872248e-08,2.883942e-08,2.885441e-08,2.897084e-08,2.899236e-08,2.907285e-08,2.912055e-08,2.916148e-08,2.922626e-08,2.923765e-08,2.930225e-08,2.931157e-08,2.935610e-08,2.937835e-08,2.939994e-08,2.942829e-08,2.943449e-08,2.946039e-08,2.946294e-08,2.947824e-08,2.948370e-08,2.948862e-08,2.949183e-08,2.949204e-08,2.948900e-08,2.948849e-08,2.947994e-08,2.947472e-08,2.946528e-08,2.945149e-08,2.944543e-08,2.942074e-08,2.941966e-08,2.939157e-08,2.938002e-08,2.935822e-08,2.933331e-08,2.932099e-08,2.928017e-08,2.923601e-08,2.922121e-08,2.918875e-08,2.915699e-08,2.913863e-08,2.908801e-08,2.908585e-08,2.903062e-08,2.901474e-08,2.897312e-08,2.893761e-08,2.891353e-08,2.885700e-08,2.885201e-08,2.878871e-08,2.877327e-08,2.872378e-08,2.868676e-08,2.865736e-08,2.859778e-08,2.858957e-08,2.852054e-08,2.850659e-08,2.845037e-08,2.841347e-08,2.837917e-08,2.831865e-08,2.830705e-08,2.823409e-08,2.822235e-08,2.816039e-08,2.812477e-08,2.808602e-08,2.802611e-08,2.801107e-08,2.793561e-08,2.792653e-08,2.785972e-08,2.782620e-08,2.778345e-08,2.772527e-08,2.770687e-08,2.763003e-08,2.762387e-08,2.755300e-08,2.752214e-08,2.747582e-08,2.742019e-08,2.739854e-08,2.732122e-08,2.731812e-08,2.724388e-08,2.721605e-08,2.716658e-08,2.711406e-08,2.708936e-08,2.701224e-08,2.691066e-08,2.680941e-08,2.670856e-08,2.660815e-08,2.650826e-08,2.640893e-08,2.631021e-08,2.621215e-08,2.611479e-08,2.601817e-08,2.592233e-08,2.582728e-08,2.573307e-08,2.563971e-08,2.554724e-08,2.545567e-08,2.536502e-08,2.527531e-08,2.518656e-08,2.509877e-08,2.501196e-08,2.492614e-08,2.484131e-08,2.475749e-08
0.000000e+00,1.541472e-10,4.074471e-10,1.638304e-09,4.015887e-09,6.027146e-09,1.440604e-08,1.486494e-08,2.978654e-08,3.529830e-08,5.261506e-08,7.091389e-08,8.526551e-08,1.251963e-07,1.291269e-07,1.840982e-07,1.987896e-07,2.486559e-07,2.882997e-07,3.209624e-07,3.897733e-07,3.994801e-07,4.829582e-07,5.001507e-07,5.702971e-07,6.168958e-07,6.604682e-07,7.376807e-07,7.524894e-07,8.454315e-07,8.603291e-07,9.384341e-07,9.828656e-07,1.030722e-06,1.103577e-06,1.121615e-06,1.210538e-06,1.221052e-06,1.297013e-06,1.334186e-06,1.380663e-06,1.442167e-06,1.461199e-06,1.538409e-06,1.544438e-06,1.612153e-06,1.640660e-06,1.682348e-06,1.730669e-06,1.748958e-06,1.811990e-06,1.814438e-06,1.871481e-06,1.892042e-06,1.927491e-06,1.963632e-06,1.980103e-06,2.029411e-06,2.075520e-06,2.089618e-06,2.118544e-06,2.144514e-06,2.158600e-06,2.194371e-06,2.195806e-06,2.230285e-06,2.239466e-06,2.262155e-06,2.280075e-06,2.291536e-06,2.316469e-06,2.318545e-06,2.343296e-06,2.348912e-06,2.365899e-06,2.377660e-06,2.386464e-06,2.402957e-06,2.405094e-06,2.421889e-06,2.425037e-06,2.436948e-06,2.444123e-06,2.450363e-06,2.460427e-06,2.462223e-06,2.472615e-06,2.474147e-06,2.481621e-06,2.485475e-06,2.489319e-06,2.494586e-06,2.495784e-06,2.501089e-06,2.501651e-06,2.505301e-06,2.506825e-06,2.508485e-06,2.510257e-06,2.510705e-06,2.512019e-06,2.512086e-06,2.512483e-06,2.512443e-06,2.512151e-06,2.511448e-06,2.511075e-06,2.509301e-06,2.509217e-06,2.506877e-06,2.505854e-06,2.503847e-06,2.501460e-06,2.500250e-06,2.496128e-06,2.491517e-06,2.489943e-06,2.486452e-06,2.482987e-06,2.480966e-06,2.475335e-06,2.475093e-06,2.468861e-06,2.467056e-06,2.462299e-06,2.458214e-06,2.455433e-06,2.448871e-06,2.448290e-06,2.440893e-06,2.439083e-06,2.433265e-06,2.428900e-06,2.425427e-06,2.418372e-06,2.417399e-06,2.409201e-06,2.407543e-06,2.400850e-06,2.396453e-06,2.392364e-06,2.385142e-06,2.383758e-06,2.375047e-06,2.373645e-06,2.366246e-06,2.361993e-06,2.357367e-06,2.350217e-06,2.348424e-06,2.339428e-06,2.338345e-06,2.330389e-06,2.326402e-06,2.321319e-06,2.314411e-06,2.312227e-06,2.303123e-06,2.302394e-06,2.294014e-06,2.290370e-06,2.284908e-06,2.278359e-06,2.275814e-06,2.266737e-06,2.266374e-06,2.257685e-06,2.254433e-06,2.248663e-06,2.242549e-06,2.239678e-06,2.230734e-06,2.218999e-06,2.207354e-06,2.195809e-06,2.184372e-06,2.173051e-06,2.161851e-06,2.150779e-06,2.139840e-06,2.129039e-06,2.118379e-06,2.107865e-06,2.097498e-06,2.087281e-06,2.077217e-06,2.067306e-06,2.057551e-06,2.047952e-06,2.038509e-06,2.029223e-06,2.020095e-06,2.011123e-06,2.002308e-06,1.993649e-06,1.985145e-06
0.000000e+00,1.893940e-12,4.351782e-12,1.502344e-11,3.422345e-11,4.992695e-11,1.129678e-10,1.163447e-10,2.232646e-10,2.616022e-10,3.789369e-10,4.988863e-10,5.908378e-10,8.411391e-10,8.655678e-10,1.208678e-09,1.301703e-09,1.624429e-09,1.890056e-09,2.115515e-09,2.610707e-09,2.682780e-09,3.324993e-09,3.462165e-09,4.038713e-09,4.436325e-09,4.818328e-09,5.518647e-09,5.656280e-09,6.543513e-09,6.689386e-09,7.470097e-09,7.925859e-09,8.425937e-09,9.205170e-09,9.401397e-09,1.038776e-08,1.050648e-08,1.137743e-08,1.181225e-08,1.236402e-08,1.310845e-08,1.334220e-08,1.430766e-08,1.438424e-08,1.525690e-08,1.563141e-08,1.618716e-08,1.684395e-08,1.709626e-08,1.798256e-08,1.801752e-08,1.884484e-08,1.914920e-08,1.968223e-08,2.023715e-08,2.049418e-08,2.128037e-08,2.204070e-08,2.227855e-08,2.277524e-08,2.323189e-08,2.348417e-08,2.414096e-08,2.416782e-08,2.482657e-08,2.500662e-08,2.546089e-08,2.582996e-08,2.607128e-08,2.661218e-08,2.665830e-08,2.722252e-08,2.735461e-08,2.776455e-08,2.805861e-08,2.828499e-08,2.872560e-08,2.878445e-08,2.926355e-08,2.935699e-08,2.972292e-08,2.995419e-08,3.016315e-08,3.051859e-08,3.058484e-08,3.098860e-08,3.105158e-08,3.137500e-08,3.155448e-08,3.174462e-08,3.202859e-08,3.209800e-08,3.243570e-08,3.247519e-08,3.275824e-08,3.289549e-08,3.306614e-08,3.329066e-08,3.335990e-08,3.364001e-08,3.366185e-08,3.390695e-08,3.401014e-08,3.416116e-08,3.433658e-08,3.440311e-08,3.463321e-08,3.464217e-08,3.485189e-08,3.492790e-08,3.505955e-08,3.519466e-08,3.525658e-08,3.544336e-08,3.562026e-08,3.567484e-08,3.578763e-08,3.588991e-08,3.594581e-08,3.608933e-08,3.609514e-08,3.623592e-08,3.627386e-08,3.636848e-08,3.644419e-08,3.649310e-08,3.660100e-08,3.661008e-08,3.671969e-08,3.674493e-08,3.682220e-08,3.687660e-08,3.691787e-08,3.699660e-08,3.700695e-08,3.708967e-08,3.710548e-08,3.716628e-08,3.720377e-08,3.723699e-08,3.729199e-08,3.730202e-08,3.736158e-08,3.737062e-08,3.741588e-08,3.744012e-08,3.746509e-08,3.750094e-08,3.750942e-08,3.754904e-08,3.755349e-08,3.758413e-08,3.759818e-08,3.761486e-08,3.763539e-08,3.764138e-08,3.766386e-08,3.766548e-08,3.768244e-08,3.768881e-08,3.769727e-08,3.770570e-08,3.770849e-08,3.771624e-08,3.771648e-08,3.772064e-08,3.772144e-08,3.772183e-08,3.772087e-08,3.771993e-08,3.771504e-08,3.770423e-08,3.768868e-08,3.766863e-08,3.764430e-08,3.761592e-08,3.758369e-08,3.754781e-08,3.750847e-08,3.746585e-08,3.742013e-08,3.737146e-08,3.732001e-08,3.726592e-08,3.720934e-08,3.715041e-08,3.708925e-08,3.702600e-08,3.696077e-08,3.689367e-08,3.682482e-08,3.675433e-08,3.668228e-08,3.660878e-08,3.653392e-08
0.000000e+00,1.424201e-10,5.490126e-10,4.040006e-09,1.500777e-08,2.726370e-08,9.781211e-08,1.023859e-07,2.793119e-07,3.556537e-07,6.233558e-07,9.420316e-07,1.212603e-06,2.046940e-06,2.135233e-06,3.486722e-06,3.885890e-06,5.366081e-06,6.685368e-06,7.869607e-06,1.065589e-05,1.108082e-05,1.505781e-05,1.594773e-05,1.982249e-05,2.260690e-05,2.535653e-05,3.055997e-05,3.160439e-05,3.848123e-05,3.963309e-05,4.588223e-05,4.958709e-05,5.369153e-05,6.015263e-05,6.178966e-05,7.005936e-05,7.105790e-05,7.838981e-05,8.204792e-05,8.667951e-05,9.289638e-05,9.483810e-05,1.027874e-04,1.034122e-04,1.104616e-04,1.134419e-04,1.178073e-04,1.228690e-04,1.247829e-04,1.313575e-04,1.316118e-04,1.375103e-04,1.396196e-04,1.432295e-04,1.468685e-04,1.485109e-04,1.533566e-04,1.577745e-04,1.590998e-04,1.617768e-04,1.641273e-04,1.653792e-04,1.684782e-04,1.685999e-04,1.714591e-04,1.721978e-04,1.739780e-04,1.753352e-04,1.761786e-04,1.779411e-04,1.780830e-04,1.797131e-04,1.800659e-04,1.810904e-04,1.817589e-04,1.822353e-04,1.830666e-04,1.831679e-04,1.839067e-04,1.840328e-04,1.844694e-04,1.846980e-04,1.848726e-04,1.850992e-04,1.851316e-04,1.852606e-04,1.852701e-04,1.852729e-04,1.852408e-04,1.851804e-04,1.850384e-04,1.849942e-04,1.847244e-04,1.846869e-04,1.843803e-04,1.842075e-04,1.839702e-04,1.836190e-04,1.835016e-04,1.829816e-04,1.829380e-04,1.824164e-04,1.821789e-04,1.818115e-04,1.813543e-04,1.811721e-04,1.805028e-04,1.804755e-04,1.798077e-04,1.795519e-04,1.790906e-04,1.785921e-04,1.783548e-04,1.776035e-04,1.768392e-04,1.765923e-04,1.760645e-04,1.755642e-04,1.752815e-04,1.745240e-04,1.744923e-04,1.736987e-04,1.734759e-04,1.729023e-04,1.724237e-04,1.721045e-04,1.713705e-04,1.713067e-04,1.705099e-04,1.703190e-04,1.697153e-04,1.692717e-04,1.689239e-04,1.682306e-04,1.681363e-04,1.673535e-04,1.671975e-04,1.665760e-04,1.661741e-04,1.658045e-04,1.651615e-04,1.650396e-04,1.642816e-04,1.641610e-04,1.635311e-04,1.631736e-04,1.627883e-04,1.622000e-04,1.620537e-04,1.613275e-04,1.612409e-04,1.606100e-04,1.602971e-04,1.599013e-04,1.593688e-04,1.592018e-04,1.585115e-04,1.584566e-04,1.578305e-04,1.575608e-04,1.571590e-04,1.566815e-04,1.564971e-04,1.558449e-04,1.558190e-04,1.552023e-04,1.549734e-04,1.545695e-04,1.541447e-04,1.539464e-04,1.533330e-04,1.525383e-04,1.517605e-04,1.509996e-04,1.502555e-04,1.495279e-04,1.488168e-04,1.481221e-04,1.474435e-04,1.467807e-04,1.461338e-04,1.455023e-04,1.448860e-04,1.442848e-04,1.436984e-04,1.431265e-04,1.425688e-04,1.420252e-04,1.414953e-04,1.409790e-04,1.404758e-04,1.399856e-04,1.395081e-04,1.390430e-04,1.385901e-04
0.000000e+00,1.994850e-10,7.499122e-10,5.245176e-09,1.863700e-08,3.306749e-08,1.119795e-07,1.169536e-07,3.030136e-07,3.808832e-07,6.477390e-07,9.576105e-07,1.216433e-06,1.997611e-06,2.079020e-06,3.298609e-06,3.649758e-06,4.918507e-06,6.008716e-06,6.958445e-06,9.102015e-06,9.419231e-06,1.228922e-05,1.291072e-05,1.554898e-05,1.739007e-05,1.917382e-05,2.247977e-05,2.313481e-05,2.739931e-05,2.810742e-05,3.193115e-05,3.418998e-05,3.669115e-05,4.063558e-05,4.163778e-05,4.672800e-05,4.734641e-05,5.191826e-05,5.422253e-05,5.716552e-05,6.116592e-05,6.242823e-05,6.766718e-05,6.808416e-05,7.284619e-05,7.489358e-05,7.793267e-05,8.152136e-05,8.289791e-05,8.771731e-05,8.790674e-05,9.237033e-05,9.400139e-05,9.684045e-05,9.976900e-05,1.011149e-04,1.051844e-04,1.090429e-04,1.102324e-04,1.126870e-04,1.149063e-04,1.161159e-04,1.192063e-04,1.193308e-04,1.223347e-04,1.231386e-04,1.251320e-04,1.267135e-04,1.277282e-04,1.299446e-04,1.301297e-04,1.323437e-04,1.328480e-04,1.343777e-04,1.354410e-04,1.362396e-04,1.377420e-04,1.379373e-04,1.394791e-04,1.397694e-04,1.408729e-04,1.415418e-04,1.421266e-04,1.430773e-04,1.432481e-04,1.442449e-04,1.443933e-04,1.451242e-04,1.455067e-04,1.458931e-04,1.464333e-04,1.465584e-04,1.471264e-04,1.471883e-04,1.476032e-04,1.477857e-04,1.479948e-04,1.482388e-04,1.483066e-04,1.485439e-04,1.485598e-04,1.487117e-04,1.487604e-04,1.488146e-04,1.488510e-04,1.488571e-04,1.488433e-04,1.488416e-04,1.487771e-04,1.487412e-04,1.486624e-04,1.485583e-04,1.485024e-04,1.483006e-04,1.480600e-04,1.479753e-04,1.477835e-04,1.475889e-04,1.474737e-04,1.471475e-04,1.471333e-04,1.467647e-04,1.466567e-04,1.463701e-04,1.461217e-04,1.459515e-04,1.455470e-04,1.455110e-04,1.450505e-04,1.449372e-04,1.445716e-04,1.442960e-04,1.440760e-04,1.436273e-04,1.435652e-04,1.430407e-04,1.429343e-04,1.425038e-04,1.422201e-04,1.419557e-04,1.414875e-04,1.413976e-04,1.408306e-04,1.407392e-04,1.402558e-04,1.399774e-04,1.396741e-04,1.392044e-04,1.390865e-04,1.384936e-04,1.384222e-04,1.378965e-04,1.376325e-04,1.372957e-04,1.368371e-04,1.366920e-04,1.360860e-04,1.360374e-04,1.354783e-04,1.352349e-04,1.348695e-04,1.344308e-04,1.342601e-04,1.336506e-04,1.336262e-04,1.330414e-04,1.328223e-04,1.324330e-04,1.320199e-04,1.318257e-04,1.312200e-04,1.304233e-04,1.296306e-04,1.288425e-04,1.280596e-04,1.272823e-04,1.265113e-04,1.257469e-04,1.249896e-04,1.242395e-04,1.234971e-04,1.227625e-04,1.220361e-04,1.213181e-04,1.206085e-04,1.199076e-04,1.192155e-04,1.185323e-04,1.178580e-04,1.171928e-04,1.165366e-04,1.158896e-04,1.152517e-04,1.146230e-04,1.140033e-04
0.000000e+00,1.007755e-08,3.961015e-08,3.036033e-07,1.171124e-06,2.172436e-06,8.231885e-06,8.636176e-06,2.489764e-05,3.218690e-05,5.861907e-05,9.139429e-05,1.200661e-04,2.120629e-04,2.220550e-04,3.795406e-04,4.273945e-04,6.088909e-04,7.750571e-04,9.271346e-04,1.294273e-03,1.351325e-03,1.898004e-03,2.023429e-03,2.582725e-03,2.998094e-03,3.419622e-03,4.249296e-03,4.421021e-03,5.597109e-03,5.802049e-03,6.955664e-03,7.674206e-03,8.501866e-03,9.875686e-03,1.023819e-02,1.216436e-02,1.240814e-02,1.427742e-02,1.526504e-02,1.657186e-02,1.843217e-02,1.903979e-02,2.167118e-02,2.188840e-02,2.445411e-02,2.560675e-02,2.737515e-02,2.955558e-02,3.041957e-02,3.357173e-02,3.369982e-02,3.681535e-02,3.800224e-02,4.013381e-02,4.242460e-02,4.351044e-02,4.692871e-02,5.037250e-02,5.147734e-02,5.382624e-02,5.603497e-02,5.727508e-02,6.056835e-02,6.070502e-02,6.410297e-02,6.504700e-02,6.745686e-02,6.944342e-02,7.075567e-02,7.373335e-02,7.398944e-02,7.714929e-02,7.789576e-02,8.022739e-02,8.191285e-02,8.321696e-02,8.576995e-02,8.611224e-02,8.890840e-02,8.945538e-02,9.160154e-02,9.296022e-02,9.418862e-02,9.627812e-02,9.666737e-02,9.903628e-02,9.940504e-02,1.012945e-01,1.023390e-01,1.034418e-01,1.050800e-01,1.054785e-01,1.074054e-01,1.076293e-01,1.092238e-01,1.099899e-01,1.109353e-01,1.121658e-01,1.125419e-01,1.140458e-01,1.141618e-01,1.154496e-01,1.159837e-01,1.167560e-01,1.176379e-01,1.179679e-01,1.190882e-01,1.191312e-01,1.201202e-01,1.204706e-01,1.210669e-01,1.216636e-01,1.219316e-01,1.227177e-01,1.234283e-01,1.236403e-01,1.240667e-01,1.244389e-01,1.246362e-01,1.251210e-01,1.251399e-01,1.255810e-01,1.256937e-01,1.259626e-01,1.261642e-01,1.262876e-01,1.265393e-01,1.265591e-01,1.267798e-01,1.268255e-01,1.269525e-01,1.270293e-01,1.270799e-01,1.271566e-01,1.271646e-01,1.272091e-01,1.272133e-01,1.272157e-01,1.272049e-01,1.271867e-01,1.271366e-01,1.271245e-01,1.270310e-01,1.270132e-01,1.269083e-01,1.268396e-01,1.267583e-01,1.266199e-01,1.265829e-01,1.263838e-01,1.263584e-01,1.261627e-01,1.260589e-01,1.259212e-01,1.257249e-01,1.256608e-01,1.253829e-01,1.253600e-01,1.250889e-01,1.249671e-01,1.247801e-01,1.245492e-01,1.244576e-01,1.241227e-01,1.241091e-01,1.237764e-01,1.236492e-01,1.234198e-01,1.231719e-01,1.230539e-01,1.226794e-01,1.221737e-01,1.216567e-01,1.211299e-01,1.205951e-01,1.200537e-01,1.195070e-01,1.189562e-01,1.184025e-01,1.178469e-01,1.172903e-01,1.167336e-01,1.161777e-01,1.156231e-01,1.150706e-01,1.145208e-01,1.139741e-01,1.134311e-01,1.128923e-01,1.123579e-01,1.118284e-01,1.113040e-01,1.107851e-01,1.102718e-01,1.097645e-01
0.000000e+00,5.561692e-09,2.186712e-08,1.677280e-07,6.475137e-07,1.201754e-06,4.561171e-06,4.785552e-06,1.382690e-05,1.788782e-05,3.264533e-05,5.100260e-05,6.710905e-05,1.190754e-04,1.247461e-04,2.148055e-04,2.424226e-04,3.481692e-04,4.462562e-04,5.369622e-04,7.589936e-04,7.938259e-04,1.131067e-03,1.209175e-03,1.559942e-03,1.822474e-03,2.090192e-03,2.619824e-03,2.729778e-03,3.484765e-03,3.616576e-03,4.359300e-03,4.822272e-03,5.355635e-03,6.240751e-03,6.474206e-03,7.713726e-03,7.870475e-03,9.071318e-03,9.704999e-03,1.054266e-02,1.173354e-02,1.212214e-02,1.380302e-02,1.394165e-02,1.557766e-02,1.631190e-02,1.743763e-02,1.882462e-02,1.937394e-02,2.137718e-02,2.145857e-02,2.343770e-02,2.419164e-02,2.554577e-02,2.700145e-02,2.769167e-02,2.986586e-02,3.205906e-02,3.276343e-02,3.426233e-02,3.567376e-02,3.646716e-02,3.857781e-02,3.866553e-02,4.084992e-02,4.145808e-02,4.301339e-02,4.429875e-02,4.514956e-02,4.708573e-02,4.725263e-02,4.931736e-02,4.980666e-02,5.133910e-02,5.245095e-02,5.331375e-02,5.500965e-02,5.523775e-02,5.710804e-02,5.747543e-02,5.892209e-02,5.984245e-02,6.067779e-02,6.210627e-02,6.237350e-02,6.400800e-02,6.426378e-02,6.558043e-02,6.631300e-02,6.709031e-02,6.825302e-02,6.853742e-02,6.992189e-02,7.008383e-02,7.124406e-02,7.180621e-02,7.250450e-02,7.342162e-02,7.370399e-02,7.484348e-02,7.493208e-02,7.592408e-02,7.634011e-02,7.694702e-02,7.764858e-02,7.791364e-02,7.882536e-02,7.886071e-02,7.968371e-02,7.997994e-02,8.049023e-02,8.100990e-02,8.124655e-02,8.195431e-02,8.261518e-02,8.281702e-02,8.323083e-02,8.360189e-02,8.380294e-02,8.431277e-02,8.433319e-02,8.482326e-02,8.495350e-02,8.527478e-02,8.552786e-02,8.568937e-02,8.603957e-02,8.606865e-02,8.641416e-02,8.649223e-02,8.672745e-02,8.688938e-02,8.701002e-02,8.723441e-02,8.726330e-02,8.748874e-02,8.753060e-02,8.768768e-02,8.778111e-02,8.786148e-02,8.798897e-02,8.801140e-02,8.813869e-02,8.815704e-02,8.824456e-02,8.828811e-02,8.833015e-02,8.838478e-02,8.839659e-02,8.844493e-02,8.844957e-02,8.847621e-02,8.848482e-02,8.849141e-02,8.849279e-02,8.849148e-02,8.847732e-02,8.847559e-02,8.844979e-02,8.843522e-02,8.840973e-02,8.837356e-02,8.835791e-02,8.829511e-02,8.829238e-02,8.822204e-02,8.819335e-02,8.813938e-02,8.807803e-02,8.804779e-02,8.794789e-02,8.780431e-02,8.764857e-02,8.748188e-02,8.730536e-02,8.712006e-02,8.692697e-02,8.672699e-02,8.652097e-02,8.630970e-02,8.609392e-02,8.587430e-02,8.565148e-02,8.542604e-02,8.519853e-02,8.496943e-02,8.473923e-02,8.450833e-02,8.427713e-02,8.404600e-02,8.381526e-02,8.358522e-02,8.335615e-02,8.312832e-02,8.290194e-02
0.000000e+00,1.018318e-11,2.334595e-11,8.050219e-11,1.839400e-10,2.693167e-10,6.200253e-10,6.391840e-10,1.265143e-09,1.498192e-09,2.233987e-09,3.008425e-09,3.607104e-09,5.218555e-09,5.373100e-09,7.481185e-09,8.032985e-09,9.888929e-09,1.135678e-08,1.256653e-08,1.512604e-08,1.548880e-08,1.863014e-08,1.928230e-08,2.196279e-08,2.376148e-08,2.545673e-08,2.849324e-08,2.908044e-08,3.280204e-08,3.340447e-08,3.659030e-08,3.842357e-08,4.041562e-08,4.348411e-08,4.425068e-08,4.807096e-08,4.852734e-08,5.185496e-08,5.350357e-08,5.558426e-08,5.837238e-08,5.924348e-08,6.282005e-08,6.310229e-08,6.630399e-08,6.766985e-08,6.968765e-08,7.205855e-08,7.296538e-08,7.613327e-08,7.625767e-08,7.918890e-08,8.026118e-08,8.213107e-08,8.406679e-08,8.495958e-08,8.767506e-08,9.027882e-08,9.108871e-08,9.277268e-08,9.431208e-08,9.515885e-08,9.735063e-08,9.743989e-08,9.961855e-08,1.002106e-07,1.016978e-07,1.028988e-07,1.036806e-07,1.054223e-07,1.055701e-07,1.073695e-07,1.077883e-07,1.090818e-07,1.100039e-07,1.107103e-07,1.120765e-07,1.122581e-07,1.137281e-07,1.140130e-07,1.151234e-07,1.158204e-07,1.164468e-07,1.175052e-07,1.177014e-07,1.188897e-07,1.190739e-07,1.200145e-07,1.205327e-07,1.210785e-07,1.218875e-07,1.220841e-07,1.230338e-07,1.231442e-07,1.239300e-07,1.243080e-07,1.247749e-07,1.253842e-07,1.255708e-07,1.263197e-07,1.263777e-07,1.270238e-07,1.272932e-07,1.276849e-07,1.281353e-07,1.283049e-07,1.288857e-07,1.289082e-07,1.294291e-07,1.296158e-07,1.299366e-07,1.302621e-07,1.304100e-07,1.308507e-07,1.312602e-07,1.313850e-07,1.316401e-07,1.318682e-07,1.319915e-07,1.323034e-07,1.323159e-07,1.326145e-07,1.326937e-07,1.328885e-07,1.330416e-07,1.331391e-07,1.333499e-07,1.333674e-07,1.335743e-07,1.336210e-07,1.337611e-07,1.338571e-07,1.339285e-07,1.340606e-07,1.340776e-07,1.342092e-07,1.342335e-07,1.343243e-07,1.343778e-07,1.344235e-07,1.344953e-07,1.345078e-07,1.345778e-07,1.345877e-07,1.346342e-07,1.346567e-07,1.346779e-07,1.347040e-07,1.347093e-07,1.347292e-07,1.347308e-07,1.347381e-07,1.347387e-07,1.347366e-07,1.347289e-07,1.347253e-07,1.347047e-07,1.347027e-07,1.346753e-07,1.346612e-07,1.346376e-07,1.346055e-07,1.345920e-07,1.345389e-07,1.345367e-07,1.344789e-07,1.344557e-07,1.344123e-07,1.343634e-07,1.343394e-07,1.342607e-07,1.341485e-07,1.340274e-07,1.338983e-07,1.337617e-07,1.336183e-07,1.334688e-07,1.333136e-07,1.331534e-07,1.329886e-07,1.328196e-07,1.326470e-07,1.324712e-07,1.322925e-07,1.321112e-07,1.319278e-07,1.317426e-07,1.315558e-07,1.313678e-07,1.311788e-07,1.309890e-07,1.307988e-07,1.306082e-07,1.304175e-07,1.302270e-07
0.000000e+00,4.335898e-11,1.182056e-10,4.937123e-10,1.234202e-09,1.866068e-09,4.512912e-09,4.658028e-09,9.365213e-09,1.109563e-08,1.649906e-08,2.215983e-08,2.657283e-08,3.879859e-08,4.000235e-08,5.696104e-08,6.155203e-08,7.738217e-08,9.026785e-08,1.010948e-07,1.245331e-07,1.279078e-07,1.576196e-07,1.638908e-07,1.900085e-07,2.078272e-07,2.248257e-07,2.557486e-07,2.617968e-07,3.006269e-07,3.069918e-07,3.410095e-07,3.608537e-07,3.826355e-07,4.166274e-07,4.252018e-07,4.684190e-07,4.736357e-07,5.120163e-07,5.312550e-07,5.557468e-07,5.889337e-07,5.993888e-07,6.427476e-07,6.461989e-07,6.856549e-07,7.026585e-07,7.279676e-07,7.579969e-07,7.695667e-07,8.103547e-07,8.119682e-07,8.502535e-07,8.643872e-07,8.892024e-07,9.151210e-07,9.271554e-07,9.640798e-07,9.999535e-07,1.011209e-06,1.034764e-06,1.056482e-06,1.068506e-06,1.099894e-06,1.101181e-06,1.132796e-06,1.141459e-06,1.163361e-06,1.181203e-06,1.192893e-06,1.219162e-06,1.221407e-06,1.248922e-06,1.255379e-06,1.275460e-06,1.289902e-06,1.301042e-06,1.322783e-06,1.325692e-06,1.349434e-06,1.354075e-06,1.372290e-06,1.383834e-06,1.394286e-06,1.412115e-06,1.415445e-06,1.435792e-06,1.438974e-06,1.455351e-06,1.464466e-06,1.474145e-06,1.488645e-06,1.492197e-06,1.509532e-06,1.511564e-06,1.526170e-06,1.533276e-06,1.542135e-06,1.553831e-06,1.557448e-06,1.572129e-06,1.573277e-06,1.586201e-06,1.591663e-06,1.599682e-06,1.609034e-06,1.612593e-06,1.624952e-06,1.625435e-06,1.636777e-06,1.640908e-06,1.648088e-06,1.655494e-06,1.658901e-06,1.669234e-06,1.679102e-06,1.682164e-06,1.688521e-06,1.694322e-06,1.697508e-06,1.705743e-06,1.706077e-06,1.714243e-06,1.716459e-06,1.722020e-06,1.726505e-06,1.729421e-06,1.735909e-06,1.736459e-06,1.743148e-06,1.744702e-06,1.749499e-06,1.752913e-06,1.755525e-06,1.760568e-06,1.761237e-06,1.766646e-06,1.767693e-06,1.771764e-06,1.774313e-06,1.776599e-06,1.780451e-06,1.781164e-06,1.785466e-06,1.786131e-06,1.789517e-06,1.791374e-06,1.793324e-06,1.796201e-06,1.796897e-06,1.800244e-06,1.800631e-06,1.803373e-06,1.804683e-06,1.806293e-06,1.808376e-06,1.809011e-06,1.811533e-06,1.811727e-06,1.813869e-06,1.814752e-06,1.816024e-06,1.817467e-06,1.818004e-06,1.819818e-06,1.819887e-06,1.821470e-06,1.822026e-06,1.822966e-06,1.823899e-06,1.824314e-06,1.825517e-06,1.826895e-06,1.828043e-06,1.828973e-06,1.829696e-06,1.830223e-06,1.830563e-06,1.830726e-06,1.830721e-06,1.830557e-06,1.830241e-06,1.829783e-06,1.829189e-06,1.828466e-06,1.827622e-06,1.826664e-06,1.825596e-06,1.824426e-06,1.823159e-06,1.821801e-06,1.820357e-06,1.818832e-06,1.817230e-06,1.815557e-06,1.813816e-06
0.000000e+00,5.313050e-10,2.072251e-09,1.563516e-08,5.948582e-08,1.095534e-07,4.081494e-07,4.279267e-07,1.217376e-06,1.569279e-06,2.842253e-06,4.420491e-06,5.804181e-06,1.027421e-05,1.076280e-05,1.854219e-05,2.093302e-05,3.009225e-05,3.857356e-05,4.638796e-05,6.534980e-05,6.830010e-05,9.649524e-05,1.029295e-04,1.313907e-04,1.522494e-04,1.731544e-04,2.135082e-04,2.217300e-04,2.768724e-04,2.862799e-04,3.381844e-04,3.696580e-04,4.051510e-04,4.623929e-04,4.771696e-04,5.535767e-04,5.630074e-04,6.336702e-04,6.698935e-04,7.167286e-04,7.813905e-04,8.020285e-04,8.888580e-04,8.958496e-04,9.765289e-04,1.011685e-03,1.064387e-03,1.127415e-03,1.151820e-03,1.238261e-03,1.241691e-03,1.323200e-03,1.353320e-03,1.406177e-03,1.461274e-03,1.486792e-03,1.564698e-03,1.639607e-03,1.662905e-03,1.711282e-03,1.755368e-03,1.779535e-03,1.841711e-03,1.844229e-03,1.905268e-03,1.921695e-03,1.962594e-03,1.995199e-03,2.016190e-03,2.062210e-03,2.066064e-03,2.112256e-03,2.122801e-03,2.154829e-03,2.177119e-03,2.193865e-03,2.225370e-03,2.229465e-03,2.261740e-03,2.267807e-03,2.290815e-03,2.304712e-03,2.316820e-03,2.336394e-03,2.339895e-03,2.360179e-03,2.363176e-03,2.377818e-03,2.385387e-03,2.392954e-03,2.403357e-03,2.405730e-03,2.416289e-03,2.417414e-03,2.424768e-03,2.427874e-03,2.431302e-03,2.435047e-03,2.436021e-03,2.439052e-03,2.439226e-03,2.440516e-03,2.440689e-03,2.440529e-03,2.439702e-03,2.439201e-03,2.436638e-03,2.436511e-03,2.432939e-03,2.431347e-03,2.428198e-03,2.424425e-03,2.422505e-03,2.415943e-03,2.408591e-03,2.406084e-03,2.400524e-03,2.395017e-03,2.391810e-03,2.382897e-03,2.382515e-03,2.372699e-03,2.369865e-03,2.362418e-03,2.356048e-03,2.351725e-03,2.341565e-03,2.340668e-03,2.329294e-03,2.326521e-03,2.317643e-03,2.311013e-03,2.305756e-03,2.295128e-03,2.293668e-03,2.281412e-03,2.278943e-03,2.269019e-03,2.262530e-03,2.256518e-03,2.245952e-03,2.243934e-03,2.231292e-03,2.229265e-03,2.218614e-03,2.212521e-03,2.205919e-03,2.195765e-03,2.193227e-03,2.180555e-03,2.179036e-03,2.167918e-03,2.162372e-03,2.155329e-03,2.145803e-03,2.142802e-03,2.130349e-03,2.129357e-03,2.117981e-03,2.113059e-03,2.105705e-03,2.096930e-03,2.093532e-03,2.081469e-03,2.080989e-03,2.069523e-03,2.065252e-03,2.057700e-03,2.049733e-03,2.046005e-03,2.034444e-03,2.019395e-03,2.004593e-03,1.990047e-03,1.975761e-03,1.961740e-03,1.947987e-03,1.934504e-03,1.921292e-03,1.908353e-03,1.895686e-03,1.883290e-03,1.871164e-03,1.859306e-03,1.847715e-03,1.836388e-03,1.825321e-03,1.814512e-03,1.803957e-03,1.793652e-03,1.783595e-03,1.773780e-03,1.764205e-03,1.754864e-03,1.745753e-03
0.000000e+00,7.500754e-11,2.425650e-10,1.284886e-09,3.672387e-09,5.855867e-09,1.560088e-08,1.615171e-08,3.450974e-08,4.142791e-08,6.342754e-08,8.700009e-08,1.057078e-07,1.590096e-07,1.643756e-07,2.421487e-07,2.638491e-07,3.403045e-07,4.037714e-07,4.574198e-07,5.728533e-07,5.892724e-07,7.303435e-07,7.591977e-07,8.755710e-07,9.514178e-07,1.021154e-06,1.141803e-06,1.164513e-06,1.303962e-06,1.325832e-06,1.438395e-06,1.500914e-06,1.567076e-06,1.665549e-06,1.689524e-06,1.805442e-06,1.818905e-06,1.914679e-06,1.960615e-06,2.017202e-06,2.090667e-06,2.113078e-06,2.202454e-06,2.209329e-06,2.285544e-06,2.317077e-06,2.362610e-06,2.414533e-06,2.433948e-06,2.499876e-06,2.502405e-06,2.560723e-06,2.581448e-06,2.616824e-06,2.652430e-06,2.668508e-06,2.716095e-06,2.759893e-06,2.773156e-06,2.800192e-06,2.824272e-06,2.837262e-06,2.870048e-06,2.871358e-06,2.902713e-06,2.911031e-06,2.931543e-06,2.947713e-06,2.958048e-06,2.980534e-06,2.982408e-06,3.004788e-06,3.009882e-06,3.025341e-06,3.036104e-06,3.044204e-06,3.059504e-06,3.061501e-06,3.077347e-06,3.080352e-06,3.091846e-06,3.098885e-06,3.105092e-06,3.115314e-06,3.117171e-06,3.128162e-06,3.129825e-06,3.138137e-06,3.142584e-06,3.147161e-06,3.153737e-06,3.155295e-06,3.162593e-06,3.163415e-06,3.169106e-06,3.171735e-06,3.174881e-06,3.178803e-06,3.179961e-06,3.184385e-06,3.184712e-06,3.188191e-06,3.189548e-06,3.191412e-06,3.193387e-06,3.194080e-06,3.196225e-06,3.196300e-06,3.197874e-06,3.198351e-06,3.199052e-06,3.199597e-06,3.199784e-06,3.200091e-06,3.199996e-06,3.199884e-06,3.199518e-06,3.199019e-06,3.198675e-06,3.197539e-06,3.197485e-06,3.195964e-06,3.195482e-06,3.194129e-06,3.192884e-06,3.191994e-06,3.189777e-06,3.189574e-06,3.186880e-06,3.186195e-06,3.183927e-06,3.182164e-06,3.180726e-06,3.177713e-06,3.177288e-06,3.173625e-06,3.172866e-06,3.169746e-06,3.167648e-06,3.165662e-06,3.162080e-06,3.161383e-06,3.156916e-06,3.156185e-06,3.152272e-06,3.149982e-06,3.147457e-06,3.143489e-06,3.142481e-06,3.137350e-06,3.136724e-06,3.132072e-06,3.129705e-06,3.126654e-06,3.122447e-06,3.121102e-06,3.115424e-06,3.114964e-06,3.109624e-06,3.107272e-06,3.103709e-06,3.099383e-06,3.097685e-06,3.091557e-06,3.091310e-06,3.085331e-06,3.083066e-06,3.079011e-06,3.074662e-06,3.072602e-06,3.066109e-06,3.057418e-06,3.048597e-06,3.039658e-06,3.030608e-06,3.021457e-06,3.012212e-06,3.002881e-06,2.993472e-06,2.983992e-06,2.974447e-06,2.964843e-06,2.955188e-06,2.945486e-06,2.935744e-06,2.925966e-06,2.916158e-06,2.906324e-06,2.896470e-06,2.886598e-06,2.876715e-06,2.866822e-06,2.856925e-06,2.847028e-06,2.837132e-06
0.000000e+00,8.574973e-11,2.576200e-10,1.221720e-09,3.273954e-09,5.094524e-09,1.309383e-08,1.354592e-08,2.881711e-08,3.469655e-08,5.384954e-08,7.502632e-08,9.217443e-08,1.416113e-07,1.465716e-07,2.166249e-07,2.353785e-07,2.985225e-07,3.478690e-07,3.878513e-07,4.700312e-07,4.814056e-07,5.771572e-07,5.964454e-07,6.737607e-07,7.239888e-07,7.702089e-07,8.504913e-07,8.656670e-07,9.594081e-07,9.742036e-07,1.050797e-06,1.093665e-06,1.139291e-06,1.207698e-06,1.224442e-06,1.305903e-06,1.315417e-06,1.383419e-06,1.416230e-06,1.456824e-06,1.509808e-06,1.526034e-06,1.591031e-06,1.596050e-06,1.651857e-06,1.675037e-06,1.708597e-06,1.746987e-06,1.761372e-06,1.810328e-06,1.812209e-06,1.855631e-06,1.871080e-06,1.897458e-06,1.924007e-06,1.935991e-06,1.971414e-06,2.003911e-06,2.013721e-06,2.033661e-06,2.051340e-06,2.060838e-06,2.084661e-06,2.085608e-06,2.108130e-06,2.114054e-06,2.128554e-06,2.139861e-06,2.147023e-06,2.162404e-06,2.163672e-06,2.178628e-06,2.181979e-06,2.192009e-06,2.198855e-06,2.203923e-06,2.213274e-06,2.214472e-06,2.223752e-06,2.225464e-06,2.231854e-06,2.235628e-06,2.238859e-06,2.243952e-06,2.244845e-06,2.249882e-06,2.250605e-06,2.254039e-06,2.255739e-06,2.257376e-06,2.259495e-06,2.259952e-06,2.261820e-06,2.261999e-06,2.263031e-06,2.263367e-06,2.263629e-06,2.263702e-06,2.263660e-06,2.263162e-06,2.263101e-06,2.262174e-06,2.261650e-06,2.260731e-06,2.259428e-06,2.258864e-06,2.256605e-06,2.256507e-06,2.253981e-06,2.252952e-06,2.251018e-06,2.248824e-06,2.247743e-06,2.244177e-06,2.240341e-06,2.239061e-06,2.236257e-06,2.233521e-06,2.231943e-06,2.227601e-06,2.227416e-06,2.222693e-06,2.221338e-06,2.217789e-06,2.214766e-06,2.212719e-06,2.207919e-06,2.207496e-06,2.202133e-06,2.200827e-06,2.196642e-06,2.193515e-06,2.191033e-06,2.186009e-06,2.185318e-06,2.179506e-06,2.178333e-06,2.173606e-06,2.170507e-06,2.167628e-06,2.162551e-06,2.161579e-06,2.155466e-06,2.154483e-06,2.149298e-06,2.146319e-06,2.143080e-06,2.138075e-06,2.136819e-06,2.130522e-06,2.129764e-06,2.124193e-06,2.121400e-06,2.117839e-06,2.112995e-06,2.111463e-06,2.105071e-06,2.104559e-06,2.098667e-06,2.096103e-06,2.092256e-06,2.087637e-06,2.085840e-06,2.079425e-06,2.079168e-06,2.073013e-06,2.070706e-06,2.066607e-06,2.062256e-06,2.060211e-06,2.053827e-06,2.045425e-06,2.037054e-06,2.028721e-06,2.020431e-06,2.012187e-06,2.003995e-06,1.995857e-06,1.987778e-06,1.979760e-06,1.971806e-06,1.963919e-06,1.956102e-06,1.948355e-06,1.940683e-06,1.933085e-06,1.925564e-06,1.918121e-06,1.910758e-06,1.903475e-06,1.896273e-06,1.889153e-06,1.882115e-06,1.875162e-06,1.868291e-06
0.000000e+00,2.333071e-10,7.576029e-10,4.048115e-09,1.166335e-08,1.868063e-08,5.034450e-08,5.214659e-08,1.127166e-07,1.357478e-07,2.095513e-07,2.894029e-07,3.532267e-07,5.366133e-07,5.551620e-07,8.245724e-07,8.996934e-07,1.163345e-06,1.380797e-06,1.563795e-06,1.956632e-06,2.012571e-06,2.496138e-06,2.596001e-06,3.003402e-06,3.273617e-06,3.525785e-06,3.971264e-06,4.056493e-06,4.589870e-06,4.675121e-06,5.121000e-06,5.373845e-06,5.645522e-06,6.057770e-06,6.159574e-06,6.659776e-06,6.718727e-06,7.143232e-06,7.350014e-06,7.607550e-06,7.946440e-06,8.050822e-06,8.471614e-06,8.504274e-06,8.868930e-06,9.021136e-06,9.242168e-06,9.495837e-06,9.591077e-06,9.915707e-06,9.928191e-06,1.021636e-05,1.031881e-05,1.049353e-05,1.066894e-05,1.074790e-05,1.098025e-05,1.119145e-05,1.125473e-05,1.138245e-05,1.149455e-05,1.155424e-05,1.170202e-05,1.170783e-05,1.184422e-05,1.187946e-05,1.196441e-05,1.202916e-05,1.206938e-05,1.215334e-05,1.216009e-05,1.223745e-05,1.225413e-05,1.230235e-05,1.233357e-05,1.235564e-05,1.239355e-05,1.239811e-05,1.243053e-05,1.243587e-05,1.245362e-05,1.246217e-05,1.246807e-05,1.247401e-05,1.247453e-05,1.247359e-05,1.247279e-05,1.246583e-05,1.245984e-05,1.245178e-05,1.243636e-05,1.243196e-05,1.240682e-05,1.240346e-05,1.237680e-05,1.236216e-05,1.234233e-05,1.231339e-05,1.230379e-05,1.226153e-05,1.225799e-05,1.221589e-05,1.219676e-05,1.216718e-05,1.213038e-05,1.211570e-05,1.206172e-05,1.205952e-05,1.200550e-05,1.198475e-05,1.194726e-05,1.190662e-05,1.188723e-05,1.182561e-05,1.176259e-05,1.174216e-05,1.169835e-05,1.165668e-05,1.163306e-05,1.156952e-05,1.156685e-05,1.149989e-05,1.148102e-05,1.143228e-05,1.139147e-05,1.136417e-05,1.130114e-05,1.129565e-05,1.122683e-05,1.121028e-05,1.115781e-05,1.111910e-05,1.108867e-05,1.102780e-05,1.101950e-05,1.095037e-05,1.093656e-05,1.088135e-05,1.084553e-05,1.081251e-05,1.075485e-05,1.074389e-05,1.067556e-05,1.066466e-05,1.060757e-05,1.057506e-05,1.053995e-05,1.048616e-05,1.047275e-05,1.040601e-05,1.039803e-05,1.033975e-05,1.031077e-05,1.027402e-05,1.022443e-05,1.020883e-05,1.014422e-05,1.013907e-05,1.008019e-05,1.005476e-05,1.001679e-05,9.971522e-06,9.954009e-06,9.891878e-06,9.889407e-06,9.830408e-06,9.808442e-06,9.769609e-06,9.728655e-06,9.709492e-06,9.650066e-06,9.572692e-06,9.496548e-06,9.421641e-06,9.347978e-06,9.275563e-06,9.204395e-06,9.134474e-06,9.065794e-06,8.998351e-06,8.932137e-06,8.867142e-06,8.803356e-06,8.740768e-06,8.679365e-06,8.619134e-06,8.560059e-06,8.502127e-06,8.445320e-06,8.389624e-06,8.335021e-06,8.281495e-06,8.229028e-06,8.177603e-06,8.127202e-06
0.000000e+00,1.773716e-08,6.981613e-08,5.367372e-07,2.076218e-06,3.857404e-06,1.467699e-05,1.540045e-05,4.458690e-05,5.770834e-05,1.054158e-04,1.647696e-04,2.168271e-04,3.845044e-04,4.027668e-04,6.916299e-04,7.797325e-04,1.114968e-03,1.423113e-03,1.705944e-03,2.391221e-03,2.497970e-03,3.523593e-03,3.759495e-03,4.813536e-03,5.598208e-03,6.395856e-03,7.969097e-03,8.295196e-03,1.053215e-02,1.092253e-02,1.312273e-02,1.449527e-02,1.607804e-02,1.870904e-02,1.940400e-02,2.310131e-02,2.356978e-02,2.716554e-02,2.906780e-02,3.158733e-02,3.517860e-02,3.635273e-02,4.144362e-02,4.186432e-02,4.683822e-02,4.907562e-02,5.251164e-02,5.675384e-02,5.843645e-02,6.458325e-02,6.483331e-02,7.092123e-02,7.324363e-02,7.741875e-02,8.191185e-02,8.404378e-02,9.076442e-02,9.754927e-02,9.972897e-02,1.043678e-01,1.087357e-01,1.111906e-01,1.177186e-01,1.179898e-01,1.247391e-01,1.266165e-01,1.314138e-01,1.353733e-01,1.379913e-01,1.439390e-01,1.444510e-01,1.507740e-01,1.522692e-01,1.569435e-01,1.603259e-01,1.629449e-01,1.680768e-01,1.687653e-01,1.743936e-01,1.754953e-01,1.798206e-01,1.825605e-01,1.850388e-01,1.892564e-01,1.900423e-01,1.948268e-01,1.955717e-01,1.993891e-01,2.014996e-01,2.037276e-01,2.070368e-01,2.078417e-01,2.117319e-01,2.121838e-01,2.153998e-01,2.169439e-01,2.188478e-01,2.213231e-01,2.220790e-01,2.250972e-01,2.253296e-01,2.279069e-01,2.289734e-01,2.305130e-01,2.322664e-01,2.329209e-01,2.351365e-01,2.352212e-01,2.371656e-01,2.378517e-01,2.390147e-01,2.401725e-01,2.406902e-01,2.421987e-01,2.435469e-01,2.439456e-01,2.447416e-01,2.454287e-01,2.457895e-01,2.466636e-01,2.466973e-01,2.474717e-01,2.476655e-01,2.481193e-01,2.484497e-01,2.486466e-01,2.490309e-01,2.490599e-01,2.493655e-01,2.494235e-01,2.495694e-01,2.496414e-01,2.496776e-01,2.496982e-01,2.496958e-01,2.496295e-01,2.496065e-01,2.494841e-01,2.493789e-01,2.492647e-01,2.490270e-01,2.489765e-01,2.486240e-01,2.485620e-01,2.482120e-01,2.479944e-01,2.477449e-01,2.473342e-01,2.472267e-01,2.466617e-01,2.465909e-01,2.460535e-01,2.457732e-01,2.454058e-01,2.448894e-01,2.447222e-01,2.440058e-01,2.439472e-01,2.432599e-01,2.429539e-01,2.424873e-01,2.419161e-01,2.416908e-01,2.408732e-01,2.408401e-01,2.400368e-01,2.397316e-01,2.391841e-01,2.385961e-01,2.383172e-01,2.374383e-01,2.362628e-01,2.350738e-01,2.338751e-01,2.326702e-01,2.314622e-01,2.302540e-01,2.290483e-01,2.278473e-01,2.266533e-01,2.254680e-01,2.242933e-01,2.231307e-01,2.219815e-01,2.208469e-01,2.197278e-01,2.186254e-01,2.175402e-01,2.164730e-01,2.154244e-01,2.143947e-01,2.133845e-01,2.123939e-01,2.114232e-01,2.104725e-01
0.000000e+00,7.733955e-10,3.025064e-09,2.295483e-08,8.775864e-08,1.620196e-07,6.068763e-07,6.364003e-07,1.816666e-06,2.343049e-06,4.245612e-06,6.598781e-06,8.655983e-06,1.526437e-05,1.598338e-05,2.735379e-05,3.082192e-05,4.401534e-05,5.612712e-05,6.721996e-05,9.396128e-05,9.810676e-05,1.376258e-04,1.466335e-04,1.865031e-04,2.157906e-04,2.452318e-04,3.023781e-04,3.140779e-04,3.930928e-04,4.066717e-04,4.821297e-04,5.283375e-04,5.808613e-04,6.665042e-04,6.888003e-04,8.053194e-04,8.198440e-04,9.296741e-04,9.866591e-04,1.061025e-03,1.164972e-03,1.198460e-03,1.341017e-03,1.352614e-03,1.487707e-03,1.547315e-03,1.637529e-03,1.746784e-03,1.789494e-03,1.942638e-03,1.948775e-03,2.096037e-03,2.151153e-03,2.248817e-03,2.351935e-03,2.400163e-03,2.549327e-03,2.695632e-03,2.741746e-03,2.838475e-03,2.927829e-03,2.977324e-03,3.106440e-03,3.111725e-03,3.241293e-03,3.276661e-03,3.365712e-03,3.437785e-03,3.484731e-03,3.589296e-03,3.598161e-03,3.705870e-03,3.730858e-03,3.807774e-03,3.862291e-03,3.903840e-03,3.983553e-03,3.994074e-03,4.078519e-03,4.094720e-03,4.157251e-03,4.195967e-03,4.230373e-03,4.287552e-03,4.298012e-03,4.360315e-03,4.369799e-03,4.417444e-03,4.443080e-03,4.469576e-03,4.507809e-03,4.516897e-03,4.559599e-03,4.564423e-03,4.597881e-03,4.613377e-03,4.631944e-03,4.655134e-03,4.661990e-03,4.688220e-03,4.690160e-03,4.710836e-03,4.718914e-03,4.730033e-03,4.741847e-03,4.746005e-03,4.758942e-03,4.759399e-03,4.769025e-03,4.771992e-03,4.776434e-03,4.780031e-03,4.781338e-03,4.783903e-03,4.784288e-03,4.783975e-03,4.782643e-03,4.780593e-03,4.779114e-03,4.774081e-03,4.773838e-03,4.766947e-03,4.764745e-03,4.758566e-03,4.752870e-03,4.748811e-03,4.738721e-03,4.737796e-03,4.725627e-03,4.722545e-03,4.712402e-03,4.704570e-03,4.698215e-03,4.685007e-03,4.683156e-03,4.667308e-03,4.664050e-03,4.650748e-03,4.641880e-03,4.633549e-03,4.618660e-03,4.615781e-03,4.597508e-03,4.594542e-03,4.578790e-03,4.569664e-03,4.559683e-03,4.544153e-03,4.540239e-03,4.520508e-03,4.518123e-03,4.500535e-03,4.491681e-03,4.480362e-03,4.464921e-03,4.460029e-03,4.439572e-03,4.437931e-03,4.419024e-03,4.410787e-03,4.398418e-03,4.383562e-03,4.377783e-03,4.357144e-03,4.356319e-03,4.336528e-03,4.329116e-03,4.315956e-03,4.302004e-03,4.295450e-03,4.275029e-03,4.248234e-03,4.221654e-03,4.195322e-03,4.169267e-03,4.143514e-03,4.118085e-03,4.092999e-03,4.068273e-03,4.043920e-03,4.019954e-03,3.996383e-03,3.973215e-03,3.950457e-03,3.928114e-03,3.906190e-03,3.884687e-03,3.863606e-03,3.842947e-03,3.822710e-03,3.802893e-03,3.783494e-03,3.764510e-03,3.745938e-03,3.727774e-03
0.000000e+00,3.131897e-10,1.221383e-09,9.208509e-09,3.498223e-08,6.434349e-08,2.384523e-07,2.499350e-07,7.045546e-07,9.052432e-07,1.623278e-06,2.499413e-06,3.257084e-06,5.652923e-06,5.910806e-06,9.938111e-06,1.115184e-05,1.572804e-05,1.988923e-05,2.367838e-05,3.275871e-05,3.416157e-05,4.749586e-05,5.052796e-05,6.392855e-05,7.375759e-05,8.362969e-05,1.027747e-04,1.066923e-04,1.331359e-04,1.376783e-04,1.629119e-04,1.783578e-04,1.959098e-04,2.245179e-04,2.319635e-04,2.708584e-04,2.757050e-04,3.123392e-04,3.313364e-04,3.561167e-04,3.907308e-04,4.018763e-04,4.492854e-04,4.531392e-04,4.980009e-04,5.177752e-04,5.476763e-04,5.838438e-04,5.979682e-04,6.485427e-04,6.505670e-04,6.990798e-04,7.172054e-04,7.492784e-04,7.830765e-04,7.988590e-04,8.475669e-04,8.951734e-04,9.101412e-04,9.414772e-04,9.703465e-04,9.863044e-04,1.027813e-03,1.029508e-03,1.070969e-03,1.082252e-03,1.110591e-03,1.133452e-03,1.148304e-03,1.181271e-03,1.184058e-03,1.217824e-03,1.225630e-03,1.249591e-03,1.266508e-03,1.279364e-03,1.303930e-03,1.307163e-03,1.333018e-03,1.337960e-03,1.356973e-03,1.368695e-03,1.379078e-03,1.396258e-03,1.399390e-03,1.417973e-03,1.420790e-03,1.434894e-03,1.442446e-03,1.450223e-03,1.461390e-03,1.464034e-03,1.476400e-03,1.477791e-03,1.487395e-03,1.491817e-03,1.497092e-03,1.503639e-03,1.505564e-03,1.512882e-03,1.513420e-03,1.519116e-03,1.521321e-03,1.524333e-03,1.527495e-03,1.528597e-03,1.531971e-03,1.532088e-03,1.534515e-03,1.535238e-03,1.536285e-03,1.537074e-03,1.537335e-03,1.537718e-03,1.537482e-03,1.537283e-03,1.536672e-03,1.535873e-03,1.535332e-03,1.533585e-03,1.533503e-03,1.531223e-03,1.530509e-03,1.528528e-03,1.526726e-03,1.525451e-03,1.522312e-03,1.522025e-03,1.518279e-03,1.517335e-03,1.514240e-03,1.511860e-03,1.509934e-03,1.505942e-03,1.505384e-03,1.500614e-03,1.499635e-03,1.495643e-03,1.492986e-03,1.490492e-03,1.486039e-03,1.485178e-03,1.479719e-03,1.478833e-03,1.474128e-03,1.471403e-03,1.468422e-03,1.463783e-03,1.462614e-03,1.456715e-03,1.456001e-03,1.450738e-03,1.448086e-03,1.444693e-03,1.440059e-03,1.438590e-03,1.432438e-03,1.431945e-03,1.426247e-03,1.423761e-03,1.420024e-03,1.415527e-03,1.413776e-03,1.407510e-03,1.407259e-03,1.401233e-03,1.398971e-03,1.394950e-03,1.390677e-03,1.388667e-03,1.382389e-03,1.374116e-03,1.365870e-03,1.357659e-03,1.349490e-03,1.341372e-03,1.333309e-03,1.325309e-03,1.317375e-03,1.309513e-03,1.301726e-03,1.294019e-03,1.286393e-03,1.278852e-03,1.271398e-03,1.264034e-03,1.256760e-03,1.249579e-03,1.242491e-03,1.235498e-03,1.228601e-03,1.221799e-03,1.215094e-03,1.208485e-03,1.201973e-03
0.000000e+00,8.785844e-10,3.442832e-09,2.622412e-08,1.005972e-07,1.860588e-07,7.000340e-07,7.342172e-07,2.104220e-06,2.716585e-06,4.933612e-06,7.680538e-06,1.008477e-05,1.782116e-05,1.866407e-05,3.202851e-05,3.611931e-05,5.175102e-05,6.620164e-05,7.952003e-05,1.119328e-04,1.169934e-04,1.656626e-04,1.768537e-04,2.267618e-04,2.637679e-04,3.012239e-04,3.745612e-04,3.896684e-04,4.924092e-04,5.101799e-04,6.094713e-04,6.706870e-04,7.406146e-04,8.553524e-04,8.853590e-04,1.043012e-03,1.062758e-03,1.212698e-03,1.290912e-03,1.393388e-03,1.537363e-03,1.583924e-03,1.783057e-03,1.799320e-03,1.989467e-03,2.073765e-03,2.201795e-03,2.357563e-03,2.418666e-03,2.638714e-03,2.647562e-03,2.860599e-03,2.940678e-03,3.083032e-03,3.233969e-03,3.304783e-03,3.524696e-03,3.741701e-03,3.810366e-03,3.954818e-03,4.088761e-03,4.163165e-03,4.357959e-03,4.365955e-03,4.562503e-03,4.616336e-03,4.752221e-03,4.862564e-03,4.934615e-03,5.095599e-03,5.109280e-03,5.275899e-03,5.314662e-03,5.434235e-03,5.519222e-03,5.584127e-03,5.708970e-03,5.725480e-03,5.858265e-03,5.883795e-03,5.982507e-03,6.043761e-03,6.098284e-03,6.189081e-03,6.205715e-03,6.304964e-03,6.320097e-03,6.396226e-03,6.437260e-03,6.479726e-03,6.541102e-03,6.555710e-03,6.624447e-03,6.632221e-03,6.686215e-03,6.711260e-03,6.741306e-03,6.778892e-03,6.790018e-03,6.832652e-03,6.835809e-03,6.869512e-03,6.882707e-03,6.900899e-03,6.920278e-03,6.927114e-03,6.948451e-03,6.949207e-03,6.965197e-03,6.970157e-03,6.977636e-03,6.983773e-03,6.986040e-03,6.990673e-03,6.991792e-03,6.991448e-03,6.989641e-03,6.986657e-03,6.984455e-03,6.976832e-03,6.976461e-03,6.965871e-03,6.962469e-03,6.952891e-03,6.944037e-03,6.937714e-03,6.921970e-03,6.920525e-03,6.901498e-03,6.896676e-03,6.880796e-03,6.868529e-03,6.858574e-03,6.837879e-03,6.834980e-03,6.810148e-03,6.805045e-03,6.784209e-03,6.770323e-03,6.757282e-03,6.733984e-03,6.729481e-03,6.700911e-03,6.696275e-03,6.671671e-03,6.657424e-03,6.641852e-03,6.617638e-03,6.611540e-03,6.580814e-03,6.577102e-03,6.549748e-03,6.535989e-03,6.518410e-03,6.494451e-03,6.486864e-03,6.455169e-03,6.452628e-03,6.423377e-03,6.410645e-03,6.391540e-03,6.368615e-03,6.359703e-03,6.327908e-03,6.326638e-03,6.296195e-03,6.284805e-03,6.264597e-03,6.243195e-03,6.233149e-03,6.201879e-03,6.160922e-03,6.120377e-03,6.080294e-03,6.040715e-03,6.001676e-03,5.963209e-03,5.925340e-03,5.888093e-03,5.851485e-03,5.815532e-03,5.780245e-03,5.745635e-03,5.711708e-03,5.678468e-03,5.645918e-03,5.614058e-03,5.582887e-03,5.552403e-03,5.522601e-03,5.493476e-03,5.465023e-03,5.437234e-03,5.410102e-03,5.383617e-03
0.000000e+00,9.070189e-09,3.558025e-08,2.719497e-07,1.048730e-06,1.947574e-06,7.442596e-06,7.812381e-06,2.295887e-05,2.989952e-05,5.571114e-05,8.887335e-05,1.187273e-04,2.183575e-04,2.294481e-04,4.085572e-04,4.640777e-04,6.769727e-04,8.733960e-04,1.053391e-03,1.486224e-03,1.553121e-03,2.187794e-03,2.331691e-03,2.965477e-03,3.428098e-03,3.890943e-03,4.783910e-03,4.965952e-03,6.189539e-03,6.398905e-03,7.558275e-03,8.265247e-03,9.066520e-03,1.036852e-02,1.070668e-02,1.246946e-02,1.268874e-02,1.434414e-02,1.520141e-02,1.631881e-02,1.787859e-02,1.838068e-02,2.051635e-02,2.068998e-02,2.271202e-02,2.360398e-02,2.495380e-02,2.658868e-02,2.722789e-02,2.952081e-02,2.961273e-02,3.181954e-02,3.264611e-02,3.411174e-02,3.566074e-02,3.638578e-02,3.863092e-02,4.083730e-02,4.153369e-02,4.299607e-02,4.434900e-02,4.509931e-02,4.705979e-02,4.714014e-02,4.911262e-02,4.965196e-02,5.101174e-02,5.211427e-02,5.283342e-02,5.443818e-02,5.457443e-02,5.623233e-02,5.661766e-02,5.780544e-02,5.864893e-02,5.929274e-02,6.053027e-02,6.069385e-02,6.200895e-02,6.226169e-02,6.323869e-02,6.384478e-02,6.438419e-02,6.528237e-02,6.544692e-02,6.642871e-02,6.657842e-02,6.733163e-02,6.773770e-02,6.815801e-02,6.876569e-02,6.891036e-02,6.959132e-02,6.966837e-02,7.020367e-02,7.045209e-02,7.075024e-02,7.112344e-02,7.123395e-02,7.165771e-02,7.168911e-02,7.202445e-02,7.215584e-02,7.233710e-02,7.253032e-02,7.259852e-02,7.281156e-02,7.281912e-02,7.297900e-02,7.302864e-02,7.310355e-02,7.316509e-02,7.318784e-02,7.323442e-02,7.324576e-02,7.324233e-02,7.322422e-02,7.319424e-02,7.317209e-02,7.309528e-02,7.309154e-02,7.298467e-02,7.295030e-02,7.285345e-02,7.276384e-02,7.269980e-02,7.254016e-02,7.252549e-02,7.233225e-02,7.228323e-02,7.212167e-02,7.199676e-02,7.189530e-02,7.168417e-02,7.165457e-02,7.140083e-02,7.134864e-02,7.113538e-02,7.099311e-02,7.085941e-02,7.062029e-02,7.057405e-02,7.028036e-02,7.023266e-02,6.997933e-02,6.983250e-02,6.967188e-02,6.942189e-02,6.935889e-02,6.904116e-02,6.900275e-02,6.871944e-02,6.857681e-02,6.839444e-02,6.814564e-02,6.806679e-02,6.773712e-02,6.771067e-02,6.740597e-02,6.727322e-02,6.707387e-02,6.683444e-02,6.674130e-02,6.640869e-02,6.639539e-02,6.607647e-02,6.595703e-02,6.574499e-02,6.552020e-02,6.541461e-02,6.508565e-02,6.465408e-02,6.422607e-02,6.380217e-02,6.338283e-02,6.296846e-02,6.255943e-02,6.215603e-02,6.175853e-02,6.136716e-02,6.098209e-02,6.060349e-02,6.023148e-02,5.986616e-02,5.950759e-02,5.915583e-02,5.881092e-02,5.847286e-02,5.814165e-02,5.781727e-02,5.749969e-02,5.718887e-02,5.688476e-02,5.658730e-02,5.629641e-02
0.000000e+00,1.024076e-10,3.512335e-10,2.064472e-09,6.371993e-09,1.053359e-08,3.028636e-08,3.143859e-08,7.094921e-08,8.619200e-08,1.352972e-07,1.884814e-07,2.308852e-07,3.520828e-07,3.643018e-07,5.418177e-07,5.915624e-07,7.681918e-07,9.172391e-07,1.045651e-06,1.332030e-06,1.374096e-06,1.752117e-06,1.833507e-06,2.177816e-06,2.417340e-06,2.649124e-06,3.078644e-06,3.163810e-06,3.719404e-06,3.811915e-06,4.313129e-06,4.610763e-06,4.941883e-06,5.467827e-06,5.602259e-06,6.290589e-06,6.374885e-06,7.003015e-06,7.323095e-06,7.735566e-06,8.303297e-06,8.484232e-06,9.245046e-06,9.306319e-06,1.001415e-05,1.032326e-05,1.078781e-05,1.134569e-05,1.156253e-05,1.233504e-05,1.236585e-05,1.310237e-05,1.337681e-05,1.386181e-05,1.437248e-05,1.461094e-05,1.534763e-05,1.607002e-05,1.629790e-05,1.677652e-05,1.721973e-05,1.746582e-05,1.811031e-05,1.813678e-05,1.878854e-05,1.896749e-05,1.942039e-05,1.978971e-05,2.003180e-05,2.057595e-05,2.062242e-05,2.119202e-05,2.132558e-05,2.174049e-05,2.203840e-05,2.226783e-05,2.271448e-05,2.277412e-05,2.325955e-05,2.335415e-05,2.372433e-05,2.395796e-05,2.416876e-05,2.452661e-05,2.459319e-05,2.499797e-05,2.506094e-05,2.538353e-05,2.556189e-05,2.575028e-05,2.603046e-05,2.609869e-05,2.642922e-05,2.646771e-05,2.674235e-05,2.687474e-05,2.703857e-05,2.725268e-05,2.731835e-05,2.758220e-05,2.760264e-05,2.783061e-05,2.792575e-05,2.806406e-05,2.822315e-05,2.828303e-05,2.848801e-05,2.849593e-05,2.867948e-05,2.874519e-05,2.885789e-05,2.897199e-05,2.902371e-05,2.917738e-05,2.931935e-05,2.936238e-05,2.945005e-05,2.952797e-05,2.956989e-05,2.967512e-05,2.967930e-05,2.977868e-05,2.980476e-05,2.986840e-05,2.991777e-05,2.994887e-05,3.001503e-05,3.002044e-05,3.008348e-05,3.009738e-05,3.013835e-05,3.016563e-05,3.018537e-05,3.022053e-05,3.022489e-05,3.025722e-05,3.026285e-05,3.028267e-05,3.029329e-05,3.030155e-05,3.031254e-05,3.031415e-05,3.032075e-05,3.032126e-05,3.032162e-05,3.032009e-05,3.031704e-05,3.030961e-05,3.030725e-05,3.029251e-05,3.029042e-05,3.027305e-05,3.026306e-05,3.024911e-05,3.022805e-05,3.022091e-05,3.018866e-05,3.018591e-05,3.015258e-05,3.013712e-05,3.011286e-05,3.008213e-05,3.006971e-05,3.002329e-05,3.002137e-05,2.997381e-05,2.995527e-05,2.992142e-05,2.988422e-05,2.986629e-05,2.980860e-05,2.972876e-05,2.964505e-05,2.955779e-05,2.946729e-05,2.937383e-05,2.927770e-05,2.917915e-05,2.907844e-05,2.897579e-05,2.887143e-05,2.876557e-05,2.865841e-05,2.855013e-05,2.844091e-05,2.833091e-05,2.822029e-05,2.810920e-05,2.799778e-05,2.788615e-05,2.777443e-05,2.766275e-05,2.755120e-05,2.743989e-05,2.732891e-05
0.000000e+00,2.406635e-09,9.461258e-09,7.256751e-08,2.802194e-07,5.202354e-07,1.977569e-06,2.075039e-06,6.013353e-06,7.788087e-06,1.426201e-05,2.235927e-05,2.949662e-05,5.268266e-05,5.522431e-05,9.578435e-05,1.082711e-04,1.561672e-04,2.006080e-04,2.416512e-04,3.417517e-04,3.574019e-04,5.081620e-04,5.428906e-04,6.980593e-04,8.134342e-04,9.305003e-04,1.160578e-03,1.208118e-03,1.532753e-03,1.589139e-03,1.905458e-03,2.101541e-03,2.326514e-03,2.697892e-03,2.795470e-03,3.311184e-03,3.376133e-03,3.871882e-03,4.132256e-03,4.475226e-03,4.960564e-03,5.118387e-03,5.798119e-03,5.853973e-03,6.510847e-03,6.804325e-03,7.252739e-03,7.802715e-03,8.019789e-03,8.807889e-03,8.839792e-03,9.612899e-03,9.906048e-03,1.043071e-02,1.099207e-02,1.125728e-02,1.208873e-02,1.292131e-02,1.318740e-02,1.375151e-02,1.428004e-02,1.457601e-02,1.535933e-02,1.539176e-02,1.619594e-02,1.641869e-02,1.698602e-02,1.745233e-02,1.775971e-02,1.845528e-02,1.851498e-02,1.925008e-02,1.942333e-02,1.996348e-02,2.035302e-02,2.065390e-02,2.124162e-02,2.132029e-02,2.196180e-02,2.208706e-02,2.257778e-02,2.288784e-02,2.316777e-02,2.364305e-02,2.373147e-02,2.426873e-02,2.435224e-02,2.477956e-02,2.501540e-02,2.526407e-02,2.563289e-02,2.572250e-02,2.615517e-02,2.620538e-02,2.656250e-02,2.673382e-02,2.694498e-02,2.721938e-02,2.730316e-02,2.763766e-02,2.766341e-02,2.794911e-02,2.806740e-02,2.823823e-02,2.843295e-02,2.850571e-02,2.875230e-02,2.876174e-02,2.897875e-02,2.905549e-02,2.918583e-02,2.931598e-02,2.937431e-02,2.954495e-02,2.969853e-02,2.974419e-02,2.983579e-02,2.991543e-02,2.995749e-02,3.006037e-02,3.006437e-02,3.015715e-02,3.018069e-02,3.023652e-02,3.027800e-02,3.030319e-02,3.035387e-02,3.035781e-02,3.040103e-02,3.040978e-02,3.043349e-02,3.044719e-02,3.045578e-02,3.046746e-02,3.046850e-02,3.047220e-02,3.047191e-02,3.046743e-02,3.046178e-02,3.045471e-02,3.043824e-02,3.043453e-02,3.040737e-02,3.040241e-02,3.037369e-02,3.035534e-02,3.033392e-02,3.029800e-02,3.028848e-02,3.023776e-02,3.023133e-02,3.018213e-02,3.015620e-02,3.012197e-02,3.007342e-02,3.005760e-02,2.998936e-02,2.998374e-02,2.991754e-02,2.988788e-02,2.984244e-02,2.978649e-02,2.976434e-02,2.968349e-02,2.968020e-02,2.960014e-02,2.956957e-02,2.951452e-02,2.945512e-02,2.942686e-02,2.933737e-02,2.921674e-02,2.909368e-02,2.896856e-02,2.884175e-02,2.871357e-02,2.858433e-02,2.845430e-02,2.832375e-02,2.819291e-02,2.806200e-02,2.793121e-02,2.780071e-02,2.767068e-02,2.754126e-02,2.741259e-02,2.728479e-02,2.715796e-02,2.703222e-02,2.690763e-02,2.678429e-02,2.666227e-02,2.654163e-02,2.642242e-02,2.630469e-02
0.000000e+00,3.192292e-09,1.252081e-08,9.558862e-08,3.676680e-07,6.812370e-07,2.578495e-06,2.705194e-06,7.819402e-06,1.012375e-05,1.853840e-05,2.908909e-05,3.841385e-05,6.884309e-05,7.218929e-05,1.257693e-04,1.423094e-04,2.058291e-04,2.647799e-04,3.191788e-04,4.515461e-04,4.721961e-04,6.704774e-04,7.159923e-04,9.186767e-04,1.068723e-03,1.220457e-03,1.517347e-03,1.578496e-03,1.994518e-03,2.066529e-03,2.469337e-03,2.718153e-03,3.002908e-03,3.471520e-03,3.594380e-03,4.242156e-03,4.323571e-03,4.943963e-03,5.269154e-03,5.696926e-03,6.301318e-03,6.497648e-03,7.342290e-03,7.411635e-03,8.226660e-03,8.590540e-03,9.146298e-03,9.827673e-03,1.009656e-02,1.107270e-02,1.111222e-02,1.206994e-02,1.243319e-02,1.308353e-02,1.377974e-02,1.410884e-02,1.514137e-02,1.617682e-02,1.650811e-02,1.721111e-02,1.787068e-02,1.824043e-02,1.922060e-02,1.926123e-02,2.027023e-02,2.055023e-02,2.126448e-02,2.185282e-02,2.224129e-02,2.312249e-02,2.319827e-02,2.413332e-02,2.435426e-02,2.504461e-02,2.554396e-02,2.593057e-02,2.668820e-02,2.678988e-02,2.762144e-02,2.778435e-02,2.842440e-02,2.883039e-02,2.919807e-02,2.982497e-02,2.994198e-02,3.065580e-02,3.076721e-02,3.133938e-02,3.165675e-02,3.199269e-02,3.249361e-02,3.261584e-02,3.320902e-02,3.327820e-02,3.377255e-02,3.401120e-02,3.430681e-02,3.469356e-02,3.481228e-02,3.528948e-02,3.532645e-02,3.573899e-02,3.591119e-02,3.616145e-02,3.644925e-02,3.655753e-02,3.692791e-02,3.694220e-02,3.727333e-02,3.739171e-02,3.759451e-02,3.779947e-02,3.789223e-02,3.816724e-02,3.842031e-02,3.849678e-02,3.865220e-02,3.878986e-02,3.886369e-02,3.904823e-02,3.905553e-02,3.922849e-02,3.927363e-02,3.938330e-02,3.946778e-02,3.952070e-02,3.963236e-02,3.964142e-02,3.974616e-02,3.976899e-02,3.983561e-02,3.987928e-02,3.991046e-02,3.996477e-02,3.997136e-02,4.001896e-02,4.002694e-02,4.005388e-02,4.006724e-02,4.007674e-02,4.008705e-02,4.008812e-02,4.008861e-02,4.008771e-02,4.007874e-02,4.007049e-02,4.005907e-02,4.003662e-02,4.003011e-02,3.999236e-02,3.998726e-02,3.994631e-02,3.992354e-02,3.989242e-02,3.984651e-02,3.983116e-02,3.976294e-02,3.975719e-02,3.968818e-02,3.965654e-02,3.960730e-02,3.954548e-02,3.952067e-02,3.942866e-02,3.942488e-02,3.933164e-02,3.929555e-02,3.922994e-02,3.915828e-02,3.912389e-02,3.901380e-02,3.886281e-02,3.870597e-02,3.854389e-02,3.837717e-02,3.820634e-02,3.803193e-02,3.785442e-02,3.767426e-02,3.749188e-02,3.730769e-02,3.712205e-02,3.693530e-02,3.674779e-02,3.655981e-02,3.637163e-02,3.618353e-02,3.599575e-02,3.580850e-02,3.562199e-02,3.543643e-02,3.525197e-02,3.506879e-02,3.488704e-02,3.470683e-02
0.000000e+00,3.423294e-10,1.141569e-09,6.380439e-09,1.896102e-08,3.078312e-08,8.508757e-08,8.820012e-08,1.930332e-07,2.328100e-07,3.594320e-07,4.947514e-07,6.016791e-07,9.040469e-07,9.343294e-07,1.371776e-06,1.493851e-06,1.926918e-06,2.292792e-06,2.608677e-06,3.314869e-06,3.418658e-06,4.348531e-06,4.547452e-06,5.380409e-06,5.949547e-06,6.490693e-06,7.466013e-06,7.654987e-06,8.851484e-06,9.044655e-06,1.006217e-05,1.064399e-05,1.127264e-05,1.223306e-05,1.247141e-05,1.364926e-05,1.378883e-05,1.479881e-05,1.529407e-05,1.591411e-05,1.673590e-05,1.699046e-05,1.802425e-05,1.810503e-05,1.901281e-05,1.939513e-05,1.995430e-05,2.060240e-05,2.084764e-05,2.169235e-05,2.172512e-05,2.248845e-05,2.276323e-05,2.323644e-05,2.371802e-05,2.393718e-05,2.459180e-05,2.520165e-05,2.538759e-05,2.576827e-05,2.610897e-05,2.629330e-05,2.675982e-05,2.677849e-05,2.722559e-05,2.734420e-05,2.763641e-05,2.786624e-05,2.801276e-05,2.833007e-05,2.835640e-05,2.866908e-05,2.873971e-05,2.895250e-05,2.909905e-05,2.920831e-05,2.941183e-05,2.943808e-05,2.964336e-05,2.968161e-05,2.982561e-05,2.991174e-05,2.998623e-05,3.010541e-05,3.012656e-05,3.024787e-05,3.026560e-05,3.035138e-05,3.039508e-05,3.043823e-05,3.049646e-05,3.050952e-05,3.056628e-05,3.057216e-05,3.060949e-05,3.062444e-05,3.064006e-05,3.065539e-05,3.065888e-05,3.066677e-05,3.066695e-05,3.066450e-05,3.066091e-05,3.065281e-05,3.063895e-05,3.063239e-05,3.060389e-05,3.060259e-05,3.056792e-05,3.055326e-05,3.052507e-05,3.049227e-05,3.047586e-05,3.042082e-05,3.036043e-05,3.034005e-05,3.029513e-05,3.025096e-05,3.022534e-05,3.015450e-05,3.015147e-05,3.007389e-05,3.005155e-05,2.999294e-05,2.994289e-05,2.990896e-05,2.982927e-05,2.982224e-05,2.973309e-05,2.971136e-05,2.964177e-05,2.958977e-05,2.954852e-05,2.946507e-05,2.945359e-05,2.935720e-05,2.933776e-05,2.925955e-05,2.920834e-05,2.916084e-05,2.907722e-05,2.906124e-05,2.896092e-05,2.894481e-05,2.886004e-05,2.881146e-05,2.875874e-05,2.867750e-05,2.865717e-05,2.855544e-05,2.854323e-05,2.845367e-05,2.840891e-05,2.835197e-05,2.827479e-05,2.825044e-05,2.814918e-05,2.814109e-05,2.804826e-05,2.800801e-05,2.794777e-05,2.787573e-05,2.784779e-05,2.774838e-05,2.774441e-05,2.764960e-05,2.761420e-05,2.755151e-05,2.748523e-05,2.745416e-05,2.735760e-05,2.723142e-05,2.710679e-05,2.698377e-05,2.686245e-05,2.674287e-05,2.662509e-05,2.650915e-05,2.639508e-05,2.628292e-05,2.617269e-05,2.606441e-05,2.595808e-05,2.585372e-05,2.575133e-05,2.565091e-05,2.555245e-05,2.545596e-05,2.536142e-05,2.526882e-05,2.517814e-05,2.508938e-05,2.500251e-05,2.491751e-05,2.483436e-05
0.000000e+00,1.974425e-09,7.704424e-09,5.817971e-08,2.214756e-07,4.079575e-07,1.519644e-06,1.593234e-06,4.526249e-06,5.830978e-06,1.053847e-05,1.635142e-05,2.142910e-05,3.773033e-05,3.950356e-05,6.754186e-05,7.609284e-05,1.086152e-04,1.384565e-04,1.657710e-04,2.315418e-04,2.417273e-04,3.386815e-04,3.607438e-04,4.582361e-04,5.296935e-04,6.013989e-04,7.402446e-04,7.686202e-04,9.598457e-04,9.926416e-04,1.174573e-03,1.285741e-03,1.411908e-03,1.617236e-03,1.670619e-03,1.949191e-03,1.983874e-03,2.245880e-03,2.381671e-03,2.558759e-03,2.806115e-03,2.885774e-03,3.224784e-03,3.252358e-03,3.573612e-03,3.715403e-03,3.930079e-03,4.190260e-03,4.292043e-03,4.657430e-03,4.672088e-03,5.024259e-03,5.156307e-03,5.390663e-03,5.638684e-03,5.754906e-03,6.115394e-03,6.470683e-03,6.583062e-03,6.819479e-03,7.038769e-03,7.160644e-03,7.480061e-03,7.493186e-03,7.816261e-03,7.904926e-03,8.129162e-03,8.311773e-03,8.431311e-03,8.699397e-03,8.722251e-03,9.001637e-03,9.066942e-03,9.269226e-03,9.413862e-03,9.524864e-03,9.739884e-03,9.768483e-03,1.000008e-02,1.004497e-02,1.021973e-02,1.032927e-02,1.042755e-02,1.059310e-02,1.062371e-02,1.080842e-02,1.083693e-02,1.098193e-02,1.106131e-02,1.114450e-02,1.126689e-02,1.129644e-02,1.143806e-02,1.145437e-02,1.156967e-02,1.162450e-02,1.169163e-02,1.177807e-02,1.180428e-02,1.190796e-02,1.191588e-02,1.200302e-02,1.203871e-02,1.208982e-02,1.214739e-02,1.216870e-02,1.224000e-02,1.224270e-02,1.230406e-02,1.232541e-02,1.236121e-02,1.239630e-02,1.241178e-02,1.245608e-02,1.249442e-02,1.250548e-02,1.252710e-02,1.254518e-02,1.255441e-02,1.257583e-02,1.257662e-02,1.259401e-02,1.259806e-02,1.260685e-02,1.261246e-02,1.261537e-02,1.261962e-02,1.261984e-02,1.262046e-02,1.262007e-02,1.261748e-02,1.261432e-02,1.261111e-02,1.260285e-02,1.260154e-02,1.258899e-02,1.258613e-02,1.257363e-02,1.256459e-02,1.255565e-02,1.253864e-02,1.253521e-02,1.251249e-02,1.250866e-02,1.248765e-02,1.247501e-02,1.246082e-02,1.243803e-02,1.243215e-02,1.240179e-02,1.239804e-02,1.236985e-02,1.235534e-02,1.233647e-02,1.231020e-02,1.230175e-02,1.226582e-02,1.226289e-02,1.222877e-02,1.221366e-02,1.219070e-02,1.216272e-02,1.215172e-02,1.211191e-02,1.211030e-02,1.207135e-02,1.205659e-02,1.203013e-02,1.200177e-02,1.198833e-02,1.194602e-02,1.188949e-02,1.183234e-02,1.177469e-02,1.171669e-02,1.165843e-02,1.160003e-02,1.154160e-02,1.148322e-02,1.142497e-02,1.136693e-02,1.130917e-02,1.125176e-02,1.119476e-02,1.113821e-02,1.108216e-02,1.102667e-02,1.097176e-02,1.091747e-02,1.086383e-02,1.081087e-02,1.075862e-02,1.070709e-02,1.065631e-02,1.060628e-02
0.000000e+00,2.690411e-10,1.049277e-09,7.925724e-09,3.024985e-08,5.587135e-08,2.107250e-07,2.210835e-07,6.422709e-07,8.340248e-07,1.543513e-06,2.450237e-06,3.264152e-06,5.976286e-06,6.278288e-06,1.116582e-05,1.268473e-05,1.851920e-05,2.390616e-05,2.883729e-05,4.064641e-05,4.246355e-05,5.957398e-05,6.341877e-05,8.019423e-05,9.227570e-05,1.042273e-04,1.269149e-04,1.314821e-04,1.616986e-04,1.667880e-04,1.945684e-04,2.111893e-04,2.297511e-04,2.593214e-04,2.668872e-04,3.056083e-04,3.103438e-04,3.455453e-04,3.634089e-04,3.863352e-04,4.176894e-04,4.276269e-04,4.690859e-04,4.724003e-04,5.103979e-04,5.268156e-04,5.512723e-04,5.802813e-04,5.914444e-04,6.306770e-04,6.322237e-04,6.687613e-04,6.821550e-04,7.055175e-04,7.296749e-04,7.407945e-04,7.744687e-04,8.064433e-04,8.163038e-04,8.366466e-04,8.550238e-04,8.650301e-04,8.905408e-04,8.915667e-04,9.162483e-04,9.228276e-04,9.390839e-04,9.519086e-04,9.600974e-04,9.778516e-04,9.793251e-04,9.968145e-04,1.000759e-03,1.012621e-03,1.020762e-03,1.026809e-03,1.038009e-03,1.039446e-03,1.050604e-03,1.052664e-03,1.060358e-03,1.064901e-03,1.068785e-03,1.074895e-03,1.075963e-03,1.081966e-03,1.082823e-03,1.086873e-03,1.088859e-03,1.090755e-03,1.093172e-03,1.093685e-03,1.095734e-03,1.095923e-03,1.096966e-03,1.097267e-03,1.097447e-03,1.097347e-03,1.097236e-03,1.096392e-03,1.096298e-03,1.094968e-03,1.094247e-03,1.093015e-03,1.091309e-03,1.090581e-03,1.087712e-03,1.087589e-03,1.084449e-03,1.083185e-03,1.080830e-03,1.078185e-03,1.076893e-03,1.072670e-03,1.068193e-03,1.066711e-03,1.063490e-03,1.060374e-03,1.058588e-03,1.053717e-03,1.053511e-03,1.048282e-03,1.046793e-03,1.042920e-03,1.039648e-03,1.037446e-03,1.032325e-03,1.031877e-03,1.026227e-03,1.024861e-03,1.020512e-03,1.017289e-03,1.014746e-03,1.009638e-03,1.008939e-03,1.003104e-03,1.001934e-03,9.972498e-04,9.942012e-04,9.913859e-04,9.864588e-04,9.855205e-04,9.796613e-04,9.787248e-04,9.738149e-04,9.710151e-04,9.679876e-04,9.633433e-04,9.621850e-04,9.564121e-04,9.557215e-04,9.506733e-04,9.481602e-04,9.449729e-04,9.406685e-04,9.393145e-04,9.337013e-04,9.332542e-04,9.281362e-04,9.259242e-04,9.226219e-04,9.186843e-04,9.171606e-04,9.117545e-04,9.115394e-04,9.064052e-04,9.044938e-04,9.011145e-04,8.975508e-04,8.958835e-04,8.907135e-04,8.839841e-04,8.773645e-04,8.708562e-04,8.644603e-04,8.581774e-04,8.520081e-04,8.459524e-04,8.400103e-04,8.341815e-04,8.284654e-04,8.228615e-04,8.173688e-04,8.119865e-04,8.067135e-04,8.015487e-04,7.964908e-04,7.915385e-04,7.866905e-04,7.819454e-04,7.773016e-04,7.727576e-04,7.683119e-04,7.639630e-04,7.597091e-04
0.000000e+00,4.118274e-10,1.608751e-09,1.217682e-08,4.645791e-08,8.568522e-08,3.203053e-07,3.358669e-07,9.578334e-07,1.235284e-06,2.238818e-06,3.481567e-06,4.569105e-06,8.065738e-06,8.446214e-06,1.445529e-05,1.628380e-05,2.321679e-05,2.954903e-05,3.532330e-05,4.915815e-05,5.129347e-05,7.154858e-05,7.614349e-05,9.640489e-05,1.112229e-04,1.260739e-04,1.547990e-04,1.606664e-04,2.001982e-04,2.069780e-04,2.445966e-04,2.675943e-04,2.937082e-04,3.362411e-04,3.473068e-04,4.051028e-04,4.123046e-04,4.667532e-04,4.950020e-04,5.318711e-04,5.834225e-04,6.000368e-04,6.708082e-04,6.765689e-04,7.437302e-04,7.733984e-04,8.183444e-04,8.728594e-04,8.941972e-04,9.708476e-04,9.739241e-04,1.047872e-03,1.075615e-03,1.124872e-03,1.177027e-03,1.201475e-03,1.277339e-03,1.352153e-03,1.375825e-03,1.425639e-03,1.471859e-03,1.497553e-03,1.564915e-03,1.567683e-03,1.635847e-03,1.654560e-03,1.701895e-03,1.740455e-03,1.765703e-03,1.822344e-03,1.827174e-03,1.886237e-03,1.900048e-03,1.942840e-03,1.973452e-03,1.996953e-03,2.042502e-03,2.048563e-03,2.097673e-03,2.107196e-03,2.144299e-03,2.167571e-03,2.188469e-03,2.223702e-03,2.230221e-03,2.269604e-03,2.275689e-03,2.306671e-03,2.323657e-03,2.341481e-03,2.367749e-03,2.374101e-03,2.404597e-03,2.408117e-03,2.433042e-03,2.444926e-03,2.459507e-03,2.478342e-03,2.484067e-03,2.506796e-03,2.508538e-03,2.527769e-03,2.535684e-03,2.547060e-03,2.559950e-03,2.564743e-03,2.580888e-03,2.581503e-03,2.595567e-03,2.600506e-03,2.608850e-03,2.617118e-03,2.620802e-03,2.631490e-03,2.640977e-03,2.643769e-03,2.649324e-03,2.654094e-03,2.656589e-03,2.662600e-03,2.662830e-03,2.668102e-03,2.669412e-03,2.672457e-03,2.674651e-03,2.675946e-03,2.678432e-03,2.678616e-03,2.680514e-03,2.680860e-03,2.681685e-03,2.682038e-03,2.682170e-03,2.682062e-03,2.682010e-03,2.681242e-03,2.681019e-03,2.679905e-03,2.678996e-03,2.678032e-03,2.676070e-03,2.675657e-03,2.672812e-03,2.672315e-03,2.669526e-03,2.667801e-03,2.665829e-03,2.662593e-03,2.661747e-03,2.657306e-03,2.656750e-03,2.652530e-03,2.650329e-03,2.647444e-03,2.643384e-03,2.642068e-03,2.636425e-03,2.635962e-03,2.630533e-03,2.628111e-03,2.624412e-03,2.619872e-03,2.618079e-03,2.611551e-03,2.611286e-03,2.604845e-03,2.602390e-03,2.597975e-03,2.593217e-03,2.590956e-03,2.583801e-03,2.574171e-03,2.564354e-03,2.554376e-03,2.544262e-03,2.534032e-03,2.523709e-03,2.513310e-03,2.502853e-03,2.492355e-03,2.481830e-03,2.471292e-03,2.460755e-03,2.450229e-03,2.439726e-03,2.429256e-03,2.418828e-03,2.408450e-03,2.398130e-03,2.387874e-03,2.377690e-03,2.367583e-03,2.357559e-03,2.347622e-03,2.337776e-03
0.000000e+00,7.497636e-11,2.877734e-10,2.099861e-09,7.746961e-09,1.402555e-08,4.995134e-08,5.227420e-08,1.419576e-07,1.806318e-07,3.164126e-07,4.785909e-07,6.168251e-07,1.046109e-06,1.091781e-06,1.795324e-06,2.004332e-06,2.782016e-06,3.476730e-06,4.100355e-06,5.565081e-06,5.788065e-06,7.870726e-06,8.336096e-06,1.036275e-05,1.182240e-05,1.326927e-05,1.602955e-05,1.658796e-05,2.031053e-05,2.094280e-05,2.442375e-05,2.653188e-05,2.891018e-05,3.275393e-05,3.374866e-05,3.891474e-05,3.955541e-05,4.438107e-05,4.687376e-05,5.011781e-05,5.463903e-05,5.609309e-05,6.227351e-05,6.277578e-05,6.862469e-05,7.120518e-05,7.511182e-05,7.984723e-05,8.170020e-05,8.835573e-05,8.862288e-05,9.504545e-05,9.745600e-05,1.017379e-04,1.062750e-04,1.084033e-04,1.150144e-04,1.215458e-04,1.236152e-04,1.279748e-04,1.320262e-04,1.342812e-04,1.402035e-04,1.404473e-04,1.464578e-04,1.481111e-04,1.522999e-04,1.557197e-04,1.579627e-04,1.630069e-04,1.634378e-04,1.687184e-04,1.699562e-04,1.737997e-04,1.765569e-04,1.786785e-04,1.828028e-04,1.833530e-04,1.878227e-04,1.886921e-04,1.920884e-04,1.942264e-04,1.961518e-04,1.994106e-04,2.000155e-04,2.036830e-04,2.042519e-04,2.071584e-04,2.087595e-04,2.104460e-04,2.129441e-04,2.135507e-04,2.164776e-04,2.168172e-04,2.192322e-04,2.203910e-04,2.218198e-04,2.236780e-04,2.242459e-04,2.265162e-04,2.266913e-04,2.286363e-04,2.294435e-04,2.306117e-04,2.319475e-04,2.324479e-04,2.341505e-04,2.342159e-04,2.357248e-04,2.362612e-04,2.371761e-04,2.380952e-04,2.385093e-04,2.397297e-04,2.408419e-04,2.411758e-04,2.418508e-04,2.424444e-04,2.427610e-04,2.435460e-04,2.435768e-04,2.443026e-04,2.444903e-04,2.449425e-04,2.452869e-04,2.455005e-04,2.459448e-04,2.459804e-04,2.463860e-04,2.464727e-04,2.467208e-04,2.468786e-04,2.469882e-04,2.471705e-04,2.471916e-04,2.473341e-04,2.473556e-04,2.474187e-04,2.474409e-04,2.474484e-04,2.474330e-04,2.474260e-04,2.473541e-04,2.473382e-04,2.472353e-04,2.471624e-04,2.470721e-04,2.469112e-04,2.468669e-04,2.466218e-04,2.465898e-04,2.463391e-04,2.462033e-04,2.460209e-04,2.457564e-04,2.456690e-04,2.452855e-04,2.452535e-04,2.448721e-04,2.446988e-04,2.444306e-04,2.440962e-04,2.439626e-04,2.434697e-04,2.434495e-04,2.429534e-04,2.427621e-04,2.424152e-04,2.420374e-04,2.418564e-04,2.412785e-04,2.404882e-04,2.396694e-04,2.388246e-04,2.379563e-04,2.370667e-04,2.361580e-04,2.352323e-04,2.342913e-04,2.333369e-04,2.323707e-04,2.313944e-04,2.304093e-04,2.294168e-04,2.284183e-04,2.274150e-04,2.264078e-04,2.253980e-04,2.243865e-04,2.233742e-04,2.223619e-04,2.213505e-04,2.203407e-04,2.193331e-04,2.183286e-04
0.000000e+00,7.325993e-10,2.877010e-09,2.201293e-08,8.478327e-08,1.571475e-07,5.943454e-07,6.234913e-07,1.794711e-06,2.319325e-06,4.220879e-06,6.578418e-06,8.641457e-06,1.527146e-05,1.599288e-05,2.740584e-05,3.089067e-05,4.417759e-05,5.642994e-05,6.770541e-05,9.511348e-05,9.939124e-05,1.405499e-04,1.500237e-04,1.923420e-04,2.238054e-04,2.557337e-04,3.185019e-04,3.314746e-04,4.200885e-04,4.354843e-04,5.218722e-04,5.754364e-04,6.369003e-04,7.383733e-04,7.650356e-04,9.059422e-04,9.236865e-04,1.059104e-03,1.130209e-03,1.223846e-03,1.356298e-03,1.399354e-03,1.584701e-03,1.599924e-03,1.778872e-03,1.858770e-03,1.980783e-03,2.130322e-03,2.189311e-03,2.403308e-03,2.411966e-03,2.621628e-03,2.701062e-03,2.843135e-03,2.995017e-03,3.066728e-03,3.291345e-03,3.515978e-03,3.587707e-03,3.739679e-03,3.881949e-03,3.961567e-03,4.172121e-03,4.180832e-03,4.396735e-03,4.456493e-03,4.608611e-03,4.733556e-03,4.815870e-03,5.002023e-03,5.017993e-03,5.214528e-03,5.260822e-03,5.405094e-03,5.509082e-03,5.589370e-03,5.746122e-03,5.767096e-03,5.938068e-03,5.971438e-03,6.102132e-03,6.184678e-03,6.259182e-03,6.385637e-03,6.409155e-03,6.552029e-03,6.574230e-03,6.687813e-03,6.750482e-03,6.816550e-03,6.914513e-03,6.938312e-03,7.053191e-03,7.066520e-03,7.161305e-03,7.206765e-03,7.262786e-03,7.335568e-03,7.357785e-03,7.446463e-03,7.453290e-03,7.528994e-03,7.560325e-03,7.605558e-03,7.657096e-03,7.676345e-03,7.741546e-03,7.744041e-03,7.801358e-03,7.821610e-03,7.855981e-03,7.890261e-03,7.905612e-03,7.950452e-03,7.990699e-03,8.002640e-03,8.026548e-03,8.047273e-03,8.058194e-03,8.084795e-03,8.085826e-03,8.109631e-03,8.115636e-03,8.129792e-03,8.140214e-03,8.146488e-03,8.158934e-03,8.159889e-03,8.170166e-03,8.172186e-03,8.177481e-03,8.180343e-03,8.181993e-03,8.183765e-03,8.183854e-03,8.183211e-03,8.182794e-03,8.180206e-03,8.177756e-03,8.174977e-03,8.168961e-03,8.167654e-03,8.158363e-03,8.156702e-03,8.147225e-03,8.141257e-03,8.134356e-03,8.122890e-03,8.119868e-03,8.103865e-03,8.101847e-03,8.086449e-03,8.078363e-03,8.067717e-03,8.052657e-03,8.047761e-03,8.026670e-03,8.024936e-03,8.004526e-03,7.995392e-03,7.981410e-03,7.964207e-03,7.957397e-03,7.932560e-03,7.931550e-03,7.906967e-03,7.897581e-03,7.880683e-03,7.862447e-03,7.853770e-03,7.826286e-03,7.789227e-03,7.751390e-03,7.712885e-03,7.673817e-03,7.634280e-03,7.594365e-03,7.554152e-03,7.513720e-03,7.473136e-03,7.432466e-03,7.391771e-03,7.351104e-03,7.310516e-03,7.270052e-03,7.229756e-03,7.189666e-03,7.149816e-03,7.110239e-03,7.070964e-03,7.032016e-03,6.993419e-03,6.955195e-03,6.917362e-03,6.879938e-03
0.000000e+00,4.213750e-10,1.417620e-09,8.057427e-09,2.429538e-08,3.976552e-08,1.124986e-07,1.167362e-07,2.630779e-07,3.202873e-07,5.079380e-07,7.169196e-07,8.874570e-07,1.389570e-06,1.441067e-06,2.196260e-06,2.408093e-06,3.152892e-06,3.768498e-06,4.288186e-06,5.412652e-06,5.574082e-06,6.987409e-06,7.283777e-06,8.511070e-06,9.342516e-06,1.013191e-05,1.156021e-05,1.183861e-05,1.362035e-05,1.391166e-05,1.546618e-05,1.637163e-05,1.736479e-05,1.891390e-05,1.930459e-05,2.127380e-05,2.151152e-05,2.326075e-05,2.413767e-05,2.525405e-05,2.676652e-05,2.724286e-05,2.921700e-05,2.937401e-05,3.116710e-05,3.193849e-05,3.308476e-05,3.444120e-05,3.496260e-05,3.679425e-05,3.686647e-05,3.857428e-05,3.920157e-05,4.029824e-05,4.143665e-05,4.196255e-05,4.356447e-05,4.510196e-05,4.558013e-05,4.657374e-05,4.748082e-05,4.797903e-05,4.926524e-05,4.931749e-05,5.058932e-05,5.093357e-05,5.179508e-05,5.248715e-05,5.293559e-05,5.392823e-05,5.401202e-05,5.502568e-05,5.525978e-05,5.597806e-05,5.648524e-05,5.687080e-05,5.760846e-05,5.770564e-05,5.848439e-05,5.863358e-05,5.920891e-05,5.956485e-05,5.988108e-05,6.040663e-05,6.050280e-05,6.107597e-05,6.116330e-05,6.160249e-05,6.183920e-05,6.208423e-05,6.243861e-05,6.252302e-05,6.292069e-05,6.296573e-05,6.327900e-05,6.342463e-05,6.359968e-05,6.381927e-05,6.388441e-05,6.413485e-05,6.415345e-05,6.435257e-05,6.443085e-05,6.453913e-05,6.465499e-05,6.469601e-05,6.482466e-05,6.482924e-05,6.492647e-05,6.495681e-05,6.500278e-05,6.504078e-05,6.505491e-05,6.508408e-05,6.509151e-05,6.508948e-05,6.507835e-05,6.505963e-05,6.504570e-05,6.499704e-05,6.499465e-05,6.492622e-05,6.490407e-05,6.484137e-05,6.478299e-05,6.474107e-05,6.463591e-05,6.462621e-05,6.449766e-05,6.446486e-05,6.435624e-05,6.427173e-05,6.420276e-05,6.405831e-05,6.403797e-05,6.386259e-05,6.382630e-05,6.367732e-05,6.357729e-05,6.348282e-05,6.331278e-05,6.327973e-05,6.306865e-05,6.303418e-05,6.285016e-05,6.274281e-05,6.262480e-05,6.243993e-05,6.239311e-05,6.215558e-05,6.212671e-05,6.191269e-05,6.180424e-05,6.166489e-05,6.147355e-05,6.141262e-05,6.115628e-05,6.113561e-05,6.089627e-05,6.079132e-05,6.063296e-05,6.044153e-05,6.036669e-05,6.009782e-05,6.008701e-05,5.982665e-05,5.972852e-05,5.955348e-05,5.936674e-05,5.927861e-05,5.900230e-05,5.863581e-05,5.826782e-05,5.789884e-05,5.752935e-05,5.715980e-05,5.679059e-05,5.642211e-05,5.605471e-05,5.568871e-05,5.532440e-05,5.496205e-05,5.460193e-05,5.424425e-05,5.388923e-05,5.353705e-05,5.318789e-05,5.284190e-05,5.249923e-05,5.215998e-05,5.182429e-05,5.149224e-05,5.116393e-05,5.083943e-05,5.051881e-05
0.000000e+00,2.200198e-08,8.649102e-08,6.632058e-07,2.559826e-06,4.750729e-06,1.803482e-05,1.892241e-05,5.472058e-05,7.081915e-05,1.294127e-04,2.024679e-04,2.666894e-04,4.743982e-04,4.970908e-04,8.574478e-04,9.677770e-04,1.388738e-03,1.776672e-03,2.133131e-03,2.996987e-03,3.131485e-03,4.421638e-03,4.717732e-03,6.037289e-03,7.015831e-03,8.007215e-03,9.952936e-03,1.035469e-02,1.309707e-02,1.357333e-02,1.624549e-02,1.790261e-02,1.980476e-02,2.294716e-02,2.377334e-02,2.814355e-02,2.869438e-02,3.290185e-02,3.511376e-02,3.802933e-02,4.215866e-02,4.350222e-02,4.929253e-02,4.976854e-02,5.536878e-02,5.787174e-02,6.169668e-02,6.638826e-02,6.823991e-02,7.496077e-02,7.523275e-02,8.182089e-02,8.431721e-02,8.878185e-02,9.355352e-02,9.580574e-02,1.028557e-01,1.098962e-01,1.121416e-01,1.168935e-01,1.213345e-01,1.238162e-01,1.303644e-01,1.306348e-01,1.373225e-01,1.391682e-01,1.438550e-01,1.476908e-01,1.502105e-01,1.558848e-01,1.563699e-01,1.623166e-01,1.637105e-01,1.680364e-01,1.711359e-01,1.735176e-01,1.781361e-01,1.787508e-01,1.837286e-01,1.846930e-01,1.884457e-01,1.907945e-01,1.928989e-01,1.964344e-01,1.970865e-01,2.010085e-01,2.016115e-01,2.046664e-01,2.063290e-01,2.080627e-01,2.105941e-01,2.112014e-01,2.140873e-01,2.144169e-01,2.167261e-01,2.178105e-01,2.191242e-01,2.207902e-01,2.212887e-01,2.232272e-01,2.233728e-01,2.249477e-01,2.255766e-01,2.264584e-01,2.274210e-01,2.277679e-01,2.288850e-01,2.289258e-01,2.298185e-01,2.301113e-01,2.305772e-01,2.309978e-01,2.311699e-01,2.316055e-01,2.318926e-01,2.319545e-01,2.320396e-01,2.320641e-01,2.320550e-01,2.319536e-01,2.319470e-01,2.317233e-01,2.316411e-01,2.313918e-01,2.311442e-01,2.309599e-01,2.304800e-01,2.304347e-01,2.298231e-01,2.296643e-01,2.291319e-01,2.287123e-01,2.283672e-01,2.276384e-01,2.275352e-01,2.266417e-01,2.264561e-01,2.256922e-01,2.251780e-01,2.246919e-01,2.238160e-01,2.236457e-01,2.225585e-01,2.223811e-01,2.214346e-01,2.208834e-01,2.202783e-01,2.193325e-01,2.190934e-01,2.178837e-01,2.177371e-01,2.166527e-01,2.161052e-01,2.154037e-01,2.144443e-01,2.141397e-01,2.128635e-01,2.127610e-01,2.115779e-01,2.110616e-01,2.102853e-01,2.093516e-01,2.089880e-01,2.076882e-01,2.076362e-01,2.063878e-01,2.059199e-01,2.050887e-01,2.042069e-01,2.037926e-01,2.025009e-01,2.008053e-01,1.991229e-01,1.974565e-01,1.958083e-01,1.941803e-01,1.925743e-01,1.909918e-01,1.894342e-01,1.879024e-01,1.863975e-01,1.849201e-01,1.834709e-01,1.820502e-01,1.806585e-01,1.792960e-01,1.779627e-01,1.766587e-01,1.753839e-01,1.741383e-01,1.729215e-01,1.717335e-01,1.705738e-01,1.694421e-01,1.683382e-01
0.000000e+00,6.362355e-11,1.478976e-10,5.172284e-10,1.188332e-09,1.742296e-09,4.010040e-09,4.133487e-09,8.142928e-09,9.625805e-09,1.428923e-08,1.919773e-08,2.301142e-08,3.340317e-08,3.440975e-08,4.829042e-08,5.196395e-08,6.441848e-08,7.436187e-08,8.261086e-08,1.002082e-07,1.027172e-07,1.245906e-07,1.291636e-07,1.480707e-07,1.608564e-07,1.729777e-07,1.948573e-07,1.991128e-07,2.262629e-07,2.306863e-07,2.542058e-07,2.678341e-07,2.827174e-07,3.057876e-07,3.115770e-07,3.405738e-07,3.440531e-07,3.695105e-07,3.821764e-07,3.982067e-07,4.197549e-07,4.265010e-07,4.542517e-07,4.564445e-07,4.813382e-07,4.919637e-07,5.076599e-07,5.260913e-07,5.331349e-07,5.576983e-07,5.586612e-07,5.813014e-07,5.895563e-07,6.039092e-07,6.187020e-07,6.254990e-07,6.460589e-07,6.655860e-07,6.716173e-07,6.840859e-07,6.953912e-07,7.015686e-07,7.174091e-07,7.180493e-07,7.335488e-07,7.377159e-07,7.480901e-07,7.563657e-07,7.616992e-07,7.734204e-07,7.744042e-07,7.862343e-07,7.889467e-07,7.972196e-07,8.030137e-07,8.073906e-07,8.156922e-07,8.167784e-07,8.254139e-07,8.270534e-07,8.333279e-07,8.371682e-07,8.405508e-07,8.461059e-07,8.471125e-07,8.530423e-07,8.539343e-07,8.583687e-07,8.607193e-07,8.631197e-07,8.665245e-07,8.673225e-07,8.710033e-07,8.714112e-07,8.741877e-07,8.754380e-07,8.769004e-07,8.786613e-07,8.791652e-07,8.810050e-07,8.811345e-07,8.824421e-07,8.829089e-07,8.834977e-07,8.840330e-07,8.841923e-07,8.845457e-07,8.845530e-07,8.845768e-07,8.845125e-07,8.843036e-07,8.839531e-07,8.837438e-07,8.829138e-07,8.818297e-07,8.814316e-07,8.805068e-07,8.795416e-07,8.789597e-07,8.772765e-07,8.772024e-07,8.752482e-07,8.746675e-07,8.731099e-07,8.717436e-07,8.707997e-07,8.685324e-07,8.683291e-07,8.657094e-07,8.650596e-07,8.629510e-07,8.613494e-07,8.600639e-07,8.574246e-07,8.570579e-07,8.539419e-07,8.533063e-07,8.507247e-07,8.490145e-07,8.474145e-07,8.445679e-07,8.440192e-07,8.405462e-07,8.399838e-07,8.370026e-07,8.352785e-07,8.333950e-07,8.304673e-07,8.297300e-07,8.260134e-07,8.255642e-07,8.222510e-07,8.205825e-07,8.184483e-07,8.155344e-07,8.146103e-07,8.107420e-07,8.104314e-07,8.068478e-07,8.052839e-07,8.029322e-07,8.001020e-07,7.989992e-07,7.950527e-07,7.948946e-07,7.910963e-07,7.896702e-07,7.871334e-07,7.844366e-07,7.831673e-07,7.792010e-07,7.739700e-07,7.687498e-07,7.635459e-07,7.583634e-07,7.532071e-07,7.480814e-07,7.429900e-07,7.379365e-07,7.329242e-07,7.279560e-07,7.230346e-07,7.181621e-07,7.133408e-07,7.085725e-07,7.038589e-07,6.992013e-07,6.946010e-07,6.900591e-07,6.855765e-07,6.811540e-07,6.767920e-07,6.724912e-07,6.682519e-07,6.640742e-07
0.000000e+00,9.647325e-10,2.427721e-09,9.289263e-09,2.240114e-08,3.354356e-08,8.096628e-08,8.361371e-08,1.724624e-07,2.065666e-07,3.177753e-07,4.412980e-07,5.420018e-07,8.373961e-07,8.675484e-07,1.305534e-06,1.426863e-06,1.848109e-06,2.190361e-06,2.475480e-06,3.081735e-06,3.167669e-06,3.909420e-06,4.062702e-06,4.689859e-06,5.108231e-06,5.500938e-06,6.201164e-06,6.336190e-06,7.189997e-06,7.327979e-06,8.057204e-06,8.476792e-06,8.932972e-06,9.636671e-06,9.812733e-06,1.069221e-05,1.079754e-05,1.156747e-05,1.195030e-05,1.243491e-05,1.308695e-05,1.329134e-05,1.413395e-05,1.420069e-05,1.496034e-05,1.528589e-05,1.576847e-05,1.633806e-05,1.655666e-05,1.732356e-05,1.735378e-05,1.806811e-05,1.833051e-05,1.878950e-05,1.926653e-05,1.948717e-05,2.016075e-05,2.081003e-05,2.101266e-05,2.143496e-05,2.182216e-05,2.203560e-05,2.258951e-05,2.261211e-05,2.316474e-05,2.331524e-05,2.369381e-05,2.400010e-05,2.419970e-05,2.464500e-05,2.468282e-05,2.514363e-05,2.525095e-05,2.558261e-05,2.581909e-05,2.600027e-05,2.635058e-05,2.639712e-05,2.677371e-05,2.684664e-05,2.713056e-05,2.730851e-05,2.746823e-05,2.773744e-05,2.778725e-05,2.808817e-05,2.813467e-05,2.837152e-05,2.850145e-05,2.863785e-05,2.883900e-05,2.888768e-05,2.912154e-05,2.914855e-05,2.933995e-05,2.943128e-05,2.954341e-05,2.968836e-05,2.973243e-05,2.990750e-05,2.992092e-05,3.006911e-05,3.013008e-05,3.021772e-05,3.031693e-05,3.035379e-05,3.047779e-05,3.048250e-05,3.059014e-05,3.062783e-05,3.069129e-05,3.075389e-05,3.078166e-05,3.086165e-05,3.093167e-05,3.095204e-05,3.099211e-05,3.102593e-05,3.104334e-05,3.108421e-05,3.108574e-05,3.111966e-05,3.112769e-05,3.114546e-05,3.115718e-05,3.116348e-05,3.117345e-05,3.117403e-05,3.117745e-05,3.117725e-05,3.117405e-05,3.116927e-05,3.116412e-05,3.115021e-05,3.114795e-05,3.112584e-05,3.112073e-05,3.109806e-05,3.108145e-05,3.106486e-05,3.103299e-05,3.102651e-05,3.098326e-05,3.097590e-05,3.093535e-05,3.091077e-05,3.088301e-05,3.083810e-05,3.082646e-05,3.076593e-05,3.075841e-05,3.070163e-05,3.067219e-05,3.063375e-05,3.057989e-05,3.056249e-05,3.048805e-05,3.048196e-05,3.041060e-05,3.037882e-05,3.033033e-05,3.027087e-05,3.024740e-05,3.016197e-05,3.015850e-05,3.007421e-05,3.004207e-05,2.998426e-05,2.992193e-05,2.989228e-05,2.979840e-05,2.967181e-05,2.954245e-05,2.941061e-05,2.927654e-05,2.914052e-05,2.900278e-05,2.886355e-05,2.872304e-05,2.858146e-05,2.843901e-05,2.829587e-05,2.815221e-05,2.800819e-05,2.786396e-05,2.771968e-05,2.757547e-05,2.743146e-05,2.728777e-05,2.714452e-05,2.700180e-05,2.685971e-05,2.671835e-05,2.657780e-05,2.643814e-05
0.000000e+00,4.034472e-10,1.566975e-09,1.172034e-08,4.423905e-08,8.112036e-08,2.988653e-07,3.132060e-07,8.814093e-07,1.132919e-06,2.037257e-06,3.149949e-06,4.119274e-06,7.214633e-06,7.549686e-06,1.280023e-05,1.438378e-05,2.033668e-05,2.571325e-05,3.057456e-05,4.209435e-05,4.385900e-05,6.046167e-05,6.419937e-05,8.058533e-05,9.249006e-05,1.043704e-04,1.272424e-04,1.319009e-04,1.632088e-04,1.685682e-04,1.982780e-04,2.164304e-04,2.370457e-04,2.706528e-04,2.794056e-04,3.252093e-04,3.309287e-04,3.742692e-04,3.968306e-04,4.263613e-04,4.678225e-04,4.812291e-04,5.385879e-04,5.432751e-04,5.981295e-04,6.224848e-04,6.595279e-04,7.046947e-04,7.224446e-04,7.865343e-04,7.891174e-04,8.514506e-04,8.749566e-04,9.168508e-04,9.614286e-04,9.824012e-04,1.047781e-03,1.112685e-03,1.133308e-03,1.176831e-03,1.217363e-03,1.239954e-03,1.299370e-03,1.301818e-03,1.362207e-03,1.378826e-03,1.420935e-03,1.455304e-03,1.477836e-03,1.528455e-03,1.532775e-03,1.585636e-03,1.598003e-03,1.636329e-03,1.663744e-03,1.684785e-03,1.725538e-03,1.730956e-03,1.774812e-03,1.783304e-03,1.816340e-03,1.837015e-03,1.855543e-03,1.886688e-03,1.892437e-03,1.927050e-03,1.932379e-03,1.959420e-03,1.974175e-03,1.989595e-03,2.012190e-03,2.017629e-03,2.043583e-03,2.046561e-03,2.067524e-03,2.077437e-03,2.089520e-03,2.104980e-03,2.109643e-03,2.127969e-03,2.129360e-03,2.144572e-03,2.150749e-03,2.159530e-03,2.169322e-03,2.172916e-03,2.184809e-03,2.185254e-03,2.195280e-03,2.198717e-03,2.204405e-03,2.209876e-03,2.212253e-03,2.218896e-03,2.224399e-03,2.225931e-03,2.228829e-03,2.231131e-03,2.232249e-03,2.234638e-03,2.234719e-03,2.236297e-03,2.236587e-03,2.237040e-03,2.237106e-03,2.237000e-03,2.236316e-03,2.236228e-03,2.234774e-03,2.234328e-03,2.232682e-03,2.231249e-03,2.229998e-03,2.227178e-03,2.226762e-03,2.223015e-03,2.222207e-03,2.218794e-03,2.216423e-03,2.214134e-03,2.209905e-03,2.209069e-03,2.203631e-03,2.202728e-03,2.197850e-03,2.194961e-03,2.191754e-03,2.186668e-03,2.185370e-03,2.178722e-03,2.177908e-03,2.171836e-03,2.168736e-03,2.164732e-03,2.159201e-03,2.157432e-03,2.149956e-03,2.149351e-03,2.142323e-03,2.139229e-03,2.134549e-03,2.128874e-03,2.126651e-03,2.118645e-03,2.118322e-03,2.110544e-03,2.107607e-03,2.102362e-03,2.096759e-03,2.094113e-03,2.085807e-03,2.074776e-03,2.063689e-03,2.052569e-03,2.041434e-03,2.030303e-03,2.019192e-03,2.008116e-03,1.997087e-03,1.986119e-03,1.975221e-03,1.964405e-03,1.953678e-03,1.943049e-03,1.932525e-03,1.922112e-03,1.911816e-03,1.901640e-03,1.891591e-03,1.881671e-03,1.871883e-03,1.862231e-03,1.852716e-03,1.843340e-03,1.834105e-03
0.000000e+00,2.959063e-08,1.163566e-07,8.929509e-07,3.450323e-06,6.408205e-06,2.438864e-05,2.559205e-05,7.426156e-05,9.621199e-05,1.763302e-04,2.765872e-04,3.649766e-04,6.521795e-04,6.836717e-04,1.186781e-03,1.341971e-03,1.939113e-03,2.496238e-03,3.013555e-03,4.286132e-03,4.486404e-03,6.431289e-03,6.882855e-03,8.913528e-03,1.043484e-02,1.198625e-02,1.505265e-02,1.568850e-02,2.004479e-02,2.080338e-02,2.506565e-02,2.771149e-02,3.074872e-02,3.576291e-02,3.708000e-02,4.403538e-02,4.491049e-02,5.158211e-02,5.507994e-02,5.968027e-02,6.617577e-02,6.828424e-02,7.734403e-02,7.808693e-02,8.680657e-02,9.069208e-02,9.661687e-02,1.038643e-01,1.067191e-01,1.170573e-01,1.174750e-01,1.275767e-01,1.313976e-01,1.382236e-01,1.455101e-01,1.489467e-01,1.596972e-01,1.704289e-01,1.738520e-01,1.810989e-01,1.878770e-01,1.916677e-01,2.016847e-01,2.020989e-01,2.123597e-01,2.151980e-01,2.224205e-01,2.283500e-01,2.322552e-01,2.410838e-01,2.418410e-01,2.511578e-01,2.533519e-01,2.601889e-01,2.651161e-01,2.689201e-01,2.763464e-01,2.773400e-01,2.854394e-01,2.870202e-01,2.932115e-01,2.971220e-01,3.006516e-01,3.066426e-01,3.077568e-01,3.145260e-01,3.155778e-01,3.209594e-01,3.239288e-01,3.270590e-01,3.317003e-01,3.328278e-01,3.382697e-01,3.389010e-01,3.433899e-01,3.455424e-01,3.481943e-01,3.516384e-01,3.526894e-01,3.568824e-01,3.572050e-01,3.607810e-01,3.622598e-01,3.643934e-01,3.668217e-01,3.677279e-01,3.707933e-01,3.709104e-01,3.735984e-01,3.745463e-01,3.761523e-01,3.777501e-01,3.784641e-01,3.805427e-01,3.823975e-01,3.829452e-01,3.840373e-01,3.849781e-01,3.854711e-01,3.866620e-01,3.867078e-01,3.877561e-01,3.880170e-01,3.886245e-01,3.890627e-01,3.893214e-01,3.898180e-01,3.898549e-01,3.902330e-01,3.903014e-01,3.904634e-01,3.905307e-01,3.905536e-01,3.905229e-01,3.905111e-01,3.903427e-01,3.902945e-01,3.900553e-01,3.898611e-01,3.896556e-01,3.892376e-01,3.891498e-01,3.885441e-01,3.884383e-01,3.878444e-01,3.874768e-01,3.870563e-01,3.863659e-01,3.861853e-01,3.852366e-01,3.851177e-01,3.842151e-01,3.837439e-01,3.831257e-01,3.822552e-01,3.819730e-01,3.807613e-01,3.806619e-01,3.794947e-01,3.789736e-01,3.781773e-01,3.771995e-01,3.768130e-01,3.754052e-01,3.753480e-01,3.739575e-01,3.734272e-01,3.724731e-01,3.714444e-01,3.709553e-01,3.694069e-01,3.673210e-01,3.651930e-01,3.630285e-01,3.608328e-01,3.586110e-01,3.563676e-01,3.541069e-01,3.518329e-01,3.495492e-01,3.472593e-01,3.449663e-01,3.426731e-01,3.403824e-01,3.380967e-01,3.358181e-01,3.335488e-01,3.312907e-01,3.290455e-01,3.268149e-01,3.246001e-01,3.224026e-01,3.202234e-01,3.180637e-01,3.159245e-01
0.000000e+00,3.829759e-10,1.493176e-09,1.125340e-08,4.274305e-08,7.861669e-08,2.914172e-07,3.054563e-07,8.616462e-07,1.107358e-06,1.987152e-06,3.061685e-06,3.991538e-06,6.933979e-06,7.250822e-06,1.220072e-05,1.369312e-05,1.932336e-05,2.444919e-05,2.912315e-05,4.035120e-05,4.208927e-05,5.864826e-05,6.242157e-05,7.911909e-05,9.137615e-05,1.036839e-04,1.275131e-04,1.323794e-04,1.651059e-04,1.707031e-04,2.016462e-04,2.204519e-04,2.416893e-04,2.759913e-04,2.848539e-04,3.307115e-04,3.363739e-04,3.788056e-04,4.005551e-04,4.286687e-04,4.674619e-04,4.798368e-04,5.318600e-04,5.360459e-04,5.843117e-04,6.053222e-04,6.367944e-04,6.743959e-04,6.889449e-04,7.404363e-04,7.424781e-04,7.909795e-04,8.088933e-04,8.403230e-04,8.730806e-04,8.882526e-04,9.345892e-04,9.791870e-04,9.930715e-04,1.021931e-03,1.048273e-03,1.062735e-03,1.100023e-03,1.101536e-03,1.138297e-03,1.148221e-03,1.172998e-03,1.192829e-03,1.205639e-03,1.233859e-03,1.236232e-03,1.264804e-03,1.271365e-03,1.291393e-03,1.305433e-03,1.316044e-03,1.336177e-03,1.338811e-03,1.359752e-03,1.363726e-03,1.378929e-03,1.388227e-03,1.396411e-03,1.409834e-03,1.412264e-03,1.426559e-03,1.428706e-03,1.439366e-03,1.445006e-03,1.450756e-03,1.458895e-03,1.460799e-03,1.469563e-03,1.470533e-03,1.477117e-03,1.480075e-03,1.483527e-03,1.487672e-03,1.488856e-03,1.493167e-03,1.493470e-03,1.496520e-03,1.497607e-03,1.498974e-03,1.500215e-03,1.500584e-03,1.501404e-03,1.501421e-03,1.501484e-03,1.501341e-03,1.500874e-03,1.500088e-03,1.499620e-03,1.497766e-03,1.495356e-03,1.494473e-03,1.492428e-03,1.490301e-03,1.489022e-03,1.485334e-03,1.485172e-03,1.480914e-03,1.479653e-03,1.476280e-03,1.473331e-03,1.471300e-03,1.466437e-03,1.466002e-03,1.460415e-03,1.459034e-03,1.454564e-03,1.451181e-03,1.448473e-03,1.442932e-03,1.442164e-03,1.435660e-03,1.434338e-03,1.428980e-03,1.425443e-03,1.422143e-03,1.416292e-03,1.415167e-03,1.408069e-03,1.406923e-03,1.400863e-03,1.397371e-03,1.393566e-03,1.387670e-03,1.386189e-03,1.378747e-03,1.377850e-03,1.371251e-03,1.367939e-03,1.363713e-03,1.357961e-03,1.356141e-03,1.348548e-03,1.347939e-03,1.340940e-03,1.337895e-03,1.333328e-03,1.327848e-03,1.325718e-03,1.318118e-03,1.317814e-03,1.310534e-03,1.307809e-03,1.302974e-03,1.297848e-03,1.295441e-03,1.287943e-03,1.278106e-03,1.268346e-03,1.258673e-03,1.249095e-03,1.239620e-03,1.230253e-03,1.221000e-03,1.211867e-03,1.202856e-03,1.193973e-03,1.185219e-03,1.176597e-03,1.168110e-03,1.159758e-03,1.151544e-03,1.143468e-03,1.135530e-03,1.127731e-03,1.120071e-03,1.112549e-03,1.105165e-03,1.097919e-03,1.090808e-03,1.083834e-03
0.000000e+00,5.178349e-10,1.299090e-09,4.924147e-09,1.172563e-08,1.740223e-08,4.073204e-08,4.200045e-08,8.294942e-08,9.797619e-08,1.450174e-07,1.946753e-07,2.337642e-07,3.442651e-07,3.553404e-07,5.151870e-07,5.595980e-07,7.156006e-07,8.448590e-07,9.542923e-07,1.191752e-06,1.225878e-06,1.524447e-06,1.586933e-06,1.844917e-06,2.018824e-06,2.183189e-06,2.478611e-06,2.535887e-06,2.900069e-06,2.959221e-06,3.273038e-06,3.454429e-06,3.652235e-06,3.958416e-06,4.035193e-06,4.419527e-06,4.465629e-06,4.802951e-06,4.970807e-06,5.183301e-06,5.469063e-06,5.558558e-06,5.926873e-06,5.955987e-06,6.286585e-06,6.427726e-06,6.636232e-06,6.881035e-06,6.974562e-06,7.300523e-06,7.313291e-06,7.613262e-06,7.722479e-06,7.912119e-06,8.107156e-06,8.196606e-06,8.466402e-06,8.721328e-06,8.799752e-06,8.961336e-06,9.107139e-06,9.186493e-06,9.388824e-06,9.396964e-06,9.592995e-06,9.645337e-06,9.774902e-06,9.877421e-06,9.943060e-06,1.008598e-05,1.009789e-05,1.023983e-05,1.027204e-05,1.036939e-05,1.043670e-05,1.048704e-05,1.058113e-05,1.059330e-05,1.068869e-05,1.070650e-05,1.077372e-05,1.081401e-05,1.084891e-05,1.090483e-05,1.091476e-05,1.097178e-05,1.098012e-05,1.102046e-05,1.104100e-05,1.106126e-05,1.108854e-05,1.109465e-05,1.112108e-05,1.112380e-05,1.114097e-05,1.114775e-05,1.115473e-05,1.116135e-05,1.116277e-05,1.116547e-05,1.116546e-05,1.116318e-05,1.116095e-05,1.115625e-05,1.114858e-05,1.114502e-05,1.112980e-05,1.112911e-05,1.111088e-05,1.110322e-05,1.108855e-05,1.107155e-05,1.106308e-05,1.103472e-05,1.100372e-05,1.099328e-05,1.097031e-05,1.094775e-05,1.093469e-05,1.089861e-05,1.089707e-05,1.085765e-05,1.084632e-05,1.081661e-05,1.079127e-05,1.077410e-05,1.073385e-05,1.073030e-05,1.068536e-05,1.067442e-05,1.063941e-05,1.061329e-05,1.059259e-05,1.055076e-05,1.054502e-05,1.049681e-05,1.048710e-05,1.044808e-05,1.042257e-05,1.039893e-05,1.035738e-05,1.034945e-05,1.029973e-05,1.029175e-05,1.024984e-05,1.022587e-05,1.019988e-05,1.015990e-05,1.014990e-05,1.009998e-05,1.009400e-05,1.005017e-05,1.002830e-05,1.000053e-05,9.962951e-06,9.951114e-06,9.901966e-06,9.898047e-06,9.853131e-06,9.833694e-06,9.804651e-06,9.769984e-06,9.756560e-06,9.708893e-06,9.706995e-06,9.661680e-06,9.644800e-06,9.614949e-06,9.583460e-06,9.568725e-06,9.523029e-06,9.463555e-06,9.405077e-06,9.347630e-06,9.291241e-06,9.235935e-06,9.181729e-06,9.128637e-06,9.076669e-06,9.025833e-06,8.976132e-06,8.927565e-06,8.880131e-06,8.833826e-06,8.788641e-06,8.744569e-06,8.701600e-06,8.659721e-06,8.618919e-06,8.579179e-06,8.540487e-06,8.502826e-06,8.466179e-06,8.430527e-06,8.395854e-06
0.000000e+00,4.093889e-11,1.559146e-10,1.118710e-09,4.060526e-09,7.282709e-09,2.527231e-08,2.641809e-08,6.970554e-08,8.795265e-08,1.506542e-07,2.234667e-07,2.841687e-07,4.667967e-07,4.858037e-07,7.711633e-07,8.537991e-07,1.155255e-06,1.418589e-06,1.651523e-06,2.189367e-06,2.270327e-06,3.016996e-06,3.181680e-06,3.890118e-06,4.391480e-06,4.880911e-06,5.793032e-06,5.974017e-06,7.149335e-06,7.343519e-06,8.384238e-06,8.991341e-06,9.655608e-06,1.068409e-05,1.094141e-05,1.222174e-05,1.237416e-05,1.347939e-05,1.402179e-05,1.470010e-05,1.559605e-05,1.587253e-05,1.698810e-05,1.707469e-05,1.804071e-05,1.844319e-05,1.902647e-05,1.969363e-05,1.994337e-05,2.079095e-05,2.082342e-05,2.157005e-05,2.183409e-05,2.228250e-05,2.273020e-05,2.293091e-05,2.351843e-05,2.404862e-05,2.420678e-05,2.452523e-05,2.480392e-05,2.495213e-05,2.531877e-05,2.533318e-05,2.567216e-05,2.576004e-05,2.597273e-05,2.613608e-05,2.623834e-05,2.645464e-05,2.647226e-05,2.667751e-05,2.672281e-05,2.685688e-05,2.694699e-05,2.701293e-05,2.713284e-05,2.714801e-05,2.726422e-05,2.728537e-05,2.736347e-05,2.740896e-05,2.744748e-05,2.750740e-05,2.751778e-05,2.757576e-05,2.758397e-05,2.762263e-05,2.764152e-05,2.765951e-05,2.768247e-05,2.768737e-05,2.770707e-05,2.770893e-05,2.771941e-05,2.772269e-05,2.772507e-05,2.772530e-05,2.772468e-05,2.771879e-05,2.771810e-05,2.770791e-05,2.770226e-05,2.769248e-05,2.767878e-05,2.767290e-05,2.764955e-05,2.764854e-05,2.762274e-05,2.761231e-05,2.759279e-05,2.757077e-05,2.755997e-05,2.752452e-05,2.748667e-05,2.747409e-05,2.744664e-05,2.741996e-05,2.740461e-05,2.736255e-05,2.736076e-05,2.731526e-05,2.730224e-05,2.726826e-05,2.723939e-05,2.721989e-05,2.717431e-05,2.717030e-05,2.711960e-05,2.710727e-05,2.706789e-05,2.703855e-05,2.701530e-05,2.696836e-05,2.696191e-05,2.690783e-05,2.689693e-05,2.685312e-05,2.682446e-05,2.679788e-05,2.675112e-05,2.674218e-05,2.668609e-05,2.667708e-05,2.662967e-05,2.660249e-05,2.657299e-05,2.652750e-05,2.651611e-05,2.645907e-05,2.645222e-05,2.640194e-05,2.637678e-05,2.634475e-05,2.630128e-05,2.628756e-05,2.623040e-05,2.622583e-05,2.617331e-05,2.615051e-05,2.611634e-05,2.607541e-05,2.605951e-05,2.600286e-05,2.600060e-05,2.594642e-05,2.592615e-05,2.589021e-05,2.585214e-05,2.583426e-05,2.577860e-05,2.570561e-05,2.563321e-05,2.556143e-05,2.549033e-05,2.541993e-05,2.535028e-05,2.528139e-05,2.521329e-05,2.514602e-05,2.507958e-05,2.501399e-05,2.494928e-05,2.488545e-05,2.482252e-05,2.476049e-05,2.469938e-05,2.463918e-05,2.457991e-05,2.452156e-05,2.446415e-05,2.440766e-05,2.435210e-05,2.429747e-05,2.424376e-05
0.000000e+00,1.042715e-10,3.878736e-10,2.652854e-09,9.231573e-09,1.619196e-08,5.323743e-08,5.553647e-08,1.399147e-07,1.746018e-07,2.918516e-07,4.259817e-07,5.369553e-07,8.683127e-07,9.026143e-07,1.412342e-06,1.557662e-06,2.076680e-06,2.514188e-06,2.888290e-06,3.707161e-06,3.825290e-06,4.858756e-06,5.074396e-06,5.959314e-06,6.549276e-06,7.100864e-06,8.075529e-06,8.261830e-06,9.424935e-06,9.610268e-06,1.057639e-05,1.112160e-05,1.170505e-05,1.258533e-05,1.280171e-05,1.385874e-05,1.398260e-05,1.486980e-05,1.529875e-05,1.582982e-05,1.652287e-05,1.673492e-05,1.758243e-05,1.764769e-05,1.837085e-05,1.866954e-05,1.909975e-05,1.958799e-05,1.976971e-05,2.038215e-05,2.040548e-05,2.093922e-05,2.112671e-05,2.144358e-05,2.175800e-05,2.189831e-05,2.230672e-05,2.267224e-05,2.278071e-05,2.299832e-05,2.318787e-05,2.328833e-05,2.353585e-05,2.354555e-05,2.377302e-05,2.383178e-05,2.397362e-05,2.408219e-05,2.414999e-05,2.429292e-05,2.430453e-05,2.443943e-05,2.446910e-05,2.455664e-05,2.461522e-05,2.465792e-05,2.473513e-05,2.474485e-05,2.481880e-05,2.483215e-05,2.488102e-05,2.490910e-05,2.493259e-05,2.496839e-05,2.497448e-05,2.500753e-05,2.501206e-05,2.503252e-05,2.504185e-05,2.505011e-05,2.505926e-05,2.506090e-05,2.506543e-05,2.506558e-05,2.506419e-05,2.506193e-05,2.505761e-05,2.504928e-05,2.504608e-05,2.502994e-05,2.502847e-05,2.500954e-05,2.500025e-05,2.498516e-05,2.496530e-05,2.495708e-05,2.492555e-05,2.492422e-05,2.489079e-05,2.487752e-05,2.485302e-05,2.482572e-05,2.481244e-05,2.476923e-05,2.472358e-05,2.470848e-05,2.467563e-05,2.464382e-05,2.462555e-05,2.457559e-05,2.457347e-05,2.451953e-05,2.450411e-05,2.446386e-05,2.442967e-05,2.440657e-05,2.435253e-05,2.434777e-05,2.428758e-05,2.427294e-05,2.422609e-05,2.419113e-05,2.416340e-05,2.410731e-05,2.409960e-05,2.403477e-05,2.402169e-05,2.396900e-05,2.393445e-05,2.390235e-05,2.384575e-05,2.383491e-05,2.376674e-05,2.375577e-05,2.369791e-05,2.366466e-05,2.362848e-05,2.357255e-05,2.355851e-05,2.348806e-05,2.347957e-05,2.341717e-05,2.338585e-05,2.334590e-05,2.329151e-05,2.327430e-05,2.320241e-05,2.319665e-05,2.313028e-05,2.310137e-05,2.305795e-05,2.300577e-05,2.298546e-05,2.291284e-05,2.290993e-05,2.284013e-05,2.281394e-05,2.276737e-05,2.271787e-05,2.269458e-05,2.262180e-05,2.252579e-05,2.242991e-05,2.233421e-05,2.223875e-05,2.214358e-05,2.204874e-05,2.195429e-05,2.186026e-05,2.176669e-05,2.167362e-05,2.158108e-05,2.148910e-05,2.139771e-05,2.130693e-05,2.121680e-05,2.112732e-05,2.103853e-05,2.095043e-05,2.086306e-05,2.077642e-05,2.069053e-05,2.060539e-05,2.052103e-05,2.043745e-05
0.000000e+00,8.948261e-10,3.435987e-09,2.513060e-08,9.309464e-08,1.690813e-07,6.093308e-07,6.380498e-07,1.764143e-06,2.258343e-06,4.025009e-06,6.185502e-06,8.059200e-06,1.399601e-05,1.463447e-05,2.453927e-05,2.749206e-05,3.846968e-05,4.824213e-05,5.698152e-05,7.739625e-05,8.049234e-05,1.092989e-04,1.157143e-04,1.435928e-04,1.636300e-04,1.834709e-04,2.212924e-04,2.289414e-04,2.799283e-04,2.885888e-04,3.362759e-04,3.651619e-04,3.977539e-04,4.504326e-04,4.640652e-04,5.348542e-04,5.436311e-04,6.097176e-04,6.438358e-04,6.882147e-04,7.500163e-04,7.698789e-04,8.542282e-04,8.610775e-04,9.407756e-04,9.759016e-04,1.029038e-03,1.093384e-03,1.118544e-03,1.208842e-03,1.212464e-03,1.299501e-03,1.332148e-03,1.390120e-03,1.451528e-03,1.480328e-03,1.569785e-03,1.658185e-03,1.686204e-03,1.745253e-03,1.800166e-03,1.830749e-03,1.911151e-03,1.914463e-03,1.996212e-03,2.018729e-03,2.075847e-03,2.122558e-03,2.153239e-03,2.222372e-03,2.228288e-03,2.300913e-03,2.317976e-03,2.371057e-03,2.409237e-03,2.438677e-03,2.496075e-03,2.503749e-03,2.566264e-03,2.578460e-03,2.626225e-03,2.656399e-03,2.683645e-03,2.729934e-03,2.738551e-03,2.790974e-03,2.799134e-03,2.840956e-03,2.864093e-03,2.888542e-03,2.924920e-03,2.933784e-03,2.976739e-03,2.981743e-03,3.017466e-03,3.034695e-03,3.056026e-03,3.083923e-03,3.092485e-03,3.126908e-03,3.129576e-03,3.159361e-03,3.171806e-03,3.189912e-03,3.210768e-03,3.218627e-03,3.245574e-03,3.246616e-03,3.270820e-03,3.279504e-03,3.294430e-03,3.309583e-03,3.316468e-03,3.336998e-03,3.356084e-03,3.361896e-03,3.373784e-03,3.384414e-03,3.390160e-03,3.404687e-03,3.405268e-03,3.419164e-03,3.422845e-03,3.431903e-03,3.439013e-03,3.443537e-03,3.453309e-03,3.454118e-03,3.463694e-03,3.465848e-03,3.472312e-03,3.476738e-03,3.480020e-03,3.486083e-03,3.486860e-03,3.492874e-03,3.493981e-03,3.498104e-03,3.500526e-03,3.502588e-03,3.505805e-03,3.506363e-03,3.509467e-03,3.509903e-03,3.511932e-03,3.512899e-03,3.513792e-03,3.514866e-03,3.515079e-03,3.515823e-03,3.515877e-03,3.516052e-03,3.515997e-03,3.515794e-03,3.515288e-03,3.515075e-03,3.513922e-03,3.513811e-03,3.512356e-03,3.511620e-03,3.510403e-03,3.508768e-03,3.508083e-03,3.505418e-03,3.505304e-03,3.502427e-03,3.501274e-03,3.499129e-03,3.496721e-03,3.495543e-03,3.491686e-03,3.486208e-03,3.480322e-03,3.474062e-03,3.467458e-03,3.460542e-03,3.453341e-03,3.445880e-03,3.438184e-03,3.430276e-03,3.422177e-03,3.413908e-03,3.405486e-03,3.396930e-03,3.388255e-03,3.379478e-03,3.370612e-03,3.361671e-03,3.352668e-03,3.343613e-03,3.334519e-03,3.325395e-03,3.316251e-03,3.307096e-03,3.297938e-03
0.000000e+00,1.534283e-10,3.704737e-10,1.342210e-09,3.116796e-09,4.575511e-09,1.045855e-08,1.077466e-08,2.083654e-08,2.447122e-08,3.569096e-08,4.731368e-08,5.632650e-08,8.126493e-08,8.372597e-08,1.186067e-07,1.281126e-07,1.609808e-07,1.876827e-07,2.099678e-07,2.574585e-07,2.641965e-07,3.223338e-07,3.343300e-07,3.832898e-07,4.158052e-07,4.461931e-07,5.000000e-07,5.103138e-07,5.750075e-07,5.853717e-07,6.396869e-07,6.705676e-07,7.038118e-07,7.543791e-07,7.668885e-07,8.284747e-07,8.357459e-07,8.881832e-07,9.137735e-07,9.456863e-07,9.877469e-07,1.000717e-06,1.053066e-06,1.057134e-06,1.102585e-06,1.121576e-06,1.149176e-06,1.180877e-06,1.192787e-06,1.233409e-06,1.234972e-06,1.271070e-06,1.283913e-06,1.305825e-06,1.327838e-06,1.337752e-06,1.366949e-06,1.393528e-06,1.401499e-06,1.417608e-06,1.431767e-06,1.439318e-06,1.458050e-06,1.458787e-06,1.476148e-06,1.480649e-06,1.491531e-06,1.499864e-06,1.505063e-06,1.515985e-06,1.516869e-06,1.527069e-06,1.529292e-06,1.535780e-06,1.540047e-06,1.543108e-06,1.548495e-06,1.549157e-06,1.554023e-06,1.554863e-06,1.557799e-06,1.559359e-06,1.560568e-06,1.562177e-06,1.562413e-06,1.563406e-06,1.563490e-06,1.563617e-06,1.563460e-06,1.563111e-06,1.562231e-06,1.561948e-06,1.560184e-06,1.559935e-06,1.557870e-06,1.556691e-06,1.555055e-06,1.552607e-06,1.551782e-06,1.548093e-06,1.547781e-06,1.544025e-06,1.542300e-06,1.539614e-06,1.536244e-06,1.534893e-06,1.529890e-06,1.529685e-06,1.524635e-06,1.522686e-06,1.519153e-06,1.515307e-06,1.513467e-06,1.507599e-06,1.501571e-06,1.499611e-06,1.495400e-06,1.491383e-06,1.489103e-06,1.482956e-06,1.482697e-06,1.476197e-06,1.474362e-06,1.469616e-06,1.465634e-06,1.462967e-06,1.456799e-06,1.456261e-06,1.449509e-06,1.447883e-06,1.442721e-06,1.438908e-06,1.435907e-06,1.429894e-06,1.429074e-06,1.422230e-06,1.420861e-06,1.415383e-06,1.411823e-06,1.408538e-06,1.402796e-06,1.401703e-06,1.394883e-06,1.393794e-06,1.388083e-06,1.384827e-06,1.381307e-06,1.375907e-06,1.374560e-06,1.367846e-06,1.367043e-06,1.361169e-06,1.358243e-06,1.354531e-06,1.349515e-06,1.347937e-06,1.341388e-06,1.340866e-06,1.334887e-06,1.332301e-06,1.328436e-06,1.323825e-06,1.322039e-06,1.315695e-06,1.315442e-06,1.309408e-06,1.307158e-06,1.303178e-06,1.298975e-06,1.297006e-06,1.290896e-06,1.282923e-06,1.275059e-06,1.267305e-06,1.259662e-06,1.252133e-06,1.244717e-06,1.237415e-06,1.230228e-06,1.223155e-06,1.216197e-06,1.209353e-06,1.202624e-06,1.196008e-06,1.189504e-06,1.183114e-06,1.176834e-06,1.170665e-06,1.164606e-06,1.158655e-06,1.152811e-06,1.147074e-06,1.141441e-06,1.135912e-06,1.130486e-06
0.000000e+00,1.361970e-10,4.080005e-10,1.929008e-09,5.154111e-09,7.996847e-09,2.024091e-08,2.092048e-08,4.313931e-08,5.134621e-08,7.698850e-08,1.038255e-07,1.247331e-07,1.828080e-07,1.885536e-07,2.703940e-07,2.928871e-07,3.716336e-07,4.370428e-07,4.928336e-07,6.159062e-07,6.338617e-07,7.942081e-07,8.285370e-07,9.731792e-07,1.073334e-06,1.169941e-06,1.348254e-06,1.383509e-06,1.612731e-06,1.650775e-06,1.856301e-06,1.977889e-06,2.112766e-06,2.326178e-06,2.380567e-06,2.658062e-06,2.691933e-06,2.943572e-06,3.071301e-06,3.235413e-06,3.460425e-06,3.531929e-06,3.831522e-06,3.855576e-06,4.132674e-06,4.253250e-06,4.433968e-06,4.650249e-06,4.734098e-06,5.031879e-06,5.043726e-06,5.326250e-06,5.431205e-06,5.616274e-06,5.810587e-06,5.901136e-06,6.180136e-06,6.452683e-06,6.538452e-06,6.718287e-06,6.884444e-06,6.976553e-06,7.217292e-06,7.227167e-06,7.469891e-06,7.536416e-06,7.704555e-06,7.841434e-06,7.931044e-06,8.132141e-06,8.149298e-06,8.359299e-06,8.408473e-06,8.561070e-06,8.670485e-06,8.754663e-06,8.918324e-06,8.940159e-06,9.117665e-06,9.152217e-06,9.287302e-06,9.372450e-06,9.449211e-06,9.579354e-06,9.603545e-06,9.750466e-06,9.773297e-06,9.890145e-06,9.954671e-06,1.002276e-05,1.012389e-05,1.014849e-05,1.026753e-05,1.028137e-05,1.038005e-05,1.042754e-05,1.048625e-05,1.056285e-05,1.058631e-05,1.068043e-05,1.068771e-05,1.076878e-05,1.080255e-05,1.085155e-05,1.090780e-05,1.092893e-05,1.100108e-05,1.100386e-05,1.106820e-05,1.109116e-05,1.113044e-05,1.117008e-05,1.118799e-05,1.124100e-05,1.128964e-05,1.130431e-05,1.133407e-05,1.136037e-05,1.137445e-05,1.140954e-05,1.141092e-05,1.144364e-05,1.145214e-05,1.147274e-05,1.148853e-05,1.149837e-05,1.151900e-05,1.152067e-05,1.153976e-05,1.154388e-05,1.155578e-05,1.156345e-05,1.156885e-05,1.157801e-05,1.157909e-05,1.158663e-05,1.158782e-05,1.159157e-05,1.159315e-05,1.159403e-05,1.159425e-05,1.159411e-05,1.159192e-05,1.159136e-05,1.158755e-05,1.158472e-05,1.158112e-05,1.157454e-05,1.157271e-05,1.156240e-05,1.156105e-05,1.155030e-05,1.154443e-05,1.153649e-05,1.152490e-05,1.152105e-05,1.150405e-05,1.150263e-05,1.148558e-05,1.147780e-05,1.146571e-05,1.145058e-05,1.144451e-05,1.142206e-05,1.142114e-05,1.139841e-05,1.138962e-05,1.137364e-05,1.135618e-05,1.134780e-05,1.132095e-05,1.128407e-05,1.124567e-05,1.120587e-05,1.116477e-05,1.112250e-05,1.107915e-05,1.103482e-05,1.098962e-05,1.094361e-05,1.089689e-05,1.084954e-05,1.080164e-05,1.075325e-05,1.070444e-05,1.065528e-05,1.060582e-05,1.055612e-05,1.050624e-05,1.045622e-05,1.040612e-05,1.035597e-05,1.030583e-05,1.025572e-05,1.020568e-05
0.000000e+00,7.135495e-11,2.725322e-10,1.969392e-09,7.206822e-09,1.299472e-08,4.587430e-08,4.799326e-08,1.296157e-07,1.647854e-07,2.884009e-07,4.364776e-07,5.630533e-07,9.574754e-07,9.994952e-07,1.645851e-06,1.837084e-06,2.543677e-06,3.167377e-06,3.720978e-06,4.998715e-06,5.190604e-06,6.952481e-06,7.339210e-06,8.996959e-06,1.016657e-05,1.130777e-05,1.343960e-05,1.386418e-05,1.664237e-05,1.710575e-05,1.961645e-05,2.110562e-05,2.275914e-05,2.537580e-05,2.604232e-05,2.943763e-05,2.985126e-05,3.291698e-05,3.446743e-05,3.645303e-05,3.916224e-05,4.001969e-05,4.359249e-05,4.387789e-05,4.714887e-05,4.856218e-05,5.066846e-05,5.316954e-05,5.413317e-05,5.752724e-05,5.766134e-05,6.083723e-05,6.200601e-05,6.405194e-05,6.617882e-05,6.716233e-05,7.016133e-05,7.304366e-05,7.394073e-05,7.580566e-05,7.750908e-05,7.844504e-05,8.086250e-05,8.096075e-05,8.335278e-05,8.400048e-05,8.562197e-05,8.692515e-05,8.776990e-05,8.964076e-05,8.979874e-05,9.171112e-05,9.215308e-05,9.351003e-05,9.446908e-05,9.519877e-05,9.659648e-05,9.678081e-05,9.825977e-05,9.854352e-05,9.963938e-05,1.003188e-04,1.009234e-04,1.019308e-04,1.021156e-04,1.032197e-04,1.033884e-04,1.042395e-04,1.047001e-04,1.051786e-04,1.058741e-04,1.060405e-04,1.068288e-04,1.069186e-04,1.075469e-04,1.078415e-04,1.081981e-04,1.086502e-04,1.087855e-04,1.093123e-04,1.093520e-04,1.097815e-04,1.099537e-04,1.101959e-04,1.104618e-04,1.105582e-04,1.108712e-04,1.108827e-04,1.111374e-04,1.112222e-04,1.113592e-04,1.114860e-04,1.115391e-04,1.116792e-04,1.117818e-04,1.118070e-04,1.118488e-04,1.118740e-04,1.118824e-04,1.118847e-04,1.118842e-04,1.118563e-04,1.118433e-04,1.118002e-04,1.117538e-04,1.117177e-04,1.116198e-04,1.116103e-04,1.114795e-04,1.114448e-04,1.113268e-04,1.112322e-04,1.111535e-04,1.109850e-04,1.109609e-04,1.107503e-04,1.107061e-04,1.105227e-04,1.103982e-04,1.102795e-04,1.100638e-04,1.100216e-04,1.097500e-04,1.097054e-04,1.094658e-04,1.093251e-04,1.091698e-04,1.089251e-04,1.088629e-04,1.085460e-04,1.085073e-04,1.082197e-04,1.080735e-04,1.078850e-04,1.076254e-04,1.075425e-04,1.071929e-04,1.071646e-04,1.068367e-04,1.066926e-04,1.064747e-04,1.062108e-04,1.061074e-04,1.057354e-04,1.057204e-04,1.053591e-04,1.052227e-04,1.049791e-04,1.047188e-04,1.045958e-04,1.042097e-04,1.036963e-04,1.031797e-04,1.026605e-04,1.021396e-04,1.016177e-04,1.010954e-04,1.005734e-04,1.000522e-04,9.953235e-05,9.901429e-05,9.849849e-05,9.798533e-05,9.747519e-05,9.696840e-05,9.646528e-05,9.596610e-05,9.547111e-05,9.498054e-05,9.449460e-05,9.401348e-05,9.353734e-05,9.306632e-05,9.260056e-05,9.214018e-05
