0.000000e+00,1.010101e+00,1.333333e+00,2.020202e+00,2.666667e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,5.333333e+00,6.060606e+00,6.666667e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,9.333333e+00,1.010101e+01,1.066667e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.333333e+01,1.414141e+01,1.466667e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.733333e+01,1.818182e+01,1.866667e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.133333e+01,2.222222e+01,2.266667e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.533333e+01,2.626263e+01,2.666667e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,2.933333e+01,3.030303e+01,3.066667e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.434343e+01,3.466667e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.733333e+01,3.737374e+01,3.838384e+01,3.866667e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.133333e+01,4.141414e+01,4.242424e+01,4.266667e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.533333e+01,4.545455e+01,4.646465e+01,4.666667e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.933333e+01,4.949495e+01,5.050505e+01,5.066667e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.333333e+01,5.353535e+01,5.454545e+01,5.466667e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.733333e+01,5.757576e+01,5.858586e+01,5.866667e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.133333e+01,6.161616e+01,6.262626e+01,6.266667e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.533333e+01,6.565657e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.933333e+01,6.969697e+01,7.066667e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.333333e+01,7.373737e+01,7.466667e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.733333e+01,7.777778e+01,7.866667e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.133333e+01,8.181818e+01,8.266667e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.533333e+01,8.585859e+01,8.666667e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.933333e+01,8.989899e+01,9.066667e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.333333e+01,9.393939e+01,9.466667e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.733333e+01,9.797980e+01,9.866667e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.013333e+02,1.026667e+02,1.040000e+02,1.053333e+02,1.066667e+02,1.080000e+02,1.093333e+02,1.106667e+02,1.120000e+02,1.133333e+02,1.146667e+02,1.160000e+02,1.173333e+02,1.186667e+02,1.200000e+02,1.213333e+02,1.226667e+02,1.240000e+02,1.253333e+02,1.266667e+02,1.280000e+02,1.293333e+02,1.306667e+02,1.320000e+02
0.000000e+00,1.433505e-11,7.101949e-11,7.490464e-10,3.491322e-09,7.009393e-09,3.089383e-08,3.257006e-08,1.034806e-07,1.365152e-07,2.592871e-07,4.150108e-07,5.529499e-07,1.001204e-06,1.050237e-06,1.828587e-06,2.066671e-06,2.974070e-06,3.808807e-06,4.574297e-06,6.421121e-06,6.707363e-06,9.430775e-06,1.004947e-05,1.277474e-05,1.476054e-05,1.674118e-05,2.053771e-05,2.130694e-05,2.642913e-05,2.729667e-05,3.205079e-05,3.490743e-05,3.810588e-05,4.321442e-05,4.452343e-05,5.123063e-05,5.205151e-05,5.815522e-05,6.125276e-05,6.522721e-05,7.065948e-05,7.238018e-05,7.955227e-05,8.012513e-05,8.668681e-05,8.951849e-05,9.373280e-05,9.872556e-05,1.006452e-04,1.073850e-04,1.076505e-04,1.139192e-04,1.162158e-04,1.202205e-04,1.243611e-04,1.262673e-04,1.320428e-04,1.375352e-04,1.392317e-04,1.427370e-04,1.459116e-04,1.476441e-04,1.520771e-04,1.522559e-04,1.565746e-04,1.577319e-04,1.606047e-04,1.628868e-04,1.643525e-04,1.675579e-04,1.678259e-04,1.710340e-04,1.717655e-04,1.739867e-04,1.755327e-04,1.766947e-04,1.788841e-04,1.791690e-04,1.814208e-04,1.818454e-04,1.834613e-04,1.844427e-04,1.853020e-04,1.867019e-04,1.869540e-04,1.884281e-04,1.886482e-04,1.897350e-04,1.903058e-04,1.908848e-04,1.916982e-04,1.918874e-04,1.927523e-04,1.928473e-04,1.934886e-04,1.937740e-04,1.941048e-04,1.944979e-04,1.946092e-04,1.950096e-04,1.950374e-04,1.953133e-04,1.954094e-04,1.955274e-04,1.956297e-04,1.956584e-04,1.957124e-04,1.957131e-04,1.956954e-04,1.956730e-04,1.956129e-04,1.955220e-04,1.954700e-04,1.952716e-04,1.950223e-04,1.949324e-04,1.947263e-04,1.945142e-04,1.943876e-04,1.940258e-04,1.940100e-04,1.935971e-04,1.934755e-04,1.931519e-04,1.928708e-04,1.926778e-04,1.922184e-04,1.921774e-04,1.916536e-04,1.915247e-04,1.911087e-04,1.907953e-04,1.905452e-04,1.900355e-04,1.899651e-04,1.893705e-04,1.892501e-04,1.887634e-04,1.884432e-04,1.881453e-04,1.876190e-04,1.875180e-04,1.868830e-04,1.867808e-04,1.862417e-04,1.859320e-04,1.855953e-04,1.850754e-04,1.849451e-04,1.842922e-04,1.842137e-04,1.836376e-04,1.833493e-04,1.829823e-04,1.824843e-04,1.823271e-04,1.816729e-04,1.816206e-04,1.810204e-04,1.807600e-04,1.803703e-04,1.799040e-04,1.797232e-04,1.790797e-04,1.790540e-04,1.784403e-04,1.782112e-04,1.778055e-04,1.773768e-04,1.771758e-04,1.765515e-04,1.757364e-04,1.749321e-04,1.741393e-04,1.733585e-04,1.725902e-04,1.718348e-04,1.710925e-04,1.703638e-04,1.696488e-04,1.689476e-04,1.682603e-04,1.675871e-04,1.669280e-04,1.662830e-04,1.656520e-04,1.650351e-04,1.644321e-04,1.638429e-04,1.632675e-04,1.627056e-04,1.621572e-04,1.616220e-04,1.611000e-04,1.605908e-04
0.000000e+00,4.259584e-11,1.004434e-10,3.563875e-10,8.231100e-10,1.207973e-09,2.773091e-09,2.857748e-09,5.578149e-09,6.571999e-09,9.672234e-09,1.292953e-08,1.548358e-08,2.265999e-08,2.337593e-08,3.364927e-08,3.648619e-08,4.640622e-08,5.458692e-08,6.149604e-08,7.646379e-08,7.861399e-08,9.743586e-08,1.013790e-07,1.176801e-07,1.286897e-07,1.391116e-07,1.578828e-07,1.615279e-07,1.847455e-07,1.885231e-07,2.085923e-07,2.202136e-07,2.329035e-07,2.525804e-07,2.575211e-07,2.822943e-07,2.852707e-07,3.070811e-07,3.179574e-07,3.317500e-07,3.503452e-07,3.561810e-07,3.802665e-07,3.821755e-07,4.039121e-07,4.132284e-07,4.270362e-07,4.433238e-07,4.495705e-07,4.714593e-07,4.723208e-07,4.926580e-07,5.001133e-07,5.131304e-07,5.266236e-07,5.328514e-07,5.518040e-07,5.699782e-07,5.756288e-07,5.873705e-07,5.980919e-07,6.039827e-07,6.192024e-07,6.198212e-07,6.348957e-07,6.389813e-07,6.492190e-07,6.574587e-07,6.628065e-07,6.746721e-07,6.756756e-07,6.878453e-07,6.906641e-07,6.993353e-07,7.054806e-07,7.101665e-07,7.191698e-07,7.203601e-07,7.299378e-07,7.317813e-07,7.389211e-07,7.433648e-07,7.473318e-07,7.539700e-07,7.551914e-07,7.625210e-07,7.636460e-07,7.693416e-07,7.724407e-07,7.756736e-07,7.804010e-07,7.815371e-07,7.869516e-07,7.875721e-07,7.919361e-07,7.939979e-07,7.965091e-07,7.997204e-07,8.006885e-07,8.044917e-07,8.047802e-07,8.079354e-07,8.092159e-07,8.110359e-07,8.130646e-07,8.138089e-07,8.162694e-07,8.163615e-07,8.184321e-07,8.191405e-07,8.203110e-07,8.214335e-07,8.219196e-07,8.232710e-07,8.243776e-07,8.246820e-07,8.252515e-07,8.256940e-07,8.259042e-07,8.263331e-07,8.263469e-07,8.265902e-07,8.266240e-07,8.266443e-07,8.265900e-07,8.265190e-07,8.262535e-07,8.262238e-07,8.257676e-07,8.256352e-07,8.251592e-07,8.247550e-07,8.244067e-07,8.236318e-07,8.235182e-07,8.225012e-07,8.222830e-07,8.213630e-07,8.207256e-07,8.201106e-07,8.189751e-07,8.187506e-07,8.172894e-07,8.170466e-07,8.157331e-07,8.149540e-07,8.140875e-07,8.127105e-07,8.123582e-07,8.105505e-07,8.103285e-07,8.086695e-07,8.078199e-07,8.067201e-07,8.051956e-07,8.047068e-07,8.026342e-07,8.024660e-07,8.005065e-07,7.996408e-07,7.983276e-07,7.967293e-07,7.961015e-07,7.938318e-07,7.937401e-07,7.915219e-07,7.906812e-07,7.891754e-07,7.875603e-07,7.867952e-07,7.843845e-07,7.811605e-07,7.778945e-07,7.745924e-07,7.712598e-07,7.679017e-07,7.645230e-07,7.611281e-07,7.577214e-07,7.543066e-07,7.508874e-07,7.474673e-07,7.440494e-07,7.406367e-07,7.372318e-07,7.338373e-07,7.304556e-07,7.270889e-07,7.237391e-07,7.204082e-07,7.170978e-07,7.138094e-07,7.105447e-07,7.073047e-07,7.040909e-07
0.000000e+00,3.114018e-11,7.160467e-11,2.479454e-10,5.680498e-10,8.326584e-10,1.920580e-09,1.980016e-09,3.921737e-09,4.645571e-09,6.946006e-09,9.417783e-09,1.138204e-08,1.694148e-08,1.749494e-08,2.532296e-08,2.743781e-08,3.466923e-08,4.046517e-08,4.526574e-08,5.544360e-08,5.688599e-08,6.935850e-08,7.194290e-08,8.254721e-08,8.964876e-08,9.633392e-08,1.082961e-07,1.106083e-07,1.252638e-07,1.276370e-07,1.401964e-07,1.474330e-07,1.553062e-07,1.674576e-07,1.704982e-07,1.856838e-07,1.875017e-07,2.007824e-07,2.073793e-07,2.157217e-07,2.269293e-07,2.304377e-07,2.448765e-07,2.460182e-07,2.589921e-07,2.645392e-07,2.727471e-07,2.824101e-07,2.861112e-07,2.990607e-07,2.995698e-07,3.115781e-07,3.159760e-07,3.236508e-07,3.316020e-07,3.352709e-07,3.464338e-07,3.571387e-07,3.604677e-07,3.673869e-07,3.737078e-07,3.771823e-07,3.861649e-07,3.865303e-07,3.954380e-07,3.978543e-07,4.039133e-07,4.087947e-07,4.119654e-07,4.190079e-07,4.196040e-07,4.268393e-07,4.285170e-07,4.336821e-07,4.373466e-07,4.401432e-07,4.455222e-07,4.462339e-07,4.519652e-07,4.530694e-07,4.573485e-07,4.600141e-07,4.623951e-07,4.663820e-07,4.671160e-07,4.715222e-07,4.721988e-07,4.756248e-07,4.774894e-07,4.794345e-07,4.822784e-07,4.829618e-07,4.862170e-07,4.865899e-07,4.892104e-07,4.904472e-07,4.919519e-07,4.938730e-07,4.944512e-07,4.967177e-07,4.968893e-07,4.987607e-07,4.995174e-07,5.005892e-07,5.017778e-07,5.022119e-07,5.036373e-07,5.036903e-07,5.048737e-07,5.052740e-07,5.059290e-07,5.065473e-07,5.068112e-07,5.075276e-07,5.080856e-07,5.082319e-07,5.084924e-07,5.086764e-07,5.087546e-07,5.088767e-07,5.088791e-07,5.088721e-07,5.088474e-07,5.087398e-07,5.086028e-07,5.084883e-07,5.081565e-07,5.081233e-07,5.076503e-07,5.075214e-07,5.070749e-07,5.067098e-07,5.064020e-07,5.057334e-07,5.056369e-07,5.047842e-07,5.046035e-07,5.038486e-07,5.033308e-07,5.028345e-07,5.019253e-07,5.017464e-07,5.005883e-07,5.003968e-07,4.993642e-07,4.987543e-07,4.980779e-07,4.970066e-07,4.967332e-07,4.953335e-07,4.951620e-07,4.938823e-07,4.932283e-07,4.923828e-07,4.912129e-07,4.908382e-07,4.892515e-07,4.891229e-07,4.876256e-07,4.869648e-07,4.859631e-07,4.847451e-07,4.842669e-07,4.825394e-07,4.824697e-07,4.807831e-07,4.801442e-07,4.790002e-07,4.777739e-07,4.771931e-07,4.753639e-07,4.729189e-07,4.704434e-07,4.679415e-07,4.654173e-07,4.628744e-07,4.603163e-07,4.577464e-07,4.551677e-07,4.525832e-07,4.499954e-07,4.474069e-07,4.448202e-07,4.422374e-07,4.396605e-07,4.370915e-07,4.345322e-07,4.319842e-07,4.294491e-07,4.269282e-07,4.244229e-07,4.219344e-07,4.194637e-07,4.170120e-07,4.145802e-07
0.000000e+00,2.226522e-11,1.055423e-10,1.018027e-09,4.387158e-09,8.448465e-09,3.361281e-08,3.529554e-08,1.022436e-07,1.317705e-07,2.368796e-07,3.641267e-07,4.735037e-07,8.168172e-07,8.536086e-07,1.425559e-06,1.597125e-06,2.240685e-06,2.820627e-06,3.343447e-06,4.571718e-06,4.758053e-06,6.479392e-06,6.857943e-06,8.474164e-06,9.602629e-06,1.069028e-05,1.267945e-05,1.306841e-05,1.555106e-05,1.595449e-05,1.808768e-05,1.931181e-05,2.063645e-05,2.266159e-05,2.316409e-05,2.564480e-05,2.593834e-05,2.805890e-05,2.909606e-05,3.039168e-05,3.210344e-05,3.263235e-05,3.477335e-05,3.494016e-05,3.680976e-05,3.759434e-05,3.873875e-05,4.006048e-05,4.055929e-05,4.227177e-05,4.233804e-05,4.387771e-05,4.443021e-05,4.537953e-05,4.634285e-05,4.678032e-05,4.808372e-05,4.929368e-05,4.966182e-05,5.041442e-05,5.108687e-05,5.145028e-05,5.236891e-05,5.240563e-05,5.328486e-05,5.351799e-05,5.409225e-05,5.454395e-05,5.483199e-05,5.545626e-05,5.550810e-05,5.612446e-05,5.626391e-05,5.668478e-05,5.697541e-05,5.719259e-05,5.759867e-05,5.765121e-05,5.806382e-05,5.814109e-05,5.843339e-05,5.860950e-05,5.876273e-05,5.901023e-05,5.905449e-05,5.931113e-05,5.934909e-05,5.953499e-05,5.963145e-05,5.972826e-05,5.986223e-05,5.989298e-05,6.003108e-05,6.004594e-05,6.014433e-05,6.018673e-05,6.023444e-05,6.028840e-05,6.030296e-05,6.035138e-05,6.035442e-05,6.038107e-05,6.038799e-05,6.039332e-05,6.039203e-05,6.038934e-05,6.037027e-05,6.036920e-05,6.033714e-05,6.032197e-05,6.029096e-05,6.025258e-05,6.023265e-05,6.016308e-05,6.008305e-05,6.005536e-05,5.999333e-05,5.993116e-05,5.989463e-05,5.979205e-05,5.978761e-05,5.967290e-05,5.963948e-05,5.955108e-05,5.947480e-05,5.942270e-05,5.929923e-05,5.928827e-05,5.914827e-05,5.911390e-05,5.900316e-05,5.891983e-05,5.885336e-05,5.871797e-05,5.869926e-05,5.854124e-05,5.850919e-05,5.837964e-05,5.829430e-05,5.821479e-05,5.807403e-05,5.804700e-05,5.787655e-05,5.784905e-05,5.770372e-05,5.761999e-05,5.752876e-05,5.738742e-05,5.735191e-05,5.717339e-05,5.715186e-05,5.699341e-05,5.691381e-05,5.681217e-05,5.667369e-05,5.662985e-05,5.644662e-05,5.643193e-05,5.626266e-05,5.618890e-05,5.607811e-05,5.594495e-05,5.589311e-05,5.570780e-05,5.570039e-05,5.552231e-05,5.545551e-05,5.533676e-05,5.521060e-05,5.515125e-05,5.496589e-05,5.472162e-05,5.447798e-05,5.423518e-05,5.399338e-05,5.375276e-05,5.351345e-05,5.327559e-05,5.303930e-05,5.280469e-05,5.257188e-05,5.234094e-05,5.211196e-05,5.188502e-05,5.166018e-05,5.143751e-05,5.121706e-05,5.099888e-05,5.078301e-05,5.056949e-05,5.035835e-05,5.014962e-05,4.994332e-05,4.973948e-05,4.953811e-05
0.000000e+00,2.191434e-11,1.120401e-10,1.261464e-09,6.240275e-09,1.294374e-08,6.203905e-08,6.562741e-08,2.263479e-07,3.052567e-07,6.123605e-07,1.023558e-06,1.402176e-06,2.697228e-06,2.843630e-06,5.259006e-06,6.026291e-06,9.046659e-06,1.193993e-05,1.467734e-05,2.157771e-05,2.268232e-05,3.363146e-05,3.622570e-05,4.810301e-05,5.720584e-05,6.665023e-05,8.574563e-05,8.977043e-05,1.178800e-04,1.228633e-04,1.512971e-04,1.692884e-04,1.902316e-04,2.254215e-04,2.347817e-04,2.849356e-04,2.913262e-04,3.405777e-04,3.667477e-04,4.014972e-04,4.511471e-04,4.673996e-04,5.379187e-04,5.437473e-04,6.126296e-04,6.435836e-04,6.910621e-04,7.495566e-04,7.727135e-04,8.570603e-04,8.604827e-04,9.435701e-04,9.751405e-04,1.031711e-03,1.092312e-03,1.120962e-03,1.210818e-03,1.300799e-03,1.329544e-03,1.390451e-03,1.447462e-03,1.479356e-03,1.563645e-03,1.567129e-03,1.653422e-03,1.677275e-03,1.737923e-03,1.787649e-03,1.820360e-03,1.894174e-03,1.900495e-03,1.978128e-03,1.996369e-03,2.053092e-03,2.093854e-03,2.125251e-03,2.186346e-03,2.194499e-03,2.260759e-03,2.273648e-03,2.323978e-03,2.355640e-03,2.384127e-03,2.432270e-03,2.441194e-03,2.495190e-03,2.503546e-03,2.546139e-03,2.569523e-03,2.594079e-03,2.630299e-03,2.639061e-03,2.681146e-03,2.686004e-03,2.720402e-03,2.736798e-03,2.756907e-03,2.782860e-03,2.790741e-03,2.821992e-03,2.824384e-03,2.850750e-03,2.861575e-03,2.877105e-03,2.894646e-03,2.901151e-03,2.922984e-03,2.923812e-03,2.942696e-03,2.949292e-03,2.960383e-03,2.971300e-03,2.976136e-03,2.990048e-03,3.002208e-03,3.005743e-03,3.012704e-03,3.018588e-03,3.021622e-03,3.028776e-03,3.029045e-03,3.035055e-03,3.036495e-03,3.039728e-03,3.041923e-03,3.043142e-03,3.045232e-03,3.045368e-03,3.046477e-03,3.046585e-03,3.046537e-03,3.046136e-03,3.045611e-03,3.044031e-03,3.043763e-03,3.041051e-03,3.040410e-03,3.037532e-03,3.035401e-03,3.033260e-03,3.029128e-03,3.028287e-03,3.022663e-03,3.021705e-03,3.016433e-03,3.013241e-03,3.009643e-03,3.003837e-03,3.002336e-03,2.994550e-03,2.993586e-03,2.986326e-03,2.982578e-03,2.977699e-03,2.970894e-03,2.968703e-03,2.959372e-03,2.958612e-03,2.949735e-03,2.945802e-03,2.939823e-03,2.932531e-03,2.929662e-03,2.919280e-03,2.918860e-03,2.908699e-03,2.904847e-03,2.897945e-03,2.890543e-03,2.887038e-03,2.875999e-03,2.861259e-03,2.846364e-03,2.831352e-03,2.816260e-03,2.801119e-03,2.785959e-03,2.770807e-03,2.755688e-03,2.740624e-03,2.725636e-03,2.710743e-03,2.695961e-03,2.681305e-03,2.666789e-03,2.652425e-03,2.638225e-03,2.624197e-03,2.610350e-03,2.596693e-03,2.583230e-03,2.569968e-03,2.556912e-03,2.544065e-03,2.531430e-03
0.000000e+00,2.115577e-11,9.982143e-11,9.539582e-10,4.076636e-09,7.813234e-09,3.066898e-08,3.218491e-08,9.168550e-08,1.175300e-07,2.080271e-07,3.150231e-07,4.051446e-07,6.792047e-07,7.079033e-07,1.141310e-06,1.267511e-06,1.729832e-06,2.135769e-06,2.496245e-06,3.333154e-06,3.459667e-06,4.633208e-06,4.893755e-06,6.022386e-06,6.829558e-06,7.625112e-06,9.130412e-06,9.432958e-06,1.143292e-05,1.176970e-05,1.360901e-05,1.471092e-05,1.594344e-05,1.791232e-05,1.841733e-05,2.101121e-05,2.132960e-05,2.370536e-05,2.491747e-05,2.648008e-05,2.863080e-05,2.931598e-05,3.219420e-05,3.242574e-05,3.509673e-05,3.626069e-05,3.800655e-05,4.009723e-05,4.090789e-05,4.378633e-05,4.390080e-05,4.662890e-05,4.764119e-05,4.942413e-05,5.129269e-05,5.216204e-05,5.483412e-05,5.743327e-05,5.824860e-05,5.995366e-05,6.152322e-05,6.239071e-05,6.464863e-05,6.474094e-05,6.700183e-05,6.761863e-05,6.917177e-05,7.042968e-05,7.124988e-05,7.308047e-05,7.323598e-05,7.513044e-05,7.557156e-05,7.693411e-05,7.790496e-05,7.864825e-05,8.008388e-05,8.027444e-05,8.181454e-05,8.211241e-05,8.327062e-05,8.399532e-05,8.464492e-05,8.573786e-05,8.593980e-05,8.715771e-05,8.734560e-05,8.830118e-05,8.882435e-05,8.937275e-05,9.017996e-05,9.037499e-05,9.131047e-05,9.141836e-05,9.218173e-05,9.254539e-05,9.299130e-05,9.356684e-05,9.374166e-05,9.443525e-05,9.448835e-05,9.507445e-05,9.531543e-05,9.566161e-05,9.605340e-05,9.619897e-05,9.668876e-05,9.670739e-05,9.713311e-05,9.728236e-05,9.753411e-05,9.778305e-05,9.789376e-05,9.821400e-05,9.849672e-05,9.857956e-05,9.874373e-05,9.888388e-05,9.895677e-05,9.913090e-05,9.913754e-05,9.928764e-05,9.932439e-05,9.940865e-05,9.946791e-05,9.950206e-05,9.956486e-05,9.956931e-05,9.961180e-05,9.961846e-05,9.963084e-05,9.963175e-05,9.962772e-05,9.960762e-05,9.960366e-05,9.955984e-05,9.954880e-05,9.949737e-05,9.945788e-05,9.941734e-05,9.933730e-05,9.932078e-05,9.920867e-05,9.918935e-05,9.908196e-05,9.901622e-05,9.894156e-05,9.881996e-05,9.878832e-05,9.862308e-05,9.860248e-05,9.844662e-05,9.836562e-05,9.825970e-05,9.811109e-05,9.806304e-05,9.785731e-05,9.784048e-05,9.764319e-05,9.755533e-05,9.742128e-05,9.725703e-05,9.719220e-05,9.695650e-05,9.694694e-05,9.671472e-05,9.662630e-05,9.646739e-05,9.629628e-05,9.621498e-05,9.595797e-05,9.561242e-05,9.526058e-05,9.490334e-05,9.454155e-05,9.417599e-05,9.380739e-05,9.343643e-05,9.306374e-05,9.268990e-05,9.231547e-05,9.194094e-05,9.156679e-05,9.119344e-05,9.082130e-05,9.045074e-05,9.008210e-05,8.971567e-05,8.935176e-05,8.899062e-05,8.863249e-05,8.827758e-05,8.792609e-05,8.757820e-05,8.723407e-05
0.000000e+00,1.299849e-11,2.988095e-11,1.033364e-10,2.362319e-10,3.456832e-10,7.922104e-10,8.164560e-10,1.601291e-09,1.890746e-09,2.802370e-09,3.772871e-09,4.541670e-09,6.730873e-09,6.951169e-09,1.013747e-08,1.102316e-08,1.412959e-08,1.669533e-08,1.886114e-08,2.354158e-08,2.421223e-08,3.006100e-08,3.128115e-08,3.630616e-08,3.968302e-08,4.286753e-08,4.857529e-08,4.967970e-08,5.668654e-08,5.782225e-08,6.383738e-08,6.730700e-08,7.108514e-08,7.692330e-08,7.838555e-08,8.569685e-08,8.657305e-08,9.297997e-08,9.616626e-08,1.001990e-07,1.056225e-07,1.073214e-07,1.143181e-07,1.148716e-07,1.211637e-07,1.238547e-07,1.278365e-07,1.325236e-07,1.343183e-07,1.405943e-07,1.408409e-07,1.466529e-07,1.487789e-07,1.524851e-07,1.563185e-07,1.580848e-07,1.634480e-07,1.685728e-07,1.701623e-07,1.734590e-07,1.764614e-07,1.781077e-07,1.823493e-07,1.825213e-07,1.867034e-07,1.878335e-07,1.906582e-07,1.929240e-07,1.943907e-07,1.976329e-07,1.979063e-07,2.012109e-07,2.019733e-07,2.043107e-07,2.059595e-07,2.072121e-07,2.096064e-07,2.099216e-07,2.124458e-07,2.129290e-07,2.147914e-07,2.159427e-07,2.169650e-07,2.186626e-07,2.189730e-07,2.208221e-07,2.211036e-07,2.225186e-07,2.232805e-07,2.240687e-07,2.252075e-07,2.254785e-07,2.267541e-07,2.268985e-07,2.279013e-07,2.283668e-07,2.289257e-07,2.296255e-07,2.298328e-07,2.306280e-07,2.306869e-07,2.313164e-07,2.315629e-07,2.319030e-07,2.322650e-07,2.323927e-07,2.327901e-07,2.328041e-07,2.330997e-07,2.331905e-07,2.333259e-07,2.334343e-07,2.334729e-07,2.335447e-07,2.335452e-07,2.335309e-07,2.334781e-07,2.334014e-07,2.333470e-07,2.331642e-07,2.331554e-07,2.329066e-07,2.328271e-07,2.326037e-07,2.323973e-07,2.322498e-07,2.318817e-07,2.318479e-07,2.314007e-07,2.312870e-07,2.309110e-07,2.306191e-07,2.303813e-07,2.298841e-07,2.298141e-07,2.292118e-07,2.290873e-07,2.285766e-07,2.282340e-07,2.279107e-07,2.273291e-07,2.272161e-07,2.264950e-07,2.263772e-07,2.257490e-07,2.253827e-07,2.249801e-07,2.243496e-07,2.241899e-07,2.233802e-07,2.232818e-07,2.225525e-07,2.221829e-07,2.217082e-07,2.210564e-07,2.208488e-07,2.199757e-07,2.199053e-07,2.190902e-07,2.187328e-07,2.181934e-07,2.175415e-07,2.172867e-07,2.163710e-07,2.163342e-07,2.154474e-07,2.151132e-07,2.145170e-07,2.138810e-07,2.135808e-07,2.126395e-07,2.113908e-07,2.101369e-07,2.088793e-07,2.076198e-07,2.063598e-07,2.051008e-07,2.038439e-07,2.025905e-07,2.013415e-07,2.000981e-07,1.988612e-07,1.976316e-07,1.964101e-07,1.951974e-07,1.939943e-07,1.928012e-07,1.916188e-07,1.904476e-07,1.892879e-07,1.881402e-07,1.870048e-07,1.858821e-07,1.847724e-07,1.836757e-07
0.000000e+00,8.622733e-12,4.358192e-11,4.793066e-10,2.322443e-09,4.764763e-09,2.224350e-08,2.350660e-08,7.930801e-08,1.064128e-07,2.111794e-07,3.507419e-07,4.790735e-07,9.187430e-07,9.685659e-07,1.794022e-06,2.057325e-06,3.096258e-06,4.091906e-06,5.031684e-06,7.382204e-06,7.755466e-06,1.140489e-05,1.225593e-05,1.608752e-05,1.895618e-05,2.187534e-05,2.761822e-05,2.880389e-05,3.687478e-05,3.827063e-05,4.605992e-05,5.084988e-05,5.630652e-05,6.521987e-05,6.754207e-05,7.967890e-05,8.119129e-05,9.261832e-05,9.853876e-05,1.062542e-04,1.170154e-04,1.204761e-04,1.351718e-04,1.363645e-04,1.502298e-04,1.563299e-04,1.655412e-04,1.766634e-04,1.810014e-04,1.965110e-04,1.971311e-04,2.119778e-04,2.175186e-04,2.273164e-04,2.376339e-04,2.424499e-04,2.573096e-04,2.718351e-04,2.764039e-04,2.859745e-04,2.948006e-04,2.996841e-04,3.124075e-04,3.129279e-04,3.256771e-04,3.291551e-04,3.379097e-04,3.449945e-04,3.496100e-04,3.598950e-04,3.607675e-04,3.713770e-04,3.738416e-04,3.814378e-04,3.868333e-04,3.909532e-04,3.988808e-04,3.999298e-04,4.083771e-04,4.100041e-04,4.163071e-04,4.202308e-04,4.237336e-04,4.295938e-04,4.306718e-04,4.371382e-04,4.381302e-04,4.431500e-04,4.458794e-04,4.487250e-04,4.528826e-04,4.538813e-04,4.586368e-04,4.591815e-04,4.630099e-04,4.648174e-04,4.670182e-04,4.698315e-04,4.706795e-04,4.740109e-04,4.742637e-04,4.770293e-04,4.781526e-04,4.797508e-04,4.815354e-04,4.821912e-04,4.843656e-04,4.844473e-04,4.862886e-04,4.869221e-04,4.879742e-04,4.889916e-04,4.894357e-04,4.906860e-04,4.917373e-04,4.920335e-04,4.926011e-04,4.930608e-04,4.932886e-04,4.937926e-04,4.938104e-04,4.941764e-04,4.942523e-04,4.943963e-04,4.944618e-04,4.944789e-04,4.944412e-04,4.944330e-04,4.942666e-04,4.942096e-04,4.939875e-04,4.937847e-04,4.936029e-04,4.931827e-04,4.931198e-04,4.925446e-04,4.924191e-04,4.918837e-04,4.915080e-04,4.911427e-04,4.904626e-04,4.903274e-04,4.894428e-04,4.892951e-04,4.884939e-04,4.880170e-04,4.874854e-04,4.866387e-04,4.864218e-04,4.853071e-04,4.851701e-04,4.841453e-04,4.836202e-04,4.829402e-04,4.819974e-04,4.816952e-04,4.804136e-04,4.803096e-04,4.790986e-04,4.785639e-04,4.777532e-04,4.767671e-04,4.763800e-04,4.749818e-04,4.749254e-04,4.735610e-04,4.730444e-04,4.721199e-04,4.711295e-04,4.706607e-04,4.691856e-04,4.672173e-04,4.652287e-04,4.632237e-04,4.612058e-04,4.591785e-04,4.571446e-04,4.551071e-04,4.530684e-04,4.510311e-04,4.489971e-04,4.469686e-04,4.449475e-04,4.429352e-04,4.409336e-04,4.389438e-04,4.369672e-04,4.350050e-04,4.330583e-04,4.311279e-04,4.292148e-04,4.273197e-04,4.254434e-04,4.235865e-04,4.217495e-04
0.000000e+00,1.107604e-11,5.455507e-11,5.684840e-10,2.620700e-09,5.229828e-09,2.269590e-08,2.391234e-08,7.483291e-08,9.832376e-08,1.848919e-07,2.936131e-07,3.892388e-07,6.970317e-07,7.304822e-07,1.256944e-06,1.416451e-06,2.018546e-06,2.564981e-06,3.060483e-06,4.237061e-06,4.417334e-06,6.110013e-06,6.489708e-06,8.145747e-06,9.338773e-06,1.051992e-05,1.276577e-05,1.321856e-05,1.622073e-05,1.672756e-05,1.950037e-05,2.116454e-05,2.302775e-05,2.600633e-05,2.677048e-05,3.069429e-05,3.117564e-05,3.476373e-05,3.659115e-05,3.894278e-05,4.217000e-05,4.319545e-05,4.748643e-05,4.783033e-05,5.178165e-05,5.349362e-05,5.604884e-05,5.908694e-05,6.025804e-05,6.438199e-05,6.454483e-05,6.839643e-05,6.981066e-05,7.228029e-05,7.483752e-05,7.601580e-05,7.958849e-05,8.298708e-05,8.403643e-05,8.620333e-05,8.816343e-05,8.923183e-05,9.195987e-05,9.206971e-05,9.471643e-05,9.542340e-05,9.717340e-05,9.855774e-05,9.944375e-05,1.013715e-04,1.015320e-04,1.034439e-04,1.038772e-04,1.051859e-04,1.060900e-04,1.067654e-04,1.080270e-04,1.081901e-04,1.094679e-04,1.097066e-04,1.106071e-04,1.111474e-04,1.116159e-04,1.123683e-04,1.125023e-04,1.132743e-04,1.133877e-04,1.139396e-04,1.142233e-04,1.145057e-04,1.148919e-04,1.149797e-04,1.153683e-04,1.154095e-04,1.156780e-04,1.157909e-04,1.159149e-04,1.160497e-04,1.160846e-04,1.161925e-04,1.161986e-04,1.162436e-04,1.162492e-04,1.162426e-04,1.162121e-04,1.161938e-04,1.161013e-04,1.160967e-04,1.159688e-04,1.159119e-04,1.157997e-04,1.156655e-04,1.155973e-04,1.153645e-04,1.151042e-04,1.150154e-04,1.148187e-04,1.146240e-04,1.145106e-04,1.141954e-04,1.141819e-04,1.138346e-04,1.137343e-04,1.134706e-04,1.132449e-04,1.130916e-04,1.127310e-04,1.126992e-04,1.122947e-04,1.121959e-04,1.118795e-04,1.116428e-04,1.114549e-04,1.110743e-04,1.110219e-04,1.105817e-04,1.104929e-04,1.101352e-04,1.099008e-04,1.096832e-04,1.093000e-04,1.092266e-04,1.087662e-04,1.086923e-04,1.083027e-04,1.080793e-04,1.078367e-04,1.074625e-04,1.073688e-04,1.068995e-04,1.068431e-04,1.064294e-04,1.062224e-04,1.059589e-04,1.056013e-04,1.054884e-04,1.050185e-04,1.049809e-04,1.045493e-04,1.043619e-04,1.040813e-04,1.037452e-04,1.036148e-04,1.031500e-04,1.031314e-04,1.026872e-04,1.025211e-04,1.022267e-04,1.019150e-04,1.017687e-04,1.013133e-04,1.007167e-04,1.001254e-04,9.953989e-05,9.896038e-05,9.838716e-05,9.782047e-05,9.726050e-05,9.670742e-05,9.616139e-05,9.562254e-05,9.509096e-05,9.456674e-05,9.404994e-05,9.354063e-05,9.303884e-05,9.254459e-05,9.205789e-05,9.157874e-05,9.110714e-05,9.064307e-05,9.018649e-05,8.973738e-05,8.929569e-05,8.886137e-05
0.000000e+00,1.873492e-11,9.576591e-11,1.078369e-09,5.340184e-09,1.108905e-08,5.342774e-08,5.653489e-08,1.969230e-07,2.665458e-07,5.407592e-07,9.142004e-07,1.262968e-06,2.481101e-06,2.620685e-06,4.958105e-06,5.710049e-06,8.692594e-06,1.156551e-05,1.428624e-05,2.112351e-05,2.221342e-05,3.293190e-05,3.544828e-05,4.686027e-05,5.549465e-05,6.436162e-05,8.204315e-05,8.573268e-05,1.111971e-04,1.156621e-04,1.409019e-04,1.566900e-04,1.749172e-04,2.052316e-04,2.132373e-04,2.557840e-04,2.611674e-04,3.024119e-04,3.241699e-04,3.529144e-04,3.937292e-04,4.070312e-04,4.644566e-04,4.691835e-04,5.248478e-04,5.497524e-04,5.878341e-04,6.345727e-04,6.530255e-04,7.200209e-04,7.227325e-04,7.884163e-04,8.133040e-04,8.578113e-04,9.053714e-04,9.278160e-04,9.980555e-04,1.068175e-03,1.090533e-03,1.137842e-03,1.182050e-03,1.206752e-03,1.271932e-03,1.274624e-03,1.341209e-03,1.359591e-03,1.406284e-03,1.444522e-03,1.469655e-03,1.526310e-03,1.531158e-03,1.590651e-03,1.604617e-03,1.648021e-03,1.679185e-03,1.703176e-03,1.749825e-03,1.756048e-03,1.806587e-03,1.816412e-03,1.854762e-03,1.878874e-03,1.900560e-03,1.937192e-03,1.943980e-03,1.985034e-03,1.991385e-03,2.023748e-03,2.041509e-03,2.060155e-03,2.087647e-03,2.094297e-03,2.126223e-03,2.129908e-03,2.155988e-03,2.168415e-03,2.183652e-03,2.203310e-03,2.209278e-03,2.232932e-03,2.234741e-03,2.254682e-03,2.262865e-03,2.274599e-03,2.287842e-03,2.292751e-03,2.309211e-03,2.309835e-03,2.324048e-03,2.329005e-03,2.337332e-03,2.345514e-03,2.349134e-03,2.359519e-03,2.368556e-03,2.371174e-03,2.376310e-03,2.380628e-03,2.382843e-03,2.388025e-03,2.388218e-03,2.392494e-03,2.393503e-03,2.395730e-03,2.397195e-03,2.397980e-03,2.399227e-03,2.399299e-03,2.399739e-03,2.399720e-03,2.399350e-03,2.398788e-03,2.398179e-03,2.396539e-03,2.396273e-03,2.393675e-03,2.393076e-03,2.390428e-03,2.388496e-03,2.386571e-03,2.382890e-03,2.382145e-03,2.377185e-03,2.376344e-03,2.371726e-03,2.368939e-03,2.365802e-03,2.360750e-03,2.359445e-03,2.352685e-03,2.351848e-03,2.345551e-03,2.342301e-03,2.338071e-03,2.332170e-03,2.330270e-03,2.322174e-03,2.321514e-03,2.313805e-03,2.310387e-03,2.305187e-03,2.298840e-03,2.296341e-03,2.287286e-03,2.286920e-03,2.278043e-03,2.274672e-03,2.268627e-03,2.262136e-03,2.259058e-03,2.249351e-03,2.236352e-03,2.223173e-03,2.209843e-03,2.196391e-03,2.182843e-03,2.169224e-03,2.155556e-03,2.141859e-03,2.128153e-03,2.114455e-03,2.100780e-03,2.087145e-03,2.073562e-03,2.060044e-03,2.046601e-03,2.033245e-03,2.019985e-03,2.006828e-03,1.993783e-03,1.980856e-03,1.968054e-03,1.955382e-03,1.942845e-03,1.930447e-03
0.000000e+00,4.184814e-11,1.990900e-10,1.935488e-09,8.405514e-09,1.626041e-08,6.554536e-08,6.886672e-08,2.026367e-07,2.624097e-07,4.779804e-07,7.435266e-07,9.749429e-07,1.715503e-06,1.795885e-06,3.062433e-06,3.446758e-06,4.897519e-06,6.210096e-06,7.393463e-06,1.016581e-05,1.058518e-05,1.444602e-05,1.529268e-05,1.890385e-05,2.142663e-05,2.386357e-05,2.834451e-05,2.922547e-05,3.489610e-05,3.582637e-05,4.079280e-05,4.368214e-05,4.684414e-05,5.175504e-05,5.298878e-05,5.917390e-05,5.991659e-05,6.535372e-05,6.806074e-05,7.148856e-05,7.609960e-05,7.754401e-05,8.349054e-05,8.396078e-05,8.930314e-05,9.158589e-05,9.496103e-05,9.892930e-05,1.004474e-04,1.057489e-04,1.059569e-04,1.108556e-04,1.126449e-04,1.157605e-04,1.189783e-04,1.204592e-04,1.249495e-04,1.292310e-04,1.305572e-04,1.333050e-04,1.358046e-04,1.371741e-04,1.406988e-04,1.408417e-04,1.443122e-04,1.452493e-04,1.475907e-04,1.494678e-04,1.506825e-04,1.533670e-04,1.535934e-04,1.563294e-04,1.569607e-04,1.588966e-04,1.602628e-04,1.613012e-04,1.632876e-04,1.635493e-04,1.656471e-04,1.660492e-04,1.676007e-04,1.685615e-04,1.694160e-04,1.708382e-04,1.710987e-04,1.726547e-04,1.728923e-04,1.740894e-04,1.747365e-04,1.754082e-04,1.763832e-04,1.766162e-04,1.777185e-04,1.778439e-04,1.787200e-04,1.791299e-04,1.796253e-04,1.802518e-04,1.804389e-04,1.811653e-04,1.812197e-04,1.818084e-04,1.820433e-04,1.823725e-04,1.827318e-04,1.828613e-04,1.832785e-04,1.832937e-04,1.836277e-04,1.837374e-04,1.839123e-04,1.840706e-04,1.841355e-04,1.843006e-04,1.844104e-04,1.844344e-04,1.844680e-04,1.844786e-04,1.844759e-04,1.844393e-04,1.844369e-04,1.843534e-04,1.843224e-04,1.842279e-04,1.841334e-04,1.840627e-04,1.838775e-04,1.838599e-04,1.836217e-04,1.835595e-04,1.833501e-04,1.831841e-04,1.830470e-04,1.827556e-04,1.827142e-04,1.823535e-04,1.822781e-04,1.819665e-04,1.817555e-04,1.815549e-04,1.811912e-04,1.811202e-04,1.806637e-04,1.805888e-04,1.801870e-04,1.799513e-04,1.796912e-04,1.792818e-04,1.791778e-04,1.786478e-04,1.785831e-04,1.781024e-04,1.778578e-04,1.775427e-04,1.771084e-04,1.769698e-04,1.763846e-04,1.763372e-04,1.757880e-04,1.755464e-04,1.751810e-04,1.747380e-04,1.745645e-04,1.739392e-04,1.739140e-04,1.733058e-04,1.730760e-04,1.726652e-04,1.722259e-04,1.720181e-04,1.713650e-04,1.704950e-04,1.696172e-04,1.687328e-04,1.678431e-04,1.669492e-04,1.660521e-04,1.651527e-04,1.642520e-04,1.633509e-04,1.624500e-04,1.615502e-04,1.606521e-04,1.597563e-04,1.588634e-04,1.579740e-04,1.570885e-04,1.562074e-04,1.553311e-04,1.544601e-04,1.535945e-04,1.527349e-04,1.518815e-04,1.510346e-04,1.501943e-04
0.000000e+00,1.501209e-11,6.990982e-11,6.506773e-10,2.717068e-09,5.144000e-09,1.959034e-08,2.053437e-08,5.690109e-08,7.242440e-08,1.260268e-07,1.884044e-07,2.403821e-07,3.963921e-07,4.125952e-07,6.552291e-07,7.253156e-07,9.805616e-07,1.203190e-06,1.400000e-06,1.854402e-06,1.922822e-06,2.554331e-06,2.693756e-06,3.294205e-06,3.719864e-06,4.136053e-06,4.913775e-06,5.068476e-06,6.077010e-06,6.244399e-06,7.146076e-06,7.676206e-06,8.260394e-06,9.174835e-06,9.405753e-06,1.056931e-05,1.070961e-05,1.173965e-05,1.225409e-05,1.290665e-05,1.378583e-05,1.406143e-05,1.519627e-05,1.528598e-05,1.630448e-05,1.673901e-05,1.738042e-05,1.813245e-05,1.841942e-05,1.941772e-05,1.945676e-05,2.037245e-05,2.070506e-05,2.128153e-05,2.187291e-05,2.214361e-05,2.295797e-05,2.372445e-05,2.395966e-05,2.444340e-05,2.487891e-05,2.511555e-05,2.571776e-05,2.574196e-05,2.632395e-05,2.647916e-05,2.686306e-05,2.716664e-05,2.736098e-05,2.778419e-05,2.781946e-05,2.824037e-05,2.833600e-05,2.862557e-05,2.882639e-05,2.897694e-05,2.925965e-05,2.929635e-05,2.958560e-05,2.963999e-05,2.984646e-05,2.997146e-05,3.008065e-05,3.025795e-05,3.028979e-05,3.047546e-05,3.050309e-05,3.063914e-05,3.071032e-05,3.078226e-05,3.088284e-05,3.090614e-05,3.101206e-05,3.102362e-05,3.110121e-05,3.113541e-05,3.117470e-05,3.122075e-05,3.123360e-05,3.127890e-05,3.128197e-05,3.131153e-05,3.132122e-05,3.133235e-05,3.134049e-05,3.134218e-05,3.134179e-05,3.134157e-05,3.133189e-05,3.132612e-05,3.131315e-05,3.129567e-05,3.128619e-05,3.125161e-05,3.120995e-05,3.119521e-05,3.116172e-05,3.112762e-05,3.110739e-05,3.104993e-05,3.104743e-05,3.098224e-05,3.096311e-05,3.091222e-05,3.086805e-05,3.083774e-05,3.076557e-05,3.075913e-05,3.067673e-05,3.065642e-05,3.059082e-05,3.054129e-05,3.050170e-05,3.042082e-05,3.040962e-05,3.031484e-05,3.029558e-05,3.021758e-05,3.016610e-05,3.011806e-05,3.003286e-05,3.001648e-05,2.991304e-05,2.989632e-05,2.980790e-05,2.975689e-05,2.970125e-05,2.961494e-05,2.959324e-05,2.948400e-05,2.947082e-05,2.937369e-05,2.932485e-05,2.926243e-05,2.917732e-05,2.915035e-05,2.903754e-05,2.902849e-05,2.892414e-05,2.887863e-05,2.881022e-05,2.872794e-05,2.869589e-05,2.858124e-05,2.857665e-05,2.846635e-05,2.842494e-05,2.835129e-05,2.827299e-05,2.823614e-05,2.812097e-05,2.796902e-05,2.781728e-05,2.766587e-05,2.751491e-05,2.736451e-05,2.721475e-05,2.706574e-05,2.691755e-05,2.677025e-05,2.662392e-05,2.647861e-05,2.633437e-05,2.619127e-05,2.604933e-05,2.590862e-05,2.576916e-05,2.563098e-05,2.549411e-05,2.535859e-05,2.522443e-05,2.509165e-05,2.496027e-05,2.483031e-05,2.470177e-05
0.000000e+00,2.807411e-10,1.445884e-09,1.653113e-08,8.294297e-08,1.733947e-07,8.481773e-07,8.979827e-07,3.160716e-06,4.286199e-06,8.718181e-06,1.473548e-05,2.033217e-05,3.973841e-05,4.195153e-05,7.884808e-05,9.068784e-05,1.376928e-04,1.831828e-04,2.265454e-04,3.369334e-04,3.547256e-04,5.325547e-04,5.750363e-04,7.709946e-04,9.226538e-04,1.081234e-03,1.405380e-03,1.474268e-03,1.960509e-03,2.047606e-03,2.549436e-03,2.871074e-03,3.249313e-03,3.893737e-03,4.066963e-03,5.007599e-03,5.128924e-03,6.074727e-03,6.584852e-03,7.270101e-03,8.264422e-03,8.593725e-03,1.004391e-02,1.016531e-02,1.161738e-02,1.228026e-02,1.330936e-02,1.459761e-02,1.511378e-02,1.702342e-02,1.710188e-02,1.903007e-02,1.977450e-02,2.112475e-02,2.259454e-02,2.329788e-02,2.553946e-02,2.783925e-02,2.858578e-02,3.018688e-02,3.170972e-02,3.257207e-02,3.488779e-02,3.498470e-02,3.741490e-02,3.809721e-02,3.985323e-02,4.131634e-02,4.229065e-02,4.452496e-02,4.471866e-02,4.712931e-02,4.770446e-02,4.951524e-02,5.083802e-02,5.186969e-02,5.391068e-02,5.418652e-02,5.646022e-02,5.690933e-02,5.868586e-02,5.982275e-02,6.085915e-02,6.264149e-02,6.297633e-02,6.503423e-02,6.535780e-02,6.703016e-02,6.796554e-02,6.896195e-02,7.046003e-02,7.082788e-02,7.262665e-02,7.283795e-02,7.435737e-02,7.509718e-02,7.601950e-02,7.723670e-02,7.761282e-02,7.913741e-02,7.925642e-02,8.059363e-02,8.115710e-02,8.198206e-02,8.294019e-02,8.330349e-02,8.455891e-02,8.460777e-02,8.574945e-02,8.616240e-02,8.687639e-02,8.760708e-02,8.794111e-02,8.894511e-02,8.988996e-02,9.018008e-02,9.077728e-02,9.131576e-02,9.160877e-02,9.235605e-02,9.238613e-02,9.311110e-02,9.330495e-02,9.378545e-02,9.416650e-02,9.441094e-02,9.494474e-02,9.498932e-02,9.552235e-02,9.564372e-02,9.601176e-02,9.626741e-02,9.645926e-02,9.681974e-02,9.686654e-02,9.723525e-02,9.730451e-02,9.756703e-02,9.772547e-02,9.786343e-02,9.808620e-02,9.812601e-02,9.835628e-02,9.839022e-02,9.855568e-02,9.864085e-02,9.872565e-02,9.884136e-02,9.886756e-02,9.898274e-02,9.899483e-02,9.907250e-02,9.910425e-02,9.913806e-02,9.917246e-02,9.918064e-02,9.920140e-02,9.920216e-02,9.920146e-02,9.919593e-02,9.918189e-02,9.915623e-02,9.914373e-02,9.908797e-02,9.908538e-02,9.901556e-02,9.898559e-02,9.892742e-02,9.885895e-02,9.882442e-02,9.870742e-02,9.853289e-02,9.833712e-02,9.812177e-02,9.788842e-02,9.763855e-02,9.737356e-02,9.709475e-02,9.680336e-02,9.650056e-02,9.618743e-02,9.586500e-02,9.553422e-02,9.519599e-02,9.485116e-02,9.450053e-02,9.414482e-02,9.378472e-02,9.342090e-02,9.305394e-02,9.268442e-02,9.231286e-02,9.193975e-02,9.156555e-02,9.119068e-02
0.000000e+00,3.806873e-11,8.847161e-11,3.079355e-10,7.018236e-10,1.022896e-09,2.304863e-09,2.373298e-09,4.532502e-09,5.304261e-09,7.662227e-09,1.006994e-08,1.191543e-08,1.694198e-08,1.743282e-08,2.432613e-08,2.619253e-08,3.264356e-08,3.790910e-08,4.233529e-08,5.188773e-08,5.325706e-08,6.521505e-08,6.771324e-08,7.800980e-08,8.493140e-08,9.145547e-08,1.031282e-07,1.053822e-07,1.196333e-07,1.219337e-07,1.340634e-07,1.410134e-07,1.485375e-07,1.600650e-07,1.629319e-07,1.771349e-07,1.788216e-07,1.910477e-07,1.970550e-07,2.045853e-07,2.145787e-07,2.176766e-07,2.302641e-07,2.312479e-07,2.423027e-07,2.469568e-07,2.537598e-07,2.616361e-07,2.646135e-07,2.748515e-07,2.752482e-07,2.844700e-07,2.877814e-07,2.934720e-07,2.992457e-07,3.018667e-07,3.096677e-07,3.168925e-07,3.190861e-07,3.235616e-07,3.275483e-07,3.296971e-07,3.351075e-07,3.353231e-07,3.404641e-07,3.418201e-07,3.451453e-07,3.477437e-07,3.493917e-07,3.529360e-07,3.532285e-07,3.566799e-07,3.574535e-07,3.597697e-07,3.613505e-07,3.625207e-07,3.646788e-07,3.649549e-07,3.670934e-07,3.674874e-07,3.689563e-07,3.698223e-07,3.705625e-07,3.717265e-07,3.719300e-07,3.730760e-07,3.732399e-07,3.740165e-07,3.743993e-07,3.747665e-07,3.752390e-07,3.753403e-07,3.757511e-07,3.757901e-07,3.760115e-07,3.760815e-07,3.761332e-07,3.761396e-07,3.761270e-07,3.760033e-07,3.759886e-07,3.757715e-07,3.756505e-07,3.754405e-07,3.751455e-07,3.750187e-07,3.745139e-07,3.744920e-07,3.739332e-07,3.737068e-07,3.732833e-07,3.728052e-07,3.725707e-07,3.718010e-07,3.709798e-07,3.707070e-07,3.701121e-07,3.695345e-07,3.692026e-07,3.682941e-07,3.682556e-07,3.672753e-07,3.669953e-07,3.662653e-07,3.656466e-07,3.652293e-07,3.642558e-07,3.641704e-07,3.630916e-07,3.628301e-07,3.619959e-07,3.613758e-07,3.608857e-07,3.598987e-07,3.597635e-07,3.586314e-07,3.584040e-07,3.574917e-07,3.568966e-07,3.563461e-07,3.553805e-07,3.551964e-07,3.540443e-07,3.538598e-07,3.528912e-07,3.523378e-07,3.517386e-07,3.508177e-07,3.505877e-07,3.494397e-07,3.493022e-07,3.482957e-07,3.477938e-07,3.471566e-07,3.462948e-07,3.460234e-07,3.448968e-07,3.448070e-07,3.437778e-07,3.433324e-07,3.426669e-07,3.418724e-07,3.415647e-07,3.404719e-07,3.404284e-07,3.393890e-07,3.390017e-07,3.383165e-07,3.375932e-07,3.372546e-07,3.362040e-07,3.348347e-07,3.334860e-07,3.321586e-07,3.308529e-07,3.295692e-07,3.283079e-07,3.270693e-07,3.258534e-07,3.246605e-07,3.234905e-07,3.223435e-07,3.212194e-07,3.201182e-07,3.190398e-07,3.179840e-07,3.169507e-07,3.159396e-07,3.149506e-07,3.139835e-07,3.130379e-07,3.121137e-07,3.112105e-07,3.103280e-07,3.094660e-07
0.000000e+00,2.739160e-11,6.561622e-11,2.361973e-10,5.478118e-10,8.042631e-10,1.840255e-09,1.895969e-09,3.669830e-09,4.310491e-09,6.286783e-09,8.331647e-09,9.915820e-09,1.429493e-08,1.472693e-08,2.085495e-08,2.252904e-08,2.834544e-08,3.311796e-08,3.714472e-08,4.588897e-08,4.714959e-08,5.825327e-08,6.059724e-08,7.035989e-08,7.702244e-08,8.338179e-08,9.496518e-08,9.723371e-08,1.118285e-07,1.142266e-07,1.270750e-07,1.345967e-07,1.428772e-07,1.558521e-07,1.591353e-07,1.757468e-07,1.777590e-07,1.926075e-07,2.000785e-07,2.096141e-07,2.225744e-07,2.266656e-07,2.436651e-07,2.450201e-07,2.605211e-07,2.672041e-07,2.771488e-07,2.889357e-07,2.934710e-07,3.094184e-07,3.100477e-07,3.249307e-07,3.303982e-07,3.399556e-07,3.498716e-07,3.544497e-07,3.683775e-07,3.817117e-07,3.858499e-07,3.944325e-07,4.022455e-07,4.065265e-07,4.175394e-07,4.179855e-07,4.288068e-07,4.317226e-07,4.389924e-07,4.448010e-07,4.485485e-07,4.567926e-07,4.574850e-07,4.658145e-07,4.677249e-07,4.735523e-07,4.776335e-07,4.807160e-07,4.865599e-07,4.873243e-07,4.933973e-07,4.945495e-07,4.989561e-07,5.016505e-07,5.040221e-07,5.079131e-07,5.086177e-07,5.127662e-07,5.133900e-07,5.164910e-07,5.181346e-07,5.198129e-07,5.221940e-07,5.227523e-07,5.253299e-07,5.256158e-07,5.275653e-07,5.284453e-07,5.294774e-07,5.307259e-07,5.310849e-07,5.324056e-07,5.324994e-07,5.334566e-07,5.338052e-07,5.342543e-07,5.346807e-07,5.348144e-07,5.351517e-07,5.351607e-07,5.352804e-07,5.352784e-07,5.352142e-07,5.350645e-07,5.349661e-07,5.345482e-07,5.339722e-07,5.337564e-07,5.332493e-07,5.327142e-07,5.323897e-07,5.314451e-07,5.314034e-07,5.302996e-07,5.299707e-07,5.290872e-07,5.283111e-07,5.277745e-07,5.264849e-07,5.263693e-07,5.248790e-07,5.245094e-07,5.233106e-07,5.224007e-07,5.216707e-07,5.201734e-07,5.199656e-07,5.182009e-07,5.178413e-07,5.163823e-07,5.154170e-07,5.145148e-07,5.129119e-07,5.126033e-07,5.106523e-07,5.103368e-07,5.086662e-07,5.077016e-07,5.066489e-07,5.050152e-07,5.046042e-07,5.025356e-07,5.022860e-07,5.004465e-07,4.995216e-07,4.983399e-07,4.967290e-07,4.962187e-07,4.940856e-07,4.939146e-07,4.919433e-07,4.910842e-07,4.897939e-07,4.882434e-07,4.876399e-07,4.854831e-07,4.853968e-07,4.833257e-07,4.825491e-07,4.811692e-07,4.797043e-07,4.790155e-07,4.768661e-07,4.740379e-07,4.712227e-07,4.684234e-07,4.656423e-07,4.628818e-07,4.601438e-07,4.574302e-07,4.547426e-07,4.520824e-07,4.494509e-07,4.468492e-07,4.442783e-07,4.417390e-07,4.392321e-07,4.367581e-07,4.343176e-07,4.319110e-07,4.295387e-07,4.272008e-07,4.248977e-07,4.226293e-07,4.203958e-07,4.181973e-07,4.160336e-07
0.000000e+00,9.572067e-11,3.992581e-10,3.023624e-09,1.073656e-08,1.878759e-08,6.031867e-08,6.284887e-08,1.540131e-07,1.909925e-07,3.154392e-07,4.579743e-07,5.765300e-07,9.347428e-07,9.721755e-07,1.534576e-06,1.696524e-06,2.278129e-06,2.770202e-06,3.191153e-06,4.111596e-06,4.244253e-06,5.404788e-06,5.647246e-06,6.645253e-06,7.314690e-06,7.944647e-06,9.069828e-06,9.286910e-06,1.065905e-05,1.088060e-05,1.204989e-05,1.272113e-05,1.344934e-05,1.456890e-05,1.484822e-05,1.623809e-05,1.640390e-05,1.761136e-05,1.820856e-05,1.896127e-05,1.996795e-05,2.028198e-05,2.156854e-05,2.166987e-05,2.281692e-05,2.330482e-05,2.402388e-05,2.486585e-05,2.518699e-05,2.630449e-05,2.634823e-05,2.737526e-05,2.774917e-05,2.839869e-05,2.906748e-05,2.937461e-05,3.030324e-05,3.118510e-05,3.145754e-05,3.202097e-05,3.253223e-05,3.281182e-05,3.352976e-05,3.355881e-05,3.426318e-05,3.445295e-05,3.492626e-05,3.530487e-05,3.554944e-05,3.608875e-05,3.613415e-05,3.668183e-05,3.680793e-05,3.719393e-05,3.746569e-05,3.767187e-05,3.806534e-05,3.811708e-05,3.853095e-05,3.861009e-05,3.891486e-05,3.910309e-05,3.927013e-05,3.954737e-05,3.959805e-05,3.989990e-05,3.994585e-05,4.017688e-05,4.030134e-05,4.043017e-05,4.061651e-05,4.066091e-05,4.087019e-05,4.089391e-05,4.105906e-05,4.113596e-05,4.122854e-05,4.134498e-05,4.137961e-05,4.151320e-05,4.152315e-05,4.163019e-05,4.167254e-05,4.173147e-05,4.179511e-05,4.181784e-05,4.189010e-05,4.189271e-05,4.194900e-05,4.196708e-05,4.199527e-05,4.201987e-05,4.202960e-05,4.205264e-05,4.206503e-05,4.206685e-05,4.206738e-05,4.206387e-05,4.206025e-05,4.204500e-05,4.204420e-05,4.201975e-05,4.201146e-05,4.198740e-05,4.196440e-05,4.194763e-05,4.190488e-05,4.190089e-05,4.184763e-05,4.183392e-05,4.178824e-05,4.175246e-05,4.172313e-05,4.166139e-05,4.165266e-05,4.157721e-05,4.156155e-05,4.149710e-05,4.145371e-05,4.141265e-05,4.133860e-05,4.132419e-05,4.123199e-05,4.121691e-05,4.113634e-05,4.108928e-05,4.103750e-05,4.095630e-05,4.093572e-05,4.083124e-05,4.081853e-05,4.072428e-05,4.067650e-05,4.061507e-05,4.053069e-05,4.050381e-05,4.039068e-05,4.038155e-05,4.027587e-05,4.022952e-05,4.015956e-05,4.007498e-05,4.004192e-05,3.992309e-05,3.991831e-05,3.980322e-05,3.975984e-05,3.968246e-05,3.959990e-05,3.956094e-05,3.943878e-05,3.927675e-05,3.911407e-05,3.895099e-05,3.878770e-05,3.862443e-05,3.846136e-05,3.829865e-05,3.813647e-05,3.797497e-05,3.781428e-05,3.765452e-05,3.749580e-05,3.733824e-05,3.718192e-05,3.702693e-05,3.687335e-05,3.672125e-05,3.657069e-05,3.642173e-05,3.627442e-05,3.612880e-05,3.598491e-05,3.584280e-05,3.570248e-05
0.000000e+00,2.710824e-11,1.302825e-10,1.292080e-09,5.704760e-09,1.112702e-08,4.565771e-08,4.800014e-08,1.428102e-07,1.852483e-07,3.379126e-07,5.246099e-07,6.859594e-07,1.194648e-06,1.249256e-06,2.098495e-06,2.353155e-06,3.307829e-06,4.167868e-06,4.943734e-06,6.772389e-06,7.050891e-06,9.643324e-06,1.021910e-05,1.270517e-05,1.447084e-05,1.619841e-05,1.942915e-05,2.007226e-05,2.427080e-05,2.496892e-05,2.873795e-05,3.096170e-05,3.342002e-05,3.728652e-05,3.826675e-05,4.323163e-05,4.383329e-05,4.827193e-05,5.050337e-05,5.334865e-05,5.720947e-05,5.842651e-05,6.347393e-05,6.387554e-05,6.846304e-05,7.043683e-05,7.336968e-05,7.683967e-05,7.817321e-05,8.285647e-05,8.304109e-05,8.740549e-05,8.900806e-05,9.180924e-05,9.471647e-05,9.605941e-05,1.001500e-04,1.040772e-04,1.052990e-04,1.078388e-04,1.101590e-04,1.114343e-04,1.147302e-04,1.148643e-04,1.181305e-04,1.190160e-04,1.212355e-04,1.230225e-04,1.241826e-04,1.267576e-04,1.269754e-04,1.296182e-04,1.302306e-04,1.321153e-04,1.334518e-04,1.344714e-04,1.364320e-04,1.366913e-04,1.387799e-04,1.391823e-04,1.407420e-04,1.417139e-04,1.425824e-04,1.440379e-04,1.443061e-04,1.459176e-04,1.461654e-04,1.474217e-04,1.481068e-04,1.488228e-04,1.498726e-04,1.501254e-04,1.513338e-04,1.514727e-04,1.524522e-04,1.529168e-04,1.534847e-04,1.542142e-04,1.544351e-04,1.553072e-04,1.553737e-04,1.561049e-04,1.564038e-04,1.568314e-04,1.573124e-04,1.574903e-04,1.580848e-04,1.581073e-04,1.586179e-04,1.587955e-04,1.590928e-04,1.593839e-04,1.595123e-04,1.598791e-04,1.601959e-04,1.602872e-04,1.604653e-04,1.606140e-04,1.606897e-04,1.608649e-04,1.608714e-04,1.610127e-04,1.610453e-04,1.611157e-04,1.611600e-04,1.611824e-04,1.612135e-04,1.612149e-04,1.612150e-04,1.612104e-04,1.611845e-04,1.611547e-04,1.611251e-04,1.610502e-04,1.610384e-04,1.609260e-04,1.609006e-04,1.607894e-04,1.607093e-04,1.606301e-04,1.604797e-04,1.604494e-04,1.602485e-04,1.602146e-04,1.600288e-04,1.599170e-04,1.597914e-04,1.595895e-04,1.595374e-04,1.592680e-04,1.592346e-04,1.589841e-04,1.588548e-04,1.586867e-04,1.584522e-04,1.583767e-04,1.580552e-04,1.580290e-04,1.577228e-04,1.575870e-04,1.573804e-04,1.571281e-04,1.570287e-04,1.566685e-04,1.566540e-04,1.563005e-04,1.561663e-04,1.559254e-04,1.556665e-04,1.555437e-04,1.551561e-04,1.546363e-04,1.541083e-04,1.535734e-04,1.530325e-04,1.524867e-04,1.519369e-04,1.513840e-04,1.508288e-04,1.502720e-04,1.497144e-04,1.491565e-04,1.485990e-04,1.480425e-04,1.474874e-04,1.469342e-04,1.463834e-04,1.458354e-04,1.452906e-04,1.447492e-04,1.442117e-04,1.436782e-04,1.431491e-04,1.426247e-04,1.421050e-04
0.000000e+00,3.309435e-11,7.670179e-11,2.671272e-10,6.119727e-10,8.959910e-10,2.055020e-09,2.117983e-09,4.158569e-09,4.912418e-09,7.290675e-09,9.827953e-09,1.184063e-08,1.757682e-08,1.815393e-08,2.648111e-08,2.878502e-08,3.680937e-08,4.335777e-08,4.882362e-08,6.043811e-08,6.208062e-08,7.618723e-08,7.908318e-08,9.085144e-08,9.862482e-08,1.058623e-07,1.186214e-07,1.210600e-07,1.363153e-07,1.387540e-07,1.515182e-07,1.587681e-07,1.665721e-07,1.784506e-07,1.813922e-07,1.959042e-07,1.976218e-07,2.100443e-07,2.161339e-07,2.237587e-07,2.338698e-07,2.370038e-07,2.497454e-07,2.507422e-07,2.619579e-07,2.666905e-07,2.736234e-07,2.816778e-07,2.847314e-07,2.952772e-07,2.956873e-07,3.052611e-07,3.087187e-07,3.146882e-07,3.207846e-07,3.235666e-07,3.319078e-07,3.397251e-07,3.421185e-07,3.470339e-07,3.514521e-07,3.538505e-07,3.599476e-07,3.601924e-07,3.660776e-07,3.676461e-07,3.715244e-07,3.745897e-07,3.765511e-07,3.808205e-07,3.811762e-07,3.854177e-07,3.863806e-07,3.892936e-07,3.913109e-07,3.928213e-07,3.956512e-07,3.960178e-07,3.988998e-07,3.994399e-07,4.014833e-07,4.027139e-07,4.037838e-07,4.055085e-07,4.058163e-07,4.075951e-07,4.078571e-07,4.091341e-07,4.097916e-07,4.104466e-07,4.113421e-07,4.115453e-07,4.124424e-07,4.125371e-07,4.131495e-07,4.134034e-07,4.136778e-07,4.139663e-07,4.140379e-07,4.142400e-07,4.142496e-07,4.142937e-07,4.142757e-07,4.142082e-07,4.140654e-07,4.139923e-07,4.136544e-07,4.136384e-07,4.132024e-07,4.130132e-07,4.126438e-07,4.122069e-07,4.119860e-07,4.112355e-07,4.103991e-07,4.101143e-07,4.094828e-07,4.088571e-07,4.084924e-07,4.074771e-07,4.074335e-07,4.063113e-07,4.059865e-07,4.051309e-07,4.043966e-07,4.038968e-07,4.027179e-07,4.026136e-07,4.012854e-07,4.009604e-07,3.999163e-07,3.991331e-07,3.985100e-07,3.972446e-07,3.970702e-07,3.956000e-07,3.953026e-07,3.941028e-07,3.933145e-07,3.925815e-07,3.912871e-07,3.910389e-07,3.894778e-07,3.892265e-07,3.879006e-07,3.871385e-07,3.863096e-07,3.850285e-07,3.847072e-07,3.830953e-07,3.829013e-07,3.814760e-07,3.807616e-07,3.798511e-07,3.786134e-07,3.782223e-07,3.765912e-07,3.764606e-07,3.749594e-07,3.743068e-07,3.733282e-07,3.721550e-07,3.716991e-07,3.700733e-07,3.700083e-07,3.684518e-07,3.678694e-07,3.668358e-07,3.657406e-07,3.652264e-07,3.636243e-07,3.615225e-07,3.594369e-07,3.573693e-07,3.553211e-07,3.532936e-07,3.512881e-07,3.493056e-07,3.473471e-07,3.454132e-07,3.435049e-07,3.416226e-07,3.397669e-07,3.379382e-07,3.361369e-07,3.343633e-07,3.326177e-07,3.309001e-07,3.292108e-07,3.275497e-07,3.259169e-07,3.243123e-07,3.227359e-07,3.211876e-07,3.196673e-07
0.000000e+00,7.864782e-12,1.809070e-11,6.243302e-11,1.420772e-10,2.071739e-10,4.687237e-10,4.827559e-10,9.287779e-10,1.089643e-09,1.585409e-09,2.097767e-09,2.494345e-09,3.589888e-09,3.697987e-09,5.234954e-09,5.656668e-09,7.130258e-09,8.349220e-09,9.383404e-09,1.163926e-08,1.196486e-08,1.482628e-08,1.542749e-08,1.791509e-08,1.959485e-08,2.118300e-08,2.403559e-08,2.458805e-08,2.809373e-08,2.866176e-08,3.166762e-08,3.339863e-08,3.528048e-08,3.818088e-08,3.890572e-08,4.251924e-08,4.295102e-08,4.609938e-08,4.765904e-08,4.962699e-08,5.226248e-08,5.308539e-08,5.646040e-08,5.672643e-08,5.974021e-08,6.102329e-08,6.291534e-08,6.513238e-08,6.597837e-08,6.892375e-08,6.903906e-08,7.174767e-08,7.273407e-08,7.444786e-08,7.621272e-08,7.702325e-08,7.947388e-08,8.180073e-08,8.251944e-08,8.400553e-08,8.535361e-08,8.609061e-08,8.798227e-08,8.805879e-08,8.991326e-08,9.041261e-08,9.165751e-08,9.265270e-08,9.329526e-08,9.471120e-08,9.483032e-08,9.626655e-08,9.659697e-08,9.760786e-08,9.831899e-08,9.885815e-08,9.988620e-08,1.000213e-07,1.011011e-07,1.013074e-07,1.021013e-07,1.025911e-07,1.030255e-07,1.037457e-07,1.038772e-07,1.046599e-07,1.047790e-07,1.053769e-07,1.056987e-07,1.060314e-07,1.065120e-07,1.066264e-07,1.071649e-07,1.072259e-07,1.076498e-07,1.078469e-07,1.080838e-07,1.083812e-07,1.084695e-07,1.088095e-07,1.088347e-07,1.091060e-07,1.092130e-07,1.093615e-07,1.095212e-07,1.095780e-07,1.097577e-07,1.097642e-07,1.099027e-07,1.099467e-07,1.100147e-07,1.100730e-07,1.100956e-07,1.101472e-07,1.101711e-07,1.101732e-07,1.101689e-07,1.101545e-07,1.101420e-07,1.100944e-07,1.100920e-07,1.100201e-07,1.099962e-07,1.099277e-07,1.098629e-07,1.098159e-07,1.096971e-07,1.096861e-07,1.095392e-07,1.095015e-07,1.093763e-07,1.092785e-07,1.091985e-07,1.090304e-07,1.090067e-07,1.088018e-07,1.087594e-07,1.085848e-07,1.084673e-07,1.083563e-07,1.081561e-07,1.081172e-07,1.078682e-07,1.078275e-07,1.076101e-07,1.074832e-07,1.073435e-07,1.071246e-07,1.070691e-07,1.067874e-07,1.067531e-07,1.064990e-07,1.063702e-07,1.062045e-07,1.059769e-07,1.059044e-07,1.055991e-07,1.055745e-07,1.052892e-07,1.051641e-07,1.049751e-07,1.047465e-07,1.046572e-07,1.043358e-07,1.043229e-07,1.040114e-07,1.038940e-07,1.036844e-07,1.034606e-07,1.033550e-07,1.030235e-07,1.025835e-07,1.021410e-07,1.016968e-07,1.012514e-07,1.008053e-07,1.003590e-07,9.991299e-08,9.946761e-08,9.902327e-08,9.858032e-08,9.813908e-08,9.769986e-08,9.726293e-08,9.682854e-08,9.639692e-08,9.596828e-08,9.554283e-08,9.512073e-08,9.470214e-08,9.428722e-08,9.387609e-08,9.346886e-08,9.306566e-08,9.266656e-08
0.000000e+00,3.290425e-11,7.645079e-11,2.663905e-10,6.084708e-10,8.882894e-10,2.013203e-09,2.073577e-09,3.993763e-09,4.686868e-09,6.824238e-09,9.032998e-09,1.073990e-08,1.542161e-08,1.587957e-08,2.228059e-08,2.399684e-08,2.985592e-08,3.455461e-08,3.845253e-08,4.673631e-08,4.791210e-08,5.808948e-08,6.019910e-08,6.884965e-08,7.463196e-08,8.006253e-08,8.973796e-08,9.160078e-08,1.033403e-07,1.052293e-07,1.151624e-07,1.208334e-07,1.269559e-07,1.363017e-07,1.386196e-07,1.500637e-07,1.514184e-07,1.612109e-07,1.660046e-07,1.719970e-07,1.799205e-07,1.823701e-07,1.922903e-07,1.930634e-07,2.017287e-07,2.053646e-07,2.106661e-07,2.167843e-07,2.190914e-07,2.270013e-07,2.273070e-07,2.343984e-07,2.369371e-07,2.412901e-07,2.456934e-07,2.476877e-07,2.536056e-07,2.590604e-07,2.607111e-07,2.640703e-07,2.670521e-07,2.686546e-07,2.726737e-07,2.728333e-07,2.766264e-07,2.776222e-07,2.800543e-07,2.819440e-07,2.831369e-07,2.856848e-07,2.858938e-07,2.883440e-07,2.888885e-07,2.905060e-07,2.915975e-07,2.923975e-07,2.938519e-07,2.940356e-07,2.954366e-07,2.956897e-07,2.966160e-07,2.971466e-07,2.975885e-07,2.982559e-07,2.983682e-07,2.989684e-07,2.990486e-07,2.994017e-07,2.995538e-07,2.996798e-07,2.997983e-07,2.998142e-07,2.998152e-07,2.998068e-07,2.996929e-07,2.996024e-07,2.994566e-07,2.992063e-07,2.991152e-07,2.986770e-07,2.986380e-07,2.981496e-07,2.979154e-07,2.975405e-07,2.970552e-07,2.968565e-07,2.961040e-07,2.960725e-07,2.952889e-07,2.949813e-07,2.944171e-07,2.937944e-07,2.934936e-07,2.925236e-07,2.915115e-07,2.911794e-07,2.904617e-07,2.897719e-07,2.893782e-07,2.883099e-07,2.882648e-07,2.871250e-07,2.868016e-07,2.859621e-07,2.852545e-07,2.847791e-07,2.836755e-07,2.835789e-07,2.823640e-07,2.820706e-07,2.811371e-07,2.804455e-07,2.799002e-07,2.788054e-07,2.786557e-07,2.774054e-07,2.771548e-07,2.761511e-07,2.754979e-07,2.748946e-07,2.738386e-07,2.736375e-07,2.723811e-07,2.721802e-07,2.711268e-07,2.705258e-07,2.698758e-07,2.688782e-07,2.686293e-07,2.673884e-07,2.672399e-07,2.661539e-07,2.656130e-07,2.649267e-07,2.639995e-07,2.637077e-07,2.624976e-07,2.624012e-07,2.612970e-07,2.608196e-07,2.601066e-07,2.592561e-07,2.589269e-07,2.577584e-07,2.577119e-07,2.566015e-07,2.561879e-07,2.554566e-07,2.546852e-07,2.543242e-07,2.532044e-07,2.517463e-07,2.503113e-07,2.488999e-07,2.475125e-07,2.461493e-07,2.448106e-07,2.434964e-07,2.422068e-07,2.409419e-07,2.397017e-07,2.384860e-07,2.372947e-07,2.361278e-07,2.349850e-07,2.338660e-07,2.327708e-07,2.316990e-07,2.306504e-07,2.296246e-07,2.286214e-07,2.276404e-07,2.266813e-07,2.257438e-07,2.248275e-07
0.000000e+00,4.023242e-11,9.321951e-11,3.244139e-10,7.415935e-10,1.083421e-09,2.460683e-09,2.534693e-09,4.891164e-09,5.742565e-09,8.370227e-09,1.109075e-08,1.319939e-08,1.903507e-08,1.961158e-08,2.781720e-08,3.007043e-08,3.794519e-08,4.445843e-08,4.998362e-08,6.203998e-08,6.378148e-08,7.911505e-08,8.234536e-08,9.575250e-08,1.048480e-07,1.134819e-07,1.290792e-07,1.321137e-07,1.514753e-07,1.546300e-07,1.714055e-07,1.811290e-07,1.917522e-07,2.082319e-07,2.123707e-07,2.331249e-07,2.356184e-07,2.538877e-07,2.629955e-07,2.745421e-07,2.901014e-07,2.949823e-07,3.151143e-07,3.167090e-07,3.348560e-07,3.426272e-07,3.541368e-07,3.677003e-07,3.728980e-07,3.910914e-07,3.918067e-07,4.086787e-07,4.148560e-07,4.256310e-07,4.367848e-07,4.419273e-07,4.575537e-07,4.725030e-07,4.771432e-07,4.867729e-07,4.955501e-07,5.003660e-07,5.127844e-07,5.132886e-07,5.255502e-07,5.288666e-07,5.371630e-07,5.438251e-07,5.481411e-07,5.576941e-07,5.585005e-07,5.682581e-07,5.705124e-07,5.774321e-07,5.823215e-07,5.860410e-07,5.931646e-07,5.941040e-07,6.016404e-07,6.030862e-07,6.086696e-07,6.121307e-07,6.152109e-07,6.203426e-07,6.212835e-07,6.269063e-07,6.277654e-07,6.320979e-07,6.344420e-07,6.368764e-07,6.404139e-07,6.412598e-07,6.452652e-07,6.457213e-07,6.489097e-07,6.504031e-07,6.522094e-07,6.544964e-07,6.551803e-07,6.578377e-07,6.580372e-07,6.601964e-07,6.610595e-07,6.622709e-07,6.635962e-07,6.640748e-07,6.656216e-07,6.656783e-07,6.669240e-07,6.673355e-07,6.679944e-07,6.685959e-07,6.688447e-07,6.694863e-07,6.699301e-07,6.700321e-07,6.701867e-07,6.702574e-07,6.702662e-07,6.701847e-07,6.701781e-07,6.699319e-07,6.698358e-07,6.695364e-07,6.692310e-07,6.690001e-07,6.683894e-07,6.683311e-07,6.675374e-07,6.673291e-07,6.666262e-07,6.660674e-07,6.656048e-07,6.646202e-07,6.644800e-07,6.632583e-07,6.630029e-07,6.619459e-07,6.612296e-07,6.605488e-07,6.593139e-07,6.590726e-07,6.575227e-07,6.572683e-07,6.559044e-07,6.551047e-07,6.542225e-07,6.528343e-07,6.524817e-07,6.506864e-07,6.504676e-07,6.488411e-07,6.480143e-07,6.469496e-07,6.454836e-07,6.450159e-07,6.430436e-07,6.428842e-07,6.410362e-07,6.402242e-07,6.389970e-07,6.375110e-07,6.369293e-07,6.348359e-07,6.347517e-07,6.327197e-07,6.319528e-07,6.305835e-07,6.291207e-07,6.284297e-07,6.262608e-07,6.233787e-07,6.204792e-07,6.175670e-07,6.146463e-07,6.117212e-07,6.087953e-07,6.058721e-07,6.029547e-07,6.000459e-07,5.971486e-07,5.942652e-07,5.913979e-07,5.885488e-07,5.857199e-07,5.829129e-07,5.801293e-07,5.773706e-07,5.746382e-07,5.719331e-07,5.692564e-07,5.666091e-07,5.639920e-07,5.614059e-07,5.588514e-07
0.000000e+00,1.621058e-10,5.338312e-10,2.786095e-09,7.791053e-09,1.230743e-08,3.237411e-08,3.351105e-08,7.177539e-08,8.639294e-08,1.335351e-07,1.849841e-07,2.263544e-07,3.459478e-07,3.580783e-07,5.343646e-07,5.834486e-07,7.550839e-07,8.956835e-07,1.013258e-06,1.263416e-06,1.298809e-06,1.602812e-06,1.665217e-06,1.918773e-06,2.086218e-06,2.242092e-06,2.516833e-06,2.569338e-06,2.897786e-06,2.950293e-06,3.225189e-06,3.381409e-06,3.549674e-06,3.806104e-06,3.869682e-06,4.183940e-06,4.221213e-06,4.491424e-06,4.624357e-06,4.791333e-06,5.013817e-06,5.083058e-06,5.366155e-06,5.388420e-06,5.640313e-06,5.747427e-06,5.905338e-06,6.090438e-06,6.161124e-06,6.407641e-06,6.417309e-06,6.644917e-06,6.728088e-06,6.873028e-06,7.022962e-06,7.092083e-06,7.302222e-06,7.503608e-06,7.566232e-06,7.696421e-06,7.815410e-06,7.880852e-06,8.050210e-06,8.057106e-06,8.225391e-06,8.271112e-06,8.385920e-06,8.478603e-06,8.538907e-06,8.673182e-06,8.684571e-06,8.823129e-06,8.855349e-06,8.954797e-06,9.025600e-06,9.079787e-06,9.184418e-06,9.198305e-06,9.310563e-06,9.332282e-06,9.416778e-06,9.469692e-06,9.517159e-06,9.597109e-06,9.611895e-06,9.701186e-06,9.714981e-06,9.785228e-06,9.823758e-06,9.864206e-06,9.923864e-06,9.938301e-06,1.000769e-05,1.001571e-05,1.007256e-05,1.009971e-05,1.013306e-05,1.017623e-05,1.018938e-05,1.024166e-05,1.024567e-05,1.029006e-05,1.030837e-05,1.033474e-05,1.036469e-05,1.037585e-05,1.041352e-05,1.041496e-05,1.044790e-05,1.045949e-05,1.047911e-05,1.049860e-05,1.050730e-05,1.053258e-05,1.055509e-05,1.056172e-05,1.057493e-05,1.058628e-05,1.059222e-05,1.060652e-05,1.060707e-05,1.061959e-05,1.062269e-05,1.062988e-05,1.063503e-05,1.063805e-05,1.064376e-05,1.064418e-05,1.064838e-05,1.064910e-05,1.065072e-05,1.065126e-05,1.065131e-05,1.065043e-05,1.065021e-05,1.064752e-05,1.064680e-05,1.064331e-05,1.064054e-05,1.063765e-05,1.063184e-05,1.063062e-05,1.062229e-05,1.062084e-05,1.061272e-05,1.060770e-05,1.060198e-05,1.059258e-05,1.059012e-05,1.057722e-05,1.057561e-05,1.056333e-05,1.055691e-05,1.054849e-05,1.053663e-05,1.053278e-05,1.051623e-05,1.051487e-05,1.049889e-05,1.049175e-05,1.048082e-05,1.046738e-05,1.046206e-05,1.044265e-05,1.044186e-05,1.042263e-05,1.041528e-05,1.040204e-05,1.038774e-05,1.038093e-05,1.035933e-05,1.033012e-05,1.030019e-05,1.026962e-05,1.023848e-05,1.020683e-05,1.017473e-05,1.014224e-05,1.010942e-05,1.007631e-05,1.004297e-05,1.000945e-05,9.975773e-06,9.941996e-06,9.908153e-06,9.874278e-06,9.840405e-06,9.806566e-06,9.772789e-06,9.739102e-06,9.705530e-06,9.672097e-06,9.638825e-06,9.605734e-06,9.572844e-06
0.000000e+00,2.080842e-11,4.796179e-11,1.657564e-10,3.771659e-10,5.497757e-10,1.241864e-09,1.278938e-09,2.454873e-09,2.877969e-09,4.179121e-09,5.520101e-09,6.555889e-09,9.409213e-09,9.690198e-09,1.367599e-08,1.476681e-08,1.856963e-08,2.170537e-08,2.435894e-08,3.012664e-08,3.095693e-08,3.823180e-08,3.975559e-08,4.604451e-08,5.027711e-08,5.426890e-08,6.141505e-08,6.279554e-08,7.152901e-08,7.293977e-08,8.038463e-08,8.465607e-08,8.928628e-08,9.639436e-08,9.816530e-08,1.069601e-07,1.080071e-07,1.156160e-07,1.193682e-07,1.240857e-07,1.303729e-07,1.323286e-07,1.403107e-07,1.409372e-07,1.480050e-07,1.509972e-07,1.553903e-07,1.605073e-07,1.624509e-07,1.691763e-07,1.694382e-07,1.755602e-07,1.777743e-07,1.816004e-07,1.855116e-07,1.872975e-07,1.926553e-07,1.976795e-07,1.992180e-07,2.023777e-07,2.052175e-07,2.067587e-07,2.106756e-07,2.108328e-07,2.146108e-07,2.156170e-07,2.181039e-07,2.200680e-07,2.213240e-07,2.240555e-07,2.242829e-07,2.269925e-07,2.276071e-07,2.294648e-07,2.307499e-07,2.317113e-07,2.335106e-07,2.337435e-07,2.355726e-07,2.359150e-07,2.372094e-07,2.379881e-07,2.386645e-07,2.397537e-07,2.399480e-07,2.410695e-07,2.412346e-07,2.420385e-07,2.424521e-07,2.428640e-07,2.434267e-07,2.435544e-07,2.441180e-07,2.441775e-07,2.445626e-07,2.447225e-07,2.448957e-07,2.450786e-07,2.451243e-07,2.452551e-07,2.452616e-07,2.452946e-07,2.452862e-07,2.452489e-07,2.451664e-07,2.451236e-07,2.449243e-07,2.449149e-07,2.446562e-07,2.445438e-07,2.443241e-07,2.440642e-07,2.439328e-07,2.434865e-07,2.429895e-07,2.428203e-07,2.424456e-07,2.420746e-07,2.418586e-07,2.412577e-07,2.412319e-07,2.405689e-07,2.403772e-07,2.398727e-07,2.394403e-07,2.391463e-07,2.384535e-07,2.383922e-07,2.376133e-07,2.374229e-07,2.368119e-07,2.363541e-07,2.359903e-07,2.352524e-07,2.351507e-07,2.342952e-07,2.341223e-07,2.334256e-07,2.329685e-07,2.325438e-07,2.317948e-07,2.316514e-07,2.307500e-07,2.306050e-07,2.298410e-07,2.294025e-07,2.289260e-07,2.281904e-07,2.280061e-07,2.270827e-07,2.269717e-07,2.261567e-07,2.257488e-07,2.252293e-07,2.245242e-07,2.243015e-07,2.233741e-07,2.233000e-07,2.224481e-07,2.220783e-07,2.215242e-07,2.208607e-07,2.206032e-07,2.196857e-07,2.196491e-07,2.187724e-07,2.184447e-07,2.178638e-07,2.172490e-07,2.169606e-07,2.160632e-07,2.148882e-07,2.137251e-07,2.125747e-07,2.114378e-07,2.103150e-07,2.092069e-07,2.081140e-07,2.070368e-07,2.059755e-07,2.049306e-07,2.039023e-07,2.028907e-07,2.018960e-07,2.009183e-07,1.999578e-07,1.990145e-07,1.980883e-07,1.971792e-07,1.962872e-07,1.954123e-07,1.945543e-07,1.937131e-07,1.928885e-07,1.920806e-07
0.000000e+00,6.455606e-11,3.045387e-10,2.907048e-09,1.241157e-08,2.378843e-08,9.373829e-08,9.840323e-08,2.841034e-07,3.663030e-07,6.609434e-07,1.021631e-06,1.334457e-06,2.325320e-06,2.431779e-06,4.074239e-06,4.558397e-06,6.323058e-06,7.835655e-06,9.135105e-06,1.196497e-05,1.236917e-05,1.583412e-05,1.653774e-05,1.934178e-05,2.113041e-05,2.274053e-05,2.543403e-05,2.592658e-05,2.884036e-05,2.927921e-05,3.145634e-05,3.260497e-05,3.377235e-05,3.541699e-05,3.580047e-05,3.756062e-05,3.775494e-05,3.907633e-05,3.967213e-05,4.037211e-05,4.122467e-05,4.147203e-05,4.239888e-05,4.246619e-05,4.317370e-05,4.344543e-05,4.381569e-05,4.420544e-05,4.434211e-05,4.476835e-05,4.478351e-05,4.510798e-05,4.521140e-05,4.537292e-05,4.551575e-05,4.557350e-05,4.571863e-05,4.581600e-05,4.583817e-05,4.587217e-05,4.588912e-05,4.589275e-05,4.588346e-05,4.588251e-05,4.584553e-05,4.583087e-05,4.578528e-05,4.573922e-05,4.570475e-05,4.561492e-05,4.560646e-05,4.549260e-05,4.546318e-05,4.536507e-05,4.528829e-05,4.522549e-05,4.509384e-05,4.507530e-05,4.491575e-05,4.488281e-05,4.474793e-05,4.465772e-05,4.457282e-05,4.442074e-05,4.439129e-05,4.420412e-05,4.417370e-05,4.401200e-05,4.391821e-05,4.381556e-05,4.365567e-05,4.361536e-05,4.341192e-05,4.338731e-05,4.320571e-05,4.311422e-05,4.299716e-05,4.283734e-05,4.278666e-05,4.257456e-05,4.255753e-05,4.236119e-05,4.227555e-05,4.214685e-05,4.199208e-05,4.193181e-05,4.171634e-05,4.170771e-05,4.150066e-05,4.142300e-05,4.128499e-05,4.113844e-05,4.106952e-05,4.085444e-05,4.063992e-05,4.057141e-05,4.042610e-05,4.028970e-05,4.021314e-05,4.000962e-05,4.000116e-05,3.979028e-05,3.973144e-05,3.958060e-05,3.945542e-05,3.937224e-05,3.918179e-05,3.916528e-05,3.895981e-05,3.891073e-05,3.875590e-05,3.864242e-05,3.855362e-05,3.837702e-05,3.835304e-05,3.815422e-05,3.811466e-05,3.795719e-05,3.785547e-05,3.776202e-05,3.759954e-05,3.756875e-05,3.737740e-05,3.734697e-05,3.718802e-05,3.709782e-05,3.700063e-05,3.685217e-05,3.681526e-05,3.663193e-05,3.661007e-05,3.645066e-05,3.637155e-05,3.627146e-05,3.613666e-05,3.609435e-05,3.591933e-05,3.590542e-05,3.574642e-05,3.567785e-05,3.557563e-05,3.545396e-05,3.540694e-05,3.524037e-05,3.523375e-05,3.507591e-05,3.501723e-05,3.491357e-05,3.480438e-05,3.475334e-05,3.459520e-05,3.438968e-05,3.418779e-05,3.398950e-05,3.379481e-05,3.360367e-05,3.341606e-05,3.323193e-05,3.305127e-05,3.287403e-05,3.270016e-05,3.252964e-05,3.236242e-05,3.219845e-05,3.203770e-05,3.188011e-05,3.172564e-05,3.157426e-05,3.142590e-05,3.128052e-05,3.113808e-05,3.099853e-05,3.086182e-05,3.072791e-05,3.059675e-05
0.000000e+00,3.549637e-11,1.717209e-10,1.725390e-09,7.702203e-09,1.510746e-08,6.278290e-08,6.603387e-08,1.982862e-07,2.576803e-07,4.714993e-07,7.325982e-07,9.575819e-07,1.662125e-06,1.737329e-06,2.897676e-06,3.242810e-06,4.529072e-06,5.682217e-06,6.721773e-06,9.182546e-06,9.559606e-06,1.311068e-05,1.391073e-05,1.741678e-05,1.995831e-05,2.248549e-05,2.731283e-05,2.828853e-05,3.476664e-05,3.586056e-05,4.183837e-05,4.541633e-05,4.940986e-05,5.576102e-05,5.738314e-05,6.566211e-05,6.667175e-05,7.415624e-05,7.794017e-05,8.278268e-05,8.938117e-05,9.146704e-05,1.001435e-04,1.008355e-04,1.087548e-04,1.121697e-04,1.172513e-04,1.232739e-04,1.255911e-04,1.337389e-04,1.340604e-04,1.416659e-04,1.444609e-04,1.493488e-04,1.544244e-04,1.567696e-04,1.639147e-04,1.707745e-04,1.729083e-04,1.773429e-04,1.813922e-04,1.836168e-04,1.893620e-04,1.895955e-04,1.952807e-04,1.968203e-04,2.006754e-04,2.037748e-04,2.057845e-04,2.102374e-04,2.106136e-04,2.151695e-04,2.162231e-04,2.194596e-04,2.217489e-04,2.234918e-04,2.268333e-04,2.272742e-04,2.308155e-04,2.314956e-04,2.341242e-04,2.357557e-04,2.372090e-04,2.396336e-04,2.400786e-04,2.427416e-04,2.431490e-04,2.452064e-04,2.463215e-04,2.474814e-04,2.491702e-04,2.495747e-04,2.514944e-04,2.517134e-04,2.532482e-04,2.539692e-04,2.548436e-04,2.559547e-04,2.562880e-04,2.575884e-04,2.576864e-04,2.587518e-04,2.591802e-04,2.597846e-04,2.604511e-04,2.606934e-04,2.614843e-04,2.615136e-04,2.621631e-04,2.623812e-04,2.627357e-04,2.630671e-04,2.632074e-04,2.635835e-04,2.638692e-04,2.639423e-04,2.640692e-04,2.641544e-04,2.641882e-04,2.642303e-04,2.642306e-04,2.642007e-04,2.641800e-04,2.641027e-04,2.640128e-04,2.639404e-04,2.637375e-04,2.637176e-04,2.634378e-04,2.633625e-04,2.631045e-04,2.628957e-04,2.627209e-04,2.623443e-04,2.622903e-04,2.618155e-04,2.617155e-04,2.612994e-04,2.610156e-04,2.607447e-04,2.602509e-04,2.601541e-04,2.595300e-04,2.594272e-04,2.588747e-04,2.585498e-04,2.581905e-04,2.576238e-04,2.574796e-04,2.567439e-04,2.566541e-04,2.559855e-04,2.556450e-04,2.552061e-04,2.546008e-04,2.544075e-04,2.535914e-04,2.535254e-04,2.527593e-04,2.524224e-04,2.519129e-04,2.512953e-04,2.510534e-04,2.501822e-04,2.501472e-04,2.493007e-04,2.489811e-04,2.484101e-04,2.477998e-04,2.475114e-04,2.466059e-04,2.454017e-04,2.441896e-04,2.429716e-04,2.417495e-04,2.405253e-04,2.393005e-04,2.380767e-04,2.368552e-04,2.356375e-04,2.344246e-04,2.332177e-04,2.320177e-04,2.308257e-04,2.296424e-04,2.284686e-04,2.273051e-04,2.261523e-04,2.250110e-04,2.238816e-04,2.227645e-04,2.216602e-04,2.205691e-04,2.194914e-04,2.184274e-04
0.000000e+00,1.382831e-10,3.315542e-10,1.197386e-09,2.788346e-09,4.104350e-09,9.466341e-09,9.756450e-09,1.906641e-08,2.245827e-08,3.299666e-08,4.399438e-08,5.256478e-08,7.643563e-08,7.880364e-08,1.126624e-07,1.220083e-07,1.548412e-07,1.822083e-07,2.055742e-07,2.569762e-07,2.644382e-07,3.303282e-07,3.442160e-07,4.016863e-07,4.404015e-07,4.768663e-07,5.418958e-07,5.544099e-07,6.331468e-07,6.457919e-07,7.121747e-07,7.500017e-07,7.908011e-07,8.530475e-07,8.684879e-07,9.448121e-07,9.538627e-07,1.019439e-06,1.051668e-06,1.092107e-06,1.145897e-06,1.162611e-06,1.230798e-06,1.236150e-06,1.296556e-06,1.322161e-06,1.359808e-06,1.403772e-06,1.420509e-06,1.478637e-06,1.480908e-06,1.534191e-06,1.553563e-06,1.587188e-06,1.621779e-06,1.637657e-06,1.685639e-06,1.731182e-06,1.745250e-06,1.774343e-06,1.800743e-06,1.815181e-06,1.852260e-06,1.853761e-06,1.890150e-06,1.899955e-06,1.924415e-06,1.943984e-06,1.956626e-06,1.984506e-06,1.986853e-06,2.015164e-06,2.021682e-06,2.041630e-06,2.055671e-06,2.066319e-06,2.086628e-06,2.089298e-06,2.110633e-06,2.114708e-06,2.130389e-06,2.140060e-06,2.148630e-06,2.162828e-06,2.165418e-06,2.180814e-06,2.183152e-06,2.194876e-06,2.201169e-06,2.207662e-06,2.217009e-06,2.219227e-06,2.229625e-06,2.230797e-06,2.238908e-06,2.242653e-06,2.247128e-06,2.252694e-06,2.254333e-06,2.260571e-06,2.261029e-06,2.265886e-06,2.267764e-06,2.270324e-06,2.273001e-06,2.273928e-06,2.276737e-06,2.276834e-06,2.278793e-06,2.279356e-06,2.280132e-06,2.280653e-06,2.280793e-06,2.280810e-06,2.280217e-06,2.279904e-06,2.279048e-06,2.278011e-06,2.277333e-06,2.275201e-06,2.275102e-06,2.272386e-06,2.271542e-06,2.269212e-06,2.267098e-06,2.265606e-06,2.261929e-06,2.261594e-06,2.257201e-06,2.256093e-06,2.252451e-06,2.249642e-06,2.247365e-06,2.242629e-06,2.241966e-06,2.236274e-06,2.235102e-06,2.230309e-06,2.227106e-06,2.224090e-06,2.218683e-06,2.217635e-06,2.210962e-06,2.209875e-06,2.204087e-06,2.200719e-06,2.197025e-06,2.191252e-06,2.189792e-06,2.182403e-06,2.181506e-06,2.174870e-06,2.171514e-06,2.167207e-06,2.161304e-06,2.159427e-06,2.151541e-06,2.150906e-06,2.143560e-06,2.140344e-06,2.135496e-06,2.129644e-06,2.127359e-06,2.119158e-06,2.118828e-06,2.110902e-06,2.107918e-06,2.102600e-06,2.096934e-06,2.094261e-06,2.085893e-06,2.074814e-06,2.063712e-06,2.052603e-06,2.041501e-06,2.030418e-06,2.019366e-06,2.008356e-06,1.997399e-06,1.986504e-06,1.975679e-06,1.964933e-06,1.954272e-06,1.943704e-06,1.933234e-06,1.922867e-06,1.912609e-06,1.902464e-06,1.892436e-06,1.882528e-06,1.872744e-06,1.863086e-06,1.853556e-06,1.844157e-06,1.834891e-06
0.000000e+00,1.599852e-11,3.757978e-11,1.324958e-10,3.041863e-10,4.447227e-10,1.008207e-09,1.038350e-09,1.990627e-09,2.331209e-09,3.371318e-09,4.431729e-09,5.243020e-09,7.445452e-09,7.659956e-09,1.066352e-08,1.147446e-08,1.427338e-08,1.655687e-08,1.847819e-08,2.263762e-08,2.323578e-08,2.848439e-08,2.958699e-08,3.415497e-08,3.724717e-08,4.017753e-08,4.545803e-08,4.648316e-08,5.300472e-08,5.406383e-08,5.967738e-08,6.291568e-08,6.643950e-08,7.187474e-08,7.323348e-08,8.000662e-08,8.081570e-08,8.671170e-08,8.962950e-08,9.330736e-08,9.822490e-08,9.975823e-08,1.060348e-07,1.065287e-07,1.121133e-07,1.144848e-07,1.179748e-07,1.220529e-07,1.236055e-07,1.289956e-07,1.292061e-07,1.341388e-07,1.359293e-07,1.390322e-07,1.422167e-07,1.436753e-07,1.480699e-07,1.522195e-07,1.534964e-07,1.561290e-07,1.585078e-07,1.598044e-07,1.631190e-07,1.632527e-07,1.664813e-07,1.673470e-07,1.694982e-07,1.712102e-07,1.723117e-07,1.747276e-07,1.749300e-07,1.773617e-07,1.779185e-07,1.796152e-07,1.808024e-07,1.816987e-07,1.833981e-07,1.836205e-07,1.853884e-07,1.857242e-07,1.870104e-07,1.877986e-07,1.884938e-07,1.896382e-07,1.898460e-07,1.910740e-07,1.912594e-07,1.921844e-07,1.926775e-07,1.931837e-07,1.939073e-07,1.940781e-07,1.948735e-07,1.949625e-07,1.955755e-07,1.958563e-07,1.961896e-07,1.966007e-07,1.967209e-07,1.971743e-07,1.972073e-07,1.975544e-07,1.976869e-07,1.978657e-07,1.980496e-07,1.981124e-07,1.982986e-07,1.983048e-07,1.984279e-07,1.984613e-07,1.985042e-07,1.985274e-07,1.985307e-07,1.985107e-07,1.984474e-07,1.984185e-07,1.983436e-07,1.982573e-07,1.982022e-07,1.980333e-07,1.980256e-07,1.978165e-07,1.977525e-07,1.975772e-07,1.974200e-07,1.973099e-07,1.970410e-07,1.970166e-07,1.966995e-07,1.966200e-07,1.963603e-07,1.961614e-07,1.960008e-07,1.956690e-07,1.956227e-07,1.952276e-07,1.951467e-07,1.948170e-07,1.945979e-07,1.943923e-07,1.940256e-07,1.939548e-07,1.935057e-07,1.934329e-07,1.930463e-07,1.928224e-07,1.925776e-07,1.921966e-07,1.921006e-07,1.916165e-07,1.915579e-07,1.911260e-07,1.909084e-07,1.906301e-07,1.902500e-07,1.901295e-07,1.896251e-07,1.895846e-07,1.891175e-07,1.889137e-07,1.886074e-07,1.882389e-07,1.880954e-07,1.875822e-07,1.875617e-07,1.870683e-07,1.868833e-07,1.865542e-07,1.862048e-07,1.860404e-07,1.855273e-07,1.848519e-07,1.841794e-07,1.835105e-07,1.828461e-07,1.821868e-07,1.815332e-07,1.808859e-07,1.802452e-07,1.796117e-07,1.789856e-07,1.783675e-07,1.777575e-07,1.771559e-07,1.765629e-07,1.759788e-07,1.754036e-07,1.748375e-07,1.742807e-07,1.737332e-07,1.731950e-07,1.726663e-07,1.721469e-07,1.716371e-07,1.711366e-07
0.000000e+00,3.224418e-11,1.662461e-10,1.905100e-09,9.579279e-09,2.005030e-08,9.840655e-08,1.041999e-07,3.681189e-07,4.997422e-07,1.019446e-06,1.727516e-06,2.387946e-06,4.687728e-06,4.950771e-06,9.353034e-06,1.077112e-05,1.641974e-05,2.190763e-05,2.715283e-05,4.054668e-05,4.270949e-05,6.436438e-05,6.954484e-05,9.346252e-05,1.119889e-04,1.313692e-04,1.709981e-04,1.794215e-04,2.388837e-04,2.495354e-04,3.109080e-04,3.502438e-04,3.965014e-04,4.753132e-04,4.964987e-04,6.115424e-04,6.263817e-04,7.420688e-04,8.044704e-04,8.883005e-04,1.009953e-03,1.050245e-03,1.227700e-03,1.242556e-03,1.420260e-03,1.501386e-03,1.627331e-03,1.784984e-03,1.848148e-03,2.081794e-03,2.091393e-03,2.327220e-03,2.418237e-03,2.583269e-03,2.762819e-03,2.848699e-03,3.122204e-03,3.402438e-03,3.493311e-03,3.688035e-03,3.872999e-03,3.977627e-03,4.258141e-03,4.269864e-03,4.563428e-03,4.645688e-03,4.857044e-03,5.032731e-03,5.149499e-03,5.416541e-03,5.439641e-03,5.726397e-03,5.794601e-03,6.008769e-03,6.164639e-03,6.285846e-03,6.524634e-03,6.556800e-03,6.820892e-03,6.872828e-03,7.077468e-03,7.207725e-03,7.325958e-03,7.528084e-03,7.565878e-03,7.796819e-03,7.832914e-03,8.018454e-03,8.121454e-03,8.230523e-03,8.393161e-03,8.432836e-03,8.625266e-03,8.647689e-03,8.807743e-03,8.884874e-03,8.980252e-03,9.104711e-03,9.142826e-03,9.295541e-03,9.307336e-03,9.438514e-03,9.493008e-03,9.571895e-03,9.662091e-03,9.695865e-03,9.810633e-03,9.815036e-03,9.916429e-03,9.952367e-03,1.001350e-02,1.007466e-02,1.010212e-02,1.018255e-02,1.025510e-02,1.027669e-02,1.032005e-02,1.035777e-02,1.037770e-02,1.042646e-02,1.042836e-02,1.047233e-02,1.048348e-02,1.050991e-02,1.052953e-02,1.054142e-02,1.056528e-02,1.056713e-02,1.058736e-02,1.059142e-02,1.060237e-02,1.060862e-02,1.061247e-02,1.061750e-02,1.061792e-02,1.061898e-02,1.061869e-02,1.061593e-02,1.061279e-02,1.060900e-02,1.060037e-02,1.059845e-02,1.058450e-02,1.058196e-02,1.056738e-02,1.055810e-02,1.054730e-02,1.052925e-02,1.052448e-02,1.049911e-02,1.049590e-02,1.047137e-02,1.045847e-02,1.044146e-02,1.041737e-02,1.040953e-02,1.037576e-02,1.037298e-02,1.034030e-02,1.032568e-02,1.030330e-02,1.027578e-02,1.026489e-02,1.022521e-02,1.022360e-02,1.018439e-02,1.016944e-02,1.014254e-02,1.011356e-02,1.009978e-02,1.005620e-02,9.997612e-03,9.937992e-03,9.877542e-03,9.816439e-03,9.754849e-03,9.692923e-03,9.630799e-03,9.568603e-03,9.506449e-03,9.444441e-03,9.382673e-03,9.321230e-03,9.260189e-03,9.199619e-03,9.139579e-03,9.080126e-03,9.021308e-03,8.963167e-03,8.905741e-03,8.849062e-03,8.793159e-03,8.738055e-03,8.683771e-03,8.630324e-03
0.000000e+00,1.892688e-11,8.754438e-11,8.042159e-10,3.322505e-09,6.256753e-09,2.354580e-08,2.466994e-08,6.775810e-08,8.608110e-08,1.492376e-07,2.226825e-07,2.839204e-07,4.681797e-07,4.873633e-07,7.757561e-07,8.594494e-07,1.165633e-06,1.434320e-06,1.672978e-06,2.227491e-06,2.311356e-06,3.089098e-06,3.261555e-06,4.006421e-06,4.535871e-06,5.054034e-06,6.021963e-06,6.214256e-06,7.464121e-06,7.670769e-06,8.779021e-06,9.426291e-06,1.013549e-05,1.123656e-05,1.151280e-05,1.289343e-05,1.305862e-05,1.426303e-05,1.485908e-05,1.560997e-05,1.661267e-05,1.692491e-05,1.820041e-05,1.830056e-05,1.943063e-05,1.990898e-05,2.061106e-05,2.142821e-05,2.173835e-05,2.281014e-05,2.285184e-05,2.382494e-05,2.417614e-05,2.478196e-05,2.539963e-05,2.568106e-05,2.652264e-05,2.730751e-05,2.754688e-05,2.803686e-05,2.847518e-05,2.871216e-05,2.931117e-05,2.933510e-05,2.990753e-05,3.005902e-05,3.043142e-05,3.072331e-05,3.090883e-05,3.130880e-05,3.134186e-05,3.173262e-05,3.182034e-05,3.208320e-05,3.226277e-05,3.239571e-05,3.264083e-05,3.267217e-05,3.291459e-05,3.295915e-05,3.312489e-05,3.322219e-05,3.330496e-05,3.343418e-05,3.345661e-05,3.358155e-05,3.359918e-05,3.368147e-05,3.372101e-05,3.375796e-05,3.380329e-05,3.381252e-05,3.384662e-05,3.384941e-05,3.386164e-05,3.386254e-05,3.385888e-05,3.384566e-05,3.383959e-05,3.380495e-05,3.380155e-05,3.375608e-05,3.373279e-05,3.369405e-05,3.364180e-05,3.361985e-05,3.353443e-05,3.353079e-05,3.343868e-05,3.340185e-05,3.333346e-05,3.325690e-05,3.321955e-05,3.309771e-05,3.296865e-05,3.292593e-05,3.283302e-05,3.274307e-05,3.269146e-05,3.255052e-05,3.254455e-05,3.239284e-05,3.234957e-05,3.223685e-05,3.214141e-05,3.207707e-05,3.192712e-05,3.191395e-05,3.174793e-05,3.170769e-05,3.157938e-05,3.148404e-05,3.140870e-05,3.125701e-05,3.123623e-05,3.106229e-05,3.102735e-05,3.088719e-05,3.079577e-05,3.071120e-05,3.056289e-05,3.053460e-05,3.035763e-05,3.032929e-05,3.018051e-05,3.009550e-05,3.000345e-05,2.986198e-05,2.982665e-05,2.965030e-05,2.962917e-05,2.947454e-05,2.939744e-05,2.929955e-05,2.916714e-05,2.912545e-05,2.895239e-05,2.893859e-05,2.878047e-05,2.871205e-05,2.860981e-05,2.848777e-05,2.844051e-05,2.827265e-05,2.826597e-05,2.810633e-05,2.804684e-05,2.794161e-05,2.783055e-05,2.777856e-05,2.761723e-05,2.740703e-05,2.720003e-05,2.699634e-05,2.679602e-05,2.659914e-05,2.640575e-05,2.621587e-05,2.602954e-05,2.584676e-05,2.566756e-05,2.549191e-05,2.531983e-05,2.515128e-05,2.498626e-05,2.482473e-05,2.466666e-05,2.451203e-05,2.436078e-05,2.421289e-05,2.406831e-05,2.392698e-05,2.378887e-05,2.365392e-05,2.352207e-05
0.000000e+00,2.305170e-11,1.185707e-10,1.351957e-09,6.765781e-09,1.412344e-08,6.881770e-08,7.284690e-08,2.553726e-07,3.459181e-07,7.015876e-07,1.183032e-06,1.629829e-06,3.174322e-06,3.350108e-06,6.273728e-06,7.209731e-06,1.091872e-05,1.450039e-05,1.790959e-05,2.657372e-05,2.796874e-05,4.189687e-05,4.522099e-05,6.054210e-05,7.238709e-05,8.476134e-05,1.100183e-04,1.153793e-04,1.531506e-04,1.599030e-04,1.987271e-04,2.235358e-04,2.526340e-04,3.020184e-04,3.152521e-04,3.868093e-04,3.960019e-04,4.673773e-04,5.056661e-04,5.568742e-04,6.307285e-04,6.550724e-04,7.616097e-04,7.704793e-04,8.760035e-04,9.238323e-04,9.976663e-04,1.089389e-03,1.125924e-03,1.260032e-03,1.265507e-03,1.399194e-03,1.450371e-03,1.542581e-03,1.642064e-03,1.689343e-03,1.838626e-03,1.989589e-03,2.038117e-03,2.141410e-03,2.238659e-03,2.293298e-03,2.438478e-03,2.444504e-03,2.594326e-03,2.635937e-03,2.742111e-03,2.829555e-03,2.887265e-03,3.018019e-03,3.029249e-03,3.167587e-03,3.200197e-03,3.301857e-03,3.375135e-03,3.431700e-03,3.542056e-03,3.556810e-03,3.676939e-03,3.700348e-03,3.791887e-03,3.849562e-03,3.901506e-03,3.989391e-03,4.005692e-03,4.104382e-03,4.119660e-03,4.197552e-03,4.240314e-03,4.285211e-03,4.351398e-03,4.367402e-03,4.444192e-03,4.453048e-03,4.515674e-03,4.545473e-03,4.581960e-03,4.628944e-03,4.643183e-03,4.699486e-03,4.703783e-03,4.751029e-03,4.770350e-03,4.797978e-03,4.829035e-03,4.840508e-03,4.878801e-03,4.880247e-03,4.913039e-03,4.924408e-03,4.943409e-03,4.961947e-03,4.970099e-03,4.993293e-03,5.013177e-03,5.018871e-03,5.029932e-03,5.039096e-03,5.043736e-03,5.054374e-03,5.054764e-03,5.063183e-03,5.065096e-03,5.069159e-03,5.071638e-03,5.072850e-03,5.074358e-03,5.074408e-03,5.073981e-03,5.073598e-03,5.071709e-03,5.069681e-03,5.067727e-03,5.062910e-03,5.062163e-03,5.055140e-03,5.053571e-03,5.046774e-03,5.041930e-03,5.037175e-03,5.028236e-03,5.026448e-03,5.014692e-03,5.012721e-03,5.001999e-03,4.995599e-03,4.988457e-03,4.977068e-03,4.974149e-03,4.959154e-03,4.957312e-03,4.943543e-03,4.936497e-03,4.927386e-03,4.914780e-03,4.910745e-03,4.893683e-03,4.892301e-03,4.876253e-03,4.869190e-03,4.858508e-03,4.845564e-03,4.840497e-03,4.822266e-03,4.821532e-03,4.803855e-03,4.797191e-03,4.785304e-03,4.772628e-03,4.766649e-03,4.747924e-03,4.723151e-03,4.698374e-03,4.673650e-03,4.649033e-03,4.624567e-03,4.600296e-03,4.576254e-03,4.552474e-03,4.528984e-03,4.505809e-03,4.482970e-03,4.460484e-03,4.438369e-03,4.416636e-03,4.395297e-03,4.374360e-03,4.353832e-03,4.333719e-03,4.314023e-03,4.294748e-03,4.275895e-03,4.257463e-03,4.239452e-03,4.221860e-03
0.000000e+00,6.815307e-11,1.582387e-10,5.526098e-10,1.267558e-09,1.855910e-09,4.246114e-09,4.375378e-09,8.530134e-09,1.004835e-08,1.478359e-08,1.975350e-08,2.364338e-08,3.452082e-08,3.560064e-08,5.095965e-08,5.515143e-08,6.962947e-08,8.136371e-08,9.114019e-08,1.119501e-07,1.149024e-07,1.404008e-07,1.456713e-07,1.672265e-07,1.815878e-07,1.950466e-07,2.189734e-07,2.235746e-07,2.525551e-07,2.572182e-07,2.817572e-07,2.957910e-07,3.109731e-07,3.342311e-07,3.400185e-07,3.687324e-07,3.721491e-07,3.969777e-07,4.092267e-07,4.246394e-07,4.452136e-07,4.516239e-07,4.778568e-07,4.799211e-07,5.032807e-07,5.132138e-07,5.278532e-07,5.450011e-07,5.515447e-07,5.743367e-07,5.752295e-07,5.962195e-07,6.038741e-07,6.171911e-07,6.309332e-07,6.372556e-07,6.564222e-07,6.747038e-07,6.803696e-07,6.921166e-07,7.028135e-07,7.086794e-07,7.237987e-07,7.244124e-07,7.393376e-07,7.433750e-07,7.534779e-07,7.615950e-07,7.668567e-07,7.785132e-07,7.794980e-07,7.914261e-07,7.941854e-07,8.026653e-07,8.086673e-07,8.132397e-07,8.220143e-07,8.231733e-07,8.324900e-07,8.342813e-07,8.412129e-07,8.455219e-07,8.493651e-07,8.557884e-07,8.569691e-07,8.640469e-07,8.651319e-07,8.706199e-07,8.736019e-07,8.767092e-07,8.812460e-07,8.823350e-07,8.875173e-07,8.881103e-07,8.922754e-07,8.942393e-07,8.966278e-07,8.996756e-07,9.005928e-07,9.041878e-07,9.044599e-07,9.074299e-07,9.086316e-07,9.103354e-07,9.122279e-07,9.129202e-07,9.151996e-07,9.152847e-07,9.171885e-07,9.178361e-07,9.189011e-07,9.199148e-07,9.203511e-07,9.215518e-07,9.225160e-07,9.227767e-07,9.232560e-07,9.236173e-07,9.237835e-07,9.241006e-07,9.241099e-07,9.242462e-07,9.242518e-07,9.242029e-07,9.240948e-07,9.239899e-07,9.236525e-07,9.236170e-07,9.230936e-07,9.229465e-07,9.224283e-07,9.219971e-07,9.216299e-07,9.208236e-07,9.207064e-07,9.196657e-07,9.194442e-07,9.185154e-07,9.178762e-07,9.172624e-07,9.161357e-07,9.159138e-07,9.144761e-07,9.142382e-07,9.129555e-07,9.121979e-07,9.113580e-07,9.100285e-07,9.096894e-07,9.079550e-07,9.077427e-07,9.061602e-07,9.053526e-07,9.043098e-07,9.028694e-07,9.024087e-07,9.004612e-07,9.003036e-07,8.984718e-07,8.976652e-07,8.964444e-07,8.949634e-07,8.943830e-07,8.922912e-07,8.922069e-07,8.901726e-07,8.894039e-07,8.880304e-07,8.865620e-07,8.858680e-07,8.836881e-07,8.807890e-07,8.778707e-07,8.749390e-07,8.719991e-07,8.690560e-07,8.661142e-07,8.631779e-07,8.602510e-07,8.573370e-07,8.544393e-07,8.515609e-07,8.487045e-07,8.458726e-07,8.430675e-07,8.402913e-07,8.375458e-07,8.348328e-07,8.321538e-07,8.295101e-07,8.269028e-07,8.243331e-07,8.218019e-07,8.193099e-07,8.168578e-07
0.000000e+00,1.218464e-11,5.575043e-11,5.013179e-10,2.033869e-09,3.794059e-09,1.395628e-08,1.460972e-08,3.931444e-08,4.968472e-08,8.505577e-08,1.256860e-07,1.592698e-07,2.591836e-07,2.695070e-07,4.233237e-07,4.675400e-07,6.278903e-07,7.668756e-07,8.890101e-07,1.168074e-06,1.209718e-06,1.589310e-06,1.671971e-06,2.023540e-06,2.268788e-06,2.505779e-06,2.942344e-06,3.028339e-06,3.583443e-06,3.674779e-06,4.163709e-06,4.449147e-06,4.762308e-06,5.250159e-06,5.372974e-06,5.989966e-06,6.064176e-06,6.608039e-06,6.879091e-06,7.222441e-06,7.684296e-06,7.828919e-06,8.423734e-06,8.470715e-06,9.003667e-06,9.230851e-06,9.566019e-06,9.958778e-06,1.010860e-05,1.062970e-05,1.065008e-05,1.112806e-05,1.130173e-05,1.160282e-05,1.191190e-05,1.205346e-05,1.247977e-05,1.288183e-05,1.300541e-05,1.325991e-05,1.348949e-05,1.361446e-05,1.393327e-05,1.394610e-05,1.425554e-05,1.433831e-05,1.454358e-05,1.470649e-05,1.481108e-05,1.503980e-05,1.505892e-05,1.528805e-05,1.534035e-05,1.549937e-05,1.561028e-05,1.569381e-05,1.585167e-05,1.587227e-05,1.603564e-05,1.606657e-05,1.618476e-05,1.625695e-05,1.632047e-05,1.642468e-05,1.644356e-05,1.655479e-05,1.657153e-05,1.665488e-05,1.669916e-05,1.674451e-05,1.680913e-05,1.682435e-05,1.689500e-05,1.690289e-05,1.695707e-05,1.698180e-05,1.701109e-05,1.704709e-05,1.705759e-05,1.709707e-05,1.709994e-05,1.712999e-05,1.714142e-05,1.715678e-05,1.717250e-05,1.717785e-05,1.719359e-05,1.719412e-05,1.720437e-05,1.720710e-05,1.721051e-05,1.721222e-05,1.721235e-05,1.721019e-05,1.720429e-05,1.720166e-05,1.719494e-05,1.718725e-05,1.718237e-05,1.716750e-05,1.716682e-05,1.714852e-05,1.714292e-05,1.712765e-05,1.711399e-05,1.710442e-05,1.708112e-05,1.707901e-05,1.705159e-05,1.704473e-05,1.702231e-05,1.700516e-05,1.699133e-05,1.696277e-05,1.695878e-05,1.692480e-05,1.691784e-05,1.688950e-05,1.687067e-05,1.685301e-05,1.682152e-05,1.681543e-05,1.677687e-05,1.677061e-05,1.673741e-05,1.671818e-05,1.669715e-05,1.666443e-05,1.665618e-05,1.661456e-05,1.660953e-05,1.657238e-05,1.655366e-05,1.652970e-05,1.649697e-05,1.648659e-05,1.644311e-05,1.643961e-05,1.639931e-05,1.638171e-05,1.635525e-05,1.632339e-05,1.631098e-05,1.626654e-05,1.626476e-05,1.622198e-05,1.620592e-05,1.617734e-05,1.614696e-05,1.613266e-05,1.608797e-05,1.602902e-05,1.597019e-05,1.591154e-05,1.585313e-05,1.579501e-05,1.573724e-05,1.567985e-05,1.562289e-05,1.556639e-05,1.551039e-05,1.545491e-05,1.539999e-05,1.534564e-05,1.529188e-05,1.523874e-05,1.518624e-05,1.513438e-05,1.508317e-05,1.503264e-05,1.498278e-05,1.493361e-05,1.488513e-05,1.483734e-05,1.479026e-05
0.000000e+00,8.773578e-12,4.402094e-11,4.764470e-10,2.272264e-09,4.618456e-09,2.099141e-08,2.215726e-08,7.244429e-08,9.628411e-08,1.861833e-07,3.020957e-07,4.059204e-07,7.479799e-07,7.857130e-07,1.390104e-06,1.576535e-06,2.291760e-06,2.954866e-06,3.566439e-06,5.053151e-06,5.284829e-06,7.503273e-06,8.010456e-06,1.025647e-05,1.190367e-05,1.355401e-05,1.673406e-05,1.738055e-05,2.169871e-05,2.243176e-05,2.645334e-05,2.887097e-05,3.157632e-05,3.588867e-05,3.699113e-05,4.261704e-05,4.330246e-05,4.837260e-05,5.092556e-05,5.417856e-05,5.857859e-05,5.996016e-05,6.564882e-05,6.609801e-05,7.118337e-05,7.334190e-05,7.651087e-05,8.019318e-05,8.158690e-05,8.637572e-05,8.656088e-05,9.084996e-05,9.237972e-05,9.499028e-05,9.760855e-05,9.878466e-05,1.022278e-04,1.053201e-04,1.062363e-04,1.080671e-04,1.096483e-04,1.104785e-04,1.124897e-04,1.125673e-04,1.143491e-04,1.147953e-04,1.158414e-04,1.166056e-04,1.170630e-04,1.179646e-04,1.180334e-04,1.187725e-04,1.189176e-04,1.192998e-04,1.195098e-04,1.196345e-04,1.197846e-04,1.197953e-04,1.197998e-04,1.197834e-04,1.196646e-04,1.195444e-04,1.194055e-04,1.191027e-04,1.190369e-04,1.185722e-04,1.184898e-04,1.180237e-04,1.177339e-04,1.174024e-04,1.168600e-04,1.167187e-04,1.159816e-04,1.158899e-04,1.151993e-04,1.148427e-04,1.143792e-04,1.137347e-04,1.135278e-04,1.126511e-04,1.125800e-04,1.117541e-04,1.113907e-04,1.108415e-04,1.101771e-04,1.099173e-04,1.089851e-04,1.089477e-04,1.080480e-04,1.077100e-04,1.071087e-04,1.064700e-04,1.061696e-04,1.052328e-04,1.043002e-04,1.040029e-04,1.033732e-04,1.027835e-04,1.024532e-04,1.015778e-04,1.015415e-04,1.006389e-04,1.003880e-04,9.974643e-05,9.921606e-05,9.886471e-05,9.806356e-05,9.799436e-05,9.713591e-05,9.693170e-05,9.628977e-05,9.582143e-05,9.545627e-05,9.473348e-05,9.463570e-05,9.382826e-05,9.366836e-05,9.303411e-05,9.262644e-05,9.225336e-05,9.160793e-05,9.148607e-05,9.073229e-05,9.061294e-05,8.999201e-05,8.964147e-05,8.926521e-05,8.869344e-05,8.855183e-05,8.785180e-05,8.776869e-05,8.716504e-05,8.686703e-05,8.649141e-05,8.598817e-05,8.583081e-05,8.518308e-05,8.513182e-05,8.454809e-05,8.429762e-05,8.392567e-05,8.348521e-05,8.331565e-05,8.271786e-05,8.269420e-05,8.213213e-05,8.192418e-05,8.155826e-05,8.117472e-05,8.099608e-05,8.044539e-05,7.973574e-05,7.904533e-05,7.837369e-05,7.772039e-05,7.708495e-05,7.646694e-05,7.586589e-05,7.528137e-05,7.471294e-05,7.416017e-05,7.362261e-05,7.309987e-05,7.259151e-05,7.209714e-05,7.161635e-05,7.114877e-05,7.069401e-05,7.025170e-05,6.982148e-05,6.940299e-05,6.899589e-05,6.859985e-05,6.821453e-05,6.783963e-05
0.000000e+00,3.535145e-13,8.073218e-13,2.759007e-12,6.234062e-12,9.055442e-12,2.026544e-11,2.086192e-11,3.959842e-11,4.625941e-11,6.650375e-11,8.702055e-11,1.026499e-10,1.448545e-10,1.489512e-10,2.061658e-10,2.215907e-10,2.748844e-10,3.185471e-10,3.554975e-10,4.363879e-10,4.481363e-10,5.525967e-10,5.748622e-10,6.682868e-10,7.325776e-10,7.942484e-10,9.071045e-10,9.292592e-10,1.071961e-09,1.095414e-09,1.220962e-09,1.294315e-09,1.374890e-09,1.500690e-09,1.532424e-09,1.692301e-09,1.711586e-09,1.853327e-09,1.924253e-09,2.014387e-09,2.136176e-09,2.174448e-09,2.332568e-09,2.345108e-09,2.487904e-09,2.549088e-09,2.639711e-09,2.746464e-09,2.787349e-09,2.930277e-09,2.935890e-09,3.068053e-09,3.116321e-09,3.200328e-09,3.286996e-09,3.326840e-09,3.447408e-09,3.561922e-09,3.597279e-09,3.670336e-09,3.736521e-09,3.772658e-09,3.865210e-09,3.868947e-09,3.959299e-09,3.983551e-09,4.043847e-09,4.091854e-09,4.122748e-09,4.190504e-09,4.196182e-09,4.264343e-09,4.279940e-09,4.327440e-09,4.360642e-09,4.385688e-09,4.433108e-09,4.439304e-09,4.488511e-09,4.497843e-09,4.533529e-09,4.555355e-09,4.574575e-09,4.606140e-09,4.611862e-09,4.645600e-09,4.650682e-09,4.675989e-09,4.689443e-09,4.703224e-09,4.722867e-09,4.727492e-09,4.748972e-09,4.751371e-09,4.767836e-09,4.775350e-09,4.784247e-09,4.795175e-09,4.798360e-09,4.810323e-09,4.811191e-09,4.820273e-09,4.823720e-09,4.828344e-09,4.833061e-09,4.834660e-09,4.839338e-09,4.839492e-09,4.842489e-09,4.843270e-09,4.844218e-09,4.844631e-09,4.844623e-09,4.843795e-09,4.841823e-09,4.840964e-09,4.838787e-09,4.836322e-09,4.834765e-09,4.830041e-09,4.829827e-09,4.824042e-09,4.822279e-09,4.817473e-09,4.813179e-09,4.810178e-09,4.802876e-09,4.802215e-09,4.793635e-09,4.791490e-09,4.784488e-09,4.779134e-09,4.774818e-09,4.765911e-09,4.764670e-09,4.754083e-09,4.751916e-09,4.743095e-09,4.737235e-09,4.731742e-09,4.721948e-09,4.720057e-09,4.708072e-09,4.706128e-09,4.695814e-09,4.689842e-09,4.683312e-09,4.673152e-09,4.670592e-09,4.657676e-09,4.656114e-09,4.644588e-09,4.638780e-09,4.631349e-09,4.621198e-09,4.617978e-09,4.604494e-09,4.603411e-09,4.590914e-09,4.585459e-09,4.577254e-09,4.567378e-09,4.563529e-09,4.549754e-09,4.549202e-09,4.535941e-09,4.530962e-09,4.522103e-09,4.512685e-09,4.508252e-09,4.494398e-09,4.476123e-09,4.457883e-09,4.439696e-09,4.421580e-09,4.403552e-09,4.385626e-09,4.367815e-09,4.350133e-09,4.332588e-09,4.315193e-09,4.297954e-09,4.280881e-09,4.263980e-09,4.247258e-09,4.230720e-09,4.214371e-09,4.198215e-09,4.182257e-09,4.166499e-09,4.150944e-09,4.135595e-09,4.120453e-09,4.105520e-09,4.090796e-09
0.000000e+00,3.283473e-11,1.531495e-10,1.430595e-09,5.997733e-09,1.138478e-08,4.374143e-08,4.586928e-08,1.287884e-07,1.646708e-07,2.904873e-07,4.402365e-07,5.674782e-07,9.610223e-07,1.002782e-06,1.643668e-06,1.833093e-06,2.532809e-06,3.149567e-06,3.695443e-06,4.946145e-06,5.132601e-06,6.824981e-06,7.191508e-06,8.742299e-06,9.817192e-06,1.085153e-05,1.274875e-05,1.312158e-05,1.552474e-05,1.591991e-05,1.803642e-05,1.927396e-05,2.063431e-05,2.276064e-05,2.329755e-05,2.600618e-05,2.633334e-05,2.874093e-05,2.994769e-05,3.148324e-05,3.356148e-05,3.421535e-05,3.692064e-05,3.713544e-05,3.958378e-05,4.063408e-05,4.219093e-05,4.402650e-05,4.472990e-05,4.719020e-05,4.728685e-05,4.956314e-05,5.039461e-05,5.184171e-05,5.333444e-05,5.402055e-05,5.609584e-05,5.806515e-05,5.867272e-05,5.992730e-05,6.106277e-05,6.168222e-05,6.326684e-05,6.333075e-05,6.487455e-05,6.528834e-05,6.631591e-05,6.713271e-05,6.765764e-05,6.880683e-05,6.890299e-05,7.005548e-05,7.031867e-05,7.111885e-05,7.167687e-05,7.209702e-05,7.289047e-05,7.299394e-05,7.381362e-05,7.396863e-05,7.456001e-05,7.492048e-05,7.523703e-05,7.575490e-05,7.584849e-05,7.639810e-05,7.648054e-05,7.688945e-05,7.710563e-05,7.732601e-05,7.763804e-05,7.771109e-05,7.804784e-05,7.808515e-05,7.833928e-05,7.845390e-05,7.858828e-05,7.875081e-05,7.879755e-05,7.896969e-05,7.898193e-05,7.910713e-05,7.915291e-05,7.921217e-05,7.926897e-05,7.928699e-05,7.933364e-05,7.933495e-05,7.935404e-05,7.935531e-05,7.935001e-05,7.933419e-05,7.932326e-05,7.927539e-05,7.920791e-05,7.918241e-05,7.912224e-05,7.905848e-05,7.901971e-05,7.890657e-05,7.890156e-05,7.876897e-05,7.872941e-05,7.862304e-05,7.852951e-05,7.846479e-05,7.830917e-05,7.829521e-05,7.811518e-05,7.807052e-05,7.792557e-05,7.781550e-05,7.772718e-05,7.754591e-05,7.752074e-05,7.730696e-05,7.726338e-05,7.708649e-05,7.696942e-05,7.685996e-05,7.666541e-05,7.662794e-05,7.639098e-05,7.635263e-05,7.614956e-05,7.603225e-05,7.590419e-05,7.570533e-05,7.565529e-05,7.540328e-05,7.537285e-05,7.514856e-05,7.503571e-05,7.489148e-05,7.469475e-05,7.463240e-05,7.437163e-05,7.435070e-05,7.410946e-05,7.400427e-05,7.384618e-05,7.365609e-05,7.358206e-05,7.331733e-05,7.330673e-05,7.305222e-05,7.295673e-05,7.278695e-05,7.260657e-05,7.252171e-05,7.225670e-05,7.190752e-05,7.155940e-05,7.121266e-05,7.086763e-05,7.052456e-05,7.018372e-05,6.984533e-05,6.950960e-05,6.917671e-05,6.884682e-05,6.852009e-05,6.819665e-05,6.787661e-05,6.756007e-05,6.724714e-05,6.693789e-05,6.663239e-05,6.633070e-05,6.603287e-05,6.573894e-05,6.544895e-05,6.516291e-05,6.488086e-05,6.460280e-05
0.000000e+00,1.425725e-11,3.326559e-11,1.166453e-10,2.675371e-10,3.912469e-10,8.890241e-10,9.157250e-10,1.762632e-09,2.066985e-09,3.000745e-09,3.958954e-09,4.696068e-09,6.713928e-09,6.911742e-09,9.705328e-09,1.046717e-08,1.312150e-08,1.531548e-08,1.718091e-08,2.127727e-08,2.187257e-08,2.715775e-08,2.828136e-08,3.298205e-08,3.620398e-08,3.928581e-08,4.490760e-08,4.600906e-08,5.309274e-08,5.425568e-08,6.047877e-08,6.411466e-08,6.811007e-08,7.435411e-08,7.593077e-08,8.388673e-08,8.484804e-08,9.192611e-08,9.547715e-08,1.000000e-07,1.061313e-07,1.080632e-07,1.160741e-07,1.167115e-07,1.239954e-07,1.271313e-07,1.317942e-07,1.373171e-07,1.394417e-07,1.469136e-07,1.472085e-07,1.541893e-07,1.567572e-07,1.612521e-07,1.659263e-07,1.680888e-07,1.746893e-07,1.810462e-07,1.830281e-07,1.871547e-07,1.909325e-07,1.930121e-07,1.983982e-07,1.986176e-07,2.039718e-07,2.054263e-07,2.090771e-07,2.120220e-07,2.139365e-07,2.181936e-07,2.185542e-07,2.229352e-07,2.239520e-07,2.270849e-07,2.293100e-07,2.310094e-07,2.342816e-07,2.347149e-07,2.382082e-07,2.388819e-07,2.414958e-07,2.431264e-07,2.445848e-07,2.470310e-07,2.474820e-07,2.501944e-07,2.506117e-07,2.527289e-07,2.538842e-07,2.550923e-07,2.568644e-07,2.572914e-07,2.593327e-07,2.595674e-07,2.612229e-07,2.620083e-07,2.629682e-07,2.642015e-07,2.645747e-07,2.660486e-07,2.661609e-07,2.673956e-07,2.679002e-07,2.686215e-07,2.694322e-07,2.697317e-07,2.707316e-07,2.707694e-07,2.716263e-07,2.719236e-07,2.724208e-07,2.729063e-07,2.731199e-07,2.737281e-07,2.742501e-07,2.743996e-07,2.746900e-07,2.749304e-07,2.750520e-07,2.753299e-07,2.753401e-07,2.755581e-07,2.756071e-07,2.757096e-07,2.757702e-07,2.757983e-07,2.758273e-07,2.758275e-07,2.758004e-07,2.757859e-07,2.757201e-07,2.756531e-07,2.755898e-07,2.754358e-07,2.754121e-07,2.751899e-07,2.751403e-07,2.749257e-07,2.747727e-07,2.746222e-07,2.743386e-07,2.742817e-07,2.739065e-07,2.738434e-07,2.734988e-07,2.732922e-07,2.730607e-07,2.726898e-07,2.725943e-07,2.721014e-07,2.720406e-07,2.715839e-07,2.713489e-07,2.710435e-07,2.706186e-07,2.704820e-07,2.699008e-07,2.698535e-07,2.693015e-07,2.690571e-07,2.686856e-07,2.682327e-07,2.680545e-07,2.674094e-07,2.673833e-07,2.667516e-07,2.665119e-07,2.660823e-07,2.656212e-07,2.654026e-07,2.647136e-07,2.637917e-07,2.628575e-07,2.619131e-07,2.609605e-07,2.600015e-07,2.590377e-07,2.580707e-07,2.571019e-07,2.561327e-07,2.551643e-07,2.541978e-07,2.532344e-07,2.522749e-07,2.513203e-07,2.503714e-07,2.494290e-07,2.484937e-07,2.475662e-07,2.466471e-07,2.457369e-07,2.448360e-07,2.439449e-07,2.430640e-07,2.421936e-07
0.000000e+00,7.468513e-12,3.690601e-11,3.872060e-10,1.796294e-09,3.597186e-09,1.575326e-08,1.660376e-08,5.243432e-08,6.906361e-08,1.306699e-07,2.085273e-07,2.773165e-07,5.000763e-07,5.243836e-07,9.088705e-07,1.025980e-06,1.470198e-06,1.875959e-06,2.245778e-06,3.130087e-06,3.266263e-06,4.552421e-06,4.842597e-06,6.114255e-06,7.035726e-06,7.951815e-06,9.702581e-06,1.005680e-05,1.241434e-05,1.281371e-05,1.500452e-05,1.632363e-05,1.780375e-05,2.017603e-05,2.078571e-05,2.392227e-05,2.430766e-05,2.718416e-05,2.865143e-05,3.054164e-05,3.313903e-05,3.396512e-05,3.742570e-05,3.770331e-05,4.089569e-05,4.228043e-05,4.434906e-05,4.681161e-05,4.776178e-05,5.111213e-05,5.124456e-05,5.438087e-05,5.553435e-05,5.755137e-05,5.964394e-05,6.060963e-05,6.354421e-05,6.634616e-05,6.721362e-05,6.900883e-05,7.063768e-05,7.152771e-05,7.380813e-05,7.390020e-05,7.612536e-05,7.672204e-05,7.820373e-05,7.938099e-05,8.013710e-05,8.179013e-05,8.192827e-05,8.358093e-05,8.395743e-05,8.509942e-05,8.589296e-05,8.648860e-05,8.760828e-05,8.775373e-05,8.890030e-05,8.911588e-05,8.993398e-05,9.042878e-05,9.086050e-05,9.156015e-05,9.168559e-05,9.241493e-05,9.252311e-05,9.305409e-05,9.333045e-05,9.360849e-05,9.399454e-05,9.408341e-05,9.448389e-05,9.452718e-05,9.481481e-05,9.493958e-05,9.508082e-05,9.524231e-05,9.528636e-05,9.543564e-05,9.544527e-05,9.553267e-05,9.555770e-05,9.558121e-05,9.558816e-05,9.558486e-05,9.554696e-05,9.554462e-05,9.547069e-05,9.543442e-05,9.535904e-05,9.526434e-05,9.521481e-05,9.504061e-05,9.483893e-05,9.476897e-05,9.461207e-05,9.445466e-05,9.436218e-05,9.410250e-05,9.409129e-05,9.380129e-05,9.371690e-05,9.349394e-05,9.330190e-05,9.317090e-05,9.286117e-05,9.283370e-05,9.248378e-05,9.239806e-05,9.212248e-05,9.191565e-05,9.175104e-05,9.141671e-05,9.137063e-05,9.098232e-05,9.090380e-05,9.058713e-05,9.037922e-05,9.018599e-05,8.984507e-05,8.977977e-05,8.936927e-05,8.930325e-05,8.895526e-05,8.875548e-05,8.853841e-05,8.820333e-05,8.811938e-05,8.769877e-05,8.764821e-05,8.727712e-05,8.709140e-05,8.685495e-05,8.653405e-05,8.643274e-05,8.601091e-05,8.597719e-05,8.558987e-05,8.542176e-05,8.516999e-05,8.486859e-05,8.475161e-05,8.433505e-05,8.431843e-05,8.392060e-05,8.377196e-05,8.350850e-05,8.322976e-05,8.309902e-05,8.269236e-05,8.216024e-05,8.163380e-05,8.111340e-05,8.059936e-05,8.009196e-05,7.959142e-05,7.909794e-05,7.861169e-05,7.813281e-05,7.766141e-05,7.719758e-05,7.674137e-05,7.629285e-05,7.585203e-05,7.541892e-05,7.499353e-05,7.457584e-05,7.416581e-05,7.376342e-05,7.336860e-05,7.298131e-05,7.260148e-05,7.222905e-05,7.186392e-05
0.000000e+00,7.995872e-11,2.049304e-10,7.938142e-10,1.908771e-09,2.842493e-09,6.684671e-09,6.893440e-09,1.361229e-08,1.606541e-08,2.369644e-08,3.167222e-08,3.789594e-08,5.526675e-08,5.699237e-08,8.168196e-08,8.849180e-08,1.123398e-07,1.320813e-07,1.488174e-07,1.852607e-07,1.905144e-07,2.366540e-07,2.463477e-07,2.864899e-07,3.136452e-07,3.393694e-07,3.857189e-07,3.947189e-07,4.520200e-07,4.613367e-07,5.107900e-07,5.393868e-07,5.705737e-07,6.188410e-07,6.309416e-07,6.914917e-07,6.987520e-07,7.518529e-07,7.782639e-07,8.116883e-07,8.566250e-07,8.706970e-07,9.286160e-07,9.331954e-07,9.852196e-07,1.007449e-06,1.040319e-06,1.078970e-06,1.093759e-06,1.145417e-06,1.147445e-06,1.195200e-06,1.212649e-06,1.243040e-06,1.274438e-06,1.288892e-06,1.332733e-06,1.374553e-06,1.387510e-06,1.414360e-06,1.438788e-06,1.452172e-06,1.486621e-06,1.488017e-06,1.521932e-06,1.531088e-06,1.553959e-06,1.572289e-06,1.584147e-06,1.610338e-06,1.612546e-06,1.639210e-06,1.645358e-06,1.664197e-06,1.677478e-06,1.687564e-06,1.706832e-06,1.709368e-06,1.729668e-06,1.733552e-06,1.748522e-06,1.757773e-06,1.765987e-06,1.779627e-06,1.782121e-06,1.796979e-06,1.799242e-06,1.810616e-06,1.816743e-06,1.823084e-06,1.832252e-06,1.834435e-06,1.844720e-06,1.845885e-06,1.853988e-06,1.857756e-06,1.862286e-06,1.867971e-06,1.869659e-06,1.876153e-06,1.876636e-06,1.881809e-06,1.883847e-06,1.886670e-06,1.889699e-06,1.890774e-06,1.894161e-06,1.894282e-06,1.896867e-06,1.897681e-06,1.898927e-06,1.899976e-06,1.900375e-06,1.901245e-06,1.901567e-06,1.901560e-06,1.901372e-06,1.900989e-06,1.900689e-06,1.899599e-06,1.899545e-06,1.897966e-06,1.897449e-06,1.895978e-06,1.894600e-06,1.893606e-06,1.891104e-06,1.890872e-06,1.887800e-06,1.887014e-06,1.884409e-06,1.882379e-06,1.880720e-06,1.877244e-06,1.876754e-06,1.872527e-06,1.871652e-06,1.868059e-06,1.865645e-06,1.863365e-06,1.859260e-06,1.858462e-06,1.853365e-06,1.852533e-06,1.848089e-06,1.845497e-06,1.842648e-06,1.838185e-06,1.837054e-06,1.831321e-06,1.830625e-06,1.825461e-06,1.822845e-06,1.819484e-06,1.814871e-06,1.813402e-06,1.807225e-06,1.806727e-06,1.800963e-06,1.798436e-06,1.794625e-06,1.790019e-06,1.788220e-06,1.781755e-06,1.781496e-06,1.775240e-06,1.772884e-06,1.768682e-06,1.764201e-06,1.762087e-06,1.755463e-06,1.746684e-06,1.737879e-06,1.729059e-06,1.720237e-06,1.711423e-06,1.702628e-06,1.693861e-06,1.685129e-06,1.676442e-06,1.667806e-06,1.659228e-06,1.650713e-06,1.642268e-06,1.633897e-06,1.625604e-06,1.617395e-06,1.609271e-06,1.601237e-06,1.593295e-06,1.585449e-06,1.577699e-06,1.570049e-06,1.562500e-06,1.555053e-06
0.000000e+00,3.142701e-11,1.417320e-10,1.238316e-09,4.901069e-09,9.025135e-09,3.218325e-08,3.365013e-08,8.814803e-08,1.106673e-07,1.866081e-07,2.728207e-07,3.435808e-07,5.525224e-07,5.740141e-07,8.925753e-07,9.835683e-07,1.310969e-06,1.590816e-06,1.833198e-06,2.373234e-06,2.452116e-06,3.150868e-06,3.298331e-06,3.908020e-06,4.317700e-06,4.702426e-06,5.385030e-06,5.515791e-06,6.333245e-06,6.463587e-06,7.142907e-06,7.525909e-06,7.935269e-06,8.551513e-06,8.702689e-06,9.439063e-06,9.525103e-06,1.013963e-05,1.043559e-05,1.080086e-05,1.127554e-05,1.142031e-05,1.199659e-05,1.204080e-05,1.252917e-05,1.273000e-05,1.301830e-05,1.334404e-05,1.346486e-05,1.387024e-05,1.388562e-05,1.423619e-05,1.435866e-05,1.456473e-05,1.476789e-05,1.485806e-05,1.511847e-05,1.534826e-05,1.541570e-05,1.554971e-05,1.566479e-05,1.572504e-05,1.587075e-05,1.587636e-05,1.600571e-05,1.603825e-05,1.611498e-05,1.617165e-05,1.620595e-05,1.627488e-05,1.628025e-05,1.633941e-05,1.635151e-05,1.638482e-05,1.640472e-05,1.641775e-05,1.643733e-05,1.643936e-05,1.645072e-05,1.645185e-05,1.645280e-05,1.645051e-05,1.644647e-05,1.643524e-05,1.643253e-05,1.641170e-05,1.640777e-05,1.638465e-05,1.636963e-05,1.635197e-05,1.632214e-05,1.631421e-05,1.627186e-05,1.626650e-05,1.622538e-05,1.620373e-05,1.617517e-05,1.613475e-05,1.612161e-05,1.606504e-05,1.606040e-05,1.600577e-05,1.598137e-05,1.594408e-05,1.589832e-05,1.588024e-05,1.581447e-05,1.581180e-05,1.574700e-05,1.572233e-05,1.567803e-05,1.563036e-05,1.560773e-05,1.553628e-05,1.546382e-05,1.544045e-05,1.539051e-05,1.534320e-05,1.531647e-05,1.524481e-05,1.524181e-05,1.516665e-05,1.514553e-05,1.509110e-05,1.504561e-05,1.501523e-05,1.494524e-05,1.493915e-05,1.486292e-05,1.484461e-05,1.478662e-05,1.474389e-05,1.471032e-05,1.464323e-05,1.463408e-05,1.455796e-05,1.454276e-05,1.448201e-05,1.444260e-05,1.440628e-05,1.434286e-05,1.433081e-05,1.425564e-05,1.424365e-05,1.418082e-05,1.414504e-05,1.410638e-05,1.404711e-05,1.403234e-05,1.395874e-05,1.394994e-05,1.388561e-05,1.385359e-05,1.381297e-05,1.375811e-05,1.374084e-05,1.366925e-05,1.366354e-05,1.359821e-05,1.356995e-05,1.352773e-05,1.347735e-05,1.345785e-05,1.338855e-05,1.338580e-05,1.331988e-05,1.329530e-05,1.325182e-05,1.320590e-05,1.318439e-05,1.311760e-05,1.303044e-05,1.294442e-05,1.285955e-05,1.277585e-05,1.269332e-05,1.261197e-05,1.253180e-05,1.245281e-05,1.237500e-05,1.229837e-05,1.222292e-05,1.214864e-05,1.207553e-05,1.200357e-05,1.193277e-05,1.186311e-05,1.179458e-05,1.172718e-05,1.166089e-05,1.159570e-05,1.153161e-05,1.146859e-05,1.140665e-05,1.134575e-05
0.000000e+00,1.137589e-10,2.697192e-10,9.618577e-10,2.227669e-09,3.274777e-09,7.566560e-09,7.800278e-09,1.539564e-08,1.820985e-08,2.711105e-08,3.663951e-08,4.421802e-08,6.590436e-08,6.809322e-08,9.982813e-08,1.086612e-07,1.396083e-07,1.650548e-07,1.863997e-07,2.319551e-07,2.384091e-07,2.938291e-07,3.051883e-07,3.512203e-07,3.814819e-07,4.095341e-07,4.586673e-07,4.680086e-07,5.260701e-07,5.352901e-07,5.832663e-07,6.103024e-07,6.392286e-07,6.829026e-07,6.936510e-07,7.462813e-07,7.524662e-07,7.969130e-07,8.185146e-07,8.453846e-07,8.807025e-07,8.915749e-07,9.353965e-07,9.387981e-07,9.767967e-07,9.926727e-07,1.015752e-06,1.042286e-06,1.052264e-06,1.086357e-06,1.087671e-06,1.118071e-06,1.128917e-06,1.147463e-06,1.166157e-06,1.174601e-06,1.199559e-06,1.222422e-06,1.229309e-06,1.243276e-06,1.255611e-06,1.262213e-06,1.278672e-06,1.279322e-06,1.294696e-06,1.298702e-06,1.308425e-06,1.315909e-06,1.320597e-06,1.330496e-06,1.331300e-06,1.340619e-06,1.342659e-06,1.348635e-06,1.352584e-06,1.355427e-06,1.360452e-06,1.361071e-06,1.365639e-06,1.366430e-06,1.369201e-06,1.370678e-06,1.371823e-06,1.373346e-06,1.373569e-06,1.374497e-06,1.374574e-06,1.374666e-06,1.374492e-06,1.374128e-06,1.373224e-06,1.372935e-06,1.371137e-06,1.370882e-06,1.368777e-06,1.367572e-06,1.365900e-06,1.363392e-06,1.362546e-06,1.358754e-06,1.358433e-06,1.354560e-06,1.352778e-06,1.349999e-06,1.346505e-06,1.345102e-06,1.339899e-06,1.339685e-06,1.334420e-06,1.332385e-06,1.328690e-06,1.324664e-06,1.322735e-06,1.316579e-06,1.310242e-06,1.308180e-06,1.303747e-06,1.299515e-06,1.297111e-06,1.290627e-06,1.290354e-06,1.283492e-06,1.281554e-06,1.276541e-06,1.272334e-06,1.269515e-06,1.262998e-06,1.262429e-06,1.255294e-06,1.253576e-06,1.248124e-06,1.244096e-06,1.240928e-06,1.234583e-06,1.233717e-06,1.226501e-06,1.225057e-06,1.219288e-06,1.215541e-06,1.212086e-06,1.206051e-06,1.204903e-06,1.197747e-06,1.196605e-06,1.190622e-06,1.187216e-06,1.183536e-06,1.177898e-06,1.176493e-06,1.169499e-06,1.168663e-06,1.162557e-06,1.159521e-06,1.155672e-06,1.150481e-06,1.148849e-06,1.142089e-06,1.141551e-06,1.135396e-06,1.132738e-06,1.128773e-06,1.124049e-06,1.122222e-06,1.115746e-06,1.115488e-06,1.109346e-06,1.107061e-06,1.103024e-06,1.098770e-06,1.096781e-06,1.090619e-06,1.082611e-06,1.074747e-06,1.067028e-06,1.059457e-06,1.052033e-06,1.044757e-06,1.037628e-06,1.030647e-06,1.023812e-06,1.017123e-06,1.010579e-06,1.004178e-06,9.979190e-07,9.918003e-07,9.858201e-07,9.799765e-07,9.742677e-07,9.686917e-07,9.632462e-07,9.579291e-07,9.527383e-07,9.476714e-07,9.427261e-07,9.379002e-07
0.000000e+00,2.968420e-10,1.220805e-09,9.018584e-09,3.144855e-08,5.456725e-08,1.720334e-07,1.791328e-07,4.326240e-07,5.345509e-07,8.750909e-07,1.261741e-06,1.581378e-06,2.540365e-06,2.640196e-06,4.137094e-06,4.568113e-06,6.119730e-06,7.439027e-06,8.573186e-06,1.107141e-05,1.143349e-05,1.462164e-05,1.529212e-05,1.806690e-05,1.994085e-05,2.171302e-05,2.489827e-05,2.551563e-05,2.943819e-05,3.007477e-05,3.344899e-05,3.539703e-05,3.751944e-05,4.080109e-05,4.162338e-05,4.573694e-05,4.623016e-05,4.983841e-05,5.163413e-05,5.390837e-05,5.696993e-05,5.792984e-05,6.188818e-05,6.220173e-05,6.577106e-05,6.730074e-05,6.956831e-05,7.224459e-05,7.327165e-05,7.687461e-05,7.701657e-05,8.037228e-05,8.160494e-05,8.376109e-05,8.600203e-05,8.703864e-05,9.020352e-05,9.325515e-05,9.420776e-05,9.619364e-05,9.801518e-05,9.901966e-05,1.016279e-04,1.017343e-04,1.043392e-04,1.050491e-04,1.068360e-04,1.082830e-04,1.092268e-04,1.113346e-04,1.115138e-04,1.136994e-04,1.142091e-04,1.157860e-04,1.169123e-04,1.177763e-04,1.194499e-04,1.196726e-04,1.214778e-04,1.218281e-04,1.231943e-04,1.240528e-04,1.248249e-04,1.261300e-04,1.263721e-04,1.278385e-04,1.280658e-04,1.292268e-04,1.298661e-04,1.305394e-04,1.315366e-04,1.317788e-04,1.329475e-04,1.330831e-04,1.340479e-04,1.345110e-04,1.350823e-04,1.358258e-04,1.360531e-04,1.369625e-04,1.370327e-04,1.378127e-04,1.381367e-04,1.386059e-04,1.391428e-04,1.393441e-04,1.400295e-04,1.400558e-04,1.406639e-04,1.408802e-04,1.412493e-04,1.416204e-04,1.417877e-04,1.422808e-04,1.427304e-04,1.428654e-04,1.431382e-04,1.433781e-04,1.435059e-04,1.438227e-04,1.438352e-04,1.441275e-04,1.442030e-04,1.443845e-04,1.445223e-04,1.446075e-04,1.447840e-04,1.447981e-04,1.449575e-04,1.449913e-04,1.450872e-04,1.451473e-04,1.451884e-04,1.452549e-04,1.452624e-04,1.453104e-04,1.453170e-04,1.453336e-04,1.453362e-04,1.453330e-04,1.453150e-04,1.453098e-04,1.452651e-04,1.452560e-04,1.451998e-04,1.451614e-04,1.451149e-04,1.450335e-04,1.450114e-04,1.448902e-04,1.448745e-04,1.447521e-04,1.446863e-04,1.445981e-04,1.444708e-04,1.444289e-04,1.442453e-04,1.442300e-04,1.440481e-04,1.439656e-04,1.438380e-04,1.436792e-04,1.436158e-04,1.433820e-04,1.433724e-04,1.431374e-04,1.430468e-04,1.428825e-04,1.427037e-04,1.426181e-04,1.423446e-04,1.419707e-04,1.415832e-04,1.411833e-04,1.407721e-04,1.403507e-04,1.399201e-04,1.394811e-04,1.390347e-04,1.385818e-04,1.381230e-04,1.376592e-04,1.371910e-04,1.367192e-04,1.362443e-04,1.357670e-04,1.352878e-04,1.348073e-04,1.343259e-04,1.338441e-04,1.333623e-04,1.328810e-04,1.324005e-04,1.319212e-04,1.314435e-04
0.000000e+00,1.311811e-10,3.401495e-10,1.331037e-09,3.209069e-09,4.780042e-09,1.122605e-08,1.157558e-08,2.279702e-08,2.688407e-08,3.957687e-08,5.282228e-08,6.315037e-08,9.196481e-08,9.482703e-08,1.357768e-07,1.470681e-07,1.865708e-07,2.191907e-07,2.467594e-07,3.064368e-07,3.149943e-07,3.895978e-07,4.051411e-07,4.690116e-07,5.117655e-07,5.519324e-07,6.235009e-07,6.372801e-07,7.241332e-07,7.381139e-07,8.116794e-07,8.537304e-07,8.991878e-07,9.687206e-07,9.859970e-07,1.071512e-06,1.081661e-06,1.155205e-06,1.191332e-06,1.236617e-06,1.296722e-06,1.315358e-06,1.391108e-06,1.397031e-06,1.463616e-06,1.491666e-06,1.532690e-06,1.580222e-06,1.598200e-06,1.660065e-06,1.662463e-06,1.718252e-06,1.738299e-06,1.772768e-06,1.807761e-06,1.823654e-06,1.870977e-06,1.914828e-06,1.928144e-06,1.955315e-06,1.979518e-06,1.992561e-06,2.025389e-06,2.026696e-06,2.057858e-06,2.066070e-06,2.086189e-06,2.101888e-06,2.111831e-06,2.133171e-06,2.134928e-06,2.155621e-06,2.160246e-06,2.174049e-06,2.183430e-06,2.190347e-06,2.203031e-06,2.204646e-06,2.217071e-06,2.219341e-06,2.227743e-06,2.232638e-06,2.236778e-06,2.243183e-06,2.244286e-06,2.250372e-06,2.251220e-06,2.255135e-06,2.256979e-06,2.258669e-06,2.260672e-06,2.261064e-06,2.262402e-06,2.262496e-06,2.262764e-06,2.262633e-06,2.262223e-06,2.261252e-06,2.260851e-06,2.258711e-06,2.258509e-06,2.255867e-06,2.254545e-06,2.252376e-06,2.249493e-06,2.248293e-06,2.243668e-06,2.243472e-06,2.238549e-06,2.236593e-06,2.232980e-06,2.228958e-06,2.227003e-06,2.220658e-06,2.213980e-06,2.211778e-06,2.207002e-06,2.202395e-06,2.199758e-06,2.192580e-06,2.192276e-06,2.184584e-06,2.182396e-06,2.176707e-06,2.171902e-06,2.168669e-06,2.161151e-06,2.160492e-06,2.152197e-06,2.150190e-06,2.143802e-06,2.139065e-06,2.135327e-06,2.127814e-06,2.126786e-06,2.118195e-06,2.116472e-06,2.109569e-06,2.105073e-06,2.100920e-06,2.093646e-06,2.092260e-06,2.083601e-06,2.082216e-06,2.074952e-06,2.070808e-06,2.066324e-06,2.059442e-06,2.057725e-06,2.049162e-06,2.048137e-06,2.040643e-06,2.036910e-06,2.032175e-06,2.025777e-06,2.023764e-06,2.015415e-06,2.014750e-06,2.007134e-06,2.003841e-06,1.998925e-06,1.993061e-06,1.990792e-06,1.982738e-06,1.982418e-06,1.974769e-06,1.971920e-06,1.966885e-06,1.961575e-06,1.959090e-06,1.951387e-06,1.941362e-06,1.931504e-06,1.921815e-06,1.912299e-06,1.902958e-06,1.893793e-06,1.884805e-06,1.875995e-06,1.867362e-06,1.858907e-06,1.850629e-06,1.842526e-06,1.834599e-06,1.826844e-06,1.819262e-06,1.811850e-06,1.804606e-06,1.797529e-06,1.790615e-06,1.783863e-06,1.777270e-06,1.770834e-06,1.764552e-06,1.758422e-06
0.000000e+00,1.510106e-10,5.743456e-10,3.715930e-09,1.183195e-08,1.973353e-08,5.778372e-08,6.003392e-08,1.394828e-07,1.713477e-07,2.784548e-07,4.014493e-07,5.039280e-07,8.117178e-07,8.435280e-07,1.308605e-06,1.437597e-06,1.883276e-06,2.241690e-06,2.537345e-06,3.157081e-06,3.243977e-06,3.984951e-06,4.136152e-06,4.748451e-06,5.151518e-06,5.526116e-06,6.185365e-06,6.311235e-06,7.097894e-06,7.223534e-06,7.880660e-06,8.253519e-06,8.654535e-06,9.264174e-06,9.414991e-06,1.015802e-05,1.024584e-05,1.088017e-05,1.119056e-05,1.157863e-05,1.209220e-05,1.225113e-05,1.289602e-05,1.294638e-05,1.351217e-05,1.375043e-05,1.409890e-05,1.450288e-05,1.465580e-05,1.518284e-05,1.520331e-05,1.568035e-05,1.585232e-05,1.614884e-05,1.645117e-05,1.658898e-05,1.700160e-05,1.738761e-05,1.750567e-05,1.774798e-05,1.796564e-05,1.808375e-05,1.838390e-05,1.839594e-05,1.868563e-05,1.876285e-05,1.895385e-05,1.910491e-05,1.920163e-05,1.941241e-05,1.942999e-05,1.963991e-05,1.968765e-05,1.983234e-05,1.993280e-05,2.000819e-05,2.014994e-05,2.016836e-05,2.031369e-05,2.034105e-05,2.044499e-05,2.050798e-05,2.056304e-05,2.065251e-05,2.066858e-05,2.076232e-05,2.077626e-05,2.084492e-05,2.088080e-05,2.091702e-05,2.096756e-05,2.097924e-05,2.103214e-05,2.103789e-05,2.107628e-05,2.109306e-05,2.111217e-05,2.113424e-05,2.114031e-05,2.116117e-05,2.116253e-05,2.117518e-05,2.117896e-05,2.118276e-05,2.118446e-05,2.118431e-05,2.118021e-05,2.117993e-05,2.117081e-05,2.116619e-05,2.115644e-05,2.114401e-05,2.113744e-05,2.111408e-05,2.108667e-05,2.107709e-05,2.105547e-05,2.103363e-05,2.102073e-05,2.098428e-05,2.098270e-05,2.094160e-05,2.092957e-05,2.089765e-05,2.086999e-05,2.085104e-05,2.080599e-05,2.080198e-05,2.075064e-05,2.073800e-05,2.069720e-05,2.066641e-05,2.064181e-05,2.059158e-05,2.058463e-05,2.052581e-05,2.051386e-05,2.046547e-05,2.043354e-05,2.040376e-05,2.035094e-05,2.034078e-05,2.027666e-05,2.026630e-05,2.021150e-05,2.017989e-05,2.014541e-05,2.009192e-05,2.007847e-05,2.001079e-05,2.000263e-05,1.994245e-05,1.991219e-05,1.987353e-05,1.982081e-05,1.980410e-05,1.973424e-05,1.972863e-05,1.966401e-05,1.963583e-05,1.959348e-05,1.954255e-05,1.952271e-05,1.945175e-05,1.944891e-05,1.938066e-05,1.935505e-05,1.930949e-05,1.926107e-05,1.923829e-05,1.916709e-05,1.907319e-05,1.897947e-05,1.888600e-05,1.879287e-05,1.870014e-05,1.860788e-05,1.851614e-05,1.842497e-05,1.833443e-05,1.824455e-05,1.815538e-05,1.806696e-05,1.797931e-05,1.789246e-05,1.780644e-05,1.772128e-05,1.763699e-05,1.755360e-05,1.747112e-05,1.738956e-05,1.730893e-05,1.722926e-05,1.715054e-05,1.707278e-05
0.000000e+00,1.641062e-11,8.126266e-11,8.564018e-10,3.990474e-09,8.012085e-09,3.535825e-08,3.728015e-08,1.188594e-07,1.570257e-07,2.996162e-07,4.819185e-07,6.445489e-07,1.179174e-06,1.238152e-06,2.184996e-06,2.478066e-06,3.606779e-06,4.658532e-06,5.631946e-06,8.006584e-06,8.377229e-06,1.192714e-05,1.273793e-05,1.631994e-05,1.893546e-05,2.154449e-05,2.653698e-05,2.754620e-05,3.423807e-05,3.536584e-05,4.151283e-05,4.517758e-05,4.925367e-05,5.570253e-05,5.734263e-05,6.566636e-05,6.667590e-05,7.411984e-05,7.785567e-05,8.260835e-05,8.903123e-05,9.104836e-05,9.936768e-05,1.000261e-04,1.075051e-04,1.106974e-04,1.154097e-04,1.209334e-04,1.230403e-04,1.303643e-04,1.306505e-04,1.373572e-04,1.397900e-04,1.440013e-04,1.483139e-04,1.502851e-04,1.562026e-04,1.617522e-04,1.634506e-04,1.669362e-04,1.700646e-04,1.717602e-04,1.760600e-04,1.762323e-04,1.803626e-04,1.814594e-04,1.841628e-04,1.862897e-04,1.876457e-04,1.905817e-04,1.908252e-04,1.937153e-04,1.943674e-04,1.963304e-04,1.976802e-04,1.986850e-04,2.005531e-04,2.007936e-04,2.026700e-04,2.030187e-04,2.043282e-04,2.051086e-04,2.057814e-04,2.068530e-04,2.070424e-04,2.081236e-04,2.082807e-04,2.090367e-04,2.094185e-04,2.097928e-04,2.102920e-04,2.104028e-04,2.108765e-04,2.109247e-04,2.112236e-04,2.113385e-04,2.114531e-04,2.115540e-04,2.115733e-04,2.115925e-04,2.115898e-04,2.115179e-04,2.114635e-04,2.113567e-04,2.111908e-04,2.111156e-04,2.108007e-04,2.107866e-04,2.104178e-04,2.102644e-04,2.099725e-04,2.096366e-04,2.094697e-04,2.089144e-04,2.083109e-04,2.081083e-04,2.076635e-04,2.072279e-04,2.069760e-04,2.062817e-04,2.062521e-04,2.054952e-04,2.052778e-04,2.047086e-04,2.042235e-04,2.038951e-04,2.031253e-04,2.030575e-04,2.021984e-04,2.019893e-04,2.013203e-04,2.008210e-04,2.004253e-04,1.996255e-04,1.995156e-04,1.985931e-04,1.984072e-04,1.976596e-04,1.971704e-04,1.967169e-04,1.959189e-04,1.957664e-04,1.948096e-04,1.946560e-04,1.938479e-04,1.933849e-04,1.928826e-04,1.921085e-04,1.919147e-04,1.909455e-04,1.908291e-04,1.899758e-04,1.895493e-04,1.890067e-04,1.882710e-04,1.880390e-04,1.870734e-04,1.869962e-04,1.861107e-04,1.857266e-04,1.851516e-04,1.844636e-04,1.841967e-04,1.832465e-04,1.832086e-04,1.823017e-04,1.819629e-04,1.813626e-04,1.807275e-04,1.804297e-04,1.795035e-04,1.782916e-04,1.770927e-04,1.759074e-04,1.747362e-04,1.735797e-04,1.724383e-04,1.713124e-04,1.702023e-04,1.691083e-04,1.680305e-04,1.669691e-04,1.659243e-04,1.648960e-04,1.638845e-04,1.628896e-04,1.619115e-04,1.609499e-04,1.600050e-04,1.590766e-04,1.581646e-04,1.572689e-04,1.563895e-04,1.555260e-04,1.546785e-04
0.000000e+00,3.846524e-11,1.718263e-10,1.476811e-09,5.782255e-09,1.060379e-08,3.764444e-08,3.936095e-08,1.036856e-07,1.306013e-07,2.227730e-07,3.297526e-07,4.190777e-07,6.880399e-07,7.159749e-07,1.131226e-06,1.249504e-06,1.671807e-06,2.028643e-06,2.335385e-06,3.015716e-06,3.115170e-06,4.003445e-06,4.193459e-06,4.992785e-06,5.544787e-06,6.075958e-06,7.052866e-06,7.245461e-06,8.493167e-06,8.699474e-06,9.810192e-06,1.046420e-05,1.118697e-05,1.232464e-05,1.261341e-05,1.407922e-05,1.425726e-05,1.557407e-05,1.623840e-05,1.708794e-05,1.824531e-05,1.861129e-05,2.013526e-05,2.025695e-05,2.165174e-05,2.225459e-05,2.315350e-05,2.422205e-05,2.463419e-05,2.608838e-05,2.614593e-05,2.751150e-05,2.801547e-05,2.889979e-05,2.982236e-05,3.025023e-05,3.156049e-05,3.282883e-05,3.322563e-05,3.405403e-05,3.481516e-05,3.523535e-05,3.632779e-05,3.637243e-05,3.746524e-05,3.776332e-05,3.851400e-05,3.912229e-05,3.951915e-05,4.040593e-05,4.048134e-05,4.140132e-05,4.161594e-05,4.228002e-05,4.275442e-05,4.311842e-05,4.382373e-05,4.391759e-05,4.467863e-05,4.482635e-05,4.540266e-05,4.576491e-05,4.609084e-05,4.664207e-05,4.674435e-05,4.736435e-05,4.746052e-05,4.795199e-05,4.822290e-05,4.850842e-05,4.893184e-05,4.903475e-05,4.953211e-05,4.958990e-05,5.000157e-05,5.019957e-05,5.044420e-05,5.076328e-05,5.086101e-05,5.125303e-05,5.128335e-05,5.162121e-05,5.176203e-05,5.196652e-05,5.220148e-05,5.228985e-05,5.259211e-05,5.260378e-05,5.287416e-05,5.297090e-05,5.313681e-05,5.330475e-05,5.338087e-05,5.360712e-05,5.381630e-05,5.387975e-05,5.400914e-05,5.412429e-05,5.418632e-05,5.434230e-05,5.434851e-05,5.449636e-05,5.453528e-05,5.463049e-05,5.470463e-05,5.475150e-05,5.485172e-05,5.485995e-05,5.495641e-05,5.497783e-05,5.504139e-05,5.508417e-05,5.511542e-05,5.517190e-05,5.517899e-05,5.523255e-05,5.524211e-05,5.527658e-05,5.529585e-05,5.531151e-05,5.533411e-05,5.533774e-05,5.535569e-05,5.535782e-05,5.536575e-05,5.536788e-05,5.536827e-05,5.536511e-05,5.536363e-05,5.535215e-05,5.535033e-05,5.533417e-05,5.532429e-05,5.531001e-05,5.528769e-05,5.527996e-05,5.524432e-05,5.524124e-05,5.520336e-05,5.518555e-05,5.515736e-05,5.512125e-05,5.510656e-05,5.505122e-05,5.504891e-05,5.499156e-05,5.496907e-05,5.492782e-05,5.488226e-05,5.486022e-05,5.478895e-05,5.468961e-05,5.458468e-05,5.447458e-05,5.435968e-05,5.424037e-05,5.411699e-05,5.398987e-05,5.385933e-05,5.372566e-05,5.358914e-05,5.345003e-05,5.330858e-05,5.316504e-05,5.301961e-05,5.287251e-05,5.272394e-05,5.257409e-05,5.242312e-05,5.227121e-05,5.211852e-05,5.196518e-05,5.181135e-05,5.165714e-05,5.150269e-05
0.000000e+00,2.616958e-11,1.243887e-10,1.205793e-09,5.214246e-09,1.005436e-08,4.003604e-08,4.203792e-08,1.212680e-07,1.559494e-07,2.781772e-07,4.238193e-07,5.472030e-07,9.254224e-07,9.652466e-07,1.570503e-06,1.747837e-06,2.400245e-06,2.975149e-06,3.486038e-06,4.669117e-06,4.847260e-06,6.486714e-06,6.847058e-06,8.390989e-06,9.477730e-06,1.053455e-05,1.249637e-05,1.288487e-05,1.540654e-05,1.582352e-05,1.806398e-05,1.937760e-05,2.082275e-05,2.308075e-05,2.365025e-05,2.651586e-05,2.686093e-05,2.939119e-05,3.065260e-05,3.225012e-05,3.439729e-05,3.506901e-05,3.782685e-05,3.804427e-05,4.050533e-05,4.155094e-05,4.308897e-05,4.488321e-05,4.556504e-05,4.792354e-05,4.801533e-05,5.015704e-05,5.092946e-05,5.226047e-05,5.361492e-05,5.423089e-05,5.606728e-05,5.777021e-05,5.828725e-05,5.934166e-05,6.027976e-05,6.078469e-05,6.205288e-05,6.210329e-05,6.330211e-05,6.361701e-05,6.438632e-05,6.498412e-05,6.536144e-05,6.616712e-05,6.623319e-05,6.700741e-05,6.717936e-05,6.768993e-05,6.803424e-05,6.828652e-05,6.874492e-05,6.880282e-05,6.924430e-05,6.932408e-05,6.961623e-05,6.978383e-05,6.992364e-05,7.013554e-05,7.017135e-05,7.036388e-05,7.038986e-05,7.050554e-05,7.055665e-05,7.060035e-05,7.064503e-05,7.065212e-05,7.066439e-05,7.066337e-05,7.064050e-05,7.061934e-05,7.058354e-05,7.051992e-05,7.049640e-05,7.038175e-05,7.037147e-05,7.024211e-05,7.017978e-05,7.007978e-05,6.995007e-05,6.989692e-05,6.969551e-05,6.968709e-05,6.947739e-05,6.939512e-05,6.924429e-05,6.907802e-05,6.899776e-05,6.873928e-05,6.847018e-05,6.838204e-05,6.819172e-05,6.800912e-05,6.790503e-05,6.762306e-05,6.761118e-05,6.731115e-05,6.722615e-05,6.700582e-05,6.682043e-05,6.669603e-05,6.640774e-05,6.638255e-05,6.606606e-05,6.598973e-05,6.574721e-05,6.556785e-05,6.542660e-05,6.514344e-05,6.510477e-05,6.478222e-05,6.471766e-05,6.445940e-05,6.429156e-05,6.413672e-05,6.386607e-05,6.381458e-05,6.349331e-05,6.344201e-05,6.317324e-05,6.302011e-05,6.285465e-05,6.260102e-05,6.253780e-05,6.222295e-05,6.218531e-05,6.191029e-05,6.177347e-05,6.160003e-05,6.136595e-05,6.129235e-05,6.098739e-05,6.096312e-05,6.068531e-05,6.056531e-05,6.038622e-05,6.017280e-05,6.009025e-05,5.979748e-05,5.978584e-05,5.950802e-05,5.940463e-05,5.922192e-05,5.902934e-05,5.893927e-05,5.866011e-05,5.829705e-05,5.794026e-05,5.758979e-05,5.724570e-05,5.690800e-05,5.657672e-05,5.625186e-05,5.593339e-05,5.562129e-05,5.531553e-05,5.501606e-05,5.472283e-05,5.443579e-05,5.415485e-05,5.387996e-05,5.361104e-05,5.334801e-05,5.309078e-05,5.283927e-05,5.259339e-05,5.235305e-05,5.211815e-05,5.188861e-05,5.166432e-05
0.000000e+00,3.017999e-10,7.886220e-10,3.111469e-09,7.530522e-09,1.123319e-08,2.644899e-08,2.727465e-08,5.379294e-08,6.345205e-08,9.343337e-08,1.246748e-07,1.489931e-07,2.166268e-07,2.233290e-07,3.189998e-07,3.453417e-07,4.375537e-07,5.138984e-07,5.786136e-07,7.192137e-07,7.394108e-07,9.154054e-07,9.519828e-07,1.101608e-06,1.200964e-06,1.293598e-06,1.456747e-06,1.487862e-06,1.681706e-06,1.712537e-06,1.873068e-06,1.963557e-06,2.060351e-06,2.206395e-06,2.242311e-06,2.417977e-06,2.438597e-06,2.586611e-06,2.658435e-06,2.747667e-06,2.864763e-06,2.900767e-06,3.045673e-06,3.056908e-06,3.182272e-06,3.234579e-06,3.310549e-06,3.397791e-06,3.430573e-06,3.542481e-06,3.546791e-06,3.646462e-06,3.681999e-06,3.742748e-06,3.803958e-06,3.831598e-06,3.913294e-06,3.988135e-06,4.010685e-06,4.056424e-06,4.096833e-06,4.118470e-06,4.172447e-06,4.174581e-06,4.225064e-06,4.238232e-06,4.270219e-06,4.294876e-06,4.310338e-06,4.343044e-06,4.345706e-06,4.376598e-06,4.383376e-06,4.403280e-06,4.416479e-06,4.426008e-06,4.442931e-06,4.445025e-06,4.460566e-06,4.463277e-06,4.472854e-06,4.478030e-06,4.482103e-06,4.487672e-06,4.488516e-06,4.492284e-06,4.492655e-06,4.493593e-06,4.493399e-06,4.492615e-06,4.490298e-06,4.489516e-06,4.484451e-06,4.483718e-06,4.477569e-06,4.474000e-06,4.469008e-06,4.461460e-06,4.458900e-06,4.447371e-06,4.446390e-06,4.434536e-06,4.429062e-06,4.420508e-06,4.409727e-06,4.405390e-06,4.389281e-06,4.388617e-06,4.372271e-06,4.365945e-06,4.354449e-06,4.341907e-06,4.335895e-06,4.316687e-06,4.296895e-06,4.290449e-06,4.276586e-06,4.263347e-06,4.255824e-06,4.235521e-06,4.234668e-06,4.213171e-06,4.207099e-06,4.191387e-06,4.178198e-06,4.169362e-06,4.148925e-06,4.147141e-06,4.124767e-06,4.119378e-06,4.102277e-06,4.089645e-06,4.079707e-06,4.059807e-06,4.057091e-06,4.034461e-06,4.029935e-06,4.011844e-06,4.000097e-06,3.989267e-06,3.970351e-06,3.966754e-06,3.944329e-06,3.940750e-06,3.922012e-06,3.911343e-06,3.899821e-06,3.882172e-06,3.877775e-06,3.855890e-06,3.853275e-06,3.834179e-06,3.824686e-06,3.812657e-06,3.796434e-06,3.791335e-06,3.770224e-06,3.768545e-06,3.749334e-06,3.741042e-06,3.728674e-06,3.713945e-06,3.708251e-06,3.688073e-06,3.687271e-06,3.668144e-06,3.661033e-06,3.648472e-06,3.635243e-06,3.629060e-06,3.609911e-06,3.585046e-06,3.560652e-06,3.536734e-06,3.513296e-06,3.490338e-06,3.467861e-06,3.445863e-06,3.424345e-06,3.403302e-06,3.382732e-06,3.362630e-06,3.342992e-06,3.323813e-06,3.305086e-06,3.286807e-06,3.268967e-06,3.251561e-06,3.234582e-06,3.218022e-06,3.201873e-06,3.186129e-06,3.170781e-06,3.155821e-06,3.141242e-06
0.000000e+00,1.998334e-11,1.032875e-10,1.190385e-09,6.022075e-09,1.265304e-08,6.284772e-08,6.658499e-08,2.390008e-07,3.261299e-07,6.751509e-07,1.160153e-06,1.620004e-06,3.262515e-06,3.453688e-06,6.726373e-06,7.804188e-06,1.217876e-05,1.652198e-05,2.073495e-05,3.168140e-05,3.346807e-05,5.155012e-05,5.591527e-05,7.619766e-05,9.201230e-05,1.086206e-04,1.427147e-04,1.499775e-04,2.013379e-04,2.105493e-04,2.636524e-04,2.976975e-04,3.377293e-04,4.059019e-04,4.242180e-04,5.235975e-04,5.364055e-04,6.361702e-04,6.899204e-04,7.620612e-04,8.666210e-04,9.012203e-04,1.053429e-03,1.066160e-03,1.218311e-03,1.287700e-03,1.395342e-03,1.529964e-03,1.583867e-03,1.783113e-03,1.791294e-03,1.992210e-03,2.069715e-03,2.210204e-03,2.363006e-03,2.436078e-03,2.668767e-03,2.907176e-03,2.984493e-03,3.150194e-03,3.307631e-03,3.396710e-03,3.635637e-03,3.645626e-03,3.895868e-03,3.966031e-03,4.146396e-03,4.296435e-03,4.396216e-03,4.624609e-03,4.644380e-03,4.890001e-03,4.948478e-03,5.132250e-03,5.266150e-03,5.370365e-03,5.575932e-03,5.603649e-03,5.831473e-03,5.876332e-03,6.053275e-03,6.166065e-03,6.268561e-03,6.444050e-03,6.476902e-03,6.677935e-03,6.709401e-03,6.871355e-03,6.961419e-03,7.056919e-03,7.199584e-03,7.234436e-03,7.403771e-03,7.423537e-03,7.564834e-03,7.633069e-03,7.717583e-03,7.828107e-03,7.862014e-03,7.998163e-03,8.008699e-03,8.126100e-03,8.174997e-03,8.245924e-03,8.327246e-03,8.357764e-03,8.461771e-03,8.465771e-03,8.558117e-03,8.590962e-03,8.646992e-03,8.703264e-03,8.728602e-03,8.803165e-03,8.870910e-03,8.891187e-03,8.932074e-03,8.967876e-03,8.986899e-03,9.033798e-03,9.035634e-03,9.078527e-03,9.089524e-03,9.115829e-03,9.135630e-03,9.147790e-03,9.172693e-03,9.174661e-03,9.196686e-03,9.201278e-03,9.214110e-03,9.221946e-03,9.227171e-03,9.235242e-03,9.236103e-03,9.241136e-03,9.241694e-03,9.242492e-03,9.241815e-03,9.240386e-03,9.236096e-03,9.235029e-03,9.226623e-03,9.225008e-03,9.215363e-03,9.209000e-03,9.201437e-03,9.188499e-03,9.185026e-03,9.166304e-03,9.163910e-03,9.145437e-03,9.135617e-03,9.122583e-03,9.103979e-03,9.097894e-03,9.071515e-03,9.069336e-03,9.043584e-03,9.032006e-03,9.014231e-03,8.992286e-03,8.983580e-03,8.951750e-03,8.950454e-03,8.918852e-03,8.906767e-03,8.884991e-03,8.861467e-03,8.850268e-03,8.814776e-03,8.766899e-03,8.718028e-03,8.668337e-03,8.617989e-03,8.567131e-03,8.515899e-03,8.464417e-03,8.412799e-03,8.361148e-03,8.309557e-03,8.258112e-03,8.206889e-03,8.155958e-03,8.105380e-03,8.055211e-03,8.005502e-03,7.956296e-03,7.907632e-03,7.859545e-03,7.812064e-03,7.765216e-03,7.719023e-03,7.673503e-03,7.628673e-03
0.000000e+00,1.253251e-11,6.072631e-11,6.122306e-10,2.742073e-09,5.389083e-09,2.253059e-08,2.370390e-08,7.175427e-08,9.349777e-08,1.724399e-07,2.700354e-07,3.550437e-07,6.258689e-07,6.551439e-07,1.114106e-06,1.252838e-06,1.776333e-06,2.251643e-06,2.682839e-06,3.706295e-06,3.862914e-06,5.328345e-06,5.655404e-06,7.072788e-06,8.083651e-06,9.075306e-06,1.093482e-05,1.130554e-05,1.372852e-05,1.413166e-05,1.630813e-05,1.759162e-05,1.900934e-05,2.123569e-05,2.179930e-05,2.464788e-05,2.499232e-05,2.752778e-05,2.879846e-05,3.041453e-05,3.259958e-05,3.328641e-05,3.612433e-05,3.634939e-05,3.891180e-05,4.000944e-05,4.163478e-05,4.354873e-05,4.428156e-05,4.684265e-05,4.694319e-05,4.931057e-05,5.017509e-05,5.167975e-05,5.323232e-05,5.394625e-05,5.610763e-05,5.816268e-05,5.879780e-05,6.011130e-05,6.130290e-05,6.195429e-05,6.362562e-05,6.369320e-05,6.533018e-05,6.577062e-05,6.686788e-05,6.774409e-05,6.830930e-05,6.955318e-05,6.965771e-05,7.091655e-05,7.120574e-05,7.208941e-05,7.271000e-05,7.317991e-05,7.407433e-05,7.419172e-05,7.512846e-05,7.530711e-05,7.599372e-05,7.641657e-05,7.679101e-05,7.741072e-05,7.752376e-05,7.819530e-05,7.829728e-05,7.880885e-05,7.908367e-05,7.936751e-05,7.977692e-05,7.987425e-05,8.033195e-05,8.038370e-05,8.074333e-05,8.091034e-05,8.111102e-05,8.136278e-05,8.143751e-05,8.172520e-05,8.174660e-05,8.197634e-05,8.206705e-05,8.219311e-05,8.232905e-05,8.237754e-05,8.253161e-05,8.253717e-05,8.265716e-05,8.269572e-05,8.275595e-05,8.280869e-05,8.282965e-05,8.287984e-05,8.290802e-05,8.291262e-05,8.291561e-05,8.291029e-05,8.290396e-05,8.287586e-05,8.287434e-05,8.282796e-05,8.281213e-05,8.276596e-05,8.272171e-05,8.268941e-05,8.260702e-05,8.259934e-05,8.249671e-05,8.247031e-05,8.238243e-05,8.231367e-05,8.225736e-05,8.213902e-05,8.212231e-05,8.197806e-05,8.194817e-05,8.182532e-05,8.174277e-05,8.166478e-05,8.152438e-05,8.149709e-05,8.132285e-05,8.129441e-05,8.114264e-05,8.105418e-05,8.095701e-05,8.080493e-05,8.076645e-05,8.057145e-05,8.054777e-05,8.037246e-05,8.028375e-05,8.016991e-05,8.001384e-05,7.996420e-05,7.975570e-05,7.973891e-05,7.954477e-05,7.945979e-05,7.933174e-05,7.917724e-05,7.911693e-05,7.890062e-05,7.889194e-05,7.868310e-05,7.860455e-05,7.846462e-05,7.831564e-05,7.824543e-05,7.802576e-05,7.773540e-05,7.744501e-05,7.715502e-05,7.686580e-05,7.657770e-05,7.629102e-05,7.600607e-05,7.572310e-05,7.544234e-05,7.516401e-05,7.488829e-05,7.461537e-05,7.434539e-05,7.407849e-05,7.381480e-05,7.355441e-05,7.329742e-05,7.304392e-05,7.279396e-05,7.254762e-05,7.230493e-05,7.206595e-05,7.183069e-05,7.159919e-05
0.000000e+00,2.650622e-11,1.081498e-10,7.861127e-10,2.699909e-09,4.643278e-09,1.426006e-08,1.483074e-08,3.463645e-08,4.233973e-08,6.723223e-08,9.422482e-08,1.157326e-07,1.770651e-07,1.832362e-07,2.726732e-07,2.976744e-07,3.862501e-07,4.607001e-07,5.245365e-07,6.654345e-07,6.859217e-07,8.671405e-07,9.054271e-07,1.064371e-06,1.172044e-06,1.274006e-06,1.457356e-06,1.492877e-06,1.718210e-06,1.754694e-06,1.947525e-06,2.058340e-06,2.178569e-06,2.363270e-06,2.409300e-06,2.637884e-06,2.665091e-06,2.862707e-06,2.960071e-06,3.082378e-06,3.245161e-06,3.295738e-06,3.501849e-06,3.518001e-06,3.699985e-06,3.776882e-06,3.889616e-06,4.020677e-06,4.070384e-06,4.242084e-06,4.248762e-06,4.404638e-06,4.460923e-06,4.558082e-06,4.657280e-06,4.702540e-06,4.838205e-06,4.965326e-06,5.004246e-06,5.084193e-06,5.156082e-06,5.195125e-06,5.294470e-06,5.298462e-06,5.394551e-06,5.420206e-06,5.483748e-06,5.534104e-06,5.566405e-06,5.636973e-06,5.642871e-06,5.713488e-06,5.729603e-06,5.778587e-06,5.812751e-06,5.838487e-06,5.887144e-06,5.893496e-06,5.943908e-06,5.953463e-06,5.990001e-06,6.012353e-06,6.032043e-06,6.064412e-06,6.070286e-06,6.104968e-06,6.110202e-06,6.136316e-06,6.150241e-06,6.164542e-06,6.185010e-06,6.189846e-06,6.212419e-06,6.214953e-06,6.232438e-06,6.240481e-06,6.250070e-06,6.261971e-06,6.265473e-06,6.278793e-06,6.279773e-06,6.290170e-06,6.294206e-06,6.299734e-06,6.305567e-06,6.307607e-06,6.313904e-06,6.314125e-06,6.318732e-06,6.320130e-06,6.322192e-06,6.323813e-06,6.324379e-06,6.325382e-06,6.325283e-06,6.325032e-06,6.324161e-06,6.322941e-06,6.322090e-06,6.319271e-06,6.319137e-06,6.315368e-06,6.314174e-06,6.310842e-06,6.307787e-06,6.305616e-06,6.300237e-06,6.299745e-06,6.293276e-06,6.291640e-06,6.286258e-06,6.282104e-06,6.278733e-06,6.271726e-06,6.270744e-06,6.262329e-06,6.260598e-06,6.253523e-06,6.248802e-06,6.244362e-06,6.236414e-06,6.234876e-06,6.225096e-06,6.223505e-06,6.215049e-06,6.210139e-06,6.204762e-06,6.196376e-06,6.194259e-06,6.183564e-06,6.182269e-06,6.172699e-06,6.167869e-06,6.161683e-06,6.153222e-06,6.150535e-06,6.139275e-06,6.138369e-06,6.127917e-06,6.123350e-06,6.116478e-06,6.108200e-06,6.104973e-06,6.093415e-06,6.092952e-06,6.081817e-06,6.077634e-06,6.070191e-06,6.062276e-06,6.058549e-06,6.046900e-06,6.031531e-06,6.016188e-06,6.000892e-06,5.985659e-06,5.970505e-06,5.955445e-06,5.940491e-06,5.925656e-06,5.910949e-06,5.896381e-06,5.881960e-06,5.867694e-06,5.853589e-06,5.839653e-06,5.825889e-06,5.812303e-06,5.798899e-06,5.785681e-06,5.772651e-06,5.759812e-06,5.747166e-06,5.734715e-06,5.722459e-06,5.710401e-06
0.000000e+00,1.518091e-11,7.172793e-11,6.867755e-10,2.936691e-09,5.627913e-09,2.205618e-08,2.314401e-08,6.571058e-08,8.413568e-08,1.484293e-07,2.240993e-07,2.876117e-07,4.798047e-07,4.998609e-07,8.013875e-07,8.887249e-07,1.206836e-06,1.483572e-06,1.727106e-06,2.283922e-06,2.367021e-06,3.124496e-06,3.289484e-06,3.991649e-06,4.482142e-06,4.956840e-06,5.833503e-06,6.006557e-06,7.126671e-06,7.311476e-06,8.303066e-06,8.883652e-06,9.521914e-06,1.051851e-05,1.076977e-05,1.203366e-05,1.218581e-05,1.330116e-05,1.385695e-05,1.456054e-05,1.550551e-05,1.580093e-05,1.701247e-05,1.710788e-05,1.818646e-05,1.864382e-05,1.931542e-05,2.009687e-05,2.039317e-05,2.141483e-05,2.145447e-05,2.237678e-05,2.270797e-05,2.327661e-05,2.385227e-05,2.411296e-05,2.488548e-05,2.559465e-05,2.580839e-05,2.624168e-05,2.662398e-05,2.682837e-05,2.733689e-05,2.735695e-05,2.783004e-05,2.795295e-05,2.825050e-05,2.847877e-05,2.862135e-05,2.892138e-05,2.894569e-05,2.922665e-05,2.928797e-05,2.946733e-05,2.958565e-05,2.967076e-05,2.982129e-05,2.983987e-05,2.997747e-05,3.000145e-05,3.008623e-05,3.013222e-05,3.016866e-05,3.021928e-05,3.022711e-05,3.026380e-05,3.026779e-05,3.028077e-05,3.028248e-05,3.027992e-05,3.026758e-05,3.026298e-05,3.023158e-05,3.022691e-05,3.018717e-05,3.016387e-05,3.013112e-05,3.008149e-05,3.006465e-05,2.998890e-05,2.998247e-05,2.990489e-05,2.986919e-05,2.981356e-05,2.974374e-05,2.971574e-05,2.961222e-05,2.960797e-05,2.950369e-05,2.946352e-05,2.939080e-05,2.931182e-05,2.927410e-05,2.915414e-05,2.903138e-05,2.899158e-05,2.890626e-05,2.882513e-05,2.877917e-05,2.865562e-05,2.865045e-05,2.852043e-05,2.848383e-05,2.838939e-05,2.831040e-05,2.825762e-05,2.813592e-05,2.812533e-05,2.799275e-05,2.796091e-05,2.786007e-05,2.778579e-05,2.772747e-05,2.761098e-05,2.759511e-05,2.746313e-05,2.743679e-05,2.733167e-05,2.726355e-05,2.720084e-05,2.709151e-05,2.707075e-05,2.694149e-05,2.692090e-05,2.681316e-05,2.675191e-05,2.668583e-05,2.658473e-05,2.655956e-05,2.643443e-05,2.641949e-05,2.631048e-05,2.625633e-05,2.618776e-05,2.609535e-05,2.606632e-05,2.594620e-05,2.593665e-05,2.582743e-05,2.578030e-05,2.571003e-05,2.562637e-05,2.559404e-05,2.547947e-05,2.547491e-05,2.536634e-05,2.532597e-05,2.525467e-05,2.517957e-05,2.514447e-05,2.503575e-05,2.489451e-05,2.475586e-05,2.461983e-05,2.448639e-05,2.435554e-05,2.422728e-05,2.410159e-05,2.397845e-05,2.385784e-05,2.373974e-05,2.362413e-05,2.351097e-05,2.340023e-05,2.329189e-05,2.318592e-05,2.308227e-05,2.298092e-05,2.288182e-05,2.278495e-05,2.269027e-05,2.259774e-05,2.250731e-05,2.241896e-05,2.233265e-05
0.000000e+00,5.009870e-12,2.475644e-11,2.595827e-10,1.202582e-09,2.405449e-09,1.048560e-08,1.104900e-08,3.462705e-08,4.548637e-08,8.536653e-08,1.351297e-07,1.786125e-07,3.169590e-07,3.318624e-07,5.637433e-07,6.331900e-07,8.930089e-07,1.126647e-06,1.337466e-06,1.836323e-06,1.912689e-06,2.630572e-06,2.791976e-06,3.498051e-06,4.008912e-06,4.516393e-06,5.485318e-06,5.681191e-06,6.982942e-06,7.203068e-06,8.407983e-06,9.130962e-06,9.939546e-06,1.122887e-05,1.155878e-05,1.324569e-05,1.345170e-05,1.497988e-05,1.575271e-05,1.674128e-05,1.808623e-05,1.851060e-05,2.026982e-05,2.040961e-05,2.200246e-05,2.268472e-05,2.369386e-05,2.487893e-05,2.533133e-05,2.690419e-05,2.696563e-05,2.840381e-05,2.892441e-05,2.982356e-05,3.074088e-05,3.115870e-05,3.240622e-05,3.356471e-05,3.391659e-05,3.463413e-05,3.527229e-05,3.561561e-05,3.647708e-05,3.651129e-05,3.732411e-05,3.753732e-05,3.805760e-05,3.846126e-05,3.871576e-05,3.925843e-05,3.930290e-05,3.982348e-05,3.993903e-05,4.028207e-05,4.051348e-05,4.068318e-05,4.099214e-05,4.103126e-05,4.133059e-05,4.138497e-05,4.158529e-05,4.170139e-05,4.179923e-05,4.195014e-05,4.197609e-05,4.211925e-05,4.213924e-05,4.223187e-05,4.227594e-05,4.231686e-05,4.236676e-05,4.237689e-05,4.241441e-05,4.241751e-05,4.243165e-05,4.243333e-05,4.243062e-05,4.241876e-05,4.241316e-05,4.238093e-05,4.237776e-05,4.233543e-05,4.231382e-05,4.227802e-05,4.222999e-05,4.220991e-05,4.213222e-05,4.212893e-05,4.204594e-05,4.201296e-05,4.195197e-05,4.188409e-05,4.185112e-05,4.174412e-05,4.163164e-05,4.159458e-05,4.151427e-05,4.143684e-05,4.139256e-05,4.127210e-05,4.126701e-05,4.113806e-05,4.110140e-05,4.100612e-05,4.092568e-05,4.087156e-05,4.074575e-05,4.073473e-05,4.059592e-05,4.056235e-05,4.045544e-05,4.037613e-05,4.031353e-05,4.018766e-05,4.017043e-05,4.002637e-05,3.999746e-05,3.988154e-05,3.980599e-05,3.973613e-05,3.961366e-05,3.959030e-05,3.944422e-05,3.942084e-05,3.929803e-05,3.922786e-05,3.915187e-05,3.903503e-05,3.900585e-05,3.886009e-05,3.884262e-05,3.871469e-05,3.865086e-05,3.856975e-05,3.845996e-05,3.842537e-05,3.828161e-05,3.827014e-05,3.813857e-05,3.808156e-05,3.799629e-05,3.789438e-05,3.785487e-05,3.771434e-05,3.770874e-05,3.757477e-05,3.752477e-05,3.743620e-05,3.734258e-05,3.729869e-05,3.716227e-05,3.698393e-05,3.680765e-05,3.663348e-05,3.646148e-05,3.629172e-05,3.612423e-05,3.595904e-05,3.579621e-05,3.563574e-05,3.547766e-05,3.532198e-05,3.516872e-05,3.501789e-05,3.486948e-05,3.472349e-05,3.457993e-05,3.443879e-05,3.430006e-05,3.416372e-05,3.402977e-05,3.389818e-05,3.376895e-05,3.364205e-05,3.351746e-05
0.000000e+00,2.548276e-11,1.209357e-10,1.167922e-09,5.029806e-09,9.674010e-09,3.822692e-08,4.012438e-08,1.146577e-07,1.470186e-07,2.601372e-07,3.934216e-07,5.052947e-07,8.434293e-07,8.786671e-07,1.407254e-06,1.559988e-06,2.115373e-06,2.598038e-06,3.023014e-06,3.997304e-06,4.143132e-06,5.478050e-06,5.770064e-06,7.016341e-06,7.888577e-06,8.732209e-06,1.028362e-05,1.058823e-05,1.254040e-05,1.285863e-05,1.454350e-05,1.551050e-05,1.655535e-05,1.814632e-05,1.853936e-05,2.046558e-05,2.069167e-05,2.231064e-05,2.309211e-05,2.405728e-05,2.531134e-05,2.569349e-05,2.721172e-05,2.732794e-05,2.860807e-05,2.913220e-05,2.988163e-05,3.072329e-05,3.103384e-05,3.206799e-05,3.210696e-05,3.298876e-05,3.329356e-05,3.380186e-05,3.429650e-05,3.451366e-05,3.513096e-05,3.566075e-05,3.581294e-05,3.611001e-05,3.635846e-05,3.648561e-05,3.678303e-05,3.679417e-05,3.704200e-05,3.710133e-05,3.723505e-05,3.732691e-05,3.737887e-05,3.747213e-05,3.747860e-05,3.753899e-05,3.754811e-05,3.756436e-05,3.756475e-05,3.755865e-05,3.753078e-05,3.752545e-05,3.746799e-05,3.745385e-05,3.738918e-05,3.734065e-05,3.729166e-05,3.719702e-05,3.717779e-05,3.704966e-05,3.702796e-05,3.690916e-05,3.683784e-05,3.675800e-05,3.663040e-05,3.659767e-05,3.642952e-05,3.640887e-05,3.625475e-05,3.617603e-05,3.607443e-05,3.593427e-05,3.588952e-05,3.570086e-05,3.568563e-05,3.550922e-05,3.543189e-05,3.531528e-05,3.517454e-05,3.511962e-05,3.492279e-05,3.491490e-05,3.472526e-05,3.465406e-05,3.452746e-05,3.439300e-05,3.432977e-05,3.413251e-05,3.393599e-05,3.387330e-05,3.374047e-05,3.361597e-05,3.354619e-05,3.336103e-05,3.335335e-05,3.316213e-05,3.310890e-05,3.297269e-05,3.285995e-05,3.278518e-05,3.261448e-05,3.259972e-05,3.241641e-05,3.237274e-05,3.223534e-05,3.213495e-05,3.205660e-05,3.190128e-05,3.188025e-05,3.170635e-05,3.167187e-05,3.153495e-05,3.144682e-05,3.136608e-05,3.122622e-05,3.119978e-05,3.103608e-05,3.101013e-05,3.087498e-05,3.079859e-05,3.071651e-05,3.059163e-05,3.056067e-05,3.040746e-05,3.038925e-05,3.025687e-05,3.019145e-05,3.010892e-05,2.999822e-05,2.996357e-05,2.982083e-05,2.980952e-05,2.968068e-05,2.962533e-05,2.954309e-05,2.944561e-05,2.940805e-05,2.927554e-05,2.927029e-05,2.914553e-05,2.909934e-05,2.901800e-05,2.893269e-05,2.889293e-05,2.877027e-05,2.861203e-05,2.845789e-05,2.830778e-05,2.816162e-05,2.801935e-05,2.788088e-05,2.774613e-05,2.761503e-05,2.748751e-05,2.736347e-05,2.724285e-05,2.712556e-05,2.701152e-05,2.690067e-05,2.679292e-05,2.668820e-05,2.658643e-05,2.648754e-05,2.639145e-05,2.629810e-05,2.620742e-05,2.611932e-05,2.603376e-05,2.595065e-05
0.000000e+00,7.084867e-12,1.618636e-11,5.546841e-11,1.260837e-10,1.840995e-10,4.209621e-10,4.338544e-10,8.536758e-10,1.009697e-09,1.503714e-09,2.029449e-09,2.441424e-09,3.571004e-09,3.680401e-09,5.176907e-09,5.567722e-09,6.873224e-09,7.893562e-09,8.725732e-09,1.046061e-08,1.070377e-08,1.278299e-08,1.320901e-08,1.494126e-08,1.608761e-08,1.715692e-08,1.904663e-08,1.940838e-08,2.167438e-08,2.203691e-08,2.393446e-08,2.501152e-08,2.616951e-08,2.792783e-08,2.836222e-08,3.049736e-08,3.074908e-08,3.256204e-08,3.344536e-08,3.454568e-08,3.599390e-08,3.644003e-08,3.823890e-08,3.837855e-08,3.993808e-08,4.058923e-08,4.153509e-08,4.262106e-08,4.302893e-08,4.441987e-08,4.447338e-08,4.570921e-08,4.614888e-08,4.689906e-08,4.765274e-08,4.799221e-08,4.899193e-08,4.990183e-08,5.017466e-08,5.072579e-08,5.120987e-08,5.146782e-08,5.210688e-08,5.213200e-08,5.272245e-08,5.287512e-08,5.324323e-08,5.352392e-08,5.369834e-08,5.406242e-08,5.409170e-08,5.442708e-08,5.449934e-08,5.470808e-08,5.484300e-08,5.493821e-08,5.510128e-08,5.512079e-08,5.525901e-08,5.528160e-08,5.535589e-08,5.539090e-08,5.541431e-08,5.543566e-08,5.543699e-08,5.542651e-08,5.542192e-08,5.538529e-08,5.535528e-08,5.531565e-08,5.524092e-08,5.521974e-08,5.509960e-08,5.508365e-08,5.495715e-08,5.488788e-08,5.479421e-08,5.465770e-08,5.461245e-08,5.441348e-08,5.439687e-08,5.419879e-08,5.410883e-08,5.396977e-08,5.379675e-08,5.372774e-08,5.347393e-08,5.346355e-08,5.320948e-08,5.311188e-08,5.293546e-08,5.274419e-08,5.265289e-08,5.236269e-08,5.206575e-08,5.196943e-08,5.176287e-08,5.156627e-08,5.145482e-08,5.115489e-08,5.114231e-08,5.082599e-08,5.073683e-08,5.050648e-08,5.031349e-08,5.018435e-08,4.988614e-08,4.986013e-08,4.953431e-08,4.945592e-08,4.920734e-08,4.902390e-08,4.887965e-08,4.859099e-08,4.855162e-08,4.822362e-08,4.815805e-08,4.789597e-08,4.772584e-08,4.756900e-08,4.729506e-08,4.724297e-08,4.691815e-08,4.686631e-08,4.659478e-08,4.644014e-08,4.627307e-08,4.601703e-08,4.595322e-08,4.563542e-08,4.559743e-08,4.531984e-08,4.518172e-08,4.500662e-08,4.477023e-08,4.469589e-08,4.438779e-08,4.436326e-08,4.408242e-08,4.396106e-08,4.377989e-08,4.356387e-08,4.348027e-08,4.318366e-08,4.317185e-08,4.289011e-08,4.278519e-08,4.259969e-08,4.240402e-08,4.231245e-08,4.202843e-08,4.165853e-08,4.129438e-08,4.093603e-08,4.058352e-08,4.023687e-08,3.989608e-08,3.956115e-08,3.923207e-08,3.890880e-08,3.859132e-08,3.827958e-08,3.797353e-08,3.767313e-08,3.737830e-08,3.708899e-08,3.680513e-08,3.652665e-08,3.625346e-08,3.598550e-08,3.572269e-08,3.546493e-08,3.521216e-08,3.496428e-08,3.472122e-08
0.000000e+00,8.339440e-12,1.906761e-11,6.542011e-11,1.487599e-10,2.171709e-10,4.955526e-10,5.106573e-10,9.997458e-10,1.180157e-09,1.746814e-09,2.342867e-09,2.805766e-09,4.063308e-09,4.184617e-09,5.844266e-09,6.278900e-09,7.737294e-09,8.884958e-09,9.826150e-09,1.180246e-08,1.208089e-08,1.447447e-08,1.496751e-08,1.698026e-08,1.831866e-08,1.957124e-08,2.179364e-08,2.222028e-08,2.490072e-08,2.533079e-08,2.758716e-08,2.887179e-08,3.025608e-08,3.236434e-08,3.288639e-08,3.545973e-08,3.576394e-08,3.796053e-08,3.903451e-08,4.037604e-08,4.214854e-08,4.269626e-08,4.491363e-08,4.508641e-08,4.702286e-08,4.783546e-08,4.902059e-08,5.038891e-08,5.090514e-08,5.267619e-08,5.274468e-08,5.433459e-08,5.490436e-08,5.588212e-08,5.687234e-08,5.732124e-08,5.865499e-08,5.988683e-08,6.026010e-08,6.102049e-08,6.169633e-08,6.205991e-08,6.297287e-08,6.300916e-08,6.387236e-08,6.409919e-08,6.465359e-08,6.508468e-08,6.535692e-08,6.593862e-08,6.598634e-08,6.654576e-08,6.667003e-08,6.703897e-08,6.728762e-08,6.746964e-08,6.779973e-08,6.784133e-08,6.815745e-08,6.821429e-08,6.842127e-08,6.853885e-08,6.863595e-08,6.878050e-08,6.880449e-08,6.892975e-08,6.894596e-08,6.901447e-08,6.904151e-08,6.906127e-08,6.907307e-08,6.907262e-08,6.905088e-08,6.904615e-08,6.899828e-08,6.896592e-08,6.891696e-08,6.883719e-08,6.880892e-08,6.867608e-08,6.866444e-08,6.852025e-08,6.845186e-08,6.834312e-08,6.820332e-08,6.814632e-08,6.793138e-08,6.792242e-08,6.769973e-08,6.761251e-08,6.745274e-08,6.727668e-08,6.719168e-08,6.691779e-08,6.663218e-08,6.653849e-08,6.633593e-08,6.614122e-08,6.603006e-08,6.572826e-08,6.571552e-08,6.539319e-08,6.530166e-08,6.506392e-08,6.486336e-08,6.472850e-08,6.441511e-08,6.438766e-08,6.404210e-08,6.395854e-08,6.369247e-08,6.349513e-08,6.333937e-08,6.302623e-08,6.298338e-08,6.262502e-08,6.255311e-08,6.226480e-08,6.207690e-08,6.190317e-08,6.159864e-08,6.154058e-08,6.117741e-08,6.111928e-08,6.081406e-08,6.063969e-08,6.045086e-08,6.016064e-08,6.008815e-08,5.972622e-08,5.968285e-08,5.936535e-08,5.920697e-08,5.900580e-08,5.873357e-08,5.864780e-08,5.829159e-08,5.826318e-08,5.793736e-08,5.779626e-08,5.758529e-08,5.733324e-08,5.723556e-08,5.688832e-08,5.687448e-08,5.654372e-08,5.642033e-08,5.620188e-08,5.597107e-08,5.586293e-08,5.552697e-08,5.508824e-08,5.465508e-08,5.422765e-08,5.380611e-08,5.339056e-08,5.298110e-08,5.257781e-08,5.218075e-08,5.178997e-08,5.140548e-08,5.102730e-08,5.065544e-08,5.028988e-08,4.993062e-08,4.957761e-08,4.923082e-08,4.889022e-08,4.855574e-08,4.822734e-08,4.790495e-08,4.758851e-08,4.727794e-08,4.697318e-08,4.667414e-08
0.000000e+00,1.391803e-10,5.691395e-10,4.157566e-09,1.435904e-08,2.478845e-08,7.716907e-08,8.031341e-08,1.916700e-07,2.360901e-07,3.835843e-07,5.499189e-07,6.868537e-07,1.096100e-06,1.138633e-06,1.776335e-06,1.960135e-06,2.622779e-06,3.187009e-06,3.672033e-06,4.737595e-06,4.891487e-06,6.237686e-06,6.518449e-06,7.670359e-06,8.438618e-06,9.157685e-06,1.043163e-05,1.067579e-05,1.220654e-05,1.245163e-05,1.373551e-05,1.446522e-05,1.525080e-05,1.644632e-05,1.674226e-05,1.820117e-05,1.837369e-05,1.962011e-05,2.023014e-05,2.099285e-05,2.200207e-05,2.231431e-05,2.358053e-05,2.367934e-05,2.478855e-05,2.525498e-05,2.593638e-05,2.672488e-05,2.702289e-05,2.804765e-05,2.808735e-05,2.901088e-05,2.934272e-05,2.991336e-05,3.049292e-05,3.075625e-05,3.154110e-05,3.226968e-05,3.249126e-05,3.294398e-05,3.334802e-05,3.356612e-05,3.411636e-05,3.413832e-05,3.466282e-05,3.480145e-05,3.514191e-05,3.540851e-05,3.557785e-05,3.594272e-05,3.597287e-05,3.632915e-05,3.640913e-05,3.664883e-05,3.681264e-05,3.693397e-05,3.715790e-05,3.718656e-05,3.740850e-05,3.744938e-05,3.760164e-05,3.769126e-05,3.776771e-05,3.788753e-05,3.790840e-05,3.802529e-05,3.804188e-05,3.811989e-05,3.815781e-05,3.819366e-05,3.823858e-05,3.824794e-05,3.828403e-05,3.828720e-05,3.830316e-05,3.830650e-05,3.830648e-05,3.829910e-05,3.829508e-05,3.827001e-05,3.826745e-05,3.823224e-05,3.821378e-05,3.818269e-05,3.814020e-05,3.812222e-05,3.805166e-05,3.804864e-05,3.797179e-05,3.794089e-05,3.788331e-05,3.781860e-05,3.778694e-05,3.768329e-05,3.757299e-05,3.753638e-05,3.745660e-05,3.737917e-05,3.733466e-05,3.721284e-05,3.720767e-05,3.707611e-05,3.703851e-05,3.694041e-05,3.685718e-05,3.680099e-05,3.666978e-05,3.665825e-05,3.651255e-05,3.647718e-05,3.636423e-05,3.628015e-05,3.621362e-05,3.607942e-05,3.606101e-05,3.590668e-05,3.587564e-05,3.575091e-05,3.566942e-05,3.559394e-05,3.546132e-05,3.543599e-05,3.527728e-05,3.525183e-05,3.511801e-05,3.504141e-05,3.495836e-05,3.483050e-05,3.479852e-05,3.463864e-05,3.461946e-05,3.447887e-05,3.440864e-05,3.431935e-05,3.419836e-05,3.416021e-05,3.400157e-05,3.398891e-05,3.384355e-05,3.378053e-05,3.368624e-05,3.357347e-05,3.352974e-05,3.337414e-05,3.336793e-05,3.321951e-05,3.316410e-05,3.306594e-05,3.296215e-05,3.291349e-05,3.276222e-05,3.256444e-05,3.236894e-05,3.217582e-05,3.198516e-05,3.179705e-05,3.161154e-05,3.142869e-05,3.124856e-05,3.107118e-05,3.089657e-05,3.072477e-05,3.055579e-05,3.038964e-05,3.022632e-05,3.006585e-05,2.990820e-05,2.975338e-05,2.960137e-05,2.945217e-05,2.930574e-05,2.916207e-05,2.902114e-05,2.888291e-05,2.874737e-05
0.000000e+00,4.002194e-10,1.148759e-09,5.025067e-09,1.275810e-08,1.936315e-08,4.690541e-08,4.840848e-08,9.678925e-08,1.144069e-07,1.689299e-07,2.254026e-07,2.690949e-07,3.894016e-07,4.012312e-07,5.685007e-07,6.140895e-07,7.723797e-07,9.021581e-07,1.011433e-06,1.246968e-06,1.280621e-06,1.572283e-06,1.632586e-06,1.878326e-06,2.040779e-06,2.191788e-06,2.456791e-06,2.507201e-06,2.820322e-06,2.869975e-06,3.127813e-06,3.272607e-06,3.427019e-06,3.658988e-06,3.715836e-06,3.992635e-06,4.024981e-06,4.256202e-06,4.367751e-06,4.505698e-06,4.685572e-06,4.740601e-06,4.960662e-06,4.977624e-06,5.165865e-06,5.243819e-06,5.356379e-06,5.484627e-06,5.532521e-06,5.694721e-06,5.700926e-06,5.843493e-06,5.893873e-06,5.979410e-06,6.064801e-06,6.103083e-06,6.215143e-06,6.316230e-06,6.346365e-06,6.406980e-06,6.459924e-06,6.488017e-06,6.557243e-06,6.559953e-06,6.623383e-06,6.639697e-06,6.678877e-06,6.708591e-06,6.726978e-06,6.765146e-06,6.768203e-06,6.803043e-06,6.810507e-06,6.831963e-06,6.845736e-06,6.855400e-06,6.871817e-06,6.873767e-06,6.887450e-06,6.889656e-06,6.896812e-06,6.900087e-06,6.902195e-06,6.903875e-06,6.903917e-06,6.902276e-06,6.901720e-06,6.897550e-06,6.894263e-06,6.890000e-06,6.882089e-06,6.879867e-06,6.867379e-06,6.865732e-06,6.852745e-06,6.845678e-06,6.836163e-06,6.822370e-06,6.817814e-06,6.797870e-06,6.796210e-06,6.776486e-06,6.767563e-06,6.753811e-06,6.736762e-06,6.729981e-06,6.705122e-06,6.704108e-06,6.679351e-06,6.669871e-06,6.652777e-06,6.634300e-06,6.625502e-06,6.597617e-06,6.569211e-06,6.560024e-06,6.540362e-06,6.521701e-06,6.511145e-06,6.482813e-06,6.481628e-06,6.451873e-06,6.443507e-06,6.421939e-06,6.403915e-06,6.391880e-06,6.364156e-06,6.361744e-06,6.331576e-06,6.324336e-06,6.301419e-06,6.284549e-06,6.271309e-06,6.244881e-06,6.241283e-06,6.211371e-06,6.205406e-06,6.181604e-06,6.166191e-06,6.152007e-06,6.127295e-06,6.122604e-06,6.093419e-06,6.088770e-06,6.064469e-06,6.050662e-06,6.035774e-06,6.013011e-06,6.007348e-06,5.979208e-06,5.975851e-06,5.951365e-06,5.939211e-06,5.923831e-06,5.903118e-06,5.896616e-06,5.869729e-06,5.867593e-06,5.843178e-06,5.832653e-06,5.816970e-06,5.798315e-06,5.791109e-06,5.765602e-06,5.764589e-06,5.740451e-06,5.731485e-06,5.715661e-06,5.699010e-06,5.691233e-06,5.667170e-06,5.635966e-06,5.605401e-06,5.575473e-06,5.546183e-06,5.517526e-06,5.489499e-06,5.462098e-06,5.435315e-06,5.409146e-06,5.383584e-06,5.358619e-06,5.334245e-06,5.310453e-06,5.287234e-06,5.264579e-06,5.242478e-06,5.220921e-06,5.199899e-06,5.179402e-06,5.159420e-06,5.139942e-06,5.120959e-06,5.102460e-06,5.084435e-06
0.000000e+00,9.981288e-12,2.288690e-11,7.875566e-11,1.791891e-10,2.614829e-10,5.944442e-10,6.124178e-10,1.189625e-09,1.400565e-09,2.059415e-09,2.753284e-09,3.298586e-09,4.836734e-09,4.990675e-09,7.209826e-09,7.825935e-09,9.989930e-09,1.178235e-08,1.329820e-08,1.657555e-08,1.704462e-08,2.112034e-08,2.196606e-08,2.542779e-08,2.773281e-08,2.988960e-08,3.371249e-08,3.444571e-08,3.904815e-08,3.978608e-08,4.365698e-08,4.586123e-08,4.823781e-08,5.186188e-08,5.276041e-08,5.719817e-08,5.772386e-08,6.152776e-08,6.339322e-08,6.572911e-08,6.882588e-08,6.978536e-08,7.368273e-08,7.398732e-08,7.741045e-08,7.885215e-08,8.096051e-08,8.340340e-08,8.432747e-08,8.750819e-08,8.763153e-08,9.050153e-08,9.153332e-08,9.330806e-08,9.511082e-08,9.592989e-08,9.837036e-08,1.006338e-07,1.013215e-07,1.027254e-07,1.039763e-07,1.046507e-07,1.063484e-07,1.064160e-07,1.080277e-07,1.084523e-07,1.094925e-07,1.103036e-07,1.108171e-07,1.119177e-07,1.120082e-07,1.130727e-07,1.133100e-07,1.140171e-07,1.144959e-07,1.148478e-07,1.154900e-07,1.155713e-07,1.161936e-07,1.163065e-07,1.167207e-07,1.169591e-07,1.171582e-07,1.174606e-07,1.175117e-07,1.177863e-07,1.178232e-07,1.179870e-07,1.180586e-07,1.181187e-07,1.181774e-07,1.181859e-07,1.181930e-07,1.181900e-07,1.181441e-07,1.181058e-07,1.180430e-07,1.179336e-07,1.178935e-07,1.176992e-07,1.176818e-07,1.174633e-07,1.173580e-07,1.171890e-07,1.169694e-07,1.168792e-07,1.165369e-07,1.165226e-07,1.161646e-07,1.160237e-07,1.157648e-07,1.154785e-07,1.153399e-07,1.148921e-07,1.144236e-07,1.142696e-07,1.139362e-07,1.136152e-07,1.134318e-07,1.129333e-07,1.129122e-07,1.123790e-07,1.122275e-07,1.118337e-07,1.115013e-07,1.112778e-07,1.107581e-07,1.107125e-07,1.101393e-07,1.100006e-07,1.095591e-07,1.092317e-07,1.089732e-07,1.084537e-07,1.083826e-07,1.077882e-07,1.076690e-07,1.071910e-07,1.068795e-07,1.065916e-07,1.060872e-07,1.059911e-07,1.053900e-07,1.052938e-07,1.047890e-07,1.045007e-07,1.041887e-07,1.037095e-07,1.035898e-07,1.029928e-07,1.029213e-07,1.023981e-07,1.021373e-07,1.018062e-07,1.013585e-07,1.012175e-07,1.006324e-07,1.005858e-07,1.000513e-07,9.982009e-08,9.947453e-08,9.906204e-08,9.890229e-08,9.833489e-08,9.831230e-08,9.777259e-08,9.757145e-08,9.721559e-08,9.683997e-08,9.666410e-08,9.611829e-08,9.540680e-08,9.470579e-08,9.401555e-08,9.333629e-08,9.266819e-08,9.201140e-08,9.136601e-08,9.073210e-08,9.010972e-08,8.949888e-08,8.889959e-08,8.831181e-08,8.773551e-08,8.717061e-08,8.661705e-08,8.607472e-08,8.554353e-08,8.502336e-08,8.451408e-08,8.401556e-08,8.352765e-08,8.305022e-08,8.258311e-08,8.212616e-08
0.000000e+00,1.130615e-11,5.200369e-11,4.724638e-10,1.933362e-09,3.622408e-09,1.346035e-08,1.409582e-08,3.823913e-08,4.841482e-08,8.320680e-08,1.232464e-07,1.563570e-07,2.547654e-07,2.649171e-07,4.156240e-07,4.587232e-07,6.140959e-07,7.476216e-07,8.641851e-07,1.128521e-06,1.167803e-06,1.525242e-06,1.603127e-06,1.935625e-06,2.169408e-06,2.397243e-06,2.822876e-06,2.907719e-06,3.464076e-06,3.557121e-06,4.062762e-06,4.363987e-06,4.699697e-06,5.233742e-06,5.370334e-06,6.069747e-06,6.155366e-06,6.792744e-06,7.116960e-06,7.533982e-06,8.106218e-06,8.288094e-06,9.049798e-06,9.110908e-06,9.814007e-06,1.011930e-05,1.057591e-05,1.112054e-05,1.133106e-05,1.207539e-05,1.210488e-05,1.280529e-05,1.306391e-05,1.351762e-05,1.399056e-05,1.420967e-05,1.487919e-05,1.552439e-05,1.572547e-05,1.614385e-05,1.652631e-05,1.673654e-05,1.727970e-05,1.730177e-05,1.783915e-05,1.798460e-05,1.834855e-05,1.864080e-05,1.883008e-05,1.924873e-05,1.928404e-05,1.971089e-05,1.980936e-05,2.011123e-05,2.032410e-05,2.048577e-05,2.079464e-05,2.083529e-05,2.116066e-05,2.122291e-05,2.146277e-05,2.161098e-05,2.174255e-05,2.196102e-05,2.200097e-05,2.223896e-05,2.227520e-05,2.245747e-05,2.255572e-05,2.265746e-05,2.280473e-05,2.283985e-05,2.300553e-05,2.302433e-05,2.315538e-05,2.321652e-05,2.329025e-05,2.338325e-05,2.341097e-05,2.351832e-05,2.352635e-05,2.361306e-05,2.364758e-05,2.369590e-05,2.374858e-05,2.376755e-05,2.382867e-05,2.383090e-05,2.387987e-05,2.389600e-05,2.392176e-05,2.394522e-05,2.395491e-05,2.397986e-05,2.399711e-05,2.400108e-05,2.400714e-05,2.401000e-05,2.401043e-05,2.400764e-05,2.400740e-05,2.399847e-05,2.399496e-05,2.398401e-05,2.397284e-05,2.396440e-05,2.394211e-05,2.393999e-05,2.391109e-05,2.390352e-05,2.387803e-05,2.385780e-05,2.384108e-05,2.380558e-05,2.380053e-05,2.375663e-05,2.374748e-05,2.370964e-05,2.368405e-05,2.365977e-05,2.361583e-05,2.360726e-05,2.355229e-05,2.354329e-05,2.349508e-05,2.346687e-05,2.343579e-05,2.338698e-05,2.337460e-05,2.331168e-05,2.330402e-05,2.324717e-05,2.321832e-05,2.318122e-05,2.313021e-05,2.311396e-05,2.304552e-05,2.304000e-05,2.297602e-05,2.294795e-05,2.290558e-05,2.285433e-05,2.283430e-05,2.276227e-05,2.275938e-05,2.268960e-05,2.266330e-05,2.261638e-05,2.256631e-05,2.254268e-05,2.246858e-05,2.237028e-05,2.227158e-05,2.217262e-05,2.207352e-05,2.197442e-05,2.187542e-05,2.177663e-05,2.167814e-05,2.158004e-05,2.148240e-05,2.138530e-05,2.128880e-05,2.119297e-05,2.109785e-05,2.100349e-05,2.090995e-05,2.081725e-05,2.072544e-05,2.063454e-05,2.054459e-05,2.045561e-05,2.036763e-05,2.028065e-05,2.019470e-05
0.000000e+00,1.371720e-11,3.146845e-11,1.085345e-10,2.479984e-10,3.631588e-10,8.369896e-10,8.629151e-10,1.712679e-09,2.030708e-09,3.043825e-09,4.131078e-09,4.989418e-09,7.370585e-09,7.603171e-09,1.081151e-08,1.165572e-08,1.448783e-08,1.671013e-08,1.852623e-08,2.231910e-08,2.285124e-08,2.740557e-08,2.833957e-08,3.214027e-08,3.465838e-08,3.700974e-08,4.117209e-08,4.197009e-08,4.697905e-08,4.778229e-08,5.199663e-08,5.439714e-08,5.698586e-08,6.093434e-08,6.191348e-08,6.675046e-08,6.732359e-08,7.147214e-08,7.350775e-08,7.605811e-08,7.944250e-08,8.049207e-08,8.476165e-08,8.509582e-08,8.885787e-08,9.044639e-08,9.277478e-08,9.548194e-08,9.650901e-08,1.000594e-07,1.001976e-07,1.034265e-07,1.045942e-07,1.066125e-07,1.086770e-07,1.096205e-07,1.124546e-07,1.151198e-07,1.159378e-07,1.176212e-07,1.191388e-07,1.199646e-07,1.220710e-07,1.221558e-07,1.242009e-07,1.247482e-07,1.261059e-07,1.271842e-07,1.278769e-07,1.293928e-07,1.295197e-07,1.310403e-07,1.313876e-07,1.324443e-07,1.331818e-07,1.337374e-07,1.347879e-07,1.349250e-07,1.360123e-07,1.362182e-07,1.370044e-07,1.374842e-07,1.379060e-07,1.385970e-07,1.387220e-07,1.394567e-07,1.395670e-07,1.401145e-07,1.404041e-07,1.406994e-07,1.411176e-07,1.412155e-07,1.416664e-07,1.417163e-07,1.420558e-07,1.422086e-07,1.423871e-07,1.426021e-07,1.426636e-07,1.428884e-07,1.429043e-07,1.430645e-07,1.431219e-07,1.431946e-07,1.432614e-07,1.432815e-07,1.433278e-07,1.433288e-07,1.433358e-07,1.433298e-07,1.433079e-07,1.432696e-07,1.432464e-07,1.431532e-07,1.430305e-07,1.429852e-07,1.428800e-07,1.427699e-07,1.427035e-07,1.425113e-07,1.425029e-07,1.422796e-07,1.422132e-07,1.420352e-07,1.418791e-07,1.417712e-07,1.415122e-07,1.414890e-07,1.411898e-07,1.411156e-07,1.408748e-07,1.406921e-07,1.405454e-07,1.402443e-07,1.402025e-07,1.398473e-07,1.397748e-07,1.394806e-07,1.392858e-07,1.391035e-07,1.387794e-07,1.387169e-07,1.383216e-07,1.382576e-07,1.379184e-07,1.377222e-07,1.375080e-07,1.371750e-07,1.370912e-07,1.366686e-07,1.366176e-07,1.362409e-07,1.360513e-07,1.358087e-07,1.354776e-07,1.353725e-07,1.349330e-07,1.348977e-07,1.344904e-07,1.343127e-07,1.340455e-07,1.337239e-07,1.335986e-07,1.331501e-07,1.331321e-07,1.327004e-07,1.325383e-07,1.322500e-07,1.319434e-07,1.317991e-07,1.313480e-07,1.307531e-07,1.301591e-07,1.295668e-07,1.289767e-07,1.283892e-07,1.278050e-07,1.272243e-07,1.266477e-07,1.260754e-07,1.255078e-07,1.249451e-07,1.243877e-07,1.238358e-07,1.232895e-07,1.227492e-07,1.222149e-07,1.216867e-07,1.211649e-07,1.206495e-07,1.201407e-07,1.196385e-07,1.191429e-07,1.186541e-07,1.181721e-07
0.000000e+00,9.929140e-11,3.741019e-10,2.379985e-09,7.467016e-09,1.234249e-08,3.508435e-08,3.639685e-08,8.089921e-08,9.789888e-08,1.523378e-07,2.109942e-07,2.576557e-07,3.908619e-07,4.042884e-07,5.993145e-07,6.539229e-07,8.473885e-07,1.009805e-06,1.148900e-06,1.455803e-06,1.500473e-06,1.897105e-06,1.981389e-06,2.333775e-06,2.575140e-06,2.805941e-06,3.226953e-06,3.309458e-06,3.840366e-06,3.927592e-06,4.394753e-06,4.668045e-06,4.968686e-06,5.439246e-06,5.558208e-06,6.159377e-06,6.232114e-06,6.768317e-06,7.037741e-06,7.381283e-06,7.847632e-06,7.994717e-06,8.605298e-06,8.653928e-06,9.209975e-06,9.449566e-06,9.805998e-06,1.022839e-05,1.039093e-05,1.096265e-05,1.098522e-05,1.151935e-05,1.171579e-05,1.205953e-05,1.241677e-05,1.258195e-05,1.308566e-05,1.356994e-05,1.372071e-05,1.403427e-05,1.432081e-05,1.447833e-05,1.488541e-05,1.490196e-05,1.530517e-05,1.541441e-05,1.568805e-05,1.590811e-05,1.605083e-05,1.636709e-05,1.639381e-05,1.671737e-05,1.679218e-05,1.702193e-05,1.718436e-05,1.730797e-05,1.754479e-05,1.757602e-05,1.782661e-05,1.787468e-05,1.806031e-05,1.817534e-05,1.827768e-05,1.844808e-05,1.847930e-05,1.866576e-05,1.869423e-05,1.883764e-05,1.891513e-05,1.899551e-05,1.911210e-05,1.913994e-05,1.927148e-05,1.928643e-05,1.939070e-05,1.943939e-05,1.949813e-05,1.957221e-05,1.959428e-05,1.967968e-05,1.968607e-05,1.975482e-05,1.978211e-05,1.982018e-05,1.986145e-05,1.987623e-05,1.992341e-05,1.992512e-05,1.996218e-05,1.997415e-05,1.999293e-05,2.000949e-05,2.001610e-05,2.003205e-05,2.004118e-05,2.004272e-05,2.004385e-05,2.004233e-05,2.004040e-05,2.003165e-05,2.003118e-05,2.001650e-05,2.001145e-05,1.999667e-05,1.998242e-05,1.997199e-05,1.994524e-05,1.994274e-05,1.990920e-05,1.990054e-05,1.987163e-05,1.984892e-05,1.983027e-05,1.979094e-05,1.978537e-05,1.973716e-05,1.972714e-05,1.968585e-05,1.965801e-05,1.963165e-05,1.958403e-05,1.957476e-05,1.951537e-05,1.950565e-05,1.945367e-05,1.942329e-05,1.938983e-05,1.933732e-05,1.932401e-05,1.925636e-05,1.924813e-05,1.918705e-05,1.915606e-05,1.911621e-05,1.906143e-05,1.904398e-05,1.897048e-05,1.896455e-05,1.889584e-05,1.886570e-05,1.882018e-05,1.876514e-05,1.874361e-05,1.866623e-05,1.866312e-05,1.858814e-05,1.855988e-05,1.850944e-05,1.845562e-05,1.843022e-05,1.835056e-05,1.824487e-05,1.813873e-05,1.803230e-05,1.792573e-05,1.781916e-05,1.771271e-05,1.760651e-05,1.750066e-05,1.739525e-05,1.729040e-05,1.718617e-05,1.708264e-05,1.697989e-05,1.687797e-05,1.677695e-05,1.667688e-05,1.657781e-05,1.647977e-05,1.638281e-05,1.628695e-05,1.619224e-05,1.609868e-05,1.600632e-05,1.591515e-05
0.000000e+00,5.015610e-12,2.574867e-11,2.923870e-10,1.457599e-09,3.036096e-09,1.470710e-08,1.556433e-08,5.422053e-08,7.331287e-08,1.479902e-07,2.485311e-07,3.414442e-07,6.606367e-07,6.968116e-07,1.295148e-06,1.485633e-06,2.236625e-06,2.957252e-06,3.639920e-06,5.364127e-06,5.640589e-06,8.388266e-06,9.041375e-06,1.204271e-05,1.435613e-05,1.676904e-05,2.168853e-05,2.273253e-05,3.009355e-05,3.141126e-05,3.900286e-05,4.387011e-05,4.959738e-05,5.936741e-05,6.199675e-05,7.630039e-05,7.814870e-05,9.258527e-05,1.003928e-04,1.109043e-04,1.262053e-04,1.312854e-04,1.537308e-04,1.556151e-04,1.782177e-04,1.885742e-04,2.046983e-04,2.249595e-04,2.331009e-04,2.633321e-04,2.645778e-04,2.952775e-04,3.071726e-04,3.288050e-04,3.524322e-04,3.637661e-04,3.999994e-04,4.373325e-04,4.494822e-04,4.755853e-04,5.004642e-04,5.145722e-04,5.525155e-04,5.541049e-04,5.939951e-04,6.052029e-04,6.340564e-04,6.580993e-04,6.741067e-04,7.107920e-04,7.139702e-04,7.534788e-04,7.628902e-04,7.924737e-04,8.140306e-04,8.308064e-04,8.638822e-04,8.683397e-04,9.049486e-04,9.121494e-04,9.405205e-04,9.585743e-04,9.749552e-04,1.002937e-03,1.008166e-03,1.040077e-03,1.045058e-03,1.070628e-03,1.084793e-03,1.099767e-03,1.122035e-03,1.127455e-03,1.153666e-03,1.156711e-03,1.178380e-03,1.188778e-03,1.201590e-03,1.218224e-03,1.223297e-03,1.243508e-03,1.245061e-03,1.262240e-03,1.269323e-03,1.279514e-03,1.291065e-03,1.295360e-03,1.309808e-03,1.310358e-03,1.322898e-03,1.327285e-03,1.334669e-03,1.341942e-03,1.345165e-03,1.354433e-03,1.362521e-03,1.364868e-03,1.369477e-03,1.373359e-03,1.375354e-03,1.380025e-03,1.380200e-03,1.384068e-03,1.384982e-03,1.387008e-03,1.388347e-03,1.389070e-03,1.390235e-03,1.390305e-03,1.390760e-03,1.390759e-03,1.390485e-03,1.390028e-03,1.389524e-03,1.388147e-03,1.387923e-03,1.385725e-03,1.385218e-03,1.382973e-03,1.381336e-03,1.379707e-03,1.376594e-03,1.375965e-03,1.371784e-03,1.371077e-03,1.367201e-03,1.364867e-03,1.362248e-03,1.358041e-03,1.356957e-03,1.351360e-03,1.350669e-03,1.345484e-03,1.342817e-03,1.339357e-03,1.334548e-03,1.333004e-03,1.326451e-03,1.325918e-03,1.319718e-03,1.316980e-03,1.312829e-03,1.307782e-03,1.305802e-03,1.298657e-03,1.298369e-03,1.291410e-03,1.288780e-03,1.284080e-03,1.279054e-03,1.276680e-03,1.269224e-03,1.259322e-03,1.249373e-03,1.239405e-03,1.229439e-03,1.219496e-03,1.209594e-03,1.199749e-03,1.189975e-03,1.180286e-03,1.170693e-03,1.161205e-03,1.151832e-03,1.142579e-03,1.133455e-03,1.124464e-03,1.115611e-03,1.106899e-03,1.098332e-03,1.089911e-03,1.081639e-03,1.073518e-03,1.065547e-03,1.057727e-03,1.050058e-03
0.000000e+00,1.141183e-10,2.663046e-10,9.364953e-10,2.158957e-09,3.169586e-09,7.306289e-09,7.531232e-09,1.481829e-08,1.750601e-08,2.595898e-08,3.491460e-08,4.195525e-08,6.161872e-08,6.356103e-08,9.091299e-08,9.829796e-08,1.236624e-07,1.441916e-07,1.613656e-07,1.983460e-07,2.036518e-07,2.502128e-07,2.600126e-07,3.007585e-07,3.285173e-07,3.549852e-07,4.031384e-07,4.125609e-07,4.731211e-07,4.830619e-07,5.362740e-07,5.673879e-07,6.016076e-07,6.551607e-07,6.686993e-07,7.371268e-07,7.454081e-07,8.064769e-07,8.371804e-07,8.763537e-07,9.295826e-07,9.463856e-07,1.016229e-06,1.021799e-06,1.085574e-06,1.113109e-06,1.154142e-06,1.202891e-06,1.221688e-06,1.288000e-06,1.290625e-06,1.352901e-06,1.375889e-06,1.416239e-06,1.458355e-06,1.477895e-06,1.537768e-06,1.595785e-06,1.613949e-06,1.651891e-06,1.686777e-06,1.706047e-06,1.756177e-06,1.758226e-06,1.808415e-06,1.822111e-06,1.856612e-06,1.884577e-06,1.902825e-06,1.943601e-06,1.947069e-06,1.989366e-06,1.999231e-06,2.029748e-06,2.051541e-06,2.068256e-06,2.100623e-06,2.104928e-06,2.139801e-06,2.146564e-06,2.172919e-06,2.189460e-06,2.204323e-06,2.229412e-06,2.234059e-06,2.262172e-06,2.266523e-06,2.288708e-06,2.300899e-06,2.313714e-06,2.332647e-06,2.337234e-06,2.359316e-06,2.361871e-06,2.380004e-06,2.388677e-06,2.399344e-06,2.413169e-06,2.417381e-06,2.434160e-06,2.435449e-06,2.449723e-06,2.455617e-06,2.464113e-06,2.473772e-06,2.477373e-06,2.489543e-06,2.490007e-06,2.500663e-06,2.504417e-06,2.510773e-06,2.517091e-06,2.519911e-06,2.528115e-06,2.535421e-06,2.537575e-06,2.541865e-06,2.545552e-06,2.547481e-06,2.552125e-06,2.552303e-06,2.556364e-06,2.557369e-06,2.559696e-06,2.561357e-06,2.562329e-06,2.564160e-06,2.564294e-06,2.565619e-06,2.565845e-06,2.566333e-06,2.566477e-06,2.566464e-06,2.566117e-06,2.566037e-06,2.565079e-06,2.564826e-06,2.563614e-06,2.562660e-06,2.561666e-06,2.559674e-06,2.559259e-06,2.556415e-06,2.555921e-06,2.553155e-06,2.551449e-06,2.549501e-06,2.546308e-06,2.545473e-06,2.541091e-06,2.540542e-06,2.536372e-06,2.534195e-06,2.531337e-06,2.527308e-06,2.526001e-06,2.520382e-06,2.519921e-06,2.514496e-06,2.512071e-06,2.508359e-06,2.503794e-06,2.501987e-06,2.495392e-06,2.495124e-06,2.488591e-06,2.486094e-06,2.481595e-06,2.476734e-06,2.474418e-06,2.467073e-06,2.457139e-06,2.446958e-06,2.436555e-06,2.425954e-06,2.415177e-06,2.404244e-06,2.393176e-06,2.381992e-06,2.370709e-06,2.359344e-06,2.347912e-06,2.336429e-06,2.324909e-06,2.313364e-06,2.301807e-06,2.290249e-06,2.278701e-06,2.267173e-06,2.255675e-06,2.244216e-06,2.232803e-06,2.221444e-06,2.210146e-06,2.198916e-06
0.000000e+00,4.677823e-11,1.208130e-10,4.717268e-10,1.137790e-09,1.695511e-09,3.983570e-09,4.107500e-09,8.071875e-09,9.507551e-09,1.393461e-08,1.850256e-08,2.202908e-08,3.172491e-08,3.267824e-08,4.618959e-08,4.988975e-08,6.283667e-08,7.360827e-08,8.282076e-08,1.032309e-07,1.062173e-07,1.329366e-07,1.386599e-07,1.627357e-07,1.793382e-07,1.952773e-07,2.244627e-07,2.301938e-07,2.671246e-07,2.731974e-07,3.057292e-07,3.247593e-07,3.456876e-07,3.784251e-07,3.866972e-07,4.284711e-07,4.335223e-07,4.707379e-07,4.894248e-07,5.132416e-07,5.455556e-07,5.557439e-07,5.980251e-07,6.013919e-07,6.398853e-07,6.564707e-07,6.811457e-07,7.103924e-07,7.216486e-07,7.612578e-07,7.628218e-07,7.998570e-07,8.134863e-07,8.373493e-07,8.621707e-07,8.736557e-07,9.087145e-07,9.424795e-07,9.530053e-07,9.749179e-07,9.949723e-07,1.006009e-06,1.034580e-06,1.035743e-06,1.064121e-06,1.071824e-06,1.091148e-06,1.106722e-06,1.116840e-06,1.139315e-06,1.141217e-06,1.164303e-06,1.169655e-06,1.186127e-06,1.197809e-06,1.206721e-06,1.223852e-06,1.226118e-06,1.244354e-06,1.247866e-06,1.261467e-06,1.269934e-06,1.277494e-06,1.290145e-06,1.292473e-06,1.306443e-06,1.308587e-06,1.319443e-06,1.325349e-06,1.331510e-06,1.340518e-06,1.342683e-06,1.352998e-06,1.354180e-06,1.362492e-06,1.366419e-06,1.371201e-06,1.377316e-06,1.379159e-06,1.386400e-06,1.386950e-06,1.392958e-06,1.395396e-06,1.398863e-06,1.402729e-06,1.404148e-06,1.408841e-06,1.409017e-06,1.412973e-06,1.414328e-06,1.416570e-06,1.418724e-06,1.419659e-06,1.422267e-06,1.424419e-06,1.425015e-06,1.426137e-06,1.427021e-06,1.427447e-06,1.428339e-06,1.428369e-06,1.428924e-06,1.429017e-06,1.429134e-06,1.429102e-06,1.429018e-06,1.428639e-06,1.428594e-06,1.427880e-06,1.427668e-06,1.426894e-06,1.426229e-06,1.425652e-06,1.424360e-06,1.424170e-06,1.422463e-06,1.422095e-06,1.420544e-06,1.419468e-06,1.418429e-06,1.416509e-06,1.416129e-06,1.413658e-06,1.413248e-06,1.411028e-06,1.409712e-06,1.408249e-06,1.405926e-06,1.405332e-06,1.402289e-06,1.401916e-06,1.399128e-06,1.397703e-06,1.395860e-06,1.393309e-06,1.392492e-06,1.389034e-06,1.388754e-06,1.385494e-06,1.384056e-06,1.381879e-06,1.379234e-06,1.378196e-06,1.374453e-06,1.374302e-06,1.370656e-06,1.369277e-06,1.366811e-06,1.364172e-06,1.362924e-06,1.359001e-06,1.353775e-06,1.348507e-06,1.343207e-06,1.337884e-06,1.332548e-06,1.327208e-06,1.321870e-06,1.316542e-06,1.311232e-06,1.305944e-06,1.300684e-06,1.295458e-06,1.290270e-06,1.285124e-06,1.280024e-06,1.274975e-06,1.269978e-06,1.265037e-06,1.260154e-06,1.255331e-06,1.250571e-06,1.245875e-06,1.241245e-06,1.236682e-06
0.000000e+00,3.420154e-11,1.156784e-10,6.250644e-10,1.774839e-09,2.813864e-09,7.377200e-09,7.632514e-09,1.602000e-08,1.912599e-08,2.882747e-08,3.895709e-08,4.682492e-08,6.856333e-08,7.070524e-08,1.010827e-07,1.094004e-07,1.384809e-07,1.626472e-07,1.833031e-07,2.290757e-07,2.357792e-07,2.959030e-07,3.088260e-07,3.633999e-07,4.012491e-07,4.377565e-07,5.050280e-07,5.183004e-07,6.042813e-07,6.184911e-07,6.949231e-07,7.398584e-07,7.894496e-07,8.673535e-07,8.870964e-07,9.871186e-07,9.992464e-07,1.088797e-06,1.133881e-06,1.191444e-06,1.269705e-06,1.294415e-06,1.397108e-06,1.405295e-06,1.498976e-06,1.539380e-06,1.599526e-06,1.670858e-06,1.698321e-06,1.794983e-06,1.798801e-06,1.889190e-06,1.922450e-06,1.980672e-06,2.041211e-06,2.069213e-06,2.154641e-06,2.236829e-06,2.262429e-06,2.315688e-06,2.364383e-06,2.391161e-06,2.460408e-06,2.463225e-06,2.531877e-06,2.550492e-06,2.597142e-06,2.634691e-06,2.659059e-06,2.713114e-06,2.717685e-06,2.773087e-06,2.785912e-06,2.825344e-06,2.853266e-06,2.874542e-06,2.915380e-06,2.920774e-06,2.964136e-06,2.972472e-06,3.004726e-06,3.024772e-06,3.042648e-06,3.072513e-06,3.078001e-06,3.110889e-06,3.115929e-06,3.141412e-06,3.155252e-06,3.169670e-06,3.190711e-06,3.195761e-06,3.219781e-06,3.222529e-06,3.241825e-06,3.250921e-06,3.261983e-06,3.276096e-06,3.280344e-06,3.296993e-06,3.298253e-06,3.312013e-06,3.317584e-06,3.325485e-06,3.334269e-06,3.337486e-06,3.348088e-06,3.348485e-06,3.357365e-06,3.360394e-06,3.365385e-06,3.370153e-06,3.372212e-06,3.377911e-06,3.382541e-06,3.383806e-06,3.386160e-06,3.387972e-06,3.388825e-06,3.390533e-06,3.390586e-06,3.391496e-06,3.391605e-06,3.391603e-06,3.391300e-06,3.390952e-06,3.389722e-06,3.389588e-06,3.387552e-06,3.386968e-06,3.384886e-06,3.383131e-06,3.381626e-06,3.378296e-06,3.377810e-06,3.373473e-06,3.372545e-06,3.368646e-06,3.365954e-06,3.363363e-06,3.358594e-06,3.357653e-06,3.351544e-06,3.350531e-06,3.345064e-06,3.341829e-06,3.338238e-06,3.332546e-06,3.331092e-06,3.323648e-06,3.322736e-06,3.315929e-06,3.312451e-06,3.307956e-06,3.301738e-06,3.299748e-06,3.291326e-06,3.290644e-06,3.282707e-06,3.279208e-06,3.273908e-06,3.267471e-06,3.264946e-06,3.255835e-06,3.255468e-06,3.246591e-06,3.243233e-06,3.237228e-06,3.230799e-06,3.227758e-06,3.218194e-06,3.205446e-06,3.192579e-06,3.179619e-06,3.166586e-06,3.153501e-06,3.140383e-06,3.127250e-06,3.114117e-06,3.100998e-06,3.087909e-06,3.074862e-06,3.061868e-06,3.048938e-06,3.036081e-06,3.023308e-06,3.010625e-06,2.998041e-06,2.985563e-06,2.973196e-06,2.960945e-06,2.948817e-06,2.936816e-06,2.924945e-06,2.913208e-06
0.000000e+00,8.736394e-11,4.512849e-10,5.192955e-09,2.621915e-08,5.501297e-08,2.719044e-07,2.880014e-07,1.025963e-06,1.396342e-06,2.868409e-06,4.891622e-06,6.792177e-06,1.348313e-05,1.425424e-05,2.728995e-05,3.153196e-05,4.858334e-05,6.533466e-05,8.147607e-05,1.231271e-04,1.299000e-04,1.982498e-04,2.147210e-04,2.912257e-04,3.509115e-04,4.136694e-04,5.428301e-04,5.704082e-04,7.661134e-04,8.013406e-04,1.005175e-03,1.136517e-03,1.291595e-03,1.557215e-03,1.628897e-03,2.020056e-03,2.070734e-03,2.467443e-03,2.682576e-03,2.972788e-03,3.396292e-03,3.537156e-03,4.160947e-03,4.213414e-03,4.843901e-03,5.133468e-03,5.585120e-03,6.154054e-03,6.383102e-03,7.235785e-03,7.270995e-03,8.140598e-03,8.478522e-03,9.094516e-03,9.769501e-03,1.009412e-02,1.113568e-02,1.221517e-02,1.256793e-02,1.332838e-02,1.405653e-02,1.447097e-02,1.559138e-02,1.563851e-02,1.682652e-02,1.716223e-02,1.803058e-02,1.875889e-02,1.924631e-02,2.037141e-02,2.046943e-02,2.169583e-02,2.199020e-02,2.292153e-02,2.360621e-02,2.414277e-02,2.521095e-02,2.535600e-02,2.655788e-02,2.679661e-02,2.774531e-02,2.835611e-02,2.891545e-02,2.988310e-02,3.006570e-02,3.119369e-02,3.137196e-02,3.229731e-02,3.281783e-02,3.337469e-02,3.421659e-02,3.442419e-02,3.544438e-02,3.556477e-02,3.643407e-02,3.685960e-02,3.739226e-02,3.809891e-02,3.831814e-02,3.921109e-02,3.928108e-02,4.007065e-02,4.040506e-02,4.089654e-02,4.147024e-02,4.168860e-02,4.244681e-02,4.247644e-02,4.317128e-02,4.342387e-02,4.386223e-02,4.431308e-02,4.451996e-02,4.514488e-02,4.573748e-02,4.592037e-02,4.629830e-02,4.664084e-02,4.682797e-02,4.730775e-02,4.732714e-02,4.779652e-02,4.792271e-02,4.823687e-02,4.848747e-02,4.864897e-02,4.900383e-02,4.903361e-02,4.939162e-02,4.947367e-02,4.972384e-02,4.989893e-02,5.003111e-02,5.028154e-02,5.031428e-02,5.057421e-02,5.062348e-02,5.081175e-02,5.092670e-02,5.102775e-02,5.119315e-02,5.122304e-02,5.139846e-02,5.142473e-02,5.155482e-02,5.162334e-02,5.169292e-02,5.179080e-02,5.181356e-02,5.191751e-02,5.192890e-02,5.200552e-02,5.203939e-02,5.207833e-02,5.212394e-02,5.213665e-02,5.218119e-02,5.218417e-02,5.221261e-02,5.222165e-02,5.223158e-02,5.223788e-02,5.223873e-02,5.223467e-02,5.223429e-02,5.222001e-02,5.221225e-02,5.219532e-02,5.217308e-02,5.216114e-02,5.211802e-02,5.204827e-02,5.196495e-02,5.186914e-02,5.176185e-02,5.164404e-02,5.151662e-02,5.138044e-02,5.123631e-02,5.108499e-02,5.092720e-02,5.076361e-02,5.059485e-02,5.042152e-02,5.024417e-02,5.006332e-02,4.987945e-02,4.969303e-02,4.950447e-02,4.931416e-02,4.912249e-02,4.892978e-02,4.873635e-02,4.854251e-02,4.834852e-02
0.000000e+00,2.597417e-11,6.075870e-11,2.138187e-10,4.937242e-10,7.266396e-10,1.698945e-09,1.752733e-09,3.540168e-09,4.215552e-09,6.349283e-09,8.559037e-09,1.023157e-08,1.460498e-08,1.501684e-08,2.054950e-08,2.197809e-08,2.674398e-08,3.048178e-08,3.354723e-08,4.000005e-08,4.091174e-08,4.878420e-08,5.041431e-08,5.710206e-08,6.157992e-08,6.579368e-08,7.332576e-08,7.477996e-08,8.397758e-08,8.546315e-08,9.330197e-08,9.779825e-08,1.026703e-07,1.101437e-07,1.120042e-07,1.212313e-07,1.223283e-07,1.302874e-07,1.342031e-07,1.391164e-07,1.456456e-07,1.476717e-07,1.559154e-07,1.565605e-07,1.638182e-07,1.668788e-07,1.713586e-07,1.765551e-07,1.785225e-07,1.853020e-07,1.855651e-07,1.916945e-07,1.939013e-07,1.977021e-07,2.015702e-07,2.033305e-07,2.085885e-07,2.134871e-07,2.149808e-07,2.180390e-07,2.207768e-07,2.222584e-07,2.260097e-07,2.261599e-07,2.297588e-07,2.307144e-07,2.330706e-07,2.349262e-07,2.361105e-07,2.386803e-07,2.388939e-07,2.414354e-07,2.420109e-07,2.437493e-07,2.449509e-07,2.458495e-07,2.475313e-07,2.477490e-07,2.494606e-07,2.497814e-07,2.509961e-07,2.517287e-07,2.523668e-07,2.533988e-07,2.535835e-07,2.546562e-07,2.548151e-07,2.555944e-07,2.559996e-07,2.564071e-07,2.569724e-07,2.571025e-07,2.576886e-07,2.577520e-07,2.581728e-07,2.583553e-07,2.585619e-07,2.587980e-07,2.588624e-07,2.590804e-07,2.590944e-07,2.592214e-07,2.592575e-07,2.592909e-07,2.592994e-07,2.592937e-07,2.592346e-07,2.592310e-07,2.591178e-07,2.590624e-07,2.589474e-07,2.588029e-07,2.587272e-07,2.584608e-07,2.581514e-07,2.580439e-07,2.578023e-07,2.575593e-07,2.574163e-07,2.570135e-07,2.569961e-07,2.565443e-07,2.564125e-07,2.560633e-07,2.557617e-07,2.555554e-07,2.550661e-07,2.550226e-07,2.544670e-07,2.543304e-07,2.538903e-07,2.535588e-07,2.532943e-07,2.527552e-07,2.526806e-07,2.520509e-07,2.519231e-07,2.514064e-07,2.510659e-07,2.507485e-07,2.501865e-07,2.500786e-07,2.493977e-07,2.492878e-07,2.487070e-07,2.483723e-07,2.480076e-07,2.474424e-07,2.473003e-07,2.465863e-07,2.465001e-07,2.458662e-07,2.455476e-07,2.451409e-07,2.445867e-07,2.444112e-07,2.436778e-07,2.436190e-07,2.429414e-07,2.426461e-07,2.422026e-07,2.416695e-07,2.414620e-07,2.407201e-07,2.406904e-07,2.399775e-07,2.397101e-07,2.392347e-07,2.387297e-07,2.384921e-07,2.377502e-07,2.367725e-07,2.357976e-07,2.348262e-07,2.338590e-07,2.328968e-07,2.319400e-07,2.309894e-07,2.300454e-07,2.291084e-07,2.281788e-07,2.272572e-07,2.263437e-07,2.254388e-07,2.245426e-07,2.236555e-07,2.227777e-07,2.219093e-07,2.210506e-07,2.202016e-07,2.193626e-07,2.185336e-07,2.177148e-07,2.169061e-07,2.161077e-07
0.000000e+00,6.318795e-11,3.269455e-10,3.775819e-09,1.913240e-08,4.022847e-08,2.000457e-07,2.119458e-07,7.605174e-07,1.037361e-06,2.143983e-06,3.676459e-06,5.124858e-06,1.027181e-05,1.086879e-05,2.104714e-05,2.438779e-05,3.791999e-05,5.134056e-05,6.436311e-05,9.827023e-05,1.038169e-04,1.601691e-04,1.738320e-04,2.376006e-04,2.876259e-04,3.404222e-04,4.495531e-04,4.729195e-04,6.392145e-04,6.692195e-04,8.431468e-04,9.554355e-04,1.088176e-03,1.315822e-03,1.377303e-03,1.713014e-03,1.756527e-03,2.097236e-03,2.282030e-03,2.531316e-03,2.895048e-03,3.016009e-03,3.551484e-03,3.596507e-03,4.137337e-03,4.385590e-03,4.772622e-03,5.259838e-03,5.455884e-03,6.185199e-03,6.215298e-03,6.958225e-03,7.246704e-03,7.772253e-03,8.347679e-03,8.624257e-03,9.510953e-03,1.042885e-02,1.072858e-02,1.137431e-02,1.199214e-02,1.234358e-02,1.329296e-02,1.333287e-02,1.433835e-02,1.462228e-02,1.535626e-02,1.597142e-02,1.638287e-02,1.733192e-02,1.741456e-02,1.844784e-02,1.869569e-02,1.947935e-02,2.005504e-02,2.050592e-02,2.140282e-02,2.152454e-02,2.253240e-02,2.273245e-02,2.352691e-02,2.403797e-02,2.450565e-02,2.531401e-02,2.546645e-02,2.640731e-02,2.655587e-02,2.732646e-02,2.775947e-02,2.822233e-02,2.892133e-02,2.909354e-02,2.993892e-02,3.003858e-02,3.075746e-02,3.110889e-02,3.154833e-02,3.213048e-02,3.231088e-02,3.304460e-02,3.310203e-02,3.374912e-02,3.402270e-02,3.442422e-02,3.489202e-02,3.506981e-02,3.568589e-02,3.570992e-02,3.627258e-02,3.647664e-02,3.683011e-02,3.719272e-02,3.735877e-02,3.785894e-02,3.833106e-02,3.847630e-02,3.877565e-02,3.904600e-02,3.919327e-02,3.956936e-02,3.958451e-02,3.995003e-02,4.004786e-02,4.029050e-02,4.048305e-02,4.060662e-02,4.087658e-02,4.089912e-02,4.116874e-02,4.123013e-02,4.141623e-02,4.154545e-02,4.164236e-02,4.182427e-02,4.184787e-02,4.203355e-02,4.206837e-02,4.220015e-02,4.227949e-02,4.234842e-02,4.245936e-02,4.247912e-02,4.259298e-02,4.260969e-02,4.269074e-02,4.273215e-02,4.277310e-02,4.282838e-02,4.284077e-02,4.289443e-02,4.289996e-02,4.293474e-02,4.294842e-02,4.296236e-02,4.297524e-02,4.297791e-02,4.298201e-02,4.298186e-02,4.297526e-02,4.296965e-02,4.295822e-02,4.293990e-02,4.293146e-02,4.289551e-02,4.289389e-02,4.285088e-02,4.283279e-02,4.279808e-02,4.275775e-02,4.273758e-02,4.266985e-02,4.257011e-02,4.245949e-02,4.233892e-02,4.220925e-02,4.207131e-02,4.192585e-02,4.177360e-02,4.161524e-02,4.145139e-02,4.128266e-02,4.110960e-02,4.093273e-02,4.075253e-02,4.056947e-02,4.038395e-02,4.019638e-02,4.000712e-02,3.981651e-02,3.962485e-02,3.943245e-02,3.923958e-02,3.904647e-02,3.885337e-02,3.866049e-02
0.000000e+00,1.976995e-11,4.540759e-11,1.566519e-10,3.570279e-10,5.213615e-10,1.186424e-09,1.222313e-09,2.373326e-09,2.793076e-09,4.100732e-09,5.472454e-09,6.546910e-09,9.564689e-09,9.865963e-09,1.420511e-08,1.541126e-08,1.966583e-08,2.322057e-08,2.625265e-08,3.288865e-08,3.384667e-08,4.223865e-08,4.399216e-08,5.119755e-08,5.601119e-08,6.052062e-08,6.851525e-08,7.004791e-08,7.965698e-08,8.119538e-08,8.925309e-08,9.383196e-08,9.876106e-08,1.062626e-07,1.081199e-07,1.172796e-07,1.183634e-07,1.261992e-07,1.300390e-07,1.348455e-07,1.412175e-07,1.431922e-07,1.512191e-07,1.518469e-07,1.589114e-07,1.618923e-07,1.662593e-07,1.713330e-07,1.732569e-07,1.799019e-07,1.801604e-07,1.861952e-07,1.883752e-07,1.921399e-07,1.959858e-07,1.977413e-07,2.030064e-07,2.079434e-07,2.094554e-07,2.125615e-07,2.153542e-07,2.168705e-07,2.207262e-07,2.208811e-07,2.246039e-07,2.255962e-07,2.280500e-07,2.299894e-07,2.312304e-07,2.339314e-07,2.341564e-07,2.368388e-07,2.374476e-07,2.392886e-07,2.405628e-07,2.415163e-07,2.433013e-07,2.435324e-07,2.453471e-07,2.456867e-07,2.469702e-07,2.477418e-07,2.484114e-07,2.494882e-07,2.496799e-07,2.507848e-07,2.509470e-07,2.517346e-07,2.521379e-07,2.525378e-07,2.530801e-07,2.532023e-07,2.537359e-07,2.537915e-07,2.541460e-07,2.542892e-07,2.544397e-07,2.545894e-07,2.546240e-07,2.547052e-07,2.547074e-07,2.546896e-07,2.546577e-07,2.545834e-07,2.544539e-07,2.543921e-07,2.541212e-07,2.541088e-07,2.537760e-07,2.536345e-07,2.533615e-07,2.530424e-07,2.528823e-07,2.523431e-07,2.517481e-07,2.515466e-07,2.511014e-07,2.506622e-07,2.504070e-07,2.496988e-07,2.496685e-07,2.488895e-07,2.486646e-07,2.480733e-07,2.475670e-07,2.472231e-07,2.464134e-07,2.463419e-07,2.454325e-07,2.452104e-07,2.444977e-07,2.439641e-07,2.435401e-07,2.426803e-07,2.425620e-07,2.415657e-07,2.413645e-07,2.405534e-07,2.400214e-07,2.395272e-07,2.386558e-07,2.384889e-07,2.374405e-07,2.372719e-07,2.363835e-07,2.358736e-07,2.353197e-07,2.344646e-07,2.342504e-07,2.331773e-07,2.330483e-07,2.321015e-07,2.316276e-07,2.310243e-07,2.302055e-07,2.299470e-07,2.288706e-07,2.287845e-07,2.277961e-07,2.273670e-07,2.267245e-07,2.259552e-07,2.256567e-07,2.245935e-07,2.245511e-07,2.235357e-07,2.231564e-07,2.224840e-07,2.217727e-07,2.214392e-07,2.204016e-07,2.190444e-07,2.177022e-07,2.163761e-07,2.150670e-07,2.137758e-07,2.125031e-07,2.112497e-07,2.100160e-07,2.088025e-07,2.076096e-07,2.064376e-07,2.052868e-07,2.041573e-07,2.030492e-07,2.019627e-07,2.008978e-07,1.998545e-07,1.988327e-07,1.978324e-07,1.968535e-07,1.958958e-07,1.949591e-07,1.940433e-07,1.931482e-07
0.000000e+00,1.025343e-10,2.468737e-10,8.970220e-10,2.101693e-09,3.106944e-09,7.280290e-09,7.509521e-09,1.504070e-08,1.786359e-08,2.686947e-08,3.658057e-08,4.430676e-08,6.612759e-08,6.829147e-08,9.864137e-08,1.067500e-07,1.341827e-07,1.558649e-07,1.736393e-07,2.108372e-07,2.160600e-07,2.607685e-07,2.699369e-07,3.072390e-07,3.319482e-07,3.550195e-07,3.958657e-07,4.036988e-07,4.528964e-07,4.607924e-07,5.022630e-07,5.259250e-07,5.514832e-07,5.905652e-07,6.002781e-07,6.484067e-07,6.541274e-07,6.956658e-07,7.161398e-07,7.418874e-07,7.762379e-07,7.869367e-07,8.307082e-07,8.341522e-07,8.731222e-07,8.896942e-07,9.141213e-07,9.427422e-07,9.536669e-07,9.917363e-07,9.932282e-07,1.028320e-06,1.041126e-06,1.063418e-06,1.086442e-06,1.097041e-06,1.129205e-06,1.159932e-06,1.169466e-06,1.189248e-06,1.207284e-06,1.217183e-06,1.242731e-06,1.243769e-06,1.269040e-06,1.275885e-06,1.293031e-06,1.306826e-06,1.315778e-06,1.335640e-06,1.337320e-06,1.357694e-06,1.362414e-06,1.376938e-06,1.387234e-06,1.395088e-06,1.410184e-06,1.412181e-06,1.428254e-06,1.431350e-06,1.443344e-06,1.450814e-06,1.457486e-06,1.468658e-06,1.470715e-06,1.483064e-06,1.484961e-06,1.494569e-06,1.499800e-06,1.505261e-06,1.513250e-06,1.515172e-06,1.524333e-06,1.525384e-06,1.532775e-06,1.536270e-06,1.540528e-06,1.545976e-06,1.547619e-06,1.554077e-06,1.554567e-06,1.559929e-06,1.562105e-06,1.565200e-06,1.568650e-06,1.569916e-06,1.574102e-06,1.574259e-06,1.577782e-06,1.578987e-06,1.580977e-06,1.582885e-06,1.583711e-06,1.586005e-06,1.587880e-06,1.588395e-06,1.589355e-06,1.590099e-06,1.590450e-06,1.591161e-06,1.591183e-06,1.591573e-06,1.591623e-06,1.591636e-06,1.591524e-06,1.591389e-06,1.590901e-06,1.590848e-06,1.590028e-06,1.589792e-06,1.588945e-06,1.588228e-06,1.587612e-06,1.586244e-06,1.586043e-06,1.584252e-06,1.583868e-06,1.582250e-06,1.581130e-06,1.580051e-06,1.578058e-06,1.577665e-06,1.575103e-06,1.574678e-06,1.572378e-06,1.571014e-06,1.569498e-06,1.567089e-06,1.566473e-06,1.563314e-06,1.562926e-06,1.560028e-06,1.558545e-06,1.556626e-06,1.553966e-06,1.553114e-06,1.549501e-06,1.549208e-06,1.545795e-06,1.544288e-06,1.542002e-06,1.539222e-06,1.538130e-06,1.534186e-06,1.534027e-06,1.530175e-06,1.528716e-06,1.526103e-06,1.523303e-06,1.521977e-06,1.517802e-06,1.512225e-06,1.506582e-06,1.500885e-06,1.495143e-06,1.489367e-06,1.483564e-06,1.477744e-06,1.471913e-06,1.466078e-06,1.460247e-06,1.454426e-06,1.448620e-06,1.442834e-06,1.437074e-06,1.431344e-06,1.425649e-06,1.419991e-06,1.414376e-06,1.408806e-06,1.403283e-06,1.397812e-06,1.392393e-06,1.387030e-06,1.381725e-06
0.000000e+00,5.684074e-12,1.300591e-11,4.450878e-11,1.006483e-10,1.463054e-10,3.287038e-10,3.384598e-10,6.478556e-10,7.592905e-10,1.102789e-09,1.458314e-09,1.733998e-09,2.497376e-09,2.572773e-09,3.642977e-09,3.935234e-09,4.948217e-09,5.774392e-09,6.466336e-09,7.948364e-09,8.159427e-09,9.987987e-09,1.036684e-08,1.191784e-08,1.295183e-08,1.392077e-08,1.564225e-08,1.597305e-08,1.805397e-08,1.838831e-08,2.014493e-08,2.114712e-08,2.222897e-08,2.388076e-08,2.429060e-08,2.631586e-08,2.655584e-08,2.829231e-08,2.914366e-08,3.020920e-08,3.162054e-08,3.205743e-08,3.382961e-08,3.396792e-08,3.551998e-08,3.617222e-08,3.712430e-08,3.822452e-08,3.863979e-08,4.006500e-08,4.012012e-08,4.139966e-08,4.185806e-08,4.264431e-08,4.343991e-08,4.380030e-08,4.486978e-08,4.585539e-08,4.615355e-08,4.676015e-08,4.729833e-08,4.758745e-08,4.831207e-08,4.834083e-08,4.902396e-08,4.920316e-08,4.964059e-08,4.998020e-08,5.019446e-08,5.065180e-08,5.068930e-08,5.112872e-08,5.122633e-08,5.151626e-08,5.171188e-08,5.185531e-08,5.211616e-08,5.214914e-08,5.240087e-08,5.244643e-08,5.261346e-08,5.270948e-08,5.278973e-08,5.291167e-08,5.293233e-08,5.304376e-08,5.305885e-08,5.312637e-08,5.315644e-08,5.318237e-08,5.320941e-08,5.321384e-08,5.322269e-08,5.322233e-08,5.321075e-08,5.319935e-08,5.317970e-08,5.314430e-08,5.313112e-08,5.306647e-08,5.306064e-08,5.298711e-08,5.295154e-08,5.289432e-08,5.281986e-08,5.278928e-08,5.267309e-08,5.266823e-08,5.254677e-08,5.249900e-08,5.241126e-08,5.231432e-08,5.226745e-08,5.211616e-08,5.195814e-08,5.190627e-08,5.179409e-08,5.168624e-08,5.162467e-08,5.145754e-08,5.145049e-08,5.127210e-08,5.122147e-08,5.109002e-08,5.097921e-08,5.090474e-08,5.073184e-08,5.071670e-08,5.052631e-08,5.048031e-08,5.033395e-08,5.022551e-08,5.013999e-08,4.996822e-08,4.994473e-08,4.974849e-08,4.970915e-08,4.955155e-08,4.944894e-08,4.935415e-08,4.918817e-08,4.915655e-08,4.895895e-08,4.892735e-08,4.876157e-08,4.866695e-08,4.856458e-08,4.840738e-08,4.836815e-08,4.817245e-08,4.814902e-08,4.797761e-08,4.789219e-08,4.778377e-08,4.763720e-08,4.759105e-08,4.739956e-08,4.738430e-08,4.720940e-08,4.713373e-08,4.702066e-08,4.688570e-08,4.683343e-08,4.664777e-08,4.664038e-08,4.646377e-08,4.639794e-08,4.628147e-08,4.615851e-08,4.610094e-08,4.592222e-08,4.568916e-08,4.545943e-08,4.523310e-08,4.501022e-08,4.479085e-08,4.457502e-08,4.436277e-08,4.415411e-08,4.394906e-08,4.374762e-08,4.354980e-08,4.335558e-08,4.316495e-08,4.297790e-08,4.279441e-08,4.261444e-08,4.243798e-08,4.226499e-08,4.209543e-08,4.192928e-08,4.176648e-08,4.160701e-08,4.145082e-08,4.129786e-08
0.000000e+00,4.831170e-11,1.129590e-10,3.989715e-10,9.255979e-10,1.365575e-09,3.207280e-09,3.309210e-09,6.700226e-09,7.990550e-09,1.216642e-08,1.675535e-08,2.046056e-08,3.114723e-08,3.222323e-08,4.757543e-08,5.174736e-08,6.602108e-08,7.742865e-08,8.683439e-08,1.066142e-07,1.093982e-07,1.332702e-07,1.381722e-07,1.581338e-07,1.713722e-07,1.837457e-07,2.056886e-07,2.099028e-07,2.364261e-07,2.406928e-07,2.631536e-07,2.760115e-07,2.899379e-07,3.113162e-07,3.166459e-07,3.431595e-07,3.463230e-07,3.693753e-07,3.807924e-07,3.952042e-07,4.145297e-07,4.205727e-07,4.454200e-07,4.473837e-07,4.696971e-07,4.792394e-07,4.933660e-07,5.100147e-07,5.163982e-07,5.387735e-07,5.396547e-07,5.604786e-07,5.681263e-07,5.815041e-07,5.954115e-07,6.018469e-07,6.215077e-07,6.404904e-07,6.464228e-07,6.588020e-07,6.701731e-07,6.764511e-07,6.927807e-07,6.934482e-07,7.098051e-07,7.142720e-07,7.255346e-07,7.346768e-07,7.406503e-07,7.540268e-07,7.551664e-07,7.690975e-07,7.723556e-07,7.824586e-07,7.896974e-07,7.952646e-07,8.060869e-07,8.075308e-07,8.192723e-07,8.215590e-07,8.305042e-07,8.361484e-07,8.412416e-07,8.498896e-07,8.514991e-07,8.612916e-07,8.628162e-07,8.706335e-07,8.749617e-07,8.795390e-07,8.863585e-07,8.880220e-07,8.960963e-07,8.970384e-07,9.037754e-07,9.070323e-07,9.110723e-07,9.163703e-07,9.179999e-07,9.245708e-07,9.250814e-07,9.307972e-07,9.331939e-07,9.366910e-07,9.407352e-07,9.422640e-07,9.475275e-07,9.477317e-07,9.524924e-07,9.542088e-07,9.571697e-07,9.601912e-07,9.615696e-07,9.657024e-07,9.695780e-07,9.707655e-07,9.732060e-07,9.754022e-07,9.765955e-07,9.796337e-07,9.797558e-07,9.826955e-07,9.834803e-07,9.854231e-07,9.869614e-07,9.879470e-07,9.900957e-07,9.902749e-07,9.924148e-07,9.929012e-07,9.943740e-07,9.953950e-07,9.961599e-07,9.975936e-07,9.977794e-07,9.992394e-07,9.995128e-07,1.000546e-06,1.001168e-06,1.001707e-06,1.002573e-06,1.002727e-06,1.003612e-06,1.003742e-06,1.004369e-06,1.004688e-06,1.005002e-06,1.005424e-06,1.005518e-06,1.005920e-06,1.005962e-06,1.006216e-06,1.006313e-06,1.006408e-06,1.006488e-06,1.006502e-06,1.006503e-06,1.006499e-06,1.006414e-06,1.006354e-06,1.006240e-06,1.006064e-06,1.005985e-06,1.005653e-06,1.005638e-06,1.005247e-06,1.005084e-06,1.004772e-06,1.004410e-06,1.004230e-06,1.003625e-06,1.002736e-06,1.001750e-06,1.000674e-06,9.995144e-07,9.982772e-07,9.969684e-07,9.955935e-07,9.941579e-07,9.926664e-07,9.911238e-07,9.895347e-07,9.879033e-07,9.862336e-07,9.845295e-07,9.827947e-07,9.810324e-07,9.792461e-07,9.774388e-07,9.756133e-07,9.737724e-07,9.719187e-07,9.700546e-07,9.681825e-07,9.663044e-07
0.000000e+00,2.391687e-10,6.348419e-10,2.554483e-09,6.259228e-09,9.392977e-09,2.245324e-08,2.316877e-08,4.644790e-08,5.505346e-08,8.212663e-08,1.108406e-07,1.334906e-07,1.975354e-07,2.039465e-07,2.961361e-07,3.216151e-07,4.106120e-07,4.837753e-07,5.453388e-07,6.778596e-07,6.967952e-07,8.614167e-07,8.956477e-07,1.036229e-06,1.130349e-06,1.218850e-06,1.376841e-06,1.407316e-06,1.599931e-06,1.631032e-06,1.795189e-06,1.889446e-06,1.991725e-06,2.149041e-06,2.188306e-06,2.383825e-06,2.407169e-06,2.577307e-06,2.661570e-06,2.767901e-06,2.910370e-06,2.954883e-06,3.137649e-06,3.152072e-06,3.315691e-06,3.385495e-06,3.488619e-06,3.609783e-06,3.656123e-06,3.817978e-06,3.824333e-06,3.974030e-06,4.028767e-06,4.124179e-06,4.222882e-06,4.268376e-06,4.406614e-06,4.538922e-06,4.580016e-06,4.665354e-06,4.743223e-06,4.785991e-06,4.896439e-06,4.900929e-06,5.010281e-06,5.039915e-06,5.114171e-06,5.173937e-06,5.212730e-06,5.298816e-06,5.306097e-06,5.394416e-06,5.414878e-06,5.477832e-06,5.522459e-06,5.556495e-06,5.621903e-06,5.630552e-06,5.700152e-06,5.713551e-06,5.765445e-06,5.797744e-06,5.826577e-06,5.874818e-06,5.883693e-06,5.936937e-06,5.945106e-06,5.986449e-06,6.008930e-06,6.032367e-06,6.066605e-06,6.074827e-06,6.113961e-06,6.118440e-06,6.149898e-06,6.164731e-06,6.182765e-06,6.205765e-06,6.212683e-06,6.239773e-06,6.241821e-06,6.264150e-06,6.273167e-06,6.285928e-06,6.300060e-06,6.305216e-06,6.322120e-06,6.322748e-06,6.336744e-06,6.341469e-06,6.349186e-06,6.356451e-06,6.359545e-06,6.367912e-06,6.374379e-06,6.376061e-06,6.379033e-06,6.381099e-06,6.381958e-06,6.383216e-06,6.383236e-06,6.382946e-06,6.382594e-06,6.381163e-06,6.379408e-06,6.377961e-06,6.373822e-06,6.373410e-06,6.367579e-06,6.365996e-06,6.360532e-06,6.356078e-06,6.352333e-06,6.344213e-06,6.343042e-06,6.332719e-06,6.330535e-06,6.321419e-06,6.315174e-06,6.309196e-06,6.298253e-06,6.296102e-06,6.282187e-06,6.279888e-06,6.267499e-06,6.260188e-06,6.252085e-06,6.239259e-06,6.235987e-06,6.219250e-06,6.217200e-06,6.201913e-06,6.194105e-06,6.184015e-06,6.170061e-06,6.165594e-06,6.146686e-06,6.145153e-06,6.127325e-06,6.119461e-06,6.107544e-06,6.093059e-06,6.087375e-06,6.066847e-06,6.066019e-06,6.045989e-06,6.038406e-06,6.024830e-06,6.010283e-06,6.003396e-06,5.981711e-06,5.952744e-06,5.923435e-06,5.893835e-06,5.863988e-06,5.833939e-06,5.803728e-06,5.773395e-06,5.742974e-06,5.712500e-06,5.682003e-06,5.651514e-06,5.621059e-06,5.590664e-06,5.560353e-06,5.530148e-06,5.500069e-06,5.470135e-06,5.440364e-06,5.410772e-06,5.381374e-06,5.352184e-06,5.323214e-06,5.294476e-06,5.265981e-06
0.000000e+00,6.151557e-12,1.411568e-11,4.857840e-11,1.104282e-10,1.610062e-10,3.647703e-10,3.757317e-10,7.258556e-10,8.529519e-10,1.247262e-09,1.658559e-09,1.979196e-09,2.872565e-09,2.961137e-09,4.222686e-09,4.568246e-09,5.768120e-09,6.748253e-09,7.569636e-09,9.329092e-09,9.579607e-09,1.174858e-08,1.219759e-08,1.403433e-08,1.525743e-08,1.640257e-08,1.843481e-08,1.882500e-08,2.127749e-08,2.167123e-08,2.373890e-08,2.491796e-08,2.619051e-08,2.813359e-08,2.861582e-08,3.100040e-08,3.128321e-08,3.333191e-08,3.433823e-08,3.560002e-08,3.727618e-08,3.779638e-08,3.991443e-08,4.008033e-08,4.194929e-08,4.273913e-08,4.389757e-08,4.524551e-08,4.575720e-08,4.752722e-08,4.759615e-08,4.920761e-08,4.979075e-08,5.079917e-08,5.183138e-08,5.230330e-08,5.372191e-08,5.505733e-08,5.546751e-08,5.631214e-08,5.707420e-08,5.748913e-08,5.854857e-08,5.859126e-08,5.962153e-08,5.989755e-08,6.058302e-08,6.112816e-08,6.147876e-08,6.224739e-08,6.231180e-08,6.308510e-08,6.326213e-08,6.380159e-08,6.417906e-08,6.446409e-08,6.500461e-08,6.507534e-08,6.563799e-08,6.574492e-08,6.615459e-08,6.640583e-08,6.662757e-08,6.699289e-08,6.705929e-08,6.745198e-08,6.751133e-08,6.780778e-08,6.796607e-08,6.812875e-08,6.836175e-08,6.841682e-08,6.867386e-08,6.870270e-08,6.890162e-08,6.899299e-08,6.910178e-08,6.923644e-08,6.927595e-08,6.942563e-08,6.943659e-08,6.955226e-08,6.959677e-08,6.965721e-08,6.972008e-08,6.974177e-08,6.980717e-08,6.980941e-08,6.985457e-08,6.986745e-08,6.988508e-08,6.989671e-08,6.989974e-08,6.989954e-08,6.988541e-08,6.987810e-08,6.985825e-08,6.983442e-08,6.981890e-08,6.977039e-08,6.976815e-08,6.970676e-08,6.968776e-08,6.963543e-08,6.958815e-08,6.955484e-08,6.947308e-08,6.946564e-08,6.936842e-08,6.934395e-08,6.926374e-08,6.920208e-08,6.915217e-08,6.904867e-08,6.903419e-08,6.891030e-08,6.888485e-08,6.878095e-08,6.871167e-08,6.864656e-08,6.853009e-08,6.850756e-08,6.836431e-08,6.834102e-08,6.821719e-08,6.814530e-08,6.806653e-08,6.794368e-08,6.791267e-08,6.775590e-08,6.773690e-08,6.759651e-08,6.752562e-08,6.743478e-08,6.731045e-08,6.727096e-08,6.710529e-08,6.709196e-08,6.693800e-08,6.687068e-08,6.676931e-08,6.664710e-08,6.659942e-08,6.642852e-08,6.642167e-08,6.625679e-08,6.619480e-08,6.608440e-08,6.596688e-08,6.591151e-08,6.573827e-08,6.550928e-08,6.528023e-08,6.505139e-08,6.482301e-08,6.459533e-08,6.436855e-08,6.414289e-08,6.391851e-08,6.369559e-08,6.347427e-08,6.325468e-08,6.303695e-08,6.282120e-08,6.260752e-08,6.239600e-08,6.218672e-08,6.197976e-08,6.177517e-08,6.157303e-08,6.137336e-08,6.117623e-08,6.098166e-08,6.078969e-08,6.060033e-08
0.000000e+00,1.056755e-11,5.185345e-11,5.361083e-10,2.453946e-09,4.878119e-09,2.096139e-08,2.207610e-08,6.842899e-08,8.968040e-08,1.675734e-07,2.647630e-07,3.498285e-07,6.216758e-07,6.510669e-07,1.110312e-06,1.248323e-06,1.765063e-06,2.228796e-06,2.645436e-06,3.621723e-06,3.769831e-06,5.143624e-06,5.447922e-06,6.760314e-06,7.691975e-06,8.603884e-06,1.031116e-05,1.065137e-05,1.287511e-05,1.324525e-05,1.524456e-05,1.642430e-05,1.772776e-05,1.977449e-05,2.029240e-05,2.290678e-05,2.322239e-05,2.554058e-05,2.669823e-05,2.816551e-05,3.013857e-05,3.075581e-05,3.328861e-05,3.348814e-05,3.574425e-05,3.670111e-05,3.810632e-05,3.974159e-05,4.036172e-05,4.250048e-05,4.258350e-05,4.451562e-05,4.520990e-05,4.640283e-05,4.761200e-05,4.816020e-05,4.978784e-05,5.128763e-05,5.174106e-05,5.266283e-05,5.347954e-05,5.391778e-05,5.501418e-05,5.505763e-05,5.608814e-05,5.635791e-05,5.701539e-05,5.752479e-05,5.784568e-05,5.852937e-05,5.858536e-05,5.924071e-05,5.938614e-05,5.981790e-05,6.010921e-05,6.032286e-05,6.071199e-05,6.076126e-05,6.113846e-05,6.120700e-05,6.145949e-05,6.160582e-05,6.172910e-05,6.191908e-05,6.195171e-05,6.213140e-05,6.215642e-05,6.227196e-05,6.232656e-05,6.237688e-05,6.243733e-05,6.244937e-05,6.249235e-05,6.249566e-05,6.250855e-05,6.250783e-05,6.250043e-05,6.247942e-05,6.247029e-05,6.242018e-05,6.241537e-05,6.235201e-05,6.232007e-05,6.226750e-05,6.219743e-05,6.216823e-05,6.205565e-05,6.205089e-05,6.193108e-05,6.188353e-05,6.179573e-05,6.169810e-05,6.165070e-05,6.149700e-05,6.133557e-05,6.128241e-05,6.116724e-05,6.105625e-05,6.099279e-05,6.082022e-05,6.081293e-05,6.062831e-05,6.057584e-05,6.043952e-05,6.032448e-05,6.024712e-05,6.006735e-05,6.005161e-05,5.985344e-05,5.980554e-05,5.965305e-05,5.954000e-05,5.945081e-05,5.927161e-05,5.924710e-05,5.904223e-05,5.900114e-05,5.883651e-05,5.872929e-05,5.863022e-05,5.845668e-05,5.842361e-05,5.821693e-05,5.818386e-05,5.801037e-05,5.791133e-05,5.780415e-05,5.763953e-05,5.759844e-05,5.739341e-05,5.736887e-05,5.718922e-05,5.709968e-05,5.698601e-05,5.683229e-05,5.678389e-05,5.658300e-05,5.656699e-05,5.638344e-05,5.630402e-05,5.618532e-05,5.604360e-05,5.598871e-05,5.579370e-05,5.578593e-05,5.560037e-05,5.553119e-05,5.540878e-05,5.527952e-05,5.521899e-05,5.503105e-05,5.478590e-05,5.454417e-05,5.430593e-05,5.407126e-05,5.384022e-05,5.361285e-05,5.338920e-05,5.316928e-05,5.295312e-05,5.274074e-05,5.253212e-05,5.232729e-05,5.212622e-05,5.192890e-05,5.173533e-05,5.154547e-05,5.135931e-05,5.117681e-05,5.099795e-05,5.082269e-05,5.065099e-05,5.048281e-05,5.031812e-05,5.015687e-05
0.000000e+00,8.333938e-12,3.952104e-11,3.814182e-10,1.643368e-09,3.162835e-09,1.253497e-08,1.315922e-08,3.777462e-08,4.850658e-08,8.617005e-08,1.307728e-07,1.683526e-07,2.825155e-07,2.944532e-07,4.742188e-07,5.263671e-07,7.166345e-07,8.827359e-07,1.029540e-06,1.368161e-06,1.419111e-06,1.889224e-06,1.993059e-06,2.440955e-06,2.759616e-06,3.072491e-06,3.661543e-06,3.779497e-06,4.555729e-06,4.685860e-06,5.393662e-06,5.815370e-06,6.285005e-06,7.030714e-06,7.221088e-06,8.193139e-06,8.311789e-06,9.192504e-06,9.638708e-06,1.021082e-05,1.099250e-05,1.124013e-05,1.227306e-05,1.235564e-05,1.330283e-05,1.371246e-05,1.432335e-05,1.504937e-05,1.532927e-05,1.631594e-05,1.635495e-05,1.727945e-05,1.761999e-05,1.821654e-05,1.883732e-05,1.912460e-05,2.000161e-05,2.084605e-05,2.110921e-05,2.165688e-05,2.215785e-05,2.243345e-05,2.314645e-05,2.317547e-05,2.388293e-05,2.407486e-05,2.455609e-05,2.494369e-05,2.519538e-05,2.575413e-05,2.580140e-05,2.637492e-05,2.650781e-05,2.691675e-05,2.720668e-05,2.742783e-05,2.785290e-05,2.790912e-05,2.836164e-05,2.844878e-05,2.878643e-05,2.899671e-05,2.918454e-05,2.949909e-05,2.955701e-05,2.990490e-05,2.995835e-05,3.022923e-05,3.037685e-05,3.053103e-05,3.075692e-05,3.081130e-05,3.107099e-05,3.110082e-05,3.131107e-05,3.141073e-05,3.153244e-05,3.168873e-05,3.173600e-05,3.192261e-05,3.193683e-05,3.209309e-05,3.215694e-05,3.224824e-05,3.235089e-05,3.238883e-05,3.251560e-05,3.252040e-05,3.262926e-05,3.266710e-05,3.273050e-05,3.279257e-05,3.281995e-05,3.289825e-05,3.296600e-05,3.298555e-05,3.302377e-05,3.305576e-05,3.307210e-05,3.311012e-05,3.311153e-05,3.314255e-05,3.314979e-05,3.316564e-05,3.317588e-05,3.318125e-05,3.318939e-05,3.318983e-05,3.319178e-05,3.319130e-05,3.318750e-05,3.318253e-05,3.317737e-05,3.316390e-05,3.316175e-05,3.314098e-05,3.313624e-05,3.311539e-05,3.310028e-05,3.308528e-05,3.305672e-05,3.305096e-05,3.301270e-05,3.300623e-05,3.297077e-05,3.294942e-05,3.292543e-05,3.288685e-05,3.287691e-05,3.282544e-05,3.281908e-05,3.277125e-05,3.274660e-05,3.271454e-05,3.266988e-05,3.265551e-05,3.259434e-05,3.258936e-05,3.253120e-05,3.250544e-05,3.246628e-05,3.241851e-05,3.239972e-05,3.233167e-05,3.232892e-05,3.226228e-05,3.223700e-05,3.219169e-05,3.214306e-05,3.212002e-05,3.204739e-05,3.195024e-05,3.185187e-05,3.175250e-05,3.165235e-05,3.155160e-05,3.145045e-05,3.134906e-05,3.124758e-05,3.114616e-05,3.104492e-05,3.094400e-05,3.084349e-05,3.074350e-05,3.064412e-05,3.054544e-05,3.044754e-05,3.035048e-05,3.025432e-05,3.015913e-05,3.006495e-05,2.997184e-05,2.987983e-05,2.978895e-05,2.969925e-05
0.000000e+00,3.353064e-12,1.638563e-11,1.680228e-10,7.635163e-10,1.511744e-09,6.428034e-09,6.766874e-09,2.073614e-08,2.708363e-08,5.013895e-08,7.855312e-08,1.031726e-07,1.806910e-07,1.889876e-07,3.171910e-07,3.553424e-07,4.974152e-07,6.245420e-07,7.389200e-07,1.008888e-06,1.050174e-06,1.438392e-06,1.525792e-06,1.909110e-06,2.187755e-06,2.465900e-06,3.001293e-06,3.110285e-06,3.841830e-06,3.966840e-06,4.658328e-06,5.079376e-06,5.556038e-06,6.329330e-06,6.529920e-06,7.573859e-06,7.703516e-06,8.680881e-06,9.186006e-06,9.843350e-06,1.075894e-05,1.105317e-05,1.230194e-05,1.240327e-05,1.358119e-05,1.409952e-05,1.488246e-05,1.582839e-05,1.619754e-05,1.751853e-05,1.757139e-05,1.883799e-05,1.931127e-05,2.014899e-05,2.103239e-05,2.144522e-05,2.272100e-05,2.397131e-05,2.436530e-05,2.519179e-05,2.595551e-05,2.637874e-05,2.748379e-05,2.752906e-05,2.864028e-05,2.894414e-05,2.971046e-05,3.033225e-05,3.073816e-05,3.164529e-05,3.172241e-05,3.266264e-05,3.288172e-05,3.355865e-05,3.404112e-05,3.441053e-05,3.512399e-05,3.521867e-05,3.598367e-05,3.613155e-05,3.670630e-05,3.706565e-05,3.738754e-05,3.792856e-05,3.802844e-05,3.863017e-05,3.872290e-05,3.919400e-05,3.945155e-05,3.972121e-05,4.011751e-05,4.021314e-05,4.067115e-05,4.072390e-05,4.109661e-05,4.127386e-05,4.149089e-05,4.177051e-05,4.185532e-05,4.219126e-05,4.221694e-05,4.250000e-05,4.261617e-05,4.278283e-05,4.297112e-05,4.304098e-05,4.327568e-05,4.328459e-05,4.348808e-05,4.355931e-05,4.367932e-05,4.379784e-05,4.385050e-05,4.400266e-05,4.413682e-05,4.417610e-05,4.425393e-05,4.432037e-05,4.435494e-05,4.443757e-05,4.444072e-05,4.451214e-05,4.452967e-05,4.457000e-05,4.459854e-05,4.461508e-05,4.464591e-05,4.464813e-05,4.466984e-05,4.467344e-05,4.468089e-05,4.468267e-05,4.468193e-05,4.467505e-05,4.467357e-05,4.465638e-05,4.465194e-05,4.463093e-05,4.461460e-05,4.459774e-05,4.456424e-05,4.455730e-05,4.451010e-05,4.450195e-05,4.445658e-05,4.442878e-05,4.439718e-05,4.434570e-05,4.433231e-05,4.426234e-05,4.425362e-05,4.418765e-05,4.415337e-05,4.410858e-05,4.404576e-05,4.402546e-05,4.393861e-05,4.393151e-05,4.384832e-05,4.381130e-05,4.375487e-05,4.368578e-05,4.365853e-05,4.355955e-05,4.355553e-05,4.345816e-05,4.342112e-05,4.335459e-05,4.328303e-05,4.324906e-05,4.314177e-05,4.299775e-05,4.285140e-05,4.270309e-05,4.255317e-05,4.240197e-05,4.224979e-05,4.209690e-05,4.194356e-05,4.179001e-05,4.163646e-05,4.148311e-05,4.133015e-05,4.117774e-05,4.102604e-05,4.087519e-05,4.072531e-05,4.057652e-05,4.042894e-05,4.028264e-05,4.013774e-05,3.999429e-05,3.985237e-05,3.971204e-05,3.957336e-05
0.000000e+00,1.550868e-12,3.544099e-12,1.213476e-11,2.748150e-11,3.997964e-11,8.992255e-11,9.259179e-11,1.769973e-10,2.072548e-10,2.999805e-10,3.950837e-10,4.682623e-10,6.688428e-10,6.885320e-10,9.671783e-10,1.043369e-09,1.309495e-09,1.530185e-09,1.718238e-09,2.131890e-09,2.192017e-09,2.724769e-09,2.837601e-09,3.307081e-09,3.625956e-09,3.928395e-09,4.473053e-09,4.578660e-09,5.248981e-09,5.357562e-09,5.931632e-09,6.261677e-09,6.619889e-09,7.170532e-09,7.307836e-09,7.990243e-09,8.071533e-09,8.662486e-09,8.953990e-09,9.320517e-09,9.808944e-09,9.960839e-09,1.058049e-08,1.062909e-08,1.117702e-08,1.140870e-08,1.174847e-08,1.214353e-08,1.229334e-08,1.281058e-08,1.283068e-08,1.329948e-08,1.346847e-08,1.375970e-08,1.405624e-08,1.419120e-08,1.459417e-08,1.496905e-08,1.508317e-08,1.531644e-08,1.552467e-08,1.563706e-08,1.592050e-08,1.593180e-08,1.620158e-08,1.627279e-08,1.644742e-08,1.658386e-08,1.667036e-08,1.685617e-08,1.687148e-08,1.705186e-08,1.709219e-08,1.721258e-08,1.729440e-08,1.735472e-08,1.746527e-08,1.747933e-08,1.758743e-08,1.760716e-08,1.768003e-08,1.772238e-08,1.775809e-08,1.781311e-08,1.782254e-08,1.787427e-08,1.788143e-08,1.791414e-08,1.792931e-08,1.794296e-08,1.795859e-08,1.796152e-08,1.797053e-08,1.797101e-08,1.797072e-08,1.796818e-08,1.796274e-08,1.795159e-08,1.794721e-08,1.792474e-08,1.792266e-08,1.789588e-08,1.788267e-08,1.786116e-08,1.783281e-08,1.782107e-08,1.777608e-08,1.777419e-08,1.772664e-08,1.770783e-08,1.767314e-08,1.763465e-08,1.761599e-08,1.755553e-08,1.749211e-08,1.747125e-08,1.742605e-08,1.738252e-08,1.735764e-08,1.729002e-08,1.728716e-08,1.721487e-08,1.719433e-08,1.714100e-08,1.709602e-08,1.706579e-08,1.699558e-08,1.698943e-08,1.691213e-08,1.689346e-08,1.683407e-08,1.679008e-08,1.675540e-08,1.668581e-08,1.667630e-08,1.659689e-08,1.658098e-08,1.651732e-08,1.647591e-08,1.643770e-08,1.637086e-08,1.635815e-08,1.627877e-08,1.626609e-08,1.619965e-08,1.616180e-08,1.612090e-08,1.605820e-08,1.604257e-08,1.596476e-08,1.595546e-08,1.588752e-08,1.585373e-08,1.581091e-08,1.575315e-08,1.573500e-08,1.565982e-08,1.565384e-08,1.558543e-08,1.555591e-08,1.551187e-08,1.545943e-08,1.543916e-08,1.536735e-08,1.536450e-08,1.529646e-08,1.527116e-08,1.522651e-08,1.517949e-08,1.515752e-08,1.508952e-08,1.500130e-08,1.491484e-08,1.483017e-08,1.474730e-08,1.466625e-08,1.458702e-08,1.450960e-08,1.443399e-08,1.436019e-08,1.428817e-08,1.421792e-08,1.414944e-08,1.408268e-08,1.401764e-08,1.395429e-08,1.389259e-08,1.383254e-08,1.377409e-08,1.371722e-08,1.366190e-08,1.360810e-08,1.355578e-08,1.350492e-08,1.345549e-08
0.000000e+00,2.681519e-11,6.262775e-11,2.193969e-10,5.022049e-10,7.335560e-10,1.662306e-09,1.712074e-09,3.290436e-09,3.858054e-09,5.602405e-09,7.398104e-09,8.783788e-09,1.259628e-08,1.297145e-08,1.829201e-08,1.974868e-08,2.483337e-08,2.903696e-08,3.260331e-08,4.038369e-08,4.150667e-08,5.137143e-08,5.344243e-08,6.200200e-08,6.777116e-08,7.321650e-08,8.297256e-08,8.485816e-08,9.679264e-08,9.872131e-08,1.089029e-07,1.147473e-07,1.210850e-07,1.308195e-07,1.332458e-07,1.453021e-07,1.467382e-07,1.571798e-07,1.623324e-07,1.688142e-07,1.774594e-07,1.801501e-07,1.911410e-07,1.920042e-07,2.017493e-07,2.058786e-07,2.119454e-07,2.190189e-07,2.217075e-07,2.310203e-07,2.313833e-07,2.398747e-07,2.429491e-07,2.482667e-07,2.537093e-07,2.561969e-07,2.636697e-07,2.706923e-07,2.728461e-07,2.772748e-07,2.812619e-07,2.834288e-07,2.889460e-07,2.891677e-07,2.945061e-07,2.959310e-07,2.994589e-07,3.022521e-07,3.040419e-07,3.079453e-07,3.082710e-07,3.121620e-07,3.130473e-07,3.157308e-07,3.175943e-07,3.189929e-07,3.216220e-07,3.219636e-07,3.246581e-07,3.251651e-07,3.270906e-07,3.282566e-07,3.292752e-07,3.309285e-07,3.312253e-07,3.329539e-07,3.332107e-07,3.344734e-07,3.351320e-07,3.357958e-07,3.367193e-07,3.369323e-07,3.378937e-07,3.379978e-07,3.386905e-07,3.389915e-07,3.393324e-07,3.397225e-07,3.398288e-07,3.401886e-07,3.402118e-07,3.404202e-07,3.404787e-07,3.405315e-07,3.405415e-07,3.405302e-07,3.404234e-07,3.404170e-07,3.402179e-07,3.401210e-07,3.399202e-07,3.396682e-07,3.395363e-07,3.390721e-07,3.385329e-07,3.383454e-07,3.379240e-07,3.375000e-07,3.372503e-07,3.365467e-07,3.365163e-07,3.357264e-07,3.354957e-07,3.348847e-07,3.343565e-07,3.339951e-07,3.331376e-07,3.330614e-07,3.320869e-07,3.318473e-07,3.310749e-07,3.304930e-07,3.300286e-07,3.290817e-07,3.289508e-07,3.278443e-07,3.276197e-07,3.267116e-07,3.261131e-07,3.255553e-07,3.245673e-07,3.243776e-07,3.231806e-07,3.229874e-07,3.219665e-07,3.213782e-07,3.207371e-07,3.197438e-07,3.194943e-07,3.182397e-07,3.180884e-07,3.169749e-07,3.164156e-07,3.157016e-07,3.147289e-07,3.144209e-07,3.131344e-07,3.130313e-07,3.118433e-07,3.113258e-07,3.105486e-07,3.096149e-07,3.092516e-07,3.079532e-07,3.079013e-07,3.066544e-07,3.061870e-07,3.053562e-07,3.044741e-07,3.040593e-07,3.027645e-07,3.010600e-07,2.993621e-07,2.976722e-07,2.959917e-07,2.943217e-07,2.926633e-07,2.910175e-07,2.893852e-07,2.877671e-07,2.861640e-07,2.845765e-07,2.830052e-07,2.814506e-07,2.799130e-07,2.783930e-07,2.768908e-07,2.754067e-07,2.739409e-07,2.724937e-07,2.710652e-07,2.696555e-07,2.682648e-07,2.668930e-07,2.655403e-07
0.000000e+00,1.330793e-10,3.155256e-10,1.124968e-09,2.602346e-09,3.820595e-09,8.771235e-09,9.038783e-09,1.761814e-08,2.074178e-08,3.044069e-08,4.054980e-08,4.841619e-08,7.025932e-08,7.242023e-08,1.031930e-07,1.116466e-07,1.412190e-07,1.657429e-07,1.866148e-07,2.324101e-07,2.390524e-07,2.977398e-07,3.101273e-07,3.614728e-07,3.961205e-07,4.287645e-07,4.868825e-07,4.980358e-07,5.678162e-07,5.789426e-07,6.368872e-07,6.695096e-07,7.043347e-07,7.566898e-07,7.695247e-07,8.320444e-07,8.393540e-07,8.916418e-07,9.168996e-07,9.481770e-07,9.890561e-07,1.001589e-06,1.051872e-06,1.055760e-06,1.099058e-06,1.117079e-06,1.143209e-06,1.173163e-06,1.184406e-06,1.222743e-06,1.224218e-06,1.258324e-06,1.270480e-06,1.291261e-06,1.312205e-06,1.321666e-06,1.349655e-06,1.375342e-06,1.383094e-06,1.398841e-06,1.412783e-06,1.420263e-06,1.438975e-06,1.439716e-06,1.457306e-06,1.461912e-06,1.473134e-06,1.481826e-06,1.487298e-06,1.498939e-06,1.499891e-06,1.511003e-06,1.513459e-06,1.520720e-06,1.525583e-06,1.529124e-06,1.535496e-06,1.536294e-06,1.542303e-06,1.543372e-06,1.547224e-06,1.549374e-06,1.551122e-06,1.553654e-06,1.554063e-06,1.556107e-06,1.556354e-06,1.557311e-06,1.557607e-06,1.557731e-06,1.557537e-06,1.557418e-06,1.556422e-06,1.556259e-06,1.554789e-06,1.553880e-06,1.552562e-06,1.550499e-06,1.549784e-06,1.546494e-06,1.546210e-06,1.542729e-06,1.541098e-06,1.538524e-06,1.535243e-06,1.533913e-06,1.528926e-06,1.528719e-06,1.523593e-06,1.521594e-06,1.517943e-06,1.513932e-06,1.512001e-06,1.505792e-06,1.499339e-06,1.497227e-06,1.492665e-06,1.488287e-06,1.485790e-06,1.479019e-06,1.478734e-06,1.471515e-06,1.469466e-06,1.464149e-06,1.459667e-06,1.456655e-06,1.449658e-06,1.449045e-06,1.441335e-06,1.439472e-06,1.433539e-06,1.429140e-06,1.425668e-06,1.418689e-06,1.417735e-06,1.409749e-06,1.408147e-06,1.401723e-06,1.397536e-06,1.393665e-06,1.386878e-06,1.385584e-06,1.377490e-06,1.376194e-06,1.369388e-06,1.365500e-06,1.361288e-06,1.354813e-06,1.353196e-06,1.345117e-06,1.344149e-06,1.337059e-06,1.333521e-06,1.329026e-06,1.322941e-06,1.321024e-06,1.313057e-06,1.312421e-06,1.305129e-06,1.301970e-06,1.297246e-06,1.291599e-06,1.289409e-06,1.281624e-06,1.281314e-06,1.273892e-06,1.271123e-06,1.266218e-06,1.261032e-06,1.258602e-06,1.251049e-06,1.241176e-06,1.231420e-06,1.221783e-06,1.212270e-06,1.202882e-06,1.193624e-06,1.184495e-06,1.175499e-06,1.166636e-06,1.157907e-06,1.149313e-06,1.140855e-06,1.132533e-06,1.124346e-06,1.116294e-06,1.108377e-06,1.100594e-06,1.092945e-06,1.085429e-06,1.078043e-06,1.070789e-06,1.063664e-06,1.056666e-06,1.049795e-06
0.000000e+00,1.363626e-10,3.524130e-10,1.376074e-09,3.318390e-09,4.945249e-09,1.163241e-08,1.199535e-08,2.365119e-08,2.789481e-08,4.105466e-08,5.474431e-08,6.538310e-08,9.490113e-08,9.782160e-08,1.394657e-07,1.509302e-07,1.911319e-07,2.245718e-07,2.530828e-07,3.156926e-07,3.247697e-07,4.048023e-07,4.216452e-07,4.912599e-07,5.380879e-07,5.821501e-07,6.606345e-07,6.757248e-07,7.705751e-07,7.857922e-07,8.655983e-07,9.110095e-07,9.599294e-07,1.034430e-06,1.052883e-06,1.143912e-06,1.154685e-06,1.232583e-06,1.270760e-06,1.318554e-06,1.381924e-06,1.401565e-06,1.481423e-06,1.487671e-06,1.557997e-06,1.587687e-06,1.631204e-06,1.681804e-06,1.701005e-06,1.767396e-06,1.769981e-06,1.830403e-06,1.852266e-06,1.890075e-06,1.928780e-06,1.946477e-06,1.999693e-06,2.049812e-06,2.065212e-06,2.096934e-06,2.125567e-06,2.141163e-06,2.181003e-06,2.182609e-06,2.221378e-06,2.231769e-06,2.257582e-06,2.278118e-06,2.291330e-06,2.320300e-06,2.322728e-06,2.351883e-06,2.358558e-06,2.378898e-06,2.393129e-06,2.403874e-06,2.424242e-06,2.426907e-06,2.448092e-06,2.452116e-06,2.467521e-06,2.476959e-06,2.485280e-06,2.498970e-06,2.501455e-06,2.516126e-06,2.518339e-06,2.529372e-06,2.535245e-06,2.541266e-06,2.549856e-06,2.551880e-06,2.561283e-06,2.562333e-06,2.569540e-06,2.572827e-06,2.576714e-06,2.581478e-06,2.582864e-06,2.588047e-06,2.588421e-06,2.592317e-06,2.593781e-06,2.595727e-06,2.597677e-06,2.598325e-06,2.600160e-06,2.600218e-06,2.601275e-06,2.601508e-06,2.601713e-06,2.601646e-06,2.601516e-06,2.600721e-06,2.599365e-06,2.598819e-06,2.597485e-06,2.596021e-06,2.595112e-06,2.592400e-06,2.592278e-06,2.589014e-06,2.588027e-06,2.585348e-06,2.582967e-06,2.581307e-06,2.577280e-06,2.576917e-06,2.572202e-06,2.571025e-06,2.567186e-06,2.564253e-06,2.561890e-06,2.557014e-06,2.556335e-06,2.550541e-06,2.549355e-06,2.544527e-06,2.541319e-06,2.538310e-06,2.532944e-06,2.531908e-06,2.525336e-06,2.524270e-06,2.518610e-06,2.515330e-06,2.511742e-06,2.506157e-06,2.504749e-06,2.497641e-06,2.496780e-06,2.490430e-06,2.487229e-06,2.483130e-06,2.477527e-06,2.475749e-06,2.468299e-06,2.467700e-06,2.460788e-06,2.457769e-06,2.453227e-06,2.447756e-06,2.445623e-06,2.437985e-06,2.437678e-06,2.430319e-06,2.427555e-06,2.422635e-06,2.417401e-06,2.414937e-06,2.407232e-06,2.397062e-06,2.386904e-06,2.376769e-06,2.366668e-06,2.356611e-06,2.346606e-06,2.336663e-06,2.326788e-06,2.316989e-06,2.307272e-06,2.297642e-06,2.288104e-06,2.278663e-06,2.269323e-06,2.260088e-06,2.250961e-06,2.241944e-06,2.233041e-06,2.224253e-06,2.215582e-06,2.207030e-06,2.198598e-06,2.190287e-06,2.182099e-06
0.000000e+00,1.197113e-10,2.914453e-10,1.070638e-09,2.515349e-09,3.716074e-09,8.636243e-09,8.903394e-09,1.751569e-08,2.067007e-08,3.051857e-08,4.085702e-08,4.893857e-08,7.142221e-08,7.364195e-08,1.049701e-07,1.134582e-07,1.427109e-07,1.664898e-07,1.864429e-07,2.295633e-07,2.357652e-07,2.903227e-07,3.018321e-07,3.497677e-07,3.824885e-07,4.137274e-07,4.706412e-07,4.817881e-07,5.534937e-07,5.652723e-07,6.283509e-07,6.652501e-07,7.058406e-07,7.693699e-07,7.854301e-07,8.665871e-07,8.764064e-07,9.487935e-07,9.851683e-07,1.031554e-06,1.094535e-06,1.114403e-06,1.196911e-06,1.203485e-06,1.278691e-06,1.311120e-06,1.359396e-06,1.416667e-06,1.438724e-06,1.516414e-06,1.519484e-06,1.592246e-06,1.619054e-06,1.666037e-06,1.714972e-06,1.737637e-06,1.806912e-06,1.873774e-06,1.894651e-06,1.938163e-06,1.978055e-06,2.000039e-06,2.057057e-06,2.059382e-06,2.116186e-06,2.131638e-06,2.170462e-06,2.201823e-06,2.222231e-06,2.267671e-06,2.271525e-06,2.318380e-06,2.329268e-06,2.362843e-06,2.386716e-06,2.404964e-06,2.440136e-06,2.444797e-06,2.482400e-06,2.489658e-06,2.517832e-06,2.535419e-06,2.551155e-06,2.577562e-06,2.582431e-06,2.611724e-06,2.616231e-06,2.639098e-06,2.651574e-06,2.664615e-06,2.683735e-06,2.688340e-06,2.710334e-06,2.712860e-06,2.730659e-06,2.739089e-06,2.749377e-06,2.762564e-06,2.766547e-06,2.782228e-06,2.783420e-06,2.796478e-06,2.801789e-06,2.809352e-06,2.817801e-06,2.820907e-06,2.831195e-06,2.831580e-06,2.840268e-06,2.843247e-06,2.848178e-06,2.852918e-06,2.854974e-06,2.860704e-06,2.865415e-06,2.866714e-06,2.869151e-06,2.871052e-06,2.871957e-06,2.873815e-06,2.873876e-06,2.874947e-06,2.875101e-06,2.875212e-06,2.874999e-06,2.874708e-06,2.873597e-06,2.873472e-06,2.871542e-06,2.870979e-06,2.868950e-06,2.867223e-06,2.865732e-06,2.862406e-06,2.861918e-06,2.857541e-06,2.856601e-06,2.852630e-06,2.849875e-06,2.847214e-06,2.842295e-06,2.841321e-06,2.834978e-06,2.833923e-06,2.828211e-06,2.824819e-06,2.821044e-06,2.815038e-06,2.813501e-06,2.805605e-06,2.804635e-06,2.797379e-06,2.793660e-06,2.788843e-06,2.782161e-06,2.780018e-06,2.770923e-06,2.770184e-06,2.761576e-06,2.757772e-06,2.751997e-06,2.744965e-06,2.742201e-06,2.732206e-06,2.731802e-06,2.722027e-06,2.718320e-06,2.711679e-06,2.704553e-06,2.701177e-06,2.690534e-06,2.676293e-06,2.661858e-06,2.647257e-06,2.632516e-06,2.617658e-06,2.602705e-06,2.587680e-06,2.572601e-06,2.557486e-06,2.542355e-06,2.527221e-06,2.512101e-06,2.497008e-06,2.481956e-06,2.466956e-06,2.452020e-06,2.437157e-06,2.422379e-06,2.407693e-06,2.393108e-06,2.378630e-06,2.364268e-06,2.350027e-06,2.335913e-06
0.000000e+00,7.545803e-12,1.750504e-11,6.099419e-11,1.394792e-10,2.037648e-10,4.624391e-10,4.763224e-10,9.174151e-10,1.076328e-09,1.565283e-09,2.069197e-09,2.458193e-09,3.527697e-09,3.632797e-09,5.117995e-09,5.522395e-09,6.924988e-09,8.073937e-09,9.042136e-09,1.113967e-08,1.144136e-08,1.408874e-08,1.464500e-08,1.695055e-08,1.851273e-08,1.999473e-08,2.267027e-08,2.319055e-08,2.650828e-08,2.704850e-08,2.991911e-08,3.158118e-08,3.339531e-08,3.620567e-08,3.691067e-08,4.044075e-08,4.086427e-08,4.396329e-08,4.550560e-08,4.745839e-08,5.008549e-08,5.090860e-08,5.429890e-08,5.456714e-08,5.761667e-08,5.892109e-08,6.085163e-08,6.312483e-08,6.399555e-08,6.704212e-08,6.716189e-08,6.998672e-08,7.102116e-08,7.282617e-08,7.469593e-08,7.555858e-08,7.818311e-08,8.069982e-08,8.148252e-08,8.310952e-08,8.459619e-08,8.541360e-08,8.752786e-08,8.761391e-08,8.971268e-08,9.028248e-08,9.171244e-08,9.286588e-08,9.361589e-08,9.528448e-08,9.542591e-08,9.714547e-08,9.754504e-08,9.877759e-08,9.965452e-08,1.003253e-07,1.016199e-07,1.017917e-07,1.031798e-07,1.034482e-07,1.044925e-07,1.051463e-07,1.057328e-07,1.067208e-07,1.069036e-07,1.080076e-07,1.081782e-07,1.090476e-07,1.095248e-07,1.100261e-07,1.107665e-07,1.109459e-07,1.118092e-07,1.119091e-07,1.126186e-07,1.129582e-07,1.133763e-07,1.139189e-07,1.140845e-07,1.147454e-07,1.147963e-07,1.153611e-07,1.155951e-07,1.159335e-07,1.163198e-07,1.164645e-07,1.169559e-07,1.169747e-07,1.174095e-07,1.175639e-07,1.178270e-07,1.180911e-07,1.182101e-07,1.185601e-07,1.188787e-07,1.189743e-07,1.191673e-07,1.193369e-07,1.194272e-07,1.196509e-07,1.196597e-07,1.198662e-07,1.199195e-07,1.200477e-07,1.201451e-07,1.202055e-07,1.203306e-07,1.203406e-07,1.204541e-07,1.204783e-07,1.205471e-07,1.205905e-07,1.206204e-07,1.206695e-07,1.206751e-07,1.207119e-07,1.207172e-07,1.207318e-07,1.207358e-07,1.207356e-07,1.207269e-07,1.207240e-07,1.206979e-07,1.206924e-07,1.206578e-07,1.206338e-07,1.206045e-07,1.205528e-07,1.205386e-07,1.204609e-07,1.204508e-07,1.203718e-07,1.203291e-07,1.202719e-07,1.201892e-07,1.201618e-07,1.200421e-07,1.200321e-07,1.199132e-07,1.198592e-07,1.197756e-07,1.196714e-07,1.196297e-07,1.194761e-07,1.194698e-07,1.193151e-07,1.192554e-07,1.191471e-07,1.190291e-07,1.189726e-07,1.187918e-07,1.185443e-07,1.182874e-07,1.180218e-07,1.177482e-07,1.174673e-07,1.171796e-07,1.168858e-07,1.165864e-07,1.162820e-07,1.159729e-07,1.156597e-07,1.153428e-07,1.150227e-07,1.146997e-07,1.143741e-07,1.140464e-07,1.137168e-07,1.133856e-07,1.130532e-07,1.127199e-07,1.123857e-07,1.120511e-07,1.117163e-07,1.113814e-07
0.000000e+00,7.583950e-11,1.969620e-10,7.754066e-10,1.884827e-09,2.823478e-09,6.760048e-09,6.977108e-09,1.412190e-08,1.680220e-08,2.534783e-08,3.453530e-08,4.181112e-08,6.218198e-08,6.419096e-08,9.234222e-08,9.989710e-08,1.257174e-07,1.464967e-07,1.638158e-07,2.009561e-07,2.062709e-07,2.527942e-07,2.625636e-07,3.031186e-07,3.306975e-07,3.569637e-07,4.046888e-07,4.140199e-07,4.739448e-07,4.837747e-07,5.363676e-07,5.671028e-07,6.008944e-07,6.537576e-07,6.671186e-07,7.346306e-07,7.427994e-07,8.030273e-07,8.333010e-07,8.719190e-07,9.243795e-07,9.409364e-07,1.009739e-06,1.015224e-06,1.078018e-06,1.105120e-06,1.145496e-06,1.193447e-06,1.211930e-06,1.277109e-06,1.279688e-06,1.340855e-06,1.363423e-06,1.403019e-06,1.444324e-06,1.463480e-06,1.522144e-06,1.578939e-06,1.596710e-06,1.633813e-06,1.667908e-06,1.686733e-06,1.735680e-06,1.737680e-06,1.786651e-06,1.800009e-06,1.833651e-06,1.860912e-06,1.878698e-06,1.918436e-06,1.921815e-06,1.963033e-06,1.972647e-06,2.002390e-06,2.023631e-06,2.039924e-06,2.071482e-06,2.075680e-06,2.109704e-06,2.116306e-06,2.142045e-06,2.158213e-06,2.172751e-06,2.197318e-06,2.201873e-06,2.229461e-06,2.233736e-06,2.255565e-06,2.267583e-06,2.280237e-06,2.298976e-06,2.303525e-06,2.325479e-06,2.328027e-06,2.346148e-06,2.354848e-06,2.365579e-06,2.379547e-06,2.383819e-06,2.400912e-06,2.402231e-06,2.416904e-06,2.423001e-06,2.431837e-06,2.441956e-06,2.445753e-06,2.458693e-06,2.459191e-06,2.470697e-06,2.474797e-06,2.481803e-06,2.488862e-06,2.492049e-06,2.501469e-06,2.510099e-06,2.512699e-06,2.517972e-06,2.522629e-06,2.525121e-06,2.531332e-06,2.531578e-06,2.537371e-06,2.538879e-06,2.542532e-06,2.545335e-06,2.547087e-06,2.550766e-06,2.551063e-06,2.554488e-06,2.555231e-06,2.557386e-06,2.558788e-06,2.559781e-06,2.561492e-06,2.561697e-06,2.563156e-06,2.563395e-06,2.564180e-06,2.564547e-06,2.564789e-06,2.564995e-06,2.565004e-06,2.564843e-06,2.564784e-06,2.564326e-06,2.563956e-06,2.563469e-06,2.562551e-06,2.562290e-06,2.560806e-06,2.560608e-06,2.559032e-06,2.558163e-06,2.556983e-06,2.555251e-06,2.554674e-06,2.552118e-06,2.551903e-06,2.549329e-06,2.548151e-06,2.546320e-06,2.544024e-06,2.543103e-06,2.539690e-06,2.539550e-06,2.536092e-06,2.534754e-06,2.532320e-06,2.529661e-06,2.528385e-06,2.524296e-06,2.518679e-06,2.512832e-06,2.506774e-06,2.500525e-06,2.494101e-06,2.487519e-06,2.480796e-06,2.473945e-06,2.466980e-06,2.459916e-06,2.452763e-06,2.445535e-06,2.438240e-06,2.430891e-06,2.423496e-06,2.416065e-06,2.408605e-06,2.401126e-06,2.393635e-06,2.386138e-06,2.378643e-06,2.371154e-06,2.363679e-06,2.356223e-06
0.000000e+00,3.520457e-12,8.085975e-12,2.795353e-11,6.387134e-11,9.339912e-11,2.131944e-10,2.196662e-10,4.273375e-10,5.030769e-10,7.389444e-10,9.862063e-10,1.179777e-09,1.722918e-09,1.777087e-09,2.555535e-09,2.771181e-09,3.528868e-09,4.158803e-09,4.694840e-09,5.869349e-09,6.039581e-09,7.545719e-09,7.864849e-09,9.197017e-09,1.010826e-08,1.097921e-08,1.256800e-08,1.287946e-08,1.488561e-08,1.521562e-08,1.698569e-08,1.802358e-08,1.916771e-08,2.096422e-08,2.141961e-08,2.372933e-08,2.400982e-08,2.608495e-08,2.713296e-08,2.847486e-08,3.030724e-08,3.088791e-08,3.331355e-08,3.350784e-08,3.574192e-08,3.671199e-08,3.816398e-08,3.989929e-08,4.057149e-08,4.295705e-08,4.305193e-08,4.531415e-08,4.615461e-08,4.763707e-08,4.919458e-08,4.992087e-08,5.216133e-08,5.435489e-08,5.504644e-08,5.649866e-08,5.784342e-08,5.859026e-08,6.054739e-08,6.062783e-08,6.260997e-08,6.315488e-08,6.453563e-08,6.566362e-08,6.640414e-08,6.807237e-08,6.821512e-08,6.996845e-08,7.038068e-08,7.166423e-08,7.258882e-08,7.330273e-08,7.469761e-08,7.488443e-08,7.640992e-08,7.670833e-08,7.787990e-08,7.862262e-08,7.929518e-08,8.044237e-08,8.065662e-08,8.196517e-08,8.216970e-08,8.322182e-08,8.380689e-08,8.442762e-08,8.535635e-08,8.558363e-08,8.669094e-08,8.682059e-08,8.775066e-08,8.820215e-08,8.876392e-08,8.950362e-08,8.973185e-08,9.065557e-08,9.072759e-08,9.153623e-08,9.187669e-08,9.237496e-08,9.295350e-08,9.317287e-08,9.393109e-08,9.396061e-08,9.465072e-08,9.490055e-08,9.533286e-08,9.577584e-08,9.597857e-08,9.658892e-08,9.716497e-08,9.734223e-08,9.770774e-08,9.803812e-08,9.821825e-08,9.867890e-08,9.869749e-08,9.914643e-08,9.926684e-08,9.956604e-08,9.980412e-08,9.995726e-08,1.002929e-07,1.003210e-07,1.006582e-07,1.007352e-07,1.009696e-07,1.011331e-07,1.012562e-07,1.014886e-07,1.015189e-07,1.017583e-07,1.018035e-07,1.019754e-07,1.020797e-07,1.021709e-07,1.023190e-07,1.023455e-07,1.025001e-07,1.025230e-07,1.026353e-07,1.026935e-07,1.027519e-07,1.028321e-07,1.028504e-07,1.029317e-07,1.029403e-07,1.029964e-07,1.030197e-07,1.030450e-07,1.030716e-07,1.030782e-07,1.030967e-07,1.030975e-07,1.031009e-07,1.030987e-07,1.030915e-07,1.030766e-07,1.030690e-07,1.030339e-07,1.030322e-07,1.029868e-07,1.029670e-07,1.029281e-07,1.028819e-07,1.028585e-07,1.027782e-07,1.026569e-07,1.025189e-07,1.023654e-07,1.021972e-07,1.020152e-07,1.018203e-07,1.016134e-07,1.013952e-07,1.011664e-07,1.009279e-07,1.006803e-07,1.004243e-07,1.001605e-07,9.988957e-08,9.961203e-08,9.932845e-08,9.903936e-08,9.874529e-08,9.844669e-08,9.814404e-08,9.783777e-08,9.752830e-08,9.721602e-08,9.690131e-08
0.000000e+00,1.740981e-10,6.418818e-10,3.945906e-09,1.211149e-08,1.983235e-08,5.532895e-08,5.736188e-08,1.257062e-07,1.515825e-07,2.337972e-07,3.214434e-07,3.905681e-07,5.854437e-07,6.049092e-07,8.847628e-07,9.623220e-07,1.235115e-06,1.462472e-06,1.656484e-06,2.083639e-06,2.145797e-06,2.698460e-06,2.816167e-06,3.309604e-06,3.648884e-06,3.974314e-06,4.570360e-06,4.687513e-06,5.443830e-06,5.568466e-06,6.237577e-06,6.630132e-06,7.062805e-06,7.741552e-06,7.913408e-06,8.783253e-06,8.888639e-06,9.666313e-06,1.005754e-05,1.055679e-05,1.123513e-05,1.144920e-05,1.233850e-05,1.240937e-05,1.322007e-05,1.356959e-05,1.408980e-05,1.470664e-05,1.494410e-05,1.577986e-05,1.581287e-05,1.659447e-05,1.688213e-05,1.738578e-05,1.790966e-05,1.815205e-05,1.889194e-05,1.960445e-05,1.982655e-05,2.028888e-05,2.071198e-05,2.094481e-05,2.154751e-05,2.157205e-05,2.217061e-05,2.233309e-05,2.274066e-05,2.306914e-05,2.328253e-05,2.375653e-05,2.379665e-05,2.428357e-05,2.439645e-05,2.474388e-05,2.499029e-05,2.517827e-05,2.553966e-05,2.558745e-05,2.597218e-05,2.604626e-05,2.633324e-05,2.651190e-05,2.667143e-05,2.693842e-05,2.698755e-05,2.728240e-05,2.732766e-05,2.755680e-05,2.768147e-05,2.781153e-05,2.800169e-05,2.804739e-05,2.826515e-05,2.829010e-05,2.846557e-05,2.854845e-05,2.864940e-05,2.877846e-05,2.881736e-05,2.897016e-05,2.898175e-05,2.910850e-05,2.915993e-05,2.923303e-05,2.931451e-05,2.934441e-05,2.944326e-05,2.944696e-05,2.953018e-05,2.955867e-05,2.960578e-05,2.965100e-05,2.967060e-05,2.972520e-05,2.977011e-05,2.978251e-05,2.980582e-05,2.982407e-05,2.983282e-05,2.985100e-05,2.985159e-05,2.986258e-05,2.986432e-05,2.986621e-05,2.986503e-05,2.986290e-05,2.985407e-05,2.985305e-05,2.983704e-05,2.983233e-05,2.981524e-05,2.980064e-05,2.978800e-05,2.975979e-05,2.975565e-05,2.971852e-05,2.971054e-05,2.967691e-05,2.965359e-05,2.963111e-05,2.958961e-05,2.958141e-05,2.952807e-05,2.951921e-05,2.947135e-05,2.944300e-05,2.941150e-05,2.936152e-05,2.934874e-05,2.928331e-05,2.927529e-05,2.921540e-05,2.918479e-05,2.914523e-05,2.909050e-05,2.907298e-05,2.899884e-05,2.899284e-05,2.892298e-05,2.889220e-05,2.884557e-05,2.878896e-05,2.876676e-05,2.868670e-05,2.868348e-05,2.860554e-05,2.857608e-05,2.852340e-05,2.846706e-05,2.844042e-05,2.835671e-05,2.824530e-05,2.813306e-05,2.802023e-05,2.790703e-05,2.779364e-05,2.768024e-05,2.756701e-05,2.745409e-05,2.734163e-05,2.722976e-05,2.711860e-05,2.700825e-05,2.689882e-05,2.679038e-05,2.668304e-05,2.657685e-05,2.647189e-05,2.636821e-05,2.626586e-05,2.616490e-05,2.606536e-05,2.596728e-05,2.587069e-05,2.577561e-05
0.000000e+00,6.553595e-11,2.090568e-10,1.043763e-09,2.840567e-09,4.431122e-09,1.130213e-08,1.168406e-08,2.419789e-08,2.883328e-08,4.336480e-08,5.865346e-08,7.061968e-08,1.040815e-07,1.074069e-07,1.549520e-07,1.680499e-07,2.138861e-07,2.518554e-07,2.841276e-07,3.548986e-07,3.651747e-07,4.564210e-07,4.758415e-07,5.572724e-07,6.133165e-07,6.671405e-07,7.659486e-07,7.854094e-07,9.114115e-07,9.322416e-07,1.044417e-06,1.110517e-06,1.183635e-06,1.298918e-06,1.328223e-06,1.477302e-06,1.495451e-06,1.629971e-06,1.698049e-06,1.785324e-06,1.904640e-06,1.942473e-06,2.100554e-06,2.113216e-06,2.258747e-06,2.321882e-06,2.416285e-06,2.528906e-06,2.572459e-06,2.726628e-06,2.732745e-06,2.878221e-06,2.932064e-06,3.026734e-06,3.125741e-06,3.171736e-06,3.312861e-06,3.449806e-06,3.492704e-06,3.582329e-06,3.664734e-06,3.710242e-06,3.828575e-06,3.833409e-06,3.951736e-06,3.983992e-06,4.065171e-06,4.130876e-06,4.173697e-06,4.269215e-06,4.277326e-06,4.376098e-06,4.399086e-06,4.470072e-06,4.520632e-06,4.559330e-06,4.634049e-06,4.643964e-06,4.724084e-06,4.739576e-06,4.799804e-06,4.837482e-06,4.871251e-06,4.928058e-06,4.938553e-06,5.001844e-06,5.011608e-06,5.061261e-06,5.088445e-06,5.116940e-06,5.158885e-06,5.169019e-06,5.217634e-06,5.223242e-06,5.262922e-06,5.281828e-06,5.305014e-06,5.334948e-06,5.344043e-06,5.380135e-06,5.382899e-06,5.413416e-06,5.425969e-06,5.444008e-06,5.464436e-06,5.472029e-06,5.497594e-06,5.498567e-06,5.520812e-06,5.528617e-06,5.541792e-06,5.554832e-06,5.560637e-06,5.577446e-06,5.592316e-06,5.596680e-06,5.605339e-06,5.612745e-06,5.616604e-06,5.625844e-06,5.626197e-06,5.634199e-06,5.636166e-06,5.640690e-06,5.643891e-06,5.645745e-06,5.649190e-06,5.649437e-06,5.651835e-06,5.652226e-06,5.653006e-06,5.653149e-06,5.653013e-06,5.652106e-06,5.651918e-06,5.649780e-06,5.649232e-06,5.646653e-06,5.644655e-06,5.642592e-06,5.638497e-06,5.637648e-06,5.631870e-06,5.630872e-06,5.625305e-06,5.621887e-06,5.617997e-06,5.611645e-06,5.609989e-06,5.601322e-06,5.600240e-06,5.592036e-06,5.587763e-06,5.582166e-06,5.574298e-06,5.571750e-06,5.560820e-06,5.559925e-06,5.549410e-06,5.544718e-06,5.537550e-06,5.528749e-06,5.525270e-06,5.512597e-06,5.512083e-06,5.499560e-06,5.494782e-06,5.486183e-06,5.476905e-06,5.472490e-06,5.458506e-06,5.439638e-06,5.420347e-06,5.400680e-06,5.380679e-06,5.360384e-06,5.339832e-06,5.319058e-06,5.298095e-06,5.276972e-06,5.255720e-06,5.234364e-06,5.212930e-06,5.191440e-06,5.169917e-06,5.148381e-06,5.126851e-06,5.105343e-06,5.083875e-06,5.062463e-06,5.041118e-06,5.019856e-06,4.998689e-06,4.977626e-06,4.956679e-06
0.000000e+00,2.348391e-11,1.205106e-10,1.368146e-09,6.826466e-09,1.423467e-08,6.933562e-08,7.340073e-08,2.585001e-07,3.509522e-07,7.174530e-07,1.220410e-06,1.692697e-06,3.353855e-06,3.545023e-06,6.762176e-06,7.802082e-06,1.194442e-05,1.595671e-05,1.977369e-05,2.943046e-05,3.097765e-05,4.629593e-05,4.991749e-05,6.645121e-05,7.907212e-05,9.212549e-05,1.184143e-04,1.239410e-04,1.624451e-04,1.692585e-04,2.080981e-04,2.326617e-04,2.612644e-04,3.093865e-04,3.222058e-04,3.910778e-04,3.998787e-04,4.679276e-04,5.042573e-04,5.526955e-04,6.223176e-04,6.452176e-04,7.452318e-04,7.535466e-04,8.523845e-04,8.971492e-04,9.662396e-04,1.052083e-03,1.086289e-03,1.211964e-03,1.217099e-03,1.342646e-03,1.390791e-03,1.477679e-03,1.571639e-03,1.616382e-03,1.758059e-03,1.902012e-03,1.948444e-03,2.047548e-03,2.141208e-03,2.193990e-03,2.334818e-03,2.340682e-03,2.486999e-03,2.527820e-03,2.632351e-03,2.718866e-03,2.776184e-03,2.906731e-03,2.917989e-03,3.057301e-03,3.090317e-03,3.193698e-03,3.268665e-03,3.326805e-03,3.440955e-03,3.456292e-03,3.581876e-03,3.606502e-03,3.703313e-03,3.764753e-03,3.820403e-03,3.915279e-03,3.932983e-03,4.040930e-03,4.057765e-03,4.144151e-03,4.192000e-03,4.242588e-03,4.317870e-03,4.336209e-03,4.425009e-03,4.435342e-03,4.509008e-03,4.544456e-03,4.588246e-03,4.645317e-03,4.662780e-03,4.732686e-03,4.738081e-03,4.798051e-03,4.822949e-03,4.858977e-03,4.900156e-03,4.915574e-03,4.967960e-03,4.969970e-03,5.016262e-03,5.032676e-03,5.060610e-03,5.088577e-03,5.101139e-03,5.137987e-03,5.171293e-03,5.181226e-03,5.201198e-03,5.218616e-03,5.227841e-03,5.250479e-03,5.251362e-03,5.271900e-03,5.277135e-03,5.289590e-03,5.298894e-03,5.304567e-03,5.316063e-03,5.316962e-03,5.326903e-03,5.328938e-03,5.334515e-03,5.337806e-03,5.339919e-03,5.342943e-03,5.343234e-03,5.344575e-03,5.344615e-03,5.344050e-03,5.343076e-03,5.341767e-03,5.338566e-03,5.337829e-03,5.332334e-03,5.331316e-03,5.325376e-03,5.321544e-03,5.317048e-03,5.309457e-03,5.307436e-03,5.296624e-03,5.295250e-03,5.284692e-03,5.279107e-03,5.271716e-03,5.261201e-03,5.257769e-03,5.242921e-03,5.241696e-03,5.227238e-03,5.220745e-03,5.210782e-03,5.198490e-03,5.193615e-03,5.175793e-03,5.175067e-03,5.157370e-03,5.150601e-03,5.138399e-03,5.125209e-03,5.118927e-03,5.099001e-03,5.072079e-03,5.044537e-03,5.016464e-03,4.987942e-03,4.959046e-03,4.929848e-03,4.900412e-03,4.870798e-03,4.841062e-03,4.811254e-03,4.781423e-03,4.751610e-03,4.721855e-03,4.692195e-03,4.662663e-03,4.633289e-03,4.604100e-03,4.575121e-03,4.546375e-03,4.517882e-03,4.489659e-03,4.461724e-03,4.434091e-03,4.406772e-03
0.000000e+00,8.730340e-11,2.824624e-10,1.435917e-09,3.943324e-09,6.172042e-09,1.583541e-08,1.637356e-08,3.404084e-08,4.059876e-08,6.119454e-08,8.291738e-08,9.995650e-08,1.477992e-07,1.525724e-07,2.213091e-07,2.404361e-07,3.081229e-07,3.650798e-07,4.140510e-07,5.227151e-07,5.385832e-07,6.795912e-07,7.095059e-07,8.340048e-07,9.185341e-07,9.986581e-07,1.142828e-06,1.170766e-06,1.348021e-06,1.376726e-06,1.528510e-06,1.615811e-06,1.710621e-06,1.856540e-06,1.892967e-06,2.074335e-06,2.095981e-06,2.253666e-06,2.331685e-06,2.430041e-06,2.561620e-06,2.602673e-06,2.770898e-06,2.784148e-06,2.934172e-06,2.997994e-06,3.092060e-06,3.202213e-06,3.244229e-06,3.390436e-06,3.396158e-06,3.530522e-06,3.579434e-06,3.664394e-06,3.751861e-06,3.792024e-06,3.913433e-06,4.028684e-06,4.064279e-06,4.137876e-06,4.204637e-06,4.241136e-06,4.334821e-06,4.338611e-06,4.430467e-06,4.455203e-06,4.516880e-06,4.566192e-06,4.598036e-06,4.668220e-06,4.674125e-06,4.745340e-06,4.761728e-06,4.811876e-06,4.847164e-06,4.873925e-06,4.924970e-06,4.931680e-06,4.985329e-06,4.995582e-06,5.035055e-06,5.059422e-06,5.081038e-06,5.116898e-06,5.123451e-06,5.162464e-06,5.168402e-06,5.198240e-06,5.214309e-06,5.230935e-06,5.254976e-06,5.260702e-06,5.287686e-06,5.290744e-06,5.312026e-06,5.321934e-06,5.333858e-06,5.348851e-06,5.353309e-06,5.370502e-06,5.371784e-06,5.385556e-06,5.391004e-06,5.398584e-06,5.406769e-06,5.409691e-06,5.418983e-06,5.419318e-06,5.426556e-06,5.428880e-06,5.432504e-06,5.435667e-06,5.436918e-06,5.439881e-06,5.441476e-06,5.441710e-06,5.441780e-06,5.441331e-06,5.440866e-06,5.438909e-06,5.438805e-06,5.435665e-06,5.434601e-06,5.431508e-06,5.428551e-06,5.426396e-06,5.420898e-06,5.420385e-06,5.413532e-06,5.411768e-06,5.405889e-06,5.401282e-06,5.397505e-06,5.389552e-06,5.388428e-06,5.378702e-06,5.376682e-06,5.368370e-06,5.362772e-06,5.357474e-06,5.347912e-06,5.346051e-06,5.334138e-06,5.332189e-06,5.321771e-06,5.315683e-06,5.308982e-06,5.298468e-06,5.295802e-06,5.282262e-06,5.280615e-06,5.268390e-06,5.262188e-06,5.254213e-06,5.243250e-06,5.239756e-06,5.225044e-06,5.223857e-06,5.210099e-06,5.204061e-06,5.194943e-06,5.183913e-06,5.179598e-06,5.164081e-06,5.163458e-06,5.148413e-06,5.142739e-06,5.132611e-06,5.121796e-06,5.116690e-06,5.100667e-06,5.079386e-06,5.057985e-06,5.036494e-06,5.014941e-06,4.993351e-06,4.971749e-06,4.950156e-06,4.928592e-06,4.907078e-06,4.885629e-06,4.864263e-06,4.842994e-06,4.821836e-06,4.800801e-06,4.779901e-06,4.759147e-06,4.738547e-06,4.718111e-06,4.697846e-06,4.677760e-06,4.657860e-06,4.638151e-06,4.618639e-06,4.599327e-06
0.000000e+00,3.420347e-10,1.214040e-09,7.046114e-09,2.090082e-08,3.376658e-08,9.211492e-08,9.544204e-08,2.073677e-07,2.499264e-07,3.861447e-07,5.330880e-07,6.500926e-07,9.833959e-07,1.016838e-06,1.496940e-06,1.629182e-06,2.089963e-06,2.468730e-06,2.788554e-06,3.483823e-06,3.584153e-06,4.469041e-06,4.656104e-06,5.436108e-06,5.969107e-06,6.478222e-06,7.406085e-06,7.587831e-06,8.756850e-06,8.948840e-06,9.976720e-06,1.057772e-05,1.123857e-05,1.227226e-05,1.253345e-05,1.385250e-05,1.401201e-05,1.518721e-05,1.577736e-05,1.652955e-05,1.755022e-05,1.787206e-05,1.920799e-05,1.931439e-05,2.053130e-05,2.105588e-05,2.183670e-05,2.276291e-05,2.311963e-05,2.437624e-05,2.442591e-05,2.560333e-05,2.603734e-05,2.679831e-05,2.759148e-05,2.795912e-05,2.908421e-05,3.017243e-05,3.051274e-05,3.122303e-05,3.187546e-05,3.223557e-05,3.317165e-05,3.320989e-05,3.414606e-05,3.440138e-05,3.504434e-05,3.556530e-05,3.590517e-05,3.666453e-05,3.672910e-05,3.751682e-05,3.770057e-05,3.826909e-05,3.867517e-05,3.898672e-05,3.959028e-05,3.967059e-05,4.032162e-05,4.044797e-05,4.094074e-05,4.125040e-05,4.152893e-05,4.199981e-05,4.208715e-05,4.261636e-05,4.269841e-05,4.311756e-05,4.334846e-05,4.359170e-05,4.395217e-05,4.403973e-05,4.446261e-05,4.451171e-05,4.486126e-05,4.502923e-05,4.523659e-05,4.550680e-05,4.558949e-05,4.592084e-05,4.594644e-05,4.623148e-05,4.635013e-05,4.652225e-05,4.671974e-05,4.679394e-05,4.704736e-05,4.705712e-05,4.728325e-05,4.736402e-05,4.750236e-05,4.764214e-05,4.770541e-05,4.789308e-05,4.806606e-05,4.811842e-05,4.822500e-05,4.831963e-05,4.837051e-05,4.849815e-05,4.850322e-05,4.862370e-05,4.865533e-05,4.873253e-05,4.879247e-05,4.883026e-05,4.891080e-05,4.891740e-05,4.899447e-05,4.901152e-05,4.906195e-05,4.909574e-05,4.912033e-05,4.916453e-05,4.917005e-05,4.921155e-05,4.921890e-05,4.924525e-05,4.925983e-05,4.927156e-05,4.928822e-05,4.929085e-05,4.930352e-05,4.930495e-05,4.930991e-05,4.931085e-05,4.931037e-05,4.930669e-05,4.930523e-05,4.929480e-05,4.929321e-05,4.927940e-05,4.927112e-05,4.925931e-05,4.924108e-05,4.923481e-05,4.920617e-05,4.920371e-05,4.917364e-05,4.915960e-05,4.913748e-05,4.910932e-05,4.909791e-05,4.905516e-05,4.905339e-05,4.900945e-05,4.899230e-05,4.896097e-05,4.892653e-05,4.890994e-05,4.885652e-05,4.878268e-05,4.870540e-05,4.862505e-05,4.854197e-05,4.845648e-05,4.836889e-05,4.827948e-05,4.818851e-05,4.809623e-05,4.800288e-05,4.790867e-05,4.781379e-05,4.771845e-05,4.762281e-05,4.752702e-05,4.743126e-05,4.733564e-05,4.724030e-05,4.714536e-05,4.705092e-05,4.695709e-05,4.686396e-05,4.677161e-05,4.668011e-05
0.000000e+00,1.338115e-10,3.871503e-10,1.716212e-09,4.403223e-09,6.719500e-09,1.650337e-08,1.704174e-08,3.454745e-08,4.099391e-08,6.114431e-08,8.229816e-08,9.884393e-08,1.451376e-07,1.497440e-07,2.158044e-07,2.340832e-07,2.983485e-07,3.519065e-07,3.976109e-07,4.982161e-07,5.128505e-07,6.428790e-07,6.705495e-07,7.864623e-07,8.660953e-07,9.424428e-07,1.082243e-06,1.109722e-06,1.287214e-06,1.316487e-06,1.473816e-06,1.566289e-06,1.668393e-06,1.829017e-06,1.869783e-06,2.076808e-06,2.101974e-06,2.288292e-06,2.382459e-06,2.503079e-06,2.667837e-06,2.720053e-06,2.938152e-06,2.955618e-06,3.156383e-06,3.243505e-06,3.373833e-06,3.529445e-06,3.589674e-06,3.803151e-06,3.811632e-06,4.013609e-06,4.088521e-06,4.220473e-06,4.358835e-06,4.423255e-06,4.621542e-06,4.814995e-06,4.875832e-06,5.003339e-06,5.121097e-06,5.186361e-06,5.356902e-06,5.363897e-06,5.535834e-06,5.582962e-06,5.702097e-06,5.799115e-06,5.862650e-06,6.005310e-06,6.017486e-06,6.166626e-06,6.201576e-06,6.310110e-06,6.388013e-06,6.448000e-06,6.564776e-06,6.580372e-06,6.707316e-06,6.732062e-06,6.828933e-06,6.890103e-06,6.945329e-06,7.039152e-06,7.056621e-06,7.162928e-06,7.179483e-06,7.264374e-06,7.311378e-06,7.361084e-06,7.435130e-06,7.453188e-06,7.540814e-06,7.551034e-06,7.624090e-06,7.659386e-06,7.703145e-06,7.760482e-06,7.778106e-06,7.849101e-06,7.854613e-06,7.916253e-06,7.942066e-06,7.979686e-06,8.023123e-06,8.039521e-06,8.095876e-06,8.098060e-06,8.148868e-06,8.167144e-06,8.198611e-06,8.230637e-06,8.245215e-06,8.288790e-06,8.329441e-06,8.341849e-06,8.367273e-06,8.390051e-06,8.402385e-06,8.433625e-06,8.434875e-06,8.464840e-06,8.472790e-06,8.492371e-06,8.507759e-06,8.517559e-06,8.538737e-06,8.540491e-06,8.561252e-06,8.565921e-06,8.579925e-06,8.589499e-06,8.596589e-06,8.609654e-06,8.611323e-06,8.624200e-06,8.626559e-06,8.635294e-06,8.640382e-06,8.644676e-06,8.651283e-06,8.652414e-06,8.658573e-06,8.659416e-06,8.663218e-06,8.664928e-06,8.666411e-06,8.667959e-06,8.668211e-06,8.668677e-06,8.668645e-06,8.667864e-06,8.667115e-06,8.665826e-06,8.663491e-06,8.662617e-06,8.658286e-06,8.657893e-06,8.652882e-06,8.650431e-06,8.646453e-06,8.641215e-06,8.639044e-06,8.630699e-06,8.630347e-06,8.621461e-06,8.617924e-06,8.611370e-06,8.604042e-06,8.600466e-06,8.588788e-06,8.572249e-06,8.554505e-06,8.535634e-06,8.515710e-06,8.494803e-06,8.472981e-06,8.450307e-06,8.426841e-06,8.402643e-06,8.377766e-06,8.352263e-06,8.326185e-06,8.299577e-06,8.272486e-06,8.244954e-06,8.217022e-06,8.188728e-06,8.160108e-06,8.131199e-06,8.102031e-06,8.072638e-06,8.043048e-06,8.013289e-06,7.983389e-06
0.000000e+00,1.931358e-11,9.660899e-11,1.039708e-09,4.938067e-09,1.001915e-08,4.542811e-08,4.795005e-08,1.570308e-07,2.089701e-07,4.060984e-07,6.629518e-07,8.952954e-07,1.673474e-06,1.760350e-06,3.173355e-06,3.615803e-06,5.333063e-06,6.944877e-06,8.442213e-06,1.210745e-05,1.268071e-05,1.818581e-05,1.944732e-05,2.504359e-05,2.915786e-05,3.328954e-05,4.128346e-05,4.291467e-05,5.387359e-05,5.574619e-05,6.609259e-05,7.237808e-05,7.947680e-05,9.094945e-05,9.391602e-05,1.092895e-04,1.111911e-04,1.254695e-04,1.328105e-04,1.423250e-04,1.555054e-04,1.597235e-04,1.775343e-04,1.789732e-04,1.956299e-04,2.029202e-04,2.138878e-04,2.270688e-04,2.321925e-04,2.504361e-04,2.511631e-04,2.685197e-04,2.749731e-04,2.863539e-04,2.982977e-04,3.038591e-04,3.209659e-04,3.376146e-04,3.428370e-04,3.537551e-04,3.637992e-04,3.693467e-04,3.837679e-04,3.843568e-04,3.987611e-04,4.026833e-04,4.125423e-04,4.205072e-04,4.256896e-04,4.372205e-04,4.381976e-04,4.500662e-04,4.528200e-04,4.612996e-04,4.673155e-04,4.719053e-04,4.807276e-04,4.818941e-04,4.912792e-04,4.930851e-04,5.000760e-04,5.044233e-04,5.083011e-04,5.147818e-04,5.159728e-04,5.231099e-04,5.242035e-04,5.297318e-04,5.327333e-04,5.358586e-04,5.404170e-04,5.415103e-04,5.467069e-04,5.473008e-04,5.514683e-04,5.534305e-04,5.558141e-04,5.588509e-04,5.597637e-04,5.633357e-04,5.636057e-04,5.665487e-04,5.677373e-04,5.694204e-04,5.712864e-04,5.719680e-04,5.742083e-04,5.742918e-04,5.761574e-04,5.767908e-04,5.778307e-04,5.788187e-04,5.792432e-04,5.804090e-04,5.813421e-04,5.815937e-04,5.820554e-04,5.824025e-04,5.825616e-04,5.828639e-04,5.828727e-04,5.830001e-04,5.830044e-04,5.829549e-04,5.828492e-04,5.827474e-04,5.824218e-04,5.823876e-04,5.818851e-04,5.817443e-04,5.812489e-04,5.808374e-04,5.804875e-04,5.797205e-04,5.796092e-04,5.786217e-04,5.784118e-04,5.775326e-04,5.769284e-04,5.763487e-04,5.752860e-04,5.750769e-04,5.737234e-04,5.734997e-04,5.722943e-04,5.715831e-04,5.707952e-04,5.695493e-04,5.692316e-04,5.676087e-04,5.674102e-04,5.659313e-04,5.651772e-04,5.642040e-04,5.628606e-04,5.624312e-04,5.606169e-04,5.604701e-04,5.587653e-04,5.580149e-04,5.568798e-04,5.555033e-04,5.549640e-04,5.530213e-04,5.529431e-04,5.510547e-04,5.503414e-04,5.490672e-04,5.477051e-04,5.470615e-04,5.450403e-04,5.423528e-04,5.396478e-04,5.369303e-04,5.342048e-04,5.314755e-04,5.287461e-04,5.260203e-04,5.233012e-04,5.205919e-04,5.178949e-04,5.152129e-04,5.125480e-04,5.099023e-04,5.072777e-04,5.046758e-04,5.020982e-04,4.995462e-04,4.970210e-04,4.945238e-04,4.920555e-04,4.896169e-04,4.872088e-04,4.848318e-04,4.824865e-04
0.000000e+00,2.118540e-11,4.986028e-11,1.744905e-10,3.961383e-10,5.753825e-10,1.283759e-09,1.321358e-09,2.502122e-09,2.922726e-09,4.206625e-09,5.518150e-09,6.524646e-09,9.272328e-09,9.541095e-09,1.332205e-08,1.434726e-08,1.789265e-08,2.078472e-08,2.321028e-08,2.840605e-08,2.914421e-08,3.548123e-08,3.677475e-08,4.196831e-08,4.532116e-08,4.837169e-08,5.355623e-08,5.451695e-08,6.029609e-08,6.118255e-08,6.565470e-08,6.807113e-08,7.057454e-08,7.419662e-08,7.505950e-08,7.912610e-08,7.958704e-08,8.279776e-08,8.429504e-08,8.610138e-08,8.838333e-08,8.906518e-08,9.171753e-08,9.191710e-08,9.408611e-08,9.496006e-08,9.619737e-08,9.757221e-08,9.807624e-08,9.974589e-08,9.980863e-08,1.012276e-07,1.017189e-07,1.025409e-07,1.033468e-07,1.037034e-07,1.047308e-07,1.056374e-07,1.059041e-07,1.064359e-07,1.068954e-07,1.071374e-07,1.077289e-07,1.077519e-07,1.082883e-07,1.084255e-07,1.087542e-07,1.090028e-07,1.091565e-07,1.094757e-07,1.095013e-07,1.097939e-07,1.098570e-07,1.100392e-07,1.101574e-07,1.102412e-07,1.103861e-07,1.104036e-07,1.105299e-07,1.105511e-07,1.106230e-07,1.106592e-07,1.106855e-07,1.107161e-07,1.107198e-07,1.107280e-07,1.107270e-07,1.107121e-07,1.106964e-07,1.106739e-07,1.106282e-07,1.106148e-07,1.105364e-07,1.105258e-07,1.104401e-07,1.103923e-07,1.103269e-07,1.102304e-07,1.101982e-07,1.100548e-07,1.100427e-07,1.098977e-07,1.098313e-07,1.097279e-07,1.095982e-07,1.095461e-07,1.093532e-07,1.093452e-07,1.091498e-07,1.090741e-07,1.089366e-07,1.087864e-07,1.087143e-07,1.084835e-07,1.082446e-07,1.081666e-07,1.079983e-07,1.078369e-07,1.077449e-07,1.074956e-07,1.074851e-07,1.072192e-07,1.071437e-07,1.069476e-07,1.067821e-07,1.066708e-07,1.064117e-07,1.063890e-07,1.061028e-07,1.060334e-07,1.058123e-07,1.056479e-07,1.055179e-07,1.052558e-07,1.052199e-07,1.049186e-07,1.048580e-07,1.046143e-07,1.044550e-07,1.043072e-07,1.040473e-07,1.039976e-07,1.036857e-07,1.036356e-07,1.033718e-07,1.032204e-07,1.030559e-07,1.028021e-07,1.027384e-07,1.024195e-07,1.023811e-07,1.020993e-07,1.019580e-07,1.017779e-07,1.015331e-07,1.014556e-07,1.011326e-07,1.011067e-07,1.008089e-07,1.006793e-07,1.004847e-07,1.002511e-07,1.001602e-07,9.983542e-08,9.982243e-08,9.951057e-08,9.939362e-08,9.918574e-08,9.896493e-08,9.886104e-08,9.853659e-08,9.810885e-08,9.768193e-08,9.725603e-08,9.683136e-08,9.640808e-08,9.598638e-08,9.556641e-08,9.514832e-08,9.473225e-08,9.431832e-08,9.390667e-08,9.349738e-08,9.309059e-08,9.268636e-08,9.228481e-08,9.188601e-08,9.149003e-08,9.109694e-08,9.070682e-08,9.031971e-08,8.993568e-08,8.955476e-08,8.917701e-08,8.880247e-08
0.000000e+00,2.509153e-11,1.108325e-10,9.316965e-10,3.578582e-09,6.495337e-09,2.245322e-08,2.345117e-08,6.006694e-08,7.504578e-08,1.252531e-07,1.819172e-07,2.282345e-07,3.639358e-07,3.777888e-07,5.803613e-07,6.372336e-07,8.384788e-07,1.007010e-06,1.151130e-06,1.468976e-06,1.515265e-06,1.926930e-06,2.014586e-06,2.381718e-06,2.633671e-06,2.874825e-06,3.314848e-06,3.401042e-06,3.954804e-06,4.045576e-06,4.530303e-06,4.812535e-06,5.121657e-06,5.602264e-06,5.723086e-06,6.329083e-06,6.401863e-06,6.934552e-06,7.199588e-06,7.534904e-06,7.985256e-06,8.126122e-06,8.704786e-06,8.750448e-06,9.268068e-06,9.488550e-06,9.813710e-06,1.019466e-05,1.033998e-05,1.084560e-05,1.086539e-05,1.132974e-05,1.149867e-05,1.179191e-05,1.209352e-05,1.223190e-05,1.264978e-05,1.304581e-05,1.316799e-05,1.342040e-05,1.364913e-05,1.377408e-05,1.409454e-05,1.410750e-05,1.442134e-05,1.450580e-05,1.471634e-05,1.488462e-05,1.499328e-05,1.523278e-05,1.525293e-05,1.549608e-05,1.555207e-05,1.572351e-05,1.584428e-05,1.593597e-05,1.611115e-05,1.613421e-05,1.631896e-05,1.635435e-05,1.649091e-05,1.657549e-05,1.665073e-05,1.677609e-05,1.679907e-05,1.693655e-05,1.695758e-05,1.706375e-05,1.712132e-05,1.718123e-05,1.726859e-05,1.728954e-05,1.738917e-05,1.740056e-05,1.748061e-05,1.751836e-05,1.756431e-05,1.762303e-05,1.764072e-05,1.771024e-05,1.771552e-05,1.777327e-05,1.779674e-05,1.783016e-05,1.786753e-05,1.788128e-05,1.792695e-05,1.792867e-05,1.796748e-05,1.798087e-05,1.800318e-05,1.802483e-05,1.803431e-05,1.806116e-05,1.808395e-05,1.809043e-05,1.810295e-05,1.811321e-05,1.811835e-05,1.812997e-05,1.813039e-05,1.813926e-05,1.814120e-05,1.814514e-05,1.814732e-05,1.814823e-05,1.814873e-05,1.814867e-05,1.814665e-05,1.814581e-05,1.814231e-05,1.813891e-05,1.813578e-05,1.812835e-05,1.812722e-05,1.811674e-05,1.811442e-05,1.810446e-05,1.809741e-05,1.809051e-05,1.807757e-05,1.807499e-05,1.805800e-05,1.805515e-05,1.803964e-05,1.803037e-05,1.802000e-05,1.800343e-05,1.799918e-05,1.797724e-05,1.797454e-05,1.795428e-05,1.794386e-05,1.793035e-05,1.791158e-05,1.790554e-05,1.787991e-05,1.787783e-05,1.785353e-05,1.784277e-05,1.782644e-05,1.780654e-05,1.779871e-05,1.777040e-05,1.776925e-05,1.774154e-05,1.773103e-05,1.771220e-05,1.769198e-05,1.768240e-05,1.765221e-05,1.761180e-05,1.757085e-05,1.752943e-05,1.748762e-05,1.744550e-05,1.740312e-05,1.736056e-05,1.731785e-05,1.727506e-05,1.723224e-05,1.718942e-05,1.714666e-05,1.710398e-05,1.706143e-05,1.701904e-05,1.697684e-05,1.693485e-05,1.689311e-05,1.685163e-05,1.681044e-05,1.676956e-05,1.672900e-05,1.668879e-05,1.664893e-05
0.000000e+00,1.485763e-10,5.950896e-10,4.196561e-09,1.416320e-08,2.423188e-08,7.462648e-08,7.766305e-08,1.868251e-07,2.312783e-07,3.818281e-07,5.543867e-07,6.961111e-07,1.104763e-06,1.145526e-06,1.717549e-06,1.870445e-06,2.389020e-06,2.801480e-06,3.142029e-06,3.863454e-06,3.965796e-06,4.853457e-06,5.038156e-06,5.799351e-06,6.312306e-06,6.797602e-06,7.671759e-06,7.841566e-06,8.923738e-06,9.099890e-06,1.003590e-05,1.057784e-05,1.116934e-05,1.208546e-05,1.231520e-05,1.346467e-05,1.360245e-05,1.460933e-05,1.510940e-05,1.574131e-05,1.658871e-05,1.685347e-05,1.793951e-05,1.802510e-05,1.899403e-05,1.940598e-05,2.001254e-05,2.072151e-05,2.099144e-05,2.192799e-05,2.196455e-05,2.282025e-05,2.313036e-05,2.366697e-05,2.421639e-05,2.446753e-05,2.522184e-05,2.593028e-05,2.614740e-05,2.659359e-05,2.699490e-05,2.721282e-05,2.776701e-05,2.778926e-05,2.832437e-05,2.846700e-05,2.881972e-05,2.909856e-05,2.927701e-05,2.966557e-05,2.969795e-05,3.008429e-05,3.017205e-05,3.043777e-05,3.062201e-05,3.076011e-05,3.101935e-05,3.105300e-05,3.131808e-05,3.136790e-05,3.155692e-05,3.167126e-05,3.177106e-05,3.193290e-05,3.196193e-05,3.213094e-05,3.215604e-05,3.227940e-05,3.234374e-05,3.240858e-05,3.249883e-05,3.251965e-05,3.261374e-05,3.262394e-05,3.269191e-05,3.272153e-05,3.275517e-05,3.279385e-05,3.280446e-05,3.284066e-05,3.284301e-05,3.286461e-05,3.287094e-05,3.287711e-05,3.287942e-05,3.287888e-05,3.287063e-05,3.287010e-05,3.285300e-05,3.284448e-05,3.282662e-05,3.280397e-05,3.279206e-05,3.274986e-05,3.270053e-05,3.268332e-05,3.264455e-05,3.260544e-05,3.258237e-05,3.251723e-05,3.251441e-05,3.244107e-05,3.241962e-05,3.236273e-05,3.231346e-05,3.227973e-05,3.219954e-05,3.219240e-05,3.210106e-05,3.207857e-05,3.200599e-05,3.195123e-05,3.190748e-05,3.181813e-05,3.180577e-05,3.170112e-05,3.167985e-05,3.159374e-05,3.153691e-05,3.148387e-05,3.138979e-05,3.137169e-05,3.125741e-05,3.123894e-05,3.114120e-05,3.108478e-05,3.102322e-05,3.092769e-05,3.090365e-05,3.078263e-05,3.076801e-05,3.066030e-05,3.060609e-05,3.053679e-05,3.044222e-05,3.041224e-05,3.028676e-05,3.027668e-05,3.016045e-05,3.010973e-05,3.003344e-05,2.994161e-05,2.990581e-05,2.977767e-05,2.977253e-05,2.964909e-05,2.960272e-05,2.952017e-05,2.943234e-05,2.939097e-05,2.926159e-05,2.909061e-05,2.891957e-05,2.874860e-05,2.857782e-05,2.840736e-05,2.823732e-05,2.806781e-05,2.789892e-05,2.773073e-05,2.756332e-05,2.739677e-05,2.723114e-05,2.706649e-05,2.690288e-05,2.674035e-05,2.657896e-05,2.641875e-05,2.625975e-05,2.610200e-05,2.594554e-05,2.579038e-05,2.563656e-05,2.548409e-05,2.533300e-05
0.000000e+00,4.491162e-11,1.058583e-10,3.769760e-10,8.769646e-10,1.294154e-09,3.031625e-09,3.127364e-09,6.290679e-09,7.484586e-09,1.131452e-08,1.545758e-08,1.874451e-08,2.791953e-08,2.882053e-08,4.137026e-08,4.471771e-08,5.611349e-08,6.525031e-08,7.285216e-08,8.913532e-08,9.146474e-08,1.118635e-07,1.161504e-07,1.339655e-07,1.461015e-07,1.576780e-07,1.787622e-07,1.828924e-07,2.094834e-07,2.138565e-07,2.373108e-07,2.510631e-07,2.662234e-07,2.900280e-07,2.960620e-07,3.266644e-07,3.303804e-07,3.578690e-07,3.717488e-07,3.895178e-07,4.137750e-07,4.214601e-07,4.535539e-07,4.561240e-07,4.856679e-07,4.984918e-07,5.176818e-07,5.406087e-07,5.494876e-07,5.809899e-07,5.822424e-07,6.121050e-07,6.231974e-07,6.427605e-07,6.633116e-07,6.728942e-07,7.024541e-07,7.313969e-07,7.405224e-07,7.596881e-07,7.774396e-07,7.872999e-07,8.131458e-07,8.142084e-07,8.403975e-07,8.475999e-07,8.658557e-07,8.807765e-07,8.905754e-07,9.126617e-07,9.145525e-07,9.377868e-07,9.432526e-07,9.602799e-07,9.725538e-07,9.820360e-07,1.000576e-06,1.003061e-06,1.023362e-06,1.027336e-06,1.042947e-06,1.052853e-06,1.061829e-06,1.077152e-06,1.080015e-06,1.097520e-06,1.100258e-06,1.114354e-06,1.122201e-06,1.130532e-06,1.143009e-06,1.146064e-06,1.160967e-06,1.162713e-06,1.175251e-06,1.181345e-06,1.188933e-06,1.198936e-06,1.202025e-06,1.214542e-06,1.215519e-06,1.226497e-06,1.231125e-06,1.237904e-06,1.245786e-06,1.248778e-06,1.259131e-06,1.259535e-06,1.268978e-06,1.272402e-06,1.278332e-06,1.284418e-06,1.287207e-06,1.295615e-06,1.303569e-06,1.306021e-06,1.311083e-06,1.315667e-06,1.318169e-06,1.324580e-06,1.324839e-06,1.331106e-06,1.332790e-06,1.336981e-06,1.340323e-06,1.342477e-06,1.347207e-06,1.347604e-06,1.352375e-06,1.353468e-06,1.356799e-06,1.359130e-06,1.360889e-06,1.364219e-06,1.364654e-06,1.368105e-06,1.368758e-06,1.371252e-06,1.372772e-06,1.374105e-06,1.376281e-06,1.376674e-06,1.378967e-06,1.379309e-06,1.380995e-06,1.381877e-06,1.382766e-06,1.384005e-06,1.384290e-06,1.385574e-06,1.385712e-06,1.386627e-06,1.387019e-06,1.387457e-06,1.387943e-06,1.388072e-06,1.388480e-06,1.388503e-06,1.388688e-06,1.388717e-06,1.388703e-06,1.388599e-06,1.388534e-06,1.388186e-06,1.388168e-06,1.387666e-06,1.387438e-06,1.386981e-06,1.386425e-06,1.386138e-06,1.385142e-06,1.383604e-06,1.381825e-06,1.379816e-06,1.377591e-06,1.375161e-06,1.372539e-06,1.369734e-06,1.366757e-06,1.363620e-06,1.360330e-06,1.356899e-06,1.353335e-06,1.349645e-06,1.345840e-06,1.341926e-06,1.337912e-06,1.333804e-06,1.329609e-06,1.325335e-06,1.320987e-06,1.316571e-06,1.312094e-06,1.307561e-06,1.302978e-06
0.000000e+00,7.199748e-12,3.458153e-11,3.422400e-10,1.506349e-09,2.931454e-09,1.193298e-08,1.254021e-08,3.687628e-08,4.764876e-08,8.594123e-08,1.319914e-07,1.712325e-07,2.923044e-07,3.050998e-07,5.001960e-07,5.575050e-07,7.686330e-07,9.548774e-07,1.120448e-06,1.503931e-06,1.561676e-06,2.093065e-06,2.209848e-06,2.710121e-06,3.062115e-06,3.404256e-06,4.038769e-06,4.164303e-06,4.977877e-06,5.112169e-06,5.832344e-06,6.253382e-06,6.715413e-06,7.434615e-06,7.615447e-06,8.521630e-06,8.630305e-06,9.424061e-06,9.817605e-06,1.031381e-05,1.097664e-05,1.118297e-05,1.202469e-05,1.209066e-05,1.283319e-05,1.314621e-05,1.360378e-05,1.413305e-05,1.433282e-05,1.501767e-05,1.504411e-05,1.565662e-05,1.587522e-05,1.624883e-05,1.662474e-05,1.679418e-05,1.729320e-05,1.774697e-05,1.788285e-05,1.815699e-05,1.839729e-05,1.852510e-05,1.884098e-05,1.885337e-05,1.914403e-05,1.921899e-05,1.939941e-05,1.953669e-05,1.962189e-05,1.979953e-05,1.981381e-05,1.997752e-05,2.001286e-05,2.011524e-05,2.018183e-05,2.022915e-05,2.031130e-05,2.032127e-05,2.039355e-05,2.040578e-05,2.044776e-05,2.046938e-05,2.048561e-05,2.050588e-05,2.050863e-05,2.051827e-05,2.051866e-05,2.051584e-05,2.051074e-05,2.050255e-05,2.048484e-05,2.047950e-05,2.044771e-05,2.044335e-05,2.040810e-05,2.038840e-05,2.036149e-05,2.032187e-05,2.030866e-05,2.025029e-05,2.024540e-05,2.018700e-05,2.016044e-05,2.011937e-05,2.006828e-05,2.004791e-05,1.997309e-05,1.997003e-05,1.989532e-05,1.986668e-05,1.981500e-05,1.975910e-05,1.973247e-05,1.964804e-05,1.956199e-05,1.953416e-05,1.947460e-05,1.941807e-05,1.938609e-05,1.930026e-05,1.929667e-05,1.920654e-05,1.918120e-05,1.911587e-05,1.906128e-05,1.902483e-05,1.894086e-05,1.893355e-05,1.884216e-05,1.882023e-05,1.875080e-05,1.869968e-05,1.865955e-05,1.857944e-05,1.856853e-05,1.847781e-05,1.845972e-05,1.838749e-05,1.834070e-05,1.829763e-05,1.822255e-05,1.820829e-05,1.811954e-05,1.810540e-05,1.803144e-05,1.798938e-05,1.794401e-05,1.787460e-05,1.785732e-05,1.777140e-05,1.776114e-05,1.768628e-05,1.764909e-05,1.760200e-05,1.753852e-05,1.751858e-05,1.743604e-05,1.742948e-05,1.735441e-05,1.732202e-05,1.727370e-05,1.721618e-05,1.719394e-05,1.711513e-05,1.711200e-05,1.703729e-05,1.700950e-05,1.696042e-05,1.690871e-05,1.688454e-05,1.680964e-05,1.671231e-05,1.661671e-05,1.652285e-05,1.643073e-05,1.634035e-05,1.625171e-05,1.616478e-05,1.607957e-05,1.599605e-05,1.591422e-05,1.583405e-05,1.575554e-05,1.567865e-05,1.560338e-05,1.552970e-05,1.545758e-05,1.538702e-05,1.531797e-05,1.525043e-05,1.518436e-05,1.511974e-05,1.505655e-05,1.499477e-05,1.493436e-05
0.000000e+00,1.163559e-11,5.914794e-11,6.585023e-10,3.228355e-09,6.668212e-09,3.171869e-08,3.354695e-08,1.155827e-07,1.560406e-07,3.147575e-07,5.301857e-07,7.311567e-07,1.434195e-06,1.514987e-06,2.877967e-06,3.320786e-06,5.097649e-06,6.837040e-06,8.505538e-06,1.276858e-05,1.345543e-05,2.028025e-05,2.189556e-05,2.925171e-05,3.482991e-05,4.055267e-05,5.190849e-05,5.426487e-05,7.036994e-05,7.316271e-05,8.875950e-05,9.834654e-05,1.092503e-04,1.269957e-04,1.316018e-04,1.555330e-04,1.584965e-04,1.807388e-04,1.921520e-04,2.069038e-04,2.272371e-04,2.337138e-04,2.608651e-04,2.630432e-04,2.880714e-04,2.989095e-04,3.150695e-04,3.342448e-04,3.416221e-04,3.675203e-04,3.685400e-04,3.925844e-04,4.013734e-04,4.166635e-04,4.324109e-04,4.396348e-04,4.614023e-04,4.818947e-04,4.881744e-04,5.010634e-04,5.126229e-04,5.188802e-04,5.347028e-04,5.353348e-04,5.504326e-04,5.544191e-04,5.641922e-04,5.718177e-04,5.766435e-04,5.869766e-04,5.878255e-04,5.977845e-04,5.999984e-04,6.065725e-04,6.110030e-04,6.142456e-04,6.201225e-04,6.208628e-04,6.264849e-04,6.274953e-04,6.311733e-04,6.332626e-04,6.349893e-04,6.375648e-04,6.379933e-04,6.402444e-04,6.405386e-04,6.417998e-04,6.423155e-04,6.427145e-04,6.430203e-04,6.430410e-04,6.428292e-04,6.427699e-04,6.421265e-04,6.416733e-04,6.409772e-04,6.398308e-04,6.394230e-04,6.375030e-04,6.373347e-04,6.352533e-04,6.342688e-04,6.327078e-04,6.307094e-04,6.298976e-04,6.268516e-04,6.267253e-04,6.235965e-04,6.223782e-04,6.201567e-04,6.177237e-04,6.165547e-04,6.128112e-04,6.089450e-04,6.076848e-04,6.049734e-04,6.023837e-04,6.009123e-04,5.969425e-04,5.967758e-04,5.925772e-04,5.913921e-04,5.883283e-04,5.857593e-04,5.840399e-04,5.800682e-04,5.797219e-04,5.753830e-04,5.743395e-04,5.710314e-04,5.685917e-04,5.666743e-04,5.628407e-04,5.623182e-04,5.579690e-04,5.571005e-04,5.536321e-04,5.513833e-04,5.493122e-04,5.456997e-04,5.450135e-04,5.407399e-04,5.400587e-04,5.364948e-04,5.344682e-04,5.322812e-04,5.289349e-04,5.281019e-04,5.239592e-04,5.234647e-04,5.198553e-04,5.180623e-04,5.157919e-04,5.127318e-04,5.117707e-04,5.077931e-04,5.074768e-04,5.038602e-04,5.022999e-04,4.999733e-04,4.972035e-04,4.961330e-04,4.923401e-04,4.921894e-04,4.885953e-04,4.872590e-04,4.848989e-04,4.824132e-04,4.812514e-04,4.776530e-04,4.729786e-04,4.683903e-04,4.638879e-04,4.594714e-04,4.551403e-04,4.508941e-04,4.467321e-04,4.426535e-04,4.386575e-04,4.347431e-04,4.309092e-04,4.271549e-04,4.234789e-04,4.198801e-04,4.163573e-04,4.129092e-04,4.095345e-04,4.062321e-04,4.030005e-04,3.998385e-04,3.967447e-04,3.937179e-04,3.907568e-04,3.878600e-04
0.000000e+00,3.839166e-12,8.896754e-12,3.100054e-11,7.097968e-11,1.037983e-10,2.363903e-10,2.435283e-10,4.713088e-10,5.538101e-10,8.089862e-10,1.073950e-09,1.279797e-09,1.851360e-09,1.907957e-09,2.715479e-09,2.937721e-09,3.715541e-09,4.359954e-09,4.907448e-09,6.105931e-09,6.279604e-09,7.816726e-09,8.142631e-09,9.504194e-09,1.043669e-08,1.132886e-08,1.295860e-08,1.327843e-08,1.534083e-08,1.568047e-08,1.750374e-08,1.857391e-08,1.975443e-08,2.160939e-08,2.207980e-08,2.446656e-08,2.475646e-08,2.690134e-08,2.798445e-08,2.937099e-08,3.126338e-08,3.186276e-08,3.436452e-08,3.456474e-08,3.686487e-08,3.786223e-08,3.935331e-08,4.113221e-08,4.182029e-08,4.425726e-08,4.435401e-08,4.665671e-08,4.751004e-08,4.901212e-08,5.058577e-08,5.131794e-08,5.356956e-08,5.576318e-08,5.645239e-08,5.789585e-08,5.922768e-08,5.996527e-08,6.189090e-08,6.196982e-08,6.390843e-08,6.443934e-08,6.578053e-08,6.687179e-08,6.758597e-08,6.918829e-08,6.932498e-08,7.099809e-08,7.138991e-08,7.260610e-08,7.347852e-08,7.415002e-08,7.545661e-08,7.563106e-08,7.705053e-08,7.732717e-08,7.840990e-08,7.909353e-08,7.971070e-08,8.075926e-08,8.095451e-08,8.214298e-08,8.232811e-08,8.327777e-08,8.380390e-08,8.436056e-08,8.519048e-08,8.539303e-08,8.637685e-08,8.649172e-08,8.731368e-08,8.771141e-08,8.820514e-08,8.885330e-08,8.905284e-08,8.985836e-08,8.992103e-08,9.062324e-08,9.091815e-08,9.134898e-08,9.184810e-08,9.203705e-08,9.268886e-08,9.271419e-08,9.330579e-08,9.351961e-08,9.388919e-08,9.426741e-08,9.444035e-08,9.496052e-08,9.545093e-08,9.560177e-08,9.591275e-08,9.619383e-08,9.634710e-08,9.673926e-08,9.675509e-08,9.713776e-08,9.724051e-08,9.749614e-08,9.769991e-08,9.783120e-08,9.811968e-08,9.814389e-08,9.843513e-08,9.850193e-08,9.870578e-08,9.884867e-08,9.895670e-08,9.916182e-08,9.918869e-08,9.940253e-08,9.944319e-08,9.959899e-08,9.969452e-08,9.977878e-08,9.991744e-08,9.994260e-08,1.000911e-07,1.001135e-07,1.002250e-07,1.002842e-07,1.003448e-07,1.004310e-07,1.004512e-07,1.005448e-07,1.005552e-07,1.006260e-07,1.006580e-07,1.006954e-07,1.007406e-07,1.007536e-07,1.008010e-07,1.008043e-07,1.008380e-07,1.008501e-07,1.008652e-07,1.008790e-07,1.008830e-07,1.008918e-07,1.008919e-07,1.008919e-07,1.008900e-07,1.008839e-07,1.008739e-07,1.008680e-07,1.008445e-07,1.008028e-07,1.007492e-07,1.006847e-07,1.006099e-07,1.005254e-07,1.004319e-07,1.003298e-07,1.002199e-07,1.001025e-07,9.997815e-08,9.984738e-08,9.971060e-08,9.956824e-08,9.942069e-08,9.926834e-08,9.911154e-08,9.895064e-08,9.878596e-08,9.861781e-08,9.844648e-08,9.827225e-08,9.809538e-08,9.791611e-08,9.773468e-08
0.000000e+00,4.635781e-11,1.069184e-10,3.713738e-10,8.513174e-10,1.247287e-09,2.865628e-09,2.953576e-09,5.801488e-09,6.851440e-09,1.015158e-08,1.364310e-08,1.638297e-08,2.400206e-08,2.475162e-08,3.524558e-08,3.805995e-08,4.767130e-08,5.539486e-08,6.182234e-08,7.556938e-08,7.753207e-08,9.465997e-08,9.824405e-08,1.130732e-07,1.231116e-07,1.326373e-07,1.498588e-07,1.532131e-07,1.746584e-07,1.781609e-07,1.968310e-07,2.076910e-07,2.195914e-07,2.381330e-07,2.428062e-07,2.663508e-07,2.691928e-07,2.901105e-07,3.006057e-07,3.139814e-07,3.321403e-07,3.378711e-07,3.616982e-07,3.635995e-07,3.853919e-07,3.948181e-07,4.088913e-07,4.256609e-07,4.321442e-07,4.551067e-07,4.560187e-07,4.777419e-07,4.858043e-07,5.000189e-07,5.149496e-07,5.219125e-07,5.434020e-07,5.644709e-07,5.711218e-07,5.851059e-07,5.980798e-07,6.052969e-07,6.242553e-07,6.250361e-07,6.443181e-07,6.496345e-07,6.631391e-07,6.742095e-07,6.814971e-07,6.979768e-07,6.993913e-07,7.168222e-07,7.209368e-07,7.337913e-07,7.430931e-07,7.503008e-07,7.644516e-07,7.663540e-07,7.819546e-07,7.850207e-07,7.971068e-07,8.048104e-07,8.118155e-07,8.238319e-07,8.260859e-07,8.399237e-07,8.420980e-07,8.533347e-07,8.596223e-07,8.663252e-07,8.764192e-07,8.789016e-07,8.910706e-07,8.925038e-07,9.028388e-07,9.078917e-07,9.142134e-07,9.225991e-07,9.252013e-07,9.358097e-07,9.366422e-07,9.460457e-07,9.500376e-07,9.559168e-07,9.628020e-07,9.654301e-07,9.745931e-07,9.749524e-07,9.834129e-07,9.865055e-07,9.918971e-07,9.974782e-07,1.000053e-06,1.007887e-06,1.015408e-06,1.017749e-06,1.022622e-06,1.027081e-06,1.029536e-06,1.035899e-06,1.036158e-06,1.042494e-06,1.044218e-06,1.048552e-06,1.052056e-06,1.054339e-06,1.059428e-06,1.059860e-06,1.065123e-06,1.066349e-06,1.070135e-06,1.072834e-06,1.074902e-06,1.078899e-06,1.079430e-06,1.083726e-06,1.084558e-06,1.087796e-06,1.089825e-06,1.091646e-06,1.094715e-06,1.095283e-06,1.098711e-06,1.099241e-06,1.101938e-06,1.103416e-06,1.104968e-06,1.107255e-06,1.107808e-06,1.110462e-06,1.110768e-06,1.112937e-06,1.113970e-06,1.115237e-06,1.116872e-06,1.117368e-06,1.119335e-06,1.119486e-06,1.121143e-06,1.121823e-06,1.122797e-06,1.123895e-06,1.124302e-06,1.125662e-06,1.125713e-06,1.126881e-06,1.127287e-06,1.127965e-06,1.128627e-06,1.128918e-06,1.129744e-06,1.130648e-06,1.131346e-06,1.131850e-06,1.132167e-06,1.132307e-06,1.132276e-06,1.132084e-06,1.131739e-06,1.131247e-06,1.130616e-06,1.129853e-06,1.128965e-06,1.127959e-06,1.126840e-06,1.125615e-06,1.124289e-06,1.122869e-06,1.121359e-06,1.119766e-06,1.118093e-06,1.116347e-06,1.114532e-06,1.112651e-06,1.110710e-06
0.000000e+00,6.779870e-12,1.602885e-11,5.695374e-11,1.314046e-10,1.926064e-10,4.398196e-10,4.531186e-10,8.768878e-10,1.030091e-09,1.503062e-09,1.992736e-09,2.372005e-09,3.417984e-09,3.520858e-09,4.971631e-09,5.365047e-09,6.723314e-09,7.830109e-09,8.760419e-09,1.077483e-08,1.106493e-08,1.362022e-08,1.415997e-08,1.641026e-08,1.794831e-08,1.941818e-08,2.209968e-08,2.262540e-08,2.601133e-08,2.656818e-08,2.955348e-08,3.130219e-08,3.322783e-08,3.624571e-08,3.700937e-08,4.087266e-08,4.134054e-08,4.479240e-08,4.652860e-08,4.874401e-08,5.175409e-08,5.270407e-08,5.665069e-08,5.696523e-08,6.056382e-08,6.211559e-08,6.442545e-08,6.716492e-08,6.821968e-08,7.193282e-08,7.207949e-08,7.555327e-08,7.683205e-08,7.907152e-08,8.140161e-08,8.247998e-08,8.577282e-08,8.894587e-08,8.993545e-08,9.199635e-08,9.388362e-08,9.492280e-08,9.761513e-08,9.772483e-08,1.004030e-07,1.011308e-07,1.029586e-07,1.044340e-07,1.053937e-07,1.075298e-07,1.077109e-07,1.099129e-07,1.104247e-07,1.120032e-07,1.131262e-07,1.139852e-07,1.156428e-07,1.158627e-07,1.176393e-07,1.179829e-07,1.193190e-07,1.201554e-07,1.209056e-07,1.221692e-07,1.224030e-07,1.238149e-07,1.240331e-07,1.251451e-07,1.257556e-07,1.263972e-07,1.273450e-07,1.275747e-07,1.286811e-07,1.288093e-07,1.297198e-07,1.301561e-07,1.306938e-07,1.313927e-07,1.316062e-07,1.324600e-07,1.325258e-07,1.332580e-07,1.335621e-07,1.340028e-07,1.345077e-07,1.346971e-07,1.353433e-07,1.353682e-07,1.359438e-07,1.361492e-07,1.365007e-07,1.368557e-07,1.370163e-07,1.374924e-07,1.379311e-07,1.380639e-07,1.383341e-07,1.385742e-07,1.387033e-07,1.390273e-07,1.390402e-07,1.393465e-07,1.394270e-07,1.396236e-07,1.397764e-07,1.398729e-07,1.400790e-07,1.400959e-07,1.402937e-07,1.403376e-07,1.404677e-07,1.405551e-07,1.406189e-07,1.407341e-07,1.407485e-07,1.408575e-07,1.408770e-07,1.409470e-07,1.409861e-07,1.410178e-07,1.410636e-07,1.410710e-07,1.411072e-07,1.411115e-07,1.411275e-07,1.411317e-07,1.411324e-07,1.411259e-07,1.411229e-07,1.410995e-07,1.410959e-07,1.410631e-07,1.410430e-07,1.410141e-07,1.409689e-07,1.409533e-07,1.408811e-07,1.408749e-07,1.407983e-07,1.407623e-07,1.407052e-07,1.406322e-07,1.406025e-07,1.404905e-07,1.404858e-07,1.403698e-07,1.403243e-07,1.402407e-07,1.401485e-07,1.401038e-07,1.399594e-07,1.397580e-07,1.395451e-07,1.393214e-07,1.390877e-07,1.388447e-07,1.385931e-07,1.383335e-07,1.380665e-07,1.377926e-07,1.375124e-07,1.372264e-07,1.369350e-07,1.366386e-07,1.363378e-07,1.360329e-07,1.357243e-07,1.354123e-07,1.350973e-07,1.347796e-07,1.344595e-07,1.341372e-07,1.338132e-07,1.334875e-07,1.331605e-07
0.000000e+00,8.219728e-11,3.510210e-10,2.771187e-09,1.013321e-08,1.795711e-08,5.887811e-08,6.137844e-08,1.509144e-07,1.867726e-07,3.052525e-07,4.370933e-07,5.440454e-07,8.556554e-07,8.874165e-07,1.352478e-06,1.483422e-06,1.948419e-06,2.339817e-06,2.675942e-06,3.421987e-06,3.531203e-06,4.509456e-06,4.719476e-06,5.606349e-06,6.222257e-06,6.817758e-06,7.920607e-06,8.139235e-06,9.565540e-06,9.803073e-06,1.109039e-05,1.185519e-05,1.270637e-05,1.405909e-05,1.440498e-05,1.617673e-05,1.639377e-05,1.801130e-05,1.883562e-05,1.989777e-05,2.135920e-05,2.182476e-05,2.378075e-05,2.393813e-05,2.575421e-05,2.654595e-05,2.773385e-05,2.915686e-05,2.970875e-05,3.166855e-05,3.174649e-05,3.360356e-05,3.429236e-05,3.550487e-05,3.677435e-05,3.736439e-05,3.917493e-05,4.093021e-05,4.147932e-05,4.262484e-05,4.367547e-05,4.425433e-05,4.575397e-05,4.581504e-05,4.730414e-05,4.770795e-05,4.871954e-05,4.953281e-05,5.005987e-05,5.122601e-05,5.132438e-05,5.251287e-05,5.278683e-05,5.362568e-05,5.421605e-05,5.466355e-05,5.551580e-05,5.562764e-05,5.651940e-05,5.668922e-05,5.734057e-05,5.774033e-05,5.809312e-05,5.867378e-05,5.877918e-05,5.940103e-05,5.949473e-05,5.996106e-05,6.020863e-05,6.046173e-05,6.082120e-05,6.090553e-05,6.129501e-05,6.133822e-05,6.163268e-05,6.176550e-05,6.192107e-05,6.210881e-05,6.216265e-05,6.235986e-05,6.237380e-05,6.251511e-05,6.256598e-05,6.263071e-05,6.269067e-05,6.270894e-05,6.275198e-05,6.275300e-05,6.276196e-05,6.275785e-05,6.274091e-05,6.270988e-05,6.269080e-05,6.261351e-05,6.251085e-05,6.247292e-05,6.238453e-05,6.229205e-05,6.223622e-05,6.207460e-05,6.206748e-05,6.187980e-05,6.182406e-05,6.167461e-05,6.154366e-05,6.145327e-05,6.123646e-05,6.121705e-05,6.096716e-05,6.090529e-05,6.070478e-05,6.055278e-05,6.043097e-05,6.018139e-05,6.014678e-05,5.985317e-05,5.979340e-05,5.955107e-05,5.939091e-05,5.924135e-05,5.897588e-05,5.892481e-05,5.860224e-05,5.855011e-05,5.827435e-05,5.811527e-05,5.794182e-05,5.767289e-05,5.760529e-05,5.726537e-05,5.722438e-05,5.692261e-05,5.677104e-05,5.657754e-05,5.631405e-05,5.623066e-05,5.588241e-05,5.585451e-05,5.553325e-05,5.539341e-05,5.518355e-05,5.493166e-05,5.483371e-05,5.448406e-05,5.447009e-05,5.413494e-05,5.400944e-05,5.378664e-05,5.355041e-05,5.343944e-05,5.309360e-05,5.263958e-05,5.218884e-05,5.174183e-05,5.129895e-05,5.086055e-05,5.042696e-05,4.999844e-05,4.957524e-05,4.915756e-05,4.874560e-05,4.833949e-05,4.793936e-05,4.754533e-05,4.715747e-05,4.677585e-05,4.640051e-05,4.603149e-05,4.566879e-05,4.531243e-05,4.496240e-05,4.461867e-05,4.428122e-05,4.395000e-05,4.362497e-05
0.000000e+00,2.064192e-10,6.426259e-10,3.105455e-09,8.298572e-09,1.284933e-08,3.231042e-08,3.338663e-08,6.848441e-08,8.143135e-08,1.219076e-07,1.643702e-07,1.975494e-07,2.902403e-07,2.994560e-07,4.316937e-07,4.683739e-07,5.980068e-07,7.071426e-07,8.012296e-07,1.011543e-06,1.042482e-06,1.320348e-06,1.379983e-06,1.630495e-06,1.802351e-06,1.966172e-06,2.262107e-06,2.319502e-06,2.682878e-06,2.741499e-06,3.049833e-06,3.225697e-06,3.415277e-06,3.703926e-06,3.775366e-06,4.127240e-06,4.168806e-06,4.468779e-06,4.615364e-06,4.798424e-06,5.040289e-06,5.115041e-06,5.417832e-06,5.441441e-06,5.706269e-06,5.817550e-06,5.980045e-06,6.168009e-06,6.239034e-06,6.483261e-06,6.492724e-06,6.712874e-06,6.792003e-06,6.928124e-06,7.066454e-06,7.129338e-06,7.316908e-06,7.491273e-06,7.544358e-06,7.652906e-06,7.749898e-06,7.802304e-06,7.934690e-06,7.939978e-06,8.066449e-06,8.099924e-06,8.182236e-06,8.246796e-06,8.287857e-06,8.376489e-06,8.383822e-06,8.470630e-06,8.490156e-06,8.548768e-06,8.588915e-06,8.618708e-06,8.673837e-06,8.680907e-06,8.735804e-06,8.745945e-06,8.783824e-06,8.806211e-06,8.825371e-06,8.855555e-06,8.860836e-06,8.890590e-06,8.894844e-06,8.914987e-06,8.924894e-06,8.934365e-06,8.946471e-06,8.949047e-06,8.959338e-06,8.960292e-06,8.965530e-06,8.967027e-06,8.967898e-06,8.967303e-06,8.966705e-06,8.962199e-06,8.961703e-06,8.954615e-06,8.950770e-06,8.944176e-06,8.935011e-06,8.931093e-06,8.915564e-06,8.914895e-06,8.897778e-06,8.890857e-06,8.877913e-06,8.863303e-06,8.856137e-06,8.832607e-06,8.807473e-06,8.799115e-06,8.780876e-06,8.763147e-06,8.752947e-06,8.724999e-06,8.723812e-06,8.693588e-06,8.684946e-06,8.662386e-06,8.643237e-06,8.630307e-06,8.600106e-06,8.597451e-06,8.563907e-06,8.555764e-06,8.529762e-06,8.510409e-06,8.495096e-06,8.464219e-06,8.459984e-06,8.424496e-06,8.417359e-06,8.388698e-06,8.369982e-06,8.352652e-06,8.322223e-06,8.316414e-06,8.280039e-06,8.274210e-06,8.243576e-06,8.226056e-06,8.207071e-06,8.177867e-06,8.170569e-06,8.134108e-06,8.129737e-06,8.097726e-06,8.081752e-06,8.061457e-06,8.033988e-06,8.025333e-06,7.989384e-06,7.986516e-06,7.953636e-06,7.939399e-06,7.918115e-06,7.892693e-06,7.882844e-06,7.847843e-06,7.846449e-06,7.813132e-06,7.800710e-06,7.778728e-06,7.755517e-06,7.744647e-06,7.710904e-06,7.666903e-06,7.623539e-06,7.580835e-06,7.538810e-06,7.497482e-06,7.456863e-06,7.416964e-06,7.377793e-06,7.339358e-06,7.301662e-06,7.264708e-06,7.228496e-06,7.193026e-06,7.158296e-06,7.124303e-06,7.091043e-06,7.058510e-06,7.026697e-06,6.995598e-06,6.965206e-06,6.935512e-06,6.906506e-06,6.878180e-06,6.850525e-06
0.000000e+00,3.490814e-11,9.366144e-11,3.800903e-10,9.312853e-10,1.394713e-09,3.298403e-09,3.401480e-09,6.693649e-09,7.883306e-09,1.154391e-08,1.531048e-08,1.821232e-08,2.617017e-08,2.695130e-08,3.800349e-08,4.102518e-08,5.158386e-08,6.035142e-08,6.783593e-08,8.436123e-08,8.677170e-08,1.082429e-07,1.128192e-07,1.319827e-07,1.451210e-07,1.576814e-07,1.805622e-07,1.850394e-07,2.137830e-07,2.184936e-07,2.436613e-07,2.583364e-07,2.744390e-07,2.995570e-07,3.058907e-07,3.377985e-07,3.416480e-07,3.699512e-07,3.841233e-07,4.021456e-07,4.265217e-07,4.341882e-07,4.658975e-07,4.684147e-07,4.971059e-07,5.094145e-07,5.276614e-07,5.491804e-07,5.574286e-07,5.862898e-07,5.874239e-07,6.141447e-07,6.239098e-07,6.409109e-07,6.584558e-07,6.665226e-07,6.909301e-07,7.140988e-07,7.212474e-07,7.360077e-07,7.493636e-07,7.566479e-07,7.752709e-07,7.760217e-07,7.941407e-07,7.989917e-07,8.110248e-07,8.205732e-07,8.267005e-07,8.400826e-07,8.412002e-07,8.545607e-07,8.576021e-07,8.668224e-07,8.732249e-07,8.780283e-07,8.870518e-07,8.882234e-07,8.974536e-07,8.991880e-07,9.057657e-07,9.097407e-07,9.132064e-07,9.188172e-07,9.198222e-07,9.256586e-07,9.265231e-07,9.307604e-07,9.329612e-07,9.351711e-07,9.382305e-07,9.389330e-07,9.420867e-07,9.424261e-07,9.446715e-07,9.456383e-07,9.467250e-07,9.479524e-07,9.482830e-07,9.493795e-07,9.494482e-07,9.500469e-07,9.502007e-07,9.503161e-07,9.502797e-07,9.502162e-07,9.497747e-07,9.497503e-07,9.490176e-07,9.486725e-07,9.479693e-07,9.471020e-07,9.466529e-07,9.450901e-07,9.433012e-07,9.426841e-07,9.413051e-07,9.399274e-07,9.391200e-07,9.368598e-07,9.367624e-07,9.342480e-07,9.335180e-07,9.315916e-07,9.299353e-07,9.288069e-07,9.261425e-07,9.259065e-07,9.229025e-07,9.221674e-07,9.198061e-07,9.180356e-07,9.166275e-07,9.137702e-07,9.133766e-07,9.100622e-07,9.093925e-07,9.066929e-07,9.049217e-07,9.032763e-07,9.003752e-07,8.998198e-07,8.963300e-07,8.957690e-07,8.928133e-07,8.911174e-07,8.892754e-07,8.864335e-07,8.857217e-07,8.821572e-07,8.817290e-07,8.785865e-07,8.770145e-07,8.750138e-07,8.722996e-07,8.714430e-07,8.678779e-07,8.675931e-07,8.643217e-07,8.629025e-07,8.607776e-07,8.582348e-07,8.572483e-07,8.537364e-07,8.535963e-07,8.502443e-07,8.489925e-07,8.467743e-07,8.444283e-07,8.433283e-07,8.399080e-07,8.354357e-07,8.310145e-07,8.266476e-07,8.223374e-07,8.180862e-07,8.138958e-07,8.097679e-07,8.057038e-07,8.017046e-07,7.977711e-07,7.939040e-07,7.901038e-07,7.863709e-07,7.827053e-07,7.791071e-07,7.755763e-07,7.721126e-07,7.687157e-07,7.653853e-07,7.621209e-07,7.589220e-07,7.557879e-07,7.527180e-07,7.497115e-07
0.000000e+00,5.867265e-12,1.348202e-11,4.668167e-11,1.069841e-10,1.568349e-10,3.615487e-10,3.727161e-10,7.363599e-10,8.713174e-10,1.298332e-09,1.754933e-09,2.117206e-09,3.146765e-09,3.249949e-09,4.727920e-09,5.133162e-09,6.534369e-09,7.670027e-09,8.615835e-09,1.062867e-08,1.091428e-08,1.338351e-08,1.389465e-08,1.598892e-08,1.738828e-08,1.870315e-08,2.105003e-08,2.150283e-08,2.436687e-08,2.482977e-08,2.727581e-08,2.868272e-08,3.021169e-08,3.256873e-08,3.315813e-08,3.610037e-08,3.645252e-08,3.902537e-08,4.030394e-08,4.192183e-08,4.409804e-08,4.478008e-08,4.759202e-08,4.781476e-08,5.035096e-08,5.143846e-08,5.305153e-08,5.495734e-08,5.568944e-08,5.826140e-08,5.836287e-08,6.076496e-08,6.164914e-08,6.319838e-08,6.481244e-08,6.556052e-08,6.785072e-08,7.006876e-08,7.076330e-08,7.221475e-08,7.355054e-08,7.428909e-08,7.621361e-08,7.629239e-08,7.822547e-08,7.875428e-08,8.008930e-08,8.117480e-08,8.188496e-08,8.347776e-08,8.361362e-08,8.527656e-08,8.566602e-08,8.687508e-08,8.774262e-08,8.841055e-08,8.971073e-08,8.988439e-08,9.129801e-08,9.157363e-08,9.265286e-08,9.333463e-08,9.395039e-08,9.499708e-08,9.519206e-08,9.637932e-08,9.656433e-08,9.751363e-08,9.803972e-08,9.859643e-08,9.942654e-08,9.962915e-08,1.006132e-07,1.007281e-07,1.015500e-07,1.019475e-07,1.024409e-07,1.030881e-07,1.032872e-07,1.040904e-07,1.041528e-07,1.048517e-07,1.051448e-07,1.055724e-07,1.060669e-07,1.062538e-07,1.068971e-07,1.069221e-07,1.075036e-07,1.077131e-07,1.080744e-07,1.084428e-07,1.086107e-07,1.091137e-07,1.095844e-07,1.097284e-07,1.100240e-07,1.102895e-07,1.104335e-07,1.107993e-07,1.108139e-07,1.111663e-07,1.112601e-07,1.114917e-07,1.116743e-07,1.117909e-07,1.120440e-07,1.120650e-07,1.123148e-07,1.123713e-07,1.125413e-07,1.126582e-07,1.127452e-07,1.129068e-07,1.129275e-07,1.130889e-07,1.131188e-07,1.132303e-07,1.132962e-07,1.133524e-07,1.134406e-07,1.134559e-07,1.135416e-07,1.135538e-07,1.136102e-07,1.136373e-07,1.136624e-07,1.136928e-07,1.136988e-07,1.137201e-07,1.137216e-07,1.137268e-07,1.137254e-07,1.137197e-07,1.137053e-07,1.136993e-07,1.136661e-07,1.136629e-07,1.136207e-07,1.135992e-07,1.135636e-07,1.135156e-07,1.134954e-07,1.134166e-07,1.134132e-07,1.133276e-07,1.132931e-07,1.132289e-07,1.131564e-07,1.131209e-07,1.130042e-07,1.128373e-07,1.126568e-07,1.124634e-07,1.122582e-07,1.120419e-07,1.118152e-07,1.115790e-07,1.113339e-07,1.110806e-07,1.108198e-07,1.105521e-07,1.102781e-07,1.099982e-07,1.097132e-07,1.094234e-07,1.091293e-07,1.088315e-07,1.085303e-07,1.082261e-07,1.079194e-07,1.076106e-07,1.072999e-07,1.069877e-07,1.066743e-07
0.000000e+00,2.960540e-11,7.126213e-11,2.580013e-10,6.003665e-10,8.827089e-10,2.026031e-09,2.087599e-09,4.050206e-09,4.759708e-09,6.949108e-09,9.214628e-09,1.096975e-08,1.582646e-08,1.630652e-08,2.315691e-08,2.504708e-08,3.170057e-08,3.727286e-08,4.205546e-08,5.266918e-08,5.422111e-08,6.805218e-08,7.099719e-08,8.329829e-08,9.169204e-08,9.967974e-08,1.141291e-07,1.169405e-07,1.348642e-07,1.377810e-07,1.532697e-07,1.622290e-07,1.720015e-07,1.871290e-07,1.909221e-07,2.099070e-07,2.121840e-07,2.288423e-07,2.371310e-07,2.476240e-07,2.617367e-07,2.661573e-07,2.843573e-07,2.857966e-07,3.021488e-07,3.091361e-07,3.194667e-07,3.316110e-07,3.362559e-07,3.524709e-07,3.531070e-07,3.680755e-07,3.735381e-07,3.830420e-07,3.928445e-07,3.973509e-07,4.109897e-07,4.239524e-07,4.279574e-07,4.362386e-07,4.437486e-07,4.478527e-07,4.583781e-07,4.588035e-07,4.691029e-07,4.718720e-07,4.787659e-07,4.842653e-07,4.878096e-07,4.955991e-07,4.962530e-07,5.041162e-07,5.059195e-07,5.114207e-07,5.152752e-07,5.181882e-07,5.237171e-07,5.244410e-07,5.302015e-07,5.312964e-07,5.354918e-07,5.380643e-07,5.403340e-07,5.440709e-07,5.447497e-07,5.487601e-07,5.493655e-07,5.523859e-07,5.539956e-07,5.556473e-07,5.580071e-07,5.585637e-07,5.611539e-07,5.614437e-07,5.634360e-07,5.643470e-07,5.654272e-07,5.667563e-07,5.671442e-07,5.686030e-07,5.687090e-07,5.698187e-07,5.702402e-07,5.708059e-07,5.713830e-07,5.715785e-07,5.721496e-07,5.721684e-07,5.725318e-07,5.726255e-07,5.727370e-07,5.727813e-07,5.727767e-07,5.726615e-07,5.724016e-07,5.722896e-07,5.720069e-07,5.716877e-07,5.714864e-07,5.708765e-07,5.708489e-07,5.701026e-07,5.698752e-07,5.692552e-07,5.687014e-07,5.683142e-07,5.673718e-07,5.672866e-07,5.661789e-07,5.659018e-07,5.649973e-07,5.643057e-07,5.637479e-07,5.625966e-07,5.624361e-07,5.610672e-07,5.607869e-07,5.596460e-07,5.588880e-07,5.581774e-07,5.569103e-07,5.566658e-07,5.551151e-07,5.548637e-07,5.535294e-07,5.527570e-07,5.519124e-07,5.505986e-07,5.502675e-07,5.485980e-07,5.483961e-07,5.469069e-07,5.461567e-07,5.451971e-07,5.438868e-07,5.434713e-07,5.417322e-07,5.415925e-07,5.399820e-07,5.392793e-07,5.382229e-07,5.369522e-07,5.364572e-07,5.346867e-07,5.346158e-07,5.329133e-07,5.322745e-07,5.311388e-07,5.299322e-07,5.293646e-07,5.275923e-07,5.252582e-07,5.229329e-07,5.206189e-07,5.183189e-07,5.160349e-07,5.137690e-07,5.115230e-07,5.092985e-07,5.070970e-07,5.049198e-07,5.027680e-07,5.006426e-07,4.985445e-07,4.964745e-07,4.944332e-07,4.924212e-07,4.904390e-07,4.884870e-07,4.865655e-07,4.846747e-07,4.828148e-07,4.809860e-07,4.791882e-07,4.774216e-07
0.000000e+00,4.642400e-11,2.094883e-10,1.832765e-09,7.263438e-09,1.338526e-08,4.781824e-08,5.000114e-08,1.311634e-07,1.647157e-07,2.778531e-07,4.062157e-07,5.114866e-07,8.219253e-07,8.538315e-07,1.326761e-06,1.462025e-06,1.950499e-06,2.371412e-06,2.739346e-06,3.572554e-06,3.695929e-06,4.807874e-06,5.046847e-06,6.049913e-06,6.736619e-06,7.389962e-06,8.567338e-06,8.795314e-06,1.023647e-05,1.046865e-05,1.168855e-05,1.238331e-05,1.313123e-05,1.426745e-05,1.454807e-05,1.592579e-05,1.608796e-05,1.725374e-05,1.782002e-05,1.852349e-05,1.944554e-05,1.972859e-05,2.086438e-05,2.095214e-05,2.192776e-05,2.233242e-05,2.291707e-05,2.358323e-05,2.383189e-05,2.467286e-05,2.470498e-05,2.544151e-05,2.570093e-05,2.614007e-05,2.657647e-05,2.677135e-05,2.733852e-05,2.784506e-05,2.799493e-05,2.829459e-05,2.855408e-05,2.869082e-05,2.902447e-05,2.903743e-05,2.933805e-05,2.941446e-05,2.959620e-05,2.973211e-05,2.981524e-05,2.998499e-05,2.999839e-05,3.014867e-05,3.018016e-05,3.026891e-05,3.032412e-05,3.036177e-05,3.042278e-05,3.042969e-05,3.047497e-05,3.048150e-05,3.049970e-05,3.050509e-05,3.050582e-05,3.049787e-05,3.049509e-05,3.046916e-05,3.046371e-05,3.042952e-05,3.040602e-05,3.037752e-05,3.032788e-05,3.031442e-05,3.024136e-05,3.023197e-05,3.015937e-05,3.012072e-05,3.006941e-05,2.999623e-05,2.997233e-05,2.986892e-05,2.986040e-05,2.975991e-05,2.971489e-05,2.964595e-05,2.956117e-05,2.952763e-05,2.940550e-05,2.940054e-05,2.928005e-05,2.923417e-05,2.915175e-05,2.906307e-05,2.902099e-05,2.888815e-05,2.875358e-05,2.871020e-05,2.861759e-05,2.852995e-05,2.848047e-05,2.834800e-05,2.834247e-05,2.820382e-05,2.816492e-05,2.806476e-05,2.798120e-05,2.792547e-05,2.779728e-05,2.778614e-05,2.764692e-05,2.761354e-05,2.750796e-05,2.743031e-05,2.736940e-05,2.724790e-05,2.723137e-05,2.709397e-05,2.706657e-05,2.695730e-05,2.688656e-05,2.682146e-05,2.670805e-05,2.668653e-05,2.655258e-05,2.653124e-05,2.641968e-05,2.635628e-05,2.628790e-05,2.618331e-05,2.615728e-05,2.602787e-05,2.601243e-05,2.589973e-05,2.584375e-05,2.577288e-05,2.567736e-05,2.564736e-05,2.552320e-05,2.551332e-05,2.540042e-05,2.535171e-05,2.527906e-05,2.519256e-05,2.515912e-05,2.504063e-05,2.503592e-05,2.492360e-05,2.488182e-05,2.480803e-05,2.473029e-05,2.469394e-05,2.458134e-05,2.443497e-05,2.429121e-05,2.415004e-05,2.401147e-05,2.387548e-05,2.374206e-05,2.361120e-05,2.348287e-05,2.335707e-05,2.323375e-05,2.311291e-05,2.299450e-05,2.287851e-05,2.276490e-05,2.265364e-05,2.254469e-05,2.243804e-05,2.233363e-05,2.223144e-05,2.213144e-05,2.203358e-05,2.193783e-05,2.184416e-05,2.175253e-05
0.000000e+00,7.012931e-12,3.584242e-11,4.032504e-10,1.993390e-09,4.133080e-09,1.978929e-08,2.093305e-08,7.212912e-08,9.725190e-08,1.949916e-07,3.258215e-07,4.462727e-07,8.582941e-07,9.048776e-07,1.673635e-06,1.917922e-06,2.879812e-06,3.801446e-06,4.673444e-06,6.870712e-06,7.222264e-06,1.070284e-05,1.152626e-05,1.528915e-05,1.816489e-05,2.114085e-05,2.713403e-05,2.839322e-05,3.714979e-05,3.869547e-05,4.747802e-05,5.300398e-05,5.940761e-05,7.010043e-05,7.293107e-05,8.800597e-05,8.991601e-05,1.045584e-04,1.122844e-04,1.224873e-04,1.369584e-04,1.416690e-04,1.619623e-04,1.636293e-04,1.832133e-04,1.919457e-04,2.052598e-04,2.215327e-04,2.279357e-04,2.510748e-04,2.520076e-04,2.745140e-04,2.829951e-04,2.980964e-04,3.141380e-04,3.216733e-04,3.451061e-04,3.682676e-04,3.756028e-04,3.910428e-04,4.053684e-04,4.133295e-04,4.341823e-04,4.350386e-04,4.560934e-04,4.618625e-04,4.764300e-04,4.882651e-04,4.959962e-04,5.132813e-04,5.147510e-04,5.326638e-04,5.368350e-04,5.497134e-04,5.588792e-04,5.658875e-04,5.793925e-04,5.811813e-04,5.955969e-04,5.983753e-04,6.091425e-04,6.158465e-04,6.218312e-04,6.318402e-04,6.336805e-04,6.447117e-04,6.464023e-04,6.549488e-04,6.595883e-04,6.644184e-04,6.714604e-04,6.731487e-04,6.811693e-04,6.820856e-04,6.885108e-04,6.915339e-04,6.952041e-04,6.998767e-04,7.012804e-04,7.067707e-04,7.071856e-04,7.117060e-04,7.135314e-04,7.161163e-04,7.189834e-04,7.200314e-04,7.234799e-04,7.236085e-04,7.264897e-04,7.274711e-04,7.290878e-04,7.306324e-04,7.312998e-04,7.331507e-04,7.346640e-04,7.350807e-04,7.358623e-04,7.364738e-04,7.367670e-04,7.373782e-04,7.373985e-04,7.377760e-04,7.378388e-04,7.379179e-04,7.378971e-04,7.378413e-04,7.375918e-04,7.375624e-04,7.370967e-04,7.369587e-04,7.364584e-04,7.360307e-04,7.356611e-04,7.348381e-04,7.347176e-04,7.336396e-04,7.334089e-04,7.324384e-04,7.317686e-04,7.311245e-04,7.299408e-04,7.297075e-04,7.281967e-04,7.279468e-04,7.266006e-04,7.258065e-04,7.249272e-04,7.235378e-04,7.231840e-04,7.213778e-04,7.211572e-04,7.195153e-04,7.186795e-04,7.176025e-04,7.161186e-04,7.156450e-04,7.136480e-04,7.134867e-04,7.116165e-04,7.107952e-04,7.095550e-04,7.080546e-04,7.074678e-04,7.053587e-04,7.052740e-04,7.032316e-04,7.024621e-04,7.010897e-04,6.996265e-04,6.989363e-04,6.967744e-04,6.939119e-04,6.910450e-04,6.881788e-04,6.853180e-04,6.824668e-04,6.796290e-04,6.768080e-04,6.740069e-04,6.712285e-04,6.684752e-04,6.657491e-04,6.630523e-04,6.603864e-04,6.577530e-04,6.551532e-04,6.525884e-04,6.500594e-04,6.475671e-04,6.451122e-04,6.426953e-04,6.403169e-04,6.379772e-04,6.356767e-04,6.334154e-04
0.000000e+00,1.129105e-11,2.587129e-11,8.881110e-11,2.014251e-10,2.932840e-10,6.617802e-10,6.815418e-10,1.310063e-09,1.537086e-09,2.238260e-09,2.965360e-09,3.529658e-09,5.092309e-09,5.246557e-09,7.432070e-09,8.027361e-09,1.008535e-08,1.175860e-08,1.315752e-08,1.615059e-08,1.657683e-08,2.027345e-08,2.104064e-08,2.418787e-08,2.629243e-08,2.826966e-08,3.179505e-08,3.247434e-08,3.676130e-08,3.745228e-08,4.109267e-08,4.317704e-08,4.543316e-08,4.889008e-08,4.975013e-08,5.401398e-08,5.452078e-08,5.819837e-08,6.000832e-08,6.228047e-08,6.530245e-08,6.624100e-08,7.006422e-08,7.036375e-08,7.373778e-08,7.516313e-08,7.725246e-08,7.968098e-08,8.060191e-08,8.378231e-08,8.390598e-08,8.679205e-08,8.783378e-08,8.963140e-08,9.146571e-08,9.230219e-08,9.480753e-08,9.715156e-08,9.786836e-08,9.933918e-08,1.006597e-07,1.013759e-07,1.031946e-07,1.032676e-07,1.050205e-07,1.054873e-07,1.066408e-07,1.075521e-07,1.081351e-07,1.094039e-07,1.095096e-07,1.107707e-07,1.110571e-07,1.119244e-07,1.125258e-07,1.129767e-07,1.138236e-07,1.139335e-07,1.148003e-07,1.149634e-07,1.155825e-07,1.159574e-07,1.162850e-07,1.168173e-07,1.169129e-07,1.174707e-07,1.175537e-07,1.179627e-07,1.181768e-07,1.183932e-07,1.186959e-07,1.187661e-07,1.190850e-07,1.191198e-07,1.193535e-07,1.194565e-07,1.195749e-07,1.197136e-07,1.197523e-07,1.198887e-07,1.198979e-07,1.199868e-07,1.200159e-07,1.200492e-07,1.200735e-07,1.200785e-07,1.200768e-07,1.200761e-07,1.200463e-07,1.200287e-07,1.199892e-07,1.199360e-07,1.199072e-07,1.198023e-07,1.196760e-07,1.196314e-07,1.195301e-07,1.194270e-07,1.193659e-07,1.191925e-07,1.191849e-07,1.189884e-07,1.189308e-07,1.187776e-07,1.186448e-07,1.185537e-07,1.183370e-07,1.183177e-07,1.180708e-07,1.180100e-07,1.178138e-07,1.176658e-07,1.175476e-07,1.173065e-07,1.172731e-07,1.169911e-07,1.169339e-07,1.167023e-07,1.165497e-07,1.164074e-07,1.161555e-07,1.161071e-07,1.158019e-07,1.157527e-07,1.154925e-07,1.153426e-07,1.151793e-07,1.149265e-07,1.148630e-07,1.145438e-07,1.145054e-07,1.142224e-07,1.140803e-07,1.138991e-07,1.136523e-07,1.135742e-07,1.132482e-07,1.132220e-07,1.129213e-07,1.127904e-07,1.125940e-07,1.123581e-07,1.122664e-07,1.119389e-07,1.119258e-07,1.116117e-07,1.114940e-07,1.112850e-07,1.110633e-07,1.109591e-07,1.106343e-07,1.102072e-07,1.097826e-07,1.093609e-07,1.089422e-07,1.085271e-07,1.081156e-07,1.077081e-07,1.073048e-07,1.069058e-07,1.065114e-07,1.061217e-07,1.057368e-07,1.053569e-07,1.049820e-07,1.046122e-07,1.042476e-07,1.038882e-07,1.035342e-07,1.031854e-07,1.028421e-07,1.025041e-07,1.021715e-07,1.018444e-07,1.015226e-07
0.000000e+00,5.376181e-12,2.660072e-11,2.797729e-10,1.300658e-09,2.607705e-09,1.145786e-08,1.207825e-08,3.830307e-08,5.052009e-08,9.597215e-08,1.537695e-07,2.051151e-07,3.729256e-07,3.913674e-07,6.861925e-07,7.771087e-07,1.126466e-06,1.451483e-06,1.752263e-06,2.487007e-06,2.601872e-06,3.704695e-06,3.957199e-06,5.074723e-06,5.891937e-06,6.707304e-06,8.265606e-06,8.580011e-06,1.065656e-05,1.100479e-05,1.289204e-05,1.400734e-05,1.523811e-05,1.716244e-05,1.764709e-05,2.007493e-05,2.036563e-05,2.248291e-05,2.352750e-05,2.483841e-05,2.657702e-05,2.711501e-05,2.929212e-05,2.946150e-05,3.135444e-05,3.214469e-05,3.329127e-05,3.460414e-05,3.509583e-05,3.676459e-05,3.682850e-05,3.829676e-05,3.881512e-05,3.969372e-05,4.056795e-05,4.095858e-05,4.209580e-05,4.311087e-05,4.341090e-05,4.401001e-05,4.452770e-05,4.479992e-05,4.546198e-05,4.548761e-05,4.608020e-05,4.623005e-05,4.658480e-05,4.684823e-05,4.700837e-05,4.733233e-05,4.735769e-05,4.763924e-05,4.769741e-05,4.785914e-05,4.795753e-05,4.802319e-05,4.812565e-05,4.813678e-05,4.820494e-05,4.821353e-05,4.823228e-05,4.823180e-05,4.822306e-05,4.818991e-05,4.818116e-05,4.811010e-05,4.809624e-05,4.801309e-05,4.795818e-05,4.789304e-05,4.778218e-05,4.775257e-05,4.759402e-05,4.757389e-05,4.741953e-05,4.733820e-05,4.723100e-05,4.707937e-05,4.703012e-05,4.681845e-05,4.680109e-05,4.659734e-05,4.650653e-05,4.636802e-05,4.619846e-05,4.613160e-05,4.588907e-05,4.587926e-05,4.564131e-05,4.555099e-05,4.538911e-05,4.521545e-05,4.513319e-05,4.487419e-05,4.461269e-05,4.452857e-05,4.434920e-05,4.417974e-05,4.408419e-05,4.382874e-05,4.381808e-05,4.355125e-05,4.347645e-05,4.328404e-05,4.312367e-05,4.301677e-05,4.277106e-05,4.274971e-05,4.248312e-05,4.241924e-05,4.221723e-05,4.206871e-05,4.195224e-05,4.171995e-05,4.168834e-05,4.142571e-05,4.137335e-05,4.116450e-05,4.102927e-05,4.090484e-05,4.068802e-05,4.064686e-05,4.039068e-05,4.034987e-05,4.013640e-05,4.001505e-05,3.988411e-05,3.968376e-05,3.963389e-05,3.938582e-05,3.935620e-05,3.913996e-05,3.903250e-05,3.889638e-05,3.871280e-05,3.865511e-05,3.841622e-05,3.839722e-05,3.817974e-05,3.808583e-05,3.794571e-05,3.777873e-05,3.771414e-05,3.748508e-05,3.747597e-05,3.725855e-05,3.717761e-05,3.703455e-05,3.688368e-05,3.681310e-05,3.659422e-05,3.630922e-05,3.602872e-05,3.575271e-05,3.548118e-05,3.521413e-05,3.495153e-05,3.469336e-05,3.443960e-05,3.419021e-05,3.394516e-05,3.370441e-05,3.346792e-05,3.323564e-05,3.300753e-05,3.278353e-05,3.256361e-05,3.234770e-05,3.213576e-05,3.192772e-05,3.172354e-05,3.152316e-05,3.132652e-05,3.113357e-05,3.094424e-05
0.000000e+00,1.398936e-11,6.576714e-11,6.233209e-10,2.641353e-09,5.037293e-09,1.949904e-08,2.045059e-08,5.736929e-08,7.321679e-08,1.281103e-07,1.921254e-07,2.454812e-07,4.053720e-07,4.219447e-07,6.691742e-07,7.402436e-07,9.977678e-07,1.220807e-06,1.416874e-06,1.866198e-06,1.933504e-06,2.551390e-06,2.687127e-06,3.269501e-06,3.680445e-06,4.080790e-06,4.824727e-06,4.971980e-06,5.924837e-06,6.081638e-06,6.918534e-06,7.403829e-06,7.932186e-06,8.744593e-06,8.946764e-06,9.946176e-06,1.006444e-05,1.091759e-05,1.133353e-05,1.185128e-05,1.253124e-05,1.274022e-05,1.357964e-05,1.364455e-05,1.436660e-05,1.466632e-05,1.509961e-05,1.559377e-05,1.577837e-05,1.640344e-05,1.642735e-05,1.697615e-05,1.716984e-05,1.749831e-05,1.782565e-05,1.797219e-05,1.840028e-05,1.878530e-05,1.889986e-05,1.913003e-05,1.933082e-05,1.943729e-05,1.969959e-05,1.970986e-05,1.995046e-05,2.001246e-05,2.016169e-05,2.027537e-05,2.034604e-05,2.049391e-05,2.050584e-05,2.064327e-05,2.067315e-05,2.076036e-05,2.081776e-05,2.085899e-05,2.093188e-05,2.094088e-05,2.100760e-05,2.101925e-05,2.106059e-05,2.108317e-05,2.110118e-05,2.112657e-05,2.113056e-05,2.114981e-05,2.115202e-05,2.115993e-05,2.116180e-05,2.116179e-05,2.115788e-05,2.115620e-05,2.114390e-05,2.114201e-05,2.112555e-05,2.111571e-05,2.110174e-05,2.108032e-05,2.107300e-05,2.103983e-05,2.103700e-05,2.100267e-05,2.098679e-05,2.096193e-05,2.093058e-05,2.091796e-05,2.087110e-05,2.086917e-05,2.082164e-05,2.080326e-05,2.076986e-05,2.073345e-05,2.071601e-05,2.066030e-05,2.060295e-05,2.058429e-05,2.054415e-05,2.050583e-05,2.048406e-05,2.042531e-05,2.042284e-05,2.036065e-05,2.034308e-05,2.029761e-05,2.025943e-05,2.023384e-05,2.017464e-05,2.016947e-05,2.010459e-05,2.008895e-05,2.003929e-05,2.000258e-05,1.997367e-05,1.991572e-05,1.990781e-05,1.984178e-05,1.982856e-05,1.977565e-05,1.974125e-05,1.970950e-05,1.965394e-05,1.964337e-05,1.957732e-05,1.956677e-05,1.951141e-05,1.947983e-05,1.944568e-05,1.939325e-05,1.938017e-05,1.931492e-05,1.930711e-05,1.924997e-05,1.922150e-05,1.918535e-05,1.913649e-05,1.912110e-05,1.905725e-05,1.905215e-05,1.899381e-05,1.896856e-05,1.893082e-05,1.888575e-05,1.886829e-05,1.880626e-05,1.880378e-05,1.874473e-05,1.872270e-05,1.868372e-05,1.864254e-05,1.862325e-05,1.856334e-05,1.848512e-05,1.840791e-05,1.833173e-05,1.825661e-05,1.818256e-05,1.810959e-05,1.803771e-05,1.796694e-05,1.789727e-05,1.782871e-05,1.776127e-05,1.769495e-05,1.762974e-05,1.756564e-05,1.750266e-05,1.744077e-05,1.737999e-05,1.732031e-05,1.726170e-05,1.720418e-05,1.714773e-05,1.709233e-05,1.703798e-05,1.698467e-05
0.000000e+00,2.840579e-12,6.454167e-12,2.182991e-11,4.898873e-11,7.101340e-11,1.592803e-10,1.640273e-10,3.164217e-10,3.722212e-10,5.469409e-10,7.308998e-10,8.744826e-10,1.268349e-09,1.306549e-09,1.828235e-09,1.963598e-09,2.410632e-09,2.753071e-09,3.027226e-09,3.583311e-09,3.659582e-09,4.295544e-09,4.422375e-09,4.926554e-09,5.250464e-09,5.545957e-09,6.053188e-09,6.148185e-09,6.728471e-09,6.819002e-09,7.282799e-09,7.538671e-09,7.807916e-09,8.205303e-09,8.301372e-09,8.761525e-09,8.814457e-09,9.187508e-09,9.364049e-09,9.579155e-09,9.854095e-09,9.936907e-09,1.026171e-08,1.028631e-08,1.055487e-08,1.066361e-08,1.081796e-08,1.098979e-08,1.105282e-08,1.126139e-08,1.126921e-08,1.144563e-08,1.150638e-08,1.160750e-08,1.170576e-08,1.174889e-08,1.187164e-08,1.197747e-08,1.200801e-08,1.206787e-08,1.211827e-08,1.214422e-08,1.220548e-08,1.220779e-08,1.225978e-08,1.227241e-08,1.230128e-08,1.232161e-08,1.233345e-08,1.235586e-08,1.235751e-08,1.237422e-08,1.237723e-08,1.238432e-08,1.238732e-08,1.238843e-08,1.238754e-08,1.238712e-08,1.238088e-08,1.237909e-08,1.237019e-08,1.236302e-08,1.235547e-08,1.234026e-08,1.233708e-08,1.231537e-08,1.231161e-08,1.229064e-08,1.227778e-08,1.226317e-08,1.223938e-08,1.223320e-08,1.220096e-08,1.219695e-08,1.216666e-08,1.215096e-08,1.213049e-08,1.210185e-08,1.209262e-08,1.205321e-08,1.204999e-08,1.201240e-08,1.199572e-08,1.197033e-08,1.193933e-08,1.192712e-08,1.188288e-08,1.188109e-08,1.183772e-08,1.182125e-08,1.179172e-08,1.176002e-08,1.174499e-08,1.169761e-08,1.164964e-08,1.163418e-08,1.160117e-08,1.156991e-08,1.155225e-08,1.150493e-08,1.150295e-08,1.145333e-08,1.143939e-08,1.140344e-08,1.137340e-08,1.135333e-08,1.130707e-08,1.130304e-08,1.125262e-08,1.124051e-08,1.120211e-08,1.117380e-08,1.115155e-08,1.110704e-08,1.110097e-08,1.105041e-08,1.104030e-08,1.099989e-08,1.097364e-08,1.094944e-08,1.090714e-08,1.089910e-08,1.084888e-08,1.084086e-08,1.079881e-08,1.077484e-08,1.074891e-08,1.070913e-08,1.069920e-08,1.064970e-08,1.064378e-08,1.060043e-08,1.057883e-08,1.055141e-08,1.051432e-08,1.050264e-08,1.045414e-08,1.045027e-08,1.040593e-08,1.038673e-08,1.035802e-08,1.032371e-08,1.031041e-08,1.026313e-08,1.026124e-08,1.021617e-08,1.019935e-08,1.016955e-08,1.013805e-08,1.012328e-08,1.007736e-08,1.001730e-08,9.957870e-09,9.899097e-09,9.840986e-09,9.783545e-09,9.726783e-09,9.670705e-09,9.615316e-09,9.560622e-09,9.506624e-09,9.453324e-09,9.400724e-09,9.348824e-09,9.297624e-09,9.247122e-09,9.197318e-09,9.148208e-09,9.099789e-09,9.052059e-09,9.005014e-09,8.958649e-09,8.912960e-09,8.867942e-09,8.823589e-09
0.000000e+00,3.155116e-11,1.480462e-10,1.399731e-09,5.930154e-09,1.131823e-08,4.404955e-08,4.621451e-08,1.311010e-07,1.680101e-07,2.977392e-07,4.523189e-07,5.836046e-07,9.889124e-07,1.031864e-06,1.691058e-06,1.886328e-06,2.611846e-06,3.258979e-06,3.838968e-06,5.195674e-06,5.401308e-06,7.306591e-06,7.728071e-06,9.543490e-06,1.083012e-05,1.208819e-05,1.444206e-05,1.491116e-05,1.798168e-05,1.849393e-05,2.127013e-05,2.291772e-05,2.474855e-05,2.765024e-05,2.839048e-05,3.217048e-05,3.263217e-05,3.606383e-05,3.780657e-05,4.004637e-05,4.311817e-05,4.409444e-05,4.818508e-05,4.851350e-05,5.229621e-05,5.394166e-05,5.640686e-05,5.935517e-05,6.049743e-05,6.454982e-05,6.471088e-05,6.854760e-05,6.997055e-05,7.247609e-05,7.510122e-05,7.632237e-05,8.007532e-05,8.372550e-05,8.487054e-05,8.726513e-05,8.946953e-05,9.068795e-05,9.385943e-05,9.398909e-05,9.716497e-05,9.803140e-05,1.002131e-04,1.019801e-04,1.031321e-04,1.057031e-04,1.059214e-04,1.085812e-04,1.092004e-04,1.111124e-04,1.124742e-04,1.135164e-04,1.155283e-04,1.157952e-04,1.179509e-04,1.183676e-04,1.199864e-04,1.209982e-04,1.219043e-04,1.234268e-04,1.237078e-04,1.254001e-04,1.256608e-04,1.269846e-04,1.277078e-04,1.284646e-04,1.295757e-04,1.298436e-04,1.311251e-04,1.312725e-04,1.323126e-04,1.328062e-04,1.334095e-04,1.341847e-04,1.344193e-04,1.353454e-04,1.354160e-04,1.361911e-04,1.365076e-04,1.369597e-04,1.374671e-04,1.376544e-04,1.382783e-04,1.383018e-04,1.388345e-04,1.390187e-04,1.393259e-04,1.396246e-04,1.397555e-04,1.401261e-04,1.404404e-04,1.405296e-04,1.407011e-04,1.408410e-04,1.409107e-04,1.410661e-04,1.410716e-04,1.411864e-04,1.412106e-04,1.412573e-04,1.412796e-04,1.412865e-04,1.412784e-04,1.412761e-04,1.412284e-04,1.412116e-04,1.411452e-04,1.410839e-04,1.410285e-04,1.408996e-04,1.408801e-04,1.407019e-04,1.406628e-04,1.404955e-04,1.403776e-04,1.402626e-04,1.400476e-04,1.400048e-04,1.397235e-04,1.396764e-04,1.394202e-04,1.392673e-04,1.390964e-04,1.388235e-04,1.387534e-04,1.383924e-04,1.383479e-04,1.380147e-04,1.378435e-04,1.376214e-04,1.373128e-04,1.372137e-04,1.367927e-04,1.367584e-04,1.363593e-04,1.361827e-04,1.359146e-04,1.355879e-04,1.354595e-04,1.349948e-04,1.349760e-04,1.345215e-04,1.343492e-04,1.340404e-04,1.337091e-04,1.335522e-04,1.330576e-04,1.323963e-04,1.317267e-04,1.310502e-04,1.303682e-04,1.296820e-04,1.289926e-04,1.283012e-04,1.276088e-04,1.269162e-04,1.262245e-04,1.255343e-04,1.248465e-04,1.241617e-04,1.234805e-04,1.228035e-04,1.221313e-04,1.214643e-04,1.208030e-04,1.201478e-04,1.194991e-04,1.188571e-04,1.182223e-04,1.175948e-04,1.169749e-04
0.000000e+00,5.653621e-12,1.298811e-11,4.486872e-11,1.024602e-10,1.498201e-10,3.424246e-10,3.528560e-10,6.891490e-10,8.125444e-10,1.199175e-09,1.607843e-09,1.929767e-09,2.839984e-09,2.931184e-09,4.246209e-09,4.611129e-09,5.891528e-09,6.950683e-09,7.846012e-09,9.783580e-09,1.006137e-08,1.248376e-08,1.298881e-08,1.506667e-08,1.646060e-08,1.777304e-08,2.011982e-08,2.057304e-08,2.344164e-08,2.390548e-08,2.635683e-08,2.776678e-08,2.929878e-08,3.165938e-08,3.224938e-08,3.519220e-08,3.554409e-08,3.811238e-08,3.938665e-08,4.099678e-08,4.315787e-08,4.383392e-08,4.661399e-08,4.683367e-08,4.932878e-08,5.039488e-08,5.197161e-08,5.382687e-08,5.453720e-08,5.702151e-08,5.711914e-08,5.942164e-08,6.026469e-08,6.173569e-08,6.325949e-08,6.396258e-08,6.610195e-08,6.815405e-08,6.879240e-08,7.011963e-08,7.133272e-08,7.199985e-08,7.372593e-08,7.379619e-08,7.551038e-08,7.597590e-08,7.714437e-08,7.808713e-08,7.870024e-08,8.006452e-08,8.018017e-08,8.158646e-08,8.191326e-08,8.292139e-08,8.363867e-08,8.418733e-08,8.524612e-08,8.538659e-08,8.652150e-08,8.674097e-08,8.759438e-08,8.812851e-08,8.860749e-08,8.941394e-08,8.956306e-08,9.046327e-08,9.060231e-08,9.131027e-08,9.169854e-08,9.210614e-08,9.270738e-08,9.285289e-08,9.355250e-08,9.363338e-08,9.420687e-08,9.448094e-08,9.481785e-08,9.525428e-08,9.538723e-08,9.591673e-08,9.595742e-08,9.640804e-08,9.659423e-08,9.686276e-08,9.716838e-08,9.728245e-08,9.766861e-08,9.768338e-08,9.802270e-08,9.814259e-08,9.834610e-08,9.854918e-08,9.864017e-08,9.890618e-08,9.914540e-08,9.921648e-08,9.935901e-08,9.948281e-08,9.954816e-08,9.970778e-08,9.971397e-08,9.985750e-08,9.989384e-08,9.997977e-08,1.000433e-07,1.000818e-07,1.001585e-07,1.001644e-07,1.002287e-07,1.002414e-07,1.002754e-07,1.002941e-07,1.003053e-07,1.003185e-07,1.003194e-07,1.003183e-07,1.003163e-07,1.003028e-07,1.002892e-07,1.002736e-07,1.002389e-07,1.002313e-07,1.001768e-07,1.001669e-07,1.001104e-07,1.000746e-07,1.000330e-07,9.996338e-08,9.994496e-08,9.984692e-08,9.983451e-08,9.973941e-08,9.968923e-08,9.962292e-08,9.952869e-08,9.949794e-08,9.936494e-08,9.935397e-08,9.922436e-08,9.916611e-08,9.907663e-08,9.896607e-08,9.892217e-08,9.876135e-08,9.875479e-08,9.859456e-08,9.853312e-08,9.842216e-08,9.830189e-08,9.824449e-08,9.806188e-08,9.781380e-08,9.755836e-08,9.729620e-08,9.702795e-08,9.675417e-08,9.647541e-08,9.619219e-08,9.590500e-08,9.561429e-08,9.532049e-08,9.502402e-08,9.472524e-08,9.442452e-08,9.412219e-08,9.381858e-08,9.351399e-08,9.320868e-08,9.290294e-08,9.259699e-08,9.229108e-08,9.198542e-08,9.168022e-08,9.137566e-08,9.107192e-08
0.000000e+00,4.110853e-12,9.416762e-12,3.233569e-11,7.338398e-11,1.068918e-10,2.414331e-10,2.486518e-10,4.783311e-10,5.613113e-10,8.176011e-10,1.083342e-09,1.289579e-09,1.861028e-09,1.917491e-09,2.719624e-09,2.938992e-09,3.700888e-09,4.324405e-09,4.848241e-09,5.975374e-09,6.136471e-09,7.538052e-09,7.829745e-09,9.028501e-09,9.831660e-09,1.058713e-08,1.193599e-08,1.219615e-08,1.383971e-08,1.410490e-08,1.550332e-08,1.630503e-08,1.717368e-08,1.850657e-08,1.883856e-08,2.048686e-08,2.068307e-08,2.210875e-08,2.281176e-08,2.369564e-08,2.487373e-08,2.524024e-08,2.673655e-08,2.685402e-08,2.817975e-08,2.874130e-08,2.956620e-08,3.052780e-08,3.089329e-08,3.215927e-08,3.220863e-08,3.336324e-08,3.378143e-08,3.450498e-08,3.524597e-08,3.558484e-08,3.660364e-08,3.756263e-08,3.785712e-08,3.846334e-08,3.901000e-08,3.930751e-08,4.006654e-08,4.009711e-08,4.083418e-08,4.103143e-08,4.152086e-08,4.190960e-08,4.215936e-08,4.270611e-08,4.275187e-08,4.330060e-08,4.342602e-08,4.380770e-08,4.407428e-08,4.427527e-08,4.465568e-08,4.470538e-08,4.510001e-08,4.517486e-08,4.546110e-08,4.563623e-08,4.579050e-08,4.604399e-08,4.608997e-08,4.636121e-08,4.640210e-08,4.660586e-08,4.671430e-08,4.682545e-08,4.698408e-08,4.702147e-08,4.719530e-08,4.721473e-08,4.734828e-08,4.740931e-08,4.748167e-08,4.757068e-08,4.759666e-08,4.769440e-08,4.770151e-08,4.777595e-08,4.780427e-08,4.784233e-08,4.788127e-08,4.789449e-08,4.793335e-08,4.793464e-08,4.795977e-08,4.796639e-08,4.797455e-08,4.797835e-08,4.797846e-08,4.797223e-08,4.795653e-08,4.794961e-08,4.793201e-08,4.791197e-08,4.789928e-08,4.786066e-08,4.785891e-08,4.781144e-08,4.779694e-08,4.775738e-08,4.772198e-08,4.769721e-08,4.763686e-08,4.763139e-08,4.756035e-08,4.754256e-08,4.748447e-08,4.744002e-08,4.740415e-08,4.733008e-08,4.731975e-08,4.723159e-08,4.721353e-08,4.714000e-08,4.709111e-08,4.704527e-08,4.696348e-08,4.694768e-08,4.684751e-08,4.683125e-08,4.674499e-08,4.669502e-08,4.664036e-08,4.655529e-08,4.653385e-08,4.642565e-08,4.641257e-08,4.631597e-08,4.626729e-08,4.620498e-08,4.611987e-08,4.609287e-08,4.597978e-08,4.597069e-08,4.586587e-08,4.582011e-08,4.575128e-08,4.566844e-08,4.563615e-08,4.552060e-08,4.551597e-08,4.540475e-08,4.536299e-08,4.528871e-08,4.520975e-08,4.517258e-08,4.505646e-08,4.490333e-08,4.475057e-08,4.459835e-08,4.444681e-08,4.429612e-08,4.414640e-08,4.399777e-08,4.385033e-08,4.370420e-08,4.355944e-08,4.341616e-08,4.327440e-08,4.313424e-08,4.299574e-08,4.285894e-08,4.272388e-08,4.259060e-08,4.245914e-08,4.232952e-08,4.220176e-08,4.207589e-08,4.195191e-08,4.182984e-08,4.170968e-08
0.000000e+00,5.399416e-12,1.238984e-11,4.286042e-11,9.840062e-11,1.445788e-10,3.369351e-10,3.475518e-10,6.991459e-10,8.318662e-10,1.254699e-09,1.702840e-09,2.049827e-09,2.981606e-09,3.070651e-09,4.277829e-09,4.591352e-09,5.638160e-09,6.457813e-09,7.128060e-09,8.531218e-09,8.728521e-09,1.042178e-08,1.077001e-08,1.219007e-08,1.313332e-08,1.401558e-08,1.558044e-08,1.588085e-08,1.776926e-08,1.807250e-08,1.966549e-08,2.057437e-08,2.155586e-08,2.305587e-08,2.342847e-08,2.527325e-08,2.549235e-08,2.708190e-08,2.786447e-08,2.884769e-08,3.015777e-08,3.056541e-08,3.223119e-08,3.236212e-08,3.384223e-08,3.447086e-08,3.539662e-08,3.648005e-08,3.689324e-08,3.833160e-08,3.838793e-08,3.971177e-08,4.019443e-08,4.103403e-08,4.190041e-08,4.229904e-08,4.350775e-08,4.466124e-08,4.501890e-08,4.576079e-08,4.643683e-08,4.680778e-08,4.776475e-08,4.780362e-08,4.874976e-08,4.900599e-08,4.964773e-08,5.016402e-08,5.049905e-08,5.124239e-08,5.130526e-08,5.206787e-08,5.224458e-08,5.278841e-08,5.317409e-08,5.346837e-08,5.403435e-08,5.410923e-08,5.471243e-08,5.482868e-08,5.527939e-08,5.556035e-08,5.581150e-08,5.623253e-08,5.631011e-08,5.677653e-08,5.684826e-08,5.721206e-08,5.741050e-08,5.761793e-08,5.792208e-08,5.799535e-08,5.834550e-08,5.838574e-08,5.866952e-08,5.880410e-08,5.896851e-08,5.917965e-08,5.924353e-08,5.949561e-08,5.951481e-08,5.972574e-08,5.981187e-08,5.993489e-08,6.007301e-08,6.012398e-08,6.029391e-08,6.030032e-08,6.044554e-08,6.049581e-08,6.057970e-08,6.066136e-08,6.069719e-08,6.079877e-08,6.088521e-08,6.090978e-08,6.095720e-08,6.099601e-08,6.101543e-08,6.105900e-08,6.106057e-08,6.109324e-08,6.110024e-08,6.111407e-08,6.112112e-08,6.112363e-08,6.112296e-08,6.112249e-08,6.111119e-08,6.110703e-08,6.109025e-08,6.107450e-08,6.106017e-08,6.102651e-08,6.102142e-08,6.097446e-08,6.096413e-08,6.091974e-08,6.088836e-08,6.085768e-08,6.080016e-08,6.078867e-08,6.071311e-08,6.070044e-08,6.063138e-08,6.059005e-08,6.054382e-08,6.046980e-08,6.045077e-08,6.035257e-08,6.034045e-08,6.024952e-08,6.020272e-08,6.014193e-08,6.005729e-08,6.003008e-08,5.991424e-08,5.990481e-08,5.979468e-08,5.974587e-08,5.967165e-08,5.958105e-08,5.954539e-08,5.941612e-08,5.941089e-08,5.928408e-08,5.923590e-08,5.914945e-08,5.905654e-08,5.901246e-08,5.887327e-08,5.868652e-08,5.849668e-08,5.830412e-08,5.810920e-08,5.791224e-08,5.771355e-08,5.751344e-08,5.731215e-08,5.710997e-08,5.690711e-08,5.670381e-08,5.650027e-08,5.629669e-08,5.609325e-08,5.589012e-08,5.568746e-08,5.548542e-08,5.528413e-08,5.508372e-08,5.488431e-08,5.468601e-08,5.448892e-08,5.429313e-08,5.409872e-08
0.000000e+00,5.256952e-12,2.666286e-11,2.952266e-10,1.438275e-09,2.958375e-09,1.387763e-08,1.466761e-08,4.954836e-08,6.645594e-08,1.315386e-07,2.175990e-07,2.961568e-07,5.618476e-07,5.916666e-07,1.079168e-06,1.232551e-06,1.830565e-06,2.395647e-06,2.923947e-06,4.231181e-06,4.437459e-06,6.443389e-06,6.909329e-06,9.003545e-06,1.057047e-05,1.216619e-05,1.531309e-05,1.596441e-05,2.041547e-05,2.118856e-05,2.552110e-05,2.820099e-05,3.126818e-05,3.631016e-05,3.762999e-05,4.456760e-05,4.543656e-05,5.203156e-05,5.546775e-05,5.996375e-05,6.626559e-05,6.829921e-05,7.696812e-05,7.767387e-05,8.589769e-05,8.952593e-05,9.501394e-05,1.016519e-04,1.042434e-04,1.135146e-04,1.138854e-04,1.227594e-04,1.260687e-04,1.319140e-04,1.380575e-04,1.409199e-04,1.497243e-04,1.582807e-04,1.609597e-04,1.665492e-04,1.716741e-04,1.744961e-04,1.817972e-04,1.820941e-04,1.893221e-04,1.912773e-04,1.961644e-04,2.000801e-04,2.026107e-04,2.081867e-04,2.086555e-04,2.142975e-04,2.155918e-04,2.195391e-04,2.223015e-04,2.243859e-04,2.283312e-04,2.288464e-04,2.329312e-04,2.337042e-04,2.366529e-04,2.384491e-04,2.400252e-04,2.425988e-04,2.430630e-04,2.457819e-04,2.461884e-04,2.481981e-04,2.492552e-04,2.503279e-04,2.518365e-04,2.521876e-04,2.537933e-04,2.539697e-04,2.551610e-04,2.556913e-04,2.563059e-04,2.570363e-04,2.572430e-04,2.579868e-04,2.580383e-04,2.585508e-04,2.587290e-04,2.589482e-04,2.591381e-04,2.591913e-04,2.592919e-04,2.592932e-04,2.592611e-04,2.592199e-04,2.591092e-04,2.589418e-04,2.588460e-04,2.584806e-04,2.580215e-04,2.578561e-04,2.574767e-04,2.570864e-04,2.568534e-04,2.561878e-04,2.561587e-04,2.553989e-04,2.551754e-04,2.545800e-04,2.540625e-04,2.537074e-04,2.528616e-04,2.527862e-04,2.518212e-04,2.515835e-04,2.508167e-04,2.502384e-04,2.497767e-04,2.488352e-04,2.487050e-04,2.476051e-04,2.473820e-04,2.464801e-04,2.458861e-04,2.453329e-04,2.443542e-04,2.441664e-04,2.429829e-04,2.427922e-04,2.417849e-04,2.412053e-04,2.405745e-04,2.395985e-04,2.393536e-04,2.381241e-04,2.379760e-04,2.368876e-04,2.363418e-04,2.356458e-04,2.346994e-04,2.344001e-04,2.331518e-04,2.330518e-04,2.319021e-04,2.314021e-04,2.306521e-04,2.297526e-04,2.294030e-04,2.281556e-04,2.281057e-04,2.269108e-04,2.264635e-04,2.256694e-04,2.248277e-04,2.244323e-04,2.231999e-04,2.215818e-04,2.199746e-04,2.183794e-04,2.167973e-04,2.152293e-04,2.136760e-04,2.121384e-04,2.106169e-04,2.091121e-04,2.076245e-04,2.061546e-04,2.047026e-04,2.032688e-04,2.018535e-04,2.004568e-04,1.990790e-04,1.977201e-04,1.963802e-04,1.950594e-04,1.937576e-04,1.924748e-04,1.912111e-04,1.899663e-04,1.887403e-04
0.000000e+00,6.139296e-11,1.836663e-10,8.460026e-10,2.209103e-09,3.391896e-09,8.408901e-09,8.685298e-09,1.767014e-08,2.097468e-08,3.128370e-08,4.207150e-08,5.048573e-08,7.393555e-08,7.626284e-08,1.095706e-07,1.187766e-07,1.511639e-07,1.782109e-07,2.013385e-07,2.523500e-07,2.597750e-07,3.256716e-07,3.396592e-07,3.980362e-07,4.378956e-07,4.758960e-07,5.448953e-07,5.583666e-07,6.446467e-07,6.587547e-07,7.339936e-07,7.777626e-07,8.257075e-07,9.003344e-07,9.191227e-07,1.013607e-06,1.024988e-06,1.108566e-06,1.150354e-06,1.203446e-06,1.275188e-06,1.297740e-06,1.390994e-06,1.398396e-06,1.482803e-06,1.519042e-06,1.572818e-06,1.636348e-06,1.660740e-06,1.746324e-06,1.749696e-06,1.829368e-06,1.858610e-06,1.909713e-06,1.962745e-06,1.987242e-06,2.061871e-06,2.133548e-06,2.155856e-06,2.202247e-06,2.244650e-06,2.267967e-06,2.328269e-06,2.330722e-06,2.390547e-06,2.406779e-06,2.447489e-06,2.480292e-06,2.501603e-06,2.548947e-06,2.552956e-06,2.601619e-06,2.612907e-06,2.647671e-06,2.672349e-06,2.691192e-06,2.727462e-06,2.732264e-06,2.770972e-06,2.778437e-06,2.807401e-06,2.825471e-06,2.841635e-06,2.868758e-06,2.873760e-06,2.903858e-06,2.908491e-06,2.932010e-06,2.944856e-06,2.958297e-06,2.978037e-06,2.982797e-06,3.005586e-06,3.008210e-06,3.026738e-06,3.035545e-06,3.046324e-06,3.060206e-06,3.064414e-06,3.081075e-06,3.082348e-06,3.096371e-06,3.102122e-06,3.110365e-06,3.119668e-06,3.123117e-06,3.134684e-06,3.135123e-06,3.145123e-06,3.148615e-06,3.154487e-06,3.160266e-06,3.162827e-06,3.170192e-06,3.176630e-06,3.178502e-06,3.182186e-06,3.185300e-06,3.186904e-06,3.190684e-06,3.190826e-06,3.193991e-06,3.194746e-06,3.196437e-06,3.197575e-06,3.198202e-06,3.199253e-06,3.199320e-06,3.199824e-06,3.199858e-06,3.199748e-06,3.199464e-06,3.199122e-06,3.198139e-06,3.197975e-06,3.196335e-06,3.195950e-06,3.194229e-06,3.192959e-06,3.191683e-06,3.189223e-06,3.188722e-06,3.185368e-06,3.184796e-06,3.181644e-06,3.179732e-06,3.177572e-06,3.174078e-06,3.173172e-06,3.168464e-06,3.167879e-06,3.163466e-06,3.161179e-06,3.158195e-06,3.154019e-06,3.152670e-06,3.146906e-06,3.146435e-06,3.140918e-06,3.138464e-06,3.134722e-06,3.130140e-06,3.128331e-06,3.121759e-06,3.121493e-06,3.115019e-06,3.112554e-06,3.108123e-06,3.103350e-06,3.101082e-06,3.093907e-06,3.084250e-06,3.074402e-06,3.064384e-06,3.054217e-06,3.043919e-06,3.033508e-06,3.023001e-06,3.012413e-06,3.001759e-06,2.991052e-06,2.980305e-06,2.969530e-06,2.958738e-06,2.947939e-06,2.937144e-06,2.926360e-06,2.915596e-06,2.904860e-06,2.894160e-06,2.883501e-06,2.872890e-06,2.862333e-06,2.851835e-06,2.841401e-06
0.000000e+00,1.956340e-11,4.672552e-11,1.679017e-10,3.895862e-10,5.723248e-10,1.312529e-09,1.352408e-09,2.624747e-09,3.085236e-09,4.507773e-09,5.981723e-09,7.124424e-09,1.028542e-08,1.059743e-08,1.502842e-08,1.624099e-08,2.046173e-08,2.393247e-08,2.686378e-08,3.322854e-08,3.414523e-08,4.219980e-08,4.389438e-08,5.092578e-08,5.569744e-08,6.023005e-08,6.842874e-08,7.002556e-08,8.022865e-08,8.189350e-08,9.075776e-08,9.590406e-08,1.015332e-07,1.102792e-07,1.124781e-07,1.235190e-07,1.248471e-07,1.345874e-07,1.394497e-07,1.456201e-07,1.539457e-07,1.565600e-07,1.673566e-07,1.682128e-07,1.779662e-07,1.821492e-07,1.883517e-07,1.956729e-07,1.984822e-07,2.083328e-07,2.087207e-07,2.178841e-07,2.212463e-07,2.271214e-07,2.332182e-07,2.360347e-07,2.446173e-07,2.528661e-07,2.554350e-07,2.607806e-07,2.656714e-07,2.683629e-07,2.753329e-07,2.756168e-07,2.825476e-07,2.844313e-07,2.891621e-07,2.929820e-07,2.954677e-07,3.010032e-07,3.014727e-07,3.071861e-07,3.085149e-07,3.126168e-07,3.155382e-07,3.177745e-07,3.220950e-07,3.226687e-07,3.273088e-07,3.282072e-07,3.317044e-07,3.338967e-07,3.358650e-07,3.391850e-07,3.397998e-07,3.435179e-07,3.440932e-07,3.470280e-07,3.486416e-07,3.503389e-07,3.528498e-07,3.534589e-07,3.563961e-07,3.567367e-07,3.591583e-07,3.603202e-07,3.617531e-07,3.636177e-07,3.641878e-07,3.664693e-07,3.666454e-07,3.686045e-07,3.694191e-07,3.705999e-07,3.719534e-07,3.724616e-07,3.741957e-07,3.742624e-07,3.758078e-07,3.763595e-07,3.773037e-07,3.782571e-07,3.786884e-07,3.799671e-07,3.811446e-07,3.815008e-07,3.822256e-07,3.828688e-07,3.832145e-07,3.840811e-07,3.841156e-07,3.849329e-07,3.851472e-07,3.856703e-07,3.860760e-07,3.863317e-07,3.868760e-07,3.869205e-07,3.874402e-07,3.875550e-07,3.878940e-07,3.881205e-07,3.882850e-07,3.885797e-07,3.886164e-07,3.888908e-07,3.889391e-07,3.891111e-07,3.892051e-07,3.892798e-07,3.893836e-07,3.893995e-07,3.894726e-07,3.894801e-07,3.895013e-07,3.895000e-07,3.894879e-07,3.894482e-07,3.894344e-07,3.893428e-07,3.893293e-07,3.892150e-07,3.891478e-07,3.890529e-07,3.889078e-07,3.888582e-07,3.886327e-07,3.886133e-07,3.883778e-07,3.882679e-07,3.880951e-07,3.878752e-07,3.877861e-07,3.874522e-07,3.874383e-07,3.870947e-07,3.869605e-07,3.867149e-07,3.864446e-07,3.863141e-07,3.858933e-07,3.853094e-07,3.846951e-07,3.840529e-07,3.833849e-07,3.826932e-07,3.819796e-07,3.812461e-07,3.804944e-07,3.797260e-07,3.789425e-07,3.781454e-07,3.773359e-07,3.765155e-07,3.756853e-07,3.748465e-07,3.740000e-07,3.731470e-07,3.722884e-07,3.714251e-07,3.705580e-07,3.696877e-07,3.688152e-07,3.679411e-07,3.670661e-07
0.000000e+00,4.077047e-12,9.367706e-12,3.235477e-11,7.379896e-11,1.077878e-10,2.451212e-10,2.525188e-10,4.889377e-10,5.747477e-10,8.407274e-10,1.117637e-09,1.333061e-09,1.930855e-09,1.989912e-09,2.827034e-09,3.055243e-09,3.846084e-09,4.492945e-09,5.037693e-09,6.218704e-09,6.388834e-09,7.886763e-09,8.202903e-09,9.519507e-09,1.041790e-08,1.127526e-08,1.283627e-08,1.314185e-08,1.510649e-08,1.542905e-08,1.715578e-08,1.816546e-08,1.927589e-08,2.101352e-08,2.145276e-08,2.367248e-08,2.394108e-08,2.592149e-08,2.691696e-08,2.818684e-08,2.991195e-08,3.045642e-08,3.271910e-08,3.289950e-08,3.496480e-08,3.585629e-08,3.718458e-08,3.876232e-08,3.937059e-08,4.151611e-08,4.160100e-08,4.361548e-08,4.435903e-08,4.566403e-08,4.702603e-08,4.765795e-08,4.959430e-08,5.147084e-08,5.205842e-08,5.328598e-08,5.441495e-08,5.503869e-08,5.666204e-08,5.672842e-08,5.835503e-08,5.879920e-08,5.991874e-08,6.082697e-08,6.142005e-08,6.274678e-08,6.285970e-08,6.423864e-08,6.456067e-08,6.555796e-08,6.627120e-08,6.681890e-08,6.788128e-08,6.802278e-08,6.917100e-08,6.939410e-08,7.026503e-08,7.081299e-08,7.130634e-08,7.214143e-08,7.229648e-08,7.323695e-08,7.338292e-08,7.412930e-08,7.454098e-08,7.497505e-08,7.561912e-08,7.577572e-08,7.653280e-08,7.662079e-08,7.724776e-08,7.754938e-08,7.792206e-08,7.840820e-08,7.855711e-08,7.915432e-08,7.920050e-08,7.971502e-08,7.992939e-08,8.024056e-08,8.059790e-08,8.073223e-08,8.119127e-08,8.120897e-08,8.161891e-08,8.176541e-08,8.201635e-08,8.226994e-08,8.238472e-08,8.272516e-08,8.303875e-08,8.313360e-08,8.332653e-08,8.349764e-08,8.358953e-08,8.381960e-08,8.382873e-08,8.404507e-08,8.410168e-08,8.423950e-08,8.434600e-08,8.441288e-08,8.455456e-08,8.456609e-08,8.469996e-08,8.472930e-08,8.481529e-08,8.487206e-08,8.491285e-08,8.498460e-08,8.499340e-08,8.505765e-08,8.506861e-08,8.510630e-08,8.512567e-08,8.514004e-08,8.515731e-08,8.515949e-08,8.516529e-08,8.516500e-08,8.515805e-08,8.515011e-08,8.513833e-08,8.511396e-08,8.510671e-08,8.506372e-08,8.505782e-08,8.500988e-08,8.498288e-08,8.494569e-08,8.489027e-08,8.487163e-08,8.478816e-08,8.478109e-08,8.469574e-08,8.465635e-08,8.459478e-08,8.451705e-08,8.448572e-08,8.436893e-08,8.436411e-08,8.424482e-08,8.419841e-08,8.411373e-08,8.402080e-08,8.397604e-08,8.383208e-08,8.363300e-08,8.342429e-08,8.320663e-08,8.298067e-08,8.274702e-08,8.250628e-08,8.225899e-08,8.200568e-08,8.174686e-08,8.148299e-08,8.121453e-08,8.094189e-08,8.066548e-08,8.038568e-08,8.010286e-08,7.981735e-08,7.952946e-08,7.923952e-08,7.894780e-08,7.865459e-08,7.836013e-08,7.806467e-08,7.776845e-08,7.747167e-08
0.000000e+00,1.294318e-11,2.989085e-11,1.034412e-10,2.353463e-10,3.429320e-10,7.734168e-10,7.964407e-10,1.525082e-09,1.786529e-09,2.588444e-09,3.411758e-09,4.045541e-09,5.781025e-09,5.951026e-09,8.342395e-09,8.989858e-09,1.122320e-08,1.303928e-08,1.456133e-08,1.783690e-08,1.830591e-08,2.240316e-08,2.326038e-08,2.680204e-08,2.919252e-08,3.145413e-08,3.552311e-08,3.631237e-08,4.133048e-08,4.214515e-08,4.646291e-08,4.895403e-08,5.166540e-08,5.584931e-08,5.689562e-08,6.211392e-08,6.273755e-08,6.728393e-08,6.953491e-08,7.237309e-08,7.616909e-08,7.735290e-08,8.219906e-08,8.258034e-08,8.689142e-08,8.872156e-08,9.141385e-08,9.455767e-08,9.575394e-08,9.990271e-08,1.000646e-07,1.038542e-07,1.052277e-07,1.076051e-07,1.100407e-07,1.111546e-07,1.145038e-07,1.176551e-07,1.186224e-07,1.206126e-07,1.224059e-07,1.233813e-07,1.258669e-07,1.259669e-07,1.283759e-07,1.290197e-07,1.306151e-07,1.318800e-07,1.326915e-07,1.344642e-07,1.346124e-07,1.363850e-07,1.367891e-07,1.380165e-07,1.388713e-07,1.395142e-07,1.407270e-07,1.408850e-07,1.421357e-07,1.423720e-07,1.432729e-07,1.438215e-07,1.443029e-07,1.450899e-07,1.452320e-07,1.460658e-07,1.461908e-07,1.468101e-07,1.471371e-07,1.474701e-07,1.479408e-07,1.480509e-07,1.485573e-07,1.486133e-07,1.489940e-07,1.491652e-07,1.493653e-07,1.496062e-07,1.496752e-07,1.499277e-07,1.499455e-07,1.501264e-07,1.501916e-07,1.502748e-07,1.503524e-07,1.503762e-07,1.504337e-07,1.504351e-07,1.504502e-07,1.504467e-07,1.504285e-07,1.503932e-07,1.503711e-07,1.502806e-07,1.501591e-07,1.501141e-07,1.500090e-07,1.498987e-07,1.498321e-07,1.496391e-07,1.496306e-07,1.494061e-07,1.493394e-07,1.491604e-07,1.490035e-07,1.488951e-07,1.486350e-07,1.486117e-07,1.483116e-07,1.482372e-07,1.479962e-07,1.478133e-07,1.476667e-07,1.473660e-07,1.473243e-07,1.469701e-07,1.468979e-07,1.466052e-07,1.464115e-07,1.462306e-07,1.459090e-07,1.458471e-07,1.454557e-07,1.453924e-07,1.450571e-07,1.448635e-07,1.446522e-07,1.443242e-07,1.442417e-07,1.438261e-07,1.437760e-07,1.434063e-07,1.432203e-07,1.429827e-07,1.426586e-07,1.425559e-07,1.421265e-07,1.420920e-07,1.416949e-07,1.415217e-07,1.412616e-07,1.409488e-07,1.408270e-07,1.403916e-07,1.403741e-07,1.399556e-07,1.397987e-07,1.395196e-07,1.392232e-07,1.390837e-07,1.386484e-07,1.380750e-07,1.375035e-07,1.369347e-07,1.363689e-07,1.358066e-07,1.352483e-07,1.346943e-07,1.341450e-07,1.336007e-07,1.330616e-07,1.325280e-07,1.320002e-07,1.314782e-07,1.309624e-07,1.304528e-07,1.299496e-07,1.294528e-07,1.289627e-07,1.284792e-07,1.280024e-07,1.275325e-07,1.270693e-07,1.266130e-07,1.261636e-07
0.000000e+00,7.971883e-11,2.135745e-10,8.684662e-10,2.137398e-09,3.210614e-09,7.660379e-09,7.902823e-09,1.570635e-08,1.855005e-08,2.736147e-08,3.650633e-08,4.359521e-08,6.318418e-08,6.511661e-08,9.259367e-08,1.001416e-07,1.266069e-07,1.486751e-07,1.675764e-07,2.095231e-07,2.156677e-07,2.706992e-07,2.824948e-07,3.321017e-07,3.662598e-07,3.989764e-07,4.585916e-07,4.702438e-07,5.448108e-07,5.569795e-07,6.216848e-07,6.591485e-07,7.000154e-07,7.632473e-07,7.790927e-07,8.583277e-07,8.678224e-07,9.372312e-07,9.717362e-07,1.015396e-06,1.074097e-06,1.092484e-06,1.168217e-06,1.174210e-06,1.242367e-06,1.271542e-06,1.314752e-06,1.365695e-06,1.385230e-06,1.453690e-06,1.456385e-06,1.520053e-06,1.543420e-06,1.584265e-06,1.626682e-06,1.646291e-06,1.706116e-06,1.763739e-06,1.781715e-06,1.819172e-06,1.853508e-06,1.872435e-06,1.921554e-06,1.923558e-06,1.972577e-06,1.985931e-06,2.019533e-06,2.046735e-06,2.064471e-06,2.104073e-06,2.107439e-06,2.148487e-06,2.158059e-06,2.187666e-06,2.208810e-06,2.225030e-06,2.256450e-06,2.260631e-06,2.294522e-06,2.301100e-06,2.326757e-06,2.342882e-06,2.357388e-06,2.381918e-06,2.386469e-06,2.414050e-06,2.418327e-06,2.440182e-06,2.452226e-06,2.464916e-06,2.483729e-06,2.488300e-06,2.510383e-06,2.512948e-06,2.531211e-06,2.539990e-06,2.550830e-06,2.564959e-06,2.569284e-06,2.586617e-06,2.587957e-06,2.602871e-06,2.609080e-06,2.618088e-06,2.628424e-06,2.632307e-06,2.645566e-06,2.646077e-06,2.657905e-06,2.662128e-06,2.669358e-06,2.676659e-06,2.679962e-06,2.689750e-06,2.698756e-06,2.701478e-06,2.707012e-06,2.711916e-06,2.714549e-06,2.721136e-06,2.721397e-06,2.727585e-06,2.729203e-06,2.733141e-06,2.736183e-06,2.738092e-06,2.742136e-06,2.742465e-06,2.746285e-06,2.747122e-06,2.749576e-06,2.751197e-06,2.752362e-06,2.754413e-06,2.754665e-06,2.756508e-06,2.756823e-06,2.757911e-06,2.758474e-06,2.758895e-06,2.759412e-06,2.759480e-06,2.759684e-06,2.759682e-06,2.759526e-06,2.759326e-06,2.759023e-06,2.758384e-06,2.758192e-06,2.757050e-06,2.756893e-06,2.755613e-06,2.754890e-06,2.753894e-06,2.752409e-06,2.751909e-06,2.749671e-06,2.749482e-06,2.747195e-06,2.746141e-06,2.744493e-06,2.742414e-06,2.741577e-06,2.738459e-06,2.738330e-06,2.735151e-06,2.733915e-06,2.731663e-06,2.729194e-06,2.728007e-06,2.724192e-06,2.718929e-06,2.713429e-06,2.707710e-06,2.701792e-06,2.695694e-06,2.689431e-06,2.683021e-06,2.676479e-06,2.669818e-06,2.663053e-06,2.656197e-06,2.649260e-06,2.642256e-06,2.635194e-06,2.628085e-06,2.620938e-06,2.613761e-06,2.606565e-06,2.599355e-06,2.592140e-06,2.584926e-06,2.577721e-06,2.570529e-06,2.563357e-06
0.000000e+00,9.526278e-12,2.186610e-11,7.538571e-11,1.716461e-10,2.504195e-10,5.673968e-10,5.844157e-10,1.125546e-09,1.320676e-09,1.921463e-09,2.540953e-09,3.019176e-09,4.333052e-09,4.462048e-09,6.281754e-09,6.776102e-09,8.486568e-09,9.882812e-09,1.105590e-08,1.358626e-08,1.394896e-08,1.711876e-08,1.778190e-08,2.052023e-08,2.236667e-08,2.411200e-08,2.724821e-08,2.785599e-08,3.171675e-08,3.234306e-08,3.566126e-08,3.757532e-08,3.965902e-08,4.287681e-08,4.368226e-08,4.770607e-08,4.818789e-08,5.170857e-08,5.345794e-08,5.567086e-08,5.864535e-08,5.957693e-08,6.341348e-08,6.371706e-08,6.716969e-08,6.864769e-08,7.083696e-08,7.341852e-08,7.440863e-08,7.787973e-08,7.801643e-08,8.124673e-08,8.243290e-08,8.450735e-08,8.666310e-08,8.766028e-08,9.070508e-08,9.364198e-08,9.455912e-08,9.647178e-08,9.822720e-08,9.919571e-08,1.017126e-07,1.018154e-07,1.043326e-07,1.050194e-07,1.067496e-07,1.081526e-07,1.090685e-07,1.111174e-07,1.112918e-07,1.134218e-07,1.139194e-07,1.154612e-07,1.165645e-07,1.174124e-07,1.190586e-07,1.192780e-07,1.210607e-07,1.214075e-07,1.227629e-07,1.236171e-07,1.243873e-07,1.256933e-07,1.259362e-07,1.274123e-07,1.276418e-07,1.288178e-07,1.294682e-07,1.301553e-07,1.311778e-07,1.314270e-07,1.326352e-07,1.327760e-07,1.337821e-07,1.342679e-07,1.348700e-07,1.356585e-07,1.359008e-07,1.368768e-07,1.369526e-07,1.377999e-07,1.381547e-07,1.386719e-07,1.392694e-07,1.394950e-07,1.402707e-07,1.403008e-07,1.410010e-07,1.412532e-07,1.416876e-07,1.421304e-07,1.423321e-07,1.429362e-07,1.435014e-07,1.436743e-07,1.440292e-07,1.443480e-07,1.445211e-07,1.449608e-07,1.449785e-07,1.454028e-07,1.455158e-07,1.457953e-07,1.460161e-07,1.461573e-07,1.464644e-07,1.464900e-07,1.467946e-07,1.468637e-07,1.470723e-07,1.472165e-07,1.473242e-07,1.475253e-07,1.475513e-07,1.477547e-07,1.477926e-07,1.479353e-07,1.480206e-07,1.480942e-07,1.482116e-07,1.482323e-07,1.483504e-07,1.483675e-07,1.484495e-07,1.484905e-07,1.485303e-07,1.485823e-07,1.485937e-07,1.486403e-07,1.486448e-07,1.486711e-07,1.486797e-07,1.486866e-07,1.486887e-07,1.486876e-07,1.486747e-07,1.486731e-07,1.486486e-07,1.486346e-07,1.486099e-07,1.485746e-07,1.485592e-07,1.484970e-07,1.484943e-07,1.484239e-07,1.483951e-07,1.483405e-07,1.482781e-07,1.482471e-07,1.481444e-07,1.479953e-07,1.478317e-07,1.476545e-07,1.474648e-07,1.472633e-07,1.470511e-07,1.468287e-07,1.465971e-07,1.463569e-07,1.461087e-07,1.458533e-07,1.455913e-07,1.453231e-07,1.450495e-07,1.447708e-07,1.444877e-07,1.442005e-07,1.439096e-07,1.436157e-07,1.433189e-07,1.430197e-07,1.427184e-07,1.424154e-07,1.421110e-07
0.000000e+00,6.410379e-11,2.399639e-10,1.510987e-09,4.708531e-09,7.758809e-09,2.189541e-08,2.270778e-08,5.007283e-08,6.044168e-08,9.336083e-08,1.283805e-07,1.559373e-07,2.333693e-07,2.410887e-07,3.520450e-07,3.828638e-07,4.919038e-07,5.838871e-07,6.633719e-07,8.419008e-07,8.682859e-07,1.107084e-06,1.158834e-06,1.378611e-06,1.531969e-06,1.680442e-06,1.955141e-06,2.009480e-06,2.362444e-06,2.420921e-06,2.736110e-06,2.921910e-06,3.127383e-06,3.451076e-06,3.533289e-06,3.950955e-06,4.001733e-06,4.377602e-06,4.567477e-06,4.810547e-06,5.142210e-06,5.247217e-06,5.685171e-06,5.720193e-06,6.122118e-06,6.296135e-06,6.555939e-06,6.865261e-06,6.984699e-06,7.406656e-06,7.423370e-06,7.820269e-06,7.966862e-06,8.224194e-06,8.492737e-06,8.617284e-06,8.998577e-06,9.367287e-06,9.482511e-06,9.722794e-06,9.943165e-06,1.006463e-05,1.037961e-05,1.039245e-05,1.070605e-05,1.079129e-05,1.100532e-05,1.117799e-05,1.129025e-05,1.153978e-05,1.156091e-05,1.181744e-05,1.187693e-05,1.206005e-05,1.218992e-05,1.228898e-05,1.247935e-05,1.250452e-05,1.270700e-05,1.274596e-05,1.289676e-05,1.299053e-05,1.307418e-05,1.321395e-05,1.323964e-05,1.339354e-05,1.341712e-05,1.353627e-05,1.360094e-05,1.366826e-05,1.376637e-05,1.378989e-05,1.390158e-05,1.391433e-05,1.400373e-05,1.404575e-05,1.409673e-05,1.416153e-05,1.418097e-05,1.425683e-05,1.426255e-05,1.432470e-05,1.434968e-05,1.438492e-05,1.442375e-05,1.443786e-05,1.448386e-05,1.448556e-05,1.452326e-05,1.453589e-05,1.455637e-05,1.457546e-05,1.458351e-05,1.460499e-05,1.462109e-05,1.462516e-05,1.463210e-05,1.463660e-05,1.463829e-05,1.463994e-05,1.463992e-05,1.463724e-05,1.463575e-05,1.463049e-05,1.462459e-05,1.461991e-05,1.460698e-05,1.460572e-05,1.458813e-05,1.458342e-05,1.456734e-05,1.455438e-05,1.454356e-05,1.452030e-05,1.451697e-05,1.448775e-05,1.448160e-05,1.445607e-05,1.443868e-05,1.442210e-05,1.439191e-05,1.438600e-05,1.434791e-05,1.434164e-05,1.430798e-05,1.428820e-05,1.426635e-05,1.423190e-05,1.422314e-05,1.417849e-05,1.417304e-05,1.413250e-05,1.411188e-05,1.408530e-05,1.404868e-05,1.403699e-05,1.398767e-05,1.398369e-05,1.393745e-05,1.391712e-05,1.388640e-05,1.384919e-05,1.383463e-05,1.378221e-05,1.378010e-05,1.372922e-05,1.371002e-05,1.367574e-05,1.363913e-05,1.362184e-05,1.356759e-05,1.349554e-05,1.342312e-05,1.335046e-05,1.327767e-05,1.320487e-05,1.313216e-05,1.305963e-05,1.298736e-05,1.291544e-05,1.284393e-05,1.277290e-05,1.270241e-05,1.263252e-05,1.256327e-05,1.249471e-05,1.242688e-05,1.235982e-05,1.229356e-05,1.222812e-05,1.216353e-05,1.209982e-05,1.203701e-05,1.197510e-05,1.191411e-05
0.000000e+00,1.550372e-11,3.602780e-11,1.257268e-10,2.876325e-10,4.202209e-10,9.534108e-10,9.820128e-10,1.889974e-09,2.216743e-09,3.221147e-09,4.254932e-09,5.052301e-09,7.243834e-09,7.459298e-09,1.051147e-08,1.134617e-08,1.425834e-08,1.666661e-08,1.871263e-08,2.319436e-08,2.384404e-08,2.959168e-08,3.080883e-08,3.588325e-08,3.934581e-08,4.264688e-08,4.864336e-08,4.981468e-08,5.732246e-08,5.855111e-08,6.510854e-08,6.892706e-08,7.311305e-08,7.963481e-08,8.127788e-08,8.954695e-08,9.054368e-08,9.786679e-08,1.015305e-07,1.061871e-07,1.124821e-07,1.144614e-07,1.226473e-07,1.232971e-07,1.307069e-07,1.338878e-07,1.386071e-07,1.441804e-07,1.463194e-07,1.538197e-07,1.541150e-07,1.610882e-07,1.636451e-07,1.681094e-07,1.727363e-07,1.748713e-07,1.813653e-07,1.875858e-07,1.895180e-07,1.935297e-07,1.971882e-07,1.991963e-07,2.043764e-07,2.045867e-07,2.097040e-07,2.110883e-07,2.145521e-07,2.173340e-07,2.191364e-07,2.231263e-07,2.234631e-07,2.275392e-07,2.284809e-07,2.313719e-07,2.334148e-07,2.349691e-07,2.379463e-07,2.383389e-07,2.414896e-07,2.420942e-07,2.444294e-07,2.458776e-07,2.471668e-07,2.493157e-07,2.497099e-07,2.520670e-07,2.524274e-07,2.542461e-07,2.552312e-07,2.562551e-07,2.577451e-07,2.581018e-07,2.597935e-07,2.599864e-07,2.613376e-07,2.619720e-07,2.627410e-07,2.637178e-07,2.640107e-07,2.651531e-07,2.652392e-07,2.661746e-07,2.665507e-07,2.670812e-07,2.676662e-07,2.678789e-07,2.685732e-07,2.685989e-07,2.691696e-07,2.693613e-07,2.696731e-07,2.699650e-07,2.700887e-07,2.704213e-07,2.706753e-07,2.707406e-07,2.708550e-07,2.709329e-07,2.709646e-07,2.710075e-07,2.710080e-07,2.709891e-07,2.709731e-07,2.709114e-07,2.708380e-07,2.707784e-07,2.706100e-07,2.705933e-07,2.703594e-07,2.702963e-07,2.700795e-07,2.699037e-07,2.697565e-07,2.694388e-07,2.693932e-07,2.689921e-07,2.689075e-07,2.685556e-07,2.683155e-07,2.680862e-07,2.676680e-07,2.675860e-07,2.670571e-07,2.669700e-07,2.665016e-07,2.662261e-07,2.659214e-07,2.654406e-07,2.653182e-07,2.646939e-07,2.646177e-07,2.640501e-07,2.637610e-07,2.633882e-07,2.628741e-07,2.627099e-07,2.620164e-07,2.619603e-07,2.613092e-07,2.610228e-07,2.605895e-07,2.600642e-07,2.598585e-07,2.591173e-07,2.590875e-07,2.583670e-07,2.580949e-07,2.576087e-07,2.570889e-07,2.568432e-07,2.560716e-07,2.550450e-07,2.540110e-07,2.529713e-07,2.519275e-07,2.508812e-07,2.498335e-07,2.487860e-07,2.477397e-07,2.466956e-07,2.456549e-07,2.446184e-07,2.435870e-07,2.425614e-07,2.415424e-07,2.405305e-07,2.395265e-07,2.385308e-07,2.375440e-07,2.365663e-07,2.355984e-07,2.346405e-07,2.336929e-07,2.327560e-07,2.318299e-07
0.000000e+00,1.916597e-11,9.238695e-11,9.218173e-10,4.092090e-09,8.005177e-09,3.310224e-08,3.481165e-08,1.044139e-07,1.357592e-07,2.491962e-07,3.890440e-07,5.107065e-07,8.981238e-07,9.400079e-07,1.597013e-06,1.795711e-06,2.545502e-06,3.225864e-06,3.842461e-06,5.303243e-06,5.526459e-06,7.611810e-06,8.076651e-06,1.009026e-05,1.152669e-05,1.293720e-05,1.558862e-05,1.611855e-05,1.959618e-05,2.017749e-05,2.333127e-05,2.520439e-05,2.728599e-05,3.058348e-05,3.142407e-05,3.571082e-05,3.623363e-05,4.011298e-05,4.207823e-05,4.459867e-05,4.804481e-05,4.913734e-05,5.369995e-05,5.406516e-05,5.825908e-05,6.007596e-05,6.278918e-05,6.601962e-05,6.726679e-05,7.167074e-05,7.184509e-05,7.598223e-05,7.750850e-05,8.018490e-05,8.297337e-05,8.426486e-05,8.821060e-05,9.201293e-05,9.319818e-05,9.566481e-05,9.792064e-05,9.916117e-05,1.023683e-04,1.024987e-04,1.056757e-04,1.065364e-04,1.086919e-04,1.104247e-04,1.115480e-04,1.140360e-04,1.142461e-04,1.167887e-04,1.173761e-04,1.191792e-04,1.204529e-04,1.214216e-04,1.232758e-04,1.235201e-04,1.254796e-04,1.258552e-04,1.273047e-04,1.282024e-04,1.290006e-04,1.303290e-04,1.305723e-04,1.320251e-04,1.322469e-04,1.333641e-04,1.339678e-04,1.345942e-04,1.355034e-04,1.357206e-04,1.367480e-04,1.368649e-04,1.376813e-04,1.380634e-04,1.385252e-04,1.391094e-04,1.392840e-04,1.399622e-04,1.400131e-04,1.405639e-04,1.407840e-04,1.410931e-04,1.414314e-04,1.415536e-04,1.419493e-04,1.419639e-04,1.422837e-04,1.423897e-04,1.425600e-04,1.427165e-04,1.427817e-04,1.429517e-04,1.430730e-04,1.431020e-04,1.431485e-04,1.431740e-04,1.431809e-04,1.431737e-04,1.431726e-04,1.431261e-04,1.431066e-04,1.430439e-04,1.429782e-04,1.429279e-04,1.427934e-04,1.427804e-04,1.426034e-04,1.425567e-04,1.423987e-04,1.422727e-04,1.421681e-04,1.419452e-04,1.419134e-04,1.416362e-04,1.415781e-04,1.413379e-04,1.411750e-04,1.410201e-04,1.407391e-04,1.406842e-04,1.403314e-04,1.402734e-04,1.399630e-04,1.397809e-04,1.395802e-04,1.392643e-04,1.391840e-04,1.387757e-04,1.387259e-04,1.383561e-04,1.381681e-04,1.379262e-04,1.375931e-04,1.374869e-04,1.370391e-04,1.370029e-04,1.365835e-04,1.363992e-04,1.361209e-04,1.357839e-04,1.356521e-04,1.351777e-04,1.351586e-04,1.346983e-04,1.345246e-04,1.342146e-04,1.338835e-04,1.337271e-04,1.332364e-04,1.325846e-04,1.319292e-04,1.312711e-04,1.306113e-04,1.299507e-04,1.292900e-04,1.286300e-04,1.279714e-04,1.273148e-04,1.266607e-04,1.260098e-04,1.253623e-04,1.247189e-04,1.240798e-04,1.234455e-04,1.228163e-04,1.221924e-04,1.215742e-04,1.209619e-04,1.203557e-04,1.197558e-04,1.191623e-04,1.185754e-04,1.179953e-04
0.000000e+00,2.322210e-11,1.092520e-10,1.037823e-09,4.411733e-09,8.432535e-09,3.290041e-08,3.451952e-08,9.797510e-08,1.255351e-07,2.222289e-07,3.370939e-07,4.343613e-07,7.330195e-07,7.645243e-07,1.244373e-06,1.385150e-06,1.902606e-06,2.356910e-06,2.758676e-06,3.681063e-06,3.818991e-06,5.077900e-06,5.352394e-06,6.521626e-06,7.339563e-06,8.132362e-06,9.600511e-06,9.891058e-06,1.177874e-05,1.209150e-05,1.377691e-05,1.476994e-05,1.586744e-05,1.759433e-05,1.803243e-05,2.025410e-05,2.052367e-05,2.251477e-05,2.351731e-05,2.479702e-05,2.653552e-05,2.708391e-05,2.935923e-05,2.954029e-05,3.160774e-05,3.249645e-05,3.381543e-05,3.537255e-05,3.596969e-05,3.805943e-05,3.814153e-05,4.007514e-05,4.078110e-05,4.200893e-05,4.327384e-05,4.385451e-05,4.560706e-05,4.726320e-05,4.777243e-05,4.882085e-05,4.976558e-05,5.027907e-05,5.158551e-05,5.163796e-05,5.289850e-05,5.323404e-05,5.406239e-05,5.471530e-05,5.513199e-05,5.603517e-05,5.611013e-05,5.700003e-05,5.720086e-05,5.780521e-05,5.822050e-05,5.852941e-05,5.910277e-05,5.917648e-05,5.975036e-05,5.985670e-05,6.025501e-05,6.049136e-05,6.069434e-05,6.101575e-05,6.107224e-05,6.139248e-05,6.143862e-05,6.165874e-05,6.176842e-05,6.187457e-05,6.201321e-05,6.204336e-05,6.216838e-05,6.218059e-05,6.225274e-05,6.227774e-05,6.229939e-05,6.231135e-05,6.231113e-05,6.229061e-05,6.228765e-05,6.224034e-05,6.221243e-05,6.216266e-05,6.209102e-05,6.205980e-05,6.193384e-05,6.192835e-05,6.178672e-05,6.172894e-05,6.162028e-05,6.149693e-05,6.143621e-05,6.123612e-05,6.102150e-05,6.094998e-05,6.079374e-05,6.064168e-05,6.055414e-05,6.031410e-05,6.030390e-05,6.004415e-05,5.996986e-05,5.977593e-05,5.961134e-05,5.950022e-05,5.924073e-05,5.921792e-05,5.892987e-05,5.885997e-05,5.863685e-05,5.847085e-05,5.833957e-05,5.807498e-05,5.803871e-05,5.773488e-05,5.767381e-05,5.742866e-05,5.726865e-05,5.712057e-05,5.686069e-05,5.681111e-05,5.650072e-05,5.645099e-05,5.618981e-05,5.604051e-05,5.587879e-05,5.563011e-05,5.556798e-05,5.525773e-05,5.522055e-05,5.494832e-05,5.481252e-05,5.464003e-05,5.440663e-05,5.433310e-05,5.402777e-05,5.400342e-05,5.372425e-05,5.360338e-05,5.342271e-05,5.320693e-05,5.312333e-05,5.282628e-05,5.281445e-05,5.253168e-05,5.242625e-05,5.223967e-05,5.204264e-05,5.195036e-05,5.166384e-05,5.129009e-05,5.092155e-05,5.055837e-05,5.020069e-05,4.984861e-05,4.950220e-05,4.916153e-05,4.882664e-05,4.849756e-05,4.817430e-05,4.785687e-05,4.754526e-05,4.723945e-05,4.693941e-05,4.664510e-05,4.635648e-05,4.607350e-05,4.579610e-05,4.552423e-05,4.525782e-05,4.499680e-05,4.474110e-05,4.449063e-05,4.424534e-05
0.000000e+00,6.394412e-12,1.466068e-11,5.045372e-11,1.147287e-10,1.672784e-10,3.785536e-10,3.898937e-10,7.505328e-10,8.806666e-10,1.281834e-09,1.696486e-09,2.017398e-09,2.903287e-09,2.990622e-09,4.229985e-09,4.569077e-09,5.749903e-09,6.721520e-09,7.542174e-09,9.321734e-09,9.577548e-09,1.181699e-08,1.228590e-08,1.422187e-08,1.552619e-08,1.675780e-08,1.896717e-08,1.939472e-08,2.210582e-08,2.254483e-08,2.486682e-08,2.620323e-08,2.765552e-08,2.989277e-08,3.045170e-08,3.323715e-08,3.356989e-08,3.599568e-08,3.719719e-08,3.871315e-08,4.074347e-08,4.137749e-08,4.397857e-08,4.418366e-08,4.650811e-08,4.749837e-08,4.895954e-08,5.067332e-08,5.132782e-08,5.360927e-08,5.369869e-08,5.580141e-08,5.656841e-08,5.790278e-08,5.927952e-08,5.991276e-08,6.183142e-08,6.365943e-08,6.422543e-08,6.539796e-08,6.646436e-08,6.704855e-08,6.855211e-08,6.861306e-08,7.009357e-08,7.049336e-08,7.149234e-08,7.229336e-08,7.281177e-08,7.395770e-08,7.405434e-08,7.522260e-08,7.549221e-08,7.631911e-08,7.690279e-08,7.734647e-08,7.819541e-08,7.830727e-08,7.920406e-08,7.937596e-08,8.003935e-08,8.045021e-08,8.081559e-08,8.142377e-08,8.153520e-08,8.220053e-08,8.230210e-08,8.281388e-08,8.309049e-08,8.337750e-08,8.379404e-08,8.389355e-08,8.436414e-08,8.441766e-08,8.479131e-08,8.496602e-08,8.517704e-08,8.544364e-08,8.552322e-08,8.583170e-08,8.585481e-08,8.610427e-08,8.620362e-08,8.634263e-08,8.649399e-08,8.654843e-08,8.672326e-08,8.672963e-08,8.686865e-08,8.691407e-08,8.698607e-08,8.705066e-08,8.707693e-08,8.714260e-08,8.718436e-08,8.719289e-08,8.720349e-08,8.720440e-08,8.720117e-08,8.717984e-08,8.717856e-08,8.713676e-08,8.712176e-08,8.707682e-08,8.703258e-08,8.699977e-08,8.691460e-08,8.690658e-08,8.679816e-08,8.676997e-08,8.667541e-08,8.660073e-08,8.653919e-08,8.640881e-08,8.639030e-08,8.622952e-08,8.619600e-08,8.605759e-08,8.596402e-08,8.587523e-08,8.571449e-08,8.568312e-08,8.548189e-08,8.544889e-08,8.527218e-08,8.516868e-08,8.505457e-08,8.487517e-08,8.482961e-08,8.459786e-08,8.456962e-08,8.435983e-08,8.425322e-08,8.411599e-08,8.392708e-08,8.386681e-08,8.361275e-08,8.359222e-08,8.335421e-08,8.324964e-08,8.309161e-08,8.290022e-08,8.282531e-08,8.255569e-08,8.254484e-08,8.228309e-08,8.218429e-08,8.200784e-08,8.181932e-08,8.173026e-08,8.145062e-08,8.107885e-08,8.070462e-08,8.032848e-08,7.995098e-08,7.957260e-08,7.919380e-08,7.881500e-08,7.843659e-08,7.805895e-08,7.768240e-08,7.730726e-08,7.693382e-08,7.656234e-08,7.619307e-08,7.582622e-08,7.546201e-08,7.510062e-08,7.474223e-08,7.438698e-08,7.403501e-08,7.368646e-08,7.334144e-08,7.300005e-08,7.266238e-08
0.000000e+00,7.974036e-11,3.359070e-10,2.585625e-09,9.269032e-09,1.626628e-08,5.216431e-08,5.433468e-08,1.311116e-07,1.614963e-07,2.609283e-07,3.703146e-07,4.583662e-07,7.129719e-07,7.388505e-07,1.118945e-06,1.226889e-06,1.615541e-06,1.950120e-06,2.243031e-06,2.909578e-06,3.008766e-06,3.909692e-06,4.105113e-06,4.933169e-06,5.507922e-06,6.061230e-06,7.075765e-06,7.274983e-06,8.557084e-06,8.767524e-06,9.892434e-06,1.054840e-05,1.126792e-05,1.238935e-05,1.267191e-05,1.409382e-05,1.426518e-05,1.552382e-05,1.615318e-05,1.695268e-05,1.803252e-05,1.837176e-05,1.977299e-05,1.988409e-05,2.114894e-05,2.169071e-05,2.249286e-05,2.343724e-05,2.379872e-05,2.506128e-05,2.511082e-05,2.627606e-05,2.670095e-05,2.743936e-05,2.819946e-05,2.854822e-05,2.960043e-05,3.059443e-05,3.090004e-05,3.152929e-05,3.209639e-05,3.240468e-05,3.318926e-05,3.322077e-05,3.397814e-05,3.417979e-05,3.467768e-05,3.507017e-05,3.532068e-05,3.586361e-05,3.590867e-05,3.644338e-05,3.656399e-05,3.692673e-05,3.717572e-05,3.736075e-05,3.770357e-05,3.774757e-05,3.808937e-05,3.815252e-05,3.838833e-05,3.852761e-05,3.864669e-05,3.883394e-05,3.886664e-05,3.905036e-05,3.907654e-05,3.919998e-05,3.926029e-05,3.931755e-05,3.938991e-05,3.940511e-05,3.946460e-05,3.946995e-05,3.949790e-05,3.950471e-05,3.950678e-05,3.949828e-05,3.949299e-05,3.945815e-05,3.945450e-05,3.940383e-05,3.937699e-05,3.933152e-05,3.926911e-05,3.924263e-05,3.913849e-05,3.913402e-05,3.902036e-05,3.897465e-05,3.888944e-05,3.879368e-05,3.874685e-05,3.859364e-05,3.843082e-05,3.837684e-05,3.825931e-05,3.814539e-05,3.807998e-05,3.790125e-05,3.789368e-05,3.770115e-05,3.764623e-05,3.750312e-05,3.738195e-05,3.730027e-05,3.710992e-05,3.709322e-05,3.688255e-05,3.683152e-05,3.666882e-05,3.654798e-05,3.645252e-05,3.626044e-05,3.623414e-05,3.601411e-05,3.596994e-05,3.579283e-05,3.567740e-05,3.557068e-05,3.538366e-05,3.534802e-05,3.512515e-05,3.508950e-05,3.490239e-05,3.479558e-05,3.467999e-05,3.450252e-05,3.445823e-05,3.423731e-05,3.421087e-05,3.401747e-05,3.392113e-05,3.379889e-05,3.363371e-05,3.358174e-05,3.336619e-05,3.334902e-05,3.315239e-05,3.306739e-05,3.294046e-05,3.278911e-05,3.273053e-05,3.252271e-05,3.251444e-05,3.231708e-05,3.224360e-05,3.211373e-05,3.197680e-05,3.191274e-05,3.171418e-05,3.145589e-05,3.120204e-05,3.095271e-05,3.070798e-05,3.046790e-05,3.023250e-05,3.000181e-05,2.977584e-05,2.955458e-05,2.933801e-05,2.912612e-05,2.891887e-05,2.871623e-05,2.851814e-05,2.832456e-05,2.813543e-05,2.795068e-05,2.777027e-05,2.759411e-05,2.742214e-05,2.725429e-05,2.709048e-05,2.693064e-05,2.677468e-05
0.000000e+00,6.827309e-11,2.973142e-10,2.434484e-09,9.162944e-09,1.647083e-08,5.577744e-08,5.821539e-08,1.469972e-07,1.831147e-07,3.038942e-07,4.401903e-07,5.518942e-07,8.824145e-07,9.165249e-07,1.425805e-06,1.572771e-06,2.108270e-06,2.575448e-06,2.987928e-06,3.935085e-06,4.076776e-06,5.369038e-06,5.650132e-06,6.842003e-06,7.668670e-06,8.463007e-06,9.913701e-06,1.019750e-05,1.201425e-05,1.231074e-05,1.388715e-05,1.479969e-05,1.579496e-05,1.733460e-05,1.772036e-05,1.964901e-05,1.988008e-05,2.156885e-05,2.240808e-05,2.346960e-05,2.489599e-05,2.534254e-05,2.718027e-05,2.732558e-05,2.897661e-05,2.968238e-05,3.072648e-05,3.195528e-05,3.242579e-05,3.407136e-05,3.413603e-05,3.566079e-05,3.621889e-05,3.719239e-05,3.820027e-05,3.866509e-05,4.007833e-05,4.143202e-05,4.185265e-05,4.272642e-05,4.352398e-05,4.396211e-05,4.509391e-05,4.513993e-05,4.626090e-05,4.656475e-05,4.732624e-05,4.793929e-05,4.833728e-05,4.922067e-05,4.929541e-05,5.020210e-05,5.041222e-05,5.105888e-05,5.151746e-05,5.186731e-05,5.253998e-05,5.262895e-05,5.334539e-05,5.348339e-05,5.401818e-05,5.435129e-05,5.464886e-05,5.514723e-05,5.523899e-05,5.579007e-05,5.587472e-05,5.630360e-05,5.653718e-05,5.678103e-05,5.713795e-05,5.722379e-05,5.763327e-05,5.768023e-05,5.801082e-05,5.816718e-05,5.835778e-05,5.860178e-05,5.867541e-05,5.896497e-05,5.898695e-05,5.922766e-05,5.932547e-05,5.946465e-05,5.962001e-05,5.967708e-05,5.986605e-05,5.987314e-05,6.003262e-05,6.008730e-05,6.017781e-05,6.026483e-05,6.030261e-05,6.040797e-05,6.049483e-05,6.051886e-05,6.056406e-05,6.059952e-05,6.061653e-05,6.065189e-05,6.065306e-05,6.067444e-05,6.067782e-05,6.068144e-05,6.067905e-05,6.067480e-05,6.065724e-05,6.065521e-05,6.062338e-05,6.061398e-05,6.057993e-05,6.055077e-05,6.052551e-05,6.046903e-05,6.046072e-05,6.038614e-05,6.037010e-05,6.030232e-05,6.025526e-05,6.020979e-05,6.012572e-05,6.010908e-05,6.000066e-05,5.998262e-05,5.988500e-05,5.982705e-05,5.976256e-05,5.966002e-05,5.963377e-05,5.949905e-05,5.948250e-05,5.935877e-05,5.929540e-05,5.921334e-05,5.909957e-05,5.906309e-05,5.890839e-05,5.889583e-05,5.874956e-05,5.868495e-05,5.858692e-05,5.846763e-05,5.842077e-05,5.825140e-05,5.824456e-05,5.807908e-05,5.801638e-05,5.790408e-05,5.778367e-05,5.772664e-05,5.754700e-05,5.730691e-05,5.706387e-05,5.681836e-05,5.657082e-05,5.632164e-05,5.607120e-05,5.581987e-05,5.556797e-05,5.531581e-05,5.506368e-05,5.481184e-05,5.456054e-05,5.431002e-05,5.406048e-05,5.381213e-05,5.356515e-05,5.331969e-05,5.307593e-05,5.283400e-05,5.259403e-05,5.235613e-05,5.212043e-05,5.188701e-05,5.165596e-05
0.000000e+00,1.656731e-11,8.491807e-11,9.621398e-10,4.795347e-09,9.997077e-09,4.874314e-08,5.160581e-08,1.824375e-07,2.480741e-07,5.096992e-07,8.716693e-07,1.214097e-06,2.434303e-06,2.576105e-06,4.996685e-06,5.790753e-06,8.996241e-06,1.215047e-05,1.518378e-05,2.295297e-05,2.420680e-05,3.669914e-05,3.966610e-05,5.323794e-05,6.360406e-05,7.431342e-05,9.580778e-05,1.003106e-04,1.315012e-04,1.369857e-04,1.680419e-04,1.874994e-04,2.099790e-04,2.473789e-04,2.572553e-04,3.097195e-04,3.163535e-04,3.671374e-04,3.938941e-04,4.292030e-04,4.792580e-04,4.955503e-04,5.657653e-04,5.715362e-04,6.393967e-04,6.696996e-04,7.159674e-04,7.726420e-04,7.949845e-04,8.759489e-04,8.792210e-04,9.583635e-04,9.882934e-04,1.041741e-03,1.098746e-03,1.125610e-03,1.209521e-03,1.293051e-03,1.319635e-03,1.375806e-03,1.428194e-03,1.457424e-03,1.534403e-03,1.537578e-03,1.615973e-03,1.637572e-03,1.692350e-03,1.737114e-03,1.766486e-03,1.832547e-03,1.838189e-03,1.907300e-03,1.923487e-03,1.973691e-03,2.009643e-03,2.037261e-03,2.090811e-03,2.097938e-03,2.155671e-03,2.166862e-03,2.210435e-03,2.237736e-03,2.262224e-03,2.303434e-03,2.311047e-03,2.356933e-03,2.364005e-03,2.399923e-03,2.419544e-03,2.440068e-03,2.470179e-03,2.477433e-03,2.512088e-03,2.516068e-03,2.544112e-03,2.557391e-03,2.573590e-03,2.594343e-03,2.600608e-03,2.625260e-03,2.627132e-03,2.647638e-03,2.655973e-03,2.667837e-03,2.681085e-03,2.685953e-03,2.702082e-03,2.702687e-03,2.716318e-03,2.720997e-03,2.728754e-03,2.736230e-03,2.739483e-03,2.748593e-03,2.756173e-03,2.758289e-03,2.762307e-03,2.765513e-03,2.767078e-03,2.770450e-03,2.770566e-03,2.772846e-03,2.773279e-03,2.773993e-03,2.774167e-03,2.774077e-03,2.773274e-03,2.773166e-03,2.771324e-03,2.770750e-03,2.768613e-03,2.766737e-03,2.765092e-03,2.761367e-03,2.760816e-03,2.755841e-03,2.754766e-03,2.750215e-03,2.747048e-03,2.743987e-03,2.738323e-03,2.737202e-03,2.729903e-03,2.728690e-03,2.722131e-03,2.718244e-03,2.713925e-03,2.707071e-03,2.705320e-03,2.696351e-03,2.695252e-03,2.687050e-03,2.682861e-03,2.677448e-03,2.669967e-03,2.667573e-03,2.657453e-03,2.656633e-03,2.647112e-03,2.642919e-03,2.636575e-03,2.628879e-03,2.625863e-03,2.614999e-03,2.614561e-03,2.604001e-03,2.600012e-03,2.592888e-03,2.585274e-03,2.581677e-03,2.570386e-03,2.555381e-03,2.540294e-03,2.525153e-03,2.509985e-03,2.494816e-03,2.479666e-03,2.464558e-03,2.449508e-03,2.434534e-03,2.419651e-03,2.404872e-03,2.390210e-03,2.375676e-03,2.361279e-03,2.347028e-03,2.332932e-03,2.318995e-03,2.305226e-03,2.291628e-03,2.278206e-03,2.264965e-03,2.251906e-03,2.239034e-03,2.226350e-03
0.000000e+00,2.212582e-11,1.062107e-10,1.050328e-09,4.623082e-09,9.000316e-09,3.673243e-08,3.860789e-08,1.141781e-07,1.478552e-07,2.685310e-07,4.154290e-07,5.419750e-07,9.393655e-07,9.819218e-07,1.642085e-06,1.839576e-06,2.578491e-06,3.242447e-06,3.840112e-06,5.243820e-06,5.456979e-06,7.432847e-06,7.869583e-06,9.746183e-06,1.106976e-05,1.235723e-05,1.474465e-05,1.521672e-05,1.827295e-05,1.877683e-05,2.147622e-05,2.305247e-05,2.478103e-05,2.747044e-05,2.814661e-05,3.153665e-05,3.194352e-05,3.491879e-05,3.639689e-05,3.826419e-05,4.076616e-05,4.154709e-05,4.474463e-05,4.499612e-05,4.783677e-05,4.904016e-05,5.080627e-05,5.286013e-05,5.363865e-05,5.632221e-05,5.642632e-05,5.884794e-05,5.971725e-05,6.120941e-05,6.271925e-05,6.340262e-05,6.542577e-05,6.727910e-05,6.783659e-05,6.896465e-05,6.995693e-05,7.048596e-05,7.179635e-05,7.184784e-05,7.305608e-05,7.336774e-05,7.411730e-05,7.468644e-05,7.503870e-05,7.576938e-05,7.582782e-05,7.649241e-05,7.663425e-05,7.704029e-05,7.729905e-05,7.747928e-05,7.778161e-05,7.781705e-05,7.806106e-05,7.809926e-05,7.821855e-05,7.826857e-05,7.829645e-05,7.830524e-05,7.830139e-05,7.823961e-05,7.822394e-05,7.811702e-05,7.803822e-05,7.793916e-05,7.776056e-05,7.771120e-05,7.743799e-05,7.740238e-05,7.712403e-05,7.697406e-05,7.677349e-05,7.648501e-05,7.639024e-05,7.597785e-05,7.594370e-05,7.553962e-05,7.535778e-05,7.507858e-05,7.473408e-05,7.459751e-05,7.409899e-05,7.407872e-05,7.358536e-05,7.339717e-05,7.305877e-05,7.269429e-05,7.252117e-05,7.197438e-05,7.142004e-05,7.124130e-05,7.085963e-05,7.049843e-05,7.029453e-05,6.974877e-05,6.972597e-05,6.915508e-05,6.899496e-05,6.858288e-05,6.823932e-05,6.801030e-05,6.748390e-05,6.743817e-05,6.686725e-05,6.673049e-05,6.629823e-05,6.598064e-05,6.573171e-05,6.523570e-05,6.516826e-05,6.460836e-05,6.449685e-05,6.405246e-05,6.376510e-05,6.350095e-05,6.304133e-05,6.295418e-05,6.241247e-05,6.232628e-05,6.187608e-05,6.162058e-05,6.134526e-05,6.092476e-05,6.082022e-05,6.030113e-05,6.023924e-05,5.978815e-05,5.956440e-05,5.928140e-05,5.890052e-05,5.878100e-05,5.828704e-05,5.824780e-05,5.779958e-05,5.760643e-05,5.731869e-05,5.697652e-05,5.684439e-05,5.637672e-05,5.635815e-05,5.591569e-05,5.575135e-05,5.546131e-05,5.515612e-05,5.501356e-05,5.457243e-05,5.400024e-05,5.343947e-05,5.289002e-05,5.235177e-05,5.182461e-05,5.130838e-05,5.080294e-05,5.030813e-05,4.982378e-05,4.934972e-05,4.888577e-05,4.843174e-05,4.798745e-05,4.755270e-05,4.712732e-05,4.671110e-05,4.630386e-05,4.590541e-05,4.551556e-05,4.513411e-05,4.476088e-05,4.439568e-05,4.403834e-05,4.368866e-05
0.000000e+00,1.044526e-10,4.379788e-10,3.345927e-09,1.193945e-08,2.091798e-08,6.697461e-08,6.976203e-08,1.686766e-07,2.079903e-07,3.372501e-07,4.803870e-07,5.962026e-07,9.333732e-07,9.677944e-07,1.475415e-06,1.620045e-06,2.141430e-06,2.590213e-06,2.982495e-06,3.871582e-06,4.003368e-06,5.193364e-06,5.449747e-06,6.529120e-06,7.271750e-06,7.981751e-06,9.271612e-06,9.523144e-06,1.112893e-05,1.139043e-05,1.277886e-05,1.358142e-05,1.445599e-05,1.580754e-05,1.614593e-05,1.783619e-05,1.803851e-05,1.951584e-05,2.024902e-05,2.117534e-05,2.241795e-05,2.280642e-05,2.440203e-05,2.452796e-05,2.595626e-05,2.656525e-05,2.746429e-05,2.851928e-05,2.892229e-05,3.032736e-05,3.038243e-05,3.167734e-05,3.214954e-05,3.297075e-05,3.381754e-05,3.420681e-05,3.538520e-05,3.650603e-05,3.685262e-05,3.756983e-05,3.822109e-05,3.857740e-05,3.949269e-05,3.952973e-05,4.042805e-05,4.067008e-05,4.127371e-05,4.175644e-05,4.206819e-05,4.275523e-05,4.281303e-05,4.350983e-05,4.367009e-05,4.416024e-05,4.450482e-05,4.476592e-05,4.526323e-05,4.532852e-05,4.584972e-05,4.594913e-05,4.633114e-05,4.656630e-05,4.677442e-05,4.711845e-05,4.718114e-05,4.755286e-05,4.760920e-05,4.789112e-05,4.804204e-05,4.819740e-05,4.842038e-05,4.847315e-05,4.871978e-05,4.874748e-05,4.893864e-05,4.902649e-05,4.913108e-05,4.926043e-05,4.929835e-05,4.944171e-05,4.945219e-05,4.956235e-05,4.960450e-05,4.966142e-05,4.972002e-05,4.974003e-05,4.979926e-05,4.980124e-05,4.984012e-05,4.985053e-05,4.986363e-05,4.987018e-05,4.987072e-05,4.986231e-05,4.983929e-05,4.982898e-05,4.980250e-05,4.977210e-05,4.975274e-05,4.969349e-05,4.969079e-05,4.961740e-05,4.959490e-05,4.953327e-05,4.947793e-05,4.943909e-05,4.934413e-05,4.933551e-05,4.922315e-05,4.919495e-05,4.910261e-05,4.903174e-05,4.897445e-05,4.885581e-05,4.883922e-05,4.869744e-05,4.866834e-05,4.854960e-05,4.847048e-05,4.839616e-05,4.826329e-05,4.823759e-05,4.807430e-05,4.804777e-05,4.790671e-05,4.782485e-05,4.773520e-05,4.759542e-05,4.756014e-05,4.738188e-05,4.736029e-05,4.720074e-05,4.712022e-05,4.701706e-05,4.687594e-05,4.683112e-05,4.664321e-05,4.662810e-05,4.645360e-05,4.637733e-05,4.626254e-05,4.612422e-05,4.607027e-05,4.587703e-05,4.586929e-05,4.568303e-05,4.561304e-05,4.548846e-05,4.535594e-05,4.529353e-05,4.509841e-05,4.484085e-05,4.458363e-05,4.432708e-05,4.407151e-05,4.381721e-05,4.356443e-05,4.331341e-05,4.306437e-05,4.281751e-05,4.257301e-05,4.233102e-05,4.209169e-05,4.185515e-05,4.162151e-05,4.139089e-05,4.116336e-05,4.093900e-05,4.071789e-05,4.050007e-05,4.028560e-05,4.007451e-05,3.986684e-05,3.966261e-05,3.946184e-05
0.000000e+00,1.102695e-11,5.686524e-11,6.520377e-10,3.281187e-09,6.871670e-09,3.379261e-08,3.578558e-08,1.267989e-07,1.723109e-07,3.525596e-07,5.992019e-07,8.301015e-07,1.638899e-06,1.731790e-06,3.294884e-06,3.801120e-06,5.826937e-06,7.805800e-06,9.704326e-06,1.457499e-05,1.536391e-05,2.329017e-05,2.519254e-05,3.400048e-05,4.084749e-05,4.803012e-05,6.277463e-05,6.591797e-05,8.819321e-05,9.219871e-05,1.153632e-04,1.302844e-04,1.479027e-04,1.780925e-04,1.862440e-04,2.307688e-04,2.365433e-04,2.818009e-04,3.063862e-04,3.396011e-04,3.881772e-04,4.043626e-04,4.762083e-04,4.822641e-04,5.551904e-04,5.887794e-04,6.412896e-04,7.076412e-04,7.344178e-04,8.344204e-04,8.385606e-04,9.410803e-04,9.810564e-04,1.054123e-03,1.134474e-03,1.173223e-03,1.298008e-03,1.428067e-03,1.470729e-03,1.562959e-03,1.651610e-03,1.702215e-03,1.839555e-03,1.845348e-03,1.991861e-03,2.033422e-03,2.141250e-03,2.232052e-03,2.293008e-03,2.434289e-03,2.446637e-03,2.601646e-03,2.639000e-03,2.757558e-03,2.845091e-03,2.913913e-03,3.051523e-03,3.070272e-03,3.226216e-03,3.257321e-03,3.381353e-03,3.461582e-03,3.535315e-03,3.663484e-03,3.687760e-03,3.838373e-03,3.862282e-03,3.986868e-03,4.057315e-03,4.132984e-03,4.248006e-03,4.276487e-03,4.417170e-03,4.433854e-03,4.554850e-03,4.614436e-03,4.689368e-03,4.789402e-03,4.820588e-03,4.948396e-03,4.958471e-03,5.072700e-03,5.121422e-03,5.193424e-03,5.278096e-03,5.310511e-03,5.423922e-03,5.428382e-03,5.533632e-03,5.572219e-03,5.639630e-03,5.709589e-03,5.741917e-03,5.840507e-03,5.935423e-03,5.965025e-03,6.026696e-03,6.083219e-03,6.114369e-03,6.195192e-03,6.198489e-03,6.279111e-03,6.301066e-03,6.356293e-03,6.400978e-03,6.430100e-03,6.495082e-03,6.500602e-03,6.567868e-03,6.583539e-03,6.631975e-03,6.666523e-03,6.692998e-03,6.744209e-03,6.751014e-03,6.806105e-03,6.816779e-03,6.858349e-03,6.884418e-03,6.907828e-03,6.947311e-03,6.954621e-03,6.998810e-03,7.005644e-03,7.040474e-03,7.059599e-03,7.079693e-03,7.109359e-03,7.116544e-03,7.151106e-03,7.155103e-03,7.183453e-03,7.197004e-03,7.213662e-03,7.235235e-03,7.241805e-03,7.267954e-03,7.269962e-03,7.292180e-03,7.301347e-03,7.314551e-03,7.329548e-03,7.335135e-03,7.353997e-03,7.354717e-03,7.371201e-03,7.377001e-03,7.386809e-03,7.396541e-03,7.400880e-03,7.413474e-03,7.427930e-03,7.440037e-03,7.449914e-03,7.457677e-03,7.463437e-03,7.467301e-03,7.469369e-03,7.469740e-03,7.468504e-03,7.465752e-03,7.461566e-03,7.456028e-03,7.449215e-03,7.441198e-03,7.432049e-03,7.421833e-03,7.410614e-03,7.398452e-03,7.385404e-03,7.371524e-03,7.356864e-03,7.341475e-03,7.325402e-03,7.308690e-03
0.000000e+00,9.815655e-11,3.087941e-10,1.513409e-09,4.077346e-09,6.335474e-09,1.605113e-08,1.659040e-08,3.425776e-08,4.080819e-08,6.138082e-08,8.308953e-08,1.001195e-07,1.478241e-07,1.525640e-07,2.200469e-07,2.384905e-07,3.023417e-07,3.543416e-07,3.978959e-07,4.914481e-07,5.048213e-07,6.214329e-07,6.457863e-07,7.462685e-07,8.139832e-07,8.779791e-07,9.929723e-07,1.015258e-06,1.156817e-06,1.179779e-06,1.301396e-06,1.371509e-06,1.447785e-06,1.565430e-06,1.594843e-06,1.741527e-06,1.759059e-06,1.886900e-06,1.950233e-06,2.030142e-06,2.137146e-06,2.170553e-06,2.307551e-06,2.318348e-06,2.440664e-06,2.492735e-06,2.569522e-06,2.659506e-06,2.693848e-06,2.813446e-06,2.818130e-06,2.928191e-06,2.968296e-06,3.038015e-06,3.109876e-06,3.142904e-06,3.242881e-06,3.338004e-06,3.367432e-06,3.428359e-06,3.483731e-06,3.514051e-06,3.592041e-06,3.595202e-06,3.671945e-06,3.692663e-06,3.744424e-06,3.785926e-06,3.812786e-06,3.872173e-06,3.877183e-06,3.937766e-06,3.951756e-06,3.994689e-06,4.025024e-06,4.048104e-06,4.092326e-06,4.098160e-06,4.145004e-06,4.154000e-06,4.188780e-06,4.210376e-06,4.229625e-06,4.261770e-06,4.267676e-06,4.303063e-06,4.308486e-06,4.335912e-06,4.350815e-06,4.366346e-06,4.389033e-06,4.394482e-06,4.420432e-06,4.423405e-06,4.444306e-06,4.454179e-06,4.466206e-06,4.481593e-06,4.486234e-06,4.504484e-06,4.505870e-06,4.521048e-06,4.527221e-06,4.536014e-06,4.545846e-06,4.549464e-06,4.561480e-06,4.561932e-06,4.572138e-06,4.575656e-06,4.581510e-06,4.587185e-06,4.589666e-06,4.596674e-06,4.602595e-06,4.604270e-06,4.607491e-06,4.610113e-06,4.611419e-06,4.614330e-06,4.614434e-06,4.616588e-06,4.617044e-06,4.617932e-06,4.618369e-06,4.618512e-06,4.618411e-06,4.618374e-06,4.617561e-06,4.617270e-06,4.616114e-06,4.615041e-06,4.614071e-06,4.611811e-06,4.611471e-06,4.608347e-06,4.607662e-06,4.604733e-06,4.602671e-06,4.600662e-06,4.596910e-06,4.596163e-06,4.591265e-06,4.590446e-06,4.585995e-06,4.583342e-06,4.580380e-06,4.575656e-06,4.574444e-06,4.568211e-06,4.567444e-06,4.561702e-06,4.558756e-06,4.554938e-06,4.549640e-06,4.547940e-06,4.540727e-06,4.540141e-06,4.533316e-06,4.530300e-06,4.525725e-06,4.520157e-06,4.517969e-06,4.510065e-06,4.509746e-06,4.502026e-06,4.499101e-06,4.493866e-06,4.488255e-06,4.485598e-06,4.477235e-06,4.466068e-06,4.454781e-06,4.443395e-06,4.431933e-06,4.420414e-06,4.408858e-06,4.397281e-06,4.385699e-06,4.374126e-06,4.362577e-06,4.351063e-06,4.339596e-06,4.328187e-06,4.316845e-06,4.305579e-06,4.294396e-06,4.283305e-06,4.272311e-06,4.261422e-06,4.250642e-06,4.239977e-06,4.229430e-06,4.219006e-06,4.208708e-06
0.000000e+00,1.442489e-11,7.417344e-11,8.451951e-10,4.227381e-09,8.821990e-09,4.295439e-08,4.546799e-08,1.592797e-07,2.157122e-07,4.372859e-07,7.370448e-07,1.015105e-06,1.975621e-06,2.084886e-06,3.900811e-06,4.481721e-06,6.781788e-06,9.000498e-06,1.111048e-05,1.646586e-05,1.732732e-05,2.591842e-05,2.796650e-05,3.739738e-05,4.468047e-05,5.228325e-05,6.778809e-05,7.107746e-05,9.424226e-05,9.838220e-05,1.221824e-04,1.373906e-04,1.552306e-04,1.855184e-04,1.936377e-04,2.375659e-04,2.432127e-04,2.870868e-04,3.106461e-04,3.421815e-04,3.877192e-04,4.027443e-04,4.685882e-04,4.740766e-04,5.394527e-04,5.691332e-04,6.150119e-04,6.721095e-04,6.948848e-04,7.786448e-04,7.820696e-04,8.658303e-04,8.979625e-04,9.559546e-04,1.018662e-03,1.048515e-03,1.143004e-03,1.238912e-03,1.269820e-03,1.335741e-03,1.397970e-03,1.433006e-03,1.526361e-03,1.530245e-03,1.627017e-03,1.653972e-03,1.722910e-03,1.779865e-03,1.817545e-03,1.903195e-03,1.910571e-03,2.001672e-03,2.023218e-03,2.090567e-03,2.139291e-03,2.177007e-03,2.250871e-03,2.260776e-03,2.341690e-03,2.357516e-03,2.419595e-03,2.458875e-03,2.494368e-03,2.554684e-03,2.565910e-03,2.634151e-03,2.644759e-03,2.699041e-03,2.728990e-03,2.760555e-03,2.807330e-03,2.818686e-03,2.873443e-03,2.879789e-03,2.924854e-03,2.946425e-03,2.972959e-03,3.007340e-03,3.017811e-03,3.059473e-03,3.062670e-03,3.098017e-03,3.112580e-03,3.133524e-03,3.157257e-03,3.166080e-03,3.195778e-03,3.196907e-03,3.222712e-03,3.231751e-03,3.246982e-03,3.262015e-03,3.268689e-03,3.287936e-03,3.304825e-03,3.309749e-03,3.319460e-03,3.327692e-03,3.331945e-03,3.342000e-03,3.342380e-03,3.350866e-03,3.352906e-03,3.357502e-03,3.360636e-03,3.362385e-03,3.365410e-03,3.365609e-03,3.367266e-03,3.367441e-03,3.367446e-03,3.366933e-03,3.366234e-03,3.364084e-03,3.363715e-03,3.359970e-03,3.359080e-03,3.355075e-03,3.352101e-03,3.349107e-03,3.343316e-03,3.342136e-03,3.334231e-03,3.332884e-03,3.325459e-03,3.320958e-03,3.315881e-03,3.307680e-03,3.305558e-03,3.294548e-03,3.293183e-03,3.282903e-03,3.277593e-03,3.270678e-03,3.261027e-03,3.257919e-03,3.244675e-03,3.243596e-03,3.230989e-03,3.225401e-03,3.216904e-03,3.206538e-03,3.202459e-03,3.187692e-03,3.187095e-03,3.172638e-03,3.167154e-03,3.157330e-03,3.146792e-03,3.141801e-03,3.126079e-03,3.105079e-03,3.083852e-03,3.062453e-03,3.040932e-03,3.019336e-03,2.997708e-03,2.976085e-03,2.954503e-03,2.932994e-03,2.911586e-03,2.890307e-03,2.869179e-03,2.848224e-03,2.827461e-03,2.806907e-03,2.786577e-03,2.766483e-03,2.746639e-03,2.727053e-03,2.707734e-03,2.688691e-03,2.669929e-03,2.651453e-03,2.633268e-03
0.000000e+00,1.924945e-12,9.725965e-12,1.068698e-10,5.173041e-10,1.060640e-09,4.942326e-09,5.222559e-09,1.758389e-08,2.357936e-08,4.671819e-08,7.747137e-08,1.056816e-07,2.017865e-07,2.126196e-07,3.902949e-07,4.462588e-07,6.639805e-07,8.685086e-07,1.058405e-06,1.522480e-06,1.594963e-06,2.289867e-06,2.448854e-06,3.153284e-06,3.670426e-06,4.189223e-06,5.191595e-06,5.395912e-06,6.766449e-06,7.000242e-06,8.289580e-06,9.070656e-06,9.950521e-06,1.136681e-05,1.173178e-05,1.361393e-05,1.384560e-05,1.557638e-05,1.645985e-05,1.759801e-05,1.916109e-05,1.965783e-05,2.173550e-05,2.190189e-05,2.381174e-05,2.463780e-05,2.586877e-05,2.732883e-05,2.789050e-05,2.986277e-05,2.994045e-05,3.177342e-05,3.244416e-05,3.361234e-05,3.481762e-05,3.537142e-05,3.704449e-05,3.862714e-05,3.911400e-05,4.011663e-05,4.102037e-05,4.151168e-05,4.276207e-05,4.281229e-05,4.401955e-05,4.434110e-05,4.513546e-05,4.576228e-05,4.616277e-05,4.703250e-05,4.710481e-05,4.796531e-05,4.816015e-05,4.874835e-05,4.915459e-05,4.945816e-05,5.002567e-05,5.009909e-05,5.067550e-05,5.078341e-05,5.119168e-05,5.143769e-05,5.165183e-05,5.199804e-05,5.206002e-05,5.242012e-05,5.247352e-05,5.273581e-05,5.287261e-05,5.301059e-05,5.320314e-05,5.324770e-05,5.345021e-05,5.347232e-05,5.362094e-05,5.368668e-05,5.376252e-05,5.385213e-05,5.387739e-05,5.396777e-05,5.397400e-05,5.403571e-05,5.405704e-05,5.408312e-05,5.410550e-05,5.411170e-05,5.412305e-05,5.412317e-05,5.411862e-05,5.411342e-05,5.409973e-05,5.407925e-05,5.406760e-05,5.402333e-05,5.396793e-05,5.394801e-05,5.390233e-05,5.385540e-05,5.382739e-05,5.374738e-05,5.374388e-05,5.365251e-05,5.362561e-05,5.355395e-05,5.349161e-05,5.344879e-05,5.334669e-05,5.333758e-05,5.322085e-05,5.319206e-05,5.309905e-05,5.302881e-05,5.297264e-05,5.285790e-05,5.284201e-05,5.270754e-05,5.268022e-05,5.256958e-05,5.249657e-05,5.242845e-05,5.230767e-05,5.228445e-05,5.213786e-05,5.211418e-05,5.198894e-05,5.191670e-05,5.183792e-05,5.171576e-05,5.168505e-05,5.153052e-05,5.151188e-05,5.137454e-05,5.130549e-05,5.121729e-05,5.109704e-05,5.105894e-05,5.089966e-05,5.088689e-05,5.073961e-05,5.067540e-05,5.057891e-05,5.046290e-05,5.041772e-05,5.025615e-05,5.024968e-05,5.009432e-05,5.003602e-05,4.993235e-05,4.982217e-05,4.977033e-05,4.960837e-05,4.939481e-05,4.918172e-05,4.896925e-05,4.875758e-05,4.854687e-05,4.833725e-05,4.812885e-05,4.792178e-05,4.771617e-05,4.751209e-05,4.730965e-05,4.710893e-05,4.690999e-05,4.671291e-05,4.651774e-05,4.632454e-05,4.613335e-05,4.594423e-05,4.575720e-05,4.557231e-05,4.538957e-05,4.520901e-05,4.503066e-05,4.485453e-05
0.000000e+00,1.882888e-11,4.377863e-11,1.529591e-10,3.509560e-10,5.141761e-10,1.181389e-09,1.217686e-09,2.396800e-09,2.833672e-09,4.215605e-09,5.693986e-09,6.867492e-09,1.020030e-08,1.053378e-08,1.529021e-08,1.658673e-08,2.104324e-08,2.462625e-08,2.759171e-08,3.384975e-08,3.473212e-08,4.230420e-08,4.385935e-08,5.018864e-08,5.438067e-08,5.829332e-08,6.521565e-08,6.654241e-08,7.487011e-08,7.620582e-08,8.321755e-08,8.721553e-08,9.153161e-08,9.812660e-08,9.976461e-08,1.078743e-07,1.088374e-07,1.158241e-07,1.192632e-07,1.235831e-07,1.293364e-07,1.311258e-07,1.384318e-07,1.390056e-07,1.454857e-07,1.482341e-07,1.522766e-07,1.569989e-07,1.587970e-07,1.650423e-07,1.652864e-07,1.710113e-07,1.730927e-07,1.767050e-07,1.804209e-07,1.821263e-07,1.872798e-07,1.921712e-07,1.936822e-07,1.968071e-07,1.996433e-07,2.011947e-07,2.051806e-07,2.053420e-07,2.092571e-07,2.103128e-07,2.129483e-07,2.150592e-07,2.164243e-07,2.194393e-07,2.196934e-07,2.227642e-07,2.234726e-07,2.256448e-07,2.271780e-07,2.283435e-07,2.305742e-07,2.308682e-07,2.332266e-07,2.336790e-07,2.354262e-07,2.365097e-07,2.374743e-07,2.390827e-07,2.393779e-07,2.411437e-07,2.414139e-07,2.427783e-07,2.435181e-07,2.442879e-07,2.454096e-07,2.456785e-07,2.469558e-07,2.471017e-07,2.481254e-07,2.486072e-07,2.491925e-07,2.499380e-07,2.501621e-07,2.510393e-07,2.511056e-07,2.518284e-07,2.521204e-07,2.525340e-07,2.529927e-07,2.531603e-07,2.537113e-07,2.537318e-07,2.541908e-07,2.543467e-07,2.546026e-07,2.548456e-07,2.549500e-07,2.552366e-07,2.554653e-07,2.555268e-07,2.556394e-07,2.557234e-07,2.557616e-07,2.558328e-07,2.558348e-07,2.558616e-07,2.558611e-07,2.558445e-07,2.558141e-07,2.557858e-07,2.556971e-07,2.556879e-07,2.555529e-07,2.555152e-07,2.553829e-07,2.552732e-07,2.551799e-07,2.549755e-07,2.549458e-07,2.546823e-07,2.546262e-07,2.543911e-07,2.542293e-07,2.540739e-07,2.537884e-07,2.537322e-07,2.533674e-07,2.533070e-07,2.529811e-07,2.527884e-07,2.525745e-07,2.522354e-07,2.521488e-07,2.517054e-07,2.516510e-07,2.512453e-07,2.510379e-07,2.507697e-07,2.503984e-07,2.502795e-07,2.497759e-07,2.497350e-07,2.492596e-07,2.490498e-07,2.487318e-07,2.483449e-07,2.481931e-07,2.476444e-07,2.476222e-07,2.470865e-07,2.468835e-07,2.465201e-07,2.461305e-07,2.459460e-07,2.453648e-07,2.445877e-07,2.438008e-07,2.430053e-07,2.422024e-07,2.413933e-07,2.405790e-07,2.397605e-07,2.389387e-07,2.381146e-07,2.372888e-07,2.364622e-07,2.356355e-07,2.348092e-07,2.339841e-07,2.331607e-07,2.323396e-07,2.315211e-07,2.307059e-07,2.298942e-07,2.290866e-07,2.282833e-07,2.274847e-07,2.266911e-07,2.259028e-07
0.000000e+00,2.961141e-12,1.452334e-11,1.500473e-10,6.864606e-10,1.364214e-09,5.856598e-09,6.167736e-09,1.908469e-08,2.499417e-08,4.659473e-08,7.343109e-08,9.682996e-08,1.711843e-07,1.791941e-07,3.040040e-07,3.414779e-07,4.821630e-07,6.093845e-07,7.247883e-07,1.000195e-06,1.042641e-06,1.445255e-06,1.536638e-06,1.939866e-06,2.234904e-06,2.530510e-06,3.101285e-06,3.217618e-06,3.998172e-06,4.131373e-06,4.866280e-06,5.311778e-06,5.813922e-06,6.622997e-06,6.831673e-06,7.909315e-06,8.042157e-06,9.036315e-06,9.545116e-06,1.020217e-05,1.110788e-05,1.139664e-05,1.260994e-05,1.270754e-05,1.383287e-05,1.432280e-05,1.505688e-05,1.593442e-05,1.627416e-05,1.747765e-05,1.752541e-05,1.866111e-05,1.908118e-05,1.981909e-05,2.058954e-05,2.094691e-05,2.204067e-05,2.309721e-05,2.342701e-05,2.411400e-05,2.474300e-05,2.508917e-05,2.598495e-05,2.602140e-05,2.690988e-05,2.715075e-05,2.775422e-05,2.823964e-05,2.855444e-05,2.925195e-05,2.931087e-05,3.002411e-05,3.018895e-05,3.069499e-05,3.105255e-05,3.132453e-05,3.184524e-05,3.191388e-05,3.246431e-05,3.256984e-05,3.297716e-05,3.322945e-05,3.345383e-05,3.382733e-05,3.389576e-05,3.430440e-05,3.436678e-05,3.468119e-05,3.485116e-05,3.502758e-05,3.528376e-05,3.534499e-05,3.563480e-05,3.566779e-05,3.589838e-05,3.600639e-05,3.613704e-05,3.630255e-05,3.635206e-05,3.654468e-05,3.655915e-05,3.671606e-05,3.677893e-05,3.686737e-05,3.696449e-05,3.699968e-05,3.711405e-05,3.711827e-05,3.721148e-05,3.724259e-05,3.729291e-05,3.733963e-05,3.735928e-05,3.741143e-05,3.745021e-05,3.745992e-05,3.747640e-05,3.748690e-05,3.749075e-05,3.749404e-05,3.749396e-05,3.748673e-05,3.748292e-05,3.746969e-05,3.745501e-05,3.744345e-05,3.741169e-05,3.740859e-05,3.736567e-05,3.735422e-05,3.731519e-05,3.728382e-05,3.725767e-05,3.720158e-05,3.719355e-05,3.712330e-05,3.710855e-05,3.704732e-05,3.700569e-05,3.696602e-05,3.689389e-05,3.687978e-05,3.678894e-05,3.677401e-05,3.669386e-05,3.664680e-05,3.659484e-05,3.651300e-05,3.649219e-05,3.638620e-05,3.637327e-05,3.627714e-05,3.622825e-05,3.616526e-05,3.607850e-05,3.605081e-05,3.593401e-05,3.592457e-05,3.581508e-05,3.576696e-05,3.569422e-05,3.560612e-05,3.557163e-05,3.544749e-05,3.544250e-05,3.532197e-05,3.527647e-05,3.519523e-05,3.510842e-05,3.506742e-05,3.493869e-05,3.476759e-05,3.459540e-05,3.442241e-05,3.424886e-05,3.407498e-05,3.390098e-05,3.372706e-05,3.355339e-05,3.338015e-05,3.320748e-05,3.303551e-05,3.286439e-05,3.269422e-05,3.252512e-05,3.235717e-05,3.219047e-05,3.202509e-05,3.186111e-05,3.169859e-05,3.153759e-05,3.137817e-05,3.122036e-05,3.106421e-05,3.090976e-05
0.000000e+00,1.653500e-11,7.593833e-11,6.878115e-10,2.807065e-09,5.251845e-09,1.944313e-08,2.035796e-08,5.501735e-08,6.958202e-08,1.192391e-07,1.761668e-07,2.230977e-07,3.619771e-07,3.762625e-07,5.877980e-07,6.481945e-07,8.660164e-07,1.053708e-06,1.218167e-06,1.593672e-06,1.649788e-06,2.163774e-06,2.276471e-06,2.759571e-06,3.100471e-06,3.433038e-06,4.053651e-06,4.177088e-06,4.982750e-06,5.116721e-06,5.840187e-06,6.267212e-06,6.739425e-06,7.482376e-06,7.670761e-06,8.624975e-06,8.740601e-06,9.593427e-06,1.002197e-05,1.056810e-05,1.130847e-05,1.154165e-05,1.250742e-05,1.258416e-05,1.345948e-05,1.383528e-05,1.439263e-05,1.505027e-05,1.530243e-05,1.618515e-05,1.621985e-05,1.703776e-05,1.733685e-05,1.785789e-05,1.839612e-05,1.864380e-05,1.939425e-05,2.010852e-05,2.032939e-05,2.078630e-05,2.120094e-05,2.142765e-05,2.200940e-05,2.203293e-05,2.260277e-05,2.275608e-05,2.313798e-05,2.344290e-05,2.363956e-05,2.407228e-05,2.410863e-05,2.454639e-05,2.464693e-05,2.495410e-05,2.516978e-05,2.533307e-05,2.564386e-05,2.568464e-05,2.601013e-05,2.607222e-05,2.631087e-05,2.645790e-05,2.658814e-05,2.680385e-05,2.684322e-05,2.707733e-05,2.711292e-05,2.729166e-05,2.738785e-05,2.748736e-05,2.763123e-05,2.766551e-05,2.782717e-05,2.784551e-05,2.797334e-05,2.803299e-05,2.810497e-05,2.819583e-05,2.822295e-05,2.832815e-05,2.833603e-05,2.842137e-05,2.845548e-05,2.850339e-05,2.855591e-05,2.857493e-05,2.863667e-05,2.863894e-05,2.868926e-05,2.870606e-05,2.873330e-05,2.875866e-05,2.876937e-05,2.879801e-05,2.881973e-05,2.882530e-05,2.883500e-05,2.884160e-05,2.884428e-05,2.884793e-05,2.884798e-05,2.884650e-05,2.884520e-05,2.884021e-05,2.883428e-05,2.882947e-05,2.881593e-05,2.881459e-05,2.879590e-05,2.879088e-05,2.877368e-05,2.875980e-05,2.874821e-05,2.872329e-05,2.871972e-05,2.868848e-05,2.868192e-05,2.865470e-05,2.863620e-05,2.861859e-05,2.858660e-05,2.858035e-05,2.854016e-05,2.853357e-05,2.849821e-05,2.847749e-05,2.845465e-05,2.841874e-05,2.840963e-05,2.836329e-05,2.835765e-05,2.831578e-05,2.829454e-05,2.826722e-05,2.822968e-05,2.821772e-05,2.816740e-05,2.816334e-05,2.811635e-05,2.809575e-05,2.806468e-05,2.802714e-05,2.801247e-05,2.795981e-05,2.795770e-05,2.790678e-05,2.788762e-05,2.785345e-05,2.781705e-05,2.779989e-05,2.774617e-05,2.767510e-05,2.760397e-05,2.753290e-05,2.746199e-05,2.739134e-05,2.732104e-05,2.725117e-05,2.718178e-05,2.711296e-05,2.704475e-05,2.697721e-05,2.691039e-05,2.684432e-05,2.677904e-05,2.671459e-05,2.665098e-05,2.658826e-05,2.652642e-05,2.646551e-05,2.640552e-05,2.634648e-05,2.628838e-05,2.623125e-05,2.617508e-05
0.000000e+00,2.871681e-11,1.480759e-10,1.698793e-09,8.564083e-09,1.796648e-08,8.904047e-08,9.433270e-08,3.390005e-07,4.630426e-07,9.621694e-07,1.660031e-06,2.324536e-06,4.705918e-06,4.983148e-06,9.709537e-06,1.125530e-05,1.746910e-05,2.354978e-05,2.937498e-05,4.423900e-05,4.663387e-05,7.049365e-05,7.616762e-05,1.021968e-04,1.221823e-04,1.429403e-04,1.849717e-04,1.938415e-04,2.559096e-04,2.669374e-04,3.300219e-04,3.700936e-04,4.169056e-04,4.959915e-04,5.171228e-04,6.310614e-04,6.456679e-04,7.589296e-04,8.196182e-04,9.007555e-04,1.017793e-03,1.056390e-03,1.225513e-03,1.239613e-03,1.407648e-03,1.484009e-03,1.602168e-03,1.749473e-03,1.808320e-03,2.025234e-03,2.034121e-03,2.251947e-03,2.335765e-03,2.487421e-03,2.651989e-03,2.730559e-03,2.980226e-03,3.235267e-03,3.317825e-03,3.494519e-03,3.662119e-03,3.756833e-03,4.010486e-03,4.021079e-03,4.286165e-03,4.360396e-03,4.551043e-03,4.709453e-03,4.814716e-03,5.055427e-03,5.076250e-03,5.334771e-03,5.396277e-03,5.589478e-03,5.730171e-03,5.839637e-03,6.055487e-03,6.084586e-03,6.323735e-03,6.370822e-03,6.556564e-03,6.674986e-03,6.782623e-03,6.966997e-03,7.001527e-03,7.212954e-03,7.246071e-03,7.416645e-03,7.511608e-03,7.612397e-03,7.763180e-03,7.800060e-03,7.979533e-03,8.000516e-03,8.150761e-03,8.223484e-03,8.313730e-03,8.432077e-03,8.468465e-03,8.615025e-03,8.626399e-03,8.753497e-03,8.806647e-03,8.883998e-03,8.973100e-03,9.006666e-03,9.121661e-03,9.126104e-03,9.229159e-03,9.266060e-03,9.329353e-03,9.393415e-03,9.422445e-03,9.508650e-03,9.588189e-03,9.612271e-03,9.661289e-03,9.704801e-03,9.728182e-03,9.786777e-03,9.789102e-03,9.844283e-03,9.858737e-03,9.893960e-03,9.921222e-03,9.938367e-03,9.974766e-03,9.977735e-03,1.001229e-02,1.001989e-02,1.004226e-02,1.005713e-02,1.006787e-02,1.008696e-02,1.008932e-02,1.010683e-02,1.010988e-02,1.012060e-02,1.012635e-02,1.013084e-02,1.013684e-02,1.013772e-02,1.014144e-02,1.014175e-02,1.014217e-02,1.014152e-02,1.014010e-02,1.013652e-02,1.013537e-02,1.012816e-02,1.012714e-02,1.011861e-02,1.011371e-02,1.010688e-02,1.009659e-02,1.009310e-02,1.007741e-02,1.007608e-02,1.005993e-02,1.005247e-02,1.004080e-02,1.002605e-02,1.002011e-02,9.997993e-03,9.997080e-03,9.974546e-03,9.965800e-03,9.949872e-03,9.932440e-03,9.924064e-03,9.897216e-03,9.860326e-03,9.821957e-03,9.782282e-03,9.741462e-03,9.699648e-03,9.656978e-03,9.613581e-03,9.569575e-03,9.525072e-03,9.480172e-03,9.434969e-03,9.389550e-03,9.343995e-03,9.298376e-03,9.252761e-03,9.207210e-03,9.161781e-03,9.116523e-03,9.071485e-03,9.026707e-03,8.982230e-03,8.938087e-03,8.894310e-03,8.850928e-03
0.000000e+00,1.853250e-11,9.061275e-11,9.306864e-10,4.239850e-09,8.411754e-09,3.606260e-08,3.798058e-08,1.180915e-07,1.550655e-07,2.918498e-07,4.650446e-07,6.186638e-07,1.120052e-06,1.175075e-06,2.050298e-06,2.317858e-06,3.332358e-06,4.254751e-06,5.089632e-06,7.058750e-06,7.358373e-06,1.014089e-05,1.075718e-05,1.341151e-05,1.529079e-05,1.712546e-05,2.054719e-05,2.122702e-05,2.565572e-05,2.639057e-05,3.035039e-05,3.268072e-05,3.525150e-05,3.928287e-05,4.030246e-05,4.545032e-05,4.607221e-05,5.064618e-05,5.293591e-05,5.584543e-05,5.977427e-05,6.100794e-05,6.609820e-05,6.650134e-05,7.108534e-05,7.304529e-05,7.594311e-05,7.934823e-05,8.064977e-05,8.518786e-05,8.536567e-05,8.954389e-05,9.106551e-05,9.370807e-05,9.642665e-05,9.767383e-05,1.014375e-04,1.049979e-04,1.060943e-04,1.083558e-04,1.103998e-04,1.115139e-04,1.143614e-04,1.144761e-04,1.172476e-04,1.179903e-04,1.198343e-04,1.213002e-04,1.222426e-04,1.243067e-04,1.244795e-04,1.265524e-04,1.270262e-04,1.284684e-04,1.294757e-04,1.302350e-04,1.316719e-04,1.318596e-04,1.333494e-04,1.336318e-04,1.347114e-04,1.353714e-04,1.359524e-04,1.369062e-04,1.370791e-04,1.380979e-04,1.382513e-04,1.390148e-04,1.394205e-04,1.398357e-04,1.404271e-04,1.405663e-04,1.412117e-04,1.412837e-04,1.417770e-04,1.420017e-04,1.422672e-04,1.425921e-04,1.426866e-04,1.430396e-04,1.430651e-04,1.433303e-04,1.434300e-04,1.435626e-04,1.436957e-04,1.437400e-04,1.438662e-04,1.438702e-04,1.439442e-04,1.439612e-04,1.439773e-04,1.439756e-04,1.439683e-04,1.439199e-04,1.438347e-04,1.438001e-04,1.437152e-04,1.436218e-04,1.435637e-04,1.433902e-04,1.433824e-04,1.431732e-04,1.431099e-04,1.429382e-04,1.427855e-04,1.426791e-04,1.424210e-04,1.423977e-04,1.420956e-04,1.420201e-04,1.417742e-04,1.415864e-04,1.414351e-04,1.411230e-04,1.410796e-04,1.407089e-04,1.406330e-04,1.403242e-04,1.401191e-04,1.399268e-04,1.395838e-04,1.395176e-04,1.390976e-04,1.390295e-04,1.386679e-04,1.384584e-04,1.382292e-04,1.378724e-04,1.377824e-04,1.373283e-04,1.372734e-04,1.368677e-04,1.366631e-04,1.364012e-04,1.360432e-04,1.359295e-04,1.354532e-04,1.354150e-04,1.349730e-04,1.347798e-04,1.344892e-04,1.341391e-04,1.340025e-04,1.335134e-04,1.334938e-04,1.330222e-04,1.328450e-04,1.325295e-04,1.321937e-04,1.320356e-04,1.315409e-04,1.308872e-04,1.302335e-04,1.295805e-04,1.289287e-04,1.282789e-04,1.276315e-04,1.269869e-04,1.263458e-04,1.257084e-04,1.250751e-04,1.244463e-04,1.238223e-04,1.232034e-04,1.225897e-04,1.219816e-04,1.213793e-04,1.207828e-04,1.201925e-04,1.196083e-04,1.190306e-04,1.184593e-04,1.178945e-04,1.173364e-04,1.167850e-04
0.000000e+00,9.774069e-12,2.246630e-11,7.789751e-11,1.789055e-10,2.626906e-10,6.091882e-10,6.281952e-10,1.252165e-09,1.485752e-09,2.228355e-09,3.021033e-09,3.643339e-09,5.359780e-09,5.527223e-09,7.848316e-09,8.464981e-09,1.055888e-08,1.223209e-08,1.362026e-08,1.658053e-08,1.700244e-08,2.067865e-08,2.144683e-08,2.462188e-08,2.676842e-08,2.880339e-08,3.247773e-08,3.319269e-08,3.775804e-08,3.850269e-08,4.246736e-08,4.476964e-08,4.728903e-08,5.120686e-08,5.219278e-08,5.715024e-08,5.774748e-08,6.213539e-08,6.433149e-08,6.712480e-08,7.090675e-08,7.209775e-08,7.703613e-08,7.742923e-08,8.192436e-08,8.386257e-08,8.674922e-08,9.017763e-08,9.149972e-08,9.616687e-08,9.635171e-08,1.007432e-07,1.023672e-07,1.052226e-07,1.082107e-07,1.096003e-07,1.138728e-07,1.180374e-07,1.193469e-07,1.220920e-07,1.246287e-07,1.260355e-07,1.297160e-07,1.298672e-07,1.335867e-07,1.346081e-07,1.371943e-07,1.393053e-07,1.406904e-07,1.438090e-07,1.440758e-07,1.473515e-07,1.481215e-07,1.505187e-07,1.522454e-07,1.535787e-07,1.561840e-07,1.565330e-07,1.593832e-07,1.599409e-07,1.621310e-07,1.635200e-07,1.647782e-07,1.669253e-07,1.673265e-07,1.697779e-07,1.701612e-07,1.721342e-07,1.732321e-07,1.743975e-07,1.761424e-07,1.765697e-07,1.786528e-07,1.788968e-07,1.806487e-07,1.814999e-07,1.825596e-07,1.839562e-07,1.843874e-07,1.861340e-07,1.862703e-07,1.878016e-07,1.884469e-07,1.893920e-07,1.904904e-07,1.909073e-07,1.923493e-07,1.924055e-07,1.937200e-07,1.941964e-07,1.950213e-07,1.958676e-07,1.962552e-07,1.974233e-07,1.985277e-07,1.988679e-07,1.995700e-07,2.002054e-07,2.005521e-07,2.014399e-07,2.014758e-07,2.023426e-07,2.025754e-07,2.031543e-07,2.036156e-07,2.039127e-07,2.045645e-07,2.046192e-07,2.052755e-07,2.054257e-07,2.058831e-07,2.062027e-07,2.064437e-07,2.068991e-07,2.069586e-07,2.074293e-07,2.075183e-07,2.078574e-07,2.080635e-07,2.082441e-07,2.085380e-07,2.085908e-07,2.088990e-07,2.089448e-07,2.091698e-07,2.092870e-07,2.094047e-07,2.095675e-07,2.096047e-07,2.097713e-07,2.097890e-07,2.099054e-07,2.099545e-07,2.100083e-07,2.100664e-07,2.100812e-07,2.101251e-07,2.101274e-07,2.101410e-07,2.101399e-07,2.101302e-07,2.101063e-07,2.100934e-07,2.100318e-07,2.100289e-07,2.099464e-07,2.099099e-07,2.098379e-07,2.097515e-07,2.097074e-07,2.095558e-07,2.093247e-07,2.090602e-07,2.087641e-07,2.084382e-07,2.080842e-07,2.077037e-07,2.072984e-07,2.068697e-07,2.064191e-07,2.059481e-07,2.054579e-07,2.049498e-07,2.044252e-07,2.038851e-07,2.033308e-07,2.027632e-07,2.021835e-07,2.015927e-07,2.009916e-07,2.003813e-07,1.997625e-07,1.991362e-07,1.985031e-07,1.978640e-07
0.000000e+00,1.068851e-11,2.465846e-11,8.566298e-11,1.964235e-10,2.878827e-10,6.626342e-10,6.830477e-10,1.346872e-09,1.592970e-09,2.370959e-09,3.200458e-09,3.854951e-09,5.684936e-09,5.865433e-09,8.395311e-09,9.074070e-09,1.139170e-08,1.325362e-08,1.480304e-08,1.811811e-08,1.859166e-08,2.272846e-08,2.359527e-08,2.718698e-08,2.962355e-08,3.193983e-08,3.613798e-08,3.695724e-08,4.220678e-08,4.306595e-08,4.765379e-08,5.032794e-08,5.326220e-08,5.784054e-08,5.899542e-08,6.481725e-08,6.552015e-08,7.069273e-08,7.328633e-08,7.658877e-08,8.106456e-08,8.247474e-08,8.832275e-08,8.878818e-08,9.410792e-08,9.639940e-08,9.980842e-08,1.038497e-07,1.054054e-07,1.108830e-07,1.110995e-07,1.162281e-07,1.181177e-07,1.214299e-07,1.248809e-07,1.264801e-07,1.313723e-07,1.361020e-07,1.375806e-07,1.406661e-07,1.434995e-07,1.450631e-07,1.491265e-07,1.492924e-07,1.533545e-07,1.544621e-07,1.572506e-07,1.595094e-07,1.609827e-07,1.642735e-07,1.645533e-07,1.679652e-07,1.687608e-07,1.712218e-07,1.729789e-07,1.743266e-07,1.769362e-07,1.772833e-07,1.800959e-07,1.806415e-07,1.827684e-07,1.841041e-07,1.853048e-07,1.873333e-07,1.877094e-07,1.899861e-07,1.903388e-07,1.921391e-07,1.931298e-07,1.941726e-07,1.957159e-07,1.960904e-07,1.978967e-07,1.981061e-07,1.995952e-07,2.003095e-07,2.011899e-07,2.023347e-07,2.026845e-07,2.040826e-07,2.041904e-07,2.053878e-07,2.058847e-07,2.066036e-07,2.074256e-07,2.077335e-07,2.087806e-07,2.088208e-07,2.097483e-07,2.100778e-07,2.106396e-07,2.112036e-07,2.114575e-07,2.122051e-07,2.128850e-07,2.130888e-07,2.135001e-07,2.138610e-07,2.140531e-07,2.145278e-07,2.145464e-07,2.149827e-07,2.150949e-07,2.153642e-07,2.155679e-07,2.156934e-07,2.159520e-07,2.159725e-07,2.162036e-07,2.162522e-07,2.163889e-07,2.164733e-07,2.165303e-07,2.166200e-07,2.166298e-07,2.166894e-07,2.166967e-07,2.167107e-07,2.167073e-07,2.166957e-07,2.166560e-07,2.166458e-07,2.165628e-07,2.165466e-07,2.164483e-07,2.163825e-07,2.163037e-07,2.161673e-07,2.161304e-07,2.159300e-07,2.159042e-07,2.157036e-07,2.155962e-07,2.154527e-07,2.152464e-07,2.151785e-07,2.148821e-07,2.148575e-07,2.145647e-07,2.144321e-07,2.142274e-07,2.139729e-07,2.138713e-07,2.134974e-07,2.134821e-07,2.131067e-07,2.129621e-07,2.127001e-07,2.124150e-07,2.122786e-07,2.118429e-07,2.112476e-07,2.106311e-07,2.099950e-07,2.093411e-07,2.086708e-07,2.079856e-07,2.072870e-07,2.065762e-07,2.058545e-07,2.051230e-07,2.043830e-07,2.036354e-07,2.028813e-07,2.021215e-07,2.013569e-07,2.005884e-07,1.998168e-07,1.990428e-07,1.982671e-07,1.974904e-07,1.967131e-07,1.959361e-07,1.951597e-07,1.943844e-07
0.000000e+00,2.255086e-12,5.179375e-12,1.792817e-11,4.108755e-11,6.023606e-11,1.389008e-10,1.431937e-10,2.830828e-10,3.350494e-10,4.996121e-10,6.756467e-10,8.151870e-10,1.209939e-09,1.249299e-09,1.808567e-09,1.960608e-09,2.483568e-09,2.905861e-09,3.257487e-09,4.007758e-09,4.114554e-09,5.042239e-09,5.235330e-09,6.030421e-09,6.565232e-09,7.070300e-09,7.977769e-09,8.153716e-09,9.272849e-09,9.454717e-09,1.042016e-08,1.097876e-08,1.158846e-08,1.253362e-08,1.277095e-08,1.396135e-08,1.410446e-08,1.515398e-08,1.567810e-08,1.634373e-08,1.724324e-08,1.752612e-08,1.869730e-08,1.879041e-08,1.985396e-08,2.031192e-08,2.099334e-08,2.180168e-08,2.211314e-08,2.321148e-08,2.325495e-08,2.428686e-08,2.466813e-08,2.533808e-08,2.603866e-08,2.636427e-08,2.736473e-08,2.833900e-08,2.864519e-08,2.928679e-08,2.987940e-08,3.020794e-08,3.106714e-08,3.110241e-08,3.197026e-08,3.220850e-08,3.281163e-08,3.330383e-08,3.362674e-08,3.435369e-08,3.441587e-08,3.517933e-08,3.535878e-08,3.591747e-08,3.631990e-08,3.663066e-08,3.723798e-08,3.731933e-08,3.798391e-08,3.811397e-08,3.862484e-08,3.894893e-08,3.924258e-08,3.974390e-08,3.983760e-08,4.041038e-08,4.050000e-08,4.096141e-08,4.121832e-08,4.149117e-08,4.189999e-08,4.200015e-08,4.248883e-08,4.254613e-08,4.295770e-08,4.315786e-08,4.340726e-08,4.373630e-08,4.383798e-08,4.425034e-08,4.428255e-08,4.464481e-08,4.479770e-08,4.502187e-08,4.528284e-08,4.538198e-08,4.572560e-08,4.573901e-08,4.605318e-08,4.616726e-08,4.636515e-08,4.656861e-08,4.666197e-08,4.694406e-08,4.721185e-08,4.729459e-08,4.746574e-08,4.762113e-08,4.770616e-08,4.792464e-08,4.793349e-08,4.814813e-08,4.820600e-08,4.835046e-08,4.846611e-08,4.854086e-08,4.870581e-08,4.871970e-08,4.888734e-08,4.892595e-08,4.904413e-08,4.912732e-08,4.919041e-08,4.931071e-08,4.932652e-08,4.945279e-08,4.947689e-08,4.956954e-08,4.962659e-08,4.967707e-08,4.976051e-08,4.977571e-08,4.986574e-08,4.987937e-08,4.994746e-08,4.998381e-08,5.002114e-08,5.007449e-08,5.008707e-08,5.014551e-08,5.015203e-08,5.019672e-08,5.021703e-08,5.024097e-08,5.027008e-08,5.027849e-08,5.030953e-08,5.031174e-08,5.033432e-08,5.034255e-08,5.035310e-08,5.036302e-08,5.036609e-08,5.037349e-08,5.037368e-08,5.037553e-08,5.037499e-08,5.037241e-08,5.036743e-08,5.036431e-08,5.035145e-08,5.032748e-08,5.029595e-08,5.025724e-08,5.021174e-08,5.015983e-08,5.010187e-08,5.003819e-08,4.996912e-08,4.989498e-08,4.981607e-08,4.973269e-08,4.964511e-08,4.955359e-08,4.945840e-08,4.935978e-08,4.925796e-08,4.915318e-08,4.904564e-08,4.893555e-08,4.882311e-08,4.870851e-08,4.859193e-08,4.847354e-08,4.835350e-08
0.000000e+00,2.602991e-11,1.232628e-10,1.185277e-09,5.086851e-09,9.767823e-09,3.848840e-08,4.039630e-08,1.154566e-07,1.481506e-07,2.630362e-07,3.996732e-07,5.154362e-07,8.711632e-07,9.087227e-07,1.482314e-06,1.651324e-06,2.276284e-06,2.830174e-06,3.323910e-06,4.468494e-06,4.640609e-06,6.215719e-06,6.558935e-06,8.013056e-06,9.018194e-06,9.979410e-06,1.171837e-05,1.205552e-05,1.418495e-05,1.452723e-05,1.631919e-05,1.733352e-05,1.841926e-05,2.005439e-05,2.045532e-05,2.240530e-05,2.263270e-05,2.425329e-05,2.503110e-05,2.598821e-05,2.722648e-05,2.760270e-05,2.909238e-05,2.920610e-05,3.045532e-05,3.096496e-05,3.169158e-05,3.250421e-05,3.280298e-05,3.379275e-05,3.382987e-05,3.466538e-05,3.495187e-05,3.542629e-05,3.588303e-05,3.608166e-05,3.663815e-05,3.710276e-05,3.723320e-05,3.748263e-05,3.768456e-05,3.778487e-05,3.800848e-05,3.801647e-05,3.818416e-05,3.822054e-05,3.829436e-05,3.833542e-05,3.835312e-05,3.836663e-05,3.836611e-05,3.833855e-05,3.832645e-05,3.827525e-05,3.822584e-05,3.818059e-05,3.807451e-05,3.805854e-05,3.791271e-05,3.788098e-05,3.774633e-05,3.765267e-05,3.756229e-05,3.739595e-05,3.736317e-05,3.715127e-05,3.711632e-05,3.692863e-05,3.681848e-05,3.669705e-05,3.650642e-05,3.645812e-05,3.621326e-05,3.618354e-05,3.596371e-05,3.585270e-05,3.571055e-05,3.551633e-05,3.545474e-05,3.519714e-05,3.517647e-05,3.493847e-05,3.483485e-05,3.467938e-05,3.449289e-05,3.442044e-05,3.416214e-05,3.415182e-05,3.390491e-05,3.381265e-05,3.364914e-05,3.347621e-05,3.339515e-05,3.314322e-05,3.289361e-05,3.281426e-05,3.264653e-05,3.248980e-05,3.240215e-05,3.217024e-05,3.216064e-05,3.192213e-05,3.185590e-05,3.168673e-05,3.154702e-05,3.145453e-05,3.124382e-05,3.122562e-05,3.100007e-05,3.094644e-05,3.077791e-05,3.065500e-05,3.055918e-05,3.036957e-05,3.034393e-05,3.013216e-05,3.009023e-05,2.992389e-05,2.981697e-05,2.971912e-05,2.954982e-05,2.951786e-05,2.932008e-05,2.928876e-05,2.912579e-05,2.903376e-05,2.893496e-05,2.878478e-05,2.874758e-05,2.856361e-05,2.854176e-05,2.838303e-05,2.830464e-05,2.820581e-05,2.807334e-05,2.803191e-05,2.786129e-05,2.784778e-05,2.769392e-05,2.762788e-05,2.752977e-05,2.741354e-05,2.736878e-05,2.721091e-05,2.720466e-05,2.705613e-05,2.700116e-05,2.690439e-05,2.680292e-05,2.675564e-05,2.660984e-05,2.642182e-05,2.623876e-05,2.606053e-05,2.588704e-05,2.571818e-05,2.555384e-05,2.539391e-05,2.523830e-05,2.508688e-05,2.493957e-05,2.479626e-05,2.465685e-05,2.452123e-05,2.438931e-05,2.426100e-05,2.413620e-05,2.401481e-05,2.389675e-05,2.378193e-05,2.367026e-05,2.356165e-05,2.345602e-05,2.335329e-05,2.325338e-05
0.000000e+00,1.086808e-11,5.588569e-11,6.372052e-10,3.191817e-09,6.669640e-09,3.265529e-08,3.457671e-08,1.223150e-07,1.662370e-07,3.406402e-07,5.803765e-07,8.057525e-07,1.599925e-06,1.691449e-06,3.235245e-06,3.735563e-06,5.733993e-06,7.677028e-06,9.531306e-06,1.424424e-05,1.500192e-05,2.253629e-05,2.432545e-05,3.252669e-05,3.881982e-05,4.535500e-05,5.858869e-05,6.138200e-05,8.093816e-05,8.441477e-05,1.043156e-04,1.169685e-04,1.317614e-04,1.567813e-04,1.634724e-04,1.995908e-04,2.042258e-04,2.402020e-04,2.595035e-04,2.853335e-04,3.226401e-04,3.349550e-04,3.889801e-04,3.934885e-04,4.472694e-04,4.717385e-04,5.096345e-04,5.569318e-04,5.758423e-04,6.456213e-04,6.484825e-04,7.186668e-04,7.456997e-04,7.946473e-04,8.478117e-04,8.732110e-04,9.539914e-04,1.036614e-03,1.063380e-03,1.120699e-03,1.175108e-03,1.205872e-03,1.288317e-03,1.291762e-03,1.378009e-03,1.402175e-03,1.464269e-03,1.515892e-03,1.550211e-03,1.628730e-03,1.635525e-03,1.719920e-03,1.740009e-03,1.803130e-03,1.849117e-03,1.884908e-03,1.955512e-03,1.965033e-03,2.043305e-03,2.058721e-03,2.119547e-03,2.158339e-03,2.193607e-03,2.254032e-03,2.265351e-03,2.334670e-03,2.345530e-03,2.401473e-03,2.432622e-03,2.465686e-03,2.515155e-03,2.527256e-03,2.586143e-03,2.593029e-03,2.642326e-03,2.666186e-03,2.695794e-03,2.734615e-03,2.746550e-03,2.794610e-03,2.798339e-03,2.839999e-03,2.857414e-03,2.882750e-03,2.911921e-03,2.922906e-03,2.960516e-03,2.961968e-03,2.995634e-03,3.007679e-03,3.028322e-03,3.049195e-03,3.058644e-03,3.086668e-03,3.112465e-03,3.120261e-03,3.136108e-03,3.150143e-03,3.157672e-03,3.176487e-03,3.177232e-03,3.194866e-03,3.199469e-03,3.210650e-03,3.219264e-03,3.224661e-03,3.236049e-03,3.236973e-03,3.247663e-03,3.249995e-03,3.256803e-03,3.261273e-03,3.264468e-03,3.270048e-03,3.270727e-03,3.275651e-03,3.276481e-03,3.279306e-03,3.280728e-03,3.281759e-03,3.282938e-03,3.283074e-03,3.283313e-03,3.283255e-03,3.282535e-03,3.281817e-03,3.280798e-03,3.278756e-03,3.278158e-03,3.274668e-03,3.274195e-03,3.270380e-03,3.268253e-03,3.265343e-03,3.261043e-03,3.259604e-03,3.253208e-03,3.252669e-03,3.246199e-03,3.243233e-03,3.238618e-03,3.232828e-03,3.230505e-03,3.221896e-03,3.221542e-03,3.212829e-03,3.209459e-03,3.203336e-03,3.196655e-03,3.193451e-03,3.183203e-03,3.169172e-03,3.154624e-03,3.139618e-03,3.124210e-03,3.108449e-03,3.092384e-03,3.076058e-03,3.059511e-03,3.042782e-03,3.025906e-03,3.008913e-03,2.991834e-03,2.974696e-03,2.957524e-03,2.940341e-03,2.923169e-03,2.906025e-03,2.888930e-03,2.871897e-03,2.854942e-03,2.838079e-03,2.821319e-03,2.804674e-03,2.788154e-03
0.000000e+00,4.032034e-10,1.019983e-09,3.899863e-09,9.367801e-09,1.399896e-08,3.369389e-08,3.479481e-08,7.189747e-08,8.621772e-08,1.331518e-07,1.855861e-07,2.284905e-07,3.548425e-07,3.677683e-07,5.555960e-07,6.074834e-07,7.861214e-07,9.285739e-07,1.044806e-06,1.283353e-06,1.316162e-06,1.588790e-06,1.642790e-06,1.855700e-06,1.990837e-06,2.112930e-06,2.319880e-06,2.358280e-06,2.590547e-06,2.626448e-06,2.809095e-06,2.909032e-06,3.013642e-06,3.167168e-06,3.204151e-06,3.380769e-06,3.401042e-06,3.543778e-06,3.611291e-06,3.693581e-06,3.798901e-06,3.830674e-06,3.955617e-06,3.965106e-06,4.069018e-06,4.111289e-06,4.171512e-06,4.238919e-06,4.263748e-06,4.346375e-06,4.349489e-06,4.420032e-06,4.444474e-06,4.485344e-06,4.525297e-06,4.542912e-06,4.593309e-06,4.637081e-06,4.649773e-06,4.674743e-06,4.695865e-06,4.706779e-06,4.732661e-06,4.733642e-06,4.755754e-06,4.761149e-06,4.773511e-06,4.782227e-06,4.787277e-06,4.796708e-06,4.797391e-06,4.804167e-06,4.805329e-06,4.807896e-06,4.808753e-06,4.808845e-06,4.807578e-06,4.807262e-06,4.803376e-06,4.802341e-06,4.797397e-06,4.793525e-06,4.789518e-06,4.781563e-06,4.779918e-06,4.768763e-06,4.766843e-06,4.756202e-06,4.749715e-06,4.742375e-06,4.730489e-06,4.727411e-06,4.711427e-06,4.709446e-06,4.694532e-06,4.686835e-06,4.676825e-06,4.662881e-06,4.658397e-06,4.639334e-06,4.637784e-06,4.619712e-06,4.611723e-06,4.599602e-06,4.584858e-06,4.579070e-06,4.558175e-06,4.557332e-06,4.536973e-06,4.529275e-06,4.515513e-06,4.500798e-06,4.493844e-06,4.472005e-06,4.450038e-06,4.442987e-06,4.427977e-06,4.413824e-06,4.405855e-06,4.384589e-06,4.383703e-06,4.361546e-06,4.355346e-06,4.339412e-06,4.326152e-06,4.317322e-06,4.297057e-06,4.295298e-06,4.273357e-06,4.268106e-06,4.251518e-06,4.239338e-06,4.229796e-06,4.210789e-06,4.208205e-06,4.186759e-06,4.182488e-06,4.165469e-06,4.154464e-06,4.144346e-06,4.126738e-06,4.123399e-06,4.102636e-06,4.099332e-06,4.082067e-06,4.072263e-06,4.061696e-06,4.045547e-06,4.041530e-06,4.021576e-06,4.019196e-06,4.001836e-06,3.993220e-06,3.982316e-06,3.967630e-06,3.963020e-06,3.943949e-06,3.942433e-06,3.925107e-06,3.917635e-06,3.906496e-06,3.893239e-06,3.888117e-06,3.869972e-06,3.869251e-06,3.852062e-06,3.845672e-06,3.834388e-06,3.822504e-06,3.816949e-06,3.799747e-06,3.777402e-06,3.755466e-06,3.733940e-06,3.712821e-06,3.692106e-06,3.671793e-06,3.651878e-06,3.632357e-06,3.613227e-06,3.594483e-06,3.576121e-06,3.558136e-06,3.540523e-06,3.523277e-06,3.506394e-06,3.489867e-06,3.473691e-06,3.457862e-06,3.442372e-06,3.427218e-06,3.412393e-06,3.397892e-06,3.383709e-06,3.369839e-06
0.000000e+00,8.380973e-12,1.919622e-11,6.596421e-11,1.499540e-10,2.187305e-10,4.967792e-10,5.117816e-10,9.933453e-10,1.169254e-09,1.718465e-09,2.296396e-09,2.750048e-09,4.025134e-09,4.152237e-09,5.969796e-09,6.468786e-09,8.200425e-09,9.611203e-09,1.078987e-08,1.330290e-08,1.365945e-08,1.673453e-08,1.736863e-08,1.995466e-08,2.167024e-08,2.327219e-08,2.610566e-08,2.664838e-08,3.005031e-08,3.059504e-08,3.344915e-08,3.507187e-08,3.681932e-08,3.947951e-08,4.013819e-08,4.338597e-08,4.377010e-08,4.654576e-08,4.790446e-08,4.960346e-08,5.185196e-08,5.254772e-08,5.536980e-08,5.559008e-08,5.806330e-08,5.910369e-08,6.062399e-08,6.238406e-08,6.304952e-08,6.533920e-08,6.542797e-08,6.749370e-08,6.823654e-08,6.951481e-08,7.081432e-08,7.140524e-08,7.316843e-08,7.480836e-08,7.530781e-08,7.632941e-08,7.724264e-08,7.773624e-08,7.898384e-08,7.903369e-08,8.022670e-08,8.054270e-08,8.132021e-08,8.193062e-08,8.231916e-08,8.315886e-08,8.322841e-08,8.405269e-08,8.423839e-08,8.479664e-08,8.517984e-08,8.546474e-08,8.599334e-08,8.606129e-08,8.659045e-08,8.668854e-08,8.705619e-08,8.727458e-08,8.746231e-08,8.776005e-08,8.781245e-08,8.811007e-08,8.815304e-08,8.835845e-08,8.846111e-08,8.856073e-08,8.869134e-08,8.871985e-08,8.883865e-08,8.885032e-08,8.891978e-08,8.894420e-08,8.896576e-08,8.897868e-08,8.897899e-08,8.896171e-08,8.895907e-08,8.891605e-08,8.889030e-08,8.884403e-08,8.877692e-08,8.874754e-08,8.862838e-08,8.862317e-08,8.848823e-08,8.843295e-08,8.832869e-08,8.820989e-08,8.815125e-08,8.795732e-08,8.774824e-08,8.767834e-08,8.752525e-08,8.737579e-08,8.728954e-08,8.705230e-08,8.704220e-08,8.678428e-08,8.671030e-08,8.651675e-08,8.635201e-08,8.624054e-08,8.597949e-08,8.595650e-08,8.566544e-08,8.559463e-08,8.536813e-08,8.519916e-08,8.506526e-08,8.479468e-08,8.475751e-08,8.444551e-08,8.438265e-08,8.412982e-08,8.396440e-08,8.381102e-08,8.354118e-08,8.348960e-08,8.316604e-08,8.311410e-08,8.284079e-08,8.268419e-08,8.251426e-08,8.225239e-08,8.218686e-08,8.185893e-08,8.181956e-08,8.153081e-08,8.138647e-08,8.120283e-08,8.095383e-08,8.087527e-08,8.054841e-08,8.052230e-08,8.022249e-08,8.009244e-08,7.989775e-08,7.966479e-08,7.957441e-08,7.925266e-08,7.923983e-08,7.893270e-08,7.881798e-08,7.861468e-08,7.839963e-08,7.829878e-08,7.798512e-08,7.757477e-08,7.716883e-08,7.676757e-08,7.637118e-08,7.597985e-08,7.559376e-08,7.521302e-08,7.483777e-08,7.446809e-08,7.410408e-08,7.374579e-08,7.339327e-08,7.304657e-08,7.270571e-08,7.237070e-08,7.204154e-08,7.171824e-08,7.140076e-08,7.108910e-08,7.078322e-08,7.048308e-08,7.018865e-08,6.989988e-08,6.961671e-08
0.000000e+00,2.497662e-11,1.049078e-10,8.039548e-10,2.875639e-09,5.043778e-09,1.618603e-08,1.686095e-08,4.082628e-08,5.035518e-08,8.168967e-08,1.163926e-07,1.444772e-07,2.263024e-07,2.346638e-07,3.582439e-07,3.935735e-07,5.215262e-07,6.325642e-07,7.304339e-07,9.554555e-07,9.892140e-07,1.298955e-06,1.366838e-06,1.656872e-06,1.860134e-06,2.057016e-06,2.420306e-06,2.491907e-06,2.954045e-06,3.030054e-06,3.436750e-06,3.674060e-06,3.934384e-06,4.340051e-06,4.442240e-06,4.956344e-06,5.018290e-06,5.473288e-06,5.700864e-06,5.990099e-06,6.381168e-06,6.504166e-06,7.013196e-06,7.053638e-06,7.515184e-06,7.713611e-06,8.008401e-06,8.357251e-06,8.491377e-06,8.962886e-06,8.981493e-06,9.421931e-06,9.583979e-06,9.867727e-06,1.016299e-05,1.029968e-05,1.071736e-05,1.112050e-05,1.124640e-05,1.150894e-05,1.174982e-05,1.188266e-05,1.222764e-05,1.224173e-05,1.258628e-05,1.268018e-05,1.291652e-05,1.310792e-05,1.323274e-05,1.351152e-05,1.353522e-05,1.382431e-05,1.389174e-05,1.410039e-05,1.424944e-05,1.436382e-05,1.458552e-05,1.461503e-05,1.485440e-05,1.490090e-05,1.508236e-05,1.519651e-05,1.529929e-05,1.547329e-05,1.550560e-05,1.570169e-05,1.573214e-05,1.588795e-05,1.597397e-05,1.606476e-05,1.619965e-05,1.623249e-05,1.639150e-05,1.641001e-05,1.654214e-05,1.660586e-05,1.668475e-05,1.678797e-05,1.681966e-05,1.694719e-05,1.695709e-05,1.706765e-05,1.711393e-05,1.718134e-05,1.725915e-05,1.728853e-05,1.738950e-05,1.739342e-05,1.748452e-05,1.751732e-05,1.757385e-05,1.763146e-05,1.765772e-05,1.773637e-05,1.781002e-05,1.783257e-05,1.787890e-05,1.792057e-05,1.794321e-05,1.800083e-05,1.800314e-05,1.805890e-05,1.807378e-05,1.811065e-05,1.813986e-05,1.815859e-05,1.819946e-05,1.820287e-05,1.824366e-05,1.825295e-05,1.828112e-05,1.830069e-05,1.831538e-05,1.834301e-05,1.834660e-05,1.837490e-05,1.838022e-05,1.840042e-05,1.841264e-05,1.842329e-05,1.844054e-05,1.844362e-05,1.846153e-05,1.846418e-05,1.847713e-05,1.848382e-05,1.849052e-05,1.849971e-05,1.850180e-05,1.851108e-05,1.851206e-05,1.851843e-05,1.852109e-05,1.852396e-05,1.852699e-05,1.852775e-05,1.852987e-05,1.852997e-05,1.853041e-05,1.853020e-05,1.852944e-05,1.852784e-05,1.852703e-05,1.852325e-05,1.852307e-05,1.851817e-05,1.851603e-05,1.851185e-05,1.850687e-05,1.850434e-05,1.849572e-05,1.848270e-05,1.846795e-05,1.845158e-05,1.843369e-05,1.841438e-05,1.839376e-05,1.837192e-05,1.834893e-05,1.832489e-05,1.829987e-05,1.827395e-05,1.824719e-05,1.821966e-05,1.819142e-05,1.816253e-05,1.813304e-05,1.810301e-05,1.807249e-05,1.804153e-05,1.801016e-05,1.797844e-05,1.794639e-05,1.791406e-05,1.788149e-05
0.000000e+00,2.723166e-12,1.343051e-11,1.403528e-10,6.488034e-10,1.296728e-09,5.649411e-09,5.953119e-09,1.869469e-08,2.458308e-08,4.630497e-08,7.360058e-08,9.760563e-08,1.748180e-07,1.832053e-07,3.152485e-07,3.553181e-07,5.071564e-07,6.460907e-07,7.732457e-07,1.080303e-06,1.128024e-06,1.585015e-06,1.689710e-06,2.155238e-06,2.499045e-06,2.845792e-06,3.520713e-06,3.659030e-06,4.592536e-06,4.752670e-06,5.639750e-06,6.180039e-06,6.790948e-06,7.778871e-06,8.034300e-06,9.356809e-06,9.520192e-06,1.074506e-05,1.137328e-05,1.218576e-05,1.330787e-05,1.366611e-05,1.517406e-05,1.529555e-05,1.669843e-05,1.731046e-05,1.822901e-05,1.932964e-05,1.975656e-05,2.127289e-05,2.133320e-05,2.277076e-05,2.330424e-05,2.424393e-05,2.522882e-05,2.568707e-05,2.709572e-05,2.846626e-05,2.889629e-05,2.979580e-05,3.062415e-05,3.108215e-05,3.227496e-05,3.232375e-05,3.351955e-05,3.384609e-05,3.466901e-05,3.533637e-05,3.577199e-05,3.674585e-05,3.682870e-05,3.783964e-05,3.807554e-05,3.880557e-05,3.932717e-05,3.972742e-05,4.050307e-05,4.060631e-05,4.144344e-05,4.160597e-05,4.224013e-05,4.263887e-05,4.299773e-05,4.360495e-05,4.371767e-05,4.440135e-05,4.450747e-05,4.505021e-05,4.534971e-05,4.566566e-05,4.613492e-05,4.624912e-05,4.680195e-05,4.686629e-05,4.732549e-05,4.754690e-05,4.782103e-05,4.817970e-05,4.828984e-05,4.873312e-05,4.876751e-05,4.915204e-05,4.931304e-05,4.954771e-05,4.981882e-05,4.992123e-05,5.027360e-05,5.028727e-05,5.060581e-05,5.072066e-05,5.091881e-05,5.112112e-05,5.121347e-05,5.149067e-05,5.175121e-05,5.183119e-05,5.199586e-05,5.214445e-05,5.222537e-05,5.243211e-05,5.244044e-05,5.264174e-05,5.269572e-05,5.282989e-05,5.293673e-05,5.300551e-05,5.315651e-05,5.316918e-05,5.332143e-05,5.335634e-05,5.346280e-05,5.353740e-05,5.359378e-05,5.370082e-05,5.371484e-05,5.382643e-05,5.384765e-05,5.392898e-05,5.397887e-05,5.402290e-05,5.409540e-05,5.410856e-05,5.418635e-05,5.419809e-05,5.425662e-05,5.428777e-05,5.431969e-05,5.436518e-05,5.437589e-05,5.442552e-05,5.443105e-05,5.446888e-05,5.448604e-05,5.450623e-05,5.453077e-05,5.453785e-05,5.456399e-05,5.456585e-05,5.458488e-05,5.459182e-05,5.460076e-05,5.460920e-05,5.461184e-05,5.461833e-05,5.461850e-05,5.462044e-05,5.462016e-05,5.461835e-05,5.461463e-05,5.461225e-05,5.460231e-05,5.458360e-05,5.455887e-05,5.452844e-05,5.449266e-05,5.445183e-05,5.440624e-05,5.435617e-05,5.430187e-05,5.424360e-05,5.418159e-05,5.411606e-05,5.404722e-05,5.397526e-05,5.390038e-05,5.382276e-05,5.374257e-05,5.365997e-05,5.357511e-05,5.348814e-05,5.339920e-05,5.330843e-05,5.321594e-05,5.312185e-05,5.302629e-05
0.000000e+00,1.695893e-10,5.266361e-10,2.556481e-09,6.927572e-09,1.085311e-08,2.855785e-08,2.957830e-08,6.506607e-08,7.917434e-08,1.263713e-07,1.799588e-07,2.238238e-07,3.501280e-07,3.627205e-07,5.393090e-07,5.864690e-07,7.463073e-07,8.733158e-07,9.780923e-07,1.199743e-06,1.231149e-06,1.503126e-06,1.559623e-06,1.792141e-06,1.948576e-06,2.096427e-06,2.362529e-06,2.414206e-06,2.743655e-06,2.797326e-06,3.082933e-06,3.248742e-06,3.430223e-06,3.712642e-06,3.783771e-06,4.141924e-06,4.185138e-06,4.503157e-06,4.662713e-06,4.866087e-06,5.142284e-06,5.229479e-06,5.592235e-06,5.621199e-06,5.953409e-06,6.097248e-06,6.312181e-06,6.568610e-06,6.667847e-06,7.019816e-06,7.033811e-06,7.367589e-06,7.491677e-06,7.710747e-06,7.941281e-06,8.048947e-06,8.381902e-06,8.709383e-06,8.812989e-06,9.031203e-06,9.234127e-06,9.347214e-06,9.645013e-06,9.657301e-06,9.961378e-06,1.004543e-05,1.025938e-05,1.043525e-05,1.055127e-05,1.081439e-05,1.083702e-05,1.111662e-05,1.118281e-05,1.139007e-05,1.154052e-05,1.165738e-05,1.188757e-05,1.191859e-05,1.217372e-05,1.222402e-05,1.242281e-05,1.254997e-05,1.266591e-05,1.286553e-05,1.290308e-05,1.313436e-05,1.317082e-05,1.335982e-05,1.346599e-05,1.357953e-05,1.375120e-05,1.379355e-05,1.400196e-05,1.402660e-05,1.420483e-05,1.429236e-05,1.440224e-05,1.454866e-05,1.459426e-05,1.478098e-05,1.479569e-05,1.496248e-05,1.503363e-05,1.513883e-05,1.526267e-05,1.531013e-05,1.547645e-05,1.548300e-05,1.563788e-05,1.569482e-05,1.579451e-05,1.589832e-05,1.594643e-05,1.609370e-05,1.623643e-05,1.628116e-05,1.637470e-05,1.646089e-05,1.650859e-05,1.663308e-05,1.663818e-05,1.676357e-05,1.679793e-05,1.688483e-05,1.695564e-05,1.700204e-05,1.710638e-05,1.711530e-05,1.722468e-05,1.725036e-05,1.733026e-05,1.738776e-05,1.743212e-05,1.751875e-05,1.753035e-05,1.762502e-05,1.764353e-05,1.771620e-05,1.776227e-05,1.780399e-05,1.787515e-05,1.788844e-05,1.796964e-05,1.798234e-05,1.804766e-05,1.808401e-05,1.812258e-05,1.818032e-05,1.819446e-05,1.826338e-05,1.827145e-05,1.832940e-05,1.835755e-05,1.839260e-05,1.843879e-05,1.845305e-05,1.851080e-05,1.851530e-05,1.856593e-05,1.858726e-05,1.861849e-05,1.865479e-05,1.866857e-05,1.871620e-05,1.871806e-05,1.876147e-05,1.877719e-05,1.880442e-05,1.883233e-05,1.884512e-05,1.888362e-05,1.893118e-05,1.897514e-05,1.901563e-05,1.905277e-05,1.908668e-05,1.911747e-05,1.914527e-05,1.917017e-05,1.919229e-05,1.921173e-05,1.922859e-05,1.924297e-05,1.925496e-05,1.926467e-05,1.927217e-05,1.927757e-05,1.928094e-05,1.928236e-05,1.928193e-05,1.927971e-05,1.927578e-05,1.927021e-05,1.926309e-05,1.925447e-05
0.000000e+00,1.408359e-11,6.435018e-11,5.769682e-10,2.334566e-09,4.348727e-09,1.594027e-08,1.668434e-08,4.476419e-08,5.653393e-08,9.664896e-08,1.427170e-07,1.808094e-07,2.942957e-07,3.060383e-07,4.814383e-07,5.320199e-07,7.160875e-07,8.764359e-07,1.017939e-06,1.343109e-06,1.391821e-06,1.837338e-06,1.934577e-06,2.348175e-06,2.636124e-06,2.913439e-06,3.420797e-06,3.520097e-06,4.155174e-06,4.258623e-06,4.807061e-06,5.122988e-06,5.465944e-06,5.992601e-06,6.123736e-06,6.773835e-06,6.851062e-06,7.410844e-06,7.685814e-06,8.030358e-06,8.487264e-06,8.628808e-06,9.203360e-06,9.248222e-06,9.751832e-06,9.963543e-06,1.027263e-05,1.062986e-05,1.076470e-05,1.122746e-05,1.124536e-05,1.166073e-05,1.180951e-05,1.206469e-05,1.232288e-05,1.243982e-05,1.278683e-05,1.310662e-05,1.320338e-05,1.340024e-05,1.357495e-05,1.366884e-05,1.390427e-05,1.391362e-05,1.413583e-05,1.419418e-05,1.433675e-05,1.444760e-05,1.451762e-05,1.466738e-05,1.467968e-05,1.482414e-05,1.485632e-05,1.495215e-05,1.501707e-05,1.506483e-05,1.515214e-05,1.516323e-05,1.524837e-05,1.526389e-05,1.532118e-05,1.535448e-05,1.538258e-05,1.542593e-05,1.543339e-05,1.547440e-05,1.548010e-05,1.550636e-05,1.551869e-05,1.552995e-05,1.554323e-05,1.554582e-05,1.555455e-05,1.555515e-05,1.555672e-05,1.555573e-05,1.555284e-05,1.554614e-05,1.554339e-05,1.552881e-05,1.552744e-05,1.550953e-05,1.550059e-05,1.548593e-05,1.546647e-05,1.545837e-05,1.542718e-05,1.542586e-05,1.539267e-05,1.537949e-05,1.535512e-05,1.532799e-05,1.531481e-05,1.527197e-05,1.522685e-05,1.521196e-05,1.517964e-05,1.514843e-05,1.513055e-05,1.508183e-05,1.507976e-05,1.502744e-05,1.501254e-05,1.497375e-05,1.494094e-05,1.491884e-05,1.486735e-05,1.486283e-05,1.480586e-05,1.479206e-05,1.474805e-05,1.471534e-05,1.468949e-05,1.463744e-05,1.463031e-05,1.457057e-05,1.455857e-05,1.451039e-05,1.447894e-05,1.444983e-05,1.439872e-05,1.438896e-05,1.432787e-05,1.431808e-05,1.426662e-05,1.423717e-05,1.420526e-05,1.415613e-05,1.414385e-05,1.408244e-05,1.407507e-05,1.402108e-05,1.399412e-05,1.395982e-05,1.391335e-05,1.389870e-05,1.383775e-05,1.383288e-05,1.377701e-05,1.375277e-05,1.371650e-05,1.367311e-05,1.365627e-05,1.359634e-05,1.359395e-05,1.353674e-05,1.351536e-05,1.347748e-05,1.343739e-05,1.341859e-05,1.336009e-05,1.328350e-05,1.320765e-05,1.313258e-05,1.305833e-05,1.298491e-05,1.291234e-05,1.284066e-05,1.276987e-05,1.269998e-05,1.263102e-05,1.256298e-05,1.249589e-05,1.242973e-05,1.236452e-05,1.230026e-05,1.223695e-05,1.217458e-05,1.211317e-05,1.205270e-05,1.199318e-05,1.193459e-05,1.187694e-05,1.182021e-05,1.176441e-05
0.000000e+00,2.410278e-11,5.622099e-11,1.969037e-10,4.514727e-10,6.605490e-10,1.507505e-09,1.553234e-09,3.021192e-09,3.557220e-09,5.228979e-09,6.982750e-09,8.352801e-09,1.215475e-08,1.252897e-08,1.778209e-08,1.919563e-08,2.403556e-08,2.793578e-08,3.118701e-08,3.815369e-08,3.914963e-08,4.785393e-08,4.967836e-08,5.723880e-08,6.236806e-08,6.724419e-08,7.608214e-08,7.780687e-08,8.885872e-08,9.066759e-08,1.003266e-07,1.059565e-07,1.121334e-07,1.217689e-07,1.241988e-07,1.364420e-07,1.379192e-07,1.487823e-07,1.542226e-07,1.611417e-07,1.705016e-07,1.734458e-07,1.856252e-07,1.865922e-07,1.976163e-07,2.023469e-07,2.093619e-07,2.176384e-07,2.208121e-07,2.319237e-07,2.323606e-07,2.426607e-07,2.464285e-07,2.529940e-07,2.597780e-07,2.629005e-07,2.723635e-07,2.813714e-07,2.841566e-07,2.899175e-07,2.951436e-07,2.979997e-07,3.053233e-07,3.056192e-07,3.127807e-07,3.147048e-07,3.194914e-07,3.233053e-07,3.257608e-07,3.311486e-07,3.316003e-07,3.370224e-07,3.382632e-07,3.420411e-07,3.446807e-07,3.466708e-07,3.504353e-07,3.509268e-07,3.548246e-07,3.555625e-07,3.583797e-07,3.600981e-07,3.616077e-07,3.640777e-07,3.645240e-07,3.671438e-07,3.675365e-07,3.694820e-07,3.705085e-07,3.715530e-07,3.730269e-07,3.733709e-07,3.749493e-07,3.751232e-07,3.763012e-07,3.768276e-07,3.774393e-07,3.781687e-07,3.783757e-07,3.791219e-07,3.791737e-07,3.796890e-07,3.798680e-07,3.800875e-07,3.802757e-07,3.803275e-07,3.804186e-07,3.804193e-07,3.803699e-07,3.803198e-07,3.801900e-07,3.799970e-07,3.798872e-07,3.794692e-07,3.789436e-07,3.787538e-07,3.783172e-07,3.778666e-07,3.775968e-07,3.768226e-07,3.767887e-07,3.758987e-07,3.756356e-07,3.749325e-07,3.743185e-07,3.738955e-07,3.728833e-07,3.727928e-07,3.716289e-07,3.713410e-07,3.704086e-07,3.697021e-07,3.691360e-07,3.679760e-07,3.678151e-07,3.664498e-07,3.661717e-07,3.650436e-07,3.642974e-07,3.635999e-07,3.623606e-07,3.621219e-07,3.606127e-07,3.603685e-07,3.590750e-07,3.583276e-07,3.575115e-07,3.562439e-07,3.559248e-07,3.543172e-07,3.541230e-07,3.526910e-07,3.519702e-07,3.510483e-07,3.497901e-07,3.493911e-07,3.477213e-07,3.475872e-07,3.460405e-07,3.453656e-07,3.443506e-07,3.431290e-07,3.426530e-07,3.409492e-07,3.408809e-07,3.392405e-07,3.386245e-07,3.375284e-07,3.363628e-07,3.358140e-07,3.340984e-07,3.318338e-07,3.295714e-07,3.273132e-07,3.250611e-07,3.228170e-07,3.205823e-07,3.183587e-07,3.161473e-07,3.139495e-07,3.117663e-07,3.095988e-07,3.074478e-07,3.053141e-07,3.031986e-07,3.011018e-07,2.990243e-07,2.969666e-07,2.949292e-07,2.929125e-07,2.909169e-07,2.889425e-07,2.869897e-07,2.850586e-07,2.831495e-07
0.000000e+00,5.099147e-11,2.633184e-10,3.028092e-09,1.528062e-08,3.205331e-08,1.583413e-07,1.677127e-07,5.973329e-07,8.129867e-07,1.670394e-06,2.849567e-06,3.957951e-06,7.864188e-06,8.314697e-06,1.593680e-05,1.841870e-05,2.839707e-05,3.819788e-05,4.763660e-05,7.195963e-05,7.590997e-05,1.157001e-04,1.252690e-04,1.696214e-04,2.041259e-04,2.403239e-04,3.145862e-04,3.304052e-04,4.423316e-04,4.624219e-04,5.783709e-04,6.528366e-04,7.405356e-04,8.902390e-04,9.305374e-04,1.149752e-03,1.178072e-03,1.399192e-03,1.518700e-03,1.679498e-03,1.913345e-03,1.990925e-03,2.333352e-03,2.362073e-03,2.706290e-03,2.863833e-03,3.108904e-03,3.416522e-03,3.540034e-03,3.998229e-03,4.017096e-03,4.481775e-03,4.661691e-03,4.988736e-03,5.345769e-03,5.516992e-03,6.064270e-03,6.628193e-03,6.811764e-03,7.206305e-03,7.582593e-03,7.796114e-03,8.371013e-03,8.395119e-03,9.000842e-03,9.171316e-03,9.610853e-03,9.977934e-03,1.022279e-02,1.078553e-02,1.083440e-02,1.144350e-02,1.158909e-02,1.204807e-02,1.238394e-02,1.264620e-02,1.316582e-02,1.323612e-02,1.381621e-02,1.393091e-02,1.438499e-02,1.467583e-02,1.494113e-02,1.539765e-02,1.548345e-02,1.601092e-02,1.609387e-02,1.652263e-02,1.676244e-02,1.701784e-02,1.740169e-02,1.749591e-02,1.795632e-02,1.801036e-02,1.839868e-02,1.858753e-02,1.882272e-02,1.913260e-02,1.922823e-02,1.961514e-02,1.964529e-02,1.998344e-02,2.012556e-02,2.033319e-02,2.057360e-02,2.066453e-02,2.097767e-02,2.098982e-02,2.127287e-02,2.137481e-02,2.155043e-02,2.172927e-02,2.181070e-02,2.205407e-02,2.228096e-02,2.235015e-02,2.249180e-02,2.261854e-02,2.268707e-02,2.286033e-02,2.286725e-02,2.303283e-02,2.307664e-02,2.318431e-02,2.326865e-02,2.332222e-02,2.343753e-02,2.344705e-02,2.355932e-02,2.358446e-02,2.365955e-02,2.371061e-02,2.374824e-02,2.381715e-02,2.382590e-02,2.389301e-02,2.390521e-02,2.395007e-02,2.397592e-02,2.399755e-02,2.403037e-02,2.403591e-02,2.406561e-02,2.406958e-02,2.408708e-02,2.409459e-02,2.410076e-02,2.410636e-02,2.410705e-02,2.410636e-02,2.410583e-02,2.409907e-02,2.409388e-02,2.408557e-02,2.407136e-02,2.406619e-02,2.404129e-02,2.403907e-02,2.401121e-02,2.399779e-02,2.397625e-02,2.394824e-02,2.393673e-02,2.389293e-02,2.389109e-02,2.384513e-02,2.382699e-02,2.379359e-02,2.375655e-02,2.373858e-02,2.368033e-02,2.359888e-02,2.351269e-02,2.342223e-02,2.332793e-02,2.323022e-02,2.312947e-02,2.302604e-02,2.292025e-02,2.281242e-02,2.270282e-02,2.259174e-02,2.247941e-02,2.236606e-02,2.225190e-02,2.213713e-02,2.202192e-02,2.190645e-02,2.179086e-02,2.167529e-02,2.155988e-02,2.144475e-02,2.132999e-02,2.121572e-02,2.110201e-02
0.000000e+00,1.086133e-10,3.962478e-10,2.394808e-09,7.270898e-09,1.185323e-08,3.283723e-08,3.403845e-08,7.454232e-08,8.996268e-08,1.393173e-07,1.925232e-07,2.348628e-07,3.554287e-07,3.675260e-07,5.411607e-07,5.889277e-07,7.548406e-07,8.903286e-07,1.003944e-06,1.248173e-06,1.283096e-06,1.587644e-06,1.651247e-06,1.913658e-06,2.090475e-06,2.257562e-06,2.557729e-06,2.615888e-06,2.985185e-06,3.045062e-06,3.362030e-06,3.544610e-06,3.743082e-06,4.048810e-06,4.125164e-06,4.505325e-06,4.550686e-06,4.880900e-06,5.044084e-06,5.249543e-06,5.523826e-06,5.609244e-06,5.958334e-06,5.985760e-06,6.295468e-06,6.426731e-06,6.619606e-06,6.844501e-06,6.929987e-06,7.226096e-06,7.237639e-06,7.507629e-06,7.605385e-06,7.774467e-06,7.947534e-06,8.026642e-06,8.264309e-06,8.487728e-06,8.556266e-06,8.697234e-06,8.824198e-06,8.893224e-06,9.069068e-06,9.076139e-06,9.246453e-06,9.291949e-06,9.404658e-06,9.493980e-06,9.551261e-06,9.676327e-06,9.686772e-06,9.811698e-06,9.840162e-06,9.926545e-06,9.986640e-06,1.003180e-05,1.011689e-05,1.012796e-05,1.021548e-05,1.023199e-05,1.029482e-05,1.033298e-05,1.036641e-05,1.042087e-05,1.043068e-05,1.048803e-05,1.049659e-05,1.053885e-05,1.056103e-05,1.058350e-05,1.061503e-05,1.062235e-05,1.065573e-05,1.065938e-05,1.068395e-05,1.069482e-05,1.070733e-05,1.072204e-05,1.072616e-05,1.074071e-05,1.074170e-05,1.075125e-05,1.075440e-05,1.075802e-05,1.076070e-05,1.076126e-05,1.076120e-05,1.076114e-05,1.075805e-05,1.075620e-05,1.075201e-05,1.074635e-05,1.074327e-05,1.073201e-05,1.071840e-05,1.071357e-05,1.070260e-05,1.069142e-05,1.068477e-05,1.066588e-05,1.066506e-05,1.064359e-05,1.063728e-05,1.062050e-05,1.060591e-05,1.059591e-05,1.057205e-05,1.056993e-05,1.054267e-05,1.053595e-05,1.051425e-05,1.049785e-05,1.048474e-05,1.045796e-05,1.045425e-05,1.042286e-05,1.041649e-05,1.039066e-05,1.037361e-05,1.035771e-05,1.032952e-05,1.032410e-05,1.028988e-05,1.028436e-05,1.025513e-05,1.023828e-05,1.021990e-05,1.019142e-05,1.018426e-05,1.014824e-05,1.014390e-05,1.011192e-05,1.009585e-05,1.007532e-05,1.004736e-05,1.003850e-05,1.000150e-05,9.998535e-06,9.964358e-06,9.949469e-06,9.927109e-06,9.900243e-06,9.889788e-06,9.852427e-06,9.850932e-06,9.815057e-06,9.801607e-06,9.777706e-06,9.752332e-06,9.740401e-06,9.703166e-06,9.654162e-06,9.605370e-06,9.556833e-06,9.508593e-06,9.460686e-06,9.413145e-06,9.366002e-06,9.319282e-06,9.273009e-06,9.227207e-06,9.181893e-06,9.137086e-06,9.092799e-06,9.049047e-06,9.005840e-06,8.963189e-06,8.921101e-06,8.879583e-06,8.838642e-06,8.798281e-06,8.758503e-06,8.719311e-06,8.680708e-06,8.642692e-06
0.000000e+00,9.090270e-12,4.643462e-11,5.217646e-10,2.575663e-09,5.335602e-09,2.547419e-08,2.694286e-08,9.247493e-08,1.245239e-07,2.487412e-07,4.141344e-07,5.657173e-07,1.080444e-06,1.138331e-06,2.086642e-06,2.385657e-06,3.554566e-06,4.664346e-06,5.707181e-06,8.312040e-06,8.726418e-06,1.280473e-05,1.376468e-05,1.813663e-05,2.146714e-05,2.490858e-05,3.183365e-05,3.328871e-05,4.341754e-05,4.520803e-05,5.540082e-05,6.183256e-05,6.930491e-05,8.182923e-05,8.515459e-05,1.029329e-04,1.051936e-04,1.225831e-04,1.317993e-04,1.440117e-04,1.614103e-04,1.670927e-04,1.916724e-04,1.936984e-04,2.175749e-04,2.282635e-04,2.446073e-04,2.646558e-04,2.725651e-04,3.012375e-04,3.023963e-04,3.304120e-04,3.409972e-04,3.598788e-04,3.799791e-04,3.894346e-04,4.188857e-04,4.480507e-04,4.572953e-04,4.767625e-04,4.948297e-04,5.048699e-04,5.311592e-04,5.322382e-04,5.587501e-04,5.660060e-04,5.843057e-04,5.991447e-04,6.088217e-04,6.304008e-04,6.322316e-04,6.544841e-04,6.596482e-04,6.755428e-04,6.868050e-04,6.953845e-04,7.118295e-04,7.139983e-04,7.313842e-04,7.347147e-04,7.475520e-04,7.554835e-04,7.625197e-04,7.741835e-04,7.763127e-04,7.889622e-04,7.908824e-04,8.005047e-04,8.056635e-04,8.109802e-04,8.186215e-04,8.204321e-04,8.289058e-04,8.298592e-04,8.364484e-04,8.394844e-04,8.431076e-04,8.476073e-04,8.489314e-04,8.539677e-04,8.543380e-04,8.582638e-04,8.597853e-04,8.618658e-04,8.640548e-04,8.648188e-04,8.671664e-04,8.672483e-04,8.689504e-04,8.694626e-04,8.702112e-04,8.707893e-04,8.709870e-04,8.713144e-04,8.712279e-04,8.711182e-04,8.707602e-04,8.702751e-04,8.699420e-04,8.688538e-04,8.688023e-04,8.673683e-04,8.669176e-04,8.656654e-04,8.645244e-04,8.637172e-04,8.617273e-04,8.615459e-04,8.591721e-04,8.585744e-04,8.566150e-04,8.551096e-04,8.538923e-04,8.513724e-04,8.510205e-04,8.480149e-04,8.473990e-04,8.448897e-04,8.432217e-04,8.416579e-04,8.388698e-04,8.383317e-04,8.349223e-04,8.343698e-04,8.314400e-04,8.297454e-04,8.278942e-04,8.250178e-04,8.242938e-04,8.206468e-04,8.202063e-04,8.169606e-04,8.153281e-04,8.132421e-04,8.103984e-04,8.094976e-04,8.057330e-04,8.054311e-04,8.019534e-04,8.004385e-04,7.981638e-04,7.954317e-04,7.943688e-04,7.905724e-04,7.904206e-04,7.867784e-04,7.854138e-04,7.829903e-04,7.804194e-04,7.792113e-04,7.754442e-04,7.704945e-04,7.655758e-04,7.606930e-04,7.558504e-04,7.510518e-04,7.463006e-04,7.415997e-04,7.369517e-04,7.323589e-04,7.278232e-04,7.233461e-04,7.189292e-04,7.145735e-04,7.102800e-04,7.060494e-04,7.018824e-04,6.977793e-04,6.937405e-04,6.897662e-04,6.858563e-04,6.820109e-04,6.782298e-04,6.745128e-04,6.708596e-04
0.000000e+00,6.073288e-11,1.452629e-10,5.227403e-10,1.214647e-09,1.786484e-09,4.117974e-09,4.244293e-09,8.312237e-09,9.801945e-09,1.445787e-08,1.935912e-08,2.320501e-08,3.400140e-08,3.507639e-08,5.042779e-08,5.463716e-08,6.923880e-08,8.113946e-08,9.109362e-08,1.123745e-07,1.154017e-07,1.416069e-07,1.470338e-07,1.692541e-07,1.840759e-07,1.979758e-07,2.227049e-07,2.274627e-07,2.574423e-07,2.622680e-07,2.876682e-07,3.021971e-07,3.179149e-07,3.419886e-07,3.479772e-07,3.776709e-07,3.812014e-07,4.068334e-07,4.194597e-07,4.353246e-07,4.564555e-07,4.630265e-07,4.898426e-07,4.919473e-07,5.156970e-07,5.257560e-07,5.405321e-07,5.577588e-07,5.643073e-07,5.869967e-07,5.878814e-07,6.085873e-07,6.160902e-07,6.290769e-07,6.423842e-07,6.484725e-07,6.667885e-07,6.840453e-07,6.893477e-07,7.002680e-07,7.101210e-07,7.154854e-07,7.291775e-07,7.297290e-07,7.430323e-07,7.465934e-07,7.554299e-07,7.624485e-07,7.669573e-07,7.768246e-07,7.776501e-07,7.875440e-07,7.898036e-07,7.966744e-07,8.014670e-07,8.050762e-07,8.118944e-07,8.127837e-07,8.198301e-07,8.211629e-07,8.262477e-07,8.293468e-07,8.320679e-07,8.365175e-07,8.373211e-07,8.420365e-07,8.427429e-07,8.462422e-07,8.480878e-07,8.499652e-07,8.526136e-07,8.532316e-07,8.560662e-07,8.563784e-07,8.584928e-07,8.594371e-07,8.605342e-07,8.618416e-07,8.622123e-07,8.635477e-07,8.636404e-07,8.645604e-07,8.648793e-07,8.652692e-07,8.656015e-07,8.656921e-07,8.658464e-07,8.658472e-07,8.657483e-07,8.656543e-07,8.654136e-07,8.650584e-07,8.648570e-07,8.640926e-07,8.631337e-07,8.627879e-07,8.619932e-07,8.611736e-07,8.606831e-07,8.592765e-07,8.592149e-07,8.575995e-07,8.571222e-07,8.558472e-07,8.547342e-07,8.539678e-07,8.521346e-07,8.519707e-07,8.498646e-07,8.493439e-07,8.476580e-07,8.463813e-07,8.453587e-07,8.432646e-07,8.429742e-07,8.405116e-07,8.400103e-07,8.379777e-07,8.366339e-07,8.353787e-07,8.331497e-07,8.327207e-07,8.300093e-07,8.295709e-07,8.272500e-07,8.259099e-07,8.244477e-07,8.221782e-07,8.216073e-07,8.187332e-07,8.183863e-07,8.158298e-07,8.145440e-07,8.129010e-07,8.106604e-07,8.099506e-07,8.069821e-07,8.067440e-07,8.039990e-07,8.028024e-07,8.010044e-07,7.988428e-07,7.980012e-07,7.949922e-07,7.948718e-07,7.919801e-07,7.908954e-07,7.889672e-07,7.869193e-07,7.859560e-07,7.829485e-07,7.789878e-07,7.750414e-07,7.711132e-07,7.672069e-07,7.633258e-07,7.594727e-07,7.556504e-07,7.518613e-07,7.481076e-07,7.443913e-07,7.407141e-07,7.370776e-07,7.334831e-07,7.299320e-07,7.264251e-07,7.229635e-07,7.195479e-07,7.161791e-07,7.128574e-07,7.095835e-07,7.063576e-07,7.031800e-07,7.000508e-07,6.969702e-07
0.000000e+00,2.961582e-11,7.122115e-11,2.572746e-10,5.975834e-10,8.779337e-10,2.013244e-09,2.074431e-09,4.029777e-09,4.739352e-09,6.938660e-09,9.229073e-09,1.101225e-08,1.597158e-08,1.646265e-08,2.344664e-08,2.535671e-08,3.198173e-08,3.738898e-08,4.192086e-08,5.164217e-08,5.302878e-08,6.507107e-08,6.757351e-08,7.784913e-08,8.472871e-08,9.119799e-08,1.027473e-07,1.049750e-07,1.190507e-07,1.213223e-07,1.333043e-07,1.401756e-07,1.476221e-07,1.590504e-07,1.618971e-07,1.760307e-07,1.777129e-07,1.899333e-07,1.959566e-07,2.035259e-07,2.136064e-07,2.167400e-07,2.295185e-07,2.305205e-07,2.418156e-07,2.465913e-07,2.535958e-07,2.617425e-07,2.648332e-07,2.755111e-07,2.759265e-07,2.856208e-07,2.891206e-07,2.951602e-07,3.013231e-07,3.041333e-07,3.125487e-07,3.204192e-07,3.228251e-07,3.277605e-07,3.321895e-07,3.345907e-07,3.406854e-07,3.409298e-07,3.467988e-07,3.483608e-07,3.522193e-07,3.552656e-07,3.572136e-07,3.614508e-07,3.618037e-07,3.660115e-07,3.669669e-07,3.698585e-07,3.718629e-07,3.733653e-07,3.761860e-07,3.765522e-07,3.794384e-07,3.799812e-07,3.820424e-07,3.832909e-07,3.843819e-07,3.861550e-07,3.864737e-07,3.883335e-07,3.886106e-07,3.899765e-07,3.906923e-07,3.914167e-07,3.924320e-07,3.926677e-07,3.937419e-07,3.938595e-07,3.946512e-07,3.950020e-07,3.954068e-07,3.958846e-07,3.960190e-07,3.964976e-07,3.965304e-07,3.968519e-07,3.969607e-07,3.970904e-07,3.971950e-07,3.972212e-07,3.972518e-07,3.972510e-07,3.971893e-07,3.971453e-07,3.970404e-07,3.968928e-07,3.968111e-07,3.965074e-07,3.961346e-07,3.960015e-07,3.956978e-07,3.953869e-07,3.952018e-07,3.946741e-07,3.946511e-07,3.940497e-07,3.938728e-07,3.934017e-07,3.929920e-07,3.927106e-07,3.920398e-07,3.919800e-07,3.912129e-07,3.910237e-07,3.904124e-07,3.899506e-07,3.895814e-07,3.888268e-07,3.887224e-07,3.878379e-07,3.876581e-07,3.869303e-07,3.864499e-07,3.860016e-07,3.852069e-07,3.850540e-07,3.840894e-07,3.839336e-07,3.831095e-07,3.826342e-07,3.821160e-07,3.813125e-07,3.811105e-07,3.800945e-07,3.799719e-07,3.790692e-07,3.786155e-07,3.780361e-07,3.772464e-07,3.769963e-07,3.759509e-07,3.758671e-07,3.749011e-07,3.744801e-07,3.738477e-07,3.730877e-07,3.727919e-07,3.717343e-07,3.716920e-07,3.706759e-07,3.702948e-07,3.696173e-07,3.688979e-07,3.685594e-07,3.675028e-07,3.661111e-07,3.647240e-07,3.633428e-07,3.619686e-07,3.606024e-07,3.592451e-07,3.578975e-07,3.565604e-07,3.552346e-07,3.539205e-07,3.526188e-07,3.513300e-07,3.500544e-07,3.487926e-07,3.475449e-07,3.463116e-07,3.450929e-07,3.438890e-07,3.427003e-07,3.415269e-07,3.403688e-07,3.392263e-07,3.380994e-07,3.369881e-07
0.000000e+00,2.603541e-11,6.294414e-11,2.292025e-10,5.351523e-10,7.878731e-10,1.811739e-09,1.866844e-09,3.619532e-09,4.250857e-09,6.190233e-09,8.182561e-09,9.715921e-09,1.391473e-08,1.432638e-08,2.013987e-08,2.172529e-08,2.724955e-08,3.181675e-08,3.570127e-08,4.423816e-08,4.547984e-08,5.652139e-08,5.887377e-08,6.873884e-08,7.552553e-08,8.203818e-08,9.397514e-08,9.632284e-08,1.114931e-07,1.139957e-07,1.274454e-07,1.353487e-07,1.440719e-07,1.577844e-07,1.612622e-07,1.789045e-07,1.810466e-07,1.968877e-07,2.048802e-07,2.151034e-07,2.290385e-07,2.334474e-07,2.518215e-07,2.532900e-07,2.701347e-07,2.774239e-07,2.883035e-07,3.012533e-07,3.062530e-07,3.239170e-07,3.246168e-07,3.412376e-07,3.473791e-07,3.581652e-07,3.694300e-07,3.746583e-07,3.906826e-07,4.062107e-07,4.110712e-07,4.212213e-07,4.305492e-07,4.356989e-07,4.490858e-07,4.496326e-07,4.630162e-07,4.666646e-07,4.758470e-07,4.832804e-07,4.881258e-07,4.989376e-07,4.998559e-07,5.110432e-07,5.136482e-07,5.216955e-07,5.274305e-07,5.318221e-07,5.403073e-07,5.414339e-07,5.505425e-07,5.523050e-07,5.591606e-07,5.634525e-07,5.673014e-07,5.737808e-07,5.749786e-07,5.822062e-07,5.833218e-07,5.889984e-07,5.921083e-07,5.953696e-07,6.001730e-07,6.013340e-07,6.069059e-07,6.075488e-07,6.120994e-07,6.142683e-07,6.169285e-07,6.203632e-07,6.214068e-07,6.255478e-07,6.258649e-07,6.293647e-07,6.308036e-07,6.328704e-07,6.352090e-07,6.360776e-07,6.389984e-07,6.391094e-07,6.416448e-07,6.425326e-07,6.440284e-07,6.455050e-07,6.461606e-07,6.480521e-07,6.497136e-07,6.501984e-07,6.511554e-07,6.519674e-07,6.523873e-07,6.533814e-07,6.534190e-07,6.542597e-07,6.544620e-07,6.549183e-07,6.552297e-07,6.554035e-07,6.557039e-07,6.557236e-07,6.558867e-07,6.559034e-07,6.559005e-07,6.558457e-07,6.557724e-07,6.555480e-07,6.555096e-07,6.551190e-07,6.550261e-07,6.546072e-07,6.542954e-07,6.539807e-07,6.533703e-07,6.532456e-07,6.524078e-07,6.522646e-07,6.514729e-07,6.509913e-07,6.504465e-07,6.495629e-07,6.493336e-07,6.481394e-07,6.479909e-07,6.468687e-07,6.462866e-07,6.455261e-07,6.444603e-07,6.441159e-07,6.426425e-07,6.425221e-07,6.411100e-07,6.404812e-07,6.395221e-07,6.383467e-07,6.378826e-07,6.361952e-07,6.361267e-07,6.344631e-07,6.338293e-07,6.326897e-07,6.314618e-07,6.308782e-07,6.290314e-07,6.265445e-07,6.240075e-07,6.214261e-07,6.188059e-07,6.161521e-07,6.134695e-07,6.107626e-07,6.080358e-07,6.052930e-07,6.025380e-07,5.997743e-07,5.970051e-07,5.942335e-07,5.914624e-07,5.886943e-07,5.859318e-07,5.831772e-07,5.804326e-07,5.776999e-07,5.749809e-07,5.722775e-07,5.695910e-07,5.669229e-07,5.642746e-07
0.000000e+00,1.373716e-10,3.935766e-10,1.714845e-09,4.342538e-09,6.586452e-09,1.598721e-08,1.650309e-08,3.330195e-08,3.951704e-08,5.907719e-08,7.979914e-08,9.608145e-08,1.414377e-07,1.459001e-07,2.080541e-07,2.245422e-07,2.799645e-07,3.233485e-07,3.586143e-07,4.314946e-07,4.416245e-07,5.272780e-07,5.446060e-07,6.142668e-07,6.596647e-07,7.015132e-07,7.743139e-07,7.880853e-07,8.731702e-07,8.865975e-07,9.560705e-07,9.949120e-07,1.036207e-06,1.098014e-06,1.113121e-06,1.186471e-06,1.195021e-06,1.256024e-06,1.285386e-06,1.321645e-06,1.368853e-06,1.383283e-06,1.440960e-06,1.445405e-06,1.494751e-06,1.515205e-06,1.544775e-06,1.578542e-06,1.591179e-06,1.634135e-06,1.635785e-06,1.673827e-06,1.687353e-06,1.710442e-06,1.733682e-06,1.744174e-06,1.775209e-06,1.803731e-06,1.812357e-06,1.829916e-06,1.845525e-06,1.853930e-06,1.875088e-06,1.875931e-06,1.896066e-06,1.901389e-06,1.914474e-06,1.924743e-06,1.931281e-06,1.945434e-06,1.946608e-06,1.960562e-06,1.963718e-06,1.973246e-06,1.979829e-06,1.984752e-06,1.993972e-06,1.995167e-06,2.004569e-06,2.006335e-06,2.013032e-06,2.017084e-06,2.020623e-06,2.026370e-06,2.027403e-06,2.033429e-06,2.034327e-06,2.038754e-06,2.041075e-06,2.043426e-06,2.046724e-06,2.047490e-06,2.050987e-06,2.051370e-06,2.053955e-06,2.055102e-06,2.056429e-06,2.057999e-06,2.058442e-06,2.060025e-06,2.060134e-06,2.061205e-06,2.061570e-06,2.062009e-06,2.062368e-06,2.062460e-06,2.062582e-06,2.062580e-06,2.062396e-06,2.062257e-06,2.061920e-06,2.061441e-06,2.061174e-06,2.060175e-06,2.058939e-06,2.058495e-06,2.057480e-06,2.056436e-06,2.055813e-06,2.054029e-06,2.053951e-06,2.051907e-06,2.051303e-06,2.049691e-06,2.048285e-06,2.047316e-06,2.044999e-06,2.044791e-06,2.042127e-06,2.041467e-06,2.039331e-06,2.037712e-06,2.036414e-06,2.033752e-06,2.033383e-06,2.030245e-06,2.029606e-06,2.027009e-06,2.025290e-06,2.023681e-06,2.020820e-06,2.020268e-06,2.016775e-06,2.016210e-06,2.013210e-06,2.011474e-06,2.009576e-06,2.006624e-06,2.005880e-06,2.002127e-06,2.001673e-06,1.998321e-06,1.996630e-06,1.994466e-06,1.991507e-06,1.990568e-06,1.986630e-06,1.986313e-06,1.982655e-06,1.981056e-06,1.978649e-06,1.975746e-06,1.974613e-06,1.970552e-06,1.970389e-06,1.966468e-06,1.964993e-06,1.962365e-06,1.959566e-06,1.958246e-06,1.954112e-06,1.948639e-06,1.943151e-06,1.937654e-06,1.932154e-06,1.926653e-06,1.921157e-06,1.915670e-06,1.910195e-06,1.904736e-06,1.899295e-06,1.893877e-06,1.888483e-06,1.883117e-06,1.877780e-06,1.872475e-06,1.867205e-06,1.861970e-06,1.856774e-06,1.851616e-06,1.846500e-06,1.841426e-06,1.836395e-06,1.831409e-06,1.826469e-06
0.000000e+00,9.537884e-12,4.710722e-11,4.936341e-10,2.287052e-09,4.576236e-09,1.999034e-08,2.106712e-08,6.630825e-08,8.724349e-08,1.645568e-07,2.618335e-07,3.474629e-07,6.232327e-07,6.532124e-07,1.125542e-06,1.268944e-06,1.812244e-06,2.308761e-06,2.762255e-06,3.852126e-06,4.020720e-06,5.623012e-06,5.986847e-06,7.589875e-06,8.758722e-06,9.925346e-06,1.216372e-05,1.261754e-05,1.564134e-05,1.615370e-05,1.896183e-05,2.064908e-05,2.253770e-05,2.555221e-05,2.632413e-05,3.027503e-05,3.075801e-05,3.434473e-05,3.616160e-05,3.848916e-05,4.166319e-05,4.266670e-05,4.683878e-05,4.717124e-05,5.097025e-05,5.260430e-05,5.502966e-05,5.789215e-05,5.898937e-05,6.282564e-05,6.297623e-05,6.651854e-05,6.780965e-05,7.005184e-05,7.235671e-05,7.341285e-05,7.659215e-05,7.958336e-05,8.050015e-05,8.238282e-05,8.407317e-05,8.498927e-05,8.731063e-05,8.740353e-05,8.962822e-05,9.021768e-05,9.166739e-05,9.280402e-05,9.352635e-05,9.508277e-05,9.521133e-05,9.672928e-05,9.706956e-05,9.808770e-05,9.878166e-05,9.929445e-05,1.002373e-04,1.003576e-04,1.012851e-04,1.014551e-04,1.020853e-04,1.024536e-04,1.027659e-04,1.032511e-04,1.033349e-04,1.037998e-04,1.038650e-04,1.041678e-04,1.043122e-04,1.044460e-04,1.046083e-04,1.046410e-04,1.047591e-04,1.047684e-04,1.048064e-04,1.048062e-04,1.047885e-04,1.047346e-04,1.047108e-04,1.045782e-04,1.045654e-04,1.043955e-04,1.043094e-04,1.041672e-04,1.039767e-04,1.038972e-04,1.035895e-04,1.035764e-04,1.032476e-04,1.031168e-04,1.028748e-04,1.026053e-04,1.024744e-04,1.020490e-04,1.016015e-04,1.014540e-04,1.011343e-04,1.008259e-04,1.006496e-04,1.001699e-04,1.001496e-04,9.963632e-05,9.949046e-05,9.911149e-05,9.879176e-05,9.857680e-05,9.807751e-05,9.803380e-05,9.748391e-05,9.735106e-05,9.692844e-05,9.661540e-05,9.636860e-05,9.587321e-05,9.580549e-05,9.524014e-05,9.512688e-05,9.467346e-05,9.437856e-05,9.410633e-05,9.363015e-05,9.353951e-05,9.297371e-05,9.288333e-05,9.240960e-05,9.213960e-05,9.184776e-05,9.140028e-05,9.128873e-05,9.073299e-05,9.066655e-05,9.018100e-05,8.993941e-05,8.963314e-05,8.921976e-05,8.908979e-05,8.855125e-05,8.850838e-05,8.801782e-05,8.780594e-05,8.748976e-05,8.711300e-05,8.696729e-05,8.645061e-05,8.643007e-05,8.593991e-05,8.575754e-05,8.543532e-05,8.509577e-05,8.493699e-05,8.444503e-05,8.380554e-05,8.317748e-05,8.256097e-05,8.195610e-05,8.136293e-05,8.078147e-05,8.021171e-05,7.965361e-05,7.910712e-05,7.857217e-05,7.804864e-05,7.753644e-05,7.703544e-05,7.654550e-05,7.606647e-05,7.559821e-05,7.514055e-05,7.469331e-05,7.425634e-05,7.382944e-05,7.341244e-05,7.300515e-05,7.260740e-05,7.221899e-05
0.000000e+00,6.038110e-11,1.415835e-10,4.982770e-10,1.145075e-09,1.677295e-09,3.842899e-09,3.960269e-09,7.751236e-09,9.146120e-09,1.352978e-08,1.818095e-08,2.185315e-08,3.224154e-08,3.328072e-08,4.816588e-08,5.225108e-08,6.638064e-08,7.780522e-08,8.727101e-08,1.071730e-07,1.099639e-07,1.336862e-07,1.385005e-07,1.578663e-07,1.704820e-07,1.821014e-07,2.022871e-07,2.061018e-07,2.296496e-07,2.333634e-07,2.525755e-07,2.633186e-07,2.747457e-07,2.918667e-07,2.960557e-07,3.164259e-07,3.188042e-07,3.357993e-07,3.439975e-07,3.541385e-07,3.673719e-07,3.714238e-07,3.876500e-07,3.889024e-07,4.028245e-07,4.086036e-07,4.169651e-07,4.265201e-07,4.300973e-07,4.422531e-07,4.427195e-07,4.534682e-07,4.572829e-07,4.637822e-07,4.703021e-07,4.732365e-07,4.818732e-07,4.897344e-07,4.920931e-07,4.968625e-07,5.010590e-07,5.032990e-07,5.088648e-07,5.090842e-07,5.142572e-07,5.156011e-07,5.188557e-07,5.213543e-07,5.229162e-07,5.262063e-07,5.264731e-07,5.295594e-07,5.302335e-07,5.322059e-07,5.335068e-07,5.344420e-07,5.360924e-07,5.362955e-07,5.377929e-07,5.380518e-07,5.389588e-07,5.394419e-07,5.398166e-07,5.403151e-07,5.403881e-07,5.406940e-07,5.407196e-07,5.407536e-07,5.407002e-07,5.405852e-07,5.402977e-07,5.402057e-07,5.396312e-07,5.395499e-07,5.388767e-07,5.384913e-07,5.379562e-07,5.371537e-07,5.368829e-07,5.356690e-07,5.355662e-07,5.343263e-07,5.337555e-07,5.328653e-07,5.317459e-07,5.312962e-07,5.296285e-07,5.295599e-07,5.278710e-07,5.272179e-07,5.260319e-07,5.247387e-07,5.241190e-07,5.221393e-07,5.200998e-07,5.194355e-07,5.180066e-07,5.166415e-07,5.158655e-07,5.137702e-07,5.136821e-07,5.114615e-07,5.108337e-07,5.092084e-07,5.078427e-07,5.069271e-07,5.048071e-07,5.046219e-07,5.022966e-07,5.017359e-07,4.999547e-07,4.986373e-07,4.975996e-07,4.955186e-07,4.952343e-07,4.928617e-07,4.923866e-07,4.904845e-07,4.892474e-07,4.881052e-07,4.861066e-07,4.857260e-07,4.833490e-07,4.829691e-07,4.809764e-07,4.798395e-07,4.786097e-07,4.767219e-07,4.762508e-07,4.739012e-07,4.736199e-07,4.715623e-07,4.705369e-07,4.692354e-07,4.674757e-07,4.669217e-07,4.646224e-07,4.644391e-07,4.623385e-07,4.614294e-07,4.600708e-07,4.584486e-07,4.578202e-07,4.555875e-07,4.554986e-07,4.533735e-07,4.525811e-07,4.511786e-07,4.496974e-07,4.490036e-07,4.468489e-07,4.440365e-07,4.412612e-07,4.385239e-07,4.358250e-07,4.331652e-07,4.305448e-07,4.279642e-07,4.254237e-07,4.229233e-07,4.204632e-07,4.180433e-07,4.156636e-07,4.133240e-07,4.110243e-07,4.087644e-07,4.065440e-07,4.043627e-07,4.022204e-07,4.001166e-07,3.980509e-07,3.960231e-07,3.940326e-07,3.920790e-07,3.901619e-07
0.000000e+00,4.496873e-11,1.966679e-10,1.622544e-09,6.138646e-09,1.105760e-08,3.754518e-08,3.918689e-08,9.874808e-08,1.228363e-07,2.027728e-07,2.918858e-07,3.641172e-07,5.740819e-07,5.954594e-07,9.090506e-07,9.977889e-07,1.315422e-06,1.586144e-06,1.820993e-06,2.348568e-06,2.426371e-06,3.127092e-06,3.278059e-06,3.915832e-06,4.358006e-06,4.784259e-06,5.569099e-06,5.723869e-06,6.726120e-06,6.891717e-06,7.782360e-06,8.305947e-06,8.883765e-06,9.791385e-06,1.002137e-05,1.118618e-05,1.132736e-05,1.236932e-05,1.289349e-05,1.356223e-05,1.447035e-05,1.475678e-05,1.594542e-05,1.604004e-05,1.712129e-05,1.758667e-05,1.827827e-05,1.909657e-05,1.941102e-05,2.051496e-05,2.055847e-05,2.158629e-05,2.196337e-05,2.262191e-05,2.330447e-05,2.361939e-05,2.457692e-05,2.549323e-05,2.577760e-05,2.636753e-05,2.690484e-05,2.719944e-05,2.795818e-05,2.798895e-05,2.873635e-05,2.893814e-05,2.944218e-05,2.984603e-05,3.010719e-05,3.068372e-05,3.073228e-05,3.131851e-05,3.145355e-05,3.186702e-05,3.215816e-05,3.237903e-05,3.280041e-05,3.285581e-05,3.329867e-05,3.338328e-05,3.370892e-05,3.390981e-05,3.408790e-05,3.438305e-05,3.443693e-05,3.475733e-05,3.480602e-05,3.505037e-05,3.518168e-05,3.531732e-05,3.551292e-05,3.555941e-05,3.577784e-05,3.580252e-05,3.597378e-05,3.605316e-05,3.614835e-05,3.626740e-05,3.630264e-05,3.643769e-05,3.644770e-05,3.655453e-05,3.659638e-05,3.665411e-05,3.671565e-05,3.673737e-05,3.680521e-05,3.680762e-05,3.685849e-05,3.687426e-05,3.689802e-05,3.691745e-05,3.692459e-05,3.693896e-05,3.694183e-05,3.694043e-05,3.693390e-05,3.692345e-05,3.691581e-05,3.688948e-05,3.688820e-05,3.685165e-05,3.683990e-05,3.680674e-05,3.677600e-05,3.675399e-05,3.669900e-05,3.669393e-05,3.662705e-05,3.661003e-05,3.655380e-05,3.651017e-05,3.647463e-05,3.640039e-05,3.638996e-05,3.630018e-05,3.628165e-05,3.620568e-05,3.615480e-05,3.610682e-05,3.602065e-05,3.600393e-05,3.589734e-05,3.587996e-05,3.578735e-05,3.573344e-05,3.567426e-05,3.558174e-05,3.555834e-05,3.543985e-05,3.542547e-05,3.531904e-05,3.526520e-05,3.519613e-05,3.510147e-05,3.507136e-05,3.494493e-05,3.493475e-05,3.481704e-05,3.476551e-05,3.468787e-05,3.459417e-05,3.455759e-05,3.442638e-05,3.442112e-05,3.429439e-05,3.424671e-05,3.416177e-05,3.407129e-05,3.402865e-05,3.389516e-05,3.371861e-05,3.354190e-05,3.336527e-05,3.318894e-05,3.301311e-05,3.283798e-05,3.266371e-05,3.249045e-05,3.231836e-05,3.214755e-05,3.197814e-05,3.181024e-05,3.164394e-05,3.147933e-05,3.131649e-05,3.115547e-05,3.099635e-05,3.083916e-05,3.068396e-05,3.053079e-05,3.037967e-05,3.023064e-05,3.008372e-05,2.993893e-05
0.000000e+00,7.269117e-11,3.035729e-10,2.300588e-09,8.151734e-09,1.422766e-08,4.510776e-08,4.696608e-08,1.124135e-07,1.382173e-07,2.224465e-07,3.148448e-07,3.890600e-07,6.028555e-07,6.245139e-07,9.407625e-07,1.029845e-06,1.347382e-06,1.616269e-06,1.848038e-06,2.362815e-06,2.437974e-06,3.105337e-06,3.246800e-06,3.835260e-06,4.234670e-06,4.613261e-06,5.294578e-06,5.426623e-06,6.264438e-06,6.400106e-06,7.117203e-06,7.529336e-06,7.976511e-06,8.663600e-06,8.834862e-06,9.685600e-06,9.786892e-06,1.052291e-05,1.088575e-05,1.134180e-05,1.194925e-05,1.213811e-05,1.290850e-05,1.296893e-05,1.365035e-05,1.393865e-05,1.436174e-05,1.485433e-05,1.504137e-05,1.568844e-05,1.571364e-05,1.630263e-05,1.651569e-05,1.688398e-05,1.726071e-05,1.743283e-05,1.794979e-05,1.843561e-05,1.858465e-05,1.889124e-05,1.916747e-05,1.931771e-05,1.970070e-05,1.971611e-05,2.008760e-05,2.018695e-05,2.043334e-05,2.062892e-05,2.075452e-05,2.102931e-05,2.105230e-05,2.132784e-05,2.139079e-05,2.158226e-05,2.171592e-05,2.181665e-05,2.200717e-05,2.203205e-05,2.222950e-05,2.226692e-05,2.240996e-05,2.249740e-05,2.257437e-05,2.270071e-05,2.272361e-05,2.285852e-05,2.287884e-05,2.297993e-05,2.303364e-05,2.308860e-05,2.316686e-05,2.318527e-05,2.327062e-05,2.328013e-05,2.334531e-05,2.337497e-05,2.340998e-05,2.345278e-05,2.346521e-05,2.351156e-05,2.351490e-05,2.354956e-05,2.356253e-05,2.357971e-05,2.359684e-05,2.360250e-05,2.361837e-05,2.361886e-05,2.362773e-05,2.362959e-05,2.363101e-05,2.362995e-05,2.362857e-05,2.362077e-05,2.360795e-05,2.360284e-05,2.359044e-05,2.357691e-05,2.356853e-05,2.354364e-05,2.354252e-05,2.351267e-05,2.350366e-05,2.347924e-05,2.345756e-05,2.344246e-05,2.340587e-05,2.340257e-05,2.335979e-05,2.334911e-05,2.331431e-05,2.328773e-05,2.326632e-05,2.322217e-05,2.321602e-05,2.316356e-05,2.315283e-05,2.310912e-05,2.308008e-05,2.305284e-05,2.300426e-05,2.299487e-05,2.293535e-05,2.292569e-05,2.287440e-05,2.284467e-05,2.281214e-05,2.276148e-05,2.274870e-05,2.268417e-05,2.267636e-05,2.261866e-05,2.258955e-05,2.255227e-05,2.250128e-05,2.248509e-05,2.241720e-05,2.241174e-05,2.234869e-05,2.232112e-05,2.227962e-05,2.222960e-05,2.221008e-05,2.214014e-05,2.213733e-05,2.206985e-05,2.204447e-05,2.199928e-05,2.195115e-05,2.192848e-05,2.185750e-05,2.176364e-05,2.166968e-05,2.157571e-05,2.148182e-05,2.138812e-05,2.129466e-05,2.120153e-05,2.110880e-05,2.101651e-05,2.092474e-05,2.083353e-05,2.074292e-05,2.065296e-05,2.056370e-05,2.047516e-05,2.038737e-05,2.030037e-05,2.021419e-05,2.012884e-05,2.004435e-05,1.996073e-05,1.987800e-05,1.979619e-05,1.971529e-05
0.000000e+00,1.944914e-12,9.691133e-12,1.034295e-10,4.872336e-10,9.838240e-10,4.398933e-09,4.640244e-09,1.494099e-08,1.977853e-08,3.787571e-08,6.099736e-08,8.157720e-08,1.488424e-07,1.562262e-07,2.738891e-07,3.100176e-07,4.481970e-07,5.759487e-07,6.936331e-07,9.796741e-07,1.024278e-06,1.452233e-06,1.550341e-06,1.986234e-06,2.307509e-06,2.630829e-06,3.258027e-06,3.386223e-06,4.248621e-06,4.396097e-06,5.210880e-06,5.705455e-06,6.263262e-06,7.162309e-06,7.394171e-06,8.590808e-06,8.738187e-06,9.839730e-06,1.040230e-05,1.112730e-05,1.212339e-05,1.244004e-05,1.376493e-05,1.387107e-05,1.508963e-05,1.561685e-05,1.640265e-05,1.733485e-05,1.769347e-05,1.895269e-05,1.900228e-05,2.017202e-05,2.059981e-05,2.134437e-05,2.211167e-05,2.246383e-05,2.352567e-05,2.452628e-05,2.483309e-05,2.546310e-05,2.602842e-05,2.633456e-05,2.710906e-05,2.714001e-05,2.787957e-05,2.807494e-05,2.855408e-05,2.892814e-05,2.916498e-05,2.967248e-05,2.971420e-05,3.020407e-05,3.031309e-05,3.063724e-05,3.085612e-05,3.101659e-05,3.130832e-05,3.134517e-05,3.162610e-05,3.167685e-05,3.186255e-05,3.196896e-05,3.205765e-05,3.219187e-05,3.221452e-05,3.233617e-05,3.235256e-05,3.242549e-05,3.245770e-05,3.248526e-05,3.251358e-05,3.251811e-05,3.252652e-05,3.252600e-05,3.251280e-05,3.250031e-05,3.247911e-05,3.244140e-05,3.242747e-05,3.235972e-05,3.235366e-05,3.227758e-05,3.224105e-05,3.218260e-05,3.210708e-05,3.207623e-05,3.195975e-05,3.195490e-05,3.183438e-05,3.178727e-05,3.170118e-05,3.160664e-05,3.156114e-05,3.141514e-05,3.126399e-05,3.121466e-05,3.110842e-05,3.100683e-05,3.094907e-05,3.079310e-05,3.078654e-05,3.062137e-05,3.057471e-05,3.045403e-05,3.035276e-05,3.028495e-05,3.012819e-05,3.011452e-05,2.994309e-05,2.990183e-05,2.977098e-05,2.967440e-05,2.959846e-05,2.944652e-05,2.942580e-05,2.925322e-05,2.921873e-05,2.908092e-05,2.899150e-05,2.890910e-05,2.876525e-05,2.873791e-05,2.856751e-05,2.854032e-05,2.839802e-05,2.831703e-05,2.822957e-05,2.809563e-05,2.806227e-05,2.789621e-05,2.787637e-05,2.773148e-05,2.765943e-05,2.756814e-05,2.744499e-05,2.740628e-05,2.724595e-05,2.723319e-05,2.708720e-05,2.702416e-05,2.693008e-05,2.681799e-05,2.677463e-05,2.662088e-05,2.661477e-05,2.646886e-05,2.641457e-05,2.631861e-05,2.621745e-05,2.617013e-05,2.602345e-05,2.583261e-05,2.564495e-05,2.546049e-05,2.527923e-05,2.510119e-05,2.492635e-05,2.475470e-05,2.458624e-05,2.442093e-05,2.425877e-05,2.409971e-05,2.394374e-05,2.379082e-05,2.364092e-05,2.349400e-05,2.335002e-05,2.320895e-05,2.307074e-05,2.293536e-05,2.280275e-05,2.267288e-05,2.254570e-05,2.242117e-05,2.229925e-05
0.000000e+00,1.511892e-10,4.884161e-10,2.478853e-09,6.803811e-09,1.064802e-08,2.731590e-08,2.824405e-08,5.870275e-08,7.000112e-08,1.054517e-07,1.427803e-07,1.720088e-07,2.537686e-07,2.618954e-07,3.781108e-07,4.101296e-07,5.221243e-07,6.147203e-07,6.931938e-07,8.642028e-07,8.888867e-07,1.106177e-06,1.151963e-06,1.342110e-06,1.471244e-06,1.593939e-06,1.815858e-06,1.859068e-06,2.134984e-06,2.179967e-06,2.419229e-06,2.557918e-06,2.709407e-06,2.944271e-06,3.003217e-06,3.298481e-06,3.333912e-06,3.593183e-06,3.722195e-06,3.885495e-06,4.105049e-06,4.173796e-06,4.456677e-06,4.479036e-06,4.732943e-06,4.841370e-06,5.001608e-06,5.189889e-06,5.261880e-06,5.513146e-06,5.523002e-06,5.754953e-06,5.839624e-06,5.986991e-06,6.139096e-06,6.209072e-06,6.421113e-06,6.623122e-06,6.685656e-06,6.815176e-06,6.932929e-06,6.997415e-06,7.163304e-06,7.170026e-06,7.333231e-06,7.377277e-06,7.487283e-06,7.575434e-06,7.632455e-06,7.758416e-06,7.769033e-06,7.897316e-06,7.926903e-06,8.017606e-06,8.081590e-06,8.130206e-06,8.223176e-06,8.235422e-06,8.333554e-06,8.352356e-06,8.424898e-06,8.469812e-06,8.509745e-06,8.576203e-06,8.588378e-06,8.661073e-06,8.672171e-06,8.728097e-06,8.758330e-06,8.789709e-06,8.835271e-06,8.846159e-06,8.897690e-06,8.903554e-06,8.944533e-06,8.963717e-06,8.986913e-06,9.016268e-06,9.025043e-06,9.059131e-06,9.061689e-06,9.089375e-06,9.100438e-06,9.115964e-06,9.132947e-06,9.139080e-06,9.158897e-06,9.159624e-06,9.175583e-06,9.180854e-06,9.189297e-06,9.197002e-06,9.200190e-06,9.208409e-06,9.214094e-06,9.215400e-06,9.217377e-06,9.218276e-06,9.218385e-06,9.217326e-06,9.217240e-06,9.214058e-06,9.212817e-06,9.208949e-06,9.205003e-06,9.202019e-06,9.194121e-06,9.193368e-06,9.183093e-06,9.180396e-06,9.171285e-06,9.164036e-06,9.158032e-06,9.145240e-06,9.143417e-06,9.127519e-06,9.124192e-06,9.110413e-06,9.101066e-06,9.092173e-06,9.076025e-06,9.072867e-06,9.052560e-06,9.049222e-06,9.031315e-06,9.020802e-06,9.009191e-06,8.990898e-06,8.986246e-06,8.962532e-06,8.959637e-06,8.938101e-06,8.927137e-06,8.913002e-06,8.893509e-06,8.887282e-06,8.860985e-06,8.858858e-06,8.834154e-06,8.823281e-06,8.806828e-06,8.786868e-06,8.779045e-06,8.750843e-06,8.749707e-06,8.722255e-06,8.711876e-06,8.693315e-06,8.673451e-06,8.664054e-06,8.634502e-06,8.595094e-06,8.555289e-06,8.515145e-06,8.474715e-06,8.434049e-06,8.393194e-06,8.352194e-06,8.311090e-06,8.269919e-06,8.228717e-06,8.187517e-06,8.146350e-06,8.105245e-06,8.064228e-06,8.023323e-06,7.982554e-06,7.941943e-06,7.901508e-06,7.861268e-06,7.821240e-06,7.781439e-06,7.741880e-06,7.702575e-06,7.663537e-06
0.000000e+00,2.754675e-11,6.518569e-11,2.309654e-10,5.301821e-10,7.744644e-10,1.750032e-09,1.802090e-09,3.442910e-09,4.028615e-09,5.815998e-09,7.638497e-09,9.034219e-09,1.283360e-08,1.320462e-08,1.842041e-08,1.983522e-08,2.473731e-08,2.875338e-08,3.213926e-08,3.947301e-08,4.052680e-08,4.975018e-08,5.168122e-08,5.965352e-08,6.502454e-08,7.009606e-08,7.919323e-08,8.095358e-08,9.211398e-08,9.392071e-08,1.034734e-07,1.089677e-07,1.149342e-07,1.241142e-07,1.264050e-07,1.378008e-07,1.391595e-07,1.490442e-07,1.539248e-07,1.600658e-07,1.682565e-07,1.708053e-07,1.812113e-07,1.820281e-07,1.912418e-07,1.951411e-07,2.008635e-07,2.075239e-07,2.100518e-07,2.187895e-07,2.191295e-07,2.270667e-07,2.299328e-07,2.348795e-07,2.399276e-07,2.422294e-07,2.491223e-07,2.555677e-07,2.575377e-07,2.615781e-07,2.652033e-07,2.671684e-07,2.721551e-07,2.723551e-07,2.771557e-07,2.784332e-07,2.815888e-07,2.840801e-07,2.856732e-07,2.891391e-07,2.894278e-07,2.928713e-07,2.936536e-07,2.960222e-07,2.976656e-07,2.988984e-07,3.012159e-07,3.015171e-07,3.038949e-07,3.043430e-07,3.060478e-07,3.070834e-07,3.079907e-07,3.094710e-07,3.097379e-07,3.113030e-07,3.115373e-07,3.126985e-07,3.133117e-07,3.139364e-07,3.148207e-07,3.150278e-07,3.159833e-07,3.160893e-07,3.168127e-07,3.171400e-07,3.175250e-07,3.179933e-07,3.181287e-07,3.186319e-07,3.186680e-07,3.190418e-07,3.191812e-07,3.193654e-07,3.195485e-07,3.196091e-07,3.197788e-07,3.197841e-07,3.198800e-07,3.199007e-07,3.199179e-07,3.199100e-07,3.198973e-07,3.198227e-07,3.196981e-07,3.196483e-07,3.195274e-07,3.193957e-07,3.193142e-07,3.190727e-07,3.190619e-07,3.187734e-07,3.186866e-07,3.184517e-07,3.182439e-07,3.180996e-07,3.177508e-07,3.177194e-07,3.173135e-07,3.172125e-07,3.168841e-07,3.166341e-07,3.164332e-07,3.160201e-07,3.159627e-07,3.154743e-07,3.153747e-07,3.149697e-07,3.147015e-07,3.144505e-07,3.140040e-07,3.139180e-07,3.133736e-07,3.132854e-07,3.128185e-07,3.125486e-07,3.122539e-07,3.117961e-07,3.116809e-07,3.111005e-07,3.110304e-07,3.105136e-07,3.102536e-07,3.099212e-07,3.094677e-07,3.093240e-07,3.087228e-07,3.086746e-07,3.081185e-07,3.078760e-07,3.075115e-07,3.070733e-07,3.069027e-07,3.062925e-07,3.062681e-07,3.056815e-07,3.054615e-07,3.050703e-07,3.046548e-07,3.044593e-07,3.038489e-07,3.030450e-07,3.022439e-07,3.014463e-07,3.006531e-07,2.998648e-07,2.990822e-07,2.983057e-07,2.975359e-07,2.967732e-07,2.960180e-07,2.952707e-07,2.945316e-07,2.938010e-07,2.930791e-07,2.923662e-07,2.916625e-07,2.909681e-07,2.902832e-07,2.896080e-07,2.889424e-07,2.882867e-07,2.876408e-07,2.870048e-07,2.863787e-07
0.000000e+00,3.504143e-11,1.521976e-10,1.239334e-09,4.639212e-09,8.311696e-09,2.786213e-08,2.906602e-08,7.238683e-08,8.976017e-08,1.469789e-07,2.101295e-07,2.609045e-07,4.067434e-07,4.214623e-07,6.351393e-07,6.949661e-07,9.074943e-07,1.087329e-06,1.242882e-06,1.592324e-06,1.643957e-06,2.111018e-06,2.212175e-06,2.641476e-06,2.940647e-06,3.229843e-06,3.763223e-06,3.868407e-06,4.548276e-06,4.660275e-06,5.260336e-06,5.610975e-06,5.995872e-06,6.595782e-06,6.746856e-06,7.506043e-06,7.597382e-06,8.266975e-06,8.600843e-06,9.023952e-06,9.593524e-06,9.772002e-06,1.050685e-05,1.056495e-05,1.122488e-05,1.150670e-05,1.192312e-05,1.241221e-05,1.259914e-05,1.325108e-05,1.327664e-05,1.387753e-05,1.409662e-05,1.447752e-05,1.487006e-05,1.505042e-05,1.559594e-05,1.611403e-05,1.627405e-05,1.660487e-05,1.690487e-05,1.706883e-05,1.748941e-05,1.750641e-05,1.791824e-05,1.802902e-05,1.830501e-05,1.852537e-05,1.866750e-05,1.898026e-05,1.900654e-05,1.932298e-05,1.939565e-05,1.961768e-05,1.977355e-05,1.989153e-05,2.011596e-05,2.014540e-05,2.038017e-05,2.042491e-05,2.059670e-05,2.070237e-05,2.079583e-05,2.095025e-05,2.097838e-05,2.114515e-05,2.117042e-05,2.129691e-05,2.136465e-05,2.143442e-05,2.153465e-05,2.155840e-05,2.166955e-05,2.168206e-05,2.176854e-05,2.180841e-05,2.185602e-05,2.191518e-05,2.193260e-05,2.199889e-05,2.200376e-05,2.205544e-05,2.207546e-05,2.210280e-05,2.213150e-05,2.214149e-05,2.217202e-05,2.217307e-05,2.219484e-05,2.220126e-05,2.221042e-05,2.221709e-05,2.221918e-05,2.222154e-05,2.221789e-05,2.221551e-05,2.220860e-05,2.219986e-05,2.219402e-05,2.217537e-05,2.217450e-05,2.215036e-05,2.214281e-05,2.212189e-05,2.210285e-05,2.208939e-05,2.205617e-05,2.205313e-05,2.201339e-05,2.200335e-05,2.197039e-05,2.194499e-05,2.192439e-05,2.188159e-05,2.187560e-05,2.182423e-05,2.181367e-05,2.177049e-05,2.174167e-05,2.171456e-05,2.166603e-05,2.165663e-05,2.159686e-05,2.158714e-05,2.153542e-05,2.150538e-05,2.147246e-05,2.142110e-05,2.140813e-05,2.134255e-05,2.133461e-05,2.127586e-05,2.124620e-05,2.120819e-05,2.115616e-05,2.113963e-05,2.107031e-05,2.106474e-05,2.100033e-05,2.097217e-05,2.092978e-05,2.087868e-05,2.085875e-05,2.078732e-05,2.078446e-05,2.071559e-05,2.068970e-05,2.064362e-05,2.059458e-05,2.057148e-05,2.049925e-05,2.040386e-05,2.030854e-05,2.021341e-05,2.011859e-05,2.002417e-05,1.993026e-05,1.983694e-05,1.974428e-05,1.965236e-05,1.956123e-05,1.947097e-05,1.938161e-05,1.929320e-05,1.920580e-05,1.911942e-05,1.903411e-05,1.894988e-05,1.886678e-05,1.878481e-05,1.870399e-05,1.862434e-05,1.854587e-05,1.846859e-05,1.839251e-05
0.000000e+00,1.431945e-11,7.331864e-11,8.281639e-10,4.109913e-09,8.541043e-09,4.116315e-08,4.355479e-08,1.512325e-07,2.043824e-07,4.124172e-07,6.931355e-07,9.532796e-07,1.851923e-06,1.954204e-06,3.656031e-06,4.201047e-06,6.360063e-06,8.442042e-06,1.041957e-05,1.542245e-05,1.622470e-05,2.418489e-05,2.607191e-05,3.471199e-05,4.133403e-05,4.820564e-05,6.210848e-05,6.504133e-05,8.556093e-05,8.920667e-05,1.100654e-04,1.233195e-04,1.388090e-04,1.649946e-04,1.719952e-04,2.097740e-04,2.146211e-04,2.522391e-04,2.724202e-04,2.994282e-04,3.384417e-04,3.513223e-04,4.078467e-04,4.125652e-04,4.688735e-04,4.945065e-04,5.342241e-04,5.838287e-04,6.036726e-04,6.769506e-04,6.799572e-04,7.537521e-04,7.821989e-04,8.337386e-04,8.897634e-04,9.165451e-04,1.001786e-03,1.089061e-03,1.117352e-03,1.177962e-03,1.235521e-03,1.268075e-03,1.355345e-03,1.358992e-03,1.450309e-03,1.475896e-03,1.541635e-03,1.596277e-03,1.632593e-03,1.715643e-03,1.722827e-03,1.812000e-03,1.833209e-03,1.899800e-03,1.948259e-03,1.985938e-03,2.060158e-03,2.070154e-03,2.152214e-03,2.168349e-03,2.231910e-03,2.272356e-03,2.309061e-03,2.371788e-03,2.383513e-03,2.455138e-03,2.466329e-03,2.523831e-03,2.555738e-03,2.589511e-03,2.639845e-03,2.652119e-03,2.711615e-03,2.718544e-03,2.767978e-03,2.791785e-03,2.821207e-03,2.859571e-03,2.871313e-03,2.918322e-03,2.921950e-03,2.962274e-03,2.979009e-03,3.003218e-03,3.030867e-03,3.041213e-03,3.076326e-03,3.077672e-03,3.108633e-03,3.119591e-03,3.138212e-03,3.156812e-03,3.165150e-03,3.189533e-03,3.211455e-03,3.217965e-03,3.231007e-03,3.242321e-03,3.248285e-03,3.262820e-03,3.263383e-03,3.276397e-03,3.279680e-03,3.287421e-03,3.293118e-03,3.296548e-03,3.303349e-03,3.303871e-03,3.309480e-03,3.310581e-03,3.313465e-03,3.315019e-03,3.315911e-03,3.316858e-03,3.316903e-03,3.316523e-03,3.316290e-03,3.314850e-03,3.313494e-03,3.311960e-03,3.308647e-03,3.307927e-03,3.302823e-03,3.301911e-03,3.296715e-03,3.293446e-03,3.289669e-03,3.283399e-03,3.281747e-03,3.273010e-03,3.271910e-03,3.263516e-03,3.259112e-03,3.253318e-03,3.245129e-03,3.242469e-03,3.231018e-03,3.230078e-03,3.219014e-03,3.214068e-03,3.206501e-03,3.197200e-03,3.193522e-03,3.180116e-03,3.179572e-03,3.166324e-03,3.161271e-03,3.152180e-03,3.142380e-03,3.137720e-03,3.122975e-03,3.103130e-03,3.082908e-03,3.062372e-03,3.041578e-03,3.020579e-03,2.999421e-03,2.978151e-03,2.956807e-03,2.935427e-03,2.914046e-03,2.892695e-03,2.871401e-03,2.850191e-03,2.829089e-03,2.808115e-03,2.787288e-03,2.766628e-03,2.746147e-03,2.725862e-03,2.705783e-03,2.685922e-03,2.666288e-03,2.646891e-03,2.627736e-03
0.000000e+00,3.389444e-11,1.502318e-10,1.272016e-09,4.918566e-09,8.961252e-09,3.129637e-08,3.270161e-08,8.470874e-08,1.061838e-07,1.788276e-07,2.619004e-07,3.306277e-07,5.365339e-07,5.579652e-07,8.810946e-07,9.752668e-07,1.321014e-06,1.625166e-06,1.895052e-06,2.517861e-06,2.611303e-06,3.466134e-06,3.652708e-06,4.446720e-06,5.000696e-06,5.535988e-06,6.522277e-06,6.716663e-06,7.973243e-06,8.180418e-06,9.292339e-06,9.944245e-06,1.066233e-05,1.178800e-05,1.207289e-05,1.351455e-05,1.368921e-05,1.497848e-05,1.562750e-05,1.645638e-05,1.758411e-05,1.794046e-05,1.942345e-05,1.954183e-05,2.089866e-05,2.148519e-05,2.236001e-05,2.340052e-05,2.380206e-05,2.522000e-05,2.527616e-05,2.660968e-05,2.710235e-05,2.796757e-05,2.887126e-05,2.929073e-05,3.057678e-05,3.182385e-05,3.221443e-05,3.303050e-05,3.378107e-05,3.419574e-05,3.527479e-05,3.531891e-05,3.639967e-05,3.669467e-05,3.743795e-05,3.804060e-05,3.843393e-05,3.931316e-05,3.938795e-05,4.030052e-05,4.051345e-05,4.117232e-05,4.164298e-05,4.200408e-05,4.270358e-05,4.279665e-05,4.355094e-05,4.369729e-05,4.426793e-05,4.462635e-05,4.494860e-05,4.549306e-05,4.559400e-05,4.620516e-05,4.629984e-05,4.678315e-05,4.704911e-05,4.732902e-05,4.774330e-05,4.784383e-05,4.832862e-05,4.838482e-05,4.878443e-05,4.897606e-05,4.921227e-05,4.951936e-05,4.961317e-05,4.998808e-05,5.001698e-05,5.033799e-05,5.047116e-05,5.066382e-05,5.088403e-05,5.096650e-05,5.124692e-05,5.125768e-05,5.150595e-05,5.159413e-05,5.174444e-05,5.189531e-05,5.196322e-05,5.216307e-05,5.234478e-05,5.239922e-05,5.250909e-05,5.260546e-05,5.265674e-05,5.278346e-05,5.278843e-05,5.290483e-05,5.293478e-05,5.300662e-05,5.306093e-05,5.309441e-05,5.316337e-05,5.316884e-05,5.323050e-05,5.324346e-05,5.327995e-05,5.330252e-05,5.331776e-05,5.334182e-05,5.334445e-05,5.336055e-05,5.336254e-05,5.336655e-05,5.336584e-05,5.336293e-05,5.335279e-05,5.335015e-05,5.332866e-05,5.332444e-05,5.329889e-05,5.328178e-05,5.326124e-05,5.322572e-05,5.321612e-05,5.316391e-05,5.315718e-05,5.310497e-05,5.307699e-05,5.303965e-05,5.298597e-05,5.296831e-05,5.289126e-05,5.288486e-05,5.280882e-05,5.277440e-05,5.272129e-05,5.265528e-05,5.262896e-05,5.253211e-05,5.252815e-05,5.243101e-05,5.239362e-05,5.232591e-05,5.225228e-05,5.221706e-05,5.210469e-05,5.195137e-05,5.179281e-05,5.162948e-05,5.146184e-05,5.129029e-05,5.111524e-05,5.093706e-05,5.075609e-05,5.057268e-05,5.038714e-05,5.019976e-05,5.001081e-05,4.982057e-05,4.962928e-05,4.943717e-05,4.924445e-05,4.905133e-05,4.885800e-05,4.866464e-05,4.847142e-05,4.827849e-05,4.808600e-05,4.789408e-05,4.770286e-05
0.000000e+00,8.065857e-11,2.779916e-10,1.541537e-09,4.439532e-09,7.078385e-09,1.877149e-08,1.942943e-08,4.122663e-08,4.938429e-08,7.515451e-08,1.025205e-07,1.240872e-07,1.849614e-07,1.910509e-07,2.787354e-07,3.030525e-07,3.884415e-07,4.592414e-07,5.192542e-07,6.497222e-07,6.684974e-07,8.329537e-07,8.674020e-07,1.009661e-06,1.105535e-06,1.196087e-06,1.358579e-06,1.390031e-06,1.589504e-06,1.621807e-06,1.792649e-06,1.890943e-06,1.997709e-06,2.162019e-06,2.203027e-06,2.407058e-06,2.431387e-06,2.608386e-06,2.695780e-06,2.805739e-06,2.952379e-06,2.998006e-06,3.184240e-06,3.198854e-06,3.363659e-06,3.433374e-06,3.535640e-06,3.654592e-06,3.699714e-06,3.855554e-06,3.861613e-06,4.002961e-06,4.053944e-06,4.141849e-06,4.231415e-06,4.272205e-06,4.394114e-06,4.507720e-06,4.542352e-06,4.613226e-06,4.676612e-06,4.710879e-06,4.797492e-06,4.800953e-06,4.883749e-06,4.905671e-06,4.959582e-06,5.001873e-06,5.028775e-06,5.086851e-06,5.091657e-06,5.148556e-06,5.161358e-06,5.199798e-06,5.226140e-06,5.245699e-06,5.281923e-06,5.286572e-06,5.322716e-06,5.329403e-06,5.354422e-06,5.369247e-06,5.381966e-06,5.402082e-06,5.405614e-06,5.425621e-06,5.428500e-06,5.442225e-06,5.449055e-06,5.455658e-06,5.464265e-06,5.466134e-06,5.473859e-06,5.474611e-06,5.479027e-06,5.480538e-06,5.481820e-06,5.482460e-06,5.482410e-06,5.480958e-06,5.480758e-06,5.477617e-06,5.475783e-06,5.472529e-06,5.467859e-06,5.465828e-06,5.457642e-06,5.457285e-06,5.448087e-06,5.444334e-06,5.437275e-06,5.429257e-06,5.425308e-06,5.412286e-06,5.398297e-06,5.393631e-06,5.383429e-06,5.373488e-06,5.367759e-06,5.352032e-06,5.351363e-06,5.334311e-06,5.329428e-06,5.316667e-06,5.305823e-06,5.298493e-06,5.281352e-06,5.279844e-06,5.260775e-06,5.256141e-06,5.241334e-06,5.230301e-06,5.221567e-06,5.203937e-06,5.201518e-06,5.181226e-06,5.177142e-06,5.160730e-06,5.150002e-06,5.140063e-06,5.122594e-06,5.119258e-06,5.098345e-06,5.094990e-06,5.077352e-06,5.067254e-06,5.056304e-06,5.039444e-06,5.035227e-06,5.014142e-06,5.011613e-06,4.993070e-06,4.983808e-06,4.972030e-06,4.956072e-06,4.951040e-06,4.930116e-06,4.928445e-06,4.909273e-06,4.900962e-06,4.888525e-06,4.873653e-06,4.867885e-06,4.847365e-06,4.846547e-06,4.826975e-06,4.819668e-06,4.806725e-06,4.793041e-06,4.786625e-06,4.766683e-06,4.740613e-06,4.714845e-06,4.689395e-06,4.664272e-06,4.639487e-06,4.615050e-06,4.590966e-06,4.567242e-06,4.543883e-06,4.520892e-06,4.498273e-06,4.476027e-06,4.454155e-06,4.432659e-06,4.411538e-06,4.390791e-06,4.370418e-06,4.350416e-06,4.330782e-06,4.311516e-06,4.292614e-06,4.274072e-06,4.255887e-06,4.238056e-06
0.000000e+00,1.096275e-11,2.531448e-11,8.786251e-11,2.008916e-10,2.937528e-10,6.703456e-10,6.906933e-10,1.344217e-09,1.582908e-09,2.327355e-09,3.108915e-09,3.720781e-09,5.431176e-09,5.600819e-09,8.008709e-09,8.664232e-09,1.092540e-08,1.275854e-08,1.428909e-08,1.756450e-08,1.803156e-08,2.209476e-08,2.294152e-08,2.643045e-08,2.877844e-08,3.099604e-08,3.497945e-08,3.575146e-08,4.065781e-08,4.145428e-08,4.567702e-08,4.811544e-08,5.077221e-08,5.487935e-08,5.590820e-08,6.105219e-08,6.166855e-08,6.617414e-08,6.841373e-08,7.124702e-08,7.505491e-08,7.624718e-08,8.115429e-08,8.154230e-08,8.595124e-08,8.783594e-08,9.062403e-08,9.390518e-08,9.516149e-08,9.955501e-08,9.972767e-08,1.037983e-07,1.052882e-07,1.078870e-07,1.105776e-07,1.118185e-07,1.155916e-07,1.192065e-07,1.203300e-07,1.226642e-07,1.247954e-07,1.259665e-07,1.289931e-07,1.291162e-07,1.321162e-07,1.329298e-07,1.349700e-07,1.366138e-07,1.376815e-07,1.400539e-07,1.402548e-07,1.426939e-07,1.432598e-07,1.450032e-07,1.462413e-07,1.471870e-07,1.490084e-07,1.492496e-07,1.511954e-07,1.515710e-07,1.530287e-07,1.539390e-07,1.547537e-07,1.561220e-07,1.563745e-07,1.578952e-07,1.581295e-07,1.593198e-07,1.599706e-07,1.606522e-07,1.616542e-07,1.618961e-07,1.630551e-07,1.631887e-07,1.641329e-07,1.645823e-07,1.651328e-07,1.658428e-07,1.660582e-07,1.669123e-07,1.669777e-07,1.676982e-07,1.679941e-07,1.684189e-07,1.688990e-07,1.690772e-07,1.696759e-07,1.696987e-07,1.702178e-07,1.703995e-07,1.707054e-07,1.710072e-07,1.711411e-07,1.715274e-07,1.718665e-07,1.719654e-07,1.721607e-07,1.723264e-07,1.724120e-07,1.726149e-07,1.726226e-07,1.727942e-07,1.728356e-07,1.729289e-07,1.729928e-07,1.730285e-07,1.730904e-07,1.730945e-07,1.731288e-07,1.731325e-07,1.731328e-07,1.731225e-07,1.731082e-07,1.730639e-07,1.730563e-07,1.729786e-07,1.729601e-07,1.728764e-07,1.728140e-07,1.727509e-07,1.726285e-07,1.726035e-07,1.724353e-07,1.724065e-07,1.722474e-07,1.721505e-07,1.720409e-07,1.718629e-07,1.718168e-07,1.715761e-07,1.715462e-07,1.713198e-07,1.712023e-07,1.710488e-07,1.708335e-07,1.707639e-07,1.704660e-07,1.704416e-07,1.701558e-07,1.700285e-07,1.698342e-07,1.695959e-07,1.695018e-07,1.691593e-07,1.691454e-07,1.688075e-07,1.686786e-07,1.684469e-07,1.681970e-07,1.680781e-07,1.677017e-07,1.671942e-07,1.666757e-07,1.661473e-07,1.656100e-07,1.650649e-07,1.645128e-07,1.639548e-07,1.633915e-07,1.628239e-07,1.622526e-07,1.616782e-07,1.611016e-07,1.605232e-07,1.599437e-07,1.593635e-07,1.587831e-07,1.582031e-07,1.576238e-07,1.570457e-07,1.564691e-07,1.558944e-07,1.553219e-07,1.547518e-07,1.541846e-07
0.000000e+00,9.048258e-12,4.576276e-11,5.036818e-10,2.439783e-09,5.001786e-09,2.324624e-08,2.455956e-08,8.207622e-08,1.097255e-07,2.152511e-07,3.532048e-07,4.779650e-07,8.940451e-07,9.402944e-07,1.687489e-06,1.919908e-06,2.818144e-06,3.659203e-06,4.441540e-06,6.369873e-06,6.673805e-06,9.632588e-06,1.032160e-05,1.343051e-05,1.577115e-05,1.816833e-05,2.293578e-05,2.392903e-05,3.077362e-05,3.197213e-05,3.873871e-05,4.296431e-05,4.783592e-05,5.592109e-05,5.805260e-05,6.935350e-05,7.078002e-05,8.168304e-05,8.741564e-05,9.496808e-05,1.056501e-04,1.091207e-04,1.240414e-04,1.252650e-04,1.396216e-04,1.460129e-04,1.557469e-04,1.676287e-04,1.722997e-04,1.891613e-04,1.898405e-04,2.062146e-04,2.123788e-04,2.233460e-04,2.349843e-04,2.404468e-04,2.574149e-04,2.741556e-04,2.794503e-04,2.905828e-04,3.008957e-04,3.066194e-04,3.215838e-04,3.221974e-04,3.372581e-04,3.413754e-04,3.517521e-04,3.601593e-04,3.656390e-04,3.778510e-04,3.788867e-04,3.914713e-04,3.943909e-04,4.033761e-04,4.097420e-04,4.145914e-04,4.238874e-04,4.251135e-04,4.349441e-04,4.368277e-04,4.440898e-04,4.485783e-04,4.525613e-04,4.591667e-04,4.603729e-04,4.675417e-04,4.686303e-04,4.740873e-04,4.770142e-04,4.800314e-04,4.843689e-04,4.853969e-04,4.902079e-04,4.907491e-04,4.944893e-04,4.962118e-04,4.982662e-04,5.008151e-04,5.015643e-04,5.044087e-04,5.046175e-04,5.068247e-04,5.076767e-04,5.088369e-04,5.100491e-04,5.104693e-04,5.117455e-04,5.117894e-04,5.126882e-04,5.129501e-04,5.133192e-04,5.135812e-04,5.136598e-04,5.137300e-04,5.135492e-04,5.134414e-04,5.131358e-04,5.127573e-04,5.125074e-04,5.117171e-04,5.116804e-04,5.106706e-04,5.103572e-04,5.094931e-04,5.087118e-04,5.081617e-04,5.068124e-04,5.066898e-04,5.050898e-04,5.046881e-04,5.033735e-04,5.023656e-04,5.015518e-04,4.998699e-04,4.996352e-04,4.976332e-04,4.972234e-04,4.955550e-04,4.944470e-04,4.934090e-04,4.915598e-04,4.912032e-04,4.889449e-04,4.885791e-04,4.866410e-04,4.855208e-04,4.842979e-04,4.823993e-04,4.819216e-04,4.795177e-04,4.792276e-04,4.770912e-04,4.760177e-04,4.746470e-04,4.727803e-04,4.721895e-04,4.697227e-04,4.695251e-04,4.672505e-04,4.662608e-04,4.647763e-04,4.629955e-04,4.623033e-04,4.598346e-04,4.597360e-04,4.573728e-04,4.564888e-04,4.549205e-04,4.532594e-04,4.524798e-04,4.500530e-04,4.468740e-04,4.437262e-04,4.406133e-04,4.375382e-04,4.345036e-04,4.315117e-04,4.285644e-04,4.256634e-04,4.228101e-04,4.200056e-04,4.172507e-04,4.145463e-04,4.118927e-04,4.092903e-04,4.067394e-04,4.042400e-04,4.017921e-04,3.993954e-04,3.970498e-04,3.947549e-04,3.925103e-04,3.903155e-04,3.881700e-04,3.860731e-04
0.000000e+00,1.293582e-10,3.897309e-10,1.812534e-09,4.766172e-09,7.347873e-09,1.846067e-08,1.908011e-08,3.960335e-08,4.733286e-08,7.201788e-08,9.864679e-08,1.198435e-07,1.798409e-07,1.858073e-07,2.700188e-07,2.927312e-07,3.704163e-07,4.328414e-07,4.847351e-07,5.954908e-07,6.112761e-07,7.487474e-07,7.774522e-07,8.960079e-07,9.760764e-07,1.051920e-06,1.188702e-06,1.215292e-06,1.384873e-06,1.412496e-06,1.559371e-06,1.644495e-06,1.737489e-06,1.881734e-06,1.917956e-06,2.099556e-06,2.121369e-06,2.281156e-06,2.360790e-06,2.461724e-06,2.597694e-06,2.640338e-06,2.816192e-06,2.830120e-06,2.988598e-06,3.056463e-06,3.156982e-06,3.275461e-06,3.320876e-06,3.479908e-06,3.486163e-06,3.633793e-06,3.687889e-06,3.782325e-06,3.880197e-06,3.925367e-06,4.062840e-06,4.194713e-06,4.235730e-06,4.320998e-06,4.398908e-06,4.441741e-06,4.552510e-06,4.557018e-06,4.666924e-06,4.696751e-06,4.771575e-06,4.831897e-06,4.871100e-06,4.958256e-06,4.965640e-06,5.055340e-06,5.076164e-06,5.140353e-06,5.185971e-06,5.220834e-06,5.288034e-06,5.296941e-06,5.368829e-06,5.382715e-06,5.436657e-06,5.470373e-06,5.500578e-06,5.551364e-06,5.560745e-06,5.617308e-06,5.626033e-06,5.670413e-06,5.694717e-06,5.720203e-06,5.757741e-06,5.766816e-06,5.810389e-06,5.815420e-06,5.851051e-06,5.868054e-06,5.888930e-06,5.915932e-06,5.924149e-06,5.956825e-06,5.959332e-06,5.987073e-06,5.998517e-06,6.015003e-06,6.033738e-06,6.040722e-06,6.064332e-06,6.065234e-06,6.085932e-06,6.093234e-06,6.105615e-06,6.117952e-06,6.123474e-06,6.139595e-06,6.154062e-06,6.158356e-06,6.166957e-06,6.174420e-06,6.178356e-06,6.187961e-06,6.188333e-06,6.196961e-06,6.199144e-06,6.204306e-06,6.208125e-06,6.210434e-06,6.215051e-06,6.215408e-06,6.219288e-06,6.220063e-06,6.222131e-06,6.223290e-06,6.223992e-06,6.224859e-06,6.224923e-06,6.224976e-06,6.224885e-06,6.224197e-06,6.223479e-06,6.222633e-06,6.220746e-06,6.220329e-06,6.217325e-06,6.216783e-06,6.213663e-06,6.211683e-06,6.209380e-06,6.205532e-06,6.204514e-06,6.199099e-06,6.198414e-06,6.193170e-06,6.190405e-06,6.186756e-06,6.181578e-06,6.179891e-06,6.172601e-06,6.172001e-06,6.164916e-06,6.161737e-06,6.156861e-06,6.150848e-06,6.148463e-06,6.139744e-06,6.139389e-06,6.130728e-06,6.127414e-06,6.121437e-06,6.114973e-06,6.111892e-06,6.102112e-06,6.088876e-06,6.075305e-06,6.061438e-06,6.047312e-06,6.032958e-06,6.018410e-06,6.003697e-06,5.988847e-06,5.973884e-06,5.958833e-06,5.943717e-06,5.928556e-06,5.913369e-06,5.898176e-06,5.882992e-06,5.867833e-06,5.852713e-06,5.837647e-06,5.822646e-06,5.807721e-06,5.792884e-06,5.778144e-06,5.763510e-06,5.748990e-06
0.000000e+00,2.477402e-11,1.142277e-10,1.042961e-09,4.287569e-09,8.054406e-09,3.015148e-08,3.158532e-08,8.645909e-08,1.097785e-07,1.902098e-07,2.839464e-07,3.623129e-07,5.993007e-07,6.240705e-07,9.980969e-07,1.107037e-06,1.505857e-06,1.854838e-06,2.163028e-06,2.869860e-06,2.975499e-06,3.939065e-06,4.148993e-06,5.042389e-06,5.666505e-06,6.270719e-06,7.387753e-06,7.608531e-06,9.040802e-06,9.277772e-06,1.055334e-05,1.130389e-05,1.213265e-05,1.343542e-05,1.376572e-05,1.543988e-05,1.564295e-05,1.714276e-05,1.789801e-05,1.886233e-05,2.017325e-05,2.058706e-05,2.230599e-05,2.244294e-05,2.400893e-05,2.468351e-05,2.568656e-05,2.687404e-05,2.733051e-05,2.893343e-05,2.899660e-05,3.048900e-05,3.103637e-05,3.199194e-05,3.298165e-05,3.343797e-05,3.482373e-05,3.614676e-05,3.655659e-05,3.740539e-05,3.817665e-05,3.859866e-05,3.968238e-05,3.972622e-05,4.078828e-05,4.107400e-05,4.178551e-05,4.235315e-05,4.271895e-05,4.352258e-05,4.359000e-05,4.440027e-05,4.458590e-05,4.515161e-05,4.554735e-05,4.584600e-05,4.641163e-05,4.648555e-05,4.707243e-05,4.718368e-05,4.760887e-05,4.786863e-05,4.809712e-05,4.847164e-05,4.853941e-05,4.893798e-05,4.899784e-05,4.929500e-05,4.945225e-05,4.961264e-05,4.983979e-05,4.989297e-05,5.013804e-05,5.016517e-05,5.034981e-05,5.043293e-05,5.053017e-05,5.064738e-05,5.068097e-05,5.080394e-05,5.081263e-05,5.090077e-05,5.093255e-05,5.097308e-05,5.101082e-05,5.102239e-05,5.105018e-05,5.105086e-05,5.105783e-05,5.105592e-05,5.104669e-05,5.102902e-05,5.101801e-05,5.097299e-05,5.091278e-05,5.089047e-05,5.083844e-05,5.078394e-05,5.075102e-05,5.065567e-05,5.065146e-05,5.054071e-05,5.050780e-05,5.041961e-05,5.034233e-05,5.028899e-05,5.016107e-05,5.014962e-05,5.000224e-05,4.996575e-05,4.984753e-05,4.975794e-05,4.968615e-05,4.953909e-05,4.951870e-05,4.934577e-05,4.931057e-05,4.916789e-05,4.907361e-05,4.898558e-05,4.882937e-05,4.879933e-05,4.860957e-05,4.857891e-05,4.841674e-05,4.832320e-05,4.822123e-05,4.806315e-05,4.802342e-05,4.782365e-05,4.779956e-05,4.762226e-05,4.753321e-05,4.741955e-05,4.726478e-05,4.721580e-05,4.701129e-05,4.699491e-05,4.680627e-05,4.672417e-05,4.660097e-05,4.645310e-05,4.639561e-05,4.619038e-05,4.618218e-05,4.598549e-05,4.591184e-05,4.578110e-05,4.564249e-05,4.557738e-05,4.537448e-05,4.510814e-05,4.484375e-05,4.458159e-05,4.432189e-05,4.406484e-05,4.381065e-05,4.355948e-05,4.331147e-05,4.306674e-05,4.282541e-05,4.258756e-05,4.235328e-05,4.212264e-05,4.189567e-05,4.167244e-05,4.145297e-05,4.123727e-05,4.102538e-05,4.081729e-05,4.061300e-05,4.041250e-05,4.021579e-05,4.002285e-05,3.983365e-05
0.000000e+00,1.724489e-10,5.443971e-10,2.690925e-09,7.331388e-09,1.148628e-08,3.001169e-08,3.106928e-08,6.727904e-08,8.140296e-08,1.276207e-07,1.781911e-07,2.181931e-07,3.282857e-07,3.389770e-07,4.864460e-07,5.254818e-07,6.579589e-07,7.639925e-07,8.522161e-07,1.041403e-06,1.068499e-06,1.306149e-06,1.356174e-06,1.564326e-06,1.706330e-06,1.841910e-06,2.089049e-06,2.137483e-06,2.449352e-06,2.500638e-06,2.775600e-06,2.936700e-06,3.114146e-06,3.392373e-06,3.462808e-06,3.819370e-06,3.862583e-06,4.181636e-06,4.342289e-06,4.547482e-06,4.826676e-06,4.914896e-06,5.282011e-06,5.311315e-06,5.647119e-06,5.792252e-06,6.008692e-06,6.266071e-06,6.365380e-06,6.716014e-06,6.729899e-06,7.059598e-06,7.181398e-06,7.395300e-06,7.618722e-06,7.722439e-06,8.040474e-06,8.348987e-06,8.445648e-06,8.647673e-06,8.833573e-06,8.936320e-06,9.203862e-06,9.214806e-06,9.483076e-06,9.556361e-06,9.741140e-06,9.891103e-06,9.989060e-06,1.020828e-05,1.022694e-05,1.045492e-05,1.050818e-05,1.067317e-05,1.079121e-05,1.088188e-05,1.105783e-05,1.108127e-05,1.127155e-05,1.130854e-05,1.145298e-05,1.154389e-05,1.162578e-05,1.176445e-05,1.179020e-05,1.194651e-05,1.197078e-05,1.209495e-05,1.216348e-05,1.223578e-05,1.234312e-05,1.236924e-05,1.249558e-05,1.251028e-05,1.261506e-05,1.266551e-05,1.272790e-05,1.280937e-05,1.283435e-05,1.293463e-05,1.294239e-05,1.302898e-05,1.306511e-05,1.311761e-05,1.317801e-05,1.320074e-05,1.327858e-05,1.328159e-05,1.335133e-05,1.337631e-05,1.341919e-05,1.346263e-05,1.348235e-05,1.354099e-05,1.359530e-05,1.361179e-05,1.364545e-05,1.367544e-05,1.369161e-05,1.373232e-05,1.373394e-05,1.377261e-05,1.378280e-05,1.380775e-05,1.382721e-05,1.383953e-05,1.386591e-05,1.386808e-05,1.389354e-05,1.389920e-05,1.391604e-05,1.392740e-05,1.393571e-05,1.395078e-05,1.395268e-05,1.396706e-05,1.396963e-05,1.397897e-05,1.398422e-05,1.398851e-05,1.399478e-05,1.399580e-05,1.400094e-05,1.400157e-05,1.400402e-05,1.400480e-05,1.400514e-05,1.400469e-05,1.400440e-05,1.400187e-05,1.400145e-05,1.399765e-05,1.399528e-05,1.399182e-05,1.398635e-05,1.398445e-05,1.397562e-05,1.397486e-05,1.396541e-05,1.396095e-05,1.395388e-05,1.394480e-05,1.394110e-05,1.392713e-05,1.392655e-05,1.391204e-05,1.390634e-05,1.389588e-05,1.388432e-05,1.387872e-05,1.386060e-05,1.383532e-05,1.380859e-05,1.378052e-05,1.375120e-05,1.372075e-05,1.368925e-05,1.365679e-05,1.362346e-05,1.358933e-05,1.355447e-05,1.351897e-05,1.348288e-05,1.344627e-05,1.340920e-05,1.337172e-05,1.333388e-05,1.329575e-05,1.325736e-05,1.321875e-05,1.317998e-05,1.314107e-05,1.310207e-05,1.306301e-05,1.302393e-05
0.000000e+00,1.142588e-10,2.735284e-10,9.867619e-10,2.304860e-09,3.405777e-09,8.005300e-09,8.259516e-09,1.670506e-08,1.991513e-08,3.029829e-08,4.170042e-08,5.089606e-08,7.730383e-08,7.994937e-08,1.173445e-07,1.273848e-07,1.613418e-07,1.880652e-07,2.098446e-07,2.549700e-07,2.612537e-07,3.145172e-07,3.253268e-07,3.689360e-07,3.975160e-07,4.239982e-07,4.704386e-07,4.792834e-07,5.344146e-07,5.431975e-07,5.890390e-07,6.149800e-07,6.428234e-07,6.850362e-07,6.954568e-07,7.466566e-07,7.526920e-07,7.961718e-07,8.173682e-07,8.437885e-07,8.785986e-07,8.893320e-07,9.326645e-07,9.360324e-07,9.736867e-07,9.894333e-07,1.012335e-06,1.038673e-06,1.048578e-06,1.082412e-06,1.083715e-06,1.113859e-06,1.124603e-06,1.142962e-06,1.161445e-06,1.169784e-06,1.194396e-06,1.216878e-06,1.223637e-06,1.237322e-06,1.249379e-06,1.255822e-06,1.271845e-06,1.272477e-06,1.287387e-06,1.291262e-06,1.300650e-06,1.307858e-06,1.312364e-06,1.321856e-06,1.322626e-06,1.331527e-06,1.333471e-06,1.339157e-06,1.342907e-06,1.345602e-06,1.350356e-06,1.350941e-06,1.355255e-06,1.356001e-06,1.358615e-06,1.360009e-06,1.361092e-06,1.362537e-06,1.362750e-06,1.363651e-06,1.363729e-06,1.363854e-06,1.363718e-06,1.363411e-06,1.362627e-06,1.362375e-06,1.360792e-06,1.360567e-06,1.358707e-06,1.357641e-06,1.356161e-06,1.353942e-06,1.353193e-06,1.349839e-06,1.349555e-06,1.346133e-06,1.344559e-06,1.342106e-06,1.339024e-06,1.337786e-06,1.333203e-06,1.333014e-06,1.328379e-06,1.326589e-06,1.323340e-06,1.319800e-06,1.318106e-06,1.312698e-06,1.307136e-06,1.305326e-06,1.301435e-06,1.297722e-06,1.295614e-06,1.289925e-06,1.289686e-06,1.283666e-06,1.281965e-06,1.277567e-06,1.273874e-06,1.271400e-06,1.265677e-06,1.265177e-06,1.258909e-06,1.257399e-06,1.252604e-06,1.249061e-06,1.246272e-06,1.240684e-06,1.239921e-06,1.233558e-06,1.232284e-06,1.227190e-06,1.223879e-06,1.220824e-06,1.215482e-06,1.214466e-06,1.208121e-06,1.207107e-06,1.201794e-06,1.198765e-06,1.195490e-06,1.190466e-06,1.189213e-06,1.182967e-06,1.182219e-06,1.176755e-06,1.174034e-06,1.170581e-06,1.165917e-06,1.164448e-06,1.158359e-06,1.157874e-06,1.152315e-06,1.149911e-06,1.146320e-06,1.142034e-06,1.140375e-06,1.134481e-06,1.134247e-06,1.128642e-06,1.126553e-06,1.122857e-06,1.118956e-06,1.117129e-06,1.111459e-06,1.104063e-06,1.096772e-06,1.089586e-06,1.082508e-06,1.075537e-06,1.068675e-06,1.061922e-06,1.055278e-06,1.048744e-06,1.042320e-06,1.036004e-06,1.029798e-06,1.023699e-06,1.017708e-06,1.011824e-06,1.006045e-06,1.000372e-06,9.948021e-07,9.893353e-07,9.839702e-07,9.787055e-07,9.735401e-07,9.684725e-07,9.635016e-07
0.000000e+00,2.356873e-11,1.217608e-10,1.401381e-09,7.076106e-09,1.484690e-08,7.336227e-08,7.770390e-08,2.766111e-07,3.763616e-07,7.724249e-07,1.315980e-06,1.825930e-06,3.617566e-06,3.823754e-06,7.303154e-06,8.433489e-06,1.297124e-05,1.742360e-05,2.171129e-05,3.277253e-05,3.457143e-05,5.273760e-05,5.711952e-05,7.749725e-05,9.342451e-05,1.101994e-04,1.448105e-04,1.522152e-04,2.049007e-04,2.144088e-04,2.695630e-04,3.052195e-04,3.474303e-04,4.199903e-04,4.396252e-04,5.471421e-04,5.611157e-04,6.708286e-04,7.305559e-04,8.113700e-04,9.297758e-04,9.692785e-04,1.144885e-03,1.159704e-03,1.338337e-03,1.420712e-03,1.549596e-03,1.712612e-03,1.778443e-03,2.024482e-03,2.034674e-03,2.287155e-03,2.385656e-03,2.565747e-03,2.763851e-03,2.859403e-03,3.167143e-03,3.487881e-03,3.593072e-03,3.820437e-03,4.038898e-03,4.163558e-03,4.501680e-03,4.515936e-03,4.876225e-03,4.978336e-03,5.243053e-03,5.465717e-03,5.615045e-03,5.960661e-03,5.990832e-03,6.369064e-03,6.460057e-03,6.748428e-03,6.960889e-03,7.127650e-03,7.460276e-03,7.505509e-03,7.880843e-03,7.955510e-03,8.252558e-03,8.444076e-03,8.619627e-03,8.923677e-03,8.981100e-03,9.336101e-03,9.392246e-03,9.683832e-03,9.847947e-03,1.002358e-02,1.028918e-02,1.035469e-02,1.067660e-02,1.071459e-02,1.098883e-02,1.112304e-02,1.129096e-02,1.151360e-02,1.158263e-02,1.186356e-02,1.188556e-02,1.213353e-02,1.223841e-02,1.239237e-02,1.257179e-02,1.263999e-02,1.287631e-02,1.288553e-02,1.310134e-02,1.317959e-02,1.331511e-02,1.345407e-02,1.351768e-02,1.370918e-02,1.388973e-02,1.394522e-02,1.405951e-02,1.416261e-02,1.421871e-02,1.436180e-02,1.436756e-02,1.450627e-02,1.454333e-02,1.463512e-02,1.470779e-02,1.475435e-02,1.485580e-02,1.486425e-02,1.496511e-02,1.498800e-02,1.505721e-02,1.510507e-02,1.514085e-02,1.520770e-02,1.521634e-02,1.528397e-02,1.529658e-02,1.534405e-02,1.537240e-02,1.539688e-02,1.543586e-02,1.544275e-02,1.548197e-02,1.548764e-02,1.551482e-02,1.552842e-02,1.554160e-02,1.555884e-02,1.556258e-02,1.557805e-02,1.557954e-02,1.558826e-02,1.559116e-02,1.559349e-02,1.559429e-02,1.559399e-02,1.559001e-02,1.558950e-02,1.558179e-02,1.557736e-02,1.556955e-02,1.555839e-02,1.555354e-02,1.553396e-02,1.553310e-02,1.551102e-02,1.550198e-02,1.548493e-02,1.546549e-02,1.545588e-02,1.542406e-02,1.537811e-02,1.532803e-02,1.527419e-02,1.521694e-02,1.515661e-02,1.509351e-02,1.502792e-02,1.496012e-02,1.489036e-02,1.481887e-02,1.474589e-02,1.467162e-02,1.459624e-02,1.451995e-02,1.444290e-02,1.436525e-02,1.428714e-02,1.420871e-02,1.413008e-02,1.405136e-02,1.397266e-02,1.389406e-02,1.381567e-02,1.373755e-02
0.000000e+00,3.712897e-11,8.695071e-11,3.075403e-10,7.133414e-10,1.051693e-09,2.460058e-09,2.537624e-09,5.096785e-09,6.060589e-09,9.147463e-09,1.249092e-08,1.515903e-08,2.272976e-08,2.348372e-08,3.413745e-08,3.701193e-08,4.683238e-08,5.469919e-08,6.121576e-08,7.504336e-08,7.700486e-08,9.399177e-08,9.751804e-08,1.120131e-07,1.217450e-07,1.309256e-07,1.474015e-07,1.505936e-07,1.708831e-07,1.741783e-07,1.916618e-07,2.017710e-07,2.127997e-07,2.298845e-07,2.341719e-07,2.556604e-07,2.582416e-07,2.771565e-07,2.865914e-07,2.985616e-07,3.147140e-07,3.197876e-07,3.407577e-07,3.424223e-07,3.614062e-07,3.695627e-07,3.816773e-07,3.960129e-07,4.015253e-07,4.209131e-07,4.216786e-07,4.398111e-07,4.464900e-07,4.581970e-07,4.703982e-07,4.760542e-07,4.933714e-07,5.101417e-07,5.153921e-07,5.263619e-07,5.364538e-07,5.420315e-07,5.565587e-07,5.571531e-07,5.717308e-07,5.757159e-07,5.857709e-07,5.939399e-07,5.992808e-07,6.112490e-07,6.122691e-07,6.247454e-07,6.276646e-07,6.367198e-07,6.432102e-07,6.482031e-07,6.579109e-07,6.592063e-07,6.697410e-07,6.717927e-07,6.798186e-07,6.848822e-07,6.894509e-07,6.972065e-07,6.986497e-07,7.074268e-07,7.087928e-07,7.157939e-07,7.196680e-07,7.237628e-07,7.298588e-07,7.313448e-07,7.385516e-07,7.393917e-07,7.453943e-07,7.482927e-07,7.518841e-07,7.565870e-07,7.580319e-07,7.638483e-07,7.642996e-07,7.693439e-07,7.714547e-07,7.745291e-07,7.780758e-07,7.794138e-07,7.840080e-07,7.841859e-07,7.883213e-07,7.898071e-07,7.923630e-07,7.949610e-07,7.961425e-07,7.996686e-07,8.029500e-07,8.039498e-07,8.059953e-07,8.078242e-07,8.088128e-07,8.113107e-07,8.114105e-07,8.137962e-07,8.144272e-07,8.159776e-07,8.171914e-07,8.179620e-07,8.196200e-07,8.197567e-07,8.213687e-07,8.217292e-07,8.228048e-07,8.235346e-07,8.240715e-07,8.250512e-07,8.251752e-07,8.261222e-07,8.262933e-07,8.269185e-07,8.272749e-07,8.275698e-07,8.280091e-07,8.280819e-07,8.284603e-07,8.285088e-07,8.287102e-07,8.287861e-07,8.288368e-07,8.288527e-07,8.288451e-07,8.287399e-07,8.287199e-07,8.285259e-07,8.283985e-07,8.282076e-07,8.278987e-07,8.277894e-07,8.272755e-07,8.272304e-07,8.266700e-07,8.264031e-07,8.259769e-07,8.254258e-07,8.252000e-07,8.243430e-07,8.243071e-07,8.234095e-07,8.230554e-07,8.224030e-07,8.216785e-07,8.213267e-07,8.201840e-07,8.185792e-07,8.168708e-07,8.150656e-07,8.131698e-07,8.111894e-07,8.091301e-07,8.069974e-07,8.047966e-07,8.025326e-07,8.002101e-07,7.978336e-07,7.954075e-07,7.929359e-07,7.904227e-07,7.878715e-07,7.852859e-07,7.826692e-07,7.800247e-07,7.773554e-07,7.746641e-07,7.719536e-07,7.692266e-07,7.664854e-07,7.637324e-07
0.000000e+00,7.041874e-11,3.636266e-10,4.182432e-09,2.111918e-08,4.432718e-08,2.195527e-07,2.325808e-07,8.322748e-07,1.134666e-06,2.343282e-06,4.017798e-06,5.601575e-06,1.123623e-05,1.189020e-05,2.303964e-05,2.669546e-05,4.146815e-05,5.604831e-05,7.012313e-05,1.064406e-04,1.123387e-04,1.716567e-04,1.858882e-04,2.516487e-04,3.025670e-04,3.557580e-04,4.641862e-04,4.871674e-04,6.486936e-04,6.774979e-04,8.427081e-04,9.479438e-04,1.071080e-03,1.279428e-03,1.335140e-03,1.635667e-03,1.674198e-03,1.972888e-03,2.132828e-03,2.346491e-03,2.654277e-03,2.755660e-03,3.199108e-03,3.236017e-03,3.675128e-03,3.874202e-03,4.181643e-03,4.563884e-03,4.716261e-03,5.276335e-03,5.299228e-03,5.859019e-03,6.073748e-03,6.461324e-03,6.880529e-03,7.080169e-03,7.712434e-03,8.355002e-03,8.562295e-03,9.004797e-03,9.423073e-03,9.658826e-03,1.028800e-02,1.031420e-02,1.096817e-02,1.115068e-02,1.161814e-02,1.200518e-02,1.226168e-02,1.284611e-02,1.289653e-02,1.352065e-02,1.366863e-02,1.413217e-02,1.446848e-02,1.472941e-02,1.524200e-02,1.531091e-02,1.587537e-02,1.598611e-02,1.642168e-02,1.669828e-02,1.694893e-02,1.737652e-02,1.745635e-02,1.794335e-02,1.801934e-02,1.840946e-02,1.862569e-02,1.885439e-02,1.919495e-02,1.927795e-02,1.968006e-02,1.972687e-02,2.006077e-02,2.022154e-02,2.042022e-02,2.067932e-02,2.075863e-02,2.107630e-02,2.110083e-02,2.137360e-02,2.148691e-02,2.165095e-02,2.183855e-02,2.190882e-02,2.214775e-02,2.215692e-02,2.236827e-02,2.244326e-02,2.257097e-02,2.269894e-02,2.275646e-02,2.292536e-02,2.307829e-02,2.312396e-02,2.321590e-02,2.329623e-02,2.333884e-02,2.344364e-02,2.344774e-02,2.354324e-02,2.356767e-02,2.362599e-02,2.366977e-02,2.369659e-02,2.375135e-02,2.375567e-02,2.380382e-02,2.381382e-02,2.384163e-02,2.385851e-02,2.386968e-02,2.388671e-02,2.388850e-02,2.389864e-02,2.389968e-02,2.390063e-02,2.389860e-02,2.389494e-02,2.388460e-02,2.388208e-02,2.386249e-02,2.385876e-02,2.383662e-02,2.382210e-02,2.380490e-02,2.377558e-02,2.376773e-02,2.372550e-02,2.372011e-02,2.367857e-02,2.365653e-02,2.362731e-02,2.358565e-02,2.357204e-02,2.351308e-02,2.350821e-02,2.345073e-02,2.342491e-02,2.338528e-02,2.333639e-02,2.331701e-02,2.324615e-02,2.324327e-02,2.317296e-02,2.314609e-02,2.309767e-02,2.304538e-02,2.302048e-02,2.294161e-02,2.283524e-02,2.272667e-02,2.261627e-02,2.250439e-02,2.239136e-02,2.227746e-02,2.216295e-02,2.204808e-02,2.193308e-02,2.181814e-02,2.170345e-02,2.158917e-02,2.147545e-02,2.136243e-02,2.125023e-02,2.113896e-02,2.102871e-02,2.091958e-02,2.081164e-02,2.070495e-02,2.059958e-02,2.049558e-02,2.039299e-02,2.029185e-02
0.000000e+00,6.262546e-12,3.038358e-11,3.070678e-10,1.377959e-09,2.710651e-09,1.135395e-08,1.194593e-08,3.619746e-08,4.717125e-08,8.699081e-08,1.361493e-07,1.788838e-07,3.143077e-07,3.288672e-07,5.547086e-07,6.220376e-07,8.722908e-07,1.094831e-06,1.293504e-06,1.755825e-06,1.825690e-06,2.472256e-06,2.615374e-06,3.233638e-06,3.674440e-06,4.108149e-06,4.927805e-06,5.092510e-06,6.182128e-06,6.365864e-06,7.371210e-06,7.975302e-06,8.652810e-06,9.739326e-06,1.001888e-05,1.146033e-05,1.163791e-05,1.296722e-05,1.364824e-05,1.452885e-05,1.574544e-05,1.613405e-05,1.777136e-05,1.790339e-05,1.942932e-05,2.009576e-05,2.109668e-05,2.229690e-05,2.276261e-05,2.441691e-05,2.448270e-05,2.605015e-05,2.663128e-05,2.765378e-05,2.872342e-05,2.922022e-05,3.074289e-05,3.221625e-05,3.267653e-05,3.363573e-05,3.451423e-05,3.499774e-05,3.624870e-05,3.629959e-05,3.753942e-05,3.787530e-05,3.871613e-05,3.939165e-05,3.982928e-05,4.079738e-05,4.087903e-05,4.186604e-05,4.209370e-05,4.279139e-05,4.328317e-05,4.365651e-05,4.436935e-05,4.446311e-05,4.521314e-05,4.535653e-05,4.590868e-05,4.624956e-05,4.655195e-05,4.705358e-05,4.714525e-05,4.769088e-05,4.777392e-05,4.819120e-05,4.841593e-05,4.864851e-05,4.898493e-05,4.906509e-05,4.944319e-05,4.948607e-05,4.978495e-05,4.992435e-05,5.009246e-05,5.030451e-05,5.036774e-05,5.061271e-05,5.063105e-05,5.082920e-05,5.090821e-05,5.101895e-05,5.113996e-05,5.118363e-05,5.132481e-05,5.132998e-05,5.144396e-05,5.148174e-05,5.154249e-05,5.159839e-05,5.162173e-05,5.168290e-05,5.172719e-05,5.173798e-05,5.175569e-05,5.176613e-05,5.176944e-05,5.176966e-05,5.176940e-05,5.175649e-05,5.175069e-05,5.173156e-05,5.171116e-05,5.169541e-05,5.165288e-05,5.164879e-05,5.159240e-05,5.157749e-05,5.152691e-05,5.148650e-05,5.145294e-05,5.138130e-05,5.137107e-05,5.128185e-05,5.126317e-05,5.118578e-05,5.113328e-05,5.108334e-05,5.099271e-05,5.097500e-05,5.086116e-05,5.084247e-05,5.074223e-05,5.068345e-05,5.061859e-05,5.051651e-05,5.049057e-05,5.035852e-05,5.034242e-05,5.022274e-05,5.016190e-05,5.008353e-05,4.997560e-05,4.994115e-05,4.979587e-05,4.978413e-05,4.964793e-05,4.958806e-05,4.949756e-05,4.938790e-05,4.934497e-05,4.919036e-05,4.918414e-05,4.903393e-05,4.897720e-05,4.887585e-05,4.876751e-05,4.871630e-05,4.855544e-05,4.834134e-05,4.812553e-05,4.790832e-05,4.768998e-05,4.747076e-05,4.725091e-05,4.703065e-05,4.681017e-05,4.658967e-05,4.636932e-05,4.614929e-05,4.592972e-05,4.571074e-05,4.549250e-05,4.527511e-05,4.505867e-05,4.484328e-05,4.462905e-05,4.441604e-05,4.420435e-05,4.399404e-05,4.378518e-05,4.357783e-05,4.337204e-05
0.000000e+00,2.309801e-11,1.113966e-10,1.112658e-09,4.943890e-09,9.676264e-09,4.005674e-08,4.212688e-08,1.264386e-07,1.644055e-07,3.017145e-07,4.706785e-07,6.172815e-07,1.080836e-06,1.130603e-06,1.901233e-06,2.130543e-06,2.981305e-06,3.735925e-06,4.408174e-06,5.967607e-06,6.202697e-06,8.371602e-06,8.850120e-06,1.091106e-05,1.237447e-05,1.380965e-05,1.650971e-05,1.705037e-05,2.061170e-05,2.120962e-05,2.446829e-05,2.641605e-05,2.859156e-05,3.206121e-05,3.295019e-05,3.751089e-05,3.807012e-05,4.223913e-05,4.436363e-05,4.709998e-05,5.086165e-05,5.205893e-05,5.708260e-05,5.748633e-05,6.213936e-05,6.416467e-05,6.719985e-05,7.083055e-05,7.223726e-05,7.722762e-05,7.742595e-05,8.214983e-05,8.390154e-05,8.698563e-05,9.021663e-05,9.171957e-05,9.633879e-05,1.008328e-04,1.022431e-04,1.051935e-04,1.079113e-04,1.094144e-04,1.133308e-04,1.134911e-04,1.174205e-04,1.184940e-04,1.212007e-04,1.233970e-04,1.248313e-04,1.280393e-04,1.283123e-04,1.316450e-04,1.324229e-04,1.348309e-04,1.365517e-04,1.378723e-04,1.404313e-04,1.407719e-04,1.435325e-04,1.440682e-04,1.461574e-04,1.474699e-04,1.486501e-04,1.506443e-04,1.510140e-04,1.532529e-04,1.535998e-04,1.553705e-04,1.563450e-04,1.573706e-04,1.588886e-04,1.592569e-04,1.610332e-04,1.612391e-04,1.627032e-04,1.634053e-04,1.642706e-04,1.653955e-04,1.657391e-04,1.671122e-04,1.672180e-04,1.683934e-04,1.688809e-04,1.695862e-04,1.703921e-04,1.706939e-04,1.717198e-04,1.717592e-04,1.726671e-04,1.729895e-04,1.735389e-04,1.740901e-04,1.743382e-04,1.750679e-04,1.757309e-04,1.759294e-04,1.763300e-04,1.766810e-04,1.768677e-04,1.773287e-04,1.773468e-04,1.777697e-04,1.778784e-04,1.781388e-04,1.783355e-04,1.784566e-04,1.787054e-04,1.787251e-04,1.789468e-04,1.789932e-04,1.791235e-04,1.792037e-04,1.792575e-04,1.793415e-04,1.793506e-04,1.794047e-04,1.794110e-04,1.794217e-04,1.794165e-04,1.794034e-04,1.793619e-04,1.793514e-04,1.792674e-04,1.792511e-04,1.791529e-04,1.790876e-04,1.790095e-04,1.788749e-04,1.788386e-04,1.786416e-04,1.786163e-04,1.784199e-04,1.783149e-04,1.781748e-04,1.779736e-04,1.779074e-04,1.776191e-04,1.775952e-04,1.773109e-04,1.771823e-04,1.769840e-04,1.767376e-04,1.766394e-04,1.762781e-04,1.762633e-04,1.759011e-04,1.757618e-04,1.755094e-04,1.752351e-04,1.751039e-04,1.746853e-04,1.741144e-04,1.735240e-04,1.729160e-04,1.722919e-04,1.716533e-04,1.710016e-04,1.703381e-04,1.696643e-04,1.689812e-04,1.682900e-04,1.675917e-04,1.668875e-04,1.661782e-04,1.654647e-04,1.647479e-04,1.640286e-04,1.633074e-04,1.625851e-04,1.618624e-04,1.611398e-04,1.604179e-04,1.596972e-04,1.589783e-04,1.582616e-04
0.000000e+00,2.130107e-11,1.089790e-10,1.228823e-09,6.087613e-09,1.263766e-08,6.071292e-08,6.423099e-08,2.221058e-07,2.997632e-07,6.025627e-07,1.008987e-06,1.383944e-06,2.670375e-06,2.816117e-06,5.227871e-06,5.996510e-06,9.032094e-06,1.195308e-05,1.472731e-05,2.176143e-05,2.289251e-05,3.417227e-05,3.686189e-05,4.925173e-05,5.882574e-05,6.882518e-05,8.923206e-05,9.356359e-05,1.240858e-04,1.295437e-04,1.609356e-04,1.810078e-04,2.045655e-04,2.445907e-04,2.553268e-04,3.134647e-04,3.209446e-04,3.791182e-04,4.103993e-04,4.523223e-04,5.129715e-04,5.330133e-04,6.210353e-04,6.283872e-04,7.161486e-04,7.561111e-04,8.180376e-04,8.953816e-04,9.263212e-04,1.040561e-03,1.045248e-03,1.160274e-03,1.204610e-03,1.284937e-03,1.372255e-03,1.414000e-03,1.546896e-03,1.683044e-03,1.727204e-03,1.821864e-03,1.911843e-03,1.962777e-03,2.099496e-03,2.105216e-03,2.248631e-03,2.288889e-03,2.392492e-03,2.478811e-03,2.536293e-03,2.668129e-03,2.679560e-03,2.821844e-03,2.855800e-03,2.962733e-03,3.040878e-03,3.101846e-03,3.222520e-03,3.238836e-03,3.373392e-03,3.399985e-03,3.505233e-03,3.572635e-03,3.634114e-03,3.739929e-03,3.759821e-03,3.882169e-03,3.901422e-03,4.001002e-03,4.056756e-03,4.116194e-03,4.205655e-03,4.227640e-03,4.335262e-03,4.347917e-03,4.439002e-03,4.483408e-03,4.538824e-03,4.612054e-03,4.634706e-03,4.726648e-03,4.733833e-03,4.814660e-03,4.848769e-03,4.898767e-03,4.956927e-03,4.979006e-03,5.055425e-03,5.058403e-03,5.128078e-03,5.153323e-03,5.197030e-03,5.241838e-03,5.262350e-03,5.324115e-03,5.382405e-03,5.400338e-03,5.437304e-03,5.470701e-03,5.488900e-03,5.535408e-03,5.537282e-03,5.582543e-03,5.594668e-03,5.624773e-03,5.648696e-03,5.664067e-03,5.697705e-03,5.700519e-03,5.734221e-03,5.741911e-03,5.765267e-03,5.781527e-03,5.793749e-03,5.816766e-03,5.819759e-03,5.843387e-03,5.847834e-03,5.864721e-03,5.874937e-03,5.883848e-03,5.898273e-03,5.900855e-03,5.915825e-03,5.918037e-03,5.928841e-03,5.934417e-03,5.939981e-03,5.947596e-03,5.949325e-03,5.956948e-03,5.957750e-03,5.962924e-03,5.965051e-03,5.967326e-03,5.969661e-03,5.970223e-03,5.971683e-03,5.971740e-03,5.971773e-03,5.971440e-03,5.970556e-03,5.968906e-03,5.968094e-03,5.964447e-03,5.964277e-03,5.959673e-03,5.957689e-03,5.953827e-03,5.949268e-03,5.946965e-03,5.939138e-03,5.927413e-03,5.914207e-03,5.899625e-03,5.883767e-03,5.866731e-03,5.848607e-03,5.829482e-03,5.809439e-03,5.788557e-03,5.766908e-03,5.744563e-03,5.721590e-03,5.698050e-03,5.674004e-03,5.649507e-03,5.624613e-03,5.599371e-03,5.573830e-03,5.548033e-03,5.522022e-03,5.495836e-03,5.469513e-03,5.443088e-03,5.416592e-03
0.000000e+00,9.435817e-12,4.561560e-11,4.576158e-10,2.039550e-09,3.996559e-09,1.655931e-08,1.741437e-08,5.208917e-08,6.760702e-08,1.232611e-07,1.908573e-07,2.488344e-07,4.290443e-07,4.481722e-07,7.410114e-07,8.273483e-07,1.146329e-06,1.428834e-06,1.680914e-06,2.268698e-06,2.357741e-06,3.184727e-06,3.368453e-06,4.164324e-06,4.733332e-06,5.293897e-06,6.353690e-06,6.566538e-06,7.971971e-06,8.208336e-06,9.497393e-06,1.026798e-05,1.112820e-05,1.249814e-05,1.284860e-05,1.464217e-05,1.486152e-05,1.649230e-05,1.732006e-05,1.838268e-05,1.983659e-05,2.029760e-05,2.222229e-05,2.237628e-05,2.414316e-05,2.490765e-05,2.604794e-05,2.740325e-05,2.792576e-05,2.976723e-05,2.984002e-05,3.156440e-05,3.219922e-05,3.331068e-05,3.446636e-05,3.500082e-05,3.663070e-05,3.819733e-05,3.868493e-05,3.969862e-05,4.062456e-05,4.113335e-05,4.244755e-05,4.250097e-05,4.380154e-05,4.415375e-05,4.503564e-05,4.574458e-05,4.620424e-05,4.722261e-05,4.730864e-05,4.835040e-05,4.859130e-05,4.933131e-05,4.985474e-05,5.025326e-05,5.101743e-05,5.111829e-05,5.192850e-05,5.208415e-05,5.268602e-05,5.305982e-05,5.339301e-05,5.394941e-05,5.405162e-05,5.466399e-05,5.475782e-05,5.523222e-05,5.548990e-05,5.575838e-05,5.615037e-05,5.624448e-05,5.669248e-05,5.674377e-05,5.710429e-05,5.727449e-05,5.748173e-05,5.774670e-05,5.782658e-05,5.814056e-05,5.816440e-05,5.842531e-05,5.853138e-05,5.868240e-05,5.885124e-05,5.891336e-05,5.911963e-05,5.912738e-05,5.930260e-05,5.936302e-05,5.946360e-05,5.956118e-05,5.960389e-05,5.972470e-05,5.982718e-05,5.985628e-05,5.991242e-05,5.995842e-05,5.998148e-05,6.003349e-05,6.003536e-05,6.007501e-05,6.008369e-05,6.010133e-05,6.011109e-05,6.011519e-05,6.011763e-05,6.011740e-05,6.010874e-05,6.010512e-05,6.008994e-05,6.007525e-05,6.006171e-05,6.002960e-05,6.002471e-05,5.997957e-05,5.996962e-05,5.992689e-05,5.989670e-05,5.986722e-05,5.981210e-05,5.980111e-05,5.972905e-05,5.971701e-05,5.965154e-05,5.961252e-05,5.956901e-05,5.949968e-05,5.948191e-05,5.939062e-05,5.937941e-05,5.929555e-05,5.925260e-05,5.919703e-05,5.912007e-05,5.909541e-05,5.899102e-05,5.898256e-05,5.888415e-05,5.884078e-05,5.877509e-05,5.869536e-05,5.866411e-05,5.855144e-05,5.854691e-05,5.843734e-05,5.839596e-05,5.832203e-05,5.824302e-05,5.820570e-05,5.808856e-05,5.793299e-05,5.777671e-05,5.762008e-05,5.746341e-05,5.730701e-05,5.715114e-05,5.699605e-05,5.684196e-05,5.668908e-05,5.653757e-05,5.638761e-05,5.623933e-05,5.609288e-05,5.594835e-05,5.580585e-05,5.566547e-05,5.552728e-05,5.539136e-05,5.525774e-05,5.512649e-05,5.499763e-05,5.487120e-05,5.474721e-05,5.462569e-05
0.000000e+00,1.688678e-11,8.677597e-11,9.875964e-10,4.935368e-09,1.029607e-08,5.012216e-08,5.305610e-08,1.860811e-07,2.521644e-07,5.123150e-07,8.657457e-07,1.194888e-06,2.339654e-06,2.470540e-06,4.661484e-06,5.367619e-06,8.182389e-06,1.091947e-05,1.353672e-05,2.021997e-05,2.129870e-05,3.208357e-05,3.465828e-05,4.651324e-05,5.565673e-05,6.518347e-05,8.454200e-05,8.863602e-05,1.173371e-04,1.224428e-04,1.516621e-04,1.702203e-04,1.918855e-04,2.284280e-04,2.381760e-04,2.905961e-04,2.972976e-04,3.491043e-04,3.767439e-04,4.135605e-04,4.663866e-04,4.837343e-04,5.593141e-04,5.655830e-04,6.399176e-04,6.734686e-04,7.251037e-04,7.890025e-04,8.143839e-04,9.072341e-04,9.110146e-04,1.003106e-03,1.038251e-03,1.101437e-03,1.169419e-03,1.201663e-03,1.303223e-03,1.405569e-03,1.438400e-03,1.508175e-03,1.573746e-03,1.610539e-03,1.708140e-03,1.712187e-03,1.812682e-03,1.840558e-03,1.911620e-03,1.970082e-03,2.008636e-03,2.095911e-03,2.103403e-03,2.195631e-03,2.217359e-03,2.285068e-03,2.333853e-03,2.371501e-03,2.444933e-03,2.454750e-03,2.534669e-03,2.550243e-03,2.611144e-03,2.649521e-03,2.684091e-03,2.742598e-03,2.753453e-03,2.819198e-03,2.829381e-03,2.881317e-03,2.909848e-03,2.939820e-03,2.984039e-03,2.994737e-03,3.046114e-03,3.052044e-03,3.094011e-03,3.114000e-03,3.138498e-03,3.170079e-03,3.179658e-03,3.217583e-03,3.220480e-03,3.252369e-03,3.265427e-03,3.284120e-03,3.305162e-03,3.312944e-03,3.338953e-03,3.339936e-03,3.362259e-03,3.370010e-03,3.382979e-03,3.395649e-03,3.401226e-03,3.417116e-03,3.430764e-03,3.434676e-03,3.442281e-03,3.448586e-03,3.451780e-03,3.459100e-03,3.459368e-03,3.465151e-03,3.466462e-03,3.469234e-03,3.470909e-03,3.471716e-03,3.472668e-03,3.472693e-03,3.472260e-03,3.471956e-03,3.470506e-03,3.468980e-03,3.467519e-03,3.463935e-03,3.463380e-03,3.458171e-03,3.457008e-03,3.451967e-03,3.448372e-03,3.444841e-03,3.438194e-03,3.436863e-03,3.428097e-03,3.426626e-03,3.418608e-03,3.413814e-03,3.408455e-03,3.399892e-03,3.397693e-03,3.386378e-03,3.384985e-03,3.374558e-03,3.369210e-03,3.362282e-03,3.352675e-03,3.349595e-03,3.336540e-03,3.335481e-03,3.323157e-03,3.317720e-03,3.309483e-03,3.299478e-03,3.295555e-03,3.281404e-03,3.280834e-03,3.267063e-03,3.261859e-03,3.252561e-03,3.242621e-03,3.237925e-03,3.223181e-03,3.203594e-03,3.183910e-03,3.164177e-03,3.144437e-03,3.124727e-03,3.105082e-03,3.085534e-03,3.066110e-03,3.046836e-03,3.027733e-03,3.008823e-03,2.990122e-03,2.971647e-03,2.953411e-03,2.935426e-03,2.917702e-03,2.900249e-03,2.883073e-03,2.866181e-03,2.849577e-03,2.833266e-03,2.817251e-03,2.801533e-03,2.786115e-03
0.000000e+00,1.248461e-10,4.996544e-10,3.513168e-09,1.179169e-08,2.007869e-08,6.058673e-08,6.298101e-08,1.461629e-07,1.786829e-07,2.847259e-07,4.015018e-07,4.958528e-07,7.703257e-07,7.983049e-07,1.208033e-06,1.323228e-06,1.730247e-06,2.068834e-06,2.355651e-06,2.976849e-06,3.065895e-06,3.841591e-06,4.003074e-06,4.666273e-06,5.109964e-06,5.526685e-06,6.268945e-06,6.411818e-06,7.312018e-06,7.456852e-06,8.218505e-06,8.653445e-06,9.123168e-06,9.840554e-06,1.001856e-05,1.089793e-05,1.100209e-05,1.175535e-05,1.212431e-05,1.258570e-05,1.319603e-05,1.338476e-05,1.414913e-05,1.420870e-05,1.487627e-05,1.515628e-05,1.556438e-05,1.603499e-05,1.621233e-05,1.681961e-05,1.684305e-05,1.738621e-05,1.758030e-05,1.791255e-05,1.824782e-05,1.839937e-05,1.884773e-05,1.925889e-05,1.938282e-05,1.963424e-05,1.985639e-05,1.997533e-05,2.027202e-05,2.028375e-05,2.056115e-05,2.063349e-05,2.080918e-05,2.094458e-05,2.102948e-05,2.120906e-05,2.122367e-05,2.139334e-05,2.143058e-05,2.154002e-05,2.161266e-05,2.166518e-05,2.175865e-05,2.177024e-05,2.185656e-05,2.187168e-05,2.192542e-05,2.195475e-05,2.197807e-05,2.201060e-05,2.201565e-05,2.203927e-05,2.204183e-05,2.204998e-05,2.205082e-05,2.204875e-05,2.203978e-05,2.203650e-05,2.201410e-05,2.201077e-05,2.198236e-05,2.196564e-05,2.194206e-05,2.190615e-05,2.189391e-05,2.183858e-05,2.183386e-05,2.177670e-05,2.175025e-05,2.170886e-05,2.165663e-05,2.163561e-05,2.155746e-05,2.155424e-05,2.147489e-05,2.144417e-05,2.138835e-05,2.132746e-05,2.129826e-05,2.120501e-05,2.110896e-05,2.107768e-05,2.101044e-05,2.094624e-05,2.090977e-05,2.081137e-05,2.080723e-05,2.070311e-05,2.067371e-05,2.059765e-05,2.053383e-05,2.049108e-05,2.039224e-05,2.038362e-05,2.027547e-05,2.024943e-05,2.016680e-05,2.010580e-05,2.005780e-05,1.996173e-05,1.994862e-05,1.983941e-05,1.981757e-05,1.973029e-05,1.967362e-05,1.962139e-05,1.953016e-05,1.951282e-05,1.940469e-05,1.938743e-05,1.929709e-05,1.924565e-05,1.919010e-05,1.910501e-05,1.908381e-05,1.897829e-05,1.896568e-05,1.887360e-05,1.882782e-05,1.876980e-05,1.869154e-05,1.866694e-05,1.856507e-05,1.855697e-05,1.846424e-05,1.842420e-05,1.836447e-05,1.829332e-05,1.826581e-05,1.816829e-05,1.816441e-05,1.807192e-05,1.803752e-05,1.797674e-05,1.791269e-05,1.788275e-05,1.778999e-05,1.766942e-05,1.755102e-05,1.743481e-05,1.732080e-05,1.720898e-05,1.709937e-05,1.699195e-05,1.688672e-05,1.678366e-05,1.668277e-05,1.658401e-05,1.648737e-05,1.639283e-05,1.630036e-05,1.620994e-05,1.612152e-05,1.603510e-05,1.595063e-05,1.586808e-05,1.578743e-05,1.570863e-05,1.563165e-05,1.555647e-05,1.548305e-05
0.000000e+00,2.341548e-10,6.567102e-10,2.805519e-09,7.061893e-09,1.069534e-08,2.589593e-08,2.672829e-08,5.368009e-08,6.356980e-08,9.441724e-08,1.267195e-07,1.519211e-07,2.219443e-07,2.288577e-07,3.265467e-07,3.530550e-07,4.445102e-07,5.189177e-07,5.813690e-07,7.163027e-07,7.357015e-07,9.062091e-07,9.421400e-07,1.091612e-06,1.193460e-06,1.290547e-06,1.467026e-06,1.501527e-06,1.722940e-06,1.759221e-06,1.953073e-06,2.066115e-06,2.190154e-06,2.383621e-06,2.432397e-06,2.678045e-06,2.707671e-06,2.925409e-06,3.034378e-06,3.172897e-06,3.360162e-06,3.419040e-06,3.662511e-06,3.681837e-06,3.902134e-06,3.996670e-06,4.136882e-06,4.302388e-06,4.365884e-06,4.588412e-06,4.597170e-06,4.803875e-06,4.879619e-06,5.011808e-06,5.148719e-06,5.211862e-06,5.403786e-06,5.587423e-06,5.644422e-06,5.762692e-06,5.870463e-06,5.929577e-06,6.081940e-06,6.088123e-06,6.238419e-06,6.279040e-06,6.380595e-06,6.462068e-06,6.514811e-06,6.631421e-06,6.641255e-06,6.760132e-06,6.787561e-06,6.871665e-06,6.931001e-06,6.976084e-06,7.062280e-06,7.073631e-06,7.164549e-06,7.181959e-06,7.249086e-06,7.290605e-06,7.327488e-06,7.388785e-06,7.400002e-06,7.466870e-06,7.477062e-06,7.528333e-06,7.555984e-06,7.584625e-06,7.626090e-06,7.635975e-06,7.682608e-06,7.687898e-06,7.724742e-06,7.741910e-06,7.762587e-06,7.788608e-06,7.796349e-06,7.826226e-06,7.828454e-06,7.852409e-06,7.861890e-06,7.875084e-06,7.889337e-06,7.894428e-06,7.910612e-06,7.911196e-06,7.923801e-06,7.927847e-06,7.934154e-06,7.939652e-06,7.941823e-06,7.946954e-06,7.949686e-06,7.950076e-06,7.950155e-06,7.949326e-06,7.948488e-06,7.944993e-06,7.944808e-06,7.939234e-06,7.937349e-06,7.931877e-06,7.926653e-06,7.922846e-06,7.913147e-06,7.912243e-06,7.900167e-06,7.897059e-06,7.886710e-06,7.878605e-06,7.871963e-06,7.857986e-06,7.856011e-06,7.838936e-06,7.835393e-06,7.820814e-06,7.811001e-06,7.801719e-06,7.784980e-06,7.781723e-06,7.760891e-06,7.757485e-06,7.739288e-06,7.728663e-06,7.716975e-06,7.698651e-06,7.694008e-06,7.670442e-06,7.667576e-06,7.646330e-06,7.635560e-06,7.621721e-06,7.602714e-06,7.596661e-06,7.571196e-06,7.569142e-06,7.545367e-06,7.534942e-06,7.519214e-06,7.500205e-06,7.492775e-06,7.466086e-06,7.465014e-06,7.439181e-06,7.429449e-06,7.412092e-06,7.393582e-06,7.384850e-06,7.357482e-06,7.321210e-06,7.284826e-06,7.248382e-06,7.211929e-06,7.175513e-06,7.139175e-06,7.102955e-06,7.066888e-06,7.031007e-06,6.995342e-06,6.959921e-06,6.924768e-06,6.889906e-06,6.855355e-06,6.821134e-06,6.787260e-06,6.753747e-06,6.720608e-06,6.687856e-06,6.655501e-06,6.623551e-06,6.592014e-06,6.560898e-06,6.530207e-06
0.000000e+00,1.325382e-11,3.044358e-11,1.047866e-10,2.378987e-10,3.464434e-10,7.810770e-10,8.043430e-10,1.541917e-09,1.807198e-09,2.623018e-09,3.464080e-09,4.114032e-09,5.905920e-09,6.082472e-09,8.587153e-09,9.272272e-09,1.165727e-08,1.361835e-08,1.527353e-08,1.885899e-08,1.937403e-08,2.387984e-08,2.482280e-08,2.871496e-08,3.133678e-08,3.381241e-08,3.825373e-08,3.911329e-08,4.456431e-08,4.544705e-08,5.011597e-08,5.280277e-08,5.572180e-08,6.021602e-08,6.133812e-08,6.692422e-08,6.759072e-08,7.244278e-08,7.484073e-08,7.786013e-08,8.189120e-08,8.314657e-08,8.827649e-08,8.867945e-08,9.322842e-08,9.515531e-08,9.798490e-08,1.012808e-07,1.025323e-07,1.068606e-07,1.070291e-07,1.109631e-07,1.123838e-07,1.148357e-07,1.173371e-07,1.184772e-07,1.218883e-07,1.250716e-07,1.260428e-07,1.280313e-07,1.298107e-07,1.307728e-07,1.332053e-07,1.333026e-07,1.356276e-07,1.362430e-07,1.377558e-07,1.389416e-07,1.396952e-07,1.413199e-07,1.414542e-07,1.430412e-07,1.433974e-07,1.444647e-07,1.451937e-07,1.457334e-07,1.467283e-07,1.468555e-07,1.478391e-07,1.480199e-07,1.486922e-07,1.490867e-07,1.494224e-07,1.499462e-07,1.500371e-07,1.505436e-07,1.506150e-07,1.509485e-07,1.511088e-07,1.512585e-07,1.514423e-07,1.514798e-07,1.516182e-07,1.516295e-07,1.516794e-07,1.516833e-07,1.516689e-07,1.516160e-07,1.515916e-07,1.514524e-07,1.514387e-07,1.512558e-07,1.511621e-07,1.510062e-07,1.507958e-07,1.507075e-07,1.503636e-07,1.503490e-07,1.499782e-07,1.498300e-07,1.495546e-07,1.492464e-07,1.490960e-07,1.486055e-07,1.480858e-07,1.479138e-07,1.475396e-07,1.471773e-07,1.469695e-07,1.464017e-07,1.463776e-07,1.457663e-07,1.455920e-07,1.451376e-07,1.447529e-07,1.444935e-07,1.438887e-07,1.438356e-07,1.431657e-07,1.430034e-07,1.424855e-07,1.421005e-07,1.417962e-07,1.411834e-07,1.410994e-07,1.403963e-07,1.402550e-07,1.396880e-07,1.393181e-07,1.389758e-07,1.383752e-07,1.382606e-07,1.375434e-07,1.374285e-07,1.368250e-07,1.364801e-07,1.361064e-07,1.355318e-07,1.353883e-07,1.346713e-07,1.345854e-07,1.339562e-07,1.336422e-07,1.332435e-07,1.327038e-07,1.325338e-07,1.318276e-07,1.317713e-07,1.311254e-07,1.308457e-07,1.304276e-07,1.299281e-07,1.297346e-07,1.290468e-07,1.290194e-07,1.283645e-07,1.281202e-07,1.276879e-07,1.272314e-07,1.270175e-07,1.263533e-07,1.254867e-07,1.246319e-07,1.237892e-07,1.229591e-07,1.221417e-07,1.213373e-07,1.205461e-07,1.197681e-07,1.190036e-07,1.182524e-07,1.175147e-07,1.167905e-07,1.160796e-07,1.153822e-07,1.146981e-07,1.140272e-07,1.133695e-07,1.127248e-07,1.120929e-07,1.114738e-07,1.108673e-07,1.102732e-07,1.096914e-07,1.091217e-07
0.000000e+00,2.674859e-11,1.193907e-10,1.023528e-09,3.992318e-09,7.300055e-09,2.562518e-08,2.677758e-08,6.921372e-08,8.659143e-08,1.447030e-07,2.099165e-07,2.629253e-07,4.171648e-07,4.328605e-07,6.626740e-07,7.275642e-07,9.595884e-07,1.157479e-06,1.329639e-06,1.719350e-06,1.777258e-06,2.304688e-06,2.419753e-06,2.911291e-06,3.256801e-06,3.592970e-06,4.218052e-06,4.342009e-06,5.147605e-06,5.280912e-06,5.997014e-06,6.416375e-06,6.876939e-06,7.594298e-06,7.774716e-06,8.679052e-06,8.787538e-06,9.580325e-06,9.973809e-06,1.047059e-05,1.113582e-05,1.134341e-05,1.219370e-05,1.226062e-05,1.301746e-05,1.333884e-05,1.381170e-05,1.436399e-05,1.457418e-05,1.530340e-05,1.533186e-05,1.599841e-05,1.624014e-05,1.665875e-05,1.708794e-05,1.728437e-05,1.787553e-05,1.843278e-05,1.860405e-05,1.895686e-05,1.927528e-05,1.944868e-05,1.989143e-05,1.990926e-05,2.033974e-05,2.045503e-05,2.074127e-05,2.096880e-05,2.111507e-05,2.143553e-05,2.146236e-05,2.178438e-05,2.185803e-05,2.208232e-05,2.223911e-05,2.235739e-05,2.258146e-05,2.261075e-05,2.284354e-05,2.288772e-05,2.305685e-05,2.316043e-05,2.325175e-05,2.340198e-05,2.342925e-05,2.359032e-05,2.361463e-05,2.373591e-05,2.380056e-05,2.386691e-05,2.396178e-05,2.398417e-05,2.408849e-05,2.410018e-05,2.418065e-05,2.421754e-05,2.426139e-05,2.431554e-05,2.433140e-05,2.439133e-05,2.439571e-05,2.444182e-05,2.445950e-05,2.448345e-05,2.450827e-05,2.451680e-05,2.454238e-05,2.454325e-05,2.456071e-05,2.456563e-05,2.457226e-05,2.457647e-05,2.457747e-05,2.457678e-05,2.457057e-05,2.456749e-05,2.455924e-05,2.454946e-05,2.454314e-05,2.452350e-05,2.452260e-05,2.449794e-05,2.449034e-05,2.446947e-05,2.445068e-05,2.443747e-05,2.440514e-05,2.440220e-05,2.436392e-05,2.435431e-05,2.432287e-05,2.429875e-05,2.427926e-05,2.423895e-05,2.423331e-05,2.418523e-05,2.417537e-05,2.413518e-05,2.410845e-05,2.408336e-05,2.403858e-05,2.402993e-05,2.397504e-05,2.396613e-05,2.391883e-05,2.389143e-05,2.386146e-05,2.381480e-05,2.380304e-05,2.374370e-05,2.373652e-05,2.368354e-05,2.365685e-05,2.362269e-05,2.357604e-05,2.356124e-05,2.349928e-05,2.349430e-05,2.343690e-05,2.341185e-05,2.337418e-05,2.332886e-05,2.331121e-05,2.324805e-05,2.324552e-05,2.318477e-05,2.316198e-05,2.312144e-05,2.307837e-05,2.305811e-05,2.299485e-05,2.291151e-05,2.282847e-05,2.274584e-05,2.266370e-05,2.258213e-05,2.250120e-05,2.242099e-05,2.234155e-05,2.226293e-05,2.218518e-05,2.210835e-05,2.203247e-05,2.195758e-05,2.188370e-05,2.181085e-05,2.173906e-05,2.166835e-05,2.159873e-05,2.153021e-05,2.146280e-05,2.139650e-05,2.133134e-05,2.126729e-05,2.120437e-05
0.000000e+00,2.628591e-12,1.341383e-11,1.504423e-10,7.416218e-10,1.535398e-09,7.324764e-09,7.747012e-09,2.660680e-08,3.584478e-08,7.173405e-08,1.197054e-07,1.638353e-07,3.146817e-07,3.317323e-07,6.131441e-07,7.026020e-07,1.055087e-06,1.393215e-06,1.713493e-06,2.521992e-06,2.651529e-06,3.936481e-06,4.241076e-06,5.635724e-06,6.704362e-06,7.812642e-06,1.005160e-05,1.052317e-05,1.381327e-05,1.439595e-05,1.771739e-05,1.981646e-05,2.225774e-05,2.635515e-05,2.744420e-05,3.327482e-05,3.401728e-05,3.973655e-05,4.277402e-05,4.680625e-05,5.256639e-05,5.445185e-05,6.263361e-05,6.330997e-05,7.130538e-05,7.489996e-05,8.041590e-05,8.721633e-05,8.991007e-05,9.973015e-05,1.001289e-04,1.098170e-04,1.135020e-04,1.201109e-04,1.271989e-04,1.305529e-04,1.410853e-04,1.516529e-04,1.550332e-04,1.622028e-04,1.689226e-04,1.726858e-04,1.826440e-04,1.830561e-04,1.932721e-04,1.960998e-04,2.032963e-04,2.092046e-04,2.130951e-04,2.218860e-04,2.226396e-04,2.319047e-04,2.340843e-04,2.408693e-04,2.457518e-04,2.495165e-04,2.568525e-04,2.578325e-04,2.658074e-04,2.673608e-04,2.734340e-04,2.772608e-04,2.807083e-04,2.865450e-04,2.876285e-04,2.941953e-04,2.952134e-04,3.004115e-04,3.032720e-04,3.062815e-04,3.107322e-04,3.118113e-04,3.170082e-04,3.176099e-04,3.218806e-04,3.239239e-04,3.264375e-04,3.296960e-04,3.306891e-04,3.346455e-04,3.349496e-04,3.383178e-04,3.397096e-04,3.417170e-04,3.440015e-04,3.448542e-04,3.477408e-04,3.478512e-04,3.503880e-04,3.512845e-04,3.528069e-04,3.543269e-04,3.550084e-04,3.570033e-04,3.588020e-04,3.593379e-04,3.604148e-04,3.613539e-04,3.618514e-04,3.630736e-04,3.631213e-04,3.642339e-04,3.645184e-04,3.651977e-04,3.657082e-04,3.660214e-04,3.666623e-04,3.667130e-04,3.672802e-04,3.673986e-04,3.677304e-04,3.679340e-04,3.680706e-04,3.682843e-04,3.683075e-04,3.684475e-04,3.684644e-04,3.684966e-04,3.684880e-04,3.684604e-04,3.683682e-04,3.683445e-04,3.681540e-04,3.681169e-04,3.678936e-04,3.677453e-04,3.675681e-04,3.672637e-04,3.671818e-04,3.667387e-04,3.666819e-04,3.662429e-04,3.660089e-04,3.656978e-04,3.652528e-04,3.651071e-04,3.644739e-04,3.644215e-04,3.638014e-04,3.635220e-04,3.630924e-04,3.625609e-04,3.623498e-04,3.615760e-04,3.615444e-04,3.607735e-04,3.604781e-04,3.599447e-04,3.593671e-04,3.590916e-04,3.582164e-04,3.570304e-04,3.558132e-04,3.545686e-04,3.533003e-04,3.520113e-04,3.507048e-04,3.493835e-04,3.480499e-04,3.467065e-04,3.453554e-04,3.439987e-04,3.426381e-04,3.412755e-04,3.399123e-04,3.385501e-04,3.371902e-04,3.358337e-04,3.344819e-04,3.331358e-04,3.317962e-04,3.304641e-04,3.291402e-04,3.278253e-04,3.265200e-04
0.000000e+00,1.778223e-11,9.188626e-11,1.057916e-09,5.342130e-09,1.120737e-08,5.532235e-08,5.859241e-08,2.080641e-07,2.828162e-07,5.785755e-07,9.822947e-07,1.359194e-06,2.672244e-06,2.822415e-06,5.333940e-06,6.142191e-06,9.358400e-06,1.247946e-05,1.546069e-05,2.307291e-05,2.430268e-05,3.663498e-05,3.959184e-05,5.328369e-05,6.393838e-05,7.513189e-05,9.817279e-05,1.030963e-04,1.381001e-04,1.444147e-04,1.810442e-04,2.047300e-04,2.327786e-04,2.810176e-04,2.940761e-04,3.656099e-04,3.749096e-04,4.479365e-04,4.876941e-04,5.414823e-04,6.202635e-04,6.465363e-04,7.632470e-04,7.730886e-04,8.916232e-04,9.462162e-04,1.031539e-03,1.139285e-03,1.182740e-03,1.344855e-03,1.351560e-03,1.517407e-03,1.581973e-03,1.699825e-03,1.829176e-03,1.891459e-03,2.091593e-03,2.299458e-03,2.367477e-03,2.514247e-03,2.654961e-03,2.735125e-03,2.952110e-03,2.961244e-03,3.191752e-03,3.256964e-03,3.425800e-03,3.567581e-03,3.662556e-03,3.882064e-03,3.901208e-03,4.140972e-03,4.198597e-03,4.381098e-03,4.515459e-03,4.620873e-03,4.831048e-03,4.859623e-03,5.096718e-03,5.143887e-03,5.331574e-03,5.452633e-03,5.563650e-03,5.756083e-03,5.792452e-03,6.017531e-03,6.053170e-03,6.238482e-03,6.342966e-03,6.454947e-03,6.624673e-03,6.666607e-03,6.873186e-03,6.897622e-03,7.074444e-03,7.161260e-03,7.270183e-03,7.415148e-03,7.460234e-03,7.644465e-03,7.658949e-03,7.822774e-03,7.892422e-03,7.995086e-03,8.115409e-03,8.161352e-03,8.321549e-03,8.327831e-03,8.475676e-03,8.529678e-03,8.623749e-03,8.721000e-03,8.765806e-03,8.901900e-03,9.032097e-03,9.072528e-03,9.156479e-03,9.233072e-03,9.275136e-03,9.383755e-03,9.388170e-03,9.495693e-03,9.524827e-03,9.597821e-03,9.656560e-03,9.694679e-03,9.779245e-03,9.786397e-03,9.873107e-03,9.893187e-03,9.954946e-03,9.998701e-03,1.003205e-02,1.009611e-02,1.010457e-02,1.017264e-02,1.018574e-02,1.023641e-02,1.026791e-02,1.029601e-02,1.034297e-02,1.035160e-02,1.040330e-02,1.041122e-02,1.045127e-02,1.047300e-02,1.049563e-02,1.052862e-02,1.053653e-02,1.057410e-02,1.057839e-02,1.060847e-02,1.062261e-02,1.063976e-02,1.066157e-02,1.066812e-02,1.069365e-02,1.069557e-02,1.071648e-02,1.072488e-02,1.073673e-02,1.074977e-02,1.075451e-02,1.076993e-02,1.077050e-02,1.078310e-02,1.078731e-02,1.079413e-02,1.080045e-02,1.080311e-02,1.081014e-02,1.081661e-02,1.082006e-02,1.082069e-02,1.081870e-02,1.081427e-02,1.080757e-02,1.079876e-02,1.078801e-02,1.077546e-02,1.076125e-02,1.074552e-02,1.072839e-02,1.070998e-02,1.069041e-02,1.066977e-02,1.064818e-02,1.062572e-02,1.060249e-02,1.057857e-02,1.055403e-02,1.052896e-02,1.050341e-02,1.047746e-02,1.045117e-02
0.000000e+00,1.308928e-10,3.903620e-10,1.786952e-09,4.641313e-09,7.106645e-09,1.750440e-08,1.807543e-08,3.658534e-08,4.337733e-08,6.454303e-08,8.667853e-08,1.039446e-07,1.520890e-07,1.568694e-07,2.253149e-07,2.442361e-07,3.107681e-07,3.662320e-07,4.135327e-07,5.172153e-07,5.322114e-07,6.639340e-07,6.915392e-07,8.052449e-07,8.814235e-07,9.529187e-07,1.079917e-06,1.104293e-06,1.257254e-06,1.281758e-06,1.410118e-06,1.483046e-06,1.561514e-06,1.680807e-06,1.710310e-06,1.855563e-06,1.872716e-06,1.996494e-06,2.056968e-06,2.132473e-06,2.232195e-06,2.263003e-06,2.387712e-06,2.397429e-06,2.506340e-06,2.552050e-06,2.618729e-06,2.695743e-06,2.724808e-06,2.824581e-06,2.828442e-06,2.918118e-06,2.950286e-06,3.005537e-06,3.061570e-06,3.087001e-06,3.162701e-06,3.232853e-06,3.254168e-06,3.297689e-06,3.336506e-06,3.357452e-06,3.410280e-06,3.412388e-06,3.462747e-06,3.476061e-06,3.508776e-06,3.534416e-06,3.550717e-06,3.585894e-06,3.588805e-06,3.623269e-06,3.631025e-06,3.654327e-06,3.670310e-06,3.682189e-06,3.704223e-06,3.707055e-06,3.729115e-06,3.733206e-06,3.748549e-06,3.757674e-06,3.765527e-06,3.778009e-06,3.780210e-06,3.792749e-06,3.794566e-06,3.803286e-06,3.807673e-06,3.811957e-06,3.817633e-06,3.818885e-06,3.824191e-06,3.824724e-06,3.827984e-06,3.829201e-06,3.830369e-06,3.831300e-06,3.831444e-06,3.831298e-06,3.831237e-06,3.830019e-06,3.829208e-06,3.827686e-06,3.825397e-06,3.824375e-06,3.820155e-06,3.819968e-06,3.815093e-06,3.813076e-06,3.809250e-06,3.804861e-06,3.802684e-06,3.795449e-06,3.787596e-06,3.784961e-06,3.779173e-06,3.773502e-06,3.770222e-06,3.761173e-06,3.760787e-06,3.750906e-06,3.748065e-06,3.740616e-06,3.734260e-06,3.729951e-06,3.719835e-06,3.718942e-06,3.707621e-06,3.704860e-06,3.696014e-06,3.689400e-06,3.684150e-06,3.673514e-06,3.672051e-06,3.659742e-06,3.657256e-06,3.647243e-06,3.640676e-06,3.634576e-06,3.623819e-06,3.621760e-06,3.608811e-06,3.606728e-06,3.595748e-06,3.589441e-06,3.582585e-06,3.571993e-06,3.569337e-06,3.556019e-06,3.554417e-06,3.542642e-06,3.536742e-06,3.529220e-06,3.518995e-06,3.515763e-06,3.502282e-06,3.501203e-06,3.488787e-06,3.483387e-06,3.475287e-06,3.465569e-06,3.461791e-06,3.448307e-06,3.447768e-06,3.434842e-06,3.430001e-06,3.421405e-06,3.412285e-06,3.408000e-06,3.394635e-06,3.377063e-06,3.359582e-06,3.342203e-06,3.324937e-06,3.307792e-06,3.290777e-06,3.273900e-06,3.257166e-06,3.240583e-06,3.224156e-06,3.207889e-06,3.191787e-06,3.175854e-06,3.160093e-06,3.144508e-06,3.129100e-06,3.113871e-06,3.098824e-06,3.083961e-06,3.069281e-06,3.054787e-06,3.040478e-06,3.026356e-06,3.012420e-06
0.000000e+00,2.864678e-11,1.379722e-10,1.373747e-09,6.082535e-09,1.187775e-08,4.880712e-08,5.131115e-08,1.524075e-07,1.974854e-07,3.587763e-07,5.543164e-07,7.219477e-07,1.243412e-06,1.298833e-06,2.149709e-06,2.401515e-06,3.335701e-06,4.167916e-06,4.913972e-06,6.663934e-06,6.930057e-06,9.410197e-06,9.962610e-06,1.235783e-05,1.407025e-05,1.575545e-05,1.893312e-05,1.956969e-05,2.375699e-05,2.445834e-05,2.826822e-05,3.053358e-05,3.305186e-05,3.703994e-05,3.805590e-05,4.322905e-05,4.385880e-05,4.852146e-05,5.087550e-05,5.388536e-05,5.798183e-05,5.927557e-05,6.464997e-05,6.507805e-05,6.996992e-05,7.207473e-05,7.520064e-05,7.889410e-05,8.031141e-05,8.527573e-05,8.547093e-05,9.007127e-05,9.175271e-05,9.467979e-05,9.769928e-05,9.908694e-05,1.032820e-04,1.072575e-04,1.084825e-04,1.110090e-04,1.132914e-04,1.145346e-04,1.177070e-04,1.178347e-04,1.209115e-04,1.217335e-04,1.237689e-04,1.253801e-04,1.264120e-04,1.286597e-04,1.288470e-04,1.310808e-04,1.315878e-04,1.331210e-04,1.341819e-04,1.349756e-04,1.364605e-04,1.366527e-04,1.381607e-04,1.384428e-04,1.395082e-04,1.401481e-04,1.407033e-04,1.415956e-04,1.417544e-04,1.426695e-04,1.428039e-04,1.434566e-04,1.437912e-04,1.441233e-04,1.445748e-04,1.446769e-04,1.451245e-04,1.451714e-04,1.454730e-04,1.455966e-04,1.457289e-04,1.458652e-04,1.458983e-04,1.459873e-04,1.459911e-04,1.460015e-04,1.459874e-04,1.459462e-04,1.458662e-04,1.458265e-04,1.456472e-04,1.456388e-04,1.454129e-04,1.453159e-04,1.451278e-04,1.449071e-04,1.447961e-04,1.444215e-04,1.440077e-04,1.438676e-04,1.435581e-04,1.432530e-04,1.430758e-04,1.425848e-04,1.425638e-04,1.420250e-04,1.418697e-04,1.414620e-04,1.411136e-04,1.408773e-04,1.403222e-04,1.402732e-04,1.396519e-04,1.395004e-04,1.390154e-04,1.386530e-04,1.383656e-04,1.377843e-04,1.377044e-04,1.370333e-04,1.368980e-04,1.363539e-04,1.359978e-04,1.356677e-04,1.350870e-04,1.349760e-04,1.342800e-04,1.341684e-04,1.335810e-04,1.332447e-04,1.328799e-04,1.323183e-04,1.321778e-04,1.314756e-04,1.313914e-04,1.307742e-04,1.304660e-04,1.300743e-04,1.295439e-04,1.293767e-04,1.286821e-04,1.286266e-04,1.279909e-04,1.277156e-04,1.273039e-04,1.268121e-04,1.266216e-04,1.259443e-04,1.259173e-04,1.252725e-04,1.250321e-04,1.246067e-04,1.241575e-04,1.239471e-04,1.232941e-04,1.224427e-04,1.216038e-04,1.207780e-04,1.199656e-04,1.191669e-04,1.183823e-04,1.176119e-04,1.168560e-04,1.161147e-04,1.153880e-04,1.146759e-04,1.139785e-04,1.132957e-04,1.126276e-04,1.119739e-04,1.113346e-04,1.107096e-04,1.100987e-04,1.095017e-04,1.089186e-04,1.083490e-04,1.077928e-04,1.072499e-04,1.067199e-04
0.000000e+00,6.827312e-11,3.022023e-10,2.547463e-09,9.793069e-09,1.777313e-08,6.133322e-08,6.405262e-08,1.635859e-07,2.042117e-07,3.402272e-07,4.937690e-07,6.195584e-07,9.912002e-07,1.029489e-06,1.598821e-06,1.762035e-06,2.350965e-06,2.855710e-06,3.293289e-06,4.267580e-06,4.409667e-06,5.663852e-06,5.927288e-06,7.010912e-06,7.733570e-06,8.407937e-06,9.593896e-06,9.819520e-06,1.121865e-05,1.143994e-05,1.258533e-05,1.322531e-05,1.390480e-05,1.491894e-05,1.516613e-05,1.636120e-05,1.649985e-05,1.748410e-05,1.795421e-05,1.853080e-05,1.927380e-05,1.949891e-05,2.038744e-05,2.045509e-05,2.119669e-05,2.149846e-05,2.192802e-05,2.240758e-05,2.258371e-05,2.316678e-05,2.318864e-05,2.368076e-05,2.384962e-05,2.412954e-05,2.439957e-05,2.451725e-05,2.484818e-05,2.512663e-05,2.520535e-05,2.535686e-05,2.548081e-05,2.554299e-05,2.568388e-05,2.568899e-05,2.579863e-05,2.582330e-05,2.587544e-05,2.590716e-05,2.592273e-05,2.594281e-05,2.594357e-05,2.594079e-05,2.593690e-05,2.591699e-05,2.589537e-05,2.587454e-05,2.582350e-05,2.581563e-05,2.574221e-05,2.572594e-05,2.565607e-05,2.560679e-05,2.555883e-05,2.546964e-05,2.545195e-05,2.533674e-05,2.531761e-05,2.521438e-05,2.515343e-05,2.508595e-05,2.497946e-05,2.495238e-05,2.481454e-05,2.479775e-05,2.467318e-05,2.461005e-05,2.452900e-05,2.441791e-05,2.438260e-05,2.423453e-05,2.422263e-05,2.408527e-05,2.402533e-05,2.393526e-05,2.382700e-05,2.378488e-05,2.363447e-05,2.362845e-05,2.348433e-05,2.343040e-05,2.333474e-05,2.323345e-05,2.318593e-05,2.303811e-05,2.289147e-05,2.284482e-05,2.274616e-05,2.265393e-05,2.260232e-05,2.246574e-05,2.246009e-05,2.231955e-05,2.228052e-05,2.218081e-05,2.209846e-05,2.204395e-05,2.191974e-05,2.190902e-05,2.177609e-05,2.174448e-05,2.164519e-05,2.157280e-05,2.151638e-05,2.140476e-05,2.138967e-05,2.126509e-05,2.124043e-05,2.114266e-05,2.107984e-05,2.102238e-05,2.092301e-05,2.090426e-05,2.078830e-05,2.076994e-05,2.067449e-05,2.062063e-05,2.056284e-05,2.047506e-05,2.045333e-05,2.034594e-05,2.033320e-05,2.024067e-05,2.019501e-05,2.013749e-05,2.006046e-05,2.003638e-05,1.993733e-05,1.992950e-05,1.984031e-05,1.980207e-05,1.974530e-05,1.967811e-05,1.965226e-05,1.956118e-05,1.955757e-05,1.947202e-05,1.944039e-05,1.938476e-05,1.932650e-05,1.929937e-05,1.921583e-05,1.910831e-05,1.900388e-05,1.890247e-05,1.880400e-05,1.870841e-05,1.861562e-05,1.852558e-05,1.843820e-05,1.835342e-05,1.827118e-05,1.819140e-05,1.811402e-05,1.803897e-05,1.796619e-05,1.789562e-05,1.782720e-05,1.776086e-05,1.769655e-05,1.763421e-05,1.757378e-05,1.751520e-05,1.745842e-05,1.740340e-05,1.735007e-05
0.000000e+00,6.772671e-12,3.498350e-11,4.024741e-10,2.031258e-09,4.260505e-09,2.102745e-08,2.227054e-08,7.913517e-08,1.076043e-07,2.204171e-07,3.747889e-07,5.192394e-07,1.024499e-06,1.082455e-06,2.055761e-06,2.370317e-06,3.626680e-06,4.851134e-06,6.024021e-06,9.027345e-06,9.513212e-06,1.438829e-05,1.555691e-05,2.096193e-05,2.515793e-05,2.955480e-05,3.856628e-05,4.048499e-05,5.405799e-05,5.649428e-05,7.055779e-05,7.959334e-05,9.023895e-05,1.084228e-04,1.133202e-04,1.399792e-04,1.434255e-04,1.703493e-04,1.849119e-04,2.045172e-04,2.330505e-04,2.425219e-04,2.843560e-04,2.878668e-04,3.299666e-04,3.492483e-04,3.792585e-04,4.169541e-04,4.320973e-04,4.883136e-04,4.906297e-04,5.477071e-04,5.698236e-04,6.100516e-04,6.540059e-04,6.750996e-04,7.425871e-04,8.122376e-04,8.349364e-04,8.837673e-04,9.303996e-04,9.568884e-04,1.028314e-03,1.031313e-03,1.106756e-03,1.128024e-03,1.182939e-03,1.228890e-03,1.259591e-03,1.330301e-03,1.336452e-03,1.413274e-03,1.431680e-03,1.489824e-03,1.532491e-03,1.565882e-03,1.632243e-03,1.641243e-03,1.715718e-03,1.730491e-03,1.789134e-03,1.826840e-03,1.861335e-03,1.920941e-03,1.932180e-03,2.001541e-03,2.012494e-03,2.069309e-03,2.101242e-03,2.135386e-03,2.186975e-03,2.199691e-03,2.262153e-03,2.269521e-03,2.322714e-03,2.348747e-03,2.381329e-03,2.424553e-03,2.437963e-03,2.492590e-03,2.496873e-03,2.545195e-03,2.565669e-03,2.595770e-03,2.630927e-03,2.644316e-03,2.690839e-03,2.692658e-03,2.735353e-03,2.750890e-03,2.777877e-03,2.805669e-03,2.818436e-03,2.857057e-03,2.893774e-03,2.905127e-03,2.928623e-03,2.949963e-03,2.961641e-03,2.991655e-03,2.992870e-03,3.022354e-03,3.030302e-03,3.050136e-03,3.066009e-03,3.076264e-03,3.098881e-03,3.100784e-03,3.123744e-03,3.129028e-03,3.145193e-03,3.156562e-03,3.165179e-03,3.181594e-03,3.183750e-03,3.200955e-03,3.204236e-03,3.216841e-03,3.224598e-03,3.231458e-03,3.242788e-03,3.244851e-03,3.257067e-03,3.258915e-03,3.268151e-03,3.273083e-03,3.278148e-03,3.285393e-03,3.287103e-03,3.295056e-03,3.295945e-03,3.302051e-03,3.304836e-03,3.308128e-03,3.312157e-03,3.313326e-03,3.317684e-03,3.317997e-03,3.321239e-03,3.322444e-03,3.324026e-03,3.325578e-03,3.326082e-03,3.327440e-03,3.327480e-03,3.328132e-03,3.328225e-03,3.328191e-03,3.327885e-03,3.327647e-03,3.326529e-03,3.324223e-03,3.321030e-03,3.317008e-03,3.312215e-03,3.306704e-03,3.300525e-03,3.293727e-03,3.286356e-03,3.278454e-03,3.270063e-03,3.261220e-03,3.251962e-03,3.242324e-03,3.232338e-03,3.222035e-03,3.211442e-03,3.200588e-03,3.189498e-03,3.178195e-03,3.166703e-03,3.155042e-03,3.143233e-03,3.131295e-03,3.119244e-03
0.000000e+00,3.033864e-11,7.060925e-11,2.478164e-10,5.727357e-10,8.437400e-10,1.978509e-09,2.041408e-09,4.142652e-09,4.946493e-09,7.557161e-09,1.042135e-08,1.271191e-08,1.913640e-08,1.976724e-08,2.850703e-08,3.081761e-08,3.860453e-08,4.475726e-08,4.981655e-08,6.048453e-08,6.199319e-08,7.503950e-08,7.774674e-08,8.888535e-08,9.638033e-08,1.034679e-07,1.162396e-07,1.187227e-07,1.345795e-07,1.371674e-07,1.509610e-07,1.589860e-07,1.677833e-07,1.814989e-07,1.849575e-07,2.023912e-07,2.044963e-07,2.199908e-07,2.277631e-07,2.376633e-07,2.510874e-07,2.553183e-07,2.728696e-07,2.742668e-07,2.902367e-07,2.971152e-07,3.073456e-07,3.194662e-07,3.241294e-07,3.405291e-07,3.411763e-07,3.564935e-07,3.621256e-07,3.719793e-07,3.822177e-07,3.869507e-07,4.013792e-07,4.152427e-07,4.195571e-07,4.285258e-07,4.367175e-07,4.412183e-07,4.528426e-07,4.533151e-07,4.648154e-07,4.679290e-07,4.757224e-07,4.819844e-07,4.860426e-07,4.950266e-07,4.957850e-07,5.049611e-07,5.070806e-07,5.135844e-07,5.181774e-07,5.216696e-07,5.283523e-07,5.292329e-07,5.362911e-07,5.376437e-07,5.428618e-07,5.460918e-07,5.489629e-07,5.537382e-07,5.546126e-07,5.598291e-07,5.606247e-07,5.646305e-07,5.667930e-07,5.690347e-07,5.722841e-07,5.730595e-07,5.767222e-07,5.771382e-07,5.800397e-07,5.813942e-07,5.830283e-07,5.850896e-07,5.857041e-07,5.880824e-07,5.882603e-07,5.901783e-07,5.909408e-07,5.920060e-07,5.931638e-07,5.935796e-07,5.949123e-07,5.949607e-07,5.960168e-07,5.963610e-07,5.969055e-07,5.973926e-07,5.975901e-07,5.980819e-07,5.983915e-07,5.984538e-07,5.985293e-07,5.985319e-07,5.985051e-07,5.983381e-07,5.983282e-07,5.980075e-07,5.978932e-07,5.975517e-07,5.972167e-07,5.969687e-07,5.963268e-07,5.962664e-07,5.954521e-07,5.952408e-07,5.945328e-07,5.939746e-07,5.935151e-07,5.925432e-07,5.924054e-07,5.912098e-07,5.909609e-07,5.899339e-07,5.892406e-07,5.885833e-07,5.873948e-07,5.871631e-07,5.856781e-07,5.854348e-07,5.841331e-07,5.833716e-07,5.825326e-07,5.812150e-07,5.808807e-07,5.791813e-07,5.789744e-07,5.774384e-07,5.766586e-07,5.756554e-07,5.742757e-07,5.738359e-07,5.719829e-07,5.718333e-07,5.700997e-07,5.693385e-07,5.681890e-07,5.667978e-07,5.662536e-07,5.642961e-07,5.642173e-07,5.623189e-07,5.616028e-07,5.603245e-07,5.589595e-07,5.583150e-07,5.562924e-07,5.536059e-07,5.509044e-07,5.481918e-07,5.454716e-07,5.427473e-07,5.400220e-07,5.372984e-07,5.345794e-07,5.318673e-07,5.291644e-07,5.264727e-07,5.237942e-07,5.211307e-07,5.184836e-07,5.158545e-07,5.132446e-07,5.106553e-07,5.080875e-07,5.055423e-07,5.030206e-07,5.005231e-07,4.980506e-07,4.956037e-07,4.931830e-07
0.000000e+00,7.029836e-12,3.485018e-11,3.681866e-10,1.719782e-09,3.457923e-09,1.532285e-08,1.615865e-08,5.176986e-08,6.849528e-08,1.312248e-07,2.118073e-07,2.839181e-07,5.214403e-07,5.476287e-07,9.658069e-07,1.094062e-06,1.581769e-06,2.027257e-06,2.432422e-06,3.396450e-06,3.544260e-06,4.932170e-06,5.243409e-06,6.600166e-06,7.576786e-06,8.542988e-06,1.037820e-05,1.074789e-05,1.319623e-05,1.360906e-05,1.586488e-05,1.721641e-05,1.872735e-05,2.113754e-05,2.175479e-05,2.491691e-05,2.530395e-05,2.818282e-05,2.964475e-05,3.152176e-05,3.408977e-05,3.490385e-05,3.830067e-05,3.857224e-05,4.168573e-05,4.303097e-05,4.503490e-05,4.741189e-05,4.832665e-05,5.154218e-05,5.166898e-05,5.466551e-05,5.576470e-05,5.768339e-05,5.966981e-05,6.058524e-05,6.336291e-05,6.601053e-05,6.682962e-05,6.852424e-05,7.006171e-05,7.090195e-05,7.305606e-05,7.314309e-05,7.524835e-05,7.581369e-05,7.721950e-05,7.833889e-05,7.905920e-05,8.063853e-05,8.077084e-05,8.235841e-05,8.272145e-05,8.382631e-05,8.459781e-05,8.517926e-05,8.627866e-05,8.642216e-05,8.756003e-05,8.777545e-05,8.859790e-05,8.909975e-05,8.954079e-05,9.026304e-05,9.039365e-05,9.116132e-05,9.127656e-05,9.184851e-05,9.215112e-05,9.245978e-05,9.289710e-05,9.299953e-05,9.347199e-05,9.352436e-05,9.388122e-05,9.404225e-05,9.423108e-05,9.445956e-05,9.452528e-05,9.476735e-05,9.478456e-05,9.496063e-05,9.502500e-05,9.510830e-05,9.518810e-05,9.521340e-05,9.527878e-05,9.528061e-05,9.530715e-05,9.530880e-05,9.530108e-05,9.527851e-05,9.526298e-05,9.519514e-05,9.509972e-05,9.506369e-05,9.497875e-05,9.488882e-05,9.483416e-05,9.467480e-05,9.466774e-05,9.448122e-05,9.442561e-05,9.427618e-05,9.414490e-05,9.405413e-05,9.383605e-05,9.381650e-05,9.356461e-05,9.350217e-05,9.329971e-05,9.314614e-05,9.302300e-05,9.277058e-05,9.273556e-05,9.243844e-05,9.237794e-05,9.213261e-05,9.197044e-05,9.181898e-05,9.155013e-05,9.149841e-05,9.117169e-05,9.111889e-05,9.083958e-05,9.067845e-05,9.050277e-05,9.023039e-05,9.016192e-05,8.981765e-05,8.977614e-05,8.947053e-05,8.931703e-05,8.912108e-05,8.885426e-05,8.876981e-05,8.841719e-05,8.838894e-05,8.806365e-05,8.792207e-05,8.770959e-05,8.745455e-05,8.735538e-05,8.700138e-05,8.698723e-05,8.664791e-05,8.652085e-05,8.629526e-05,8.605608e-05,8.594373e-05,8.559355e-05,8.513381e-05,8.467736e-05,8.422464e-05,8.377605e-05,8.333196e-05,8.289267e-05,8.245846e-05,8.202958e-05,8.160625e-05,8.118864e-05,8.077691e-05,8.037121e-05,7.997164e-05,7.957830e-05,7.919126e-05,7.881058e-05,7.843630e-05,7.806844e-05,7.770703e-05,7.735206e-05,7.700353e-05,7.666141e-05,7.632568e-05,7.599631e-05
0.000000e+00,2.298981e-11,1.046217e-10,9.312766e-10,3.748515e-09,6.966541e-09,2.543504e-08,2.661971e-08,7.136368e-08,9.015695e-08,1.544233e-07,2.286326e-07,2.902946e-07,4.752386e-07,4.944511e-07,7.819301e-07,8.647213e-07,1.164209e-06,1.421889e-06,1.646423e-06,2.152579e-06,2.227347e-06,2.901543e-06,3.046941e-06,3.661650e-06,4.088234e-06,4.499751e-06,5.258177e-06,5.407846e-06,6.377894e-06,6.538307e-06,7.401711e-06,7.909789e-06,8.470919e-06,9.353231e-06,9.576979e-06,1.071130e-05,1.084891e-05,1.186539e-05,1.237731e-05,1.303099e-05,1.391972e-05,1.420029e-05,1.536598e-05,1.545888e-05,1.652143e-05,1.697938e-05,1.766069e-05,1.846798e-05,1.877856e-05,1.987059e-05,1.991368e-05,2.093307e-05,2.130772e-05,2.196296e-05,2.264343e-05,2.295788e-05,2.391603e-05,2.483616e-05,2.512242e-05,2.571744e-05,2.626088e-05,2.655948e-05,2.733085e-05,2.736221e-05,2.812585e-05,2.833271e-05,2.885083e-05,2.926754e-05,2.953783e-05,3.013701e-05,3.018765e-05,3.080122e-05,3.094319e-05,3.137957e-05,3.168847e-05,3.192380e-05,3.237542e-05,3.243507e-05,3.291454e-05,3.300673e-05,3.336341e-05,3.358512e-05,3.378287e-05,3.411337e-05,3.417412e-05,3.453835e-05,3.459419e-05,3.487670e-05,3.503025e-05,3.519031e-05,3.542414e-05,3.548029e-05,3.574773e-05,3.577836e-05,3.599366e-05,3.609532e-05,3.621910e-05,3.637734e-05,3.642503e-05,3.661238e-05,3.662659e-05,3.678206e-05,3.684519e-05,3.693495e-05,3.703511e-05,3.707189e-05,3.719367e-05,3.719824e-05,3.730107e-05,3.733636e-05,3.739484e-05,3.745117e-05,3.747567e-05,3.754424e-05,3.760120e-05,3.761708e-05,3.764718e-05,3.767111e-05,3.768275e-05,3.770765e-05,3.770850e-05,3.772495e-05,3.772796e-05,3.773262e-05,3.773321e-05,3.773200e-05,3.772451e-05,3.772356e-05,3.770775e-05,3.770291e-05,3.768500e-05,3.766937e-05,3.765570e-05,3.762482e-05,3.762025e-05,3.757902e-05,3.757011e-05,3.753235e-05,3.750605e-05,3.748058e-05,3.743339e-05,3.742403e-05,3.736301e-05,3.735285e-05,3.729779e-05,3.726508e-05,3.722866e-05,3.717071e-05,3.715587e-05,3.707967e-05,3.707031e-05,3.700031e-05,3.696444e-05,3.691800e-05,3.685360e-05,3.683295e-05,3.674538e-05,3.673827e-05,3.665547e-05,3.661889e-05,3.656341e-05,3.649588e-05,3.646936e-05,3.637350e-05,3.636963e-05,3.627598e-05,3.624050e-05,3.617695e-05,3.610882e-05,3.607655e-05,3.597492e-05,3.583909e-05,3.570161e-05,3.556273e-05,3.542268e-05,3.528170e-05,3.513998e-05,3.499773e-05,3.485511e-05,3.471230e-05,3.456945e-05,3.442670e-05,3.428417e-05,3.414201e-05,3.400031e-05,3.385918e-05,3.371872e-05,3.357902e-05,3.344015e-05,3.330219e-05,3.316521e-05,3.302928e-05,3.289444e-05,3.276075e-05,3.262827e-05
0.000000e+00,1.202966e-10,2.951696e-10,1.090813e-09,2.564824e-09,3.787806e-09,8.784459e-09,9.055248e-09,1.776696e-08,2.095173e-08,3.088563e-08,4.131457e-08,4.948133e-08,7.235168e-08,7.462547e-08,1.070533e-07,1.159352e-07,1.467286e-07,1.718199e-07,1.928119e-07,2.377271e-07,2.441217e-07,2.995474e-07,3.110423e-07,3.581693e-07,3.896590e-07,4.192276e-07,4.719169e-07,4.820656e-07,5.460923e-07,5.564100e-07,6.107640e-07,6.418864e-07,6.755782e-07,7.272212e-07,7.400744e-07,8.038376e-07,8.114219e-07,8.665008e-07,8.936409e-07,9.277479e-07,9.731826e-07,9.873120e-07,1.044974e-06,1.049499e-06,1.100563e-06,1.122188e-06,1.153951e-06,1.190974e-06,1.205046e-06,1.253791e-06,1.255692e-06,1.300159e-06,1.316268e-06,1.344145e-06,1.372703e-06,1.385767e-06,1.425057e-06,1.462063e-06,1.473432e-06,1.496842e-06,1.517963e-06,1.529460e-06,1.558806e-06,1.559988e-06,1.588500e-06,1.596133e-06,1.615075e-06,1.630123e-06,1.639791e-06,1.660958e-06,1.662729e-06,1.683968e-06,1.688821e-06,1.703585e-06,1.713891e-06,1.721658e-06,1.736344e-06,1.738262e-06,1.753469e-06,1.756349e-06,1.767350e-06,1.774067e-06,1.779974e-06,1.789654e-06,1.791405e-06,1.801708e-06,1.803256e-06,1.810943e-06,1.815014e-06,1.819168e-06,1.825058e-06,1.826438e-06,1.832807e-06,1.833513e-06,1.838326e-06,1.840497e-06,1.843042e-06,1.846118e-06,1.847002e-06,1.850250e-06,1.850481e-06,1.852828e-06,1.853681e-06,1.854776e-06,1.855809e-06,1.856131e-06,1.856929e-06,1.856950e-06,1.857205e-06,1.857183e-06,1.856992e-06,1.856582e-06,1.856319e-06,1.855216e-06,1.853711e-06,1.853149e-06,1.851830e-06,1.850441e-06,1.849599e-06,1.847148e-06,1.847040e-06,1.844177e-06,1.843323e-06,1.841030e-06,1.839014e-06,1.837619e-06,1.834266e-06,1.833965e-06,1.830083e-06,1.829120e-06,1.825993e-06,1.823617e-06,1.821709e-06,1.817792e-06,1.817248e-06,1.812623e-06,1.811679e-06,1.807848e-06,1.805310e-06,1.802936e-06,1.798713e-06,1.797899e-06,1.792749e-06,1.791916e-06,1.787497e-06,1.784942e-06,1.782152e-06,1.777817e-06,1.776725e-06,1.771225e-06,1.770560e-06,1.765659e-06,1.763192e-06,1.760037e-06,1.755731e-06,1.754366e-06,1.748653e-06,1.748194e-06,1.742904e-06,1.740597e-06,1.737127e-06,1.732954e-06,1.731328e-06,1.725511e-06,1.725278e-06,1.719682e-06,1.717582e-06,1.713846e-06,1.709877e-06,1.708009e-06,1.702173e-06,1.694480e-06,1.686807e-06,1.679162e-06,1.671551e-06,1.663982e-06,1.656461e-06,1.648993e-06,1.641583e-06,1.634236e-06,1.626956e-06,1.619747e-06,1.612611e-06,1.605553e-06,1.598574e-06,1.591676e-06,1.584862e-06,1.578134e-06,1.571493e-06,1.564941e-06,1.558477e-06,1.552105e-06,1.545823e-06,1.539632e-06,1.533534e-06
0.000000e+00,1.870315e-10,6.417323e-10,3.534542e-09,1.014451e-08,1.616299e-08,4.297587e-08,4.449367e-08,9.540266e-08,1.147714e-07,1.770146e-07,2.446005e-07,2.986411e-07,4.525660e-07,4.679396e-07,6.855982e-07,7.443277e-07,9.443576e-07,1.103468e-06,1.234274e-06,1.508397e-06,1.546881e-06,1.875806e-06,1.943095e-06,2.216069e-06,2.396066e-06,2.563447e-06,2.857950e-06,2.914135e-06,3.264632e-06,3.320475e-06,3.611733e-06,3.776278e-06,3.952563e-06,4.219016e-06,4.284618e-06,4.605795e-06,4.643520e-06,4.914400e-06,5.045856e-06,5.209140e-06,5.423291e-06,5.489096e-06,5.753687e-06,5.774180e-06,6.002629e-06,6.097809e-06,6.235888e-06,6.394213e-06,6.453635e-06,6.656198e-06,6.663991e-06,6.844032e-06,6.908151e-06,7.017689e-06,7.127988e-06,7.177781e-06,7.324961e-06,7.459907e-06,7.500618e-06,7.583304e-06,7.656530e-06,7.695829e-06,7.794245e-06,7.798150e-06,7.890911e-06,7.915256e-06,7.974734e-06,8.020988e-06,8.050217e-06,8.112779e-06,8.117922e-06,8.178382e-06,8.191872e-06,8.232101e-06,8.259417e-06,8.279552e-06,8.316476e-06,8.321177e-06,8.357394e-06,8.364023e-06,8.388590e-06,8.402949e-06,8.415128e-06,8.434068e-06,8.437346e-06,8.455557e-06,8.458119e-06,8.470056e-06,8.475778e-06,8.481116e-06,8.487658e-06,8.488990e-06,8.493915e-06,8.494318e-06,8.496111e-06,8.496266e-06,8.495782e-06,8.493961e-06,8.493119e-06,8.488299e-06,8.487825e-06,8.481486e-06,8.478238e-06,8.472834e-06,8.465546e-06,8.462486e-06,8.450573e-06,8.450066e-06,8.437220e-06,8.432083e-06,8.422543e-06,8.411860e-06,8.406647e-06,8.389634e-06,8.371596e-06,8.365622e-06,8.352620e-06,8.340021e-06,8.332787e-06,8.313011e-06,8.312172e-06,8.290846e-06,8.284757e-06,8.268874e-06,8.255407e-06,8.246317e-06,8.225099e-06,8.223234e-06,8.199676e-06,8.193957e-06,8.175694e-06,8.162096e-06,8.151335e-06,8.129621e-06,8.126641e-06,8.101654e-06,8.096625e-06,8.076412e-06,8.063197e-06,8.050949e-06,8.029415e-06,8.025299e-06,7.999493e-06,7.995351e-06,7.973559e-06,7.961074e-06,7.947525e-06,7.926642e-06,7.921415e-06,7.895253e-06,7.892111e-06,7.869061e-06,7.857532e-06,7.842860e-06,7.822952e-06,7.816668e-06,7.790504e-06,7.788412e-06,7.764384e-06,7.753951e-06,7.738323e-06,7.719604e-06,7.712336e-06,7.686437e-06,7.685403e-06,7.660638e-06,7.651377e-06,7.634950e-06,7.617552e-06,7.609385e-06,7.583952e-06,7.550599e-06,7.517512e-06,7.484710e-06,7.452207e-06,7.420019e-06,7.388158e-06,7.356635e-06,7.325461e-06,7.294644e-06,7.264192e-06,7.234112e-06,7.204409e-06,7.175089e-06,7.146155e-06,7.117611e-06,7.089460e-06,7.061704e-06,7.034343e-06,7.007380e-06,6.980814e-06,6.954645e-06,6.928873e-06,6.903496e-06,6.878514e-06
0.000000e+00,1.047367e-11,5.335311e-11,5.971867e-10,2.947167e-09,6.115226e-09,2.955076e-08,3.127856e-08,1.102802e-07,1.500146e-07,3.090219e-07,5.298440e-07,7.387263e-07,1.476717e-06,1.561609e-06,2.980677e-06,3.434657e-06,5.219393e-06,6.914929e-06,8.501379e-06,1.241864e-05,1.303512e-05,1.900416e-05,2.038424e-05,2.656155e-05,3.116029e-05,3.582727e-05,4.499463e-05,4.688740e-05,5.979450e-05,6.203282e-05,7.456865e-05,8.232140e-05,9.119915e-05,1.058145e-04,1.096466e-04,1.298455e-04,1.323831e-04,1.517070e-04,1.618255e-04,1.751225e-04,1.938808e-04,1.999664e-04,2.261003e-04,2.282424e-04,2.533763e-04,2.645721e-04,2.816404e-04,3.025143e-04,3.107357e-04,3.405055e-04,3.417081e-04,3.707958e-04,3.817988e-04,4.014576e-04,4.224468e-04,4.323486e-04,4.633347e-04,4.942911e-04,5.041719e-04,5.251030e-04,5.446981e-04,5.556659e-04,5.846845e-04,5.858856e-04,6.156788e-04,6.239343e-04,6.449721e-04,6.622812e-04,6.737017e-04,6.995884e-04,7.018134e-04,7.292614e-04,7.357458e-04,7.560080e-04,7.706681e-04,7.820229e-04,8.042918e-04,8.072824e-04,8.317691e-04,8.365725e-04,8.554706e-04,8.674826e-04,8.783799e-04,8.970090e-04,9.004937e-04,9.218128e-04,9.251503e-04,9.423410e-04,9.519155e-04,9.620851e-04,9.773218e-04,9.810541e-04,9.992594e-04,1.001393e-03,1.016714e-03,1.024159e-03,1.033431e-03,1.045653e-03,1.049427e-03,1.064718e-03,1.065911e-03,1.079321e-03,1.084974e-03,1.093254e-03,1.102881e-03,1.106534e-03,1.119181e-03,1.119674e-03,1.131213e-03,1.135397e-03,1.142647e-03,1.150091e-03,1.153503e-03,1.163800e-03,1.173554e-03,1.176564e-03,1.182785e-03,1.188427e-03,1.191511e-03,1.199428e-03,1.199748e-03,1.207515e-03,1.209607e-03,1.214827e-03,1.219004e-03,1.221702e-03,1.227655e-03,1.228156e-03,1.234204e-03,1.235597e-03,1.239862e-03,1.242866e-03,1.245145e-03,1.249495e-03,1.250067e-03,1.254643e-03,1.255518e-03,1.258887e-03,1.260966e-03,1.262811e-03,1.265870e-03,1.266429e-03,1.269754e-03,1.270259e-03,1.272797e-03,1.274162e-03,1.275571e-03,1.277604e-03,1.278088e-03,1.280357e-03,1.280613e-03,1.282390e-03,1.283212e-03,1.284197e-03,1.285426e-03,1.285789e-03,1.287175e-03,1.287277e-03,1.288364e-03,1.288787e-03,1.289366e-03,1.289976e-03,1.290189e-03,1.290841e-03,1.290864e-03,1.291331e-03,1.291470e-03,1.291667e-03,1.291811e-03,1.291856e-03,1.291905e-03,1.291768e-03,1.291416e-03,1.290863e-03,1.290122e-03,1.289208e-03,1.288133e-03,1.286908e-03,1.285546e-03,1.284057e-03,1.282450e-03,1.280737e-03,1.278925e-03,1.277024e-03,1.275041e-03,1.272985e-03,1.270862e-03,1.268680e-03,1.266445e-03,1.264163e-03,1.261840e-03,1.259482e-03,1.257093e-03,1.254678e-03,1.252241e-03
0.000000e+00,8.258676e-11,1.997258e-10,7.281514e-10,1.704843e-09,2.516294e-09,5.849982e-09,6.031547e-09,1.192052e-08,1.409493e-08,2.093913e-08,2.819815e-08,3.390983e-08,4.987459e-08,5.145166e-08,7.363014e-08,7.960213e-08,1.000384e-07,1.164830e-07,1.301706e-07,1.594309e-07,1.636059e-07,2.000059e-07,2.076151e-07,2.390719e-07,2.603433e-07,2.805124e-07,3.169388e-07,3.240281e-07,3.693076e-07,3.766946e-07,4.160298e-07,4.388733e-07,4.638695e-07,5.027292e-07,5.125046e-07,5.616225e-07,5.675349e-07,6.109273e-07,6.326092e-07,6.601450e-07,6.973376e-07,7.090260e-07,7.573478e-07,7.611833e-07,8.049158e-07,8.236937e-07,8.515632e-07,8.844997e-07,8.971499e-07,9.415609e-07,9.433115e-07,9.847044e-07,9.999116e-07,1.026510e-06,1.054146e-06,1.066925e-06,1.105913e-06,1.143455e-06,1.155161e-06,1.179540e-06,1.201870e-06,1.214169e-06,1.246053e-06,1.247352e-06,1.279107e-06,1.287745e-06,1.309454e-06,1.326998e-06,1.338422e-06,1.363881e-06,1.366041e-06,1.392345e-06,1.398466e-06,1.417370e-06,1.430838e-06,1.441152e-06,1.461083e-06,1.463730e-06,1.485142e-06,1.489288e-06,1.505428e-06,1.515544e-06,1.524626e-06,1.539940e-06,1.542775e-06,1.559913e-06,1.562563e-06,1.576077e-06,1.583501e-06,1.591305e-06,1.602837e-06,1.605632e-06,1.619093e-06,1.620652e-06,1.631723e-06,1.637026e-06,1.643556e-06,1.652034e-06,1.654622e-06,1.664954e-06,1.665750e-06,1.674582e-06,1.678243e-06,1.683535e-06,1.689580e-06,1.691842e-06,1.699530e-06,1.699825e-06,1.706625e-06,1.709039e-06,1.713153e-06,1.717280e-06,1.719138e-06,1.724604e-06,1.729574e-06,1.731064e-06,1.734070e-06,1.736708e-06,1.738113e-06,1.741586e-06,1.741723e-06,1.744919e-06,1.745743e-06,1.747721e-06,1.749220e-06,1.750146e-06,1.752060e-06,1.752212e-06,1.753936e-06,1.754300e-06,1.755333e-06,1.755978e-06,1.756418e-06,1.757127e-06,1.757207e-06,1.757713e-06,1.757782e-06,1.757951e-06,1.757972e-06,1.757932e-06,1.757728e-06,1.757671e-06,1.757177e-06,1.757078e-06,1.756464e-06,1.756047e-06,1.755542e-06,1.754661e-06,1.754422e-06,1.753113e-06,1.752944e-06,1.751626e-06,1.750918e-06,1.749970e-06,1.748603e-06,1.748153e-06,1.746185e-06,1.746021e-06,1.744073e-06,1.743190e-06,1.741825e-06,1.740127e-06,1.739449e-06,1.736952e-06,1.736850e-06,1.734341e-06,1.733375e-06,1.731623e-06,1.729716e-06,1.728803e-06,1.725888e-06,1.721905e-06,1.717778e-06,1.713521e-06,1.709144e-06,1.704657e-06,1.700072e-06,1.695397e-06,1.690642e-06,1.685814e-06,1.680923e-06,1.675974e-06,1.670976e-06,1.665934e-06,1.660856e-06,1.655747e-06,1.650613e-06,1.645458e-06,1.640288e-06,1.635108e-06,1.629921e-06,1.624731e-06,1.619543e-06,1.614360e-06,1.609186e-06
0.000000e+00,1.166093e-11,6.013989e-11,6.897830e-10,3.472779e-09,7.275750e-09,3.583763e-08,3.795456e-08,1.348714e-07,1.834741e-07,3.766310e-07,6.422839e-07,8.921085e-07,1.773882e-06,1.875721e-06,3.603265e-06,4.167577e-06,6.444467e-06,8.692034e-06,1.086546e-05,1.649804e-05,1.741638e-05,2.670594e-05,2.894829e-05,3.936936e-05,4.749770e-05,5.603600e-05,7.356624e-05,7.730045e-05,1.036989e-04,1.084310e-04,1.356912e-04,1.531468e-04,1.736478e-04,2.084948e-04,2.178426e-04,2.684479e-04,2.749558e-04,3.255352e-04,3.527033e-04,3.890766e-04,4.416130e-04,4.589504e-04,5.349477e-04,5.412838e-04,6.167803e-04,6.510692e-04,7.040904e-04,7.701129e-04,7.964603e-04,8.934231e-04,8.973901e-04,9.944726e-04,1.031749e-03,1.099074e-03,1.171950e-03,1.206674e-03,1.316709e-03,1.428615e-03,1.464728e-03,1.541833e-03,1.614729e-03,1.655820e-03,1.765482e-03,1.770050e-03,1.884022e-03,1.915823e-03,1.997265e-03,2.064675e-03,2.109336e-03,2.211057e-03,2.219829e-03,2.328371e-03,2.354093e-03,2.434628e-03,2.493021e-03,2.538300e-03,2.627185e-03,2.639125e-03,2.736876e-03,2.756040e-03,2.831361e-03,2.879147e-03,2.922419e-03,2.996167e-03,3.009925e-03,3.093780e-03,3.106853e-03,3.173915e-03,3.211044e-03,3.250285e-03,3.308655e-03,3.322869e-03,3.391668e-03,3.399671e-03,3.456703e-03,3.484134e-03,3.518009e-03,3.562142e-03,3.575641e-03,3.629665e-03,3.633833e-03,3.680157e-03,3.699385e-03,3.727206e-03,3.759003e-03,3.770908e-03,3.811365e-03,3.812917e-03,3.848685e-03,3.861375e-03,3.882982e-03,3.904636e-03,3.914371e-03,3.942968e-03,3.968894e-03,3.976645e-03,3.992266e-03,4.005939e-03,4.013204e-03,4.031124e-03,4.031825e-03,4.048246e-03,4.052465e-03,4.062581e-03,4.070227e-03,4.074940e-03,4.084660e-03,4.085434e-03,4.094167e-03,4.096012e-03,4.101242e-03,4.104517e-03,4.106758e-03,4.110398e-03,4.110810e-03,4.113492e-03,4.113871e-03,4.114890e-03,4.115138e-03,4.115089e-03,4.114390e-03,4.114171e-03,4.112213e-03,4.111808e-03,4.109287e-03,4.107560e-03,4.105464e-03,4.101805e-03,4.100811e-03,4.095389e-03,4.094690e-03,4.089260e-03,4.086354e-03,4.082480e-03,4.076924e-03,4.075101e-03,4.067175e-03,4.066519e-03,4.058749e-03,4.055248e-03,4.049867e-03,4.043214e-03,4.040572e-03,4.030904e-03,4.030510e-03,4.020900e-03,4.017222e-03,4.010594e-03,4.003430e-03,4.000019e-03,3.989207e-03,3.974618e-03,3.959725e-03,3.944585e-03,3.929247e-03,3.913758e-03,3.898161e-03,3.882494e-03,3.866791e-03,3.851084e-03,3.835401e-03,3.819768e-03,3.804209e-03,3.788743e-03,3.773390e-03,3.758165e-03,3.743083e-03,3.728159e-03,3.713402e-03,3.698823e-03,3.684431e-03,3.670233e-03,3.656237e-03,3.642447e-03,3.628868e-03
0.000000e+00,5.060056e-11,2.326624e-10,2.113263e-09,8.652693e-09,1.622456e-08,6.053534e-08,6.340871e-08,1.734571e-07,2.203140e-07,3.824335e-07,5.723155e-07,7.317135e-07,1.215872e-06,1.266552e-06,2.029858e-06,2.250741e-06,3.051057e-06,3.739609e-06,4.338693e-06,5.684478e-06,5.882648e-06,7.661839e-06,8.043708e-06,9.651044e-06,1.075986e-05,1.182453e-05,1.377425e-05,1.415714e-05,1.662422e-05,1.702979e-05,1.920125e-05,2.047008e-05,2.186373e-05,2.403886e-05,2.458731e-05,2.734812e-05,2.768082e-05,3.012320e-05,3.134314e-05,3.289096e-05,3.497729e-05,3.563157e-05,3.832722e-05,3.854045e-05,4.096236e-05,4.199643e-05,4.352373e-05,4.531598e-05,4.600034e-05,4.838339e-05,4.847666e-05,5.066615e-05,5.146241e-05,5.284381e-05,5.426291e-05,5.491322e-05,5.687266e-05,5.872170e-05,5.929014e-05,6.046091e-05,6.151702e-05,6.209177e-05,6.355745e-05,6.361643e-05,6.503760e-05,6.541740e-05,6.635836e-05,6.710398e-05,6.758200e-05,6.862496e-05,6.871200e-05,6.975210e-05,6.998878e-05,7.070624e-05,7.120451e-05,7.157844e-05,7.228132e-05,7.237264e-05,7.309271e-05,7.322817e-05,7.374246e-05,7.405376e-05,7.432554e-05,7.476640e-05,7.484549e-05,7.530576e-05,7.537408e-05,7.570966e-05,7.588444e-05,7.606036e-05,7.630466e-05,7.636089e-05,7.661418e-05,7.664153e-05,7.682303e-05,7.690155e-05,7.699014e-05,7.709081e-05,7.711806e-05,7.720920e-05,7.721498e-05,7.726587e-05,7.727938e-05,7.729025e-05,7.728900e-05,7.728445e-05,7.725043e-05,7.724851e-05,7.719008e-05,7.716225e-05,7.710515e-05,7.703423e-05,7.699734e-05,7.686822e-05,7.671931e-05,7.666772e-05,7.655204e-05,7.643598e-05,7.636776e-05,7.617602e-05,7.616774e-05,7.595318e-05,7.589066e-05,7.572522e-05,7.558247e-05,7.548494e-05,7.525386e-05,7.523334e-05,7.497138e-05,7.490706e-05,7.469995e-05,7.454414e-05,7.441991e-05,7.416699e-05,7.413206e-05,7.383714e-05,7.377737e-05,7.353587e-05,7.337692e-05,7.322890e-05,7.296711e-05,7.291687e-05,7.260036e-05,7.254934e-05,7.227993e-05,7.212488e-05,7.195609e-05,7.169489e-05,7.162933e-05,7.130011e-05,7.126046e-05,7.096886e-05,7.082257e-05,7.063598e-05,7.038213e-05,7.030184e-05,6.996680e-05,6.993997e-05,6.963119e-05,6.949685e-05,6.929531e-05,6.905347e-05,6.895945e-05,6.862387e-05,6.861046e-05,6.828883e-05,6.816840e-05,6.795456e-05,6.772781e-05,6.762128e-05,6.728918e-05,6.685294e-05,6.641947e-05,6.598915e-05,6.556228e-05,6.513914e-05,6.472001e-05,6.430510e-05,6.389461e-05,6.348872e-05,6.308759e-05,6.269136e-05,6.230013e-05,6.191401e-05,6.153309e-05,6.115742e-05,6.078707e-05,6.042208e-05,6.006248e-05,5.970829e-05,5.935952e-05,5.901618e-05,5.867825e-05,5.834574e-05,5.801861e-05
0.000000e+00,1.486798e-10,5.070731e-10,2.774501e-09,7.945816e-09,1.265244e-08,3.357848e-08,3.476005e-08,7.415282e-08,8.901336e-08,1.363333e-07,1.871164e-07,2.274367e-07,3.420139e-07,3.534979e-07,5.182967e-07,5.636814e-07,7.218062e-07,8.517596e-07,9.614625e-07,1.199861e-06,1.234256e-06,1.537571e-06,1.601694e-06,1.869140e-06,2.052002e-06,2.226791e-06,2.545729e-06,2.608269e-06,3.011144e-06,3.077417e-06,3.432790e-06,3.641031e-06,3.870407e-06,4.230035e-06,4.321068e-06,4.781782e-06,4.837601e-06,5.249555e-06,5.456853e-06,5.721458e-06,6.081136e-06,6.194688e-06,6.666605e-06,6.704227e-06,7.134772e-06,7.320485e-06,7.596979e-06,7.924964e-06,8.051260e-06,8.495895e-06,8.513458e-06,8.929413e-06,9.082513e-06,9.350579e-06,9.629395e-06,9.758389e-06,1.015206e-05,1.053099e-05,1.064906e-05,1.089472e-05,1.111940e-05,1.124299e-05,1.156263e-05,1.157564e-05,1.189265e-05,1.197863e-05,1.219412e-05,1.236759e-05,1.248018e-05,1.272996e-05,1.275108e-05,1.300712e-05,1.306640e-05,1.324863e-05,1.337767e-05,1.347599e-05,1.366468e-05,1.368960e-05,1.388988e-05,1.392838e-05,1.407729e-05,1.416981e-05,1.425227e-05,1.438999e-05,1.441528e-05,1.456678e-05,1.458998e-05,1.470722e-05,1.477084e-05,1.483705e-05,1.493358e-05,1.495672e-05,1.506667e-05,1.507923e-05,1.516732e-05,1.520877e-05,1.525909e-05,1.532315e-05,1.534239e-05,1.541760e-05,1.542328e-05,1.548511e-05,1.551005e-05,1.554530e-05,1.558429e-05,1.559851e-05,1.564509e-05,1.564682e-05,1.568536e-05,1.569838e-05,1.571966e-05,1.573972e-05,1.574828e-05,1.577153e-05,1.578967e-05,1.579445e-05,1.580299e-05,1.580910e-05,1.581175e-05,1.581608e-05,1.581618e-05,1.581654e-05,1.581594e-05,1.581305e-05,1.580919e-05,1.580592e-05,1.579634e-05,1.579537e-05,1.578160e-05,1.577784e-05,1.576480e-05,1.575413e-05,1.574515e-05,1.572563e-05,1.572282e-05,1.569798e-05,1.569273e-05,1.567079e-05,1.565577e-05,1.564140e-05,1.561512e-05,1.560995e-05,1.557659e-05,1.557108e-05,1.554144e-05,1.552397e-05,1.550462e-05,1.547406e-05,1.546627e-05,1.542648e-05,1.542161e-05,1.538536e-05,1.536688e-05,1.534303e-05,1.531010e-05,1.529957e-05,1.525508e-05,1.525148e-05,1.520964e-05,1.519123e-05,1.516335e-05,1.512953e-05,1.511628e-05,1.506850e-05,1.506657e-05,1.502008e-05,1.500251e-05,1.497110e-05,1.493751e-05,1.492162e-05,1.487170e-05,1.480522e-05,1.473820e-05,1.467075e-05,1.460299e-05,1.453500e-05,1.446688e-05,1.439873e-05,1.433060e-05,1.426260e-05,1.419476e-05,1.412717e-05,1.405988e-05,1.399294e-05,1.392640e-05,1.386030e-05,1.379469e-05,1.372959e-05,1.366505e-05,1.360110e-05,1.353776e-05,1.347505e-05,1.341300e-05,1.335163e-05,1.329096e-05
0.000000e+00,3.578287e-11,8.333854e-11,2.915657e-10,6.697219e-10,9.821787e-10,2.267247e-09,2.337513e-09,4.636092e-09,5.492885e-09,8.198912e-09,1.104356e-08,1.323565e-08,1.908278e-08,1.963853e-08,2.712078e-08,2.904873e-08,3.544320e-08,4.040696e-08,4.443953e-08,5.280913e-08,5.397843e-08,6.393968e-08,6.597227e-08,7.420619e-08,7.962729e-08,8.466368e-08,9.351575e-08,9.520337e-08,1.057251e-07,1.074008e-07,1.161399e-07,1.210780e-07,1.263712e-07,1.343813e-07,1.363559e-07,1.460436e-07,1.471842e-07,1.553959e-07,1.593971e-07,1.643851e-07,1.709624e-07,1.729927e-07,1.812082e-07,1.818484e-07,1.890275e-07,1.920443e-07,1.964513e-07,2.015543e-07,2.034848e-07,2.101358e-07,2.103941e-07,2.164148e-07,2.185864e-07,2.223336e-07,2.261593e-07,2.279052e-07,2.331432e-07,2.380617e-07,2.395705e-07,2.426748e-07,2.454734e-07,2.469965e-07,2.508840e-07,2.510406e-07,2.548207e-07,2.558336e-07,2.583499e-07,2.603522e-07,2.616408e-07,2.644685e-07,2.647056e-07,2.675561e-07,2.682095e-07,2.702033e-07,2.716009e-07,2.726579e-07,2.746669e-07,2.749303e-07,2.770300e-07,2.774300e-07,2.789663e-07,2.799115e-07,2.807479e-07,2.821311e-07,2.823832e-07,2.838801e-07,2.841073e-07,2.852461e-07,2.858574e-07,2.864883e-07,2.873974e-07,2.876134e-07,2.886277e-07,2.887423e-07,2.895375e-07,2.899061e-07,2.903482e-07,2.909016e-07,2.910655e-07,2.916943e-07,2.917410e-07,2.922396e-07,2.924354e-07,2.927060e-07,2.929954e-07,2.930978e-07,2.934192e-07,2.934306e-07,2.936740e-07,2.937502e-07,2.938660e-07,2.939624e-07,2.939985e-07,2.940751e-07,2.940987e-07,2.940956e-07,2.940724e-07,2.940307e-07,2.939991e-07,2.938868e-07,2.938812e-07,2.937215e-07,2.936696e-07,2.935222e-07,2.933847e-07,2.932858e-07,2.930372e-07,2.930142e-07,2.927096e-07,2.926318e-07,2.923739e-07,2.921731e-07,2.920090e-07,2.916651e-07,2.916166e-07,2.911983e-07,2.911116e-07,2.907557e-07,2.905165e-07,2.902903e-07,2.898828e-07,2.898036e-07,2.892968e-07,2.892140e-07,2.887713e-07,2.885128e-07,2.882283e-07,2.877820e-07,2.876688e-07,2.870941e-07,2.870242e-07,2.865052e-07,2.862418e-07,2.859030e-07,2.854370e-07,2.852885e-07,2.846625e-07,2.846120e-07,2.840261e-07,2.837687e-07,2.833798e-07,2.829089e-07,2.827246e-07,2.820611e-07,2.820344e-07,2.813900e-07,2.811467e-07,2.807121e-07,2.802474e-07,2.800278e-07,2.793379e-07,2.784196e-07,2.774935e-07,2.765610e-07,2.756231e-07,2.746807e-07,2.737350e-07,2.727866e-07,2.718366e-07,2.708856e-07,2.699344e-07,2.689836e-07,2.680339e-07,2.670860e-07,2.661403e-07,2.651973e-07,2.642576e-07,2.633216e-07,2.623897e-07,2.614623e-07,2.605397e-07,2.596224e-07,2.587106e-07,2.578046e-07,2.569046e-07
0.000000e+00,3.426402e-12,7.851634e-12,2.701880e-11,6.147017e-11,8.966407e-11,2.032248e-10,2.093286e-10,4.038444e-10,4.742127e-10,6.916874e-10,9.172765e-10,1.092373e-09,1.577603e-09,1.625559e-09,2.307477e-09,2.494315e-09,3.145225e-09,3.681091e-09,4.134136e-09,5.119509e-09,5.261637e-09,6.512965e-09,6.776832e-09,7.874083e-09,8.620943e-09,9.332111e-09,1.062285e-08,1.087490e-08,1.249058e-08,1.275506e-08,1.416732e-08,1.499037e-08,1.589329e-08,1.730162e-08,1.765675e-08,1.944616e-08,1.966210e-08,2.125042e-08,2.204626e-08,2.305899e-08,2.443032e-08,2.486206e-08,2.665065e-08,2.679287e-08,2.841672e-08,2.911523e-08,3.015320e-08,3.138160e-08,3.185386e-08,3.351346e-08,3.357893e-08,3.512774e-08,3.569708e-08,3.669317e-08,3.772835e-08,3.820704e-08,3.966734e-08,4.107266e-08,4.151060e-08,4.242214e-08,4.325632e-08,4.371541e-08,4.490409e-08,4.495250e-08,4.613376e-08,4.645460e-08,4.725985e-08,4.790937e-08,4.833163e-08,4.927064e-08,4.935019e-08,5.031676e-08,5.054115e-08,5.123268e-08,5.172400e-08,5.209937e-08,5.282254e-08,5.291835e-08,5.369114e-08,5.384029e-08,5.441931e-08,5.478085e-08,5.510443e-08,5.564783e-08,5.574809e-08,5.635185e-08,5.644485e-08,5.691724e-08,5.717545e-08,5.744579e-08,5.784310e-08,5.793898e-08,5.839828e-08,5.845118e-08,5.882509e-08,5.900296e-08,5.922080e-08,5.950157e-08,5.958675e-08,5.992422e-08,5.995003e-08,6.023448e-08,6.035124e-08,6.051874e-08,6.070796e-08,6.077816e-08,6.101388e-08,6.102283e-08,6.122697e-08,6.129835e-08,6.141849e-08,6.153691e-08,6.158944e-08,6.174079e-08,6.187346e-08,6.191212e-08,6.198836e-08,6.205296e-08,6.208633e-08,6.216523e-08,6.216821e-08,6.223477e-08,6.225077e-08,6.228679e-08,6.231131e-08,6.232497e-08,6.234848e-08,6.235002e-08,6.236260e-08,6.236384e-08,6.236336e-08,6.235884e-08,6.235290e-08,6.233488e-08,6.233180e-08,6.230064e-08,6.229324e-08,6.225993e-08,6.223517e-08,6.221021e-08,6.216183e-08,6.215195e-08,6.208563e-08,6.207430e-08,6.201169e-08,6.197363e-08,6.193057e-08,6.186078e-08,6.184268e-08,6.174840e-08,6.173668e-08,6.164812e-08,6.160219e-08,6.154219e-08,6.145811e-08,6.143095e-08,6.131473e-08,6.130523e-08,6.119384e-08,6.114425e-08,6.106859e-08,6.097586e-08,6.093924e-08,6.080609e-08,6.080069e-08,6.066938e-08,6.061935e-08,6.052937e-08,6.043240e-08,6.038629e-08,6.024037e-08,6.004376e-08,5.984303e-08,5.963864e-08,5.943098e-08,5.922046e-08,5.900742e-08,5.879222e-08,5.857516e-08,5.835656e-08,5.813669e-08,5.791582e-08,5.769418e-08,5.747202e-08,5.724953e-08,5.702693e-08,5.680440e-08,5.658212e-08,5.636024e-08,5.613893e-08,5.591831e-08,5.569852e-08,5.547969e-08,5.526191e-08,5.504531e-08
0.000000e+00,3.516205e-11,1.570792e-10,1.348569e-09,5.265416e-09,9.632518e-09,3.385437e-08,3.537884e-08,9.160431e-08,1.146772e-07,1.920340e-07,2.792066e-07,3.503398e-07,5.586425e-07,5.799447e-07,8.938142e-07,9.830338e-07,1.303734e-06,1.578775e-06,1.818685e-06,2.361844e-06,2.442380e-06,3.171005e-06,3.328413e-06,3.992859e-06,4.451411e-06,4.890509e-06,5.688675e-06,5.844229e-06,6.834921e-06,6.995699e-06,7.845736e-06,8.333825e-06,8.862550e-06,9.672483e-06,9.873815e-06,1.087019e-05,1.098838e-05,1.184416e-05,1.226403e-05,1.278979e-05,1.348663e-05,1.370246e-05,1.457869e-05,1.464714e-05,1.541602e-05,1.573966e-05,1.621282e-05,1.676091e-05,1.696823e-05,1.768199e-05,1.770967e-05,1.835434e-05,1.858636e-05,1.898594e-05,1.939264e-05,1.957777e-05,2.013104e-05,2.064714e-05,2.080468e-05,2.112758e-05,2.141708e-05,2.157395e-05,2.197193e-05,2.198789e-05,2.237101e-05,2.247298e-05,2.272495e-05,2.292396e-05,2.305129e-05,2.332848e-05,2.335158e-05,2.362732e-05,2.369000e-05,2.387994e-05,2.401182e-05,2.411081e-05,2.429704e-05,2.432126e-05,2.451251e-05,2.454856e-05,2.468575e-05,2.476909e-05,2.484209e-05,2.496114e-05,2.498260e-05,2.510826e-05,2.512705e-05,2.522001e-05,2.526898e-05,2.531874e-05,2.538891e-05,2.540528e-05,2.548040e-05,2.548869e-05,2.554485e-05,2.557000e-05,2.559930e-05,2.563441e-05,2.564441e-05,2.568079e-05,2.568334e-05,2.570901e-05,2.571813e-05,2.572960e-05,2.573999e-05,2.574307e-05,2.574989e-05,2.575003e-05,2.575050e-05,2.574928e-05,2.574532e-05,2.573869e-05,2.573474e-05,2.571912e-05,2.569882e-05,2.569139e-05,2.567416e-05,2.565622e-05,2.564543e-05,2.561430e-05,2.561293e-05,2.557692e-05,2.556625e-05,2.553766e-05,2.551264e-05,2.549538e-05,2.545401e-05,2.545030e-05,2.540263e-05,2.539083e-05,2.535258e-05,2.532357e-05,2.530031e-05,2.525263e-05,2.524601e-05,2.518985e-05,2.517840e-05,2.513196e-05,2.510123e-05,2.507250e-05,2.502144e-05,2.501161e-05,2.494940e-05,2.493934e-05,2.488601e-05,2.485519e-05,2.482154e-05,2.476926e-05,2.475610e-05,2.468979e-05,2.468178e-05,2.462271e-05,2.459297e-05,2.455493e-05,2.450302e-05,2.448656e-05,2.441765e-05,2.441212e-05,2.434830e-05,2.432044e-05,2.427856e-05,2.422814e-05,2.420850e-05,2.413819e-05,2.413537e-05,2.406767e-05,2.404225e-05,2.399702e-05,2.394891e-05,2.392627e-05,2.385547e-05,2.376202e-05,2.366867e-05,2.357550e-05,2.348260e-05,2.339004e-05,2.329788e-05,2.320619e-05,2.311504e-05,2.302446e-05,2.293452e-05,2.284525e-05,2.275669e-05,2.266888e-05,2.258185e-05,2.249564e-05,2.241027e-05,2.232576e-05,2.224213e-05,2.215941e-05,2.207760e-05,2.199673e-05,2.191681e-05,2.183785e-05,2.175985e-05
0.000000e+00,1.678247e-11,8.004293e-11,7.809631e-10,3.394604e-09,6.562101e-09,2.627131e-08,2.759003e-08,7.988050e-08,1.027971e-07,1.835832e-07,2.797972e-07,3.612254e-07,6.102307e-07,6.363909e-07,1.032438e-06,1.147891e-06,1.570189e-06,1.939056e-06,2.264334e-06,3.009204e-06,3.120438e-06,4.134532e-06,4.355394e-06,5.295037e-06,5.951012e-06,6.585464e-06,7.755912e-06,7.986742e-06,9.478748e-06,9.724529e-06,1.104118e-05,1.181026e-05,1.265401e-05,1.396748e-05,1.429781e-05,1.595397e-05,1.615270e-05,1.760498e-05,1.832556e-05,1.923463e-05,2.044985e-05,2.082834e-05,2.237329e-05,2.249444e-05,2.385858e-05,2.443393e-05,2.527530e-05,2.624891e-05,2.661651e-05,2.787719e-05,2.792589e-05,2.905408e-05,2.945688e-05,3.014553e-05,3.083875e-05,3.115132e-05,3.207241e-05,3.291077e-05,3.316201e-05,3.366917e-05,3.411411e-05,3.435097e-05,3.493699e-05,3.496000e-05,3.550036e-05,3.563994e-05,3.597634e-05,3.623283e-05,3.639227e-05,3.672561e-05,3.675247e-05,3.706117e-05,3.712805e-05,3.732246e-05,3.744954e-05,3.754025e-05,3.769888e-05,3.771826e-05,3.785998e-05,3.788426e-05,3.796867e-05,3.801315e-05,3.804737e-05,3.809237e-05,3.809890e-05,3.812585e-05,3.812805e-05,3.813062e-05,3.812568e-05,3.811538e-05,3.809014e-05,3.808215e-05,3.803274e-05,3.802581e-05,3.796883e-05,3.793651e-05,3.789194e-05,3.782566e-05,3.780343e-05,3.770457e-05,3.769625e-05,3.759649e-05,3.755091e-05,3.748022e-05,3.739196e-05,3.735670e-05,3.722678e-05,3.722146e-05,3.709123e-05,3.704119e-05,3.695076e-05,3.685275e-05,3.680599e-05,3.665751e-05,3.650584e-05,3.645671e-05,3.635145e-05,3.625142e-05,3.619478e-05,3.604260e-05,3.603623e-05,3.587615e-05,3.583109e-05,3.571485e-05,3.561763e-05,3.555265e-05,3.540286e-05,3.538981e-05,3.522657e-05,3.518736e-05,3.506316e-05,3.497165e-05,3.489978e-05,3.475618e-05,3.473661e-05,3.457383e-05,3.454133e-05,3.441158e-05,3.432746e-05,3.425000e-05,3.411488e-05,3.408921e-05,3.392934e-05,3.390385e-05,3.377048e-05,3.369462e-05,3.361273e-05,3.348738e-05,3.345616e-05,3.330087e-05,3.328232e-05,3.314691e-05,3.307960e-05,3.299434e-05,3.287936e-05,3.284322e-05,3.269361e-05,3.268170e-05,3.254553e-05,3.248674e-05,3.239903e-05,3.229456e-05,3.225415e-05,3.211091e-05,3.210522e-05,3.196934e-05,3.191879e-05,3.182946e-05,3.173531e-05,3.169128e-05,3.155483e-05,3.137737e-05,3.120295e-05,3.103158e-05,3.086328e-05,3.069803e-05,3.053585e-05,3.037671e-05,3.022060e-05,3.006751e-05,2.991742e-05,2.977030e-05,2.962611e-05,2.948485e-05,2.934646e-05,2.921092e-05,2.907820e-05,2.894825e-05,2.882104e-05,2.869653e-05,2.857467e-05,2.845544e-05,2.833878e-05,2.822465e-05,2.811302e-05
0.000000e+00,1.633866e-11,7.679226e-11,7.272272e-10,3.078470e-09,5.866972e-09,2.266567e-08,2.376971e-08,6.653946e-08,8.487303e-08,1.483172e-07,2.222471e-07,2.838559e-07,4.685619e-07,4.877191e-07,7.738249e-07,8.561657e-07,1.154659e-06,1.412938e-06,1.639382e-06,2.154417e-06,2.230950e-06,2.924001e-06,3.073735e-06,3.705275e-06,4.140392e-06,4.556330e-06,5.310265e-06,5.456840e-06,6.387149e-06,6.537555e-06,7.329691e-06,7.781952e-06,8.269461e-06,9.010803e-06,9.193961e-06,1.009297e-05,1.019872e-05,1.095823e-05,1.132653e-05,1.178326e-05,1.238027e-05,1.256309e-05,1.329420e-05,1.335050e-05,1.397428e-05,1.423173e-05,1.460217e-05,1.502182e-05,1.517772e-05,1.570157e-05,1.572147e-05,1.617512e-05,1.633363e-05,1.660027e-05,1.686292e-05,1.697939e-05,1.731509e-05,1.761021e-05,1.769655e-05,1.786765e-05,1.801398e-05,1.809032e-05,1.827404e-05,1.828110e-05,1.844275e-05,1.848316e-05,1.857793e-05,1.864738e-05,1.868914e-05,1.877227e-05,1.877869e-05,1.884874e-05,1.886288e-05,1.890128e-05,1.892374e-05,1.893813e-05,1.895889e-05,1.896094e-05,1.897120e-05,1.897187e-05,1.897027e-05,1.896578e-05,1.895937e-05,1.894331e-05,1.893959e-05,1.891191e-05,1.890680e-05,1.887720e-05,1.885828e-05,1.883626e-05,1.879949e-05,1.878979e-05,1.873842e-05,1.873195e-05,1.868271e-05,1.865696e-05,1.862318e-05,1.857565e-05,1.856026e-05,1.849438e-05,1.848899e-05,1.842589e-05,1.839784e-05,1.835514e-05,1.830296e-05,1.828241e-05,1.820798e-05,1.820497e-05,1.813208e-05,1.810444e-05,1.805494e-05,1.800188e-05,1.797676e-05,1.789772e-05,1.781798e-05,1.779234e-05,1.773768e-05,1.768607e-05,1.765697e-05,1.757922e-05,1.757597e-05,1.749479e-05,1.747205e-05,1.741354e-05,1.736479e-05,1.733230e-05,1.725765e-05,1.725116e-05,1.717020e-05,1.715081e-05,1.708950e-05,1.704443e-05,1.700910e-05,1.693866e-05,1.692908e-05,1.684949e-05,1.683363e-05,1.677038e-05,1.672944e-05,1.669178e-05,1.662619e-05,1.661374e-05,1.653631e-05,1.652397e-05,1.645950e-05,1.642286e-05,1.638335e-05,1.632293e-05,1.630789e-05,1.623315e-05,1.622422e-05,1.615913e-05,1.612680e-05,1.608587e-05,1.603070e-05,1.601338e-05,1.594167e-05,1.593597e-05,1.587076e-05,1.584262e-05,1.580066e-05,1.575070e-05,1.573138e-05,1.566293e-05,1.566021e-05,1.559531e-05,1.557117e-05,1.552853e-05,1.548361e-05,1.546260e-05,1.539751e-05,1.531290e-05,1.522978e-05,1.514813e-05,1.506797e-05,1.498929e-05,1.491207e-05,1.483632e-05,1.476202e-05,1.468916e-05,1.461772e-05,1.454771e-05,1.447909e-05,1.441185e-05,1.434598e-05,1.428146e-05,1.421827e-05,1.415639e-05,1.409581e-05,1.403651e-05,1.397846e-05,1.392164e-05,1.386604e-05,1.381164e-05,1.375842e-05
0.000000e+00,6.282800e-12,1.441977e-11,4.985200e-11,1.140603e-10,1.669958e-10,3.830652e-10,3.947946e-10,7.739135e-10,9.133811e-10,1.351137e-09,1.814501e-09,2.179522e-09,3.208756e-09,3.311490e-09,4.781461e-09,5.185364e-09,6.590310e-09,7.741949e-09,8.711551e-09,1.080905e-08,1.111049e-08,1.375569e-08,1.431189e-08,1.662077e-08,1.818977e-08,1.968267e-08,2.239105e-08,2.291993e-08,2.631153e-08,2.686711e-08,2.983653e-08,3.156975e-08,3.347398e-08,3.645100e-08,3.720320e-08,4.100402e-08,4.146400e-08,4.485709e-08,4.656426e-08,4.874420e-08,5.171072e-08,5.264846e-08,5.655441e-08,5.686654e-08,6.044816e-08,6.199941e-08,6.431731e-08,6.708173e-08,6.815102e-08,7.193986e-08,7.209036e-08,7.567575e-08,7.700636e-08,7.935186e-08,8.181450e-08,8.296247e-08,8.650286e-08,8.996923e-08,9.106232e-08,9.335853e-08,9.548613e-08,9.666842e-08,9.976956e-08,9.989714e-08,1.030434e-07,1.039095e-07,1.061065e-07,1.079042e-07,1.090860e-07,1.117531e-07,1.119816e-07,1.147937e-07,1.154562e-07,1.175226e-07,1.190147e-07,1.201689e-07,1.224299e-07,1.227334e-07,1.252168e-07,1.257039e-07,1.276204e-07,1.288390e-07,1.299451e-07,1.318379e-07,1.321923e-07,1.343630e-07,1.347033e-07,1.364587e-07,1.374384e-07,1.384807e-07,1.400461e-07,1.404304e-07,1.423091e-07,1.425299e-07,1.441185e-07,1.448930e-07,1.458598e-07,1.471386e-07,1.475346e-07,1.491443e-07,1.492703e-07,1.506905e-07,1.512914e-07,1.521744e-07,1.532053e-07,1.535977e-07,1.549618e-07,1.550152e-07,1.562681e-07,1.567245e-07,1.575181e-07,1.583366e-07,1.587131e-07,1.598546e-07,1.609440e-07,1.612818e-07,1.619825e-07,1.626212e-07,1.629717e-07,1.638760e-07,1.639127e-07,1.648070e-07,1.650492e-07,1.656558e-07,1.661437e-07,1.664603e-07,1.671625e-07,1.672219e-07,1.679417e-07,1.681084e-07,1.686210e-07,1.689841e-07,1.692609e-07,1.697924e-07,1.698626e-07,1.704272e-07,1.705358e-07,1.709559e-07,1.712169e-07,1.714496e-07,1.718382e-07,1.719096e-07,1.723368e-07,1.724022e-07,1.727322e-07,1.729111e-07,1.730969e-07,1.733672e-07,1.734319e-07,1.737380e-07,1.737728e-07,1.740162e-07,1.741300e-07,1.742674e-07,1.744409e-07,1.744926e-07,1.746925e-07,1.747075e-07,1.748681e-07,1.749317e-07,1.750202e-07,1.751155e-07,1.751495e-07,1.752568e-07,1.752606e-07,1.753430e-07,1.753689e-07,1.754087e-07,1.754421e-07,1.754547e-07,1.754817e-07,1.754895e-07,1.754669e-07,1.754154e-07,1.753364e-07,1.752315e-07,1.751018e-07,1.749486e-07,1.747733e-07,1.745770e-07,1.743608e-07,1.741259e-07,1.738734e-07,1.736041e-07,1.733192e-07,1.730196e-07,1.727061e-07,1.723798e-07,1.720413e-07,1.716915e-07,1.713312e-07,1.709611e-07,1.705820e-07,1.701944e-07,1.697992e-07
0.000000e+00,1.812347e-10,4.639688e-10,1.794327e-09,4.314342e-09,6.429823e-09,1.520559e-08,1.568605e-08,3.135919e-08,3.718297e-08,5.562134e-08,7.533159e-08,9.093001e-08,1.347656e-07,1.391029e-07,1.999349e-07,2.162201e-07,2.715366e-07,3.155645e-07,3.518885e-07,4.286210e-07,4.394734e-07,5.331610e-07,5.525458e-07,6.320004e-07,6.851343e-07,7.350934e-07,8.243239e-07,8.415445e-07,9.504467e-07,9.680378e-07,1.060893e-06,1.114194e-06,1.171996e-06,1.260778e-06,1.282906e-06,1.392834e-06,1.405925e-06,1.501066e-06,1.547985e-06,1.606971e-06,1.685566e-06,1.710007e-06,1.809724e-06,1.817546e-06,1.905758e-06,1.943075e-06,1.997829e-06,2.061548e-06,2.085731e-06,2.169329e-06,2.172582e-06,2.248544e-06,2.275983e-06,2.323351e-06,2.371709e-06,2.393767e-06,2.459846e-06,2.521669e-06,2.540570e-06,2.579342e-06,2.614132e-06,2.632989e-06,2.680828e-06,2.682746e-06,2.728759e-06,2.740993e-06,2.771182e-06,2.794976e-06,2.810169e-06,2.843140e-06,2.845880e-06,2.878472e-06,2.885847e-06,2.908100e-06,2.923454e-06,2.934917e-06,2.956311e-06,2.959074e-06,2.980715e-06,2.984753e-06,2.999980e-06,3.009105e-06,3.017006e-06,3.029671e-06,3.031921e-06,3.044852e-06,3.046745e-06,3.055918e-06,3.060600e-06,3.065232e-06,3.071496e-06,3.072904e-06,3.079037e-06,3.079675e-06,3.083730e-06,3.085363e-06,3.087077e-06,3.088775e-06,3.089166e-06,3.090081e-06,3.090106e-06,3.089903e-06,3.089543e-06,3.088707e-06,3.087256e-06,3.086564e-06,3.083543e-06,3.083405e-06,3.079707e-06,3.078138e-06,3.075116e-06,3.071592e-06,3.069827e-06,3.063895e-06,3.057370e-06,3.055164e-06,3.050299e-06,3.045508e-06,3.042727e-06,3.035027e-06,3.034698e-06,3.026251e-06,3.023816e-06,3.017423e-06,3.011958e-06,3.008249e-06,2.999534e-06,2.998764e-06,2.988998e-06,2.986615e-06,2.978980e-06,2.973270e-06,2.968738e-06,2.959560e-06,2.958297e-06,2.947682e-06,2.945540e-06,2.936916e-06,2.931264e-06,2.926019e-06,2.916779e-06,2.915011e-06,2.903912e-06,2.902129e-06,2.892738e-06,2.887353e-06,2.881505e-06,2.872487e-06,2.870229e-06,2.858924e-06,2.857566e-06,2.847603e-06,2.842619e-06,2.836277e-06,2.827675e-06,2.824960e-06,2.813660e-06,2.812757e-06,2.802388e-06,2.797889e-06,2.791153e-06,2.783092e-06,2.779964e-06,2.768827e-06,2.768383e-06,2.757751e-06,2.753780e-06,2.746742e-06,2.739297e-06,2.735806e-06,2.724948e-06,2.710745e-06,2.696699e-06,2.682818e-06,2.669112e-06,2.655586e-06,2.642249e-06,2.629104e-06,2.616157e-06,2.603411e-06,2.590869e-06,2.578534e-06,2.566407e-06,2.554491e-06,2.542785e-06,2.531291e-06,2.520009e-06,2.508938e-06,2.498077e-06,2.487426e-06,2.476984e-06,2.466748e-06,2.456718e-06,2.446892e-06,2.437267e-06
0.000000e+00,5.233692e-11,1.242853e-10,4.445840e-10,1.031155e-09,1.515755e-09,3.488658e-09,3.595380e-09,7.021314e-09,8.270489e-09,1.215658e-08,1.622020e-08,1.939133e-08,2.822345e-08,2.909790e-08,4.151034e-08,4.489526e-08,5.660825e-08,6.615300e-08,7.415692e-08,9.138447e-08,9.385125e-08,1.154041e-07,1.199149e-07,1.385617e-07,1.511604e-07,1.630924e-07,1.845987e-07,1.887769e-07,2.154028e-07,2.197364e-07,2.427640e-07,2.561002e-07,2.706631e-07,2.932437e-07,2.989133e-07,3.273413e-07,3.307570e-07,3.557891e-07,3.682754e-07,3.841154e-07,4.054849e-07,4.121957e-07,4.399227e-07,4.421228e-07,4.672052e-07,4.779763e-07,4.939672e-07,5.128781e-07,5.201464e-07,5.456931e-07,5.467012e-07,5.705686e-07,5.793536e-07,5.947438e-07,6.107720e-07,6.181980e-07,6.409175e-07,6.628949e-07,6.697703e-07,6.841275e-07,6.973263e-07,7.046173e-07,7.235937e-07,7.243697e-07,7.433930e-07,7.485902e-07,7.616975e-07,7.723404e-07,7.792958e-07,7.948743e-07,7.962017e-07,8.124303e-07,8.162261e-07,8.279974e-07,8.364323e-07,8.429197e-07,8.555314e-07,8.572142e-07,8.708983e-07,8.735633e-07,8.839893e-07,8.905682e-07,8.965051e-07,9.065865e-07,9.084630e-07,9.198806e-07,9.216584e-07,9.307752e-07,9.358238e-07,9.411638e-07,9.491218e-07,9.510634e-07,9.604905e-07,9.615908e-07,9.694615e-07,9.732683e-07,9.779922e-07,9.841907e-07,9.860983e-07,9.937950e-07,9.943934e-07,1.001097e-06,1.003911e-06,1.008019e-06,1.012776e-06,1.014576e-06,1.020780e-06,1.021021e-06,1.026646e-06,1.028677e-06,1.032186e-06,1.035774e-06,1.037413e-06,1.042340e-06,1.046977e-06,1.048402e-06,1.051338e-06,1.053988e-06,1.055432e-06,1.059122e-06,1.059271e-06,1.062865e-06,1.063829e-06,1.066225e-06,1.068132e-06,1.069359e-06,1.072053e-06,1.072279e-06,1.074992e-06,1.075614e-06,1.077509e-06,1.078835e-06,1.079836e-06,1.081735e-06,1.081983e-06,1.083958e-06,1.084333e-06,1.085768e-06,1.086646e-06,1.087420e-06,1.088692e-06,1.088923e-06,1.090282e-06,1.090487e-06,1.091505e-06,1.092045e-06,1.092597e-06,1.093381e-06,1.093565e-06,1.094416e-06,1.094510e-06,1.095153e-06,1.095444e-06,1.095785e-06,1.096196e-06,1.096314e-06,1.096747e-06,1.096778e-06,1.097088e-06,1.097200e-06,1.097343e-06,1.097475e-06,1.097515e-06,1.097609e-06,1.097611e-06,1.097630e-06,1.097620e-06,1.097580e-06,1.097508e-06,1.097465e-06,1.097287e-06,1.096963e-06,1.096544e-06,1.096037e-06,1.095451e-06,1.094790e-06,1.094062e-06,1.093272e-06,1.092425e-06,1.091528e-06,1.090584e-06,1.089598e-06,1.088575e-06,1.087519e-06,1.086433e-06,1.085321e-06,1.084187e-06,1.083033e-06,1.081863e-06,1.080679e-06,1.079484e-06,1.078280e-06,1.077070e-06,1.075855e-06,1.074638e-06
0.000000e+00,5.747131e-12,1.318769e-11,4.554739e-11,1.041446e-10,1.524735e-10,3.503037e-10,3.610753e-10,7.112554e-10,8.410480e-10,1.251320e-09,1.688828e-09,2.034275e-09,3.002519e-09,3.098249e-09,4.443821e-09,4.805686e-09,6.042030e-09,7.034588e-09,7.859197e-09,9.617485e-09,9.867883e-09,1.204631e-08,1.250067e-08,1.437549e-08,1.564017e-08,1.683715e-08,1.899381e-08,1.941280e-08,2.208343e-08,2.251825e-08,2.482967e-08,2.616901e-08,2.763215e-08,2.990188e-08,3.047192e-08,3.333071e-08,3.367422e-08,3.619157e-08,3.744692e-08,3.903888e-08,4.118509e-08,4.185862e-08,4.463843e-08,4.485875e-08,4.736756e-08,4.844295e-08,5.003699e-08,5.191778e-08,5.263928e-08,5.516836e-08,5.526793e-08,5.761950e-08,5.848210e-08,5.998912e-08,6.155255e-08,6.227466e-08,6.447446e-08,6.658762e-08,6.724546e-08,6.861386e-08,6.986515e-08,7.055346e-08,7.233466e-08,7.240717e-08,7.417608e-08,7.465636e-08,7.586158e-08,7.683352e-08,7.746531e-08,7.887010e-08,7.898910e-08,8.043492e-08,8.077055e-08,8.180485e-08,8.253966e-08,8.310104e-08,8.418244e-08,8.432569e-08,8.548106e-08,8.570402e-08,8.656940e-08,8.710959e-08,8.759295e-08,8.840431e-08,8.855397e-08,8.945466e-08,8.959333e-08,9.029724e-08,9.068167e-08,9.108385e-08,9.167427e-08,9.181661e-08,9.249760e-08,9.257593e-08,9.312884e-08,9.339133e-08,9.371231e-08,9.412499e-08,9.424994e-08,9.474360e-08,9.478125e-08,9.519513e-08,9.536434e-08,9.560629e-08,9.587829e-08,9.597880e-08,9.631432e-08,9.632700e-08,9.661448e-08,9.671418e-08,9.688082e-08,9.704340e-08,9.711487e-08,9.731808e-08,9.749187e-08,9.754149e-08,9.763759e-08,9.771673e-08,9.775657e-08,9.784680e-08,9.785006e-08,9.791930e-08,9.793451e-08,9.796547e-08,9.798256e-08,9.798969e-08,9.799354e-08,9.799307e-08,9.797665e-08,9.796988e-08,9.794145e-08,9.791390e-08,9.788845e-08,9.782782e-08,9.781858e-08,9.773274e-08,9.771373e-08,9.763180e-08,9.757362e-08,9.751659e-08,9.740938e-08,9.738792e-08,9.724654e-08,9.722279e-08,9.709319e-08,9.701554e-08,9.692858e-08,9.678923e-08,9.675338e-08,9.656825e-08,9.654540e-08,9.637381e-08,9.628545e-08,9.617064e-08,9.601076e-08,9.595934e-08,9.574043e-08,9.572260e-08,9.551444e-08,9.542218e-08,9.528189e-08,9.511064e-08,9.504323e-08,9.479893e-08,9.478905e-08,9.454944e-08,9.445843e-08,9.429516e-08,9.411972e-08,9.403650e-08,9.377384e-08,9.342161e-08,9.306385e-08,9.270128e-08,9.233461e-08,9.196451e-08,9.159158e-08,9.121639e-08,9.083950e-08,9.046140e-08,9.008256e-08,8.970342e-08,8.932440e-08,8.894587e-08,8.856819e-08,8.819168e-08,8.781666e-08,8.744340e-08,8.707217e-08,8.670321e-08,8.633673e-08,8.597295e-08,8.561205e-08,8.525420e-08,8.489955e-08
0.000000e+00,2.622257e-11,1.191994e-10,1.058633e-09,4.252843e-09,7.895912e-09,2.876221e-08,3.009934e-08,8.055145e-08,1.017258e-07,1.741071e-07,2.576792e-07,3.271495e-07,5.359649e-07,5.577183e-07,8.854883e-07,9.808817e-07,1.330633e-06,1.637946e-06,1.910617e-06,2.540572e-06,2.635212e-06,3.502450e-06,3.691980e-06,4.498646e-06,5.060689e-06,5.602408e-06,6.595138e-06,6.789762e-06,8.037915e-06,8.241887e-06,9.326973e-06,9.955230e-06,1.064022e-05,1.169877e-05,1.196369e-05,1.328561e-05,1.344365e-05,1.459588e-05,1.516642e-05,1.588577e-05,1.684776e-05,1.714772e-05,1.837523e-05,1.847177e-05,1.956282e-05,2.002563e-05,2.070596e-05,2.149946e-05,2.180107e-05,2.284538e-05,2.288607e-05,2.383696e-05,2.418077e-05,2.477460e-05,2.538107e-05,2.565772e-05,2.648634e-05,2.726094e-05,2.749753e-05,2.798241e-05,2.841682e-05,2.865197e-05,2.924732e-05,2.927113e-05,2.984158e-05,2.999283e-05,3.036517e-05,3.065763e-05,3.084383e-05,3.124628e-05,3.127961e-05,3.167454e-05,3.176348e-05,3.203070e-05,3.221397e-05,3.235012e-05,3.260240e-05,3.263480e-05,3.288671e-05,3.293333e-05,3.310775e-05,3.321111e-05,3.329977e-05,3.343992e-05,3.346452e-05,3.360370e-05,3.362370e-05,3.371892e-05,3.376618e-05,3.381174e-05,3.387084e-05,3.388361e-05,3.393594e-05,3.394097e-05,3.397005e-05,3.397960e-05,3.398717e-05,3.398957e-05,3.398851e-05,3.397516e-05,3.397349e-05,3.394819e-05,3.393381e-05,3.390859e-05,3.387277e-05,3.385728e-05,3.379516e-05,3.379246e-05,3.372304e-05,3.369478e-05,3.364171e-05,3.358152e-05,3.355190e-05,3.345428e-05,3.334952e-05,3.331458e-05,3.323820e-05,3.316379e-05,3.312091e-05,3.300318e-05,3.299817e-05,3.287047e-05,3.283390e-05,3.273830e-05,3.265702e-05,3.260207e-05,3.247352e-05,3.246221e-05,3.231909e-05,3.228430e-05,3.217308e-05,3.209018e-05,3.202451e-05,3.189190e-05,3.187369e-05,3.172092e-05,3.169015e-05,3.156646e-05,3.148556e-05,3.141058e-05,3.127871e-05,3.125351e-05,3.109547e-05,3.107010e-05,3.093667e-05,3.086023e-05,3.077730e-05,3.064951e-05,3.061754e-05,3.045755e-05,3.043835e-05,3.029750e-05,3.022709e-05,3.013752e-05,3.001607e-05,2.997775e-05,2.981831e-05,2.980557e-05,2.965932e-05,2.959587e-05,2.950087e-05,2.938719e-05,2.934308e-05,2.918602e-05,2.917976e-05,2.902979e-05,2.897376e-05,2.887445e-05,2.876937e-05,2.872008e-05,2.856674e-05,2.836601e-05,2.816730e-05,2.797072e-05,2.777636e-05,2.758430e-05,2.739462e-05,2.720738e-05,2.702261e-05,2.684038e-05,2.666071e-05,2.648364e-05,2.630918e-05,2.613734e-05,2.596815e-05,2.580160e-05,2.563770e-05,2.547644e-05,2.531782e-05,2.516182e-05,2.500843e-05,2.485764e-05,2.470943e-05,2.456378e-05,2.442066e-05
0.000000e+00,1.470214e-12,7.445513e-12,8.217170e-11,3.990588e-10,8.193209e-10,3.823830e-09,4.040606e-09,1.357079e-08,1.817047e-08,3.580045e-08,5.898457e-08,8.005636e-08,1.508884e-07,1.588063e-07,2.876743e-07,3.280583e-07,4.850801e-07,6.330764e-07,7.712624e-07,1.112861e-06,1.166745e-06,1.690663e-06,1.812360e-06,2.359373e-06,2.768682e-06,3.185508e-06,4.007415e-06,4.177500e-06,5.339433e-06,5.541162e-06,6.671177e-06,7.369677e-06,8.168661e-06,9.480966e-06,9.824262e-06,1.162726e-05,1.185291e-05,1.356430e-05,1.445515e-05,1.561994e-05,1.725109e-05,1.777712e-05,2.001764e-05,2.019992e-05,2.232269e-05,2.325853e-05,2.467328e-05,2.638335e-05,2.705064e-05,2.943659e-05,2.953196e-05,3.181385e-05,3.266440e-05,3.416632e-05,3.574426e-05,3.647927e-05,3.873945e-05,4.093526e-05,4.162265e-05,4.305672e-05,4.437151e-05,4.509548e-05,4.696865e-05,4.704483e-05,4.889958e-05,4.940141e-05,5.065596e-05,5.166152e-05,5.231156e-05,5.374463e-05,5.386515e-05,5.531658e-05,5.564979e-05,5.666663e-05,5.737893e-05,5.791689e-05,5.893638e-05,5.906966e-05,6.012777e-05,6.032831e-05,6.109450e-05,6.156228e-05,6.197348e-05,6.264684e-05,6.276859e-05,6.348388e-05,6.359120e-05,6.412352e-05,6.440490e-05,6.469170e-05,6.509760e-05,6.519260e-05,6.563035e-05,6.567883e-05,6.600898e-05,6.615786e-05,6.633241e-05,6.654363e-05,6.660442e-05,6.682863e-05,6.684461e-05,6.700850e-05,6.706878e-05,6.714733e-05,6.722361e-05,6.724820e-05,6.731406e-05,6.731601e-05,6.734765e-05,6.735235e-05,6.735156e-05,6.733849e-05,6.732819e-05,6.727980e-05,6.720849e-05,6.718115e-05,6.711620e-05,6.704697e-05,6.700475e-05,6.688129e-05,6.687582e-05,6.673095e-05,6.668774e-05,6.657161e-05,6.646960e-05,6.639910e-05,6.622984e-05,6.621467e-05,6.601946e-05,6.597112e-05,6.581451e-05,6.569585e-05,6.560079e-05,6.540618e-05,6.537921e-05,6.515058e-05,6.510408e-05,6.491567e-05,6.479127e-05,6.467518e-05,6.446934e-05,6.442977e-05,6.418002e-05,6.413970e-05,6.392650e-05,6.380363e-05,6.366972e-05,6.346227e-05,6.341015e-05,6.314823e-05,6.311666e-05,6.288435e-05,6.276771e-05,6.261888e-05,6.241628e-05,6.235217e-05,6.208454e-05,6.206310e-05,6.181627e-05,6.170884e-05,6.154763e-05,6.135413e-05,6.127888e-05,6.101024e-05,6.099950e-05,6.074192e-05,6.064545e-05,6.047413e-05,6.029241e-05,6.020703e-05,5.994080e-05,5.959096e-05,5.924321e-05,5.889784e-05,5.855510e-05,5.821523e-05,5.787842e-05,5.754486e-05,5.721471e-05,5.688810e-05,5.656516e-05,5.624600e-05,5.593070e-05,5.561935e-05,5.531202e-05,5.500876e-05,5.470961e-05,5.441461e-05,5.412380e-05,5.383718e-05,5.355478e-05,5.327660e-05,5.300264e-05,5.273289e-05,5.246735e-05
0.000000e+00,6.453183e-12,1.487059e-11,5.148088e-11,1.174174e-10,1.713808e-10,3.882914e-10,3.999237e-10,7.689563e-10,9.016362e-10,1.308898e-09,1.726975e-09,2.048487e-09,2.926494e-09,3.012285e-09,4.215408e-09,4.540289e-09,5.660402e-09,6.572979e-09,7.340596e-09,9.005002e-09,9.244932e-09,1.135999e-08,1.180695e-08,1.367015e-08,1.494271e-08,1.615758e-08,1.836948e-08,1.880235e-08,2.158285e-08,2.203882e-08,2.447643e-08,2.589874e-08,2.746002e-08,2.989629e-08,3.051072e-08,3.360643e-08,3.397993e-08,3.672624e-08,3.810154e-08,3.985081e-08,4.221782e-08,4.296262e-08,4.604606e-08,4.629108e-08,4.908747e-08,5.028959e-08,5.207517e-08,5.418744e-08,5.499929e-08,5.785174e-08,5.796425e-08,6.062592e-08,6.160442e-08,6.331666e-08,6.509669e-08,6.592011e-08,6.843355e-08,7.085515e-08,7.161049e-08,7.318393e-08,7.462548e-08,7.541961e-08,7.747852e-08,7.756247e-08,7.961329e-08,8.017117e-08,8.157323e-08,8.270618e-08,8.344379e-08,8.508726e-08,8.522671e-08,8.692394e-08,8.731876e-08,8.853759e-08,8.940555e-08,9.006987e-08,9.135281e-08,9.152310e-08,9.289962e-08,9.316594e-08,9.420185e-08,9.485045e-08,9.543219e-08,9.641189e-08,9.659305e-08,9.768684e-08,9.785578e-08,9.871593e-08,9.918760e-08,9.968266e-08,1.004127e-07,1.005894e-07,1.014383e-07,1.015364e-07,1.022316e-07,1.025637e-07,1.029716e-07,1.034996e-07,1.036603e-07,1.042997e-07,1.043488e-07,1.048920e-07,1.051161e-07,1.054390e-07,1.058059e-07,1.059426e-07,1.064047e-07,1.064224e-07,1.068271e-07,1.069697e-07,1.072114e-07,1.074518e-07,1.075593e-07,1.078724e-07,1.081524e-07,1.082352e-07,1.084007e-07,1.085436e-07,1.086187e-07,1.088008e-07,1.088078e-07,1.089695e-07,1.090100e-07,1.091049e-07,1.091741e-07,1.092154e-07,1.092961e-07,1.093022e-07,1.093664e-07,1.093786e-07,1.094091e-07,1.094241e-07,1.094315e-07,1.094351e-07,1.094345e-07,1.094192e-07,1.094140e-07,1.093864e-07,1.093628e-07,1.093372e-07,1.092838e-07,1.092724e-07,1.091929e-07,1.091788e-07,1.090994e-07,1.090498e-07,1.089928e-07,1.088985e-07,1.088738e-07,1.087430e-07,1.087266e-07,1.086013e-07,1.085357e-07,1.084493e-07,1.083272e-07,1.082876e-07,1.081167e-07,1.081027e-07,1.079374e-07,1.078634e-07,1.077500e-07,1.076105e-07,1.075553e-07,1.073536e-07,1.073454e-07,1.071455e-07,1.070691e-07,1.069314e-07,1.067826e-07,1.067118e-07,1.064871e-07,1.061833e-07,1.058722e-07,1.055547e-07,1.052314e-07,1.049032e-07,1.045707e-07,1.042346e-07,1.038955e-07,1.035539e-07,1.032104e-07,1.028655e-07,1.025196e-07,1.021731e-07,1.018265e-07,1.014802e-07,1.011344e-07,1.007896e-07,1.004459e-07,1.001038e-07,9.976339e-08,9.942499e-08,9.908878e-08,9.875499e-08,9.842379e-08
0.000000e+00,7.679704e-12,3.610990e-11,3.427514e-10,1.456888e-09,2.785482e-09,1.089217e-08,1.142986e-08,3.260805e-08,4.186272e-08,7.454563e-08,1.136695e-07,1.469231e-07,2.488262e-07,2.595124e-07,4.198373e-07,4.659276e-07,6.317954e-07,7.733918e-07,8.960486e-07,1.170722e-06,1.211136e-06,1.574361e-06,1.652488e-06,1.982238e-06,2.210635e-06,2.430642e-06,2.835192e-06,2.914864e-06,3.429654e-06,3.514483e-06,3.969343e-06,4.235499e-06,4.527994e-06,4.984530e-06,5.099602e-06,5.678280e-06,5.747928e-06,6.258447e-06,6.512850e-06,6.834966e-06,7.267837e-06,7.403252e-06,7.959336e-06,8.003191e-06,8.499892e-06,8.711144e-06,9.022230e-06,9.385839e-06,9.524263e-06,1.000446e-05,1.002320e-05,1.046178e-05,1.062069e-05,1.089563e-05,1.117710e-05,1.130576e-05,1.169224e-05,1.205538e-05,1.216673e-05,1.239568e-05,1.260179e-05,1.271380e-05,1.299903e-05,1.301049e-05,1.328660e-05,1.336034e-05,1.354299e-05,1.368775e-05,1.378060e-05,1.398338e-05,1.400033e-05,1.420310e-05,1.424934e-05,1.438981e-05,1.448769e-05,1.456135e-05,1.470042e-05,1.471856e-05,1.486227e-05,1.488946e-05,1.499326e-05,1.505659e-05,1.511228e-05,1.520353e-05,1.522004e-05,1.531723e-05,1.533184e-05,1.540448e-05,1.544302e-05,1.548241e-05,1.553842e-05,1.555158e-05,1.561254e-05,1.561933e-05,1.566580e-05,1.568692e-05,1.571183e-05,1.574227e-05,1.575110e-05,1.578402e-05,1.578639e-05,1.581099e-05,1.582020e-05,1.583240e-05,1.584456e-05,1.584859e-05,1.585990e-05,1.586026e-05,1.586665e-05,1.586801e-05,1.586911e-05,1.586849e-05,1.586758e-05,1.586231e-05,1.585354e-05,1.585004e-05,1.584151e-05,1.583220e-05,1.582643e-05,1.580927e-05,1.580850e-05,1.578791e-05,1.578170e-05,1.576485e-05,1.574990e-05,1.573948e-05,1.571424e-05,1.571196e-05,1.568244e-05,1.567507e-05,1.565106e-05,1.563272e-05,1.561795e-05,1.558749e-05,1.558324e-05,1.554705e-05,1.553964e-05,1.550948e-05,1.548944e-05,1.547064e-05,1.543711e-05,1.543063e-05,1.538954e-05,1.538288e-05,1.534746e-05,1.532693e-05,1.530447e-05,1.526947e-05,1.526064e-05,1.521606e-05,1.521066e-05,1.517078e-05,1.515065e-05,1.512487e-05,1.508961e-05,1.507840e-05,1.503143e-05,1.502765e-05,1.498400e-05,1.496491e-05,1.493616e-05,1.490150e-05,1.488798e-05,1.483948e-05,1.483754e-05,1.479072e-05,1.477311e-05,1.474174e-05,1.470832e-05,1.469257e-05,1.464325e-05,1.457797e-05,1.451257e-05,1.444710e-05,1.438163e-05,1.431623e-05,1.425093e-05,1.418580e-05,1.412087e-05,1.405619e-05,1.399180e-05,1.392774e-05,1.386402e-05,1.380070e-05,1.373778e-05,1.367531e-05,1.361329e-05,1.355176e-05,1.349073e-05,1.343021e-05,1.337023e-05,1.331080e-05,1.325193e-05,1.319363e-05,1.313591e-05
0.000000e+00,8.500695e-11,3.183636e-10,2.007828e-09,6.269254e-09,1.034360e-08,2.929557e-08,3.038725e-08,6.727000e-08,8.128844e-08,1.259058e-07,1.735104e-07,2.110454e-07,3.167585e-07,3.273117e-07,4.791543e-07,5.213541e-07,6.706187e-07,7.963716e-07,9.048418e-07,1.147642e-06,1.183422e-06,1.506146e-06,1.575859e-06,1.871337e-06,2.077207e-06,2.276494e-06,2.645623e-06,2.718754e-06,3.195087e-06,3.274252e-06,3.702333e-06,3.955834e-06,4.237216e-06,4.682746e-06,4.796347e-06,5.376262e-06,5.447083e-06,5.973471e-06,6.240826e-06,6.584508e-06,7.056062e-06,7.205996e-06,7.834693e-06,7.885208e-06,8.467536e-06,8.721186e-06,9.101666e-06,9.557554e-06,9.734459e-06,1.036354e-05,1.038860e-05,1.098679e-05,1.120936e-05,1.160233e-05,1.201565e-05,1.220852e-05,1.280398e-05,1.338750e-05,1.357154e-05,1.395810e-05,1.431612e-05,1.451497e-05,1.503605e-05,1.505747e-05,1.558509e-05,1.573011e-05,1.609747e-05,1.639746e-05,1.659433e-05,1.703762e-05,1.707554e-05,1.754100e-05,1.765037e-05,1.799073e-05,1.823572e-05,1.842477e-05,1.879385e-05,1.884326e-05,1.924634e-05,1.932513e-05,1.963423e-05,1.982999e-05,2.000714e-05,2.030900e-05,2.036533e-05,2.070909e-05,2.076277e-05,2.103869e-05,2.119197e-05,2.135446e-05,2.159731e-05,2.165669e-05,2.194573e-05,2.197955e-05,2.222190e-05,2.233942e-05,2.248552e-05,2.267770e-05,2.273694e-05,2.297649e-05,2.299515e-05,2.320450e-05,2.329255e-05,2.342130e-05,2.357065e-05,2.362723e-05,2.382261e-05,2.383021e-05,2.400776e-05,2.407197e-05,2.418300e-05,2.429666e-05,2.434864e-05,2.450499e-05,2.465235e-05,2.469765e-05,2.479101e-05,2.487533e-05,2.492127e-05,2.503867e-05,2.504341e-05,2.515770e-05,2.518834e-05,2.526443e-05,2.532494e-05,2.536385e-05,2.544908e-05,2.545622e-05,2.554180e-05,2.556135e-05,2.562083e-05,2.566231e-05,2.569355e-05,2.575251e-05,2.576019e-05,2.582099e-05,2.583247e-05,2.587617e-05,2.590270e-05,2.592593e-05,2.596370e-05,2.597049e-05,2.601006e-05,2.601594e-05,2.604482e-05,2.605986e-05,2.607498e-05,2.609592e-05,2.610072e-05,2.612222e-05,2.612452e-05,2.613965e-05,2.614608e-05,2.615319e-05,2.616098e-05,2.616300e-05,2.616924e-05,2.616959e-05,2.617207e-05,2.617228e-05,2.617163e-05,2.616938e-05,2.616808e-05,2.616155e-05,2.616123e-05,2.615218e-05,2.614813e-05,2.614009e-05,2.613040e-05,2.612543e-05,2.610831e-05,2.608215e-05,2.605218e-05,2.601865e-05,2.598179e-05,2.594185e-05,2.589904e-05,2.585357e-05,2.580564e-05,2.575544e-05,2.570314e-05,2.564893e-05,2.559296e-05,2.553539e-05,2.547637e-05,2.541604e-05,2.535454e-05,2.529198e-05,2.522850e-05,2.516420e-05,2.509919e-05,2.503357e-05,2.496744e-05,2.490090e-05,2.483402e-05
0.000000e+00,1.261295e-10,3.119952e-10,1.164097e-09,2.752372e-09,4.075050e-09,9.505946e-09,9.801215e-09,1.933849e-08,2.284035e-08,3.380314e-08,4.535969e-08,5.442860e-08,7.981160e-08,8.232780e-08,1.179210e-07,1.275595e-07,1.606231e-07,1.872393e-07,2.093556e-07,2.564329e-07,2.631232e-07,3.211388e-07,3.331928e-07,3.827481e-07,4.160059e-07,4.473537e-07,5.035144e-07,5.143770e-07,5.832473e-07,5.944003e-07,6.534050e-07,6.873786e-07,7.243111e-07,7.812321e-07,7.954575e-07,8.663762e-07,8.748506e-07,9.366454e-07,9.672607e-07,1.005894e-06,1.057642e-06,1.073803e-06,1.140102e-06,1.145329e-06,1.204571e-06,1.229806e-06,1.267035e-06,1.310689e-06,1.327356e-06,1.385437e-06,1.387712e-06,1.441208e-06,1.460711e-06,1.494627e-06,1.529599e-06,1.545677e-06,1.594357e-06,1.640684e-06,1.655016e-06,1.684687e-06,1.711647e-06,1.726406e-06,1.764351e-06,1.765888e-06,1.803188e-06,1.813249e-06,1.838365e-06,1.858478e-06,1.871481e-06,1.900185e-06,1.902603e-06,1.931795e-06,1.938522e-06,1.959127e-06,1.973646e-06,1.984667e-06,2.005712e-06,2.008481e-06,2.030638e-06,2.034876e-06,2.051204e-06,2.061291e-06,2.070244e-06,2.085107e-06,2.087824e-06,2.104004e-06,2.106467e-06,2.118847e-06,2.125515e-06,2.132413e-06,2.142384e-06,2.144758e-06,2.155940e-06,2.157206e-06,2.166012e-06,2.170106e-06,2.175027e-06,2.181204e-06,2.183037e-06,2.190090e-06,2.190614e-06,2.196234e-06,2.198447e-06,2.201514e-06,2.204805e-06,2.205974e-06,2.209657e-06,2.209789e-06,2.212604e-06,2.213492e-06,2.214854e-06,2.216004e-06,2.216444e-06,2.217410e-06,2.217787e-06,2.217789e-06,2.217608e-06,2.217217e-06,2.216906e-06,2.215767e-06,2.215710e-06,2.214049e-06,2.213505e-06,2.211953e-06,2.210496e-06,2.209446e-06,2.206801e-06,2.206556e-06,2.203307e-06,2.202476e-06,2.199721e-06,2.197574e-06,2.195821e-06,2.192146e-06,2.191628e-06,2.187163e-06,2.186239e-06,2.182446e-06,2.179898e-06,2.177493e-06,2.173165e-06,2.172324e-06,2.166954e-06,2.166078e-06,2.161401e-06,2.158674e-06,2.155678e-06,2.150988e-06,2.149801e-06,2.143783e-06,2.143052e-06,2.137637e-06,2.134895e-06,2.131375e-06,2.126547e-06,2.125010e-06,2.118552e-06,2.118032e-06,2.112013e-06,2.109376e-06,2.105401e-06,2.100602e-06,2.098727e-06,2.092000e-06,2.091730e-06,2.085227e-06,2.082780e-06,2.078418e-06,2.073771e-06,2.071580e-06,2.064719e-06,2.055641e-06,2.046550e-06,2.037460e-06,2.028384e-06,2.019334e-06,2.010318e-06,2.001348e-06,1.992432e-06,1.983578e-06,1.974793e-06,1.966085e-06,1.957459e-06,1.948920e-06,1.940473e-06,1.932124e-06,1.923875e-06,1.915731e-06,1.907694e-06,1.899767e-06,1.891953e-06,1.884252e-06,1.876668e-06,1.869201e-06,1.861852e-06
0.000000e+00,1.881125e-11,4.370798e-11,1.521582e-10,3.472082e-10,5.066714e-10,1.148016e-09,1.182468e-09,2.280809e-09,2.678701e-09,3.911376e-09,5.195696e-09,6.196956e-09,8.993639e-09,9.271898e-09,1.326778e-08,1.437577e-08,1.827889e-08,2.153626e-08,2.431322e-08,3.038805e-08,3.126480e-08,3.894232e-08,4.054587e-08,4.713198e-08,5.152860e-08,5.564446e-08,6.293339e-08,6.432948e-08,7.307177e-08,7.446960e-08,8.178210e-08,8.593030e-08,9.038942e-08,9.716167e-08,9.883555e-08,1.070720e-07,1.080443e-07,1.150583e-07,1.184841e-07,1.227607e-07,1.284077e-07,1.301520e-07,1.372109e-07,1.377608e-07,1.439219e-07,1.465064e-07,1.502745e-07,1.546231e-07,1.562631e-07,1.618861e-07,1.621035e-07,1.671460e-07,1.689517e-07,1.720483e-07,1.751815e-07,1.766009e-07,1.808143e-07,1.847003e-07,1.858768e-07,1.882720e-07,1.903995e-07,1.915436e-07,1.944153e-07,1.945295e-07,1.972446e-07,1.979583e-07,1.997039e-07,2.010627e-07,2.019220e-07,2.037622e-07,2.039135e-07,2.056924e-07,2.060892e-07,2.072724e-07,2.080752e-07,2.086665e-07,2.097494e-07,2.098871e-07,2.109462e-07,2.111396e-07,2.118549e-07,2.122716e-07,2.126240e-07,2.131693e-07,2.132632e-07,2.137822e-07,2.138547e-07,2.141897e-07,2.143481e-07,2.144939e-07,2.146681e-07,2.147025e-07,2.148229e-07,2.148317e-07,2.148617e-07,2.148545e-07,2.148252e-07,2.147507e-07,2.147192e-07,2.145493e-07,2.145331e-07,2.143204e-07,2.142134e-07,2.140373e-07,2.138024e-07,2.137044e-07,2.133257e-07,2.133097e-07,2.129051e-07,2.127442e-07,2.124462e-07,2.121138e-07,2.119520e-07,2.114259e-07,2.108704e-07,2.106870e-07,2.102884e-07,2.099031e-07,2.096823e-07,2.090797e-07,2.090542e-07,2.084064e-07,2.082218e-07,2.077409e-07,2.073337e-07,2.070593e-07,2.064197e-07,2.063636e-07,2.056552e-07,2.054834e-07,2.049356e-07,2.045282e-07,2.042062e-07,2.035572e-07,2.034682e-07,2.027229e-07,2.025730e-07,2.019713e-07,2.015784e-07,2.012145e-07,2.005754e-07,2.004534e-07,1.996889e-07,1.995663e-07,1.989219e-07,1.985530e-07,1.981530e-07,1.975371e-07,1.973830e-07,1.966126e-07,1.965201e-07,1.958424e-07,1.955037e-07,1.950729e-07,1.944889e-07,1.943046e-07,1.935382e-07,1.934769e-07,1.927739e-07,1.924689e-07,1.920123e-07,1.914657e-07,1.912537e-07,1.904984e-07,1.904683e-07,1.897469e-07,1.894773e-07,1.889994e-07,1.884935e-07,1.882562e-07,1.875176e-07,1.865499e-07,1.855912e-07,1.846417e-07,1.837020e-07,1.827723e-07,1.818530e-07,1.809443e-07,1.800464e-07,1.791596e-07,1.782841e-07,1.774199e-07,1.765672e-07,1.757260e-07,1.748966e-07,1.740788e-07,1.732727e-07,1.724785e-07,1.716960e-07,1.709252e-07,1.701661e-07,1.694188e-07,1.686831e-07,1.679590e-07,1.672465e-07
0.000000e+00,9.375535e-11,2.585594e-10,1.073875e-09,2.642068e-09,3.952681e-09,9.266269e-09,9.551168e-09,1.853015e-08,2.172539e-08,3.142272e-08,4.121818e-08,4.865491e-08,6.862214e-08,7.055128e-08,9.732319e-08,1.044852e-07,1.290396e-07,1.489258e-07,1.655824e-07,2.014537e-07,2.065921e-07,2.514210e-07,2.607667e-07,2.991246e-07,3.246825e-07,3.485299e-07,3.904267e-07,3.983835e-07,4.475259e-07,4.552560e-07,4.950140e-07,5.170099e-07,5.401617e-07,5.742834e-07,5.825155e-07,6.218096e-07,6.263121e-07,6.579184e-07,6.727882e-07,6.908187e-07,7.137058e-07,7.205606e-07,7.472468e-07,7.492536e-07,7.710160e-07,7.797430e-07,7.920317e-07,8.055580e-07,8.104725e-07,8.265245e-07,8.271196e-07,8.403762e-07,8.448600e-07,8.522131e-07,8.592033e-07,8.622148e-07,8.705530e-07,8.773898e-07,8.792855e-07,8.828765e-07,8.857446e-07,8.871531e-07,8.902401e-07,8.903487e-07,8.925810e-07,8.930482e-07,8.939571e-07,8.944127e-07,8.945742e-07,8.945469e-07,8.945197e-07,8.938726e-07,8.936372e-07,8.927037e-07,8.918451e-07,8.910763e-07,8.893101e-07,8.890471e-07,8.866665e-07,8.861523e-07,8.839794e-07,8.824745e-07,8.810260e-07,8.783657e-07,8.778422e-07,8.744597e-07,8.739020e-07,8.709070e-07,8.691488e-07,8.672094e-07,8.641620e-07,8.633892e-07,8.594666e-07,8.589899e-07,8.554594e-07,8.536736e-07,8.513836e-07,8.482488e-07,8.472533e-07,8.430812e-07,8.427460e-07,8.388786e-07,8.371913e-07,8.346556e-07,8.316075e-07,8.304211e-07,8.261833e-07,8.260138e-07,8.219491e-07,8.204270e-07,8.177251e-07,8.148614e-07,8.135168e-07,8.093294e-07,8.051674e-07,8.038416e-07,8.010348e-07,7.984070e-07,7.969352e-07,7.930334e-07,7.928716e-07,7.888470e-07,7.877274e-07,7.848636e-07,7.824944e-07,7.809238e-07,7.773391e-07,7.770293e-07,7.731817e-07,7.722655e-07,7.693826e-07,7.672767e-07,7.656331e-07,7.623755e-07,7.619343e-07,7.582870e-07,7.575638e-07,7.546919e-07,7.528432e-07,7.511495e-07,7.482151e-07,7.476605e-07,7.442250e-07,7.436803e-07,7.408433e-07,7.392392e-07,7.375155e-07,7.348921e-07,7.342417e-07,7.310219e-07,7.306391e-07,7.278559e-07,7.264799e-07,7.247436e-07,7.224140e-07,7.216848e-07,7.186792e-07,7.184410e-07,7.157264e-07,7.145601e-07,7.128262e-07,7.107704e-07,7.099781e-07,7.071817e-07,7.070709e-07,7.044364e-07,7.034606e-07,7.017419e-07,6.999383e-07,6.990975e-07,6.965027e-07,6.931526e-07,6.898865e-07,6.867032e-07,6.836011e-07,6.805788e-07,6.776347e-07,6.747675e-07,6.719755e-07,6.692572e-07,6.666111e-07,6.640357e-07,6.615294e-07,6.590906e-07,6.567180e-07,6.544099e-07,6.521649e-07,6.499815e-07,6.478582e-07,6.457936e-07,6.437863e-07,6.418348e-07,6.399378e-07,6.380939e-07,6.363018e-07
0.000000e+00,1.236431e-11,2.862343e-11,1.000102e-10,2.304963e-10,3.388488e-10,7.871700e-10,8.117661e-10,1.619705e-09,1.922668e-09,2.889474e-09,3.930271e-09,4.755096e-09,7.065565e-09,7.293504e-09,1.049071e-08,1.135019e-08,1.429402e-08,1.667144e-08,1.865923e-08,2.294228e-08,2.355751e-08,2.896859e-08,3.011076e-08,3.487427e-08,3.813420e-08,4.125459e-08,4.696364e-08,4.808583e-08,5.533982e-08,5.653757e-08,6.298400e-08,6.678123e-08,7.098194e-08,7.760856e-08,7.929418e-08,8.787914e-08,8.892564e-08,9.669412e-08,1.006345e-07,1.056962e-07,1.126369e-07,1.148432e-07,1.240942e-07,1.248376e-07,1.334103e-07,1.371468e-07,1.427552e-07,1.494822e-07,1.520950e-07,1.613991e-07,1.617701e-07,1.706396e-07,1.739457e-07,1.797918e-07,1.859535e-07,1.888338e-07,1.977467e-07,2.065141e-07,2.092866e-07,2.151220e-07,2.205419e-07,2.235588e-07,2.314881e-07,2.318148e-07,2.398821e-07,2.421063e-07,2.477547e-07,2.523828e-07,2.554279e-07,2.623080e-07,2.628981e-07,2.701630e-07,2.718759e-07,2.772214e-07,2.810837e-07,2.840728e-07,2.899308e-07,2.907172e-07,2.971558e-07,2.984189e-07,3.033897e-07,3.065511e-07,3.094209e-07,3.143321e-07,3.152516e-07,3.208845e-07,3.217675e-07,3.263222e-07,3.288639e-07,3.315679e-07,3.356283e-07,3.366248e-07,3.414962e-07,3.420685e-07,3.461857e-07,3.481924e-07,3.506969e-07,3.540083e-07,3.550333e-07,3.591989e-07,3.595248e-07,3.631972e-07,3.647505e-07,3.670321e-07,3.696941e-07,3.707073e-07,3.742266e-07,3.743642e-07,3.775939e-07,3.787696e-07,3.808128e-07,3.829188e-07,3.838870e-07,3.868203e-07,3.896164e-07,3.904827e-07,3.922787e-07,3.939141e-07,3.948109e-07,3.971227e-07,3.972166e-07,3.994991e-07,4.001166e-07,4.016619e-07,4.029036e-07,4.037084e-07,4.054913e-07,4.056418e-07,4.074655e-07,4.078872e-07,4.091825e-07,4.100986e-07,4.107961e-07,4.121328e-07,4.123092e-07,4.137249e-07,4.139966e-07,4.150462e-07,4.156968e-07,4.162758e-07,4.172400e-07,4.174167e-07,4.184716e-07,4.186326e-07,4.194432e-07,4.198808e-07,4.203341e-07,4.209905e-07,4.211470e-07,4.218843e-07,4.219678e-07,4.225485e-07,4.228182e-07,4.231420e-07,4.235472e-07,4.236671e-07,4.241262e-07,4.241601e-07,4.245214e-07,4.246622e-07,4.248550e-07,4.250582e-07,4.251291e-07,4.253457e-07,4.253532e-07,4.255069e-07,4.255517e-07,4.256146e-07,4.256583e-07,4.256707e-07,4.256771e-07,4.256126e-07,4.254686e-07,4.252492e-07,4.249580e-07,4.245987e-07,4.241748e-07,4.236896e-07,4.231464e-07,4.225483e-07,4.218983e-07,4.211994e-07,4.204542e-07,4.196654e-07,4.188357e-07,4.179674e-07,4.170630e-07,4.161247e-07,4.151547e-07,4.141551e-07,4.131279e-07,4.120750e-07,4.109983e-07,4.098996e-07,4.087805e-07
0.000000e+00,3.908619e-11,1.672016e-10,1.324686e-09,4.861269e-09,8.634312e-09,2.852753e-08,2.975033e-08,7.400186e-08,9.195521e-08,1.521177e-07,2.204640e-07,2.769122e-07,4.461586e-07,4.637937e-07,7.296592e-07,8.069346e-07,1.088610e-06,1.332673e-06,1.545726e-06,2.024160e-06,2.094389e-06,2.719926e-06,2.852766e-06,3.405588e-06,3.780825e-06,4.136462e-06,4.776492e-06,4.900570e-06,5.688501e-06,5.816253e-06,6.492651e-06,6.882485e-06,7.306595e-06,7.960981e-06,8.124678e-06,8.941820e-06,9.039590e-06,9.753425e-06,1.010769e-05,1.055534e-05,1.115603e-05,1.134387e-05,1.211580e-05,1.217675e-05,1.286832e-05,1.316337e-05,1.359913e-05,1.411078e-05,1.430633e-05,1.498844e-05,1.501518e-05,1.564437e-05,1.587393e-05,1.627336e-05,1.668545e-05,1.687496e-05,1.744900e-05,1.799549e-05,1.816459e-05,1.851467e-05,1.883278e-05,1.900691e-05,1.945457e-05,1.947271e-05,1.991266e-05,2.003131e-05,2.032745e-05,2.056455e-05,2.071782e-05,2.105605e-05,2.108453e-05,2.142841e-05,2.150764e-05,2.175028e-05,2.192122e-05,2.205097e-05,2.229871e-05,2.233131e-05,2.259213e-05,2.264203e-05,2.283426e-05,2.295304e-05,2.305849e-05,2.323358e-05,2.326560e-05,2.345637e-05,2.348543e-05,2.363155e-05,2.371030e-05,2.379184e-05,2.390983e-05,2.393796e-05,2.407057e-05,2.408560e-05,2.419033e-05,2.423911e-05,2.429786e-05,2.437178e-05,2.439377e-05,2.447864e-05,2.448497e-05,2.455302e-05,2.457996e-05,2.461746e-05,2.465797e-05,2.467245e-05,2.471850e-05,2.472016e-05,2.475606e-05,2.476760e-05,2.478560e-05,2.480133e-05,2.480755e-05,2.482230e-05,2.483026e-05,2.483144e-05,2.483181e-05,2.482960e-05,2.482730e-05,2.481758e-05,2.481707e-05,2.480145e-05,2.479615e-05,2.478075e-05,2.476602e-05,2.475528e-05,2.472786e-05,2.472531e-05,2.469111e-05,2.468231e-05,2.465295e-05,2.462994e-05,2.461107e-05,2.457132e-05,2.456569e-05,2.451706e-05,2.450696e-05,2.446537e-05,2.443735e-05,2.441083e-05,2.436296e-05,2.435364e-05,2.429397e-05,2.428420e-05,2.423200e-05,2.420148e-05,2.416789e-05,2.411518e-05,2.410181e-05,2.403390e-05,2.402563e-05,2.396430e-05,2.393318e-05,2.389315e-05,2.383812e-05,2.382058e-05,2.374671e-05,2.374075e-05,2.367166e-05,2.364133e-05,2.359553e-05,2.354011e-05,2.351843e-05,2.344046e-05,2.343733e-05,2.336171e-05,2.333319e-05,2.328228e-05,2.322791e-05,2.320224e-05,2.312167e-05,2.301465e-05,2.290701e-05,2.279891e-05,2.269047e-05,2.258184e-05,2.247314e-05,2.236448e-05,2.225596e-05,2.214767e-05,2.203972e-05,2.193218e-05,2.182512e-05,2.171862e-05,2.161273e-05,2.150753e-05,2.140306e-05,2.129936e-05,2.119650e-05,2.109450e-05,2.099340e-05,2.089324e-05,2.079404e-05,2.069584e-05,2.059865e-05
0.000000e+00,1.019430e-11,2.335366e-11,8.053400e-11,1.841981e-10,2.699080e-10,6.229995e-10,6.423272e-10,1.275802e-09,1.512832e-09,2.268181e-09,3.080921e-09,3.725699e-09,5.536701e-09,5.715599e-09,8.219842e-09,8.889288e-09,1.116254e-08,1.297231e-08,1.446617e-08,1.762491e-08,1.807203e-08,2.193642e-08,2.273708e-08,2.602340e-08,2.822557e-08,3.029985e-08,3.401456e-08,3.473304e-08,3.928973e-08,4.002801e-08,4.393628e-08,4.618866e-08,4.863911e-08,5.241982e-08,5.336543e-08,5.808391e-08,5.864819e-08,6.276533e-08,6.480643e-08,6.738300e-08,7.083503e-08,7.191311e-08,7.633492e-08,7.668344e-08,8.063075e-08,8.231042e-08,8.478594e-08,8.768386e-08,8.878869e-08,9.262986e-08,9.278004e-08,9.630272e-08,9.758280e-08,9.980269e-08,1.020825e-07,1.031271e-07,1.062748e-07,1.092462e-07,1.101600e-07,1.120428e-07,1.137419e-07,1.146670e-07,1.170270e-07,1.171220e-07,1.194119e-07,1.200240e-07,1.215408e-07,1.227430e-07,1.235137e-07,1.251952e-07,1.253355e-07,1.270114e-07,1.273925e-07,1.285468e-07,1.293473e-07,1.299472e-07,1.310721e-07,1.312180e-07,1.323645e-07,1.325794e-07,1.333923e-07,1.338816e-07,1.343067e-07,1.349908e-07,1.351127e-07,1.358156e-07,1.359189e-07,1.364204e-07,1.366772e-07,1.369318e-07,1.372770e-07,1.373547e-07,1.376935e-07,1.377287e-07,1.379527e-07,1.380426e-07,1.381366e-07,1.382284e-07,1.382492e-07,1.382946e-07,1.382955e-07,1.382766e-07,1.382525e-07,1.381989e-07,1.381079e-07,1.380649e-07,1.378781e-07,1.378696e-07,1.376418e-07,1.375452e-07,1.373590e-07,1.371417e-07,1.370328e-07,1.366659e-07,1.362612e-07,1.361241e-07,1.358212e-07,1.355222e-07,1.353484e-07,1.348658e-07,1.348452e-07,1.343138e-07,1.341603e-07,1.337565e-07,1.334105e-07,1.331753e-07,1.326211e-07,1.325721e-07,1.319488e-07,1.317964e-07,1.313072e-07,1.309405e-07,1.306489e-07,1.300571e-07,1.299756e-07,1.292887e-07,1.291498e-07,1.285897e-07,1.282219e-07,1.278800e-07,1.272764e-07,1.271608e-07,1.264333e-07,1.263162e-07,1.256988e-07,1.253440e-07,1.249582e-07,1.243621e-07,1.242126e-07,1.234631e-07,1.233729e-07,1.227104e-07,1.223784e-07,1.219555e-07,1.213807e-07,1.211991e-07,1.204420e-07,1.203814e-07,1.196849e-07,1.193822e-07,1.189285e-07,1.183847e-07,1.181734e-07,1.174202e-07,1.173902e-07,1.166695e-07,1.163999e-07,1.159216e-07,1.154150e-07,1.151772e-07,1.144366e-07,1.134657e-07,1.125029e-07,1.115493e-07,1.106053e-07,1.096717e-07,1.087490e-07,1.078377e-07,1.069382e-07,1.060508e-07,1.051760e-07,1.043139e-07,1.034648e-07,1.026288e-07,1.018061e-07,1.009969e-07,1.002012e-07,9.941899e-08,9.865036e-08,9.789530e-08,9.715377e-08,9.642572e-08,9.571110e-08,9.500980e-08,9.432174e-08
0.000000e+00,9.831053e-12,4.748459e-11,4.753987e-10,2.114933e-09,4.140706e-09,1.713733e-08,1.802230e-08,5.400967e-08,7.018811e-08,1.286098e-07,2.004009e-07,2.626788e-07,4.600516e-07,4.813103e-07,8.128733e-07,9.124543e-07,1.285372e-06,1.619925e-06,1.920073e-06,2.620149e-06,2.725821e-06,3.697445e-06,3.910362e-06,4.818277e-06,5.452348e-06,6.064563e-06,7.188938e-06,7.409696e-06,8.827242e-06,9.059094e-06,1.029266e-05,1.100651e-05,1.178400e-05,1.298273e-05,1.328203e-05,1.477004e-05,1.494722e-05,1.623357e-05,1.686650e-05,1.766019e-05,1.871316e-05,1.903932e-05,2.036211e-05,2.046527e-05,2.162136e-05,2.210597e-05,2.281149e-05,2.362323e-05,2.392841e-05,2.496946e-05,2.500950e-05,2.593331e-05,2.626132e-05,2.681977e-05,2.737877e-05,2.762972e-05,2.836488e-05,2.902771e-05,2.922502e-05,2.962125e-05,2.996632e-05,3.014892e-05,3.059697e-05,3.061444e-05,3.102170e-05,3.112584e-05,3.137466e-05,3.156202e-05,3.167727e-05,3.191455e-05,3.193342e-05,3.214688e-05,3.219216e-05,3.232125e-05,3.240311e-05,3.245995e-05,3.255505e-05,3.256619e-05,3.264295e-05,3.265502e-05,3.269304e-05,3.270940e-05,3.271901e-05,3.272392e-05,3.272323e-05,3.270786e-05,3.270372e-05,3.267488e-05,3.265332e-05,3.262607e-05,3.257673e-05,3.256307e-05,3.248737e-05,3.247750e-05,3.240030e-05,3.235871e-05,3.230309e-05,3.222309e-05,3.219682e-05,3.208249e-05,3.207303e-05,3.196101e-05,3.191060e-05,3.183318e-05,3.173763e-05,3.169974e-05,3.156135e-05,3.155572e-05,3.141862e-05,3.136627e-05,3.127208e-05,3.117052e-05,3.112224e-05,3.096953e-05,3.081438e-05,3.076427e-05,3.065714e-05,3.055557e-05,3.049815e-05,3.034417e-05,3.033773e-05,3.017614e-05,3.013072e-05,3.001364e-05,2.991580e-05,2.985047e-05,2.969992e-05,2.968682e-05,2.952290e-05,2.948354e-05,2.935888e-05,2.926704e-05,2.919492e-05,2.905080e-05,2.903117e-05,2.886776e-05,2.883513e-05,2.870481e-05,2.862030e-05,2.854244e-05,2.840656e-05,2.838074e-05,2.821982e-05,2.819415e-05,2.805975e-05,2.798325e-05,2.790062e-05,2.777403e-05,2.774249e-05,2.758543e-05,2.756666e-05,2.742950e-05,2.736126e-05,2.727475e-05,2.715796e-05,2.712123e-05,2.696897e-05,2.695685e-05,2.681802e-05,2.675802e-05,2.666842e-05,2.656155e-05,2.652019e-05,2.637336e-05,2.636752e-05,2.622796e-05,2.617596e-05,2.608400e-05,2.598695e-05,2.594151e-05,2.580050e-05,2.561666e-05,2.543544e-05,2.525688e-05,2.508097e-05,2.490774e-05,2.473717e-05,2.456928e-05,2.440406e-05,2.424150e-05,2.408159e-05,2.392431e-05,2.376965e-05,2.361759e-05,2.346812e-05,2.332120e-05,2.317681e-05,2.303493e-05,2.289553e-05,2.275859e-05,2.262406e-05,2.249193e-05,2.236217e-05,2.223473e-05,2.210959e-05
0.000000e+00,2.777167e-10,1.175209e-09,9.140308e-09,3.314292e-08,5.860056e-08,1.927238e-07,2.009920e-07,5.032073e-07,6.275642e-07,1.051259e-06,1.544178e-06,1.959176e-06,3.236057e-06,3.371309e-06,5.441334e-06,6.049959e-06,8.277619e-06,1.020788e-05,1.188709e-05,1.562939e-05,1.617518e-05,2.099896e-05,2.201536e-05,2.621975e-05,2.905333e-05,3.172628e-05,3.651109e-05,3.743540e-05,4.328475e-05,4.423024e-05,4.922529e-05,5.209693e-05,5.521620e-05,6.002122e-05,6.122201e-05,6.721113e-05,6.792733e-05,7.315524e-05,7.574979e-05,7.902913e-05,8.343249e-05,8.481050e-05,9.048002e-05,9.092823e-05,9.602126e-05,9.819868e-05,1.014205e-04,1.052138e-04,1.066668e-04,1.117513e-04,1.119512e-04,1.166675e-04,1.183951e-04,1.214107e-04,1.245357e-04,1.259780e-04,1.303677e-04,1.345795e-04,1.358898e-04,1.386140e-04,1.411036e-04,1.424725e-04,1.460132e-04,1.461573e-04,1.496710e-04,1.506245e-04,1.530166e-04,1.549448e-04,1.561977e-04,1.589821e-04,1.592179e-04,1.620812e-04,1.627455e-04,1.647916e-04,1.662443e-04,1.673534e-04,1.694881e-04,1.697707e-04,1.720479e-04,1.724869e-04,1.741892e-04,1.752505e-04,1.761990e-04,1.777886e-04,1.780814e-04,1.798407e-04,1.801111e-04,1.814811e-04,1.822274e-04,1.830066e-04,1.841471e-04,1.844213e-04,1.857292e-04,1.858792e-04,1.869341e-04,1.874327e-04,1.880399e-04,1.888163e-04,1.890502e-04,1.899687e-04,1.900384e-04,1.907990e-04,1.911071e-04,1.915444e-04,1.920304e-04,1.922083e-04,1.927941e-04,1.928159e-04,1.933048e-04,1.934709e-04,1.937436e-04,1.940024e-04,1.941135e-04,1.944174e-04,1.946580e-04,1.947222e-04,1.948383e-04,1.949231e-04,1.949607e-04,1.950263e-04,1.950279e-04,1.950424e-04,1.950374e-04,1.950066e-04,1.949619e-04,1.949228e-04,1.948052e-04,1.947932e-04,1.946201e-04,1.945723e-04,1.944055e-04,1.942680e-04,1.941515e-04,1.938969e-04,1.938600e-04,1.935330e-04,1.934635e-04,1.931722e-04,1.929719e-04,1.927795e-04,1.924261e-04,1.923564e-04,1.919048e-04,1.918300e-04,1.914261e-04,1.911871e-04,1.909218e-04,1.905010e-04,1.903935e-04,1.898425e-04,1.897749e-04,1.892701e-04,1.890119e-04,1.886778e-04,1.882150e-04,1.880667e-04,1.874381e-04,1.873870e-04,1.867930e-04,1.865307e-04,1.861327e-04,1.856484e-04,1.854582e-04,1.847705e-04,1.847427e-04,1.840705e-04,1.838158e-04,1.833594e-04,1.828698e-04,1.826378e-04,1.819068e-04,1.809287e-04,1.799374e-04,1.789345e-04,1.779217e-04,1.769005e-04,1.758723e-04,1.748386e-04,1.738004e-04,1.727592e-04,1.717159e-04,1.706717e-04,1.696276e-04,1.685843e-04,1.675429e-04,1.665041e-04,1.654687e-04,1.644374e-04,1.634108e-04,1.623896e-04,1.613743e-04,1.603653e-04,1.593633e-04,1.583686e-04,1.573817e-04
0.000000e+00,7.643426e-12,3.825315e-11,4.119020e-10,1.955608e-09,3.965264e-09,1.791325e-08,1.890353e-08,6.144087e-08,8.152828e-08,1.570078e-07,2.538996e-07,3.403945e-07,6.239592e-07,6.551316e-07,1.152140e-06,1.304689e-06,1.887207e-06,2.424055e-06,2.917006e-06,4.109184e-06,4.294402e-06,6.064328e-06,6.468638e-06,8.261048e-06,9.579910e-06,1.090689e-05,1.348432e-05,1.401211e-05,1.757544e-05,1.818743e-05,2.158509e-05,2.366238e-05,2.601992e-05,2.985444e-05,3.085059e-05,3.604086e-05,3.668592e-05,4.154884e-05,4.406119e-05,4.732818e-05,5.187159e-05,5.332937e-05,5.950093e-05,6.000044e-05,6.579055e-05,6.832779e-05,7.214629e-05,7.673486e-05,7.851752e-05,8.485587e-05,8.510806e-05,9.111600e-05,9.334235e-05,9.725623e-05,1.013438e-04,1.032390e-04,1.090313e-04,1.146046e-04,1.163379e-04,1.199353e-04,1.232105e-04,1.250040e-04,1.296100e-04,1.297963e-04,1.343014e-04,1.355105e-04,1.385129e-04,1.408973e-04,1.424274e-04,1.457666e-04,1.460451e-04,1.493687e-04,1.501232e-04,1.524033e-04,1.539791e-04,1.551561e-04,1.573523e-04,1.576357e-04,1.598523e-04,1.602650e-04,1.618169e-04,1.627428e-04,1.635412e-04,1.648130e-04,1.650376e-04,1.663185e-04,1.665044e-04,1.673967e-04,1.678458e-04,1.682846e-04,1.688663e-04,1.689946e-04,1.695389e-04,1.695937e-04,1.699292e-04,1.700551e-04,1.701768e-04,1.702762e-04,1.702925e-04,1.702866e-04,1.702812e-04,1.701690e-04,1.700927e-04,1.699489e-04,1.697319e-04,1.696351e-04,1.692358e-04,1.692182e-04,1.687587e-04,1.685693e-04,1.682110e-04,1.678016e-04,1.675994e-04,1.669301e-04,1.662089e-04,1.659681e-04,1.654413e-04,1.649279e-04,1.646322e-04,1.638207e-04,1.637862e-04,1.629076e-04,1.626563e-04,1.620004e-04,1.614438e-04,1.610681e-04,1.601911e-04,1.601141e-04,1.591414e-04,1.589056e-04,1.581530e-04,1.575935e-04,1.571513e-04,1.562608e-04,1.561388e-04,1.551177e-04,1.549126e-04,1.540899e-04,1.535534e-04,1.530573e-04,1.521874e-04,1.520215e-04,1.509841e-04,1.508181e-04,1.499465e-04,1.494487e-04,1.489099e-04,1.480821e-04,1.478754e-04,1.468443e-04,1.467208e-04,1.458173e-04,1.453669e-04,1.447953e-04,1.440225e-04,1.437792e-04,1.427696e-04,1.426891e-04,1.417671e-04,1.413683e-04,1.407724e-04,1.400613e-04,1.397859e-04,1.388081e-04,1.387692e-04,1.378394e-04,1.374929e-04,1.368801e-04,1.362333e-04,1.359306e-04,1.349911e-04,1.337666e-04,1.325606e-04,1.313732e-04,1.302048e-04,1.290556e-04,1.279257e-04,1.268153e-04,1.257243e-04,1.246528e-04,1.236007e-04,1.225679e-04,1.215543e-04,1.205598e-04,1.195842e-04,1.186273e-04,1.176888e-04,1.167687e-04,1.158666e-04,1.149823e-04,1.141155e-04,1.132659e-04,1.124334e-04,1.116175e-04,1.108181e-04
0.000000e+00,3.037279e-11,7.108320e-11,2.498901e-10,5.744002e-10,8.416302e-10,1.929889e-09,1.988889e-09,3.894450e-09,4.595370e-09,6.797051e-09,9.131671e-09,1.097440e-08,1.618859e-08,1.671049e-08,2.419893e-08,2.625978e-08,3.341473e-08,3.923853e-08,4.409565e-08,5.441721e-08,5.587751e-08,6.842882e-08,7.100760e-08,8.149336e-08,8.842397e-08,9.487872e-08,1.062595e-07,1.084346e-07,1.220365e-07,1.242098e-07,1.355772e-07,1.420267e-07,1.489617e-07,1.595000e-07,1.621059e-07,1.749361e-07,1.764515e-07,1.873890e-07,1.927347e-07,1.994116e-07,2.082344e-07,2.109613e-07,2.220053e-07,2.228662e-07,2.325199e-07,2.365738e-07,2.424895e-07,2.493254e-07,2.519062e-07,2.607683e-07,2.611113e-07,2.690794e-07,2.719380e-07,2.768475e-07,2.818256e-07,2.840845e-07,2.908050e-07,2.970257e-07,2.989138e-07,3.027652e-07,3.061950e-07,3.080431e-07,3.126943e-07,3.128796e-07,3.172953e-07,3.184591e-07,3.213110e-07,3.235371e-07,3.249474e-07,3.279754e-07,3.282248e-07,3.311630e-07,3.318198e-07,3.337809e-07,3.351140e-07,3.360972e-07,3.379002e-07,3.381297e-07,3.398955e-07,3.402182e-07,3.414110e-07,3.421054e-07,3.426918e-07,3.435971e-07,3.437527e-07,3.446078e-07,3.447264e-07,3.452706e-07,3.455242e-07,3.457537e-07,3.460190e-07,3.460693e-07,3.462286e-07,3.462377e-07,3.462425e-07,3.462051e-07,3.461210e-07,3.459441e-07,3.458738e-07,3.455100e-07,3.454761e-07,3.450379e-07,3.448207e-07,3.444658e-07,3.439960e-07,3.438010e-07,3.430507e-07,3.430191e-07,3.422217e-07,3.419052e-07,3.413202e-07,3.406687e-07,3.403520e-07,3.393229e-07,3.382379e-07,3.378797e-07,3.371020e-07,3.363505e-07,3.359198e-07,3.347453e-07,3.346956e-07,3.334334e-07,3.330737e-07,3.321371e-07,3.313444e-07,3.308101e-07,3.295652e-07,3.294559e-07,3.280775e-07,3.277434e-07,3.266778e-07,3.258857e-07,3.252596e-07,3.239983e-07,3.238254e-07,3.223777e-07,3.220867e-07,3.209186e-07,3.201561e-07,3.194502e-07,3.182110e-07,3.179745e-07,3.164933e-07,3.162559e-07,3.150082e-07,3.142945e-07,3.135209e-07,3.123303e-07,3.120327e-07,3.105451e-07,3.103667e-07,3.090593e-07,3.084064e-07,3.075765e-07,3.064522e-07,3.060978e-07,3.046241e-07,3.045065e-07,3.031564e-07,3.025713e-07,3.016956e-07,3.006486e-07,3.002425e-07,2.987978e-07,2.987402e-07,2.973621e-07,2.968476e-07,2.959361e-07,2.949722e-07,2.945203e-07,2.931153e-07,2.912779e-07,2.894611e-07,2.876657e-07,2.858924e-07,2.841419e-07,2.824146e-07,2.807112e-07,2.790319e-07,2.773771e-07,2.757470e-07,2.741418e-07,2.725616e-07,2.710066e-07,2.694768e-07,2.679721e-07,2.664926e-07,2.650381e-07,2.636086e-07,2.622039e-07,2.608239e-07,2.594683e-07,2.581371e-07,2.568299e-07,2.555465e-07
0.000000e+00,1.832463e-11,9.469563e-11,1.090680e-09,5.512333e-09,1.157326e-08,5.731468e-08,6.071340e-08,2.168539e-07,2.953917e-07,6.082892e-07,1.039756e-06,1.446185e-06,2.883296e-06,3.049428e-06,5.869775e-06,6.791536e-06,1.051154e-05,1.418436e-05,1.773662e-05,2.694697e-05,2.844943e-05,4.366502e-05,4.734320e-05,6.446845e-05,7.786403e-05,9.197263e-05,1.210612e-04,1.272786e-04,1.714407e-04,1.793951e-04,2.254366e-04,2.551094e-04,2.901429e-04,3.501319e-04,3.663156e-04,4.545758e-04,4.660035e-04,5.553987e-04,6.038297e-04,6.691081e-04,7.642559e-04,7.958739e-04,9.357131e-04,9.474621e-04,1.088495e-03,1.153175e-03,1.253946e-03,1.380693e-03,1.431662e-03,1.621118e-03,1.628932e-03,1.821681e-03,1.896465e-03,2.032623e-03,2.181583e-03,2.253136e-03,2.482347e-03,2.719331e-03,2.796651e-03,2.963126e-03,3.122274e-03,3.212746e-03,3.456937e-03,3.467195e-03,3.725474e-03,3.798344e-03,3.986597e-03,4.144233e-03,4.249598e-03,4.492407e-03,4.513535e-03,4.777507e-03,4.840768e-03,5.040647e-03,5.187336e-03,5.302139e-03,5.530275e-03,5.561212e-03,5.817149e-03,5.867901e-03,6.069285e-03,6.198689e-03,6.317011e-03,6.521285e-03,6.559771e-03,6.797067e-03,6.834496e-03,7.028451e-03,7.137298e-03,7.253529e-03,7.428821e-03,7.471960e-03,7.683450e-03,7.708350e-03,7.887752e-03,7.975314e-03,8.084663e-03,8.229273e-03,8.274024e-03,8.455714e-03,8.469915e-03,8.629649e-03,8.697039e-03,8.795778e-03,8.910547e-03,8.954084e-03,9.104578e-03,9.110435e-03,9.247295e-03,9.296780e-03,9.382296e-03,9.469731e-03,9.509665e-03,9.629502e-03,9.741927e-03,9.776359e-03,9.847074e-03,9.910615e-03,9.945089e-03,1.003262e-02,1.003613e-02,1.012037e-02,1.014276e-02,1.019798e-02,1.024145e-02,1.026915e-02,1.032910e-02,1.033407e-02,1.039292e-02,1.040617e-02,1.044591e-02,1.047309e-02,1.049323e-02,1.053034e-02,1.053508e-02,1.057167e-02,1.057837e-02,1.060319e-02,1.061764e-02,1.062984e-02,1.064860e-02,1.065181e-02,1.066931e-02,1.067170e-02,1.068252e-02,1.068739e-02,1.069163e-02,1.069609e-02,1.069683e-02,1.069830e-02,1.069823e-02,1.069622e-02,1.069422e-02,1.069076e-02,1.068445e-02,1.068208e-02,1.067037e-02,1.066930e-02,1.065576e-02,1.064915e-02,1.063843e-02,1.062435e-02,1.061852e-02,1.059618e-02,1.059524e-02,1.057154e-02,1.056214e-02,1.054475e-02,1.052537e-02,1.051593e-02,1.048522e-02,1.044197e-02,1.039591e-02,1.034727e-02,1.029630e-02,1.024324e-02,1.018829e-02,1.013166e-02,1.007354e-02,1.001412e-02,9.953558e-03,9.892021e-03,9.829656e-03,9.766604e-03,9.702995e-03,9.638951e-03,9.574587e-03,9.510007e-03,9.445312e-03,9.380591e-03,9.315930e-03,9.251406e-03,9.187092e-03,9.123055e-03,9.059354e-03
0.000000e+00,7.127949e-12,1.639083e-11,5.659853e-11,1.290981e-10,1.886618e-10,4.308779e-10,4.440032e-10,8.676651e-10,1.023262e-09,1.509839e-09,2.018987e-09,2.413180e-09,3.481380e-09,3.584309e-09,4.991820e-09,5.360361e-09,6.597174e-09,7.570777e-09,8.369425e-09,1.004681e-08,1.028314e-08,1.231477e-08,1.273320e-08,1.444106e-08,1.557645e-08,1.663888e-08,1.852383e-08,1.888573e-08,2.116032e-08,2.152550e-08,2.344319e-08,2.453676e-08,2.571711e-08,2.751975e-08,2.796725e-08,3.018127e-08,3.044402e-08,3.234918e-08,3.328637e-08,3.446318e-08,3.603009e-08,3.651741e-08,3.850770e-08,3.866406e-08,4.043128e-08,4.118164e-08,4.228657e-08,4.357971e-08,4.407295e-08,4.579053e-08,4.585781e-08,4.744004e-08,4.801742e-08,4.902265e-08,5.006137e-08,5.053986e-08,5.199343e-08,5.338527e-08,5.381795e-08,5.471742e-08,5.553963e-08,5.599197e-08,5.716332e-08,5.721104e-08,5.837676e-08,5.869390e-08,5.949125e-08,6.013620e-08,6.055655e-08,6.149494e-08,6.157471e-08,6.254768e-08,6.277468e-08,6.347737e-08,6.397978e-08,6.436563e-08,6.511443e-08,6.521422e-08,6.602487e-08,6.618259e-08,6.679921e-08,6.718804e-08,6.753881e-08,6.813434e-08,6.824518e-08,6.891977e-08,6.902485e-08,6.956395e-08,6.986275e-08,7.017905e-08,7.065103e-08,7.076632e-08,7.132697e-08,7.139251e-08,7.186214e-08,7.208983e-08,7.237293e-08,7.274548e-08,7.286039e-08,7.332551e-08,7.336179e-08,7.376925e-08,7.394096e-08,7.419251e-08,7.448506e-08,7.459615e-08,7.498101e-08,7.499602e-08,7.534786e-08,7.547567e-08,7.569746e-08,7.592570e-08,7.603052e-08,7.634773e-08,7.664974e-08,7.674328e-08,7.693717e-08,7.711374e-08,7.721061e-08,7.746047e-08,7.747062e-08,7.771776e-08,7.778472e-08,7.795252e-08,7.808766e-08,7.817542e-08,7.837041e-08,7.838692e-08,7.858746e-08,7.863401e-08,7.877748e-08,7.887945e-08,7.895739e-08,7.910767e-08,7.912759e-08,7.928844e-08,7.931953e-08,7.944032e-08,7.951586e-08,7.958356e-08,7.969744e-08,7.971849e-08,7.984543e-08,7.986502e-08,7.996469e-08,8.001929e-08,8.007655e-08,8.016090e-08,8.018129e-08,8.027918e-08,8.029048e-08,8.037047e-08,8.040862e-08,8.045542e-08,8.051588e-08,8.053425e-08,8.060719e-08,8.061278e-08,8.067447e-08,8.069983e-08,8.073628e-08,8.077751e-08,8.079283e-08,8.084431e-08,8.084626e-08,8.089090e-08,8.090652e-08,8.093279e-08,8.095868e-08,8.097015e-08,8.100314e-08,8.104027e-08,8.107041e-08,8.109391e-08,8.111106e-08,8.112219e-08,8.112757e-08,8.112748e-08,8.112219e-08,8.111193e-08,8.109696e-08,8.107750e-08,8.105377e-08,8.102597e-08,8.099431e-08,8.095897e-08,8.092013e-08,8.087798e-08,8.083268e-08,8.078439e-08,8.073326e-08,8.067944e-08,8.062307e-08,8.056428e-08,8.050321e-08
0.000000e+00,1.280513e-10,3.340925e-10,1.317675e-09,3.193866e-09,4.770899e-09,1.129530e-08,1.165123e-08,2.317848e-08,2.741978e-08,4.070533e-08,5.468807e-08,6.561299e-08,9.579977e-08,9.875537e-08,1.399058e-07,1.508781e-07,1.881846e-07,2.180065e-07,2.427334e-07,2.953749e-07,3.028654e-07,3.679786e-07,3.815471e-07,4.374782e-07,4.751461e-07,5.107415e-07,5.747133e-07,5.871141e-07,6.659205e-07,6.787099e-07,7.464818e-07,7.855787e-07,8.281345e-07,8.938170e-07,9.102476e-07,9.922368e-07,1.002041e-06,1.073574e-06,1.109033e-06,1.153793e-06,1.213762e-06,1.232493e-06,1.309337e-06,1.315396e-06,1.384050e-06,1.413288e-06,1.456413e-06,1.506966e-06,1.526262e-06,1.593476e-06,1.596108e-06,1.657975e-06,1.680520e-06,1.719715e-06,1.760113e-06,1.778680e-06,1.834878e-06,1.888338e-06,1.904874e-06,1.939104e-06,1.970206e-06,1.987233e-06,2.031017e-06,2.032791e-06,2.075851e-06,2.087471e-06,2.116492e-06,2.139750e-06,2.154797e-06,2.188046e-06,2.190850e-06,2.224735e-06,2.232555e-06,2.256540e-06,2.273473e-06,2.286347e-06,2.310994e-06,2.314243e-06,2.340308e-06,2.345308e-06,2.364623e-06,2.376601e-06,2.387266e-06,2.405049e-06,2.408313e-06,2.427838e-06,2.430825e-06,2.445911e-06,2.454091e-06,2.462601e-06,2.475002e-06,2.477974e-06,2.492093e-06,2.493706e-06,2.505018e-06,2.510343e-06,2.516809e-06,2.525045e-06,2.527520e-06,2.537206e-06,2.537938e-06,2.545917e-06,2.549140e-06,2.553703e-06,2.558763e-06,2.560611e-06,2.566684e-06,2.566910e-06,2.571967e-06,2.573683e-06,2.576499e-06,2.579173e-06,2.580320e-06,2.583467e-06,2.585976e-06,2.586649e-06,2.587879e-06,2.588795e-06,2.589211e-06,2.589979e-06,2.590001e-06,2.590278e-06,2.590268e-06,2.590071e-06,2.589726e-06,2.589406e-06,2.588413e-06,2.588310e-06,2.586805e-06,2.586385e-06,2.584915e-06,2.583697e-06,2.582662e-06,2.580396e-06,2.580067e-06,2.577150e-06,2.576529e-06,2.573929e-06,2.572141e-06,2.570424e-06,2.567271e-06,2.566650e-06,2.562625e-06,2.561959e-06,2.558364e-06,2.556240e-06,2.553882e-06,2.550147e-06,2.549193e-06,2.544310e-06,2.543712e-06,2.539247e-06,2.536965e-06,2.534015e-06,2.529933e-06,2.528626e-06,2.523091e-06,2.522642e-06,2.517420e-06,2.515117e-06,2.511625e-06,2.507379e-06,2.505713e-06,2.499694e-06,2.499451e-06,2.493577e-06,2.491352e-06,2.487369e-06,2.483101e-06,2.481079e-06,2.474714e-06,2.466210e-06,2.457602e-06,2.448905e-06,2.440132e-06,2.431296e-06,2.422408e-06,2.413479e-06,2.404520e-06,2.395539e-06,2.386546e-06,2.377548e-06,2.368554e-06,2.359570e-06,2.350603e-06,2.341659e-06,2.332745e-06,2.323864e-06,2.315023e-06,2.306225e-06,2.297475e-06,2.288776e-06,2.280133e-06,2.271549e-06,2.263026e-06
0.000000e+00,1.631224e-11,8.048746e-11,8.418925e-10,3.895500e-09,7.790699e-09,3.402101e-08,3.585439e-08,1.130488e-07,1.488798e-07,2.817666e-07,4.501142e-07,5.992485e-07,1.084521e-06,1.137667e-06,1.982224e-06,2.240626e-06,3.223981e-06,4.124947e-06,4.947182e-06,6.913782e-06,7.216433e-06,1.006935e-05,1.071130e-05,1.351585e-05,1.553877e-05,1.754196e-05,2.134861e-05,2.211541e-05,2.719120e-05,2.804647e-05,3.271609e-05,3.551060e-05,3.863193e-05,4.360531e-05,4.487797e-05,5.139237e-05,5.218919e-05,5.811341e-05,6.112041e-05,6.498030e-05,7.026026e-05,7.193399e-05,7.891792e-05,7.947631e-05,8.587861e-05,8.864511e-05,9.276638e-05,9.765476e-05,9.953584e-05,1.061463e-04,1.064069e-04,1.125621e-04,1.148181e-04,1.187528e-04,1.228207e-04,1.246930e-04,1.303625e-04,1.357461e-04,1.374066e-04,1.408329e-04,1.439294e-04,1.456162e-04,1.499200e-04,1.500932e-04,1.542643e-04,1.553778e-04,1.581329e-04,1.603111e-04,1.617046e-04,1.647349e-04,1.649871e-04,1.679898e-04,1.686699e-04,1.707232e-04,1.721405e-04,1.731987e-04,1.751736e-04,1.754286e-04,1.774251e-04,1.777976e-04,1.792011e-04,1.800417e-04,1.807692e-04,1.819349e-04,1.821419e-04,1.833314e-04,1.835055e-04,1.843497e-04,1.847811e-04,1.852083e-04,1.857876e-04,1.859182e-04,1.864898e-04,1.865496e-04,1.869333e-04,1.870903e-04,1.872581e-04,1.874310e-04,1.874730e-04,1.875867e-04,1.875916e-04,1.876068e-04,1.875904e-04,1.875410e-04,1.874441e-04,1.873959e-04,1.871783e-04,1.871681e-04,1.868940e-04,1.867764e-04,1.865487e-04,1.862817e-04,1.861476e-04,1.856956e-04,1.851972e-04,1.850286e-04,1.846566e-04,1.842902e-04,1.840777e-04,1.834892e-04,1.834641e-04,1.828191e-04,1.826333e-04,1.821459e-04,1.817297e-04,1.814474e-04,1.807846e-04,1.807261e-04,1.799846e-04,1.798039e-04,1.792252e-04,1.787929e-04,1.784500e-04,1.777563e-04,1.776609e-04,1.768597e-04,1.766982e-04,1.760482e-04,1.756226e-04,1.752279e-04,1.745330e-04,1.744001e-04,1.735663e-04,1.734324e-04,1.727277e-04,1.723237e-04,1.718853e-04,1.712095e-04,1.710403e-04,1.701937e-04,1.700920e-04,1.693462e-04,1.689733e-04,1.684987e-04,1.678552e-04,1.676521e-04,1.668069e-04,1.667394e-04,1.659638e-04,1.656273e-04,1.651235e-04,1.645204e-04,1.642864e-04,1.634531e-04,1.634198e-04,1.626239e-04,1.623266e-04,1.617995e-04,1.612417e-04,1.609800e-04,1.601659e-04,1.591001e-04,1.580449e-04,1.570008e-04,1.559684e-04,1.549480e-04,1.539401e-04,1.529450e-04,1.519630e-04,1.509943e-04,1.500391e-04,1.490975e-04,1.481697e-04,1.472557e-04,1.463556e-04,1.454694e-04,1.445972e-04,1.437389e-04,1.428945e-04,1.420639e-04,1.412471e-04,1.404440e-04,1.396545e-04,1.388785e-04,1.381159e-04
0.000000e+00,3.450579e-11,1.654510e-10,1.632896e-09,7.177873e-09,1.396746e-08,5.699170e-08,5.990304e-08,1.774277e-07,2.299312e-07,4.186422e-07,6.493833e-07,8.488910e-07,1.478611e-06,1.546264e-06,2.598603e-06,2.913916e-06,4.093012e-06,5.149512e-06,6.096894e-06,8.306116e-06,8.639583e-06,1.170608e-05,1.237817e-05,1.524452e-05,1.724676e-05,1.918037e-05,2.273266e-05,2.343029e-05,2.791178e-05,2.864509e-05,3.254851e-05,3.480901e-05,3.727256e-05,4.107455e-05,4.202464e-05,4.675360e-05,4.731737e-05,5.141572e-05,5.343611e-05,5.597397e-05,5.934958e-05,6.039750e-05,6.466110e-05,6.499465e-05,6.874486e-05,7.032447e-05,7.263368e-05,7.530676e-05,7.631687e-05,7.978768e-05,7.992204e-05,8.304286e-05,8.416180e-05,8.608210e-05,8.802645e-05,8.890756e-05,9.152342e-05,9.393548e-05,9.466542e-05,9.615079e-05,9.746898e-05,9.817731e-05,9.995313e-05,1.000236e-04,1.016988e-04,1.021384e-04,1.032119e-04,1.040459e-04,1.045723e-04,1.056967e-04,1.057889e-04,1.068708e-04,1.071114e-04,1.078265e-04,1.083097e-04,1.086644e-04,1.093106e-04,1.093925e-04,1.100182e-04,1.101317e-04,1.105489e-04,1.107895e-04,1.109913e-04,1.112993e-04,1.113518e-04,1.116364e-04,1.116753e-04,1.118508e-04,1.119304e-04,1.120003e-04,1.120766e-04,1.120899e-04,1.121242e-04,1.121248e-04,1.121075e-04,1.120850e-04,1.120438e-04,1.119664e-04,1.119370e-04,1.117905e-04,1.117772e-04,1.116076e-04,1.115250e-04,1.113914e-04,1.112166e-04,1.111446e-04,1.108699e-04,1.108584e-04,1.105698e-04,1.104560e-04,1.102465e-04,1.100145e-04,1.099021e-04,1.095387e-04,1.091580e-04,1.090328e-04,1.087617e-04,1.085007e-04,1.083515e-04,1.079459e-04,1.079287e-04,1.074948e-04,1.073715e-04,1.070510e-04,1.067805e-04,1.065985e-04,1.061754e-04,1.061383e-04,1.056716e-04,1.055587e-04,1.051991e-04,1.049324e-04,1.047219e-04,1.042985e-04,1.042406e-04,1.037561e-04,1.036588e-04,1.032690e-04,1.030149e-04,1.027799e-04,1.023681e-04,1.022896e-04,1.017984e-04,1.017198e-04,1.013070e-04,1.010711e-04,1.008157e-04,1.004231e-04,1.003251e-04,9.983546e-05,9.977679e-05,9.934723e-05,9.913294e-05,9.886073e-05,9.849234e-05,9.837627e-05,9.789413e-05,9.785566e-05,9.741458e-05,9.722353e-05,9.693785e-05,9.659649e-05,9.646418e-05,9.599376e-05,9.597501e-05,9.552677e-05,9.535953e-05,9.506339e-05,9.475043e-05,9.460376e-05,9.414803e-05,9.355262e-05,9.296447e-05,9.238377e-05,9.181073e-05,9.124550e-05,9.068820e-05,9.013895e-05,8.959783e-05,8.906489e-05,8.854020e-05,8.802377e-05,8.751563e-05,8.701577e-05,8.652418e-05,8.604084e-05,8.556572e-05,8.509877e-05,8.463995e-05,8.418920e-05,8.374645e-05,8.331164e-05,8.288468e-05,8.246550e-05,8.205402e-05
0.000000e+00,1.614549e-11,3.728430e-11,1.293710e-10,2.955681e-10,4.318995e-10,9.828671e-10,1.012551e-09,1.961524e-09,2.306033e-09,3.373146e-09,4.480226e-09,5.336174e-09,7.674550e-09,7.902249e-09,1.106960e-08,1.191632e-08,1.481107e-08,1.714632e-08,1.909805e-08,2.329989e-08,2.390283e-08,2.919476e-08,3.030853e-08,3.493762e-08,3.808826e-08,4.108894e-08,4.653660e-08,4.760055e-08,5.441986e-08,5.553582e-08,6.149150e-08,6.495894e-08,6.875903e-08,7.467651e-08,7.616660e-08,8.366030e-08,8.456288e-08,9.118937e-08,9.450116e-08,9.870706e-08,1.043867e-07,1.061712e-07,1.135443e-07,1.141293e-07,1.207942e-07,1.236533e-07,1.278933e-07,1.328982e-07,1.348186e-07,1.415516e-07,1.418167e-07,1.480776e-07,1.503740e-07,1.543855e-07,1.585460e-07,1.604671e-07,1.663171e-07,1.719324e-07,1.736796e-07,1.773120e-07,1.806314e-07,1.824564e-07,1.871755e-07,1.873675e-07,1.920484e-07,1.933184e-07,1.965031e-07,1.990692e-07,2.007362e-07,2.044394e-07,2.047529e-07,2.085589e-07,2.094417e-07,2.121603e-07,2.140900e-07,2.155632e-07,2.183986e-07,2.187739e-07,2.217990e-07,2.223823e-07,2.246448e-07,2.260559e-07,2.273178e-07,2.294342e-07,2.298243e-07,2.321706e-07,2.325316e-07,2.343630e-07,2.353624e-07,2.364074e-07,2.379405e-07,2.383099e-07,2.400762e-07,2.402792e-07,2.417119e-07,2.423917e-07,2.432225e-07,2.442903e-07,2.446134e-07,2.458897e-07,2.459870e-07,2.470564e-07,2.474935e-07,2.481183e-07,2.488207e-07,2.490802e-07,2.499464e-07,2.499791e-07,2.507213e-07,2.509788e-07,2.514092e-07,2.518294e-07,2.520141e-07,2.525399e-07,2.529903e-07,2.531191e-07,2.533690e-07,2.535752e-07,2.536793e-07,2.539161e-07,2.539247e-07,2.541083e-07,2.541491e-07,2.542332e-07,2.542812e-07,2.543024e-07,2.543193e-07,2.543187e-07,2.542849e-07,2.542696e-07,2.542034e-07,2.541380e-07,2.540770e-07,2.539303e-07,2.539078e-07,2.536984e-07,2.536518e-07,2.534507e-07,2.533076e-07,2.531671e-07,2.529025e-07,2.528494e-07,2.524997e-07,2.524409e-07,2.521198e-07,2.519272e-07,2.517114e-07,2.513653e-07,2.512763e-07,2.508160e-07,2.507592e-07,2.503322e-07,2.501123e-07,2.498263e-07,2.494280e-07,2.492998e-07,2.487539e-07,2.487095e-07,2.481901e-07,2.479598e-07,2.476095e-07,2.471817e-07,2.470133e-07,2.464026e-07,2.463779e-07,2.457786e-07,2.455509e-07,2.451423e-07,2.447030e-07,2.444945e-07,2.438364e-07,2.429531e-07,2.420552e-07,2.411444e-07,2.402225e-07,2.392910e-07,2.383515e-07,2.374054e-07,2.364539e-07,2.354983e-07,2.345397e-07,2.335793e-07,2.326179e-07,2.316566e-07,2.306963e-07,2.297376e-07,2.287814e-07,2.278284e-07,2.268791e-07,2.259343e-07,2.249944e-07,2.240600e-07,2.231315e-07,2.222094e-07,2.212940e-07
0.000000e+00,2.315279e-11,5.326031e-11,1.878981e-10,4.486059e-10,6.799992e-10,1.770269e-09,1.835738e-09,4.243935e-09,5.246458e-09,8.633530e-09,1.236089e-08,1.524815e-08,2.277046e-08,2.346627e-08,3.248062e-08,3.469967e-08,4.178282e-08,4.701559e-08,5.111552e-08,5.924796e-08,6.034771e-08,6.940341e-08,7.118850e-08,7.822973e-08,8.271447e-08,8.678439e-08,9.373339e-08,9.503078e-08,1.029382e-07,1.041701e-07,1.104812e-07,1.139665e-07,1.176404e-07,1.230817e-07,1.244018e-07,1.307581e-07,1.314934e-07,1.367070e-07,1.391959e-07,1.422509e-07,1.461971e-07,1.473961e-07,1.521520e-07,1.525160e-07,1.565307e-07,1.581795e-07,1.605458e-07,1.632200e-07,1.642125e-07,1.675465e-07,1.676732e-07,1.705643e-07,1.715764e-07,1.732822e-07,1.749675e-07,1.757167e-07,1.778838e-07,1.797992e-07,1.803615e-07,1.814782e-07,1.824354e-07,1.829353e-07,1.841384e-07,1.841846e-07,1.852394e-07,1.855017e-07,1.861126e-07,1.865544e-07,1.868163e-07,1.873238e-07,1.873619e-07,1.877604e-07,1.878352e-07,1.880219e-07,1.881123e-07,1.881564e-07,1.881768e-07,1.881728e-07,1.880798e-07,1.880489e-07,1.878856e-07,1.877472e-07,1.875978e-07,1.872890e-07,1.872236e-07,1.867696e-07,1.866900e-07,1.862423e-07,1.859648e-07,1.856475e-07,1.851269e-07,1.849909e-07,1.842776e-07,1.841885e-07,1.835126e-07,1.831608e-07,1.827004e-07,1.820543e-07,1.818454e-07,1.809514e-07,1.808783e-07,1.800223e-07,1.796417e-07,1.790616e-07,1.783522e-07,1.780726e-07,1.770582e-07,1.770172e-07,1.760214e-07,1.756432e-07,1.749648e-07,1.742363e-07,1.738909e-07,1.728020e-07,1.717003e-07,1.713453e-07,1.705877e-07,1.698708e-07,1.694661e-07,1.683825e-07,1.683372e-07,1.672027e-07,1.668843e-07,1.660641e-07,1.653795e-07,1.649227e-07,1.638712e-07,1.637798e-07,1.626365e-07,1.623622e-07,1.614941e-07,1.608551e-07,1.603535e-07,1.593520e-07,1.592156e-07,1.580814e-07,1.578550e-07,1.569515e-07,1.563659e-07,1.558268e-07,1.548864e-07,1.547078e-07,1.535953e-07,1.534179e-07,1.524897e-07,1.519617e-07,1.513916e-07,1.505189e-07,1.503015e-07,1.492198e-07,1.490905e-07,1.481468e-07,1.476775e-07,1.470829e-07,1.462806e-07,1.460284e-07,1.449836e-07,1.449004e-07,1.439487e-07,1.435376e-07,1.429240e-07,1.421927e-07,1.419097e-07,1.409058e-07,1.408659e-07,1.399127e-07,1.395578e-07,1.389303e-07,1.382685e-07,1.379588e-07,1.369982e-07,1.357472e-07,1.345156e-07,1.333034e-07,1.321106e-07,1.309373e-07,1.297833e-07,1.286487e-07,1.275334e-07,1.264371e-07,1.253599e-07,1.243015e-07,1.232617e-07,1.222405e-07,1.212375e-07,1.202525e-07,1.192854e-07,1.183358e-07,1.174037e-07,1.164886e-07,1.155904e-07,1.147088e-07,1.138436e-07,1.129945e-07,1.121612e-07
0.000000e+00,7.953652e-12,1.823918e-11,6.285571e-11,1.433111e-10,2.094087e-10,4.779950e-10,4.925376e-10,9.614076e-10,1.133476e-09,1.672320e-09,2.239977e-09,2.684233e-09,3.916692e-09,4.037815e-09,5.732703e-09,6.187032e-09,7.737582e-09,8.981989e-09,1.001622e-08,1.222359e-08,1.253820e-08,1.527792e-08,1.584990e-08,1.821163e-08,1.980592e-08,2.131543e-08,2.403594e-08,2.456450e-08,2.793303e-08,2.848133e-08,3.139464e-08,3.308150e-08,3.492291e-08,3.777613e-08,3.849202e-08,4.207738e-08,4.250760e-08,4.565598e-08,4.722294e-08,4.920683e-08,5.187528e-08,5.271116e-08,5.615254e-08,5.642469e-08,5.951687e-08,6.083832e-08,6.279236e-08,6.509021e-08,6.596936e-08,6.904023e-08,6.916076e-08,7.199911e-08,7.303603e-08,7.484178e-08,7.670693e-08,7.756542e-08,8.016845e-08,8.265031e-08,8.341894e-08,8.501133e-08,8.645943e-08,8.725258e-08,8.929304e-08,8.937573e-08,9.138294e-08,9.192453e-08,9.327679e-08,9.435985e-08,9.506012e-08,9.660583e-08,9.673602e-08,9.830776e-08,9.866985e-08,9.977870e-08,1.005597e-07,1.011523e-07,1.022833e-07,1.024321e-07,1.036215e-07,1.038488e-07,1.047240e-07,1.052642e-07,1.057432e-07,1.065374e-07,1.066824e-07,1.075450e-07,1.076761e-07,1.083342e-07,1.086879e-07,1.090533e-07,1.095801e-07,1.097053e-07,1.102934e-07,1.103599e-07,1.108205e-07,1.110339e-07,1.112895e-07,1.116087e-07,1.117030e-07,1.120639e-07,1.120906e-07,1.123746e-07,1.124855e-07,1.126378e-07,1.127991e-07,1.128557e-07,1.130307e-07,1.130368e-07,1.131650e-07,1.132039e-07,1.132609e-07,1.133051e-07,1.133202e-07,1.133451e-07,1.133374e-07,1.133284e-07,1.132989e-07,1.132590e-07,1.132315e-07,1.131409e-07,1.131366e-07,1.130161e-07,1.129779e-07,1.128713e-07,1.127735e-07,1.127038e-07,1.125309e-07,1.125150e-07,1.123062e-07,1.122533e-07,1.120787e-07,1.119436e-07,1.118338e-07,1.116047e-07,1.115725e-07,1.112961e-07,1.112390e-07,1.110055e-07,1.108492e-07,1.107018e-07,1.104373e-07,1.103860e-07,1.100590e-07,1.100057e-07,1.097217e-07,1.095564e-07,1.093749e-07,1.090911e-07,1.090194e-07,1.086559e-07,1.086118e-07,1.082852e-07,1.081200e-07,1.079080e-07,1.076174e-07,1.075249e-07,1.071366e-07,1.071053e-07,1.067436e-07,1.065852e-07,1.063464e-07,1.060582e-07,1.059457e-07,1.055418e-07,1.055256e-07,1.051353e-07,1.049884e-07,1.047267e-07,1.044478e-07,1.043163e-07,1.039045e-07,1.033595e-07,1.028136e-07,1.022676e-07,1.017221e-07,1.011777e-07,1.006352e-07,1.000949e-07,9.955748e-08,9.902329e-08,9.849279e-08,9.796634e-08,9.744430e-08,9.692697e-08,9.641464e-08,9.590755e-08,9.540594e-08,9.491002e-08,9.441995e-08,9.393589e-08,9.345800e-08,9.298637e-08,9.252113e-08,9.206234e-08,9.161009e-08
0.000000e+00,4.893730e-12,1.119437e-11,3.845738e-11,8.757110e-11,1.279445e-10,2.925010e-10,3.014363e-10,5.908654e-10,6.976885e-10,1.034140e-09,1.391824e-09,1.674383e-09,2.472774e-09,2.552475e-09,3.688836e-09,3.998727e-09,5.063894e-09,5.918742e-09,6.624006e-09,8.102698e-09,8.309974e-09,1.007510e-08,1.043452e-08,1.188620e-08,1.283788e-08,1.371914e-08,1.526182e-08,1.555512e-08,1.737869e-08,1.766841e-08,1.917680e-08,2.002753e-08,2.093838e-08,2.231505e-08,2.265416e-08,2.431662e-08,2.451223e-08,2.591982e-08,2.660525e-08,2.745929e-08,2.858469e-08,2.893188e-08,3.033559e-08,3.044487e-08,3.166938e-08,3.218325e-08,3.293305e-08,3.379970e-08,3.412704e-08,3.525236e-08,3.529596e-08,3.631039e-08,3.667514e-08,3.730288e-08,3.794132e-08,3.823178e-08,3.909921e-08,3.990742e-08,4.015392e-08,4.065871e-08,4.111073e-08,4.135540e-08,4.197505e-08,4.199986e-08,4.259439e-08,4.275223e-08,4.314130e-08,4.344752e-08,4.364283e-08,4.406604e-08,4.410117e-08,4.451844e-08,4.461271e-08,4.489672e-08,4.509226e-08,4.523798e-08,4.550922e-08,4.554417e-08,4.581713e-08,4.586789e-08,4.605864e-08,4.617236e-08,4.627039e-08,4.642645e-08,4.645401e-08,4.661106e-08,4.663382e-08,4.674303e-08,4.679789e-08,4.685136e-08,4.692190e-08,4.693739e-08,4.700244e-08,4.700889e-08,4.704773e-08,4.706171e-08,4.707445e-08,4.708302e-08,4.708372e-08,4.707661e-08,4.707536e-08,4.705413e-08,4.704106e-08,4.701727e-08,4.698233e-08,4.696693e-08,4.690399e-08,4.690122e-08,4.682929e-08,4.679966e-08,4.674360e-08,4.667944e-08,4.664768e-08,4.654224e-08,4.642795e-08,4.638961e-08,4.630545e-08,4.622302e-08,4.617534e-08,4.604381e-08,4.603820e-08,4.589457e-08,4.585326e-08,4.574497e-08,4.565254e-08,4.558987e-08,4.544273e-08,4.542975e-08,4.526503e-08,4.522486e-08,4.509612e-08,4.499985e-08,4.492342e-08,4.476860e-08,4.474729e-08,4.456808e-08,4.453190e-08,4.438612e-08,4.429051e-08,4.420171e-08,4.404513e-08,4.401514e-08,4.382669e-08,4.379639e-08,4.363662e-08,4.354488e-08,4.344517e-08,4.329117e-08,4.325257e-08,4.305903e-08,4.303576e-08,4.286476e-08,4.277910e-08,4.266995e-08,4.252164e-08,4.247477e-08,4.227940e-08,4.226377e-08,4.208399e-08,4.200584e-08,4.188868e-08,4.174820e-08,4.169362e-08,4.149893e-08,4.149115e-08,4.130474e-08,4.123497e-08,4.111115e-08,4.097991e-08,4.091828e-08,4.072621e-08,4.047408e-08,4.022370e-08,3.997526e-08,3.972890e-08,3.948478e-08,3.924301e-08,3.900372e-08,3.876699e-08,3.853292e-08,3.830159e-08,3.807307e-08,3.784740e-08,3.762465e-08,3.740486e-08,3.718805e-08,3.697427e-08,3.676352e-08,3.655583e-08,3.635121e-08,3.614966e-08,3.595118e-08,3.575577e-08,3.556343e-08,3.537414e-08
0.000000e+00,4.987842e-12,1.140360e-11,3.908088e-11,8.865155e-11,1.291561e-10,2.923080e-10,3.010871e-10,5.817770e-10,6.838136e-10,1.000829e-09,1.331983e-09,1.590188e-09,2.307466e-09,2.378262e-09,3.376778e-09,3.646645e-09,4.571413e-09,5.314354e-09,5.930104e-09,7.234038e-09,7.418462e-09,9.007125e-09,9.334695e-09,1.067192e-08,1.156075e-08,1.239220e-08,1.386657e-08,1.414951e-08,1.592693e-08,1.621213e-08,1.770890e-08,1.856163e-08,1.948120e-08,2.088348e-08,2.123112e-08,2.294752e-08,2.315077e-08,2.462093e-08,2.534153e-08,2.624351e-08,2.743878e-08,2.780902e-08,2.931268e-08,2.943019e-08,3.075107e-08,3.130761e-08,3.212194e-08,3.306644e-08,3.342407e-08,3.465718e-08,3.470507e-08,3.582174e-08,3.622436e-08,3.691866e-08,3.762661e-08,3.794931e-08,3.891551e-08,3.981931e-08,4.009571e-08,4.066295e-08,4.117240e-08,4.144881e-08,4.215115e-08,4.217934e-08,4.285700e-08,4.303761e-08,4.348426e-08,4.383745e-08,4.406357e-08,4.455624e-08,4.459732e-08,4.508786e-08,4.519942e-08,4.553746e-08,4.577218e-08,4.594831e-08,4.627948e-08,4.632252e-08,4.666211e-08,4.672604e-08,4.696901e-08,4.711630e-08,4.724508e-08,4.745444e-08,4.749208e-08,4.771168e-08,4.774438e-08,4.790548e-08,4.798979e-08,4.807500e-08,4.819410e-08,4.822167e-08,4.834685e-08,4.836049e-08,4.845184e-08,4.849196e-08,4.853787e-08,4.859127e-08,4.860608e-08,4.865757e-08,4.866100e-08,4.869339e-08,4.870355e-08,4.871452e-08,4.872115e-08,4.872187e-08,4.871633e-08,4.871585e-08,4.869872e-08,4.868958e-08,4.866983e-08,4.864412e-08,4.863040e-08,4.858111e-08,4.852264e-08,4.850209e-08,4.845560e-08,4.840847e-08,4.838058e-08,4.830158e-08,4.829814e-08,4.820880e-08,4.818261e-08,4.811305e-08,4.805272e-08,4.801135e-08,4.791293e-08,4.790416e-08,4.779188e-08,4.776422e-08,4.767490e-08,4.760748e-08,4.755360e-08,4.744355e-08,4.742831e-08,4.729938e-08,4.727318e-08,4.716711e-08,4.709711e-08,4.703179e-08,4.691597e-08,4.689370e-08,4.675309e-08,4.673038e-08,4.661022e-08,4.654090e-08,4.646530e-08,4.634805e-08,4.631857e-08,4.617022e-08,4.615232e-08,4.602045e-08,4.595415e-08,4.586944e-08,4.575395e-08,4.571736e-08,4.556437e-08,4.555209e-08,4.541061e-08,4.534893e-08,4.525625e-08,4.514480e-08,4.510140e-08,4.494620e-08,4.493998e-08,4.479076e-08,4.473476e-08,4.463519e-08,4.452939e-08,4.447960e-08,4.432409e-08,4.411909e-08,4.391457e-08,4.371073e-08,4.350772e-08,4.330570e-08,4.310481e-08,4.290516e-08,4.270688e-08,4.251008e-08,4.231484e-08,4.212125e-08,4.192939e-08,4.173933e-08,4.155113e-08,4.136485e-08,4.118054e-08,4.099823e-08,4.081798e-08,4.063981e-08,4.046375e-08,4.028983e-08,4.011807e-08,3.994847e-08,3.978106e-08
0.000000e+00,5.143021e-11,1.279431e-10,4.769259e-10,1.119024e-09,1.647017e-09,3.766459e-09,3.879790e-09,7.456288e-09,8.734062e-09,1.263493e-08,1.661366e-08,1.966090e-08,2.795248e-08,2.876157e-08,4.011153e-08,4.317948e-08,5.376059e-08,6.236593e-08,6.957556e-08,8.506050e-08,8.727228e-08,1.065119e-07,1.105158e-07,1.269706e-07,1.379936e-07,1.483594e-07,1.668547e-07,1.704194e-07,1.929132e-07,1.965374e-07,2.156188e-07,2.265311e-07,2.383282e-07,2.563682e-07,2.608483e-07,2.830024e-07,2.856286e-07,3.046325e-07,3.139476e-07,3.256014e-07,3.410236e-07,3.457935e-07,3.651157e-07,3.666216e-07,3.834965e-07,3.905730e-07,4.008844e-07,4.127703e-07,4.172476e-07,4.325719e-07,4.331632e-07,4.468564e-07,4.517462e-07,4.601130e-07,4.685518e-07,4.723647e-07,4.836425e-07,4.939835e-07,4.971016e-07,5.034298e-07,5.090267e-07,5.120266e-07,5.195238e-07,5.198208e-07,5.268603e-07,5.287027e-07,5.331930e-07,5.366731e-07,5.388661e-07,5.435420e-07,5.439252e-07,5.484143e-07,5.494116e-07,5.523755e-07,5.543781e-07,5.558486e-07,5.585309e-07,5.588710e-07,5.614777e-07,5.619522e-07,5.637017e-07,5.647171e-07,5.655734e-07,5.668941e-07,5.671211e-07,5.683709e-07,5.685449e-07,5.693471e-07,5.697251e-07,5.700720e-07,5.704848e-07,5.705661e-07,5.708482e-07,5.708686e-07,5.709357e-07,5.709168e-07,5.708446e-07,5.706650e-07,5.705896e-07,5.701840e-07,5.701455e-07,5.696403e-07,5.693867e-07,5.689699e-07,5.684145e-07,5.681831e-07,5.672896e-07,5.672517e-07,5.662982e-07,5.659189e-07,5.652171e-07,5.644346e-07,5.640538e-07,5.628152e-07,5.615077e-07,5.610757e-07,5.601372e-07,5.592296e-07,5.587092e-07,5.572889e-07,5.572288e-07,5.557005e-07,5.552646e-07,5.541288e-07,5.531666e-07,5.525176e-07,5.510038e-07,5.508708e-07,5.491917e-07,5.487843e-07,5.474837e-07,5.465157e-07,5.457497e-07,5.442045e-07,5.439925e-07,5.422147e-07,5.418569e-07,5.404188e-07,5.394786e-07,5.386071e-07,5.370745e-07,5.367816e-07,5.349443e-07,5.346494e-07,5.330972e-07,5.322076e-07,5.312419e-07,5.297529e-07,5.293801e-07,5.275132e-07,5.272889e-07,5.256428e-07,5.248190e-07,5.237700e-07,5.223460e-07,5.218963e-07,5.200227e-07,5.198728e-07,5.181503e-07,5.174019e-07,5.162802e-07,5.149356e-07,5.144132e-07,5.125504e-07,5.124759e-07,5.106924e-07,5.100250e-07,5.088402e-07,5.075844e-07,5.069945e-07,5.051559e-07,5.027409e-07,5.003408e-07,4.979568e-07,4.955901e-07,4.932417e-07,4.909124e-07,4.886033e-07,4.863149e-07,4.840480e-07,4.818033e-07,4.795812e-07,4.773822e-07,4.752068e-07,4.730553e-07,4.709281e-07,4.688254e-07,4.667475e-07,4.646946e-07,4.626667e-07,4.606642e-07,4.586870e-07,4.567352e-07,4.548088e-07,4.529079e-07
0.000000e+00,1.797863e-11,4.146321e-11,1.440132e-10,3.307031e-10,4.855375e-10,1.126890e-09,1.162138e-09,2.323686e-09,2.760827e-09,4.159992e-09,5.672116e-09,6.874366e-09,1.025347e-08,1.058695e-08,1.523584e-08,1.647030e-08,2.062856e-08,2.389833e-08,2.656896e-08,3.213107e-08,3.290920e-08,3.954262e-08,4.089696e-08,4.638697e-08,5.000619e-08,5.337345e-08,5.930736e-08,6.044139e-08,6.753634e-08,6.867070e-08,7.460956e-08,7.798416e-08,8.161813e-08,8.715337e-08,8.852503e-08,9.529910e-08,9.610180e-08,1.019148e-07,1.047701e-07,1.083518e-07,1.131147e-07,1.145945e-07,1.206314e-07,1.211052e-07,1.264546e-07,1.287228e-07,1.320591e-07,1.359574e-07,1.374424e-07,1.426041e-07,1.428060e-07,1.475455e-07,1.492709e-07,1.522690e-07,1.553583e-07,1.567782e-07,1.610773e-07,1.651713e-07,1.664389e-07,1.690655e-07,1.714555e-07,1.727655e-07,1.761403e-07,1.762772e-07,1.796066e-07,1.805070e-07,1.827597e-07,1.845694e-07,1.857425e-07,1.883415e-07,1.885610e-07,1.912213e-07,1.918369e-07,1.937293e-07,1.950693e-07,1.960906e-07,1.980517e-07,1.983109e-07,2.003959e-07,2.007971e-07,2.023508e-07,2.033177e-07,2.041809e-07,2.056255e-07,2.058914e-07,2.074871e-07,2.077321e-07,2.089729e-07,2.096484e-07,2.103534e-07,2.113850e-07,2.116331e-07,2.128164e-07,2.129521e-07,2.139074e-07,2.143593e-07,2.149102e-07,2.156158e-07,2.158288e-07,2.166668e-07,2.167305e-07,2.174279e-07,2.177116e-07,2.181156e-07,2.185672e-07,2.187333e-07,2.192842e-07,2.193049e-07,2.197714e-07,2.199318e-07,2.201979e-07,2.204547e-07,2.205665e-07,2.208801e-07,2.211414e-07,2.212143e-07,2.213527e-07,2.214630e-07,2.215167e-07,2.216316e-07,2.216356e-07,2.217116e-07,2.217256e-07,2.217471e-07,2.217497e-07,2.217439e-07,2.217087e-07,2.217042e-07,2.216298e-07,2.216070e-07,2.215226e-07,2.214488e-07,2.213842e-07,2.212380e-07,2.212164e-07,2.210208e-07,2.209784e-07,2.207988e-07,2.206735e-07,2.205521e-07,2.203267e-07,2.202819e-07,2.199897e-07,2.199410e-07,2.196767e-07,2.195194e-07,2.193441e-07,2.190648e-07,2.189932e-07,2.186251e-07,2.185798e-07,2.182407e-07,2.180668e-07,2.178413e-07,2.175282e-07,2.174277e-07,2.170009e-07,2.169662e-07,2.165618e-07,2.163830e-07,2.161113e-07,2.157803e-07,2.156502e-07,2.151792e-07,2.151601e-07,2.146991e-07,2.145242e-07,2.142106e-07,2.138741e-07,2.137145e-07,2.132113e-07,2.125373e-07,2.118535e-07,2.111612e-07,2.104614e-07,2.097553e-07,2.090441e-07,2.083285e-07,2.076097e-07,2.068883e-07,2.061653e-07,2.054413e-07,2.047171e-07,2.039934e-07,2.032707e-07,2.025495e-07,2.018305e-07,2.011142e-07,2.004009e-07,1.996911e-07,1.989851e-07,1.982835e-07,1.975864e-07,1.968941e-07,1.962071e-07
0.000000e+00,3.029275e-10,9.458475e-10,4.609524e-09,1.246796e-08,1.948223e-08,5.069232e-08,5.247297e-08,1.134740e-07,1.373326e-07,2.161018e-07,3.043850e-07,3.762405e-07,5.826651e-07,6.032400e-07,8.915132e-07,9.683265e-07,1.227779e-06,1.432810e-06,1.601149e-06,1.954887e-06,2.004752e-06,2.434047e-06,2.522665e-06,2.885437e-06,3.127781e-06,3.355578e-06,3.762528e-06,3.841105e-06,4.338569e-06,4.419039e-06,4.844491e-06,5.089323e-06,5.355432e-06,5.765572e-06,5.868089e-06,6.379368e-06,6.440491e-06,6.886443e-06,7.107564e-06,7.386795e-06,7.761205e-06,7.878230e-06,8.358881e-06,8.396819e-06,8.827200e-06,9.010785e-06,9.281937e-06,9.600376e-06,9.722110e-06,1.014698e-05,1.016365e-05,1.055602e-05,1.069933e-05,1.094889e-05,1.120671e-05,1.132542e-05,1.168555e-05,1.202935e-05,1.213594e-05,1.235697e-05,1.255826e-05,1.266864e-05,1.295310e-05,1.296465e-05,1.324532e-05,1.332121e-05,1.351102e-05,1.366343e-05,1.376216e-05,1.398070e-05,1.399914e-05,1.422240e-05,1.427399e-05,1.443237e-05,1.454431e-05,1.462948e-05,1.479267e-05,1.481419e-05,1.498693e-05,1.502008e-05,1.514813e-05,1.522755e-05,1.529824e-05,1.541605e-05,1.543766e-05,1.556682e-05,1.558656e-05,1.568611e-05,1.573999e-05,1.579595e-05,1.587727e-05,1.589672e-05,1.598879e-05,1.599927e-05,1.607253e-05,1.610683e-05,1.614830e-05,1.620077e-05,1.621644e-05,1.627729e-05,1.628185e-05,1.633117e-05,1.635084e-05,1.637840e-05,1.640845e-05,1.641927e-05,1.645408e-05,1.645535e-05,1.648312e-05,1.649221e-05,1.650665e-05,1.651964e-05,1.652494e-05,1.653825e-05,1.654681e-05,1.654858e-05,1.655086e-05,1.655119e-05,1.655063e-05,1.654658e-05,1.654633e-05,1.653819e-05,1.653524e-05,1.652638e-05,1.651763e-05,1.651112e-05,1.649418e-05,1.649258e-05,1.647094e-05,1.646531e-05,1.644638e-05,1.643141e-05,1.641906e-05,1.639285e-05,1.638913e-05,1.635675e-05,1.634999e-05,1.632206e-05,1.630316e-05,1.628520e-05,1.625266e-05,1.624631e-05,1.620550e-05,1.619881e-05,1.616291e-05,1.614187e-05,1.611865e-05,1.608211e-05,1.607282e-05,1.602555e-05,1.601978e-05,1.597692e-05,1.595512e-05,1.592704e-05,1.588835e-05,1.587600e-05,1.582388e-05,1.581967e-05,1.577078e-05,1.574928e-05,1.571678e-05,1.567738e-05,1.566194e-05,1.560636e-05,1.560412e-05,1.555008e-05,1.552967e-05,1.549319e-05,1.545419e-05,1.543575e-05,1.537782e-05,1.530069e-05,1.522293e-05,1.514465e-05,1.506598e-05,1.498700e-05,1.490782e-05,1.482852e-05,1.474920e-05,1.466992e-05,1.459076e-05,1.451178e-05,1.443306e-05,1.435464e-05,1.427658e-05,1.419893e-05,1.412173e-05,1.404503e-05,1.396887e-05,1.389327e-05,1.381828e-05,1.374392e-05,1.367022e-05,1.359719e-05,1.352488e-05
0.000000e+00,4.852148e-11,2.147342e-10,1.813582e-09,7.004773e-09,1.276284e-08,4.471657e-08,4.673582e-08,1.222068e-07,1.537738e-07,2.621208e-07,3.885086e-07,4.945602e-07,8.160747e-07,8.496000e-07,1.348925e-06,1.491099e-06,1.997026e-06,2.421573e-06,2.783970e-06,3.578956e-06,3.694165e-06,4.712381e-06,4.927797e-06,5.825493e-06,6.437963e-06,7.022011e-06,8.083646e-06,8.291147e-06,9.622174e-06,9.840156e-06,1.100418e-05,1.168239e-05,1.242607e-05,1.358489e-05,1.387682e-05,1.534566e-05,1.552265e-05,1.682237e-05,1.747213e-05,1.829745e-05,1.941209e-05,1.976229e-05,2.120928e-05,2.132407e-05,2.263180e-05,2.319267e-05,2.402424e-05,2.500553e-05,2.538196e-05,2.670121e-05,2.675313e-05,2.797905e-05,2.842850e-05,2.921329e-05,3.002685e-05,3.040237e-05,3.154528e-05,3.264147e-05,3.298235e-05,3.369080e-05,3.433786e-05,3.469346e-05,3.561252e-05,3.564990e-05,3.656080e-05,3.680780e-05,3.742700e-05,3.792567e-05,3.824949e-05,3.896851e-05,3.902935e-05,3.976777e-05,3.993895e-05,4.046596e-05,4.083984e-05,4.112518e-05,4.167410e-05,4.174674e-05,4.233192e-05,4.244471e-05,4.288204e-05,4.315468e-05,4.339839e-05,4.380697e-05,4.388225e-05,4.433490e-05,4.440451e-05,4.475757e-05,4.495016e-05,4.515148e-05,4.544670e-05,4.551783e-05,4.585777e-05,4.589684e-05,4.617244e-05,4.630318e-05,4.646294e-05,4.666822e-05,4.673034e-05,4.697566e-05,4.699437e-05,4.719992e-05,4.728394e-05,4.740407e-05,4.753914e-05,4.758906e-05,4.775579e-05,4.776209e-05,4.790512e-05,4.795479e-05,4.803791e-05,4.811916e-05,4.815495e-05,4.825703e-05,4.834490e-05,4.837014e-05,4.841928e-05,4.846013e-05,4.848087e-05,4.852857e-05,4.853032e-05,4.856829e-05,4.857695e-05,4.859538e-05,4.860666e-05,4.861218e-05,4.861905e-05,4.861927e-05,4.861717e-05,4.861536e-05,4.860642e-05,4.859680e-05,4.858750e-05,4.856448e-05,4.856090e-05,4.852707e-05,4.851948e-05,4.848645e-05,4.846278e-05,4.843945e-05,4.839534e-05,4.838648e-05,4.832791e-05,4.831805e-05,4.826411e-05,4.823173e-05,4.819543e-05,4.813720e-05,4.812220e-05,4.804474e-05,4.803517e-05,4.796334e-05,4.792636e-05,4.787831e-05,4.781141e-05,4.778991e-05,4.769840e-05,4.769095e-05,4.760403e-05,4.756554e-05,4.750705e-05,4.743573e-05,4.740768e-05,4.730613e-05,4.730202e-05,4.720260e-05,4.716489e-05,4.709730e-05,4.702478e-05,4.699041e-05,4.688210e-05,4.673724e-05,4.659055e-05,4.644238e-05,4.629303e-05,4.614280e-05,4.599196e-05,4.584075e-05,4.568941e-05,4.553816e-05,4.538718e-05,4.523667e-05,4.508679e-05,4.493770e-05,4.478953e-05,4.464243e-05,4.449650e-05,4.435186e-05,4.420860e-05,4.406681e-05,4.392658e-05,4.378797e-05,4.365105e-05,4.351588e-05,4.338250e-05
0.000000e+00,6.056079e-12,1.395698e-11,4.825640e-11,1.099100e-10,1.603313e-10,3.631725e-10,3.740670e-10,7.210182e-10,8.464718e-10,1.234160e-09,1.636433e-09,1.948853e-09,2.816074e-09,2.901934e-09,4.126711e-09,4.463664e-09,5.641816e-09,6.615106e-09,7.438487e-09,9.223570e-09,9.479807e-09,1.171545e-08,1.218150e-08,1.409699e-08,1.537930e-08,1.658398e-08,1.873029e-08,1.914351e-08,2.174821e-08,2.216754e-08,2.437455e-08,2.563672e-08,2.700187e-08,2.909208e-08,2.961189e-08,3.218853e-08,3.249480e-08,3.471782e-08,3.581258e-08,3.718788e-08,3.901934e-08,3.958880e-08,4.191263e-08,4.209501e-08,4.415316e-08,4.502498e-08,4.630583e-08,4.779954e-08,4.836751e-08,5.033634e-08,5.041315e-08,5.221156e-08,5.286373e-08,5.399331e-08,5.515196e-08,5.568251e-08,5.728067e-08,5.878980e-08,5.925430e-08,6.021230e-08,6.107845e-08,6.155082e-08,6.275949e-08,6.280827e-08,6.398763e-08,6.430428e-08,6.509202e-08,6.571996e-08,6.612455e-08,6.701373e-08,6.708838e-08,6.798660e-08,6.819275e-08,6.882227e-08,6.926404e-08,6.959838e-08,7.023440e-08,7.031784e-08,7.098347e-08,7.111038e-08,7.159800e-08,7.189823e-08,7.216405e-08,7.260391e-08,7.268414e-08,7.316069e-08,7.323306e-08,7.359603e-08,7.379101e-08,7.399237e-08,7.428279e-08,7.435183e-08,7.467643e-08,7.471314e-08,7.496810e-08,7.508648e-08,7.522867e-08,7.540698e-08,7.545989e-08,7.566341e-08,7.567854e-08,7.584081e-08,7.590480e-08,7.599361e-08,7.608918e-08,7.612321e-08,7.623097e-08,7.623485e-08,7.631818e-08,7.634479e-08,7.638606e-08,7.642177e-08,7.643576e-08,7.646838e-08,7.648495e-08,7.648703e-08,7.648647e-08,7.647997e-08,7.647386e-08,7.644929e-08,7.644801e-08,7.640977e-08,7.639695e-08,7.635992e-08,7.632475e-08,7.629922e-08,7.623440e-08,7.622838e-08,7.614807e-08,7.612746e-08,7.605894e-08,7.600540e-08,7.596160e-08,7.586959e-08,7.585660e-08,7.574451e-08,7.572128e-08,7.562582e-08,7.556166e-08,7.550103e-08,7.539182e-08,7.537059e-08,7.523494e-08,7.521278e-08,7.509449e-08,7.502548e-08,7.494963e-08,7.483081e-08,7.480072e-08,7.464812e-08,7.462958e-08,7.449215e-08,7.442254e-08,7.433312e-08,7.421039e-08,7.417133e-08,7.400704e-08,7.399380e-08,7.384053e-08,7.377336e-08,7.367204e-08,7.354963e-08,7.350180e-08,7.333004e-08,7.332314e-08,7.315695e-08,7.309436e-08,7.298275e-08,7.286374e-08,7.280760e-08,7.263169e-08,7.239859e-08,7.216480e-08,7.193063e-08,7.169639e-08,7.146236e-08,7.122878e-08,7.099589e-08,7.076390e-08,7.053302e-08,7.030342e-08,7.007527e-08,6.984872e-08,6.962391e-08,6.940095e-08,6.917997e-08,6.896107e-08,6.874433e-08,6.852985e-08,6.831769e-08,6.810792e-08,6.790060e-08,6.769578e-08,6.749351e-08,6.729381e-08
0.000000e+00,6.269636e-10,1.859614e-09,8.573862e-09,2.285114e-08,3.577963e-08,9.613595e-08,9.971488e-08,2.294713e-07,2.831365e-07,4.659856e-07,6.720811e-07,8.358236e-07,1.279992e-06,1.322399e-06,1.893318e-06,2.040284e-06,2.527584e-06,2.906288e-06,3.214710e-06,3.858541e-06,3.949006e-06,4.726331e-06,4.886615e-06,5.542721e-06,5.981267e-06,6.393862e-06,7.132219e-06,7.275012e-06,8.181039e-06,8.327954e-06,9.106547e-06,9.556104e-06,1.004609e-05,1.080429e-05,1.099441e-05,1.194647e-05,1.206074e-05,1.289763e-05,1.331474e-05,1.384366e-05,1.455688e-05,1.478080e-05,1.570579e-05,1.577917e-05,1.661580e-05,1.697507e-05,1.750847e-05,1.813933e-05,1.838183e-05,1.923430e-05,1.926795e-05,2.006462e-05,2.035792e-05,2.087182e-05,2.140714e-05,2.165518e-05,2.241421e-05,2.314857e-05,2.337833e-05,2.385811e-05,2.429918e-05,2.454280e-05,2.517680e-05,2.520272e-05,2.583803e-05,2.601153e-05,2.644897e-05,2.680396e-05,2.703584e-05,2.755482e-05,2.759901e-05,2.813886e-05,2.826500e-05,2.865582e-05,2.893548e-05,2.915034e-05,2.956733e-05,2.962289e-05,3.007397e-05,3.016165e-05,3.050407e-05,3.071959e-05,3.091369e-05,3.124233e-05,3.130336e-05,3.167359e-05,3.173105e-05,3.202489e-05,3.218694e-05,3.235778e-05,3.261119e-05,3.267278e-05,3.297040e-05,3.300497e-05,3.325114e-05,3.336945e-05,3.351551e-05,3.370578e-05,3.376400e-05,3.399710e-05,3.401509e-05,3.421528e-05,3.429849e-05,3.441903e-05,3.455706e-05,3.460881e-05,3.478508e-05,3.479186e-05,3.494828e-05,3.500392e-05,3.509885e-05,3.519425e-05,3.523723e-05,3.536383e-05,3.547906e-05,3.551360e-05,3.558334e-05,3.564450e-05,3.567704e-05,3.575741e-05,3.576056e-05,3.583426e-05,3.585319e-05,3.589852e-05,3.593269e-05,3.595368e-05,3.599670e-05,3.600010e-05,3.603812e-05,3.604602e-05,3.606805e-05,3.608140e-05,3.609022e-05,3.610355e-05,3.610494e-05,3.611251e-05,3.611319e-05,3.611322e-05,3.611098e-05,3.610737e-05,3.609757e-05,3.609522e-05,3.607704e-05,3.607359e-05,3.605310e-05,3.603964e-05,3.602365e-05,3.599628e-05,3.598893e-05,3.594918e-05,3.594408e-05,3.590463e-05,3.588356e-05,3.585550e-05,3.581523e-05,3.580201e-05,3.574437e-05,3.573959e-05,3.568278e-05,3.565708e-05,3.561744e-05,3.556817e-05,3.554853e-05,3.547625e-05,3.547329e-05,3.540075e-05,3.537283e-05,3.532223e-05,3.526719e-05,3.524084e-05,3.515675e-05,3.504186e-05,3.492286e-05,3.480008e-05,3.467383e-05,3.454440e-05,3.441207e-05,3.427712e-05,3.413980e-05,3.400034e-05,3.385899e-05,3.371595e-05,3.357144e-05,3.342565e-05,3.327878e-05,3.313100e-05,3.298247e-05,3.283335e-05,3.268381e-05,3.253397e-05,3.238398e-05,3.223395e-05,3.208401e-05,3.193427e-05,3.178484e-05
0.000000e+00,4.889550e-11,2.520281e-10,2.886677e-09,1.451004e-08,3.036723e-08,1.490374e-07,1.578129e-07,5.578080e-07,7.574458e-07,1.546514e-06,2.623341e-06,3.629264e-06,7.141783e-06,7.544384e-06,1.430433e-05,1.648994e-05,2.523023e-05,3.376939e-05,4.197016e-05,6.306308e-05,6.648750e-05,1.010117e-04,1.093277e-04,1.479571e-04,1.781071e-04,2.098240e-04,2.751440e-04,2.890972e-04,3.881525e-04,4.059865e-04,5.091766e-04,5.756502e-04,6.541025e-04,7.883590e-04,8.245602e-04,1.021842e-03,1.047366e-03,1.246881e-03,1.354850e-03,1.500241e-03,1.711871e-03,1.782119e-03,2.092350e-03,2.118381e-03,2.430428e-03,2.573280e-03,2.795523e-03,3.074504e-03,3.186517e-03,3.602024e-03,3.619132e-03,4.040434e-03,4.203526e-03,4.499942e-03,4.823462e-03,4.978585e-03,5.474278e-03,5.984850e-03,6.151012e-03,6.508072e-03,6.848534e-03,7.041694e-03,7.561670e-03,7.583470e-03,8.131180e-03,8.285306e-03,8.682659e-03,9.014480e-03,9.235812e-03,9.744464e-03,9.788632e-03,1.033921e-02,1.047082e-02,1.088576e-02,1.118943e-02,1.142660e-02,1.189658e-02,1.196018e-02,1.248509e-02,1.258892e-02,1.300004e-02,1.326349e-02,1.350388e-02,1.391775e-02,1.399556e-02,1.447421e-02,1.454953e-02,1.493903e-02,1.515704e-02,1.538937e-02,1.573885e-02,1.582468e-02,1.624452e-02,1.629385e-02,1.664855e-02,1.682125e-02,1.703652e-02,1.732052e-02,1.740825e-02,1.776367e-02,1.779140e-02,1.810277e-02,1.823385e-02,1.842559e-02,1.864801e-02,1.873225e-02,1.902291e-02,1.903420e-02,1.929777e-02,1.939290e-02,1.955710e-02,1.972470e-02,1.980117e-02,2.003030e-02,2.024485e-02,2.031048e-02,2.044516e-02,2.056608e-02,2.063164e-02,2.079801e-02,2.080468e-02,2.096468e-02,2.100720e-02,2.111207e-02,2.119463e-02,2.124727e-02,2.136126e-02,2.137071e-02,2.148282e-02,2.150809e-02,2.158402e-02,2.163609e-02,2.167475e-02,2.174626e-02,2.175542e-02,2.182645e-02,2.183953e-02,2.188825e-02,2.191687e-02,2.194121e-02,2.197917e-02,2.198575e-02,2.202224e-02,2.202735e-02,2.205105e-02,2.206226e-02,2.207256e-02,2.208475e-02,2.208712e-02,2.209508e-02,2.209561e-02,2.209678e-02,2.209562e-02,2.209253e-02,2.208552e-02,2.208265e-02,2.206745e-02,2.206601e-02,2.204722e-02,2.203778e-02,2.202223e-02,2.200146e-02,2.199277e-02,2.195909e-02,2.195766e-02,2.192144e-02,2.190696e-02,2.188006e-02,2.184992e-02,2.183519e-02,2.178705e-02,2.171883e-02,2.164575e-02,2.156822e-02,2.148667e-02,2.140148e-02,2.131302e-02,2.122162e-02,2.112760e-02,2.103127e-02,2.093290e-02,2.083277e-02,2.073110e-02,2.062814e-02,2.052409e-02,2.041916e-02,2.031353e-02,2.020737e-02,2.010084e-02,1.999409e-02,1.988725e-02,1.978046e-02,1.967383e-02,1.956746e-02,1.946146e-02
0.000000e+00,2.157798e-11,1.023519e-10,9.884475e-10,4.263008e-09,8.211262e-09,3.265690e-08,3.428999e-08,9.909158e-08,1.275688e-07,2.284739e-07,3.497483e-07,4.532915e-07,7.744699e-07,8.085600e-07,1.330630e-06,1.484419e-06,2.050528e-06,2.547598e-06,2.986733e-06,3.992644e-06,4.142780e-06,5.510073e-06,5.807551e-06,7.072553e-06,7.955713e-06,8.810520e-06,1.039060e-05,1.070287e-05,1.272806e-05,1.306297e-05,1.486439e-05,1.592293e-05,1.709012e-05,1.892049e-05,1.938355e-05,2.172324e-05,2.200612e-05,2.408834e-05,2.513186e-05,2.645893e-05,2.825275e-05,2.881640e-05,3.114373e-05,3.132815e-05,3.342575e-05,3.432284e-05,3.564925e-05,3.720759e-05,3.780307e-05,3.987806e-05,3.995931e-05,4.186701e-05,4.256087e-05,4.376450e-05,4.500057e-05,4.556676e-05,4.727149e-05,4.887766e-05,4.937080e-05,5.038531e-05,5.129893e-05,5.179543e-05,5.305897e-05,5.310973e-05,5.433051e-05,5.465594e-05,5.546057e-05,5.609635e-05,5.650303e-05,5.738764e-05,5.746129e-05,5.833889e-05,5.853791e-05,5.913949e-05,5.955556e-05,5.986678e-05,6.044910e-05,6.052446e-05,6.111620e-05,6.122695e-05,6.164557e-05,6.189737e-05,6.211608e-05,6.246829e-05,6.253110e-05,6.289391e-05,6.294733e-05,6.320765e-05,6.334171e-05,6.347533e-05,6.365825e-05,6.369983e-05,6.388389e-05,6.390339e-05,6.403012e-05,6.408312e-05,6.414100e-05,6.420308e-05,6.421889e-05,6.426600e-05,6.426851e-05,6.428446e-05,6.428426e-05,6.427624e-05,6.425488e-05,6.424324e-05,6.418723e-05,6.418454e-05,6.410989e-05,6.407713e-05,6.401279e-05,6.393624e-05,6.389742e-05,6.376519e-05,6.361740e-05,6.356703e-05,6.345530e-05,6.334459e-05,6.328006e-05,6.310047e-05,6.309276e-05,6.289444e-05,6.283706e-05,6.268605e-05,6.255657e-05,6.246852e-05,6.226103e-05,6.224267e-05,6.200932e-05,6.195228e-05,6.176920e-05,6.163204e-05,6.152302e-05,6.130189e-05,6.127143e-05,6.101504e-05,6.096324e-05,6.075443e-05,6.061743e-05,6.049014e-05,6.026565e-05,6.022266e-05,5.995246e-05,5.990901e-05,5.967999e-05,5.954851e-05,5.940564e-05,5.918507e-05,5.912980e-05,5.885283e-05,5.881953e-05,5.857505e-05,5.845265e-05,5.829677e-05,5.808513e-05,5.801828e-05,5.773985e-05,5.771758e-05,5.746171e-05,5.735059e-05,5.718410e-05,5.698467e-05,5.690723e-05,5.663130e-05,5.662029e-05,5.635649e-05,5.625786e-05,5.608296e-05,5.589777e-05,5.581087e-05,5.554036e-05,5.518592e-05,5.483474e-05,5.448705e-05,5.414307e-05,5.380298e-05,5.346694e-05,5.313511e-05,5.280760e-05,5.248452e-05,5.216596e-05,5.185198e-05,5.154265e-05,5.123802e-05,5.093812e-05,5.064297e-05,5.035259e-05,5.006699e-05,4.978615e-05,4.951008e-05,4.923876e-05,4.897217e-05,4.871027e-05,4.845304e-05,4.820044e-05
0.000000e+00,1.301502e-11,6.379063e-11,6.584764e-10,3.012994e-09,5.991516e-09,2.582572e-08,2.720463e-08,8.493245e-08,1.116162e-07,2.103678e-07,3.353240e-07,4.460099e-07,8.061963e-07,8.456282e-07,1.470876e-06,1.661439e-06,2.382577e-06,3.037320e-06,3.629941e-06,5.029995e-06,5.243477e-06,7.233711e-06,7.676631e-06,9.593996e-06,1.096151e-05,1.230487e-05,1.483253e-05,1.533820e-05,1.866049e-05,1.921646e-05,2.223525e-05,2.402969e-05,2.602455e-05,2.918481e-05,2.999024e-05,3.409476e-05,3.459489e-05,3.830182e-05,4.017646e-05,4.257700e-05,4.585184e-05,4.688819e-05,5.120599e-05,5.155088e-05,5.550391e-05,5.721217e-05,5.975856e-05,6.278359e-05,6.394963e-05,6.805987e-05,6.822238e-05,7.207491e-05,7.349470e-05,7.598310e-05,7.857485e-05,7.977524e-05,8.344435e-05,8.698539e-05,8.809088e-05,9.039500e-05,9.250724e-05,9.367127e-05,9.669038e-05,9.681349e-05,9.982198e-05,1.006405e-04,1.026979e-04,1.043605e-04,1.054429e-04,1.078549e-04,1.080595e-04,1.105504e-04,1.111298e-04,1.129186e-04,1.141924e-04,1.151674e-04,1.170503e-04,1.173003e-04,1.193208e-04,1.197117e-04,1.212326e-04,1.221850e-04,1.230394e-04,1.244786e-04,1.247447e-04,1.263524e-04,1.266008e-04,1.278658e-04,1.285599e-04,1.292887e-04,1.303641e-04,1.306244e-04,1.318764e-04,1.320212e-04,1.330479e-04,1.335387e-04,1.341422e-04,1.349242e-04,1.351624e-04,1.361116e-04,1.361845e-04,1.369926e-04,1.373266e-04,1.378084e-04,1.383569e-04,1.385617e-04,1.392551e-04,1.392817e-04,1.398913e-04,1.401068e-04,1.404726e-04,1.408379e-04,1.410016e-04,1.414804e-04,1.419113e-04,1.420394e-04,1.422964e-04,1.425199e-04,1.426379e-04,1.429263e-04,1.429376e-04,1.431974e-04,1.432632e-04,1.434192e-04,1.435347e-04,1.436047e-04,1.437448e-04,1.437556e-04,1.438736e-04,1.438971e-04,1.439601e-04,1.439953e-04,1.440166e-04,1.440428e-04,1.440447e-04,1.440456e-04,1.440426e-04,1.440206e-04,1.439979e-04,1.439711e-04,1.439114e-04,1.438982e-04,1.438031e-04,1.437859e-04,1.436870e-04,1.436240e-04,1.435507e-04,1.434280e-04,1.433955e-04,1.432222e-04,1.432003e-04,1.430319e-04,1.429429e-04,1.428253e-04,1.426580e-04,1.426034e-04,1.423670e-04,1.423475e-04,1.421168e-04,1.420131e-04,1.418537e-04,1.416566e-04,1.415783e-04,1.412914e-04,1.412797e-04,1.409936e-04,1.408838e-04,1.406855e-04,1.404705e-04,1.403678e-04,1.400410e-04,1.395966e-04,1.391387e-04,1.386683e-04,1.381865e-04,1.376943e-04,1.371928e-04,1.366827e-04,1.361651e-04,1.356405e-04,1.351100e-04,1.345740e-04,1.340334e-04,1.334887e-04,1.329406e-04,1.323896e-04,1.318362e-04,1.312810e-04,1.307243e-04,1.301667e-04,1.296086e-04,1.290503e-04,1.284922e-04,1.279346e-04,1.273779e-04
0.000000e+00,1.574963e-11,7.610410e-11,7.621762e-10,3.389063e-09,6.630886e-09,2.735420e-08,2.876138e-08,8.566619e-08,1.110782e-07,2.021454e-07,3.128175e-07,4.079147e-07,7.049395e-07,7.366035e-07,1.224447e-06,1.369242e-06,1.906858e-06,2.385061e-06,2.812212e-06,3.805749e-06,3.955657e-06,5.336606e-06,5.640229e-06,6.940715e-06,7.855443e-06,8.744398e-06,1.039324e-05,1.071960e-05,1.283747e-05,1.318770e-05,1.507054e-05,1.617585e-05,1.739362e-05,1.930149e-05,1.978390e-05,2.222057e-05,2.251516e-05,2.468437e-05,2.577233e-05,2.715716e-05,2.903184e-05,2.962167e-05,3.206130e-05,3.225491e-05,3.446019e-05,3.540495e-05,3.680334e-05,3.844801e-05,3.907678e-05,4.126779e-05,4.135355e-05,4.336505e-05,4.409520e-05,4.535884e-05,4.665133e-05,4.724110e-05,4.900554e-05,5.064760e-05,5.114669e-05,5.216441e-05,5.306882e-05,5.355476e-05,5.477074e-05,5.481889e-05,5.595843e-05,5.625552e-05,5.697611e-05,5.752973e-05,5.787565e-05,5.860279e-05,5.866160e-05,5.933916e-05,5.948627e-05,5.991401e-05,6.019329e-05,6.039215e-05,6.073788e-05,6.077983e-05,6.108335e-05,6.113451e-05,6.130899e-05,6.139759e-05,6.146291e-05,6.154117e-05,6.155111e-05,6.157935e-05,6.157868e-05,6.155314e-05,6.152275e-05,6.147767e-05,6.138512e-05,6.135782e-05,6.119815e-05,6.117652e-05,6.100290e-05,6.090673e-05,6.077597e-05,6.058453e-05,6.052095e-05,6.024113e-05,6.021776e-05,5.993950e-05,5.981337e-05,5.961881e-05,5.937750e-05,5.928152e-05,5.892988e-05,5.891555e-05,5.856591e-05,5.843222e-05,5.819144e-05,5.793163e-05,5.780809e-05,5.741733e-05,5.702050e-05,5.689242e-05,5.661876e-05,5.635956e-05,5.621317e-05,5.582106e-05,5.580468e-05,5.539413e-05,5.527891e-05,5.498228e-05,5.473482e-05,5.456979e-05,5.419025e-05,5.415726e-05,5.374524e-05,5.364648e-05,5.333419e-05,5.310458e-05,5.292453e-05,5.256550e-05,5.251666e-05,5.211089e-05,5.203001e-05,5.170752e-05,5.149881e-05,5.130683e-05,5.097248e-05,5.090904e-05,5.051436e-05,5.045151e-05,5.012297e-05,4.993632e-05,4.973503e-05,4.942726e-05,4.935069e-05,4.897006e-05,4.892464e-05,4.859325e-05,4.842869e-05,4.822035e-05,4.793961e-05,4.785144e-05,4.748659e-05,4.745758e-05,4.712585e-05,4.698271e-05,4.676926e-05,4.651511e-05,4.641686e-05,4.606869e-05,4.605485e-05,4.572476e-05,4.560198e-05,4.538508e-05,4.515654e-05,4.504967e-05,4.471852e-05,4.428794e-05,4.386476e-05,4.344897e-05,4.304051e-05,4.263934e-05,4.224539e-05,4.185860e-05,4.147889e-05,4.110618e-05,4.074039e-05,4.038143e-05,4.002920e-05,3.968361e-05,3.934456e-05,3.901195e-05,3.868567e-05,3.836562e-05,3.805170e-05,3.774380e-05,3.744181e-05,3.714563e-05,3.685515e-05,3.657025e-05,3.629085e-05
0.000000e+00,1.213403e-11,2.826377e-11,9.881688e-11,2.260846e-10,3.301763e-10,7.475203e-10,7.698525e-10,1.476016e-09,1.728908e-09,2.502409e-09,3.292968e-09,3.899229e-09,5.551900e-09,5.713438e-09,7.987647e-09,8.605983e-09,1.075619e-08,1.253041e-08,1.403797e-08,1.734839e-08,1.782962e-08,2.210518e-08,2.301488e-08,2.682324e-08,2.943558e-08,3.193551e-08,3.649786e-08,3.739196e-08,4.314276e-08,4.408690e-08,4.913860e-08,5.208933e-08,5.533082e-08,6.039373e-08,6.167146e-08,6.811368e-08,6.889140e-08,7.461221e-08,7.747821e-08,8.112393e-08,8.605664e-08,8.760836e-08,9.402813e-08,9.453788e-08,1.003493e-07,1.028432e-07,1.065415e-07,1.109051e-07,1.125784e-07,1.184371e-07,1.186675e-07,1.240988e-07,1.260857e-07,1.295479e-07,1.331256e-07,1.347723e-07,1.397631e-07,1.445138e-07,1.459827e-07,1.490208e-07,1.517766e-07,1.532826e-07,1.571435e-07,1.572995e-07,1.610735e-07,1.620872e-07,1.646083e-07,1.666161e-07,1.679083e-07,1.707418e-07,1.709792e-07,1.738273e-07,1.744785e-07,1.764597e-07,1.778423e-07,1.788837e-07,1.808507e-07,1.811072e-07,1.831381e-07,1.835219e-07,1.849845e-07,1.858744e-07,1.866546e-07,1.879272e-07,1.881565e-07,1.894983e-07,1.896987e-07,1.906880e-07,1.912073e-07,1.917333e-07,1.924707e-07,1.926418e-07,1.934210e-07,1.935062e-07,1.940780e-07,1.943302e-07,1.946198e-07,1.949585e-07,1.950529e-07,1.953840e-07,1.954063e-07,1.956192e-07,1.956877e-07,1.957644e-07,1.958164e-07,1.958252e-07,1.958073e-07,1.958050e-07,1.957156e-07,1.956655e-07,1.955552e-07,1.954092e-07,1.953307e-07,1.950468e-07,1.947076e-07,1.945881e-07,1.943172e-07,1.940423e-07,1.938795e-07,1.934181e-07,1.933980e-07,1.928764e-07,1.927236e-07,1.923178e-07,1.919662e-07,1.917253e-07,1.911529e-07,1.911019e-07,1.904504e-07,1.902901e-07,1.897733e-07,1.893840e-07,1.890732e-07,1.884399e-07,1.883524e-07,1.876130e-07,1.874631e-07,1.868572e-07,1.864584e-07,1.860869e-07,1.854299e-07,1.853039e-07,1.845099e-07,1.843820e-07,1.837066e-07,1.833181e-07,1.828954e-07,1.822418e-07,1.820778e-07,1.812551e-07,1.811561e-07,1.804285e-07,1.800639e-07,1.795993e-07,1.789679e-07,1.787684e-07,1.779370e-07,1.778705e-07,1.771059e-07,1.767737e-07,1.762760e-07,1.756796e-07,1.754481e-07,1.746230e-07,1.745901e-07,1.738014e-07,1.735066e-07,1.729839e-07,1.724307e-07,1.721711e-07,1.713637e-07,1.703067e-07,1.692608e-07,1.682270e-07,1.672061e-07,1.661987e-07,1.652056e-07,1.642272e-07,1.632641e-07,1.623166e-07,1.613850e-07,1.604696e-07,1.595707e-07,1.586884e-07,1.578227e-07,1.569738e-07,1.561417e-07,1.553264e-07,1.545279e-07,1.537460e-07,1.529807e-07,1.522320e-07,1.514995e-07,1.507832e-07,1.500829e-07
0.000000e+00,4.660428e-11,1.763092e-10,1.128518e-09,3.551846e-09,5.876067e-09,1.669532e-08,1.731812e-08,3.831385e-08,4.627082e-08,7.152112e-08,9.835398e-08,1.194446e-07,1.785865e-07,1.844724e-07,2.688603e-07,2.922244e-07,3.745962e-07,4.436909e-07,5.030757e-07,6.352707e-07,6.546629e-07,8.284698e-07,8.657432e-07,1.022608e-06,1.130812e-06,1.234700e-06,1.424925e-06,1.462278e-06,1.702945e-06,1.742511e-06,1.954400e-06,2.078276e-06,2.214424e-06,2.427164e-06,2.480864e-06,2.751639e-06,2.784328e-06,3.024757e-06,3.145181e-06,3.298334e-06,3.505477e-06,3.570620e-06,3.840012e-06,3.861394e-06,4.105074e-06,4.209597e-06,4.364541e-06,4.547275e-06,4.617324e-06,4.862507e-06,4.872145e-06,5.099339e-06,5.182434e-06,5.327223e-06,5.476838e-06,5.545709e-06,5.754476e-06,5.953319e-06,6.014833e-06,6.142135e-06,6.257706e-06,6.320911e-06,6.483144e-06,6.489706e-06,6.648642e-06,6.691401e-06,6.797896e-06,6.882889e-06,6.937685e-06,7.058149e-06,7.068263e-06,7.189908e-06,7.217806e-06,7.302917e-06,7.362546e-06,7.407603e-06,7.493099e-06,7.504289e-06,7.593301e-06,7.610211e-06,7.674967e-06,7.714639e-06,7.749614e-06,7.807131e-06,7.817567e-06,7.879146e-06,7.888428e-06,7.934664e-06,7.959249e-06,7.984426e-06,8.020291e-06,8.028729e-06,8.067860e-06,8.072222e-06,8.102097e-06,8.115680e-06,8.131706e-06,8.151272e-06,8.156944e-06,8.178057e-06,8.179575e-06,8.195284e-06,8.201138e-06,8.208852e-06,8.216478e-06,8.218978e-06,8.225869e-06,8.226081e-06,8.229723e-06,8.230404e-06,8.230729e-06,8.229879e-06,8.229068e-06,8.224910e-06,8.218420e-06,8.215876e-06,8.209752e-06,8.203130e-06,8.199053e-06,8.187003e-06,8.186465e-06,8.172120e-06,8.167806e-06,8.156144e-06,8.145826e-06,8.138657e-06,8.121332e-06,8.119772e-06,8.099598e-06,8.094576e-06,8.078235e-06,8.065789e-06,8.055781e-06,8.035190e-06,8.032325e-06,8.007955e-06,8.002979e-06,7.982752e-06,7.969343e-06,7.956793e-06,7.934456e-06,7.930150e-06,7.902891e-06,7.898477e-06,7.875083e-06,7.861557e-06,7.846784e-06,7.823831e-06,7.818053e-06,7.788945e-06,7.785429e-06,7.759508e-06,7.746465e-06,7.729792e-06,7.707049e-06,7.699842e-06,7.669699e-06,7.667280e-06,7.639403e-06,7.627250e-06,7.608991e-06,7.587043e-06,7.578499e-06,7.547958e-06,7.546735e-06,7.517399e-06,7.506399e-06,7.486850e-06,7.466097e-06,7.456339e-06,7.425890e-06,7.385831e-06,7.345968e-06,7.306347e-06,7.267008e-06,7.227986e-06,7.189315e-06,7.151023e-06,7.113137e-06,7.075680e-06,7.038673e-06,7.002134e-06,6.966078e-06,6.930518e-06,6.895468e-06,6.860936e-06,6.826931e-06,6.793459e-06,6.760526e-06,6.728135e-06,6.696290e-06,6.664991e-06,6.634240e-06,6.604037e-06,6.574380e-06
0.000000e+00,9.836341e-12,4.841712e-11,5.038934e-10,2.320529e-09,4.628290e-09,2.005733e-08,2.113112e-08,6.602759e-08,8.671344e-08,1.628422e-07,2.582725e-07,3.420780e-07,6.112592e-07,6.404780e-07,1.100091e-06,1.239408e-06,1.766363e-06,2.246696e-06,2.684323e-06,3.731830e-06,3.893359e-06,5.422581e-06,5.768526e-06,7.288464e-06,8.393528e-06,9.494910e-06,1.160666e-05,1.203492e-05,1.489288e-05,1.537827e-05,1.804684e-05,1.965825e-05,2.147035e-05,2.438349e-05,2.513391e-05,2.900606e-05,2.948319e-05,3.305415e-05,3.488250e-05,3.724499e-05,4.050505e-05,4.154537e-05,4.592257e-05,4.627510e-05,5.034476e-05,5.211936e-05,5.478146e-05,5.796861e-05,5.920385e-05,6.358516e-05,6.375920e-05,6.790088e-05,6.943417e-05,7.212899e-05,7.494404e-05,7.625006e-05,8.024728e-05,8.410649e-05,8.531033e-05,8.781610e-05,9.010740e-05,9.136693e-05,9.461992e-05,9.475208e-05,9.796677e-05,9.883590e-05,1.010081e-04,1.027492e-04,1.038750e-04,1.063586e-04,1.065677e-04,1.090878e-04,1.096672e-04,1.114381e-04,1.126814e-04,1.136223e-04,1.154103e-04,1.156446e-04,1.175103e-04,1.178651e-04,1.192246e-04,1.200582e-04,1.207935e-04,1.220034e-04,1.222230e-04,1.235193e-04,1.237148e-04,1.246887e-04,1.252068e-04,1.257375e-04,1.264939e-04,1.266719e-04,1.274981e-04,1.275903e-04,1.282221e-04,1.285098e-04,1.288498e-04,1.292659e-04,1.293868e-04,1.298385e-04,1.298712e-04,1.302104e-04,1.303380e-04,1.305075e-04,1.306778e-04,1.307346e-04,1.308963e-04,1.309015e-04,1.309971e-04,1.310193e-04,1.310412e-04,1.310408e-04,1.310325e-04,1.309748e-04,1.308718e-04,1.308297e-04,1.307267e-04,1.306132e-04,1.305427e-04,1.303324e-04,1.303230e-04,1.300703e-04,1.299940e-04,1.297873e-04,1.296040e-04,1.294765e-04,1.291681e-04,1.291403e-04,1.287809e-04,1.286914e-04,1.284004e-04,1.281789e-04,1.280009e-04,1.276349e-04,1.275840e-04,1.271516e-04,1.270634e-04,1.267052e-04,1.264681e-04,1.262465e-04,1.258525e-04,1.257767e-04,1.252972e-04,1.252197e-04,1.248093e-04,1.245724e-04,1.243141e-04,1.239134e-04,1.238126e-04,1.233060e-04,1.232449e-04,1.227951e-04,1.225692e-04,1.222808e-04,1.218881e-04,1.217639e-04,1.212451e-04,1.212036e-04,1.207252e-04,1.205171e-04,1.202048e-04,1.198302e-04,1.196846e-04,1.191649e-04,1.191442e-04,1.186465e-04,1.184603e-04,1.181297e-04,1.177795e-04,1.176150e-04,1.171028e-04,1.164312e-04,1.157652e-04,1.151058e-04,1.144533e-04,1.138085e-04,1.131717e-04,1.125433e-04,1.119238e-04,1.113134e-04,1.107123e-04,1.101208e-04,1.095391e-04,1.089672e-04,1.084054e-04,1.078536e-04,1.073120e-04,1.067805e-04,1.062592e-04,1.057481e-04,1.052471e-04,1.047562e-04,1.042752e-04,1.038043e-04,1.033431e-04
0.000000e+00,2.770999e-11,6.524661e-11,2.310629e-10,5.330602e-10,7.819452e-10,1.793733e-09,1.848458e-09,3.607395e-09,4.250148e-09,6.254813e-09,8.357585e-09,1.000074e-08,1.456907e-08,1.501971e-08,2.136621e-08,2.307987e-08,2.896055e-08,3.370850e-08,3.766889e-08,4.615371e-08,4.736590e-08,5.794564e-08,6.015908e-08,6.931308e-08,7.550471e-08,8.137543e-08,9.197542e-08,9.403767e-08,1.072012e-07,1.093471e-07,1.207643e-07,1.273865e-07,1.346245e-07,1.458583e-07,1.486804e-07,1.628338e-07,1.645343e-07,1.769927e-07,1.832018e-07,1.910707e-07,2.016680e-07,2.049905e-07,2.186835e-07,2.197673e-07,2.320908e-07,2.373622e-07,2.451622e-07,2.543422e-07,2.578565e-07,2.701410e-07,2.706234e-07,2.819903e-07,2.861458e-07,2.933862e-07,3.008698e-07,3.043163e-07,3.147737e-07,3.247560e-07,3.278501e-07,3.342647e-07,3.401036e-07,3.433043e-07,3.515479e-07,3.518822e-07,3.600078e-07,3.622034e-07,3.676922e-07,3.720961e-07,3.749476e-07,3.812552e-07,3.817875e-07,3.882256e-07,3.897126e-07,3.942766e-07,3.975014e-07,3.999549e-07,4.046553e-07,4.052754e-07,4.102526e-07,4.112081e-07,4.149011e-07,4.171932e-07,4.192353e-07,4.226432e-07,4.232689e-07,4.270158e-07,4.275896e-07,4.304892e-07,4.320630e-07,4.337018e-07,4.360926e-07,4.366662e-07,4.393943e-07,4.397063e-07,4.418976e-07,4.429307e-07,4.441872e-07,4.457910e-07,4.462738e-07,4.481677e-07,4.483111e-07,4.498785e-07,4.505137e-07,4.514156e-07,4.524200e-07,4.527882e-07,4.540046e-07,4.540501e-07,4.550731e-07,4.554231e-07,4.560015e-07,4.565567e-07,4.567974e-07,4.574677e-07,4.580194e-07,4.581720e-07,4.584589e-07,4.586842e-07,4.587924e-07,4.590182e-07,4.590257e-07,4.591645e-07,4.591872e-07,4.592141e-07,4.592032e-07,4.591797e-07,4.590778e-07,4.590659e-07,4.588776e-07,4.588218e-07,4.586190e-07,4.584451e-07,4.582943e-07,4.579571e-07,4.579076e-07,4.574625e-07,4.573668e-07,4.569627e-07,4.566823e-07,4.564116e-07,4.559114e-07,4.558124e-07,4.551683e-07,4.550612e-07,4.544821e-07,4.541387e-07,4.537567e-07,4.531500e-07,4.529948e-07,4.521988e-07,4.521011e-07,4.513711e-07,4.509975e-07,4.505140e-07,4.498443e-07,4.496297e-07,4.487203e-07,4.486465e-07,4.477876e-07,4.474085e-07,4.468336e-07,4.461344e-07,4.458599e-07,4.448683e-07,4.448283e-07,4.438603e-07,4.434937e-07,4.428375e-07,4.421342e-07,4.418012e-07,4.407528e-07,4.393526e-07,4.379364e-07,4.365066e-07,4.350657e-07,4.336160e-07,4.321594e-07,4.306980e-07,4.292336e-07,4.277677e-07,4.263020e-07,4.248378e-07,4.233765e-07,4.219193e-07,4.204674e-07,4.190218e-07,4.175834e-07,4.161532e-07,4.147319e-07,4.133204e-07,4.119192e-07,4.105291e-07,4.091505e-07,4.077841e-07,4.064302e-07
0.000000e+00,1.927548e-10,5.541460e-10,2.436832e-09,6.234496e-09,9.516183e-09,2.353762e-08,2.431767e-08,5.019009e-08,5.996046e-08,9.126170e-08,1.251445e-07,1.521510e-07,2.284713e-07,2.360364e-07,3.420290e-07,3.703216e-07,4.660371e-07,5.417465e-07,6.038813e-07,7.341723e-07,7.524957e-07,9.096456e-07,9.419351e-07,1.073502e-06,1.160802e-06,1.242401e-06,1.387006e-06,1.414749e-06,1.589013e-06,1.616974e-06,1.763735e-06,1.847362e-06,1.937561e-06,2.075152e-06,2.109271e-06,2.277794e-06,2.297758e-06,2.442220e-06,2.513070e-06,2.601798e-06,2.719460e-06,2.755927e-06,2.904150e-06,2.915742e-06,3.046137e-06,3.101134e-06,3.181672e-06,3.275190e-06,3.310633e-06,3.432981e-06,3.437738e-06,3.548745e-06,3.588823e-06,3.658006e-06,3.728652e-06,3.760890e-06,3.857554e-06,3.948182e-06,3.975941e-06,4.032976e-06,4.084281e-06,4.112151e-06,4.183077e-06,4.185928e-06,4.254534e-06,4.272848e-06,4.318197e-06,4.354116e-06,4.377143e-06,4.427398e-06,4.431594e-06,4.481770e-06,4.493200e-06,4.527884e-06,4.552011e-06,4.570142e-06,4.604300e-06,4.608746e-06,4.643887e-06,4.650516e-06,4.675752e-06,4.691087e-06,4.704520e-06,4.726417e-06,4.730361e-06,4.753440e-06,4.756886e-06,4.773912e-06,4.782857e-06,4.791927e-06,4.804665e-06,4.807627e-06,4.821149e-06,4.822631e-06,4.832621e-06,4.837051e-06,4.842166e-06,4.848205e-06,4.849902e-06,4.855940e-06,4.856353e-06,4.860385e-06,4.861740e-06,4.863337e-06,4.864592e-06,4.864892e-06,4.865139e-06,4.865123e-06,4.864165e-06,4.863531e-06,4.862050e-06,4.859999e-06,4.858870e-06,4.854699e-06,4.849606e-06,4.847792e-06,4.843655e-06,4.839426e-06,4.836909e-06,4.829738e-06,4.829425e-06,4.821258e-06,4.818856e-06,4.812461e-06,4.806901e-06,4.803083e-06,4.793981e-06,4.793169e-06,4.782765e-06,4.780200e-06,4.771911e-06,4.765652e-06,4.760647e-06,4.750424e-06,4.749009e-06,4.737032e-06,4.734599e-06,4.724748e-06,4.718250e-06,4.712189e-06,4.701448e-06,4.699384e-06,4.686359e-06,4.684257e-06,4.673141e-06,4.666735e-06,4.659754e-06,4.648937e-06,4.646220e-06,4.632561e-06,4.630914e-06,4.618797e-06,4.612712e-06,4.604946e-06,4.594373e-06,4.591027e-06,4.577056e-06,4.575936e-06,4.563048e-06,4.557438e-06,4.549018e-06,4.538910e-06,4.534980e-06,4.520946e-06,4.520384e-06,4.506927e-06,4.501887e-06,4.492937e-06,4.483444e-06,4.478983e-06,4.465077e-06,4.446808e-06,4.428655e-06,4.410635e-06,4.392765e-06,4.375057e-06,4.357525e-06,4.340179e-06,4.323030e-06,4.306086e-06,4.289356e-06,4.272845e-06,4.256560e-06,4.240506e-06,4.224687e-06,4.209107e-06,4.193769e-06,4.178675e-06,4.163827e-06,4.149226e-06,4.134873e-06,4.120769e-06,4.106912e-06,4.093305e-06,4.079944e-06
0.000000e+00,1.673241e-11,8.631031e-11,9.900769e-10,4.983086e-09,1.043566e-08,5.129182e-08,5.431471e-08,1.921722e-07,2.609942e-07,5.329871e-07,9.039886e-07,1.250328e-06,2.457907e-06,2.596150e-06,4.912865e-06,5.660298e-06,8.642984e-06,1.154918e-05,1.433461e-05,2.148108e-05,2.263948e-05,3.430010e-05,3.710525e-05,5.012502e-05,6.027875e-05,7.095568e-05,9.293577e-05,9.762998e-05,1.309473e-04,1.369446e-04,1.716381e-04,1.939798e-04,2.203389e-04,2.654226e-04,2.775732e-04,3.437388e-04,3.522929e-04,4.190999e-04,4.552096e-04,5.037836e-04,5.743779e-04,5.977815e-04,7.009543e-04,7.095974e-04,8.130388e-04,8.602871e-04,9.336585e-04,1.025524e-03,1.062335e-03,1.198499e-03,1.204093e-03,1.341509e-03,1.394534e-03,1.490660e-03,1.595208e-03,1.645200e-03,1.804345e-03,1.967290e-03,2.020102e-03,2.133220e-03,2.240608e-03,2.301327e-03,2.464017e-03,2.470813e-03,2.640904e-03,2.688536e-03,2.810856e-03,2.912464e-03,2.979961e-03,3.134214e-03,3.147551e-03,3.313007e-03,3.352334e-03,3.475755e-03,3.565515e-03,3.635274e-03,3.772605e-03,3.791094e-03,3.942796e-03,3.972610e-03,4.090015e-03,4.164690e-03,4.232434e-03,4.348159e-03,4.369786e-03,4.501851e-03,4.522478e-03,4.628454e-03,4.687243e-03,4.749462e-03,4.842176e-03,4.864782e-03,4.974355e-03,4.987116e-03,5.078158e-03,5.122004e-03,5.176199e-03,5.246877e-03,5.268512e-03,5.355158e-03,5.361847e-03,5.436219e-03,5.467101e-03,5.511795e-03,5.562880e-03,5.582006e-03,5.646985e-03,5.649477e-03,5.706876e-03,5.727221e-03,5.761835e-03,5.796474e-03,5.812026e-03,5.857619e-03,5.898788e-03,5.911057e-03,5.935712e-03,5.957199e-03,5.968571e-03,5.996458e-03,5.997545e-03,6.022814e-03,6.029250e-03,6.044559e-03,6.055988e-03,6.062956e-03,6.077075e-03,6.078180e-03,6.090401e-03,6.092906e-03,6.099786e-03,6.103864e-03,6.106498e-03,6.110318e-03,6.110694e-03,6.112527e-03,6.112624e-03,6.112146e-03,6.111120e-03,6.109692e-03,6.106129e-03,6.105302e-03,6.099109e-03,6.097959e-03,6.091237e-03,6.086898e-03,6.081807e-03,6.073219e-03,6.070935e-03,6.058729e-03,6.057179e-03,6.045293e-03,6.039018e-03,6.030727e-03,6.018958e-03,6.015124e-03,5.998573e-03,5.997211e-03,5.981159e-03,5.973969e-03,5.962960e-03,5.949414e-03,5.944052e-03,5.924506e-03,5.923712e-03,5.904388e-03,5.897018e-03,5.883761e-03,5.869474e-03,5.862683e-03,5.841210e-03,5.812348e-03,5.782998e-03,5.753260e-03,5.723226e-03,5.692982e-03,5.662602e-03,5.632157e-03,5.601710e-03,5.571317e-03,5.541030e-03,5.510895e-03,5.480952e-03,5.451239e-03,5.421790e-03,5.392633e-03,5.363794e-03,5.335296e-03,5.307158e-03,5.279398e-03,5.252031e-03,5.225068e-03,5.198521e-03,5.172398e-03,5.146707e-03
0.000000e+00,3.947665e-11,2.037083e-10,2.339279e-09,1.179112e-08,2.472004e-08,1.219882e-07,1.292043e-07,4.600436e-07,6.261736e-07,1.287133e-06,2.197026e-06,3.052814e-06,6.068321e-06,6.415784e-06,1.227582e-05,1.417515e-05,2.176560e-05,2.915409e-05,3.621402e-05,5.419811e-05,5.709454e-05,8.596862e-05,9.284290e-05,1.244291e-04,1.487406e-04,1.740459e-04,2.254442e-04,2.363163e-04,3.126194e-04,3.262142e-04,4.041769e-04,4.538540e-04,5.120214e-04,6.105811e-04,6.369710e-04,7.796126e-04,7.979374e-04,9.402928e-04,1.016742e-03,1.119116e-03,1.267083e-03,1.315950e-03,1.530436e-03,1.548341e-03,1.762004e-03,1.859251e-03,2.009896e-03,2.197972e-03,2.273185e-03,2.550801e-03,2.562187e-03,2.841556e-03,2.949199e-03,3.144168e-03,3.356031e-03,3.457289e-03,3.779527e-03,4.109465e-03,4.216440e-03,4.445685e-03,4.663514e-03,4.786784e-03,5.117554e-03,5.131389e-03,5.478170e-03,5.575484e-03,5.825854e-03,6.034392e-03,6.173232e-03,6.491568e-03,6.519164e-03,6.862587e-03,6.944524e-03,7.202519e-03,7.391016e-03,7.538057e-03,7.829045e-03,7.868384e-03,8.192762e-03,8.256865e-03,8.510535e-03,8.672972e-03,8.821125e-03,9.076102e-03,9.124032e-03,9.418824e-03,9.465213e-03,9.705143e-03,9.839478e-03,9.982693e-03,1.019826e-02,1.025124e-02,1.051060e-02,1.054111e-02,1.076066e-02,1.086772e-02,1.100134e-02,1.117795e-02,1.123259e-02,1.145443e-02,1.147177e-02,1.166690e-02,1.174928e-02,1.187008e-02,1.201066e-02,1.206405e-02,1.224897e-02,1.225618e-02,1.242496e-02,1.248617e-02,1.259220e-02,1.270103e-02,1.275088e-02,1.290120e-02,1.304336e-02,1.308716e-02,1.317758e-02,1.325942e-02,1.330409e-02,1.341850e-02,1.342312e-02,1.353491e-02,1.356494e-02,1.363969e-02,1.369929e-02,1.373770e-02,1.382210e-02,1.382918e-02,1.391438e-02,1.393392e-02,1.399352e-02,1.403529e-02,1.406685e-02,1.412674e-02,1.413458e-02,1.419695e-02,1.420880e-02,1.425418e-02,1.428199e-02,1.430649e-02,1.434678e-02,1.435409e-02,1.439718e-02,1.440367e-02,1.443598e-02,1.445312e-02,1.447066e-02,1.449558e-02,1.450142e-02,1.452846e-02,1.453146e-02,1.455193e-02,1.456118e-02,1.457202e-02,1.458513e-02,1.458889e-02,1.460271e-02,1.460368e-02,1.461361e-02,1.461720e-02,1.462176e-02,1.462600e-02,1.462730e-02,1.463035e-02,1.463043e-02,1.463106e-02,1.463077e-02,1.462955e-02,1.462732e-02,1.462594e-02,1.462035e-02,1.461011e-02,1.459686e-02,1.458081e-02,1.456219e-02,1.454120e-02,1.451802e-02,1.449285e-02,1.446584e-02,1.443716e-02,1.440695e-02,1.437537e-02,1.434253e-02,1.430856e-02,1.427358e-02,1.423769e-02,1.420100e-02,1.416360e-02,1.412558e-02,1.408701e-02,1.404799e-02,1.400858e-02,1.396884e-02,1.392884e-02,1.388864e-02
0.000000e+00,1.390561e-10,4.013755e-10,1.770592e-09,4.522979e-09,6.886250e-09,1.681763e-08,1.736246e-08,3.502202e-08,4.150423e-08,6.171130e-08,8.283775e-08,9.929185e-08,1.448932e-07,1.493877e-07,2.127619e-07,2.299054e-07,2.887750e-07,3.362426e-07,3.757127e-07,4.596805e-07,4.715969e-07,5.746183e-07,5.959355e-07,6.831792e-07,7.413343e-07,7.958299e-07,8.926315e-07,9.112270e-07,1.028124e-06,1.046888e-06,1.145378e-06,1.201481e-06,1.261965e-06,1.354149e-06,1.376990e-06,1.489692e-06,1.503029e-06,1.599441e-06,1.646662e-06,1.705734e-06,1.783962e-06,1.808182e-06,1.906500e-06,1.914181e-06,2.000494e-06,2.036851e-06,2.090044e-06,2.151735e-06,2.175096e-06,2.255647e-06,2.258775e-06,2.331737e-06,2.358050e-06,2.403438e-06,2.449737e-06,2.470849e-06,2.534087e-06,2.593285e-06,2.611397e-06,2.648583e-06,2.681995e-06,2.700128e-06,2.746223e-06,2.748074e-06,2.792574e-06,2.804437e-06,2.833781e-06,2.856988e-06,2.871848e-06,2.904224e-06,2.906923e-06,2.939153e-06,2.946481e-06,2.968680e-06,2.984087e-06,2.995643e-06,3.017354e-06,3.020174e-06,3.042402e-06,3.046582e-06,3.062451e-06,3.072055e-06,3.080440e-06,3.094043e-06,3.096484e-06,3.110691e-06,3.112801e-06,3.123167e-06,3.128570e-06,3.134012e-06,3.141578e-06,3.143321e-06,3.151185e-06,3.152036e-06,3.157691e-06,3.160145e-06,3.162923e-06,3.166094e-06,3.166958e-06,3.169872e-06,3.170058e-06,3.171736e-06,3.172202e-06,3.172617e-06,3.172680e-06,3.172581e-06,3.171688e-06,3.171635e-06,3.169995e-06,3.169201e-06,3.167559e-06,3.165504e-06,3.164430e-06,3.160659e-06,3.156292e-06,3.154776e-06,3.151373e-06,3.147954e-06,3.145944e-06,3.140289e-06,3.140044e-06,3.133711e-06,3.131865e-06,3.126980e-06,3.122765e-06,3.119885e-06,3.113063e-06,3.112457e-06,3.104725e-06,3.102828e-06,3.096719e-06,3.092124e-06,3.088463e-06,3.081012e-06,3.079983e-06,3.071302e-06,3.069544e-06,3.062443e-06,3.057773e-06,3.053427e-06,3.045745e-06,3.044272e-06,3.034996e-06,3.033502e-06,3.025618e-06,3.021085e-06,3.016154e-06,3.008530e-06,3.006618e-06,2.997024e-06,2.995870e-06,2.987387e-06,2.983135e-06,2.977717e-06,2.970355e-06,2.968028e-06,2.958330e-06,2.957554e-06,2.948632e-06,2.944756e-06,2.938945e-06,2.931982e-06,2.929277e-06,2.919637e-06,2.919252e-06,2.910032e-06,2.906584e-06,2.900468e-06,2.893993e-06,2.890954e-06,2.881493e-06,2.869099e-06,2.856822e-06,2.844671e-06,2.832657e-06,2.820787e-06,2.809069e-06,2.797510e-06,2.786114e-06,2.774887e-06,2.763833e-06,2.752955e-06,2.742255e-06,2.731737e-06,2.721403e-06,2.711252e-06,2.701287e-06,2.691508e-06,2.681914e-06,2.672506e-06,2.663284e-06,2.654246e-06,2.645392e-06,2.636719e-06,2.628228e-06
0.000000e+00,1.743014e-11,8.587599e-11,8.998019e-10,4.206773e-09,8.503346e-09,3.899742e-08,4.121175e-08,1.416716e-07,1.921879e-07,3.949771e-07,6.759519e-07,9.386791e-07,1.832618e-06,1.931897e-06,3.495046e-06,3.961569e-06,5.671435e-06,7.148119e-06,8.427526e-06,1.126382e-05,1.167598e-05,1.530317e-05,1.606358e-05,1.919125e-05,2.127960e-05,2.323191e-05,2.667589e-05,2.733279e-05,3.141890e-05,3.206717e-05,3.543128e-05,3.731723e-05,3.932444e-05,4.232953e-05,4.306371e-05,4.662305e-05,4.703711e-05,4.998326e-05,5.139501e-05,5.313084e-05,5.537530e-05,5.605713e-05,5.875774e-05,5.896399e-05,6.123205e-05,6.215893e-05,6.348281e-05,6.496799e-05,6.551564e-05,6.733861e-05,6.740730e-05,6.896172e-05,6.949930e-05,7.039647e-05,7.127084e-05,7.165532e-05,7.275132e-05,7.369770e-05,7.397109e-05,7.450756e-05,7.496011e-05,7.519359e-05,7.574693e-05,7.576790e-05,7.624185e-05,7.635803e-05,7.662599e-05,7.681743e-05,7.693000e-05,7.714649e-05,7.716267e-05,7.733195e-05,7.736395e-05,7.744494e-05,7.748602e-05,7.750798e-05,7.752661e-05,7.752669e-05,7.750603e-05,7.749757e-05,7.745039e-05,7.740894e-05,7.736364e-05,7.726921e-05,7.724916e-05,7.710995e-05,7.708556e-05,7.694865e-05,7.686407e-05,7.676758e-05,7.660988e-05,7.656880e-05,7.635413e-05,7.632738e-05,7.612520e-05,7.602033e-05,7.588345e-05,7.569196e-05,7.563019e-05,7.536657e-05,7.534507e-05,7.509365e-05,7.498208e-05,7.481236e-05,7.460515e-05,7.452358e-05,7.422810e-05,7.421615e-05,7.392662e-05,7.381674e-05,7.361980e-05,7.340842e-05,7.330825e-05,7.299252e-05,7.267313e-05,7.257022e-05,7.235054e-05,7.214261e-05,7.202520e-05,7.171066e-05,7.169751e-05,7.136785e-05,7.127524e-05,7.103657e-05,7.083717e-05,7.070401e-05,7.039717e-05,7.037046e-05,7.003620e-05,6.995591e-05,6.970151e-05,6.951398e-05,6.936661e-05,6.907193e-05,6.903175e-05,6.869713e-05,6.863026e-05,6.836296e-05,6.818942e-05,6.802941e-05,6.774984e-05,6.769667e-05,6.736488e-05,6.731190e-05,6.703422e-05,6.687593e-05,6.670480e-05,6.644226e-05,6.637677e-05,6.605024e-05,6.601116e-05,6.572533e-05,6.558290e-05,6.540213e-05,6.515772e-05,6.508076e-05,6.476129e-05,6.473581e-05,6.444381e-05,6.431739e-05,6.412839e-05,6.390261e-05,6.381511e-05,6.350403e-05,6.349163e-05,6.319521e-05,6.308460e-05,6.288871e-05,6.268163e-05,6.258457e-05,6.228284e-05,6.188832e-05,6.149815e-05,6.111241e-05,6.073116e-05,6.035446e-05,5.998235e-05,5.961486e-05,5.925203e-05,5.889388e-05,5.854041e-05,5.819165e-05,5.784759e-05,5.750823e-05,5.717358e-05,5.684360e-05,5.651830e-05,5.619765e-05,5.588164e-05,5.557022e-05,5.526339e-05,5.496111e-05,5.466334e-05,5.437005e-05,5.408121e-05
0.000000e+00,2.935398e-11,1.520538e-10,1.760749e-09,8.948618e-09,1.885221e-08,9.433844e-08,9.998052e-08,3.618953e-07,4.950454e-07,1.031536e-06,1.782242e-06,2.497375e-06,5.063683e-06,5.362899e-06,1.048168e-05,1.216319e-05,1.895817e-05,2.565845e-05,3.211968e-05,4.877084e-05,5.147353e-05,7.865872e-05,8.518610e-05,1.153967e-04,1.388585e-04,1.634432e-04,2.138182e-04,2.245416e-04,3.003797e-04,3.139896e-04,3.925490e-04,4.430256e-04,5.025089e-04,6.041631e-04,6.315552e-04,7.807943e-04,8.001048e-04,9.511229e-04,1.032931e-03,1.143215e-03,1.304040e-03,1.357512e-03,1.594223e-03,1.614129e-03,1.853326e-03,1.963190e-03,2.134577e-03,2.350542e-03,2.437518e-03,2.761500e-03,2.774885e-03,3.105691e-03,3.234362e-03,3.469105e-03,3.726636e-03,3.850614e-03,4.248974e-03,4.662847e-03,4.798334e-03,5.090819e-03,5.371444e-03,5.531422e-03,5.964886e-03,5.983149e-03,6.444479e-03,6.575164e-03,6.913885e-03,7.198775e-03,7.389854e-03,7.832262e-03,7.870898e-03,8.355563e-03,8.472265e-03,8.842445e-03,9.115561e-03,9.330191e-03,9.759096e-03,9.817511e-03,1.030318e-02,1.040001e-02,1.078604e-02,1.103565e-02,1.126501e-02,1.166360e-02,1.173908e-02,1.220733e-02,1.228165e-02,1.266890e-02,1.288785e-02,1.312301e-02,1.348045e-02,1.356895e-02,1.400609e-02,1.405793e-02,1.443388e-02,1.461901e-02,1.485181e-02,1.516258e-02,1.525946e-02,1.565645e-02,1.568774e-02,1.604249e-02,1.619378e-02,1.641732e-02,1.668014e-02,1.678074e-02,1.713260e-02,1.714643e-02,1.747279e-02,1.759239e-02,1.780125e-02,1.801789e-02,1.811796e-02,1.842292e-02,1.871619e-02,1.880758e-02,1.899784e-02,1.917204e-02,1.926796e-02,1.951656e-02,1.952669e-02,1.977417e-02,1.984147e-02,2.001058e-02,2.014717e-02,2.023608e-02,2.043410e-02,2.045089e-02,2.065522e-02,2.070272e-02,2.084929e-02,2.095357e-02,2.103333e-02,2.118718e-02,2.120759e-02,2.137230e-02,2.140412e-02,2.152773e-02,2.160497e-02,2.167413e-02,2.179031e-02,2.181176e-02,2.194087e-02,2.196075e-02,2.206172e-02,2.211688e-02,2.217458e-02,2.225929e-02,2.227971e-02,2.237736e-02,2.238858e-02,2.246778e-02,2.250535e-02,2.255124e-02,2.261015e-02,2.262797e-02,2.269822e-02,2.270357e-02,2.276224e-02,2.278615e-02,2.282026e-02,2.285844e-02,2.287251e-02,2.291921e-02,2.292097e-02,2.296059e-02,2.297423e-02,2.299687e-02,2.301873e-02,2.302826e-02,2.305495e-02,2.308334e-02,2.310436e-02,2.311842e-02,2.312594e-02,2.312731e-02,2.312291e-02,2.311310e-02,2.309823e-02,2.307862e-02,2.305458e-02,2.302643e-02,2.299444e-02,2.295888e-02,2.292001e-02,2.287809e-02,2.283333e-02,2.278596e-02,2.273619e-02,2.268422e-02,2.263023e-02,2.257440e-02,2.251691e-02,2.245790e-02,2.239753e-02
0.000000e+00,1.743140e-11,8.899946e-11,1.000540e-09,4.954215e-09,1.029491e-08,4.986374e-08,5.278147e-08,1.860498e-07,2.529762e-07,5.204775e-07,8.921364e-07,1.244682e-06,2.501231e-06,2.646908e-06,5.112462e-06,5.911690e-06,9.091640e-06,1.215686e-05,1.505471e-05,2.230121e-05,2.345102e-05,3.467919e-05,3.729499e-05,4.906862e-05,5.788692e-05,6.686993e-05,8.458545e-05,8.825170e-05,1.133014e-04,1.176514e-04,1.420288e-04,1.571085e-04,1.743713e-04,2.027634e-04,2.101998e-04,2.493258e-04,2.542316e-04,2.915090e-04,3.109663e-04,3.364651e-04,3.722901e-04,3.838735e-04,4.333863e-04,4.374273e-04,4.846359e-04,5.055373e-04,5.372432e-04,5.757460e-04,5.908250e-04,6.450016e-04,6.471758e-04,6.994025e-04,7.189727e-04,7.536722e-04,7.903284e-04,8.074750e-04,8.604988e-04,9.124578e-04,9.288169e-04,9.630947e-04,9.947023e-04,1.012182e-03,1.057665e-03,1.059523e-03,1.104950e-03,1.117307e-03,1.148326e-03,1.173320e-03,1.189541e-03,1.225479e-03,1.228513e-03,1.265184e-03,1.273639e-03,1.299521e-03,1.317724e-03,1.331510e-03,1.357723e-03,1.361158e-03,1.388486e-03,1.393676e-03,1.413532e-03,1.425670e-03,1.436345e-03,1.453826e-03,1.456985e-03,1.475522e-03,1.478298e-03,1.492032e-03,1.499260e-03,1.506595e-03,1.516903e-03,1.519299e-03,1.530230e-03,1.531427e-03,1.539480e-03,1.543041e-03,1.547139e-03,1.551952e-03,1.553298e-03,1.558047e-03,1.558368e-03,1.561473e-03,1.562493e-03,1.563665e-03,1.564525e-03,1.564704e-03,1.564674e-03,1.564651e-03,1.563651e-03,1.563055e-03,1.561711e-03,1.559905e-03,1.558926e-03,1.555363e-03,1.551089e-03,1.549580e-03,1.546163e-03,1.542695e-03,1.540643e-03,1.534838e-03,1.534586e-03,1.528041e-03,1.526127e-03,1.521056e-03,1.516674e-03,1.513678e-03,1.506578e-03,1.505948e-03,1.497904e-03,1.495931e-03,1.489584e-03,1.484817e-03,1.481022e-03,1.473311e-03,1.472248e-03,1.463293e-03,1.461483e-03,1.454183e-03,1.449393e-03,1.444943e-03,1.437097e-03,1.435596e-03,1.426163e-03,1.424647e-03,1.416664e-03,1.412086e-03,1.407116e-03,1.399454e-03,1.397536e-03,1.387940e-03,1.386787e-03,1.378340e-03,1.374118e-03,1.368749e-03,1.361474e-03,1.359180e-03,1.349641e-03,1.348880e-03,1.340143e-03,1.336357e-03,1.330695e-03,1.323927e-03,1.321303e-03,1.311975e-03,1.311604e-03,1.302718e-03,1.299403e-03,1.293536e-03,1.287338e-03,1.284435e-03,1.275420e-03,1.263657e-03,1.252057e-03,1.240628e-03,1.229374e-03,1.218300e-03,1.207410e-03,1.196705e-03,1.186189e-03,1.175863e-03,1.165727e-03,1.155781e-03,1.146026e-03,1.136460e-03,1.127083e-03,1.117894e-03,1.108890e-03,1.100070e-03,1.091433e-03,1.082975e-03,1.074694e-03,1.066588e-03,1.058655e-03,1.050891e-03,1.043294e-03
0.000000e+00,4.751977e-12,1.088923e-11,3.733712e-11,8.452507e-11,1.229211e-10,2.763180e-10,2.845204e-10,5.443977e-10,6.378561e-10,9.254057e-10,1.222133e-09,1.451593e-09,2.084116e-09,2.146364e-09,3.025694e-09,3.264511e-09,4.088398e-09,4.756601e-09,5.314255e-09,6.504552e-09,6.673758e-09,8.138022e-09,8.441190e-09,9.682225e-09,1.050965e-08,1.128517e-08,1.266327e-08,1.292811e-08,1.459391e-08,1.486148e-08,1.626665e-08,1.706764e-08,1.793155e-08,1.924869e-08,1.957508e-08,2.118503e-08,2.137544e-08,2.275069e-08,2.342315e-08,2.426294e-08,2.537182e-08,2.571423e-08,2.709858e-08,2.720629e-08,2.841153e-08,2.891597e-08,2.964997e-08,3.049445e-08,3.081208e-08,3.189711e-08,3.193891e-08,3.290528e-08,3.324958e-08,3.383759e-08,3.442904e-08,3.469567e-08,3.548165e-08,3.619810e-08,3.641313e-08,3.684785e-08,3.723008e-08,3.743394e-08,3.793965e-08,3.795955e-08,3.842793e-08,3.854926e-08,3.884232e-08,3.906639e-08,3.920595e-08,3.949839e-08,3.952200e-08,3.979353e-08,3.985241e-08,4.002355e-08,4.013530e-08,4.021493e-08,4.035356e-08,4.037041e-08,4.049257e-08,4.051323e-08,4.058390e-08,4.061998e-08,4.064672e-08,4.067907e-08,4.068324e-08,4.069553e-08,4.069538e-08,4.068553e-08,4.067336e-08,4.065507e-08,4.061712e-08,4.060585e-08,4.053946e-08,4.053041e-08,4.045739e-08,4.041667e-08,4.036103e-08,4.027905e-08,4.025169e-08,4.013057e-08,4.012040e-08,3.999878e-08,3.994332e-08,3.985739e-08,3.975017e-08,3.970734e-08,3.954955e-08,3.954309e-08,3.938486e-08,3.932403e-08,3.921403e-08,3.909473e-08,3.903779e-08,3.885679e-08,3.867167e-08,3.861165e-08,3.848298e-08,3.836059e-08,3.829125e-08,3.810478e-08,3.809697e-08,3.790059e-08,3.784528e-08,3.770252e-08,3.758303e-08,3.750314e-08,3.731887e-08,3.730281e-08,3.710185e-08,3.705356e-08,3.690055e-08,3.678778e-08,3.669919e-08,3.652214e-08,3.649802e-08,3.629727e-08,3.625718e-08,3.609714e-08,3.599338e-08,3.589783e-08,3.573117e-08,3.569951e-08,3.550235e-08,3.547092e-08,3.530647e-08,3.521296e-08,3.511203e-08,3.495758e-08,3.491913e-08,3.472787e-08,3.470504e-08,3.453837e-08,3.445556e-08,3.435069e-08,3.420933e-08,3.416492e-08,3.398113e-08,3.396651e-08,3.379937e-08,3.372725e-08,3.361970e-08,3.349165e-08,3.344216e-08,3.326679e-08,3.325982e-08,3.309362e-08,3.303183e-08,3.292269e-08,3.280774e-08,3.275401e-08,3.258761e-08,3.237146e-08,3.215931e-08,3.195118e-08,3.174707e-08,3.154698e-08,3.135088e-08,3.115876e-08,3.097059e-08,3.078633e-08,3.060595e-08,3.042941e-08,3.025666e-08,3.008766e-08,2.992234e-08,2.976067e-08,2.960258e-08,2.944802e-08,2.929693e-08,2.914925e-08,2.900492e-08,2.886388e-08,2.872606e-08,2.859142e-08,2.845987e-08
0.000000e+00,3.340412e-10,9.616306e-10,4.240363e-09,1.087257e-08,1.661247e-08,4.116564e-08,4.253201e-08,8.783952e-08,1.049412e-07,1.597257e-07,2.191252e-07,2.666570e-07,4.026620e-07,4.163166e-07,6.113685e-07,6.645777e-07,8.476142e-07,9.950863e-07,1.117477e-06,1.377083e-06,1.413850e-06,1.731179e-06,1.796763e-06,2.065127e-06,2.244125e-06,2.412065e-06,2.711151e-06,2.768749e-06,3.132174e-06,3.190756e-06,3.499519e-06,3.676460e-06,3.868163e-06,4.162386e-06,4.235697e-06,4.599958e-06,4.643356e-06,4.959040e-06,5.114962e-06,5.311301e-06,5.573598e-06,5.655360e-06,5.990085e-06,6.016431e-06,6.314576e-06,6.441345e-06,6.628138e-06,6.846844e-06,6.930263e-06,7.220599e-06,7.231964e-06,7.498935e-06,7.596177e-06,7.765174e-06,7.939302e-06,8.019314e-06,8.261434e-06,8.491676e-06,8.562876e-06,8.710236e-06,8.844090e-06,8.917348e-06,9.105654e-06,9.113280e-06,9.298322e-06,9.348224e-06,9.472783e-06,9.572514e-06,9.636984e-06,9.779271e-06,9.791255e-06,9.935930e-06,9.969261e-06,1.007134e-05,1.014326e-05,1.019784e-05,1.030203e-05,1.031574e-05,1.042538e-05,1.044634e-05,1.052708e-05,1.057694e-05,1.062117e-05,1.069455e-05,1.070796e-05,1.078776e-05,1.079989e-05,1.086085e-05,1.089364e-05,1.092754e-05,1.097647e-05,1.098810e-05,1.104282e-05,1.104901e-05,1.109195e-05,1.111187e-05,1.113576e-05,1.116565e-05,1.117449e-05,1.120839e-05,1.121090e-05,1.123769e-05,1.124817e-05,1.126261e-05,1.127797e-05,1.128338e-05,1.130019e-05,1.130079e-05,1.131326e-05,1.131709e-05,1.132278e-05,1.132732e-05,1.132894e-05,1.133191e-05,1.133187e-05,1.133124e-05,1.132898e-05,1.132571e-05,1.132340e-05,1.131567e-05,1.131530e-05,1.130481e-05,1.130146e-05,1.129207e-05,1.128341e-05,1.127722e-05,1.126181e-05,1.126039e-05,1.124171e-05,1.123696e-05,1.122129e-05,1.120913e-05,1.119924e-05,1.117858e-05,1.117568e-05,1.115070e-05,1.114554e-05,1.112441e-05,1.111025e-05,1.109690e-05,1.107292e-05,1.106827e-05,1.103859e-05,1.103375e-05,1.100795e-05,1.099292e-05,1.097643e-05,1.095062e-05,1.094410e-05,1.091103e-05,1.090702e-05,1.087730e-05,1.086226e-05,1.084296e-05,1.081650e-05,1.080808e-05,1.077272e-05,1.076987e-05,1.073692e-05,1.072250e-05,1.070075e-05,1.067451e-05,1.066426e-05,1.062748e-05,1.062600e-05,1.059047e-05,1.057709e-05,1.055326e-05,1.052787e-05,1.051590e-05,1.047843e-05,1.042885e-05,1.037921e-05,1.032959e-05,1.028003e-05,1.023062e-05,1.018140e-05,1.013243e-05,1.008375e-05,1.003541e-05,9.987447e-06,9.939895e-06,9.892787e-06,9.846156e-06,9.800026e-06,9.754422e-06,9.709367e-06,9.664878e-06,9.620973e-06,9.577667e-06,9.534972e-06,9.492899e-06,9.451458e-06,9.410657e-06,9.370500e-06
0.000000e+00,2.843229e-10,7.140007e-10,2.704466e-09,6.434512e-09,9.546559e-09,2.234126e-08,2.303730e-08,4.553569e-08,5.380467e-08,7.972763e-08,1.071377e-07,1.287346e-07,1.898299e-07,1.959546e-07,2.843320e-07,3.088743e-07,3.950019e-07,4.662039e-07,5.263095e-07,6.559503e-07,6.744761e-07,8.352331e-07,8.685557e-07,1.004883e-06,1.095622e-06,1.180514e-06,1.330981e-06,1.359842e-06,1.541013e-06,1.570064e-06,1.722464e-06,1.809254e-06,1.902837e-06,2.045554e-06,2.080941e-06,2.255736e-06,2.276444e-06,2.426319e-06,2.499840e-06,2.591928e-06,2.714071e-06,2.751932e-06,2.905826e-06,2.917862e-06,3.053227e-06,3.110303e-06,3.193856e-06,3.290813e-06,3.327536e-06,3.454177e-06,3.459096e-06,3.573761e-06,3.615090e-06,3.686332e-06,3.758923e-06,3.791988e-06,3.890868e-06,3.983143e-06,4.011308e-06,4.069012e-06,4.120706e-06,4.148692e-06,4.219576e-06,4.222413e-06,4.290415e-06,4.308464e-06,4.352942e-06,4.387933e-06,4.410241e-06,4.458549e-06,4.462556e-06,4.510131e-06,4.520870e-06,4.553204e-06,4.575445e-06,4.592007e-06,4.622802e-06,4.626767e-06,4.657702e-06,4.663449e-06,4.685025e-06,4.697873e-06,4.708939e-06,4.726535e-06,4.729639e-06,4.747312e-06,4.749871e-06,4.762138e-06,4.768294e-06,4.774288e-06,4.782192e-06,4.783926e-06,4.791206e-06,4.791928e-06,4.796277e-06,4.797845e-06,4.799280e-06,4.800262e-06,4.800349e-06,4.799611e-06,4.799477e-06,4.797186e-06,4.795770e-06,4.793190e-06,4.789401e-06,4.787730e-06,4.780910e-06,4.780610e-06,4.772826e-06,4.769624e-06,4.763570e-06,4.756651e-06,4.753230e-06,4.741887e-06,4.729620e-06,4.725511e-06,4.716502e-06,4.707691e-06,4.702601e-06,4.688582e-06,4.687985e-06,4.672713e-06,4.668328e-06,4.656845e-06,4.647060e-06,4.640434e-06,4.624902e-06,4.623533e-06,4.606191e-06,4.601968e-06,4.588452e-06,4.578361e-06,4.570360e-06,4.554178e-06,4.551955e-06,4.533275e-06,4.529509e-06,4.514355e-06,4.504434e-06,4.495230e-06,4.479029e-06,4.475930e-06,4.456485e-06,4.453363e-06,4.436923e-06,4.427499e-06,4.417268e-06,4.401495e-06,4.397546e-06,4.377779e-06,4.375405e-06,4.357987e-06,4.349276e-06,4.338191e-06,4.323154e-06,4.318409e-06,4.298657e-06,4.297078e-06,4.278952e-06,4.271086e-06,4.259308e-06,4.245210e-06,4.239739e-06,4.220257e-06,4.219480e-06,4.200875e-06,4.193924e-06,4.181603e-06,4.168566e-06,4.162451e-06,4.143429e-06,4.118531e-06,4.093892e-06,4.069525e-06,4.045446e-06,4.021665e-06,3.998194e-06,3.975042e-06,3.952217e-06,3.929725e-06,3.907572e-06,3.885762e-06,3.864298e-06,3.843184e-06,3.822422e-06,3.802012e-06,3.781955e-06,3.762250e-06,3.742898e-06,3.723897e-06,3.705246e-06,3.686942e-06,3.668984e-06,3.651368e-06,3.634091e-06
0.000000e+00,1.317403e-10,3.680307e-10,1.568666e-09,3.954681e-09,6.000559e-09,1.464099e-08,1.511763e-08,3.072523e-08,3.653018e-08,5.487564e-08,7.444211e-08,8.994438e-08,1.340849e-07,1.385287e-07,2.029654e-07,2.209577e-07,2.844414e-07,3.373546e-07,3.823531e-07,4.805368e-07,4.947001e-07,6.190728e-07,6.451924e-07,7.532998e-07,8.263856e-07,8.955950e-07,1.020273e-06,1.044484e-06,1.198697e-06,1.223787e-06,1.357095e-06,1.434303e-06,1.518631e-06,1.649462e-06,1.682330e-06,1.847284e-06,1.867123e-06,2.012660e-06,2.085360e-06,2.177697e-06,2.302475e-06,2.341712e-06,2.504103e-06,2.517008e-06,2.664346e-06,2.727739e-06,2.821993e-06,2.933678e-06,2.976669e-06,3.128060e-06,3.134044e-06,3.275908e-06,3.328227e-06,3.420019e-06,3.515800e-06,3.560239e-06,3.696459e-06,3.828607e-06,3.870026e-06,3.956639e-06,4.036411e-06,4.080538e-06,4.195596e-06,4.200308e-06,4.315970e-06,4.347625e-06,4.427564e-06,4.492588e-06,4.535140e-06,4.630612e-06,4.638757e-06,4.738484e-06,4.761848e-06,4.834397e-06,4.886471e-06,4.926574e-06,5.004667e-06,5.015100e-06,5.100061e-06,5.116633e-06,5.181546e-06,5.222574e-06,5.259644e-06,5.322695e-06,5.334446e-06,5.406042e-06,5.417206e-06,5.474524e-06,5.506316e-06,5.539982e-06,5.590230e-06,5.602504e-06,5.662180e-06,5.669154e-06,5.719096e-06,5.743286e-06,5.773338e-06,5.812825e-06,5.824990e-06,5.874136e-06,5.877962e-06,5.920857e-06,5.938884e-06,5.965232e-06,5.995773e-06,6.007339e-06,6.047254e-06,6.048806e-06,6.085051e-06,6.098154e-06,6.120803e-06,6.143982e-06,6.154580e-06,6.186452e-06,6.216484e-06,6.225717e-06,6.244743e-06,6.261927e-06,6.271291e-06,6.295225e-06,6.296191e-06,6.319501e-06,6.325752e-06,6.341282e-06,6.353639e-06,6.361588e-06,6.379016e-06,6.380476e-06,6.397998e-06,6.402005e-06,6.414205e-06,6.422726e-06,6.429149e-06,6.441292e-06,6.442877e-06,6.455436e-06,6.457812e-06,6.466873e-06,6.472391e-06,6.477231e-06,6.485130e-06,6.486554e-06,6.494882e-06,6.496125e-06,6.502255e-06,6.505467e-06,6.508713e-06,6.513246e-06,6.514294e-06,6.519032e-06,6.519546e-06,6.522964e-06,6.524447e-06,6.526123e-06,6.528027e-06,6.528542e-06,6.530253e-06,6.530361e-06,6.531287e-06,6.531518e-06,6.531673e-06,6.531566e-06,6.531440e-06,6.530615e-06,6.530570e-06,6.529225e-06,6.528592e-06,6.527296e-06,6.525689e-06,6.524853e-06,6.521919e-06,6.517335e-06,6.511989e-06,6.505927e-06,6.499198e-06,6.491846e-06,6.483911e-06,6.475436e-06,6.466458e-06,6.457012e-06,6.447135e-06,6.436858e-06,6.426214e-06,6.415231e-06,6.403939e-06,6.392363e-06,6.380530e-06,6.368464e-06,6.356187e-06,6.343721e-06,6.331088e-06,6.318306e-06,6.305394e-06,6.292369e-06,6.279249e-06
0.000000e+00,2.921524e-11,7.051429e-11,2.558508e-10,5.953722e-10,8.748957e-10,2.002030e-09,2.062509e-09,3.979262e-09,4.667061e-09,6.773424e-09,8.929073e-09,1.058350e-08,1.509672e-08,1.553797e-08,2.174723e-08,2.343332e-08,2.928291e-08,3.408859e-08,3.815451e-08,4.702626e-08,4.830998e-08,5.966181e-08,6.206705e-08,7.211032e-08,7.898281e-08,8.555229e-08,9.753352e-08,9.988125e-08,1.149863e-07,1.174675e-07,1.307520e-07,1.385192e-07,1.470590e-07,1.604127e-07,1.637858e-07,1.808112e-07,1.828686e-07,1.980163e-07,2.056139e-07,2.152869e-07,2.283897e-07,2.325151e-07,2.496011e-07,2.509591e-07,2.664542e-07,2.731119e-07,2.829937e-07,2.946679e-07,2.991490e-07,3.148598e-07,3.154783e-07,3.300760e-07,3.354246e-07,3.447569e-07,3.544176e-07,3.588708e-07,3.723945e-07,3.853120e-07,3.893159e-07,3.976140e-07,4.051623e-07,4.092969e-07,4.199314e-07,4.203622e-07,4.308159e-07,4.336346e-07,4.406675e-07,4.462946e-07,4.499295e-07,4.579424e-07,4.586166e-07,4.667458e-07,4.686158e-07,4.743353e-07,4.783569e-07,4.814045e-07,4.872108e-07,4.879733e-07,4.940625e-07,4.952246e-07,4.996926e-07,5.024458e-07,5.048845e-07,5.089222e-07,5.096589e-07,5.140361e-07,5.147009e-07,5.180359e-07,5.198275e-07,5.216778e-07,5.243463e-07,5.249806e-07,5.279625e-07,5.282996e-07,5.306412e-07,5.317281e-07,5.330336e-07,5.346704e-07,5.351560e-07,5.370239e-07,5.371628e-07,5.386523e-07,5.392398e-07,5.400553e-07,5.409336e-07,5.412466e-07,5.422390e-07,5.422747e-07,5.430448e-07,5.432915e-07,5.436758e-07,5.440107e-07,5.441430e-07,5.444570e-07,5.446278e-07,5.446537e-07,5.446647e-07,5.446223e-07,5.445768e-07,5.443829e-07,5.443726e-07,5.440600e-07,5.439541e-07,5.436467e-07,5.433533e-07,5.431398e-07,5.425966e-07,5.425460e-07,5.418719e-07,5.416988e-07,5.411233e-07,5.406738e-07,5.403061e-07,5.395343e-07,5.394255e-07,5.384866e-07,5.382923e-07,5.374942e-07,5.369586e-07,5.364529e-07,5.355434e-07,5.353668e-07,5.342399e-07,5.340560e-07,5.330759e-07,5.325051e-07,5.318785e-07,5.308987e-07,5.306509e-07,5.293963e-07,5.292441e-07,5.281175e-07,5.275480e-07,5.268175e-07,5.258167e-07,5.254986e-07,5.241634e-07,5.240560e-07,5.228142e-07,5.222711e-07,5.214531e-07,5.204669e-07,5.200821e-07,5.187031e-07,5.186478e-07,5.173178e-07,5.168179e-07,5.159279e-07,5.149809e-07,5.145349e-07,5.131403e-07,5.112992e-07,5.094604e-07,5.076265e-07,5.058000e-07,5.039829e-07,5.021771e-07,5.003845e-07,4.986067e-07,4.968450e-07,4.951007e-07,4.933750e-07,4.916689e-07,4.899832e-07,4.883189e-07,4.866765e-07,4.850568e-07,4.834601e-07,4.818870e-07,4.803377e-07,4.788127e-07,4.773120e-07,4.758360e-07,4.743848e-07,4.729583e-07
0.000000e+00,4.310374e-11,1.985234e-10,1.808614e-09,7.420543e-09,1.392498e-08,5.198325e-08,5.444903e-08,1.486137e-07,1.885412e-07,3.259664e-07,4.856850e-07,6.189255e-07,1.020634e-06,1.062533e-06,1.693759e-06,1.877216e-06,2.547863e-06,3.133913e-06,3.651151e-06,4.837130e-06,5.014392e-06,6.631946e-06,6.984570e-06,8.486283e-06,9.536423e-06,1.055393e-05,1.243724e-05,1.280980e-05,1.522935e-05,1.563008e-05,1.778914e-05,1.906103e-05,2.046670e-05,2.267886e-05,2.324020e-05,2.608822e-05,2.643399e-05,2.898970e-05,3.027795e-05,3.192402e-05,3.416379e-05,3.487128e-05,3.781243e-05,3.804692e-05,4.072966e-05,4.188612e-05,4.360651e-05,4.564442e-05,4.642810e-05,4.918125e-05,4.928979e-05,5.185455e-05,5.279547e-05,5.443832e-05,5.614003e-05,5.692463e-05,5.930716e-05,6.158112e-05,6.228527e-05,6.374316e-05,6.506711e-05,6.579118e-05,6.764913e-05,6.772424e-05,6.954237e-05,7.003096e-05,7.124647e-05,7.221484e-05,7.283815e-05,7.420512e-05,7.431964e-05,7.569365e-05,7.600776e-05,7.696329e-05,7.762996e-05,7.813197e-05,7.907979e-05,7.920335e-05,8.018122e-05,8.036592e-05,8.106951e-05,8.149732e-05,8.187216e-05,8.248312e-05,8.259315e-05,8.323643e-05,8.333240e-05,8.380589e-05,8.405415e-05,8.430538e-05,8.465710e-05,8.473862e-05,8.510926e-05,8.514970e-05,8.542082e-05,8.554007e-05,8.567670e-05,8.583597e-05,8.588020e-05,8.603447e-05,8.604478e-05,8.614253e-05,8.617347e-05,8.620729e-05,8.622865e-05,8.623149e-05,8.621780e-05,8.621649e-05,8.616871e-05,8.614284e-05,8.608663e-05,8.601314e-05,8.597384e-05,8.583249e-05,8.566464e-05,8.560565e-05,8.547223e-05,8.533705e-05,8.525709e-05,8.503081e-05,8.502099e-05,8.476555e-05,8.469078e-05,8.449235e-05,8.432052e-05,8.420285e-05,8.392332e-05,8.389845e-05,8.358044e-05,8.350224e-05,8.325008e-05,8.306011e-05,8.290851e-05,8.259954e-05,8.255684e-05,8.219611e-05,8.212296e-05,8.182727e-05,8.163258e-05,8.145124e-05,8.113045e-05,8.106888e-05,8.068098e-05,8.061846e-05,8.028831e-05,8.009834e-05,7.989156e-05,7.957168e-05,7.949141e-05,7.908846e-05,7.903994e-05,7.868329e-05,7.850446e-05,7.827646e-05,7.796645e-05,7.786845e-05,7.745975e-05,7.742704e-05,7.705079e-05,7.688722e-05,7.664197e-05,7.634793e-05,7.623368e-05,7.582627e-05,7.581000e-05,7.542006e-05,7.527418e-05,7.501537e-05,7.474118e-05,7.461246e-05,7.421160e-05,7.368600e-05,7.316488e-05,7.264868e-05,7.213780e-05,7.163258e-05,7.113333e-05,7.064033e-05,7.015379e-05,6.967393e-05,6.920092e-05,6.873488e-05,6.827595e-05,6.782422e-05,6.737976e-05,6.694262e-05,6.651284e-05,6.609043e-05,6.567541e-05,6.526777e-05,6.486748e-05,6.447452e-05,6.408884e-05,6.371039e-05,6.333912e-05
0.000000e+00,1.736102e-10,4.467591e-10,1.738487e-09,4.189172e-09,6.242536e-09,1.468584e-08,1.514412e-08,2.985700e-08,3.521028e-08,5.179687e-08,6.902232e-08,8.238048e-08,1.192259e-07,1.228475e-07,1.738423e-07,1.876447e-07,2.352261e-07,2.739360e-07,3.064426e-07,3.767520e-07,3.868690e-07,4.758815e-07,4.946570e-07,5.728151e-07,6.261090e-07,6.769309e-07,7.693421e-07,7.874106e-07,9.033681e-07,9.223678e-07,1.023872e-06,1.083050e-06,1.147973e-06,1.249208e-06,1.274727e-06,1.403222e-06,1.418717e-06,1.532596e-06,1.589592e-06,1.662052e-06,1.760045e-06,1.790866e-06,1.918392e-06,1.928522e-06,2.044070e-06,2.093713e-06,2.167417e-06,2.254552e-06,2.288026e-06,2.405565e-06,2.410198e-06,2.519764e-06,2.560017e-06,2.630416e-06,2.703552e-06,2.737364e-06,2.840498e-06,2.939748e-06,2.970681e-06,3.035077e-06,3.094026e-06,3.126478e-06,3.210544e-06,3.213969e-06,3.297586e-06,3.320312e-06,3.377386e-06,3.423461e-06,3.453435e-06,3.520155e-06,3.525812e-06,3.594604e-06,3.610591e-06,3.659904e-06,3.694983e-06,3.721810e-06,3.773560e-06,3.780423e-06,3.835848e-06,3.846559e-06,3.888188e-06,3.914221e-06,3.937549e-06,3.976788e-06,3.984037e-06,4.027755e-06,4.034500e-06,4.068807e-06,4.087595e-06,4.107295e-06,4.136305e-06,4.143318e-06,4.176973e-06,4.180858e-06,4.208358e-06,4.221472e-06,4.237565e-06,4.258361e-06,4.264684e-06,4.289805e-06,4.291731e-06,4.313014e-06,4.321780e-06,4.334392e-06,4.348697e-06,4.354022e-06,4.371981e-06,4.372666e-06,4.388345e-06,4.393859e-06,4.403186e-06,4.412445e-06,4.416577e-06,4.428583e-06,4.439272e-06,4.442425e-06,4.448707e-06,4.454115e-06,4.456948e-06,4.463791e-06,4.464055e-06,4.470083e-06,4.471585e-06,4.475088e-06,4.477621e-06,4.479121e-06,4.482017e-06,4.482233e-06,4.484473e-06,4.484886e-06,4.485886e-06,4.486333e-06,4.486517e-06,4.486460e-06,4.486409e-06,4.485603e-06,4.485362e-06,4.484139e-06,4.483129e-06,4.482053e-06,4.479847e-06,4.479382e-06,4.476161e-06,4.475596e-06,4.472422e-06,4.470453e-06,4.468198e-06,4.464490e-06,4.463519e-06,4.458413e-06,4.457773e-06,4.452909e-06,4.450368e-06,4.447033e-06,4.442334e-06,4.440810e-06,4.434265e-06,4.433728e-06,4.427421e-06,4.424604e-06,4.420299e-06,4.415011e-06,4.412921e-06,4.405306e-06,4.404997e-06,4.397475e-06,4.394606e-06,4.389444e-06,4.383879e-06,4.381232e-06,4.372855e-06,4.361571e-06,4.350061e-06,4.338356e-06,4.326488e-06,4.314482e-06,4.302366e-06,4.290164e-06,4.277898e-06,4.265589e-06,4.253257e-06,4.240919e-06,4.228592e-06,4.216293e-06,4.204034e-06,4.191830e-06,4.179692e-06,4.167632e-06,4.155660e-06,4.143784e-06,4.132015e-06,4.120358e-06,4.108822e-06,4.097412e-06,4.086135e-06
0.000000e+00,2.267793e-11,1.082653e-10,1.059252e-09,4.620985e-09,8.955492e-09,3.616809e-08,3.800003e-08,1.114378e-07,1.440281e-07,2.605016e-07,4.019773e-07,5.237491e-07,9.060217e-07,9.469567e-07,1.581655e-06,1.771288e-06,2.479095e-06,3.112302e-06,3.679906e-06,5.005098e-06,5.205516e-06,7.056501e-06,7.464559e-06,9.216947e-06,1.045430e-05,1.166091e-05,1.391070e-05,1.435793e-05,1.727647e-05,1.776192e-05,2.038567e-05,2.193704e-05,2.365583e-05,2.636861e-05,2.705837e-05,3.056559e-05,3.099221e-05,3.415061e-05,3.574590e-05,3.778727e-05,4.057006e-05,4.145027e-05,4.511539e-05,4.540800e-05,4.875974e-05,5.020682e-05,5.236198e-05,5.491848e-05,5.590259e-05,5.936401e-05,5.950060e-05,6.273081e-05,6.391707e-05,6.598970e-05,6.813834e-05,6.912954e-05,7.214129e-05,7.501785e-05,7.590891e-05,7.775402e-05,7.942979e-05,8.034625e-05,8.269750e-05,8.279253e-05,8.509221e-05,8.570990e-05,8.724581e-05,8.846846e-05,8.925487e-05,9.097759e-05,9.112178e-05,9.284963e-05,9.324403e-05,9.444212e-05,9.527632e-05,9.590339e-05,9.708432e-05,9.723792e-05,9.845049e-05,9.867879e-05,9.954602e-05,1.000711e-04,1.005296e-04,1.012729e-04,1.014062e-04,1.021811e-04,1.022960e-04,1.028593e-04,1.031520e-04,1.034459e-04,1.038524e-04,1.039456e-04,1.043634e-04,1.044083e-04,1.047039e-04,1.048304e-04,1.049717e-04,1.051291e-04,1.051710e-04,1.053061e-04,1.053142e-04,1.053810e-04,1.053950e-04,1.053996e-04,1.053803e-04,1.053657e-04,1.052828e-04,1.052785e-04,1.051542e-04,1.050974e-04,1.049833e-04,1.048444e-04,1.047730e-04,1.045263e-04,1.042459e-04,1.041495e-04,1.039345e-04,1.037201e-04,1.035946e-04,1.032436e-04,1.032285e-04,1.028385e-04,1.027253e-04,1.024266e-04,1.021698e-04,1.019949e-04,1.015818e-04,1.015452e-04,1.010793e-04,1.009652e-04,1.005988e-04,1.003240e-04,1.001054e-04,9.966156e-05,9.960041e-05,9.908533e-05,9.898122e-05,9.856143e-05,9.828592e-05,9.802992e-05,9.757841e-05,9.749194e-05,9.694856e-05,9.686118e-05,9.640077e-05,9.613654e-05,9.584951e-05,9.540658e-05,9.529564e-05,9.473999e-05,9.467323e-05,9.418330e-05,9.393821e-05,9.362627e-05,9.320311e-05,9.306956e-05,9.251378e-05,9.246937e-05,9.195947e-05,9.173828e-05,9.140716e-05,9.101101e-05,9.085733e-05,9.031042e-05,9.028861e-05,8.976683e-05,8.957202e-05,8.922692e-05,8.886207e-05,8.869105e-05,8.815953e-05,8.746503e-05,8.677916e-05,8.610243e-05,8.543528e-05,8.477808e-05,8.413115e-05,8.349476e-05,8.286913e-05,8.225443e-05,8.165080e-05,8.105833e-05,8.047710e-05,7.990714e-05,7.934846e-05,7.880105e-05,7.826487e-05,7.773987e-05,7.722596e-05,7.672306e-05,7.623106e-05,7.574984e-05,7.527928e-05,7.481923e-05,7.436955e-05
0.000000e+00,1.010822e-11,2.305059e-11,7.860891e-11,1.775932e-10,2.582038e-10,5.817019e-10,5.990763e-10,1.153864e-09,1.355407e-09,1.981815e-09,2.637210e-09,3.149416e-09,4.580197e-09,4.722173e-09,6.740862e-09,7.291385e-09,9.189165e-09,1.071971e-08,1.198682e-08,1.465049e-08,1.502407e-08,1.820014e-08,1.884478e-08,2.143738e-08,2.312537e-08,2.467883e-08,2.737351e-08,2.788201e-08,3.101405e-08,3.150675e-08,3.404882e-08,3.546464e-08,3.696538e-08,3.920225e-08,3.974716e-08,4.238150e-08,4.268724e-08,4.485932e-08,4.589837e-08,4.717480e-08,4.882412e-08,4.932505e-08,5.130971e-08,5.146137e-08,5.313056e-08,5.381379e-08,5.479117e-08,5.589029e-08,5.629644e-08,5.765249e-08,5.770373e-08,5.886625e-08,5.926980e-08,5.994517e-08,6.060576e-08,6.089699e-08,6.172962e-08,6.245096e-08,6.265956e-08,6.306879e-08,6.341339e-08,6.359069e-08,6.400825e-08,6.402397e-08,6.437564e-08,6.446039e-08,6.465233e-08,6.478500e-08,6.486036e-08,6.499620e-08,6.500565e-08,6.509375e-08,6.510697e-08,6.512987e-08,6.512920e-08,6.511883e-08,6.507371e-08,6.506515e-08,6.497301e-08,6.495031e-08,6.484626e-08,6.476788e-08,6.468849e-08,6.453440e-08,6.450298e-08,6.429279e-08,6.425705e-08,6.406070e-08,6.394228e-08,6.380928e-08,6.359583e-08,6.354091e-08,6.325773e-08,6.322286e-08,6.296175e-08,6.282792e-08,6.265475e-08,6.241511e-08,6.233842e-08,6.201426e-08,6.198803e-08,6.168366e-08,6.154990e-08,6.134787e-08,6.110353e-08,6.100803e-08,6.066519e-08,6.065143e-08,6.032030e-08,6.019580e-08,5.997420e-08,5.973857e-08,5.962768e-08,5.928143e-08,5.893607e-08,5.882585e-08,5.859219e-08,5.837311e-08,5.825028e-08,5.792432e-08,5.791080e-08,5.757415e-08,5.748045e-08,5.724070e-08,5.704229e-08,5.691075e-08,5.661055e-08,5.658461e-08,5.626250e-08,5.618582e-08,5.594465e-08,5.576858e-08,5.563124e-08,5.535923e-08,5.532242e-08,5.501835e-08,5.495811e-08,5.471912e-08,5.456547e-08,5.442483e-08,5.418151e-08,5.413556e-08,5.385137e-08,5.380637e-08,5.357228e-08,5.344015e-08,5.329835e-08,5.308291e-08,5.302957e-08,5.276597e-08,5.273468e-08,5.250753e-08,5.239545e-08,5.225424e-08,5.206517e-08,5.200608e-08,5.176302e-08,5.174379e-08,5.152502e-08,5.143123e-08,5.129204e-08,5.112738e-08,5.106404e-08,5.084096e-08,5.083214e-08,5.062275e-08,5.054537e-08,5.040934e-08,5.026693e-08,5.020067e-08,4.999668e-08,4.973446e-08,4.948011e-08,4.923346e-08,4.899435e-08,4.876260e-08,4.853803e-08,4.832047e-08,4.810974e-08,4.790567e-08,4.770809e-08,4.751681e-08,4.733167e-08,4.715250e-08,4.697912e-08,4.681137e-08,4.664909e-08,4.649213e-08,4.634031e-08,4.619349e-08,4.605151e-08,4.591423e-08,4.578151e-08,4.565320e-08,4.552917e-08
0.000000e+00,1.386958e-10,5.528103e-10,3.869196e-09,1.298983e-08,2.215995e-08,6.756556e-08,7.027744e-08,1.661861e-07,2.044848e-07,3.319759e-07,4.760353e-07,5.943970e-07,9.433807e-07,9.790739e-07,1.499065e-06,1.643928e-06,2.151643e-06,2.571250e-06,2.926644e-06,3.701967e-06,3.814134e-06,4.806496e-06,5.017007e-06,5.897687e-06,6.502318e-06,7.082134e-06,8.144880e-06,8.353994e-06,9.706798e-06,9.930289e-06,1.113339e-05,1.184210e-05,1.262601e-05,1.386213e-05,1.417644e-05,1.577621e-05,1.597110e-05,1.741684e-05,1.814949e-05,1.908996e-05,2.037832e-05,2.078755e-05,2.250201e-05,2.263968e-05,2.422627e-05,2.491724e-05,2.595384e-05,2.719642e-05,2.767885e-05,2.939606e-05,2.946452e-05,3.110085e-05,3.171074e-05,3.278917e-05,3.392601e-05,3.445751e-05,3.610288e-05,3.772274e-05,3.823534e-05,3.931494e-05,4.031860e-05,4.087772e-05,4.234895e-05,4.240962e-05,4.390948e-05,4.432357e-05,4.537638e-05,4.624040e-05,4.680961e-05,4.809801e-05,4.820867e-05,4.957318e-05,4.989550e-05,5.090294e-05,5.163239e-05,5.219785e-05,5.330854e-05,5.345791e-05,5.468321e-05,5.492412e-05,5.587393e-05,5.647951e-05,5.703029e-05,5.797530e-05,5.815259e-05,5.924117e-05,5.941223e-05,6.029639e-05,6.079117e-05,6.131867e-05,6.211308e-05,6.230846e-05,6.326622e-05,6.337902e-05,6.419243e-05,6.459010e-05,6.508760e-05,6.574749e-05,6.595225e-05,6.678691e-05,6.685240e-05,6.759212e-05,6.790608e-05,6.836843e-05,6.890978e-05,6.911638e-05,6.983655e-05,6.986478e-05,7.052948e-05,7.077238e-05,7.119574e-05,7.163385e-05,7.183590e-05,7.245050e-05,7.304012e-05,7.322362e-05,7.360531e-05,7.395447e-05,7.414662e-05,7.464433e-05,7.466460e-05,7.515980e-05,7.529445e-05,7.563276e-05,7.590609e-05,7.608402e-05,7.648045e-05,7.651409e-05,7.692351e-05,7.701876e-05,7.731279e-05,7.752219e-05,7.768245e-05,7.799191e-05,7.803298e-05,7.836488e-05,7.842907e-05,7.867864e-05,7.883479e-05,7.897475e-05,7.921017e-05,7.925366e-05,7.951585e-05,7.955628e-05,7.976178e-05,7.987418e-05,7.999189e-05,8.016489e-05,8.020663e-05,8.040643e-05,8.042942e-05,8.059172e-05,8.066875e-05,8.076290e-05,8.088383e-05,8.092040e-05,8.106461e-05,8.107559e-05,8.119593e-05,8.124493e-05,8.131474e-05,8.139275e-05,8.142142e-05,8.151633e-05,8.151989e-05,8.159985e-05,8.162719e-05,8.167232e-05,8.171546e-05,8.173409e-05,8.178549e-05,8.183804e-05,8.187386e-05,8.189366e-05,8.189814e-05,8.188797e-05,8.186382e-05,8.182632e-05,8.177608e-05,8.171369e-05,8.163974e-05,8.155478e-05,8.145934e-05,8.135395e-05,8.123912e-05,8.111531e-05,8.098301e-05,8.084267e-05,8.069472e-05,8.053958e-05,8.037766e-05,8.020936e-05,8.003504e-05,7.985508e-05,7.966982e-05
0.000000e+00,1.532240e-11,7.853593e-11,8.897306e-10,4.433501e-09,9.241271e-09,4.503757e-08,4.768178e-08,1.685081e-07,2.291186e-07,4.706249e-07,8.042098e-07,1.118801e-06,2.229164e-06,2.357035e-06,4.504165e-06,5.195354e-06,7.932853e-06,1.056137e-05,1.304292e-05,1.925047e-05,2.023673e-05,2.989900e-05,3.215932e-05,4.238116e-05,5.009004e-05,5.798947e-05,7.370256e-05,7.697611e-05,9.953291e-05,1.034828e-04,1.257874e-04,1.397234e-04,1.558006e-04,1.825164e-04,1.895676e-04,2.270188e-04,2.317549e-04,2.680238e-04,2.871458e-04,3.123965e-04,3.482286e-04,3.599011e-04,4.102597e-04,4.144025e-04,4.631599e-04,4.849564e-04,5.182628e-04,5.591009e-04,5.752114e-04,6.336385e-04,6.360011e-04,6.931736e-04,7.148066e-04,7.534502e-04,7.946791e-04,8.141113e-04,8.748147e-04,9.352371e-04,9.544630e-04,9.950774e-04,1.032941e-03,1.054059e-03,1.109642e-03,1.111932e-03,1.168474e-03,1.184040e-03,1.223489e-03,1.255695e-03,1.276810e-03,1.324246e-03,1.328294e-03,1.377827e-03,1.389414e-03,1.425316e-03,1.450991e-03,1.470693e-03,1.508839e-03,1.513910e-03,1.554937e-03,1.562878e-03,1.593762e-03,1.613082e-03,1.630389e-03,1.659470e-03,1.664836e-03,1.697130e-03,1.702100e-03,1.727311e-03,1.741061e-03,1.755427e-03,1.776469e-03,1.781532e-03,1.805686e-03,1.808457e-03,1.827956e-03,1.837174e-03,1.848408e-03,1.862781e-03,1.867116e-03,1.884150e-03,1.885443e-03,1.899586e-03,1.905329e-03,1.913497e-03,1.922609e-03,1.925956e-03,1.937037e-03,1.937452e-03,1.946810e-03,1.950023e-03,1.955347e-03,1.960480e-03,1.962715e-03,1.968980e-03,1.974206e-03,1.975669e-03,1.978455e-03,1.980688e-03,1.981785e-03,1.984171e-03,1.984254e-03,1.985916e-03,1.986244e-03,1.986822e-03,1.987024e-03,1.987022e-03,1.986622e-03,1.986562e-03,1.985488e-03,1.985143e-03,1.983840e-03,1.982682e-03,1.981659e-03,1.979329e-03,1.978983e-03,1.975847e-03,1.975167e-03,1.972284e-03,1.970273e-03,1.968327e-03,1.964719e-03,1.964004e-03,1.959345e-03,1.958570e-03,1.954375e-03,1.951886e-03,1.949119e-03,1.944724e-03,1.943601e-03,1.937842e-03,1.937135e-03,1.931862e-03,1.929167e-03,1.925682e-03,1.920862e-03,1.919319e-03,1.912790e-03,1.912261e-03,1.906110e-03,1.903400e-03,1.899296e-03,1.894314e-03,1.892360e-03,1.885316e-03,1.885032e-03,1.878175e-03,1.875584e-03,1.870950e-03,1.865994e-03,1.863651e-03,1.856288e-03,1.846486e-03,1.836608e-03,1.826673e-03,1.816698e-03,1.806696e-03,1.796683e-03,1.786671e-03,1.776672e-03,1.766695e-03,1.756751e-03,1.746848e-03,1.736994e-03,1.727197e-03,1.717462e-03,1.707796e-03,1.698204e-03,1.688690e-03,1.679260e-03,1.669915e-03,1.660662e-03,1.651501e-03,1.642436e-03,1.633469e-03,1.624602e-03
0.000000e+00,4.162063e-12,2.126974e-11,2.393031e-10,1.183143e-09,2.453414e-09,1.175022e-08,1.242943e-08,4.282576e-08,5.773523e-08,1.156926e-07,1.931540e-07,2.643576e-07,5.071882e-07,5.345778e-07,9.849604e-07,1.127513e-06,1.686673e-06,2.219815e-06,2.722420e-06,3.983379e-06,4.184597e-06,6.172630e-06,6.642392e-06,8.789684e-06,1.043354e-05,1.213908e-05,1.559182e-05,1.632076e-05,2.142796e-05,2.233675e-05,2.754432e-05,3.086014e-05,3.474134e-05,4.131614e-05,4.307646e-05,5.259147e-05,5.381393e-05,6.331157e-05,6.841290e-05,7.524487e-05,8.512063e-05,8.838234e-05,1.026983e-04,1.038933e-04,1.181512e-04,1.246385e-04,1.346848e-04,1.472197e-04,1.522298e-04,1.707055e-04,1.714626e-04,1.900213e-04,1.971619e-04,2.100791e-04,2.240894e-04,2.307750e-04,2.520012e-04,2.736480e-04,2.806458e-04,2.956053e-04,3.097706e-04,3.177642e-04,3.391278e-04,3.400185e-04,3.622656e-04,3.684801e-04,3.844080e-04,3.976047e-04,4.063538e-04,4.262965e-04,4.280172e-04,4.493195e-04,4.543702e-04,4.701888e-04,4.816622e-04,4.905607e-04,5.080310e-04,5.103780e-04,5.295909e-04,5.333570e-04,5.481564e-04,5.575426e-04,5.660389e-04,5.805106e-04,5.832089e-04,5.996435e-04,6.022035e-04,6.153255e-04,6.225818e-04,6.302431e-04,6.416223e-04,6.443897e-04,6.577633e-04,6.593162e-04,6.703658e-04,6.756681e-04,6.822033e-04,6.906935e-04,6.932848e-04,7.036225e-04,7.044178e-04,7.132311e-04,7.168741e-04,7.221275e-04,7.281024e-04,7.303305e-04,7.378604e-04,7.381479e-04,7.447389e-04,7.470600e-04,7.509886e-04,7.548910e-04,7.566327e-04,7.616953e-04,7.662006e-04,7.675285e-04,7.701729e-04,7.724468e-04,7.736368e-04,7.765063e-04,7.766165e-04,7.791361e-04,7.797624e-04,7.812194e-04,7.822696e-04,7.828895e-04,7.840807e-04,7.841692e-04,7.850808e-04,7.852471e-04,7.856456e-04,7.858183e-04,7.858846e-04,7.858415e-04,7.858180e-04,7.854652e-04,7.853620e-04,7.848450e-04,7.844228e-04,7.839753e-04,7.830646e-04,7.828734e-04,7.815556e-04,7.813258e-04,7.800378e-04,7.792426e-04,7.783349e-04,7.768489e-04,7.764611e-04,7.744301e-04,7.741764e-04,7.722546e-04,7.712548e-04,7.699469e-04,7.681117e-04,7.675185e-04,7.649803e-04,7.647728e-04,7.623425e-04,7.612618e-04,7.596150e-04,7.576008e-04,7.568069e-04,7.539267e-04,7.538101e-04,7.509825e-04,7.499084e-04,7.479820e-04,7.459131e-04,7.449322e-04,7.418398e-04,7.377033e-04,7.335166e-04,7.292921e-04,7.250407e-04,7.207725e-04,7.164966e-04,7.122213e-04,7.079542e-04,7.037018e-04,6.994704e-04,6.952652e-04,6.910913e-04,6.869529e-04,6.828538e-04,6.787974e-04,6.747869e-04,6.708246e-04,6.669130e-04,6.630540e-04,6.592493e-04,6.555002e-04,6.518079e-04,6.481734e-04,6.445974e-04
0.000000e+00,2.208043e-12,1.107113e-11,1.196462e-10,5.697910e-10,1.157145e-09,5.246706e-09,5.537515e-09,1.805303e-08,2.397249e-08,4.624000e-08,7.485481e-08,1.004142e-07,1.842623e-07,1.934839e-07,3.406402e-07,3.858695e-07,5.589525e-07,7.191036e-07,8.667818e-07,1.226584e-06,1.282823e-06,1.824621e-06,1.949422e-06,2.506658e-06,2.920144e-06,3.338462e-06,4.155478e-06,4.323261e-06,5.457514e-06,5.652282e-06,6.731294e-06,7.387946e-06,8.129301e-06,9.324272e-06,9.632227e-06,1.121821e-05,1.141302e-05,1.286418e-05,1.360144e-05,1.454703e-05,1.583693e-05,1.624453e-05,1.793604e-05,1.807052e-05,1.960293e-05,2.025906e-05,2.122893e-05,2.236647e-05,2.280021e-05,2.430543e-05,2.436414e-05,2.573565e-05,2.623082e-05,2.708419e-05,2.795211e-05,2.834644e-05,2.951966e-05,3.060275e-05,3.093032e-05,3.159602e-05,3.218522e-05,3.250095e-05,3.328886e-05,3.332001e-05,3.405641e-05,3.424829e-05,3.471395e-05,3.507236e-05,3.529685e-05,3.577105e-05,3.580960e-05,3.625685e-05,3.635497e-05,3.664330e-05,3.683488e-05,3.697358e-05,3.722139e-05,3.725225e-05,3.748370e-05,3.752469e-05,3.767210e-05,3.775439e-05,3.782143e-05,3.791939e-05,3.793539e-05,3.801745e-05,3.802784e-05,3.807083e-05,3.808713e-05,3.809847e-05,3.810388e-05,3.810308e-05,3.808714e-05,3.808395e-05,3.805290e-05,3.803256e-05,3.800239e-05,3.795427e-05,3.793746e-05,3.785978e-05,3.785306e-05,3.777083e-05,3.773240e-05,3.767197e-05,3.759533e-05,3.756439e-05,3.744920e-05,3.744444e-05,3.732734e-05,3.728201e-05,3.719970e-05,3.710999e-05,3.706704e-05,3.693007e-05,3.678941e-05,3.674372e-05,3.664562e-05,3.655218e-05,3.649919e-05,3.635657e-05,3.635058e-05,3.620020e-05,3.615782e-05,3.604839e-05,3.595676e-05,3.589549e-05,3.575412e-05,3.574180e-05,3.558757e-05,3.555051e-05,3.543305e-05,3.534646e-05,3.527844e-05,3.514247e-05,3.512394e-05,3.496973e-05,3.493893e-05,3.481596e-05,3.473622e-05,3.466277e-05,3.453464e-05,3.451029e-05,3.435865e-05,3.433447e-05,3.420794e-05,3.413596e-05,3.405826e-05,3.393931e-05,3.390969e-05,3.376232e-05,3.374472e-05,3.361620e-05,3.355233e-05,3.347141e-05,3.336228e-05,3.332799e-05,3.318600e-05,3.317471e-05,3.304548e-05,3.298969e-05,3.290647e-05,3.280733e-05,3.276900e-05,3.263311e-05,3.262771e-05,3.249881e-05,3.245086e-05,3.236614e-05,3.227686e-05,3.223511e-05,3.210574e-05,3.193753e-05,3.177225e-05,3.160992e-05,3.145055e-05,3.129413e-05,3.114067e-05,3.099016e-05,3.084259e-05,3.069795e-05,3.055620e-05,3.041734e-05,3.028134e-05,3.014816e-05,3.001779e-05,2.989018e-05,2.976530e-05,2.964313e-05,2.952362e-05,2.940673e-05,2.929244e-05,2.918069e-05,2.907144e-05,2.896467e-05,2.886032e-05
0.000000e+00,3.752449e-11,1.636061e-10,1.341841e-09,5.054297e-09,9.087677e-09,3.079800e-08,3.214567e-08,8.134195e-08,1.014303e-07,1.689505e-07,2.457868e-07,3.092468e-07,4.992513e-07,5.190207e-07,8.164322e-07,9.026799e-07,1.216466e-06,1.487713e-06,1.724051e-06,2.253117e-06,2.330559e-06,3.017320e-06,3.162369e-06,3.762538e-06,4.166433e-06,4.546424e-06,5.223024e-06,5.353077e-06,6.170282e-06,6.301352e-06,6.988587e-06,7.379488e-06,7.800429e-06,8.441006e-06,8.599544e-06,9.380618e-06,9.472912e-06,1.013911e-05,1.046469e-05,1.087120e-05,1.140797e-05,1.157373e-05,1.224420e-05,1.229639e-05,1.288074e-05,1.312554e-05,1.348205e-05,1.389274e-05,1.404739e-05,1.457652e-05,1.459693e-05,1.506962e-05,1.523841e-05,1.552723e-05,1.581856e-05,1.595019e-05,1.633958e-05,1.669664e-05,1.680431e-05,1.702280e-05,1.721598e-05,1.731949e-05,1.757800e-05,1.758823e-05,1.783056e-05,1.789389e-05,1.804801e-05,1.816718e-05,1.824211e-05,1.840134e-05,1.841434e-05,1.856615e-05,1.859969e-05,1.869890e-05,1.876542e-05,1.881392e-05,1.890148e-05,1.891247e-05,1.899573e-05,1.901065e-05,1.906482e-05,1.909550e-05,1.912080e-05,1.915841e-05,1.916465e-05,1.919730e-05,1.920155e-05,1.921962e-05,1.922691e-05,1.923242e-05,1.923632e-05,1.923646e-05,1.923243e-05,1.923143e-05,1.922099e-05,1.921377e-05,1.920275e-05,1.918469e-05,1.917828e-05,1.914810e-05,1.914545e-05,1.911270e-05,1.909718e-05,1.907253e-05,1.904090e-05,1.902802e-05,1.897955e-05,1.897753e-05,1.892748e-05,1.890793e-05,1.887216e-05,1.883285e-05,1.881390e-05,1.875297e-05,1.868966e-05,1.866893e-05,1.862420e-05,1.858129e-05,1.855683e-05,1.849056e-05,1.848777e-05,1.841720e-05,1.839719e-05,1.834531e-05,1.830162e-05,1.827227e-05,1.820420e-05,1.819825e-05,1.812337e-05,1.810529e-05,1.804779e-05,1.800519e-05,1.797161e-05,1.790418e-05,1.789496e-05,1.781795e-05,1.780251e-05,1.774067e-05,1.770041e-05,1.766321e-05,1.759808e-05,1.758567e-05,1.750810e-05,1.749570e-05,1.743060e-05,1.739344e-05,1.735322e-05,1.729144e-05,1.727602e-05,1.719906e-05,1.718985e-05,1.712240e-05,1.708877e-05,1.704608e-05,1.698833e-05,1.697014e-05,1.689462e-05,1.688860e-05,1.681957e-05,1.678968e-05,1.674501e-05,1.669165e-05,1.667097e-05,1.659749e-05,1.659456e-05,1.652459e-05,1.649849e-05,1.645228e-05,1.640347e-05,1.638060e-05,1.630956e-05,1.621679e-05,1.612520e-05,1.603482e-05,1.594568e-05,1.585778e-05,1.577116e-05,1.568582e-05,1.560177e-05,1.551902e-05,1.543758e-05,1.535745e-05,1.527862e-05,1.520110e-05,1.512489e-05,1.504997e-05,1.497635e-05,1.490401e-05,1.483295e-05,1.476316e-05,1.469462e-05,1.462733e-05,1.456127e-05,1.449643e-05,1.443279e-05
0.000000e+00,6.558682e-12,3.140017e-11,3.086341e-10,1.349885e-09,2.617876e-09,1.056314e-08,1.109678e-08,3.236584e-08,4.173434e-08,7.491463e-08,1.146749e-07,1.484948e-07,2.527475e-07,2.637686e-07,4.321803e-07,4.818365e-07,6.657515e-07,8.294683e-07,9.762880e-07,1.321067e-06,1.373541e-06,1.862591e-06,1.971397e-06,2.441717e-06,2.775757e-06,3.102012e-06,3.708857e-06,3.828935e-06,4.604888e-06,4.732368e-06,5.411745e-06,5.804999e-06,6.232710e-06,6.889836e-06,7.053327e-06,7.861806e-06,7.957545e-06,8.648919e-06,8.986600e-06,9.407643e-06,9.962030e-06,1.013278e-05,1.082058e-05,1.087391e-05,1.146848e-05,1.171607e-05,1.207482e-05,1.248512e-05,1.263871e-05,1.315989e-05,1.317985e-05,1.363864e-05,1.380074e-05,1.407570e-05,1.434964e-05,1.447218e-05,1.482950e-05,1.514936e-05,1.524410e-05,1.543363e-05,1.559783e-05,1.568435e-05,1.589542e-05,1.590362e-05,1.609359e-05,1.614182e-05,1.625640e-05,1.634195e-05,1.639419e-05,1.650062e-05,1.650901e-05,1.660283e-05,1.662244e-05,1.667754e-05,1.671170e-05,1.673492e-05,1.677238e-05,1.677660e-05,1.680415e-05,1.680808e-05,1.681896e-05,1.682207e-05,1.682236e-05,1.681725e-05,1.681552e-05,1.679953e-05,1.679620e-05,1.677539e-05,1.676116e-05,1.674396e-05,1.671413e-05,1.670607e-05,1.666243e-05,1.665684e-05,1.661370e-05,1.659079e-05,1.656045e-05,1.651729e-05,1.650321e-05,1.644244e-05,1.643744e-05,1.637856e-05,1.635222e-05,1.631194e-05,1.626247e-05,1.624292e-05,1.617181e-05,1.616893e-05,1.609888e-05,1.607223e-05,1.602438e-05,1.597292e-05,1.594851e-05,1.587148e-05,1.579348e-05,1.576834e-05,1.571466e-05,1.566385e-05,1.563516e-05,1.555835e-05,1.555514e-05,1.547470e-05,1.545211e-05,1.539395e-05,1.534540e-05,1.531300e-05,1.523842e-05,1.523193e-05,1.515083e-05,1.513137e-05,1.506978e-05,1.502444e-05,1.498884e-05,1.491776e-05,1.490808e-05,1.482756e-05,1.481149e-05,1.474733e-05,1.470574e-05,1.466743e-05,1.460061e-05,1.458791e-05,1.450881e-05,1.449620e-05,1.443018e-05,1.439260e-05,1.435203e-05,1.428988e-05,1.427440e-05,1.419732e-05,1.418811e-05,1.412082e-05,1.408734e-05,1.404491e-05,1.398764e-05,1.396962e-05,1.389497e-05,1.388903e-05,1.382098e-05,1.379156e-05,1.374765e-05,1.369527e-05,1.367500e-05,1.360304e-05,1.360018e-05,1.353179e-05,1.350632e-05,1.346126e-05,1.341371e-05,1.339144e-05,1.332236e-05,1.323229e-05,1.314351e-05,1.305602e-05,1.296984e-05,1.288497e-05,1.280140e-05,1.271913e-05,1.263817e-05,1.255851e-05,1.248015e-05,1.240307e-05,1.232727e-05,1.225274e-05,1.217947e-05,1.210745e-05,1.203666e-05,1.196710e-05,1.189875e-05,1.183161e-05,1.176564e-05,1.170085e-05,1.163721e-05,1.157472e-05,1.151335e-05
0.000000e+00,4.856119e-12,1.112638e-11,3.821911e-11,8.678202e-11,1.264658e-10,2.861983e-10,2.947864e-10,5.689272e-10,6.683707e-10,9.766898e-10,1.297997e-09,1.548278e-09,2.244658e-09,2.313619e-09,3.294084e-09,3.562047e-09,4.490426e-09,5.246543e-09,5.878827e-09,7.229885e-09,7.421955e-09,9.082767e-09,9.426214e-09,1.083032e-08,1.176485e-08,1.263962e-08,1.419180e-08,1.448981e-08,1.636284e-08,1.666355e-08,1.824265e-08,1.914308e-08,2.011485e-08,2.159848e-08,2.196664e-08,2.378682e-08,2.400264e-08,2.556580e-08,2.633339e-08,2.729559e-08,2.857330e-08,2.896973e-08,3.058321e-08,3.070956e-08,3.213239e-08,3.273347e-08,3.361479e-08,3.463993e-08,3.502898e-08,3.637442e-08,3.642681e-08,3.765131e-08,3.809435e-08,3.886046e-08,3.964463e-08,4.000316e-08,4.108106e-08,4.209612e-08,4.240802e-08,4.305049e-08,4.363049e-08,4.394646e-08,4.475384e-08,4.478639e-08,4.557272e-08,4.578361e-08,4.630786e-08,4.672538e-08,4.699422e-08,4.758462e-08,4.763417e-08,4.823000e-08,4.836668e-08,4.878395e-08,4.907667e-08,4.929817e-08,4.971947e-08,4.977474e-08,5.021564e-08,5.029970e-08,5.062276e-08,5.082173e-08,5.099793e-08,5.128964e-08,5.134286e-08,5.165920e-08,5.170727e-08,5.194851e-08,5.207821e-08,5.221225e-08,5.240580e-08,5.245185e-08,5.266862e-08,5.269316e-08,5.286383e-08,5.294320e-08,5.303866e-08,5.315861e-08,5.319425e-08,5.333167e-08,5.334191e-08,5.345192e-08,5.349543e-08,5.355596e-08,5.362134e-08,5.364469e-08,5.371898e-08,5.372166e-08,5.377962e-08,5.379825e-08,5.382738e-08,5.385287e-08,5.386299e-08,5.388712e-08,5.390044e-08,5.390251e-08,5.390354e-08,5.390043e-08,5.389701e-08,5.388219e-08,5.388140e-08,5.385722e-08,5.384898e-08,5.382496e-08,5.380193e-08,5.378510e-08,5.374208e-08,5.373807e-08,5.368428e-08,5.367041e-08,5.362414e-08,5.358782e-08,5.355802e-08,5.349516e-08,5.348626e-08,5.340921e-08,5.339320e-08,5.332719e-08,5.328267e-08,5.324050e-08,5.316427e-08,5.314941e-08,5.305422e-08,5.303862e-08,5.295516e-08,5.290632e-08,5.285249e-08,5.276791e-08,5.274644e-08,5.263723e-08,5.262393e-08,5.252507e-08,5.247483e-08,5.241015e-08,5.232109e-08,5.229267e-08,5.217280e-08,5.216311e-08,5.205071e-08,5.200130e-08,5.192657e-08,5.183601e-08,5.180053e-08,5.167273e-08,5.166759e-08,5.154332e-08,5.149636e-08,5.141242e-08,5.132263e-08,5.128016e-08,5.114666e-08,5.096874e-08,5.078909e-08,5.060796e-08,5.042555e-08,5.024207e-08,5.005771e-08,4.987265e-08,4.968704e-08,4.950105e-08,4.931482e-08,4.912848e-08,4.894217e-08,4.875600e-08,4.857007e-08,4.838450e-08,4.819939e-08,4.801481e-08,4.783086e-08,4.764762e-08,4.746515e-08,4.728353e-08,4.710282e-08,4.692308e-08,4.674437e-08
0.000000e+00,4.534301e-12,1.037675e-11,3.556138e-11,8.055408e-11,1.172105e-10,2.639444e-10,2.718003e-10,5.210009e-10,6.107088e-10,8.868069e-10,1.171671e-09,1.391854e-09,1.998462e-09,2.058159e-09,2.902742e-09,3.132827e-09,3.929964e-09,4.580606e-09,5.126274e-09,6.297570e-09,6.464657e-09,7.914724e-09,8.215655e-09,9.449139e-09,1.027256e-08,1.104483e-08,1.241808e-08,1.268209e-08,1.434349e-08,1.461047e-08,1.601323e-08,1.681340e-08,1.767693e-08,1.899473e-08,1.932154e-08,2.093541e-08,2.112650e-08,2.250834e-08,2.318518e-08,2.403169e-08,2.515182e-08,2.549831e-08,2.690256e-08,2.701207e-08,2.824021e-08,2.875591e-08,2.950827e-08,3.037711e-08,3.070490e-08,3.182930e-08,3.187278e-08,3.288156e-08,3.324285e-08,3.386246e-08,3.448939e-08,3.477338e-08,3.561616e-08,3.639303e-08,3.662811e-08,3.710648e-08,3.753102e-08,3.775916e-08,3.833118e-08,3.835389e-08,3.889352e-08,3.903513e-08,3.938093e-08,3.964950e-08,3.981898e-08,4.018083e-08,4.021051e-08,4.055825e-08,4.063550e-08,4.086489e-08,4.101961e-08,4.113299e-08,4.133900e-08,4.136501e-08,4.156333e-08,4.159915e-08,4.173019e-08,4.180524e-08,4.186773e-08,4.196209e-08,4.197797e-08,4.206283e-08,4.207417e-08,4.212411e-08,4.214566e-08,4.216352e-08,4.218039e-08,4.218267e-08,4.218306e-08,4.218192e-08,4.216612e-08,4.215352e-08,4.213317e-08,4.209819e-08,4.208546e-08,4.202416e-08,4.201870e-08,4.195037e-08,4.191759e-08,4.186512e-08,4.179717e-08,4.176935e-08,4.166399e-08,4.165958e-08,4.154985e-08,4.150676e-08,4.142773e-08,4.134050e-08,4.129835e-08,4.116241e-08,4.102054e-08,4.097398e-08,4.087333e-08,4.077658e-08,4.072134e-08,4.057142e-08,4.056510e-08,4.040507e-08,4.035964e-08,4.024171e-08,4.014227e-08,4.007543e-08,3.992023e-08,3.990664e-08,3.973568e-08,3.969436e-08,3.956289e-08,3.946545e-08,3.938859e-08,3.923418e-08,3.921306e-08,3.903658e-08,3.900119e-08,3.885939e-08,3.876705e-08,3.868172e-08,3.853227e-08,3.850380e-08,3.832581e-08,3.829734e-08,3.814794e-08,3.806266e-08,3.797037e-08,3.782862e-08,3.779324e-08,3.761670e-08,3.759556e-08,3.744088e-08,3.736378e-08,3.726591e-08,3.713356e-08,3.709189e-08,3.691892e-08,3.690514e-08,3.674711e-08,3.667873e-08,3.657653e-08,3.645453e-08,3.640727e-08,3.623939e-08,3.623271e-08,3.607296e-08,3.601341e-08,3.590803e-08,3.579677e-08,3.574466e-08,3.558290e-08,3.537189e-08,3.516384e-08,3.495880e-08,3.475684e-08,3.455801e-08,3.436233e-08,3.416985e-08,3.398058e-08,3.379452e-08,3.361170e-08,3.343211e-08,3.325575e-08,3.308260e-08,3.291264e-08,3.274587e-08,3.258226e-08,3.242179e-08,3.226441e-08,3.211012e-08,3.195886e-08,3.181062e-08,3.166534e-08,3.152300e-08,3.138355e-08
0.000000e+00,3.306103e-12,7.579498e-12,2.601933e-11,5.894229e-11,8.571902e-11,1.923829e-10,1.980687e-10,3.771156e-10,4.409597e-10,6.355559e-10,8.335675e-10,9.849064e-10,1.395496e-09,1.435486e-09,1.996029e-09,2.147679e-09,2.672666e-09,3.103202e-09,3.467214e-09,4.260799e-09,4.375510e-09,5.387304e-09,5.600860e-09,6.488237e-09,7.090691e-09,7.662458e-09,8.693996e-09,8.894359e-09,1.016926e-08,1.037631e-08,1.147353e-08,1.210625e-08,1.279451e-08,1.385547e-08,1.412056e-08,1.544102e-08,1.559863e-08,1.674631e-08,1.731360e-08,1.802794e-08,1.898158e-08,1.927855e-08,2.049194e-08,2.058724e-08,2.166300e-08,2.211864e-08,2.278772e-08,2.356708e-08,2.386306e-08,2.488686e-08,2.492672e-08,2.585780e-08,2.619426e-08,2.677524e-08,2.736851e-08,2.763916e-08,2.845003e-08,2.920875e-08,2.944072e-08,2.991656e-08,3.034353e-08,3.057497e-08,3.116214e-08,3.118568e-08,3.175053e-08,3.190073e-08,3.227147e-08,3.256379e-08,3.275051e-08,3.315596e-08,3.318968e-08,3.359101e-08,3.368193e-08,3.395652e-08,3.414630e-08,3.428818e-08,3.455356e-08,3.458790e-08,3.485755e-08,3.490803e-08,3.509892e-08,3.521382e-08,3.531372e-08,3.547483e-08,3.550360e-08,3.567013e-08,3.569470e-08,3.581479e-08,3.587688e-08,3.593901e-08,3.602456e-08,3.604411e-08,3.613138e-08,3.614071e-08,3.620200e-08,3.622810e-08,3.625711e-08,3.628927e-08,3.629776e-08,3.632497e-08,3.632659e-08,3.633967e-08,3.634224e-08,3.634274e-08,3.633823e-08,3.633503e-08,3.631732e-08,3.631641e-08,3.629033e-08,3.627848e-08,3.625476e-08,3.622601e-08,3.621126e-08,3.616043e-08,3.610284e-08,3.608307e-08,3.603902e-08,3.599514e-08,3.596948e-08,3.589777e-08,3.589468e-08,3.581506e-08,3.579196e-08,3.573103e-08,3.567866e-08,3.564298e-08,3.555873e-08,3.555126e-08,3.545622e-08,3.543296e-08,3.535817e-08,3.530206e-08,3.525741e-08,3.516671e-08,3.515421e-08,3.504883e-08,3.502751e-08,3.494151e-08,3.488501e-08,3.483248e-08,3.473972e-08,3.472194e-08,3.461011e-08,3.459211e-08,3.449716e-08,3.444259e-08,3.438326e-08,3.429157e-08,3.426858e-08,3.415326e-08,3.413938e-08,3.403744e-08,3.398636e-08,3.392126e-08,3.383280e-08,3.380484e-08,3.368829e-08,3.367896e-08,3.357171e-08,3.352510e-08,3.345521e-08,3.337143e-08,3.333888e-08,3.322280e-08,3.321816e-08,3.310704e-08,3.306547e-08,3.299169e-08,3.291352e-08,3.287681e-08,3.276246e-08,3.261244e-08,3.246356e-08,3.231595e-08,3.216969e-08,3.202487e-08,3.188158e-08,3.173988e-08,3.159983e-08,3.146149e-08,3.132489e-08,3.119009e-08,3.105710e-08,3.092597e-08,3.079672e-08,3.066936e-08,3.054391e-08,3.042038e-08,3.029878e-08,3.017911e-08,3.006137e-08,2.994556e-08,2.983169e-08,2.971973e-08,2.960969e-08
0.000000e+00,9.239455e-11,2.150696e-10,7.524184e-10,1.725041e-09,2.523486e-09,5.748726e-09,5.922329e-09,1.146080e-08,1.346602e-08,1.966411e-08,2.609077e-08,3.107507e-08,4.486569e-08,4.622693e-08,6.555793e-08,7.084797e-08,8.925860e-08,1.043842e-07,1.171371e-07,1.447054e-07,1.486579e-07,1.831413e-07,1.903348e-07,2.199374e-07,2.397961e-07,2.584871e-07,2.918752e-07,2.983164e-07,3.390156e-07,3.455835e-07,3.802237e-07,4.000885e-07,4.216192e-07,4.546781e-07,4.629174e-07,5.038677e-07,5.087478e-07,5.442536e-07,5.617959e-07,5.838906e-07,6.134184e-07,6.226253e-07,6.603323e-07,6.633013e-07,6.969123e-07,7.112110e-07,7.322890e-07,7.569827e-07,7.664060e-07,7.992244e-07,8.005098e-07,8.307201e-07,8.417321e-07,8.608812e-07,8.806274e-07,8.897064e-07,9.172025e-07,9.433835e-07,9.514867e-07,9.682685e-07,9.835255e-07,9.918811e-07,1.013377e-06,1.014248e-06,1.035400e-06,1.041109e-06,1.055368e-06,1.066795e-06,1.074186e-06,1.090511e-06,1.091887e-06,1.108507e-06,1.112339e-06,1.124081e-06,1.132359e-06,1.138645e-06,1.150654e-06,1.152234e-06,1.164883e-06,1.167303e-06,1.176627e-06,1.182387e-06,1.187499e-06,1.195983e-06,1.197533e-06,1.206763e-06,1.208167e-06,1.215220e-06,1.219014e-06,1.222936e-06,1.228596e-06,1.229942e-06,1.236268e-06,1.236982e-06,1.241942e-06,1.244240e-06,1.246994e-06,1.250433e-06,1.251450e-06,1.255338e-06,1.255625e-06,1.258683e-06,1.259875e-06,1.261511e-06,1.263241e-06,1.263846e-06,1.265711e-06,1.265776e-06,1.267129e-06,1.267534e-06,1.268121e-06,1.268564e-06,1.268710e-06,1.268915e-06,1.268756e-06,1.268632e-06,1.268253e-06,1.267758e-06,1.267422e-06,1.266334e-06,1.266283e-06,1.264851e-06,1.264400e-06,1.263143e-06,1.261992e-06,1.261175e-06,1.259147e-06,1.258961e-06,1.256517e-06,1.255898e-06,1.253856e-06,1.252275e-06,1.250990e-06,1.248310e-06,1.247934e-06,1.244699e-06,1.244031e-06,1.241296e-06,1.239465e-06,1.237738e-06,1.234636e-06,1.234034e-06,1.230195e-06,1.229569e-06,1.226232e-06,1.224287e-06,1.222152e-06,1.218811e-06,1.217965e-06,1.213680e-06,1.213160e-06,1.209305e-06,1.207354e-06,1.204848e-06,1.201410e-06,1.200316e-06,1.195716e-06,1.195345e-06,1.191055e-06,1.189175e-06,1.186340e-06,1.182914e-06,1.181576e-06,1.176769e-06,1.176576e-06,1.171926e-06,1.170174e-06,1.167051e-06,1.163720e-06,1.162149e-06,1.157225e-06,1.150699e-06,1.144153e-06,1.137594e-06,1.131033e-06,1.124476e-06,1.117932e-06,1.111406e-06,1.104904e-06,1.098434e-06,1.091999e-06,1.085605e-06,1.079257e-06,1.072957e-06,1.066711e-06,1.060521e-06,1.054390e-06,1.048322e-06,1.042318e-06,1.036382e-06,1.030514e-06,1.024717e-06,1.018992e-06,1.013340e-06,1.007763e-06
0.000000e+00,3.882094e-12,1.967881e-11,2.176350e-10,1.059055e-09,2.176947e-09,1.019423e-08,1.077375e-08,3.632967e-08,4.870293e-08,9.628440e-08,1.591362e-07,2.164744e-07,4.103450e-07,4.321080e-07,7.883565e-07,9.006819e-07,1.339962e-06,1.757120e-06,2.148910e-06,3.125085e-06,3.279910e-06,4.794736e-06,5.148671e-06,6.747000e-06,7.949423e-06,9.178344e-06,1.161152e-05,1.211635e-05,1.557391e-05,1.617543e-05,1.954968e-05,2.163835e-05,2.402926e-05,2.795861e-05,2.898676e-05,3.438658e-05,3.506228e-05,4.018517e-05,4.285026e-05,4.633287e-05,5.120544e-05,5.277557e-05,5.945632e-05,5.999931e-05,6.631673e-05,6.909810e-05,7.329840e-05,7.836801e-05,8.034398e-05,8.739828e-05,8.767989e-05,9.440912e-05,9.691291e-05,1.013280e-04,1.059575e-04,1.081106e-04,1.147174e-04,1.211135e-04,1.231108e-04,1.272693e-04,1.310712e-04,1.331599e-04,1.385468e-04,1.387654e-04,1.440704e-04,1.455004e-04,1.490641e-04,1.519079e-04,1.537396e-04,1.577572e-04,1.580936e-04,1.621264e-04,1.630467e-04,1.658409e-04,1.677839e-04,1.692426e-04,1.719833e-04,1.723391e-04,1.751399e-04,1.756655e-04,1.776557e-04,1.788551e-04,1.798983e-04,1.815803e-04,1.818805e-04,1.836155e-04,1.838711e-04,1.851169e-04,1.857586e-04,1.863983e-04,1.872741e-04,1.874733e-04,1.883554e-04,1.884489e-04,1.890578e-04,1.893132e-04,1.895932e-04,1.898961e-04,1.899740e-04,1.902120e-04,1.902252e-04,1.903183e-04,1.903264e-04,1.903038e-04,1.902241e-04,1.901784e-04,1.899517e-04,1.899406e-04,1.896326e-04,1.894967e-04,1.892294e-04,1.889112e-04,1.887499e-04,1.882013e-04,1.875904e-04,1.873828e-04,1.869234e-04,1.864697e-04,1.862060e-04,1.854748e-04,1.854435e-04,1.846409e-04,1.844096e-04,1.838027e-04,1.832844e-04,1.829330e-04,1.821084e-04,1.820357e-04,1.811141e-04,1.808898e-04,1.801717e-04,1.796359e-04,1.792112e-04,1.783532e-04,1.782354e-04,1.772468e-04,1.770477e-04,1.762475e-04,1.757244e-04,1.752397e-04,1.743879e-04,1.742252e-04,1.732058e-04,1.730423e-04,1.721830e-04,1.716913e-04,1.711582e-04,1.703379e-04,1.701328e-04,1.691079e-04,1.689850e-04,1.680846e-04,1.676351e-04,1.670638e-04,1.662903e-04,1.660465e-04,1.650335e-04,1.649526e-04,1.640254e-04,1.636237e-04,1.630230e-04,1.623051e-04,1.620268e-04,1.610374e-04,1.609980e-04,1.600553e-04,1.597035e-04,1.590808e-04,1.584227e-04,1.581144e-04,1.571564e-04,1.559053e-04,1.546700e-04,1.534511e-04,1.522489e-04,1.510638e-04,1.498962e-04,1.487462e-04,1.476140e-04,1.464997e-04,1.454035e-04,1.443253e-04,1.432651e-04,1.422230e-04,1.411988e-04,1.401925e-04,1.392039e-04,1.382330e-04,1.372796e-04,1.363435e-04,1.354246e-04,1.345226e-04,1.336375e-04,1.327689e-04,1.319166e-04
0.000000e+00,8.391147e-13,4.291264e-12,4.835677e-11,2.394294e-10,4.968834e-10,2.384536e-09,2.522576e-09,8.708390e-09,1.174616e-08,2.356705e-08,3.938467e-08,5.393650e-08,1.036170e-07,1.092244e-07,2.015020e-07,2.307316e-07,3.454615e-07,4.549524e-07,5.582537e-07,8.177662e-07,8.592248e-07,1.269565e-06,1.366727e-06,1.811876e-06,2.153818e-06,2.509671e-06,3.233440e-06,3.386817e-06,4.466955e-06,4.660157e-06,5.772926e-06,6.486384e-06,7.326223e-06,8.760209e-06,9.146489e-06,1.125108e-05,1.152346e-05,1.365468e-05,1.481013e-05,1.636902e-05,1.864510e-05,1.940260e-05,2.276057e-05,2.304329e-05,2.644459e-05,2.800921e-05,3.045286e-05,3.353678e-05,3.478014e-05,3.941784e-05,3.960965e-05,4.435422e-05,4.620168e-05,4.957457e-05,5.327786e-05,5.506154e-05,6.079533e-05,6.675410e-05,6.870462e-05,7.291430e-05,7.695105e-05,7.925097e-05,8.547610e-05,8.573815e-05,9.234920e-05,9.421882e-05,9.905715e-05,1.031172e-04,1.058350e-04,1.121094e-04,1.126561e-04,1.194942e-04,1.211350e-04,1.263240e-04,1.301359e-04,1.331211e-04,1.390571e-04,1.398624e-04,1.465261e-04,1.478477e-04,1.530917e-04,1.564608e-04,1.595405e-04,1.648546e-04,1.658553e-04,1.720205e-04,1.729921e-04,1.780222e-04,1.808414e-04,1.838483e-04,1.883755e-04,1.894881e-04,1.949328e-04,1.955726e-04,2.001747e-04,2.024153e-04,2.052080e-04,2.088908e-04,2.100280e-04,2.146316e-04,2.149905e-04,2.190167e-04,2.207093e-04,2.231824e-04,2.260459e-04,2.271289e-04,2.308573e-04,2.310019e-04,2.343696e-04,2.355816e-04,2.376686e-04,2.397918e-04,2.407577e-04,2.436410e-04,2.463231e-04,2.471397e-04,2.488091e-04,2.502996e-04,2.511043e-04,2.531336e-04,2.532145e-04,2.551457e-04,2.556551e-04,2.569040e-04,2.578786e-04,2.584958e-04,2.598187e-04,2.599275e-04,2.612056e-04,2.614902e-04,2.623365e-04,2.629079e-04,2.633267e-04,2.640869e-04,2.641827e-04,2.649108e-04,2.650416e-04,2.655172e-04,2.657865e-04,2.660081e-04,2.663355e-04,2.663894e-04,2.666669e-04,2.667021e-04,2.668464e-04,2.668994e-04,2.669334e-04,2.669399e-04,2.669331e-04,2.668507e-04,2.668355e-04,2.666912e-04,2.665978e-04,2.664593e-04,2.662375e-04,2.661596e-04,2.657965e-04,2.657649e-04,2.653743e-04,2.651897e-04,2.648968e-04,2.645209e-04,2.643679e-04,2.637913e-04,2.637673e-04,2.631705e-04,2.629368e-04,2.625087e-04,2.620369e-04,2.618091e-04,2.610747e-04,2.600567e-04,2.589890e-04,2.578773e-04,2.567268e-04,2.555424e-04,2.543285e-04,2.530893e-04,2.518287e-04,2.505502e-04,2.492570e-04,2.479521e-04,2.466383e-04,2.453180e-04,2.439935e-04,2.426670e-04,2.413403e-04,2.400152e-04,2.386933e-04,2.373760e-04,2.360647e-04,2.347604e-04,2.334643e-04,2.321773e-04,2.309003e-04
0.000000e+00,1.543930e-10,4.735051e-10,2.251730e-09,5.984308e-09,9.256003e-09,2.328985e-08,2.406793e-08,4.953645e-08,5.897040e-08,8.857116e-08,1.197665e-07,1.442194e-07,2.127351e-07,2.195526e-07,3.170905e-07,3.439625e-07,4.379256e-07,5.156321e-07,5.815740e-07,7.258511e-07,7.467652e-07,9.321197e-07,9.714934e-07,1.136318e-06,1.249513e-06,1.358044e-06,1.556830e-06,1.595914e-06,1.848439e-06,1.890097e-06,2.114022e-06,2.245651e-06,2.390989e-06,2.619598e-06,2.677611e-06,2.972151e-06,3.007946e-06,3.272896e-06,3.406760e-06,3.578191e-06,3.812289e-06,3.886467e-06,4.196261e-06,4.221069e-06,4.506230e-06,4.629990e-06,4.815157e-06,5.036326e-06,5.121958e-06,5.425678e-06,5.437751e-06,5.725486e-06,5.832318e-06,6.020666e-06,6.218433e-06,6.310615e-06,6.594828e-06,6.872893e-06,6.960519e-06,7.144478e-06,7.314768e-06,7.409322e-06,7.657049e-06,7.667230e-06,7.918060e-06,7.987010e-06,8.161719e-06,8.304449e-06,8.398154e-06,8.609280e-06,8.627349e-06,8.849318e-06,8.901520e-06,9.064101e-06,9.181262e-06,9.271757e-06,9.448661e-06,9.472364e-06,9.666015e-06,9.703920e-06,9.852816e-06,9.947284e-06,1.003288e-05,1.017902e-05,1.020634e-05,1.037331e-05,1.039943e-05,1.053393e-05,1.060882e-05,1.068835e-05,1.080751e-05,1.083670e-05,1.097913e-05,1.099583e-05,1.111578e-05,1.117411e-05,1.124679e-05,1.134269e-05,1.137232e-05,1.149251e-05,1.150190e-05,1.160750e-05,1.165208e-05,1.171744e-05,1.179355e-05,1.182247e-05,1.192272e-05,1.192663e-05,1.201834e-05,1.205166e-05,1.210947e-05,1.216893e-05,1.219623e-05,1.227876e-05,1.235719e-05,1.238144e-05,1.243164e-05,1.247727e-05,1.250225e-05,1.256653e-05,1.256913e-05,1.263240e-05,1.264949e-05,1.269219e-05,1.272643e-05,1.274859e-05,1.279760e-05,1.280173e-05,1.285172e-05,1.286326e-05,1.289865e-05,1.292365e-05,1.294265e-05,1.297900e-05,1.298379e-05,1.302219e-05,1.302955e-05,1.305795e-05,1.307552e-05,1.309114e-05,1.311712e-05,1.312188e-05,1.315023e-05,1.315455e-05,1.317630e-05,1.318802e-05,1.320016e-05,1.321771e-05,1.322190e-05,1.324159e-05,1.324382e-05,1.325931e-05,1.326651e-05,1.327514e-05,1.328595e-05,1.328915e-05,1.330141e-05,1.330232e-05,1.331199e-05,1.331577e-05,1.332096e-05,1.332645e-05,1.332837e-05,1.333429e-05,1.333450e-05,1.333879e-05,1.334007e-05,1.334192e-05,1.334330e-05,1.334374e-05,1.334430e-05,1.334320e-05,1.334013e-05,1.333519e-05,1.332849e-05,1.332014e-05,1.331024e-05,1.329888e-05,1.328616e-05,1.327215e-05,1.325695e-05,1.324063e-05,1.322327e-05,1.320495e-05,1.318572e-05,1.316567e-05,1.314484e-05,1.312330e-05,1.310111e-05,1.307832e-05,1.305499e-05,1.303116e-05,1.300688e-05,1.298220e-05,1.295715e-05
0.000000e+00,1.270176e-10,4.813555e-10,3.093046e-09,9.773371e-09,1.620704e-08,4.636839e-08,4.811307e-08,1.073469e-07,1.299803e-07,2.023773e-07,2.801623e-07,3.418476e-07,5.170009e-07,5.345839e-07,7.888585e-07,8.597793e-07,1.110613e-06,1.321174e-06,1.501818e-06,1.902244e-06,1.960788e-06,2.483936e-06,2.595907e-06,3.067155e-06,3.392785e-06,3.706271e-06,4.283204e-06,4.397008e-06,5.134860e-06,5.256971e-06,5.915011e-06,6.303014e-06,6.732339e-06,7.409372e-06,7.581482e-06,8.456923e-06,8.563479e-06,9.353110e-06,9.752587e-06,1.026456e-05,1.096420e-05,1.118597e-05,1.211228e-05,1.218646e-05,1.303879e-05,1.340847e-05,1.396116e-05,1.462048e-05,1.487546e-05,1.577821e-05,1.581404e-05,1.666635e-05,1.698197e-05,1.753720e-05,1.811835e-05,1.838853e-05,1.921845e-05,2.002543e-05,2.027861e-05,2.080825e-05,2.129612e-05,2.156596e-05,2.226911e-05,2.229789e-05,2.300356e-05,2.319641e-05,2.368272e-05,2.407743e-05,2.433524e-05,2.491207e-05,2.496117e-05,2.556067e-05,2.570064e-05,2.613400e-05,2.644376e-05,2.668151e-05,2.714229e-05,2.720362e-05,2.770080e-05,2.779729e-05,2.817357e-05,2.840995e-05,2.862249e-05,2.898158e-05,2.904815e-05,2.945114e-05,2.951356e-05,2.983210e-05,3.000732e-05,3.019165e-05,3.046431e-05,3.053044e-05,3.084909e-05,3.088600e-05,3.114825e-05,3.127387e-05,3.142855e-05,3.162936e-05,3.169063e-05,3.193510e-05,3.195391e-05,3.216258e-05,3.224895e-05,3.237367e-05,3.251584e-05,3.256897e-05,3.274905e-05,3.275594e-05,3.291449e-05,3.297056e-05,3.306583e-05,3.316098e-05,3.320363e-05,3.332841e-05,3.344069e-05,3.347406e-05,3.354097e-05,3.359908e-05,3.362974e-05,3.370457e-05,3.370747e-05,3.377463e-05,3.379160e-05,3.383166e-05,3.386119e-05,3.387899e-05,3.391434e-05,3.391705e-05,3.394624e-05,3.395198e-05,3.396697e-05,3.397502e-05,3.397961e-05,3.398434e-05,3.398453e-05,3.398209e-05,3.398075e-05,3.397264e-05,3.396507e-05,3.395651e-05,3.393804e-05,3.393403e-05,3.390550e-05,3.390040e-05,3.387123e-05,3.385283e-05,3.383151e-05,3.379599e-05,3.378661e-05,3.373682e-05,3.373052e-05,3.368238e-05,3.365702e-05,3.362355e-05,3.357606e-05,3.356057e-05,3.349368e-05,3.348817e-05,3.342310e-05,3.339388e-05,3.334903e-05,3.329367e-05,3.327170e-05,3.319130e-05,3.318802e-05,3.310802e-05,3.307736e-05,3.302204e-05,3.296212e-05,3.293354e-05,3.284270e-05,3.271946e-05,3.259277e-05,3.246297e-05,3.233037e-05,3.219528e-05,3.205798e-05,3.191875e-05,3.177783e-05,3.163546e-05,3.149188e-05,3.134729e-05,3.120189e-05,3.105587e-05,3.090941e-05,3.076267e-05,3.061580e-05,3.046895e-05,3.032226e-05,3.017585e-05,3.002985e-05,2.988435e-05,2.973946e-05,2.959528e-05,2.945189e-05
0.000000e+00,3.432798e-11,1.498783e-10,1.231729e-09,4.642422e-09,8.345094e-09,2.819736e-08,2.942525e-08,7.391390e-08,9.190361e-08,1.516971e-07,2.186157e-07,2.730991e-07,4.328062e-07,4.491804e-07,6.918084e-07,7.612954e-07,1.013039e-06,1.231314e-06,1.423355e-06,1.862994e-06,1.928671e-06,2.527091e-06,2.657123e-06,3.207554e-06,3.587938e-06,3.951829e-06,4.610809e-06,4.738708e-06,5.548005e-06,5.678390e-06,6.362828e-06,6.751940e-06,7.170148e-06,7.804068e-06,7.960385e-06,8.726642e-06,8.816731e-06,9.464006e-06,9.778361e-06,1.016902e-05,1.068171e-05,1.083932e-05,1.147337e-05,1.152250e-05,1.207032e-05,1.229862e-05,1.262986e-05,1.300965e-05,1.315217e-05,1.363781e-05,1.365648e-05,1.408765e-05,1.424105e-05,1.450284e-05,1.476605e-05,1.488471e-05,1.523475e-05,1.555453e-05,1.565073e-05,1.584569e-05,1.601779e-05,1.610991e-05,1.633975e-05,1.634884e-05,1.656413e-05,1.662038e-05,1.675735e-05,1.686334e-05,1.693005e-05,1.707207e-05,1.708369e-05,1.721967e-05,1.724982e-05,1.733929e-05,1.739961e-05,1.744381e-05,1.752420e-05,1.753437e-05,1.761205e-05,1.762614e-05,1.767787e-05,1.770771e-05,1.773274e-05,1.777102e-05,1.777755e-05,1.781308e-05,1.781795e-05,1.784007e-05,1.785020e-05,1.785921e-05,1.786930e-05,1.787113e-05,1.787641e-05,1.787662e-05,1.787557e-05,1.787339e-05,1.786911e-05,1.786073e-05,1.785749e-05,1.784112e-05,1.783962e-05,1.782039e-05,1.781096e-05,1.779565e-05,1.777554e-05,1.776723e-05,1.773543e-05,1.773409e-05,1.770053e-05,1.768726e-05,1.766279e-05,1.763562e-05,1.762243e-05,1.757969e-05,1.753477e-05,1.751996e-05,1.748785e-05,1.745685e-05,1.743911e-05,1.739075e-05,1.738870e-05,1.733679e-05,1.732200e-05,1.728350e-05,1.725092e-05,1.722897e-05,1.717780e-05,1.717331e-05,1.711665e-05,1.710291e-05,1.705907e-05,1.702646e-05,1.700068e-05,1.694869e-05,1.694157e-05,1.688181e-05,1.686979e-05,1.682150e-05,1.678994e-05,1.676070e-05,1.670929e-05,1.669947e-05,1.663789e-05,1.662801e-05,1.657601e-05,1.654622e-05,1.651389e-05,1.646405e-05,1.645157e-05,1.638911e-05,1.638161e-05,1.632656e-05,1.629901e-05,1.626394e-05,1.621634e-05,1.620131e-05,1.613870e-05,1.613369e-05,1.607614e-05,1.605114e-05,1.601367e-05,1.596877e-05,1.595132e-05,1.588911e-05,1.588663e-05,1.582707e-05,1.580479e-05,1.576523e-05,1.572330e-05,1.570361e-05,1.564223e-05,1.556160e-05,1.548148e-05,1.540188e-05,1.532286e-05,1.524443e-05,1.516664e-05,1.508950e-05,1.501304e-05,1.493728e-05,1.486225e-05,1.478795e-05,1.471440e-05,1.464162e-05,1.456961e-05,1.449839e-05,1.442797e-05,1.435835e-05,1.428954e-05,1.422154e-05,1.415436e-05,1.408801e-05,1.402247e-05,1.395776e-05,1.389387e-05
0.000000e+00,5.311146e-12,2.666330e-11,2.889192e-10,1.379313e-09,2.804918e-09,1.276096e-08,1.347004e-08,4.404561e-08,5.852979e-08,1.130724e-07,1.832169e-07,2.458813e-07,4.513399e-07,4.739188e-07,8.336343e-07,9.439540e-07,1.365054e-06,1.753216e-06,2.109956e-06,2.974762e-06,3.109427e-06,4.400792e-06,4.696920e-06,6.014417e-06,6.988199e-06,7.971113e-06,9.887329e-06,1.028063e-05,1.294129e-05,1.339889e-05,1.594057e-05,1.749432e-05,1.925628e-05,2.211652e-05,2.285809e-05,2.670920e-05,2.718615e-05,3.076805e-05,3.260830e-05,3.498990e-05,3.827900e-05,3.932835e-05,4.373668e-05,4.409099e-05,4.816905e-05,4.993880e-05,5.258152e-05,5.572294e-05,5.693294e-05,6.118560e-05,6.135316e-05,6.530578e-05,6.675081e-05,6.926407e-05,7.185035e-05,7.303559e-05,7.660001e-05,7.994151e-05,8.096172e-05,8.304860e-05,8.491051e-05,8.591381e-05,8.843338e-05,8.853344e-05,9.090710e-05,9.152794e-05,9.303739e-05,9.420078e-05,9.492942e-05,9.646584e-05,9.659042e-05,9.802936e-05,9.834278e-05,9.925655e-05,9.985546e-05,1.002833e-04,1.010306e-04,1.011216e-04,1.017840e-04,1.018964e-04,1.022829e-04,1.024820e-04,1.026311e-04,1.028160e-04,1.028408e-04,1.029241e-04,1.029265e-04,1.028927e-04,1.028401e-04,1.027575e-04,1.025817e-04,1.025290e-04,1.022172e-04,1.021746e-04,1.018311e-04,1.016400e-04,1.013794e-04,1.009972e-04,1.008701e-04,1.003103e-04,1.002635e-04,9.970674e-05,9.945447e-05,9.906556e-05,9.858373e-05,9.839227e-05,9.769186e-05,9.766335e-05,9.696888e-05,9.670388e-05,9.622740e-05,9.571451e-05,9.547108e-05,9.470320e-05,9.392668e-05,9.367680e-05,9.314411e-05,9.264119e-05,9.235783e-05,9.160139e-05,9.156986e-05,9.078204e-05,9.056169e-05,8.999594e-05,8.952571e-05,8.921298e-05,8.849648e-05,8.843438e-05,8.766122e-05,8.747657e-05,8.689442e-05,8.646810e-05,8.613479e-05,8.547280e-05,8.538303e-05,8.463974e-05,8.449214e-05,8.390542e-05,8.352727e-05,8.318052e-05,8.257914e-05,8.246539e-05,8.176033e-05,8.164847e-05,8.106557e-05,8.073581e-05,8.038131e-05,7.984157e-05,7.970770e-05,7.904484e-05,7.896603e-05,7.839281e-05,7.810936e-05,7.775164e-05,7.727164e-05,7.712137e-05,7.650197e-05,7.645288e-05,7.589342e-05,7.565302e-05,7.529567e-05,7.487195e-05,7.470866e-05,7.413232e-05,7.410949e-05,7.356655e-05,7.336544e-05,7.301124e-05,7.263956e-05,7.246630e-05,7.193159e-05,7.124124e-05,7.056820e-05,6.991215e-05,6.927275e-05,6.864967e-05,6.804255e-05,6.745104e-05,6.687478e-05,6.631341e-05,6.576658e-05,6.523393e-05,6.471511e-05,6.420976e-05,6.371754e-05,6.323810e-05,6.277111e-05,6.231622e-05,6.187312e-05,6.144148e-05,6.102099e-05,6.061133e-05,6.021221e-05,5.982332e-05,5.944439e-05
0.000000e+00,1.359992e-11,6.588727e-11,6.639955e-10,2.972321e-09,5.839136e-09,2.436920e-08,2.563572e-08,7.734658e-08,1.006587e-07,1.849100e-07,2.883437e-07,3.778697e-07,6.601363e-07,6.904116e-07,1.160183e-06,1.300644e-06,1.825724e-06,2.297197e-06,2.721733e-06,3.721384e-06,3.873683e-06,5.294597e-06,5.611304e-06,6.985042e-06,7.967709e-06,8.935355e-06,1.076217e-05,1.112855e-05,1.354289e-05,1.394809e-05,1.615382e-05,1.746927e-05,1.893529e-05,2.126532e-05,2.186061e-05,2.490312e-05,2.527485e-05,2.803664e-05,2.943767e-05,3.123592e-05,3.369655e-05,3.447700e-05,3.773752e-05,3.799858e-05,4.099697e-05,4.229623e-05,4.423684e-05,4.654814e-05,4.744074e-05,5.059442e-05,5.071935e-05,5.368572e-05,5.478129e-05,5.670446e-05,5.871147e-05,5.964237e-05,6.249288e-05,6.525097e-05,6.611341e-05,6.791299e-05,6.956509e-05,7.047648e-05,7.284341e-05,7.294003e-05,7.530308e-05,7.594674e-05,7.756583e-05,7.887566e-05,7.972909e-05,8.163253e-05,8.179416e-05,8.376274e-05,8.422106e-05,8.563685e-05,8.664593e-05,8.741876e-05,8.891251e-05,8.911092e-05,9.071591e-05,9.102668e-05,9.223641e-05,9.299459e-05,9.367515e-05,9.482254e-05,9.503490e-05,9.631843e-05,9.651690e-05,9.752849e-05,9.808403e-05,9.866782e-05,9.953017e-05,9.973911e-05,1.007450e-04,1.008614e-04,1.016881e-04,1.020838e-04,1.025709e-04,1.032030e-04,1.033959e-04,1.041655e-04,1.042247e-04,1.048820e-04,1.051542e-04,1.055476e-04,1.059966e-04,1.061646e-04,1.067351e-04,1.067570e-04,1.072610e-04,1.074399e-04,1.077445e-04,1.080499e-04,1.081873e-04,1.085913e-04,1.089583e-04,1.090682e-04,1.092899e-04,1.094844e-04,1.095879e-04,1.098438e-04,1.098538e-04,1.100891e-04,1.101497e-04,1.102952e-04,1.104055e-04,1.104736e-04,1.106143e-04,1.106256e-04,1.107524e-04,1.107793e-04,1.108555e-04,1.109032e-04,1.109358e-04,1.109886e-04,1.109946e-04,1.110329e-04,1.110382e-04,1.110518e-04,1.110543e-04,1.110524e-04,1.110393e-04,1.110355e-04,1.110020e-04,1.109952e-04,1.109530e-04,1.109242e-04,1.108892e-04,1.108280e-04,1.108114e-04,1.107204e-04,1.107086e-04,1.106169e-04,1.105676e-04,1.105017e-04,1.104067e-04,1.103754e-04,1.102387e-04,1.102274e-04,1.100923e-04,1.100310e-04,1.099366e-04,1.098191e-04,1.097722e-04,1.095998e-04,1.095928e-04,1.094198e-04,1.093533e-04,1.092327e-04,1.091017e-04,1.090391e-04,1.088392e-04,1.085668e-04,1.082852e-04,1.079956e-04,1.076986e-04,1.073951e-04,1.070857e-04,1.067713e-04,1.064523e-04,1.061295e-04,1.058034e-04,1.054745e-04,1.051434e-04,1.048104e-04,1.044760e-04,1.041407e-04,1.038048e-04,1.034686e-04,1.031325e-04,1.027968e-04,1.024618e-04,1.021277e-04,1.017948e-04,1.014634e-04,1.011336e-04
0.000000e+00,1.977436e-11,8.540903e-11,6.878297e-10,2.551557e-09,4.551607e-09,1.513293e-08,1.578333e-08,3.923442e-08,4.869015e-08,8.010210e-08,1.152358e-07,1.437683e-07,2.263832e-07,2.347274e-07,3.546862e-07,3.876701e-07,5.020820e-07,5.953734e-07,6.735375e-07,8.413794e-07,8.653563e-07,1.074106e-06,1.117605e-06,1.296612e-06,1.416734e-06,1.529813e-06,1.731751e-06,1.770681e-06,2.016224e-06,2.055749e-06,2.263550e-06,2.382094e-06,2.509948e-06,2.704741e-06,2.752967e-06,2.990472e-06,3.018513e-06,3.220680e-06,3.319280e-06,3.442170e-06,3.604003e-06,3.653876e-06,3.855055e-06,3.870679e-06,4.045260e-06,4.118217e-06,4.224291e-06,4.346274e-06,4.392159e-06,4.549042e-06,4.555093e-06,4.695246e-06,4.745339e-06,4.831170e-06,4.917963e-06,4.957282e-06,5.074090e-06,5.182125e-06,5.214931e-06,5.281923e-06,5.341716e-06,5.374015e-06,5.455654e-06,5.458919e-06,5.537132e-06,5.557898e-06,5.609129e-06,5.649529e-06,5.675354e-06,5.731545e-06,5.736227e-06,5.792138e-06,5.804859e-06,5.843450e-06,5.870302e-06,5.890499e-06,5.928623e-06,5.933595e-06,5.973025e-06,5.980494e-06,6.009051e-06,6.026522e-06,6.041918e-06,6.067247e-06,6.071847e-06,6.099044e-06,6.103155e-06,6.123698e-06,6.134680e-06,6.145983e-06,6.162212e-06,6.166057e-06,6.184070e-06,6.186099e-06,6.200155e-06,6.206655e-06,6.214439e-06,6.224161e-06,6.227037e-06,6.238056e-06,6.238872e-06,6.247595e-06,6.251017e-06,6.255746e-06,6.260804e-06,6.262595e-06,6.268220e-06,6.268421e-06,6.272695e-06,6.274037e-06,6.276088e-06,6.277810e-06,6.278463e-06,6.279880e-06,6.280394e-06,6.280377e-06,6.280059e-06,6.279421e-06,6.278922e-06,6.277120e-06,6.277030e-06,6.274426e-06,6.273575e-06,6.271150e-06,6.268878e-06,6.267240e-06,6.263115e-06,6.262733e-06,6.257663e-06,6.256365e-06,6.252060e-06,6.248702e-06,6.245956e-06,6.240193e-06,6.239380e-06,6.232358e-06,6.230903e-06,6.224916e-06,6.220889e-06,6.217079e-06,6.210207e-06,6.208869e-06,6.200308e-06,6.198907e-06,6.191417e-06,6.187038e-06,6.182216e-06,6.174644e-06,6.172723e-06,6.162957e-06,6.161767e-06,6.152934e-06,6.148446e-06,6.142670e-06,6.134719e-06,6.132182e-06,6.121483e-06,6.120619e-06,6.110589e-06,6.106179e-06,6.099511e-06,6.091429e-06,6.088263e-06,6.076858e-06,6.076398e-06,6.065306e-06,6.061113e-06,6.053618e-06,6.045599e-06,6.041806e-06,6.029880e-06,6.013978e-06,5.997915e-06,5.981710e-06,5.965381e-06,5.948948e-06,5.932425e-06,5.915830e-06,5.899176e-06,5.882477e-06,5.865747e-06,5.848997e-06,5.832240e-06,5.815487e-06,5.798746e-06,5.782029e-06,5.765345e-06,5.748701e-06,5.732106e-06,5.715567e-06,5.699092e-06,5.682686e-06,5.666357e-06,5.650110e-06,5.633949e-06
0.000000e+00,5.209963e-11,1.467861e-10,6.289082e-10,1.583149e-09,2.397518e-09,5.810902e-09,5.998270e-09,1.209659e-08,1.434970e-08,2.142654e-08,2.890816e-08,3.479037e-08,5.133418e-08,5.298390e-08,7.661748e-08,8.312898e-08,1.058333e-07,1.244462e-07,1.400462e-07,1.732854e-07,1.779832e-07,2.181051e-07,2.262663e-07,2.590582e-07,2.803400e-07,2.998542e-07,3.335111e-07,3.398329e-07,3.785646e-07,3.846256e-07,4.157697e-07,4.330306e-07,4.512695e-07,4.783667e-07,4.849554e-07,5.167708e-07,5.204618e-07,5.466996e-07,5.592734e-07,5.747565e-07,5.948509e-07,6.009801e-07,6.254269e-07,6.273079e-07,6.481661e-07,6.568008e-07,6.692754e-07,6.835114e-07,6.888379e-07,7.069391e-07,7.076340e-07,7.236650e-07,7.293660e-07,7.391004e-07,7.489015e-07,7.533277e-07,7.664265e-07,7.784726e-07,7.821169e-07,7.895380e-07,7.961365e-07,7.996903e-07,8.086368e-07,8.089934e-07,8.175068e-07,8.197568e-07,8.252864e-07,8.296236e-07,8.323841e-07,8.383533e-07,8.388482e-07,8.447238e-07,8.460511e-07,8.500527e-07,8.528126e-07,8.548736e-07,8.587243e-07,8.592224e-07,8.631326e-07,8.638648e-07,8.666352e-07,8.683050e-07,8.697587e-07,8.721091e-07,8.725299e-07,8.749733e-07,8.753354e-07,8.771119e-07,8.780364e-07,8.789669e-07,8.802600e-07,8.805581e-07,8.819037e-07,8.820495e-07,8.830208e-07,8.834439e-07,8.839250e-07,8.844789e-07,8.846310e-07,8.851524e-07,8.851865e-07,8.855019e-07,8.855962e-07,8.856913e-07,8.857346e-07,8.857315e-07,8.856328e-07,8.856261e-07,8.854047e-07,8.852926e-07,8.850561e-07,8.847545e-07,8.845953e-07,8.840300e-07,8.833675e-07,8.831361e-07,8.826145e-07,8.820880e-07,8.817774e-07,8.809001e-07,8.808620e-07,8.798740e-07,8.795850e-07,8.788185e-07,8.781548e-07,8.777004e-07,8.766204e-07,8.765242e-07,8.752943e-07,8.749916e-07,8.740146e-07,8.732777e-07,8.726889e-07,8.714871e-07,8.713208e-07,8.699135e-07,8.696277e-07,8.684703e-07,8.677066e-07,8.669940e-07,8.657304e-07,8.654874e-07,8.639532e-07,8.637053e-07,8.623937e-07,8.616369e-07,8.608114e-07,8.595305e-07,8.592083e-07,8.575867e-07,8.573909e-07,8.559483e-07,8.552225e-07,8.542950e-07,8.530296e-07,8.526286e-07,8.509506e-07,8.508159e-07,8.492627e-07,8.485850e-07,8.475662e-07,8.463402e-07,8.458626e-07,8.441530e-07,8.440846e-07,8.424389e-07,8.418209e-07,8.407213e-07,8.395518e-07,8.390012e-07,8.372798e-07,8.350071e-07,8.327357e-07,8.304676e-07,8.282047e-07,8.259485e-07,8.237007e-07,8.214625e-07,8.192354e-07,8.170206e-07,8.148191e-07,8.126321e-07,8.104604e-07,8.083049e-07,8.061665e-07,8.040458e-07,8.019435e-07,7.998603e-07,7.977966e-07,7.957530e-07,7.937299e-07,7.917278e-07,7.897469e-07,7.877877e-07,7.858503e-07
0.000000e+00,3.297385e-11,1.398520e-10,1.089584e-09,3.942108e-09,6.950072e-09,2.255172e-08,2.350175e-08,5.748726e-08,7.111740e-08,1.163423e-07,1.670572e-07,2.084884e-07,3.303425e-07,3.428310e-07,5.261738e-07,5.777463e-07,7.597522e-07,9.108986e-07,1.038834e-06,1.315996e-06,1.355766e-06,1.703003e-06,1.775513e-06,2.074299e-06,2.275177e-06,2.464631e-06,2.804096e-06,2.869745e-06,3.285770e-06,3.353098e-06,3.709008e-06,3.913666e-06,4.135869e-06,4.477631e-06,4.562886e-06,4.986761e-06,5.037267e-06,5.404441e-06,5.585537e-06,5.813176e-06,6.116340e-06,6.210563e-06,6.594581e-06,6.624673e-06,6.963592e-06,7.106700e-06,7.316335e-06,7.559714e-06,7.651902e-06,7.969721e-06,7.982059e-06,8.269524e-06,8.373036e-06,8.551307e-06,8.732719e-06,8.815266e-06,9.061773e-06,9.291353e-06,9.361345e-06,9.504640e-06,9.632910e-06,9.702323e-06,9.878091e-06,9.885127e-06,1.005383e-05,1.009864e-05,1.020921e-05,1.029638e-05,1.035206e-05,1.047307e-05,1.048314e-05,1.060322e-05,1.063048e-05,1.071301e-05,1.077026e-05,1.081321e-05,1.089396e-05,1.090446e-05,1.098738e-05,1.100302e-05,1.106257e-05,1.109879e-05,1.113056e-05,1.118249e-05,1.119187e-05,1.124697e-05,1.125524e-05,1.129630e-05,1.131805e-05,1.134028e-05,1.137186e-05,1.137928e-05,1.141366e-05,1.141749e-05,1.144375e-05,1.145571e-05,1.146985e-05,1.148719e-05,1.149224e-05,1.151117e-05,1.151255e-05,1.152690e-05,1.153234e-05,1.153963e-05,1.154706e-05,1.154958e-05,1.155694e-05,1.155718e-05,1.156188e-05,1.156310e-05,1.156457e-05,1.156518e-05,1.156515e-05,1.156377e-05,1.156057e-05,1.155918e-05,1.155566e-05,1.155167e-05,1.154915e-05,1.154151e-05,1.154116e-05,1.153178e-05,1.152891e-05,1.152110e-05,1.151411e-05,1.150921e-05,1.149727e-05,1.149619e-05,1.148212e-05,1.147859e-05,1.146706e-05,1.145823e-05,1.145109e-05,1.143632e-05,1.143426e-05,1.141663e-05,1.141302e-05,1.139826e-05,1.138843e-05,1.137920e-05,1.136269e-05,1.135950e-05,1.133920e-05,1.133590e-05,1.131835e-05,1.130815e-05,1.129698e-05,1.127954e-05,1.127514e-05,1.125286e-05,1.125016e-05,1.123018e-05,1.122008e-05,1.120712e-05,1.118937e-05,1.118373e-05,1.116002e-05,1.115811e-05,1.113602e-05,1.112635e-05,1.111177e-05,1.109416e-05,1.108728e-05,1.106259e-05,1.106159e-05,1.103770e-05,1.102870e-05,1.101264e-05,1.099552e-05,1.098744e-05,1.096211e-05,1.092850e-05,1.089473e-05,1.086085e-05,1.082687e-05,1.079285e-05,1.075879e-05,1.072474e-05,1.069071e-05,1.065674e-05,1.062284e-05,1.058903e-05,1.055533e-05,1.052177e-05,1.048835e-05,1.045510e-05,1.042202e-05,1.038913e-05,1.035645e-05,1.032398e-05,1.029174e-05,1.025973e-05,1.022796e-05,1.019645e-05,1.016520e-05
0.000000e+00,7.723127e-11,3.052311e-10,2.101872e-09,6.954393e-09,1.176367e-08,3.495544e-08,3.631437e-08,8.290734e-08,1.008323e-07,1.582935e-07,2.200180e-07,2.688662e-07,4.069195e-07,4.207262e-07,6.196341e-07,6.749616e-07,8.706882e-07,1.035525e-06,1.177606e-06,1.495144e-06,1.541871e-06,1.962428e-06,2.053052e-06,2.436239e-06,2.702315e-06,2.959167e-06,3.433039e-06,3.526631e-06,4.133865e-06,4.234390e-06,4.776009e-06,5.095188e-06,5.448115e-06,6.004009e-06,6.145178e-06,6.862187e-06,6.949332e-06,7.594195e-06,7.919784e-06,8.336394e-06,8.904447e-06,9.084194e-06,9.833271e-06,9.893131e-06,1.057963e-05,1.087659e-05,1.131965e-05,1.184669e-05,1.205007e-05,1.276804e-05,1.279646e-05,1.347108e-05,1.372010e-05,1.415709e-05,1.461294e-05,1.482432e-05,1.547135e-05,1.609707e-05,1.629265e-05,1.670062e-05,1.707497e-05,1.728140e-05,1.781716e-05,1.783901e-05,1.837326e-05,1.851865e-05,1.888409e-05,1.917938e-05,1.937160e-05,1.979969e-05,1.983600e-05,2.027759e-05,2.038023e-05,2.069678e-05,2.092190e-05,2.109401e-05,2.142580e-05,2.146978e-05,2.182465e-05,2.189317e-05,2.215920e-05,2.232533e-05,2.247403e-05,2.272371e-05,2.276977e-05,2.304703e-05,2.308973e-05,2.330647e-05,2.342486e-05,2.354872e-05,2.373057e-05,2.377441e-05,2.398418e-05,2.400831e-05,2.417864e-05,2.425952e-05,2.435841e-05,2.448559e-05,2.452410e-05,2.467628e-05,2.468789e-05,2.481554e-05,2.486775e-05,2.494244e-05,2.502645e-05,2.505752e-05,2.516131e-05,2.516523e-05,2.525433e-05,2.528528e-05,2.533709e-05,2.538774e-05,2.541005e-05,2.547370e-05,2.552848e-05,2.554421e-05,2.557484e-05,2.560028e-05,2.561319e-05,2.564285e-05,2.564393e-05,2.566748e-05,2.567283e-05,2.568419e-05,2.569109e-05,2.569444e-05,2.569846e-05,2.569857e-05,2.569692e-05,2.569570e-05,2.568982e-05,2.568357e-05,2.567757e-05,2.566277e-05,2.566047e-05,2.563881e-05,2.563395e-05,2.561286e-05,2.559775e-05,2.558288e-05,2.555477e-05,2.554913e-05,2.551184e-05,2.550556e-05,2.547125e-05,2.545066e-05,2.542758e-05,2.539056e-05,2.538103e-05,2.533182e-05,2.532574e-05,2.528013e-05,2.525665e-05,2.522614e-05,2.518369e-05,2.517004e-05,2.511198e-05,2.510726e-05,2.505214e-05,2.502773e-05,2.499065e-05,2.494545e-05,2.492768e-05,2.486334e-05,2.486074e-05,2.479778e-05,2.477391e-05,2.473112e-05,2.468523e-05,2.466348e-05,2.459498e-05,2.450340e-05,2.441072e-05,2.431717e-05,2.422294e-05,2.412821e-05,2.403317e-05,2.393798e-05,2.384277e-05,2.374770e-05,2.365288e-05,2.355843e-05,2.346447e-05,2.337110e-05,2.327839e-05,2.318644e-05,2.309531e-05,2.300509e-05,2.291582e-05,2.282757e-05,2.274038e-05,2.265431e-05,2.256938e-05,2.248563e-05,2.240310e-05
0.000000e+00,2.436148e-11,1.124897e-10,1.030205e-09,4.246952e-09,7.990534e-09,3.003643e-08,3.147021e-08,8.651066e-08,1.099708e-07,1.910803e-07,2.858453e-07,3.651833e-07,6.053733e-07,6.304874e-07,1.009782e-06,1.120297e-06,1.525286e-06,1.880481e-06,2.194951e-06,2.918907e-06,3.027376e-06,4.018385e-06,4.234372e-06,5.151983e-06,5.790221e-06,6.404902e-06,7.530879e-06,7.751627e-06,9.167823e-06,9.399374e-06,1.063187e-05,1.134603e-05,1.212513e-05,1.332994e-05,1.363161e-05,1.513759e-05,1.531770e-05,1.663129e-05,1.728198e-05,1.810262e-05,1.920056e-05,1.954304e-05,2.094541e-05,2.105578e-05,2.230398e-05,2.283408e-05,2.361419e-05,2.452563e-05,2.487261e-05,2.607683e-05,2.612385e-05,2.722530e-05,2.762493e-05,2.831723e-05,2.902734e-05,2.935245e-05,3.033133e-05,3.125467e-05,3.153859e-05,3.212359e-05,3.265178e-05,3.293949e-05,3.367433e-05,3.370394e-05,3.441867e-05,3.461013e-05,3.508551e-05,3.546340e-05,3.570633e-05,3.623848e-05,3.628304e-05,3.681756e-05,3.693978e-05,3.731179e-05,3.757165e-05,3.776759e-05,3.813838e-05,3.818682e-05,3.857124e-05,3.864411e-05,3.892261e-05,3.909281e-05,3.924259e-05,3.948832e-05,3.953282e-05,3.979484e-05,3.983425e-05,4.003016e-05,4.013405e-05,4.024021e-05,4.039098e-05,4.042636e-05,4.058993e-05,4.060811e-05,4.073219e-05,4.078833e-05,4.085431e-05,4.093438e-05,4.095746e-05,4.104272e-05,4.104880e-05,4.111112e-05,4.113399e-05,4.116366e-05,4.119219e-05,4.120127e-05,4.122485e-05,4.122551e-05,4.123525e-05,4.123592e-05,4.123327e-05,4.122525e-05,4.121969e-05,4.119522e-05,4.116056e-05,4.114743e-05,4.111637e-05,4.108337e-05,4.106326e-05,4.100444e-05,4.100183e-05,4.093263e-05,4.091193e-05,4.085619e-05,4.080706e-05,4.077302e-05,4.069096e-05,4.068359e-05,4.058834e-05,4.056467e-05,4.048772e-05,4.042917e-05,4.038211e-05,4.028536e-05,4.027190e-05,4.015746e-05,4.013409e-05,4.003911e-05,3.997614e-05,3.991720e-05,3.981225e-05,3.979201e-05,3.966384e-05,3.964307e-05,3.953296e-05,3.946925e-05,3.939963e-05,3.929137e-05,3.926409e-05,3.912658e-05,3.910995e-05,3.898730e-05,3.892551e-05,3.884646e-05,3.873850e-05,3.870426e-05,3.856087e-05,3.854935e-05,3.841646e-05,3.835846e-05,3.827121e-05,3.816618e-05,3.812525e-05,3.797874e-05,3.797287e-05,3.783180e-05,3.777882e-05,3.768456e-05,3.758432e-05,3.753714e-05,3.738965e-05,3.719504e-05,3.700071e-05,3.680687e-05,3.661371e-05,3.642139e-05,3.623009e-05,3.603993e-05,3.585105e-05,3.566356e-05,3.547758e-05,3.529320e-05,3.511051e-05,3.492958e-05,3.475049e-05,3.457330e-05,3.439806e-05,3.422483e-05,3.405364e-05,3.388453e-05,3.371753e-05,3.355268e-05,3.338998e-05,3.322947e-05,3.307114e-05
0.000000e+00,2.981801e-11,1.476641e-10,1.556317e-09,7.251233e-09,1.455696e-08,6.418624e-08,6.767146e-08,2.153507e-07,2.842946e-07,5.412111e-07,8.684215e-07,1.159317e-06,2.109925e-06,2.214305e-06,3.877887e-06,4.388381e-06,6.336443e-06,8.128232e-06,9.768991e-06,1.371413e-05,1.432381e-05,2.010315e-05,2.141137e-05,2.715868e-05,3.133513e-05,3.549511e-05,4.346332e-05,4.507797e-05,5.584215e-05,5.766844e-05,6.769979e-05,7.374972e-05,8.054664e-05,9.145897e-05,9.426715e-05,1.087384e-04,1.105194e-04,1.238335e-04,1.306398e-04,1.394238e-04,1.515250e-04,1.553816e-04,1.715826e-04,1.728856e-04,1.879071e-04,1.944459e-04,2.042421e-04,2.159504e-04,2.204825e-04,2.365324e-04,2.371692e-04,2.523055e-04,2.579011e-04,2.677256e-04,2.779757e-04,2.827269e-04,2.972537e-04,3.112601e-04,3.156260e-04,3.247095e-04,3.330115e-04,3.375738e-04,3.493546e-04,3.498332e-04,3.614746e-04,3.646224e-04,3.724914e-04,3.788010e-04,3.828825e-04,3.918927e-04,3.926515e-04,4.018062e-04,4.039131e-04,4.103576e-04,4.148879e-04,4.183195e-04,4.248510e-04,4.257080e-04,4.325408e-04,4.338423e-04,4.388371e-04,4.419057e-04,4.446169e-04,4.490878e-04,4.499008e-04,4.547099e-04,4.554367e-04,4.590654e-04,4.610010e-04,4.629883e-04,4.658292e-04,4.664995e-04,4.696197e-04,4.699688e-04,4.723690e-04,4.734662e-04,4.747670e-04,4.763665e-04,4.768330e-04,4.785854e-04,4.787126e-04,4.800421e-04,4.805459e-04,4.812203e-04,4.819055e-04,4.821365e-04,4.828067e-04,4.828286e-04,4.832461e-04,4.833506e-04,4.834692e-04,4.835045e-04,4.834899e-04,4.833215e-04,4.829767e-04,4.828311e-04,4.824674e-04,4.820605e-04,4.818052e-04,4.810356e-04,4.810009e-04,4.800648e-04,4.797804e-04,4.790067e-04,4.783172e-04,4.778360e-04,4.766670e-04,4.765614e-04,4.751913e-04,4.748491e-04,4.737335e-04,4.728816e-04,4.721955e-04,4.707813e-04,4.705843e-04,4.689066e-04,4.685636e-04,4.671687e-04,4.662431e-04,4.653764e-04,4.638330e-04,4.635354e-04,4.616508e-04,4.613456e-04,4.597277e-04,4.587923e-04,4.577706e-04,4.561835e-04,4.557840e-04,4.537719e-04,4.535289e-04,4.517382e-04,4.508374e-04,4.496864e-04,4.481170e-04,4.476199e-04,4.455420e-04,4.453754e-04,4.434555e-04,4.426191e-04,4.413632e-04,4.398547e-04,4.392677e-04,4.371714e-04,4.370876e-04,4.350765e-04,4.343231e-04,4.329851e-04,4.315659e-04,4.308991e-04,4.288203e-04,4.260901e-04,4.233789e-04,4.206896e-04,4.180252e-04,4.153882e-04,4.127807e-04,4.102047e-04,4.076620e-04,4.051540e-04,4.026822e-04,4.002475e-04,3.978509e-04,3.954933e-04,3.931752e-04,3.908972e-04,3.886596e-04,3.864628e-04,3.843069e-04,3.821920e-04,3.801181e-04,3.780852e-04,3.760930e-04,3.741413e-04,3.722300e-04
0.000000e+00,1.633299e-10,4.106789e-10,1.562603e-09,3.743773e-09,5.583830e-09,1.332321e-08,1.375176e-08,2.797333e-08,3.336147e-08,5.069568e-08,6.953387e-08,8.455568e-08,1.268432e-07,1.310177e-07,1.892642e-07,2.047683e-07,2.572185e-07,2.987859e-07,3.329929e-07,4.050669e-07,4.152447e-07,5.030005e-07,5.211404e-07,5.954623e-07,6.451569e-07,6.918932e-07,7.754310e-07,7.915665e-07,8.937505e-07,9.102842e-07,9.977182e-07,1.048046e-06,1.102758e-06,1.187100e-06,1.208184e-06,1.313359e-06,1.325935e-06,1.417695e-06,1.463200e-06,1.520669e-06,1.597733e-06,1.621822e-06,1.720761e-06,1.728571e-06,1.817156e-06,1.854938e-06,1.910734e-06,1.976247e-06,2.001287e-06,2.088660e-06,2.092087e-06,2.172741e-06,2.202189e-06,2.253455e-06,2.306398e-06,2.330765e-06,2.404661e-06,2.475157e-06,2.497002e-06,2.542285e-06,2.583503e-06,2.606097e-06,2.664293e-06,2.666654e-06,2.724030e-06,2.739536e-06,2.778302e-06,2.809404e-06,2.829541e-06,2.874087e-06,2.877847e-06,2.923322e-06,2.933825e-06,2.966058e-06,2.988829e-06,3.006151e-06,3.039325e-06,3.043700e-06,3.078794e-06,3.085526e-06,3.111528e-06,3.127649e-06,3.141996e-06,3.165902e-06,3.170286e-06,3.196486e-06,3.200490e-06,3.220682e-06,3.231610e-06,3.242961e-06,3.259458e-06,3.263404e-06,3.282090e-06,3.284218e-06,3.299096e-06,3.306066e-06,3.314497e-06,3.325172e-06,3.328364e-06,3.340767e-06,3.341698e-06,3.351773e-06,3.355800e-06,3.361448e-06,3.367625e-06,3.369855e-06,3.377053e-06,3.377316e-06,3.383100e-06,3.385007e-06,3.388053e-06,3.390823e-06,3.391965e-06,3.394888e-06,3.396870e-06,3.397314e-06,3.397960e-06,3.398211e-06,3.398204e-06,3.397682e-06,3.397645e-06,3.396326e-06,3.395825e-06,3.394286e-06,3.392732e-06,3.391564e-06,3.388491e-06,3.388198e-06,3.384223e-06,3.383182e-06,3.379673e-06,3.376886e-06,3.374581e-06,3.369675e-06,3.368977e-06,3.362891e-06,3.361619e-06,3.356353e-06,3.352783e-06,3.349389e-06,3.343230e-06,3.342026e-06,3.334288e-06,3.333017e-06,3.326200e-06,3.322199e-06,3.317783e-06,3.310829e-06,3.309061e-06,3.300053e-06,3.298954e-06,3.290779e-06,3.286620e-06,3.281259e-06,3.273870e-06,3.271511e-06,3.261551e-06,3.260746e-06,3.251396e-06,3.247283e-06,3.241062e-06,3.233520e-06,3.230564e-06,3.219916e-06,3.219487e-06,3.209132e-06,3.205218e-06,3.198223e-06,3.190742e-06,3.187204e-06,3.176085e-06,3.161274e-06,3.146333e-06,3.131285e-06,3.116150e-06,3.100949e-06,3.085700e-06,3.070419e-06,3.055123e-06,3.039827e-06,3.024545e-06,3.009289e-06,2.994071e-06,2.978903e-06,2.963794e-06,2.948754e-06,2.933793e-06,2.918917e-06,2.904135e-06,2.889452e-06,2.874876e-06,2.860412e-06,2.846066e-06,2.831841e-06,2.817742e-06
0.000000e+00,4.595076e-12,2.366832e-11,2.706965e-10,1.358570e-09,2.840511e-09,1.389803e-08,1.471421e-08,5.179214e-08,7.023161e-08,1.428216e-07,2.413253e-07,3.328964e-07,6.501243e-07,6.862768e-07,1.288433e-06,1.481474e-06,2.247254e-06,2.987735e-06,3.693290e-06,5.489230e-06,5.778760e-06,8.675030e-06,9.367780e-06,1.256857e-05,1.505228e-05,1.765575e-05,2.299813e-05,2.413709e-05,3.221137e-05,3.366402e-05,4.207002e-05,4.748913e-05,5.389199e-05,6.487257e-05,6.783909e-05,8.405214e-05,8.615578e-05,1.026476e-04,1.116084e-04,1.237150e-04,1.414181e-04,1.473154e-04,1.734795e-04,1.756836e-04,2.022080e-04,2.144118e-04,2.334713e-04,2.575184e-04,2.672104e-04,3.033385e-04,3.048318e-04,3.417425e-04,3.560994e-04,3.822855e-04,4.109967e-04,4.248096e-04,4.691382e-04,5.150797e-04,5.300886e-04,5.624302e-04,5.933758e-04,6.109766e-04,6.585030e-04,6.604999e-04,7.107782e-04,7.249610e-04,7.615889e-04,7.922393e-04,8.127122e-04,8.598363e-04,8.639326e-04,9.150415e-04,9.272686e-04,9.658388e-04,9.940779e-04,1.016135e-03,1.059838e-03,1.065750e-03,1.114520e-03,1.124158e-03,1.162290e-03,1.186688e-03,1.208921e-03,1.247119e-03,1.254288e-03,1.298280e-03,1.305184e-03,1.340799e-03,1.360659e-03,1.381761e-03,1.413363e-03,1.421097e-03,1.458750e-03,1.463153e-03,1.494674e-03,1.509924e-03,1.528837e-03,1.553609e-03,1.561216e-03,1.591800e-03,1.594169e-03,1.620587e-03,1.631600e-03,1.647583e-03,1.665919e-03,1.672803e-03,1.696268e-03,1.697170e-03,1.718007e-03,1.725416e-03,1.738053e-03,1.750737e-03,1.756446e-03,1.773229e-03,1.788448e-03,1.792996e-03,1.802154e-03,1.810156e-03,1.814399e-03,1.824830e-03,1.825237e-03,1.834725e-03,1.837148e-03,1.842919e-03,1.847239e-03,1.849878e-03,1.855238e-03,1.855658e-03,1.860318e-03,1.861276e-03,1.863916e-03,1.865487e-03,1.866507e-03,1.868001e-03,1.868150e-03,1.868897e-03,1.868944e-03,1.868804e-03,1.868440e-03,1.867922e-03,1.866610e-03,1.866303e-03,1.863996e-03,1.863566e-03,1.861049e-03,1.859421e-03,1.857509e-03,1.854278e-03,1.853418e-03,1.848821e-03,1.848237e-03,1.843757e-03,1.841391e-03,1.838266e-03,1.833830e-03,1.832385e-03,1.826149e-03,1.825635e-03,1.819592e-03,1.816886e-03,1.812745e-03,1.807654e-03,1.805640e-03,1.798304e-03,1.798006e-03,1.790765e-03,1.788006e-03,1.783047e-03,1.777710e-03,1.775175e-03,1.767171e-03,1.756440e-03,1.745560e-03,1.734572e-03,1.723514e-03,1.712420e-03,1.701320e-03,1.690242e-03,1.679210e-03,1.668247e-03,1.657373e-03,1.646605e-03,1.635959e-03,1.625448e-03,1.615084e-03,1.604877e-03,1.594836e-03,1.584969e-03,1.575281e-03,1.565777e-03,1.556462e-03,1.547339e-03,1.538410e-03,1.529676e-03,1.521138e-03
0.000000e+00,1.487449e-10,3.721682e-10,1.421997e-09,3.470197e-09,5.261056e-09,1.337441e-08,1.384861e-08,3.069551e-08,3.746316e-08,5.960024e-08,8.308260e-08,1.009541e-07,1.474691e-07,1.518168e-07,2.095238e-07,2.242080e-07,2.725803e-07,3.099045e-07,3.401529e-07,4.028886e-07,4.116599e-07,4.865768e-07,5.019221e-07,5.643599e-07,6.057484e-07,6.444285e-07,7.130073e-07,7.261738e-07,8.089789e-07,8.222853e-07,8.922387e-07,9.321950e-07,9.753800e-07,1.041452e-06,1.057876e-06,1.139257e-06,1.148927e-06,1.219114e-06,1.253678e-06,1.297105e-06,1.354952e-06,1.372944e-06,1.446407e-06,1.452176e-06,1.517325e-06,1.544950e-06,1.585575e-06,1.633015e-06,1.651074e-06,1.713777e-06,1.716227e-06,1.773667e-06,1.794539e-06,1.830749e-06,1.867975e-06,1.885051e-06,1.936614e-06,1.985493e-06,2.000579e-06,2.031757e-06,2.060022e-06,2.075469e-06,2.115103e-06,2.116706e-06,2.155548e-06,2.166006e-06,2.192076e-06,2.212916e-06,2.226372e-06,2.256024e-06,2.258519e-06,2.288600e-06,2.295521e-06,2.316696e-06,2.331593e-06,2.342888e-06,2.364426e-06,2.367256e-06,2.389877e-06,2.394198e-06,2.410826e-06,2.421082e-06,2.430175e-06,2.445245e-06,2.447997e-06,2.464360e-06,2.466847e-06,2.479330e-06,2.486040e-06,2.492972e-06,2.502971e-06,2.505348e-06,2.516517e-06,2.517779e-06,2.526537e-06,2.530597e-06,2.535464e-06,2.541550e-06,2.543351e-06,2.550248e-06,2.550759e-06,2.556206e-06,2.558336e-06,2.561270e-06,2.564390e-06,2.565488e-06,2.568901e-06,2.569021e-06,2.571552e-06,2.572327e-06,2.573480e-06,2.574398e-06,2.574724e-06,2.575319e-06,2.575302e-06,2.575173e-06,2.574705e-06,2.574034e-06,2.573561e-06,2.571976e-06,2.571900e-06,2.569751e-06,2.569066e-06,2.567142e-06,2.565367e-06,2.564100e-06,2.560941e-06,2.560651e-06,2.556818e-06,2.555844e-06,2.552626e-06,2.550129e-06,2.548095e-06,2.543845e-06,2.543248e-06,2.538104e-06,2.537041e-06,2.532683e-06,2.529760e-06,2.527002e-06,2.522044e-06,2.521081e-06,2.514934e-06,2.513931e-06,2.508579e-06,2.505458e-06,2.502029e-06,2.496660e-06,2.495300e-06,2.488405e-06,2.487568e-06,2.481358e-06,2.478212e-06,2.474170e-06,2.468621e-06,2.466854e-06,2.459420e-06,2.458821e-06,2.451880e-06,2.448836e-06,2.444243e-06,2.438690e-06,2.436520e-06,2.428718e-06,2.428405e-06,2.420848e-06,2.417999e-06,2.412917e-06,2.407493e-06,2.404933e-06,2.396903e-06,2.386246e-06,2.375538e-06,2.364791e-06,2.354020e-06,2.343237e-06,2.332453e-06,2.321678e-06,2.310923e-06,2.300197e-06,2.289507e-06,2.278862e-06,2.268269e-06,2.257734e-06,2.247263e-06,2.236863e-06,2.226537e-06,2.216291e-06,2.206129e-06,2.196055e-06,2.186072e-06,2.176183e-06,2.166392e-06,2.156700e-06,2.147110e-06
0.000000e+00,1.743363e-11,4.177046e-11,1.507347e-10,3.508151e-10,5.162029e-10,1.189212e-09,1.225593e-09,2.392059e-09,2.816773e-09,4.136520e-09,5.515031e-09,6.590350e-09,9.586604e-09,9.883540e-09,1.410919e-08,1.526627e-08,1.929188e-08,2.260216e-08,2.540181e-08,3.150841e-08,3.239225e-08,4.021993e-08,4.188258e-08,4.884753e-08,5.363847e-08,5.824025e-08,6.669516e-08,6.836206e-08,7.917326e-08,8.096412e-08,9.062915e-08,9.634248e-08,1.026797e-07,1.127113e-07,1.152697e-07,1.283395e-07,1.299371e-07,1.418260e-07,1.478751e-07,1.556633e-07,1.663730e-07,1.697843e-07,1.841220e-07,1.852764e-07,1.986099e-07,2.044326e-07,2.131836e-07,2.236950e-07,2.277813e-07,2.423450e-07,2.429261e-07,2.568204e-07,2.620002e-07,2.711577e-07,2.808050e-07,2.853118e-07,2.992426e-07,3.129146e-07,3.172298e-07,3.262971e-07,3.346978e-07,3.393641e-07,3.515917e-07,3.520942e-07,3.644693e-07,3.678687e-07,3.764750e-07,3.834966e-07,3.881007e-07,3.984545e-07,3.993392e-07,4.101861e-07,4.127308e-07,4.206392e-07,4.263209e-07,4.306986e-07,4.392270e-07,4.403666e-07,4.496471e-07,4.514571e-07,4.585453e-07,4.630234e-07,4.670676e-07,4.739414e-07,4.752216e-07,4.830155e-07,4.842297e-07,4.904581e-07,4.939086e-07,4.975592e-07,5.030010e-07,5.043290e-07,5.107781e-07,5.115310e-07,5.169165e-07,5.195215e-07,5.227538e-07,5.269949e-07,5.283000e-07,5.335650e-07,5.339743e-07,5.385588e-07,5.404826e-07,5.432912e-07,5.465420e-07,5.477716e-07,5.520093e-07,5.521739e-07,5.560134e-07,5.573994e-07,5.597927e-07,5.622388e-07,5.633560e-07,5.667117e-07,5.698679e-07,5.708370e-07,5.728324e-07,5.746327e-07,5.756129e-07,5.781157e-07,5.782165e-07,5.806504e-07,5.813024e-07,5.829213e-07,5.842084e-07,5.850359e-07,5.868486e-07,5.870004e-07,5.888209e-07,5.892371e-07,5.905034e-07,5.913874e-07,5.920535e-07,5.933123e-07,5.934765e-07,5.947777e-07,5.950238e-07,5.959621e-07,5.965334e-07,5.970344e-07,5.978520e-07,5.979994e-07,5.988613e-07,5.989900e-07,5.996246e-07,5.999571e-07,6.002932e-07,6.007626e-07,6.008711e-07,6.013621e-07,6.014153e-07,6.017697e-07,6.019236e-07,6.020975e-07,6.022953e-07,6.023488e-07,6.025267e-07,6.025379e-07,6.026344e-07,6.026584e-07,6.026747e-07,6.026637e-07,6.026506e-07,6.025648e-07,6.025601e-07,6.024198e-07,6.023536e-07,6.022181e-07,6.020499e-07,6.019622e-07,6.016544e-07,6.011724e-07,6.006086e-07,5.999677e-07,5.992541e-07,5.984719e-07,5.976251e-07,5.967175e-07,5.957525e-07,5.947337e-07,5.936641e-07,5.925468e-07,5.913847e-07,5.901806e-07,5.889371e-07,5.876566e-07,5.863416e-07,5.849942e-07,5.836167e-07,5.822110e-07,5.807791e-07,5.793228e-07,5.778439e-07,5.763439e-07,5.748246e-07
0.000000e+00,9.607870e-10,4.938213e-09,5.622284e-08,2.810165e-07,5.862435e-07,2.852140e-06,3.018950e-06,1.056830e-05,1.431005e-05,2.899617e-05,4.885611e-05,6.727287e-05,1.308655e-04,1.380978e-04,2.582672e-04,2.967027e-04,4.488811e-04,5.956979e-04,7.353609e-04,1.090111e-03,1.147219e-03,1.717509e-03,1.853687e-03,2.481943e-03,2.968510e-03,3.477760e-03,4.520527e-03,4.742479e-03,6.312662e-03,6.594580e-03,8.222772e-03,9.269717e-03,1.050417e-02,1.261519e-02,1.318428e-02,1.628589e-02,1.668730e-02,1.982668e-02,2.152711e-02,2.381886e-02,2.715904e-02,2.826897e-02,3.317780e-02,3.359022e-02,3.854053e-02,4.081059e-02,4.434689e-02,4.879369e-02,5.058145e-02,5.722405e-02,5.749790e-02,6.425022e-02,6.686822e-02,7.163176e-02,7.683827e-02,7.933723e-02,8.733254e-02,9.558158e-02,9.826875e-02,1.040467e-01,1.095601e-01,1.126895e-01,1.211174e-01,1.214708e-01,1.303520e-01,1.328514e-01,1.392947e-01,1.446742e-01,1.482614e-01,1.565011e-01,1.572162e-01,1.661244e-01,1.682517e-01,1.749533e-01,1.798514e-01,1.836723e-01,1.912314e-01,1.922528e-01,2.006686e-01,2.023299e-01,2.088959e-01,2.130923e-01,2.169130e-01,2.234710e-01,2.247010e-01,2.322430e-01,2.334259e-01,2.395247e-01,2.429237e-01,2.465338e-01,2.519380e-01,2.532603e-01,2.596963e-01,2.604488e-01,2.658357e-01,2.684419e-01,2.716743e-01,2.759088e-01,2.772096e-01,2.824406e-01,2.828459e-01,2.873678e-01,2.892540e-01,2.919931e-01,2.951380e-01,2.963194e-01,3.003509e-01,3.005061e-01,3.040926e-01,3.053697e-01,3.075503e-01,3.097426e-01,3.107306e-01,3.136408e-01,3.162885e-01,3.170817e-01,3.186821e-01,3.200845e-01,3.208299e-01,3.226690e-01,3.227410e-01,3.244242e-01,3.248559e-01,3.258888e-01,3.266665e-01,3.271440e-01,3.281219e-01,3.281992e-01,3.290635e-01,3.292436e-01,3.297463e-01,3.300528e-01,3.302567e-01,3.305704e-01,3.306037e-01,3.307960e-01,3.308167e-01,3.308424e-01,3.308117e-01,3.307513e-01,3.305746e-01,3.305310e-01,3.301894e-01,3.301240e-01,3.297343e-01,3.294777e-01,3.291731e-01,3.286528e-01,3.285132e-01,3.277615e-01,3.276654e-01,3.269247e-01,3.265311e-01,3.260091e-01,3.252645e-01,3.250210e-01,3.239663e-01,3.238792e-01,3.228505e-01,3.223883e-01,3.216790e-01,3.208038e-01,3.204568e-01,3.191889e-01,3.191373e-01,3.178798e-01,3.173992e-01,3.165338e-01,3.155996e-01,3.151550e-01,3.137475e-01,3.118515e-01,3.099194e-01,3.079585e-01,3.059755e-01,3.039765e-01,3.019670e-01,2.999522e-01,2.979368e-01,2.959249e-01,2.939204e-01,2.919267e-01,2.899469e-01,2.879837e-01,2.860397e-01,2.841170e-01,2.822175e-01,2.803429e-01,2.784947e-01,2.766741e-01,2.748822e-01,2.731200e-01,2.713880e-01,2.696871e-01,2.680175e-01
0.000000e+00,1.509461e-11,7.120131e-11,6.800066e-10,2.904211e-09,5.564458e-09,2.182763e-08,2.290607e-08,6.523623e-08,8.362767e-08,1.480680e-07,2.243519e-07,2.886898e-07,4.848204e-07,5.053992e-07,8.170492e-07,9.080799e-07,1.242496e-06,1.537135e-06,1.799373e-06,2.409531e-06,2.501851e-06,3.357944e-06,3.547752e-06,4.367816e-06,4.951516e-06,5.524045e-06,6.598865e-06,6.813466e-06,8.219554e-06,8.454165e-06,9.724412e-06,1.047654e-05,1.131010e-05,1.262520e-05,1.295934e-05,1.465587e-05,1.486190e-05,1.638455e-05,1.715171e-05,1.813140e-05,1.946324e-05,1.988362e-05,2.162965e-05,2.176874e-05,2.335911e-05,2.404418e-05,2.506291e-05,2.626927e-05,2.673315e-05,2.836313e-05,2.842741e-05,2.994729e-05,3.050549e-05,3.148117e-05,3.249366e-05,3.296126e-05,3.438497e-05,3.575050e-05,3.617499e-05,3.705676e-05,3.786140e-05,3.830325e-05,3.944365e-05,3.948998e-05,4.061742e-05,4.092258e-05,4.168637e-05,4.230011e-05,4.269793e-05,4.357901e-05,4.365342e-05,4.455436e-05,4.476264e-05,4.540237e-05,4.585479e-05,4.619921e-05,4.685951e-05,4.694666e-05,4.764658e-05,4.778102e-05,4.830082e-05,4.862360e-05,4.891126e-05,4.939153e-05,4.947974e-05,5.000809e-05,5.008903e-05,5.049811e-05,5.072021e-05,5.095154e-05,5.128910e-05,5.137010e-05,5.175544e-05,5.179953e-05,5.210918e-05,5.225521e-05,5.243286e-05,5.265968e-05,5.272798e-05,5.299599e-05,5.301630e-05,5.323826e-05,5.332827e-05,5.345615e-05,5.359864e-05,5.365092e-05,5.382379e-05,5.383027e-05,5.397595e-05,5.402587e-05,5.410851e-05,5.418800e-05,5.422254e-05,5.431908e-05,5.439910e-05,5.442137e-05,5.446354e-05,5.449701e-05,5.451328e-05,5.454801e-05,5.454919e-05,5.457207e-05,5.457625e-05,5.458270e-05,5.458350e-05,5.458181e-05,5.457143e-05,5.457011e-05,5.454825e-05,5.454157e-05,5.451689e-05,5.449540e-05,5.447662e-05,5.443427e-05,5.442801e-05,5.437162e-05,5.435946e-05,5.430797e-05,5.427216e-05,5.423754e-05,5.417349e-05,5.416081e-05,5.407822e-05,5.406449e-05,5.399020e-05,5.394613e-05,5.389714e-05,5.381932e-05,5.379942e-05,5.369742e-05,5.368490e-05,5.359146e-05,5.354367e-05,5.348188e-05,5.339636e-05,5.336897e-05,5.325304e-05,5.324365e-05,5.313436e-05,5.308618e-05,5.301319e-05,5.292453e-05,5.288976e-05,5.276433e-05,5.275928e-05,5.263711e-05,5.259091e-05,5.250830e-05,5.241991e-05,5.237811e-05,5.224672e-05,5.207174e-05,5.189535e-05,5.171790e-05,5.153972e-05,5.136109e-05,5.118230e-05,5.100359e-05,5.082520e-05,5.064735e-05,5.047022e-05,5.029400e-05,5.011886e-05,4.994493e-05,4.977236e-05,4.960127e-05,4.943177e-05,4.926396e-05,4.909793e-05,4.893377e-05,4.877153e-05,4.861130e-05,4.845311e-05,4.829703e-05,4.814310e-05
0.000000e+00,6.372850e-12,3.269720e-11,3.708444e-10,1.846715e-09,3.844337e-09,1.859466e-08,1.967733e-08,6.845421e-08,9.252587e-08,1.866176e-07,3.132091e-07,4.301447e-07,8.316642e-07,8.771567e-07,1.629380e-06,1.868782e-06,2.812292e-06,3.717061e-06,4.573524e-06,6.733285e-06,7.079080e-06,1.050746e-05,1.132004e-05,1.504247e-05,1.789862e-05,2.086578e-05,2.687949e-05,2.814978e-05,3.705132e-05,3.863510e-05,4.770643e-05,5.347739e-05,6.022611e-05,7.164102e-05,7.469321e-05,9.116032e-05,9.327212e-05,1.096488e-04,1.184226e-04,1.301487e-04,1.470500e-04,1.526194e-04,1.769918e-04,1.790210e-04,2.031696e-04,2.141202e-04,2.310333e-04,2.520608e-04,2.604423e-04,2.912394e-04,2.924978e-04,3.232536e-04,3.350422e-04,3.563044e-04,3.792759e-04,3.902051e-04,4.247660e-04,4.597980e-04,4.710772e-04,4.951151e-04,5.177841e-04,5.305370e-04,5.644803e-04,5.658911e-04,6.010145e-04,6.107867e-04,6.357553e-04,6.563574e-04,6.699736e-04,7.008833e-04,7.035421e-04,7.363469e-04,7.440949e-04,7.682870e-04,7.857627e-04,7.992751e-04,8.256975e-04,8.292365e-04,8.581091e-04,8.637483e-04,8.858428e-04,8.998008e-04,9.123986e-04,9.337743e-04,9.377483e-04,9.618732e-04,9.656187e-04,9.847634e-04,9.953114e-04,1.006417e-03,1.022854e-03,1.026840e-03,1.046044e-03,1.048268e-03,1.064047e-03,1.071593e-03,1.080870e-03,1.092883e-03,1.096541e-03,1.111089e-03,1.112205e-03,1.124547e-03,1.129633e-03,1.136950e-03,1.145248e-03,1.148336e-03,1.158742e-03,1.159138e-03,1.168208e-03,1.171393e-03,1.176774e-03,1.182105e-03,1.184479e-03,1.191364e-03,1.197468e-03,1.199263e-03,1.202830e-03,1.205890e-03,1.207489e-03,1.211335e-03,1.211482e-03,1.214847e-03,1.215681e-03,1.217617e-03,1.219009e-03,1.219829e-03,1.221398e-03,1.221515e-03,1.222707e-03,1.222923e-03,1.223435e-03,1.223652e-03,1.223730e-03,1.223654e-03,1.223620e-03,1.223131e-03,1.222990e-03,1.222288e-03,1.221719e-03,1.221117e-03,1.219897e-03,1.219641e-03,1.217881e-03,1.217575e-03,1.215859e-03,1.214801e-03,1.213594e-03,1.211619e-03,1.211104e-03,1.208409e-03,1.208072e-03,1.205523e-03,1.204197e-03,1.202463e-03,1.200031e-03,1.199244e-03,1.195880e-03,1.195605e-03,1.192383e-03,1.190951e-03,1.188767e-03,1.186095e-03,1.185042e-03,1.181220e-03,1.181065e-03,1.177311e-03,1.175884e-03,1.173323e-03,1.170572e-03,1.169268e-03,1.165151e-03,1.159639e-03,1.154052e-03,1.148405e-03,1.142713e-03,1.136988e-03,1.131242e-03,1.125485e-03,1.119728e-03,1.113978e-03,1.108244e-03,1.102533e-03,1.096851e-03,1.091205e-03,1.085598e-03,1.080037e-03,1.074525e-03,1.069066e-03,1.063663e-03,1.058319e-03,1.053037e-03,1.047819e-03,1.042668e-03,1.037583e-03,1.032568e-03
0.000000e+00,5.407484e-11,1.320115e-10,4.859147e-10,1.142893e-09,1.690129e-09,3.947472e-09,4.070780e-09,8.087789e-09,9.579043e-09,1.430074e-08,1.936017e-08,2.338658e-08,3.491531e-08,3.607925e-08,5.295352e-08,5.764894e-08,7.409701e-08,8.762947e-08,9.899884e-08,1.233682e-07,1.268362e-07,1.568214e-07,1.630189e-07,1.883386e-07,2.051763e-07,2.209305e-07,2.488799e-07,2.542469e-07,2.880024e-07,2.934271e-07,3.219500e-07,3.382472e-07,3.558679e-07,3.828437e-07,3.895529e-07,4.228202e-07,4.267761e-07,4.555021e-07,4.696576e-07,4.874502e-07,5.111608e-07,5.185368e-07,5.486522e-07,5.510166e-07,5.777069e-07,5.890156e-07,6.056311e-07,6.250066e-07,6.323726e-07,6.578957e-07,6.588909e-07,6.821796e-07,6.906165e-07,7.052158e-07,7.201689e-07,7.270076e-07,7.475690e-07,7.669214e-07,7.728632e-07,7.850926e-07,7.961173e-07,8.021155e-07,8.174114e-07,8.180270e-07,8.328671e-07,8.368360e-07,8.466776e-07,8.544874e-07,8.595013e-07,8.704649e-07,8.713816e-07,8.823624e-07,8.848687e-07,8.924868e-07,8.977983e-07,9.017974e-07,9.093509e-07,9.103361e-07,9.181434e-07,9.196206e-07,9.252586e-07,9.286977e-07,9.317198e-07,9.366684e-07,9.375634e-07,9.428244e-07,9.436144e-07,9.475366e-07,9.496130e-07,9.517320e-07,9.547367e-07,9.554411e-07,9.586930e-07,9.590539e-07,9.615155e-07,9.626282e-07,9.639349e-07,9.655195e-07,9.659762e-07,9.676629e-07,9.677832e-07,9.690176e-07,9.694713e-07,9.700615e-07,9.706319e-07,9.708146e-07,9.712961e-07,9.713099e-07,9.715237e-07,9.715469e-07,9.715146e-07,9.713814e-07,9.712847e-07,9.708492e-07,9.702224e-07,9.699837e-07,9.694178e-07,9.688154e-07,9.684480e-07,9.673728e-07,9.673251e-07,9.660603e-07,9.656822e-07,9.646644e-07,9.637681e-07,9.631473e-07,9.616528e-07,9.615186e-07,9.597871e-07,9.593572e-07,9.579612e-07,9.569004e-07,9.560488e-07,9.543003e-07,9.540574e-07,9.519939e-07,9.515732e-07,9.498650e-07,9.487341e-07,9.476768e-07,9.457971e-07,9.454350e-07,9.431453e-07,9.427748e-07,9.408127e-07,9.396792e-07,9.384420e-07,9.365211e-07,9.360378e-07,9.336043e-07,9.333105e-07,9.311455e-07,9.300566e-07,9.286651e-07,9.267678e-07,9.261667e-07,9.236536e-07,9.234520e-07,9.211287e-07,9.201162e-07,9.185951e-07,9.167669e-07,9.160553e-07,9.135119e-07,9.134102e-07,9.109673e-07,9.100514e-07,9.084237e-07,9.066956e-07,9.058831e-07,9.033473e-07,9.000107e-07,8.966896e-07,8.933873e-07,8.901070e-07,8.868515e-07,8.836234e-07,8.804248e-07,8.772579e-07,8.741245e-07,8.710261e-07,8.679643e-07,8.649403e-07,8.619552e-07,8.590100e-07,8.561054e-07,8.532422e-07,8.504210e-07,8.476423e-07,8.449064e-07,8.422136e-07,8.395642e-07,8.369582e-07,8.343958e-07,8.318769e-07
0.000000e+00,1.007165e-11,2.302687e-11,7.864217e-11,1.774371e-10,2.575654e-10,5.761351e-10,5.931125e-10,1.128637e-09,1.320236e-09,1.906958e-09,2.508622e-09,2.971743e-09,4.242031e-09,4.366767e-09,6.130910e-09,6.612280e-09,8.286413e-09,9.662163e-09,1.082255e-08,1.332921e-08,1.368796e-08,1.680384e-08,1.744964e-08,2.008751e-08,2.183704e-08,2.346759e-08,2.633932e-08,2.688712e-08,3.030116e-08,3.084437e-08,3.367343e-08,3.526831e-08,3.697404e-08,3.954602e-08,4.017803e-08,4.326464e-08,4.362630e-08,4.621693e-08,4.746983e-08,4.902157e-08,5.104806e-08,5.166852e-08,5.415086e-08,5.434220e-08,5.646458e-08,5.734245e-08,5.860821e-08,6.004665e-08,6.058250e-08,6.239010e-08,6.245900e-08,6.403525e-08,6.458875e-08,6.552340e-08,6.644891e-08,6.686098e-08,6.805511e-08,6.911337e-08,6.942460e-08,7.004364e-08,7.057551e-08,7.085388e-08,7.152617e-08,7.155204e-08,7.214597e-08,7.229463e-08,7.264327e-08,7.289836e-08,7.305132e-08,7.335396e-08,7.337716e-08,7.362747e-08,7.367702e-08,7.380858e-08,7.388202e-08,7.392645e-08,7.398230e-08,7.398665e-08,7.399440e-08,7.399009e-08,7.395455e-08,7.391652e-08,7.387159e-08,7.377166e-08,7.374970e-08,7.359275e-08,7.356462e-08,7.340428e-08,7.330360e-08,7.318759e-08,7.299595e-08,7.294569e-08,7.268136e-08,7.264826e-08,7.239715e-08,7.226641e-08,7.209541e-08,7.185567e-08,7.177826e-08,7.144768e-08,7.142070e-08,7.110545e-08,7.096567e-08,7.075322e-08,7.049426e-08,7.039248e-08,7.002460e-08,7.000975e-08,6.965082e-08,6.951504e-08,6.927229e-08,6.901270e-08,6.889003e-08,6.850498e-08,6.811800e-08,6.799388e-08,6.772985e-08,6.748116e-08,6.734125e-08,6.696836e-08,6.695283e-08,6.656516e-08,6.645682e-08,6.617876e-08,6.594773e-08,6.579410e-08,6.544210e-08,6.541159e-08,6.503162e-08,6.494085e-08,6.465453e-08,6.444472e-08,6.428061e-08,6.395440e-08,6.391013e-08,6.354334e-08,6.347045e-08,6.318045e-08,6.299334e-08,6.282163e-08,6.252349e-08,6.246705e-08,6.211685e-08,6.206123e-08,6.177115e-08,6.160684e-08,6.143005e-08,6.116054e-08,6.109364e-08,6.076199e-08,6.072251e-08,6.043516e-08,6.029289e-08,6.011319e-08,5.987177e-08,5.979613e-08,5.948398e-08,5.945923e-08,5.917678e-08,5.905528e-08,5.887452e-08,5.865995e-08,5.857720e-08,5.828481e-08,5.827322e-08,5.799734e-08,5.789506e-08,5.771477e-08,5.752541e-08,5.743707e-08,5.716421e-08,5.681139e-08,5.646685e-08,5.613049e-08,5.580221e-08,5.548187e-08,5.516938e-08,5.486458e-08,5.456736e-08,5.427758e-08,5.399509e-08,5.371976e-08,5.345145e-08,5.319001e-08,5.293531e-08,5.268719e-08,5.244551e-08,5.221014e-08,5.198092e-08,5.175772e-08,5.154040e-08,5.132882e-08,5.112285e-08,5.092234e-08,5.072717e-08
0.000000e+00,4.720676e-12,1.080099e-11,3.704797e-11,8.402556e-11,1.223449e-10,2.759136e-10,2.841393e-10,5.450858e-10,6.389927e-10,9.278161e-10,1.225434e-09,1.455193e-09,2.086883e-09,2.148947e-09,3.025136e-09,3.263272e-09,4.086841e-09,4.757936e-09,5.320466e-09,6.528661e-09,6.701207e-09,8.201935e-09,8.514245e-09,9.797922e-09,1.065820e-08,1.146754e-08,1.291281e-08,1.319158e-08,1.495262e-08,1.523674e-08,1.673473e-08,1.759329e-08,1.852334e-08,1.995006e-08,2.030535e-08,2.206912e-08,2.227906e-08,2.380457e-08,2.455694e-08,2.550315e-08,2.676500e-08,2.715778e-08,2.876280e-08,2.888892e-08,3.031384e-08,3.091839e-08,3.180768e-08,3.284653e-08,3.324207e-08,3.461565e-08,3.466932e-08,3.592778e-08,3.638509e-08,3.717845e-08,3.799402e-08,3.836813e-08,3.949771e-08,4.056838e-08,4.089879e-08,4.158161e-08,4.220067e-08,4.253901e-08,4.340724e-08,4.344236e-08,4.429352e-08,4.452275e-08,4.509439e-08,4.555160e-08,4.584694e-08,4.649827e-08,4.655310e-08,4.721482e-08,4.736723e-08,4.783400e-08,4.816287e-08,4.841253e-08,4.888946e-08,4.895224e-08,4.945491e-08,4.955115e-08,4.992227e-08,5.015191e-08,5.035600e-08,5.069553e-08,5.075771e-08,5.112896e-08,5.118564e-08,5.147125e-08,5.162568e-08,5.178600e-08,5.201892e-08,5.207461e-08,5.233838e-08,5.236843e-08,5.257859e-08,5.267713e-08,5.279645e-08,5.294778e-08,5.299311e-08,5.316967e-08,5.318296e-08,5.332720e-08,5.338511e-08,5.346670e-08,5.355652e-08,5.358914e-08,5.369542e-08,5.369935e-08,5.378643e-08,5.381561e-08,5.386299e-08,5.390721e-08,5.392591e-08,5.397593e-08,5.401378e-08,5.402344e-08,5.404015e-08,5.405129e-08,5.405568e-08,5.406097e-08,5.406099e-08,5.405669e-08,5.405383e-08,5.404332e-08,5.403118e-08,5.402143e-08,5.399420e-08,5.399153e-08,5.395409e-08,5.394404e-08,5.390958e-08,5.388173e-08,5.385844e-08,5.380827e-08,5.380107e-08,5.373789e-08,5.372458e-08,5.366925e-08,5.363152e-08,5.359552e-08,5.352990e-08,5.351704e-08,5.343412e-08,5.342046e-08,5.334708e-08,5.330392e-08,5.325621e-08,5.318093e-08,5.316177e-08,5.306404e-08,5.305210e-08,5.296325e-08,5.291800e-08,5.285965e-08,5.277917e-08,5.275346e-08,5.264490e-08,5.263611e-08,5.253415e-08,5.248929e-08,5.242142e-08,5.233912e-08,5.230688e-08,5.219071e-08,5.218603e-08,5.207307e-08,5.203039e-08,5.195411e-08,5.187254e-08,5.183398e-08,5.171282e-08,5.155152e-08,5.138894e-08,5.122533e-08,5.106094e-08,5.089600e-08,5.073071e-08,5.056528e-08,5.039988e-08,5.023467e-08,5.006983e-08,4.990548e-08,4.974176e-08,4.957880e-08,4.941670e-08,4.925557e-08,4.909550e-08,4.893658e-08,4.877889e-08,4.862251e-08,4.846749e-08,4.831390e-08,4.816179e-08,4.801121e-08,4.786220e-08
0.000000e+00,5.751354e-10,2.956220e-09,3.366396e-08,1.683078e-07,3.511833e-07,1.709629e-06,1.809672e-06,6.340361e-06,8.587461e-06,1.741338e-05,2.935969e-05,4.044622e-05,7.877171e-05,8.313393e-05,1.556943e-04,1.789292e-04,2.710289e-04,3.600240e-04,4.447986e-04,6.606036e-04,6.954056e-04,1.043856e-03,1.127303e-03,1.513466e-03,1.813836e-03,2.129378e-03,2.779032e-03,2.917894e-03,3.905662e-03,4.083956e-03,5.118804e-03,5.788503e-03,6.582061e-03,7.948025e-03,8.318031e-03,1.034652e-02,1.061041e-02,1.268403e-02,1.381388e-02,1.534342e-02,1.758548e-02,1.833363e-02,2.165962e-02,2.194026e-02,2.532231e-02,2.688112e-02,2.931871e-02,3.239909e-02,3.364205e-02,3.828204e-02,3.847405e-02,4.322512e-02,4.507572e-02,4.845477e-02,5.216499e-02,5.395192e-02,5.969524e-02,6.566155e-02,6.761388e-02,7.182621e-02,7.586383e-02,7.816346e-02,8.438500e-02,8.464680e-02,9.124930e-02,9.311567e-02,9.794395e-02,1.019938e-01,1.047039e-01,1.109581e-01,1.115029e-01,1.183151e-01,1.199492e-01,1.251158e-01,1.289103e-01,1.318813e-01,1.377879e-01,1.385890e-01,1.452178e-01,1.465323e-01,1.517479e-01,1.550983e-01,1.581609e-01,1.634451e-01,1.644401e-01,1.705703e-01,1.715364e-01,1.765377e-01,1.793407e-01,1.823303e-01,1.868312e-01,1.879372e-01,1.933495e-01,1.939855e-01,1.985592e-01,2.007857e-01,2.035601e-01,2.072178e-01,2.083469e-01,2.129158e-01,2.132718e-01,2.172641e-01,2.189412e-01,2.213901e-01,2.242229e-01,2.252933e-01,2.289738e-01,2.291164e-01,2.324329e-01,2.336243e-01,2.356724e-01,2.377512e-01,2.386950e-01,2.415040e-01,2.441031e-01,2.448911e-01,2.464966e-01,2.479228e-01,2.486893e-01,2.506102e-01,2.506864e-01,2.524932e-01,2.529658e-01,2.541155e-01,2.550028e-01,2.555592e-01,2.567349e-01,2.568304e-01,2.579353e-01,2.581765e-01,2.588803e-01,2.593420e-01,2.596718e-01,2.602463e-01,2.603161e-01,2.608197e-01,2.609041e-01,2.611889e-01,2.613299e-01,2.614301e-01,2.615384e-01,2.615496e-01,2.615534e-01,2.615437e-01,2.614477e-01,2.613599e-01,2.612385e-01,2.610004e-01,2.609314e-01,2.605322e-01,2.604784e-01,2.600464e-01,2.598065e-01,2.594793e-01,2.589971e-01,2.588360e-01,2.581218e-01,2.580617e-01,2.573412e-01,2.570115e-01,2.564991e-01,2.558572e-01,2.555999e-01,2.546479e-01,2.546088e-01,2.536472e-01,2.532759e-01,2.526019e-01,2.518676e-01,2.515158e-01,2.503924e-01,2.488583e-01,2.472730e-01,2.456433e-01,2.439759e-01,2.422769e-01,2.405521e-01,2.388066e-01,2.370454e-01,2.352730e-01,2.334936e-01,2.317109e-01,2.299285e-01,2.281495e-01,2.263770e-01,2.246134e-01,2.228612e-01,2.211226e-01,2.193994e-01,2.176935e-01,2.160064e-01,2.143394e-01,2.126937e-01,2.110704e-01,2.094703e-01
0.000000e+00,3.704715e-11,1.372006e-10,8.483695e-10,2.610109e-09,4.275932e-09,1.192162e-08,1.235885e-08,2.702644e-08,3.256728e-08,5.014122e-08,6.884242e-08,8.357744e-08,1.250934e-07,1.292400e-07,1.888794e-07,2.054163e-07,2.635872e-07,3.120368e-07,3.533225e-07,4.439305e-07,4.570759e-07,5.734667e-07,5.981402e-07,7.011428e-07,7.715799e-07,8.388656e-07,9.614554e-07,9.854582e-07,1.139748e-06,1.165069e-06,1.300534e-06,1.379657e-06,1.466582e-06,1.602364e-06,1.636634e-06,1.809430e-06,1.830291e-06,1.983733e-06,2.060594e-06,2.158350e-06,2.290574e-06,2.332156e-06,2.504112e-06,2.517760e-06,2.673280e-06,2.739976e-06,2.838826e-06,2.955369e-06,3.000032e-06,3.156292e-06,3.162432e-06,3.307108e-06,3.359991e-06,3.452089e-06,3.547190e-06,3.590941e-06,3.723458e-06,3.849514e-06,3.888476e-06,3.969052e-06,4.042136e-06,4.082077e-06,4.184506e-06,4.188646e-06,4.288857e-06,4.315794e-06,4.382845e-06,4.436317e-06,4.470773e-06,4.546473e-06,4.552826e-06,4.629206e-06,4.646717e-06,4.700127e-06,4.737540e-06,4.765810e-06,4.819457e-06,4.826481e-06,4.882366e-06,4.892989e-06,4.933694e-06,4.958658e-06,4.980688e-06,5.016974e-06,5.023567e-06,5.062546e-06,5.068434e-06,5.097832e-06,5.113518e-06,5.129628e-06,5.152681e-06,5.158126e-06,5.183513e-06,5.186359e-06,5.205966e-06,5.214960e-06,5.225655e-06,5.238871e-06,5.242743e-06,5.257385e-06,5.258455e-06,5.269726e-06,5.274050e-06,5.279908e-06,5.285975e-06,5.288061e-06,5.294312e-06,5.294524e-06,5.298778e-06,5.299971e-06,5.301573e-06,5.302573e-06,5.302802e-06,5.302566e-06,5.300960e-06,5.300171e-06,5.298073e-06,5.295592e-06,5.293989e-06,5.289018e-06,5.288789e-06,5.282548e-06,5.280623e-06,5.275336e-06,5.270571e-06,5.267221e-06,5.259012e-06,5.258266e-06,5.248530e-06,5.246083e-06,5.238069e-06,5.231915e-06,5.226937e-06,5.216625e-06,5.215183e-06,5.202854e-06,5.200323e-06,5.189994e-06,5.183111e-06,5.176646e-06,5.165084e-06,5.162847e-06,5.148637e-06,5.146327e-06,5.134048e-06,5.126922e-06,5.119115e-06,5.106942e-06,5.103868e-06,5.088337e-06,5.086455e-06,5.072548e-06,5.065526e-06,5.056528e-06,5.044212e-06,5.040300e-06,5.023888e-06,5.022568e-06,5.007314e-06,5.000643e-06,4.990597e-06,4.978484e-06,4.973757e-06,4.956812e-06,4.956132e-06,4.939778e-06,4.933627e-06,4.922671e-06,4.911005e-06,4.905507e-06,4.888298e-06,4.865539e-06,4.842754e-06,4.819969e-06,4.797210e-06,4.774497e-06,4.751850e-06,4.729288e-06,4.706828e-06,4.684485e-06,4.662273e-06,4.640205e-06,4.618292e-06,4.596545e-06,4.574974e-06,4.553587e-06,4.532393e-06,4.511397e-06,4.490607e-06,4.470027e-06,4.449664e-06,4.429521e-06,4.409601e-06,4.389909e-06,4.370447e-06
0.000000e+00,9.401912e-12,4.608368e-11,4.756631e-10,2.175772e-09,4.325254e-09,1.861712e-08,1.960961e-08,6.107071e-08,8.018853e-08,1.507505e-07,2.397054e-07,3.182564e-07,5.726090e-07,6.003526e-07,1.038090e-06,1.170815e-06,1.670926e-06,2.122856e-06,2.530793e-06,3.492528e-06,3.639091e-06,5.006714e-06,5.311673e-06,6.635746e-06,7.584811e-06,8.521495e-06,1.029691e-05,1.065422e-05,1.302039e-05,1.341957e-05,1.560344e-05,1.691484e-05,1.838437e-05,2.073751e-05,2.134215e-05,2.445418e-05,2.483687e-05,2.769667e-05,2.915840e-05,3.104515e-05,3.364572e-05,3.447499e-05,3.796183e-05,3.824253e-05,4.148213e-05,4.289455e-05,4.501349e-05,4.755113e-05,4.853505e-05,5.202771e-05,5.216657e-05,5.547432e-05,5.670086e-05,5.885977e-05,6.112020e-05,6.217102e-05,6.539705e-05,6.852881e-05,6.950984e-05,7.155907e-05,7.344254e-05,7.448228e-05,7.718410e-05,7.729442e-05,7.999283e-05,8.072777e-05,8.257604e-05,8.407045e-05,8.504360e-05,8.721196e-05,8.739592e-05,8.963415e-05,9.015453e-05,9.176004e-05,9.290228e-05,9.377582e-05,9.546071e-05,9.568413e-05,9.748792e-05,9.783641e-05,9.919037e-05,1.000367e-04,1.007948e-04,1.020693e-04,1.023047e-04,1.037234e-04,1.039422e-04,1.050547e-04,1.056636e-04,1.063019e-04,1.072415e-04,1.074685e-04,1.085581e-04,1.086838e-04,1.095740e-04,1.099984e-04,1.105194e-04,1.111927e-04,1.113975e-04,1.122116e-04,1.122740e-04,1.129645e-04,1.132492e-04,1.136592e-04,1.141249e-04,1.142985e-04,1.148850e-04,1.149074e-04,1.154214e-04,1.156027e-04,1.159102e-04,1.162165e-04,1.163536e-04,1.167541e-04,1.171137e-04,1.172205e-04,1.174347e-04,1.176207e-04,1.177189e-04,1.179589e-04,1.179683e-04,1.181847e-04,1.182396e-04,1.183699e-04,1.184667e-04,1.185255e-04,1.186438e-04,1.186531e-04,1.187542e-04,1.187747e-04,1.188303e-04,1.188625e-04,1.188827e-04,1.189103e-04,1.189128e-04,1.189218e-04,1.189211e-04,1.189108e-04,1.188977e-04,1.188811e-04,1.188425e-04,1.188337e-04,1.187697e-04,1.187579e-04,1.186899e-04,1.186463e-04,1.185954e-04,1.185098e-04,1.184870e-04,1.183656e-04,1.183502e-04,1.182320e-04,1.181695e-04,1.180869e-04,1.179695e-04,1.179311e-04,1.177653e-04,1.177516e-04,1.175901e-04,1.175175e-04,1.174061e-04,1.172685e-04,1.172139e-04,1.170142e-04,1.170060e-04,1.168074e-04,1.167313e-04,1.165940e-04,1.164455e-04,1.163746e-04,1.161496e-04,1.158448e-04,1.155319e-04,1.152119e-04,1.148855e-04,1.145536e-04,1.142168e-04,1.138759e-04,1.135315e-04,1.131841e-04,1.128343e-04,1.124826e-04,1.121295e-04,1.117755e-04,1.114208e-04,1.110660e-04,1.107114e-04,1.103572e-04,1.100039e-04,1.096516e-04,1.093007e-04,1.089514e-04,1.086038e-04,1.082583e-04,1.079150e-04
0.000000e+00,2.253449e-11,1.126699e-10,1.210994e-09,5.741211e-09,1.163297e-08,5.247479e-08,5.537293e-08,1.798030e-07,2.385468e-07,4.592773e-07,7.426892e-07,9.957801e-07,1.826210e-06,1.917569e-06,3.376154e-06,3.824613e-06,5.540474e-06,7.126488e-06,8.586576e-06,1.213119e-05,1.268344e-05,1.797865e-05,1.919230e-05,2.458774e-05,2.857111e-05,3.258853e-05,4.041421e-05,4.201983e-05,5.288320e-05,5.475252e-05,6.514638e-05,7.151276e-05,7.874747e-05,9.053385e-05,9.359938e-05,1.095942e-04,1.115846e-04,1.266075e-04,1.343812e-04,1.445026e-04,1.586034e-04,1.631342e-04,1.823525e-04,1.839108e-04,2.020065e-04,2.099565e-04,2.219469e-04,2.364002e-04,2.420295e-04,2.621170e-04,2.629187e-04,2.820809e-04,2.892147e-04,3.018035e-04,3.150223e-04,3.211785e-04,3.401115e-04,3.585206e-04,3.642891e-04,3.763360e-04,3.873992e-04,3.935000e-04,4.093212e-04,4.099659e-04,4.256978e-04,4.299674e-04,4.406695e-04,4.492800e-04,4.548635e-04,4.672269e-04,4.682704e-04,4.808875e-04,4.837984e-04,4.927184e-04,4.990033e-04,5.037718e-04,5.128658e-04,5.140606e-04,5.236017e-04,5.254219e-04,5.324146e-04,5.367168e-04,5.405214e-04,5.468027e-04,5.479458e-04,5.547130e-04,5.557365e-04,5.608490e-04,5.635780e-04,5.663807e-04,5.703889e-04,5.713348e-04,5.757384e-04,5.762311e-04,5.796184e-04,5.811665e-04,5.830012e-04,5.852557e-04,5.859129e-04,5.883788e-04,5.885576e-04,5.904238e-04,5.911293e-04,5.920717e-04,5.930255e-04,5.933459e-04,5.942688e-04,5.942987e-04,5.948618e-04,5.949985e-04,5.951456e-04,5.951722e-04,5.951401e-04,5.948643e-04,5.943362e-04,5.941168e-04,5.935732e-04,5.929692e-04,5.925916e-04,5.914584e-04,5.914073e-04,5.900351e-04,5.896192e-04,5.884892e-04,5.874839e-04,5.867830e-04,5.850827e-04,5.849292e-04,5.829399e-04,5.824436e-04,5.808265e-04,5.795929e-04,5.785998e-04,5.765547e-04,5.762700e-04,5.738467e-04,5.733516e-04,5.713390e-04,5.700045e-04,5.687554e-04,5.665325e-04,5.661040e-04,5.633924e-04,5.629535e-04,5.606278e-04,5.592838e-04,5.578167e-04,5.555387e-04,5.549655e-04,5.520802e-04,5.517320e-04,5.491662e-04,5.478764e-04,5.462288e-04,5.439836e-04,5.432727e-04,5.403025e-04,5.400644e-04,5.373224e-04,5.361285e-04,5.343364e-04,5.321848e-04,5.313481e-04,5.283609e-04,5.282415e-04,5.253781e-04,5.243059e-04,5.224025e-04,5.203846e-04,5.194369e-04,5.164838e-04,5.126087e-04,5.087643e-04,5.049549e-04,5.011845e-04,4.974564e-04,4.937736e-04,4.901389e-04,4.865545e-04,4.830225e-04,4.795445e-04,4.761219e-04,4.727560e-04,4.694478e-04,4.661979e-04,4.630069e-04,4.598753e-04,4.568032e-04,4.537908e-04,4.508380e-04,4.479447e-04,4.451107e-04,4.423354e-04,4.396187e-04,4.369599e-04
0.000000e+00,3.666650e-11,1.793911e-10,1.847621e-09,8.458643e-09,1.684951e-08,7.341776e-08,7.738970e-08,2.472804e-07,3.278290e-07,6.346280e-07,1.038161e-06,1.406214e-06,2.647222e-06,2.785767e-06,5.015489e-06,5.701200e-06,8.298902e-06,1.064902e-05,1.276412e-05,1.771140e-05,1.845985e-05,2.537193e-05,2.689595e-05,3.344523e-05,3.807699e-05,4.260212e-05,5.106727e-05,5.275489e-05,6.381256e-05,6.565966e-05,7.568396e-05,8.164471e-05,8.827875e-05,9.881535e-05,1.015076e-04,1.152821e-04,1.169676e-04,1.295154e-04,1.359014e-04,1.441224e-04,1.554228e-04,1.590206e-04,1.741313e-04,1.753471e-04,1.893801e-04,1.955025e-04,2.046976e-04,2.157329e-04,2.200203e-04,2.352908e-04,2.358998e-04,2.504576e-04,2.558833e-04,2.654754e-04,2.755823e-04,2.803052e-04,2.949132e-04,3.092711e-04,3.138089e-04,3.233554e-04,3.322168e-04,3.371470e-04,3.500972e-04,3.506304e-04,3.637939e-04,3.674210e-04,3.766283e-04,3.841683e-04,3.891274e-04,4.003268e-04,4.012870e-04,4.131049e-04,4.158902e-04,4.245803e-04,4.308571e-04,4.357139e-04,4.452302e-04,4.465076e-04,4.569642e-04,4.590153e-04,4.670871e-04,4.722206e-04,4.768806e-04,4.848561e-04,4.863495e-04,4.954989e-04,4.969335e-04,5.043344e-04,5.084655e-04,5.128617e-04,5.194657e-04,5.210868e-04,5.290161e-04,5.299480e-04,5.366557e-04,5.399271e-04,5.440122e-04,5.494177e-04,5.510919e-04,5.579014e-04,5.584347e-04,5.644472e-04,5.669931e-04,5.707357e-04,5.751078e-04,5.767734e-04,5.825668e-04,5.827936e-04,5.881223e-04,5.900652e-04,5.934460e-04,5.969370e-04,5.985443e-04,6.034234e-04,6.080892e-04,6.095382e-04,6.125478e-04,6.152952e-04,6.168050e-04,6.207079e-04,6.208667e-04,6.247385e-04,6.257893e-04,6.284260e-04,6.305523e-04,6.319346e-04,6.350092e-04,6.352698e-04,6.384367e-04,6.391723e-04,6.414405e-04,6.430532e-04,6.442862e-04,6.466636e-04,6.469788e-04,6.495231e-04,6.500146e-04,6.519238e-04,6.531169e-04,6.541855e-04,6.559811e-04,6.563126e-04,6.583095e-04,6.586173e-04,6.601806e-04,6.610352e-04,6.619299e-04,6.632445e-04,6.635616e-04,6.650796e-04,6.652543e-04,6.664877e-04,6.670735e-04,6.677897e-04,6.687106e-04,6.689894e-04,6.700901e-04,6.701740e-04,6.710955e-04,6.714717e-04,6.720088e-04,6.726113e-04,6.728334e-04,6.735725e-04,6.736003e-04,6.742292e-04,6.744460e-04,6.748064e-04,6.751551e-04,6.753072e-04,6.757343e-04,6.761901e-04,6.765287e-04,6.767558e-04,6.768774e-04,6.768987e-04,6.768252e-04,6.766619e-04,6.764136e-04,6.760850e-04,6.756806e-04,6.752048e-04,6.746615e-04,6.740549e-04,6.733887e-04,6.726665e-04,6.718918e-04,6.710680e-04,6.701982e-04,6.692856e-04,6.683330e-04,6.673433e-04,6.663191e-04,6.652630e-04,6.641774e-04
0.000000e+00,1.431107e-10,3.845707e-10,1.564776e-09,3.843410e-09,5.764731e-09,1.369957e-08,1.413098e-08,2.799534e-08,3.304378e-08,4.869470e-08,6.496681e-08,7.760684e-08,1.126499e-07,1.161142e-07,1.654051e-07,1.789225e-07,2.260398e-07,2.648046e-07,2.975013e-07,3.681503e-07,3.782711e-07,4.664384e-07,4.847976e-07,5.602187e-07,6.106927e-07,6.581071e-07,7.425783e-07,7.588400e-07,8.613252e-07,8.778193e-07,9.645947e-07,1.014185e-06,1.067783e-06,1.149753e-06,1.170118e-06,1.270920e-06,1.282884e-06,1.369601e-06,1.412218e-06,1.465666e-06,1.536672e-06,1.558708e-06,1.648400e-06,1.655423e-06,1.734496e-06,1.767886e-06,1.816818e-06,1.873683e-06,1.895246e-06,1.969717e-06,1.972613e-06,2.040212e-06,2.064620e-06,2.106754e-06,2.149768e-06,2.169391e-06,2.228191e-06,2.283250e-06,2.300097e-06,2.334677e-06,2.365738e-06,2.382589e-06,2.425397e-06,2.427115e-06,2.468388e-06,2.479380e-06,2.506544e-06,2.527997e-06,2.541718e-06,2.571562e-06,2.574047e-06,2.603665e-06,2.610385e-06,2.630707e-06,2.644773e-06,2.655301e-06,2.675020e-06,2.677575e-06,2.697650e-06,2.701412e-06,2.715646e-06,2.724221e-06,2.731677e-06,2.743706e-06,2.745854e-06,2.758280e-06,2.760113e-06,2.769059e-06,2.773676e-06,2.778286e-06,2.784614e-06,2.786055e-06,2.792454e-06,2.793134e-06,2.797567e-06,2.799430e-06,2.801474e-06,2.803684e-06,2.804252e-06,2.805973e-06,2.806067e-06,2.806707e-06,2.806739e-06,2.806519e-06,2.805848e-06,2.805472e-06,2.803624e-06,2.803535e-06,2.801032e-06,2.799927e-06,2.797749e-06,2.795147e-06,2.793824e-06,2.789306e-06,2.784239e-06,2.782509e-06,2.778666e-06,2.774853e-06,2.772628e-06,2.766428e-06,2.766161e-06,2.759302e-06,2.757316e-06,2.752085e-06,2.747597e-06,2.744542e-06,2.737340e-06,2.736702e-06,2.728595e-06,2.726612e-06,2.720246e-06,2.715474e-06,2.711680e-06,2.703983e-06,2.702922e-06,2.693994e-06,2.692189e-06,2.684915e-06,2.680142e-06,2.675707e-06,2.667885e-06,2.666387e-06,2.656972e-06,2.655458e-06,2.647479e-06,2.642898e-06,2.637922e-06,2.630241e-06,2.628316e-06,2.618674e-06,2.617515e-06,2.609008e-06,2.604751e-06,2.599331e-06,2.591974e-06,2.589651e-06,2.579980e-06,2.579207e-06,2.570327e-06,2.566472e-06,2.560700e-06,2.553789e-06,2.551107e-06,2.541556e-06,2.541175e-06,2.532053e-06,2.528646e-06,2.522606e-06,2.516216e-06,2.513219e-06,2.503898e-06,2.491705e-06,2.479645e-06,2.467728e-06,2.455963e-06,2.444355e-06,2.432912e-06,2.421638e-06,2.410538e-06,2.399616e-06,2.388874e-06,2.378316e-06,2.367943e-06,2.357757e-06,2.347758e-06,2.337948e-06,2.328327e-06,2.318893e-06,2.309648e-06,2.300590e-06,2.291717e-06,2.283030e-06,2.274526e-06,2.266203e-06,2.258061e-06
0.000000e+00,3.363780e-12,1.680768e-11,1.803310e-10,8.530617e-10,1.725978e-09,7.749301e-09,8.175487e-09,2.638327e-08,3.493437e-08,6.688989e-08,1.076162e-07,1.437638e-07,2.612702e-07,2.741125e-07,4.774160e-07,5.393816e-07,7.746970e-07,9.902346e-07,1.187374e-06,1.662110e-06,1.735674e-06,2.436806e-06,2.596575e-06,3.303369e-06,3.821925e-06,4.342385e-06,5.349469e-06,5.555047e-06,6.937039e-06,7.173321e-06,8.479214e-06,9.272627e-06,1.016844e-05,1.161487e-05,1.198848e-05,1.392082e-05,1.415930e-05,1.594541e-05,1.686009e-05,1.804137e-05,1.966898e-05,2.018750e-05,2.236285e-05,2.253753e-05,2.454716e-05,2.541903e-05,2.672116e-05,2.826996e-05,2.886698e-05,3.096831e-05,3.105123e-05,3.301067e-05,3.372899e-05,3.498144e-05,3.627519e-05,3.687003e-05,3.866779e-05,4.036803e-05,4.089067e-05,4.196592e-05,4.293336e-05,4.345837e-05,4.479051e-05,4.484387e-05,4.612233e-05,4.646125e-05,4.729493e-05,4.794855e-05,4.836388e-05,4.925844e-05,4.933230e-05,5.020402e-05,5.039932e-05,5.098340e-05,5.138129e-05,5.167522e-05,5.221558e-05,5.228451e-05,5.281647e-05,5.291405e-05,5.327634e-05,5.348872e-05,5.366932e-05,5.395147e-05,5.400052e-05,5.427486e-05,5.431380e-05,5.449711e-05,5.458661e-05,5.467176e-05,5.478009e-05,5.480308e-05,5.489506e-05,5.490363e-05,5.495141e-05,5.496582e-05,5.497559e-05,5.497442e-05,5.497078e-05,5.493991e-05,5.493640e-05,5.488567e-05,5.485799e-05,5.481051e-05,5.474471e-05,5.471667e-05,5.460616e-05,5.460142e-05,5.448084e-05,5.443243e-05,5.434237e-05,5.424147e-05,5.419226e-05,5.403186e-05,5.386240e-05,5.380645e-05,5.368500e-05,5.356776e-05,5.350065e-05,5.331798e-05,5.331026e-05,5.311462e-05,5.305901e-05,5.291449e-05,5.279253e-05,5.271052e-05,5.251998e-05,5.250329e-05,5.229337e-05,5.224264e-05,5.208122e-05,5.196162e-05,5.186730e-05,5.167789e-05,5.165199e-05,5.143567e-05,5.139231e-05,5.121866e-05,5.110564e-05,5.100125e-05,5.081853e-05,5.078373e-05,5.056632e-05,5.053156e-05,5.034925e-05,5.024524e-05,5.013273e-05,4.996003e-05,4.991694e-05,4.970204e-05,4.967632e-05,4.948819e-05,4.939446e-05,4.927551e-05,4.911475e-05,4.906415e-05,4.885421e-05,4.883748e-05,4.864579e-05,4.856287e-05,4.843899e-05,4.829114e-05,4.823388e-05,4.803056e-05,4.802246e-05,4.782907e-05,4.775700e-05,4.762949e-05,4.749489e-05,4.743187e-05,4.723626e-05,4.698119e-05,4.672979e-05,4.648211e-05,4.623822e-05,4.599816e-05,4.576198e-05,4.552970e-05,4.530133e-05,4.507689e-05,4.485638e-05,4.463980e-05,4.442713e-05,4.421836e-05,4.401348e-05,4.381245e-05,4.361526e-05,4.342187e-05,4.323225e-05,4.304636e-05,4.286416e-05,4.268562e-05,4.251068e-05,4.233930e-05,4.217144e-05
0.000000e+00,8.037792e-12,3.781598e-11,3.593135e-10,1.528328e-09,2.922853e-09,1.143285e-08,1.199723e-08,3.421686e-08,4.392164e-08,7.819275e-08,1.192918e-07,1.543704e-07,2.632561e-07,2.748198e-07,4.518718e-07,5.039548e-07,6.951041e-07,8.620018e-07,1.008620e-06,1.341469e-06,1.390795e-06,1.836057e-06,1.932043e-06,2.337033e-06,2.616991e-06,2.886018e-06,3.378866e-06,3.475649e-06,4.099054e-06,4.201496e-06,4.749752e-06,5.069948e-06,5.421523e-06,5.970052e-06,6.108332e-06,6.804309e-06,6.888171e-06,7.503799e-06,7.811293e-06,8.201440e-06,8.727328e-06,8.892249e-06,9.571709e-06,9.625452e-06,1.023583e-05,1.049640e-05,1.088119e-05,1.133262e-05,1.150496e-05,1.210487e-05,1.212835e-05,1.267924e-05,1.287951e-05,1.322685e-05,1.358357e-05,1.374700e-05,1.423935e-05,1.470393e-05,1.484678e-05,1.514106e-05,1.540667e-05,1.555130e-05,1.592053e-05,1.593540e-05,1.629424e-05,1.639033e-05,1.662883e-05,1.681838e-05,1.694022e-05,1.720717e-05,1.722953e-05,1.749789e-05,1.755930e-05,1.774641e-05,1.787734e-05,1.797623e-05,1.816385e-05,1.818842e-05,1.838404e-05,1.842126e-05,1.856409e-05,1.865189e-05,1.872955e-05,1.885793e-05,1.888134e-05,1.902031e-05,1.904142e-05,1.914730e-05,1.920423e-05,1.926307e-05,1.934810e-05,1.936835e-05,1.946382e-05,1.947464e-05,1.955010e-05,1.958531e-05,1.962780e-05,1.968145e-05,1.969747e-05,1.975962e-05,1.976429e-05,1.981474e-05,1.983493e-05,1.986328e-05,1.989439e-05,1.990566e-05,1.994226e-05,1.994361e-05,1.997345e-05,1.998342e-05,1.999957e-05,2.001460e-05,2.002094e-05,2.003786e-05,2.005059e-05,2.005383e-05,2.005940e-05,2.006310e-05,2.006453e-05,2.006620e-05,2.006621e-05,2.006464e-05,2.006364e-05,2.006002e-05,2.005587e-05,2.005254e-05,2.004328e-05,2.004237e-05,2.002968e-05,2.002627e-05,2.001461e-05,2.000519e-05,1.999732e-05,1.998036e-05,1.997792e-05,1.995656e-05,1.995207e-05,1.993335e-05,1.992059e-05,1.990841e-05,1.988619e-05,1.988183e-05,1.985373e-05,1.984909e-05,1.982418e-05,1.980952e-05,1.979329e-05,1.976767e-05,1.976114e-05,1.972781e-05,1.972373e-05,1.969336e-05,1.967788e-05,1.965788e-05,1.963027e-05,1.962144e-05,1.958408e-05,1.958106e-05,1.954589e-05,1.953038e-05,1.950690e-05,1.947838e-05,1.946719e-05,1.942679e-05,1.942516e-05,1.938576e-05,1.937085e-05,1.934415e-05,1.931554e-05,1.930200e-05,1.925935e-05,1.920236e-05,1.914465e-05,1.908632e-05,1.902743e-05,1.896807e-05,1.890829e-05,1.884816e-05,1.878774e-05,1.872708e-05,1.866624e-05,1.860527e-05,1.854420e-05,1.848310e-05,1.842198e-05,1.836090e-05,1.829989e-05,1.823898e-05,1.817821e-05,1.811759e-05,1.805717e-05,1.799697e-05,1.793700e-05,1.787729e-05,1.781787e-05
0.000000e+00,3.513011e-12,8.023509e-12,2.734528e-11,6.167057e-11,8.958346e-11,2.015905e-10,2.076120e-10,4.004749e-10,4.708592e-10,6.907454e-10,9.224933e-10,1.104627e-09,1.616676e-09,1.667657e-09,2.393056e-09,2.590509e-09,3.267901e-09,3.809434e-09,4.254126e-09,5.178104e-09,5.306548e-09,6.387933e-09,6.605227e-09,7.472343e-09,8.031470e-09,8.542579e-09,9.421989e-09,9.586987e-09,1.059726e-08,1.075529e-08,1.156717e-08,1.201694e-08,1.249193e-08,1.319677e-08,1.336793e-08,1.419254e-08,1.428795e-08,1.496410e-08,1.528655e-08,1.568181e-08,1.619118e-08,1.634559e-08,1.695612e-08,1.700269e-08,1.751462e-08,1.772383e-08,1.802283e-08,1.835877e-08,1.848285e-08,1.889706e-08,1.891272e-08,1.926805e-08,1.939153e-08,1.959848e-08,1.980140e-08,1.989108e-08,2.014852e-08,2.037346e-08,2.043900e-08,2.056849e-08,2.067876e-08,2.073607e-08,2.087328e-08,2.087852e-08,2.099801e-08,2.102764e-08,2.109658e-08,2.114648e-08,2.117612e-08,2.123399e-08,2.123837e-08,2.128494e-08,2.129394e-08,2.131728e-08,2.132969e-08,2.133675e-08,2.134421e-08,2.134457e-08,2.134188e-08,2.134016e-08,2.132967e-08,2.131988e-08,2.130889e-08,2.128542e-08,2.128037e-08,2.124487e-08,2.123859e-08,2.120310e-08,2.118101e-08,2.115568e-08,2.111407e-08,2.110320e-08,2.104616e-08,2.103903e-08,2.098504e-08,2.095698e-08,2.092029e-08,2.086887e-08,2.085227e-08,2.078137e-08,2.077558e-08,2.070789e-08,2.067785e-08,2.063214e-08,2.057634e-08,2.055439e-08,2.047488e-08,2.047166e-08,2.039384e-08,2.036433e-08,2.031148e-08,2.025481e-08,2.022798e-08,2.014352e-08,2.005826e-08,2.003083e-08,1.997234e-08,1.991707e-08,1.988590e-08,1.980253e-08,1.979905e-08,1.971191e-08,1.968748e-08,1.962459e-08,1.957214e-08,1.953717e-08,1.945673e-08,1.944974e-08,1.936239e-08,1.934144e-08,1.927518e-08,1.922643e-08,1.918819e-08,1.911186e-08,1.910147e-08,1.901508e-08,1.899784e-08,1.892907e-08,1.888451e-08,1.884349e-08,1.877197e-08,1.875839e-08,1.867380e-08,1.866032e-08,1.858976e-08,1.854963e-08,1.850631e-08,1.843998e-08,1.842346e-08,1.834126e-08,1.833144e-08,1.825973e-08,1.822407e-08,1.817888e-08,1.811791e-08,1.809874e-08,1.801933e-08,1.801301e-08,1.794067e-08,1.790941e-08,1.786276e-08,1.780714e-08,1.778562e-08,1.770927e-08,1.770623e-08,1.763371e-08,1.760671e-08,1.755896e-08,1.750859e-08,1.748501e-08,1.741188e-08,1.731661e-08,1.722277e-08,1.713039e-08,1.703945e-08,1.694997e-08,1.686195e-08,1.677537e-08,1.669024e-08,1.660654e-08,1.652429e-08,1.644345e-08,1.636404e-08,1.628602e-08,1.620940e-08,1.613416e-08,1.606029e-08,1.598777e-08,1.591658e-08,1.584672e-08,1.577817e-08,1.571091e-08,1.564492e-08,1.558019e-08,1.551669e-08
0.000000e+00,6.199990e-11,1.743340e-10,7.468742e-10,1.881516e-09,2.849195e-09,6.882270e-09,7.102319e-09,1.418007e-08,1.675403e-08,2.470589e-08,3.291954e-08,3.926013e-08,5.667279e-08,5.838266e-08,8.256518e-08,8.917038e-08,1.122237e-07,1.313378e-07,1.476418e-07,1.836390e-07,1.888934e-07,2.357928e-07,2.458169e-07,2.879233e-07,3.169166e-07,3.447288e-07,3.956155e-07,4.056039e-07,4.699439e-07,4.805204e-07,5.371628e-07,5.702839e-07,6.066964e-07,6.636254e-07,6.780035e-07,7.505665e-07,7.593349e-07,8.238950e-07,8.562824e-07,8.975292e-07,9.534326e-07,9.710438e-07,1.044051e-06,1.049859e-06,1.116203e-06,1.144754e-06,1.187193e-06,1.237434e-06,1.256753e-06,1.324656e-06,1.327335e-06,1.390713e-06,1.414010e-06,1.454768e-06,1.497119e-06,1.516700e-06,1.576417e-06,1.633850e-06,1.651740e-06,1.688959e-06,1.722996e-06,1.741719e-06,1.790154e-06,1.792125e-06,1.840188e-06,1.853228e-06,1.885929e-06,1.912272e-06,1.929380e-06,1.967369e-06,1.970584e-06,2.009589e-06,2.018629e-06,2.046449e-06,2.066176e-06,2.081223e-06,2.110147e-06,2.113972e-06,2.144761e-06,2.150690e-06,2.173656e-06,2.187954e-06,2.200722e-06,2.222094e-06,2.226027e-06,2.249639e-06,2.253264e-06,2.271623e-06,2.281616e-06,2.292045e-06,2.307302e-06,2.310971e-06,2.328464e-06,2.330470e-06,2.344586e-06,2.351261e-06,2.359397e-06,2.369813e-06,2.372956e-06,2.385321e-06,2.386260e-06,2.396546e-06,2.400729e-06,2.406686e-06,2.413344e-06,2.415793e-06,2.423917e-06,2.424222e-06,2.431106e-06,2.433474e-06,2.437407e-06,2.441207e-06,2.442865e-06,2.447523e-06,2.451424e-06,2.452519e-06,2.454607e-06,2.456285e-06,2.457110e-06,2.458909e-06,2.458971e-06,2.460225e-06,2.460472e-06,2.460906e-06,2.461053e-06,2.461047e-06,2.460725e-06,2.460678e-06,2.459830e-06,2.459558e-06,2.458530e-06,2.457616e-06,2.456807e-06,2.454962e-06,2.454687e-06,2.452194e-06,2.451653e-06,2.449353e-06,2.447745e-06,2.446185e-06,2.443289e-06,2.442714e-06,2.438959e-06,2.438333e-06,2.434940e-06,2.432923e-06,2.430676e-06,2.427101e-06,2.426186e-06,2.421486e-06,2.420908e-06,2.416592e-06,2.414382e-06,2.411520e-06,2.407556e-06,2.406285e-06,2.400901e-06,2.400464e-06,2.395381e-06,2.393137e-06,2.389737e-06,2.385604e-06,2.383982e-06,2.378128e-06,2.377891e-06,2.372184e-06,2.370024e-06,2.366161e-06,2.362025e-06,2.360069e-06,2.353917e-06,2.345719e-06,2.337451e-06,2.329129e-06,2.320770e-06,2.312389e-06,2.303999e-06,2.295613e-06,2.287244e-06,2.278901e-06,2.270595e-06,2.262335e-06,2.254129e-06,2.245985e-06,2.237909e-06,2.229908e-06,2.221987e-06,2.214152e-06,2.206408e-06,2.198757e-06,2.191205e-06,2.183753e-06,2.176406e-06,2.169165e-06,2.162032e-06
0.000000e+00,8.295765e-12,4.155056e-11,4.482710e-10,2.133109e-09,4.331789e-09,1.967170e-08,2.076459e-08,6.801804e-08,9.049723e-08,1.756725e-07,2.863309e-07,3.861434e-07,7.187799e-07,7.557784e-07,1.354622e-06,1.541222e-06,2.262576e-06,2.936558e-06,3.560756e-06,5.083096e-06,5.320611e-06,7.595080e-06,8.114779e-06,1.041402e-05,1.209801e-05,1.378369e-05,1.702937e-05,1.768906e-05,2.209738e-05,2.284643e-05,2.696217e-05,2.944316e-05,3.222712e-05,3.668514e-05,3.782943e-05,4.370274e-05,4.442254e-05,4.977950e-05,5.250047e-05,5.599301e-05,6.076705e-05,6.227898e-05,6.857682e-05,6.907945e-05,7.483063e-05,7.730831e-05,8.098987e-05,8.534065e-05,8.700987e-05,9.285204e-05,9.308155e-05,9.848389e-05,1.004546e-04,1.038790e-04,1.074016e-04,1.090165e-04,1.138812e-04,1.184626e-04,1.198677e-04,1.227547e-04,1.253487e-04,1.267554e-04,1.303230e-04,1.304659e-04,1.338904e-04,1.347988e-04,1.370354e-04,1.387916e-04,1.399092e-04,1.423222e-04,1.425219e-04,1.448843e-04,1.454153e-04,1.470083e-04,1.480982e-04,1.489063e-04,1.503994e-04,1.505907e-04,1.520743e-04,1.523480e-04,1.533695e-04,1.539727e-04,1.544887e-04,1.553015e-04,1.554437e-04,1.562463e-04,1.563613e-04,1.569073e-04,1.571775e-04,1.574375e-04,1.577741e-04,1.578468e-04,1.581446e-04,1.581733e-04,1.583399e-04,1.583955e-04,1.584411e-04,1.584599e-04,1.584560e-04,1.583919e-04,1.583836e-04,1.582557e-04,1.581825e-04,1.580538e-04,1.578710e-04,1.577920e-04,1.574758e-04,1.574621e-04,1.571103e-04,1.569676e-04,1.567003e-04,1.563982e-04,1.562500e-04,1.557636e-04,1.552446e-04,1.550723e-04,1.546967e-04,1.543322e-04,1.541229e-04,1.535504e-04,1.535261e-04,1.529091e-04,1.527331e-04,1.522744e-04,1.518860e-04,1.516242e-04,1.510141e-04,1.509606e-04,1.502856e-04,1.501221e-04,1.496009e-04,1.492139e-04,1.489082e-04,1.482932e-04,1.482090e-04,1.475047e-04,1.473633e-04,1.467965e-04,1.464271e-04,1.460855e-04,1.454871e-04,1.453730e-04,1.446598e-04,1.445457e-04,1.439468e-04,1.436049e-04,1.432348e-04,1.426665e-04,1.425247e-04,1.418170e-04,1.417323e-04,1.411124e-04,1.408035e-04,1.404114e-04,1.398814e-04,1.397146e-04,1.390225e-04,1.389673e-04,1.383353e-04,1.380620e-04,1.376536e-04,1.371663e-04,1.369777e-04,1.363078e-04,1.362811e-04,1.356443e-04,1.354070e-04,1.349874e-04,1.345445e-04,1.343372e-04,1.336941e-04,1.328562e-04,1.320311e-04,1.312192e-04,1.304205e-04,1.296353e-04,1.288638e-04,1.281059e-04,1.273618e-04,1.266315e-04,1.259149e-04,1.252120e-04,1.245228e-04,1.238472e-04,1.231852e-04,1.225365e-04,1.219011e-04,1.212788e-04,1.206696e-04,1.200731e-04,1.194894e-04,1.189181e-04,1.183592e-04,1.178124e-04,1.172776e-04
0.000000e+00,3.140060e-11,1.395552e-10,1.186211e-09,4.593733e-09,8.369600e-09,2.915521e-08,3.045873e-08,7.839890e-08,9.804341e-08,1.639510e-07,2.384405e-07,2.994584e-07,4.795041e-07,4.980326e-07,7.733249e-07,8.522666e-07,1.137802e-06,1.383972e-06,1.598874e-06,2.083355e-06,2.154762e-06,2.793951e-06,2.930296e-06,3.499013e-06,3.885483e-06,4.251468e-06,4.908015e-06,5.034838e-06,5.835544e-06,5.964502e-06,6.642622e-06,7.029588e-06,7.447103e-06,8.083735e-06,8.241482e-06,9.019376e-06,9.111348e-06,9.775360e-06,1.009985e-05,1.050489e-05,1.103932e-05,1.120425e-05,1.187055e-05,1.192235e-05,1.250165e-05,1.274389e-05,1.309613e-05,1.350104e-05,1.365324e-05,1.417276e-05,1.419277e-05,1.465500e-05,1.481959e-05,1.510063e-05,1.538326e-05,1.551068e-05,1.588642e-05,1.622931e-05,1.633234e-05,1.654091e-05,1.672470e-05,1.682291e-05,1.706735e-05,1.707700e-05,1.730488e-05,1.736422e-05,1.750824e-05,1.761918e-05,1.768874e-05,1.783596e-05,1.784795e-05,1.798740e-05,1.801809e-05,1.810855e-05,1.816891e-05,1.821276e-05,1.829150e-05,1.830134e-05,1.837550e-05,1.838870e-05,1.843637e-05,1.846314e-05,1.848503e-05,1.851719e-05,1.852246e-05,1.854958e-05,1.855302e-05,1.856724e-05,1.857259e-05,1.857623e-05,1.857767e-05,1.857728e-05,1.857105e-05,1.856985e-05,1.855816e-05,1.855053e-05,1.853919e-05,1.852104e-05,1.851469e-05,1.848515e-05,1.848258e-05,1.845103e-05,1.843620e-05,1.841275e-05,1.838282e-05,1.837069e-05,1.832522e-05,1.832333e-05,1.827666e-05,1.825848e-05,1.822532e-05,1.818895e-05,1.817146e-05,1.811535e-05,1.805723e-05,1.803824e-05,1.799731e-05,1.795811e-05,1.793580e-05,1.787542e-05,1.787288e-05,1.780873e-05,1.779057e-05,1.774351e-05,1.770392e-05,1.767736e-05,1.761580e-05,1.761042e-05,1.754281e-05,1.752650e-05,1.747466e-05,1.743629e-05,1.740607e-05,1.734541e-05,1.733713e-05,1.726794e-05,1.725408e-05,1.719858e-05,1.716247e-05,1.712913e-05,1.707078e-05,1.705966e-05,1.699024e-05,1.697914e-05,1.692093e-05,1.688771e-05,1.685178e-05,1.679661e-05,1.678285e-05,1.671418e-05,1.670596e-05,1.664581e-05,1.661584e-05,1.657779e-05,1.652635e-05,1.651016e-05,1.644294e-05,1.643758e-05,1.637616e-05,1.634959e-05,1.630987e-05,1.626244e-05,1.624407e-05,1.617879e-05,1.617619e-05,1.611406e-05,1.609090e-05,1.604990e-05,1.600659e-05,1.598631e-05,1.592332e-05,1.584111e-05,1.575999e-05,1.567998e-05,1.560110e-05,1.552338e-05,1.544682e-05,1.537143e-05,1.529722e-05,1.522420e-05,1.515237e-05,1.508172e-05,1.501227e-05,1.494400e-05,1.487692e-05,1.481102e-05,1.474628e-05,1.468271e-05,1.462030e-05,1.455903e-05,1.449890e-05,1.443990e-05,1.438200e-05,1.432521e-05,1.426951e-05
0.000000e+00,9.548489e-11,2.378860e-10,8.945369e-10,2.125354e-09,3.155386e-09,7.427933e-09,7.662146e-09,1.532635e-08,1.818500e-08,2.726048e-08,3.697399e-08,4.464676e-08,6.605786e-08,6.816288e-08,9.748197e-08,1.052834e-07,1.317031e-07,1.526851e-07,1.699847e-07,2.065296e-07,2.116998e-07,2.563612e-07,2.656088e-07,3.035395e-07,3.289286e-07,3.528176e-07,3.955250e-07,4.037729e-07,4.559757e-07,4.644151e-07,5.089962e-07,5.346125e-07,5.624143e-07,6.051654e-07,6.158301e-07,6.688728e-07,6.751965e-07,7.212071e-07,7.439324e-07,7.725384e-07,8.107223e-07,8.226140e-07,8.712239e-07,8.750441e-07,9.181989e-07,9.365006e-07,9.634081e-07,9.948100e-07,1.006755e-06,1.048176e-06,1.049792e-06,1.087631e-06,1.101350e-06,1.125106e-06,1.149459e-06,1.160605e-06,1.194150e-06,1.225772e-06,1.235492e-06,1.255516e-06,1.273590e-06,1.283433e-06,1.308567e-06,1.309580e-06,1.334018e-06,1.340563e-06,1.356811e-06,1.369725e-06,1.378025e-06,1.396205e-06,1.397727e-06,1.415982e-06,1.420156e-06,1.432857e-06,1.441728e-06,1.448415e-06,1.461068e-06,1.462721e-06,1.475835e-06,1.478320e-06,1.487817e-06,1.493620e-06,1.498725e-06,1.507098e-06,1.508614e-06,1.517538e-06,1.518879e-06,1.525546e-06,1.529080e-06,1.532689e-06,1.537811e-06,1.539013e-06,1.544562e-06,1.545178e-06,1.549380e-06,1.551278e-06,1.553506e-06,1.556204e-06,1.556980e-06,1.559839e-06,1.560042e-06,1.562117e-06,1.562874e-06,1.563848e-06,1.564774e-06,1.565064e-06,1.565795e-06,1.565814e-06,1.566069e-06,1.566061e-06,1.565913e-06,1.565575e-06,1.565354e-06,1.564416e-06,1.563122e-06,1.562636e-06,1.561494e-06,1.560287e-06,1.559554e-06,1.557415e-06,1.557320e-06,1.554812e-06,1.554063e-06,1.552047e-06,1.550273e-06,1.549043e-06,1.546082e-06,1.545816e-06,1.542380e-06,1.541526e-06,1.538750e-06,1.536637e-06,1.534939e-06,1.531447e-06,1.530961e-06,1.526828e-06,1.525983e-06,1.522551e-06,1.520273e-06,1.518140e-06,1.514341e-06,1.513608e-06,1.508963e-06,1.508210e-06,1.504214e-06,1.501901e-06,1.499371e-06,1.495433e-06,1.494441e-06,1.489433e-06,1.488827e-06,1.484353e-06,1.482098e-06,1.479210e-06,1.475262e-06,1.474009e-06,1.468757e-06,1.468335e-06,1.463460e-06,1.461330e-06,1.458123e-06,1.454259e-06,1.452752e-06,1.447351e-06,1.447134e-06,1.441926e-06,1.439967e-06,1.436480e-06,1.432768e-06,1.431019e-06,1.425545e-06,1.418308e-06,1.411064e-06,1.403821e-06,1.396586e-06,1.389364e-06,1.382163e-06,1.374987e-06,1.367840e-06,1.360729e-06,1.353656e-06,1.346625e-06,1.339641e-06,1.332706e-06,1.325823e-06,1.318994e-06,1.312223e-06,1.305510e-06,1.298859e-06,1.292270e-06,1.285746e-06,1.279288e-06,1.272896e-06,1.266572e-06,1.260318e-06
0.000000e+00,3.177632e-11,1.278246e-10,9.067539e-10,3.061472e-09,5.224904e-09,1.580147e-08,1.642540e-08,3.795954e-08,4.629513e-08,7.314559e-08,1.021657e-07,1.252438e-07,1.909429e-07,1.975498e-07,2.934079e-07,3.202822e-07,4.160073e-07,4.973157e-07,5.678100e-07,7.263295e-07,7.497331e-07,9.607165e-07,1.006188e-06,1.198151e-06,1.330993e-06,1.458780e-06,1.693264e-06,1.739377e-06,2.037006e-06,2.086027e-06,2.349019e-06,2.503168e-06,2.672963e-06,2.939141e-06,3.006510e-06,3.347415e-06,3.388714e-06,3.693504e-06,3.846882e-06,4.042682e-06,4.308891e-06,4.392953e-06,4.742438e-06,4.770310e-06,5.089401e-06,5.227120e-06,5.432261e-06,5.675780e-06,5.769605e-06,6.100198e-06,6.113265e-06,6.422975e-06,6.537086e-06,6.737049e-06,6.945271e-06,7.041693e-06,7.336339e-06,7.620559e-06,7.709255e-06,7.894056e-06,8.063379e-06,8.156649e-06,8.398405e-06,8.408259e-06,8.648894e-06,8.714315e-06,8.878639e-06,9.011318e-06,9.097641e-06,9.289807e-06,9.306102e-06,9.504262e-06,9.550317e-06,9.692397e-06,9.793487e-06,9.870811e-06,1.002003e-05,1.003982e-05,1.019977e-05,1.023070e-05,1.035098e-05,1.042628e-05,1.049382e-05,1.060757e-05,1.062861e-05,1.075572e-05,1.077537e-05,1.087547e-05,1.093043e-05,1.098819e-05,1.107353e-05,1.109422e-05,1.119386e-05,1.120540e-05,1.128742e-05,1.132673e-05,1.137519e-05,1.143820e-05,1.145745e-05,1.153448e-05,1.154043e-05,1.160654e-05,1.163403e-05,1.167387e-05,1.171956e-05,1.173672e-05,1.179530e-05,1.179756e-05,1.184984e-05,1.186853e-05,1.190055e-05,1.193293e-05,1.194761e-05,1.199121e-05,1.203154e-05,1.204379e-05,1.206877e-05,1.209103e-05,1.210304e-05,1.213331e-05,1.213451e-05,1.216334e-05,1.217095e-05,1.218965e-05,1.220428e-05,1.221357e-05,1.223358e-05,1.223523e-05,1.225475e-05,1.225913e-05,1.227224e-05,1.228118e-05,1.228780e-05,1.229997e-05,1.230153e-05,1.231353e-05,1.231573e-05,1.232389e-05,1.232865e-05,1.233269e-05,1.233894e-05,1.234002e-05,1.234595e-05,1.234677e-05,1.235055e-05,1.235232e-05,1.235391e-05,1.235573e-05,1.235607e-05,1.235711e-05,1.235717e-05,1.235709e-05,1.235676e-05,1.235606e-05,1.235463e-05,1.235407e-05,1.235118e-05,1.235091e-05,1.234744e-05,1.234571e-05,1.234288e-05,1.233913e-05,1.233757e-05,1.233153e-05,1.233128e-05,1.232482e-05,1.232224e-05,1.231746e-05,1.231210e-05,1.230949e-05,1.230095e-05,1.228886e-05,1.227590e-05,1.226214e-05,1.224764e-05,1.223246e-05,1.221665e-05,1.220028e-05,1.218338e-05,1.216601e-05,1.214820e-05,1.212999e-05,1.211144e-05,1.209256e-05,1.207340e-05,1.205398e-05,1.203434e-05,1.201450e-05,1.199449e-05,1.197434e-05,1.195406e-05,1.193369e-05,1.191323e-05,1.189272e-05,1.187216e-05
0.000000e+00,1.431176e-11,3.309894e-11,1.149274e-10,2.622689e-10,3.827500e-10,8.660730e-10,8.919516e-10,1.711074e-09,2.004770e-09,2.904014e-09,3.824284e-09,4.530656e-09,6.458337e-09,6.646892e-09,9.303790e-09,1.002700e-08,1.254565e-08,1.462989e-08,1.640666e-08,2.033228e-08,2.090609e-08,2.604215e-08,2.714377e-08,3.178634e-08,3.499568e-08,3.808129e-08,4.373536e-08,4.484524e-08,5.198240e-08,5.315239e-08,5.939510e-08,6.302396e-08,6.699233e-08,7.314854e-08,7.469365e-08,8.242978e-08,8.335755e-08,9.014163e-08,9.351391e-08,9.777891e-08,1.035069e-07,1.052990e-07,1.126659e-07,1.132476e-07,1.198494e-07,1.226659e-07,1.268250e-07,1.317073e-07,1.335727e-07,1.400767e-07,1.403316e-07,1.463254e-07,1.485107e-07,1.523104e-07,1.562267e-07,1.580263e-07,1.634705e-07,1.686424e-07,1.702401e-07,1.735434e-07,1.765392e-07,1.781765e-07,1.823762e-07,1.825460e-07,1.866571e-07,1.877628e-07,1.905162e-07,1.927135e-07,1.941301e-07,1.972446e-07,1.975061e-07,2.006519e-07,2.013735e-07,2.035755e-07,2.051187e-07,2.062850e-07,2.084988e-07,2.087887e-07,2.110946e-07,2.115328e-07,2.132110e-07,2.142392e-07,2.151458e-07,2.166366e-07,2.169070e-07,2.185025e-07,2.187428e-07,2.199396e-07,2.205754e-07,2.212260e-07,2.221513e-07,2.223686e-07,2.233746e-07,2.234865e-07,2.242507e-07,2.245967e-07,2.250033e-07,2.254967e-07,2.256389e-07,2.261634e-07,2.262008e-07,2.265828e-07,2.267223e-07,2.269026e-07,2.270743e-07,2.271283e-07,2.272651e-07,2.272688e-07,2.273180e-07,2.273174e-07,2.272917e-07,2.272309e-07,2.271908e-07,2.270198e-07,2.267829e-07,2.266938e-07,2.264840e-07,2.262620e-07,2.261271e-07,2.257331e-07,2.257157e-07,2.252534e-07,2.251153e-07,2.247436e-07,2.244162e-07,2.241895e-07,2.236431e-07,2.235940e-07,2.229602e-07,2.228026e-07,2.222907e-07,2.219012e-07,2.215882e-07,2.209448e-07,2.208553e-07,2.200943e-07,2.199389e-07,2.193075e-07,2.188888e-07,2.184970e-07,2.177994e-07,2.176649e-07,2.168131e-07,2.166751e-07,2.159435e-07,2.155203e-07,2.150579e-07,2.143389e-07,2.141578e-07,2.132449e-07,2.131346e-07,2.123207e-07,2.119108e-07,2.113865e-07,2.106707e-07,2.104437e-07,2.094936e-07,2.094173e-07,2.085373e-07,2.081534e-07,2.075760e-07,2.068814e-07,2.066108e-07,2.056426e-07,2.056038e-07,2.046723e-07,2.043227e-07,2.037009e-07,2.030402e-07,2.027293e-07,2.017580e-07,2.004780e-07,1.992017e-07,1.979304e-07,1.966656e-07,1.954084e-07,1.941600e-07,1.929212e-07,1.916931e-07,1.904764e-07,1.892718e-07,1.880801e-07,1.869017e-07,1.857373e-07,1.845873e-07,1.834520e-07,1.823318e-07,1.812271e-07,1.801380e-07,1.790647e-07,1.780075e-07,1.769664e-07,1.759416e-07,1.749330e-07,1.739409e-07
0.000000e+00,4.236593e-12,2.133521e-11,2.328818e-10,1.120788e-09,2.291044e-09,1.059905e-08,1.119697e-08,3.747325e-08,5.017971e-08,9.911547e-08,1.640106e-07,2.234346e-07,4.251359e-07,4.477978e-07,8.173780e-07,9.330285e-07,1.380083e-06,1.796674e-06,2.181227e-06,3.114619e-06,3.259793e-06,4.646513e-06,4.962918e-06,6.363296e-06,7.391199e-06,8.423409e-06,1.042323e-05,1.083201e-05,1.358683e-05,1.405922e-05,1.667881e-05,1.827848e-05,2.009279e-05,2.304214e-05,2.380818e-05,2.779964e-05,2.829581e-05,3.203783e-05,3.397251e-05,3.649021e-05,3.999583e-05,4.112183e-05,4.589624e-05,4.628325e-05,5.077630e-05,5.274959e-05,5.572500e-05,5.931022e-05,6.070620e-05,6.568531e-05,6.588396e-05,7.062984e-05,7.239556e-05,7.550985e-05,7.877748e-05,8.029829e-05,8.497119e-05,8.950783e-05,9.092782e-05,9.389069e-05,9.660827e-05,9.810545e-05,1.019830e-04,1.021408e-04,1.059883e-04,1.070311e-04,1.096423e-04,1.117401e-04,1.130991e-04,1.161043e-04,1.163577e-04,1.194185e-04,1.201239e-04,1.222838e-04,1.238043e-04,1.249571e-04,1.271545e-04,1.274432e-04,1.297474e-04,1.301870e-04,1.318762e-04,1.329160e-04,1.338362e-04,1.353576e-04,1.356348e-04,1.372793e-04,1.375286e-04,1.387771e-04,1.394462e-04,1.401360e-04,1.411279e-04,1.413632e-04,1.424663e-04,1.425907e-04,1.434524e-04,1.438511e-04,1.443285e-04,1.449250e-04,1.451014e-04,1.457773e-04,1.458274e-04,1.463627e-04,1.465728e-04,1.468632e-04,1.471743e-04,1.472846e-04,1.476321e-04,1.476446e-04,1.479107e-04,1.479951e-04,1.481252e-04,1.482366e-04,1.482799e-04,1.483790e-04,1.484265e-04,1.484314e-04,1.484261e-04,1.484022e-04,1.483811e-04,1.482991e-04,1.482949e-04,1.481704e-04,1.481290e-04,1.480104e-04,1.478986e-04,1.478177e-04,1.476135e-04,1.475946e-04,1.473436e-04,1.472794e-04,1.470666e-04,1.469010e-04,1.467658e-04,1.464829e-04,1.464430e-04,1.461000e-04,1.460291e-04,1.457384e-04,1.455436e-04,1.453598e-04,1.450297e-04,1.449656e-04,1.445571e-04,1.444905e-04,1.441356e-04,1.439290e-04,1.437022e-04,1.433477e-04,1.432580e-04,1.428042e-04,1.427491e-04,1.423415e-04,1.421354e-04,1.418709e-04,1.415085e-04,1.413933e-04,1.409094e-04,1.408704e-04,1.404199e-04,1.402227e-04,1.399255e-04,1.395670e-04,1.394270e-04,1.389248e-04,1.389046e-04,1.384195e-04,1.382369e-04,1.379116e-04,1.375651e-04,1.374017e-04,1.368902e-04,1.362132e-04,1.355351e-04,1.348567e-04,1.341788e-04,1.335019e-04,1.328269e-04,1.321542e-04,1.314844e-04,1.308180e-04,1.301554e-04,1.294970e-04,1.288432e-04,1.281943e-04,1.275506e-04,1.269124e-04,1.262800e-04,1.256534e-04,1.250330e-04,1.244189e-04,1.238112e-04,1.232101e-04,1.226158e-04,1.220282e-04,1.214476e-04
0.000000e+00,2.253019e-10,5.852839e-10,2.303453e-09,5.597656e-09,8.385345e-09,2.008620e-08,2.073174e-08,4.198689e-08,4.996072e-08,7.539976e-08,1.028727e-07,1.248293e-07,1.878768e-07,1.942449e-07,2.863836e-07,3.119285e-07,4.010014e-07,4.737803e-07,5.345751e-07,6.638520e-07,6.821398e-07,8.392017e-07,8.714364e-07,1.002364e-06,1.088772e-06,1.169157e-06,1.310697e-06,1.337721e-06,1.506572e-06,1.533530e-06,1.674471e-06,1.754407e-06,1.840355e-06,1.970994e-06,2.003312e-06,2.162561e-06,2.181390e-06,2.317454e-06,2.384086e-06,2.467461e-06,2.577940e-06,2.612168e-06,2.751262e-06,2.762139e-06,2.884523e-06,2.936162e-06,3.011817e-06,3.099737e-06,3.133082e-06,3.248314e-06,3.252799e-06,3.357564e-06,3.395442e-06,3.460902e-06,3.527853e-06,3.558444e-06,3.650331e-06,3.736716e-06,3.763225e-06,3.817771e-06,3.866933e-06,3.893677e-06,3.961874e-06,3.964619e-06,4.030783e-06,4.048478e-06,4.092358e-06,4.127179e-06,4.149533e-06,4.198408e-06,4.202494e-06,4.251424e-06,4.262588e-06,4.296503e-06,4.320130e-06,4.337904e-06,4.371430e-06,4.375798e-06,4.410348e-06,4.416871e-06,4.441715e-06,4.456819e-06,4.470052e-06,4.491623e-06,4.495508e-06,4.518225e-06,4.521615e-06,4.538341e-06,4.547111e-06,4.555987e-06,4.568410e-06,4.571289e-06,4.584370e-06,4.585796e-06,4.595344e-06,4.599535e-06,4.604325e-06,4.609882e-06,4.611418e-06,4.616725e-06,4.617075e-06,4.620343e-06,4.621339e-06,4.622366e-06,4.622885e-06,4.622883e-06,4.621979e-06,4.621914e-06,4.619734e-06,4.618613e-06,4.616226e-06,4.613157e-06,4.611529e-06,4.605713e-06,4.598846e-06,4.596437e-06,4.590991e-06,4.585473e-06,4.582208e-06,4.572959e-06,4.572557e-06,4.562092e-06,4.559023e-06,4.550866e-06,4.543786e-06,4.538928e-06,4.527359e-06,4.526327e-06,4.513108e-06,4.509848e-06,4.499313e-06,4.491352e-06,4.484984e-06,4.471964e-06,4.470160e-06,4.454876e-06,4.451768e-06,4.439170e-06,4.430846e-06,4.423073e-06,4.409273e-06,4.406617e-06,4.389833e-06,4.387119e-06,4.372748e-06,4.364449e-06,4.355391e-06,4.341326e-06,4.337786e-06,4.319958e-06,4.317805e-06,4.301930e-06,4.293940e-06,4.283724e-06,4.269780e-06,4.265360e-06,4.246857e-06,4.245372e-06,4.228236e-06,4.220757e-06,4.209512e-06,4.195977e-06,4.190702e-06,4.171823e-06,4.171066e-06,4.152888e-06,4.146061e-06,4.133913e-06,4.120993e-06,4.114909e-06,4.095890e-06,4.070781e-06,4.045690e-06,4.020641e-06,3.995655e-06,3.970752e-06,3.945951e-06,3.921267e-06,3.896716e-06,3.872313e-06,3.848070e-06,3.823999e-06,3.800110e-06,3.776413e-06,3.752917e-06,3.729630e-06,3.706559e-06,3.683710e-06,3.661088e-06,3.638700e-06,3.616548e-06,3.594637e-06,3.572970e-06,3.551550e-06,3.530380e-06
0.000000e+00,3.345416e-12,1.694529e-11,1.870836e-10,9.087793e-10,1.866028e-09,8.709694e-09,9.203435e-09,3.090403e-08,4.137356e-08,8.147932e-08,1.341710e-07,1.820183e-07,3.425801e-07,3.605034e-07,6.515544e-07,7.425187e-07,1.095201e-06,1.426300e-06,1.734461e-06,2.492919e-06,2.612195e-06,3.768080e-06,4.035755e-06,5.236214e-06,6.132296e-06,7.043511e-06,8.837750e-06,9.208775e-06,1.174234e-05,1.218213e-05,1.464608e-05,1.616981e-05,1.791371e-05,2.078072e-05,2.153134e-05,2.547816e-05,2.597268e-05,2.972724e-05,3.168449e-05,3.424650e-05,3.783968e-05,3.899972e-05,4.394755e-05,4.435056e-05,4.904861e-05,5.112246e-05,5.426052e-05,5.805791e-05,5.954089e-05,6.484822e-05,6.506050e-05,7.014271e-05,7.203830e-05,7.538697e-05,7.890664e-05,8.054652e-05,8.559026e-05,9.049074e-05,9.202466e-05,9.522431e-05,9.815690e-05,9.977118e-05,1.039457e-04,1.041154e-04,1.082446e-04,1.093610e-04,1.121500e-04,1.143833e-04,1.158260e-04,1.190029e-04,1.192698e-04,1.224814e-04,1.232179e-04,1.254630e-04,1.270337e-04,1.282187e-04,1.304614e-04,1.307542e-04,1.330768e-04,1.335165e-04,1.351945e-04,1.362178e-04,1.371164e-04,1.385864e-04,1.388520e-04,1.404112e-04,1.406449e-04,1.418040e-04,1.424165e-04,1.430407e-04,1.439242e-04,1.441311e-04,1.450852e-04,1.451909e-04,1.459124e-04,1.462385e-04,1.466219e-04,1.470880e-04,1.472227e-04,1.477229e-04,1.477588e-04,1.481306e-04,1.482694e-04,1.484531e-04,1.486365e-04,1.486975e-04,1.488702e-04,1.488757e-04,1.489775e-04,1.490011e-04,1.490248e-04,1.490254e-04,1.490174e-04,1.489601e-04,1.488575e-04,1.488157e-04,1.487135e-04,1.486014e-04,1.485320e-04,1.483256e-04,1.483163e-04,1.480698e-04,1.479956e-04,1.477952e-04,1.476182e-04,1.474953e-04,1.471991e-04,1.471725e-04,1.468290e-04,1.467437e-04,1.464669e-04,1.462567e-04,1.460880e-04,1.457421e-04,1.456941e-04,1.452868e-04,1.452038e-04,1.448675e-04,1.446451e-04,1.444375e-04,1.440689e-04,1.439980e-04,1.435502e-04,1.434779e-04,1.430951e-04,1.428744e-04,1.426337e-04,1.422605e-04,1.421667e-04,1.416950e-04,1.416382e-04,1.412194e-04,1.410091e-04,1.407406e-04,1.403748e-04,1.402590e-04,1.397755e-04,1.397367e-04,1.392903e-04,1.390960e-04,1.388042e-04,1.384538e-04,1.383175e-04,1.378306e-04,1.378111e-04,1.373440e-04,1.371689e-04,1.368580e-04,1.365280e-04,1.363729e-04,1.358890e-04,1.352528e-04,1.346198e-04,1.339907e-04,1.333659e-04,1.327459e-04,1.321310e-04,1.315217e-04,1.309182e-04,1.303208e-04,1.297298e-04,1.291454e-04,1.285679e-04,1.279973e-04,1.274338e-04,1.268776e-04,1.263287e-04,1.257873e-04,1.252535e-04,1.247272e-04,1.242086e-04,1.236976e-04,1.231943e-04,1.226988e-04,1.222109e-04
0.000000e+00,2.378496e-10,9.754405e-10,7.158982e-09,2.478484e-08,4.280489e-08,1.329058e-07,1.382881e-07,3.268374e-07,4.009466e-07,6.428423e-07,9.087486e-07,1.122951e-06,1.743406e-06,1.806536e-06,2.733517e-06,2.996203e-06,3.937097e-06,4.738218e-06,5.430988e-06,6.973515e-06,7.198884e-06,9.197971e-06,9.620814e-06,1.137461e-05,1.255959e-05,1.367850e-05,1.568148e-05,1.606814e-05,1.851040e-05,1.890417e-05,2.097827e-05,2.216511e-05,2.344891e-05,2.541406e-05,2.590257e-05,2.832205e-05,2.860935e-05,3.069241e-05,3.171646e-05,3.300095e-05,3.470749e-05,3.523706e-05,3.739218e-05,3.756088e-05,3.945964e-05,4.026091e-05,4.143449e-05,4.279709e-05,4.331336e-05,4.509424e-05,4.516342e-05,4.677627e-05,4.735761e-05,4.835960e-05,4.938035e-05,4.984518e-05,5.123461e-05,5.253001e-05,5.292508e-05,5.373392e-05,5.445772e-05,5.484920e-05,5.583938e-05,5.587897e-05,5.682645e-05,5.707745e-05,5.769495e-05,5.817956e-05,5.848787e-05,5.915350e-05,5.920858e-05,5.986043e-05,6.000700e-05,6.044672e-05,6.074762e-05,6.097070e-05,6.138276e-05,6.143551e-05,6.184425e-05,6.191954e-05,6.219990e-05,6.236482e-05,6.250534e-05,6.272514e-05,6.276334e-05,6.297657e-05,6.300670e-05,6.314760e-05,6.321543e-05,6.327888e-05,6.335688e-05,6.337278e-05,6.343155e-05,6.343634e-05,6.345734e-05,6.345877e-05,6.345221e-05,6.342884e-05,6.341811e-05,6.335693e-05,6.335091e-05,6.327043e-05,6.322912e-05,6.316031e-05,6.306730e-05,6.302817e-05,6.287556e-05,6.286905e-05,6.270392e-05,6.263774e-05,6.251464e-05,6.237651e-05,6.230901e-05,6.208828e-05,6.185362e-05,6.177577e-05,6.160615e-05,6.144153e-05,6.134692e-05,6.108791e-05,6.107692e-05,6.079709e-05,6.071710e-05,6.050833e-05,6.033113e-05,6.021147e-05,5.993189e-05,5.990731e-05,5.959658e-05,5.952111e-05,5.928001e-05,5.910042e-05,5.895824e-05,5.867129e-05,5.863191e-05,5.830160e-05,5.823510e-05,5.796786e-05,5.779313e-05,5.763121e-05,5.734654e-05,5.729215e-05,5.695112e-05,5.689640e-05,5.660855e-05,5.644369e-05,5.626485e-05,5.598933e-05,5.592040e-05,5.557553e-05,5.553414e-05,5.523059e-05,5.507887e-05,5.488587e-05,5.462422e-05,5.454167e-05,5.419824e-05,5.417081e-05,5.385584e-05,5.371922e-05,5.351469e-05,5.326996e-05,5.317501e-05,5.283699e-05,5.282351e-05,5.250082e-05,5.238028e-05,5.216666e-05,5.194066e-05,5.183467e-05,5.150499e-05,5.107356e-05,5.064666e-05,5.022452e-05,4.980734e-05,4.939532e-05,4.898860e-05,4.858733e-05,4.819162e-05,4.780157e-05,4.741724e-05,4.703871e-05,4.666601e-05,4.629919e-05,4.593825e-05,4.558322e-05,4.523407e-05,4.489081e-05,4.455342e-05,4.422186e-05,4.389609e-05,4.357609e-05,4.326179e-05,4.295316e-05,4.265012e-05
0.000000e+00,1.128874e-10,2.832318e-10,1.071245e-09,2.543851e-09,3.768378e-09,8.763463e-09,9.033402e-09,1.766330e-08,2.079083e-08,3.045578e-08,4.046931e-08,4.823017e-08,6.969093e-08,7.180915e-08,1.019105e-07,1.101590e-07,1.389241e-07,1.626429e-07,1.827162e-07,2.263939e-07,2.326916e-07,2.880570e-07,2.997064e-07,3.480247e-07,3.807859e-07,4.118774e-07,4.680356e-07,4.789601e-07,5.486568e-07,5.600110e-07,6.203758e-07,6.553502e-07,6.935437e-07,7.527482e-07,7.676066e-07,8.420353e-07,8.509674e-07,9.163325e-07,9.488618e-07,9.900385e-07,1.045400e-06,1.062735e-06,1.134049e-06,1.139684e-06,1.203658e-06,1.230960e-06,1.271285e-06,1.318620e-06,1.336703e-06,1.399726e-06,1.402195e-06,1.460213e-06,1.481347e-06,1.518060e-06,1.555850e-06,1.573196e-06,1.625581e-06,1.675200e-06,1.690495e-06,1.722063e-06,1.750620e-06,1.766196e-06,1.806035e-06,1.807642e-06,1.846456e-06,1.856861e-06,1.882704e-06,1.903252e-06,1.916461e-06,1.945384e-06,1.947805e-06,1.976821e-06,1.983448e-06,2.003595e-06,2.017643e-06,2.028217e-06,2.048173e-06,2.050774e-06,2.071357e-06,2.075244e-06,2.090053e-06,2.099058e-06,2.106950e-06,2.119816e-06,2.122133e-06,2.135686e-06,2.137709e-06,2.147690e-06,2.152925e-06,2.158224e-06,2.165644e-06,2.167364e-06,2.175183e-06,2.176036e-06,2.181754e-06,2.184266e-06,2.187143e-06,2.190489e-06,2.191417e-06,2.194638e-06,2.194852e-06,2.196867e-06,2.197494e-06,2.198162e-06,2.198546e-06,2.198577e-06,2.198166e-06,2.198133e-06,2.196978e-06,2.196370e-06,2.195062e-06,2.193367e-06,2.192464e-06,2.189226e-06,2.185391e-06,2.184045e-06,2.180999e-06,2.177912e-06,2.176086e-06,2.170913e-06,2.170688e-06,2.164839e-06,2.163126e-06,2.158573e-06,2.154624e-06,2.151918e-06,2.145478e-06,2.144904e-06,2.137559e-06,2.135750e-06,2.129909e-06,2.125501e-06,2.121978e-06,2.114785e-06,2.113790e-06,2.105367e-06,2.103656e-06,2.096730e-06,2.092161e-06,2.087899e-06,2.080345e-06,2.078893e-06,2.069729e-06,2.068249e-06,2.060424e-06,2.055913e-06,2.050994e-06,2.043370e-06,2.041454e-06,2.031818e-06,2.030656e-06,2.022099e-06,2.017799e-06,2.012309e-06,2.004829e-06,2.002461e-06,1.992565e-06,1.991771e-06,1.982632e-06,1.978650e-06,1.972671e-06,1.965488e-06,1.962692e-06,1.952704e-06,1.952304e-06,1.942713e-06,1.939118e-06,1.932729e-06,1.925947e-06,1.922758e-06,1.912806e-06,1.899711e-06,1.886673e-06,1.873705e-06,1.860818e-06,1.848022e-06,1.835325e-06,1.822736e-06,1.810261e-06,1.797908e-06,1.785681e-06,1.773586e-06,1.761628e-06,1.749810e-06,1.738135e-06,1.726608e-06,1.715229e-06,1.704001e-06,1.692927e-06,1.682006e-06,1.671240e-06,1.660631e-06,1.650177e-06,1.639880e-06,1.629739e-06
0.000000e+00,7.223286e-11,1.720231e-10,6.164245e-10,1.428757e-09,2.098207e-09,4.809364e-09,4.955409e-09,9.613898e-09,1.129930e-08,1.650357e-08,2.189261e-08,2.606887e-08,3.762167e-08,3.876266e-08,5.500267e-08,5.946407e-08,7.507260e-08,8.800908e-08,9.900542e-08,1.230728e-07,1.265571e-07,1.573107e-07,1.638050e-07,1.908076e-07,2.091654e-07,2.266171e-07,2.581993e-07,2.643512e-07,3.036566e-07,3.100690e-07,3.442050e-07,3.640182e-07,3.856868e-07,4.193470e-07,4.278093e-07,4.702963e-07,4.754068e-07,5.128904e-07,5.316038e-07,5.553544e-07,5.874070e-07,5.974735e-07,6.390549e-07,6.423530e-07,6.799300e-07,6.960490e-07,7.199535e-07,7.481728e-07,7.590017e-07,7.969719e-07,7.984671e-07,8.337814e-07,8.467355e-07,8.693648e-07,8.928356e-07,9.036731e-07,9.366711e-07,9.683363e-07,9.781855e-07,9.986569e-07,1.017355e-06,1.027630e-06,1.054182e-06,1.055262e-06,1.081563e-06,1.088691e-06,1.106551e-06,1.120922e-06,1.130248e-06,1.150930e-06,1.152678e-06,1.173871e-06,1.178776e-06,1.193855e-06,1.204531e-06,1.212665e-06,1.228271e-06,1.230331e-06,1.246890e-06,1.250072e-06,1.262375e-06,1.270015e-06,1.276822e-06,1.288181e-06,1.290266e-06,1.302742e-06,1.304650e-06,1.314284e-06,1.319503e-06,1.324927e-06,1.332817e-06,1.334705e-06,1.343652e-06,1.344671e-06,1.351799e-06,1.355139e-06,1.359180e-06,1.364295e-06,1.365824e-06,1.371764e-06,1.372209e-06,1.377028e-06,1.378951e-06,1.381646e-06,1.384586e-06,1.385645e-06,1.389053e-06,1.389177e-06,1.391897e-06,1.392787e-06,1.394202e-06,1.395474e-06,1.395993e-06,1.397294e-06,1.398129e-06,1.398302e-06,1.398520e-06,1.398548e-06,1.398489e-06,1.398082e-06,1.398057e-06,1.397244e-06,1.396951e-06,1.396070e-06,1.395199e-06,1.394553e-06,1.392870e-06,1.392711e-06,1.390563e-06,1.390004e-06,1.388125e-06,1.386639e-06,1.385413e-06,1.382812e-06,1.382443e-06,1.379229e-06,1.378559e-06,1.375787e-06,1.373911e-06,1.372129e-06,1.368900e-06,1.368269e-06,1.364220e-06,1.363555e-06,1.359994e-06,1.357906e-06,1.355602e-06,1.351977e-06,1.351056e-06,1.346367e-06,1.345795e-06,1.341544e-06,1.339383e-06,1.336598e-06,1.332763e-06,1.331538e-06,1.326373e-06,1.325956e-06,1.321112e-06,1.318982e-06,1.315762e-06,1.311860e-06,1.310331e-06,1.304828e-06,1.304607e-06,1.299259e-06,1.297239e-06,1.293631e-06,1.289773e-06,1.287950e-06,1.282223e-06,1.274602e-06,1.266924e-06,1.259199e-06,1.251440e-06,1.243657e-06,1.235859e-06,1.228056e-06,1.220255e-06,1.212466e-06,1.204695e-06,1.196948e-06,1.189233e-06,1.181555e-06,1.173919e-06,1.166330e-06,1.158792e-06,1.151311e-06,1.143888e-06,1.136529e-06,1.129236e-06,1.122011e-06,1.114858e-06,1.107779e-06,1.100775e-06
0.000000e+00,4.008931e-11,1.612005e-10,1.140279e-09,3.835525e-09,6.532966e-09,1.970199e-08,2.047991e-08,4.752100e-08,5.811102e-08,9.274531e-08,1.310679e-07,1.621550e-07,2.530225e-07,2.623076e-07,3.982567e-07,4.363571e-07,5.699856e-07,6.795173e-07,7.708708e-07,9.636766e-07,9.907246e-07,1.220061e-06,1.266415e-06,1.452030e-06,1.572155e-06,1.682214e-06,1.872097e-06,1.907794e-06,2.126839e-06,2.161178e-06,2.337900e-06,2.436023e-06,2.539813e-06,2.694114e-06,2.731631e-06,2.912604e-06,2.933564e-06,3.082188e-06,3.153101e-06,3.240042e-06,3.352075e-06,3.386029e-06,3.520198e-06,3.530427e-06,3.642765e-06,3.688619e-06,3.754086e-06,3.827533e-06,3.854628e-06,3.944942e-06,3.948350e-06,4.025633e-06,4.052448e-06,4.097340e-06,4.141302e-06,4.160715e-06,4.216406e-06,4.265043e-06,4.279216e-06,4.307230e-06,4.331112e-06,4.343541e-06,4.373366e-06,4.374509e-06,4.400631e-06,4.407140e-06,4.422364e-06,4.433472e-06,4.440125e-06,4.453285e-06,4.454295e-06,4.465217e-06,4.467391e-06,4.473205e-06,4.476501e-06,4.478537e-06,4.481234e-06,4.481466e-06,4.482221e-06,4.482130e-06,4.481006e-06,4.479657e-06,4.478004e-06,4.474222e-06,4.473379e-06,4.467282e-06,4.466178e-06,4.459844e-06,4.455834e-06,4.451188e-06,4.443459e-06,4.441421e-06,4.430643e-06,4.429286e-06,4.418943e-06,4.413523e-06,4.406401e-06,4.396352e-06,4.393092e-06,4.379083e-06,4.377934e-06,4.364435e-06,4.358410e-06,4.349205e-06,4.337908e-06,4.333444e-06,4.317201e-06,4.316541e-06,4.300517e-06,4.294412e-06,4.283435e-06,4.271610e-06,4.265990e-06,4.248218e-06,4.230151e-06,4.224312e-06,4.211817e-06,4.199957e-06,4.193246e-06,4.175216e-06,4.174461e-06,4.155488e-06,4.150145e-06,4.136349e-06,4.124794e-06,4.117064e-06,4.099210e-06,4.097653e-06,4.078134e-06,4.073435e-06,4.058524e-06,4.047509e-06,4.038840e-06,4.021467e-06,4.019095e-06,3.999305e-06,3.995342e-06,3.979481e-06,3.969164e-06,3.959637e-06,3.942961e-06,3.939784e-06,3.919933e-06,3.916757e-06,3.900093e-06,3.890577e-06,3.880275e-06,3.864442e-06,3.860487e-06,3.840738e-06,3.838371e-06,3.821035e-06,3.812382e-06,3.801386e-06,3.786492e-06,3.781797e-06,3.762276e-06,3.760717e-06,3.742827e-06,3.735070e-06,3.723458e-06,3.709563e-06,3.704172e-06,3.684975e-06,3.684209e-06,3.665872e-06,3.659018e-06,3.646866e-06,3.634000e-06,3.627962e-06,3.609164e-06,3.584517e-06,3.560067e-06,3.535820e-06,3.511783e-06,3.487960e-06,3.464357e-06,3.440977e-06,3.417824e-06,3.394901e-06,3.372211e-06,3.349757e-06,3.327539e-06,3.305561e-06,3.283823e-06,3.262326e-06,3.241071e-06,3.220058e-06,3.199288e-06,3.178760e-06,3.158475e-06,3.138432e-06,3.118629e-06,3.099068e-06,3.079745e-06
0.000000e+00,1.015043e-10,3.987698e-10,2.712918e-09,8.879406e-09,1.493126e-08,4.368953e-08,4.535921e-08,1.019341e-07,1.234249e-07,1.915511e-07,2.636730e-07,3.201039e-07,4.770245e-07,4.925332e-07,7.127698e-07,7.730691e-07,9.834712e-07,1.157506e-06,1.305442e-06,1.629813e-06,1.676861e-06,2.092939e-06,2.180916e-06,2.546591e-06,2.794668e-06,3.029757e-06,3.452581e-06,3.534470e-06,4.053328e-06,4.137200e-06,4.579607e-06,4.833050e-06,5.107235e-06,5.526639e-06,5.630783e-06,6.145467e-06,6.206431e-06,6.647161e-06,6.862875e-06,7.132402e-06,7.488426e-06,7.598375e-06,8.042889e-06,8.077470e-06,8.464327e-06,8.626180e-06,8.861596e-06,9.132294e-06,9.234065e-06,9.581497e-06,9.594874e-06,9.903989e-06,1.001404e-05,1.020191e-05,1.039076e-05,1.047585e-05,1.072657e-05,1.095495e-05,1.102347e-05,1.116196e-05,1.128370e-05,1.134863e-05,1.150969e-05,1.151603e-05,1.166523e-05,1.170390e-05,1.179732e-05,1.186879e-05,1.191334e-05,1.200677e-05,1.201432e-05,1.210127e-05,1.212016e-05,1.217514e-05,1.221114e-05,1.223685e-05,1.228178e-05,1.228726e-05,1.232722e-05,1.233403e-05,1.235751e-05,1.236968e-05,1.237885e-05,1.239039e-05,1.239196e-05,1.239749e-05,1.239771e-05,1.239605e-05,1.239306e-05,1.238822e-05,1.237771e-05,1.237453e-05,1.235549e-05,1.235286e-05,1.233155e-05,1.231958e-05,1.230316e-05,1.227886e-05,1.227073e-05,1.223462e-05,1.223159e-05,1.219520e-05,1.217858e-05,1.215279e-05,1.212057e-05,1.210769e-05,1.206019e-05,1.205824e-05,1.201054e-05,1.199219e-05,1.195899e-05,1.192296e-05,1.190576e-05,1.185106e-05,1.179508e-05,1.177693e-05,1.173800e-05,1.170097e-05,1.167999e-05,1.162356e-05,1.162119e-05,1.156175e-05,1.154501e-05,1.150179e-05,1.146562e-05,1.144143e-05,1.138565e-05,1.138079e-05,1.131996e-05,1.130535e-05,1.125904e-05,1.122492e-05,1.119811e-05,1.114454e-05,1.113724e-05,1.107652e-05,1.106440e-05,1.101600e-05,1.098463e-05,1.095574e-05,1.090536e-05,1.089580e-05,1.083622e-05,1.082672e-05,1.077705e-05,1.074881e-05,1.071834e-05,1.067171e-05,1.066011e-05,1.060240e-05,1.059551e-05,1.054524e-05,1.052027e-05,1.048865e-05,1.044605e-05,1.043266e-05,1.037729e-05,1.037289e-05,1.032256e-05,1.030085e-05,1.026848e-05,1.022995e-05,1.021506e-05,1.016232e-05,1.016023e-05,1.011027e-05,1.009170e-05,1.005891e-05,1.002439e-05,1.000826e-05,9.958308e-06,9.893464e-06,9.829863e-06,9.767509e-06,9.706400e-06,9.646532e-06,9.587900e-06,9.530496e-06,9.474310e-06,9.419332e-06,9.365548e-06,9.312945e-06,9.261508e-06,9.211221e-06,9.162067e-06,9.114029e-06,9.067089e-06,9.021228e-06,8.976428e-06,8.932670e-06,8.889935e-06,8.848202e-06,8.807453e-06,8.767668e-06,8.728827e-06
0.000000e+00,1.006252e-11,2.309389e-11,7.990243e-11,1.832091e-10,2.687649e-10,6.217120e-10,6.410421e-10,1.274798e-09,1.512055e-09,2.269313e-09,3.088168e-09,3.742685e-09,5.613380e-09,5.801050e-09,8.479617e-09,9.209823e-09,1.172146e-08,1.374610e-08,1.542789e-08,1.900166e-08,1.950865e-08,2.389476e-08,2.480377e-08,2.853326e-08,3.103027e-08,3.338038e-08,3.758455e-08,3.839710e-08,4.354700e-08,4.438101e-08,4.879551e-08,5.134013e-08,5.410987e-08,5.838805e-08,5.945936e-08,6.481570e-08,6.545767e-08,7.015326e-08,7.248987e-08,7.544926e-08,7.943408e-08,8.068380e-08,8.583980e-08,8.624843e-08,9.090287e-08,9.289932e-08,9.586101e-08,9.936036e-08,1.007045e-07,1.054257e-07,1.056119e-07,1.100186e-07,1.116397e-07,1.144786e-07,1.174338e-07,1.188025e-07,1.229884e-07,1.270351e-07,1.283005e-07,1.309422e-07,1.333696e-07,1.347100e-07,1.381969e-07,1.383394e-07,1.418319e-07,1.427854e-07,1.451889e-07,1.471390e-07,1.484126e-07,1.512625e-07,1.515051e-07,1.544689e-07,1.551613e-07,1.573065e-07,1.588414e-07,1.600205e-07,1.623089e-07,1.626138e-07,1.650892e-07,1.655704e-07,1.674496e-07,1.686325e-07,1.696979e-07,1.715020e-07,1.718370e-07,1.738699e-07,1.741855e-07,1.757995e-07,1.766898e-07,1.776287e-07,1.790217e-07,1.793604e-07,1.809976e-07,1.811878e-07,1.825430e-07,1.831947e-07,1.839995e-07,1.850487e-07,1.853699e-07,1.866568e-07,1.867562e-07,1.878629e-07,1.883234e-07,1.889910e-07,1.897563e-07,1.900436e-07,1.910231e-07,1.910608e-07,1.919322e-07,1.922427e-07,1.927733e-07,1.933075e-07,1.935486e-07,1.942607e-07,1.949116e-07,1.951074e-07,1.955037e-07,1.958528e-07,1.960392e-07,1.965019e-07,1.965201e-07,1.969485e-07,1.970593e-07,1.973264e-07,1.975297e-07,1.976558e-07,1.979176e-07,1.979385e-07,1.981765e-07,1.982271e-07,1.983715e-07,1.984626e-07,1.985252e-07,1.986278e-07,1.986395e-07,1.987158e-07,1.987267e-07,1.987559e-07,1.987630e-07,1.987613e-07,1.987401e-07,1.987335e-07,1.986739e-07,1.986615e-07,1.985840e-07,1.985305e-07,1.984652e-07,1.983502e-07,1.983188e-07,1.981460e-07,1.981236e-07,1.979482e-07,1.978535e-07,1.977265e-07,1.975428e-07,1.974821e-07,1.972162e-07,1.971941e-07,1.969299e-07,1.968098e-07,1.966241e-07,1.963925e-07,1.963000e-07,1.959585e-07,1.959445e-07,1.956005e-07,1.954678e-07,1.952271e-07,1.949647e-07,1.948390e-07,1.944372e-07,1.938871e-07,1.933164e-07,1.927266e-07,1.921196e-07,1.914968e-07,1.908598e-07,1.902101e-07,1.895488e-07,1.888774e-07,1.881970e-07,1.875089e-07,1.868140e-07,1.861135e-07,1.854083e-07,1.846993e-07,1.839875e-07,1.832736e-07,1.825584e-07,1.818426e-07,1.811270e-07,1.804121e-07,1.796986e-07,1.789871e-07,1.782781e-07
0.000000e+00,2.114723e-11,4.934982e-11,1.733130e-10,3.984756e-10,5.837484e-10,1.334542e-09,1.375039e-09,2.670496e-09,3.140990e-09,4.599517e-09,6.117499e-09,7.297543e-09,1.056457e-08,1.088654e-08,1.543243e-08,1.666625e-08,2.092908e-08,2.440719e-08,2.733467e-08,3.368788e-08,3.460452e-08,4.269750e-08,4.441125e-08,5.157181e-08,5.648009e-08,6.118105e-08,6.978211e-08,7.147211e-08,8.238489e-08,8.418428e-08,9.385309e-08,9.953438e-08,1.058056e-07,1.156666e-07,1.181683e-07,1.308657e-07,1.324084e-07,1.438228e-07,1.495873e-07,1.569665e-07,1.670373e-07,1.702268e-07,1.835382e-07,1.846035e-07,1.968400e-07,2.021454e-07,2.100769e-07,2.195391e-07,2.231992e-07,2.361632e-07,2.366779e-07,2.489304e-07,2.534720e-07,2.614681e-07,2.698481e-07,2.737482e-07,2.857476e-07,2.974474e-07,3.011254e-07,3.088324e-07,3.159482e-07,3.198911e-07,3.301924e-07,3.306149e-07,3.409978e-07,3.438434e-07,3.510364e-07,3.568935e-07,3.607291e-07,3.693409e-07,3.700760e-07,3.790788e-07,3.811885e-07,3.877403e-07,3.924432e-07,3.960646e-07,4.031147e-07,4.040564e-07,4.117212e-07,4.132154e-07,4.190650e-07,4.227591e-07,4.260945e-07,4.317613e-07,4.328165e-07,4.392382e-07,4.402383e-07,4.453671e-07,4.482071e-07,4.512106e-07,4.556851e-07,4.567764e-07,4.620723e-07,4.626900e-07,4.671058e-07,4.692395e-07,4.718848e-07,4.753512e-07,4.764168e-07,4.807095e-07,4.810428e-07,4.847703e-07,4.863314e-07,4.886067e-07,4.912340e-07,4.922259e-07,4.956351e-07,4.957672e-07,4.988414e-07,4.999473e-07,5.018515e-07,5.037899e-07,5.046724e-07,5.073105e-07,5.097724e-07,5.105239e-07,5.120642e-07,5.134447e-07,5.141923e-07,5.160867e-07,5.161625e-07,5.179807e-07,5.184634e-07,5.196526e-07,5.205879e-07,5.211838e-07,5.224727e-07,5.225795e-07,5.238450e-07,5.241299e-07,5.249854e-07,5.255712e-07,5.260057e-07,5.268079e-07,5.269105e-07,5.277046e-07,5.278505e-07,5.283925e-07,5.287096e-07,5.289784e-07,5.293950e-07,5.294668e-07,5.298615e-07,5.299163e-07,5.301667e-07,5.302825e-07,5.303862e-07,5.305025e-07,5.305236e-07,5.305826e-07,5.305846e-07,5.305667e-07,5.305368e-07,5.304792e-07,5.303668e-07,5.303234e-07,5.301024e-07,5.300820e-07,5.298192e-07,5.296892e-07,5.294769e-07,5.291953e-07,5.290782e-07,5.286258e-07,5.286067e-07,5.281225e-07,5.279293e-07,5.275708e-07,5.271691e-07,5.269730e-07,5.263316e-07,5.254221e-07,5.244457e-07,5.234070e-07,5.223108e-07,5.211613e-07,5.199626e-07,5.187188e-07,5.174335e-07,5.161104e-07,5.147526e-07,5.133636e-07,5.119462e-07,5.105034e-07,5.090378e-07,5.075521e-07,5.060487e-07,5.045299e-07,5.029979e-07,5.014547e-07,4.999024e-07,4.983426e-07,4.967772e-07,4.952079e-07,4.936360e-07
0.000000e+00,2.159147e-10,6.850678e-10,3.399054e-09,9.226436e-09,1.438147e-08,3.664405e-08,3.788135e-08,7.840416e-08,9.340318e-08,1.403706e-07,1.896894e-07,2.282222e-07,3.357112e-07,3.463779e-07,4.987705e-07,5.407570e-07,6.878506e-07,8.099430e-07,9.138907e-07,1.142306e-06,1.175516e-06,1.470736e-06,1.533628e-06,1.797466e-06,1.979120e-06,2.153590e-06,2.473819e-06,2.536872e-06,2.944898e-06,3.012306e-06,3.375054e-06,3.588577e-06,3.824554e-06,4.196127e-06,4.290485e-06,4.769867e-06,4.828155e-06,5.259718e-06,5.477810e-06,5.757109e-06,6.138430e-06,6.259223e-06,6.763395e-06,6.803742e-06,7.267146e-06,7.468012e-06,7.768206e-06,8.126147e-06,8.264531e-06,8.754304e-06,8.773736e-06,9.235938e-06,9.407064e-06,9.708065e-06,1.002308e-05,1.016953e-05,1.061937e-05,1.105680e-05,1.119406e-05,1.148122e-05,1.174578e-05,1.189214e-05,1.227361e-05,1.228923e-05,1.267227e-05,1.277698e-05,1.304112e-05,1.325561e-05,1.339576e-05,1.370951e-05,1.373622e-05,1.406260e-05,1.413885e-05,1.437505e-05,1.454400e-05,1.467376e-05,1.492544e-05,1.495896e-05,1.523093e-05,1.528375e-05,1.548993e-05,1.561959e-05,1.573627e-05,1.593366e-05,1.597028e-05,1.619228e-05,1.622671e-05,1.640260e-05,1.649951e-05,1.660160e-05,1.675286e-05,1.678960e-05,1.696695e-05,1.698753e-05,1.713400e-05,1.720432e-05,1.729108e-05,1.740401e-05,1.743854e-05,1.757670e-05,1.758736e-05,1.770590e-05,1.775514e-05,1.782645e-05,1.790806e-05,1.793866e-05,1.804285e-05,1.804686e-05,1.813932e-05,1.817222e-05,1.822837e-05,1.828482e-05,1.831027e-05,1.838531e-05,1.845376e-05,1.847432e-05,1.851589e-05,1.855246e-05,1.857196e-05,1.862031e-05,1.862221e-05,1.866688e-05,1.867842e-05,1.870622e-05,1.872735e-05,1.874044e-05,1.876760e-05,1.876978e-05,1.879443e-05,1.879968e-05,1.881462e-05,1.882405e-05,1.883054e-05,1.884117e-05,1.884239e-05,1.885034e-05,1.885148e-05,1.885459e-05,1.885539e-05,1.885530e-05,1.885329e-05,1.885264e-05,1.884679e-05,1.884556e-05,1.883788e-05,1.883257e-05,1.882608e-05,1.881465e-05,1.881153e-05,1.879437e-05,1.879214e-05,1.877474e-05,1.876535e-05,1.875276e-05,1.873456e-05,1.872856e-05,1.870226e-05,1.870007e-05,1.867398e-05,1.866214e-05,1.864384e-05,1.862103e-05,1.861192e-05,1.857835e-05,1.857698e-05,1.854322e-05,1.853021e-05,1.850662e-05,1.848094e-05,1.846865e-05,1.842939e-05,1.837574e-05,1.832018e-05,1.826289e-05,1.820402e-05,1.814375e-05,1.808220e-05,1.801954e-05,1.795587e-05,1.789134e-05,1.782606e-05,1.776013e-05,1.769366e-05,1.762675e-05,1.755949e-05,1.749196e-05,1.742425e-05,1.735644e-05,1.728858e-05,1.722076e-05,1.715302e-05,1.708544e-05,1.701806e-05,1.695093e-05,1.688410e-05
0.000000e+00,1.471571e-10,3.647798e-10,1.362587e-09,3.225282e-09,4.781786e-09,1.123797e-08,1.159215e-08,2.320365e-08,2.754555e-08,4.137527e-08,5.628500e-08,6.818005e-08,1.021607e-07,1.055725e-07,1.543232e-07,1.676014e-07,2.130113e-07,2.491116e-07,2.786350e-07,3.397603e-07,3.482463e-07,4.197325e-07,4.341241e-07,4.917191e-07,5.290326e-07,5.632855e-07,6.225836e-07,6.337646e-07,7.026396e-07,7.134818e-07,7.694960e-07,8.007696e-07,8.340015e-07,8.837368e-07,8.958969e-07,9.549911e-07,9.618874e-07,1.011155e-06,1.034917e-06,1.064314e-06,1.102690e-06,1.114445e-06,1.161563e-06,1.165204e-06,1.205719e-06,1.222567e-06,1.246987e-06,1.274966e-06,1.285464e-06,1.321262e-06,1.322639e-06,1.354499e-06,1.365861e-06,1.385302e-06,1.404923e-06,1.413799e-06,1.440119e-06,1.464388e-06,1.471742e-06,1.486731e-06,1.500074e-06,1.507266e-06,1.525385e-06,1.526108e-06,1.543365e-06,1.547928e-06,1.559142e-06,1.567938e-06,1.573536e-06,1.585636e-06,1.586639e-06,1.598538e-06,1.601224e-06,1.609314e-06,1.614887e-06,1.619044e-06,1.626797e-06,1.627798e-06,1.635644e-06,1.637110e-06,1.642644e-06,1.645968e-06,1.648855e-06,1.653502e-06,1.654331e-06,1.659124e-06,1.659831e-06,1.663280e-06,1.665062e-06,1.666844e-06,1.669296e-06,1.669856e-06,1.672353e-06,1.672620e-06,1.674372e-06,1.675118e-06,1.675946e-06,1.676863e-06,1.677105e-06,1.677878e-06,1.677924e-06,1.678293e-06,1.678363e-06,1.678373e-06,1.678237e-06,1.678143e-06,1.677623e-06,1.677597e-06,1.676836e-06,1.676490e-06,1.675799e-06,1.674960e-06,1.674530e-06,1.673046e-06,1.671363e-06,1.670784e-06,1.669494e-06,1.668208e-06,1.667455e-06,1.665347e-06,1.665256e-06,1.662911e-06,1.662230e-06,1.660431e-06,1.658882e-06,1.657825e-06,1.655325e-06,1.655104e-06,1.652276e-06,1.651583e-06,1.649351e-06,1.647674e-06,1.646337e-06,1.643616e-06,1.643240e-06,1.640069e-06,1.639426e-06,1.636829e-06,1.635120e-06,1.633528e-06,1.630711e-06,1.630170e-06,1.626763e-06,1.626213e-06,1.623309e-06,1.621637e-06,1.619816e-06,1.616995e-06,1.616286e-06,1.612725e-06,1.612296e-06,1.609137e-06,1.607550e-06,1.605525e-06,1.602766e-06,1.601892e-06,1.598244e-06,1.597951e-06,1.594581e-06,1.593113e-06,1.590908e-06,1.588259e-06,1.587228e-06,1.583542e-06,1.583394e-06,1.579854e-06,1.578526e-06,1.576165e-06,1.573658e-06,1.572478e-06,1.568795e-06,1.563943e-06,1.559106e-06,1.554287e-06,1.549489e-06,1.544716e-06,1.539972e-06,1.535257e-06,1.530576e-06,1.525930e-06,1.521322e-06,1.516753e-06,1.512224e-06,1.507738e-06,1.503296e-06,1.498899e-06,1.494549e-06,1.490245e-06,1.485990e-06,1.481783e-06,1.477627e-06,1.473520e-06,1.469464e-06,1.465459e-06,1.461506e-06
0.000000e+00,1.309700e-11,6.632246e-11,7.318377e-10,3.553236e-09,7.293975e-09,3.401891e-08,3.594621e-08,1.205945e-07,1.614024e-07,3.175902e-07,5.225278e-07,7.084078e-07,1.330995e-06,1.400402e-06,2.525880e-06,2.877262e-06,4.239518e-06,5.519849e-06,6.713953e-06,9.666865e-06,1.013329e-05,1.468440e-05,1.574645e-05,2.054627e-05,2.416645e-05,2.787811e-05,3.526710e-05,3.680713e-05,4.741754e-05,4.927419e-05,5.974191e-05,6.626151e-05,7.375600e-05,8.613061e-05,8.937776e-05,1.064706e-04,1.086122e-04,1.248502e-04,1.332889e-04,1.442949e-04,1.596333e-04,1.645568e-04,1.853740e-04,1.870554e-04,2.064823e-04,2.149491e-04,2.276250e-04,2.427331e-04,2.485614e-04,2.690726e-04,2.698814e-04,2.889662e-04,2.959443e-04,3.080784e-04,3.205585e-04,3.262747e-04,3.434494e-04,3.595245e-04,3.644270e-04,3.744472e-04,3.833782e-04,3.881875e-04,4.002564e-04,4.007354e-04,4.120980e-04,4.150698e-04,4.222967e-04,4.278706e-04,4.313645e-04,4.387444e-04,4.393438e-04,4.462837e-04,4.478006e-04,4.522388e-04,4.551647e-04,4.572665e-04,4.609711e-04,4.614265e-04,4.647791e-04,4.653580e-04,4.673842e-04,4.684631e-04,4.693008e-04,4.704204e-04,4.705859e-04,4.712946e-04,4.713580e-04,4.714794e-04,4.713967e-04,4.711899e-04,4.706485e-04,4.704730e-04,4.693725e-04,4.692166e-04,4.679291e-04,4.671952e-04,4.661808e-04,4.646699e-04,4.641627e-04,4.619072e-04,4.617174e-04,4.594438e-04,4.584064e-04,4.567998e-04,4.547982e-04,4.539999e-04,4.510667e-04,4.509469e-04,4.480208e-04,4.469003e-04,4.448807e-04,4.427004e-04,4.416634e-04,4.383839e-04,4.350559e-04,4.339828e-04,4.316919e-04,4.295250e-04,4.283026e-04,4.250345e-04,4.248982e-04,4.214872e-04,4.205321e-04,4.180778e-04,4.160357e-04,4.146767e-04,4.115605e-04,4.112902e-04,4.079238e-04,4.071194e-04,4.045824e-04,4.027236e-04,4.012700e-04,3.983821e-04,3.979904e-04,3.947469e-04,3.941027e-04,3.915421e-04,3.898917e-04,3.883785e-04,3.857543e-04,3.852581e-04,3.821826e-04,3.816948e-04,3.791534e-04,3.777163e-04,3.761718e-04,3.738214e-04,3.732386e-04,3.703547e-04,3.700120e-04,3.675205e-04,3.662894e-04,3.647365e-04,3.626544e-04,3.620029e-04,3.593198e-04,3.591074e-04,3.566872e-04,3.556483e-04,3.541051e-04,3.522770e-04,3.515731e-04,3.490911e-04,3.489929e-04,3.466587e-04,3.457951e-04,3.442754e-04,3.426827e-04,3.419409e-04,3.396545e-04,3.367094e-04,3.338459e-04,3.310625e-04,3.283577e-04,3.257299e-04,3.231776e-04,3.206989e-04,3.182922e-04,3.159558e-04,3.136880e-04,3.114871e-04,3.093514e-04,3.072791e-04,3.052686e-04,3.033183e-04,3.014265e-04,2.995915e-04,2.978119e-04,2.960860e-04,2.944124e-04,2.927894e-04,2.912157e-04,2.896898e-04,2.882104e-04
0.000000e+00,2.173306e-10,5.854474e-10,2.405061e-09,6.008113e-09,9.135768e-09,2.289244e-08,2.367814e-08,5.088316e-08,6.167521e-08,9.774454e-08,1.386312e-07,1.720403e-07,2.678484e-07,2.773577e-07,4.094531e-07,4.442453e-07,5.603490e-07,6.504870e-07,7.234134e-07,8.735340e-07,8.943655e-07,1.070511e-06,1.106192e-06,1.250000e-06,1.344166e-06,1.431389e-06,1.584316e-06,1.613441e-06,1.795037e-06,1.823980e-06,1.975141e-06,2.060780e-06,2.152808e-06,2.292615e-06,2.327192e-06,2.497553e-06,2.517694e-06,2.663253e-06,2.734544e-06,2.823767e-06,2.942043e-06,2.978702e-06,3.127765e-06,3.139430e-06,3.270750e-06,3.326213e-06,3.407538e-06,3.502158e-06,3.538079e-06,3.662379e-06,3.667222e-06,3.780496e-06,3.821522e-06,3.892524e-06,3.965282e-06,3.998577e-06,4.098815e-06,4.193407e-06,4.222514e-06,4.282537e-06,4.336799e-06,4.366391e-06,4.442106e-06,4.445161e-06,4.519044e-06,4.538881e-06,4.588233e-06,4.627575e-06,4.652924e-06,4.708631e-06,4.713308e-06,4.769570e-06,4.782481e-06,4.821896e-06,4.849544e-06,4.870461e-06,4.910224e-06,4.915438e-06,4.956993e-06,4.964907e-06,4.995286e-06,5.013962e-06,5.030473e-06,5.057738e-06,5.062702e-06,5.092115e-06,5.096569e-06,5.118849e-06,5.130769e-06,5.143036e-06,5.160636e-06,5.164801e-06,5.184265e-06,5.186452e-06,5.201543e-06,5.208481e-06,5.216745e-06,5.226974e-06,5.229975e-06,5.241335e-06,5.242165e-06,5.250920e-06,5.254277e-06,5.258821e-06,5.263517e-06,5.265127e-06,5.269920e-06,5.270081e-06,5.273280e-06,5.274153e-06,5.275282e-06,5.275905e-06,5.275999e-06,5.275500e-06,5.273850e-06,5.273089e-06,5.271112e-06,5.268816e-06,5.267345e-06,5.262814e-06,5.262606e-06,5.256950e-06,5.255209e-06,5.250427e-06,5.246118e-06,5.243087e-06,5.235653e-06,5.234976e-06,5.226140e-06,5.223916e-06,5.216619e-06,5.211004e-06,5.206455e-06,5.197009e-06,5.195686e-06,5.184349e-06,5.182016e-06,5.172477e-06,5.166104e-06,5.160105e-06,5.149349e-06,5.147264e-06,5.133984e-06,5.131821e-06,5.120294e-06,5.113585e-06,5.106220e-06,5.094702e-06,5.091789e-06,5.077024e-06,5.075231e-06,5.061951e-06,5.055226e-06,5.046590e-06,5.034737e-06,5.030963e-06,5.015090e-06,5.013811e-06,4.998991e-06,4.992492e-06,4.982684e-06,4.970824e-06,4.966186e-06,4.949513e-06,4.948843e-06,4.932682e-06,4.926586e-06,4.915707e-06,4.904089e-06,4.898602e-06,4.881381e-06,4.858494e-06,4.835455e-06,4.812289e-06,4.789022e-06,4.765677e-06,4.742273e-06,4.718832e-06,4.695372e-06,4.671909e-06,4.648461e-06,4.625042e-06,4.601666e-06,4.578346e-06,4.555095e-06,4.531923e-06,4.508841e-06,4.485859e-06,4.462985e-06,4.440229e-06,4.417597e-06,4.395098e-06,4.372736e-06,4.350519e-06,4.328452e-06
0.000000e+00,7.343847e-11,3.068290e-10,2.330019e-09,8.291105e-09,1.452619e-08,4.684039e-08,4.881656e-08,1.205399e-07,1.499006e-07,2.496784e-07,3.654714e-07,4.627227e-07,7.597369e-07,7.909355e-07,1.260107e-06,1.394801e-06,1.875047e-06,2.276188e-06,2.615288e-06,3.343813e-06,3.447393e-06,4.339284e-06,4.522536e-06,5.266415e-06,5.756497e-06,6.211548e-06,7.010392e-06,7.162547e-06,8.110409e-06,8.261281e-06,9.048024e-06,9.492687e-06,9.969554e-06,1.069188e-05,1.087010e-05,1.174558e-05,1.184878e-05,1.259264e-05,1.295565e-05,1.340867e-05,1.400686e-05,1.419169e-05,1.494035e-05,1.499873e-05,1.565378e-05,1.592919e-05,1.633161e-05,1.679761e-05,1.697387e-05,1.758089e-05,1.760445e-05,1.815328e-05,1.835101e-05,1.869184e-05,1.903923e-05,1.919753e-05,1.967142e-05,2.011465e-05,2.025021e-05,2.052842e-05,2.077834e-05,2.091396e-05,2.125866e-05,2.127250e-05,2.160526e-05,2.169398e-05,2.191346e-05,2.208708e-05,2.219827e-05,2.244063e-05,2.246085e-05,2.270232e-05,2.275725e-05,2.292375e-05,2.303939e-05,2.312618e-05,2.328941e-05,2.331062e-05,2.347801e-05,2.350953e-05,2.362927e-05,2.370185e-05,2.376528e-05,2.386834e-05,2.388686e-05,2.399481e-05,2.401086e-05,2.408988e-05,2.413116e-05,2.417280e-05,2.423084e-05,2.424424e-05,2.430486e-05,2.431144e-05,2.435528e-05,2.437438e-05,2.439607e-05,2.442099e-05,2.442780e-05,2.445100e-05,2.445250e-05,2.446615e-05,2.447007e-05,2.447375e-05,2.447478e-05,2.447422e-05,2.446802e-05,2.446763e-05,2.445552e-05,2.444956e-05,2.443713e-05,2.442143e-05,2.441319e-05,2.438406e-05,2.435006e-05,2.433821e-05,2.431150e-05,2.428456e-05,2.426866e-05,2.422378e-05,2.422183e-05,2.417126e-05,2.415647e-05,2.411720e-05,2.408319e-05,2.405989e-05,2.400448e-05,2.399955e-05,2.393638e-05,2.392083e-05,2.387059e-05,2.383267e-05,2.380236e-05,2.374045e-05,2.373187e-05,2.365929e-05,2.364454e-05,2.358478e-05,2.354532e-05,2.350849e-05,2.344312e-05,2.343055e-05,2.335111e-05,2.333827e-05,2.327029e-05,2.323104e-05,2.318821e-05,2.312172e-05,2.310499e-05,2.302073e-05,2.301056e-05,2.293554e-05,2.289778e-05,2.284951e-05,2.278362e-05,2.276273e-05,2.267529e-05,2.266827e-05,2.258727e-05,2.255192e-05,2.249875e-05,2.243474e-05,2.240979e-05,2.232047e-05,2.231689e-05,2.223086e-05,2.219854e-05,2.214101e-05,2.207981e-05,2.205098e-05,2.196083e-05,2.184172e-05,2.172260e-05,2.160355e-05,2.148468e-05,2.136608e-05,2.124782e-05,2.112997e-05,2.101262e-05,2.089582e-05,2.077962e-05,2.066408e-05,2.054926e-05,2.043519e-05,2.032191e-05,2.020946e-05,2.009788e-05,1.998719e-05,1.987742e-05,1.976860e-05,1.966075e-05,1.955388e-05,1.944802e-05,1.934319e-05,1.923938e-05
0.000000e+00,6.435835e-11,2.879171e-10,2.480547e-09,9.729314e-09,1.785916e-08,6.360421e-08,6.651562e-08,1.762013e-07,2.224138e-07,3.819558e-07,5.694491e-07,7.277874e-07,1.213544e-06,1.264702e-06,2.037252e-06,2.260377e-06,3.061990e-06,3.739627e-06,4.318449e-06,5.580045e-06,5.761304e-06,7.339214e-06,7.666840e-06,9.006734e-06,9.896927e-06,1.072780e-05,1.219437e-05,1.247465e-05,1.422560e-05,1.450491e-05,1.596315e-05,1.678808e-05,1.767287e-05,1.901244e-05,1.934272e-05,2.096278e-05,2.115345e-05,2.252510e-05,2.319257e-05,2.402351e-05,2.511676e-05,2.545355e-05,2.681228e-05,2.691784e-05,2.809802e-05,2.859173e-05,2.931025e-05,3.013775e-05,3.044941e-05,3.151671e-05,3.155794e-05,3.251399e-05,3.285630e-05,3.344352e-05,3.403822e-05,3.430790e-05,3.510993e-05,3.585252e-05,3.607809e-05,3.653867e-05,3.694956e-05,3.717134e-05,3.773113e-05,3.775348e-05,3.828796e-05,3.842945e-05,3.877754e-05,3.905085e-05,3.922489e-05,3.960135e-05,3.963256e-05,4.000298e-05,4.008660e-05,4.033846e-05,4.051188e-05,4.064118e-05,4.088211e-05,4.091320e-05,4.115647e-05,4.120184e-05,4.137282e-05,4.147526e-05,4.156398e-05,4.170627e-05,4.173156e-05,4.187708e-05,4.189841e-05,4.200197e-05,4.205499e-05,4.210758e-05,4.217902e-05,4.219514e-05,4.226586e-05,4.227326e-05,4.232081e-05,4.234027e-05,4.236105e-05,4.238239e-05,4.238754e-05,4.240119e-05,4.240175e-05,4.240284e-05,4.240033e-05,4.239331e-05,4.237994e-05,4.237333e-05,4.234362e-05,4.234224e-05,4.230482e-05,4.228875e-05,4.225755e-05,4.222087e-05,4.220240e-05,4.213990e-05,4.207057e-05,4.204702e-05,4.199488e-05,4.194332e-05,4.191329e-05,4.182979e-05,4.182620e-05,4.173403e-05,4.170736e-05,4.163713e-05,4.157687e-05,4.153587e-05,4.143912e-05,4.143056e-05,4.132151e-05,4.129482e-05,4.120903e-05,4.114463e-05,4.109337e-05,4.098917e-05,4.097479e-05,4.085354e-05,4.082899e-05,4.072985e-05,4.066463e-05,4.060392e-05,4.049656e-05,4.047595e-05,4.034615e-05,4.032522e-05,4.021467e-05,4.015102e-05,4.008170e-05,3.997435e-05,3.994739e-05,3.981189e-05,3.979555e-05,3.967533e-05,3.961495e-05,3.953786e-05,3.943284e-05,3.939959e-05,3.926064e-05,3.924950e-05,3.912113e-05,3.906519e-05,3.898115e-05,3.888013e-05,3.884080e-05,3.870018e-05,3.869455e-05,3.855937e-05,3.850865e-05,3.841846e-05,3.832262e-05,3.827752e-05,3.813662e-05,3.795082e-05,3.776536e-05,3.758038e-05,3.739599e-05,3.721232e-05,3.702947e-05,3.684754e-05,3.666661e-05,3.648677e-05,3.630809e-05,3.613064e-05,3.595448e-05,3.577968e-05,3.560627e-05,3.543432e-05,3.526385e-05,3.509491e-05,3.492754e-05,3.476176e-05,3.459759e-05,3.443508e-05,3.427422e-05,3.411505e-05,3.395758e-05
0.000000e+00,1.298836e-10,3.498269e-10,1.431202e-09,3.534954e-09,5.319524e-09,1.276011e-08,1.316731e-08,2.636967e-08,3.122599e-08,4.642035e-08,6.240652e-08,7.492994e-08,1.099550e-07,1.134312e-07,1.628958e-07,1.764258e-07,2.234210e-07,2.619737e-07,2.945182e-07,3.653239e-07,3.755523e-07,4.659213e-07,4.850649e-07,5.650534e-07,6.198726e-07,6.723634e-07,7.683635e-07,7.872199e-07,9.089307e-07,9.289910e-07,1.036743e-06,1.100026e-06,1.169854e-06,1.279595e-06,1.307425e-06,1.448597e-06,1.465738e-06,1.592513e-06,1.656489e-06,1.738336e-06,1.849939e-06,1.885260e-06,2.032525e-06,2.044299e-06,2.179427e-06,2.237939e-06,2.325322e-06,2.429417e-06,2.469633e-06,2.611849e-06,2.617488e-06,2.751525e-06,2.801111e-06,2.888281e-06,2.979441e-06,3.021797e-06,3.151810e-06,3.278110e-06,3.317713e-06,3.400531e-06,3.476787e-06,3.518952e-06,3.628792e-06,3.633286e-06,3.743482e-06,3.773591e-06,3.849514e-06,3.911134e-06,3.951382e-06,4.041440e-06,4.049106e-06,4.142723e-06,4.164586e-06,4.232286e-06,4.280693e-06,4.317858e-06,4.389919e-06,4.399514e-06,4.477334e-06,4.492445e-06,4.551407e-06,4.588475e-06,4.621826e-06,4.678224e-06,4.688687e-06,4.752088e-06,4.761918e-06,4.812130e-06,4.839787e-06,4.868915e-06,4.912065e-06,4.922543e-06,4.973116e-06,4.978984e-06,5.020735e-06,5.040777e-06,5.065500e-06,5.097672e-06,5.107508e-06,5.146856e-06,5.149892e-06,5.183641e-06,5.197657e-06,5.217954e-06,5.241180e-06,5.249887e-06,5.279528e-06,5.280668e-06,5.306966e-06,5.316320e-06,5.332284e-06,5.348332e-06,5.355565e-06,5.376889e-06,5.396333e-06,5.402171e-06,5.413975e-06,5.424353e-06,5.429886e-06,5.443599e-06,5.444138e-06,5.456800e-06,5.460069e-06,5.467939e-06,5.473918e-06,5.477619e-06,5.485290e-06,5.485903e-06,5.492851e-06,5.494327e-06,5.498523e-06,5.501162e-06,5.502974e-06,5.505924e-06,5.506259e-06,5.508430e-06,5.508735e-06,5.509539e-06,5.509713e-06,5.509635e-06,5.508967e-06,5.508765e-06,5.506975e-06,5.506606e-06,5.504308e-06,5.502730e-06,5.500808e-06,5.497435e-06,5.496515e-06,5.491468e-06,5.490814e-06,5.485706e-06,5.482953e-06,5.479265e-06,5.473937e-06,5.472179e-06,5.464484e-06,5.463843e-06,5.456212e-06,5.452748e-06,5.447393e-06,5.440722e-06,5.438058e-06,5.428235e-06,5.427833e-06,5.417954e-06,5.414145e-06,5.407239e-06,5.399719e-06,5.396118e-06,5.384614e-06,5.368884e-06,5.352580e-06,5.335752e-06,5.318446e-06,5.300707e-06,5.282576e-06,5.264092e-06,5.245293e-06,5.226213e-06,5.206886e-06,5.187344e-06,5.167614e-06,5.147726e-06,5.127706e-06,5.107578e-06,5.087364e-06,5.067088e-06,5.046768e-06,5.026425e-06,5.006077e-06,4.985739e-06,4.965428e-06,4.945159e-06,4.924946e-06
0.000000e+00,1.189253e-10,5.246228e-10,4.402807e-09,1.690715e-08,3.070096e-08,1.064594e-07,1.112123e-07,2.866707e-07,3.589900e-07,6.033987e-07,8.825286e-07,1.112955e-06,1.797607e-06,1.868169e-06,2.910447e-06,3.205908e-06,4.258923e-06,5.148390e-06,5.913911e-06,7.617397e-06,7.867213e-06,1.010871e-05,1.059068e-05,1.262787e-05,1.404374e-05,1.541292e-05,1.794757e-05,1.844971e-05,2.172109e-05,2.226497e-05,2.520685e-05,2.694951e-05,2.888402e-05,3.194678e-05,3.272754e-05,3.671093e-05,3.719705e-05,4.080711e-05,4.263818e-05,4.498907e-05,4.820850e-05,4.923051e-05,5.350641e-05,5.384925e-05,5.779337e-05,5.950637e-05,6.206994e-05,6.513169e-05,6.631678e-05,7.051674e-05,7.068354e-05,7.465485e-05,7.612690e-05,7.871828e-05,8.143314e-05,8.269619e-05,8.657963e-05,9.036130e-05,9.154896e-05,9.403545e-05,9.632840e-05,9.759770e-05,1.009093e-04,1.010449e-04,1.043750e-04,1.052863e-04,1.075868e-04,1.094569e-04,1.106798e-04,1.134206e-04,1.136542e-04,1.165109e-04,1.171791e-04,1.192510e-04,1.207352e-04,1.218762e-04,1.240928e-04,1.243883e-04,1.267895e-04,1.272567e-04,1.290822e-04,1.302324e-04,1.312689e-04,1.330257e-04,1.333521e-04,1.353347e-04,1.356427e-04,1.372192e-04,1.380899e-04,1.390086e-04,1.403735e-04,1.407057e-04,1.423132e-04,1.425002e-04,1.438340e-04,1.444764e-04,1.452708e-04,1.463083e-04,1.466264e-04,1.479036e-04,1.480024e-04,1.491049e-04,1.495648e-04,1.502331e-04,1.510015e-04,1.512906e-04,1.522801e-04,1.523183e-04,1.532039e-04,1.535209e-04,1.540645e-04,1.546149e-04,1.548643e-04,1.556055e-04,1.562903e-04,1.564980e-04,1.569210e-04,1.572972e-04,1.574996e-04,1.580080e-04,1.580282e-04,1.585088e-04,1.586350e-04,1.589433e-04,1.591826e-04,1.593335e-04,1.596551e-04,1.596814e-04,1.599886e-04,1.600565e-04,1.602569e-04,1.603907e-04,1.604879e-04,1.606616e-04,1.606832e-04,1.608443e-04,1.608726e-04,1.609728e-04,1.610272e-04,1.610700e-04,1.611286e-04,1.611375e-04,1.611765e-04,1.611801e-04,1.611883e-04,1.611847e-04,1.611742e-04,1.611450e-04,1.611354e-04,1.610730e-04,1.610640e-04,1.609883e-04,1.609442e-04,1.608822e-04,1.607880e-04,1.607559e-04,1.606104e-04,1.605979e-04,1.604465e-04,1.603761e-04,1.602654e-04,1.601247e-04,1.600677e-04,1.598546e-04,1.598457e-04,1.596266e-04,1.595411e-04,1.593848e-04,1.592128e-04,1.591298e-04,1.588624e-04,1.584917e-04,1.581022e-04,1.576954e-04,1.572728e-04,1.568356e-04,1.563852e-04,1.559227e-04,1.554493e-04,1.549661e-04,1.544741e-04,1.539742e-04,1.534675e-04,1.529546e-04,1.524366e-04,1.519141e-04,1.513878e-04,1.508584e-04,1.503266e-04,1.497930e-04,1.492581e-04,1.487225e-04,1.481867e-04,1.476511e-04,1.471162e-04
0.000000e+00,2.902613e-11,1.201003e-10,8.956124e-10,3.136991e-09,5.446138e-09,1.707229e-08,1.776839e-08,4.213601e-08,5.168198e-08,8.265549e-08,1.163510e-07,1.432293e-07,2.198789e-07,2.275882e-07,3.393086e-07,3.705745e-07,4.817797e-07,5.761652e-07,6.580922e-07,8.433023e-07,8.708191e-07,1.121673e-06,1.176485e-06,1.411085e-06,1.576488e-06,1.737851e-06,2.039115e-06,2.099059e-06,2.490425e-06,2.555509e-06,2.906892e-06,3.114174e-06,3.343241e-06,3.703280e-06,3.794501e-06,4.256153e-06,4.312053e-06,4.724172e-06,4.931186e-06,5.195001e-06,5.552762e-06,5.665496e-06,6.132882e-06,6.170064e-06,6.594727e-06,6.777427e-06,7.048906e-06,7.370130e-06,7.493589e-06,7.927222e-06,7.944318e-06,8.348506e-06,8.496935e-06,8.756385e-06,9.025649e-06,9.150020e-06,9.528777e-06,9.892199e-06,1.000520e-05,1.023999e-05,1.045430e-05,1.057200e-05,1.087584e-05,1.088819e-05,1.118863e-05,1.126995e-05,1.147349e-05,1.163701e-05,1.174299e-05,1.197762e-05,1.199743e-05,1.223715e-05,1.229253e-05,1.246253e-05,1.258263e-05,1.267398e-05,1.284888e-05,1.287193e-05,1.305684e-05,1.309229e-05,1.322915e-05,1.331392e-05,1.338933e-05,1.351484e-05,1.353784e-05,1.367515e-05,1.369611e-05,1.380171e-05,1.385878e-05,1.391799e-05,1.400389e-05,1.402441e-05,1.412142e-05,1.413245e-05,1.420943e-05,1.424542e-05,1.428887e-05,1.434375e-05,1.436013e-05,1.442360e-05,1.442835e-05,1.447966e-05,1.450009e-05,1.452867e-05,1.455979e-05,1.457098e-05,1.460693e-05,1.460824e-05,1.463685e-05,1.464620e-05,1.466105e-05,1.467439e-05,1.467983e-05,1.469348e-05,1.470227e-05,1.470411e-05,1.470649e-05,1.470690e-05,1.470637e-05,1.470242e-05,1.470218e-05,1.469413e-05,1.469122e-05,1.468246e-05,1.467381e-05,1.466738e-05,1.465068e-05,1.464910e-05,1.462781e-05,1.462227e-05,1.460370e-05,1.458904e-05,1.457695e-05,1.455137e-05,1.454774e-05,1.451621e-05,1.450964e-05,1.448254e-05,1.446423e-05,1.444686e-05,1.441546e-05,1.440933e-05,1.437007e-05,1.436364e-05,1.432922e-05,1.430908e-05,1.428689e-05,1.425204e-05,1.424320e-05,1.419827e-05,1.419280e-05,1.415219e-05,1.413158e-05,1.410507e-05,1.406862e-05,1.405701e-05,1.400808e-05,1.400414e-05,1.395839e-05,1.393831e-05,1.390801e-05,1.387134e-05,1.385701e-05,1.380547e-05,1.380340e-05,1.375346e-05,1.373463e-05,1.370104e-05,1.366520e-05,1.364828e-05,1.359524e-05,1.352487e-05,1.345423e-05,1.338341e-05,1.331252e-05,1.324165e-05,1.317090e-05,1.310033e-05,1.303003e-05,1.296006e-05,1.289049e-05,1.282136e-05,1.275274e-05,1.268467e-05,1.261719e-05,1.255034e-05,1.248416e-05,1.241867e-05,1.235391e-05,1.228990e-05,1.222665e-05,1.216420e-05,1.210256e-05,1.204174e-05,1.198175e-05
0.000000e+00,5.789365e-11,2.554273e-10,2.141755e-09,8.207058e-09,1.487793e-08,5.129050e-08,5.356533e-08,1.370032e-07,1.711544e-07,2.858375e-07,4.158365e-07,5.226902e-07,8.398421e-07,8.726200e-07,1.361680e-06,1.502335e-06,2.010961e-06,2.447862e-06,2.827224e-06,3.674258e-06,3.798140e-06,4.897360e-06,5.129878e-06,6.094133e-06,6.745427e-06,7.360170e-06,8.459890e-06,8.672046e-06,1.001086e-05,1.022650e-05,1.136108e-05,1.200929e-05,1.270949e-05,1.377916e-05,1.404462e-05,1.535636e-05,1.551177e-05,1.663596e-05,1.718683e-05,1.787593e-05,1.878795e-05,1.907008e-05,2.021347e-05,2.030263e-05,2.130239e-05,2.172211e-05,2.233430e-05,2.304106e-05,2.330764e-05,2.422180e-05,2.425714e-05,2.507694e-05,2.537047e-05,2.587384e-05,2.638312e-05,2.661382e-05,2.729862e-05,2.793028e-05,2.812155e-05,2.851106e-05,2.885718e-05,2.904340e-05,2.951117e-05,2.952978e-05,2.997274e-05,3.008934e-05,3.037482e-05,3.059748e-05,3.073850e-05,3.104126e-05,3.106621e-05,3.136029e-05,3.142612e-05,3.162300e-05,3.175723e-05,3.185650e-05,3.203942e-05,3.206281e-05,3.224386e-05,3.227720e-05,3.240146e-05,3.247471e-05,3.253731e-05,3.263580e-05,3.265302e-05,3.275009e-05,3.276399e-05,3.282991e-05,3.286248e-05,3.289379e-05,3.293423e-05,3.294293e-05,3.297849e-05,3.298190e-05,3.300152e-05,3.300793e-05,3.301299e-05,3.301455e-05,3.301382e-05,3.300486e-05,3.300375e-05,3.298690e-05,3.297736e-05,3.296067e-05,3.293705e-05,3.292686e-05,3.288609e-05,3.288432e-05,3.283895e-05,3.282053e-05,3.278599e-05,3.274691e-05,3.272772e-05,3.266459e-05,3.259706e-05,3.257459e-05,3.252553e-05,3.247783e-05,3.245037e-05,3.237513e-05,3.237194e-05,3.229055e-05,3.226727e-05,3.220651e-05,3.215494e-05,3.212011e-05,3.203874e-05,3.203159e-05,3.194121e-05,3.191926e-05,3.184918e-05,3.179700e-05,3.175572e-05,3.167244e-05,3.166101e-05,3.156525e-05,3.154598e-05,3.146858e-05,3.141802e-05,3.137118e-05,3.128890e-05,3.127318e-05,3.117472e-05,3.115893e-05,3.107592e-05,3.102841e-05,3.097689e-05,3.089758e-05,3.087775e-05,3.077858e-05,3.076669e-05,3.067949e-05,3.063593e-05,3.058055e-05,3.050551e-05,3.048185e-05,3.038345e-05,3.037559e-05,3.028542e-05,3.024633e-05,3.018783e-05,3.011786e-05,3.009073e-05,2.999417e-05,2.999032e-05,2.989820e-05,2.986380e-05,2.980286e-05,2.973842e-05,2.970820e-05,2.961425e-05,2.949139e-05,2.936989e-05,2.924983e-05,2.913124e-05,2.901419e-05,2.889871e-05,2.878484e-05,2.867260e-05,2.856203e-05,2.845313e-05,2.834592e-05,2.824043e-05,2.813665e-05,2.803459e-05,2.793426e-05,2.783565e-05,2.773876e-05,2.764359e-05,2.755013e-05,2.745838e-05,2.736831e-05,2.727992e-05,2.719321e-05,2.710814e-05
0.000000e+00,9.254194e-12,4.552927e-11,4.735260e-10,2.180649e-09,4.350640e-09,1.889471e-08,1.990896e-08,6.250407e-08,8.223461e-08,1.553075e-07,2.477611e-07,3.296131e-07,5.959537e-07,6.251409e-07,1.090177e-06,1.233089e-06,1.780523e-06,2.287684e-06,2.755407e-06,3.892214e-06,4.069272e-06,5.761671e-06,6.147532e-06,7.849987e-06,9.091151e-06,1.032790e-05,1.269151e-05,1.316892e-05,1.633233e-05,1.686521e-05,1.976946e-05,2.150135e-05,2.342867e-05,2.648152e-05,2.725887e-05,3.121169e-05,3.169211e-05,3.524257e-05,3.703035e-05,3.931124e-05,4.240642e-05,4.338174e-05,4.742237e-05,4.774347e-05,5.140538e-05,5.297698e-05,5.530688e-05,5.805392e-05,5.910650e-05,6.278726e-05,6.293182e-05,6.633531e-05,6.757792e-05,6.973967e-05,7.196824e-05,7.299207e-05,7.608664e-05,7.901967e-05,7.992379e-05,8.178940e-05,8.347621e-05,8.439571e-05,8.674523e-05,8.683991e-05,8.912453e-05,8.973608e-05,9.125306e-05,9.245702e-05,9.322980e-05,9.491856e-05,9.505967e-05,9.674805e-05,9.713283e-05,9.830064e-05,9.911299e-05,9.972338e-05,1.008728e-04,1.010223e-04,1.022035e-04,1.024261e-04,1.032730e-04,1.037870e-04,1.042368e-04,1.049690e-04,1.051007e-04,1.058705e-04,1.059853e-04,1.065516e-04,1.068486e-04,1.071493e-04,1.075709e-04,1.076688e-04,1.081148e-04,1.081636e-04,1.084921e-04,1.086375e-04,1.088051e-04,1.090026e-04,1.090580e-04,1.092548e-04,1.092683e-04,1.093993e-04,1.094433e-04,1.094950e-04,1.095357e-04,1.095454e-04,1.095536e-04,1.095531e-04,1.095227e-04,1.095025e-04,1.094554e-04,1.093903e-04,1.093545e-04,1.092224e-04,1.090615e-04,1.090043e-04,1.088740e-04,1.087411e-04,1.086621e-04,1.084374e-04,1.084276e-04,1.081724e-04,1.080975e-04,1.078983e-04,1.077253e-04,1.076068e-04,1.073245e-04,1.072994e-04,1.069776e-04,1.068984e-04,1.066428e-04,1.064500e-04,1.062961e-04,1.059822e-04,1.059387e-04,1.055718e-04,1.054974e-04,1.051963e-04,1.049980e-04,1.048132e-04,1.044862e-04,1.044234e-04,1.040277e-04,1.039639e-04,1.036270e-04,1.034330e-04,1.032218e-04,1.028951e-04,1.028130e-04,1.024012e-04,1.023516e-04,1.019869e-04,1.018039e-04,1.015706e-04,1.012533e-04,1.011530e-04,1.007345e-04,1.007010e-04,1.003155e-04,1.001478e-04,9.989642e-05,9.959488e-05,9.947769e-05,9.905963e-05,9.904293e-05,9.864259e-05,9.849276e-05,9.822686e-05,9.794506e-05,9.781272e-05,9.740045e-05,9.685950e-05,9.632270e-05,9.579052e-05,9.526335e-05,9.474155e-05,9.422543e-05,9.371528e-05,9.321133e-05,9.271380e-05,9.222288e-05,9.173871e-05,9.126144e-05,9.079117e-05,9.032800e-05,8.987200e-05,8.942321e-05,8.898168e-05,8.854743e-05,8.812047e-05,8.770080e-05,8.728841e-05,8.688327e-05,8.648535e-05,8.609462e-05
0.000000e+00,3.842808e-12,8.778642e-12,3.004213e-11,6.805305e-11,9.905868e-11,2.235497e-10,2.302321e-10,4.431214e-10,5.201849e-10,7.587356e-10,1.006939e-09,1.200166e-09,1.738383e-09,1.791798e-09,2.555722e-09,2.766404e-09,3.504198e-09,4.114500e-09,4.630918e-09,5.749171e-09,5.909395e-09,7.302215e-09,7.591166e-09,8.772612e-09,9.557504e-09,1.029021e-08,1.158405e-08,1.183143e-08,1.337800e-08,1.362494e-08,1.491534e-08,1.564640e-08,1.643151e-08,1.762248e-08,1.791660e-08,1.936233e-08,1.953284e-08,2.076194e-08,2.136171e-08,2.210998e-08,2.309739e-08,2.340227e-08,2.463574e-08,2.473181e-08,2.580841e-08,2.626016e-08,2.691911e-08,2.768026e-08,2.796756e-08,2.895414e-08,2.899233e-08,2.987970e-08,3.019821e-08,3.074557e-08,3.130113e-08,3.155346e-08,3.230531e-08,3.300329e-08,3.321563e-08,3.364966e-08,3.403736e-08,3.424682e-08,3.477600e-08,3.479714e-08,3.530304e-08,3.543706e-08,3.576692e-08,3.602606e-08,3.619113e-08,3.654831e-08,3.657793e-08,3.692954e-08,3.700893e-08,3.724807e-08,3.741277e-08,3.753556e-08,3.776441e-08,3.779394e-08,3.802506e-08,3.806816e-08,3.823066e-08,3.832804e-08,3.841240e-08,3.854777e-08,3.857184e-08,3.871046e-08,3.873081e-08,3.882966e-08,3.888036e-08,3.893074e-08,3.899939e-08,3.901494e-08,3.908341e-08,3.909062e-08,3.913724e-08,3.915655e-08,3.917746e-08,3.919951e-08,3.920502e-08,3.922083e-08,3.922161e-08,3.922572e-08,3.922480e-08,3.922050e-08,3.921088e-08,3.920589e-08,3.918259e-08,3.918149e-08,3.915126e-08,3.913813e-08,3.911250e-08,3.908220e-08,3.906689e-08,3.901495e-08,3.895719e-08,3.893756e-08,3.889408e-08,3.885109e-08,3.882606e-08,3.875651e-08,3.875352e-08,3.867687e-08,3.865472e-08,3.859646e-08,3.854654e-08,3.851261e-08,3.843273e-08,3.842566e-08,3.833589e-08,3.831396e-08,3.824358e-08,3.819087e-08,3.814898e-08,3.806404e-08,3.805234e-08,3.795388e-08,3.793399e-08,3.785381e-08,3.780121e-08,3.775233e-08,3.766613e-08,3.764962e-08,3.754586e-08,3.752917e-08,3.744119e-08,3.739068e-08,3.733579e-08,3.725101e-08,3.722977e-08,3.712328e-08,3.711047e-08,3.701643e-08,3.696933e-08,3.690934e-08,3.682786e-08,3.680212e-08,3.669485e-08,3.668627e-08,3.658765e-08,3.654480e-08,3.648058e-08,3.640362e-08,3.637372e-08,3.626716e-08,3.626291e-08,3.616096e-08,3.612283e-08,3.605519e-08,3.598353e-08,3.594989e-08,3.584514e-08,3.570776e-08,3.557152e-08,3.543649e-08,3.530278e-08,3.517044e-08,3.503956e-08,3.491018e-08,3.478237e-08,3.465616e-08,3.453160e-08,3.440872e-08,3.428755e-08,3.416812e-08,3.405044e-08,3.393452e-08,3.382040e-08,3.370806e-08,3.359752e-08,3.348878e-08,3.338184e-08,3.327670e-08,3.317335e-08,3.307179e-08,3.297201e-08
0.000000e+00,6.326929e-12,1.448511e-11,4.989424e-11,1.141723e-10,1.675078e-10,3.896016e-10,4.018752e-10,8.107550e-10,9.668906e-10,1.474795e-09,2.037162e-09,2.493708e-09,3.816496e-09,3.949807e-09,5.845865e-09,6.358005e-09,8.097066e-09,9.471354e-09,1.059395e-08,1.292450e-08,1.324935e-08,1.600445e-08,1.656375e-08,1.882015e-08,2.029876e-08,2.166868e-08,2.407078e-08,2.452827e-08,2.738029e-08,2.783477e-08,3.020787e-08,3.155179e-08,3.299537e-08,3.518669e-08,3.572825e-08,3.839334e-08,3.870801e-08,4.097867e-08,4.208823e-08,4.347393e-08,4.530474e-08,4.587051e-08,4.816141e-08,4.833994e-08,5.034131e-08,5.118129e-08,5.240644e-08,5.382092e-08,5.435450e-08,5.618462e-08,5.625537e-08,5.789711e-08,5.848498e-08,5.949299e-08,6.051260e-08,6.097432e-08,6.234385e-08,6.360481e-08,6.398598e-08,6.476092e-08,6.544763e-08,6.581617e-08,6.673826e-08,6.677480e-08,6.764122e-08,6.786790e-08,6.841987e-08,6.884679e-08,6.911520e-08,6.968511e-08,6.973162e-08,7.027349e-08,7.039292e-08,7.074506e-08,7.097998e-08,7.115046e-08,7.145566e-08,7.149369e-08,7.177859e-08,7.182890e-08,7.200886e-08,7.210819e-08,7.218803e-08,7.230151e-08,7.231946e-08,7.240637e-08,7.241635e-08,7.245179e-08,7.245971e-08,7.245862e-08,7.243814e-08,7.242959e-08,7.236729e-08,7.235770e-08,7.227417e-08,7.222404e-08,7.215255e-08,7.204238e-08,7.200458e-08,7.183233e-08,7.181756e-08,7.163772e-08,7.155403e-08,7.142258e-08,7.125592e-08,7.118860e-08,7.093740e-08,7.092702e-08,7.067048e-08,7.057081e-08,7.038924e-08,7.019051e-08,7.009502e-08,6.978906e-08,6.947252e-08,6.936917e-08,6.914648e-08,6.893331e-08,6.881198e-08,6.848377e-08,6.846995e-08,6.812130e-08,6.802260e-08,6.776684e-08,6.755171e-08,6.740737e-08,6.707284e-08,6.704360e-08,6.667620e-08,6.658756e-08,6.630582e-08,6.609731e-08,6.593302e-08,6.560341e-08,6.555837e-08,6.518235e-08,6.510703e-08,6.480545e-08,6.460925e-08,6.442809e-08,6.411106e-08,6.405069e-08,6.367362e-08,6.361334e-08,6.329722e-08,6.311689e-08,6.292182e-08,6.262242e-08,6.254771e-08,6.217516e-08,6.213057e-08,6.180443e-08,6.164194e-08,6.143574e-08,6.115703e-08,6.106930e-08,6.070531e-08,6.067630e-08,6.034394e-08,6.020017e-08,5.998536e-08,5.972898e-08,5.962970e-08,5.927710e-08,5.926306e-08,5.892768e-08,5.880269e-08,5.858155e-08,5.834810e-08,5.823880e-08,5.789951e-08,5.745708e-08,5.702098e-08,5.659132e-08,5.616819e-08,5.575169e-08,5.534187e-08,5.493878e-08,5.454243e-08,5.415285e-08,5.377003e-08,5.339396e-08,5.302461e-08,5.266196e-08,5.230596e-08,5.195657e-08,5.161372e-08,5.127736e-08,5.094742e-08,5.062383e-08,5.030651e-08,4.999538e-08,4.969036e-08,4.939137e-08,4.909831e-08
0.000000e+00,8.090654e-12,1.851743e-11,6.381436e-11,1.464295e-10,2.154027e-10,5.062102e-10,5.224239e-10,1.068257e-09,1.278688e-09,1.966852e-09,2.731570e-09,3.353022e-09,5.154483e-09,5.336039e-09,7.912307e-09,8.604019e-09,1.092811e-08,1.272968e-08,1.417454e-08,1.709253e-08,1.749043e-08,2.077984e-08,2.142941e-08,2.399014e-08,2.561786e-08,2.709177e-08,2.959994e-08,3.006694e-08,3.290412e-08,3.334471e-08,3.559569e-08,3.683445e-08,3.813695e-08,4.006012e-08,4.052561e-08,4.276147e-08,4.301957e-08,4.484616e-08,4.571630e-08,4.678284e-08,4.815839e-08,4.857590e-08,5.023069e-08,5.035728e-08,5.175326e-08,5.232672e-08,5.315012e-08,5.408181e-08,5.442803e-08,5.559384e-08,5.563824e-08,5.665439e-08,5.701171e-08,5.761635e-08,5.821749e-08,5.848621e-08,5.927020e-08,5.997423e-08,6.018355e-08,6.060391e-08,6.097035e-08,6.116455e-08,6.164240e-08,6.166109e-08,6.209821e-08,6.221054e-08,6.248022e-08,6.268468e-08,6.281119e-08,6.307384e-08,6.309487e-08,6.333479e-08,6.338622e-08,6.353418e-08,6.362927e-08,6.369606e-08,6.380972e-08,6.382323e-08,6.391830e-08,6.393367e-08,6.398366e-08,6.400665e-08,6.402154e-08,6.403365e-08,6.403402e-08,6.402300e-08,6.401918e-08,6.399027e-08,6.396733e-08,6.393746e-08,6.388180e-08,6.386611e-08,6.377763e-08,6.376592e-08,6.367333e-08,6.362274e-08,6.355442e-08,6.345499e-08,6.342205e-08,6.327726e-08,6.326516e-08,6.312101e-08,6.305551e-08,6.295423e-08,6.282809e-08,6.277774e-08,6.259233e-08,6.258474e-08,6.239873e-08,6.232716e-08,6.219761e-08,6.205688e-08,6.198961e-08,6.177531e-08,6.155525e-08,6.148370e-08,6.132995e-08,6.118323e-08,6.109988e-08,6.087494e-08,6.086549e-08,6.062717e-08,6.055980e-08,6.038533e-08,6.023869e-08,6.014033e-08,5.991241e-08,5.989248e-08,5.964212e-08,5.958169e-08,5.938953e-08,5.924721e-08,5.913499e-08,5.890958e-08,5.887875e-08,5.862105e-08,5.856936e-08,5.836212e-08,5.822706e-08,5.810217e-08,5.788317e-08,5.784139e-08,5.757997e-08,5.753810e-08,5.731808e-08,5.719226e-08,5.705589e-08,5.684601e-08,5.679353e-08,5.653115e-08,5.649967e-08,5.626889e-08,5.615357e-08,5.600687e-08,5.580796e-08,5.574520e-08,5.548399e-08,5.546312e-08,5.522335e-08,5.511927e-08,5.496336e-08,5.477663e-08,5.470412e-08,5.444571e-08,5.443540e-08,5.418821e-08,5.409575e-08,5.393169e-08,5.375785e-08,5.367622e-08,5.342186e-08,5.308790e-08,5.275611e-08,5.242659e-08,5.209945e-08,5.177478e-08,5.145267e-08,5.113320e-08,5.081642e-08,5.050241e-08,5.019122e-08,4.988289e-08,4.957747e-08,4.927500e-08,4.897550e-08,4.867901e-08,4.838555e-08,4.809514e-08,4.780779e-08,4.752351e-08,4.724232e-08,4.696422e-08,4.668921e-08,4.641730e-08,4.614847e-08
0.000000e+00,1.478293e-10,5.219886e-10,3.005230e-09,8.870293e-09,1.430183e-08,3.888294e-08,4.028362e-08,8.740059e-08,1.053226e-07,1.627302e-07,2.247753e-07,2.743250e-07,4.167751e-07,4.312154e-07,6.426633e-07,7.024388e-07,9.161460e-07,1.097646e-06,1.254276e-06,1.602103e-06,1.652834e-06,2.102278e-06,2.197281e-06,2.591459e-06,2.858137e-06,3.110369e-06,3.563272e-06,3.650937e-06,4.206744e-06,4.296722e-06,4.772515e-06,5.046277e-06,5.343733e-06,5.801930e-06,5.916402e-06,6.486932e-06,6.555094e-06,7.052090e-06,7.298301e-06,7.608990e-06,8.025134e-06,8.155090e-06,8.688191e-06,8.730220e-06,9.206433e-06,9.409214e-06,9.708278e-06,1.005875e-05,1.019250e-05,1.065815e-05,1.067638e-05,1.110455e-05,1.126045e-05,1.153123e-05,1.180998e-05,1.193795e-05,1.232461e-05,1.269127e-05,1.280440e-05,1.303810e-05,1.324980e-05,1.336540e-05,1.366155e-05,1.367351e-05,1.396288e-05,1.404061e-05,1.423399e-05,1.438811e-05,1.448736e-05,1.470527e-05,1.472355e-05,1.494314e-05,1.499343e-05,1.514671e-05,1.525393e-05,1.533485e-05,1.548813e-05,1.550816e-05,1.566724e-05,1.569740e-05,1.581267e-05,1.588310e-05,1.594504e-05,1.604654e-05,1.606490e-05,1.617282e-05,1.618901e-05,1.626934e-05,1.631178e-05,1.635499e-05,1.641603e-05,1.643029e-05,1.649572e-05,1.650294e-05,1.655179e-05,1.657361e-05,1.659895e-05,1.662911e-05,1.663765e-05,1.666834e-05,1.667046e-05,1.669142e-05,1.669862e-05,1.670732e-05,1.671452e-05,1.671640e-05,1.671906e-05,1.671904e-05,1.671565e-05,1.671300e-05,1.670651e-05,1.669719e-05,1.669197e-05,1.667236e-05,1.664798e-05,1.663921e-05,1.661911e-05,1.659841e-05,1.658604e-05,1.655059e-05,1.654904e-05,1.650836e-05,1.649634e-05,1.646424e-05,1.643622e-05,1.641692e-05,1.637075e-05,1.636662e-05,1.631355e-05,1.630042e-05,1.625791e-05,1.622571e-05,1.619990e-05,1.614704e-05,1.613970e-05,1.607749e-05,1.606482e-05,1.601343e-05,1.597944e-05,1.594768e-05,1.589126e-05,1.588040e-05,1.581171e-05,1.580060e-05,1.574177e-05,1.570779e-05,1.567070e-05,1.561311e-05,1.559862e-05,1.552565e-05,1.551684e-05,1.545190e-05,1.541923e-05,1.537747e-05,1.532051e-05,1.530246e-05,1.522697e-05,1.522091e-05,1.515108e-05,1.512063e-05,1.507488e-05,1.501986e-05,1.499844e-05,1.492184e-05,1.491877e-05,1.484514e-05,1.481753e-05,1.476843e-05,1.471628e-05,1.469174e-05,1.461516e-05,1.451430e-05,1.441381e-05,1.431381e-05,1.421438e-05,1.411562e-05,1.401761e-05,1.392043e-05,1.382413e-05,1.372878e-05,1.363443e-05,1.354114e-05,1.344893e-05,1.335786e-05,1.326795e-05,1.317924e-05,1.309174e-05,1.300548e-05,1.292048e-05,1.283675e-05,1.275430e-05,1.267313e-05,1.259327e-05,1.251470e-05,1.243743e-05
0.000000e+00,1.147924e-11,2.641312e-11,9.140931e-11,2.087910e-10,3.051674e-10,6.952014e-10,7.162326e-10,1.389162e-09,1.633695e-09,2.392179e-09,3.181919e-09,3.795712e-09,5.492423e-09,5.659340e-09,8.009792e-09,8.645772e-09,1.083731e-08,1.261938e-08,1.411542e-08,1.735046e-08,1.781591e-08,2.191151e-08,2.277560e-08,2.637409e-08,2.882963e-08,3.117305e-08,3.543955e-08,3.627467e-08,4.164229e-08,4.252322e-08,4.723702e-08,4.999139e-08,5.301871e-08,5.775150e-08,5.894696e-08,6.498213e-08,6.571171e-08,7.108617e-08,7.378445e-08,7.722331e-08,8.188926e-08,8.336056e-08,8.946806e-08,8.995455e-08,9.551917e-08,9.791850e-08,1.014906e-07,1.057293e-07,1.073622e-07,1.131170e-07,1.133446e-07,1.187409e-07,1.207312e-07,1.242223e-07,1.278635e-07,1.295520e-07,1.347228e-07,1.397295e-07,1.412963e-07,1.445683e-07,1.475761e-07,1.492371e-07,1.535581e-07,1.537347e-07,1.580609e-07,1.592417e-07,1.622166e-07,1.646286e-07,1.662031e-07,1.697229e-07,1.700224e-07,1.736770e-07,1.745300e-07,1.771699e-07,1.790565e-07,1.805042e-07,1.833100e-07,1.836834e-07,1.867111e-07,1.872988e-07,1.895910e-07,1.910315e-07,1.923271e-07,1.945171e-07,1.949232e-07,1.973834e-07,1.977647e-07,1.997116e-07,2.007835e-07,2.019119e-07,2.035827e-07,2.039882e-07,2.059445e-07,2.061714e-07,2.077847e-07,2.085586e-07,2.095127e-07,2.107532e-07,2.111322e-07,2.126470e-07,2.127638e-07,2.140609e-07,2.145989e-07,2.153773e-07,2.162667e-07,2.165998e-07,2.177318e-07,2.177753e-07,2.187768e-07,2.191323e-07,2.197380e-07,2.203454e-07,2.206186e-07,2.214217e-07,2.221503e-07,2.223683e-07,2.228075e-07,2.231919e-07,2.233960e-07,2.238991e-07,2.239187e-07,2.243783e-07,2.244961e-07,2.247774e-07,2.249889e-07,2.251185e-07,2.253833e-07,2.254042e-07,2.256368e-07,2.256850e-07,2.258186e-07,2.258991e-07,2.259519e-07,2.260308e-07,2.260389e-07,2.260816e-07,2.260850e-07,2.260821e-07,2.260663e-07,2.260424e-07,2.259793e-07,2.259643e-07,2.258497e-07,2.258281e-07,2.257004e-07,2.256169e-07,2.255181e-07,2.253495e-07,2.253043e-07,2.250608e-07,2.250297e-07,2.247891e-07,2.246609e-07,2.244906e-07,2.242466e-07,2.241667e-07,2.238188e-07,2.237900e-07,2.234483e-07,2.232941e-07,2.230565e-07,2.227618e-07,2.226445e-07,2.222135e-07,2.221959e-07,2.217647e-07,2.215990e-07,2.212992e-07,2.209736e-07,2.208179e-07,2.203220e-07,2.196466e-07,2.189494e-07,2.182324e-07,2.174976e-07,2.167467e-07,2.159815e-07,2.152036e-07,2.144145e-07,2.136157e-07,2.128084e-07,2.119941e-07,2.111738e-07,2.103488e-07,2.095201e-07,2.086886e-07,2.078554e-07,2.070214e-07,2.061873e-07,2.053539e-07,2.045220e-07,2.036922e-07,2.028651e-07,2.020415e-07,2.012217e-07
0.000000e+00,7.965179e-12,3.456132e-11,2.805175e-10,1.045751e-09,1.868715e-09,6.218767e-09,6.485530e-09,1.604111e-08,1.985923e-08,3.241494e-08,4.627339e-08,5.743341e-08,8.959955e-08,9.285368e-08,1.401193e-07,1.533203e-07,1.998819e-07,2.387044e-07,2.717690e-07,3.441986e-07,3.546872e-07,4.472985e-07,4.668679e-07,5.483061e-07,6.037492e-07,6.565179e-07,7.521597e-07,7.708093e-07,8.900719e-07,9.095405e-07,1.013183e-06,1.073307e-06,1.138997e-06,1.240822e-06,1.266364e-06,1.394143e-06,1.409452e-06,1.521236e-06,1.576670e-06,1.646609e-06,1.740156e-06,1.769316e-06,1.888519e-06,1.897882e-06,2.003497e-06,2.048168e-06,2.113654e-06,2.189712e-06,2.218519e-06,2.317743e-06,2.321591e-06,2.411092e-06,2.443232e-06,2.498438e-06,2.554383e-06,2.579745e-06,2.655057e-06,2.724486e-06,2.745487e-06,2.788199e-06,2.826072e-06,2.846407e-06,2.897331e-06,2.899351e-06,2.947296e-06,2.959863e-06,2.990522e-06,3.014312e-06,3.029316e-06,3.061338e-06,3.063964e-06,3.094751e-06,3.101596e-06,3.121954e-06,3.135722e-06,3.145839e-06,3.164318e-06,3.166663e-06,3.184666e-06,3.187949e-06,3.200076e-06,3.207136e-06,3.213106e-06,3.222356e-06,3.223953e-06,3.232801e-06,3.234042e-06,3.239820e-06,3.242586e-06,3.245166e-06,3.248336e-06,3.248983e-06,3.251403e-06,3.251606e-06,3.252547e-06,3.252675e-06,3.252525e-06,3.251792e-06,3.251439e-06,3.249380e-06,3.249176e-06,3.246433e-06,3.245023e-06,3.242675e-06,3.239507e-06,3.238177e-06,3.233001e-06,3.232781e-06,3.227208e-06,3.224982e-06,3.220851e-06,3.216232e-06,3.213980e-06,3.206638e-06,3.198868e-06,3.196297e-06,3.190707e-06,3.185296e-06,3.182191e-06,3.173711e-06,3.173351e-06,3.164217e-06,3.161611e-06,3.154817e-06,3.149059e-06,3.145175e-06,3.136111e-06,3.135315e-06,3.125259e-06,3.122818e-06,3.115026e-06,3.109225e-06,3.104634e-06,3.095373e-06,3.094103e-06,3.083446e-06,3.081301e-06,3.072679e-06,3.067042e-06,3.061817e-06,3.052627e-06,3.050871e-06,3.039854e-06,3.038085e-06,3.028777e-06,3.023442e-06,3.017651e-06,3.008721e-06,3.006486e-06,2.995290e-06,2.993945e-06,2.984072e-06,2.979132e-06,2.972841e-06,2.964300e-06,2.961603e-06,2.950366e-06,2.949467e-06,2.939136e-06,2.934648e-06,2.927920e-06,2.919856e-06,2.916723e-06,2.905551e-06,2.905105e-06,2.894408e-06,2.890405e-06,2.883300e-06,2.875768e-06,2.872230e-06,2.861203e-06,2.846720e-06,2.832326e-06,2.818029e-06,2.803836e-06,2.789753e-06,2.775785e-06,2.761937e-06,2.748214e-06,2.734620e-06,2.721158e-06,2.707833e-06,2.694646e-06,2.681600e-06,2.668698e-06,2.655942e-06,2.643332e-06,2.630871e-06,2.618559e-06,2.606398e-06,2.594388e-06,2.582530e-06,2.570823e-06,2.559269e-06,2.547867e-06
0.000000e+00,1.297581e-11,3.040631e-11,1.072831e-10,2.473960e-10,3.630260e-10,8.343923e-10,8.599400e-10,1.683492e-09,1.985505e-09,2.930842e-09,3.927959e-09,4.711236e-09,6.909236e-09,7.127714e-09,1.023401e-08,1.108107e-08,1.400796e-08,1.638787e-08,1.838079e-08,2.266567e-08,2.327902e-08,2.864004e-08,2.976298e-08,3.441052e-08,3.755673e-08,4.054169e-08,4.593576e-08,4.698590e-08,5.369514e-08,5.478997e-08,6.062076e-08,6.400755e-08,6.771392e-08,7.347667e-08,7.492646e-08,8.221182e-08,8.308883e-08,8.952586e-08,9.274244e-08,9.682762e-08,1.023456e-07,1.040798e-07,1.112490e-07,1.118181e-07,1.183061e-07,1.210918e-07,1.252259e-07,1.301112e-07,1.319873e-07,1.385729e-07,1.388325e-07,1.449687e-07,1.472225e-07,1.511638e-07,1.552576e-07,1.571501e-07,1.629221e-07,1.684763e-07,1.702073e-07,1.738110e-07,1.771099e-07,1.789261e-07,1.836312e-07,1.838229e-07,1.885035e-07,1.897758e-07,1.929712e-07,1.955512e-07,1.972299e-07,2.009670e-07,2.012840e-07,2.051383e-07,2.060342e-07,2.087982e-07,2.107649e-07,2.122691e-07,2.151717e-07,2.155567e-07,2.186667e-07,2.192679e-07,2.216049e-07,2.230668e-07,2.243772e-07,2.265820e-07,2.269894e-07,2.294473e-07,2.298266e-07,2.317565e-07,2.328138e-07,2.339227e-07,2.355564e-07,2.359514e-07,2.378478e-07,2.380668e-07,2.396174e-07,2.403572e-07,2.412652e-07,2.424392e-07,2.427962e-07,2.442153e-07,2.443241e-07,2.455271e-07,2.460229e-07,2.467363e-07,2.475457e-07,2.478471e-07,2.488639e-07,2.489027e-07,2.497909e-07,2.501033e-07,2.506319e-07,2.511567e-07,2.513909e-07,2.520716e-07,2.526775e-07,2.528562e-07,2.532122e-07,2.535185e-07,2.536789e-07,2.540660e-07,2.540809e-07,2.544213e-07,2.545059e-07,2.547029e-07,2.548450e-07,2.549288e-07,2.550897e-07,2.551016e-07,2.552240e-07,2.552461e-07,2.552985e-07,2.553203e-07,2.553276e-07,2.553175e-07,2.553136e-07,2.552588e-07,2.552431e-07,2.551653e-07,2.551021e-07,2.550353e-07,2.548992e-07,2.548706e-07,2.546732e-07,2.546387e-07,2.544450e-07,2.543250e-07,2.541876e-07,2.539619e-07,2.539029e-07,2.535923e-07,2.535533e-07,2.532574e-07,2.531027e-07,2.528997e-07,2.526135e-07,2.525207e-07,2.521216e-07,2.520888e-07,2.517037e-07,2.515316e-07,2.512684e-07,2.509447e-07,2.508167e-07,2.503498e-07,2.503308e-07,2.498688e-07,2.496924e-07,2.493748e-07,2.490319e-07,2.488686e-07,2.483513e-07,2.476530e-07,2.469387e-07,2.462103e-07,2.454696e-07,2.447182e-07,2.439576e-07,2.431892e-07,2.424143e-07,2.416343e-07,2.408502e-07,2.400632e-07,2.392743e-07,2.384844e-07,2.376945e-07,2.369053e-07,2.361176e-07,2.353321e-07,2.345495e-07,2.337704e-07,2.329953e-07,2.322249e-07,2.314594e-07,2.306995e-07,2.299455e-07
0.000000e+00,2.726857e-10,8.086471e-10,3.696937e-09,9.663940e-09,1.488504e-08,3.751549e-08,3.878499e-08,8.130444e-08,9.753244e-08,1.500557e-07,2.078218e-07,2.546087e-07,3.910799e-07,4.049856e-07,6.072819e-07,6.635202e-07,8.596442e-07,1.019974e-06,1.154158e-06,1.441111e-06,1.481947e-06,1.835844e-06,1.909263e-06,2.210532e-06,2.412197e-06,2.601925e-06,2.941120e-06,3.006644e-06,3.421700e-06,3.488882e-06,3.844334e-06,4.049125e-06,4.271963e-06,4.616033e-06,4.702171e-06,5.132711e-06,5.184299e-06,5.561541e-06,5.749204e-06,5.986825e-06,6.306665e-06,6.406945e-06,6.820503e-06,6.853267e-06,7.226318e-06,7.386250e-06,7.623407e-06,7.903443e-06,8.010953e-06,8.388309e-06,8.403183e-06,8.754984e-06,8.884300e-06,9.110618e-06,9.346010e-06,9.454960e-06,9.787854e-06,1.010923e-05,1.020963e-05,1.041908e-05,1.061135e-05,1.071745e-05,1.099319e-05,1.100445e-05,1.128021e-05,1.135543e-05,1.154489e-05,1.169846e-05,1.179868e-05,1.202274e-05,1.204180e-05,1.227446e-05,1.232878e-05,1.249692e-05,1.261712e-05,1.270940e-05,1.288834e-05,1.291216e-05,1.310547e-05,1.314301e-05,1.328956e-05,1.338174e-05,1.346471e-05,1.360511e-05,1.363118e-05,1.378921e-05,1.381373e-05,1.393906e-05,1.400816e-05,1.408099e-05,1.418900e-05,1.421524e-05,1.434207e-05,1.435680e-05,1.446171e-05,1.451213e-05,1.457439e-05,1.465553e-05,1.468036e-05,1.477983e-05,1.478752e-05,1.487304e-05,1.490861e-05,1.496019e-05,1.501932e-05,1.504151e-05,1.511720e-05,1.512011e-05,1.518745e-05,1.521145e-05,1.525248e-05,1.529381e-05,1.531247e-05,1.536760e-05,1.541806e-05,1.543326e-05,1.546403e-05,1.549118e-05,1.550568e-05,1.554175e-05,1.554318e-05,1.557668e-05,1.558536e-05,1.560634e-05,1.562236e-05,1.563232e-05,1.565310e-05,1.565477e-05,1.567383e-05,1.567791e-05,1.568963e-05,1.569711e-05,1.570231e-05,1.571100e-05,1.571201e-05,1.571885e-05,1.571988e-05,1.572294e-05,1.572403e-05,1.572442e-05,1.572372e-05,1.572339e-05,1.571997e-05,1.571920e-05,1.571425e-05,1.571073e-05,1.570635e-05,1.569853e-05,1.569637e-05,1.568440e-05,1.568283e-05,1.567053e-05,1.566385e-05,1.565485e-05,1.564179e-05,1.563746e-05,1.561844e-05,1.561685e-05,1.559786e-05,1.558921e-05,1.557580e-05,1.555905e-05,1.555234e-05,1.552756e-05,1.552654e-05,1.550152e-05,1.549185e-05,1.547429e-05,1.545513e-05,1.544594e-05,1.541652e-05,1.537617e-05,1.533421e-05,1.529075e-05,1.524594e-05,1.519987e-05,1.515266e-05,1.510441e-05,1.505522e-05,1.500518e-05,1.495437e-05,1.490289e-05,1.485081e-05,1.479821e-05,1.474516e-05,1.469171e-05,1.463795e-05,1.458392e-05,1.452968e-05,1.447530e-05,1.442080e-05,1.436626e-05,1.431170e-05,1.425717e-05,1.420271e-05
0.000000e+00,2.281045e-11,5.277768e-11,1.827368e-10,4.153551e-10,6.047917e-10,1.361395e-09,1.401824e-09,2.680733e-09,3.139684e-09,4.548693e-09,5.998424e-09,7.117176e-09,1.019529e-08,1.049806e-08,1.478190e-08,1.594953e-08,1.999926e-08,2.331278e-08,2.609979e-08,3.211569e-08,3.297824e-08,4.051712e-08,4.209448e-08,4.860945e-08,5.300478e-08,5.716198e-08,6.464049e-08,6.609123e-08,7.531920e-08,7.681834e-08,8.477057e-08,8.936486e-08,9.437155e-08,1.021113e-07,1.040498e-07,1.137348e-07,1.148942e-07,1.233592e-07,1.275582e-07,1.328595e-07,1.399605e-07,1.421771e-07,1.512590e-07,1.519740e-07,1.600586e-07,1.634903e-07,1.685361e-07,1.744215e-07,1.766582e-07,1.843984e-07,1.846998e-07,1.917367e-07,1.942772e-07,1.986590e-07,2.031241e-07,2.051570e-07,2.112274e-07,2.168711e-07,2.185877e-07,2.220931e-07,2.252176e-07,2.269017e-07,2.311389e-07,2.313075e-07,2.353237e-07,2.363804e-07,2.389649e-07,2.409762e-07,2.422470e-07,2.449638e-07,2.451868e-07,2.478016e-07,2.483828e-07,2.501091e-07,2.512736e-07,2.521268e-07,2.536767e-07,2.538723e-07,2.553627e-07,2.556316e-07,2.566144e-07,2.571764e-07,2.576435e-07,2.583473e-07,2.584655e-07,2.590951e-07,2.591789e-07,2.595463e-07,2.597035e-07,2.598325e-07,2.599511e-07,2.599662e-07,2.599594e-07,2.599496e-07,2.598231e-07,2.597249e-07,2.595679e-07,2.593004e-07,2.592036e-07,2.587393e-07,2.586981e-07,2.581836e-07,2.579376e-07,2.575446e-07,2.570370e-07,2.568296e-07,2.560455e-07,2.560128e-07,2.551987e-07,2.548798e-07,2.542953e-07,2.536515e-07,2.533408e-07,2.523403e-07,2.512985e-07,2.509572e-07,2.502199e-07,2.495122e-07,2.491086e-07,2.480143e-07,2.479682e-07,2.468024e-07,2.464718e-07,2.456142e-07,2.448919e-07,2.444068e-07,2.432813e-07,2.431828e-07,2.419448e-07,2.416459e-07,2.406952e-07,2.399911e-07,2.394360e-07,2.383217e-07,2.381694e-07,2.368970e-07,2.366421e-07,2.356207e-07,2.349560e-07,2.343420e-07,2.332671e-07,2.330623e-07,2.317830e-07,2.315784e-07,2.305051e-07,2.298926e-07,2.292299e-07,2.282124e-07,2.279584e-07,2.266915e-07,2.265398e-07,2.254300e-07,2.248769e-07,2.241748e-07,2.232254e-07,2.229265e-07,2.216858e-07,2.215869e-07,2.204533e-07,2.199627e-07,2.192295e-07,2.183540e-07,2.180149e-07,2.168100e-07,2.167620e-07,2.156150e-07,2.151874e-07,2.144305e-07,2.136311e-07,2.132567e-07,2.120938e-07,2.105761e-07,2.090784e-07,2.076012e-07,2.061448e-07,2.047095e-07,2.032955e-07,2.019029e-07,2.005319e-07,1.991824e-07,1.978546e-07,1.965483e-07,1.952637e-07,1.940005e-07,1.927586e-07,1.915380e-07,1.903384e-07,1.891598e-07,1.880018e-07,1.868644e-07,1.857473e-07,1.846503e-07,1.835730e-07,1.825154e-07,1.814771e-07
0.000000e+00,1.227418e-11,2.811998e-11,9.685401e-11,2.209785e-10,3.231707e-10,7.405709e-10,7.632687e-10,1.500181e-09,1.772995e-09,2.635147e-09,3.556033e-09,4.285911e-09,6.353260e-09,6.559666e-09,9.496403e-09,1.029519e-08,1.303932e-08,1.524763e-08,1.707912e-08,2.096088e-08,2.151035e-08,2.625030e-08,2.722949e-08,3.123538e-08,3.390699e-08,3.641380e-08,4.088009e-08,4.174064e-08,4.717514e-08,4.805210e-08,5.267969e-08,5.533643e-08,5.821951e-08,6.265529e-08,6.376280e-08,6.928084e-08,6.994007e-08,7.474818e-08,7.713192e-08,8.014264e-08,8.418189e-08,8.544523e-08,9.064005e-08,9.105057e-08,9.571403e-08,9.770736e-08,1.006567e-07,1.041294e-07,1.054598e-07,1.101173e-07,1.103005e-07,1.146248e-07,1.162102e-07,1.189794e-07,1.218523e-07,1.231794e-07,1.272244e-07,1.311147e-07,1.323270e-07,1.348513e-07,1.371629e-07,1.384360e-07,1.417364e-07,1.418710e-07,1.451587e-07,1.460533e-07,1.483022e-07,1.501202e-07,1.513044e-07,1.539446e-07,1.541688e-07,1.568987e-07,1.575343e-07,1.594978e-07,1.608974e-07,1.619695e-07,1.640423e-07,1.643177e-07,1.665459e-07,1.669774e-07,1.686577e-07,1.697111e-07,1.706569e-07,1.722518e-07,1.725470e-07,1.743316e-07,1.746076e-07,1.760143e-07,1.767867e-07,1.775984e-07,1.787971e-07,1.790875e-07,1.804847e-07,1.806464e-07,1.817935e-07,1.823422e-07,1.830171e-07,1.838919e-07,1.841585e-07,1.852208e-07,1.853024e-07,1.862070e-07,1.865808e-07,1.871199e-07,1.877335e-07,1.879625e-07,1.887375e-07,1.887671e-07,1.894475e-07,1.896877e-07,1.900951e-07,1.905012e-07,1.906829e-07,1.912133e-07,1.916887e-07,1.918295e-07,1.921113e-07,1.923551e-07,1.924834e-07,1.927950e-07,1.928071e-07,1.930846e-07,1.931542e-07,1.933178e-07,1.934373e-07,1.935087e-07,1.936486e-07,1.936592e-07,1.937710e-07,1.937923e-07,1.938461e-07,1.938727e-07,1.938860e-07,1.938934e-07,1.938924e-07,1.938670e-07,1.938582e-07,1.938111e-07,1.937705e-07,1.937263e-07,1.936338e-07,1.936141e-07,1.934757e-07,1.934512e-07,1.933126e-07,1.932258e-07,1.931259e-07,1.929604e-07,1.929169e-07,1.926868e-07,1.926578e-07,1.924367e-07,1.923206e-07,1.921677e-07,1.919512e-07,1.918808e-07,1.915772e-07,1.915522e-07,1.912576e-07,1.911256e-07,1.909231e-07,1.906736e-07,1.905746e-07,1.902129e-07,1.901982e-07,1.898389e-07,1.897014e-07,1.894533e-07,1.891849e-07,1.890570e-07,1.886505e-07,1.880998e-07,1.875343e-07,1.869555e-07,1.863648e-07,1.857634e-07,1.851526e-07,1.845335e-07,1.839073e-07,1.832749e-07,1.826374e-07,1.819956e-07,1.813503e-07,1.807025e-07,1.800528e-07,1.794020e-07,1.787507e-07,1.780996e-07,1.774492e-07,1.768001e-07,1.761527e-07,1.755076e-07,1.748653e-07,1.742260e-07,1.735902e-07
0.000000e+00,6.106781e-11,2.023842e-10,1.061506e-09,2.960734e-09,4.659297e-09,1.204681e-08,1.245831e-08,2.593931e-08,3.092494e-08,4.650854e-08,6.282005e-08,7.552580e-08,1.108034e-07,1.142924e-07,1.639855e-07,1.776481e-07,2.255296e-07,2.653755e-07,2.994077e-07,3.744985e-07,3.854384e-07,4.826036e-07,5.032228e-07,5.890586e-07,6.472994e-07,7.024009e-07,8.010700e-07,8.200938e-07,9.398317e-07,9.590464e-07,1.059714e-06,1.116859e-06,1.178258e-06,1.271363e-06,1.294339e-06,1.407113e-06,1.420392e-06,1.515956e-06,1.562479e-06,1.620415e-06,1.696675e-06,1.720177e-06,1.815040e-06,1.822413e-06,1.904893e-06,1.939422e-06,1.989703e-06,2.047657e-06,2.069497e-06,2.144351e-06,2.147244e-06,2.214379e-06,2.238434e-06,2.279724e-06,2.321567e-06,2.340551e-06,2.397039e-06,2.449377e-06,2.465280e-06,2.497758e-06,2.526735e-06,2.542377e-06,2.581854e-06,2.583430e-06,2.621106e-06,2.631075e-06,2.655591e-06,2.674827e-06,2.687067e-06,2.713516e-06,2.715707e-06,2.741677e-06,2.747531e-06,2.765137e-06,2.777235e-06,2.786238e-06,2.802972e-06,2.805126e-06,2.821937e-06,2.825061e-06,2.836800e-06,2.843800e-06,2.849838e-06,2.859465e-06,2.861168e-06,2.870897e-06,2.872312e-06,2.879130e-06,2.882578e-06,2.885962e-06,2.890481e-06,2.891485e-06,2.895786e-06,2.896224e-06,2.898944e-06,2.899992e-06,2.901036e-06,2.901957e-06,2.902133e-06,2.902303e-06,2.902278e-06,2.901607e-06,2.901100e-06,2.900106e-06,2.898558e-06,2.897855e-06,2.894906e-06,2.894774e-06,2.891308e-06,2.889863e-06,2.887108e-06,2.883929e-06,2.882348e-06,2.877070e-06,2.871311e-06,2.869373e-06,2.865108e-06,2.860920e-06,2.858493e-06,2.851786e-06,2.851500e-06,2.844157e-06,2.842042e-06,2.836492e-06,2.831749e-06,2.828531e-06,2.820968e-06,2.820300e-06,2.811821e-06,2.809752e-06,2.803116e-06,2.798150e-06,2.794205e-06,2.786209e-06,2.785108e-06,2.775842e-06,2.773970e-06,2.766424e-06,2.761472e-06,2.756871e-06,2.748751e-06,2.747196e-06,2.737414e-06,2.735840e-06,2.727539e-06,2.722769e-06,2.717581e-06,2.709564e-06,2.707554e-06,2.697467e-06,2.696253e-06,2.687331e-06,2.682858e-06,2.677155e-06,2.669400e-06,2.666948e-06,2.656719e-06,2.655900e-06,2.646476e-06,2.642376e-06,2.636225e-06,2.628844e-06,2.625974e-06,2.615729e-06,2.615320e-06,2.605497e-06,2.601817e-06,2.595282e-06,2.588348e-06,2.585090e-06,2.574925e-06,2.561559e-06,2.548260e-06,2.535036e-06,2.521895e-06,2.508845e-06,2.495892e-06,2.483042e-06,2.470302e-06,2.457675e-06,2.445166e-06,2.432779e-06,2.420518e-06,2.408386e-06,2.396385e-06,2.384517e-06,2.372786e-06,2.361191e-06,2.349736e-06,2.338420e-06,2.327246e-06,2.316214e-06,2.305324e-06,2.294577e-06,2.283972e-06
0.000000e+00,6.176168e-11,1.689455e-10,7.008140e-10,1.736558e-09,2.612769e-09,6.238940e-09,6.436194e-09,1.277262e-08,1.507741e-08,2.221208e-08,2.961382e-08,3.535398e-08,5.124242e-08,5.281234e-08,7.518072e-08,8.133611e-08,1.029187e-07,1.208671e-07,1.361648e-07,1.697485e-07,1.746188e-07,2.176460e-07,2.267348e-07,2.645064e-07,2.901554e-07,3.145077e-07,3.584903e-07,3.670437e-07,4.215797e-07,4.304580e-07,4.776285e-07,5.049343e-07,5.347338e-07,5.808874e-07,5.924631e-07,6.504057e-07,6.573545e-07,7.081745e-07,7.334440e-07,7.654098e-07,8.083483e-07,8.217828e-07,8.769985e-07,8.813578e-07,9.307983e-07,9.518708e-07,9.829603e-07,1.019398e-06,1.033300e-06,1.081668e-06,1.083560e-06,1.127951e-06,1.144085e-06,1.172064e-06,1.200793e-06,1.213954e-06,1.253591e-06,1.290968e-06,1.302454e-06,1.326100e-06,1.347418e-06,1.359015e-06,1.388568e-06,1.389756e-06,1.418378e-06,1.426021e-06,1.444945e-06,1.459927e-06,1.469525e-06,1.490449e-06,1.492194e-06,1.513031e-06,1.517768e-06,1.532116e-06,1.542069e-06,1.549532e-06,1.563540e-06,1.565358e-06,1.579678e-06,1.582369e-06,1.592571e-06,1.598738e-06,1.604115e-06,1.612826e-06,1.614387e-06,1.623459e-06,1.624805e-06,1.631404e-06,1.634837e-06,1.638289e-06,1.643078e-06,1.644180e-06,1.649139e-06,1.649674e-06,1.653227e-06,1.654764e-06,1.656499e-06,1.658474e-06,1.659010e-06,1.660812e-06,1.660927e-06,1.661952e-06,1.662233e-06,1.662477e-06,1.662498e-06,1.662429e-06,1.661851e-06,1.661817e-06,1.660779e-06,1.660280e-06,1.659252e-06,1.657971e-06,1.657303e-06,1.654965e-06,1.652268e-06,1.651333e-06,1.649240e-06,1.647141e-06,1.645908e-06,1.642448e-06,1.642299e-06,1.638434e-06,1.637309e-06,1.634337e-06,1.631776e-06,1.630029e-06,1.625895e-06,1.625528e-06,1.620854e-06,1.619708e-06,1.616023e-06,1.613255e-06,1.611052e-06,1.606573e-06,1.605955e-06,1.600747e-06,1.599693e-06,1.595440e-06,1.592646e-06,1.590048e-06,1.585461e-06,1.584581e-06,1.579051e-06,1.578161e-06,1.573467e-06,1.570770e-06,1.567839e-06,1.563310e-06,1.562175e-06,1.556483e-06,1.555799e-06,1.550771e-06,1.548254e-06,1.545047e-06,1.540692e-06,1.539316e-06,1.533584e-06,1.533126e-06,1.527858e-06,1.525570e-06,1.522142e-06,1.518036e-06,1.516442e-06,1.510761e-06,1.510534e-06,1.505104e-06,1.503074e-06,1.499475e-06,1.495665e-06,1.493877e-06,1.488313e-06,1.481027e-06,1.473811e-06,1.466673e-06,1.459615e-06,1.452644e-06,1.445762e-06,1.438972e-06,1.432277e-06,1.425681e-06,1.419184e-06,1.412788e-06,1.406495e-06,1.400305e-06,1.394220e-06,1.388240e-06,1.382365e-06,1.376595e-06,1.370931e-06,1.365371e-06,1.359916e-06,1.354565e-06,1.349318e-06,1.344173e-06,1.339130e-06
0.000000e+00,5.092172e-11,1.211789e-10,4.322731e-10,9.977905e-10,1.462955e-09,3.351870e-09,3.454083e-09,6.749506e-09,7.960091e-09,1.176112e-08,1.578961e-08,1.896516e-08,2.789701e-08,2.878439e-08,4.133114e-08,4.471826e-08,5.626704e-08,6.545910e-08,7.301210e-08,8.880913e-08,9.102234e-08,1.098862e-07,1.137335e-07,1.293035e-07,1.395410e-07,1.490439e-07,1.657351e-07,1.689165e-07,1.887532e-07,1.919134e-07,2.084021e-07,2.177256e-07,2.277245e-07,2.428631e-07,2.465958e-07,2.649071e-07,2.670623e-07,2.825660e-07,2.901093e-07,2.994973e-07,3.118420e-07,3.156428e-07,3.309622e-07,3.321512e-07,3.454305e-07,3.509767e-07,3.590369e-07,3.683001e-07,3.717826e-07,3.836794e-07,3.841379e-07,3.947480e-07,3.985353e-07,4.050160e-07,4.115558e-07,4.145131e-07,4.232750e-07,4.313387e-07,4.337781e-07,4.387434e-07,4.431548e-07,4.455285e-07,4.514954e-07,4.517329e-07,4.573947e-07,4.588879e-07,4.625508e-07,4.654166e-07,4.672366e-07,4.711611e-07,4.714857e-07,4.753298e-07,4.761955e-07,4.787988e-07,4.805881e-07,4.819206e-07,4.844015e-07,4.847214e-07,4.872254e-07,4.876926e-07,4.894550e-07,4.905130e-07,4.914311e-07,4.929092e-07,4.931729e-07,4.946980e-07,4.949231e-07,4.960230e-07,4.965923e-07,4.971627e-07,4.979507e-07,4.981313e-07,4.989414e-07,4.990285e-07,4.996049e-07,4.998531e-07,5.001325e-07,5.004489e-07,5.005343e-07,5.008195e-07,5.008376e-07,5.009967e-07,5.010390e-07,5.010735e-07,5.010709e-07,5.010574e-07,5.009549e-07,5.009491e-07,5.007724e-07,5.006881e-07,5.005154e-07,5.003009e-07,5.001893e-07,4.997991e-07,4.993493e-07,4.991935e-07,4.988442e-07,4.984937e-07,4.982877e-07,4.977085e-07,4.976835e-07,4.970350e-07,4.968459e-07,4.963454e-07,4.959132e-07,4.956178e-07,4.949171e-07,4.948548e-07,4.940591e-07,4.938635e-07,4.932331e-07,4.927583e-07,4.923792e-07,4.916063e-07,4.914995e-07,4.905959e-07,4.904125e-07,4.896704e-07,4.891811e-07,4.887248e-07,4.879161e-07,4.877607e-07,4.867796e-07,4.866212e-07,4.857832e-07,4.852998e-07,4.847727e-07,4.839551e-07,4.837495e-07,4.827147e-07,4.825899e-07,4.816697e-07,4.812069e-07,4.806154e-07,4.798086e-07,4.795530e-07,4.784833e-07,4.783974e-07,4.774074e-07,4.769754e-07,4.763261e-07,4.755446e-07,4.752402e-07,4.741505e-07,4.741068e-07,4.730578e-07,4.726638e-07,4.719627e-07,4.712171e-07,4.708660e-07,4.697682e-07,4.683185e-07,4.668693e-07,4.654218e-07,4.639770e-07,4.625360e-07,4.610998e-07,4.596691e-07,4.582449e-07,4.568279e-07,4.554188e-07,4.540183e-07,4.526268e-07,4.512451e-07,4.498735e-07,4.485126e-07,4.471628e-07,4.458244e-07,4.444979e-07,4.431835e-07,4.418815e-07,4.405923e-07,4.393160e-07,4.380529e-07,4.368031e-07
0.000000e+00,8.621647e-11,4.424089e-10,5.019898e-09,2.501458e-08,5.209959e-08,2.524767e-07,2.672031e-07,9.323372e-07,1.261501e-06,2.552301e-06,4.296999e-06,5.915107e-06,1.150757e-05,1.214418e-05,2.273861e-05,2.613285e-05,3.959024e-05,5.258992e-05,6.496081e-05,9.636228e-05,1.014113e-04,1.516946e-04,1.636597e-04,2.186327e-04,2.609474e-04,3.049963e-04,3.944717e-04,4.133978e-04,5.462007e-04,5.698552e-04,7.054484e-04,7.917859e-04,8.928096e-04,1.063799e-03,1.109541e-03,1.356463e-03,1.388145e-03,1.633954e-03,1.765734e-03,1.941951e-03,2.196145e-03,2.279965e-03,2.647106e-03,2.677700e-03,3.042115e-03,3.207576e-03,3.463403e-03,3.781959e-03,3.909094e-03,4.377069e-03,4.396220e-03,4.865019e-03,5.045102e-03,5.370489e-03,5.722915e-03,5.890924e-03,6.423716e-03,6.966243e-03,7.141483e-03,7.515909e-03,7.870266e-03,8.070175e-03,8.604318e-03,8.626586e-03,9.182800e-03,9.338200e-03,9.736605e-03,1.006686e-02,1.028593e-02,1.078572e-02,1.082887e-02,1.136368e-02,1.149065e-02,1.188879e-02,1.217807e-02,1.240277e-02,1.284490e-02,1.290441e-02,1.339261e-02,1.348856e-02,1.386648e-02,1.410697e-02,1.432525e-02,1.469849e-02,1.476830e-02,1.519515e-02,1.526191e-02,1.560544e-02,1.579643e-02,1.599895e-02,1.630158e-02,1.637554e-02,1.673516e-02,1.677718e-02,1.707789e-02,1.722337e-02,1.740384e-02,1.764047e-02,1.771322e-02,1.800628e-02,1.802903e-02,1.828333e-02,1.838974e-02,1.854472e-02,1.872345e-02,1.879086e-02,1.902215e-02,1.903109e-02,1.923904e-02,1.931368e-02,1.944199e-02,1.957229e-02,1.963150e-02,1.980803e-02,1.997210e-02,2.002204e-02,2.012418e-02,2.021546e-02,2.026479e-02,2.038943e-02,2.039441e-02,2.051352e-02,2.054506e-02,2.062261e-02,2.068345e-02,2.072215e-02,2.080568e-02,2.081259e-02,2.089438e-02,2.091277e-02,2.096796e-02,2.100573e-02,2.103375e-02,2.108551e-02,2.109215e-02,2.114355e-02,2.115303e-02,2.118834e-02,2.120914e-02,2.122688e-02,2.125468e-02,2.125951e-02,2.128658e-02,2.129041e-02,2.130840e-02,2.131709e-02,2.132527e-02,2.133541e-02,2.133749e-02,2.134534e-02,2.134600e-02,2.134909e-02,2.134950e-02,2.134898e-02,2.134647e-02,2.134526e-02,2.133815e-02,2.133744e-02,2.132787e-02,2.132292e-02,2.131464e-02,2.130338e-02,2.129863e-02,2.128004e-02,2.127924e-02,2.125904e-02,2.125093e-02,2.123581e-02,2.121880e-02,2.121048e-02,2.118323e-02,2.114452e-02,2.110298e-02,2.105890e-02,2.101254e-02,2.096412e-02,2.091389e-02,2.086205e-02,2.080878e-02,2.075426e-02,2.069867e-02,2.064215e-02,2.058484e-02,2.052687e-02,2.046835e-02,2.040941e-02,2.035014e-02,2.029064e-02,2.023099e-02,2.017127e-02,2.011155e-02,2.005191e-02,1.999239e-02,1.993307e-02,1.987399e-02
0.000000e+00,1.290935e-11,6.656461e-11,7.632077e-10,3.841664e-09,8.048090e-09,3.964163e-08,4.198344e-08,1.492165e-07,2.030037e-07,4.168056e-07,7.109083e-07,9.875130e-07,1.963855e-06,2.076617e-06,3.989614e-06,4.614641e-06,7.137802e-06,9.631218e-06,1.204548e-05,1.831745e-05,1.934211e-05,2.973807e-05,3.225535e-05,4.398945e-05,5.317795e-05,6.285947e-05,8.281846e-05,8.708262e-05,1.173345e-04,1.227752e-04,1.542083e-04,1.744090e-04,1.981980e-04,2.387752e-04,2.496876e-04,3.089450e-04,3.165863e-04,3.761205e-04,4.081992e-04,4.512488e-04,5.136220e-04,5.342534e-04,6.249536e-04,6.325344e-04,7.230733e-04,7.643201e-04,8.282504e-04,9.081052e-04,9.400480e-04,1.057965e-03,1.062801e-03,1.181448e-03,1.227152e-03,1.309903e-03,1.399774e-03,1.442705e-03,1.579208e-03,1.718757e-03,1.763949e-03,1.860696e-03,1.952490e-03,2.004374e-03,2.143350e-03,2.149154e-03,2.294421e-03,2.335102e-03,2.439582e-03,2.526393e-03,2.584076e-03,2.715964e-03,2.727371e-03,2.868975e-03,2.902657e-03,3.008429e-03,3.085427e-03,3.145315e-03,3.263348e-03,3.279253e-03,3.409903e-03,3.435611e-03,3.536962e-03,3.601525e-03,3.660167e-03,3.760515e-03,3.779293e-03,3.894148e-03,3.912118e-03,4.004576e-03,4.055972e-03,4.110453e-03,4.191814e-03,4.211685e-03,4.308206e-03,4.319470e-03,4.399976e-03,4.438846e-03,4.486981e-03,4.549921e-03,4.569228e-03,4.646743e-03,4.652741e-03,4.719571e-03,4.747403e-03,4.787774e-03,4.834058e-03,4.851428e-03,4.910620e-03,4.912896e-03,4.965450e-03,4.984142e-03,5.016028e-03,5.048050e-03,5.062468e-03,5.104896e-03,5.143439e-03,5.154974e-03,5.178231e-03,5.198592e-03,5.209408e-03,5.236065e-03,5.237108e-03,5.261471e-03,5.267714e-03,5.282637e-03,5.293862e-03,5.300748e-03,5.314830e-03,5.315942e-03,5.328357e-03,5.330938e-03,5.338129e-03,5.342498e-03,5.345394e-03,5.349816e-03,5.350281e-03,5.352920e-03,5.353189e-03,5.353436e-03,5.352906e-03,5.351952e-03,5.349246e-03,5.348586e-03,5.343452e-03,5.342474e-03,5.336663e-03,5.332847e-03,5.328324e-03,5.320607e-03,5.318539e-03,5.307408e-03,5.305987e-03,5.295026e-03,5.289205e-03,5.281483e-03,5.270469e-03,5.266868e-03,5.251263e-03,5.249974e-03,5.234749e-03,5.227906e-03,5.217402e-03,5.204436e-03,5.199293e-03,5.180493e-03,5.179727e-03,5.161065e-03,5.153930e-03,5.141073e-03,5.127185e-03,5.120574e-03,5.099624e-03,5.071369e-03,5.042532e-03,5.013218e-03,4.983523e-03,4.953535e-03,4.923337e-03,4.893003e-03,4.862602e-03,4.832195e-03,4.801839e-03,4.771587e-03,4.741484e-03,4.711573e-03,4.681892e-03,4.652474e-03,4.623351e-03,4.594548e-03,4.566090e-03,4.537998e-03,4.510289e-03,4.482980e-03,4.456083e-03,4.429611e-03,4.403573e-03
0.000000e+00,2.005334e-10,5.409505e-10,2.201304e-09,5.389633e-09,8.067069e-09,1.907808e-08,1.967572e-08,3.888420e-08,4.589051e-08,6.768262e-08,9.047040e-08,1.082652e-07,1.579848e-07,1.629270e-07,2.336394e-07,2.531264e-07,3.211978e-07,3.772016e-07,4.243037e-07,5.252150e-07,5.395405e-07,6.625586e-07,6.877303e-07,7.893790e-07,8.557773e-07,9.169490e-07,1.023077e-06,1.043095e-06,1.166288e-06,1.185647e-06,1.285431e-06,1.340937e-06,1.399724e-06,1.487263e-06,1.508576e-06,1.611561e-06,1.623510e-06,1.708390e-06,1.748996e-06,1.798889e-06,1.863389e-06,1.882989e-06,1.960706e-06,1.966650e-06,2.032132e-06,2.058975e-06,2.097427e-06,2.140754e-06,2.156791e-06,2.210466e-06,2.212499e-06,2.258724e-06,2.274826e-06,2.301853e-06,2.328403e-06,2.340152e-06,2.373926e-06,2.403479e-06,2.412093e-06,2.429108e-06,2.443585e-06,2.451103e-06,2.469056e-06,2.469741e-06,2.485286e-06,2.489119e-06,2.497989e-06,2.504346e-06,2.508086e-06,2.515262e-06,2.515796e-06,2.521325e-06,2.522349e-06,2.524865e-06,2.526045e-06,2.526592e-06,2.526743e-06,2.526671e-06,2.525252e-06,2.524801e-06,2.522476e-06,2.520539e-06,2.518471e-06,2.514244e-06,2.513355e-06,2.507237e-06,2.506171e-06,2.500215e-06,2.496551e-06,2.492381e-06,2.485586e-06,2.483819e-06,2.474606e-06,2.473460e-06,2.464811e-06,2.460334e-06,2.454499e-06,2.446353e-06,2.443729e-06,2.432555e-06,2.431645e-06,2.421025e-06,2.416325e-06,2.409187e-06,2.400494e-06,2.397079e-06,2.384741e-06,2.384243e-06,2.372207e-06,2.367653e-06,2.359508e-06,2.350794e-06,2.346674e-06,2.333730e-06,2.320702e-06,2.316519e-06,2.307611e-06,2.299208e-06,2.294476e-06,2.281844e-06,2.281318e-06,2.268152e-06,2.264466e-06,2.254993e-06,2.247108e-06,2.241856e-06,2.229800e-06,2.228754e-06,2.215697e-06,2.212572e-06,2.202697e-06,2.195445e-06,2.189763e-06,2.178442e-06,2.176903e-06,2.164127e-06,2.161582e-06,2.151439e-06,2.144879e-06,2.138848e-06,2.128349e-06,2.126358e-06,2.113974e-06,2.112003e-06,2.101703e-06,2.095853e-06,2.089546e-06,2.079907e-06,2.077509e-06,2.065594e-06,2.064172e-06,2.053804e-06,2.048656e-06,2.042141e-06,2.033364e-06,2.030608e-06,2.019207e-06,2.018301e-06,2.007939e-06,2.003469e-06,1.996804e-06,1.988872e-06,1.985806e-06,1.974943e-06,1.974511e-06,1.964216e-06,1.960389e-06,1.953627e-06,1.946505e-06,1.943175e-06,1.932861e-06,1.919456e-06,1.906289e-06,1.893360e-06,1.880668e-06,1.868210e-06,1.855985e-06,1.843992e-06,1.832227e-06,1.820689e-06,1.809375e-06,1.798281e-06,1.787406e-06,1.776747e-06,1.766300e-06,1.756062e-06,1.746030e-06,1.736201e-06,1.726572e-06,1.717139e-06,1.707899e-06,1.698849e-06,1.689986e-06,1.681306e-06,1.672805e-06
0.000000e+00,1.398932e-11,3.297038e-11,1.167462e-10,2.687551e-10,3.934152e-10,8.943933e-10,9.212287e-10,1.770250e-09,2.074344e-09,3.004040e-09,3.953176e-09,4.680117e-09,6.657093e-09,6.849946e-09,9.557720e-09,1.029164e-08,1.283673e-08,1.492941e-08,1.670318e-08,2.058784e-08,2.115173e-08,2.615795e-08,2.722306e-08,3.168576e-08,3.475258e-08,3.769319e-08,4.307681e-08,4.413463e-08,5.096145e-08,5.208611e-08,5.812226e-08,6.166241e-08,6.556348e-08,7.168146e-08,7.323019e-08,8.106715e-08,8.201642e-08,8.901987e-08,9.254207e-08,9.703563e-08,1.031389e-07,1.050644e-07,1.130595e-07,1.136964e-07,1.209784e-07,1.241158e-07,1.287826e-07,1.343115e-07,1.364384e-07,1.439167e-07,1.442117e-07,1.511926e-07,1.537584e-07,1.582459e-07,1.629065e-07,1.650602e-07,1.716231e-07,1.779252e-07,1.798858e-07,1.839607e-07,1.876818e-07,1.897261e-07,1.950057e-07,1.952203e-07,2.004444e-07,2.018590e-07,2.054010e-07,2.082483e-07,2.100944e-07,2.141843e-07,2.145298e-07,2.187135e-07,2.196809e-07,2.226525e-07,2.247543e-07,2.263544e-07,2.294223e-07,2.298272e-07,2.330793e-07,2.337039e-07,2.361189e-07,2.376185e-07,2.389548e-07,2.411857e-07,2.415954e-07,2.440493e-07,2.444252e-07,2.463248e-07,2.473561e-07,2.484302e-07,2.499974e-07,2.503735e-07,2.521625e-07,2.523672e-07,2.538048e-07,2.544829e-07,2.553078e-07,2.563613e-07,2.566786e-07,2.579239e-07,2.580184e-07,2.590505e-07,2.594692e-07,2.600645e-07,2.607283e-07,2.609720e-07,2.617788e-07,2.618090e-07,2.624904e-07,2.627243e-07,2.631122e-07,2.634862e-07,2.636491e-07,2.641059e-07,2.644873e-07,2.645942e-07,2.647977e-07,2.649609e-07,2.650411e-07,2.652154e-07,2.652215e-07,2.653427e-07,2.653665e-07,2.654082e-07,2.654223e-07,2.654215e-07,2.653904e-07,2.653858e-07,2.653042e-07,2.652781e-07,2.651795e-07,2.650919e-07,2.650145e-07,2.648381e-07,2.648119e-07,2.645740e-07,2.645225e-07,2.643034e-07,2.641504e-07,2.640022e-07,2.637270e-07,2.636725e-07,2.633163e-07,2.632570e-07,2.629356e-07,2.627446e-07,2.625321e-07,2.621940e-07,2.621075e-07,2.616635e-07,2.616090e-07,2.612016e-07,2.609930e-07,2.607232e-07,2.603494e-07,2.602296e-07,2.597223e-07,2.596812e-07,2.592024e-07,2.589912e-07,2.586711e-07,2.582820e-07,2.581294e-07,2.575784e-07,2.575562e-07,2.570191e-07,2.568159e-07,2.564524e-07,2.560632e-07,2.558791e-07,2.553001e-07,2.545284e-07,2.537497e-07,2.529655e-07,2.521774e-07,2.513865e-07,2.505942e-07,2.498014e-07,2.490094e-07,2.482189e-07,2.474308e-07,2.466460e-07,2.458652e-07,2.450890e-07,2.443180e-07,2.435528e-07,2.427939e-07,2.420418e-07,2.412968e-07,2.405593e-07,2.398297e-07,2.391082e-07,2.383951e-07,2.376907e-07,2.369950e-07
0.000000e+00,7.289070e-12,1.678995e-11,5.796224e-11,1.317645e-10,1.919651e-10,4.329769e-10,4.458732e-10,8.542815e-10,1.000936e-09,1.451026e-09,1.913448e-09,2.269595e-09,3.245640e-09,3.341324e-09,4.689022e-09,5.054470e-09,6.316287e-09,7.342651e-09,8.202029e-09,1.004577e-08,1.030892e-08,1.259665e-08,1.307259e-08,1.502853e-08,1.633916e-08,1.757209e-08,1.977348e-08,2.019803e-08,2.287930e-08,2.331174e-08,2.559083e-08,2.689625e-08,2.830950e-08,3.047540e-08,3.101433e-08,3.368663e-08,3.400433e-08,3.631018e-08,3.744546e-08,3.887121e-08,4.076872e-08,4.135839e-08,4.376267e-08,4.395121e-08,4.607715e-08,4.697661e-08,4.829679e-08,4.983429e-08,5.041828e-08,5.243971e-08,5.251847e-08,5.436040e-08,5.502723e-08,5.618070e-08,5.736172e-08,5.790177e-08,5.952541e-08,6.105395e-08,6.152344e-08,6.249011e-08,6.336213e-08,6.383686e-08,6.504860e-08,6.509741e-08,6.627506e-08,6.659040e-08,6.737318e-08,6.799529e-08,6.839517e-08,6.927108e-08,6.934443e-08,7.022427e-08,7.042547e-08,7.103797e-08,7.146595e-08,7.178873e-08,7.239979e-08,7.247964e-08,7.311370e-08,7.323395e-08,7.369379e-08,7.397504e-08,7.422270e-08,7.462938e-08,7.470308e-08,7.513750e-08,7.520291e-08,7.552840e-08,7.570126e-08,7.587811e-08,7.612973e-08,7.618886e-08,7.646279e-08,7.649328e-08,7.670190e-08,7.679659e-08,7.690814e-08,7.704403e-08,7.708334e-08,7.722924e-08,7.723969e-08,7.734750e-08,7.738742e-08,7.743970e-08,7.749079e-08,7.750734e-08,7.755184e-08,7.755315e-08,7.757454e-08,7.757763e-08,7.757674e-08,7.756715e-08,7.755965e-08,7.752442e-08,7.747214e-08,7.745199e-08,7.740386e-08,7.735222e-08,7.732056e-08,7.722733e-08,7.722318e-08,7.711259e-08,7.707937e-08,7.698963e-08,7.691026e-08,7.685511e-08,7.672178e-08,7.670977e-08,7.655434e-08,7.651560e-08,7.638947e-08,7.629328e-08,7.621583e-08,7.605624e-08,7.603401e-08,7.584459e-08,7.580584e-08,7.564811e-08,7.554333e-08,7.544510e-08,7.526987e-08,7.523603e-08,7.502138e-08,7.498654e-08,7.480158e-08,7.469437e-08,7.457704e-08,7.439427e-08,7.434817e-08,7.411532e-08,7.408713e-08,7.387886e-08,7.377376e-08,7.363912e-08,7.345491e-08,7.339641e-08,7.315103e-08,7.313129e-08,7.290326e-08,7.280355e-08,7.265337e-08,7.247228e-08,7.240162e-08,7.214823e-08,7.213807e-08,7.189345e-08,7.180142e-08,7.163747e-08,7.146283e-08,7.138051e-08,7.112274e-08,7.078159e-08,7.043975e-08,7.009758e-08,6.975540e-08,6.941352e-08,6.907223e-08,6.873179e-08,6.839244e-08,6.805440e-08,6.771789e-08,6.738308e-08,6.705016e-08,6.671929e-08,6.639060e-08,6.606423e-08,6.574032e-08,6.541895e-08,6.510023e-08,6.478427e-08,6.447113e-08,6.416087e-08,6.385359e-08,6.354932e-08,6.324812e-08
0.000000e+00,1.021529e-11,4.832348e-11,4.641630e-10,1.992426e-09,3.827989e-09,1.512416e-08,1.587614e-08,4.555974e-08,5.853279e-08,1.042489e-07,1.587824e-07,2.050599e-07,3.474042e-07,3.624333e-07,5.916763e-07,6.590947e-07,9.078649e-07,1.127797e-06,1.323614e-06,1.777812e-06,1.846248e-06,2.476002e-06,2.614333e-06,3.206341e-06,3.622221e-06,4.025903e-06,4.773195e-06,4.920856e-06,5.876754e-06,6.034411e-06,6.879687e-06,7.373986e-06,7.916822e-06,8.763340e-06,8.976593e-06,1.004871e-05,1.017776e-05,1.112412e-05,1.159627e-05,1.219492e-05,1.300144e-05,1.325433e-05,1.429662e-05,1.437911e-05,1.531702e-05,1.571816e-05,1.631169e-05,1.701021e-05,1.727763e-05,1.821258e-05,1.824930e-05,1.911492e-05,1.943156e-05,1.998362e-05,2.055482e-05,2.081813e-05,2.161829e-05,2.238428e-05,2.262224e-05,2.311653e-05,2.356776e-05,2.381570e-05,2.445652e-05,2.448259e-05,2.511813e-05,2.529059e-05,2.572331e-05,2.607229e-05,2.629921e-05,2.680410e-05,2.684691e-05,2.736752e-05,2.748856e-05,2.786215e-05,2.812820e-05,2.833189e-05,2.872553e-05,2.877782e-05,2.920099e-05,2.928298e-05,2.960242e-05,2.980290e-05,2.998309e-05,3.028752e-05,3.034397e-05,3.068596e-05,3.073898e-05,3.100995e-05,3.115931e-05,3.131677e-05,3.155042e-05,3.160724e-05,3.188213e-05,3.191410e-05,3.214216e-05,3.225205e-05,3.238805e-05,3.256588e-05,3.262046e-05,3.284003e-05,3.285706e-05,3.304736e-05,3.312700e-05,3.324304e-05,3.337702e-05,3.342761e-05,3.360160e-05,3.360835e-05,3.376550e-05,3.382213e-05,3.391980e-05,3.401946e-05,3.406493e-05,3.420133e-05,3.432940e-05,3.436869e-05,3.444953e-05,3.452242e-05,3.456210e-05,3.466337e-05,3.466745e-05,3.476591e-05,3.479229e-05,3.485780e-05,3.490991e-05,3.494343e-05,3.501693e-05,3.502309e-05,3.509703e-05,3.511396e-05,3.516554e-05,3.520162e-05,3.522885e-05,3.528045e-05,3.528720e-05,3.534082e-05,3.535099e-05,3.538992e-05,3.541373e-05,3.543470e-05,3.546912e-05,3.547536e-05,3.551209e-05,3.551761e-05,3.554506e-05,3.555960e-05,3.557444e-05,3.559547e-05,3.560040e-05,3.562308e-05,3.562559e-05,3.564264e-05,3.565029e-05,3.565921e-05,3.566989e-05,3.567293e-05,3.568392e-05,3.568469e-05,3.569231e-05,3.569497e-05,3.569822e-05,3.570100e-05,3.570176e-05,3.570303e-05,3.570303e-05,3.570213e-05,3.570130e-05,3.569917e-05,3.569603e-05,3.569424e-05,3.568743e-05,3.567569e-05,3.566102e-05,3.564358e-05,3.562354e-05,3.560106e-05,3.557629e-05,3.554938e-05,3.552045e-05,3.548964e-05,3.545707e-05,3.542284e-05,3.538708e-05,3.534988e-05,3.531134e-05,3.527155e-05,3.523060e-05,3.518857e-05,3.514555e-05,3.510161e-05,3.505682e-05,3.501124e-05,3.496495e-05,3.491800e-05,3.487045e-05
0.000000e+00,2.656263e-11,1.146824e-10,9.239560e-10,3.432225e-09,6.128332e-09,2.041567e-08,2.129407e-08,5.290294e-08,6.559765e-08,1.075332e-07,1.540728e-07,1.916986e-07,3.007913e-07,3.118835e-07,4.744454e-07,5.204242e-07,6.850554e-07,8.255484e-07,9.476315e-07,1.222769e-06,1.263458e-06,1.631276e-06,1.710839e-06,2.048159e-06,2.283117e-06,2.510413e-06,2.930873e-06,3.014075e-06,3.555075e-06,3.644824e-06,4.129256e-06,4.415397e-06,4.732341e-06,5.232680e-06,5.359951e-06,6.007642e-06,6.086503e-06,6.670966e-06,6.966648e-06,7.345545e-06,7.863145e-06,8.027152e-06,8.711771e-06,8.766556e-06,9.395655e-06,9.668223e-06,1.007537e-05,1.056044e-05,1.074782e-05,1.141027e-05,1.143653e-05,1.206034e-05,1.229092e-05,1.269597e-05,1.311908e-05,1.331548e-05,1.391747e-05,1.450082e-05,1.468341e-05,1.506469e-05,1.541505e-05,1.560847e-05,1.611124e-05,1.613177e-05,1.663436e-05,1.677137e-05,1.711618e-05,1.739532e-05,1.757729e-05,1.798339e-05,1.801788e-05,1.843823e-05,1.853614e-05,1.883868e-05,1.905440e-05,1.921965e-05,1.953917e-05,1.958162e-05,1.992507e-05,1.999158e-05,2.025055e-05,2.041287e-05,2.055860e-05,2.080432e-05,2.084980e-05,2.112473e-05,2.116724e-05,2.138395e-05,2.150298e-05,2.162806e-05,2.181284e-05,2.185762e-05,2.207320e-05,2.209816e-05,2.227537e-05,2.236021e-05,2.246466e-05,2.260024e-05,2.264161e-05,2.280675e-05,2.281947e-05,2.296059e-05,2.301907e-05,2.310361e-05,2.320016e-05,2.323630e-05,2.335911e-05,2.336382e-05,2.347250e-05,2.351110e-05,2.357691e-05,2.364298e-05,2.367273e-05,2.376039e-05,2.384026e-05,2.386424e-05,2.391273e-05,2.395538e-05,2.397814e-05,2.403461e-05,2.403684e-05,2.408916e-05,2.410272e-05,2.413543e-05,2.416041e-05,2.417595e-05,2.420839e-05,2.421100e-05,2.424088e-05,2.424731e-05,2.426585e-05,2.427778e-05,2.428616e-05,2.430038e-05,2.430207e-05,2.431381e-05,2.431568e-05,2.432160e-05,2.432417e-05,2.432568e-05,2.432637e-05,2.432623e-05,2.432346e-05,2.432272e-05,2.431756e-05,2.431367e-05,2.430872e-05,2.429963e-05,2.429709e-05,2.428286e-05,2.428098e-05,2.426617e-05,2.425809e-05,2.424718e-05,2.423129e-05,2.422602e-05,2.420285e-05,2.420092e-05,2.417779e-05,2.416726e-05,2.415096e-05,2.413062e-05,2.412249e-05,2.409248e-05,2.409125e-05,2.406105e-05,2.404940e-05,2.402829e-05,2.400532e-05,2.399432e-05,2.395921e-05,2.391129e-05,2.386174e-05,2.381076e-05,2.375850e-05,2.370514e-05,2.365080e-05,2.359565e-05,2.353979e-05,2.348335e-05,2.342645e-05,2.336919e-05,2.331166e-05,2.325395e-05,2.319615e-05,2.313834e-05,2.308058e-05,2.302295e-05,2.296550e-05,2.290829e-05,2.285138e-05,2.279480e-05,2.273861e-05,2.268285e-05,2.262754e-05
0.000000e+00,2.205910e-10,6.079317e-10,2.550686e-09,6.372206e-09,9.625471e-09,2.318971e-08,2.393061e-08,4.781835e-08,5.653298e-08,8.354231e-08,1.115666e-07,1.332774e-07,1.931756e-07,1.990742e-07,2.826443e-07,3.054758e-07,3.849831e-07,4.505638e-07,5.062069e-07,6.281303e-07,6.458342e-07,8.031236e-07,8.366262e-07,9.771996e-07,1.074024e-06,1.167051e-06,1.337872e-06,1.371516e-06,1.589280e-06,1.625262e-06,1.818900e-06,1.932880e-06,2.058836e-06,2.257138e-06,2.307488e-06,2.563238e-06,2.594328e-06,2.824484e-06,2.940771e-06,3.089676e-06,3.292953e-06,3.357343e-06,3.626109e-06,3.647619e-06,3.894711e-06,4.001846e-06,4.162006e-06,4.353072e-06,4.426975e-06,4.688719e-06,4.699110e-06,4.946461e-06,5.038137e-06,5.199537e-06,5.368676e-06,5.447391e-06,5.689566e-06,5.925688e-06,5.999918e-06,6.155458e-06,6.299070e-06,6.378650e-06,6.586575e-06,6.595102e-06,6.804697e-06,6.862145e-06,7.007369e-06,7.125638e-06,7.203094e-06,7.377031e-06,7.391880e-06,7.573764e-06,7.616397e-06,7.748813e-06,7.843885e-06,7.917111e-06,8.059719e-06,8.078772e-06,8.233923e-06,8.264184e-06,8.382694e-06,8.457575e-06,8.525213e-06,8.640202e-06,8.661624e-06,8.792079e-06,8.812409e-06,8.916729e-06,8.974543e-06,9.035727e-06,9.126961e-06,9.149230e-06,9.257396e-06,9.270024e-06,9.360382e-06,9.404095e-06,9.458346e-06,9.529536e-06,9.551444e-06,9.639831e-06,9.646703e-06,9.723657e-06,9.755945e-06,9.803073e-06,9.857605e-06,9.878227e-06,9.949263e-06,9.952021e-06,1.001632e-05,1.003952e-05,1.007955e-05,1.012043e-05,1.013908e-05,1.019505e-05,1.024758e-05,1.026368e-05,1.029680e-05,1.032663e-05,1.034285e-05,1.038416e-05,1.038583e-05,1.042586e-05,1.043656e-05,1.046307e-05,1.048409e-05,1.049756e-05,1.052699e-05,1.052944e-05,1.055882e-05,1.056551e-05,1.058579e-05,1.059989e-05,1.061046e-05,1.063035e-05,1.063293e-05,1.065328e-05,1.065710e-05,1.067160e-05,1.068036e-05,1.068799e-05,1.070032e-05,1.070252e-05,1.071529e-05,1.071717e-05,1.072636e-05,1.073110e-05,1.073582e-05,1.074228e-05,1.074374e-05,1.075019e-05,1.075087e-05,1.075524e-05,1.075703e-05,1.075895e-05,1.076092e-05,1.076140e-05,1.076264e-05,1.076268e-05,1.076273e-05,1.076246e-05,1.076173e-05,1.076037e-05,1.075970e-05,1.075669e-05,1.075655e-05,1.075275e-05,1.075111e-05,1.074793e-05,1.074418e-05,1.074229e-05,1.073586e-05,1.072624e-05,1.071544e-05,1.070353e-05,1.069062e-05,1.067678e-05,1.066209e-05,1.064663e-05,1.063047e-05,1.061367e-05,1.059631e-05,1.057843e-05,1.056009e-05,1.054136e-05,1.052227e-05,1.050288e-05,1.048323e-05,1.046336e-05,1.044332e-05,1.042313e-05,1.040284e-05,1.038247e-05,1.036206e-05,1.034163e-05,1.032122e-05
0.000000e+00,1.204194e-10,3.796749e-10,1.865864e-09,5.031508e-09,7.817784e-09,1.976844e-08,2.042976e-08,4.197290e-08,4.990014e-08,7.459587e-08,1.003546e-07,1.203772e-07,1.758562e-07,1.813373e-07,2.593405e-07,2.807696e-07,3.557956e-07,4.181076e-07,4.712142e-07,5.880153e-07,6.049964e-07,7.557096e-07,7.877290e-07,9.215720e-07,1.013200e-06,1.100759e-06,1.260275e-06,1.291497e-06,1.492056e-06,1.524943e-06,1.700730e-06,1.803279e-06,1.915829e-06,2.091411e-06,2.135683e-06,2.358666e-06,2.385559e-06,2.583211e-06,2.682120e-06,2.807835e-06,2.977749e-06,3.031159e-06,3.251926e-06,3.269443e-06,3.469008e-06,3.554582e-06,3.681412e-06,3.830964e-06,3.888287e-06,4.088914e-06,4.096800e-06,4.282707e-06,4.350706e-06,4.469201e-06,4.591660e-06,4.648036e-06,4.818959e-06,4.981815e-06,5.032209e-06,5.136518e-06,5.231237e-06,5.283048e-06,5.416070e-06,5.421451e-06,5.551825e-06,5.586908e-06,5.674305e-06,5.744073e-06,5.789061e-06,5.887986e-06,5.896293e-06,5.996223e-06,6.019146e-06,6.089088e-06,6.138101e-06,6.175143e-06,6.245443e-06,6.254646e-06,6.327860e-06,6.341771e-06,6.395048e-06,6.427692e-06,6.456474e-06,6.503814e-06,6.512404e-06,6.563093e-06,6.570734e-06,6.608797e-06,6.629037e-06,6.649763e-06,6.679288e-06,6.686234e-06,6.718444e-06,6.722034e-06,6.746622e-06,6.757799e-06,6.770986e-06,6.787083e-06,6.791749e-06,6.809115e-06,6.810363e-06,6.823279e-06,6.828091e-06,6.834430e-06,6.840693e-06,6.842747e-06,6.848402e-06,6.848575e-06,6.851561e-06,6.852117e-06,6.852380e-06,6.851677e-06,6.851010e-06,6.847592e-06,6.842265e-06,6.840178e-06,6.835157e-06,6.829730e-06,6.826391e-06,6.816525e-06,6.816084e-06,6.804349e-06,6.800822e-06,6.791290e-06,6.782862e-06,6.777008e-06,6.762870e-06,6.761598e-06,6.745149e-06,6.741057e-06,6.727748e-06,6.717617e-06,6.709474e-06,6.692732e-06,6.690404e-06,6.670611e-06,6.666571e-06,6.650161e-06,6.639290e-06,6.629121e-06,6.611034e-06,6.607550e-06,6.585505e-06,6.581938e-06,6.563041e-06,6.552124e-06,6.540208e-06,6.521709e-06,6.517055e-06,6.493625e-06,6.490797e-06,6.469963e-06,6.459487e-06,6.446106e-06,6.427868e-06,6.422092e-06,6.397957e-06,6.396022e-06,6.373733e-06,6.364025e-06,6.349450e-06,6.331947e-06,6.325138e-06,6.300822e-06,6.299850e-06,6.276528e-06,6.267792e-06,6.252279e-06,6.235827e-06,6.228097e-06,6.204001e-06,6.172360e-06,6.140941e-06,6.109780e-06,6.078909e-06,6.048357e-06,6.018149e-06,5.988307e-06,5.958852e-06,5.929800e-06,5.901168e-06,5.872967e-06,5.845210e-06,5.817905e-06,5.791060e-06,5.764682e-06,5.738775e-06,5.713343e-06,5.688388e-06,5.663912e-06,5.639914e-06,5.616395e-06,5.593353e-06,5.570786e-06,5.548690e-06
0.000000e+00,1.152412e-11,2.670491e-11,9.289864e-11,2.121842e-10,3.097936e-10,7.020519e-10,7.230879e-10,1.390823e-09,1.631162e-09,2.370128e-09,3.131167e-09,3.718523e-09,5.334628e-09,5.493670e-09,7.749898e-09,8.368086e-09,1.052911e-08,1.232088e-08,1.384577e-08,1.718948e-08,1.767406e-08,2.195078e-08,2.285284e-08,2.659437e-08,2.912682e-08,3.152387e-08,3.583287e-08,3.666762e-08,4.196428e-08,4.282230e-08,4.736099e-08,4.997315e-08,5.281148e-08,5.718294e-08,5.827484e-08,6.371483e-08,6.436449e-08,6.909953e-08,7.144399e-08,7.440120e-08,7.836015e-08,7.959604e-08,8.466410e-08,8.506355e-08,8.958898e-08,9.151582e-08,9.435765e-08,9.768862e-08,9.896006e-08,1.033889e-07,1.035623e-07,1.076392e-07,1.091249e-07,1.117080e-07,1.143705e-07,1.155942e-07,1.192981e-07,1.228213e-07,1.239110e-07,1.261664e-07,1.282152e-07,1.293366e-07,1.322193e-07,1.323360e-07,1.351691e-07,1.359333e-07,1.378408e-07,1.393684e-07,1.403560e-07,1.425365e-07,1.427202e-07,1.449388e-07,1.454501e-07,1.470170e-07,1.481216e-07,1.489605e-07,1.505635e-07,1.507745e-07,1.524645e-07,1.527881e-07,1.540357e-07,1.548074e-07,1.554931e-07,1.566332e-07,1.568419e-07,1.580868e-07,1.582767e-07,1.592326e-07,1.597487e-07,1.602839e-07,1.610599e-07,1.612451e-07,1.621205e-07,1.622200e-07,1.629143e-07,1.632387e-07,1.636303e-07,1.641249e-07,1.642725e-07,1.648445e-07,1.648874e-07,1.653499e-07,1.655342e-07,1.657920e-07,1.660730e-07,1.661742e-07,1.664994e-07,1.665113e-07,1.667708e-07,1.668559e-07,1.669912e-07,1.671133e-07,1.671633e-07,1.672898e-07,1.673731e-07,1.673911e-07,1.674158e-07,1.674228e-07,1.674200e-07,1.673899e-07,1.673879e-07,1.673218e-07,1.672974e-07,1.672235e-07,1.671498e-07,1.670949e-07,1.669515e-07,1.669379e-07,1.667543e-07,1.667064e-07,1.665457e-07,1.664185e-07,1.663136e-07,1.660912e-07,1.660596e-07,1.657851e-07,1.657278e-07,1.654915e-07,1.653316e-07,1.651800e-07,1.649055e-07,1.648520e-07,1.645085e-07,1.644522e-07,1.641508e-07,1.639743e-07,1.637799e-07,1.634743e-07,1.633967e-07,1.630023e-07,1.629543e-07,1.625976e-07,1.624165e-07,1.621834e-07,1.618629e-07,1.617606e-07,1.613300e-07,1.612952e-07,1.608922e-07,1.607153e-07,1.604481e-07,1.601247e-07,1.599982e-07,1.595433e-07,1.595250e-07,1.590838e-07,1.589174e-07,1.586204e-07,1.583034e-07,1.581537e-07,1.576841e-07,1.570606e-07,1.564340e-07,1.558052e-07,1.551752e-07,1.545447e-07,1.539145e-07,1.532854e-07,1.526580e-07,1.520328e-07,1.514105e-07,1.507915e-07,1.501764e-07,1.495655e-07,1.489592e-07,1.483579e-07,1.477619e-07,1.471715e-07,1.465869e-07,1.460084e-07,1.454363e-07,1.448706e-07,1.443116e-07,1.437594e-07,1.432141e-07
0.000000e+00,1.627769e-10,8.380552e-10,9.575926e-09,4.802841e-08,1.003947e-07,4.911905e-07,5.200466e-07,1.832570e-06,2.486415e-06,5.066448e-06,8.580685e-06,1.185916e-05,2.328686e-05,2.459520e-05,4.652952e-05,5.360939e-05,8.186919e-05,1.094006e-04,1.357713e-04,2.033082e-04,2.142361e-04,3.239158e-04,3.502152e-04,4.718809e-04,5.663588e-04,6.653796e-04,8.683798e-04,9.116111e-04,1.217522e-03,1.272450e-03,1.589632e-03,1.793528e-03,2.033880e-03,2.444761e-03,2.555499e-03,3.158912e-03,3.236996e-03,3.847652e-03,4.178429e-03,4.624297e-03,5.274348e-03,5.490428e-03,6.446610e-03,6.526988e-03,7.492388e-03,7.935492e-03,8.626301e-03,9.495962e-03,9.845915e-03,1.114787e-02,1.120161e-02,1.252795e-02,1.304297e-02,1.398116e-02,1.500823e-02,1.550179e-02,1.708355e-02,1.871962e-02,1.925346e-02,2.040280e-02,2.150130e-02,2.212558e-02,2.380956e-02,2.388026e-02,2.565904e-02,2.616036e-02,2.745413e-02,2.853578e-02,2.925779e-02,3.091825e-02,3.106249e-02,3.286089e-02,3.329079e-02,3.464599e-02,3.563733e-02,3.641111e-02,3.794291e-02,3.814999e-02,3.985678e-02,4.019381e-02,4.152611e-02,4.237771e-02,4.315308e-02,4.448376e-02,4.473328e-02,4.626281e-02,4.650259e-02,4.773822e-02,4.842633e-02,4.915661e-02,5.024858e-02,5.051550e-02,5.181290e-02,5.196437e-02,5.304724e-02,5.357006e-02,5.421738e-02,5.506327e-02,5.532257e-02,5.636242e-02,5.644278e-02,5.733688e-02,5.770841e-02,5.824624e-02,5.886095e-02,5.909103e-02,5.987207e-02,5.990200e-02,6.059040e-02,6.083388e-02,6.124727e-02,6.165955e-02,6.184409e-02,6.238245e-02,6.286406e-02,6.300648e-02,6.329073e-02,6.353585e-02,6.366438e-02,6.397504e-02,6.398699e-02,6.426060e-02,6.432871e-02,6.448727e-02,6.460162e-02,6.466911e-02,6.479860e-02,6.480821e-02,6.490669e-02,6.492451e-02,6.496663e-02,6.498414e-02,6.499011e-02,6.498222e-02,6.497916e-02,6.493578e-02,6.492338e-02,6.486193e-02,6.481213e-02,6.475953e-02,6.465280e-02,6.463042e-02,6.447641e-02,6.444957e-02,6.429923e-02,6.420645e-02,6.410056e-02,6.392725e-02,6.388203e-02,6.364516e-02,6.361558e-02,6.339146e-02,6.327487e-02,6.312235e-02,6.290834e-02,6.283916e-02,6.254321e-02,6.251902e-02,6.223570e-02,6.210973e-02,6.191782e-02,6.168313e-02,6.159065e-02,6.125525e-02,6.124167e-02,6.091259e-02,6.078764e-02,6.056362e-02,6.032315e-02,6.020919e-02,5.985013e-02,5.937038e-02,5.888554e-02,5.839712e-02,5.790647e-02,5.741486e-02,5.692339e-02,5.643311e-02,5.594491e-02,5.545963e-02,5.497800e-02,5.450067e-02,5.402822e-02,5.356114e-02,5.309990e-02,5.264486e-02,5.219637e-02,5.175469e-02,5.132007e-02,5.089270e-02,5.047273e-02,5.006029e-02,4.965547e-02,4.925833e-02,4.886891e-02
0.000000e+00,4.694208e-11,2.412845e-10,2.747654e-09,1.373861e-08,2.866990e-08,1.396689e-07,1.478485e-07,5.188150e-07,7.031273e-07,1.428670e-06,2.414088e-06,3.331445e-06,6.519702e-06,6.884035e-06,1.297915e-05,1.494289e-05,2.277250e-05,3.039494e-05,3.769684e-05,5.641793e-05,5.945082e-05,8.995255e-05,9.728230e-05,1.312589e-04,1.577048e-04,1.854637e-04,2.424499e-04,2.545928e-04,3.405096e-04,3.559267e-04,4.448390e-04,5.018602e-04,5.689114e-04,6.830684e-04,7.137275e-04,8.799389e-04,9.013399e-04,1.067845e-03,1.157397e-03,1.277401e-03,1.450925e-03,1.508234e-03,1.759672e-03,1.780650e-03,2.030767e-03,2.144451e-03,2.320335e-03,2.539488e-03,2.626985e-03,2.949163e-03,2.962349e-03,3.285181e-03,3.409194e-03,3.633256e-03,3.875894e-03,3.991544e-03,4.358168e-03,4.731252e-03,4.851699e-03,5.108940e-03,5.352238e-03,5.489422e-03,5.855693e-03,5.870953e-03,6.251871e-03,6.358201e-03,6.630603e-03,6.856180e-03,7.005685e-03,7.346367e-03,7.375759e-03,7.739586e-03,7.825848e-03,8.096045e-03,8.292065e-03,8.444134e-03,8.742824e-03,8.782969e-03,9.111781e-03,9.176282e-03,9.429917e-03,9.590942e-03,9.736828e-03,9.985629e-03,1.003207e-02,1.031529e-02,1.035947e-02,1.058623e-02,1.071186e-02,1.084471e-02,1.104246e-02,1.109064e-02,1.132398e-02,1.135114e-02,1.154478e-02,1.163797e-02,1.175311e-02,1.190320e-02,1.194912e-02,1.213301e-02,1.214720e-02,1.230498e-02,1.237050e-02,1.246531e-02,1.257370e-02,1.261428e-02,1.275220e-02,1.275749e-02,1.287940e-02,1.292263e-02,1.299622e-02,1.306993e-02,1.310304e-02,1.320021e-02,1.328811e-02,1.331434e-02,1.336711e-02,1.341318e-02,1.343760e-02,1.349761e-02,1.349995e-02,1.355453e-02,1.356847e-02,1.360171e-02,1.362662e-02,1.364186e-02,1.367288e-02,1.367532e-02,1.370246e-02,1.370807e-02,1.372360e-02,1.373294e-02,1.373907e-02,1.374826e-02,1.374920e-02,1.375430e-02,1.375474e-02,1.375465e-02,1.375306e-02,1.375056e-02,1.374388e-02,1.374229e-02,1.373011e-02,1.372782e-02,1.371427e-02,1.370545e-02,1.369503e-02,1.367733e-02,1.367260e-02,1.364721e-02,1.364397e-02,1.361907e-02,1.360587e-02,1.358838e-02,1.356348e-02,1.355534e-02,1.352013e-02,1.351722e-02,1.348291e-02,1.346750e-02,1.344386e-02,1.341468e-02,1.340311e-02,1.336084e-02,1.335911e-02,1.331716e-02,1.330112e-02,1.327221e-02,1.324098e-02,1.322611e-02,1.317899e-02,1.311539e-02,1.305042e-02,1.298430e-02,1.291722e-02,1.284937e-02,1.278091e-02,1.271200e-02,1.264279e-02,1.257339e-02,1.250393e-02,1.243451e-02,1.236523e-02,1.229618e-02,1.222744e-02,1.215909e-02,1.209118e-02,1.202377e-02,1.195693e-02,1.189069e-02,1.182510e-02,1.176019e-02,1.169600e-02,1.163256e-02,1.156988e-02
0.000000e+00,1.935781e-11,9.467175e-11,9.729397e-10,4.434585e-09,8.800072e-09,3.773445e-08,3.974098e-08,1.234624e-07,1.620425e-07,3.044536e-07,4.841402e-07,6.430112e-07,1.158982e-06,1.215414e-06,2.109770e-06,2.382346e-06,3.414440e-06,4.352722e-06,5.203186e-06,7.217428e-06,7.525212e-06,1.040327e-05,1.104596e-05,1.383752e-05,1.583813e-05,1.781135e-05,2.154618e-05,2.229686e-05,2.725886e-05,2.809438e-05,3.265748e-05,3.539136e-05,3.844972e-05,4.333664e-05,4.459045e-05,5.103306e-05,5.182422e-05,5.773012e-05,6.074514e-05,6.463396e-05,6.999012e-05,7.169742e-05,7.887452e-05,7.945225e-05,8.612108e-05,8.902973e-05,9.339540e-05,9.862819e-05,1.006587e-04,1.078754e-04,1.081627e-04,1.150138e-04,1.175588e-04,1.220455e-04,1.267535e-04,1.289460e-04,1.356944e-04,1.422733e-04,1.443403e-04,1.486682e-04,1.526591e-04,1.548679e-04,1.606279e-04,1.608637e-04,1.666493e-04,1.682310e-04,1.722205e-04,1.754593e-04,1.775750e-04,1.823089e-04,1.827119e-04,1.876318e-04,1.887804e-04,1.923363e-04,1.948776e-04,1.968279e-04,2.006073e-04,2.011102e-04,2.051870e-04,2.059781e-04,2.090628e-04,2.110005e-04,2.127426e-04,2.156859e-04,2.162315e-04,2.195349e-04,2.200466e-04,2.226583e-04,2.240953e-04,2.256073e-04,2.278448e-04,2.283877e-04,2.310050e-04,2.313084e-04,2.334651e-04,2.344991e-04,2.357734e-04,2.374297e-04,2.379356e-04,2.399570e-04,2.401128e-04,2.418431e-04,2.425608e-04,2.435991e-04,2.447857e-04,2.452300e-04,2.467410e-04,2.467990e-04,2.481368e-04,2.486120e-04,2.494222e-04,2.502356e-04,2.506018e-04,2.516801e-04,2.526613e-04,2.529555e-04,2.535497e-04,2.540715e-04,2.543493e-04,2.550371e-04,2.550641e-04,2.556978e-04,2.558612e-04,2.562541e-04,2.565522e-04,2.567365e-04,2.571180e-04,2.571484e-04,2.574932e-04,2.575663e-04,2.577739e-04,2.579043e-04,2.579937e-04,2.581390e-04,2.581555e-04,2.582620e-04,2.582770e-04,2.583162e-04,2.583244e-04,2.583204e-04,2.582873e-04,2.582774e-04,2.581894e-04,2.581713e-04,2.580589e-04,2.579818e-04,2.578880e-04,2.577237e-04,2.576790e-04,2.574338e-04,2.574020e-04,2.571545e-04,2.570212e-04,2.568429e-04,2.565856e-04,2.565009e-04,2.561302e-04,2.560994e-04,2.557325e-04,2.555663e-04,2.553095e-04,2.549900e-04,2.548625e-04,2.543932e-04,2.543740e-04,2.539029e-04,2.537216e-04,2.533931e-04,2.530358e-04,2.528648e-04,2.523195e-04,2.515756e-04,2.508065e-04,2.500148e-04,2.492026e-04,2.483723e-04,2.475257e-04,2.466649e-04,2.457916e-04,2.449076e-04,2.440143e-04,2.431133e-04,2.422060e-04,2.412937e-04,2.403776e-04,2.394588e-04,2.385384e-04,2.376175e-04,2.366969e-04,2.357775e-04,2.348602e-04,2.339456e-04,2.330345e-04,2.321274e-04,2.312251e-04
0.000000e+00,5.409990e-10,1.578423e-09,7.064014e-09,1.823373e-08,2.792715e-08,6.951885e-08,7.183803e-08,1.489740e-07,1.782003e-07,2.721886e-07,3.746161e-07,4.568628e-07,6.928083e-07,7.165022e-07,1.054096e-06,1.145792e-06,1.459723e-06,1.711041e-06,1.918632e-06,2.356398e-06,2.418147e-06,2.948872e-06,3.058107e-06,3.503669e-06,3.799690e-06,4.076643e-06,4.568138e-06,4.662547e-06,5.256514e-06,5.351987e-06,5.853973e-06,6.140728e-06,6.450656e-06,6.924795e-06,7.042642e-06,7.626414e-06,7.695764e-06,8.198883e-06,8.446490e-06,8.757401e-06,9.171171e-06,9.299761e-06,9.824179e-06,9.865314e-06,1.032926e-05,1.052564e-05,1.081398e-05,1.114996e-05,1.127763e-05,1.171980e-05,1.173703e-05,1.214024e-05,1.228628e-05,1.253896e-05,1.279776e-05,1.291612e-05,1.327204e-05,1.360712e-05,1.371003e-05,1.392187e-05,1.411289e-05,1.421684e-05,1.448197e-05,1.449265e-05,1.474995e-05,1.481876e-05,1.498941e-05,1.512480e-05,1.521171e-05,1.540168e-05,1.541756e-05,1.560764e-05,1.565099e-05,1.578264e-05,1.587431e-05,1.594324e-05,1.607318e-05,1.609010e-05,1.622388e-05,1.624912e-05,1.634521e-05,1.640358e-05,1.645471e-05,1.653798e-05,1.655297e-05,1.664058e-05,1.665365e-05,1.671811e-05,1.675189e-05,1.678608e-05,1.683392e-05,1.684501e-05,1.689541e-05,1.690091e-05,1.693776e-05,1.695396e-05,1.697251e-05,1.699412e-05,1.700012e-05,1.702099e-05,1.702238e-05,1.703554e-05,1.703967e-05,1.704415e-05,1.704688e-05,1.704719e-05,1.704501e-05,1.704482e-05,1.703796e-05,1.703429e-05,1.702634e-05,1.701600e-05,1.701048e-05,1.699065e-05,1.696714e-05,1.695888e-05,1.694020e-05,1.692129e-05,1.691010e-05,1.687844e-05,1.687706e-05,1.684132e-05,1.683086e-05,1.680309e-05,1.677904e-05,1.676257e-05,1.672343e-05,1.671995e-05,1.667542e-05,1.666447e-05,1.662915e-05,1.660254e-05,1.658130e-05,1.653802e-05,1.653204e-05,1.648149e-05,1.647124e-05,1.642981e-05,1.640253e-05,1.637713e-05,1.633218e-05,1.632356e-05,1.626922e-05,1.626046e-05,1.621422e-05,1.618762e-05,1.615867e-05,1.611389e-05,1.610265e-05,1.604627e-05,1.603948e-05,1.598960e-05,1.596460e-05,1.593273e-05,1.588942e-05,1.587573e-05,1.581867e-05,1.581410e-05,1.576161e-05,1.573880e-05,1.570462e-05,1.566366e-05,1.564775e-05,1.559106e-05,1.558880e-05,1.553460e-05,1.551433e-05,1.547840e-05,1.544037e-05,1.542252e-05,1.536699e-05,1.529430e-05,1.522236e-05,1.515124e-05,1.508100e-05,1.501170e-05,1.494338e-05,1.487609e-05,1.480985e-05,1.474470e-05,1.468067e-05,1.461778e-05,1.455603e-05,1.449546e-05,1.443607e-05,1.437786e-05,1.432084e-05,1.426501e-05,1.421037e-05,1.415692e-05,1.410465e-05,1.405356e-05,1.400363e-05,1.395487e-05,1.390725e-05
0.000000e+00,4.592995e-11,2.364153e-10,2.700104e-09,1.353662e-08,2.828880e-08,1.383049e-07,1.464250e-07,5.154967e-07,6.992054e-07,1.423444e-06,2.408617e-06,3.326632e-06,6.520491e-06,6.885658e-06,1.299690e-05,1.496608e-05,2.281562e-05,3.045235e-05,3.776177e-05,5.647217e-05,5.949933e-05,8.988840e-05,9.717805e-05,1.309189e-04,1.571392e-04,1.846366e-04,2.410511e-04,2.530714e-04,3.381715e-04,3.534574e-04,4.417466e-04,4.985098e-04,5.654199e-04,6.797772e-04,7.105895e-04,8.783989e-04,9.001016e-04,1.069715e-03,1.161500e-03,1.285113e-03,1.465106e-03,1.524874e-03,1.788979e-03,1.811152e-03,2.077120e-03,2.198985e-03,2.388712e-03,2.627113e-03,2.722907e-03,3.078619e-03,3.093277e-03,3.454545e-03,3.594546e-03,3.849196e-03,4.127418e-03,4.260922e-03,4.687942e-03,5.128377e-03,5.271832e-03,5.580274e-03,5.874583e-03,6.041638e-03,6.491587e-03,6.510458e-03,6.984727e-03,7.118228e-03,7.462469e-03,7.749978e-03,7.941759e-03,8.382471e-03,8.420735e-03,8.897618e-03,9.011569e-03,9.370721e-03,9.633414e-03,9.838462e-03,1.024446e-02,1.029937e-02,1.075208e-02,1.084153e-02,1.119536e-02,1.142176e-02,1.162808e-02,1.198269e-02,1.204927e-02,1.245802e-02,1.252221e-02,1.285358e-02,1.303858e-02,1.323531e-02,1.353037e-02,1.360266e-02,1.395520e-02,1.399649e-02,1.429259e-02,1.443617e-02,1.461457e-02,1.484888e-02,1.492100e-02,1.521179e-02,1.523437e-02,1.548692e-02,1.559261e-02,1.574647e-02,1.592376e-02,1.599056e-02,1.621935e-02,1.622818e-02,1.643307e-02,1.650637e-02,1.663198e-02,1.675895e-02,1.681641e-02,1.698667e-02,1.714314e-02,1.719036e-02,1.728621e-02,1.737092e-02,1.741628e-02,1.752932e-02,1.753378e-02,1.763916e-02,1.766655e-02,1.773284e-02,1.778363e-02,1.781529e-02,1.788161e-02,1.788696e-02,1.794831e-02,1.796154e-02,1.799978e-02,1.802447e-02,1.804184e-02,1.807142e-02,1.807493e-02,1.809948e-02,1.810340e-02,1.811593e-02,1.812143e-02,1.812471e-02,1.812644e-02,1.812621e-02,1.812086e-02,1.811940e-02,1.810904e-02,1.810118e-02,1.809113e-02,1.807267e-02,1.806751e-02,1.803851e-02,1.803469e-02,1.800450e-02,1.798803e-02,1.796580e-02,1.793344e-02,1.792272e-02,1.787558e-02,1.787164e-02,1.782466e-02,1.780330e-02,1.777025e-02,1.772906e-02,1.771261e-02,1.765199e-02,1.764951e-02,1.758865e-02,1.756523e-02,1.752282e-02,1.747674e-02,1.745471e-02,1.738453e-02,1.728907e-02,1.719078e-02,1.709007e-02,1.698730e-02,1.688283e-02,1.677696e-02,1.666999e-02,1.656219e-02,1.645382e-02,1.634509e-02,1.623621e-02,1.612738e-02,1.601877e-02,1.591054e-02,1.580283e-02,1.569577e-02,1.558948e-02,1.548405e-02,1.537959e-02,1.527618e-02,1.517390e-02,1.507280e-02,1.497294e-02,1.487438e-02
0.000000e+00,1.504912e-11,7.696399e-11,8.673205e-10,4.295839e-09,8.918590e-09,4.288665e-08,4.537479e-08,1.572916e-07,2.124981e-07,4.285191e-07,7.200057e-07,9.902008e-07,1.924505e-06,2.030958e-06,3.806310e-06,4.376653e-06,6.644924e-06,8.845471e-06,1.094678e-05,1.630466e-05,1.716867e-05,2.579746e-05,2.785507e-05,3.731729e-05,4.460158e-05,5.217785e-05,6.752954e-05,7.076857e-05,9.340055e-05,9.741285e-05,1.202959e-04,1.347615e-04,1.515836e-04,1.798038e-04,1.873001e-04,2.273939e-04,2.324938e-04,2.717326e-04,2.925360e-04,3.201115e-04,3.594194e-04,3.722637e-04,4.278705e-04,4.324577e-04,4.865717e-04,5.108317e-04,5.479760e-04,5.936299e-04,6.116710e-04,6.772325e-04,6.798877e-04,7.442323e-04,7.686224e-04,8.122464e-04,8.588636e-04,8.808610e-04,9.496784e-04,1.018321e-03,1.040192e-03,1.086437e-03,1.129602e-03,1.153698e-03,1.217190e-03,1.219809e-03,1.284500e-03,1.302326e-03,1.347535e-03,1.384473e-03,1.408706e-03,1.463185e-03,1.467837e-03,1.524778e-03,1.538105e-03,1.579410e-03,1.608958e-03,1.631635e-03,1.675548e-03,1.681385e-03,1.728610e-03,1.737749e-03,1.773281e-03,1.795498e-03,1.815390e-03,1.848786e-03,1.854944e-03,1.891963e-03,1.897654e-03,1.926485e-03,1.942180e-03,1.958553e-03,1.982479e-03,1.988224e-03,2.015562e-03,2.018690e-03,2.040638e-03,2.050973e-03,2.063526e-03,2.079507e-03,2.084307e-03,2.103065e-03,2.104480e-03,2.119883e-03,2.126088e-03,2.134850e-03,2.144529e-03,2.148053e-03,2.159578e-03,2.160005e-03,2.169512e-03,2.172716e-03,2.177941e-03,2.182856e-03,2.184948e-03,2.190616e-03,2.195024e-03,2.196181e-03,2.198249e-03,2.199727e-03,2.200367e-03,2.201424e-03,2.201449e-03,2.201565e-03,2.201433e-03,2.200781e-03,2.199906e-03,2.199162e-03,2.196985e-03,2.196766e-03,2.193654e-03,2.192806e-03,2.189878e-03,2.187493e-03,2.185491e-03,2.181165e-03,2.180543e-03,2.175081e-03,2.173930e-03,2.169147e-03,2.165890e-03,2.162785e-03,2.157137e-03,2.156032e-03,2.148926e-03,2.147758e-03,2.141501e-03,2.137833e-03,2.133789e-03,2.127435e-03,2.125822e-03,2.117627e-03,2.116630e-03,2.109231e-03,2.105479e-03,2.100658e-03,2.094040e-03,2.091933e-03,2.083076e-03,2.082362e-03,2.074107e-03,2.070493e-03,2.065046e-03,2.058474e-03,2.055909e-03,2.046713e-03,2.046344e-03,2.037473e-03,2.034138e-03,2.028202e-03,2.021887e-03,2.018913e-03,2.009619e-03,1.997359e-03,1.985131e-03,1.972955e-03,1.960850e-03,1.948831e-03,1.936913e-03,1.925108e-03,1.913429e-03,1.901884e-03,1.890483e-03,1.879233e-03,1.868140e-03,1.857210e-03,1.846447e-03,1.835855e-03,1.825437e-03,1.815196e-03,1.805133e-03,1.795250e-03,1.785547e-03,1.776026e-03,1.766685e-03,1.757525e-03,1.748545e-03
0.000000e+00,1.085845e-10,3.837699e-10,2.206829e-09,6.486529e-09,1.042263e-08,2.798365e-08,2.897359e-08,6.172587e-08,7.393849e-08,1.122976e-07,1.526372e-07,1.841425e-07,2.718429e-07,2.805289e-07,4.043783e-07,4.384595e-07,5.579523e-07,6.574302e-07,7.424122e-07,9.299809e-07,9.573152e-07,1.200191e-06,1.251752e-06,1.466436e-06,1.612078e-06,1.749778e-06,1.995904e-06,2.043262e-06,2.340347e-06,2.387834e-06,2.635615e-06,2.775447e-06,2.924968e-06,3.150194e-06,3.205483e-06,3.475148e-06,3.506709e-06,3.732632e-06,3.841837e-06,3.977102e-06,4.153900e-06,4.208095e-06,4.425426e-06,4.442222e-06,4.629123e-06,4.706823e-06,4.819376e-06,4.948206e-06,4.996498e-06,5.160891e-06,5.167209e-06,5.313025e-06,5.364890e-06,5.453414e-06,5.542444e-06,5.582597e-06,5.701133e-06,5.809582e-06,5.842247e-06,5.908500e-06,5.967057e-06,5.998430e-06,6.076799e-06,6.079902e-06,6.153431e-06,6.172663e-06,6.219509e-06,6.255776e-06,6.278607e-06,6.327200e-06,6.331176e-06,6.377644e-06,6.387934e-06,6.418419e-06,6.438910e-06,6.453884e-06,6.480990e-06,6.484402e-06,6.510314e-06,6.514973e-06,6.531941e-06,6.541595e-06,6.549586e-06,6.561540e-06,6.563534e-06,6.574052e-06,6.575433e-06,6.581390e-06,6.583853e-06,6.585784e-06,6.587327e-06,6.587453e-06,6.586605e-06,6.586344e-06,6.583433e-06,6.581348e-06,6.578118e-06,6.572750e-06,6.570829e-06,6.561725e-06,6.560922e-06,6.550953e-06,6.546209e-06,6.538653e-06,6.528924e-06,6.524954e-06,6.509977e-06,6.509353e-06,6.493835e-06,6.487759e-06,6.476633e-06,6.464381e-06,6.458470e-06,6.439438e-06,6.419623e-06,6.413130e-06,6.399104e-06,6.385637e-06,6.377956e-06,6.357127e-06,6.356249e-06,6.334047e-06,6.327750e-06,6.311410e-06,6.297643e-06,6.288395e-06,6.266932e-06,6.265054e-06,6.241435e-06,6.235730e-06,6.217583e-06,6.204141e-06,6.193541e-06,6.172258e-06,6.169348e-06,6.145039e-06,6.140166e-06,6.120648e-06,6.107942e-06,6.096206e-06,6.075656e-06,6.071741e-06,6.047281e-06,6.043370e-06,6.022851e-06,6.011141e-06,5.998472e-06,5.979020e-06,5.974165e-06,5.949952e-06,5.947053e-06,5.925848e-06,5.915282e-06,5.901871e-06,5.883742e-06,5.878035e-06,5.854354e-06,5.852467e-06,5.830841e-06,5.821486e-06,5.807508e-06,5.790824e-06,5.784364e-06,5.761419e-06,5.760505e-06,5.738681e-06,5.730548e-06,5.716159e-06,5.700971e-06,5.693860e-06,5.671789e-06,5.643015e-06,5.614661e-06,5.586734e-06,5.559245e-06,5.532197e-06,5.505598e-06,5.479449e-06,5.453754e-06,5.428515e-06,5.403732e-06,5.379404e-06,5.355532e-06,5.332113e-06,5.309146e-06,5.286628e-06,5.264555e-06,5.242923e-06,5.221730e-06,5.200970e-06,5.180638e-06,5.160731e-06,5.141241e-06,5.122165e-06,5.103497e-06
0.000000e+00,1.551811e-11,7.900963e-11,8.824470e-10,4.336702e-09,8.965925e-09,4.266658e-08,4.512321e-08,1.548708e-07,2.086729e-07,4.180331e-07,6.986689e-07,9.575429e-07,1.846672e-06,1.947528e-06,3.620268e-06,4.154700e-06,6.269880e-06,8.309670e-06,1.024883e-05,1.516476e-05,1.595443e-05,2.380700e-05,2.567228e-05,3.422504e-05,4.078855e-05,4.760234e-05,6.138450e-05,6.428984e-05,8.458267e-05,8.818050e-05,1.087121e-04,1.217075e-04,1.368412e-04,1.622895e-04,1.690637e-04,2.054051e-04,2.100417e-04,2.458258e-04,2.648793e-04,2.902250e-04,3.265351e-04,3.384466e-04,3.902850e-04,3.945811e-04,4.454919e-04,4.684552e-04,5.037831e-04,5.474881e-04,5.648462e-04,6.283465e-04,6.309323e-04,6.939349e-04,7.179890e-04,7.612532e-04,8.078336e-04,8.299406e-04,8.996386e-04,9.699960e-04,9.925937e-04,1.040673e-03,1.085922e-03,1.111342e-03,1.178893e-03,1.181697e-03,1.251447e-03,1.270832e-03,1.320325e-03,1.361129e-03,1.388084e-03,1.449242e-03,1.454501e-03,1.519376e-03,1.534696e-03,1.582530e-03,1.617086e-03,1.643809e-03,1.696078e-03,1.703080e-03,1.760230e-03,1.771397e-03,1.815167e-03,1.842835e-03,1.867818e-03,1.910236e-03,1.918126e-03,1.966052e-03,1.973497e-03,2.011573e-03,2.032564e-03,2.054677e-03,2.087421e-03,2.095367e-03,2.133656e-03,2.138091e-03,2.169569e-03,2.184626e-03,2.203138e-03,2.227107e-03,2.234403e-03,2.263413e-03,2.265638e-03,2.290220e-03,2.300339e-03,2.314883e-03,2.331348e-03,2.337465e-03,2.358031e-03,2.358812e-03,2.376650e-03,2.382890e-03,2.393393e-03,2.403743e-03,2.408331e-03,2.421539e-03,2.433088e-03,2.436446e-03,2.443053e-03,2.448633e-03,2.451507e-03,2.458268e-03,2.458521e-03,2.464168e-03,2.465514e-03,2.468518e-03,2.470533e-03,2.471638e-03,2.473482e-03,2.473598e-03,2.474461e-03,2.474512e-03,2.474292e-03,2.473769e-03,2.473152e-03,2.471393e-03,2.471100e-03,2.468195e-03,2.467517e-03,2.464492e-03,2.462268e-03,2.460043e-03,2.455768e-03,2.454901e-03,2.449114e-03,2.448131e-03,2.442728e-03,2.439464e-03,2.435789e-03,2.429868e-03,2.428340e-03,2.420420e-03,2.419440e-03,2.412069e-03,2.408268e-03,2.403324e-03,2.396434e-03,2.394218e-03,2.384786e-03,2.384018e-03,2.375058e-03,2.371091e-03,2.365064e-03,2.357720e-03,2.354832e-03,2.344389e-03,2.343967e-03,2.333759e-03,2.329891e-03,2.322966e-03,2.315544e-03,2.312031e-03,2.300976e-03,2.286232e-03,2.271352e-03,2.256375e-03,2.241336e-03,2.226266e-03,2.211194e-03,2.196147e-03,2.181147e-03,2.166216e-03,2.151374e-03,2.136639e-03,2.122024e-03,2.107546e-03,2.093214e-03,2.079042e-03,2.065037e-03,2.051209e-03,2.037564e-03,2.024109e-03,2.010849e-03,1.997789e-03,1.984932e-03,1.972280e-03,1.959837e-03
0.000000e+00,2.680557e-11,9.761523e-11,5.877332e-10,1.777301e-09,2.889695e-09,7.931076e-09,8.217323e-09,1.773911e-08,2.130320e-08,3.251294e-08,4.430521e-08,5.351006e-08,7.910179e-08,8.163422e-08,1.177227e-07,1.276534e-07,1.625025e-07,1.915749e-07,2.164688e-07,2.716408e-07,2.797106e-07,3.518272e-07,3.672515e-07,4.320439e-07,4.766482e-07,5.194232e-07,5.976578e-07,6.130105e-07,7.118828e-07,7.281329e-07,8.151490e-07,8.660212e-07,9.219383e-07,1.009331e-06,1.031396e-06,1.142685e-06,1.156124e-06,1.254995e-06,1.304535e-06,1.367553e-06,1.452813e-06,1.479632e-06,1.590560e-06,1.599366e-06,1.699733e-06,1.742788e-06,1.806614e-06,1.881885e-06,1.910737e-06,2.011710e-06,2.015679e-06,2.109211e-06,2.143410e-06,2.202984e-06,2.264521e-06,2.292839e-06,2.378639e-06,2.460303e-06,2.485555e-06,2.537793e-06,2.585197e-06,2.611113e-06,2.677610e-06,2.680299e-06,2.745416e-06,2.762931e-06,2.806552e-06,2.841368e-06,2.863817e-06,2.913184e-06,2.917331e-06,2.967228e-06,2.978680e-06,3.013649e-06,3.038182e-06,3.056742e-06,3.092028e-06,3.096655e-06,3.133539e-06,3.140566e-06,3.167544e-06,3.184138e-06,3.198818e-06,3.223084e-06,3.227506e-06,3.253749e-06,3.257730e-06,3.277684e-06,3.288392e-06,3.299443e-06,3.315370e-06,3.319154e-06,3.336937e-06,3.338947e-06,3.352909e-06,3.359392e-06,3.367181e-06,3.376956e-06,3.379858e-06,3.391040e-06,3.391872e-06,3.400821e-06,3.404361e-06,3.409291e-06,3.414625e-06,3.416534e-06,3.422631e-06,3.422853e-06,3.427657e-06,3.429218e-06,3.431683e-06,3.433884e-06,3.434776e-06,3.436998e-06,3.438409e-06,3.438699e-06,3.439065e-06,3.439113e-06,3.439018e-06,3.438356e-06,3.438316e-06,3.437007e-06,3.436538e-06,3.435134e-06,3.433756e-06,3.432736e-06,3.430101e-06,3.429854e-06,3.426521e-06,3.425659e-06,3.422773e-06,3.420505e-06,3.418641e-06,3.414711e-06,3.414154e-06,3.409341e-06,3.408341e-06,3.404227e-06,3.401457e-06,3.398837e-06,3.394113e-06,3.393194e-06,3.387319e-06,3.386359e-06,3.381233e-06,3.378242e-06,3.374955e-06,3.369806e-06,3.368502e-06,3.361892e-06,3.361089e-06,3.355140e-06,3.352127e-06,3.348260e-06,3.342954e-06,3.341266e-06,3.334172e-06,3.333601e-06,3.326989e-06,3.324094e-06,3.319729e-06,3.314460e-06,3.312403e-06,3.305019e-06,3.304723e-06,3.297588e-06,3.294903e-06,3.290119e-06,3.285022e-06,3.282619e-06,3.275097e-06,3.265144e-06,3.255180e-06,3.245218e-06,3.235271e-06,3.225350e-06,3.215466e-06,3.205628e-06,3.195847e-06,3.186128e-06,3.176481e-06,3.166911e-06,3.157424e-06,3.148026e-06,3.138721e-06,3.129514e-06,3.120408e-06,3.111407e-06,3.102515e-06,3.093732e-06,3.085063e-06,3.076508e-06,3.068069e-06,3.059748e-06,3.051547e-06
0.000000e+00,1.946936e-10,5.359144e-10,2.237103e-09,5.560071e-09,8.377642e-09,2.009812e-08,2.073853e-08,4.147229e-08,4.909187e-08,7.293565e-08,9.805868e-08,1.177873e-07,1.733036e-07,1.788467e-07,2.584365e-07,2.804178e-07,3.571997e-07,4.203110e-07,4.733761e-07,5.873295e-07,6.035693e-07,7.441657e-07,7.732526e-07,8.921148e-07,9.711365e-07,1.045019e-06,1.175877e-06,1.200964e-06,1.358361e-06,1.383585e-06,1.515830e-06,1.591078e-06,1.672152e-06,1.795647e-06,1.826237e-06,1.977128e-06,1.994980e-06,2.123992e-06,2.187148e-06,2.266117e-06,2.370603e-06,2.402925e-06,2.533955e-06,2.544177e-06,2.658865e-06,2.707058e-06,2.777416e-06,2.858754e-06,2.889469e-06,2.994967e-06,2.999050e-06,3.093925e-06,3.127962e-06,3.186419e-06,3.245683e-06,3.272572e-06,3.352553e-06,3.426559e-06,3.449015e-06,3.494811e-06,3.535582e-06,3.557547e-06,3.612810e-06,3.615011e-06,3.667457e-06,3.681277e-06,3.715137e-06,3.741563e-06,3.758304e-06,3.794245e-06,3.797206e-06,3.832085e-06,3.839883e-06,3.863175e-06,3.879015e-06,3.890702e-06,3.912153e-06,3.914885e-06,3.935930e-06,3.939780e-06,3.954037e-06,3.962354e-06,3.969393e-06,3.980297e-06,3.982177e-06,3.992559e-06,3.994008e-06,4.000698e-06,4.003853e-06,4.006746e-06,4.010176e-06,4.010846e-06,4.013132e-06,4.013291e-06,4.013730e-06,4.013490e-06,4.012760e-06,4.011042e-06,4.010333e-06,4.006554e-06,4.006196e-06,4.001522e-06,3.999180e-06,3.995330e-06,3.990203e-06,3.988065e-06,3.979808e-06,3.979458e-06,3.970635e-06,3.967123e-06,3.960620e-06,3.953361e-06,3.949827e-06,3.938322e-06,3.926162e-06,3.922142e-06,3.913403e-06,3.904947e-06,3.900097e-06,3.886853e-06,3.886292e-06,3.872034e-06,3.867967e-06,3.857365e-06,3.848384e-06,3.842326e-06,3.828193e-06,3.826952e-06,3.811280e-06,3.807477e-06,3.795341e-06,3.786310e-06,3.779166e-06,3.764760e-06,3.762784e-06,3.746221e-06,3.742889e-06,3.729503e-06,3.720755e-06,3.712651e-06,3.698410e-06,3.695689e-06,3.678636e-06,3.675901e-06,3.661512e-06,3.653272e-06,3.644333e-06,3.630562e-06,3.627117e-06,3.609878e-06,3.607809e-06,3.592632e-06,3.585044e-06,3.575390e-06,3.562298e-06,3.558167e-06,3.540972e-06,3.539598e-06,3.523817e-06,3.516969e-06,3.506712e-06,3.494433e-06,3.489667e-06,3.472688e-06,3.472010e-06,3.455785e-06,3.449720e-06,3.438965e-06,3.427578e-06,3.422234e-06,3.405599e-06,3.383797e-06,3.362184e-06,3.340770e-06,3.319565e-06,3.298577e-06,3.277814e-06,3.257282e-06,3.236986e-06,3.216932e-06,3.197124e-06,3.177565e-06,3.158258e-06,3.139205e-06,3.120408e-06,3.101868e-06,3.083587e-06,3.065564e-06,3.047800e-06,3.030294e-06,3.013046e-06,2.996056e-06,2.979322e-06,2.962842e-06,2.946616e-06
0.000000e+00,3.846835e-11,1.982553e-10,2.270386e-09,1.141244e-08,2.388691e-08,1.173112e-07,1.242237e-07,4.397162e-07,5.974194e-07,1.221910e-06,2.076492e-06,2.876740e-06,5.682027e-06,6.004448e-06,1.143720e-05,1.319957e-05,2.026486e-05,2.718360e-05,3.383456e-05,5.094117e-05,5.371649e-05,8.164300e-05,8.835318e-05,1.194350e-04,1.435962e-04,1.689274e-04,2.208490e-04,2.319013e-04,3.100245e-04,3.240334e-04,4.048035e-04,4.566054e-04,5.175437e-04,6.213987e-04,6.493202e-04,8.009568e-04,8.205172e-04,9.730133e-04,1.055272e-03,1.165779e-03,1.326155e-03,1.379277e-03,1.613265e-03,1.632857e-03,1.867256e-03,1.974300e-03,2.140530e-03,2.348712e-03,2.432155e-03,2.741014e-03,2.753709e-03,3.065827e-03,3.186396e-03,3.405180e-03,3.643471e-03,3.757550e-03,4.121335e-03,4.494876e-03,4.616195e-03,4.876487e-03,5.124169e-03,5.264472e-03,5.641373e-03,5.657149e-03,6.052871e-03,6.164000e-03,6.450038e-03,6.688389e-03,6.847112e-03,7.211080e-03,7.242632e-03,7.635218e-03,7.728858e-03,8.023585e-03,8.238779e-03,8.406541e-03,8.738198e-03,8.782995e-03,9.151959e-03,9.224773e-03,9.512545e-03,9.696473e-03,9.863966e-03,1.015157e-02,1.020554e-02,1.053666e-02,1.058864e-02,1.085685e-02,1.100653e-02,1.116568e-02,1.140435e-02,1.146284e-02,1.174806e-02,1.178147e-02,1.202117e-02,1.213748e-02,1.228207e-02,1.247215e-02,1.253070e-02,1.276708e-02,1.278546e-02,1.299126e-02,1.307755e-02,1.320336e-02,1.334866e-02,1.340351e-02,1.359191e-02,1.359920e-02,1.376876e-02,1.382965e-02,1.393432e-02,1.404058e-02,1.408885e-02,1.423263e-02,1.436598e-02,1.440650e-02,1.448920e-02,1.456291e-02,1.460263e-02,1.470262e-02,1.470660e-02,1.480145e-02,1.482642e-02,1.488753e-02,1.493510e-02,1.496517e-02,1.502945e-02,1.503473e-02,1.509654e-02,1.511026e-02,1.515095e-02,1.517831e-02,1.519829e-02,1.523435e-02,1.523888e-02,1.527305e-02,1.527914e-02,1.530112e-02,1.531340e-02,1.532338e-02,1.533782e-02,1.534015e-02,1.535171e-02,1.535309e-02,1.535834e-02,1.535985e-02,1.536031e-02,1.535871e-02,1.535789e-02,1.535133e-02,1.535027e-02,1.534087e-02,1.533509e-02,1.532675e-02,1.531371e-02,1.530919e-02,1.528841e-02,1.528661e-02,1.526461e-02,1.525429e-02,1.523799e-02,1.521719e-02,1.520875e-02,1.517705e-02,1.517574e-02,1.514308e-02,1.513032e-02,1.510699e-02,1.508132e-02,1.506894e-02,1.502908e-02,1.497393e-02,1.491617e-02,1.485610e-02,1.479396e-02,1.473001e-02,1.466448e-02,1.459758e-02,1.452951e-02,1.446044e-02,1.439056e-02,1.432000e-02,1.424893e-02,1.417746e-02,1.410572e-02,1.403383e-02,1.396189e-02,1.388998e-02,1.381821e-02,1.374664e-02,1.367535e-02,1.360440e-02,1.353386e-02,1.346377e-02,1.339419e-02
0.000000e+00,1.685471e-11,8.679079e-11,9.919771e-10,4.975886e-09,1.040104e-08,5.086698e-08,5.385361e-08,1.895441e-07,2.570427e-07,5.228892e-07,8.839465e-07,1.219879e-06,2.385454e-06,2.518447e-06,4.737512e-06,5.450292e-06,8.283264e-06,1.102959e-05,1.365161e-05,2.034392e-05,2.142482e-05,3.226003e-05,3.485645e-05,4.686854e-05,5.620080e-05,6.598773e-05,8.606990e-05,9.034931e-05,1.206478e-04,1.260897e-04,1.575128e-04,1.777033e-04,2.014859e-04,2.420795e-04,2.530037e-04,3.123862e-04,3.200513e-04,3.798309e-04,4.120840e-04,4.554109e-04,5.182671e-04,5.390777e-04,6.306667e-04,6.383286e-04,7.299056e-04,7.716634e-04,8.364253e-04,9.173755e-04,9.497712e-04,1.069416e-03,1.074325e-03,1.194774e-03,1.241180e-03,1.325211e-03,1.416471e-03,1.460062e-03,1.598640e-03,1.740245e-03,1.786084e-03,1.884182e-03,1.977207e-03,2.029763e-03,2.170444e-03,2.176317e-03,2.323200e-03,2.364302e-03,2.469797e-03,2.557375e-03,2.615528e-03,2.748369e-03,2.759851e-03,2.902266e-03,2.936110e-03,3.042316e-03,3.119556e-03,3.179589e-03,3.297796e-03,3.313714e-03,3.444365e-03,3.470053e-03,3.571261e-03,3.635681e-03,3.694159e-03,3.794155e-03,3.812857e-03,3.927192e-03,3.945072e-03,4.037035e-03,4.088135e-03,4.142291e-03,4.223148e-03,4.242895e-03,4.338812e-03,4.350006e-03,4.430032e-03,4.468684e-03,4.516569e-03,4.579226e-03,4.598458e-03,4.675753e-03,4.681740e-03,4.748524e-03,4.776385e-03,4.816857e-03,4.863364e-03,4.880850e-03,4.940612e-03,4.942916e-03,4.996260e-03,5.015310e-03,5.047920e-03,5.080837e-03,5.095722e-03,5.139802e-03,5.180301e-03,5.192527e-03,5.217358e-03,5.239335e-03,5.251118e-03,5.280557e-03,5.281723e-03,5.309315e-03,5.316521e-03,5.334038e-03,5.347552e-03,5.356030e-03,5.373970e-03,5.375430e-03,5.392373e-03,5.396088e-03,5.406990e-03,5.414208e-03,5.419410e-03,5.428623e-03,5.429760e-03,5.438159e-03,5.439615e-03,5.444725e-03,5.447452e-03,5.449571e-03,5.452392e-03,5.452806e-03,5.454534e-03,5.454678e-03,5.454857e-03,5.454540e-03,5.453868e-03,5.452196e-03,5.451661e-03,5.448323e-03,5.447850e-03,5.443938e-03,5.441697e-03,5.438585e-03,5.433916e-03,5.432340e-03,5.425275e-03,5.424676e-03,5.417458e-03,5.414135e-03,5.408953e-03,5.402437e-03,5.399821e-03,5.390119e-03,5.389720e-03,5.379903e-03,5.376109e-03,5.369222e-03,5.361719e-03,5.358126e-03,5.346658e-03,5.331025e-03,5.314911e-03,5.298398e-03,5.281564e-03,5.264477e-03,5.247202e-03,5.229796e-03,5.212312e-03,5.194797e-03,5.177294e-03,5.159842e-03,5.142476e-03,5.125227e-03,5.108122e-03,5.091187e-03,5.074443e-03,5.057910e-03,5.041603e-03,5.025539e-03,5.009729e-03,4.994184e-03,4.978914e-03,4.963926e-03,4.949226e-03
0.000000e+00,1.196835e-11,2.750010e-11,9.476412e-11,2.154543e-10,3.140550e-10,7.101806e-10,7.314372e-10,1.407587e-09,1.651727e-09,2.405061e-09,3.184682e-09,3.788342e-09,5.451999e-09,5.615503e-09,7.917831e-09,8.540683e-09,1.068397e-08,1.242022e-08,1.387120e-08,1.698385e-08,1.742868e-08,2.130891e-08,2.211982e-08,2.546854e-08,2.772823e-08,2.986627e-08,3.371447e-08,3.446123e-08,3.921236e-08,3.998429e-08,4.407859e-08,4.644332e-08,4.901942e-08,5.299942e-08,5.399570e-08,5.897037e-08,5.956555e-08,6.390909e-08,6.606260e-08,6.878078e-08,7.242138e-08,7.355794e-08,7.821679e-08,7.858376e-08,8.273729e-08,8.450297e-08,8.710305e-08,9.014315e-08,9.130105e-08,9.532140e-08,9.547841e-08,9.915721e-08,1.004920e-07,1.028041e-07,1.051748e-07,1.062598e-07,1.095241e-07,1.125981e-07,1.135421e-07,1.154847e-07,1.172353e-07,1.181874e-07,1.206132e-07,1.207108e-07,1.230600e-07,1.236874e-07,1.252409e-07,1.264710e-07,1.272593e-07,1.289783e-07,1.291217e-07,1.308344e-07,1.312239e-07,1.324040e-07,1.332229e-07,1.338370e-07,1.349901e-07,1.351398e-07,1.363187e-07,1.365402e-07,1.373801e-07,1.378875e-07,1.383298e-07,1.390456e-07,1.391738e-07,1.399178e-07,1.400279e-07,1.405673e-07,1.408470e-07,1.411275e-07,1.415148e-07,1.416035e-07,1.420002e-07,1.420427e-07,1.423222e-07,1.424414e-07,1.425740e-07,1.427210e-07,1.427599e-07,1.428838e-07,1.428911e-07,1.429497e-07,1.429606e-07,1.429612e-07,1.429378e-07,1.429218e-07,1.428349e-07,1.428305e-07,1.427036e-07,1.426461e-07,1.425309e-07,1.423913e-07,1.423197e-07,1.420726e-07,1.417922e-07,1.416958e-07,1.414809e-07,1.412665e-07,1.411410e-07,1.407898e-07,1.407747e-07,1.403840e-07,1.402705e-07,1.399709e-07,1.397130e-07,1.395372e-07,1.391215e-07,1.390846e-07,1.386148e-07,1.384996e-07,1.381293e-07,1.378511e-07,1.376295e-07,1.371790e-07,1.371169e-07,1.365926e-07,1.364865e-07,1.360580e-07,1.357763e-07,1.355142e-07,1.350511e-07,1.349622e-07,1.344031e-07,1.343131e-07,1.338378e-07,1.335646e-07,1.332673e-07,1.328075e-07,1.326922e-07,1.321135e-07,1.320439e-07,1.315319e-07,1.312752e-07,1.309480e-07,1.305032e-07,1.303626e-07,1.297761e-07,1.297292e-07,1.291893e-07,1.289545e-07,1.286025e-07,1.281804e-07,1.280164e-07,1.274313e-07,1.274079e-07,1.268477e-07,1.266380e-07,1.262660e-07,1.258717e-07,1.256865e-07,1.251097e-07,1.243527e-07,1.236015e-07,1.228567e-07,1.221188e-07,1.213882e-07,1.206654e-07,1.199507e-07,1.192446e-07,1.185473e-07,1.178590e-07,1.171800e-07,1.165104e-07,1.158504e-07,1.152001e-07,1.145597e-07,1.139291e-07,1.133085e-07,1.126979e-07,1.120973e-07,1.115067e-07,1.109261e-07,1.103554e-07,1.097947e-07,1.092438e-07
0.000000e+00,2.372208e-11,1.077323e-10,9.560700e-10,3.845130e-09,7.150009e-09,2.625110e-08,2.748403e-08,7.466188e-08,9.480244e-08,1.649437e-07,2.480810e-07,3.186793e-07,5.372566e-07,5.604686e-07,9.164874e-07,1.021438e-06,1.406972e-06,1.743223e-06,2.037651e-06,2.700676e-06,2.798173e-06,3.668343e-06,3.853540e-06,4.625777e-06,5.151329e-06,5.650423e-06,6.550931e-06,6.725826e-06,7.838674e-06,8.019442e-06,8.977908e-06,9.531263e-06,1.013397e-05,1.106521e-05,1.129838e-05,1.246350e-05,1.260302e-05,1.362245e-05,1.412884e-05,1.476915e-05,1.562915e-05,1.589829e-05,1.700531e-05,1.709280e-05,1.808643e-05,1.851091e-05,1.913857e-05,1.987678e-05,2.015930e-05,2.114680e-05,2.118559e-05,2.209974e-05,2.243416e-05,2.301726e-05,2.362068e-05,2.389887e-05,2.474439e-05,2.555394e-05,2.580544e-05,2.632781e-05,2.680459e-05,2.706650e-05,2.774310e-05,2.777061e-05,2.844089e-05,2.862262e-05,2.907815e-05,2.944500e-05,2.968324e-05,3.021229e-05,3.025707e-05,3.080060e-05,3.092664e-05,3.131477e-05,3.159026e-05,3.180058e-05,3.220538e-05,3.225897e-05,3.269093e-05,3.277423e-05,3.309740e-05,3.329900e-05,3.347931e-05,3.378181e-05,3.383759e-05,3.417314e-05,3.422478e-05,3.448686e-05,3.462995e-05,3.477961e-05,3.499926e-05,3.505221e-05,3.530549e-05,3.533463e-05,3.554025e-05,3.563787e-05,3.575725e-05,3.591076e-05,3.595725e-05,3.614095e-05,3.615497e-05,3.630907e-05,3.637211e-05,3.646228e-05,3.656372e-05,3.660123e-05,3.672654e-05,3.673128e-05,3.683884e-05,3.687620e-05,3.693871e-05,3.699981e-05,3.702671e-05,3.710339e-05,3.716927e-05,3.718816e-05,3.722487e-05,3.725527e-05,3.727066e-05,3.730583e-05,3.730711e-05,3.733468e-05,3.734086e-05,3.735379e-05,3.736138e-05,3.736487e-05,3.736831e-05,3.736831e-05,3.736450e-05,3.736254e-05,3.735380e-05,3.734493e-05,3.733657e-05,3.731627e-05,3.731315e-05,3.728386e-05,3.727732e-05,3.724902e-05,3.722881e-05,3.720892e-05,3.717140e-05,3.716386e-05,3.711411e-05,3.710574e-05,3.705994e-05,3.703244e-05,3.700159e-05,3.695207e-05,3.693931e-05,3.687333e-05,3.686517e-05,3.680387e-05,3.677226e-05,3.673115e-05,3.667383e-05,3.665537e-05,3.657673e-05,3.657032e-05,3.649540e-05,3.646216e-05,3.641158e-05,3.634977e-05,3.632542e-05,3.623710e-05,3.623352e-05,3.614676e-05,3.611378e-05,3.605456e-05,3.599088e-05,3.596065e-05,3.586514e-05,3.573687e-05,3.560635e-05,3.547383e-05,3.533958e-05,3.520383e-05,3.506679e-05,3.492867e-05,3.478967e-05,3.464997e-05,3.450973e-05,3.436912e-05,3.422828e-05,3.408735e-05,3.394647e-05,3.380575e-05,3.366530e-05,3.352524e-05,3.338565e-05,3.324663e-05,3.310826e-05,3.297062e-05,3.283378e-05,3.269780e-05,3.256276e-05
0.000000e+00,1.283689e-11,6.605105e-11,7.537743e-10,3.776295e-09,7.888914e-09,3.854267e-08,4.080484e-08,1.436391e-07,1.948484e-07,3.969065e-07,6.721943e-07,9.291220e-07,1.825557e-06,1.928269e-06,3.652331e-06,4.209519e-06,6.435983e-06,8.607492e-06,1.068856e-05,1.601827e-05,1.688026e-05,2.551888e-05,2.758594e-05,3.712229e-05,4.449547e-05,5.219166e-05,6.786745e-05,7.118820e-05,9.451436e-05,9.867148e-05,1.224999e-04,1.376640e-04,1.553924e-04,1.853500e-04,1.933519e-04,2.364483e-04,2.419651e-04,2.846632e-04,3.074754e-04,3.378925e-04,3.815902e-04,3.959526e-04,4.585873e-04,4.637865e-04,5.254767e-04,5.533414e-04,5.962461e-04,6.493688e-04,6.704765e-04,7.477143e-04,7.508596e-04,8.274815e-04,8.567223e-04,9.092854e-04,9.658209e-04,9.926273e-04,1.077011e-03,1.161951e-03,1.189172e-03,1.246978e-03,1.301233e-03,1.331643e-03,1.412191e-03,1.415526e-03,1.498236e-03,1.521135e-03,1.579415e-03,1.627251e-03,1.658738e-03,1.729828e-03,1.735917e-03,1.810700e-03,1.828267e-03,1.882870e-03,1.922075e-03,1.952245e-03,2.010863e-03,2.018675e-03,2.082045e-03,2.094344e-03,2.142267e-03,2.172318e-03,2.199283e-03,2.244673e-03,2.253059e-03,2.303587e-03,2.311371e-03,2.350878e-03,2.372437e-03,2.394964e-03,2.427956e-03,2.435892e-03,2.473724e-03,2.478059e-03,2.508536e-03,2.522918e-03,2.540413e-03,2.562734e-03,2.569449e-03,2.595747e-03,2.597735e-03,2.619412e-03,2.628166e-03,2.640557e-03,2.654284e-03,2.659295e-03,2.675741e-03,2.676353e-03,2.690013e-03,2.694641e-03,2.702227e-03,2.709415e-03,2.712497e-03,2.720938e-03,2.727660e-03,2.729466e-03,2.732773e-03,2.735249e-03,2.736381e-03,2.738524e-03,2.738586e-03,2.739488e-03,2.739520e-03,2.739180e-03,2.738453e-03,2.737754e-03,2.735529e-03,2.735296e-03,2.731888e-03,2.730938e-03,2.727609e-03,2.724860e-03,2.722533e-03,2.717463e-03,2.716731e-03,2.710268e-03,2.708901e-03,2.703207e-03,2.699319e-03,2.695607e-03,2.688847e-03,2.687524e-03,2.679008e-03,2.677609e-03,2.670109e-03,2.665714e-03,2.660870e-03,2.653264e-03,2.651335e-03,2.641543e-03,2.640352e-03,2.631529e-03,2.627062e-03,2.621328e-03,2.613470e-03,2.610971e-03,2.600487e-03,2.599644e-03,2.589902e-03,2.585646e-03,2.579242e-03,2.571533e-03,2.568529e-03,2.557783e-03,2.557353e-03,2.547025e-03,2.543153e-03,2.536272e-03,2.528970e-03,2.525539e-03,2.514841e-03,2.500797e-03,2.486864e-03,2.473068e-03,2.459428e-03,2.445964e-03,2.432690e-03,2.419622e-03,2.406769e-03,2.394141e-03,2.381746e-03,2.369591e-03,2.357681e-03,2.346019e-03,2.334608e-03,2.323451e-03,2.312547e-03,2.301898e-03,2.291503e-03,2.281360e-03,2.271468e-03,2.261825e-03,2.252429e-03,2.243276e-03,2.234364e-03
0.000000e+00,6.087821e-12,3.056199e-11,3.312561e-10,1.582638e-09,3.220625e-09,1.469597e-08,1.551511e-08,5.100263e-08,6.790565e-08,1.319691e-07,2.151484e-07,2.900916e-07,5.392956e-07,5.669716e-07,1.014442e-06,1.153892e-06,1.694354e-06,2.202575e-06,2.676951e-06,3.851125e-06,4.036633e-06,5.844814e-06,6.265837e-06,8.161414e-06,9.581515e-06,1.102755e-05,1.387376e-05,1.446136e-05,1.845729e-05,1.914727e-05,2.298827e-05,2.534061e-05,2.800954e-05,3.234096e-05,3.346316e-05,3.928243e-05,4.000195e-05,4.539587e-05,4.816016e-05,5.173050e-05,5.664838e-05,5.821437e-05,6.477851e-05,6.530514e-05,7.135831e-05,7.398112e-05,7.789441e-05,8.254309e-05,8.433334e-05,9.062783e-05,9.087600e-05,9.673686e-05,9.888382e-05,1.026257e-04,1.064894e-04,1.082655e-04,1.136334e-04,1.187119e-04,1.202736e-04,1.234883e-04,1.263828e-04,1.279547e-04,1.319471e-04,1.321072e-04,1.359456e-04,1.369644e-04,1.394728e-04,1.414421e-04,1.426946e-04,1.453954e-04,1.456186e-04,1.482549e-04,1.488459e-04,1.506144e-04,1.518195e-04,1.527097e-04,1.543454e-04,1.545539e-04,1.561607e-04,1.564547e-04,1.575439e-04,1.581796e-04,1.587178e-04,1.595522e-04,1.596962e-04,1.604928e-04,1.606043e-04,1.611210e-04,1.613666e-04,1.615937e-04,1.618682e-04,1.619232e-04,1.621213e-04,1.621368e-04,1.621993e-04,1.621983e-04,1.621677e-04,1.620765e-04,1.620364e-04,1.618148e-04,1.617934e-04,1.615115e-04,1.613692e-04,1.611348e-04,1.608222e-04,1.606920e-04,1.601902e-04,1.601689e-04,1.596357e-04,1.594243e-04,1.590344e-04,1.586017e-04,1.583920e-04,1.577132e-04,1.570027e-04,1.567694e-04,1.562648e-04,1.557799e-04,1.555032e-04,1.547531e-04,1.547214e-04,1.539227e-04,1.536964e-04,1.531100e-04,1.526166e-04,1.522858e-04,1.515195e-04,1.514526e-04,1.506125e-04,1.504101e-04,1.497676e-04,1.492930e-04,1.489196e-04,1.481721e-04,1.480702e-04,1.472207e-04,1.470510e-04,1.463726e-04,1.459325e-04,1.455270e-04,1.448193e-04,1.446849e-04,1.438473e-04,1.437138e-04,1.430151e-04,1.426178e-04,1.421890e-04,1.415330e-04,1.413698e-04,1.405579e-04,1.404610e-04,1.397539e-04,1.394028e-04,1.389584e-04,1.383597e-04,1.381717e-04,1.373941e-04,1.373323e-04,1.366261e-04,1.363215e-04,1.358677e-04,1.353279e-04,1.351194e-04,1.343812e-04,1.343519e-04,1.336533e-04,1.333939e-04,1.329359e-04,1.324541e-04,1.322291e-04,1.315328e-04,1.306302e-04,1.297462e-04,1.288808e-04,1.280342e-04,1.272061e-04,1.263965e-04,1.256052e-04,1.248320e-04,1.240768e-04,1.233393e-04,1.226194e-04,1.219166e-04,1.212309e-04,1.205619e-04,1.199093e-04,1.192728e-04,1.186522e-04,1.180471e-04,1.174573e-04,1.168825e-04,1.163222e-04,1.157763e-04,1.152445e-04,1.147263e-04
0.000000e+00,7.160428e-11,2.057705e-10,9.022529e-10,2.295101e-09,3.486409e-09,8.459276e-09,8.730733e-09,1.746507e-08,2.064309e-08,3.046905e-08,4.063456e-08,4.849486e-08,7.014023e-08,7.227004e-08,1.024453e-07,1.106950e-07,1.394549e-07,1.632056e-07,1.833608e-07,2.274589e-07,2.338484e-07,2.903873e-07,3.023693e-07,3.523861e-07,3.865876e-07,4.192568e-07,4.787695e-07,4.904204e-07,5.652967e-07,5.775823e-07,6.432966e-07,6.816702e-07,7.238202e-07,7.896490e-07,8.062616e-07,8.900164e-07,9.001269e-07,9.744918e-07,1.011741e-06,1.059117e-06,1.123197e-06,1.143349e-06,1.226686e-06,1.233300e-06,1.308669e-06,1.340990e-06,1.388889e-06,1.445353e-06,1.466988e-06,1.542661e-06,1.545633e-06,1.615652e-06,1.641232e-06,1.685759e-06,1.731702e-06,1.752824e-06,1.816732e-06,1.877409e-06,1.896136e-06,1.934816e-06,1.969835e-06,1.988945e-06,2.037842e-06,2.039815e-06,2.087469e-06,2.100243e-06,2.131967e-06,2.157183e-06,2.173387e-06,2.208851e-06,2.211818e-06,2.247361e-06,2.255473e-06,2.280121e-06,2.297293e-06,2.310211e-06,2.334573e-06,2.337747e-06,2.362844e-06,2.367581e-06,2.385621e-06,2.396588e-06,2.406195e-06,2.421859e-06,2.424681e-06,2.441191e-06,2.443657e-06,2.455836e-06,2.462235e-06,2.468723e-06,2.477836e-06,2.479955e-06,2.489630e-06,2.490691e-06,2.497845e-06,2.501020e-06,2.504690e-06,2.509030e-06,2.510252e-06,2.514615e-06,2.514915e-06,2.517857e-06,2.518857e-06,2.520052e-06,2.521026e-06,2.521273e-06,2.521585e-06,2.521580e-06,2.521053e-06,2.520667e-06,2.519736e-06,2.518422e-06,2.517692e-06,2.514973e-06,2.511629e-06,2.510435e-06,2.507709e-06,2.504918e-06,2.503256e-06,2.498520e-06,2.498313e-06,2.492919e-06,2.491333e-06,2.487111e-06,2.483442e-06,2.480924e-06,2.474925e-06,2.474390e-06,2.467541e-06,2.465853e-06,2.460404e-06,2.456292e-06,2.453007e-06,2.446303e-06,2.445375e-06,2.437532e-06,2.435940e-06,2.429499e-06,2.425255e-06,2.421298e-06,2.414294e-06,2.412948e-06,2.404467e-06,2.403099e-06,2.395872e-06,2.391710e-06,2.387178e-06,2.380163e-06,2.378402e-06,2.369555e-06,2.368489e-06,2.360652e-06,2.356719e-06,2.351704e-06,2.344880e-06,2.342722e-06,2.333717e-06,2.332996e-06,2.324699e-06,2.321090e-06,2.315676e-06,2.309182e-06,2.306658e-06,2.297651e-06,2.297291e-06,2.288663e-06,2.285433e-06,2.279700e-06,2.273624e-06,2.270770e-06,2.261877e-06,2.250205e-06,2.238618e-06,2.227127e-06,2.215740e-06,2.204466e-06,2.193311e-06,2.182282e-06,2.171384e-06,2.160622e-06,2.149999e-06,2.139520e-06,2.129187e-06,2.119003e-06,2.108970e-06,2.099089e-06,2.089362e-06,2.079790e-06,2.070373e-06,2.061112e-06,2.052006e-06,2.043056e-06,2.034261e-06,2.025621e-06,2.017135e-06
0.000000e+00,7.987570e-12,1.835172e-11,6.393248e-11,1.486335e-10,2.205462e-10,5.328651e-10,5.506396e-10,1.163589e-09,1.404165e-09,2.187056e-09,3.024562e-09,3.670410e-09,5.384022e-09,5.546303e-09,7.727601e-09,8.289717e-09,1.015824e-08,1.161559e-08,1.280550e-08,1.529625e-08,1.564679e-08,1.866225e-08,1.928447e-08,2.183151e-08,2.353312e-08,2.513274e-08,2.799081e-08,2.854272e-08,3.203726e-08,3.260260e-08,3.559202e-08,3.731269e-08,3.918325e-08,4.206727e-08,4.278837e-08,4.638631e-08,4.681664e-08,4.995792e-08,5.151673e-08,5.348664e-08,5.613093e-08,5.695821e-08,6.036043e-08,6.062930e-08,6.368327e-08,6.498830e-08,6.691864e-08,6.919031e-08,7.006017e-08,7.310301e-08,7.322262e-08,7.604370e-08,7.707687e-08,7.887998e-08,8.074824e-08,8.161035e-08,8.423376e-08,8.675075e-08,8.753388e-08,8.916226e-08,9.065074e-08,9.146939e-08,9.358759e-08,9.367381e-08,9.577721e-08,9.634834e-08,9.778170e-08,9.893784e-08,9.968952e-08,1.013613e-07,1.015030e-07,1.032246e-07,1.036244e-07,1.048570e-07,1.057331e-07,1.064027e-07,1.076933e-07,1.078643e-07,1.092445e-07,1.095110e-07,1.105459e-07,1.111924e-07,1.117711e-07,1.127433e-07,1.129227e-07,1.140032e-07,1.141696e-07,1.150152e-07,1.154773e-07,1.159611e-07,1.166719e-07,1.168434e-07,1.176644e-07,1.177589e-07,1.184264e-07,1.187436e-07,1.191317e-07,1.196312e-07,1.197825e-07,1.203810e-07,1.204267e-07,1.209293e-07,1.211350e-07,1.214293e-07,1.217606e-07,1.218831e-07,1.222925e-07,1.223080e-07,1.226595e-07,1.227816e-07,1.229859e-07,1.231855e-07,1.232733e-07,1.235236e-07,1.237382e-07,1.237996e-07,1.239189e-07,1.240174e-07,1.240671e-07,1.241802e-07,1.241843e-07,1.242720e-07,1.242915e-07,1.243315e-07,1.243543e-07,1.243643e-07,1.243718e-07,1.243714e-07,1.243543e-07,1.243467e-07,1.243141e-07,1.242819e-07,1.242520e-07,1.241800e-07,1.241690e-07,1.240663e-07,1.240434e-07,1.239448e-07,1.238746e-07,1.238056e-07,1.236757e-07,1.236496e-07,1.234778e-07,1.234489e-07,1.232909e-07,1.231962e-07,1.230900e-07,1.229196e-07,1.228757e-07,1.226489e-07,1.226209e-07,1.224103e-07,1.223018e-07,1.221607e-07,1.219640e-07,1.219007e-07,1.216310e-07,1.216090e-07,1.213522e-07,1.212383e-07,1.210650e-07,1.208533e-07,1.207699e-07,1.204675e-07,1.204553e-07,1.201584e-07,1.200455e-07,1.198430e-07,1.196252e-07,1.195218e-07,1.191954e-07,1.187572e-07,1.183115e-07,1.178593e-07,1.174015e-07,1.169389e-07,1.164722e-07,1.160023e-07,1.155296e-07,1.150550e-07,1.145790e-07,1.141022e-07,1.136250e-07,1.131480e-07,1.126716e-07,1.121963e-07,1.117224e-07,1.112504e-07,1.107805e-07,1.103131e-07,1.098484e-07,1.093868e-07,1.089285e-07,1.084738e-07,1.080227e-07
0.000000e+00,7.669842e-12,1.761870e-11,6.117317e-11,1.413928e-10,2.089109e-10,4.976760e-10,5.139424e-10,1.068712e-09,1.284754e-09,1.988211e-09,2.746671e-09,3.336471e-09,4.915643e-09,5.065863e-09,7.089058e-09,7.610736e-09,9.343304e-09,1.069197e-08,1.179105e-08,1.408513e-08,1.440728e-08,1.717133e-08,1.774013e-08,2.006311e-08,2.161039e-08,2.306163e-08,2.564679e-08,2.614487e-08,2.929016e-08,2.979764e-08,3.247481e-08,3.401089e-08,3.567672e-08,3.823662e-08,3.887505e-08,4.205061e-08,4.242931e-08,4.518621e-08,4.654926e-08,4.826681e-08,5.056334e-08,5.127963e-08,5.421402e-08,5.444512e-08,5.706143e-08,5.817448e-08,5.981517e-08,6.173701e-08,6.247027e-08,6.502340e-08,6.512337e-08,6.747250e-08,6.832847e-08,6.981647e-08,7.135018e-08,7.205511e-08,7.418905e-08,7.621950e-08,7.684765e-08,7.814816e-08,7.933009e-08,7.997723e-08,8.164174e-08,8.170919e-08,8.334675e-08,8.378874e-08,8.489280e-08,8.577776e-08,8.635037e-08,8.761600e-08,8.772273e-08,8.901336e-08,8.931129e-08,9.022533e-08,9.087080e-08,9.136167e-08,9.230152e-08,9.242545e-08,9.341961e-08,9.361035e-08,9.434708e-08,9.480395e-08,9.521069e-08,9.588881e-08,9.601323e-08,9.675740e-08,9.687122e-08,9.744577e-08,9.775711e-08,9.808085e-08,9.855217e-08,9.866505e-08,9.920074e-08,9.926187e-08,9.969018e-08,9.989144e-08,1.001355e-07,1.004458e-07,1.005389e-07,1.009023e-07,1.009297e-07,1.012277e-07,1.013476e-07,1.015169e-07,1.017037e-07,1.017717e-07,1.019938e-07,1.020020e-07,1.021849e-07,1.022464e-07,1.023465e-07,1.024403e-07,1.024801e-07,1.025872e-07,1.026691e-07,1.026903e-07,1.027272e-07,1.027525e-07,1.027628e-07,1.027767e-07,1.027769e-07,1.027708e-07,1.027657e-07,1.027457e-07,1.027218e-07,1.027024e-07,1.026476e-07,1.026421e-07,1.025658e-07,1.025451e-07,1.024742e-07,1.024166e-07,1.023683e-07,1.022640e-07,1.022490e-07,1.021170e-07,1.020892e-07,1.019731e-07,1.018939e-07,1.018181e-07,1.016797e-07,1.016525e-07,1.014772e-07,1.014482e-07,1.012926e-07,1.012009e-07,1.010994e-07,1.009391e-07,1.008983e-07,1.006896e-07,1.006641e-07,1.004740e-07,1.003771e-07,1.002519e-07,1.000792e-07,1.000239e-07,9.979031e-08,9.977139e-08,9.955161e-08,9.945479e-08,9.930820e-08,9.913025e-08,9.906047e-08,9.880880e-08,9.879865e-08,9.855352e-08,9.846081e-08,9.829498e-08,9.811747e-08,9.803349e-08,9.776935e-08,9.741711e-08,9.706138e-08,9.670272e-08,9.634168e-08,9.597877e-08,9.561445e-08,9.524917e-08,9.488332e-08,9.451730e-08,9.415145e-08,9.378609e-08,9.342155e-08,9.305808e-08,9.269597e-08,9.233544e-08,9.197673e-08,9.162003e-08,9.126554e-08,9.091343e-08,9.056386e-08,9.021697e-08,8.987291e-08,8.953179e-08,8.919373e-08
0.000000e+00,5.978212e-11,1.397260e-10,4.900833e-10,1.123081e-09,1.641590e-09,3.727945e-09,3.839934e-09,7.399485e-09,8.682737e-09,1.263393e-08,1.670985e-08,1.985856e-08,2.852648e-08,2.937936e-08,4.146432e-08,4.476906e-08,5.629435e-08,6.581700e-08,7.389790e-08,9.154413e-08,9.409292e-08,1.164805e-07,1.211746e-07,1.405182e-07,1.534790e-07,1.656366e-07,1.871981e-07,1.913296e-07,2.171888e-07,2.213195e-07,2.428988e-07,2.551136e-07,2.682187e-07,2.880683e-07,2.929641e-07,3.169944e-07,3.198246e-07,3.402030e-07,3.501334e-07,3.625112e-07,3.788283e-07,3.838633e-07,4.042229e-07,4.058080e-07,4.235694e-07,4.310223e-07,4.418957e-07,4.544606e-07,4.592055e-07,4.755110e-07,4.761426e-07,4.908315e-07,4.961103e-07,5.051914e-07,5.144216e-07,5.186189e-07,5.311452e-07,5.428034e-07,5.463563e-07,5.536278e-07,5.601339e-07,5.636532e-07,5.725583e-07,5.729145e-07,5.814466e-07,5.837096e-07,5.892837e-07,5.936664e-07,5.964593e-07,6.025047e-07,6.030061e-07,6.089557e-07,6.102982e-07,6.143388e-07,6.171169e-07,6.191849e-07,6.230279e-07,6.235225e-07,6.273789e-07,6.280947e-07,6.307802e-07,6.323774e-07,6.337516e-07,6.359328e-07,6.363169e-07,6.384990e-07,6.388141e-07,6.403198e-07,6.410716e-07,6.418000e-07,6.427523e-07,6.429595e-07,6.438171e-07,6.439006e-07,6.443907e-07,6.445576e-07,6.446975e-07,6.447621e-07,6.447535e-07,6.445744e-07,6.445503e-07,6.441745e-07,6.439559e-07,6.435679e-07,6.430105e-07,6.427677e-07,6.417864e-07,6.417435e-07,6.406358e-07,6.401823e-07,6.393272e-07,6.383525e-07,6.378711e-07,6.362778e-07,6.345566e-07,6.339803e-07,6.327167e-07,6.314808e-07,6.307666e-07,6.287985e-07,6.287145e-07,6.265679e-07,6.259510e-07,6.243342e-07,6.229550e-07,6.220202e-07,6.198259e-07,6.196323e-07,6.171767e-07,6.165779e-07,6.146592e-07,6.132244e-07,6.120852e-07,6.097775e-07,6.094599e-07,6.067882e-07,6.062486e-07,6.040746e-07,6.026484e-07,6.013235e-07,5.989866e-07,5.985390e-07,5.957249e-07,5.952722e-07,5.928849e-07,5.915135e-07,5.900224e-07,5.877184e-07,5.871406e-07,5.842426e-07,5.838938e-07,5.813311e-07,5.800465e-07,5.784090e-07,5.761825e-07,5.754786e-07,5.725424e-07,5.723074e-07,5.696027e-07,5.684263e-07,5.666615e-07,5.645439e-07,5.637207e-07,5.607822e-07,5.606647e-07,5.578478e-07,5.567927e-07,5.549190e-07,5.529314e-07,5.519973e-07,5.490842e-07,5.452542e-07,5.414442e-07,5.376568e-07,5.338941e-07,5.301583e-07,5.264514e-07,5.227750e-07,5.191306e-07,5.155196e-07,5.119433e-07,5.084027e-07,5.048988e-07,5.014323e-07,4.980042e-07,4.946148e-07,4.912649e-07,4.879548e-07,4.846849e-07,4.814555e-07,4.782667e-07,4.751189e-07,4.720119e-07,4.689459e-07,4.659209e-07
0.000000e+00,6.997486e-11,3.606040e-10,4.137504e-09,2.090912e-08,4.397911e-08,2.206012e-07,2.338713e-07,8.589187e-07,1.182299e-06,2.513644e-06,4.432818e-06,6.304794e-06,1.324255e-05,1.406705e-05,2.844411e-05,3.323650e-05,5.275025e-05,7.207435e-05,9.069638e-05,1.384060e-04,1.461005e-04,2.226445e-04,2.407934e-04,3.236939e-04,3.869151e-04,4.521735e-04,5.830719e-04,6.104908e-04,8.004941e-04,8.339283e-04,1.023458e-03,1.142418e-03,1.280091e-03,1.509762e-03,1.570550e-03,1.894480e-03,1.935566e-03,2.251051e-03,2.417972e-03,2.639002e-03,2.953839e-03,3.056700e-03,3.502184e-03,3.538958e-03,3.973230e-03,4.168265e-03,4.467398e-03,4.836062e-03,4.982090e-03,5.514595e-03,5.536226e-03,6.062142e-03,6.262404e-03,6.621941e-03,7.008186e-03,7.191220e-03,7.767260e-03,8.347426e-03,8.533534e-03,8.929189e-03,9.301240e-03,9.510146e-03,1.006501e-02,1.008804e-02,1.066076e-02,1.081993e-02,1.122637e-02,1.156157e-02,1.178309e-02,1.228603e-02,1.232931e-02,1.286359e-02,1.298989e-02,1.338466e-02,1.367026e-02,1.389140e-02,1.432471e-02,1.438285e-02,1.485821e-02,1.495129e-02,1.531680e-02,1.554845e-02,1.575807e-02,1.611506e-02,1.618162e-02,1.658714e-02,1.665034e-02,1.697443e-02,1.715383e-02,1.734339e-02,1.762535e-02,1.769400e-02,1.802633e-02,1.806498e-02,1.834050e-02,1.847304e-02,1.863672e-02,1.884999e-02,1.891523e-02,1.917634e-02,1.919648e-02,1.942038e-02,1.951330e-02,1.964773e-02,1.980133e-02,1.985881e-02,2.005404e-02,2.006153e-02,2.023389e-02,2.029495e-02,2.039881e-02,2.050268e-02,2.054930e-02,2.068584e-02,2.080894e-02,2.084557e-02,2.091909e-02,2.098303e-02,2.101681e-02,2.109938e-02,2.110259e-02,2.117693e-02,2.119576e-02,2.124032e-02,2.127330e-02,2.129324e-02,2.133311e-02,2.133619e-02,2.136962e-02,2.137627e-02,2.139399e-02,2.140385e-02,2.140976e-02,2.141686e-02,2.141735e-02,2.141721e-02,2.141629e-02,2.140974e-02,2.140309e-02,2.139534e-02,2.137818e-02,2.137441e-02,2.134732e-02,2.134243e-02,2.131443e-02,2.129669e-02,2.127609e-02,2.124173e-02,2.123265e-02,2.118443e-02,2.117834e-02,2.113174e-02,2.110722e-02,2.107488e-02,2.102906e-02,2.101415e-02,2.094981e-02,2.094452e-02,2.088214e-02,2.085419e-02,2.081138e-02,2.075866e-02,2.073778e-02,2.066158e-02,2.065848e-02,2.058298e-02,2.055415e-02,2.050222e-02,2.044615e-02,2.041947e-02,2.033495e-02,2.022096e-02,2.010457e-02,1.998616e-02,1.986608e-02,1.974463e-02,1.962213e-02,1.949885e-02,1.937505e-02,1.925096e-02,1.912680e-02,1.900279e-02,1.887909e-02,1.875590e-02,1.863336e-02,1.851161e-02,1.839080e-02,1.827102e-02,1.815241e-02,1.803504e-02,1.791901e-02,1.780439e-02,1.769126e-02,1.757968e-02,1.746969e-02
0.000000e+00,5.617843e-11,2.890456e-10,3.304833e-09,1.664246e-08,3.493176e-08,1.741745e-07,1.846035e-07,6.733986e-07,9.251266e-07,1.957122e-06,3.437874e-06,4.877995e-06,1.019974e-05,1.083137e-05,2.183752e-05,2.550531e-05,4.044179e-05,5.523748e-05,6.949906e-05,1.060457e-04,1.119403e-04,1.705770e-04,1.844779e-04,2.479580e-04,2.963480e-04,3.462769e-04,4.463630e-04,4.673172e-04,6.124281e-04,6.379465e-04,7.825206e-04,8.731963e-04,9.780785e-04,1.152925e-03,1.199180e-03,1.445524e-03,1.476754e-03,1.716466e-03,1.843238e-03,2.011054e-03,2.250010e-03,2.328063e-03,2.666040e-03,2.693935e-03,3.023338e-03,3.171270e-03,3.398162e-03,3.677817e-03,3.788600e-03,4.192661e-03,4.209078e-03,4.608312e-03,4.760389e-03,5.033504e-03,5.327046e-03,5.466203e-03,5.904412e-03,6.346194e-03,6.488012e-03,6.789687e-03,7.073600e-03,7.233123e-03,7.657219e-03,7.674834e-03,8.113265e-03,8.235239e-03,8.546977e-03,8.804386e-03,8.974653e-03,9.361754e-03,9.395098e-03,9.807239e-03,9.904809e-03,1.021012e-02,1.043138e-02,1.060292e-02,1.093966e-02,1.098490e-02,1.135546e-02,1.142815e-02,1.171408e-02,1.189571e-02,1.206035e-02,1.234144e-02,1.239395e-02,1.271465e-02,1.276475e-02,1.302226e-02,1.316525e-02,1.331671e-02,1.354277e-02,1.359797e-02,1.386606e-02,1.389735e-02,1.412106e-02,1.422915e-02,1.436310e-02,1.453848e-02,1.459234e-02,1.480898e-02,1.482577e-02,1.501325e-02,1.509154e-02,1.520540e-02,1.533639e-02,1.538570e-02,1.555447e-02,1.556098e-02,1.571199e-02,1.576601e-02,1.585859e-02,1.595222e-02,1.599461e-02,1.612038e-02,1.623624e-02,1.627127e-02,1.634252e-02,1.640569e-02,1.643959e-02,1.652441e-02,1.652777e-02,1.660742e-02,1.662824e-02,1.667887e-02,1.671794e-02,1.674244e-02,1.679427e-02,1.679848e-02,1.684731e-02,1.685799e-02,1.688923e-02,1.690982e-02,1.692457e-02,1.695046e-02,1.695362e-02,1.697668e-02,1.698060e-02,1.699404e-02,1.700090e-02,1.700597e-02,1.701200e-02,1.701275e-02,1.701463e-02,1.701450e-02,1.701188e-02,1.700898e-02,1.700473e-02,1.699600e-02,1.699342e-02,1.697819e-02,1.697611e-02,1.695926e-02,1.694981e-02,1.693683e-02,1.691758e-02,1.691112e-02,1.688232e-02,1.687989e-02,1.685062e-02,1.683717e-02,1.681621e-02,1.678984e-02,1.677925e-02,1.673992e-02,1.673830e-02,1.669837e-02,1.668291e-02,1.665477e-02,1.662402e-02,1.660926e-02,1.656198e-02,1.649708e-02,1.642963e-02,1.635991e-02,1.628816e-02,1.621465e-02,1.613960e-02,1.606323e-02,1.598573e-02,1.590729e-02,1.582810e-02,1.574831e-02,1.566808e-02,1.558755e-02,1.550685e-02,1.542611e-02,1.534544e-02,1.526495e-02,1.518472e-02,1.510486e-02,1.502544e-02,1.494653e-02,1.486822e-02,1.479055e-02,1.471360e-02
0.000000e+00,4.265564e-12,2.140355e-11,2.317638e-10,1.106310e-09,2.250165e-09,1.025284e-08,1.082364e-08,3.551848e-08,4.726435e-08,9.171723e-08,1.493223e-07,2.011411e-07,3.730280e-07,3.920831e-07,6.993517e-07,7.948105e-07,1.163461e-06,1.508209e-06,1.828340e-06,2.614158e-06,2.737503e-06,3.929705e-06,4.204965e-06,5.435405e-06,6.349376e-06,7.274712e-06,9.084574e-06,9.456814e-06,1.198049e-05,1.241540e-05,1.483529e-05,1.631809e-05,1.800293e-05,2.074595e-05,2.145884e-05,2.517351e-05,2.563511e-05,2.911378e-05,3.090983e-05,3.324391e-05,3.648684e-05,3.752655e-05,4.192360e-05,4.227916e-05,4.639693e-05,4.819920e-05,5.090908e-05,5.416147e-05,5.542383e-05,5.990672e-05,6.008491e-05,6.432553e-05,6.589483e-05,6.865063e-05,7.152439e-05,7.285525e-05,7.691574e-05,8.081166e-05,8.202071e-05,8.452586e-05,8.680102e-05,8.804443e-05,9.122827e-05,9.135669e-05,9.445496e-05,9.528341e-05,9.733444e-05,9.895609e-05,9.999293e-05,1.022437e-04,1.024306e-04,1.046499e-04,1.051505e-04,1.066549e-04,1.076861e-04,1.084513e-04,1.098652e-04,1.100462e-04,1.114477e-04,1.117055e-04,1.126646e-04,1.132276e-04,1.137065e-04,1.144536e-04,1.145832e-04,1.153049e-04,1.154066e-04,1.158817e-04,1.161101e-04,1.163238e-04,1.165871e-04,1.166411e-04,1.168433e-04,1.168603e-04,1.169398e-04,1.169510e-04,1.169395e-04,1.168798e-04,1.168510e-04,1.166824e-04,1.166657e-04,1.164413e-04,1.163262e-04,1.161349e-04,1.158777e-04,1.157699e-04,1.153524e-04,1.153347e-04,1.148882e-04,1.147107e-04,1.143826e-04,1.140177e-04,1.138405e-04,1.132664e-04,1.126644e-04,1.124664e-04,1.120381e-04,1.116262e-04,1.113911e-04,1.107533e-04,1.107264e-04,1.100468e-04,1.098543e-04,1.093550e-04,1.089349e-04,1.086531e-04,1.080004e-04,1.079433e-04,1.072275e-04,1.070550e-04,1.065073e-04,1.061026e-04,1.057842e-04,1.051467e-04,1.050597e-04,1.043349e-04,1.041901e-04,1.036110e-04,1.032352e-04,1.028889e-04,1.022843e-04,1.021694e-04,1.014534e-04,1.013392e-04,1.007415e-04,1.004015e-04,1.000345e-04,9.947257e-05,9.933266e-05,9.863665e-05,9.855353e-05,9.794683e-05,9.764537e-05,9.726357e-05,9.674889e-05,9.658720e-05,9.591799e-05,9.586477e-05,9.525618e-05,9.499358e-05,9.460199e-05,9.413578e-05,9.395557e-05,9.331709e-05,9.329172e-05,9.268665e-05,9.246169e-05,9.206437e-05,9.164591e-05,9.145031e-05,9.084453e-05,9.005766e-05,8.928534e-05,8.852760e-05,8.778440e-05,8.705571e-05,8.634143e-05,8.564147e-05,8.495569e-05,8.428397e-05,8.362613e-05,8.298202e-05,8.235144e-05,8.173420e-05,8.113012e-05,8.053898e-05,7.996056e-05,7.939466e-05,7.884104e-05,7.829950e-05,7.776981e-05,7.725174e-05,7.674506e-05,7.624955e-05,7.576499e-05
0.000000e+00,1.355971e-11,6.963881e-11,7.916520e-10,3.952411e-09,8.241612e-09,4.008346e-08,4.242859e-08,1.487546e-07,2.015878e-07,4.097053e-07,6.927688e-07,9.566675e-07,1.875967e-06,1.981166e-06,3.742516e-06,4.309819e-06,6.566698e-06,8.752728e-06,1.083462e-05,1.611562e-05,1.696368e-05,2.538753e-05,2.738585e-05,3.653725e-05,4.355029e-05,5.082478e-05,6.552963e-05,6.862902e-05,9.028443e-05,9.412626e-05,1.160718e-04,1.299844e-04,1.462110e-04,1.735617e-04,1.808563e-04,2.200929e-04,2.251113e-04,2.639358e-04,2.846744e-04,3.123308e-04,3.520831e-04,3.651565e-04,4.222289e-04,4.269713e-04,4.833061e-04,5.087942e-04,5.480952e-04,5.968543e-04,6.162596e-04,6.874268e-04,6.903304e-04,7.611964e-04,7.883102e-04,8.371486e-04,8.898228e-04,9.148517e-04,9.938700e-04,1.073770e-03,1.099455e-03,1.154128e-03,1.205608e-03,1.234534e-03,1.311406e-03,1.314598e-03,1.393950e-03,1.415994e-03,1.472250e-03,1.518592e-03,1.549182e-03,1.618507e-03,1.624463e-03,1.697837e-03,1.715137e-03,1.769081e-03,1.807973e-03,1.838000e-03,1.896596e-03,1.904431e-03,1.968238e-03,1.980674e-03,2.029312e-03,2.059962e-03,2.087570e-03,2.134286e-03,2.142952e-03,2.195422e-03,2.203545e-03,2.244961e-03,2.267699e-03,2.291572e-03,2.326763e-03,2.335271e-03,2.376089e-03,2.380796e-03,2.414071e-03,2.429898e-03,2.449272e-03,2.474204e-03,2.481757e-03,2.511597e-03,2.513873e-03,2.538873e-03,2.549083e-03,2.563667e-03,2.580032e-03,2.586068e-03,2.606168e-03,2.606925e-03,2.624059e-03,2.629977e-03,2.639835e-03,2.649404e-03,2.653592e-03,2.665424e-03,2.675425e-03,2.678254e-03,2.683687e-03,2.688105e-03,2.690303e-03,2.695187e-03,2.695360e-03,2.698946e-03,2.699698e-03,2.701145e-03,2.701833e-03,2.702039e-03,2.701777e-03,2.701707e-03,2.700225e-03,2.699707e-03,2.697666e-03,2.695789e-03,2.694100e-03,2.690182e-03,2.689594e-03,2.684212e-03,2.683036e-03,2.678015e-03,2.674490e-03,2.671062e-03,2.664678e-03,2.663408e-03,2.655106e-03,2.653721e-03,2.646206e-03,2.641735e-03,2.636754e-03,2.628826e-03,2.626796e-03,2.616374e-03,2.615094e-03,2.605528e-03,2.600631e-03,2.594295e-03,2.585522e-03,2.582712e-03,2.570811e-03,2.569846e-03,2.558624e-03,2.553676e-03,2.546181e-03,2.537078e-03,2.533509e-03,2.520634e-03,2.520115e-03,2.507581e-03,2.502843e-03,2.494373e-03,2.485314e-03,2.481032e-03,2.467577e-03,2.449674e-03,2.431645e-03,2.413528e-03,2.395354e-03,2.377156e-03,2.358959e-03,2.340790e-03,2.322671e-03,2.304622e-03,2.286661e-03,2.268806e-03,2.251072e-03,2.233471e-03,2.216015e-03,2.198716e-03,2.181582e-03,2.164622e-03,2.147844e-03,2.131252e-03,2.114853e-03,2.098652e-03,2.082653e-03,2.066858e-03,2.051270e-03
0.000000e+00,2.550686e-12,5.857202e-12,2.023105e-11,4.619382e-11,6.753322e-11,1.541706e-10,1.588556e-10,3.094987e-10,3.645925e-10,5.366635e-10,7.177589e-10,8.599411e-10,1.260137e-09,1.300109e-09,1.874442e-09,2.033265e-09,2.589294e-09,3.048548e-09,3.436882e-09,4.279525e-09,4.400724e-09,5.463168e-09,5.686093e-09,6.608905e-09,7.233297e-09,7.825205e-09,8.893404e-09,9.101148e-09,1.042690e-08,1.064302e-08,1.179328e-08,1.246100e-08,1.319157e-08,1.432758e-08,1.461346e-08,1.605109e-08,1.622431e-08,1.749711e-08,1.813424e-08,1.894473e-08,2.004217e-08,2.038778e-08,2.182073e-08,2.193478e-08,2.323874e-08,2.380079e-08,2.463756e-08,2.563078e-08,2.601357e-08,2.736373e-08,2.741716e-08,2.868553e-08,2.915402e-08,2.997691e-08,3.083682e-08,3.123624e-08,3.246229e-08,3.365413e-08,3.402818e-08,3.481114e-08,3.553315e-08,3.593292e-08,3.697654e-08,3.701931e-08,3.807031e-08,3.835826e-08,3.908606e-08,3.967871e-08,4.006685e-08,4.093861e-08,4.101305e-08,4.192512e-08,4.213900e-08,4.280361e-08,4.328112e-08,4.364912e-08,4.436640e-08,4.446229e-08,4.524378e-08,4.539634e-08,4.599428e-08,4.637253e-08,4.671450e-08,4.729663e-08,4.740518e-08,4.806705e-08,4.817032e-08,4.870085e-08,4.899532e-08,4.930732e-08,4.977333e-08,4.988721e-08,5.044126e-08,5.050604e-08,5.097019e-08,5.119515e-08,5.147473e-08,5.184231e-08,5.195560e-08,5.241350e-08,5.244916e-08,5.284913e-08,5.301730e-08,5.326318e-08,5.354830e-08,5.365630e-08,5.402917e-08,5.404368e-08,5.438243e-08,5.450493e-08,5.471671e-08,5.493349e-08,5.503262e-08,5.533078e-08,5.561176e-08,5.569814e-08,5.587615e-08,5.603691e-08,5.612451e-08,5.634836e-08,5.635739e-08,5.657531e-08,5.663372e-08,5.677881e-08,5.689419e-08,5.696838e-08,5.713091e-08,5.714452e-08,5.730771e-08,5.734500e-08,5.745841e-08,5.753752e-08,5.759708e-08,5.770950e-08,5.772415e-08,5.784006e-08,5.786194e-08,5.794522e-08,5.799579e-08,5.804004e-08,5.811197e-08,5.812490e-08,5.820018e-08,5.821136e-08,5.826626e-08,5.829481e-08,5.832348e-08,5.836312e-08,5.837220e-08,5.841275e-08,5.841709e-08,5.844546e-08,5.845745e-08,5.847065e-08,5.848494e-08,5.848861e-08,5.849964e-08,5.850023e-08,5.850403e-08,5.850399e-08,5.850206e-08,5.849685e-08,5.849399e-08,5.848009e-08,5.847942e-08,5.846061e-08,5.845227e-08,5.843578e-08,5.841597e-08,5.840585e-08,5.837104e-08,5.831798e-08,5.825730e-08,5.818945e-08,5.811487e-08,5.803399e-08,5.794721e-08,5.785492e-08,5.775750e-08,5.765528e-08,5.754861e-08,5.743781e-08,5.732318e-08,5.720502e-08,5.708359e-08,5.695917e-08,5.683200e-08,5.670233e-08,5.657038e-08,5.643637e-08,5.630051e-08,5.616298e-08,5.602398e-08,5.588368e-08,5.574225e-08
0.000000e+00,1.586715e-12,8.081919e-12,9.026643e-11,4.431129e-10,9.150813e-10,4.333383e-09,4.581669e-09,1.559449e-08,2.095039e-08,4.160171e-08,6.892444e-08,9.384627e-08,1.779038e-07,1.873146e-07,3.406178e-07,3.886841e-07,5.756544e-07,7.520753e-07,9.170899e-07,1.326765e-06,1.391662e-06,2.027297e-06,2.176231e-06,2.852041e-06,3.364676e-06,3.892874e-06,4.952351e-06,5.174527e-06,6.718426e-06,6.991004e-06,8.541839e-06,9.520225e-06,1.065727e-05,1.256499e-05,1.307207e-05,1.578833e-05,1.613444e-05,1.880285e-05,2.022179e-05,2.210741e-05,2.480503e-05,2.568903e-05,2.953044e-05,2.984837e-05,3.361059e-05,3.530416e-05,3.790521e-05,4.111511e-05,4.238739e-05,4.702828e-05,4.721680e-05,5.179765e-05,5.354011e-05,5.666451e-05,6.001376e-05,6.159772e-05,6.656653e-05,7.154102e-05,7.312934e-05,7.649256e-05,7.963696e-05,8.139417e-05,8.602947e-05,8.622080e-05,9.094956e-05,9.225321e-05,9.555988e-05,9.826156e-05,1.000336e-04,1.040153e-04,1.043550e-04,1.085109e-04,1.094825e-04,1.124904e-04,1.146387e-04,1.162850e-04,1.194662e-04,1.198883e-04,1.232961e-04,1.239539e-04,1.265058e-04,1.280963e-04,1.295168e-04,1.318931e-04,1.323299e-04,1.349474e-04,1.353482e-04,1.373725e-04,1.384694e-04,1.396096e-04,1.412674e-04,1.416640e-04,1.435415e-04,1.437553e-04,1.452487e-04,1.459477e-04,1.467924e-04,1.478607e-04,1.481798e-04,1.494183e-04,1.495111e-04,1.505152e-04,1.509161e-04,1.514782e-04,1.520927e-04,1.523146e-04,1.530318e-04,1.530581e-04,1.536370e-04,1.538287e-04,1.541371e-04,1.544206e-04,1.545389e-04,1.548488e-04,1.550732e-04,1.551279e-04,1.552180e-04,1.552714e-04,1.552887e-04,1.552920e-04,1.552909e-04,1.552294e-04,1.552015e-04,1.551093e-04,1.550108e-04,1.549348e-04,1.547300e-04,1.547103e-04,1.544397e-04,1.543683e-04,1.541268e-04,1.539343e-04,1.537749e-04,1.534356e-04,1.533874e-04,1.529672e-04,1.528795e-04,1.525171e-04,1.522722e-04,1.520398e-04,1.516196e-04,1.515377e-04,1.510130e-04,1.509271e-04,1.504679e-04,1.501995e-04,1.499042e-04,1.494411e-04,1.493237e-04,1.487282e-04,1.486558e-04,1.481192e-04,1.478473e-04,1.474981e-04,1.470188e-04,1.468662e-04,1.462248e-04,1.461732e-04,1.455751e-04,1.453131e-04,1.449180e-04,1.444409e-04,1.442546e-04,1.435857e-04,1.435588e-04,1.429122e-04,1.426688e-04,1.422349e-04,1.417726e-04,1.415545e-04,1.408717e-04,1.399678e-04,1.390620e-04,1.381556e-04,1.372496e-04,1.363450e-04,1.354427e-04,1.345434e-04,1.336479e-04,1.327569e-04,1.318709e-04,1.309904e-04,1.301160e-04,1.292480e-04,1.283869e-04,1.275330e-04,1.266865e-04,1.258478e-04,1.250170e-04,1.241945e-04,1.233804e-04,1.225748e-04,1.217779e-04,1.209898e-04,1.202106e-04
0.000000e+00,4.038927e-11,9.301396e-11,3.221117e-10,7.366350e-10,1.078072e-09,2.471866e-09,2.547593e-09,5.001365e-09,5.907396e-09,8.763218e-09,1.180475e-08,1.421288e-08,2.105063e-08,2.173636e-08,3.158757e-08,3.430079e-08,4.372447e-08,5.140158e-08,5.781215e-08,7.146991e-08,7.340688e-08,9.011112e-08,9.355636e-08,1.076141e-07,1.169495e-07,1.256756e-07,1.411354e-07,1.441007e-07,1.627232e-07,1.657110e-07,1.813954e-07,1.903362e-07,1.999843e-07,2.147144e-07,2.183699e-07,2.364453e-07,2.385889e-07,2.541168e-07,2.617431e-07,2.713041e-07,2.840011e-07,2.879404e-07,3.039713e-07,3.052263e-07,3.193548e-07,3.253196e-07,3.340599e-07,3.442159e-07,3.480665e-07,3.613621e-07,3.618791e-07,3.739412e-07,3.782944e-07,3.858056e-07,3.934686e-07,3.969624e-07,4.074226e-07,4.172014e-07,4.201895e-07,4.263164e-07,4.318106e-07,4.347872e-07,4.423329e-07,4.426351e-07,4.498823e-07,4.518071e-07,4.565521e-07,4.602865e-07,4.626678e-07,4.678253e-07,4.682531e-07,4.733316e-07,4.744777e-07,4.779267e-07,4.802973e-07,4.820612e-07,4.853367e-07,4.857579e-07,4.890385e-07,4.896465e-07,4.919244e-07,4.932760e-07,4.944364e-07,4.962722e-07,4.965946e-07,4.984182e-07,4.986802e-07,4.999259e-07,5.005427e-07,5.011357e-07,5.019007e-07,5.020648e-07,5.027298e-07,5.027926e-07,5.031464e-07,5.032550e-07,5.033299e-07,5.033224e-07,5.032948e-07,5.030548e-07,5.030272e-07,5.026234e-07,5.024001e-07,5.020131e-07,5.014697e-07,5.012359e-07,5.003033e-07,5.002629e-07,4.992263e-07,4.988052e-07,4.980152e-07,4.971201e-07,4.966798e-07,4.952297e-07,4.936736e-07,4.931547e-07,4.920201e-07,4.909144e-07,4.902771e-07,4.885267e-07,4.884522e-07,4.865527e-07,4.860084e-07,4.845853e-07,4.833750e-07,4.825565e-07,4.806410e-07,4.804724e-07,4.783387e-07,4.778198e-07,4.761608e-07,4.749238e-07,4.739439e-07,4.719645e-07,4.716928e-07,4.694120e-07,4.689526e-07,4.671058e-07,4.658979e-07,4.647783e-07,4.628094e-07,4.624332e-07,4.600740e-07,4.596955e-07,4.577042e-07,4.565638e-07,4.553268e-07,4.534213e-07,4.529447e-07,4.505607e-07,4.502746e-07,4.481773e-07,4.471295e-07,4.457970e-07,4.439913e-07,4.434218e-07,4.410540e-07,4.408650e-07,4.386954e-07,4.377549e-07,4.363478e-07,4.346652e-07,4.340128e-07,4.316920e-07,4.315995e-07,4.293868e-07,4.285610e-07,4.270984e-07,4.255526e-07,4.248282e-07,4.225771e-07,4.196366e-07,4.167333e-07,4.138691e-07,4.110453e-07,4.082635e-07,4.055248e-07,4.028302e-07,4.001804e-07,3.975762e-07,3.950180e-07,3.925063e-07,3.900412e-07,3.876231e-07,3.852519e-07,3.829275e-07,3.806500e-07,3.784190e-07,3.762343e-07,3.740957e-07,3.720026e-07,3.699547e-07,3.679515e-07,3.659925e-07,3.640772e-07
0.000000e+00,3.489065e-12,8.009114e-12,2.756343e-11,6.258310e-11,9.112999e-11,2.052274e-10,2.113233e-10,4.038349e-10,4.727066e-10,6.832562e-10,8.983892e-10,1.063375e-09,1.513294e-09,1.557288e-09,2.176979e-09,2.345556e-09,2.931920e-09,3.415774e-09,3.826831e-09,4.729182e-09,4.860345e-09,6.026093e-09,6.274343e-09,7.315104e-09,8.030850e-09,8.717543e-09,9.975888e-09,1.022334e-08,1.182224e-08,1.208600e-08,1.350370e-08,1.433695e-08,1.525684e-08,1.670345e-08,1.707047e-08,1.893317e-08,1.915944e-08,2.083345e-08,2.167853e-08,2.275992e-08,2.423470e-08,2.470146e-08,2.664736e-08,2.680292e-08,2.858751e-08,2.935983e-08,3.051248e-08,3.188418e-08,3.241363e-08,3.428316e-08,3.435719e-08,3.611419e-08,3.676276e-08,3.790073e-08,3.908751e-08,3.963765e-08,4.132067e-08,4.294635e-08,4.345401e-08,4.451202e-08,4.548162e-08,4.601571e-08,4.739968e-08,4.745607e-08,4.883235e-08,4.920617e-08,5.014428e-08,5.090063e-08,5.139208e-08,5.248389e-08,5.257631e-08,5.369786e-08,5.395784e-08,5.475793e-08,5.532521e-08,5.575789e-08,5.658939e-08,5.669933e-08,5.758398e-08,5.775425e-08,5.841364e-08,5.882397e-08,5.919024e-08,5.980299e-08,5.991571e-08,6.059205e-08,6.069584e-08,6.122125e-08,6.150710e-08,6.180528e-08,6.224132e-08,6.234613e-08,6.284573e-08,6.290301e-08,6.330599e-08,6.349652e-08,6.372876e-08,6.402610e-08,6.411584e-08,6.446897e-08,6.449581e-08,6.478983e-08,6.490951e-08,6.508004e-08,6.527090e-08,6.534118e-08,6.557473e-08,6.558352e-08,6.578214e-08,6.585068e-08,6.596480e-08,6.607554e-08,6.612401e-08,6.626104e-08,6.637710e-08,6.640999e-08,6.647332e-08,6.652500e-08,6.655081e-08,6.660854e-08,6.661061e-08,6.665370e-08,6.666290e-08,6.668104e-08,6.669025e-08,6.669352e-08,6.669261e-08,6.669199e-08,6.667727e-08,6.667186e-08,6.665013e-08,6.662978e-08,6.661130e-08,6.656802e-08,6.656148e-08,6.650133e-08,6.648811e-08,6.643147e-08,6.639150e-08,6.635250e-08,6.627954e-08,6.626498e-08,6.616946e-08,6.615347e-08,6.606644e-08,6.601447e-08,6.595640e-08,6.586363e-08,6.583980e-08,6.571708e-08,6.570196e-08,6.558865e-08,6.553043e-08,6.545490e-08,6.534992e-08,6.531619e-08,6.517289e-08,6.516124e-08,6.502533e-08,6.496518e-08,6.487381e-08,6.476244e-08,6.471865e-08,6.456012e-08,6.455371e-08,6.439849e-08,6.433960e-08,6.423403e-08,6.412069e-08,6.406697e-08,6.389753e-08,6.367062e-08,6.344043e-08,6.320740e-08,6.297194e-08,6.273442e-08,6.249519e-08,6.225460e-08,6.201293e-08,6.177048e-08,6.152751e-08,6.128426e-08,6.104097e-08,6.079783e-08,6.055505e-08,6.031281e-08,6.007127e-08,5.983060e-08,5.959092e-08,5.935239e-08,5.911511e-08,5.887920e-08,5.864476e-08,5.841189e-08,5.818067e-08
0.000000e+00,9.070540e-12,4.684893e-11,5.389896e-10,2.721223e-09,5.709969e-09,2.823644e-08,2.990912e-08,1.066881e-07,1.452813e-07,2.989680e-07,5.108219e-07,7.103691e-07,1.416094e-06,1.497697e-06,2.883640e-06,3.336805e-06,5.166270e-06,6.972951e-06,8.720317e-06,1.324935e-05,1.398785e-05,2.146069e-05,2.326542e-05,3.165899e-05,3.821438e-05,4.510949e-05,5.929763e-05,6.232564e-05,8.379033e-05,8.764895e-05,1.099416e-04,1.242733e-04,1.411610e-04,1.700006e-04,1.777650e-04,2.199983e-04,2.254534e-04,2.680299e-04,2.910270e-04,3.219509e-04,3.668804e-04,3.817740e-04,4.474354e-04,4.529369e-04,5.187975e-04,5.488943e-04,5.956530e-04,6.542408e-04,6.777310e-04,7.647026e-04,7.682780e-04,8.561884e-04,8.901481e-04,9.517657e-04,1.018863e-03,1.050977e-03,1.153337e-03,1.258340e-03,1.292415e-03,1.365469e-03,1.434907e-03,1.474204e-03,1.579615e-03,1.584022e-03,1.694413e-03,1.725356e-03,1.804876e-03,1.870987e-03,1.914930e-03,2.015424e-03,2.024117e-03,2.132002e-03,2.157655e-03,2.238180e-03,2.296754e-03,2.342277e-03,2.431888e-03,2.443950e-03,2.542889e-03,2.562323e-03,2.638816e-03,2.687426e-03,2.731489e-03,2.806665e-03,2.820698e-03,2.906264e-03,2.919606e-03,2.988041e-03,3.025913e-03,3.065913e-03,3.125337e-03,3.139790e-03,3.209612e-03,3.217716e-03,3.275341e-03,3.302962e-03,3.336966e-03,3.381060e-03,3.394494e-03,3.447953e-03,3.452056e-03,3.497390e-03,3.516052e-03,3.542866e-03,3.573197e-03,3.584456e-03,3.622249e-03,3.623683e-03,3.656344e-03,3.667734e-03,3.686849e-03,3.705601e-03,3.713881e-03,3.737560e-03,3.758015e-03,3.763901e-03,3.775377e-03,3.784926e-03,3.789779e-03,3.800947e-03,3.801357e-03,3.810248e-03,3.812275e-03,3.816589e-03,3.819226e-03,3.820515e-03,3.822111e-03,3.822162e-03,3.821661e-03,3.821236e-03,3.819143e-03,3.816899e-03,3.814735e-03,3.809393e-03,3.808563e-03,3.800745e-03,3.798995e-03,3.791400e-03,3.785975e-03,3.780640e-03,3.770589e-03,3.768575e-03,3.755310e-03,3.753082e-03,3.740944e-03,3.733686e-03,3.725574e-03,3.712617e-03,3.709292e-03,3.692186e-03,3.690082e-03,3.674338e-03,3.666271e-03,3.655828e-03,3.641364e-03,3.636731e-03,3.617116e-03,3.615526e-03,3.597051e-03,3.588913e-03,3.576598e-03,3.561665e-03,3.555817e-03,3.534762e-03,3.533915e-03,3.513486e-03,3.505782e-03,3.492037e-03,3.477376e-03,3.470460e-03,3.448797e-03,3.420136e-03,3.391476e-03,3.362890e-03,3.334444e-03,3.306199e-03,3.278207e-03,3.250515e-03,3.223164e-03,3.196189e-03,3.169621e-03,3.143487e-03,3.117810e-03,3.092608e-03,3.067897e-03,3.043688e-03,3.019993e-03,2.996818e-03,2.974167e-03,2.952045e-03,2.930450e-03,2.909384e-03,2.888843e-03,2.868825e-03,2.849324e-03
0.000000e+00,2.222748e-11,1.149149e-10,1.324628e-09,6.698288e-09,1.406568e-08,6.965291e-08,7.378161e-08,2.632254e-07,3.583614e-07,7.365603e-07,1.256301e-06,1.744350e-06,3.460890e-06,3.658560e-06,6.996496e-06,8.081605e-06,1.244076e-05,1.672229e-05,2.084948e-05,3.151377e-05,3.325030e-05,5.081607e-05,5.506024e-05,7.482613e-05,9.030176e-05,1.066200e-04,1.403319e-04,1.475496e-04,1.989344e-04,2.082109e-04,2.620210e-04,2.967985e-04,3.379487e-04,4.086163e-04,4.277214e-04,5.321855e-04,5.457423e-04,6.520141e-04,7.097391e-04,7.876968e-04,9.016109e-04,9.395344e-04,1.107639e-03,1.121789e-03,1.291939e-03,1.370144e-03,1.492185e-03,1.646010e-03,1.707964e-03,1.938707e-03,1.948239e-03,2.183713e-03,2.275251e-03,2.442158e-03,2.625108e-03,2.713116e-03,2.995578e-03,3.288463e-03,3.384205e-03,3.590646e-03,3.788385e-03,3.900962e-03,4.205423e-03,4.218232e-03,4.541270e-03,4.632594e-03,4.868899e-03,5.067196e-03,5.199958e-03,5.506592e-03,5.533320e-03,5.867892e-03,5.948252e-03,6.202628e-03,6.389777e-03,6.536529e-03,6.828924e-03,6.868656e-03,7.198124e-03,7.263625e-03,7.524112e-03,7.691995e-03,7.845860e-03,8.112340e-03,8.162671e-03,8.473911e-03,8.523153e-03,8.779008e-03,8.923121e-03,9.077451e-03,9.311110e-03,9.368789e-03,9.652627e-03,9.686167e-03,9.928625e-03,1.004750e-02,1.019650e-02,1.039449e-02,1.045600e-02,1.070695e-02,1.072665e-02,1.094919e-02,1.104362e-02,1.118262e-02,1.134519e-02,1.140717e-02,1.162280e-02,1.163124e-02,1.182951e-02,1.190174e-02,1.202732e-02,1.215678e-02,1.221630e-02,1.239651e-02,1.256805e-02,1.262113e-02,1.273104e-02,1.283094e-02,1.288562e-02,1.302624e-02,1.303194e-02,1.317015e-02,1.320742e-02,1.330043e-02,1.337487e-02,1.342296e-02,1.352902e-02,1.353794e-02,1.364556e-02,1.367031e-02,1.374602e-02,1.379923e-02,1.383953e-02,1.391623e-02,1.392630e-02,1.400654e-02,1.402182e-02,1.408046e-02,1.411647e-02,1.414827e-02,1.420067e-02,1.421019e-02,1.426643e-02,1.427492e-02,1.431720e-02,1.433968e-02,1.436270e-02,1.439544e-02,1.440313e-02,1.443871e-02,1.444266e-02,1.446961e-02,1.448179e-02,1.449605e-02,1.451327e-02,1.451820e-02,1.453626e-02,1.453753e-02,1.455040e-02,1.455500e-02,1.456080e-02,1.456607e-02,1.456763e-02,1.457106e-02,1.457113e-02,1.457125e-02,1.457056e-02,1.456836e-02,1.456471e-02,1.456254e-02,1.455394e-02,1.453856e-02,1.451891e-02,1.449528e-02,1.446796e-02,1.443722e-02,1.440333e-02,1.436653e-02,1.432706e-02,1.428514e-02,1.424098e-02,1.419480e-02,1.414676e-02,1.409706e-02,1.404587e-02,1.399333e-02,1.393961e-02,1.388484e-02,1.382916e-02,1.377269e-02,1.371555e-02,1.365785e-02,1.359969e-02,1.354116e-02,1.348237e-02
0.000000e+00,6.760761e-12,3.445779e-11,3.854964e-10,1.896373e-09,3.922057e-09,1.867159e-08,1.974672e-08,6.776575e-08,9.130072e-08,1.828675e-07,3.055991e-07,4.188163e-07,8.076370e-07,8.517292e-07,1.582037e-06,1.814821e-06,2.732673e-06,3.611963e-06,4.442336e-06,6.524065e-06,6.855517e-06,1.011220e-05,1.087623e-05,1.433923e-05,1.695731e-05,1.964398e-05,2.499494e-05,2.611032e-05,3.379644e-05,3.514190e-05,4.273404e-05,4.747123e-05,5.292872e-05,6.197729e-05,6.436103e-05,7.698828e-05,7.858102e-05,9.074664e-05,9.713804e-05,1.055538e-04,1.174488e-04,1.213116e-04,1.379092e-04,1.392697e-04,1.552259e-04,1.623256e-04,1.731344e-04,1.863215e-04,1.915036e-04,2.102013e-04,2.109542e-04,2.290968e-04,2.359230e-04,2.480631e-04,2.609386e-04,2.669791e-04,2.857309e-04,3.042131e-04,3.100545e-04,3.223297e-04,3.336926e-04,3.399952e-04,3.564596e-04,3.571342e-04,3.736821e-04,3.782020e-04,3.895847e-04,3.987977e-04,4.047978e-04,4.181550e-04,4.192869e-04,4.330265e-04,4.362105e-04,4.459997e-04,4.529260e-04,4.581968e-04,4.682863e-04,4.696155e-04,4.802592e-04,4.822956e-04,4.901368e-04,4.949747e-04,4.992618e-04,5.063579e-04,5.076517e-04,5.153273e-04,5.164906e-04,5.223117e-04,5.254262e-04,5.286305e-04,5.332244e-04,5.343107e-04,5.393803e-04,5.399490e-04,5.438684e-04,5.456664e-04,5.478040e-04,5.504437e-04,5.512166e-04,5.541352e-04,5.543482e-04,5.565887e-04,5.574462e-04,5.586052e-04,5.598019e-04,5.602121e-04,5.614360e-04,5.614774e-04,5.623026e-04,5.625319e-04,5.628365e-04,5.630217e-04,5.630614e-04,5.629999e-04,5.626733e-04,5.625162e-04,5.621021e-04,5.616171e-04,5.613056e-04,5.603459e-04,5.603020e-04,5.591086e-04,5.587426e-04,5.577414e-04,5.568441e-04,5.562157e-04,5.546844e-04,5.545458e-04,5.527450e-04,5.522948e-04,5.508259e-04,5.497039e-04,5.488001e-04,5.469379e-04,5.466786e-04,5.444714e-04,5.440205e-04,5.421880e-04,5.409735e-04,5.398373e-04,5.378166e-04,5.374274e-04,5.349659e-04,5.345677e-04,5.324598e-04,5.312430e-04,5.299157e-04,5.278571e-04,5.273396e-04,5.247371e-04,5.244233e-04,5.221134e-04,5.209535e-04,5.194732e-04,5.174583e-04,5.168209e-04,5.141605e-04,5.139475e-04,5.114959e-04,5.104296e-04,5.088303e-04,5.069123e-04,5.061670e-04,5.035088e-04,5.034026e-04,5.008583e-04,4.999065e-04,4.982181e-04,4.964296e-04,4.955902e-04,4.929767e-04,4.895520e-04,4.861594e-04,4.828020e-04,4.794827e-04,4.762042e-04,4.729684e-04,4.697773e-04,4.666324e-04,4.635349e-04,4.604860e-04,4.574865e-04,4.545371e-04,4.516383e-04,4.487904e-04,4.459937e-04,4.432481e-04,4.405539e-04,4.379107e-04,4.353184e-04,4.327768e-04,4.302854e-04,4.278439e-04,4.254517e-04,4.231085e-04
0.000000e+00,8.977665e-11,2.212772e-10,8.208192e-10,1.930273e-09,2.848210e-09,6.571207e-09,6.771710e-09,1.315634e-08,1.546023e-08,2.255393e-08,2.986932e-08,3.551964e-08,5.107935e-08,5.261128e-08,7.434591e-08,8.029876e-08,1.010848e-07,1.182791e-07,1.328789e-07,1.647974e-07,1.694150e-07,2.101387e-07,2.187311e-07,2.544302e-07,2.786749e-07,3.017033e-07,3.433266e-07,3.514265e-07,4.031129e-07,4.115340e-07,4.563059e-07,4.822453e-07,5.105707e-07,5.544742e-07,5.654915e-07,6.206720e-07,6.272932e-07,6.757392e-07,6.998425e-07,7.303466e-07,7.713449e-07,7.841780e-07,8.369502e-07,8.411186e-07,8.884149e-07,9.085858e-07,9.383590e-07,9.732760e-07,9.866046e-07,1.033007e-06,1.034824e-06,1.077456e-06,1.092962e-06,1.119867e-06,1.147513e-06,1.160185e-06,1.198375e-06,1.234428e-06,1.245515e-06,1.268350e-06,1.288951e-06,1.300163e-06,1.328751e-06,1.329901e-06,1.357610e-06,1.365013e-06,1.383345e-06,1.397863e-06,1.407166e-06,1.427448e-06,1.429139e-06,1.449334e-06,1.453924e-06,1.467822e-06,1.477458e-06,1.484678e-06,1.498219e-06,1.499975e-06,1.513788e-06,1.516379e-06,1.526189e-06,1.532103e-06,1.537250e-06,1.545558e-06,1.547042e-06,1.555633e-06,1.556901e-06,1.563090e-06,1.566285e-06,1.569476e-06,1.573857e-06,1.574855e-06,1.579284e-06,1.579755e-06,1.582823e-06,1.584111e-06,1.585524e-06,1.587049e-06,1.587441e-06,1.588623e-06,1.588687e-06,1.589118e-06,1.589134e-06,1.588971e-06,1.588492e-06,1.588225e-06,1.586922e-06,1.586859e-06,1.585099e-06,1.584323e-06,1.582794e-06,1.580969e-06,1.580041e-06,1.576874e-06,1.573324e-06,1.572111e-06,1.569419e-06,1.566748e-06,1.565189e-06,1.560846e-06,1.560659e-06,1.555854e-06,1.554463e-06,1.550798e-06,1.547653e-06,1.545513e-06,1.540465e-06,1.540019e-06,1.534336e-06,1.532946e-06,1.528482e-06,1.525137e-06,1.522476e-06,1.517077e-06,1.516333e-06,1.510068e-06,1.508802e-06,1.503696e-06,1.500345e-06,1.497231e-06,1.491737e-06,1.490684e-06,1.484069e-06,1.483005e-06,1.477395e-06,1.474174e-06,1.470674e-06,1.465269e-06,1.463915e-06,1.457127e-06,1.456311e-06,1.450318e-06,1.447318e-06,1.443498e-06,1.438310e-06,1.436672e-06,1.429848e-06,1.429302e-06,1.423031e-06,1.420309e-06,1.416229e-06,1.411344e-06,1.409447e-06,1.402689e-06,1.402420e-06,1.395961e-06,1.393547e-06,1.389266e-06,1.384735e-06,1.382609e-06,1.375994e-06,1.367331e-06,1.358753e-06,1.350266e-06,1.341877e-06,1.333589e-06,1.325408e-06,1.317337e-06,1.309379e-06,1.301536e-06,1.293812e-06,1.286207e-06,1.278724e-06,1.271363e-06,1.264125e-06,1.257012e-06,1.250022e-06,1.243157e-06,1.236415e-06,1.229798e-06,1.223303e-06,1.216931e-06,1.210680e-06,1.204550e-06,1.198539e-06
0.000000e+00,1.045903e-10,3.242167e-10,1.562206e-09,4.182139e-09,6.490700e-09,1.648758e-08,1.704595e-08,3.554774e-08,4.250744e-08,6.469066e-08,8.857804e-08,1.076077e-07,1.618909e-07,1.673399e-07,2.454313e-07,2.668567e-07,3.410913e-07,4.015757e-07,4.522682e-07,5.613538e-07,5.769787e-07,7.136726e-07,7.423364e-07,8.611002e-07,9.416283e-07,1.018132e-06,1.156643e-06,1.183648e-06,1.356493e-06,1.384749e-06,1.535463e-06,1.623182e-06,1.719322e-06,1.869094e-06,1.906827e-06,2.096753e-06,2.119650e-06,2.287919e-06,2.372137e-06,2.479218e-06,2.624062e-06,2.669628e-06,2.858224e-06,2.873208e-06,3.044190e-06,3.117678e-06,3.226818e-06,3.355901e-06,3.405505e-06,3.579752e-06,3.586623e-06,3.749155e-06,3.808890e-06,3.913397e-06,4.022010e-06,4.072242e-06,4.225523e-06,4.373133e-06,4.419160e-06,4.515019e-06,4.602816e-06,4.651172e-06,4.776511e-06,4.781621e-06,4.906425e-06,4.940370e-06,5.025670e-06,5.094592e-06,5.139461e-06,5.239436e-06,5.247920e-06,5.351180e-06,5.375204e-06,5.449383e-06,5.502224e-06,5.542680e-06,5.620845e-06,5.631225e-06,5.715172e-06,5.731424e-06,5.794681e-06,5.834323e-06,5.869906e-06,5.929901e-06,5.941006e-06,6.008133e-06,6.018514e-06,6.071438e-06,6.100511e-06,6.131070e-06,6.176229e-06,6.187174e-06,6.239890e-06,6.245994e-06,6.289354e-06,6.310124e-06,6.335702e-06,6.368920e-06,6.379060e-06,6.419554e-06,6.422673e-06,6.457304e-06,6.471662e-06,6.492426e-06,6.516150e-06,6.525033e-06,6.555233e-06,6.556392e-06,6.583129e-06,6.592627e-06,6.608823e-06,6.625085e-06,6.632409e-06,6.653983e-06,6.673631e-06,6.679526e-06,6.691441e-06,6.701912e-06,6.707494e-06,6.721326e-06,6.721870e-06,6.734643e-06,6.737943e-06,6.745888e-06,6.751931e-06,6.755674e-06,6.763447e-06,6.764069e-06,6.771135e-06,6.772641e-06,6.776936e-06,6.779654e-06,6.781530e-06,6.784620e-06,6.784974e-06,6.787323e-06,6.787666e-06,6.788628e-06,6.788911e-06,6.788940e-06,6.788469e-06,6.788306e-06,6.786772e-06,6.786446e-06,6.784383e-06,6.782945e-06,6.781181e-06,6.778060e-06,6.777205e-06,6.772495e-06,6.771882e-06,6.767088e-06,6.764497e-06,6.761019e-06,6.755984e-06,6.754322e-06,6.747029e-06,6.746421e-06,6.739173e-06,6.735879e-06,6.730782e-06,6.724425e-06,6.721885e-06,6.712510e-06,6.712126e-06,6.702683e-06,6.699040e-06,6.692430e-06,6.685225e-06,6.681773e-06,6.670737e-06,6.655624e-06,6.639937e-06,6.623721e-06,6.607017e-06,6.589869e-06,6.572312e-06,6.554383e-06,6.536117e-06,6.517545e-06,6.498698e-06,6.479604e-06,6.460291e-06,6.440784e-06,6.421108e-06,6.401284e-06,6.381334e-06,6.361279e-06,6.341137e-06,6.320925e-06,6.300662e-06,6.280362e-06,6.260040e-06,6.239711e-06,6.219386e-06
0.000000e+00,8.517329e-11,2.664040e-10,1.300234e-09,3.509535e-09,5.467558e-09,1.401039e-08,1.448977e-08,3.046419e-08,3.650810e-08,5.584113e-08,7.666419e-08,9.316168e-08,1.393993e-07,1.439673e-07,2.082862e-07,2.256743e-07,2.856012e-07,3.344290e-07,3.755444e-07,4.649696e-07,4.779017e-07,5.924679e-07,6.168224e-07,7.189466e-07,7.892851e-07,8.569029e-07,9.812308e-07,1.005750e-06,1.164756e-06,1.191084e-06,1.333062e-06,1.416872e-06,1.509704e-06,1.656326e-06,1.693647e-06,1.883804e-06,1.906988e-06,2.079073e-06,2.166329e-06,2.278365e-06,2.431871e-06,2.480632e-06,2.684865e-06,2.701260e-06,2.890127e-06,2.972323e-06,3.095551e-06,3.243112e-06,3.300351e-06,3.503820e-06,3.511922e-06,3.705334e-06,3.777292e-06,3.904346e-06,4.038002e-06,4.100385e-06,4.293051e-06,4.482005e-06,4.541639e-06,4.666969e-06,4.783146e-06,4.847717e-06,5.017102e-06,5.024070e-06,5.195889e-06,5.243171e-06,5.363072e-06,5.461127e-06,5.525549e-06,5.670834e-06,5.683277e-06,5.836235e-06,5.872235e-06,5.984424e-06,6.065332e-06,6.127860e-06,6.250177e-06,6.266575e-06,6.400613e-06,6.426864e-06,6.530028e-06,6.595516e-06,6.654881e-06,6.756282e-06,6.775241e-06,6.891183e-06,6.909330e-06,7.002788e-06,7.054841e-06,7.110136e-06,7.193009e-06,7.213315e-06,7.312413e-06,7.324034e-06,7.407518e-06,7.448124e-06,7.498723e-06,7.565486e-06,7.586118e-06,7.669795e-06,7.676331e-06,7.749846e-06,7.780871e-06,7.826362e-06,7.879316e-06,7.899435e-06,7.969154e-06,7.971874e-06,8.035610e-06,8.058752e-06,8.098891e-06,8.140153e-06,8.159084e-06,8.216275e-06,8.270551e-06,8.287317e-06,8.321994e-06,8.353468e-06,8.370686e-06,8.414918e-06,8.416708e-06,8.460140e-06,8.471848e-06,8.501060e-06,8.524437e-06,8.539543e-06,8.572860e-06,8.575665e-06,8.609497e-06,8.617285e-06,8.641113e-06,8.657875e-06,8.670581e-06,8.694792e-06,8.697971e-06,8.723348e-06,8.728188e-06,8.746779e-06,8.758214e-06,8.768326e-06,8.785016e-06,8.788052e-06,8.806018e-06,8.808733e-06,8.822282e-06,8.829502e-06,8.836903e-06,8.847453e-06,8.849935e-06,8.861435e-06,8.862714e-06,8.871455e-06,8.875408e-06,8.880046e-06,8.885652e-06,8.887261e-06,8.893146e-06,8.893561e-06,8.897751e-06,8.899245e-06,8.901122e-06,8.902810e-06,8.903304e-06,8.904340e-06,8.904359e-06,8.904274e-06,8.903989e-06,8.903148e-06,8.901796e-06,8.901000e-06,8.897871e-06,8.892302e-06,8.885174e-06,8.876567e-06,8.866560e-06,8.855228e-06,8.842642e-06,8.828872e-06,8.813985e-06,8.798045e-06,8.781112e-06,8.763245e-06,8.744501e-06,8.724934e-06,8.704595e-06,8.683534e-06,8.661798e-06,8.639434e-06,8.616484e-06,8.592990e-06,8.568992e-06,8.544527e-06,8.519634e-06,8.494344e-06,8.468693e-06
0.000000e+00,1.279677e-11,6.536000e-11,7.343103e-10,3.625069e-09,7.510456e-09,3.588519e-08,3.795586e-08,1.304855e-07,1.758169e-07,3.518950e-07,5.871031e-07,8.033063e-07,1.541128e-06,1.624414e-06,2.996001e-06,3.430918e-06,5.140027e-06,6.773377e-06,8.315586e-06,1.219049e-05,1.280919e-05,1.891992e-05,2.036232e-05,2.694232e-05,3.196149e-05,3.714987e-05,4.758887e-05,4.978138e-05,6.503075e-05,6.772385e-05,8.304017e-05,9.269271e-05,1.038965e-04,1.226535e-04,1.276300e-04,1.542155e-04,1.575942e-04,1.835747e-04,1.973403e-04,2.155803e-04,2.415704e-04,2.500608e-04,2.868061e-04,2.898365e-04,3.255738e-04,3.415879e-04,3.660958e-04,3.961970e-04,4.080845e-04,4.512396e-04,4.529858e-04,4.952545e-04,5.112511e-04,5.398219e-04,5.702886e-04,5.846393e-04,6.294136e-04,6.738656e-04,6.879788e-04,7.177331e-04,7.453888e-04,7.607738e-04,8.011102e-04,8.027673e-04,8.435164e-04,8.546790e-04,8.828482e-04,9.057041e-04,9.206139e-04,9.538678e-04,9.566891e-04,9.909727e-04,9.989250e-04,1.023386e-03,1.040699e-03,1.053873e-03,1.079077e-03,1.082395e-03,1.108933e-03,1.114003e-03,1.133486e-03,1.145473e-03,1.156066e-03,1.173527e-03,1.176698e-03,1.195421e-03,1.198242e-03,1.212280e-03,1.219727e-03,1.227332e-03,1.238114e-03,1.240639e-03,1.252269e-03,1.253556e-03,1.262294e-03,1.266215e-03,1.270788e-03,1.276268e-03,1.277830e-03,1.283497e-03,1.283893e-03,1.287868e-03,1.289272e-03,1.291022e-03,1.292583e-03,1.293036e-03,1.293986e-03,1.294003e-03,1.293947e-03,1.293705e-03,1.292990e-03,1.291851e-03,1.291186e-03,1.288601e-03,1.285299e-03,1.284101e-03,1.281341e-03,1.278492e-03,1.276787e-03,1.271905e-03,1.271691e-03,1.266105e-03,1.264460e-03,1.260079e-03,1.256272e-03,1.253659e-03,1.247443e-03,1.246889e-03,1.239809e-03,1.238068e-03,1.232457e-03,1.228234e-03,1.224869e-03,1.218021e-03,1.217077e-03,1.209112e-03,1.207501e-03,1.201003e-03,1.196737e-03,1.192775e-03,1.185790e-03,1.184453e-03,1.176058e-03,1.174710e-03,1.167612e-03,1.163545e-03,1.159132e-03,1.152336e-03,1.150637e-03,1.142141e-03,1.141122e-03,1.133659e-03,1.129935e-03,1.125204e-03,1.118803e-03,1.116787e-03,1.108419e-03,1.107752e-03,1.100109e-03,1.096803e-03,1.091866e-03,1.085977e-03,1.083698e-03,1.075611e-03,1.075290e-03,1.067612e-03,1.064754e-03,1.059705e-03,1.054383e-03,1.051895e-03,1.044187e-03,1.034172e-03,1.024347e-03,1.014716e-03,1.005283e-03,9.960509e-04,9.870219e-04,9.781967e-04,9.695756e-04,9.611584e-04,9.529439e-04,9.449307e-04,9.371168e-04,9.295000e-04,9.220775e-04,9.148465e-04,9.078038e-04,9.009461e-04,8.942698e-04,8.877714e-04,8.814470e-04,8.752930e-04,8.693054e-04,8.634804e-04,8.578140e-04
0.000000e+00,1.160193e-11,5.528671e-11,5.383367e-10,2.335034e-09,4.508013e-09,1.797832e-08,1.887747e-08,5.439481e-08,6.989570e-08,1.243057e-07,1.887213e-07,2.429671e-07,4.076086e-07,4.248130e-07,6.836680e-07,7.586863e-07,1.032088e-06,1.270261e-06,1.480241e-06,1.962044e-06,2.034167e-06,2.694134e-06,2.838429e-06,3.454174e-06,3.885392e-06,4.303116e-06,5.074367e-06,5.226445e-06,6.208144e-06,6.369546e-06,7.232073e-06,7.733995e-06,8.282825e-06,9.133100e-06,9.346120e-06,1.040899e-05,1.053595e-05,1.145986e-05,1.191575e-05,1.248850e-05,1.324994e-05,1.348611e-05,1.444527e-05,1.452015e-05,1.535990e-05,1.571218e-05,1.622529e-05,1.681590e-05,1.703799e-05,1.779575e-05,1.782490e-05,1.849740e-05,1.873619e-05,1.914273e-05,1.954968e-05,1.973237e-05,2.026761e-05,2.075032e-05,2.089406e-05,2.118280e-05,2.143442e-05,2.156765e-05,2.189489e-05,2.190767e-05,2.220579e-05,2.228215e-05,2.246497e-05,2.260301e-05,2.268816e-05,2.286419e-05,2.287824e-05,2.303799e-05,2.307211e-05,2.317004e-05,2.323284e-05,2.327690e-05,2.335196e-05,2.336090e-05,2.342422e-05,2.343458e-05,2.346885e-05,2.348529e-05,2.349665e-05,2.350822e-05,2.350930e-05,2.350834e-05,2.350702e-05,2.349519e-05,2.348492e-05,2.347111e-05,2.344476e-05,2.343726e-05,2.339468e-05,2.338903e-05,2.334432e-05,2.331992e-05,2.328703e-05,2.323932e-05,2.322356e-05,2.315463e-05,2.314890e-05,2.308084e-05,2.305010e-05,2.300277e-05,2.294419e-05,2.292092e-05,2.283575e-05,2.283228e-05,2.274768e-05,2.271533e-05,2.265707e-05,2.259419e-05,2.256427e-05,2.246959e-05,2.237329e-05,2.234218e-05,2.227564e-05,2.221254e-05,2.217686e-05,2.208116e-05,2.207716e-05,2.197672e-05,2.194849e-05,2.187573e-05,2.181493e-05,2.177433e-05,2.168080e-05,2.167266e-05,2.157087e-05,2.154643e-05,2.146906e-05,2.141207e-05,2.136734e-05,2.127798e-05,2.126580e-05,2.116455e-05,2.114434e-05,2.106366e-05,2.101137e-05,2.096321e-05,2.087921e-05,2.086326e-05,2.076387e-05,2.074802e-05,2.066510e-05,2.061793e-05,2.056701e-05,2.048905e-05,2.046963e-05,2.037301e-05,2.036147e-05,2.027719e-05,2.023530e-05,2.018221e-05,2.011059e-05,2.008808e-05,1.999484e-05,1.998742e-05,1.990252e-05,1.986585e-05,1.981113e-05,1.974593e-05,1.972070e-05,1.963124e-05,1.962768e-05,1.954277e-05,1.951116e-05,1.945529e-05,1.939639e-05,1.936883e-05,1.928339e-05,1.917217e-05,1.906277e-05,1.895517e-05,1.884939e-05,1.874543e-05,1.864328e-05,1.854295e-05,1.844443e-05,1.834771e-05,1.825278e-05,1.815962e-05,1.806822e-05,1.797857e-05,1.789065e-05,1.780444e-05,1.771992e-05,1.763707e-05,1.755588e-05,1.747631e-05,1.739835e-05,1.732198e-05,1.724716e-05,1.717388e-05,1.710212e-05
0.000000e+00,2.120904e-10,6.417416e-10,3.006326e-09,7.960864e-09,1.232982e-08,3.147622e-08,3.255830e-08,6.914867e-08,8.322987e-08,1.287468e-07,1.777871e-07,2.161787e-07,3.208291e-07,3.309480e-07,4.702815e-07,5.071484e-07,6.323456e-07,7.326671e-07,8.162090e-07,9.954999e-07,1.021188e-06,1.246480e-06,1.293887e-06,1.491009e-06,1.625318e-06,1.753385e-06,1.986347e-06,2.031921e-06,2.324686e-06,2.372710e-06,2.629572e-06,2.779575e-06,2.944366e-06,3.201826e-06,3.266824e-06,3.594729e-06,3.634341e-06,3.925951e-06,4.072219e-06,4.258488e-06,4.510954e-06,4.590494e-06,4.920303e-06,4.946548e-06,5.246437e-06,5.375566e-06,5.567607e-06,5.795151e-06,5.882712e-06,6.190828e-06,6.202996e-06,6.491193e-06,6.597306e-06,6.783198e-06,6.976739e-06,7.066368e-06,7.340345e-06,7.604879e-06,7.687507e-06,7.859808e-06,8.017879e-06,8.105046e-06,8.331341e-06,8.340576e-06,8.566433e-06,8.627949e-06,8.782697e-06,8.907900e-06,8.989489e-06,9.171498e-06,9.186956e-06,9.375274e-06,9.419129e-06,9.554634e-06,9.651240e-06,9.725245e-06,9.868319e-06,9.887326e-06,1.004111e-05,1.007089e-05,1.018682e-05,1.025948e-05,1.032470e-05,1.043464e-05,1.045498e-05,1.057792e-05,1.059692e-05,1.069374e-05,1.074687e-05,1.080268e-05,1.088504e-05,1.090498e-05,1.100086e-05,1.101195e-05,1.109056e-05,1.112813e-05,1.117430e-05,1.123408e-05,1.125229e-05,1.132474e-05,1.133031e-05,1.139188e-05,1.141728e-05,1.145389e-05,1.149548e-05,1.151098e-05,1.156334e-05,1.156533e-05,1.161115e-05,1.162729e-05,1.165461e-05,1.168175e-05,1.169387e-05,1.172913e-05,1.176054e-05,1.176980e-05,1.178826e-05,1.180414e-05,1.181245e-05,1.183249e-05,1.183326e-05,1.185083e-05,1.185519e-05,1.186531e-05,1.187257e-05,1.187683e-05,1.188493e-05,1.188552e-05,1.189152e-05,1.189257e-05,1.189493e-05,1.189577e-05,1.189589e-05,1.189479e-05,1.189451e-05,1.189089e-05,1.188990e-05,1.188514e-05,1.188134e-05,1.187736e-05,1.186933e-05,1.186766e-05,1.185612e-05,1.185411e-05,1.184284e-05,1.183587e-05,1.182791e-05,1.181483e-05,1.181140e-05,1.179341e-05,1.179116e-05,1.177401e-05,1.176505e-05,1.175328e-05,1.173667e-05,1.173128e-05,1.170809e-05,1.170618e-05,1.168377e-05,1.167374e-05,1.165839e-05,1.163950e-05,1.163201e-05,1.160469e-05,1.160358e-05,1.157649e-05,1.156613e-05,1.154746e-05,1.152727e-05,1.151765e-05,1.148711e-05,1.144577e-05,1.140335e-05,1.135996e-05,1.131568e-05,1.127060e-05,1.122482e-05,1.117840e-05,1.113143e-05,1.108397e-05,1.103610e-05,1.098787e-05,1.093934e-05,1.089057e-05,1.084161e-05,1.079251e-05,1.074331e-05,1.069406e-05,1.064481e-05,1.059558e-05,1.054641e-05,1.049734e-05,1.044839e-05,1.039960e-05,1.035100e-05
0.000000e+00,1.628784e-11,3.832114e-11,1.353221e-10,3.109565e-10,4.548685e-10,1.033332e-09,1.064344e-09,2.047848e-09,2.401392e-09,3.486947e-09,4.602657e-09,5.462212e-09,7.820550e-09,8.052110e-09,1.132719e-08,1.222139e-08,1.533734e-08,1.791010e-08,2.009278e-08,2.485923e-08,2.554791e-08,3.160347e-08,3.287542e-08,3.812986e-08,4.166535e-08,4.499504e-08,5.093697e-08,5.208135e-08,5.929007e-08,6.044918e-08,6.653993e-08,7.001430e-08,7.376383e-08,7.948664e-08,8.090628e-08,8.792144e-08,8.875285e-08,9.477176e-08,9.772564e-08,1.014270e-07,1.063397e-07,1.078634e-07,1.140632e-07,1.145485e-07,1.200134e-07,1.223216e-07,1.257058e-07,1.296419e-07,1.311357e-07,1.363020e-07,1.365032e-07,1.412061e-07,1.429079e-07,1.458514e-07,1.488651e-07,1.502434e-07,1.543887e-07,1.582951e-07,1.594961e-07,1.619711e-07,1.642069e-07,1.654256e-07,1.685422e-07,1.686679e-07,1.717075e-07,1.725236e-07,1.745539e-07,1.761730e-07,1.772165e-07,1.795118e-07,1.797046e-07,1.820272e-07,1.825610e-07,1.841931e-07,1.853407e-07,1.862108e-07,1.878702e-07,1.880884e-07,1.898338e-07,1.901677e-07,1.914545e-07,1.922504e-07,1.929578e-07,1.941347e-07,1.943504e-07,1.956388e-07,1.958357e-07,1.968292e-07,1.973675e-07,1.979275e-07,1.987436e-07,1.989392e-07,1.998697e-07,1.999761e-07,2.007237e-07,2.010765e-07,2.015061e-07,2.020556e-07,2.022214e-07,2.028735e-07,2.029231e-07,2.034667e-07,2.036882e-07,2.040045e-07,2.043594e-07,2.044904e-07,2.049279e-07,2.049444e-07,2.053200e-07,2.054506e-07,2.056696e-07,2.058846e-07,2.059796e-07,2.062525e-07,2.064908e-07,2.065602e-07,2.066968e-07,2.068128e-07,2.068728e-07,2.070152e-07,2.070206e-07,2.071423e-07,2.071719e-07,2.072397e-07,2.072871e-07,2.073144e-07,2.073646e-07,2.073681e-07,2.074023e-07,2.074078e-07,2.074184e-07,2.074200e-07,2.074177e-07,2.074042e-07,2.074015e-07,2.073709e-07,2.073632e-07,2.073270e-07,2.072993e-07,2.072710e-07,2.072151e-07,2.072036e-07,2.071259e-07,2.071126e-07,2.070387e-07,2.069937e-07,2.069428e-07,2.068604e-07,2.068390e-07,2.067280e-07,2.067142e-07,2.066103e-07,2.065566e-07,2.064867e-07,2.063892e-07,2.063577e-07,2.062239e-07,2.062130e-07,2.060858e-07,2.060294e-07,2.059437e-07,2.058393e-07,2.057983e-07,2.056499e-07,2.056439e-07,2.054988e-07,2.054439e-07,2.053455e-07,2.052401e-07,2.051903e-07,2.050335e-07,2.048245e-07,2.046139e-07,2.044022e-07,2.041899e-07,2.039775e-07,2.037654e-07,2.035539e-07,2.033435e-07,2.031345e-07,2.029270e-07,2.027214e-07,2.025179e-07,2.023167e-07,2.021179e-07,2.019217e-07,2.017283e-07,2.015377e-07,2.013501e-07,2.011655e-07,2.009840e-07,2.008056e-07,2.006305e-07,2.004586e-07,2.002899e-07
0.000000e+00,1.333142e-11,6.439446e-11,6.449345e-10,2.870572e-09,5.621497e-09,2.326874e-08,2.446982e-08,7.321873e-08,9.506972e-08,1.736369e-07,2.694920e-07,3.520791e-07,6.109045e-07,6.385589e-07,1.065992e-06,1.193375e-06,1.668764e-06,2.095263e-06,2.479457e-06,3.385665e-06,3.523963e-06,4.817336e-06,5.106338e-06,6.362550e-06,7.263425e-06,8.152069e-06,9.833177e-06,1.017080e-05,1.239898e-05,1.277346e-05,1.481437e-05,1.603341e-05,1.739361e-05,1.955906e-05,2.011301e-05,2.294889e-05,2.329590e-05,2.587778e-05,2.719001e-05,2.887666e-05,3.118876e-05,3.192306e-05,3.499536e-05,3.524163e-05,3.807296e-05,3.930111e-05,4.113656e-05,4.332363e-05,4.416836e-05,4.715225e-05,4.727040e-05,5.007392e-05,5.110803e-05,5.292091e-05,5.480876e-05,5.568268e-05,5.835055e-05,6.091757e-05,6.171682e-05,6.337852e-05,6.489607e-05,6.572966e-05,6.788128e-05,6.796867e-05,7.009445e-05,7.066934e-05,7.210695e-05,7.326041e-05,7.400707e-05,7.565733e-05,7.579646e-05,7.747742e-05,7.786502e-05,7.905276e-05,7.989000e-05,8.052568e-05,8.173992e-05,8.189970e-05,8.317855e-05,8.342324e-05,8.436609e-05,8.494884e-05,8.546628e-05,8.632585e-05,8.648310e-05,8.742053e-05,8.756342e-05,8.828249e-05,8.867056e-05,8.907283e-05,8.965605e-05,8.979529e-05,9.045349e-05,9.052833e-05,9.105095e-05,9.129546e-05,9.159103e-05,9.196510e-05,9.207696e-05,9.251182e-05,9.254449e-05,9.289858e-05,9.304044e-05,9.324002e-05,9.345931e-05,9.353883e-05,9.379751e-05,9.380706e-05,9.401849e-05,9.408924e-05,9.420401e-05,9.431102e-05,9.435624e-05,9.447720e-05,9.456881e-05,9.459223e-05,9.463289e-05,9.466024e-05,9.467114e-05,9.468506e-05,9.468518e-05,9.467653e-05,9.467024e-05,9.464662e-05,9.461905e-05,9.459683e-05,9.453453e-05,9.452840e-05,9.444257e-05,9.441950e-05,9.434045e-05,9.427655e-05,9.422312e-05,9.410809e-05,9.409158e-05,9.394680e-05,9.391633e-05,9.378966e-05,9.370334e-05,9.362101e-05,9.347103e-05,9.344164e-05,9.325232e-05,9.322115e-05,9.305374e-05,9.295533e-05,9.284658e-05,9.267509e-05,9.263146e-05,9.240898e-05,9.238182e-05,9.217970e-05,9.207680e-05,9.194415e-05,9.176125e-05,9.170283e-05,9.145621e-05,9.143626e-05,9.120472e-05,9.110286e-05,9.094880e-05,9.076201e-05,9.068883e-05,9.042519e-05,9.041458e-05,9.015823e-05,9.006138e-05,8.988829e-05,8.970318e-05,8.961567e-05,8.934066e-05,8.897449e-05,8.860526e-05,8.823351e-05,8.785979e-05,8.748454e-05,8.710823e-05,8.673126e-05,8.635400e-05,8.597680e-05,8.560000e-05,8.522388e-05,8.484872e-05,8.447477e-05,8.410227e-05,8.373144e-05,8.336248e-05,8.299555e-05,8.263085e-05,8.226851e-05,8.190868e-05,8.155148e-05,8.119704e-05,8.084546e-05,8.049684e-05
0.000000e+00,4.481570e-12,2.234655e-11,2.388183e-10,1.126187e-09,2.275048e-09,1.017929e-08,1.073779e-08,3.456056e-08,4.573454e-08,8.745465e-08,1.405788e-07,1.877052e-07,3.408091e-07,3.575361e-07,6.222630e-07,7.029388e-07,1.009370e-06,1.290273e-06,1.547524e-06,2.168868e-06,2.265434e-06,3.190434e-06,3.402497e-06,4.346843e-06,5.046395e-06,5.754381e-06,7.141172e-06,7.426994e-06,9.372277e-06,9.708995e-06,1.159146e-05,1.275278e-05,1.407981e-05,1.625768e-05,1.682726e-05,1.981917e-05,2.019378e-05,2.303710e-05,2.451913e-05,2.645951e-05,2.918266e-05,3.006250e-05,3.382038e-05,3.412691e-05,3.770632e-05,3.929041e-05,4.169287e-05,4.461000e-05,4.575246e-05,4.985791e-05,5.002271e-05,5.398280e-05,5.546761e-05,5.810185e-05,6.088725e-05,6.219125e-05,6.622890e-05,7.019460e-05,7.144541e-05,7.407021e-05,7.649582e-05,7.783968e-05,8.134564e-05,8.148917e-05,8.500692e-05,8.596692e-05,8.838328e-05,9.033795e-05,9.161057e-05,9.444302e-05,9.468301e-05,9.759651e-05,9.827180e-05,1.003486e-04,1.018189e-04,1.029383e-04,1.050830e-04,1.053658e-04,1.076324e-04,1.080666e-04,1.097405e-04,1.107751e-04,1.116932e-04,1.132162e-04,1.134944e-04,1.151485e-04,1.153998e-04,1.166603e-04,1.173369e-04,1.180349e-04,1.190396e-04,1.192780e-04,1.203950e-04,1.205208e-04,1.213917e-04,1.217936e-04,1.222738e-04,1.228712e-04,1.230472e-04,1.237174e-04,1.237667e-04,1.242901e-04,1.244931e-04,1.247708e-04,1.250629e-04,1.251648e-04,1.254773e-04,1.254882e-04,1.257132e-04,1.257804e-04,1.258775e-04,1.259506e-04,1.259747e-04,1.260092e-04,1.259852e-04,1.259659e-04,1.259068e-04,1.258299e-04,1.257778e-04,1.256098e-04,1.256019e-04,1.253825e-04,1.253137e-04,1.251228e-04,1.249490e-04,1.248260e-04,1.245226e-04,1.244949e-04,1.241323e-04,1.240409e-04,1.237409e-04,1.235100e-04,1.233230e-04,1.229353e-04,1.228810e-04,1.224170e-04,1.223218e-04,1.219331e-04,1.216743e-04,1.214312e-04,1.209970e-04,1.209130e-04,1.203803e-04,1.202938e-04,1.198346e-04,1.195685e-04,1.192774e-04,1.188243e-04,1.187101e-04,1.181340e-04,1.180643e-04,1.175502e-04,1.172912e-04,1.169599e-04,1.165076e-04,1.163642e-04,1.157640e-04,1.157158e-04,1.151602e-04,1.149179e-04,1.145538e-04,1.141159e-04,1.139454e-04,1.133358e-04,1.133114e-04,1.127257e-04,1.125061e-04,1.121157e-04,1.117013e-04,1.115065e-04,1.108985e-04,1.100987e-04,1.093029e-04,1.085123e-04,1.077275e-04,1.069493e-04,1.061784e-04,1.054154e-04,1.046608e-04,1.039150e-04,1.031785e-04,1.024516e-04,1.017346e-04,1.010278e-04,1.003312e-04,9.964517e-05,9.896977e-05,9.830511e-05,9.765126e-05,9.700829e-05,9.637619e-05,9.575499e-05,9.514466e-05,9.454517e-05,9.395646e-05
0.000000e+00,5.222359e-11,2.395191e-10,2.162798e-09,8.800929e-09,1.644044e-08,6.066283e-08,6.351065e-08,1.714350e-07,2.168680e-07,3.723465e-07,5.518298e-07,7.007843e-07,1.145803e-06,1.191839e-06,1.874973e-06,2.069502e-06,2.764364e-06,3.351272e-06,3.854823e-06,4.965342e-06,5.126703e-06,6.553726e-06,6.855314e-06,8.108363e-06,8.958329e-06,9.764033e-06,1.121435e-05,1.149545e-05,1.327842e-05,1.356690e-05,1.508967e-05,1.596256e-05,1.690705e-05,1.835136e-05,1.870981e-05,2.047903e-05,2.068826e-05,2.219798e-05,2.293463e-05,2.385241e-05,2.505935e-05,2.543066e-05,2.692368e-05,2.703923e-05,2.832495e-05,2.885875e-05,2.963026e-05,3.050939e-05,3.083747e-05,3.194623e-05,3.198854e-05,3.295768e-05,3.329840e-05,3.387417e-05,3.444478e-05,3.469898e-05,3.543612e-05,3.609005e-05,3.628251e-05,3.666557e-05,3.699503e-05,3.716762e-05,3.758512e-05,3.760121e-05,3.797129e-05,3.806419e-05,3.828268e-05,3.844329e-05,3.854004e-05,3.873292e-05,3.874782e-05,3.891022e-05,3.894289e-05,3.903122e-05,3.908228e-05,3.911452e-05,3.915941e-05,3.916360e-05,3.918166e-05,3.918182e-05,3.917168e-05,3.915633e-05,3.913640e-05,3.908908e-05,3.907836e-05,3.899987e-05,3.898556e-05,3.890308e-05,3.885069e-05,3.878993e-05,3.868884e-05,3.866221e-05,3.852157e-05,3.850389e-05,3.836949e-05,3.829931e-05,3.820734e-05,3.807814e-05,3.803636e-05,3.785769e-05,3.784309e-05,3.767235e-05,3.759656e-05,3.748128e-05,3.734066e-05,3.728535e-05,3.708533e-05,3.707725e-05,3.688192e-05,3.680799e-05,3.667577e-05,3.653432e-05,3.646745e-05,3.625750e-05,3.604640e-05,3.597867e-05,3.583457e-05,3.569881e-05,3.562241e-05,3.541876e-05,3.541028e-05,3.519848e-05,3.513928e-05,3.498732e-05,3.486103e-05,3.477705e-05,3.458458e-05,3.456789e-05,3.436007e-05,3.431042e-05,3.415377e-05,3.403897e-05,3.394916e-05,3.377060e-05,3.374637e-05,3.354555e-05,3.350563e-05,3.334681e-05,3.324432e-05,3.315025e-05,3.298689e-05,3.295596e-05,3.276402e-05,3.273353e-05,3.257449e-05,3.248439e-05,3.238743e-05,3.223960e-05,3.220290e-05,3.202092e-05,3.199926e-05,3.184154e-05,3.176344e-05,3.166477e-05,3.153219e-05,3.149064e-05,3.131916e-05,3.130556e-05,3.115034e-05,3.108356e-05,3.098418e-05,3.086620e-05,3.082069e-05,3.065985e-05,3.065347e-05,3.050167e-05,3.044537e-05,3.034612e-05,3.024186e-05,3.019321e-05,3.004290e-05,2.984847e-05,2.965850e-05,2.947295e-05,2.929176e-05,2.911486e-05,2.894220e-05,2.877369e-05,2.860928e-05,2.844889e-05,2.829245e-05,2.813987e-05,2.799109e-05,2.784602e-05,2.770460e-05,2.756674e-05,2.743236e-05,2.730140e-05,2.717377e-05,2.704939e-05,2.692820e-05,2.681011e-05,2.669506e-05,2.658297e-05,2.647377e-05
0.000000e+00,6.897162e-12,3.446059e-11,3.698003e-10,1.750538e-09,3.544072e-09,1.595628e-08,1.683640e-08,5.460085e-08,7.242640e-08,1.394349e-07,2.255760e-07,3.026138e-07,5.561318e-07,5.840891e-07,1.032049e-06,1.170329e-06,1.701358e-06,2.194393e-06,2.649605e-06,3.757568e-06,3.930340e-06,5.585330e-06,5.963715e-06,7.638767e-06,8.866249e-06,1.009501e-05,1.245945e-05,1.293960e-05,1.614236e-05,1.668536e-05,1.966135e-05,2.144840e-05,2.344688e-05,2.663103e-05,2.744500e-05,3.160041e-05,3.210702e-05,3.585867e-05,3.775139e-05,4.016789e-05,4.344716e-05,4.447987e-05,4.875098e-05,4.908971e-05,5.294256e-05,5.458927e-05,5.702124e-05,5.987203e-05,6.095898e-05,6.473293e-05,6.488021e-05,6.832527e-05,6.957138e-05,7.172284e-05,7.391724e-05,7.491675e-05,7.790198e-05,8.067684e-05,8.152050e-05,8.324258e-05,8.477650e-05,8.560284e-05,8.768061e-05,8.776328e-05,8.973108e-05,9.024866e-05,9.151463e-05,9.250014e-05,9.312317e-05,9.445683e-05,9.456645e-05,9.585455e-05,9.614173e-05,9.699761e-05,9.757813e-05,9.800568e-05,9.878894e-05,9.888860e-05,9.965582e-05,9.979619e-05,1.003164e-04,1.006207e-04,1.008790e-04,1.012817e-04,1.013516e-04,1.017419e-04,1.017971e-04,1.020568e-04,1.021832e-04,1.023030e-04,1.024545e-04,1.024865e-04,1.026129e-04,1.026244e-04,1.026872e-04,1.027047e-04,1.027143e-04,1.027059e-04,1.026984e-04,1.026433e-04,1.026374e-04,1.025528e-04,1.025074e-04,1.024300e-04,1.023233e-04,1.022780e-04,1.020993e-04,1.020916e-04,1.018965e-04,1.018181e-04,1.016719e-04,1.015077e-04,1.014274e-04,1.011649e-04,1.008862e-04,1.007938e-04,1.005926e-04,1.003977e-04,1.002858e-04,9.997988e-05,9.996691e-05,9.963721e-05,9.954310e-05,9.929778e-05,9.908987e-05,9.894962e-05,9.862240e-05,9.859366e-05,9.823073e-05,9.814268e-05,9.786162e-05,9.765249e-05,9.748705e-05,9.715344e-05,9.710768e-05,9.672413e-05,9.664697e-05,9.633696e-05,9.613438e-05,9.594672e-05,9.561690e-05,9.555389e-05,9.515892e-05,9.509555e-05,9.476224e-05,9.457136e-05,9.436426e-05,9.404516e-05,9.396532e-05,9.356576e-05,9.351779e-05,9.316591e-05,9.298996e-05,9.276605e-05,9.246231e-05,9.236644e-05,9.196735e-05,9.193545e-05,9.156900e-05,9.140991e-05,9.117160e-05,9.088619e-05,9.077538e-05,9.038050e-05,9.036473e-05,8.998714e-05,8.984594e-05,8.959548e-05,8.933020e-05,8.920566e-05,8.881783e-05,8.830914e-05,8.780441e-05,8.730388e-05,8.680778e-05,8.631630e-05,8.582962e-05,8.534789e-05,8.487126e-05,8.439985e-05,8.393377e-05,8.347310e-05,8.301794e-05,8.256834e-05,8.212438e-05,8.168608e-05,8.125350e-05,8.082665e-05,8.040556e-05,7.999023e-05,7.958067e-05,7.917689e-05,7.877887e-05,7.838659e-05,7.800004e-05
0.000000e+00,1.301840e-10,4.862102e-10,3.032480e-09,9.329214e-09,1.524740e-08,4.203657e-08,4.355326e-08,9.374308e-08,1.124233e-07,1.709252e-07,2.321937e-07,2.798915e-07,4.120172e-07,4.250467e-07,6.092575e-07,6.592787e-07,8.315062e-07,9.704684e-07,1.085695e-06,1.328699e-06,1.362877e-06,1.654479e-06,1.713898e-06,1.953673e-06,2.110459e-06,2.255194e-06,2.507165e-06,2.554828e-06,2.849050e-06,2.895416e-06,3.134863e-06,3.268308e-06,3.409747e-06,3.620398e-06,3.671662e-06,3.919048e-06,3.947701e-06,4.150812e-06,4.247657e-06,4.366304e-06,4.519029e-06,4.565274e-06,4.747811e-06,4.761713e-06,4.914286e-06,4.976507e-06,5.065295e-06,5.164863e-06,5.201592e-06,5.324044e-06,5.328667e-06,5.433583e-06,5.470041e-06,5.531172e-06,5.591196e-06,5.617770e-06,5.694315e-06,5.761706e-06,5.781478e-06,5.820792e-06,5.854615e-06,5.872362e-06,5.915476e-06,5.917145e-06,5.955810e-06,5.965624e-06,5.988965e-06,6.006446e-06,6.017163e-06,6.039153e-06,6.040898e-06,6.060618e-06,6.064799e-06,6.076724e-06,6.084299e-06,6.089574e-06,6.098446e-06,6.099491e-06,6.106762e-06,6.107922e-06,6.111643e-06,6.113313e-06,6.114361e-06,6.115123e-06,6.115121e-06,6.114105e-06,6.113789e-06,6.111479e-06,6.109691e-06,6.107392e-06,6.103161e-06,6.101977e-06,6.095354e-06,6.094483e-06,6.087631e-06,6.083910e-06,6.078907e-06,6.071663e-06,6.069272e-06,6.058809e-06,6.057939e-06,6.047592e-06,6.042909e-06,6.035688e-06,6.026728e-06,6.023161e-06,6.010068e-06,6.009533e-06,5.996462e-06,5.991448e-06,5.982392e-06,5.972582e-06,5.967903e-06,5.953036e-06,5.937831e-06,5.932899e-06,5.922322e-06,5.912254e-06,5.906545e-06,5.891173e-06,5.890528e-06,5.874301e-06,5.869724e-06,5.857892e-06,5.847969e-06,5.841324e-06,5.825962e-06,5.824621e-06,5.807806e-06,5.803755e-06,5.790897e-06,5.781394e-06,5.773914e-06,5.758922e-06,5.756875e-06,5.739796e-06,5.736377e-06,5.722692e-06,5.713794e-06,5.705579e-06,5.691206e-06,5.688469e-06,5.671375e-06,5.668642e-06,5.654308e-06,5.646129e-06,5.637280e-06,5.623693e-06,5.620301e-06,5.603380e-06,5.601354e-06,5.586527e-06,5.579135e-06,5.569749e-06,5.557052e-06,5.553053e-06,5.536448e-06,5.535124e-06,5.519940e-06,5.513366e-06,5.503535e-06,5.491790e-06,5.487239e-06,5.471056e-06,5.470411e-06,5.454992e-06,5.449240e-06,5.439052e-06,5.428285e-06,5.423239e-06,5.407557e-06,5.387063e-06,5.366811e-06,5.346807e-06,5.327056e-06,5.307563e-06,5.288332e-06,5.269367e-06,5.250670e-06,5.232245e-06,5.214091e-06,5.196212e-06,5.178608e-06,5.161279e-06,5.144226e-06,5.127448e-06,5.110945e-06,5.094717e-06,5.078762e-06,5.063078e-06,5.047665e-06,5.032521e-06,5.017643e-06,5.003030e-06,4.988680e-06
0.000000e+00,1.221733e-10,4.911798e-10,3.486985e-09,1.182626e-08,2.027941e-08,6.273609e-08,6.529814e-08,1.574825e-07,1.950528e-07,3.226845e-07,4.707608e-07,5.947871e-07,9.686038e-07,1.007279e-06,1.573111e-06,1.730255e-06,2.274383e-06,2.713517e-06,3.076786e-06,3.840783e-06,3.948129e-06,4.865020e-06,5.052364e-06,5.811503e-06,6.311455e-06,6.776128e-06,7.593771e-06,7.749847e-06,8.724908e-06,8.880570e-06,9.694395e-06,1.015592e-05,1.065209e-05,1.140601e-05,1.159245e-05,1.251068e-05,1.261918e-05,1.340273e-05,1.378606e-05,1.426528e-05,1.489948e-05,1.509575e-05,1.589225e-05,1.595446e-05,1.665348e-05,1.694792e-05,1.737871e-05,1.787839e-05,1.806762e-05,1.872031e-05,1.874567e-05,1.933720e-05,1.955064e-05,1.991895e-05,2.029489e-05,2.046640e-05,2.098057e-05,2.146255e-05,2.161018e-05,2.191352e-05,2.218643e-05,2.233471e-05,2.271218e-05,2.272735e-05,2.309270e-05,2.319028e-05,2.343200e-05,2.362359e-05,2.374648e-05,2.401490e-05,2.403732e-05,2.430571e-05,2.436691e-05,2.455276e-05,2.468220e-05,2.477957e-05,2.496325e-05,2.498719e-05,2.517662e-05,2.521241e-05,2.534884e-05,2.543190e-05,2.550477e-05,2.562381e-05,2.564529e-05,2.577125e-05,2.579010e-05,2.588345e-05,2.593264e-05,2.598265e-05,2.605316e-05,2.606960e-05,2.614497e-05,2.615327e-05,2.620943e-05,2.623450e-05,2.626361e-05,2.629828e-05,2.630810e-05,2.634347e-05,2.634592e-05,2.637024e-05,2.637866e-05,2.638894e-05,2.639767e-05,2.640003e-05,2.640399e-05,2.640401e-05,2.640124e-05,2.639868e-05,2.639218e-05,2.638263e-05,2.637722e-05,2.635672e-05,2.633103e-05,2.632177e-05,2.630048e-05,2.627853e-05,2.626538e-05,2.622769e-05,2.622604e-05,2.618272e-05,2.616991e-05,2.613569e-05,2.610581e-05,2.608522e-05,2.603594e-05,2.603153e-05,2.597485e-05,2.596082e-05,2.591539e-05,2.588095e-05,2.585336e-05,2.579679e-05,2.578894e-05,2.572232e-05,2.570874e-05,2.565366e-05,2.561721e-05,2.558313e-05,2.552256e-05,2.551089e-05,2.543706e-05,2.542512e-05,2.536180e-05,2.532521e-05,2.528523e-05,2.522311e-05,2.520747e-05,2.512864e-05,2.511911e-05,2.504884e-05,2.501345e-05,2.496818e-05,2.490637e-05,2.488676e-05,2.480466e-05,2.479807e-05,2.472198e-05,2.468876e-05,2.463879e-05,2.457863e-05,2.455518e-05,2.447121e-05,2.446784e-05,2.438695e-05,2.435656e-05,2.430247e-05,2.424493e-05,2.421783e-05,2.413309e-05,2.402117e-05,2.390927e-05,2.379751e-05,2.368599e-05,2.357479e-05,2.346400e-05,2.335371e-05,2.324397e-05,2.313485e-05,2.302642e-05,2.291872e-05,2.281181e-05,2.270573e-05,2.260052e-05,2.249622e-05,2.239287e-05,2.229049e-05,2.218910e-05,2.208874e-05,2.198943e-05,2.189118e-05,2.179401e-05,2.169793e-05,2.160296e-05
0.000000e+00,5.658660e-11,1.379586e-10,5.075514e-10,1.197989e-09,1.778799e-09,4.234172e-09,4.371040e-09,8.972250e-09,1.074363e-08,1.652928e-08,2.293694e-08,2.811353e-08,4.287779e-08,4.434327e-08,6.474693e-08,7.013020e-08,8.808049e-08,1.019666e-07,1.131493e-07,1.359824e-07,1.391286e-07,1.654946e-07,1.707816e-07,1.918996e-07,2.055591e-07,2.180899e-07,2.397746e-07,2.438629e-07,2.690487e-07,2.730140e-07,2.935032e-07,3.049451e-07,3.171051e-07,3.353057e-07,3.397558e-07,3.613786e-07,3.639014e-07,3.819198e-07,3.906062e-07,4.013461e-07,4.153534e-07,4.196407e-07,4.368032e-07,4.381276e-07,4.528458e-07,4.589541e-07,4.677913e-07,4.778898e-07,4.816706e-07,4.945211e-07,4.950143e-07,5.063851e-07,5.104232e-07,5.173080e-07,5.242223e-07,5.273371e-07,5.365176e-07,5.448971e-07,5.474169e-07,5.525218e-07,5.570264e-07,5.594368e-07,5.654481e-07,5.656858e-07,5.713110e-07,5.727798e-07,5.763524e-07,5.791128e-07,5.808477e-07,5.845322e-07,5.848330e-07,5.883424e-07,5.891175e-07,5.914081e-07,5.929425e-07,5.940604e-07,5.960749e-07,5.963275e-07,5.982363e-07,5.985772e-07,5.998117e-07,6.005070e-07,6.010772e-07,6.019168e-07,6.020547e-07,6.027648e-07,6.028549e-07,6.032266e-07,6.033654e-07,6.034580e-07,6.034887e-07,6.034759e-07,6.032959e-07,6.032617e-07,6.029327e-07,6.027183e-07,6.023998e-07,6.018893e-07,6.017101e-07,6.008755e-07,6.008028e-07,5.999071e-07,5.994847e-07,5.988154e-07,5.979584e-07,5.976099e-07,5.962999e-07,5.962454e-07,5.948937e-07,5.943654e-07,5.933992e-07,5.923364e-07,5.918239e-07,5.901746e-07,5.884577e-07,5.878951e-07,5.866793e-07,5.855115e-07,5.848451e-07,5.830364e-07,5.829601e-07,5.810294e-07,5.804812e-07,5.790575e-07,5.778564e-07,5.770487e-07,5.751714e-07,5.750069e-07,5.729359e-07,5.724349e-07,5.708392e-07,5.696551e-07,5.687201e-07,5.668391e-07,5.665815e-07,5.644263e-07,5.639935e-07,5.622572e-07,5.611246e-07,5.600766e-07,5.582377e-07,5.578868e-07,5.556900e-07,5.553380e-07,5.534882e-07,5.524301e-07,5.512833e-07,5.495182e-07,5.490769e-07,5.468708e-07,5.466062e-07,5.446665e-07,5.436975e-07,5.424653e-07,5.407954e-07,5.402687e-07,5.380777e-07,5.379027e-07,5.358936e-07,5.350221e-07,5.337173e-07,5.321559e-07,5.315500e-07,5.293925e-07,5.293064e-07,5.272456e-07,5.264755e-07,5.251102e-07,5.236650e-07,5.229869e-07,5.208764e-07,5.181112e-07,5.153708e-07,5.126561e-07,5.099684e-07,5.073084e-07,5.046770e-07,5.020750e-07,4.995028e-07,4.969611e-07,4.944503e-07,4.919707e-07,4.895228e-07,4.871068e-07,4.847228e-07,4.823710e-07,4.800515e-07,4.777644e-07,4.755098e-07,4.732875e-07,4.710975e-07,4.689397e-07,4.668141e-07,4.647205e-07,4.626588e-07
0.000000e+00,4.684473e-11,1.103284e-10,3.896707e-10,8.949668e-10,1.308774e-09,2.971993e-09,3.061192e-09,5.893269e-09,6.913165e-09,1.005147e-08,1.328766e-08,1.578811e-08,2.267969e-08,2.335876e-08,3.300882e-08,3.565870e-08,4.494686e-08,5.268511e-08,5.930418e-08,7.394680e-08,7.608456e-08,9.511916e-08,9.916847e-08,1.160549e-07,1.275324e-07,1.383988e-07,1.578573e-07,1.616068e-07,1.851716e-07,1.889455e-07,2.086722e-07,2.198313e-07,2.317852e-07,2.498338e-07,2.542721e-07,2.759615e-07,2.785045e-07,2.967323e-07,3.055578e-07,3.165009e-07,3.308202e-07,3.352126e-07,3.528351e-07,3.541973e-07,3.693539e-07,3.756520e-07,3.847690e-07,3.951906e-07,3.990919e-07,4.123435e-07,4.128516e-07,4.245519e-07,4.286980e-07,4.357512e-07,4.428095e-07,4.459794e-07,4.552779e-07,4.636898e-07,4.662016e-07,4.712596e-07,4.756831e-07,4.780322e-07,4.838251e-07,4.840520e-07,4.893634e-07,4.907295e-07,4.940093e-07,4.964949e-07,4.980316e-07,5.012161e-07,5.014707e-07,5.043656e-07,5.049836e-07,5.067534e-07,5.078823e-07,5.086694e-07,5.099922e-07,5.101476e-07,5.112197e-07,5.113880e-07,5.119159e-07,5.121390e-07,5.122650e-07,5.123095e-07,5.122936e-07,5.120273e-07,5.119589e-07,5.114897e-07,5.111420e-07,5.107033e-07,5.099091e-07,5.096890e-07,5.084663e-07,5.083065e-07,5.070537e-07,5.063765e-07,5.054684e-07,5.041580e-07,5.037264e-07,5.018427e-07,5.016863e-07,4.998312e-07,4.989938e-07,4.977051e-07,4.961100e-07,4.954763e-07,4.931563e-07,4.930617e-07,4.907555e-07,4.898733e-07,4.882837e-07,4.865669e-07,4.857499e-07,4.831627e-07,4.805297e-07,4.796787e-07,4.778582e-07,4.761313e-07,4.751549e-07,4.725355e-07,4.724260e-07,4.696772e-07,4.689047e-07,4.669137e-07,4.652507e-07,4.641405e-07,4.615844e-07,4.613621e-07,4.585825e-07,4.579156e-07,4.558055e-07,4.542528e-07,4.530346e-07,4.506038e-07,4.502729e-07,4.475235e-07,4.469753e-07,4.447888e-07,4.433735e-07,4.420714e-07,4.398037e-07,4.393734e-07,4.366968e-07,4.362707e-07,4.340434e-07,4.327785e-07,4.314148e-07,4.293307e-07,4.288124e-07,4.262375e-07,4.259305e-07,4.236914e-07,4.225804e-07,4.211749e-07,4.192828e-07,4.186890e-07,4.162345e-07,4.160395e-07,4.138121e-07,4.128522e-07,4.114222e-07,4.097219e-07,4.090654e-07,4.067421e-07,4.066499e-07,4.044526e-07,4.036367e-07,4.021972e-07,4.006830e-07,3.999760e-07,3.977891e-07,3.949552e-07,3.921812e-07,3.894671e-07,3.868126e-07,3.842173e-07,3.816807e-07,3.792024e-07,3.767817e-07,3.744179e-07,3.721102e-07,3.698579e-07,3.676601e-07,3.655159e-07,3.634245e-07,3.613849e-07,3.593961e-07,3.574572e-07,3.555672e-07,3.537252e-07,3.519301e-07,3.501810e-07,3.484768e-07,3.468166e-07,3.451993e-07
0.000000e+00,5.815156e-12,2.983957e-11,3.385543e-10,1.686779e-09,3.512742e-09,1.701538e-08,1.800745e-08,6.279260e-08,8.494418e-08,1.717611e-07,2.890184e-07,3.977033e-07,7.730254e-07,8.157283e-07,1.526043e-06,1.753550e-06,2.655643e-06,3.527511e-06,4.357821e-06,6.468444e-06,6.808209e-06,1.019716e-05,1.100479e-05,1.471985e-05,1.758315e-05,2.056594e-05,2.662794e-05,2.791033e-05,3.690572e-05,3.850696e-05,4.767704e-05,5.350680e-05,6.031779e-05,7.181789e-05,7.488803e-05,9.141373e-05,9.352820e-05,1.098873e-04,1.186236e-04,1.302691e-04,1.469938e-04,1.524898e-04,1.764530e-04,1.784419e-04,2.020390e-04,2.126970e-04,2.291080e-04,2.494289e-04,2.575040e-04,2.870588e-04,2.882626e-04,3.175954e-04,3.287940e-04,3.489321e-04,3.706042e-04,3.808850e-04,4.132720e-04,4.459148e-04,4.563862e-04,4.786413e-04,4.995543e-04,5.112880e-04,5.424107e-04,5.437009e-04,5.757372e-04,5.846218e-04,6.072663e-04,6.258905e-04,6.381697e-04,6.659574e-04,6.683420e-04,6.976905e-04,7.046024e-04,7.261351e-04,7.416436e-04,7.536082e-04,7.769362e-04,7.800538e-04,8.054274e-04,8.103703e-04,8.296948e-04,8.418683e-04,8.528317e-04,8.713815e-04,8.748226e-04,8.956605e-04,8.988874e-04,9.153452e-04,9.243862e-04,9.338838e-04,9.478975e-04,9.512886e-04,9.675772e-04,9.694579e-04,9.827717e-04,9.891172e-04,9.968977e-04,1.006936e-03,1.009984e-03,1.022062e-03,1.022985e-03,1.033164e-03,1.037340e-03,1.043327e-03,1.050081e-03,1.052584e-03,1.060975e-03,1.061293e-03,1.068534e-03,1.071060e-03,1.075301e-03,1.079468e-03,1.081312e-03,1.086603e-03,1.091212e-03,1.092548e-03,1.095173e-03,1.097384e-03,1.098521e-03,1.101191e-03,1.101291e-03,1.103516e-03,1.104045e-03,1.105226e-03,1.106018e-03,1.106453e-03,1.107180e-03,1.107226e-03,1.107574e-03,1.107597e-03,1.107523e-03,1.107331e-03,1.107100e-03,1.106440e-03,1.106330e-03,1.105236e-03,1.104980e-03,1.103841e-03,1.103003e-03,1.102165e-03,1.100557e-03,1.100231e-03,1.098056e-03,1.097686e-03,1.095658e-03,1.094434e-03,1.093056e-03,1.090838e-03,1.090266e-03,1.087302e-03,1.086936e-03,1.084180e-03,1.082760e-03,1.080913e-03,1.078341e-03,1.077514e-03,1.073995e-03,1.073709e-03,1.070368e-03,1.068889e-03,1.066643e-03,1.063906e-03,1.062830e-03,1.058939e-03,1.058782e-03,1.054978e-03,1.053537e-03,1.050957e-03,1.048192e-03,1.046883e-03,1.042762e-03,1.037264e-03,1.031712e-03,1.026120e-03,1.020499e-03,1.014861e-03,1.009216e-03,1.003572e-03,9.979380e-04,9.923218e-04,9.867299e-04,9.811683e-04,9.756427e-04,9.701580e-04,9.647185e-04,9.593283e-04,9.539909e-04,9.487095e-04,9.434866e-04,9.383249e-04,9.332263e-04,9.281928e-04,9.232258e-04,9.183266e-04,9.134964e-04
0.000000e+00,4.415895e-11,1.625426e-10,9.951455e-10,3.040898e-09,4.965801e-09,1.374215e-08,1.424191e-08,3.090766e-08,3.715906e-08,5.684661e-08,7.758403e-08,9.378351e-08,1.388576e-07,1.433201e-07,2.069439e-07,2.244616e-07,2.859732e-07,3.373468e-07,3.813936e-07,4.792694e-07,4.936208e-07,6.223597e-07,6.500174e-07,7.667097e-07,8.475349e-07,9.254265e-07,1.068850e-06,1.097140e-06,1.280460e-06,1.310775e-06,1.473995e-06,1.570110e-06,1.676348e-06,1.843632e-06,1.886108e-06,2.101850e-06,2.128073e-06,2.322145e-06,2.420150e-06,2.545572e-06,2.716615e-06,2.770741e-06,2.996308e-06,3.014332e-06,3.220997e-06,3.310356e-06,3.443613e-06,3.601994e-06,3.663060e-06,3.878344e-06,3.886856e-06,4.088582e-06,4.162881e-06,4.293008e-06,4.428362e-06,4.490973e-06,4.681940e-06,4.865477e-06,4.922585e-06,5.041260e-06,5.149581e-06,5.209057e-06,5.362491e-06,5.368720e-06,5.520182e-06,5.561121e-06,5.663444e-06,5.745487e-06,5.798564e-06,5.915780e-06,5.925656e-06,6.044872e-06,6.072333e-06,6.156405e-06,6.215587e-06,6.260472e-06,6.346069e-06,6.357317e-06,6.447199e-06,6.464364e-06,6.530390e-06,6.571098e-06,6.607170e-06,6.666919e-06,6.677824e-06,6.742639e-06,6.752486e-06,6.801899e-06,6.828454e-06,6.855887e-06,6.895466e-06,6.904877e-06,6.949138e-06,6.954144e-06,6.988930e-06,7.005089e-06,7.024508e-06,7.048878e-06,7.056113e-06,7.083981e-06,7.086055e-06,7.108333e-06,7.117138e-06,7.129384e-06,7.142611e-06,7.147337e-06,7.162385e-06,7.162930e-06,7.174714e-06,7.178520e-06,7.184496e-06,7.189779e-06,7.191898e-06,7.197074e-06,7.200173e-06,7.200748e-06,7.201332e-06,7.201118e-06,7.200685e-06,7.198478e-06,7.198353e-06,7.194455e-06,7.193097e-06,7.189099e-06,7.185228e-06,7.182388e-06,7.175101e-06,7.174420e-06,7.165285e-06,7.162929e-06,7.155070e-06,7.148908e-06,7.143855e-06,7.133219e-06,7.131716e-06,7.118723e-06,7.116028e-06,7.104944e-06,7.097489e-06,7.090441e-06,7.077742e-06,7.075273e-06,7.059494e-06,7.056917e-06,7.043158e-06,7.035132e-06,7.026312e-06,7.012499e-06,7.009002e-06,6.991271e-06,6.989116e-06,6.973158e-06,6.965078e-06,6.954703e-06,6.940469e-06,6.935939e-06,6.916901e-06,6.915367e-06,6.897618e-06,6.889844e-06,6.878121e-06,6.863966e-06,6.858437e-06,6.838591e-06,6.837794e-06,6.818607e-06,6.811383e-06,6.798507e-06,6.784784e-06,6.778313e-06,6.758045e-06,6.731208e-06,6.704313e-06,6.677396e-06,6.650489e-06,6.623624e-06,6.596827e-06,6.570125e-06,6.543539e-06,6.517092e-06,6.490801e-06,6.464685e-06,6.438759e-06,6.413037e-06,6.387533e-06,6.362257e-06,6.337221e-06,6.312433e-06,6.287902e-06,6.263636e-06,6.239640e-06,6.215920e-06,6.192482e-06,6.169329e-06,6.146466e-06
0.000000e+00,2.385308e-11,1.097297e-10,9.971448e-10,4.081535e-09,7.649197e-09,2.845946e-08,2.980538e-08,8.108568e-08,1.027803e-07,1.773025e-07,2.636920e-07,3.356108e-07,5.517447e-07,5.742336e-07,9.119813e-07,1.009814e-06,1.366411e-06,1.676821e-06,1.949870e-06,2.572325e-06,2.664870e-06,3.502281e-06,3.682954e-06,4.443863e-06,4.967204e-06,5.467037e-06,6.372820e-06,6.548997e-06,7.669022e-06,7.850524e-06,8.809251e-06,9.359208e-06,9.954586e-06,1.086593e-05,1.109233e-05,1.221185e-05,1.234453e-05,1.330428e-05,1.377443e-05,1.436232e-05,1.513980e-05,1.538015e-05,1.635324e-05,1.642905e-05,1.727829e-05,1.763432e-05,1.815305e-05,1.875100e-05,1.897626e-05,1.974744e-05,1.977721e-05,2.046682e-05,2.071324e-05,2.113516e-05,2.156109e-05,2.175369e-05,2.232396e-05,2.284779e-05,2.300593e-05,2.332718e-05,2.361163e-05,2.376423e-05,2.414598e-05,2.416111e-05,2.452002e-05,2.461400e-05,2.484312e-05,2.502069e-05,2.513256e-05,2.537090e-05,2.539041e-05,2.561869e-05,2.566929e-05,2.581932e-05,2.592028e-05,2.599414e-05,2.612803e-05,2.614491e-05,2.627328e-05,2.629641e-05,2.638084e-05,2.642904e-05,2.646906e-05,2.652925e-05,2.653935e-05,2.659301e-05,2.660013e-05,2.663127e-05,2.664452e-05,2.665530e-05,2.666501e-05,2.666618e-05,2.666492e-05,2.666400e-05,2.665247e-05,2.664368e-05,2.662972e-05,2.660605e-05,2.659750e-05,2.655657e-05,2.655294e-05,2.650767e-05,2.648602e-05,2.645146e-05,2.640682e-05,2.638857e-05,2.631959e-05,2.631672e-05,2.624507e-05,2.621698e-05,2.616551e-05,2.610878e-05,2.608139e-05,2.599315e-05,2.590119e-05,2.587104e-05,2.580590e-05,2.574334e-05,2.570764e-05,2.561082e-05,2.560674e-05,2.550350e-05,2.547421e-05,2.539821e-05,2.533416e-05,2.529113e-05,2.519125e-05,2.518251e-05,2.507258e-05,2.504603e-05,2.496155e-05,2.489897e-05,2.484962e-05,2.475051e-05,2.473696e-05,2.462375e-05,2.460106e-05,2.451015e-05,2.445096e-05,2.439629e-05,2.430055e-05,2.428231e-05,2.416834e-05,2.415012e-05,2.405449e-05,2.399991e-05,2.394086e-05,2.385018e-05,2.382755e-05,2.371465e-05,2.370113e-05,2.360224e-05,2.355296e-05,2.349040e-05,2.340582e-05,2.337919e-05,2.326868e-05,2.325987e-05,2.315892e-05,2.311524e-05,2.304997e-05,2.297205e-05,2.294188e-05,2.283468e-05,2.283041e-05,2.272842e-05,2.269040e-05,2.262313e-05,2.255210e-05,2.251884e-05,2.241559e-05,2.228092e-05,2.214814e-05,2.201729e-05,2.188841e-05,2.176153e-05,2.163666e-05,2.151383e-05,2.139305e-05,2.127432e-05,2.115765e-05,2.104303e-05,2.093047e-05,2.081995e-05,2.071146e-05,2.060500e-05,2.050054e-05,2.039808e-05,2.029759e-05,2.019905e-05,2.010245e-05,2.000776e-05,1.991496e-05,1.982402e-05,1.973491e-05
0.000000e+00,9.164439e-11,4.343260e-10,4.190352e-09,1.808019e-08,3.485859e-08,1.394046e-07,1.464251e-07,4.280142e-07,5.533995e-07,1.004463e-06,1.558568e-06,2.040433e-06,3.575977e-06,3.741982e-06,6.336931e-06,7.116114e-06,1.002273e-05,1.260897e-05,1.491006e-05,2.021087e-05,2.100378e-05,2.822487e-05,2.979377e-05,3.644814e-05,4.107388e-05,4.553383e-05,5.373260e-05,5.534609e-05,6.576008e-05,6.747445e-05,7.666265e-05,8.203867e-05,8.795008e-05,9.719206e-05,9.952584e-05,1.112989e-04,1.127208e-04,1.231830e-04,1.284260e-04,1.350966e-04,1.441236e-04,1.469635e-04,1.587136e-04,1.596467e-04,1.702837e-04,1.748484e-04,1.816175e-04,1.896040e-04,1.926664e-04,2.033896e-04,2.038112e-04,2.137531e-04,2.173906e-04,2.237303e-04,2.302835e-04,2.333008e-04,2.424502e-04,2.511692e-04,2.538675e-04,2.594532e-04,2.645262e-04,2.673014e-04,2.744281e-04,2.747164e-04,2.817035e-04,2.835842e-04,2.882702e-04,2.920123e-04,2.944259e-04,2.997354e-04,3.001814e-04,3.055486e-04,3.067803e-04,3.105400e-04,3.131760e-04,3.151689e-04,3.189532e-04,3.194488e-04,3.233934e-04,3.241433e-04,3.270165e-04,3.287780e-04,3.303318e-04,3.328885e-04,3.333527e-04,3.360925e-04,3.365056e-04,3.385642e-04,3.396592e-04,3.407807e-04,3.423783e-04,3.427541e-04,3.444965e-04,3.446906e-04,3.460194e-04,3.466229e-04,3.473341e-04,3.482006e-04,3.484512e-04,3.493813e-04,3.494479e-04,3.501342e-04,3.503879e-04,3.507195e-04,3.510424e-04,3.511465e-04,3.514239e-04,3.514320e-04,3.515602e-04,3.515763e-04,3.515635e-04,3.514937e-04,3.514415e-04,3.512015e-04,3.508506e-04,3.507160e-04,3.503956e-04,3.500527e-04,3.498429e-04,3.492260e-04,3.491986e-04,3.484685e-04,3.482494e-04,3.476582e-04,3.471358e-04,3.467730e-04,3.458969e-04,3.458180e-04,3.447979e-04,3.445439e-04,3.437174e-04,3.430875e-04,3.425807e-04,3.415372e-04,3.413920e-04,3.401551e-04,3.399023e-04,3.388740e-04,3.381914e-04,3.375519e-04,3.364123e-04,3.361924e-04,3.347986e-04,3.345726e-04,3.333734e-04,3.326791e-04,3.319199e-04,3.307383e-04,3.304406e-04,3.289381e-04,3.287563e-04,3.274149e-04,3.267387e-04,3.258732e-04,3.246905e-04,3.243152e-04,3.227431e-04,3.226167e-04,3.211586e-04,3.205218e-04,3.195637e-04,3.184098e-04,3.179600e-04,3.163493e-04,3.162847e-04,3.147329e-04,3.141499e-04,3.131124e-04,3.120089e-04,3.114892e-04,3.098645e-04,3.077196e-04,3.055767e-04,3.034383e-04,3.013065e-04,2.991833e-04,2.970705e-04,2.949698e-04,2.928826e-04,2.908104e-04,2.887544e-04,2.867158e-04,2.846955e-04,2.826944e-04,2.807133e-04,2.787531e-04,2.768142e-04,2.748974e-04,2.730030e-04,2.711314e-04,2.692831e-04,2.674584e-04,2.656574e-04,2.638804e-04,2.621275e-04
0.000000e+00,1.238821e-10,3.003915e-10,1.095659e-09,2.558134e-09,3.766029e-09,8.666880e-09,8.931138e-09,1.736910e-08,2.042502e-08,2.986720e-08,3.964785e-08,4.722538e-08,6.815986e-08,7.022457e-08,9.955469e-08,1.075964e-07,1.357054e-07,1.590053e-07,1.788343e-07,2.223361e-07,2.286439e-07,2.843253e-07,2.960621e-07,3.446314e-07,3.773299e-07,4.080862e-07,4.627563e-07,4.732411e-07,5.388595e-07,5.493334e-07,6.039799e-07,6.348446e-07,6.678945e-07,7.178125e-07,7.300971e-07,7.902317e-07,7.972962e-07,8.480519e-07,8.727148e-07,9.033931e-07,9.437294e-07,9.561525e-07,1.006275e-06,1.010170e-06,1.053742e-06,1.071987e-06,1.098565e-06,1.129219e-06,1.140778e-06,1.180433e-06,1.181967e-06,1.217594e-06,1.230376e-06,1.252337e-06,1.274622e-06,1.284743e-06,1.314898e-06,1.342892e-06,1.351408e-06,1.368815e-06,1.384362e-06,1.392760e-06,1.413970e-06,1.414817e-06,1.435074e-06,1.440436e-06,1.453620e-06,1.463962e-06,1.470541e-06,1.484742e-06,1.485918e-06,1.499832e-06,1.502963e-06,1.512361e-06,1.518801e-06,1.523580e-06,1.532426e-06,1.533561e-06,1.542372e-06,1.543999e-06,1.550079e-06,1.553671e-06,1.556746e-06,1.561586e-06,1.562433e-06,1.567198e-06,1.567878e-06,1.571096e-06,1.572675e-06,1.574180e-06,1.576094e-06,1.576499e-06,1.578102e-06,1.578248e-06,1.579033e-06,1.579242e-06,1.579337e-06,1.579173e-06,1.579053e-06,1.578222e-06,1.578133e-06,1.576879e-06,1.576206e-06,1.575060e-06,1.573474e-06,1.572798e-06,1.570125e-06,1.570010e-06,1.567071e-06,1.565884e-06,1.563664e-06,1.561159e-06,1.559930e-06,1.555896e-06,1.551584e-06,1.550150e-06,1.547019e-06,1.543973e-06,1.542220e-06,1.537414e-06,1.537209e-06,1.532005e-06,1.530515e-06,1.526625e-06,1.523320e-06,1.521086e-06,1.515864e-06,1.515405e-06,1.509596e-06,1.508185e-06,1.503674e-06,1.500314e-06,1.497652e-06,1.492281e-06,1.491543e-06,1.485358e-06,1.484113e-06,1.479109e-06,1.475837e-06,1.472806e-06,1.467476e-06,1.466458e-06,1.460075e-06,1.459051e-06,1.453665e-06,1.450582e-06,1.447237e-06,1.442086e-06,1.440798e-06,1.434354e-06,1.433581e-06,1.427913e-06,1.425081e-06,1.421480e-06,1.416600e-06,1.415061e-06,1.408662e-06,1.408151e-06,1.402287e-06,1.399744e-06,1.395940e-06,1.391391e-06,1.389627e-06,1.383351e-06,1.383100e-06,1.377115e-06,1.374880e-06,1.370923e-06,1.366738e-06,1.364777e-06,1.358681e-06,1.350715e-06,1.342844e-06,1.335074e-06,1.327409e-06,1.319852e-06,1.312406e-06,1.305075e-06,1.297859e-06,1.290760e-06,1.283781e-06,1.276923e-06,1.270185e-06,1.263568e-06,1.257073e-06,1.250700e-06,1.244448e-06,1.238318e-06,1.232308e-06,1.226418e-06,1.220648e-06,1.214995e-06,1.209460e-06,1.204040e-06,1.198736e-06
0.000000e+00,1.640052e-11,8.082608e-11,8.433137e-10,3.892330e-09,7.772329e-09,3.377246e-08,3.558384e-08,1.113846e-07,1.463197e-07,2.748183e-07,4.356286e-07,5.765558e-07,1.027278e-06,1.076030e-06,1.838991e-06,2.068989e-06,2.934922e-06,3.720271e-06,4.433795e-06,6.138557e-06,6.401379e-06,8.893057e-06,9.458049e-06,1.194767e-05,1.376550e-05,1.558359e-05,1.908549e-05,1.979797e-05,2.456883e-05,2.538149e-05,2.985869e-05,3.256812e-05,3.561855e-05,4.052687e-05,4.179164e-05,4.831657e-05,4.912020e-05,5.512994e-05,5.820282e-05,6.216831e-05,6.762974e-05,6.936973e-05,7.667500e-05,7.726222e-05,8.402857e-05,8.697189e-05,9.137920e-05,9.664353e-05,9.868040e-05,1.058907e-04,1.061767e-04,1.129739e-04,1.154865e-04,1.198986e-04,1.245034e-04,1.266387e-04,1.331724e-04,1.394824e-04,1.414522e-04,1.455556e-04,1.493134e-04,1.513820e-04,1.567373e-04,1.569553e-04,1.622717e-04,1.637140e-04,1.673299e-04,1.702410e-04,1.721305e-04,1.763217e-04,1.766760e-04,1.809704e-04,1.819642e-04,1.850187e-04,1.871804e-04,1.888268e-04,1.919846e-04,1.924014e-04,1.957499e-04,1.963931e-04,1.988798e-04,2.004236e-04,2.017992e-04,2.040945e-04,2.045160e-04,2.070384e-04,2.074245e-04,2.093747e-04,2.104324e-04,2.115329e-04,2.131367e-04,2.135211e-04,2.153471e-04,2.155557e-04,2.170186e-04,2.177071e-04,2.185432e-04,2.196081e-04,2.199281e-04,2.211805e-04,2.212751e-04,2.223070e-04,2.227239e-04,2.233144e-04,2.239695e-04,2.242089e-04,2.249968e-04,2.250261e-04,2.256838e-04,2.259075e-04,2.262755e-04,2.266263e-04,2.267775e-04,2.271948e-04,2.275324e-04,2.276244e-04,2.277951e-04,2.279259e-04,2.279873e-04,2.281095e-04,2.281133e-04,2.281774e-04,2.281847e-04,2.281833e-04,2.281605e-04,2.281348e-04,2.280453e-04,2.280355e-04,2.278888e-04,2.278469e-04,2.276979e-04,2.275728e-04,2.274658e-04,2.272298e-04,2.271954e-04,2.268896e-04,2.268244e-04,2.265509e-04,2.263626e-04,2.261819e-04,2.258501e-04,2.257848e-04,2.253619e-04,2.252920e-04,2.249154e-04,2.246933e-04,2.244472e-04,2.240584e-04,2.239593e-04,2.234534e-04,2.233915e-04,2.229312e-04,2.226967e-04,2.223944e-04,2.219775e-04,2.218444e-04,2.212826e-04,2.212372e-04,2.207105e-04,2.204791e-04,2.201293e-04,2.197059e-04,2.195402e-04,2.189443e-04,2.189204e-04,2.183427e-04,2.181249e-04,2.177363e-04,2.173218e-04,2.171262e-04,2.165131e-04,2.157008e-04,2.148866e-04,2.140720e-04,2.132587e-04,2.124478e-04,2.116407e-04,2.108385e-04,2.100421e-04,2.092524e-04,2.084704e-04,2.076966e-04,2.069318e-04,2.061766e-04,2.054314e-04,2.046968e-04,2.039730e-04,2.032605e-04,2.025596e-04,2.018704e-04,2.011933e-04,2.005283e-04,1.998755e-04,1.992352e-04,1.986073e-04
0.000000e+00,8.188278e-11,2.109724e-10,8.195299e-10,1.969428e-09,2.931044e-09,6.886571e-09,7.101657e-09,1.404245e-08,1.658696e-08,2.453841e-08,3.290165e-08,3.945859e-08,5.785967e-08,5.969323e-08,8.596932e-08,9.321663e-08,1.185276e-07,1.393337e-07,1.568171e-07,1.942335e-07,1.995421e-07,2.451210e-07,2.544491e-07,2.921414e-07,3.167930e-07,3.395328e-07,3.790636e-07,3.865329e-07,4.326004e-07,4.398568e-07,4.773432e-07,4.982614e-07,5.204730e-07,5.536716e-07,5.617789e-07,6.011118e-07,6.056940e-07,6.383741e-07,6.540982e-07,6.735122e-07,6.987856e-07,7.065102e-07,7.373814e-07,7.397602e-07,7.661664e-07,7.771090e-07,7.929240e-07,8.109742e-07,8.177265e-07,8.406582e-07,8.415378e-07,8.618097e-07,8.690066e-07,8.812756e-07,8.935988e-07,8.991523e-07,9.155359e-07,9.305205e-07,9.350352e-07,9.441979e-07,9.523065e-07,9.566566e-07,9.675484e-07,9.679806e-07,9.782494e-07,9.809459e-07,9.875381e-07,9.926704e-07,9.959172e-07,1.002879e-06,1.003453e-06,1.010206e-06,1.011717e-06,1.016235e-06,1.019315e-06,1.021593e-06,1.025792e-06,1.026329e-06,1.030489e-06,1.031256e-06,1.034117e-06,1.035806e-06,1.037251e-06,1.039529e-06,1.039928e-06,1.042182e-06,1.042505e-06,1.044044e-06,1.044808e-06,1.045544e-06,1.046501e-06,1.046708e-06,1.047561e-06,1.047643e-06,1.048126e-06,1.048289e-06,1.048424e-06,1.048485e-06,1.048476e-06,1.048300e-06,1.048277e-06,1.047912e-06,1.047702e-06,1.047329e-06,1.046797e-06,1.046565e-06,1.045634e-06,1.045594e-06,1.044548e-06,1.044122e-06,1.043320e-06,1.042408e-06,1.041959e-06,1.040477e-06,1.038882e-06,1.038349e-06,1.037184e-06,1.036047e-06,1.035391e-06,1.033587e-06,1.033510e-06,1.031548e-06,1.030986e-06,1.029513e-06,1.028260e-06,1.027411e-06,1.025422e-06,1.025247e-06,1.023026e-06,1.022485e-06,1.020754e-06,1.019462e-06,1.018436e-06,1.016361e-06,1.016076e-06,1.013678e-06,1.013194e-06,1.011246e-06,1.009970e-06,1.008784e-06,1.006695e-06,1.006295e-06,1.003783e-06,1.003379e-06,1.001249e-06,1.000027e-06,9.986982e-07,9.966463e-07,9.961320e-07,9.935530e-07,9.932428e-07,9.909637e-07,9.898217e-07,9.883662e-07,9.863879e-07,9.857625e-07,9.831547e-07,9.829459e-07,9.805444e-07,9.795000e-07,9.779334e-07,9.760539e-07,9.753233e-07,9.727155e-07,9.726113e-07,9.701115e-07,9.691753e-07,9.675126e-07,9.657489e-07,9.649200e-07,9.623348e-07,9.589356e-07,9.555536e-07,9.521909e-07,9.488493e-07,9.455308e-07,9.422368e-07,9.389689e-07,9.357284e-07,9.325164e-07,9.293342e-07,9.261827e-07,9.230627e-07,9.199751e-07,9.169206e-07,9.138998e-07,9.109133e-07,9.079616e-07,9.050450e-07,9.021639e-07,8.993186e-07,8.965095e-07,8.937366e-07,8.910001e-07,8.883002e-07
0.000000e+00,1.190299e-10,2.784488e-10,9.811412e-10,2.262523e-09,3.321071e-09,7.646445e-09,7.881322e-09,1.547423e-08,1.826795e-08,2.703862e-08,3.632420e-08,4.363801e-08,6.423202e-08,6.628372e-08,9.551883e-08,1.035049e-07,1.311084e-07,1.535304e-07,1.722697e-07,2.123993e-07,2.181228e-07,2.679071e-07,2.782785e-07,3.209924e-07,3.497180e-07,3.768329e-07,4.255019e-07,4.349292e-07,4.948093e-07,5.045252e-07,5.560220e-07,5.857503e-07,6.181377e-07,6.682083e-07,6.807530e-07,7.434952e-07,7.510164e-07,8.060269e-07,8.333952e-07,8.680469e-07,9.146766e-07,9.292923e-07,9.895383e-07,9.943089e-07,1.048594e-06,1.071847e-06,1.106303e-06,1.146947e-06,1.162538e-06,1.217200e-06,1.219352e-06,1.270212e-06,1.288882e-06,1.321521e-06,1.355418e-06,1.371089e-06,1.418894e-06,1.464928e-06,1.479284e-06,1.509191e-06,1.536596e-06,1.551695e-06,1.590860e-06,1.592458e-06,1.631502e-06,1.642131e-06,1.668858e-06,1.690474e-06,1.704557e-06,1.735967e-06,1.738635e-06,1.771127e-06,1.778694e-06,1.802074e-06,1.818744e-06,1.831515e-06,1.856211e-06,1.859492e-06,1.886045e-06,1.891189e-06,1.911218e-06,1.923775e-06,1.935050e-06,1.954065e-06,1.957585e-06,1.978863e-06,1.982154e-06,1.998925e-06,2.008135e-06,2.017812e-06,2.032103e-06,2.035564e-06,2.052219e-06,2.054146e-06,2.067816e-06,2.074353e-06,2.082393e-06,2.092811e-06,2.095986e-06,2.108631e-06,2.109603e-06,2.120364e-06,2.124810e-06,2.131219e-06,2.138510e-06,2.141229e-06,2.150428e-06,2.150779e-06,2.158845e-06,2.161691e-06,2.166514e-06,2.171315e-06,2.173462e-06,2.179720e-06,2.185316e-06,2.186971e-06,2.190277e-06,2.193131e-06,2.194629e-06,2.198260e-06,2.198399e-06,2.201612e-06,2.202415e-06,2.204291e-06,2.205652e-06,2.206460e-06,2.208024e-06,2.208141e-06,2.209357e-06,2.209582e-06,2.210128e-06,2.210374e-06,2.210476e-06,2.210446e-06,2.210419e-06,2.209977e-06,2.209844e-06,2.209168e-06,2.208609e-06,2.208011e-06,2.206781e-06,2.206521e-06,2.204716e-06,2.204400e-06,2.202613e-06,2.201501e-06,2.200225e-06,2.198120e-06,2.197568e-06,2.194656e-06,2.194290e-06,2.191503e-06,2.190042e-06,2.188122e-06,2.185408e-06,2.184526e-06,2.180727e-06,2.180414e-06,2.176736e-06,2.175089e-06,2.172567e-06,2.169459e-06,2.168228e-06,2.163730e-06,2.163547e-06,2.159085e-06,2.157378e-06,2.154300e-06,2.150973e-06,2.149387e-06,2.144352e-06,2.137537e-06,2.130545e-06,2.123394e-06,2.116101e-06,2.108682e-06,2.101152e-06,2.093524e-06,2.085813e-06,2.078031e-06,2.070188e-06,2.062298e-06,2.054369e-06,2.046413e-06,2.038437e-06,2.030452e-06,2.022464e-06,2.014481e-06,2.006511e-06,1.998560e-06,1.990634e-06,1.982739e-06,1.974881e-06,1.967064e-06,1.959293e-06
0.000000e+00,2.483237e-11,1.085507e-10,8.946575e-10,3.381906e-09,6.089449e-09,2.066456e-08,2.156806e-08,5.438047e-08,6.767373e-08,1.118949e-07,1.613893e-07,2.016500e-07,3.192602e-07,3.312708e-07,5.077371e-07,5.576527e-07,7.357206e-07,8.864005e-07,1.016155e-06,1.304344e-06,1.346475e-06,1.722086e-06,1.802182e-06,2.137714e-06,2.367890e-06,2.588059e-06,2.989391e-06,3.067949e-06,3.572307e-06,3.654939e-06,4.096109e-06,4.352980e-06,4.634394e-06,5.072195e-06,5.182328e-06,5.735288e-06,5.801771e-06,6.288939e-06,6.531730e-06,6.839324e-06,7.253241e-06,7.382909e-06,7.916623e-06,7.958812e-06,8.437865e-06,8.642376e-06,8.944499e-06,9.299263e-06,9.434831e-06,9.907574e-06,9.926104e-06,1.036181e-05,1.052068e-05,1.079694e-05,1.108174e-05,1.121264e-05,1.160884e-05,1.198564e-05,1.210216e-05,1.234333e-05,1.256239e-05,1.268229e-05,1.299054e-05,1.300303e-05,1.330610e-05,1.338788e-05,1.359214e-05,1.375585e-05,1.386178e-05,1.409596e-05,1.411571e-05,1.435460e-05,1.440977e-05,1.457913e-05,1.469885e-05,1.478998e-05,1.496473e-05,1.498780e-05,1.517324e-05,1.520890e-05,1.534691e-05,1.543278e-05,1.550942e-05,1.563773e-05,1.566135e-05,1.580323e-05,1.582504e-05,1.593561e-05,1.599592e-05,1.605897e-05,1.615150e-05,1.617381e-05,1.628057e-05,1.629286e-05,1.637969e-05,1.642098e-05,1.647157e-05,1.653680e-05,1.655660e-05,1.663515e-05,1.664117e-05,1.670757e-05,1.673489e-05,1.677418e-05,1.681872e-05,1.683530e-05,1.689122e-05,1.689335e-05,1.694222e-05,1.695942e-05,1.698856e-05,1.701753e-05,1.703049e-05,1.706824e-05,1.710205e-05,1.711207e-05,1.713212e-05,1.714949e-05,1.715864e-05,1.718095e-05,1.718182e-05,1.720182e-05,1.720687e-05,1.721881e-05,1.722763e-05,1.723296e-05,1.724360e-05,1.724442e-05,1.725332e-05,1.725509e-05,1.725981e-05,1.726244e-05,1.726402e-05,1.726592e-05,1.726606e-05,1.726605e-05,1.726581e-05,1.726410e-05,1.726236e-05,1.726032e-05,1.725580e-05,1.725480e-05,1.724764e-05,1.724635e-05,1.723893e-05,1.723422e-05,1.722875e-05,1.721960e-05,1.721717e-05,1.720429e-05,1.720266e-05,1.719017e-05,1.718358e-05,1.717487e-05,1.716250e-05,1.715847e-05,1.714102e-05,1.713959e-05,1.712260e-05,1.711496e-05,1.710324e-05,1.708876e-05,1.708301e-05,1.706195e-05,1.706110e-05,1.704013e-05,1.703209e-05,1.701757e-05,1.700184e-05,1.699433e-05,1.697045e-05,1.693801e-05,1.690461e-05,1.687034e-05,1.683526e-05,1.679945e-05,1.676299e-05,1.672593e-05,1.668833e-05,1.665025e-05,1.661175e-05,1.657287e-05,1.653367e-05,1.649418e-05,1.645445e-05,1.641452e-05,1.637442e-05,1.633419e-05,1.629387e-05,1.625348e-05,1.621305e-05,1.617262e-05,1.613220e-05,1.609182e-05,1.605150e-05
0.000000e+00,2.218016e-11,9.551408e-11,7.618221e-10,2.789854e-09,4.933329e-09,1.594581e-08,1.660919e-08,3.980961e-08,4.884972e-08,7.793798e-08,1.091890e-07,1.338666e-07,2.032887e-07,2.102065e-07,3.094253e-07,3.368844e-07,4.335152e-07,5.141776e-07,5.830532e-07,7.342492e-07,7.561316e-07,9.482201e-07,9.883982e-07,1.153320e-06,1.263118e-06,1.365535e-06,1.545748e-06,1.580073e-06,1.793463e-06,1.827328e-06,2.003323e-06,2.102295e-06,2.207990e-06,2.367136e-06,2.406214e-06,2.596976e-06,2.619323e-06,2.779391e-06,2.856804e-06,2.952678e-06,3.077855e-06,3.116168e-06,3.269319e-06,3.281112e-06,3.411735e-06,3.465636e-06,3.543175e-06,3.630962e-06,3.663555e-06,3.772945e-06,3.777094e-06,3.871550e-06,3.904467e-06,3.959697e-06,4.013878e-06,4.037814e-06,4.106412e-06,4.166060e-06,4.183355e-06,4.217359e-06,4.246090e-06,4.260917e-06,4.296016e-06,4.297344e-06,4.327244e-06,4.334527e-06,4.351198e-06,4.362949e-06,4.369764e-06,4.382546e-06,4.383476e-06,4.392821e-06,4.394466e-06,4.398256e-06,4.399750e-06,4.400201e-06,4.399325e-06,4.399033e-06,4.395093e-06,4.394000e-06,4.388693e-06,4.384488e-06,4.380115e-06,4.371409e-06,4.369607e-06,4.357389e-06,4.355289e-06,4.343661e-06,4.336588e-06,4.328600e-06,4.315698e-06,4.312364e-06,4.295092e-06,4.292956e-06,4.276909e-06,4.268648e-06,4.257925e-06,4.243022e-06,4.238239e-06,4.217940e-06,4.216292e-06,4.197107e-06,4.188640e-06,4.175810e-06,4.160225e-06,4.154113e-06,4.132072e-06,4.131184e-06,4.109738e-06,4.101635e-06,4.087157e-06,4.071683e-06,4.064372e-06,4.041420e-06,4.018336e-06,4.010926e-06,3.995149e-06,3.980270e-06,3.971890e-06,3.949516e-06,3.948583e-06,3.925253e-06,3.918719e-06,3.901921e-06,3.887929e-06,3.878607e-06,3.857189e-06,3.855328e-06,3.832102e-06,3.826537e-06,3.808944e-06,3.796010e-06,3.785867e-06,3.765637e-06,3.762885e-06,3.740008e-06,3.735447e-06,3.717249e-06,3.705463e-06,3.694616e-06,3.675709e-06,3.672119e-06,3.649765e-06,3.646203e-06,3.627563e-06,3.616962e-06,3.605519e-06,3.588002e-06,3.583639e-06,3.561930e-06,3.559336e-06,3.540395e-06,3.530976e-06,3.519039e-06,3.502932e-06,3.497868e-06,3.476883e-06,3.475212e-06,3.456089e-06,3.447825e-06,3.435488e-06,3.420777e-06,3.415084e-06,3.394877e-06,3.394073e-06,3.374871e-06,3.367718e-06,3.355066e-06,3.341714e-06,3.335464e-06,3.316066e-06,3.290774e-06,3.265841e-06,3.241267e-06,3.217052e-06,3.193195e-06,3.169697e-06,3.146556e-06,3.123771e-06,3.101338e-06,3.079257e-06,3.057525e-06,3.036139e-06,3.015095e-06,2.994392e-06,2.974024e-06,2.953990e-06,2.934285e-06,2.914905e-06,2.895847e-06,2.877106e-06,2.858678e-06,2.840560e-06,2.822746e-06,2.805234e-06
0.000000e+00,7.624322e-11,3.037058e-10,2.117915e-09,7.064346e-09,1.199099e-08,3.588384e-08,3.728847e-08,8.567405e-08,1.043941e-07,1.647676e-07,2.302019e-07,2.823833e-07,4.315346e-07,4.465725e-07,6.651157e-07,7.263952e-07,9.440925e-07,1.127720e-06,1.285567e-06,1.634843e-06,1.685683e-06,2.135105e-06,2.229859e-06,2.621818e-06,2.885672e-06,3.134032e-06,3.576554e-06,3.661649e-06,4.196471e-06,4.282250e-06,4.731870e-06,4.987434e-06,5.262415e-06,5.680310e-06,5.783613e-06,6.291752e-06,6.351700e-06,6.783797e-06,6.994556e-06,7.257335e-06,7.603687e-06,7.710512e-06,8.141982e-06,8.175532e-06,8.550847e-06,8.707938e-06,8.936599e-06,9.199919e-06,9.299063e-06,9.638339e-06,9.651432e-06,9.954753e-06,1.006316e-05,1.024881e-05,1.043631e-05,1.052114e-05,1.077249e-05,1.100367e-05,1.107353e-05,1.121555e-05,1.134143e-05,1.140901e-05,1.157824e-05,1.158495e-05,1.174427e-05,1.178603e-05,1.188786e-05,1.196683e-05,1.201659e-05,1.212262e-05,1.213130e-05,1.223282e-05,1.225531e-05,1.232193e-05,1.236669e-05,1.239939e-05,1.245849e-05,1.246592e-05,1.252222e-05,1.253231e-05,1.256894e-05,1.258966e-05,1.260671e-05,1.263195e-05,1.263612e-05,1.265773e-05,1.266050e-05,1.267208e-05,1.267653e-05,1.267967e-05,1.268119e-05,1.268097e-05,1.267643e-05,1.267552e-05,1.266648e-05,1.266049e-05,1.265152e-05,1.263702e-05,1.263191e-05,1.260801e-05,1.260593e-05,1.258016e-05,1.256799e-05,1.254867e-05,1.252391e-05,1.251383e-05,1.247592e-05,1.247434e-05,1.243519e-05,1.241989e-05,1.239189e-05,1.236110e-05,1.234625e-05,1.229848e-05,1.224878e-05,1.223251e-05,1.219735e-05,1.216359e-05,1.214434e-05,1.209214e-05,1.208994e-05,1.203429e-05,1.201851e-05,1.197754e-05,1.194302e-05,1.191982e-05,1.186597e-05,1.186126e-05,1.180197e-05,1.178765e-05,1.174207e-05,1.170829e-05,1.168165e-05,1.162814e-05,1.162082e-05,1.155965e-05,1.154739e-05,1.149824e-05,1.146624e-05,1.143666e-05,1.138485e-05,1.137498e-05,1.131326e-05,1.130339e-05,1.125157e-05,1.122199e-05,1.118997e-05,1.114078e-05,1.112850e-05,1.106721e-05,1.105988e-05,1.100616e-05,1.097938e-05,1.094538e-05,1.089939e-05,1.088491e-05,1.082478e-05,1.081998e-05,1.076502e-05,1.074124e-05,1.070568e-05,1.066321e-05,1.064676e-05,1.058830e-05,1.058597e-05,1.053032e-05,1.050957e-05,1.047284e-05,1.043405e-05,1.041588e-05,1.035944e-05,1.028579e-05,1.021313e-05,1.014147e-05,1.007084e-05,1.000126e-05,9.932740e-06,9.865289e-06,9.798917e-06,9.733628e-06,9.669426e-06,9.606311e-06,9.544282e-06,9.483338e-06,9.423472e-06,9.364680e-06,9.306955e-06,9.250289e-06,9.194671e-06,9.140094e-06,9.086545e-06,9.034014e-06,8.982487e-06,8.931953e-06,8.882399e-06
0.000000e+00,7.424080e-11,1.851865e-10,6.931954e-10,1.632271e-09,2.407535e-09,5.542114e-09,5.710661e-09,1.107446e-08,1.301093e-08,1.898439e-08,2.516681e-08,2.995764e-08,4.319679e-08,4.450155e-08,6.294273e-08,6.794824e-08,8.518052e-08,9.909973e-08,1.106712e-07,1.352339e-07,1.387113e-07,1.686729e-07,1.748497e-07,2.000535e-07,2.167933e-07,2.324424e-07,2.601668e-07,2.654836e-07,2.988525e-07,3.042014e-07,3.322466e-07,3.482012e-07,3.653841e-07,3.915344e-07,3.980059e-07,4.298790e-07,4.336435e-07,4.608002e-07,4.740586e-07,4.905978e-07,5.124058e-07,5.191328e-07,5.462984e-07,5.484100e-07,5.720182e-07,5.818898e-07,5.962447e-07,6.127497e-07,6.189557e-07,6.401506e-07,6.409671e-07,6.598471e-07,6.665770e-07,6.780781e-07,6.896609e-07,6.948890e-07,7.103345e-07,7.244754e-07,7.287357e-07,7.373776e-07,7.450164e-07,7.491094e-07,7.593352e-07,7.597402e-07,7.693392e-07,7.718513e-07,7.779744e-07,7.827206e-07,7.857121e-07,7.920929e-07,7.926160e-07,7.987468e-07,8.001096e-07,8.041623e-07,8.069030e-07,8.089170e-07,8.125954e-07,8.130623e-07,8.166460e-07,8.172993e-07,8.197127e-07,8.211170e-07,8.223040e-07,8.241413e-07,8.244580e-07,8.262105e-07,8.264559e-07,8.275943e-07,8.281365e-07,8.286397e-07,8.292513e-07,8.293748e-07,8.298252e-07,8.298612e-07,8.300146e-07,8.300210e-07,8.299650e-07,8.297798e-07,8.296963e-07,8.292272e-07,8.291815e-07,8.285745e-07,8.282656e-07,8.277539e-07,8.270673e-07,8.267799e-07,8.256657e-07,8.256184e-07,8.244235e-07,8.239471e-07,8.230645e-07,8.220791e-07,8.215993e-07,8.200372e-07,8.183872e-07,8.178420e-07,8.166575e-07,8.155121e-07,8.148556e-07,8.130642e-07,8.129884e-07,8.110624e-07,8.105134e-07,8.090835e-07,8.078732e-07,8.070574e-07,8.051559e-07,8.049890e-07,8.028832e-07,8.023728e-07,8.007444e-07,7.995337e-07,7.985766e-07,7.966479e-07,7.963836e-07,7.941689e-07,7.937237e-07,7.919358e-07,7.907684e-07,7.896874e-07,7.877889e-07,7.874264e-07,7.851555e-07,7.847914e-07,7.828772e-07,7.817816e-07,7.805936e-07,7.787643e-07,7.783068e-07,7.760190e-07,7.757444e-07,7.737318e-07,7.727260e-07,7.714469e-07,7.697130e-07,7.691661e-07,7.668906e-07,7.667089e-07,7.646219e-07,7.637167e-07,7.623613e-07,7.607393e-07,7.601099e-07,7.578688e-07,7.577794e-07,7.556390e-07,7.548392e-07,7.534214e-07,7.519208e-07,7.512169e-07,7.490262e-07,7.461571e-07,7.433150e-07,7.405012e-07,7.377171e-07,7.349637e-07,7.322420e-07,7.295528e-07,7.268969e-07,7.242749e-07,7.216873e-07,7.191347e-07,7.166174e-07,7.141358e-07,7.116900e-07,7.092804e-07,7.069069e-07,7.045698e-07,7.022689e-07,7.000044e-07,6.977761e-07,6.955840e-07,6.934280e-07,6.913078e-07,6.892233e-07
0.000000e+00,8.654264e-12,4.437735e-11,5.028712e-10,2.503419e-09,5.212002e-09,2.524847e-08,2.672142e-08,9.332852e-08,1.263470e-07,2.561300e-07,4.321706e-07,5.959302e-07,1.164287e-06,1.229145e-06,2.310439e-06,2.657085e-06,4.029849e-06,5.351687e-06,6.604866e-06,9.764673e-06,1.027001e-05,1.526611e-05,1.644609e-05,2.183034e-05,2.593880e-05,3.018750e-05,3.874380e-05,4.054261e-05,5.307477e-05,5.529232e-05,6.793222e-05,7.592454e-05,8.522874e-05,1.008751e-04,1.050413e-04,1.274086e-04,1.302648e-04,1.523314e-04,1.640990e-04,1.797735e-04,2.022717e-04,2.096635e-04,2.418978e-04,2.445740e-04,2.763440e-04,2.907074e-04,3.128451e-04,3.402993e-04,3.512235e-04,3.912851e-04,3.929197e-04,4.328244e-04,4.480993e-04,4.756277e-04,5.053451e-04,5.194778e-04,5.641572e-04,6.094515e-04,6.240413e-04,6.551522e-04,6.845210e-04,7.010590e-04,7.451466e-04,7.469816e-04,7.927414e-04,8.055021e-04,8.381728e-04,8.652100e-04,8.831233e-04,9.239337e-04,9.274544e-04,9.710418e-04,9.813795e-04,1.013775e-03,1.037296e-03,1.055557e-03,1.091471e-03,1.096304e-03,1.135945e-03,1.143735e-03,1.174421e-03,1.193952e-03,1.211684e-03,1.242019e-03,1.247696e-03,1.282428e-03,1.287864e-03,1.315860e-03,1.331443e-03,1.347982e-03,1.372733e-03,1.378789e-03,1.408281e-03,1.411732e-03,1.436467e-03,1.448458e-03,1.463358e-03,1.482940e-03,1.488971e-03,1.513326e-03,1.515221e-03,1.536447e-03,1.545355e-03,1.558359e-03,1.573402e-03,1.579090e-03,1.598670e-03,1.599430e-03,1.617132e-03,1.623510e-03,1.634506e-03,1.645717e-03,1.650827e-03,1.666128e-03,1.680443e-03,1.684821e-03,1.693806e-03,1.701875e-03,1.706252e-03,1.717368e-03,1.717814e-03,1.728526e-03,1.731378e-03,1.738421e-03,1.743979e-03,1.747531e-03,1.755247e-03,1.755889e-03,1.763525e-03,1.765253e-03,1.770470e-03,1.774068e-03,1.776753e-03,1.781759e-03,1.782405e-03,1.787452e-03,1.788391e-03,1.791922e-03,1.794027e-03,1.795841e-03,1.798726e-03,1.799235e-03,1.802128e-03,1.802546e-03,1.804544e-03,1.805541e-03,1.806506e-03,1.807764e-03,1.808037e-03,1.809157e-03,1.809264e-03,1.809886e-03,1.810089e-03,1.810246e-03,1.810283e-03,1.810254e-03,1.809929e-03,1.809889e-03,1.809288e-03,1.808947e-03,1.808348e-03,1.807495e-03,1.807126e-03,1.805635e-03,1.805570e-03,1.803892e-03,1.803206e-03,1.801911e-03,1.800434e-03,1.799704e-03,1.797286e-03,1.793790e-03,1.789973e-03,1.785861e-03,1.781478e-03,1.776847e-03,1.771988e-03,1.766923e-03,1.761670e-03,1.756247e-03,1.750670e-03,1.744956e-03,1.739118e-03,1.733171e-03,1.727129e-03,1.721002e-03,1.714802e-03,1.708540e-03,1.702226e-03,1.695870e-03,1.689479e-03,1.683062e-03,1.676627e-03,1.670181e-03,1.663730e-03
0.000000e+00,9.008234e-11,3.153293e-10,1.789834e-09,5.227195e-09,8.381064e-09,2.243458e-08,2.322653e-08,4.942072e-08,5.918379e-08,8.982982e-08,1.220244e-07,1.471460e-07,2.170034e-07,2.239188e-07,3.225393e-07,3.497040e-07,4.451393e-07,5.249111e-07,5.933579e-07,7.456154e-07,7.679560e-07,9.683964e-07,1.011433e-06,1.192667e-06,1.317675e-06,1.437570e-06,1.656472e-06,1.699326e-06,1.974126e-06,2.019063e-06,2.258435e-06,2.397337e-06,2.549087e-06,2.784273e-06,2.843267e-06,3.138478e-06,3.173865e-06,3.432504e-06,3.560987e-06,3.723390e-06,3.941303e-06,4.009428e-06,4.289149e-06,4.311215e-06,4.561311e-06,4.667824e-06,4.824892e-06,5.008888e-06,5.079071e-06,5.323217e-06,5.332767e-06,5.556869e-06,5.638351e-06,5.779718e-06,5.924990e-06,5.991589e-06,6.192421e-06,6.382253e-06,6.440693e-06,6.561204e-06,6.670107e-06,6.729462e-06,6.881154e-06,6.887269e-06,7.034907e-06,7.074466e-06,7.172694e-06,7.250778e-06,7.300969e-06,7.410888e-06,7.420089e-06,7.530421e-06,7.555634e-06,7.632337e-06,7.685873e-06,7.726210e-06,7.802461e-06,7.812412e-06,7.891309e-06,7.906243e-06,7.963259e-06,7.998044e-06,8.028612e-06,8.078661e-06,8.087710e-06,8.140880e-06,8.148859e-06,8.188442e-06,8.209370e-06,8.230701e-06,8.260888e-06,8.267951e-06,8.300475e-06,8.304073e-06,8.328541e-06,8.339546e-06,8.352409e-06,8.367892e-06,8.372324e-06,8.388521e-06,8.389663e-06,8.401225e-06,8.405376e-06,8.410647e-06,8.415513e-06,8.416991e-06,8.420448e-06,8.420529e-06,8.421203e-06,8.420847e-06,8.419429e-06,8.416862e-06,8.415290e-06,8.408942e-06,8.400535e-06,8.397432e-06,8.390207e-06,8.382651e-06,8.378092e-06,8.364898e-06,8.364316e-06,8.348998e-06,8.344449e-06,8.332251e-06,8.321561e-06,8.314181e-06,8.296474e-06,8.294888e-06,8.274469e-06,8.269411e-06,8.253012e-06,8.240576e-06,8.230604e-06,8.210161e-06,8.207323e-06,8.183247e-06,8.178342e-06,8.158445e-06,8.145284e-06,8.132986e-06,8.111138e-06,8.106932e-06,8.080345e-06,8.076045e-06,8.053279e-06,8.040133e-06,8.025788e-06,8.003524e-06,7.997923e-06,7.969729e-06,7.966325e-06,7.941251e-06,7.928641e-06,7.912530e-06,7.890565e-06,7.883606e-06,7.854516e-06,7.852182e-06,7.825292e-06,7.813573e-06,7.795968e-06,7.774810e-06,7.766574e-06,7.737138e-06,7.735960e-06,7.707686e-06,7.697085e-06,7.678244e-06,7.658240e-06,7.648833e-06,7.619477e-06,7.580843e-06,7.542381e-06,7.504128e-06,7.466121e-06,7.428392e-06,7.390968e-06,7.353876e-06,7.317140e-06,7.280780e-06,7.244814e-06,7.209260e-06,7.174130e-06,7.139439e-06,7.105197e-06,7.071413e-06,7.038096e-06,7.005252e-06,6.972886e-06,6.941003e-06,6.909606e-06,6.878698e-06,6.848279e-06,6.818352e-06,6.788915e-06
0.000000e+00,1.210152e-11,2.797585e-11,9.721963e-11,2.224758e-10,3.254868e-10,7.441560e-10,7.668176e-10,1.496750e-09,1.764322e-09,2.602074e-09,3.486971e-09,4.183919e-09,6.155670e-09,6.353425e-09,9.211404e-09,1.000711e-08,1.280943e-08,1.513996e-08,1.711834e-08,2.142264e-08,2.204202e-08,2.746288e-08,2.859704e-08,3.327522e-08,3.642337e-08,3.939406e-08,4.472088e-08,4.575174e-08,5.229221e-08,5.335230e-08,5.896647e-08,6.220443e-08,6.572998e-08,7.117709e-08,7.254127e-08,7.936148e-08,8.017875e-08,8.615426e-08,8.912565e-08,9.288606e-08,9.794250e-08,9.952628e-08,1.060476e-07,1.065634e-07,1.124259e-07,1.149325e-07,1.186408e-07,1.230044e-07,1.246748e-07,1.305141e-07,1.307434e-07,1.361475e-07,1.381235e-07,1.415669e-07,1.451269e-07,1.467666e-07,1.517432e-07,1.564951e-07,1.579683e-07,1.610228e-07,1.638034e-07,1.653277e-07,1.692537e-07,1.694130e-07,1.732824e-07,1.743278e-07,1.769407e-07,1.790366e-07,1.803933e-07,1.833929e-07,1.836459e-07,1.867048e-07,1.874108e-07,1.895764e-07,1.911052e-07,1.922674e-07,1.944913e-07,1.947844e-07,1.971342e-07,1.975847e-07,1.993234e-07,2.004005e-07,2.013586e-07,2.029540e-07,2.032464e-07,2.049930e-07,2.052598e-07,2.066048e-07,2.073323e-07,2.080878e-07,2.091854e-07,2.094478e-07,2.106907e-07,2.108322e-07,2.118217e-07,2.122854e-07,2.128464e-07,2.135570e-07,2.137696e-07,2.145965e-07,2.146586e-07,2.153316e-07,2.156011e-07,2.159796e-07,2.163946e-07,2.165448e-07,2.170312e-07,2.170491e-07,2.174430e-07,2.175737e-07,2.177840e-07,2.179772e-07,2.180577e-07,2.182677e-07,2.184174e-07,2.184531e-07,2.185099e-07,2.185405e-07,2.185482e-07,2.185368e-07,2.185354e-07,2.184741e-07,2.184486e-07,2.183670e-07,2.182819e-07,2.182167e-07,2.180423e-07,2.180256e-07,2.177959e-07,2.177353e-07,2.175300e-07,2.173659e-07,2.172298e-07,2.169389e-07,2.168974e-07,2.165346e-07,2.164586e-07,2.161434e-07,2.159292e-07,2.157254e-07,2.153548e-07,2.152822e-07,2.148156e-07,2.147388e-07,2.143268e-07,2.140848e-07,2.138175e-07,2.133960e-07,2.132888e-07,2.127422e-07,2.126755e-07,2.121788e-07,2.119260e-07,2.115999e-07,2.111502e-07,2.110065e-07,2.103997e-07,2.103506e-07,2.097805e-07,2.095295e-07,2.091498e-07,2.086892e-07,2.085087e-07,2.078579e-07,2.078316e-07,2.071982e-07,2.069587e-07,2.065305e-07,2.060722e-07,2.058555e-07,2.051739e-07,2.042652e-07,2.033477e-07,2.024227e-07,2.014914e-07,2.005551e-07,1.996148e-07,1.986717e-07,1.977266e-07,1.967805e-07,1.958341e-07,1.948883e-07,1.939438e-07,1.930012e-07,1.920612e-07,1.911244e-07,1.901912e-07,1.892622e-07,1.883378e-07,1.874185e-07,1.865046e-07,1.855965e-07,1.846945e-07,1.837988e-07,1.829099e-07
0.000000e+00,3.208757e-11,1.380591e-10,1.105284e-09,4.087030e-09,7.283382e-09,2.419974e-08,2.524036e-08,6.282542e-08,7.801236e-08,1.286003e-07,1.855147e-07,2.321162e-07,3.700455e-07,3.842897e-07,5.970759e-07,6.584510e-07,8.814411e-07,1.074600e-06,1.243710e-06,1.626349e-06,1.682915e-06,2.191711e-06,2.300923e-06,2.759728e-06,3.074991e-06,3.376531e-06,3.925618e-06,4.032983e-06,4.721410e-06,4.834075e-06,5.435245e-06,5.785175e-06,6.168643e-06,6.765806e-06,6.916202e-06,7.672809e-06,7.763975e-06,8.433583e-06,8.768440e-06,9.193886e-06,9.768705e-06,9.949355e-06,1.069596e-05,1.075519e-05,1.143002e-05,1.171940e-05,1.214829e-05,1.265405e-05,1.284792e-05,1.352649e-05,1.355317e-05,1.418203e-05,1.441206e-05,1.481293e-05,1.522724e-05,1.541799e-05,1.599635e-05,1.654748e-05,1.671804e-05,1.707111e-05,1.739179e-05,1.756723e-05,1.801781e-05,1.803604e-05,1.847790e-05,1.859685e-05,1.889332e-05,1.913015e-05,1.928295e-05,1.961925e-05,1.964751e-05,1.998780e-05,2.006596e-05,2.030468e-05,2.047223e-05,2.059902e-05,2.084014e-05,2.087176e-05,2.112380e-05,2.117180e-05,2.135607e-05,2.146934e-05,2.156949e-05,2.173484e-05,2.176494e-05,2.194331e-05,2.197032e-05,2.210546e-05,2.217778e-05,2.225223e-05,2.235911e-05,2.238441e-05,2.250279e-05,2.251610e-05,2.260811e-05,2.265050e-05,2.270109e-05,2.276392e-05,2.278241e-05,2.285274e-05,2.285791e-05,2.291270e-05,2.293391e-05,2.296289e-05,2.299329e-05,2.300387e-05,2.303620e-05,2.303732e-05,2.306038e-05,2.306719e-05,2.307691e-05,2.308402e-05,2.308626e-05,2.308886e-05,2.308514e-05,2.308268e-05,2.307550e-05,2.306638e-05,2.306030e-05,2.304082e-05,2.303991e-05,2.301466e-05,2.300677e-05,2.298489e-05,2.296497e-05,2.295088e-05,2.291610e-05,2.291293e-05,2.287130e-05,2.286080e-05,2.282626e-05,2.279964e-05,2.277805e-05,2.273319e-05,2.272690e-05,2.267302e-05,2.266194e-05,2.261663e-05,2.258637e-05,2.255790e-05,2.250691e-05,2.249704e-05,2.243420e-05,2.242397e-05,2.236956e-05,2.233793e-05,2.230326e-05,2.224914e-05,2.223546e-05,2.216629e-05,2.215791e-05,2.209588e-05,2.206454e-05,2.202436e-05,2.196932e-05,2.195183e-05,2.187841e-05,2.187250e-05,2.180420e-05,2.177432e-05,2.172930e-05,2.167499e-05,2.165379e-05,2.157777e-05,2.157472e-05,2.150131e-05,2.147370e-05,2.142450e-05,2.137209e-05,2.134739e-05,2.127006e-05,2.116776e-05,2.106531e-05,2.096285e-05,2.086049e-05,2.075833e-05,2.065647e-05,2.055500e-05,2.045400e-05,2.035354e-05,2.025369e-05,2.015451e-05,2.005606e-05,1.995839e-05,1.986154e-05,1.976556e-05,1.967048e-05,1.957633e-05,1.948315e-05,1.939096e-05,1.929979e-05,1.920965e-05,1.912056e-05,1.903253e-05,1.894559e-05
0.000000e+00,9.206333e-11,2.208352e-10,7.977348e-10,1.857416e-09,2.733614e-09,6.301658e-09,6.494655e-09,1.268862e-08,1.494646e-08,2.196979e-08,2.931706e-08,3.505739e-08,5.111457e-08,5.271253e-08,7.562754e-08,8.196366e-08,1.041946e-07,1.226284e-07,1.382595e-07,1.722378e-07,1.771240e-07,2.198368e-07,2.287583e-07,2.654843e-07,2.901216e-07,3.133044e-07,3.546970e-07,3.626794e-07,4.130987e-07,4.212327e-07,4.641263e-07,4.887221e-07,5.153819e-07,5.563237e-07,5.665301e-07,6.172761e-07,6.233260e-07,6.673630e-07,6.891343e-07,7.165702e-07,7.532636e-07,7.647117e-07,8.116338e-07,8.153310e-07,8.572130e-07,8.750462e-07,9.013528e-07,9.322008e-07,9.439811e-07,9.850467e-07,9.866563e-07,1.024517e-06,1.038332e-06,1.062376e-06,1.087196e-06,1.098618e-06,1.133252e-06,1.166293e-06,1.176533e-06,1.197765e-06,1.217097e-06,1.227697e-06,1.255015e-06,1.256124e-06,1.283082e-06,1.290372e-06,1.308612e-06,1.323261e-06,1.332755e-06,1.353779e-06,1.355555e-06,1.377056e-06,1.382028e-06,1.397303e-06,1.408110e-06,1.416340e-06,1.432128e-06,1.434213e-06,1.450964e-06,1.454184e-06,1.466639e-06,1.474378e-06,1.481279e-06,1.492807e-06,1.494926e-06,1.507621e-06,1.509567e-06,1.519405e-06,1.524748e-06,1.530315e-06,1.538440e-06,1.540390e-06,1.549666e-06,1.550728e-06,1.558180e-06,1.561693e-06,1.565965e-06,1.571415e-06,1.573055e-06,1.579482e-06,1.579968e-06,1.585277e-06,1.587425e-06,1.590471e-06,1.593854e-06,1.595092e-06,1.599169e-06,1.599321e-06,1.602729e-06,1.603888e-06,1.605796e-06,1.607614e-06,1.608397e-06,1.610556e-06,1.612295e-06,1.612767e-06,1.613637e-06,1.614298e-06,1.614604e-06,1.615197e-06,1.615214e-06,1.615489e-06,1.615509e-06,1.615447e-06,1.615278e-06,1.615107e-06,1.614544e-06,1.614484e-06,1.613597e-06,1.613346e-06,1.612460e-06,1.611721e-06,1.611090e-06,1.609702e-06,1.609500e-06,1.607705e-06,1.607323e-06,1.605718e-06,1.604612e-06,1.603551e-06,1.601601e-06,1.601216e-06,1.598726e-06,1.598314e-06,1.596092e-06,1.594779e-06,1.593323e-06,1.591018e-06,1.590430e-06,1.587422e-06,1.587054e-06,1.584309e-06,1.582908e-06,1.581099e-06,1.578601e-06,1.577801e-06,1.574423e-06,1.574149e-06,1.570971e-06,1.569572e-06,1.567453e-06,1.564884e-06,1.563877e-06,1.560247e-06,1.560101e-06,1.556571e-06,1.555237e-06,1.552854e-06,1.550306e-06,1.549102e-06,1.545319e-06,1.540289e-06,1.535225e-06,1.530137e-06,1.525035e-06,1.519927e-06,1.514821e-06,1.509724e-06,1.504643e-06,1.499584e-06,1.494553e-06,1.489554e-06,1.484593e-06,1.479674e-06,1.474800e-06,1.469976e-06,1.465204e-06,1.460487e-06,1.455829e-06,1.451230e-06,1.446694e-06,1.442221e-06,1.437815e-06,1.433475e-06,1.429203e-06
0.000000e+00,3.159347e-11,7.352913e-11,2.570225e-10,5.887348e-10,8.608399e-10,1.959421e-09,2.018554e-09,3.906430e-09,4.590913e-09,6.711021e-09,8.917345e-09,1.063465e-08,1.541582e-08,1.589018e-08,2.267398e-08,2.454567e-08,3.110842e-08,3.655250e-08,4.117434e-08,5.124315e-08,5.269345e-08,6.538913e-08,6.804337e-08,7.897008e-08,8.629473e-08,9.317867e-08,1.054412e-07,1.078009e-07,1.226602e-07,1.250495e-07,1.376082e-07,1.447767e-07,1.525178e-07,1.643434e-07,1.672791e-07,1.817974e-07,1.835193e-07,1.959914e-07,2.021159e-07,2.097926e-07,2.199839e-07,2.231449e-07,2.360033e-07,2.370095e-07,2.483333e-07,2.531114e-07,2.601099e-07,2.682369e-07,2.713167e-07,2.819443e-07,2.823573e-07,2.919900e-07,2.954644e-07,3.014563e-07,3.075657e-07,3.103499e-07,3.186815e-07,3.264642e-07,3.288412e-07,3.337136e-07,3.380812e-07,3.404469e-07,3.464423e-07,3.466824e-07,3.524393e-07,3.539681e-07,3.577373e-07,3.607040e-07,3.625961e-07,3.666956e-07,3.670358e-07,3.710759e-07,3.719883e-07,3.747360e-07,3.766267e-07,3.780349e-07,3.806541e-07,3.809914e-07,3.836233e-07,3.841122e-07,3.859480e-07,3.870411e-07,3.879825e-07,3.894789e-07,3.897428e-07,3.912445e-07,3.914618e-07,3.925026e-07,3.930242e-07,3.935314e-07,3.941985e-07,3.943445e-07,3.949550e-07,3.950152e-07,3.953754e-07,3.955032e-07,3.956175e-07,3.956893e-07,3.956928e-07,3.956119e-07,3.955990e-07,3.953852e-07,3.952558e-07,3.950223e-07,3.946820e-07,3.945327e-07,3.939249e-07,3.938983e-07,3.932075e-07,3.929239e-07,3.923882e-07,3.917768e-07,3.914747e-07,3.904739e-07,3.893927e-07,3.890307e-07,3.882373e-07,3.874618e-07,3.870138e-07,3.857805e-07,3.857280e-07,3.843850e-07,3.839995e-07,3.829901e-07,3.821302e-07,3.815480e-07,3.801834e-07,3.800632e-07,3.785400e-07,3.781691e-07,3.769824e-07,3.760965e-07,3.753941e-07,3.739739e-07,3.737787e-07,3.721397e-07,3.718093e-07,3.704800e-07,3.696098e-07,3.688026e-07,3.673821e-07,3.671104e-07,3.654059e-07,3.651322e-07,3.636915e-07,3.628658e-07,3.619696e-07,3.605881e-07,3.602423e-07,3.585115e-07,3.583036e-07,3.567791e-07,3.560168e-07,3.550469e-07,3.537315e-07,3.533164e-07,3.515893e-07,3.514513e-07,3.498669e-07,3.491795e-07,3.481504e-07,3.469190e-07,3.464412e-07,3.447403e-07,3.446725e-07,3.430488e-07,3.424423e-07,3.413676e-07,3.402308e-07,3.396976e-07,3.380397e-07,3.358708e-07,3.337258e-07,3.316059e-07,3.295123e-07,3.274462e-07,3.254083e-07,3.233996e-07,3.214206e-07,3.194720e-07,3.175541e-07,3.156674e-07,3.138121e-07,3.119884e-07,3.101965e-07,3.084364e-07,3.067081e-07,3.050116e-07,3.033468e-07,3.017135e-07,3.001116e-07,2.985408e-07,2.970010e-07,2.954917e-07,2.940128e-07
0.000000e+00,1.311680e-11,2.988239e-11,1.014943e-10,2.280324e-10,3.302796e-10,7.345924e-10,7.560597e-10,1.429892e-09,1.669549e-09,2.399138e-09,3.140774e-09,3.707204e-09,5.241524e-09,5.390700e-09,7.474306e-09,8.035092e-09,9.964410e-09,1.153089e-08,1.284313e-08,1.566214e-08,1.606462e-08,1.955547e-08,2.027787e-08,2.322080e-08,2.516101e-08,2.695614e-08,3.007475e-08,3.066207e-08,3.425645e-08,3.481690e-08,3.767991e-08,3.925072e-08,4.089490e-08,4.330274e-08,4.388119e-08,4.663104e-08,4.694509e-08,4.914505e-08,5.017791e-08,5.142926e-08,5.301730e-08,5.349312e-08,5.534816e-08,5.548791e-08,5.700701e-08,5.761857e-08,5.848285e-08,5.943957e-08,5.978890e-08,6.093815e-08,6.098103e-08,6.194311e-08,6.227189e-08,6.281571e-08,6.333926e-08,6.356722e-08,6.420815e-08,6.474830e-08,6.490136e-08,6.519672e-08,6.543945e-08,6.556176e-08,6.584089e-08,6.585110e-08,6.607176e-08,6.612212e-08,6.623016e-08,6.629779e-08,6.633219e-08,6.638087e-08,6.638319e-08,6.638802e-08,6.638281e-08,6.635113e-08,6.631377e-08,6.627656e-08,6.618272e-08,6.616802e-08,6.602885e-08,6.599762e-08,6.586211e-08,6.576544e-08,6.567057e-08,6.549237e-08,6.545676e-08,6.522300e-08,6.518389e-08,6.497137e-08,6.484482e-08,6.470380e-08,6.447943e-08,6.442202e-08,6.412761e-08,6.409151e-08,6.382203e-08,6.368438e-08,6.350660e-08,6.326103e-08,6.318252e-08,6.285089e-08,6.282406e-08,6.251271e-08,6.237582e-08,6.216891e-08,6.191836e-08,6.182032e-08,6.146770e-08,6.145352e-08,6.111175e-08,6.098291e-08,6.075309e-08,6.050796e-08,6.039231e-08,6.002994e-08,5.966647e-08,5.955000e-08,5.930235e-08,5.906915e-08,5.893797e-08,5.858828e-08,5.857371e-08,5.820992e-08,5.810818e-08,5.784689e-08,5.762956e-08,5.748491e-08,5.715305e-08,5.712425e-08,5.676512e-08,5.667919e-08,5.640776e-08,5.620847e-08,5.605234e-08,5.574133e-08,5.569905e-08,5.534806e-08,5.527814e-08,5.499949e-08,5.481924e-08,5.465350e-08,5.436493e-08,5.431019e-08,5.396967e-08,5.391545e-08,5.363205e-08,5.347104e-08,5.329739e-08,5.303187e-08,5.296579e-08,5.263731e-08,5.259811e-08,5.231201e-08,5.216989e-08,5.198993e-08,5.174734e-08,5.167113e-08,5.135564e-08,5.133055e-08,5.104350e-08,5.091959e-08,5.073473e-08,5.051452e-08,5.042935e-08,5.012740e-08,5.011539e-08,4.982886e-08,4.972223e-08,4.953376e-08,4.933507e-08,4.924211e-08,4.895390e-08,4.857873e-08,4.820956e-08,4.784635e-08,4.748909e-08,4.713773e-08,4.679226e-08,4.645261e-08,4.611875e-08,4.579062e-08,4.546816e-08,4.515132e-08,4.484003e-08,4.453424e-08,4.423386e-08,4.393884e-08,4.364910e-08,4.336456e-08,4.308517e-08,4.281084e-08,4.254150e-08,4.227707e-08,4.201748e-08,4.176265e-08,4.151250e-08
0.000000e+00,1.064067e-10,3.321380e-10,1.613948e-09,4.340234e-09,6.749811e-09,1.723732e-08,1.782531e-08,3.741741e-08,4.483449e-08,6.860631e-08,9.436504e-08,1.149595e-07,1.738266e-07,1.797331e-07,2.640105e-07,2.869566e-07,3.656799e-07,4.288405e-07,4.810734e-07,5.913412e-07,6.069044e-07,7.407290e-07,7.682823e-07,8.806812e-07,9.553521e-07,1.025199e-06,1.149090e-06,1.172876e-06,1.322411e-06,1.346426e-06,1.472595e-06,1.544587e-06,1.622330e-06,1.741132e-06,1.770636e-06,1.916665e-06,1.934000e-06,2.059698e-06,2.121528e-06,2.199150e-06,2.302448e-06,2.334555e-06,2.465560e-06,2.475842e-06,2.591909e-06,2.641104e-06,2.713431e-06,2.797879e-06,2.830025e-06,2.941653e-06,2.946015e-06,3.048322e-06,3.085517e-06,3.150079e-06,3.216506e-06,3.247000e-06,3.339188e-06,3.426758e-06,3.453826e-06,3.509842e-06,3.560725e-06,3.588579e-06,3.660211e-06,3.663114e-06,3.733595e-06,3.752624e-06,3.800173e-06,3.838307e-06,3.862995e-06,3.917603e-06,3.922211e-06,3.977965e-06,3.990847e-06,4.030401e-06,4.058367e-06,4.079657e-06,4.120481e-06,4.125871e-06,4.169172e-06,4.177494e-06,4.209688e-06,4.229697e-06,4.247543e-06,4.277371e-06,4.282855e-06,4.315738e-06,4.320781e-06,4.346302e-06,4.360180e-06,4.374653e-06,4.395809e-06,4.400893e-06,4.425119e-06,4.427895e-06,4.447425e-06,4.456654e-06,4.467899e-06,4.482289e-06,4.486630e-06,4.503697e-06,4.504993e-06,4.519181e-06,4.524948e-06,4.533157e-06,4.542326e-06,4.545697e-06,4.556869e-06,4.557289e-06,4.566741e-06,4.569988e-06,4.575374e-06,4.580569e-06,4.582830e-06,4.589166e-06,4.594437e-06,4.595907e-06,4.598695e-06,4.600912e-06,4.601991e-06,4.604295e-06,4.604373e-06,4.605887e-06,4.606162e-06,4.606577e-06,4.606613e-06,4.606484e-06,4.605742e-06,4.605649e-06,4.604109e-06,4.603639e-06,4.601902e-06,4.600387e-06,4.599061e-06,4.596063e-06,4.595620e-06,4.591611e-06,4.590743e-06,4.587063e-06,4.584496e-06,4.582007e-06,4.577386e-06,4.576469e-06,4.570476e-06,4.569476e-06,4.564053e-06,4.560824e-06,4.557223e-06,4.551483e-06,4.550011e-06,4.542437e-06,4.541505e-06,4.534523e-06,4.530938e-06,4.526289e-06,4.519828e-06,4.517753e-06,4.508933e-06,4.508216e-06,4.499848e-06,4.496143e-06,4.490514e-06,4.483647e-06,4.480946e-06,4.471159e-06,4.470763e-06,4.461169e-06,4.457525e-06,4.450988e-06,4.443963e-06,4.440630e-06,4.430108e-06,4.415987e-06,4.401625e-06,4.387049e-06,4.372280e-06,4.357340e-06,4.342250e-06,4.327029e-06,4.311694e-06,4.296264e-06,4.280753e-06,4.265176e-06,4.249548e-06,4.233882e-06,4.218189e-06,4.202483e-06,4.186772e-06,4.171069e-06,4.155381e-06,4.139719e-06,4.124090e-06,4.108503e-06,4.092964e-06,4.077480e-06,4.062059e-06
0.000000e+00,4.444328e-11,1.109842e-10,4.149885e-10,9.745395e-10,1.434725e-09,3.283636e-09,3.382604e-09,6.512705e-09,7.634412e-09,1.106958e-08,1.458692e-08,1.728608e-08,2.461979e-08,2.533227e-08,3.520764e-08,3.782960e-08,4.670036e-08,5.372740e-08,5.950121e-08,7.161566e-08,7.331895e-08,8.790645e-08,9.089691e-08,1.030472e-07,1.110725e-07,1.185421e-07,1.316941e-07,1.342038e-07,1.498575e-07,1.523504e-07,1.653431e-07,1.726741e-07,1.805190e-07,1.923550e-07,1.952646e-07,2.094814e-07,2.111481e-07,2.230935e-07,2.288764e-07,2.360463e-07,2.454276e-07,2.483052e-07,2.598525e-07,2.607454e-07,2.706855e-07,2.748204e-07,2.808133e-07,2.876788e-07,2.902545e-07,2.990348e-07,2.993727e-07,3.071848e-07,3.099708e-07,3.147381e-07,3.195516e-07,3.217303e-07,3.281975e-07,3.341754e-07,3.359908e-07,3.396989e-07,3.430109e-07,3.448013e-07,3.493327e-07,3.495141e-07,3.538671e-07,3.550252e-07,3.578876e-07,3.601511e-07,3.616013e-07,3.647672e-07,3.650317e-07,3.682004e-07,3.689242e-07,3.711271e-07,3.726672e-07,3.738299e-07,3.760363e-07,3.763253e-07,3.786283e-07,3.790670e-07,3.807525e-07,3.817906e-07,3.827104e-07,3.842349e-07,3.845134e-07,3.861718e-07,3.864243e-07,3.876951e-07,3.883808e-07,3.890919e-07,3.901237e-07,3.903702e-07,3.915373e-07,3.916702e-07,3.925996e-07,3.930355e-07,3.935634e-07,3.942335e-07,3.944343e-07,3.952175e-07,3.952765e-07,3.959178e-07,3.961757e-07,3.965397e-07,3.969413e-07,3.970874e-07,3.975647e-07,3.975824e-07,3.979752e-07,3.981073e-07,3.983223e-07,3.985237e-07,3.986092e-07,3.988387e-07,3.990138e-07,3.990587e-07,3.991369e-07,3.991896e-07,3.992106e-07,3.992370e-07,3.992372e-07,3.992189e-07,3.992060e-07,3.991577e-07,3.991012e-07,3.990556e-07,3.989272e-07,3.989145e-07,3.987362e-07,3.986881e-07,3.985224e-07,3.983877e-07,3.982746e-07,3.980296e-07,3.979943e-07,3.976832e-07,3.976173e-07,3.973424e-07,3.971540e-07,3.969734e-07,3.966426e-07,3.965774e-07,3.961557e-07,3.960859e-07,3.957093e-07,3.954867e-07,3.952395e-07,3.948474e-07,3.947472e-07,3.942335e-07,3.941704e-07,3.936993e-07,3.934580e-07,3.931457e-07,3.927124e-07,3.925734e-07,3.919834e-07,3.919355e-07,3.913766e-07,3.911293e-07,3.907536e-07,3.902955e-07,3.901153e-07,3.894623e-07,3.894359e-07,3.887955e-07,3.885522e-07,3.881155e-07,3.876459e-07,3.874230e-07,3.867185e-07,3.857714e-07,3.848060e-07,3.838234e-07,3.828250e-07,3.818120e-07,3.807853e-07,3.797460e-07,3.786952e-07,3.776339e-07,3.765629e-07,3.754830e-07,3.743952e-07,3.733002e-07,3.721987e-07,3.710916e-07,3.699794e-07,3.688628e-07,3.677425e-07,3.666190e-07,3.654929e-07,3.643648e-07,3.632351e-07,3.621043e-07,3.609730e-07
0.000000e+00,1.868019e-11,8.924473e-11,8.741090e-10,3.814746e-09,7.392223e-09,2.980702e-08,3.131323e-08,9.144256e-08,1.179844e-07,2.122177e-07,3.255235e-07,4.221635e-07,7.211841e-07,7.528737e-07,1.238405e-06,1.381917e-06,1.914371e-06,2.389207e-06,2.815515e-06,3.817980e-06,3.970706e-06,5.396237e-06,5.714004e-06,7.090871e-06,8.072745e-06,9.035660e-06,1.083917e-05,1.119823e-05,1.353886e-05,1.392710e-05,1.601595e-05,1.724156e-05,1.858953e-05,2.069327e-05,2.122320e-05,2.388470e-05,2.420457e-05,2.654579e-05,2.771009e-05,2.918192e-05,3.115549e-05,3.177183e-05,3.429725e-05,3.449601e-05,3.674261e-05,3.769533e-05,3.909488e-05,4.072484e-05,4.134347e-05,4.348000e-05,4.356304e-05,4.549825e-05,4.619499e-05,4.739395e-05,4.861169e-05,4.916461e-05,5.080936e-05,5.232871e-05,5.278868e-05,5.372440e-05,5.455397e-05,5.499915e-05,5.611244e-05,5.615653e-05,5.720074e-05,5.747347e-05,5.813648e-05,5.864796e-05,5.896882e-05,5.964780e-05,5.970306e-05,6.034461e-05,6.048540e-05,6.089896e-05,6.117333e-05,6.137154e-05,6.172404e-05,6.176772e-05,6.209271e-05,6.214962e-05,6.235159e-05,6.246169e-05,6.254920e-05,6.267125e-05,6.269019e-05,6.277900e-05,6.278865e-05,6.281983e-05,6.282355e-05,6.281663e-05,6.278490e-05,6.277316e-05,6.269291e-05,6.268096e-05,6.257917e-05,6.251931e-05,6.243501e-05,6.230688e-05,6.226330e-05,6.206671e-05,6.204998e-05,6.184772e-05,6.175437e-05,6.160864e-05,6.142526e-05,6.135160e-05,6.107859e-05,6.106736e-05,6.079143e-05,6.068492e-05,6.049182e-05,6.028178e-05,6.018132e-05,5.986138e-05,5.953331e-05,5.942682e-05,5.919835e-05,5.898087e-05,5.885761e-05,5.852602e-05,5.851212e-05,5.816284e-05,5.806448e-05,5.781062e-05,5.759822e-05,5.745627e-05,5.712900e-05,5.710050e-05,5.674398e-05,5.665837e-05,5.638732e-05,5.618773e-05,5.603105e-05,5.571827e-05,5.567569e-05,5.532168e-05,5.525108e-05,5.496943e-05,5.478709e-05,5.461932e-05,5.432711e-05,5.427167e-05,5.392679e-05,5.387188e-05,5.358493e-05,5.342200e-05,5.324636e-05,5.297800e-05,5.291127e-05,5.257985e-05,5.254033e-05,5.225227e-05,5.210939e-05,5.192867e-05,5.168548e-05,5.160919e-05,5.129392e-05,5.126888e-05,5.098296e-05,5.085980e-05,5.067639e-05,5.045841e-05,5.037427e-05,5.007665e-05,5.006484e-05,4.978358e-05,4.967919e-05,4.949507e-05,4.930151e-05,4.921115e-05,4.893184e-05,4.857019e-05,4.821654e-05,4.787088e-05,4.753314e-05,4.720326e-05,4.688117e-05,4.656678e-05,4.626000e-05,4.596070e-05,4.566880e-05,4.538415e-05,4.510665e-05,4.483615e-05,4.457253e-05,4.431566e-05,4.406539e-05,4.382160e-05,4.358414e-05,4.335287e-05,4.312766e-05,4.290837e-05,4.269486e-05,4.248699e-05,4.228463e-05
0.000000e+00,6.648843e-11,2.959497e-10,2.523116e-09,9.797266e-09,1.787743e-08,6.255362e-08,6.536383e-08,1.692469e-07,2.120790e-07,3.567519e-07,5.218481e-07,6.581424e-07,1.064171e-06,1.106165e-06,1.730476e-06,1.908736e-06,2.547066e-06,3.087661e-06,3.552117e-06,4.577423e-06,4.726460e-06,6.044857e-06,6.323608e-06,7.482701e-06,8.270312e-06,9.018464e-06,1.037048e-05,1.063350e-05,1.231100e-05,1.258413e-05,1.403508e-05,1.487461e-05,1.579021e-05,1.720639e-05,1.756109e-05,1.933268e-05,1.954463e-05,2.109045e-05,2.185591e-05,2.282066e-05,2.410938e-05,2.451069e-05,2.614922e-05,2.627778e-05,2.772645e-05,2.833828e-05,2.923416e-05,3.027290e-05,3.066576e-05,3.201626e-05,3.206854e-05,3.328221e-05,3.371682e-05,3.446155e-05,3.521357e-05,3.555347e-05,3.655831e-05,3.747732e-05,3.775359e-05,3.831255e-05,3.880435e-05,3.906669e-05,3.971732e-05,3.974291e-05,4.034476e-05,4.050047e-05,4.087603e-05,4.116256e-05,4.134068e-05,4.171277e-05,4.174272e-05,4.208619e-05,4.216035e-05,4.237506e-05,4.251444e-05,4.261323e-05,4.278386e-05,4.280445e-05,4.295234e-05,4.297703e-05,4.306034e-05,4.310182e-05,4.313171e-05,4.316561e-05,4.316952e-05,4.317668e-05,4.317516e-05,4.315588e-05,4.313672e-05,4.310965e-05,4.305594e-05,4.304034e-05,4.295012e-05,4.293798e-05,4.284100e-05,4.278748e-05,4.271485e-05,4.260865e-05,4.257339e-05,4.241820e-05,4.240523e-05,4.225074e-05,4.218063e-05,4.207236e-05,4.193785e-05,4.188427e-05,4.168762e-05,4.167959e-05,4.148343e-05,4.140826e-05,4.127265e-05,4.112600e-05,4.105615e-05,4.083473e-05,4.060911e-05,4.053613e-05,4.037995e-05,4.023172e-05,4.014786e-05,3.992282e-05,3.991340e-05,3.967707e-05,3.961063e-05,3.943933e-05,3.929618e-05,3.920060e-05,3.898042e-05,3.896126e-05,3.872166e-05,3.866415e-05,3.848211e-05,3.834810e-05,3.824291e-05,3.803291e-05,3.800431e-05,3.776655e-05,3.771912e-05,3.752985e-05,3.740724e-05,3.729439e-05,3.709769e-05,3.706034e-05,3.682788e-05,3.679084e-05,3.659713e-05,3.648702e-05,3.636823e-05,3.618651e-05,3.614128e-05,3.591640e-05,3.588956e-05,3.569366e-05,3.559636e-05,3.547315e-05,3.530709e-05,3.525493e-05,3.503907e-05,3.502190e-05,3.482561e-05,3.474091e-05,3.461461e-05,3.446422e-05,3.440609e-05,3.420010e-05,3.419192e-05,3.399666e-05,3.392405e-05,3.379579e-05,3.366067e-05,3.359750e-05,3.340181e-05,3.314749e-05,3.289772e-05,3.265249e-05,3.241180e-05,3.217562e-05,3.194392e-05,3.171669e-05,3.149387e-05,3.127543e-05,3.106132e-05,3.085149e-05,3.064588e-05,3.044445e-05,3.024712e-05,3.005385e-05,2.986457e-05,2.967922e-05,2.949772e-05,2.932003e-05,2.914606e-05,2.897576e-05,2.880906e-05,2.864589e-05,2.848618e-05
0.000000e+00,8.113444e-11,2.432187e-10,1.121711e-09,2.927149e-09,4.490993e-09,1.110246e-08,1.146584e-08,2.324080e-08,2.755589e-08,4.097357e-08,5.495160e-08,6.581215e-08,9.586955e-08,9.883357e-08,1.407916e-07,1.522208e-07,1.918323e-07,2.242589e-07,2.515982e-07,3.109980e-07,3.195709e-07,3.952381e-07,4.112504e-07,4.780904e-07,5.238346e-07,5.675833e-07,6.474490e-07,6.631123e-07,7.640064e-07,7.805992e-07,8.695345e-07,9.216072e-07,9.789198e-07,1.068665e-06,1.091357e-06,1.206034e-06,1.219907e-06,1.322146e-06,1.373489e-06,1.438919e-06,1.527655e-06,1.555619e-06,1.671567e-06,1.680791e-06,1.786144e-06,1.831466e-06,1.898801e-06,1.978452e-06,2.009057e-06,2.116502e-06,2.120737e-06,2.220796e-06,2.257515e-06,2.321661e-06,2.388180e-06,2.418884e-06,2.512304e-06,2.601811e-06,2.629616e-06,2.687342e-06,2.739981e-06,2.768869e-06,2.843375e-06,2.846400e-06,2.919969e-06,2.939866e-06,2.989635e-06,3.029593e-06,3.055476e-06,3.112751e-06,3.117585e-06,3.176066e-06,3.189575e-06,3.231034e-06,3.260326e-06,3.282609e-06,3.325287e-06,3.330915e-06,3.376081e-06,3.384748e-06,3.418234e-06,3.439005e-06,3.457502e-06,3.488351e-06,3.494012e-06,3.527890e-06,3.533074e-06,3.559256e-06,3.573455e-06,3.588231e-06,3.609766e-06,3.614929e-06,3.639462e-06,3.642265e-06,3.661937e-06,3.671202e-06,3.682459e-06,3.696810e-06,3.701126e-06,3.718034e-06,3.719314e-06,3.733274e-06,3.738923e-06,3.746933e-06,3.755835e-06,3.759094e-06,3.769835e-06,3.770237e-06,3.779234e-06,3.782303e-06,3.787361e-06,3.792197e-06,3.794286e-06,3.800073e-06,3.804784e-06,3.806074e-06,3.808478e-06,3.810335e-06,3.811212e-06,3.812981e-06,3.813038e-06,3.814006e-06,3.814130e-06,3.814165e-06,3.813891e-06,3.813560e-06,3.812367e-06,3.812235e-06,3.810231e-06,3.809653e-06,3.807585e-06,3.805838e-06,3.804336e-06,3.801006e-06,3.800519e-06,3.796166e-06,3.795235e-06,3.791310e-06,3.788596e-06,3.785981e-06,3.781159e-06,3.780206e-06,3.774014e-06,3.772986e-06,3.767429e-06,3.764136e-06,3.760476e-06,3.754664e-06,3.753178e-06,3.745558e-06,3.744623e-06,3.737635e-06,3.734059e-06,3.729431e-06,3.723018e-06,3.720963e-06,3.712250e-06,3.711542e-06,3.703308e-06,3.699671e-06,3.694153e-06,3.687439e-06,3.684802e-06,3.675268e-06,3.674883e-06,3.665565e-06,3.662033e-06,3.655706e-06,3.648920e-06,3.645704e-06,3.635571e-06,3.622012e-06,3.608269e-06,3.594362e-06,3.580314e-06,3.566145e-06,3.551872e-06,3.537514e-06,3.523086e-06,3.508603e-06,3.494079e-06,3.479529e-06,3.464962e-06,3.450392e-06,3.435829e-06,3.421282e-06,3.406762e-06,3.392275e-06,3.377832e-06,3.363438e-06,3.349101e-06,3.334827e-06,3.320622e-06,3.306491e-06,3.292440e-06
0.000000e+00,5.105028e-12,2.465140e-11,2.467357e-10,1.097488e-09,2.148338e-09,8.880194e-09,9.337928e-09,2.788233e-08,3.617650e-08,6.592248e-08,1.020720e-07,1.331067e-07,2.297821e-07,2.400632e-07,3.979418e-07,4.446561e-07,6.178609e-07,7.719965e-07,9.100504e-07,1.233572e-06,1.282754e-06,1.741329e-06,1.843592e-06,2.287916e-06,2.606751e-06,2.921683e-06,3.519100e-06,3.639381e-06,4.435946e-06,4.570304e-06,5.305009e-06,5.745796e-06,6.239277e-06,7.028322e-06,7.230814e-06,8.271245e-06,8.398974e-06,9.351934e-06,9.837939e-06,1.046414e-05,1.132516e-05,1.159920e-05,1.274863e-05,1.284096e-05,1.390432e-05,1.436661e-05,1.505861e-05,1.588485e-05,1.620445e-05,1.733542e-05,1.738027e-05,1.844581e-05,1.883953e-05,1.953066e-05,2.025157e-05,2.058573e-05,2.160752e-05,2.259321e-05,2.290064e-05,2.354063e-05,2.412613e-05,2.444819e-05,2.528097e-05,2.531485e-05,2.614003e-05,2.636361e-05,2.692357e-05,2.737378e-05,2.766567e-05,2.831220e-05,2.836680e-05,2.902770e-05,2.918043e-05,2.964930e-05,2.998064e-05,3.023270e-05,3.071544e-05,3.077909e-05,3.128978e-05,3.138775e-05,3.176612e-05,3.200070e-05,3.220951e-05,3.255752e-05,3.262136e-05,3.300308e-05,3.306146e-05,3.335609e-05,3.351574e-05,3.368176e-05,3.392353e-05,3.398146e-05,3.425648e-05,3.428789e-05,3.450812e-05,3.461175e-05,3.473761e-05,3.489793e-05,3.494612e-05,3.513482e-05,3.514909e-05,3.530477e-05,3.536774e-05,3.545704e-05,3.555627e-05,3.559261e-05,3.571242e-05,3.571690e-05,3.581739e-05,3.585172e-05,3.590838e-05,3.596267e-05,3.598618e-05,3.605159e-05,3.610532e-05,3.612017e-05,3.614809e-05,3.617000e-05,3.618053e-05,3.620255e-05,3.620328e-05,3.621693e-05,3.621919e-05,3.622203e-05,3.622121e-05,3.621911e-05,3.620977e-05,3.620867e-05,3.619119e-05,3.618599e-05,3.616710e-05,3.615089e-05,3.613684e-05,3.610541e-05,3.610080e-05,3.605935e-05,3.605044e-05,3.601285e-05,3.598680e-05,3.596165e-05,3.591523e-05,3.590606e-05,3.584637e-05,3.583646e-05,3.578288e-05,3.575113e-05,3.571584e-05,3.565984e-05,3.564553e-05,3.557217e-05,3.556317e-05,3.549598e-05,3.546163e-05,3.541720e-05,3.535570e-05,3.533601e-05,3.525261e-05,3.524585e-05,3.516717e-05,3.513247e-05,3.507988e-05,3.501597e-05,3.499088e-05,3.490034e-05,3.489669e-05,3.480839e-05,3.477497e-05,3.471517e-05,3.465112e-05,3.462081e-05,3.452543e-05,3.439816e-05,3.426955e-05,3.413983e-05,3.400921e-05,3.387790e-05,3.374606e-05,3.361387e-05,3.348148e-05,3.334903e-05,3.321666e-05,3.308448e-05,3.295261e-05,3.282116e-05,3.269021e-05,3.255986e-05,3.243019e-05,3.230126e-05,3.217316e-05,3.204593e-05,3.191964e-05,3.179434e-05,3.167008e-05,3.154689e-05,3.142482e-05
0.000000e+00,2.445922e-11,5.760261e-11,2.034141e-10,4.673177e-10,6.837060e-10,1.556635e-09,1.603608e-09,3.103791e-09,3.648190e-09,5.336188e-09,7.094131e-09,8.461076e-09,1.224048e-08,1.261201e-08,1.782264e-08,1.922157e-08,2.398777e-08,2.778951e-08,3.092463e-08,3.752384e-08,3.845333e-08,4.642510e-08,4.806152e-08,5.471762e-08,5.912100e-08,6.322539e-08,7.046873e-08,7.185371e-08,8.051615e-08,8.189996e-08,8.913430e-08,9.323440e-08,9.763820e-08,1.043178e-07,1.059670e-07,1.140693e-07,1.150243e-07,1.219033e-07,1.252566e-07,1.294365e-07,1.349454e-07,1.366447e-07,1.435117e-07,1.440460e-07,1.500278e-07,1.525350e-07,1.561893e-07,1.604064e-07,1.619972e-07,1.674564e-07,1.676676e-07,1.725748e-07,1.743359e-07,1.773626e-07,1.804354e-07,1.818316e-07,1.859948e-07,1.898661e-07,1.910456e-07,1.934596e-07,1.956201e-07,1.967894e-07,1.997513e-07,1.998699e-07,2.027148e-07,2.034711e-07,2.053378e-07,2.068105e-07,2.077518e-07,2.097990e-07,2.099694e-07,2.120026e-07,2.124644e-07,2.138628e-07,2.148330e-07,2.155609e-07,2.169290e-07,2.171068e-07,2.185104e-07,2.187749e-07,2.197807e-07,2.203914e-07,2.209261e-07,2.217977e-07,2.219548e-07,2.228742e-07,2.230116e-07,2.236914e-07,2.240494e-07,2.244131e-07,2.249258e-07,2.250454e-07,2.255942e-07,2.256547e-07,2.260649e-07,2.262486e-07,2.264626e-07,2.267190e-07,2.267922e-07,2.270580e-07,2.270766e-07,2.272643e-07,2.273310e-07,2.274150e-07,2.274912e-07,2.275139e-07,2.275643e-07,2.275653e-07,2.275695e-07,2.275609e-07,2.275325e-07,2.274847e-07,2.274562e-07,2.273432e-07,2.271960e-07,2.271421e-07,2.270171e-07,2.268868e-07,2.268085e-07,2.265823e-07,2.265723e-07,2.263105e-07,2.262329e-07,2.260250e-07,2.258429e-07,2.257173e-07,2.254162e-07,2.253892e-07,2.250421e-07,2.249561e-07,2.246774e-07,2.244661e-07,2.242966e-07,2.239490e-07,2.239007e-07,2.234911e-07,2.234076e-07,2.230688e-07,2.228446e-07,2.226349e-07,2.222621e-07,2.221903e-07,2.217360e-07,2.216625e-07,2.212729e-07,2.210477e-07,2.208017e-07,2.204196e-07,2.203233e-07,2.198384e-07,2.197798e-07,2.193476e-07,2.191300e-07,2.188516e-07,2.184716e-07,2.183510e-07,2.178465e-07,2.178059e-07,2.173384e-07,2.171343e-07,2.168274e-07,2.164579e-07,2.163139e-07,2.157983e-07,2.157776e-07,2.152811e-07,2.150946e-07,2.147628e-07,2.144098e-07,2.142435e-07,2.137238e-07,2.130377e-07,2.123520e-07,2.116674e-07,2.109845e-07,2.103039e-07,2.096261e-07,2.089517e-07,2.082809e-07,2.076142e-07,2.069521e-07,2.062947e-07,2.056425e-07,2.049957e-07,2.043545e-07,2.037193e-07,2.030901e-07,2.024672e-07,2.018508e-07,2.012410e-07,2.006379e-07,2.000417e-07,1.994525e-07,1.988703e-07,1.982952e-07
0.000000e+00,8.698102e-11,4.508383e-10,5.224295e-09,2.654242e-08,5.587653e-08,2.784077e-07,2.949805e-07,1.058052e-06,1.442331e-06,2.973108e-06,5.080717e-06,7.061615e-06,1.403232e-05,1.483504e-05,2.838356e-05,3.278491e-05,5.045362e-05,6.779531e-05,8.450837e-05,1.277175e-04,1.347601e-04,2.061596e-04,2.234617e-04,3.043338e-04,3.680020e-04,4.354719e-04,5.759241e-04,6.061761e-04,8.232920e-04,8.628001e-04,1.093734e-03,1.244496e-03,1.424314e-03,1.736491e-03,1.821582e-03,2.291679e-03,2.353257e-03,2.840211e-03,3.107716e-03,3.472136e-03,4.010798e-03,4.191674e-03,5.002237e-03,5.071097e-03,5.906377e-03,6.294635e-03,6.905748e-03,7.684720e-03,8.001101e-03,9.192284e-03,9.241913e-03,1.047826e-02,1.096408e-02,1.185714e-02,1.284650e-02,1.332622e-02,1.488208e-02,1.652059e-02,1.706161e-02,1.823701e-02,1.937400e-02,2.002608e-02,2.180661e-02,2.188206e-02,2.379886e-02,2.434560e-02,2.577007e-02,2.697617e-02,2.778907e-02,2.968294e-02,2.984909e-02,3.194329e-02,3.245022e-02,3.406480e-02,3.526225e-02,3.620683e-02,3.810347e-02,3.836268e-02,4.052579e-02,4.095872e-02,4.268982e-02,4.381344e-02,4.484866e-02,4.665379e-02,4.699647e-02,4.912769e-02,4.946680e-02,5.123710e-02,5.224042e-02,5.331979e-02,5.496363e-02,5.537120e-02,5.738712e-02,5.762646e-02,5.936370e-02,6.022002e-02,6.129744e-02,6.273647e-02,6.318518e-02,6.502413e-02,6.516906e-02,6.681181e-02,6.751204e-02,6.854609e-02,6.976067e-02,7.022515e-02,7.184746e-02,7.191115e-02,7.341179e-02,7.396056e-02,7.491718e-02,7.590682e-02,7.636294e-02,7.774861e-02,7.907395e-02,7.948531e-02,8.033895e-02,8.111696e-02,8.154379e-02,8.264415e-02,8.268881e-02,8.377454e-02,8.406800e-02,8.480163e-02,8.539007e-02,8.577089e-02,8.661232e-02,8.668323e-02,8.753969e-02,8.773704e-02,8.834137e-02,8.876684e-02,8.908949e-02,8.970454e-02,8.978532e-02,9.043018e-02,9.055316e-02,9.102547e-02,9.131590e-02,9.157260e-02,9.199605e-02,9.207304e-02,9.252827e-02,9.259702e-02,9.293979e-02,9.312223e-02,9.330910e-02,9.357519e-02,9.363773e-02,9.392717e-02,9.395934e-02,9.417894e-02,9.427817e-02,9.439453e-02,9.453508e-02,9.457540e-02,9.472304e-02,9.473346e-02,9.483886e-02,9.487660e-02,9.492429e-02,9.496776e-02,9.498072e-02,9.500949e-02,9.501009e-02,9.501195e-02,9.500664e-02,9.498937e-02,9.496037e-02,9.494303e-02,9.487415e-02,9.475072e-02,9.459272e-02,9.440268e-02,9.418303e-02,9.393605e-02,9.366396e-02,9.336884e-02,9.305268e-02,9.271735e-02,9.236463e-02,9.199620e-02,9.161364e-02,9.121845e-02,9.081202e-02,9.039568e-02,8.997065e-02,8.953810e-02,8.909911e-02,8.865469e-02,8.820578e-02,8.775327e-02,8.729796e-02,8.684063e-02,8.638197e-02
0.000000e+00,5.537054e-12,1.270304e-11,4.374912e-11,9.953450e-11,1.451698e-10,3.288756e-10,3.387464e-10,6.532329e-10,7.669924e-10,1.118639e-09,1.483631e-09,1.767158e-09,2.554263e-09,2.632182e-09,3.742961e-09,4.048234e-09,5.114636e-09,5.995319e-09,6.741237e-09,8.365712e-09,8.600095e-09,1.066252e-08,1.109695e-08,1.290083e-08,1.412591e-08,1.529019e-08,1.739750e-08,1.780813e-08,2.043361e-08,2.086230e-08,2.314635e-08,2.447364e-08,2.592656e-08,2.818630e-08,2.875491e-08,3.161262e-08,3.195666e-08,3.448176e-08,3.574338e-08,3.734536e-08,3.950831e-08,4.018777e-08,4.299467e-08,4.321729e-08,4.575324e-08,4.684057e-08,4.845229e-08,5.035330e-08,5.108220e-08,5.363480e-08,5.373519e-08,5.610342e-08,5.697052e-08,5.848283e-08,6.004777e-08,6.076901e-08,6.295913e-08,6.505135e-08,6.570002e-08,6.704479e-08,6.826865e-08,6.893931e-08,7.066550e-08,7.073547e-08,7.243439e-08,7.289287e-08,7.403765e-08,7.495449e-08,7.554721e-08,7.685520e-08,7.696534e-08,7.829455e-08,7.860062e-08,7.953754e-08,8.019700e-08,8.069713e-08,8.165090e-08,8.177624e-08,8.277786e-08,8.296914e-08,8.370497e-08,8.415862e-08,8.456058e-08,8.522622e-08,8.534768e-08,8.606920e-08,8.617876e-08,8.672806e-08,8.702288e-08,8.732708e-08,8.776507e-08,8.786903e-08,8.835661e-08,8.841160e-08,8.879245e-08,8.896847e-08,8.917906e-08,8.944148e-08,8.951890e-08,8.981434e-08,8.983612e-08,9.006764e-08,9.015766e-08,9.028102e-08,9.041111e-08,9.045657e-08,9.059632e-08,9.060119e-08,9.070222e-08,9.073241e-08,9.077612e-08,9.080902e-08,9.081983e-08,9.083503e-08,9.082337e-08,9.081423e-08,9.078642e-08,9.075018e-08,9.072566e-08,9.064626e-08,9.064252e-08,9.053837e-08,9.050563e-08,9.041451e-08,9.033125e-08,9.027217e-08,9.012592e-08,9.011254e-08,8.993675e-08,8.989227e-08,8.974586e-08,8.963275e-08,8.954090e-08,8.934967e-08,8.932284e-08,8.909261e-08,8.904518e-08,8.885109e-08,8.872131e-08,8.859911e-08,8.837995e-08,8.833747e-08,8.806692e-08,8.802286e-08,8.778819e-08,8.765169e-08,8.750195e-08,8.726799e-08,8.720885e-08,8.690950e-08,8.687319e-08,8.660449e-08,8.646863e-08,8.629436e-08,8.605556e-08,8.597964e-08,8.566082e-08,8.563515e-08,8.533837e-08,8.520847e-08,8.501273e-08,8.477653e-08,8.468432e-08,8.435354e-08,8.434026e-08,8.402075e-08,8.390053e-08,8.368632e-08,8.345814e-08,8.335057e-08,8.301382e-08,8.256828e-08,8.212214e-08,8.167598e-08,8.123036e-08,8.078576e-08,8.034265e-08,7.990143e-08,7.946250e-08,7.902620e-08,7.859286e-08,7.816277e-08,7.773618e-08,7.731335e-08,7.689447e-08,7.647976e-08,7.606937e-08,7.566347e-08,7.526219e-08,7.486564e-08,7.447395e-08,7.408718e-08,7.370543e-08,7.332876e-08,7.295721e-08
0.000000e+00,4.770187e-11,2.436318e-10,2.737626e-09,1.352157e-08,2.802668e-08,1.341639e-07,1.419199e-07,4.894621e-07,6.602558e-07,1.326042e-06,2.219974e-06,3.045295e-06,5.881575e-06,6.203328e-06,1.153712e-05,1.323975e-05,1.996961e-05,2.644561e-05,3.258938e-05,4.811131e-05,5.059792e-05,7.523244e-05,8.106085e-05,1.076822e-04,1.280057e-04,1.490149e-04,1.912566e-04,2.001210e-04,2.616787e-04,2.725311e-04,3.341367e-04,3.728608e-04,4.177119e-04,4.925792e-04,5.123978e-04,6.179815e-04,6.313667e-04,7.340657e-04,7.883311e-04,8.600945e-04,9.621085e-04,9.953805e-04,1.139132e-03,1.150973e-03,1.290481e-03,1.352943e-03,1.448506e-03,1.565884e-03,1.612256e-03,1.780773e-03,1.787600e-03,1.953108e-03,2.015903e-03,2.128334e-03,2.248683e-03,2.305562e-03,2.483949e-03,2.662704e-03,2.719863e-03,2.841096e-03,2.954763e-03,3.018453e-03,3.187177e-03,3.194167e-03,3.367691e-03,3.415818e-03,3.538541e-03,3.639588e-03,3.706292e-03,3.857567e-03,3.870574e-03,4.031074e-03,4.069000e-03,4.187524e-03,4.273284e-03,4.339707e-03,4.469955e-03,4.487444e-03,4.630598e-03,4.658669e-03,4.769066e-03,4.839192e-03,4.902775e-03,5.011380e-03,5.031681e-03,5.155765e-03,5.175171e-03,5.275029e-03,5.330570e-03,5.389496e-03,5.477640e-03,5.499203e-03,5.604203e-03,5.616489e-03,5.704560e-03,5.747266e-03,5.800351e-03,5.870149e-03,5.891659e-03,5.978575e-03,5.985341e-03,6.061195e-03,6.093064e-03,6.139623e-03,6.193554e-03,6.213963e-03,6.284324e-03,6.287058e-03,6.350817e-03,6.373828e-03,6.413552e-03,6.454123e-03,6.472642e-03,6.528200e-03,6.580338e-03,6.596318e-03,6.629167e-03,6.658733e-03,6.674799e-03,6.715698e-03,6.717341e-03,6.756903e-03,6.767461e-03,6.793591e-03,6.814267e-03,6.827508e-03,6.856352e-03,6.858756e-03,6.887436e-03,6.893948e-03,6.913645e-03,6.927279e-03,6.937479e-03,6.956562e-03,6.959031e-03,6.978391e-03,6.982008e-03,6.995649e-03,7.003821e-03,7.010890e-03,7.022196e-03,7.024199e-03,7.035656e-03,7.037323e-03,7.045341e-03,7.049382e-03,7.053329e-03,7.058549e-03,7.059696e-03,7.064512e-03,7.064989e-03,7.067848e-03,7.068865e-03,7.069772e-03,7.070328e-03,7.070347e-03,7.069638e-03,7.069527e-03,7.067705e-03,7.066602e-03,7.064607e-03,7.061687e-03,7.060401e-03,7.055142e-03,7.054911e-03,7.048884e-03,7.046396e-03,7.041676e-03,7.036259e-03,7.033569e-03,7.024610e-03,7.011557e-03,6.997200e-03,6.981635e-03,6.964953e-03,6.947240e-03,6.928580e-03,6.909051e-03,6.888725e-03,6.867674e-03,6.845964e-03,6.823659e-03,6.800817e-03,6.777495e-03,6.753746e-03,6.729621e-03,6.705166e-03,6.680428e-03,6.655447e-03,6.630264e-03,6.604915e-03,6.579437e-03,6.553862e-03,6.528220e-03,6.502541e-03
0.000000e+00,1.392144e-10,3.331368e-10,1.209017e-09,2.855353e-09,4.254036e-09,1.029060e-08,1.063229e-08,2.236777e-08,2.698928e-08,4.234110e-08,5.958344e-08,7.355179e-08,1.131362e-07,1.170390e-07,1.711369e-07,1.854150e-07,2.333680e-07,2.710376e-07,3.018527e-07,3.663458e-07,3.754140e-07,4.533100e-07,4.693611e-07,5.350152e-07,5.788601e-07,6.200898e-07,6.938476e-07,7.081113e-07,7.986435e-07,8.133313e-07,8.912276e-07,9.362567e-07,9.853841e-07,1.061510e-06,1.080620e-06,1.176440e-06,1.187954e-06,1.272356e-06,1.314468e-06,1.367900e-06,1.439993e-06,1.462632e-06,1.556144e-06,1.563561e-06,1.648071e-06,1.684324e-06,1.738087e-06,1.801555e-06,1.825910e-06,1.911302e-06,1.914664e-06,1.994065e-06,2.023185e-06,2.074042e-06,2.126770e-06,2.151109e-06,2.225178e-06,2.296190e-06,2.318262e-06,2.364110e-06,2.405951e-06,2.428929e-06,2.488244e-06,2.490654e-06,2.549311e-06,2.565190e-06,2.604938e-06,2.636882e-06,2.657587e-06,2.703446e-06,2.707318e-06,2.754197e-06,2.765032e-06,2.798299e-06,2.821811e-06,2.839700e-06,2.873963e-06,2.878481e-06,2.914726e-06,2.921678e-06,2.948519e-06,2.965151e-06,2.979945e-06,3.004576e-06,3.009089e-06,3.036035e-06,3.040148e-06,3.060867e-06,3.072060e-06,3.083668e-06,3.100501e-06,3.104519e-06,3.123500e-06,3.125655e-06,3.140687e-06,3.147701e-06,3.156157e-06,3.166810e-06,3.169983e-06,3.182236e-06,3.183151e-06,3.192987e-06,3.196882e-06,3.202303e-06,3.208159e-06,3.210249e-06,3.216887e-06,3.217127e-06,3.222280e-06,3.223927e-06,3.226485e-06,3.228695e-06,3.229559e-06,3.231557e-06,3.232533e-06,3.232637e-06,3.232536e-06,3.232050e-06,3.231615e-06,3.229906e-06,3.229818e-06,3.227190e-06,3.226311e-06,3.223774e-06,3.221364e-06,3.219612e-06,3.215159e-06,3.214744e-06,3.209209e-06,3.207785e-06,3.203043e-06,3.199328e-06,3.196282e-06,3.189868e-06,3.188961e-06,3.181110e-06,3.179480e-06,3.172763e-06,3.168236e-06,3.163948e-06,3.156204e-06,3.154695e-06,3.145030e-06,3.143447e-06,3.134980e-06,3.130027e-06,3.124571e-06,3.116000e-06,3.113825e-06,3.102767e-06,3.101420e-06,3.091418e-06,3.086338e-06,3.079799e-06,3.070800e-06,3.067930e-06,3.055830e-06,3.054852e-06,3.043518e-06,3.038537e-06,3.031010e-06,3.021893e-06,3.018324e-06,3.005476e-06,3.004959e-06,2.992480e-06,2.987768e-06,2.979351e-06,2.970354e-06,2.966102e-06,2.952748e-06,2.934978e-06,2.917072e-06,2.899055e-06,2.880950e-06,2.862779e-06,2.844564e-06,2.826324e-06,2.808076e-06,2.789836e-06,2.771622e-06,2.753446e-06,2.735323e-06,2.717264e-06,2.699281e-06,2.681385e-06,2.663586e-06,2.645892e-06,2.628311e-06,2.610852e-06,2.593522e-06,2.576325e-06,2.559269e-06,2.542359e-06,2.525599e-06
0.000000e+00,9.140906e-12,4.541597e-11,4.819910e-10,2.260525e-09,4.555211e-09,2.029844e-08,2.141045e-08,6.896788e-08,9.138194e-08,1.757096e-07,2.844617e-07,3.820879e-07,7.053296e-07,7.411121e-07,1.315872e-06,1.493310e-06,2.172230e-06,2.797301e-06,3.369145e-06,4.739909e-06,4.951132e-06,6.944929e-06,7.394202e-06,9.359724e-06,1.078030e-05,1.218941e-05,1.487378e-05,1.541555e-05,1.901019e-05,1.961727e-05,2.293839e-05,2.493083e-05,2.716022e-05,3.072011e-05,3.163243e-05,3.630981e-05,3.688271e-05,4.114645e-05,4.331323e-05,4.609672e-05,4.990759e-05,5.111630e-05,5.616292e-05,5.656662e-05,6.119708e-05,6.319901e-05,6.618255e-05,6.972355e-05,7.108683e-05,7.588132e-05,7.607045e-05,8.054144e-05,8.218211e-05,8.504663e-05,8.801300e-05,8.938020e-05,9.352913e-05,9.748377e-05,9.870708e-05,1.012376e-04,1.035327e-04,1.047867e-04,1.080000e-04,1.081298e-04,1.112674e-04,1.121094e-04,1.142019e-04,1.158667e-04,1.169372e-04,1.192818e-04,1.194781e-04,1.218305e-04,1.223678e-04,1.240011e-04,1.251398e-04,1.259968e-04,1.276143e-04,1.278251e-04,1.294937e-04,1.298089e-04,1.310101e-04,1.317411e-04,1.323821e-04,1.334286e-04,1.336174e-04,1.347233e-04,1.348887e-04,1.357073e-04,1.361383e-04,1.365763e-04,1.371934e-04,1.373373e-04,1.379967e-04,1.380693e-04,1.385610e-04,1.387806e-04,1.390360e-04,1.393410e-04,1.394276e-04,1.397413e-04,1.397631e-04,1.399821e-04,1.400591e-04,1.401550e-04,1.402401e-04,1.402646e-04,1.403155e-04,1.403163e-04,1.403116e-04,1.402976e-04,1.402569e-04,1.401927e-04,1.401552e-04,1.400099e-04,1.398242e-04,1.397568e-04,1.396013e-04,1.394404e-04,1.393441e-04,1.390673e-04,1.390552e-04,1.387373e-04,1.386434e-04,1.383928e-04,1.381742e-04,1.380238e-04,1.376647e-04,1.376326e-04,1.372211e-04,1.371195e-04,1.367912e-04,1.365430e-04,1.363445e-04,1.359390e-04,1.358829e-04,1.354077e-04,1.353112e-04,1.349204e-04,1.346627e-04,1.344224e-04,1.339966e-04,1.339148e-04,1.333990e-04,1.333157e-04,1.328759e-04,1.326225e-04,1.323465e-04,1.319192e-04,1.318119e-04,1.312729e-04,1.312080e-04,1.307304e-04,1.304908e-04,1.301851e-04,1.297692e-04,1.296377e-04,1.290889e-04,1.290450e-04,1.285393e-04,1.283194e-04,1.279896e-04,1.275939e-04,1.274401e-04,1.268915e-04,1.268696e-04,1.263442e-04,1.261476e-04,1.257986e-04,1.254288e-04,1.252551e-04,1.247141e-04,1.240042e-04,1.233000e-04,1.226020e-04,1.219107e-04,1.212266e-04,1.205503e-04,1.198820e-04,1.192221e-04,1.185709e-04,1.179287e-04,1.172956e-04,1.166718e-04,1.160574e-04,1.154527e-04,1.148577e-04,1.142723e-04,1.136968e-04,1.131311e-04,1.125752e-04,1.120291e-04,1.114929e-04,1.109663e-04,1.104495e-04,1.099423e-04
0.000000e+00,3.849068e-11,8.972672e-11,3.161449e-10,7.344922e-10,1.086156e-09,2.580875e-09,2.664637e-09,5.505545e-09,6.610748e-09,1.025728e-08,1.435133e-08,1.769521e-08,2.738806e-08,2.836193e-08,4.213003e-08,4.582623e-08,5.833852e-08,6.821304e-08,7.628794e-08,9.311626e-08,9.547123e-08,1.155593e-07,1.196650e-07,1.363337e-07,1.473533e-07,1.576348e-07,1.758382e-07,1.793311e-07,2.013031e-07,2.048365e-07,2.234356e-07,2.340831e-07,2.456158e-07,2.633197e-07,2.677328e-07,2.896789e-07,2.922961e-07,3.113532e-07,3.207796e-07,3.326629e-07,3.485622e-07,3.535237e-07,3.738611e-07,3.754635e-07,3.936116e-07,4.013353e-07,4.127221e-07,4.260610e-07,4.311499e-07,4.488632e-07,4.495565e-07,4.658372e-07,4.717635e-07,4.820558e-07,4.926488e-07,4.975113e-07,5.122015e-07,5.261306e-07,5.304285e-07,5.393073e-07,5.473511e-07,5.517440e-07,5.630011e-07,5.634558e-07,5.744609e-07,5.774184e-07,5.847793e-07,5.906496e-07,5.944324e-07,6.027451e-07,6.034428e-07,6.118335e-07,6.137577e-07,6.196281e-07,6.237416e-07,6.268504e-07,6.327512e-07,6.335238e-07,6.396717e-07,6.408403e-07,6.453171e-07,6.480616e-07,6.504825e-07,6.544667e-07,6.551900e-07,6.594608e-07,6.601050e-07,6.633156e-07,6.650242e-07,6.667747e-07,6.692699e-07,6.698572e-07,6.725818e-07,6.728856e-07,6.749665e-07,6.759125e-07,6.770285e-07,6.783901e-07,6.787844e-07,6.802500e-07,6.803552e-07,6.814406e-07,6.818431e-07,6.823706e-07,6.828868e-07,6.830541e-07,6.835043e-07,6.835177e-07,6.837340e-07,6.837650e-07,6.837552e-07,6.836566e-07,6.835797e-07,6.832184e-07,6.826819e-07,6.824749e-07,6.819803e-07,6.814491e-07,6.811232e-07,6.801625e-07,6.801197e-07,6.789786e-07,6.786355e-07,6.777081e-07,6.768870e-07,6.763161e-07,6.749347e-07,6.748102e-07,6.731975e-07,6.727954e-07,6.714849e-07,6.704846e-07,6.696788e-07,6.680169e-07,6.677853e-07,6.658104e-07,6.654062e-07,6.637596e-07,6.626650e-07,6.616383e-07,6.598055e-07,6.594514e-07,6.572037e-07,6.568387e-07,6.548998e-07,6.537752e-07,6.525440e-07,6.506247e-07,6.501404e-07,6.476929e-07,6.473964e-07,6.452052e-07,6.440987e-07,6.426807e-07,6.407397e-07,6.401229e-07,6.375349e-07,6.373266e-07,6.349196e-07,6.338665e-07,6.322800e-07,6.303658e-07,6.296186e-07,6.269381e-07,6.268305e-07,6.242408e-07,6.232661e-07,6.215291e-07,6.196779e-07,6.188050e-07,6.160708e-07,6.124491e-07,6.088171e-07,6.051788e-07,6.015375e-07,5.978968e-07,5.942597e-07,5.906291e-07,5.870076e-07,5.833976e-07,5.798015e-07,5.762212e-07,5.726587e-07,5.691158e-07,5.655940e-07,5.620949e-07,5.586197e-07,5.551698e-07,5.517461e-07,5.483498e-07,5.449817e-07,5.416427e-07,5.383335e-07,5.350548e-07,5.318071e-07
0.000000e+00,5.237634e-11,2.242181e-10,1.777829e-09,6.521444e-09,1.157321e-08,3.805135e-08,3.967061e-08,9.767745e-08,1.209048e-07,1.975836e-07,2.827446e-07,3.516846e-07,5.518210e-07,5.721641e-07,8.689942e-07,9.522272e-07,1.246448e-06,1.492188e-06,1.701577e-06,2.160061e-06,2.226399e-06,2.811144e-06,2.934422e-06,3.446135e-06,3.793148e-06,4.122281e-06,4.715762e-06,4.831005e-06,5.564131e-06,5.683169e-06,6.313872e-06,6.677480e-06,7.072914e-06,7.682298e-06,7.834526e-06,8.592662e-06,8.683145e-06,9.342025e-06,9.667773e-06,1.007810e-05,1.062628e-05,1.079712e-05,1.149607e-05,1.155105e-05,1.217259e-05,1.243651e-05,1.282492e-05,1.327888e-05,1.345179e-05,1.405241e-05,1.407588e-05,1.462633e-05,1.482638e-05,1.517344e-05,1.553020e-05,1.569383e-05,1.618783e-05,1.665589e-05,1.680028e-05,1.709860e-05,1.736893e-05,1.751663e-05,1.789540e-05,1.791071e-05,1.828162e-05,1.838144e-05,1.863018e-05,1.882892e-05,1.895720e-05,1.923975e-05,1.926351e-05,1.954994e-05,1.961582e-05,1.981732e-05,1.995902e-05,2.006644e-05,2.027120e-05,2.029811e-05,2.051309e-05,2.055415e-05,2.071214e-05,2.080959e-05,2.089599e-05,2.103919e-05,2.106534e-05,2.122089e-05,2.124455e-05,2.136330e-05,2.142717e-05,2.149319e-05,2.158851e-05,2.161119e-05,2.171787e-05,2.172994e-05,2.181381e-05,2.185276e-05,2.189955e-05,2.195821e-05,2.197561e-05,2.204249e-05,2.204745e-05,2.210066e-05,2.212159e-05,2.215058e-05,2.218167e-05,2.219270e-05,2.222742e-05,2.222866e-05,2.225515e-05,2.226349e-05,2.227627e-05,2.228704e-05,2.229114e-05,2.230012e-05,2.230353e-05,2.230350e-05,2.230170e-05,2.229791e-05,2.229491e-05,2.228401e-05,2.228347e-05,2.226765e-05,2.226247e-05,2.224770e-05,2.223386e-05,2.222388e-05,2.219875e-05,2.219643e-05,2.216557e-05,2.215768e-05,2.213151e-05,2.211112e-05,2.209447e-05,2.205955e-05,2.205463e-05,2.201218e-05,2.200339e-05,2.196729e-05,2.194305e-05,2.192015e-05,2.187891e-05,2.187089e-05,2.181969e-05,2.181132e-05,2.176667e-05,2.174062e-05,2.171197e-05,2.166710e-05,2.165574e-05,2.159808e-05,2.159107e-05,2.153911e-05,2.151278e-05,2.147895e-05,2.143250e-05,2.141770e-05,2.135547e-05,2.135045e-05,2.129234e-05,2.126686e-05,2.122840e-05,2.118192e-05,2.116375e-05,2.109846e-05,2.109584e-05,2.103260e-05,2.100877e-05,2.096626e-05,2.092090e-05,2.089949e-05,2.083237e-05,2.074332e-05,2.065389e-05,2.056420e-05,2.047436e-05,2.038447e-05,2.029463e-05,2.020494e-05,2.011548e-05,2.002631e-05,1.993752e-05,1.984916e-05,1.976130e-05,1.967400e-05,1.958729e-05,1.950123e-05,1.941585e-05,1.933120e-05,1.924731e-05,1.916421e-05,1.908193e-05,1.900048e-05,1.891991e-05,1.884021e-05,1.876142e-05
0.000000e+00,6.194465e-10,3.203933e-09,3.696386e-08,1.870447e-07,3.929005e-07,1.946812e-06,2.062245e-06,7.358584e-06,1.001777e-05,2.058446e-05,3.509485e-05,4.871049e-05,9.653792e-05,1.020404e-04,1.948371e-04,2.249633e-04,3.458379e-04,4.643774e-04,5.785144e-04,8.730197e-04,9.209336e-04,1.405206e-03,1.522145e-03,2.066638e-03,2.492986e-03,2.942729e-03,3.872801e-03,4.072132e-03,5.493629e-03,5.750730e-03,7.245169e-03,8.213865e-03,9.362979e-03,1.134369e-02,1.188076e-02,1.482898e-02,1.521300e-02,1.823426e-02,1.988328e-02,2.211885e-02,2.540266e-02,2.650026e-02,3.139093e-02,3.180444e-02,3.679807e-02,3.910613e-02,4.272355e-02,4.730914e-02,4.916395e-02,5.611069e-02,5.639891e-02,6.355019e-02,6.634567e-02,7.146423e-02,7.710548e-02,7.983024e-02,8.862172e-02,9.780874e-02,1.008268e-01,1.073583e-01,1.136441e-01,1.172351e-01,1.269899e-01,1.274017e-01,1.378191e-01,1.407755e-01,1.484475e-01,1.549090e-01,1.592465e-01,1.692973e-01,1.701755e-01,1.811943e-01,1.838477e-01,1.922633e-01,1.984695e-01,2.033441e-01,2.130753e-01,2.143993e-01,2.253934e-01,2.275819e-01,2.362924e-01,2.419116e-01,2.470642e-01,2.559924e-01,2.576791e-01,2.681093e-01,2.697592e-01,2.783292e-01,2.831533e-01,2.883158e-01,2.961229e-01,2.980481e-01,3.075075e-01,3.086234e-01,3.166775e-01,3.206170e-01,3.255441e-01,3.320723e-01,3.340953e-01,3.423210e-01,3.429648e-01,3.502133e-01,3.532755e-01,3.577660e-01,3.629912e-01,3.649748e-01,3.718367e-01,3.721039e-01,3.783506e-01,3.806104e-01,3.845168e-01,3.885118e-01,3.903366e-01,3.958129e-01,4.009494e-01,4.025221e-01,4.057509e-01,4.086506e-01,4.102230e-01,4.142123e-01,4.143721e-01,4.182053e-01,4.192231e-01,4.217304e-01,4.237008e-01,4.249553e-01,4.276647e-01,4.278889e-01,4.305399e-01,4.311352e-01,4.329177e-01,4.341335e-01,4.350317e-01,4.366814e-01,4.368915e-01,4.385067e-01,4.388012e-01,4.398870e-01,4.405153e-01,4.410424e-01,4.418461e-01,4.419824e-01,4.427167e-01,4.428158e-01,4.432549e-01,4.434463e-01,4.436063e-01,4.437592e-01,4.437802e-01,4.437857e-01,4.437755e-01,4.436317e-01,4.435156e-01,4.433268e-01,4.429994e-01,4.428795e-01,4.422979e-01,4.422458e-01,4.415901e-01,4.412733e-01,4.407637e-01,4.400993e-01,4.398260e-01,4.387845e-01,4.387408e-01,4.376459e-01,4.372135e-01,4.364169e-01,4.355329e-01,4.351040e-01,4.337132e-01,4.317682e-01,4.297107e-01,4.275529e-01,4.253061e-01,4.229810e-01,4.205875e-01,4.181351e-01,4.156323e-01,4.130874e-01,4.105077e-01,4.079004e-01,4.052718e-01,4.026278e-01,3.999741e-01,3.973155e-01,3.946568e-01,3.920021e-01,3.893553e-01,3.867200e-01,3.840993e-01,3.814962e-01,3.789132e-01,3.763527e-01,3.738168e-01
0.000000e+00,9.019418e-11,3.168832e-10,1.805465e-09,5.278220e-09,8.465248e-09,2.270112e-08,2.350583e-08,5.032624e-08,6.043616e-08,9.260827e-08,1.271372e-07,1.545940e-07,2.331340e-07,2.410675e-07,3.565882e-07,3.889857e-07,5.036170e-07,5.992968e-07,6.805403e-07,8.566500e-07,8.818667e-07,1.100639e-06,1.145912e-06,1.330593e-06,1.452920e-06,1.566865e-06,1.767536e-06,1.805829e-06,2.044719e-06,2.082782e-06,2.281338e-06,2.393565e-06,2.513873e-06,2.695928e-06,2.740800e-06,2.960834e-06,2.986722e-06,3.172911e-06,3.263476e-06,3.376174e-06,3.524346e-06,3.569964e-06,3.753808e-06,3.768076e-06,3.927409e-06,3.993944e-06,4.090623e-06,4.201697e-06,4.243443e-06,4.385975e-06,4.391465e-06,4.518423e-06,4.563688e-06,4.641069e-06,4.719041e-06,4.754252e-06,4.858355e-06,4.953798e-06,4.982580e-06,5.041012e-06,5.092716e-06,5.120443e-06,5.189789e-06,5.192537e-06,5.257736e-06,5.274815e-06,5.316469e-06,5.348781e-06,5.369156e-06,5.412633e-06,5.416198e-06,5.457979e-06,5.467265e-06,5.494867e-06,5.513516e-06,5.527207e-06,5.552164e-06,5.555326e-06,5.579526e-06,5.583921e-06,5.600091e-06,5.609438e-06,5.617289e-06,5.629317e-06,5.631370e-06,5.642567e-06,5.644106e-06,5.651095e-06,5.654300e-06,5.657154e-06,5.660351e-06,5.660932e-06,5.662604e-06,5.662671e-06,5.662329e-06,5.661631e-06,5.660259e-06,5.657570e-06,5.656532e-06,5.651277e-06,5.650794e-06,5.644613e-06,5.641579e-06,5.636654e-06,5.630178e-06,5.627500e-06,5.617249e-06,5.616817e-06,5.605989e-06,5.601705e-06,5.593804e-06,5.585028e-06,5.580769e-06,5.566956e-06,5.552432e-06,5.547644e-06,5.537259e-06,5.527233e-06,5.521493e-06,5.505850e-06,5.505188e-06,5.488394e-06,5.483611e-06,5.471157e-06,5.460621e-06,5.453521e-06,5.436976e-06,5.435524e-06,5.417205e-06,5.412765e-06,5.398599e-06,5.388065e-06,5.379737e-06,5.362952e-06,5.360650e-06,5.341367e-06,5.337489e-06,5.321913e-06,5.311738e-06,5.302313e-06,5.285754e-06,5.282591e-06,5.262766e-06,5.259586e-06,5.242860e-06,5.233282e-06,5.222892e-06,5.206883e-06,5.202877e-06,5.182833e-06,5.180426e-06,5.162774e-06,5.153948e-06,5.142715e-06,5.127478e-06,5.122669e-06,5.102648e-06,5.101048e-06,5.082663e-06,5.074682e-06,5.062725e-06,5.048404e-06,5.042844e-06,5.023029e-06,5.022238e-06,5.003289e-06,4.996202e-06,4.983631e-06,4.970315e-06,4.964064e-06,4.944593e-06,4.919051e-06,4.893702e-06,4.868559e-06,4.843632e-06,4.818931e-06,4.794465e-06,4.770242e-06,4.746268e-06,4.722551e-06,4.699094e-06,4.675904e-06,4.652983e-06,4.630336e-06,4.607965e-06,4.585872e-06,4.564060e-06,4.542531e-06,4.521284e-06,4.500321e-06,4.479642e-06,4.459247e-06,4.439137e-06,4.419309e-06,4.399765e-06
0.000000e+00,2.617893e-11,1.210276e-10,1.110664e-09,4.588060e-09,8.645789e-09,3.272574e-08,3.430174e-08,9.561310e-08,1.221886e-07,2.158596e-07,3.283591e-07,4.246594e-07,7.246971e-07,7.565968e-07,1.243213e-06,1.385140e-06,1.898670e-06,2.335851e-06,2.710439e-06,3.526939e-06,3.643963e-06,4.655781e-06,4.863815e-06,5.705032e-06,6.254246e-06,6.759139e-06,7.630919e-06,7.794605e-06,8.795408e-06,8.951551e-06,9.750917e-06,1.019131e-05,1.065411e-05,1.133587e-05,1.150042e-05,1.228696e-05,1.237725e-05,1.301223e-05,1.331180e-05,1.367582e-05,1.413924e-05,1.427834e-05,1.482125e-05,1.486217e-05,1.530677e-05,1.548550e-05,1.573765e-05,1.601586e-05,1.611713e-05,1.644867e-05,1.646099e-05,1.673594e-05,1.682922e-05,1.698260e-05,1.712899e-05,1.719228e-05,1.736843e-05,1.751436e-05,1.755518e-05,1.763314e-05,1.769624e-05,1.772762e-05,1.779789e-05,1.780042e-05,1.785389e-05,1.786570e-05,1.789019e-05,1.790452e-05,1.791122e-05,1.791857e-05,1.791870e-05,1.791418e-05,1.791146e-05,1.789900e-05,1.788630e-05,1.787437e-05,1.784573e-05,1.784135e-05,1.780090e-05,1.779199e-05,1.775383e-05,1.772700e-05,1.770092e-05,1.765242e-05,1.764280e-05,1.758006e-05,1.756963e-05,1.751323e-05,1.747984e-05,1.744277e-05,1.738408e-05,1.736911e-05,1.729260e-05,1.728325e-05,1.721359e-05,1.717811e-05,1.713238e-05,1.706935e-05,1.704924e-05,1.696440e-05,1.695755e-05,1.687811e-05,1.684323e-05,1.679055e-05,1.672683e-05,1.670192e-05,1.661237e-05,1.660877e-05,1.652206e-05,1.648940e-05,1.643114e-05,1.636902e-05,1.633972e-05,1.624792e-05,1.615585e-05,1.612635e-05,1.606361e-05,1.600452e-05,1.597128e-05,1.588265e-05,1.587896e-05,1.578671e-05,1.576090e-05,1.569461e-05,1.563944e-05,1.560272e-05,1.551841e-05,1.551109e-05,1.541979e-05,1.539794e-05,1.532887e-05,1.527813e-05,1.523837e-05,1.515910e-05,1.514832e-05,1.505878e-05,1.504093e-05,1.496977e-05,1.492371e-05,1.488134e-05,1.480751e-05,1.479350e-05,1.470628e-05,1.469239e-05,1.461972e-05,1.457840e-05,1.453383e-05,1.446561e-05,1.444863e-05,1.436414e-05,1.435405e-05,1.428038e-05,1.424376e-05,1.419736e-05,1.413477e-05,1.411510e-05,1.403361e-05,1.402712e-05,1.395289e-05,1.392082e-05,1.387296e-05,1.381590e-05,1.379382e-05,1.371549e-05,1.371237e-05,1.363796e-05,1.361025e-05,1.356124e-05,1.350954e-05,1.348534e-05,1.341026e-05,1.331241e-05,1.321598e-05,1.312099e-05,1.302743e-05,1.293530e-05,1.284459e-05,1.275529e-05,1.266740e-05,1.258091e-05,1.249581e-05,1.241209e-05,1.232973e-05,1.224873e-05,1.216907e-05,1.209074e-05,1.201372e-05,1.193799e-05,1.186355e-05,1.179038e-05,1.171846e-05,1.164776e-05,1.157829e-05,1.151002e-05,1.144293e-05
0.000000e+00,1.000289e-10,2.554606e-10,9.884929e-10,2.387605e-09,3.572359e-09,8.576313e-09,8.854102e-09,1.810588e-08,2.162773e-08,3.302772e-08,4.556297e-08,5.569064e-08,8.490985e-08,8.785071e-08,1.297577e-07,1.411291e-07,1.800054e-07,2.110736e-07,2.367093e-07,2.907268e-07,2.983445e-07,3.638391e-07,3.773296e-07,4.324194e-07,4.690927e-07,5.034697e-07,5.646634e-07,5.764484e-07,6.508476e-07,6.628503e-07,7.261773e-07,7.625263e-07,8.019640e-07,8.626184e-07,8.777566e-07,9.531309e-07,9.621288e-07,1.027697e-06,1.060159e-06,1.101106e-06,1.155933e-06,1.173052e-06,1.243271e-06,1.248807e-06,1.311546e-06,1.338270e-06,1.377699e-06,1.423937e-06,1.441593e-06,1.503126e-06,1.505537e-06,1.562227e-06,1.582898e-06,1.618852e-06,1.655934e-06,1.672985e-06,1.724625e-06,1.773789e-06,1.789004e-06,1.820510e-06,1.849148e-06,1.864830e-06,1.905168e-06,1.906803e-06,1.946487e-06,1.957197e-06,1.983948e-06,2.005386e-06,2.019254e-06,2.049892e-06,2.052475e-06,2.083685e-06,2.090884e-06,2.112955e-06,2.128527e-06,2.140361e-06,2.162992e-06,2.165973e-06,2.189865e-06,2.194443e-06,2.212107e-06,2.223044e-06,2.232769e-06,2.248953e-06,2.251917e-06,2.269619e-06,2.272321e-06,2.285937e-06,2.293297e-06,2.300934e-06,2.312021e-06,2.314670e-06,2.327203e-06,2.328629e-06,2.338588e-06,2.343249e-06,2.348881e-06,2.356003e-06,2.358131e-06,2.366390e-06,2.367010e-06,2.373706e-06,2.376379e-06,2.380124e-06,2.384215e-06,2.385690e-06,2.390444e-06,2.390618e-06,2.394429e-06,2.395682e-06,2.397683e-06,2.399497e-06,2.400243e-06,2.402146e-06,2.403426e-06,2.403709e-06,2.404115e-06,2.404261e-06,2.404246e-06,2.403873e-06,2.403847e-06,2.402949e-06,2.402611e-06,2.401578e-06,2.400539e-06,2.399760e-06,2.397716e-06,2.397522e-06,2.394886e-06,2.394197e-06,2.391876e-06,2.390035e-06,2.388514e-06,2.385280e-06,2.384820e-06,2.380814e-06,2.379978e-06,2.376516e-06,2.374172e-06,2.371944e-06,2.367903e-06,2.367114e-06,2.362044e-06,2.361211e-06,2.356749e-06,2.354132e-06,2.351244e-06,2.346698e-06,2.345543e-06,2.339661e-06,2.338943e-06,2.333609e-06,2.330896e-06,2.327401e-06,2.322586e-06,2.321048e-06,2.314562e-06,2.314037e-06,2.307952e-06,2.305276e-06,2.301230e-06,2.296326e-06,2.294405e-06,2.287486e-06,2.287207e-06,2.280481e-06,2.277940e-06,2.273400e-06,2.268545e-06,2.266250e-06,2.259038e-06,2.249436e-06,2.239755e-06,2.230010e-06,2.220212e-06,2.210376e-06,2.200513e-06,2.190633e-06,2.180747e-06,2.170864e-06,2.160993e-06,2.151142e-06,2.141319e-06,2.131530e-06,2.121782e-06,2.112081e-06,2.102432e-06,2.092841e-06,2.083311e-06,2.073848e-06,2.064455e-06,2.055136e-06,2.045893e-06,2.036731e-06,2.027651e-06
0.000000e+00,1.906619e-10,4.775081e-10,1.808678e-09,4.319374e-09,6.429409e-09,1.523177e-08,1.571595e-08,3.161539e-08,3.756543e-08,5.651404e-08,7.693237e-08,9.322143e-08,1.398504e-07,1.445479e-07,2.122545e-07,2.309437e-07,2.958848e-07,3.487599e-07,3.928612e-07,4.866206e-07,4.998943e-07,6.141268e-07,6.376364e-07,7.334023e-07,7.968692e-07,8.561141e-07,9.609237e-07,9.810091e-07,1.107056e-06,1.127270e-06,1.233373e-06,1.293873e-06,1.359194e-06,1.459043e-06,1.483853e-06,1.606773e-06,1.621383e-06,1.727467e-06,1.779759e-06,1.845526e-06,1.933283e-06,1.960620e-06,2.072486e-06,2.081289e-06,2.180920e-06,2.223297e-06,2.285771e-06,2.358986e-06,2.386936e-06,2.484349e-06,2.488167e-06,2.577974e-06,2.610751e-06,2.667808e-06,2.726736e-06,2.753865e-06,2.836180e-06,2.914802e-06,2.939191e-06,2.989791e-06,3.035910e-06,3.061219e-06,3.126511e-06,3.129162e-06,3.193703e-06,3.211176e-06,3.254926e-06,3.290105e-06,3.312921e-06,3.363504e-06,3.367779e-06,3.419591e-06,3.431583e-06,3.468449e-06,3.494554e-06,3.514446e-06,3.552628e-06,3.557672e-06,3.598219e-06,3.606015e-06,3.636178e-06,3.654923e-06,3.671637e-06,3.699556e-06,3.704685e-06,3.735406e-06,3.740111e-06,3.763886e-06,3.776785e-06,3.790208e-06,3.809765e-06,3.814452e-06,3.836697e-06,3.839236e-06,3.857020e-06,3.865373e-06,3.875497e-06,3.888350e-06,3.892201e-06,3.907203e-06,3.908332e-06,3.920572e-06,3.925478e-06,3.932376e-06,3.939942e-06,3.942679e-06,3.951545e-06,3.951871e-06,3.959037e-06,3.961408e-06,3.965212e-06,3.968689e-06,3.970129e-06,3.973844e-06,3.976411e-06,3.976998e-06,3.977882e-06,3.978271e-06,3.978307e-06,3.977777e-06,3.977735e-06,3.976214e-06,3.975625e-06,3.973790e-06,3.971919e-06,3.970505e-06,3.966760e-06,3.966402e-06,3.961523e-06,3.960241e-06,3.955907e-06,3.952454e-06,3.949591e-06,3.943484e-06,3.942613e-06,3.935007e-06,3.933414e-06,3.926808e-06,3.922321e-06,3.918048e-06,3.910280e-06,3.908759e-06,3.898971e-06,3.897360e-06,3.888713e-06,3.883630e-06,3.878012e-06,3.869152e-06,3.866897e-06,3.855392e-06,3.853986e-06,3.843522e-06,3.838190e-06,3.831311e-06,3.821817e-06,3.818783e-06,3.805958e-06,3.804920e-06,3.792858e-06,3.787546e-06,3.779503e-06,3.769740e-06,3.765912e-06,3.752104e-06,3.751548e-06,3.738097e-06,3.733009e-06,3.723907e-06,3.714161e-06,3.709550e-06,3.695043e-06,3.675687e-06,3.656126e-06,3.636391e-06,3.616510e-06,3.596511e-06,3.576418e-06,3.556256e-06,3.536047e-06,3.515811e-06,3.495569e-06,3.475338e-06,3.455135e-06,3.434977e-06,3.414878e-06,3.394853e-06,3.374913e-06,3.355072e-06,3.335339e-06,3.315725e-06,3.296240e-06,3.276892e-06,3.257689e-06,3.238639e-06,3.219748e-06
0.000000e+00,3.957203e-12,2.002772e-11,2.208850e-10,1.073122e-09,2.204933e-09,1.033529e-08,1.092407e-08,3.702088e-08,4.973745e-08,9.903225e-08,1.648877e-07,2.255012e-07,4.326465e-07,4.560242e-07,8.394638e-07,9.601684e-07,1.429374e-06,1.869828e-06,2.278776e-06,3.279400e-06,3.435937e-06,4.941570e-06,5.287462e-06,6.827224e-06,7.965527e-06,9.114509e-06,1.135489e-05,1.181489e-05,1.492985e-05,1.546631e-05,1.845133e-05,2.028138e-05,2.236238e-05,2.575518e-05,2.663803e-05,3.124630e-05,3.181990e-05,3.614937e-05,3.838933e-05,4.130485e-05,4.536382e-05,4.666708e-05,5.218844e-05,5.263557e-05,5.782060e-05,6.009373e-05,6.351571e-05,6.762907e-05,6.922744e-05,7.491182e-05,7.513803e-05,8.052801e-05,8.252587e-05,8.603884e-05,8.970895e-05,9.141119e-05,9.661618e-05,1.016293e-04,1.031896e-04,1.064304e-04,1.093843e-04,1.110035e-04,1.151678e-04,1.153364e-04,1.194209e-04,1.205193e-04,1.232520e-04,1.254280e-04,1.268276e-04,1.298922e-04,1.301485e-04,1.332176e-04,1.339173e-04,1.360399e-04,1.375149e-04,1.386219e-04,1.407014e-04,1.409714e-04,1.430973e-04,1.434965e-04,1.450094e-04,1.459225e-04,1.467178e-04,1.480032e-04,1.482331e-04,1.495659e-04,1.497630e-04,1.507272e-04,1.512267e-04,1.517274e-04,1.524187e-04,1.525771e-04,1.532865e-04,1.533627e-04,1.538654e-04,1.540812e-04,1.543233e-04,1.545960e-04,1.546693e-04,1.549119e-04,1.549271e-04,1.550592e-04,1.550933e-04,1.551191e-04,1.551121e-04,1.550987e-04,1.550047e-04,1.549995e-04,1.548436e-04,1.547703e-04,1.546213e-04,1.544379e-04,1.543431e-04,1.540144e-04,1.536397e-04,1.535108e-04,1.532235e-04,1.529372e-04,1.527698e-04,1.523026e-04,1.522825e-04,1.517648e-04,1.516149e-04,1.512202e-04,1.508816e-04,1.506514e-04,1.501091e-04,1.500611e-04,1.494519e-04,1.493032e-04,1.488261e-04,1.484691e-04,1.481857e-04,1.476116e-04,1.475326e-04,1.468687e-04,1.467348e-04,1.461956e-04,1.458424e-04,1.455147e-04,1.449377e-04,1.448274e-04,1.441350e-04,1.440238e-04,1.434386e-04,1.431032e-04,1.427392e-04,1.421783e-04,1.420379e-04,1.413355e-04,1.412512e-04,1.406328e-04,1.403237e-04,1.399305e-04,1.393975e-04,1.392294e-04,1.385299e-04,1.384741e-04,1.378328e-04,1.375548e-04,1.371385e-04,1.366406e-04,1.364475e-04,1.357602e-04,1.357328e-04,1.350770e-04,1.348321e-04,1.343982e-04,1.339393e-04,1.337242e-04,1.330552e-04,1.321804e-04,1.313153e-04,1.304605e-04,1.296163e-04,1.287831e-04,1.279612e-04,1.271507e-04,1.263520e-04,1.255652e-04,1.247904e-04,1.240276e-04,1.232770e-04,1.225386e-04,1.218125e-04,1.210985e-04,1.203967e-04,1.197071e-04,1.190296e-04,1.183641e-04,1.177105e-04,1.170688e-04,1.164389e-04,1.158206e-04,1.152138e-04
0.000000e+00,1.950534e-11,8.761386e-11,7.605721e-10,2.999130e-09,5.516228e-09,1.966029e-08,2.055743e-08,5.400064e-08,6.787848e-08,1.148891e-07,1.685884e-07,2.128814e-07,3.446265e-07,3.582513e-07,5.617201e-07,6.203696e-07,8.335175e-07,1.018582e-06,1.181202e-06,1.551809e-06,1.606927e-06,2.106248e-06,2.214162e-06,2.669636e-06,2.984035e-06,3.285355e-06,3.834480e-06,3.941806e-06,4.628654e-06,4.740759e-06,5.337030e-06,5.682429e-06,6.059352e-06,6.642824e-06,6.789076e-06,7.520500e-06,7.608141e-06,8.248646e-06,8.566857e-06,8.969200e-06,9.509449e-06,9.678469e-06,1.037335e-05,1.042824e-05,1.105128e-05,1.131723e-05,1.171021e-05,1.217198e-05,1.234856e-05,1.296514e-05,1.298934e-05,1.355912e-05,1.376731e-05,1.412997e-05,1.450479e-05,1.467742e-05,1.520141e-05,1.570205e-05,1.585737e-05,1.617961e-05,1.647329e-05,1.663443e-05,1.705010e-05,1.706698e-05,1.747778e-05,1.758899e-05,1.786740e-05,1.809125e-05,1.823643e-05,1.855831e-05,1.858552e-05,1.891530e-05,1.899165e-05,1.922643e-05,1.939277e-05,1.951957e-05,1.976316e-05,1.979536e-05,2.005446e-05,2.010433e-05,2.029750e-05,2.041775e-05,2.052511e-05,2.070484e-05,2.073791e-05,2.093649e-05,2.096699e-05,2.112145e-05,2.120555e-05,2.129334e-05,2.142182e-05,2.145272e-05,2.160013e-05,2.161704e-05,2.173608e-05,2.179240e-05,2.186108e-05,2.194905e-05,2.197560e-05,2.208013e-05,2.208807e-05,2.217511e-05,2.221052e-05,2.226097e-05,2.231739e-05,2.233814e-05,2.240702e-05,2.240961e-05,2.246799e-05,2.248808e-05,2.252144e-05,2.255366e-05,2.256771e-05,2.260716e-05,2.264012e-05,2.264935e-05,2.266690e-05,2.268095e-05,2.268782e-05,2.270265e-05,2.270316e-05,2.271320e-05,2.271510e-05,2.271822e-05,2.271893e-05,2.271847e-05,2.271471e-05,2.271421e-05,2.270567e-05,2.270301e-05,2.269307e-05,2.268433e-05,2.267664e-05,2.265918e-05,2.265658e-05,2.263310e-05,2.262801e-05,2.260639e-05,2.259128e-05,2.257662e-05,2.254939e-05,2.254398e-05,2.250863e-05,2.250273e-05,2.247073e-05,2.245168e-05,2.243044e-05,2.239658e-05,2.238790e-05,2.234324e-05,2.233775e-05,2.229662e-05,2.227551e-05,2.224814e-05,2.221014e-05,2.219794e-05,2.214613e-05,2.214192e-05,2.209282e-05,2.207110e-05,2.203812e-05,2.199793e-05,2.198213e-05,2.192494e-05,2.192263e-05,2.186665e-05,2.184542e-05,2.180735e-05,2.176649e-05,2.174711e-05,2.168603e-05,2.160422e-05,2.152122e-05,2.143720e-05,2.135228e-05,2.126662e-05,2.118033e-05,2.109354e-05,2.100636e-05,2.091889e-05,2.083122e-05,2.074346e-05,2.065568e-05,2.056796e-05,2.048037e-05,2.039299e-05,2.030587e-05,2.021908e-05,2.013267e-05,2.004668e-05,1.996117e-05,1.987618e-05,1.979175e-05,1.970791e-05,1.962469e-05
0.000000e+00,1.273252e-11,2.930645e-11,1.013051e-10,2.308512e-10,3.368224e-10,7.626407e-10,7.854749e-10,1.510094e-09,1.770778e-09,2.571737e-09,3.395643e-09,4.030810e-09,5.775303e-09,5.946734e-09,8.374201e-09,9.037908e-09,1.135394e-08,1.327047e-08,1.490010e-08,1.847519e-08,1.899410e-08,2.359195e-08,2.456718e-08,2.863829e-08,3.142067e-08,3.407624e-08,3.890667e-08,3.985112e-08,4.591079e-08,4.690339e-08,5.220517e-08,5.529556e-08,5.868584e-08,6.397301e-08,6.530603e-08,7.202088e-08,7.283097e-08,7.878783e-08,8.177142e-08,8.556707e-08,9.070478e-08,9.232186e-08,9.901879e-08,9.955113e-08,1.056280e-07,1.082412e-07,1.121233e-07,1.167166e-07,1.184820e-07,1.246849e-07,1.249295e-07,1.307159e-07,1.328424e-07,1.365620e-07,1.404266e-07,1.422132e-07,1.476616e-07,1.529019e-07,1.545342e-07,1.579304e-07,1.610367e-07,1.627455e-07,1.671668e-07,1.673468e-07,1.717352e-07,1.729260e-07,1.759127e-07,1.783192e-07,1.798823e-07,1.833536e-07,1.836474e-07,1.872125e-07,1.880388e-07,1.905820e-07,1.923855e-07,1.937612e-07,1.964056e-07,1.967553e-07,1.995699e-07,2.001117e-07,2.022107e-07,2.035171e-07,2.046835e-07,2.066352e-07,2.069942e-07,2.091486e-07,2.094792e-07,2.111526e-07,2.120627e-07,2.130119e-07,2.143990e-07,2.147322e-07,2.163192e-07,2.165009e-07,2.177783e-07,2.183812e-07,2.191150e-07,2.200522e-07,2.203345e-07,2.214420e-07,2.215259e-07,2.224424e-07,2.228138e-07,2.233408e-07,2.239269e-07,2.241416e-07,2.248496e-07,2.248761e-07,2.254692e-07,2.256715e-07,2.260047e-07,2.263229e-07,2.264602e-07,2.268397e-07,2.271471e-07,2.272308e-07,2.273860e-07,2.275048e-07,2.275602e-07,2.276697e-07,2.276731e-07,2.277280e-07,2.277334e-07,2.277280e-07,2.277030e-07,2.276763e-07,2.275856e-07,2.275759e-07,2.274295e-07,2.273878e-07,2.272399e-07,2.271158e-07,2.270096e-07,2.267755e-07,2.267413e-07,2.264373e-07,2.263725e-07,2.260999e-07,2.259120e-07,2.257313e-07,2.253991e-07,2.253336e-07,2.249088e-07,2.248385e-07,2.244589e-07,2.242345e-07,2.239856e-07,2.235914e-07,2.234908e-07,2.229761e-07,2.229130e-07,2.224430e-07,2.222031e-07,2.218932e-07,2.214650e-07,2.213281e-07,2.207490e-07,2.207021e-07,2.201573e-07,2.199174e-07,2.195542e-07,2.191136e-07,2.189409e-07,2.183186e-07,2.182935e-07,2.176883e-07,2.174596e-07,2.170510e-07,2.166141e-07,2.164077e-07,2.157593e-07,2.148970e-07,2.140293e-07,2.131578e-07,2.122842e-07,2.114099e-07,2.105363e-07,2.096647e-07,2.087962e-07,2.079319e-07,2.070729e-07,2.062200e-07,2.053740e-07,2.045357e-07,2.037057e-07,2.028848e-07,2.020733e-07,2.012719e-07,2.004810e-07,1.997009e-07,1.989321e-07,1.981747e-07,1.974291e-07,1.966954e-07,1.959740e-07
0.000000e+00,1.203882e-10,2.886188e-10,1.042504e-09,2.427037e-09,3.570735e-09,8.211975e-09,8.462189e-09,1.644394e-08,1.933007e-08,2.823158e-08,3.742976e-08,4.454419e-08,6.417138e-08,6.610644e-08,9.361995e-08,1.011788e-07,1.276791e-07,1.497548e-07,1.686298e-07,2.103557e-07,2.164459e-07,2.707355e-07,2.823180e-07,3.308807e-07,3.642407e-07,3.961896e-07,4.545411e-07,4.659824e-07,5.396185e-07,5.517161e-07,6.164941e-07,6.543757e-07,6.960359e-07,7.612202e-07,7.776963e-07,8.609523e-07,8.710263e-07,9.453069e-07,9.826493e-07,1.030292e-06,1.095034e-06,1.115473e-06,1.200448e-06,1.207226e-06,1.284855e-06,1.318385e-06,1.368369e-06,1.427783e-06,1.450703e-06,1.531607e-06,1.534810e-06,1.610869e-06,1.638966e-06,1.688309e-06,1.739850e-06,1.763778e-06,1.837158e-06,1.908355e-06,1.930664e-06,1.977297e-06,2.020214e-06,2.043937e-06,2.105714e-06,2.108241e-06,2.170194e-06,2.187119e-06,2.229794e-06,2.264427e-06,2.287048e-06,2.337668e-06,2.341977e-06,2.394606e-06,2.406899e-06,2.444971e-06,2.472200e-06,2.493109e-06,2.533665e-06,2.539067e-06,2.582890e-06,2.591403e-06,2.624630e-06,2.645530e-06,2.664341e-06,2.696168e-06,2.702075e-06,2.737890e-06,2.743447e-06,2.771842e-06,2.787494e-06,2.803988e-06,2.828442e-06,2.834384e-06,2.863087e-06,2.866420e-06,2.890153e-06,2.901559e-06,2.915640e-06,2.933986e-06,2.939600e-06,2.962089e-06,2.963827e-06,2.983161e-06,2.991204e-06,3.002866e-06,3.016238e-06,3.021258e-06,3.038384e-06,3.039044e-06,3.054296e-06,3.059735e-06,3.069039e-06,3.078422e-06,3.082662e-06,3.095209e-06,3.106723e-06,3.110197e-06,3.117250e-06,3.123487e-06,3.126828e-06,3.135170e-06,3.135500e-06,3.143304e-06,3.145339e-06,3.150279e-06,3.154081e-06,3.156460e-06,3.161478e-06,3.161885e-06,3.166586e-06,3.167611e-06,3.170598e-06,3.172556e-06,3.173953e-06,3.176386e-06,3.176682e-06,3.178815e-06,3.179173e-06,3.180381e-06,3.180981e-06,3.181409e-06,3.181875e-06,3.181924e-06,3.181955e-06,3.181916e-06,3.181524e-06,3.181162e-06,3.180658e-06,3.179667e-06,3.179379e-06,3.177709e-06,3.177484e-06,3.175671e-06,3.174663e-06,3.173285e-06,3.171252e-06,3.170571e-06,3.167549e-06,3.167294e-06,3.164236e-06,3.162834e-06,3.160651e-06,3.157911e-06,3.156811e-06,3.152732e-06,3.152564e-06,3.148429e-06,3.146829e-06,3.143919e-06,3.140740e-06,3.139215e-06,3.134331e-06,3.127630e-06,3.120669e-06,3.113474e-06,3.106070e-06,3.098482e-06,3.090733e-06,3.082845e-06,3.074837e-06,3.066729e-06,3.058538e-06,3.050281e-06,3.041974e-06,3.033631e-06,3.025266e-06,3.016891e-06,3.008519e-06,3.000160e-06,2.991825e-06,2.983522e-06,2.975262e-06,2.967051e-06,2.958897e-06,2.950808e-06,2.942788e-06
0.000000e+00,2.026056e-11,7.534570e-11,4.691079e-10,1.449939e-09,2.380053e-09,6.659967e-09,6.904947e-09,1.512265e-08,1.822397e-08,2.804112e-08,3.844973e-08,4.662128e-08,6.951213e-08,7.178896e-08,1.044082e-07,1.134290e-07,1.451766e-07,1.717161e-07,1.944430e-07,2.447260e-07,2.520659e-07,3.174683e-07,3.314126e-07,3.898368e-07,4.299312e-07,4.682978e-07,5.382844e-07,5.519928e-07,6.400921e-07,6.545426e-07,7.317889e-07,7.768488e-07,8.262942e-07,9.034031e-07,9.228392e-07,1.020682e-06,1.032477e-06,1.119118e-06,1.162446e-06,1.217489e-06,1.291835e-06,1.315193e-06,1.411687e-06,1.419339e-06,1.506495e-06,1.543853e-06,1.599209e-06,1.664469e-06,1.689482e-06,1.777035e-06,1.780477e-06,1.861645e-06,1.891350e-06,1.943144e-06,1.996724e-06,2.021414e-06,2.096378e-06,2.167997e-06,2.190208e-06,2.236267e-06,2.278210e-06,2.301207e-06,2.360456e-06,2.362860e-06,2.421288e-06,2.437080e-06,2.476566e-06,2.508257e-06,2.528782e-06,2.574197e-06,2.578030e-06,2.624411e-06,2.635128e-06,2.668031e-06,2.691292e-06,2.708997e-06,2.742938e-06,2.747418e-06,2.783403e-06,2.790318e-06,2.817060e-06,2.833676e-06,2.848493e-06,2.873254e-06,2.877806e-06,2.905100e-06,2.909286e-06,2.930472e-06,2.941997e-06,2.954018e-06,2.971601e-06,2.975829e-06,2.995990e-06,2.998303e-06,3.014587e-06,3.022295e-06,3.031699e-06,3.043758e-06,3.047402e-06,3.061771e-06,3.062865e-06,3.074874e-06,3.079776e-06,3.086779e-06,3.094644e-06,3.097549e-06,3.107244e-06,3.107611e-06,3.115923e-06,3.118809e-06,3.123639e-06,3.128363e-06,3.130445e-06,3.136391e-06,3.141522e-06,3.143000e-06,3.145885e-06,3.148293e-06,3.149520e-06,3.152364e-06,3.152470e-06,3.154770e-06,3.155304e-06,3.156459e-06,3.157193e-06,3.157571e-06,3.158111e-06,3.158137e-06,3.158189e-06,3.158129e-06,3.157758e-06,3.157315e-06,3.156869e-06,3.155731e-06,3.155551e-06,3.153828e-06,3.153437e-06,3.151724e-06,3.150487e-06,3.149262e-06,3.146933e-06,3.146464e-06,3.143349e-06,3.142822e-06,3.139937e-06,3.138199e-06,3.136247e-06,3.133106e-06,3.132296e-06,3.128100e-06,3.127581e-06,3.123677e-06,3.121661e-06,3.119039e-06,3.115380e-06,3.114202e-06,3.109178e-06,3.108769e-06,3.103982e-06,3.101858e-06,3.098625e-06,3.094674e-06,3.093117e-06,3.087472e-06,3.087243e-06,3.081698e-06,3.079590e-06,3.075805e-06,3.071736e-06,3.069804e-06,3.063703e-06,3.055509e-06,3.047175e-06,3.038715e-06,3.030148e-06,3.021486e-06,3.012745e-06,3.003936e-06,2.995073e-06,2.986166e-06,2.977226e-06,2.968263e-06,2.959286e-06,2.950303e-06,2.941322e-06,2.932351e-06,2.923396e-06,2.914464e-06,2.905561e-06,2.896691e-06,2.887861e-06,2.879075e-06,2.870336e-06,2.861650e-06,2.853020e-06
0.000000e+00,2.400312e-12,1.215544e-11,1.341617e-10,6.516268e-10,1.337998e-09,6.246155e-09,6.600323e-09,2.217272e-08,2.968907e-08,5.849666e-08,9.637101e-08,1.307829e-07,2.463545e-07,2.592626e-07,4.689973e-07,5.345824e-07,7.889728e-07,1.027927e-06,1.250444e-06,1.798659e-06,1.884952e-06,2.722498e-06,2.916815e-06,3.790101e-06,4.443992e-06,5.110765e-06,6.429221e-06,6.702785e-06,8.579324e-06,8.906572e-06,1.074820e-05,1.189402e-05,1.321186e-05,1.539327e-05,1.596743e-05,1.900702e-05,1.939030e-05,2.231802e-05,2.385664e-05,2.588359e-05,2.875114e-05,2.968316e-05,3.369309e-05,3.402221e-05,3.788727e-05,3.961033e-05,4.223780e-05,4.545074e-05,4.671568e-05,5.129139e-05,5.147604e-05,5.593557e-05,5.761866e-05,6.061944e-05,6.381298e-05,6.531536e-05,6.999715e-05,7.464045e-05,7.611446e-05,7.922288e-05,8.211429e-05,8.372427e-05,8.795271e-05,8.812670e-05,9.241454e-05,9.359273e-05,9.657443e-05,9.900422e-05,1.005952e-04,1.041637e-04,1.044679e-04,1.081853e-04,1.090537e-04,1.117422e-04,1.136626e-04,1.151351e-04,1.179835e-04,1.183619e-04,1.214219e-04,1.220139e-04,1.243155e-04,1.257549e-04,1.270443e-04,1.292109e-04,1.296107e-04,1.320178e-04,1.323883e-04,1.342692e-04,1.352959e-04,1.363694e-04,1.379436e-04,1.383228e-04,1.401345e-04,1.403426e-04,1.418096e-04,1.425047e-04,1.433534e-04,1.444421e-04,1.447712e-04,1.460686e-04,1.461674e-04,1.472509e-04,1.476929e-04,1.483235e-04,1.490308e-04,1.492917e-04,1.501605e-04,1.501933e-04,1.509351e-04,1.511919e-04,1.516204e-04,1.520378e-04,1.522210e-04,1.527416e-04,1.531866e-04,1.533137e-04,1.535601e-04,1.537636e-04,1.538663e-04,1.541005e-04,1.541091e-04,1.542920e-04,1.543330e-04,1.544188e-04,1.544692e-04,1.544926e-04,1.545167e-04,1.545169e-04,1.544946e-04,1.544826e-04,1.544285e-04,1.543735e-04,1.543216e-04,1.541957e-04,1.541763e-04,1.539952e-04,1.539549e-04,1.537806e-04,1.536566e-04,1.535348e-04,1.533057e-04,1.532598e-04,1.529576e-04,1.529069e-04,1.526302e-04,1.524646e-04,1.522793e-04,1.519828e-04,1.519066e-04,1.515136e-04,1.514652e-04,1.511020e-04,1.509153e-04,1.506731e-04,1.503364e-04,1.502283e-04,1.497687e-04,1.497314e-04,1.492958e-04,1.491030e-04,1.488104e-04,1.484540e-04,1.483138e-04,1.478070e-04,1.477865e-04,1.472908e-04,1.471028e-04,1.467662e-04,1.464051e-04,1.462340e-04,1.456950e-04,1.449744e-04,1.442450e-04,1.435081e-04,1.427651e-04,1.420173e-04,1.412660e-04,1.405121e-04,1.397566e-04,1.390006e-04,1.382447e-04,1.374898e-04,1.367365e-04,1.359856e-04,1.352377e-04,1.344932e-04,1.337526e-04,1.330165e-04,1.322853e-04,1.315592e-04,1.308387e-04,1.301240e-04,1.294154e-04,1.287133e-04,1.280177e-04
0.000000e+00,1.810345e-10,6.244797e-10,3.462274e-09,9.957996e-09,1.586426e-08,4.201920e-08,4.349177e-08,9.242709e-08,1.108350e-07,1.693633e-07,2.321138e-07,2.819247e-07,4.234073e-07,4.375742e-07,6.400974e-07,6.954801e-07,8.864676e-07,1.040685e-06,1.168727e-06,1.439989e-06,1.478339e-06,1.808317e-06,1.876259e-06,2.153235e-06,2.336996e-06,2.508649e-06,2.812443e-06,2.870656e-06,3.235656e-06,3.294105e-06,3.600268e-06,3.774205e-06,3.961327e-06,4.245649e-06,4.315920e-06,4.661434e-06,4.702174e-06,4.995584e-06,5.138501e-06,5.316452e-06,5.550474e-06,5.622508e-06,5.912578e-06,5.935066e-06,6.185838e-06,6.290314e-06,6.441791e-06,6.615226e-06,6.680216e-06,6.901143e-06,6.909619e-06,7.104806e-06,7.173972e-06,7.291609e-06,7.409274e-06,7.462089e-06,7.616881e-06,7.756695e-06,7.798395e-06,7.882289e-06,7.955567e-06,7.994446e-06,8.090215e-06,8.093963e-06,8.181631e-06,8.204162e-06,8.258230e-06,8.299192e-06,8.324516e-06,8.377020e-06,8.381221e-06,8.429040e-06,8.439270e-06,8.468639e-06,8.487460e-06,8.500646e-06,8.523001e-06,8.525651e-06,8.544209e-06,8.547194e-06,8.556841e-06,8.561229e-06,8.564031e-06,8.566195e-06,8.566229e-06,8.563857e-06,8.563079e-06,8.557303e-06,8.552779e-06,8.546929e-06,8.536104e-06,8.533069e-06,8.516032e-06,8.513788e-06,8.496106e-06,8.486492e-06,8.473555e-06,8.454811e-06,8.448623e-06,8.421535e-06,8.419281e-06,8.392501e-06,8.380386e-06,8.361712e-06,8.338558e-06,8.329346e-06,8.295567e-06,8.294188e-06,8.260525e-06,8.247628e-06,8.224360e-06,8.199193e-06,8.187201e-06,8.149165e-06,8.110362e-06,8.097800e-06,8.070893e-06,8.045326e-06,8.030850e-06,7.991949e-06,7.990319e-06,7.949379e-06,7.937852e-06,7.908102e-06,7.883202e-06,7.866555e-06,7.828146e-06,7.824800e-06,7.782893e-06,7.772819e-06,7.740887e-06,7.717338e-06,7.698829e-06,7.661811e-06,7.656764e-06,7.614732e-06,7.606333e-06,7.572771e-06,7.550990e-06,7.530914e-06,7.495859e-06,7.489194e-06,7.447638e-06,7.441006e-06,7.406273e-06,7.386492e-06,7.365122e-06,7.332371e-06,7.324209e-06,7.283551e-06,7.278691e-06,7.243169e-06,7.225492e-06,7.203078e-06,7.172812e-06,7.163293e-06,7.123827e-06,7.120684e-06,7.084693e-06,7.069135e-06,7.045902e-06,7.018190e-06,7.007463e-06,6.969385e-06,6.967870e-06,6.931676e-06,6.918193e-06,6.894343e-06,6.869173e-06,6.857390e-06,6.820825e-06,6.773157e-06,6.726178e-06,6.679896e-06,6.634313e-06,6.589434e-06,6.545259e-06,6.501791e-06,6.459027e-06,6.416966e-06,6.375606e-06,6.334942e-06,6.294971e-06,6.255688e-06,6.217087e-06,6.179162e-06,6.141907e-06,6.105315e-06,6.069378e-06,6.034088e-06,5.999439e-06,5.965421e-06,5.932025e-06,5.899245e-06,5.867070e-06
0.000000e+00,2.581539e-11,5.945108e-11,2.088630e-10,4.919294e-10,7.368862e-10,1.837144e-09,1.901189e-09,4.178908e-09,5.105742e-09,8.252246e-09,1.185418e-08,1.479468e-08,2.312763e-08,2.394487e-08,3.512212e-08,3.801766e-08,4.756243e-08,5.486741e-08,6.072153e-08,7.263980e-08,7.428112e-08,8.805408e-08,9.082281e-08,1.019177e-07,1.091311e-07,1.157792e-07,1.273640e-07,1.295608e-07,1.431934e-07,1.453565e-07,1.566151e-07,1.629665e-07,1.697719e-07,1.800749e-07,1.826170e-07,1.951114e-07,1.965855e-07,2.072235e-07,2.124251e-07,2.189288e-07,2.275416e-07,2.302094e-07,2.410529e-07,2.419013e-07,2.514521e-07,2.554865e-07,2.614037e-07,2.682920e-07,2.709083e-07,2.799692e-07,2.803225e-07,2.885919e-07,2.915901e-07,2.967838e-07,3.021127e-07,3.045538e-07,3.119118e-07,3.188684e-07,3.210117e-07,3.254351e-07,3.294385e-07,3.316234e-07,3.372193e-07,3.374453e-07,3.429128e-07,3.443819e-07,3.480380e-07,3.509537e-07,3.528328e-07,3.569625e-07,3.573091e-07,3.614788e-07,3.624352e-07,3.653533e-07,3.673984e-07,3.689440e-07,3.718780e-07,3.722621e-07,3.753183e-07,3.758991e-07,3.781233e-07,3.794860e-07,3.806874e-07,3.826623e-07,3.830205e-07,3.851325e-07,3.854505e-07,3.870328e-07,3.878724e-07,3.887306e-07,3.899490e-07,3.902347e-07,3.915539e-07,3.917001e-07,3.926964e-07,3.931452e-07,3.936702e-07,3.943024e-07,3.944832e-07,3.951429e-07,3.951893e-07,3.956566e-07,3.958228e-07,3.960312e-07,3.962186e-07,3.962735e-07,3.963901e-07,3.963922e-07,3.963871e-07,3.963580e-07,3.962707e-07,3.961297e-07,3.960466e-07,3.957205e-07,3.952978e-07,3.951429e-07,3.947835e-07,3.944087e-07,3.941828e-07,3.935291e-07,3.935003e-07,3.927407e-07,3.925148e-07,3.919084e-07,3.913758e-07,3.910076e-07,3.901218e-07,3.900424e-07,3.890166e-07,3.887619e-07,3.879341e-07,3.873044e-07,3.867984e-07,3.857577e-07,3.856129e-07,3.843809e-07,3.841292e-07,3.831056e-07,3.824263e-07,3.817900e-07,3.806558e-07,3.804369e-07,3.790492e-07,3.788241e-07,3.776294e-07,3.769373e-07,3.761802e-07,3.750011e-07,3.747038e-07,3.732026e-07,3.730209e-07,3.716788e-07,3.710017e-07,3.701345e-07,3.689483e-07,3.685716e-07,3.669922e-07,3.668652e-07,3.653980e-07,3.647566e-07,3.637907e-07,3.626263e-07,3.621721e-07,3.605436e-07,3.604783e-07,3.589067e-07,3.583157e-07,3.572630e-07,3.561420e-07,3.556137e-07,3.539601e-07,3.517729e-07,3.495830e-07,3.473928e-07,3.452046e-07,3.430207e-07,3.408428e-07,3.386730e-07,3.365128e-07,3.343639e-07,3.322277e-07,3.301055e-07,3.279985e-07,3.259079e-07,3.238347e-07,3.217798e-07,3.197441e-07,3.177283e-07,3.157332e-07,3.137594e-07,3.118073e-07,3.098776e-07,3.079706e-07,3.060867e-07,3.042263e-07
0.000000e+00,8.765862e-11,2.048033e-10,7.208044e-10,1.663709e-09,2.445793e-09,5.676863e-09,5.854005e-09,1.167152e-08,1.385325e-08,2.081742e-08,2.831446e-08,3.425099e-08,5.081893e-08,5.244622e-08,7.508239e-08,8.110026e-08,1.014817e-07,1.176817e-07,1.310538e-07,1.593604e-07,1.633724e-07,1.981131e-07,2.053268e-07,2.349933e-07,2.549251e-07,2.737369e-07,3.075131e-07,3.140585e-07,3.556598e-07,3.624142e-07,3.982321e-07,4.189199e-07,4.414629e-07,4.763132e-07,4.850424e-07,5.286704e-07,5.338954e-07,5.720642e-07,5.910150e-07,6.149625e-07,6.470878e-07,6.571296e-07,6.983580e-07,7.016102e-07,7.384687e-07,7.541654e-07,7.773115e-07,8.044235e-07,8.147640e-07,8.507298e-07,8.521364e-07,8.851360e-07,8.971299e-07,9.179313e-07,9.392951e-07,9.490841e-07,9.785798e-07,1.006418e-06,1.014978e-06,1.032612e-06,1.048521e-06,1.057181e-06,1.079265e-06,1.080153e-06,1.101565e-06,1.107285e-06,1.121454e-06,1.132676e-06,1.139867e-06,1.155545e-06,1.156852e-06,1.172460e-06,1.176007e-06,1.186743e-06,1.194183e-06,1.199755e-06,1.210197e-06,1.211550e-06,1.222182e-06,1.224174e-06,1.231710e-06,1.236249e-06,1.240194e-06,1.246550e-06,1.247683e-06,1.254226e-06,1.255189e-06,1.259872e-06,1.262276e-06,1.264666e-06,1.267918e-06,1.268654e-06,1.271879e-06,1.272217e-06,1.274383e-06,1.275267e-06,1.276207e-06,1.277161e-06,1.277389e-06,1.277966e-06,1.277988e-06,1.277976e-06,1.277828e-06,1.277451e-06,1.276761e-06,1.276425e-06,1.274930e-06,1.274861e-06,1.272994e-06,1.272195e-06,1.270648e-06,1.268831e-06,1.267917e-06,1.264829e-06,1.261409e-06,1.260248e-06,1.257679e-06,1.255141e-06,1.253663e-06,1.249558e-06,1.249382e-06,1.244856e-06,1.243548e-06,1.240105e-06,1.237154e-06,1.235147e-06,1.230418e-06,1.230000e-06,1.224679e-06,1.223378e-06,1.219201e-06,1.216071e-06,1.213581e-06,1.208528e-06,1.207832e-06,1.201968e-06,1.200782e-06,1.196001e-06,1.192862e-06,1.189943e-06,1.184793e-06,1.183806e-06,1.177599e-06,1.176601e-06,1.171334e-06,1.168308e-06,1.165018e-06,1.159936e-06,1.158662e-06,1.152273e-06,1.151504e-06,1.145858e-06,1.143030e-06,1.139427e-06,1.134531e-06,1.132984e-06,1.126537e-06,1.126021e-06,1.120092e-06,1.117515e-06,1.113654e-06,1.109026e-06,1.107228e-06,1.100820e-06,1.100564e-06,1.094434e-06,1.092141e-06,1.088074e-06,1.083766e-06,1.081744e-06,1.075448e-06,1.067194e-06,1.059012e-06,1.050909e-06,1.042889e-06,1.034958e-06,1.027121e-06,1.019380e-06,1.011741e-06,1.004205e-06,9.967754e-07,9.894541e-07,9.822429e-07,9.751433e-07,9.681564e-07,9.612830e-07,9.545237e-07,9.478788e-07,9.413485e-07,9.349326e-07,9.286308e-07,9.224427e-07,9.163678e-07,9.104052e-07,9.045542e-07
0.000000e+00,2.343248e-12,5.353185e-12,1.827518e-11,4.123132e-11,5.984483e-11,1.337477e-10,1.376807e-10,2.614187e-10,3.055321e-10,4.401050e-10,5.773326e-10,6.824620e-10,9.688170e-10,9.967909e-10,1.390075e-09,1.496717e-09,1.865862e-09,2.167710e-09,2.421690e-09,2.969994e-09,3.048559e-09,3.733575e-09,3.876359e-09,4.463331e-09,4.856388e-09,5.225680e-09,5.883468e-09,6.010054e-09,6.807218e-09,6.935391e-09,7.608981e-09,7.993280e-09,8.408020e-09,9.040874e-09,9.197803e-09,9.972573e-09,1.006429e-08,1.072736e-08,1.105202e-08,1.145796e-08,1.199491e-08,1.216095e-08,1.283368e-08,1.288613e-08,1.347417e-08,1.372102e-08,1.408110e-08,1.449686e-08,1.465371e-08,1.519178e-08,1.521258e-08,1.569547e-08,1.586848e-08,1.616533e-08,1.646591e-08,1.660217e-08,1.700703e-08,1.738112e-08,1.749455e-08,1.772577e-08,1.793155e-08,1.804240e-08,1.832134e-08,1.833245e-08,1.859740e-08,1.866729e-08,1.883872e-08,1.897277e-08,1.905785e-08,1.924107e-08,1.925620e-08,1.943514e-08,1.947534e-08,1.959595e-08,1.967856e-08,1.973989e-08,1.985354e-08,1.986813e-08,1.998179e-08,2.000286e-08,2.008190e-08,2.012894e-08,2.016947e-08,2.023399e-08,2.024539e-08,2.031055e-08,2.032003e-08,2.036573e-08,2.038890e-08,2.041169e-08,2.044229e-08,2.044912e-08,2.047868e-08,2.048173e-08,2.050097e-08,2.050861e-08,2.051654e-08,2.052420e-08,2.052591e-08,2.052957e-08,2.052963e-08,2.052797e-08,2.052595e-08,2.052152e-08,2.051409e-08,2.051060e-08,2.049557e-08,2.049489e-08,2.047677e-08,2.046913e-08,2.045449e-08,2.043751e-08,2.042903e-08,2.040066e-08,2.036960e-08,2.035914e-08,2.033610e-08,2.031348e-08,2.030037e-08,2.026415e-08,2.026260e-08,2.022298e-08,2.021157e-08,2.018167e-08,2.015614e-08,2.013883e-08,2.009820e-08,2.009462e-08,2.004916e-08,2.003808e-08,2.000259e-08,1.997607e-08,1.995502e-08,1.991242e-08,1.990656e-08,1.985732e-08,1.984739e-08,1.980739e-08,1.978119e-08,1.975687e-08,1.971402e-08,1.970582e-08,1.965433e-08,1.964606e-08,1.960248e-08,1.957748e-08,1.955032e-08,1.950842e-08,1.949793e-08,1.944535e-08,1.943903e-08,1.939265e-08,1.936943e-08,1.933987e-08,1.929973e-08,1.928705e-08,1.923426e-08,1.923003e-08,1.918151e-08,1.916044e-08,1.912886e-08,1.909103e-08,1.907633e-08,1.902397e-08,1.902188e-08,1.897179e-08,1.895306e-08,1.891983e-08,1.888464e-08,1.886812e-08,1.881667e-08,1.874921e-08,1.868229e-08,1.861598e-08,1.855029e-08,1.848527e-08,1.842094e-08,1.835734e-08,1.829448e-08,1.823239e-08,1.817109e-08,1.811058e-08,1.805089e-08,1.799203e-08,1.793400e-08,1.787681e-08,1.782047e-08,1.776498e-08,1.771034e-08,1.765657e-08,1.760365e-08,1.755159e-08,1.750039e-08,1.745004e-08,1.740055e-08
0.000000e+00,3.072079e-12,1.548037e-11,1.690551e-10,8.129113e-10,1.659758e-09,7.632085e-09,8.059758e-09,2.665202e-08,3.552956e-08,6.921374e-08,1.129542e-07,1.523269e-07,2.828545e-07,2.973087e-07,5.297956e-07,6.017859e-07,8.788016e-07,1.136560e-06,1.374949e-06,1.956899e-06,2.047892e-06,2.923508e-06,3.124817e-06,4.021545e-06,4.684786e-06,5.354163e-06,6.658013e-06,6.925366e-06,8.731180e-06,9.041223e-06,1.076034e-05,1.180873e-05,1.299531e-05,1.491637e-05,1.541341e-05,1.798806e-05,1.830617e-05,2.068997e-05,2.191120e-05,2.348826e-05,2.566007e-05,2.635149e-05,2.924863e-05,2.948096e-05,3.214983e-05,3.330509e-05,3.502706e-05,3.706933e-05,3.785468e-05,4.060979e-05,4.071819e-05,4.327248e-05,4.420509e-05,4.582595e-05,4.749285e-05,4.825657e-05,5.055374e-05,5.270977e-05,5.336901e-05,5.471969e-05,5.592810e-05,5.658097e-05,5.822758e-05,5.829323e-05,5.985798e-05,6.027007e-05,6.127833e-05,6.206300e-05,6.255867e-05,6.361759e-05,6.370444e-05,6.472188e-05,6.494771e-05,6.561776e-05,6.606902e-05,6.639925e-05,6.699818e-05,6.707371e-05,6.764854e-05,6.775221e-05,6.813111e-05,6.834798e-05,6.852860e-05,6.880182e-05,6.884794e-05,6.909578e-05,6.912922e-05,6.927841e-05,6.934468e-05,6.940180e-05,6.946161e-05,6.947152e-05,6.949274e-05,6.949226e-05,6.947027e-05,6.944770e-05,6.940854e-05,6.933789e-05,6.931162e-05,6.918323e-05,6.917171e-05,6.902679e-05,6.895706e-05,6.884538e-05,6.870090e-05,6.864183e-05,6.841869e-05,6.840939e-05,6.817827e-05,6.808789e-05,6.792266e-05,6.774115e-05,6.765376e-05,6.737327e-05,6.708273e-05,6.698787e-05,6.678353e-05,6.658808e-05,6.647692e-05,6.617664e-05,6.616402e-05,6.584586e-05,6.575595e-05,6.552334e-05,6.532809e-05,6.519730e-05,6.489488e-05,6.486849e-05,6.453756e-05,6.445789e-05,6.420514e-05,6.401853e-05,6.387176e-05,6.357798e-05,6.353791e-05,6.320405e-05,6.313731e-05,6.287057e-05,6.269744e-05,6.253784e-05,6.225916e-05,6.220618e-05,6.187589e-05,6.182319e-05,6.154724e-05,6.139014e-05,6.122046e-05,6.096053e-05,6.089577e-05,6.057336e-05,6.053483e-05,6.025341e-05,6.011346e-05,5.993608e-05,5.969675e-05,5.962151e-05,5.930981e-05,5.928500e-05,5.900111e-05,5.887848e-05,5.869549e-05,5.847741e-05,5.839305e-05,5.809387e-05,5.808197e-05,5.779800e-05,5.769231e-05,5.750551e-05,5.730857e-05,5.721645e-05,5.693085e-05,5.655924e-05,5.619380e-05,5.583457e-05,5.548158e-05,5.513486e-05,5.479439e-05,5.446018e-05,5.413220e-05,5.381042e-05,5.349481e-05,5.318533e-05,5.288192e-05,5.258453e-05,5.229310e-05,5.200756e-05,5.172784e-05,5.145387e-05,5.118558e-05,5.092288e-05,5.066569e-05,5.041393e-05,5.016752e-05,4.992637e-05,4.969040e-05
0.000000e+00,2.112481e-10,4.922097e-10,1.737807e-09,4.056004e-09,6.019634e-09,1.448700e-08,1.496628e-08,3.140604e-08,3.785321e-08,5.905936e-08,8.237020e-08,1.008272e-07,1.513216e-07,1.561808e-07,2.220072e-07,2.390135e-07,2.953497e-07,3.389363e-07,3.742350e-07,4.472023e-07,4.573692e-07,5.437960e-07,5.614041e-07,6.327110e-07,6.796856e-07,7.233835e-07,8.004066e-07,8.151320e-07,9.073244e-07,9.220771e-07,9.993858e-07,1.043375e-06,1.090802e-06,1.163171e-06,1.181130e-06,1.269991e-06,1.280540e-06,1.357067e-06,1.394748e-06,1.442104e-06,1.505243e-06,1.524900e-06,1.605299e-06,1.611624e-06,1.683187e-06,1.713620e-06,1.758483e-06,1.811062e-06,1.831136e-06,1.901117e-06,1.903860e-06,1.968417e-06,1.991990e-06,2.033045e-06,2.075474e-06,2.095019e-06,2.154372e-06,2.211141e-06,2.228768e-06,2.265370e-06,2.298766e-06,2.317108e-06,2.364483e-06,2.366409e-06,2.413330e-06,2.426048e-06,2.457927e-06,2.483595e-06,2.500262e-06,2.537263e-06,2.540394e-06,2.578387e-06,2.587194e-06,2.614301e-06,2.633529e-06,2.648200e-06,2.676412e-06,2.680144e-06,2.710195e-06,2.715984e-06,2.738415e-06,2.752385e-06,2.764862e-06,2.785753e-06,2.789598e-06,2.812680e-06,2.816223e-06,2.834166e-06,2.843929e-06,2.854112e-06,2.868998e-06,2.872574e-06,2.889606e-06,2.891557e-06,2.905262e-06,2.911727e-06,2.919592e-06,2.929628e-06,2.932648e-06,2.944479e-06,2.945374e-06,2.955134e-06,2.959076e-06,2.964658e-06,2.970842e-06,2.973099e-06,2.980499e-06,2.980774e-06,2.986904e-06,2.988973e-06,2.992353e-06,2.995534e-06,2.996889e-06,3.000550e-06,3.003375e-06,3.004109e-06,3.005402e-06,3.006296e-06,3.006665e-06,3.007192e-06,3.007200e-06,3.007041e-06,3.006877e-06,3.006221e-06,3.005424e-06,3.004770e-06,3.002905e-06,3.002720e-06,3.000100e-06,2.999389e-06,2.996938e-06,2.994941e-06,2.993262e-06,2.989624e-06,2.989099e-06,2.984474e-06,2.983496e-06,2.979412e-06,2.976615e-06,2.973937e-06,2.969035e-06,2.968071e-06,2.961838e-06,2.960808e-06,2.955258e-06,2.951982e-06,2.948351e-06,2.942604e-06,2.941138e-06,2.933637e-06,2.932719e-06,2.925867e-06,2.922368e-06,2.917846e-06,2.911592e-06,2.909589e-06,2.901115e-06,2.900428e-06,2.892437e-06,2.888912e-06,2.883571e-06,2.877079e-06,2.874532e-06,2.865332e-06,2.864961e-06,2.855986e-06,2.852588e-06,2.846506e-06,2.839989e-06,2.836904e-06,2.827192e-06,2.814221e-06,2.801102e-06,2.787857e-06,2.774507e-06,2.761074e-06,2.747575e-06,2.734030e-06,2.720454e-06,2.706863e-06,2.693273e-06,2.679696e-06,2.666147e-06,2.652636e-06,2.639175e-06,2.625774e-06,2.612444e-06,2.599192e-06,2.586028e-06,2.572958e-06,2.559991e-06,2.547132e-06,2.534387e-06,2.521762e-06,2.509261e-06
0.000000e+00,3.295284e-11,1.700197e-10,1.951338e-09,9.826334e-09,2.058486e-08,1.012633e-07,1.072353e-07,3.797748e-07,5.159251e-07,1.054364e-06,1.789418e-06,2.476062e-06,4.872488e-06,5.147006e-06,9.750901e-06,1.123722e-05,1.717075e-05,2.295305e-05,2.849393e-05,4.269840e-05,4.499892e-05,6.812358e-05,7.367802e-05,9.942010e-05,1.194590e-04,1.405038e-04,1.837681e-04,1.930009e-04,2.584990e-04,2.702872e-04,3.385020e-04,3.824666e-04,4.343905e-04,5.233666e-04,5.473873e-04,6.785303e-04,6.955286e-04,8.286509e-04,9.008814e-04,9.983586e-04,1.140678e-03,1.188032e-03,1.397816e-03,1.415467e-03,1.627624e-03,1.725091e-03,1.877142e-03,2.068714e-03,2.145847e-03,2.433015e-03,2.444874e-03,2.737745e-03,2.851547e-03,3.058975e-03,3.286231e-03,3.395509e-03,3.746034e-03,4.109150e-03,4.227768e-03,4.483388e-03,4.728040e-03,4.867235e-03,5.243339e-03,5.259151e-03,5.657595e-03,5.770120e-03,6.061037e-03,6.304876e-03,6.467977e-03,6.844197e-03,6.876957e-03,7.286573e-03,7.384826e-03,7.695489e-03,7.923701e-03,8.102439e-03,8.457985e-03,8.506238e-03,8.905782e-03,8.985090e-03,9.300058e-03,9.502688e-03,9.688138e-03,1.000872e-02,1.006918e-02,1.044245e-02,1.050140e-02,1.080726e-02,1.097920e-02,1.116306e-02,1.144086e-02,1.150933e-02,1.184566e-02,1.188534e-02,1.217171e-02,1.231184e-02,1.248720e-02,1.271977e-02,1.279191e-02,1.308571e-02,1.310874e-02,1.336848e-02,1.347850e-02,1.364020e-02,1.382899e-02,1.390086e-02,1.415052e-02,1.416028e-02,1.438925e-02,1.447254e-02,1.461717e-02,1.476606e-02,1.483444e-02,1.504123e-02,1.523773e-02,1.529847e-02,1.542416e-02,1.553831e-02,1.560077e-02,1.576128e-02,1.576778e-02,1.592547e-02,1.596799e-02,1.607410e-02,1.615905e-02,1.621395e-02,1.633509e-02,1.634530e-02,1.646842e-02,1.649677e-02,1.658360e-02,1.664473e-02,1.669112e-02,1.677963e-02,1.679127e-02,1.688432e-02,1.690211e-02,1.697056e-02,1.701280e-02,1.705025e-02,1.711232e-02,1.712366e-02,1.719105e-02,1.720129e-02,1.725268e-02,1.728029e-02,1.730880e-02,1.734989e-02,1.735965e-02,1.740547e-02,1.741064e-02,1.744648e-02,1.746306e-02,1.748291e-02,1.750767e-02,1.751498e-02,1.754288e-02,1.754494e-02,1.756682e-02,1.757533e-02,1.758699e-02,1.759929e-02,1.760358e-02,1.761677e-02,1.761723e-02,1.762672e-02,1.762954e-02,1.763359e-02,1.763660e-02,1.763756e-02,1.763876e-02,1.763636e-02,1.762971e-02,1.761911e-02,1.760485e-02,1.758717e-02,1.756634e-02,1.754259e-02,1.751613e-02,1.748717e-02,1.745590e-02,1.742251e-02,1.738717e-02,1.735003e-02,1.731125e-02,1.727096e-02,1.722930e-02,1.718638e-02,1.714233e-02,1.709726e-02,1.705125e-02,1.700441e-02,1.695683e-02,1.690859e-02,1.685976e-02
0.000000e+00,2.192080e-10,1.130617e-09,1.296671e-08,6.525055e-08,1.366368e-07,6.714354e-07,7.110009e-07,2.515131e-06,3.415695e-06,6.974472e-06,1.182810e-05,1.635868e-05,3.215362e-05,3.396168e-05,6.425906e-05,7.403302e-05,1.130343e-04,1.510331e-04,1.874521e-04,2.808940e-04,2.960415e-04,4.485483e-04,4.852471e-04,6.556482e-04,7.886275e-04,9.285505e-04,1.216914e-03,1.278554e-03,1.716605e-03,1.795559e-03,2.252902e-03,2.547947e-03,2.896562e-03,3.494065e-03,3.655358e-03,4.535529e-03,4.649541e-03,5.541658e-03,6.025058e-03,6.676607e-03,7.626085e-03,7.941512e-03,9.335817e-03,9.452897e-03,1.085735e-02,1.150082e-02,1.250245e-02,1.376065e-02,1.426607e-02,1.614193e-02,1.621920e-02,1.812273e-02,1.885994e-02,2.020023e-02,2.166365e-02,2.236553e-02,2.460914e-02,2.692119e-02,2.767385e-02,2.929158e-02,3.083455e-02,3.171013e-02,3.406782e-02,3.416668e-02,3.665123e-02,3.735059e-02,3.915404e-02,4.066055e-02,4.166569e-02,4.397648e-02,4.417720e-02,4.668003e-02,4.727852e-02,4.916620e-02,5.054837e-02,5.162825e-02,5.376942e-02,5.405929e-02,5.645305e-02,5.692681e-02,5.880381e-02,6.000750e-02,6.110647e-02,6.300021e-02,6.335650e-02,6.554993e-02,6.589539e-02,6.768334e-02,6.868518e-02,6.975381e-02,7.136324e-02,7.175894e-02,7.369678e-02,7.392473e-02,7.556584e-02,7.636613e-02,7.736500e-02,7.868515e-02,7.909353e-02,8.075107e-02,8.088061e-02,8.233755e-02,8.295228e-02,8.385317e-02,8.490082e-02,8.529843e-02,8.667403e-02,8.672761e-02,8.798087e-02,8.843470e-02,8.922005e-02,9.002467e-02,9.039281e-02,9.150053e-02,9.254472e-02,9.286569e-02,9.352695e-02,9.412384e-02,9.444891e-02,9.527888e-02,9.531232e-02,9.611896e-02,9.633490e-02,9.687067e-02,9.729608e-02,9.756927e-02,9.816668e-02,9.821663e-02,9.881461e-02,9.895098e-02,9.936507e-02,9.965325e-02,9.986985e-02,1.002777e-01,1.003308e-01,1.007497e-01,1.008286e-01,1.011283e-01,1.013098e-01,1.014684e-01,1.017255e-01,1.017716e-01,1.020398e-01,1.020795e-01,1.022743e-01,1.023755e-01,1.024770e-01,1.026171e-01,1.026492e-01,1.027925e-01,1.028079e-01,1.029084e-01,1.029511e-01,1.029982e-01,1.030499e-01,1.030633e-01,1.031050e-01,1.031074e-01,1.031246e-01,1.031265e-01,1.031232e-01,1.031099e-01,1.031020e-01,1.030622e-01,1.030603e-01,1.030048e-01,1.029801e-01,1.029309e-01,1.028717e-01,1.028414e-01,1.027373e-01,1.025791e-01,1.023990e-01,1.021988e-01,1.019804e-01,1.017453e-01,1.014951e-01,1.012314e-01,1.009553e-01,1.006683e-01,1.003715e-01,1.000660e-01,9.975290e-02,9.943311e-02,9.910757e-02,9.877711e-02,9.844253e-02,9.810455e-02,9.776385e-02,9.742107e-02,9.707679e-02,9.673154e-02,9.638584e-02,9.604013e-02,9.569485e-02
0.000000e+00,1.554263e-10,4.133288e-10,1.670523e-09,4.110989e-09,6.184204e-09,1.487734e-08,1.535546e-08,3.098230e-08,3.678777e-08,5.513203e-08,7.470762e-08,9.023346e-08,1.345695e-07,1.390466e-07,2.043461e-07,2.227267e-07,2.881677e-07,3.434246e-07,3.909002e-07,4.958290e-07,5.110966e-07,6.462887e-07,6.748982e-07,7.939465e-07,8.749259e-07,9.519263e-07,1.091330e-06,1.118498e-06,1.292235e-06,1.320613e-06,1.471904e-06,1.559922e-06,1.656391e-06,1.806749e-06,1.844657e-06,2.035723e-06,2.058794e-06,2.228662e-06,2.313922e-06,2.422603e-06,2.570168e-06,2.616737e-06,2.810319e-06,2.825761e-06,3.002674e-06,3.079135e-06,3.193198e-06,3.328938e-06,3.381355e-06,3.566680e-06,3.574028e-06,3.748771e-06,3.813465e-06,3.927290e-06,4.046496e-06,4.101954e-06,4.272537e-06,4.438856e-06,4.491154e-06,4.600769e-06,4.702028e-06,4.758165e-06,4.904941e-06,4.910964e-06,5.059116e-06,5.099762e-06,5.202593e-06,5.286432e-06,5.341389e-06,5.464960e-06,5.475520e-06,5.605012e-06,5.635404e-06,5.729906e-06,5.797858e-06,5.850256e-06,5.952455e-06,5.966125e-06,6.077588e-06,6.099360e-06,6.184740e-06,6.238784e-06,6.287666e-06,6.370913e-06,6.386442e-06,6.481158e-06,6.495942e-06,6.571902e-06,6.614074e-06,6.658761e-06,6.725513e-06,6.741827e-06,6.821192e-06,6.830472e-06,6.896948e-06,6.929162e-06,6.969188e-06,7.021793e-06,7.038001e-06,7.103479e-06,7.108576e-06,7.165713e-06,7.189719e-06,7.224793e-06,7.265428e-06,7.280808e-06,7.333848e-06,7.335908e-06,7.383997e-06,7.401360e-06,7.431342e-06,7.461979e-06,7.475968e-06,7.517956e-06,7.557389e-06,7.569481e-06,7.594345e-06,7.616735e-06,7.628905e-06,7.659897e-06,7.661143e-06,7.691137e-06,7.699144e-06,7.718961e-06,7.734643e-06,7.744685e-06,7.766559e-06,7.768382e-06,7.790120e-06,7.795053e-06,7.809966e-06,7.820279e-06,7.827988e-06,7.842388e-06,7.844248e-06,7.858811e-06,7.861525e-06,7.871737e-06,7.877831e-06,7.883086e-06,7.891443e-06,7.892916e-06,7.901285e-06,7.902492e-06,7.908247e-06,7.911106e-06,7.913857e-06,7.917406e-06,7.918166e-06,7.921226e-06,7.921512e-06,7.923086e-06,7.923537e-06,7.923795e-06,7.923592e-06,7.923399e-06,7.921943e-06,7.921783e-06,7.919473e-06,7.918211e-06,7.916031e-06,7.912974e-06,7.911658e-06,7.906396e-06,7.906167e-06,7.900283e-06,7.897882e-06,7.893358e-06,7.888203e-06,7.885657e-06,7.877217e-06,7.865002e-06,7.851635e-06,7.837191e-06,7.821741e-06,7.805351e-06,7.788087e-06,7.770012e-06,7.751184e-06,7.731661e-06,7.711496e-06,7.690742e-06,7.669448e-06,7.647661e-06,7.625427e-06,7.602789e-06,7.579786e-06,7.556459e-06,7.532845e-06,7.508978e-06,7.484892e-06,7.460619e-06,7.436190e-06,7.411632e-06,7.386974e-06
0.000000e+00,1.815733e-10,4.318018e-10,1.542549e-09,3.576080e-09,5.262853e-09,1.223528e-08,1.261784e-08,2.519958e-08,2.992463e-08,4.501072e-08,6.122133e-08,7.400638e-08,1.092732e-07,1.126953e-07,1.593652e-07,1.714662e-07,2.114989e-07,2.423150e-07,2.671250e-07,3.179200e-07,3.249414e-07,3.840452e-07,3.959561e-07,4.437281e-07,4.747855e-07,5.033752e-07,5.530412e-07,5.624282e-07,6.203777e-07,6.295161e-07,6.767706e-07,7.031687e-07,7.312147e-07,7.731459e-07,7.833847e-07,8.330256e-07,8.388030e-07,8.799498e-07,8.997018e-07,9.240337e-07,9.555951e-07,9.652109e-07,1.003465e-06,1.006399e-06,1.038820e-06,1.052162e-06,1.071335e-06,1.093033e-06,1.101094e-06,1.128202e-06,1.129233e-06,1.152776e-06,1.161026e-06,1.174941e-06,1.188706e-06,1.194832e-06,1.212585e-06,1.228333e-06,1.232971e-06,1.242209e-06,1.250166e-06,1.254341e-06,1.264459e-06,1.264850e-06,1.273855e-06,1.276122e-06,1.281465e-06,1.285407e-06,1.287787e-06,1.292549e-06,1.292918e-06,1.296950e-06,1.297765e-06,1.299971e-06,1.301251e-06,1.302060e-06,1.303187e-06,1.303292e-06,1.303738e-06,1.303738e-06,1.303461e-06,1.303052e-06,1.302522e-06,1.301263e-06,1.300977e-06,1.298877e-06,1.298493e-06,1.296271e-06,1.294853e-06,1.293202e-06,1.290441e-06,1.289711e-06,1.285838e-06,1.285349e-06,1.281615e-06,1.279656e-06,1.277077e-06,1.273436e-06,1.272253e-06,1.267171e-06,1.266754e-06,1.261857e-06,1.259672e-06,1.256334e-06,1.252241e-06,1.250625e-06,1.244749e-06,1.244511e-06,1.238726e-06,1.236525e-06,1.232573e-06,1.228323e-06,1.226306e-06,1.219939e-06,1.213487e-06,1.211407e-06,1.206963e-06,1.202754e-06,1.200376e-06,1.194006e-06,1.193740e-06,1.187063e-06,1.185187e-06,1.180355e-06,1.176318e-06,1.173624e-06,1.167418e-06,1.166878e-06,1.160124e-06,1.158503e-06,1.153369e-06,1.149588e-06,1.146619e-06,1.140688e-06,1.139880e-06,1.133157e-06,1.131815e-06,1.126454e-06,1.122978e-06,1.119777e-06,1.114189e-06,1.113128e-06,1.106512e-06,1.105456e-06,1.099931e-06,1.096786e-06,1.093390e-06,1.088187e-06,1.086891e-06,1.080436e-06,1.079664e-06,1.074027e-06,1.071223e-06,1.067668e-06,1.062868e-06,1.061359e-06,1.055102e-06,1.054604e-06,1.048900e-06,1.046434e-06,1.042752e-06,1.038361e-06,1.036662e-06,1.030628e-06,1.030388e-06,1.024653e-06,1.022517e-06,1.018738e-06,1.014749e-06,1.012882e-06,1.007087e-06,9.995317e-07,9.920836e-07,9.847435e-07,9.775120e-07,9.703893e-07,9.633754e-07,9.564703e-07,9.496736e-07,9.429850e-07,9.364039e-07,9.299298e-07,9.235618e-07,9.172991e-07,9.111409e-07,9.050861e-07,8.991337e-07,8.932826e-07,8.875317e-07,8.818797e-07,8.763254e-07,8.708676e-07,8.655049e-07,8.602361e-07,8.550599e-07
0.000000e+00,7.269636e-11,2.549755e-10,1.454062e-09,4.271755e-09,6.878669e-09,1.870836e-08,1.938466e-08,4.228759e-08,5.107545e-08,7.948052e-08,1.105598e-07,1.356082e-07,2.083457e-07,2.157531e-07,3.240765e-07,3.544756e-07,4.616804e-07,5.506521e-07,6.259236e-07,7.888932e-07,8.122703e-07,1.016390e-06,1.059033e-06,1.234895e-06,1.353319e-06,1.465192e-06,1.666197e-06,1.705163e-06,1.952919e-06,1.993162e-06,2.206675e-06,2.330097e-06,2.464695e-06,2.673042e-06,2.725286e-06,2.986813e-06,3.018185e-06,3.247721e-06,3.361947e-06,3.506562e-06,3.701080e-06,3.762014e-06,4.012898e-06,4.032739e-06,4.258179e-06,4.354521e-06,4.496980e-06,4.664491e-06,4.728574e-06,4.952367e-06,4.961149e-06,5.167900e-06,5.243403e-06,5.374841e-06,5.510531e-06,5.572958e-06,5.762120e-06,5.942277e-06,5.998027e-06,6.113449e-06,6.218318e-06,6.275716e-06,6.423236e-06,6.429209e-06,6.574097e-06,6.613150e-06,6.710581e-06,6.788532e-06,6.838891e-06,6.949928e-06,6.959273e-06,7.071988e-06,7.097928e-06,7.177302e-06,7.233148e-06,7.275490e-06,7.356219e-06,7.366827e-06,7.451591e-06,7.467779e-06,7.530057e-06,7.568461e-06,7.602496e-06,7.658882e-06,7.669174e-06,7.730351e-06,7.739646e-06,7.786283e-06,7.811340e-06,7.837216e-06,7.874524e-06,7.883389e-06,7.925035e-06,7.929739e-06,7.962376e-06,7.977499e-06,7.995629e-06,8.018295e-06,8.025002e-06,8.050693e-06,8.052595e-06,8.072896e-06,8.080841e-06,8.091794e-06,8.103453e-06,8.107563e-06,8.120374e-06,8.120828e-06,8.130388e-06,8.133339e-06,8.137760e-06,8.141340e-06,8.142638e-06,8.145164e-06,8.145473e-06,8.145125e-06,8.143695e-06,8.141518e-06,8.139952e-06,8.134619e-06,8.134362e-06,8.127037e-06,8.124690e-06,8.118085e-06,8.111975e-06,8.107607e-06,8.096704e-06,8.095701e-06,8.082458e-06,8.079090e-06,8.067966e-06,8.059337e-06,8.052310e-06,8.037632e-06,8.035569e-06,8.017818e-06,8.014153e-06,7.999130e-06,7.989065e-06,7.979573e-06,7.962522e-06,7.959213e-06,7.938110e-06,7.934668e-06,7.916323e-06,7.905639e-06,7.893908e-06,7.875560e-06,7.870919e-06,7.847404e-06,7.844549e-06,7.823411e-06,7.812715e-06,7.798986e-06,7.780159e-06,7.774170e-06,7.749005e-06,7.746978e-06,7.723528e-06,7.713259e-06,7.697776e-06,7.679084e-06,7.671783e-06,7.645581e-06,7.644529e-06,7.619201e-06,7.609666e-06,7.592671e-06,7.574559e-06,7.566019e-06,7.539271e-06,7.503856e-06,7.468368e-06,7.432853e-06,7.397358e-06,7.361922e-06,7.326583e-06,7.291376e-06,7.256333e-06,7.221482e-06,7.186851e-06,7.152463e-06,7.118341e-06,7.084504e-06,7.050971e-06,7.017759e-06,6.984882e-06,6.952353e-06,6.920184e-06,6.888386e-06,6.856966e-06,6.825935e-06,6.795297e-06,6.765060e-06,6.735228e-06
0.000000e+00,4.624066e-11,1.343011e-10,5.979375e-10,1.537725e-09,2.349348e-09,5.789886e-09,5.979743e-09,1.218162e-08,1.447859e-08,2.169990e-08,2.934178e-08,3.535722e-08,5.233286e-08,5.403159e-08,7.851438e-08,8.531244e-08,1.092145e-07,1.290725e-07,1.459381e-07,1.827394e-07,1.880536e-07,2.348444e-07,2.447071e-07,2.856931e-07,3.135660e-07,3.400907e-07,3.882011e-07,3.975927e-07,4.577816e-07,4.676337e-07,5.202458e-07,5.509155e-07,5.845719e-07,6.370948e-07,6.503455e-07,7.171558e-07,7.252236e-07,7.846027e-07,8.143815e-07,8.523031e-07,9.037023e-07,9.198969e-07,9.870522e-07,9.923965e-07,1.053468e-06,1.079767e-06,1.118878e-06,1.165218e-06,1.183049e-06,1.245779e-06,1.248256e-06,1.306904e-06,1.328488e-06,1.366285e-06,1.405612e-06,1.423814e-06,1.479409e-06,1.533009e-06,1.549733e-06,1.584575e-06,1.616498e-06,1.634084e-06,1.679672e-06,1.681530e-06,1.726920e-06,1.739263e-06,1.770271e-06,1.795313e-06,1.811608e-06,1.847889e-06,1.850966e-06,1.888385e-06,1.897081e-06,1.923908e-06,1.942992e-06,1.957586e-06,1.985734e-06,1.989467e-06,2.019606e-06,2.025430e-06,2.048057e-06,2.062203e-06,2.074875e-06,2.096181e-06,2.100116e-06,2.123834e-06,2.127492e-06,2.146085e-06,2.156261e-06,2.166924e-06,2.182613e-06,2.186403e-06,2.204575e-06,2.206670e-06,2.221492e-06,2.228551e-06,2.237204e-06,2.248370e-06,2.251761e-06,2.265208e-06,2.266238e-06,2.277594e-06,2.282261e-06,2.288962e-06,2.296542e-06,2.299357e-06,2.308820e-06,2.309179e-06,2.317391e-06,2.320266e-06,2.325111e-06,2.329893e-06,2.332017e-06,2.338145e-06,2.343531e-06,2.345104e-06,2.348209e-06,2.350847e-06,2.352212e-06,2.355448e-06,2.355571e-06,2.358316e-06,2.358978e-06,2.360476e-06,2.361504e-06,2.362080e-06,2.363088e-06,2.363155e-06,2.363726e-06,2.363791e-06,2.363818e-06,2.363669e-06,2.363455e-06,2.362778e-06,2.362660e-06,2.361455e-06,2.361167e-06,2.359862e-06,2.358886e-06,2.357899e-06,2.355980e-06,2.355587e-06,2.352945e-06,2.352493e-06,2.349990e-06,2.348466e-06,2.346739e-06,2.343937e-06,2.343209e-06,2.339416e-06,2.338943e-06,2.335374e-06,2.333520e-06,2.331097e-06,2.327699e-06,2.326601e-06,2.321897e-06,2.321512e-06,2.316999e-06,2.314988e-06,2.311918e-06,2.308154e-06,2.306667e-06,2.301255e-06,2.301036e-06,2.295695e-06,2.293658e-06,2.289995e-06,2.286045e-06,2.284166e-06,2.278217e-06,2.270195e-06,2.261998e-06,2.253645e-06,2.245152e-06,2.236535e-06,2.227810e-06,2.218990e-06,2.210090e-06,2.201121e-06,2.192095e-06,2.183023e-06,2.173916e-06,2.164782e-06,2.155632e-06,2.146473e-06,2.137313e-06,2.128160e-06,2.119021e-06,2.109902e-06,2.100808e-06,2.091746e-06,2.082720e-06,2.073736e-06,2.064798e-06
0.000000e+00,2.337994e-12,1.195391e-11,1.346004e-10,6.658215e-10,1.380937e-09,6.615015e-09,6.997378e-09,2.410304e-08,3.248947e-08,6.507012e-08,1.085755e-07,1.485345e-07,2.846359e-07,2.999732e-07,5.518629e-07,6.314888e-07,9.434680e-07,1.240525e-06,1.520302e-06,2.221465e-06,2.333285e-06,3.437584e-06,3.698470e-06,4.891125e-06,5.804558e-06,6.752822e-06,8.674561e-06,9.080658e-06,1.192978e-05,1.243747e-05,1.535073e-05,1.720924e-05,1.938801e-05,2.308687e-05,2.407884e-05,2.945226e-05,3.014400e-05,3.552860e-05,3.842811e-05,4.231914e-05,4.795927e-05,4.982604e-05,5.804254e-05,5.873011e-05,6.695326e-05,7.070696e-05,7.653484e-05,8.383195e-05,8.675649e-05,9.758090e-05,9.802582e-05,1.089650e-04,1.131912e-04,1.208610e-04,1.292163e-04,1.332171e-04,1.459789e-04,1.590897e-04,1.633495e-04,1.724921e-04,1.811959e-04,1.861282e-04,1.993855e-04,1.999407e-04,2.138734e-04,2.177887e-04,2.278722e-04,2.362814e-04,2.418850e-04,2.547467e-04,2.558625e-04,2.697584e-04,2.730764e-04,2.835299e-04,2.911727e-04,2.971374e-04,3.089478e-04,3.105450e-04,3.237205e-04,3.263252e-04,3.366351e-04,3.432391e-04,3.492637e-04,3.596345e-04,3.615843e-04,3.735786e-04,3.754664e-04,3.852312e-04,3.906993e-04,3.965297e-04,4.053068e-04,4.074643e-04,4.180279e-04,4.192703e-04,4.282157e-04,4.325786e-04,4.380252e-04,4.452267e-04,4.474554e-04,4.565076e-04,4.572155e-04,4.651841e-04,4.685503e-04,4.734888e-04,4.792409e-04,4.814270e-04,4.890046e-04,4.893003e-04,4.962288e-04,4.987444e-04,5.031071e-04,5.075911e-04,5.096480e-04,5.158604e-04,5.217534e-04,5.235733e-04,5.273366e-04,5.307518e-04,5.326198e-04,5.374186e-04,5.376128e-04,5.423257e-04,5.435965e-04,5.467684e-04,5.493085e-04,5.509509e-04,5.545775e-04,5.548831e-04,5.585746e-04,5.594259e-04,5.620353e-04,5.638758e-04,5.652744e-04,5.679489e-04,5.683012e-04,5.711248e-04,5.716659e-04,5.737539e-04,5.750471e-04,5.761972e-04,5.781120e-04,5.784629e-04,5.805591e-04,5.808793e-04,5.824937e-04,5.833670e-04,5.842740e-04,5.855922e-04,5.859075e-04,5.874012e-04,5.875713e-04,5.887617e-04,5.893199e-04,5.899957e-04,5.908527e-04,5.911093e-04,5.921087e-04,5.921839e-04,5.929995e-04,5.933267e-04,5.937874e-04,5.942939e-04,5.944776e-04,5.950753e-04,5.950973e-04,5.955853e-04,5.957483e-04,5.960123e-04,5.962576e-04,5.963608e-04,5.966351e-04,5.968904e-04,5.970323e-04,5.970694e-04,5.970095e-04,5.968601e-04,5.966282e-04,5.963202e-04,5.959425e-04,5.955008e-04,5.950005e-04,5.944467e-04,5.938442e-04,5.931975e-04,5.925108e-04,5.917880e-04,5.910327e-04,5.902484e-04,5.894382e-04,5.886052e-04,5.877522e-04,5.868818e-04,5.859963e-04,5.850981e-04,5.841892e-04
0.000000e+00,1.723584e-11,7.282183e-11,5.620861e-10,2.012295e-09,3.523506e-09,1.118114e-08,1.163969e-08,2.760175e-08,3.379806e-08,5.367839e-08,7.494228e-08,9.165783e-08,1.382746e-07,1.428849e-07,2.083018e-07,2.261830e-07,2.884594e-07,3.398531e-07,3.834837e-07,4.791065e-07,4.929828e-07,6.159075e-07,6.419572e-07,7.504383e-07,8.241598e-07,8.940339e-07,1.019476e-06,1.043704e-06,1.196398e-06,1.220918e-06,1.349331e-06,1.422113e-06,1.500142e-06,1.617968e-06,1.646925e-06,1.788190e-06,1.804713e-06,1.922805e-06,1.979707e-06,2.049947e-06,2.141225e-06,2.169058e-06,2.279804e-06,2.288296e-06,2.382045e-06,2.420561e-06,2.475807e-06,2.538149e-06,2.561247e-06,2.638628e-06,2.641561e-06,2.708296e-06,2.731565e-06,2.770653e-06,2.809104e-06,2.826140e-06,2.875217e-06,2.918353e-06,2.930978e-06,2.956013e-06,2.977449e-06,2.988646e-06,3.015647e-06,3.016686e-06,3.040541e-06,3.046523e-06,3.060595e-06,3.070952e-06,3.077204e-06,3.089723e-06,3.090695e-06,3.101371e-06,3.103545e-06,3.109506e-06,3.113045e-06,3.115349e-06,3.118774e-06,3.119125e-06,3.121040e-06,3.121216e-06,3.121278e-06,3.120795e-06,3.120006e-06,3.117881e-06,3.117375e-06,3.113520e-06,3.112798e-06,3.108563e-06,3.105824e-06,3.102612e-06,3.097204e-06,3.095768e-06,3.088121e-06,3.087153e-06,3.079749e-06,3.075856e-06,3.070727e-06,3.063475e-06,3.061119e-06,3.050986e-06,3.050154e-06,3.040382e-06,3.036020e-06,3.029356e-06,3.021182e-06,3.017954e-06,3.006215e-06,3.005739e-06,2.994178e-06,2.989778e-06,2.981876e-06,2.973376e-06,2.969341e-06,2.956602e-06,2.943683e-06,2.939515e-06,2.930610e-06,2.922172e-06,2.917404e-06,2.904622e-06,2.904087e-06,2.890677e-06,2.886908e-06,2.877191e-06,2.869071e-06,2.863647e-06,2.851146e-06,2.850057e-06,2.836437e-06,2.833165e-06,2.822799e-06,2.815158e-06,2.809155e-06,2.797152e-06,2.795516e-06,2.781891e-06,2.779169e-06,2.768291e-06,2.761232e-06,2.754725e-06,2.743360e-06,2.741199e-06,2.727722e-06,2.725571e-06,2.714300e-06,2.707880e-06,2.700940e-06,2.690301e-06,2.687648e-06,2.674428e-06,2.672847e-06,2.661287e-06,2.655530e-06,2.648227e-06,2.638360e-06,2.635255e-06,2.622372e-06,2.621346e-06,2.609584e-06,2.604496e-06,2.596893e-06,2.587818e-06,2.584303e-06,2.571815e-06,2.571317e-06,2.559432e-06,2.555000e-06,2.547157e-06,2.538872e-06,2.534991e-06,2.522936e-06,2.507197e-06,2.491657e-06,2.476318e-06,2.461184e-06,2.446256e-06,2.431534e-06,2.417021e-06,2.402716e-06,2.388619e-06,2.374732e-06,2.361052e-06,2.347581e-06,2.334317e-06,2.321259e-06,2.308406e-06,2.295756e-06,2.283310e-06,2.271064e-06,2.259017e-06,2.247168e-06,2.235514e-06,2.224054e-06,2.212785e-06,2.201705e-06
0.000000e+00,2.659478e-11,1.179812e-10,9.993765e-10,3.858627e-09,7.018313e-09,2.432264e-08,2.540387e-08,6.490873e-08,8.096467e-08,1.343320e-07,1.937970e-07,2.418925e-07,3.809563e-07,3.950491e-07,6.004837e-07,6.582375e-07,8.640593e-07,1.038915e-06,1.190614e-06,1.532769e-06,1.583474e-06,2.043701e-06,2.143718e-06,2.569359e-06,2.866967e-06,3.155296e-06,3.688405e-06,3.793700e-06,4.475179e-06,4.587551e-06,5.189844e-06,5.541823e-06,5.928074e-06,6.529585e-06,6.680921e-06,7.440267e-06,7.531471e-06,8.198839e-06,8.530674e-06,8.950183e-06,9.512863e-06,9.688645e-06,1.040934e-05,1.046610e-05,1.110812e-05,1.138070e-05,1.178155e-05,1.224917e-05,1.242690e-05,1.304204e-05,1.306600e-05,1.362545e-05,1.382750e-05,1.417612e-05,1.453159e-05,1.469353e-05,1.517754e-05,1.562837e-05,1.576571e-05,1.604655e-05,1.629738e-05,1.643281e-05,1.677446e-05,1.678809e-05,1.711347e-05,1.719938e-05,1.741015e-05,1.757490e-05,1.767938e-05,1.790395e-05,1.792247e-05,1.814076e-05,1.818960e-05,1.833558e-05,1.843492e-05,1.850826e-05,1.864295e-05,1.866011e-05,1.879240e-05,1.881662e-05,1.890636e-05,1.895877e-05,1.900317e-05,1.907209e-05,1.908399e-05,1.914988e-05,1.915911e-05,1.920190e-05,1.922222e-05,1.924102e-05,1.926365e-05,1.926817e-05,1.928424e-05,1.928546e-05,1.929005e-05,1.928956e-05,1.928639e-05,1.927773e-05,1.927399e-05,1.925355e-05,1.925158e-05,1.922570e-05,1.921263e-05,1.919107e-05,1.916225e-05,1.915021e-05,1.910366e-05,1.910169e-05,1.905192e-05,1.903211e-05,1.899545e-05,1.895456e-05,1.893468e-05,1.887002e-05,1.880184e-05,1.877934e-05,1.873050e-05,1.868334e-05,1.865633e-05,1.858274e-05,1.857963e-05,1.850068e-05,1.847821e-05,1.841975e-05,1.837034e-05,1.833708e-05,1.825969e-05,1.825290e-05,1.816742e-05,1.814674e-05,1.808084e-05,1.803194e-05,1.799334e-05,1.791571e-05,1.790509e-05,1.781624e-05,1.779841e-05,1.772693e-05,1.768036e-05,1.763731e-05,1.756187e-05,1.754749e-05,1.745759e-05,1.744321e-05,1.736772e-05,1.732461e-05,1.727796e-05,1.720630e-05,1.718841e-05,1.709915e-05,1.708846e-05,1.701025e-05,1.697127e-05,1.692179e-05,1.685489e-05,1.683382e-05,1.674640e-05,1.673944e-05,1.665959e-05,1.662505e-05,1.657343e-05,1.651182e-05,1.648797e-05,1.640323e-05,1.639986e-05,1.631927e-05,1.628924e-05,1.623610e-05,1.618002e-05,1.615377e-05,1.607228e-05,1.596606e-05,1.586141e-05,1.575836e-05,1.565694e-05,1.555718e-05,1.545910e-05,1.536270e-05,1.526799e-05,1.517499e-05,1.508368e-05,1.499408e-05,1.490617e-05,1.481994e-05,1.473539e-05,1.465249e-05,1.457125e-05,1.449164e-05,1.441364e-05,1.433724e-05,1.426242e-05,1.418915e-05,1.411741e-05,1.404719e-05,1.397845e-05
0.000000e+00,8.140703e-12,4.138502e-11,4.604312e-10,2.252549e-09,4.643425e-09,2.189350e-08,2.314406e-08,7.847913e-08,1.053371e-07,2.087491e-07,3.453920e-07,4.699533e-07,8.899869e-07,9.370194e-07,1.703719e-06,1.944349e-06,2.881490e-06,3.767245e-06,4.596816e-06,6.659572e-06,6.986624e-06,1.019170e-05,1.094275e-05,1.434898e-05,1.692945e-05,1.958418e-05,2.489456e-05,2.600552e-05,3.369927e-05,3.505281e-05,4.272683e-05,4.754520e-05,5.312349e-05,6.243343e-05,6.489817e-05,7.803434e-05,7.970048e-05,9.249149e-05,9.925580e-05,1.082073e-04,1.209437e-04,1.251003e-04,1.430725e-04,1.445536e-04,1.620124e-04,1.698323e-04,1.817982e-04,1.964955e-04,2.023008e-04,2.233867e-04,2.242403e-04,2.449206e-04,2.527565e-04,2.667682e-04,2.817367e-04,2.887983e-04,3.108846e-04,3.329072e-04,3.399226e-04,3.547546e-04,3.685968e-04,3.763234e-04,3.966807e-04,3.975204e-04,4.182617e-04,4.239773e-04,4.384737e-04,4.503200e-04,4.580928e-04,4.755722e-04,4.770651e-04,4.953459e-04,4.996263e-04,5.128996e-04,5.224016e-04,5.296989e-04,5.438424e-04,5.457241e-04,5.609624e-04,5.639150e-04,5.754076e-04,5.826053e-04,5.890591e-04,5.999160e-04,6.019212e-04,6.140026e-04,6.158639e-04,6.253158e-04,6.304777e-04,6.358764e-04,6.437954e-04,6.457029e-04,6.548158e-04,6.558624e-04,6.632373e-04,6.667298e-04,6.709911e-04,6.764526e-04,6.781019e-04,6.845950e-04,6.850885e-04,6.904962e-04,6.926968e-04,6.958315e-04,6.993370e-04,7.006268e-04,7.049079e-04,7.050688e-04,7.087003e-04,7.099508e-04,7.120290e-04,7.140402e-04,7.149185e-04,7.173927e-04,7.194746e-04,7.200616e-04,7.211866e-04,7.220983e-04,7.225505e-04,7.235517e-04,7.235871e-04,7.243163e-04,7.244681e-04,7.247575e-04,7.248916e-04,7.249290e-04,7.248638e-04,7.248485e-04,7.245327e-04,7.244237e-04,7.239977e-04,7.236080e-04,7.232586e-04,7.224511e-04,7.223301e-04,7.212259e-04,7.209851e-04,7.199590e-04,7.192400e-04,7.185418e-04,7.172439e-04,7.169861e-04,7.153030e-04,7.150226e-04,7.135030e-04,7.126004e-04,7.115960e-04,7.099997e-04,7.095914e-04,7.074980e-04,7.072412e-04,7.053241e-04,7.043442e-04,7.030777e-04,7.013265e-04,7.007661e-04,6.983962e-04,6.982043e-04,6.959746e-04,6.949929e-04,6.935075e-04,6.917062e-04,6.910006e-04,6.884592e-04,6.883569e-04,6.858886e-04,6.849569e-04,6.832934e-04,6.815169e-04,6.806781e-04,6.780468e-04,6.745556e-04,6.710515e-04,6.675421e-04,6.640342e-04,6.605340e-04,6.570472e-04,6.535787e-04,6.501332e-04,6.467148e-04,6.433273e-04,6.399738e-04,6.366573e-04,6.333804e-04,6.301454e-04,6.269542e-04,6.238087e-04,6.207101e-04,6.176600e-04,6.146592e-04,6.117086e-04,6.088090e-04,6.059610e-04,6.031647e-04,6.004207e-04
0.000000e+00,1.435196e-11,7.370303e-11,8.375419e-10,4.178458e-09,8.707577e-09,4.224143e-08,4.470660e-08,1.560423e-07,2.111213e-07,4.269481e-07,7.182679e-07,9.880764e-07,1.918264e-06,2.023955e-06,3.778305e-06,4.338898e-06,6.556667e-06,8.693916e-06,1.072494e-05,1.587422e-05,1.670180e-05,2.494392e-05,2.690585e-05,3.592537e-05,4.287461e-05,5.011433e-05,6.483478e-05,6.795048e-05,8.982528e-05,9.372293e-05,1.160663e-04,1.302901e-04,1.469259e-04,1.750561e-04,1.825741e-04,2.230953e-04,2.282861e-04,2.684881e-04,2.899854e-04,3.186684e-04,3.599103e-04,3.734742e-04,4.326729e-04,4.375901e-04,4.959693e-04,5.223588e-04,5.630152e-04,6.133912e-04,6.334185e-04,7.067537e-04,7.097418e-04,7.825714e-04,8.103844e-04,8.604075e-04,9.142492e-04,9.397921e-04,1.020257e-03,1.101345e-03,1.127351e-03,1.182610e-03,1.234518e-03,1.263632e-03,1.340812e-03,1.344010e-03,1.423376e-03,1.445370e-03,1.501390e-03,1.547419e-03,1.577742e-03,1.646283e-03,1.652160e-03,1.724399e-03,1.741389e-03,1.794253e-03,1.832262e-03,1.861544e-03,1.918523e-03,1.926125e-03,1.987881e-03,1.999884e-03,2.046722e-03,2.076145e-03,2.102585e-03,2.147179e-03,2.155431e-03,2.205242e-03,2.212930e-03,2.252021e-03,2.273404e-03,2.295788e-03,2.328657e-03,2.336579e-03,2.374441e-03,2.378791e-03,2.409438e-03,2.423947e-03,2.441640e-03,2.464293e-03,2.471127e-03,2.497986e-03,2.500023e-03,2.522309e-03,2.531349e-03,2.544193e-03,2.558495e-03,2.563738e-03,2.581047e-03,2.581694e-03,2.596222e-03,2.601182e-03,2.609367e-03,2.617199e-03,2.620586e-03,2.629982e-03,2.637655e-03,2.639763e-03,2.643705e-03,2.646770e-03,2.648229e-03,2.651224e-03,2.651321e-03,2.653073e-03,2.653336e-03,2.653573e-03,2.653308e-03,2.652907e-03,2.651335e-03,2.651157e-03,2.648401e-03,2.647598e-03,2.644714e-03,2.642270e-03,2.640169e-03,2.635514e-03,2.634834e-03,2.628774e-03,2.627480e-03,2.622050e-03,2.618311e-03,2.614721e-03,2.608138e-03,2.606843e-03,2.598466e-03,2.597083e-03,2.589642e-03,2.585261e-03,2.580415e-03,2.572774e-03,2.570830e-03,2.560928e-03,2.559720e-03,2.550746e-03,2.546187e-03,2.540322e-03,2.532257e-03,2.529687e-03,2.518874e-03,2.518002e-03,2.507912e-03,2.503491e-03,2.496827e-03,2.488785e-03,2.485645e-03,2.474390e-03,2.473939e-03,2.463083e-03,2.459004e-03,2.451745e-03,2.444026e-03,2.440393e-03,2.429045e-03,2.414099e-03,2.399219e-03,2.384436e-03,2.369776e-03,2.355261e-03,2.340912e-03,2.326746e-03,2.312779e-03,2.299024e-03,2.285493e-03,2.272195e-03,2.259137e-03,2.246327e-03,2.233770e-03,2.221470e-03,2.209430e-03,2.197652e-03,2.186137e-03,2.174886e-03,2.163898e-03,2.153172e-03,2.142708e-03,2.132501e-03,2.122552e-03
0.000000e+00,4.975119e-11,1.498704e-10,6.931058e-10,1.805590e-09,2.765298e-09,6.795401e-09,7.015922e-09,1.412359e-08,1.671380e-08,2.473264e-08,3.304406e-08,3.948142e-08,5.725778e-08,5.901093e-08,8.393238e-08,9.077392e-08,1.147220e-07,1.346051e-07,1.515379e-07,1.886763e-07,1.940572e-07,2.415010e-07,2.514926e-07,2.928567e-07,3.207688e-07,3.471164e-07,3.942867e-07,4.033946e-07,4.609465e-07,4.702296e-07,5.191428e-07,5.471437e-07,5.774401e-07,6.238268e-07,6.353592e-07,6.924732e-07,6.992543e-07,7.484019e-07,7.725471e-07,8.028103e-07,8.429639e-07,8.554086e-07,9.059531e-07,9.099017e-07,9.542456e-07,9.728963e-07,1.000133e-06,1.031619e-06,1.043505e-06,1.084292e-06,1.085869e-06,1.122459e-06,1.135557e-06,1.158006e-06,1.180695e-06,1.190961e-06,1.221372e-06,1.249308e-06,1.257739e-06,1.274856e-06,1.289998e-06,1.298112e-06,1.318380e-06,1.319183e-06,1.338177e-06,1.343140e-06,1.355212e-06,1.364540e-06,1.370402e-06,1.382846e-06,1.383862e-06,1.395706e-06,1.398320e-06,1.406042e-06,1.411212e-06,1.414978e-06,1.421764e-06,1.422615e-06,1.429053e-06,1.430204e-06,1.434380e-06,1.436741e-06,1.438684e-06,1.441566e-06,1.442043e-06,1.444533e-06,1.444855e-06,1.446225e-06,1.446773e-06,1.447183e-06,1.447463e-06,1.447469e-06,1.447138e-06,1.447060e-06,1.446242e-06,1.445681e-06,1.444828e-06,1.443435e-06,1.442942e-06,1.440623e-06,1.440420e-06,1.437911e-06,1.436723e-06,1.434838e-06,1.432422e-06,1.431439e-06,1.427741e-06,1.427588e-06,1.423773e-06,1.422283e-06,1.419560e-06,1.416566e-06,1.415123e-06,1.410486e-06,1.405667e-06,1.404090e-06,1.400685e-06,1.397418e-06,1.395556e-06,1.390508e-06,1.390295e-06,1.384918e-06,1.383393e-06,1.379436e-06,1.376103e-06,1.373863e-06,1.368664e-06,1.368209e-06,1.362484e-06,1.361101e-06,1.356699e-06,1.353436e-06,1.350862e-06,1.345689e-06,1.344981e-06,1.339064e-06,1.337877e-06,1.333118e-06,1.330017e-06,1.327149e-06,1.322123e-06,1.321164e-06,1.315167e-06,1.314207e-06,1.309165e-06,1.306283e-06,1.303161e-06,1.298361e-06,1.297161e-06,1.291168e-06,1.290449e-06,1.285186e-06,1.282558e-06,1.279218e-06,1.274695e-06,1.273269e-06,1.267340e-06,1.266867e-06,1.261435e-06,1.259080e-06,1.255556e-06,1.251341e-06,1.249706e-06,1.243886e-06,1.243654e-06,1.238099e-06,1.236024e-06,1.232347e-06,1.228456e-06,1.226631e-06,1.220952e-06,1.213517e-06,1.206154e-06,1.198864e-06,1.191650e-06,1.184515e-06,1.177460e-06,1.170486e-06,1.163595e-06,1.156788e-06,1.150066e-06,1.143429e-06,1.136879e-06,1.130415e-06,1.124038e-06,1.117748e-06,1.111545e-06,1.105429e-06,1.099400e-06,1.093458e-06,1.087603e-06,1.081833e-06,1.076149e-06,1.070550e-06,1.065035e-06
0.000000e+00,2.260770e-11,5.243413e-11,1.831257e-10,4.203922e-10,6.157941e-10,1.409683e-09,1.452597e-09,2.829901e-09,3.332117e-09,4.894985e-09,6.530632e-09,7.808559e-09,1.137898e-08,1.173363e-08,1.679641e-08,1.818695e-08,2.303074e-08,2.701085e-08,3.036771e-08,3.764158e-08,3.868780e-08,4.787091e-08,4.980156e-08,5.781148e-08,6.324847e-08,6.841567e-08,7.777180e-08,7.959581e-08,9.126690e-08,9.317424e-08,1.033456e-07,1.092640e-07,1.157502e-07,1.258555e-07,1.284020e-07,1.412261e-07,1.427732e-07,1.541526e-07,1.598559e-07,1.671171e-07,1.769598e-07,1.800619e-07,1.929352e-07,1.939606e-07,2.056920e-07,2.107531e-07,2.182932e-07,2.272510e-07,2.307057e-07,2.429016e-07,2.433846e-07,2.548579e-07,2.590997e-07,2.665557e-07,2.743549e-07,2.779803e-07,2.891199e-07,2.999658e-07,3.033734e-07,3.105118e-07,3.171017e-07,3.207536e-07,3.302972e-07,3.306887e-07,3.403164e-07,3.429571e-07,3.496369e-07,3.550824e-07,3.586517e-07,3.666773e-07,3.673631e-07,3.757741e-07,3.777485e-07,3.838884e-07,3.883043e-07,3.917101e-07,3.983547e-07,3.992437e-07,4.064941e-07,4.079107e-07,4.134665e-07,4.169842e-07,4.201664e-07,4.255877e-07,4.265993e-07,4.327708e-07,4.337344e-07,4.386867e-07,4.414373e-07,4.443530e-07,4.487101e-07,4.497753e-07,4.549598e-07,4.555662e-07,4.599123e-07,4.620194e-07,4.646386e-07,4.680830e-07,4.691447e-07,4.734363e-07,4.737706e-07,4.775193e-07,4.790954e-07,4.813994e-07,4.840706e-07,4.850823e-07,4.885734e-07,4.887091e-07,4.918784e-07,4.930236e-07,4.950026e-07,4.970266e-07,4.979514e-07,5.007301e-07,5.033438e-07,5.041462e-07,5.057976e-07,5.072863e-07,5.080964e-07,5.101619e-07,5.102451e-07,5.122485e-07,5.127840e-07,5.141112e-07,5.151633e-07,5.158379e-07,5.173102e-07,5.174330e-07,5.189009e-07,5.192348e-07,5.202459e-07,5.209469e-07,5.214720e-07,5.224560e-07,5.225835e-07,5.235842e-07,5.237714e-07,5.244781e-07,5.249019e-07,5.252689e-07,5.258562e-07,5.259603e-07,5.265560e-07,5.266426e-07,5.270593e-07,5.272691e-07,5.274738e-07,5.277435e-07,5.278026e-07,5.280492e-07,5.280734e-07,5.282165e-07,5.282658e-07,5.283077e-07,5.283278e-07,5.283256e-07,5.282733e-07,5.282662e-07,5.281535e-07,5.280873e-07,5.279689e-07,5.277974e-07,5.277222e-07,5.274159e-07,5.274025e-07,5.270526e-07,5.269083e-07,5.266346e-07,5.263203e-07,5.261643e-07,5.256440e-07,5.248843e-07,5.240462e-07,5.231344e-07,5.221534e-07,5.211076e-07,5.200010e-07,5.188376e-07,5.176213e-07,5.163557e-07,5.150442e-07,5.136903e-07,5.122971e-07,5.108676e-07,5.094048e-07,5.079114e-07,5.063901e-07,5.048434e-07,5.032737e-07,5.016834e-07,5.000746e-07,4.984495e-07,4.968099e-07,4.951578e-07,4.934950e-07
0.000000e+00,7.245688e-11,3.061040e-10,2.369508e-09,8.536133e-09,1.502054e-08,4.852081e-08,5.055531e-08,1.229860e-07,1.518511e-07,2.469131e-07,3.523325e-07,4.376799e-07,6.861336e-07,7.114844e-07,1.084763e-06,1.190869e-06,1.572277e-06,1.899074e-06,2.183521e-06,2.823842e-06,2.918224e-06,3.764014e-06,3.944685e-06,4.699120e-06,5.212343e-06,5.698580e-06,6.571016e-06,6.739539e-06,7.803437e-06,7.974778e-06,8.875906e-06,9.390376e-06,9.945842e-06,1.079403e-05,1.100450e-05,1.204486e-05,1.216820e-05,1.306129e-05,1.349972e-05,1.404924e-05,1.477882e-05,1.500516e-05,1.592635e-05,1.599848e-05,1.681081e-05,1.715400e-05,1.765722e-05,1.824260e-05,1.846477e-05,1.923313e-05,1.926304e-05,1.996231e-05,2.021528e-05,2.065265e-05,2.110018e-05,2.130472e-05,2.191929e-05,2.249726e-05,2.267464e-05,2.303964e-05,2.336859e-05,2.354752e-05,2.400370e-05,2.402205e-05,2.446439e-05,2.458264e-05,2.487573e-05,2.510815e-05,2.525726e-05,2.558297e-05,2.561018e-05,2.593566e-05,2.600982e-05,2.623486e-05,2.639136e-05,2.650893e-05,2.673020e-05,2.675897e-05,2.698608e-05,2.702884e-05,2.719130e-05,2.728972e-05,2.737568e-05,2.751517e-05,2.754020e-05,2.768583e-05,2.770744e-05,2.781350e-05,2.786867e-05,2.792410e-05,2.800087e-05,2.801849e-05,2.809749e-05,2.810597e-05,2.816190e-05,2.818581e-05,2.821248e-05,2.824212e-05,2.824996e-05,2.827506e-05,2.827656e-05,2.828845e-05,2.829066e-05,2.829076e-05,2.828591e-05,2.828262e-05,2.826462e-05,2.826370e-05,2.823733e-05,2.822534e-05,2.820130e-05,2.817206e-05,2.815703e-05,2.810504e-05,2.804578e-05,2.802535e-05,2.797970e-05,2.793404e-05,2.790725e-05,2.783207e-05,2.782883e-05,2.774482e-05,2.772035e-05,2.765562e-05,2.759974e-05,2.756156e-05,2.747103e-05,2.746299e-05,2.736023e-05,2.733498e-05,2.725358e-05,2.719228e-05,2.714335e-05,2.704359e-05,2.702980e-05,2.691320e-05,2.688954e-05,2.679381e-05,2.673069e-05,2.667185e-05,2.656759e-05,2.654755e-05,2.642113e-05,2.640072e-05,2.629279e-05,2.623057e-05,2.616273e-05,2.605756e-05,2.603112e-05,2.589815e-05,2.588211e-05,2.576396e-05,2.570458e-05,2.562873e-05,2.552534e-05,2.549259e-05,2.535569e-05,2.534470e-05,2.521815e-05,2.516298e-05,2.508010e-05,2.498045e-05,2.494165e-05,2.480293e-05,2.479737e-05,2.466402e-05,2.461399e-05,2.452503e-05,2.443052e-05,2.438605e-05,2.424717e-05,2.406413e-05,2.388157e-05,2.369966e-05,2.351855e-05,2.333836e-05,2.315921e-05,2.298123e-05,2.280452e-05,2.262916e-05,2.245524e-05,2.228284e-05,2.211202e-05,2.194284e-05,2.177536e-05,2.160963e-05,2.144569e-05,2.128357e-05,2.112330e-05,2.096492e-05,2.080844e-05,2.065389e-05,2.050127e-05,2.035060e-05,2.020188e-05
0.000000e+00,1.460262e-11,7.441470e-11,8.325322e-10,4.097698e-09,8.479645e-09,4.047394e-08,4.281068e-08,1.476016e-07,1.991952e-07,4.009777e-07,6.734335e-07,9.263502e-07,1.803784e-06,1.904020e-06,3.581925e-06,4.122941e-06,6.280619e-06,8.379250e-06,1.038507e-05,1.549631e-05,1.631932e-05,2.450926e-05,2.645323e-05,3.534435e-05,4.213429e-05,4.914707e-05,6.321054e-05,6.615398e-05,8.650773e-05,9.007949e-05,1.102579e-04,1.228566e-04,1.373677e-04,1.614012e-04,1.677247e-04,2.011530e-04,2.053605e-04,2.374261e-04,2.542203e-04,2.762791e-04,3.073544e-04,3.174209e-04,3.605437e-04,3.640697e-04,4.053328e-04,4.236443e-04,4.514737e-04,4.853590e-04,4.986587e-04,5.465919e-04,5.485208e-04,5.949930e-04,6.124808e-04,6.435999e-04,6.766462e-04,6.921714e-04,7.404872e-04,7.883496e-04,8.035404e-04,8.355824e-04,8.654089e-04,8.820314e-04,9.257605e-04,9.275626e-04,9.720619e-04,9.843233e-04,1.015433e-03,1.040881e-03,1.057598e-03,1.095269e-03,1.098493e-03,1.138069e-03,1.147366e-03,1.176289e-03,1.197090e-03,1.213128e-03,1.244393e-03,1.248573e-03,1.282615e-03,1.289256e-03,1.315258e-03,1.331682e-03,1.346510e-03,1.371695e-03,1.376383e-03,1.404898e-03,1.409336e-03,1.432077e-03,1.444656e-03,1.457947e-03,1.477719e-03,1.482535e-03,1.505874e-03,1.508593e-03,1.527997e-03,1.537354e-03,1.548937e-03,1.564083e-03,1.568730e-03,1.587411e-03,1.588859e-03,1.605017e-03,1.611766e-03,1.621583e-03,1.632888e-03,1.637146e-03,1.651742e-03,1.652306e-03,1.665405e-03,1.670103e-03,1.678172e-03,1.686358e-03,1.690075e-03,1.701150e-03,1.711428e-03,1.714554e-03,1.720942e-03,1.726644e-03,1.729723e-03,1.737491e-03,1.737801e-03,1.745207e-03,1.747165e-03,1.751969e-03,1.755729e-03,1.758115e-03,1.763249e-03,1.763672e-03,1.768666e-03,1.769783e-03,1.773121e-03,1.775391e-03,1.777064e-03,1.780127e-03,1.780516e-03,1.783501e-03,1.784044e-03,1.786040e-03,1.787192e-03,1.788155e-03,1.789619e-03,1.789866e-03,1.791193e-03,1.791371e-03,1.792154e-03,1.792491e-03,1.792767e-03,1.793019e-03,1.793050e-03,1.793020e-03,1.792996e-03,1.792693e-03,1.792458e-03,1.792083e-03,1.791440e-03,1.791206e-03,1.790077e-03,1.789976e-03,1.788708e-03,1.788097e-03,1.787113e-03,1.785832e-03,1.785305e-03,1.783295e-03,1.783211e-03,1.781096e-03,1.780260e-03,1.778717e-03,1.777003e-03,1.776171e-03,1.773466e-03,1.769671e-03,1.765638e-03,1.761389e-03,1.756941e-03,1.752313e-03,1.747523e-03,1.742584e-03,1.737514e-03,1.732325e-03,1.727031e-03,1.721644e-03,1.716177e-03,1.710639e-03,1.705042e-03,1.699395e-03,1.693707e-03,1.687987e-03,1.682242e-03,1.676480e-03,1.670708e-03,1.664933e-03,1.659160e-03,1.653395e-03,1.647644e-03
0.000000e+00,6.330364e-11,3.265674e-10,3.747160e-09,1.886752e-08,3.952494e-08,1.944837e-07,2.059572e-07,7.299206e-07,9.918832e-07,2.028904e-06,3.446657e-06,4.772717e-06,9.410261e-06,9.942284e-06,1.888264e-05,2.177489e-05,3.334267e-05,4.464158e-05,5.548676e-05,8.334520e-05,8.786267e-05,1.333232e-04,1.442515e-04,1.949154e-04,2.343545e-04,2.757581e-04,3.607934e-04,3.789225e-04,5.073248e-04,5.303939e-04,6.636358e-04,7.492826e-04,8.502073e-04,1.022594e-03,1.069016e-03,1.321623e-03,1.354266e-03,1.609153e-03,1.746920e-03,1.932280e-03,2.201819e-03,2.291230e-03,2.685798e-03,2.718887e-03,3.115367e-03,3.296784e-03,3.578940e-03,3.933025e-03,4.075172e-03,4.602418e-03,4.624127e-03,5.158767e-03,5.365773e-03,5.742090e-03,6.152988e-03,6.350083e-03,6.980310e-03,7.630240e-03,7.841958e-03,8.297291e-03,8.731984e-03,8.978856e-03,9.644407e-03,9.672344e-03,1.037520e-02,1.057333e-02,1.108493e-02,1.151306e-02,1.179912e-02,1.245813e-02,1.251546e-02,1.323176e-02,1.340343e-02,1.394593e-02,1.434422e-02,1.465604e-02,1.527613e-02,1.536028e-02,1.605696e-02,1.619525e-02,1.674456e-02,1.709806e-02,1.742170e-02,1.798147e-02,1.808710e-02,1.873964e-02,1.884279e-02,1.937833e-02,1.967972e-02,2.000230e-02,2.049035e-02,2.061078e-02,2.120313e-02,2.127310e-02,2.177880e-02,2.202670e-02,2.233737e-02,2.275021e-02,2.287846e-02,2.340183e-02,2.344292e-02,2.390727e-02,2.410440e-02,2.439467e-02,2.473440e-02,2.486399e-02,2.531522e-02,2.533290e-02,2.574844e-02,2.590001e-02,2.616376e-02,2.643602e-02,2.656133e-02,2.694134e-02,2.730404e-02,2.741648e-02,2.764967e-02,2.786206e-02,2.797853e-02,2.827875e-02,2.829093e-02,2.858719e-02,2.866730e-02,2.886767e-02,2.902853e-02,2.913272e-02,2.936327e-02,2.938272e-02,2.961805e-02,2.967239e-02,2.983909e-02,2.995678e-02,3.004624e-02,3.021736e-02,3.023990e-02,3.042046e-02,3.045503e-02,3.058832e-02,3.067072e-02,3.074388e-02,3.086534e-02,3.088754e-02,3.101969e-02,3.103979e-02,3.114071e-02,3.119497e-02,3.125100e-02,3.133175e-02,3.135093e-02,3.144087e-02,3.145101e-02,3.152119e-02,3.155358e-02,3.159225e-02,3.164029e-02,3.165441e-02,3.170801e-02,3.171194e-02,3.175338e-02,3.176930e-02,3.179086e-02,3.181313e-02,3.182076e-02,3.184341e-02,3.184417e-02,3.185911e-02,3.186311e-02,3.186815e-02,3.187065e-02,3.187083e-02,3.186743e-02,3.185409e-02,3.183123e-02,3.179944e-02,3.175928e-02,3.171129e-02,3.165596e-02,3.159381e-02,3.152529e-02,3.145085e-02,3.137093e-02,3.128592e-02,3.119621e-02,3.110219e-02,3.100419e-02,3.090255e-02,3.079759e-02,3.068961e-02,3.057889e-02,3.046572e-02,3.035034e-02,3.023299e-02,3.011391e-02,2.999332e-02,2.987142e-02
0.000000e+00,1.173824e-10,6.013578e-10,6.801938e-09,3.380611e-08,7.031753e-08,3.397501e-07,3.595287e-07,1.251726e-06,1.692882e-06,3.422229e-06,5.759783e-06,7.928652e-06,1.543438e-05,1.628984e-05,3.055840e-05,3.514251e-05,5.337594e-05,7.107310e-05,8.798495e-05,1.311884e-04,1.381685e-04,2.081133e-04,2.248597e-04,3.022240e-04,3.621848e-04,4.249239e-04,5.532111e-04,5.804738e-04,7.728188e-04,8.072501e-04,1.005469e-03,1.132357e-03,1.281414e-03,1.534977e-03,1.603056e-03,1.972184e-03,2.019731e-03,2.389944e-03,2.589320e-03,2.856849e-03,3.244516e-03,3.372784e-03,3.937035e-03,3.984228e-03,4.548325e-03,4.805626e-03,5.204855e-03,5.704312e-03,5.904355e-03,6.644138e-03,6.674525e-03,7.421160e-03,7.709369e-03,8.232080e-03,8.801049e-03,9.073318e-03,9.941118e-03,1.083160e-02,1.112070e-02,1.174082e-02,1.233073e-02,1.266483e-02,1.356212e-02,1.359968e-02,1.454152e-02,1.480598e-02,1.548661e-02,1.605372e-02,1.643134e-02,1.729720e-02,1.737225e-02,1.830609e-02,1.852882e-02,1.922982e-02,1.974161e-02,2.014057e-02,2.092924e-02,2.103576e-02,2.191297e-02,2.208607e-02,2.277007e-02,2.320717e-02,2.360513e-02,2.428830e-02,2.441645e-02,2.520257e-02,2.532592e-02,2.596221e-02,2.631712e-02,2.669433e-02,2.725963e-02,2.739807e-02,2.807278e-02,2.815176e-02,2.871794e-02,2.899236e-02,2.933323e-02,2.978075e-02,2.991847e-02,3.047361e-02,3.051672e-02,3.099873e-02,3.120042e-02,3.149404e-02,3.183237e-02,3.195984e-02,3.239652e-02,3.241338e-02,3.280455e-02,3.294453e-02,3.318449e-02,3.342711e-02,3.353695e-02,3.386259e-02,3.416213e-02,3.425259e-02,3.443631e-02,3.459884e-02,3.468592e-02,3.490319e-02,3.491177e-02,3.511469e-02,3.516750e-02,3.529550e-02,3.539373e-02,3.545506e-02,3.558381e-02,3.559421e-02,3.571382e-02,3.573971e-02,3.581472e-02,3.586337e-02,3.589776e-02,3.595672e-02,3.596376e-02,3.601355e-02,3.602163e-02,3.604793e-02,3.605997e-02,3.606767e-02,3.607352e-02,3.607356e-02,3.606633e-02,3.606401e-02,3.604673e-02,3.603313e-02,3.601544e-02,3.598247e-02,3.597317e-02,3.592057e-02,3.591360e-02,3.585829e-02,3.582798e-02,3.578694e-02,3.572702e-02,3.570712e-02,3.561939e-02,3.561205e-02,3.552431e-02,3.548434e-02,3.542241e-02,3.534509e-02,3.531418e-02,3.520011e-02,3.519543e-02,3.508065e-02,3.503642e-02,3.495626e-02,3.486905e-02,3.482733e-02,3.469428e-02,3.451297e-02,3.432594e-02,3.413396e-02,3.393774e-02,3.373794e-02,3.353517e-02,3.333001e-02,3.312298e-02,3.291455e-02,3.270519e-02,3.249529e-02,3.228523e-02,3.207536e-02,3.186599e-02,3.165741e-02,3.144987e-02,3.124361e-02,3.103885e-02,3.083577e-02,3.063455e-02,3.043533e-02,3.023827e-02,3.004346e-02,2.985103e-02
0.000000e+00,2.537304e-11,1.141896e-10,9.945597e-10,3.931041e-09,7.238273e-09,2.586665e-08,2.705005e-08,7.129012e-08,8.971666e-08,1.524238e-07,2.245687e-07,2.844429e-07,4.638929e-07,4.825197e-07,7.604108e-07,8.400334e-07,1.126083e-06,1.369581e-06,1.579836e-06,2.047965e-06,2.116510e-06,2.728895e-06,2.859820e-06,3.409897e-06,3.789006e-06,4.153189e-06,4.821494e-06,4.953044e-06,5.803927e-06,5.944428e-06,6.700147e-06,7.144677e-06,7.635660e-06,8.408035e-06,8.604008e-06,9.598363e-06,9.719099e-06,1.061163e-05,1.106160e-05,1.163659e-05,1.241897e-05,1.266607e-05,1.369308e-05,1.377493e-05,1.471095e-05,1.511413e-05,1.571348e-05,1.642260e-05,1.669501e-05,1.765051e-05,1.768812e-05,1.857559e-05,1.890044e-05,1.946655e-05,2.005136e-05,2.032039e-05,2.113473e-05,2.190784e-05,2.214632e-05,2.263855e-05,2.308364e-05,2.332623e-05,2.394575e-05,2.397070e-05,2.457221e-05,2.473301e-05,2.513135e-05,2.544685e-05,2.564899e-05,2.608954e-05,2.612627e-05,2.656449e-05,2.666401e-05,2.696512e-05,2.717364e-05,2.732974e-05,2.762213e-05,2.766000e-05,2.795757e-05,2.801332e-05,2.822418e-05,2.835114e-05,2.846153e-05,2.863952e-05,2.867130e-05,2.885515e-05,2.888227e-05,2.901468e-05,2.908308e-05,2.915145e-05,2.924548e-05,2.926695e-05,2.936261e-05,2.937283e-05,2.943980e-05,2.946824e-05,2.949980e-05,2.953467e-05,2.954385e-05,2.957309e-05,2.957482e-05,2.958862e-05,2.959123e-05,2.959147e-05,2.958621e-05,2.958260e-05,2.956290e-05,2.956190e-05,2.953322e-05,2.952025e-05,2.949436e-05,2.946306e-05,2.944704e-05,2.939196e-05,2.932975e-05,2.930843e-05,2.926101e-05,2.921384e-05,2.918629e-05,2.910942e-05,2.910612e-05,2.902097e-05,2.899630e-05,2.893129e-05,2.887549e-05,2.883750e-05,2.874791e-05,2.873998e-05,2.863910e-05,2.861442e-05,2.853518e-05,2.847577e-05,2.842853e-05,2.833266e-05,2.831945e-05,2.820821e-05,2.818572e-05,2.809504e-05,2.803551e-05,2.798018e-05,2.788256e-05,2.786386e-05,2.774625e-05,2.772733e-05,2.762756e-05,2.757024e-05,2.750794e-05,2.741170e-05,2.738757e-05,2.726658e-05,2.725203e-05,2.714512e-05,2.709156e-05,2.702332e-05,2.693058e-05,2.690128e-05,2.677912e-05,2.676935e-05,2.665695e-05,2.660809e-05,2.653485e-05,2.644703e-05,2.641291e-05,2.629121e-05,2.628635e-05,2.616984e-05,2.612623e-05,2.604885e-05,2.596683e-05,2.592831e-05,2.580828e-05,2.565071e-05,2.549423e-05,2.533895e-05,2.518495e-05,2.503233e-05,2.488114e-05,2.473145e-05,2.458332e-05,2.443680e-05,2.429192e-05,2.414873e-05,2.400726e-05,2.386754e-05,2.372958e-05,2.359341e-05,2.345903e-05,2.332646e-05,2.319572e-05,2.306679e-05,2.293968e-05,2.281441e-05,2.269095e-05,2.256931e-05,2.244948e-05
0.000000e+00,2.299122e-11,5.406380e-11,1.912800e-10,4.411710e-10,6.470646e-10,1.483166e-09,1.528338e-09,2.977175e-09,3.505183e-09,5.148114e-09,6.868355e-09,8.213891e-09,1.198717e-08,1.236358e-08,1.778409e-08,1.929151e-08,2.461535e-08,2.907488e-08,3.288976e-08,4.128542e-08,4.250371e-08,5.325727e-08,5.552468e-08,6.492475e-08,7.128361e-08,7.730112e-08,8.811880e-08,9.021500e-08,1.035246e-07,1.056825e-07,1.171096e-07,1.236970e-07,1.308652e-07,1.419293e-07,1.446978e-07,1.585232e-07,1.601781e-07,1.722653e-07,1.782677e-07,1.858561e-07,1.960465e-07,1.992352e-07,2.123503e-07,2.133867e-07,2.251562e-07,2.301833e-07,2.376153e-07,2.463536e-07,2.496969e-07,2.613765e-07,2.618351e-07,2.726355e-07,2.765831e-07,2.834606e-07,2.905693e-07,2.938433e-07,3.037788e-07,3.132663e-07,3.162079e-07,3.223076e-07,3.278618e-07,3.309072e-07,3.387532e-07,3.390715e-07,3.468089e-07,3.489001e-07,3.541287e-07,3.583245e-07,3.610416e-07,3.670518e-07,3.675589e-07,3.736929e-07,3.751093e-07,3.794558e-07,3.825256e-07,3.848602e-07,3.893296e-07,3.899188e-07,3.946443e-07,3.955506e-07,3.990495e-07,4.012177e-07,4.031467e-07,4.063596e-07,4.069485e-07,4.104670e-07,4.110044e-07,4.137139e-07,4.151794e-07,4.167009e-07,4.189111e-07,4.194394e-07,4.219402e-07,4.222249e-07,4.242140e-07,4.251453e-07,4.262712e-07,4.276959e-07,4.281217e-07,4.297751e-07,4.298991e-07,4.312408e-07,4.317765e-07,4.325277e-07,4.333485e-07,4.336445e-07,4.345996e-07,4.346345e-07,4.354009e-07,4.356532e-07,4.360562e-07,4.364221e-07,4.365728e-07,4.369579e-07,4.372184e-07,4.372765e-07,4.373608e-07,4.373928e-07,4.373913e-07,4.373211e-07,4.373161e-07,4.371410e-07,4.370748e-07,4.368714e-07,4.366665e-07,4.365126e-07,4.361082e-07,4.360698e-07,4.355479e-07,4.354113e-07,4.349514e-07,4.345865e-07,4.342848e-07,4.336437e-07,4.335525e-07,4.327584e-07,4.325925e-07,4.319064e-07,4.314418e-07,4.310003e-07,4.302000e-07,4.300437e-07,4.290398e-07,4.288750e-07,4.279919e-07,4.274743e-07,4.269032e-07,4.260048e-07,4.257765e-07,4.246147e-07,4.244730e-07,4.234204e-07,4.228853e-07,4.221962e-07,4.212472e-07,4.209444e-07,4.196675e-07,4.195643e-07,4.183676e-07,4.178416e-07,4.170467e-07,4.160839e-07,4.157070e-07,4.143502e-07,4.142956e-07,4.129782e-07,4.124809e-07,4.115926e-07,4.106436e-07,4.101952e-07,4.087874e-07,4.069157e-07,4.050316e-07,4.031381e-07,4.012378e-07,3.993335e-07,3.974273e-07,3.955216e-07,3.936183e-07,3.917193e-07,3.898264e-07,3.879412e-07,3.860651e-07,3.841995e-07,3.823457e-07,3.805048e-07,3.786779e-07,3.768658e-07,3.750696e-07,3.732900e-07,3.715276e-07,3.697832e-07,3.680573e-07,3.663504e-07,3.646630e-07
0.000000e+00,1.771551e-11,9.085624e-11,1.029637e-09,5.123817e-09,1.066262e-08,5.153458e-08,5.453374e-08,1.896199e-07,2.562783e-07,5.168496e-07,8.675094e-07,1.191526e-06,2.304836e-06,2.431045e-06,4.519762e-06,5.185206e-06,7.810828e-06,1.033302e-05,1.272440e-05,1.877079e-05,1.974092e-05,2.938770e-05,3.168120e-05,4.221785e-05,5.033162e-05,5.878303e-05,7.596667e-05,7.960391e-05,1.051427e-04,1.096935e-04,1.357809e-04,1.523862e-04,1.718035e-04,2.046225e-04,2.133898e-04,2.606102e-04,2.666546e-04,3.134278e-04,3.384085e-04,3.717041e-04,4.195056e-04,4.352077e-04,5.036251e-04,5.092997e-04,5.765724e-04,6.069224e-04,6.536083e-04,7.113345e-04,7.342470e-04,8.179710e-04,8.213766e-04,9.042427e-04,9.358191e-04,9.925162e-04,1.053407e-03,1.082247e-03,1.172900e-03,1.263959e-03,1.293103e-03,1.354932e-03,1.412895e-03,1.445356e-03,1.531248e-03,1.534802e-03,1.622875e-03,1.647240e-03,1.709219e-03,1.760063e-03,1.793518e-03,1.869027e-03,1.875494e-03,1.954905e-03,1.973558e-03,2.031548e-03,2.073196e-03,2.105256e-03,2.167585e-03,2.175896e-03,2.243364e-03,2.256470e-03,2.307588e-03,2.339685e-03,2.368521e-03,2.417145e-03,2.426141e-03,2.480449e-03,2.488832e-03,2.531464e-03,2.554792e-03,2.579223e-03,2.615120e-03,2.623777e-03,2.665192e-03,2.669954e-03,2.703542e-03,2.719467e-03,2.738913e-03,2.763859e-03,2.771397e-03,2.801091e-03,2.803349e-03,2.828099e-03,2.838173e-03,2.852526e-03,2.868576e-03,2.874480e-03,2.894070e-03,2.894806e-03,2.911406e-03,2.917117e-03,2.926598e-03,2.935758e-03,2.939752e-03,2.950977e-03,2.960375e-03,2.963014e-03,2.968050e-03,2.972103e-03,2.974100e-03,2.978470e-03,2.978623e-03,2.981711e-03,2.982330e-03,2.983453e-03,2.983890e-03,2.983938e-03,2.983343e-03,2.983246e-03,2.981458e-03,2.980874e-03,2.978650e-03,2.976659e-03,2.974894e-03,2.970861e-03,2.970260e-03,2.964813e-03,2.963632e-03,2.958616e-03,2.955117e-03,2.951728e-03,2.945449e-03,2.944205e-03,2.936100e-03,2.934752e-03,2.927462e-03,2.923142e-03,2.918341e-03,2.910725e-03,2.908779e-03,2.898820e-03,2.897600e-03,2.888502e-03,2.883858e-03,2.877863e-03,2.869584e-03,2.866938e-03,2.855759e-03,2.854855e-03,2.844357e-03,2.839741e-03,2.832762e-03,2.824308e-03,2.820999e-03,2.809095e-03,2.808616e-03,2.797071e-03,2.792718e-03,2.784952e-03,2.776666e-03,2.772756e-03,2.760503e-03,2.744271e-03,2.728008e-03,2.711747e-03,2.695519e-03,2.679351e-03,2.663269e-03,2.647294e-03,2.631447e-03,2.615745e-03,2.600204e-03,2.584838e-03,2.569658e-03,2.554676e-03,2.539902e-03,2.525342e-03,2.511003e-03,2.496892e-03,2.483012e-03,2.469369e-03,2.455964e-03,2.442800e-03,2.429878e-03,2.417200e-03,2.404765e-03
0.000000e+00,2.445106e-10,1.244341e-09,1.388615e-08,6.819778e-08,1.409510e-07,6.702725e-07,7.088463e-07,2.431432e-06,3.275616e-06,6.559601e-06,1.096002e-05,1.501812e-05,2.895077e-05,3.053078e-05,5.672647e-05,6.509262e-05,9.819108e-05,1.300927e-04,1.604079e-04,2.372211e-04,2.495566e-04,3.722103e-04,4.013479e-04,5.350029e-04,6.376573e-04,7.443277e-04,9.604606e-04,1.006092e-03,1.325530e-03,1.382301e-03,1.707078e-03,1.913357e-03,2.154277e-03,2.561087e-03,2.669731e-03,3.255079e-03,3.330060e-03,3.911002e-03,4.221934e-03,4.637247e-03,5.235550e-03,5.432667e-03,6.295286e-03,6.367122e-03,7.222364e-03,7.610499e-03,8.210482e-03,8.957491e-03,9.255628e-03,1.035329e-02,1.039822e-02,1.149856e-02,1.192151e-02,1.268620e-02,1.351523e-02,1.391077e-02,1.516667e-02,1.644828e-02,1.686290e-02,1.774996e-02,1.859100e-02,1.906616e-02,2.033837e-02,2.039149e-02,2.172072e-02,2.209292e-02,2.304887e-02,2.384326e-02,2.437120e-02,2.557879e-02,2.568328e-02,2.698096e-02,2.728984e-02,2.826044e-02,2.896768e-02,2.951822e-02,3.060460e-02,3.075114e-02,3.195636e-02,3.219386e-02,3.313139e-02,3.372972e-02,3.427401e-02,3.520737e-02,3.538233e-02,3.645476e-02,3.662292e-02,3.748996e-02,3.797331e-02,3.848687e-02,3.925627e-02,3.944467e-02,4.036276e-02,4.047025e-02,4.124077e-02,4.161434e-02,4.207850e-02,4.268823e-02,4.287596e-02,4.363328e-02,4.369214e-02,4.435077e-02,4.462670e-02,4.502886e-02,4.549299e-02,4.566809e-02,4.626912e-02,4.629238e-02,4.683269e-02,4.702656e-02,4.735962e-02,4.769744e-02,4.785078e-02,4.830713e-02,4.872964e-02,4.885786e-02,4.911934e-02,4.935202e-02,4.947729e-02,4.979205e-02,4.980456e-02,5.010225e-02,5.018045e-02,5.037144e-02,5.051974e-02,5.061325e-02,5.081247e-02,5.082877e-02,5.101910e-02,5.106115e-02,5.118532e-02,5.126827e-02,5.132850e-02,5.143627e-02,5.144969e-02,5.154992e-02,5.156754e-02,5.163021e-02,5.166441e-02,5.169155e-02,5.172913e-02,5.173489e-02,5.176118e-02,5.176387e-02,5.177133e-02,5.177073e-02,5.176623e-02,5.175173e-02,5.174671e-02,5.171362e-02,5.170878e-02,5.166775e-02,5.164372e-02,5.160986e-02,5.155829e-02,5.154070e-02,5.146097e-02,5.145415e-02,5.137135e-02,5.133288e-02,5.127250e-02,5.119596e-02,5.116504e-02,5.104957e-02,5.104479e-02,5.092667e-02,5.088071e-02,5.079687e-02,5.070494e-02,5.066071e-02,5.051867e-02,5.032298e-02,5.011891e-02,4.990741e-02,4.968938e-02,4.946565e-02,4.923700e-02,4.900416e-02,4.876779e-02,4.852851e-02,4.828691e-02,4.804351e-02,4.779880e-02,4.755323e-02,4.730723e-02,4.706118e-02,4.681542e-02,4.657028e-02,4.632604e-02,4.608298e-02,4.584134e-02,4.560134e-02,4.536318e-02,4.512703e-02,4.489306e-02
0.000000e+00,2.738299e-11,1.222165e-10,1.048085e-09,4.091317e-09,7.485845e-09,2.633881e-08,2.752652e-08,7.139045e-08,8.941313e-08,1.498868e-07,2.180727e-07,2.737152e-07,4.365691e-07,4.532128e-07,6.981753e-07,7.677179e-07,1.017409e-06,1.231293e-06,1.417763e-06,1.840138e-06,1.902846e-06,2.472242e-06,2.595930e-06,3.121829e-06,3.489151e-06,3.844917e-06,4.503246e-06,4.633461e-06,5.478892e-06,5.618861e-06,6.372550e-06,6.816120e-06,7.305891e-06,8.075533e-06,8.270593e-06,9.258652e-06,9.378423e-06,1.026247e-05,1.070729e-05,1.127494e-05,1.204618e-05,1.228955e-05,1.330041e-05,1.338095e-05,1.430229e-05,1.469949e-05,1.529066e-05,1.599172e-05,1.626164e-05,1.721199e-05,1.724953e-05,1.813903e-05,1.846664e-05,1.904065e-05,1.963838e-05,1.991521e-05,2.076150e-05,2.157869e-05,2.183394e-05,2.236624e-05,2.285461e-05,2.312392e-05,2.382317e-05,2.385171e-05,2.454978e-05,2.473996e-05,2.521846e-05,2.560574e-05,2.585820e-05,2.642169e-05,2.646957e-05,2.705319e-05,2.718920e-05,2.760975e-05,2.790989e-05,2.814001e-05,2.858548e-05,2.864473e-05,2.912470e-05,2.921779e-05,2.958073e-05,2.980867e-05,3.001363e-05,3.035998e-05,3.042421e-05,3.081327e-05,3.087358e-05,3.118162e-05,3.135130e-05,3.153004e-05,3.179493e-05,3.185929e-05,3.217013e-05,3.220622e-05,3.246329e-05,3.258687e-05,3.273949e-05,3.293850e-05,3.299944e-05,3.324380e-05,3.326269e-05,3.347322e-05,3.356096e-05,3.368836e-05,3.383475e-05,3.388982e-05,3.407819e-05,3.408547e-05,3.425406e-05,3.431442e-05,3.441797e-05,3.452288e-05,3.457047e-05,3.471205e-05,3.484323e-05,3.488309e-05,3.496449e-05,3.503709e-05,3.507627e-05,3.517508e-05,3.517903e-05,3.527318e-05,3.529806e-05,3.535915e-05,3.540696e-05,3.543731e-05,3.550267e-05,3.550806e-05,3.557175e-05,3.558602e-05,3.562873e-05,3.565783e-05,3.567933e-05,3.571884e-05,3.572387e-05,3.576267e-05,3.576977e-05,3.579601e-05,3.581129e-05,3.582418e-05,3.584405e-05,3.584745e-05,3.586607e-05,3.586864e-05,3.588030e-05,3.588564e-05,3.589037e-05,3.589559e-05,3.589651e-05,3.589894e-05,3.589899e-05,3.589787e-05,3.589633e-05,3.589348e-05,3.588806e-05,3.588598e-05,3.587555e-05,3.587459e-05,3.586236e-05,3.585635e-05,3.584657e-05,3.583369e-05,3.582835e-05,3.580784e-05,3.580698e-05,3.578520e-05,3.577655e-05,3.576055e-05,3.574272e-05,3.573404e-05,3.570578e-05,3.566601e-05,3.562367e-05,3.557901e-05,3.553226e-05,3.548362e-05,3.543331e-05,3.538151e-05,3.532840e-05,3.527414e-05,3.521890e-05,3.516280e-05,3.510600e-05,3.504860e-05,3.499074e-05,3.493252e-05,3.487404e-05,3.481539e-05,3.475667e-05,3.469795e-05,3.463931e-05,3.458082e-05,3.452254e-05,3.446454e-05,3.440686e-05
0.000000e+00,4.424385e-11,2.038978e-10,1.858227e-09,7.618341e-09,1.428392e-08,5.312800e-08,5.563729e-08,1.509715e-07,1.911559e-07,3.286092e-07,4.869669e-07,6.181029e-07,1.009065e-06,1.049513e-06,1.653013e-06,1.826740e-06,2.457552e-06,3.005268e-06,3.487246e-06,4.590215e-06,4.754911e-06,6.254779e-06,6.580555e-06,7.959337e-06,8.912085e-06,9.823494e-06,1.147366e-05,1.179383e-05,1.381784e-05,1.414349e-05,1.584984e-05,1.681692e-05,1.785315e-05,1.941614e-05,1.979988e-05,2.166959e-05,2.188804e-05,2.344779e-05,2.419851e-05,2.512459e-05,2.632718e-05,2.669373e-05,2.815181e-05,2.826361e-05,2.949773e-05,3.000481e-05,3.073223e-05,3.155329e-05,3.185756e-05,3.287710e-05,3.291574e-05,3.379516e-05,3.410175e-05,3.461668e-05,3.512289e-05,3.534703e-05,3.599185e-05,3.655688e-05,3.672177e-05,3.704783e-05,3.732577e-05,3.747033e-05,3.781655e-05,3.782978e-05,3.813139e-05,3.820615e-05,3.838007e-05,3.850581e-05,3.858044e-05,3.872583e-05,3.873681e-05,3.885322e-05,3.887562e-05,3.893337e-05,3.896371e-05,3.898071e-05,3.899774e-05,3.899839e-05,3.898932e-05,3.898453e-05,3.895613e-05,3.893015e-05,3.890125e-05,3.884002e-05,3.882691e-05,3.873510e-05,3.871891e-05,3.862766e-05,3.857103e-05,3.850626e-05,3.840012e-05,3.837243e-05,3.822753e-05,3.820946e-05,3.807284e-05,3.800196e-05,3.790948e-05,3.778017e-05,3.773849e-05,3.756081e-05,3.754633e-05,3.737730e-05,3.730243e-05,3.718872e-05,3.705022e-05,3.699580e-05,3.679915e-05,3.679122e-05,3.659937e-05,3.652679e-05,3.639699e-05,3.625813e-05,3.619248e-05,3.598629e-05,3.577881e-05,3.571221e-05,3.557041e-05,3.543670e-05,3.536140e-05,3.516047e-05,3.515210e-05,3.494276e-05,3.488418e-05,3.473364e-05,3.460837e-05,3.452497e-05,3.433355e-05,3.431693e-05,3.410973e-05,3.406014e-05,3.390352e-05,3.378853e-05,3.369845e-05,3.351905e-05,3.349467e-05,3.329228e-05,3.325198e-05,3.309140e-05,3.298758e-05,3.289213e-05,3.272605e-05,3.269456e-05,3.249876e-05,3.246760e-05,3.230481e-05,3.221239e-05,3.211277e-05,3.196054e-05,3.192269e-05,3.173462e-05,3.171219e-05,3.154860e-05,3.146741e-05,3.136467e-05,3.122630e-05,3.118286e-05,3.100320e-05,3.098892e-05,3.082570e-05,3.075531e-05,3.065039e-05,3.052552e-05,3.047727e-05,3.030637e-05,3.029958e-05,3.013768e-05,3.007749e-05,2.997121e-05,2.985927e-05,2.980696e-05,2.964493e-05,2.943444e-05,2.922780e-05,2.902499e-05,2.882598e-05,2.863075e-05,2.843927e-05,2.825149e-05,2.806739e-05,2.788691e-05,2.771002e-05,2.753667e-05,2.736681e-05,2.720040e-05,2.703737e-05,2.687768e-05,2.672128e-05,2.656811e-05,2.641813e-05,2.627127e-05,2.612748e-05,2.598671e-05,2.584890e-05,2.571400e-05,2.558196e-05
0.000000e+00,5.517240e-12,2.742671e-11,2.914008e-10,1.368413e-09,2.760046e-09,1.234296e-08,1.302164e-08,4.220462e-08,5.604597e-08,1.085069e-07,1.768899e-07,2.388463e-07,4.470071e-07,4.702917e-07,8.493298e-07,9.679017e-07,1.426337e-06,1.853074e-06,2.245861e-06,3.191522e-06,3.337374e-06,4.710541e-06,5.018418e-06,6.355558e-06,7.310406e-06,8.246876e-06,9.999639e-06,1.034829e-05,1.261787e-05,1.299368e-05,1.501193e-05,1.619271e-05,1.748796e-05,1.950112e-05,2.000645e-05,2.253191e-05,2.283391e-05,2.503327e-05,2.611923e-05,2.748398e-05,2.929883e-05,2.986185e-05,3.214883e-05,3.232741e-05,3.433067e-05,3.517144e-05,3.639659e-05,3.780788e-05,3.833896e-05,4.015299e-05,4.022284e-05,4.183635e-05,4.241028e-05,4.338889e-05,4.437068e-05,4.481228e-05,4.610973e-05,4.728566e-05,4.763715e-05,4.834544e-05,4.896552e-05,4.929513e-05,5.010934e-05,5.014128e-05,5.089069e-05,5.108413e-05,5.155027e-05,5.190575e-05,5.212687e-05,5.258982e-05,5.262719e-05,5.305768e-05,5.315130e-05,5.342447e-05,5.360421e-05,5.373332e-05,5.396149e-05,5.398964e-05,5.419840e-05,5.423486e-05,5.436420e-05,5.443484e-05,5.449121e-05,5.457075e-05,5.458327e-05,5.464382e-05,5.465080e-05,5.467598e-05,5.468217e-05,5.468257e-05,5.467112e-05,5.466610e-05,5.462883e-05,5.462306e-05,5.457281e-05,5.454269e-05,5.449983e-05,5.443405e-05,5.441154e-05,5.430939e-05,5.430066e-05,5.419470e-05,5.414557e-05,5.406863e-05,5.397142e-05,5.393225e-05,5.378652e-05,5.378051e-05,5.363229e-05,5.357485e-05,5.347036e-05,5.335620e-05,5.330141e-05,5.312611e-05,5.294503e-05,5.288596e-05,5.275872e-05,5.263697e-05,5.256768e-05,5.238024e-05,5.237235e-05,5.217317e-05,5.211676e-05,5.197050e-05,5.184739e-05,5.176472e-05,5.157293e-05,5.155615e-05,5.134509e-05,5.129410e-05,5.113184e-05,5.101155e-05,5.091664e-05,5.072586e-05,5.069975e-05,5.048140e-05,5.043758e-05,5.026181e-05,5.014720e-05,5.004117e-05,4.985517e-05,4.981968e-05,4.959750e-05,4.956191e-05,4.937482e-05,4.926779e-05,4.915177e-05,4.897317e-05,4.892851e-05,4.870517e-05,4.867837e-05,4.848187e-05,4.838367e-05,4.825874e-05,4.808934e-05,4.803589e-05,4.781342e-05,4.779564e-05,4.759143e-05,4.750279e-05,4.737001e-05,4.721100e-05,4.714926e-05,4.692924e-05,4.692045e-05,4.671004e-05,4.663134e-05,4.649172e-05,4.634380e-05,4.627435e-05,4.605800e-05,4.577406e-05,4.549211e-05,4.521226e-05,4.493460e-05,4.465923e-05,4.438624e-05,4.411568e-05,4.384765e-05,4.358218e-05,4.331933e-05,4.305915e-05,4.280169e-05,4.254697e-05,4.229502e-05,4.204588e-05,4.179955e-05,4.155607e-05,4.131544e-05,4.107767e-05,4.084276e-05,4.061073e-05,4.038157e-05,4.015528e-05,3.993186e-05
0.000000e+00,1.196715e-10,3.871559e-10,1.969663e-09,5.417024e-09,8.487514e-09,2.185138e-08,2.259769e-08,4.720045e-08,5.637817e-08,8.534095e-08,1.160893e-07,1.403281e-07,2.087726e-07,2.156200e-07,3.141613e-07,3.414595e-07,4.371963e-07,5.164685e-07,5.836345e-07,7.297642e-07,7.508215e-07,9.357587e-07,9.746291e-07,1.135712e-06,1.244815e-06,1.348281e-06,1.534995e-06,1.571293e-06,1.802707e-06,1.840381e-06,2.040566e-06,2.156471e-06,2.282986e-06,2.478992e-06,2.528167e-06,2.774416e-06,2.803962e-06,3.020170e-06,3.127773e-06,3.264009e-06,3.447265e-06,3.504673e-06,3.741066e-06,3.759764e-06,3.972255e-06,4.063095e-06,4.197463e-06,4.355550e-06,4.416060e-06,4.627554e-06,4.635861e-06,4.831577e-06,4.903144e-06,5.027873e-06,5.156856e-06,5.216281e-06,5.396712e-06,5.569144e-06,5.622639e-06,5.733622e-06,5.834749e-06,5.890227e-06,6.033270e-06,6.039077e-06,6.180329e-06,6.218542e-06,6.314162e-06,6.390981e-06,6.440770e-06,6.551052e-06,6.560367e-06,6.673179e-06,6.699271e-06,6.779448e-06,6.836195e-06,6.879424e-06,6.962381e-06,6.973337e-06,7.061411e-06,7.078346e-06,7.143881e-06,7.184628e-06,7.220978e-06,7.281745e-06,7.292919e-06,7.359922e-06,7.370199e-06,7.422202e-06,7.450479e-06,7.479965e-06,7.523059e-06,7.533413e-06,7.582740e-06,7.588391e-06,7.628133e-06,7.646907e-06,7.669775e-06,7.699021e-06,7.707840e-06,7.742498e-06,7.745129e-06,7.773913e-06,7.785606e-06,7.802240e-06,7.820809e-06,7.827632e-06,7.850231e-06,7.851079e-06,7.870179e-06,7.876737e-06,7.887608e-06,7.898087e-06,7.902647e-06,7.915419e-06,7.926041e-06,7.929004e-06,7.934626e-06,7.939101e-06,7.941282e-06,7.945953e-06,7.946113e-06,7.949217e-06,7.949790e-06,7.950689e-06,7.950827e-06,7.950620e-06,7.949270e-06,7.949097e-06,7.946201e-06,7.945310e-06,7.942012e-06,7.939129e-06,7.936605e-06,7.930897e-06,7.930053e-06,7.922423e-06,7.920774e-06,7.913783e-06,7.908911e-06,7.904194e-06,7.895450e-06,7.893716e-06,7.882406e-06,7.880523e-06,7.870319e-06,7.864256e-06,7.857506e-06,7.846766e-06,7.844017e-06,7.829898e-06,7.828163e-06,7.815194e-06,7.808550e-06,7.799948e-06,7.788024e-06,7.784201e-06,7.767990e-06,7.766674e-06,7.751354e-06,7.744587e-06,7.734326e-06,7.721842e-06,7.716940e-06,7.699227e-06,7.698512e-06,7.681218e-06,7.674667e-06,7.662940e-06,7.650372e-06,7.644422e-06,7.625688e-06,7.600670e-06,7.575372e-06,7.549843e-06,7.524128e-06,7.498269e-06,7.472308e-06,7.446279e-06,7.420218e-06,7.394156e-06,7.368123e-06,7.342144e-06,7.316246e-06,7.290451e-06,7.264781e-06,7.239256e-06,7.213893e-06,7.188708e-06,7.163717e-06,7.138934e-06,7.114371e-06,7.090039e-06,7.065948e-06,7.042109e-06,7.018529e-06
0.000000e+00,4.423172e-11,1.132995e-10,4.392438e-10,1.057766e-09,1.576521e-09,3.713893e-09,3.830069e-09,7.566547e-09,8.928703e-09,1.315638e-08,1.755827e-08,2.098151e-08,3.049030e-08,3.143197e-08,4.487613e-08,4.858215e-08,6.159051e-08,7.242445e-08,8.167346e-08,1.020531e-07,1.050196e-07,1.313874e-07,1.369983e-07,1.604884e-07,1.766057e-07,1.920372e-07,2.202320e-07,2.257638e-07,2.614094e-07,2.672738e-07,2.987210e-07,3.171489e-07,3.374490e-07,3.692854e-07,3.773469e-07,4.181730e-07,4.231233e-07,4.596934e-07,4.781243e-07,5.016847e-07,5.337832e-07,5.439368e-07,5.862552e-07,5.896381e-07,6.284626e-07,6.452779e-07,6.703985e-07,7.003435e-07,7.119204e-07,7.529042e-07,7.545308e-07,7.932420e-07,8.075874e-07,8.328424e-07,8.593097e-07,8.716287e-07,9.095378e-07,9.465191e-07,9.581504e-07,9.825328e-07,1.005060e-06,1.017549e-06,1.050206e-06,1.051546e-06,1.084510e-06,1.093553e-06,1.116432e-06,1.135085e-06,1.147312e-06,1.174801e-06,1.177150e-06,1.205954e-06,1.212714e-06,1.233734e-06,1.248848e-06,1.260502e-06,1.283232e-06,1.286272e-06,1.311061e-06,1.315903e-06,1.334888e-06,1.346903e-06,1.357771e-06,1.376278e-06,1.379730e-06,1.400787e-06,1.404073e-06,1.420962e-06,1.430340e-06,1.440278e-06,1.455127e-06,1.458757e-06,1.476420e-06,1.478486e-06,1.493290e-06,1.500467e-06,1.509388e-06,1.521121e-06,1.524738e-06,1.539360e-06,1.540498e-06,1.553275e-06,1.558649e-06,1.566507e-06,1.575621e-06,1.579074e-06,1.590998e-06,1.591462e-06,1.602300e-06,1.606220e-06,1.612998e-06,1.619939e-06,1.623113e-06,1.632664e-06,1.641668e-06,1.644438e-06,1.650146e-06,1.655303e-06,1.658113e-06,1.665299e-06,1.665589e-06,1.672589e-06,1.674467e-06,1.679131e-06,1.682843e-06,1.685231e-06,1.690465e-06,1.690903e-06,1.696165e-06,1.697368e-06,1.701030e-06,1.703587e-06,1.705513e-06,1.709154e-06,1.709629e-06,1.713391e-06,1.714102e-06,1.716812e-06,1.718460e-06,1.719905e-06,1.722259e-06,1.722683e-06,1.725158e-06,1.725527e-06,1.727343e-06,1.728291e-06,1.729247e-06,1.730577e-06,1.730884e-06,1.732263e-06,1.732411e-06,1.733394e-06,1.733817e-06,1.734289e-06,1.734817e-06,1.734957e-06,1.735407e-06,1.735434e-06,1.735649e-06,1.735690e-06,1.735692e-06,1.735604e-06,1.735544e-06,1.735214e-06,1.735197e-06,1.734709e-06,1.734486e-06,1.734038e-06,1.733491e-06,1.733208e-06,1.732227e-06,1.730712e-06,1.728960e-06,1.726988e-06,1.724809e-06,1.722436e-06,1.719884e-06,1.717163e-06,1.714287e-06,1.711266e-06,1.708111e-06,1.704833e-06,1.701441e-06,1.697944e-06,1.694351e-06,1.690671e-06,1.686911e-06,1.683080e-06,1.679184e-06,1.675230e-06,1.671225e-06,1.667174e-06,1.663085e-06,1.658961e-06,1.654809e-06
0.000000e+00,1.535308e-10,4.528731e-10,2.046406e-09,5.280165e-09,8.062522e-09,1.973259e-08,2.037095e-08,4.093820e-08,4.842794e-08,7.158713e-08,9.553694e-08,1.140440e-07,1.649554e-07,1.699618e-07,2.409058e-07,2.603299e-07,3.282880e-07,3.848388e-07,4.332327e-07,5.406241e-07,5.563638e-07,6.975352e-07,7.278523e-07,8.555964e-07,9.437693e-07,1.028346e-06,1.182622e-06,1.212779e-06,1.405536e-06,1.436928e-06,1.603355e-06,1.699238e-06,1.803341e-06,1.963242e-06,2.003064e-06,2.200536e-06,2.224001e-06,2.394149e-06,2.477775e-06,2.582614e-06,2.721760e-06,2.764897e-06,2.940184e-06,2.953885e-06,3.107847e-06,3.172667e-06,3.267415e-06,3.377104e-06,3.418562e-06,3.561080e-06,3.566599e-06,3.694870e-06,3.740894e-06,3.819925e-06,3.900005e-06,3.936314e-06,4.044173e-06,4.143692e-06,4.173814e-06,4.235105e-06,4.289476e-06,4.318678e-06,4.391805e-06,4.394705e-06,4.463497e-06,4.481507e-06,4.525380e-06,4.559330e-06,4.580684e-06,4.626041e-06,4.629743e-06,4.672892e-06,4.682404e-06,4.710458e-06,4.729178e-06,4.742766e-06,4.767097e-06,4.770129e-06,4.792855e-06,4.796870e-06,4.811238e-06,4.819176e-06,4.825562e-06,4.834656e-06,4.836098e-06,4.843108e-06,4.843919e-06,4.846838e-06,4.847534e-06,4.847525e-06,4.846034e-06,4.845392e-06,4.840652e-06,4.839918e-06,4.833505e-06,4.829647e-06,4.824141e-06,4.815652e-06,4.812739e-06,4.799466e-06,4.798329e-06,4.784483e-06,4.778045e-06,4.767938e-06,4.755138e-06,4.749972e-06,4.730715e-06,4.729920e-06,4.710292e-06,4.702677e-06,4.688818e-06,4.673670e-06,4.666400e-06,4.643141e-06,4.619135e-06,4.611309e-06,4.594469e-06,4.578376e-06,4.569227e-06,4.544523e-06,4.543485e-06,4.517315e-06,4.509919e-06,4.490782e-06,4.474715e-06,4.463949e-06,4.439047e-06,4.436874e-06,4.409608e-06,4.403042e-06,4.382202e-06,4.366811e-06,4.354702e-06,4.330456e-06,4.327148e-06,4.299581e-06,4.294069e-06,4.272036e-06,4.257733e-06,4.244547e-06,4.221520e-06,4.217142e-06,4.189851e-06,4.185497e-06,4.162699e-06,4.149723e-06,4.135709e-06,4.114248e-06,4.108903e-06,4.082299e-06,4.079120e-06,4.055914e-06,4.044379e-06,4.029766e-06,4.010060e-06,4.003868e-06,3.978233e-06,3.976193e-06,3.952871e-06,3.942806e-06,3.927795e-06,3.909921e-06,3.903011e-06,3.878529e-06,3.877556e-06,3.854354e-06,3.845728e-06,3.830494e-06,3.814450e-06,3.806952e-06,3.783733e-06,3.753584e-06,3.724009e-06,3.695012e-06,3.666596e-06,3.638762e-06,3.611507e-06,3.584832e-06,3.558731e-06,3.533202e-06,3.508239e-06,3.483836e-06,3.459988e-06,3.436687e-06,3.413925e-06,3.391695e-06,3.369988e-06,3.348795e-06,3.328108e-06,3.307917e-06,3.288214e-06,3.268988e-06,3.250230e-06,3.231930e-06,3.214080e-06
0.000000e+00,1.059509e-10,4.919539e-10,4.554988e-09,1.895025e-08,3.581944e-08,1.360387e-07,1.425841e-07,3.948045e-07,5.025636e-07,8.752100e-07,1.309895e-06,1.672867e-06,2.765677e-06,2.879415e-06,4.586301e-06,5.080249e-06,6.880413e-06,8.450047e-06,9.835661e-06,1.302260e-05,1.350066e-05,1.788775e-05,1.885011e-05,2.297032e-05,2.586968e-05,2.869008e-05,3.393056e-05,3.496935e-05,4.172255e-05,4.284128e-05,4.886411e-05,5.240594e-05,5.631281e-05,6.244215e-05,6.399345e-05,7.183754e-05,7.278681e-05,7.978332e-05,8.329723e-05,8.777562e-05,9.385065e-05,9.576568e-05,1.037110e-04,1.043435e-04,1.115748e-04,1.146903e-04,1.193260e-04,1.248224e-04,1.269387e-04,1.343914e-04,1.346860e-04,1.416671e-04,1.442402e-04,1.487521e-04,1.534556e-04,1.556361e-04,1.623116e-04,1.687732e-04,1.707952e-04,1.750179e-04,1.788997e-04,1.810438e-04,1.866226e-04,1.868507e-04,1.924396e-04,1.939656e-04,1.978121e-04,2.009329e-04,2.029710e-04,2.075310e-04,2.079192e-04,2.126605e-04,2.137680e-04,2.171989e-04,2.196533e-04,2.215386e-04,2.251970e-04,2.256844e-04,2.296408e-04,2.304098e-04,2.334128e-04,2.353030e-04,2.370053e-04,2.398879e-04,2.404233e-04,2.436718e-04,2.441762e-04,2.467559e-04,2.481794e-04,2.496806e-04,2.519089e-04,2.524508e-04,2.550715e-04,2.553761e-04,2.575475e-04,2.585924e-04,2.598837e-04,2.615687e-04,2.620849e-04,2.641556e-04,2.643157e-04,2.661004e-04,2.668440e-04,2.679238e-04,2.691639e-04,2.696302e-04,2.712239e-04,2.712854e-04,2.727091e-04,2.732180e-04,2.740898e-04,2.749711e-04,2.753702e-04,2.765539e-04,2.776449e-04,2.779751e-04,2.786469e-04,2.792431e-04,2.795634e-04,2.803660e-04,2.803978e-04,2.811537e-04,2.813517e-04,2.818342e-04,2.822077e-04,2.824426e-04,2.829413e-04,2.829820e-04,2.834554e-04,2.835595e-04,2.838656e-04,2.840688e-04,2.842155e-04,2.844757e-04,2.845078e-04,2.847452e-04,2.847863e-04,2.849301e-04,2.850064e-04,2.850651e-04,2.851417e-04,2.851526e-04,2.851948e-04,2.851975e-04,2.851940e-04,2.851789e-04,2.851523e-04,2.850909e-04,2.850718e-04,2.849544e-04,2.849380e-04,2.848022e-04,2.847246e-04,2.846169e-04,2.844551e-04,2.844004e-04,2.841544e-04,2.841335e-04,2.838805e-04,2.837635e-04,2.835803e-04,2.833487e-04,2.832554e-04,2.829072e-04,2.828928e-04,2.825372e-04,2.823989e-04,2.821467e-04,2.818701e-04,2.817370e-04,2.813094e-04,2.807196e-04,2.801034e-04,2.794632e-04,2.788014e-04,2.781203e-04,2.774220e-04,2.767084e-04,2.759816e-04,2.752431e-04,2.744947e-04,2.737381e-04,2.729745e-04,2.722055e-04,2.714323e-04,2.706562e-04,2.698783e-04,2.690996e-04,2.683211e-04,2.675439e-04,2.667686e-04,2.659962e-04,2.652274e-04,2.644629e-04,2.637032e-04
0.000000e+00,9.615597e-12,2.205170e-11,7.587874e-11,1.724657e-10,2.513822e-10,5.683467e-10,5.853480e-10,1.125554e-09,1.320292e-09,1.920105e-09,2.539393e-09,3.018284e-09,4.338941e-09,4.469059e-09,6.314895e-09,6.819910e-09,8.579429e-09,1.002889e-08,1.125455e-08,1.391663e-08,1.429972e-08,1.765635e-08,1.835963e-08,2.126379e-08,2.322026e-08,2.506712e-08,2.837804e-08,2.901838e-08,3.307528e-08,3.373160e-08,3.719990e-08,3.919359e-08,4.135798e-08,4.468757e-08,4.551848e-08,4.965357e-08,5.014686e-08,5.373857e-08,5.551447e-08,5.775205e-08,6.074308e-08,6.167571e-08,6.549432e-08,6.579488e-08,6.919559e-08,7.064099e-08,7.276983e-08,7.526042e-08,7.620971e-08,7.951006e-08,7.963912e-08,8.266759e-08,8.376897e-08,8.568059e-08,8.764664e-08,8.854870e-08,9.127271e-08,9.385431e-08,9.465072e-08,9.629594e-08,9.778653e-08,9.860066e-08,1.006876e-07,1.007720e-07,1.028137e-07,1.033628e-07,1.047301e-07,1.058214e-07,1.065252e-07,1.080734e-07,1.082035e-07,1.097694e-07,1.101289e-07,1.112273e-07,1.119982e-07,1.125816e-07,1.136912e-07,1.138368e-07,1.149969e-07,1.152180e-07,1.160664e-07,1.165880e-07,1.170491e-07,1.178106e-07,1.179492e-07,1.187704e-07,1.188947e-07,1.195165e-07,1.198491e-07,1.201912e-07,1.206818e-07,1.207978e-07,1.213398e-07,1.214007e-07,1.218205e-07,1.220133e-07,1.222428e-07,1.225266e-07,1.226098e-07,1.229244e-07,1.229473e-07,1.231893e-07,1.232819e-07,1.234071e-07,1.235362e-07,1.235804e-07,1.237116e-07,1.237161e-07,1.238031e-07,1.238267e-07,1.238569e-07,1.238732e-07,1.238753e-07,1.238603e-07,1.238138e-07,1.237925e-07,1.237376e-07,1.236740e-07,1.236334e-07,1.235088e-07,1.235031e-07,1.233481e-07,1.233005e-07,1.231701e-07,1.230527e-07,1.229703e-07,1.227687e-07,1.227504e-07,1.225115e-07,1.224514e-07,1.222549e-07,1.221039e-07,1.219818e-07,1.217287e-07,1.216933e-07,1.213906e-07,1.213284e-07,1.210746e-07,1.209054e-07,1.207464e-07,1.204619e-07,1.204068e-07,1.200568e-07,1.199999e-07,1.196972e-07,1.195214e-07,1.193288e-07,1.190282e-07,1.189523e-07,1.185684e-07,1.185219e-07,1.181779e-07,1.180041e-07,1.177814e-07,1.174764e-07,1.173794e-07,1.169727e-07,1.169399e-07,1.165616e-07,1.163961e-07,1.161468e-07,1.158461e-07,1.157287e-07,1.153078e-07,1.152909e-07,1.148846e-07,1.147317e-07,1.144594e-07,1.141693e-07,1.140326e-07,1.136046e-07,1.130385e-07,1.124716e-07,1.119047e-07,1.113384e-07,1.107733e-07,1.102100e-07,1.096489e-07,1.090905e-07,1.085352e-07,1.079834e-07,1.074355e-07,1.068918e-07,1.063526e-07,1.058180e-07,1.052885e-07,1.047641e-07,1.042451e-07,1.037317e-07,1.032239e-07,1.027220e-07,1.022260e-07,1.017360e-07,1.012522e-07,1.007746e-07
0.000000e+00,1.647411e-11,7.878043e-11,7.731435e-10,3.381410e-09,6.562431e-09,2.661553e-08,2.796927e-08,8.252364e-08,1.068863e-07,1.945852e-07,3.022284e-07,3.956948e-07,6.927664e-07,7.248290e-07,1.225339e-06,1.375480e-06,1.935171e-06,2.432458e-06,2.874006e-06,3.886143e-06,4.036780e-06,5.397118e-06,5.689595e-06,6.916296e-06,7.754975e-06,8.552093e-06,9.987041e-06,1.026473e-05,1.201970e-05,1.230242e-05,1.378831e-05,1.463503e-05,1.554712e-05,1.693417e-05,1.727704e-05,1.896236e-05,1.916096e-05,2.059009e-05,2.128522e-05,2.214952e-05,2.328358e-05,2.363194e-05,2.503047e-05,2.513857e-05,2.634003e-05,2.683811e-05,2.755716e-05,2.837515e-05,2.867998e-05,2.970804e-05,2.974720e-05,3.064223e-05,3.095592e-05,3.148458e-05,3.200640e-05,3.223807e-05,3.290642e-05,3.349394e-05,3.366564e-05,3.400535e-05,3.429498e-05,3.444559e-05,3.480596e-05,3.481972e-05,3.513281e-05,3.521021e-05,3.538980e-05,3.551907e-05,3.559549e-05,3.574337e-05,3.575448e-05,3.587111e-05,3.589326e-05,3.594949e-05,3.597811e-05,3.599344e-05,3.600643e-05,3.600647e-05,3.599183e-05,3.598585e-05,3.595247e-05,3.592314e-05,3.589109e-05,3.582431e-05,3.581014e-05,3.571182e-05,3.569462e-05,3.559816e-05,3.553868e-05,3.547095e-05,3.536053e-05,3.533182e-05,3.518226e-05,3.516368e-05,3.502358e-05,3.495117e-05,3.485695e-05,3.472567e-05,3.468346e-05,3.450404e-05,3.448946e-05,3.431956e-05,3.424453e-05,3.413080e-05,3.399262e-05,3.393844e-05,3.374310e-05,3.373523e-05,3.354535e-05,3.347367e-05,3.334568e-05,3.320905e-05,3.314455e-05,3.294235e-05,3.273946e-05,3.267444e-05,3.253619e-05,3.240604e-05,3.233284e-05,3.213781e-05,3.212969e-05,3.192696e-05,3.187030e-05,3.172486e-05,3.160400e-05,3.152361e-05,3.133933e-05,3.132335e-05,3.112425e-05,3.107666e-05,3.092646e-05,3.081630e-05,3.073008e-05,3.055853e-05,3.053523e-05,3.034202e-05,3.030358e-05,3.015053e-05,3.005166e-05,2.996084e-05,2.980294e-05,2.977301e-05,2.958712e-05,2.955756e-05,2.940321e-05,2.931565e-05,2.922132e-05,2.907730e-05,2.904151e-05,2.886379e-05,2.884261e-05,2.868821e-05,2.861163e-05,2.851478e-05,2.838443e-05,2.834352e-05,2.817445e-05,2.816102e-05,2.800758e-05,2.794145e-05,2.784292e-05,2.772574e-05,2.768048e-05,2.752024e-05,2.751388e-05,2.736223e-05,2.730588e-05,2.720642e-05,2.710173e-05,2.705282e-05,2.690142e-05,2.670492e-05,2.651221e-05,2.632326e-05,2.613804e-05,2.595651e-05,2.577862e-05,2.560434e-05,2.543361e-05,2.526640e-05,2.510264e-05,2.494230e-05,2.478531e-05,2.463162e-05,2.448119e-05,2.433395e-05,2.418985e-05,2.404883e-05,2.391084e-05,2.377583e-05,2.364373e-05,2.351449e-05,2.338806e-05,2.326438e-05,2.314339e-05
0.000000e+00,3.141338e-11,1.348298e-10,1.072397e-09,3.935245e-09,6.979062e-09,2.285683e-08,2.382444e-08,5.831363e-08,7.205482e-08,1.172533e-07,1.672956e-07,2.077764e-07,3.256111e-07,3.376393e-07,5.148428e-07,5.651988e-07,7.457218e-07,8.992615e-07,1.031650e-06,1.324407e-06,1.366898e-06,1.740106e-06,1.818134e-06,2.138101e-06,2.350811e-06,2.548999e-06,2.897204e-06,2.963442e-06,3.374476e-06,3.439561e-06,3.776968e-06,3.965960e-06,4.167059e-06,4.468175e-06,4.541766e-06,4.898766e-06,4.940325e-06,5.236270e-06,5.378242e-06,5.552967e-06,5.779186e-06,5.847980e-06,6.120838e-06,6.141705e-06,6.371436e-06,6.465480e-06,6.599988e-06,6.751163e-06,6.806989e-06,6.993157e-06,7.000182e-06,7.159389e-06,7.214547e-06,7.306712e-06,7.396659e-06,7.436243e-06,7.549149e-06,7.646618e-06,7.674741e-06,7.729831e-06,7.776141e-06,7.799944e-06,7.855963e-06,7.858072e-06,7.905276e-06,7.916673e-06,7.942557e-06,7.960556e-06,7.970854e-06,7.989700e-06,7.991036e-06,8.003907e-06,8.005992e-06,8.010206e-06,8.011117e-06,8.010609e-06,8.006576e-06,8.005731e-06,7.996134e-06,7.993694e-06,7.982326e-06,7.973638e-06,7.964771e-06,7.947433e-06,7.943883e-06,7.920038e-06,7.915972e-06,7.893576e-06,7.880035e-06,7.864802e-06,7.840305e-06,7.833993e-06,7.801396e-06,7.797375e-06,7.767235e-06,7.751761e-06,7.731710e-06,7.703913e-06,7.695005e-06,7.657281e-06,7.654224e-06,7.618687e-06,7.603036e-06,7.579355e-06,7.550647e-06,7.539405e-06,7.498946e-06,7.497318e-06,7.458075e-06,7.443278e-06,7.416881e-06,7.388725e-06,7.375443e-06,7.333833e-06,7.292116e-06,7.278753e-06,7.250350e-06,7.223620e-06,7.208591e-06,7.168551e-06,7.166885e-06,7.125276e-06,7.113649e-06,7.083804e-06,7.059001e-06,7.042504e-06,7.004688e-06,7.001408e-06,6.960546e-06,6.950776e-06,6.919943e-06,6.897327e-06,6.879622e-06,6.844392e-06,6.839607e-06,6.799914e-06,6.792016e-06,6.760562e-06,6.740239e-06,6.721566e-06,6.689094e-06,6.682939e-06,6.644693e-06,6.638609e-06,6.606838e-06,6.588810e-06,6.569384e-06,6.539715e-06,6.532339e-06,6.495709e-06,6.491342e-06,6.459502e-06,6.443705e-06,6.423720e-06,6.396815e-06,6.388370e-06,6.353454e-06,6.350679e-06,6.318975e-06,6.305306e-06,6.284934e-06,6.260698e-06,6.251334e-06,6.218176e-06,6.216858e-06,6.185458e-06,6.173788e-06,6.153182e-06,6.131486e-06,6.121347e-06,6.089951e-06,6.049179e-06,6.009167e-06,5.969908e-06,5.931399e-06,5.893631e-06,5.856598e-06,5.820291e-06,5.784704e-06,5.749826e-06,5.715648e-06,5.682162e-06,5.649357e-06,5.617223e-06,5.585750e-06,5.554929e-06,5.524748e-06,5.495196e-06,5.466264e-06,5.437940e-06,5.410214e-06,5.383075e-06,5.356513e-06,5.330516e-06,5.305074e-06
0.000000e+00,4.488817e-12,2.175308e-11,2.191786e-10,9.799337e-10,1.922874e-09,7.986864e-09,8.399829e-09,2.514516e-08,3.263448e-08,5.946298e-08,9.198304e-08,1.198235e-07,2.061027e-07,2.152408e-07,3.547779e-07,3.958134e-07,5.471620e-07,6.810086e-07,8.003998e-07,1.078989e-06,1.121238e-06,1.514384e-06,1.601908e-06,1.981636e-06,2.253469e-06,2.521277e-06,3.026758e-06,3.128041e-06,3.793687e-06,3.904987e-06,4.507916e-06,4.864683e-06,5.259367e-06,5.879547e-06,6.036477e-06,6.828118e-06,6.923593e-06,7.624012e-06,7.973138e-06,8.414952e-06,9.007773e-06,9.192918e-06,9.951097e-06,1.001072e-05,1.068385e-05,1.096879e-05,1.138667e-05,1.187218e-05,1.205608e-05,1.268957e-05,1.271413e-05,1.328547e-05,1.349059e-05,1.384288e-05,1.419980e-05,1.436157e-05,1.484187e-05,1.528454e-05,1.541843e-05,1.569075e-05,1.593224e-05,1.606193e-05,1.638685e-05,1.639974e-05,1.670597e-05,1.678631e-05,1.698251e-05,1.713497e-05,1.723126e-05,1.743722e-05,1.745414e-05,1.765304e-05,1.769741e-05,1.782977e-05,1.791972e-05,1.798609e-05,1.810807e-05,1.812363e-05,1.824398e-05,1.826611e-05,1.834857e-05,1.839720e-05,1.843878e-05,1.850436e-05,1.851586e-05,1.858095e-05,1.859033e-05,1.863513e-05,1.865755e-05,1.867937e-05,1.870821e-05,1.871456e-05,1.874151e-05,1.874422e-05,1.876095e-05,1.876731e-05,1.877357e-05,1.877896e-05,1.877995e-05,1.878067e-05,1.878050e-05,1.877622e-05,1.877309e-05,1.876705e-05,1.875777e-05,1.875359e-05,1.873620e-05,1.873543e-05,1.871524e-05,1.870688e-05,1.869102e-05,1.867283e-05,1.866381e-05,1.863389e-05,1.860149e-05,1.859063e-05,1.856682e-05,1.854354e-05,1.853010e-05,1.849308e-05,1.849150e-05,1.845119e-05,1.843962e-05,1.840933e-05,1.838353e-05,1.836606e-05,1.832512e-05,1.832152e-05,1.827582e-05,1.826469e-05,1.822908e-05,1.820249e-05,1.818141e-05,1.813876e-05,1.813290e-05,1.808365e-05,1.807371e-05,1.803373e-05,1.800754e-05,1.798324e-05,1.794042e-05,1.793223e-05,1.788078e-05,1.787251e-05,1.782895e-05,1.780396e-05,1.777681e-05,1.773490e-05,1.772440e-05,1.767177e-05,1.766545e-05,1.761899e-05,1.759572e-05,1.756608e-05,1.752582e-05,1.751310e-05,1.746008e-05,1.745584e-05,1.740707e-05,1.738587e-05,1.735408e-05,1.731597e-05,1.730117e-05,1.724835e-05,1.724624e-05,1.719566e-05,1.717672e-05,1.714312e-05,1.710749e-05,1.709075e-05,1.703859e-05,1.697008e-05,1.690200e-05,1.683439e-05,1.676729e-05,1.670074e-05,1.663477e-05,1.656940e-05,1.650467e-05,1.644059e-05,1.637718e-05,1.631447e-05,1.625246e-05,1.619118e-05,1.613063e-05,1.607083e-05,1.601179e-05,1.595351e-05,1.589599e-05,1.583926e-05,1.578330e-05,1.572812e-05,1.567373e-05,1.562012e-05,1.556730e-05
0.000000e+00,2.739577e-12,1.383506e-11,1.518089e-10,7.334172e-10,1.501586e-09,6.959379e-09,7.351909e-09,2.453768e-08,3.280317e-08,6.439830e-08,1.058335e-07,1.434313e-07,2.695761e-07,2.836603e-07,5.124830e-07,5.840307e-07,8.614440e-07,1.121728e-06,1.363716e-06,1.957766e-06,2.050959e-06,2.950530e-06,3.157907e-06,4.083569e-06,4.769942e-06,5.464021e-06,6.819780e-06,7.098400e-06,8.986053e-06,9.311185e-06,1.111975e-05,1.222769e-05,1.348645e-05,1.553559e-05,1.606811e-05,1.884261e-05,1.918733e-05,2.178461e-05,2.312510e-05,2.486647e-05,2.728432e-05,2.805905e-05,3.133258e-05,3.159707e-05,3.465736e-05,3.599510e-05,3.800445e-05,4.041261e-05,4.134626e-05,4.465705e-05,4.478850e-05,4.791329e-05,4.906804e-05,5.109393e-05,5.320411e-05,5.418063e-05,5.715780e-05,6.001262e-05,6.089860e-05,6.273499e-05,6.440420e-05,6.531734e-05,6.765989e-05,6.775454e-05,7.004363e-05,7.065785e-05,7.218359e-05,7.339622e-05,7.417514e-05,7.587814e-05,7.602046e-05,7.772296e-05,7.811079e-05,7.928708e-05,8.010445e-05,8.071802e-05,8.187169e-05,8.202160e-05,8.320406e-05,8.342659e-05,8.427190e-05,8.478409e-05,8.523178e-05,8.595954e-05,8.609038e-05,8.685431e-05,8.696819e-05,8.753005e-05,8.782492e-05,8.812386e-05,8.854398e-05,8.864177e-05,8.908955e-05,8.913883e-05,8.947263e-05,8.962203e-05,8.979616e-05,9.000519e-05,9.006496e-05,9.028353e-05,9.029897e-05,9.045605e-05,9.051305e-05,9.058642e-05,9.065621e-05,9.067822e-05,9.073478e-05,9.073636e-05,9.075915e-05,9.076059e-05,9.075413e-05,9.073525e-05,9.072230e-05,9.066601e-05,9.058745e-05,9.055793e-05,9.048858e-05,9.041549e-05,9.037122e-05,9.024271e-05,9.023704e-05,9.008755e-05,9.004314e-05,8.992414e-05,8.981995e-05,8.974809e-05,8.957596e-05,8.956056e-05,8.936262e-05,8.931367e-05,8.915525e-05,8.903534e-05,8.893935e-05,8.874297e-05,8.871575e-05,8.848521e-05,8.843833e-05,8.824842e-05,8.812305e-05,8.800604e-05,8.779855e-05,8.775865e-05,8.750682e-05,8.746615e-05,8.725104e-05,8.712700e-05,8.699179e-05,8.678219e-05,8.672951e-05,8.646461e-05,8.643266e-05,8.619745e-05,8.607928e-05,8.592839e-05,8.572282e-05,8.565774e-05,8.538581e-05,8.536401e-05,8.511288e-05,8.500348e-05,8.483920e-05,8.464182e-05,8.456501e-05,8.429055e-05,8.427957e-05,8.401602e-05,8.391721e-05,8.374162e-05,8.355519e-05,8.346752e-05,8.319391e-05,8.283375e-05,8.247505e-05,8.211809e-05,8.176318e-05,8.141055e-05,8.106044e-05,8.071305e-05,8.036858e-05,8.002719e-05,7.968904e-05,7.935427e-05,7.902300e-05,7.869533e-05,7.837136e-05,7.805119e-05,7.773488e-05,7.742250e-05,7.711411e-05,7.680975e-05,7.650946e-05,7.621327e-05,7.592120e-05,7.563329e-05,7.534953e-05
0.000000e+00,3.219095e-11,1.442722e-10,1.246725e-09,4.895599e-09,8.983002e-09,3.180396e-08,3.324551e-08,8.664074e-08,1.086385e-07,1.826048e-07,2.662133e-07,3.345665e-07,5.351021e-07,5.556283e-07,8.581069e-07,9.440277e-07,1.252262e-06,1.515533e-06,1.744179e-06,2.258279e-06,2.334114e-06,3.016731e-06,3.163615e-06,3.782895e-06,4.210714e-06,4.621655e-06,5.373924e-06,5.521541e-06,6.471179e-06,6.626996e-06,7.459536e-06,7.944571e-06,8.476021e-06,9.302687e-06,9.510585e-06,1.055383e-05,1.067919e-05,1.159715e-05,1.205420e-05,1.263279e-05,1.341052e-05,1.365394e-05,1.465478e-05,1.473382e-05,1.563042e-05,1.601271e-05,1.657690e-05,1.723853e-05,1.749110e-05,1.837066e-05,1.840510e-05,1.921392e-05,1.950838e-05,2.001980e-05,2.054613e-05,2.078771e-05,2.151752e-05,2.220941e-05,2.242287e-05,2.286386e-05,2.326337e-05,2.348156e-05,2.404080e-05,2.406340e-05,2.461038e-05,2.475743e-05,2.512359e-05,2.541580e-05,2.560422e-05,2.601865e-05,2.605347e-05,2.647257e-05,2.656881e-05,2.686278e-05,2.706913e-05,2.722532e-05,2.752245e-05,2.756143e-05,2.787230e-05,2.793155e-05,2.815912e-05,2.829914e-05,2.842302e-05,2.862780e-05,2.866512e-05,2.888649e-05,2.892006e-05,2.908818e-05,2.917829e-05,2.927117e-05,2.940476e-05,2.943644e-05,2.958490e-05,2.960162e-05,2.971743e-05,2.977093e-05,2.983490e-05,2.991460e-05,2.993811e-05,3.002783e-05,3.003444e-05,3.010480e-05,3.013218e-05,3.016974e-05,3.020942e-05,3.022332e-05,3.026618e-05,3.026768e-05,3.029894e-05,3.030837e-05,3.032218e-05,3.033283e-05,3.033646e-05,3.034231e-05,3.034023e-05,3.033797e-05,3.033070e-05,3.032091e-05,3.031419e-05,3.029216e-05,3.029112e-05,3.026191e-05,3.025268e-05,3.022694e-05,3.020336e-05,3.018660e-05,3.014504e-05,3.014123e-05,3.009117e-05,3.007849e-05,3.003674e-05,3.000446e-05,2.997823e-05,2.992361e-05,2.991594e-05,2.985014e-05,2.983658e-05,2.978109e-05,2.974397e-05,2.970902e-05,2.964633e-05,2.963417e-05,2.955677e-05,2.954416e-05,2.947701e-05,2.943795e-05,2.939509e-05,2.932814e-05,2.931121e-05,2.922553e-05,2.921514e-05,2.913822e-05,2.909933e-05,2.904944e-05,2.898108e-05,2.895935e-05,2.886807e-05,2.886072e-05,2.877574e-05,2.873854e-05,2.868249e-05,2.861484e-05,2.858843e-05,2.849369e-05,2.848989e-05,2.839836e-05,2.836391e-05,2.830254e-05,2.823715e-05,2.820633e-05,2.810981e-05,2.798209e-05,2.785416e-05,2.772618e-05,2.759831e-05,2.747069e-05,2.734345e-05,2.721671e-05,2.709056e-05,2.696512e-05,2.684046e-05,2.671668e-05,2.659385e-05,2.647203e-05,2.635129e-05,2.623169e-05,2.611326e-05,2.599606e-05,2.588012e-05,2.576549e-05,2.565218e-05,2.554024e-05,2.542967e-05,2.532051e-05,2.521277e-05
0.000000e+00,6.704683e-11,1.888107e-10,8.039306e-10,2.003942e-09,3.013949e-09,7.139137e-09,7.361213e-09,1.438782e-08,1.689787e-08,2.453681e-08,3.227811e-08,3.816890e-08,5.403421e-08,5.557050e-08,7.694908e-08,8.268615e-08,1.024104e-07,1.184442e-07,1.319121e-07,1.610204e-07,1.652004e-07,2.017631e-07,2.094062e-07,2.408563e-07,2.618983e-07,2.816146e-07,3.165122e-07,3.231857e-07,3.648185e-07,3.714422e-07,4.058922e-07,4.252590e-07,4.459104e-07,4.768994e-07,4.844825e-07,5.213075e-07,5.255977e-07,5.561603e-07,5.708274e-07,5.888811e-07,6.122580e-07,6.193672e-07,6.475652e-07,6.497216e-07,6.734643e-07,6.831847e-07,6.970893e-07,7.127206e-07,7.184944e-07,7.377575e-07,7.384847e-07,7.549741e-07,7.606916e-07,7.702524e-07,7.795935e-07,7.837085e-07,7.954632e-07,8.056397e-07,8.085829e-07,8.143600e-07,8.192318e-07,8.217430e-07,8.276794e-07,8.279038e-07,8.329520e-07,8.341804e-07,8.369912e-07,8.389710e-07,8.401185e-07,8.422680e-07,8.424243e-07,8.439923e-07,8.442676e-07,8.448999e-07,8.451463e-07,8.452178e-07,8.450615e-07,8.450110e-07,8.443382e-07,8.441525e-07,8.432528e-07,8.425417e-07,8.418034e-07,8.403366e-07,8.400335e-07,8.379830e-07,8.376312e-07,8.356873e-07,8.345079e-07,8.331787e-07,8.310380e-07,8.304860e-07,8.276351e-07,8.272835e-07,8.246491e-07,8.232979e-07,8.215489e-07,8.191278e-07,8.183530e-07,8.150783e-07,8.148134e-07,8.117397e-07,8.103894e-07,8.083505e-07,8.058857e-07,8.049226e-07,8.014667e-07,8.013281e-07,7.979924e-07,7.967388e-07,7.945081e-07,7.921369e-07,7.910214e-07,7.875390e-07,7.840668e-07,7.829588e-07,7.806104e-07,7.784086e-07,7.771742e-07,7.738985e-07,7.737625e-07,7.703791e-07,7.694372e-07,7.670271e-07,7.650322e-07,7.637094e-07,7.606896e-07,7.604286e-07,7.571867e-07,7.564147e-07,7.539857e-07,7.522116e-07,7.508272e-07,7.480839e-07,7.477125e-07,7.446429e-07,7.440345e-07,7.416193e-07,7.400655e-07,7.386426e-07,7.361788e-07,7.357133e-07,7.328321e-07,7.323755e-07,7.299992e-07,7.286567e-07,7.272149e-07,7.250227e-07,7.244795e-07,7.217929e-07,7.214738e-07,7.191551e-07,7.180100e-07,7.165661e-07,7.146310e-07,7.140257e-07,7.115336e-07,7.113363e-07,7.090895e-07,7.081253e-07,7.066932e-07,7.049972e-07,7.043443e-07,7.020423e-07,7.019512e-07,6.997867e-07,6.989860e-07,6.975772e-07,6.961007e-07,6.954131e-07,6.932940e-07,6.905646e-07,6.879112e-07,6.853323e-07,6.828266e-07,6.803926e-07,6.780287e-07,6.757336e-07,6.735056e-07,6.713433e-07,6.692451e-07,6.672096e-07,6.652352e-07,6.633204e-07,6.614637e-07,6.596637e-07,6.579188e-07,6.562277e-07,6.545889e-07,6.530010e-07,6.514627e-07,6.499725e-07,6.485291e-07,6.471313e-07,6.457777e-07
0.000000e+00,1.434761e-10,4.410695e-10,2.094648e-09,5.540876e-09,8.543673e-09,2.132477e-08,2.203043e-08,4.505377e-08,5.356513e-08,8.027652e-08,1.084842e-07,1.306564e-07,1.931066e-07,1.993466e-07,2.890584e-07,3.138768e-07,4.006828e-07,4.720856e-07,5.320758e-07,6.604721e-07,6.787026e-07,8.356237e-07,8.678655e-07,9.987681e-07,1.085018e-06,1.165091e-06,1.305563e-06,1.332296e-06,1.498575e-06,1.524991e-06,1.662440e-06,1.739862e-06,1.822641e-06,1.947457e-06,1.978136e-06,2.128065e-06,2.145648e-06,2.271745e-06,2.332845e-06,2.408659e-06,2.507960e-06,2.538445e-06,2.660881e-06,2.670355e-06,2.775870e-06,2.819779e-06,2.883419e-06,2.956298e-06,2.983624e-06,3.076653e-06,3.080228e-06,3.162728e-06,3.192063e-06,3.242114e-06,3.292424e-06,3.315104e-06,3.382011e-06,3.443159e-06,3.461563e-06,3.498877e-06,3.531838e-06,3.549492e-06,3.593582e-06,3.595327e-06,3.636691e-06,3.647513e-06,3.673886e-06,3.694320e-06,3.707196e-06,3.734646e-06,3.736895e-06,3.763241e-06,3.769092e-06,3.786475e-06,3.798213e-06,3.806826e-06,3.822521e-06,3.824508e-06,3.839721e-06,3.842484e-06,3.852650e-06,3.858529e-06,3.863470e-06,3.871046e-06,3.872341e-06,3.879415e-06,3.880389e-06,3.884831e-06,3.886880e-06,3.888718e-06,3.890809e-06,3.891198e-06,3.892381e-06,3.892441e-06,3.892372e-06,3.892015e-06,3.891266e-06,3.889746e-06,3.889152e-06,3.886113e-06,3.885832e-06,3.882225e-06,3.880448e-06,3.877560e-06,3.873756e-06,3.872183e-06,3.866155e-06,3.865901e-06,3.859532e-06,3.857013e-06,3.852369e-06,3.847213e-06,3.844712e-06,3.836607e-06,3.828096e-06,3.825293e-06,3.819218e-06,3.813360e-06,3.810009e-06,3.800888e-06,3.800502e-06,3.790729e-06,3.787949e-06,3.780719e-06,3.774609e-06,3.770497e-06,3.760929e-06,3.760090e-06,3.749520e-06,3.746962e-06,3.738809e-06,3.732757e-06,3.727977e-06,3.718358e-06,3.717041e-06,3.706020e-06,3.703807e-06,3.694929e-06,3.689140e-06,3.683784e-06,3.674389e-06,3.672597e-06,3.661381e-06,3.659585e-06,3.650149e-06,3.644755e-06,3.638912e-06,3.629924e-06,3.627679e-06,3.616460e-06,3.615115e-06,3.605263e-06,3.600346e-06,3.594097e-06,3.585637e-06,3.582970e-06,3.571887e-06,3.571003e-06,3.560857e-06,3.556460e-06,3.549883e-06,3.542021e-06,3.538972e-06,3.528129e-06,3.527697e-06,3.517359e-06,3.513500e-06,3.506665e-06,3.499439e-06,3.496052e-06,3.485522e-06,3.471757e-06,3.458151e-06,3.444710e-06,3.431437e-06,3.418339e-06,3.405419e-06,3.392679e-06,3.380123e-06,3.367753e-06,3.355570e-06,3.343577e-06,3.331774e-06,3.320161e-06,3.308739e-06,3.297509e-06,3.286469e-06,3.275620e-06,3.264961e-06,3.254491e-06,3.244209e-06,3.234113e-06,3.224204e-06,3.214478e-06,3.204935e-06
0.000000e+00,9.421923e-12,4.408807e-11,4.141639e-10,1.742707e-09,3.312122e-09,1.272772e-08,1.334552e-08,3.725953e-08,4.751112e-08,8.302418e-08,1.244949e-07,1.591280e-07,2.633320e-07,2.741693e-07,4.366218e-07,4.835770e-07,6.545701e-07,8.036036e-07,9.352115e-07,1.238409e-06,1.283972e-06,1.703269e-06,1.795517e-06,2.191264e-06,2.470136e-06,2.741263e-06,3.243218e-06,3.342255e-06,3.980466e-06,4.085053e-06,4.641285e-06,4.962393e-06,5.310904e-06,5.844802e-06,5.977331e-06,6.630817e-06,6.707986e-06,7.263825e-06,7.534363e-06,7.870790e-06,8.312215e-06,8.447814e-06,8.992344e-06,9.034452e-06,9.502904e-06,9.697451e-06,9.978863e-06,1.030013e-05,1.042025e-05,1.082762e-05,1.084322e-05,1.120190e-05,1.132878e-05,1.154433e-05,1.175971e-05,1.185633e-05,1.213948e-05,1.239543e-05,1.247187e-05,1.262588e-05,1.276077e-05,1.283252e-05,1.301004e-05,1.301701e-05,1.318098e-05,1.322342e-05,1.332597e-05,1.340448e-05,1.345347e-05,1.355653e-05,1.356488e-05,1.366151e-05,1.368264e-05,1.374459e-05,1.378562e-05,1.381527e-05,1.386805e-05,1.387460e-05,1.392359e-05,1.393222e-05,1.396312e-05,1.398022e-05,1.399404e-05,1.401393e-05,1.401712e-05,1.403307e-05,1.403500e-05,1.404253e-05,1.404495e-05,1.404610e-05,1.404509e-05,1.404433e-05,1.403771e-05,1.403662e-05,1.402671e-05,1.402058e-05,1.401173e-05,1.399793e-05,1.399317e-05,1.397137e-05,1.396950e-05,1.394666e-05,1.393602e-05,1.391932e-05,1.389817e-05,1.388964e-05,1.385784e-05,1.385653e-05,1.382417e-05,1.381162e-05,1.378882e-05,1.376392e-05,1.375198e-05,1.371384e-05,1.367454e-05,1.366174e-05,1.363423e-05,1.360796e-05,1.359304e-05,1.355280e-05,1.355111e-05,1.350853e-05,1.349651e-05,1.346542e-05,1.343933e-05,1.342187e-05,1.338148e-05,1.337795e-05,1.333376e-05,1.332312e-05,1.328937e-05,1.326444e-05,1.324483e-05,1.320558e-05,1.320022e-05,1.315559e-05,1.314667e-05,1.311099e-05,1.308782e-05,1.306646e-05,1.302915e-05,1.302206e-05,1.297781e-05,1.297075e-05,1.293376e-05,1.291269e-05,1.288993e-05,1.285505e-05,1.284636e-05,1.280308e-05,1.279790e-05,1.276010e-05,1.274129e-05,1.271745e-05,1.268528e-05,1.267516e-05,1.263324e-05,1.262990e-05,1.259170e-05,1.257519e-05,1.255056e-05,1.252120e-05,1.250984e-05,1.246954e-05,1.246794e-05,1.242968e-05,1.241544e-05,1.239026e-05,1.236372e-05,1.235130e-05,1.231280e-05,1.226270e-05,1.221341e-05,1.216497e-05,1.211736e-05,1.207061e-05,1.202470e-05,1.197964e-05,1.193543e-05,1.189206e-05,1.184955e-05,1.180787e-05,1.176703e-05,1.172701e-05,1.168782e-05,1.164945e-05,1.161188e-05,1.157511e-05,1.153913e-05,1.150393e-05,1.146949e-05,1.143582e-05,1.140289e-05,1.137070e-05,1.133924e-05
0.000000e+00,1.581687e-11,3.726263e-11,1.317951e-10,3.032559e-10,4.440095e-10,1.012200e-09,1.042773e-09,2.018368e-09,2.371917e-09,3.466558e-09,4.604472e-09,5.488223e-09,7.928606e-09,8.168374e-09,1.153349e-08,1.243939e-08,1.554294e-08,1.804539e-08,2.013197e-08,2.460333e-08,2.524245e-08,3.082549e-08,3.199482e-08,3.683583e-08,4.011490e-08,4.322746e-08,4.885551e-08,4.995161e-08,5.695648e-08,5.809971e-08,6.418781e-08,6.772300e-08,7.159011e-08,7.759779e-08,7.910799e-08,8.668750e-08,8.759871e-08,9.427730e-08,9.760764e-08,1.018297e-07,1.075176e-07,1.093013e-07,1.166535e-07,1.172355e-07,1.238529e-07,1.266833e-07,1.308711e-07,1.357986e-07,1.376847e-07,1.442750e-07,1.445338e-07,1.506279e-07,1.528547e-07,1.567330e-07,1.607395e-07,1.625838e-07,1.681765e-07,1.735103e-07,1.751626e-07,1.785865e-07,1.817016e-07,1.834084e-07,1.878026e-07,1.879808e-07,1.923096e-07,1.934789e-07,1.964017e-07,1.987466e-07,2.002649e-07,2.036237e-07,2.039071e-07,2.073370e-07,2.081295e-07,2.105631e-07,2.122840e-07,2.135942e-07,2.161072e-07,2.164390e-07,2.191060e-07,2.196188e-07,2.216037e-07,2.228384e-07,2.239404e-07,2.257845e-07,2.261239e-07,2.281620e-07,2.284751e-07,2.300620e-07,2.309271e-07,2.318312e-07,2.331568e-07,2.334762e-07,2.350037e-07,2.351794e-07,2.364198e-07,2.370091e-07,2.377304e-07,2.386594e-07,2.389412e-07,2.400575e-07,2.401428e-07,2.410843e-07,2.414710e-07,2.420264e-07,2.426550e-07,2.428885e-07,2.436748e-07,2.437048e-07,2.443895e-07,2.446300e-07,2.450363e-07,2.454393e-07,2.456190e-07,2.461410e-07,2.466057e-07,2.467427e-07,2.470160e-07,2.472515e-07,2.473750e-07,2.476740e-07,2.476855e-07,2.479501e-07,2.480162e-07,2.481712e-07,2.482840e-07,2.483512e-07,2.484825e-07,2.484924e-07,2.485969e-07,2.486168e-07,2.486667e-07,2.486913e-07,2.487037e-07,2.487105e-07,2.487096e-07,2.486863e-07,2.486782e-07,2.486352e-07,2.485982e-07,2.485580e-07,2.484740e-07,2.484561e-07,2.483309e-07,2.483087e-07,2.481836e-07,2.481054e-07,2.480155e-07,2.478669e-07,2.478279e-07,2.476217e-07,2.475958e-07,2.473982e-07,2.472945e-07,2.471582e-07,2.469654e-07,2.469027e-07,2.466327e-07,2.466105e-07,2.463491e-07,2.462319e-07,2.460525e-07,2.458315e-07,2.457439e-07,2.454240e-07,2.454109e-07,2.450934e-07,2.449719e-07,2.447529e-07,2.445159e-07,2.444030e-07,2.440445e-07,2.435589e-07,2.430604e-07,2.425501e-07,2.420293e-07,2.414990e-07,2.409600e-07,2.404134e-07,2.398600e-07,2.393006e-07,2.387360e-07,2.381668e-07,2.375938e-07,2.370176e-07,2.364387e-07,2.358578e-07,2.352753e-07,2.346917e-07,2.341075e-07,2.335231e-07,2.329389e-07,2.323553e-07,2.317727e-07,2.311914e-07,2.306116e-07
0.000000e+00,3.242979e-12,1.622146e-11,1.744370e-10,8.269258e-10,1.675070e-09,7.544141e-09,7.960066e-09,2.576976e-08,3.415186e-08,6.553586e-08,1.056244e-07,1.412624e-07,2.573360e-07,2.700358e-07,4.712620e-07,5.326238e-07,7.655836e-07,9.787072e-07,1.173299e-06,1.640161e-06,1.712255e-06,2.395627e-06,2.550357e-06,3.230269e-06,3.724286e-06,4.216011e-06,5.155911e-06,5.345920e-06,6.607226e-06,6.820122e-06,7.982612e-06,8.677398e-06,9.451634e-06,1.067937e-05,1.099208e-05,1.258120e-05,1.277409e-05,1.419669e-05,1.491040e-05,1.581758e-05,1.704122e-05,1.742475e-05,1.900137e-05,1.912573e-05,2.053314e-05,2.113057e-05,2.200834e-05,2.303023e-05,2.341782e-05,2.475485e-05,2.480676e-05,2.601491e-05,2.644914e-05,2.719545e-05,2.795230e-05,2.829562e-05,2.931600e-05,3.025833e-05,3.054380e-05,3.112524e-05,3.164199e-05,3.192004e-05,3.261870e-05,3.264650e-05,3.330870e-05,3.348317e-05,3.391086e-05,3.424510e-05,3.445722e-05,3.491421e-05,3.495199e-05,3.539922e-05,3.549991e-05,3.580278e-05,3.601108e-05,3.616634e-05,3.645591e-05,3.649332e-05,3.678690e-05,3.684187e-05,3.705000e-05,3.717566e-05,3.728529e-05,3.746324e-05,3.749522e-05,3.768201e-05,3.770989e-05,3.784768e-05,3.792023e-05,3.799403e-05,3.809832e-05,3.812272e-05,3.823521e-05,3.824769e-05,3.833285e-05,3.837142e-05,3.841683e-05,3.847220e-05,3.848825e-05,3.854808e-05,3.855239e-05,3.859721e-05,3.861405e-05,3.863644e-05,3.865897e-05,3.866650e-05,3.868805e-05,3.868874e-05,3.870169e-05,3.870477e-05,3.870798e-05,3.870831e-05,3.870742e-05,3.870047e-05,3.868756e-05,3.868224e-05,3.866909e-05,3.865452e-05,3.864542e-05,3.861811e-05,3.861688e-05,3.858380e-05,3.857376e-05,3.854647e-05,3.852214e-05,3.850515e-05,3.846385e-05,3.846012e-05,3.841159e-05,3.839945e-05,3.835981e-05,3.832946e-05,3.830497e-05,3.825435e-05,3.824729e-05,3.818693e-05,3.817456e-05,3.812409e-05,3.809049e-05,3.805893e-05,3.800252e-05,3.799161e-05,3.792226e-05,3.791099e-05,3.785105e-05,3.781624e-05,3.777809e-05,3.771856e-05,3.770352e-05,3.762745e-05,3.761823e-05,3.755000e-05,3.751552e-05,3.747128e-05,3.741067e-05,3.739139e-05,3.731043e-05,3.730391e-05,3.722848e-05,3.719545e-05,3.714564e-05,3.708549e-05,3.706199e-05,3.697761e-05,3.697422e-05,3.689258e-05,3.686182e-05,3.680696e-05,3.674844e-05,3.672083e-05,3.663425e-05,3.651938e-05,3.640397e-05,3.628814e-05,3.617201e-05,3.605569e-05,3.593928e-05,3.582288e-05,3.570658e-05,3.559046e-05,3.547459e-05,3.535906e-05,3.524393e-05,3.512926e-05,3.501511e-05,3.490154e-05,3.478860e-05,3.467633e-05,3.456478e-05,3.445399e-05,3.434399e-05,3.423482e-05,3.412652e-05,3.401911e-05,3.391261e-05
0.000000e+00,2.525310e-11,1.036852e-10,7.611660e-10,2.629012e-09,4.529662e-09,1.392496e-08,1.448125e-08,3.368128e-08,4.109336e-08,6.484539e-08,9.028620e-08,1.103468e-07,1.666756e-07,1.722802e-07,2.525015e-07,2.746584e-07,3.525819e-07,4.177369e-07,4.736130e-07,5.977204e-07,6.159054e-07,7.788090e-07,8.137442e-07,9.608516e-07,1.062441e-06,1.160088e-06,1.339191e-06,1.374408e-06,1.601699e-06,1.639131e-06,1.839885e-06,1.957481e-06,2.086914e-06,2.289539e-06,2.340755e-06,2.599385e-06,2.630648e-06,2.860809e-06,2.976215e-06,3.123073e-06,3.321793e-06,3.384294e-06,3.642690e-06,3.663189e-06,3.896601e-06,3.996566e-06,4.144516e-06,4.318540e-06,4.385088e-06,4.617142e-06,4.626233e-06,4.839687e-06,4.917314e-06,5.051916e-06,5.190013e-06,5.253203e-06,5.443089e-06,5.621278e-06,5.675800e-06,5.787622e-06,5.887853e-06,5.942103e-06,6.079334e-06,6.084819e-06,6.215968e-06,6.250654e-06,6.335833e-06,6.402478e-06,6.444763e-06,6.535669e-06,6.543164e-06,6.631482e-06,6.651231e-06,6.710195e-06,6.750263e-06,6.779799e-06,6.833917e-06,6.840800e-06,6.893710e-06,6.903365e-06,6.939035e-06,6.959772e-06,6.977273e-06,7.004273e-06,7.008912e-06,7.034421e-06,7.037964e-06,7.054251e-06,7.061879e-06,7.068833e-06,7.076993e-06,7.078573e-06,7.083859e-06,7.084211e-06,7.085054e-06,7.084372e-06,7.082500e-06,7.078250e-06,7.076518e-06,7.067405e-06,7.066549e-06,7.055438e-06,7.049911e-06,7.040876e-06,7.028919e-06,7.023957e-06,7.004905e-06,7.004101e-06,6.983922e-06,6.975933e-06,6.961198e-06,6.944841e-06,6.936908e-06,6.911210e-06,6.884254e-06,6.875385e-06,6.856175e-06,6.837672e-06,6.827097e-06,6.798350e-06,6.797136e-06,6.766397e-06,6.757664e-06,6.734977e-06,6.715835e-06,6.702964e-06,6.673058e-06,6.670439e-06,6.637478e-06,6.629510e-06,6.604148e-06,6.585347e-06,6.570513e-06,6.540708e-06,6.536631e-06,6.502552e-06,6.495717e-06,6.468327e-06,6.450487e-06,6.433999e-06,6.405114e-06,6.399609e-06,6.365193e-06,6.359687e-06,6.330787e-06,6.314284e-06,6.296420e-06,6.268974e-06,6.262121e-06,6.227917e-06,6.223820e-06,6.193831e-06,6.178876e-06,6.159884e-06,6.134190e-06,6.126096e-06,6.092486e-06,6.089806e-06,6.059070e-06,6.045761e-06,6.025861e-06,6.002088e-06,5.992875e-06,5.960123e-06,5.958818e-06,5.927616e-06,5.915976e-06,5.895365e-06,5.873584e-06,5.863377e-06,5.831662e-06,5.790227e-06,5.749293e-06,5.708872e-06,5.668974e-06,5.629609e-06,5.590782e-06,5.552499e-06,5.514765e-06,5.477581e-06,5.440950e-06,5.404872e-06,5.369348e-06,5.334376e-06,5.299955e-06,5.266082e-06,5.232756e-06,5.199971e-06,5.167726e-06,5.136014e-06,5.104832e-06,5.074174e-06,5.044036e-06,5.014411e-06,4.985295e-06
0.000000e+00,9.096238e-12,4.573819e-11,4.973885e-10,2.383503e-09,4.858417e-09,2.226748e-08,2.351303e-08,7.766384e-08,1.035474e-07,2.019951e-07,3.304183e-07,4.465619e-07,8.348855e-07,8.781669e-07,1.580528e-06,1.800000e-06,2.650863e-06,3.449102e-06,4.190989e-06,6.010065e-06,6.295042e-06,9.038523e-06,9.668856e-06,1.247172e-05,1.453827e-05,1.661769e-05,2.064983e-05,2.147370e-05,2.701448e-05,2.796185e-05,3.319628e-05,3.637462e-05,3.996097e-05,4.574642e-05,4.723971e-05,5.495621e-05,5.590779e-05,6.302945e-05,6.667326e-05,7.137610e-05,7.785085e-05,7.991242e-05,8.855602e-05,8.924974e-05,9.722740e-05,1.006867e-04,1.058511e-04,1.119911e-04,1.143571e-04,1.226811e-04,1.230095e-04,1.307659e-04,1.336079e-04,1.385612e-04,1.436746e-04,1.460244e-04,1.531204e-04,1.598212e-04,1.618785e-04,1.661064e-04,1.699041e-04,1.719620e-04,1.771719e-04,1.773802e-04,1.823590e-04,1.836746e-04,1.869014e-04,1.894202e-04,1.910146e-04,1.944291e-04,1.947096e-04,1.980005e-04,1.987319e-04,2.009036e-04,2.023667e-04,2.034373e-04,2.053769e-04,2.056212e-04,2.074759e-04,2.078092e-04,2.090224e-04,2.097118e-04,2.102818e-04,2.111331e-04,2.112750e-04,2.120226e-04,2.121208e-04,2.125446e-04,2.127206e-04,2.128600e-04,2.129759e-04,2.129871e-04,2.129433e-04,2.129273e-04,2.127447e-04,2.126122e-04,2.124066e-04,2.120653e-04,2.119434e-04,2.113682e-04,2.113177e-04,2.106931e-04,2.103977e-04,2.099296e-04,2.093308e-04,2.090878e-04,2.081771e-04,2.081394e-04,2.072063e-04,2.068436e-04,2.061832e-04,2.054612e-04,2.051148e-04,2.040077e-04,2.028676e-04,2.024968e-04,2.017000e-04,2.009404e-04,2.005095e-04,1.993491e-04,1.993005e-04,1.980768e-04,1.977320e-04,1.968418e-04,1.960968e-04,1.955988e-04,1.944505e-04,1.943505e-04,1.930995e-04,1.927990e-04,1.918478e-04,1.911474e-04,1.905977e-04,1.895001e-04,1.893507e-04,1.881086e-04,1.878609e-04,1.868728e-04,1.862330e-04,1.856445e-04,1.846193e-04,1.844248e-04,1.832147e-04,1.830220e-04,1.820151e-04,1.814432e-04,1.808267e-04,1.798845e-04,1.796502e-04,1.784863e-04,1.783475e-04,1.773353e-04,1.768331e-04,1.761977e-04,1.753424e-04,1.750740e-04,1.739644e-04,1.738762e-04,1.728691e-04,1.724351e-04,1.717885e-04,1.710195e-04,1.707226e-04,1.696716e-04,1.696299e-04,1.686357e-04,1.682664e-04,1.676148e-04,1.669292e-04,1.666091e-04,1.656185e-04,1.643341e-04,1.630760e-04,1.618441e-04,1.606382e-04,1.594582e-04,1.583037e-04,1.571745e-04,1.560703e-04,1.549907e-04,1.539355e-04,1.529042e-04,1.518964e-04,1.509118e-04,1.499500e-04,1.490105e-04,1.480930e-04,1.471970e-04,1.463221e-04,1.454679e-04,1.446340e-04,1.438199e-04,1.430253e-04,1.422496e-04,1.414925e-04
0.000000e+00,7.499696e-12,1.747618e-11,6.106224e-11,1.396282e-10,2.039252e-10,4.626608e-10,4.765590e-10,9.192967e-10,1.079452e-09,1.574477e-09,2.087648e-09,2.485048e-09,3.576268e-09,3.682956e-09,5.170503e-09,5.568015e-09,6.921570e-09,8.004586e-09,8.902486e-09,1.081214e-08,1.108356e-08,1.343901e-08,1.392887e-08,1.594443e-08,1.729839e-08,1.857529e-08,2.086379e-08,2.130647e-08,2.411250e-08,2.456671e-08,2.696809e-08,2.834916e-08,2.984881e-08,3.215596e-08,3.273166e-08,3.559561e-08,3.593710e-08,3.842192e-08,3.964929e-08,4.119435e-08,4.325687e-08,4.389924e-08,4.652547e-08,4.673189e-08,4.906430e-08,5.005383e-08,5.150921e-08,5.320876e-08,5.385564e-08,5.610080e-08,5.618847e-08,5.824332e-08,5.898946e-08,6.028313e-08,6.161197e-08,6.222115e-08,6.405911e-08,6.579938e-08,6.633610e-08,6.744484e-08,6.844963e-08,6.899867e-08,7.040736e-08,7.046434e-08,7.184544e-08,7.221749e-08,7.314564e-08,7.388846e-08,7.436863e-08,7.542873e-08,7.551806e-08,7.659753e-08,7.684658e-08,7.761053e-08,7.815006e-08,7.856047e-08,7.934686e-08,7.945062e-08,8.028411e-08,8.044427e-08,8.106393e-08,8.144919e-08,8.179295e-08,8.236806e-08,8.247389e-08,8.310933e-08,8.320694e-08,8.370172e-08,8.397146e-08,8.425337e-08,8.466684e-08,8.476648e-08,8.524311e-08,8.529794e-08,8.568521e-08,8.586928e-08,8.609463e-08,8.638502e-08,8.647313e-08,8.682233e-08,8.684905e-08,8.714380e-08,8.726495e-08,8.743900e-08,8.763605e-08,8.770930e-08,8.795602e-08,8.796541e-08,8.818038e-08,8.825590e-08,8.838355e-08,8.851016e-08,8.856662e-08,8.873062e-08,8.887655e-08,8.891958e-08,8.900532e-08,8.907913e-08,8.911780e-08,8.921124e-08,8.921483e-08,8.929719e-08,8.931772e-08,8.936561e-08,8.940027e-08,8.942080e-08,8.946046e-08,8.946342e-08,8.949410e-08,8.949976e-08,8.951344e-08,8.951953e-08,8.952200e-08,8.952105e-08,8.952032e-08,8.950891e-08,8.950551e-08,8.948826e-08,8.947401e-08,8.945881e-08,8.942761e-08,8.942102e-08,8.937528e-08,8.936725e-08,8.932201e-08,8.929387e-08,8.926156e-08,8.920829e-08,8.919431e-08,8.912060e-08,8.911133e-08,8.904074e-08,8.900373e-08,8.895504e-08,8.888620e-08,8.886381e-08,8.876732e-08,8.875938e-08,8.866584e-08,8.862391e-08,8.855963e-08,8.848037e-08,8.844893e-08,8.833398e-08,8.832930e-08,8.821500e-08,8.817122e-08,8.809220e-08,8.800662e-08,8.796578e-08,8.783595e-08,8.765966e-08,8.747814e-08,8.729179e-08,8.710098e-08,8.690603e-08,8.670729e-08,8.650505e-08,8.629962e-08,8.609126e-08,8.588023e-08,8.566678e-08,8.545115e-08,8.523356e-08,8.501422e-08,8.479332e-08,8.457105e-08,8.434760e-08,8.412314e-08,8.389781e-08,8.367178e-08,8.344519e-08,8.321818e-08,8.299087e-08,8.276339e-08
0.000000e+00,1.140670e-10,5.877267e-10,6.727394e-09,3.380496e-08,7.074711e-08,3.474398e-07,3.679165e-07,1.303114e-06,1.771007e-06,3.626120e-06,6.169656e-06,8.555702e-06,1.694499e-05,1.791128e-05,3.424086e-05,3.955380e-05,6.090770e-05,8.187996e-05,1.020791e-04,1.541350e-04,1.625889e-04,2.477029e-04,2.681557e-04,3.628436e-04,4.363582e-04,5.133240e-04,6.706893e-04,7.041154e-04,9.396607e-04,9.817636e-04,1.223733e-03,1.378238e-03,1.559338e-03,1.866418e-03,1.948653e-03,2.393000e-03,2.450051e-03,2.892847e-03,3.130297e-03,3.447829e-03,3.905811e-03,4.056798e-03,4.717877e-03,4.772943e-03,5.428536e-03,5.726004e-03,6.185670e-03,6.757583e-03,6.985685e-03,7.824584e-03,7.858889e-03,8.698062e-03,9.020111e-03,9.601584e-03,1.023076e-02,1.053047e-02,1.147998e-02,1.244535e-02,1.275686e-02,1.342192e-02,1.405068e-02,1.440511e-02,1.535112e-02,1.539052e-02,1.637397e-02,1.664843e-02,1.735148e-02,1.793360e-02,1.831937e-02,1.919838e-02,1.927421e-02,2.021287e-02,2.043542e-02,2.113251e-02,2.163824e-02,2.203060e-02,2.280130e-02,2.290489e-02,2.375344e-02,2.391991e-02,2.457458e-02,2.499025e-02,2.536689e-02,2.600931e-02,2.612923e-02,2.686069e-02,2.697481e-02,2.756060e-02,2.788520e-02,2.822848e-02,2.873954e-02,2.886407e-02,2.946725e-02,2.953745e-02,3.003809e-02,3.027906e-02,3.057680e-02,3.096493e-02,3.108371e-02,3.155927e-02,3.159598e-02,3.200404e-02,3.217347e-02,3.241866e-02,3.269891e-02,3.280383e-02,3.316035e-02,3.317402e-02,3.348903e-02,3.360072e-02,3.379076e-02,3.398101e-02,3.406645e-02,3.431702e-02,3.454343e-02,3.461094e-02,3.474665e-02,3.486498e-02,3.492764e-02,3.508138e-02,3.508737e-02,3.522682e-02,3.526236e-02,3.534693e-02,3.541011e-02,3.544865e-02,3.552679e-02,3.553291e-02,3.560063e-02,3.561452e-02,3.565269e-02,3.567533e-02,3.568996e-02,3.571120e-02,3.571329e-02,3.572350e-02,3.572403e-02,3.572138e-02,3.571566e-02,3.570770e-02,3.568781e-02,3.568319e-02,3.564859e-02,3.564216e-02,3.560455e-02,3.558026e-02,3.555176e-02,3.550363e-02,3.549082e-02,3.542236e-02,3.541366e-02,3.534693e-02,3.531168e-02,3.526510e-02,3.519895e-02,3.517739e-02,3.508429e-02,3.507662e-02,3.498628e-02,3.494581e-02,3.488382e-02,3.480753e-02,3.477733e-02,3.466721e-02,3.466274e-02,3.455386e-02,3.451233e-02,3.443763e-02,3.435712e-02,3.431886e-02,3.419788e-02,3.403532e-02,3.387009e-02,3.370278e-02,3.353396e-02,3.336413e-02,3.319374e-02,3.302324e-02,3.285300e-02,3.268337e-02,3.251467e-02,3.234719e-02,3.218117e-02,3.201686e-02,3.185446e-02,3.169415e-02,3.153608e-02,3.138041e-02,3.122725e-02,3.107670e-02,3.092886e-02,3.078380e-02,3.064159e-02,3.050226e-02,3.036586e-02
0.000000e+00,4.476617e-10,1.143560e-09,4.435363e-09,1.076058e-08,1.615569e-08,3.926917e-08,4.056570e-08,8.436017e-08,1.012818e-07,1.566952e-07,2.183505e-07,2.684428e-07,4.130412e-07,4.275439e-07,6.323094e-07,6.872119e-07,8.729373e-07,1.019482e-06,1.139387e-06,1.389683e-06,1.424767e-06,1.724699e-06,1.786151e-06,2.036141e-06,2.201815e-06,2.356647e-06,2.631260e-06,2.684011e-06,3.016128e-06,3.069570e-06,3.350949e-06,3.512042e-06,3.686509e-06,3.954237e-06,4.020950e-06,4.352543e-06,4.392066e-06,4.679716e-06,4.821912e-06,5.001093e-06,5.240719e-06,5.315476e-06,5.621857e-06,5.645996e-06,5.919408e-06,6.035800e-06,6.207457e-06,6.408674e-06,6.485490e-06,6.753135e-06,6.763621e-06,7.010134e-06,7.100014e-06,7.256331e-06,7.417540e-06,7.491663e-06,7.716137e-06,7.929824e-06,7.995945e-06,8.132847e-06,8.257257e-06,8.325366e-06,8.500487e-06,8.507580e-06,8.679709e-06,8.726131e-06,8.841998e-06,8.934754e-06,8.994703e-06,9.126961e-06,9.138096e-06,9.272454e-06,9.303386e-06,9.398059e-06,9.464682e-06,9.515199e-06,9.611506e-06,9.624158e-06,9.725224e-06,9.744515e-06,9.818681e-06,9.864364e-06,9.904808e-06,9.971694e-06,9.983884e-06,1.005618e-05,1.006714e-05,1.012197e-05,1.015131e-05,1.018150e-05,1.022481e-05,1.023505e-05,1.028285e-05,1.028821e-05,1.032515e-05,1.034208e-05,1.036219e-05,1.038696e-05,1.039420e-05,1.042140e-05,1.042338e-05,1.044402e-05,1.045183e-05,1.046226e-05,1.047279e-05,1.047632e-05,1.048641e-05,1.048673e-05,1.049271e-05,1.049409e-05,1.049542e-05,1.049529e-05,1.049470e-05,1.049074e-05,1.048370e-05,1.048083e-05,1.047374e-05,1.046591e-05,1.046102e-05,1.044634e-05,1.044568e-05,1.042787e-05,1.042246e-05,1.040773e-05,1.039458e-05,1.038538e-05,1.036299e-05,1.036097e-05,1.033461e-05,1.032800e-05,1.030641e-05,1.028987e-05,1.027650e-05,1.024885e-05,1.024498e-05,1.021196e-05,1.020518e-05,1.017754e-05,1.015911e-05,1.014180e-05,1.011084e-05,1.010485e-05,1.006678e-05,1.006059e-05,1.002766e-05,1.000853e-05,9.987577e-06,9.954871e-06,9.946610e-06,9.904831e-06,9.899766e-06,9.862311e-06,9.843385e-06,9.819117e-06,9.785878e-06,9.775313e-06,9.730960e-06,9.727389e-06,9.686116e-06,9.668054e-06,9.640838e-06,9.607998e-06,9.595177e-06,9.549185e-06,9.547339e-06,9.502910e-06,9.486190e-06,9.456396e-06,9.424653e-06,9.409687e-06,9.362825e-06,9.300797e-06,9.238653e-06,9.176472e-06,9.114326e-06,9.052284e-06,8.990408e-06,8.928757e-06,8.867384e-06,8.806338e-06,8.745665e-06,8.685408e-06,8.625603e-06,8.566287e-06,8.507491e-06,8.449245e-06,8.391573e-06,8.334500e-06,8.278047e-06,8.222232e-06,8.167073e-06,8.112583e-06,8.058776e-06,8.005662e-06,7.953250e-06
0.000000e+00,7.514223e-11,3.547761e-10,3.398583e-09,1.458533e-08,2.805413e-08,1.117943e-07,1.174181e-07,3.437247e-07,4.450434e-07,8.123735e-07,1.269176e-06,1.670731e-06,2.971085e-06,3.113179e-06,5.359699e-06,6.040819e-06,8.595339e-06,1.087649e-05,1.290644e-05,1.756847e-05,1.826321e-05,2.454999e-05,2.590548e-05,3.161098e-05,3.553504e-05,3.928608e-05,4.610086e-05,4.743002e-05,5.591841e-05,5.730127e-05,6.464639e-05,6.889430e-05,7.352503e-05,8.068454e-05,8.247762e-05,9.143683e-05,9.250947e-05,1.003430e-04,1.042310e-04,1.091432e-04,1.157316e-04,1.177909e-04,1.262457e-04,1.269127e-04,1.344733e-04,1.376941e-04,1.424450e-04,1.480132e-04,1.501380e-04,1.575345e-04,1.578240e-04,1.646215e-04,1.670952e-04,1.713902e-04,1.758084e-04,1.778355e-04,1.839556e-04,1.897514e-04,1.915380e-04,1.952260e-04,1.985634e-04,2.003844e-04,2.050450e-04,2.052331e-04,2.097796e-04,2.109997e-04,2.140327e-04,2.164474e-04,2.180013e-04,2.214096e-04,2.216953e-04,2.251245e-04,2.259092e-04,2.282991e-04,2.299694e-04,2.312292e-04,2.336135e-04,2.339250e-04,2.363966e-04,2.368649e-04,2.386539e-04,2.397463e-04,2.407067e-04,2.422799e-04,2.425644e-04,2.442364e-04,2.444872e-04,2.457316e-04,2.463890e-04,2.470587e-04,2.480052e-04,2.482263e-04,2.492425e-04,2.493546e-04,2.501151e-04,2.504555e-04,2.508517e-04,2.513251e-04,2.514596e-04,2.519459e-04,2.519797e-04,2.523172e-04,2.524350e-04,2.525801e-04,2.527056e-04,2.527406e-04,2.528048e-04,2.528055e-04,2.527783e-04,2.527476e-04,2.526665e-04,2.525445e-04,2.524747e-04,2.522078e-04,2.518704e-04,2.517484e-04,2.514672e-04,2.511766e-04,2.510025e-04,2.505023e-04,2.504803e-04,2.499046e-04,2.497344e-04,2.492792e-04,2.488815e-04,2.486075e-04,2.479516e-04,2.478929e-04,2.471387e-04,2.469521e-04,2.463479e-04,2.458902e-04,2.455234e-04,2.447722e-04,2.446680e-04,2.437843e-04,2.436044e-04,2.428748e-04,2.423924e-04,2.419418e-04,2.411416e-04,2.409875e-04,2.400142e-04,2.398568e-04,2.390237e-04,2.385427e-04,2.380180e-04,2.372036e-04,2.369988e-04,2.359679e-04,2.358435e-04,2.349269e-04,2.344660e-04,2.338772e-04,2.330745e-04,2.328203e-04,2.317575e-04,2.316723e-04,2.306901e-04,2.302622e-04,2.296193e-04,2.288469e-04,2.285462e-04,2.274719e-04,2.274289e-04,2.263972e-04,2.260105e-04,2.253233e-04,2.245938e-04,2.242509e-04,2.231808e-04,2.217731e-04,2.203725e-04,2.189803e-04,2.175980e-04,2.162267e-04,2.148676e-04,2.135216e-04,2.121896e-04,2.108724e-04,2.095707e-04,2.082852e-04,2.070163e-04,2.057646e-04,2.045305e-04,2.033143e-04,2.021164e-04,2.009369e-04,1.997762e-04,1.986342e-04,1.975112e-04,1.964071e-04,1.953222e-04,1.942563e-04,1.932094e-04
0.000000e+00,3.509163e-12,1.753707e-11,1.882883e-10,8.918255e-10,1.806305e-09,8.145593e-09,8.595645e-09,2.795771e-08,3.712630e-08,7.172991e-08,1.164855e-07,1.567318e-07,2.903506e-07,3.051777e-07,5.444721e-07,6.188055e-07,9.052294e-07,1.171541e-06,1.417080e-06,2.011608e-06,2.103832e-06,2.980071e-06,3.178607e-06,4.050010e-06,4.681453e-06,5.308176e-06,6.500863e-06,6.741147e-06,8.329633e-06,8.596713e-06,1.005047e-05,1.091609e-05,1.187833e-05,1.340008e-05,1.378704e-05,1.575064e-05,1.598876e-05,1.774409e-05,1.862455e-05,1.974388e-05,2.125454e-05,2.172834e-05,2.367799e-05,2.383193e-05,2.557568e-05,2.631683e-05,2.740671e-05,2.867681e-05,2.915884e-05,3.082229e-05,3.088687e-05,3.238960e-05,3.292923e-05,3.385556e-05,3.479283e-05,3.521700e-05,3.647256e-05,3.762254e-05,3.796847e-05,3.866861e-05,3.928482e-05,3.961358e-05,4.042912e-05,4.046121e-05,4.121597e-05,4.141132e-05,4.188282e-05,4.224296e-05,4.246712e-05,4.293648e-05,4.297436e-05,4.341012e-05,4.350469e-05,4.377995e-05,4.396027e-05,4.408924e-05,4.431547e-05,4.434319e-05,4.454676e-05,4.458184e-05,4.470462e-05,4.477010e-05,4.482112e-05,4.489001e-05,4.490034e-05,4.494601e-05,4.495044e-05,4.496158e-05,4.495928e-05,4.495017e-05,4.492355e-05,4.491464e-05,4.485758e-05,4.484940e-05,4.478131e-05,4.474222e-05,4.468794e-05,4.460672e-05,4.457937e-05,4.445729e-05,4.444699e-05,4.432323e-05,4.426656e-05,4.417856e-05,4.406851e-05,4.402450e-05,4.386215e-05,4.385550e-05,4.369250e-05,4.362982e-05,4.351644e-05,4.339347e-05,4.333476e-05,4.314818e-05,4.295733e-05,4.289546e-05,4.276280e-05,4.263662e-05,4.256512e-05,4.237282e-05,4.236476e-05,4.216214e-05,4.210506e-05,4.195767e-05,4.183423e-05,4.175168e-05,4.156112e-05,4.154451e-05,4.133645e-05,4.128642e-05,4.112777e-05,4.101072e-05,4.091870e-05,4.073458e-05,4.070947e-05,4.050028e-05,4.045847e-05,4.029132e-05,4.018282e-05,4.008277e-05,3.990801e-05,3.987477e-05,3.966747e-05,3.963438e-05,3.946101e-05,3.936224e-05,3.925549e-05,3.909184e-05,3.905104e-05,3.884775e-05,3.882344e-05,3.864571e-05,3.855723e-05,3.844501e-05,3.829342e-05,3.824572e-05,3.804792e-05,3.803216e-05,3.785166e-05,3.777361e-05,3.765701e-05,3.751788e-05,3.746401e-05,3.727272e-05,3.726510e-05,3.708317e-05,3.701537e-05,3.689540e-05,3.676876e-05,3.670945e-05,3.652535e-05,3.628520e-05,3.604836e-05,3.581487e-05,3.558477e-05,3.535808e-05,3.513482e-05,3.491500e-05,3.469862e-05,3.448569e-05,3.427621e-05,3.407015e-05,3.386752e-05,3.366829e-05,3.347245e-05,3.327996e-05,3.309082e-05,3.290498e-05,3.272241e-05,3.254309e-05,3.236699e-05,3.219405e-05,3.202426e-05,3.185757e-05,3.169393e-05
0.000000e+00,2.798469e-11,6.470262e-11,2.248785e-10,5.155526e-10,7.559042e-10,1.746642e-09,1.800913e-09,3.581585e-09,4.248156e-09,6.367096e-09,8.625605e-09,1.039287e-08,1.521995e-08,1.568614e-08,2.204800e-08,2.370576e-08,2.923500e-08,3.354808e-08,3.706028e-08,4.436604e-08,4.538818e-08,5.410967e-08,5.589248e-08,6.312687e-08,6.790162e-08,7.234661e-08,8.018197e-08,8.167919e-08,9.103933e-08,9.253413e-08,1.003480e-07,1.047767e-07,1.095342e-07,1.167531e-07,1.185360e-07,1.273013e-07,1.283351e-07,1.357876e-07,1.394244e-07,1.439619e-07,1.499503e-07,1.517997e-07,1.592841e-07,1.598673e-07,1.664052e-07,1.691507e-07,1.731584e-07,1.777929e-07,1.795440e-07,1.855661e-07,1.857995e-07,1.912316e-07,1.931856e-07,1.965498e-07,1.999734e-07,2.015317e-07,2.061895e-07,2.105361e-07,2.118635e-07,2.145850e-07,2.170263e-07,2.183497e-07,2.217094e-07,2.218442e-07,2.250817e-07,2.259440e-07,2.280756e-07,2.297604e-07,2.308388e-07,2.331879e-07,2.333837e-07,2.357225e-07,2.362544e-07,2.378666e-07,2.389864e-07,2.398270e-07,2.414087e-07,2.416144e-07,2.432388e-07,2.435450e-07,2.447097e-07,2.454169e-07,2.460362e-07,2.470451e-07,2.472268e-07,2.482898e-07,2.484486e-07,2.492329e-07,2.496452e-07,2.500634e-07,2.506513e-07,2.507881e-07,2.514136e-07,2.514823e-07,2.519460e-07,2.521523e-07,2.523912e-07,2.526746e-07,2.527546e-07,2.530415e-07,2.530613e-07,2.532567e-07,2.533238e-07,2.534048e-07,2.534724e-07,2.534902e-07,2.535170e-07,2.535169e-07,2.534890e-07,2.534662e-07,2.534099e-07,2.533286e-07,2.532831e-07,2.531118e-07,2.528991e-07,2.528228e-07,2.526479e-07,2.524681e-07,2.523608e-07,2.520539e-07,2.520405e-07,2.516893e-07,2.515858e-07,2.513095e-07,2.510688e-07,2.509032e-07,2.505078e-07,2.504725e-07,2.500191e-07,2.499072e-07,2.495450e-07,2.492711e-07,2.490518e-07,2.486032e-07,2.485410e-07,2.480142e-07,2.479070e-07,2.474727e-07,2.471858e-07,2.469179e-07,2.464425e-07,2.463510e-07,2.457732e-07,2.456798e-07,2.451856e-07,2.449003e-07,2.445892e-07,2.441064e-07,2.439850e-07,2.433739e-07,2.433001e-07,2.427568e-07,2.424835e-07,2.421344e-07,2.416585e-07,2.415077e-07,2.408771e-07,2.408266e-07,2.402436e-07,2.399894e-07,2.396076e-07,2.391485e-07,2.389697e-07,2.383306e-07,2.383050e-07,2.376907e-07,2.374603e-07,2.370506e-07,2.366154e-07,2.364107e-07,2.357714e-07,2.349292e-07,2.340896e-07,2.332535e-07,2.324216e-07,2.315945e-07,2.307728e-07,2.299571e-07,2.291479e-07,2.283456e-07,2.275506e-07,2.267634e-07,2.259841e-07,2.252132e-07,2.244508e-07,2.236973e-07,2.229528e-07,2.222174e-07,2.214914e-07,2.207749e-07,2.200680e-07,2.193707e-07,2.186832e-07,2.180055e-07,2.173377e-07
0.000000e+00,3.628100e-11,8.406853e-11,2.926717e-10,6.695405e-10,9.787951e-10,2.228994e-09,2.296362e-09,4.450598e-09,5.233000e-09,7.658992e-09,1.018404e-08,1.214619e-08,1.756935e-08,1.810271e-08,2.560034e-08,2.762128e-08,3.454078e-08,4.010178e-08,4.471688e-08,5.451759e-08,5.590724e-08,6.791617e-08,7.040088e-08,8.057365e-08,8.736061e-08,9.372684e-08,1.050551e-07,1.072347e-07,1.209665e-07,1.231762e-07,1.348019e-07,1.414474e-07,1.486323e-07,1.596278e-07,1.623613e-07,1.759059e-07,1.775154e-07,1.891959e-07,1.949475e-07,2.021735e-07,2.117988e-07,2.147926e-07,2.270169e-07,2.279770e-07,2.388200e-07,2.434190e-07,2.501834e-07,2.580857e-07,2.610950e-07,2.715486e-07,2.719572e-07,2.815427e-07,2.850283e-07,2.910793e-07,2.973055e-07,3.001637e-07,3.088035e-07,3.170081e-07,3.195433e-07,3.247882e-07,3.295502e-07,3.321557e-07,3.388521e-07,3.391233e-07,3.457039e-07,3.474789e-07,3.519109e-07,3.554615e-07,3.577580e-07,3.628310e-07,3.632586e-07,3.684262e-07,3.696183e-07,3.732741e-07,3.758542e-07,3.778155e-07,3.815685e-07,3.820631e-07,3.860296e-07,3.867903e-07,3.897272e-07,3.915477e-07,3.931678e-07,3.958677e-07,3.963629e-07,3.993238e-07,3.997765e-07,4.020612e-07,4.032989e-07,4.045857e-07,4.064587e-07,4.069072e-07,4.090356e-07,4.092785e-07,4.109803e-07,4.117800e-07,4.127502e-07,4.139838e-07,4.143540e-07,4.158001e-07,4.159092e-07,4.170965e-07,4.175748e-07,4.182508e-07,4.189982e-07,4.192705e-07,4.201626e-07,4.201958e-07,4.209339e-07,4.211833e-07,4.215909e-07,4.219756e-07,4.221398e-07,4.225866e-07,4.229368e-07,4.230295e-07,4.231961e-07,4.233167e-07,4.233695e-07,4.234599e-07,4.234621e-07,4.234785e-07,4.234701e-07,4.234234e-07,4.233578e-07,4.233010e-07,4.231325e-07,4.231155e-07,4.228707e-07,4.228036e-07,4.225705e-07,4.223795e-07,4.222185e-07,4.218684e-07,4.218179e-07,4.213721e-07,4.212778e-07,4.208842e-07,4.206148e-07,4.203571e-07,4.198861e-07,4.197936e-07,4.191963e-07,4.190978e-07,4.185679e-07,4.182558e-07,4.179106e-07,4.173655e-07,4.172268e-07,4.165186e-07,4.164321e-07,4.157881e-07,4.154601e-07,4.150373e-07,4.144542e-07,4.142679e-07,4.134819e-07,4.134183e-07,4.126807e-07,4.123564e-07,4.118661e-07,4.112720e-07,4.110395e-07,4.102022e-07,4.101685e-07,4.093557e-07,4.090490e-07,4.085013e-07,4.079163e-07,4.076400e-07,4.067731e-07,4.056219e-07,4.044649e-07,4.033043e-07,4.021421e-07,4.009799e-07,3.998196e-07,3.986626e-07,3.975104e-07,3.963641e-07,3.952250e-07,3.940942e-07,3.929725e-07,3.918610e-07,3.907604e-07,3.896714e-07,3.885947e-07,3.875309e-07,3.864804e-07,3.854437e-07,3.844213e-07,3.834134e-07,3.824204e-07,3.814425e-07,3.804800e-07
0.000000e+00,4.253241e-12,9.744193e-12,3.355561e-11,7.648370e-11,1.117372e-10,2.548074e-10,2.625447e-10,5.115004e-10,6.026500e-10,8.877196e-10,1.188399e-09,1.424977e-09,2.093729e-09,2.160798e-09,3.131544e-09,3.402656e-09,4.361889e-09,5.165625e-09,5.852177e-09,7.357062e-09,7.574578e-09,9.483682e-09,9.883618e-09,1.153175e-08,1.263767e-08,1.367766e-08,1.553165e-08,1.588865e-08,1.813894e-08,1.850119e-08,2.040780e-08,2.149831e-08,2.267809e-08,2.448553e-08,2.493530e-08,2.716695e-08,2.743251e-08,2.936237e-08,3.031447e-08,3.151245e-08,3.311145e-08,3.360958e-08,3.564748e-08,3.580780e-08,3.762118e-08,3.839179e-08,3.952684e-08,4.085517e-08,4.136165e-08,4.312375e-08,4.319271e-08,4.481207e-08,4.540171e-08,4.642624e-08,4.748160e-08,4.796646e-08,4.943343e-08,5.082826e-08,5.125959e-08,5.215234e-08,5.296339e-08,5.340735e-08,5.454890e-08,5.459515e-08,5.571773e-08,5.602065e-08,5.677720e-08,5.738349e-08,5.777574e-08,5.864246e-08,5.871553e-08,5.959882e-08,5.980265e-08,6.042782e-08,6.086916e-08,6.120471e-08,6.184701e-08,6.193168e-08,6.261085e-08,6.274113e-08,6.324428e-08,6.355627e-08,6.383400e-08,6.429703e-08,6.438198e-08,6.489012e-08,6.496785e-08,6.536026e-08,6.557296e-08,6.579419e-08,6.611640e-08,6.619360e-08,6.656017e-08,6.660202e-08,6.689547e-08,6.703350e-08,6.720104e-08,6.741429e-08,6.747834e-08,6.772878e-08,6.774769e-08,6.795371e-08,6.803683e-08,6.815443e-08,6.828465e-08,6.833217e-08,6.848813e-08,6.849393e-08,6.862344e-08,6.866730e-08,6.873918e-08,6.880725e-08,6.883641e-08,6.891610e-08,6.897922e-08,6.899607e-08,6.902667e-08,6.904922e-08,6.905932e-08,6.907750e-08,6.907799e-08,6.908348e-08,6.908275e-08,6.907653e-08,6.906670e-08,6.905787e-08,6.903096e-08,6.902819e-08,6.898814e-08,6.897705e-08,6.893834e-08,6.890642e-08,6.887939e-08,6.882039e-08,6.881185e-08,6.873627e-08,6.872023e-08,6.865315e-08,6.860712e-08,6.856300e-08,6.848216e-08,6.846626e-08,6.836340e-08,6.834640e-08,6.825482e-08,6.820080e-08,6.814094e-08,6.804627e-08,6.802213e-08,6.789876e-08,6.788366e-08,6.777117e-08,6.771378e-08,6.763969e-08,6.753736e-08,6.750463e-08,6.736630e-08,6.735510e-08,6.722496e-08,6.716765e-08,6.708089e-08,6.697561e-08,6.693434e-08,6.678556e-08,6.677956e-08,6.663476e-08,6.658003e-08,6.648217e-08,6.637750e-08,6.632800e-08,6.617243e-08,6.596525e-08,6.575637e-08,6.554614e-08,6.533491e-08,6.512301e-08,6.491072e-08,6.469831e-08,6.448606e-08,6.427417e-08,6.406289e-08,6.385239e-08,6.364287e-08,6.343450e-08,6.322742e-08,6.302179e-08,6.281773e-08,6.261536e-08,6.241479e-08,6.221611e-08,6.201942e-08,6.182479e-08,6.163229e-08,6.144200e-08,6.125395e-08
0.000000e+00,1.370406e-11,6.433660e-11,6.081929e-10,2.572071e-09,4.900393e-09,1.892870e-08,1.985091e-08,5.559548e-08,7.092553e-08,1.239908e-07,1.858252e-07,2.373341e-07,3.915699e-07,4.075478e-07,6.457508e-07,7.141801e-07,9.620059e-07,1.176510e-06,1.364995e-06,1.796729e-06,1.861381e-06,2.454758e-06,2.585096e-06,3.144396e-06,3.539305e-06,3.924406e-06,4.641606e-06,4.783893e-06,5.708154e-06,5.860940e-06,6.680437e-06,7.159145e-06,7.683641e-06,8.497528e-06,8.701564e-06,9.719629e-06,9.841185e-06,1.072519e-05,1.116086e-05,1.170758e-05,1.243321e-05,1.265798e-05,1.356932e-05,1.364037e-05,1.443605e-05,1.476928e-05,1.525403e-05,1.581109e-05,1.602033e-05,1.673313e-05,1.676052e-05,1.739159e-05,1.761530e-05,1.799567e-05,1.837569e-05,1.854603e-05,1.904392e-05,1.949105e-05,1.962374e-05,1.988948e-05,2.011999e-05,2.024154e-05,2.053823e-05,2.054975e-05,2.081674e-05,2.088447e-05,2.104518e-05,2.116485e-05,2.123775e-05,2.138552e-05,2.139710e-05,2.152580e-05,2.155241e-05,2.162633e-05,2.167121e-05,2.170106e-05,2.174727e-05,2.175224e-05,2.178197e-05,2.178552e-05,2.179225e-05,2.179053e-05,2.178493e-05,2.176644e-05,2.176172e-05,2.172421e-05,2.171699e-05,2.167388e-05,2.164556e-05,2.161206e-05,2.155518e-05,2.154000e-05,2.145885e-05,2.144855e-05,2.136963e-05,2.132806e-05,2.127329e-05,2.119586e-05,2.117071e-05,2.106267e-05,2.105381e-05,2.094989e-05,2.090360e-05,2.083302e-05,2.074668e-05,2.071266e-05,2.058934e-05,2.058435e-05,2.046355e-05,2.041775e-05,2.033574e-05,2.024787e-05,2.020630e-05,2.007560e-05,1.994396e-05,1.990168e-05,1.981167e-05,1.972680e-05,1.967902e-05,1.955153e-05,1.954622e-05,1.941351e-05,1.937639e-05,1.928106e-05,1.920180e-05,1.914907e-05,1.902817e-05,1.901768e-05,1.888703e-05,1.885580e-05,1.875725e-05,1.868500e-05,1.862845e-05,1.851600e-05,1.850073e-05,1.837417e-05,1.834901e-05,1.824885e-05,1.818420e-05,1.812484e-05,1.802173e-05,1.800220e-05,1.788097e-05,1.786171e-05,1.776121e-05,1.770425e-05,1.764294e-05,1.754943e-05,1.752621e-05,1.741103e-05,1.739731e-05,1.729743e-05,1.724795e-05,1.718543e-05,1.710138e-05,1.707504e-05,1.696626e-05,1.695763e-05,1.685911e-05,1.681671e-05,1.675359e-05,1.667862e-05,1.664970e-05,1.654743e-05,1.654337e-05,1.644679e-05,1.641095e-05,1.634776e-05,1.628134e-05,1.625034e-05,1.615452e-05,1.603047e-05,1.590916e-05,1.579056e-05,1.567462e-05,1.556132e-05,1.545062e-05,1.534246e-05,1.523682e-05,1.513365e-05,1.503290e-05,1.493453e-05,1.483848e-05,1.474472e-05,1.465320e-05,1.456387e-05,1.447669e-05,1.439160e-05,1.430856e-05,1.422753e-05,1.414846e-05,1.407130e-05,1.399602e-05,1.392256e-05,1.385089e-05
0.000000e+00,5.526479e-11,2.330874e-10,1.802140e-09,6.506805e-09,1.148337e-08,3.764604e-08,3.925805e-08,9.823037e-08,1.225415e-07,2.055865e-07,3.025324e-07,3.842964e-07,6.353622e-07,6.618261e-07,1.061398e-06,1.176650e-06,1.589877e-06,1.938429e-06,2.236041e-06,2.886460e-06,2.980295e-06,3.803989e-06,3.976925e-06,4.692840e-06,5.177247e-06,5.636509e-06,6.465736e-06,6.627100e-06,7.657938e-06,7.826189e-06,8.722786e-06,9.244181e-06,9.815463e-06,1.070543e-05,1.092970e-05,1.205916e-05,1.219542e-05,1.319756e-05,1.369968e-05,1.433873e-05,1.520423e-05,1.547678e-05,1.660620e-05,1.669602e-05,1.772190e-05,1.816329e-05,1.881931e-05,1.959584e-05,1.989440e-05,2.094368e-05,2.098507e-05,2.196420e-05,2.232407e-05,2.295354e-05,2.360747e-05,2.390976e-05,2.483136e-05,2.571727e-05,2.599309e-05,2.656675e-05,2.709110e-05,2.737940e-05,2.812477e-05,2.815509e-05,2.889392e-05,2.909423e-05,2.959620e-05,3.000022e-05,3.026241e-05,3.084397e-05,3.089314e-05,3.148911e-05,3.162706e-05,3.205114e-05,3.235138e-05,3.258011e-05,3.301898e-05,3.307693e-05,3.354258e-05,3.363206e-05,3.397806e-05,3.419292e-05,3.438437e-05,3.470388e-05,3.476253e-05,3.511356e-05,3.516727e-05,3.543846e-05,3.558543e-05,3.573824e-05,3.596064e-05,3.601388e-05,3.626636e-05,3.629515e-05,3.649664e-05,3.659116e-05,3.670562e-05,3.685078e-05,3.689424e-05,3.706336e-05,3.707608e-05,3.721385e-05,3.726902e-05,3.734655e-05,3.743152e-05,3.746225e-05,3.756175e-05,3.756541e-05,3.764580e-05,3.767242e-05,3.771514e-05,3.775425e-05,3.777047e-05,3.781248e-05,3.784182e-05,3.784864e-05,3.785914e-05,3.786419e-05,3.786503e-05,3.786050e-05,3.786010e-05,3.784491e-05,3.783889e-05,3.782000e-05,3.780061e-05,3.778591e-05,3.774685e-05,3.774312e-05,3.769213e-05,3.767873e-05,3.763340e-05,3.759730e-05,3.756738e-05,3.750359e-05,3.749450e-05,3.741515e-05,3.739855e-05,3.732975e-05,3.728307e-05,3.723866e-05,3.715801e-05,3.714224e-05,3.704084e-05,3.702418e-05,3.693479e-05,3.688233e-05,3.682441e-05,3.673318e-05,3.670999e-05,3.659183e-05,3.657741e-05,3.647020e-05,3.641565e-05,3.634537e-05,3.624850e-05,3.621758e-05,3.608708e-05,3.607653e-05,3.595409e-05,3.590025e-05,3.581884e-05,3.572018e-05,3.568153e-05,3.554236e-05,3.553676e-05,3.540152e-05,3.535045e-05,3.525919e-05,3.516164e-05,3.511554e-05,3.497073e-05,3.477807e-05,3.458400e-05,3.438882e-05,3.419284e-05,3.399632e-05,3.379951e-05,3.360265e-05,3.340596e-05,3.320964e-05,3.301388e-05,3.281886e-05,3.262472e-05,3.243162e-05,3.223970e-05,3.204908e-05,3.185987e-05,3.167217e-05,3.148609e-05,3.130171e-05,3.111910e-05,3.093833e-05,3.075948e-05,3.058258e-05,3.040771e-05
0.000000e+00,1.780543e-11,8.388952e-11,7.993316e-10,3.407301e-09,6.522177e-09,2.553290e-08,2.679265e-08,7.621971e-08,9.769632e-08,1.730023e-07,2.622980e-07,3.377505e-07,5.685517e-07,5.928330e-07,9.617537e-07,1.069835e-06,1.467425e-06,1.817622e-06,2.128611e-06,2.847864e-06,2.956063e-06,3.951014e-06,4.169614e-06,5.106642e-06,5.767198e-06,6.410895e-06,7.610590e-06,7.849048e-06,9.405334e-06,9.664233e-06,1.106374e-05,1.189137e-05,1.280833e-05,1.425546e-05,1.462335e-05,1.649331e-05,1.672067e-05,1.840308e-05,1.925222e-05,2.033811e-05,2.181709e-05,2.228457e-05,2.422957e-05,2.438474e-05,2.616128e-05,2.692782e-05,2.806907e-05,2.942258e-05,2.994360e-05,3.177680e-05,3.184916e-05,3.356186e-05,3.419159e-05,3.529322e-05,3.643756e-05,3.696644e-05,3.857815e-05,4.012590e-05,4.060739e-05,4.160808e-05,4.252184e-05,4.302382e-05,4.432018e-05,4.437286e-05,4.565546e-05,4.600277e-05,4.687233e-05,4.757133e-05,4.802453e-05,4.902859e-05,4.911340e-05,5.014052e-05,5.037803e-05,5.110763e-05,5.162368e-05,5.201659e-05,5.276993e-05,5.286936e-05,5.366796e-05,5.382136e-05,5.441444e-05,5.478269e-05,5.511084e-05,5.565864e-05,5.575923e-05,5.636164e-05,5.645389e-05,5.692004e-05,5.717303e-05,5.743641e-05,5.782052e-05,5.791265e-05,5.835061e-05,5.840068e-05,5.875210e-05,5.891765e-05,5.911885e-05,5.937539e-05,5.945255e-05,5.975481e-05,5.977768e-05,6.002719e-05,6.012812e-05,6.027120e-05,6.043013e-05,6.048828e-05,6.067980e-05,6.068695e-05,6.084709e-05,6.090162e-05,6.099141e-05,6.107706e-05,6.111398e-05,6.121597e-05,6.129847e-05,6.132093e-05,6.136255e-05,6.139436e-05,6.140922e-05,6.143855e-05,6.143945e-05,6.145417e-05,6.145563e-05,6.145424e-05,6.144761e-05,6.144051e-05,6.141638e-05,6.141379e-05,6.137482e-05,6.136373e-05,6.132435e-05,6.129131e-05,6.126306e-05,6.120069e-05,6.119160e-05,6.111062e-05,6.109333e-05,6.102070e-05,6.097060e-05,6.092242e-05,6.083379e-05,6.081631e-05,6.070288e-05,6.068409e-05,6.058264e-05,6.052264e-05,6.045604e-05,6.035048e-05,6.032352e-05,6.018552e-05,6.016860e-05,6.004241e-05,5.997793e-05,5.989459e-05,5.977932e-05,5.974241e-05,5.958622e-05,5.957356e-05,5.942634e-05,5.936143e-05,5.926308e-05,5.914360e-05,5.909673e-05,5.892756e-05,5.892074e-05,5.875585e-05,5.869346e-05,5.858184e-05,5.846231e-05,5.840576e-05,5.822784e-05,5.799053e-05,5.775083e-05,5.750918e-05,5.726597e-05,5.702157e-05,5.677631e-05,5.653052e-05,5.628449e-05,5.603849e-05,5.579276e-05,5.554755e-05,5.530307e-05,5.505951e-05,5.481705e-05,5.457587e-05,5.433610e-05,5.409791e-05,5.386140e-05,5.362671e-05,5.339393e-05,5.316316e-05,5.293450e-05,5.270801e-05,5.248377e-05
0.000000e+00,5.964297e-11,1.428484e-10,5.145107e-10,1.197498e-09,1.764583e-09,4.106640e-09,4.234968e-09,8.444301e-09,1.002004e-08,1.503625e-08,2.040716e-08,2.463455e-08,3.629990e-08,3.743489e-08,5.303008e-08,5.711820e-08,7.079753e-08,8.149952e-08,9.022785e-08,1.084131e-07,1.109602e-07,1.327234e-07,1.371791e-07,1.552871e-07,1.672650e-07,1.784363e-07,1.981808e-07,2.019616e-07,2.256582e-07,2.294523e-07,2.493286e-07,2.606258e-07,2.727866e-07,2.912853e-07,2.958624e-07,3.184050e-07,3.210679e-07,3.402846e-07,3.496731e-07,3.613940e-07,3.768699e-07,3.816497e-07,4.009893e-07,4.024954e-07,4.193694e-07,4.264466e-07,4.367647e-07,4.486734e-07,4.531651e-07,4.685730e-07,4.691688e-07,4.830017e-07,4.879607e-07,4.964743e-07,5.051027e-07,5.090170e-07,5.206621e-07,5.314466e-07,5.347220e-07,5.414085e-07,5.473710e-07,5.505880e-07,5.587017e-07,5.590255e-07,5.667610e-07,5.688064e-07,5.738335e-07,5.777749e-07,5.802816e-07,5.856942e-07,5.861423e-07,5.914513e-07,5.926472e-07,5.962426e-07,5.987117e-07,6.005485e-07,6.039606e-07,6.043997e-07,6.078253e-07,6.084618e-07,6.108526e-07,6.122781e-07,6.135076e-07,6.154677e-07,6.158143e-07,6.177956e-07,6.180839e-07,6.194728e-07,6.201758e-07,6.208659e-07,6.217885e-07,6.219936e-07,6.228736e-07,6.229633e-07,6.235221e-07,6.237382e-07,6.239546e-07,6.241478e-07,6.241855e-07,6.242283e-07,6.242239e-07,6.240954e-07,6.239958e-07,6.237988e-07,6.234900e-07,6.233494e-07,6.227575e-07,6.227310e-07,6.220329e-07,6.217413e-07,6.211846e-07,6.205414e-07,6.202210e-07,6.191501e-07,6.179794e-07,6.175848e-07,6.167158e-07,6.158614e-07,6.153659e-07,6.139945e-07,6.139358e-07,6.124313e-07,6.119974e-07,6.108577e-07,6.098826e-07,6.092202e-07,6.076614e-07,6.075236e-07,6.057722e-07,6.053442e-07,6.039704e-07,6.029408e-07,6.021220e-07,6.004599e-07,6.002308e-07,5.983003e-07,5.979098e-07,5.963338e-07,5.952980e-07,5.943343e-07,5.926315e-07,5.923049e-07,5.902482e-07,5.899168e-07,5.881668e-07,5.871597e-07,5.860632e-07,5.843659e-07,5.839397e-07,5.817984e-07,5.815403e-07,5.796413e-07,5.786877e-07,5.774705e-07,5.758125e-07,5.752876e-07,5.730944e-07,5.729186e-07,5.708926e-07,5.700098e-07,5.686836e-07,5.670895e-07,5.664688e-07,5.642497e-07,5.641609e-07,5.620275e-07,5.612269e-07,5.598033e-07,5.582904e-07,5.575784e-07,5.553538e-07,5.524194e-07,5.494894e-07,5.465658e-07,5.436505e-07,5.407451e-07,5.378512e-07,5.349703e-07,5.321037e-07,5.292527e-07,5.264183e-07,5.236016e-07,5.208035e-07,5.180249e-07,5.152667e-07,5.125294e-07,5.098139e-07,5.071206e-07,5.044501e-07,5.018028e-07,4.991793e-07,4.965799e-07,4.940049e-07,4.914546e-07,4.889294e-07
0.000000e+00,6.735687e-11,3.019347e-10,2.615277e-09,1.032663e-08,1.904286e-08,6.888762e-08,7.209601e-08,1.952773e-07,2.482918e-07,4.352338e-07,6.609989e-07,8.554719e-07,1.466070e-06,1.531210e-06,2.524820e-06,2.813953e-06,3.857210e-06,4.743922e-06,5.505155e-06,7.179502e-06,7.422055e-06,9.558854e-06,1.000878e-05,1.187403e-05,1.313728e-05,1.433492e-05,1.649549e-05,1.691548e-05,1.959360e-05,2.002980e-05,2.234927e-05,2.369393e-05,2.516349e-05,2.744474e-05,2.801800e-05,3.089520e-05,3.124119e-05,3.377842e-05,3.504488e-05,3.665210e-05,3.882096e-05,3.950209e-05,4.231574e-05,4.253892e-05,4.508200e-05,4.617307e-05,4.779144e-05,4.970254e-05,5.043613e-05,5.300963e-05,5.311101e-05,5.550680e-05,5.638632e-05,5.792375e-05,5.951995e-05,6.025761e-05,6.250652e-05,6.466939e-05,6.534326e-05,6.674583e-05,6.802944e-05,6.873599e-05,7.056595e-05,7.064050e-05,7.246037e-05,7.295494e-05,7.419692e-05,7.519949e-05,7.585170e-05,7.730338e-05,7.742646e-05,7.892310e-05,7.927089e-05,8.034362e-05,8.110663e-05,8.169009e-05,8.281543e-05,8.296465e-05,8.416946e-05,8.440224e-05,8.530669e-05,8.587207e-05,8.637853e-05,8.722992e-05,8.738714e-05,8.833467e-05,8.848074e-05,8.922323e-05,8.962942e-05,9.005493e-05,9.068071e-05,9.083180e-05,9.155586e-05,9.163929e-05,9.222907e-05,9.250967e-05,9.285336e-05,9.329624e-05,9.343059e-05,9.396258e-05,9.400324e-05,9.445113e-05,9.463476e-05,9.489794e-05,9.519474e-05,9.530469e-05,9.567301e-05,9.568697e-05,9.600448e-05,9.611509e-05,9.630063e-05,9.648259e-05,9.656293e-05,9.679282e-05,9.699168e-05,9.704898e-05,9.716085e-05,9.725414e-05,9.730163e-05,9.741123e-05,9.741527e-05,9.750297e-05,9.752305e-05,9.756591e-05,9.759226e-05,9.760521e-05,9.762142e-05,9.762195e-05,9.761719e-05,9.761295e-05,9.759192e-05,9.756918e-05,9.754712e-05,9.749229e-05,9.748373e-05,9.740265e-05,9.738439e-05,9.730475e-05,9.724748e-05,9.719087e-05,9.708344e-05,9.706180e-05,9.691833e-05,9.689409e-05,9.676119e-05,9.668113e-05,9.659111e-05,9.644618e-05,9.640877e-05,9.621482e-05,9.619080e-05,9.600992e-05,9.591645e-05,9.579466e-05,9.562451e-05,9.556964e-05,9.533542e-05,9.531630e-05,9.509253e-05,9.499306e-05,9.484150e-05,9.465599e-05,9.458282e-05,9.431697e-05,9.430619e-05,9.404441e-05,9.394473e-05,9.376558e-05,9.357261e-05,9.348090e-05,9.319076e-05,9.280010e-05,9.240146e-05,9.199565e-05,9.158341e-05,9.116547e-05,9.074248e-05,9.031509e-05,8.988388e-05,8.944943e-05,8.901225e-05,8.857286e-05,8.813170e-05,8.768923e-05,8.724585e-05,8.680195e-05,8.635789e-05,8.591401e-05,8.547064e-05,8.502806e-05,8.458655e-05,8.414638e-05,8.370779e-05,8.327099e-05,8.283620e-05
0.000000e+00,5.783918e-11,1.512469e-10,5.984356e-10,1.453626e-09,2.173504e-09,5.155844e-09,5.318634e-09,1.059086e-08,1.253021e-08,1.860591e-08,2.501749e-08,3.005875e-08,4.427819e-08,4.570127e-08,6.623108e-08,7.194091e-08,9.205497e-08,1.088002e-07,1.230267e-07,1.539792e-07,1.584291e-07,1.972701e-07,2.053645e-07,2.385992e-07,2.608078e-07,2.816372e-07,3.186578e-07,3.257715e-07,3.705107e-07,3.776968e-07,4.154450e-07,4.369777e-07,4.602227e-07,4.957243e-07,5.045366e-07,5.481185e-07,5.532878e-07,5.907367e-07,6.091314e-07,6.321943e-07,6.628246e-07,6.723287e-07,7.110095e-07,7.140379e-07,7.481364e-07,7.625350e-07,7.836369e-07,8.081621e-07,8.174626e-07,8.495876e-07,8.508371e-07,8.800049e-07,8.905384e-07,9.087238e-07,9.272932e-07,9.357659e-07,9.611617e-07,9.849508e-07,9.922314e-07,1.007179e-06,1.020609e-06,1.027897e-06,1.046414e-06,1.047157e-06,1.065015e-06,1.069772e-06,1.081528e-06,1.090815e-06,1.096755e-06,1.109676e-06,1.110752e-06,1.123579e-06,1.126489e-06,1.135294e-06,1.141391e-06,1.145956e-06,1.154507e-06,1.155615e-06,1.164324e-06,1.165956e-06,1.172133e-06,1.175853e-06,1.179089e-06,1.184307e-06,1.185239e-06,1.190626e-06,1.191420e-06,1.195293e-06,1.197289e-06,1.199280e-06,1.202007e-06,1.202627e-06,1.205369e-06,1.205659e-06,1.207543e-06,1.208327e-06,1.209181e-06,1.210087e-06,1.210314e-06,1.210974e-06,1.211008e-06,1.211190e-06,1.211157e-06,1.210987e-06,1.210598e-06,1.210393e-06,1.209433e-06,1.209387e-06,1.208128e-06,1.207579e-06,1.206503e-06,1.205224e-06,1.204577e-06,1.202370e-06,1.199903e-06,1.199061e-06,1.197192e-06,1.195336e-06,1.194254e-06,1.191235e-06,1.191106e-06,1.187762e-06,1.186793e-06,1.184238e-06,1.182042e-06,1.180546e-06,1.177013e-06,1.176700e-06,1.172711e-06,1.171734e-06,1.168592e-06,1.166232e-06,1.164353e-06,1.160531e-06,1.160004e-06,1.155555e-06,1.154654e-06,1.151015e-06,1.148622e-06,1.146393e-06,1.142454e-06,1.141698e-06,1.136936e-06,1.136168e-06,1.132114e-06,1.129781e-06,1.127241e-06,1.123309e-06,1.122322e-06,1.117363e-06,1.116766e-06,1.112370e-06,1.110164e-06,1.107349e-06,1.103517e-06,1.102304e-06,1.097240e-06,1.096834e-06,1.092162e-06,1.090128e-06,1.087074e-06,1.083407e-06,1.081980e-06,1.076883e-06,1.076679e-06,1.071788e-06,1.069954e-06,1.066696e-06,1.063238e-06,1.061612e-06,1.056538e-06,1.049861e-06,1.043212e-06,1.036596e-06,1.030018e-06,1.023482e-06,1.016993e-06,1.010553e-06,1.004166e-06,9.978349e-07,9.915621e-07,9.853498e-07,9.792003e-07,9.731151e-07,9.670960e-07,9.611443e-07,9.552612e-07,9.494478e-07,9.437048e-07,9.380329e-07,9.324328e-07,9.269049e-07,9.214495e-07,9.160668e-07,9.107569e-07
0.000000e+00,3.149620e-10,1.619554e-09,1.845795e-08,9.235824e-08,1.928053e-07,9.400353e-07,9.951147e-07,3.493684e-06,4.735159e-06,9.621510e-06,1.625550e-05,2.242850e-05,4.386325e-05,4.631089e-05,8.720955e-05,1.003677e-04,1.527460e-04,2.036146e-04,2.522373e-04,3.764724e-04,3.965472e-04,5.977888e-04,6.460003e-04,8.689396e-04,1.042018e-03,1.223431e-03,1.595486e-03,1.674754e-03,2.236090e-03,2.336964e-03,2.919997e-03,3.295271e-03,3.738123e-03,4.496362e-03,4.700969e-03,5.817682e-03,5.962407e-03,7.095893e-03,7.711071e-03,8.541581e-03,9.754987e-03,1.015898e-02,1.195053e-02,1.210141e-02,1.391683e-02,1.475206e-02,1.605665e-02,1.770315e-02,1.836699e-02,2.084316e-02,2.094558e-02,2.347884e-02,2.446527e-02,2.626622e-02,2.824369e-02,2.919618e-02,3.225837e-02,3.544148e-02,3.648365e-02,3.873333e-02,4.089128e-02,4.212109e-02,4.545122e-02,4.559145e-02,4.913081e-02,5.013232e-02,5.272541e-02,5.490298e-02,5.636153e-02,5.973175e-02,6.002559e-02,6.370430e-02,6.458793e-02,6.738478e-02,6.944199e-02,7.105467e-02,7.426602e-02,7.470216e-02,7.831614e-02,7.903399e-02,8.188619e-02,8.372201e-02,8.540264e-02,8.830851e-02,8.885661e-02,9.224003e-02,9.277433e-02,9.554562e-02,9.710273e-02,9.876692e-02,1.012794e-01,1.018982e-01,1.049347e-01,1.052925e-01,1.078720e-01,1.091322e-01,1.107069e-01,1.127911e-01,1.134365e-01,1.160587e-01,1.162638e-01,1.185720e-01,1.195466e-01,1.209754e-01,1.226375e-01,1.232685e-01,1.254513e-01,1.255363e-01,1.275243e-01,1.282438e-01,1.294883e-01,1.307623e-01,1.313447e-01,1.330950e-01,1.347409e-01,1.352459e-01,1.362846e-01,1.372200e-01,1.377284e-01,1.390227e-01,1.390747e-01,1.403261e-01,1.406599e-01,1.414855e-01,1.421380e-01,1.425556e-01,1.434637e-01,1.435393e-01,1.444397e-01,1.446437e-01,1.452598e-01,1.456851e-01,1.460026e-01,1.465947e-01,1.466711e-01,1.472684e-01,1.473796e-01,1.477975e-01,1.480467e-01,1.482614e-01,1.486028e-01,1.486629e-01,1.490051e-01,1.490545e-01,1.492906e-01,1.494084e-01,1.495223e-01,1.496707e-01,1.497029e-01,1.498349e-01,1.498476e-01,1.499209e-01,1.499448e-01,1.499634e-01,1.499681e-01,1.499648e-01,1.499274e-01,1.499228e-01,1.498533e-01,1.498139e-01,1.497447e-01,1.496464e-01,1.496038e-01,1.494323e-01,1.494249e-01,1.492324e-01,1.491537e-01,1.490056e-01,1.488371e-01,1.487539e-01,1.484788e-01,1.480826e-01,1.476518e-01,1.471899e-01,1.466997e-01,1.461841e-01,1.456459e-01,1.450873e-01,1.445108e-01,1.439186e-01,1.433125e-01,1.426944e-01,1.420662e-01,1.414293e-01,1.407852e-01,1.401353e-01,1.394809e-01,1.388231e-01,1.381629e-01,1.375015e-01,1.368396e-01,1.361781e-01,1.355178e-01,1.348593e-01,1.342033e-01
0.000000e+00,9.980917e-12,2.290119e-11,7.877156e-11,1.788803e-10,2.605933e-10,5.884704e-10,6.060506e-10,1.164722e-09,1.366237e-09,1.987563e-09,2.630141e-09,3.127679e-09,4.500791e-09,4.636007e-09,6.547543e-09,7.067305e-09,8.863822e-09,1.032640e-08,1.155203e-08,1.418667e-08,1.456347e-08,1.784984e-08,1.853623e-08,2.136813e-08,2.327633e-08,2.507962e-08,2.831997e-08,2.894799e-08,3.293812e-08,3.358554e-08,3.701566e-08,3.899406e-08,4.114716e-08,4.446958e-08,4.530051e-08,4.944544e-08,4.994091e-08,5.355397e-08,5.534356e-08,5.760076e-08,6.062113e-08,6.156342e-08,6.542266e-08,6.572643e-08,6.916228e-08,7.062158e-08,7.276906e-08,7.527779e-08,7.623267e-08,7.954538e-08,7.967467e-08,8.270186e-08,8.379926e-08,8.569887e-08,8.764497e-08,8.853501e-08,9.121046e-08,9.372669e-08,9.449866e-08,9.608629e-08,9.751578e-08,9.829268e-08,1.002705e-07,1.003500e-07,1.022629e-07,1.027734e-07,1.040365e-07,1.050360e-07,1.056761e-07,1.070709e-07,1.071872e-07,1.085754e-07,1.088909e-07,1.098462e-07,1.105087e-07,1.110054e-07,1.119373e-07,1.120583e-07,1.130103e-07,1.131891e-07,1.138668e-07,1.142760e-07,1.146327e-07,1.152097e-07,1.153130e-07,1.159125e-07,1.160012e-07,1.164357e-07,1.166610e-07,1.168869e-07,1.171988e-07,1.172703e-07,1.175899e-07,1.176242e-07,1.178496e-07,1.179458e-07,1.180529e-07,1.181718e-07,1.182033e-07,1.183040e-07,1.183100e-07,1.183582e-07,1.183675e-07,1.183688e-07,1.183510e-07,1.183386e-07,1.182703e-07,1.182668e-07,1.181664e-07,1.181207e-07,1.180292e-07,1.179181e-07,1.178611e-07,1.176641e-07,1.174402e-07,1.173632e-07,1.171914e-07,1.170199e-07,1.169195e-07,1.166382e-07,1.166261e-07,1.163129e-07,1.162218e-07,1.159813e-07,1.157742e-07,1.156329e-07,1.152986e-07,1.152689e-07,1.148906e-07,1.147979e-07,1.144993e-07,1.142749e-07,1.140960e-07,1.137321e-07,1.136818e-07,1.132578e-07,1.131719e-07,1.128248e-07,1.125964e-07,1.123837e-07,1.120077e-07,1.119355e-07,1.114808e-07,1.114075e-07,1.110205e-07,1.107977e-07,1.105551e-07,1.101797e-07,1.100855e-07,1.096121e-07,1.095551e-07,1.091356e-07,1.089250e-07,1.086564e-07,1.082909e-07,1.081752e-07,1.076924e-07,1.076537e-07,1.072084e-07,1.070146e-07,1.067237e-07,1.063744e-07,1.062386e-07,1.057535e-07,1.057341e-07,1.052688e-07,1.050944e-07,1.047847e-07,1.044561e-07,1.043016e-07,1.038197e-07,1.031861e-07,1.025555e-07,1.019287e-07,1.013060e-07,1.006878e-07,1.000745e-07,9.946651e-08,9.886400e-08,9.826730e-08,9.767663e-08,9.709220e-08,9.651420e-08,9.594279e-08,9.537810e-08,9.482026e-08,9.426935e-08,9.372548e-08,9.318870e-08,9.265907e-08,9.213663e-08,9.162140e-08,9.111340e-08,9.061265e-08,9.011913e-08
0.000000e+00,7.653187e-11,2.417791e-10,1.192060e-09,3.222532e-09,5.013591e-09,1.272109e-08,1.314856e-08,2.711579e-08,3.227320e-08,4.839159e-08,6.527487e-08,7.843921e-08,1.150388e-07,1.186603e-07,1.701695e-07,1.842814e-07,2.334453e-07,2.739441e-07,3.082225e-07,3.829653e-07,3.937711e-07,4.892082e-07,5.094022e-07,5.936222e-07,6.511575e-07,7.060826e-07,8.060627e-07,8.256242e-07,9.512419e-07,9.718356e-07,1.081899e-06,1.146096e-06,1.216546e-06,1.326435e-06,1.354140e-06,1.493670e-06,1.510497e-06,1.634174e-06,1.696071e-06,1.774758e-06,1.881150e-06,1.914606e-06,2.052992e-06,2.063980e-06,2.189276e-06,2.243075e-06,2.322906e-06,2.417210e-06,2.453415e-06,2.580421e-06,2.585424e-06,2.703616e-06,2.746985e-06,2.822760e-06,2.901373e-06,2.937678e-06,3.048248e-06,3.154394e-06,3.187419e-06,3.256082e-06,3.318823e-06,3.353314e-06,3.442494e-06,3.446121e-06,3.534559e-06,3.558548e-06,3.618702e-06,3.667163e-06,3.698641e-06,3.768560e-06,3.774479e-06,3.846330e-06,3.862994e-06,3.914312e-06,3.950740e-06,3.978552e-06,4.032090e-06,4.039178e-06,4.096321e-06,4.107342e-06,4.150110e-06,4.176799e-06,4.200678e-06,4.240760e-06,4.248154e-06,4.292666e-06,4.299521e-06,4.334340e-06,4.353372e-06,4.373299e-06,4.402593e-06,4.409664e-06,4.443550e-06,4.447455e-06,4.475073e-06,4.488222e-06,4.504341e-06,4.525143e-06,4.531462e-06,4.556538e-06,4.558458e-06,4.579668e-06,4.588397e-06,4.600949e-06,4.615178e-06,4.620472e-06,4.638326e-06,4.639007e-06,4.654596e-06,4.660081e-06,4.669364e-06,4.678587e-06,4.682707e-06,4.694701e-06,4.705419e-06,4.708590e-06,4.714928e-06,4.720411e-06,4.723295e-06,4.730312e-06,4.730584e-06,4.736853e-06,4.738434e-06,4.742162e-06,4.744908e-06,4.746564e-06,4.749859e-06,4.750113e-06,4.752859e-06,4.753404e-06,4.754850e-06,4.755651e-06,4.756130e-06,4.756705e-06,4.756745e-06,4.756735e-06,4.756661e-06,4.756140e-06,4.755611e-06,4.754997e-06,4.753640e-06,4.753342e-06,4.751210e-06,4.750827e-06,4.748632e-06,4.747246e-06,4.745640e-06,4.742968e-06,4.742263e-06,4.738529e-06,4.738058e-06,4.734463e-06,4.732576e-06,4.730092e-06,4.726580e-06,4.725438e-06,4.720525e-06,4.720122e-06,4.715374e-06,4.713252e-06,4.710006e-06,4.706016e-06,4.704438e-06,4.698690e-06,4.698457e-06,4.692779e-06,4.690615e-06,4.686721e-06,4.682526e-06,4.680532e-06,4.674225e-06,4.665744e-06,4.657113e-06,4.648359e-06,4.639507e-06,4.630580e-06,4.621600e-06,4.612586e-06,4.603558e-06,4.594530e-06,4.585520e-06,4.576541e-06,4.567605e-06,4.558725e-06,4.549911e-06,4.541172e-06,4.532517e-06,4.523954e-06,4.515490e-06,4.507131e-06,4.498883e-06,4.490750e-06,4.482736e-06,4.474846e-06,4.467082e-06
0.000000e+00,1.389637e-12,3.174831e-12,1.087428e-11,2.469439e-11,3.603068e-11,8.216986e-11,8.467522e-11,1.659554e-10,1.960091e-10,2.905290e-10,3.898999e-10,4.669052e-10,6.753958e-10,6.954743e-10,9.702144e-10,1.042279e-09,1.284756e-09,1.476474e-09,1.634391e-09,1.968234e-09,2.015526e-09,2.424943e-09,2.509935e-09,2.859360e-09,3.093976e-09,3.315242e-09,3.711978e-09,3.788760e-09,4.275848e-09,4.354760e-09,4.772283e-09,5.012641e-09,5.273813e-09,5.675907e-09,5.776283e-09,6.275734e-09,6.335287e-09,6.768495e-09,6.982323e-09,7.251253e-09,7.609655e-09,7.721101e-09,8.175557e-09,8.211184e-09,8.612577e-09,8.782127e-09,9.030542e-09,9.318979e-09,9.428234e-09,9.804805e-09,9.819420e-09,1.015974e-08,1.028218e-08,1.049283e-08,1.070685e-08,1.080410e-08,1.109379e-08,1.136234e-08,1.144390e-08,1.161030e-08,1.175849e-08,1.183834e-08,1.203923e-08,1.204722e-08,1.223776e-08,1.228793e-08,1.241079e-08,1.250658e-08,1.256720e-08,1.269717e-08,1.270786e-08,1.283365e-08,1.286172e-08,1.294542e-08,1.300220e-08,1.304401e-08,1.312052e-08,1.313024e-08,1.320489e-08,1.321850e-08,1.326872e-08,1.329787e-08,1.332244e-08,1.336025e-08,1.336673e-08,1.340224e-08,1.340715e-08,1.342958e-08,1.343997e-08,1.344933e-08,1.346004e-08,1.346204e-08,1.346821e-08,1.346853e-08,1.346833e-08,1.346658e-08,1.346285e-08,1.345519e-08,1.345218e-08,1.343674e-08,1.343531e-08,1.341688e-08,1.340778e-08,1.339296e-08,1.337340e-08,1.336530e-08,1.333419e-08,1.333288e-08,1.329993e-08,1.328688e-08,1.326278e-08,1.323599e-08,1.322298e-08,1.318076e-08,1.313634e-08,1.312170e-08,1.308992e-08,1.305925e-08,1.304168e-08,1.299383e-08,1.299180e-08,1.294044e-08,1.292581e-08,1.288774e-08,1.285555e-08,1.283386e-08,1.278335e-08,1.277892e-08,1.272304e-08,1.270950e-08,1.266634e-08,1.263426e-08,1.260892e-08,1.255787e-08,1.255087e-08,1.249231e-08,1.248054e-08,1.243329e-08,1.240246e-08,1.237392e-08,1.232382e-08,1.231426e-08,1.225437e-08,1.224477e-08,1.219432e-08,1.216546e-08,1.213418e-08,1.208603e-08,1.207399e-08,1.201381e-08,1.200659e-08,1.195368e-08,1.192726e-08,1.189365e-08,1.184812e-08,1.183376e-08,1.177404e-08,1.176927e-08,1.171453e-08,1.169080e-08,1.165527e-08,1.161276e-08,1.159627e-08,1.153757e-08,1.153523e-08,1.147919e-08,1.145826e-08,1.142116e-08,1.138191e-08,1.136350e-08,1.130622e-08,1.123124e-08,1.115699e-08,1.108352e-08,1.101084e-08,1.093899e-08,1.086798e-08,1.079783e-08,1.072857e-08,1.066019e-08,1.059272e-08,1.052615e-08,1.046050e-08,1.039577e-08,1.033197e-08,1.026908e-08,1.020713e-08,1.014609e-08,1.008598e-08,1.002678e-08,9.968502e-09,9.911129e-09,9.854658e-09,9.799083e-09,9.744398e-09
0.000000e+00,1.958958e-12,9.603232e-12,9.906283e-11,4.523013e-10,8.976573e-10,3.837281e-09,4.040346e-09,1.243553e-08,1.625987e-08,3.018111e-08,4.738603e-08,6.232705e-08,1.095405e-07,1.146074e-07,1.931989e-07,2.166832e-07,3.044605e-07,3.833502e-07,4.545262e-07,6.229027e-07,6.486668e-07,8.905676e-07,9.448582e-07,1.181815e-06,1.352640e-06,1.521781e-06,1.843156e-06,1.907876e-06,2.335999e-06,2.408066e-06,2.801028e-06,3.035689e-06,3.297261e-06,3.712721e-06,3.818753e-06,4.359545e-06,4.425459e-06,4.913829e-06,5.160545e-06,5.476047e-06,5.905407e-06,6.040968e-06,6.603729e-06,6.648521e-06,7.159884e-06,7.379585e-06,7.705431e-06,8.089653e-06,8.236835e-06,8.751050e-06,8.771223e-06,9.245519e-06,9.418282e-06,9.718178e-06,1.002630e-05,1.016744e-05,1.059217e-05,1.099165e-05,1.111409e-05,1.136556e-05,1.159143e-05,1.171391e-05,1.202456e-05,1.203701e-05,1.233543e-05,1.241466e-05,1.260993e-05,1.276353e-05,1.286143e-05,1.307342e-05,1.309100e-05,1.329977e-05,1.334692e-05,1.348893e-05,1.358675e-05,1.365970e-05,1.379573e-05,1.381330e-05,1.395093e-05,1.397665e-05,1.407377e-05,1.413218e-05,1.418295e-05,1.426489e-05,1.427955e-05,1.436458e-05,1.437718e-05,1.443902e-05,1.447125e-05,1.450375e-05,1.454911e-05,1.455961e-05,1.460738e-05,1.461260e-05,1.464776e-05,1.466335e-05,1.468140e-05,1.470283e-05,1.470890e-05,1.473080e-05,1.473233e-05,1.474760e-05,1.475300e-05,1.475976e-05,1.476587e-05,1.476768e-05,1.477173e-05,1.477182e-05,1.477227e-05,1.477165e-05,1.476958e-05,1.476605e-05,1.476395e-05,1.475564e-05,1.474487e-05,1.474094e-05,1.473185e-05,1.472243e-05,1.471678e-05,1.470054e-05,1.469983e-05,1.468116e-05,1.467565e-05,1.466092e-05,1.464807e-05,1.463923e-05,1.461811e-05,1.461622e-05,1.459201e-05,1.458603e-05,1.456669e-05,1.455207e-05,1.454036e-05,1.451643e-05,1.451312e-05,1.448503e-05,1.447932e-05,1.445618e-05,1.444090e-05,1.442664e-05,1.440133e-05,1.439646e-05,1.436572e-05,1.436076e-05,1.433447e-05,1.431930e-05,1.430276e-05,1.427709e-05,1.427063e-05,1.423814e-05,1.423422e-05,1.420534e-05,1.419081e-05,1.417224e-05,1.414693e-05,1.413891e-05,1.410536e-05,1.410267e-05,1.407164e-05,1.405811e-05,1.403778e-05,1.401332e-05,1.400380e-05,1.396973e-05,1.396836e-05,1.393560e-05,1.392330e-05,1.390142e-05,1.387818e-05,1.386724e-05,1.383306e-05,1.378798e-05,1.374299e-05,1.369813e-05,1.365343e-05,1.360892e-05,1.356465e-05,1.352063e-05,1.347689e-05,1.343346e-05,1.339035e-05,1.334760e-05,1.330521e-05,1.326320e-05,1.322159e-05,1.318039e-05,1.313961e-05,1.309926e-05,1.305936e-05,1.301991e-05,1.298092e-05,1.294240e-05,1.290435e-05,1.286678e-05,1.282968e-05
0.000000e+00,7.075539e-12,3.555499e-11,3.861547e-10,1.848322e-09,3.765045e-09,1.722364e-08,1.818550e-08,5.992390e-08,7.983364e-08,1.553893e-07,2.536380e-07,3.422545e-07,6.373400e-07,6.701390e-07,1.200778e-06,1.366178e-06,2.006753e-06,2.607869e-06,3.167466e-06,4.545567e-06,4.762368e-06,6.863441e-06,7.349829e-06,9.529187e-06,1.115307e-05,1.280124e-05,1.603626e-05,1.670343e-05,2.124266e-05,2.202769e-05,2.641070e-05,2.910895e-05,3.218646e-05,3.722362e-05,3.853822e-05,4.542560e-05,4.628590e-05,5.280136e-05,5.618802e-05,6.061289e-05,6.680631e-05,6.880347e-05,7.731341e-05,7.800617e-05,8.608111e-05,8.964634e-05,9.504396e-05,1.015828e-04,1.041393e-04,1.133052e-04,1.136725e-04,1.224815e-04,1.257763e-04,1.316102e-04,1.377625e-04,1.406366e-04,1.495095e-04,1.581820e-04,1.609077e-04,1.666115e-04,1.718613e-04,1.747604e-04,1.822892e-04,1.825962e-04,1.900913e-04,1.921257e-04,1.972230e-04,2.013200e-04,2.039736e-04,2.098361e-04,2.103299e-04,2.162831e-04,2.176513e-04,2.218287e-04,2.247555e-04,2.269654e-04,2.311494e-04,2.316958e-04,2.360250e-04,2.368434e-04,2.399610e-04,2.418556e-04,2.435138e-04,2.462107e-04,2.466953e-04,2.495190e-04,2.499385e-04,2.519993e-04,2.530724e-04,2.541518e-04,2.556485e-04,2.559925e-04,2.575380e-04,2.577044e-04,2.588049e-04,2.592784e-04,2.598100e-04,2.604089e-04,2.605697e-04,2.611004e-04,2.611335e-04,2.614180e-04,2.614888e-04,2.615377e-04,2.615099e-04,2.614746e-04,2.612429e-04,2.612304e-04,2.608563e-04,2.606818e-04,2.603279e-04,2.598938e-04,2.596699e-04,2.588940e-04,2.580114e-04,2.577081e-04,2.570322e-04,2.563595e-04,2.559663e-04,2.548698e-04,2.548227e-04,2.536099e-04,2.532590e-04,2.523358e-04,2.515450e-04,2.510077e-04,2.497440e-04,2.496324e-04,2.482163e-04,2.478710e-04,2.467651e-04,2.459391e-04,2.452842e-04,2.439604e-04,2.437786e-04,2.422527e-04,2.419455e-04,2.407109e-04,2.399041e-04,2.391569e-04,2.378447e-04,2.375942e-04,2.360261e-04,2.357748e-04,2.344553e-04,2.337012e-04,2.328847e-04,2.316298e-04,2.313165e-04,2.297530e-04,2.295658e-04,2.281962e-04,2.275138e-04,2.266478e-04,2.254777e-04,2.251095e-04,2.235826e-04,2.234610e-04,2.220686e-04,2.214668e-04,2.205684e-04,2.194975e-04,2.190832e-04,2.176138e-04,2.175554e-04,2.161610e-04,2.156423e-04,2.147256e-04,2.137597e-04,2.133081e-04,2.119089e-04,2.100910e-04,2.083068e-04,2.065568e-04,2.048416e-04,2.031614e-04,2.015164e-04,1.999066e-04,1.983321e-04,1.967926e-04,1.952880e-04,1.938179e-04,1.923821e-04,1.909800e-04,1.896113e-04,1.882755e-04,1.869721e-04,1.857004e-04,1.844601e-04,1.832504e-04,1.820709e-04,1.809208e-04,1.797997e-04,1.787068e-04,1.776416e-04
0.000000e+00,6.149524e-12,3.019520e-11,3.130820e-10,1.440442e-09,2.875476e-09,1.256843e-08,1.324897e-08,4.228182e-08,5.599276e-08,1.079687e-07,1.759879e-07,2.379330e-07,4.477884e-07,4.713781e-07,8.564227e-07,9.768109e-07,1.439962e-06,1.866671e-06,2.255305e-06,3.175405e-06,3.315500e-06,4.614099e-06,4.900780e-06,6.130299e-06,6.995234e-06,7.834992e-06,9.388924e-06,9.695795e-06,1.168041e-05,1.200737e-05,1.375849e-05,1.478096e-05,1.590247e-05,1.764848e-05,1.808776e-05,2.029254e-05,2.055749e-05,2.249761e-05,2.346350e-05,2.468607e-05,2.632906e-05,2.684319e-05,2.895621e-05,2.912301e-05,3.101427e-05,3.182001e-05,3.300827e-05,3.440007e-05,3.493082e-05,3.677612e-05,3.684826e-05,3.853984e-05,3.915420e-05,4.021901e-05,4.131161e-05,4.181188e-05,4.331774e-05,4.473686e-05,4.517280e-05,4.607024e-05,4.687936e-05,4.731956e-05,4.844185e-05,4.848701e-05,4.957518e-05,4.986605e-05,5.058698e-05,5.115869e-05,5.152552e-05,5.232707e-05,5.239405e-05,5.319590e-05,5.337879e-05,5.393440e-05,5.432154e-05,5.461290e-05,5.516293e-05,5.523465e-05,5.580285e-05,5.591034e-05,5.632059e-05,5.657086e-05,5.679083e-05,5.715123e-05,5.721644e-05,5.760013e-05,5.765781e-05,5.794449e-05,5.809654e-05,5.825198e-05,5.847299e-05,5.852492e-05,5.876551e-05,5.879231e-05,5.897582e-05,5.905927e-05,5.915781e-05,5.927830e-05,5.931329e-05,5.944402e-05,5.945345e-05,5.955159e-05,5.958849e-05,5.963754e-05,5.968684e-05,5.970330e-05,5.975019e-05,5.975170e-05,5.977949e-05,5.978596e-05,5.979236e-05,5.979230e-05,5.978991e-05,5.977318e-05,5.974313e-05,5.973085e-05,5.970067e-05,5.966738e-05,5.964665e-05,5.958467e-05,5.958188e-05,5.950710e-05,5.948447e-05,5.942302e-05,5.936838e-05,5.933030e-05,5.923788e-05,5.922954e-05,5.912134e-05,5.909433e-05,5.900624e-05,5.893895e-05,5.888474e-05,5.877291e-05,5.875732e-05,5.862445e-05,5.859725e-05,5.848653e-05,5.841295e-05,5.834397e-05,5.822090e-05,5.819713e-05,5.804637e-05,5.802191e-05,5.789202e-05,5.781675e-05,5.773438e-05,5.760611e-05,5.757375e-05,5.741041e-05,5.739063e-05,5.724459e-05,5.717092e-05,5.707656e-05,5.694751e-05,5.690653e-05,5.673473e-05,5.672091e-05,5.656134e-05,5.649158e-05,5.638656e-05,5.625996e-05,5.621057e-05,5.603354e-05,5.602644e-05,5.585562e-05,5.579138e-05,5.567696e-05,5.555512e-05,5.549770e-05,5.531798e-05,5.508023e-05,5.484215e-05,5.460398e-05,5.436595e-05,5.412826e-05,5.389110e-05,5.365465e-05,5.341908e-05,5.318452e-05,5.295113e-05,5.271902e-05,5.248830e-05,5.225909e-05,5.203148e-05,5.180556e-05,5.158141e-05,5.135910e-05,5.113869e-05,5.092026e-05,5.070384e-05,5.048950e-05,5.027726e-05,5.006718e-05,4.985928e-05
0.000000e+00,9.077825e-12,4.221363e-11,3.916776e-10,1.630731e-09,3.082238e-09,1.168819e-08,1.224931e-08,3.380406e-08,4.298077e-08,7.460549e-08,1.113322e-07,1.418995e-07,2.335484e-07,2.430623e-07,3.854883e-07,4.266196e-07,5.763600e-07,7.068316e-07,8.219942e-07,1.086887e-06,1.126620e-06,1.490944e-06,1.570731e-06,1.911369e-06,2.149802e-06,2.380435e-06,2.804825e-06,2.888232e-06,3.424016e-06,3.511636e-06,3.977465e-06,4.246638e-06,4.539362e-06,4.989631e-06,5.101841e-06,5.658368e-06,5.724486e-06,6.203600e-06,6.438782e-06,6.733235e-06,7.123198e-06,7.243862e-06,7.732852e-06,7.770974e-06,8.198256e-06,8.377494e-06,8.638728e-06,8.939953e-06,9.053452e-06,9.442067e-06,9.457068e-06,9.804606e-06,9.928798e-06,1.014143e-05,1.035609e-05,1.045316e-05,1.074063e-05,1.100482e-05,1.108463e-05,1.124685e-05,1.139065e-05,1.146787e-05,1.166143e-05,1.166911e-05,1.185179e-05,1.189978e-05,1.201713e-05,1.210850e-05,1.216630e-05,1.229026e-05,1.230047e-05,1.242072e-05,1.244763e-05,1.252811e-05,1.258300e-05,1.262362e-05,1.269857e-05,1.270817e-05,1.278264e-05,1.279639e-05,1.284782e-05,1.287830e-05,1.290446e-05,1.294596e-05,1.295327e-05,1.299486e-05,1.300089e-05,1.302984e-05,1.304444e-05,1.305874e-05,1.307783e-05,1.308207e-05,1.310028e-05,1.310214e-05,1.311379e-05,1.311834e-05,1.312299e-05,1.312732e-05,1.312823e-05,1.312985e-05,1.312983e-05,1.312813e-05,1.312657e-05,1.312336e-05,1.311817e-05,1.311578e-05,1.310563e-05,1.310517e-05,1.309313e-05,1.308808e-05,1.307846e-05,1.306734e-05,1.306181e-05,1.304335e-05,1.302323e-05,1.301647e-05,1.300159e-05,1.298701e-05,1.297857e-05,1.295527e-05,1.295428e-05,1.292883e-05,1.292152e-05,1.290234e-05,1.288598e-05,1.287489e-05,1.284887e-05,1.284658e-05,1.281749e-05,1.281040e-05,1.278769e-05,1.277072e-05,1.275726e-05,1.273001e-05,1.272626e-05,1.269476e-05,1.268841e-05,1.266281e-05,1.264604e-05,1.263047e-05,1.260303e-05,1.259778e-05,1.256479e-05,1.255949e-05,1.253154e-05,1.251551e-05,1.249809e-05,1.247119e-05,1.246445e-05,1.243067e-05,1.242661e-05,1.239678e-05,1.238184e-05,1.236281e-05,1.233696e-05,1.232880e-05,1.229475e-05,1.229203e-05,1.226071e-05,1.224710e-05,1.222670e-05,1.220224e-05,1.219273e-05,1.215883e-05,1.215747e-05,1.212501e-05,1.211286e-05,1.209130e-05,1.206844e-05,1.205770e-05,1.202424e-05,1.198031e-05,1.193666e-05,1.189333e-05,1.185035e-05,1.180773e-05,1.176550e-05,1.172367e-05,1.168226e-05,1.164129e-05,1.160076e-05,1.156070e-05,1.152111e-05,1.148200e-05,1.144337e-05,1.140524e-05,1.136761e-05,1.133049e-05,1.129387e-05,1.125777e-05,1.122218e-05,1.118711e-05,1.115255e-05,1.111851e-05,1.108499e-05
0.000000e+00,4.506109e-11,1.952848e-10,1.584481e-09,5.920418e-09,1.060440e-08,3.563521e-08,3.718285e-08,9.339261e-08,1.162205e-07,1.925423e-07,2.787449e-07,3.494877e-07,5.592027e-07,5.808618e-07,9.036488e-07,9.963298e-07,1.330862e-06,1.617600e-06,1.866345e-06,2.422135e-06,2.503572e-06,3.229426e-06,3.383914e-06,4.029047e-06,4.469366e-06,4.888695e-06,5.648469e-06,5.796522e-06,6.742301e-06,6.896527e-06,7.716928e-06,8.192523e-06,8.712058e-06,9.517675e-06,9.719906e-06,1.073319e-05,1.085483e-05,1.174518e-05,1.218842e-05,1.274968e-05,1.350467e-05,1.374117e-05,1.471479e-05,1.479178e-05,1.566635e-05,1.604000e-05,1.659236e-05,1.724163e-05,1.748995e-05,1.835688e-05,1.839090e-05,1.919147e-05,1.948376e-05,1.999252e-05,2.051767e-05,2.075927e-05,2.149135e-05,2.218871e-05,2.240456e-05,2.285155e-05,2.325785e-05,2.348031e-05,2.405242e-05,2.407559e-05,2.463816e-05,2.478993e-05,2.516886e-05,2.547238e-05,2.566865e-05,2.610200e-05,2.613851e-05,2.657950e-05,2.668115e-05,2.699266e-05,2.721229e-05,2.737909e-05,2.769787e-05,2.773984e-05,2.807598e-05,2.814035e-05,2.838857e-05,2.854215e-05,2.867863e-05,2.890562e-05,2.894718e-05,2.919520e-05,2.923304e-05,2.942363e-05,2.952660e-05,2.963341e-05,2.978839e-05,2.982542e-05,3.000051e-05,3.002043e-05,3.015953e-05,3.022461e-05,3.030326e-05,3.040275e-05,3.043247e-05,3.054790e-05,3.055656e-05,3.065024e-05,3.068766e-05,3.074016e-05,3.079759e-05,3.081833e-05,3.088534e-05,3.088780e-05,3.094180e-05,3.095965e-05,3.098826e-05,3.101442e-05,3.102526e-05,3.105332e-05,3.107293e-05,3.107750e-05,3.108456e-05,3.108802e-05,3.108865e-05,3.108588e-05,3.108563e-05,3.107590e-05,3.107203e-05,3.105986e-05,3.104735e-05,3.103786e-05,3.101268e-05,3.101027e-05,3.097742e-05,3.096879e-05,3.093962e-05,3.091641e-05,3.089718e-05,3.085622e-05,3.085039e-05,3.079952e-05,3.078888e-05,3.074483e-05,3.071496e-05,3.068657e-05,3.063505e-05,3.062498e-05,3.056029e-05,3.054966e-05,3.049270e-05,3.045928e-05,3.042241e-05,3.036438e-05,3.034964e-05,3.027454e-05,3.026538e-05,3.019731e-05,3.016269e-05,3.011810e-05,3.005668e-05,3.003707e-05,2.995438e-05,2.994770e-05,2.987016e-05,2.983607e-05,2.978454e-05,2.972211e-05,2.969766e-05,2.960963e-05,2.960609e-05,2.952058e-05,2.948828e-05,2.943060e-05,2.936894e-05,2.933980e-05,2.924828e-05,2.912653e-05,2.900389e-05,2.888053e-05,2.875663e-05,2.863236e-05,2.850785e-05,2.838326e-05,2.825870e-05,2.813429e-05,2.801015e-05,2.788638e-05,2.776306e-05,2.764029e-05,2.751814e-05,2.739670e-05,2.727601e-05,2.715615e-05,2.703717e-05,2.691913e-05,2.680206e-05,2.668602e-05,2.657103e-05,2.645714e-05,2.634437e-05
0.000000e+00,8.070630e-12,1.851472e-11,6.387720e-11,1.457152e-10,2.128947e-10,4.848895e-10,4.995647e-10,9.697531e-10,1.140953e-09,1.673326e-09,2.230207e-09,2.665231e-09,3.880375e-09,4.001040e-09,5.722346e-09,6.194725e-09,7.839419e-09,9.190803e-09,1.033118e-08,1.280564e-08,1.316201e-08,1.629555e-08,1.695562e-08,1.969885e-08,2.156510e-08,2.334175e-08,2.656584e-08,2.719541e-08,3.123128e-08,3.189201e-08,3.542066e-08,3.747765e-08,3.973480e-08,4.325673e-08,4.414514e-08,4.862370e-08,4.916442e-08,5.314362e-08,5.513887e-08,5.767949e-08,6.112283e-08,6.220772e-08,6.670678e-08,6.706484e-08,7.115731e-08,7.292004e-08,7.554224e-08,7.865035e-08,7.984672e-08,8.405807e-08,8.422443e-08,8.816567e-08,8.961729e-08,9.216086e-08,9.480977e-08,9.603669e-08,9.978782e-08,1.034103e-07,1.045418e-07,1.069014e-07,1.090659e-07,1.102595e-07,1.133575e-07,1.134839e-07,1.165747e-07,1.174163e-07,1.195327e-07,1.212443e-07,1.223592e-07,1.248451e-07,1.250561e-07,1.276255e-07,1.282235e-07,1.300700e-07,1.313854e-07,1.323924e-07,1.343373e-07,1.345955e-07,1.366826e-07,1.370864e-07,1.386568e-07,1.396399e-07,1.405215e-07,1.420057e-07,1.422800e-07,1.439358e-07,1.441914e-07,1.454921e-07,1.462048e-07,1.469523e-07,1.480536e-07,1.483199e-07,1.495981e-07,1.497456e-07,1.507902e-07,1.512882e-07,1.518993e-07,1.526888e-07,1.529288e-07,1.538816e-07,1.539546e-07,1.547608e-07,1.550925e-07,1.555693e-07,1.561093e-07,1.563101e-07,1.569858e-07,1.570115e-07,1.575993e-07,1.578055e-07,1.581532e-07,1.584971e-07,1.586501e-07,1.590924e-07,1.594827e-07,1.595970e-07,1.598232e-07,1.600161e-07,1.601162e-07,1.603549e-07,1.603640e-07,1.605686e-07,1.606184e-07,1.607321e-07,1.608113e-07,1.608565e-07,1.609381e-07,1.609438e-07,1.609957e-07,1.610031e-07,1.610140e-07,1.610103e-07,1.610005e-07,1.609637e-07,1.609569e-07,1.608847e-07,1.608670e-07,1.607855e-07,1.607237e-07,1.606607e-07,1.605372e-07,1.605118e-07,1.603401e-07,1.603107e-07,1.601471e-07,1.600471e-07,1.599338e-07,1.597495e-07,1.597016e-07,1.594516e-07,1.594205e-07,1.591850e-07,1.590626e-07,1.589027e-07,1.586784e-07,1.586059e-07,1.582955e-07,1.582701e-07,1.579725e-07,1.578400e-07,1.576378e-07,1.573900e-07,1.572922e-07,1.569366e-07,1.569222e-07,1.565718e-07,1.564383e-07,1.561984e-07,1.559401e-07,1.558174e-07,1.554293e-07,1.549073e-07,1.543756e-07,1.538356e-07,1.532885e-07,1.527355e-07,1.521777e-07,1.516162e-07,1.510519e-07,1.504858e-07,1.499188e-07,1.493515e-07,1.487847e-07,1.482191e-07,1.476554e-07,1.470942e-07,1.465359e-07,1.459810e-07,1.454301e-07,1.448836e-07,1.443417e-07,1.438050e-07,1.432737e-07,1.427480e-07,1.422284e-07
0.000000e+00,1.571861e-10,6.145343e-10,4.154259e-09,1.357406e-08,2.284178e-08,6.732702e-08,6.993306e-08,1.596999e-07,1.945158e-07,3.072662e-07,4.300596e-07,5.280758e-07,8.060693e-07,8.337844e-07,1.227759e-06,1.335162e-06,1.706827e-06,2.010367e-06,2.265875e-06,2.820013e-06,2.899891e-06,3.603863e-06,3.752578e-06,4.372254e-06,4.795197e-06,5.198693e-06,5.932487e-06,6.075939e-06,6.996018e-06,7.146644e-06,7.950458e-06,8.418241e-06,8.930558e-06,9.727285e-06,9.927657e-06,1.093339e-05,1.105427e-05,1.193986e-05,1.238106e-05,1.293985e-05,1.369149e-05,1.392687e-05,1.489528e-05,1.497180e-05,1.584026e-05,1.621076e-05,1.675779e-05,1.739958e-05,1.764465e-05,1.849834e-05,1.853177e-05,1.931699e-05,1.960286e-05,2.009931e-05,2.061012e-05,2.084452e-05,2.155225e-05,2.222251e-05,2.242912e-05,2.285559e-05,2.324150e-05,2.345205e-05,2.399086e-05,2.401261e-05,2.453817e-05,2.467919e-05,2.502973e-05,2.530880e-05,2.548838e-05,2.588227e-05,2.591528e-05,2.631160e-05,2.640231e-05,2.667858e-05,2.687171e-05,2.701741e-05,2.729327e-05,2.732932e-05,2.761550e-05,2.766976e-05,2.787714e-05,2.800388e-05,2.811540e-05,2.829829e-05,2.833140e-05,2.852622e-05,2.855550e-05,2.870094e-05,2.877797e-05,2.885658e-05,2.896801e-05,2.899411e-05,2.911450e-05,2.912784e-05,2.921865e-05,2.925955e-05,2.930743e-05,2.936515e-05,2.938169e-05,2.944222e-05,2.944650e-05,2.948981e-05,2.950538e-05,2.952516e-05,2.954345e-05,2.954900e-05,2.956199e-05,2.956229e-05,2.956476e-05,2.956337e-05,2.955792e-05,2.954808e-05,2.954205e-05,2.951771e-05,2.948542e-05,2.947348e-05,2.944567e-05,2.941654e-05,2.939894e-05,2.934794e-05,2.934569e-05,2.928634e-05,2.926868e-05,2.922130e-05,2.917970e-05,2.915095e-05,2.908187e-05,2.907567e-05,2.899580e-05,2.897599e-05,2.891168e-05,2.886282e-05,2.882361e-05,2.874308e-05,2.873189e-05,2.863681e-05,2.861741e-05,2.853863e-05,2.848644e-05,2.843761e-05,2.835072e-05,2.833398e-05,2.822797e-05,2.821080e-05,2.811979e-05,2.806716e-05,2.800966e-05,2.792026e-05,2.789775e-05,2.778425e-05,2.777054e-05,2.766934e-05,2.761837e-05,2.755317e-05,2.746413e-05,2.743589e-05,2.731766e-05,2.730816e-05,2.719860e-05,2.715077e-05,2.707884e-05,2.699225e-05,2.695851e-05,2.683772e-05,2.683288e-05,2.671657e-05,2.667289e-05,2.659516e-05,2.651251e-05,2.647360e-05,2.635197e-05,2.619145e-05,2.603113e-05,2.587118e-05,2.571174e-05,2.555295e-05,2.539494e-05,2.523783e-05,2.508172e-05,2.492670e-05,2.477286e-05,2.462028e-05,2.446902e-05,2.431916e-05,2.417075e-05,2.402383e-05,2.387846e-05,2.373466e-05,2.359248e-05,2.345195e-05,2.331309e-05,2.317591e-05,2.304045e-05,2.290670e-05,2.277470e-05
0.000000e+00,9.017612e-11,2.296478e-10,8.789015e-10,2.099587e-09,3.123942e-09,7.416299e-09,7.653932e-09,1.556525e-08,1.857503e-08,2.825782e-08,3.866462e-08,4.679632e-08,6.872294e-08,7.081314e-08,9.885567e-08,1.060283e-07,1.296194e-07,1.477267e-07,1.623218e-07,1.923620e-07,1.965388e-07,2.320177e-07,2.392476e-07,2.685656e-07,2.879311e-07,3.059940e-07,3.379627e-07,3.440948e-07,3.826352e-07,3.888257e-07,4.213598e-07,4.399340e-07,4.599983e-07,4.906618e-07,4.982750e-07,5.359177e-07,5.403797e-07,5.726681e-07,5.884943e-07,6.082918e-07,6.344835e-07,6.425813e-07,6.753596e-07,6.779121e-07,7.064841e-07,7.184454e-07,7.358463e-07,7.558524e-07,7.633710e-07,7.890143e-07,7.900006e-07,8.127611e-07,8.208470e-07,8.346217e-07,8.484250e-07,8.546282e-07,8.728346e-07,8.893034e-07,8.942172e-07,9.041051e-07,9.127436e-07,9.173268e-07,9.286141e-07,9.290557e-07,9.393844e-07,9.420382e-07,9.484056e-07,9.532290e-07,9.562111e-07,9.623959e-07,9.628910e-07,9.685323e-07,9.697411e-07,9.732184e-07,9.754547e-07,9.770275e-07,9.797125e-07,9.800331e-07,9.823046e-07,9.826765e-07,9.839063e-07,9.844944e-07,9.848978e-07,9.852993e-07,9.853339e-07,9.852649e-07,9.852101e-07,9.847370e-07,9.843332e-07,9.837926e-07,9.827630e-07,9.824700e-07,9.808044e-07,9.805830e-07,9.788277e-07,9.778669e-07,9.765689e-07,9.746798e-07,9.740543e-07,9.713080e-07,9.710790e-07,9.683518e-07,9.671151e-07,9.652056e-07,9.628328e-07,9.618873e-07,9.584135e-07,9.582715e-07,9.547990e-07,9.534661e-07,9.510577e-07,9.484475e-07,9.472019e-07,9.432431e-07,9.391918e-07,9.378774e-07,9.350575e-07,9.323721e-07,9.308491e-07,9.267468e-07,9.265747e-07,9.222416e-07,9.210189e-07,9.178569e-07,9.152040e-07,9.134269e-07,9.093163e-07,9.089574e-07,9.044538e-07,9.033684e-07,8.999212e-07,8.973720e-07,8.953642e-07,8.913373e-07,8.907871e-07,8.861941e-07,8.852739e-07,8.815888e-07,8.791903e-07,8.769746e-07,8.730943e-07,8.723549e-07,8.677326e-07,8.669930e-07,8.631106e-07,8.608928e-07,8.584914e-07,8.547997e-07,8.538774e-07,8.492711e-07,8.487189e-07,8.446743e-07,8.426553e-07,8.400892e-07,8.366135e-07,8.355176e-07,8.309611e-07,8.305973e-07,8.264214e-07,8.246105e-07,8.218999e-07,8.186565e-07,8.173980e-07,8.129171e-07,8.127383e-07,8.084582e-07,8.068587e-07,8.040226e-07,8.010201e-07,7.996111e-07,7.952248e-07,7.894749e-07,7.837722e-07,7.781184e-07,7.725149e-07,7.669630e-07,7.614639e-07,7.560186e-07,7.506279e-07,7.452928e-07,7.400137e-07,7.347914e-07,7.296261e-07,7.245184e-07,7.194684e-07,7.144764e-07,7.095425e-07,7.046668e-07,6.998494e-07,6.950900e-07,6.903888e-07,6.857454e-07,6.811598e-07,6.766316e-07,6.721607e-07
0.000000e+00,4.749859e-11,1.796970e-10,1.150054e-09,3.618425e-09,5.984583e-09,1.698614e-08,1.761885e-08,3.891709e-08,4.697374e-08,7.249085e-08,9.953075e-08,1.207330e-07,1.799726e-07,1.858525e-07,2.698955e-07,2.930943e-07,3.747405e-07,4.431717e-07,5.020510e-07,6.337390e-07,6.531620e-07,8.288868e-07,8.670057e-07,1.029273e-06,1.142958e-06,1.253412e-06,1.458702e-06,1.499436e-06,1.764747e-06,1.808790e-06,2.046364e-06,2.186433e-06,2.341234e-06,2.584693e-06,2.646422e-06,2.959188e-06,2.997107e-06,3.277010e-06,3.417850e-06,3.597573e-06,3.841722e-06,3.918755e-06,4.238617e-06,4.264095e-06,4.555400e-06,4.680891e-06,4.867521e-06,5.088564e-06,5.173572e-06,5.472319e-06,5.484101e-06,5.762698e-06,5.865009e-06,6.043814e-06,6.229297e-06,6.314925e-06,6.575444e-06,6.824919e-06,6.902362e-06,7.063028e-06,7.209352e-06,7.289564e-06,7.496053e-06,7.504423e-06,7.707593e-06,7.762393e-06,7.899140e-06,8.008543e-06,8.079199e-06,8.234871e-06,8.247962e-06,8.405670e-06,8.441905e-06,8.552601e-06,8.630289e-06,8.689065e-06,8.800761e-06,8.815398e-06,8.931951e-06,8.954120e-06,9.039089e-06,9.091205e-06,9.137187e-06,9.212877e-06,9.226620e-06,9.307766e-06,9.320006e-06,9.381003e-06,9.413456e-06,9.446701e-06,9.494077e-06,9.505225e-06,9.556934e-06,9.562698e-06,9.602176e-06,9.620122e-06,9.641290e-06,9.667120e-06,9.674604e-06,9.702435e-06,9.704434e-06,9.725090e-06,9.732768e-06,9.742862e-06,9.752793e-06,9.756034e-06,9.764876e-06,9.765144e-06,9.769650e-06,9.770420e-06,9.770602e-06,9.769188e-06,9.767970e-06,9.761981e-06,9.752850e-06,9.749299e-06,9.740784e-06,9.731611e-06,9.725977e-06,9.709357e-06,9.708616e-06,9.688877e-06,9.682947e-06,9.666929e-06,9.652767e-06,9.642931e-06,9.619173e-06,9.617035e-06,9.589383e-06,9.582501e-06,9.560112e-06,9.543062e-06,9.529351e-06,9.501144e-06,9.497220e-06,9.463836e-06,9.457019e-06,9.429308e-06,9.410935e-06,9.393737e-06,9.363125e-06,9.357223e-06,9.319855e-06,9.313803e-06,9.281722e-06,9.263170e-06,9.242904e-06,9.211409e-06,9.203479e-06,9.163519e-06,9.158691e-06,9.123093e-06,9.105174e-06,9.082264e-06,9.051002e-06,9.041093e-06,8.999638e-06,8.996311e-06,8.957951e-06,8.941222e-06,8.916081e-06,8.885849e-06,8.874077e-06,8.831983e-06,8.830298e-06,8.789838e-06,8.774662e-06,8.747683e-06,8.719030e-06,8.705553e-06,8.663480e-06,8.608087e-06,8.552917e-06,8.498030e-06,8.443480e-06,8.389317e-06,8.335586e-06,8.282327e-06,8.229576e-06,8.177365e-06,8.125723e-06,8.074674e-06,8.024241e-06,7.974444e-06,7.925298e-06,7.876819e-06,7.829017e-06,7.781903e-06,7.735486e-06,7.689771e-06,7.644762e-06,7.600465e-06,7.556879e-06,7.514006e-06,7.471845e-06
0.000000e+00,2.493918e-12,5.709013e-12,1.962147e-11,4.461796e-11,6.507850e-11,1.475933e-10,1.520341e-10,2.938926e-10,3.453787e-10,5.050593e-10,6.715718e-10,8.014037e-10,1.163730e-09,1.199731e-09,1.715045e-09,1.857231e-09,2.355196e-09,2.767312e-09,3.116526e-09,3.876255e-09,3.985692e-09,4.945823e-09,5.147327e-09,5.981035e-09,6.544421e-09,7.077742e-09,8.037942e-09,8.224305e-09,9.410394e-09,9.603193e-09,1.062650e-08,1.121825e-08,1.186368e-08,1.286288e-08,1.311345e-08,1.436781e-08,1.451828e-08,1.561926e-08,1.616718e-08,1.686091e-08,1.779415e-08,1.808653e-08,1.929055e-08,1.938579e-08,2.046816e-08,2.093087e-08,2.161524e-08,2.242030e-08,2.272838e-08,2.380482e-08,2.384708e-08,2.484242e-08,2.520612e-08,2.583958e-08,2.649399e-08,2.679523e-08,2.770874e-08,2.857986e-08,2.884966e-08,2.940866e-08,2.991704e-08,3.019550e-08,3.091194e-08,3.094097e-08,3.164585e-08,3.183606e-08,3.231106e-08,3.269158e-08,3.293766e-08,3.348099e-08,3.352676e-08,3.407959e-08,3.420700e-08,3.459737e-08,3.487250e-08,3.508139e-08,3.548042e-08,3.553293e-08,3.595328e-08,3.603372e-08,3.634373e-08,3.653537e-08,3.670554e-08,3.698824e-08,3.703995e-08,3.734819e-08,3.739516e-08,3.763145e-08,3.775888e-08,3.789087e-08,3.808201e-08,3.812759e-08,3.834268e-08,3.836708e-08,3.853719e-08,3.861652e-08,3.871214e-08,3.883262e-08,3.886850e-08,3.900721e-08,3.901757e-08,3.912915e-08,3.917344e-08,3.923521e-08,3.930220e-08,3.932620e-08,3.940292e-08,3.940571e-08,3.946613e-08,3.948572e-08,3.951656e-08,3.954390e-08,3.955489e-08,3.958180e-08,3.959792e-08,3.960090e-08,3.960385e-08,3.960257e-08,3.960018e-08,3.958813e-08,3.958746e-08,3.956621e-08,3.955880e-08,3.953693e-08,3.951572e-08,3.950012e-08,3.945998e-08,3.945621e-08,3.940566e-08,3.939258e-08,3.934886e-08,3.931448e-08,3.928623e-08,3.922657e-08,3.921812e-08,3.914491e-08,3.912968e-08,3.906693e-08,3.902460e-08,3.898450e-08,3.891205e-08,3.889793e-08,3.880752e-08,3.879271e-08,3.871354e-08,3.866724e-08,3.861626e-08,3.853622e-08,3.851592e-08,3.841277e-08,3.840022e-08,3.830704e-08,3.825975e-08,3.819893e-08,3.811531e-08,3.808866e-08,3.797641e-08,3.796735e-08,3.786237e-08,3.781629e-08,3.774671e-08,3.766253e-08,3.762961e-08,3.751120e-08,3.750644e-08,3.739165e-08,3.734836e-08,3.727109e-08,3.718861e-08,3.714966e-08,3.702748e-08,3.686526e-08,3.670219e-08,3.653852e-08,3.637446e-08,3.621022e-08,3.604599e-08,3.588195e-08,3.571824e-08,3.555503e-08,3.539245e-08,3.523062e-08,3.506967e-08,3.490969e-08,3.475078e-08,3.459303e-08,3.443653e-08,3.428134e-08,3.412754e-08,3.397517e-08,3.382431e-08,3.367498e-08,3.352725e-08,3.338114e-08,3.323668e-08
0.000000e+00,6.499853e-12,3.172398e-11,3.242188e-10,1.467664e-09,2.899159e-09,1.224842e-08,1.289067e-08,3.926102e-08,5.120459e-08,9.451211e-08,1.478620e-07,1.941404e-07,3.404673e-07,3.561930e-07,6.008833e-07,6.742891e-07,9.496851e-07,1.198246e-06,1.422995e-06,1.954877e-06,2.036142e-06,2.795201e-06,2.964252e-06,3.694806e-06,4.213177e-06,4.718942e-06,5.658283e-06,5.843949e-06,7.042320e-06,7.238982e-06,8.286117e-06,8.891540e-06,9.549402e-06,1.055877e-05,1.080961e-05,1.204809e-05,1.219451e-05,1.325005e-05,1.376431e-05,1.440417e-05,1.524411e-05,1.550216e-05,1.653819e-05,1.661828e-05,1.750853e-05,1.787775e-05,1.841108e-05,1.901849e-05,1.924513e-05,2.001109e-05,2.004033e-05,2.071030e-05,2.094605e-05,2.134481e-05,2.174065e-05,2.191726e-05,2.243074e-05,2.288864e-05,2.302401e-05,2.329454e-05,2.352874e-05,2.365216e-05,2.395348e-05,2.396520e-05,2.423732e-05,2.430667e-05,2.447208e-05,2.459642e-05,2.467287e-05,2.483034e-05,2.484288e-05,2.498513e-05,2.501545e-05,2.510239e-05,2.515809e-05,2.519719e-05,2.526390e-05,2.527187e-05,2.532852e-05,2.533786e-05,2.536903e-05,2.538429e-05,2.539510e-05,2.540696e-05,2.540825e-05,2.540983e-05,2.540909e-05,2.540104e-05,2.539345e-05,2.538295e-05,2.536242e-05,2.535650e-05,2.532254e-05,2.531800e-05,2.528183e-05,2.526194e-05,2.523502e-05,2.519573e-05,2.518271e-05,2.512543e-05,2.512065e-05,2.506366e-05,2.503779e-05,2.499782e-05,2.494812e-05,2.492831e-05,2.485546e-05,2.485248e-05,2.477959e-05,2.475160e-05,2.470100e-05,2.464612e-05,2.461993e-05,2.453662e-05,2.445130e-05,2.442361e-05,2.436417e-05,2.430754e-05,2.427541e-05,2.418883e-05,2.418519e-05,2.409368e-05,2.406784e-05,2.400101e-05,2.394491e-05,2.390732e-05,2.382033e-05,2.381274e-05,2.371738e-05,2.369439e-05,2.362136e-05,2.356734e-05,2.352478e-05,2.343940e-05,2.342773e-05,2.333030e-05,2.331078e-05,2.323258e-05,2.318167e-05,2.313464e-05,2.305225e-05,2.303655e-05,2.293840e-05,2.292269e-05,2.284022e-05,2.279312e-05,2.274210e-05,2.266367e-05,2.264408e-05,2.254622e-05,2.253449e-05,2.244856e-05,2.240567e-05,2.235115e-05,2.227732e-05,2.225404e-05,2.215726e-05,2.214953e-05,2.206085e-05,2.202240e-05,2.196485e-05,2.189599e-05,2.186928e-05,2.177419e-05,2.177039e-05,2.167959e-05,2.164566e-05,2.158551e-05,2.152185e-05,2.149199e-05,2.139903e-05,2.127723e-05,2.115651e-05,2.103690e-05,2.091844e-05,2.080116e-05,2.068510e-05,2.057026e-05,2.045668e-05,2.034437e-05,2.023336e-05,2.012365e-05,2.001525e-05,1.990819e-05,1.980245e-05,1.969805e-05,1.959499e-05,1.949328e-05,1.939291e-05,1.929389e-05,1.919621e-05,1.909987e-05,1.900486e-05,1.891119e-05,1.881884e-05
0.000000e+00,3.311114e-11,1.706146e-10,1.952905e-09,9.810279e-09,2.052390e-08,1.006203e-07,1.065398e-07,3.760684e-07,5.104411e-07,1.040897e-06,1.763541e-06,2.437567e-06,4.784811e-06,5.053283e-06,9.545593e-06,1.099216e-05,1.675099e-05,2.234095e-05,2.767972e-05,4.130041e-05,4.349883e-05,6.550766e-05,7.077416e-05,9.510914e-05,1.139904e-04,1.337791e-04,1.743796e-04,1.830349e-04,2.444036e-04,2.554478e-04,3.193907e-04,3.606514e-04,4.094501e-04,4.932758e-04,5.159549e-04,6.401703e-04,6.563216e-04,7.832289e-04,8.524023e-04,9.461088e-04,1.083656e-03,1.129615e-03,1.334365e-03,1.351677e-03,1.560777e-03,1.657462e-03,1.809063e-03,2.001384e-03,2.079227e-03,2.371065e-03,2.383184e-03,2.684171e-03,2.801985e-03,3.017944e-03,3.256323e-03,3.371602e-03,3.744195e-03,4.134619e-03,4.263122e-03,4.541639e-03,4.810221e-03,4.963903e-03,5.382278e-03,5.399967e-03,5.848311e-03,5.975834e-03,6.307360e-03,6.587260e-03,6.775506e-03,7.212836e-03,7.251122e-03,7.732582e-03,7.848823e-03,8.218277e-03,8.491526e-03,8.706628e-03,9.137354e-03,9.196100e-03,9.685213e-03,9.782866e-03,1.017255e-02,1.042481e-02,1.065677e-02,1.106017e-02,1.113660e-02,1.161087e-02,1.168616e-02,1.207847e-02,1.230026e-02,1.253841e-02,1.290022e-02,1.298977e-02,1.343172e-02,1.348409e-02,1.386354e-02,1.405016e-02,1.428457e-02,1.459699e-02,1.469425e-02,1.509212e-02,1.512342e-02,1.547775e-02,1.562851e-02,1.585085e-02,1.611156e-02,1.621114e-02,1.655845e-02,1.657207e-02,1.689266e-02,1.700975e-02,1.721369e-02,1.742446e-02,1.752154e-02,1.781624e-02,1.809786e-02,1.818524e-02,1.836655e-02,1.853178e-02,1.862244e-02,1.885623e-02,1.886572e-02,1.909662e-02,1.915908e-02,1.931537e-02,1.944089e-02,1.952223e-02,1.970228e-02,1.971748e-02,1.990142e-02,1.994392e-02,2.007435e-02,2.016650e-02,2.023659e-02,2.037078e-02,2.038847e-02,2.053030e-02,2.055749e-02,2.066243e-02,2.072742e-02,2.078519e-02,2.088131e-02,2.089891e-02,2.100393e-02,2.101994e-02,2.110057e-02,2.114408e-02,2.118916e-02,2.125446e-02,2.127003e-02,2.134350e-02,2.135183e-02,2.140987e-02,2.143690e-02,2.146945e-02,2.151037e-02,2.152253e-02,2.156942e-02,2.157291e-02,2.161038e-02,2.162517e-02,2.164570e-02,2.166778e-02,2.167563e-02,2.170045e-02,2.170134e-02,2.172039e-02,2.172642e-02,2.173570e-02,2.174358e-02,2.174661e-02,2.175334e-02,2.175619e-02,2.175262e-02,2.174307e-02,2.172796e-02,2.170770e-02,2.168267e-02,2.165323e-02,2.161971e-02,2.158244e-02,2.154170e-02,2.149780e-02,2.145097e-02,2.140149e-02,2.134957e-02,2.129545e-02,2.123931e-02,2.118135e-02,2.112176e-02,2.106069e-02,2.099831e-02,2.093476e-02,2.087018e-02,2.080469e-02,2.073842e-02
0.000000e+00,3.041114e-12,6.970118e-12,2.397041e-11,5.449705e-11,7.947446e-11,1.801901e-10,1.856112e-10,3.588899e-10,4.218398e-10,6.172848e-10,8.213960e-10,9.807187e-10,1.425885e-09,1.470146e-09,2.103864e-09,2.278707e-09,2.890642e-09,3.396231e-09,3.823718e-09,4.749533e-09,4.882321e-09,6.039900e-09,6.281013e-09,7.271321e-09,7.933697e-09,8.555567e-09,9.662587e-09,9.875585e-09,1.121733e-08,1.143321e-08,1.256891e-08,1.321810e-08,1.392007e-08,1.499465e-08,1.526187e-08,1.658653e-08,1.674401e-08,1.788739e-08,1.845074e-08,1.915881e-08,2.010251e-08,2.039616e-08,2.159573e-08,2.168997e-08,2.275468e-08,2.320641e-08,2.387096e-08,2.464745e-08,2.494317e-08,2.597051e-08,2.601066e-08,2.695270e-08,2.729526e-08,2.788989e-08,2.850172e-08,2.878258e-08,2.963155e-08,3.043781e-08,3.068698e-08,3.120254e-08,3.167076e-08,3.192703e-08,3.258598e-08,3.261268e-08,3.326096e-08,3.343598e-08,3.387334e-08,3.422417e-08,3.445133e-08,3.495395e-08,3.499638e-08,3.550997e-08,3.562870e-08,3.599352e-08,3.625171e-08,3.644844e-08,3.682616e-08,3.687608e-08,3.727774e-08,3.735506e-08,3.765467e-08,3.784132e-08,3.800810e-08,3.828766e-08,3.833918e-08,3.864902e-08,3.869670e-08,3.893870e-08,3.907088e-08,3.920921e-08,3.941248e-08,3.946154e-08,3.969659e-08,3.972368e-08,3.991525e-08,4.000649e-08,4.011836e-08,4.026280e-08,4.030670e-08,4.048104e-08,4.049440e-08,4.064208e-08,4.070293e-08,4.079052e-08,4.088995e-08,4.092699e-08,4.105212e-08,4.105689e-08,4.116648e-08,4.120512e-08,4.127063e-08,4.133589e-08,4.136510e-08,4.145039e-08,4.152696e-08,4.154970e-08,4.159528e-08,4.163486e-08,4.165576e-08,4.170683e-08,4.170882e-08,4.175484e-08,4.176651e-08,4.179418e-08,4.181472e-08,4.182719e-08,4.185226e-08,4.185421e-08,4.187554e-08,4.187985e-08,4.189149e-08,4.189817e-08,4.190233e-08,4.190786e-08,4.190834e-08,4.190977e-08,4.190953e-08,4.190686e-08,4.190372e-08,4.189985e-08,4.189095e-08,4.188895e-08,4.187438e-08,4.187172e-08,4.185633e-08,4.184648e-08,4.183499e-08,4.181567e-08,4.181054e-08,4.178315e-08,4.177967e-08,4.175298e-08,4.173887e-08,4.172019e-08,4.169361e-08,4.168493e-08,4.164734e-08,4.164424e-08,4.160755e-08,4.159105e-08,4.156569e-08,4.153433e-08,4.152188e-08,4.147623e-08,4.147437e-08,4.142886e-08,4.141140e-08,4.137986e-08,4.134568e-08,4.132935e-08,4.127742e-08,4.120683e-08,4.113413e-08,4.105948e-08,4.098307e-08,4.090505e-08,4.082560e-08,4.074483e-08,4.066291e-08,4.057995e-08,4.049607e-08,4.041138e-08,4.032600e-08,4.024003e-08,4.015355e-08,4.006665e-08,3.997943e-08,3.989195e-08,3.980429e-08,3.971652e-08,3.962870e-08,3.954090e-08,3.945317e-08,3.936557e-08,3.927814e-08
0.000000e+00,1.838714e-11,8.351544e-11,7.403213e-10,2.967622e-09,5.501605e-09,1.993712e-08,2.085853e-08,5.537700e-08,6.973926e-08,1.183645e-07,1.737171e-07,2.191649e-07,3.531492e-07,3.669061e-07,5.704050e-07,6.284756e-07,8.378792e-07,1.018238e-06,1.176120e-06,1.535560e-06,1.589103e-06,2.076730e-06,2.182895e-06,2.634648e-06,2.950114e-06,3.255276e-06,3.818272e-06,3.929300e-06,4.646922e-06,4.765142e-06,5.398577e-06,5.768785e-06,6.175233e-06,6.808884e-06,6.968476e-06,7.770508e-06,7.866995e-06,8.574149e-06,8.926550e-06,9.372848e-06,9.972900e-06,1.016071e-05,1.093252e-05,1.099343e-05,1.168377e-05,1.197764e-05,1.241066e-05,1.291717e-05,1.311008e-05,1.377960e-05,1.380573e-05,1.441739e-05,1.463896e-05,1.502218e-05,1.541418e-05,1.559322e-05,1.613020e-05,1.663318e-05,1.678701e-05,1.710255e-05,1.738559e-05,1.753895e-05,1.792766e-05,1.794323e-05,1.831640e-05,1.841547e-05,1.865962e-05,1.885168e-05,1.897411e-05,1.923918e-05,1.926117e-05,1.952212e-05,1.958101e-05,1.975830e-05,1.988024e-05,1.997105e-05,2.013993e-05,2.016168e-05,2.033149e-05,2.036307e-05,2.048173e-05,2.055253e-05,2.061362e-05,2.071108e-05,2.072832e-05,2.082695e-05,2.084132e-05,2.091058e-05,2.094570e-05,2.098023e-05,2.102652e-05,2.103685e-05,2.108137e-05,2.108594e-05,2.111465e-05,2.112594e-05,2.113750e-05,2.114837e-05,2.115070e-05,2.115497e-05,2.115494e-05,2.115098e-05,2.114723e-05,2.113939e-05,2.112667e-05,2.112079e-05,2.109574e-05,2.109461e-05,2.106478e-05,2.105228e-05,2.102839e-05,2.100078e-05,2.098704e-05,2.094116e-05,2.089116e-05,2.087435e-05,2.083741e-05,2.080121e-05,2.078027e-05,2.072253e-05,2.072007e-05,2.065710e-05,2.063902e-05,2.059167e-05,2.055134e-05,2.052404e-05,2.046009e-05,2.045445e-05,2.038314e-05,2.036580e-05,2.031033e-05,2.026897e-05,2.023620e-05,2.017004e-05,2.016096e-05,2.008476e-05,2.006943e-05,2.000778e-05,1.996749e-05,1.993016e-05,1.986457e-05,1.985204e-05,1.977355e-05,1.976096e-05,1.969480e-05,1.965695e-05,1.961591e-05,1.955276e-05,1.953697e-05,1.945808e-05,1.944862e-05,1.937933e-05,1.934474e-05,1.930079e-05,1.924129e-05,1.922254e-05,1.914464e-05,1.913843e-05,1.906716e-05,1.903630e-05,1.899015e-05,1.893502e-05,1.891366e-05,1.883774e-05,1.883472e-05,1.876244e-05,1.873548e-05,1.868778e-05,1.863740e-05,1.861380e-05,1.854055e-05,1.844499e-05,1.835079e-05,1.825798e-05,1.816662e-05,1.807674e-05,1.798836e-05,1.790151e-05,1.781621e-05,1.773246e-05,1.765028e-05,1.756967e-05,1.749063e-05,1.741315e-05,1.733725e-05,1.726290e-05,1.719010e-05,1.711883e-05,1.704909e-05,1.698086e-05,1.691411e-05,1.684885e-05,1.678504e-05,1.672266e-05,1.666171e-05
0.000000e+00,5.843194e-11,2.239026e-10,1.459572e-09,4.637860e-09,7.698824e-09,2.200668e-08,2.283271e-08,5.085458e-08,6.157416e-08,9.600000e-08,1.332931e-07,1.631118e-07,2.488187e-07,2.574885e-07,3.833101e-07,4.183137e-07,5.406266e-07,6.406645e-07,7.241565e-07,9.011329e-07,9.260867e-07,1.139412e-06,1.182965e-06,1.359044e-06,1.474525e-06,1.581435e-06,1.768432e-06,1.803950e-06,2.024445e-06,2.059409e-06,2.241053e-06,2.343145e-06,2.452101e-06,2.615936e-06,2.656109e-06,2.851793e-06,2.874663e-06,3.038089e-06,3.116862e-06,3.214163e-06,3.340765e-06,3.379415e-06,3.533468e-06,3.545302e-06,3.676154e-06,3.730044e-06,3.807490e-06,3.895117e-06,3.927651e-06,4.036942e-06,4.041093e-06,4.135772e-06,4.168882e-06,4.224628e-06,4.279626e-06,4.304047e-06,4.374599e-06,4.436870e-06,4.455145e-06,4.491452e-06,4.522617e-06,4.538925e-06,4.578333e-06,4.579851e-06,4.614772e-06,4.623545e-06,4.644202e-06,4.659425e-06,4.668621e-06,4.687050e-06,4.688481e-06,4.704201e-06,4.707401e-06,4.716167e-06,4.721363e-06,4.724737e-06,4.729730e-06,4.730238e-06,4.732969e-06,4.733207e-06,4.733202e-06,4.732419e-06,4.731184e-06,4.727914e-06,4.727140e-06,4.721275e-06,4.720180e-06,4.713776e-06,4.709646e-06,4.704811e-06,4.696686e-06,4.694532e-06,4.683079e-06,4.681632e-06,4.670576e-06,4.664772e-06,4.657136e-06,4.646360e-06,4.642864e-06,4.627852e-06,4.626622e-06,4.612186e-06,4.605753e-06,4.595942e-06,4.583928e-06,4.579190e-06,4.561995e-06,4.561298e-06,4.544413e-06,4.538000e-06,4.526499e-06,4.514152e-06,4.508300e-06,4.489860e-06,4.471218e-06,4.465217e-06,4.452412e-06,4.440306e-06,4.433475e-06,4.415201e-06,4.414438e-06,4.395327e-06,4.389966e-06,4.376169e-06,4.364661e-06,4.356987e-06,4.339337e-06,4.337803e-06,4.318635e-06,4.314040e-06,4.299502e-06,4.288809e-06,4.280420e-06,4.263682e-06,4.261404e-06,4.242468e-06,4.238691e-06,4.223623e-06,4.213864e-06,4.204882e-06,4.189227e-06,4.186255e-06,4.167750e-06,4.164801e-06,4.149378e-06,4.140608e-06,4.131144e-06,4.116663e-06,4.113058e-06,4.095124e-06,4.092983e-06,4.077349e-06,4.069580e-06,4.059738e-06,4.046467e-06,4.042296e-06,4.025026e-06,4.023652e-06,4.007933e-06,4.001146e-06,3.991019e-06,3.978954e-06,3.974288e-06,3.957742e-06,3.957084e-06,3.941383e-06,3.935540e-06,3.925213e-06,3.914326e-06,3.909233e-06,3.893446e-06,3.872901e-06,3.852694e-06,3.832825e-06,3.813294e-06,3.794102e-06,3.775248e-06,3.756731e-06,3.738549e-06,3.720700e-06,3.703182e-06,3.685993e-06,3.669129e-06,3.652588e-06,3.636366e-06,3.620461e-06,3.604867e-06,3.589583e-06,3.574603e-06,3.559924e-06,3.545542e-06,3.531452e-06,3.517650e-06,3.504132e-06,3.490894e-06
0.000000e+00,2.442602e-11,1.125230e-10,1.025599e-09,4.209353e-09,7.899783e-09,2.948056e-08,3.087775e-08,8.412401e-08,1.066338e-07,1.837987e-07,2.728894e-07,3.467451e-07,5.670829e-07,5.898811e-07,9.299507e-07,1.027810e-06,1.383103e-06,1.691755e-06,1.963734e-06,2.588785e-06,2.682576e-06,3.545021e-06,3.734810e-06,4.550806e-06,5.128984e-06,5.695058e-06,6.757485e-06,6.969835e-06,8.365431e-06,8.599233e-06,9.871149e-06,1.062971e-05,1.147567e-05,1.282252e-05,1.316720e-05,1.493354e-05,1.514994e-05,1.676216e-05,1.758320e-05,1.864031e-05,2.009297e-05,2.055523e-05,2.249425e-05,2.265004e-05,2.444508e-05,2.522605e-05,2.639592e-05,2.779428e-05,2.833568e-05,3.025405e-05,3.033020e-05,3.214163e-05,3.281197e-05,3.399003e-05,3.522075e-05,3.579187e-05,3.754077e-05,3.923140e-05,3.975935e-05,4.085936e-05,4.186672e-05,4.242118e-05,4.385586e-05,4.391423e-05,4.533669e-05,4.572215e-05,4.668739e-05,4.746313e-05,4.796583e-05,4.907817e-05,4.917202e-05,5.030648e-05,5.056817e-05,5.137011e-05,5.193526e-05,5.236417e-05,5.318260e-05,5.329019e-05,5.414995e-05,5.431412e-05,5.494540e-05,5.533430e-05,5.567863e-05,5.624808e-05,5.635185e-05,5.696735e-05,5.706063e-05,5.752745e-05,5.777732e-05,5.803451e-05,5.840354e-05,5.849086e-05,5.889885e-05,5.894467e-05,5.926079e-05,5.940603e-05,5.957894e-05,5.979281e-05,5.985552e-05,6.009271e-05,6.011005e-05,6.029262e-05,6.036260e-05,6.045728e-05,6.055513e-05,6.058867e-05,6.068871e-05,6.069208e-05,6.075921e-05,6.077771e-05,6.080196e-05,6.081603e-05,6.081863e-05,6.081086e-05,6.078020e-05,6.076580e-05,6.072813e-05,6.068423e-05,6.065607e-05,6.056934e-05,6.056537e-05,6.045731e-05,6.042412e-05,6.033314e-05,6.025138e-05,6.019401e-05,6.005375e-05,6.004103e-05,5.987526e-05,5.983368e-05,5.969770e-05,5.959346e-05,5.950928e-05,5.933522e-05,5.931092e-05,5.910347e-05,5.906096e-05,5.888772e-05,5.877251e-05,5.866445e-05,5.847161e-05,5.843437e-05,5.819816e-05,5.815984e-05,5.795646e-05,5.783867e-05,5.770988e-05,5.750949e-05,5.745899e-05,5.720433e-05,5.717354e-05,5.694640e-05,5.683200e-05,5.668568e-05,5.648594e-05,5.642261e-05,5.615762e-05,5.613635e-05,5.589110e-05,5.578414e-05,5.562341e-05,5.543016e-05,5.535491e-05,5.508592e-05,5.507515e-05,5.481673e-05,5.471983e-05,5.454763e-05,5.436483e-05,5.427889e-05,5.401074e-05,5.365809e-05,5.330735e-05,5.295897e-05,5.261333e-05,5.227078e-05,5.193165e-05,5.159620e-05,5.126470e-05,5.093736e-05,5.061438e-05,5.029591e-05,4.998211e-05,4.967311e-05,4.936899e-05,4.906986e-05,4.877577e-05,4.848678e-05,4.820293e-05,4.792425e-05,4.765075e-05,4.738243e-05,4.711929e-05,4.686132e-05,4.660849e-05
0.000000e+00,6.042415e-11,2.055713e-10,1.118353e-09,3.183233e-09,5.049513e-09,1.324512e-08,1.370376e-08,2.879380e-08,3.439758e-08,5.197231e-08,7.045160e-08,8.489955e-08,1.252227e-07,1.292241e-07,1.863309e-07,2.020290e-07,2.568239e-07,3.020038e-07,3.402158e-07,4.232906e-07,4.352640e-07,5.405341e-07,5.626938e-07,6.546776e-07,7.171253e-07,7.764573e-07,8.837899e-07,9.046937e-07,1.038222e-06,1.060000e-06,1.175877e-06,1.243075e-06,1.316493e-06,1.430345e-06,1.458921e-06,1.602050e-06,1.619222e-06,1.744828e-06,1.807284e-06,1.886278e-06,1.992347e-06,2.025520e-06,2.161775e-06,2.172525e-06,2.294373e-06,2.346259e-06,2.422756e-06,2.512324e-06,2.546472e-06,2.665174e-06,2.669814e-06,2.778609e-06,2.818122e-06,2.886610e-06,2.956898e-06,2.989086e-06,3.086014e-06,3.177426e-06,3.205524e-06,3.263401e-06,3.315624e-06,3.344057e-06,3.416619e-06,3.419542e-06,3.490027e-06,3.508893e-06,3.555702e-06,3.592881e-06,3.616767e-06,3.669054e-06,3.673430e-06,3.725903e-06,3.737896e-06,3.774397e-06,3.799895e-06,3.819124e-06,3.855530e-06,3.860289e-06,3.898093e-06,3.905268e-06,3.932732e-06,3.949555e-06,3.964391e-06,3.988814e-06,3.993251e-06,4.019483e-06,4.023447e-06,4.043251e-06,4.053829e-06,4.064708e-06,4.080308e-06,4.084000e-06,4.101267e-06,4.103209e-06,4.116638e-06,4.122832e-06,4.130235e-06,4.139454e-06,4.142174e-06,4.152564e-06,4.153331e-06,4.161505e-06,4.164697e-06,4.169092e-06,4.173768e-06,4.175417e-06,4.180561e-06,4.180743e-06,4.184604e-06,4.185804e-06,4.187618e-06,4.189116e-06,4.189673e-06,4.190833e-06,4.191158e-06,4.191094e-06,4.190704e-06,4.190029e-06,4.189524e-06,4.187755e-06,4.187669e-06,4.185184e-06,4.184381e-06,4.182112e-06,4.180005e-06,4.178495e-06,4.174718e-06,4.174371e-06,4.169775e-06,4.168605e-06,4.164741e-06,4.161742e-06,4.159300e-06,4.154200e-06,4.153483e-06,4.147316e-06,4.146043e-06,4.140826e-06,4.137332e-06,4.134038e-06,4.128121e-06,4.126973e-06,4.119655e-06,4.118461e-06,4.112102e-06,4.108399e-06,4.104335e-06,4.097978e-06,4.096370e-06,4.088226e-06,4.087237e-06,4.079917e-06,4.076213e-06,4.071460e-06,4.064940e-06,4.062866e-06,4.054151e-06,4.053449e-06,4.045327e-06,4.041769e-06,4.036405e-06,4.029926e-06,4.027395e-06,4.018310e-06,4.017945e-06,4.009157e-06,4.005848e-06,3.999948e-06,3.993657e-06,3.990689e-06,3.981390e-06,3.969066e-06,3.956701e-06,3.944310e-06,3.931908e-06,3.919508e-06,3.907121e-06,3.894758e-06,3.882431e-06,3.870147e-06,3.857917e-06,3.845747e-06,3.833646e-06,3.821620e-06,3.809674e-06,3.797816e-06,3.786049e-06,3.774379e-06,3.762810e-06,3.751346e-06,3.739991e-06,3.728746e-06,3.717617e-06,3.706604e-06,3.695710e-06
0.000000e+00,1.075139e-11,5.366326e-11,5.747452e-10,2.716225e-09,5.494363e-09,2.468086e-08,2.603972e-08,8.423722e-08,1.116540e-07,2.145062e-07,3.463518e-07,4.639843e-07,8.496628e-07,8.920822e-07,1.569450e-06,1.777823e-06,2.575772e-06,3.314406e-06,3.995298e-06,5.651531e-06,5.909941e-06,8.391675e-06,8.961331e-06,1.149656e-05,1.337042e-05,1.526156e-05,1.894761e-05,1.970412e-05,2.482349e-05,2.570449e-05,3.060301e-05,3.360331e-05,3.701271e-05,4.256707e-05,4.401177e-05,5.155078e-05,5.248915e-05,5.957372e-05,6.324155e-05,6.801963e-05,7.468194e-05,7.682423e-05,8.592129e-05,8.665969e-05,9.524392e-05,9.902122e-05,1.047258e-04,1.116149e-04,1.143021e-04,1.239108e-04,1.242950e-04,1.334931e-04,1.369257e-04,1.429945e-04,1.493835e-04,1.523649e-04,1.615593e-04,1.705380e-04,1.733598e-04,1.792664e-04,1.847076e-04,1.877155e-04,1.955414e-04,1.958611e-04,2.036841e-04,2.058147e-04,2.111700e-04,2.154952e-04,2.183083e-04,2.245629e-04,2.250925e-04,2.315196e-04,2.330089e-04,2.375896e-04,2.408337e-04,2.433051e-04,2.480452e-04,2.486709e-04,2.536938e-04,2.546579e-04,2.583821e-04,2.606908e-04,2.627453e-04,2.661669e-04,2.667940e-04,2.705394e-04,2.711113e-04,2.739934e-04,2.755513e-04,2.771680e-04,2.795148e-04,2.800755e-04,2.827283e-04,2.830301e-04,2.851385e-04,2.861254e-04,2.873184e-04,2.888283e-04,2.892798e-04,2.910341e-04,2.911659e-04,2.925928e-04,2.931639e-04,2.939666e-04,2.948471e-04,2.951659e-04,2.962009e-04,2.962391e-04,2.970812e-04,2.973620e-04,2.978159e-04,2.982369e-04,2.984139e-04,2.988835e-04,2.992326e-04,2.993201e-04,2.994688e-04,2.995641e-04,2.995993e-04,2.996314e-04,2.996308e-04,2.995698e-04,2.995370e-04,2.994223e-04,2.992947e-04,2.991941e-04,2.989176e-04,2.988906e-04,2.985170e-04,2.984174e-04,2.980780e-04,2.978053e-04,2.975782e-04,2.970916e-04,2.970220e-04,2.964134e-04,2.962857e-04,2.957562e-04,2.953965e-04,2.950540e-04,2.944320e-04,2.943103e-04,2.935282e-04,2.933997e-04,2.927107e-04,2.923065e-04,2.918606e-04,2.911590e-04,2.909808e-04,2.900735e-04,2.899629e-04,2.891413e-04,2.887238e-04,2.881864e-04,2.874467e-04,2.872107e-04,2.862164e-04,2.861361e-04,2.852052e-04,2.847964e-04,2.841790e-04,2.834316e-04,2.831392e-04,2.820876e-04,2.820453e-04,2.810254e-04,2.806407e-04,2.799541e-04,2.792211e-04,2.788750e-04,2.777892e-04,2.763477e-04,2.748990e-04,2.734452e-04,2.719884e-04,2.705305e-04,2.690731e-04,2.676179e-04,2.661662e-04,2.647194e-04,2.632787e-04,2.618451e-04,2.604197e-04,2.590033e-04,2.575968e-04,2.562009e-04,2.548163e-04,2.534435e-04,2.520832e-04,2.507358e-04,2.494018e-04,2.480814e-04,2.467752e-04,2.454832e-04,2.442059e-04
0.000000e+00,2.468222e-11,6.156774e-11,2.305239e-10,5.427461e-10,8.002190e-10,1.837421e-09,1.892997e-09,3.650341e-09,4.279292e-09,6.201202e-09,8.162678e-09,9.664974e-09,1.375095e-08,1.414949e-08,1.973921e-08,2.125057e-08,2.646846e-08,3.071992e-08,3.428673e-08,4.195267e-08,4.304700e-08,5.254049e-08,5.450770e-08,6.254936e-08,6.789175e-08,7.287876e-08,8.168191e-08,8.336407e-08,9.386728e-08,9.554141e-08,1.042720e-07,1.092018e-07,1.144799e-07,1.224489e-07,1.244089e-07,1.339918e-07,1.351158e-07,1.431751e-07,1.470783e-07,1.519183e-07,1.582509e-07,1.601929e-07,1.679807e-07,1.685824e-07,1.752729e-07,1.780505e-07,1.820685e-07,1.866567e-07,1.883730e-07,1.941972e-07,1.944203e-07,1.995559e-07,2.013744e-07,2.044670e-07,2.075612e-07,2.089508e-07,2.130286e-07,2.167230e-07,2.178279e-07,2.200566e-07,2.220113e-07,2.230521e-07,2.256302e-07,2.257316e-07,2.281167e-07,2.287347e-07,2.302283e-07,2.313723e-07,2.320862e-07,2.335878e-07,2.337094e-07,2.351157e-07,2.354228e-07,2.363218e-07,2.369158e-07,2.373437e-07,2.381022e-07,2.381960e-07,2.388926e-07,2.390144e-07,2.394464e-07,2.396819e-07,2.398693e-07,2.401315e-07,2.401724e-07,2.403660e-07,2.403874e-07,2.404595e-07,2.404715e-07,2.404619e-07,2.404037e-07,2.403813e-07,2.402252e-07,2.402018e-07,2.400006e-07,2.398817e-07,2.397138e-07,2.394579e-07,2.393708e-07,2.389771e-07,2.389435e-07,2.385376e-07,2.383501e-07,2.380571e-07,2.376881e-07,2.375398e-07,2.369896e-07,2.369669e-07,2.364101e-07,2.361950e-07,2.358048e-07,2.353799e-07,2.351766e-07,2.345284e-07,2.338628e-07,2.336466e-07,2.331822e-07,2.327398e-07,2.324888e-07,2.318130e-07,2.317846e-07,2.310715e-07,2.308705e-07,2.303512e-07,2.299162e-07,2.296252e-07,2.289535e-07,2.288950e-07,2.281619e-07,2.279856e-07,2.274271e-07,2.270153e-07,2.266917e-07,2.260449e-07,2.259567e-07,2.252231e-07,2.250766e-07,2.244917e-07,2.241125e-07,2.237633e-07,2.231542e-07,2.230385e-07,2.223180e-07,2.222032e-07,2.216025e-07,2.212609e-07,2.208923e-07,2.203283e-07,2.201880e-07,2.194900e-07,2.194066e-07,2.187986e-07,2.184967e-07,2.181143e-07,2.175992e-07,2.174374e-07,2.167680e-07,2.167148e-07,2.161065e-07,2.158441e-07,2.154530e-07,2.149877e-07,2.148078e-07,2.141710e-07,2.141457e-07,2.135427e-07,2.133187e-07,2.129231e-07,2.125067e-07,2.123122e-07,2.117102e-07,2.109290e-07,2.101635e-07,2.094136e-07,2.086793e-07,2.079607e-07,2.072576e-07,2.065701e-07,2.058979e-07,2.052411e-07,2.045994e-07,2.039726e-07,2.033607e-07,2.027635e-07,2.021807e-07,2.016121e-07,2.010575e-07,2.005168e-07,1.999896e-07,1.994757e-07,1.989750e-07,1.984871e-07,1.980118e-07,1.975489e-07,1.970982e-07
0.000000e+00,4.763969e-11,2.079621e-10,1.708279e-09,6.434805e-09,1.156240e-08,3.901520e-08,4.071147e-08,1.020686e-07,1.268323e-07,2.089860e-07,3.006909e-07,3.751910e-07,5.927345e-07,6.149615e-07,9.421590e-07,1.034966e-06,1.366926e-06,1.648608e-06,1.891396e-06,2.429949e-06,2.508487e-06,3.205062e-06,3.352601e-06,3.966281e-06,4.382998e-06,4.778312e-06,5.490839e-06,5.629130e-06,6.508266e-06,6.650917e-06,7.406342e-06,7.841584e-06,8.314705e-06,9.043336e-06,9.225246e-06,1.013037e-05,1.023828e-05,1.102305e-05,1.141023e-05,1.189694e-05,1.254504e-05,1.274642e-05,1.356668e-05,1.363092e-05,1.435377e-05,1.465859e-05,1.510457e-05,1.562135e-05,1.581677e-05,1.648883e-05,1.651486e-05,1.711989e-05,1.733697e-05,1.770971e-05,1.808735e-05,1.825856e-05,1.876717e-05,1.923659e-05,1.937875e-05,1.966818e-05,1.992525e-05,2.006348e-05,2.041040e-05,2.042419e-05,2.075209e-05,2.083828e-05,2.104904e-05,2.121311e-05,2.131686e-05,2.153911e-05,2.155739e-05,2.177243e-05,2.182044e-05,2.196371e-05,2.206107e-05,2.213289e-05,2.226476e-05,2.228157e-05,2.241126e-05,2.243504e-05,2.252335e-05,2.257514e-05,2.261920e-05,2.268805e-05,2.270003e-05,2.276701e-05,2.277651e-05,2.282121e-05,2.284299e-05,2.286364e-05,2.288973e-05,2.289522e-05,2.291680e-05,2.291876e-05,2.292918e-05,2.293190e-05,2.293309e-05,2.293081e-05,2.292921e-05,2.291815e-05,2.291698e-05,2.290050e-05,2.289172e-05,2.287679e-05,2.285624e-05,2.284750e-05,2.281309e-05,2.281161e-05,2.277397e-05,2.275881e-05,2.273053e-05,2.269870e-05,2.268312e-05,2.263208e-05,2.257771e-05,2.255966e-05,2.252029e-05,2.248207e-05,2.246009e-05,2.239989e-05,2.239733e-05,2.233225e-05,2.231364e-05,2.226506e-05,2.222381e-05,2.219595e-05,2.213082e-05,2.212509e-05,2.205266e-05,2.203506e-05,2.197880e-05,2.193688e-05,2.190367e-05,2.183661e-05,2.182740e-05,2.175010e-05,2.173453e-05,2.167191e-05,2.163093e-05,2.159293e-05,2.152604e-05,2.151325e-05,2.143298e-05,2.142008e-05,2.135220e-05,2.131327e-05,2.127099e-05,2.120577e-05,2.118943e-05,2.110760e-05,2.109777e-05,2.102556e-05,2.098941e-05,2.094337e-05,2.088084e-05,2.086109e-05,2.077878e-05,2.077219e-05,2.069648e-05,2.066358e-05,2.061425e-05,2.055511e-05,2.053214e-05,2.045017e-05,2.044689e-05,2.036840e-05,2.033901e-05,2.028685e-05,2.023155e-05,2.020557e-05,2.012458e-05,2.001817e-05,1.991239e-05,1.980730e-05,1.970294e-05,1.959937e-05,1.949662e-05,1.939473e-05,1.929375e-05,1.919370e-05,1.909461e-05,1.899650e-05,1.889940e-05,1.880332e-05,1.870829e-05,1.861431e-05,1.852141e-05,1.842958e-05,1.833885e-05,1.824921e-05,1.816067e-05,1.807325e-05,1.798693e-05,1.790172e-05,1.781762e-05
0.000000e+00,2.484838e-11,1.277073e-10,1.453735e-09,7.264673e-09,1.515333e-08,7.369818e-08,7.800746e-08,2.730039e-07,3.696440e-07,7.489628e-07,1.262006e-06,1.737890e-06,3.382024e-06,3.569094e-06,6.679449e-06,7.674929e-06,1.161816e-05,1.542352e-05,1.904293e-05,2.822802e-05,2.970507e-05,4.442472e-05,4.793079e-05,6.406043e-05,7.650161e-05,8.947723e-05,1.159116e-04,1.215161e-04,1.609664e-04,1.680152e-04,2.085421e-04,2.344502e-04,2.648614e-04,3.165568e-04,3.304310e-04,4.056342e-04,4.153193e-04,4.907226e-04,5.313280e-04,5.858124e-04,6.647623e-04,6.908837e-04,8.057838e-04,8.153929e-04,9.302330e-04,9.826011e-04,1.063834e-03,1.165413e-03,1.206081e-03,1.356377e-03,1.362547e-03,1.514041e-03,1.572462e-03,1.678329e-03,1.793424e-03,1.848445e-03,2.023556e-03,2.202808e-03,2.260903e-03,2.385340e-03,2.503484e-03,2.570292e-03,2.749338e-03,2.756819e-03,2.944102e-03,2.996569e-03,3.131355e-03,3.243379e-03,3.317829e-03,3.488095e-03,3.502825e-03,3.685689e-03,3.729192e-03,3.865823e-03,3.965301e-03,4.042683e-03,4.195221e-03,4.215779e-03,4.384679e-03,4.417921e-03,4.549004e-03,4.632535e-03,4.708428e-03,4.838357e-03,4.862680e-03,5.011534e-03,5.034838e-03,5.154814e-03,5.221567e-03,5.292384e-03,5.398265e-03,5.424151e-03,5.550059e-03,5.564773e-03,5.670085e-03,5.721034e-03,5.784236e-03,5.867084e-03,5.892550e-03,5.995085e-03,6.003040e-03,6.091924e-03,6.129086e-03,6.183167e-03,6.245463e-03,6.268932e-03,6.349350e-03,6.352457e-03,6.424561e-03,6.450392e-03,6.494719e-03,6.539620e-03,6.559982e-03,6.620514e-03,6.676485e-03,6.693460e-03,6.728065e-03,6.758852e-03,6.775428e-03,6.817090e-03,6.818747e-03,6.858194e-03,6.868569e-03,6.893940e-03,6.913682e-03,6.926155e-03,6.952815e-03,6.955003e-03,6.980647e-03,6.986342e-03,7.003245e-03,7.014628e-03,7.022953e-03,7.038022e-03,7.039918e-03,7.054287e-03,7.056862e-03,7.066199e-03,7.071467e-03,7.075789e-03,7.082145e-03,7.083187e-03,7.088517e-03,7.089186e-03,7.091900e-03,7.092866e-03,7.093450e-03,7.093445e-03,7.093278e-03,7.091487e-03,7.091168e-03,7.088177e-03,7.086265e-03,7.083445e-03,7.078953e-03,7.077380e-03,7.070069e-03,7.069433e-03,7.061594e-03,7.057896e-03,7.052033e-03,7.044518e-03,7.041459e-03,7.029944e-03,7.029464e-03,7.017552e-03,7.012888e-03,7.004347e-03,6.994934e-03,6.990388e-03,6.975733e-03,6.955409e-03,6.934078e-03,6.911844e-03,6.888808e-03,6.865059e-03,6.840683e-03,6.815757e-03,6.790354e-03,6.764541e-03,6.738378e-03,6.711923e-03,6.685228e-03,6.658342e-03,6.631308e-03,6.604169e-03,6.576960e-03,6.549718e-03,6.522474e-03,6.495257e-03,6.468094e-03,6.441010e-03,6.414026e-03,6.387165e-03,6.360443e-03
0.000000e+00,3.352381e-11,1.728042e-10,1.979413e-09,9.948944e-09,2.081912e-08,1.021094e-07,1.081174e-07,3.816314e-07,5.179460e-07,1.055773e-06,1.787796e-06,2.469996e-06,4.842577e-06,5.113715e-06,9.646826e-06,1.110574e-05,1.691371e-05,2.255437e-05,2.794589e-05,4.172177e-05,4.394783e-05,6.626476e-05,7.161161e-05,9.633732e-05,1.155328e-04,1.356506e-04,1.768976e-04,1.856827e-04,2.478570e-04,2.590220e-04,3.234992e-04,3.649469e-04,4.138003e-04,4.972912e-04,5.197862e-04,6.422934e-04,6.581366e-04,7.819506e-04,8.489466e-04,9.391679e-04,1.070520e-03,1.114131e-03,1.306800e-03,1.322972e-03,1.516917e-03,1.605752e-03,1.744016e-03,1.917676e-03,1.987433e-03,2.246329e-03,2.256994e-03,2.519709e-03,2.621457e-03,2.806440e-03,3.008412e-03,3.105277e-03,3.414888e-03,3.733872e-03,3.837692e-03,4.060789e-03,4.273503e-03,4.394174e-03,4.718949e-03,4.732563e-03,5.074505e-03,5.170692e-03,5.418586e-03,5.625489e-03,5.763436e-03,6.080248e-03,6.107743e-03,6.450267e-03,6.532076e-03,6.789842e-03,6.978309e-03,7.125387e-03,7.416539e-03,7.455905e-03,7.780494e-03,7.844626e-03,8.098337e-03,8.260706e-03,8.408712e-03,8.663189e-03,8.710984e-03,9.004607e-03,9.050751e-03,9.289117e-03,9.422329e-03,9.564132e-03,9.777099e-03,9.829346e-03,1.008452e-02,1.011446e-02,1.032950e-02,1.043403e-02,1.056417e-02,1.073559e-02,1.078848e-02,1.100243e-02,1.101910e-02,1.120608e-02,1.128467e-02,1.139951e-02,1.153253e-02,1.158286e-02,1.175629e-02,1.176302e-02,1.191998e-02,1.197656e-02,1.207415e-02,1.217366e-02,1.221903e-02,1.235488e-02,1.248196e-02,1.252082e-02,1.260056e-02,1.267213e-02,1.271094e-02,1.280946e-02,1.281341e-02,1.290826e-02,1.293350e-02,1.299579e-02,1.304492e-02,1.307629e-02,1.314440e-02,1.315006e-02,1.321739e-02,1.323263e-02,1.327858e-02,1.331026e-02,1.333389e-02,1.337793e-02,1.338361e-02,1.342802e-02,1.343629e-02,1.346737e-02,1.348592e-02,1.350192e-02,1.352742e-02,1.353193e-02,1.355762e-02,1.356135e-02,1.357924e-02,1.358823e-02,1.359700e-02,1.360858e-02,1.361112e-02,1.362181e-02,1.362287e-02,1.362926e-02,1.363156e-02,1.363366e-02,1.363508e-02,1.363520e-02,1.363404e-02,1.363384e-02,1.363036e-02,1.362821e-02,1.362431e-02,1.361857e-02,1.361603e-02,1.360569e-02,1.360523e-02,1.359339e-02,1.358852e-02,1.357929e-02,1.356873e-02,1.356350e-02,1.354613e-02,1.352098e-02,1.349351e-02,1.346395e-02,1.343250e-02,1.339936e-02,1.336470e-02,1.332868e-02,1.329146e-02,1.325318e-02,1.321397e-02,1.317395e-02,1.313323e-02,1.309192e-02,1.305011e-02,1.300789e-02,1.296533e-02,1.292252e-02,1.287953e-02,1.283641e-02,1.279323e-02,1.275004e-02,1.270689e-02,1.266382e-02,1.262088e-02
0.000000e+00,3.633497e-11,8.667440e-11,3.116037e-10,7.246794e-10,1.066524e-09,2.461705e-09,2.537309e-09,4.970636e-09,5.860796e-09,8.639714e-09,1.156142e-08,1.385295e-08,2.029070e-08,2.093263e-08,3.013231e-08,3.266842e-08,4.152456e-08,4.882128e-08,5.498629e-08,6.837341e-08,7.030176e-08,8.725571e-08,9.082625e-08,1.056622e-07,1.157532e-07,1.253595e-07,1.427938e-07,1.461989e-07,1.680362e-07,1.716132e-07,1.907278e-07,2.018807e-07,2.141291e-07,2.332641e-07,2.380958e-07,2.624855e-07,2.654341e-07,2.871600e-07,2.980727e-07,3.119873e-07,3.308817e-07,3.368435e-07,3.616145e-07,3.635893e-07,3.861968e-07,3.959558e-07,4.104978e-07,4.277743e-07,4.344363e-07,4.579421e-07,4.588725e-07,4.809557e-07,4.891103e-07,5.034275e-07,5.183779e-07,5.253172e-07,5.465930e-07,5.672307e-07,5.736970e-07,5.872129e-07,5.996519e-07,6.065279e-07,6.244367e-07,6.251694e-07,6.431354e-07,6.480450e-07,6.604276e-07,6.704815e-07,6.770510e-07,6.917603e-07,6.930132e-07,7.083239e-07,7.119028e-07,7.229948e-07,7.309358e-07,7.370388e-07,7.488903e-07,7.504702e-07,7.633041e-07,7.658006e-07,7.755562e-07,7.817026e-07,7.872423e-07,7.966333e-07,7.983789e-07,8.089824e-07,8.106306e-07,8.190694e-07,8.237326e-07,8.286565e-07,8.359773e-07,8.377601e-07,8.463963e-07,8.474019e-07,8.545811e-07,8.580435e-07,8.623303e-07,8.679378e-07,8.696593e-07,8.765833e-07,8.771201e-07,8.831169e-07,8.856243e-07,8.892746e-07,8.934833e-07,8.950705e-07,9.005182e-07,9.007290e-07,9.056309e-07,9.073920e-07,9.104216e-07,9.135018e-07,9.149029e-07,9.190868e-07,9.229852e-07,9.241742e-07,9.266094e-07,9.287901e-07,9.299705e-07,9.329596e-07,9.330792e-07,9.359458e-07,9.367064e-07,9.385802e-07,9.400535e-07,9.409923e-07,9.430229e-07,9.431911e-07,9.451859e-07,9.456353e-07,9.469853e-07,9.479107e-07,9.485976e-07,9.498681e-07,9.500309e-07,9.512931e-07,9.515257e-07,9.523917e-07,9.529007e-07,9.533339e-07,9.540096e-07,9.541267e-07,9.547769e-07,9.548681e-07,9.552910e-07,9.554912e-07,9.556751e-07,9.558929e-07,9.559354e-07,9.560775e-07,9.560869e-07,9.561072e-07,9.560860e-07,9.560297e-07,9.559023e-07,9.558502e-07,9.555737e-07,9.555476e-07,9.552050e-07,9.550328e-07,9.547487e-07,9.543683e-07,9.542091e-07,9.535905e-07,9.535642e-07,9.528971e-07,9.526299e-07,9.521327e-07,9.515743e-07,9.513011e-07,9.504059e-07,9.491327e-07,9.477625e-07,9.463024e-07,9.447592e-07,9.431396e-07,9.414496e-07,9.396950e-07,9.378814e-07,9.360139e-07,9.340975e-07,9.321369e-07,9.301363e-07,9.281001e-07,9.260321e-07,9.239359e-07,9.218152e-07,9.196731e-07,9.175129e-07,9.153373e-07,9.131493e-07,9.109513e-07,9.087458e-07,9.065352e-07,9.043214e-07
0.000000e+00,8.211269e-12,1.888036e-11,6.507511e-11,1.479338e-10,2.156297e-10,4.878550e-10,5.024792e-10,9.687569e-10,1.137683e-09,1.660911e-09,2.205510e-09,2.629242e-09,3.804841e-09,3.920883e-09,5.560339e-09,6.004672e-09,7.532286e-09,8.765633e-09,9.792205e-09,1.197980e-08,1.229075e-08,1.498548e-08,1.554477e-08,1.784099e-08,1.937891e-08,2.082602e-08,2.341219e-08,2.391144e-08,2.706918e-08,2.757929e-08,3.027203e-08,3.181770e-08,3.349387e-08,3.606838e-08,3.671004e-08,3.989772e-08,4.027733e-08,4.303634e-08,4.439701e-08,4.610774e-08,4.838740e-08,4.909639e-08,5.198932e-08,5.221629e-08,5.477610e-08,5.585922e-08,5.744870e-08,5.929890e-08,6.000126e-08,6.242990e-08,6.252443e-08,6.473246e-08,6.553034e-08,6.690826e-08,6.831566e-08,6.895790e-08,7.088300e-08,7.268604e-08,7.323773e-08,7.437017e-08,7.538727e-08,7.593902e-08,7.734043e-08,7.739665e-08,7.874736e-08,7.910700e-08,7.999562e-08,8.069730e-08,8.114600e-08,8.212186e-08,8.220310e-08,8.317151e-08,8.339123e-08,8.405573e-08,8.451578e-08,8.486020e-08,8.550558e-08,8.558921e-08,8.624694e-08,8.637029e-08,8.683739e-08,8.711913e-08,8.736443e-08,8.776086e-08,8.783177e-08,8.824295e-08,8.830376e-08,8.860135e-08,8.875559e-08,8.891019e-08,8.912362e-08,8.917251e-08,8.939122e-08,8.941467e-08,8.956908e-08,8.963507e-08,8.970869e-08,8.979074e-08,8.981253e-08,8.988292e-08,8.988717e-08,8.992207e-08,8.992946e-08,8.993207e-08,8.992233e-08,8.991489e-08,8.987238e-08,8.987018e-08,8.980629e-08,8.977705e-08,8.971828e-08,8.964671e-08,8.960991e-08,8.948263e-08,8.933784e-08,8.928803e-08,8.917684e-08,8.906586e-08,8.900085e-08,8.881886e-08,8.881102e-08,8.860844e-08,8.854957e-08,8.839413e-08,8.826032e-08,8.816906e-08,8.795326e-08,8.793412e-08,8.769017e-08,8.763037e-08,8.743801e-08,8.729349e-08,8.717838e-08,8.694429e-08,8.691199e-08,8.663950e-08,8.658433e-08,8.636154e-08,8.621503e-08,8.607869e-08,8.583772e-08,8.579149e-08,8.550047e-08,8.545358e-08,8.520610e-08,8.506374e-08,8.490883e-08,8.466921e-08,8.460909e-08,8.430728e-08,8.427094e-08,8.400376e-08,8.386977e-08,8.369889e-08,8.346649e-08,8.339300e-08,8.308638e-08,8.306183e-08,8.277933e-08,8.265645e-08,8.247210e-08,8.225094e-08,8.216496e-08,8.185812e-08,8.184585e-08,8.155180e-08,8.144169e-08,8.124621e-08,8.103892e-08,8.094153e-08,8.063794e-08,8.023914e-08,7.984286e-08,7.944940e-08,7.905904e-08,7.867204e-08,7.828862e-08,7.790899e-08,7.753331e-08,7.716174e-08,7.679444e-08,7.643152e-08,7.607308e-08,7.571923e-08,7.537003e-08,7.502555e-08,7.468585e-08,7.435096e-08,7.402094e-08,7.369578e-08,7.337552e-08,7.306017e-08,7.274972e-08,7.244416e-08,7.214350e-08
0.000000e+00,3.740721e-12,8.562018e-12,2.942308e-11,6.690843e-11,9.760007e-11,2.214781e-10,2.281501e-10,4.415611e-10,5.191429e-10,7.600698e-10,1.011444e-09,1.207116e-09,1.748336e-09,1.801529e-09,2.547567e-09,2.748183e-09,3.434804e-09,3.987820e-09,4.448608e-09,5.435213e-09,5.576149e-09,6.806432e-09,7.063897e-09,8.128978e-09,8.849605e-09,9.532991e-09,1.076697e-08,1.100704e-08,1.253909e-08,1.278878e-08,1.411677e-08,1.488660e-08,1.572762e-08,1.703199e-08,1.735948e-08,1.900071e-08,1.919776e-08,2.064048e-08,2.135894e-08,2.226892e-08,2.349349e-08,2.387721e-08,2.545767e-08,2.558270e-08,2.700373e-08,2.761126e-08,2.850992e-08,2.956716e-08,2.997180e-08,3.138588e-08,3.144140e-08,3.274951e-08,3.322768e-08,3.406081e-08,3.492196e-08,3.531857e-08,3.652214e-08,3.767134e-08,3.802763e-08,3.876642e-08,3.943911e-08,3.980794e-08,4.075819e-08,4.079675e-08,4.173390e-08,4.198721e-08,4.262062e-08,4.312900e-08,4.345826e-08,4.418680e-08,4.424828e-08,4.499219e-08,4.516404e-08,4.569156e-08,4.606434e-08,4.634797e-08,4.689135e-08,4.696303e-08,4.753831e-08,4.764873e-08,4.807540e-08,4.834011e-08,4.857586e-08,4.896905e-08,4.904120e-08,4.947294e-08,4.953899e-08,4.987251e-08,5.005330e-08,5.024134e-08,5.051520e-08,5.058081e-08,5.089225e-08,5.092780e-08,5.117694e-08,5.129405e-08,5.143612e-08,5.161679e-08,5.167100e-08,5.188274e-08,5.189871e-08,5.207244e-08,5.214239e-08,5.224118e-08,5.235027e-08,5.238998e-08,5.251983e-08,5.252465e-08,5.263168e-08,5.266772e-08,5.272644e-08,5.278156e-08,5.280498e-08,5.286814e-08,5.291671e-08,5.292929e-08,5.295146e-08,5.296678e-08,5.297312e-08,5.298226e-08,5.298240e-08,5.297996e-08,5.297727e-08,5.296646e-08,5.295330e-08,5.294249e-08,5.291171e-08,5.290866e-08,5.286550e-08,5.285382e-08,5.281358e-08,5.278085e-08,5.275338e-08,5.269396e-08,5.268541e-08,5.261012e-08,5.259422e-08,5.252796e-08,5.248266e-08,5.243935e-08,5.236023e-08,5.234470e-08,5.224439e-08,5.222784e-08,5.213879e-08,5.208633e-08,5.202826e-08,5.193649e-08,5.191311e-08,5.179367e-08,5.177907e-08,5.167025e-08,5.161476e-08,5.154313e-08,5.144421e-08,5.141258e-08,5.127887e-08,5.126805e-08,5.114225e-08,5.108684e-08,5.100295e-08,5.090112e-08,5.086120e-08,5.071720e-08,5.071140e-08,5.057117e-08,5.051814e-08,5.042330e-08,5.032179e-08,5.027377e-08,5.012275e-08,4.992141e-08,4.971813e-08,4.951325e-08,4.930706e-08,4.909987e-08,4.889195e-08,4.868354e-08,4.847489e-08,4.826620e-08,4.805769e-08,4.784953e-08,4.764190e-08,4.743496e-08,4.722886e-08,4.702373e-08,4.681971e-08,4.661691e-08,4.641543e-08,4.621537e-08,4.601682e-08,4.581987e-08,4.562458e-08,4.543103e-08,4.523927e-08
0.000000e+00,7.363479e-11,1.735754e-10,6.159176e-10,1.423311e-09,2.089759e-09,4.805188e-09,4.952276e-09,9.688453e-09,1.142268e-08,1.684230e-08,2.254614e-08,2.701956e-08,3.955150e-08,4.079602e-08,5.847122e-08,6.328270e-08,7.986423e-08,9.328313e-08,1.044689e-07,1.283527e-07,1.317528e-07,1.612767e-07,1.674177e-07,1.926811e-07,2.096486e-07,2.256494e-07,2.543332e-07,2.598839e-07,2.950963e-07,3.008021e-07,3.310065e-07,3.484118e-07,3.673456e-07,3.965545e-07,4.038598e-07,4.403144e-07,4.446746e-07,4.764972e-07,4.922823e-07,5.122204e-07,5.389617e-07,5.473214e-07,5.816615e-07,5.843723e-07,6.151264e-07,6.282460e-07,6.476238e-07,6.703812e-07,6.790808e-07,7.094422e-07,7.106332e-07,7.386688e-07,7.489073e-07,7.667349e-07,7.851492e-07,7.936262e-07,8.193383e-07,8.438749e-07,8.514799e-07,8.672464e-07,8.815999e-07,8.894687e-07,9.097398e-07,9.105622e-07,9.305505e-07,9.359528e-07,9.494603e-07,9.603005e-07,9.673204e-07,9.828504e-07,9.841608e-07,1.000013e-06,1.003674e-06,1.014908e-06,1.022843e-06,1.028878e-06,1.040433e-06,1.041956e-06,1.054174e-06,1.056518e-06,1.065565e-06,1.071171e-06,1.076158e-06,1.084464e-06,1.085987e-06,1.095080e-06,1.096469e-06,1.103469e-06,1.107254e-06,1.111183e-06,1.116886e-06,1.118249e-06,1.124697e-06,1.125430e-06,1.130552e-06,1.132948e-06,1.135842e-06,1.139499e-06,1.140591e-06,1.144824e-06,1.145142e-06,1.148566e-06,1.149931e-06,1.151839e-06,1.153919e-06,1.154666e-06,1.157069e-06,1.157156e-06,1.159067e-06,1.159691e-06,1.160681e-06,1.161570e-06,1.161931e-06,1.162835e-06,1.163411e-06,1.163529e-06,1.163677e-06,1.163691e-06,1.163648e-06,1.163359e-06,1.163341e-06,1.162772e-06,1.162567e-06,1.161954e-06,1.161350e-06,1.160902e-06,1.159739e-06,1.159630e-06,1.158150e-06,1.157766e-06,1.156475e-06,1.155457e-06,1.154618e-06,1.152841e-06,1.152588e-06,1.150398e-06,1.149942e-06,1.148058e-06,1.146785e-06,1.145577e-06,1.143392e-06,1.142966e-06,1.140233e-06,1.139785e-06,1.137387e-06,1.135983e-06,1.134437e-06,1.132007e-06,1.131390e-06,1.128254e-06,1.127873e-06,1.125037e-06,1.123597e-06,1.121745e-06,1.119197e-06,1.118385e-06,1.114963e-06,1.114686e-06,1.111484e-06,1.110079e-06,1.107956e-06,1.105387e-06,1.104383e-06,1.100769e-06,1.100624e-06,1.097121e-06,1.095800e-06,1.093443e-06,1.090927e-06,1.089739e-06,1.086013e-06,1.081068e-06,1.076101e-06,1.071119e-06,1.066130e-06,1.061140e-06,1.056156e-06,1.051185e-06,1.046230e-06,1.041297e-06,1.036391e-06,1.031516e-06,1.026676e-06,1.021874e-06,1.017113e-06,1.012397e-06,1.007728e-06,1.003108e-06,9.985394e-07,9.940244e-07,9.895645e-07,9.851613e-07,9.808159e-07,9.765296e-07,9.723032e-07
0.000000e+00,3.065648e-12,7.031334e-12,2.424324e-11,5.533773e-11,8.094563e-11,1.856033e-10,1.912972e-10,3.763011e-10,4.448655e-10,6.618836e-10,8.945366e-10,1.079899e-09,1.612432e-09,1.666393e-09,2.454340e-09,2.675781e-09,3.459825e-09,4.114300e-09,4.669861e-09,5.873637e-09,6.045972e-09,7.541321e-09,7.850899e-09,9.114703e-09,9.952929e-09,1.073479e-08,1.211487e-08,1.237876e-08,1.402974e-08,1.429364e-08,1.567471e-08,1.645902e-08,1.730321e-08,1.858827e-08,1.890655e-08,2.047743e-08,2.066345e-08,2.200967e-08,2.267026e-08,2.349816e-08,2.459756e-08,2.493874e-08,2.632810e-08,2.643696e-08,2.766374e-08,2.818254e-08,2.894392e-08,2.983066e-08,3.016753e-08,3.133409e-08,3.137956e-08,3.244359e-08,3.282912e-08,3.349646e-08,3.418046e-08,3.449350e-08,3.543577e-08,3.632459e-08,3.659796e-08,3.716146e-08,3.767054e-08,3.794800e-08,3.865734e-08,3.868594e-08,3.937706e-08,3.956243e-08,4.002318e-08,4.039002e-08,4.062614e-08,4.114430e-08,4.118775e-08,4.170984e-08,4.182946e-08,4.219418e-08,4.244958e-08,4.264252e-08,4.300862e-08,4.305655e-08,4.343793e-08,4.351042e-08,4.378824e-08,4.395864e-08,4.410903e-08,4.435677e-08,4.440178e-08,4.466792e-08,4.470813e-08,4.490883e-08,4.501588e-08,4.512580e-08,4.528301e-08,4.532011e-08,4.549296e-08,4.551231e-08,4.564549e-08,4.570645e-08,4.577881e-08,4.586793e-08,4.589397e-08,4.599196e-08,4.599909e-08,4.607375e-08,4.610213e-08,4.614023e-08,4.617912e-08,4.619229e-08,4.623074e-08,4.623201e-08,4.625638e-08,4.626261e-08,4.626994e-08,4.627263e-08,4.627214e-08,4.626365e-08,4.624513e-08,4.623718e-08,4.621717e-08,4.619460e-08,4.618037e-08,4.613722e-08,4.613527e-08,4.608239e-08,4.606626e-08,4.602224e-08,4.598286e-08,4.595529e-08,4.588808e-08,4.588199e-08,4.580276e-08,4.578291e-08,4.571800e-08,4.566827e-08,4.562811e-08,4.554504e-08,4.553344e-08,4.543433e-08,4.541401e-08,4.533113e-08,4.527594e-08,4.522412e-08,4.513152e-08,4.511362e-08,4.499989e-08,4.498142e-08,4.488321e-08,4.482622e-08,4.476382e-08,4.466651e-08,4.464195e-08,4.451783e-08,4.450280e-08,4.439168e-08,4.433558e-08,4.426369e-08,4.416531e-08,4.413406e-08,4.400296e-08,4.399241e-08,4.387056e-08,4.381727e-08,4.373702e-08,4.364025e-08,4.360250e-08,4.346713e-08,4.346170e-08,4.333105e-08,4.328192e-08,4.319440e-08,4.310120e-08,4.305728e-08,4.291982e-08,4.273802e-08,4.255603e-08,4.237406e-08,4.219231e-08,4.201096e-08,4.183017e-08,4.165010e-08,4.147089e-08,4.129266e-08,4.111554e-08,4.093963e-08,4.076502e-08,4.059182e-08,4.042009e-08,4.024991e-08,4.008136e-08,3.991448e-08,3.974933e-08,3.958596e-08,3.942441e-08,3.926471e-08,3.910690e-08,3.895101e-08,3.879706e-08
0.000000e+00,2.232103e-11,1.041132e-10,9.735207e-10,4.090975e-09,7.780791e-09,3.013407e-08,3.161341e-08,8.994384e-08,1.155345e-07,2.065631e-07,3.169068e-07,4.118067e-07,7.079926e-07,7.394489e-07,1.217918e-06,1.357226e-06,1.862861e-06,2.298306e-06,2.677472e-06,3.531360e-06,3.657462e-06,4.795576e-06,5.041478e-06,6.083892e-06,6.810512e-06,7.514352e-06,8.819615e-06,9.078490e-06,1.076700e-05,1.104802e-05,1.256946e-05,1.347175e-05,1.447427e-05,1.606336e-05,1.646881e-05,1.853972e-05,1.879271e-05,2.067322e-05,2.162823e-05,2.285552e-05,2.453836e-05,2.507309e-05,2.731302e-05,2.749281e-05,2.956318e-05,3.046358e-05,3.181243e-05,3.342561e-05,3.405067e-05,3.626896e-05,3.635716e-05,3.845943e-05,3.923986e-05,4.061534e-05,4.205866e-05,4.273097e-05,4.480153e-05,4.682315e-05,4.745919e-05,4.879269e-05,5.002472e-05,5.070773e-05,5.249322e-05,5.256647e-05,5.436761e-05,5.486148e-05,5.611033e-05,5.712772e-05,5.779419e-05,5.929125e-05,5.941907e-05,6.098515e-05,6.135230e-05,6.249282e-05,6.331182e-05,6.394268e-05,6.517133e-05,6.533548e-05,6.667209e-05,6.693276e-05,6.795352e-05,6.859840e-05,6.918083e-05,7.017077e-05,7.035514e-05,7.147767e-05,7.165255e-05,7.254962e-05,7.304657e-05,7.357227e-05,7.435573e-05,7.454687e-05,7.547472e-05,7.558298e-05,7.635711e-05,7.673129e-05,7.719533e-05,7.780362e-05,7.799065e-05,7.874437e-05,7.880290e-05,7.945773e-05,7.973206e-05,8.013200e-05,8.059396e-05,8.076840e-05,8.136816e-05,8.139140e-05,8.193246e-05,8.212715e-05,8.246248e-05,8.280390e-05,8.295937e-05,8.342425e-05,8.385824e-05,8.399077e-05,8.426242e-05,8.450593e-05,8.463784e-05,8.497214e-05,8.498553e-05,8.530649e-05,8.539171e-05,8.560172e-05,8.576690e-05,8.587217e-05,8.609989e-05,8.611876e-05,8.634241e-05,8.639277e-05,8.654400e-05,8.664758e-05,8.672439e-05,8.686625e-05,8.688441e-05,8.702487e-05,8.705069e-05,8.714657e-05,8.720268e-05,8.725026e-05,8.732399e-05,8.733668e-05,8.740657e-05,8.741626e-05,8.746061e-05,8.748112e-05,8.749949e-05,8.752011e-05,8.752385e-05,8.753433e-05,8.753469e-05,8.753156e-05,8.752629e-05,8.751611e-05,8.749626e-05,8.748858e-05,8.744951e-05,8.744591e-05,8.739945e-05,8.737647e-05,8.733892e-05,8.728914e-05,8.726842e-05,8.718843e-05,8.718504e-05,8.709944e-05,8.706528e-05,8.700189e-05,8.693089e-05,8.689622e-05,8.678285e-05,8.662211e-05,8.644957e-05,8.626610e-05,8.607250e-05,8.586956e-05,8.565801e-05,8.543857e-05,8.521190e-05,8.497864e-05,8.473939e-05,8.449473e-05,8.424520e-05,8.399132e-05,8.373357e-05,8.347243e-05,8.320832e-05,8.294167e-05,8.267286e-05,8.240226e-05,8.213022e-05,8.185708e-05,8.158314e-05,8.130869e-05,8.103402e-05
0.000000e+00,8.952512e-12,4.579737e-11,5.162534e-10,2.556707e-09,5.306610e-09,2.548040e-08,2.695631e-08,9.316526e-08,1.257225e-07,2.526293e-07,4.228901e-07,5.798998e-07,1.118072e-06,1.178991e-06,2.185430e-06,2.505497e-06,3.766051e-06,4.973570e-06,6.115351e-06,8.988155e-06,9.447152e-06,1.398141e-05,1.505140e-05,1.992805e-05,2.364095e-05,2.747093e-05,3.514773e-05,3.675474e-05,4.787636e-05,4.983011e-05,6.088076e-05,6.779149e-05,7.576090e-05,8.897942e-05,9.246077e-05,1.108807e-04,1.132006e-04,1.308842e-04,1.401454e-04,1.523050e-04,1.694177e-04,1.749552e-04,1.986320e-04,2.005643e-04,2.231253e-04,2.331037e-04,2.482231e-04,2.665505e-04,2.737170e-04,2.994066e-04,3.004356e-04,3.251031e-04,3.343214e-04,3.506315e-04,3.678130e-04,3.758328e-04,4.005650e-04,4.247034e-04,4.322843e-04,4.481411e-04,4.627314e-04,4.707884e-04,4.917180e-04,4.925719e-04,5.134340e-04,5.191039e-04,5.333310e-04,5.447929e-04,5.522328e-04,5.687274e-04,5.701209e-04,5.869876e-04,5.908836e-04,6.028343e-04,6.112661e-04,6.176703e-04,6.299028e-04,6.315120e-04,6.443812e-04,6.468406e-04,6.563047e-04,6.621411e-04,6.673128e-04,6.758765e-04,6.774389e-04,6.867184e-04,6.881270e-04,6.951884e-04,6.989776e-04,7.028869e-04,7.085159e-04,7.098522e-04,7.161227e-04,7.168302e-04,7.217364e-04,7.240081e-04,7.267309e-04,7.301350e-04,7.311426e-04,7.350072e-04,7.352938e-04,7.383590e-04,7.395636e-04,7.412311e-04,7.430199e-04,7.436552e-04,7.456615e-04,7.457334e-04,7.472787e-04,7.477709e-04,7.485341e-04,7.491945e-04,7.494537e-04,7.500618e-04,7.503815e-04,7.504265e-04,7.504344e-04,7.503377e-04,7.502409e-04,7.498409e-04,7.498199e-04,7.491894e-04,7.489777e-04,7.483661e-04,7.477861e-04,7.473655e-04,7.463010e-04,7.462023e-04,7.448900e-04,7.445542e-04,7.434412e-04,7.425748e-04,7.418679e-04,7.403891e-04,7.401810e-04,7.383907e-04,7.380211e-04,7.365066e-04,7.354927e-04,7.345374e-04,7.328236e-04,7.324914e-04,7.303763e-04,7.300319e-04,7.281990e-04,7.271338e-04,7.259662e-04,7.241441e-04,7.236840e-04,7.213581e-04,7.210763e-04,7.189936e-04,7.179424e-04,7.165956e-04,7.147534e-04,7.141685e-04,7.117166e-04,7.115195e-04,7.092437e-04,7.082495e-04,7.067535e-04,7.049517e-04,7.042493e-04,7.017343e-04,7.016335e-04,6.992113e-04,6.983016e-04,6.966830e-04,6.949620e-04,6.941518e-04,6.916202e-04,6.882811e-04,6.849494e-04,6.816289e-04,6.783234e-04,6.750360e-04,6.717699e-04,6.685276e-04,6.653114e-04,6.621236e-04,6.589660e-04,6.558403e-04,6.527480e-04,6.496905e-04,6.466687e-04,6.436839e-04,6.407368e-04,6.378282e-04,6.349587e-04,6.321290e-04,6.293393e-04,6.265900e-04,6.238815e-04,6.212138e-04,6.185872e-04
0.000000e+00,2.206479e-12,1.103512e-11,1.186155e-10,5.620228e-10,1.138100e-09,5.120520e-09,5.402567e-09,1.746689e-08,2.313864e-08,4.435050e-08,7.140535e-08,9.542886e-08,1.735493e-07,1.820879e-07,3.172407e-07,3.584205e-07,5.147137e-07,6.577285e-07,7.884037e-07,1.102539e-06,1.151146e-06,1.613463e-06,1.718574e-06,2.182535e-06,2.521885e-06,2.861618e-06,3.516621e-06,3.649952e-06,4.543038e-06,4.695177e-06,5.533152e-06,6.039920e-06,6.609962e-06,7.525622e-06,7.761177e-06,8.973161e-06,9.122004e-06,1.023151e-05,1.079608e-05,1.152153e-05,1.251420e-05,1.282874e-05,1.413916e-05,1.424373e-05,1.543970e-05,1.595442e-05,1.671837e-05,1.761939e-05,1.796444e-05,1.916862e-05,1.921580e-05,2.032305e-05,2.072520e-05,2.142138e-05,2.213364e-05,2.245870e-05,2.343149e-05,2.433751e-05,2.461313e-05,2.517567e-05,2.567643e-05,2.594594e-05,2.662228e-05,2.664914e-05,2.728687e-05,2.745399e-05,2.786132e-05,2.817670e-05,2.837515e-05,2.879693e-05,2.883138e-05,2.923329e-05,2.932204e-05,2.958428e-05,2.975989e-05,2.988783e-05,3.011849e-05,3.014743e-05,3.036649e-05,3.040573e-05,3.054833e-05,3.062925e-05,3.069614e-05,3.079621e-05,3.081294e-05,3.090156e-05,3.091331e-05,3.096468e-05,3.098665e-05,3.100476e-05,3.102177e-05,3.102408e-05,3.102474e-05,3.102366e-05,3.100866e-05,3.099674e-05,3.097760e-05,3.094495e-05,3.093313e-05,3.087672e-05,3.087173e-05,3.080965e-05,3.078011e-05,3.073312e-05,3.067275e-05,3.064818e-05,3.055579e-05,3.055195e-05,3.045682e-05,3.041973e-05,3.035203e-05,3.027782e-05,3.024214e-05,3.012777e-05,3.000948e-05,2.997088e-05,2.988778e-05,2.980832e-05,2.976314e-05,2.964109e-05,2.963596e-05,2.950663e-05,2.947007e-05,2.937548e-05,2.929604e-05,2.924281e-05,2.911966e-05,2.910891e-05,2.897403e-05,2.894153e-05,2.883838e-05,2.876217e-05,2.870219e-05,2.858204e-05,2.856565e-05,2.842891e-05,2.840155e-05,2.829214e-05,2.822106e-05,2.815549e-05,2.804088e-05,2.801907e-05,2.788301e-05,2.786128e-05,2.774742e-05,2.768253e-05,2.761240e-05,2.750484e-05,2.747802e-05,2.734439e-05,2.732840e-05,2.721156e-05,2.715339e-05,2.707961e-05,2.697996e-05,2.694860e-05,2.681859e-05,2.680823e-05,2.668962e-05,2.663834e-05,2.656174e-05,2.647037e-05,2.643500e-05,2.630942e-05,2.630442e-05,2.618505e-05,2.614057e-05,2.606190e-05,2.597888e-05,2.594002e-05,2.581941e-05,2.566220e-05,2.550730e-05,2.535474e-05,2.520454e-05,2.505672e-05,2.491130e-05,2.476828e-05,2.462767e-05,2.448946e-05,2.435366e-05,2.422026e-05,2.408924e-05,2.396059e-05,2.383430e-05,2.371035e-05,2.358871e-05,2.346938e-05,2.335232e-05,2.323751e-05,2.312492e-05,2.301453e-05,2.290631e-05,2.280023e-05,2.269625e-05
0.000000e+00,9.780791e-11,2.293131e-10,8.063839e-10,1.849696e-09,2.704951e-09,6.154825e-09,6.340458e-09,1.226875e-08,1.441990e-08,2.108973e-08,2.803670e-08,3.344002e-08,4.839293e-08,4.986445e-08,7.054871e-08,7.612111e-08,9.518671e-08,1.104963e-07,1.231968e-07,1.501661e-07,1.539911e-07,1.870690e-07,1.939201e-07,2.220032e-07,2.407737e-07,2.584085e-07,2.898590e-07,2.959207e-07,3.341890e-07,3.403593e-07,3.728753e-07,3.914979e-07,4.116577e-07,4.425501e-07,4.502358e-07,4.883355e-07,4.928634e-07,5.257128e-07,5.418743e-07,5.621564e-07,5.891183e-07,5.974883e-07,6.315634e-07,6.342315e-07,6.642678e-07,6.769460e-07,6.955177e-07,7.170841e-07,7.252562e-07,7.534498e-07,7.545452e-07,7.800851e-07,7.892925e-07,8.051662e-07,8.213437e-07,8.287137e-07,8.507552e-07,8.713277e-07,8.776083e-07,8.904784e-07,9.020118e-07,9.082577e-07,9.240863e-07,9.247202e-07,9.399233e-07,9.439624e-07,9.539253e-07,9.617743e-07,9.667846e-07,9.776556e-07,9.785589e-07,9.893056e-07,9.917382e-07,9.990808e-07,1.004151e-06,1.007939e-06,1.015017e-06,1.015932e-06,1.023111e-06,1.024453e-06,1.029524e-06,1.032572e-06,1.035218e-06,1.039477e-06,1.040236e-06,1.044620e-06,1.045265e-06,1.048410e-06,1.050030e-06,1.051644e-06,1.053855e-06,1.054358e-06,1.056584e-06,1.056820e-06,1.058355e-06,1.058998e-06,1.059701e-06,1.060456e-06,1.060649e-06,1.061228e-06,1.061259e-06,1.061462e-06,1.061464e-06,1.061374e-06,1.061124e-06,1.060986e-06,1.060321e-06,1.060289e-06,1.059397e-06,1.059005e-06,1.058233e-06,1.057313e-06,1.056846e-06,1.055253e-06,1.053469e-06,1.052860e-06,1.051509e-06,1.050167e-06,1.049385e-06,1.047205e-06,1.047111e-06,1.044700e-06,1.044001e-06,1.042161e-06,1.040581e-06,1.039506e-06,1.036968e-06,1.036744e-06,1.033885e-06,1.033185e-06,1.030937e-06,1.029251e-06,1.027909e-06,1.025185e-06,1.024809e-06,1.021643e-06,1.021003e-06,1.018418e-06,1.016720e-06,1.015141e-06,1.012353e-06,1.011818e-06,1.008454e-06,1.007912e-06,1.005054e-06,1.003411e-06,1.001624e-06,9.988601e-07,9.981668e-07,9.946883e-07,9.942696e-07,9.911920e-07,9.896489e-07,9.876815e-07,9.850064e-07,9.841605e-07,9.806323e-07,9.803498e-07,9.770998e-07,9.756863e-07,9.735661e-07,9.710224e-07,9.700337e-07,9.665051e-07,9.663641e-07,9.629828e-07,9.617166e-07,9.594688e-07,9.570851e-07,9.559652e-07,9.524739e-07,9.478872e-07,9.433286e-07,9.388015e-07,9.343090e-07,9.298537e-07,9.254382e-07,9.210646e-07,9.167349e-07,9.124509e-07,9.082142e-07,9.040259e-07,8.998875e-07,8.957999e-07,8.917639e-07,8.877803e-07,8.838499e-07,8.799730e-07,8.761500e-07,8.723814e-07,8.686673e-07,8.650078e-07,8.614030e-07,8.578530e-07,8.543577e-07
0.000000e+00,3.810939e-11,8.798472e-11,3.058824e-10,7.028098e-10,1.032276e-09,2.399738e-09,2.475017e-09,4.962418e-09,5.901633e-09,8.918445e-09,1.219750e-08,1.481946e-08,2.226292e-08,2.300320e-08,3.340688e-08,3.618870e-08,4.558661e-08,5.298407e-08,5.901919e-08,7.154696e-08,7.329400e-08,8.812451e-08,9.113824e-08,1.033055e-07,1.112841e-07,1.186780e-07,1.316422e-07,1.341106e-07,1.494895e-07,1.519384e-07,1.647156e-07,1.719442e-07,1.797031e-07,1.914718e-07,1.943790e-07,2.086830e-07,2.103720e-07,2.225664e-07,2.285319e-07,2.359918e-07,2.458714e-07,2.489315e-07,2.613666e-07,2.623392e-07,2.732850e-07,2.779064e-07,2.846816e-07,2.925636e-07,2.955560e-07,3.059118e-07,3.063153e-07,3.157561e-07,3.191766e-07,3.250986e-07,3.311708e-07,3.339511e-07,3.423269e-07,3.502403e-07,3.526773e-07,3.577061e-07,3.622564e-07,3.647397e-07,3.710999e-07,3.713568e-07,3.775730e-07,3.792439e-07,3.834040e-07,3.867240e-07,3.888650e-07,3.935756e-07,3.939714e-07,3.987379e-07,3.998329e-07,4.031790e-07,4.055292e-07,4.073090e-07,4.106968e-07,4.111414e-07,4.146896e-07,4.153662e-07,4.179664e-07,4.195672e-07,4.209841e-07,4.233277e-07,4.237549e-07,4.262902e-07,4.266748e-07,4.286011e-07,4.296338e-07,4.306983e-07,4.322292e-07,4.325921e-07,4.342924e-07,4.344838e-07,4.358085e-07,4.364196e-07,4.371496e-07,4.380571e-07,4.383243e-07,4.393411e-07,4.394159e-07,4.402080e-07,4.405144e-07,4.409325e-07,4.413701e-07,4.415220e-07,4.419835e-07,4.419994e-07,4.423237e-07,4.424178e-07,4.425491e-07,4.426399e-07,4.426657e-07,4.426795e-07,4.425960e-07,4.425496e-07,4.424206e-07,4.422624e-07,4.421583e-07,4.418294e-07,4.418141e-07,4.413926e-07,4.412614e-07,4.408983e-07,4.405685e-07,4.403354e-07,4.397603e-07,4.397079e-07,4.390197e-07,4.388459e-07,4.382744e-07,4.378335e-07,4.374757e-07,4.367312e-07,4.366268e-07,4.357309e-07,4.355464e-07,4.347911e-07,4.342860e-07,4.338102e-07,4.329566e-07,4.327911e-07,4.317363e-07,4.315644e-07,4.306483e-07,4.301150e-07,4.295295e-07,4.286139e-07,4.283822e-07,4.272086e-07,4.270661e-07,4.260106e-07,4.254763e-07,4.247903e-07,4.238491e-07,4.235495e-07,4.222900e-07,4.221885e-07,4.210134e-07,4.204984e-07,4.197214e-07,4.187824e-07,4.184155e-07,4.170970e-07,4.170440e-07,4.157674e-07,4.152863e-07,4.144280e-07,4.135122e-07,4.130800e-07,4.117246e-07,4.099260e-07,4.081188e-07,4.063052e-07,4.044874e-07,4.026672e-07,4.008465e-07,3.990270e-07,3.972101e-07,3.953974e-07,3.935902e-07,3.917898e-07,3.899971e-07,3.882135e-07,3.864397e-07,3.846767e-07,3.829254e-07,3.811865e-07,3.794606e-07,3.777484e-07,3.760506e-07,3.743675e-07,3.726997e-07,3.710477e-07,3.694117e-07
0.000000e+00,1.711833e-11,8.444745e-11,8.827332e-10,4.080453e-09,8.154442e-09,3.550610e-08,3.741377e-08,1.173937e-07,1.543321e-07,2.905247e-07,4.615739e-07,6.119598e-07,1.095549e-06,1.148072e-06,1.974580e-06,2.225180e-06,3.173201e-06,4.037496e-06,4.825018e-06,6.709897e-06,7.000480e-06,9.749264e-06,1.037031e-05,1.309400e-05,1.506805e-05,1.702936e-05,2.077024e-05,2.152547e-05,2.653337e-05,2.737811e-05,3.199092e-05,3.474984e-05,3.782794e-05,4.272103e-05,4.397034e-05,5.034321e-05,5.111993e-05,5.687301e-05,5.977750e-05,6.348912e-05,6.853398e-05,7.012503e-05,7.671918e-05,7.724319e-05,8.321559e-05,8.577537e-05,8.956424e-05,9.401898e-05,9.572141e-05,1.016497e-04,1.018816e-04,1.073181e-04,1.092902e-04,1.127019e-04,1.161903e-04,1.177820e-04,1.225450e-04,1.269827e-04,1.283333e-04,1.310912e-04,1.335479e-04,1.348708e-04,1.381931e-04,1.383251e-04,1.414609e-04,1.422830e-04,1.442872e-04,1.458389e-04,1.468150e-04,1.488877e-04,1.490568e-04,1.510263e-04,1.514600e-04,1.527377e-04,1.535888e-04,1.542058e-04,1.553083e-04,1.554455e-04,1.564717e-04,1.566526e-04,1.572990e-04,1.576553e-04,1.579417e-04,1.583491e-04,1.584137e-04,1.587281e-04,1.587647e-04,1.588978e-04,1.589313e-04,1.589346e-04,1.588760e-04,1.588499e-04,1.586544e-04,1.586240e-04,1.583582e-04,1.581984e-04,1.579707e-04,1.576204e-04,1.575005e-04,1.569558e-04,1.569093e-04,1.563443e-04,1.560825e-04,1.556727e-04,1.551557e-04,1.549477e-04,1.541752e-04,1.541434e-04,1.533606e-04,1.530581e-04,1.525092e-04,1.519115e-04,1.516255e-04,1.507137e-04,1.497779e-04,1.494740e-04,1.488217e-04,1.482004e-04,1.478482e-04,1.469003e-04,1.468606e-04,1.458616e-04,1.455802e-04,1.448537e-04,1.442456e-04,1.438391e-04,1.429017e-04,1.428201e-04,1.417984e-04,1.415530e-04,1.407758e-04,1.402033e-04,1.397538e-04,1.388561e-04,1.387339e-04,1.377173e-04,1.375145e-04,1.367053e-04,1.361811e-04,1.356987e-04,1.348582e-04,1.346986e-04,1.337059e-04,1.335477e-04,1.327211e-04,1.322515e-04,1.317451e-04,1.309709e-04,1.307783e-04,1.298214e-04,1.297072e-04,1.288747e-04,1.284615e-04,1.279387e-04,1.272346e-04,1.270137e-04,1.261000e-04,1.260274e-04,1.251978e-04,1.248402e-04,1.243074e-04,1.236737e-04,1.234290e-04,1.225627e-04,1.225283e-04,1.217085e-04,1.214040e-04,1.208666e-04,1.203012e-04,1.200371e-04,1.192199e-04,1.181602e-04,1.171220e-04,1.161052e-04,1.151098e-04,1.141355e-04,1.131822e-04,1.122497e-04,1.113377e-04,1.104458e-04,1.095739e-04,1.087216e-04,1.078886e-04,1.070746e-04,1.062792e-04,1.055020e-04,1.047428e-04,1.040011e-04,1.032766e-04,1.025690e-04,1.018778e-04,1.012028e-04,1.005436e-04,9.989971e-05,9.927092e-05
0.000000e+00,8.896206e-11,2.132301e-10,7.736311e-10,1.820792e-09,2.704060e-09,6.457665e-09,6.667626e-09,1.375367e-08,1.649083e-08,2.543853e-08,3.531891e-08,4.325144e-08,6.559560e-08,6.779480e-08,9.829377e-08,1.063548e-07,1.334722e-07,1.548203e-07,1.723097e-07,2.089692e-07,2.141281e-07,2.584605e-07,2.675954e-07,3.049391e-07,3.298456e-07,3.532322e-07,3.949626e-07,4.030143e-07,4.539560e-07,4.621920e-07,5.057240e-07,5.307684e-07,5.579869e-07,5.999379e-07,6.104246e-07,6.627336e-07,6.689884e-07,7.146327e-07,7.372722e-07,7.658685e-07,8.042251e-07,8.162169e-07,8.654847e-07,8.693744e-07,9.135096e-07,9.323408e-07,9.601585e-07,9.928335e-07,1.005326e-06,1.048931e-06,1.050642e-06,1.090917e-06,1.105627e-06,1.131244e-06,1.157708e-06,1.169892e-06,1.206854e-06,1.242136e-06,1.253073e-06,1.275752e-06,1.296404e-06,1.307728e-06,1.336909e-06,1.338093e-06,1.366884e-06,1.374668e-06,1.394140e-06,1.409774e-06,1.419904e-06,1.442327e-06,1.444220e-06,1.467136e-06,1.472433e-06,1.488699e-06,1.500201e-06,1.508957e-06,1.525741e-06,1.527956e-06,1.545745e-06,1.549162e-06,1.562371e-06,1.570572e-06,1.577879e-06,1.590075e-06,1.592315e-06,1.605723e-06,1.607775e-06,1.618146e-06,1.623771e-06,1.629626e-06,1.638159e-06,1.640204e-06,1.649919e-06,1.651029e-06,1.658810e-06,1.662471e-06,1.666914e-06,1.672568e-06,1.674266e-06,1.680901e-06,1.681402e-06,1.686852e-06,1.689048e-06,1.692151e-06,1.695580e-06,1.696829e-06,1.700916e-06,1.701067e-06,1.704439e-06,1.705576e-06,1.707428e-06,1.709168e-06,1.709908e-06,1.711904e-06,1.713441e-06,1.713839e-06,1.714541e-06,1.715027e-06,1.715229e-06,1.715519e-06,1.715524e-06,1.715447e-06,1.715362e-06,1.715019e-06,1.714601e-06,1.714258e-06,1.713279e-06,1.713182e-06,1.711808e-06,1.711436e-06,1.710154e-06,1.709111e-06,1.708234e-06,1.706338e-06,1.706065e-06,1.703660e-06,1.703152e-06,1.701034e-06,1.699585e-06,1.698200e-06,1.695667e-06,1.695170e-06,1.691956e-06,1.691426e-06,1.688571e-06,1.686889e-06,1.685025e-06,1.682080e-06,1.681329e-06,1.677493e-06,1.677024e-06,1.673526e-06,1.671742e-06,1.669438e-06,1.666255e-06,1.665237e-06,1.660933e-06,1.660584e-06,1.656532e-06,1.654746e-06,1.652042e-06,1.648758e-06,1.647471e-06,1.642825e-06,1.642638e-06,1.638111e-06,1.636399e-06,1.633336e-06,1.630056e-06,1.628505e-06,1.623623e-06,1.617112e-06,1.610535e-06,1.603902e-06,1.597224e-06,1.590511e-06,1.583770e-06,1.577011e-06,1.570242e-06,1.563469e-06,1.556699e-06,1.549939e-06,1.543193e-06,1.536469e-06,1.529769e-06,1.523100e-06,1.516465e-06,1.509869e-06,1.503314e-06,1.496804e-06,1.490343e-06,1.483932e-06,1.477575e-06,1.471274e-06,1.465031e-06
0.000000e+00,1.790723e-10,6.359615e-10,3.690140e-09,1.092994e-08,1.763661e-08,4.790616e-08,4.962609e-08,1.071805e-07,1.289297e-07,1.981322e-07,2.722105e-07,3.308752e-07,4.970801e-07,5.137167e-07,7.524814e-07,8.182892e-07,1.047689e-06,1.236100e-06,1.394833e-06,1.738085e-06,1.787367e-06,2.218890e-06,2.309356e-06,2.683643e-06,2.936673e-06,3.176312e-06,3.607987e-06,3.691788e-06,4.225053e-06,4.311696e-06,4.771189e-06,5.036501e-06,5.325440e-06,5.771641e-06,5.883295e-06,6.440575e-06,6.507226e-06,6.993498e-06,7.234524e-06,7.538716e-06,7.946136e-06,8.073343e-06,8.594949e-06,8.636052e-06,9.101542e-06,9.299609e-06,9.591545e-06,9.933385e-06,1.006375e-05,1.051730e-05,1.053505e-05,1.095160e-05,1.110316e-05,1.136631e-05,1.163705e-05,1.176131e-05,1.213664e-05,1.249250e-05,1.260231e-05,1.282920e-05,1.303481e-05,1.314713e-05,1.343513e-05,1.344677e-05,1.372864e-05,1.380445e-05,1.399330e-05,1.414407e-05,1.424133e-05,1.445536e-05,1.447335e-05,1.468997e-05,1.473974e-05,1.489181e-05,1.499861e-05,1.507947e-05,1.523338e-05,1.525357e-05,1.541470e-05,1.544542e-05,1.556344e-05,1.563608e-05,1.570036e-05,1.580664e-05,1.582601e-05,1.594092e-05,1.595835e-05,1.604562e-05,1.609239e-05,1.614059e-05,1.620990e-05,1.622633e-05,1.630330e-05,1.631197e-05,1.637194e-05,1.639962e-05,1.643269e-05,1.647383e-05,1.648595e-05,1.653212e-05,1.653552e-05,1.657158e-05,1.658556e-05,1.660468e-05,1.662478e-05,1.663178e-05,1.665321e-05,1.665396e-05,1.666929e-05,1.667382e-05,1.668031e-05,1.668507e-05,1.668657e-05,1.668834e-05,1.668588e-05,1.668424e-05,1.667945e-05,1.667336e-05,1.666928e-05,1.665622e-05,1.665561e-05,1.663865e-05,1.663334e-05,1.661860e-05,1.660518e-05,1.659567e-05,1.657218e-05,1.657004e-05,1.654188e-05,1.653477e-05,1.651138e-05,1.649333e-05,1.647869e-05,1.644823e-05,1.644396e-05,1.640733e-05,1.639979e-05,1.636896e-05,1.634835e-05,1.632896e-05,1.629420e-05,1.628747e-05,1.624459e-05,1.623761e-05,1.620045e-05,1.617885e-05,1.615515e-05,1.611814e-05,1.610879e-05,1.606147e-05,1.605573e-05,1.601327e-05,1.599181e-05,1.596428e-05,1.592658e-05,1.591459e-05,1.586427e-05,1.586022e-05,1.581339e-05,1.579290e-05,1.576202e-05,1.572477e-05,1.571023e-05,1.565808e-05,1.565599e-05,1.560563e-05,1.558668e-05,1.555292e-05,1.551697e-05,1.550002e-05,1.544697e-05,1.537679e-05,1.530653e-05,1.523628e-05,1.516612e-05,1.509613e-05,1.502638e-05,1.495694e-05,1.488786e-05,1.481920e-05,1.475101e-05,1.468333e-05,1.461621e-05,1.454968e-05,1.448377e-05,1.441852e-05,1.435395e-05,1.429009e-05,1.422696e-05,1.416457e-05,1.410295e-05,1.404210e-05,1.398205e-05,1.392280e-05,1.386435e-05
0.000000e+00,4.252317e-11,1.622607e-10,1.051889e-09,3.333895e-09,5.529404e-09,1.577081e-08,1.636082e-08,3.627215e-08,4.383031e-08,6.787155e-08,9.352910e-08,1.137822e-07,1.709790e-07,1.767017e-07,2.592098e-07,2.821577e-07,3.631283e-07,4.308292e-07,4.886502e-07,6.156560e-07,6.340651e-07,7.964504e-07,8.306798e-07,9.726122e-07,1.068672e-06,1.159616e-06,1.323188e-06,1.354891e-06,1.556165e-06,1.588785e-06,1.761377e-06,1.860714e-06,1.968625e-06,2.134696e-06,2.176140e-06,2.382290e-06,2.406864e-06,2.585589e-06,2.673789e-06,2.784709e-06,2.932524e-06,2.978489e-06,3.165950e-06,3.180649e-06,3.346288e-06,3.416281e-06,3.518870e-06,3.638059e-06,3.683230e-06,3.839051e-06,3.845104e-06,3.986153e-06,4.036959e-06,4.124471e-06,4.213528e-06,4.254047e-06,4.375004e-06,4.487537e-06,4.521809e-06,4.591899e-06,4.654535e-06,4.688381e-06,4.773889e-06,4.777306e-06,4.859018e-06,4.880653e-06,4.933874e-06,4.975649e-06,5.002238e-06,5.059709e-06,5.064471e-06,5.120930e-06,5.133660e-06,5.171966e-06,5.198305e-06,5.217919e-06,5.254411e-06,5.259113e-06,5.295863e-06,5.302706e-06,5.328465e-06,5.343873e-06,5.357202e-06,5.378550e-06,5.382341e-06,5.404134e-06,5.407326e-06,5.422817e-06,5.430746e-06,5.438613e-06,5.449311e-06,5.451729e-06,5.462360e-06,5.463477e-06,5.470687e-06,5.473666e-06,5.476881e-06,5.480259e-06,5.481099e-06,5.483489e-06,5.483605e-06,5.484188e-06,5.484023e-06,5.483324e-06,5.481801e-06,5.481015e-06,5.477373e-06,5.477201e-06,5.472501e-06,5.470464e-06,5.466494e-06,5.461807e-06,5.459441e-06,5.451426e-06,5.442525e-06,5.439502e-06,5.432811e-06,5.426198e-06,5.422350e-06,5.411663e-06,5.411205e-06,5.399433e-06,5.396032e-06,5.387089e-06,5.379428e-06,5.374222e-06,5.361964e-06,5.360880e-06,5.347106e-06,5.343741e-06,5.332941e-06,5.324852e-06,5.318423e-06,5.305383e-06,5.303587e-06,5.288466e-06,5.285411e-06,5.273091e-06,5.265006e-06,5.257491e-06,5.244232e-06,5.241692e-06,5.225719e-06,5.223149e-06,5.209596e-06,5.201810e-06,5.193345e-06,5.180264e-06,5.176985e-06,5.160535e-06,5.158556e-06,5.144014e-06,5.136727e-06,5.127438e-06,5.114813e-06,5.110822e-06,5.094180e-06,5.092848e-06,5.077527e-06,5.070865e-06,5.060874e-06,5.048890e-06,5.044233e-06,5.027614e-06,5.026950e-06,5.011029e-06,5.005069e-06,4.994487e-06,4.983267e-06,4.977995e-06,4.961564e-06,4.939977e-06,4.918524e-06,4.897218e-06,4.876072e-06,4.855098e-06,4.834308e-06,4.813710e-06,4.793313e-06,4.773125e-06,4.753153e-06,4.733402e-06,4.713878e-06,4.694586e-06,4.675530e-06,4.656713e-06,4.638138e-06,4.619807e-06,4.601722e-06,4.583885e-06,4.566298e-06,4.548960e-06,4.531872e-06,4.515034e-06,4.498447e-06
0.000000e+00,5.795933e-12,2.888633e-11,3.084452e-10,1.453715e-09,2.936114e-09,1.313587e-08,1.385673e-08,4.462921e-08,5.907837e-08,1.131039e-07,1.820516e-07,2.433421e-07,4.431647e-07,4.650540e-07,8.127694e-07,9.191612e-07,1.324747e-06,1.698240e-06,2.041388e-06,2.873257e-06,3.002817e-06,4.245673e-06,4.530790e-06,5.799736e-06,6.738009e-06,7.685334e-06,9.532787e-06,9.912067e-06,1.247888e-05,1.292054e-05,1.537510e-05,1.687706e-05,1.858204e-05,2.135470e-05,2.207475e-05,2.582382e-05,2.628942e-05,2.979692e-05,3.160734e-05,3.396013e-05,3.723020e-05,3.827914e-05,4.272012e-05,4.307968e-05,4.725045e-05,4.908061e-05,5.183926e-05,5.516321e-05,5.645786e-05,6.107997e-05,6.126459e-05,6.568190e-05,6.732952e-05,7.024259e-05,7.331079e-05,7.474360e-05,7.916903e-05,8.350541e-05,8.487235e-05,8.774150e-05,9.039567e-05,9.186818e-05,9.572010e-05,9.587818e-05,9.976596e-05,1.008320e-04,1.035275e-04,1.057225e-04,1.071599e-04,1.103865e-04,1.106618e-04,1.140324e-04,1.148219e-04,1.172721e-04,1.190294e-04,1.203817e-04,1.230117e-04,1.233627e-04,1.262172e-04,1.267731e-04,1.289475e-04,1.303191e-04,1.315564e-04,1.336561e-04,1.340468e-04,1.364217e-04,1.367912e-04,1.386846e-04,1.397319e-04,1.408387e-04,1.424859e-04,1.428874e-04,1.448343e-04,1.450613e-04,1.466828e-04,1.474658e-04,1.484363e-04,1.497075e-04,1.500982e-04,1.516719e-04,1.517941e-04,1.531607e-04,1.537332e-04,1.545679e-04,1.555324e-04,1.558967e-04,1.571501e-04,1.571987e-04,1.583312e-04,1.587393e-04,1.594430e-04,1.601608e-04,1.604882e-04,1.614698e-04,1.623903e-04,1.626724e-04,1.632524e-04,1.637747e-04,1.640587e-04,1.647824e-04,1.648115e-04,1.655132e-04,1.657009e-04,1.661661e-04,1.665354e-04,1.667725e-04,1.672910e-04,1.673343e-04,1.678537e-04,1.679723e-04,1.683327e-04,1.685839e-04,1.687730e-04,1.691301e-04,1.691766e-04,1.695453e-04,1.696150e-04,1.698806e-04,1.700423e-04,1.701842e-04,1.704160e-04,1.704578e-04,1.707026e-04,1.707393e-04,1.709203e-04,1.710156e-04,1.711122e-04,1.712480e-04,1.712796e-04,1.714238e-04,1.714396e-04,1.715460e-04,1.715931e-04,1.716473e-04,1.717111e-04,1.717290e-04,1.717920e-04,1.717963e-04,1.718374e-04,1.718508e-04,1.718661e-04,1.718771e-04,1.718792e-04,1.718775e-04,1.718771e-04,1.718618e-04,1.718530e-04,1.718331e-04,1.718065e-04,1.717920e-04,1.717394e-04,1.716534e-04,1.715501e-04,1.714309e-04,1.712973e-04,1.711504e-04,1.709917e-04,1.708221e-04,1.706428e-04,1.704548e-04,1.702590e-04,1.700563e-04,1.698476e-04,1.696336e-04,1.694150e-04,1.691925e-04,1.689667e-04,1.687383e-04,1.685077e-04,1.682755e-04,1.680421e-04,1.678080e-04,1.675735e-04,1.673391e-04,1.671051e-04
0.000000e+00,1.093382e-10,4.623584e-10,3.584827e-09,1.293110e-08,2.277196e-08,7.377331e-08,7.687889e-08,1.880444e-07,2.326723e-07,3.809421e-07,5.476146e-07,6.841762e-07,1.088778e-06,1.130552e-06,1.751888e-06,1.929510e-06,2.565831e-06,3.103909e-06,3.564660e-06,4.574233e-06,4.719980e-06,5.997394e-06,6.264750e-06,7.366699e-06,8.106993e-06,8.804312e-06,1.005109e-05,1.029178e-05,1.181369e-05,1.205945e-05,1.335629e-05,1.410029e-05,1.490676e-05,1.614466e-05,1.645302e-05,1.798371e-05,1.816585e-05,1.948844e-05,2.013983e-05,2.095781e-05,2.204580e-05,2.238364e-05,2.375895e-05,2.386661e-05,2.507806e-05,2.558893e-05,2.633652e-05,2.720317e-05,2.753105e-05,2.865945e-05,2.870319e-05,2.972048e-05,3.008586e-05,3.071374e-05,3.135057e-05,3.163952e-05,3.249876e-05,3.329288e-05,3.353355e-05,3.402376e-05,3.445932e-05,3.469355e-05,3.528125e-05,3.530459e-05,3.585943e-05,3.600508e-05,3.636072e-05,3.663686e-05,3.681104e-05,3.718264e-05,3.721309e-05,3.756956e-05,3.764863e-05,3.788308e-05,3.804084e-05,3.815620e-05,3.836513e-05,3.839144e-05,3.859116e-05,3.862705e-05,3.875766e-05,3.883184e-05,3.889313e-05,3.898448e-05,3.899967e-05,3.907928e-05,3.908964e-05,3.913384e-05,3.915167e-05,3.916515e-05,3.917460e-05,3.917491e-05,3.916470e-05,3.916221e-05,3.913604e-05,3.911796e-05,3.909036e-05,3.904507e-05,3.902897e-05,3.895314e-05,3.894649e-05,3.886405e-05,3.882495e-05,3.876280e-05,3.868295e-05,3.865042e-05,3.852789e-05,3.852279e-05,3.839612e-05,3.834658e-05,3.825595e-05,3.815625e-05,3.810818e-05,3.795355e-05,3.779275e-05,3.774011e-05,3.762644e-05,3.751739e-05,3.745522e-05,3.728674e-05,3.727964e-05,3.710024e-05,3.704938e-05,3.691749e-05,3.680643e-05,3.673186e-05,3.655890e-05,3.654377e-05,3.635361e-05,3.630771e-05,3.616174e-05,3.605368e-05,3.596851e-05,3.579758e-05,3.577422e-05,3.557917e-05,3.554009e-05,3.538363e-05,3.528183e-05,3.518784e-05,3.502336e-05,3.499204e-05,3.479643e-05,3.476516e-05,3.460122e-05,3.450771e-05,3.440657e-05,3.425138e-05,3.421267e-05,3.401965e-05,3.399656e-05,3.382766e-05,3.374354e-05,3.363683e-05,3.349263e-05,3.344726e-05,3.325907e-05,3.324408e-05,3.307235e-05,3.299810e-05,3.288719e-05,3.275489e-05,3.270367e-05,3.252186e-05,3.251462e-05,3.234182e-05,3.227745e-05,3.216360e-05,3.204348e-05,3.198726e-05,3.181284e-05,3.158562e-05,3.136189e-05,3.114170e-05,3.092512e-05,3.071217e-05,3.050288e-05,3.029727e-05,3.009535e-05,2.989711e-05,2.970255e-05,2.951166e-05,2.932442e-05,2.914079e-05,2.896077e-05,2.878430e-05,2.861137e-05,2.844192e-05,2.827592e-05,2.811332e-05,2.795409e-05,2.779816e-05,2.764549e-05,2.749603e-05,2.734973e-05
0.000000e+00,5.501321e-12,2.759709e-11,2.987824e-10,1.427118e-09,2.905031e-09,1.329370e-08,1.403739e-08,4.647207e-08,6.204807e-08,1.216817e-07,2.002787e-07,2.720221e-07,5.154236e-07,5.428261e-07,9.927754e-07,1.134879e-06,1.689738e-06,2.213529e-06,2.701502e-06,3.897913e-06,4.085031e-06,5.878578e-06,6.288310e-06,8.098382e-06,9.420207e-06,1.073931e-05,1.326647e-05,1.377798e-05,1.717692e-05,1.775112e-05,2.088880e-05,2.276615e-05,2.486034e-05,2.818689e-05,2.903550e-05,3.335801e-05,3.388400e-05,3.777332e-05,3.973207e-05,4.223001e-05,4.561547e-05,4.668075e-05,5.108299e-05,5.143192e-05,5.539932e-05,5.709442e-05,5.959759e-05,6.253196e-05,6.365093e-05,6.753754e-05,6.768928e-05,7.124047e-05,7.252601e-05,7.474720e-05,7.701526e-05,7.804932e-05,8.114199e-05,8.402359e-05,8.490122e-05,8.669516e-05,8.829620e-05,8.916004e-05,9.133667e-05,9.142342e-05,9.349195e-05,9.403726e-05,9.537342e-05,9.641607e-05,9.707644e-05,9.849348e-05,9.861017e-05,9.998410e-05,1.002911e-04,1.012079e-04,1.018312e-04,1.022911e-04,1.031355e-04,1.032432e-04,1.040734e-04,1.042256e-04,1.047905e-04,1.051216e-04,1.054031e-04,1.058429e-04,1.059193e-04,1.063466e-04,1.064072e-04,1.066923e-04,1.068312e-04,1.069630e-04,1.071298e-04,1.071651e-04,1.073043e-04,1.073170e-04,1.073861e-04,1.074052e-04,1.074155e-04,1.074056e-04,1.073971e-04,1.073352e-04,1.073285e-04,1.072337e-04,1.071828e-04,1.070962e-04,1.069768e-04,1.069261e-04,1.067264e-04,1.067178e-04,1.064999e-04,1.064123e-04,1.062492e-04,1.060661e-04,1.059766e-04,1.056844e-04,1.053744e-04,1.052718e-04,1.050486e-04,1.048325e-04,1.047086e-04,1.043702e-04,1.043559e-04,1.039919e-04,1.038881e-04,1.036180e-04,1.033893e-04,1.032352e-04,1.028763e-04,1.028448e-04,1.024477e-04,1.023515e-04,1.020448e-04,1.018170e-04,1.016370e-04,1.012746e-04,1.012250e-04,1.008096e-04,1.007262e-04,1.003914e-04,1.001731e-04,9.997106e-05,9.961669e-05,9.954908e-05,9.912600e-05,9.905823e-05,9.870227e-05,9.849879e-05,9.827835e-05,9.793934e-05,9.785463e-05,9.743146e-05,9.738074e-05,9.700920e-05,9.682378e-05,9.658815e-05,9.626914e-05,9.616860e-05,9.575080e-05,9.571746e-05,9.533500e-05,9.516929e-05,9.492142e-05,9.462513e-05,9.451026e-05,9.410170e-05,9.408541e-05,9.369591e-05,9.355054e-05,9.329305e-05,9.302085e-05,9.289325e-05,9.249665e-05,9.197821e-05,9.146578e-05,9.095955e-05,9.045970e-05,8.996638e-05,8.947974e-05,8.899986e-05,8.852685e-05,8.806077e-05,8.760168e-05,8.714962e-05,8.670462e-05,8.626669e-05,8.583584e-05,8.541207e-05,8.499536e-05,8.458568e-05,8.418301e-05,8.378731e-05,8.339853e-05,8.301663e-05,8.264155e-05,8.227324e-05,8.191162e-05
0.000000e+00,1.656678e-10,5.762778e-10,3.241416e-09,9.427665e-09,1.510709e-08,4.062431e-08,4.207477e-08,9.089350e-08,1.095182e-07,1.694761e-07,2.347693e-07,2.871843e-07,4.381350e-07,4.533823e-07,6.731293e-07,7.336538e-07,9.432249e-07,1.113036e-06,1.254217e-06,1.553442e-06,1.595735e-06,1.959310e-06,2.034077e-06,2.338494e-06,2.540108e-06,2.728185e-06,3.060485e-06,3.124086e-06,3.522417e-06,3.586143e-06,3.919786e-06,4.109279e-06,4.313165e-06,4.623194e-06,4.699892e-06,5.077679e-06,5.122318e-06,5.444615e-06,5.602218e-06,5.799158e-06,6.059581e-06,6.140123e-06,6.466641e-06,6.492119e-06,6.778126e-06,6.898428e-06,7.074241e-06,7.277846e-06,7.354854e-06,7.620012e-06,7.630299e-06,7.869912e-06,7.956192e-06,8.104829e-06,8.256203e-06,8.325138e-06,8.531268e-06,8.723708e-06,8.782483e-06,8.902980e-06,9.011048e-06,9.069616e-06,9.218205e-06,9.224161e-06,9.367163e-06,9.405209e-06,9.499163e-06,9.573304e-06,9.620693e-06,9.723704e-06,9.732276e-06,9.834418e-06,9.857582e-06,9.927610e-06,9.976065e-06,1.001232e-05,1.008022e-05,1.008902e-05,1.015813e-05,1.017107e-05,1.022007e-05,1.024958e-05,1.027524e-05,1.031663e-05,1.032403e-05,1.036679e-05,1.037310e-05,1.040388e-05,1.041977e-05,1.043563e-05,1.045738e-05,1.046234e-05,1.048431e-05,1.048665e-05,1.050184e-05,1.050821e-05,1.051518e-05,1.052268e-05,1.052459e-05,1.053032e-05,1.053062e-05,1.053258e-05,1.053257e-05,1.053160e-05,1.052901e-05,1.052759e-05,1.052073e-05,1.052040e-05,1.051121e-05,1.050717e-05,1.049921e-05,1.048971e-05,1.048488e-05,1.046839e-05,1.044988e-05,1.044356e-05,1.042950e-05,1.041553e-05,1.040736e-05,1.038459e-05,1.038361e-05,1.035835e-05,1.035102e-05,1.033169e-05,1.031507e-05,1.030375e-05,1.027698e-05,1.027461e-05,1.024438e-05,1.023697e-05,1.021314e-05,1.019523e-05,1.018097e-05,1.015196e-05,1.014795e-05,1.011417e-05,1.010732e-05,1.007968e-05,1.006149e-05,1.004455e-05,1.001460e-05,1.000885e-05,9.972639e-06,9.966800e-06,9.935962e-06,9.918210e-06,9.898878e-06,9.868949e-06,9.861434e-06,9.823677e-06,9.819127e-06,9.785650e-06,9.768843e-06,9.747395e-06,9.718191e-06,9.708949e-06,9.670350e-06,9.667256e-06,9.631630e-06,9.616116e-06,9.592823e-06,9.564845e-06,9.553958e-06,9.515064e-06,9.513508e-06,9.476166e-06,9.462167e-06,9.437290e-06,9.410879e-06,9.398460e-06,9.359696e-06,9.308665e-06,9.257829e-06,9.207229e-06,9.156900e-06,9.106876e-06,9.057187e-06,9.007860e-06,8.958921e-06,8.910391e-06,8.862290e-06,8.814637e-06,8.767448e-06,8.720738e-06,8.674518e-06,8.628801e-06,8.583596e-06,8.538911e-06,8.494755e-06,8.451132e-06,8.408048e-06,8.365507e-06,8.323513e-06,8.282066e-06,8.241171e-06
0.000000e+00,1.260550e-10,3.372877e-10,1.371543e-09,3.385066e-09,5.099249e-09,1.232060e-08,1.271933e-08,2.583658e-08,3.074700e-08,4.635068e-08,6.304042e-08,7.620503e-08,1.128910e-07,1.164987e-07,1.669129e-07,1.804046e-07,2.264089e-07,2.633146e-07,2.939939e-07,3.595233e-07,3.688700e-07,4.503409e-07,4.673668e-07,5.377247e-07,5.852672e-07,6.303127e-07,7.115652e-07,7.273613e-07,8.281026e-07,8.445122e-07,9.317642e-07,9.823352e-07,1.037588e-06,1.123314e-06,1.144848e-06,1.252871e-06,1.265854e-06,1.361038e-06,1.408533e-06,1.468800e-06,1.550128e-06,1.575673e-06,1.681240e-06,1.689619e-06,1.785151e-06,1.826184e-06,1.887112e-06,1.959181e-06,1.986885e-06,2.084278e-06,2.088122e-06,2.179143e-06,2.212654e-06,2.271372e-06,2.332540e-06,2.360886e-06,2.447631e-06,2.531572e-06,2.557838e-06,2.612694e-06,2.663132e-06,2.690997e-06,2.763530e-06,2.766496e-06,2.839216e-06,2.859084e-06,2.909192e-06,2.949878e-06,2.976466e-06,3.036012e-06,3.041085e-06,3.103102e-06,3.117606e-06,3.162580e-06,3.194805e-06,3.219588e-06,3.267762e-06,3.274189e-06,3.326439e-06,3.336613e-06,3.376401e-06,3.401498e-06,3.424138e-06,3.462563e-06,3.469712e-06,3.513183e-06,3.519948e-06,3.554614e-06,3.573795e-06,3.594066e-06,3.624244e-06,3.631600e-06,3.667274e-06,3.671433e-06,3.701148e-06,3.715497e-06,3.733279e-06,3.756568e-06,3.763724e-06,3.792538e-06,3.794774e-06,3.819776e-06,3.830242e-06,3.845491e-06,3.863092e-06,3.869735e-06,3.892560e-06,3.893444e-06,3.914014e-06,3.921412e-06,3.934147e-06,3.947106e-06,3.953005e-06,3.970635e-06,3.987081e-06,3.992101e-06,4.002387e-06,4.011603e-06,4.016595e-06,4.029240e-06,4.029746e-06,4.041881e-06,4.045101e-06,4.053037e-06,4.059278e-06,4.063254e-06,4.071854e-06,4.072567e-06,4.081012e-06,4.082913e-06,4.088622e-06,4.092533e-06,4.095433e-06,4.100789e-06,4.101475e-06,4.106779e-06,4.107755e-06,4.111377e-06,4.113499e-06,4.115298e-06,4.118088e-06,4.118569e-06,4.121218e-06,4.121586e-06,4.123272e-06,4.124054e-06,4.124757e-06,4.125551e-06,4.125696e-06,4.126114e-06,4.126131e-06,4.126035e-06,4.125848e-06,4.125480e-06,4.124754e-06,4.124471e-06,4.123030e-06,4.122896e-06,4.121175e-06,4.120322e-06,4.118927e-06,4.117075e-06,4.116303e-06,4.113324e-06,4.113197e-06,4.110005e-06,4.108730e-06,4.106363e-06,4.103711e-06,4.102415e-06,4.098177e-06,4.092163e-06,4.085701e-06,4.078824e-06,4.071562e-06,4.063943e-06,4.055994e-06,4.047741e-06,4.039209e-06,4.030421e-06,4.021399e-06,4.012164e-06,4.002736e-06,3.993134e-06,3.983375e-06,3.973478e-06,3.963457e-06,3.953327e-06,3.943105e-06,3.932802e-06,3.922431e-06,3.912006e-06,3.901537e-06,3.891035e-06,3.880510e-06
0.000000e+00,8.014325e-12,4.055749e-11,4.470460e-10,2.169287e-09,4.452686e-09,2.078331e-08,2.196224e-08,7.388119e-08,9.899575e-08,1.955381e-07,3.230598e-07,4.394206e-07,8.330183e-07,8.772088e-07,1.600263e-06,1.827981e-06,2.716593e-06,3.557049e-06,4.343137e-06,6.288243e-06,6.595064e-06,9.575454e-06,1.026669e-05,1.336759e-05,1.568092e-05,1.803049e-05,2.264526e-05,2.359730e-05,3.007563e-05,3.119598e-05,3.744933e-05,4.129650e-05,4.568103e-05,5.284734e-05,5.471516e-05,6.448108e-05,6.569836e-05,7.489641e-05,7.966167e-05,8.587014e-05,9.452432e-05,9.730567e-05,1.091037e-04,1.100602e-04,1.211646e-04,1.260406e-04,1.333910e-04,1.422437e-04,1.456893e-04,1.579716e-04,1.584614e-04,1.701568e-04,1.745052e-04,1.821711e-04,1.902096e-04,1.939493e-04,2.054343e-04,2.165778e-04,2.200648e-04,2.273396e-04,2.340116e-04,2.376874e-04,2.472086e-04,2.475963e-04,2.570484e-04,2.596114e-04,2.660320e-04,2.711944e-04,2.745408e-04,2.819483e-04,2.825734e-04,2.901327e-04,2.918772e-04,2.972252e-04,3.009964e-04,3.038601e-04,3.093297e-04,3.100493e-04,3.158065e-04,3.169074e-04,3.211468e-04,3.237644e-04,3.260866e-04,3.299388e-04,3.306427e-04,3.348328e-04,3.354704e-04,3.386743e-04,3.403996e-04,3.421848e-04,3.447667e-04,3.453819e-04,3.482825e-04,3.486115e-04,3.509034e-04,3.519721e-04,3.532606e-04,3.548854e-04,3.553697e-04,3.572456e-04,3.573861e-04,3.589026e-04,3.595072e-04,3.603543e-04,3.612796e-04,3.616135e-04,3.626926e-04,3.627322e-04,3.636031e-04,3.638917e-04,3.643560e-04,3.647832e-04,3.649615e-04,3.654295e-04,3.657691e-04,3.658520e-04,3.659888e-04,3.660702e-04,3.660967e-04,3.661022e-04,3.661004e-04,3.660071e-04,3.659644e-04,3.658232e-04,3.656721e-04,3.655552e-04,3.652393e-04,3.652089e-04,3.647897e-04,3.646788e-04,3.643028e-04,3.640023e-04,3.637529e-04,3.632207e-04,3.631447e-04,3.624823e-04,3.623437e-04,3.617697e-04,3.613805e-04,3.610106e-04,3.603395e-04,3.602084e-04,3.593664e-04,3.592282e-04,3.584877e-04,3.580538e-04,3.575752e-04,3.568226e-04,3.566314e-04,3.556590e-04,3.555405e-04,3.546603e-04,3.542131e-04,3.536375e-04,3.528453e-04,3.525926e-04,3.515278e-04,3.514418e-04,3.504447e-04,3.500067e-04,3.493451e-04,3.485441e-04,3.482306e-04,3.471028e-04,3.470574e-04,3.459631e-04,3.455501e-04,3.448128e-04,3.440251e-04,3.436531e-04,3.424854e-04,3.409334e-04,3.393715e-04,3.378021e-04,3.362270e-04,3.346483e-04,3.330676e-04,3.314865e-04,3.299064e-04,3.283288e-04,3.267549e-04,3.251859e-04,3.236227e-04,3.220663e-04,3.205177e-04,3.189777e-04,3.174470e-04,3.159263e-04,3.144162e-04,3.129173e-04,3.114301e-04,3.099550e-04,3.084926e-04,3.070431e-04,3.056070e-04
0.000000e+00,5.425705e-12,2.738395e-11,3.001282e-10,1.448565e-09,2.964334e-09,1.372455e-08,1.449816e-08,4.835846e-08,6.464156e-08,1.268886e-07,2.085423e-07,2.826573e-07,5.314994e-07,5.593013e-07,1.011592e-06,1.153260e-06,1.703686e-06,2.221646e-06,2.704313e-06,3.892538e-06,4.079250e-06,5.883502e-06,6.299589e-06,8.155562e-06,9.529074e-06,1.091464e-05,1.360899e-05,1.416049e-05,1.787507e-05,1.851087e-05,2.202523e-05,2.415913e-05,2.656579e-05,3.044326e-05,3.144276e-05,3.659631e-05,3.723035e-05,4.196352e-05,4.437634e-05,4.748069e-05,5.173555e-05,5.308542e-05,5.871817e-05,5.916831e-05,6.432356e-05,6.654660e-05,6.985131e-05,7.375798e-05,7.525688e-05,8.050178e-05,8.070776e-05,8.555374e-05,8.731998e-05,9.038657e-05,9.353714e-05,9.497997e-05,9.931909e-05,1.033941e-04,1.046414e-04,1.071998e-04,1.094933e-04,1.107347e-04,1.138754e-04,1.140009e-04,1.170033e-04,1.177976e-04,1.197489e-04,1.212768e-04,1.222470e-04,1.243355e-04,1.245079e-04,1.265430e-04,1.269991e-04,1.283644e-04,1.292958e-04,1.299847e-04,1.312542e-04,1.314165e-04,1.326722e-04,1.329033e-04,1.337643e-04,1.342715e-04,1.347046e-04,1.353856e-04,1.355046e-04,1.361754e-04,1.362714e-04,1.367272e-04,1.369527e-04,1.371698e-04,1.374516e-04,1.375125e-04,1.377637e-04,1.377881e-04,1.379315e-04,1.379808e-04,1.380231e-04,1.380460e-04,1.380454e-04,1.380046e-04,1.379988e-04,1.379066e-04,1.378525e-04,1.377566e-04,1.376191e-04,1.375594e-04,1.373195e-04,1.373091e-04,1.370411e-04,1.369321e-04,1.367277e-04,1.364964e-04,1.363828e-04,1.360095e-04,1.356107e-04,1.354782e-04,1.351890e-04,1.349081e-04,1.347466e-04,1.343046e-04,1.342858e-04,1.338086e-04,1.336723e-04,1.333168e-04,1.330153e-04,1.328120e-04,1.323374e-04,1.322957e-04,1.317693e-04,1.316417e-04,1.312342e-04,1.309311e-04,1.306915e-04,1.302085e-04,1.301422e-04,1.295874e-04,1.294759e-04,1.290280e-04,1.287355e-04,1.284648e-04,1.279893e-04,1.278985e-04,1.273299e-04,1.272388e-04,1.267597e-04,1.264856e-04,1.261884e-04,1.257309e-04,1.256165e-04,1.250447e-04,1.249761e-04,1.244733e-04,1.242222e-04,1.239028e-04,1.234701e-04,1.233337e-04,1.227662e-04,1.227208e-04,1.222007e-04,1.219751e-04,1.216375e-04,1.212336e-04,1.210769e-04,1.205193e-04,1.204970e-04,1.199647e-04,1.197659e-04,1.194135e-04,1.190407e-04,1.188658e-04,1.183219e-04,1.176100e-04,1.169052e-04,1.162079e-04,1.155184e-04,1.148369e-04,1.141636e-04,1.134987e-04,1.128423e-04,1.121947e-04,1.115558e-04,1.109259e-04,1.103049e-04,1.096928e-04,1.090899e-04,1.084959e-04,1.079111e-04,1.073353e-04,1.067686e-04,1.062108e-04,1.056621e-04,1.051223e-04,1.045914e-04,1.040693e-04,1.035560e-04
0.000000e+00,4.135736e-10,1.285319e-09,6.234957e-09,1.687556e-08,2.642888e-08,6.959500e-08,7.208769e-08,1.590212e-07,1.936809e-07,3.099801e-07,4.429900e-07,5.530472e-07,8.777197e-07,9.107285e-07,1.382366e-06,1.509969e-06,1.942550e-06,2.283043e-06,2.560102e-06,3.132118e-06,3.211518e-06,3.881811e-06,4.017229e-06,4.561402e-06,4.916185e-06,5.243646e-06,5.815039e-06,5.923469e-06,6.596735e-06,6.703609e-06,7.259976e-06,7.573894e-06,7.910273e-06,8.419547e-06,8.545203e-06,9.162802e-06,9.235672e-06,9.761525e-06,1.001867e-05,1.034020e-05,1.076607e-05,1.089800e-05,1.143437e-05,1.147635e-05,1.194900e-05,1.214873e-05,1.244177e-05,1.278307e-05,1.291275e-05,1.336211e-05,1.337964e-05,1.379014e-05,1.393908e-05,1.419722e-05,1.446228e-05,1.458377e-05,1.495028e-05,1.529726e-05,1.540426e-05,1.562526e-05,1.582547e-05,1.593482e-05,1.621520e-05,1.622653e-05,1.650096e-05,1.657478e-05,1.675868e-05,1.690553e-05,1.700027e-05,1.720878e-05,1.722630e-05,1.743734e-05,1.748581e-05,1.763393e-05,1.773792e-05,1.781664e-05,1.796635e-05,1.798598e-05,1.814250e-05,1.817231e-05,1.828670e-05,1.835698e-05,1.841909e-05,1.852151e-05,1.854014e-05,1.865034e-05,1.866700e-05,1.875015e-05,1.879449e-05,1.884001e-05,1.890503e-05,1.892036e-05,1.899163e-05,1.899959e-05,1.905422e-05,1.907911e-05,1.910852e-05,1.914449e-05,1.915492e-05,1.919379e-05,1.919659e-05,1.922549e-05,1.923624e-05,1.925036e-05,1.926423e-05,1.926874e-05,1.928094e-05,1.928130e-05,1.928727e-05,1.928818e-05,1.928804e-05,1.928554e-05,1.928354e-05,1.927403e-05,1.925979e-05,1.925427e-05,1.924107e-05,1.922685e-05,1.921812e-05,1.919232e-05,1.919117e-05,1.916045e-05,1.915121e-05,1.912619e-05,1.910402e-05,1.908859e-05,1.905122e-05,1.904785e-05,1.900416e-05,1.899326e-05,1.895772e-05,1.893057e-05,1.890869e-05,1.886355e-05,1.885725e-05,1.880357e-05,1.879257e-05,1.874779e-05,1.871800e-05,1.869006e-05,1.864017e-05,1.863053e-05,1.856934e-05,1.855941e-05,1.850662e-05,1.847600e-05,1.844248e-05,1.839024e-05,1.837705e-05,1.831045e-05,1.830238e-05,1.824278e-05,1.821269e-05,1.817414e-05,1.812138e-05,1.810463e-05,1.803435e-05,1.802869e-05,1.796338e-05,1.793482e-05,1.789182e-05,1.783997e-05,1.781974e-05,1.774721e-05,1.774430e-05,1.767432e-05,1.764800e-05,1.760113e-05,1.755123e-05,1.752771e-05,1.745412e-05,1.735681e-05,1.725944e-05,1.716213e-05,1.706498e-05,1.696809e-05,1.687157e-05,1.677549e-05,1.667994e-05,1.658500e-05,1.649073e-05,1.639720e-05,1.630445e-05,1.621256e-05,1.612155e-05,1.603148e-05,1.594238e-05,1.585430e-05,1.576725e-05,1.568127e-05,1.559638e-05,1.551260e-05,1.542996e-05,1.534846e-05,1.526812e-05
0.000000e+00,8.773345e-11,3.470043e-10,2.384466e-09,7.846712e-09,1.321979e-08,3.879392e-08,4.027998e-08,9.072218e-08,1.099393e-07,1.711121e-07,2.363378e-07,2.877177e-07,4.320581e-07,4.464246e-07,6.516239e-07,7.079649e-07,9.038320e-07,1.063873e-06,1.197810e-06,1.483361e-06,1.523805e-06,1.870952e-06,1.942047e-06,2.229730e-06,2.418306e-06,2.592566e-06,2.896108e-06,2.953530e-06,3.307893e-06,3.363713e-06,3.651848e-06,3.812331e-06,3.982358e-06,4.235483e-06,4.297070e-06,4.594265e-06,4.628692e-06,4.872805e-06,4.989275e-06,5.132067e-06,5.316090e-06,5.371875e-06,5.592423e-06,5.609248e-06,5.794201e-06,5.869809e-06,5.977920e-06,6.099507e-06,6.144463e-06,6.294820e-06,6.300513e-06,6.430042e-06,6.475222e-06,6.551200e-06,6.626104e-06,6.659368e-06,6.755592e-06,6.840887e-06,6.866031e-06,6.916204e-06,6.959569e-06,6.982405e-06,7.038158e-06,7.040326e-06,7.090731e-06,7.103593e-06,7.134318e-06,7.157474e-06,7.171741e-06,7.201225e-06,7.203579e-06,7.230370e-06,7.236104e-06,7.252601e-06,7.263224e-06,7.270710e-06,7.283551e-06,7.285093e-06,7.296110e-06,7.297938e-06,7.304086e-06,7.307131e-06,7.309315e-06,7.311778e-06,7.312061e-06,7.312564e-06,7.312451e-06,7.311042e-06,7.309651e-06,7.307692e-06,7.303816e-06,7.302692e-06,7.296203e-06,7.295331e-06,7.288371e-06,7.284534e-06,7.279329e-06,7.271724e-06,7.269199e-06,7.258091e-06,7.257163e-06,7.246104e-06,7.241084e-06,7.233331e-06,7.223694e-06,7.219855e-06,7.205752e-06,7.205175e-06,7.191092e-06,7.185691e-06,7.175939e-06,7.165385e-06,7.160353e-06,7.144386e-06,7.128089e-06,7.122811e-06,7.111506e-06,7.100762e-06,7.094679e-06,7.078332e-06,7.077647e-06,7.060444e-06,7.055602e-06,7.043104e-06,7.032646e-06,7.025656e-06,7.009532e-06,7.008127e-06,6.990543e-06,6.986318e-06,6.972928e-06,6.963058e-06,6.955303e-06,6.939800e-06,6.937687e-06,6.920099e-06,6.916586e-06,6.902556e-06,6.893456e-06,6.885073e-06,6.870443e-06,6.867663e-06,6.850341e-06,6.847579e-06,6.833119e-06,6.824890e-06,6.816006e-06,6.802402e-06,6.799014e-06,6.782151e-06,6.780136e-06,6.765426e-06,6.758112e-06,6.748846e-06,6.736346e-06,6.732418e-06,6.716149e-06,6.714854e-06,6.700043e-06,6.693648e-06,6.684107e-06,6.672740e-06,6.668344e-06,6.652759e-06,6.652140e-06,6.637355e-06,6.631855e-06,6.622136e-06,6.611893e-06,6.607103e-06,6.592260e-06,6.572960e-06,6.553998e-06,6.535376e-06,6.517096e-06,6.499159e-06,6.481567e-06,6.464318e-06,6.447413e-06,6.430850e-06,6.414627e-06,6.398744e-06,6.383196e-06,6.367982e-06,6.353097e-06,6.338540e-06,6.324307e-06,6.310392e-06,6.296794e-06,6.283506e-06,6.270525e-06,6.257847e-06,6.245467e-06,6.233379e-06,6.221581e-06
0.000000e+00,2.376156e-11,1.168012e-10,1.212303e-09,5.570147e-09,1.109695e-08,4.797392e-08,5.053830e-08,1.577163e-07,2.071083e-07,3.890690e-07,6.176659e-07,8.188989e-07,1.468166e-06,1.538892e-06,2.656959e-06,2.997653e-06,4.292002e-06,5.477576e-06,6.560704e-06,9.157976e-06,9.558545e-06,1.334398e-05,1.419768e-05,1.793252e-05,2.062939e-05,2.330042e-05,2.837288e-05,2.939365e-05,3.613792e-05,3.727178e-05,4.344741e-05,4.713012e-05,5.123125e-05,5.773819e-05,5.939776e-05,6.785722e-05,6.888791e-05,7.652353e-05,8.038104e-05,8.531515e-05,9.203348e-05,9.415585e-05,1.029752e-04,1.036778e-04,1.117089e-04,1.151652e-04,1.202993e-04,1.263667e-04,1.286953e-04,1.368529e-04,1.371737e-04,1.447349e-04,1.474988e-04,1.523105e-04,1.572743e-04,1.595556e-04,1.664520e-04,1.729871e-04,1.750007e-04,1.791533e-04,1.829044e-04,1.849474e-04,1.901604e-04,1.903703e-04,1.954259e-04,1.967765e-04,2.001211e-04,2.027691e-04,2.044653e-04,2.081612e-04,2.084692e-04,2.121454e-04,2.129804e-04,2.155073e-04,2.172579e-04,2.185690e-04,2.210264e-04,2.213450e-04,2.238500e-04,2.243199e-04,2.260989e-04,2.271720e-04,2.281062e-04,2.296161e-04,2.298863e-04,2.314529e-04,2.316847e-04,2.328196e-04,2.334085e-04,2.339994e-04,2.348169e-04,2.350046e-04,2.358469e-04,2.359376e-04,2.365378e-04,2.367965e-04,2.370877e-04,2.374176e-04,2.375067e-04,2.378045e-04,2.378233e-04,2.379897e-04,2.380343e-04,2.380710e-04,2.380696e-04,2.380561e-04,2.379526e-04,2.379467e-04,2.377672e-04,2.376817e-04,2.375066e-04,2.372894e-04,2.371767e-04,2.367833e-04,2.363316e-04,2.361756e-04,2.358267e-04,2.354777e-04,2.352731e-04,2.346998e-04,2.346751e-04,2.340367e-04,2.338513e-04,2.333618e-04,2.329407e-04,2.326537e-04,2.319758e-04,2.319157e-04,2.311509e-04,2.309636e-04,2.303620e-04,2.299107e-04,2.295517e-04,2.288228e-04,2.287224e-04,2.278764e-04,2.277053e-04,2.270157e-04,2.265630e-04,2.261424e-04,2.254003e-04,2.252582e-04,2.243648e-04,2.242211e-04,2.234638e-04,2.230291e-04,2.225567e-04,2.218274e-04,2.216447e-04,2.207292e-04,2.206192e-04,2.198113e-04,2.194069e-04,2.188920e-04,2.181930e-04,2.179724e-04,2.170533e-04,2.169798e-04,2.161356e-04,2.157691e-04,2.152202e-04,2.145628e-04,2.143076e-04,2.133986e-04,2.133623e-04,2.124938e-04,2.121692e-04,2.115937e-04,2.109847e-04,2.106989e-04,2.098098e-04,2.086457e-04,2.074931e-04,2.063529e-04,2.052258e-04,2.041124e-04,2.030131e-04,2.019285e-04,2.008589e-04,1.998047e-04,1.987661e-04,1.977433e-04,1.967366e-04,1.957459e-04,1.947716e-04,1.938135e-04,1.928717e-04,1.919463e-04,1.910372e-04,1.901443e-04,1.892677e-04,1.884071e-04,1.875625e-04,1.867338e-04,1.859208e-04
0.000000e+00,4.960743e-12,1.137944e-11,3.911698e-11,8.871967e-11,1.291020e-10,2.901149e-10,2.987010e-10,5.690674e-10,6.654312e-10,9.588889e-10,1.257004e-09,1.484476e-09,2.099932e-09,2.159747e-09,2.996080e-09,3.221780e-09,4.002007e-09,4.641494e-09,5.182713e-09,6.367324e-09,6.539332e-09,8.068094e-09,8.393778e-09,9.759554e-09,1.069853e-08,1.159834e-08,1.324185e-08,1.356390e-08,1.563222e-08,1.597100e-08,1.777803e-08,1.882825e-08,1.997668e-08,2.175814e-08,2.220521e-08,2.444294e-08,2.471119e-08,2.667149e-08,2.764492e-08,2.887477e-08,3.052373e-08,3.103887e-08,3.315187e-08,3.331839e-08,3.520376e-08,3.600550e-08,3.718630e-08,3.856701e-08,3.909287e-08,4.091836e-08,4.098963e-08,4.265899e-08,4.326432e-08,4.431220e-08,4.538564e-08,4.587649e-08,4.735128e-08,4.873678e-08,4.916140e-08,5.003387e-08,5.081826e-08,5.124399e-08,5.232564e-08,5.236904e-08,5.341126e-08,5.368858e-08,5.437319e-08,5.491295e-08,5.525759e-08,5.600525e-08,5.606735e-08,5.680549e-08,5.697233e-08,5.747508e-08,5.782125e-08,5.807920e-08,5.855913e-08,5.862095e-08,5.910340e-08,5.919303e-08,5.952955e-08,5.972988e-08,5.990236e-08,6.017640e-08,6.022470e-08,6.049937e-08,6.053908e-08,6.072908e-08,6.082413e-08,6.091643e-08,6.103750e-08,6.106393e-08,6.117401e-08,6.118481e-08,6.124897e-08,6.127140e-08,6.129103e-08,6.130230e-08,6.130231e-08,6.128483e-08,6.128225e-08,6.124051e-08,6.121569e-08,6.117119e-08,6.110679e-08,6.107862e-08,6.096444e-08,6.095945e-08,6.083024e-08,6.077732e-08,6.067751e-08,6.056379e-08,6.050766e-08,6.032202e-08,6.012188e-08,6.005497e-08,5.990843e-08,5.976535e-08,5.968279e-08,5.945572e-08,5.944605e-08,5.919920e-08,5.912841e-08,5.894321e-08,5.878560e-08,5.867897e-08,5.842931e-08,5.840732e-08,5.812907e-08,5.806139e-08,5.784495e-08,5.768354e-08,5.755567e-08,5.729736e-08,5.726189e-08,5.696422e-08,5.690428e-08,5.666326e-08,5.650564e-08,5.635954e-08,5.610265e-08,5.605357e-08,5.574582e-08,5.569645e-08,5.543675e-08,5.528804e-08,5.512676e-08,5.487836e-08,5.481624e-08,5.450555e-08,5.446827e-08,5.419502e-08,5.405853e-08,5.388498e-08,5.364984e-08,5.357569e-08,5.326744e-08,5.324283e-08,5.296047e-08,5.283809e-08,5.265500e-08,5.243611e-08,5.235125e-08,5.204941e-08,5.203738e-08,5.174965e-08,5.164228e-08,5.145215e-08,5.125120e-08,5.115704e-08,5.086447e-08,5.048235e-08,5.010512e-08,4.973298e-08,4.936612e-08,4.900471e-08,4.864888e-08,4.829874e-08,4.795437e-08,4.761586e-08,4.728324e-08,4.695657e-08,4.663586e-08,4.632111e-08,4.601232e-08,4.570948e-08,4.541257e-08,4.512154e-08,4.483636e-08,4.455697e-08,4.428332e-08,4.401535e-08,4.375299e-08,4.349616e-08,4.324480e-08
0.000000e+00,1.520290e-11,7.019637e-11,6.432194e-10,2.655375e-09,5.002192e-09,1.889974e-08,1.980742e-08,5.493659e-08,7.006003e-08,1.229481e-07,1.857969e-07,2.391931e-07,4.044702e-07,4.220199e-07,6.914901e-07,7.711443e-07,1.065265e-06,1.324355e-06,1.553607e-06,2.079103e-06,2.157518e-06,2.870841e-06,3.025802e-06,3.683789e-06,4.142335e-06,4.585674e-06,5.404480e-06,5.566265e-06,6.616111e-06,6.789918e-06,7.726424e-06,8.278387e-06,8.888844e-06,9.850835e-06,1.009525e-05,1.133770e-05,1.148884e-05,1.260842e-05,1.317454e-05,1.389987e-05,1.489082e-05,1.520489e-05,1.651670e-05,1.662175e-05,1.782907e-05,1.835288e-05,1.913632e-05,2.007150e-05,2.043338e-05,2.171578e-05,2.176671e-05,2.297964e-05,2.342944e-05,2.422166e-05,2.505233e-05,2.543908e-05,2.662963e-05,2.779146e-05,2.815694e-05,2.892313e-05,2.963105e-05,3.002354e-05,3.104978e-05,3.109189e-05,3.212763e-05,3.241175e-05,3.313048e-05,3.371634e-05,3.410031e-05,3.496344e-05,3.503718e-05,3.594126e-05,3.615338e-05,3.681283e-05,3.728685e-05,3.765228e-05,3.836479e-05,3.846008e-05,3.923673e-05,3.938838e-05,3.998282e-05,4.035891e-05,4.069895e-05,4.127781e-05,4.138576e-05,4.204391e-05,4.214660e-05,4.267409e-05,4.296684e-05,4.327699e-05,4.374013e-05,4.385329e-05,4.440372e-05,4.446806e-05,4.492896e-05,4.515227e-05,4.542972e-05,4.579435e-05,4.590669e-05,4.636058e-05,4.639591e-05,4.679205e-05,4.695852e-05,4.720179e-05,4.748372e-05,4.759046e-05,4.795872e-05,4.797303e-05,4.830721e-05,4.842795e-05,4.863656e-05,4.884990e-05,4.894739e-05,4.924032e-05,4.951592e-05,4.960056e-05,4.977480e-05,4.993195e-05,5.001750e-05,5.023581e-05,5.024460e-05,5.045662e-05,5.051336e-05,5.065411e-05,5.076584e-05,5.083757e-05,5.099440e-05,5.100751e-05,5.116441e-05,5.120018e-05,5.130875e-05,5.138427e-05,5.144099e-05,5.154772e-05,5.156159e-05,5.167099e-05,5.169156e-05,5.176960e-05,5.181675e-05,5.185784e-05,5.192424e-05,5.193611e-05,5.200481e-05,5.201494e-05,5.206431e-05,5.208971e-05,5.211497e-05,5.214939e-05,5.215717e-05,5.219123e-05,5.219478e-05,5.221749e-05,5.222666e-05,5.223629e-05,5.224577e-05,5.224792e-05,5.225271e-05,5.225280e-05,5.225093e-05,5.224845e-05,5.224289e-05,5.223337e-05,5.222885e-05,5.220908e-05,5.220817e-05,5.218383e-05,5.217346e-05,5.215337e-05,5.212980e-05,5.211793e-05,5.207774e-05,5.201781e-05,5.195051e-05,5.187630e-05,5.179566e-05,5.170900e-05,5.161675e-05,5.151931e-05,5.141704e-05,5.131031e-05,5.119947e-05,5.108483e-05,5.096671e-05,5.084540e-05,5.072119e-05,5.059434e-05,5.046511e-05,5.033373e-05,5.020044e-05,5.006545e-05,4.992896e-05,4.979118e-05,4.965229e-05,4.951246e-05,4.937186e-05
0.000000e+00,4.494307e-12,1.023775e-11,3.482770e-11,7.850441e-11,1.140004e-10,2.560896e-10,2.637100e-10,5.067211e-10,5.949056e-10,8.688484e-10,1.155415e-09,1.379435e-09,2.005911e-09,2.068151e-09,2.954855e-09,3.197212e-09,4.033940e-09,4.709391e-09,5.268353e-09,6.440893e-09,6.604955e-09,7.994910e-09,8.275891e-09,9.401951e-09,1.013171e-08,1.080106e-08,1.195735e-08,1.217491e-08,1.351103e-08,1.372065e-08,1.480012e-08,1.540006e-08,1.603518e-08,1.698076e-08,1.721098e-08,1.832383e-08,1.845302e-08,1.937140e-08,1.981131e-08,2.035254e-08,2.105368e-08,2.126716e-08,2.211606e-08,2.218117e-08,2.290075e-08,2.319710e-08,2.362333e-08,2.410653e-08,2.428633e-08,2.489264e-08,2.491576e-08,2.544539e-08,2.563190e-08,2.594785e-08,2.626237e-08,2.640312e-08,2.681438e-08,2.718474e-08,2.729511e-08,2.751720e-08,2.771143e-08,2.781465e-08,2.806981e-08,2.807983e-08,2.831529e-08,2.837622e-08,2.852343e-08,2.863614e-08,2.870649e-08,2.885454e-08,2.886655e-08,2.900553e-08,2.903594e-08,2.912520e-08,2.918439e-08,2.922719e-08,2.930352e-08,2.931301e-08,2.938404e-08,2.939659e-08,2.944155e-08,2.946650e-08,2.948669e-08,2.951584e-08,2.952054e-08,2.954406e-08,2.954692e-08,2.955815e-08,2.956180e-08,2.956363e-08,2.956231e-08,2.956124e-08,2.955168e-08,2.955009e-08,2.953558e-08,2.952657e-08,2.951351e-08,2.949307e-08,2.948599e-08,2.945353e-08,2.945073e-08,2.941656e-08,2.940060e-08,2.937549e-08,2.934360e-08,2.933070e-08,2.928254e-08,2.928055e-08,2.923133e-08,2.921220e-08,2.917735e-08,2.913921e-08,2.912089e-08,2.906219e-08,2.900148e-08,2.898166e-08,2.893897e-08,2.889811e-08,2.887486e-08,2.881197e-08,2.880933e-08,2.874255e-08,2.872364e-08,2.867467e-08,2.863347e-08,2.860584e-08,2.854178e-08,2.853618e-08,2.846583e-08,2.844886e-08,2.839490e-08,2.835496e-08,2.832349e-08,2.826033e-08,2.825170e-08,2.817961e-08,2.816517e-08,2.810732e-08,2.806967e-08,2.803490e-08,2.797402e-08,2.796243e-08,2.788996e-08,2.787837e-08,2.781757e-08,2.778287e-08,2.774531e-08,2.768763e-08,2.767323e-08,2.760138e-08,2.759278e-08,2.752981e-08,2.749842e-08,2.745856e-08,2.740465e-08,2.738767e-08,2.731717e-08,2.731155e-08,2.724710e-08,2.721920e-08,2.717749e-08,2.712766e-08,2.710836e-08,2.703974e-08,2.703700e-08,2.697165e-08,2.694728e-08,2.690413e-08,2.685853e-08,2.683717e-08,2.677081e-08,2.668416e-08,2.659860e-08,2.651416e-08,2.643087e-08,2.634876e-08,2.626783e-08,2.618811e-08,2.610960e-08,2.603232e-08,2.595627e-08,2.588146e-08,2.580790e-08,2.573557e-08,2.566449e-08,2.559464e-08,2.552603e-08,2.545865e-08,2.539249e-08,2.532755e-08,2.526382e-08,2.520129e-08,2.513995e-08,2.507979e-08,2.502079e-08
0.000000e+00,2.481634e-10,8.984684e-10,5.370440e-09,1.620038e-08,2.633680e-08,7.247105e-08,7.510000e-08,1.630548e-07,1.962025e-07,3.011402e-07,4.125069e-07,5.000423e-07,7.457503e-07,7.702271e-07,1.121513e-06,1.218830e-06,1.561721e-06,1.848649e-06,2.094435e-06,2.638163e-06,2.717506e-06,3.424132e-06,3.574715e-06,4.205460e-06,4.638254e-06,5.052439e-06,5.808263e-06,5.956371e-06,6.908862e-06,7.065217e-06,7.901699e-06,8.390212e-06,8.926799e-06,9.764791e-06,9.976262e-06,1.104247e-05,1.117119e-05,1.211821e-05,1.259280e-05,1.319674e-05,1.401449e-05,1.427192e-05,1.533822e-05,1.542298e-05,1.639076e-05,1.680696e-05,1.742533e-05,1.815705e-05,1.843834e-05,1.942681e-05,1.946580e-05,2.038829e-05,2.072744e-05,2.132087e-05,2.193774e-05,2.222306e-05,2.309379e-05,2.393232e-05,2.419377e-05,2.473821e-05,2.523677e-05,2.551130e-05,2.622263e-05,2.625162e-05,2.695938e-05,2.715177e-05,2.763495e-05,2.802505e-05,2.827883e-05,2.884371e-05,2.889160e-05,2.947393e-05,2.960923e-05,3.002653e-05,3.032329e-05,3.055019e-05,3.098770e-05,3.104570e-05,3.151391e-05,3.160435e-05,3.195565e-05,3.217519e-05,3.237179e-05,3.270218e-05,3.276317e-05,3.313066e-05,3.318730e-05,3.347510e-05,3.363250e-05,3.379734e-05,3.403970e-05,3.409820e-05,3.437850e-05,3.441079e-05,3.463903e-05,3.474761e-05,3.488059e-05,3.505194e-05,3.510392e-05,3.530979e-05,3.532553e-05,3.549891e-05,3.557003e-05,3.567199e-05,3.578706e-05,3.582972e-05,3.597276e-05,3.597818e-05,3.610176e-05,3.614488e-05,3.621734e-05,3.628859e-05,3.632012e-05,3.641068e-05,3.648958e-05,3.651246e-05,3.655738e-05,3.659518e-05,3.661460e-05,3.666005e-05,3.666175e-05,3.669933e-05,3.670820e-05,3.672781e-05,3.674073e-05,3.674765e-05,3.675866e-05,3.675930e-05,3.676317e-05,3.676299e-05,3.675967e-05,3.675465e-05,3.674921e-05,3.673453e-05,3.673214e-05,3.670885e-05,3.670347e-05,3.667967e-05,3.666229e-05,3.664495e-05,3.661173e-05,3.660500e-05,3.656014e-05,3.655252e-05,3.651065e-05,3.648534e-05,3.645683e-05,3.641083e-05,3.639894e-05,3.633725e-05,3.632961e-05,3.627201e-05,3.624223e-05,3.620345e-05,3.614926e-05,3.613180e-05,3.605728e-05,3.605120e-05,3.598011e-05,3.594854e-05,3.590048e-05,3.584173e-05,3.581858e-05,3.573459e-05,3.573119e-05,3.564870e-05,3.561734e-05,3.556105e-05,3.550054e-05,3.547183e-05,3.538116e-05,3.525953e-05,3.513596e-05,3.501074e-05,3.488416e-05,3.475646e-05,3.462788e-05,3.449866e-05,3.436899e-05,3.423907e-05,3.410909e-05,3.397920e-05,3.384958e-05,3.372035e-05,3.359165e-05,3.346361e-05,3.333633e-05,3.320993e-05,3.308450e-05,3.296012e-05,3.283687e-05,3.271483e-05,3.259407e-05,3.247463e-05,3.235658e-05
0.000000e+00,2.532296e-11,1.171747e-10,1.077000e-09,4.450238e-09,8.380075e-09,3.151855e-08,3.302210e-08,9.058747e-08,1.150343e-07,1.991857e-07,2.968745e-07,3.782209e-07,6.225927e-07,6.480106e-07,1.029846e-06,1.140611e-06,1.545891e-06,1.901781e-06,2.218183e-06,2.954522e-06,3.066033e-06,4.101826e-06,4.331871e-06,5.326722e-06,6.034924e-06,6.728745e-06,8.026478e-06,8.284537e-06,9.963776e-06,1.024173e-05,1.173399e-05,1.260678e-05,1.356418e-05,1.505289e-05,1.542684e-05,1.729856e-05,1.752282e-05,1.915991e-05,1.997138e-05,2.099487e-05,2.236364e-05,2.279034e-05,2.453565e-05,2.467284e-05,2.622216e-05,2.687870e-05,2.784298e-05,2.896626e-05,2.939279e-05,3.086762e-05,3.092501e-05,3.226472e-05,3.274831e-05,3.358245e-05,3.443279e-05,3.482012e-05,3.597787e-05,3.705656e-05,3.738526e-05,3.805765e-05,3.865852e-05,3.898311e-05,3.980258e-05,3.983529e-05,4.061685e-05,4.082342e-05,4.133067e-05,4.172772e-05,4.197981e-05,4.252258e-05,4.256740e-05,4.309662e-05,4.321531e-05,4.357067e-05,4.381321e-05,4.399269e-05,4.432350e-05,4.436578e-05,4.469297e-05,4.475315e-05,4.497715e-05,4.510888e-05,4.522115e-05,4.539703e-05,4.542766e-05,4.559922e-05,4.562360e-05,4.573830e-05,4.579419e-05,4.584719e-05,4.591405e-05,4.592809e-05,4.598306e-05,4.598801e-05,4.601405e-05,4.602057e-05,4.602289e-05,4.601586e-05,4.601130e-05,4.598088e-05,4.597767e-05,4.593314e-05,4.590951e-05,4.586949e-05,4.581456e-05,4.579126e-05,4.569967e-05,4.569575e-05,4.559588e-05,4.555574e-05,4.548096e-05,4.539697e-05,4.535591e-05,4.522166e-05,4.507908e-05,4.503183e-05,4.492898e-05,4.482932e-05,4.477211e-05,4.461579e-05,4.460917e-05,4.444081e-05,4.439278e-05,4.426763e-05,4.416165e-05,4.409020e-05,4.392366e-05,4.390904e-05,4.372463e-05,4.367994e-05,4.353742e-05,4.343151e-05,4.334782e-05,4.317931e-05,4.315623e-05,4.296299e-05,4.292417e-05,4.276844e-05,4.266686e-05,4.257288e-05,4.240805e-05,4.237660e-05,4.217986e-05,4.214836e-05,4.198290e-05,4.188835e-05,4.178594e-05,4.162851e-05,4.158918e-05,4.139282e-05,4.136929e-05,4.119702e-05,4.111110e-05,4.100196e-05,4.085428e-05,4.080776e-05,4.061457e-05,4.059917e-05,4.042252e-05,4.034603e-05,4.023170e-05,4.009514e-05,4.004222e-05,3.985419e-05,3.984670e-05,3.966767e-05,3.960091e-05,3.948275e-05,3.935795e-05,3.929949e-05,3.911796e-05,3.888107e-05,3.864740e-05,3.841703e-05,3.819005e-05,3.796653e-05,3.774651e-05,3.753004e-05,3.731715e-05,3.710787e-05,3.690220e-05,3.670016e-05,3.650174e-05,3.630694e-05,3.611575e-05,3.592814e-05,3.574409e-05,3.556359e-05,3.538660e-05,3.521309e-05,3.504302e-05,3.487637e-05,3.471307e-05,3.455311e-05,3.439643e-05
0.000000e+00,1.470814e-11,7.438484e-11,8.186088e-10,3.964771e-09,8.127688e-09,3.777238e-08,3.990648e-08,1.333993e-07,1.783650e-07,3.501081e-07,5.749172e-07,7.784879e-07,1.459016e-06,1.534801e-06,2.762537e-06,3.145580e-06,4.630032e-06,6.024636e-06,7.324737e-06,1.053606e-05,1.104267e-05,1.597406e-05,1.712140e-05,2.228866e-05,2.616605e-05,3.012393e-05,3.795355e-05,3.957770e-05,5.070496e-05,5.264203e-05,6.351801e-05,7.026028e-05,7.798881e-05,9.071669e-05,9.405269e-05,1.116129e-04,1.138151e-04,1.305456e-04,1.392737e-04,1.507042e-04,1.667446e-04,1.719252e-04,1.940320e-04,1.958333e-04,2.168398e-04,2.261170e-04,2.401600e-04,2.571617e-04,2.638039e-04,2.875864e-04,2.885380e-04,3.113291e-04,3.198339e-04,3.348632e-04,3.506665e-04,3.580315e-04,3.806904e-04,4.027111e-04,4.096040e-04,4.239805e-04,4.371530e-04,4.444013e-04,4.631318e-04,4.638928e-04,4.823897e-04,4.873834e-04,4.998421e-04,5.097968e-04,5.162145e-04,5.303041e-04,5.314848e-04,5.456431e-04,5.488756e-04,5.586905e-04,5.655154e-04,5.706377e-04,5.802563e-04,5.815041e-04,5.913160e-04,5.931547e-04,6.001062e-04,6.042854e-04,6.079118e-04,6.137379e-04,6.147743e-04,6.207376e-04,6.216114e-04,6.258481e-04,6.280120e-04,6.301530e-04,6.330491e-04,6.337003e-04,6.365380e-04,6.368331e-04,6.387136e-04,6.394732e-04,6.402737e-04,6.410758e-04,6.412638e-04,6.417275e-04,6.417432e-04,6.417072e-04,6.415726e-04,6.412431e-04,6.406557e-04,6.403735e-04,6.391347e-04,6.390780e-04,6.375612e-04,6.369191e-04,6.356852e-04,6.342521e-04,6.335368e-04,6.311444e-04,6.285342e-04,6.276570e-04,6.257307e-04,6.238455e-04,6.227565e-04,6.197602e-04,6.196326e-04,6.163783e-04,6.154462e-04,6.130114e-04,6.109441e-04,6.095484e-04,6.062903e-04,6.060041e-04,6.023924e-04,6.015169e-04,5.987258e-04,5.966528e-04,5.950157e-04,5.917233e-04,5.912727e-04,5.875062e-04,5.867509e-04,5.837249e-04,5.817553e-04,5.799365e-04,5.767539e-04,5.761481e-04,5.723660e-04,5.717618e-04,5.685960e-04,5.667923e-04,5.648433e-04,5.618567e-04,5.611125e-04,5.574077e-04,5.569650e-04,5.537325e-04,5.521257e-04,5.500904e-04,5.473461e-04,5.464840e-04,5.429160e-04,5.426323e-04,5.393886e-04,5.379894e-04,5.359037e-04,5.334218e-04,5.324629e-04,5.290678e-04,5.289330e-04,5.257196e-04,5.245258e-04,5.224191e-04,5.202026e-04,5.191673e-04,5.159649e-04,5.118142e-04,5.077511e-04,5.037763e-04,4.998898e-04,4.960916e-04,4.923812e-04,4.887583e-04,4.852219e-04,4.817713e-04,4.784054e-04,4.751230e-04,4.719229e-04,4.688039e-04,4.657644e-04,4.628032e-04,4.599186e-04,4.571092e-04,4.543735e-04,4.517098e-04,4.491166e-04,4.465923e-04,4.441354e-04,4.417443e-04,4.394174e-04
0.000000e+00,1.270425e-10,3.009803e-10,1.075506e-09,2.499071e-09,3.680957e-09,8.547369e-09,8.813073e-09,1.746978e-08,2.068425e-08,3.085920e-08,4.173451e-08,5.034377e-08,7.460435e-08,7.701409e-08,1.110880e-07,1.203110e-07,1.519853e-07,1.775765e-07,1.989363e-07,2.447570e-07,2.513115e-07,3.086312e-07,3.206526e-07,3.704943e-07,4.043326e-07,4.365203e-07,4.949131e-07,5.063172e-07,5.794681e-07,5.914542e-07,6.555300e-07,6.929380e-07,7.340389e-07,7.982882e-07,8.145189e-07,8.964933e-07,9.064083e-07,9.794929e-07,1.016220e-06,1.063065e-06,1.126698e-06,1.146781e-06,1.230245e-06,1.236901e-06,1.313095e-06,1.345989e-06,1.395004e-06,1.453234e-06,1.475686e-06,1.554888e-06,1.558023e-06,1.632398e-06,1.659852e-06,1.708036e-06,1.758324e-06,1.781654e-06,1.853133e-06,1.922381e-06,1.944057e-06,1.989329e-06,2.030947e-06,2.053930e-06,2.113711e-06,2.116154e-06,2.175985e-06,2.192309e-06,2.233422e-06,2.266740e-06,2.288478e-06,2.337047e-06,2.341176e-06,2.391544e-06,2.403290e-06,2.439618e-06,2.465552e-06,2.485439e-06,2.523934e-06,2.529053e-06,2.570509e-06,2.578546e-06,2.609859e-06,2.629506e-06,2.647156e-06,2.676941e-06,2.682457e-06,2.715818e-06,2.720980e-06,2.747297e-06,2.761756e-06,2.776952e-06,2.799400e-06,2.804839e-06,2.831016e-06,2.834045e-06,2.855539e-06,2.865820e-06,2.878465e-06,2.894855e-06,2.899850e-06,2.919747e-06,2.921276e-06,2.938211e-06,2.945207e-06,2.955294e-06,2.966767e-06,2.971047e-06,2.985520e-06,2.986073e-06,2.998763e-06,3.003239e-06,3.010824e-06,3.018374e-06,3.021750e-06,3.031585e-06,3.040374e-06,3.042973e-06,3.048160e-06,3.052637e-06,3.054986e-06,3.060671e-06,3.060890e-06,3.065914e-06,3.067168e-06,3.070095e-06,3.072214e-06,3.073469e-06,3.075893e-06,3.076074e-06,3.077943e-06,3.078286e-06,3.079111e-06,3.079470e-06,3.079609e-06,3.079519e-06,3.079470e-06,3.078722e-06,3.078503e-06,3.077397e-06,3.076489e-06,3.075522e-06,3.073542e-06,3.073124e-06,3.070230e-06,3.069723e-06,3.066865e-06,3.065090e-06,3.063054e-06,3.059700e-06,3.058821e-06,3.054188e-06,3.053606e-06,3.049177e-06,3.046857e-06,3.043809e-06,3.039503e-06,3.038105e-06,3.032084e-06,3.031589e-06,3.025765e-06,3.023158e-06,3.019166e-06,3.014252e-06,3.012305e-06,3.005199e-06,3.004909e-06,2.997862e-06,2.995168e-06,2.990311e-06,2.985062e-06,2.982561e-06,2.974626e-06,2.963890e-06,2.952885e-06,2.941640e-06,2.930179e-06,2.918530e-06,2.906715e-06,2.894757e-06,2.882677e-06,2.870494e-06,2.858229e-06,2.845897e-06,2.833515e-06,2.821100e-06,2.808665e-06,2.796224e-06,2.783790e-06,2.771374e-06,2.758988e-06,2.746642e-06,2.734345e-06,2.722107e-06,2.709935e-06,2.697838e-06,2.685821e-06
0.000000e+00,4.804762e-11,1.141701e-10,4.094196e-10,9.537276e-10,1.406831e-09,3.281954e-09,3.384728e-09,6.751388e-09,8.009114e-09,1.200959e-08,1.630609e-08,1.971363e-08,2.930075e-08,3.024975e-08,4.357146e-08,4.714313e-08,5.929695e-08,6.899549e-08,7.701309e-08,9.399332e-08,9.639925e-08,1.172105e-07,1.215252e-07,1.392399e-07,1.511127e-07,1.622958e-07,1.823193e-07,1.861914e-07,2.107436e-07,2.147209e-07,2.357742e-07,2.479085e-07,2.611134e-07,2.815003e-07,2.866032e-07,3.120990e-07,3.151526e-07,3.374723e-07,3.485682e-07,3.626104e-07,3.814975e-07,3.874159e-07,4.118074e-07,4.137387e-07,4.357171e-07,4.451335e-07,4.590905e-07,4.755625e-07,4.818842e-07,5.040651e-07,5.049393e-07,5.256086e-07,5.332046e-07,5.464973e-07,5.603217e-07,5.667202e-07,5.862713e-07,6.051493e-07,6.110483e-07,6.233562e-07,6.346587e-07,6.408970e-07,6.571160e-07,6.577787e-07,6.740103e-07,6.784401e-07,6.896024e-07,6.986555e-07,7.045666e-07,7.177900e-07,7.189156e-07,7.326625e-07,7.358738e-07,7.458214e-07,7.529388e-07,7.584065e-07,7.690181e-07,7.704321e-07,7.819131e-07,7.841452e-07,7.928640e-07,7.983540e-07,8.032997e-07,8.116783e-07,8.132349e-07,8.226842e-07,8.241520e-07,8.316620e-07,8.358082e-07,8.401828e-07,8.466797e-07,8.482605e-07,8.559091e-07,8.567988e-07,8.631424e-07,8.661968e-07,8.699736e-07,8.749046e-07,8.764160e-07,8.824825e-07,8.829519e-07,8.881856e-07,8.903680e-07,8.935378e-07,8.971809e-07,8.985511e-07,9.032372e-07,9.034180e-07,9.076076e-07,9.091058e-07,9.116734e-07,9.142699e-07,9.154457e-07,9.189349e-07,9.221514e-07,9.231247e-07,9.251051e-07,9.268622e-07,9.278060e-07,9.301696e-07,9.302633e-07,9.324864e-07,9.330681e-07,9.344841e-07,9.355782e-07,9.362652e-07,9.377196e-07,9.378379e-07,9.392106e-07,9.395111e-07,9.403909e-07,9.409709e-07,9.413868e-07,9.421163e-07,9.422054e-07,9.428541e-07,9.429641e-07,9.433398e-07,9.435302e-07,9.436692e-07,9.438300e-07,9.438489e-07,9.438851e-07,9.438780e-07,9.437840e-07,9.436884e-07,9.435514e-07,9.432745e-07,9.431931e-07,9.427145e-07,9.426493e-07,9.421211e-07,9.418249e-07,9.414179e-07,9.408131e-07,9.406099e-07,9.397019e-07,9.396251e-07,9.386987e-07,9.382717e-07,9.376045e-07,9.367629e-07,9.364239e-07,9.351609e-07,9.351087e-07,9.338195e-07,9.333182e-07,9.324038e-07,9.314005e-07,9.309173e-07,9.293638e-07,9.272163e-07,9.249657e-07,9.226193e-07,9.201840e-07,9.176665e-07,9.150731e-07,9.124098e-07,9.096823e-07,9.068961e-07,9.040562e-07,9.011677e-07,8.982350e-07,8.952627e-07,8.922550e-07,8.892158e-07,8.861489e-07,8.830578e-07,8.799460e-07,8.768166e-07,8.736727e-07,8.705171e-07,8.673526e-07,8.641817e-07,8.610068e-07
0.000000e+00,9.891383e-11,2.592826e-10,1.032683e-09,2.527557e-09,3.797773e-09,9.149127e-09,9.444860e-09,1.919435e-08,2.285479e-08,3.452317e-08,4.705607e-08,5.697002e-08,8.467989e-08,8.741004e-08,1.256691e-07,1.359485e-07,1.711593e-07,1.996070e-07,2.234026e-07,2.746981e-07,2.820678e-07,3.468768e-07,3.605507e-07,4.175355e-07,4.564780e-07,4.937001e-07,5.616403e-07,5.749677e-07,6.608801e-07,6.750240e-07,7.509348e-07,7.954769e-07,8.445999e-07,9.217645e-07,9.413293e-07,1.040577e-06,1.052631e-06,1.141812e-06,1.186853e-06,1.244525e-06,1.323280e-06,1.348239e-06,1.452514e-06,1.460868e-06,1.556950e-06,1.598688e-06,1.661188e-06,1.735936e-06,1.764910e-06,1.867836e-06,1.871933e-06,1.969726e-06,2.006112e-06,2.070372e-06,2.138010e-06,2.169598e-06,2.267257e-06,2.363225e-06,2.393561e-06,2.457403e-06,2.516698e-06,2.549708e-06,2.636502e-06,2.640079e-06,2.728464e-06,2.752851e-06,2.814828e-06,2.865664e-06,2.899144e-06,2.974892e-06,2.981396e-06,3.061576e-06,3.080511e-06,3.139683e-06,3.182518e-06,3.215719e-06,3.280927e-06,3.289696e-06,3.361625e-06,3.375767e-06,3.431525e-06,3.467077e-06,3.499414e-06,3.554905e-06,3.565317e-06,3.629258e-06,3.639308e-06,3.691263e-06,3.720346e-06,3.751361e-06,3.798086e-06,3.809581e-06,3.865954e-06,3.872596e-06,3.920511e-06,3.943949e-06,3.973285e-06,4.012220e-06,4.024307e-06,4.073611e-06,4.077483e-06,4.121231e-06,4.139815e-06,4.167200e-06,4.199294e-06,4.211551e-06,4.254319e-06,4.255997e-06,4.295536e-06,4.310002e-06,4.335238e-06,4.361385e-06,4.373456e-06,4.410224e-06,4.445576e-06,4.456595e-06,4.479544e-06,4.500573e-06,4.512161e-06,4.542231e-06,4.543458e-06,4.573467e-06,4.581644e-06,4.602221e-06,4.618882e-06,4.629748e-06,4.654018e-06,4.656081e-06,4.681250e-06,4.687120e-06,4.705283e-06,4.718256e-06,4.728210e-06,4.747494e-06,4.750060e-06,4.770861e-06,4.774898e-06,4.790641e-06,4.800532e-06,4.809427e-06,4.824459e-06,4.827246e-06,4.844123e-06,4.846738e-06,4.860086e-06,4.867431e-06,4.875159e-06,4.886593e-06,4.889367e-06,4.902734e-06,4.904283e-06,4.915285e-06,4.920554e-06,4.927041e-06,4.935460e-06,4.938027e-06,4.948265e-06,4.949053e-06,4.957777e-06,4.961383e-06,4.966583e-06,4.972499e-06,4.974705e-06,4.982164e-06,4.982449e-06,4.988979e-06,4.991279e-06,4.995170e-06,4.999033e-06,5.000756e-06,5.005756e-06,5.011490e-06,5.016275e-06,5.020150e-06,5.023155e-06,5.025327e-06,5.026700e-06,5.027311e-06,5.027192e-06,5.026377e-06,5.024896e-06,5.022780e-06,5.020059e-06,5.016761e-06,5.012913e-06,5.008541e-06,5.003672e-06,4.998330e-06,4.992539e-06,4.986321e-06,4.979699e-06,4.972694e-06,4.965327e-06,4.957618e-06,4.949585e-06
0.000000e+00,9.716444e-11,2.350116e-10,8.584386e-10,2.016112e-09,2.982335e-09,6.986223e-09,7.205678e-09,1.437961e-08,1.704552e-08,2.542641e-08,3.419690e-08,4.096525e-08,5.927899e-08,6.104861e-08,8.549428e-08,9.199287e-08,1.141567e-07,1.320113e-07,1.469337e-07,1.790947e-07,1.837155e-07,2.243511e-07,2.329235e-07,2.686331e-07,2.930145e-07,3.162950e-07,3.587102e-07,3.670168e-07,4.204344e-07,4.292052e-07,4.761506e-07,5.035889e-07,5.337489e-07,5.808982e-07,5.928061e-07,6.529042e-07,6.601666e-07,7.136400e-07,7.404663e-07,7.746313e-07,8.209373e-07,8.355255e-07,8.960068e-07,9.008189e-07,9.557949e-07,9.794597e-07,1.014644e-06,1.056314e-06,1.072343e-06,1.128718e-06,1.130943e-06,1.183622e-06,1.203005e-06,1.236941e-06,1.272244e-06,1.288582e-06,1.338481e-06,1.386588e-06,1.401599e-06,1.432875e-06,1.461536e-06,1.477327e-06,1.518272e-06,1.519941e-06,1.560725e-06,1.571819e-06,1.599698e-06,1.622221e-06,1.636882e-06,1.669538e-06,1.672308e-06,1.706011e-06,1.713848e-06,1.738030e-06,1.755239e-06,1.768404e-06,1.793808e-06,1.797178e-06,1.824396e-06,1.829657e-06,1.850105e-06,1.862892e-06,1.874350e-06,1.893618e-06,1.897177e-06,1.918635e-06,1.921944e-06,1.938768e-06,1.947975e-06,1.957622e-06,1.971816e-06,1.975244e-06,1.991677e-06,1.993571e-06,2.006964e-06,2.013339e-06,2.021150e-06,2.031219e-06,2.034275e-06,2.046380e-06,2.047306e-06,2.057506e-06,2.061690e-06,2.067690e-06,2.074461e-06,2.076971e-06,2.085385e-06,2.085704e-06,2.092967e-06,2.095500e-06,2.099752e-06,2.103928e-06,2.105774e-06,2.111065e-06,2.115655e-06,2.116981e-06,2.119576e-06,2.121747e-06,2.122856e-06,2.125429e-06,2.125524e-06,2.127607e-06,2.128089e-06,2.129131e-06,2.129788e-06,2.130122e-06,2.130584e-06,2.130605e-06,2.130602e-06,2.130532e-06,2.130138e-06,2.129684e-06,2.129233e-06,2.128089e-06,2.127909e-06,2.126187e-06,2.125796e-06,2.124085e-06,2.122849e-06,2.121624e-06,2.119291e-06,2.118820e-06,2.115693e-06,2.115163e-06,2.112257e-06,2.110504e-06,2.108531e-06,2.105350e-06,2.104528e-06,2.100264e-06,2.099736e-06,2.095754e-06,2.093695e-06,2.091011e-06,2.087259e-06,2.086048e-06,2.080879e-06,2.080457e-06,2.075515e-06,2.073317e-06,2.069967e-06,2.065866e-06,2.064248e-06,2.058368e-06,2.058130e-06,2.052337e-06,2.050131e-06,2.046165e-06,2.041893e-06,2.039862e-06,2.033437e-06,2.024783e-06,2.015950e-06,2.006956e-06,1.997817e-06,1.988551e-06,1.979172e-06,1.969694e-06,1.960131e-06,1.950494e-06,1.940797e-06,1.931050e-06,1.921263e-06,1.911446e-06,1.901609e-06,1.891760e-06,1.881908e-06,1.872059e-06,1.862221e-06,1.852400e-06,1.842603e-06,1.832836e-06,1.823103e-06,1.813410e-06,1.803762e-06
0.000000e+00,5.458442e-12,2.801972e-11,3.181468e-10,1.586080e-09,3.303995e-09,1.601238e-08,1.694618e-08,5.909070e-08,7.992657e-08,1.615215e-07,2.715708e-07,3.734304e-07,7.242542e-07,7.640869e-07,1.424512e-06,1.635264e-06,2.467755e-06,3.268206e-06,4.027349e-06,5.946239e-06,6.253963e-06,9.310811e-06,1.003675e-05,1.336846e-05,1.593133e-05,1.859956e-05,2.402478e-05,2.517369e-05,3.325267e-05,3.469516e-05,4.298617e-05,4.828593e-05,5.450799e-05,6.509075e-05,6.793272e-05,8.335312e-05,8.534121e-05,1.008381e-04,1.091978e-04,1.204314e-04,1.367441e-04,1.421506e-04,1.659875e-04,1.679851e-04,1.919084e-04,2.028479e-04,2.198549e-04,2.411861e-04,2.497462e-04,2.814804e-04,2.827865e-04,3.149374e-04,3.273778e-04,3.499810e-04,3.746413e-04,3.864621e-04,4.242211e-04,4.630912e-04,4.757362e-04,5.029003e-04,5.287907e-04,5.434746e-04,5.829841e-04,5.846399e-04,6.262248e-04,6.379208e-04,6.680619e-04,6.932178e-04,7.099898e-04,7.485112e-04,7.518545e-04,7.935106e-04,8.034616e-04,8.348218e-04,8.577581e-04,8.756623e-04,9.111205e-04,9.159165e-04,9.554797e-04,9.633009e-04,9.942580e-04,1.014085e-03,1.032168e-03,1.063289e-03,1.069138e-03,1.105105e-03,1.110763e-03,1.140017e-03,1.156387e-03,1.173830e-03,1.200066e-03,1.206510e-03,1.238031e-03,1.241734e-03,1.268373e-03,1.281348e-03,1.297526e-03,1.318883e-03,1.325484e-03,1.352248e-03,1.354337e-03,1.377823e-03,1.387722e-03,1.402219e-03,1.419062e-03,1.425451e-03,1.447536e-03,1.448396e-03,1.468497e-03,1.475772e-03,1.488356e-03,1.501244e-03,1.507139e-03,1.524874e-03,1.541590e-03,1.546729e-03,1.557318e-03,1.566880e-03,1.572089e-03,1.585398e-03,1.585935e-03,1.598887e-03,1.602359e-03,1.610980e-03,1.617836e-03,1.622244e-03,1.631904e-03,1.632713e-03,1.642418e-03,1.644638e-03,1.651392e-03,1.656109e-03,1.659665e-03,1.666390e-03,1.667268e-03,1.674231e-03,1.675550e-03,1.680583e-03,1.683655e-03,1.686353e-03,1.690770e-03,1.691568e-03,1.696255e-03,1.696958e-03,1.700440e-03,1.702278e-03,1.704149e-03,1.706788e-03,1.707405e-03,1.710231e-03,1.710542e-03,1.712651e-03,1.713592e-03,1.714686e-03,1.715988e-03,1.716356e-03,1.717683e-03,1.717775e-03,1.718684e-03,1.718998e-03,1.719379e-03,1.719700e-03,1.719785e-03,1.719919e-03,1.719919e-03,1.719797e-03,1.719693e-03,1.719434e-03,1.719058e-03,1.718846e-03,1.718045e-03,1.716687e-03,1.715012e-03,1.713048e-03,1.710820e-03,1.708352e-03,1.705667e-03,1.702787e-03,1.699729e-03,1.696514e-03,1.693157e-03,1.689676e-03,1.686084e-03,1.682396e-03,1.678625e-03,1.674782e-03,1.670879e-03,1.666926e-03,1.662933e-03,1.658909e-03,1.654861e-03,1.650797e-03,1.646725e-03,1.642650e-03,1.638580e-03
0.000000e+00,7.842529e-12,1.790231e-11,6.140795e-11,1.403369e-10,2.059757e-10,4.811466e-10,4.964306e-10,1.007994e-09,1.203550e-09,1.834245e-09,2.513620e-09,3.045182e-09,4.477966e-09,4.614218e-09,6.429203e-09,6.888342e-09,8.379912e-09,9.503252e-09,1.039390e-08,1.218296e-08,1.242685e-08,1.444910e-08,1.485021e-08,1.643818e-08,1.745317e-08,1.837574e-08,1.995225e-08,2.024654e-08,2.203819e-08,2.231682e-08,2.374108e-08,2.452483e-08,2.534836e-08,2.656238e-08,2.685572e-08,2.826094e-08,2.842268e-08,2.956392e-08,3.010523e-08,3.076633e-08,3.161460e-08,3.187098e-08,3.288162e-08,3.295854e-08,3.380268e-08,3.414709e-08,3.463895e-08,3.519138e-08,3.539545e-08,3.607727e-08,3.610306e-08,3.668942e-08,3.689370e-08,3.723683e-08,3.757448e-08,3.772418e-08,3.815599e-08,3.853647e-08,3.864804e-08,3.886962e-08,3.905972e-08,3.915915e-08,3.939930e-08,3.940854e-08,3.962101e-08,3.967430e-08,3.979954e-08,3.989152e-08,3.994688e-08,4.005710e-08,4.006560e-08,4.015804e-08,4.017656e-08,4.022637e-08,4.025486e-08,4.027260e-08,4.029646e-08,4.029856e-08,4.030595e-08,4.030534e-08,4.029633e-08,4.028509e-08,4.027114e-08,4.023893e-08,4.023171e-08,4.017925e-08,4.016973e-08,4.011490e-08,4.008009e-08,4.003968e-08,3.997233e-08,3.995455e-08,3.986040e-08,3.984853e-08,3.975803e-08,3.971057e-08,3.964819e-08,3.956014e-08,3.953157e-08,3.940881e-08,3.939874e-08,3.928050e-08,3.922775e-08,3.914719e-08,3.904839e-08,3.900937e-08,3.886751e-08,3.886176e-08,3.872204e-08,3.866887e-08,3.857337e-08,3.847062e-08,3.842184e-08,3.826781e-08,3.811159e-08,3.806119e-08,3.795347e-08,3.785140e-08,3.779372e-08,3.763907e-08,3.763260e-08,3.747032e-08,3.742471e-08,3.730712e-08,3.720883e-08,3.714318e-08,3.699186e-08,3.697869e-08,3.681381e-08,3.677421e-08,3.664872e-08,3.655623e-08,3.648355e-08,3.633825e-08,3.631844e-08,3.615352e-08,3.612057e-08,3.598890e-08,3.590345e-08,3.582468e-08,3.568713e-08,3.566097e-08,3.549786e-08,3.547183e-08,3.533544e-08,3.525774e-08,3.517378e-08,3.504504e-08,3.501295e-08,3.485301e-08,3.483389e-08,3.469405e-08,3.462442e-08,3.453609e-08,3.441676e-08,3.437921e-08,3.422344e-08,3.421103e-08,3.406883e-08,3.400731e-08,3.391541e-08,3.380572e-08,3.376323e-08,3.361231e-08,3.360630e-08,3.346269e-08,3.340915e-08,3.331439e-08,3.321431e-08,3.316743e-08,3.302184e-08,3.283178e-08,3.264417e-08,3.245904e-08,3.227641e-08,3.209631e-08,3.191874e-08,3.174373e-08,3.157127e-08,3.140138e-08,3.123404e-08,3.106925e-08,3.090702e-08,3.074733e-08,3.059016e-08,3.043551e-08,3.028336e-08,3.013369e-08,2.998648e-08,2.984172e-08,2.969938e-08,2.955944e-08,2.942188e-08,2.928666e-08,2.915377e-08
0.000000e+00,7.288081e-11,2.983029e-10,2.176510e-09,7.481519e-09,1.286275e-08,3.941911e-08,4.099241e-08,9.552902e-08,1.167380e-07,1.853835e-07,2.601122e-07,3.199126e-07,4.916892e-07,5.090669e-07,7.623577e-07,8.334974e-07,1.085834e-06,1.297388e-06,1.477701e-06,1.870015e-06,1.926256e-06,2.413136e-06,2.513389e-06,2.919292e-06,3.184721e-06,3.429019e-06,3.851498e-06,3.930918e-06,4.417159e-06,4.493121e-06,4.882411e-06,5.097155e-06,5.323021e-06,5.656073e-06,5.736514e-06,6.121284e-06,6.165477e-06,6.476438e-06,6.623229e-06,6.801684e-06,7.028984e-06,7.097237e-06,7.363743e-06,7.383836e-06,7.602195e-06,7.689996e-06,7.813854e-06,7.950469e-06,8.000175e-06,8.162748e-06,8.168781e-06,8.303244e-06,8.348744e-06,8.423355e-06,8.494242e-06,8.524754e-06,8.609071e-06,8.677870e-06,8.696852e-06,8.732627e-06,8.760946e-06,8.774727e-06,8.804429e-06,8.805455e-06,8.825998e-06,8.830075e-06,8.837440e-06,8.840353e-06,8.840773e-06,8.837452e-06,8.836896e-06,8.826624e-06,8.823290e-06,8.810692e-06,8.799547e-06,8.789762e-06,8.767684e-06,8.764429e-06,8.735228e-06,8.728966e-06,8.702636e-06,8.684493e-06,8.667083e-06,8.635212e-06,8.628952e-06,8.588587e-06,8.581943e-06,8.546296e-06,8.525394e-06,8.502353e-06,8.466176e-06,8.457005e-06,8.410471e-06,8.404817e-06,8.362948e-06,8.341771e-06,8.314613e-06,8.277434e-06,8.265624e-06,8.216122e-06,8.212144e-06,8.166233e-06,8.146195e-06,8.116071e-06,8.079842e-06,8.065737e-06,8.015321e-06,8.013304e-06,7.964907e-06,7.946772e-06,7.914566e-06,7.880410e-06,7.864364e-06,7.814359e-06,7.764602e-06,7.748740e-06,7.715141e-06,7.683660e-06,7.666017e-06,7.619208e-06,7.617266e-06,7.568921e-06,7.555461e-06,7.521011e-06,7.492485e-06,7.473562e-06,7.430335e-06,7.426596e-06,7.380133e-06,7.369059e-06,7.334191e-06,7.308696e-06,7.288783e-06,7.249277e-06,7.243923e-06,7.199622e-06,7.190830e-06,7.155889e-06,7.133374e-06,7.112731e-06,7.076928e-06,7.070155e-06,7.028166e-06,7.021502e-06,6.986766e-06,6.967105e-06,6.945960e-06,6.913743e-06,6.905748e-06,6.866131e-06,6.861417e-06,6.827109e-06,6.810127e-06,6.788681e-06,6.759872e-06,6.750846e-06,6.713601e-06,6.710646e-06,6.676943e-06,6.662444e-06,6.640871e-06,6.615258e-06,6.605378e-06,6.570463e-06,6.569078e-06,6.536120e-06,6.523895e-06,6.502344e-06,6.479697e-06,6.469130e-06,6.436473e-06,6.394208e-06,6.352890e-06,6.312505e-06,6.273038e-06,6.234474e-06,6.196798e-06,6.159995e-06,6.124048e-06,6.088942e-06,6.054660e-06,6.021188e-06,5.988508e-06,5.956605e-06,5.925463e-06,5.895066e-06,5.865398e-06,5.836444e-06,5.808188e-06,5.780615e-06,5.753709e-06,5.727457e-06,5.701842e-06,5.676850e-06,5.652468e-06
0.000000e+00,1.882239e-11,9.382072e-11,1.002337e-09,4.728448e-09,9.557406e-09,4.288909e-08,4.525014e-08,1.465045e-07,1.943042e-07,3.741597e-07,6.058228e-07,8.134153e-07,1.498687e-06,1.574406e-06,2.789516e-06,3.164820e-06,4.604647e-06,5.937933e-06,7.165448e-06,1.014089e-05,1.060363e-05,1.502758e-05,1.603828e-05,2.051816e-05,2.381342e-05,2.712826e-05,3.356622e-05,3.488469e-05,4.379087e-05,4.532168e-05,5.382977e-05,5.904120e-05,6.496667e-05,7.463369e-05,7.715170e-05,9.032225e-05,9.196557e-05,1.044053e-04,1.108702e-04,1.193195e-04,1.311566e-04,1.349776e-04,1.512884e-04,1.526186e-04,1.681587e-04,1.750426e-04,1.854954e-04,1.982151e-04,2.032069e-04,2.212047e-04,2.219294e-04,2.394044e-04,2.459903e-04,2.577267e-04,2.702182e-04,2.760981e-04,2.944512e-04,3.127250e-04,3.185468e-04,3.308649e-04,3.423815e-04,3.488224e-04,3.658508e-04,3.665553e-04,3.840269e-04,3.888677e-04,4.012058e-04,4.113614e-04,4.180656e-04,4.332759e-04,4.345844e-04,4.507443e-04,4.545676e-04,4.665310e-04,4.752043e-04,4.819335e-04,4.951632e-04,4.969435e-04,5.115552e-04,5.144294e-04,5.257651e-04,5.329949e-04,5.395715e-04,5.508570e-04,5.529743e-04,5.659749e-04,5.680178e-04,5.785756e-04,5.844829e-04,5.907799e-04,6.002610e-04,6.025923e-04,6.140178e-04,6.153631e-04,6.250619e-04,6.298021e-04,6.357309e-04,6.435924e-04,6.460312e-04,6.559698e-04,6.567494e-04,6.655536e-04,6.692894e-04,6.747900e-04,6.812293e-04,6.836865e-04,6.922506e-04,6.925863e-04,7.004899e-04,7.033781e-04,7.084122e-04,7.136222e-04,7.160251e-04,7.233363e-04,7.303534e-04,7.325380e-04,7.370840e-04,7.412447e-04,7.435356e-04,7.494738e-04,7.497159e-04,7.556320e-04,7.572422e-04,7.612913e-04,7.645667e-04,7.667011e-04,7.714637e-04,7.718683e-04,7.767999e-04,7.779492e-04,7.815029e-04,7.840391e-04,7.859838e-04,7.897486e-04,7.902493e-04,7.943059e-04,7.950928e-04,7.981600e-04,8.000861e-04,8.018176e-04,8.047428e-04,8.052850e-04,8.085681e-04,8.090767e-04,8.116727e-04,8.131012e-04,8.146045e-04,8.168293e-04,8.173691e-04,8.199719e-04,8.202736e-04,8.224182e-04,8.234463e-04,8.247131e-04,8.263592e-04,8.268618e-04,8.288691e-04,8.290237e-04,8.307399e-04,8.314510e-04,8.324787e-04,8.336516e-04,8.340903e-04,8.355789e-04,8.356359e-04,8.369489e-04,8.374139e-04,8.382046e-04,8.389952e-04,8.393500e-04,8.403891e-04,8.416044e-04,8.426498e-04,8.435336e-04,8.442638e-04,8.448481e-04,8.452938e-04,8.456081e-04,8.457977e-04,8.458694e-04,8.458293e-04,8.456836e-04,8.454380e-04,8.450981e-04,8.446694e-04,8.441569e-04,8.435655e-04,8.429000e-04,8.421648e-04,8.413644e-04,8.405029e-04,8.395841e-04,8.386120e-04,8.375901e-04,8.365220e-04
0.000000e+00,7.225730e-12,1.670941e-11,5.775149e-11,1.309440e-10,1.903268e-10,4.257020e-10,4.382020e-10,8.298194e-10,9.686256e-10,1.389405e-09,1.814441e-09,2.137420e-09,3.006631e-09,3.090796e-09,4.262865e-09,4.577823e-09,5.662785e-09,6.547921e-09,7.294247e-09,8.918658e-09,9.153439e-09,1.122698e-08,1.166550e-08,1.349136e-08,1.473404e-08,1.591516e-08,1.804848e-08,1.846298e-08,2.109917e-08,2.152687e-08,2.379001e-08,2.509185e-08,2.650462e-08,2.867457e-08,2.921509e-08,3.189641e-08,3.221513e-08,3.452645e-08,3.566235e-08,3.708589e-08,3.897357e-08,3.955818e-08,4.192951e-08,4.211450e-08,4.418872e-08,4.505900e-08,4.632721e-08,4.778859e-08,4.833875e-08,5.021932e-08,5.029178e-08,5.196684e-08,5.256328e-08,5.358102e-08,5.460303e-08,5.506302e-08,5.641528e-08,5.764130e-08,5.800765e-08,5.874538e-08,5.939026e-08,5.973246e-08,6.057501e-08,6.060796e-08,6.137761e-08,6.157494e-08,6.204731e-08,6.240366e-08,6.262307e-08,6.307495e-08,6.311088e-08,6.351664e-08,6.360246e-08,6.384612e-08,6.399940e-08,6.410491e-08,6.427844e-08,6.429837e-08,6.443164e-08,6.445151e-08,6.450959e-08,6.452981e-08,6.453684e-08,6.452372e-08,6.451772e-08,6.445632e-08,6.444283e-08,6.435646e-08,6.429592e-08,6.422170e-08,6.409100e-08,6.405536e-08,6.386052e-08,6.383537e-08,6.364006e-08,6.353562e-08,6.339661e-08,6.319773e-08,6.313262e-08,6.285037e-08,6.282706e-08,6.255192e-08,6.242844e-08,6.223920e-08,6.200620e-08,6.191397e-08,6.157785e-08,6.156420e-08,6.123234e-08,6.110592e-08,6.087879e-08,6.063443e-08,6.051846e-08,6.015248e-08,5.978191e-08,5.966252e-08,5.940770e-08,5.916670e-08,5.903072e-08,5.866696e-08,5.865177e-08,5.827156e-08,5.816497e-08,5.789076e-08,5.766225e-08,5.750996e-08,5.716009e-08,5.712970e-08,5.675048e-08,5.665967e-08,5.637273e-08,5.616198e-08,5.599685e-08,5.566792e-08,5.562321e-08,5.525212e-08,5.517824e-08,5.488389e-08,5.469362e-08,5.451876e-08,5.421461e-08,5.415696e-08,5.379870e-08,5.374172e-08,5.344416e-08,5.327535e-08,5.309349e-08,5.281585e-08,5.274684e-08,5.240433e-08,5.236351e-08,5.206604e-08,5.191856e-08,5.173208e-08,5.148121e-08,5.140252e-08,5.107741e-08,5.105159e-08,5.075680e-08,5.062982e-08,5.044073e-08,5.021598e-08,5.012923e-08,4.982231e-08,4.981013e-08,4.951998e-08,4.941227e-08,4.922226e-08,4.902243e-08,4.892912e-08,4.864057e-08,4.826667e-08,4.790068e-08,4.754252e-08,4.719213e-08,4.684942e-08,4.651430e-08,4.618666e-08,4.586639e-08,4.555339e-08,4.524752e-08,4.494868e-08,4.465674e-08,4.437157e-08,4.409303e-08,4.382101e-08,4.355537e-08,4.329597e-08,4.304270e-08,4.279541e-08,4.255398e-08,4.231827e-08,4.208817e-08,4.186354e-08,4.164426e-08
0.000000e+00,1.026783e-11,5.232322e-11,5.850548e-10,2.875740e-09,5.943802e-09,2.822492e-08,2.984606e-08,1.019758e-07,1.371724e-07,2.733894e-07,4.545609e-07,6.205623e-07,1.184600e-06,1.248090e-06,2.290229e-06,2.619662e-06,3.911197e-06,5.142470e-06,6.303459e-06,9.217525e-06,9.682672e-06,1.427842e-05,1.536401e-05,2.032162e-05,2.410957e-05,2.803096e-05,3.593744e-05,3.760068e-05,4.919122e-05,5.124189e-05,6.292316e-05,7.029957e-05,7.887408e-05,9.325673e-05,9.707793e-05,1.175264e-04,1.201291e-04,1.401713e-04,1.508105e-04,1.649287e-04,1.850868e-04,1.916826e-04,2.202896e-04,2.226534e-04,2.505839e-04,2.631334e-04,2.823818e-04,3.060970e-04,3.154862e-04,3.496915e-04,3.510796e-04,3.847872e-04,3.975989e-04,4.205620e-04,4.451701e-04,4.568072e-04,4.933196e-04,5.299042e-04,5.415960e-04,5.663762e-04,5.895788e-04,6.025627e-04,6.368848e-04,6.383040e-04,6.734546e-04,6.831728e-04,7.078836e-04,7.281457e-04,7.414749e-04,7.715517e-04,7.741272e-04,8.057537e-04,8.131830e-04,8.362816e-04,8.528746e-04,8.656514e-04,8.905013e-04,8.938162e-04,9.207407e-04,9.259745e-04,9.464006e-04,9.592387e-04,9.707812e-04,9.902679e-04,9.938768e-04,1.015690e-03,1.019061e-03,1.036229e-03,1.045640e-03,1.055510e-03,1.070043e-03,1.073554e-03,1.090385e-03,1.092325e-03,1.106033e-03,1.112552e-03,1.120530e-03,1.130799e-03,1.133910e-03,1.146211e-03,1.147149e-03,1.157469e-03,1.161690e-03,1.167725e-03,1.174511e-03,1.177018e-03,1.185389e-03,1.185705e-03,1.192877e-03,1.195364e-03,1.199523e-03,1.203581e-03,1.205365e-03,1.210444e-03,1.214797e-03,1.216043e-03,1.218462e-03,1.220463e-03,1.221474e-03,1.223786e-03,1.223870e-03,1.225683e-03,1.226091e-03,1.226946e-03,1.227454e-03,1.227692e-03,1.227947e-03,1.227950e-03,1.227751e-03,1.227638e-03,1.227122e-03,1.226592e-03,1.226091e-03,1.224871e-03,1.224683e-03,1.222923e-03,1.222530e-03,1.220834e-03,1.219626e-03,1.218439e-03,1.216207e-03,1.215760e-03,1.212817e-03,1.212323e-03,1.209629e-03,1.208017e-03,1.206214e-03,1.203330e-03,1.202589e-03,1.198772e-03,1.198302e-03,1.194779e-03,1.192969e-03,1.190623e-03,1.187364e-03,1.186318e-03,1.181879e-03,1.181519e-03,1.177318e-03,1.175462e-03,1.172646e-03,1.169220e-03,1.167875e-03,1.163015e-03,1.162819e-03,1.158076e-03,1.156280e-03,1.153067e-03,1.149627e-03,1.147998e-03,1.142877e-03,1.136050e-03,1.129161e-03,1.122227e-03,1.115261e-03,1.108277e-03,1.101285e-03,1.094298e-03,1.087324e-03,1.080374e-03,1.073454e-03,1.066573e-03,1.059738e-03,1.052954e-03,1.046226e-03,1.039561e-03,1.032961e-03,1.026432e-03,1.019976e-03,1.013597e-03,1.007297e-03,1.001078e-03,9.949431e-04,9.888933e-04,9.829301e-04
0.000000e+00,1.783125e-10,4.901179e-10,2.048072e-09,5.105026e-09,7.706740e-09,1.858655e-08,1.918294e-08,3.855525e-08,4.569582e-08,6.807612e-08,9.166885e-08,1.101685e-07,1.618704e-07,1.669907e-07,2.393915e-07,2.590026e-07,3.263462e-07,3.806613e-07,4.258709e-07,5.223275e-07,5.360576e-07,6.553118e-07,6.801256e-07,7.822320e-07,8.508183e-07,9.154904e-07,1.031369e-06,1.053780e-06,1.195809e-06,1.218796e-06,1.340320e-06,1.410214e-06,1.486119e-06,1.602935e-06,1.632094e-06,1.777242e-06,1.794561e-06,1.920675e-06,1.983040e-06,2.061628e-06,2.166695e-06,2.199460e-06,2.333645e-06,2.344209e-06,2.463764e-06,2.514599e-06,2.589497e-06,2.677175e-06,2.710611e-06,2.826943e-06,2.831495e-06,2.938398e-06,2.977319e-06,3.044933e-06,3.114565e-06,3.146548e-06,3.243278e-06,3.335190e-06,3.363598e-06,3.422370e-06,3.475729e-06,3.504922e-06,3.579928e-06,3.582965e-06,3.656627e-06,3.676486e-06,3.726043e-06,3.765713e-06,3.791353e-06,3.847933e-06,3.852698e-06,3.910223e-06,3.923477e-06,3.964071e-06,3.992674e-06,4.014386e-06,4.055851e-06,4.061307e-06,4.104973e-06,4.113328e-06,4.145520e-06,4.165415e-06,4.183079e-06,4.212416e-06,4.217781e-06,4.249750e-06,4.254620e-06,4.279109e-06,4.292308e-06,4.305974e-06,4.325747e-06,4.330460e-06,4.352677e-06,4.355195e-06,4.372731e-06,4.380896e-06,4.390725e-06,4.403084e-06,4.406758e-06,4.420925e-06,4.421980e-06,4.433316e-06,4.437796e-06,4.444021e-06,4.450731e-06,4.453123e-06,4.460703e-06,4.460976e-06,4.466840e-06,4.468710e-06,4.471608e-06,4.474105e-06,4.475078e-06,4.477319e-06,4.478397e-06,4.478507e-06,4.478375e-06,4.477811e-06,4.477313e-06,4.475368e-06,4.475268e-06,4.472296e-06,4.471304e-06,4.468449e-06,4.465742e-06,4.463777e-06,4.458793e-06,4.458330e-06,4.452152e-06,4.450566e-06,4.445289e-06,4.441161e-06,4.437781e-06,4.430673e-06,4.429668e-06,4.420990e-06,4.419190e-06,4.411783e-06,4.406797e-06,4.402080e-06,4.393572e-06,4.391916e-06,4.381322e-06,4.379589e-06,4.370328e-06,4.364917e-06,4.358963e-06,4.349622e-06,4.347254e-06,4.335227e-06,4.333764e-06,4.322908e-06,4.317400e-06,4.310318e-06,4.300584e-06,4.297482e-06,4.284420e-06,4.283366e-06,4.271153e-06,4.265792e-06,4.257699e-06,4.247907e-06,4.244077e-06,4.230305e-06,4.229752e-06,4.216399e-06,4.211364e-06,4.202375e-06,4.192779e-06,4.188247e-06,4.174030e-06,4.155150e-06,4.136165e-06,4.117104e-06,4.097992e-06,4.078850e-06,4.059702e-06,4.040567e-06,4.021464e-06,4.002409e-06,3.983419e-06,3.964508e-06,3.945690e-06,3.926976e-06,3.908379e-06,3.889909e-06,3.871574e-06,3.853385e-06,3.835349e-06,3.817472e-06,3.799762e-06,3.782225e-06,3.764865e-06,3.747687e-06,3.730696e-06
0.000000e+00,4.760720e-11,1.178482e-10,4.397852e-10,1.038134e-09,1.534261e-09,3.548948e-09,3.657440e-09,7.105764e-09,8.345891e-09,1.214670e-08,1.603620e-08,1.901886e-08,2.713846e-08,2.793085e-08,3.905810e-08,4.207433e-08,5.253633e-08,6.114501e-08,6.844972e-08,8.448215e-08,8.681378e-08,1.075592e-07,1.119818e-07,1.305307e-07,1.432840e-07,1.555072e-07,1.778503e-07,1.822330e-07,2.104417e-07,2.150750e-07,2.398698e-07,2.543530e-07,2.702616e-07,2.951038e-07,3.013721e-07,3.329689e-07,3.367827e-07,3.648343e-07,3.788878e-07,3.967674e-07,4.209683e-07,4.285848e-07,4.601227e-07,4.626291e-07,4.912363e-07,5.035343e-07,5.218006e-07,5.434061e-07,5.517089e-07,5.808725e-07,5.820225e-07,6.092190e-07,6.192123e-07,6.366913e-07,6.548503e-07,6.632456e-07,6.888503e-07,7.134842e-07,7.211599e-07,7.371354e-07,7.517541e-07,7.597996e-07,7.806309e-07,7.814793e-07,8.021825e-07,8.078060e-07,8.219218e-07,8.333094e-07,8.407135e-07,8.571816e-07,8.585770e-07,8.755340e-07,8.794714e-07,8.916081e-07,9.002333e-07,9.068243e-07,9.195255e-07,9.212086e-07,9.347875e-07,9.374090e-07,9.475882e-07,9.539459e-07,9.596377e-07,9.691987e-07,9.709633e-07,9.815920e-07,9.832297e-07,9.915504e-07,9.961001e-07,1.000865e-06,1.007870e-06,1.009561e-06,1.017665e-06,1.018599e-06,1.025200e-06,1.028342e-06,1.032191e-06,1.037155e-06,1.038662e-06,1.044634e-06,1.045091e-06,1.050131e-06,1.052201e-06,1.055173e-06,1.058533e-06,1.059780e-06,1.063974e-06,1.064134e-06,1.067773e-06,1.069048e-06,1.071196e-06,1.073317e-06,1.074260e-06,1.076984e-06,1.079383e-06,1.080084e-06,1.081473e-06,1.082657e-06,1.083271e-06,1.084735e-06,1.084790e-06,1.086046e-06,1.086352e-06,1.087051e-06,1.087539e-06,1.087819e-06,1.088327e-06,1.088362e-06,1.088693e-06,1.088742e-06,1.088823e-06,1.088812e-06,1.088762e-06,1.088561e-06,1.088523e-06,1.088114e-06,1.088013e-06,1.087546e-06,1.087191e-06,1.086828e-06,1.086115e-06,1.085968e-06,1.084977e-06,1.084806e-06,1.083860e-06,1.083282e-06,1.082627e-06,1.081562e-06,1.081285e-06,1.079840e-06,1.079660e-06,1.078301e-06,1.077595e-06,1.076672e-06,1.075379e-06,1.074961e-06,1.073173e-06,1.073027e-06,1.071314e-06,1.070552e-06,1.069389e-06,1.067966e-06,1.067404e-06,1.065363e-06,1.065280e-06,1.063271e-06,1.062506e-06,1.061132e-06,1.059653e-06,1.058951e-06,1.056731e-06,1.053748e-06,1.050713e-06,1.047634e-06,1.044517e-06,1.041369e-06,1.038197e-06,1.035007e-06,1.031803e-06,1.028591e-06,1.025375e-06,1.022160e-06,1.018950e-06,1.015748e-06,1.012558e-06,1.009383e-06,1.006226e-06,1.003090e-06,9.999763e-07,9.968879e-07,9.938267e-07,9.907945e-07,9.877930e-07,9.848238e-07,9.818880e-07
0.000000e+00,2.930043e-12,1.481820e-11,1.630657e-10,7.897367e-10,1.618915e-09,7.523966e-09,7.949101e-09,2.657856e-08,3.554154e-08,6.979120e-08,1.146576e-07,1.553145e-07,2.914022e-07,3.065722e-07,5.527007e-07,6.296250e-07,9.283095e-07,1.209721e-06,1.472752e-06,2.125217e-06,2.228494e-06,3.238340e-06,3.474382e-06,4.541850e-06,5.346957e-06,6.171766e-06,7.810425e-06,8.151276e-06,1.049250e-05,1.090087e-05,1.319619e-05,1.462016e-05,1.625237e-05,1.893834e-05,1.964163e-05,2.333674e-05,2.379918e-05,2.730437e-05,2.912686e-05,3.150677e-05,3.483268e-05,3.590333e-05,4.045194e-05,4.082112e-05,4.511021e-05,4.699484e-05,4.983646e-05,5.325883e-05,5.459054e-05,5.933451e-05,5.952355e-05,6.403316e-05,6.570730e-05,6.865439e-05,7.173781e-05,7.316949e-05,7.755329e-05,8.178421e-05,8.310278e-05,8.584425e-05,8.834617e-05,8.971892e-05,9.325380e-05,9.339704e-05,9.687057e-05,9.780574e-05,1.001344e-04,1.019909e-04,1.031860e-04,1.058058e-04,1.060252e-04,1.086539e-04,1.092538e-04,1.110758e-04,1.123436e-04,1.132961e-04,1.150883e-04,1.153212e-04,1.171586e-04,1.175042e-04,1.188163e-04,1.196102e-04,1.203031e-04,1.214266e-04,1.216281e-04,1.228005e-04,1.229745e-04,1.238296e-04,1.242755e-04,1.247249e-04,1.253507e-04,1.254952e-04,1.261496e-04,1.262208e-04,1.266966e-04,1.269054e-04,1.271443e-04,1.274231e-04,1.275007e-04,1.277730e-04,1.277914e-04,1.279683e-04,1.280263e-04,1.280931e-04,1.281428e-04,1.281536e-04,1.281555e-04,1.281544e-04,1.281040e-04,1.280734e-04,1.280041e-04,1.279108e-04,1.278603e-04,1.276767e-04,1.274572e-04,1.273800e-04,1.272054e-04,1.270287e-04,1.269244e-04,1.266299e-04,1.266172e-04,1.262865e-04,1.261900e-04,1.259348e-04,1.257146e-04,1.255643e-04,1.252086e-04,1.251770e-04,1.247750e-04,1.246765e-04,1.243598e-04,1.241221e-04,1.239330e-04,1.235490e-04,1.234961e-04,1.230504e-04,1.229603e-04,1.225969e-04,1.223585e-04,1.221370e-04,1.217462e-04,1.216714e-04,1.212011e-04,1.211255e-04,1.207269e-04,1.204982e-04,1.202497e-04,1.198661e-04,1.197700e-04,1.192886e-04,1.192307e-04,1.188059e-04,1.185933e-04,1.183226e-04,1.179551e-04,1.178390e-04,1.173558e-04,1.173171e-04,1.168731e-04,1.166803e-04,1.163915e-04,1.160456e-04,1.159113e-04,1.154327e-04,1.154136e-04,1.149561e-04,1.147851e-04,1.144817e-04,1.141606e-04,1.140099e-04,1.135407e-04,1.129258e-04,1.123163e-04,1.117128e-04,1.111153e-04,1.105243e-04,1.099400e-04,1.093627e-04,1.087924e-04,1.082294e-04,1.076739e-04,1.071258e-04,1.065855e-04,1.060528e-04,1.055279e-04,1.050108e-04,1.045016e-04,1.040002e-04,1.035068e-04,1.030212e-04,1.025435e-04,1.020736e-04,1.016116e-04,1.011573e-04,1.007108e-04
0.000000e+00,3.033591e-11,7.480546e-11,2.774765e-10,6.521144e-10,9.617280e-10,2.214674e-09,2.282036e-09,4.421384e-09,5.190829e-09,7.551969e-09,9.974576e-09,1.183717e-08,1.692530e-08,1.742278e-08,2.440715e-08,2.629494e-08,3.280202e-08,3.809302e-08,4.253028e-08,5.209524e-08,5.346692e-08,6.547479e-08,6.799280e-08,7.841626e-08,8.546893e-08,9.215295e-08,1.042035e-07,1.065443e-07,1.214476e-07,1.238701e-07,1.367201e-07,1.441407e-07,1.522215e-07,1.646965e-07,1.678170e-07,1.833802e-07,1.852400e-07,1.987954e-07,2.055040e-07,2.139590e-07,2.252590e-07,2.287807e-07,2.431838e-07,2.443160e-07,2.571050e-07,2.625268e-07,2.704938e-07,2.797820e-07,2.833117e-07,2.955310e-07,2.960071e-07,3.071338e-07,3.111579e-07,3.181106e-07,3.252158e-07,3.284590e-07,3.381829e-07,3.472911e-07,3.500778e-07,3.557966e-07,3.609311e-07,3.637154e-07,3.707829e-07,3.710662e-07,3.778694e-07,3.796791e-07,3.841467e-07,3.876699e-07,3.899205e-07,3.948075e-07,3.952139e-07,4.000499e-07,4.011451e-07,4.044516e-07,4.067353e-07,4.084416e-07,4.116300e-07,4.120422e-07,4.152749e-07,4.158791e-07,4.181607e-07,4.195310e-07,4.207199e-07,4.226314e-07,4.229718e-07,4.249353e-07,4.252239e-07,4.266280e-07,4.273493e-07,4.280669e-07,4.290463e-07,4.292683e-07,4.302474e-07,4.303506e-07,4.310188e-07,4.312961e-07,4.315964e-07,4.319139e-07,4.319934e-07,4.322220e-07,4.322334e-07,4.322940e-07,4.322815e-07,4.322205e-07,4.320833e-07,4.320119e-07,4.316780e-07,4.316622e-07,4.312281e-07,4.310395e-07,4.306711e-07,4.302353e-07,4.300151e-07,4.292678e-07,4.284366e-07,4.281541e-07,4.275284e-07,4.269096e-07,4.265495e-07,4.255489e-07,4.255060e-07,4.244037e-07,4.240852e-07,4.232477e-07,4.225306e-07,4.220432e-07,4.208963e-07,4.207949e-07,4.195071e-07,4.191926e-07,4.181839e-07,4.174290e-07,4.168293e-07,4.156141e-07,4.154468e-07,4.140399e-07,4.137558e-07,4.126116e-07,4.118615e-07,4.111650e-07,4.099376e-07,4.097027e-07,4.082275e-07,4.079904e-07,4.067416e-07,4.060252e-07,4.052473e-07,4.040473e-07,4.037468e-07,4.022419e-07,4.020611e-07,4.007345e-07,4.000708e-07,3.992262e-07,3.980803e-07,3.977186e-07,3.962132e-07,3.960929e-07,3.947112e-07,3.941117e-07,3.932140e-07,3.921396e-07,3.917227e-07,3.902383e-07,3.901791e-07,3.887619e-07,3.882325e-07,3.872943e-07,3.863017e-07,3.858363e-07,3.843887e-07,3.824950e-07,3.806220e-07,3.787711e-07,3.769433e-07,3.751395e-07,3.733608e-07,3.716077e-07,3.698808e-07,3.681808e-07,3.665079e-07,3.648626e-07,3.632450e-07,3.616554e-07,3.600938e-07,3.585604e-07,3.570551e-07,3.555780e-07,3.541288e-07,3.527076e-07,3.513141e-07,3.499482e-07,3.486096e-07,3.472980e-07,3.460134e-07
0.000000e+00,1.795760e-11,4.159336e-11,1.444075e-10,3.293747e-10,4.807667e-10,1.091492e-09,1.124384e-09,2.177326e-09,2.560683e-09,3.753357e-09,5.000619e-09,5.972688e-09,8.661118e-09,8.925012e-09,1.261239e-08,1.359818e-08,1.694822e-08,1.961641e-08,2.181782e-08,2.646357e-08,2.711974e-08,3.277084e-08,3.393654e-08,3.869957e-08,4.187023e-08,4.484005e-08,5.011551e-08,5.112924e-08,5.750615e-08,5.853065e-08,6.391239e-08,6.698153e-08,7.029311e-08,7.534538e-08,7.659809e-08,8.278264e-08,8.351478e-08,8.880798e-08,9.140009e-08,9.464162e-08,9.893063e-08,1.002574e-07,1.056350e-07,1.060544e-07,1.107598e-07,1.127367e-07,1.156222e-07,1.189575e-07,1.202169e-07,1.245424e-07,1.247098e-07,1.286002e-07,1.299963e-07,1.323947e-07,1.348276e-07,1.359320e-07,1.392199e-07,1.422675e-07,1.431935e-07,1.450845e-07,1.467712e-07,1.476814e-07,1.499770e-07,1.500686e-07,1.522570e-07,1.528356e-07,1.542574e-07,1.553718e-07,1.560803e-07,1.576094e-07,1.577359e-07,1.592343e-07,1.595715e-07,1.605849e-07,1.612803e-07,1.617971e-07,1.627563e-07,1.628796e-07,1.638406e-07,1.640190e-07,1.646882e-07,1.650866e-07,1.654297e-07,1.659759e-07,1.660723e-07,1.666226e-07,1.667025e-07,1.670868e-07,1.672808e-07,1.674708e-07,1.677241e-07,1.677802e-07,1.680202e-07,1.680446e-07,1.681956e-07,1.682535e-07,1.683109e-07,1.683611e-07,1.683706e-07,1.683785e-07,1.683770e-07,1.683384e-07,1.683097e-07,1.682539e-07,1.681673e-07,1.681281e-07,1.679643e-07,1.679570e-07,1.677652e-07,1.676855e-07,1.675336e-07,1.673588e-07,1.672720e-07,1.669827e-07,1.666680e-07,1.665623e-07,1.663299e-07,1.661021e-07,1.659703e-07,1.656066e-07,1.655911e-07,1.651939e-07,1.650797e-07,1.647803e-07,1.645249e-07,1.643518e-07,1.639455e-07,1.639097e-07,1.634554e-07,1.633447e-07,1.629901e-07,1.627251e-07,1.625148e-07,1.620893e-07,1.620308e-07,1.615388e-07,1.614396e-07,1.610399e-07,1.607780e-07,1.605350e-07,1.601067e-07,1.600247e-07,1.595100e-07,1.594272e-07,1.589914e-07,1.587413e-07,1.584697e-07,1.580504e-07,1.579454e-07,1.574192e-07,1.573559e-07,1.568915e-07,1.566590e-07,1.563629e-07,1.559608e-07,1.558338e-07,1.553047e-07,1.552624e-07,1.547760e-07,1.545647e-07,1.542480e-07,1.538685e-07,1.537211e-07,1.531957e-07,1.531747e-07,1.526719e-07,1.524839e-07,1.521502e-07,1.517967e-07,1.516307e-07,1.511138e-07,1.504357e-07,1.497628e-07,1.490955e-07,1.484344e-07,1.477796e-07,1.471315e-07,1.464903e-07,1.458564e-07,1.452299e-07,1.446109e-07,1.439998e-07,1.433965e-07,1.428012e-07,1.422141e-07,1.416351e-07,1.410643e-07,1.405019e-07,1.399478e-07,1.394020e-07,1.388646e-07,1.383355e-07,1.378148e-07,1.373024e-07,1.367982e-07
0.000000e+00,1.348285e-12,3.084997e-12,1.061216e-11,2.422865e-11,3.547944e-11,8.189210e-11,8.443799e-11,1.682893e-10,1.998747e-10,3.011854e-10,4.109001e-10,4.980518e-10,7.412906e-10,7.651245e-10,1.094787e-09,1.181790e-09,1.474536e-09,1.705319e-09,1.894721e-09,2.292934e-09,2.349115e-09,2.833432e-09,2.933573e-09,3.344176e-09,3.619104e-09,3.878016e-09,4.341781e-09,4.431514e-09,5.001033e-09,5.093390e-09,5.582770e-09,5.865199e-09,6.172825e-09,6.648236e-09,6.767300e-09,7.362399e-09,7.433679e-09,7.954519e-09,8.213237e-09,8.540323e-09,8.979444e-09,9.116800e-09,9.681302e-09,9.725874e-09,1.023155e-08,1.044721e-08,1.076563e-08,1.113928e-08,1.128201e-08,1.177950e-08,1.179900e-08,1.225725e-08,1.242428e-08,1.271465e-08,1.301390e-08,1.315140e-08,1.356739e-08,1.396271e-08,1.408488e-08,1.433759e-08,1.456696e-08,1.469241e-08,1.501460e-08,1.502764e-08,1.534384e-08,1.542904e-08,1.564162e-08,1.581171e-08,1.592163e-08,1.616415e-08,1.618457e-08,1.643113e-08,1.648795e-08,1.666203e-08,1.678475e-08,1.687796e-08,1.705617e-08,1.707964e-08,1.726775e-08,1.730380e-08,1.744294e-08,1.752916e-08,1.760587e-08,1.773371e-08,1.775716e-08,1.789741e-08,1.791887e-08,1.802720e-08,1.808595e-08,1.814708e-08,1.823619e-08,1.825756e-08,1.835916e-08,1.837078e-08,1.845235e-08,1.849080e-08,1.853757e-08,1.859729e-08,1.861527e-08,1.868585e-08,1.869120e-08,1.874969e-08,1.877343e-08,1.880717e-08,1.884480e-08,1.885862e-08,1.890438e-08,1.890609e-08,1.894475e-08,1.895803e-08,1.898004e-08,1.900126e-08,1.901051e-08,1.903643e-08,1.905805e-08,1.906410e-08,1.907561e-08,1.908481e-08,1.908932e-08,1.909906e-08,1.909940e-08,1.910604e-08,1.910731e-08,1.910944e-08,1.911000e-08,1.910978e-08,1.910752e-08,1.910721e-08,1.910191e-08,1.910024e-08,1.909401e-08,1.908852e-08,1.908368e-08,1.907267e-08,1.907104e-08,1.905621e-08,1.905300e-08,1.903933e-08,1.902978e-08,1.902051e-08,1.900327e-08,1.899985e-08,1.897746e-08,1.897373e-08,1.895345e-08,1.894137e-08,1.892789e-08,1.890641e-08,1.890089e-08,1.887253e-08,1.886904e-08,1.884288e-08,1.882945e-08,1.881203e-08,1.878781e-08,1.878004e-08,1.874698e-08,1.874429e-08,1.871292e-08,1.869903e-08,1.867793e-08,1.865218e-08,1.864205e-08,1.860535e-08,1.860386e-08,1.856788e-08,1.855421e-08,1.852969e-08,1.850333e-08,1.849082e-08,1.845134e-08,1.839833e-08,1.834441e-08,1.828966e-08,1.823416e-08,1.817801e-08,1.812126e-08,1.806399e-08,1.800626e-08,1.794814e-08,1.788968e-08,1.783094e-08,1.777197e-08,1.771281e-08,1.765351e-08,1.759412e-08,1.753467e-08,1.747520e-08,1.741574e-08,1.735633e-08,1.729700e-08,1.723778e-08,1.717869e-08,1.711976e-08,1.706102e-08
0.000000e+00,8.011015e-11,3.724658e-10,3.457638e-09,1.441723e-08,2.728422e-08,1.039559e-07,1.089726e-07,3.028378e-07,3.859304e-07,6.742538e-07,1.012238e-06,1.295671e-06,2.154703e-06,2.244542e-06,3.600240e-06,3.994554e-06,5.435556e-06,6.693533e-06,7.802730e-06,1.034317e-05,1.072266e-05,1.418521e-05,1.494025e-05,1.815803e-05,2.041108e-05,2.259674e-05,2.664920e-05,2.745193e-05,3.267278e-05,3.353865e-05,3.820845e-05,4.096257e-05,4.400852e-05,4.880552e-05,5.002330e-05,5.620424e-05,5.695488e-05,6.250453e-05,6.530291e-05,6.887971e-05,7.374927e-05,7.528828e-05,8.169223e-05,8.220330e-05,8.805729e-05,9.058550e-05,9.435313e-05,9.882832e-05,1.005534e-04,1.066356e-04,1.068761e-04,1.125808e-04,1.146845e-04,1.183737e-04,1.222193e-04,1.240018e-04,1.294556e-04,1.347279e-04,1.363758e-04,1.398136e-04,1.429690e-04,1.447095e-04,1.492294e-04,1.494139e-04,1.539265e-04,1.551557e-04,1.582479e-04,1.607496e-04,1.623797e-04,1.660155e-04,1.663243e-04,1.700846e-04,1.709601e-04,1.736641e-04,1.755911e-04,1.770666e-04,1.799175e-04,1.802961e-04,1.833569e-04,1.839492e-04,1.862536e-04,1.876965e-04,1.889906e-04,1.911698e-04,1.915728e-04,1.940047e-04,1.943801e-04,1.962910e-04,1.973381e-04,1.984365e-04,2.000547e-04,2.004459e-04,2.023237e-04,2.025405e-04,2.040746e-04,2.048060e-04,2.057031e-04,2.068615e-04,2.072134e-04,2.086101e-04,2.087171e-04,2.098974e-04,2.103826e-04,2.110793e-04,2.118674e-04,2.121601e-04,2.131435e-04,2.131809e-04,2.140336e-04,2.143319e-04,2.148340e-04,2.153289e-04,2.155484e-04,2.161804e-04,2.167333e-04,2.168942e-04,2.172107e-04,2.174780e-04,2.176156e-04,2.179391e-04,2.179513e-04,2.182207e-04,2.182847e-04,2.184270e-04,2.185215e-04,2.185728e-04,2.186560e-04,2.186609e-04,2.186941e-04,2.186942e-04,2.186749e-04,2.186422e-04,2.186058e-04,2.185057e-04,2.184892e-04,2.183274e-04,2.182898e-04,2.181227e-04,2.180000e-04,2.178771e-04,2.176409e-04,2.175929e-04,2.172719e-04,2.172173e-04,2.169162e-04,2.167336e-04,2.165275e-04,2.161940e-04,2.161076e-04,2.156584e-04,2.156026e-04,2.151814e-04,2.149631e-04,2.146782e-04,2.142791e-04,2.141503e-04,2.135992e-04,2.135542e-04,2.130264e-04,2.127915e-04,2.124331e-04,2.119941e-04,2.118207e-04,2.111905e-04,2.111649e-04,2.105435e-04,2.103068e-04,2.098810e-04,2.094222e-04,2.092041e-04,2.085138e-04,2.075838e-04,2.066344e-04,2.056677e-04,2.046857e-04,2.036903e-04,2.026831e-04,2.016658e-04,2.006400e-04,1.996071e-04,1.985685e-04,1.975255e-04,1.964792e-04,1.954307e-04,1.943812e-04,1.933317e-04,1.922829e-04,1.912359e-04,1.901913e-04,1.891500e-04,1.881126e-04,1.870798e-04,1.860522e-04,1.850302e-04,1.840145e-04
0.000000e+00,6.971838e-11,1.886958e-10,7.746014e-10,1.913126e-09,2.877431e-09,6.889199e-09,7.108484e-09,1.421155e-08,1.682295e-08,2.499542e-08,3.360436e-08,4.036138e-08,5.934808e-08,6.124096e-08,8.834734e-08,9.581003e-08,1.218209e-07,1.431804e-07,1.611681e-07,2.000239e-07,2.055971e-07,2.543363e-07,2.645421e-07,3.067348e-07,3.352422e-07,3.622405e-07,4.109025e-07,4.203570e-07,4.806126e-07,4.904210e-07,5.425444e-07,5.727322e-07,6.056938e-07,6.567858e-07,6.696086e-07,7.338489e-07,7.415594e-07,7.979946e-07,8.260858e-07,8.616505e-07,9.094767e-07,9.244536e-07,9.860787e-07,9.909490e-07,1.046240e-06,1.069838e-06,1.104692e-06,1.145602e-06,1.161229e-06,1.215685e-06,1.217818e-06,1.267932e-06,1.286181e-06,1.317875e-06,1.350485e-06,1.365449e-06,1.410618e-06,1.453369e-06,1.466540e-06,1.493711e-06,1.518277e-06,1.531669e-06,1.565904e-06,1.567284e-06,1.600607e-06,1.609535e-06,1.631699e-06,1.649313e-06,1.660631e-06,1.685402e-06,1.687475e-06,1.712310e-06,1.717980e-06,1.735216e-06,1.747231e-06,1.756275e-06,1.773346e-06,1.775571e-06,1.793184e-06,1.796512e-06,1.809196e-06,1.816916e-06,1.823686e-06,1.834740e-06,1.836733e-06,1.848412e-06,1.850159e-06,1.858796e-06,1.863342e-06,1.867957e-06,1.874450e-06,1.875961e-06,1.882875e-06,1.883635e-06,1.888762e-06,1.891042e-06,1.893681e-06,1.896807e-06,1.897689e-06,1.900842e-06,1.901059e-06,1.903191e-06,1.903917e-06,1.904787e-06,1.905495e-06,1.905676e-06,1.905902e-06,1.905898e-06,1.905510e-06,1.905225e-06,1.904538e-06,1.903567e-06,1.903026e-06,1.901009e-06,1.898523e-06,1.897633e-06,1.895598e-06,1.893511e-06,1.892267e-06,1.888713e-06,1.888558e-06,1.884499e-06,1.883303e-06,1.880115e-06,1.877340e-06,1.875432e-06,1.870879e-06,1.870473e-06,1.865258e-06,1.863972e-06,1.859811e-06,1.856665e-06,1.854148e-06,1.849003e-06,1.848290e-06,1.842253e-06,1.841026e-06,1.836054e-06,1.832771e-06,1.829708e-06,1.824274e-06,1.823229e-06,1.816632e-06,1.815566e-06,1.809929e-06,1.806677e-06,1.803132e-06,1.797634e-06,1.796252e-06,1.789301e-06,1.788463e-06,1.782288e-06,1.779185e-06,1.775223e-06,1.769824e-06,1.768114e-06,1.760970e-06,1.760397e-06,1.753799e-06,1.750924e-06,1.746608e-06,1.741421e-06,1.739403e-06,1.732191e-06,1.731903e-06,1.724979e-06,1.722383e-06,1.717771e-06,1.712875e-06,1.710573e-06,1.703390e-06,1.693938e-06,1.684530e-06,1.675173e-06,1.665877e-06,1.656647e-06,1.647491e-06,1.638414e-06,1.629421e-06,1.620518e-06,1.611708e-06,1.602995e-06,1.594382e-06,1.585872e-06,1.577468e-06,1.569171e-06,1.560984e-06,1.552907e-06,1.544943e-06,1.537092e-06,1.529354e-06,1.521731e-06,1.514223e-06,1.506829e-06,1.499550e-06
0.000000e+00,1.291845e-12,2.952175e-12,1.009823e-11,2.284045e-11,3.320351e-11,7.454061e-11,7.674747e-11,1.464435e-10,1.713930e-10,2.477534e-10,3.259221e-10,3.859659e-10,5.500602e-10,5.661288e-10,7.927923e-10,8.545373e-10,1.069528e-09,1.247163e-09,1.398204e-09,1.729907e-09,1.778097e-09,2.205131e-09,2.295588e-09,2.671816e-09,2.926921e-09,3.168245e-09,3.600473e-09,3.683838e-09,4.208876e-09,4.293192e-09,4.735254e-09,4.986452e-09,5.256568e-09,5.666607e-09,5.767870e-09,6.265363e-09,6.323988e-09,6.746148e-09,6.951816e-09,7.208044e-09,7.545450e-09,7.649452e-09,8.069264e-09,8.101892e-09,8.466781e-09,8.619457e-09,8.841656e-09,9.097505e-09,9.193834e-09,9.523506e-09,9.536230e-09,9.831057e-09,9.936462e-09,1.011703e-08,1.029951e-08,1.038210e-08,1.062701e-08,1.085260e-08,1.092084e-08,1.105971e-08,1.118298e-08,1.124924e-08,1.141547e-08,1.142208e-08,1.157912e-08,1.162037e-08,1.172123e-08,1.179969e-08,1.184927e-08,1.195535e-08,1.196406e-08,1.206641e-08,1.208921e-08,1.215707e-08,1.220301e-08,1.223678e-08,1.229842e-08,1.230624e-08,1.236609e-08,1.237697e-08,1.241698e-08,1.244009e-08,1.245948e-08,1.248911e-08,1.249415e-08,1.252153e-08,1.252526e-08,1.254210e-08,1.254970e-08,1.255634e-08,1.256346e-08,1.256467e-08,1.256752e-08,1.256751e-08,1.256526e-08,1.256274e-08,1.255826e-08,1.254998e-08,1.254686e-08,1.253138e-08,1.252998e-08,1.251212e-08,1.250341e-08,1.248935e-08,1.247093e-08,1.246333e-08,1.243433e-08,1.243311e-08,1.240255e-08,1.239048e-08,1.236823e-08,1.234353e-08,1.233156e-08,1.229272e-08,1.225191e-08,1.223846e-08,1.220928e-08,1.218111e-08,1.216498e-08,1.212103e-08,1.211917e-08,1.207198e-08,1.205853e-08,1.202353e-08,1.199391e-08,1.197395e-08,1.192743e-08,1.192334e-08,1.187182e-08,1.185933e-08,1.181947e-08,1.178984e-08,1.176640e-08,1.171915e-08,1.171268e-08,1.165839e-08,1.164747e-08,1.160361e-08,1.157496e-08,1.154841e-08,1.150177e-08,1.149286e-08,1.143701e-08,1.142805e-08,1.138092e-08,1.135393e-08,1.132464e-08,1.127953e-08,1.126823e-08,1.121174e-08,1.120495e-08,1.115519e-08,1.113031e-08,1.109864e-08,1.105568e-08,1.104212e-08,1.098567e-08,1.098116e-08,1.092932e-08,1.090681e-08,1.087310e-08,1.083271e-08,1.081703e-08,1.076115e-08,1.075892e-08,1.070548e-08,1.068550e-08,1.065004e-08,1.061249e-08,1.059485e-08,1.053994e-08,1.046790e-08,1.039639e-08,1.032547e-08,1.025515e-08,1.018546e-08,1.011643e-08,1.004808e-08,9.980422e-09,9.913479e-09,9.847264e-09,9.781787e-09,9.717061e-09,9.653093e-09,9.589889e-09,9.527457e-09,9.465800e-09,9.404922e-09,9.344823e-09,9.285506e-09,9.226969e-09,9.169213e-09,9.112235e-09,9.056034e-09,9.000605e-09
0.000000e+00,2.560782e-11,5.879269e-11,2.022954e-10,4.593524e-10,6.691204e-10,1.510606e-09,1.555721e-09,2.989540e-09,3.506869e-09,5.102706e-09,6.754631e-09,8.034902e-09,1.157416e-08,1.192315e-08,1.686421e-08,1.820935e-08,2.285909e-08,2.664004e-08,2.980210e-08,3.657245e-08,3.753733e-08,4.591433e-08,4.765509e-08,5.480499e-08,5.959420e-08,6.409963e-08,7.214720e-08,7.369997e-08,8.351469e-08,8.509912e-08,9.345763e-08,9.825174e-08,1.034476e-07,1.114225e-07,1.134091e-07,1.232729e-07,1.244470e-07,1.329773e-07,1.371825e-07,1.424682e-07,1.495099e-07,1.516996e-07,1.606333e-07,1.613342e-07,1.692389e-07,1.725839e-07,1.774932e-07,1.832089e-07,1.853791e-07,1.928856e-07,1.931779e-07,2.000068e-07,2.024756e-07,2.067410e-07,2.111000e-07,2.130901e-07,2.190590e-07,2.246553e-07,2.263689e-07,2.298883e-07,2.330517e-07,2.347688e-07,2.391337e-07,2.393090e-07,2.435215e-07,2.446441e-07,2.474199e-07,2.496137e-07,2.510177e-07,2.540741e-07,2.543287e-07,2.573667e-07,2.580567e-07,2.601451e-07,2.615926e-07,2.626772e-07,2.647121e-07,2.649760e-07,2.670541e-07,2.674443e-07,2.689236e-07,2.698173e-07,2.705963e-07,2.718574e-07,2.720833e-07,2.733955e-07,2.735899e-07,2.745432e-07,2.750385e-07,2.755362e-07,2.762256e-07,2.763839e-07,2.770954e-07,2.771720e-07,2.776790e-07,2.778974e-07,2.781428e-07,2.784200e-07,2.784946e-07,2.787415e-07,2.787570e-07,2.788905e-07,2.789242e-07,2.789481e-07,2.789364e-07,2.789204e-07,2.788133e-07,2.788074e-07,2.786323e-07,2.785500e-07,2.783825e-07,2.781760e-07,2.780690e-07,2.776964e-07,2.772689e-07,2.771213e-07,2.767909e-07,2.764602e-07,2.762661e-07,2.757218e-07,2.756983e-07,2.750909e-07,2.749142e-07,2.744471e-07,2.740447e-07,2.737701e-07,2.731204e-07,2.730628e-07,2.723277e-07,2.721475e-07,2.715676e-07,2.711318e-07,2.707848e-07,2.700789e-07,2.699815e-07,2.691599e-07,2.689936e-07,2.683220e-07,2.678805e-07,2.674696e-07,2.667438e-07,2.666046e-07,2.657285e-07,2.655874e-07,2.648428e-07,2.644148e-07,2.639492e-07,2.632293e-07,2.630488e-07,2.621429e-07,2.620339e-07,2.612328e-07,2.608313e-07,2.603195e-07,2.596240e-07,2.594042e-07,2.584876e-07,2.584143e-07,2.575709e-07,2.572043e-07,2.566547e-07,2.559958e-07,2.557399e-07,2.548271e-07,2.547907e-07,2.539172e-07,2.535904e-07,2.530106e-07,2.523964e-07,2.521081e-07,2.512100e-07,2.500323e-07,2.488644e-07,2.477072e-07,2.465615e-07,2.454282e-07,2.443077e-07,2.432009e-07,2.421080e-07,2.410297e-07,2.399662e-07,2.389180e-07,2.378852e-07,2.368681e-07,2.358670e-07,2.348818e-07,2.339129e-07,2.329601e-07,2.320236e-07,2.311034e-07,2.301995e-07,2.293118e-07,2.284403e-07,2.275850e-07,2.267456e-07
0.000000e+00,3.580900e-11,1.425833e-10,9.934493e-10,3.310359e-09,5.614951e-09,1.675678e-08,1.741014e-08,3.981517e-08,4.843408e-08,7.606151e-08,1.057436e-07,1.292435e-07,1.957303e-07,2.023863e-07,2.984077e-07,3.251528e-07,4.198228e-07,4.995186e-07,5.680948e-07,7.206301e-07,7.429666e-07,9.424645e-07,9.850670e-07,1.163642e-06,1.286173e-06,1.403355e-06,1.616866e-06,1.658644e-06,1.926774e-06,1.970693e-06,2.205176e-06,2.341730e-06,2.491383e-06,2.724361e-06,2.783008e-06,3.077743e-06,3.113215e-06,3.373390e-06,3.503224e-06,3.667879e-06,3.889741e-06,3.959310e-06,4.245965e-06,4.268645e-06,4.526330e-06,4.636416e-06,4.799102e-06,4.990175e-06,5.063189e-06,5.317706e-06,5.327677e-06,5.561962e-06,5.647279e-06,5.795448e-06,5.947886e-06,6.017821e-06,6.228881e-06,6.428556e-06,6.490051e-06,6.616886e-06,6.731519e-06,6.793999e-06,6.953667e-06,6.960103e-06,7.115463e-06,7.157081e-06,7.260395e-06,7.342494e-06,7.395251e-06,7.510744e-06,7.520409e-06,7.636264e-06,7.662730e-06,7.743223e-06,7.799387e-06,7.841697e-06,7.921662e-06,7.932097e-06,8.014831e-06,8.030493e-06,8.090299e-06,8.126802e-06,8.158893e-06,8.211476e-06,8.220991e-06,8.276958e-06,8.285368e-06,8.327148e-06,8.349287e-06,8.371899e-06,8.404001e-06,8.411534e-06,8.446362e-06,8.450232e-06,8.476676e-06,8.488657e-06,8.502756e-06,8.519907e-06,8.524865e-06,8.543255e-06,8.544572e-06,8.558161e-06,8.563199e-06,8.569808e-06,8.576296e-06,8.578409e-06,8.584162e-06,8.584336e-06,8.587258e-06,8.587756e-06,8.587873e-06,8.586961e-06,8.586177e-06,8.582325e-06,8.576468e-06,8.574193e-06,8.568745e-06,8.562884e-06,8.559288e-06,8.548694e-06,8.548222e-06,8.535662e-06,8.531893e-06,8.521720e-06,8.512734e-06,8.506498e-06,8.491446e-06,8.490092e-06,8.472596e-06,8.468244e-06,8.454093e-06,8.443323e-06,8.434666e-06,8.416866e-06,8.414390e-06,8.393336e-06,8.389037e-06,8.371570e-06,8.359993e-06,8.349157e-06,8.329872e-06,8.326155e-06,8.302619e-06,8.298808e-06,8.278602e-06,8.266918e-06,8.254153e-06,8.234314e-06,8.229318e-06,8.204139e-06,8.201096e-06,8.178657e-06,8.167359e-06,8.152911e-06,8.133188e-06,8.126935e-06,8.100764e-06,8.098662e-06,8.074428e-06,8.063854e-06,8.047956e-06,8.028829e-06,8.021378e-06,7.994717e-06,7.993649e-06,7.967999e-06,7.958370e-06,7.941245e-06,7.923044e-06,7.914478e-06,7.887716e-06,7.852431e-06,7.817227e-06,7.782140e-06,7.747203e-06,7.712446e-06,7.677895e-06,7.643575e-06,7.609510e-06,7.575717e-06,7.542217e-06,7.509025e-06,7.476156e-06,7.443623e-06,7.411438e-06,7.379610e-06,7.348148e-06,7.317061e-06,7.286356e-06,7.256037e-06,7.226110e-06,7.196579e-06,7.167448e-06,7.138718e-06,7.110392e-06
0.000000e+00,1.876701e-11,9.589882e-11,1.078634e-09,5.331511e-09,1.105449e-08,5.294398e-08,5.600504e-08,1.931006e-07,2.604178e-07,5.224865e-07,8.735666e-07,1.196982e-06,2.303978e-06,2.429174e-06,4.495450e-06,5.151970e-06,7.736054e-06,1.021027e-05,1.254973e-05,1.843948e-05,1.938128e-05,2.870103e-05,3.090515e-05,4.097712e-05,4.867549e-05,5.664409e-05,7.269883e-05,7.607319e-05,9.954906e-05,1.036945e-04,1.272553e-04,1.420837e-04,1.592693e-04,1.879681e-04,1.955653e-04,2.360226e-04,2.411482e-04,2.804379e-04,3.011669e-04,3.285404e-04,3.673665e-04,3.800062e-04,4.344733e-04,4.389489e-04,4.915555e-04,5.150315e-04,5.508542e-04,5.946968e-04,6.119692e-04,6.745073e-04,6.770330e-04,7.380893e-04,7.611644e-04,8.023553e-04,8.462741e-04,8.669686e-04,9.316186e-04,9.960218e-04,1.016536e-03,1.059923e-03,1.100450e-03,1.123095e-03,1.182868e-03,1.185338e-03,1.246478e-03,1.263379e-03,1.306367e-03,1.341647e-03,1.364879e-03,1.417403e-03,1.421909e-03,1.477373e-03,1.490444e-03,1.531204e-03,1.560617e-03,1.583352e-03,1.627821e-03,1.633780e-03,1.682465e-03,1.691991e-03,1.729394e-03,1.753102e-03,1.774565e-03,1.811154e-03,1.817984e-03,1.859663e-03,1.866172e-03,1.899623e-03,1.918200e-03,1.937888e-03,1.967299e-03,1.974488e-03,2.009455e-03,2.013543e-03,2.042825e-03,2.057012e-03,2.074636e-03,2.097795e-03,2.104929e-03,2.133745e-03,2.135987e-03,2.161126e-03,2.171686e-03,2.187115e-03,2.204990e-03,2.211756e-03,2.235093e-03,2.236000e-03,2.257168e-03,2.264815e-03,2.278026e-03,2.291535e-03,2.297708e-03,2.316257e-03,2.333714e-03,2.339076e-03,2.350120e-03,2.360087e-03,2.365515e-03,2.379379e-03,2.379938e-03,2.393426e-03,2.397040e-03,2.406016e-03,2.413155e-03,2.417745e-03,2.427805e-03,2.428648e-03,2.438758e-03,2.441070e-03,2.448108e-03,2.453024e-03,2.456730e-03,2.463740e-03,2.464655e-03,2.471913e-03,2.473288e-03,2.478533e-03,2.481733e-03,2.484543e-03,2.489140e-03,2.489970e-03,2.494839e-03,2.495568e-03,2.499176e-03,2.501076e-03,2.503005e-03,2.505719e-03,2.506350e-03,2.509232e-03,2.509548e-03,2.511674e-03,2.512615e-03,2.513697e-03,2.514966e-03,2.515320e-03,2.516562e-03,2.516646e-03,2.517443e-03,2.517698e-03,2.517980e-03,2.518164e-03,2.518191e-03,2.518091e-03,2.518081e-03,2.517698e-03,2.517487e-03,2.517025e-03,2.516415e-03,2.516088e-03,2.514900e-03,2.512972e-03,2.510661e-03,2.507994e-03,2.504999e-03,2.501700e-03,2.498121e-03,2.494285e-03,2.490212e-03,2.485923e-03,2.481437e-03,2.476770e-03,2.471941e-03,2.466964e-03,2.461855e-03,2.456628e-03,2.451296e-03,2.445871e-03,2.440366e-03,2.434790e-03,2.429155e-03,2.423471e-03,2.417745e-03,2.411987e-03,2.406205e-03
0.000000e+00,2.603050e-12,5.912689e-12,1.999893e-11,4.481375e-11,6.483502e-11,1.439488e-10,1.481507e-10,2.803029e-10,3.274724e-10,4.717718e-10,6.196553e-10,7.334434e-10,1.044934e-09,1.075427e-09,1.503196e-09,1.618401e-09,2.012595e-09,2.328567e-09,2.589709e-09,3.139499e-09,3.216832e-09,3.877868e-09,4.012956e-09,4.559904e-09,4.919376e-09,5.252683e-09,5.836687e-09,5.947737e-09,6.637784e-09,6.747288e-09,7.316416e-09,7.636416e-09,7.977976e-09,8.491600e-09,8.617542e-09,9.230953e-09,9.302636e-09,9.814814e-09,1.006165e-08,1.036651e-08,1.076312e-08,1.088419e-08,1.136673e-08,1.140379e-08,1.181358e-08,1.198233e-08,1.222482e-08,1.249914e-08,1.260097e-08,1.294298e-08,1.295596e-08,1.325207e-08,1.335557e-08,1.352973e-08,1.370142e-08,1.377760e-08,1.399742e-08,1.419100e-08,1.424769e-08,1.436014e-08,1.445639e-08,1.450663e-08,1.462757e-08,1.463221e-08,1.473857e-08,1.476512e-08,1.482729e-08,1.487270e-08,1.489990e-08,1.495368e-08,1.495781e-08,1.500232e-08,1.501115e-08,1.503467e-08,1.504789e-08,1.505597e-08,1.506641e-08,1.506727e-08,1.506951e-08,1.506895e-08,1.506356e-08,1.505750e-08,1.505022e-08,1.503384e-08,1.503022e-08,1.500420e-08,1.499952e-08,1.497278e-08,1.495594e-08,1.493650e-08,1.490431e-08,1.489586e-08,1.485130e-08,1.484571e-08,1.480324e-08,1.478108e-08,1.475205e-08,1.471127e-08,1.469807e-08,1.464162e-08,1.463700e-08,1.458296e-08,1.455894e-08,1.452236e-08,1.447765e-08,1.446005e-08,1.439623e-08,1.439365e-08,1.433112e-08,1.430739e-08,1.426487e-08,1.421926e-08,1.419766e-08,1.412963e-08,1.406091e-08,1.403879e-08,1.399163e-08,1.394704e-08,1.392190e-08,1.385463e-08,1.385182e-08,1.378149e-08,1.376176e-08,1.371100e-08,1.366865e-08,1.364041e-08,1.357546e-08,1.356982e-08,1.349927e-08,1.348236e-08,1.342884e-08,1.338947e-08,1.335858e-08,1.329693e-08,1.328854e-08,1.321877e-08,1.320485e-08,1.314930e-08,1.311331e-08,1.308018e-08,1.302242e-08,1.301145e-08,1.294313e-08,1.293224e-08,1.287527e-08,1.284285e-08,1.280787e-08,1.275431e-08,1.274097e-08,1.267459e-08,1.266666e-08,1.260875e-08,1.257996e-08,1.254347e-08,1.249424e-08,1.247876e-08,1.241464e-08,1.240954e-08,1.235113e-08,1.232589e-08,1.228822e-08,1.224332e-08,1.222594e-08,1.216429e-08,1.216184e-08,1.210328e-08,1.208148e-08,1.204292e-08,1.200225e-08,1.198321e-08,1.192416e-08,1.184722e-08,1.177143e-08,1.169681e-08,1.162335e-08,1.155106e-08,1.147993e-08,1.140995e-08,1.134113e-08,1.127346e-08,1.120693e-08,1.114154e-08,1.107727e-08,1.101411e-08,1.095207e-08,1.089111e-08,1.083124e-08,1.077244e-08,1.071469e-08,1.065800e-08,1.060233e-08,1.054768e-08,1.049403e-08,1.044138e-08,1.038970e-08
0.000000e+00,8.647280e-11,2.824388e-10,1.452320e-09,4.007150e-09,6.279391e-09,1.611335e-08,1.665991e-08,3.454028e-08,4.114868e-08,6.181649e-08,8.349217e-08,1.004178e-07,1.476254e-07,1.523109e-07,2.192848e-07,2.377454e-07,3.024017e-07,3.559671e-07,4.014234e-07,5.005635e-07,5.148728e-07,6.406975e-07,6.671633e-07,7.768429e-07,8.510942e-07,9.214570e-07,1.048256e-06,1.072875e-06,1.229562e-06,1.255022e-06,1.390062e-06,1.468045e-06,1.552985e-06,1.684173e-06,1.717004e-06,1.880867e-06,1.900464e-06,2.043414e-06,2.114241e-06,2.203585e-06,2.323140e-06,2.360435e-06,2.513147e-06,2.525163e-06,2.661025e-06,2.718691e-06,2.803500e-06,2.902480e-06,2.940124e-06,3.070561e-06,3.075646e-06,3.194579e-06,3.237625e-06,3.312038e-06,3.388130e-06,3.422879e-06,3.527114e-06,3.624812e-06,3.654714e-06,3.716095e-06,3.771221e-06,3.801123e-06,3.877046e-06,3.880091e-06,3.953213e-06,3.972670e-06,4.020715e-06,4.058616e-06,4.082833e-06,4.135436e-06,4.139812e-06,4.191905e-06,4.203708e-06,4.239363e-06,4.264007e-06,4.282433e-06,4.316903e-06,4.321364e-06,4.356396e-06,4.362955e-06,4.387761e-06,4.402697e-06,4.415684e-06,4.436639e-06,4.440383e-06,4.462067e-06,4.465270e-06,4.480939e-06,4.489061e-06,4.497208e-06,4.508476e-06,4.511061e-06,4.522650e-06,4.523896e-06,4.532135e-06,4.535681e-06,4.539664e-06,4.544161e-06,4.545371e-06,4.549387e-06,4.549638e-06,4.551833e-06,4.552398e-06,4.552823e-06,4.552696e-06,4.552466e-06,4.550861e-06,4.550772e-06,4.548104e-06,4.546846e-06,4.544282e-06,4.541118e-06,4.539479e-06,4.533771e-06,4.527233e-06,4.524976e-06,4.519932e-06,4.514888e-06,4.511931e-06,4.503647e-06,4.503290e-06,4.494065e-06,4.491384e-06,4.484307e-06,4.478217e-06,4.474065e-06,4.464255e-06,4.463385e-06,4.452309e-06,4.449596e-06,4.440876e-06,4.434332e-06,4.429125e-06,4.418546e-06,4.417088e-06,4.404798e-06,4.402313e-06,4.392286e-06,4.385701e-06,4.379579e-06,4.368773e-06,4.366703e-06,4.353683e-06,4.351588e-06,4.340541e-06,4.334196e-06,4.327299e-06,4.316645e-06,4.313975e-06,4.300589e-06,4.298979e-06,4.287158e-06,4.281237e-06,4.273696e-06,4.263455e-06,4.260220e-06,4.246742e-06,4.245664e-06,4.233275e-06,4.227894e-06,4.219831e-06,4.210172e-06,4.206421e-06,4.193054e-06,4.192520e-06,4.179740e-06,4.174962e-06,4.166488e-06,4.157516e-06,4.153305e-06,4.140199e-06,4.123027e-06,4.106014e-06,4.089173e-06,4.072514e-06,4.056047e-06,4.039781e-06,4.023723e-06,4.007879e-06,3.992256e-06,3.976857e-06,3.961687e-06,3.946749e-06,3.932045e-06,3.917579e-06,3.903350e-06,3.889360e-06,3.875611e-06,3.862101e-06,3.848830e-06,3.835799e-06,3.823006e-06,3.810450e-06,3.798130e-06,3.786044e-06
0.000000e+00,1.280778e-10,3.598375e-10,1.543645e-09,3.901007e-09,5.920890e-09,1.441161e-08,1.487781e-08,3.001172e-08,3.557665e-08,5.295378e-08,7.117354e-08,8.541133e-08,1.252070e-07,1.291651e-07,1.859564e-07,2.016953e-07,2.571901e-07,3.036725e-07,3.435179e-07,4.317443e-07,4.446279e-07,5.594767e-07,5.839781e-07,6.867212e-07,7.573361e-07,8.250125e-07,9.487872e-07,9.730871e-07,1.129763e-06,1.155553e-06,1.293910e-06,1.375031e-06,1.464431e-06,1.604716e-06,1.640254e-06,1.820333e-06,1.842181e-06,2.003660e-06,2.085102e-06,2.189270e-06,2.331298e-06,2.376253e-06,2.563767e-06,2.578767e-06,2.751037e-06,2.825717e-06,2.937363e-06,3.070581e-06,3.122122e-06,3.304764e-06,3.312019e-06,3.484811e-06,3.548911e-06,3.661851e-06,3.780341e-06,3.835537e-06,4.005580e-06,4.171741e-06,4.224061e-06,4.333831e-06,4.435360e-06,4.491698e-06,4.639175e-06,4.645232e-06,4.794352e-06,4.835306e-06,4.939003e-06,5.023636e-06,5.079157e-06,5.204118e-06,5.214804e-06,5.345953e-06,5.376762e-06,5.472627e-06,5.541622e-06,5.594861e-06,5.698791e-06,5.712702e-06,5.826205e-06,5.848390e-06,5.935432e-06,5.990562e-06,6.040451e-06,6.125468e-06,6.141335e-06,6.238163e-06,6.253284e-06,6.331013e-06,6.374193e-06,6.419970e-06,6.488388e-06,6.505117e-06,6.586541e-06,6.596066e-06,6.664330e-06,6.697427e-06,6.738569e-06,6.792673e-06,6.809349e-06,6.876756e-06,6.882006e-06,6.940879e-06,6.965627e-06,7.001803e-06,7.043738e-06,7.059617e-06,7.114406e-06,7.116536e-06,7.166255e-06,7.184216e-06,7.215247e-06,7.246972e-06,7.261465e-06,7.304992e-06,7.345907e-06,7.358461e-06,7.384289e-06,7.407560e-06,7.420216e-06,7.452467e-06,7.453764e-06,7.485008e-06,7.493354e-06,7.514022e-06,7.530389e-06,7.540877e-06,7.563737e-06,7.565643e-06,7.588390e-06,7.593556e-06,7.609185e-06,7.620002e-06,7.628093e-06,7.643223e-06,7.645180e-06,7.660507e-06,7.663367e-06,7.674137e-06,7.680574e-06,7.686129e-06,7.694980e-06,7.696542e-06,7.705433e-06,7.706718e-06,7.712857e-06,7.715915e-06,7.718868e-06,7.722695e-06,7.723519e-06,7.726861e-06,7.727177e-06,7.728945e-06,7.729475e-06,7.729818e-06,7.729702e-06,7.729529e-06,7.728123e-06,7.727963e-06,7.725645e-06,7.724363e-06,7.722138e-06,7.718999e-06,7.717644e-06,7.712205e-06,7.711969e-06,7.705861e-06,7.703363e-06,7.698649e-06,7.693269e-06,7.690608e-06,7.681774e-06,7.668958e-06,7.654900e-06,7.639676e-06,7.623356e-06,7.606011e-06,7.587707e-06,7.568508e-06,7.548474e-06,7.527664e-06,7.506133e-06,7.483935e-06,7.461121e-06,7.437740e-06,7.413838e-06,7.389460e-06,7.364649e-06,7.339444e-06,7.313884e-06,7.288007e-06,7.261847e-06,7.235437e-06,7.208810e-06,7.181996e-06,7.155022e-06
0.000000e+00,5.550834e-11,2.476224e-10,2.120658e-09,8.265283e-09,1.510813e-08,5.300736e-08,5.539085e-08,1.432144e-07,1.792164e-07,2.997934e-07,4.354628e-07,5.460248e-07,8.691545e-07,9.021532e-07,1.387617e-06,1.525420e-06,2.020381e-06,2.444761e-06,2.815134e-06,3.655402e-06,3.780285e-06,4.915008e-06,5.161506e-06,6.208426e-06,6.937686e-06,7.641714e-06,8.936894e-06,9.191745e-06,1.083440e-05,1.110424e-05,1.254652e-05,1.338669e-05,1.430683e-05,1.573677e-05,1.609608e-05,1.789699e-05,1.811313e-05,1.969415e-05,2.048014e-05,2.147392e-05,2.280753e-05,2.322439e-05,2.493533e-05,2.507022e-05,2.659812e-05,2.724813e-05,2.820574e-05,2.932587e-05,2.975260e-05,3.123446e-05,3.129234e-05,3.264833e-05,3.314028e-05,3.399228e-05,3.486569e-05,3.526533e-05,3.646730e-05,3.759869e-05,3.794599e-05,3.866057e-05,3.930437e-05,3.965444e-05,4.054631e-05,4.058217e-05,4.144588e-05,4.167656e-05,4.224791e-05,4.270054e-05,4.299072e-05,4.362398e-05,4.367685e-05,4.430890e-05,4.445283e-05,4.488946e-05,4.519306e-05,4.542113e-05,4.585056e-05,4.590644e-05,4.634788e-05,4.643111e-05,4.674786e-05,4.694025e-05,4.710874e-05,4.738330e-05,4.743276e-05,4.772210e-05,4.776531e-05,4.797883e-05,4.809106e-05,4.820493e-05,4.836504e-05,4.840231e-05,4.857276e-05,4.859148e-05,4.871799e-05,4.877433e-05,4.883965e-05,4.891728e-05,4.893925e-05,4.901828e-05,4.902375e-05,4.907810e-05,4.909695e-05,4.912003e-05,4.913984e-05,4.914531e-05,4.915509e-05,4.915518e-05,4.915048e-05,4.914551e-05,4.913252e-05,4.911319e-05,4.910219e-05,4.906040e-05,4.900803e-05,4.898917e-05,4.894589e-05,4.890135e-05,4.887475e-05,4.879867e-05,4.879534e-05,4.870833e-05,4.868269e-05,4.861436e-05,4.855489e-05,4.851403e-05,4.841660e-05,4.840791e-05,4.829653e-05,4.826906e-05,4.818037e-05,4.811341e-05,4.805991e-05,4.795069e-05,4.793558e-05,4.780778e-05,4.778185e-05,4.767692e-05,4.760777e-05,4.754333e-05,4.742926e-05,4.740735e-05,4.726931e-05,4.724705e-05,4.712949e-05,4.706183e-05,4.698817e-05,4.687420e-05,4.684559e-05,4.670201e-05,4.668472e-05,4.655764e-05,4.649392e-05,4.641269e-05,4.630226e-05,4.626735e-05,4.612180e-05,4.611015e-05,4.597621e-05,4.591799e-05,4.583073e-05,4.572613e-05,4.568550e-05,4.554066e-05,4.553488e-05,4.539634e-05,4.534453e-05,4.525263e-05,4.515533e-05,4.510966e-05,4.496752e-05,4.478130e-05,4.459686e-05,4.441436e-05,4.423395e-05,4.405576e-05,4.387990e-05,4.370647e-05,4.353555e-05,4.336721e-05,4.320153e-05,4.303855e-05,4.287830e-05,4.272084e-05,4.256617e-05,4.241433e-05,4.226532e-05,4.211914e-05,4.197580e-05,4.183530e-05,4.169762e-05,4.156275e-05,4.143067e-05,4.130137e-05,4.117481e-05
0.000000e+00,9.579853e-11,2.898518e-10,1.354962e-09,3.567406e-09,5.495851e-09,1.370835e-08,1.416153e-08,2.889968e-08,3.431684e-08,5.118466e-08,6.876947e-08,8.243247e-08,1.202645e-07,1.240004e-07,1.771617e-07,1.917753e-07,2.430459e-07,2.858410e-07,3.225339e-07,4.041336e-07,4.161101e-07,5.236984e-07,5.468442e-07,6.445571e-07,7.122131e-07,7.773141e-07,8.967097e-07,9.201626e-07,1.071132e-06,1.095911e-06,1.228305e-06,1.305431e-06,1.389937e-06,1.521417e-06,1.554496e-06,1.720653e-06,1.740643e-06,1.887261e-06,1.960452e-06,2.053333e-06,2.178664e-06,2.218023e-06,2.380611e-06,2.393508e-06,2.540489e-06,2.603564e-06,2.697150e-06,2.807719e-06,2.850181e-06,2.999248e-06,3.005124e-06,3.144092e-06,3.195162e-06,3.284516e-06,3.377406e-06,3.420380e-06,3.551591e-06,3.678098e-06,3.717583e-06,3.799885e-06,3.875355e-06,3.916963e-06,4.024963e-06,4.029370e-06,4.137162e-06,4.166527e-06,4.240414e-06,4.300220e-06,4.339210e-06,4.426250e-06,4.433647e-06,4.523830e-06,4.544853e-06,4.609869e-06,4.656283e-06,4.691878e-06,4.760808e-06,4.769977e-06,4.844284e-06,4.858701e-06,4.914920e-06,4.950240e-06,4.982005e-06,5.035702e-06,5.045661e-06,5.106006e-06,5.115362e-06,5.163157e-06,5.189490e-06,5.217232e-06,5.258352e-06,5.268343e-06,5.316601e-06,5.322206e-06,5.362117e-06,5.381303e-06,5.404996e-06,5.435885e-06,5.445343e-06,5.483258e-06,5.486189e-06,5.518839e-06,5.532439e-06,5.552182e-06,5.574855e-06,5.583379e-06,5.612521e-06,5.613645e-06,5.639693e-06,5.649010e-06,5.664981e-06,5.681142e-06,5.688466e-06,5.710226e-06,5.730338e-06,5.736437e-06,5.748875e-06,5.759945e-06,5.765908e-06,5.780909e-06,5.781506e-06,5.795734e-06,5.799482e-06,5.808657e-06,5.815810e-06,5.820336e-06,5.830033e-06,5.830830e-06,5.840196e-06,5.842282e-06,5.848488e-06,5.852683e-06,5.855760e-06,5.861356e-06,5.862062e-06,5.867443e-06,5.868413e-06,5.871950e-06,5.873963e-06,5.875627e-06,5.878108e-06,5.878519e-06,5.880667e-06,5.880944e-06,5.882110e-06,5.882564e-06,5.882887e-06,5.883053e-06,5.883034e-06,5.882588e-06,5.882496e-06,5.881581e-06,5.880969e-06,5.880046e-06,5.878545e-06,5.878014e-06,5.875514e-06,5.875295e-06,5.872576e-06,5.871284e-06,5.869226e-06,5.866574e-06,5.865491e-06,5.861394e-06,5.861223e-06,5.856961e-06,5.855287e-06,5.852214e-06,5.848817e-06,5.847174e-06,5.841862e-06,5.834468e-06,5.826679e-06,5.818534e-06,5.810073e-06,5.801330e-06,5.792339e-06,5.783133e-06,5.773739e-06,5.764186e-06,5.754499e-06,5.744703e-06,5.734819e-06,5.724869e-06,5.714871e-06,5.704844e-06,5.694805e-06,5.684769e-06,5.674749e-06,5.664760e-06,5.654814e-06,5.644922e-06,5.635093e-06,5.625338e-06,5.615666e-06
0.000000e+00,1.580476e-10,6.873571e-10,5.611588e-09,2.105645e-08,3.777952e-08,1.272272e-07,1.327545e-07,3.328966e-07,4.137964e-07,6.826284e-07,9.833722e-07,1.228081e-06,1.943908e-06,2.017111e-06,3.094876e-06,3.400395e-06,4.491744e-06,5.415889e-06,6.211340e-06,7.974676e-06,8.231939e-06,1.051869e-05,1.100468e-05,1.303449e-05,1.442157e-05,1.574458e-05,1.814766e-05,1.861685e-05,2.162092e-05,2.211183e-05,2.472736e-05,2.624635e-05,2.790747e-05,3.048588e-05,3.113346e-05,3.437887e-05,3.476842e-05,3.761897e-05,3.903702e-05,4.083117e-05,4.324128e-05,4.399530e-05,4.709376e-05,4.733833e-05,5.011156e-05,5.129323e-05,5.303628e-05,5.507876e-05,5.585795e-05,5.856885e-05,5.867489e-05,6.116326e-05,6.206793e-05,6.363727e-05,6.524957e-05,6.598854e-05,6.821610e-05,7.032007e-05,7.096739e-05,7.230154e-05,7.350623e-05,7.416238e-05,7.583758e-05,7.590505e-05,7.753252e-05,7.796802e-05,7.904813e-05,7.990530e-05,8.045549e-05,8.165793e-05,8.175842e-05,8.296086e-05,8.323494e-05,8.406684e-05,8.464556e-05,8.508041e-05,8.589913e-05,8.600563e-05,8.684649e-05,8.700489e-05,8.760696e-05,8.797193e-05,8.829092e-05,8.880908e-05,8.890214e-05,8.944432e-05,8.952490e-05,8.992103e-05,9.012762e-05,9.033574e-05,9.062510e-05,9.069178e-05,9.099238e-05,9.102487e-05,9.124064e-05,9.133406e-05,9.143954e-05,9.155946e-05,9.159195e-05,9.170060e-05,9.170749e-05,9.176813e-05,9.178419e-05,9.179704e-05,9.179530e-05,9.178974e-05,9.174852e-05,9.174620e-05,9.167557e-05,9.164194e-05,9.157296e-05,9.148727e-05,9.144269e-05,9.128665e-05,9.110664e-05,9.104426e-05,9.090437e-05,9.076399e-05,9.068147e-05,9.044949e-05,9.043947e-05,9.017984e-05,9.010417e-05,8.990397e-05,8.973121e-05,8.961318e-05,8.933355e-05,8.930872e-05,8.899176e-05,8.891396e-05,8.866343e-05,8.847498e-05,8.832477e-05,8.801901e-05,8.797679e-05,8.762043e-05,8.754823e-05,8.725657e-05,8.706469e-05,8.688607e-05,8.657028e-05,8.650970e-05,8.612821e-05,8.606675e-05,8.574231e-05,8.555570e-05,8.535265e-05,8.503863e-05,8.495985e-05,8.456450e-05,8.451691e-05,8.416713e-05,8.399179e-05,8.376827e-05,8.346443e-05,8.336839e-05,8.296795e-05,8.293590e-05,8.256734e-05,8.240715e-05,8.216699e-05,8.187908e-05,8.176723e-05,8.136842e-05,8.135249e-05,8.097087e-05,8.082812e-05,8.057488e-05,8.030663e-05,8.018071e-05,7.978863e-05,7.927466e-05,7.876520e-05,7.826070e-05,7.776155e-05,7.726810e-05,7.678065e-05,7.629947e-05,7.582480e-05,7.535683e-05,7.489575e-05,7.444169e-05,7.399479e-05,7.355513e-05,7.312279e-05,7.269783e-05,7.228029e-05,7.187019e-05,7.146754e-05,7.107233e-05,7.068454e-05,7.030415e-05,6.993111e-05,6.956538e-05,6.920689e-05
0.000000e+00,1.351831e-10,3.407037e-10,1.292454e-09,3.069442e-09,4.545867e-09,1.056808e-08,1.089376e-08,2.133333e-08,2.513309e-08,3.693951e-08,4.927556e-08,5.890369e-08,8.575357e-08,8.841524e-08,1.262453e-07,1.365694e-07,1.722716e-07,2.012971e-07,2.255657e-07,2.775329e-07,2.849419e-07,3.493286e-07,3.627264e-07,4.178386e-07,4.548394e-07,4.897176e-07,5.522002e-07,5.642848e-07,6.408952e-07,6.533004e-07,7.189208e-07,7.566946e-07,7.977465e-07,8.609800e-07,8.767736e-07,9.554284e-07,9.648159e-07,1.033170e-06,1.066956e-06,1.109498e-06,1.166282e-06,1.183961e-06,1.256163e-06,1.261831e-06,1.325763e-06,1.352809e-06,1.392478e-06,1.438597e-06,1.456082e-06,1.516404e-06,1.518747e-06,1.573322e-06,1.592965e-06,1.626764e-06,1.661100e-06,1.676695e-06,1.723120e-06,1.766074e-06,1.779095e-06,1.805616e-06,1.829172e-06,1.841833e-06,1.873567e-06,1.874827e-06,1.904711e-06,1.912538e-06,1.931611e-06,1.946371e-06,1.955655e-06,1.975371e-06,1.976980e-06,1.995720e-06,1.999848e-06,2.012012e-06,2.020117e-06,2.025994e-06,2.036496e-06,2.037803e-06,2.047574e-06,2.049295e-06,2.055436e-06,2.058812e-06,2.061516e-06,2.065334e-06,2.065935e-06,2.068810e-06,2.069135e-06,2.070256e-06,2.070477e-06,2.070390e-06,2.069629e-06,2.069325e-06,2.067154e-06,2.066823e-06,2.063960e-06,2.062254e-06,2.059830e-06,2.056111e-06,2.054838e-06,2.049058e-06,2.048564e-06,2.042558e-06,2.039770e-06,2.035401e-06,2.029876e-06,2.027648e-06,2.019353e-06,2.019011e-06,2.010570e-06,2.007298e-06,2.001348e-06,1.994849e-06,1.991732e-06,1.981764e-06,1.971484e-06,1.968135e-06,1.960929e-06,1.954045e-06,1.950132e-06,1.939570e-06,1.939127e-06,1.927941e-06,1.924780e-06,1.916603e-06,1.909737e-06,1.905137e-06,1.894497e-06,1.893568e-06,1.881917e-06,1.879111e-06,1.870204e-06,1.863625e-06,1.858448e-06,1.848080e-06,1.846665e-06,1.834872e-06,1.832513e-06,1.823082e-06,1.816957e-06,1.811309e-06,1.801442e-06,1.799565e-06,1.787862e-06,1.785994e-06,1.776209e-06,1.770637e-06,1.764617e-06,1.755391e-06,1.753092e-06,1.741644e-06,1.740275e-06,1.730278e-06,1.725306e-06,1.719003e-06,1.710496e-06,1.707822e-06,1.696741e-06,1.695859e-06,1.685765e-06,1.681405e-06,1.674899e-06,1.667144e-06,1.664144e-06,1.653506e-06,1.653083e-06,1.642986e-06,1.639228e-06,1.632587e-06,1.625586e-06,1.622311e-06,1.612160e-06,1.598954e-06,1.585970e-06,1.573211e-06,1.560678e-06,1.548371e-06,1.536290e-06,1.524435e-06,1.512806e-06,1.501400e-06,1.490217e-06,1.479255e-06,1.468511e-06,1.457982e-06,1.447668e-06,1.437564e-06,1.427668e-06,1.417977e-06,1.408488e-06,1.399197e-06,1.390101e-06,1.381197e-06,1.372482e-06,1.363952e-06,1.355603e-06
0.000000e+00,2.319560e-10,8.007588e-10,4.458269e-09,1.289276e-08,2.060561e-08,5.500025e-08,5.694339e-08,1.216355e-07,1.459717e-07,2.231779e-07,3.056032e-07,3.708285e-07,5.561041e-07,5.747349e-07,8.452246e-07,9.210593e-07,1.190585e-06,1.418089e-06,1.613785e-06,2.047558e-06,2.110831e-06,2.672722e-06,2.791951e-06,3.288945e-06,3.627554e-06,3.949725e-06,4.533007e-06,4.646628e-06,5.372375e-06,5.490730e-06,6.120496e-06,6.485789e-06,6.885083e-06,7.504905e-06,7.660643e-06,8.442048e-06,8.535979e-06,9.224525e-06,9.568008e-06,1.000368e-05,1.059114e-05,1.077552e-05,1.153646e-05,1.159677e-05,1.228338e-05,1.257761e-05,1.301358e-05,1.352765e-05,1.372474e-05,1.441499e-05,1.444215e-05,1.508282e-05,1.531752e-05,1.572706e-05,1.615119e-05,1.634681e-05,1.694151e-05,1.751081e-05,1.768759e-05,1.805455e-05,1.838915e-05,1.857278e-05,1.904646e-05,1.906570e-05,1.953361e-05,1.966020e-05,1.997695e-05,2.023137e-05,2.039623e-05,2.076119e-05,2.079201e-05,2.116490e-05,2.125107e-05,2.151558e-05,2.170252e-05,2.184473e-05,2.211714e-05,2.215306e-05,2.244128e-05,2.249658e-05,2.271013e-05,2.284251e-05,2.296031e-05,2.315658e-05,2.319256e-05,2.340759e-05,2.344044e-05,2.360610e-05,2.369571e-05,2.378877e-05,2.392396e-05,2.395628e-05,2.410930e-05,2.412671e-05,2.424845e-05,2.430545e-05,2.437437e-05,2.446159e-05,2.448766e-05,2.458891e-05,2.459650e-05,2.467868e-05,2.471150e-05,2.475753e-05,2.480783e-05,2.482598e-05,2.488455e-05,2.488670e-05,2.493373e-05,2.494923e-05,2.497401e-05,2.499653e-05,2.500582e-05,2.502962e-05,2.504584e-05,2.504949e-05,2.505487e-05,2.505706e-05,2.505711e-05,2.505322e-05,2.505293e-05,2.504270e-05,2.503879e-05,2.502675e-05,2.501458e-05,2.500543e-05,2.498133e-05,2.497904e-05,2.494789e-05,2.493974e-05,2.491228e-05,2.489049e-05,2.487247e-05,2.483419e-05,2.482874e-05,2.478134e-05,2.477144e-05,2.473051e-05,2.470280e-05,2.467648e-05,2.462879e-05,2.461947e-05,2.455971e-05,2.454990e-05,2.449738e-05,2.446661e-05,2.443268e-05,2.437934e-05,2.436579e-05,2.429689e-05,2.428850e-05,2.422615e-05,2.419447e-05,2.415371e-05,2.409762e-05,2.407974e-05,2.400437e-05,2.399829e-05,2.392775e-05,2.389677e-05,2.384999e-05,2.379338e-05,2.377123e-05,2.369158e-05,2.368837e-05,2.361115e-05,2.358202e-05,2.353004e-05,2.347455e-05,2.344836e-05,2.336619e-05,2.325715e-05,2.314761e-05,2.303776e-05,2.292776e-05,2.281777e-05,2.270792e-05,2.259834e-05,2.248916e-05,2.238048e-05,2.227242e-05,2.216505e-05,2.205847e-05,2.195275e-05,2.184796e-05,2.174418e-05,2.164144e-05,2.153982e-05,2.143935e-05,2.134007e-05,2.124202e-05,2.114524e-05,2.104975e-05,2.095558e-05,2.086274e-05
0.000000e+00,1.712829e-11,3.934097e-11,1.354517e-10,3.078095e-10,4.486450e-10,1.015285e-09,1.045740e-09,2.017455e-09,2.369803e-09,3.462145e-09,4.600926e-09,5.488734e-09,7.965286e-09,8.211212e-09,1.172565e-08,1.269282e-08,1.606804e-08,1.884430e-08,2.118289e-08,2.622223e-08,2.694246e-08,3.319867e-08,3.449742e-08,3.981918e-08,4.336910e-08,4.669604e-08,5.260608e-08,5.374152e-08,6.088192e-08,6.202880e-08,6.805307e-08,7.148912e-08,7.519778e-08,8.085982e-08,8.226469e-08,8.920785e-08,9.003073e-08,9.598672e-08,9.890813e-08,1.025662e-07,1.074148e-07,1.089167e-07,1.150140e-07,1.154903e-07,1.208392e-07,1.230897e-07,1.263779e-07,1.301829e-07,1.316206e-07,1.365615e-07,1.367528e-07,1.411986e-07,1.427938e-07,1.455331e-07,1.483095e-07,1.495685e-07,1.533100e-07,1.567651e-07,1.578116e-07,1.599424e-07,1.618345e-07,1.628516e-07,1.654019e-07,1.655032e-07,1.679082e-07,1.685389e-07,1.700779e-07,1.712715e-07,1.720237e-07,1.736258e-07,1.737570e-07,1.752890e-07,1.756280e-07,1.766311e-07,1.773037e-07,1.777939e-07,1.786774e-07,1.787881e-07,1.796239e-07,1.797729e-07,1.803111e-07,1.806129e-07,1.808592e-07,1.812187e-07,1.812772e-07,1.815737e-07,1.816105e-07,1.817570e-07,1.818071e-07,1.818349e-07,1.818263e-07,1.818148e-07,1.817038e-07,1.816846e-07,1.815084e-07,1.813974e-07,1.812352e-07,1.809790e-07,1.808899e-07,1.804783e-07,1.804427e-07,1.800056e-07,1.798006e-07,1.794769e-07,1.790641e-07,1.788968e-07,1.782697e-07,1.782437e-07,1.776000e-07,1.773491e-07,1.768913e-07,1.763892e-07,1.761475e-07,1.753720e-07,1.745679e-07,1.743051e-07,1.737383e-07,1.731953e-07,1.728861e-07,1.720491e-07,1.720138e-07,1.711240e-07,1.708721e-07,1.702190e-07,1.696696e-07,1.693009e-07,1.684464e-07,1.683717e-07,1.674333e-07,1.672069e-07,1.664874e-07,1.659551e-07,1.655357e-07,1.646946e-07,1.645797e-07,1.636207e-07,1.634287e-07,1.626601e-07,1.621603e-07,1.616991e-07,1.608923e-07,1.607387e-07,1.597800e-07,1.596268e-07,1.588240e-07,1.583663e-07,1.578715e-07,1.571125e-07,1.569232e-07,1.559801e-07,1.558673e-07,1.550427e-07,1.546322e-07,1.541116e-07,1.534085e-07,1.531874e-07,1.522706e-07,1.521976e-07,1.513617e-07,1.510004e-07,1.504611e-07,1.498180e-07,1.495692e-07,1.486862e-07,1.486511e-07,1.478126e-07,1.475004e-07,1.469486e-07,1.463666e-07,1.460943e-07,1.452501e-07,1.441514e-07,1.430709e-07,1.420087e-07,1.409651e-07,1.399402e-07,1.389342e-07,1.379471e-07,1.369788e-07,1.360295e-07,1.350989e-07,1.341870e-07,1.332938e-07,1.324189e-07,1.315623e-07,1.307237e-07,1.299029e-07,1.290998e-07,1.283141e-07,1.275455e-07,1.267937e-07,1.260586e-07,1.253397e-07,1.246369e-07,1.239499e-07
0.000000e+00,5.563691e-12,1.275745e-11,4.396251e-11,1.001701e-10,1.462557e-10,3.325180e-10,3.425555e-10,6.636088e-10,7.802566e-10,1.142100e-09,1.518963e-09,1.811977e-09,2.622561e-09,2.702346e-09,3.825717e-09,4.129327e-09,5.172726e-09,6.016666e-09,6.721313e-09,8.231771e-09,8.447552e-09,1.032944e-08,1.072268e-08,1.234659e-08,1.344243e-08,1.447937e-08,1.634609e-08,1.670842e-08,1.901458e-08,1.938947e-08,2.137921e-08,2.252969e-08,2.378439e-08,2.572642e-08,2.621336e-08,2.865067e-08,2.894304e-08,3.108246e-08,3.214748e-08,3.349646e-08,3.531256e-08,3.588198e-08,3.822992e-08,3.841589e-08,4.053268e-08,4.143968e-08,4.278400e-08,4.437023e-08,4.497886e-08,4.711333e-08,4.719741e-08,4.918440e-08,4.991403e-08,5.118993e-08,5.251549e-08,5.312848e-08,5.499921e-08,5.680178e-08,5.736421e-08,5.853626e-08,5.961077e-08,6.020306e-08,6.174016e-08,6.180288e-08,6.333663e-08,6.375439e-08,6.480542e-08,6.565603e-08,6.621050e-08,6.744808e-08,6.755324e-08,6.883509e-08,6.913384e-08,7.005757e-08,7.071680e-08,7.122224e-08,7.220061e-08,7.233072e-08,7.338461e-08,7.358899e-08,7.438557e-08,7.488568e-08,7.533521e-08,7.609445e-08,7.623518e-08,7.708708e-08,7.721903e-08,7.789252e-08,7.826310e-08,7.865309e-08,7.923029e-08,7.937034e-08,8.004581e-08,8.012413e-08,8.068100e-08,8.094810e-08,8.127738e-08,8.170557e-08,8.183640e-08,8.235947e-08,8.239980e-08,8.284796e-08,8.303398e-08,8.330322e-08,8.361116e-08,8.372655e-08,8.411923e-08,8.413431e-08,8.448249e-08,8.460630e-08,8.481755e-08,8.502987e-08,8.512556e-08,8.540768e-08,8.566498e-08,8.574226e-08,8.589855e-08,8.603606e-08,8.610942e-08,8.629143e-08,8.629859e-08,8.646703e-08,8.651060e-08,8.661567e-08,8.669573e-08,8.674542e-08,8.684887e-08,8.685717e-08,8.695174e-08,8.697198e-08,8.702997e-08,8.706694e-08,8.709265e-08,8.713553e-08,8.714052e-08,8.717433e-08,8.717947e-08,8.719479e-08,8.720037e-08,8.720257e-08,8.719979e-08,8.719833e-08,8.718271e-08,8.717920e-08,8.715632e-08,8.713999e-08,8.711973e-08,8.708350e-08,8.707351e-08,8.701822e-08,8.701099e-08,8.695435e-08,8.692367e-08,8.688242e-08,8.682266e-08,8.680291e-08,8.671628e-08,8.670905e-08,8.662296e-08,8.658386e-08,8.652339e-08,8.644805e-08,8.641796e-08,8.630708e-08,8.630254e-08,8.619112e-08,8.614819e-08,8.607042e-08,8.598583e-08,8.594535e-08,8.581621e-08,8.564008e-08,8.545811e-08,8.527094e-08,8.507920e-08,8.488345e-08,8.468422e-08,8.448202e-08,8.427733e-08,8.407058e-08,8.386220e-08,8.365257e-08,8.344205e-08,8.323097e-08,8.301967e-08,8.280842e-08,8.259751e-08,8.238717e-08,8.217766e-08,8.196918e-08,8.176194e-08,8.155611e-08,8.135187e-08,8.114937e-08,8.094877e-08
0.000000e+00,4.593180e-10,1.187263e-09,4.643702e-09,1.123366e-08,1.678379e-08,3.987769e-08,4.114369e-08,8.245458e-08,9.778864e-08,1.461603e-07,1.973859e-07,2.374618e-07,3.479000e-07,3.586822e-07,5.084617e-07,5.483598e-07,6.841430e-07,7.929510e-07,8.834007e-07,1.076731e-06,1.104328e-06,1.345141e-06,1.395529e-06,1.603971e-06,1.745010e-06,1.878769e-06,2.120309e-06,2.167301e-06,2.467186e-06,2.516057e-06,2.775958e-06,2.926595e-06,3.091134e-06,3.346247e-06,3.410280e-06,3.731076e-06,3.769577e-06,4.051353e-06,4.191595e-06,4.369139e-06,4.607899e-06,4.682673e-06,4.990416e-06,5.014744e-06,5.291055e-06,5.409069e-06,5.583493e-06,5.788461e-06,5.866836e-06,6.140378e-06,6.151108e-06,6.403585e-06,6.495732e-06,6.656078e-06,6.821525e-06,6.897615e-06,7.128066e-06,7.347384e-06,7.415219e-06,7.555607e-06,7.683096e-06,7.752845e-06,7.931999e-06,7.939249e-06,8.115019e-06,8.162361e-06,8.280398e-06,8.374750e-06,8.435657e-06,8.569805e-06,8.581085e-06,8.716989e-06,8.748224e-06,8.843693e-06,8.910760e-06,8.961552e-06,9.058238e-06,9.070926e-06,9.172133e-06,9.191423e-06,9.265500e-06,9.311062e-06,9.351354e-06,9.417893e-06,9.430006e-06,9.501771e-06,9.512634e-06,9.566953e-06,9.595990e-06,9.625852e-06,9.668641e-06,9.678755e-06,9.725943e-06,9.731235e-06,9.767688e-06,9.784399e-06,9.804253e-06,9.828736e-06,9.835894e-06,9.862858e-06,9.864821e-06,9.885384e-06,9.893203e-06,9.903700e-06,9.914405e-06,9.918027e-06,9.928576e-06,9.928923e-06,9.935552e-06,9.937226e-06,9.939150e-06,9.939763e-06,9.939558e-06,9.936958e-06,9.931522e-06,9.929211e-06,9.923416e-06,9.916901e-06,9.912799e-06,9.900385e-06,9.899823e-06,9.884633e-06,9.880002e-06,9.867368e-06,9.856068e-06,9.848161e-06,9.828884e-06,9.827138e-06,9.804422e-06,9.798731e-06,9.780127e-06,9.765873e-06,9.754363e-06,9.730561e-06,9.727237e-06,9.698847e-06,9.693026e-06,9.669290e-06,9.653489e-06,9.638656e-06,9.612154e-06,9.607030e-06,9.574497e-06,9.569212e-06,9.541132e-06,9.524845e-06,9.507012e-06,9.479219e-06,9.472206e-06,9.436780e-06,9.432491e-06,9.400800e-06,9.384808e-06,9.364324e-06,9.336306e-06,9.327410e-06,9.290111e-06,9.287112e-06,9.252480e-06,9.237345e-06,9.214563e-06,9.187113e-06,9.176408e-06,9.138056e-06,9.136519e-06,9.099550e-06,9.085657e-06,9.060927e-06,9.034616e-06,9.022224e-06,8.983475e-06,8.932309e-06,8.881189e-06,8.830176e-06,8.779329e-06,8.728702e-06,8.678345e-06,8.628301e-06,8.578611e-06,8.529313e-06,8.480441e-06,8.432024e-06,8.384091e-06,8.336665e-06,8.289770e-06,8.243423e-06,8.197643e-06,8.152444e-06,8.107838e-06,8.063839e-06,8.020453e-06,7.977691e-06,7.935557e-06,7.894056e-06,7.853193e-06
0.000000e+00,1.320868e-11,3.035168e-11,1.047161e-10,2.387977e-10,3.490144e-10,7.981043e-10,8.224872e-10,1.612698e-09,1.904712e-09,2.826216e-09,3.808534e-09,4.585477e-09,6.774627e-09,6.992005e-09,1.005675e-08,1.088128e-08,1.368826e-08,1.592406e-08,1.776691e-08,2.164971e-08,2.219755e-08,2.691269e-08,2.788520e-08,3.186127e-08,3.451216e-08,3.699963e-08,4.143243e-08,4.228668e-08,4.768198e-08,4.855257e-08,5.314523e-08,5.578004e-08,5.863674e-08,6.302437e-08,6.411803e-08,6.955268e-08,7.020007e-08,7.490698e-08,7.722945e-08,8.015050e-08,8.404485e-08,8.525643e-08,9.020177e-08,9.058986e-08,9.496740e-08,9.681976e-08,9.953793e-08,1.027011e-07,1.039015e-07,1.080497e-07,1.082110e-07,1.119767e-07,1.133357e-07,1.156798e-07,1.180694e-07,1.191581e-07,1.224130e-07,1.254475e-07,1.263726e-07,1.282656e-07,1.299582e-07,1.308729e-07,1.331832e-07,1.332754e-07,1.354801e-07,1.360629e-07,1.374942e-07,1.386144e-07,1.393254e-07,1.408553e-07,1.409815e-07,1.424705e-07,1.428039e-07,1.438003e-07,1.444785e-07,1.449789e-07,1.458971e-07,1.460140e-07,1.469133e-07,1.470775e-07,1.476841e-07,1.480366e-07,1.483337e-07,1.487907e-07,1.488689e-07,1.492965e-07,1.493554e-07,1.496230e-07,1.497457e-07,1.498548e-07,1.499762e-07,1.499980e-07,1.500580e-07,1.500599e-07,1.500403e-07,1.500092e-07,1.499501e-07,1.498361e-07,1.497923e-07,1.495716e-07,1.495514e-07,1.492925e-07,1.491655e-07,1.489592e-07,1.486878e-07,1.485755e-07,1.481455e-07,1.481274e-07,1.476725e-07,1.474925e-07,1.471602e-07,1.467908e-07,1.466115e-07,1.460296e-07,1.454174e-07,1.452155e-07,1.447774e-07,1.443545e-07,1.441123e-07,1.434524e-07,1.434245e-07,1.427161e-07,1.425143e-07,1.419893e-07,1.415453e-07,1.412461e-07,1.405496e-07,1.404884e-07,1.397180e-07,1.395314e-07,1.389364e-07,1.384944e-07,1.381452e-07,1.374422e-07,1.373459e-07,1.365398e-07,1.363778e-07,1.357281e-07,1.353043e-07,1.349122e-07,1.342242e-07,1.340930e-07,1.332716e-07,1.331400e-07,1.324489e-07,1.320538e-07,1.316259e-07,1.309678e-07,1.308033e-07,1.299820e-07,1.298836e-07,1.291627e-07,1.288030e-07,1.283460e-07,1.277274e-07,1.275324e-07,1.267227e-07,1.266581e-07,1.259173e-07,1.255965e-07,1.251167e-07,1.245435e-07,1.243213e-07,1.235315e-07,1.235000e-07,1.227477e-07,1.224671e-07,1.219703e-07,1.214454e-07,1.211994e-07,1.204355e-07,1.194381e-07,1.184536e-07,1.174826e-07,1.165252e-07,1.155820e-07,1.146530e-07,1.137386e-07,1.128388e-07,1.119538e-07,1.110836e-07,1.102283e-07,1.093879e-07,1.085624e-07,1.077517e-07,1.069558e-07,1.061746e-07,1.054079e-07,1.046557e-07,1.039178e-07,1.031941e-07,1.024844e-07,1.017885e-07,1.011062e-07,1.004374e-07
0.000000e+00,2.860810e-10,7.564279e-10,3.021846e-09,7.352581e-09,1.098591e-08,2.590794e-08,2.671665e-08,5.261895e-08,6.201869e-08,9.108401e-08,1.212114e-07,1.445641e-07,2.091159e-07,2.154827e-07,3.057702e-07,3.304270e-07,4.160304e-07,4.861173e-07,5.450659e-07,6.722161e-07,6.904298e-07,8.493652e-07,8.825503e-07,1.019311e-06,1.111267e-06,1.197984e-06,1.353290e-06,1.383308e-06,1.573344e-06,1.604063e-06,1.766258e-06,1.859365e-06,1.960313e-06,2.115279e-06,2.153879e-06,2.345453e-06,2.368242e-06,2.533680e-06,2.615124e-06,2.717360e-06,2.853275e-06,2.895462e-06,3.067127e-06,3.080561e-06,3.231663e-06,3.295355e-06,3.388529e-06,3.496500e-06,3.537337e-06,3.677829e-06,3.683274e-06,3.809866e-06,3.855319e-06,3.933409e-06,4.012590e-06,4.048509e-06,4.155288e-06,4.253927e-06,4.283808e-06,4.344654e-06,4.398688e-06,4.427733e-06,4.500566e-06,4.503457e-06,4.572137e-06,4.590148e-06,4.634094e-06,4.668178e-06,4.689658e-06,4.735417e-06,4.739163e-06,4.782938e-06,4.792627e-06,4.821310e-06,4.840557e-06,4.854597e-06,4.879929e-06,4.883108e-06,4.907139e-06,4.911433e-06,4.926978e-06,4.935730e-06,4.942902e-06,4.953444e-06,4.955173e-06,4.964041e-06,4.965161e-06,4.969747e-06,4.971428e-06,4.972515e-06,4.972759e-06,4.972560e-06,4.970086e-06,4.969629e-06,4.965283e-06,4.962480e-06,4.958333e-06,4.951720e-06,4.949405e-06,4.938660e-06,4.937726e-06,4.926248e-06,4.920848e-06,4.912310e-06,4.901405e-06,4.896979e-06,4.880380e-06,4.879692e-06,4.862629e-06,4.855978e-06,4.843835e-06,4.830512e-06,4.824101e-06,4.803521e-06,4.782186e-06,4.775212e-06,4.760177e-06,4.745775e-06,4.737574e-06,4.715383e-06,4.714449e-06,4.690868e-06,4.684192e-06,4.666895e-06,4.652347e-06,4.642588e-06,4.619978e-06,4.618002e-06,4.593186e-06,4.587202e-06,4.568189e-06,4.554126e-06,4.543052e-06,4.520849e-06,4.517817e-06,4.492520e-06,4.487456e-06,4.467195e-06,4.454027e-06,4.441876e-06,4.420632e-06,4.416590e-06,4.391364e-06,4.387335e-06,4.366224e-06,4.354193e-06,4.341191e-06,4.321257e-06,4.316287e-06,4.291531e-06,4.288571e-06,4.266940e-06,4.256176e-06,4.242529e-06,4.224107e-06,4.218314e-06,4.194306e-06,4.192394e-06,4.170518e-06,4.161066e-06,4.146959e-06,4.130145e-06,4.123641e-06,4.100570e-06,4.099652e-06,4.077754e-06,4.069604e-06,4.055200e-06,4.040015e-06,4.032913e-06,4.010899e-06,3.982263e-06,3.954118e-06,3.926468e-06,3.899318e-06,3.872671e-06,3.846528e-06,3.820890e-06,3.795756e-06,3.771124e-06,3.746993e-06,3.723357e-06,3.700214e-06,3.677559e-06,3.655387e-06,3.633691e-06,3.612467e-06,3.591706e-06,3.571404e-06,3.551552e-06,3.532143e-06,3.513171e-06,3.494627e-06,3.476504e-06,3.458794e-06
0.000000e+00,3.970528e-11,1.122039e-10,4.795063e-10,1.197032e-09,1.801154e-09,4.268431e-09,4.401226e-09,8.600774e-09,1.009981e-08,1.465784e-08,1.927035e-08,2.277555e-08,3.219461e-08,3.310499e-08,4.574239e-08,4.912396e-08,6.072075e-08,7.011857e-08,7.799666e-08,9.499464e-08,9.743429e-08,1.187903e-07,1.232623e-07,1.417082e-07,1.540943e-07,1.657319e-07,1.863903e-07,1.903467e-07,2.150378e-07,2.189636e-07,2.393448e-07,2.507622e-07,2.628936e-07,2.809953e-07,2.854037e-07,3.066792e-07,3.091427e-07,3.265941e-07,3.349057e-07,3.450776e-07,3.581491e-07,3.621015e-07,3.776707e-07,3.788541e-07,3.918149e-07,3.970840e-07,4.045828e-07,4.129581e-07,4.160367e-07,4.262480e-07,4.266317e-07,4.352943e-07,4.382812e-07,4.432561e-07,4.480922e-07,4.502147e-07,4.562505e-07,4.614415e-07,4.629364e-07,4.658622e-07,4.683200e-07,4.695832e-07,4.725588e-07,4.726709e-07,4.751868e-07,4.757967e-07,4.771877e-07,4.781630e-07,4.787259e-07,4.797734e-07,4.798490e-07,4.806006e-07,4.807301e-07,4.810200e-07,4.811232e-07,4.811428e-07,4.810313e-07,4.810014e-07,4.806246e-07,4.805234e-07,4.800386e-07,4.796591e-07,4.792668e-07,4.784904e-07,4.783303e-07,4.772480e-07,4.770625e-07,4.760369e-07,4.754143e-07,4.747121e-07,4.735798e-07,4.732874e-07,4.717751e-07,4.715882e-07,4.701861e-07,4.694652e-07,4.685303e-07,4.672328e-07,4.668167e-07,4.650534e-07,4.649103e-07,4.632474e-07,4.625145e-07,4.614053e-07,4.600600e-07,4.595330e-07,4.576358e-07,4.575594e-07,4.557184e-07,4.550241e-07,4.537852e-07,4.524637e-07,4.518401e-07,4.498867e-07,4.479280e-07,4.473006e-07,4.459670e-07,4.447120e-07,4.440064e-07,4.421267e-07,4.420485e-07,4.400954e-07,4.395496e-07,4.381491e-07,4.369853e-07,4.362113e-07,4.344375e-07,4.342837e-07,4.323677e-07,4.319097e-07,4.304646e-07,4.294049e-07,4.285755e-07,4.269256e-07,4.267015e-07,4.248437e-07,4.244741e-07,4.230027e-07,4.220523e-07,4.211794e-07,4.196620e-07,4.193745e-07,4.175885e-07,4.173045e-07,4.158220e-07,4.149811e-07,4.140755e-07,4.126929e-07,4.123493e-07,4.106438e-07,4.104405e-07,4.089593e-07,4.082248e-07,4.072961e-07,4.060464e-07,4.056543e-07,4.040342e-07,4.039056e-07,4.024360e-07,4.018028e-07,4.008596e-07,3.997382e-07,3.993051e-07,3.977727e-07,3.977119e-07,3.962623e-07,3.957240e-07,3.947740e-07,3.937745e-07,3.933076e-07,3.918632e-07,3.899900e-07,3.881548e-07,3.863572e-07,3.845969e-07,3.828737e-07,3.811871e-07,3.795367e-07,3.779222e-07,3.763431e-07,3.747988e-07,3.732890e-07,3.718132e-07,3.703707e-07,3.689611e-07,3.675839e-07,3.662385e-07,3.649243e-07,3.636409e-07,3.623876e-07,3.611640e-07,3.599694e-07,3.588033e-07,3.576652e-07,3.565544e-07
0.000000e+00,1.956388e-11,4.529855e-11,1.572743e-10,3.585963e-10,5.231019e-10,1.183295e-09,1.218680e-09,2.341834e-09,2.746238e-09,3.990562e-09,5.273539e-09,6.264547e-09,8.992371e-09,9.260690e-09,1.305653e-08,1.409102e-08,1.767820e-08,2.061016e-08,2.307141e-08,2.835809e-08,2.911228e-08,3.565332e-08,3.700927e-08,4.255963e-08,4.625709e-08,4.971871e-08,5.585889e-08,5.703713e-08,6.443525e-08,6.562160e-08,7.184388e-08,7.538568e-08,7.920249e-08,8.501773e-08,8.645843e-08,9.356666e-08,9.440785e-08,1.004894e-07,1.034685e-07,1.071959e-07,1.121330e-07,1.136618e-07,1.198690e-07,1.203539e-07,1.258042e-07,1.281002e-07,1.314594e-07,1.353550e-07,1.368300e-07,1.419149e-07,1.421123e-07,1.467159e-07,1.483754e-07,1.512369e-07,1.541540e-07,1.554835e-07,1.594627e-07,1.631825e-07,1.643195e-07,1.666518e-07,1.687450e-07,1.698799e-07,1.727608e-07,1.728763e-07,1.756509e-07,1.763895e-07,1.782138e-07,1.796539e-07,1.805746e-07,1.825765e-07,1.827431e-07,1.847286e-07,1.851789e-07,1.865404e-07,1.874825e-07,1.881874e-07,1.895073e-07,1.896783e-07,1.910214e-07,1.912730e-07,1.922247e-07,1.927977e-07,1.932958e-07,1.940989e-07,1.942422e-07,1.950710e-07,1.951931e-07,1.957888e-07,1.960959e-07,1.964022e-07,1.968219e-07,1.969173e-07,1.973399e-07,1.973847e-07,1.976757e-07,1.977973e-07,1.979299e-07,1.980716e-07,1.981076e-07,1.982135e-07,1.982191e-07,1.982523e-07,1.982500e-07,1.982283e-07,1.981744e-07,1.981456e-07,1.980080e-07,1.980014e-07,1.978192e-07,1.977394e-07,1.975828e-07,1.973965e-07,1.973020e-07,1.969800e-07,1.966197e-07,1.964968e-07,1.962240e-07,1.959534e-07,1.957955e-07,1.953556e-07,1.953367e-07,1.948499e-07,1.947090e-07,1.943375e-07,1.940186e-07,1.938015e-07,1.932893e-07,1.932439e-07,1.926666e-07,1.925253e-07,1.920714e-07,1.917308e-07,1.914599e-07,1.909095e-07,1.908337e-07,1.901943e-07,1.900650e-07,1.895431e-07,1.892003e-07,1.888815e-07,1.883185e-07,1.882106e-07,1.875316e-07,1.874223e-07,1.868456e-07,1.865141e-07,1.861537e-07,1.855965e-07,1.854567e-07,1.847557e-07,1.846714e-07,1.840515e-07,1.837408e-07,1.833448e-07,1.828065e-07,1.826364e-07,1.819270e-07,1.818702e-07,1.812173e-07,1.809335e-07,1.805078e-07,1.799975e-07,1.797992e-07,1.790920e-07,1.790637e-07,1.783866e-07,1.781332e-07,1.776835e-07,1.772070e-07,1.769832e-07,1.762861e-07,1.753713e-07,1.744634e-07,1.735631e-07,1.726711e-07,1.717879e-07,1.709140e-07,1.700498e-07,1.691958e-07,1.683523e-07,1.675196e-07,1.666980e-07,1.658876e-07,1.650887e-07,1.643015e-07,1.635260e-07,1.627623e-07,1.620106e-07,1.612709e-07,1.605431e-07,1.598274e-07,1.591237e-07,1.584319e-07,1.577521e-07,1.570842e-07
0.000000e+00,1.337259e-11,6.396529e-11,6.280512e-10,2.746910e-09,5.329322e-09,2.155623e-08,2.264846e-08,6.636050e-08,8.570602e-08,1.545684e-07,2.376568e-07,3.087172e-07,5.293358e-07,5.527573e-07,9.115672e-07,1.017354e-06,1.407418e-06,1.750979e-06,2.055417e-06,2.755978e-06,2.860896e-06,3.820003e-06,4.029418e-06,4.922205e-06,5.547173e-06,6.152966e-06,7.274080e-06,7.495740e-06,8.933162e-06,9.170758e-06,1.044766e-05,1.119686e-05,1.202179e-05,1.331253e-05,1.363847e-05,1.528120e-05,1.547932e-05,1.693428e-05,1.766110e-05,1.858308e-05,1.982503e-05,2.021424e-05,2.181585e-05,2.194238e-05,2.337758e-05,2.398911e-05,2.489076e-05,2.594615e-05,2.634831e-05,2.774475e-05,2.779928e-05,2.907607e-05,2.953884e-05,3.033956e-05,3.115919e-05,3.153373e-05,3.265809e-05,3.371303e-05,3.403611e-05,3.469963e-05,3.529593e-05,3.561954e-05,3.644187e-05,3.647487e-05,3.726804e-05,3.747934e-05,3.800169e-05,3.841447e-05,3.867862e-05,3.925377e-05,3.930171e-05,3.987386e-05,4.000392e-05,4.039796e-05,4.067152e-05,4.087682e-05,4.126298e-05,4.131319e-05,4.170972e-05,4.178447e-05,4.206893e-05,4.224178e-05,4.239324e-05,4.264037e-05,4.268494e-05,4.294620e-05,4.298531e-05,4.317904e-05,4.328128e-05,4.338539e-05,4.353261e-05,4.356705e-05,4.372570e-05,4.374327e-05,4.386291e-05,4.391688e-05,4.398017e-05,4.405678e-05,4.407884e-05,4.416020e-05,4.416600e-05,4.422547e-05,4.424732e-05,4.427574e-05,4.430325e-05,4.431208e-05,4.433543e-05,4.433611e-05,4.434672e-05,4.434800e-05,4.434679e-05,4.434082e-05,4.433641e-05,4.431633e-05,4.428723e-05,4.427612e-05,4.424975e-05,4.422164e-05,4.420449e-05,4.415423e-05,4.415200e-05,4.409280e-05,4.407509e-05,4.402739e-05,4.398534e-05,4.395621e-05,4.388599e-05,4.387969e-05,4.379822e-05,4.377798e-05,4.371219e-05,4.366214e-05,4.362193e-05,4.353927e-05,4.352778e-05,4.343004e-05,4.341009e-05,4.332900e-05,4.327524e-05,4.322492e-05,4.313533e-05,4.311806e-05,4.300865e-05,4.299092e-05,4.289692e-05,4.284252e-05,4.278307e-05,4.269060e-05,4.266731e-05,4.254981e-05,4.253560e-05,4.243074e-05,4.237790e-05,4.231028e-05,4.221789e-05,4.218857e-05,4.206576e-05,4.205589e-05,4.194198e-05,4.189222e-05,4.181736e-05,4.172718e-05,4.169201e-05,4.156606e-05,4.156101e-05,4.143961e-05,4.139398e-05,4.131275e-05,4.122631e-05,4.118559e-05,4.105820e-05,4.088985e-05,4.072143e-05,4.055312e-05,4.038505e-05,4.021738e-05,4.005023e-05,3.988371e-05,3.971794e-05,3.955302e-05,3.938903e-05,3.922607e-05,3.906421e-05,3.890351e-05,3.874406e-05,3.858589e-05,3.842907e-05,3.827364e-05,3.811965e-05,3.796714e-05,3.781614e-05,3.766668e-05,3.751879e-05,3.737250e-05,3.722782e-05
0.000000e+00,1.854999e-10,4.575573e-10,1.703008e-09,4.024739e-09,5.960016e-09,1.392682e-08,1.436093e-08,2.843456e-08,3.362619e-08,4.995501e-08,6.727929e-08,8.094331e-08,1.194565e-07,1.232936e-07,1.778974e-07,1.927791e-07,2.440786e-07,2.855927e-07,3.201898e-07,3.940170e-07,4.045211e-07,4.956541e-07,5.145918e-07,5.924324e-07,6.446520e-07,6.938549e-07,7.819634e-07,7.990001e-07,9.069904e-07,9.244761e-07,1.016982e-06,1.070250e-06,1.128167e-06,1.217462e-06,1.239786e-06,1.351133e-06,1.364446e-06,1.461572e-06,1.509728e-06,1.570535e-06,1.652053e-06,1.677528e-06,1.782132e-06,1.790386e-06,1.884000e-06,1.923916e-06,1.982852e-06,2.052032e-06,2.078467e-06,2.170682e-06,2.174298e-06,2.259379e-06,2.290433e-06,2.344483e-06,2.400281e-06,2.425956e-06,2.503793e-06,2.578005e-06,2.600992e-06,2.648626e-06,2.691964e-06,2.715711e-06,2.776846e-06,2.779325e-06,2.839546e-06,2.855811e-06,2.896459e-06,2.929058e-06,2.950157e-06,2.996801e-06,3.000734e-06,3.048288e-06,3.059262e-06,3.092919e-06,3.116674e-06,3.134730e-06,3.169270e-06,3.173820e-06,3.210292e-06,3.217281e-06,3.244245e-06,3.260938e-06,3.275778e-06,3.300466e-06,3.304987e-06,3.331968e-06,3.336084e-06,3.356812e-06,3.368005e-06,3.379611e-06,3.396436e-06,3.400451e-06,3.419419e-06,3.421573e-06,3.436597e-06,3.443610e-06,3.452067e-06,3.462728e-06,3.465904e-06,3.478186e-06,3.479104e-06,3.488984e-06,3.492904e-06,3.498369e-06,3.504290e-06,3.506409e-06,3.513168e-06,3.513413e-06,3.518711e-06,3.520420e-06,3.523096e-06,3.525448e-06,3.526384e-06,3.528629e-06,3.529886e-06,3.530088e-06,3.530206e-06,3.529942e-06,3.529639e-06,3.528306e-06,3.528234e-06,3.526036e-06,3.525284e-06,3.523088e-06,3.520977e-06,3.519433e-06,3.515481e-06,3.515112e-06,3.510163e-06,3.508885e-06,3.504622e-06,3.501275e-06,3.498527e-06,3.492731e-06,3.491910e-06,3.484805e-06,3.483327e-06,3.477241e-06,3.473137e-06,3.469249e-06,3.462226e-06,3.460858e-06,3.452094e-06,3.450659e-06,3.442983e-06,3.438494e-06,3.433551e-06,3.425789e-06,3.423820e-06,3.413813e-06,3.412594e-06,3.403552e-06,3.398961e-06,3.393056e-06,3.384935e-06,3.382347e-06,3.371441e-06,3.370561e-06,3.360357e-06,3.355878e-06,3.349112e-06,3.340925e-06,3.337722e-06,3.326202e-06,3.325738e-06,3.314566e-06,3.310351e-06,3.302828e-06,3.294794e-06,3.291001e-06,3.279098e-06,3.263288e-06,3.247392e-06,3.231432e-06,3.215430e-06,3.199408e-06,3.183383e-06,3.167375e-06,3.151398e-06,3.135469e-06,3.119600e-06,3.103806e-06,3.088098e-06,3.072487e-06,3.056982e-06,3.041594e-06,3.026330e-06,3.011197e-06,2.996204e-06,2.981355e-06,2.966657e-06,2.952115e-06,2.937733e-06,2.923515e-06,2.909464e-06
0.000000e+00,7.615150e-12,1.751569e-11,6.042518e-11,1.374332e-10,2.003304e-10,4.527417e-10,4.662722e-10,8.958661e-10,1.050612e-09,1.527019e-09,2.018749e-09,2.399053e-09,3.448946e-09,3.552530e-09,5.026415e-09,5.431509e-09,6.850907e-09,8.030793e-09,9.036493e-09,1.124522e-08,1.156562e-08,1.439538e-08,1.499258e-08,1.747012e-08,1.914700e-08,2.073385e-08,2.358463e-08,2.413655e-08,2.763535e-08,2.820155e-08,3.119359e-08,3.291319e-08,3.477955e-08,3.764950e-08,3.836546e-08,4.192685e-08,4.235152e-08,4.544224e-08,4.696952e-08,4.889290e-08,5.146211e-08,5.226274e-08,5.553823e-08,5.579584e-08,5.870823e-08,5.994463e-08,6.176386e-08,6.388922e-08,6.469835e-08,6.750679e-08,6.761646e-08,7.018600e-08,7.111851e-08,7.273427e-08,7.439203e-08,7.515117e-08,7.743739e-08,7.959452e-08,8.025790e-08,8.162491e-08,8.285918e-08,8.353151e-08,8.524856e-08,8.531775e-08,8.698742e-08,8.743459e-08,8.854459e-08,8.942666e-08,8.999351e-08,9.123465e-08,9.133854e-08,9.258408e-08,9.286871e-08,9.373458e-08,9.433899e-08,9.479444e-08,9.565558e-08,9.576799e-08,9.665948e-08,9.682830e-08,9.747308e-08,9.786671e-08,9.821282e-08,9.877997e-08,9.888259e-08,9.948619e-08,9.957686e-08,1.000272e-07,1.002657e-07,1.005092e-07,1.008545e-07,1.009354e-07,1.013092e-07,1.013506e-07,1.016334e-07,1.017612e-07,1.019112e-07,1.020929e-07,1.021452e-07,1.023381e-07,1.023518e-07,1.024924e-07,1.025439e-07,1.026106e-07,1.026746e-07,1.026949e-07,1.027476e-07,1.027490e-07,1.027705e-07,1.027719e-07,1.027658e-07,1.027477e-07,1.027352e-07,1.026806e-07,1.026035e-07,1.025744e-07,1.025056e-07,1.024326e-07,1.023883e-07,1.022588e-07,1.022530e-07,1.021012e-07,1.020558e-07,1.019339e-07,1.018267e-07,1.017525e-07,1.015741e-07,1.015580e-07,1.013516e-07,1.013004e-07,1.011341e-07,1.010079e-07,1.009066e-07,1.006988e-07,1.006699e-07,1.004250e-07,1.003750e-07,1.001724e-07,1.000384e-07,9.991313e-08,9.969057e-08,9.964773e-08,9.937689e-08,9.933310e-08,9.910125e-08,9.896741e-08,9.882138e-08,9.859481e-08,9.853783e-08,9.825110e-08,9.821651e-08,9.796170e-08,9.783362e-08,9.767005e-08,9.744717e-08,9.737660e-08,9.708173e-08,9.705809e-08,9.678581e-08,9.666723e-08,9.648920e-08,9.627540e-08,9.619222e-08,9.589517e-08,9.588329e-08,9.559834e-08,9.549158e-08,9.530198e-08,9.510085e-08,9.500634e-08,9.471165e-08,9.432448e-08,9.393978e-08,9.355795e-08,9.317937e-08,9.280435e-08,9.243319e-08,9.206615e-08,9.170347e-08,9.134535e-08,9.099196e-08,9.064347e-08,9.030001e-08,8.996168e-08,8.962860e-08,8.930083e-08,8.897845e-08,8.866151e-08,8.835004e-08,8.804407e-08,8.774361e-08,8.744867e-08,8.715925e-08,8.687533e-08,8.659689e-08
0.000000e+00,4.861836e-11,1.257057e-10,4.911372e-10,1.184367e-09,1.764499e-09,4.142516e-09,4.271256e-09,8.387862e-09,9.878285e-09,1.447433e-08,1.921819e-08,2.288216e-08,3.296388e-08,3.395571e-08,4.801641e-08,5.186584e-08,6.531520e-08,7.646441e-08,8.595860e-08,1.068300e-07,1.098641e-07,1.367975e-07,1.425213e-07,1.664557e-07,1.828501e-07,1.985247e-07,2.271035e-07,2.327012e-07,2.686924e-07,2.746001e-07,3.062117e-07,3.246809e-07,3.449770e-07,3.766991e-07,3.847099e-07,4.251379e-07,4.300234e-07,4.659979e-07,4.840479e-07,5.070388e-07,5.382054e-07,5.480253e-07,5.887404e-07,5.919798e-07,6.289871e-07,6.449145e-07,6.685897e-07,6.966176e-07,7.073945e-07,7.452693e-07,7.467633e-07,7.821030e-07,7.950901e-07,8.178045e-07,8.413971e-07,8.523012e-07,8.855377e-07,9.174738e-07,9.274141e-07,9.480832e-07,9.669699e-07,9.773515e-07,1.004184e-06,1.005275e-06,1.031858e-06,1.039063e-06,1.057115e-06,1.071640e-06,1.081064e-06,1.101962e-06,1.103729e-06,1.125139e-06,1.130094e-06,1.145326e-06,1.156110e-06,1.164325e-06,1.180089e-06,1.182171e-06,1.198903e-06,1.202120e-06,1.214560e-06,1.222290e-06,1.229182e-06,1.240692e-06,1.242806e-06,1.255474e-06,1.257415e-06,1.267224e-06,1.272549e-06,1.278094e-06,1.286182e-06,1.288122e-06,1.297346e-06,1.298401e-06,1.305802e-06,1.309288e-06,1.313524e-06,1.318923e-06,1.320546e-06,1.326903e-06,1.327384e-06,1.332625e-06,1.334743e-06,1.337744e-06,1.341072e-06,1.342289e-06,1.346288e-06,1.346437e-06,1.349770e-06,1.350902e-06,1.352761e-06,1.354528e-06,1.355287e-06,1.357371e-06,1.359038e-06,1.359487e-06,1.360309e-06,1.360926e-06,1.361207e-06,1.361737e-06,1.361752e-06,1.361963e-06,1.361966e-06,1.361860e-06,1.361655e-06,1.361461e-06,1.360847e-06,1.360783e-06,1.359842e-06,1.359578e-06,1.358653e-06,1.357886e-06,1.357234e-06,1.355803e-06,1.355596e-06,1.353754e-06,1.353363e-06,1.351722e-06,1.350594e-06,1.349511e-06,1.347525e-06,1.347134e-06,1.344601e-06,1.344182e-06,1.341924e-06,1.340590e-06,1.339112e-06,1.336772e-06,1.336175e-06,1.333123e-06,1.332750e-06,1.329965e-06,1.328544e-06,1.326708e-06,1.324172e-06,1.323361e-06,1.319932e-06,1.319654e-06,1.316426e-06,1.315005e-06,1.312852e-06,1.310240e-06,1.309216e-06,1.305524e-06,1.305375e-06,1.301781e-06,1.300422e-06,1.297993e-06,1.295395e-06,1.294166e-06,1.290304e-06,1.285161e-06,1.279976e-06,1.274759e-06,1.269517e-06,1.264259e-06,1.258993e-06,1.253725e-06,1.248461e-06,1.243209e-06,1.237972e-06,1.232757e-06,1.227567e-06,1.222407e-06,1.217281e-06,1.212193e-06,1.207144e-06,1.202140e-06,1.197181e-06,1.192270e-06,1.187410e-06,1.182603e-06,1.177850e-06,1.173152e-06,1.168511e-06
0.000000e+00,4.058635e-11,9.375875e-11,3.264795e-10,7.503134e-10,1.101220e-09,2.545429e-09,2.624338e-09,5.199833e-09,6.158265e-09,9.197327e-09,1.245124e-08,1.502929e-08,2.229522e-08,2.301652e-08,3.319448e-08,3.594017e-08,4.533216e-08,5.287529e-08,5.913994e-08,7.248554e-08,7.438454e-08,9.088954e-08,9.432864e-08,1.085086e-07,1.180654e-07,1.271054e-07,1.433832e-07,1.465443e-07,1.666871e-07,1.699659e-07,1.873934e-07,1.974916e-07,2.085238e-07,2.256415e-07,2.299418e-07,2.515178e-07,2.541117e-07,2.731306e-07,2.826230e-07,2.946694e-07,3.109279e-07,3.160350e-07,3.371398e-07,3.388145e-07,3.579083e-07,3.661068e-07,3.782764e-07,3.926631e-07,3.981907e-07,4.176075e-07,4.183733e-07,4.364922e-07,4.431550e-07,4.548179e-07,4.669496e-07,4.725646e-07,4.897185e-07,5.062707e-07,5.114394e-07,5.222166e-07,5.321034e-07,5.375555e-07,5.517118e-07,5.522896e-07,5.664236e-07,5.702745e-07,5.799643e-07,5.878075e-07,5.929203e-07,6.043319e-07,6.053015e-07,6.171189e-07,6.198725e-07,6.283844e-07,6.344566e-07,6.391105e-07,6.481136e-07,6.493103e-07,6.589972e-07,6.608742e-07,6.681849e-07,6.727698e-07,6.768872e-07,6.838323e-07,6.851181e-07,6.928913e-07,6.940935e-07,7.002207e-07,7.035853e-07,7.071202e-07,7.123392e-07,7.136032e-07,7.196833e-07,7.203865e-07,7.253739e-07,7.277576e-07,7.306879e-07,7.344826e-07,7.356382e-07,7.402374e-07,7.405905e-07,7.444979e-07,7.461100e-07,7.484318e-07,7.510686e-07,7.520509e-07,7.553668e-07,7.554933e-07,7.583909e-07,7.594102e-07,7.611340e-07,7.628443e-07,7.636069e-07,7.658201e-07,7.677838e-07,7.683610e-07,7.695078e-07,7.704898e-07,7.710018e-07,7.722283e-07,7.722751e-07,7.733368e-07,7.735974e-07,7.741957e-07,7.746173e-07,7.748604e-07,7.753075e-07,7.753392e-07,7.756400e-07,7.756866e-07,7.757707e-07,7.757725e-07,7.757389e-07,7.755822e-07,7.755517e-07,7.752164e-07,7.751322e-07,7.747397e-07,7.744381e-07,7.741282e-07,7.735151e-07,7.733884e-07,7.725264e-07,7.723775e-07,7.715481e-07,7.710390e-07,7.704594e-07,7.695127e-07,7.692658e-07,7.679727e-07,7.678111e-07,7.665853e-07,7.659462e-07,7.651085e-07,7.639294e-07,7.635472e-07,7.619060e-07,7.617714e-07,7.601895e-07,7.594827e-07,7.584018e-07,7.570731e-07,7.565473e-07,7.546298e-07,7.545518e-07,7.526532e-07,7.519279e-07,7.506212e-07,7.492097e-07,7.485375e-07,7.464053e-07,7.435224e-07,7.405681e-07,7.375493e-07,7.344725e-07,7.313438e-07,7.281692e-07,7.249541e-07,7.217036e-07,7.184229e-07,7.151163e-07,7.117885e-07,7.084435e-07,7.050851e-07,7.017171e-07,6.983429e-07,6.949658e-07,6.915887e-07,6.882146e-07,6.848460e-07,6.814856e-07,6.781355e-07,6.747981e-07,6.714753e-07,6.681691e-07
0.000000e+00,5.143563e-11,2.374514e-10,2.170657e-09,8.918933e-09,1.673921e-08,6.238598e-08,6.533699e-08,1.775544e-07,2.249004e-07,3.870255e-07,5.741431e-07,7.293718e-07,1.193596e-06,1.241736e-06,1.961765e-06,2.169393e-06,2.922867e-06,3.574549e-06,4.144567e-06,5.432883e-06,5.623136e-06,7.330255e-06,7.695294e-06,9.220654e-06,1.025900e-05,1.124290e-05,1.300727e-05,1.334773e-05,1.549224e-05,1.583657e-05,1.764084e-05,1.866488e-05,1.976454e-05,2.142956e-05,2.183974e-05,2.384714e-05,2.408269e-05,2.577095e-05,2.658757e-05,2.759845e-05,2.891670e-05,2.931966e-05,3.092720e-05,3.105073e-05,3.241613e-05,3.297781e-05,3.378375e-05,3.469291e-05,3.502945e-05,3.615444e-05,3.619696e-05,3.716148e-05,3.749589e-05,3.805463e-05,3.859947e-05,3.883896e-05,3.952032e-05,4.010512e-05,4.027294e-05,4.060003e-05,4.087276e-05,4.101189e-05,4.133546e-05,4.134751e-05,4.161355e-05,4.167646e-05,4.181646e-05,4.191046e-05,4.196236e-05,4.205122e-05,4.205704e-05,4.210591e-05,4.211138e-05,4.211398e-05,4.210242e-05,4.208588e-05,4.203459e-05,4.202583e-05,4.193770e-05,4.191702e-05,4.182498e-05,4.175771e-05,4.169082e-05,4.156366e-05,4.153808e-05,4.136931e-05,4.134098e-05,4.118680e-05,4.109492e-05,4.099258e-05,4.083002e-05,4.078849e-05,4.057615e-05,4.055019e-05,4.035700e-05,4.025874e-05,4.013230e-05,3.995854e-05,3.990321e-05,3.967072e-05,3.965200e-05,3.943572e-05,3.934119e-05,3.919898e-05,3.902786e-05,3.896121e-05,3.872302e-05,3.871349e-05,3.848493e-05,3.839933e-05,3.824741e-05,3.808645e-05,3.801089e-05,3.777573e-05,3.754224e-05,3.746792e-05,3.731069e-05,3.716364e-05,3.708133e-05,3.686340e-05,3.685437e-05,3.662999e-05,3.656765e-05,3.640834e-05,3.627672e-05,3.618955e-05,3.599090e-05,3.597375e-05,3.576101e-05,3.571042e-05,3.555143e-05,3.543546e-05,3.534506e-05,3.516615e-05,3.514195e-05,3.494214e-05,3.490258e-05,3.474567e-05,3.464483e-05,3.455256e-05,3.439294e-05,3.436280e-05,3.417642e-05,3.414692e-05,3.399341e-05,3.390676e-05,3.381377e-05,3.367246e-05,3.363747e-05,3.346450e-05,3.344397e-05,3.329485e-05,3.322124e-05,3.312848e-05,3.300422e-05,3.296537e-05,3.280549e-05,3.279284e-05,3.264881e-05,3.258702e-05,3.249528e-05,3.238668e-05,3.234488e-05,3.219756e-05,3.219173e-05,3.205328e-05,3.200208e-05,3.191200e-05,3.181762e-05,3.177368e-05,3.163827e-05,3.146392e-05,3.129446e-05,3.112980e-05,3.096982e-05,3.081442e-05,3.066349e-05,3.051692e-05,3.037462e-05,3.023647e-05,3.010237e-05,2.997222e-05,2.984591e-05,2.972334e-05,2.960443e-05,2.948905e-05,2.937713e-05,2.926857e-05,2.916327e-05,2.906115e-05,2.896211e-05,2.886607e-05,2.877294e-05,2.868264e-05,2.859509e-05
0.000000e+00,6.566311e-11,1.523029e-10,5.299562e-10,1.211078e-09,1.769729e-09,4.031585e-09,4.153732e-09,8.078902e-09,9.514488e-09,1.399981e-08,1.871696e-08,2.240861e-08,3.266310e-08,3.367158e-08,4.775700e-08,5.151429e-08,6.424011e-08,7.432514e-08,8.261303e-08,1.000149e-07,1.024639e-07,1.234746e-07,1.277919e-07,1.453781e-07,1.570392e-07,1.679302e-07,1.872040e-07,1.908973e-07,2.140543e-07,2.177626e-07,2.371871e-07,2.482231e-07,2.600966e-07,2.781413e-07,2.826022e-07,3.045455e-07,3.071343e-07,3.257913e-07,3.348890e-07,3.462283e-07,3.611647e-07,3.657687e-07,3.843465e-07,3.857897e-07,4.019159e-07,4.086545e-07,4.184489e-07,4.297032e-07,4.339328e-07,4.483681e-07,4.489238e-07,4.617659e-07,4.663388e-07,4.741464e-07,4.819975e-07,4.855364e-07,4.959680e-07,5.054773e-07,5.083317e-07,5.141029e-07,5.191783e-07,5.218854e-07,5.286016e-07,5.288660e-07,5.350864e-07,5.366975e-07,5.405880e-07,5.435611e-07,5.454118e-07,5.492853e-07,5.495976e-07,5.531841e-07,5.539600e-07,5.562091e-07,5.576712e-07,5.587084e-07,5.605007e-07,5.607169e-07,5.622674e-07,5.625253e-07,5.633914e-07,5.638173e-07,5.641188e-07,5.644441e-07,5.644780e-07,5.644959e-07,5.644688e-07,5.641979e-07,5.639498e-07,5.636081e-07,5.629414e-07,5.627491e-07,5.616424e-07,5.614939e-07,5.603079e-07,5.596535e-07,5.587647e-07,5.574632e-07,5.570305e-07,5.551220e-07,5.549623e-07,5.530550e-07,5.521870e-07,5.508439e-07,5.491706e-07,5.485027e-07,5.460442e-07,5.459436e-07,5.434804e-07,5.425338e-07,5.408225e-07,5.389668e-07,5.380811e-07,5.352660e-07,5.323863e-07,5.314526e-07,5.294506e-07,5.275459e-07,5.264666e-07,5.235636e-07,5.234420e-07,5.203834e-07,5.195218e-07,5.172972e-07,5.154348e-07,5.141894e-07,5.113158e-07,5.110654e-07,5.079302e-07,5.071766e-07,5.047886e-07,5.030280e-07,5.016448e-07,4.988796e-07,4.985028e-07,4.953663e-07,4.947400e-07,4.922387e-07,4.906169e-07,4.891230e-07,4.865171e-07,4.860221e-07,4.829385e-07,4.824469e-07,4.798747e-07,4.784117e-07,4.768327e-07,4.744162e-07,4.738146e-07,4.708221e-07,4.704647e-07,4.678567e-07,4.665609e-07,4.649199e-07,4.627079e-07,4.620130e-07,4.591371e-07,4.589084e-07,4.562933e-07,4.551649e-07,4.534824e-07,4.514794e-07,4.507052e-07,4.479623e-07,4.478533e-07,4.452544e-07,4.442882e-07,4.425820e-07,4.407851e-07,4.399453e-07,4.373448e-07,4.339679e-07,4.306548e-07,4.274056e-07,4.242205e-07,4.210994e-07,4.180420e-07,4.150479e-07,4.121168e-07,4.092480e-07,4.064410e-07,4.036950e-07,4.010094e-07,3.983832e-07,3.958156e-07,3.933058e-07,3.908528e-07,3.884556e-07,3.861133e-07,3.838249e-07,3.815893e-07,3.794055e-07,3.772725e-07,3.751893e-07,3.731548e-07
0.000000e+00,8.315704e-12,4.087455e-11,4.240652e-10,1.946887e-09,3.876166e-09,1.671699e-08,1.760838e-08,5.474097e-08,7.178817e-08,1.343170e-07,2.123693e-07,2.806886e-07,4.990731e-07,5.226980e-07,8.927509e-07,1.004441e-06,1.425430e-06,1.807633e-06,2.154901e-06,2.983159e-06,3.110529e-06,4.311360e-06,4.581616e-06,5.761702e-06,6.611186e-06,7.449798e-06,9.032960e-06,9.349813e-06,1.142588e-05,1.177166e-05,1.363666e-05,1.473311e-05,1.593940e-05,1.782000e-05,1.829288e-05,2.065939e-05,2.094263e-05,2.300584e-05,2.402450e-05,2.530414e-05,2.700429e-05,2.753126e-05,2.966897e-05,2.983568e-05,3.170342e-05,3.248594e-05,3.362467e-05,3.493413e-05,3.542626e-05,3.710462e-05,3.716917e-05,3.865870e-05,3.918787e-05,4.008946e-05,4.099322e-05,4.139952e-05,4.259274e-05,4.367398e-05,4.399721e-05,4.464873e-05,4.521944e-05,4.552297e-05,4.627343e-05,4.630290e-05,4.699480e-05,4.717361e-05,4.760490e-05,4.793426e-05,4.813933e-05,4.856922e-05,4.860395e-05,4.900440e-05,4.909155e-05,4.934597e-05,4.951341e-05,4.963366e-05,4.984597e-05,4.987213e-05,5.006570e-05,5.009938e-05,5.021837e-05,5.028282e-05,5.033381e-05,5.040450e-05,5.041542e-05,5.046629e-05,5.047177e-05,5.048926e-05,5.049114e-05,5.048691e-05,5.046840e-05,5.046161e-05,5.041551e-05,5.040868e-05,5.035058e-05,5.031650e-05,5.026859e-05,5.019588e-05,5.017117e-05,5.005981e-05,5.005034e-05,4.993585e-05,4.988302e-05,4.980053e-05,4.969669e-05,4.965496e-05,4.950016e-05,4.949379e-05,4.933707e-05,4.927650e-05,4.916654e-05,4.904673e-05,4.898934e-05,4.880620e-05,4.861775e-05,4.855643e-05,4.842460e-05,4.829877e-05,4.822730e-05,4.803444e-05,4.802634e-05,4.782219e-05,4.776452e-05,4.761528e-05,4.748997e-05,4.740599e-05,4.721165e-05,4.719468e-05,4.698169e-05,4.693036e-05,4.676732e-05,4.664677e-05,4.655185e-05,4.636153e-05,4.633554e-05,4.611863e-05,4.607520e-05,4.590134e-05,4.578827e-05,4.568388e-05,4.550121e-05,4.546642e-05,4.524915e-05,4.521442e-05,4.503222e-05,4.492827e-05,4.481579e-05,4.464309e-05,4.459998e-05,4.438493e-05,4.435918e-05,4.417075e-05,4.407681e-05,4.395755e-05,4.379622e-05,4.374542e-05,4.353445e-05,4.351763e-05,4.332474e-05,4.324122e-05,4.311635e-05,4.296717e-05,4.290936e-05,4.270382e-05,4.269563e-05,4.249980e-05,4.242674e-05,4.229736e-05,4.216061e-05,4.209653e-05,4.189736e-05,4.163708e-05,4.137984e-05,4.112572e-05,4.087478e-05,4.062707e-05,4.038262e-05,4.014149e-05,3.990368e-05,3.966923e-05,3.943814e-05,3.921044e-05,3.898611e-05,3.876517e-05,3.854761e-05,3.833341e-05,3.812257e-05,3.791508e-05,3.771090e-05,3.751004e-05,3.731245e-05,3.711811e-05,3.692701e-05,3.673910e-05,3.655436e-05
0.000000e+00,6.998393e-11,2.061756e-10,9.298625e-10,2.396081e-09,3.656473e-09,8.938370e-09,9.227198e-09,1.853396e-08,2.192502e-08,3.242215e-08,4.330050e-08,5.172424e-08,7.497016e-08,7.726071e-08,1.097457e-07,1.186291e-07,1.495634e-07,1.750383e-07,1.965923e-07,2.435375e-07,2.503165e-07,3.100841e-07,3.227061e-07,3.752596e-07,4.110897e-07,4.452487e-07,5.073392e-07,5.194770e-07,5.973676e-07,6.101307e-07,6.783284e-07,7.181016e-07,7.617494e-07,8.298388e-07,8.470072e-07,9.334738e-07,9.439013e-07,1.020527e-06,1.058859e-06,1.107562e-06,1.173340e-06,1.194001e-06,1.279306e-06,1.286066e-06,1.362981e-06,1.395894e-06,1.444585e-06,1.501836e-06,1.523727e-06,1.600077e-06,1.603069e-06,1.673358e-06,1.698944e-06,1.743350e-06,1.788979e-06,1.809887e-06,1.872849e-06,1.932163e-06,1.950367e-06,1.987798e-06,2.021473e-06,2.039756e-06,2.086208e-06,2.088071e-06,2.132806e-06,2.144701e-06,2.174043e-06,2.197147e-06,2.211883e-06,2.243795e-06,2.246442e-06,2.277847e-06,2.284930e-06,2.306233e-06,2.320862e-06,2.331740e-06,2.351918e-06,2.354511e-06,2.374690e-06,2.378428e-06,2.392422e-06,2.400723e-06,2.407850e-06,2.419130e-06,2.421112e-06,2.432344e-06,2.433961e-06,2.441678e-06,2.445521e-06,2.449240e-06,2.454096e-06,2.455152e-06,2.459530e-06,2.459957e-06,2.462484e-06,2.463360e-06,2.464120e-06,2.464543e-06,2.464537e-06,2.463828e-06,2.463725e-06,2.462082e-06,2.461112e-06,2.459382e-06,2.456891e-06,2.455806e-06,2.451427e-06,2.451236e-06,2.446315e-06,2.444307e-06,2.440532e-06,2.436248e-06,2.434140e-06,2.427193e-06,2.419744e-06,2.417263e-06,2.411842e-06,2.406567e-06,2.403530e-06,2.395206e-06,2.394853e-06,2.385847e-06,2.383272e-06,2.376551e-06,2.370847e-06,2.366997e-06,2.358006e-06,2.357216e-06,2.347238e-06,2.344817e-06,2.337089e-06,2.331340e-06,2.326794e-06,2.317632e-06,2.316376e-06,2.305857e-06,2.303743e-06,2.295255e-06,2.289716e-06,2.284590e-06,2.275594e-06,2.273877e-06,2.263132e-06,2.261411e-06,2.252370e-06,2.247201e-06,2.241603e-06,2.232994e-06,2.230843e-06,2.220102e-06,2.218814e-06,2.209389e-06,2.204687e-06,2.198714e-06,2.190631e-06,2.188085e-06,2.177510e-06,2.176667e-06,2.166997e-06,2.162810e-06,2.156551e-06,2.149075e-06,2.146178e-06,2.135884e-06,2.135474e-06,2.125674e-06,2.122020e-06,2.115552e-06,2.108721e-06,2.105521e-06,2.095585e-06,2.082622e-06,2.069836e-06,2.057233e-06,2.044817e-06,2.032592e-06,2.020561e-06,2.008726e-06,1.997088e-06,1.985650e-06,1.974411e-06,1.963371e-06,1.952531e-06,1.941891e-06,1.931448e-06,1.921203e-06,1.911154e-06,1.901299e-06,1.891636e-06,1.882165e-06,1.872882e-06,1.863785e-06,1.854873e-06,1.846142e-06,1.837591e-06
0.000000e+00,2.201247e-10,6.593741e-10,3.036806e-09,7.917378e-09,1.214349e-08,3.002291e-08,3.100666e-08,6.296473e-08,7.471957e-08,1.114295e-07,1.499299e-07,1.800229e-07,2.640955e-07,2.724465e-07,3.916932e-07,4.244588e-07,5.385821e-07,6.322247e-07,7.110063e-07,8.807698e-07,9.050590e-07,1.116656e-06,1.160757e-06,1.342236e-06,1.464037e-06,1.578755e-06,1.783902e-06,1.823512e-06,2.074004e-06,2.114456e-06,2.327872e-06,2.450268e-06,2.582886e-06,2.786313e-06,2.836957e-06,3.088168e-06,3.118037e-06,3.334793e-06,3.441457e-06,3.575317e-06,3.753233e-06,3.808449e-06,4.033117e-06,4.050698e-06,4.248465e-06,4.331842e-06,4.453842e-06,4.595276e-06,4.648790e-06,4.833019e-06,4.840163e-06,5.006383e-06,5.066128e-06,5.168867e-06,5.273186e-06,5.320566e-06,5.461670e-06,5.592415e-06,5.632112e-06,5.713101e-06,5.785226e-06,5.824086e-06,5.921850e-06,5.925742e-06,6.018476e-06,6.042898e-06,6.102698e-06,6.149320e-06,6.178829e-06,6.242085e-06,6.247289e-06,6.308496e-06,6.322153e-06,6.362860e-06,6.390463e-06,6.410778e-06,6.447922e-06,6.452638e-06,6.488812e-06,6.495396e-06,6.519660e-06,6.533711e-06,6.545527e-06,6.563646e-06,6.566740e-06,6.583613e-06,6.585930e-06,6.596442e-06,6.601247e-06,6.605510e-06,6.610235e-06,6.611083e-06,6.613414e-06,6.613488e-06,6.612742e-06,6.611554e-06,6.609293e-06,6.604944e-06,6.603277e-06,6.594895e-06,6.594128e-06,6.584334e-06,6.579539e-06,6.571771e-06,6.561579e-06,6.557372e-06,6.541291e-06,6.540615e-06,6.523676e-06,6.516986e-06,6.504663e-06,6.491001e-06,6.484379e-06,6.462946e-06,6.440474e-06,6.433081e-06,6.417069e-06,6.401646e-06,6.392829e-06,6.368858e-06,6.367845e-06,6.342203e-06,6.334917e-06,6.315983e-06,6.300004e-06,6.289258e-06,6.264285e-06,6.262098e-06,6.234567e-06,6.227911e-06,6.206725e-06,6.191018e-06,6.178628e-06,6.153732e-06,6.150327e-06,6.121871e-06,6.116165e-06,6.093303e-06,6.078418e-06,6.064666e-06,6.040584e-06,6.035997e-06,6.007331e-06,6.002747e-06,5.978700e-06,5.964980e-06,5.950136e-06,5.927350e-06,5.921665e-06,5.893313e-06,5.889919e-06,5.865102e-06,5.852740e-06,5.837055e-06,5.815861e-06,5.809191e-06,5.781527e-06,5.779323e-06,5.754080e-06,5.743165e-06,5.726865e-06,5.707420e-06,5.699894e-06,5.673180e-06,5.672117e-06,5.646733e-06,5.637280e-06,5.620564e-06,5.602932e-06,5.594680e-06,5.569090e-06,5.535771e-06,5.502988e-06,5.470751e-06,5.439069e-06,5.407949e-06,5.377396e-06,5.347412e-06,5.318000e-06,5.289160e-06,5.260891e-06,5.233192e-06,5.206060e-06,5.179491e-06,5.153482e-06,5.128026e-06,5.103119e-06,5.078755e-06,5.054926e-06,5.031626e-06,5.008848e-06,4.986584e-06,4.964826e-06,4.943566e-06,4.922796e-06
0.000000e+00,5.011348e-11,1.156171e-10,4.015273e-10,9.203053e-10,1.348501e-09,3.102203e-09,3.197708e-09,6.303109e-09,7.454607e-09,1.109957e-08,1.500468e-08,1.811111e-08,2.698529e-08,2.787860e-08,4.075264e-08,4.430739e-08,5.667233e-08,6.676496e-08,7.520769e-08,9.325154e-08,9.581763e-08,1.180298e-07,1.226305e-07,1.414762e-07,1.540582e-07,1.658688e-07,1.869150e-07,1.909700e-07,2.165720e-07,2.207021e-07,2.424871e-07,2.549861e-07,2.685419e-07,2.893786e-07,2.945768e-07,3.204461e-07,3.235329e-07,3.460185e-07,3.571459e-07,3.711783e-07,3.899614e-07,3.958250e-07,4.198728e-07,4.217685e-07,4.432517e-07,4.524028e-07,4.659047e-07,4.817397e-07,4.877869e-07,5.088653e-07,5.096914e-07,5.291170e-07,5.362022e-07,5.485276e-07,5.612428e-07,5.670906e-07,5.848058e-07,6.016785e-07,6.069013e-07,6.177184e-07,6.275529e-07,6.329388e-07,6.467946e-07,6.473561e-07,6.609891e-07,6.646685e-07,6.738583e-07,6.812226e-07,6.859861e-07,6.965085e-07,6.973953e-07,7.081090e-07,7.105794e-07,7.181508e-07,7.234897e-07,7.275448e-07,7.352948e-07,7.363150e-07,7.444853e-07,7.460494e-07,7.520790e-07,7.558076e-07,7.591194e-07,7.646225e-07,7.656294e-07,7.716312e-07,7.725458e-07,7.771467e-07,7.796277e-07,7.821972e-07,7.859166e-07,7.868033e-07,7.909852e-07,7.914594e-07,7.947623e-07,7.963010e-07,7.981537e-07,8.004844e-07,8.011775e-07,8.038516e-07,8.040509e-07,8.061929e-07,8.070400e-07,8.082181e-07,8.094893e-07,8.099429e-07,8.113828e-07,8.114346e-07,8.125524e-07,8.129101e-07,8.134661e-07,8.139482e-07,8.141375e-07,8.145797e-07,8.148054e-07,8.148339e-07,8.148267e-07,8.147385e-07,8.146552e-07,8.143196e-07,8.143021e-07,8.137782e-07,8.136022e-07,8.130935e-07,8.126097e-07,8.122580e-07,8.113643e-07,8.112811e-07,8.101718e-07,8.098868e-07,8.089387e-07,8.081971e-07,8.075900e-07,8.063137e-07,8.061335e-07,8.045769e-07,8.042542e-07,8.029272e-07,8.020349e-07,8.011913e-07,7.996714e-07,7.993758e-07,7.974869e-07,7.971782e-07,7.955304e-07,7.945690e-07,7.935121e-07,7.918565e-07,7.914373e-07,7.893112e-07,7.890528e-07,7.871385e-07,7.861691e-07,7.849240e-07,7.832157e-07,7.826721e-07,7.803868e-07,7.802026e-07,7.780722e-07,7.771389e-07,7.757320e-07,7.740332e-07,7.733697e-07,7.709888e-07,7.708932e-07,7.685924e-07,7.677265e-07,7.661836e-07,7.645399e-07,7.637651e-07,7.613397e-07,7.581319e-07,7.549219e-07,7.517147e-07,7.485150e-07,7.453271e-07,7.421548e-07,7.390019e-07,7.358716e-07,7.327668e-07,7.296904e-07,7.266447e-07,7.236321e-07,7.206545e-07,7.177138e-07,7.148115e-07,7.119491e-07,7.091278e-07,7.063486e-07,7.036127e-07,7.009207e-07,6.982732e-07,6.956710e-07,6.931143e-07,6.906036e-07
0.000000e+00,8.536877e-12,1.959265e-11,6.776074e-11,1.553563e-10,2.279547e-10,5.281978e-10,5.446781e-10,1.087013e-09,1.290981e-09,1.944992e-09,2.656791e-09,3.228798e-09,4.876794e-09,5.043090e-09,7.432276e-09,8.087855e-09,1.035298e-08,1.218764e-08,1.371603e-08,1.697432e-08,1.743758e-08,2.145564e-08,2.229073e-08,2.572623e-08,2.803546e-08,3.021617e-08,3.413680e-08,3.489763e-08,3.974484e-08,4.053408e-08,4.473246e-08,4.716888e-08,4.983486e-08,5.398194e-08,5.502601e-08,6.027971e-08,6.091311e-08,6.556993e-08,6.790263e-08,7.087129e-08,7.489272e-08,7.615941e-08,8.141137e-08,8.182931e-08,8.660589e-08,8.866321e-08,9.172362e-08,9.535105e-08,9.674727e-08,1.016616e-07,1.018557e-07,1.064536e-07,1.081465e-07,1.111120e-07,1.141988e-07,1.156279e-07,1.199939e-07,1.242044e-07,1.255182e-07,1.282552e-07,1.307627e-07,1.321438e-07,1.357227e-07,1.358685e-07,1.394289e-07,1.403965e-07,1.428256e-07,1.447854e-07,1.460597e-07,1.488932e-07,1.491332e-07,1.520487e-07,1.527252e-07,1.548090e-07,1.562882e-07,1.574175e-07,1.595903e-07,1.598779e-07,1.621940e-07,1.626402e-07,1.643698e-07,1.654472e-07,1.664097e-07,1.680211e-07,1.683177e-07,1.700983e-07,1.703717e-07,1.717558e-07,1.725089e-07,1.732945e-07,1.744428e-07,1.747187e-07,1.760326e-07,1.761831e-07,1.772406e-07,1.777396e-07,1.783467e-07,1.791217e-07,1.793550e-07,1.802693e-07,1.803386e-07,1.810937e-07,1.813991e-07,1.818318e-07,1.823120e-07,1.824874e-07,1.830639e-07,1.830854e-07,1.835650e-07,1.837275e-07,1.839938e-07,1.842459e-07,1.843538e-07,1.846479e-07,1.848794e-07,1.849407e-07,1.850511e-07,1.851309e-07,1.851658e-07,1.852250e-07,1.852264e-07,1.852355e-07,1.852291e-07,1.851956e-07,1.851491e-07,1.851091e-07,1.849906e-07,1.849786e-07,1.848062e-07,1.847589e-07,1.845942e-07,1.844589e-07,1.843446e-07,1.840956e-07,1.840596e-07,1.837410e-07,1.836734e-07,1.833907e-07,1.831967e-07,1.830106e-07,1.826695e-07,1.826023e-07,1.821676e-07,1.820957e-07,1.817080e-07,1.814790e-07,1.812251e-07,1.808229e-07,1.807202e-07,1.801950e-07,1.801306e-07,1.796505e-07,1.794053e-07,1.790883e-07,1.786498e-07,1.785094e-07,1.779151e-07,1.778669e-07,1.773065e-07,1.770593e-07,1.766847e-07,1.762294e-07,1.760508e-07,1.754056e-07,1.753796e-07,1.747501e-07,1.745119e-07,1.740854e-07,1.736284e-07,1.734121e-07,1.727311e-07,1.718219e-07,1.709023e-07,1.699739e-07,1.690384e-07,1.680970e-07,1.671512e-07,1.662020e-07,1.652507e-07,1.642984e-07,1.633459e-07,1.623944e-07,1.614445e-07,1.604972e-07,1.595531e-07,1.586130e-07,1.576774e-07,1.567471e-07,1.558224e-07,1.549040e-07,1.539923e-07,1.530876e-07,1.521904e-07,1.513010e-07,1.504198e-07
0.000000e+00,2.187165e-12,5.018581e-12,1.733135e-11,3.960782e-11,5.795482e-11,1.327808e-10,1.368421e-10,2.681941e-10,3.165817e-10,4.687715e-10,6.304110e-10,7.581150e-10,1.119507e-09,1.155652e-09,1.673317e-09,1.815551e-09,2.309822e-09,2.714296e-09,3.054371e-09,3.788831e-09,3.894274e-09,4.818711e-09,5.012948e-09,5.818974e-09,6.366589e-09,6.887655e-09,7.833200e-09,8.017898e-09,9.202927e-09,9.397157e-09,1.043583e-08,1.104253e-08,1.170946e-08,1.275281e-08,1.301654e-08,1.434970e-08,1.451109e-08,1.570164e-08,1.630060e-08,1.706525e-08,1.810519e-08,1.843371e-08,1.980062e-08,1.990972e-08,2.116004e-08,2.170049e-08,2.250660e-08,2.346545e-08,2.383551e-08,2.514258e-08,2.519436e-08,2.642418e-08,2.687869e-08,2.767714e-08,2.851145e-08,2.889888e-08,3.008730e-08,3.124076e-08,3.160227e-08,3.235803e-08,3.305368e-08,3.343823e-08,3.443979e-08,3.448077e-08,3.548533e-08,3.575979e-08,3.645188e-08,3.701361e-08,3.738056e-08,3.820176e-08,3.827168e-08,3.912570e-08,3.932521e-08,3.994322e-08,4.038534e-08,4.072491e-08,4.138376e-08,4.147153e-08,4.218389e-08,4.232233e-08,4.286286e-08,4.320302e-08,4.350934e-08,4.402794e-08,4.412424e-08,4.470851e-08,4.479921e-08,4.526309e-08,4.551902e-08,4.578893e-08,4.618955e-08,4.628698e-08,4.675816e-08,4.681295e-08,4.720341e-08,4.739134e-08,4.762364e-08,4.792683e-08,4.801973e-08,4.839257e-08,4.842142e-08,4.874302e-08,4.887711e-08,4.907189e-08,4.929580e-08,4.938003e-08,4.966821e-08,4.967933e-08,4.993721e-08,5.002950e-08,5.018777e-08,5.034800e-08,5.042063e-08,5.063649e-08,5.083603e-08,5.089654e-08,5.101991e-08,5.112967e-08,5.118877e-08,5.133732e-08,5.134323e-08,5.148389e-08,5.152087e-08,5.161131e-08,5.168166e-08,5.172607e-08,5.182093e-08,5.182870e-08,5.191972e-08,5.193989e-08,5.199963e-08,5.203970e-08,5.206891e-08,5.212145e-08,5.212802e-08,5.217743e-08,5.218618e-08,5.221755e-08,5.223489e-08,5.224881e-08,5.226851e-08,5.227161e-08,5.228633e-08,5.228796e-08,5.229335e-08,5.229409e-08,5.229302e-08,5.228770e-08,5.228569e-08,5.227169e-08,5.226958e-08,5.225134e-08,5.224046e-08,5.222495e-08,5.220104e-08,5.219281e-08,5.215521e-08,5.215197e-08,5.211241e-08,5.209390e-08,5.206469e-08,5.202742e-08,5.201229e-08,5.195545e-08,5.195309e-08,5.189441e-08,5.187145e-08,5.182939e-08,5.178301e-08,5.176061e-08,5.168826e-08,5.158766e-08,5.148163e-08,5.137060e-08,5.125494e-08,5.113504e-08,5.101123e-08,5.088385e-08,5.075321e-08,5.061961e-08,5.048332e-08,5.034462e-08,5.020375e-08,5.006094e-08,4.991642e-08,4.977040e-08,4.962308e-08,4.947464e-08,4.932526e-08,4.917511e-08,4.902434e-08,4.887310e-08,4.872153e-08,4.856976e-08,4.841791e-08
0.000000e+00,9.753197e-12,4.295532e-11,3.585019e-10,1.365904e-09,2.466526e-09,8.391988e-09,8.758527e-09,2.197844e-08,2.728146e-08,4.471143e-08,6.386414e-08,7.919441e-08,1.228953e-07,1.272799e-07,1.904488e-07,2.079856e-07,2.698161e-07,3.216225e-07,3.660969e-07,4.650028e-07,4.795096e-07,6.096193e-07,6.375507e-07,7.551811e-07,8.363165e-07,9.141059e-07,1.055925e-06,1.083636e-06,1.260677e-06,1.289492e-06,1.442142e-06,1.529969e-06,1.625190e-06,1.771089e-06,1.807341e-06,1.986496e-06,2.007708e-06,2.160922e-06,2.235799e-06,2.329217e-06,2.452330e-06,2.490275e-06,2.643260e-06,2.655131e-06,2.787576e-06,2.842783e-06,2.922840e-06,3.014511e-06,3.048860e-06,3.165606e-06,3.170084e-06,3.273184e-06,3.309707e-06,3.371812e-06,3.433921e-06,3.461798e-06,3.543515e-06,3.617383e-06,3.639437e-06,3.683856e-06,3.722733e-06,3.743400e-06,3.794484e-06,3.796489e-06,3.843592e-06,3.855771e-06,3.885165e-06,3.907638e-06,3.921648e-06,3.951076e-06,3.953458e-06,3.980992e-06,3.987005e-06,4.004619e-06,4.016273e-06,4.024683e-06,4.039647e-06,4.041504e-06,4.055374e-06,4.057819e-06,4.066565e-06,4.071407e-06,4.075321e-06,4.080962e-06,4.081870e-06,4.086416e-06,4.086970e-06,4.089147e-06,4.089864e-06,4.090234e-06,4.090026e-06,4.089833e-06,4.088085e-06,4.087790e-06,4.085115e-06,4.083452e-06,4.081041e-06,4.077270e-06,4.075966e-06,4.069989e-06,4.069474e-06,4.063195e-06,4.060266e-06,4.055662e-06,4.049822e-06,4.047463e-06,4.038663e-06,4.038299e-06,4.029322e-06,4.025837e-06,4.019493e-06,4.012558e-06,4.009228e-06,3.998571e-06,3.987563e-06,3.983972e-06,3.976242e-06,3.968849e-06,3.964644e-06,3.953278e-06,3.952800e-06,3.940740e-06,3.937329e-06,3.928492e-06,3.921062e-06,3.916079e-06,3.904535e-06,3.903526e-06,3.890852e-06,3.887795e-06,3.878078e-06,3.870888e-06,3.865222e-06,3.853855e-06,3.852301e-06,3.839330e-06,3.836731e-06,3.826324e-06,3.819551e-06,3.813295e-06,3.802343e-06,3.800257e-06,3.787220e-06,3.785135e-06,3.774195e-06,3.767950e-06,3.761192e-06,3.750811e-06,3.748219e-06,3.735286e-06,3.733737e-06,3.722400e-06,3.716747e-06,3.709568e-06,3.699856e-06,3.696797e-06,3.684093e-06,3.683080e-06,3.671462e-06,3.666431e-06,3.658908e-06,3.649921e-06,3.646438e-06,3.634054e-06,3.633561e-06,3.621762e-06,3.617359e-06,3.609564e-06,3.601326e-06,3.597465e-06,3.585467e-06,3.569789e-06,3.554299e-06,3.539002e-06,3.523901e-06,3.509001e-06,3.494305e-06,3.479816e-06,3.465535e-06,3.451465e-06,3.437607e-06,3.423961e-06,3.410530e-06,3.397312e-06,3.384308e-06,3.371518e-06,3.358941e-06,3.346576e-06,3.334423e-06,3.322480e-06,3.310746e-06,3.299220e-06,3.287900e-06,3.276784e-06,3.265871e-06
0.000000e+00,1.698204e-11,8.279126e-11,8.446866e-10,3.822094e-09,7.553074e-09,3.203557e-08,3.372425e-08,1.037031e-07,1.357619e-07,2.536042e-07,4.017069e-07,5.323915e-07,9.562115e-07,1.002543e-06,1.736521e-06,1.960000e-06,2.803936e-06,3.566174e-06,4.251307e-06,5.846243e-06,6.086096e-06,8.274235e-06,8.748864e-06,1.074987e-05,1.212361e-05,1.343025e-05,1.577707e-05,1.622957e-05,1.906867e-05,1.952194e-05,2.188044e-05,2.320418e-05,2.461149e-05,2.671086e-05,2.722173e-05,2.968273e-05,2.996705e-05,3.197576e-05,3.292841e-05,3.408982e-05,3.557360e-05,3.601999e-05,3.776602e-05,3.789783e-05,3.933130e-05,3.990809e-05,4.072191e-05,4.161950e-05,4.194599e-05,4.301308e-05,4.305264e-05,4.393371e-05,4.423141e-05,4.471897e-05,4.518139e-05,4.538016e-05,4.592852e-05,4.637498e-05,4.649806e-05,4.673003e-05,4.691387e-05,4.700353e-05,4.719789e-05,4.720465e-05,4.734184e-05,4.736986e-05,4.742278e-05,4.744726e-05,4.745440e-05,4.744529e-05,4.744292e-05,4.739385e-05,4.737704e-05,4.731209e-05,4.725365e-05,4.720195e-05,4.708457e-05,4.706722e-05,4.691121e-05,4.687772e-05,4.673681e-05,4.663971e-05,4.654655e-05,4.637610e-05,4.634263e-05,4.612698e-05,4.609150e-05,4.590126e-05,4.578978e-05,4.566695e-05,4.547418e-05,4.542533e-05,4.517754e-05,4.514743e-05,4.492455e-05,4.481182e-05,4.466726e-05,4.446931e-05,4.440642e-05,4.414274e-05,4.412154e-05,4.387681e-05,4.376994e-05,4.360920e-05,4.341573e-05,4.334037e-05,4.307077e-05,4.305997e-05,4.280079e-05,4.270358e-05,4.253079e-05,4.234734e-05,4.226109e-05,4.199196e-05,4.172368e-05,4.163804e-05,4.145646e-05,4.128610e-05,4.119052e-05,4.093660e-05,4.092606e-05,4.066323e-05,4.058996e-05,4.040221e-05,4.024652e-05,4.014312e-05,3.990658e-05,3.988610e-05,3.963125e-05,3.957043e-05,3.937869e-05,3.923828e-05,3.912848e-05,3.891033e-05,3.888073e-05,3.863550e-05,3.858676e-05,3.839285e-05,3.826771e-05,3.815283e-05,3.795329e-05,3.791550e-05,3.768089e-05,3.764361e-05,3.744905e-05,3.733875e-05,3.721999e-05,3.703878e-05,3.699375e-05,3.677035e-05,3.674373e-05,3.654979e-05,3.645365e-05,3.633209e-05,3.616855e-05,3.611725e-05,3.590529e-05,3.588846e-05,3.569620e-05,3.561336e-05,3.548997e-05,3.534326e-05,3.528660e-05,3.508609e-05,3.507813e-05,3.488842e-05,3.481795e-05,3.469358e-05,3.456270e-05,3.450156e-05,3.431234e-05,3.406682e-05,3.382610e-05,3.359014e-05,3.335887e-05,3.313225e-05,3.291022e-05,3.269270e-05,3.247965e-05,3.227100e-05,3.206667e-05,3.186661e-05,3.167074e-05,3.147899e-05,3.129130e-05,3.110759e-05,3.092779e-05,3.075184e-05,3.057966e-05,3.041119e-05,3.024635e-05,3.008507e-05,2.992728e-05,2.977292e-05,2.962192e-05
0.000000e+00,5.301195e-11,2.252654e-10,1.761161e-09,6.385722e-09,1.126437e-08,3.648542e-08,3.801502e-08,9.219347e-08,1.136223e-07,1.835471e-07,2.600103e-07,3.211653e-07,4.959487e-07,5.135452e-07,7.686323e-07,8.400082e-07,1.093661e-06,1.308541e-06,1.494633e-06,1.913391e-06,1.975333e-06,2.536059e-06,2.657526e-06,3.172717e-06,3.531174e-06,3.877036e-06,4.512896e-06,4.637948e-06,5.443352e-06,5.575546e-06,6.281471e-06,6.692184e-06,7.141549e-06,7.838973e-06,8.014049e-06,8.890604e-06,8.995705e-06,9.763890e-06,1.014542e-05,1.062753e-05,1.127402e-05,1.147600e-05,1.230462e-05,1.236993e-05,1.310944e-05,1.342397e-05,1.388728e-05,1.442916e-05,1.463559e-05,1.535250e-05,1.538050e-05,1.603666e-05,1.627477e-05,1.668725e-05,1.711027e-05,1.730390e-05,1.788659e-05,1.843564e-05,1.860432e-05,1.895163e-05,1.926485e-05,1.943532e-05,1.987016e-05,1.988767e-05,2.030973e-05,2.042263e-05,2.070265e-05,2.092492e-05,2.106765e-05,2.137985e-05,2.140596e-05,2.171886e-05,2.179031e-05,2.200758e-05,2.215917e-05,2.227337e-05,2.248926e-05,2.251745e-05,2.274098e-05,2.278332e-05,2.294511e-05,2.304395e-05,2.313093e-05,2.327364e-05,2.329949e-05,2.345180e-05,2.347472e-05,2.358881e-05,2.364941e-05,2.371143e-05,2.379974e-05,2.382052e-05,2.391688e-05,2.392762e-05,2.400128e-05,2.403481e-05,2.407445e-05,2.412297e-05,2.413707e-05,2.418979e-05,2.419360e-05,2.423322e-05,2.424812e-05,2.426794e-05,2.428783e-05,2.429446e-05,2.431332e-05,2.431392e-05,2.432498e-05,2.432751e-05,2.432990e-05,2.432961e-05,2.432850e-05,2.432117e-05,2.430830e-05,2.430306e-05,2.429023e-05,2.427609e-05,2.426730e-05,2.424100e-05,2.423981e-05,2.420807e-05,2.419846e-05,2.417236e-05,2.414912e-05,2.413292e-05,2.409356e-05,2.409001e-05,2.404385e-05,2.403232e-05,2.399467e-05,2.396589e-05,2.394268e-05,2.389474e-05,2.388805e-05,2.383099e-05,2.381929e-05,2.377165e-05,2.373995e-05,2.371020e-05,2.365706e-05,2.364679e-05,2.358157e-05,2.357098e-05,2.351468e-05,2.348201e-05,2.344623e-05,2.339044e-05,2.337636e-05,2.330517e-05,2.329655e-05,2.323278e-05,2.320058e-05,2.315929e-05,2.310275e-05,2.308479e-05,2.300937e-05,2.300330e-05,2.293312e-05,2.290240e-05,2.285612e-05,2.280026e-05,2.277845e-05,2.270017e-05,2.269703e-05,2.262137e-05,2.259288e-05,2.254210e-05,2.248795e-05,2.246242e-05,2.238239e-05,2.227631e-05,2.216984e-05,2.206308e-05,2.195614e-05,2.184911e-05,2.174207e-05,2.163511e-05,2.152831e-05,2.142173e-05,2.131543e-05,2.120948e-05,2.110393e-05,2.099883e-05,2.089423e-05,2.079018e-05,2.068671e-05,2.058385e-05,2.048165e-05,2.038013e-05,2.027933e-05,2.017926e-05,2.007996e-05,1.998144e-05,1.988372e-05
0.000000e+00,1.448999e-11,7.015980e-11,7.054805e-10,3.147753e-09,6.169723e-09,2.555915e-08,2.687825e-08,8.033763e-08,1.042540e-07,1.900593e-07,2.944289e-07,3.841326e-07,6.642481e-07,6.940994e-07,1.153825e-06,1.290251e-06,1.797012e-06,2.248325e-06,2.652019e-06,3.592914e-06,3.735063e-06,5.045431e-06,5.333484e-06,6.565329e-06,7.428573e-06,8.263810e-06,9.800538e-06,1.010246e-05,1.204066e-05,1.235736e-05,1.403935e-05,1.500966e-05,1.606320e-05,1.767962e-05,1.808153e-05,2.006832e-05,2.030354e-05,2.200186e-05,2.283103e-05,2.386434e-05,2.522330e-05,2.564132e-05,2.732140e-05,2.745134e-05,2.889586e-05,2.949460e-05,3.035848e-05,3.134000e-05,3.170528e-05,3.293439e-05,3.298110e-05,3.404578e-05,3.441733e-05,3.504108e-05,3.565307e-05,3.592332e-05,3.669673e-05,3.736647e-05,3.755983e-05,3.793840e-05,3.825604e-05,3.841891e-05,3.880038e-05,3.881467e-05,3.913246e-05,3.920839e-05,3.937900e-05,3.949548e-05,3.956088e-05,3.967654e-05,3.968442e-05,3.975562e-05,3.976555e-05,3.978012e-05,3.977542e-05,3.976318e-05,3.971784e-05,3.970963e-05,3.962388e-05,3.960323e-05,3.950996e-05,3.944080e-05,3.937149e-05,3.923860e-05,3.921173e-05,3.903361e-05,3.900358e-05,3.883972e-05,3.874175e-05,3.863239e-05,3.845821e-05,3.841364e-05,3.818530e-05,3.815733e-05,3.794895e-05,3.784279e-05,3.770601e-05,3.751772e-05,3.745770e-05,3.720513e-05,3.718477e-05,3.694924e-05,3.684615e-05,3.669089e-05,3.650375e-05,3.643079e-05,3.616960e-05,3.615913e-05,3.590788e-05,3.581363e-05,3.564614e-05,3.546837e-05,3.538481e-05,3.512429e-05,3.486490e-05,3.478219e-05,3.460695e-05,3.444274e-05,3.435070e-05,3.410650e-05,3.409636e-05,3.384416e-05,3.377394e-05,3.359424e-05,3.344547e-05,3.334678e-05,3.312140e-05,3.310191e-05,3.285973e-05,3.280202e-05,3.262034e-05,3.248754e-05,3.238384e-05,3.217815e-05,3.215028e-05,3.191974e-05,3.187399e-05,3.169225e-05,3.157518e-05,3.146787e-05,3.128180e-05,3.124661e-05,3.102852e-05,3.099392e-05,3.081360e-05,3.071157e-05,3.060187e-05,3.043478e-05,3.039332e-05,3.018797e-05,3.016354e-05,2.998581e-05,2.989786e-05,2.978682e-05,2.963771e-05,2.959100e-05,2.939833e-05,2.938305e-05,2.920880e-05,2.913386e-05,2.902238e-05,2.889007e-05,2.883904e-05,2.865877e-05,2.865163e-05,2.848154e-05,2.841847e-05,2.830731e-05,2.819054e-05,2.813606e-05,2.796775e-05,2.775002e-05,2.753729e-05,2.732946e-05,2.712646e-05,2.692818e-05,2.673456e-05,2.654549e-05,2.636088e-05,2.618066e-05,2.600472e-05,2.583297e-05,2.566533e-05,2.550171e-05,2.534202e-05,2.518617e-05,2.503407e-05,2.488564e-05,2.474079e-05,2.459943e-05,2.446149e-05,2.432688e-05,2.419553e-05,2.406735e-05,2.394226e-05
0.000000e+00,8.957740e-12,4.532811e-11,4.999256e-10,2.430519e-09,4.997986e-09,2.351887e-08,2.486426e-08,8.488193e-08,1.143415e-07,2.294971e-07,3.851530e-07,5.298384e-07,1.031848e-06,1.089091e-06,2.039817e-06,2.342603e-06,3.529655e-06,4.653371e-06,5.701242e-06,8.272450e-06,8.674858e-06,1.253781e-05,1.342219e-05,1.734031e-05,2.021485e-05,2.309611e-05,2.865442e-05,2.978589e-05,3.736203e-05,3.865201e-05,4.575375e-05,5.004596e-05,5.487226e-05,6.262209e-05,6.461548e-05,7.487245e-05,7.613233e-05,8.552711e-05,9.031083e-05,9.646187e-05,1.048880e-04,1.075606e-04,1.187113e-04,1.196024e-04,1.298082e-04,1.342098e-04,1.407537e-04,1.484907e-04,1.514595e-04,1.618475e-04,1.622555e-04,1.718508e-04,1.753466e-04,1.814131e-04,1.876402e-04,1.904894e-04,1.990449e-04,2.070549e-04,2.095002e-04,2.145039e-04,2.189731e-04,2.213845e-04,2.274550e-04,2.276967e-04,2.334469e-04,2.349578e-04,2.386470e-04,2.415095e-04,2.433131e-04,2.471513e-04,2.474651e-04,2.511257e-04,2.519338e-04,2.543195e-04,2.559137e-04,2.570725e-04,2.591518e-04,2.594116e-04,2.613639e-04,2.617104e-04,2.629566e-04,2.636515e-04,2.642163e-04,2.650360e-04,2.651688e-04,2.658393e-04,2.659220e-04,2.662516e-04,2.663646e-04,2.664286e-04,2.664152e-04,2.663917e-04,2.661610e-04,2.661212e-04,2.657555e-04,2.655263e-04,2.651928e-04,2.646700e-04,2.644891e-04,2.636596e-04,2.635882e-04,2.627180e-04,2.623129e-04,2.616772e-04,2.608729e-04,2.605488e-04,2.593435e-04,2.592939e-04,2.580711e-04,2.575984e-04,2.567404e-04,2.558064e-04,2.553596e-04,2.539358e-04,2.524758e-04,2.520019e-04,2.509855e-04,2.500184e-04,2.494704e-04,2.479971e-04,2.479354e-04,2.463848e-04,2.459485e-04,2.448228e-04,2.438816e-04,2.432529e-04,2.418043e-04,2.416782e-04,2.401017e-04,2.397234e-04,2.385261e-04,2.376449e-04,2.369535e-04,2.355738e-04,2.353861e-04,2.338257e-04,2.335146e-04,2.322740e-04,2.314711e-04,2.307325e-04,2.294465e-04,2.292025e-04,2.276850e-04,2.274435e-04,2.261812e-04,2.254645e-04,2.246920e-04,2.235116e-04,2.232181e-04,2.217601e-04,2.215863e-04,2.203188e-04,2.196901e-04,2.188947e-04,2.178240e-04,2.174880e-04,2.160993e-04,2.159890e-04,2.147289e-04,2.141859e-04,2.133770e-04,2.124151e-04,2.120437e-04,2.107293e-04,2.106771e-04,2.094339e-04,2.089722e-04,2.081575e-04,2.073005e-04,2.069002e-04,2.056621e-04,2.040569e-04,2.024849e-04,2.009459e-04,1.994397e-04,1.979660e-04,1.965245e-04,1.951147e-04,1.937364e-04,1.923891e-04,1.910724e-04,1.897858e-04,1.885288e-04,1.873009e-04,1.861016e-04,1.849304e-04,1.837868e-04,1.826703e-04,1.815802e-04,1.805162e-04,1.794776e-04,1.784639e-04,1.774746e-04,1.765092e-04,1.755672e-04
0.000000e+00,4.830710e-11,2.068401e-10,1.639696e-09,6.009173e-09,1.065554e-08,3.492763e-08,3.640838e-08,8.924805e-08,1.103128e-07,1.795581e-07,2.560461e-07,3.177264e-07,4.960887e-07,5.141904e-07,7.786086e-07,8.530146e-07,1.117525e-06,1.340449e-06,1.531830e-06,1.954989e-06,2.016629e-06,2.563630e-06,2.679684e-06,3.163667e-06,3.493712e-06,3.807988e-06,4.377517e-06,4.488518e-06,5.197688e-06,5.313326e-06,5.928265e-06,6.284489e-06,6.673277e-06,7.275173e-06,7.426035e-06,8.180210e-06,8.270522e-06,8.929939e-06,9.257022e-06,9.669914e-06,1.022287e-05,1.039546e-05,1.110256e-05,1.115823e-05,1.178791e-05,1.205533e-05,1.244883e-05,1.290839e-05,1.308328e-05,1.368982e-05,1.371348e-05,1.426751e-05,1.446831e-05,1.481586e-05,1.517194e-05,1.533481e-05,1.582457e-05,1.628564e-05,1.642724e-05,1.671875e-05,1.698165e-05,1.712475e-05,1.748994e-05,1.750465e-05,1.785950e-05,1.795452e-05,1.819043e-05,1.837798e-05,1.849859e-05,1.876299e-05,1.878514e-05,1.905123e-05,1.911217e-05,1.929799e-05,1.942813e-05,1.952651e-05,1.971336e-05,1.973785e-05,1.993302e-05,1.997021e-05,2.011300e-05,2.020090e-05,2.027871e-05,2.040751e-05,2.043101e-05,2.057074e-05,2.059198e-05,2.069867e-05,2.075610e-05,2.081553e-05,2.090152e-05,2.092202e-05,2.101877e-05,2.102976e-05,2.110640e-05,2.114221e-05,2.118547e-05,2.124017e-05,2.125651e-05,2.132003e-05,2.132480e-05,2.137648e-05,2.139718e-05,2.142631e-05,2.145831e-05,2.146992e-05,2.150769e-05,2.150909e-05,2.153999e-05,2.155034e-05,2.156715e-05,2.158284e-05,2.158948e-05,2.160727e-05,2.162081e-05,2.162429e-05,2.163035e-05,2.163447e-05,2.163613e-05,2.163836e-05,2.163838e-05,2.163732e-05,2.163645e-05,2.163314e-05,2.162921e-05,2.162603e-05,2.161706e-05,2.161617e-05,2.160373e-05,2.160038e-05,2.158886e-05,2.157953e-05,2.157172e-05,2.155485e-05,2.155243e-05,2.153114e-05,2.152665e-05,2.150796e-05,2.149520e-05,2.148301e-05,2.146076e-05,2.145640e-05,2.142824e-05,2.142360e-05,2.139862e-05,2.138392e-05,2.136765e-05,2.134194e-05,2.133539e-05,2.130195e-05,2.129786e-05,2.126739e-05,2.125185e-05,2.123179e-05,2.120409e-05,2.119523e-05,2.115776e-05,2.115473e-05,2.111946e-05,2.110391e-05,2.108037e-05,2.105178e-05,2.104057e-05,2.100010e-05,2.099847e-05,2.095902e-05,2.094408e-05,2.091737e-05,2.088874e-05,2.087519e-05,2.083255e-05,2.077560e-05,2.071798e-05,2.065978e-05,2.060108e-05,2.054195e-05,2.048246e-05,2.042268e-05,2.036267e-05,2.030248e-05,2.024217e-05,2.018179e-05,2.012139e-05,2.006101e-05,2.000068e-05,1.994046e-05,1.988036e-05,1.982044e-05,1.976071e-05,1.970122e-05,1.964198e-05,1.958302e-05,1.952436e-05,1.946603e-05,1.940805e-05
0.000000e+00,6.561250e-11,1.757525e-10,7.113106e-10,1.739585e-09,2.603144e-09,6.148185e-09,6.340137e-09,1.247523e-08,1.469483e-08,2.153351e-08,2.858169e-08,3.401696e-08,4.892646e-08,5.038912e-08,7.103485e-08,7.665647e-08,9.619189e-08,1.122616e-07,1.258554e-07,1.554203e-07,1.596777e-07,1.969297e-07,2.047056e-07,2.366038e-07,2.578333e-07,2.776324e-07,3.124532e-07,3.190807e-07,3.602214e-07,3.667371e-07,4.005177e-07,4.194412e-07,4.395805e-07,4.697511e-07,4.771290e-07,5.129629e-07,5.171407e-07,5.469452e-07,5.612868e-07,5.789892e-07,6.020174e-07,6.090501e-07,6.371170e-07,6.392766e-07,6.632067e-07,6.730970e-07,6.873578e-07,7.035769e-07,7.096260e-07,7.300795e-07,7.308610e-07,7.487958e-07,7.551242e-07,7.658580e-07,7.765598e-07,7.813530e-07,7.953690e-07,8.079938e-07,8.117542e-07,8.193143e-07,8.259140e-07,8.294149e-07,8.380394e-07,8.383770e-07,8.462789e-07,8.483117e-07,8.531951e-07,8.569011e-07,8.591959e-07,8.639654e-07,8.643478e-07,8.687136e-07,8.696510e-07,8.723525e-07,8.740936e-07,8.753200e-07,8.774172e-07,8.776679e-07,8.794446e-07,8.797354e-07,8.806955e-07,8.811524e-07,8.814630e-07,8.817630e-07,8.817864e-07,8.817024e-07,8.816535e-07,8.812452e-07,8.809025e-07,8.804465e-07,8.795819e-07,8.793363e-07,8.779421e-07,8.777570e-07,8.762896e-07,8.754868e-07,8.744022e-07,8.728239e-07,8.723014e-07,8.700073e-07,8.698160e-07,8.675388e-07,8.665065e-07,8.649132e-07,8.629346e-07,8.621467e-07,8.592544e-07,8.591363e-07,8.562499e-07,8.551433e-07,8.531460e-07,8.509847e-07,8.499546e-07,8.466864e-07,8.433517e-07,8.422721e-07,8.399598e-07,8.377630e-07,8.365193e-07,8.331783e-07,8.330384e-07,8.295242e-07,8.285352e-07,8.259836e-07,8.238492e-07,8.224229e-07,8.191342e-07,8.188478e-07,8.152636e-07,8.144026e-07,8.116752e-07,8.096656e-07,8.080871e-07,8.049330e-07,8.045033e-07,8.009278e-07,8.002139e-07,7.973638e-07,7.955162e-07,7.938146e-07,7.908469e-07,7.902832e-07,7.867720e-07,7.862123e-07,7.832836e-07,7.816179e-07,7.798202e-07,7.770687e-07,7.763836e-07,7.729757e-07,7.725688e-07,7.695982e-07,7.681221e-07,7.662524e-07,7.637317e-07,7.629398e-07,7.596613e-07,7.594006e-07,7.564182e-07,7.551310e-07,7.532113e-07,7.509251e-07,7.500413e-07,7.469091e-07,7.467846e-07,7.438151e-07,7.427108e-07,7.407600e-07,7.387049e-07,7.377441e-07,7.347679e-07,7.309003e-07,7.271027e-07,7.233753e-07,7.197183e-07,7.161317e-07,7.126154e-07,7.091690e-07,7.057923e-07,7.024847e-07,6.992459e-07,6.960750e-07,6.929715e-07,6.899346e-07,6.869636e-07,6.840575e-07,6.812156e-07,6.784369e-07,6.757205e-07,6.730655e-07,6.704707e-07,6.679354e-07,6.654585e-07,6.630389e-07,6.606756e-07
0.000000e+00,1.002159e-10,3.891634e-10,2.603443e-09,8.456200e-09,1.419992e-08,4.175730e-08,4.337299e-08,9.917570e-08,1.209033e-07,1.916374e-07,2.694711e-07,3.323841e-07,5.159063e-07,5.346796e-07,8.117564e-07,8.905335e-07,1.172432e-06,1.411197e-06,1.616308e-06,2.068414e-06,2.134006e-06,2.712420e-06,2.834274e-06,3.339343e-06,3.681158e-06,4.004930e-06,4.588112e-06,4.701322e-06,5.421930e-06,5.539076e-06,6.160905e-06,6.520542e-06,6.912867e-06,7.520412e-06,7.672811e-06,8.436083e-06,8.527692e-06,9.198408e-06,9.532521e-06,9.955923e-06,1.052629e-05,1.070519e-05,1.144322e-05,1.150170e-05,1.216744e-05,1.245277e-05,1.287571e-05,1.337479e-05,1.356628e-05,1.423772e-05,1.426417e-05,1.488897e-05,1.511831e-05,1.551920e-05,1.593546e-05,1.612786e-05,1.671460e-05,1.727922e-05,1.745523e-05,1.782172e-05,1.815734e-05,1.834218e-05,1.882128e-05,1.884081e-05,1.931789e-05,1.944766e-05,1.977378e-05,2.003731e-05,2.020888e-05,2.059120e-05,2.062364e-05,2.101853e-05,2.111041e-05,2.139407e-05,2.159610e-05,2.175075e-05,2.204945e-05,2.208911e-05,2.240969e-05,2.247172e-05,2.271306e-05,2.286419e-05,2.299977e-05,2.322812e-05,2.327035e-05,2.352532e-05,2.356471e-05,2.376524e-05,2.387520e-05,2.399062e-05,2.416080e-05,2.420197e-05,2.439980e-05,2.442265e-05,2.458460e-05,2.466191e-05,2.475685e-05,2.487967e-05,2.491703e-05,2.506560e-05,2.507700e-05,2.520300e-05,2.525494e-05,2.532968e-05,2.541448e-05,2.544605e-05,2.555253e-05,2.555659e-05,2.564953e-05,2.568220e-05,2.573743e-05,2.579220e-05,2.581661e-05,2.588743e-05,2.595026e-05,2.596873e-05,2.600543e-05,2.603688e-05,2.605328e-05,2.609262e-05,2.609412e-05,2.612828e-05,2.613668e-05,2.615604e-05,2.616975e-05,2.617771e-05,2.619249e-05,2.619355e-05,2.620385e-05,2.620552e-05,2.620886e-05,2.620945e-05,2.620883e-05,2.620484e-05,2.620401e-05,2.619463e-05,2.619223e-05,2.618092e-05,2.617216e-05,2.616310e-05,2.614510e-05,2.614137e-05,2.611593e-05,2.611153e-05,2.608699e-05,2.607190e-05,2.605472e-05,2.602663e-05,2.601930e-05,2.598092e-05,2.597612e-05,2.593973e-05,2.592076e-05,2.589589e-05,2.586090e-05,2.584956e-05,2.580089e-05,2.579690e-05,2.575002e-05,2.572908e-05,2.569707e-05,2.565775e-05,2.564219e-05,2.558550e-05,2.558320e-05,2.552712e-05,2.550571e-05,2.546716e-05,2.542554e-05,2.540573e-05,2.534294e-05,2.525814e-05,2.517136e-05,2.508283e-05,2.499272e-05,2.490123e-05,2.480853e-05,2.471479e-05,2.462016e-05,2.452479e-05,2.442882e-05,2.433237e-05,2.423557e-05,2.413852e-05,2.404134e-05,2.394413e-05,2.384697e-05,2.374996e-05,2.365317e-05,2.355669e-05,2.346057e-05,2.336489e-05,2.326971e-05,2.317508e-05,2.308106e-05
0.000000e+00,4.588613e-11,2.039377e-10,1.746797e-09,6.904405e-09,1.281664e-08,4.832613e-08,5.070219e-08,1.483030e-07,1.932153e-07,3.587537e-07,5.624560e-07,7.345925e-07,1.237717e-06,1.287992e-06,1.989963e-06,2.175949e-06,2.800105e-06,3.288477e-06,3.686038e-06,4.511248e-06,4.626477e-06,5.607634e-06,5.807825e-06,6.619338e-06,7.154522e-06,7.652676e-06,8.531062e-06,8.698987e-06,9.749651e-06,9.917595e-06,1.079626e-05,1.129485e-05,1.183091e-05,1.264519e-05,1.284645e-05,1.383668e-05,1.395354e-05,1.479642e-05,1.520796e-05,1.572158e-05,1.639966e-05,1.660910e-05,1.745681e-05,1.752287e-05,1.826342e-05,1.857439e-05,1.902829e-05,1.955313e-05,1.975140e-05,2.043319e-05,2.045961e-05,2.107445e-05,2.129558e-05,2.167625e-05,2.206359e-05,2.223988e-05,2.276675e-05,2.325836e-05,2.340848e-05,2.371627e-05,2.399237e-05,2.414205e-05,2.452202e-05,2.453727e-05,2.490346e-05,2.500101e-05,2.524215e-05,2.543277e-05,2.555479e-05,2.582061e-05,2.584278e-05,2.610748e-05,2.616769e-05,2.635019e-05,2.647696e-05,2.657214e-05,2.675122e-05,2.677451e-05,2.695841e-05,2.699307e-05,2.712491e-05,2.720495e-05,2.727502e-05,2.738913e-05,2.740968e-05,2.752979e-05,2.754772e-05,2.763622e-05,2.768268e-05,2.772977e-05,2.779584e-05,2.781119e-05,2.788120e-05,2.788887e-05,2.794049e-05,2.796334e-05,2.798969e-05,2.802071e-05,2.802941e-05,2.806022e-05,2.806231e-05,2.808265e-05,2.808939e-05,2.809722e-05,2.810310e-05,2.810439e-05,2.810463e-05,2.810450e-05,2.809835e-05,2.809457e-05,2.808596e-05,2.807424e-05,2.806784e-05,2.804434e-05,2.801581e-05,2.800567e-05,2.798255e-05,2.795893e-05,2.794488e-05,2.790481e-05,2.790306e-05,2.785738e-05,2.784393e-05,2.780807e-05,2.777686e-05,2.775539e-05,2.770413e-05,2.769955e-05,2.764077e-05,2.762625e-05,2.757925e-05,2.754367e-05,2.751517e-05,2.745682e-05,2.744872e-05,2.738007e-05,2.736609e-05,2.730937e-05,2.727184e-05,2.723677e-05,2.717443e-05,2.716242e-05,2.708646e-05,2.707416e-05,2.700901e-05,2.697134e-05,2.693018e-05,2.686622e-05,2.685011e-05,2.676888e-05,2.675906e-05,2.668661e-05,2.665011e-05,2.660339e-05,2.653957e-05,2.651932e-05,2.643447e-05,2.642765e-05,2.634893e-05,2.631454e-05,2.626278e-05,2.620041e-05,2.617609e-05,2.608893e-05,2.608543e-05,2.600136e-05,2.596975e-05,2.591345e-05,2.585351e-05,2.582526e-05,2.573683e-05,2.561985e-05,2.550266e-05,2.538539e-05,2.526812e-05,2.515095e-05,2.503395e-05,2.491722e-05,2.480081e-05,2.468479e-05,2.456923e-05,2.445418e-05,2.433970e-05,2.422584e-05,2.411263e-05,2.400013e-05,2.388836e-05,2.377736e-05,2.366717e-05,2.355782e-05,2.344932e-05,2.334171e-05,2.323500e-05,2.312922e-05,2.302439e-05
0.000000e+00,6.289618e-11,1.457293e-10,5.076332e-10,1.163605e-09,1.704269e-09,3.913061e-09,4.033137e-09,7.926684e-09,9.364600e-09,1.388637e-08,1.865620e-08,2.237428e-08,3.254856e-08,3.353576e-08,4.713357e-08,5.072037e-08,6.282413e-08,7.241723e-08,8.032617e-08,9.704906e-08,9.941720e-08,1.198972e-07,1.241424e-07,1.415663e-07,1.532357e-07,1.642174e-07,1.838467e-07,1.876364e-07,2.116073e-07,2.154795e-07,2.359180e-07,2.476480e-07,2.603663e-07,2.798975e-07,2.847648e-07,3.089440e-07,3.118235e-07,3.327552e-07,3.430820e-07,3.560711e-07,3.733937e-07,3.787852e-07,4.008113e-07,4.025415e-07,4.220816e-07,4.303663e-07,4.425459e-07,4.567609e-07,4.621691e-07,4.809285e-07,4.816608e-07,4.988126e-07,5.050359e-07,5.158191e-07,5.268852e-07,5.319542e-07,5.472280e-07,5.616555e-07,5.660968e-07,5.752570e-07,5.835385e-07,5.880545e-07,5.996066e-07,6.000727e-07,6.113378e-07,6.143608e-07,6.218769e-07,6.278632e-07,6.317172e-07,6.401768e-07,6.408863e-07,6.494118e-07,6.513653e-07,6.573213e-07,6.614916e-07,6.646417e-07,6.706173e-07,6.713994e-07,6.776203e-07,6.788022e-07,6.833293e-07,6.861038e-07,6.885508e-07,6.925773e-07,6.933083e-07,6.976246e-07,6.982757e-07,7.015216e-07,7.032495e-07,7.050205e-07,7.075465e-07,7.081415e-07,7.109041e-07,7.112124e-07,7.133270e-07,7.142901e-07,7.154282e-07,7.168205e-07,7.172248e-07,7.187332e-07,7.188419e-07,7.199693e-07,7.203908e-07,7.209480e-07,7.215013e-07,7.216836e-07,7.221900e-07,7.222057e-07,7.224801e-07,7.225341e-07,7.225665e-07,7.225150e-07,7.224611e-07,7.221752e-07,7.217196e-07,7.215397e-07,7.211047e-07,7.206321e-07,7.203403e-07,7.194744e-07,7.194357e-07,7.183997e-07,7.180873e-07,7.172409e-07,7.164901e-07,7.159673e-07,7.147008e-07,7.145866e-07,7.131060e-07,7.127365e-07,7.115324e-07,7.106130e-07,7.098723e-07,7.083450e-07,7.081321e-07,7.063176e-07,7.059463e-07,7.044345e-07,7.034299e-07,7.024881e-07,7.008078e-07,7.004833e-07,6.984251e-07,6.980911e-07,6.963179e-07,6.952904e-07,6.941662e-07,6.924153e-07,6.919738e-07,6.897448e-07,6.894750e-07,6.874827e-07,6.864779e-07,6.851911e-07,6.834317e-07,6.828732e-07,6.805321e-07,6.803439e-07,6.781707e-07,6.772211e-07,6.757918e-07,6.740696e-07,6.733980e-07,6.709918e-07,6.708953e-07,6.685755e-07,6.677036e-07,6.661513e-07,6.644994e-07,6.637213e-07,6.612875e-07,6.580719e-07,6.548567e-07,6.516456e-07,6.484418e-07,6.452484e-07,6.420683e-07,6.389041e-07,6.357581e-07,6.326324e-07,6.295292e-07,6.264500e-07,6.233967e-07,6.203706e-07,6.173731e-07,6.144054e-07,6.114686e-07,6.085635e-07,6.056911e-07,6.028520e-07,6.000470e-07,5.972765e-07,5.945410e-07,5.918410e-07,5.891767e-07
0.000000e+00,1.707748e-11,8.325496e-11,8.496625e-10,3.845450e-09,7.598431e-09,3.216593e-08,3.385641e-08,1.034677e-07,1.350904e-07,2.500677e-07,3.921459e-07,5.156267e-07,9.066129e-07,9.486372e-07,1.601276e-06,1.796347e-06,2.524253e-06,3.175594e-06,3.760203e-06,5.130623e-06,5.338776e-06,7.275184e-06,7.705788e-06,9.571414e-06,1.090506e-05,1.221854e-05,1.470069e-05,1.519905e-05,1.848875e-05,1.904189e-05,2.205824e-05,2.386129e-05,2.587412e-05,2.907991e-05,2.990009e-05,3.409790e-05,3.461133e-05,3.842842e-05,4.036580e-05,4.285259e-05,4.625411e-05,4.733233e-05,5.183136e-05,5.219108e-05,5.631583e-05,5.809852e-05,6.075487e-05,6.390725e-05,6.512093e-05,6.938996e-05,6.955840e-05,7.354145e-05,7.500383e-05,7.755841e-05,8.020599e-05,8.142716e-05,8.513716e-05,8.868068e-05,8.977854e-05,9.205254e-05,9.411899e-05,9.524978e-05,9.815389e-05,9.827138e-05,1.011179e-04,1.018839e-04,1.037915e-04,1.053138e-04,1.062950e-04,1.084517e-04,1.086327e-04,1.108091e-04,1.113081e-04,1.128297e-04,1.138952e-04,1.146999e-04,1.162262e-04,1.164259e-04,1.180136e-04,1.183151e-04,1.194692e-04,1.201760e-04,1.207990e-04,1.218233e-04,1.220091e-04,1.231055e-04,1.232708e-04,1.240942e-04,1.245322e-04,1.249810e-04,1.256208e-04,1.257714e-04,1.264710e-04,1.265491e-04,1.270849e-04,1.273292e-04,1.276182e-04,1.279725e-04,1.280757e-04,1.284619e-04,1.284899e-04,1.287814e-04,1.288915e-04,1.290384e-04,1.291869e-04,1.292367e-04,1.293803e-04,1.293850e-04,1.294728e-04,1.294942e-04,1.295176e-04,1.295225e-04,1.295180e-04,1.294771e-04,1.293978e-04,1.293647e-04,1.292829e-04,1.291919e-04,1.291350e-04,1.289643e-04,1.289566e-04,1.287502e-04,1.286876e-04,1.285178e-04,1.283667e-04,1.282615e-04,1.280064e-04,1.279834e-04,1.276853e-04,1.276110e-04,1.273690e-04,1.271845e-04,1.270361e-04,1.267306e-04,1.266881e-04,1.263266e-04,1.262528e-04,1.259528e-04,1.257541e-04,1.255681e-04,1.252374e-04,1.251737e-04,1.247707e-04,1.247055e-04,1.243602e-04,1.241608e-04,1.239432e-04,1.236055e-04,1.235206e-04,1.230933e-04,1.230417e-04,1.226621e-04,1.224713e-04,1.222277e-04,1.218959e-04,1.217909e-04,1.213523e-04,1.213172e-04,1.209126e-04,1.207366e-04,1.204723e-04,1.201553e-04,1.200320e-04,1.195921e-04,1.195746e-04,1.191532e-04,1.189955e-04,1.187156e-04,1.184189e-04,1.182797e-04,1.178459e-04,1.172771e-04,1.167132e-04,1.161548e-04,1.156026e-04,1.150570e-04,1.145185e-04,1.139873e-04,1.134639e-04,1.129486e-04,1.124415e-04,1.119428e-04,1.114528e-04,1.109716e-04,1.104993e-04,1.100359e-04,1.095816e-04,1.091362e-04,1.087000e-04,1.082728e-04,1.078546e-04,1.074454e-04,1.070451e-04,1.066536e-04,1.062710e-04
0.000000e+00,1.065068e-11,2.448602e-11,8.448054e-11,1.923571e-10,2.806790e-10,6.370579e-10,6.562481e-10,1.269938e-09,1.492992e-09,2.185647e-09,2.908555e-09,3.471737e-09,5.033634e-09,5.187550e-09,7.352927e-09,7.936462e-09,9.932230e-09,1.153364e-08,1.286141e-08,1.567964e-08,1.607927e-08,1.953549e-08,2.025149e-08,2.318725e-08,2.515036e-08,2.699539e-08,3.028771e-08,3.092255e-08,3.493262e-08,3.557959e-08,3.899104e-08,4.094663e-08,4.306537e-08,4.631618e-08,4.712583e-08,5.114577e-08,5.162429e-08,5.510188e-08,5.681713e-08,5.897437e-08,6.185133e-08,6.274685e-08,6.640617e-08,6.669370e-08,6.994216e-08,7.132026e-08,7.334734e-08,7.571511e-08,7.661659e-08,7.974682e-08,7.986911e-08,8.273663e-08,8.377855e-08,8.558600e-08,8.744389e-08,8.829607e-08,9.086896e-08,9.330749e-08,9.405998e-08,9.561502e-08,9.702484e-08,9.779536e-08,9.977264e-08,9.985262e-08,1.017911e-07,1.023132e-07,1.036152e-07,1.046566e-07,1.053294e-07,1.068133e-07,1.069382e-07,1.084461e-07,1.087935e-07,1.098576e-07,1.106074e-07,1.111768e-07,1.122648e-07,1.124080e-07,1.135553e-07,1.137750e-07,1.146226e-07,1.151473e-07,1.156138e-07,1.163903e-07,1.165325e-07,1.173824e-07,1.175122e-07,1.181667e-07,1.185209e-07,1.188888e-07,1.194238e-07,1.195518e-07,1.201587e-07,1.202279e-07,1.207124e-07,1.209399e-07,1.212156e-07,1.215659e-07,1.216710e-07,1.220810e-07,1.221119e-07,1.224480e-07,1.225833e-07,1.227743e-07,1.229853e-07,1.230622e-07,1.233135e-07,1.233229e-07,1.235304e-07,1.236005e-07,1.237148e-07,1.238224e-07,1.238683e-07,1.239927e-07,1.240896e-07,1.241151e-07,1.241607e-07,1.241932e-07,1.242072e-07,1.242302e-07,1.242307e-07,1.242325e-07,1.242292e-07,1.242138e-07,1.241932e-07,1.241758e-07,1.241248e-07,1.241197e-07,1.240465e-07,1.240266e-07,1.239574e-07,1.239008e-07,1.238532e-07,1.237498e-07,1.237349e-07,1.236035e-07,1.235757e-07,1.234596e-07,1.233802e-07,1.233042e-07,1.231653e-07,1.231380e-07,1.229617e-07,1.229326e-07,1.227760e-07,1.226837e-07,1.225816e-07,1.224201e-07,1.223790e-07,1.221689e-07,1.221432e-07,1.219518e-07,1.218542e-07,1.217282e-07,1.215543e-07,1.214987e-07,1.212637e-07,1.212446e-07,1.210236e-07,1.209263e-07,1.207790e-07,1.206002e-07,1.205301e-07,1.202775e-07,1.202673e-07,1.200214e-07,1.199284e-07,1.197622e-07,1.195844e-07,1.195002e-07,1.192358e-07,1.188835e-07,1.185280e-07,1.181700e-07,1.178100e-07,1.174485e-07,1.170859e-07,1.167228e-07,1.163596e-07,1.159965e-07,1.156340e-07,1.152724e-07,1.149119e-07,1.145529e-07,1.141957e-07,1.138404e-07,1.134872e-07,1.131365e-07,1.127882e-07,1.124427e-07,1.121001e-07,1.117604e-07,1.114239e-07,1.110907e-07,1.107607e-07
0.000000e+00,4.158991e-10,1.144016e-09,4.783559e-09,1.192253e-08,1.799374e-08,4.332822e-08,4.471433e-08,8.958885e-08,1.060570e-07,1.574357e-07,2.112595e-07,2.532799e-07,3.703548e-07,3.819535e-07,5.469048e-07,5.920119e-07,7.484701e-07,8.762036e-07,9.832947e-07,1.213121e-06,1.245912e-06,1.530722e-06,1.589902e-06,1.832828e-06,1.995347e-06,2.148044e-06,2.420255e-06,2.472692e-06,2.803460e-06,2.856745e-06,3.137335e-06,3.297889e-06,3.471596e-06,3.737640e-06,3.803814e-06,4.131861e-06,4.170857e-06,4.453918e-06,4.593322e-06,4.768459e-06,5.001710e-06,5.074243e-06,5.370288e-06,5.393527e-06,5.655840e-06,5.766992e-06,5.930349e-06,6.120947e-06,6.193450e-06,6.444915e-06,6.454730e-06,6.684640e-06,6.768066e-06,6.912630e-06,7.060999e-06,7.128967e-06,7.333805e-06,7.527347e-06,7.586934e-06,7.709840e-06,7.820966e-06,7.881564e-06,8.036567e-06,8.042820e-06,8.193929e-06,8.234466e-06,8.335221e-06,8.415425e-06,8.467034e-06,8.580224e-06,8.589710e-06,8.703589e-06,8.729649e-06,8.809014e-06,8.864484e-06,8.906321e-06,8.985500e-06,8.995842e-06,9.077906e-06,9.093452e-06,9.152831e-06,9.189076e-06,9.220931e-06,9.273084e-06,9.282511e-06,9.337866e-06,9.346165e-06,9.387286e-06,9.408981e-06,9.431049e-06,9.462169e-06,9.469426e-06,9.502680e-06,9.506339e-06,9.531064e-06,9.542072e-06,9.554820e-06,9.569927e-06,9.574187e-06,9.589390e-06,9.590433e-06,9.600648e-06,9.604094e-06,9.608171e-06,9.611390e-06,9.612163e-06,9.612817e-06,9.612777e-06,9.610321e-06,9.608685e-06,9.604853e-06,9.599525e-06,9.596585e-06,9.585682e-06,9.572302e-06,9.567522e-06,9.556596e-06,9.545391e-06,9.538709e-06,9.519613e-06,9.518778e-06,9.496937e-06,9.490497e-06,9.473312e-06,9.458331e-06,9.448023e-06,9.423387e-06,9.421186e-06,9.392910e-06,9.385922e-06,9.363301e-06,9.346174e-06,9.332458e-06,9.304371e-06,9.300476e-06,9.267448e-06,9.260724e-06,9.233457e-06,9.215430e-06,9.198588e-06,9.168675e-06,9.162917e-06,9.126520e-06,9.120634e-06,9.089466e-06,9.071467e-06,9.051823e-06,9.021327e-06,9.013654e-06,8.975019e-06,8.970354e-06,8.935975e-06,8.918680e-06,8.896577e-06,8.866428e-06,8.856875e-06,8.816918e-06,8.813712e-06,8.776752e-06,8.760637e-06,8.736420e-06,8.707301e-06,8.695962e-06,8.655418e-06,8.653795e-06,8.614823e-06,8.600203e-06,8.574211e-06,8.546603e-06,8.533616e-06,8.493066e-06,8.439658e-06,8.386440e-06,8.333468e-06,8.280792e-06,8.228459e-06,8.176511e-06,8.124987e-06,8.073921e-06,8.023345e-06,7.973287e-06,7.923773e-06,7.874824e-06,7.826462e-06,7.778703e-06,7.731562e-06,7.685054e-06,7.639188e-06,7.593976e-06,7.549423e-06,7.505537e-06,7.462322e-06,7.419782e-06,7.377919e-06,7.336734e-06
0.000000e+00,1.368028e-11,3.187141e-11,1.117482e-10,2.571638e-10,3.773771e-10,8.708756e-10,8.978002e-10,1.775844e-09,2.102591e-09,3.139832e-09,4.252815e-09,5.136085e-09,7.628184e-09,7.875566e-09,1.136215e-08,1.230109e-08,1.550739e-08,1.807670e-08,2.020689e-08,2.473505e-08,2.537840e-08,3.096143e-08,3.212306e-08,3.690784e-08,4.012921e-08,4.317454e-08,4.865523e-08,4.971932e-08,5.649907e-08,5.760269e-08,6.346940e-08,6.686954e-08,7.058489e-08,7.635108e-08,7.779985e-08,8.506924e-08,8.594314e-08,9.234958e-08,9.554568e-08,9.959962e-08,1.050657e-07,1.067810e-07,1.138591e-07,1.144200e-07,1.208033e-07,1.235373e-07,1.275866e-07,1.323580e-07,1.341862e-07,1.405831e-07,1.408345e-07,1.467619e-07,1.489304e-07,1.527106e-07,1.566196e-07,1.584202e-07,1.638848e-07,1.691006e-07,1.707168e-07,1.740662e-07,1.771131e-07,1.787822e-07,1.830764e-07,1.832504e-07,1.874738e-07,1.886130e-07,1.914566e-07,1.937331e-07,1.952043e-07,1.984494e-07,1.987226e-07,2.020179e-07,2.027764e-07,2.050972e-07,2.067299e-07,2.079676e-07,2.103266e-07,2.106364e-07,2.131111e-07,2.135834e-07,2.153992e-07,2.165177e-07,2.175081e-07,2.191465e-07,2.194452e-07,2.212180e-07,2.214869e-07,2.228336e-07,2.235553e-07,2.242990e-07,2.253679e-07,2.256212e-07,2.268067e-07,2.269401e-07,2.278622e-07,2.282870e-07,2.287938e-07,2.294229e-07,2.296078e-07,2.303099e-07,2.303614e-07,2.309059e-07,2.311158e-07,2.314011e-07,2.316983e-07,2.318010e-07,2.321104e-07,2.321210e-07,2.323343e-07,2.323949e-07,2.324774e-07,2.325307e-07,2.325440e-07,2.325385e-07,2.324650e-07,2.324278e-07,2.323274e-07,2.322075e-07,2.321295e-07,2.318861e-07,2.318748e-07,2.315668e-07,2.314715e-07,2.312088e-07,2.309712e-07,2.308038e-07,2.303924e-07,2.303549e-07,2.298650e-07,2.297416e-07,2.293366e-07,2.290250e-07,2.287725e-07,2.282485e-07,2.281751e-07,2.275467e-07,2.274175e-07,2.268896e-07,2.265373e-07,2.262059e-07,2.256125e-07,2.254976e-07,2.247667e-07,2.246477e-07,2.240149e-07,2.236472e-07,2.232441e-07,2.226148e-07,2.224558e-07,2.216517e-07,2.215542e-07,2.208331e-07,2.204688e-07,2.200016e-07,2.193619e-07,2.191585e-07,2.183050e-07,2.182363e-07,2.174424e-07,2.170950e-07,2.165717e-07,2.159404e-07,2.156940e-07,2.148104e-07,2.147750e-07,2.139218e-07,2.136009e-07,2.130292e-07,2.124203e-07,2.121333e-07,2.112350e-07,2.100469e-07,2.088575e-07,2.076684e-07,2.064810e-07,2.052965e-07,2.041162e-07,2.029411e-07,2.017721e-07,2.006103e-07,1.994565e-07,1.983113e-07,1.971755e-07,1.960497e-07,1.949344e-07,1.938302e-07,1.927375e-07,1.916568e-07,1.905882e-07,1.895322e-07,1.884891e-07,1.874590e-07,1.864422e-07,1.854389e-07,1.844491e-07
0.000000e+00,6.359212e-12,3.190818e-11,3.456299e-10,1.651509e-09,3.362300e-09,1.538739e-08,1.624806e-08,5.375817e-08,7.175383e-08,1.405597e-07,2.310624e-07,3.135301e-07,5.926221e-07,6.239946e-07,1.138416e-06,1.300728e-06,1.934357e-06,2.532648e-06,3.090304e-06,4.458839e-06,4.673034e-06,6.727928e-06,7.197759e-06,9.274669e-06,1.079243e-05,1.230770e-05,1.521179e-05,1.579969e-05,1.970637e-05,2.036628e-05,2.397146e-05,2.612750e-05,2.853131e-05,3.234632e-05,3.331875e-05,3.826614e-05,3.886742e-05,4.330784e-05,4.553996e-05,4.838200e-05,5.222489e-05,5.343179e-05,5.840634e-05,5.879967e-05,6.326115e-05,6.516085e-05,6.795840e-05,7.122508e-05,7.246688e-05,7.676177e-05,7.692884e-05,8.082434e-05,8.222730e-05,8.464144e-05,8.709253e-05,8.820497e-05,9.151131e-05,9.456073e-05,9.548277e-05,9.735673e-05,9.901596e-05,9.990555e-05,1.021276e-04,1.022156e-04,1.042968e-04,1.048401e-04,1.061606e-04,1.071795e-04,1.078189e-04,1.091740e-04,1.092844e-04,1.105698e-04,1.108529e-04,1.116878e-04,1.122455e-04,1.126510e-04,1.133800e-04,1.134713e-04,1.141605e-04,1.142836e-04,1.147297e-04,1.149818e-04,1.151893e-04,1.154979e-04,1.155491e-04,1.158182e-04,1.158535e-04,1.160052e-04,1.160680e-04,1.161177e-04,1.161591e-04,1.161631e-04,1.161480e-04,1.161424e-04,1.160782e-04,1.160317e-04,1.159595e-04,1.158395e-04,1.157967e-04,1.155945e-04,1.155767e-04,1.153569e-04,1.152528e-04,1.150877e-04,1.148762e-04,1.147903e-04,1.144677e-04,1.144543e-04,1.141228e-04,1.139936e-04,1.137580e-04,1.134998e-04,1.133757e-04,1.129778e-04,1.125663e-04,1.124320e-04,1.121428e-04,1.118662e-04,1.117089e-04,1.112838e-04,1.112659e-04,1.108152e-04,1.106877e-04,1.103578e-04,1.100806e-04,1.098948e-04,1.094647e-04,1.094272e-04,1.089557e-04,1.088421e-04,1.084813e-04,1.082146e-04,1.080046e-04,1.075837e-04,1.075263e-04,1.070469e-04,1.069509e-04,1.065670e-04,1.063175e-04,1.060872e-04,1.056844e-04,1.056078e-04,1.051293e-04,1.050528e-04,1.046520e-04,1.044235e-04,1.041764e-04,1.037973e-04,1.037027e-04,1.032313e-04,1.031748e-04,1.027623e-04,1.025568e-04,1.022961e-04,1.019437e-04,1.018329e-04,1.013728e-04,1.013361e-04,1.009161e-04,1.007344e-04,1.004629e-04,1.001389e-04,1.000134e-04,9.956770e-05,9.954996e-05,9.912595e-05,9.896791e-05,9.868826e-05,9.839299e-05,9.825471e-05,9.782541e-05,9.726537e-05,9.671303e-05,9.616852e-05,9.563195e-05,9.510341e-05,9.458297e-05,9.407069e-05,9.356659e-05,9.307071e-05,9.258304e-05,9.210359e-05,9.163234e-05,9.116926e-05,9.071432e-05,9.026747e-05,8.982867e-05,8.939785e-05,8.897495e-05,8.855990e-05,8.815262e-05,8.775304e-05,8.736107e-05,8.697663e-05,8.659963e-05
0.000000e+00,9.489860e-11,2.659467e-10,1.129939e-09,2.823326e-09,4.255929e-09,1.016112e-08,1.048114e-08,2.069812e-08,2.438641e-08,3.572023e-08,4.735834e-08,5.630861e-08,8.078280e-08,8.317950e-08,1.169746e-07,1.261739e-07,1.581656e-07,1.845288e-07,2.068720e-07,2.556153e-07,2.626527e-07,3.244598e-07,3.374218e-07,3.908717e-07,4.267363e-07,4.604314e-07,5.203479e-07,5.318545e-07,6.040768e-07,6.156460e-07,6.762258e-07,7.106142e-07,7.475785e-07,8.036777e-07,8.175305e-07,8.855774e-07,8.935944e-07,9.513031e-07,9.793981e-07,1.014373e-06,1.060369e-06,1.074529e-06,1.131582e-06,1.136008e-06,1.185408e-06,1.206017e-06,1.235938e-06,1.270268e-06,1.283156e-06,1.327084e-06,1.328774e-06,1.367783e-06,1.381661e-06,1.405340e-06,1.429139e-06,1.439864e-06,1.471480e-06,1.500324e-06,1.508992e-06,1.526541e-06,1.542008e-06,1.550277e-06,1.570867e-06,1.571680e-06,1.590897e-06,1.595906e-06,1.608071e-06,1.617453e-06,1.623341e-06,1.635822e-06,1.636840e-06,1.648694e-06,1.651308e-06,1.659024e-06,1.664186e-06,1.667944e-06,1.674711e-06,1.675560e-06,1.681972e-06,1.683119e-06,1.687274e-06,1.689622e-06,1.691553e-06,1.694416e-06,1.694890e-06,1.697360e-06,1.697679e-06,1.699033e-06,1.699572e-06,1.699973e-06,1.700238e-06,1.700241e-06,1.699891e-06,1.699810e-06,1.698976e-06,1.698406e-06,1.697542e-06,1.696132e-06,1.695633e-06,1.693289e-06,1.693084e-06,1.690549e-06,1.689349e-06,1.687446e-06,1.685005e-06,1.684012e-06,1.680277e-06,1.680122e-06,1.676269e-06,1.674763e-06,1.672011e-06,1.668986e-06,1.667528e-06,1.662841e-06,1.657970e-06,1.656376e-06,1.652933e-06,1.649631e-06,1.647748e-06,1.642645e-06,1.642430e-06,1.636994e-06,1.635453e-06,1.631454e-06,1.628084e-06,1.625821e-06,1.620568e-06,1.620108e-06,1.614325e-06,1.612928e-06,1.608483e-06,1.605188e-06,1.602590e-06,1.597369e-06,1.596655e-06,1.590686e-06,1.589489e-06,1.584691e-06,1.581565e-06,1.578676e-06,1.573613e-06,1.572647e-06,1.566611e-06,1.565645e-06,1.560573e-06,1.557676e-06,1.554538e-06,1.549715e-06,1.548510e-06,1.542495e-06,1.541774e-06,1.536495e-06,1.533861e-06,1.530514e-06,1.525984e-06,1.524557e-06,1.518626e-06,1.518152e-06,1.512723e-06,1.510371e-06,1.506853e-06,1.502647e-06,1.501016e-06,1.495216e-06,1.494985e-06,1.489455e-06,1.487390e-06,1.483734e-06,1.479867e-06,1.478055e-06,1.472420e-06,1.465051e-06,1.457764e-06,1.450561e-06,1.443445e-06,1.436418e-06,1.429482e-06,1.422637e-06,1.415885e-06,1.409227e-06,1.402664e-06,1.396196e-06,1.389825e-06,1.383549e-06,1.377369e-06,1.371286e-06,1.365299e-06,1.359407e-06,1.353611e-06,1.347910e-06,1.342304e-06,1.336792e-06,1.331373e-06,1.326046e-06,1.320812e-06
0.000000e+00,4.905912e-11,2.117010e-10,1.704694e-09,6.336019e-09,1.132391e-08,3.793354e-08,3.957920e-08,9.951959e-08,1.239764e-07,2.062388e-07,2.999596e-07,3.773526e-07,6.078231e-07,6.316185e-07,9.834888e-07,1.083211e-06,1.437756e-06,1.735642e-06,1.990567e-06,2.552654e-06,2.634481e-06,3.362201e-06,3.517247e-06,4.167658e-06,4.615489e-06,5.045698e-06,5.835768e-06,5.991427e-06,6.999710e-06,7.166471e-06,8.064900e-06,8.594591e-06,9.180743e-06,1.010532e-05,1.034041e-05,1.153662e-05,1.168226e-05,1.276176e-05,1.330798e-05,1.400806e-05,1.496465e-05,1.526780e-05,1.653346e-05,1.663475e-05,1.779783e-05,1.830169e-05,1.905415e-05,1.995019e-05,2.029618e-05,2.151831e-05,2.156671e-05,2.271552e-05,2.313957e-05,2.388348e-05,2.465905e-05,2.501846e-05,2.611739e-05,2.717776e-05,2.750861e-05,2.819765e-05,2.882844e-05,2.917560e-05,3.007409e-05,3.011066e-05,3.100224e-05,3.124405e-05,3.185014e-05,3.233794e-05,3.265445e-05,3.335624e-05,3.341555e-05,3.413402e-05,3.430019e-05,3.481064e-05,3.517162e-05,3.544635e-05,3.597277e-05,3.604220e-05,3.659934e-05,3.670623e-05,3.711899e-05,3.737481e-05,3.760242e-05,3.798147e-05,3.805095e-05,3.846589e-05,3.852926e-05,3.884860e-05,3.902123e-05,3.920039e-05,3.946046e-05,3.952260e-05,3.981652e-05,3.984995e-05,4.008343e-05,4.019265e-05,4.032460e-05,4.049140e-05,4.054122e-05,4.073449e-05,4.074898e-05,4.090556e-05,4.096802e-05,4.105553e-05,4.115105e-05,4.118548e-05,4.129643e-05,4.130049e-05,4.138939e-05,4.141863e-05,4.146530e-05,4.150766e-05,4.152509e-05,4.156964e-05,4.159977e-05,4.160651e-05,4.161631e-05,4.162012e-05,4.162003e-05,4.161221e-05,4.161165e-05,4.159189e-05,4.158441e-05,4.156141e-05,4.153825e-05,4.152087e-05,4.147519e-05,4.147086e-05,4.141198e-05,4.139659e-05,4.134477e-05,4.130370e-05,4.126978e-05,4.119774e-05,4.118750e-05,4.109841e-05,4.107982e-05,4.100298e-05,4.095099e-05,4.090162e-05,4.081222e-05,4.079477e-05,4.068280e-05,4.066444e-05,4.056610e-05,4.050851e-05,4.044501e-05,4.034522e-05,4.031988e-05,4.019102e-05,4.017532e-05,4.005873e-05,3.999951e-05,3.992331e-05,3.981845e-05,3.978501e-05,3.964412e-05,3.963274e-05,3.950085e-05,3.944294e-05,3.935546e-05,3.924958e-05,3.920816e-05,3.905915e-05,3.905316e-05,3.890864e-05,3.885412e-05,3.875680e-05,3.865289e-05,3.860382e-05,3.844985e-05,3.824539e-05,3.803982e-05,3.783347e-05,3.762662e-05,3.741954e-05,3.721248e-05,3.700566e-05,3.679930e-05,3.659358e-05,3.638868e-05,3.618477e-05,3.598199e-05,3.578047e-05,3.558035e-05,3.538174e-05,3.518472e-05,3.498941e-05,3.479588e-05,3.460420e-05,3.441445e-05,3.422667e-05,3.404093e-05,3.385727e-05,3.367573e-05
0.000000e+00,5.829718e-12,2.878051e-11,3.015735e-10,1.398920e-09,2.802850e-09,1.231968e-08,1.298783e-08,4.134847e-08,5.462808e-08,1.043069e-07,1.678679e-07,2.244887e-07,4.091710e-07,4.293674e-07,7.480855e-07,8.446434e-07,1.208175e-06,1.536666e-06,1.833552e-06,2.536265e-06,2.643800e-06,3.654160e-06,3.881296e-06,4.875780e-06,5.597080e-06,6.315948e-06,7.697323e-06,7.978265e-06,9.862765e-06,1.018472e-05,1.196603e-05,1.305147e-05,1.428138e-05,1.627992e-05,1.679909e-05,1.950674e-05,1.984375e-05,2.238964e-05,2.370943e-05,2.543127e-05,2.783813e-05,2.861380e-05,3.191859e-05,3.218769e-05,3.532667e-05,3.671457e-05,3.881913e-05,4.137560e-05,4.237759e-05,4.598439e-05,4.612942e-05,4.962292e-05,5.093756e-05,5.327778e-05,5.576515e-05,5.693485e-05,6.058136e-05,6.420595e-05,6.535951e-05,6.779856e-05,7.007695e-05,7.135043e-05,7.471490e-05,7.485403e-05,7.830294e-05,7.925808e-05,8.169177e-05,8.369433e-05,8.501605e-05,8.801425e-05,8.827215e-05,9.145720e-05,9.221077e-05,9.456894e-05,9.627885e-05,9.760571e-05,1.002151e-04,1.005663e-04,1.034501e-04,1.040175e-04,1.062565e-04,1.076853e-04,1.089856e-04,1.112184e-04,1.116375e-04,1.142128e-04,1.146177e-04,1.167119e-04,1.178846e-04,1.191356e-04,1.210210e-04,1.214850e-04,1.237609e-04,1.240291e-04,1.259646e-04,1.269116e-04,1.280971e-04,1.296710e-04,1.301597e-04,1.321538e-04,1.323104e-04,1.340807e-04,1.348329e-04,1.359416e-04,1.372415e-04,1.377381e-04,1.394715e-04,1.395395e-04,1.411431e-04,1.417301e-04,1.427545e-04,1.438165e-04,1.443070e-04,1.458020e-04,1.472409e-04,1.476898e-04,1.486252e-04,1.494830e-04,1.499561e-04,1.511848e-04,1.512350e-04,1.524633e-04,1.527983e-04,1.536423e-04,1.543266e-04,1.547733e-04,1.557726e-04,1.558577e-04,1.568966e-04,1.571393e-04,1.578913e-04,1.584295e-04,1.588430e-04,1.596460e-04,1.597530e-04,1.606225e-04,1.607916e-04,1.614525e-04,1.618689e-04,1.622442e-04,1.628805e-04,1.629988e-04,1.637173e-04,1.638290e-04,1.644008e-04,1.647167e-04,1.650503e-04,1.655461e-04,1.656669e-04,1.662515e-04,1.663195e-04,1.668051e-04,1.670391e-04,1.673287e-04,1.677071e-04,1.678232e-04,1.682895e-04,1.683256e-04,1.687285e-04,1.688967e-04,1.691411e-04,1.694222e-04,1.695280e-04,1.698902e-04,1.699042e-04,1.702284e-04,1.703444e-04,1.705434e-04,1.707447e-04,1.708359e-04,1.711068e-04,1.714322e-04,1.717228e-04,1.719799e-04,1.722052e-04,1.723999e-04,1.725656e-04,1.727036e-04,1.728151e-04,1.729014e-04,1.729638e-04,1.730033e-04,1.730211e-04,1.730182e-04,1.729957e-04,1.729545e-04,1.728957e-04,1.728201e-04,1.727286e-04,1.726221e-04,1.725013e-04,1.723671e-04,1.722201e-04,1.720612e-04,1.718910e-04
0.000000e+00,1.580133e-11,3.630848e-11,1.254946e-10,2.864866e-10,4.186211e-10,9.528993e-10,9.816855e-10,1.901459e-09,2.235087e-09,3.268220e-09,4.342286e-09,5.177134e-09,7.494207e-09,7.723405e-09,1.098467e-08,1.187867e-08,1.499410e-08,1.755994e-08,1.973023e-08,2.445531e-08,2.513750e-08,3.115204e-08,3.242241e-08,3.771325e-08,4.132219e-08,4.476437e-08,5.102566e-08,5.225038e-08,6.011629e-08,6.140639e-08,6.830651e-08,7.233656e-08,7.676506e-08,8.368771e-08,8.543636e-08,9.426606e-08,9.533376e-08,1.032020e-07,1.071546e-07,1.121949e-07,1.190394e-07,1.211992e-07,1.301733e-07,1.308888e-07,1.390799e-07,1.426162e-07,1.478861e-07,1.541480e-07,1.565630e-07,1.650862e-07,1.654236e-07,1.734347e-07,1.763940e-07,1.815913e-07,1.870210e-07,1.895421e-07,1.972763e-07,2.047854e-07,2.071396e-07,2.120627e-07,2.165965e-07,2.191039e-07,2.256388e-07,2.259063e-07,2.324687e-07,2.342631e-07,2.387910e-07,2.424695e-07,2.448743e-07,2.502613e-07,2.507203e-07,2.563318e-07,2.576440e-07,2.617119e-07,2.646249e-07,2.668641e-07,2.712127e-07,2.717924e-07,2.765013e-07,2.774172e-07,2.809954e-07,2.832490e-07,2.852794e-07,2.887193e-07,2.893583e-07,2.932372e-07,2.938396e-07,2.969210e-07,2.986216e-07,3.004151e-07,3.030773e-07,3.037246e-07,3.068547e-07,3.072185e-07,3.098105e-07,3.110572e-07,3.125972e-07,3.146050e-07,3.152198e-07,3.176833e-07,3.178737e-07,3.199929e-07,3.208746e-07,3.221532e-07,3.236190e-07,3.241692e-07,3.260456e-07,3.261178e-07,3.277870e-07,3.283818e-07,3.293980e-07,3.304213e-07,3.308830e-07,3.322465e-07,3.334926e-07,3.338673e-07,3.346256e-07,3.352932e-07,3.356495e-07,3.365335e-07,3.365683e-07,3.373860e-07,3.375973e-07,3.381062e-07,3.384931e-07,3.387327e-07,3.392294e-07,3.392690e-07,3.397187e-07,3.398141e-07,3.400852e-07,3.402553e-07,3.403717e-07,3.405602e-07,3.405814e-07,3.407176e-07,3.407363e-07,3.407832e-07,3.407903e-07,3.407811e-07,3.407292e-07,3.407142e-07,3.405853e-07,3.405591e-07,3.403971e-07,3.402864e-07,3.401521e-07,3.399170e-07,3.398529e-07,3.395020e-07,3.394565e-07,3.391016e-07,3.389104e-07,3.386541e-07,3.382839e-07,3.381617e-07,3.376266e-07,3.375820e-07,3.370508e-07,3.368095e-07,3.364362e-07,3.359709e-07,3.357850e-07,3.350989e-07,3.350707e-07,3.343797e-07,3.341131e-07,3.336292e-07,3.331019e-07,3.328491e-07,3.320410e-07,3.309341e-07,3.297846e-07,3.285959e-07,3.273710e-07,3.261131e-07,3.248248e-07,3.235090e-07,3.221682e-07,3.208049e-07,3.194215e-07,3.180200e-07,3.166027e-07,3.151715e-07,3.137282e-07,3.122748e-07,3.108128e-07,3.093439e-07,3.078695e-07,3.063912e-07,3.049102e-07,3.034278e-07,3.019452e-07,3.004635e-07,2.989838e-07
0.000000e+00,1.963402e-11,4.532121e-11,1.573988e-10,3.605494e-10,5.280448e-10,1.212556e-09,1.249772e-09,2.456679e-09,2.902667e-09,4.308241e-09,5.800686e-09,6.974418e-09,1.024103e-08,1.056214e-08,1.504611e-08,1.624458e-08,2.032558e-08,2.359408e-08,2.630859e-08,3.210317e-08,3.292964e-08,4.013790e-08,4.164586e-08,4.788585e-08,5.211157e-08,5.612323e-08,6.338051e-08,6.479467e-08,7.383947e-08,7.531699e-08,8.319264e-08,8.777186e-08,9.278645e-08,1.005886e-07,1.025523e-07,1.124223e-07,1.136105e-07,1.223312e-07,1.266874e-07,1.322174e-07,1.396807e-07,1.420242e-07,1.517005e-07,1.524675e-07,1.612008e-07,1.649427e-07,1.704860e-07,1.770191e-07,1.795227e-07,1.882834e-07,1.886278e-07,1.967461e-07,1.997163e-07,2.048936e-07,2.102474e-07,2.127134e-07,2.201970e-07,2.273391e-07,2.295521e-07,2.341379e-07,2.383090e-07,2.405938e-07,2.464716e-07,2.467097e-07,2.524902e-07,2.540494e-07,2.579412e-07,2.610567e-07,2.630701e-07,2.675113e-07,2.678851e-07,2.723950e-07,2.734331e-07,2.766094e-07,2.788441e-07,2.805382e-07,2.837671e-07,2.841913e-07,2.875790e-07,2.882256e-07,2.907115e-07,2.922430e-07,2.935991e-07,2.958427e-07,2.962518e-07,2.986796e-07,2.990479e-07,3.008924e-07,3.018810e-07,3.028997e-07,3.043639e-07,3.047109e-07,3.063349e-07,3.065177e-07,3.077808e-07,3.083627e-07,3.090569e-07,3.099184e-07,3.101716e-07,3.111329e-07,3.112035e-07,3.119485e-07,3.122356e-07,3.126258e-07,3.130318e-07,3.131719e-07,3.135937e-07,3.136081e-07,3.138978e-07,3.139797e-07,3.140906e-07,3.141612e-07,3.141781e-07,3.141662e-07,3.140604e-07,3.140076e-07,3.138662e-07,3.136978e-07,3.135885e-07,3.132481e-07,3.132324e-07,3.128025e-07,3.126695e-07,3.123033e-07,3.119723e-07,3.117391e-07,3.111661e-07,3.111139e-07,3.104317e-07,3.102599e-07,3.096961e-07,3.092622e-07,3.089108e-07,3.081812e-07,3.080791e-07,3.072042e-07,3.070243e-07,3.062892e-07,3.057985e-07,3.053370e-07,3.045105e-07,3.043504e-07,3.033322e-07,3.031664e-07,3.022846e-07,3.017721e-07,3.012103e-07,3.003330e-07,3.001114e-07,2.989901e-07,2.988541e-07,2.978485e-07,2.973402e-07,2.966884e-07,2.957957e-07,2.955119e-07,2.943206e-07,2.942247e-07,2.931161e-07,2.926310e-07,2.919001e-07,2.910183e-07,2.906740e-07,2.894393e-07,2.893898e-07,2.881973e-07,2.877486e-07,2.869492e-07,2.860977e-07,2.856963e-07,2.844396e-07,2.827769e-07,2.811118e-07,2.794465e-07,2.777828e-07,2.761226e-07,2.744676e-07,2.728192e-07,2.711789e-07,2.695479e-07,2.679274e-07,2.663185e-07,2.647221e-07,2.631392e-07,2.615704e-07,2.600166e-07,2.584783e-07,2.569562e-07,2.554506e-07,2.539622e-07,2.524913e-07,2.510382e-07,2.496032e-07,2.481865e-07,2.467885e-07
0.000000e+00,1.608023e-10,5.351505e-10,2.833696e-09,7.980744e-09,1.263242e-08,3.321953e-08,3.438025e-08,7.305835e-08,8.764747e-08,1.341099e-07,1.840045e-07,2.236771e-07,3.370729e-07,3.485193e-07,5.151395e-07,5.619009e-07,7.278379e-07,8.673409e-07,9.868531e-07,1.250363e-06,1.288676e-06,1.628189e-06,1.700164e-06,2.000404e-06,2.205423e-06,2.401015e-06,2.756739e-06,2.826302e-06,3.272896e-06,3.346114e-06,3.737613e-06,3.966206e-06,4.217368e-06,4.609973e-06,4.709149e-06,5.210030e-06,5.270612e-06,5.717207e-06,5.941670e-06,6.228026e-06,6.617155e-06,6.740016e-06,7.250919e-06,7.291681e-06,7.758684e-06,7.960496e-06,8.261492e-06,8.619543e-06,8.757752e-06,9.246085e-06,9.265436e-06,9.725325e-06,9.895431e-06,1.019449e-05,1.050736e-05,1.065279e-05,1.109956e-05,1.153432e-05,1.167083e-05,1.195666e-05,1.222033e-05,1.236633e-05,1.274752e-05,1.276314e-05,1.314699e-05,1.325214e-05,1.351785e-05,1.373414e-05,1.387575e-05,1.419362e-05,1.422075e-05,1.455297e-05,1.463082e-05,1.487256e-05,1.504608e-05,1.517969e-05,1.543982e-05,1.547456e-05,1.575738e-05,1.581252e-05,1.602839e-05,1.616472e-05,1.628782e-05,1.649699e-05,1.653593e-05,1.677298e-05,1.680990e-05,1.699922e-05,1.710406e-05,1.721493e-05,1.738010e-05,1.742037e-05,1.761582e-05,1.763861e-05,1.780153e-05,1.788023e-05,1.797778e-05,1.810557e-05,1.814484e-05,1.830296e-05,1.831523e-05,1.845241e-05,1.850982e-05,1.859345e-05,1.868994e-05,1.872634e-05,1.885131e-05,1.885615e-05,1.896863e-05,1.900904e-05,1.907853e-05,1.914915e-05,1.918125e-05,1.927703e-05,1.936608e-05,1.939320e-05,1.944865e-05,1.949819e-05,1.952494e-05,1.959248e-05,1.959518e-05,1.965956e-05,1.967657e-05,1.971831e-05,1.975093e-05,1.977160e-05,1.981600e-05,1.981965e-05,1.986265e-05,1.987223e-05,1.990076e-05,1.992005e-05,1.993419e-05,1.995986e-05,1.996310e-05,1.998766e-05,1.999207e-05,2.000805e-05,2.001705e-05,2.002442e-05,2.003518e-05,2.003693e-05,2.004573e-05,2.004681e-05,2.005098e-05,2.005228e-05,2.005282e-05,2.005192e-05,2.005138e-05,2.004681e-05,2.004606e-05,2.003924e-05,2.003499e-05,2.002879e-05,2.001901e-05,2.001559e-05,1.999977e-05,1.999839e-05,1.998143e-05,1.997341e-05,1.996069e-05,1.994433e-05,1.993766e-05,1.991245e-05,1.991139e-05,1.988516e-05,1.987484e-05,1.985588e-05,1.983490e-05,1.982473e-05,1.979178e-05,1.974570e-05,1.969686e-05,1.964544e-05,1.959163e-05,1.953561e-05,1.947754e-05,1.941757e-05,1.935587e-05,1.929257e-05,1.922781e-05,1.916173e-05,1.909444e-05,1.902607e-05,1.895673e-05,1.888653e-05,1.881556e-05,1.874393e-05,1.867172e-05,1.859903e-05,1.852593e-05,1.845251e-05,1.837884e-05,1.830499e-05,1.823102e-05
0.000000e+00,4.724624e-11,2.169621e-10,1.965094e-09,8.022789e-09,1.501690e-08,5.572969e-08,5.836050e-08,1.585484e-07,2.009370e-07,3.466674e-07,5.159387e-07,6.571710e-07,1.083350e-06,1.127834e-06,1.798276e-06,1.993043e-06,2.703551e-06,3.321466e-06,3.863883e-06,5.096052e-06,5.278817e-06,6.930580e-06,7.287054e-06,8.792238e-06,9.833529e-06,1.083460e-05,1.266932e-05,1.302972e-05,1.535184e-05,1.573354e-05,1.777696e-05,1.897087e-05,2.028227e-05,2.232943e-05,2.284574e-05,2.544593e-05,2.575943e-05,2.806214e-05,2.921322e-05,3.067463e-05,3.264621e-05,3.326492e-05,3.581606e-05,3.601800e-05,3.831288e-05,3.929337e-05,4.074214e-05,4.244297e-05,4.309258e-05,4.535495e-05,4.544350e-05,4.752191e-05,4.827755e-05,4.958796e-05,5.093322e-05,5.154928e-05,5.340354e-05,5.514974e-05,5.568571e-05,5.678806e-05,5.778044e-05,5.831961e-05,5.969125e-05,5.974633e-05,6.107081e-05,6.142375e-05,6.229613e-05,6.298517e-05,6.342579e-05,6.438380e-05,6.446353e-05,6.541333e-05,6.562865e-05,6.627926e-05,6.672907e-05,6.706542e-05,6.769455e-05,6.777596e-05,6.841494e-05,6.853450e-05,6.898636e-05,6.925811e-05,6.949415e-05,6.987427e-05,6.994206e-05,7.033374e-05,7.039143e-05,7.067267e-05,7.081760e-05,7.096217e-05,7.116034e-05,7.120544e-05,7.140551e-05,7.142675e-05,7.156524e-05,7.162345e-05,7.168735e-05,7.175658e-05,7.177441e-05,7.182886e-05,7.183187e-05,7.185298e-05,7.185462e-05,7.184894e-05,7.182973e-05,7.181876e-05,7.176437e-05,7.176172e-05,7.168756e-05,7.165475e-05,7.159001e-05,7.151266e-05,7.147333e-05,7.133898e-05,7.118838e-05,7.113697e-05,7.102283e-05,7.090960e-05,7.084355e-05,7.065960e-05,7.065170e-05,7.044835e-05,7.038949e-05,7.023451e-05,7.010157e-05,7.001113e-05,6.979795e-05,6.977909e-05,6.953921e-05,6.948057e-05,6.929227e-05,6.915117e-05,6.903899e-05,6.881140e-05,6.878005e-05,6.851607e-05,6.846272e-05,6.824764e-05,6.810649e-05,6.797532e-05,6.774394e-05,6.769962e-05,6.742101e-05,6.737620e-05,6.713995e-05,6.700429e-05,6.685685e-05,6.662916e-05,6.657210e-05,6.628605e-05,6.625166e-05,6.599906e-05,6.587256e-05,6.571142e-05,6.549257e-05,6.542344e-05,6.513538e-05,6.511234e-05,6.484749e-05,6.473243e-05,6.456001e-05,6.435339e-05,6.427315e-05,6.398711e-05,6.397569e-05,6.370208e-05,6.359975e-05,6.341822e-05,6.322596e-05,6.313571e-05,6.285467e-05,6.248620e-05,6.212082e-05,6.175878e-05,6.140031e-05,6.104560e-05,6.069483e-05,6.034814e-05,6.000567e-05,5.966753e-05,5.933382e-05,5.900463e-05,5.868001e-05,5.836003e-05,5.804472e-05,5.773413e-05,5.742828e-05,5.712717e-05,5.683082e-05,5.653923e-05,5.625239e-05,5.597029e-05,5.569290e-05,5.542021e-05,5.515218e-05
0.000000e+00,2.628132e-12,6.011964e-12,2.059367e-11,4.662114e-11,6.779999e-11,1.523166e-10,1.568294e-10,2.993559e-10,3.503754e-10,5.065143e-10,6.663285e-10,7.890599e-10,1.124160e-09,1.156930e-09,1.617483e-09,1.742146e-09,2.172292e-09,2.522151e-09,2.815255e-09,3.445006e-09,3.535012e-09,4.319057e-09,4.482540e-09,5.155804e-09,5.608230e-09,6.034784e-09,6.798663e-09,6.946313e-09,7.881258e-09,8.032438e-09,8.830978e-09,9.289689e-09,9.787369e-09,1.055225e-08,1.074297e-08,1.169105e-08,1.180402e-08,1.262568e-08,1.303131e-08,1.354177e-08,1.422297e-08,1.443509e-08,1.530220e-08,1.537035e-08,1.614042e-08,1.646716e-08,1.694779e-08,1.750921e-08,1.772295e-08,1.846507e-08,1.849406e-08,1.917379e-08,1.942075e-08,1.984913e-08,2.028945e-08,2.049142e-08,2.110124e-08,2.167937e-08,2.185782e-08,2.222673e-08,2.256136e-08,2.274434e-08,2.321430e-08,2.323332e-08,2.369482e-08,2.381927e-08,2.412999e-08,2.437896e-08,2.454003e-08,2.489607e-08,2.492610e-08,2.528935e-08,2.537326e-08,2.563091e-08,2.581311e-08,2.595186e-08,2.621809e-08,2.625326e-08,2.653612e-08,2.659055e-08,2.680141e-08,2.693273e-08,2.705006e-08,2.724672e-08,2.728296e-08,2.750093e-08,2.753447e-08,2.770478e-08,2.779783e-08,2.789525e-08,2.803849e-08,2.807307e-08,2.823892e-08,2.825805e-08,2.839344e-08,2.845800e-08,2.853724e-08,2.863971e-08,2.867089e-08,2.879494e-08,2.880446e-08,2.890989e-08,2.895343e-08,2.901623e-08,2.908773e-08,2.911443e-08,2.920491e-08,2.920838e-08,2.928809e-08,2.931632e-08,2.936434e-08,2.941243e-08,2.943405e-08,2.949754e-08,2.955516e-08,2.957240e-08,2.960720e-08,2.963771e-08,2.965396e-08,2.969414e-08,2.969571e-08,2.973273e-08,2.974228e-08,2.976525e-08,2.978270e-08,2.979351e-08,2.981593e-08,2.981773e-08,2.983812e-08,2.984246e-08,2.985488e-08,2.986275e-08,2.986820e-08,2.987722e-08,2.987826e-08,2.988523e-08,2.988627e-08,2.988927e-08,2.989027e-08,2.989054e-08,2.988956e-08,2.988917e-08,2.988531e-08,2.988447e-08,2.987908e-08,2.987529e-08,2.987062e-08,2.986232e-08,2.986004e-08,2.984745e-08,2.984581e-08,2.983296e-08,2.982601e-08,2.981667e-08,2.980315e-08,2.979868e-08,2.977908e-08,2.977745e-08,2.975796e-08,2.974911e-08,2.973541e-08,2.971832e-08,2.971149e-08,2.968630e-08,2.968526e-08,2.965990e-08,2.965011e-08,2.963235e-08,2.961301e-08,2.960374e-08,2.957411e-08,2.953356e-08,2.949148e-08,2.944801e-08,2.940324e-08,2.935731e-08,2.931029e-08,2.926230e-08,2.921343e-08,2.916375e-08,2.911336e-08,2.906233e-08,2.901072e-08,2.895861e-08,2.890606e-08,2.885314e-08,2.879989e-08,2.874638e-08,2.869265e-08,2.863875e-08,2.858472e-08,2.853061e-08,2.847646e-08,2.842230e-08,2.836818e-08
0.000000e+00,7.627453e-11,2.145386e-10,9.132211e-10,2.278948e-09,3.431012e-09,8.157402e-09,8.412723e-09,1.653315e-08,1.945258e-08,2.839371e-08,3.753655e-08,4.454598e-08,6.363218e-08,6.549554e-08,9.167490e-08,9.877261e-08,1.233708e-07,1.435511e-07,1.605976e-07,1.976242e-07,2.029525e-07,2.495568e-07,2.592831e-07,2.991866e-07,3.257520e-07,3.505343e-07,3.941310e-07,4.024293e-07,4.539306e-07,4.620836e-07,5.043223e-07,5.279538e-07,5.530712e-07,5.906205e-07,5.997857e-07,6.441836e-07,6.493456e-07,6.860700e-07,7.036704e-07,7.253218e-07,7.533502e-07,7.618757e-07,7.957187e-07,7.983096e-07,8.268797e-07,8.386064e-07,8.554220e-07,8.744004e-07,8.814351e-07,9.050281e-07,9.059232e-07,9.263245e-07,9.334546e-07,9.454580e-07,9.573038e-07,9.625667e-07,9.777902e-07,9.912670e-07,9.952328e-07,1.003132e-06,1.009940e-06,1.013515e-06,1.022204e-06,1.022541e-06,1.030325e-06,1.032297e-06,1.036976e-06,1.040466e-06,1.042597e-06,1.046940e-06,1.047283e-06,1.051119e-06,1.051922e-06,1.054185e-06,1.055593e-06,1.056554e-06,1.058115e-06,1.058292e-06,1.059461e-06,1.059632e-06,1.060115e-06,1.060269e-06,1.060305e-06,1.060139e-06,1.060076e-06,1.059469e-06,1.059339e-06,1.058521e-06,1.057955e-06,1.057267e-06,1.056063e-06,1.055737e-06,1.053959e-06,1.053730e-06,1.051958e-06,1.051013e-06,1.049757e-06,1.047964e-06,1.047378e-06,1.044838e-06,1.044629e-06,1.042156e-06,1.041047e-06,1.039346e-06,1.037253e-06,1.036424e-06,1.033402e-06,1.033279e-06,1.030291e-06,1.029152e-06,1.027103e-06,1.024896e-06,1.023848e-06,1.020534e-06,1.017170e-06,1.016084e-06,1.013763e-06,1.011563e-06,1.010320e-06,1.006988e-06,1.006849e-06,1.003353e-06,1.002371e-06,9.998396e-07,9.977247e-07,9.963126e-07,9.930599e-07,9.927768e-07,9.892363e-07,9.883863e-07,9.856949e-07,9.837126e-07,9.821560e-07,9.790464e-07,9.786229e-07,9.750985e-07,9.743949e-07,9.715855e-07,9.697641e-07,9.680864e-07,9.651595e-07,9.646034e-07,9.611387e-07,9.605862e-07,9.576941e-07,9.560484e-07,9.542715e-07,9.515503e-07,9.508724e-07,9.474983e-07,9.470951e-07,9.441505e-07,9.426861e-07,9.408302e-07,9.383258e-07,9.375385e-07,9.342764e-07,9.340168e-07,9.310448e-07,9.297609e-07,9.278446e-07,9.255601e-07,9.246763e-07,9.215407e-07,9.214159e-07,9.184383e-07,9.173297e-07,9.153697e-07,9.133025e-07,9.123352e-07,9.093353e-07,9.054289e-07,9.015839e-07,8.978008e-07,8.940798e-07,8.904213e-07,8.868252e-07,8.832917e-07,8.798207e-07,8.764119e-07,8.730651e-07,8.697801e-07,8.665565e-07,8.633938e-07,8.602916e-07,8.572493e-07,8.542663e-07,8.513422e-07,8.484762e-07,8.456677e-07,8.429159e-07,8.402203e-07,8.375800e-07,8.349943e-07,8.324624e-07
0.000000e+00,1.701503e-10,4.953810e-10,2.204439e-09,5.651747e-09,8.617593e-09,2.113811e-08,2.182784e-08,4.436019e-08,5.272006e-08,7.909167e-08,1.071524e-07,1.293288e-07,1.920190e-07,1.982783e-07,2.875381e-07,3.119017e-07,3.958899e-07,4.637750e-07,5.202499e-07,6.403966e-07,6.574489e-07,8.049747e-07,8.355424e-07,9.609044e-07,1.044777e-06,1.123658e-06,1.264604e-06,1.291815e-06,1.464016e-06,1.491853e-06,1.638915e-06,1.723435e-06,1.815184e-06,1.956309e-06,1.991520e-06,2.166670e-06,2.187551e-06,2.339456e-06,2.414451e-06,2.508797e-06,2.634593e-06,2.673726e-06,2.833403e-06,2.845928e-06,2.987118e-06,3.046802e-06,3.134297e-06,3.235964e-06,3.274495e-06,3.407388e-06,3.412548e-06,3.532767e-06,3.576041e-06,3.650525e-06,3.726234e-06,3.760643e-06,3.863181e-06,3.958261e-06,3.987140e-06,4.046061e-06,4.098531e-06,4.126797e-06,4.197892e-06,4.200721e-06,4.268108e-06,4.285844e-06,4.329250e-06,4.363063e-06,4.384450e-06,4.430248e-06,4.434013e-06,4.478249e-06,4.488106e-06,4.517461e-06,4.537337e-06,4.551949e-06,4.578621e-06,4.582002e-06,4.607903e-06,4.612609e-06,4.629921e-06,4.639922e-06,4.648314e-06,4.661144e-06,4.663329e-06,4.675199e-06,4.676822e-06,4.684147e-06,4.687466e-06,4.690381e-06,4.693546e-06,4.694097e-06,4.695480e-06,4.695498e-06,4.694703e-06,4.693719e-06,4.691928e-06,4.688578e-06,4.687309e-06,4.680988e-06,4.680413e-06,4.673099e-06,4.669532e-06,4.663765e-06,4.656215e-06,4.653102e-06,4.641220e-06,4.640721e-06,4.628220e-06,4.623284e-06,4.614195e-06,4.604118e-06,4.599234e-06,4.583419e-06,4.566825e-06,4.561363e-06,4.549525e-06,4.538112e-06,4.531583e-06,4.513814e-06,4.513063e-06,4.494020e-06,4.488602e-06,4.474510e-06,4.462599e-06,4.454580e-06,4.435915e-06,4.434278e-06,4.413647e-06,4.408651e-06,4.392727e-06,4.380899e-06,4.371554e-06,4.352741e-06,4.350164e-06,4.328588e-06,4.324254e-06,4.306857e-06,4.295505e-06,4.284999e-06,4.266559e-06,4.263039e-06,4.241002e-06,4.237470e-06,4.218909e-06,4.208291e-06,4.196782e-06,4.179068e-06,4.174639e-06,4.152498e-06,4.149842e-06,4.130376e-06,4.120653e-06,4.108289e-06,4.091534e-06,4.086250e-06,4.064272e-06,4.062517e-06,4.042368e-06,4.033629e-06,4.020548e-06,4.004896e-06,3.998823e-06,3.977203e-06,3.976341e-06,3.955697e-06,3.947984e-06,3.934311e-06,3.919842e-06,3.913055e-06,3.891933e-06,3.864271e-06,3.836869e-06,3.809737e-06,3.782886e-06,3.756325e-06,3.730060e-06,3.704099e-06,3.678447e-06,3.653109e-06,3.628088e-06,3.603388e-06,3.579010e-06,3.554957e-06,3.531230e-06,3.507829e-06,3.484755e-06,3.462007e-06,3.439585e-06,3.417488e-06,3.395713e-06,3.374261e-06,3.353129e-06,3.332314e-06,3.311815e-06
0.000000e+00,3.867694e-12,1.963552e-11,2.179389e-10,1.064710e-09,2.194009e-09,1.035396e-08,1.094652e-08,3.728910e-08,5.015182e-08,1.000635e-07,1.667933e-07,2.282551e-07,4.388450e-07,4.626799e-07,8.559731e-07,9.807149e-07,1.469623e-06,1.933817e-06,2.368778e-06,3.446637e-06,3.616784e-06,5.270776e-06,5.654693e-06,7.378643e-06,8.666802e-06,9.977214e-06,1.255778e-05,1.309136e-05,1.673376e-05,1.736578e-05,2.090514e-05,2.309258e-05,2.559487e-05,2.970603e-05,3.078188e-05,3.643574e-05,3.714382e-05,4.251793e-05,4.531836e-05,4.898329e-05,5.412237e-05,5.578142e-05,6.285826e-05,6.343477e-05,7.015748e-05,7.312663e-05,7.762191e-05,8.306668e-05,8.519478e-05,9.282087e-05,9.312626e-05,1.004474e-04,1.031835e-04,1.080250e-04,1.131264e-04,1.155081e-04,1.228554e-04,1.300303e-04,1.322846e-04,1.370010e-04,1.413423e-04,1.437402e-04,1.499713e-04,1.502256e-04,1.564390e-04,1.581280e-04,1.623667e-04,1.657819e-04,1.679987e-04,1.729136e-04,1.733288e-04,1.783539e-04,1.795145e-04,1.830737e-04,1.855843e-04,1.874906e-04,1.911303e-04,1.916089e-04,1.954351e-04,1.961659e-04,1.989767e-04,2.007089e-04,2.022429e-04,2.047810e-04,2.052437e-04,2.079897e-04,2.084062e-04,2.104923e-04,2.116104e-04,2.127628e-04,2.144202e-04,2.148132e-04,2.166552e-04,2.168628e-04,2.183004e-04,2.189649e-04,2.197604e-04,2.207531e-04,2.210465e-04,2.221695e-04,2.222526e-04,2.231401e-04,2.234880e-04,2.239685e-04,2.244823e-04,2.246644e-04,2.252370e-04,2.252574e-04,2.256952e-04,2.258337e-04,2.260473e-04,2.262303e-04,2.263013e-04,2.264647e-04,2.265444e-04,2.265533e-04,2.265470e-04,2.265111e-04,2.264787e-04,2.263518e-04,2.263453e-04,2.261521e-04,2.260880e-04,2.259041e-04,2.257311e-04,2.256062e-04,2.252916e-04,2.252625e-04,2.248773e-04,2.247791e-04,2.244542e-04,2.242021e-04,2.239968e-04,2.235684e-04,2.235083e-04,2.229917e-04,2.228852e-04,2.224498e-04,2.221589e-04,2.218852e-04,2.213951e-04,2.213003e-04,2.206973e-04,2.205992e-04,2.200782e-04,2.197759e-04,2.194450e-04,2.189294e-04,2.187994e-04,2.181431e-04,2.180636e-04,2.174774e-04,2.171820e-04,2.168039e-04,2.162876e-04,2.161238e-04,2.154382e-04,2.153832e-04,2.147484e-04,2.144715e-04,2.140552e-04,2.135546e-04,2.133597e-04,2.126626e-04,2.126347e-04,2.119648e-04,2.117136e-04,2.112671e-04,2.107929e-04,2.105700e-04,2.098742e-04,2.089587e-04,2.080477e-04,2.071422e-04,2.062432e-04,2.053514e-04,2.044678e-04,2.035930e-04,2.027275e-04,2.018719e-04,2.010266e-04,2.001920e-04,1.993686e-04,1.985565e-04,1.977560e-04,1.969674e-04,1.961909e-04,1.954265e-04,1.946744e-04,1.939346e-04,1.932073e-04,1.924925e-04,1.917901e-04,1.911002e-04,1.904227e-04
0.000000e+00,1.213380e-10,2.906392e-10,1.049311e-09,2.444030e-09,3.597735e-09,8.294513e-09,8.548394e-09,1.668206e-08,1.963937e-08,2.881220e-08,3.836865e-08,4.581075e-08,6.654473e-08,6.860328e-08,9.808993e-08,1.062466e-07,1.349503e-07,1.589159e-07,1.793971e-07,2.245281e-07,2.310928e-07,2.893287e-07,3.016883e-07,3.532830e-07,3.885354e-07,4.221702e-07,4.833265e-07,4.952808e-07,5.719707e-07,5.845328e-07,6.516410e-07,6.907737e-07,7.337237e-07,8.007604e-07,8.176747e-07,9.029729e-07,9.132754e-07,9.891224e-07,1.027176e-06,1.075656e-06,1.141409e-06,1.162139e-06,1.248173e-06,1.255025e-06,1.333398e-06,1.367188e-06,1.417492e-06,1.477181e-06,1.500175e-06,1.581204e-06,1.584408e-06,1.660373e-06,1.688384e-06,1.737509e-06,1.788728e-06,1.812473e-06,1.885154e-06,1.955468e-06,1.977457e-06,2.023352e-06,2.065503e-06,2.088766e-06,2.149217e-06,2.151686e-06,2.212103e-06,2.228572e-06,2.270023e-06,2.303582e-06,2.325461e-06,2.374294e-06,2.378443e-06,2.429002e-06,2.440779e-06,2.477177e-06,2.503131e-06,2.523014e-06,2.561454e-06,2.566560e-06,2.607870e-06,2.615868e-06,2.646997e-06,2.666500e-06,2.683999e-06,2.713480e-06,2.718933e-06,2.751860e-06,2.756946e-06,2.782838e-06,2.797033e-06,2.811928e-06,2.833880e-06,2.839189e-06,2.864682e-06,2.867625e-06,2.888465e-06,2.898403e-06,2.910597e-06,2.926348e-06,2.931134e-06,2.950135e-06,2.951591e-06,2.967655e-06,2.974261e-06,2.983748e-06,2.994482e-06,2.998468e-06,3.011868e-06,3.012377e-06,3.023998e-06,3.028064e-06,3.034909e-06,3.041656e-06,3.044649e-06,3.053265e-06,3.060805e-06,3.062998e-06,3.067312e-06,3.070956e-06,3.072831e-06,3.077239e-06,3.077404e-06,3.081072e-06,3.081943e-06,3.083875e-06,3.085158e-06,3.085852e-06,3.086973e-06,3.087040e-06,3.087476e-06,3.087473e-06,3.087195e-06,3.086737e-06,3.086231e-06,3.084844e-06,3.084617e-06,3.082384e-06,3.081866e-06,3.079564e-06,3.077876e-06,3.076187e-06,3.072940e-06,3.072280e-06,3.067872e-06,3.067122e-06,3.062990e-06,3.060485e-06,3.057658e-06,3.053087e-06,3.051903e-06,3.045748e-06,3.044983e-06,3.039215e-06,3.036228e-06,3.032328e-06,3.026870e-06,3.025108e-06,3.017574e-06,3.016959e-06,3.009748e-06,3.006539e-06,3.001647e-06,2.995655e-06,2.993291e-06,2.984696e-06,2.984347e-06,2.975880e-06,2.972655e-06,2.966858e-06,2.960614e-06,2.957647e-06,2.948261e-06,2.935627e-06,2.922745e-06,2.909643e-06,2.896351e-06,2.882893e-06,2.869294e-06,2.855578e-06,2.841768e-06,2.827882e-06,2.813941e-06,2.799963e-06,2.785964e-06,2.771961e-06,2.757969e-06,2.744001e-06,2.730070e-06,2.716188e-06,2.702367e-06,2.688617e-06,2.674947e-06,2.661366e-06,2.647883e-06,2.634505e-06,2.621239e-06
0.000000e+00,7.158811e-12,3.555455e-11,3.768634e-10,1.764021e-09,3.549209e-09,1.571861e-08,1.657424e-08,5.282821e-08,6.972976e-08,1.325122e-07,2.119923e-07,2.822199e-07,5.092660e-07,5.339979e-07,9.242247e-07,1.042824e-06,1.492453e-06,1.903833e-06,2.280154e-06,3.188098e-06,3.329119e-06,4.679154e-06,4.988470e-06,6.364908e-06,7.383198e-06,8.412194e-06,1.042173e-05,1.083470e-05,1.363208e-05,1.411367e-05,1.678986e-05,1.842608e-05,2.028100e-05,2.328930e-05,2.406846e-05,2.810824e-05,2.860771e-05,3.235229e-05,3.427162e-05,3.675107e-05,4.016738e-05,4.125553e-05,4.581871e-05,4.618496e-05,5.039675e-05,5.222303e-05,5.494965e-05,5.819188e-05,5.944159e-05,6.384118e-05,6.401485e-05,6.812146e-05,6.962865e-05,7.225973e-05,7.498300e-05,7.623742e-05,8.003981e-05,8.365570e-05,8.477201e-05,8.707712e-05,8.916231e-05,9.029897e-05,9.320179e-05,9.331869e-05,9.613594e-05,9.688866e-05,9.875228e-05,1.002269e-04,1.011708e-04,1.032251e-04,1.033961e-04,1.054336e-04,1.058954e-04,1.072898e-04,1.082526e-04,1.089716e-04,1.103133e-04,1.104865e-04,1.118424e-04,1.120952e-04,1.130472e-04,1.136167e-04,1.141090e-04,1.148963e-04,1.150359e-04,1.158357e-04,1.159524e-04,1.165163e-04,1.168029e-04,1.170852e-04,1.174649e-04,1.175499e-04,1.179172e-04,1.179551e-04,1.181942e-04,1.182890e-04,1.183871e-04,1.184815e-04,1.185024e-04,1.185457e-04,1.185462e-04,1.185227e-04,1.184961e-04,1.184387e-04,1.183432e-04,1.182986e-04,1.181071e-04,1.180984e-04,1.178686e-04,1.177720e-04,1.175873e-04,1.173735e-04,1.172669e-04,1.169113e-04,1.165237e-04,1.163935e-04,1.161073e-04,1.158272e-04,1.156652e-04,1.152190e-04,1.152000e-04,1.147143e-04,1.145750e-04,1.142105e-04,1.139005e-04,1.136909e-04,1.132006e-04,1.131575e-04,1.126122e-04,1.124798e-04,1.120569e-04,1.117421e-04,1.114931e-04,1.109911e-04,1.109223e-04,1.103461e-04,1.102303e-04,1.097656e-04,1.094625e-04,1.091821e-04,1.086904e-04,1.085967e-04,1.080103e-04,1.079165e-04,1.074240e-04,1.071428e-04,1.068385e-04,1.063713e-04,1.062547e-04,1.056733e-04,1.056037e-04,1.050948e-04,1.048414e-04,1.045200e-04,1.040858e-04,1.039492e-04,1.033831e-04,1.033380e-04,1.028220e-04,1.025991e-04,1.022664e-04,1.018699e-04,1.017165e-04,1.011728e-04,1.011512e-04,1.006354e-04,1.004436e-04,1.001047e-04,9.974771e-05,9.958082e-05,9.906395e-05,9.839272e-05,9.773432e-05,9.708898e-05,9.645689e-05,9.583817e-05,9.523290e-05,9.464111e-05,9.406282e-05,9.349797e-05,9.294651e-05,9.240835e-05,9.188336e-05,9.137142e-05,9.087237e-05,9.038603e-05,8.991222e-05,8.945075e-05,8.900142e-05,8.856400e-05,8.813828e-05,8.772403e-05,8.732103e-05,8.692903e-05,8.654782e-05
0.000000e+00,5.933458e-12,1.360709e-11,4.693946e-11,1.072656e-10,1.570437e-10,3.612944e-10,3.724415e-10,7.363637e-10,8.720089e-10,1.303566e-09,1.768861e-09,2.140434e-09,3.203519e-09,3.310337e-09,4.837740e-09,5.254538e-09,6.686861e-09,7.838214e-09,8.791624e-09,1.080794e-08,1.109293e-08,1.354848e-08,1.405530e-08,1.612818e-08,1.751076e-08,1.880857e-08,2.112290e-08,2.156919e-08,2.439078e-08,2.484663e-08,2.725459e-08,2.863880e-08,3.014224e-08,3.245751e-08,3.303589e-08,3.591849e-08,3.626289e-08,3.877412e-08,4.001823e-08,4.158817e-08,4.369096e-08,4.434760e-08,4.704097e-08,4.725328e-08,4.965853e-08,5.068245e-08,5.219217e-08,5.396070e-08,5.463536e-08,5.698306e-08,5.707493e-08,5.923157e-08,6.001624e-08,6.137841e-08,6.277942e-08,6.342216e-08,6.536234e-08,6.719927e-08,6.776542e-08,6.893393e-08,6.999113e-08,7.056786e-08,7.204352e-08,7.210306e-08,7.354189e-08,7.392785e-08,7.488699e-08,7.565023e-08,7.614121e-08,7.721742e-08,7.730757e-08,7.838919e-08,7.863652e-08,7.938925e-08,7.991486e-08,8.031098e-08,8.105986e-08,8.115759e-08,8.193229e-08,8.207889e-08,8.263826e-08,8.297924e-08,8.327861e-08,8.376803e-08,8.385639e-08,8.437457e-08,8.445214e-08,8.483605e-08,8.503825e-08,8.524365e-08,8.553276e-08,8.560008e-08,8.590798e-08,8.594179e-08,8.616989e-08,8.627119e-08,8.638825e-08,8.652654e-08,8.656542e-08,8.670367e-08,8.671311e-08,8.680516e-08,8.683593e-08,8.687197e-08,8.689974e-08,8.690611e-08,8.690949e-08,8.690901e-08,8.688392e-08,8.686798e-08,8.683117e-08,8.678063e-08,8.675291e-08,8.665073e-08,8.652616e-08,8.648180e-08,8.638064e-08,8.627717e-08,8.621557e-08,8.603994e-08,8.603227e-08,8.583199e-08,8.577304e-08,8.561594e-08,8.547920e-08,8.538524e-08,8.516100e-08,8.514099e-08,8.488420e-08,8.482082e-08,8.461588e-08,8.446092e-08,8.433693e-08,8.408337e-08,8.404824e-08,8.375066e-08,8.369014e-08,8.344496e-08,8.328305e-08,8.313191e-08,8.286378e-08,8.281221e-08,8.248655e-08,8.243393e-08,8.215555e-08,8.199495e-08,8.181982e-08,8.154821e-08,8.147993e-08,8.113642e-08,8.109498e-08,8.078979e-08,8.063641e-08,8.044053e-08,8.017361e-08,8.008909e-08,7.973589e-08,7.970757e-08,7.938134e-08,7.923922e-08,7.902581e-08,7.876942e-08,7.866965e-08,7.831321e-08,7.829895e-08,7.795678e-08,7.782853e-08,7.760067e-08,7.735883e-08,7.724515e-08,7.689047e-08,7.642399e-08,7.595991e-08,7.549869e-08,7.504075e-08,7.458648e-08,7.413622e-08,7.369028e-08,7.324894e-08,7.281246e-08,7.238104e-08,7.195490e-08,7.153419e-08,7.111908e-08,7.070968e-08,7.030610e-08,6.990845e-08,6.951679e-08,6.913118e-08,6.875168e-08,6.837830e-08,6.801109e-08,6.765004e-08,6.729515e-08,6.694643e-08
0.000000e+00,3.936328e-12,1.974985e-11,2.139899e-10,1.023491e-09,2.085649e-09,9.584304e-09,1.012272e-08,3.374418e-08,4.516247e-08,8.918657e-08,1.477133e-07,2.014290e-07,3.842944e-07,4.048716e-07,7.407120e-07,8.457927e-07,1.251481e-06,1.628525e-06,1.975588e-06,2.813916e-06,2.943791e-06,4.177739e-06,4.457674e-06,5.689967e-06,6.587994e-06,7.484659e-06,9.208402e-06,9.558705e-06,1.190278e-05,1.230199e-05,1.450236e-05,1.583552e-05,1.733861e-05,1.976314e-05,2.038926e-05,2.362935e-05,2.402963e-05,2.703201e-05,2.857348e-05,3.056918e-05,3.332980e-05,3.421228e-05,3.793288e-05,3.823304e-05,4.170328e-05,4.321939e-05,4.549696e-05,4.822880e-05,4.928907e-05,5.305670e-05,5.320660e-05,5.677911e-05,5.810450e-05,6.043790e-05,6.288124e-05,6.401700e-05,6.750275e-05,7.088374e-05,7.194197e-05,7.415076e-05,7.617845e-05,7.729662e-05,8.019768e-05,8.031598e-05,8.320515e-05,8.399046e-05,8.596196e-05,8.755208e-05,8.858549e-05,9.088160e-05,9.107596e-05,9.343454e-05,9.398117e-05,9.566316e-05,9.685537e-05,9.776443e-05,9.951064e-05,9.974144e-05,1.015977e-04,1.019548e-04,1.033371e-04,1.041967e-04,1.049636e-04,1.062457e-04,1.064814e-04,1.078949e-04,1.081117e-04,1.092083e-04,1.098045e-04,1.104260e-04,1.113341e-04,1.115522e-04,1.125912e-04,1.127102e-04,1.135471e-04,1.139424e-04,1.144239e-04,1.150398e-04,1.152255e-04,1.159558e-04,1.160112e-04,1.166183e-04,1.168651e-04,1.172166e-04,1.176095e-04,1.177541e-04,1.182340e-04,1.182521e-04,1.186594e-04,1.187998e-04,1.190334e-04,1.192597e-04,1.193586e-04,1.196379e-04,1.198738e-04,1.199406e-04,1.200688e-04,1.201732e-04,1.202252e-04,1.203412e-04,1.203453e-04,1.204312e-04,1.204494e-04,1.204849e-04,1.205024e-04,1.205082e-04,1.205046e-04,1.205031e-04,1.204713e-04,1.204599e-04,1.204144e-04,1.203721e-04,1.203339e-04,1.202448e-04,1.202314e-04,1.201082e-04,1.200812e-04,1.199657e-04,1.198843e-04,1.198051e-04,1.196571e-04,1.196276e-04,1.194344e-04,1.194021e-04,1.192265e-04,1.191218e-04,1.190050e-04,1.188186e-04,1.187707e-04,1.185247e-04,1.184945e-04,1.182678e-04,1.181515e-04,1.180008e-04,1.177915e-04,1.177244e-04,1.174395e-04,1.174163e-04,1.171466e-04,1.170274e-04,1.168465e-04,1.166263e-04,1.165398e-04,1.162270e-04,1.162144e-04,1.159088e-04,1.157930e-04,1.155856e-04,1.153632e-04,1.152579e-04,1.149263e-04,1.144831e-04,1.140347e-04,1.135820e-04,1.131257e-04,1.126667e-04,1.122056e-04,1.117430e-04,1.112797e-04,1.108161e-04,1.103527e-04,1.098900e-04,1.094285e-04,1.089685e-04,1.085105e-04,1.080547e-04,1.076015e-04,1.071511e-04,1.067038e-04,1.062599e-04,1.058195e-04,1.053829e-04,1.049502e-04,1.045216e-04,1.040973e-04
0.000000e+00,1.371621e-12,6.881899e-12,7.447327e-11,3.550671e-10,7.214836e-10,3.275063e-09,3.456708e-09,1.127423e-08,1.497039e-08,2.886252e-08,4.668470e-08,6.257554e-08,1.145294e-07,1.202278e-07,2.107879e-07,2.384926e-07,3.440250e-07,4.410702e-07,5.301226e-07,7.456871e-07,7.792328e-07,1.100932e-06,1.174747e-06,1.503586e-06,1.747215e-06,1.993722e-06,2.476184e-06,2.575531e-06,3.250589e-06,3.367216e-06,4.017823e-06,4.417876e-06,4.873662e-06,5.618313e-06,5.812331e-06,6.826218e-06,6.952521e-06,7.906269e-06,8.399877e-06,9.042379e-06,9.936689e-06,1.022375e-05,1.143925e-05,1.153763e-05,1.267767e-05,1.317697e-05,1.392800e-05,1.482965e-05,1.517966e-05,1.642268e-05,1.647208e-05,1.764781e-05,1.808284e-05,1.884669e-05,1.964310e-05,2.001189e-05,2.113698e-05,2.221654e-05,2.255164e-05,2.324617e-05,2.387730e-05,2.422242e-05,2.510710e-05,2.514283e-05,2.600575e-05,2.623694e-05,2.681038e-05,2.726510e-05,2.755661e-05,2.819202e-05,2.824498e-05,2.887655e-05,2.901984e-05,2.945287e-05,2.975217e-05,2.997583e-05,3.039365e-05,3.044764e-05,3.087071e-05,3.094970e-05,3.124761e-05,3.142624e-05,3.158102e-05,3.182945e-05,3.187365e-05,3.212821e-05,3.216559e-05,3.234739e-05,3.244081e-05,3.253381e-05,3.266106e-05,3.268999e-05,3.281836e-05,3.283200e-05,3.292122e-05,3.295896e-05,3.300074e-05,3.304683e-05,3.305897e-05,3.309782e-05,3.310014e-05,3.311906e-05,3.312299e-05,3.312432e-05,3.311908e-05,3.311513e-05,3.309287e-05,3.309173e-05,3.305883e-05,3.304391e-05,3.301416e-05,3.297827e-05,3.295995e-05,3.289715e-05,3.282665e-05,3.280259e-05,3.274925e-05,3.269643e-05,3.266568e-05,3.258026e-05,3.257660e-05,3.248261e-05,3.245549e-05,3.238425e-05,3.232335e-05,3.228202e-05,3.218494e-05,3.217637e-05,3.206769e-05,3.204120e-05,3.195636e-05,3.189298e-05,3.184271e-05,3.174103e-05,3.172705e-05,3.160965e-05,3.158598e-05,3.149076e-05,3.142842e-05,3.137061e-05,3.126887e-05,3.124941e-05,3.112736e-05,3.110776e-05,3.100462e-05,3.094551e-05,3.088136e-05,3.078247e-05,3.075772e-05,3.063384e-05,3.061896e-05,3.050984e-05,3.045527e-05,3.038584e-05,3.029165e-05,3.026193e-05,3.013821e-05,3.012833e-05,3.001478e-05,2.996550e-05,2.989170e-05,2.980335e-05,2.976906e-05,2.964692e-05,2.964205e-05,2.952535e-05,2.948173e-05,2.940439e-05,2.932253e-05,2.928411e-05,2.916456e-05,2.900793e-05,2.885273e-05,2.869904e-05,2.854693e-05,2.839648e-05,2.824772e-05,2.810073e-05,2.795553e-05,2.781216e-05,2.767066e-05,2.753105e-05,2.739335e-05,2.725759e-05,2.712377e-05,2.699191e-05,2.686201e-05,2.673407e-05,2.660810e-05,2.648410e-05,2.636206e-05,2.624197e-05,2.612383e-05,2.600763e-05,2.589336e-05
0.000000e+00,7.683060e-12,3.883419e-11,4.269250e-10,2.066168e-09,4.234238e-09,1.966881e-08,2.077992e-08,6.947362e-08,9.290614e-08,1.824789e-07,2.998836e-07,4.063273e-07,7.629019e-07,8.026721e-07,1.448371e-06,1.650308e-06,2.434779e-06,3.174250e-06,3.865601e-06,5.580822e-06,5.852326e-06,8.506807e-06,9.127157e-06,1.193202e-05,1.404691e-05,1.621314e-05,2.051602e-05,2.141097e-05,2.755834e-05,2.863071e-05,3.465958e-05,3.840133e-05,4.269220e-05,4.975854e-05,5.161000e-05,6.134705e-05,6.256682e-05,7.182184e-05,7.664083e-05,8.294142e-05,9.176184e-05,9.460522e-05,1.067085e-04,1.076926e-04,1.191455e-04,1.241902e-04,1.318117e-04,1.410164e-04,1.446062e-04,1.574334e-04,1.579458e-04,1.702041e-04,1.747719e-04,1.828369e-04,1.913105e-04,1.952581e-04,2.074028e-04,2.192142e-04,2.229155e-04,2.306444e-04,2.377409e-04,2.416534e-04,2.517957e-04,2.522089e-04,2.622858e-04,2.650190e-04,2.718660e-04,2.773703e-04,2.809370e-04,2.888267e-04,2.894921e-04,2.975291e-04,2.993810e-04,3.050502e-04,3.090387e-04,3.120611e-04,3.178156e-04,3.185707e-04,3.245902e-04,3.257364e-04,3.301331e-04,3.328319e-04,3.352144e-04,3.391379e-04,3.398505e-04,3.440587e-04,3.446935e-04,3.478570e-04,3.495399e-04,3.512637e-04,3.537196e-04,3.542974e-04,3.569768e-04,3.572754e-04,3.593202e-04,3.602496e-04,3.613459e-04,3.626838e-04,3.630716e-04,3.645148e-04,3.646186e-04,3.656923e-04,3.660926e-04,3.666205e-04,3.671433e-04,3.673151e-04,3.677911e-04,3.678058e-04,3.680631e-04,3.681137e-04,3.681449e-04,3.680986e-04,3.680497e-04,3.677901e-04,3.673780e-04,3.672158e-04,3.668248e-04,3.664017e-04,3.661413e-04,3.653719e-04,3.653376e-04,3.644234e-04,3.641488e-04,3.634077e-04,3.627531e-04,3.622991e-04,3.612041e-04,3.611057e-04,3.598352e-04,3.595196e-04,3.584946e-04,3.577158e-04,3.570907e-04,3.558080e-04,3.556299e-04,3.541180e-04,3.538100e-04,3.525607e-04,3.517346e-04,3.509630e-04,3.495934e-04,3.493300e-04,3.476661e-04,3.473973e-04,3.459755e-04,3.451558e-04,3.442624e-04,3.428781e-04,3.425304e-04,3.407829e-04,3.405723e-04,3.390231e-04,3.382457e-04,3.372541e-04,3.359051e-04,3.354786e-04,3.336992e-04,3.335567e-04,3.319182e-04,3.312059e-04,3.301380e-04,3.288578e-04,3.283605e-04,3.265876e-04,3.265168e-04,3.248211e-04,3.241871e-04,3.230626e-04,3.218721e-04,3.213135e-04,3.195752e-04,3.172991e-04,3.150466e-04,3.128198e-04,3.106207e-04,3.084509e-04,3.063121e-04,3.042055e-04,3.021321e-04,3.000928e-04,2.980885e-04,2.961196e-04,2.941868e-04,2.922902e-04,2.904301e-04,2.886068e-04,2.868201e-04,2.850701e-04,2.833567e-04,2.816797e-04,2.800388e-04,2.784339e-04,2.768644e-04,2.753302e-04,2.738306e-04
0.000000e+00,3.214360e-10,9.865003e-10,4.699623e-09,1.258360e-08,1.962357e-08,5.135480e-08,5.318813e-08,1.173297e-07,1.429846e-07,2.289414e-07,3.259077e-07,4.042351e-07,6.230222e-07,6.442676e-07,9.319769e-07,1.005792e-06,1.247485e-06,1.430987e-06,1.577206e-06,1.872665e-06,1.913118e-06,2.250207e-06,2.317436e-06,2.584875e-06,2.756952e-06,2.914177e-06,3.184751e-06,3.235537e-06,3.546670e-06,3.595365e-06,3.845604e-06,3.984271e-06,4.130723e-06,4.348014e-06,4.400770e-06,4.654860e-06,4.684250e-06,4.892450e-06,4.991694e-06,5.113312e-06,5.269997e-06,5.317488e-06,5.505244e-06,5.519568e-06,5.677024e-06,5.741388e-06,5.833405e-06,5.936842e-06,5.975065e-06,6.102742e-06,6.107569e-06,6.217213e-06,6.255342e-06,6.319270e-06,6.381983e-06,6.409706e-06,6.489295e-06,6.558791e-06,6.579017e-06,6.618917e-06,6.652800e-06,6.670362e-06,6.712188e-06,6.713779e-06,6.749781e-06,6.758612e-06,6.778945e-06,6.793388e-06,6.801811e-06,6.817717e-06,6.818881e-06,6.830623e-06,6.832697e-06,6.837472e-06,6.839322e-06,6.839832e-06,6.838493e-06,6.838077e-06,6.832554e-06,6.831025e-06,6.823583e-06,6.817655e-06,6.811462e-06,6.799046e-06,6.796464e-06,6.778844e-06,6.775797e-06,6.758836e-06,6.748448e-06,6.736656e-06,6.717483e-06,6.712504e-06,6.686565e-06,6.683341e-06,6.659010e-06,6.646415e-06,6.629997e-06,6.607060e-06,6.599670e-06,6.568164e-06,6.565596e-06,6.535603e-06,6.522309e-06,6.502101e-06,6.477458e-06,6.467765e-06,6.432692e-06,6.431275e-06,6.396972e-06,6.383971e-06,6.360688e-06,6.335733e-06,6.323918e-06,6.286731e-06,6.249194e-06,6.237117e-06,6.211366e-06,6.187029e-06,6.173303e-06,6.136590e-06,6.135057e-06,6.096675e-06,6.085910e-06,6.058201e-06,6.035089e-06,6.019674e-06,5.984215e-06,5.981132e-06,5.942609e-06,5.933370e-06,5.904136e-06,5.882624e-06,5.865742e-06,5.832042e-06,5.827453e-06,5.789295e-06,5.781680e-06,5.751288e-06,5.731591e-06,5.713454e-06,5.681820e-06,5.675811e-06,5.638376e-06,5.632407e-06,5.601165e-06,5.583387e-06,5.564192e-06,5.534794e-06,5.527470e-06,5.491011e-06,5.486654e-06,5.454825e-06,5.438992e-06,5.418922e-06,5.391830e-06,5.383310e-06,5.347998e-06,5.345186e-06,5.312992e-06,5.299076e-06,5.278298e-06,5.253514e-06,5.243921e-06,5.209867e-06,5.208511e-06,5.176139e-06,5.164078e-06,5.142741e-06,5.120221e-06,5.109676e-06,5.076947e-06,5.034261e-06,4.992167e-06,4.950666e-06,4.909761e-06,4.869451e-06,4.829736e-06,4.790614e-06,4.752084e-06,4.714142e-06,4.676785e-06,4.640010e-06,4.603812e-06,4.568186e-06,4.533128e-06,4.498631e-06,4.464689e-06,4.431298e-06,4.398450e-06,4.366139e-06,4.334358e-06,4.303101e-06,4.272360e-06,4.242129e-06,4.212401e-06
0.000000e+00,1.034366e-11,2.372937e-11,8.164776e-11,1.854748e-10,2.702128e-10,6.097742e-10,6.279539e-10,1.203940e-09,1.410830e-09,2.045794e-09,2.698062e-09,3.200379e-09,4.577588e-09,4.712718e-09,6.621222e-09,7.141149e-09,8.947506e-09,1.043142e-08,1.168445e-08,1.440294e-08,1.479395e-08,1.821924e-08,1.893685e-08,2.190025e-08,2.389678e-08,2.578153e-08,2.916029e-08,2.981369e-08,3.395241e-08,3.462175e-08,3.815741e-08,4.018843e-08,4.239191e-08,4.577815e-08,4.662245e-08,5.081899e-08,5.131899e-08,5.495498e-08,5.674958e-08,5.900742e-08,6.201931e-08,6.295687e-08,6.678728e-08,6.708817e-08,7.048586e-08,7.192608e-08,7.404276e-08,7.651190e-08,7.745085e-08,8.070535e-08,8.083229e-08,8.380356e-08,8.488042e-08,8.674455e-08,8.865487e-08,8.952890e-08,9.215835e-08,9.463560e-08,9.539673e-08,9.696416e-08,9.837832e-08,9.914821e-08,1.011132e-07,1.011923e-07,1.031015e-07,1.036126e-07,1.048808e-07,1.058883e-07,1.065357e-07,1.079528e-07,1.080714e-07,1.094933e-07,1.098183e-07,1.108069e-07,1.114971e-07,1.120173e-07,1.130013e-07,1.131298e-07,1.141493e-07,1.143425e-07,1.150808e-07,1.155320e-07,1.159291e-07,1.165805e-07,1.166985e-07,1.173936e-07,1.174982e-07,1.180185e-07,1.182947e-07,1.185772e-07,1.189791e-07,1.190736e-07,1.195114e-07,1.195602e-07,1.198941e-07,1.200459e-07,1.202251e-07,1.204440e-07,1.205075e-07,1.207443e-07,1.207614e-07,1.209386e-07,1.210049e-07,1.210929e-07,1.211808e-07,1.212099e-07,1.212921e-07,1.212947e-07,1.213418e-07,1.213522e-07,1.213612e-07,1.213582e-07,1.213525e-07,1.213176e-07,1.212584e-07,1.212346e-07,1.211766e-07,1.211133e-07,1.210740e-07,1.209574e-07,1.209522e-07,1.208126e-07,1.207705e-07,1.206566e-07,1.205558e-07,1.204857e-07,1.203163e-07,1.203010e-07,1.201037e-07,1.200547e-07,1.198950e-07,1.197736e-07,1.196759e-07,1.194753e-07,1.194474e-07,1.192105e-07,1.191621e-07,1.189659e-07,1.188360e-07,1.187145e-07,1.184987e-07,1.184572e-07,1.181945e-07,1.181521e-07,1.179273e-07,1.177976e-07,1.176561e-07,1.174366e-07,1.173815e-07,1.171041e-07,1.170706e-07,1.168244e-07,1.167007e-07,1.165429e-07,1.163280e-07,1.162600e-07,1.159762e-07,1.159535e-07,1.156919e-07,1.155781e-07,1.154074e-07,1.152026e-07,1.151230e-07,1.148392e-07,1.148279e-07,1.145562e-07,1.144545e-07,1.142742e-07,1.140831e-07,1.139935e-07,1.137143e-07,1.133485e-07,1.129863e-07,1.126279e-07,1.122738e-07,1.119242e-07,1.115795e-07,1.112399e-07,1.109055e-07,1.105766e-07,1.102533e-07,1.099358e-07,1.096241e-07,1.093183e-07,1.090186e-07,1.087248e-07,1.084371e-07,1.081555e-07,1.078799e-07,1.076105e-07,1.073470e-07,1.070896e-07,1.068381e-07,1.065926e-07,1.063529e-07
0.000000e+00,1.848001e-11,8.125395e-11,6.772837e-10,2.584045e-09,4.674398e-09,1.602533e-08,1.673195e-08,4.248539e-08,5.294059e-08,8.771384e-08,1.265455e-07,1.580355e-07,2.495351e-07,2.588452e-07,3.953240e-07,4.339421e-07,5.724167e-07,6.910531e-07,7.946834e-07,1.030700e-06,1.065934e-06,1.388630e-06,1.459426e-06,1.763260e-06,1.978090e-06,2.188057e-06,2.580977e-06,2.659303e-06,3.172040e-06,3.257565e-06,3.720796e-06,3.995375e-06,4.300085e-06,4.781960e-06,4.904655e-06,5.529567e-06,5.605702e-06,6.170203e-06,6.455939e-06,6.822238e-06,7.322917e-06,7.481641e-06,8.144673e-06,8.197768e-06,8.807894e-06,9.072523e-06,9.468170e-06,9.940149e-06,1.012268e-05,1.076892e-05,1.079457e-05,1.140470e-05,1.163065e-05,1.202814e-05,1.244419e-05,1.263763e-05,1.323184e-05,1.380971e-05,1.399103e-05,1.437039e-05,1.471989e-05,1.491323e-05,1.541716e-05,1.543779e-05,1.594377e-05,1.608209e-05,1.643101e-05,1.671435e-05,1.689948e-05,1.731396e-05,1.734925e-05,1.778048e-05,1.788124e-05,1.819340e-05,1.841674e-05,1.858830e-05,1.892117e-05,1.896552e-05,1.932544e-05,1.939538e-05,1.966848e-05,1.984033e-05,1.999507e-05,2.025703e-05,2.030567e-05,2.060075e-05,2.064655e-05,2.088078e-05,2.100999e-05,2.114624e-05,2.134844e-05,2.139761e-05,2.163538e-05,2.166302e-05,2.186002e-05,2.195482e-05,2.207200e-05,2.222493e-05,2.227179e-05,2.245983e-05,2.247438e-05,2.263658e-05,2.270421e-05,2.280246e-05,2.291541e-05,2.295791e-05,2.310332e-05,2.310894e-05,2.323912e-05,2.328573e-05,2.336569e-05,2.344668e-05,2.348341e-05,2.359265e-05,2.369376e-05,2.372445e-05,2.378708e-05,2.384289e-05,2.387297e-05,2.394871e-05,2.395173e-05,2.402367e-05,2.404264e-05,2.408911e-05,2.412537e-05,2.414833e-05,2.419756e-05,2.420162e-05,2.424923e-05,2.425984e-05,2.429144e-05,2.431281e-05,2.432849e-05,2.435703e-05,2.436063e-05,2.438809e-05,2.439305e-05,2.441110e-05,2.442138e-05,2.442987e-05,2.444251e-05,2.444460e-05,2.445550e-05,2.445690e-05,2.446276e-05,2.446501e-05,2.446657e-05,2.446724e-05,2.446709e-05,2.446451e-05,2.446400e-05,2.445898e-05,2.445566e-05,2.445066e-05,2.444257e-05,2.443971e-05,2.442626e-05,2.442508e-05,2.441045e-05,2.440350e-05,2.439242e-05,2.437813e-05,2.437229e-05,2.435019e-05,2.434927e-05,2.432624e-05,2.431718e-05,2.430054e-05,2.428212e-05,2.427320e-05,2.424433e-05,2.420403e-05,2.416144e-05,2.411677e-05,2.407020e-05,2.402192e-05,2.397208e-05,2.392087e-05,2.386841e-05,2.381486e-05,2.376035e-05,2.370500e-05,2.364893e-05,2.359225e-05,2.353505e-05,2.347745e-05,2.341952e-05,2.336135e-05,2.330302e-05,2.324460e-05,2.318617e-05,2.312778e-05,2.306949e-05,2.301137e-05,2.295345e-05
0.000000e+00,4.635624e-11,2.373178e-10,2.682290e-09,1.334041e-08,2.778111e-08,1.351269e-07,1.430511e-07,5.049849e-07,6.865432e-07,1.410554e-06,2.412978e-06,3.361454e-06,6.735231e-06,7.126284e-06,1.375862e-05,1.591621e-05,2.454286e-05,3.292017e-05,4.089169e-05,6.101996e-05,6.423684e-05,9.593762e-05,1.033908e-04,1.372136e-04,1.628130e-04,1.890997e-04,2.414917e-04,2.524182e-04,3.277646e-04,3.409637e-04,4.155017e-04,4.620643e-04,5.157623e-04,6.049343e-04,6.284563e-04,7.532830e-04,7.690559e-04,8.897473e-04,9.533116e-04,1.037179e-03,1.156060e-03,1.194755e-03,1.361521e-03,1.375228e-03,1.536419e-03,1.608404e-03,1.718314e-03,1.852942e-03,1.906012e-03,2.098293e-03,2.106063e-03,2.293928e-03,2.364942e-03,2.491700e-03,2.626799e-03,2.690424e-03,2.888963e-03,3.086240e-03,3.148935e-03,3.281248e-03,3.404432e-03,3.473062e-03,3.653413e-03,3.660837e-03,3.843820e-03,3.894104e-03,4.021347e-03,4.125001e-03,4.192842e-03,4.344869e-03,4.357817e-03,4.515870e-03,4.552736e-03,4.666679e-03,4.747874e-03,4.809999e-03,4.929785e-03,4.945655e-03,5.073538e-03,5.098177e-03,5.193601e-03,5.252941e-03,5.305846e-03,5.394129e-03,5.410328e-03,5.507141e-03,5.521928e-03,5.596418e-03,5.636642e-03,5.678325e-03,5.738671e-03,5.753052e-03,5.820813e-03,5.828487e-03,5.881840e-03,5.906622e-03,5.936381e-03,5.973651e-03,5.984692e-03,6.027039e-03,6.030177e-03,6.063692e-03,6.076820e-03,6.094924e-03,6.114208e-03,6.121008e-03,6.142216e-03,6.142966e-03,6.158815e-03,6.163713e-03,6.171069e-03,6.177053e-03,6.179238e-03,6.183571e-03,6.184313e-03,6.183831e-03,6.181700e-03,6.178371e-03,6.175957e-03,6.167703e-03,6.167304e-03,6.155950e-03,6.152314e-03,6.142094e-03,6.132659e-03,6.125927e-03,6.109170e-03,6.107632e-03,6.087379e-03,6.082246e-03,6.065334e-03,6.052263e-03,6.041650e-03,6.019569e-03,6.016473e-03,5.989942e-03,5.984484e-03,5.962184e-03,5.947307e-03,5.933323e-03,5.908311e-03,5.903474e-03,5.872742e-03,5.867750e-03,5.841229e-03,5.825853e-03,5.809028e-03,5.782832e-03,5.776228e-03,5.742911e-03,5.738881e-03,5.709151e-03,5.694176e-03,5.675021e-03,5.648876e-03,5.640587e-03,5.605909e-03,5.603126e-03,5.571044e-03,5.557058e-03,5.536046e-03,5.510791e-03,5.500962e-03,5.465837e-03,5.464432e-03,5.430713e-03,5.418076e-03,5.395628e-03,5.371811e-03,5.360617e-03,5.325713e-03,5.279851e-03,5.234286e-03,5.189073e-03,5.144259e-03,5.099887e-03,5.055992e-03,5.012608e-03,4.969761e-03,4.927475e-03,4.885771e-03,4.844664e-03,4.804168e-03,4.764294e-03,4.725052e-03,4.686447e-03,4.648484e-03,4.611165e-03,4.574492e-03,4.538465e-03,4.503081e-03,4.468339e-03,4.434234e-03,4.400762e-03,4.367918e-03
0.000000e+00,9.633781e-12,4.485750e-11,4.173034e-10,1.741262e-09,3.294758e-09,1.252219e-08,1.312425e-08,3.625258e-08,4.609225e-08,7.994362e-08,1.191225e-07,1.516129e-07,2.483784e-07,2.583687e-07,4.067799e-07,4.492675e-07,6.027337e-07,7.351463e-07,8.512364e-07,1.116388e-06,1.156014e-06,1.518870e-06,1.598391e-06,1.939001e-06,2.178989e-06,2.412716e-06,2.847552e-06,2.933796e-06,3.494355e-06,3.587136e-06,4.085784e-06,4.378100e-06,4.699502e-06,5.201059e-06,5.327410e-06,5.962102e-06,6.038398e-06,6.596947e-06,6.874792e-06,7.226092e-06,7.697266e-06,7.844439e-06,8.447623e-06,8.495109e-06,9.031983e-06,9.259763e-06,9.594524e-06,9.984694e-06,1.013289e-05,1.064529e-05,1.066523e-05,1.113052e-05,1.129838e-05,1.158780e-05,1.188261e-05,1.201681e-05,1.241759e-05,1.279048e-05,1.290401e-05,1.313607e-05,1.334328e-05,1.345515e-05,1.373740e-05,1.374866e-05,1.401766e-05,1.408874e-05,1.426328e-05,1.439993e-05,1.448672e-05,1.467372e-05,1.468917e-05,1.487185e-05,1.491289e-05,1.503597e-05,1.512020e-05,1.518270e-05,1.529834e-05,1.531317e-05,1.542851e-05,1.544985e-05,1.552975e-05,1.557716e-05,1.561791e-05,1.568255e-05,1.569394e-05,1.575874e-05,1.576812e-05,1.581316e-05,1.583582e-05,1.585799e-05,1.588744e-05,1.589397e-05,1.592180e-05,1.592462e-05,1.594213e-05,1.594886e-05,1.595557e-05,1.596152e-05,1.596268e-05,1.596397e-05,1.596384e-05,1.595994e-05,1.595694e-05,1.595104e-05,1.594184e-05,1.593767e-05,1.592024e-05,1.591946e-05,1.589910e-05,1.589064e-05,1.587458e-05,1.585614e-05,1.584699e-05,1.581662e-05,1.578373e-05,1.577272e-05,1.574857e-05,1.572498e-05,1.571136e-05,1.567391e-05,1.567232e-05,1.563163e-05,1.561996e-05,1.558947e-05,1.556355e-05,1.554602e-05,1.550502e-05,1.550142e-05,1.545581e-05,1.544473e-05,1.540933e-05,1.538296e-05,1.536210e-05,1.532000e-05,1.531422e-05,1.526581e-05,1.525607e-05,1.521696e-05,1.519141e-05,1.516775e-05,1.512620e-05,1.511827e-05,1.506859e-05,1.506063e-05,1.501878e-05,1.499484e-05,1.496890e-05,1.492900e-05,1.491902e-05,1.486919e-05,1.486321e-05,1.481945e-05,1.479760e-05,1.476985e-05,1.473227e-05,1.472043e-05,1.467124e-05,1.466732e-05,1.462231e-05,1.460281e-05,1.457366e-05,1.453883e-05,1.452533e-05,1.447735e-05,1.447544e-05,1.442974e-05,1.441269e-05,1.438251e-05,1.435064e-05,1.433570e-05,1.428933e-05,1.422879e-05,1.416906e-05,1.411018e-05,1.405215e-05,1.399501e-05,1.393877e-05,1.388345e-05,1.382905e-05,1.377558e-05,1.372305e-05,1.367147e-05,1.362083e-05,1.357114e-05,1.352239e-05,1.347458e-05,1.342771e-05,1.338177e-05,1.333675e-05,1.329265e-05,1.324947e-05,1.320718e-05,1.316578e-05,1.312527e-05,1.308562e-05
0.000000e+00,2.108094e-12,1.059007e-11,1.149221e-10,5.494227e-10,1.118178e-09,5.097829e-09,5.381555e-09,1.763334e-08,2.344463e-08,4.535067e-08,7.355372e-08,9.876573e-08,1.814783e-07,1.905702e-07,3.354157e-07,3.798287e-07,5.492907e-07,7.054051e-07,8.488201e-07,1.196381e-06,1.250505e-06,1.769886e-06,1.889132e-06,2.420620e-06,2.814631e-06,3.213478e-06,3.994506e-06,4.155379e-06,5.248629e-06,5.437485e-06,6.490547e-06,7.137427e-06,7.873561e-06,9.073652e-06,9.385710e-06,1.101145e-05,1.121333e-05,1.273261e-05,1.351508e-05,1.452937e-05,1.593284e-05,1.638120e-05,1.826764e-05,1.841945e-05,2.016895e-05,2.092946e-05,2.206669e-05,2.342130e-05,2.394398e-05,2.578583e-05,2.585858e-05,2.757925e-05,2.821084e-05,2.931324e-05,3.045375e-05,3.097883e-05,3.256894e-05,3.407827e-05,3.454355e-05,3.550315e-05,3.636967e-05,3.684135e-05,3.804359e-05,3.809193e-05,3.925503e-05,3.956515e-05,4.033174e-05,4.093703e-05,4.132388e-05,4.216407e-05,4.223392e-05,4.306479e-05,4.325278e-05,4.381980e-05,4.421078e-05,4.450249e-05,4.504639e-05,4.511659e-05,4.566591e-05,4.576834e-05,4.615429e-05,4.638544e-05,4.658555e-05,4.690640e-05,4.696343e-05,4.729157e-05,4.733969e-05,4.757348e-05,4.769338e-05,4.781256e-05,4.797514e-05,4.801201e-05,4.817488e-05,4.819211e-05,4.830407e-05,4.835094e-05,4.840228e-05,4.845778e-05,4.847207e-05,4.851582e-05,4.851826e-05,4.853575e-05,4.853752e-05,4.853394e-05,4.852025e-05,4.851231e-05,4.847265e-05,4.847071e-05,4.841662e-05,4.839274e-05,4.834576e-05,4.828982e-05,4.826147e-05,4.816508e-05,4.805778e-05,4.802133e-05,4.794070e-05,4.786110e-05,4.781485e-05,4.768667e-05,4.768119e-05,4.754058e-05,4.750007e-05,4.739382e-05,4.730313e-05,4.724165e-05,4.709746e-05,4.708475e-05,4.692374e-05,4.688455e-05,4.675919e-05,4.666569e-05,4.659161e-05,4.644204e-05,4.642151e-05,4.624930e-05,4.621465e-05,4.607541e-05,4.598443e-05,4.590019e-05,4.575223e-05,4.572399e-05,4.554711e-05,4.551877e-05,4.536985e-05,4.528470e-05,4.519245e-05,4.505060e-05,4.501516e-05,4.483820e-05,4.481700e-05,4.466175e-05,4.458433e-05,4.448601e-05,4.435301e-05,4.431112e-05,4.413725e-05,4.412338e-05,4.396451e-05,4.389577e-05,4.379304e-05,4.367043e-05,4.362295e-05,4.345433e-05,4.344761e-05,4.328726e-05,4.322752e-05,4.312184e-05,4.301033e-05,4.295813e-05,4.279619e-05,4.258524e-05,4.237759e-05,4.217332e-05,4.197251e-05,4.177522e-05,4.158150e-05,4.139138e-05,4.120489e-05,4.102203e-05,4.084282e-05,4.066725e-05,4.049531e-05,4.032700e-05,4.016227e-05,4.000112e-05,3.984350e-05,3.968939e-05,3.953874e-05,3.939152e-05,3.924768e-05,3.910717e-05,3.896995e-05,3.883597e-05,3.870518e-05
0.000000e+00,2.740554e-11,1.265696e-10,1.156881e-09,4.747663e-09,8.900872e-09,3.304244e-08,3.459884e-08,9.353828e-08,1.183004e-07,2.027890e-07,2.999085e-07,3.802696e-07,6.199469e-07,6.447641e-07,1.015420e-06,1.122132e-06,1.508639e-06,1.841736e-06,2.131963e-06,2.783281e-06,2.878870e-06,3.729221e-06,3.909296e-06,4.655012e-06,5.156499e-06,5.627251e-06,6.461181e-06,6.620668e-06,7.615484e-06,7.773750e-06,8.597171e-06,9.060534e-06,9.555299e-06,1.029965e-05,1.048225e-05,1.137222e-05,1.147629e-05,1.222050e-05,1.257952e-05,1.302323e-05,1.360083e-05,1.377719e-05,1.447980e-05,1.453373e-05,1.512916e-05,1.537371e-05,1.572409e-05,1.611846e-05,1.626415e-05,1.674963e-05,1.676793e-05,1.718154e-05,1.732420e-05,1.756145e-05,1.779116e-05,1.789150e-05,1.817419e-05,1.841235e-05,1.847964e-05,1.860900e-05,1.871453e-05,1.876730e-05,1.888611e-05,1.889040e-05,1.898147e-05,1.900164e-05,1.904354e-05,1.906809e-05,1.907954e-05,1.909202e-05,1.909224e-05,1.908422e-05,1.907948e-05,1.905785e-05,1.903591e-05,1.901535e-05,1.896618e-05,1.895869e-05,1.888970e-05,1.887456e-05,1.880999e-05,1.876480e-05,1.872103e-05,1.864011e-05,1.862412e-05,1.852040e-05,1.850325e-05,1.841092e-05,1.835658e-05,1.829656e-05,1.820211e-05,1.817813e-05,1.805634e-05,1.804153e-05,1.793180e-05,1.787628e-05,1.780506e-05,1.770756e-05,1.767659e-05,1.754682e-05,1.753639e-05,1.741611e-05,1.736364e-05,1.728479e-05,1.719002e-05,1.715314e-05,1.702140e-05,1.701614e-05,1.688981e-05,1.684251e-05,1.675855e-05,1.666957e-05,1.662779e-05,1.649768e-05,1.636834e-05,1.632714e-05,1.623990e-05,1.615822e-05,1.611246e-05,1.599113e-05,1.598609e-05,1.586089e-05,1.582605e-05,1.573691e-05,1.566313e-05,1.561421e-05,1.550250e-05,1.549284e-05,1.537285e-05,1.534426e-05,1.525428e-05,1.518850e-05,1.513715e-05,1.503529e-05,1.502148e-05,1.490731e-05,1.488466e-05,1.479465e-05,1.473667e-05,1.468352e-05,1.459134e-05,1.457391e-05,1.446584e-05,1.444870e-05,1.435932e-05,1.430874e-05,1.425434e-05,1.417148e-05,1.415091e-05,1.404902e-05,1.403690e-05,1.394867e-05,1.390501e-05,1.384986e-05,1.377577e-05,1.375256e-05,1.365678e-05,1.364919e-05,1.356251e-05,1.352522e-05,1.346973e-05,1.340385e-05,1.337843e-05,1.328860e-05,1.328504e-05,1.320023e-05,1.316877e-05,1.311329e-05,1.305499e-05,1.302778e-05,1.294368e-05,1.283479e-05,1.272829e-05,1.262413e-05,1.252228e-05,1.242269e-05,1.232533e-05,1.223014e-05,1.213709e-05,1.204613e-05,1.195723e-05,1.187033e-05,1.178540e-05,1.170239e-05,1.162127e-05,1.154198e-05,1.146450e-05,1.138877e-05,1.131477e-05,1.124244e-05,1.117175e-05,1.110267e-05,1.103515e-05,1.096916e-05,1.090466e-05
0.000000e+00,6.754629e-12,1.546440e-11,5.304746e-11,1.202793e-10,1.751140e-10,3.950311e-10,4.068219e-10,7.816590e-10,9.169634e-10,1.334560e-09,1.767175e-09,2.102720e-09,3.031986e-09,3.123798e-09,4.428954e-09,4.786371e-09,6.029897e-09,7.049880e-09,7.907838e-09,9.754015e-09,1.001762e-08,1.230455e-08,1.277861e-08,1.471826e-08,1.600931e-08,1.721705e-08,1.935682e-08,1.976705e-08,2.234023e-08,2.275245e-08,2.491279e-08,2.614127e-08,2.746423e-08,2.947819e-08,2.997685e-08,3.243554e-08,3.272633e-08,3.482756e-08,3.585617e-08,3.714250e-08,3.884511e-08,3.937205e-08,4.150990e-08,4.167682e-08,4.355153e-08,4.434053e-08,4.549400e-08,4.683025e-08,4.733574e-08,4.907634e-08,4.914387e-08,5.071639e-08,5.128244e-08,5.225728e-08,5.324946e-08,5.370104e-08,5.505019e-08,5.630764e-08,5.669117e-08,5.747658e-08,5.817980e-08,5.856037e-08,5.952396e-08,5.956252e-08,6.048657e-08,6.073180e-08,6.133610e-08,6.181153e-08,6.211466e-08,6.277125e-08,6.282573e-08,6.347275e-08,6.361887e-08,6.405904e-08,6.436205e-08,6.458784e-08,6.500811e-08,6.506227e-08,6.548533e-08,6.556404e-08,6.585992e-08,6.603646e-08,6.618878e-08,6.643164e-08,6.647458e-08,6.671983e-08,6.675547e-08,6.692695e-08,6.701350e-08,6.709823e-08,6.721093e-08,6.723586e-08,6.734190e-08,6.735260e-08,6.741834e-08,6.744307e-08,6.746703e-08,6.748658e-08,6.748976e-08,6.748821e-08,6.748709e-08,6.746398e-08,6.744827e-08,6.741856e-08,6.737355e-08,6.735340e-08,6.726984e-08,6.726613e-08,6.716916e-08,6.712895e-08,6.705256e-08,6.696478e-08,6.692120e-08,6.677615e-08,6.661843e-08,6.656544e-08,6.644900e-08,6.633484e-08,6.626876e-08,6.608637e-08,6.607858e-08,6.587926e-08,6.582192e-08,6.567156e-08,6.554322e-08,6.545620e-08,6.525188e-08,6.523385e-08,6.500516e-08,6.494939e-08,6.477071e-08,6.463712e-08,6.453108e-08,6.431634e-08,6.428679e-08,6.403835e-08,6.398820e-08,6.378622e-08,6.365380e-08,6.353084e-08,6.331411e-08,6.327262e-08,6.301197e-08,6.297006e-08,6.274923e-08,6.262248e-08,6.248475e-08,6.227214e-08,6.221886e-08,6.195185e-08,6.191975e-08,6.168400e-08,6.156595e-08,6.141558e-08,6.121136e-08,6.114684e-08,6.087800e-08,6.085650e-08,6.060928e-08,6.050187e-08,6.034088e-08,6.014793e-08,6.007298e-08,5.980577e-08,5.979510e-08,5.953940e-08,5.944374e-08,5.927403e-08,5.909421e-08,5.900979e-08,5.874681e-08,5.840182e-08,5.805949e-08,5.772005e-08,5.738371e-08,5.705065e-08,5.672102e-08,5.639498e-08,5.607265e-08,5.575414e-08,5.543954e-08,5.512894e-08,5.482241e-08,5.452000e-08,5.422177e-08,5.392776e-08,5.363799e-08,5.335248e-08,5.307124e-08,5.279430e-08,5.252163e-08,5.225324e-08,5.198912e-08,5.172925e-08,5.147361e-08
0.000000e+00,4.287571e-10,2.221225e-09,2.571258e-08,1.305080e-07,2.745946e-07,1.366261e-06,1.447508e-06,5.184753e-06,7.065170e-06,1.455002e-05,2.484621e-05,3.451739e-05,6.852295e-05,7.243701e-05,1.384630e-04,1.599009e-04,2.459207e-04,3.302954e-04,4.115662e-04,6.214792e-04,6.556654e-04,1.001823e-03,1.085591e-03,1.476555e-03,1.783714e-03,2.108648e-03,2.783357e-03,2.928403e-03,3.966816e-03,4.155325e-03,5.254761e-03,5.970466e-03,6.822218e-03,8.296566e-03,8.697554e-03,1.090689e-02,1.119559e-02,1.347353e-02,1.472135e-02,1.641755e-02,1.891765e-02,1.975539e-02,2.349962e-02,2.381699e-02,2.765875e-02,2.943971e-02,3.223721e-02,3.579368e-02,3.723531e-02,4.264935e-02,4.287447e-02,4.847180e-02,5.066582e-02,5.469150e-02,5.914054e-02,6.129396e-02,6.826164e-02,7.557431e-02,7.798360e-02,8.320940e-02,8.825380e-02,9.114237e-02,9.901402e-02,9.934708e-02,1.077962e-01,1.102019e-01,1.164614e-01,1.217523e-01,1.253140e-01,1.335988e-01,1.343248e-01,1.434650e-01,1.456747e-01,1.527058e-01,1.579141e-01,1.620192e-01,1.702533e-01,1.713779e-01,1.807554e-01,1.826309e-01,1.901265e-01,1.949888e-01,1.994671e-01,2.072729e-01,2.087544e-01,2.179672e-01,2.194330e-01,2.270856e-01,2.314234e-01,2.360911e-01,2.432029e-01,2.449670e-01,2.536977e-01,2.547350e-01,2.622696e-01,2.659876e-01,2.706700e-01,2.769330e-01,2.788882e-01,2.869144e-01,2.875480e-01,2.947405e-01,2.978133e-01,3.023595e-01,3.077136e-01,3.097655e-01,3.169541e-01,3.172371e-01,3.239217e-01,3.263754e-01,3.306657e-01,3.351230e-01,3.371845e-01,3.434775e-01,3.495447e-01,3.514386e-01,3.553869e-01,3.590085e-01,3.610056e-01,3.661911e-01,3.664028e-01,3.715811e-01,3.729923e-01,3.765437e-01,3.794191e-01,3.812940e-01,3.854801e-01,3.858359e-01,3.901737e-01,3.911848e-01,3.943117e-01,3.965435e-01,3.982547e-01,4.015671e-01,4.020076e-01,4.055755e-01,4.062673e-01,4.089635e-01,4.106560e-01,4.121769e-01,4.147452e-01,4.152212e-01,4.181015e-01,4.185475e-01,4.208233e-01,4.220751e-01,4.233920e-01,4.253402e-01,4.258129e-01,4.280912e-01,4.283553e-01,4.302323e-01,4.311323e-01,4.322413e-01,4.336829e-01,4.341233e-01,4.358833e-01,4.360189e-01,4.375261e-01,4.381515e-01,4.390565e-01,4.400915e-01,4.404793e-01,4.417989e-01,4.418496e-01,4.430198e-01,4.434360e-01,4.441462e-01,4.448604e-01,4.451824e-01,4.461323e-01,4.472608e-01,4.482545e-01,4.491216e-01,4.498700e-01,4.505072e-01,4.510403e-01,4.514760e-01,4.518209e-01,4.520808e-01,4.522617e-01,4.523688e-01,4.524074e-01,4.523822e-01,4.522979e-01,4.521587e-01,4.519687e-01,4.517316e-01,4.514511e-01,4.511306e-01,4.507731e-01,4.503817e-01,4.499593e-01,4.495083e-01,4.490312e-01
0.000000e+00,9.661331e-12,4.898650e-11,5.420037e-10,2.638276e-09,5.423612e-09,2.539475e-08,2.683789e-08,9.041639e-08,1.211582e-07,2.391577e-07,3.945557e-07,5.359083e-07,1.011371e-06,1.064533e-06,1.929903e-06,2.201154e-06,3.256537e-06,4.252922e-06,5.185291e-06,7.500462e-06,7.867106e-06,1.145318e-05,1.229149e-05,1.608229e-05,1.894059e-05,2.186775e-05,2.767889e-05,2.888679e-05,3.717428e-05,3.861799e-05,4.672106e-05,5.173733e-05,5.747620e-05,6.689257e-05,6.935216e-05,8.223148e-05,8.383795e-05,9.597411e-05,1.022547e-04,1.104248e-04,1.217805e-04,1.254202e-04,1.407943e-04,1.420357e-04,1.563844e-04,1.626457e-04,1.720348e-04,1.832584e-04,1.876002e-04,2.029482e-04,2.035558e-04,2.179604e-04,2.232624e-04,2.325341e-04,2.421485e-04,2.465818e-04,2.600313e-04,2.728254e-04,2.767735e-04,2.849204e-04,2.922797e-04,2.962857e-04,3.064919e-04,3.069021e-04,3.167608e-04,3.193853e-04,3.258621e-04,3.309622e-04,3.342138e-04,3.412476e-04,3.418303e-04,3.487316e-04,3.502841e-04,3.549417e-04,3.581275e-04,3.604880e-04,3.648433e-04,3.654004e-04,3.697105e-04,3.705032e-04,3.734512e-04,3.751822e-04,3.766555e-04,3.789570e-04,3.793567e-04,3.815878e-04,3.819033e-04,3.833809e-04,3.840953e-04,3.847673e-04,3.856040e-04,3.857773e-04,3.864397e-04,3.864972e-04,3.867821e-04,3.868382e-04,3.868307e-04,3.866863e-04,3.866101e-04,3.861437e-04,3.860964e-04,3.854531e-04,3.851188e-04,3.845589e-04,3.837997e-04,3.834800e-04,3.822342e-04,3.821811e-04,3.808377e-04,3.803011e-04,3.793059e-04,3.781942e-04,3.776528e-04,3.758914e-04,3.740337e-04,3.734207e-04,3.720907e-04,3.708071e-04,3.700725e-04,3.680731e-04,3.679886e-04,3.658475e-04,3.652388e-04,3.636569e-04,3.623219e-04,3.614241e-04,3.593383e-04,3.591557e-04,3.568577e-04,3.563023e-04,3.545355e-04,3.532264e-04,3.521942e-04,3.501216e-04,3.498383e-04,3.474721e-04,3.469979e-04,3.450993e-04,3.438640e-04,3.427234e-04,3.407275e-04,3.403475e-04,3.379744e-04,3.375952e-04,3.356068e-04,3.344729e-04,3.332469e-04,3.313661e-04,3.308970e-04,3.285589e-04,3.282792e-04,3.262343e-04,3.252162e-04,3.239249e-04,3.221807e-04,3.216319e-04,3.193567e-04,3.191755e-04,3.171004e-04,3.162034e-04,3.148639e-04,3.132664e-04,3.126482e-04,3.104539e-04,3.103666e-04,3.082818e-04,3.075054e-04,3.061325e-04,3.046842e-04,3.040064e-04,3.019041e-04,2.991660e-04,2.964706e-04,2.938183e-04,2.912097e-04,2.886450e-04,2.861242e-04,2.836474e-04,2.812146e-04,2.788257e-04,2.764803e-04,2.741782e-04,2.719191e-04,2.697026e-04,2.675283e-04,2.653956e-04,2.633042e-04,2.612534e-04,2.592427e-04,2.572716e-04,2.553394e-04,2.534455e-04,2.515893e-04,2.497703e-04,2.479877e-04
0.000000e+00,2.909649e-12,1.466058e-11,1.601167e-10,7.703298e-10,1.573629e-09,7.252828e-09,7.660242e-09,2.543786e-08,3.396313e-08,6.647545e-08,1.090087e-07,1.475447e-07,2.766614e-07,2.910712e-07,5.253600e-07,5.987548e-07,8.842932e-07,1.153823e-06,1.405898e-06,2.030559e-06,2.129250e-06,3.089950e-06,3.313174e-06,4.315408e-06,5.063013e-06,5.821316e-06,7.305149e-06,7.610064e-06,9.671035e-06,1.002473e-05,1.198229e-05,1.317181e-05,1.451301e-05,1.667088e-05,1.722620e-05,2.008129e-05,2.043145e-05,2.303645e-05,2.435774e-05,2.605048e-05,2.835635e-05,2.908429e-05,3.210196e-05,3.234168e-05,3.507144e-05,3.623938e-05,3.796498e-05,3.998804e-05,4.075926e-05,4.343534e-05,4.353970e-05,4.597851e-05,4.685933e-05,4.837798e-05,4.992370e-05,5.062650e-05,5.271998e-05,5.465710e-05,5.524405e-05,5.643881e-05,5.749883e-05,5.806803e-05,5.949275e-05,5.954922e-05,6.088803e-05,6.123826e-05,6.209103e-05,6.275061e-05,6.316541e-05,6.404677e-05,6.411877e-05,6.495890e-05,6.514456e-05,6.569367e-05,6.606200e-05,6.633081e-05,6.681676e-05,6.687790e-05,6.734223e-05,6.742578e-05,6.773076e-05,6.790505e-05,6.805010e-05,6.826941e-05,6.830644e-05,6.850558e-05,6.853251e-05,6.865292e-05,6.870672e-05,6.875343e-05,6.880322e-05,6.881171e-05,6.883197e-05,6.883204e-05,6.881808e-05,6.880207e-05,6.877355e-05,6.872119e-05,6.870158e-05,6.860509e-05,6.859639e-05,6.848672e-05,6.843379e-05,6.834886e-05,6.823876e-05,6.819369e-05,6.802315e-05,6.801603e-05,6.783901e-05,6.776971e-05,6.764288e-05,6.750339e-05,6.743619e-05,6.722023e-05,6.699619e-05,6.692297e-05,6.676513e-05,6.661400e-05,6.652799e-05,6.629542e-05,6.628564e-05,6.603887e-05,6.596908e-05,6.578838e-05,6.563657e-05,6.553481e-05,6.529931e-05,6.527874e-05,6.502070e-05,6.495853e-05,6.476116e-05,6.461532e-05,6.450054e-05,6.427062e-05,6.423923e-05,6.397760e-05,6.392526e-05,6.371596e-05,6.358000e-05,6.345460e-05,6.323547e-05,6.319378e-05,6.293376e-05,6.289224e-05,6.267474e-05,6.255082e-05,6.241692e-05,6.221166e-05,6.216049e-05,6.190562e-05,6.187514e-05,6.165244e-05,6.154161e-05,6.140109e-05,6.121136e-05,6.115169e-05,6.090436e-05,6.088466e-05,6.065918e-05,6.056174e-05,6.041626e-05,6.024279e-05,6.017567e-05,5.993748e-05,5.992800e-05,5.970175e-05,5.961750e-05,5.946855e-05,5.931143e-05,5.923791e-05,5.900989e-05,5.871297e-05,5.842074e-05,5.813326e-05,5.785057e-05,5.757272e-05,5.729971e-05,5.703156e-05,5.676828e-05,5.650986e-05,5.625629e-05,5.600755e-05,5.576361e-05,5.552446e-05,5.529004e-05,5.506033e-05,5.483527e-05,5.461483e-05,5.439895e-05,5.418758e-05,5.398067e-05,5.377816e-05,5.357998e-05,5.338609e-05,5.319642e-05
0.000000e+00,5.605048e-11,2.439667e-10,1.996615e-09,7.514243e-09,1.350725e-08,4.572729e-08,4.772437e-08,1.202987e-07,1.497277e-07,2.477118e-07,3.574899e-07,4.468528e-07,7.083064e-07,7.350542e-07,1.129804e-06,1.242255e-06,1.647216e-06,1.995177e-06,2.298966e-06,2.987361e-06,3.089524e-06,4.016248e-06,4.217348e-06,5.071953e-06,5.668900e-06,6.247537e-06,7.320652e-06,7.533402e-06,8.919834e-06,9.150338e-06,1.039695e-05,1.113522e-05,1.195464e-05,1.325184e-05,1.358253e-05,1.527017e-05,1.547620e-05,1.700710e-05,1.778433e-05,1.878314e-05,2.015304e-05,2.058850e-05,2.241394e-05,2.256058e-05,2.425092e-05,2.498717e-05,2.609162e-05,2.741525e-05,2.792900e-05,2.975678e-05,2.982961e-05,3.156947e-05,3.221741e-05,3.336230e-05,3.456796e-05,3.513117e-05,3.687262e-05,3.858374e-05,3.912449e-05,4.026214e-05,4.131823e-05,4.190588e-05,4.344981e-05,4.351340e-05,4.508349e-05,4.551628e-05,4.661525e-05,4.751563e-05,4.810803e-05,4.944658e-05,4.956139e-05,5.097510e-05,5.130848e-05,5.234909e-05,5.310118e-05,5.368341e-05,5.482494e-05,5.497824e-05,5.623387e-05,5.648032e-05,5.745064e-05,5.806814e-05,5.862897e-05,5.958942e-05,5.976935e-05,6.087231e-05,6.104535e-05,6.193842e-05,6.243724e-05,6.296829e-05,6.376650e-05,6.396253e-05,6.492181e-05,6.503461e-05,6.584680e-05,6.624311e-05,6.673819e-05,6.739358e-05,6.759665e-05,6.842290e-05,6.848763e-05,6.921764e-05,6.952688e-05,6.998158e-05,7.051295e-05,7.071543e-05,7.141990e-05,7.144748e-05,7.209569e-05,7.233209e-05,7.274351e-05,7.316840e-05,7.336405e-05,7.395800e-05,7.452605e-05,7.470247e-05,7.506888e-05,7.540336e-05,7.558715e-05,7.606221e-05,7.608153e-05,7.655267e-05,7.668051e-05,7.700121e-05,7.725976e-05,7.742779e-05,7.780138e-05,7.783302e-05,7.821753e-05,7.830679e-05,7.858190e-05,7.877738e-05,7.892673e-05,7.921448e-05,7.925261e-05,7.956009e-05,7.961943e-05,7.984974e-05,7.999350e-05,8.012211e-05,8.033793e-05,8.037772e-05,8.061711e-05,8.065394e-05,8.084078e-05,8.094271e-05,8.104924e-05,8.120539e-05,8.124298e-05,8.142247e-05,8.144308e-05,8.158819e-05,8.165686e-05,8.174060e-05,8.184779e-05,8.188013e-05,8.200724e-05,8.201688e-05,8.212233e-05,8.216510e-05,8.222584e-05,8.229342e-05,8.231816e-05,8.239969e-05,8.240273e-05,8.247082e-05,8.249395e-05,8.253191e-05,8.256791e-05,8.258334e-05,8.262546e-05,8.266740e-05,8.269449e-05,8.270749e-05,8.270711e-05,8.269405e-05,8.266897e-05,8.263252e-05,8.258532e-05,8.252796e-05,8.246101e-05,8.238504e-05,8.230056e-05,8.220808e-05,8.210810e-05,8.200109e-05,8.188749e-05,8.176773e-05,8.164224e-05,8.151141e-05,8.137561e-05,8.123522e-05,8.109058e-05,8.094202e-05,8.078987e-05
0.000000e+00,2.137625e-12,1.088618e-11,1.215463e-10,5.965033e-10,1.231699e-09,5.831604e-09,6.165714e-09,2.098775e-08,2.819829e-08,5.601384e-08,9.284508e-08,1.264671e-07,2.400390e-07,2.527692e-07,4.605227e-07,5.257963e-07,7.802469e-07,1.021067e-06,1.246893e-06,1.809691e-06,1.899102e-06,2.778096e-06,2.984830e-06,3.926115e-06,4.643200e-06,5.384417e-06,6.877188e-06,7.191097e-06,9.379013e-06,9.766301e-06,1.197412e-05,1.337000e-05,1.499434e-05,1.772314e-05,1.844897e-05,2.233858e-05,2.283428e-05,2.665536e-05,2.868630e-05,3.138366e-05,3.523866e-05,3.650078e-05,4.197791e-05,4.243065e-05,4.778112e-05,5.018527e-05,5.387227e-05,5.841314e-05,6.021011e-05,6.675116e-05,6.701640e-05,7.345063e-05,7.589250e-05,8.026328e-05,8.493760e-05,8.714423e-05,9.404957e-05,1.009371e-04,1.031307e-04,1.077667e-04,1.120898e-04,1.145009e-04,1.208440e-04,1.211053e-04,1.275485e-04,1.293198e-04,1.338027e-04,1.374542e-04,1.398435e-04,1.451946e-04,1.456501e-04,1.512051e-04,1.524992e-04,1.564946e-04,1.593367e-04,1.615080e-04,1.656853e-04,1.662377e-04,1.706791e-04,1.715326e-04,1.748301e-04,1.768740e-04,1.786912e-04,1.817123e-04,1.822650e-04,1.855558e-04,1.860565e-04,1.885700e-04,1.899206e-04,1.913149e-04,1.933228e-04,1.937993e-04,1.960330e-04,1.962846e-04,1.980262e-04,1.988298e-04,1.997899e-04,2.009839e-04,2.013355e-04,2.026746e-04,2.027731e-04,2.038187e-04,2.042244e-04,2.047795e-04,2.053643e-04,2.055685e-04,2.061970e-04,2.062189e-04,2.066759e-04,2.068137e-04,2.070159e-04,2.071730e-04,2.072272e-04,2.073197e-04,2.073028e-04,2.072757e-04,2.071853e-04,2.070612e-04,2.069757e-04,2.066952e-04,2.066819e-04,2.063115e-04,2.061950e-04,2.058714e-04,2.055767e-04,2.053682e-04,2.048548e-04,2.048080e-04,2.041966e-04,2.040428e-04,2.035391e-04,2.031527e-04,2.028406e-04,2.021954e-04,2.021054e-04,2.013379e-04,2.011808e-04,2.005418e-04,2.001177e-04,1.997207e-04,1.990141e-04,1.988779e-04,1.980164e-04,1.978770e-04,1.971389e-04,1.967127e-04,1.962479e-04,1.955269e-04,1.953457e-04,1.944344e-04,1.943245e-04,1.935159e-04,1.931100e-04,1.925920e-04,1.918873e-04,1.916643e-04,1.907343e-04,1.906598e-04,1.898031e-04,1.894306e-04,1.888721e-04,1.882025e-04,1.879423e-04,1.870148e-04,1.869777e-04,1.860903e-04,1.857584e-04,1.851697e-04,1.845463e-04,1.842537e-04,1.833430e-04,1.821500e-04,1.809684e-04,1.797992e-04,1.786434e-04,1.775017e-04,1.763747e-04,1.752631e-04,1.741672e-04,1.730874e-04,1.720242e-04,1.709776e-04,1.699479e-04,1.689352e-04,1.679397e-04,1.669613e-04,1.660000e-04,1.650560e-04,1.641290e-04,1.632191e-04,1.623261e-04,1.614500e-04,1.605906e-04,1.597477e-04,1.589212e-04
0.000000e+00,1.816933e-11,8.560812e-11,8.161432e-10,3.482973e-09,6.673548e-09,2.622995e-08,2.753000e-08,7.885196e-08,1.013164e-07,1.807429e-07,2.760761e-07,3.574808e-07,6.105871e-07,6.375326e-07,1.052990e-06,1.176546e-06,1.636565e-06,2.047343e-06,2.415353e-06,3.274351e-06,3.404246e-06,4.603298e-06,4.867404e-06,6.000121e-06,6.798150e-06,7.574697e-06,9.017797e-06,9.303884e-06,1.116437e-05,1.147273e-05,1.313409e-05,1.411230e-05,1.519265e-05,1.689082e-05,1.732131e-05,1.950277e-05,1.976732e-05,2.172105e-05,2.270493e-05,2.396144e-05,2.567057e-05,2.621044e-05,2.845579e-05,2.863492e-05,3.068652e-05,3.157250e-05,3.289295e-05,3.446176e-05,3.506667e-05,3.720050e-05,3.728494e-05,3.928846e-05,4.002791e-05,4.132562e-05,4.267984e-05,4.330807e-05,4.523281e-05,4.709759e-05,4.768139e-05,4.890088e-05,5.002226e-05,5.064174e-05,5.225380e-05,5.231971e-05,5.393478e-05,5.437576e-05,5.548728e-05,5.638899e-05,5.697783e-05,5.829516e-05,5.840729e-05,5.977671e-05,6.009657e-05,6.108729e-05,6.179599e-05,6.234033e-05,6.339654e-05,6.353725e-05,6.467950e-05,6.490152e-05,6.576859e-05,6.631443e-05,6.680608e-05,6.763881e-05,6.779350e-05,6.873242e-05,6.887825e-05,6.962441e-05,7.003634e-05,7.047099e-05,7.111661e-05,7.127371e-05,7.203407e-05,7.212254e-05,7.275355e-05,7.305755e-05,7.343361e-05,7.392496e-05,7.407566e-05,7.468110e-05,7.472799e-05,7.525128e-05,7.546978e-05,7.578753e-05,7.615334e-05,7.629113e-05,7.676335e-05,7.678160e-05,7.720538e-05,7.735736e-05,7.761843e-05,7.788332e-05,7.800363e-05,7.836209e-05,7.869489e-05,7.879614e-05,7.900308e-05,7.918787e-05,7.928766e-05,7.953955e-05,7.954961e-05,7.978988e-05,7.985339e-05,8.000937e-05,8.013146e-05,8.020897e-05,8.037577e-05,8.038954e-05,8.055189e-05,8.058823e-05,8.069681e-05,8.077065e-05,8.082508e-05,8.092477e-05,8.093744e-05,8.103458e-05,8.105225e-05,8.111721e-05,8.115466e-05,8.118598e-05,8.123350e-05,8.124153e-05,8.128448e-05,8.129022e-05,8.131541e-05,8.132615e-05,8.133489e-05,8.134261e-05,8.134348e-05,8.134171e-05,8.134082e-05,8.133007e-05,8.132195e-05,8.130906e-05,8.128711e-05,8.127914e-05,8.124077e-05,8.123735e-05,8.119439e-05,8.117368e-05,8.114040e-05,8.109705e-05,8.107922e-05,8.101122e-05,8.100836e-05,8.093678e-05,8.090847e-05,8.085624e-05,8.079818e-05,8.076996e-05,8.067826e-05,8.054944e-05,8.041242e-05,8.026783e-05,8.011631e-05,7.995842e-05,7.979474e-05,7.962577e-05,7.945201e-05,7.927392e-05,7.909195e-05,7.890651e-05,7.871799e-05,7.852676e-05,7.833316e-05,7.813753e-05,7.794017e-05,7.774137e-05,7.754140e-05,7.734052e-05,7.713897e-05,7.693697e-05,7.673474e-05,7.653247e-05,7.633035e-05
0.000000e+00,2.113414e-11,1.091230e-10,1.254391e-09,6.325517e-09,1.326088e-08,6.535057e-08,6.920929e-08,2.454758e-07,3.335977e-07,6.822691e-07,1.158438e-06,1.603287e-06,3.155544e-06,3.333313e-06,6.313056e-06,7.274446e-06,1.111026e-05,1.484613e-05,1.842506e-05,2.759988e-05,2.908612e-05,4.403435e-05,4.762754e-05,6.429413e-05,7.728294e-05,9.093566e-05,1.190336e-04,1.250339e-04,1.676287e-04,1.752984e-04,2.196888e-04,2.482989e-04,2.820812e-04,3.399372e-04,3.555470e-04,4.406830e-04,4.517062e-04,5.379294e-04,5.846317e-04,6.475631e-04,7.392442e-04,7.696960e-04,9.042776e-04,9.155768e-04,1.051102e-03,1.113185e-03,1.209817e-03,1.331187e-03,1.379937e-03,1.560858e-03,1.568310e-03,1.751871e-03,1.822955e-03,1.952180e-03,2.093260e-03,2.160918e-03,2.377163e-03,2.599955e-03,2.672470e-03,2.828308e-03,2.976914e-03,3.061229e-03,3.288208e-03,3.297724e-03,3.536814e-03,3.604094e-03,3.777545e-03,3.922385e-03,4.018993e-03,4.240999e-03,4.260275e-03,4.500551e-03,4.557980e-03,4.739034e-03,4.871524e-03,4.974987e-03,5.179992e-03,5.207731e-03,5.436642e-03,5.481913e-03,5.661155e-03,5.775994e-03,5.880764e-03,6.061113e-03,6.095016e-03,6.303516e-03,6.336319e-03,6.505922e-03,6.600825e-03,6.701943e-03,6.853999e-03,6.891338e-03,7.073910e-03,7.095352e-03,7.249508e-03,7.324532e-03,7.418021e-03,7.541306e-03,7.579376e-03,7.733534e-03,7.745555e-03,7.880487e-03,7.937256e-03,8.020259e-03,8.116474e-03,8.152898e-03,8.278475e-03,8.283352e-03,8.397083e-03,8.438098e-03,8.508835e-03,8.580974e-03,8.613858e-03,8.712293e-03,8.804296e-03,8.832404e-03,8.890028e-03,8.941687e-03,8.969664e-03,9.040545e-03,9.043382e-03,9.111367e-03,9.129401e-03,9.173807e-03,9.208689e-03,9.230894e-03,9.278852e-03,9.282820e-03,9.329780e-03,9.340333e-03,9.371968e-03,9.393579e-03,9.409574e-03,9.439031e-03,9.442791e-03,9.471808e-03,9.477123e-03,9.496809e-03,9.508283e-03,9.517977e-03,9.532927e-03,9.535491e-03,9.549525e-03,9.551460e-03,9.560251e-03,9.564274e-03,9.567835e-03,9.571747e-03,9.572437e-03,9.574214e-03,9.574245e-03,9.573318e-03,9.572115e-03,9.569895e-03,9.565691e-03,9.564087e-03,9.556030e-03,9.555292e-03,9.545854e-03,9.541220e-03,9.533688e-03,9.523764e-03,9.519653e-03,9.503864e-03,9.503198e-03,9.486436e-03,9.479781e-03,9.467474e-03,9.453757e-03,9.447082e-03,9.425358e-03,9.394801e-03,9.362292e-03,9.328022e-03,9.292172e-03,9.254910e-03,9.216396e-03,9.176777e-03,9.136192e-03,9.094768e-03,9.052626e-03,9.009878e-03,8.966627e-03,8.922970e-03,8.878995e-03,8.834785e-03,8.790417e-03,8.745960e-03,8.701481e-03,8.657037e-03,8.612685e-03,8.568474e-03,8.524451e-03,8.480658e-03,8.437133e-03
0.000000e+00,6.659043e-11,1.620276e-10,5.931661e-10,1.387218e-09,2.043365e-09,4.705758e-09,4.849295e-09,9.431084e-09,1.108993e-08,1.621521e-08,2.152613e-08,2.564333e-08,3.703016e-08,3.815384e-08,5.410261e-08,5.846254e-08,7.361094e-08,8.602047e-08,9.645698e-08,1.189494e-07,1.221683e-07,1.502198e-07,1.560684e-07,1.801442e-07,1.963110e-07,2.115444e-07,2.388058e-07,2.440728e-07,2.774132e-07,2.828031e-07,3.112718e-07,3.276270e-07,3.453752e-07,3.726635e-07,3.794706e-07,4.133289e-07,4.173660e-07,4.467462e-07,4.612635e-07,4.795451e-07,5.039649e-07,5.115749e-07,5.427113e-07,5.451605e-07,5.728552e-07,5.846170e-07,6.019301e-07,6.221704e-07,6.298808e-07,6.566701e-07,6.577172e-07,6.822771e-07,6.912043e-07,7.066941e-07,7.226195e-07,7.299250e-07,7.519828e-07,7.728881e-07,7.793386e-07,7.926673e-07,8.047492e-07,8.113513e-07,8.282893e-07,8.289743e-07,8.455731e-07,8.500424e-07,8.611861e-07,8.700972e-07,8.758528e-07,8.885444e-07,8.896127e-07,9.025052e-07,9.054747e-07,9.145693e-07,9.209778e-07,9.258435e-07,9.351410e-07,9.363651e-07,9.461704e-07,9.480487e-07,9.552948e-07,9.597816e-07,9.637720e-07,9.704167e-07,9.716347e-07,9.789145e-07,9.800271e-07,9.856412e-07,9.886822e-07,9.918438e-07,9.964471e-07,9.975498e-07,1.002785e-06,1.003383e-06,1.007576e-06,1.009548e-06,1.011944e-06,1.014997e-06,1.015914e-06,1.019507e-06,1.019779e-06,1.022743e-06,1.023942e-06,1.025642e-06,1.027531e-06,1.028222e-06,1.030502e-06,1.030587e-06,1.032498e-06,1.033150e-06,1.034225e-06,1.035254e-06,1.035699e-06,1.036935e-06,1.037945e-06,1.038223e-06,1.038744e-06,1.039149e-06,1.039342e-06,1.039739e-06,1.039752e-06,1.039984e-06,1.040019e-06,1.040050e-06,1.040013e-06,1.039958e-06,1.039744e-06,1.039719e-06,1.039342e-06,1.039231e-06,1.038834e-06,1.038495e-06,1.038203e-06,1.037554e-06,1.037459e-06,1.036607e-06,1.036424e-06,1.035654e-06,1.035121e-06,1.034607e-06,1.033659e-06,1.033472e-06,1.032255e-06,1.032053e-06,1.030961e-06,1.030315e-06,1.029596e-06,1.028456e-06,1.028165e-06,1.026672e-06,1.026489e-06,1.025121e-06,1.024422e-06,1.023518e-06,1.022266e-06,1.021865e-06,1.020167e-06,1.020029e-06,1.018427e-06,1.017721e-06,1.016650e-06,1.015348e-06,1.014837e-06,1.012992e-06,1.012917e-06,1.011118e-06,1.010436e-06,1.009217e-06,1.007911e-06,1.007293e-06,1.005348e-06,1.002751e-06,1.000127e-06,9.974788e-07,9.948120e-07,9.921303e-07,9.894374e-07,9.867368e-07,9.840319e-07,9.813255e-07,9.786204e-07,9.759193e-07,9.732245e-07,9.705383e-07,9.678626e-07,9.651994e-07,9.625504e-07,9.599171e-07,9.573011e-07,9.547037e-07,9.521261e-07,9.495695e-07,9.470349e-07,9.445232e-07,9.420352e-07
0.000000e+00,4.650425e-11,2.404865e-10,2.773302e-09,1.402673e-08,2.945499e-08,1.458037e-07,1.544415e-07,5.503330e-07,7.488705e-07,1.536747e-06,2.616646e-06,3.628298e-06,7.172265e-06,7.579188e-06,1.442243e-05,1.663753e-05,2.550093e-05,3.416403e-05,4.248527e-05,6.389319e-05,6.736960e-05,1.024368e-04,1.108895e-04,1.501895e-04,1.809046e-04,2.132556e-04,2.800023e-04,2.942802e-04,3.958206e-04,4.141328e-04,5.202504e-04,5.887386e-04,6.696801e-04,8.084355e-04,8.458946e-04,1.050308e-03,1.076785e-03,1.283936e-03,1.396158e-03,1.547382e-03,1.767676e-03,1.840837e-03,2.164090e-03,2.191222e-03,2.516550e-03,2.665512e-03,2.897274e-03,3.188199e-03,3.304999e-03,3.738181e-03,3.756014e-03,4.195036e-03,4.364921e-03,4.673575e-03,5.010279e-03,5.171654e-03,5.687006e-03,6.217283e-03,6.389732e-03,6.760088e-03,7.112945e-03,7.313011e-03,7.851114e-03,7.873659e-03,8.439676e-03,8.598809e-03,9.008772e-03,9.350786e-03,9.578741e-03,1.010207e-02,1.014748e-02,1.071298e-02,1.084801e-02,1.127338e-02,1.158433e-02,1.182694e-02,1.230714e-02,1.237206e-02,1.290726e-02,1.301299e-02,1.343121e-02,1.369882e-02,1.394273e-02,1.436203e-02,1.444077e-02,1.492441e-02,1.500040e-02,1.539286e-02,1.561212e-02,1.584546e-02,1.619575e-02,1.628165e-02,1.670101e-02,1.675018e-02,1.710320e-02,1.727466e-02,1.748799e-02,1.776871e-02,1.785524e-02,1.820490e-02,1.823211e-02,1.853698e-02,1.866491e-02,1.885158e-02,1.906735e-02,1.914885e-02,1.942900e-02,1.943985e-02,1.969228e-02,1.978300e-02,1.993902e-02,2.009751e-02,2.016954e-02,2.038423e-02,2.058350e-02,2.064407e-02,2.076777e-02,2.087804e-02,2.093750e-02,2.108718e-02,2.109315e-02,2.123520e-02,2.127260e-02,2.136413e-02,2.143541e-02,2.148045e-02,2.157674e-02,2.158464e-02,2.167721e-02,2.169775e-02,2.175864e-02,2.179955e-02,2.182942e-02,2.188329e-02,2.189005e-02,2.194099e-02,2.195006e-02,2.198272e-02,2.200093e-02,2.201570e-02,2.203697e-02,2.204038e-02,2.205718e-02,2.205917e-02,2.206655e-02,2.206853e-02,2.206889e-02,2.206598e-02,2.206461e-02,2.205409e-02,2.205242e-02,2.203770e-02,2.202872e-02,2.201581e-02,2.199571e-02,2.198876e-02,2.195690e-02,2.195415e-02,2.192053e-02,2.190479e-02,2.187997e-02,2.184833e-02,2.183550e-02,2.178742e-02,2.178542e-02,2.173598e-02,2.171669e-02,2.168145e-02,2.164272e-02,2.162406e-02,2.156405e-02,2.148120e-02,2.139465e-02,2.130483e-02,2.121217e-02,2.111705e-02,2.101983e-02,2.092083e-02,2.082038e-02,2.071874e-02,2.061619e-02,2.051296e-02,2.040927e-02,2.030533e-02,2.020133e-02,2.009742e-02,1.999377e-02,1.989052e-02,1.978779e-02,1.968571e-02,1.958437e-02,1.948387e-02,1.938429e-02,1.928572e-02,1.918821e-02
0.000000e+00,4.491001e-11,2.326123e-10,2.692309e-09,1.366986e-08,2.877472e-08,1.434944e-07,1.520476e-07,5.470406e-07,7.466856e-07,1.545746e-06,2.653844e-06,3.702133e-06,7.432059e-06,7.865069e-06,1.525827e-05,1.768906e-05,2.755744e-05,3.737889e-05,4.694100e-05,7.197477e-05,7.608733e-05,1.181106e-04,1.283589e-04,1.764518e-04,2.144422e-04,2.547510e-04,3.386604e-04,3.567177e-04,4.860133e-04,5.094741e-04,6.461466e-04,7.349353e-04,8.403868e-04,1.022335e-03,1.071691e-03,1.342648e-03,1.377935e-03,1.655434e-03,1.806774e-03,2.011781e-03,2.312537e-03,2.412958e-03,2.859763e-03,2.897492e-03,3.352521e-03,3.562475e-03,3.891093e-03,4.306923e-03,4.474896e-03,5.102923e-03,5.128945e-03,5.773770e-03,6.025428e-03,6.485673e-03,6.992165e-03,7.236543e-03,8.024003e-03,8.845427e-03,9.115000e-03,9.697988e-03,1.025859e-02,1.057869e-02,1.144774e-02,1.148440e-02,1.241193e-02,1.267510e-02,1.335800e-02,1.393317e-02,1.431932e-02,1.521442e-02,1.529265e-02,1.627473e-02,1.651138e-02,1.726242e-02,1.781682e-02,1.825263e-02,1.912374e-02,1.924240e-02,2.022888e-02,2.042554e-02,2.120937e-02,2.171600e-02,2.218130e-02,2.298935e-02,2.314228e-02,2.409006e-02,2.424033e-02,2.502256e-02,2.546417e-02,2.593788e-02,2.665660e-02,2.683429e-02,2.771021e-02,2.781387e-02,2.856423e-02,2.893274e-02,2.939512e-02,3.001043e-02,3.020177e-02,3.098325e-02,3.104466e-02,3.173877e-02,3.203356e-02,3.246768e-02,3.297571e-02,3.316944e-02,3.384366e-02,3.387005e-02,3.449006e-02,3.471591e-02,3.510845e-02,3.551293e-02,3.569877e-02,3.626104e-02,3.679536e-02,3.696047e-02,3.730193e-02,3.761167e-02,3.778099e-02,3.821532e-02,3.823287e-02,3.865797e-02,3.877225e-02,3.905671e-02,3.928350e-02,3.942958e-02,3.975022e-02,3.977710e-02,4.009984e-02,4.017368e-02,4.039839e-02,4.055524e-02,4.067337e-02,4.089636e-02,4.092541e-02,4.115519e-02,4.119853e-02,4.136337e-02,4.146331e-02,4.155063e-02,4.169227e-02,4.171767e-02,4.186518e-02,4.188701e-02,4.199386e-02,4.204915e-02,4.210442e-02,4.218028e-02,4.219754e-02,4.227392e-02,4.228199e-02,4.233424e-02,4.235587e-02,4.237918e-02,4.240346e-02,4.240941e-02,4.242558e-02,4.242628e-02,4.242833e-02,4.242582e-02,4.241830e-02,4.240352e-02,4.239611e-02,4.236237e-02,4.236078e-02,4.231765e-02,4.229897e-02,4.226253e-02,4.221940e-02,4.219758e-02,4.212333e-02,4.201197e-02,4.188650e-02,4.174804e-02,4.159764e-02,4.143633e-02,4.126508e-02,4.108482e-02,4.089640e-02,4.070068e-02,4.049842e-02,4.029037e-02,4.007724e-02,3.985968e-02,3.963831e-02,3.941371e-02,3.918643e-02,3.895698e-02,3.872583e-02,3.849344e-02,3.826022e-02,3.802655e-02,3.779280e-02,3.755930e-02,3.732635e-02
0.000000e+00,8.416792e-11,4.349172e-10,5.008737e-09,2.531450e-08,5.315199e-08,2.633580e-07,2.789840e-07,9.976321e-07,1.359572e-06,2.803877e-06,4.800234e-06,6.684711e-06,1.337109e-05,1.414594e-05,2.734329e-05,3.167055e-05,4.918259e-05,6.652582e-05,8.333226e-05,1.269892e-04,1.341169e-04,2.063181e-04,2.237671e-04,3.049357e-04,3.683177e-04,4.349531e-04,5.719256e-04,6.011291e-04,8.078253e-04,8.449214e-04,1.058872e-03,1.196093e-03,1.357467e-03,1.632284e-03,1.706112e-03,2.106569e-03,2.158161e-03,2.559850e-03,2.776125e-03,3.066227e-03,3.486334e-03,3.625253e-03,4.235807e-03,4.286829e-03,4.896148e-03,5.173726e-03,5.603974e-03,6.141461e-03,6.356492e-03,7.150490e-03,7.183064e-03,7.982410e-03,8.290453e-03,8.848417e-03,9.454721e-03,9.744477e-03,1.066642e-02,1.160999e-02,1.191581e-02,1.257093e-02,1.319310e-02,1.354502e-02,1.448866e-02,1.452810e-02,1.551615e-02,1.579317e-02,1.650531e-02,1.709778e-02,1.749187e-02,1.839423e-02,1.847237e-02,1.944353e-02,1.967488e-02,2.040234e-02,2.093283e-02,2.134602e-02,2.216192e-02,2.227203e-02,2.317808e-02,2.335672e-02,2.406215e-02,2.451257e-02,2.492244e-02,2.562555e-02,2.575738e-02,2.656565e-02,2.669243e-02,2.734614e-02,2.771063e-02,2.809794e-02,2.867823e-02,2.882033e-02,2.951279e-02,2.959386e-02,3.017496e-02,3.045666e-02,3.080663e-02,3.126627e-02,3.140775e-02,3.197839e-02,3.202273e-02,3.251873e-02,3.272646e-02,3.302909e-02,3.337820e-02,3.350986e-02,3.396151e-02,3.397897e-02,3.438459e-02,3.453003e-02,3.477974e-02,3.503282e-02,3.514761e-02,3.548894e-02,3.580448e-02,3.590013e-02,3.609501e-02,3.626821e-02,3.636136e-02,3.659508e-02,3.660436e-02,3.682485e-02,3.688267e-02,3.702368e-02,3.713294e-02,3.720171e-02,3.734786e-02,3.735979e-02,3.749878e-02,3.752938e-02,3.761950e-02,3.767944e-02,3.772280e-02,3.779993e-02,3.780948e-02,3.788034e-02,3.789269e-02,3.793617e-02,3.795952e-02,3.797774e-02,3.800217e-02,3.800578e-02,3.802102e-02,3.802231e-02,3.802416e-02,3.802157e-02,3.801588e-02,3.800147e-02,3.799683e-02,3.796765e-02,3.796350e-02,3.792895e-02,3.790905e-02,3.788131e-02,3.783947e-02,3.782529e-02,3.776144e-02,3.775601e-02,3.769027e-02,3.765986e-02,3.761227e-02,3.755216e-02,3.752793e-02,3.743769e-02,3.743396e-02,3.734198e-02,3.730626e-02,3.724121e-02,3.717000e-02,3.713578e-02,3.702606e-02,3.687525e-02,3.671834e-02,3.655604e-02,3.638902e-02,3.621790e-02,3.604326e-02,3.586562e-02,3.568548e-02,3.550330e-02,3.531950e-02,3.513447e-02,3.494857e-02,3.476212e-02,3.457543e-02,3.438878e-02,3.420242e-02,3.401658e-02,3.383148e-02,3.364730e-02,3.346423e-02,3.328242e-02,3.310202e-02,3.292315e-02,3.274593e-02
0.000000e+00,1.829554e-12,9.161593e-12,9.873690e-11,4.689513e-10,9.508537e-10,4.291707e-09,4.528660e-09,1.468228e-08,1.946272e-08,3.735817e-08,6.019921e-08,8.048378e-08,1.464133e-07,1.536146e-07,2.674464e-07,3.020723e-07,4.332779e-07,5.531061e-07,6.624760e-07,9.252823e-07,9.659654e-07,1.353736e-06,1.442188e-06,1.834350e-06,2.123257e-06,2.414454e-06,2.981843e-06,3.098339e-06,3.887616e-06,4.023639e-06,4.781073e-06,5.245868e-06,5.774724e-06,6.637463e-06,6.862024e-06,8.034212e-06,8.180094e-06,9.280736e-06,9.849729e-06,1.058970e-05,1.161843e-05,1.194832e-05,1.334334e-05,1.345611e-05,1.476142e-05,1.533217e-05,1.618949e-05,1.721682e-05,1.761502e-05,1.902627e-05,1.908227e-05,2.041248e-05,2.090349e-05,2.176400e-05,2.265886e-05,2.307239e-05,2.433047e-05,2.553233e-05,2.590425e-05,2.667328e-05,2.736988e-05,2.774986e-05,2.872063e-05,2.875972e-05,2.970153e-05,2.995296e-05,3.057489e-05,3.106620e-05,3.138023e-05,3.206202e-05,3.211867e-05,3.279194e-05,3.294407e-05,3.340224e-05,3.371745e-05,3.395215e-05,3.438840e-05,3.444455e-05,3.488250e-05,3.496384e-05,3.526922e-05,3.545114e-05,3.560795e-05,3.585779e-05,3.590196e-05,3.615447e-05,3.619124e-05,3.636863e-05,3.645870e-05,3.654746e-05,3.666705e-05,3.669387e-05,3.681060e-05,3.682274e-05,3.690026e-05,3.693176e-05,3.696527e-05,3.699959e-05,3.700789e-05,3.703022e-05,3.703119e-05,3.703421e-05,3.703108e-05,3.702164e-05,3.700325e-05,3.699414e-05,3.695321e-05,3.695131e-05,3.690022e-05,3.687843e-05,3.683641e-05,3.678741e-05,3.676290e-05,3.668072e-05,3.659080e-05,3.656053e-05,3.649397e-05,3.642873e-05,3.639100e-05,3.628700e-05,3.628257e-05,3.616930e-05,3.613680e-05,3.605176e-05,3.597940e-05,3.593046e-05,3.581593e-05,3.580585e-05,3.567836e-05,3.564737e-05,3.554835e-05,3.547458e-05,3.541618e-05,3.529833e-05,3.528215e-05,3.514656e-05,3.511928e-05,3.500965e-05,3.493802e-05,3.487166e-05,3.475508e-05,3.473281e-05,3.459329e-05,3.457092e-05,3.445328e-05,3.438595e-05,3.431295e-05,3.420054e-05,3.417243e-05,3.403188e-05,3.401502e-05,3.389142e-05,3.382967e-05,3.375116e-05,3.364476e-05,3.361120e-05,3.347165e-05,3.346051e-05,3.333260e-05,3.327713e-05,3.319411e-05,3.309480e-05,3.305628e-05,3.291916e-05,3.291369e-05,3.278283e-05,3.273395e-05,3.264733e-05,3.255570e-05,3.251273e-05,3.237906e-05,3.220414e-05,3.203103e-05,3.185980e-05,3.169053e-05,3.152327e-05,3.135809e-05,3.119503e-05,3.103412e-05,3.087541e-05,3.071891e-05,3.056465e-05,3.041265e-05,3.026292e-05,3.011547e-05,2.997030e-05,2.982742e-05,2.968683e-05,2.954851e-05,2.941246e-05,2.927868e-05,2.914715e-05,2.901786e-05,2.889079e-05,2.876593e-05
0.000000e+00,8.171390e-12,1.855025e-11,6.248591e-11,1.393223e-10,2.009833e-10,4.429049e-10,4.556982e-10,8.563091e-10,9.987122e-10,1.433174e-09,1.877123e-09,2.217968e-09,3.147110e-09,3.237685e-09,4.498514e-09,4.834513e-09,5.971779e-09,6.869830e-09,7.603639e-09,9.126511e-09,9.338552e-09,1.113197e-08,1.149460e-08,1.295069e-08,1.389778e-08,1.476933e-08,1.628176e-08,1.656729e-08,1.832698e-08,1.860392e-08,2.003304e-08,2.082889e-08,2.167207e-08,2.292729e-08,2.323265e-08,2.470547e-08,2.487595e-08,2.608339e-08,2.665824e-08,2.736142e-08,2.826406e-08,2.853667e-08,2.960816e-08,2.968941e-08,3.057667e-08,3.093571e-08,3.144449e-08,3.200888e-08,3.221509e-08,3.289286e-08,3.291811e-08,3.348291e-08,3.367492e-08,3.399080e-08,3.429221e-08,3.442236e-08,3.478359e-08,3.508044e-08,3.516273e-08,3.531839e-08,3.544232e-08,3.550297e-08,3.563483e-08,3.563943e-08,3.573261e-08,3.575158e-08,3.578710e-08,3.580298e-08,3.580708e-08,3.579829e-08,3.579639e-08,3.575853e-08,3.574576e-08,3.569667e-08,3.565264e-08,3.561369e-08,3.552525e-08,3.551217e-08,3.539442e-08,3.536910e-08,3.526250e-08,3.518894e-08,3.511829e-08,3.498885e-08,3.496341e-08,3.479936e-08,3.477234e-08,3.462742e-08,3.454244e-08,3.444877e-08,3.430171e-08,3.426444e-08,3.407536e-08,3.405239e-08,3.388235e-08,3.379637e-08,3.368614e-08,3.353527e-08,3.348737e-08,3.328662e-08,3.327049e-08,3.308440e-08,3.300320e-08,3.288116e-08,3.273444e-08,3.267733e-08,3.247325e-08,3.246509e-08,3.226925e-08,3.219589e-08,3.206562e-08,3.192750e-08,3.186262e-08,3.166046e-08,3.145936e-08,3.139526e-08,3.125949e-08,3.113230e-08,3.106102e-08,3.087193e-08,3.086409e-08,3.066881e-08,3.061445e-08,3.047531e-08,3.036011e-08,3.028369e-08,3.010912e-08,3.009402e-08,2.990639e-08,2.986166e-08,2.972085e-08,2.961789e-08,2.953747e-08,2.937792e-08,2.935630e-08,2.917737e-08,2.914185e-08,2.900072e-08,2.890977e-08,2.882638e-08,2.868173e-08,2.865437e-08,2.848471e-08,2.845778e-08,2.831741e-08,2.823795e-08,2.815249e-08,2.802226e-08,2.798994e-08,2.782977e-08,2.781071e-08,2.767198e-08,2.760330e-08,2.751656e-08,2.740002e-08,2.736351e-08,2.721281e-08,2.720086e-08,2.706446e-08,2.700578e-08,2.691845e-08,2.681475e-08,2.677475e-08,2.663335e-08,2.662774e-08,2.649423e-08,2.644471e-08,2.635738e-08,2.626560e-08,2.622277e-08,2.609038e-08,2.591898e-08,2.575136e-08,2.558746e-08,2.542721e-08,2.527057e-08,2.511747e-08,2.496784e-08,2.482163e-08,2.467876e-08,2.453919e-08,2.440283e-08,2.426964e-08,2.413954e-08,2.401247e-08,2.388838e-08,2.376718e-08,2.364883e-08,2.353327e-08,2.342042e-08,2.331023e-08,2.320265e-08,2.309760e-08,2.299505e-08,2.289492e-08
0.000000e+00,7.776530e-11,3.215418e-10,2.396415e-09,8.398279e-09,1.459129e-08,4.590511e-08,4.778644e-08,1.140470e-07,1.402026e-07,2.257682e-07,3.199843e-07,3.959276e-07,6.160399e-07,6.384511e-07,9.682375e-07,1.062060e-06,1.400269e-06,1.691776e-06,1.947169e-06,2.528905e-06,2.615540e-06,3.403441e-06,3.574624e-06,4.301373e-06,4.807369e-06,5.295896e-06,6.195696e-06,6.373046e-06,7.520006e-06,7.709222e-06,8.725444e-06,9.321815e-06,9.979231e-06,1.101082e-05,1.127209e-05,1.259534e-05,1.275578e-05,1.394079e-05,1.453782e-05,1.530071e-05,1.633944e-05,1.666783e-05,1.803541e-05,1.814465e-05,1.939728e-05,1.993915e-05,2.074784e-05,2.171042e-05,2.208211e-05,2.339572e-05,2.344778e-05,2.468489e-05,2.514237e-05,2.594640e-05,2.678704e-05,2.717757e-05,2.837620e-05,2.954052e-05,2.990563e-05,3.066919e-05,3.137235e-05,3.176119e-05,3.277435e-05,3.281581e-05,3.383260e-05,3.411049e-05,3.481135e-05,3.538034e-05,3.575207e-05,3.658406e-05,3.665490e-05,3.752013e-05,3.772224e-05,3.834819e-05,3.879585e-05,3.913958e-05,3.980616e-05,3.989491e-05,4.061483e-05,4.075463e-05,4.130005e-05,4.164290e-05,4.195133e-05,4.247274e-05,4.256945e-05,4.315523e-05,4.324601e-05,4.370950e-05,4.396460e-05,4.423310e-05,4.463046e-05,4.472687e-05,4.519167e-05,4.524553e-05,4.562832e-05,4.581175e-05,4.603767e-05,4.633104e-05,4.642057e-05,4.677784e-05,4.680534e-05,4.711031e-05,4.723653e-05,4.741877e-05,4.762646e-05,4.770404e-05,4.796688e-05,4.797693e-05,4.820807e-05,4.828974e-05,4.842836e-05,4.856660e-05,4.862850e-05,4.880920e-05,4.897118e-05,4.901918e-05,4.911513e-05,4.919811e-05,4.924172e-05,4.934753e-05,4.935162e-05,4.944546e-05,4.946894e-05,4.952387e-05,4.956377e-05,4.958747e-05,4.963341e-05,4.963685e-05,4.967258e-05,4.967918e-05,4.969522e-05,4.970240e-05,4.970534e-05,4.970429e-05,4.970344e-05,4.969006e-05,4.968605e-05,4.966569e-05,4.964883e-05,4.963081e-05,4.959374e-05,4.958590e-05,4.953141e-05,4.952183e-05,4.946778e-05,4.943412e-05,4.939545e-05,4.933159e-05,4.931482e-05,4.922630e-05,4.921517e-05,4.913028e-05,4.908575e-05,4.902712e-05,4.894418e-05,4.891720e-05,4.880087e-05,4.879130e-05,4.867846e-05,4.862787e-05,4.855030e-05,4.845464e-05,4.841671e-05,4.827799e-05,4.827234e-05,4.813443e-05,4.808163e-05,4.798633e-05,4.788316e-05,4.783395e-05,4.767756e-05,4.746541e-05,4.724727e-05,4.702368e-05,4.679513e-05,4.656212e-05,4.632509e-05,4.608449e-05,4.584072e-05,4.559416e-05,4.534520e-05,4.509417e-05,4.484142e-05,4.458724e-05,4.433193e-05,4.407577e-05,4.381903e-05,4.356194e-05,4.330474e-05,4.304764e-05,4.279086e-05,4.253458e-05,4.227897e-05,4.202422e-05,4.177047e-05
0.000000e+00,3.403946e-11,1.675417e-10,1.744281e-09,8.040939e-09,1.605218e-08,6.982653e-08,7.357968e-08,2.313849e-07,3.045650e-07,5.758764e-07,9.196096e-07,1.224249e-06,2.216958e-06,2.325840e-06,4.061509e-06,4.594797e-06,6.634580e-06,8.517827e-06,1.024795e-05,1.442611e-05,1.507370e-05,2.122992e-05,2.262685e-05,2.877316e-05,3.324589e-05,3.770400e-05,4.624760e-05,4.797921e-05,5.952468e-05,6.148375e-05,7.224632e-05,7.873960e-05,8.603793e-05,9.776585e-05,1.007866e-04,1.163760e-04,1.182977e-04,1.326888e-04,1.400654e-04,1.496081e-04,1.628017e-04,1.670192e-04,1.848105e-04,1.862470e-04,2.028748e-04,2.101540e-04,2.211105e-04,2.342925e-04,2.394222e-04,2.577216e-04,2.584522e-04,2.759284e-04,2.824458e-04,2.939697e-04,3.061102e-04,3.117813e-04,3.293067e-04,3.464971e-04,3.519204e-04,3.633113e-04,3.738588e-04,3.797148e-04,3.950496e-04,3.956794e-04,4.111828e-04,4.154386e-04,4.262076e-04,4.349875e-04,4.407414e-04,4.536714e-04,4.547756e-04,4.683051e-04,4.714769e-04,4.813281e-04,4.883998e-04,4.938452e-04,5.044440e-04,5.058592e-04,5.173750e-04,5.196189e-04,5.283988e-04,5.339392e-04,5.389381e-04,5.474230e-04,5.490015e-04,5.585986e-04,5.600915e-04,5.677395e-04,5.719681e-04,5.764347e-04,5.830775e-04,5.846954e-04,5.925328e-04,5.934454e-04,5.999586e-04,6.030985e-04,6.069843e-04,6.120635e-04,6.136216e-04,6.198823e-04,6.203672e-04,6.257780e-04,6.280366e-04,6.313202e-04,6.350982e-04,6.365205e-04,6.413900e-04,6.415781e-04,6.459400e-04,6.475019e-04,6.501815e-04,6.528949e-04,6.541251e-04,6.577816e-04,6.611611e-04,6.621857e-04,6.642738e-04,6.661306e-04,6.671297e-04,6.696387e-04,6.697384e-04,6.721093e-04,6.727317e-04,6.742515e-04,6.754309e-04,6.761742e-04,6.777565e-04,6.778859e-04,6.793951e-04,6.797281e-04,6.807101e-04,6.813646e-04,6.818389e-04,6.826843e-04,6.827892e-04,6.835687e-04,6.837047e-04,6.841845e-04,6.844425e-04,6.846439e-04,6.849139e-04,6.849537e-04,6.851205e-04,6.851344e-04,6.851509e-04,6.851188e-04,6.850510e-04,6.848814e-04,6.848270e-04,6.844846e-04,6.844358e-04,6.840295e-04,6.837950e-04,6.834672e-04,6.829715e-04,6.828030e-04,6.820420e-04,6.819771e-04,6.811890e-04,6.808232e-04,6.802490e-04,6.795207e-04,6.792263e-04,6.781255e-04,6.780799e-04,6.769509e-04,6.765107e-04,6.757065e-04,6.748225e-04,6.743963e-04,6.730241e-04,6.711242e-04,6.691307e-04,6.670514e-04,6.648936e-04,6.626643e-04,6.603699e-04,6.580167e-04,6.556107e-04,6.531575e-04,6.506622e-04,6.481300e-04,6.455656e-04,6.429735e-04,6.403578e-04,6.377225e-04,6.350714e-04,6.324081e-04,6.297357e-04,6.270576e-04,6.243765e-04,6.216952e-04,6.190163e-04,6.163422e-04,6.136752e-04
0.000000e+00,1.173318e-11,5.684586e-11,5.728709e-10,2.566078e-09,5.046142e-09,2.119449e-08,2.230522e-08,6.832124e-08,8.945097e-08,1.675377e-07,2.666140e-07,3.548195e-07,6.448442e-07,6.768455e-07,1.188931e-06,1.346174e-06,1.942551e-06,2.482117e-06,2.966125e-06,4.084425e-06,4.251262e-06,5.753487e-06,6.074228e-06,7.404816e-06,8.297284e-06,9.129804e-06,1.058421e-05,1.085854e-05,1.253421e-05,1.279443e-05,1.411577e-05,1.483333e-05,1.557716e-05,1.665031e-05,1.690484e-05,1.809476e-05,1.822837e-05,1.914955e-05,1.957252e-05,2.007612e-05,2.070029e-05,2.088387e-05,2.158341e-05,2.163502e-05,2.218566e-05,2.240173e-05,2.270133e-05,2.302472e-05,2.314055e-05,2.351269e-05,2.352631e-05,2.382625e-05,2.392629e-05,2.408885e-05,2.424180e-05,2.430726e-05,2.448743e-05,2.463453e-05,2.467537e-05,2.475306e-05,2.481574e-05,2.484690e-05,2.491684e-05,2.491937e-05,2.497331e-05,2.498544e-05,2.501117e-05,2.502702e-05,2.503499e-05,2.504604e-05,2.504655e-05,2.504734e-05,2.504607e-05,2.503865e-05,2.503005e-05,2.502156e-05,2.500034e-05,2.499703e-05,2.496586e-05,2.495889e-05,2.492876e-05,2.490732e-05,2.488632e-05,2.484696e-05,2.483910e-05,2.478756e-05,2.477895e-05,2.473213e-05,2.470424e-05,2.467316e-05,2.462367e-05,2.461100e-05,2.454595e-05,2.453796e-05,2.447827e-05,2.444772e-05,2.440822e-05,2.435352e-05,2.433601e-05,2.426186e-05,2.425585e-05,2.418595e-05,2.415514e-05,2.410847e-05,2.405180e-05,2.402958e-05,2.394942e-05,2.394618e-05,2.386812e-05,2.383861e-05,2.378583e-05,2.372937e-05,2.370266e-05,2.361872e-05,2.353412e-05,2.350692e-05,2.344894e-05,2.339418e-05,2.336330e-05,2.328071e-05,2.327726e-05,2.319091e-05,2.316668e-05,2.310432e-05,2.305228e-05,2.301756e-05,2.293765e-05,2.293070e-05,2.284380e-05,2.282294e-05,2.275691e-05,2.270828e-05,2.267009e-05,2.259379e-05,2.258339e-05,2.249685e-05,2.247957e-05,2.241052e-05,2.236573e-05,2.232444e-05,2.225236e-05,2.223865e-05,2.215318e-05,2.213953e-05,2.206806e-05,2.202734e-05,2.198333e-05,2.191585e-05,2.189902e-05,2.181515e-05,2.180512e-05,2.173175e-05,2.169521e-05,2.164884e-05,2.158617e-05,2.156644e-05,2.148458e-05,2.147805e-05,2.140327e-05,2.137090e-05,2.132253e-05,2.126475e-05,2.124237e-05,2.116281e-05,2.115964e-05,2.108387e-05,2.105560e-05,2.100555e-05,2.095266e-05,2.092787e-05,2.085084e-05,2.075016e-05,2.065065e-05,2.055231e-05,2.045517e-05,2.035924e-05,2.026452e-05,2.017103e-05,2.007877e-05,1.998775e-05,1.989796e-05,1.980941e-05,1.972211e-05,1.963604e-05,1.955122e-05,1.946762e-05,1.938526e-05,1.930413e-05,1.922422e-05,1.914552e-05,1.906803e-05,1.899174e-05,1.891664e-05,1.884272e-05,1.876997e-05
0.000000e+00,1.625432e-10,4.468577e-10,1.865135e-09,4.638048e-09,6.989046e-09,1.674362e-08,1.727502e-08,3.437016e-08,4.059626e-08,5.988005e-08,7.987836e-08,9.536144e-08,1.379562e-07,1.421351e-07,2.008679e-07,2.167333e-07,2.713183e-07,3.155803e-07,3.526288e-07,4.323334e-07,4.437508e-07,5.436159e-07,5.645434e-07,6.511411e-07,7.097112e-07,7.652057e-07,8.652249e-07,8.846483e-07,1.008283e-06,1.028374e-06,1.134924e-06,1.196441e-06,1.263422e-06,1.366822e-06,1.392687e-06,1.521711e-06,1.537134e-06,1.649591e-06,1.705286e-06,1.775531e-06,1.869527e-06,1.898853e-06,2.018993e-06,2.028452e-06,2.135494e-06,2.180992e-06,2.248000e-06,2.326379e-06,2.356247e-06,2.460048e-06,2.464106e-06,2.559289e-06,2.593888e-06,2.653916e-06,2.715621e-06,2.743922e-06,2.829343e-06,2.910248e-06,2.935199e-06,2.986730e-06,3.033409e-06,3.058903e-06,3.124254e-06,3.126895e-06,3.190845e-06,3.208046e-06,3.250900e-06,3.285125e-06,3.307210e-06,3.355839e-06,3.359927e-06,3.409206e-06,3.420537e-06,3.455196e-06,3.479570e-06,3.498047e-06,3.533276e-06,3.537906e-06,3.574914e-06,3.581986e-06,3.609209e-06,3.626014e-06,3.640923e-06,3.665664e-06,3.670186e-06,3.697120e-06,3.701222e-06,3.721845e-06,3.732961e-06,3.744472e-06,3.761138e-06,3.765112e-06,3.783867e-06,3.785996e-06,3.800837e-06,3.807763e-06,3.816116e-06,3.826653e-06,3.829794e-06,3.841957e-06,3.842867e-06,3.852686e-06,3.856594e-06,3.862060e-06,3.868011e-06,3.870152e-06,3.877032e-06,3.877283e-06,3.882767e-06,3.884564e-06,3.887422e-06,3.890000e-06,3.891055e-06,3.893725e-06,3.895486e-06,3.895866e-06,3.896390e-06,3.896541e-06,3.896486e-06,3.895860e-06,3.895820e-06,3.894437e-06,3.893927e-06,3.892378e-06,3.890836e-06,3.889685e-06,3.886679e-06,3.886394e-06,3.882542e-06,3.881538e-06,3.878163e-06,3.875492e-06,3.873289e-06,3.868615e-06,3.867951e-06,3.862178e-06,3.860973e-06,3.855997e-06,3.852631e-06,3.849436e-06,3.843648e-06,3.842519e-06,3.835269e-06,3.834080e-06,3.827709e-06,3.823977e-06,3.819861e-06,3.813388e-06,3.811745e-06,3.803379e-06,3.802359e-06,3.794782e-06,3.790931e-06,3.785971e-06,3.779142e-06,3.776963e-06,3.767773e-06,3.767031e-06,3.758416e-06,3.754630e-06,3.748906e-06,3.741972e-06,3.739256e-06,3.729479e-06,3.729086e-06,3.719586e-06,3.715999e-06,3.709590e-06,3.702738e-06,3.699500e-06,3.689326e-06,3.675786e-06,3.662139e-06,3.648404e-06,3.634599e-06,3.620740e-06,3.606844e-06,3.592925e-06,3.578997e-06,3.565071e-06,3.551161e-06,3.537276e-06,3.523426e-06,3.509621e-06,3.495870e-06,3.482180e-06,3.468559e-06,3.455013e-06,3.441549e-06,3.428173e-06,3.414889e-06,3.401703e-06,3.388618e-06,3.375640e-06,3.362771e-06
0.000000e+00,3.457044e-11,8.586248e-11,3.203039e-10,7.542821e-10,1.113599e-09,2.576967e-09,2.656134e-09,5.200416e-09,6.130327e-09,9.033337e-09,1.208568e-08,1.447764e-08,2.116173e-08,2.182355e-08,3.117037e-08,3.369606e-08,4.233776e-08,4.926350e-08,5.499364e-08,6.710873e-08,6.882110e-08,8.357413e-08,8.661850e-08,9.906433e-08,1.073583e-07,1.151365e-07,1.289849e-07,1.316516e-07,1.484771e-07,1.511893e-07,1.654841e-07,1.736748e-07,1.825468e-07,1.961556e-07,1.995443e-07,2.163624e-07,2.183634e-07,2.328962e-07,2.400564e-07,2.490518e-07,2.610266e-07,2.647478e-07,2.799158e-07,2.811046e-07,2.945006e-07,3.001615e-07,3.084603e-07,3.181072e-07,3.217653e-07,3.343970e-07,3.348881e-07,3.463467e-07,3.504813e-07,3.576142e-07,3.648901e-07,3.682072e-07,3.781392e-07,3.874286e-07,3.902690e-07,3.960975e-07,4.013315e-07,4.041710e-07,4.113864e-07,4.116761e-07,4.186406e-07,4.204977e-07,4.250932e-07,4.287311e-07,4.310627e-07,4.361521e-07,4.365772e-07,4.416645e-07,4.428249e-07,4.463512e-07,4.488105e-07,4.506631e-07,4.541669e-07,4.546245e-07,4.582587e-07,4.589483e-07,4.615878e-07,4.632051e-07,4.646322e-07,4.669838e-07,4.674113e-07,4.699431e-07,4.703264e-07,4.722442e-07,4.732715e-07,4.743304e-07,4.758543e-07,4.762160e-07,4.779147e-07,4.781066e-07,4.794390e-07,4.800574e-07,4.808003e-07,4.817326e-07,4.820095e-07,4.830764e-07,4.831559e-07,4.840104e-07,4.843488e-07,4.848201e-07,4.853304e-07,4.855132e-07,4.860973e-07,4.861185e-07,4.865790e-07,4.867287e-07,4.869649e-07,4.871755e-07,4.872608e-07,4.874721e-07,4.876041e-07,4.876303e-07,4.876614e-07,4.876610e-07,4.876485e-07,4.875741e-07,4.875697e-07,4.874287e-07,4.873786e-07,4.872292e-07,4.870828e-07,4.869746e-07,4.866945e-07,4.866681e-07,4.863127e-07,4.862205e-07,4.859113e-07,4.856673e-07,4.854664e-07,4.850409e-07,4.849805e-07,4.844561e-07,4.843468e-07,4.838953e-07,4.835900e-07,4.833002e-07,4.827752e-07,4.826728e-07,4.820149e-07,4.819069e-07,4.813284e-07,4.809892e-07,4.806149e-07,4.800257e-07,4.798759e-07,4.791131e-07,4.790200e-07,4.783277e-07,4.779754e-07,4.775212e-07,4.768950e-07,4.766949e-07,4.758500e-07,4.757816e-07,4.749876e-07,4.746381e-07,4.741089e-07,4.734667e-07,4.732150e-07,4.723067e-07,4.722701e-07,4.713852e-07,4.710503e-07,4.704512e-07,4.698095e-07,4.695058e-07,4.685496e-07,4.672725e-07,4.659799e-07,4.646734e-07,4.633546e-07,4.620249e-07,4.606857e-07,4.593383e-07,4.579839e-07,4.566236e-07,4.552585e-07,4.538897e-07,4.525180e-07,4.511445e-07,4.497700e-07,4.483952e-07,4.470209e-07,4.456479e-07,4.442768e-07,4.429083e-07,4.415430e-07,4.401813e-07,4.388240e-07,4.374714e-07,4.361240e-07
0.000000e+00,2.513797e-12,1.249344e-11,1.325516e-10,6.206251e-10,1.248579e-09,5.523443e-09,5.823678e-09,1.851530e-08,2.441607e-08,4.626732e-08,7.380783e-08,9.804989e-08,1.759537e-07,1.844022e-07,3.169126e-07,3.569259e-07,5.077030e-07,6.445417e-07,7.689086e-07,1.066208e-06,1.112067e-06,1.547313e-06,1.646146e-06,2.082341e-06,2.401538e-06,2.721306e-06,3.338317e-06,3.463961e-06,4.305331e-06,4.448538e-06,5.235998e-06,5.710710e-06,6.242890e-06,7.092822e-06,7.310352e-06,8.421312e-06,8.556720e-06,9.558328e-06,1.006247e-05,1.070447e-05,1.157188e-05,1.184397e-05,1.296270e-05,1.305092e-05,1.404839e-05,1.447105e-05,1.509080e-05,1.580984e-05,1.608170e-05,1.701476e-05,1.705081e-05,1.788548e-05,1.818308e-05,1.869097e-05,1.920065e-05,1.942978e-05,2.010172e-05,2.070760e-05,2.088780e-05,2.124915e-05,2.156305e-05,2.172874e-05,2.213355e-05,2.214928e-05,2.251406e-05,2.260668e-05,2.282662e-05,2.299063e-05,2.309066e-05,2.329393e-05,2.330991e-05,2.348808e-05,2.352514e-05,2.362883e-05,2.369260e-05,2.373564e-05,2.380423e-05,2.381186e-05,2.386065e-05,2.386738e-05,2.388495e-05,2.388882e-05,2.388749e-05,2.387465e-05,2.387078e-05,2.383714e-05,2.383033e-05,2.378866e-05,2.376068e-05,2.372724e-05,2.366994e-05,2.365459e-05,2.357226e-05,2.356180e-05,2.348162e-05,2.343943e-05,2.338391e-05,2.330559e-05,2.328022e-05,2.317151e-05,2.316262e-05,2.305865e-05,2.301252e-05,2.294241e-05,2.285699e-05,2.282344e-05,2.270234e-05,2.269746e-05,2.257963e-05,2.253515e-05,2.245576e-05,2.237108e-05,2.233114e-05,2.220612e-05,2.208100e-05,2.204098e-05,2.195605e-05,2.187628e-05,2.183150e-05,2.171251e-05,2.170757e-05,2.158443e-05,2.155011e-05,2.146223e-05,2.138942e-05,2.134111e-05,2.123073e-05,2.122118e-05,2.110256e-05,2.107429e-05,2.098531e-05,2.092029e-05,2.086953e-05,2.076889e-05,2.075526e-05,2.064257e-05,2.062023e-05,2.053150e-05,2.047440e-05,2.042208e-05,2.033147e-05,2.031435e-05,2.020833e-05,2.019152e-05,2.010403e-05,2.005458e-05,2.000147e-05,1.992068e-05,1.990066e-05,1.980160e-05,1.978984e-05,1.970430e-05,1.966205e-05,1.960876e-05,1.953731e-05,1.951496e-05,1.942291e-05,1.941562e-05,1.933259e-05,1.929695e-05,1.924400e-05,1.918127e-05,1.915711e-05,1.907192e-05,1.906855e-05,1.898842e-05,1.895876e-05,1.890657e-05,1.885186e-05,1.882637e-05,1.874780e-05,1.864654e-05,1.854804e-05,1.845224e-05,1.835909e-05,1.826854e-05,1.818054e-05,1.809503e-05,1.801196e-05,1.793128e-05,1.785293e-05,1.777685e-05,1.770299e-05,1.763130e-05,1.756173e-05,1.749422e-05,1.742872e-05,1.736517e-05,1.730353e-05,1.724375e-05,1.718577e-05,1.712955e-05,1.707503e-05,1.702219e-05,1.697095e-05
0.000000e+00,5.042291e-12,2.466610e-11,2.533822e-10,1.152856e-09,2.283994e-09,9.725855e-09,1.023917e-08,3.143334e-08,4.108176e-08,7.621088e-08,1.196742e-07,1.574749e-07,2.772909e-07,2.901818e-07,4.908631e-07,5.510731e-07,7.769476e-07,9.808732e-07,1.165436e-06,1.603521e-06,1.670676e-06,2.301749e-06,2.443371e-06,3.060615e-06,3.504179e-06,3.941784e-06,4.767974e-06,4.933429e-06,6.019273e-06,6.200517e-06,7.180600e-06,7.759128e-06,8.397951e-06,9.399377e-06,9.652347e-06,1.092607e-05,1.107943e-05,1.220309e-05,1.276231e-05,1.346927e-05,1.441672e-05,1.471237e-05,1.592205e-05,1.601711e-05,1.708973e-05,1.754345e-05,1.820853e-05,1.898076e-05,1.927313e-05,2.027963e-05,2.031864e-05,2.122541e-05,2.155072e-05,2.210903e-05,2.267412e-05,2.293003e-05,2.368882e-05,2.438652e-05,2.459716e-05,2.502487e-05,2.540326e-05,2.560605e-05,2.611255e-05,2.613260e-05,2.660731e-05,2.673134e-05,2.703313e-05,2.726641e-05,2.741308e-05,2.772473e-05,2.775020e-05,2.804748e-05,2.811323e-05,2.830785e-05,2.843859e-05,2.853413e-05,2.870719e-05,2.872900e-05,2.889499e-05,2.892494e-05,2.903447e-05,2.909727e-05,2.914967e-05,2.922917e-05,2.924263e-05,2.931528e-05,2.932514e-05,2.936937e-05,2.938923e-05,2.940653e-05,2.942506e-05,2.942822e-05,2.943582e-05,2.943584e-05,2.943055e-05,2.942445e-05,2.941355e-05,2.939341e-05,2.938583e-05,2.934836e-05,2.934496e-05,2.930197e-05,2.928110e-05,2.924746e-05,2.920359e-05,2.918554e-05,2.911686e-05,2.911398e-05,2.904200e-05,2.901365e-05,2.896152e-05,2.890384e-05,2.887592e-05,2.878564e-05,2.869110e-05,2.866002e-05,2.859270e-05,2.852785e-05,2.849077e-05,2.838992e-05,2.838566e-05,2.827765e-05,2.824692e-05,2.816702e-05,2.809949e-05,2.805403e-05,2.794819e-05,2.793891e-05,2.782188e-05,2.779353e-05,2.770314e-05,2.763597e-05,2.758288e-05,2.747594e-05,2.746128e-05,2.733850e-05,2.731381e-05,2.721468e-05,2.714994e-05,2.708998e-05,2.698463e-05,2.696451e-05,2.683841e-05,2.681818e-05,2.671178e-05,2.665085e-05,2.658474e-05,2.648287e-05,2.645738e-05,2.632979e-05,2.631447e-05,2.620206e-05,2.614583e-05,2.607427e-05,2.597715e-05,2.594649e-05,2.581881e-05,2.580860e-05,2.569127e-05,2.564032e-05,2.556396e-05,2.547245e-05,2.543691e-05,2.531019e-05,2.530513e-05,2.518385e-05,2.513846e-05,2.505793e-05,2.497256e-05,2.493247e-05,2.480753e-05,2.464344e-05,2.448039e-05,2.431844e-05,2.415767e-05,2.399813e-05,2.383987e-05,2.368295e-05,2.352741e-05,2.337329e-05,2.322063e-05,2.306945e-05,2.291978e-05,2.277165e-05,2.262507e-05,2.248008e-05,2.233667e-05,2.219486e-05,2.205466e-05,2.191608e-05,2.177913e-05,2.164381e-05,2.151011e-05,2.137804e-05,2.124761e-05
0.000000e+00,1.437969e-11,7.089141e-11,7.404733e-10,3.423693e-09,6.846259e-09,2.992176e-08,3.153659e-08,9.973099e-08,1.315014e-07,2.498477e-07,4.007160e-07,5.350477e-07,9.751248e-07,1.023511e-06,1.794521e-06,2.030614e-06,2.927271e-06,3.744623e-06,4.486298e-06,6.243163e-06,6.511460e-06,9.015656e-06,9.573389e-06,1.198815e-05,1.370992e-05,1.540018e-05,1.857612e-05,1.921062e-05,2.337062e-05,2.406514e-05,2.782707e-05,3.005539e-05,3.252517e-05,3.642083e-05,3.741021e-05,4.242901e-05,4.303781e-05,4.753095e-05,4.978984e-05,5.266883e-05,5.657093e-05,5.779948e-05,6.288425e-05,6.328799e-05,6.788919e-05,6.986214e-05,7.278522e-05,7.622910e-05,7.754803e-05,8.215788e-05,8.233886e-05,8.659930e-05,8.815464e-05,9.086073e-05,9.365145e-05,9.493411e-05,9.881445e-05,1.024994e-04,1.036372e-04,1.059888e-04,1.081201e-04,1.092844e-04,1.122687e-04,1.123893e-04,1.153080e-04,1.160925e-04,1.180456e-04,1.196038e-04,1.206083e-04,1.228168e-04,1.230023e-04,1.252345e-04,1.257469e-04,1.273117e-04,1.284099e-04,1.292409e-04,1.308218e-04,1.310292e-04,1.326834e-04,1.329987e-04,1.342102e-04,1.349560e-04,1.356162e-04,1.367086e-04,1.369078e-04,1.380912e-04,1.382709e-04,1.391722e-04,1.396564e-04,1.401565e-04,1.408780e-04,1.410496e-04,1.418565e-04,1.419478e-04,1.425823e-04,1.428771e-04,1.432316e-04,1.436766e-04,1.438088e-04,1.443183e-04,1.443562e-04,1.447639e-04,1.449252e-04,1.451496e-04,1.453922e-04,1.454789e-04,1.457552e-04,1.457652e-04,1.459818e-04,1.460518e-04,1.461617e-04,1.462588e-04,1.462977e-04,1.463928e-04,1.464493e-04,1.464596e-04,1.464697e-04,1.464649e-04,1.464564e-04,1.464139e-04,1.464115e-04,1.463371e-04,1.463112e-04,1.462351e-04,1.461614e-04,1.461073e-04,1.459685e-04,1.459555e-04,1.457813e-04,1.457363e-04,1.455862e-04,1.454684e-04,1.453718e-04,1.451681e-04,1.451393e-04,1.448901e-04,1.448383e-04,1.446253e-04,1.444819e-04,1.443463e-04,1.441015e-04,1.440539e-04,1.437493e-04,1.436995e-04,1.434334e-04,1.432780e-04,1.431071e-04,1.428392e-04,1.427714e-04,1.424269e-04,1.423850e-04,1.420746e-04,1.419172e-04,1.417150e-04,1.414373e-04,1.413489e-04,1.409769e-04,1.409469e-04,1.405997e-04,1.404474e-04,1.402177e-04,1.399401e-04,1.398316e-04,1.394418e-04,1.394262e-04,1.390489e-04,1.389067e-04,1.386532e-04,1.383828e-04,1.382552e-04,1.378553e-04,1.373251e-04,1.367931e-04,1.362599e-04,1.357263e-04,1.351928e-04,1.346601e-04,1.341287e-04,1.335991e-04,1.330716e-04,1.325468e-04,1.320251e-04,1.315066e-04,1.309919e-04,1.304811e-04,1.299744e-04,1.294723e-04,1.289747e-04,1.284821e-04,1.279944e-04,1.275119e-04,1.270346e-04,1.265628e-04,1.260966e-04,1.256359e-04
0.000000e+00,4.061602e-11,1.829815e-10,1.598677e-09,6.348239e-09,1.173151e-08,4.252716e-08,4.450667e-08,1.201271e-07,1.524442e-07,2.654352e-07,4.002481e-07,5.152772e-07,8.721623e-07,9.099696e-07,1.483035e-06,1.648861e-06,2.244493e-06,2.747385e-06,3.176384e-06,4.109814e-06,4.243772e-06,5.408741e-06,5.650428e-06,6.638442e-06,7.294643e-06,7.907074e-06,8.988196e-06,9.194846e-06,1.048623e-05,1.069231e-05,1.176861e-05,1.237779e-05,1.303145e-05,1.402164e-05,1.426588e-05,1.546448e-05,1.560561e-05,1.662124e-05,1.711569e-05,1.773142e-05,1.854183e-05,1.879155e-05,1.979927e-05,1.987757e-05,2.075319e-05,2.111956e-05,2.165281e-05,2.226699e-05,2.249832e-05,2.329049e-05,2.332109e-05,2.403057e-05,2.428453e-05,2.472011e-05,2.516106e-05,2.536095e-05,2.595508e-05,2.650460e-05,2.667137e-05,2.701166e-05,2.731489e-05,2.747842e-05,2.789060e-05,2.790704e-05,2.829961e-05,2.840336e-05,2.865819e-05,2.885784e-05,2.898474e-05,2.925851e-05,2.928116e-05,2.954926e-05,2.960958e-05,2.979076e-05,2.991500e-05,3.000731e-05,3.017847e-05,3.020046e-05,3.037167e-05,3.040341e-05,3.052234e-05,3.059300e-05,3.065377e-05,3.075020e-05,3.076719e-05,3.086376e-05,3.087773e-05,3.094459e-05,3.097809e-05,3.101068e-05,3.105360e-05,3.106301e-05,3.110249e-05,3.110640e-05,3.112996e-05,3.113845e-05,3.114623e-05,3.115156e-05,3.115204e-05,3.114811e-05,3.114739e-05,3.113508e-05,3.112747e-05,3.111359e-05,3.109320e-05,3.108422e-05,3.104750e-05,3.104589e-05,3.100397e-05,3.098672e-05,3.095409e-05,3.091678e-05,3.089832e-05,3.083708e-05,3.077077e-05,3.074855e-05,3.069977e-05,3.065203e-05,3.062443e-05,3.054832e-05,3.054507e-05,3.046201e-05,3.043812e-05,3.037553e-05,3.032211e-05,3.028591e-05,3.020090e-05,3.019340e-05,3.009825e-05,3.007504e-05,3.000068e-05,2.994506e-05,2.990090e-05,2.981143e-05,2.979911e-05,2.969551e-05,2.967459e-05,2.959026e-05,2.953494e-05,2.948353e-05,2.939285e-05,2.937548e-05,2.926625e-05,2.924867e-05,2.915598e-05,2.910271e-05,2.904479e-05,2.895527e-05,2.893282e-05,2.882016e-05,2.880660e-05,2.870694e-05,2.865696e-05,2.859324e-05,2.850657e-05,2.847916e-05,2.836480e-05,2.835564e-05,2.825023e-05,2.820436e-05,2.813554e-05,2.805292e-05,2.802078e-05,2.790604e-05,2.790146e-05,2.779138e-05,2.775014e-05,2.767686e-05,2.759909e-05,2.756253e-05,2.744845e-05,2.729832e-05,2.714881e-05,2.700002e-05,2.685204e-05,2.670495e-05,2.655881e-05,2.641370e-05,2.626968e-05,2.612680e-05,2.598511e-05,2.584465e-05,2.570548e-05,2.556761e-05,2.543109e-05,2.529594e-05,2.516219e-05,2.502986e-05,2.489897e-05,2.476953e-05,2.464156e-05,2.451507e-05,2.439006e-05,2.426655e-05,2.414454e-05
0.000000e+00,1.251995e-11,6.068424e-11,6.114108e-10,2.732155e-09,5.358739e-09,2.222275e-08,2.337005e-08,6.982561e-08,9.057565e-08,1.648374e-07,2.547829e-07,3.317678e-07,5.704258e-07,5.957167e-07,9.823401e-07,1.096199e-06,1.516669e-06,1.888999e-06,2.221247e-06,2.995728e-06,3.112961e-06,4.198862e-06,4.439050e-06,5.472714e-06,6.203171e-06,6.914234e-06,8.231606e-06,8.491547e-06,1.016574e-05,1.043985e-05,1.189576e-05,1.273435e-05,1.364245e-05,1.502833e-05,1.537115e-05,1.705300e-05,1.725052e-05,1.866521e-05,1.934795e-05,2.019079e-05,2.128481e-05,2.161785e-05,2.293882e-05,2.303977e-05,2.414973e-05,2.460296e-05,2.524953e-05,2.597323e-05,2.623949e-05,2.712265e-05,2.715582e-05,2.790344e-05,2.816047e-05,2.858724e-05,2.899990e-05,2.918012e-05,2.968854e-05,3.011915e-05,3.024160e-05,3.047858e-05,3.067427e-05,3.077333e-05,3.100123e-05,3.100964e-05,3.119342e-05,3.123623e-05,3.133021e-05,3.139186e-05,3.142510e-05,3.147943e-05,3.148278e-05,3.150750e-05,3.150897e-05,3.150311e-05,3.148923e-05,3.147304e-05,3.142779e-05,3.142037e-05,3.134785e-05,3.133118e-05,3.125788e-05,3.120494e-05,3.115263e-05,3.105380e-05,3.103399e-05,3.090363e-05,3.088178e-05,3.076301e-05,3.069227e-05,3.061345e-05,3.048814e-05,3.045610e-05,3.029195e-05,3.027184e-05,3.012192e-05,3.004545e-05,2.994680e-05,2.981074e-05,2.976729e-05,2.958403e-05,2.956922e-05,2.939758e-05,2.932222e-05,2.920844e-05,2.907085e-05,2.901706e-05,2.882385e-05,2.881609e-05,2.862916e-05,2.855878e-05,2.843332e-05,2.829965e-05,2.823663e-05,2.803936e-05,2.784174e-05,2.777847e-05,2.764400e-05,2.751748e-05,2.744634e-05,2.725683e-05,2.724894e-05,2.705197e-05,2.699691e-05,2.685557e-05,2.673807e-05,2.665989e-05,2.648060e-05,2.646505e-05,2.627116e-05,2.622478e-05,2.607834e-05,2.597085e-05,2.588666e-05,2.571902e-05,2.569623e-05,2.550712e-05,2.546946e-05,2.531939e-05,2.522235e-05,2.513312e-05,2.497781e-05,2.494835e-05,2.476515e-05,2.473598e-05,2.458354e-05,2.449695e-05,2.440358e-05,2.426082e-05,2.422530e-05,2.404874e-05,2.402767e-05,2.387391e-05,2.379755e-05,2.370085e-05,2.357052e-05,2.352958e-05,2.336011e-05,2.334663e-05,2.319246e-05,2.312591e-05,2.302664e-05,2.290839e-05,2.286266e-05,2.270052e-05,2.269407e-05,2.254023e-05,2.248298e-05,2.238179e-05,2.227512e-05,2.222521e-05,2.207048e-05,2.186906e-05,2.167086e-05,2.147585e-05,2.128402e-05,2.109534e-05,2.090980e-05,2.072736e-05,2.054800e-05,2.037168e-05,2.019837e-05,2.002803e-05,1.986063e-05,1.969613e-05,1.953449e-05,1.937567e-05,1.921964e-05,1.906634e-05,1.891574e-05,1.876779e-05,1.862246e-05,1.847970e-05,1.833947e-05,1.820172e-05,1.806641e-05
0.000000e+00,2.957883e-12,1.453521e-11,1.506405e-10,6.904534e-10,1.372986e-09,5.895709e-09,6.208737e-09,1.917911e-08,2.509853e-08,4.667301e-08,7.336553e-08,9.655661e-08,1.698460e-07,1.777095e-07,2.995899e-07,3.359728e-07,4.718124e-07,5.937264e-07,7.036151e-07,9.633261e-07,1.003046e-06,1.375816e-06,1.459434e-06,1.824063e-06,2.086410e-06,2.345517e-06,2.835300e-06,2.933439e-06,3.577346e-06,3.684722e-06,4.264262e-06,4.605125e-06,4.980078e-06,5.564083e-06,5.710764e-06,6.443287e-06,6.530751e-06,7.166190e-06,7.478679e-06,7.869885e-06,8.387072e-06,8.546726e-06,9.190938e-06,9.240932e-06,9.798444e-06,1.003054e-05,1.036665e-05,1.075064e-05,1.089424e-05,1.138092e-05,1.139954e-05,1.182723e-05,1.197823e-05,1.223437e-05,1.248968e-05,1.260400e-05,1.293815e-05,1.323902e-05,1.332866e-05,1.350898e-05,1.366663e-05,1.375041e-05,1.395755e-05,1.396569e-05,1.415710e-05,1.420673e-05,1.432685e-05,1.441917e-05,1.447700e-05,1.459948e-05,1.460947e-05,1.472603e-05,1.475182e-05,1.482830e-05,1.487987e-05,1.491773e-05,1.498688e-05,1.499566e-05,1.506327e-05,1.507565e-05,1.512161e-05,1.514860e-05,1.517162e-05,1.520781e-05,1.521415e-05,1.524992e-05,1.525507e-05,1.527961e-05,1.529186e-05,1.530378e-05,1.531949e-05,1.532295e-05,1.533758e-05,1.533905e-05,1.534807e-05,1.535147e-05,1.535479e-05,1.535756e-05,1.535805e-05,1.535814e-05,1.535801e-05,1.535532e-05,1.535343e-05,1.534982e-05,1.534432e-05,1.534185e-05,1.533161e-05,1.533115e-05,1.531926e-05,1.531433e-05,1.530496e-05,1.529421e-05,1.528887e-05,1.527110e-05,1.525179e-05,1.524531e-05,1.523105e-05,1.521708e-05,1.520898e-05,1.518664e-05,1.518569e-05,1.516125e-05,1.515421e-05,1.513576e-05,1.511999e-05,1.510930e-05,1.508415e-05,1.508193e-05,1.505374e-05,1.504686e-05,1.502478e-05,1.500825e-05,1.499512e-05,1.496848e-05,1.496481e-05,1.493391e-05,1.492766e-05,1.490247e-05,1.488593e-05,1.487054e-05,1.484338e-05,1.483817e-05,1.480539e-05,1.480012e-05,1.477226e-05,1.475623e-05,1.473880e-05,1.471182e-05,1.470505e-05,1.467105e-05,1.466695e-05,1.463683e-05,1.462171e-05,1.460242e-05,1.457616e-05,1.456785e-05,1.453315e-05,1.453037e-05,1.449834e-05,1.448439e-05,1.446345e-05,1.443829e-05,1.442850e-05,1.439351e-05,1.439211e-05,1.435851e-05,1.434591e-05,1.432351e-05,1.429972e-05,1.428853e-05,1.425360e-05,1.420757e-05,1.416167e-05,1.411595e-05,1.407042e-05,1.402511e-05,1.398006e-05,1.393528e-05,1.389080e-05,1.384664e-05,1.380282e-05,1.375935e-05,1.371625e-05,1.367353e-05,1.363121e-05,1.358930e-05,1.354782e-05,1.350676e-05,1.346614e-05,1.342596e-05,1.338624e-05,1.334697e-05,1.330817e-05,1.326984e-05,1.323198e-05
0.000000e+00,1.086922e-11,5.622228e-11,6.487119e-10,3.282802e-09,6.895796e-09,3.416531e-08,3.619080e-08,1.290985e-07,1.757291e-07,3.609394e-07,6.151004e-07,8.534419e-07,1.689783e-06,1.785929e-06,3.405594e-06,3.930804e-06,6.035813e-06,8.097380e-06,1.008042e-05,1.519096e-05,1.602175e-05,2.441192e-05,2.643651e-05,3.585878e-05,4.323274e-05,5.100881e-05,6.708427e-05,7.052878e-05,9.508735e-05,9.952832e-05,1.253377e-04,1.420636e-04,1.619010e-04,1.960854e-04,2.053524e-04,2.562074e-04,2.628295e-04,3.149114e-04,3.433251e-04,3.818306e-04,4.383592e-04,4.572452e-04,5.413445e-04,5.484511e-04,6.342245e-04,6.738387e-04,7.358870e-04,8.144745e-04,8.462408e-04,9.651050e-04,9.700331e-04,1.092213e-03,1.139926e-03,1.227219e-03,1.323324e-03,1.369705e-03,1.519187e-03,1.675126e-03,1.726295e-03,1.836933e-03,1.943282e-03,2.003984e-03,2.168677e-03,2.175622e-03,2.351172e-03,2.400933e-03,2.529944e-03,2.638465e-03,2.711245e-03,2.879681e-03,2.894384e-03,3.078680e-03,3.123009e-03,3.263469e-03,3.366924e-03,3.448105e-03,3.609968e-03,3.631972e-03,3.814479e-03,3.850767e-03,3.995071e-03,4.088047e-03,4.173227e-03,4.320641e-03,4.348463e-03,4.520337e-03,4.547497e-03,4.688441e-03,4.767684e-03,4.852411e-03,4.980389e-03,5.011920e-03,5.166681e-03,5.184921e-03,5.316446e-03,5.380704e-03,5.461002e-03,5.567272e-03,5.600174e-03,5.733819e-03,5.744268e-03,5.861827e-03,5.911433e-03,5.984119e-03,6.068600e-03,6.100644e-03,6.211377e-03,6.215686e-03,6.316319e-03,6.352685e-03,6.415494e-03,6.479659e-03,6.508943e-03,6.596731e-03,6.678935e-03,6.704076e-03,6.755650e-03,6.801916e-03,6.826983e-03,6.890509e-03,6.893053e-03,6.953989e-03,6.970149e-03,7.009928e-03,7.041153e-03,7.061015e-03,7.103860e-03,7.107401e-03,7.149241e-03,7.158623e-03,7.186692e-03,7.205809e-03,7.219917e-03,7.245789e-03,7.249079e-03,7.274340e-03,7.278939e-03,7.295864e-03,7.305634e-03,7.313815e-03,7.326250e-03,7.328353e-03,7.339638e-03,7.341152e-03,7.347828e-03,7.350705e-03,7.353077e-03,7.355260e-03,7.355536e-03,7.355354e-03,7.355161e-03,7.352673e-03,7.350739e-03,7.347636e-03,7.342314e-03,7.340376e-03,7.331028e-03,7.330193e-03,7.319717e-03,7.314671e-03,7.306567e-03,7.296028e-03,7.291698e-03,7.275223e-03,7.274532e-03,7.257252e-03,7.250437e-03,7.237891e-03,7.223984e-03,7.217241e-03,7.195400e-03,7.164899e-03,7.132683e-03,7.098940e-03,7.063849e-03,7.027574e-03,6.990270e-03,6.952081e-03,6.913140e-03,6.873574e-03,6.833495e-03,6.793010e-03,6.752219e-03,6.711210e-03,6.670068e-03,6.628867e-03,6.587679e-03,6.546566e-03,6.505588e-03,6.464796e-03,6.424238e-03,6.383958e-03,6.343994e-03,6.304381e-03,6.265151e-03
0.000000e+00,4.776856e-12,2.429442e-11,2.705688e-10,1.325334e-09,2.734397e-09,1.293186e-08,1.367265e-08,4.658437e-08,6.263202e-08,1.247534e-07,2.074849e-07,2.834271e-07,5.424689e-07,5.717200e-07,1.054151e-06,1.207429e-06,1.811037e-06,2.389338e-06,2.936186e-06,4.311376e-06,4.530913e-06,6.695504e-06,7.205037e-06,9.520613e-06,1.127616e-05,1.308055e-05,1.667879e-05,1.742914e-05,2.259794e-05,2.350199e-05,2.859636e-05,3.176769e-05,3.541303e-05,4.143587e-05,4.301790e-05,5.136490e-05,5.241371e-05,6.039463e-05,6.456629e-05,7.003715e-05,7.772767e-05,8.021469e-05,9.084415e-05,9.171146e-05,1.018394e-04,1.063204e-04,1.131135e-04,1.213550e-04,1.245802e-04,1.361560e-04,1.366202e-04,1.477611e-04,1.519316e-04,1.593206e-04,1.671195e-04,1.707653e-04,1.820321e-04,1.930649e-04,1.965377e-04,2.038141e-04,2.105247e-04,2.142370e-04,2.239026e-04,2.242977e-04,2.339667e-04,2.366005e-04,2.432207e-04,2.485663e-04,2.520420e-04,2.597647e-04,2.604182e-04,2.683418e-04,2.701757e-04,2.758096e-04,2.797925e-04,2.828220e-04,2.886194e-04,2.893830e-04,2.954994e-04,2.966700e-04,3.011802e-04,3.039657e-04,3.064366e-04,3.105333e-04,3.112814e-04,3.157288e-04,3.164045e-04,3.197939e-04,3.216139e-04,3.234923e-04,3.261980e-04,3.268404e-04,3.298547e-04,3.301948e-04,3.325519e-04,3.336424e-04,3.349484e-04,3.365787e-04,3.370606e-04,3.389045e-04,3.390409e-04,3.404958e-04,3.410650e-04,3.418497e-04,3.426857e-04,3.429808e-04,3.439033e-04,3.439360e-04,3.446307e-04,3.448474e-04,3.451760e-04,3.454492e-04,3.455516e-04,3.457692e-04,3.458400e-04,3.458334e-04,3.457746e-04,3.456659e-04,3.455829e-04,3.452890e-04,3.452745e-04,3.448582e-04,3.447235e-04,3.443424e-04,3.439885e-04,3.437351e-04,3.431018e-04,3.430435e-04,3.422748e-04,3.420795e-04,3.414353e-04,3.409365e-04,3.405311e-04,3.396866e-04,3.395681e-04,3.385515e-04,3.383422e-04,3.374864e-04,3.369149e-04,3.363773e-04,3.354150e-04,3.352287e-04,3.340447e-04,3.338522e-04,3.328289e-04,3.322351e-04,3.315850e-04,3.305718e-04,3.303162e-04,3.290257e-04,3.288695e-04,3.277162e-04,3.271347e-04,3.263904e-04,3.253734e-04,3.250508e-04,3.236996e-04,3.235911e-04,3.223391e-04,3.217927e-04,3.209712e-04,3.199827e-04,3.195976e-04,3.182202e-04,3.181651e-04,3.168405e-04,3.163435e-04,3.154599e-04,3.145214e-04,3.140799e-04,3.127016e-04,3.108868e-04,3.090795e-04,3.072819e-04,3.054958e-04,3.037231e-04,3.019652e-04,3.002236e-04,2.984994e-04,2.967938e-04,2.951077e-04,2.934419e-04,2.917970e-04,2.901738e-04,2.885728e-04,2.869944e-04,2.854389e-04,2.839066e-04,2.823979e-04,2.809128e-04,2.794515e-04,2.780140e-04,2.766004e-04,2.752107e-04,2.738449e-04
0.000000e+00,3.000604e-11,1.541140e-10,1.752455e-09,8.753684e-09,1.826067e-08,8.895388e-08,9.416622e-08,3.310126e-07,4.489870e-07,9.149856e-07,1.551247e-06,2.146402e-06,4.231285e-06,4.470882e-06,8.509463e-06,9.820295e-06,1.507852e-05,2.023071e-05,2.518415e-05,3.791635e-05,3.997986e-05,6.069322e-05,6.565416e-05,8.854012e-05,1.062185e-04,1.246448e-04,1.620688e-04,1.699761e-04,2.253034e-04,2.351230e-04,2.911704e-04,3.266297e-04,3.678851e-04,4.371248e-04,4.555219e-04,5.539335e-04,5.664523e-04,6.627691e-04,7.138280e-04,7.814974e-04,8.779300e-04,9.094325e-04,1.045761e-03,1.057003e-03,1.189571e-03,1.248970e-03,1.339875e-03,1.451536e-03,1.495639e-03,1.655806e-03,1.662289e-03,1.819311e-03,1.878788e-03,1.985108e-03,2.098639e-03,2.152180e-03,2.319554e-03,2.486311e-03,2.539401e-03,2.651594e-03,2.756235e-03,2.814617e-03,2.968327e-03,2.974664e-03,3.131095e-03,3.174169e-03,3.283345e-03,3.372481e-03,3.430923e-03,3.562209e-03,3.573412e-03,3.710462e-03,3.742512e-03,3.841792e-03,3.912755e-03,3.967183e-03,4.072484e-03,4.086472e-03,4.199552e-03,4.221416e-03,4.306362e-03,4.359419e-03,4.406888e-03,4.486489e-03,4.501153e-03,4.589215e-03,4.602735e-03,4.671164e-03,4.708361e-03,4.747115e-03,4.803649e-03,4.817206e-03,4.881595e-03,4.888946e-03,4.940454e-03,4.964648e-03,4.993969e-03,5.031186e-03,5.042335e-03,5.085754e-03,5.089020e-03,5.124436e-03,5.138629e-03,5.158590e-03,5.180497e-03,5.188430e-03,5.214168e-03,5.215115e-03,5.236015e-03,5.242967e-03,5.254179e-03,5.264533e-03,5.268867e-03,5.280279e-03,5.288609e-03,5.290655e-03,5.294049e-03,5.296098e-03,5.296781e-03,5.297023e-03,5.296984e-03,5.294829e-03,5.293826e-03,5.290481e-03,5.286885e-03,5.284097e-03,5.276556e-03,5.275828e-03,5.265819e-03,5.263173e-03,5.254206e-03,5.247051e-03,5.241119e-03,5.228482e-03,5.226683e-03,5.211014e-03,5.207742e-03,5.194224e-03,5.185085e-03,5.176418e-03,5.160748e-03,5.157695e-03,5.138147e-03,5.134949e-03,5.117864e-03,5.107891e-03,5.096927e-03,5.079759e-03,5.075414e-03,5.053398e-03,5.050725e-03,5.030946e-03,5.020946e-03,5.008123e-03,4.990566e-03,4.984988e-03,4.961596e-03,4.959715e-03,4.937998e-03,4.928513e-03,4.914244e-03,4.897069e-03,4.890377e-03,4.866439e-03,4.865481e-03,4.842468e-03,4.833838e-03,4.818500e-03,4.802220e-03,4.794568e-03,4.770701e-03,4.739343e-03,4.708207e-03,4.677342e-03,4.646794e-03,4.616605e-03,4.586809e-03,4.557436e-03,4.528514e-03,4.500066e-03,4.472110e-03,4.444662e-03,4.417736e-03,4.391343e-03,4.365491e-03,4.340186e-03,4.315432e-03,4.291231e-03,4.267584e-03,4.244491e-03,4.221950e-03,4.199958e-03,4.178510e-03,4.157602e-03,4.137228e-03
0.000000e+00,6.377139e-12,3.233806e-11,3.581467e-10,1.746942e-09,3.597682e-09,1.697139e-08,1.794313e-08,6.124084e-08,8.244774e-08,1.650784e-07,2.762474e-07,3.792085e-07,7.350624e-07,7.755775e-07,1.448824e-06,1.663721e-06,2.509633e-06,3.315829e-06,4.072326e-06,5.946570e-06,6.242063e-06,9.105456e-06,9.767354e-06,1.272539e-05,1.492017e-05,1.713928e-05,2.147039e-05,2.235968e-05,2.837626e-05,2.941102e-05,3.515856e-05,3.867267e-05,4.265910e-05,4.913585e-05,5.081657e-05,5.955893e-05,6.064360e-05,6.880647e-05,7.301374e-05,7.847457e-05,8.605011e-05,8.847627e-05,9.872459e-05,9.955254e-05,1.091344e-04,1.133252e-04,1.196243e-04,1.271833e-04,1.301175e-04,1.405435e-04,1.409582e-04,1.508380e-04,1.545006e-04,1.609439e-04,1.676826e-04,1.708116e-04,1.803982e-04,1.896682e-04,1.925628e-04,1.985927e-04,2.041123e-04,2.071490e-04,2.150009e-04,2.153202e-04,2.230948e-04,2.251996e-04,2.304659e-04,2.346936e-04,2.374307e-04,2.434802e-04,2.439901e-04,2.501479e-04,2.515667e-04,2.559108e-04,2.589686e-04,2.612873e-04,2.657073e-04,2.662879e-04,2.709244e-04,2.718092e-04,2.752097e-04,2.773037e-04,2.791573e-04,2.822226e-04,2.827813e-04,2.860963e-04,2.865990e-04,2.891168e-04,2.904664e-04,2.918574e-04,2.938580e-04,2.943325e-04,2.965562e-04,2.968068e-04,2.985424e-04,2.993446e-04,3.003046e-04,3.015021e-04,3.018558e-04,3.032086e-04,3.033087e-04,3.043751e-04,3.047921e-04,3.053668e-04,3.059788e-04,3.061948e-04,3.068696e-04,3.068935e-04,3.074012e-04,3.075593e-04,3.077991e-04,3.079980e-04,3.080724e-04,3.082297e-04,3.082789e-04,3.082732e-04,3.082279e-04,3.081459e-04,3.080837e-04,3.078640e-04,3.078532e-04,3.075427e-04,3.074423e-04,3.071584e-04,3.068947e-04,3.067058e-04,3.062338e-04,3.061903e-04,3.056170e-04,3.054713e-04,3.049904e-04,3.046180e-04,3.043151e-04,3.036838e-04,3.035952e-04,3.028346e-04,3.026779e-04,3.020369e-04,3.016086e-04,3.012055e-04,3.004835e-04,3.003437e-04,2.994544e-04,2.993097e-04,2.985404e-04,2.980937e-04,2.976044e-04,2.968414e-04,2.966489e-04,2.956760e-04,2.955582e-04,2.946880e-04,2.942491e-04,2.936869e-04,2.929185e-04,2.926746e-04,2.916527e-04,2.915706e-04,2.906229e-04,2.902091e-04,2.895868e-04,2.888376e-04,2.885457e-04,2.875009e-04,2.874591e-04,2.864538e-04,2.860765e-04,2.854054e-04,2.846923e-04,2.843568e-04,2.833090e-04,2.819286e-04,2.805531e-04,2.791842e-04,2.778235e-04,2.764724e-04,2.751322e-04,2.738039e-04,2.724887e-04,2.711873e-04,2.699007e-04,2.686295e-04,2.673742e-04,2.661356e-04,2.649139e-04,2.637096e-04,2.625230e-04,2.613545e-04,2.602041e-04,2.590722e-04,2.579588e-04,2.568640e-04,2.557878e-04,2.547304e-04,2.536917e-04
0.000000e+00,6.049662e-12,3.028233e-11,3.263814e-10,1.552361e-09,3.152327e-09,1.432757e-08,1.512458e-08,4.967376e-08,6.616154e-08,1.288797e-07,2.108362e-07,2.851354e-07,5.347315e-07,5.626498e-07,1.017730e-06,1.160523e-06,1.715669e-06,2.237733e-06,2.723343e-06,3.913689e-06,4.100001e-06,5.889946e-06,6.300132e-06,8.118909e-06,9.454488e-06,1.079388e-05,1.337886e-05,1.390517e-05,1.742953e-05,1.802963e-05,2.133341e-05,2.333032e-05,2.557607e-05,2.918371e-05,3.011211e-05,3.489358e-05,3.548153e-05,3.987168e-05,4.211183e-05,4.499804e-05,4.896433e-05,5.022581e-05,5.551040e-05,5.593435e-05,6.081015e-05,6.292560e-05,6.608677e-05,6.985202e-05,7.130563e-05,7.643598e-05,7.663896e-05,8.145100e-05,8.322364e-05,8.632777e-05,8.955512e-05,9.104720e-05,9.559380e-05,9.995548e-05,1.013106e-04,1.041233e-04,1.066860e-04,1.080910e-04,1.117085e-04,1.118552e-04,1.154142e-04,1.163741e-04,1.187688e-04,1.206842e-04,1.219209e-04,1.246451e-04,1.248741e-04,1.276330e-04,1.282668e-04,1.302029e-04,1.315619e-04,1.325902e-04,1.345451e-04,1.348014e-04,1.368435e-04,1.372323e-04,1.387238e-04,1.396401e-04,1.404497e-04,1.417854e-04,1.420284e-04,1.434674e-04,1.436852e-04,1.447739e-04,1.453561e-04,1.459550e-04,1.468142e-04,1.470175e-04,1.479681e-04,1.480750e-04,1.488133e-04,1.491534e-04,1.495592e-04,1.500633e-04,1.502117e-04,1.507766e-04,1.508181e-04,1.512591e-04,1.514302e-04,1.516644e-04,1.519112e-04,1.519974e-04,1.522628e-04,1.522720e-04,1.524648e-04,1.525228e-04,1.526077e-04,1.526730e-04,1.526953e-04,1.527314e-04,1.527194e-04,1.527060e-04,1.526627e-04,1.526044e-04,1.525644e-04,1.524335e-04,1.524273e-04,1.522543e-04,1.521998e-04,1.520479e-04,1.519091e-04,1.518106e-04,1.515670e-04,1.515448e-04,1.512524e-04,1.511786e-04,1.509357e-04,1.507484e-04,1.505965e-04,1.502808e-04,1.502366e-04,1.498577e-04,1.497798e-04,1.494614e-04,1.492489e-04,1.490491e-04,1.486916e-04,1.486224e-04,1.481824e-04,1.481109e-04,1.477305e-04,1.475097e-04,1.472678e-04,1.468905e-04,1.467953e-04,1.463142e-04,1.462559e-04,1.458253e-04,1.456080e-04,1.453296e-04,1.449487e-04,1.448278e-04,1.443209e-04,1.442801e-04,1.438094e-04,1.436038e-04,1.432942e-04,1.429213e-04,1.427759e-04,1.422550e-04,1.422341e-04,1.417321e-04,1.415435e-04,1.412078e-04,1.408507e-04,1.406826e-04,1.401569e-04,1.394629e-04,1.387698e-04,1.380783e-04,1.373892e-04,1.367033e-04,1.360211e-04,1.353432e-04,1.346702e-04,1.340024e-04,1.333403e-04,1.326843e-04,1.320347e-04,1.313918e-04,1.307559e-04,1.301272e-04,1.295059e-04,1.288922e-04,1.282862e-04,1.276881e-04,1.270979e-04,1.265158e-04,1.259419e-04,1.253762e-04,1.248187e-04
0.000000e+00,7.514181e-11,2.261443e-10,1.043183e-09,2.714230e-09,4.158254e-09,1.027800e-08,1.061600e-08,2.170699e-08,2.584635e-08,3.898257e-08,5.305727e-08,6.421160e-08,9.558842e-08,9.869138e-08,1.420081e-07,1.534998e-07,1.920509e-07,2.221244e-07,2.465038e-07,2.967313e-07,3.036999e-07,3.625553e-07,3.744551e-07,4.223080e-07,4.535267e-07,4.823433e-07,5.325896e-07,5.421136e-07,6.011090e-07,6.104442e-07,6.588567e-07,6.860048e-07,7.149290e-07,7.583294e-07,7.689554e-07,8.206308e-07,8.266619e-07,8.697190e-07,8.904529e-07,9.160537e-07,9.493624e-07,9.595343e-07,1.000120e-06,1.003242e-06,1.037821e-06,1.052104e-06,1.072691e-06,1.096094e-06,1.104819e-06,1.134318e-06,1.135446e-06,1.161321e-06,1.170458e-06,1.185970e-06,1.201464e-06,1.208416e-06,1.228810e-06,1.247302e-06,1.252842e-06,1.264037e-06,1.273890e-06,1.279154e-06,1.292265e-06,1.292783e-06,1.305049e-06,1.308254e-06,1.316064e-06,1.322118e-06,1.325935e-06,1.334088e-06,1.334758e-06,1.342621e-06,1.344375e-06,1.349606e-06,1.353162e-06,1.355786e-06,1.360611e-06,1.361227e-06,1.365990e-06,1.366867e-06,1.370131e-06,1.372054e-06,1.373697e-06,1.376284e-06,1.376736e-06,1.379287e-06,1.379653e-06,1.381388e-06,1.382246e-06,1.383072e-06,1.384141e-06,1.384371e-06,1.385312e-06,1.385402e-06,1.385920e-06,1.386089e-06,1.386220e-06,1.386254e-06,1.386232e-06,1.385976e-06,1.385945e-06,1.385471e-06,1.385203e-06,1.384732e-06,1.384065e-06,1.383776e-06,1.382617e-06,1.382566e-06,1.381267e-06,1.380737e-06,1.379739e-06,1.378604e-06,1.378044e-06,1.376194e-06,1.374197e-06,1.373529e-06,1.372064e-06,1.370631e-06,1.369803e-06,1.367519e-06,1.367421e-06,1.364928e-06,1.364210e-06,1.362329e-06,1.360722e-06,1.359632e-06,1.357069e-06,1.356843e-06,1.353967e-06,1.353265e-06,1.351012e-06,1.349324e-06,1.347982e-06,1.345257e-06,1.344881e-06,1.341716e-06,1.341076e-06,1.338490e-06,1.336791e-06,1.335209e-06,1.332412e-06,1.331875e-06,1.328493e-06,1.327948e-06,1.325067e-06,1.323407e-06,1.321599e-06,1.318798e-06,1.318094e-06,1.314555e-06,1.314128e-06,1.310984e-06,1.309403e-06,1.307384e-06,1.304631e-06,1.303759e-06,1.300111e-06,1.299818e-06,1.296441e-06,1.294968e-06,1.292754e-06,1.290088e-06,1.289050e-06,1.285332e-06,1.285183e-06,1.281602e-06,1.280257e-06,1.277862e-06,1.275315e-06,1.274114e-06,1.270360e-06,1.265397e-06,1.260430e-06,1.255461e-06,1.250494e-06,1.245533e-06,1.240579e-06,1.235635e-06,1.230705e-06,1.225790e-06,1.220892e-06,1.216013e-06,1.211156e-06,1.206322e-06,1.201513e-06,1.196730e-06,1.191974e-06,1.187248e-06,1.182552e-06,1.177887e-06,1.173254e-06,1.168655e-06,1.164090e-06,1.159560e-06,1.155066e-06
0.000000e+00,6.840181e-11,3.173456e-10,2.934585e-09,1.220510e-08,2.307783e-08,8.794285e-08,9.219550e-08,2.575055e-07,3.289463e-07,5.794613e-07,8.778900e-07,1.131635e-06,1.915708e-06,1.998713e-06,3.263931e-06,3.634217e-06,4.986871e-06,6.161278e-06,7.189230e-06,9.514726e-06,9.858779e-06,1.296317e-05,1.363275e-05,1.646238e-05,1.842438e-05,2.031551e-05,2.379664e-05,2.448297e-05,2.892634e-05,2.966034e-05,3.360753e-05,3.592772e-05,3.848816e-05,4.251022e-05,4.352947e-05,4.869259e-05,4.931851e-05,5.393908e-05,5.626429e-05,5.923169e-05,6.326303e-05,6.453498e-05,6.981596e-05,7.023655e-05,7.504451e-05,7.711512e-05,8.019374e-05,8.383870e-05,8.524008e-05,9.016338e-05,9.035750e-05,9.494672e-05,9.663172e-05,9.957634e-05,1.026310e-04,1.040414e-04,1.083337e-04,1.124475e-04,1.137255e-04,1.163790e-04,1.187985e-04,1.201263e-04,1.235500e-04,1.236889e-04,1.270679e-04,1.279812e-04,1.302648e-04,1.320968e-04,1.332825e-04,1.359034e-04,1.361244e-04,1.387944e-04,1.394101e-04,1.412969e-04,1.426270e-04,1.436369e-04,1.455659e-04,1.458198e-04,1.478511e-04,1.482397e-04,1.497365e-04,1.506611e-04,1.514816e-04,1.528431e-04,1.530919e-04,1.545728e-04,1.547981e-04,1.559298e-04,1.565387e-04,1.571681e-04,1.580767e-04,1.582928e-04,1.593092e-04,1.594241e-04,1.602219e-04,1.605919e-04,1.610359e-04,1.615913e-04,1.617557e-04,1.623860e-04,1.624327e-04,1.629311e-04,1.631262e-04,1.633951e-04,1.636814e-04,1.637823e-04,1.640965e-04,1.641076e-04,1.643415e-04,1.644134e-04,1.645209e-04,1.646073e-04,1.646383e-04,1.646971e-04,1.647005e-04,1.646904e-04,1.646516e-04,1.645942e-04,1.645533e-04,1.644153e-04,1.644087e-04,1.642203e-04,1.641601e-04,1.639909e-04,1.638345e-04,1.637229e-04,1.634443e-04,1.634187e-04,1.630807e-04,1.629948e-04,1.627111e-04,1.624911e-04,1.623119e-04,1.619378e-04,1.618852e-04,1.614328e-04,1.613394e-04,1.609566e-04,1.607002e-04,1.604584e-04,1.600240e-04,1.599397e-04,1.594022e-04,1.593145e-04,1.588473e-04,1.585752e-04,1.582765e-04,1.578094e-04,1.576912e-04,1.570926e-04,1.570200e-04,1.564820e-04,1.562098e-04,1.558605e-04,1.553816e-04,1.552293e-04,1.545893e-04,1.545377e-04,1.539416e-04,1.536806e-04,1.532871e-04,1.528122e-04,1.526268e-04,1.519614e-04,1.519346e-04,1.512917e-04,1.510497e-04,1.506186e-04,1.501592e-04,1.499427e-04,1.492647e-04,1.483675e-04,1.474692e-04,1.465710e-04,1.456739e-04,1.447792e-04,1.438877e-04,1.430004e-04,1.421181e-04,1.412415e-04,1.403714e-04,1.395083e-04,1.386529e-04,1.378056e-04,1.369669e-04,1.361371e-04,1.353168e-04,1.345061e-04,1.337054e-04,1.329150e-04,1.321349e-04,1.313655e-04,1.306069e-04,1.298591e-04,1.291224e-04
0.000000e+00,3.904388e-12,2.003867e-11,2.274535e-10,1.133746e-09,2.361686e-09,1.144936e-08,1.211739e-08,4.230077e-08,5.724425e-08,1.158738e-07,1.951809e-07,2.687866e-07,5.235024e-07,5.525256e-07,1.036195e-06,1.191381e-06,1.807499e-06,2.403673e-06,2.971716e-06,4.415865e-06,4.648311e-06,6.965870e-06,7.517918e-06,1.005641e-05,1.201234e-05,1.404990e-05,1.819260e-05,1.906946e-05,2.522741e-05,2.632511e-05,3.262204e-05,3.663546e-05,4.133523e-05,4.929859e-05,5.143067e-05,6.295269e-05,6.443256e-05,7.592562e-05,8.209516e-05,9.035362e-05,1.022831e-04,1.062209e-04,1.234925e-04,1.249334e-04,1.421152e-04,1.499273e-04,1.620188e-04,1.770952e-04,1.831181e-04,2.053143e-04,2.062234e-04,2.284974e-04,2.370622e-04,2.525481e-04,2.693339e-04,2.773400e-04,3.027420e-04,3.286200e-04,3.369796e-04,3.548396e-04,3.717375e-04,3.812670e-04,4.067119e-04,4.077720e-04,4.342283e-04,4.416107e-04,4.605155e-04,4.761593e-04,4.865204e-04,5.101043e-04,5.121370e-04,5.372683e-04,5.432176e-04,5.618258e-04,5.752975e-04,5.857304e-04,6.061709e-04,6.089125e-04,6.313115e-04,6.356926e-04,6.528762e-04,6.637458e-04,6.735645e-04,6.902403e-04,6.933425e-04,7.121848e-04,7.151114e-04,7.300735e-04,7.383180e-04,7.469980e-04,7.598403e-04,7.629541e-04,7.779437e-04,7.796777e-04,7.919738e-04,7.978461e-04,8.050566e-04,8.143757e-04,8.172081e-04,8.284480e-04,8.293085e-04,8.387993e-04,8.426966e-04,8.482873e-04,8.545996e-04,8.569397e-04,8.647857e-04,8.650832e-04,8.718559e-04,8.742173e-04,8.781818e-04,8.820746e-04,8.837955e-04,8.887294e-04,8.930161e-04,8.942565e-04,8.966880e-04,8.987302e-04,8.997771e-04,9.022237e-04,9.023151e-04,9.043326e-04,9.048084e-04,9.058599e-04,9.065533e-04,9.069263e-04,9.075246e-04,9.075601e-04,9.077885e-04,9.077860e-04,9.076380e-04,9.073976e-04,9.071337e-04,9.064165e-04,9.062998e-04,9.051593e-04,9.048964e-04,9.037343e-04,9.028878e-04,9.020456e-04,9.004378e-04,9.001130e-04,8.979553e-04,8.975904e-04,8.955904e-04,8.943866e-04,8.930350e-04,8.908642e-04,8.903049e-04,8.874152e-04,8.870583e-04,8.843796e-04,8.830013e-04,8.812116e-04,8.787229e-04,8.779234e-04,8.745266e-04,8.742505e-04,8.710322e-04,8.696094e-04,8.674503e-04,8.648226e-04,8.637905e-04,8.600615e-04,8.599111e-04,8.562718e-04,8.548942e-04,8.524291e-04,8.497895e-04,8.485406e-04,8.446130e-04,8.393792e-04,8.341014e-04,8.287915e-04,8.234604e-04,8.181178e-04,8.127728e-04,8.074333e-04,8.021064e-04,7.967988e-04,7.915162e-04,7.862639e-04,7.810464e-04,7.758679e-04,7.707323e-04,7.656426e-04,7.606017e-04,7.556124e-04,7.506766e-04,7.457964e-04,7.409734e-04,7.362091e-04,7.315047e-04,7.268612e-04,7.222794e-04
0.000000e+00,1.155777e-10,2.908306e-10,1.103612e-09,2.627383e-09,3.898862e-09,9.128088e-09,9.412668e-09,1.861830e-08,2.200480e-08,3.262275e-08,4.381896e-08,5.258092e-08,7.683765e-08,7.921525e-08,1.123458e-07,1.211854e-07,1.512502e-07,1.752903e-07,1.952269e-07,2.376849e-07,2.437283e-07,2.962909e-07,3.072515e-07,3.524664e-07,3.829511e-07,4.117858e-07,4.636782e-07,4.737483e-07,5.378259e-07,5.482383e-07,6.034744e-07,6.353831e-07,6.701481e-07,7.238665e-07,7.373144e-07,8.044670e-07,8.125017e-07,8.711372e-07,9.002083e-07,9.369015e-07,9.860453e-07,1.001387e-06,1.064273e-06,1.069227e-06,1.125292e-06,1.149126e-06,1.184226e-06,1.225271e-06,1.240907e-06,1.295210e-06,1.297332e-06,1.347050e-06,1.365099e-06,1.396377e-06,1.428471e-06,1.443169e-06,1.487432e-06,1.529190e-06,1.542031e-06,1.568488e-06,1.592372e-06,1.605381e-06,1.638599e-06,1.639937e-06,1.672231e-06,1.680879e-06,1.702344e-06,1.719401e-06,1.730362e-06,1.754361e-06,1.756370e-06,1.780458e-06,1.785964e-06,1.802714e-06,1.814410e-06,1.823226e-06,1.839901e-06,1.842079e-06,1.859357e-06,1.862631e-06,1.875141e-06,1.882785e-06,1.889510e-06,1.900543e-06,1.902541e-06,1.914305e-06,1.916074e-06,1.924873e-06,1.929540e-06,1.934311e-06,1.941091e-06,1.942683e-06,1.950051e-06,1.950870e-06,1.956472e-06,1.959011e-06,1.962001e-06,1.965638e-06,1.966690e-06,1.970589e-06,1.970868e-06,1.973745e-06,1.974810e-06,1.976203e-06,1.977564e-06,1.978005e-06,1.979191e-06,1.979226e-06,1.979799e-06,1.979884e-06,1.979866e-06,1.979618e-06,1.979424e-06,1.978506e-06,1.977142e-06,1.976616e-06,1.975362e-06,1.974016e-06,1.973192e-06,1.970765e-06,1.970657e-06,1.967783e-06,1.966921e-06,1.964592e-06,1.962535e-06,1.961106e-06,1.957655e-06,1.957345e-06,1.953328e-06,1.952328e-06,1.949074e-06,1.946595e-06,1.944600e-06,1.940494e-06,1.939922e-06,1.935056e-06,1.934062e-06,1.930016e-06,1.927331e-06,1.924815e-06,1.920333e-06,1.919468e-06,1.913985e-06,1.913096e-06,1.908378e-06,1.905646e-06,1.902659e-06,1.898009e-06,1.896837e-06,1.890923e-06,1.890207e-06,1.884924e-06,1.882261e-06,1.878851e-06,1.874190e-06,1.872711e-06,1.866511e-06,1.866013e-06,1.860260e-06,1.857746e-06,1.853963e-06,1.849404e-06,1.847627e-06,1.841258e-06,1.841003e-06,1.834862e-06,1.832554e-06,1.828445e-06,1.824071e-06,1.822010e-06,1.815564e-06,1.807044e-06,1.798520e-06,1.790002e-06,1.781497e-06,1.773013e-06,1.764556e-06,1.756134e-06,1.747751e-06,1.739413e-06,1.731125e-06,1.722892e-06,1.714717e-06,1.706604e-06,1.698556e-06,1.690577e-06,1.682669e-06,1.674834e-06,1.667075e-06,1.659393e-06,1.651791e-06,1.644270e-06,1.636831e-06,1.629475e-06,1.622204e-06
0.000000e+00,3.550544e-11,8.394204e-11,2.978241e-10,6.859085e-10,1.004407e-09,2.288972e-09,2.358037e-09,4.558966e-09,5.355125e-09,7.815544e-09,1.036759e-08,1.234826e-08,1.783658e-08,1.837899e-08,2.609283e-08,2.820657e-08,3.556643e-08,4.161002e-08,4.669717e-08,5.764650e-08,5.920929e-08,7.274912e-08,7.555002e-08,8.698250e-08,9.456441e-08,1.016352e-07,1.141083e-07,1.164915e-07,1.313807e-07,1.337564e-07,1.461646e-07,1.531893e-07,1.607297e-07,1.721607e-07,1.749824e-07,1.888464e-07,1.904809e-07,2.022606e-07,2.080079e-07,2.151781e-07,2.246415e-07,2.275643e-07,2.393957e-07,2.403177e-07,2.506584e-07,2.550028e-07,2.613470e-07,2.686879e-07,2.714630e-07,2.810124e-07,2.813827e-07,2.900063e-07,2.931110e-07,2.984598e-07,3.039080e-07,3.063899e-07,3.138158e-07,3.207580e-07,3.228809e-07,3.272379e-07,3.311521e-07,3.332766e-07,3.386789e-07,3.388959e-07,3.441169e-07,3.455103e-07,3.489606e-07,3.516942e-07,3.534473e-07,3.572767e-07,3.575967e-07,3.614277e-07,3.623018e-07,3.649586e-07,3.668112e-07,3.682066e-07,3.708441e-07,3.711883e-07,3.739196e-07,3.744371e-07,3.764153e-07,3.776247e-07,3.786896e-07,3.804387e-07,3.807559e-07,3.826270e-07,3.829090e-07,3.843148e-07,3.850632e-07,3.858307e-07,3.869268e-07,3.871853e-07,3.883887e-07,3.885235e-07,3.894505e-07,3.898752e-07,3.903796e-07,3.910021e-07,3.911844e-07,3.918728e-07,3.919231e-07,3.924524e-07,3.926554e-07,3.929302e-07,3.932149e-07,3.933127e-07,3.936063e-07,3.936163e-07,3.938169e-07,3.938734e-07,3.939498e-07,3.939985e-07,3.940103e-07,3.940034e-07,3.939335e-07,3.938986e-07,3.938051e-07,3.936941e-07,3.936222e-07,3.933988e-07,3.933886e-07,3.931079e-07,3.930213e-07,3.927835e-07,3.925692e-07,3.924186e-07,3.920497e-07,3.920162e-07,3.915791e-07,3.914693e-07,3.911100e-07,3.908342e-07,3.906113e-07,3.901499e-07,3.900854e-07,3.895345e-07,3.894215e-07,3.889607e-07,3.886539e-07,3.883658e-07,3.878513e-07,3.877519e-07,3.871205e-07,3.870180e-07,3.864734e-07,3.861576e-07,3.858119e-07,3.852735e-07,3.851377e-07,3.844519e-07,3.843689e-07,3.837559e-07,3.834467e-07,3.830509e-07,3.825097e-07,3.823379e-07,3.816181e-07,3.815603e-07,3.808924e-07,3.806007e-07,3.801618e-07,3.796332e-07,3.794271e-07,3.786891e-07,3.786595e-07,3.779486e-07,3.776816e-07,3.772064e-07,3.767010e-07,3.764630e-07,3.757191e-07,3.747375e-07,3.737573e-07,3.727797e-07,3.718057e-07,3.708364e-07,3.698725e-07,3.689149e-07,3.679643e-07,3.670214e-07,3.660868e-07,3.651609e-07,3.642443e-07,3.633375e-07,3.624407e-07,3.615544e-07,3.606789e-07,3.598143e-07,3.589610e-07,3.581192e-07,3.572890e-07,3.564705e-07,3.556640e-07,3.548694e-07,3.540869e-07
0.000000e+00,7.474947e-12,3.677752e-11,3.822111e-10,1.756830e-09,3.499652e-09,1.511061e-08,1.591704e-08,4.954027e-08,6.499314e-08,1.217553e-07,1.927777e-07,2.550854e-07,4.549914e-07,4.766718e-07,8.169974e-07,9.197990e-07,1.306501e-06,1.655436e-06,1.970007e-06,2.709267e-06,2.821529e-06,3.862047e-06,4.092041e-06,5.080536e-06,5.778084e-06,6.456927e-06,7.716436e-06,7.965551e-06,9.578132e-06,9.843869e-06,1.126602e-05,1.209479e-05,1.300164e-05,1.440718e-05,1.475933e-05,1.651582e-05,1.672551e-05,1.825039e-05,1.900190e-05,1.994495e-05,2.119647e-05,2.158408e-05,2.315496e-05,2.327735e-05,2.464732e-05,2.522045e-05,2.605335e-05,2.700907e-05,2.736757e-05,2.858662e-05,2.863338e-05,2.970910e-05,3.008955e-05,3.073528e-05,3.137893e-05,3.166692e-05,3.250696e-05,3.325926e-05,3.348221e-05,3.392844e-05,3.431540e-05,3.451954e-05,3.501854e-05,3.503795e-05,3.548914e-05,3.560418e-05,3.587859e-05,3.608487e-05,3.621166e-05,3.647271e-05,3.649349e-05,3.672895e-05,3.677908e-05,3.692261e-05,3.701439e-05,3.707870e-05,3.718807e-05,3.720110e-05,3.729338e-05,3.730851e-05,3.735874e-05,3.738307e-05,3.740008e-05,3.741816e-05,3.742000e-05,3.742083e-05,3.741934e-05,3.740465e-05,3.739139e-05,3.737331e-05,3.733844e-05,3.732846e-05,3.727156e-05,3.726399e-05,3.720391e-05,3.717104e-05,3.712667e-05,3.706218e-05,3.704086e-05,3.694740e-05,3.693962e-05,3.684711e-05,3.680525e-05,3.674072e-05,3.666072e-05,3.662889e-05,3.651221e-05,3.650745e-05,3.639121e-05,3.634669e-05,3.626637e-05,3.617951e-05,3.613812e-05,3.600687e-05,3.587296e-05,3.582960e-05,3.573673e-05,3.564846e-05,3.559848e-05,3.546411e-05,3.545848e-05,3.531698e-05,3.527712e-05,3.517422e-05,3.508805e-05,3.503041e-05,3.489735e-05,3.488575e-05,3.474042e-05,3.470546e-05,3.459459e-05,3.451277e-05,3.444842e-05,3.431962e-05,3.430205e-05,3.415561e-05,3.412632e-05,3.400922e-05,3.393316e-05,3.386301e-05,3.374039e-05,3.371707e-05,3.357150e-05,3.354825e-05,3.342640e-05,3.335694e-05,3.328184e-05,3.316665e-05,3.313791e-05,3.299469e-05,3.297755e-05,3.285222e-05,3.278980e-05,3.271058e-05,3.260353e-05,3.256983e-05,3.243001e-05,3.241886e-05,3.229117e-05,3.223592e-05,3.215336e-05,3.205479e-05,3.201661e-05,3.188096e-05,3.187556e-05,3.174645e-05,3.169831e-05,3.161311e-05,3.152312e-05,3.148096e-05,3.135003e-05,3.117910e-05,3.101038e-05,3.084391e-05,3.067970e-05,3.051781e-05,3.035823e-05,3.020100e-05,3.004611e-05,2.989359e-05,2.974343e-05,2.959564e-05,2.945021e-05,2.930714e-05,2.916642e-05,2.902804e-05,2.889199e-05,2.875825e-05,2.862682e-05,2.849766e-05,2.837076e-05,2.824611e-05,2.812368e-05,2.800344e-05,2.788538e-05
0.000000e+00,3.046811e-12,6.960982e-12,2.370734e-11,5.338350e-11,7.745678e-11,1.736146e-10,1.787661e-10,3.429196e-10,4.024540e-10,5.872810e-10,7.802315e-10,9.305138e-10,1.345997e-09,1.386757e-09,1.954519e-09,2.105302e-09,2.612440e-09,3.009083e-09,3.330787e-09,3.992415e-09,4.083969e-09,4.853649e-09,5.008363e-09,5.626956e-09,6.027248e-09,6.394332e-09,7.028755e-09,7.148194e-09,7.882297e-09,7.997560e-09,8.591473e-09,8.921761e-09,9.271550e-09,9.792474e-09,9.919322e-09,1.053252e-08,1.060370e-08,1.110974e-08,1.135215e-08,1.165040e-08,1.203687e-08,1.215457e-08,1.262292e-08,1.265887e-08,1.305656e-08,1.322061e-08,1.345692e-08,1.372552e-08,1.382569e-08,1.416469e-08,1.417766e-08,1.447583e-08,1.458139e-08,1.476103e-08,1.494112e-08,1.502219e-08,1.526117e-08,1.547971e-08,1.554560e-08,1.567948e-08,1.579821e-08,1.586204e-08,1.602246e-08,1.602885e-08,1.618121e-08,1.622145e-08,1.632035e-08,1.639796e-08,1.644738e-08,1.655442e-08,1.656331e-08,1.666907e-08,1.669303e-08,1.676547e-08,1.681566e-08,1.685328e-08,1.692399e-08,1.693318e-08,1.700579e-08,1.701948e-08,1.707166e-08,1.710343e-08,1.713132e-08,1.717696e-08,1.718522e-08,1.723378e-08,1.724108e-08,1.727738e-08,1.729665e-08,1.731637e-08,1.734446e-08,1.735107e-08,1.738177e-08,1.738520e-08,1.740874e-08,1.741948e-08,1.743221e-08,1.744786e-08,1.745242e-08,1.746957e-08,1.747081e-08,1.748384e-08,1.748879e-08,1.749543e-08,1.750219e-08,1.750448e-08,1.751116e-08,1.751138e-08,1.751560e-08,1.751667e-08,1.751793e-08,1.751838e-08,1.751828e-08,1.751677e-08,1.751349e-08,1.751208e-08,1.750855e-08,1.750456e-08,1.750205e-08,1.749441e-08,1.749407e-08,1.748469e-08,1.748183e-08,1.747401e-08,1.746700e-08,1.746208e-08,1.745008e-08,1.744899e-08,1.743479e-08,1.743122e-08,1.741955e-08,1.741059e-08,1.740334e-08,1.738830e-08,1.738620e-08,1.736819e-08,1.736449e-08,1.734936e-08,1.733926e-08,1.732976e-08,1.731274e-08,1.730944e-08,1.728844e-08,1.728502e-08,1.726681e-08,1.725621e-08,1.724457e-08,1.722638e-08,1.722178e-08,1.719846e-08,1.719563e-08,1.717465e-08,1.716403e-08,1.715039e-08,1.713166e-08,1.712570e-08,1.710061e-08,1.709859e-08,1.707516e-08,1.706489e-08,1.704937e-08,1.703061e-08,1.702327e-08,1.699688e-08,1.699582e-08,1.697022e-08,1.696057e-08,1.694333e-08,1.692491e-08,1.691621e-08,1.688889e-08,1.685257e-08,1.681597e-08,1.677914e-08,1.674213e-08,1.670496e-08,1.666768e-08,1.663031e-08,1.659288e-08,1.655542e-08,1.651796e-08,1.648052e-08,1.644314e-08,1.640582e-08,1.636859e-08,1.633148e-08,1.629449e-08,1.625765e-08,1.622097e-08,1.618447e-08,1.614816e-08,1.611206e-08,1.607617e-08,1.604052e-08,1.600510e-08
0.000000e+00,1.375373e-10,3.996021e-10,1.777228e-09,4.560698e-09,6.957296e-09,1.706229e-08,1.761775e-08,3.566296e-08,4.230292e-08,6.304677e-08,8.480537e-08,1.018087e-07,1.492933e-07,1.540104e-07,2.215118e-07,2.401459e-07,3.055372e-07,3.598827e-07,4.061158e-07,5.071551e-07,5.217408e-07,6.496440e-07,6.764113e-07,7.865738e-07,8.603165e-07,9.294924e-07,1.052313e-06,1.075881e-06,1.223744e-06,1.247429e-06,1.371513e-06,1.442032e-06,1.517941e-06,1.633442e-06,1.662032e-06,1.802986e-06,1.819658e-06,1.940172e-06,1.999209e-06,2.073100e-06,2.171045e-06,2.201399e-06,2.324807e-06,2.334462e-06,2.443147e-06,2.489040e-06,2.556320e-06,2.634580e-06,2.664286e-06,2.767057e-06,2.771061e-06,2.864687e-06,2.898590e-06,2.957260e-06,3.017375e-06,3.044885e-06,3.127690e-06,3.205819e-06,3.229857e-06,3.279422e-06,3.324226e-06,3.348657e-06,3.411164e-06,3.413687e-06,3.474673e-06,3.491047e-06,3.531780e-06,3.564249e-06,3.585169e-06,3.631139e-06,3.634998e-06,3.681425e-06,3.692078e-06,3.724602e-06,3.747416e-06,3.764676e-06,3.797489e-06,3.801791e-06,3.836088e-06,3.842621e-06,3.867699e-06,3.883120e-06,3.896756e-06,3.919281e-06,3.923383e-06,3.947700e-06,3.951384e-06,3.969823e-06,3.979695e-06,3.989863e-06,4.004466e-06,4.007925e-06,4.024112e-06,4.025933e-06,4.038522e-06,4.044323e-06,4.051247e-06,4.059847e-06,4.062378e-06,4.072000e-06,4.072707e-06,4.080194e-06,4.083089e-06,4.087038e-06,4.091173e-06,4.092608e-06,4.096974e-06,4.097124e-06,4.100204e-06,4.101101e-06,4.102362e-06,4.103249e-06,4.103511e-06,4.103709e-06,4.103012e-06,4.102609e-06,4.101475e-06,4.100072e-06,4.099146e-06,4.096213e-06,4.096076e-06,4.092310e-06,4.091137e-06,4.087892e-06,4.084945e-06,4.082863e-06,4.077732e-06,4.077264e-06,4.071132e-06,4.069585e-06,4.064503e-06,4.060586e-06,4.057411e-06,4.050813e-06,4.049888e-06,4.041966e-06,4.040336e-06,4.033673e-06,4.029223e-06,4.025037e-06,4.017537e-06,4.016085e-06,4.006841e-06,4.005336e-06,3.997329e-06,3.992675e-06,3.987572e-06,3.979604e-06,3.977591e-06,3.967406e-06,3.966171e-06,3.957036e-06,3.952420e-06,3.946500e-06,3.938392e-06,3.935815e-06,3.924996e-06,3.924125e-06,3.914059e-06,3.909655e-06,3.903019e-06,3.895014e-06,3.891889e-06,3.880683e-06,3.880234e-06,3.869413e-06,3.865342e-06,3.858090e-06,3.850366e-06,3.846725e-06,3.835329e-06,3.820254e-06,3.805162e-06,3.790072e-06,3.775003e-06,3.759969e-06,3.744987e-06,3.730071e-06,3.715232e-06,3.700484e-06,3.685835e-06,3.671297e-06,3.656877e-06,3.642585e-06,3.628426e-06,3.614408e-06,3.600537e-06,3.586818e-06,3.573254e-06,3.559852e-06,3.546613e-06,3.533542e-06,3.520641e-06,3.507913e-06,3.495359e-06
0.000000e+00,1.144221e-11,5.451485e-11,5.309832e-10,2.306501e-09,4.459362e-09,1.790167e-08,1.880398e-08,5.485364e-08,7.080798e-08,1.277335e-07,1.968011e-07,2.562401e-07,4.429685e-07,4.629811e-07,7.737045e-07,8.666698e-07,1.213895e-06,1.524416e-06,1.802281e-06,2.447653e-06,2.544718e-06,3.432587e-06,3.626003e-06,4.446019e-06,5.014152e-06,5.559211e-06,6.551619e-06,6.745201e-06,7.978924e-06,8.179245e-06,9.238620e-06,9.847026e-06,1.050609e-05,1.151550e-05,1.176635e-05,1.300713e-05,1.315422e-05,1.421837e-05,1.473977e-05,1.539180e-05,1.625412e-05,1.652067e-05,1.759959e-05,1.768361e-05,1.862436e-05,1.901838e-05,1.959192e-05,2.025196e-05,2.050024e-05,2.134826e-05,2.138093e-05,2.213579e-05,2.240457e-05,2.286336e-05,2.332445e-05,2.353217e-05,2.414394e-05,2.470081e-05,2.486781e-05,2.520524e-05,2.550180e-05,2.565994e-05,2.605228e-05,2.606773e-05,2.643152e-05,2.652589e-05,2.675423e-05,2.692934e-05,2.703875e-05,2.726920e-05,2.728789e-05,2.750437e-05,2.755175e-05,2.769076e-05,2.778292e-05,2.784952e-05,2.796821e-05,2.798295e-05,2.809320e-05,2.811265e-05,2.818227e-05,2.822084e-05,2.825201e-05,2.829692e-05,2.830414e-05,2.834024e-05,2.834462e-05,2.836174e-05,2.836728e-05,2.836999e-05,2.836785e-05,2.836618e-05,2.835143e-05,2.834898e-05,2.832676e-05,2.831299e-05,2.829308e-05,2.826198e-05,2.825124e-05,2.820200e-05,2.819776e-05,2.814608e-05,2.812198e-05,2.808410e-05,2.803605e-05,2.801665e-05,2.794427e-05,2.794127e-05,2.786743e-05,2.783877e-05,2.778659e-05,2.772953e-05,2.770214e-05,2.761447e-05,2.752391e-05,2.749437e-05,2.743078e-05,2.736995e-05,2.733535e-05,2.724183e-05,2.723790e-05,2.713866e-05,2.711058e-05,2.703785e-05,2.697671e-05,2.693569e-05,2.684067e-05,2.683236e-05,2.672803e-05,2.670286e-05,2.662286e-05,2.656365e-05,2.651700e-05,2.642338e-05,2.641058e-05,2.630373e-05,2.628232e-05,2.619657e-05,2.614076e-05,2.608921e-05,2.599893e-05,2.598173e-05,2.587425e-05,2.585705e-05,2.576683e-05,2.571531e-05,2.565955e-05,2.557389e-05,2.555250e-05,2.544574e-05,2.543295e-05,2.533932e-05,2.529262e-05,2.523331e-05,2.515304e-05,2.512776e-05,2.502271e-05,2.501433e-05,2.491822e-05,2.487659e-05,2.481432e-05,2.473991e-05,2.471106e-05,2.460846e-05,2.460437e-05,2.450657e-05,2.447006e-05,2.440540e-05,2.433704e-05,2.430499e-05,2.420536e-05,2.407509e-05,2.394626e-05,2.381892e-05,2.369310e-05,2.356884e-05,2.344616e-05,2.332507e-05,2.320561e-05,2.308778e-05,2.297160e-05,2.285708e-05,2.274421e-05,2.263301e-05,2.252348e-05,2.241561e-05,2.230941e-05,2.220486e-05,2.210197e-05,2.200072e-05,2.190111e-05,2.180312e-05,2.170675e-05,2.161198e-05,2.151881e-05
0.000000e+00,9.056073e-11,3.421689e-10,2.186042e-09,6.874256e-09,1.137102e-08,3.233507e-08,3.354374e-08,7.442013e-08,8.997709e-08,1.395745e-07,1.926417e-07,2.345943e-07,3.532457e-07,3.651277e-07,5.366957e-07,5.845392e-07,7.540836e-07,8.970220e-07,1.020138e-06,1.294147e-06,1.334259e-06,1.691757e-06,1.767821e-06,2.085069e-06,2.300979e-06,2.505933e-06,2.875259e-06,2.946891e-06,3.401718e-06,3.475420e-06,3.865248e-06,4.089525e-06,4.333109e-06,4.707964e-06,4.801529e-06,5.267220e-06,5.322780e-06,5.727329e-06,5.927362e-06,6.179404e-06,6.516325e-06,6.621383e-06,7.051567e-06,7.085430e-06,7.468601e-06,7.631488e-06,7.871438e-06,8.152251e-06,8.259315e-06,8.631711e-06,8.646280e-06,8.988322e-06,9.112809e-06,9.329022e-06,9.551616e-06,9.653835e-06,9.962909e-06,1.025649e-05,1.034722e-05,1.053491e-05,1.070531e-05,1.079855e-05,1.103813e-05,1.104783e-05,1.128324e-05,1.134673e-05,1.150524e-05,1.163221e-05,1.171434e-05,1.189575e-05,1.191104e-05,1.209584e-05,1.213848e-05,1.226925e-05,1.236157e-05,1.243176e-05,1.256614e-05,1.258386e-05,1.272601e-05,1.275328e-05,1.285867e-05,1.292405e-05,1.298229e-05,1.307946e-05,1.309730e-05,1.320412e-05,1.322048e-05,1.330314e-05,1.334801e-05,1.339475e-05,1.346294e-05,1.347931e-05,1.355718e-05,1.356609e-05,1.362869e-05,1.365823e-05,1.369418e-05,1.374011e-05,1.375395e-05,1.380829e-05,1.381241e-05,1.385749e-05,1.387579e-05,1.390181e-05,1.393085e-05,1.394151e-05,1.397685e-05,1.397817e-05,1.400804e-05,1.401830e-05,1.403532e-05,1.405174e-05,1.405889e-05,1.407896e-05,1.409571e-05,1.410041e-05,1.410934e-05,1.411651e-05,1.412002e-05,1.412765e-05,1.412791e-05,1.413317e-05,1.413419e-05,1.413595e-05,1.413648e-05,1.413639e-05,1.413485e-05,1.413463e-05,1.413080e-05,1.412959e-05,1.412502e-05,1.412098e-05,1.411741e-05,1.410928e-05,1.410807e-05,1.409713e-05,1.409475e-05,1.408466e-05,1.407761e-05,1.407078e-05,1.405808e-05,1.405556e-05,1.403911e-05,1.403637e-05,1.402149e-05,1.401264e-05,1.400279e-05,1.398709e-05,1.398308e-05,1.396242e-05,1.395988e-05,1.394090e-05,1.393116e-05,1.391856e-05,1.390108e-05,1.389547e-05,1.387169e-05,1.386976e-05,1.384727e-05,1.383733e-05,1.382226e-05,1.380392e-05,1.379671e-05,1.377067e-05,1.376962e-05,1.374418e-05,1.373454e-05,1.371728e-05,1.369877e-05,1.369001e-05,1.366241e-05,1.362553e-05,1.358820e-05,1.355051e-05,1.351252e-05,1.347428e-05,1.343586e-05,1.339731e-05,1.335868e-05,1.332001e-05,1.328135e-05,1.324273e-05,1.320420e-05,1.316578e-05,1.312751e-05,1.308941e-05,1.305152e-05,1.301385e-05,1.297643e-05,1.293929e-05,1.290242e-05,1.286587e-05,1.282963e-05,1.279373e-05,1.275817e-05
0.000000e+00,2.887051e-11,6.670961e-11,2.322614e-10,5.338585e-10,7.838623e-10,1.817140e-09,1.873824e-09,3.737642e-09,4.437911e-09,6.679744e-09,9.109194e-09,1.104895e-08,1.655054e-08,1.709785e-08,2.481731e-08,2.689646e-08,3.399461e-08,3.968059e-08,4.439391e-08,5.441207e-08,5.583548e-08,6.819052e-08,7.076205e-08,8.135896e-08,8.849859e-08,9.525272e-08,1.074216e-07,1.097864e-07,1.248730e-07,1.273322e-07,1.404223e-07,1.480231e-07,1.563414e-07,1.692795e-07,1.725360e-07,1.889128e-07,1.908859e-07,2.053809e-07,2.126333e-07,2.218535e-07,2.343254e-07,2.382492e-07,2.544933e-07,2.557842e-07,2.705183e-07,2.768533e-07,2.862643e-07,2.973990e-07,3.016790e-07,3.167179e-07,3.173111e-07,3.313436e-07,3.365017e-07,3.455256e-07,3.549033e-07,3.592396e-07,3.724671e-07,3.851946e-07,3.891602e-07,3.974132e-07,4.049636e-07,4.091179e-07,4.198696e-07,4.203073e-07,4.309827e-07,4.338801e-07,4.411479e-07,4.470046e-07,4.508090e-07,4.592586e-07,4.599737e-07,4.686510e-07,4.706621e-07,4.768512e-07,4.812390e-07,4.845854e-07,4.910154e-07,4.918654e-07,4.987038e-07,5.000196e-07,5.051131e-07,5.082808e-07,5.111065e-07,5.158291e-07,5.166971e-07,5.218980e-07,5.226949e-07,5.267227e-07,5.289087e-07,5.311841e-07,5.345004e-07,5.352953e-07,5.390691e-07,5.394999e-07,5.425183e-07,5.439363e-07,5.456553e-07,5.478380e-07,5.484922e-07,5.510410e-07,5.512328e-07,5.533133e-07,5.541474e-07,5.553206e-07,5.566079e-07,5.570738e-07,5.585838e-07,5.586393e-07,5.598611e-07,5.602659e-07,5.609158e-07,5.615109e-07,5.617578e-07,5.623966e-07,5.628416e-07,5.629445e-07,5.631017e-07,5.631751e-07,5.631855e-07,5.631081e-07,5.631016e-07,5.628580e-07,5.627622e-07,5.624624e-07,5.621554e-07,5.619226e-07,5.613048e-07,5.612458e-07,5.604390e-07,5.602268e-07,5.595090e-07,5.589368e-07,5.584624e-07,5.574498e-07,5.573053e-07,5.560440e-07,5.557797e-07,5.546842e-07,5.539400e-07,5.532315e-07,5.519434e-07,5.516913e-07,5.500688e-07,5.498018e-07,5.483689e-07,5.475269e-07,5.465964e-07,5.451293e-07,5.447560e-07,5.428520e-07,5.426194e-07,5.408886e-07,5.400069e-07,5.388699e-07,5.373010e-07,5.367997e-07,5.346818e-07,5.345104e-07,5.325197e-07,5.316432e-07,5.303168e-07,5.287073e-07,5.280763e-07,5.258015e-07,5.257098e-07,5.234952e-07,5.226578e-07,5.211604e-07,5.195578e-07,5.187997e-07,5.164157e-07,5.132373e-07,5.100281e-07,5.067932e-07,5.035371e-07,5.002645e-07,4.969795e-07,4.936859e-07,4.903875e-07,4.870876e-07,4.837894e-07,4.804959e-07,4.772098e-07,4.739337e-07,4.706698e-07,4.674205e-07,4.641877e-07,4.609734e-07,4.577791e-07,4.546066e-07,4.514573e-07,4.483324e-07,4.452332e-07,4.421608e-07,4.391161e-07
0.000000e+00,4.512953e-11,2.079852e-10,1.898639e-09,7.813528e-09,1.469646e-08,5.535365e-08,5.800643e-08,1.606469e-07,2.048545e-07,3.596430e-07,5.439698e-07,7.008412e-07,1.187217e-06,1.238883e-06,2.030984e-06,2.264359e-06,3.121776e-06,3.870838e-06,4.528642e-06,6.019512e-06,6.240063e-06,8.225646e-06,8.652394e-06,1.044807e-05,1.168506e-05,1.287079e-05,1.503652e-05,1.546097e-05,1.818963e-05,1.863730e-05,2.103070e-05,2.242719e-05,2.396002e-05,2.635165e-05,2.695477e-05,2.999318e-05,3.035973e-05,3.305456e-05,3.440378e-05,3.611947e-05,3.844005e-05,3.916995e-05,4.218968e-05,4.242948e-05,4.516413e-05,4.633833e-05,4.808064e-05,5.013851e-05,5.092840e-05,5.369844e-05,5.380752e-05,5.638350e-05,5.732817e-05,5.897788e-05,6.068804e-05,6.147733e-05,6.387886e-05,6.618060e-05,6.689591e-05,6.838165e-05,6.973742e-05,7.048195e-05,7.240396e-05,7.248205e-05,7.438306e-05,7.489779e-05,7.618650e-05,7.722249e-05,7.789422e-05,7.938261e-05,7.950835e-05,8.103129e-05,8.138350e-05,8.246560e-05,8.323111e-05,8.381399e-05,8.493171e-05,8.507924e-05,8.626421e-05,8.649183e-05,8.737182e-05,8.791819e-05,8.840507e-05,8.921780e-05,8.936706e-05,9.026084e-05,9.039770e-05,9.108925e-05,9.146449e-05,9.185508e-05,9.242449e-05,9.256101e-05,9.320958e-05,9.328367e-05,9.380328e-05,9.404776e-05,9.434455e-05,9.472230e-05,9.483575e-05,9.527911e-05,9.531258e-05,9.567682e-05,9.582360e-05,9.603099e-05,9.626019e-05,9.634367e-05,9.661683e-05,9.662696e-05,9.685237e-05,9.692831e-05,9.705212e-05,9.716841e-05,9.721785e-05,9.735123e-05,9.745388e-05,9.748050e-05,9.752738e-05,9.755980e-05,9.757321e-05,9.759253e-05,9.759283e-05,9.758762e-05,9.758189e-05,9.755890e-05,9.753092e-05,9.750795e-05,9.744249e-05,9.743599e-05,9.734419e-05,9.731933e-05,9.723365e-05,9.716397e-05,9.710546e-05,9.697885e-05,9.696063e-05,9.680013e-05,9.676624e-05,9.662492e-05,9.652829e-05,9.643588e-05,9.626703e-05,9.623387e-05,9.601971e-05,9.598437e-05,9.579419e-05,9.568212e-05,9.555804e-05,9.536195e-05,9.531198e-05,9.505670e-05,9.502548e-05,9.479284e-05,9.467418e-05,9.452101e-05,9.430946e-05,9.424181e-05,9.395581e-05,9.393265e-05,9.366353e-05,9.354498e-05,9.336549e-05,9.314761e-05,9.306218e-05,9.275406e-05,9.274164e-05,9.244156e-05,9.232807e-05,9.212511e-05,9.190788e-05,9.180511e-05,9.148194e-05,9.105110e-05,9.061613e-05,9.017777e-05,8.973669e-05,8.929353e-05,8.884888e-05,8.840329e-05,8.795727e-05,8.751130e-05,8.706582e-05,8.662123e-05,8.617792e-05,8.573623e-05,8.529649e-05,8.485899e-05,8.442401e-05,8.399180e-05,8.356259e-05,8.313659e-05,8.271400e-05,8.229498e-05,8.187970e-05,8.146830e-05,8.106091e-05
0.000000e+00,4.276775e-11,1.627146e-10,1.051201e-09,3.329520e-09,5.524405e-09,1.580198e-08,1.639579e-08,3.651865e-08,4.419170e-08,6.869200e-08,9.496087e-08,1.157649e-07,1.747757e-07,1.806991e-07,2.665122e-07,2.905355e-07,3.759881e-07,4.484114e-07,5.110651e-07,6.514082e-07,6.720571e-07,8.572582e-07,8.969308e-07,1.063366e-06,1.177489e-06,1.286414e-06,1.484037e-06,1.522553e-06,1.768388e-06,1.808422e-06,2.021023e-06,2.143961e-06,2.277975e-06,2.485182e-06,2.537082e-06,2.796441e-06,2.827499e-06,3.054371e-06,3.167019e-06,3.309392e-06,3.500462e-06,3.560214e-06,3.805731e-06,3.825114e-06,4.045010e-06,4.138798e-06,4.277287e-06,4.439843e-06,4.501952e-06,4.718540e-06,4.727030e-06,4.926709e-06,4.999543e-06,5.126236e-06,5.256909e-06,5.316994e-06,5.498939e-06,5.672103e-06,5.725674e-06,5.836573e-06,5.937333e-06,5.992487e-06,6.134277e-06,6.140020e-06,6.279377e-06,6.316962e-06,6.410786e-06,6.485918e-06,6.534492e-06,6.641718e-06,6.650751e-06,6.759830e-06,6.784970e-06,6.861998e-06,6.916294e-06,6.957525e-06,7.036307e-06,7.046678e-06,7.129724e-06,7.145623e-06,7.206924e-06,7.244844e-06,7.278535e-06,7.334550e-06,7.344805e-06,7.405975e-06,7.415305e-06,7.462281e-06,7.487647e-06,7.513950e-06,7.552093e-06,7.561200e-06,7.604242e-06,7.609134e-06,7.643279e-06,7.659236e-06,7.678503e-06,7.702840e-06,7.710103e-06,7.738258e-06,7.740367e-06,7.763140e-06,7.772214e-06,7.784913e-06,7.798753e-06,7.803735e-06,7.819755e-06,7.820339e-06,7.833118e-06,7.837305e-06,7.843961e-06,7.849963e-06,7.852417e-06,7.858610e-06,7.862661e-06,7.863524e-06,7.864684e-06,7.864964e-06,7.864787e-06,7.863178e-06,7.863076e-06,7.859649e-06,7.858395e-06,7.854602e-06,7.850833e-06,7.848024e-06,7.840694e-06,7.840001e-06,7.830616e-06,7.828170e-06,7.819947e-06,7.813440e-06,7.808069e-06,7.796672e-06,7.795052e-06,7.780963e-06,7.778023e-06,7.765869e-06,7.757642e-06,7.749829e-06,7.735667e-06,7.732901e-06,7.715143e-06,7.712228e-06,7.696606e-06,7.687447e-06,7.677342e-06,7.661438e-06,7.657397e-06,7.636818e-06,7.634308e-06,7.615648e-06,7.606156e-06,7.593928e-06,7.577077e-06,7.571698e-06,7.548995e-06,7.547159e-06,7.525854e-06,7.516484e-06,7.502311e-06,7.485127e-06,7.478396e-06,7.454140e-06,7.453163e-06,7.429572e-06,7.420657e-06,7.404721e-06,7.387673e-06,7.379611e-06,7.354269e-06,7.320501e-06,7.286420e-06,7.252074e-06,7.217507e-06,7.182763e-06,7.147879e-06,7.112893e-06,7.077838e-06,7.042746e-06,7.007646e-06,6.972566e-06,6.937531e-06,6.902564e-06,6.867689e-06,6.832925e-06,6.798290e-06,6.763804e-06,6.729481e-06,6.695337e-06,6.661385e-06,6.627639e-06,6.594110e-06,6.560808e-06,6.527743e-06
0.000000e+00,3.545120e-11,1.679501e-10,1.619092e-09,6.982677e-09,1.346249e-08,5.391627e-08,5.663820e-08,1.663604e-07,2.155360e-07,3.938172e-07,6.151654e-07,8.091292e-07,1.431283e-06,1.498619e-06,2.544815e-06,2.855380e-06,3.995997e-06,4.987107e-06,5.851320e-06,7.786413e-06,8.069870e-06,1.059007e-05,1.112447e-05,1.334618e-05,1.485214e-05,1.627753e-05,1.883660e-05,1.933157e-05,2.246364e-05,2.296938e-05,2.563552e-05,2.716225e-05,2.881396e-05,3.134155e-05,3.196955e-05,3.507624e-05,3.544463e-05,3.811110e-05,3.941846e-05,4.105430e-05,4.321947e-05,4.388919e-05,4.660226e-05,4.681371e-05,4.918313e-05,5.017669e-05,5.162435e-05,5.329282e-05,5.392122e-05,5.607150e-05,5.615446e-05,5.807506e-05,5.876070e-05,5.993358e-05,6.111607e-05,6.165019e-05,6.322920e-05,6.467580e-05,6.511169e-05,6.599582e-05,6.677706e-05,6.719547e-05,6.823993e-05,6.828126e-05,6.925974e-05,6.951537e-05,7.013746e-05,7.061841e-05,7.092086e-05,7.156367e-05,7.161620e-05,7.222951e-05,7.236515e-05,7.276655e-05,7.303603e-05,7.323279e-05,7.358865e-05,7.363342e-05,7.397332e-05,7.403442e-05,7.425706e-05,7.438384e-05,7.448893e-05,7.464656e-05,7.467294e-05,7.481281e-05,7.483133e-05,7.491203e-05,7.494617e-05,7.497381e-05,7.499831e-05,7.500116e-05,7.499685e-05,7.499433e-05,7.496347e-05,7.494020e-05,7.490341e-05,7.484129e-05,7.481888e-05,7.471194e-05,7.470247e-05,7.458448e-05,7.452814e-05,7.443825e-05,7.432228e-05,7.427490e-05,7.409593e-05,7.408847e-05,7.390273e-05,7.382995e-05,7.369660e-05,7.354966e-05,7.347873e-05,7.325024e-05,7.301215e-05,7.293409e-05,7.276541e-05,7.260337e-05,7.251091e-05,7.226004e-05,7.224946e-05,7.198182e-05,7.190586e-05,7.170869e-05,7.154244e-05,7.143071e-05,7.117122e-05,7.114850e-05,7.086261e-05,7.079351e-05,7.057356e-05,7.041049e-05,7.028183e-05,7.002324e-05,6.998786e-05,6.969206e-05,6.963271e-05,6.939482e-05,6.923980e-05,6.909648e-05,6.884528e-05,6.879739e-05,6.849784e-05,6.844988e-05,6.819810e-05,6.805425e-05,6.789845e-05,6.765895e-05,6.759913e-05,6.730034e-05,6.726453e-05,6.700231e-05,6.687146e-05,6.670521e-05,6.648016e-05,6.640924e-05,6.611454e-05,6.609103e-05,6.582127e-05,6.570440e-05,6.552957e-05,6.532059e-05,6.523956e-05,6.495136e-05,6.493987e-05,6.466508e-05,6.456250e-05,6.438080e-05,6.418869e-05,6.409863e-05,6.381864e-05,6.345251e-05,6.309045e-05,6.273261e-05,6.237909e-05,6.203000e-05,6.168541e-05,6.134540e-05,6.101003e-05,6.067935e-05,6.035339e-05,6.003217e-05,5.971573e-05,5.940406e-05,5.909718e-05,5.879508e-05,5.849775e-05,5.820518e-05,5.791735e-05,5.763424e-05,5.735581e-05,5.708204e-05,5.681290e-05,5.654834e-05,5.628833e-05
0.000000e+00,2.580238e-11,1.217474e-10,1.163740e-09,4.975267e-09,9.538838e-09,3.749095e-08,3.934668e-08,1.123090e-07,1.440630e-07,2.554887e-07,3.876274e-07,4.992123e-07,8.398897e-07,8.756678e-07,1.417932e-06,1.576411e-06,2.158644e-06,2.671415e-06,3.127491e-06,4.187395e-06,4.347627e-06,5.832685e-06,6.161949e-06,7.585945e-06,8.602022e-06,9.601665e-06,1.148877e-05,1.186744e-05,1.436644e-05,1.478664e-05,1.707907e-05,1.845082e-05,1.998408e-05,2.243166e-05,2.305921e-05,2.628172e-05,2.667723e-05,2.962871e-05,3.113498e-05,3.307755e-05,3.575318e-05,3.660617e-05,4.019339e-05,4.048229e-05,4.381920e-05,4.527610e-05,4.746497e-05,5.009265e-05,5.111365e-05,5.474980e-05,5.489479e-05,5.835967e-05,5.965041e-05,6.193118e-05,6.433248e-05,6.545385e-05,6.891876e-05,7.231837e-05,7.339141e-05,7.564648e-05,7.773658e-05,7.889805e-05,8.194384e-05,8.206910e-05,8.515657e-05,8.600576e-05,8.815823e-05,8.991738e-05,9.107256e-05,9.367582e-05,9.389865e-05,9.663612e-05,9.727992e-05,9.928502e-05,1.007299e-04,1.018458e-04,1.040270e-04,1.043192e-04,1.067063e-04,1.071734e-04,1.090082e-04,1.101720e-04,1.112263e-04,1.130260e-04,1.133623e-04,1.154177e-04,1.157392e-04,1.173944e-04,1.183157e-04,1.192941e-04,1.207596e-04,1.211186e-04,1.228700e-04,1.230753e-04,1.245501e-04,1.252672e-04,1.261608e-04,1.273397e-04,1.277041e-04,1.291819e-04,1.292973e-04,1.305961e-04,1.311444e-04,1.319487e-04,1.328854e-04,1.332415e-04,1.344763e-04,1.345245e-04,1.356551e-04,1.360660e-04,1.367795e-04,1.375140e-04,1.378514e-04,1.388725e-04,1.398445e-04,1.401454e-04,1.407690e-04,1.413366e-04,1.416477e-04,1.424496e-04,1.424821e-04,1.432739e-04,1.434881e-04,1.440244e-04,1.444556e-04,1.447353e-04,1.453554e-04,1.454078e-04,1.460434e-04,1.461906e-04,1.466435e-04,1.469645e-04,1.472094e-04,1.476801e-04,1.477423e-04,1.482436e-04,1.483401e-04,1.487144e-04,1.489475e-04,1.491558e-04,1.495048e-04,1.495691e-04,1.499554e-04,1.500147e-04,1.503156e-04,1.504796e-04,1.506509e-04,1.509019e-04,1.509623e-04,1.512507e-04,1.512838e-04,1.515171e-04,1.516275e-04,1.517624e-04,1.519352e-04,1.519874e-04,1.521931e-04,1.522088e-04,1.523803e-04,1.524501e-04,1.525497e-04,1.526612e-04,1.527022e-04,1.528385e-04,1.528436e-04,1.529592e-04,1.529991e-04,1.530652e-04,1.531292e-04,1.531571e-04,1.532355e-04,1.533195e-04,1.533824e-04,1.534257e-04,1.534506e-04,1.534583e-04,1.534499e-04,1.534265e-04,1.533892e-04,1.533389e-04,1.532766e-04,1.532031e-04,1.531194e-04,1.530261e-04,1.529240e-04,1.528139e-04,1.526965e-04,1.525723e-04,1.524420e-04,1.523062e-04,1.521654e-04,1.520201e-04,1.518707e-04,1.517179e-04,1.515619e-04
0.000000e+00,4.065741e-11,1.953658e-10,1.937140e-09,8.555411e-09,1.669588e-08,6.872777e-08,7.226838e-08,2.165753e-07,2.817365e-07,5.186309e-07,8.129263e-07,1.070753e-06,1.900575e-06,1.990930e-06,3.418422e-06,3.852442e-06,5.492127e-06,6.975912e-06,8.312910e-06,1.143987e-05,1.191205e-05,1.624608e-05,1.719299e-05,2.121537e-05,2.400815e-05,2.669109e-05,3.158318e-05,3.253833e-05,3.863070e-05,3.962058e-05,4.485725e-05,4.786547e-05,5.112416e-05,5.611403e-05,5.735372e-05,6.348235e-05,6.420843e-05,6.945842e-05,7.202856e-05,7.524050e-05,7.948470e-05,8.079585e-05,8.609934e-05,8.651214e-05,9.113250e-05,9.306706e-05,9.588270e-05,9.912325e-05,1.003425e-04,1.045087e-04,1.046692e-04,1.083822e-04,1.097056e-04,1.119667e-04,1.142424e-04,1.152688e-04,1.182968e-04,1.210608e-04,1.218913e-04,1.235719e-04,1.250518e-04,1.258420e-04,1.278060e-04,1.278835e-04,1.297088e-04,1.301828e-04,1.313305e-04,1.322109e-04,1.327609e-04,1.339185e-04,1.340123e-04,1.350961e-04,1.353326e-04,1.360238e-04,1.364792e-04,1.368061e-04,1.373825e-04,1.374533e-04,1.379751e-04,1.380652e-04,1.383807e-04,1.385486e-04,1.386788e-04,1.388521e-04,1.388775e-04,1.389846e-04,1.389937e-04,1.390072e-04,1.389901e-04,1.389521e-04,1.388562e-04,1.388255e-04,1.386333e-04,1.386061e-04,1.383810e-04,1.382523e-04,1.380737e-04,1.378064e-04,1.377162e-04,1.373130e-04,1.372789e-04,1.368680e-04,1.366793e-04,1.363853e-04,1.360163e-04,1.358683e-04,1.353204e-04,1.352978e-04,1.347446e-04,1.345311e-04,1.341438e-04,1.337224e-04,1.335208e-04,1.328778e-04,1.322173e-04,1.320025e-04,1.315413e-04,1.311014e-04,1.308518e-04,1.301788e-04,1.301506e-04,1.294394e-04,1.292387e-04,1.287198e-04,1.282845e-04,1.279931e-04,1.273195e-04,1.272608e-04,1.265240e-04,1.263466e-04,1.257839e-04,1.253684e-04,1.250415e-04,1.243871e-04,1.242978e-04,1.235537e-04,1.234049e-04,1.228099e-04,1.224236e-04,1.220673e-04,1.214449e-04,1.213265e-04,1.205882e-04,1.204703e-04,1.198529e-04,1.195012e-04,1.191211e-04,1.185386e-04,1.183934e-04,1.176702e-04,1.175837e-04,1.169518e-04,1.166374e-04,1.162387e-04,1.157004e-04,1.155311e-04,1.148294e-04,1.147735e-04,1.141338e-04,1.138574e-04,1.134446e-04,1.129525e-04,1.127620e-04,1.120861e-04,1.120592e-04,1.114172e-04,1.111781e-04,1.107553e-04,1.103094e-04,1.101007e-04,1.094534e-04,1.086103e-04,1.077803e-04,1.069635e-04,1.061600e-04,1.053700e-04,1.045933e-04,1.038301e-04,1.030802e-04,1.023438e-04,1.016206e-04,1.009107e-04,1.002139e-04,9.953010e-05,9.885922e-05,9.820112e-05,9.755564e-05,9.692265e-05,9.630197e-05,9.569345e-05,9.509691e-05,9.451219e-05,9.393911e-05,9.337748e-05,9.282712e-05
0.000000e+00,1.809625e-11,8.140864e-11,7.085679e-10,2.798723e-09,5.150553e-09,1.835928e-08,1.919627e-08,5.030973e-08,6.317010e-08,1.065227e-07,1.556731e-07,1.959443e-07,3.144842e-07,3.266497e-07,5.066779e-07,5.581043e-07,7.438549e-07,9.043016e-07,1.045148e-06,1.367279e-06,1.415442e-06,1.856195e-06,1.952644e-06,2.364863e-06,2.654341e-06,2.935523e-06,3.457010e-06,3.560243e-06,4.230373e-06,4.341232e-06,4.937390e-06,5.287483e-06,5.673275e-06,6.277758e-06,6.430602e-06,7.202516e-06,7.295819e-06,7.982676e-06,8.327035e-06,8.765239e-06,9.358284e-06,9.544856e-06,1.031668e-05,1.037795e-05,1.107638e-05,1.137600e-05,1.182018e-05,1.234401e-05,1.254481e-05,1.324755e-05,1.327517e-05,1.392619e-05,1.416425e-05,1.457898e-05,1.500745e-05,1.520464e-05,1.580227e-05,1.637132e-05,1.654734e-05,1.691158e-05,1.724224e-05,1.742307e-05,1.788730e-05,1.790608e-05,1.836104e-05,1.848349e-05,1.878857e-05,1.903221e-05,1.918939e-05,1.953524e-05,1.956430e-05,1.991421e-05,1.999457e-05,2.024004e-05,2.041235e-05,2.054276e-05,2.079081e-05,2.082335e-05,2.108278e-05,2.113222e-05,2.132206e-05,2.143883e-05,2.154213e-05,2.171285e-05,2.174395e-05,2.192844e-05,2.195642e-05,2.209651e-05,2.217160e-05,2.224901e-05,2.236037e-05,2.238679e-05,2.251064e-05,2.252460e-05,2.262134e-05,2.266607e-05,2.271962e-05,2.278645e-05,2.280619e-05,2.288172e-05,2.288731e-05,2.294686e-05,2.297013e-05,2.300220e-05,2.303630e-05,2.304832e-05,2.308578e-05,2.308711e-05,2.311510e-05,2.312376e-05,2.313677e-05,2.314738e-05,2.315127e-05,2.315903e-05,2.316047e-05,2.315967e-05,2.315600e-05,2.315022e-05,2.314600e-05,2.313151e-05,2.313081e-05,2.311078e-05,2.310435e-05,2.308623e-05,2.306945e-05,2.305746e-05,2.302750e-05,2.302474e-05,2.298837e-05,2.297912e-05,2.294858e-05,2.292490e-05,2.290562e-05,2.286537e-05,2.285972e-05,2.281109e-05,2.280105e-05,2.275993e-05,2.273240e-05,2.270644e-05,2.265984e-05,2.265080e-05,2.259318e-05,2.258378e-05,2.253373e-05,2.250460e-05,2.247262e-05,2.242262e-05,2.240998e-05,2.234595e-05,2.233818e-05,2.228066e-05,2.225157e-05,2.221423e-05,2.216305e-05,2.214677e-05,2.207839e-05,2.207289e-05,2.200919e-05,2.198130e-05,2.193927e-05,2.188852e-05,2.186871e-05,2.179759e-05,2.179474e-05,2.172601e-05,2.170014e-05,2.165403e-05,2.160489e-05,2.158172e-05,2.150916e-05,2.141307e-05,2.131678e-05,2.122039e-05,2.112403e-05,2.102779e-05,2.093177e-05,2.083607e-05,2.074075e-05,2.064590e-05,2.055157e-05,2.045784e-05,2.036476e-05,2.027237e-05,2.018072e-05,2.008986e-05,1.999982e-05,1.991064e-05,1.982234e-05,1.973495e-05,1.964851e-05,1.956301e-05,1.947850e-05,1.939497e-05,1.931245e-05
0.000000e+00,3.084234e-12,1.551507e-11,1.688341e-10,8.092268e-10,1.649301e-09,7.549167e-09,7.970697e-09,2.623673e-08,3.493213e-08,6.783528e-08,1.104214e-07,1.486629e-07,2.750327e-07,2.889977e-07,5.131110e-07,5.823697e-07,8.485352e-07,1.095949e-06,1.324722e-06,1.883489e-06,1.970926e-06,2.813619e-06,3.007722e-06,3.874080e-06,4.516667e-06,5.166719e-06,6.437141e-06,6.698305e-06,8.467986e-06,8.772796e-06,1.046790e-05,1.150574e-05,1.268409e-05,1.460020e-05,1.509765e-05,1.768585e-05,1.800698e-05,2.042322e-05,2.166794e-05,2.328255e-05,2.552001e-05,2.623588e-05,2.925518e-05,2.949876e-05,3.231317e-05,3.354131e-05,3.538378e-05,3.758870e-05,3.844269e-05,4.146763e-05,4.158763e-05,4.443869e-05,4.549165e-05,4.733844e-05,4.926186e-05,5.015203e-05,5.286715e-05,5.547400e-05,5.628405e-05,5.796513e-05,5.949623e-05,6.033531e-05,6.249388e-05,6.258131e-05,6.470168e-05,6.527286e-05,6.669656e-05,6.783381e-05,6.856742e-05,7.018129e-05,7.031685e-05,7.194838e-05,7.232286e-05,7.346624e-05,7.426835e-05,7.487520e-05,7.602910e-05,7.618043e-05,7.738734e-05,7.761740e-05,7.850145e-05,7.904596e-05,7.952832e-05,8.032751e-05,8.047347e-05,8.134225e-05,8.147452e-05,8.213988e-05,8.249894e-05,8.287134e-05,8.341204e-05,8.354135e-05,8.415440e-05,8.422434e-05,8.471469e-05,8.494554e-05,8.522618e-05,8.558453e-05,8.569252e-05,8.611712e-05,8.614939e-05,8.650314e-05,8.664739e-05,8.685346e-05,8.708510e-05,8.717076e-05,8.745751e-05,8.746838e-05,8.771595e-05,8.780246e-05,8.794815e-05,8.809204e-05,8.815602e-05,8.834128e-05,8.850552e-05,8.855389e-05,8.865022e-05,8.873318e-05,8.877669e-05,8.888211e-05,8.888618e-05,8.897981e-05,8.900332e-05,8.905861e-05,8.909918e-05,8.912355e-05,8.917180e-05,8.917550e-05,8.921528e-05,8.922310e-05,8.924364e-05,8.925479e-05,8.926128e-05,8.926844e-05,8.926884e-05,8.926694e-05,8.926547e-05,8.925613e-05,8.924717e-05,8.923695e-05,8.921471e-05,8.920987e-05,8.917537e-05,8.916919e-05,8.913386e-05,8.911157e-05,8.908576e-05,8.904279e-05,8.903145e-05,8.897127e-05,8.896367e-05,8.890558e-05,8.887501e-05,8.883468e-05,8.877751e-05,8.875889e-05,8.867848e-05,8.867186e-05,8.859373e-05,8.855867e-05,8.850490e-05,8.843854e-05,8.841222e-05,8.831593e-05,8.831201e-05,8.821625e-05,8.817958e-05,8.811339e-05,8.804173e-05,8.800755e-05,8.789891e-05,8.775154e-05,8.760001e-05,8.744468e-05,8.728592e-05,8.712404e-05,8.695935e-05,8.679214e-05,8.662268e-05,8.645122e-05,8.627802e-05,8.610330e-05,8.592726e-05,8.575012e-05,8.557206e-05,8.539326e-05,8.521389e-05,8.503411e-05,8.485407e-05,8.467391e-05,8.449375e-05,8.431373e-05,8.413397e-05,8.395456e-05,8.377561e-05
0.000000e+00,7.231819e-12,1.655927e-11,5.682188e-11,1.289002e-10,1.877355e-10,4.240819e-10,4.367695e-10,8.408008e-10,9.869205e-10,1.438587e-09,1.907328e-09,2.271337e-09,3.281325e-09,3.381287e-09,4.807585e-09,5.200508e-09,6.578886e-09,7.725586e-09,8.702935e-09,1.084618e-08,1.115637e-08,1.388230e-08,1.445338e-08,1.680151e-08,1.836828e-08,1.983195e-08,2.241167e-08,2.290349e-08,2.596278e-08,2.644840e-08,2.897148e-08,3.038937e-08,3.190240e-08,3.417799e-08,3.473629e-08,3.745952e-08,3.777839e-08,4.006264e-08,4.116825e-08,4.253938e-08,4.433481e-08,4.488601e-08,4.710086e-08,4.727235e-08,4.918393e-08,4.998052e-08,5.113656e-08,5.246302e-08,5.296119e-08,5.466108e-08,5.472654e-08,5.624014e-08,5.677985e-08,5.770273e-08,5.863315e-08,5.905354e-08,6.029747e-08,6.143949e-08,6.178423e-08,6.248462e-08,6.310497e-08,6.343786e-08,6.427104e-08,6.430408e-08,6.508809e-08,6.529351e-08,6.579450e-08,6.618298e-08,6.642781e-08,6.694957e-08,6.699230e-08,6.749210e-08,6.760287e-08,6.793115e-08,6.815189e-08,6.831320e-08,6.860509e-08,6.864182e-08,6.892041e-08,6.897041e-08,6.915218e-08,6.925522e-08,6.934019e-08,6.946640e-08,6.948730e-08,6.959627e-08,6.961033e-08,6.966964e-08,6.969295e-08,6.970987e-08,6.971973e-08,6.971924e-08,6.969992e-08,6.969577e-08,6.965394e-08,6.962576e-08,6.958322e-08,6.951405e-08,6.948958e-08,6.937471e-08,6.936465e-08,6.924022e-08,6.918127e-08,6.908760e-08,6.896730e-08,6.891828e-08,6.873357e-08,6.872588e-08,6.853473e-08,6.845992e-08,6.832292e-08,6.817205e-08,6.809925e-08,6.786474e-08,6.762037e-08,6.754024e-08,6.736705e-08,6.720062e-08,6.710562e-08,6.684776e-08,6.683688e-08,6.656159e-08,6.648342e-08,6.628043e-08,6.610920e-08,6.599407e-08,6.572655e-08,6.570312e-08,6.540815e-08,6.533682e-08,6.510971e-08,6.494125e-08,6.480829e-08,6.454095e-08,6.450436e-08,6.419836e-08,6.413695e-08,6.389070e-08,6.373019e-08,6.358176e-08,6.332152e-08,6.327189e-08,6.296143e-08,6.291173e-08,6.265069e-08,6.250151e-08,6.233994e-08,6.209152e-08,6.202946e-08,6.171949e-08,6.168234e-08,6.141026e-08,6.127449e-08,6.110199e-08,6.086846e-08,6.079486e-08,6.048908e-08,6.046467e-08,6.018479e-08,6.006353e-08,5.988216e-08,5.966537e-08,5.958132e-08,5.928242e-08,5.927051e-08,5.898557e-08,5.887922e-08,5.869087e-08,5.849177e-08,5.839844e-08,5.810836e-08,5.772919e-08,5.735444e-08,5.698425e-08,5.661875e-08,5.625805e-08,5.590224e-08,5.555140e-08,5.520559e-08,5.486487e-08,5.452927e-08,5.419881e-08,5.387352e-08,5.355340e-08,5.323845e-08,5.292866e-08,5.262403e-08,5.232452e-08,5.203012e-08,5.174079e-08,5.145650e-08,5.117720e-08,5.090286e-08,5.063341e-08,5.036883e-08
0.000000e+00,1.564100e-11,7.722795e-11,8.087583e-10,3.744925e-09,7.491187e-09,3.270522e-08,3.446636e-08,1.084713e-07,1.427302e-07,2.693393e-07,4.288463e-07,5.694340e-07,1.023191e-06,1.072602e-06,1.852761e-06,2.090155e-06,2.991225e-06,3.816398e-06,4.570968e-06,6.385787e-06,6.666512e-06,9.331105e-06,9.934815e-06,1.258597e-05,1.450816e-05,1.641598e-05,2.004303e-05,2.077269e-05,2.558208e-05,2.638773e-05,3.075433e-05,3.333758e-05,3.619285e-05,4.067072e-05,4.180167e-05,4.749062e-05,4.817472e-05,5.317856e-05,5.566237e-05,5.879505e-05,6.297898e-05,6.428093e-05,6.958814e-05,7.000380e-05,7.467895e-05,7.664807e-05,7.952514e-05,8.285146e-05,8.410681e-05,8.841133e-05,8.857763e-05,9.243223e-05,9.380993e-05,9.616817e-05,9.854715e-05,9.962200e-05,1.027999e-04,1.057105e-04,1.065872e-04,1.083647e-04,1.099341e-04,1.107742e-04,1.128692e-04,1.129521e-04,1.149116e-04,1.154230e-04,1.166664e-04,1.176266e-04,1.182300e-04,1.195109e-04,1.196154e-04,1.208356e-04,1.211053e-04,1.219029e-04,1.224380e-04,1.228287e-04,1.235354e-04,1.236244e-04,1.243001e-04,1.244217e-04,1.248657e-04,1.251192e-04,1.253301e-04,1.256483e-04,1.257019e-04,1.259889e-04,1.260274e-04,1.261982e-04,1.262731e-04,1.263367e-04,1.264005e-04,1.264103e-04,1.264249e-04,1.264229e-04,1.263856e-04,1.263524e-04,1.262972e-04,1.262000e-04,1.261642e-04,1.259906e-04,1.259751e-04,1.257801e-04,1.256864e-04,1.255363e-04,1.253418e-04,1.252621e-04,1.249606e-04,1.249480e-04,1.246343e-04,1.245113e-04,1.242857e-04,1.240371e-04,1.239171e-04,1.235305e-04,1.231277e-04,1.229957e-04,1.227106e-04,1.224369e-04,1.222808e-04,1.218575e-04,1.218396e-04,1.213886e-04,1.212607e-04,1.209288e-04,1.206493e-04,1.204616e-04,1.200259e-04,1.199878e-04,1.195086e-04,1.193928e-04,1.190247e-04,1.187520e-04,1.185370e-04,1.181054e-04,1.180464e-04,1.175534e-04,1.174546e-04,1.170588e-04,1.168011e-04,1.165630e-04,1.161462e-04,1.160668e-04,1.155705e-04,1.154911e-04,1.150746e-04,1.148369e-04,1.145796e-04,1.141845e-04,1.140859e-04,1.135938e-04,1.135349e-04,1.131037e-04,1.128887e-04,1.126158e-04,1.122466e-04,1.121304e-04,1.116478e-04,1.116093e-04,1.111683e-04,1.109773e-04,1.106919e-04,1.103511e-04,1.102190e-04,1.097498e-04,1.097311e-04,1.092843e-04,1.091176e-04,1.088227e-04,1.085111e-04,1.083651e-04,1.079117e-04,1.073199e-04,1.067356e-04,1.061592e-04,1.055909e-04,1.050306e-04,1.044786e-04,1.039349e-04,1.033996e-04,1.028728e-04,1.023544e-04,1.018445e-04,1.013431e-04,1.008502e-04,1.003657e-04,9.988972e-05,9.942209e-05,9.896279e-05,9.851178e-05,9.806899e-05,9.763436e-05,9.720780e-05,9.678925e-05,9.637861e-05,9.597580e-05
0.000000e+00,9.949893e-12,4.828849e-11,4.880487e-10,2.189330e-09,4.305789e-09,1.803516e-08,1.897609e-08,5.762340e-08,7.518129e-08,1.392666e-07,2.191702e-07,2.893079e-07,5.154114e-07,5.400440e-07,9.290030e-07,1.047092e-06,1.492119e-06,1.893141e-06,2.253059e-06,3.089593e-06,3.215286e-06,4.361492e-06,4.610129e-06,5.659152e-06,6.380601e-06,7.068259e-06,8.308183e-06,8.548134e-06,1.006189e-05,1.030508e-05,1.157862e-05,1.230028e-05,1.307383e-05,1.424184e-05,1.452893e-05,1.593028e-05,1.609433e-05,1.726812e-05,1.783483e-05,1.853574e-05,1.944939e-05,1.972874e-05,2.084456e-05,2.093045e-05,2.188210e-05,2.227520e-05,2.284149e-05,2.348446e-05,2.372386e-05,2.453120e-05,2.456197e-05,2.526622e-05,2.551374e-05,2.593219e-05,2.634750e-05,2.653283e-05,2.707216e-05,2.755435e-05,2.769729e-05,2.798369e-05,2.823268e-05,2.836440e-05,2.868799e-05,2.870063e-05,2.899635e-05,2.907242e-05,2.925533e-05,2.939455e-05,2.948107e-05,2.966220e-05,2.967683e-05,2.984561e-05,2.988240e-05,2.999011e-05,3.006135e-05,3.011280e-05,3.020448e-05,3.021588e-05,3.030134e-05,3.031648e-05,3.037095e-05,3.040141e-05,3.042628e-05,3.046274e-05,3.046872e-05,3.049951e-05,3.050344e-05,3.051977e-05,3.052604e-05,3.053046e-05,3.053271e-05,3.053246e-05,3.052653e-05,3.052532e-05,3.051338e-05,3.050546e-05,3.049361e-05,3.047450e-05,3.046778e-05,3.043639e-05,3.043365e-05,3.039989e-05,3.038396e-05,3.035869e-05,3.032633e-05,3.031316e-05,3.026364e-05,3.026158e-05,3.021044e-05,3.019044e-05,3.015383e-05,3.011354e-05,3.009409e-05,3.003146e-05,2.996615e-05,2.994473e-05,2.989839e-05,2.985381e-05,2.982835e-05,2.975914e-05,2.975622e-05,2.968217e-05,2.966112e-05,2.960636e-05,2.956009e-05,2.952894e-05,2.945639e-05,2.945003e-05,2.936978e-05,2.935033e-05,2.928830e-05,2.924218e-05,2.920572e-05,2.913221e-05,2.912213e-05,2.903764e-05,2.902064e-05,2.895235e-05,2.890771e-05,2.886634e-05,2.879361e-05,2.877971e-05,2.869253e-05,2.867853e-05,2.860487e-05,2.856265e-05,2.851682e-05,2.844614e-05,2.842844e-05,2.833978e-05,2.832913e-05,2.825092e-05,2.821177e-05,2.816191e-05,2.809420e-05,2.807281e-05,2.798365e-05,2.797652e-05,2.789451e-05,2.785886e-05,2.780541e-05,2.774131e-05,2.771640e-05,2.762752e-05,2.762397e-05,2.753881e-05,2.750693e-05,2.745031e-05,2.739026e-05,2.736205e-05,2.727406e-05,2.715838e-05,2.704329e-05,2.692885e-05,2.681512e-05,2.670214e-05,2.658997e-05,2.647864e-05,2.636819e-05,2.625867e-05,2.615009e-05,2.604250e-05,2.593591e-05,2.583036e-05,2.572586e-05,2.562243e-05,2.552010e-05,2.541886e-05,2.531875e-05,2.521976e-05,2.512192e-05,2.502522e-05,2.492967e-05,2.483528e-05,2.474206e-05
0.000000e+00,2.071056e-11,4.900466e-11,1.745046e-10,4.041504e-10,5.942869e-10,1.375193e-09,1.417790e-09,2.805230e-09,3.320027e-09,4.942894e-09,6.654079e-09,7.983789e-09,1.160494e-08,1.195560e-08,1.679379e-08,1.807587e-08,2.243079e-08,2.591872e-08,2.882090e-08,3.504103e-08,3.593132e-08,4.373146e-08,4.537132e-08,5.218661e-08,5.682857e-08,6.125488e-08,6.930968e-08,7.088624e-08,8.102284e-08,8.268734e-08,9.160006e-08,9.681331e-08,1.025482e-07,1.115246e-07,1.137940e-07,1.252627e-07,1.266504e-07,1.368799e-07,1.420197e-07,1.485730e-07,1.574677e-07,1.602727e-07,1.719142e-07,1.728412e-07,1.834381e-07,1.880026e-07,1.947910e-07,2.028324e-07,2.059257e-07,2.168015e-07,2.172306e-07,2.273841e-07,2.311165e-07,2.376453e-07,2.444278e-07,2.475629e-07,2.571196e-07,2.663034e-07,2.691621e-07,2.751067e-07,2.805390e-07,2.835252e-07,2.912441e-07,2.915580e-07,2.992071e-07,3.012807e-07,3.064772e-07,3.106600e-07,3.133748e-07,3.193985e-07,3.199080e-07,3.260862e-07,3.275172e-07,3.319199e-07,3.350406e-07,3.374206e-07,3.419950e-07,3.425999e-07,3.474700e-07,3.484081e-07,3.520434e-07,3.543083e-07,3.563322e-07,3.597243e-07,3.603493e-07,3.641074e-07,3.646855e-07,3.676187e-07,3.692197e-07,3.708944e-07,3.733528e-07,3.739456e-07,3.767831e-07,3.771098e-07,3.794174e-07,3.805148e-07,3.818586e-07,3.835907e-07,3.841162e-07,3.861995e-07,3.863589e-07,3.881172e-07,3.888398e-07,3.898779e-07,3.910528e-07,3.914895e-07,3.929599e-07,3.930159e-07,3.942963e-07,3.947459e-07,3.955056e-07,3.962588e-07,3.965946e-07,3.975693e-07,3.984358e-07,3.986912e-07,3.991998e-07,3.996374e-07,3.998666e-07,4.004201e-07,4.004414e-07,4.009291e-07,4.010507e-07,4.013342e-07,4.015395e-07,4.016612e-07,4.018966e-07,4.019142e-07,4.020971e-07,4.021310e-07,4.022137e-07,4.022514e-07,4.022675e-07,4.022657e-07,4.022620e-07,4.022002e-07,4.021814e-07,4.020853e-07,4.020055e-07,4.019201e-07,4.017445e-07,4.017074e-07,4.014498e-07,4.014045e-07,4.011497e-07,4.009912e-07,4.008094e-07,4.005099e-07,4.004313e-07,4.000175e-07,3.999655e-07,3.995699e-07,3.993627e-07,3.990904e-07,3.987059e-07,3.985810e-07,3.980433e-07,3.979991e-07,3.974789e-07,3.972461e-07,3.968895e-07,3.964504e-07,3.962765e-07,3.956413e-07,3.956154e-07,3.949853e-07,3.947443e-07,3.943098e-07,3.938399e-07,3.936160e-07,3.929050e-07,3.919421e-07,3.909537e-07,3.899421e-07,3.889093e-07,3.878573e-07,3.867880e-07,3.857032e-07,3.846045e-07,3.834935e-07,3.823715e-07,3.812401e-07,3.801003e-07,3.789536e-07,3.778009e-07,3.766434e-07,3.754820e-07,3.743177e-07,3.731514e-07,3.719838e-07,3.708159e-07,3.696482e-07,3.684816e-07,3.673165e-07,3.661537e-07
0.000000e+00,6.177357e-12,3.085617e-11,3.308407e-10,1.564223e-09,3.164090e-09,1.420113e-08,1.498209e-08,4.836145e-08,6.404926e-08,1.227414e-07,1.976876e-07,2.643344e-07,4.817261e-07,5.055484e-07,8.841577e-07,1.000067e-06,1.442157e-06,1.849492e-06,2.223829e-06,3.131166e-06,3.272407e-06,4.625226e-06,4.934850e-06,6.308433e-06,7.318554e-06,8.332900e-06,1.029319e-05,1.069251e-05,1.336492e-05,1.381929e-05,1.631418e-05,1.781495e-05,1.949436e-05,2.216987e-05,2.285336e-05,2.633642e-05,2.676011e-05,2.988905e-05,3.146072e-05,3.345930e-05,3.615490e-05,3.699940e-05,4.046675e-05,4.073986e-05,4.382460e-05,4.512999e-05,4.704220e-05,4.925791e-05,5.009481e-05,5.296342e-05,5.307412e-05,5.563436e-05,5.654569e-05,5.809888e-05,5.965441e-05,6.035252e-05,6.239465e-05,6.422785e-05,6.477113e-05,6.585734e-05,6.679664e-05,6.729051e-05,6.849005e-05,6.853641e-05,6.960531e-05,6.987438e-05,7.050831e-05,7.097527e-05,7.125697e-05,7.181957e-05,7.186310e-05,7.233842e-05,7.243433e-05,7.269446e-05,7.284590e-05,7.294233e-05,7.307942e-05,7.309264e-05,7.315541e-05,7.315829e-05,7.314003e-05,7.310407e-05,7.305522e-05,7.293625e-05,7.290905e-05,7.270888e-05,7.267230e-05,7.246143e-05,7.232768e-05,7.217281e-05,7.191597e-05,7.184850e-05,7.149348e-05,7.144903e-05,7.111216e-05,7.093709e-05,7.070851e-05,7.038899e-05,7.028606e-05,6.984793e-05,6.981229e-05,6.939691e-05,6.921345e-05,6.893545e-05,6.859796e-05,6.846572e-05,6.798964e-05,6.797048e-05,6.750888e-05,6.733495e-05,6.702492e-05,6.669468e-05,6.653908e-05,6.605249e-05,6.556616e-05,6.541073e-05,6.508096e-05,6.477138e-05,6.459766e-05,6.413610e-05,6.411693e-05,6.363936e-05,6.350627e-05,6.316545e-05,6.288305e-05,6.269564e-05,6.226738e-05,6.223033e-05,6.176983e-05,6.166006e-05,6.131444e-05,6.106174e-05,6.086439e-05,6.047294e-05,6.041990e-05,5.998114e-05,5.989409e-05,5.954825e-05,5.932551e-05,5.912136e-05,5.876748e-05,5.870056e-05,5.828594e-05,5.822017e-05,5.787754e-05,5.768373e-05,5.747541e-05,5.715825e-05,5.707959e-05,5.669008e-05,5.664377e-05,5.630689e-05,5.614029e-05,5.593002e-05,5.564780e-05,5.555944e-05,5.519513e-05,5.516625e-05,5.483706e-05,5.469557e-05,5.448519e-05,5.423566e-05,5.413947e-05,5.379986e-05,5.378641e-05,5.346631e-05,5.334770e-05,5.313874e-05,5.291938e-05,5.281710e-05,5.250132e-05,5.209336e-05,5.169533e-05,5.130705e-05,5.092836e-05,5.055907e-05,5.019899e-05,4.984796e-05,4.950576e-05,4.917224e-05,4.884718e-05,4.853041e-05,4.822173e-05,4.792097e-05,4.762794e-05,4.734245e-05,4.706432e-05,4.679337e-05,4.652944e-05,4.627234e-05,4.602190e-05,4.577796e-05,4.554035e-05,4.530891e-05,4.508347e-05
0.000000e+00,1.292952e-11,6.107209e-11,5.850292e-10,2.507120e-09,4.815047e-09,1.905543e-08,2.000625e-08,5.783770e-08,7.455089e-08,1.342625e-07,2.070238e-07,2.699481e-07,4.691522e-07,4.906053e-07,8.247457e-07,9.247560e-07,1.296878e-06,1.626811e-06,1.919407e-06,2.589646e-06,2.689415e-06,3.591697e-06,3.786166e-06,4.604520e-06,5.167128e-06,5.704674e-06,6.680351e-06,6.870472e-06,8.082904e-06,8.280099e-06,9.325713e-06,9.928892e-06,1.058499e-05,1.159614e-05,1.184871e-05,1.310633e-05,1.325638e-05,1.434854e-05,1.488809e-05,1.556720e-05,1.647323e-05,1.675522e-05,1.790659e-05,1.799696e-05,1.901635e-05,1.944770e-05,2.008058e-05,2.081692e-05,2.109630e-05,2.206149e-05,2.209903e-05,2.297493e-05,2.329098e-05,2.383614e-05,2.439199e-05,2.464529e-05,2.540309e-05,2.611068e-05,2.632674e-05,2.676955e-05,2.716648e-05,2.738148e-05,2.792658e-05,2.794842e-05,2.847247e-05,2.861181e-05,2.895578e-05,2.922714e-05,2.940058e-05,2.977766e-05,2.980906e-05,3.018339e-05,3.026839e-05,3.052570e-05,3.070416e-05,3.083801e-05,3.108959e-05,3.112229e-05,3.138040e-05,3.142904e-05,3.161411e-05,3.172657e-05,3.182511e-05,3.198595e-05,3.201497e-05,3.218517e-05,3.221067e-05,3.233710e-05,3.240393e-05,3.247207e-05,3.256865e-05,3.259129e-05,3.269589e-05,3.270751e-05,3.278692e-05,3.282294e-05,3.286538e-05,3.291716e-05,3.293218e-05,3.298815e-05,3.299219e-05,3.303411e-05,3.304985e-05,3.307077e-05,3.309180e-05,3.309882e-05,3.311890e-05,3.311955e-05,3.313160e-05,3.313447e-05,3.313745e-05,3.313779e-05,3.313698e-05,3.313065e-05,3.311890e-05,3.311406e-05,3.310214e-05,3.308896e-05,3.308075e-05,3.305620e-05,3.305509e-05,3.302548e-05,3.301653e-05,3.299223e-05,3.297066e-05,3.295563e-05,3.291923e-05,3.291594e-05,3.287341e-05,3.286281e-05,3.282828e-05,3.280194e-05,3.278075e-05,3.273710e-05,3.273103e-05,3.267931e-05,3.266874e-05,3.262575e-05,3.259724e-05,3.257054e-05,3.252298e-05,3.251381e-05,3.245572e-05,3.244630e-05,3.239639e-05,3.236751e-05,3.233595e-05,3.228688e-05,3.227452e-05,3.221221e-05,3.220467e-05,3.214911e-05,3.212113e-05,3.208534e-05,3.203646e-05,3.202097e-05,3.195608e-05,3.195087e-05,3.189077e-05,3.186454e-05,3.182510e-05,3.177763e-05,3.175914e-05,3.169295e-05,3.169030e-05,3.162661e-05,3.160269e-05,3.156015e-05,3.151492e-05,3.149364e-05,3.142712e-05,3.133939e-05,3.125183e-05,3.116453e-05,3.107758e-05,3.099105e-05,3.090500e-05,3.081951e-05,3.073463e-05,3.065041e-05,3.056689e-05,3.048413e-05,3.040215e-05,3.032100e-05,3.024070e-05,3.016129e-05,3.008278e-05,3.000520e-05,2.992857e-05,2.985291e-05,2.977822e-05,2.970453e-05,2.963184e-05,2.956016e-05,2.948949e-05
0.000000e+00,1.255592e-10,4.057389e-10,2.060424e-09,5.658524e-09,8.858818e-09,2.275304e-08,2.352752e-08,4.898420e-08,5.844559e-08,8.818783e-08,1.195781e-07,1.441897e-07,2.130325e-07,2.198647e-07,3.170459e-07,3.435999e-07,4.356256e-07,5.107658e-07,5.738770e-07,7.100251e-07,7.295531e-07,9.004952e-07,9.363371e-07,1.084694e-06,1.185070e-06,1.280202e-06,1.451747e-06,1.485076e-06,1.697369e-06,1.731895e-06,1.915158e-06,2.021099e-06,2.136581e-06,2.315148e-06,2.359877e-06,2.583420e-06,2.610190e-06,2.805742e-06,2.902837e-06,3.025548e-06,3.190225e-06,3.241723e-06,3.453324e-06,3.470031e-06,3.659580e-06,3.740442e-06,3.859871e-06,4.000115e-06,4.053721e-06,4.240773e-06,4.248110e-06,4.420782e-06,4.483828e-06,4.593594e-06,4.706954e-06,4.759134e-06,4.917392e-06,5.068413e-06,5.115224e-06,5.212284e-06,5.300665e-06,5.349128e-06,5.474027e-06,5.479096e-06,5.602358e-06,5.635695e-06,5.719102e-06,5.786102e-06,5.829527e-06,5.925715e-06,5.933840e-06,6.032252e-06,6.055017e-06,6.124978e-06,6.174500e-06,6.212232e-06,6.284659e-06,6.294227e-06,6.371176e-06,6.385979e-06,6.443286e-06,6.478939e-06,6.510762e-06,6.564006e-06,6.573802e-06,6.632602e-06,6.641629e-06,6.687349e-06,6.712243e-06,6.738228e-06,6.776265e-06,6.785416e-06,6.829085e-06,6.834097e-06,6.869401e-06,6.886119e-06,6.906523e-06,6.932696e-06,6.940607e-06,6.971799e-06,6.974174e-06,7.000245e-06,7.010884e-06,7.026079e-06,7.043138e-06,7.049435e-06,7.070439e-06,7.071232e-06,7.089213e-06,7.095448e-06,7.105872e-06,7.116049e-06,7.120528e-06,7.133289e-06,7.144255e-06,7.147402e-06,7.153526e-06,7.158613e-06,7.161195e-06,7.167133e-06,7.167352e-06,7.172081e-06,7.173161e-06,7.175465e-06,7.176882e-06,7.177581e-06,7.178473e-06,7.178505e-06,7.178307e-06,7.178100e-06,7.177055e-06,7.175917e-06,7.174813e-06,7.172072e-06,7.171645e-06,7.167607e-06,7.166700e-06,7.162757e-06,7.159931e-06,7.157147e-06,7.151885e-06,7.150829e-06,7.143850e-06,7.142676e-06,7.136258e-06,7.132408e-06,7.128094e-06,7.121181e-06,7.119402e-06,7.110220e-06,7.109087e-06,7.100587e-06,7.096214e-06,7.090537e-06,7.082641e-06,7.080105e-06,7.069322e-06,7.068445e-06,7.058220e-06,7.053696e-06,7.046827e-06,7.038459e-06,7.035170e-06,7.023276e-06,7.022796e-06,7.011169e-06,7.006763e-06,6.998872e-06,6.990414e-06,6.986408e-06,6.973797e-06,6.956959e-06,6.939942e-06,6.922785e-06,6.905524e-06,6.888193e-06,6.870823e-06,6.853443e-06,6.836079e-06,6.818756e-06,6.801495e-06,6.784316e-06,6.767239e-06,6.750281e-06,6.733457e-06,6.716781e-06,6.700266e-06,6.683924e-06,6.667764e-06,6.651797e-06,6.636030e-06,6.620470e-06,6.605125e-06,6.589999e-06,6.575097e-06
0.000000e+00,3.379217e-11,1.629420e-10,1.626049e-09,7.213145e-09,1.409860e-08,5.804568e-08,6.102754e-08,1.814566e-07,2.351485e-07,4.271162e-07,6.594587e-07,8.582689e-07,1.474529e-06,1.539836e-06,2.538385e-06,2.832568e-06,3.919806e-06,4.884294e-06,5.747001e-06,7.768884e-06,8.076601e-06,1.095401e-05,1.159807e-05,1.440742e-05,1.643385e-05,1.844312e-05,2.227141e-05,2.304427e-05,2.817356e-05,2.903990e-05,3.377827e-05,3.661927e-05,3.979584e-05,4.486177e-05,4.615863e-05,5.279753e-05,5.360949e-05,5.964439e-05,6.270587e-05,6.663358e-05,7.200212e-05,7.370288e-05,8.079423e-05,8.136086e-05,8.785418e-05,9.065830e-05,9.483413e-05,9.978557e-05,1.016906e-04,1.083855e-04,1.086495e-04,1.148858e-04,1.171727e-04,1.211637e-04,1.252938e-04,1.271964e-04,1.329658e-04,1.384584e-04,1.401558e-04,1.436644e-04,1.468429e-04,1.485778e-04,1.530170e-04,1.531960e-04,1.575190e-04,1.586768e-04,1.615492e-04,1.638286e-04,1.652911e-04,1.684844e-04,1.687510e-04,1.719364e-04,1.726610e-04,1.748560e-04,1.763783e-04,1.775192e-04,1.796588e-04,1.799361e-04,1.821174e-04,1.825263e-04,1.840737e-04,1.850057e-04,1.858160e-04,1.871221e-04,1.873552e-04,1.887021e-04,1.889004e-04,1.898673e-04,1.903651e-04,1.908612e-04,1.915398e-04,1.916940e-04,1.923754e-04,1.924475e-04,1.929151e-04,1.931100e-04,1.933221e-04,1.935480e-04,1.936051e-04,1.937727e-04,1.937813e-04,1.938327e-04,1.938283e-04,1.937928e-04,1.937063e-04,1.936603e-04,1.934421e-04,1.934317e-04,1.931447e-04,1.930194e-04,1.927743e-04,1.924837e-04,1.923367e-04,1.918376e-04,1.912821e-04,1.910932e-04,1.906752e-04,1.902619e-04,1.900214e-04,1.893539e-04,1.893253e-04,1.885908e-04,1.883788e-04,1.878218e-04,1.873454e-04,1.870220e-04,1.862618e-04,1.861947e-04,1.853432e-04,1.851355e-04,1.844703e-04,1.839732e-04,1.835788e-04,1.827811e-04,1.826715e-04,1.817506e-04,1.815650e-04,1.808184e-04,1.803299e-04,1.798771e-04,1.790807e-04,1.789285e-04,1.779746e-04,1.778216e-04,1.770169e-04,1.765564e-04,1.760571e-04,1.752887e-04,1.750966e-04,1.741368e-04,1.740217e-04,1.731787e-04,1.727581e-04,1.722237e-04,1.715005e-04,1.712727e-04,1.703267e-04,1.702513e-04,1.693866e-04,1.690123e-04,1.684531e-04,1.677856e-04,1.675270e-04,1.666090e-04,1.665725e-04,1.656997e-04,1.653745e-04,1.647995e-04,1.641929e-04,1.639091e-04,1.630287e-04,1.618828e-04,1.607560e-04,1.596488e-04,1.585620e-04,1.574958e-04,1.564507e-04,1.554268e-04,1.544245e-04,1.534436e-04,1.524844e-04,1.515468e-04,1.506307e-04,1.497361e-04,1.488627e-04,1.480105e-04,1.471791e-04,1.463684e-04,1.455780e-04,1.448078e-04,1.440573e-04,1.433263e-04,1.426145e-04,1.419214e-04,1.412467e-04
0.000000e+00,1.083688e-10,4.231756e-10,2.859694e-09,9.366945e-09,1.580350e-08,4.712786e-08,4.898346e-08,1.141531e-07,1.400409e-07,2.260103e-07,3.230538e-07,4.028502e-07,6.388292e-07,6.630236e-07,1.016122e-06,1.114504e-06,1.458433e-06,1.741017e-06,1.978876e-06,2.492650e-06,2.566388e-06,3.212506e-06,3.348179e-06,3.910883e-06,4.292923e-06,4.656245e-06,5.315029e-06,5.443629e-06,6.267983e-06,6.402961e-06,7.124023e-06,7.544567e-06,8.006245e-06,8.727069e-06,8.908982e-06,9.826530e-06,9.937365e-06,1.075331e-05,1.116262e-05,1.168394e-05,1.239068e-05,1.261338e-05,1.353699e-05,1.361050e-05,1.445055e-05,1.481231e-05,1.535033e-05,1.598780e-05,1.623308e-05,1.709602e-05,1.713009e-05,1.793683e-05,1.823372e-05,1.875361e-05,1.929451e-05,1.954485e-05,2.030941e-05,2.104643e-05,2.127637e-05,2.175537e-05,2.219418e-05,2.243589e-05,2.306234e-05,2.308787e-05,2.371138e-05,2.388088e-05,2.430661e-05,2.465031e-05,2.487390e-05,2.537149e-05,2.541367e-05,2.592643e-05,2.604554e-05,2.641276e-05,2.667378e-05,2.687327e-05,2.725770e-05,2.730864e-05,2.771956e-05,2.779887e-05,2.810673e-05,2.829892e-05,2.847089e-05,2.875955e-05,2.881278e-05,2.913312e-05,2.918243e-05,2.943266e-05,2.956927e-05,2.971212e-05,2.992172e-05,2.997223e-05,3.021370e-05,3.024145e-05,3.043722e-05,3.053007e-05,3.064349e-05,3.078913e-05,3.083318e-05,3.100695e-05,3.102018e-05,3.116543e-05,3.122469e-05,3.130926e-05,3.140408e-05,3.143903e-05,3.155535e-05,3.155973e-05,3.165879e-05,3.169298e-05,3.174990e-05,3.180509e-05,3.182922e-05,3.189728e-05,3.195458e-05,3.197073e-05,3.200162e-05,3.202655e-05,3.203886e-05,3.206583e-05,3.206677e-05,3.208579e-05,3.208958e-05,3.209634e-05,3.209877e-05,3.209883e-05,3.209435e-05,3.209367e-05,3.208123e-05,3.207721e-05,3.206189e-05,3.204817e-05,3.203599e-05,3.200806e-05,3.200389e-05,3.196590e-05,3.195763e-05,3.192235e-05,3.189761e-05,3.187354e-05,3.182869e-05,3.181977e-05,3.176130e-05,3.175153e-05,3.169842e-05,3.166675e-05,3.163138e-05,3.157493e-05,3.156044e-05,3.148582e-05,3.147663e-05,3.140776e-05,3.137238e-05,3.132648e-05,3.126268e-05,3.124219e-05,3.115509e-05,3.114801e-05,3.106537e-05,3.102880e-05,3.097323e-05,3.090548e-05,3.087883e-05,3.078234e-05,3.077844e-05,3.068393e-05,3.064807e-05,3.058376e-05,3.051471e-05,3.048196e-05,3.037869e-05,3.024034e-05,3.009993e-05,2.995776e-05,2.981408e-05,2.966914e-05,2.952316e-05,2.937635e-05,2.922893e-05,2.908107e-05,2.893296e-05,2.878475e-05,2.863659e-05,2.848864e-05,2.834102e-05,2.819386e-05,2.804727e-05,2.790135e-05,2.775621e-05,2.761193e-05,2.746860e-05,2.732629e-05,2.718507e-05,2.704501e-05,2.690616e-05
0.000000e+00,4.605436e-12,2.322116e-11,2.539627e-10,1.223046e-09,2.499352e-09,1.151986e-08,1.216655e-08,4.032267e-08,5.378365e-08,1.049024e-07,1.713257e-07,2.311257e-07,4.293087e-07,4.512451e-07,8.038068e-07,9.128977e-07,1.332558e-06,1.723228e-06,2.085019e-06,2.971453e-06,3.110573e-06,4.457928e-06,4.770073e-06,6.172029e-06,7.221283e-06,8.290922e-06,1.040483e-05,1.084318e-05,1.384628e-05,1.436917e-05,1.730605e-05,1.912771e-05,2.121687e-05,2.465975e-05,2.556259e-05,3.031778e-05,3.091442e-05,3.544924e-05,3.781630e-05,4.091749e-05,4.527157e-05,4.667839e-05,5.268458e-05,5.317421e-05,5.888694e-05,6.141167e-05,6.523576e-05,6.986998e-05,7.168193e-05,7.817788e-05,7.843811e-05,8.467835e-05,8.701138e-05,9.114104e-05,9.549411e-05,9.752710e-05,1.038014e-04,1.099329e-04,1.118603e-04,1.158945e-04,1.196099e-04,1.216631e-04,1.270015e-04,1.272195e-04,1.325484e-04,1.339980e-04,1.376379e-04,1.405729e-04,1.424792e-04,1.467091e-04,1.470666e-04,1.513972e-04,1.523981e-04,1.554700e-04,1.576388e-04,1.592866e-04,1.624357e-04,1.628500e-04,1.661649e-04,1.667985e-04,1.692369e-04,1.707407e-04,1.720732e-04,1.742789e-04,1.746812e-04,1.770693e-04,1.774316e-04,1.792463e-04,1.802190e-04,1.812213e-04,1.826620e-04,1.830035e-04,1.846022e-04,1.847822e-04,1.860269e-04,1.866010e-04,1.872868e-04,1.881397e-04,1.883910e-04,1.893484e-04,1.894189e-04,1.901677e-04,1.904587e-04,1.908575e-04,1.912783e-04,1.914257e-04,1.918802e-04,1.918961e-04,1.922285e-04,1.923294e-04,1.924780e-04,1.925945e-04,1.926353e-04,1.927070e-04,1.926994e-04,1.926812e-04,1.926184e-04,1.925306e-04,1.924695e-04,1.922677e-04,1.922581e-04,1.919891e-04,1.919041e-04,1.916672e-04,1.914506e-04,1.912970e-04,1.909172e-04,1.908826e-04,1.904279e-04,1.903132e-04,1.899366e-04,1.896468e-04,1.894122e-04,1.889260e-04,1.888581e-04,1.882771e-04,1.881579e-04,1.876722e-04,1.873491e-04,1.870460e-04,1.865055e-04,1.864011e-04,1.857398e-04,1.856326e-04,1.850642e-04,1.847354e-04,1.843764e-04,1.838186e-04,1.836782e-04,1.829715e-04,1.828862e-04,1.822578e-04,1.819420e-04,1.815387e-04,1.809894e-04,1.808155e-04,1.800897e-04,1.800315e-04,1.793623e-04,1.790711e-04,1.786345e-04,1.781108e-04,1.779073e-04,1.771816e-04,1.771526e-04,1.764584e-04,1.761988e-04,1.757384e-04,1.752510e-04,1.750224e-04,1.743109e-04,1.733799e-04,1.724593e-04,1.715501e-04,1.706533e-04,1.697698e-04,1.689002e-04,1.680453e-04,1.672054e-04,1.663810e-04,1.655726e-04,1.647802e-04,1.640042e-04,1.632448e-04,1.625019e-04,1.617756e-04,1.610659e-04,1.603729e-04,1.596964e-04,1.590363e-04,1.583924e-04,1.577647e-04,1.571530e-04,1.565570e-04,1.559765e-04
0.000000e+00,3.317606e-10,1.187461e-09,6.967170e-09,2.075861e-08,3.356599e-08,9.143401e-08,9.472202e-08,2.046563e-07,2.461488e-07,3.780254e-07,5.190677e-07,6.307946e-07,9.484483e-07,9.803977e-07,1.443752e-06,1.573324e-06,2.031797e-06,2.415703e-06,2.743427e-06,3.461810e-06,3.565742e-06,4.480649e-06,4.673162e-06,5.470707e-06,6.010219e-06,6.521111e-06,7.440900e-06,7.619372e-06,8.754500e-06,8.938858e-06,9.916387e-06,1.048077e-05,1.109547e-05,1.204495e-05,1.228259e-05,1.346905e-05,1.361099e-05,1.464666e-05,1.516002e-05,1.580782e-05,1.667504e-05,1.694565e-05,1.805403e-05,1.814127e-05,1.912767e-05,1.954637e-05,2.016209e-05,2.088049e-05,2.115362e-05,2.209940e-05,2.213625e-05,2.299729e-05,2.330851e-05,2.384584e-05,2.439420e-05,2.464418e-05,2.539201e-05,2.608950e-05,2.630214e-05,2.673718e-05,2.712597e-05,2.733596e-05,2.786585e-05,2.788699e-05,2.839163e-05,2.852483e-05,2.885145e-05,2.910653e-05,2.926813e-05,2.961489e-05,2.964344e-05,2.997921e-05,3.005411e-05,3.027730e-05,3.042848e-05,3.053960e-05,3.074231e-05,3.076798e-05,3.096430e-05,3.099988e-05,3.113037e-05,3.120536e-05,3.126796e-05,3.136280e-05,3.137881e-05,3.146458e-05,3.147608e-05,3.152688e-05,3.154891e-05,3.156727e-05,3.158479e-05,3.158722e-05,3.158815e-05,3.158705e-05,3.157141e-05,3.155878e-05,3.153829e-05,3.150291e-05,3.149000e-05,3.142771e-05,3.142216e-05,3.135252e-05,3.131907e-05,3.126547e-05,3.119601e-05,3.116755e-05,3.105967e-05,3.105516e-05,3.094273e-05,3.089856e-05,3.081753e-05,3.072808e-05,3.068486e-05,3.054545e-05,3.039999e-05,3.035227e-05,3.024912e-05,3.015000e-05,3.009343e-05,2.993998e-05,2.993351e-05,2.976987e-05,2.972345e-05,2.960301e-05,2.950154e-05,2.943339e-05,2.927528e-05,2.926145e-05,2.908758e-05,2.904560e-05,2.891215e-05,2.881337e-05,2.873552e-05,2.857935e-05,2.855801e-05,2.837992e-05,2.834425e-05,2.820152e-05,2.810871e-05,2.802306e-05,2.787330e-05,2.784480e-05,2.766694e-05,2.763853e-05,2.748969e-05,2.740487e-05,2.731322e-05,2.717273e-05,2.713772e-05,2.696333e-05,2.694248e-05,2.679019e-05,2.671444e-05,2.661844e-05,2.648890e-05,2.644819e-05,2.627954e-05,2.626612e-05,2.611259e-05,2.604631e-05,2.594743e-05,2.582967e-05,2.578414e-05,2.562277e-05,2.561635e-05,2.546339e-05,2.540651e-05,2.530605e-05,2.520024e-05,2.515079e-05,2.499766e-05,2.479883e-05,2.460383e-05,2.441268e-05,2.422543e-05,2.404209e-05,2.386266e-05,2.368716e-05,2.351556e-05,2.334784e-05,2.318398e-05,2.302395e-05,2.286769e-05,2.271518e-05,2.256635e-05,2.242116e-05,2.227955e-05,2.214146e-05,2.200683e-05,2.187560e-05,2.174770e-05,2.162307e-05,2.150164e-05,2.138334e-05,2.126811e-05
0.000000e+00,7.118417e-11,1.703274e-10,6.136247e-10,1.426491e-09,2.097683e-09,4.823592e-09,4.970723e-09,9.676896e-09,1.138524e-08,1.667723e-08,2.218086e-08,2.645990e-08,3.834153e-08,3.951725e-08,5.625207e-08,6.084001e-08,7.681896e-08,8.995455e-08,1.010366e-07,1.250390e-07,1.284879e-07,1.586924e-07,1.650232e-07,1.912004e-07,2.088802e-07,2.256110e-07,2.557193e-07,2.615604e-07,2.987095e-07,3.047431e-07,3.367384e-07,3.552151e-07,3.753440e-07,4.064523e-07,4.142424e-07,4.531712e-07,4.578331e-07,4.918923e-07,5.088080e-07,5.301929e-07,5.589045e-07,5.678868e-07,6.048151e-07,6.077321e-07,6.408447e-07,6.549797e-07,6.758666e-07,7.004094e-07,7.097950e-07,7.425640e-07,7.438499e-07,7.741259e-07,7.851861e-07,8.044489e-07,8.243511e-07,8.335147e-07,8.613167e-07,8.878576e-07,8.960860e-07,9.131486e-07,9.286867e-07,9.372071e-07,9.591647e-07,9.600558e-07,9.817215e-07,9.875800e-07,1.002234e-06,1.014003e-06,1.021627e-06,1.038509e-06,1.039935e-06,1.057191e-06,1.061181e-06,1.073434e-06,1.082100e-06,1.088698e-06,1.101351e-06,1.103021e-06,1.116438e-06,1.119017e-06,1.128987e-06,1.135180e-06,1.140701e-06,1.149921e-06,1.151615e-06,1.161764e-06,1.163319e-06,1.171181e-06,1.175450e-06,1.179896e-06,1.186386e-06,1.187943e-06,1.195350e-06,1.196197e-06,1.202147e-06,1.204952e-06,1.208363e-06,1.212715e-06,1.214025e-06,1.219158e-06,1.219547e-06,1.223790e-06,1.225507e-06,1.227943e-06,1.230650e-06,1.231641e-06,1.234908e-06,1.235030e-06,1.237764e-06,1.238696e-06,1.240232e-06,1.241697e-06,1.242330e-06,1.244078e-06,1.245495e-06,1.245881e-06,1.246598e-06,1.247147e-06,1.247404e-06,1.247913e-06,1.247929e-06,1.248190e-06,1.248217e-06,1.248200e-06,1.248092e-06,1.247974e-06,1.247570e-06,1.247526e-06,1.246869e-06,1.246681e-06,1.246015e-06,1.245455e-06,1.244975e-06,1.243917e-06,1.243763e-06,1.242387e-06,1.242093e-06,1.240859e-06,1.240007e-06,1.239188e-06,1.237682e-06,1.237385e-06,1.235457e-06,1.235137e-06,1.233413e-06,1.232393e-06,1.231262e-06,1.229469e-06,1.229011e-06,1.226668e-06,1.226381e-06,1.224240e-06,1.223146e-06,1.221733e-06,1.219779e-06,1.219154e-06,1.216508e-06,1.216294e-06,1.213803e-06,1.212705e-06,1.211042e-06,1.209023e-06,1.208232e-06,1.205377e-06,1.205262e-06,1.202481e-06,1.201430e-06,1.199551e-06,1.197539e-06,1.196588e-06,1.193599e-06,1.189617e-06,1.185602e-06,1.181561e-06,1.177502e-06,1.173431e-06,1.169354e-06,1.165277e-06,1.161205e-06,1.157143e-06,1.153095e-06,1.149065e-06,1.145058e-06,1.141075e-06,1.137121e-06,1.133199e-06,1.129310e-06,1.125458e-06,1.121644e-06,1.117871e-06,1.114139e-06,1.110452e-06,1.106809e-06,1.103213e-06,1.099664e-06
0.000000e+00,7.548874e-12,3.859693e-11,4.346513e-10,2.150952e-09,4.463015e-09,2.142210e-08,2.266301e-08,7.837857e-08,1.058115e-07,2.129523e-07,3.571602e-07,4.905632e-07,9.504056e-07,1.002682e-06,1.871757e-06,2.149990e-06,3.252609e-06,4.316970e-06,5.328958e-06,7.892310e-06,8.303599e-06,1.238380e-05,1.335012e-05,1.776560e-05,2.113667e-05,2.462021e-05,3.161716e-05,3.308392e-05,4.325200e-05,4.504112e-05,5.517600e-05,6.152716e-05,6.886382e-05,8.106276e-05,8.428187e-05,1.013587e-04,1.035148e-04,1.199897e-04,1.286465e-04,1.400423e-04,1.561381e-04,1.613611e-04,1.837741e-04,1.856089e-04,2.070972e-04,2.166387e-04,2.311400e-04,2.487882e-04,2.557098e-04,2.806162e-04,2.816168e-04,3.056741e-04,3.146979e-04,3.307075e-04,3.476314e-04,3.555511e-04,3.800526e-04,4.040740e-04,4.116390e-04,4.274924e-04,4.421134e-04,4.502003e-04,4.712462e-04,4.721060e-04,4.931328e-04,4.988541e-04,5.132190e-04,5.247988e-04,5.323168e-04,5.489838e-04,5.503915e-04,5.674206e-04,5.713504e-04,5.833922e-04,5.918734e-04,5.983046e-04,6.105567e-04,6.121647e-04,6.249870e-04,6.274286e-04,6.367924e-04,6.425379e-04,6.476073e-04,6.559490e-04,6.574628e-04,6.663933e-04,6.677388e-04,6.744363e-04,6.779932e-04,6.816312e-04,6.868039e-04,6.880189e-04,6.936410e-04,6.942662e-04,6.985398e-04,7.004768e-04,7.027570e-04,7.055320e-04,7.063344e-04,7.093125e-04,7.095261e-04,7.117312e-04,7.125508e-04,7.136290e-04,7.146938e-04,7.150431e-04,7.160090e-04,7.160388e-04,7.165609e-04,7.166645e-04,7.167312e-04,7.166448e-04,7.165507e-04,7.160484e-04,7.152520e-04,7.149392e-04,7.141871e-04,7.133759e-04,7.128780e-04,7.114126e-04,7.113474e-04,7.096164e-04,7.090986e-04,7.077049e-04,7.064790e-04,7.056311e-04,7.035946e-04,7.034122e-04,7.010639e-04,7.004827e-04,6.986009e-04,6.971766e-04,6.960368e-04,6.937066e-04,6.933840e-04,6.906541e-04,6.900999e-04,6.878579e-04,6.863808e-04,6.850049e-04,6.825713e-04,6.821044e-04,6.791644e-04,6.786909e-04,6.761927e-04,6.747570e-04,6.731960e-04,6.707850e-04,6.701808e-04,6.671528e-04,6.667889e-04,6.641174e-04,6.627807e-04,6.610793e-04,6.587712e-04,6.580429e-04,6.550122e-04,6.547701e-04,6.519909e-04,6.507857e-04,6.489822e-04,6.468255e-04,6.459891e-04,6.430143e-04,6.428957e-04,6.400602e-04,6.390022e-04,6.371289e-04,6.351498e-04,6.342225e-04,6.313426e-04,6.275845e-04,6.238784e-04,6.202270e-04,6.166326e-04,6.130970e-04,6.096217e-04,6.062079e-04,6.028564e-04,5.995681e-04,5.963434e-04,5.931826e-04,5.900857e-04,5.870529e-04,5.840838e-04,5.811782e-04,5.783358e-04,5.755560e-04,5.728383e-04,5.701820e-04,5.675865e-04,5.650509e-04,5.625746e-04,5.601567e-04,5.577962e-04
0.000000e+00,3.605141e-12,1.805432e-11,1.946219e-10,9.246892e-10,1.875440e-09,8.474217e-09,8.942624e-09,2.904744e-08,3.853133e-08,7.411546e-08,1.196883e-07,1.602833e-07,2.928900e-07,3.074288e-07,5.384473e-07,6.091197e-07,8.783387e-07,1.125912e-06,1.353067e-06,1.902616e-06,1.988074e-06,2.806325e-06,2.993672e-06,3.825937e-06,4.439657e-06,5.057737e-06,6.257915e-06,6.503357e-06,8.154400e-06,8.436552e-06,9.992886e-06,1.093455e-05,1.199280e-05,1.368769e-05,1.412230e-05,1.634613e-05,1.661760e-05,1.862798e-05,1.964117e-05,2.093243e-05,2.267851e-05,2.322650e-05,2.548070e-05,2.565853e-05,2.766970e-05,2.852222e-05,2.977263e-05,3.122403e-05,3.177303e-05,3.365870e-05,3.373161e-05,3.542134e-05,3.602474e-05,3.705611e-05,3.809367e-05,3.856118e-05,3.993719e-05,4.118683e-05,4.156068e-05,4.231438e-05,4.297442e-05,4.332531e-05,4.419194e-05,4.422594e-05,4.502312e-05,4.522876e-05,4.572401e-05,4.610134e-05,4.633585e-05,4.682624e-05,4.686578e-05,4.732079e-05,4.741959e-05,4.770753e-05,4.789666e-05,4.803232e-05,4.827162e-05,4.830110e-05,4.851935e-05,4.855739e-05,4.869214e-05,4.876559e-05,4.882412e-05,4.890656e-05,4.891953e-05,4.898220e-05,4.898943e-05,4.901562e-05,4.902219e-05,4.902290e-05,4.901180e-05,4.900685e-05,4.897001e-05,4.896430e-05,4.891462e-05,4.888491e-05,4.884271e-05,4.877813e-05,4.875609e-05,4.865635e-05,4.864785e-05,4.854495e-05,4.849741e-05,4.842317e-05,4.832971e-05,4.829216e-05,4.815297e-05,4.814724e-05,4.800651e-05,4.795217e-05,4.785362e-05,4.774636e-05,4.769504e-05,4.753145e-05,4.736346e-05,4.730886e-05,4.719161e-05,4.707984e-05,4.701641e-05,4.684548e-05,4.683830e-05,4.665770e-05,4.660674e-05,4.647498e-05,4.636447e-05,4.629048e-05,4.611944e-05,4.610452e-05,4.591737e-05,4.587231e-05,4.572930e-05,4.562367e-05,4.554055e-05,4.537406e-05,4.535134e-05,4.516188e-05,4.512397e-05,4.497234e-05,4.487381e-05,4.478291e-05,4.462398e-05,4.459373e-05,4.440496e-05,4.437481e-05,4.421673e-05,4.412661e-05,4.402916e-05,4.387966e-05,4.384237e-05,4.365645e-05,4.363421e-05,4.347151e-05,4.339047e-05,4.328763e-05,4.314865e-05,4.310490e-05,4.292338e-05,4.290891e-05,4.274315e-05,4.267143e-05,4.256427e-05,4.243635e-05,4.238680e-05,4.221079e-05,4.220378e-05,4.203628e-05,4.197384e-05,4.186332e-05,4.174662e-05,4.169195e-05,4.152220e-05,4.130067e-05,4.108209e-05,4.086650e-05,4.065395e-05,4.044448e-05,4.023812e-05,4.003489e-05,3.983481e-05,3.963789e-05,3.944413e-05,3.925354e-05,3.906611e-05,3.888184e-05,3.870071e-05,3.852272e-05,3.834784e-05,3.817605e-05,3.800734e-05,3.784168e-05,3.767903e-05,3.751938e-05,3.736270e-05,3.720894e-05,3.705809e-05
0.000000e+00,2.784927e-11,1.236944e-10,1.050611e-09,4.067999e-09,7.412264e-09,2.583075e-08,2.698607e-08,6.947020e-08,8.686835e-08,1.451627e-07,2.108725e-07,2.645417e-07,4.219948e-07,4.381170e-07,6.757542e-07,7.432281e-07,9.848694e-07,1.190474e-06,1.368303e-06,1.765503e-06,1.823793e-06,2.345417e-06,2.457019e-06,2.925535e-06,3.247629e-06,3.556065e-06,4.118807e-06,4.229001e-06,4.936494e-06,5.052382e-06,5.670838e-06,6.030639e-06,6.424492e-06,7.036396e-06,7.190147e-06,7.960840e-06,8.053347e-06,8.730077e-06,9.066534e-06,9.491946e-06,1.006278e-05,1.024119e-05,1.097328e-05,1.103099e-05,1.168439e-05,1.196225e-05,1.237142e-05,1.284977e-05,1.303192e-05,1.366404e-05,1.368872e-05,1.426653e-05,1.447600e-05,1.483859e-05,1.521003e-05,1.537988e-05,1.589039e-05,1.637042e-05,1.651767e-05,1.682048e-05,1.709311e-05,1.724129e-05,1.761853e-05,1.763369e-05,1.799864e-05,1.809605e-05,1.833718e-05,1.852808e-05,1.865039e-05,1.891711e-05,1.893936e-05,1.920522e-05,1.926571e-05,1.944907e-05,1.957643e-05,1.967202e-05,1.985179e-05,1.987515e-05,2.005950e-05,2.009420e-05,2.022608e-05,2.030601e-05,2.037588e-05,2.048943e-05,2.050984e-05,2.062886e-05,2.064657e-05,2.073381e-05,2.077943e-05,2.082551e-05,2.088986e-05,2.090474e-05,2.097226e-05,2.097961e-05,2.102878e-05,2.105033e-05,2.107496e-05,2.110355e-05,2.111146e-05,2.113886e-05,2.114068e-05,2.115776e-05,2.116306e-05,2.116869e-05,2.117191e-05,2.117216e-05,2.116867e-05,2.116839e-05,2.115866e-05,2.115355e-05,2.114258e-05,2.112838e-05,2.112083e-05,2.109380e-05,2.106186e-05,2.105066e-05,2.102535e-05,2.099973e-05,2.098459e-05,2.094175e-05,2.093989e-05,2.089154e-05,2.087738e-05,2.083981e-05,2.080726e-05,2.078496e-05,2.073195e-05,2.072723e-05,2.066685e-05,2.065199e-05,2.060403e-05,2.056787e-05,2.053898e-05,2.048004e-05,2.047188e-05,2.040292e-05,2.038892e-05,2.033226e-05,2.029490e-05,2.026007e-05,2.019834e-05,2.018648e-05,2.011165e-05,2.009957e-05,2.003570e-05,1.999889e-05,1.995876e-05,1.989657e-05,1.988095e-05,1.980237e-05,1.979289e-05,1.972312e-05,1.968807e-05,1.964331e-05,1.958234e-05,1.956303e-05,1.948236e-05,1.947589e-05,1.940137e-05,1.936891e-05,1.932016e-05,1.926158e-05,1.923878e-05,1.915730e-05,1.915404e-05,1.907578e-05,1.904643e-05,1.899428e-05,1.893890e-05,1.891286e-05,1.883156e-05,1.872452e-05,1.861788e-05,1.851173e-05,1.840615e-05,1.830122e-05,1.819701e-05,1.809357e-05,1.799097e-05,1.788925e-05,1.778847e-05,1.768865e-05,1.758984e-05,1.749206e-05,1.739535e-05,1.729973e-05,1.720522e-05,1.711184e-05,1.701960e-05,1.692852e-05,1.683860e-05,1.674986e-05,1.666230e-05,1.657593e-05,1.649074e-05
0.000000e+00,7.628992e-12,1.752961e-11,6.072815e-11,1.394702e-10,2.048865e-10,4.766531e-10,4.916187e-10,9.860114e-10,1.172578e-09,1.771351e-09,2.421433e-09,2.940842e-09,4.414816e-09,4.561465e-09,6.626990e-09,7.181505e-09,9.064870e-09,1.056019e-08,1.178951e-08,1.437015e-08,1.473321e-08,1.784722e-08,1.848708e-08,2.109469e-08,2.282583e-08,2.444512e-08,2.731912e-08,2.787136e-08,3.134837e-08,3.190782e-08,3.485283e-08,3.653834e-08,3.836327e-08,4.116274e-08,4.186018e-08,4.532621e-08,4.573932e-08,4.874626e-08,5.023311e-08,5.210742e-08,5.461582e-08,5.539892e-08,5.861201e-08,5.886544e-08,6.173969e-08,6.296561e-08,6.477662e-08,6.690475e-08,6.771884e-08,7.056358e-08,7.067532e-08,7.330912e-08,7.427303e-08,7.595457e-08,7.769619e-08,7.849976e-08,8.094510e-08,8.329147e-08,8.402161e-08,8.554015e-08,8.692873e-08,8.769268e-08,8.967033e-08,8.975087e-08,9.171672e-08,9.225089e-08,9.359234e-08,9.467533e-08,9.537997e-08,9.694885e-08,9.708191e-08,9.870051e-08,9.907684e-08,1.002382e-07,1.010648e-07,1.016972e-07,1.029182e-07,1.030802e-07,1.043894e-07,1.046426e-07,1.056272e-07,1.062434e-07,1.067959e-07,1.077260e-07,1.078979e-07,1.089355e-07,1.090957e-07,1.099109e-07,1.103576e-07,1.108262e-07,1.115167e-07,1.116836e-07,1.124853e-07,1.125778e-07,1.132332e-07,1.135458e-07,1.139294e-07,1.144251e-07,1.145758e-07,1.151744e-07,1.152202e-07,1.157269e-07,1.159354e-07,1.162351e-07,1.165746e-07,1.167009e-07,1.171258e-07,1.171420e-07,1.175115e-07,1.176411e-07,1.178597e-07,1.180758e-07,1.181719e-07,1.184495e-07,1.186940e-07,1.187655e-07,1.189069e-07,1.190271e-07,1.190894e-07,1.192373e-07,1.192429e-07,1.193686e-07,1.193990e-07,1.194678e-07,1.195151e-07,1.195417e-07,1.195882e-07,1.195913e-07,1.196179e-07,1.196210e-07,1.196225e-07,1.196158e-07,1.196060e-07,1.195750e-07,1.195696e-07,1.195141e-07,1.195007e-07,1.194404e-07,1.193953e-07,1.193495e-07,1.192605e-07,1.192423e-07,1.191194e-07,1.190984e-07,1.189819e-07,1.189108e-07,1.188303e-07,1.186994e-07,1.186654e-07,1.184880e-07,1.184659e-07,1.182987e-07,1.182118e-07,1.180982e-07,1.179387e-07,1.178871e-07,1.176660e-07,1.176479e-07,1.174355e-07,1.173408e-07,1.171961e-07,1.170186e-07,1.169485e-07,1.166930e-07,1.166827e-07,1.164303e-07,1.163340e-07,1.161608e-07,1.159738e-07,1.158848e-07,1.156030e-07,1.152226e-07,1.148335e-07,1.144366e-07,1.140327e-07,1.136226e-07,1.132071e-07,1.127867e-07,1.123623e-07,1.119343e-07,1.115033e-07,1.110700e-07,1.106348e-07,1.101982e-07,1.097607e-07,1.093226e-07,1.088844e-07,1.084465e-07,1.080092e-07,1.075728e-07,1.071376e-07,1.067039e-07,1.062721e-07,1.058422e-07,1.054147e-07
0.000000e+00,1.014961e-10,2.730554e-10,1.112015e-09,2.730434e-09,4.092899e-09,9.695929e-09,9.999429e-09,1.969116e-08,2.319082e-08,3.394477e-08,4.498123e-08,5.346078e-08,7.659848e-08,7.885995e-08,1.106640e-07,1.192961e-07,1.492537e-07,1.739028e-07,1.947998e-07,2.405409e-07,2.471733e-07,3.058771e-07,3.183080e-07,3.700641e-07,4.052565e-07,4.386619e-07,4.988636e-07,5.105391e-07,5.846294e-07,5.966241e-07,6.599842e-07,6.963572e-07,7.357796e-07,7.962537e-07,8.113074e-07,8.859624e-07,8.948371e-07,9.592325e-07,9.909196e-07,1.030690e-06,1.083569e-06,1.099987e-06,1.166845e-06,1.172082e-06,1.231053e-06,1.255958e-06,1.292456e-06,1.334871e-06,1.350953e-06,1.406484e-06,1.408644e-06,1.459030e-06,1.477217e-06,1.508600e-06,1.540627e-06,1.555233e-06,1.598983e-06,1.639926e-06,1.652449e-06,1.678148e-06,1.701224e-06,1.713741e-06,1.745533e-06,1.746809e-06,1.777455e-06,1.785617e-06,1.805787e-06,1.821721e-06,1.831913e-06,1.854092e-06,1.855939e-06,1.877972e-06,1.882974e-06,1.898113e-06,1.908605e-06,1.916465e-06,1.931210e-06,1.933123e-06,1.948182e-06,1.951010e-06,1.961731e-06,1.968209e-06,1.973857e-06,1.983003e-06,1.984642e-06,1.994165e-06,1.995577e-06,2.002502e-06,2.006103e-06,2.009723e-06,2.014742e-06,2.015896e-06,2.021085e-06,2.021645e-06,2.025353e-06,2.026954e-06,2.028756e-06,2.030798e-06,2.031350e-06,2.033186e-06,2.033302e-06,2.034313e-06,2.034577e-06,2.034779e-06,2.034729e-06,2.034626e-06,2.033896e-06,2.033855e-06,2.032628e-06,2.032047e-06,2.030860e-06,2.029389e-06,2.028625e-06,2.025957e-06,2.022888e-06,2.021825e-06,2.019445e-06,2.017059e-06,2.015657e-06,2.011720e-06,2.011550e-06,2.007148e-06,2.005866e-06,2.002475e-06,1.999549e-06,1.997551e-06,1.992818e-06,1.992398e-06,1.987035e-06,1.985718e-06,1.981479e-06,1.978291e-06,1.975749e-06,1.970574e-06,1.969859e-06,1.963826e-06,1.962603e-06,1.957662e-06,1.954411e-06,1.951383e-06,1.946027e-06,1.944999e-06,1.938524e-06,1.937480e-06,1.931967e-06,1.928794e-06,1.925340e-06,1.919994e-06,1.918652e-06,1.911912e-06,1.911100e-06,1.905129e-06,1.902132e-06,1.898310e-06,1.893110e-06,1.891465e-06,1.884598e-06,1.884048e-06,1.877718e-06,1.874963e-06,1.870830e-06,1.865869e-06,1.863940e-06,1.857053e-06,1.856778e-06,1.850175e-06,1.847702e-06,1.843310e-06,1.838651e-06,1.836462e-06,1.829636e-06,1.820665e-06,1.811746e-06,1.802887e-06,1.794093e-06,1.785372e-06,1.776728e-06,1.768166e-06,1.759690e-06,1.751305e-06,1.743013e-06,1.734817e-06,1.726721e-06,1.718726e-06,1.710834e-06,1.703047e-06,1.695367e-06,1.687793e-06,1.680328e-06,1.672972e-06,1.665726e-06,1.658589e-06,1.651562e-06,1.644645e-06,1.637838e-06
0.000000e+00,1.279451e-10,3.083253e-10,1.118015e-09,2.607689e-09,3.842056e-09,8.900160e-09,9.175332e-09,1.809691e-08,2.139208e-08,3.177831e-08,4.283379e-08,5.157490e-08,7.626871e-08,7.873053e-08,1.137073e-07,1.232048e-07,1.557647e-07,1.818738e-07,2.034533e-07,2.489422e-07,2.553527e-07,3.103485e-07,3.216411e-07,3.675926e-07,3.980174e-07,4.264031e-07,4.765829e-07,4.861926e-07,5.464304e-07,5.560769e-07,6.066277e-07,6.353745e-07,6.663351e-07,7.134734e-07,7.251458e-07,7.826976e-07,7.895039e-07,8.386774e-07,8.627409e-07,8.928220e-07,9.326114e-07,9.449180e-07,9.947995e-07,9.986905e-07,1.042345e-06,1.060690e-06,1.087475e-06,1.118444e-06,1.130141e-06,1.170325e-06,1.171881e-06,1.208040e-06,1.221019e-06,1.243320e-06,1.265944e-06,1.276215e-06,1.306790e-06,1.335121e-06,1.343727e-06,1.361291e-06,1.376946e-06,1.385387e-06,1.406653e-06,1.407501e-06,1.427726e-06,1.433064e-06,1.446156e-06,1.456392e-06,1.462885e-06,1.476850e-06,1.478002e-06,1.491598e-06,1.494645e-06,1.503760e-06,1.509976e-06,1.514571e-06,1.523032e-06,1.524113e-06,1.532462e-06,1.533996e-06,1.539693e-06,1.543035e-06,1.545877e-06,1.550311e-06,1.551080e-06,1.555368e-06,1.555973e-06,1.558799e-06,1.560160e-06,1.561433e-06,1.563003e-06,1.563324e-06,1.564522e-06,1.564622e-06,1.565078e-06,1.565130e-06,1.565036e-06,1.564631e-06,1.564440e-06,1.563330e-06,1.563220e-06,1.561746e-06,1.560988e-06,1.559723e-06,1.558014e-06,1.557296e-06,1.554496e-06,1.554377e-06,1.551353e-06,1.550144e-06,1.547897e-06,1.545380e-06,1.544153e-06,1.540146e-06,1.535899e-06,1.534493e-06,1.531435e-06,1.528474e-06,1.526775e-06,1.522133e-06,1.521936e-06,1.516938e-06,1.515513e-06,1.511798e-06,1.508651e-06,1.506530e-06,1.501584e-06,1.501150e-06,1.495671e-06,1.494343e-06,1.490107e-06,1.486959e-06,1.484470e-06,1.479457e-06,1.478770e-06,1.473019e-06,1.471863e-06,1.467225e-06,1.464199e-06,1.461398e-06,1.456484e-06,1.455547e-06,1.449679e-06,1.448739e-06,1.443802e-06,1.440979e-06,1.437921e-06,1.433220e-06,1.432045e-06,1.426178e-06,1.425475e-06,1.420326e-06,1.417757e-06,1.414494e-06,1.410077e-06,1.408686e-06,1.402906e-06,1.402445e-06,1.397159e-06,1.394871e-06,1.391449e-06,1.387361e-06,1.385777e-06,1.380148e-06,1.379924e-06,1.374564e-06,1.372565e-06,1.369028e-06,1.365291e-06,1.363541e-06,1.358106e-06,1.351015e-06,1.344021e-06,1.337128e-06,1.330338e-06,1.323653e-06,1.317076e-06,1.310608e-06,1.304250e-06,1.298003e-06,1.291868e-06,1.285845e-06,1.279935e-06,1.274136e-06,1.268449e-06,1.262874e-06,1.257410e-06,1.252055e-06,1.246810e-06,1.241674e-06,1.236644e-06,1.231721e-06,1.226903e-06,1.222188e-06,1.217576e-06
0.000000e+00,1.741813e-10,4.631086e-10,1.869449e-09,4.591314e-09,6.896281e-09,1.649833e-08,1.702374e-08,3.406018e-08,4.032728e-08,5.992865e-08,8.051646e-08,9.659610e-08,1.412010e-07,1.455930e-07,2.073987e-07,2.241052e-07,2.816494e-07,3.284539e-07,3.677804e-07,4.529788e-07,4.652576e-07,5.735330e-07,5.964303e-07,6.919754e-07,7.573399e-07,8.198369e-07,9.338907e-07,9.562537e-07,1.100264e-06,1.123943e-06,1.250838e-06,1.325132e-06,1.406907e-06,1.534998e-06,1.567399e-06,1.731265e-06,1.751108e-06,1.897502e-06,1.971153e-06,2.065172e-06,2.193025e-06,2.233412e-06,2.401446e-06,2.414858e-06,2.568581e-06,2.635045e-06,2.734212e-06,2.852239e-06,2.897817e-06,3.058951e-06,3.065339e-06,3.217241e-06,3.273468e-06,3.372379e-06,3.475942e-06,3.524114e-06,3.672249e-06,3.816629e-06,3.862018e-06,3.957138e-06,4.044994e-06,4.093695e-06,4.221022e-06,4.226246e-06,4.354763e-06,4.390022e-06,4.479235e-06,4.551980e-06,4.599672e-06,4.706929e-06,4.716096e-06,4.828543e-06,4.854943e-06,4.937056e-06,4.996124e-06,5.041689e-06,5.130603e-06,5.142500e-06,5.239556e-06,5.258523e-06,5.332926e-06,5.380045e-06,5.422681e-06,5.495338e-06,5.508898e-06,5.591653e-06,5.604578e-06,5.671027e-06,5.707948e-06,5.747098e-06,5.805632e-06,5.819948e-06,5.889657e-06,5.897815e-06,5.956306e-06,5.984684e-06,6.019977e-06,6.066424e-06,6.080749e-06,6.138702e-06,6.143219e-06,6.193915e-06,6.215250e-06,6.246466e-06,6.282698e-06,6.296432e-06,6.343889e-06,6.345736e-06,6.388912e-06,6.404538e-06,6.431574e-06,6.459272e-06,6.471947e-06,6.510103e-06,6.546111e-06,6.557191e-06,6.580039e-06,6.600692e-06,6.611954e-06,6.640759e-06,6.641921e-06,6.670005e-06,6.677539e-06,6.696267e-06,6.711175e-06,6.720768e-06,6.741806e-06,6.743569e-06,6.764727e-06,6.769567e-06,6.784299e-06,6.794587e-06,6.802340e-06,6.816993e-06,6.818905e-06,6.834045e-06,6.836906e-06,6.847812e-06,6.854444e-06,6.860255e-06,6.869720e-06,6.871423e-06,6.881363e-06,6.882842e-06,6.890120e-06,6.893917e-06,6.897740e-06,6.903045e-06,6.904265e-06,6.909737e-06,6.910325e-06,6.914198e-06,6.915851e-06,6.917687e-06,6.919712e-06,6.920242e-06,6.921901e-06,6.921996e-06,6.922700e-06,6.922787e-06,6.922675e-06,6.922165e-06,6.921858e-06,6.920284e-06,6.920206e-06,6.917984e-06,6.916985e-06,6.914990e-06,6.912572e-06,6.911331e-06,6.907036e-06,6.900442e-06,6.892853e-06,6.884327e-06,6.874923e-06,6.864696e-06,6.853697e-06,6.841977e-06,6.829585e-06,6.816565e-06,6.802962e-06,6.788818e-06,6.774172e-06,6.759063e-06,6.743527e-06,6.727598e-06,6.711311e-06,6.694696e-06,6.677783e-06,6.660601e-06,6.643177e-06,6.625536e-06,6.607705e-06,6.589704e-06,6.571558e-06
0.000000e+00,1.063094e-10,4.310632e-10,3.087084e-09,1.044231e-08,1.780167e-08,5.343316e-08,5.552073e-08,1.269591e-07,1.543955e-07,2.423574e-07,3.370849e-07,4.123268e-07,6.262505e-07,6.477185e-07,9.565917e-07,1.041806e-06,1.337743e-06,1.577841e-06,1.776801e-06,2.193426e-06,2.251534e-06,2.740909e-06,2.839087e-06,3.229620e-06,3.480050e-06,3.707807e-06,4.096685e-06,4.169184e-06,4.609503e-06,4.677781e-06,5.025681e-06,5.216170e-06,5.415415e-06,5.707028e-06,5.777047e-06,6.109535e-06,6.147447e-06,6.412419e-06,6.536317e-06,6.685798e-06,6.874181e-06,6.930264e-06,7.146831e-06,7.162989e-06,7.336844e-06,7.405765e-06,7.501896e-06,7.606257e-06,7.643739e-06,7.764211e-06,7.768611e-06,7.865171e-06,7.897095e-06,7.948451e-06,7.995887e-06,8.015816e-06,8.068936e-06,8.109369e-06,8.119865e-06,8.138549e-06,8.151929e-06,8.157787e-06,8.168002e-06,8.168267e-06,8.171049e-06,8.170581e-06,8.167082e-06,8.161817e-06,8.157210e-06,8.143558e-06,8.142182e-06,8.122658e-06,8.117369e-06,8.099219e-06,8.084578e-06,8.072380e-06,8.046312e-06,8.042596e-06,8.010265e-06,8.003525e-06,7.975739e-06,7.957021e-06,7.939323e-06,7.907473e-06,7.901288e-06,7.861871e-06,7.855450e-06,7.821283e-06,7.801440e-06,7.779711e-06,7.745859e-06,7.737324e-06,7.694267e-06,7.689062e-06,7.650672e-06,7.631349e-06,7.606653e-06,7.572980e-06,7.562316e-06,7.517753e-06,7.514181e-06,7.473049e-06,7.455145e-06,7.428278e-06,7.396040e-06,7.383508e-06,7.338797e-06,7.337010e-06,7.294199e-06,7.278182e-06,7.249764e-06,7.219664e-06,7.205535e-06,7.161552e-06,7.117848e-06,7.103928e-06,7.074457e-06,7.046863e-06,7.031405e-06,6.990418e-06,6.988718e-06,6.946419e-06,6.934647e-06,6.904527e-06,6.879594e-06,6.863060e-06,6.825299e-06,6.822033e-06,6.781461e-06,6.771792e-06,6.741355e-06,6.719103e-06,6.701725e-06,6.667252e-06,6.662581e-06,6.623930e-06,6.616259e-06,6.585778e-06,6.566138e-06,6.548130e-06,6.516900e-06,6.510992e-06,6.474365e-06,6.468552e-06,6.438252e-06,6.421101e-06,6.402655e-06,6.374548e-06,6.367574e-06,6.333009e-06,6.328896e-06,6.298961e-06,6.284142e-06,6.265427e-06,6.240284e-06,6.232406e-06,6.199897e-06,6.197318e-06,6.167896e-06,6.155237e-06,6.136400e-06,6.114035e-06,6.105407e-06,6.074912e-06,6.073703e-06,6.044912e-06,6.034232e-06,6.015403e-06,5.995614e-06,5.986379e-06,5.957837e-06,5.920890e-06,5.884761e-06,5.849439e-06,5.814911e-06,5.781164e-06,5.748186e-06,5.715961e-06,5.684479e-06,5.653723e-06,5.623682e-06,5.594342e-06,5.565688e-06,5.537707e-06,5.510385e-06,5.483709e-06,5.457665e-06,5.432240e-06,5.407421e-06,5.383194e-06,5.359546e-06,5.336465e-06,5.313937e-06,5.291951e-06,5.270495e-06
0.000000e+00,7.926889e-11,2.113382e-10,8.512218e-10,2.077629e-09,3.107057e-09,7.332804e-09,7.561656e-09,1.488035e-08,1.753052e-08,2.570502e-08,3.414613e-08,4.066785e-08,5.861712e-08,6.038287e-08,8.540233e-08,9.224544e-08,1.161221e-07,1.358665e-07,1.526338e-07,1.892816e-07,1.945780e-07,2.411242e-07,2.508887e-07,2.911458e-07,3.181398e-07,3.434791e-07,3.884698e-07,3.970987e-07,4.511680e-07,4.598142e-07,5.050200e-07,5.306311e-07,5.581222e-07,5.997735e-07,6.100465e-07,6.604483e-07,6.663805e-07,7.090534e-07,7.298137e-07,7.556493e-07,7.896193e-07,8.000780e-07,8.422303e-07,8.455019e-07,8.820390e-07,8.972985e-07,9.194742e-07,9.449575e-07,9.545372e-07,9.872554e-07,9.885160e-07,1.017677e-06,1.028079e-06,1.045867e-06,1.063801e-06,1.071903e-06,1.095872e-06,1.117865e-06,1.124501e-06,1.137979e-06,1.149911e-06,1.156312e-06,1.172327e-06,1.172962e-06,1.188026e-06,1.191973e-06,1.201598e-06,1.209064e-06,1.213771e-06,1.223808e-06,1.224631e-06,1.234264e-06,1.236403e-06,1.242751e-06,1.247032e-06,1.250168e-06,1.255867e-06,1.256587e-06,1.262077e-06,1.263069e-06,1.266702e-06,1.268786e-06,1.270524e-06,1.273154e-06,1.273598e-06,1.275978e-06,1.276298e-06,1.277714e-06,1.278333e-06,1.278854e-06,1.279365e-06,1.279440e-06,1.279514e-06,1.279490e-06,1.279114e-06,1.278797e-06,1.278276e-06,1.277366e-06,1.277032e-06,1.275415e-06,1.275271e-06,1.273453e-06,1.272578e-06,1.271174e-06,1.269350e-06,1.268602e-06,1.265762e-06,1.265643e-06,1.262675e-06,1.261507e-06,1.259362e-06,1.256990e-06,1.255842e-06,1.252133e-06,1.248252e-06,1.246976e-06,1.244214e-06,1.241554e-06,1.240033e-06,1.235899e-06,1.235724e-06,1.231299e-06,1.230041e-06,1.226769e-06,1.224006e-06,1.222146e-06,1.217819e-06,1.217439e-06,1.212659e-06,1.211502e-06,1.207814e-06,1.205076e-06,1.202913e-06,1.198559e-06,1.197963e-06,1.192971e-06,1.191968e-06,1.187944e-06,1.185319e-06,1.182889e-06,1.178625e-06,1.177811e-06,1.172716e-06,1.171899e-06,1.167608e-06,1.165153e-06,1.162492e-06,1.158397e-06,1.157373e-06,1.152255e-06,1.151641e-06,1.147142e-06,1.144894e-06,1.142036e-06,1.138163e-06,1.136942e-06,1.131862e-06,1.131456e-06,1.126799e-06,1.124779e-06,1.121755e-06,1.118138e-06,1.116734e-06,1.111737e-06,1.111538e-06,1.106766e-06,1.104984e-06,1.101824e-06,1.098480e-06,1.096911e-06,1.092030e-06,1.085638e-06,1.079306e-06,1.073038e-06,1.066835e-06,1.060700e-06,1.054635e-06,1.048640e-06,1.042718e-06,1.036870e-06,1.031097e-06,1.025399e-06,1.019777e-06,1.014232e-06,1.008763e-06,1.003372e-06,9.980586e-07,9.928221e-07,9.876629e-07,9.825808e-07,9.775756e-07,9.726468e-07,9.677943e-07,9.630174e-07,9.583158e-07
0.000000e+00,1.216475e-10,5.105899e-10,3.899419e-09,1.387545e-08,2.425089e-08,7.698072e-08,8.015186e-08,1.916939e-07,2.356204e-07,3.789513e-07,5.362689e-07,6.627922e-07,1.028310e-06,1.065419e-06,1.608055e-06,1.760856e-06,2.303449e-06,2.758782e-06,3.147363e-06,3.996670e-06,4.119129e-06,5.191249e-06,5.415377e-06,6.338124e-06,6.957013e-06,7.539159e-06,8.577916e-06,8.778121e-06,1.004158e-05,1.024519e-05,1.131761e-05,1.193130e-05,1.259515e-05,1.361119e-05,1.386369e-05,1.511334e-05,1.526158e-05,1.633488e-05,1.686126e-05,1.751996e-05,1.839170e-05,1.866127e-05,1.975258e-05,1.983757e-05,2.078884e-05,2.118703e-05,2.176619e-05,2.243184e-05,2.268191e-05,2.353436e-05,2.356713e-05,2.432288e-05,2.459111e-05,2.504767e-05,2.550458e-05,2.570967e-05,2.631043e-05,2.685200e-05,2.701319e-05,2.733682e-05,2.761857e-05,2.776761e-05,2.813305e-05,2.814729e-05,2.847889e-05,2.856354e-05,2.876549e-05,2.891714e-05,2.901018e-05,2.920087e-05,2.921597e-05,2.938581e-05,2.942155e-05,2.952256e-05,2.958569e-05,2.962890e-05,2.969939e-05,2.970742e-05,2.976054e-05,2.976831e-05,2.979052e-05,2.979768e-05,2.979950e-05,2.979226e-05,2.978945e-05,2.976219e-05,2.975634e-05,2.971940e-05,2.969380e-05,2.966263e-05,2.960811e-05,2.959331e-05,2.951274e-05,2.950237e-05,2.942213e-05,2.937936e-05,2.932256e-05,2.924153e-05,2.921505e-05,2.910050e-05,2.909105e-05,2.897973e-05,2.892986e-05,2.885353e-05,2.875967e-05,2.872256e-05,2.858747e-05,2.858199e-05,2.844882e-05,2.839814e-05,2.830713e-05,2.820929e-05,2.816288e-05,2.801649e-05,2.786836e-05,2.782065e-05,2.771884e-05,2.762256e-05,2.756824e-05,2.742293e-05,2.741686e-05,2.726497e-05,2.722239e-05,2.711281e-05,2.702147e-05,2.696058e-05,2.682066e-05,2.680850e-05,2.665673e-05,2.662037e-05,2.650544e-05,2.642098e-05,2.635477e-05,2.622281e-05,2.620486e-05,2.605582e-05,2.602612e-05,2.590775e-05,2.583118e-05,2.576076e-05,2.563818e-05,2.561492e-05,2.547033e-05,2.544731e-05,2.532703e-05,2.525873e-05,2.518510e-05,2.507257e-05,2.504458e-05,2.490553e-05,2.488894e-05,2.476798e-05,2.470794e-05,2.463197e-05,2.452966e-05,2.449754e-05,2.436470e-05,2.435414e-05,2.423348e-05,2.418146e-05,2.410391e-05,2.401163e-05,2.397598e-05,2.384973e-05,2.384471e-05,2.372514e-05,2.368071e-05,2.360224e-05,2.351963e-05,2.348103e-05,2.336150e-05,2.320631e-05,2.305404e-05,2.290470e-05,2.275826e-05,2.261471e-05,2.247402e-05,2.233617e-05,2.220113e-05,2.206885e-05,2.193932e-05,2.181250e-05,2.168835e-05,2.156682e-05,2.144789e-05,2.133151e-05,2.121764e-05,2.110624e-05,2.099726e-05,2.089067e-05,2.078642e-05,2.068446e-05,2.058477e-05,2.048728e-05,2.039196e-05
0.000000e+00,1.216181e-10,4.595910e-10,2.938874e-09,9.262622e-09,1.535563e-08,4.412265e-08,4.579933e-08,1.036420e-07,1.262157e-07,2.000370e-07,2.816189e-07,3.474623e-07,5.362574e-07,5.551581e-07,8.231959e-07,8.957188e-07,1.143846e-06,1.342852e-06,1.507764e-06,1.857582e-06,1.907168e-06,2.335841e-06,2.424605e-06,2.788386e-06,3.031452e-06,3.259726e-06,3.666563e-06,3.744927e-06,4.239197e-06,4.318813e-06,4.737970e-06,4.977721e-06,5.237008e-06,5.633847e-06,5.732491e-06,6.221073e-06,6.279099e-06,6.699906e-06,6.906878e-06,7.166632e-06,7.512084e-06,7.619389e-06,8.056763e-06,8.091055e-06,8.477721e-06,8.641343e-06,8.881575e-06,9.161529e-06,9.267931e-06,9.636623e-06,9.651004e-06,9.987690e-06,1.010979e-05,1.032133e-05,1.053841e-05,1.063786e-05,1.093769e-05,1.122126e-05,1.130866e-05,1.148912e-05,1.165254e-05,1.174179e-05,1.197062e-05,1.197987e-05,1.220396e-05,1.226427e-05,1.241461e-05,1.253481e-05,1.261243e-05,1.278358e-05,1.279799e-05,1.297184e-05,1.301188e-05,1.313454e-05,1.322097e-05,1.328661e-05,1.341206e-05,1.342858e-05,1.356093e-05,1.358628e-05,1.368414e-05,1.374475e-05,1.379866e-05,1.388848e-05,1.390494e-05,1.400340e-05,1.401845e-05,1.409443e-05,1.413560e-05,1.417841e-05,1.424077e-05,1.425572e-05,1.432669e-05,1.433480e-05,1.439166e-05,1.441843e-05,1.445095e-05,1.449239e-05,1.450486e-05,1.455366e-05,1.455736e-05,1.459765e-05,1.461395e-05,1.463706e-05,1.466275e-05,1.467216e-05,1.470317e-05,1.470432e-05,1.473031e-05,1.473918e-05,1.475380e-05,1.476780e-05,1.477385e-05,1.479062e-05,1.480433e-05,1.480809e-05,1.481512e-05,1.482057e-05,1.482317e-05,1.482845e-05,1.482862e-05,1.483164e-05,1.483207e-05,1.483236e-05,1.483174e-05,1.483091e-05,1.482776e-05,1.482741e-05,1.482200e-05,1.482042e-05,1.481477e-05,1.480997e-05,1.480584e-05,1.479666e-05,1.479532e-05,1.478330e-05,1.478072e-05,1.476986e-05,1.476235e-05,1.475511e-05,1.474176e-05,1.473912e-05,1.472197e-05,1.471913e-05,1.470374e-05,1.469463e-05,1.468450e-05,1.466842e-05,1.466431e-05,1.464325e-05,1.464067e-05,1.462137e-05,1.461149e-05,1.459872e-05,1.458104e-05,1.457537e-05,1.455137e-05,1.454942e-05,1.452676e-05,1.451676e-05,1.450160e-05,1.448317e-05,1.447593e-05,1.444978e-05,1.444873e-05,1.442321e-05,1.441354e-05,1.439624e-05,1.437770e-05,1.436892e-05,1.434128e-05,1.430436e-05,1.426701e-05,1.422929e-05,1.419127e-05,1.415300e-05,1.411453e-05,1.407592e-05,1.403721e-05,1.399845e-05,1.395967e-05,1.392091e-05,1.388221e-05,1.384359e-05,1.380510e-05,1.376675e-05,1.372856e-05,1.369057e-05,1.365280e-05,1.361526e-05,1.357798e-05,1.354097e-05,1.350424e-05,1.346781e-05,1.343170e-05
0.000000e+00,9.598696e-11,4.343979e-10,3.825950e-09,1.526849e-08,2.825552e-08,1.021818e-07,1.069043e-07,2.845031e-07,3.588350e-07,6.124791e-07,9.048546e-07,1.147657e-06,1.876283e-06,1.952060e-06,3.089020e-06,3.417692e-06,4.611406e-06,5.643901e-06,6.546890e-06,8.590194e-06,8.892634e-06,1.162264e-05,1.221155e-05,1.469958e-05,1.642338e-05,1.808342e-05,2.113457e-05,2.173535e-05,2.561846e-05,2.625882e-05,2.969716e-05,3.171415e-05,3.393658e-05,3.742067e-05,3.830226e-05,4.276023e-05,4.329980e-05,4.727732e-05,4.927530e-05,5.182166e-05,5.527500e-05,5.636318e-05,6.087404e-05,6.123281e-05,6.532898e-05,6.709017e-05,6.970554e-05,7.279705e-05,7.398419e-05,7.814837e-05,7.831235e-05,8.218432e-05,8.360367e-05,8.608101e-05,8.864678e-05,8.982994e-05,9.342481e-05,9.686128e-05,9.792703e-05,1.001368e-04,1.021482e-04,1.032504e-04,1.060873e-04,1.062023e-04,1.089939e-04,1.097471e-04,1.116276e-04,1.131332e-04,1.141063e-04,1.162531e-04,1.164338e-04,1.186140e-04,1.191159e-04,1.206515e-04,1.217318e-04,1.225508e-04,1.241118e-04,1.243169e-04,1.259547e-04,1.262673e-04,1.274692e-04,1.282096e-04,1.288654e-04,1.299505e-04,1.301483e-04,1.313229e-04,1.315011e-04,1.323939e-04,1.328727e-04,1.333662e-04,1.340760e-04,1.342443e-04,1.350328e-04,1.351216e-04,1.357360e-04,1.360195e-04,1.363581e-04,1.367793e-04,1.369033e-04,1.373754e-04,1.374101e-04,1.377783e-04,1.379209e-04,1.381156e-04,1.383198e-04,1.383908e-04,1.386072e-04,1.386147e-04,1.387683e-04,1.388132e-04,1.388769e-04,1.389223e-04,1.389361e-04,1.389487e-04,1.389174e-04,1.388986e-04,1.388449e-04,1.387780e-04,1.387336e-04,1.385924e-04,1.385858e-04,1.384038e-04,1.383471e-04,1.381899e-04,1.380470e-04,1.379459e-04,1.376967e-04,1.376740e-04,1.373758e-04,1.373006e-04,1.370533e-04,1.368627e-04,1.367082e-04,1.363869e-04,1.363419e-04,1.359560e-04,1.358766e-04,1.355521e-04,1.353353e-04,1.351314e-04,1.347660e-04,1.346952e-04,1.342449e-04,1.341716e-04,1.337816e-04,1.335549e-04,1.333064e-04,1.329184e-04,1.328204e-04,1.323245e-04,1.322644e-04,1.318198e-04,1.315952e-04,1.313071e-04,1.309127e-04,1.307873e-04,1.302612e-04,1.302189e-04,1.297296e-04,1.295155e-04,1.291931e-04,1.288043e-04,1.286525e-04,1.281084e-04,1.280866e-04,1.275614e-04,1.273639e-04,1.270121e-04,1.266375e-04,1.264610e-04,1.259086e-04,1.251783e-04,1.244477e-04,1.237176e-04,1.229890e-04,1.222626e-04,1.215392e-04,1.208194e-04,1.201039e-04,1.193931e-04,1.186877e-04,1.179880e-04,1.172945e-04,1.166075e-04,1.159275e-04,1.152546e-04,1.145891e-04,1.139313e-04,1.132814e-04,1.126395e-04,1.120059e-04,1.113806e-04,1.107637e-04,1.101554e-04,1.095557e-04
0.000000e+00,9.899625e-12,2.290549e-11,7.945353e-11,1.813547e-10,2.650041e-10,6.049157e-10,6.233335e-10,1.218488e-09,1.437679e-09,2.127483e-09,2.861399e-09,3.442778e-09,5.100796e-09,5.268028e-09,7.700744e-09,8.382658e-09,1.079623e-08,1.281258e-08,1.452583e-08,1.823920e-08,1.877040e-08,2.336641e-08,2.431377e-08,2.816135e-08,3.069326e-08,3.303910e-08,3.714071e-08,3.791918e-08,4.274692e-08,4.351179e-08,4.748428e-08,4.971765e-08,5.210341e-08,5.569903e-08,5.658287e-08,6.090540e-08,6.141287e-08,6.505700e-08,6.682654e-08,6.902632e-08,7.191553e-08,7.280447e-08,7.638490e-08,7.666265e-08,7.976334e-08,8.105761e-08,8.293765e-08,8.509661e-08,8.590769e-08,8.867514e-08,8.878167e-08,9.124328e-08,9.211987e-08,9.361676e-08,9.512248e-08,9.580143e-08,9.780405e-08,9.963201e-08,1.001814e-07,1.012932e-07,1.022727e-07,1.027959e-07,1.040974e-07,1.041487e-07,1.053600e-07,1.056749e-07,1.064382e-07,1.070248e-07,1.073918e-07,1.081660e-07,1.082289e-07,1.089573e-07,1.091167e-07,1.095845e-07,1.098943e-07,1.101178e-07,1.105149e-07,1.105641e-07,1.109298e-07,1.109938e-07,1.112211e-07,1.113452e-07,1.114439e-07,1.115820e-07,1.116035e-07,1.117049e-07,1.117160e-07,1.117529e-07,1.117582e-07,1.117518e-07,1.117183e-07,1.117057e-07,1.116185e-07,1.116054e-07,1.114936e-07,1.114276e-07,1.113344e-07,1.111923e-07,1.111439e-07,1.109248e-07,1.109061e-07,1.106798e-07,1.105751e-07,1.104113e-07,1.102045e-07,1.101213e-07,1.098118e-07,1.097991e-07,1.094850e-07,1.093635e-07,1.091428e-07,1.089019e-07,1.087865e-07,1.084178e-07,1.080380e-07,1.079143e-07,1.076484e-07,1.073945e-07,1.072502e-07,1.068608e-07,1.068445e-07,1.064322e-07,1.063157e-07,1.060143e-07,1.057611e-07,1.055915e-07,1.051990e-07,1.051648e-07,1.047347e-07,1.046311e-07,1.043021e-07,1.040589e-07,1.038674e-07,1.034837e-07,1.034313e-07,1.029943e-07,1.029068e-07,1.025568e-07,1.023293e-07,1.021193e-07,1.017522e-07,1.016823e-07,1.012460e-07,1.011763e-07,1.008109e-07,1.006025e-07,1.003772e-07,1.000314e-07,9.994518e-08,9.951520e-08,9.946375e-08,9.908746e-08,9.890002e-08,9.866219e-08,9.834075e-08,9.823958e-08,9.781983e-08,9.778638e-08,9.740310e-08,9.723729e-08,9.698955e-08,9.669384e-08,9.657931e-08,9.617251e-08,9.615632e-08,9.576927e-08,9.562499e-08,9.536968e-08,9.510009e-08,9.497383e-08,9.458181e-08,9.407032e-08,9.356578e-08,9.306829e-08,9.257797e-08,9.209488e-08,9.161910e-08,9.115067e-08,9.068962e-08,9.023596e-08,8.978969e-08,8.935082e-08,8.891933e-08,8.849518e-08,8.807836e-08,8.766881e-08,8.726649e-08,8.687135e-08,8.648334e-08,8.610238e-08,8.572842e-08,8.536139e-08,8.500120e-08,8.464778e-08,8.430106e-08
0.000000e+00,1.683178e-11,7.993850e-11,7.735373e-10,3.339953e-09,6.435606e-09,2.559623e-08,2.687558e-08,7.756767e-08,9.980258e-08,1.784079e-07,2.725525e-07,3.526877e-07,6.001476e-07,6.263368e-07,1.026411e-06,1.144081e-06,1.577213e-06,1.957760e-06,2.294072e-06,3.063603e-06,3.178210e-06,4.216280e-06,4.440379e-06,5.384275e-06,6.033343e-06,6.652958e-06,7.774494e-06,7.992364e-06,9.374547e-06,9.597967e-06,1.077481e-05,1.144701e-05,1.217199e-05,1.327545e-05,1.354829e-05,1.488897e-05,1.504686e-05,1.618206e-05,1.673342e-05,1.741812e-05,1.831489e-05,1.858998e-05,1.969256e-05,1.977767e-05,2.072265e-05,2.111399e-05,2.167869e-05,2.232105e-05,2.256052e-05,2.336917e-05,2.340002e-05,2.410660e-05,2.435515e-05,2.477554e-05,2.519292e-05,2.537920e-05,2.592120e-05,2.640532e-05,2.654866e-05,2.683549e-05,2.708428e-05,2.721560e-05,2.753695e-05,2.754946e-05,2.784076e-05,2.791518e-05,2.809302e-05,2.822702e-05,2.830954e-05,2.847983e-05,2.849341e-05,2.864751e-05,2.868037e-05,2.877450e-05,2.883468e-05,2.887680e-05,2.894820e-05,2.895666e-05,2.901613e-05,2.902574e-05,2.905706e-05,2.907159e-05,2.908115e-05,2.908951e-05,2.908995e-05,2.908486e-05,2.908285e-05,2.906716e-05,2.905452e-05,2.903799e-05,2.900711e-05,2.899841e-05,2.894938e-05,2.894291e-05,2.889177e-05,2.886391e-05,2.882637e-05,2.877189e-05,2.875389e-05,2.867499e-05,2.866842e-05,2.859028e-05,2.855489e-05,2.850029e-05,2.843252e-05,2.840554e-05,2.830646e-05,2.830242e-05,2.820350e-05,2.816555e-05,2.809702e-05,2.802280e-05,2.798739e-05,2.787492e-05,2.775992e-05,2.772263e-05,2.764266e-05,2.756655e-05,2.752340e-05,2.740724e-05,2.740237e-05,2.727978e-05,2.724520e-05,2.715584e-05,2.708090e-05,2.703073e-05,2.691475e-05,2.690462e-05,2.677768e-05,2.674710e-05,2.665004e-05,2.657831e-05,2.652185e-05,2.640868e-05,2.639322e-05,2.626429e-05,2.623848e-05,2.613515e-05,2.606796e-05,2.600592e-05,2.589735e-05,2.587667e-05,2.574751e-05,2.572686e-05,2.561851e-05,2.555667e-05,2.548974e-05,2.538695e-05,2.536128e-05,2.523320e-05,2.521786e-05,2.510554e-05,2.504953e-05,2.497838e-05,2.488209e-05,2.485175e-05,2.472572e-05,2.471566e-05,2.460031e-05,2.455034e-05,2.447558e-05,2.438622e-05,2.435157e-05,2.422830e-05,2.422338e-05,2.410580e-05,2.406190e-05,2.398412e-05,2.390186e-05,2.386328e-05,2.374329e-05,2.358627e-05,2.343084e-05,2.327704e-05,2.312491e-05,2.297447e-05,2.282576e-05,2.267880e-05,2.253360e-05,2.239019e-05,2.224858e-05,2.210877e-05,2.197077e-05,2.183460e-05,2.170024e-05,2.156770e-05,2.143698e-05,2.130807e-05,2.118097e-05,2.105567e-05,2.093216e-05,2.081044e-05,2.069049e-05,2.057229e-05,2.045585e-05
0.000000e+00,2.565046e-11,1.326236e-10,1.528881e-09,7.730485e-09,1.623113e-08,8.032388e-08,8.508192e-08,3.031666e-07,4.125532e-07,8.467847e-07,1.442317e-06,2.000550e-06,3.958222e-06,4.183178e-06,7.969828e-06,9.196504e-06,1.410654e-05,1.890513e-05,2.351167e-05,3.534430e-05,3.726297e-05,5.657355e-05,6.121725e-05,8.276077e-05,9.955449e-05,1.172118e-04,1.535765e-04,1.613478e-04,2.165883e-04,2.265505e-04,2.843164e-04,3.216508e-04,3.658461e-04,4.418267e-04,4.623911e-04,5.750379e-04,5.896837e-04,7.047211e-04,7.673817e-04,8.522026e-04,9.765525e-04,1.018056e-03,1.202656e-03,1.218240e-03,1.406166e-03,1.492863e-03,1.628545e-03,1.800207e-03,1.869539e-03,2.128692e-03,2.139427e-03,2.405358e-03,2.509091e-03,2.698708e-03,2.907216e-03,3.007751e-03,3.331346e-03,3.668227e-03,3.778613e-03,4.017021e-03,4.245831e-03,4.376270e-03,4.729569e-03,4.744448e-03,5.119988e-03,5.226242e-03,5.501298e-03,5.732189e-03,5.886781e-03,6.243747e-03,6.274851e-03,6.663950e-03,6.757318e-03,7.052566e-03,7.269433e-03,7.439238e-03,7.776795e-03,7.822575e-03,8.201257e-03,8.276325e-03,8.574051e-03,8.765192e-03,8.939810e-03,9.240837e-03,9.297480e-03,9.646103e-03,9.700984e-03,9.984817e-03,1.014365e-02,1.031286e-02,1.056716e-02,1.062956e-02,1.093434e-02,1.097009e-02,1.122673e-02,1.135135e-02,1.150633e-02,1.171009e-02,1.177284e-02,1.202602e-02,1.204569e-02,1.226572e-02,1.235781e-02,1.249186e-02,1.264628e-02,1.270443e-02,1.290348e-02,1.291116e-02,1.308910e-02,1.315266e-02,1.326144e-02,1.337115e-02,1.342071e-02,1.356714e-02,1.370101e-02,1.374124e-02,1.382262e-02,1.389417e-02,1.393230e-02,1.402671e-02,1.403042e-02,1.411733e-02,1.413972e-02,1.419344e-02,1.423409e-02,1.425915e-02,1.431076e-02,1.431486e-02,1.436099e-02,1.437069e-02,1.439797e-02,1.441483e-02,1.442621e-02,1.444417e-02,1.444614e-02,1.445817e-02,1.445967e-02,1.446272e-02,1.446226e-02,1.446019e-02,1.445289e-02,1.445099e-02,1.443550e-02,1.443247e-02,1.441411e-02,1.440186e-02,1.438719e-02,1.436192e-02,1.435510e-02,1.431819e-02,1.431346e-02,1.427680e-02,1.425725e-02,1.423125e-02,1.419404e-02,1.418185e-02,1.412891e-02,1.412453e-02,1.407271e-02,1.404938e-02,1.401353e-02,1.396922e-02,1.395163e-02,1.388727e-02,1.388465e-02,1.382067e-02,1.379620e-02,1.375208e-02,1.370440e-02,1.368169e-02,1.360972e-02,1.351261e-02,1.341348e-02,1.331272e-02,1.321068e-02,1.310767e-02,1.300400e-02,1.289994e-02,1.279573e-02,1.269160e-02,1.258774e-02,1.248435e-02,1.238158e-02,1.227959e-02,1.217850e-02,1.207843e-02,1.197949e-02,1.188176e-02,1.178532e-02,1.169024e-02,1.159658e-02,1.150438e-02,1.141369e-02,1.132454e-02,1.123695e-02
0.000000e+00,3.693932e-10,9.313336e-10,3.541579e-09,8.446236e-09,1.254964e-08,2.952959e-08,3.045831e-08,6.073303e-08,7.196983e-08,1.074568e-07,1.451294e-07,1.746554e-07,2.559170e-07,2.638165e-07,3.723389e-07,4.007954e-07,4.960973e-07,5.707782e-07,6.317756e-07,7.591023e-07,7.769585e-07,9.296642e-07,9.609457e-07,1.088058e-06,1.172075e-06,1.250349e-06,1.388402e-06,1.414787e-06,1.579699e-06,1.606023e-06,1.743533e-06,1.821375e-06,1.904896e-06,2.031388e-06,2.062578e-06,2.215566e-06,2.233568e-06,2.363042e-06,2.426017e-06,2.504378e-06,2.607397e-06,2.639113e-06,2.766942e-06,2.776864e-06,2.887689e-06,2.933987e-06,3.001289e-06,3.078668e-06,3.107768e-06,3.207224e-06,3.211058e-06,3.299812e-06,3.331499e-06,3.385729e-06,3.440459e-06,3.465205e-06,3.538492e-06,3.605854e-06,3.626204e-06,3.667567e-06,3.704226e-06,3.723906e-06,3.773193e-06,3.775148e-06,3.821564e-06,3.833733e-06,3.863422e-06,3.886456e-06,3.900979e-06,3.931950e-06,3.934487e-06,3.964186e-06,3.970773e-06,3.990307e-06,4.003454e-06,4.013071e-06,4.030493e-06,4.032687e-06,4.049356e-06,4.052352e-06,4.063266e-06,4.069470e-06,4.074600e-06,4.082255e-06,4.083529e-06,4.090216e-06,4.091089e-06,4.094816e-06,4.096324e-06,4.097472e-06,4.098289e-06,4.098321e-06,4.097494e-06,4.097288e-06,4.095112e-06,4.093602e-06,4.091291e-06,4.087491e-06,4.086138e-06,4.079756e-06,4.079195e-06,4.072241e-06,4.068938e-06,4.063683e-06,4.056923e-06,4.054166e-06,4.043770e-06,4.043337e-06,4.032568e-06,4.028351e-06,4.020630e-06,4.012126e-06,4.008023e-06,3.994807e-06,3.981042e-06,3.976529e-06,3.966779e-06,3.957414e-06,3.952070e-06,3.937573e-06,3.936961e-06,3.921497e-06,3.917109e-06,3.905718e-06,3.896116e-06,3.889664e-06,3.874681e-06,3.873369e-06,3.856869e-06,3.852881e-06,3.840193e-06,3.830789e-06,3.823371e-06,3.808469e-06,3.806431e-06,3.789397e-06,3.785981e-06,3.772293e-06,3.763379e-06,3.755142e-06,3.740712e-06,3.737963e-06,3.720775e-06,3.718026e-06,3.703597e-06,3.695360e-06,3.686444e-06,3.672750e-06,3.669332e-06,3.652273e-06,3.650231e-06,3.635282e-06,3.627830e-06,3.618370e-06,3.605576e-06,3.601547e-06,3.584824e-06,3.583491e-06,3.568210e-06,3.561597e-06,3.551714e-06,3.539913e-06,3.535342e-06,3.519103e-06,3.518456e-06,3.503002e-06,3.497240e-06,3.487045e-06,3.476279e-06,3.471237e-06,3.455584e-06,3.435164e-06,3.415029e-06,3.395185e-06,3.375637e-06,3.356392e-06,3.337453e-06,3.318823e-06,3.300504e-06,3.282498e-06,3.264805e-06,3.247426e-06,3.230361e-06,3.213608e-06,3.197166e-06,3.181034e-06,3.165210e-06,3.149691e-06,3.134474e-06,3.119557e-06,3.104937e-06,3.090609e-06,3.076571e-06,3.062819e-06,3.049349e-06
0.000000e+00,9.511078e-11,3.742060e-10,2.556393e-09,8.416877e-09,1.421826e-08,4.235842e-08,4.401962e-08,1.019957e-07,1.248592e-07,2.003028e-07,2.849082e-07,3.543073e-07,5.602031e-07,5.814395e-07,8.949515e-07,9.834308e-07,1.295344e-06,1.553038e-06,1.769749e-06,2.234124e-06,2.300165e-06,2.870619e-06,2.988399e-06,3.469181e-06,3.788567e-06,4.087165e-06,4.616338e-06,4.717863e-06,5.355651e-06,5.458013e-06,5.995487e-06,6.301950e-06,6.632692e-06,7.137607e-06,7.262886e-06,7.882017e-06,7.955391e-06,8.486413e-06,8.746826e-06,9.072828e-06,9.504747e-06,9.638479e-06,1.018107e-05,1.022343e-05,1.069880e-05,1.089860e-05,1.119030e-05,1.152743e-05,1.165469e-05,1.209144e-05,1.210833e-05,1.250039e-05,1.264083e-05,1.288169e-05,1.312536e-05,1.323572e-05,1.356311e-05,1.386460e-05,1.395576e-05,1.414111e-05,1.430542e-05,1.439363e-05,1.461445e-05,1.462321e-05,1.483096e-05,1.488536e-05,1.501798e-05,1.512072e-05,1.518541e-05,1.532309e-05,1.533435e-05,1.546590e-05,1.549500e-05,1.558111e-05,1.563887e-05,1.568101e-05,1.575704e-05,1.576658e-05,1.583878e-05,1.585169e-05,1.589850e-05,1.592490e-05,1.594659e-05,1.597860e-05,1.598387e-05,1.601111e-05,1.601458e-05,1.602902e-05,1.603451e-05,1.603829e-05,1.603992e-05,1.603956e-05,1.603343e-05,1.603222e-05,1.602046e-05,1.601273e-05,1.600119e-05,1.598264e-05,1.597612e-05,1.594569e-05,1.594304e-05,1.591036e-05,1.589494e-05,1.587052e-05,1.583926e-05,1.582655e-05,1.577882e-05,1.577683e-05,1.572764e-05,1.570843e-05,1.567333e-05,1.563475e-05,1.561617e-05,1.555644e-05,1.549438e-05,1.547406e-05,1.543022e-05,1.538816e-05,1.536419e-05,1.529922e-05,1.529648e-05,1.522729e-05,1.520767e-05,1.515678e-05,1.511392e-05,1.508513e-05,1.501832e-05,1.501247e-05,1.493897e-05,1.492121e-05,1.486473e-05,1.482289e-05,1.478989e-05,1.472362e-05,1.471456e-05,1.463884e-05,1.462366e-05,1.456283e-05,1.452322e-05,1.448662e-05,1.442252e-05,1.441030e-05,1.433393e-05,1.432172e-05,1.425760e-05,1.422099e-05,1.418136e-05,1.412049e-05,1.410529e-05,1.402942e-05,1.402033e-05,1.395382e-05,1.392066e-05,1.387854e-05,1.382156e-05,1.380361e-05,1.372909e-05,1.372314e-05,1.365499e-05,1.362548e-05,1.358137e-05,1.352866e-05,1.350824e-05,1.343564e-05,1.343275e-05,1.336359e-05,1.333780e-05,1.329212e-05,1.324386e-05,1.322125e-05,1.315099e-05,1.305922e-05,1.296858e-05,1.287911e-05,1.279084e-05,1.270377e-05,1.261792e-05,1.253332e-05,1.244997e-05,1.236787e-05,1.228704e-05,1.220747e-05,1.212917e-05,1.205212e-05,1.197634e-05,1.190181e-05,1.182853e-05,1.175649e-05,1.168568e-05,1.161609e-05,1.154771e-05,1.148053e-05,1.141453e-05,1.134971e-05,1.128605e-05
0.000000e+00,3.871707e-11,1.605694e-10,1.201996e-09,4.222728e-09,7.343874e-09,2.316353e-08,2.411598e-08,5.782602e-08,7.122758e-08,1.154685e-07,1.648956e-07,2.052667e-07,3.247019e-07,3.370429e-07,5.215184e-07,5.747134e-07,7.675201e-07,9.335466e-07,1.077902e-06,1.400633e-06,1.447875e-06,1.867612e-06,1.956561e-06,2.326291e-06,2.577013e-06,2.814587e-06,3.242281e-06,3.325243e-06,3.852699e-06,3.938343e-06,4.392517e-06,4.654896e-06,4.940919e-06,5.383512e-06,5.494480e-06,6.049976e-06,6.116618e-06,6.604316e-06,6.847088e-06,7.154523e-06,7.568161e-06,7.697755e-06,8.231353e-06,8.273550e-06,8.752842e-06,8.957534e-06,9.259975e-06,9.615103e-06,9.750779e-06,1.022355e-05,1.024207e-05,1.067687e-05,1.083508e-05,1.110961e-05,1.139166e-05,1.152090e-05,1.191015e-05,1.227700e-05,1.238964e-05,1.262132e-05,1.282989e-05,1.294319e-05,1.323128e-05,1.324285e-05,1.352066e-05,1.359460e-05,1.377712e-05,1.392098e-05,1.401280e-05,1.421184e-05,1.422836e-05,1.442450e-05,1.446877e-05,1.460200e-05,1.469357e-05,1.476169e-05,1.488818e-05,1.490444e-05,1.503108e-05,1.505455e-05,1.514247e-05,1.519466e-05,1.523949e-05,1.531051e-05,1.532299e-05,1.539391e-05,1.540415e-05,1.545318e-05,1.547772e-05,1.550160e-05,1.553302e-05,1.553990e-05,1.556877e-05,1.557163e-05,1.558886e-05,1.559507e-05,1.560077e-05,1.560471e-05,1.560508e-05,1.560236e-05,1.560185e-05,1.559312e-05,1.558772e-05,1.557787e-05,1.556342e-05,1.555705e-05,1.553112e-05,1.552998e-05,1.550048e-05,1.548837e-05,1.546552e-05,1.543947e-05,1.542660e-05,1.538407e-05,1.533824e-05,1.532293e-05,1.528940e-05,1.525670e-05,1.523784e-05,1.518602e-05,1.518382e-05,1.512757e-05,1.511145e-05,1.506932e-05,1.503350e-05,1.500929e-05,1.495265e-05,1.494767e-05,1.488464e-05,1.486932e-05,1.482037e-05,1.478390e-05,1.475502e-05,1.469674e-05,1.468874e-05,1.462167e-05,1.460817e-05,1.455392e-05,1.451847e-05,1.448563e-05,1.442791e-05,1.441689e-05,1.434781e-05,1.433673e-05,1.427848e-05,1.424514e-05,1.420900e-05,1.415334e-05,1.413943e-05,1.406986e-05,1.406151e-05,1.400035e-05,1.396980e-05,1.393096e-05,1.387835e-05,1.386176e-05,1.379280e-05,1.378729e-05,1.372412e-05,1.369674e-05,1.365578e-05,1.360680e-05,1.358780e-05,1.352024e-05,1.351755e-05,1.345313e-05,1.342908e-05,1.338649e-05,1.334147e-05,1.332036e-05,1.325476e-05,1.316903e-05,1.308431e-05,1.300064e-05,1.291807e-05,1.283663e-05,1.275633e-05,1.267721e-05,1.259927e-05,1.252254e-05,1.244701e-05,1.237271e-05,1.229963e-05,1.222778e-05,1.215715e-05,1.208774e-05,1.201956e-05,1.195259e-05,1.188683e-05,1.182227e-05,1.175890e-05,1.169670e-05,1.163568e-05,1.157581e-05,1.151709e-05
0.000000e+00,4.069235e-12,2.091523e-11,2.381196e-10,1.190077e-09,2.482524e-09,1.207587e-08,1.278207e-08,4.474485e-08,6.058942e-08,1.227994e-07,2.069804e-07,2.850984e-07,5.551994e-07,5.859499e-07,1.097685e-06,1.261629e-06,1.911674e-06,2.539821e-06,3.137909e-06,4.657988e-06,4.902695e-06,7.344631e-06,7.927045e-06,1.060960e-05,1.268183e-05,1.484558e-05,1.926052e-05,2.019765e-05,2.680361e-05,2.798557e-05,3.479017e-05,3.914775e-05,4.426977e-05,5.299326e-05,5.533795e-05,6.807135e-05,6.971415e-05,8.252620e-05,8.944146e-05,9.873734e-05,1.122412e-04,1.167177e-04,1.364584e-04,1.381129e-04,1.579289e-04,1.669907e-04,1.810782e-04,1.987465e-04,2.058360e-04,2.321138e-04,2.331951e-04,2.598073e-04,2.701012e-04,2.887983e-04,3.091874e-04,3.189568e-04,3.501431e-04,3.822108e-04,3.926340e-04,4.150084e-04,4.363108e-04,4.483819e-04,4.808189e-04,4.821769e-04,5.162407e-04,5.258063e-04,5.504238e-04,5.709306e-04,5.845818e-04,6.158662e-04,6.185766e-04,6.522777e-04,6.603085e-04,6.855630e-04,7.039788e-04,7.183198e-04,7.466264e-04,7.504449e-04,7.818454e-04,7.880311e-04,8.124385e-04,8.280034e-04,8.421517e-04,8.663848e-04,8.709226e-04,8.986985e-04,9.030473e-04,9.254364e-04,9.378915e-04,9.511021e-04,9.708452e-04,9.756701e-04,9.991228e-04,1.001862e-03,1.021450e-03,1.030916e-03,1.042649e-03,1.058006e-03,1.062721e-03,1.081676e-03,1.083145e-03,1.099528e-03,1.106363e-03,1.116293e-03,1.127704e-03,1.131994e-03,1.146656e-03,1.147221e-03,1.160306e-03,1.164978e-03,1.172975e-03,1.181045e-03,1.184694e-03,1.195496e-03,1.205417e-03,1.208411e-03,1.214490e-03,1.219869e-03,1.222752e-03,1.229953e-03,1.230238e-03,1.236983e-03,1.238744e-03,1.243022e-03,1.246322e-03,1.248391e-03,1.252767e-03,1.253122e-03,1.257250e-03,1.258155e-03,1.260806e-03,1.262560e-03,1.263823e-03,1.266055e-03,1.266330e-03,1.268356e-03,1.268707e-03,1.269931e-03,1.270580e-03,1.271081e-03,1.271738e-03,1.271832e-03,1.272209e-03,1.272237e-03,1.272236e-03,1.272132e-03,1.271936e-03,1.271474e-03,1.271329e-03,1.270437e-03,1.270312e-03,1.269279e-03,1.268689e-03,1.267872e-03,1.266649e-03,1.266236e-03,1.264385e-03,1.264229e-03,1.262337e-03,1.261465e-03,1.260104e-03,1.258391e-03,1.257702e-03,1.255142e-03,1.255037e-03,1.252438e-03,1.251432e-03,1.249602e-03,1.247602e-03,1.246643e-03,1.243572e-03,1.239363e-03,1.234997e-03,1.230492e-03,1.225866e-03,1.221134e-03,1.216312e-03,1.211412e-03,1.206447e-03,1.201428e-03,1.196366e-03,1.191270e-03,1.186148e-03,1.181010e-03,1.175861e-03,1.170709e-03,1.165559e-03,1.160418e-03,1.155289e-03,1.150179e-03,1.145091e-03,1.140028e-03,1.134994e-03,1.129993e-03,1.125027e-03
0.000000e+00,5.702571e-11,2.949847e-10,3.404262e-09,1.723270e-08,3.620795e-08,1.795747e-07,1.902311e-07,6.797409e-07,9.258257e-07,1.905105e-06,3.252650e-06,4.519346e-06,8.981615e-06,9.496043e-06,1.819609e-05,2.102876e-05,3.242474e-05,4.363787e-05,5.446101e-05,8.247349e-05,8.703982e-05,1.332827e-04,1.444667e-04,1.965909e-04,2.374338e-04,2.805220e-04,3.695882e-04,3.886640e-04,5.245184e-04,5.490516e-04,6.913965e-04,7.834205e-04,8.923297e-04,1.079409e-03,1.129996e-03,1.406663e-03,1.442575e-03,1.724144e-03,1.877127e-03,2.083771e-03,2.385805e-03,2.486377e-03,2.932297e-03,2.969840e-03,3.421375e-03,3.628965e-03,3.952982e-03,4.361487e-03,4.526044e-03,5.139074e-03,5.164401e-03,5.790211e-03,6.033537e-03,6.477267e-03,6.963727e-03,7.197763e-03,7.948988e-03,8.728033e-03,8.982707e-03,9.531845e-03,1.005783e-02,1.035727e-02,1.116702e-02,1.120108e-02,1.206005e-02,1.230283e-02,1.293094e-02,1.345787e-02,1.381057e-02,1.462487e-02,1.469582e-02,1.558369e-02,1.579684e-02,1.647127e-02,1.696715e-02,1.735580e-02,1.812958e-02,1.823467e-02,1.910542e-02,1.927839e-02,1.996576e-02,2.040832e-02,2.081360e-02,2.151468e-02,2.164698e-02,2.246415e-02,2.259328e-02,2.326352e-02,2.364048e-02,2.404369e-02,2.465316e-02,2.480341e-02,2.554160e-02,2.562870e-02,2.625735e-02,2.656496e-02,2.694988e-02,2.746028e-02,2.761856e-02,2.826290e-02,2.831338e-02,2.888254e-02,2.912341e-02,2.947722e-02,2.988986e-02,3.004681e-02,3.059127e-02,3.061253e-02,3.111066e-02,3.129153e-02,3.160512e-02,3.192721e-02,3.207486e-02,3.252016e-02,3.294139e-02,3.307116e-02,3.333894e-02,3.358115e-02,3.371327e-02,3.405122e-02,3.406486e-02,3.439424e-02,3.448257e-02,3.470198e-02,3.487648e-02,3.498867e-02,3.523434e-02,3.525490e-02,3.550131e-02,3.555757e-02,3.572852e-02,3.584762e-02,3.593719e-02,3.610599e-02,3.612796e-02,3.630149e-02,3.633419e-02,3.645843e-02,3.653370e-02,3.659943e-02,3.670602e-02,3.672513e-02,3.683618e-02,3.685263e-02,3.693320e-02,3.697497e-02,3.701681e-02,3.707446e-02,3.708763e-02,3.714625e-02,3.715249e-02,3.719325e-02,3.721039e-02,3.722920e-02,3.724947e-02,3.725465e-02,3.727015e-02,3.727098e-02,3.727622e-02,3.727612e-02,3.727336e-02,3.726605e-02,3.726206e-02,3.724280e-02,3.724187e-02,3.721604e-02,3.720465e-02,3.718221e-02,3.715540e-02,3.714175e-02,3.709506e-02,3.702456e-02,3.694475e-02,3.685646e-02,3.676046e-02,3.665748e-02,3.654819e-02,3.643326e-02,3.631328e-02,3.618882e-02,3.606041e-02,3.592855e-02,3.579371e-02,3.565631e-02,3.551677e-02,3.537546e-02,3.523273e-02,3.508890e-02,3.494427e-02,3.479911e-02,3.465370e-02,3.450825e-02,3.436299e-02,3.421812e-02,3.407382e-02
0.000000e+00,6.467403e-11,1.523296e-10,5.419585e-10,1.260458e-09,1.860295e-09,4.362261e-09,4.500289e-09,9.068249e-09,1.079601e-08,1.636061e-08,2.245036e-08,2.736638e-08,4.164607e-08,4.309725e-08,6.415648e-08,6.999737e-08,9.032603e-08,1.068914e-07,1.207115e-07,1.501093e-07,1.542741e-07,1.901617e-07,1.975600e-07,2.277517e-07,2.478149e-07,2.665872e-07,2.999096e-07,3.063128e-07,3.466326e-07,3.531212e-07,3.872876e-07,4.068520e-07,4.280453e-07,4.605827e-07,4.686944e-07,5.090451e-07,5.138589e-07,5.489283e-07,5.662899e-07,5.881960e-07,6.175487e-07,6.267210e-07,6.643963e-07,6.673709e-07,7.011338e-07,7.155498e-07,7.368628e-07,7.619317e-07,7.715283e-07,8.050900e-07,8.064091e-07,8.375196e-07,8.489133e-07,8.687990e-07,8.894072e-07,8.989195e-07,9.278797e-07,9.556848e-07,9.643399e-07,9.823448e-07,9.988127e-07,1.007874e-06,1.031335e-06,1.032291e-06,1.055615e-06,1.061953e-06,1.077869e-06,1.090718e-06,1.099078e-06,1.117689e-06,1.119267e-06,1.138462e-06,1.142924e-06,1.156691e-06,1.166487e-06,1.173981e-06,1.188441e-06,1.190359e-06,1.205853e-06,1.208849e-06,1.220491e-06,1.227774e-06,1.234300e-06,1.245278e-06,1.247307e-06,1.259538e-06,1.261425e-06,1.271020e-06,1.276274e-06,1.281780e-06,1.289884e-06,1.291841e-06,1.301230e-06,1.302312e-06,1.309970e-06,1.313616e-06,1.318085e-06,1.323849e-06,1.325598e-06,1.332533e-06,1.333063e-06,1.338911e-06,1.341311e-06,1.344753e-06,1.348640e-06,1.350081e-06,1.354915e-06,1.355098e-06,1.359274e-06,1.360731e-06,1.363178e-06,1.365582e-06,1.366645e-06,1.369694e-06,1.372342e-06,1.373108e-06,1.374606e-06,1.375861e-06,1.376502e-06,1.377992e-06,1.378047e-06,1.379256e-06,1.379536e-06,1.380143e-06,1.380527e-06,1.380724e-06,1.380999e-06,1.381011e-06,1.381019e-06,1.380981e-06,1.380761e-06,1.380505e-06,1.380249e-06,1.379599e-06,1.379496e-06,1.378513e-06,1.378289e-06,1.377311e-06,1.376603e-06,1.375901e-06,1.374565e-06,1.374295e-06,1.372501e-06,1.372198e-06,1.370531e-06,1.369525e-06,1.368393e-06,1.366567e-06,1.366096e-06,1.363649e-06,1.363346e-06,1.361061e-06,1.359880e-06,1.358340e-06,1.356187e-06,1.355493e-06,1.352528e-06,1.352286e-06,1.349452e-06,1.348192e-06,1.346272e-06,1.343922e-06,1.342995e-06,1.339628e-06,1.339491e-06,1.336175e-06,1.334913e-06,1.332644e-06,1.330201e-06,1.329040e-06,1.325368e-06,1.320427e-06,1.315387e-06,1.310262e-06,1.305060e-06,1.299791e-06,1.294464e-06,1.289088e-06,1.283672e-06,1.278221e-06,1.272745e-06,1.267249e-06,1.261739e-06,1.256223e-06,1.250705e-06,1.245190e-06,1.239683e-06,1.234190e-06,1.228713e-06,1.223258e-06,1.217827e-06,1.212425e-06,1.207054e-06,1.201718e-06,1.196419e-06
0.000000e+00,2.692292e-12,1.371462e-11,1.532272e-10,7.525427e-10,1.554657e-09,7.372429e-09,7.795420e-09,2.659511e-08,3.575913e-08,7.119105e-08,1.182604e-07,1.613507e-07,3.075861e-07,3.240340e-07,5.937671e-07,6.789587e-07,1.012719e-06,1.330656e-06,1.630289e-06,2.381910e-06,2.501839e-06,3.686233e-06,3.965879e-06,5.242363e-06,6.216994e-06,7.225288e-06,9.255967e-06,9.682735e-06,1.265244e-05,1.317705e-05,1.616054e-05,1.804019e-05,2.022083e-05,2.386809e-05,2.483488e-05,2.999263e-05,3.064722e-05,3.567345e-05,3.833130e-05,4.184736e-05,4.684623e-05,4.847643e-05,5.551622e-05,5.609569e-05,6.291718e-05,6.596686e-05,7.062605e-05,7.633590e-05,7.858715e-05,8.674363e-05,8.707314e-05,9.503852e-05,9.804773e-05,1.034158e-04,1.091316e-04,1.118212e-04,1.202031e-04,1.285128e-04,1.311492e-04,1.367054e-04,1.418682e-04,1.447401e-04,1.522707e-04,1.525801e-04,1.601933e-04,1.622804e-04,1.675517e-04,1.718346e-04,1.746321e-04,1.808839e-04,1.814153e-04,1.878862e-04,1.893914e-04,1.940338e-04,1.973322e-04,1.998505e-04,2.046920e-04,2.053321e-04,2.104774e-04,2.114662e-04,2.152879e-04,2.176582e-04,2.197674e-04,2.232787e-04,2.239218e-04,2.277588e-04,2.283439e-04,2.312874e-04,2.328746e-04,2.345179e-04,2.368952e-04,2.374615e-04,2.401301e-04,2.404324e-04,2.425361e-04,2.435148e-04,2.446921e-04,2.461715e-04,2.466111e-04,2.483060e-04,2.484323e-04,2.497895e-04,2.503265e-04,2.510741e-04,2.518829e-04,2.521723e-04,2.530958e-04,2.531293e-04,2.538563e-04,2.540923e-04,2.544647e-04,2.547971e-04,2.549318e-04,2.552675e-04,2.554816e-04,2.555258e-04,2.555830e-04,2.555927e-04,2.555803e-04,2.554873e-04,2.554816e-04,2.552946e-04,2.552273e-04,2.550262e-04,2.548289e-04,2.546832e-04,2.543071e-04,2.542718e-04,2.537977e-04,2.536752e-04,2.532664e-04,2.529458e-04,2.526829e-04,2.521299e-04,2.520518e-04,2.513776e-04,2.512379e-04,2.506641e-04,2.502788e-04,2.499151e-04,2.492611e-04,2.491341e-04,2.483243e-04,2.481923e-04,2.474886e-04,2.470791e-04,2.466297e-04,2.459277e-04,2.457502e-04,2.448525e-04,2.447436e-04,2.439385e-04,2.435318e-04,2.430105e-04,2.422969e-04,2.420702e-04,2.411192e-04,2.410428e-04,2.401593e-04,2.397731e-04,2.391918e-04,2.384913e-04,2.382181e-04,2.372394e-04,2.372002e-04,2.362569e-04,2.359024e-04,2.352716e-04,2.346005e-04,2.342845e-04,2.332965e-04,2.319923e-04,2.306898e-04,2.293905e-04,2.280959e-04,2.268071e-04,2.255253e-04,2.242516e-04,2.229868e-04,2.217319e-04,2.204874e-04,2.192541e-04,2.180326e-04,2.168233e-04,2.156267e-04,2.144433e-04,2.132733e-04,2.121170e-04,2.109748e-04,2.098468e-04,2.087332e-04,2.076342e-04,2.065498e-04,2.054801e-04,2.044254e-04
0.000000e+00,5.042302e-11,2.258915e-10,1.951003e-09,7.660771e-09,1.405941e-08,4.984133e-08,5.210468e-08,1.361732e-07,1.709312e-07,2.882868e-07,4.217690e-07,5.314907e-07,8.560253e-07,8.894330e-07,1.384614e-06,1.525979e-06,2.034418e-06,2.469483e-06,2.847589e-06,3.698690e-06,3.824409e-06,4.959648e-06,5.205038e-06,6.245426e-06,6.970552e-06,7.672693e-06,8.973745e-06,9.231580e-06,1.091131e-05,1.119050e-05,1.270004e-05,1.359359e-05,1.458484e-05,1.615255e-05,1.655183e-05,1.858642e-05,1.883441e-05,2.067364e-05,2.160481e-05,2.279846e-05,2.442939e-05,2.494615e-05,2.710256e-05,2.727504e-05,2.925437e-05,3.011101e-05,3.138928e-05,3.290966e-05,3.349618e-05,3.556518e-05,3.564703e-05,3.758769e-05,3.830296e-05,3.955638e-05,4.086118e-05,4.146514e-05,4.330904e-05,4.508420e-05,4.563724e-05,4.678774e-05,4.783946e-05,4.841765e-05,4.991195e-05,4.997271e-05,5.145240e-05,5.185321e-05,5.285679e-05,5.366348e-05,5.418641e-05,5.534439e-05,5.544216e-05,5.662530e-05,5.689862e-05,5.773738e-05,5.832973e-05,5.878012e-05,5.964188e-05,5.975542e-05,6.066533e-05,6.083965e-05,6.151200e-05,6.192800e-05,6.229764e-05,6.291206e-05,6.302451e-05,6.369487e-05,6.379704e-05,6.431108e-05,6.458833e-05,6.487552e-05,6.529139e-05,6.539055e-05,6.585838e-05,6.591146e-05,6.628118e-05,6.645348e-05,6.666104e-05,6.692226e-05,6.699999e-05,6.729998e-05,6.732235e-05,6.756289e-05,6.765809e-05,6.779057e-05,6.793370e-05,6.798482e-05,6.814733e-05,6.815320e-05,6.827974e-05,6.832033e-05,6.838360e-05,6.843869e-05,6.846043e-05,6.851169e-05,6.853879e-05,6.854258e-05,6.854307e-05,6.853442e-05,6.852580e-05,6.849009e-05,6.848821e-05,6.843146e-05,6.841229e-05,6.835668e-05,6.830360e-05,6.826493e-05,6.816643e-05,6.815725e-05,6.803460e-05,6.800305e-05,6.789793e-05,6.781559e-05,6.774811e-05,6.760608e-05,6.758600e-05,6.741241e-05,6.737638e-05,6.722811e-05,6.712828e-05,6.703382e-05,6.686341e-05,6.683025e-05,6.661806e-05,6.658335e-05,6.639788e-05,6.628954e-05,6.617032e-05,6.598334e-05,6.593594e-05,6.569530e-05,6.566602e-05,6.544890e-05,6.533879e-05,6.519724e-05,6.500274e-05,6.494078e-05,6.467996e-05,6.465892e-05,6.441520e-05,6.430829e-05,6.414690e-05,6.395175e-05,6.387544e-05,6.360116e-05,6.359013e-05,6.332441e-05,6.322423e-05,6.304550e-05,6.285477e-05,6.276474e-05,6.248241e-05,6.210780e-05,6.173150e-05,6.135406e-05,6.097598e-05,6.059771e-05,6.021968e-05,5.984229e-05,5.946589e-05,5.909081e-05,5.871737e-05,5.834584e-05,5.797647e-05,5.760951e-05,5.724516e-05,5.688361e-05,5.652504e-05,5.616961e-05,5.581746e-05,5.546872e-05,5.512350e-05,5.478190e-05,5.444400e-05,5.410989e-05,5.377964e-05
0.000000e+00,2.909440e-11,1.484171e-10,1.663482e-09,8.196759e-09,1.696740e-08,8.094486e-08,8.561230e-08,2.942644e-07,3.965848e-07,7.947077e-07,1.328107e-06,1.819803e-06,3.505694e-06,3.696622e-06,6.852937e-06,7.857020e-06,1.180944e-05,1.558884e-05,1.915402e-05,2.808315e-05,2.950430e-05,4.346876e-05,4.674620e-05,6.161299e-05,7.286800e-05,8.443357e-05,1.075189e-04,1.123396e-04,1.456406e-04,1.514845e-04,1.845399e-04,2.052321e-04,2.291326e-04,2.689018e-04,2.794072e-04,3.352505e-04,3.423170e-04,3.964548e-04,4.250106e-04,4.627278e-04,5.162624e-04,5.337035e-04,6.089544e-04,6.151452e-04,6.880046e-04,7.205748e-04,7.703424e-04,8.313615e-04,8.554328e-04,9.427298e-04,9.462598e-04,1.031687e-03,1.064014e-03,1.121766e-03,1.183395e-03,1.212448e-03,1.303237e-03,1.393668e-03,1.422459e-03,1.483308e-03,1.540080e-03,1.571764e-03,1.655235e-03,1.658678e-03,1.743735e-03,1.767179e-03,1.826656e-03,1.875284e-03,1.907204e-03,1.979038e-03,1.985177e-03,2.060407e-03,2.078039e-03,2.132762e-03,2.171985e-03,2.202139e-03,2.260667e-03,2.268463e-03,2.331685e-03,2.343955e-03,2.391780e-03,2.421791e-03,2.448742e-03,2.494178e-03,2.502584e-03,2.553335e-03,2.561171e-03,2.601036e-03,2.622866e-03,2.645743e-03,2.679394e-03,2.687518e-03,2.726434e-03,2.730916e-03,2.762569e-03,2.777610e-03,2.796008e-03,2.819672e-03,2.826838e-03,2.855151e-03,2.857310e-03,2.881040e-03,2.890737e-03,2.904598e-03,2.920171e-03,2.925922e-03,2.945106e-03,2.945830e-03,2.962243e-03,2.967930e-03,2.977428e-03,2.986685e-03,2.990752e-03,3.002305e-03,3.012174e-03,3.014991e-03,3.020447e-03,3.024942e-03,3.027206e-03,3.032345e-03,3.032531e-03,3.036503e-03,3.037383e-03,3.039196e-03,3.040228e-03,3.040683e-03,3.041047e-03,3.041035e-03,3.040320e-03,3.039997e-03,3.038602e-03,3.037226e-03,3.035945e-03,3.032876e-03,3.032407e-03,3.028046e-03,3.027080e-03,3.022917e-03,3.019965e-03,3.017073e-03,3.011647e-03,3.010563e-03,3.003435e-03,3.002241e-03,2.995735e-03,2.991848e-03,2.987505e-03,2.980568e-03,2.978787e-03,2.969621e-03,2.968492e-03,2.960042e-03,2.955706e-03,2.950087e-03,2.942290e-03,2.939789e-03,2.929180e-03,2.928319e-03,2.918290e-03,2.913862e-03,2.907148e-03,2.898984e-03,2.895780e-03,2.884212e-03,2.883745e-03,2.872467e-03,2.868201e-03,2.860570e-03,2.852403e-03,2.848541e-03,2.836400e-03,2.820235e-03,2.803949e-03,2.787580e-03,2.771163e-03,2.754728e-03,2.738306e-03,2.721923e-03,2.705602e-03,2.689367e-03,2.673237e-03,2.657231e-03,2.641364e-03,2.625652e-03,2.610108e-03,2.594743e-03,2.579568e-03,2.564592e-03,2.549823e-03,2.535269e-03,2.520935e-03,2.506826e-03,2.492947e-03,2.479302e-03,2.465892e-03
0.000000e+00,3.415900e-12,7.843854e-12,2.709217e-11,6.182756e-11,9.033199e-11,2.055511e-10,2.117571e-10,4.099374e-10,4.817643e-10,7.039849e-10,9.347268e-10,1.113947e-09,1.611500e-09,1.660786e-09,2.365627e-09,2.560526e-09,3.247783e-09,3.824794e-09,4.321207e-09,5.427656e-09,5.590085e-09,7.046214e-09,7.358386e-09,8.670784e-09,9.574174e-09,1.043967e-08,1.201912e-08,1.232842e-08,1.431486e-08,1.464042e-08,1.637954e-08,1.739329e-08,1.850541e-08,2.023987e-08,2.067723e-08,2.288117e-08,2.314718e-08,2.510451e-08,2.608588e-08,2.733558e-08,2.902975e-08,2.956368e-08,3.177910e-08,3.195551e-08,3.397307e-08,3.484289e-08,3.613784e-08,3.767454e-08,3.826661e-08,4.035351e-08,4.043604e-08,4.239356e-08,4.311569e-08,4.438263e-08,4.570433e-08,4.631735e-08,4.819505e-08,5.001369e-08,5.058292e-08,5.177179e-08,5.286475e-08,5.346840e-08,5.503876e-08,5.510294e-08,5.667526e-08,5.710437e-08,5.818550e-08,5.906200e-08,5.963406e-08,6.091282e-08,6.102160e-08,6.234894e-08,6.265865e-08,6.361707e-08,6.430177e-08,6.482710e-08,6.584484e-08,6.598025e-08,6.707781e-08,6.729077e-08,6.812113e-08,6.864269e-08,6.911162e-08,6.990383e-08,7.005069e-08,7.093981e-08,7.107753e-08,7.178044e-08,7.216715e-08,7.257405e-08,7.317606e-08,7.332209e-08,7.402604e-08,7.410762e-08,7.468732e-08,7.496514e-08,7.530737e-08,7.575189e-08,7.588758e-08,7.642934e-08,7.647106e-08,7.693399e-08,7.712577e-08,7.740288e-08,7.771906e-08,7.783729e-08,7.823851e-08,7.825388e-08,7.860776e-08,7.873310e-08,7.894627e-08,7.915949e-08,7.925520e-08,7.953571e-08,7.978893e-08,7.986437e-08,8.001592e-08,8.014793e-08,8.021776e-08,8.038881e-08,8.039547e-08,8.055003e-08,8.058930e-08,8.068243e-08,8.075161e-08,8.079359e-08,8.087788e-08,8.088442e-08,8.095581e-08,8.097015e-08,8.100861e-08,8.103036e-08,8.104364e-08,8.106040e-08,8.106169e-08,8.106355e-08,8.106205e-08,8.104996e-08,8.103702e-08,8.102163e-08,8.098697e-08,8.097928e-08,8.092356e-08,8.091345e-08,8.085514e-08,8.081796e-08,8.077463e-08,8.070193e-08,8.068265e-08,8.057977e-08,8.056672e-08,8.046657e-08,8.041363e-08,8.034359e-08,8.024390e-08,8.021134e-08,8.007034e-08,8.005870e-08,7.992107e-08,7.985915e-08,7.976399e-08,7.964632e-08,7.959956e-08,7.942822e-08,7.942122e-08,7.925037e-08,7.918483e-08,7.906642e-08,7.893805e-08,7.887676e-08,7.868175e-08,7.841675e-08,7.814385e-08,7.786377e-08,7.757723e-08,7.728488e-08,7.698735e-08,7.668524e-08,7.637910e-08,7.606948e-08,7.575687e-08,7.544173e-08,7.512452e-08,7.480566e-08,7.448553e-08,7.416451e-08,7.384294e-08,7.352115e-08,7.319945e-08,7.287813e-08,7.255744e-08,7.223765e-08,7.191898e-08,7.160165e-08,7.128586e-08
0.000000e+00,1.400766e-11,6.753712e-11,6.740624e-10,2.991703e-09,5.850188e-09,2.412955e-08,2.537147e-08,7.565044e-08,9.812783e-08,1.787286e-07,2.766868e-07,3.608029e-07,6.229759e-07,6.508714e-07,1.079606e-06,1.206601e-06,1.678051e-06,2.098400e-06,2.475562e-06,3.362018e-06,3.497109e-06,4.761056e-06,5.044027e-06,6.278388e-06,7.169148e-06,8.053226e-06,9.742066e-06,1.008398e-05,1.236451e-05,1.275196e-05,1.488503e-05,1.617648e-05,1.763279e-05,1.998438e-05,2.059245e-05,2.374657e-05,2.413724e-05,2.707588e-05,2.859098e-05,3.055968e-05,3.329740e-05,3.417633e-05,3.790359e-05,3.820588e-05,4.171913e-05,4.326511e-05,4.560091e-05,4.842478e-05,4.952757e-05,5.347870e-05,5.363698e-05,5.743518e-05,5.885736e-05,6.137930e-05,6.404593e-05,6.529491e-05,6.916751e-05,7.298423e-05,7.419191e-05,7.673387e-05,7.909391e-05,8.040677e-05,8.385300e-05,8.399480e-05,8.749118e-05,8.845297e-05,9.089046e-05,9.288158e-05,9.418833e-05,9.712999e-05,9.738153e-05,1.004678e-04,1.011924e-04,1.034455e-04,1.050654e-04,1.063141e-04,1.087479e-04,1.090733e-04,1.117235e-04,1.122405e-04,1.142655e-04,1.155451e-04,1.167007e-04,1.186648e-04,1.190306e-04,1.212570e-04,1.216038e-04,1.233819e-04,1.243665e-04,1.254077e-04,1.269584e-04,1.273365e-04,1.291709e-04,1.293848e-04,1.309135e-04,1.316518e-04,1.325667e-04,1.337651e-04,1.341333e-04,1.356159e-04,1.357310e-04,1.370171e-04,1.375554e-04,1.383396e-04,1.392445e-04,1.395859e-04,1.407587e-04,1.408041e-04,1.418605e-04,1.422402e-04,1.428938e-04,1.435586e-04,1.438611e-04,1.447647e-04,1.456072e-04,1.458642e-04,1.463907e-04,1.468622e-04,1.471175e-04,1.477640e-04,1.477899e-04,1.484099e-04,1.485744e-04,1.489797e-04,1.492983e-04,1.495012e-04,1.499402e-04,1.499765e-04,1.504075e-04,1.505045e-04,1.507959e-04,1.509956e-04,1.511437e-04,1.514175e-04,1.514526e-04,1.517241e-04,1.517741e-04,1.519601e-04,1.520692e-04,1.521619e-04,1.523063e-04,1.523313e-04,1.524696e-04,1.524890e-04,1.525783e-04,1.526204e-04,1.526588e-04,1.527037e-04,1.527124e-04,1.527403e-04,1.527420e-04,1.527438e-04,1.527380e-04,1.527242e-04,1.526945e-04,1.526825e-04,1.526199e-04,1.526140e-04,1.525375e-04,1.524992e-04,1.524362e-04,1.523522e-04,1.523171e-04,1.521811e-04,1.521753e-04,1.520292e-04,1.519708e-04,1.518622e-04,1.517405e-04,1.516810e-04,1.514864e-04,1.512103e-04,1.509139e-04,1.505989e-04,1.502669e-04,1.499193e-04,1.495574e-04,1.491826e-04,1.487962e-04,1.483993e-04,1.479931e-04,1.475785e-04,1.471566e-04,1.467282e-04,1.462944e-04,1.458558e-04,1.454133e-04,1.449676e-04,1.445193e-04,1.440692e-04,1.436178e-04,1.431656e-04,1.427133e-04,1.422612e-04,1.418099e-04
0.000000e+00,9.778174e-12,4.674182e-11,4.579801e-10,1.997315e-09,3.867231e-09,1.553653e-08,1.631839e-08,4.736565e-08,6.098758e-08,1.090414e-07,1.663097e-07,2.147969e-07,3.631714e-07,3.787700e-07,6.152989e-07,6.844252e-07,9.381954e-07,1.161255e-06,1.359144e-06,1.816473e-06,1.885237e-06,2.516844e-06,2.655343e-06,3.247148e-06,3.661886e-06,4.063516e-06,4.804018e-06,4.949809e-06,5.888630e-06,6.042562e-06,6.862948e-06,7.338549e-06,7.857036e-06,8.657047e-06,8.856856e-06,9.850120e-06,9.968350e-06,1.082618e-05,1.124779e-05,1.177591e-05,1.247527e-05,1.269155e-05,1.356667e-05,1.363476e-05,1.439603e-05,1.471402e-05,1.517558e-05,1.570432e-05,1.590238e-05,1.657453e-05,1.660026e-05,1.719110e-05,1.739942e-05,1.775201e-05,1.810198e-05,1.825799e-05,1.871038e-05,1.911110e-05,1.922878e-05,1.946245e-05,1.966261e-05,1.976708e-05,2.001822e-05,2.002785e-05,2.024777e-05,2.030245e-05,2.042991e-05,2.052233e-05,2.057733e-05,2.068484e-05,2.069300e-05,2.077980e-05,2.079664e-05,2.084046e-05,2.086398e-05,2.087755e-05,2.089261e-05,2.089348e-05,2.089050e-05,2.088782e-05,2.087069e-05,2.085438e-05,2.083596e-05,2.079656e-05,2.078808e-05,2.072863e-05,2.071815e-05,2.065909e-05,2.062253e-05,2.058082e-05,2.051276e-05,2.049506e-05,2.040295e-05,2.039152e-05,2.030547e-05,2.026110e-05,2.020348e-05,2.012341e-05,2.009772e-05,1.998885e-05,1.998002e-05,1.987743e-05,1.983227e-05,1.976397e-05,1.968127e-05,1.964891e-05,1.953263e-05,1.952796e-05,1.941546e-05,1.937313e-05,1.929772e-05,1.921746e-05,1.917966e-05,1.906154e-05,1.894356e-05,1.890586e-05,1.882590e-05,1.875085e-05,1.870873e-05,1.859685e-05,1.859220e-05,1.847642e-05,1.844416e-05,1.836152e-05,1.829304e-05,1.824759e-05,1.814371e-05,1.813472e-05,1.802298e-05,1.799634e-05,1.791245e-05,1.785110e-05,1.780318e-05,1.770809e-05,1.769521e-05,1.758859e-05,1.756743e-05,1.748335e-05,1.742918e-05,1.737953e-05,1.729343e-05,1.727714e-05,1.717622e-05,1.716021e-05,1.707677e-05,1.702956e-05,1.697881e-05,1.690152e-05,1.688235e-05,1.678739e-05,1.677609e-05,1.669393e-05,1.665329e-05,1.660198e-05,1.653311e-05,1.651154e-05,1.642259e-05,1.641554e-05,1.633514e-05,1.630057e-05,1.624917e-05,1.618819e-05,1.616468e-05,1.608166e-05,1.607837e-05,1.600010e-05,1.597109e-05,1.591998e-05,1.586632e-05,1.584130e-05,1.576403e-05,1.566418e-05,1.556674e-05,1.547166e-05,1.537892e-05,1.528847e-05,1.520026e-05,1.511427e-05,1.503044e-05,1.494873e-05,1.486909e-05,1.479150e-05,1.471589e-05,1.464223e-05,1.457048e-05,1.450059e-05,1.443252e-05,1.436622e-05,1.430167e-05,1.423881e-05,1.417760e-05,1.411801e-05,1.405999e-05,1.400351e-05,1.394853e-05
0.000000e+00,2.393879e-11,5.522882e-11,1.917195e-10,4.389935e-10,6.427033e-10,1.473243e-09,1.518298e-09,2.973486e-09,3.508345e-09,5.185565e-09,6.958307e-09,8.353179e-09,1.228233e-08,1.267449e-08,1.829150e-08,1.983694e-08,2.521244e-08,2.960518e-08,3.328264e-08,4.113885e-08,4.225467e-08,5.188534e-08,5.387244e-08,6.197982e-08,6.736178e-08,7.239056e-08,8.129573e-08,8.300336e-08,9.372615e-08,9.544670e-08,1.044822e-07,1.096375e-07,1.152066e-07,1.237261e-07,1.258443e-07,1.363491e-07,1.375988e-07,1.466825e-07,1.511667e-07,1.568135e-07,1.643620e-07,1.667170e-07,1.763737e-07,1.771351e-07,1.857689e-07,1.894513e-07,1.948920e-07,2.012880e-07,2.037359e-07,2.122960e-07,2.126325e-07,2.205704e-07,2.234791e-07,2.285587e-07,2.338281e-07,2.362624e-07,2.436838e-07,2.508266e-07,2.530541e-07,2.576950e-07,2.619489e-07,2.642938e-07,2.703799e-07,2.706283e-07,2.767043e-07,2.783601e-07,2.825277e-07,2.859030e-07,2.881046e-07,2.930231e-07,2.934414e-07,2.985444e-07,2.997350e-07,3.034200e-07,3.060534e-07,3.080746e-07,3.119930e-07,3.125147e-07,3.167467e-07,3.175687e-07,3.207769e-07,3.227949e-07,3.246115e-07,3.276860e-07,3.282568e-07,3.317188e-07,3.322561e-07,3.350035e-07,3.365189e-07,3.381168e-07,3.404878e-07,3.410643e-07,3.438518e-07,3.441758e-07,3.464846e-07,3.475955e-07,3.489682e-07,3.507592e-07,3.513079e-07,3.535086e-07,3.536788e-07,3.555755e-07,3.563658e-07,3.575133e-07,3.588313e-07,3.593268e-07,3.610206e-07,3.610860e-07,3.625992e-07,3.631401e-07,3.640669e-07,3.650037e-07,3.654279e-07,3.666864e-07,3.678462e-07,3.681972e-07,3.689113e-07,3.695450e-07,3.698854e-07,3.707384e-07,3.707722e-07,3.715751e-07,3.717854e-07,3.722975e-07,3.726938e-07,3.729428e-07,3.734711e-07,3.735142e-07,3.740146e-07,3.741245e-07,3.744472e-07,3.746608e-07,3.748147e-07,3.750866e-07,3.751201e-07,3.753659e-07,3.754082e-07,3.755549e-07,3.756315e-07,3.756894e-07,3.757622e-07,3.757720e-07,3.758050e-07,3.758059e-07,3.757907e-07,3.757677e-07,3.757313e-07,3.756526e-07,3.756288e-07,3.754853e-07,3.754654e-07,3.753028e-07,3.752107e-07,3.750832e-07,3.748926e-07,3.748283e-07,3.745399e-07,3.745154e-07,3.742197e-07,3.740830e-07,3.738692e-07,3.735991e-07,3.734901e-07,3.730840e-07,3.730672e-07,3.726522e-07,3.724907e-07,3.721961e-07,3.718729e-07,3.717172e-07,3.712167e-07,3.705252e-07,3.698009e-07,3.690467e-07,3.682649e-07,3.674579e-07,3.666279e-07,3.657771e-07,3.649074e-07,3.640208e-07,3.631191e-07,3.622039e-07,3.612769e-07,3.603396e-07,3.593934e-07,3.584396e-07,3.574797e-07,3.565147e-07,3.555458e-07,3.545741e-07,3.536006e-07,3.526262e-07,3.516519e-07,3.506783e-07,3.497065e-07
0.000000e+00,7.704822e-12,3.385432e-11,2.817448e-10,1.073162e-09,1.939324e-09,6.628547e-09,6.919880e-09,1.750509e-08,2.178743e-08,3.598034e-08,5.175174e-08,6.448834e-08,1.012597e-07,1.049829e-07,1.592143e-07,1.744482e-07,2.287011e-07,2.747451e-07,3.146555e-07,4.045522e-07,4.178614e-07,5.385767e-07,5.648061e-07,6.765401e-07,7.548853e-07,8.310726e-07,9.729758e-07,1.001197e-06,1.185723e-06,1.216496e-06,1.383301e-06,1.482342e-06,1.592445e-06,1.767023e-06,1.811566e-06,2.038995e-06,2.066764e-06,2.273020e-06,2.377635e-06,2.511916e-06,2.695689e-06,2.753986e-06,2.997588e-06,3.017095e-06,3.241164e-06,3.338259e-06,3.483267e-06,3.655922e-06,3.722575e-06,3.957901e-06,3.967216e-06,4.188203e-06,4.269705e-06,4.412583e-06,4.561388e-06,4.630286e-06,4.840692e-06,5.043310e-06,5.106439e-06,5.237768e-06,5.357811e-06,5.423800e-06,5.594306e-06,5.601238e-06,5.769998e-06,5.815693e-06,5.930071e-06,6.021966e-06,6.081512e-06,6.213304e-06,6.224427e-06,6.358968e-06,6.390033e-06,6.485326e-06,6.552591e-06,6.603717e-06,6.701502e-06,6.714382e-06,6.817580e-06,6.837347e-06,6.913580e-06,6.960748e-06,7.002661e-06,7.072349e-06,7.085106e-06,7.161199e-06,7.172803e-06,7.231223e-06,7.262762e-06,7.295460e-06,7.342868e-06,7.354186e-06,7.407671e-06,7.413749e-06,7.456178e-06,7.476011e-06,7.499965e-06,7.530239e-06,7.539279e-06,7.574358e-06,7.576989e-06,7.605435e-06,7.616794e-06,7.632729e-06,7.650159e-06,7.656454e-06,7.676812e-06,7.677560e-06,7.694000e-06,7.699447e-06,7.708201e-06,7.716244e-06,7.719595e-06,7.728349e-06,7.734625e-06,7.736135e-06,7.738576e-06,7.739951e-06,7.740347e-06,7.740125e-06,7.740077e-06,7.737898e-06,7.736962e-06,7.733933e-06,7.730747e-06,7.728302e-06,7.721745e-06,7.721116e-06,7.712481e-06,7.710205e-06,7.702499e-06,7.696357e-06,7.691265e-06,7.680415e-06,7.678869e-06,7.665395e-06,7.662579e-06,7.650926e-06,7.643034e-06,7.635538e-06,7.621953e-06,7.619301e-06,7.602286e-06,7.599495e-06,7.584555e-06,7.575809e-06,7.566171e-06,7.551031e-06,7.547189e-06,7.527666e-06,7.525289e-06,7.507651e-06,7.498701e-06,7.487192e-06,7.471375e-06,7.466336e-06,7.445125e-06,7.443413e-06,7.423598e-06,7.414908e-06,7.401795e-06,7.385946e-06,7.379751e-06,7.357499e-06,7.356605e-06,7.335070e-06,7.326958e-06,7.312495e-06,7.297074e-06,7.289801e-06,7.267014e-06,7.236835e-06,7.206590e-06,7.176325e-06,7.146085e-06,7.115911e-06,7.085838e-06,7.055901e-06,7.026129e-06,6.996550e-06,6.967190e-06,6.938071e-06,6.909213e-06,6.880635e-06,6.852353e-06,6.824381e-06,6.796733e-06,6.769419e-06,6.742451e-06,6.715836e-06,6.689583e-06,6.663696e-06,6.638183e-06,6.613047e-06,6.588292e-06
0.000000e+00,5.642879e-11,2.397695e-10,1.875297e-09,6.812192e-09,1.204156e-08,3.942611e-08,4.110578e-08,1.019775e-07,1.267851e-07,2.105309e-07,3.067414e-07,3.868468e-07,6.281425e-07,6.532239e-07,1.025401e-06,1.130812e-06,1.503193e-06,1.811746e-06,2.071942e-06,2.631979e-06,2.711917e-06,3.405582e-06,3.549522e-06,4.139714e-06,4.534159e-06,4.904696e-06,5.565675e-06,5.693135e-06,6.498769e-06,6.628876e-06,7.315805e-06,7.710377e-06,8.138614e-06,8.797265e-06,8.961614e-06,9.779294e-06,9.876802e-06,1.058631e-05,1.093669e-05,1.137758e-05,1.196550e-05,1.214839e-05,1.289452e-05,1.295303e-05,1.361228e-05,1.389073e-05,1.429860e-05,1.477187e-05,1.495100e-05,1.556762e-05,1.559152e-05,1.614713e-05,1.634651e-05,1.668878e-05,1.703531e-05,1.719227e-05,1.765777e-05,1.808578e-05,1.821494e-05,1.847707e-05,1.870870e-05,1.883270e-05,1.914175e-05,1.915396e-05,1.944223e-05,1.951724e-05,1.969906e-05,1.983872e-05,1.992604e-05,2.010993e-05,2.012483e-05,2.029705e-05,2.033462e-05,2.044435e-05,2.051656e-05,2.056835e-05,2.065943e-05,2.067060e-05,2.075264e-05,2.076674e-05,2.081590e-05,2.084185e-05,2.086180e-05,2.088790e-05,2.089164e-05,2.090669e-05,2.090780e-05,2.090811e-05,2.090428e-05,2.089701e-05,2.087982e-05,2.087444e-05,2.084136e-05,2.083672e-05,2.079868e-05,2.077707e-05,2.074724e-05,2.070277e-05,2.068782e-05,2.062117e-05,2.061554e-05,2.054794e-05,2.051696e-05,2.046878e-05,2.040843e-05,2.038425e-05,2.029490e-05,2.029123e-05,2.020121e-05,2.016652e-05,2.010366e-05,2.003533e-05,2.000266e-05,1.989860e-05,1.979185e-05,1.975718e-05,1.968274e-05,1.961180e-05,1.957156e-05,1.946316e-05,1.945861e-05,1.934415e-05,1.931187e-05,1.922842e-05,1.915845e-05,1.911162e-05,1.900342e-05,1.899398e-05,1.887567e-05,1.884720e-05,1.875687e-05,1.869018e-05,1.863773e-05,1.853273e-05,1.851840e-05,1.839901e-05,1.837514e-05,1.827969e-05,1.821770e-05,1.816053e-05,1.806065e-05,1.804166e-05,1.792315e-05,1.790423e-05,1.780509e-05,1.774861e-05,1.768757e-05,1.759398e-05,1.757065e-05,1.745440e-05,1.744049e-05,1.733887e-05,1.728828e-05,1.722412e-05,1.713746e-05,1.711019e-05,1.699714e-05,1.698813e-05,1.688499e-05,1.684040e-05,1.677379e-05,1.669432e-05,1.666356e-05,1.655433e-05,1.654998e-05,1.644613e-05,1.640743e-05,1.633897e-05,1.626671e-05,1.623288e-05,1.612787e-05,1.599094e-05,1.585595e-05,1.572291e-05,1.559185e-05,1.546276e-05,1.533567e-05,1.521056e-05,1.508744e-05,1.496630e-05,1.484713e-05,1.472993e-05,1.461468e-05,1.450137e-05,1.438998e-05,1.428049e-05,1.417289e-05,1.406715e-05,1.396325e-05,1.386118e-05,1.376089e-05,1.366238e-05,1.356562e-05,1.347058e-05,1.337723e-05
0.000000e+00,6.220126e-11,1.610960e-10,6.283396e-10,1.509638e-09,2.244008e-09,5.238958e-09,5.400672e-09,1.056316e-08,1.243122e-08,1.819801e-08,2.416749e-08,2.879275e-08,4.158572e-08,4.284899e-08,6.081672e-08,6.574542e-08,8.294292e-08,9.711978e-08,1.090991e-07,1.350417e-07,1.387631e-07,1.712057e-07,1.779621e-07,2.056988e-07,2.242323e-07,2.416136e-07,2.724968e-07,2.784290e-07,3.157082e-07,3.216902e-07,3.530754e-07,3.709443e-07,3.901999e-07,4.195269e-07,4.267889e-07,4.625835e-07,4.668144e-07,4.973581e-07,5.122850e-07,5.309203e-07,5.555181e-07,5.631118e-07,5.938061e-07,5.961939e-07,6.229080e-07,6.340876e-07,6.503529e-07,6.690644e-07,6.761018e-07,7.001390e-07,7.010649e-07,7.224702e-07,7.300958e-07,7.431187e-07,7.562170e-07,7.621218e-07,7.795288e-07,7.953979e-07,8.001617e-07,8.097940e-07,8.182665e-07,8.227867e-07,8.340064e-07,8.344482e-07,8.448522e-07,8.475501e-07,8.540725e-07,8.590669e-07,8.621820e-07,8.687229e-07,8.692519e-07,8.753516e-07,8.766786e-07,8.805475e-07,8.830863e-07,8.849033e-07,8.880897e-07,8.884797e-07,8.913340e-07,8.918231e-07,8.935206e-07,8.944107e-07,8.950903e-07,8.959674e-07,8.960912e-07,8.965681e-07,8.965986e-07,8.965629e-07,8.964007e-07,8.961147e-07,8.954617e-07,8.952599e-07,8.940325e-07,8.938616e-07,8.924639e-07,8.916733e-07,8.905836e-07,8.889628e-07,8.884186e-07,8.859943e-07,8.857898e-07,8.833339e-07,8.822086e-07,8.804592e-07,8.782680e-07,8.773902e-07,8.741456e-07,8.740124e-07,8.707426e-07,8.694818e-07,8.671970e-07,8.647123e-07,8.635238e-07,8.597365e-07,8.558477e-07,8.545838e-07,8.518692e-07,8.492808e-07,8.478117e-07,8.438515e-07,8.436853e-07,8.394991e-07,8.383175e-07,8.352618e-07,8.326982e-07,8.309812e-07,8.270111e-07,8.266647e-07,8.223188e-07,8.212722e-07,8.179499e-07,8.154954e-07,8.135637e-07,8.096938e-07,8.091655e-07,8.047602e-07,8.038787e-07,8.003522e-07,7.980604e-07,7.959458e-07,7.922484e-07,7.915447e-07,7.871525e-07,7.864508e-07,7.827724e-07,7.806751e-07,7.784073e-07,7.749280e-07,7.740601e-07,7.697332e-07,7.692154e-07,7.654288e-07,7.635426e-07,7.611491e-07,7.579142e-07,7.568960e-07,7.526712e-07,7.523345e-07,7.484762e-07,7.468070e-07,7.443126e-07,7.413349e-07,7.401816e-07,7.360844e-07,7.359212e-07,7.320220e-07,7.305683e-07,7.279955e-07,7.252783e-07,7.240055e-07,7.200529e-07,7.148939e-07,7.098024e-07,7.047796e-07,6.998262e-07,6.949431e-07,6.901307e-07,6.853893e-07,6.807192e-07,6.761205e-07,6.715931e-07,6.671370e-07,6.627519e-07,6.584374e-07,6.541933e-07,6.500191e-07,6.459142e-07,6.418781e-07,6.379102e-07,6.340098e-07,6.301762e-07,6.264088e-07,6.227066e-07,6.190690e-07,6.154951e-07
0.000000e+00,1.583363e-10,6.041240e-10,3.924635e-09,1.249208e-08,2.078446e-08,5.991500e-08,6.218787e-08,1.398178e-07,1.696944e-07,2.659798e-07,3.705819e-07,4.543355e-07,6.957744e-07,7.202937e-07,1.080188e-06,1.182226e-06,1.548176e-06,1.860537e-06,2.131419e-06,2.738149e-06,2.827310e-06,3.625559e-06,3.796323e-06,4.512806e-06,5.004961e-06,5.476011e-06,6.335326e-06,6.503651e-06,7.585704e-06,7.763274e-06,8.713236e-06,9.268170e-06,9.878020e-06,1.083144e-05,1.107229e-05,1.228864e-05,1.243575e-05,1.351999e-05,1.406478e-05,1.475958e-05,1.570328e-05,1.600109e-05,1.723860e-05,1.733726e-05,1.846668e-05,1.895417e-05,1.968045e-05,2.054303e-05,2.087554e-05,2.204812e-05,2.209451e-05,2.319490e-05,2.360087e-05,2.431309e-05,2.505592e-05,2.540037e-05,2.645488e-05,2.747516e-05,2.779424e-05,2.846012e-05,2.907159e-05,2.940899e-05,3.028550e-05,3.032129e-05,3.119677e-05,3.143531e-05,3.203544e-05,3.252103e-05,3.283745e-05,3.354321e-05,3.360314e-05,3.433295e-05,3.450283e-05,3.502746e-05,3.540120e-05,3.568731e-05,3.623989e-05,3.631324e-05,3.690602e-05,3.702067e-05,3.746648e-05,3.774543e-05,3.799548e-05,3.841617e-05,3.849390e-05,3.896264e-05,3.903494e-05,3.940260e-05,3.960384e-05,3.981471e-05,4.012494e-05,4.019986e-05,4.055897e-05,4.060035e-05,4.089292e-05,4.103212e-05,4.120260e-05,4.142227e-05,4.148890e-05,4.175265e-05,4.177280e-05,4.199471e-05,4.208564e-05,4.221589e-05,4.236267e-05,4.241700e-05,4.259883e-05,4.260572e-05,4.276215e-05,4.281655e-05,4.290769e-05,4.299688e-05,4.303619e-05,4.314835e-05,4.324485e-05,4.327254e-05,4.332637e-05,4.337098e-05,4.339355e-05,4.344513e-05,4.344701e-05,4.348737e-05,4.349640e-05,4.351520e-05,4.352612e-05,4.353108e-05,4.353560e-05,4.353555e-05,4.352915e-05,4.352605e-05,4.351239e-05,4.349866e-05,4.348577e-05,4.345456e-05,4.344976e-05,4.340483e-05,4.339481e-05,4.335142e-05,4.332043e-05,4.328996e-05,4.323242e-05,4.322086e-05,4.314454e-05,4.313168e-05,4.306136e-05,4.301911e-05,4.297170e-05,4.289554e-05,4.287591e-05,4.277435e-05,4.276179e-05,4.266733e-05,4.261860e-05,4.255518e-05,4.246669e-05,4.243819e-05,4.231667e-05,4.230676e-05,4.219090e-05,4.213945e-05,4.206113e-05,4.196538e-05,4.192764e-05,4.179067e-05,4.178513e-05,4.165046e-05,4.159924e-05,4.150725e-05,4.140825e-05,4.136124e-05,4.121265e-05,4.101289e-05,4.080944e-05,4.060269e-05,4.039304e-05,4.018087e-05,3.996651e-05,3.975030e-05,3.953255e-05,3.931355e-05,3.909356e-05,3.887285e-05,3.865165e-05,3.843018e-05,3.820867e-05,3.798730e-05,3.776626e-05,3.754571e-05,3.732582e-05,3.710674e-05,3.688860e-05,3.667153e-05,3.645565e-05,3.624106e-05,3.602787e-05
0.000000e+00,7.123906e-10,3.664799e-09,4.180149e-08,2.092800e-07,4.369816e-07,2.130823e-06,2.255652e-06,7.913779e-06,1.072205e-05,2.175792e-05,3.670323e-05,5.057684e-05,9.854772e-05,1.040081e-04,1.948231e-04,2.238951e-04,3.390732e-04,4.502601e-04,5.560582e-04,8.248041e-04,8.680605e-04,1.299798e-03,1.402815e-03,1.877618e-03,2.244782e-03,2.628518e-03,3.412539e-03,3.579118e-03,4.754675e-03,4.965217e-03,6.178209e-03,6.955604e-03,7.869773e-03,9.427237e-03,9.845886e-03,1.211912e-02,1.241232e-02,1.469787e-02,1.593050e-02,1.758619e-02,1.998838e-02,2.078388e-02,2.428660e-02,2.457977e-02,2.808608e-02,2.968643e-02,3.217048e-02,3.527932e-02,3.652472e-02,4.113092e-02,4.132013e-02,4.596884e-02,4.776300e-02,5.101633e-02,5.455633e-02,5.624978e-02,6.164453e-02,6.717536e-02,6.896980e-02,7.281677e-02,7.647359e-02,7.854341e-02,8.409801e-02,8.433034e-02,9.015331e-02,9.178701e-02,9.598903e-02,9.948729e-02,1.018153e-01,1.071491e-01,1.076112e-01,1.133571e-01,1.147267e-01,1.190350e-01,1.221788e-01,1.246284e-01,1.294687e-01,1.301222e-01,1.355030e-01,1.365645e-01,1.407589e-01,1.434390e-01,1.458794e-01,1.500694e-01,1.508555e-01,1.556798e-01,1.564372e-01,1.603460e-01,1.625281e-01,1.648491e-01,1.683315e-01,1.691852e-01,1.733516e-01,1.738401e-01,1.773467e-01,1.790500e-01,1.811696e-01,1.839598e-01,1.848203e-01,1.882997e-01,1.885707e-01,1.916092e-01,1.928859e-01,1.947509e-01,1.969104e-01,1.977274e-01,2.005417e-01,2.006510e-01,2.031975e-01,2.041155e-01,2.056984e-01,2.073127e-01,2.080487e-01,2.102525e-01,2.123145e-01,2.129452e-01,2.142394e-01,2.154015e-01,2.160318e-01,2.176326e-01,2.176968e-01,2.192390e-01,2.196496e-01,2.206635e-01,2.214638e-01,2.219752e-01,2.230864e-01,2.231788e-01,2.242793e-01,2.245285e-01,2.252812e-01,2.258010e-01,2.261893e-01,2.269145e-01,2.270081e-01,2.277421e-01,2.278791e-01,2.283955e-01,2.287049e-01,2.289726e-01,2.294014e-01,2.294774e-01,2.299139e-01,2.299777e-01,2.302859e-01,2.304426e-01,2.305970e-01,2.308044e-01,2.308507e-01,2.310505e-01,2.310710e-01,2.311996e-01,2.312500e-01,2.313012e-01,2.313484e-01,2.313582e-01,2.313734e-01,2.313729e-01,2.313496e-01,2.313297e-01,2.312894e-01,2.312249e-01,2.311952e-01,2.310695e-01,2.310639e-01,2.309144e-01,2.308518e-01,2.307321e-01,2.305936e-01,2.305246e-01,2.302938e-01,2.299565e-01,2.295857e-01,2.291851e-01,2.287580e-01,2.283075e-01,2.278365e-01,2.273478e-01,2.268438e-01,2.263267e-01,2.257987e-01,2.252617e-01,2.247175e-01,2.241676e-01,2.236137e-01,2.230569e-01,2.224987e-01,2.219400e-01,2.213820e-01,2.208256e-01,2.202716e-01,2.197207e-01,2.191737e-01,2.186313e-01,2.180938e-01
0.000000e+00,2.951599e-11,1.429070e-10,1.438509e-09,6.434480e-09,1.263782e-08,5.276699e-08,5.551264e-08,1.679440e-07,2.188341e-07,4.037281e-07,6.326105e-07,8.322032e-07,1.468791e-06,1.537609e-06,2.614218e-06,2.938261e-06,4.152963e-06,5.243961e-06,6.224139e-06,8.518895e-06,8.866678e-06,1.208808e-05,1.280066e-05,1.587126e-05,1.804989e-05,2.018288e-05,2.418202e-05,2.498035e-05,3.021618e-05,3.109128e-05,3.584051e-05,3.866319e-05,4.180218e-05,4.677953e-05,4.804928e-05,5.452949e-05,5.532030e-05,6.119049e-05,6.416522e-05,6.798048e-05,7.319595e-05,7.484887e-05,8.174704e-05,8.229878e-05,8.862903e-05,9.136761e-05,9.545217e-05,1.003064e-04,1.021776e-04,1.087707e-04,1.090312e-04,1.152011e-04,1.174711e-04,1.214430e-04,1.255688e-04,1.274752e-04,1.332803e-04,1.388452e-04,1.405736e-04,1.441603e-04,1.474280e-04,1.492195e-04,1.538324e-04,1.540194e-04,1.585593e-04,1.597840e-04,1.628406e-04,1.652865e-04,1.668664e-04,1.703488e-04,1.706418e-04,1.741725e-04,1.749843e-04,1.774657e-04,1.792089e-04,1.805290e-04,1.830411e-04,1.833707e-04,1.859995e-04,1.865005e-04,1.884242e-04,1.896074e-04,1.906539e-04,1.923825e-04,1.926974e-04,1.945636e-04,1.948464e-04,1.962614e-04,1.970191e-04,1.977994e-04,1.989202e-04,1.991858e-04,2.004287e-04,2.005686e-04,2.015361e-04,2.019823e-04,2.025153e-04,2.031783e-04,2.033737e-04,2.041182e-04,2.041730e-04,2.047553e-04,2.049815e-04,2.052914e-04,2.056183e-04,2.057326e-04,2.060846e-04,2.060969e-04,2.063528e-04,2.064298e-04,2.065424e-04,2.066289e-04,2.066583e-04,2.067052e-04,2.066876e-04,2.066690e-04,2.066096e-04,2.065298e-04,2.064752e-04,2.062965e-04,2.062881e-04,2.060519e-04,2.059775e-04,2.057700e-04,2.055802e-04,2.054455e-04,2.051120e-04,2.050815e-04,2.046808e-04,2.045794e-04,2.042460e-04,2.039885e-04,2.037796e-04,2.033451e-04,2.032842e-04,2.027618e-04,2.026543e-04,2.022147e-04,2.019211e-04,2.016448e-04,2.011499e-04,2.010541e-04,2.004442e-04,2.003450e-04,1.998170e-04,1.995102e-04,1.991739e-04,1.986490e-04,1.985165e-04,1.978461e-04,1.977648e-04,1.971641e-04,1.968606e-04,1.964717e-04,1.959392e-04,1.957701e-04,1.950603e-04,1.950032e-04,1.943435e-04,1.940550e-04,1.936206e-04,1.930968e-04,1.928924e-04,1.921599e-04,1.921306e-04,1.914239e-04,1.911582e-04,1.906850e-04,1.901814e-04,1.899441e-04,1.892018e-04,1.882207e-04,1.872396e-04,1.862596e-04,1.852818e-04,1.843073e-04,1.833370e-04,1.823717e-04,1.814121e-04,1.804591e-04,1.795131e-04,1.785748e-04,1.776447e-04,1.767232e-04,1.758107e-04,1.749077e-04,1.740144e-04,1.731312e-04,1.722582e-04,1.713957e-04,1.705439e-04,1.697029e-04,1.688729e-04,1.680540e-04,1.672462e-04
0.000000e+00,9.396704e-10,4.851482e-09,5.575792e-08,2.811271e-07,5.893167e-07,2.903867e-06,3.075323e-06,1.090807e-05,1.482448e-05,3.032411e-05,5.149983e-05,7.129025e-05,1.403913e-04,1.483084e-04,2.810750e-04,3.239235e-04,4.948687e-04,6.612599e-04,8.205141e-04,1.227974e-03,1.293866e-03,1.954907e-03,2.113381e-03,2.846608e-03,3.416254e-03,4.013665e-03,5.239825e-03,5.501215e-03,7.353562e-03,7.686653e-03,9.612977e-03,1.085372e-02,1.231858e-02,1.482799e-02,1.550535e-02,1.920326e-02,1.968257e-02,2.343657e-02,2.547371e-02,2.822328e-02,3.223857e-02,3.357480e-02,3.949572e-02,3.999397e-02,4.598380e-02,4.873605e-02,5.303009e-02,5.844070e-02,6.061926e-02,6.872993e-02,6.906485e-02,7.733524e-02,8.054825e-02,8.640339e-02,9.281585e-02,9.589830e-02,1.057803e-01,1.160070e-01,1.193450e-01,1.265335e-01,1.334066e-01,1.373137e-01,1.478577e-01,1.483006e-01,1.594468e-01,1.625899e-01,1.707055e-01,1.774955e-01,1.820306e-01,1.924697e-01,1.933772e-01,2.047024e-01,2.074127e-01,2.159651e-01,2.222303e-01,2.271264e-01,2.368357e-01,2.381501e-01,2.490027e-01,2.511499e-01,2.596532e-01,2.651022e-01,2.700737e-01,2.786306e-01,2.802390e-01,2.901268e-01,2.916818e-01,2.997177e-01,3.042108e-01,3.089948e-01,3.161811e-01,3.179441e-01,3.265540e-01,3.275639e-01,3.348153e-01,3.383380e-01,3.427211e-01,3.484887e-01,3.502666e-01,3.574489e-01,3.580078e-01,3.642671e-01,3.668925e-01,3.707218e-01,3.751452e-01,3.768151e-01,3.825507e-01,3.827728e-01,3.879334e-01,3.897858e-01,3.929689e-01,3.961982e-01,3.976641e-01,4.020267e-01,4.060651e-01,4.072903e-01,4.097881e-01,4.120097e-01,4.132053e-01,4.162072e-01,4.163265e-01,4.191619e-01,4.199060e-01,4.217219e-01,4.231302e-01,4.240172e-01,4.259041e-01,4.260583e-01,4.278559e-01,4.282523e-01,4.294208e-01,4.301994e-01,4.307636e-01,4.317697e-01,4.318946e-01,4.328244e-01,4.329871e-01,4.335631e-01,4.338749e-01,4.341205e-01,4.344558e-01,4.345064e-01,4.347304e-01,4.347518e-01,4.348015e-01,4.347840e-01,4.347287e-01,4.345727e-01,4.345207e-01,4.341858e-01,4.341375e-01,4.337320e-01,4.334967e-01,4.331671e-01,4.326681e-01,4.324985e-01,4.317334e-01,4.316682e-01,4.308785e-01,4.305129e-01,4.299404e-01,4.292169e-01,4.289253e-01,4.278391e-01,4.277943e-01,4.266876e-01,4.262581e-01,4.254760e-01,4.246205e-01,4.242095e-01,4.228930e-01,4.210863e-01,4.192104e-01,4.172743e-01,4.152868e-01,4.132556e-01,4.111880e-01,4.090909e-01,4.069705e-01,4.048323e-01,4.026816e-01,4.005232e-01,3.983615e-01,3.962004e-01,3.940435e-01,3.918941e-01,3.897551e-01,3.876293e-01,3.855191e-01,3.834265e-01,3.813535e-01,3.793018e-01,3.772729e-01,3.752682e-01,3.732888e-01
0.000000e+00,3.354058e-12,7.688774e-12,2.647724e-11,6.028282e-11,8.797478e-11,1.997153e-10,2.057296e-10,3.977778e-10,4.674207e-10,6.831411e-10,9.076116e-10,1.082299e-09,1.568551e-09,1.616794e-09,2.307126e-09,2.497845e-09,3.168067e-09,3.726354e-09,4.202274e-09,5.245747e-09,5.396803e-09,6.726879e-09,7.006631e-09,8.163936e-09,8.944569e-09,9.681606e-09,1.100235e-08,1.125764e-08,1.287360e-08,1.313478e-08,1.451393e-08,1.530595e-08,1.616526e-08,1.748631e-08,1.781587e-08,1.945547e-08,1.965104e-08,2.107506e-08,2.177928e-08,2.266683e-08,2.385384e-08,2.422414e-08,2.574144e-08,2.586095e-08,2.721419e-08,2.778998e-08,2.863880e-08,2.963315e-08,3.001254e-08,3.133343e-08,3.138514e-08,3.260015e-08,3.304275e-08,3.381196e-08,3.460449e-08,3.496862e-08,3.607028e-08,3.711744e-08,3.744114e-08,3.811087e-08,3.871893e-08,3.905158e-08,3.990615e-08,3.994075e-08,4.077967e-08,4.100576e-08,4.156978e-08,4.202102e-08,4.231254e-08,4.295540e-08,4.300951e-08,4.366223e-08,4.381248e-08,4.427231e-08,4.459591e-08,4.484131e-08,4.530932e-08,4.537082e-08,4.586239e-08,4.595629e-08,4.631756e-08,4.654037e-08,4.673784e-08,4.706498e-08,4.712469e-08,4.747955e-08,4.753345e-08,4.780383e-08,4.794903e-08,4.809889e-08,4.831479e-08,4.836605e-08,4.860660e-08,4.863373e-08,4.882176e-08,4.890869e-08,4.901273e-08,4.914241e-08,4.918068e-08,4.932672e-08,4.933749e-08,4.945192e-08,4.949640e-08,4.955732e-08,4.962151e-08,4.964392e-08,4.971268e-08,4.971507e-08,4.976452e-08,4.977921e-08,4.980032e-08,4.981594e-08,4.982094e-08,4.982719e-08,4.981986e-08,4.981477e-08,4.979970e-08,4.978040e-08,4.976743e-08,4.972570e-08,4.972374e-08,4.966930e-08,4.965221e-08,4.960472e-08,4.956137e-08,4.953063e-08,4.945455e-08,4.944759e-08,4.935617e-08,4.933304e-08,4.925689e-08,4.919805e-08,4.915026e-08,4.905072e-08,4.903676e-08,4.891685e-08,4.889214e-08,4.879098e-08,4.872331e-08,4.865956e-08,4.854517e-08,4.852299e-08,4.838167e-08,4.835864e-08,4.823594e-08,4.816453e-08,4.808616e-08,4.796364e-08,4.793266e-08,4.777575e-08,4.775670e-08,4.761573e-08,4.754441e-08,4.745289e-08,4.732741e-08,4.728749e-08,4.711980e-08,4.710629e-08,4.695005e-08,4.688163e-08,4.677849e-08,4.665396e-08,4.660532e-08,4.643076e-08,4.642376e-08,4.625501e-08,4.619149e-08,4.607825e-08,4.595757e-08,4.590066e-08,4.572242e-08,4.548638e-08,4.524981e-08,4.501303e-08,4.477633e-08,4.453997e-08,4.430422e-08,4.406930e-08,4.383542e-08,4.360279e-08,4.337159e-08,4.314197e-08,4.291409e-08,4.268808e-08,4.246408e-08,4.224219e-08,4.202251e-08,4.180514e-08,4.159016e-08,4.137763e-08,4.116763e-08,4.096021e-08,4.075541e-08,4.055329e-08,4.035387e-08
0.000000e+00,6.376701e-12,1.463272e-11,5.028057e-11,1.140747e-10,1.661431e-10,3.754893e-10,3.867406e-10,7.459841e-10,8.763982e-10,1.281171e-09,1.703521e-09,2.032587e-09,2.945790e-09,3.035847e-09,4.304055e-09,4.646018e-09,5.814544e-09,6.749172e-09,7.520817e-09,9.145940e-09,9.374827e-09,1.133701e-08,1.173955e-08,1.337594e-08,1.445774e-08,1.546564e-08,1.724366e-08,1.758357e-08,1.970955e-08,2.004922e-08,2.182548e-08,2.283274e-08,2.391522e-08,2.555860e-08,2.596466e-08,2.796181e-08,2.819746e-08,2.989676e-08,3.072633e-08,3.176162e-08,3.312831e-08,3.355043e-08,3.525894e-08,3.539206e-08,3.688444e-08,3.751105e-08,3.842555e-08,3.948271e-08,3.988201e-08,4.125446e-08,4.130763e-08,4.254431e-08,4.298880e-08,4.375352e-08,4.453094e-08,4.488450e-08,4.593998e-08,4.692290e-08,4.722261e-08,4.783634e-08,4.838593e-08,4.868345e-08,4.943722e-08,4.946740e-08,5.019135e-08,5.038373e-08,5.085839e-08,5.123255e-08,5.147153e-08,5.199053e-08,5.203370e-08,5.254773e-08,5.266423e-08,5.301631e-08,5.325984e-08,5.344205e-08,5.378321e-08,5.382740e-08,5.417474e-08,5.423984e-08,5.448629e-08,5.463486e-08,5.476417e-08,5.497304e-08,5.501039e-08,5.522686e-08,5.525885e-08,5.541537e-08,5.549643e-08,5.557762e-08,5.568960e-08,5.571522e-08,5.582968e-08,5.584193e-08,5.592243e-08,5.595672e-08,5.599482e-08,5.603700e-08,5.604811e-08,5.608351e-08,5.608560e-08,5.610214e-08,5.610514e-08,5.610507e-08,5.609801e-08,5.609329e-08,5.606776e-08,5.606646e-08,5.602935e-08,5.601254e-08,5.597892e-08,5.593816e-08,5.591725e-08,5.584508e-08,5.576312e-08,5.573493e-08,5.567202e-08,5.560921e-08,5.557241e-08,5.546931e-08,5.546487e-08,5.534995e-08,5.531653e-08,5.522818e-08,5.515204e-08,5.510005e-08,5.497695e-08,5.496602e-08,5.482653e-08,5.479228e-08,5.468198e-08,5.459897e-08,5.453277e-08,5.439789e-08,5.437926e-08,5.422179e-08,5.418985e-08,5.406069e-08,5.397558e-08,5.389626e-08,5.375579e-08,5.372880e-08,5.355858e-08,5.353111e-08,5.338585e-08,5.330212e-08,5.321086e-08,5.306939e-08,5.303383e-08,5.285498e-08,5.283341e-08,5.267452e-08,5.259465e-08,5.249263e-08,5.235355e-08,5.230949e-08,5.212529e-08,5.211051e-08,5.194017e-08,5.186590e-08,5.175429e-08,5.162006e-08,5.156778e-08,5.138080e-08,5.137331e-08,5.119345e-08,5.112594e-08,5.100587e-08,5.087823e-08,5.081815e-08,5.063042e-08,5.038275e-08,5.013543e-08,4.988866e-08,4.964261e-08,4.939747e-08,4.915337e-08,4.891046e-08,4.866888e-08,4.842874e-08,4.819016e-08,4.795321e-08,4.771802e-08,4.748465e-08,4.725317e-08,4.702366e-08,4.679617e-08,4.657076e-08,4.634748e-08,4.612638e-08,4.590748e-08,4.569083e-08,4.547646e-08,4.526440e-08,4.505466e-08
0.000000e+00,6.466106e-12,1.486741e-11,5.144338e-11,1.177523e-10,1.725152e-10,3.974071e-10,4.096851e-10,8.105406e-10,9.599009e-10,1.434688e-09,1.945756e-09,2.353294e-09,3.517999e-09,3.635062e-09,5.313788e-09,5.774040e-09,7.363394e-09,8.648281e-09,9.715658e-09,1.197778e-08,1.229765e-08,1.505051e-08,1.561750e-08,1.793013e-08,1.946609e-08,2.090258e-08,2.345071e-08,2.394005e-08,2.701848e-08,2.751336e-08,3.011631e-08,3.160435e-08,3.321402e-08,3.568019e-08,3.629398e-08,3.934053e-08,3.970320e-08,4.233995e-08,4.364166e-08,4.528047e-08,4.746978e-08,4.815230e-08,5.094748e-08,5.116758e-08,5.365966e-08,5.472018e-08,5.628412e-08,5.811748e-08,5.881750e-08,6.125762e-08,6.135327e-08,6.360337e-08,6.442466e-08,6.585447e-08,6.733137e-08,6.801138e-08,7.007515e-08,7.204727e-08,7.265930e-08,7.392965e-08,7.508828e-08,7.572449e-08,7.736740e-08,7.743419e-08,7.906129e-08,7.950244e-08,8.060843e-08,8.149943e-08,8.207827e-08,8.336461e-08,8.347356e-08,8.479702e-08,8.510427e-08,8.605137e-08,8.672461e-08,8.723927e-08,8.823175e-08,8.836336e-08,8.942620e-08,8.963165e-08,9.043032e-08,9.093007e-08,9.137815e-08,9.213256e-08,9.227206e-08,9.311434e-08,9.324446e-08,9.390721e-08,9.427087e-08,9.465281e-08,9.521665e-08,9.535322e-08,9.601041e-08,9.608646e-08,9.662631e-08,9.688470e-08,9.720276e-08,9.761557e-08,9.774153e-08,9.824433e-08,9.828304e-08,9.871277e-08,9.889089e-08,9.914844e-08,9.944267e-08,9.955284e-08,9.992740e-08,9.994178e-08,1.002735e-07,1.003914e-07,1.005925e-07,1.007946e-07,1.008856e-07,1.011541e-07,1.013991e-07,1.014727e-07,1.016217e-07,1.017530e-07,1.018231e-07,1.019973e-07,1.020041e-07,1.021659e-07,1.022078e-07,1.023092e-07,1.023868e-07,1.024351e-07,1.025363e-07,1.025444e-07,1.026379e-07,1.026580e-07,1.027163e-07,1.027540e-07,1.027805e-07,1.028257e-07,1.028311e-07,1.028688e-07,1.028749e-07,1.028943e-07,1.029029e-07,1.029082e-07,1.029113e-07,1.029111e-07,1.029035e-07,1.029014e-07,1.028861e-07,1.028744e-07,1.028593e-07,1.028314e-07,1.028236e-07,1.027795e-07,1.027737e-07,1.027275e-07,1.027022e-07,1.026680e-07,1.026180e-07,1.026014e-07,1.025281e-07,1.025219e-07,1.024484e-07,1.024149e-07,1.023629e-07,1.022977e-07,1.022717e-07,1.021752e-07,1.021712e-07,1.020738e-07,1.020361e-07,1.019677e-07,1.018930e-07,1.018572e-07,1.017426e-07,1.015856e-07,1.014224e-07,1.012536e-07,1.010798e-07,1.009014e-07,1.007188e-07,1.005325e-07,1.003429e-07,1.001503e-07,9.995517e-08,9.975771e-08,9.955829e-08,9.935718e-08,9.915466e-08,9.895099e-08,9.874641e-08,9.854113e-08,9.833537e-08,9.812933e-08,9.792319e-08,9.771711e-08,9.751127e-08,9.730582e-08,9.710089e-08
0.000000e+00,4.361434e-11,1.078535e-10,4.033837e-10,9.588373e-10,1.425686e-09,3.378928e-09,3.486670e-09,7.041156e-09,8.378808e-09,1.266152e-08,1.730961e-08,2.103856e-08,3.179429e-08,3.288325e-08,4.864937e-08,5.301571e-08,6.819968e-08,8.055541e-08,9.084841e-08,1.126932e-07,1.157824e-07,1.423527e-07,1.478203e-07,1.701036e-07,1.848892e-07,1.987096e-07,2.232125e-07,2.279169e-07,2.575099e-07,2.622674e-07,2.872945e-07,3.016061e-07,3.170919e-07,3.408278e-07,3.467373e-07,3.760807e-07,3.795750e-07,4.049878e-07,4.175380e-07,4.333416e-07,4.544584e-07,4.610423e-07,4.880069e-07,4.901301e-07,5.141682e-07,5.243960e-07,5.394754e-07,5.571456e-07,5.638899e-07,5.873852e-07,5.883056e-07,6.099459e-07,6.178375e-07,6.315656e-07,6.457295e-07,6.522450e-07,6.719917e-07,6.908181e-07,6.966508e-07,7.087408e-07,7.197461e-07,7.257796e-07,7.413263e-07,7.419572e-07,7.572980e-07,7.614469e-07,7.718276e-07,7.801668e-07,7.855720e-07,7.975463e-07,7.985579e-07,8.108119e-07,8.136470e-07,8.223612e-07,8.285308e-07,8.332322e-07,8.422586e-07,8.434513e-07,8.530440e-07,8.548896e-07,8.620356e-07,8.664819e-07,8.704507e-07,8.770914e-07,8.783132e-07,8.856463e-07,8.867720e-07,8.924724e-07,8.955753e-07,8.988133e-07,9.035508e-07,9.046900e-07,9.101228e-07,9.107458e-07,9.151312e-07,9.172053e-07,9.197340e-07,9.229721e-07,9.239495e-07,9.277949e-07,9.280871e-07,9.312872e-07,9.325888e-07,9.344423e-07,9.365140e-07,9.372758e-07,9.398025e-07,9.398974e-07,9.420367e-07,9.427721e-07,9.439921e-07,9.451692e-07,9.456817e-07,9.471182e-07,9.483137e-07,9.486472e-07,9.492796e-07,9.497824e-07,9.500270e-07,9.505489e-07,9.505666e-07,9.509085e-07,9.509701e-07,9.510624e-07,9.510684e-07,9.510377e-07,9.508649e-07,9.508433e-07,9.504876e-07,9.503792e-07,9.499790e-07,9.496302e-07,9.493251e-07,9.486355e-07,9.485335e-07,9.476113e-07,9.474118e-07,9.465654e-07,9.459749e-07,9.454024e-07,9.443394e-07,9.441284e-07,9.427495e-07,9.425195e-07,9.412714e-07,9.405284e-07,9.396997e-07,9.383783e-07,9.380394e-07,9.362957e-07,9.360811e-07,9.344733e-07,9.336478e-07,9.325769e-07,9.310887e-07,9.306107e-07,9.285790e-07,9.284137e-07,9.264857e-07,9.256321e-07,9.243348e-07,9.227524e-07,9.221298e-07,9.198742e-07,9.197829e-07,9.175713e-07,9.167314e-07,9.152244e-07,9.136050e-07,9.128365e-07,9.104105e-07,9.071546e-07,9.038431e-07,9.004817e-07,8.970760e-07,8.936308e-07,8.901509e-07,8.866408e-07,8.831046e-07,8.795464e-07,8.759697e-07,8.723781e-07,8.687749e-07,8.651630e-07,8.615454e-07,8.579247e-07,8.543035e-07,8.506841e-07,8.470687e-07,8.434595e-07,8.398583e-07,8.362669e-07,8.326871e-07,8.291204e-07,8.255683e-07
0.000000e+00,2.119809e-11,5.261925e-11,1.966831e-10,4.644722e-10,6.867492e-10,1.593524e-09,1.642581e-09,3.215827e-09,3.788624e-09,5.568242e-09,7.427303e-09,8.878654e-09,1.293806e-08,1.334228e-08,1.915171e-08,2.076375e-08,2.644480e-08,3.118695e-08,3.522973e-08,4.407701e-08,4.535494e-08,5.657258e-08,5.892436e-08,6.863041e-08,7.516083e-08,8.131815e-08,9.234022e-08,9.446987e-08,1.079520e-07,1.101320e-07,1.216512e-07,1.282740e-07,1.354668e-07,1.465411e-07,1.493069e-07,1.630863e-07,1.647319e-07,1.767263e-07,1.826649e-07,1.901550e-07,2.001796e-07,2.033080e-07,2.161284e-07,2.171382e-07,2.285676e-07,2.334272e-07,2.405849e-07,2.489575e-07,2.521476e-07,2.632305e-07,2.636635e-07,2.738155e-07,2.775018e-07,2.838910e-07,2.904480e-07,2.934509e-07,3.024942e-07,3.110244e-07,3.136467e-07,3.190483e-07,3.239225e-07,3.265760e-07,3.333472e-07,3.336199e-07,3.401944e-07,3.419533e-07,3.463154e-07,3.497774e-07,3.519999e-07,3.568591e-07,3.572654e-07,3.621301e-07,3.632400e-07,3.666121e-07,3.689617e-07,3.707298e-07,3.740662e-07,3.745011e-07,3.779439e-07,3.785946e-07,3.810756e-07,3.825867e-07,3.839130e-07,3.860806e-07,3.864720e-07,3.887683e-07,3.891124e-07,3.908168e-07,3.917163e-07,3.926318e-07,3.939249e-07,3.942269e-07,3.956153e-07,3.957686e-07,3.968091e-07,3.972758e-07,3.978202e-07,3.984733e-07,3.986597e-07,3.993381e-07,3.993857e-07,3.998655e-07,4.000362e-07,4.002512e-07,4.004463e-07,4.005043e-07,4.006331e-07,4.006358e-07,4.006457e-07,4.006232e-07,4.005495e-07,4.004256e-07,4.003517e-07,4.000589e-07,3.996775e-07,3.995378e-07,3.992135e-07,3.988757e-07,3.986723e-07,3.980852e-07,3.980594e-07,3.973797e-07,3.971780e-07,3.966379e-07,3.961648e-07,3.958384e-07,3.950555e-07,3.949854e-07,3.940828e-07,3.938592e-07,3.931343e-07,3.925844e-07,3.921435e-07,3.912390e-07,3.911135e-07,3.900474e-07,3.898302e-07,3.889483e-07,3.883646e-07,3.878188e-07,3.868484e-07,3.866615e-07,3.854788e-07,3.852873e-07,3.842730e-07,3.836866e-07,3.830463e-07,3.820512e-07,3.818007e-07,3.805380e-07,3.803855e-07,3.792602e-07,3.786936e-07,3.779689e-07,3.769794e-07,3.766656e-07,3.753520e-07,3.752465e-07,3.740293e-07,3.734980e-07,3.726989e-07,3.717370e-07,3.713621e-07,3.700201e-07,3.699663e-07,3.686738e-07,3.681884e-07,3.673245e-07,3.664056e-07,3.659729e-07,3.646201e-07,3.628340e-07,3.610490e-07,3.592669e-07,3.574891e-07,3.557171e-07,3.539522e-07,3.521956e-07,3.504485e-07,3.487116e-07,3.469861e-07,3.452727e-07,3.435722e-07,3.418852e-07,3.402124e-07,3.385543e-07,3.369114e-07,3.352841e-07,3.336730e-07,3.320782e-07,3.305002e-07,3.289392e-07,3.273954e-07,3.258690e-07,3.243602e-07
0.000000e+00,6.305500e-12,1.451238e-11,5.028714e-11,1.149864e-10,1.681262e-10,3.829273e-10,3.944906e-10,7.631387e-10,8.964174e-10,1.307577e-09,1.732627e-09,2.061486e-09,2.968749e-09,3.058163e-09,4.327709e-09,4.675680e-09,5.892111e-09,6.901403e-09,7.762097e-09,9.661696e-09,9.939039e-09,1.241911e-08,1.295096e-08,1.519590e-08,1.675445e-08,1.826123e-08,2.105182e-08,2.160507e-08,2.521532e-08,2.581676e-08,2.907773e-08,3.101655e-08,3.317600e-08,3.661227e-08,3.749195e-08,4.200586e-08,4.255986e-08,4.669686e-08,4.881143e-08,5.154327e-08,5.531694e-08,5.652307e-08,6.161420e-08,6.202565e-08,6.679498e-08,6.888767e-08,7.204441e-08,7.585516e-08,7.734235e-08,8.266978e-08,8.288323e-08,8.800893e-08,8.993068e-08,9.334334e-08,9.696031e-08,9.865798e-08,1.039392e-07,1.091747e-07,1.108386e-07,1.143536e-07,1.176339e-07,1.194663e-07,1.243043e-07,1.245043e-07,1.294605e-07,1.308326e-07,1.343285e-07,1.372048e-07,1.391032e-07,1.434097e-07,1.437802e-07,1.483559e-07,1.494386e-07,1.528274e-07,1.552851e-07,1.571926e-07,1.609446e-07,1.614497e-07,1.655977e-07,1.664142e-07,1.696359e-07,1.716922e-07,1.735639e-07,1.767783e-07,1.773817e-07,1.810898e-07,1.816729e-07,1.846886e-07,1.863775e-07,1.881790e-07,1.908940e-07,1.915620e-07,1.948388e-07,1.952249e-07,1.980106e-07,1.993734e-07,2.010790e-07,2.033426e-07,2.040453e-07,2.069113e-07,2.071363e-07,2.096787e-07,2.107583e-07,2.123490e-07,2.142127e-07,2.149242e-07,2.174061e-07,2.175035e-07,2.197965e-07,2.206350e-07,2.220973e-07,2.236116e-07,2.243103e-07,2.264375e-07,2.284807e-07,2.291171e-07,2.304418e-07,2.316547e-07,2.323227e-07,2.340548e-07,2.341254e-07,2.358516e-07,2.363215e-07,2.375032e-07,2.384591e-07,2.390820e-07,2.404718e-07,2.405898e-07,2.420285e-07,2.423637e-07,2.433999e-07,2.441390e-07,2.447055e-07,2.458016e-07,2.459473e-07,2.471268e-07,2.473554e-07,2.482458e-07,2.488043e-07,2.493059e-07,2.501521e-07,2.503087e-07,2.512559e-07,2.514023e-07,2.521489e-07,2.525588e-07,2.529893e-07,2.536248e-07,2.537787e-07,2.545184e-07,2.546039e-07,2.552100e-07,2.554994e-07,2.558549e-07,2.563146e-07,2.564544e-07,2.570100e-07,2.570526e-07,2.575229e-07,2.577164e-07,2.579945e-07,2.583092e-07,2.584261e-07,2.588189e-07,2.588338e-07,2.591741e-07,2.592930e-07,2.594929e-07,2.596895e-07,2.597765e-07,2.600261e-07,2.603053e-07,2.605296e-07,2.607014e-07,2.608231e-07,2.608969e-07,2.609250e-07,2.609097e-07,2.608528e-07,2.607565e-07,2.606225e-07,2.604529e-07,2.602493e-07,2.600135e-07,2.597472e-07,2.594520e-07,2.591293e-07,2.587808e-07,2.584079e-07,2.580119e-07,2.575941e-07,2.571560e-07,2.566986e-07,2.562232e-07,2.557310e-07
0.000000e+00,9.241703e-10,4.786550e-09,5.538123e-08,2.809921e-07,5.911283e-07,2.940645e-06,3.115515e-06,1.116217e-05,1.521297e-05,3.134914e-05,5.357343e-05,7.447310e-05,1.481120e-04,1.566011e-04,3.001327e-04,3.468520e-04,5.347789e-04,7.197197e-04,8.983284e-04,1.361368e-03,1.436975e-03,2.204956e-03,2.391348e-03,3.263386e-03,3.950377e-03,4.678417e-03,6.193021e-03,6.518974e-03,8.854376e-03,9.278512e-03,1.175203e-02,1.336145e-02,1.527537e-02,1.858349e-02,1.948202e-02,2.442239e-02,2.506663e-02,3.013851e-02,3.290817e-02,3.666323e-02,4.217739e-02,4.401966e-02,5.222098e-02,5.291375e-02,6.127042e-02,6.512653e-02,7.116149e-02,7.879567e-02,8.187839e-02,9.339659e-02,9.387355e-02,1.056835e-01,1.102875e-01,1.186994e-01,1.279432e-01,1.323979e-01,1.467275e-01,1.616319e-01,1.665129e-01,1.770511e-01,1.871607e-01,1.929225e-01,2.085246e-01,2.091816e-01,2.257627e-01,2.304542e-01,2.426000e-01,2.527979e-01,2.596278e-01,2.754061e-01,2.767815e-01,2.939982e-01,2.981327e-01,3.112168e-01,3.208381e-01,3.283788e-01,3.433902e-01,3.454285e-01,3.623132e-01,3.656659e-01,3.789835e-01,3.875520e-01,3.953936e-01,4.089458e-01,4.115011e-01,4.272673e-01,4.297558e-01,4.426572e-01,4.499014e-01,4.576395e-01,4.693129e-01,4.721862e-01,4.862731e-01,4.879316e-01,4.998792e-01,5.057090e-01,5.129870e-01,5.226066e-01,5.255820e-01,5.376527e-01,5.385954e-01,5.491904e-01,5.536548e-01,5.601892e-01,5.677725e-01,5.706455e-01,5.805582e-01,5.809434e-01,5.899282e-01,5.931690e-01,5.987584e-01,6.044569e-01,6.070535e-01,6.148199e-01,6.220653e-01,6.242752e-01,6.287988e-01,6.328444e-01,6.350308e-01,6.405522e-01,6.407726e-01,6.460362e-01,6.474260e-01,6.508346e-01,6.534960e-01,6.551814e-01,6.587937e-01,6.590907e-01,6.625769e-01,6.633523e-01,6.656550e-01,6.672061e-01,6.683400e-01,6.703896e-01,6.706470e-01,6.725916e-01,6.729383e-01,6.741888e-01,6.748873e-01,6.754542e-01,6.762717e-01,6.764028e-01,6.770496e-01,6.771261e-01,6.774096e-01,6.774848e-01,6.774973e-01,6.773811e-01,6.773270e-01,6.769129e-01,6.768474e-01,6.762685e-01,6.759155e-01,6.754073e-01,6.746157e-01,6.743422e-01,6.730859e-01,6.729775e-01,6.716507e-01,6.710292e-01,6.700484e-01,6.687976e-01,6.682903e-01,6.663877e-01,6.663087e-01,6.643510e-01,6.635869e-01,6.621904e-01,6.606556e-01,6.599159e-01,6.575368e-01,6.542513e-01,6.508188e-01,6.472578e-01,6.435855e-01,6.398182e-01,6.359711e-01,6.320582e-01,6.280926e-01,6.240866e-01,6.200513e-01,6.159972e-01,6.119338e-01,6.078699e-01,6.038136e-01,5.997722e-01,5.957523e-01,5.917601e-01,5.878010e-01,5.838799e-01,5.800013e-01,5.761692e-01,5.723869e-01,5.686577e-01,5.649842e-01
0.000000e+00,3.212146e-11,1.396604e-10,1.135295e-09,4.225835e-09,7.537009e-09,2.488486e-08,2.594198e-08,6.345132e-08,7.828599e-08,1.266300e-07,1.794002e-07,2.215605e-07,3.419158e-07,3.540192e-07,5.288253e-07,5.773793e-07,7.477519e-07,8.885260e-07,1.007215e-06,1.262175e-06,1.298433e-06,1.610315e-06,1.674226e-06,1.932525e-06,2.101368e-06,2.256951e-06,2.526848e-06,2.577744e-06,2.890756e-06,2.939903e-06,3.192969e-06,3.333500e-06,3.482090e-06,3.702766e-06,3.756364e-06,4.014475e-06,4.044314e-06,4.255515e-06,4.356020e-06,4.478974e-06,4.636943e-06,4.684707e-06,4.872904e-06,4.887215e-06,5.044042e-06,5.107872e-06,5.198826e-06,5.300634e-06,5.338138e-06,5.462975e-06,5.467682e-06,5.574403e-06,5.611444e-06,5.673514e-06,5.734427e-06,5.761390e-06,5.839078e-06,5.907572e-06,5.927702e-06,5.967798e-06,6.002398e-06,6.020604e-06,6.065037e-06,6.066765e-06,6.106979e-06,6.117261e-06,6.141875e-06,6.160493e-06,6.172008e-06,6.195949e-06,6.197872e-06,6.219906e-06,6.224667e-06,6.238495e-06,6.247528e-06,6.253979e-06,6.265276e-06,6.266658e-06,6.276797e-06,6.278542e-06,6.284631e-06,6.287864e-06,6.290368e-06,6.293700e-06,6.294189e-06,6.296256e-06,6.296434e-06,6.296713e-06,6.296398e-06,6.295688e-06,6.293882e-06,6.293301e-06,6.289659e-06,6.289142e-06,6.284856e-06,6.282399e-06,6.278981e-06,6.273846e-06,6.272110e-06,6.264319e-06,6.263658e-06,6.255675e-06,6.251993e-06,6.246242e-06,6.238993e-06,6.236076e-06,6.225230e-06,6.224782e-06,6.213753e-06,6.209477e-06,6.201693e-06,6.193182e-06,6.189094e-06,6.175995e-06,6.162434e-06,6.158003e-06,6.148447e-06,6.139287e-06,6.134067e-06,6.119921e-06,6.119324e-06,6.104250e-06,6.099973e-06,6.088871e-06,6.079508e-06,6.073214e-06,6.058585e-06,6.057303e-06,6.041163e-06,6.037257e-06,6.024814e-06,6.015576e-06,6.008278e-06,5.993586e-06,5.991573e-06,5.974719e-06,5.971332e-06,5.957733e-06,5.948853e-06,5.940631e-06,5.926188e-06,5.923429e-06,5.906142e-06,5.903369e-06,5.888784e-06,5.880430e-06,5.871367e-06,5.857401e-06,5.853905e-06,5.836409e-06,5.834307e-06,5.818889e-06,5.811176e-06,5.801357e-06,5.788031e-06,5.783823e-06,5.766296e-06,5.764894e-06,5.748784e-06,5.741786e-06,5.731297e-06,5.718725e-06,5.713841e-06,5.696425e-06,5.695729e-06,5.679055e-06,5.672815e-06,5.661739e-06,5.649997e-06,5.644481e-06,5.627289e-06,5.604704e-06,5.582254e-06,5.559949e-06,5.537800e-06,5.515815e-06,5.494004e-06,5.472373e-06,5.450929e-06,5.429680e-06,5.408630e-06,5.387786e-06,5.367150e-06,5.346729e-06,5.326524e-06,5.306540e-06,5.286780e-06,5.267245e-06,5.247938e-06,5.228861e-06,5.210015e-06,5.191401e-06,5.173021e-06,5.154874e-06,5.136962e-06
0.000000e+00,2.470643e-10,1.281521e-09,1.487428e-08,7.569316e-08,1.595031e-07,7.970068e-07,8.445585e-07,3.039892e-06,4.148451e-06,8.577126e-06,1.469830e-05,2.046996e-05,4.088301e-05,4.324207e-05,8.325445e-05,9.631894e-05,1.490157e-04,2.010523e-04,2.514361e-04,3.825051e-04,4.039577e-04,6.224915e-04,6.756786e-04,9.251345e-04,1.122274e-03,1.331699e-03,1.768828e-03,1.863130e-03,2.540872e-03,2.664320e-03,3.386255e-03,3.857684e-03,4.419912e-03,5.395501e-03,5.661268e-03,7.128095e-03,7.320037e-03,8.836150e-03,9.667670e-03,1.079888e-02,1.246772e-02,1.302723e-02,1.552947e-02,1.574167e-02,1.831114e-02,1.950277e-02,2.137504e-02,2.375596e-02,2.472126e-02,2.834727e-02,2.849807e-02,3.224808e-02,3.371829e-02,3.641633e-02,3.939877e-02,4.084258e-02,4.551542e-02,5.042177e-02,5.203877e-02,5.554704e-02,5.893485e-02,6.087543e-02,6.616616e-02,6.639010e-02,7.207343e-02,7.369252e-02,7.790721e-02,8.147197e-02,8.387285e-02,8.946157e-02,8.995158e-02,9.612462e-02,9.761810e-02,1.023733e-01,1.058987e-01,1.086793e-01,1.142616e-01,1.150245e-01,1.213917e-01,1.226662e-01,1.277639e-01,1.310740e-01,1.341250e-01,1.394484e-01,1.404596e-01,1.467531e-01,1.477553e-01,1.529919e-01,1.559632e-01,1.591629e-01,1.640430e-01,1.652544e-01,1.712551e-01,1.719686e-01,1.771550e-01,1.797166e-01,1.829447e-01,1.872660e-01,1.886159e-01,1.941609e-01,1.945989e-01,1.995731e-01,2.016995e-01,2.048467e-01,2.085549e-01,2.099764e-01,2.149580e-01,2.151542e-01,2.197878e-01,2.214887e-01,2.244627e-01,2.275521e-01,2.289806e-01,2.333395e-01,2.375385e-01,2.388482e-01,2.415767e-01,2.440768e-01,2.454542e-01,2.490255e-01,2.491711e-01,2.527283e-01,2.536958e-01,2.561268e-01,2.580903e-01,2.593680e-01,2.622126e-01,2.624538e-01,2.653862e-01,2.660675e-01,2.681676e-01,2.696601e-01,2.708005e-01,2.729968e-01,2.732876e-01,2.756320e-01,2.760840e-01,2.778367e-01,2.789290e-01,2.799049e-01,2.815392e-01,2.818400e-01,2.836455e-01,2.839226e-01,2.853248e-01,2.860872e-01,2.868816e-01,2.880413e-01,2.883195e-01,2.896421e-01,2.897932e-01,2.908530e-01,2.913514e-01,2.919561e-01,2.927245e-01,2.929548e-01,2.938530e-01,2.939206e-01,2.946542e-01,2.949484e-01,2.953621e-01,2.958159e-01,2.959801e-01,2.965118e-01,2.965314e-01,2.969607e-01,2.971027e-01,2.973303e-01,2.975379e-01,2.976237e-01,2.978444e-01,2.980297e-01,2.981009e-01,2.980652e-01,2.979291e-01,2.976992e-01,2.973819e-01,2.969830e-01,2.965085e-01,2.959638e-01,2.953542e-01,2.946849e-01,2.939606e-01,2.931861e-01,2.923656e-01,2.915033e-01,2.906033e-01,2.896692e-01,2.887046e-01,2.877130e-01,2.866974e-01,2.856609e-01,2.846062e-01,2.835362e-01,2.824532e-01
0.000000e+00,2.056835e-12,4.694361e-12,1.600980e-11,3.611282e-11,5.242323e-11,1.173148e-10,1.207749e-10,2.300007e-10,2.691173e-10,3.890299e-10,5.122048e-10,6.071650e-10,8.682714e-10,8.939570e-10,1.257888e-09,1.357340e-09,1.703453e-09,1.988077e-09,2.228399e-09,2.749415e-09,2.824311e-09,3.480189e-09,3.617605e-09,4.185464e-09,4.568652e-09,4.931046e-09,5.582794e-09,5.709197e-09,6.513080e-09,6.643663e-09,7.336396e-09,7.736724e-09,8.173157e-09,8.848352e-09,9.017577e-09,9.864066e-09,9.965526e-09,1.070726e-08,1.107590e-08,1.154208e-08,1.216801e-08,1.236379e-08,1.316809e-08,1.323156e-08,1.395115e-08,1.425766e-08,1.470963e-08,1.523891e-08,1.544071e-08,1.614209e-08,1.616950e-08,1.681200e-08,1.704519e-08,1.744913e-08,1.786322e-08,1.805266e-08,1.862214e-08,1.915752e-08,1.932168e-08,1.965907e-08,1.996254e-08,2.012732e-08,2.054621e-08,2.056303e-08,2.096714e-08,2.107477e-08,2.134075e-08,2.155077e-08,2.168505e-08,2.197701e-08,2.200131e-08,2.229081e-08,2.235646e-08,2.255495e-08,2.269233e-08,2.279515e-08,2.298778e-08,2.301274e-08,2.320901e-08,2.324582e-08,2.338527e-08,2.346944e-08,2.354277e-08,2.366145e-08,2.368270e-08,2.380619e-08,2.382450e-08,2.391433e-08,2.396109e-08,2.400815e-08,2.407356e-08,2.408863e-08,2.415667e-08,2.416404e-08,2.421314e-08,2.423452e-08,2.425882e-08,2.428681e-08,2.429449e-08,2.432084e-08,2.432257e-08,2.433853e-08,2.434331e-08,2.434816e-08,2.435043e-08,2.435031e-08,2.434550e-08,2.434517e-08,2.433424e-08,2.432869e-08,2.431697e-08,2.430202e-08,2.429413e-08,2.426610e-08,2.423327e-08,2.422180e-08,2.419597e-08,2.416990e-08,2.415452e-08,2.411110e-08,2.410922e-08,2.406034e-08,2.404605e-08,2.400815e-08,2.397534e-08,2.395287e-08,2.389950e-08,2.389475e-08,2.383398e-08,2.381902e-08,2.377076e-08,2.373435e-08,2.370527e-08,2.364590e-08,2.363769e-08,2.356817e-08,2.355404e-08,2.349686e-08,2.345912e-08,2.342390e-08,2.336144e-08,2.334943e-08,2.327356e-08,2.326130e-08,2.319641e-08,2.315895e-08,2.311809e-08,2.305466e-08,2.303870e-08,2.295833e-08,2.294863e-08,2.287708e-08,2.284107e-08,2.279503e-08,2.273219e-08,2.271226e-08,2.262884e-08,2.262214e-08,2.254485e-08,2.251111e-08,2.246036e-08,2.239924e-08,2.237541e-08,2.229008e-08,2.228666e-08,2.220443e-08,2.217352e-08,2.211849e-08,2.205992e-08,2.203233e-08,2.194599e-08,2.183181e-08,2.171750e-08,2.160313e-08,2.148878e-08,2.137454e-08,2.126048e-08,2.114666e-08,2.103314e-08,2.091998e-08,2.080723e-08,2.069494e-08,2.058315e-08,2.047191e-08,2.036126e-08,2.025122e-08,2.014184e-08,2.003313e-08,1.992514e-08,1.981788e-08,1.971138e-08,1.960566e-08,1.950074e-08,1.939663e-08,1.929336e-08
0.000000e+00,9.836264e-11,2.493411e-10,9.528962e-10,2.272177e-09,3.369881e-09,7.842477e-09,8.083823e-09,1.577695e-08,1.855403e-08,2.710027e-08,3.590098e-08,4.268672e-08,6.130431e-08,6.313086e-08,8.889145e-08,9.589163e-08,1.201410e-07,1.399932e-07,1.567334e-07,1.930974e-07,1.983433e-07,2.445980e-07,2.543732e-07,2.951200e-07,3.229498e-07,3.495212e-07,3.979169e-07,4.073916e-07,4.682940e-07,4.782891e-07,5.317652e-07,5.630027e-07,5.973228e-07,6.509398e-07,6.644737e-07,7.327245e-07,7.409654e-07,8.015920e-07,8.319685e-07,8.706121e-07,9.228995e-07,9.393481e-07,1.007397e-06,1.012800e-06,1.074393e-06,1.100824e-06,1.140014e-06,1.186249e-06,1.203976e-06,1.266042e-06,1.268482e-06,1.326012e-06,1.347057e-06,1.383728e-06,1.421624e-06,1.439068e-06,1.491942e-06,1.542292e-06,1.557865e-06,1.590085e-06,1.619326e-06,1.635313e-06,1.676328e-06,1.677986e-06,1.718133e-06,1.728927e-06,1.755797e-06,1.777225e-06,1.791031e-06,1.821356e-06,1.823900e-06,1.854475e-06,1.861481e-06,1.882833e-06,1.897776e-06,1.909055e-06,1.930430e-06,1.933225e-06,1.955427e-06,1.959639e-06,1.975748e-06,1.985600e-06,1.994273e-06,2.008510e-06,2.011089e-06,2.026279e-06,2.028564e-06,2.039924e-06,2.045949e-06,2.052106e-06,2.060850e-06,2.062902e-06,2.072387e-06,2.073441e-06,2.080634e-06,2.083889e-06,2.087714e-06,2.092354e-06,2.093693e-06,2.098635e-06,2.098988e-06,2.102604e-06,2.103932e-06,2.105658e-06,2.107322e-06,2.107853e-06,2.109243e-06,2.109282e-06,2.109879e-06,2.109933e-06,2.109810e-06,2.109384e-06,2.109082e-06,2.107739e-06,2.105823e-06,2.105095e-06,2.103373e-06,2.101543e-06,2.100428e-06,2.097166e-06,2.097021e-06,2.093188e-06,2.092042e-06,2.088959e-06,2.086245e-06,2.084366e-06,2.079841e-06,2.079435e-06,2.074195e-06,2.072894e-06,2.068670e-06,2.065461e-06,2.062885e-06,2.057597e-06,2.056862e-06,2.050623e-06,2.049350e-06,2.044186e-06,2.040768e-06,2.037573e-06,2.031893e-06,2.030799e-06,2.023882e-06,2.022763e-06,2.016838e-06,2.013416e-06,2.009681e-06,2.003884e-06,2.002426e-06,1.995085e-06,1.994199e-06,1.987671e-06,1.984389e-06,1.980195e-06,1.974479e-06,1.972669e-06,1.965101e-06,1.964494e-06,1.957502e-06,1.954456e-06,1.949881e-06,1.944384e-06,1.942246e-06,1.934603e-06,1.934298e-06,1.926962e-06,1.924213e-06,1.919328e-06,1.914145e-06,1.911708e-06,1.904108e-06,1.894114e-06,1.884176e-06,1.874303e-06,1.864505e-06,1.854790e-06,1.845166e-06,1.835639e-06,1.826215e-06,1.816900e-06,1.807699e-06,1.798615e-06,1.789652e-06,1.780813e-06,1.772101e-06,1.763517e-06,1.755064e-06,1.746744e-06,1.738556e-06,1.730502e-06,1.722583e-06,1.714798e-06,1.707148e-06,1.699633e-06,1.692251e-06
0.000000e+00,6.066261e-12,2.975155e-11,3.074116e-10,1.407347e-09,2.798968e-09,1.206325e-08,1.270711e-08,3.964140e-08,5.208007e-08,9.806977e-08,1.562034e-07,2.076788e-07,3.753794e-07,3.937763e-07,6.871353e-07,7.772723e-07,1.121724e-06,1.438881e-06,1.729171e-06,2.424714e-06,2.531735e-06,3.537575e-06,3.762801e-06,4.740253e-06,5.437762e-06,6.121624e-06,7.401432e-06,7.656040e-06,9.314345e-06,9.589178e-06,1.106690e-05,1.193322e-05,1.288545e-05,1.437035e-05,1.474416e-05,1.661993e-05,1.684518e-05,1.849246e-05,1.931070e-05,2.034407e-05,2.172782e-05,2.215949e-05,2.392570e-05,2.406452e-05,2.563170e-05,2.629515e-05,2.726845e-05,2.839989e-05,2.882869e-05,3.030689e-05,3.036425e-05,3.169905e-05,3.217865e-05,3.300267e-05,3.383788e-05,3.421652e-05,3.534055e-05,3.637575e-05,3.668853e-05,3.732396e-05,3.788631e-05,3.818772e-05,3.894039e-05,3.897017e-05,3.967486e-05,3.985877e-05,4.030568e-05,4.065041e-05,4.086672e-05,4.132484e-05,4.136216e-05,4.179623e-05,4.189174e-05,4.217313e-05,4.236075e-05,4.249696e-05,4.274118e-05,4.277169e-05,4.300114e-05,4.304192e-05,4.318895e-05,4.327130e-05,4.333854e-05,4.343703e-05,4.345315e-05,4.353578e-05,4.354622e-05,4.358925e-05,4.360533e-05,4.361617e-05,4.362021e-05,4.361894e-05,4.359980e-05,4.359613e-05,4.356079e-05,4.353782e-05,4.350379e-05,4.344951e-05,4.343053e-05,4.334258e-05,4.333495e-05,4.324140e-05,4.319752e-05,4.312830e-05,4.304018e-05,4.300450e-05,4.287109e-05,4.286557e-05,4.272910e-05,4.267605e-05,4.257943e-05,4.247370e-05,4.242292e-05,4.226036e-05,4.209243e-05,4.203766e-05,4.191977e-05,4.180707e-05,4.174298e-05,4.156986e-05,4.156258e-05,4.137906e-05,4.132718e-05,4.119287e-05,4.108005e-05,4.100442e-05,4.082937e-05,4.081408e-05,4.062218e-05,4.057594e-05,4.042906e-05,4.032047e-05,4.023498e-05,4.006361e-05,4.004021e-05,3.984500e-05,3.980592e-05,3.964956e-05,3.954790e-05,3.945409e-05,3.929001e-05,3.925877e-05,3.906379e-05,3.903263e-05,3.886928e-05,3.877613e-05,3.867540e-05,3.852083e-05,3.848227e-05,3.829002e-05,3.826701e-05,3.809874e-05,3.801492e-05,3.790854e-05,3.776477e-05,3.771951e-05,3.753173e-05,3.751677e-05,3.734528e-05,3.727108e-05,3.716021e-05,3.702786e-05,3.697660e-05,3.679449e-05,3.678724e-05,3.661394e-05,3.654934e-05,3.643500e-05,3.631425e-05,3.625769e-05,3.608207e-05,3.585286e-05,3.562670e-05,3.540363e-05,3.518370e-05,3.496694e-05,3.475338e-05,3.454303e-05,3.433592e-05,3.413205e-05,3.393142e-05,3.373403e-05,3.353987e-05,3.334893e-05,3.316120e-05,3.297665e-05,3.279528e-05,3.261705e-05,3.244194e-05,3.226993e-05,3.210098e-05,3.193506e-05,3.177213e-05,3.161218e-05,3.145515e-05
0.000000e+00,1.282266e-10,3.122254e-10,1.144647e-09,2.679532e-09,3.948223e-09,9.092077e-09,9.369094e-09,1.819034e-08,2.137326e-08,3.117082e-08,4.126771e-08,4.905962e-08,7.047204e-08,7.257568e-08,1.023028e-07,1.103999e-07,1.385069e-07,1.615742e-07,1.810560e-07,2.234415e-07,2.295613e-07,2.835569e-07,2.949734e-07,3.425731e-07,3.750899e-07,4.061394e-07,4.626970e-07,4.737704e-07,5.449573e-07,5.566419e-07,6.191677e-07,6.557016e-07,6.958518e-07,7.586055e-07,7.744521e-07,8.544136e-07,8.640746e-07,9.351957e-07,9.708654e-07,1.016281e-06,1.077809e-06,1.097185e-06,1.177460e-06,1.183842e-06,1.256702e-06,1.288028e-06,1.334554e-06,1.389568e-06,1.410701e-06,1.484877e-06,1.487800e-06,1.556859e-06,1.582199e-06,1.626465e-06,1.672366e-06,1.693553e-06,1.758014e-06,1.819771e-06,1.838954e-06,1.878777e-06,1.915085e-06,1.935007e-06,1.986374e-06,1.988459e-06,2.039147e-06,2.052849e-06,2.087104e-06,2.114584e-06,2.132372e-06,2.171690e-06,2.175005e-06,2.215066e-06,2.224305e-06,2.252623e-06,2.272589e-06,2.287752e-06,2.316717e-06,2.320529e-06,2.351037e-06,2.356873e-06,2.379356e-06,2.393245e-06,2.405571e-06,2.426027e-06,2.429765e-06,2.452022e-06,2.455409e-06,2.472423e-06,2.481580e-06,2.491050e-06,2.504727e-06,2.507982e-06,2.523298e-06,2.525031e-06,2.537073e-06,2.542665e-06,2.549382e-06,2.557800e-06,2.560296e-06,2.569885e-06,2.570597e-06,2.578217e-06,2.581212e-06,2.585355e-06,2.589792e-06,2.591364e-06,2.596303e-06,2.596479e-06,2.600230e-06,2.601406e-06,2.603201e-06,2.604702e-06,2.605269e-06,2.606487e-06,2.606903e-06,2.606875e-06,2.606565e-06,2.605973e-06,2.605517e-06,2.603884e-06,2.603804e-06,2.601465e-06,2.600704e-06,2.598541e-06,2.596522e-06,2.595070e-06,2.591423e-06,2.591087e-06,2.586626e-06,2.585488e-06,2.581721e-06,2.578792e-06,2.576403e-06,2.571404e-06,2.570700e-06,2.564642e-06,2.563391e-06,2.558256e-06,2.554813e-06,2.551566e-06,2.545730e-06,2.544597e-06,2.537373e-06,2.536195e-06,2.529914e-06,2.526257e-06,2.522243e-06,2.515966e-06,2.514378e-06,2.506338e-06,2.505363e-06,2.498142e-06,2.494490e-06,2.489805e-06,2.483385e-06,2.481343e-06,2.472773e-06,2.472083e-06,2.464107e-06,2.460617e-06,2.455359e-06,2.449017e-06,2.446542e-06,2.437667e-06,2.437311e-06,2.428747e-06,2.425526e-06,2.419791e-06,2.413686e-06,2.410810e-06,2.401812e-06,2.389926e-06,2.378045e-06,2.366188e-06,2.354370e-06,2.342605e-06,2.330908e-06,2.319289e-06,2.307760e-06,2.296331e-06,2.285010e-06,2.273807e-06,2.262727e-06,2.251778e-06,2.240965e-06,2.230293e-06,2.219766e-06,2.209389e-06,2.199165e-06,2.189095e-06,2.179184e-06,2.169432e-06,2.159841e-06,2.150412e-06,2.141146e-06
0.000000e+00,3.200324e-11,1.058683e-10,5.549852e-10,1.550830e-09,2.444440e-09,6.354315e-09,6.573014e-09,1.377901e-08,1.646175e-08,2.490068e-08,3.381335e-08,4.080797e-08,6.044372e-08,6.240120e-08,9.051565e-08,9.830430e-08,1.257070e-07,1.485636e-07,1.680846e-07,2.111241e-07,2.173945e-07,2.732372e-07,2.851533e-07,3.352045e-07,3.697192e-07,4.029104e-07,4.639413e-07,4.759762e-07,5.540102e-07,5.669292e-07,6.365941e-07,6.777195e-07,7.232778e-07,7.952542e-07,8.135802e-07,9.069945e-07,9.183885e-07,1.002996e-06,1.045919e-06,1.101052e-06,1.176620e-06,1.200629e-06,1.301207e-06,1.309282e-06,1.402282e-06,1.442743e-06,1.503374e-06,1.575920e-06,1.604038e-06,1.703866e-06,1.707836e-06,1.802486e-06,1.837629e-06,1.899568e-06,1.964556e-06,1.994823e-06,2.088004e-06,2.178900e-06,2.207475e-06,2.267339e-06,2.322585e-06,2.353183e-06,2.433054e-06,2.436327e-06,2.516694e-06,2.538692e-06,2.594233e-06,2.639387e-06,2.668916e-06,2.735096e-06,2.740736e-06,2.809703e-06,2.825832e-06,2.875841e-06,2.911656e-06,2.939187e-06,2.992662e-06,2.999791e-06,3.057708e-06,3.068975e-06,3.113002e-06,3.140741e-06,3.165742e-06,3.208122e-06,3.216000e-06,3.263852e-06,3.271291e-06,3.309377e-06,3.330425e-06,3.352652e-06,3.385707e-06,3.393758e-06,3.432773e-06,3.437318e-06,3.469776e-06,3.485440e-06,3.504844e-06,3.530248e-06,3.538053e-06,3.569477e-06,3.571916e-06,3.599189e-06,3.610610e-06,3.627259e-06,3.646492e-06,3.653756e-06,3.678745e-06,3.679715e-06,3.702291e-06,3.710427e-06,3.724456e-06,3.738768e-06,3.745297e-06,3.764874e-06,3.783240e-06,3.788870e-06,3.800448e-06,3.810878e-06,3.816550e-06,3.831011e-06,3.831593e-06,3.845624e-06,3.849378e-06,3.858689e-06,3.866081e-06,3.870829e-06,3.881216e-06,3.882085e-06,3.892497e-06,3.894874e-06,3.902102e-06,3.907142e-06,3.910936e-06,3.918100e-06,3.919033e-06,3.926427e-06,3.927824e-06,3.933148e-06,3.936387e-06,3.939226e-06,3.943857e-06,3.944691e-06,3.949569e-06,3.950297e-06,3.953888e-06,3.955769e-06,3.957671e-06,3.960328e-06,3.960943e-06,3.963727e-06,3.964029e-06,3.966045e-06,3.966922e-06,3.967917e-06,3.969055e-06,3.969365e-06,3.970407e-06,3.970474e-06,3.971062e-06,3.971219e-06,3.971346e-06,3.971332e-06,3.971278e-06,3.970873e-06,3.970850e-06,3.970146e-06,3.969809e-06,3.969113e-06,3.968242e-06,3.967787e-06,3.966182e-06,3.963659e-06,3.960700e-06,3.957332e-06,3.953582e-06,3.949472e-06,3.945026e-06,3.940265e-06,3.935209e-06,3.929877e-06,3.924288e-06,3.918459e-06,3.912405e-06,3.906143e-06,3.899687e-06,3.893051e-06,3.886248e-06,3.879289e-06,3.872188e-06,3.864956e-06,3.857602e-06,3.850136e-06,3.842570e-06,3.834910e-06,3.827166e-06
0.000000e+00,2.975532e-12,6.812829e-12,2.339373e-11,5.308707e-11,7.730430e-11,1.742220e-10,1.794054e-10,3.433427e-10,4.020914e-10,5.819469e-10,7.660132e-10,9.073076e-10,1.292862e-09,1.330563e-09,1.861231e-09,2.005393e-09,2.505899e-09,2.917607e-09,3.266283e-09,4.027389e-09,4.137444e-09,5.107685e-09,5.312241e-09,6.160844e-09,6.735458e-09,7.279531e-09,8.257847e-09,8.447388e-09,9.649943e-09,9.844705e-09,1.087459e-08,1.146699e-08,1.211036e-08,1.310055e-08,1.334774e-08,1.457845e-08,1.472534e-08,1.579539e-08,1.632490e-08,1.699255e-08,1.788606e-08,1.816494e-08,1.930848e-08,1.939862e-08,2.041997e-08,2.085502e-08,2.149695e-08,2.225000e-08,2.253766e-08,2.354086e-08,2.358020e-08,2.450583e-08,2.484379e-08,2.543226e-08,2.604023e-08,2.632019e-08,2.716990e-08,2.798194e-08,2.823394e-08,2.875699e-08,2.923400e-08,2.949590e-08,3.017211e-08,3.019959e-08,3.086908e-08,3.105055e-08,3.150542e-08,3.187176e-08,3.210969e-08,3.263827e-08,3.268302e-08,3.322651e-08,3.335263e-08,3.374127e-08,3.401738e-08,3.422837e-08,3.463501e-08,3.468891e-08,3.512393e-08,3.520796e-08,3.553446e-08,3.573859e-08,3.592149e-08,3.622916e-08,3.628601e-08,3.662895e-08,3.668187e-08,3.695121e-08,3.709881e-08,3.725367e-08,3.748196e-08,3.753718e-08,3.780256e-08,3.783323e-08,3.805059e-08,3.815441e-08,3.828201e-08,3.844724e-08,3.849756e-08,3.869794e-08,3.871333e-08,3.888380e-08,3.895422e-08,3.905579e-08,3.917138e-08,3.921453e-08,3.936060e-08,3.936619e-08,3.949458e-08,3.953995e-08,3.961699e-08,3.969390e-08,3.972837e-08,3.982920e-08,3.991997e-08,3.994696e-08,4.000112e-08,4.004822e-08,4.007311e-08,4.013396e-08,4.013633e-08,4.019120e-08,4.020511e-08,4.023809e-08,4.026255e-08,4.027737e-08,4.030710e-08,4.030940e-08,4.033451e-08,4.033954e-08,4.035301e-08,4.036061e-08,4.036522e-08,4.037100e-08,4.037143e-08,4.037193e-08,4.037137e-08,4.036698e-08,4.036233e-08,4.035683e-08,4.034448e-08,4.034174e-08,4.032195e-08,4.031836e-08,4.029767e-08,4.028449e-08,4.026913e-08,4.024337e-08,4.023653e-08,4.020008e-08,4.019545e-08,4.015995e-08,4.014118e-08,4.011633e-08,4.008096e-08,4.006940e-08,4.001933e-08,4.001519e-08,3.996626e-08,3.994423e-08,3.991036e-08,3.986844e-08,3.985177e-08,3.979064e-08,3.978814e-08,3.972708e-08,3.970364e-08,3.966125e-08,3.961523e-08,3.959324e-08,3.952320e-08,3.942780e-08,3.932927e-08,3.922787e-08,3.912379e-08,3.901726e-08,3.890847e-08,3.879761e-08,3.868485e-08,3.857036e-08,3.845430e-08,3.833682e-08,3.821805e-08,3.809814e-08,3.797720e-08,3.785535e-08,3.773272e-08,3.760940e-08,3.748549e-08,3.736110e-08,3.723631e-08,3.711120e-08,3.698585e-08,3.686035e-08,3.673476e-08
0.000000e+00,6.231489e-11,2.739824e-10,2.281683e-09,8.692214e-09,1.570906e-08,5.375004e-08,5.611749e-08,1.425500e-07,1.777711e-07,2.956431e-07,4.287355e-07,5.378246e-07,8.601673e-07,8.933528e-07,1.385090e-06,1.525215e-06,2.026850e-06,2.451824e-06,2.817076e-06,3.623327e-06,3.740460e-06,4.775106e-06,4.993394e-06,5.898787e-06,6.511620e-06,7.091769e-06,8.134964e-06,8.337104e-06,9.619942e-06,9.827759e-06,1.092678e-05,1.155886e-05,1.224501e-05,1.329978e-05,1.356273e-05,1.486873e-05,1.502416e-05,1.615263e-05,1.670807e-05,1.740499e-05,1.833054e-05,1.861750e-05,1.978303e-05,1.987406e-05,2.089569e-05,2.132488e-05,2.195087e-05,2.267306e-05,2.294518e-05,2.387638e-05,2.391229e-05,2.474325e-05,2.503949e-05,2.554550e-05,2.605437e-05,2.628367e-05,2.695894e-05,2.757300e-05,2.775691e-05,2.812798e-05,2.845329e-05,2.862634e-05,2.905398e-05,2.907076e-05,2.946409e-05,2.956548e-05,2.980930e-05,2.999455e-05,3.010933e-05,3.034800e-05,3.036714e-05,3.058564e-05,3.063255e-05,3.076764e-05,3.085463e-05,3.091585e-05,3.102039e-05,3.103287e-05,3.112116e-05,3.113558e-05,3.118306e-05,3.120556e-05,3.122078e-05,3.123528e-05,3.123637e-05,3.123176e-05,3.122927e-05,3.120875e-05,3.119166e-05,3.116901e-05,3.112622e-05,3.111409e-05,3.104544e-05,3.103634e-05,3.096438e-05,3.092511e-05,3.087215e-05,3.079529e-05,3.076989e-05,3.065863e-05,3.064937e-05,3.053934e-05,3.048958e-05,3.041291e-05,3.031792e-05,3.028015e-05,3.014181e-05,3.013617e-05,2.999857e-05,2.994593e-05,2.985106e-05,2.974862e-05,2.969987e-05,2.954551e-05,2.938848e-05,2.933774e-05,2.922921e-05,2.912630e-05,2.906812e-05,2.891210e-05,2.890557e-05,2.874190e-05,2.869592e-05,2.857742e-05,2.847846e-05,2.841242e-05,2.826037e-05,2.824714e-05,2.808183e-05,2.804217e-05,2.791669e-05,2.782436e-05,2.775192e-05,2.760737e-05,2.758770e-05,2.742417e-05,2.739157e-05,2.726150e-05,2.717729e-05,2.709981e-05,2.696482e-05,2.693920e-05,2.677980e-05,2.675441e-05,2.662169e-05,2.654629e-05,2.646496e-05,2.634062e-05,2.630969e-05,2.615593e-05,2.613758e-05,2.600375e-05,2.593731e-05,2.585321e-05,2.573991e-05,2.570434e-05,2.555719e-05,2.554549e-05,2.541179e-05,2.535412e-05,2.526817e-05,2.516587e-05,2.512635e-05,2.498635e-05,2.498079e-05,2.484820e-05,2.479891e-05,2.471189e-05,2.462027e-05,2.457745e-05,2.444487e-05,2.427272e-05,2.410384e-05,2.393820e-05,2.377580e-05,2.361662e-05,2.346064e-05,2.330783e-05,2.315815e-05,2.301158e-05,2.286808e-05,2.272761e-05,2.259013e-05,2.245560e-05,2.232396e-05,2.219518e-05,2.206921e-05,2.194600e-05,2.182551e-05,2.170768e-05,2.159247e-05,2.147982e-05,2.136969e-05,2.126204e-05,2.115680e-05
0.000000e+00,1.984786e-11,9.744205e-11,1.009495e-09,4.636333e-09,9.240827e-09,4.011948e-08,4.227602e-08,1.332962e-07,1.757508e-07,3.344386e-07,5.380749e-07,7.206001e-07,1.325357e-06,1.392397e-06,2.471672e-06,2.805494e-06,4.083205e-06,5.257732e-06,6.328948e-06,8.879058e-06,9.269509e-06,1.291992e-05,1.373366e-05,1.725644e-05,1.976632e-05,2.222778e-05,2.684503e-05,2.776623e-05,3.379610e-05,3.480127e-05,4.023942e-05,4.345640e-05,4.701931e-05,5.263567e-05,5.406172e-05,6.129633e-05,6.217421e-05,6.865695e-05,7.191947e-05,7.608185e-05,8.173245e-05,8.351392e-05,9.090093e-05,9.148849e-05,9.819570e-05,1.010782e-04,1.053563e-04,1.104082e-04,1.123463e-04,1.191344e-04,1.194013e-04,1.256947e-04,1.279964e-04,1.320061e-04,1.361472e-04,1.380524e-04,1.438215e-04,1.493055e-04,1.509993e-04,1.544996e-04,1.576709e-04,1.594023e-04,1.638355e-04,1.640144e-04,1.683393e-04,1.694994e-04,1.723818e-04,1.746743e-04,1.761483e-04,1.793762e-04,1.796464e-04,1.828845e-04,1.836239e-04,1.858717e-04,1.874386e-04,1.886177e-04,1.908423e-04,1.911322e-04,1.934253e-04,1.938582e-04,1.955070e-04,1.965093e-04,1.973874e-04,1.988186e-04,1.990763e-04,2.005835e-04,2.008084e-04,2.019183e-04,2.025005e-04,2.030900e-04,2.039159e-04,2.041075e-04,2.049795e-04,2.050747e-04,2.057142e-04,2.059960e-04,2.063195e-04,2.066978e-04,2.068032e-04,2.071725e-04,2.071973e-04,2.074344e-04,2.075106e-04,2.075956e-04,2.076530e-04,2.076625e-04,2.076412e-04,2.076385e-04,2.075373e-04,2.074807e-04,2.073564e-04,2.071920e-04,2.071037e-04,2.067841e-04,2.064024e-04,2.062678e-04,2.059629e-04,2.056534e-04,2.054700e-04,2.049502e-04,2.049276e-04,2.043394e-04,2.041671e-04,2.037091e-04,2.033122e-04,2.030401e-04,2.023931e-04,2.023355e-04,2.015983e-04,2.014168e-04,2.008314e-04,2.003899e-04,2.000375e-04,1.993185e-04,1.992191e-04,1.983785e-04,1.982080e-04,1.975182e-04,1.970636e-04,1.966401e-04,1.958902e-04,1.957462e-04,1.948385e-04,1.946921e-04,1.939186e-04,1.934733e-04,1.929883e-04,1.922376e-04,1.920491e-04,1.911024e-04,1.909884e-04,1.901497e-04,1.897288e-04,1.891921e-04,1.884618e-04,1.882308e-04,1.872671e-04,1.871899e-04,1.863019e-04,1.859156e-04,1.853362e-04,1.846411e-04,1.843709e-04,1.834069e-04,1.833684e-04,1.824450e-04,1.820993e-04,1.814858e-04,1.808355e-04,1.805301e-04,1.795784e-04,1.783295e-04,1.770900e-04,1.758609e-04,1.746433e-04,1.734380e-04,1.722458e-04,1.710674e-04,1.699034e-04,1.687543e-04,1.676206e-04,1.665027e-04,1.654009e-04,1.643155e-04,1.632466e-04,1.621946e-04,1.611594e-04,1.601413e-04,1.591402e-04,1.581562e-04,1.571893e-04,1.562394e-04,1.553066e-04,1.543906e-04,1.534915e-04
0.000000e+00,7.220630e-12,3.578349e-11,3.776653e-10,1.761497e-09,3.537889e-09,1.561033e-08,1.645808e-08,5.235256e-08,6.908890e-08,1.313395e-07,2.103811e-07,2.804555e-07,5.084901e-07,5.334617e-07,9.305937e-07,1.052361e-06,1.517845e-06,1.948182e-06,2.344737e-06,3.309248e-06,3.459722e-06,4.904064e-06,5.235248e-06,6.706542e-06,7.790517e-06,8.880833e-06,1.099410e-05,1.142575e-05,1.432742e-05,1.482333e-05,1.756226e-05,1.922460e-05,2.109991e-05,2.412491e-05,2.490580e-05,2.894300e-05,2.944122e-05,3.317370e-05,3.508675e-05,3.756012e-05,4.097513e-05,4.206526e-05,4.665337e-05,4.702297e-05,5.129035e-05,5.315156e-05,5.594406e-05,5.928819e-05,6.058457e-05,6.518436e-05,6.536715e-05,6.971851e-05,7.133037e-05,7.416477e-05,7.712794e-05,7.850361e-05,8.271827e-05,8.679464e-05,8.806791e-05,9.072118e-05,9.315126e-05,9.448884e-05,9.794998e-05,9.809081e-05,1.015224e-04,1.024523e-04,1.047808e-04,1.066521e-04,1.078648e-04,1.105484e-04,1.107748e-04,1.135124e-04,1.141440e-04,1.160803e-04,1.174454e-04,1.184820e-04,1.204615e-04,1.207219e-04,1.228047e-04,1.232029e-04,1.247359e-04,1.256821e-04,1.265211e-04,1.279120e-04,1.281660e-04,1.296768e-04,1.299065e-04,1.310594e-04,1.316793e-04,1.323198e-04,1.332441e-04,1.334640e-04,1.344978e-04,1.346147e-04,1.354269e-04,1.358040e-04,1.362570e-04,1.368249e-04,1.369933e-04,1.376411e-04,1.376892e-04,1.382053e-04,1.384086e-04,1.386907e-04,1.389940e-04,1.391019e-04,1.394432e-04,1.394554e-04,1.397187e-04,1.398026e-04,1.399326e-04,1.400446e-04,1.400883e-04,1.401897e-04,1.402399e-04,1.402458e-04,1.402423e-04,1.402201e-04,1.401998e-04,1.401195e-04,1.401154e-04,1.399917e-04,1.399503e-04,1.398312e-04,1.397184e-04,1.396365e-04,1.394290e-04,1.394098e-04,1.391532e-04,1.390874e-04,1.388688e-04,1.386981e-04,1.385585e-04,1.382655e-04,1.382241e-04,1.378674e-04,1.377935e-04,1.374899e-04,1.372859e-04,1.370932e-04,1.367461e-04,1.366786e-04,1.362477e-04,1.361773e-04,1.358015e-04,1.355823e-04,1.353414e-04,1.349640e-04,1.348685e-04,1.343837e-04,1.343248e-04,1.338882e-04,1.336671e-04,1.333829e-04,1.329929e-04,1.328687e-04,1.323464e-04,1.323043e-04,1.318168e-04,1.316031e-04,1.312807e-04,1.308910e-04,1.307387e-04,1.301915e-04,1.301695e-04,1.296397e-04,1.294401e-04,1.290840e-04,1.287041e-04,1.285249e-04,1.279628e-04,1.272173e-04,1.264686e-04,1.257177e-04,1.249655e-04,1.242128e-04,1.234603e-04,1.227088e-04,1.219588e-04,1.212110e-04,1.204659e-04,1.197240e-04,1.189857e-04,1.182514e-04,1.175216e-04,1.167965e-04,1.160765e-04,1.153618e-04,1.146527e-04,1.139495e-04,1.132522e-04,1.125612e-04,1.118765e-04,1.111984e-04,1.105269e-04
0.000000e+00,4.752175e-12,2.366547e-11,2.522486e-10,1.186853e-09,2.394930e-09,1.069160e-08,1.127745e-08,3.626843e-08,4.799970e-08,9.188062e-08,1.479523e-07,1.978759e-07,3.611754e-07,3.791129e-07,6.652571e-07,7.532330e-07,1.090220e-06,1.402527e-06,1.690889e-06,2.394475e-06,2.504525e-06,3.564617e-06,3.808600e-06,4.896008e-06,5.700175e-06,6.510918e-06,8.085361e-06,8.407156e-06,1.056871e-05,1.093748e-05,1.296815e-05,1.419413e-05,1.556982e-05,1.776962e-05,1.833321e-05,2.121581e-05,2.156771e-05,2.417552e-05,2.549181e-05,2.717234e-05,2.945197e-05,3.016948e-05,3.313403e-05,3.336890e-05,3.603735e-05,3.717594e-05,3.885510e-05,4.081944e-05,4.156716e-05,4.415742e-05,4.425831e-05,4.661347e-05,4.746296e-05,4.892629e-05,5.041401e-05,5.108987e-05,5.310087e-05,5.495824e-05,5.552026e-05,5.666290e-05,5.767486e-05,5.821740e-05,5.957203e-05,5.962561e-05,6.089249e-05,6.122266e-05,6.202380e-05,6.264015e-05,6.302591e-05,6.383956e-05,6.390559e-05,6.466988e-05,6.483692e-05,6.532590e-05,6.564865e-05,6.588081e-05,6.629108e-05,6.634164e-05,6.671528e-05,6.678014e-05,6.700838e-05,6.713110e-05,6.722733e-05,6.735840e-05,6.737821e-05,6.746680e-05,6.747556e-05,6.749854e-05,6.749510e-05,6.747856e-05,6.742855e-05,6.741163e-05,6.730221e-05,6.728643e-05,6.715447e-05,6.707832e-05,6.697224e-05,6.681288e-05,6.675909e-05,6.651829e-05,6.649792e-05,6.625287e-05,6.614045e-05,6.596563e-05,6.574674e-05,6.565911e-05,6.533566e-05,6.532240e-05,6.499743e-05,6.487244e-05,6.464640e-05,6.440129e-05,6.428434e-05,6.391291e-05,6.353359e-05,6.341077e-05,6.314775e-05,6.289797e-05,6.275663e-05,6.237723e-05,6.236135e-05,6.196294e-05,6.185095e-05,6.156232e-05,6.132124e-05,6.116033e-05,6.078995e-05,6.075773e-05,6.035522e-05,6.025869e-05,5.995340e-05,5.972889e-05,5.955283e-05,5.920178e-05,5.915404e-05,5.875745e-05,5.867843e-05,5.836347e-05,5.815976e-05,5.797247e-05,5.764657e-05,5.758477e-05,5.720064e-05,5.713952e-05,5.682033e-05,5.663921e-05,5.644408e-05,5.614612e-05,5.607206e-05,5.570446e-05,5.566065e-05,5.534141e-05,5.518314e-05,5.498304e-05,5.471388e-05,5.462946e-05,5.428075e-05,5.425306e-05,5.393698e-05,5.380088e-05,5.359822e-05,5.335744e-05,5.326451e-05,5.293588e-05,5.292284e-05,5.261235e-05,5.249713e-05,5.229394e-05,5.208034e-05,5.198064e-05,5.167246e-05,5.127347e-05,5.088332e-05,5.050194e-05,5.012927e-05,4.976521e-05,4.940966e-05,4.906250e-05,4.872362e-05,4.839288e-05,4.807016e-05,4.775531e-05,4.744820e-05,4.714868e-05,4.685661e-05,4.657183e-05,4.629419e-05,4.602355e-05,4.575975e-05,4.550264e-05,4.525208e-05,4.500792e-05,4.477000e-05,4.453819e-05,4.431233e-05
0.000000e+00,1.124344e-11,5.280696e-11,4.998081e-10,2.116930e-09,4.037300e-09,1.564406e-08,1.640862e-08,4.613583e-08,5.892788e-08,1.033504e-07,1.553323e-07,1.987770e-07,3.294794e-07,3.430645e-07,5.464146e-07,6.050836e-07,8.183675e-07,1.003902e-06,1.167590e-06,1.544777e-06,1.601530e-06,2.125824e-06,2.241845e-06,2.743448e-06,3.101454e-06,3.453773e-06,4.118633e-06,4.251905e-06,5.128708e-06,5.275494e-06,6.071613e-06,6.543429e-06,7.065985e-06,7.888266e-06,8.096552e-06,9.148558e-06,9.275583e-06,1.020851e-05,1.067429e-05,1.126455e-05,1.205823e-05,1.230654e-05,1.332600e-05,1.340636e-05,1.431595e-05,1.470238e-05,1.527081e-05,1.593405e-05,1.618616e-05,1.705867e-05,1.709264e-05,1.788594e-05,1.817236e-05,1.866640e-05,1.916990e-05,1.939917e-05,2.008401e-05,2.072117e-05,2.091510e-05,2.131137e-05,2.166492e-05,2.185565e-05,2.233620e-05,2.235536e-05,2.281206e-05,2.293247e-05,2.322750e-05,2.345771e-05,2.360350e-05,2.391627e-05,2.394201e-05,2.424499e-05,2.431263e-05,2.451440e-05,2.465134e-05,2.475221e-05,2.493688e-05,2.496035e-05,2.514070e-05,2.517360e-05,2.529508e-05,2.536568e-05,2.542524e-05,2.551709e-05,2.553287e-05,2.561956e-05,2.563159e-05,2.568684e-05,2.571267e-05,2.573616e-05,2.576359e-05,2.576887e-05,2.578627e-05,2.578739e-05,2.578957e-05,2.578685e-05,2.577990e-05,2.576454e-05,2.575833e-05,2.572585e-05,2.572281e-05,2.568340e-05,2.566382e-05,2.563185e-05,2.558956e-05,2.557201e-05,2.550464e-05,2.550180e-05,2.543045e-05,2.540220e-05,2.535009e-05,2.529223e-05,2.526417e-05,2.517326e-05,2.507789e-05,2.504651e-05,2.497855e-05,2.491309e-05,2.487568e-05,2.477401e-05,2.476972e-05,2.466104e-05,2.463018e-05,2.455001e-05,2.448241e-05,2.443697e-05,2.433146e-05,2.432222e-05,2.420604e-05,2.417798e-05,2.408871e-05,2.402258e-05,2.397045e-05,2.386580e-05,2.385150e-05,2.373205e-05,2.370812e-05,2.361230e-05,2.354997e-05,2.349243e-05,2.339175e-05,2.337258e-05,2.325292e-05,2.323379e-05,2.313356e-05,2.307642e-05,2.301464e-05,2.291988e-05,2.289626e-05,2.277853e-05,2.276445e-05,2.266153e-05,2.261031e-05,2.254536e-05,2.245767e-05,2.243009e-05,2.231579e-05,2.230669e-05,2.220252e-05,2.215751e-05,2.209033e-05,2.201026e-05,2.197928e-05,2.186940e-05,2.186503e-05,2.176074e-05,2.172193e-05,2.165334e-05,2.158103e-05,2.154721e-05,2.144239e-05,2.130607e-05,2.117210e-05,2.104053e-05,2.091137e-05,2.078464e-05,2.066035e-05,2.053850e-05,2.041910e-05,2.030212e-05,2.018758e-05,2.007544e-05,1.996569e-05,1.985831e-05,1.975327e-05,1.965055e-05,1.955012e-05,1.945194e-05,1.935599e-05,1.926224e-05,1.917064e-05,1.908116e-05,1.899378e-05,1.890844e-05,1.882511e-05
0.000000e+00,5.783791e-11,1.422837e-10,5.259742e-10,1.235799e-09,1.825131e-09,4.246148e-09,4.378111e-09,8.669891e-09,1.026108e-08,1.529418e-08,2.067552e-08,2.494401e-08,3.705179e-08,3.826203e-08,5.548735e-08,6.016491e-08,7.614566e-08,8.884772e-08,9.923849e-08,1.207543e-07,1.237406e-07,1.488711e-07,1.539222e-07,1.740962e-07,1.871247e-07,1.990504e-07,2.196077e-07,2.234701e-07,2.471543e-07,2.508644e-07,2.699446e-07,2.805286e-07,2.917161e-07,3.083341e-07,3.123724e-07,3.318434e-07,3.340979e-07,3.500839e-07,3.577132e-07,3.670707e-07,3.791395e-07,3.828004e-07,3.972868e-07,3.983928e-07,4.105577e-07,4.155339e-07,4.226509e-07,4.306548e-07,4.336134e-07,4.434996e-07,4.438735e-07,4.523678e-07,4.553228e-07,4.602785e-07,4.651421e-07,4.672929e-07,4.734720e-07,4.788754e-07,4.804501e-07,4.835607e-07,4.862081e-07,4.875833e-07,4.908703e-07,4.909957e-07,4.938476e-07,4.945521e-07,4.961856e-07,4.973599e-07,4.980532e-07,4.993909e-07,4.994910e-07,5.005367e-07,5.007333e-07,5.012253e-07,5.014670e-07,5.015890e-07,5.016639e-07,5.016575e-07,5.014584e-07,5.013887e-07,5.010167e-07,5.006991e-07,5.003559e-07,4.996470e-07,4.994971e-07,4.984599e-07,4.982786e-07,4.972623e-07,4.966353e-07,4.959207e-07,4.947539e-07,4.944502e-07,4.928645e-07,4.926671e-07,4.911765e-07,4.904043e-07,4.893975e-07,4.879913e-07,4.875383e-07,4.856086e-07,4.854514e-07,4.836172e-07,4.828052e-07,4.815722e-07,4.800709e-07,4.794812e-07,4.773509e-07,4.772649e-07,4.751875e-07,4.744017e-07,4.729967e-07,4.714939e-07,4.707837e-07,4.685532e-07,4.663097e-07,4.655896e-07,4.640569e-07,4.626121e-07,4.617987e-07,4.596286e-07,4.595382e-07,4.572784e-07,4.566462e-07,4.550221e-07,4.536711e-07,4.527718e-07,4.507086e-07,4.505296e-07,4.482977e-07,4.477638e-07,4.460779e-07,4.448408e-07,4.438719e-07,4.419432e-07,4.416812e-07,4.395071e-07,4.390744e-07,4.373510e-07,4.362372e-07,4.352138e-07,4.334340e-07,4.330966e-07,4.310002e-07,4.306668e-07,4.289255e-07,4.279376e-07,4.268732e-07,4.252478e-07,4.248437e-07,4.228377e-07,4.225986e-07,4.208557e-07,4.199913e-07,4.188979e-07,4.174265e-07,4.169648e-07,4.150567e-07,4.149051e-07,4.131736e-07,4.124275e-07,4.113159e-07,4.099941e-07,4.094837e-07,4.076770e-07,4.076052e-07,4.058959e-07,4.052610e-07,4.041405e-07,4.029614e-07,4.024107e-07,4.007065e-07,3.984961e-07,3.963300e-07,3.942079e-07,3.921296e-07,3.900946e-07,3.881026e-07,3.861530e-07,3.842455e-07,3.823794e-07,3.805542e-07,3.787694e-07,3.770244e-07,3.753186e-07,3.736514e-07,3.720220e-07,3.704300e-07,3.688747e-07,3.673553e-07,3.658713e-07,3.644220e-07,3.630067e-07,3.616249e-07,3.602758e-07,3.589588e-07
0.000000e+00,1.491783e-11,7.379568e-11,7.760986e-10,3.609276e-09,7.238517e-09,3.183793e-08,3.356334e-08,1.065432e-07,1.405521e-07,2.670474e-07,4.277288e-07,5.702556e-07,1.034416e-06,1.085264e-06,1.893807e-06,2.141520e-06,3.086705e-06,3.957251e-06,4.756143e-06,6.684710e-06,6.983685e-06,9.827656e-06,1.047338e-05,1.331492e-05,1.538175e-05,1.743945e-05,2.137178e-05,2.216647e-05,2.743950e-05,2.832928e-05,3.318805e-05,3.609355e-05,3.933434e-05,4.448411e-05,4.579862e-05,5.250300e-05,5.332012e-05,5.937403e-05,6.243246e-05,6.634428e-05,7.167048e-05,7.335317e-05,8.034736e-05,8.090483e-05,8.728071e-05,9.002801e-05,9.411403e-05,9.895349e-05,1.008146e-04,1.073559e-04,1.076139e-04,1.137165e-04,1.159589e-04,1.198802e-04,1.239526e-04,1.258348e-04,1.315717e-04,1.370858e-04,1.388027e-04,1.423743e-04,1.456402e-04,1.474367e-04,1.520852e-04,1.522744e-04,1.568901e-04,1.581432e-04,1.612877e-04,1.638236e-04,1.654722e-04,1.691382e-04,1.694489e-04,1.732239e-04,1.741006e-04,1.768036e-04,1.787254e-04,1.801946e-04,1.830281e-04,1.834038e-04,1.864378e-04,1.870242e-04,1.893036e-04,1.907296e-04,1.920079e-04,1.941596e-04,1.945574e-04,1.969584e-04,1.973293e-04,1.992176e-04,2.002533e-04,2.013409e-04,2.029458e-04,2.033344e-04,2.052041e-04,2.054203e-04,2.069554e-04,2.076898e-04,2.085938e-04,2.097667e-04,2.101245e-04,2.115526e-04,2.116626e-04,2.128830e-04,2.133888e-04,2.141202e-04,2.149559e-04,2.152688e-04,2.163329e-04,2.163738e-04,2.173168e-04,2.176521e-04,2.182244e-04,2.187998e-04,2.190593e-04,2.198252e-04,2.205256e-04,2.207365e-04,2.211638e-04,2.215410e-04,2.217429e-04,2.222460e-04,2.222659e-04,2.227356e-04,2.228580e-04,2.231550e-04,2.233834e-04,2.235264e-04,2.238281e-04,2.238526e-04,2.241358e-04,2.241976e-04,2.243783e-04,2.244972e-04,2.245824e-04,2.247318e-04,2.247501e-04,2.248833e-04,2.249060e-04,2.249840e-04,2.250242e-04,2.250540e-04,2.250903e-04,2.250950e-04,2.251086e-04,2.251084e-04,2.250964e-04,2.250818e-04,2.250599e-04,2.250141e-04,2.250004e-04,2.249194e-04,2.249083e-04,2.248182e-04,2.247675e-04,2.246978e-04,2.245944e-04,2.245596e-04,2.244047e-04,2.243916e-04,2.242340e-04,2.241615e-04,2.240486e-04,2.239066e-04,2.238495e-04,2.236375e-04,2.236288e-04,2.234136e-04,2.233302e-04,2.231785e-04,2.230127e-04,2.229330e-04,2.226780e-04,2.223278e-04,2.219637e-04,2.215870e-04,2.211992e-04,2.208014e-04,2.203948e-04,2.199807e-04,2.195599e-04,2.191334e-04,2.187022e-04,2.182670e-04,2.178286e-04,2.173878e-04,2.169452e-04,2.165015e-04,2.160571e-04,2.156128e-04,2.151688e-04,2.147258e-04,2.142841e-04,2.138442e-04,2.134064e-04,2.129710e-04,2.125383e-04
0.000000e+00,3.637745e-10,1.881761e-09,2.172898e-08,1.101592e-07,2.317707e-07,1.156154e-06,1.225152e-06,4.422677e-06,6.046001e-06,1.258091e-05,2.172127e-05,3.043254e-05,6.177820e-05,6.544363e-05,1.285246e-04,1.493950e-04,2.343760e-04,3.190151e-04,4.012634e-04,6.153466e-04,6.503235e-04,1.004641e-03,1.090247e-03,1.488291e-03,1.798947e-03,2.125454e-03,2.796538e-03,2.939636e-03,3.953010e-03,4.135022e-03,5.185878e-03,5.860999e-03,6.656230e-03,8.013910e-03,8.379414e-03,1.036788e-02,1.062481e-02,1.263105e-02,1.371559e-02,1.517517e-02,1.729865e-02,1.800339e-02,2.111573e-02,2.137693e-02,2.450928e-02,2.594423e-02,2.817828e-02,3.098593e-02,3.211439e-02,3.630690e-02,3.647976e-02,4.074301e-02,4.239687e-02,4.540807e-02,4.870289e-02,5.028591e-02,5.535912e-02,6.060930e-02,6.232363e-02,6.601737e-02,6.955237e-02,7.156377e-02,7.700016e-02,7.722879e-02,8.299267e-02,8.462161e-02,8.883590e-02,9.237194e-02,9.473934e-02,1.002076e-01,1.006843e-01,1.066530e-01,1.080870e-01,1.126280e-01,1.159706e-01,1.185930e-01,1.238218e-01,1.245327e-01,1.304325e-01,1.316065e-01,1.362790e-01,1.392939e-01,1.420597e-01,1.468562e-01,1.477631e-01,1.533789e-01,1.542686e-01,1.588975e-01,1.615095e-01,1.643106e-01,1.685601e-01,1.696107e-01,1.747912e-01,1.754045e-01,1.798463e-01,1.820296e-01,1.847713e-01,1.884246e-01,1.895620e-01,1.942150e-01,1.945812e-01,1.987278e-01,2.004932e-01,2.030984e-01,2.061563e-01,2.073253e-01,2.114078e-01,2.115681e-01,2.153455e-01,2.167276e-01,2.191385e-01,2.216354e-01,2.227874e-01,2.262933e-01,2.296573e-01,2.307041e-01,2.328811e-01,2.348717e-01,2.359667e-01,2.388006e-01,2.389160e-01,2.417315e-01,2.424962e-01,2.444157e-01,2.459644e-01,2.469714e-01,2.492114e-01,2.494012e-01,2.517082e-01,2.522439e-01,2.538953e-01,2.550690e-01,2.559658e-01,2.576937e-01,2.579227e-01,2.597691e-01,2.601255e-01,2.615085e-01,2.623716e-01,2.631439e-01,2.644396e-01,2.646786e-01,2.661158e-01,2.663369e-01,2.674587e-01,2.680708e-01,2.687106e-01,2.696486e-01,2.698745e-01,2.709535e-01,2.710775e-01,2.719508e-01,2.723644e-01,2.728693e-01,2.735164e-01,2.737119e-01,2.744816e-01,2.745401e-01,2.751812e-01,2.754420e-01,2.758134e-01,2.762284e-01,2.763810e-01,2.768865e-01,2.769055e-01,2.773326e-01,2.774792e-01,2.777218e-01,2.779551e-01,2.780564e-01,2.783389e-01,2.786357e-01,2.788508e-01,2.789888e-01,2.790545e-01,2.790525e-01,2.789868e-01,2.788617e-01,2.786810e-01,2.784484e-01,2.781674e-01,2.778415e-01,2.774737e-01,2.770672e-01,2.766249e-01,2.761494e-01,2.756434e-01,2.751093e-01,2.745495e-01,2.739662e-01,2.733615e-01,2.727373e-01,2.720955e-01,2.714378e-01,2.707661e-01
0.000000e+00,2.030859e-10,1.051002e-09,1.214621e-08,6.161611e-08,1.296733e-07,6.471126e-07,6.857354e-07,2.474990e-06,3.382877e-06,7.034803e-06,1.213633e-05,1.699274e-05,3.443299e-05,3.646945e-05,7.144505e-05,8.299265e-05,1.299241e-04,1.765614e-04,2.218099e-04,3.393669e-04,3.585516e-04,5.526835e-04,5.995477e-04,8.173460e-04,9.872630e-04,1.165833e-03,1.532899e-03,1.611187e-03,2.165840e-03,2.265513e-03,2.841317e-03,3.211553e-03,3.647970e-03,4.393824e-03,4.594779e-03,5.689182e-03,5.830721e-03,6.936960e-03,7.535678e-03,8.342160e-03,9.516864e-03,9.907062e-03,1.163218e-02,1.177708e-02,1.351629e-02,1.431387e-02,1.555655e-02,1.711978e-02,1.774852e-02,2.008634e-02,2.018279e-02,2.256288e-02,2.348683e-02,2.516984e-02,2.701237e-02,2.789795e-02,3.073712e-02,3.367660e-02,3.463660e-02,3.670518e-02,3.868489e-02,3.981128e-02,4.285516e-02,4.298315e-02,4.620899e-02,4.712029e-02,4.947706e-02,5.145336e-02,5.277582e-02,5.582808e-02,5.609399e-02,5.942069e-02,6.021919e-02,6.274544e-02,6.460272e-02,6.605830e-02,6.895628e-02,6.934985e-02,7.261127e-02,7.325921e-02,7.583436e-02,7.749267e-02,7.901153e-02,8.163978e-02,8.213585e-02,8.520101e-02,8.568556e-02,8.820134e-02,8.961697e-02,9.113180e-02,9.342285e-02,9.398793e-02,9.676590e-02,9.709384e-02,9.946241e-02,1.006223e-01,1.020747e-01,1.040023e-01,1.046005e-01,1.070382e-01,1.072293e-01,1.093863e-01,1.103002e-01,1.116439e-01,1.132132e-01,1.138107e-01,1.158864e-01,1.159675e-01,1.178712e-01,1.185636e-01,1.197656e-01,1.210026e-01,1.215704e-01,1.232866e-01,1.249154e-01,1.254183e-01,1.264581e-01,1.274011e-01,1.279165e-01,1.292387e-01,1.292922e-01,1.305870e-01,1.309354e-01,1.318031e-01,1.324957e-01,1.329423e-01,1.339244e-01,1.340069e-01,1.349991e-01,1.352266e-01,1.359210e-01,1.364074e-01,1.367749e-01,1.374720e-01,1.375633e-01,1.382882e-01,1.384258e-01,1.389521e-01,1.392739e-01,1.395572e-01,1.400217e-01,1.401058e-01,1.406002e-01,1.406744e-01,1.410425e-01,1.412370e-01,1.414351e-01,1.417146e-01,1.417799e-01,1.420792e-01,1.421121e-01,1.423349e-01,1.424342e-01,1.425491e-01,1.426854e-01,1.427239e-01,1.428609e-01,1.428703e-01,1.429622e-01,1.429931e-01,1.430295e-01,1.430579e-01,1.430646e-01,1.430691e-01,1.430687e-01,1.430447e-01,1.430292e-01,1.429930e-01,1.429430e-01,1.429155e-01,1.428136e-01,1.426442e-01,1.424380e-01,1.421979e-01,1.419266e-01,1.416268e-01,1.413010e-01,1.409516e-01,1.405807e-01,1.401904e-01,1.397827e-01,1.393595e-01,1.389224e-01,1.384730e-01,1.380130e-01,1.375436e-01,1.370662e-01,1.365821e-01,1.360923e-01,1.355980e-01,1.351001e-01,1.345996e-01,1.340973e-01,1.335940e-01,1.330904e-01
0.000000e+00,8.499817e-11,2.138608e-10,8.128191e-10,1.938602e-09,2.879139e-09,6.746796e-09,6.957053e-09,1.373705e-08,1.621984e-08,2.396858e-08,3.210134e-08,3.846169e-08,5.619515e-08,5.795011e-08,8.281403e-08,8.958125e-08,1.129950e-07,1.321210e-07,1.482273e-07,1.831945e-07,1.882406e-07,2.328050e-07,2.422454e-07,2.817082e-07,3.087797e-07,3.347280e-07,3.822647e-07,3.916153e-07,4.520853e-07,4.620720e-07,5.158167e-07,5.474631e-07,5.824544e-07,6.376010e-07,6.516161e-07,7.228996e-07,7.315766e-07,7.958911e-07,8.284410e-07,8.701742e-07,9.272396e-07,9.453374e-07,1.020982e-06,1.027043e-06,1.096727e-06,1.126973e-06,1.172217e-06,1.226224e-06,1.247120e-06,1.321138e-06,1.324076e-06,1.394000e-06,1.419901e-06,1.465470e-06,1.513168e-06,1.535342e-06,1.603442e-06,1.669623e-06,1.690376e-06,1.733767e-06,1.773707e-06,1.795782e-06,1.853246e-06,1.855596e-06,1.913160e-06,1.928871e-06,1.968445e-06,2.000514e-06,2.021435e-06,2.068158e-06,2.072129e-06,2.120542e-06,2.131823e-06,2.166694e-06,2.191564e-06,2.210618e-06,2.247459e-06,2.252353e-06,2.291945e-06,2.299610e-06,2.329442e-06,2.348131e-06,2.364900e-06,2.393150e-06,2.398375e-06,2.429927e-06,2.434801e-06,2.459616e-06,2.473224e-06,2.487505e-06,2.508560e-06,2.513654e-06,2.538127e-06,2.540953e-06,2.560984e-06,2.570545e-06,2.582287e-06,2.597475e-06,2.602096e-06,2.620471e-06,2.621881e-06,2.637469e-06,2.643896e-06,2.653148e-06,2.663650e-06,2.667561e-06,2.680764e-06,2.681268e-06,2.692808e-06,2.696870e-06,2.703744e-06,2.710573e-06,2.713622e-06,2.722488e-06,2.730389e-06,2.732720e-06,2.737368e-06,2.741372e-06,2.743470e-06,2.748539e-06,2.748734e-06,2.753200e-06,2.754313e-06,2.756907e-06,2.758783e-06,2.759892e-06,2.762031e-06,2.762190e-06,2.763835e-06,2.764136e-06,2.764859e-06,2.765174e-06,2.765295e-06,2.765214e-06,2.765171e-06,2.764517e-06,2.764326e-06,2.763361e-06,2.762571e-06,2.761730e-06,2.760010e-06,2.759648e-06,2.757140e-06,2.756701e-06,2.754230e-06,2.752697e-06,2.750940e-06,2.748048e-06,2.747291e-06,2.743304e-06,2.742804e-06,2.738999e-06,2.737009e-06,2.734395e-06,2.730706e-06,2.729509e-06,2.724358e-06,2.723936e-06,2.718960e-06,2.716735e-06,2.713330e-06,2.709141e-06,2.707483e-06,2.701433e-06,2.701187e-06,2.695195e-06,2.692905e-06,2.688780e-06,2.684324e-06,2.682203e-06,2.675473e-06,2.666379e-06,2.657065e-06,2.647556e-06,2.637873e-06,2.628037e-06,2.618067e-06,2.607982e-06,2.597798e-06,2.587531e-06,2.577196e-06,2.566807e-06,2.556377e-06,2.545918e-06,2.535441e-06,2.524958e-06,2.514477e-06,2.504008e-06,2.493560e-06,2.483141e-06,2.472757e-06,2.462416e-06,2.452123e-06,2.441886e-06,2.431709e-06
0.000000e+00,1.125787e-10,3.458793e-10,1.640999e-09,4.338608e-09,6.689131e-09,1.670316e-08,1.725661e-08,3.535252e-08,4.206187e-08,6.318707e-08,8.560557e-08,1.033012e-07,1.534455e-07,1.584772e-07,2.311401e-07,2.513295e-07,3.221855e-07,3.807459e-07,4.301596e-07,5.366787e-07,5.518952e-07,6.839154e-07,7.112824e-07,8.232808e-07,8.978784e-07,9.677250e-07,1.091688e-06,1.115493e-06,1.265153e-06,1.289190e-06,1.415470e-06,1.487523e-06,1.565326e-06,1.684183e-06,1.713689e-06,1.859602e-06,1.876904e-06,2.002184e-06,2.063657e-06,2.140641e-06,2.242675e-06,2.274271e-06,2.402473e-06,2.412480e-06,2.524762e-06,2.571930e-06,2.640742e-06,2.720176e-06,2.750127e-06,2.852734e-06,2.856696e-06,2.948466e-06,2.981242e-06,3.037310e-06,3.093817e-06,3.119325e-06,3.194632e-06,3.263404e-06,3.284064e-06,3.325854e-06,3.362617e-06,3.382229e-06,3.430885e-06,3.432800e-06,3.477853e-06,3.489518e-06,3.517683e-06,3.539199e-06,3.552590e-06,3.580617e-06,3.582877e-06,3.608838e-06,3.614457e-06,3.630763e-06,3.641384e-06,3.648934e-06,3.662033e-06,3.663620e-06,3.675078e-06,3.677005e-06,3.683556e-06,3.686863e-06,3.689284e-06,3.692131e-06,3.692482e-06,3.693355e-06,3.693292e-06,3.692096e-06,3.690788e-06,3.688885e-06,3.685024e-06,3.683890e-06,3.677267e-06,3.676370e-06,3.669160e-06,3.665159e-06,3.659705e-06,3.651694e-06,3.649026e-06,3.637238e-06,3.636250e-06,3.624448e-06,3.619073e-06,3.610754e-06,3.600386e-06,3.596247e-06,3.581011e-06,3.580388e-06,3.565124e-06,3.559259e-06,3.548656e-06,3.537160e-06,3.531673e-06,3.514236e-06,3.496400e-06,3.490617e-06,3.478217e-06,3.466419e-06,3.459733e-06,3.441746e-06,3.440992e-06,3.422034e-06,3.416692e-06,3.402896e-06,3.391340e-06,3.383611e-06,3.365765e-06,3.364210e-06,3.344721e-06,3.340034e-06,3.325172e-06,3.314206e-06,3.305585e-06,3.288335e-06,3.285982e-06,3.266384e-06,3.262467e-06,3.246810e-06,3.236646e-06,3.227275e-06,3.210909e-06,3.207796e-06,3.188387e-06,3.185289e-06,3.169060e-06,3.159816e-06,3.149828e-06,3.134517e-06,3.130700e-06,3.111688e-06,3.109414e-06,3.092798e-06,3.084528e-06,3.074041e-06,3.059878e-06,3.055422e-06,3.036949e-06,3.035477e-06,3.018626e-06,3.011341e-06,3.000460e-06,2.987480e-06,2.982455e-06,2.964616e-06,2.963906e-06,2.946945e-06,2.940626e-06,2.929447e-06,2.917648e-06,2.912124e-06,2.894978e-06,2.872621e-06,2.850580e-06,2.828860e-06,2.807461e-06,2.786386e-06,2.765636e-06,2.745210e-06,2.725108e-06,2.705329e-06,2.685873e-06,2.666738e-06,2.647921e-06,2.629421e-06,2.611234e-06,2.593359e-06,2.575791e-06,2.558528e-06,2.541567e-06,2.524903e-06,2.508534e-06,2.492455e-06,2.476663e-06,2.461153e-06,2.445921e-06
0.000000e+00,5.762001e-11,1.353975e-10,4.792499e-10,1.106596e-09,1.624149e-09,3.728731e-09,3.842505e-09,7.492217e-09,8.821910e-09,1.295582e-08,1.727673e-08,2.065010e-08,3.007560e-08,3.101280e-08,4.443914e-08,4.814806e-08,6.115618e-08,7.194731e-08,8.111146e-08,1.011140e-07,1.040027e-07,1.294228e-07,1.347747e-07,1.569764e-07,1.720306e-07,1.863176e-07,2.121250e-07,2.171462e-07,2.491941e-07,2.544182e-07,2.822150e-07,2.983427e-07,3.159795e-07,3.433820e-07,3.502733e-07,3.848974e-07,3.890657e-07,4.196691e-07,4.349720e-07,4.544226e-07,4.807315e-07,4.890101e-07,5.233012e-07,5.260282e-07,5.571831e-07,5.705991e-07,5.905594e-07,6.142310e-07,6.233488e-07,6.554839e-07,6.567549e-07,6.869103e-07,6.980416e-07,7.175845e-07,7.379956e-07,7.474726e-07,7.765498e-07,8.047984e-07,8.136610e-07,8.322072e-07,8.493052e-07,8.587703e-07,8.834739e-07,8.844863e-07,9.093577e-07,9.161711e-07,9.333905e-07,9.474110e-07,9.565929e-07,9.772144e-07,9.789751e-07,1.000549e-06,1.005608e-06,1.021328e-06,1.032623e-06,1.041327e-06,1.058294e-06,1.060562e-06,1.079048e-06,1.082657e-06,1.096802e-06,1.105750e-06,1.113841e-06,1.127613e-06,1.130182e-06,1.145843e-06,1.148286e-06,1.160841e-06,1.167810e-06,1.175194e-06,1.186224e-06,1.188919e-06,1.202034e-06,1.203568e-06,1.214556e-06,1.219882e-06,1.226502e-06,1.235206e-06,1.237889e-06,1.248733e-06,1.249578e-06,1.259051e-06,1.263035e-06,1.268860e-06,1.275614e-06,1.278173e-06,1.287009e-06,1.287353e-06,1.295381e-06,1.298284e-06,1.303304e-06,1.308443e-06,1.310794e-06,1.317864e-06,1.324528e-06,1.326577e-06,1.330800e-06,1.334615e-06,1.336694e-06,1.342007e-06,1.342222e-06,1.347396e-06,1.348784e-06,1.352230e-06,1.354972e-06,1.356736e-06,1.360601e-06,1.360924e-06,1.364807e-06,1.365695e-06,1.368396e-06,1.370280e-06,1.371700e-06,1.374382e-06,1.374732e-06,1.377500e-06,1.378023e-06,1.380016e-06,1.381227e-06,1.382288e-06,1.384015e-06,1.384326e-06,1.386139e-06,1.386409e-06,1.387736e-06,1.388428e-06,1.389125e-06,1.390092e-06,1.390315e-06,1.391313e-06,1.391420e-06,1.392128e-06,1.392430e-06,1.392767e-06,1.393139e-06,1.393237e-06,1.393545e-06,1.393563e-06,1.393699e-06,1.393719e-06,1.393705e-06,1.393621e-06,1.393569e-06,1.393297e-06,1.393284e-06,1.392897e-06,1.392722e-06,1.392372e-06,1.391948e-06,1.391730e-06,1.390975e-06,1.389815e-06,1.388480e-06,1.386981e-06,1.385328e-06,1.383533e-06,1.381603e-06,1.379550e-06,1.377380e-06,1.375104e-06,1.372728e-06,1.370262e-06,1.367710e-06,1.365082e-06,1.362383e-06,1.359620e-06,1.356798e-06,1.353924e-06,1.351002e-06,1.348038e-06,1.345036e-06,1.342002e-06,1.338939e-06,1.335852e-06,1.332745e-06
0.000000e+00,5.865902e-11,2.148585e-10,1.306407e-09,3.978343e-09,6.489690e-09,1.794156e-08,1.859405e-08,4.037934e-08,4.856308e-08,7.437021e-08,1.015974e-07,1.228901e-07,1.822096e-07,1.880868e-07,2.719362e-07,2.950374e-07,3.762043e-07,4.440711e-07,5.023381e-07,6.321723e-07,6.512588e-07,8.230894e-07,8.601461e-07,1.016960e-06,1.125914e-06,1.231065e-06,1.424783e-06,1.462976e-06,1.710013e-06,1.750762e-06,1.969500e-06,2.097720e-06,2.238880e-06,2.459885e-06,2.515746e-06,2.797835e-06,2.831934e-06,3.083024e-06,3.208973e-06,3.369330e-06,3.586536e-06,3.654919e-06,3.938111e-06,3.960616e-06,4.217388e-06,4.327696e-06,4.491406e-06,4.684775e-06,4.758988e-06,5.019130e-06,5.029369e-06,5.270994e-06,5.359502e-06,5.513897e-06,5.673676e-06,5.747307e-06,5.970824e-06,6.184174e-06,6.250269e-06,6.387191e-06,6.511664e-06,6.579807e-06,6.754944e-06,6.762035e-06,6.933956e-06,6.980264e-06,7.095711e-06,7.187964e-06,7.247496e-06,7.378533e-06,7.389545e-06,7.522124e-06,7.552566e-06,7.645523e-06,7.710731e-06,7.760051e-06,7.853756e-06,7.866033e-06,7.963801e-06,7.982398e-06,8.053690e-06,8.097431e-06,8.136038e-06,8.199630e-06,8.211183e-06,8.279458e-06,8.289766e-06,8.341191e-06,8.368594e-06,8.396704e-06,8.436848e-06,8.446312e-06,8.490320e-06,8.495239e-06,8.529023e-06,8.544445e-06,8.562705e-06,8.585114e-06,8.591640e-06,8.616092e-06,8.617862e-06,8.636315e-06,8.643275e-06,8.652554e-06,8.661910e-06,8.665042e-06,8.674002e-06,8.674290e-06,8.679647e-06,8.680907e-06,8.682180e-06,8.682225e-06,8.681796e-06,8.678680e-06,8.673009e-06,8.670683e-06,8.664951e-06,8.658614e-06,8.654664e-06,8.642833e-06,8.642300e-06,8.628004e-06,8.623674e-06,8.611912e-06,8.601449e-06,8.594154e-06,8.576451e-06,8.574853e-06,8.554125e-06,8.548951e-06,8.532082e-06,8.519201e-06,8.508826e-06,8.487438e-06,8.484459e-06,8.459072e-06,8.453880e-06,8.432755e-06,8.418730e-06,8.405591e-06,8.382177e-06,8.377659e-06,8.349034e-06,8.344394e-06,8.319786e-06,8.305546e-06,8.289982e-06,8.265780e-06,8.259684e-06,8.228950e-06,8.225236e-06,8.197838e-06,8.184041e-06,8.166398e-06,8.142315e-06,8.134679e-06,8.102729e-06,8.100164e-06,8.070590e-06,8.057690e-06,8.038302e-06,8.014985e-06,8.005905e-06,7.973433e-06,7.972133e-06,7.940921e-06,7.929212e-06,7.908399e-06,7.886293e-06,7.875896e-06,7.843441e-06,7.800715e-06,7.758169e-06,7.715852e-06,7.673808e-06,7.632078e-06,7.590698e-06,7.549701e-06,7.509116e-06,7.468968e-06,7.429282e-06,7.390077e-06,7.351372e-06,7.313181e-06,7.275520e-06,7.238398e-06,7.201826e-06,7.165812e-06,7.130362e-06,7.095480e-06,7.061172e-06,7.027438e-06,6.994281e-06,6.961701e-06,6.929697e-06
0.000000e+00,4.016226e-12,2.000128e-11,2.131775e-10,1.002741e-09,2.022902e-09,9.021537e-09,9.515368e-09,3.055182e-08,4.041173e-08,7.723200e-08,1.241738e-07,1.658877e-07,3.018989e-07,3.168019e-07,5.535783e-07,6.260028e-07,9.016792e-07,1.154565e-06,1.385771e-06,1.940823e-06,2.026523e-06,2.838090e-06,3.021611e-06,3.826978e-06,4.411215e-06,4.992164e-06,6.101749e-06,6.326021e-06,7.815581e-06,8.067270e-06,9.443855e-06,1.026896e-05,1.119104e-05,1.265993e-05,1.303555e-05,1.495493e-05,1.518921e-05,1.692659e-05,1.780496e-05,1.892842e-05,2.045695e-05,2.093931e-05,2.293957e-05,2.309859e-05,2.491129e-05,2.568833e-05,2.683849e-05,2.819068e-05,2.870739e-05,3.050638e-05,3.057675e-05,3.222610e-05,3.282434e-05,3.385932e-05,3.491778e-05,3.540085e-05,3.684737e-05,3.819723e-05,3.860871e-05,3.945027e-05,4.020188e-05,4.060761e-05,4.163060e-05,4.167139e-05,4.264463e-05,4.290139e-05,4.353098e-05,4.402279e-05,4.433458e-05,4.500465e-05,4.505991e-05,4.571164e-05,4.585763e-05,4.629454e-05,4.659268e-05,4.681338e-05,4.722070e-05,4.727285e-05,4.767751e-05,4.775225e-05,4.803170e-05,4.819733e-05,4.833960e-05,4.856533e-05,4.860512e-05,4.883195e-05,4.886488e-05,4.902352e-05,4.910390e-05,4.918302e-05,4.928951e-05,4.931339e-05,4.941733e-05,4.942814e-05,4.949731e-05,4.952551e-05,4.955562e-05,4.958670e-05,4.959431e-05,4.961527e-05,4.961624e-05,4.962023e-05,4.961809e-05,4.961074e-05,4.959576e-05,4.958822e-05,4.955394e-05,4.955234e-05,4.950909e-05,4.949055e-05,4.945470e-05,4.941278e-05,4.939176e-05,4.932111e-05,4.924356e-05,4.921741e-05,4.915982e-05,4.910328e-05,4.907055e-05,4.898018e-05,4.897633e-05,4.887771e-05,4.884937e-05,4.877518e-05,4.871198e-05,4.866920e-05,4.856899e-05,4.856016e-05,4.844846e-05,4.842129e-05,4.833442e-05,4.826966e-05,4.821837e-05,4.811480e-05,4.810059e-05,4.798134e-05,4.795733e-05,4.786086e-05,4.779781e-05,4.773939e-05,4.763673e-05,4.761712e-05,4.749424e-05,4.747454e-05,4.737093e-05,4.731163e-05,4.724734e-05,4.714836e-05,4.712362e-05,4.699990e-05,4.698506e-05,4.687631e-05,4.682200e-05,4.675297e-05,4.665945e-05,4.662997e-05,4.650742e-05,4.649764e-05,4.638540e-05,4.633676e-05,4.626400e-05,4.617702e-05,4.614329e-05,4.602334e-05,4.601856e-05,4.590422e-05,4.586155e-05,4.578598e-05,4.570611e-05,4.566868e-05,4.555236e-05,4.540040e-05,4.525032e-05,4.510219e-05,4.495610e-05,4.481209e-05,4.467021e-05,4.453052e-05,4.439305e-05,4.425782e-05,4.412486e-05,4.399418e-05,4.386581e-05,4.373974e-05,4.361599e-05,4.349455e-05,4.337541e-05,4.325858e-05,4.314403e-05,4.303177e-05,4.292177e-05,4.281401e-05,4.270849e-05,4.260517e-05,4.250403e-05
0.000000e+00,1.029749e-10,3.253463e-10,1.602579e-09,4.325646e-09,6.723240e-09,1.701359e-08,1.758339e-08,3.616957e-08,4.302178e-08,6.441681e-08,8.681053e-08,1.042683e-07,1.528167e-07,1.576222e-07,2.259941e-07,2.447263e-07,3.099434e-07,3.635767e-07,4.088876e-07,5.073856e-07,5.215911e-07,6.466921e-07,6.730839e-07,7.828831e-07,8.576639e-07,9.288952e-07,1.058200e-06,1.083449e-06,1.245227e-06,1.271691e-06,1.412873e-06,1.495024e-06,1.585010e-06,1.725028e-06,1.760263e-06,1.937287e-06,1.958587e-06,2.114795e-06,2.192739e-06,2.291585e-06,2.424781e-06,2.466551e-06,2.638703e-06,2.652327e-06,2.807171e-06,2.873355e-06,2.971208e-06,3.086217e-06,3.130192e-06,3.283611e-06,3.289626e-06,3.431064e-06,3.482626e-06,3.572253e-06,3.664574e-06,3.706970e-06,3.835086e-06,3.956542e-06,3.994000e-06,4.071341e-06,4.141342e-06,4.179537e-06,4.277280e-06,4.281224e-06,4.376533e-06,4.402098e-06,4.465624e-06,4.516166e-06,4.548674e-06,4.619916e-06,4.625882e-06,4.697456e-06,4.713820e-06,4.763613e-06,4.798377e-06,4.824575e-06,4.874101e-06,4.880565e-06,4.931808e-06,4.941506e-06,4.978527e-06,5.001106e-06,5.020942e-06,5.053403e-06,5.059269e-06,5.093715e-06,5.098880e-06,5.124483e-06,5.138004e-06,5.151771e-06,5.171224e-06,5.175769e-06,5.196660e-06,5.198966e-06,5.214619e-06,5.221636e-06,5.229816e-06,5.239618e-06,5.242412e-06,5.252562e-06,5.253272e-06,5.260413e-06,5.262941e-06,5.266106e-06,5.268944e-06,5.269775e-06,5.271549e-06,5.271582e-06,5.271548e-06,5.271135e-06,5.269888e-06,5.267868e-06,5.266679e-06,5.262026e-06,5.256027e-06,5.253838e-06,5.248775e-06,5.243518e-06,5.240360e-06,5.231265e-06,5.230865e-06,5.220372e-06,5.217264e-06,5.208953e-06,5.201688e-06,5.196682e-06,5.184697e-06,5.183625e-06,5.169846e-06,5.166439e-06,5.155405e-06,5.147051e-06,5.140360e-06,5.126661e-06,5.124762e-06,5.108664e-06,5.105388e-06,5.092112e-06,5.083341e-06,5.075152e-06,5.060620e-06,5.057825e-06,5.040172e-06,5.037319e-06,5.022229e-06,5.013525e-06,5.004033e-06,4.989315e-06,4.985616e-06,4.967009e-06,4.964765e-06,4.948241e-06,4.939940e-06,4.929340e-06,4.914902e-06,4.910332e-06,4.891240e-06,4.889710e-06,4.872087e-06,4.864413e-06,4.852894e-06,4.839061e-06,4.833680e-06,4.814465e-06,4.813697e-06,4.795265e-06,4.788360e-06,4.776096e-06,4.763087e-06,4.756973e-06,4.737910e-06,4.712860e-06,4.687964e-06,4.663247e-06,4.638730e-06,4.614433e-06,4.590374e-06,4.566569e-06,4.543032e-06,4.519775e-06,4.496810e-06,4.474146e-06,4.451790e-06,4.429751e-06,4.408033e-06,4.386642e-06,4.365582e-06,4.344856e-06,4.324466e-06,4.304413e-06,4.284700e-06,4.265326e-06,4.246290e-06,4.227593e-06,4.209233e-06
0.000000e+00,1.036749e-11,5.315363e-11,6.020317e-10,2.995074e-09,6.232572e-09,3.013878e-08,3.189413e-08,1.110883e-07,1.502479e-07,3.037376e-07,5.111446e-07,7.035014e-07,1.368369e-06,1.444051e-06,2.702772e-06,3.105566e-06,4.699384e-06,6.233650e-06,7.688717e-06,1.136166e-05,1.194970e-05,1.777325e-05,1.915122e-05,2.545064e-05,3.026957e-05,3.526317e-05,4.534838e-05,4.747318e-05,6.231642e-05,6.494978e-05,7.999583e-05,8.953936e-05,1.006764e-04,1.194662e-04,1.244816e-04,1.514906e-04,1.549491e-04,1.817372e-04,1.960699e-04,2.152096e-04,2.427729e-04,2.518515e-04,2.915644e-04,2.948702e-04,3.342105e-04,3.520526e-04,3.796167e-04,4.139048e-04,4.275790e-04,4.778672e-04,4.799237e-04,5.302306e-04,5.495385e-04,5.844028e-04,6.221320e-04,6.401068e-04,6.970604e-04,7.549803e-04,7.736729e-04,8.135866e-04,8.513285e-04,8.726066e-04,9.294111e-04,9.317777e-04,9.908504e-04,1.007341e-03,1.049590e-03,1.084583e-03,1.107780e-03,1.160656e-03,1.165220e-03,1.221729e-03,1.235134e-03,1.277145e-03,1.307648e-03,1.331327e-03,1.377887e-03,1.384151e-03,1.435510e-03,1.445598e-03,1.485318e-03,1.510580e-03,1.533502e-03,1.572682e-03,1.580008e-03,1.624795e-03,1.631799e-03,1.667834e-03,1.687867e-03,1.709110e-03,1.740858e-03,1.748618e-03,1.786365e-03,1.790776e-03,1.822363e-03,1.837653e-03,1.856634e-03,1.881543e-03,1.889207e-03,1.920115e-03,1.922517e-03,1.949397e-03,1.960664e-03,1.977096e-03,1.996083e-03,2.003256e-03,2.027926e-03,2.028883e-03,2.051157e-03,2.059177e-03,2.072999e-03,2.087085e-03,2.093504e-03,2.112726e-03,2.130716e-03,2.136221e-03,2.147527e-03,2.157691e-03,2.163210e-03,2.177253e-03,2.177817e-03,2.191397e-03,2.195023e-03,2.204000e-03,2.211111e-03,2.215671e-03,2.225626e-03,2.226458e-03,2.236404e-03,2.238671e-03,2.245554e-03,2.250345e-03,2.253947e-03,2.260741e-03,2.261625e-03,2.268626e-03,2.269948e-03,2.274985e-03,2.278051e-03,2.280739e-03,2.285129e-03,2.285921e-03,2.290563e-03,2.291257e-03,2.294694e-03,2.296505e-03,2.298346e-03,2.300940e-03,2.301545e-03,2.304317e-03,2.304622e-03,2.306688e-03,2.307610e-03,2.308682e-03,2.309958e-03,2.310320e-03,2.311625e-03,2.311716e-03,2.312617e-03,2.312930e-03,2.313315e-03,2.313646e-03,2.313737e-03,2.313901e-03,2.313902e-03,2.313823e-03,2.313738e-03,2.313518e-03,2.313189e-03,2.313001e-03,2.312286e-03,2.311062e-03,2.309543e-03,2.307757e-03,2.305727e-03,2.303477e-03,2.301027e-03,2.298397e-03,2.295605e-03,2.292668e-03,2.289600e-03,2.286417e-03,2.283132e-03,2.279757e-03,2.276304e-03,2.272784e-03,2.269205e-03,2.265578e-03,2.261910e-03,2.258209e-03,2.254483e-03,2.250738e-03,2.246981e-03,2.243216e-03,2.239450e-03
0.000000e+00,4.343303e-12,9.939753e-12,3.416255e-11,7.774032e-11,1.134760e-10,2.582507e-10,2.660728e-10,5.175842e-10,6.096295e-10,8.974194e-10,1.200566e-09,1.438356e-09,2.103175e-09,2.169012e-09,3.099873e-09,3.352127e-09,4.219636e-09,4.921471e-09,5.507501e-09,6.764242e-09,6.943895e-09,8.512870e-09,8.841361e-09,1.020091e-08,1.112157e-08,1.199545e-08,1.357595e-08,1.388387e-08,1.585314e-08,1.617482e-08,1.788960e-08,1.888686e-08,1.997920e-08,2.167952e-08,2.210763e-08,2.426067e-08,2.452002e-08,2.642445e-08,2.737648e-08,2.858574e-08,3.021900e-08,3.073216e-08,3.285235e-08,3.302052e-08,3.493613e-08,3.575739e-08,3.697450e-08,3.840963e-08,3.895974e-08,4.088530e-08,4.096100e-08,4.274582e-08,4.339885e-08,4.453713e-08,4.571402e-08,4.625604e-08,4.790029e-08,4.946848e-08,4.995411e-08,5.095993e-08,5.187413e-08,5.237458e-08,5.366082e-08,5.371290e-08,5.497584e-08,5.531612e-08,5.616469e-08,5.684312e-08,5.728110e-08,5.824579e-08,5.832691e-08,5.930417e-08,5.952875e-08,6.021508e-08,6.069706e-08,6.106193e-08,6.175604e-08,6.184708e-08,6.257292e-08,6.271119e-08,6.324188e-08,6.356805e-08,6.385634e-08,6.433212e-08,6.441870e-08,6.493129e-08,6.500884e-08,6.539642e-08,6.560349e-08,6.581633e-08,6.612118e-08,6.619321e-08,6.652917e-08,6.656683e-08,6.682626e-08,6.694518e-08,6.708647e-08,6.726073e-08,6.731170e-08,6.750378e-08,6.751777e-08,6.766449e-08,6.772037e-08,6.779552e-08,6.787239e-08,6.789848e-08,6.797494e-08,6.797747e-08,6.802638e-08,6.803905e-08,6.805423e-08,6.806038e-08,6.805983e-08,6.804450e-08,6.800947e-08,6.799429e-08,6.795591e-08,6.791243e-08,6.788495e-08,6.780147e-08,6.779767e-08,6.769509e-08,6.766376e-08,6.757817e-08,6.750153e-08,6.744784e-08,6.731686e-08,6.730499e-08,6.715044e-08,6.711169e-08,6.698499e-08,6.688786e-08,6.680940e-08,6.664706e-08,6.662438e-08,6.643062e-08,6.639087e-08,6.622875e-08,6.612079e-08,6.601941e-08,6.583820e-08,6.580315e-08,6.558055e-08,6.554438e-08,6.535212e-08,6.524055e-08,6.511835e-08,6.492782e-08,6.487972e-08,6.463668e-08,6.460723e-08,6.438963e-08,6.427977e-08,6.413898e-08,6.394632e-08,6.388511e-08,6.362838e-08,6.360772e-08,6.336911e-08,6.326477e-08,6.310763e-08,6.291817e-08,6.284424e-08,6.257923e-08,6.256860e-08,6.231285e-08,6.221667e-08,6.204537e-08,6.186297e-08,6.177701e-08,6.150802e-08,6.115231e-08,6.079630e-08,6.044040e-08,6.008500e-08,5.973046e-08,5.937709e-08,5.902519e-08,5.867504e-08,5.832688e-08,5.798095e-08,5.763745e-08,5.729657e-08,5.695847e-08,5.662332e-08,5.629124e-08,5.596236e-08,5.563680e-08,5.531465e-08,5.499599e-08,5.468091e-08,5.436946e-08,5.406171e-08,5.375770e-08,5.345746e-08
0.000000e+00,8.520857e-12,4.237918e-11,4.504533e-10,2.113424e-09,4.257320e-09,1.890765e-08,1.993896e-08,6.369907e-08,8.412376e-08,1.600537e-07,2.562460e-07,3.412669e-07,6.161654e-07,6.461065e-07,1.118307e-06,1.261717e-06,1.804864e-06,2.300949e-06,2.753947e-06,3.843316e-06,4.012030e-06,5.620053e-06,5.986613e-06,7.609236e-06,8.800829e-06,9.997646e-06,1.231521e-05,1.278848e-05,1.597021e-05,1.651408e-05,1.951816e-05,2.134121e-05,2.339696e-05,2.670927e-05,2.756324e-05,3.196832e-05,3.251054e-05,3.656051e-05,3.862678e-05,4.128717e-05,4.493731e-05,4.609630e-05,5.093788e-05,5.132518e-05,5.576488e-05,5.768176e-05,6.053401e-05,6.390990e-05,6.520630e-05,6.974742e-05,6.992590e-05,7.412784e-05,7.566056e-05,7.832293e-05,8.105939e-05,8.231280e-05,8.608214e-05,8.961990e-05,9.070181e-05,9.291898e-05,9.490335e-05,9.597583e-05,9.868211e-05,9.879004e-05,1.013639e-04,1.020421e-04,1.037021e-04,1.049945e-04,1.058111e-04,1.075558e-04,1.076989e-04,1.093749e-04,1.097467e-04,1.108491e-04,1.115905e-04,1.121322e-04,1.131121e-04,1.132353e-04,1.141698e-04,1.143374e-04,1.149467e-04,1.152922e-04,1.155773e-04,1.160018e-04,1.160723e-04,1.164423e-04,1.164905e-04,1.166972e-04,1.167815e-04,1.168466e-04,1.168964e-04,1.168998e-04,1.168651e-04,1.168555e-04,1.167508e-04,1.166773e-04,1.165644e-04,1.163789e-04,1.163129e-04,1.160029e-04,1.159758e-04,1.156404e-04,1.154820e-04,1.152311e-04,1.149103e-04,1.147801e-04,1.142922e-04,1.142720e-04,1.137719e-04,1.135773e-04,1.132230e-04,1.128353e-04,1.126493e-04,1.120541e-04,1.114406e-04,1.112409e-04,1.108116e-04,1.104020e-04,1.101695e-04,1.095431e-04,1.095168e-04,1.088555e-04,1.086691e-04,1.081876e-04,1.077844e-04,1.075148e-04,1.068929e-04,1.068387e-04,1.061607e-04,1.059978e-04,1.054821e-04,1.051022e-04,1.048040e-04,1.042086e-04,1.041275e-04,1.034536e-04,1.033192e-04,1.027830e-04,1.024359e-04,1.021166e-04,1.015605e-04,1.014550e-04,1.007988e-04,1.006943e-04,1.001485e-04,9.983863e-05,9.950463e-05,9.899441e-05,9.886755e-05,9.823764e-05,9.816255e-05,9.761520e-05,9.734377e-05,9.700052e-05,9.653868e-05,9.639381e-05,9.579529e-05,9.574777e-05,9.520511e-05,9.497140e-05,9.462341e-05,9.420989e-05,9.405029e-05,9.348584e-05,9.346345e-05,9.293013e-05,9.273222e-05,9.238319e-05,9.201629e-05,9.184505e-05,9.131571e-05,9.063046e-05,8.996049e-05,8.930572e-05,8.866603e-05,8.804127e-05,8.743129e-05,8.683590e-05,8.625488e-05,8.568804e-05,8.513514e-05,8.459594e-05,8.407021e-05,8.355768e-05,8.305810e-05,8.257121e-05,8.209675e-05,8.163445e-05,8.118404e-05,8.074527e-05,8.031787e-05,7.990158e-05,7.949612e-05,7.910125e-05,7.871672e-05
0.000000e+00,2.145403e-09,1.109780e-08,1.280761e-07,6.483787e-07,1.362414e-06,6.759028e-06,7.160248e-06,2.560000e-05,3.487535e-05,7.181219e-05,1.226922e-04,1.705632e-04,3.394489e-04,3.589384e-04,6.889600e-04,7.965341e-04,1.229636e-03,1.656034e-03,2.067647e-03,3.132647e-03,3.306178e-03,5.062120e-03,5.486429e-03,7.462280e-03,9.008851e-03,1.063921e-02,1.400632e-02,1.472708e-02,1.985773e-02,2.078394e-02,2.615716e-02,2.963080e-02,3.374235e-02,4.080747e-02,4.271861e-02,5.317723e-02,5.453564e-02,6.519375e-02,7.099024e-02,7.882654e-02,9.029392e-02,9.411593e-02,1.110837e-01,1.125138e-01,1.297330e-01,1.376608e-01,1.500487e-01,1.656902e-01,1.719981e-01,1.955318e-01,1.965052e-01,2.205848e-01,2.299611e-01,2.470784e-01,2.658707e-01,2.749211e-01,3.040110e-01,3.342369e-01,3.441300e-01,3.654806e-01,3.859537e-01,3.976183e-01,4.291931e-01,4.305224e-01,4.640632e-01,4.735510e-01,4.981103e-01,5.187276e-01,5.325340e-01,5.644265e-01,5.672065e-01,6.020034e-01,6.103596e-01,6.368039e-01,6.562506e-01,6.714926e-01,7.018386e-01,7.059595e-01,7.401006e-01,7.468811e-01,7.738189e-01,7.911550e-01,8.070241e-01,8.344590e-01,8.396332e-01,8.715704e-01,8.766134e-01,9.027674e-01,9.174608e-01,9.331629e-01,9.568657e-01,9.627029e-01,9.913403e-01,9.947142e-01,1.019035e+00,1.030913e+00,1.045753e+00,1.065388e+00,1.071466e+00,1.096154e+00,1.098084e+00,1.119799e+00,1.128962e+00,1.142391e+00,1.158001e+00,1.163923e+00,1.184394e+00,1.185191e+00,1.203806e+00,1.210537e+00,1.222166e+00,1.234054e+00,1.239483e+00,1.255768e+00,1.271039e+00,1.275714e+00,1.285313e+00,1.293934e+00,1.298609e+00,1.310474e+00,1.310950e+00,1.322358e+00,1.325389e+00,1.332860e+00,1.338736e+00,1.342480e+00,1.350576e+00,1.351246e+00,1.359186e+00,1.360971e+00,1.366327e+00,1.369987e+00,1.372697e+00,1.377689e+00,1.378327e+00,1.383244e+00,1.384144e+00,1.387477e+00,1.389418e+00,1.391056e+00,1.393576e+00,1.394008e+00,1.396361e+00,1.396684e+00,1.398144e+00,1.398805e+00,1.399383e+00,1.400001e+00,1.400105e+00,1.400337e+00,1.400333e+00,1.400103e+00,1.399859e+00,1.399429e+00,1.398636e+00,1.398338e+00,1.396854e+00,1.396719e+00,1.395000e+00,1.394159e+00,1.392797e+00,1.391007e+00,1.390267e+00,1.387430e+00,1.387311e+00,1.384306e+00,1.383115e+00,1.380914e+00,1.378463e+00,1.377272e+00,1.373397e+00,1.367954e+00,1.362171e+00,1.356084e+00,1.349723e+00,1.343120e+00,1.336304e+00,1.329300e+00,1.322135e+00,1.314830e+00,1.307409e+00,1.299890e+00,1.292294e+00,1.284636e+00,1.276934e+00,1.269202e+00,1.261454e+00,1.253702e+00,1.245958e+00,1.238232e+00,1.230534e+00,1.222874e+00,1.215259e+00,1.207695e+00,1.200191e+00
0.000000e+00,6.479475e-11,1.727437e-10,6.962397e-10,1.701273e-09,2.546270e-09,6.025997e-09,6.214917e-09,1.228006e-08,1.448711e-08,2.132903e-08,2.844546e-08,3.397673e-08,4.932605e-08,5.084430e-08,7.244715e-08,7.836700e-08,9.896378e-08,1.158490e-07,1.300419e-07,1.605554e-07,1.649104e-07,2.026994e-07,2.105379e-07,2.426453e-07,2.640578e-07,2.841241e-07,3.197695e-07,3.266175e-07,3.696786e-07,3.765940e-07,4.129116e-07,4.336193e-07,4.559632e-07,4.900617e-07,4.985196e-07,5.403070e-07,5.452583e-07,5.810917e-07,5.986680e-07,6.206799e-07,6.498697e-07,6.589162e-07,6.956815e-07,6.985564e-07,7.308897e-07,7.445234e-07,7.644843e-07,7.876551e-07,7.964345e-07,8.267314e-07,8.279090e-07,8.553844e-07,8.653012e-07,8.824173e-07,8.998924e-07,9.078663e-07,9.317760e-07,9.541982e-07,9.610683e-07,9.751893e-07,9.878998e-07,9.948086e-07,1.012409e-06,1.013117e-06,1.030177e-06,1.034739e-06,1.046051e-06,1.055030e-06,1.060798e-06,1.073422e-06,1.074478e-06,1.087150e-06,1.090048e-06,1.098869e-06,1.105036e-06,1.109690e-06,1.118509e-06,1.119662e-06,1.128837e-06,1.130580e-06,1.137260e-06,1.141357e-06,1.144975e-06,1.150941e-06,1.152026e-06,1.158451e-06,1.159423e-06,1.164288e-06,1.166891e-06,1.169573e-06,1.173425e-06,1.174339e-06,1.178617e-06,1.179100e-06,1.182439e-06,1.183983e-06,1.185831e-06,1.188138e-06,1.188820e-06,1.191432e-06,1.191625e-06,1.193688e-06,1.194497e-06,1.195613e-06,1.196804e-06,1.197225e-06,1.198546e-06,1.198593e-06,1.199592e-06,1.199906e-06,1.200383e-06,1.200782e-06,1.200932e-06,1.201258e-06,1.201372e-06,1.201367e-06,1.201290e-06,1.201140e-06,1.201023e-06,1.200605e-06,1.200585e-06,1.199985e-06,1.199790e-06,1.199236e-06,1.198718e-06,1.198346e-06,1.197412e-06,1.197326e-06,1.196184e-06,1.195893e-06,1.194929e-06,1.194179e-06,1.193568e-06,1.192289e-06,1.192109e-06,1.190559e-06,1.190239e-06,1.188925e-06,1.188044e-06,1.187213e-06,1.185718e-06,1.185428e-06,1.183577e-06,1.183275e-06,1.181664e-06,1.180726e-06,1.179695e-06,1.178082e-06,1.177674e-06,1.175605e-06,1.175354e-06,1.173493e-06,1.172551e-06,1.171342e-06,1.169683e-06,1.169155e-06,1.166935e-06,1.166756e-06,1.164686e-06,1.163779e-06,1.162412e-06,1.160760e-06,1.160114e-06,1.157796e-06,1.157703e-06,1.155461e-06,1.154616e-06,1.153110e-06,1.151504e-06,1.150746e-06,1.148372e-06,1.145225e-06,1.142067e-06,1.138903e-06,1.135736e-06,1.132569e-06,1.129406e-06,1.126250e-06,1.123104e-06,1.119969e-06,1.116849e-06,1.113746e-06,1.110661e-06,1.107596e-06,1.104554e-06,1.101535e-06,1.098540e-06,1.095572e-06,1.092631e-06,1.089718e-06,1.086835e-06,1.083981e-06,1.081159e-06,1.078367e-06,1.075608e-06
0.000000e+00,6.014165e-11,1.440143e-10,5.186509e-10,1.204244e-09,1.769380e-09,4.058564e-09,4.181907e-09,8.118802e-09,9.544567e-09,1.395235e-08,1.852415e-08,2.207084e-08,3.188342e-08,3.285146e-08,4.656890e-08,5.030902e-08,6.326781e-08,7.384922e-08,8.273363e-08,1.018694e-07,1.046091e-07,1.285204e-07,1.335163e-07,1.541277e-07,1.680116e-07,1.811265e-07,2.046755e-07,2.092368e-07,2.381956e-07,2.428909e-07,2.677538e-07,2.820850e-07,2.976762e-07,3.217289e-07,3.277442e-07,3.577572e-07,3.613463e-07,3.875351e-07,4.005212e-07,4.169194e-07,4.389033e-07,4.457734e-07,4.739824e-07,4.762083e-07,5.014523e-07,5.122158e-07,5.281076e-07,5.467616e-07,5.538899e-07,5.787568e-07,5.797320e-07,6.026793e-07,6.110564e-07,6.256397e-07,6.406992e-07,6.476308e-07,6.686532e-07,6.887147e-07,6.949334e-07,7.078284e-07,7.195717e-07,7.260119e-07,7.426127e-07,7.432865e-07,7.596761e-07,7.641100e-07,7.752062e-07,7.841228e-07,7.899037e-07,8.027140e-07,8.037965e-07,8.169131e-07,8.199487e-07,8.292819e-07,8.358925e-07,8.409315e-07,8.506106e-07,8.518900e-07,8.621855e-07,8.641674e-07,8.718452e-07,8.766258e-07,8.808958e-07,8.880466e-07,8.893633e-07,8.972730e-07,8.984884e-07,9.046493e-07,9.080075e-07,9.115161e-07,9.166580e-07,9.178961e-07,9.238115e-07,9.244911e-07,9.292835e-07,9.315560e-07,9.343326e-07,9.378993e-07,9.389786e-07,9.432402e-07,9.435651e-07,9.471358e-07,9.485954e-07,9.506827e-07,9.530299e-07,9.538976e-07,9.567966e-07,9.569062e-07,9.593950e-07,9.602597e-07,9.617075e-07,9.631239e-07,9.637482e-07,9.655306e-07,9.670675e-07,9.675095e-07,9.683713e-07,9.690889e-07,9.694539e-07,9.702953e-07,9.703264e-07,9.709996e-07,9.711538e-07,9.714838e-07,9.716878e-07,9.717889e-07,9.719195e-07,9.719243e-07,9.718990e-07,9.718700e-07,9.717215e-07,9.715587e-07,9.714000e-07,9.710042e-07,9.709424e-07,9.703560e-07,9.702239e-07,9.696481e-07,9.692342e-07,9.688254e-07,9.680505e-07,9.678945e-07,9.668615e-07,9.666871e-07,9.657323e-07,9.651578e-07,9.645126e-07,9.634753e-07,9.632078e-07,9.618229e-07,9.616516e-07,9.603629e-07,9.596980e-07,9.588325e-07,9.576250e-07,9.572361e-07,9.555780e-07,9.554428e-07,9.538621e-07,9.531605e-07,9.520924e-07,9.507870e-07,9.502725e-07,9.484060e-07,9.483304e-07,9.464962e-07,9.457986e-07,9.445462e-07,9.431988e-07,9.425591e-07,9.405378e-07,9.378220e-07,9.350573e-07,9.322494e-07,9.294035e-07,9.265246e-07,9.236172e-07,9.206857e-07,9.177342e-07,9.147664e-07,9.117858e-07,9.087958e-07,9.057994e-07,9.027996e-07,8.997990e-07,8.968002e-07,8.938054e-07,8.908169e-07,8.878367e-07,8.848666e-07,8.819085e-07,8.789639e-07,8.760344e-07,8.731214e-07,8.702260e-07
0.000000e+00,4.284552e-11,1.278665e-10,5.852521e-10,1.518341e-09,2.322728e-09,5.703595e-09,5.888805e-09,1.187169e-08,1.405840e-08,2.084890e-08,2.791842e-08,3.341392e-08,4.866514e-08,5.017413e-08,7.167278e-08,7.757755e-08,9.818611e-08,1.151656e-07,1.294993e-07,1.604981e-07,1.649415e-07,2.036800e-07,2.117540e-07,2.449549e-07,2.672068e-07,2.881370e-07,3.254967e-07,3.327001e-07,3.781837e-07,3.855181e-07,4.241697e-07,4.463069e-07,4.702716e-07,5.069955e-07,5.161322e-07,5.614252e-07,5.668080e-07,6.058584e-07,6.250694e-07,6.491762e-07,6.812168e-07,6.911616e-07,7.316362e-07,7.348045e-07,7.704597e-07,7.855023e-07,8.075277e-07,8.330884e-07,8.427688e-07,8.761415e-07,8.774372e-07,9.076300e-07,9.185054e-07,9.372413e-07,9.563167e-07,9.650003e-07,9.909475e-07,1.015135e-06,1.022513e-06,1.037624e-06,1.051158e-06,1.058483e-06,1.077041e-06,1.077784e-06,1.095602e-06,1.100336e-06,1.112014e-06,1.121217e-06,1.127094e-06,1.139858e-06,1.140920e-06,1.153563e-06,1.156430e-06,1.165096e-06,1.171095e-06,1.175587e-06,1.184008e-06,1.185101e-06,1.193701e-06,1.195316e-06,1.201446e-06,1.205155e-06,1.208393e-06,1.213649e-06,1.214593e-06,1.220098e-06,1.220917e-06,1.224953e-06,1.227066e-06,1.229202e-06,1.232193e-06,1.232887e-06,1.236045e-06,1.236390e-06,1.238713e-06,1.239740e-06,1.240923e-06,1.242317e-06,1.242708e-06,1.244097e-06,1.244192e-06,1.245116e-06,1.245426e-06,1.245791e-06,1.246078e-06,1.246146e-06,1.246203e-06,1.246200e-06,1.245983e-06,1.245839e-06,1.245504e-06,1.245040e-06,1.244785e-06,1.243843e-06,1.242693e-06,1.242283e-06,1.241349e-06,1.240395e-06,1.239827e-06,1.238208e-06,1.238137e-06,1.236293e-06,1.235750e-06,1.234305e-06,1.233047e-06,1.232184e-06,1.230123e-06,1.229939e-06,1.227581e-06,1.226999e-06,1.225117e-06,1.223695e-06,1.222556e-06,1.220228e-06,1.219905e-06,1.217172e-06,1.216616e-06,1.214362e-06,1.212873e-06,1.211483e-06,1.209015e-06,1.208540e-06,1.205538e-06,1.205053e-06,1.202484e-06,1.201000e-06,1.199381e-06,1.196867e-06,1.196235e-06,1.193049e-06,1.192664e-06,1.189828e-06,1.188401e-06,1.186576e-06,1.184085e-06,1.183296e-06,1.179991e-06,1.179726e-06,1.176666e-06,1.175330e-06,1.173322e-06,1.170905e-06,1.169963e-06,1.166591e-06,1.166456e-06,1.163209e-06,1.161989e-06,1.159819e-06,1.157511e-06,1.156424e-06,1.153026e-06,1.148538e-06,1.144051e-06,1.139571e-06,1.135100e-06,1.130641e-06,1.126198e-06,1.121774e-06,1.117371e-06,1.112992e-06,1.108639e-06,1.104314e-06,1.100018e-06,1.095754e-06,1.091523e-06,1.087327e-06,1.083166e-06,1.079042e-06,1.074956e-06,1.070910e-06,1.066903e-06,1.062937e-06,1.059012e-06,1.055129e-06,1.051288e-06
0.000000e+00,7.174054e-11,3.108828e-10,2.522191e-09,9.424667e-09,1.688276e-08,5.676703e-08,5.923463e-08,1.489764e-07,1.854873e-07,3.078197e-07,4.464695e-07,5.606345e-07,9.011947e-07,9.365591e-07,1.468401e-06,1.622905e-06,2.187778e-06,2.680944e-06,3.115102e-06,4.103293e-06,4.249843e-06,5.569795e-06,5.853024e-06,7.039947e-06,7.851329e-06,8.623177e-06,1.001630e-05,1.028668e-05,1.200380e-05,1.228204e-05,1.375337e-05,1.459956e-05,1.551835e-05,1.693188e-05,1.728465e-05,1.904033e-05,1.924979e-05,2.077512e-05,2.152948e-05,2.248018e-05,2.375144e-05,2.414794e-05,2.577205e-05,2.589992e-05,2.734725e-05,2.796266e-05,2.886934e-05,2.993052e-05,3.033511e-05,3.174220e-05,3.179724e-05,3.308905e-05,3.355898e-05,3.437478e-05,3.521400e-05,3.559910e-05,3.676224e-05,3.786483e-05,3.820501e-05,3.890782e-05,3.954464e-05,3.989248e-05,4.078422e-05,4.082026e-05,4.169279e-05,4.192743e-05,4.251182e-05,4.297832e-05,4.327919e-05,4.394116e-05,4.399678e-05,4.466652e-05,4.482035e-05,4.529034e-05,4.562034e-05,4.587016e-05,4.634552e-05,4.640789e-05,4.690540e-05,4.700024e-05,4.736453e-05,4.758871e-05,4.778707e-05,4.811500e-05,4.817476e-05,4.852928e-05,4.858303e-05,4.885226e-05,4.899655e-05,4.914527e-05,4.935911e-05,4.940982e-05,4.964738e-05,4.967414e-05,4.985934e-05,4.994485e-05,5.004706e-05,5.017431e-05,5.021182e-05,5.035486e-05,5.036540e-05,5.047735e-05,5.052086e-05,5.058045e-05,5.064327e-05,5.066522e-05,5.073270e-05,5.073505e-05,5.078388e-05,5.079849e-05,5.081970e-05,5.083575e-05,5.084106e-05,5.084883e-05,5.084381e-05,5.083963e-05,5.082679e-05,5.080994e-05,5.079851e-05,5.076142e-05,5.075968e-05,5.071096e-05,5.069564e-05,5.065300e-05,5.061404e-05,5.058641e-05,5.051801e-05,5.051176e-05,5.042960e-05,5.040883e-05,5.034047e-05,5.028769e-05,5.024484e-05,5.015570e-05,5.014320e-05,5.003599e-05,5.001392e-05,4.992364e-05,4.986331e-05,4.980654e-05,4.970479e-05,4.968508e-05,4.955962e-05,4.953919e-05,4.943050e-05,4.936732e-05,4.929804e-05,4.918989e-05,4.916256e-05,4.902435e-05,4.900759e-05,4.888367e-05,4.882106e-05,4.874080e-05,4.863089e-05,4.859596e-05,4.844941e-05,4.843761e-05,4.830135e-05,4.824175e-05,4.815199e-05,4.804376e-05,4.800153e-05,4.785016e-05,4.784409e-05,4.769804e-05,4.764313e-05,4.754534e-05,4.744126e-05,4.739222e-05,4.723882e-05,4.703612e-05,4.683346e-05,4.663111e-05,4.642931e-05,4.622828e-05,4.602824e-05,4.582937e-05,4.563184e-05,4.543581e-05,4.524142e-05,4.504880e-05,4.485806e-05,4.466932e-05,4.448265e-05,4.429815e-05,4.411589e-05,4.393593e-05,4.375833e-05,4.358314e-05,4.341039e-05,4.324013e-05,4.307239e-05,4.290718e-05,4.274453e-05
0.000000e+00,1.586897e-11,7.185813e-11,6.327255e-10,2.519886e-09,4.654348e-09,1.670254e-08,1.746744e-08,4.592447e-08,5.768559e-08,9.729268e-08,1.421121e-07,1.787698e-07,2.863632e-07,2.973798e-07,4.597944e-07,5.059470e-07,6.715021e-07,8.127738e-07,9.352671e-07,1.209698e-06,1.250042e-06,1.611431e-06,1.688767e-06,2.013191e-06,2.235835e-06,2.448637e-06,2.835753e-06,2.911376e-06,3.395508e-06,3.474584e-06,3.895566e-06,4.139727e-06,4.406395e-06,4.819506e-06,4.923085e-06,5.440964e-06,5.502976e-06,5.955624e-06,6.179992e-06,6.462991e-06,6.841428e-06,6.959379e-06,7.441551e-06,7.479424e-06,7.906750e-06,8.087556e-06,8.352724e-06,8.660915e-06,8.777715e-06,9.180450e-06,9.196084e-06,9.560101e-06,9.691031e-06,9.916243e-06,1.014494e-05,1.024881e-05,1.055802e-05,1.084437e-05,1.093128e-05,1.110853e-05,1.126633e-05,1.135134e-05,1.156524e-05,1.157376e-05,1.177680e-05,1.183033e-05,1.196155e-05,1.206407e-05,1.212909e-05,1.226898e-05,1.228052e-05,1.241692e-05,1.244753e-05,1.253932e-05,1.260212e-05,1.264872e-05,1.273501e-05,1.274609e-05,1.283232e-05,1.284830e-05,1.290826e-05,1.294395e-05,1.297471e-05,1.302374e-05,1.303241e-05,1.308204e-05,1.308927e-05,1.312422e-05,1.314201e-05,1.315956e-05,1.318326e-05,1.318858e-05,1.321179e-05,1.321420e-05,1.322963e-05,1.323589e-05,1.324253e-05,1.324926e-05,1.325086e-05,1.325499e-05,1.325515e-05,1.325523e-05,1.325431e-05,1.325189e-05,1.324741e-05,1.324522e-05,1.323550e-05,1.323505e-05,1.322293e-05,1.321776e-05,1.320775e-05,1.319603e-05,1.319014e-05,1.317028e-05,1.314835e-05,1.314091e-05,1.312448e-05,1.310827e-05,1.309884e-05,1.307267e-05,1.307154e-05,1.304272e-05,1.303439e-05,1.301249e-05,1.299371e-05,1.298094e-05,1.295085e-05,1.294819e-05,1.291432e-05,1.290604e-05,1.287942e-05,1.285946e-05,1.284357e-05,1.281130e-05,1.280685e-05,1.276932e-05,1.276173e-05,1.273105e-05,1.271088e-05,1.269211e-05,1.265892e-05,1.265255e-05,1.261242e-05,1.260595e-05,1.257178e-05,1.255211e-05,1.253068e-05,1.249750e-05,1.248916e-05,1.244726e-05,1.244221e-05,1.240503e-05,1.238635e-05,1.236250e-05,1.233000e-05,1.231970e-05,1.227668e-05,1.227323e-05,1.223347e-05,1.221613e-05,1.219009e-05,1.215876e-05,1.214657e-05,1.210294e-05,1.210119e-05,1.205922e-05,1.204347e-05,1.201545e-05,1.198566e-05,1.197164e-05,1.192781e-05,1.186996e-05,1.181217e-05,1.175447e-05,1.169690e-05,1.163949e-05,1.158228e-05,1.152529e-05,1.146856e-05,1.141211e-05,1.135597e-05,1.130015e-05,1.124467e-05,1.118956e-05,1.113483e-05,1.108050e-05,1.102658e-05,1.097308e-05,1.092002e-05,1.086741e-05,1.081525e-05,1.076356e-05,1.071234e-05,1.066161e-05,1.061135e-05
0.000000e+00,1.399614e-10,3.395099e-10,1.242869e-09,2.921069e-09,4.322748e-09,1.014754e-08,1.046773e-08,2.100280e-08,2.495884e-08,3.758909e-08,5.117409e-08,6.191450e-08,9.179735e-08,9.472572e-08,1.353736e-07,1.461608e-07,1.826639e-07,2.116593e-07,2.355877e-07,2.862335e-07,2.934110e-07,3.555556e-07,3.684569e-07,4.214984e-07,4.571169e-07,4.907163e-07,5.509923e-07,5.626644e-07,6.367757e-07,6.487955e-07,7.124690e-07,7.491923e-07,7.891621e-07,8.508541e-07,8.662872e-07,9.433042e-07,9.525147e-07,1.019712e-06,1.053019e-06,1.095055e-06,1.151354e-06,1.168931e-06,1.240993e-06,1.246671e-06,1.310954e-06,1.338294e-06,1.378575e-06,1.425708e-06,1.443672e-06,1.506105e-06,1.508545e-06,1.565776e-06,1.586568e-06,1.622623e-06,1.659650e-06,1.676617e-06,1.727759e-06,1.776068e-06,1.790933e-06,1.821579e-06,1.849262e-06,1.864346e-06,1.902882e-06,1.904436e-06,1.941922e-06,1.951963e-06,1.976889e-06,1.996695e-06,2.009422e-06,2.037283e-06,2.039614e-06,2.067556e-06,2.073938e-06,2.093342e-06,2.106875e-06,2.117065e-06,2.136309e-06,2.138819e-06,2.158693e-06,2.162451e-06,2.176779e-06,2.185506e-06,2.193163e-06,2.205673e-06,2.207930e-06,2.221163e-06,2.223143e-06,2.232941e-06,2.238100e-06,2.243341e-06,2.250718e-06,2.252436e-06,2.260299e-06,2.261163e-06,2.266996e-06,2.269591e-06,2.272594e-06,2.276152e-06,2.277155e-06,2.280739e-06,2.280985e-06,2.283403e-06,2.284223e-06,2.285201e-06,2.285990e-06,2.286186e-06,2.286407e-06,2.286401e-06,2.285912e-06,2.285567e-06,2.284745e-06,2.283590e-06,2.282950e-06,2.280567e-06,2.277635e-06,2.276587e-06,2.274190e-06,2.271733e-06,2.270269e-06,2.266086e-06,2.265903e-06,2.261124e-06,2.259717e-06,2.255963e-06,2.252695e-06,2.250448e-06,2.245084e-06,2.244605e-06,2.238460e-06,2.236943e-06,2.232037e-06,2.228328e-06,2.225360e-06,2.219289e-06,2.218448e-06,2.211323e-06,2.209875e-06,2.204005e-06,2.200129e-06,2.196511e-06,2.190093e-06,2.188859e-06,2.181065e-06,2.179805e-06,2.173144e-06,2.169301e-06,2.165110e-06,2.158612e-06,2.156979e-06,2.148761e-06,2.147770e-06,2.140470e-06,2.136802e-06,2.132117e-06,2.125733e-06,2.123712e-06,2.115266e-06,2.114589e-06,2.106788e-06,2.103390e-06,2.098287e-06,2.092157e-06,2.089772e-06,2.081250e-06,2.080909e-06,2.072728e-06,2.069662e-06,2.064214e-06,2.058432e-06,2.055713e-06,2.047233e-06,2.036078e-06,2.024980e-06,2.013948e-06,2.002993e-06,1.992124e-06,1.981348e-06,1.970673e-06,1.960105e-06,1.949651e-06,1.939314e-06,1.929100e-06,1.919013e-06,1.909056e-06,1.899231e-06,1.889543e-06,1.879992e-06,1.870581e-06,1.861311e-06,1.852183e-06,1.843197e-06,1.834355e-06,1.825657e-06,1.817103e-06,1.808692e-06
0.000000e+00,6.796102e-12,3.310368e-11,3.372946e-10,1.524697e-09,3.011177e-09,1.273878e-08,1.340825e-08,4.100930e-08,5.357128e-08,9.937025e-08,1.562191e-07,2.058362e-07,3.640513e-07,3.811452e-07,6.483673e-07,7.287721e-07,1.030390e-06,1.301871e-06,1.546423e-06,2.121733e-06,2.209277e-06,3.024518e-06,3.205869e-06,3.991205e-06,4.551899e-06,5.103334e-06,6.142975e-06,6.351307e-06,7.723105e-06,7.953193e-06,9.205136e-06,9.951403e-06,1.078279e-05,1.210355e-05,1.244086e-05,1.416385e-05,1.437423e-05,1.593630e-05,1.672793e-05,1.774305e-05,1.913010e-05,1.956949e-05,2.140180e-05,2.154825e-05,2.322721e-05,2.395279e-05,2.503407e-05,2.631767e-05,2.681205e-05,2.855213e-05,2.862083e-05,3.024665e-05,3.084427e-05,3.188929e-05,3.297400e-05,3.347497e-05,3.499982e-05,3.646104e-05,3.691487e-05,3.785680e-05,3.871525e-05,3.918611e-05,4.039949e-05,4.044872e-05,4.164497e-05,4.196814e-05,4.277575e-05,4.342330e-05,4.384232e-05,4.476825e-05,4.484630e-05,4.578956e-05,4.600713e-05,4.667414e-05,4.714468e-05,4.750222e-05,4.818600e-05,4.827608e-05,4.899803e-05,4.913640e-05,4.967040e-05,5.000121e-05,5.029551e-05,5.078576e-05,5.087565e-05,5.141306e-05,5.149522e-05,5.190992e-05,5.213464e-05,5.236836e-05,5.270882e-05,5.279041e-05,5.317805e-05,5.322234e-05,5.353314e-05,5.367955e-05,5.385751e-05,5.408453e-05,5.415286e-05,5.442084e-05,5.444114e-05,5.466300e-05,5.475298e-05,5.488084e-05,5.502342e-05,5.507576e-05,5.524910e-05,5.525560e-05,5.540212e-05,5.545247e-05,5.553603e-05,5.561674e-05,5.565195e-05,5.575097e-05,5.583410e-05,5.585750e-05,5.590230e-05,5.593854e-05,5.595649e-05,5.599612e-05,5.599752e-05,5.602620e-05,5.603213e-05,5.604331e-05,5.604832e-05,5.604956e-05,5.604632e-05,5.604564e-05,5.603221e-05,5.602764e-05,5.600986e-05,5.599368e-05,5.597919e-05,5.594573e-05,5.594072e-05,5.589498e-05,5.588500e-05,5.584246e-05,5.581261e-05,5.578360e-05,5.572959e-05,5.571886e-05,5.564862e-05,5.563690e-05,5.557329e-05,5.553543e-05,5.549322e-05,5.542599e-05,5.540876e-05,5.532024e-05,5.530936e-05,5.522796e-05,5.518625e-05,5.513222e-05,5.505730e-05,5.503328e-05,5.493140e-05,5.492313e-05,5.482683e-05,5.478431e-05,5.471981e-05,5.464135e-05,5.461054e-05,5.449924e-05,5.449474e-05,5.438609e-05,5.434494e-05,5.427128e-05,5.419235e-05,5.415498e-05,5.403736e-05,5.388033e-05,5.372159e-05,5.356144e-05,5.340016e-05,5.323803e-05,5.307527e-05,5.291212e-05,5.274878e-05,5.258545e-05,5.242228e-05,5.225946e-05,5.209713e-05,5.193542e-05,5.177446e-05,5.161437e-05,5.145525e-05,5.129720e-05,5.114031e-05,5.098465e-05,5.083032e-05,5.067736e-05,5.052584e-05,5.037582e-05,5.022734e-05
0.000000e+00,2.024188e-11,7.832666e-11,5.192422e-10,1.669110e-09,2.784421e-09,8.024518e-09,8.327308e-09,1.856507e-08,2.245536e-08,3.482991e-08,4.802766e-08,5.843618e-08,8.779057e-08,9.072534e-08,1.330549e-07,1.448536e-07,1.866946e-07,2.220474e-07,2.525833e-07,3.208905e-07,3.309314e-07,4.208066e-07,4.399926e-07,5.200432e-07,5.743766e-07,6.256900e-07,7.171717e-07,7.347346e-07,8.446265e-07,8.621507e-07,9.534396e-07,1.004866e-06,1.059802e-06,1.142473e-06,1.162755e-06,1.261634e-06,1.273202e-06,1.355980e-06,1.395974e-06,1.445491e-06,1.510167e-06,1.529981e-06,1.609362e-06,1.615491e-06,1.683627e-06,1.711912e-06,1.752834e-06,1.799592e-06,1.817095e-06,1.876564e-06,1.878846e-06,1.931428e-06,1.950092e-06,1.981899e-06,2.013824e-06,2.028202e-06,2.070573e-06,2.109252e-06,2.120888e-06,2.144475e-06,2.165313e-06,2.176477e-06,2.204377e-06,2.205482e-06,2.231707e-06,2.238580e-06,2.255356e-06,2.268391e-06,2.276625e-06,2.294245e-06,2.295694e-06,2.312733e-06,2.316539e-06,2.327901e-06,2.335632e-06,2.341343e-06,2.351852e-06,2.353195e-06,2.363581e-06,2.365492e-06,2.372615e-06,2.376815e-06,2.380405e-06,2.386057e-06,2.387046e-06,2.392628e-06,2.393428e-06,2.397233e-06,2.399118e-06,2.400936e-06,2.403296e-06,2.403806e-06,2.405907e-06,2.406110e-06,2.407296e-06,2.407696e-06,2.408027e-06,2.408173e-06,2.408150e-06,2.407709e-06,2.407651e-06,2.406746e-06,2.406224e-06,2.405300e-06,2.403980e-06,2.403406e-06,2.401096e-06,2.400996e-06,2.398402e-06,2.397343e-06,2.395350e-06,2.393084e-06,2.391967e-06,2.388276e-06,2.384300e-06,2.382971e-06,2.380060e-06,2.377216e-06,2.375574e-06,2.371054e-06,2.370862e-06,2.365938e-06,2.364524e-06,2.360820e-06,2.357661e-06,2.355521e-06,2.350498e-06,2.350055e-06,2.344435e-06,2.343065e-06,2.338673e-06,2.335388e-06,2.332780e-06,2.327494e-06,2.326766e-06,2.320642e-06,2.319405e-06,2.314416e-06,2.311142e-06,2.308098e-06,2.302725e-06,2.301695e-06,2.295215e-06,2.294172e-06,2.288666e-06,2.285499e-06,2.282053e-06,2.276723e-06,2.275385e-06,2.268666e-06,2.267857e-06,2.261903e-06,2.258914e-06,2.255100e-06,2.249908e-06,2.248264e-06,2.241399e-06,2.240848e-06,2.234509e-06,2.231747e-06,2.227599e-06,2.222613e-06,2.220673e-06,2.213734e-06,2.213457e-06,2.206788e-06,2.204285e-06,2.199836e-06,2.195107e-06,2.192882e-06,2.185929e-06,2.176759e-06,2.167603e-06,2.158466e-06,2.149354e-06,2.140272e-06,2.131224e-06,2.122217e-06,2.113252e-06,2.104334e-06,2.095467e-06,2.086653e-06,2.077896e-06,2.069198e-06,2.060562e-06,2.051990e-06,2.043485e-06,2.035047e-06,2.026680e-06,2.018384e-06,2.010161e-06,2.002012e-06,1.993939e-06,1.985943e-06,1.978024e-06
0.000000e+00,2.491440e-11,1.125712e-10,9.875509e-10,3.923555e-09,7.240153e-09,2.594897e-08,2.713683e-08,7.136892e-08,8.967434e-08,1.514206e-07,2.214579e-07,2.788537e-07,4.477995e-07,4.651338e-07,7.213536e-07,7.943736e-07,1.057027e-06,1.282023e-06,1.477742e-06,1.918255e-06,1.983242e-06,2.567756e-06,2.693366e-06,3.222120e-06,3.586559e-06,3.935972e-06,4.574053e-06,4.699043e-06,5.501586e-06,5.633034e-06,6.334393e-06,6.742299e-06,7.188688e-06,7.881933e-06,8.056063e-06,8.928490e-06,9.033156e-06,9.798398e-06,1.017853e-05,1.065876e-05,1.130232e-05,1.150322e-05,1.232612e-05,1.239087e-05,1.312261e-05,1.343288e-05,1.388863e-05,1.441945e-05,1.462094e-05,1.531705e-05,1.534411e-05,1.597518e-05,1.620257e-05,1.659422e-05,1.699254e-05,1.717363e-05,1.771337e-05,1.821384e-05,1.836581e-05,1.867578e-05,1.895167e-05,1.910022e-05,1.947356e-05,1.948841e-05,1.984176e-05,1.993467e-05,2.016182e-05,2.033854e-05,2.045020e-05,2.068895e-05,2.070855e-05,2.093855e-05,2.098972e-05,2.114187e-05,2.124468e-05,2.132014e-05,2.145757e-05,2.147496e-05,2.160788e-05,2.163196e-05,2.172038e-05,2.177128e-05,2.181388e-05,2.187874e-05,2.188975e-05,2.194927e-05,2.195735e-05,2.199364e-05,2.200990e-05,2.202402e-05,2.203898e-05,2.204149e-05,2.204705e-05,2.204697e-05,2.204166e-05,2.203605e-05,2.202619e-05,2.200822e-05,2.200148e-05,2.196830e-05,2.196530e-05,2.192737e-05,2.190897e-05,2.187935e-05,2.184074e-05,2.182487e-05,2.176452e-05,2.176200e-05,2.169884e-05,2.167398e-05,2.162831e-05,2.157783e-05,2.155342e-05,2.147458e-05,2.139221e-05,2.136517e-05,2.130667e-05,2.125043e-05,2.121832e-05,2.113113e-05,2.112746e-05,2.103439e-05,2.100797e-05,2.093939e-05,2.088157e-05,2.084272e-05,2.075249e-05,2.074460e-05,2.064525e-05,2.062125e-05,2.054488e-05,2.048829e-05,2.044367e-05,2.035404e-05,2.034178e-05,2.023939e-05,2.021886e-05,2.013663e-05,2.008310e-05,2.003364e-05,1.994705e-05,1.993055e-05,1.982746e-05,1.981097e-05,1.972448e-05,1.967512e-05,1.962171e-05,1.953970e-05,1.951924e-05,1.941714e-05,1.940492e-05,1.931550e-05,1.927093e-05,1.921437e-05,1.913790e-05,1.911383e-05,1.901392e-05,1.900596e-05,1.891470e-05,1.887522e-05,1.881622e-05,1.874579e-05,1.871852e-05,1.862163e-05,1.861777e-05,1.852559e-05,1.849123e-05,1.843044e-05,1.836625e-05,1.833619e-05,1.824287e-05,1.812116e-05,1.800116e-05,1.788290e-05,1.776640e-05,1.765170e-05,1.753882e-05,1.742775e-05,1.731852e-05,1.721112e-05,1.710557e-05,1.700184e-05,1.689995e-05,1.679988e-05,1.670161e-05,1.660515e-05,1.651047e-05,1.641756e-05,1.632640e-05,1.623697e-05,1.614926e-05,1.606324e-05,1.597888e-05,1.589618e-05,1.581510e-05
0.000000e+00,1.453437e-11,6.791952e-11,6.369232e-10,2.680274e-09,5.098955e-09,1.972316e-08,2.068914e-08,5.861808e-08,7.517241e-08,1.337087e-07,2.040328e-07,2.640234e-07,4.487502e-07,4.681728e-07,7.599363e-07,8.438031e-07,1.145106e-06,1.401461e-06,1.622822e-06,2.116278e-06,2.188643e-06,2.836841e-06,2.975838e-06,3.561391e-06,3.966286e-06,4.356095e-06,5.073062e-06,5.214370e-06,6.129036e-06,6.280099e-06,7.092211e-06,7.569283e-06,8.095369e-06,8.920643e-06,9.129506e-06,1.018537e-05,1.031309e-05,1.125373e-05,1.172544e-05,1.232563e-05,1.313742e-05,1.339262e-05,1.444696e-05,1.453055e-05,1.548172e-05,1.588877e-05,1.649089e-05,1.719878e-05,1.746942e-05,1.841319e-05,1.845017e-05,1.931901e-05,1.963534e-05,2.018453e-05,2.074923e-05,2.100817e-05,2.178902e-05,2.252680e-05,2.275380e-05,2.322167e-05,2.364415e-05,2.387427e-05,2.446185e-05,2.448552e-05,2.505662e-05,2.520952e-05,2.558898e-05,2.589043e-05,2.608413e-05,2.650820e-05,2.654369e-05,2.696936e-05,2.706667e-05,2.736285e-05,2.756978e-05,2.772585e-05,2.802140e-05,2.806004e-05,2.836707e-05,2.842536e-05,2.864852e-05,2.878528e-05,2.890592e-05,2.910462e-05,2.914073e-05,2.935435e-05,2.938665e-05,2.954809e-05,2.963439e-05,2.972320e-05,2.985068e-05,2.988088e-05,3.002222e-05,3.003813e-05,3.014828e-05,3.019916e-05,3.026004e-05,3.033597e-05,3.035841e-05,3.044427e-05,3.045062e-05,3.051842e-05,3.054497e-05,3.058161e-05,3.062073e-05,3.063456e-05,3.067793e-05,3.067948e-05,3.071234e-05,3.072264e-05,3.073836e-05,3.075154e-05,3.075654e-05,3.076738e-05,3.077136e-05,3.077126e-05,3.076892e-05,3.076419e-05,3.076049e-05,3.074710e-05,3.074643e-05,3.072713e-05,3.072083e-05,3.070292e-05,3.068618e-05,3.067413e-05,3.064384e-05,3.064104e-05,3.060395e-05,3.059448e-05,3.056312e-05,3.053871e-05,3.051879e-05,3.047708e-05,3.047121e-05,3.042058e-05,3.041011e-05,3.036712e-05,3.033826e-05,3.031101e-05,3.026198e-05,3.025245e-05,3.019160e-05,3.018166e-05,3.012862e-05,3.009768e-05,3.006367e-05,3.001039e-05,2.999689e-05,2.992841e-05,2.992009e-05,2.985837e-05,2.982709e-05,2.978688e-05,2.973166e-05,2.971406e-05,2.964002e-05,2.963404e-05,2.956485e-05,2.953449e-05,2.948865e-05,2.943320e-05,2.941151e-05,2.933353e-05,2.933039e-05,2.925477e-05,2.922625e-05,2.917533e-05,2.912094e-05,2.909526e-05,2.901464e-05,2.890749e-05,2.879963e-05,2.869119e-05,2.858230e-05,2.847307e-05,2.836360e-05,2.825400e-05,2.814434e-05,2.803472e-05,2.792522e-05,2.781591e-05,2.770686e-05,2.759813e-05,2.748978e-05,2.738186e-05,2.727443e-05,2.716754e-05,2.706122e-05,2.695552e-05,2.685047e-05,2.674612e-05,2.664248e-05,2.653959e-05,2.643748e-05
0.000000e+00,2.852362e-11,6.552593e-11,2.263902e-10,5.177431e-10,7.583574e-10,1.747862e-09,1.801969e-09,3.573681e-09,4.236078e-09,6.345699e-09,8.612816e-09,1.040808e-08,1.542563e-08,1.591889e-08,2.277377e-08,2.459066e-08,3.071447e-08,3.554269e-08,3.949916e-08,4.778484e-08,4.894929e-08,5.893123e-08,6.098145e-08,6.933404e-08,7.487607e-08,8.005664e-08,8.923994e-08,9.100235e-08,1.020777e-07,1.038557e-07,1.131932e-07,1.185182e-07,1.242653e-07,1.330399e-07,1.352173e-07,1.459808e-07,1.472568e-07,1.564965e-07,1.610316e-07,1.667143e-07,1.742552e-07,1.765935e-07,1.861016e-07,1.868455e-07,1.952145e-07,1.987450e-07,2.039151e-07,2.099177e-07,2.121923e-07,2.200407e-07,2.203457e-07,2.274592e-07,2.300251e-07,2.344508e-07,2.389639e-07,2.410210e-07,2.471780e-07,2.529319e-07,2.546898e-07,2.582943e-07,2.615268e-07,2.632783e-07,2.677193e-07,2.678972e-07,2.721650e-07,2.732990e-07,2.760959e-07,2.782987e-07,2.797043e-07,2.827515e-07,2.830045e-07,2.860105e-07,2.866898e-07,2.887364e-07,2.901455e-07,2.911956e-07,2.931497e-07,2.934014e-07,2.953667e-07,2.957320e-07,2.971040e-07,2.979212e-07,2.986252e-07,2.997445e-07,2.999419e-07,3.010653e-07,3.012279e-07,3.020062e-07,3.023960e-07,3.027748e-07,3.032722e-07,3.033809e-07,3.038340e-07,3.038785e-07,3.041431e-07,3.042358e-07,3.043169e-07,3.043635e-07,3.043635e-07,3.042909e-07,3.042801e-07,3.041064e-07,3.040029e-07,3.038173e-07,3.035481e-07,3.034303e-07,3.029518e-07,3.029309e-07,3.023881e-07,3.021654e-07,3.017449e-07,3.012651e-07,3.010279e-07,3.002422e-07,2.993928e-07,2.991084e-07,2.984846e-07,2.978744e-07,2.975219e-07,2.965505e-07,2.965091e-07,2.954501e-07,2.951459e-07,2.943489e-07,2.936694e-07,2.932090e-07,2.921290e-07,2.920338e-07,2.908265e-07,2.905324e-07,2.895903e-07,2.888864e-07,2.883279e-07,2.871976e-07,2.870422e-07,2.857356e-07,2.854720e-07,2.844106e-07,2.837151e-07,2.830695e-07,2.819321e-07,2.817144e-07,2.803473e-07,2.801276e-07,2.789702e-07,2.783061e-07,2.775847e-07,2.764716e-07,2.761927e-07,2.747956e-07,2.746277e-07,2.733950e-07,2.727780e-07,2.719922e-07,2.709254e-07,2.705885e-07,2.691852e-07,2.690730e-07,2.677833e-07,2.672232e-07,2.663839e-07,2.653785e-07,2.649881e-07,2.635967e-07,2.635411e-07,2.622105e-07,2.617129e-07,2.608304e-07,2.598958e-07,2.594571e-07,2.580914e-07,2.563011e-07,2.545263e-07,2.527681e-07,2.510277e-07,2.493059e-07,2.476036e-07,2.459215e-07,2.442603e-07,2.426206e-07,2.410027e-07,2.394071e-07,2.378341e-07,2.362840e-07,2.347570e-07,2.332532e-07,2.317729e-07,2.303159e-07,2.288824e-07,2.274724e-07,2.260857e-07,2.247223e-07,2.233822e-07,2.220651e-07,2.207709e-07
0.000000e+00,5.424119e-12,2.623406e-11,2.634493e-10,1.175399e-09,2.304717e-09,9.568574e-09,1.006361e-08,3.018467e-08,3.921285e-08,7.168624e-08,1.112950e-07,1.453924e-07,2.519823e-07,2.633419e-07,4.380728e-07,4.898193e-07,6.816009e-07,8.519961e-07,1.004334e-06,1.360377e-06,1.414410e-06,1.917596e-06,2.029760e-06,2.517525e-06,2.868388e-06,3.216012e-06,3.879136e-06,4.013313e-06,4.908287e-06,5.060401e-06,5.898496e-06,6.406591e-06,6.980267e-06,7.908389e-06,8.148753e-06,9.398017e-06,9.553038e-06,1.072114e-05,1.132473e-05,1.211035e-05,1.320517e-05,1.355720e-05,1.505273e-05,1.517420e-05,1.658769e-05,1.721060e-05,1.815265e-05,1.929275e-05,1.973827e-05,2.133542e-05,2.139942e-05,2.293531e-05,2.351033e-05,2.452964e-05,2.560665e-05,2.611070e-05,2.767140e-05,2.920538e-05,2.968967e-05,3.070699e-05,3.164873e-05,3.217132e-05,3.353810e-05,3.359417e-05,3.497206e-05,3.534941e-05,3.630217e-05,3.707635e-05,3.758227e-05,3.871441e-05,3.881076e-05,3.998651e-05,4.026076e-05,4.110889e-05,4.171401e-05,4.217767e-05,4.307396e-05,4.319299e-05,4.415530e-05,4.434146e-05,4.506533e-05,4.551819e-05,4.592402e-05,4.660646e-05,4.673250e-05,4.749205e-05,4.760913e-05,4.820409e-05,4.852942e-05,4.887009e-05,4.937079e-05,4.949162e-05,5.007028e-05,5.013691e-05,5.060770e-05,5.083152e-05,5.110552e-05,5.145839e-05,5.156538e-05,5.198891e-05,5.202127e-05,5.237771e-05,5.252386e-05,5.273336e-05,5.296976e-05,5.305739e-05,5.335131e-05,5.336246e-05,5.361657e-05,5.370532e-05,5.385457e-05,5.400155e-05,5.406669e-05,5.425423e-05,5.441846e-05,5.446629e-05,5.456059e-05,5.464050e-05,5.468179e-05,5.477947e-05,5.478316e-05,5.486579e-05,5.488570e-05,5.493068e-05,5.496152e-05,5.497883e-05,5.500914e-05,5.501117e-05,5.502857e-05,5.503062e-05,5.503189e-05,5.502791e-05,5.502195e-05,5.500283e-05,5.499950e-05,5.496528e-05,5.495709e-05,5.491999e-05,5.489229e-05,5.486430e-05,5.480994e-05,5.479883e-05,5.472420e-05,5.471144e-05,5.464096e-05,5.459810e-05,5.454965e-05,5.447116e-05,5.445081e-05,5.434491e-05,5.433175e-05,5.423243e-05,5.418096e-05,5.411379e-05,5.401978e-05,5.398943e-05,5.385974e-05,5.384914e-05,5.372509e-05,5.366993e-05,5.358585e-05,5.348295e-05,5.344236e-05,5.329494e-05,5.328896e-05,5.314389e-05,5.308868e-05,5.298950e-05,5.288276e-05,5.283206e-05,5.267181e-05,5.245641e-05,5.223710e-05,5.201437e-05,5.178868e-05,5.156047e-05,5.133012e-05,5.109803e-05,5.086452e-05,5.062991e-05,5.039452e-05,5.015861e-05,4.992243e-05,4.968624e-05,4.945023e-05,4.921462e-05,4.897959e-05,4.874532e-05,4.851197e-05,4.827967e-05,4.804857e-05,4.781879e-05,4.759045e-05,4.736363e-05,4.713845e-05
0.000000e+00,1.628041e-10,4.735085e-10,2.111247e-09,5.436054e-09,8.313443e-09,2.058303e-08,2.126369e-08,4.371051e-08,5.212584e-08,7.889836e-08,1.076300e-07,1.304056e-07,1.945413e-07,2.009013e-07,2.905543e-07,3.147316e-07,3.975010e-07,4.641093e-07,5.195411e-07,6.379879e-07,6.548810e-07,8.020752e-07,8.328214e-07,9.598243e-07,1.045599e-06,1.126840e-06,1.273319e-06,1.301787e-06,1.483271e-06,1.512819e-06,1.669859e-06,1.760812e-06,1.860115e-06,2.014010e-06,2.052627e-06,2.246046e-06,2.269257e-06,2.439112e-06,2.523649e-06,2.630676e-06,2.774624e-06,2.819712e-06,3.005325e-06,3.020003e-06,3.186754e-06,3.258008e-06,3.363366e-06,3.487251e-06,3.534648e-06,3.700200e-06,3.706699e-06,3.859724e-06,3.915633e-06,4.013008e-06,4.113606e-06,4.159920e-06,4.300396e-06,4.434432e-06,4.475969e-06,4.562069e-06,4.640435e-06,4.683388e-06,4.794010e-06,4.798496e-06,4.907521e-06,4.936977e-06,5.010608e-06,5.069676e-06,5.107918e-06,5.192495e-06,5.199630e-06,5.285929e-06,5.305856e-06,5.367004e-06,5.410195e-06,5.443046e-06,5.505954e-06,5.514250e-06,5.580812e-06,5.593584e-06,5.642928e-06,5.673542e-06,5.700812e-06,5.746316e-06,5.754669e-06,5.804666e-06,5.812318e-06,5.850977e-06,5.871947e-06,5.893770e-06,5.925579e-06,5.933205e-06,5.969437e-06,5.973576e-06,6.002617e-06,6.016287e-06,6.032891e-06,6.054042e-06,6.060398e-06,6.085270e-06,6.087150e-06,6.107636e-06,6.115908e-06,6.127619e-06,6.140598e-06,6.145338e-06,6.160907e-06,6.161487e-06,6.174435e-06,6.178826e-06,6.186026e-06,6.192852e-06,6.195779e-06,6.203789e-06,6.210148e-06,6.211849e-06,6.214943e-06,6.217229e-06,6.218257e-06,6.220119e-06,6.220170e-06,6.220757e-06,6.220694e-06,6.220093e-06,6.219122e-06,6.218245e-06,6.215557e-06,6.215280e-06,6.211262e-06,6.210147e-06,6.206250e-06,6.203031e-06,6.200302e-06,6.194337e-06,6.193473e-06,6.185815e-06,6.184188e-06,6.177378e-06,6.172699e-06,6.168210e-06,6.159976e-06,6.158355e-06,6.147857e-06,6.146121e-06,6.136757e-06,6.131227e-06,6.125095e-06,6.115384e-06,6.112906e-06,6.100228e-06,6.098675e-06,6.087093e-06,6.081178e-06,6.073534e-06,6.062965e-06,6.059582e-06,6.045265e-06,6.044104e-06,6.030611e-06,6.024661e-06,6.015646e-06,6.004694e-06,6.000397e-06,5.984885e-06,5.984260e-06,5.969135e-06,5.963411e-06,5.953168e-06,5.942196e-06,5.937003e-06,5.920661e-06,5.898849e-06,5.876799e-06,5.854549e-06,5.832133e-06,5.809585e-06,5.786934e-06,5.764209e-06,5.741435e-06,5.718637e-06,5.695838e-06,5.673059e-06,5.650319e-06,5.627636e-06,5.605028e-06,5.582509e-06,5.560094e-06,5.537796e-06,5.515628e-06,5.493600e-06,5.471722e-06,5.450005e-06,5.428457e-06,5.407085e-06,5.385897e-06
0.000000e+00,3.660322e-11,8.777400e-11,3.121882e-10,7.117022e-10,1.033979e-09,2.299607e-09,2.366452e-09,4.451847e-09,5.189227e-09,7.426805e-09,9.697148e-09,1.143221e-08,1.615018e-08,1.661076e-08,2.308139e-08,2.483341e-08,3.087954e-08,3.578853e-08,3.988319e-08,4.857366e-08,4.979949e-08,6.025426e-08,6.237841e-08,7.090705e-08,7.643733e-08,8.150544e-08,9.024130e-08,9.188157e-08,1.019280e-07,1.034998e-07,1.115752e-07,1.160497e-07,1.207765e-07,1.277945e-07,1.294998e-07,1.377231e-07,1.386756e-07,1.454328e-07,1.486606e-07,1.526228e-07,1.577396e-07,1.592936e-07,1.654521e-07,1.659230e-07,1.711111e-07,1.732385e-07,1.762878e-07,1.797283e-07,1.810037e-07,1.852828e-07,1.854453e-07,1.891516e-07,1.904491e-07,1.926373e-07,1.948030e-07,1.957678e-07,1.985706e-07,2.010726e-07,2.018140e-07,2.032995e-07,2.045915e-07,2.052755e-07,2.069575e-07,2.070233e-07,2.085639e-07,2.089609e-07,2.099167e-07,2.106456e-07,2.110993e-07,2.120507e-07,2.121276e-07,2.130161e-07,2.132100e-07,2.137777e-07,2.141532e-07,2.144241e-07,2.149060e-07,2.149658e-07,2.154120e-07,2.154905e-07,2.157710e-07,2.159258e-07,2.160504e-07,2.162284e-07,2.162568e-07,2.163962e-07,2.164127e-07,2.164742e-07,2.164912e-07,2.164954e-07,2.164744e-07,2.164642e-07,2.163845e-07,2.163719e-07,2.162600e-07,2.161918e-07,2.160938e-07,2.159414e-07,2.158889e-07,2.156480e-07,2.156272e-07,2.153735e-07,2.152548e-07,2.150677e-07,2.148294e-07,2.147327e-07,2.143705e-07,2.143555e-07,2.139829e-07,2.138374e-07,2.135714e-07,2.132788e-07,2.131377e-07,2.126832e-07,2.122093e-07,2.120537e-07,2.117172e-07,2.113932e-07,2.112081e-07,2.107045e-07,2.106832e-07,2.101435e-07,2.099898e-07,2.095900e-07,2.092517e-07,2.090236e-07,2.084920e-07,2.084454e-07,2.078560e-07,2.077129e-07,2.072562e-07,2.069162e-07,2.066470e-07,2.061035e-07,2.060289e-07,2.054026e-07,2.052764e-07,2.047688e-07,2.044364e-07,2.041281e-07,2.035849e-07,2.034810e-07,2.028282e-07,2.027233e-07,2.021701e-07,2.018526e-07,2.015073e-07,2.009740e-07,2.008402e-07,2.001693e-07,2.000886e-07,1.994950e-07,1.991974e-07,1.988177e-07,1.983012e-07,1.981378e-07,1.974557e-07,1.974011e-07,1.967717e-07,1.964977e-07,1.960862e-07,1.955918e-07,1.953994e-07,1.947118e-07,1.946842e-07,1.940234e-07,1.937756e-07,1.933348e-07,1.928664e-07,1.926460e-07,1.919575e-07,1.910492e-07,1.901421e-07,1.892366e-07,1.883334e-07,1.874326e-07,1.865348e-07,1.856404e-07,1.847495e-07,1.838627e-07,1.829801e-07,1.821021e-07,1.812288e-07,1.803606e-07,1.794977e-07,1.786402e-07,1.777884e-07,1.769425e-07,1.761025e-07,1.752686e-07,1.744411e-07,1.736199e-07,1.728052e-07,1.719972e-07,1.711958e-07
0.000000e+00,6.547513e-12,1.493784e-11,5.088041e-11,1.147373e-10,1.666488e-10,3.746665e-10,3.858341e-10,7.426057e-10,8.723343e-10,1.275642e-09,1.696372e-09,2.022697e-09,2.912357e-09,2.998417e-09,4.174935e-09,4.481577e-09,5.502001e-09,6.293959e-09,6.935547e-09,8.259409e-09,8.443418e-09,1.000100e-08,1.031660e-08,1.158740e-08,1.241741e-08,1.318378e-08,1.451973e-08,1.477281e-08,1.633877e-08,1.658624e-08,1.786788e-08,1.858524e-08,1.934846e-08,2.049161e-08,2.077114e-08,2.212880e-08,2.228709e-08,2.341648e-08,2.396005e-08,2.463116e-08,2.550461e-08,2.577150e-08,2.683759e-08,2.691970e-08,2.783064e-08,2.820786e-08,2.875275e-08,2.937427e-08,2.960668e-08,3.039559e-08,3.042585e-08,3.112298e-08,3.137047e-08,3.179245e-08,3.221648e-08,3.240767e-08,3.297224e-08,3.348968e-08,3.364587e-08,3.396337e-08,3.424505e-08,3.439650e-08,3.477695e-08,3.479209e-08,3.515297e-08,3.524815e-08,3.548176e-08,3.566465e-08,3.578090e-08,3.603187e-08,3.605265e-08,3.629908e-08,3.635467e-08,3.652211e-08,3.663745e-08,3.672349e-08,3.688409e-08,3.690485e-08,3.706766e-08,3.709812e-08,3.721328e-08,3.728264e-08,3.734298e-08,3.744045e-08,3.745789e-08,3.755906e-08,3.757404e-08,3.764748e-08,3.768565e-08,3.772402e-08,3.777727e-08,3.778952e-08,3.784473e-08,3.785070e-08,3.789034e-08,3.790754e-08,3.792701e-08,3.794925e-08,3.795532e-08,3.797583e-08,3.797715e-08,3.798905e-08,3.799240e-08,3.799545e-08,3.799609e-08,3.799548e-08,3.798955e-08,3.798919e-08,3.797803e-08,3.797259e-08,3.796128e-08,3.794708e-08,3.793965e-08,3.791342e-08,3.788290e-08,3.787227e-08,3.784836e-08,3.782426e-08,3.781005e-08,3.776994e-08,3.776820e-08,3.772306e-08,3.770985e-08,3.767482e-08,3.764447e-08,3.762368e-08,3.757424e-08,3.756983e-08,3.751346e-08,3.749957e-08,3.745471e-08,3.742084e-08,3.739376e-08,3.733841e-08,3.733074e-08,3.726580e-08,3.725260e-08,3.719908e-08,3.716372e-08,3.713069e-08,3.707205e-08,3.706076e-08,3.698939e-08,3.697785e-08,3.691671e-08,3.688138e-08,3.684280e-08,3.678285e-08,3.676776e-08,3.669168e-08,3.668249e-08,3.661466e-08,3.658049e-08,3.653677e-08,3.647704e-08,3.645808e-08,3.637869e-08,3.637231e-08,3.629864e-08,3.626646e-08,3.621802e-08,3.615966e-08,3.613689e-08,3.605530e-08,3.605203e-08,3.597332e-08,3.594372e-08,3.589099e-08,3.583484e-08,3.580838e-08,3.572553e-08,3.561587e-08,3.550599e-08,3.539597e-08,3.528590e-08,3.517586e-08,3.506594e-08,3.495621e-08,3.484674e-08,3.473759e-08,3.462881e-08,3.452047e-08,3.441263e-08,3.430531e-08,3.419858e-08,3.409247e-08,3.398702e-08,3.388227e-08,3.377825e-08,3.367500e-08,3.357253e-08,3.347088e-08,3.337006e-08,3.327011e-08,3.317104e-08
0.000000e+00,1.314041e-11,6.153876e-11,5.790693e-10,2.440085e-09,4.640851e-09,1.785996e-08,1.872772e-08,5.231764e-08,6.671031e-08,1.165130e-07,1.745439e-07,2.228970e-07,3.677890e-07,3.828089e-07,6.069559e-07,6.714239e-07,9.051731e-07,1.107819e-06,1.286124e-06,1.695365e-06,1.756747e-06,2.321345e-06,2.445668e-06,2.980462e-06,3.359395e-06,3.730018e-06,4.423249e-06,4.561256e-06,5.461657e-06,5.611170e-06,6.416457e-06,6.889538e-06,7.410209e-06,8.223198e-06,8.428005e-06,9.456230e-06,9.579732e-06,1.048292e-05,1.093148e-05,1.149784e-05,1.225595e-05,1.249238e-05,1.345949e-05,1.353550e-05,1.439351e-05,1.475682e-05,1.529001e-05,1.591035e-05,1.614566e-05,1.695813e-05,1.698971e-05,1.772593e-05,1.799124e-05,1.844832e-05,1.891353e-05,1.912519e-05,1.975696e-05,2.034447e-05,2.052332e-05,2.088893e-05,2.121545e-05,2.139180e-05,2.183696e-05,2.185473e-05,2.227954e-05,2.239191e-05,2.266810e-05,2.288464e-05,2.302235e-05,2.331964e-05,2.334424e-05,2.363569e-05,2.370133e-05,2.389860e-05,2.403405e-05,2.413480e-05,2.432196e-05,2.434605e-05,2.453405e-05,2.456900e-05,2.470041e-05,2.477888e-05,2.484666e-05,2.495503e-05,2.497425e-05,2.508452e-05,2.510065e-05,2.517876e-05,2.521865e-05,2.525816e-05,2.531174e-05,2.532383e-05,2.537682e-05,2.538237e-05,2.541810e-05,2.543279e-05,2.544858e-05,2.546503e-05,2.546909e-05,2.548042e-05,2.548095e-05,2.548329e-05,2.548223e-05,2.547839e-05,2.547039e-05,2.546633e-05,2.544770e-05,2.544683e-05,2.542304e-05,2.541279e-05,2.539285e-05,2.536940e-05,2.535759e-05,2.531770e-05,2.527357e-05,2.525861e-05,2.522557e-05,2.519299e-05,2.517406e-05,2.512158e-05,2.511934e-05,2.506171e-05,2.504509e-05,2.500145e-05,2.496414e-05,2.493882e-05,2.487930e-05,2.487404e-05,2.480735e-05,2.479108e-05,2.473894e-05,2.469995e-05,2.466900e-05,2.460633e-05,2.459771e-05,2.452523e-05,2.451061e-05,2.445172e-05,2.441313e-05,2.437732e-05,2.431422e-05,2.430214e-05,2.422633e-05,2.421415e-05,2.414998e-05,2.411318e-05,2.407321e-05,2.401155e-05,2.399611e-05,2.391877e-05,2.390948e-05,2.384128e-05,2.380715e-05,2.376371e-05,2.370474e-05,2.368613e-05,2.360861e-05,2.360241e-05,2.353122e-05,2.350031e-05,2.345400e-05,2.339855e-05,2.337702e-05,2.330032e-05,2.329726e-05,2.322395e-05,2.319654e-05,2.314794e-05,2.309649e-05,2.307235e-05,2.299719e-05,2.289872e-05,2.280114e-05,2.270452e-05,2.260891e-05,2.251436e-05,2.242090e-05,2.232859e-05,2.223744e-05,2.214749e-05,2.205877e-05,2.197128e-05,2.188505e-05,2.180009e-05,2.171641e-05,2.163402e-05,2.155292e-05,2.147313e-05,2.139463e-05,2.131744e-05,2.124154e-05,2.116694e-05,2.109362e-05,2.102159e-05,2.095084e-05
0.000000e+00,7.132835e-11,2.665235e-10,1.671700e-09,5.193299e-09,8.547043e-09,2.410278e-08,2.499874e-08,5.537838e-08,6.700273e-08,1.043486e-07,1.448133e-07,1.771715e-07,2.703491e-07,2.798071e-07,4.186499e-07,4.580516e-07,5.996747e-07,7.210861e-07,8.268182e-07,1.064864e-06,1.099935e-06,1.413644e-06,1.480460e-06,1.758386e-06,1.946245e-06,2.123168e-06,2.437738e-06,2.498049e-06,2.875208e-06,2.935357e-06,3.248921e-06,3.425828e-06,3.615095e-06,3.900604e-06,3.970793e-06,4.313879e-06,4.354122e-06,4.642781e-06,4.782697e-06,4.956360e-06,5.183935e-06,5.253825e-06,5.534666e-06,5.556405e-06,5.798614e-06,5.899446e-06,6.045620e-06,6.213038e-06,6.275809e-06,6.489461e-06,6.497668e-06,6.686979e-06,6.754231e-06,6.868870e-06,6.983922e-06,7.035712e-06,7.188145e-06,7.326843e-06,7.368440e-06,7.452507e-06,7.526418e-06,7.565844e-06,7.663709e-06,7.667563e-06,7.758362e-06,7.781923e-06,7.838924e-06,7.882622e-06,7.909908e-06,7.967303e-06,7.971952e-06,8.025665e-06,8.037381e-06,8.071624e-06,8.094182e-06,8.110382e-06,8.138944e-06,8.142457e-06,8.168339e-06,8.172813e-06,8.188488e-06,8.196845e-06,8.203337e-06,8.212010e-06,8.213290e-06,8.218725e-06,8.219199e-06,8.219996e-06,8.219226e-06,8.217434e-06,8.212832e-06,8.211346e-06,8.202018e-06,8.200694e-06,8.189717e-06,8.183427e-06,8.174691e-06,8.161591e-06,8.157171e-06,8.137371e-06,8.135695e-06,8.115491e-06,8.106198e-06,8.091716e-06,8.073521e-06,8.066217e-06,8.039155e-06,8.038042e-06,8.010678e-06,8.000106e-06,7.980922e-06,7.960024e-06,7.950017e-06,7.918079e-06,7.885220e-06,7.874527e-06,7.851541e-06,7.829599e-06,7.817135e-06,7.783505e-06,7.782092e-06,7.746491e-06,7.736433e-06,7.710408e-06,7.688557e-06,7.673913e-06,7.640030e-06,7.637071e-06,7.599940e-06,7.590992e-06,7.562577e-06,7.541572e-06,7.525033e-06,7.491881e-06,7.487354e-06,7.449584e-06,7.442023e-06,7.411765e-06,7.392091e-06,7.373932e-06,7.342168e-06,7.336121e-06,7.298364e-06,7.292329e-06,7.260689e-06,7.242642e-06,7.223123e-06,7.193166e-06,7.185692e-06,7.148418e-06,7.143956e-06,7.111322e-06,7.095061e-06,7.074423e-06,7.046523e-06,7.037739e-06,7.001286e-06,6.998380e-06,6.965078e-06,6.950667e-06,6.929130e-06,6.903414e-06,6.893452e-06,6.858056e-06,6.856647e-06,6.822953e-06,6.810389e-06,6.788150e-06,6.764661e-06,6.753657e-06,6.719479e-06,6.674860e-06,6.630816e-06,6.587358e-06,6.544494e-06,6.502232e-06,6.460577e-06,6.419534e-06,6.379105e-06,6.339293e-06,6.300098e-06,6.261521e-06,6.223559e-06,6.186212e-06,6.149476e-06,6.113349e-06,6.077827e-06,6.042905e-06,6.008580e-06,5.974845e-06,5.941696e-06,5.909126e-06,5.877129e-06,5.845700e-06,5.814831e-06
0.000000e+00,1.503369e-11,3.467868e-11,1.200915e-10,2.739363e-10,3.999827e-10,9.087987e-10,9.362000e-10,1.812412e-09,2.130849e-09,3.119642e-09,4.151570e-09,4.955416e-09,7.184367e-09,7.404047e-09,1.050034e-08,1.133817e-08,1.422242e-08,1.656333e-08,1.852520e-08,2.275841e-08,2.336663e-08,2.871229e-08,2.983923e-08,3.453166e-08,3.773487e-08,4.079413e-08,4.637285e-08,4.746650e-08,5.451186e-08,5.567105e-08,6.188927e-08,6.553542e-08,6.955420e-08,7.586136e-08,7.745922e-08,8.555490e-08,8.653681e-08,9.379091e-08,9.744624e-08,1.021170e-07,1.084748e-07,1.104840e-07,1.188447e-07,1.195120e-07,1.271547e-07,1.304551e-07,1.353726e-07,1.412113e-07,1.434610e-07,1.513865e-07,1.516997e-07,1.591198e-07,1.618518e-07,1.666357e-07,1.716113e-07,1.739130e-07,1.809346e-07,1.876872e-07,1.897895e-07,1.941607e-07,1.981540e-07,2.003482e-07,2.060154e-07,2.062457e-07,2.118517e-07,2.133691e-07,2.171666e-07,2.202169e-07,2.221931e-07,2.265662e-07,2.269353e-07,2.313985e-07,2.324288e-07,2.355892e-07,2.378198e-07,2.395150e-07,2.427568e-07,2.431838e-07,2.466043e-07,2.472593e-07,2.497853e-07,2.513479e-07,2.527362e-07,2.550438e-07,2.554662e-07,2.579846e-07,2.583686e-07,2.603009e-07,2.613436e-07,2.624242e-07,2.639901e-07,2.643637e-07,2.661281e-07,2.663285e-07,2.677262e-07,2.683788e-07,2.691662e-07,2.701598e-07,2.704562e-07,2.716041e-07,2.716900e-07,2.726173e-07,2.729865e-07,2.735031e-07,2.740659e-07,2.742684e-07,2.749198e-07,2.749436e-07,2.754637e-07,2.756343e-07,2.759060e-07,2.761517e-07,2.762525e-07,2.765088e-07,2.766800e-07,2.767176e-07,2.767711e-07,2.767896e-07,2.767868e-07,2.767352e-07,2.767317e-07,2.766099e-07,2.765645e-07,2.764256e-07,2.762866e-07,2.761825e-07,2.759102e-07,2.758844e-07,2.755345e-07,2.754433e-07,2.751364e-07,2.748934e-07,2.746929e-07,2.742675e-07,2.742071e-07,2.736818e-07,2.735722e-07,2.731195e-07,2.728134e-07,2.725228e-07,2.719968e-07,2.718941e-07,2.712356e-07,2.711276e-07,2.705494e-07,2.702108e-07,2.698375e-07,2.692508e-07,2.691018e-07,2.683442e-07,2.682519e-07,2.675662e-07,2.672179e-07,2.667696e-07,2.661526e-07,2.659558e-07,2.651264e-07,2.650594e-07,2.642825e-07,2.639412e-07,2.634256e-07,2.628012e-07,2.625568e-07,2.616774e-07,2.616420e-07,2.607883e-07,2.604661e-07,2.598907e-07,2.592759e-07,2.589854e-07,2.580734e-07,2.568608e-07,2.556400e-07,2.544125e-07,2.531801e-07,2.519443e-07,2.507063e-07,2.494675e-07,2.482291e-07,2.469920e-07,2.457575e-07,2.445262e-07,2.432992e-07,2.420771e-07,2.408608e-07,2.396508e-07,2.384479e-07,2.372524e-07,2.360650e-07,2.348861e-07,2.337161e-07,2.325554e-07,2.314044e-07,2.302633e-07,2.291325e-07
0.000000e+00,6.442957e-12,3.287572e-11,3.685872e-10,1.815923e-09,3.757805e-09,1.789473e-08,1.892451e-08,6.480366e-08,8.721252e-08,1.739806e-07,2.893977e-07,3.951187e-07,7.539356e-07,7.942808e-07,1.455163e-06,1.663544e-06,2.478098e-06,3.251238e-06,3.977381e-06,5.788840e-06,6.076628e-06,8.902590e-06,9.565967e-06,1.257850e-05,1.486411e-05,1.721793e-05,2.193244e-05,2.291964e-05,2.976369e-05,3.096899e-05,3.780866e-05,4.210811e-05,4.708994e-05,5.541366e-05,5.761906e-05,6.938374e-05,7.087709e-05,8.234875e-05,8.841975e-05,9.645744e-05,1.078988e-04,1.116337e-04,1.277844e-04,1.291155e-04,1.448023e-04,1.518260e-04,1.625686e-04,1.757528e-04,1.809565e-04,1.998338e-04,2.005972e-04,2.190659e-04,2.260504e-04,2.385185e-04,2.518050e-04,2.580602e-04,2.775643e-04,2.969110e-04,3.030502e-04,3.159886e-04,3.280093e-04,3.346946e-04,3.522172e-04,3.529369e-04,3.706339e-04,3.754814e-04,3.877147e-04,3.976421e-04,4.041195e-04,4.185723e-04,4.197990e-04,4.347141e-04,4.381766e-04,4.488355e-04,4.563888e-04,4.621428e-04,4.731701e-04,4.746241e-04,4.862749e-04,4.885055e-04,4.970976e-04,5.024007e-04,5.071005e-04,5.148793e-04,5.162974e-04,5.247061e-04,5.259797e-04,5.323485e-04,5.357519e-04,5.392495e-04,5.442549e-04,5.454366e-04,5.509389e-04,5.515546e-04,5.557871e-04,5.577213e-04,5.600129e-04,5.628280e-04,5.636485e-04,5.667261e-04,5.669491e-04,5.692779e-04,5.701586e-04,5.713359e-04,5.725294e-04,5.729313e-04,5.740946e-04,5.741326e-04,5.748554e-04,5.750362e-04,5.752422e-04,5.753057e-04,5.752825e-04,5.750026e-04,5.744276e-04,5.741851e-04,5.735812e-04,5.729076e-04,5.724860e-04,5.712205e-04,5.711635e-04,5.696338e-04,5.691710e-04,5.679159e-04,5.668022e-04,5.660275e-04,5.641540e-04,5.639853e-04,5.618050e-04,5.612628e-04,5.595011e-04,5.581620e-04,5.570871e-04,5.548817e-04,5.545756e-04,5.519784e-04,5.514496e-04,5.493063e-04,5.478906e-04,5.465694e-04,5.442271e-04,5.437770e-04,5.409376e-04,5.404795e-04,5.380593e-04,5.366660e-04,5.351493e-04,5.328030e-04,5.322143e-04,5.292605e-04,5.289050e-04,5.262935e-04,5.249852e-04,5.233186e-04,5.210552e-04,5.203404e-04,5.173634e-04,5.171254e-04,5.143914e-04,5.132049e-04,5.114281e-04,5.093017e-04,5.084767e-04,5.055403e-04,5.054232e-04,5.026214e-04,5.015753e-04,4.997224e-04,4.977637e-04,4.968457e-04,4.939930e-04,4.902673e-04,4.865902e-04,4.829646e-04,4.793931e-04,4.758777e-04,4.724203e-04,4.690222e-04,4.656845e-04,4.624080e-04,4.591933e-04,4.560409e-04,4.529509e-04,4.499232e-04,4.469579e-04,4.440546e-04,4.412130e-04,4.384325e-04,4.357127e-04,4.330529e-04,4.304523e-04,4.279103e-04,4.254259e-04,4.229984e-04,4.206268e-04
0.000000e+00,1.509823e-10,4.443609e-10,2.004621e-09,5.174640e-09,7.907584e-09,1.942287e-08,2.005509e-08,4.054436e-08,4.806066e-08,7.147413e-08,9.594017e-08,1.150048e-07,1.680281e-07,1.732782e-07,2.479933e-07,2.684579e-07,3.395955e-07,3.978591e-07,4.468356e-07,5.523328e-07,5.674281e-07,6.990035e-07,7.264488e-07,8.394908e-07,9.154607e-07,9.870887e-07,1.115363e-06,1.140157e-06,1.297149e-06,1.322532e-06,1.456587e-06,1.533572e-06,1.617071e-06,1.745329e-06,1.777293e-06,1.936057e-06,1.954959e-06,2.092295e-06,2.159994e-06,2.245075e-06,2.358385e-06,2.393609e-06,2.537247e-06,2.548510e-06,2.675472e-06,2.729154e-06,2.807891e-06,2.899476e-06,2.934223e-06,3.054286e-06,3.058956e-06,3.167982e-06,3.207348e-06,3.275288e-06,3.344623e-06,3.376241e-06,3.470928e-06,3.559476e-06,3.586540e-06,3.642043e-06,3.691831e-06,3.718812e-06,3.787240e-06,3.789982e-06,3.855767e-06,3.873252e-06,3.916387e-06,3.950372e-06,3.972066e-06,4.019121e-06,4.023030e-06,4.069505e-06,4.080015e-06,4.111712e-06,4.133566e-06,4.149870e-06,4.180268e-06,4.184191e-06,4.214882e-06,4.220603e-06,4.242143e-06,4.255028e-06,4.266167e-06,4.283981e-06,4.287138e-06,4.305236e-06,4.307876e-06,4.320629e-06,4.327105e-06,4.333481e-06,4.342037e-06,4.343947e-06,4.352175e-06,4.353019e-06,4.358306e-06,4.360375e-06,4.362475e-06,4.364410e-06,4.364809e-06,4.365429e-06,4.365408e-06,4.364449e-06,4.363634e-06,4.361979e-06,4.359336e-06,4.358121e-06,4.352974e-06,4.352743e-06,4.346630e-06,4.344070e-06,4.339175e-06,4.333514e-06,4.330693e-06,4.321261e-06,4.310953e-06,4.307481e-06,4.299838e-06,4.292332e-06,4.287983e-06,4.275962e-06,4.275449e-06,4.262293e-06,4.258506e-06,4.248572e-06,4.240090e-06,4.234337e-06,4.220828e-06,4.219636e-06,4.204515e-06,4.200828e-06,4.189017e-06,4.180189e-06,4.173183e-06,4.159000e-06,4.157050e-06,4.140654e-06,4.137347e-06,4.124029e-06,4.115304e-06,4.107207e-06,4.092944e-06,4.090215e-06,4.073083e-06,4.070330e-06,4.055835e-06,4.047522e-06,4.038496e-06,4.024574e-06,4.021088e-06,4.003632e-06,4.001535e-06,3.986148e-06,3.978451e-06,3.968654e-06,3.955363e-06,3.951168e-06,3.933704e-06,3.932308e-06,3.916278e-06,3.909321e-06,3.898903e-06,3.886432e-06,3.881592e-06,3.864357e-06,3.863670e-06,3.847209e-06,3.841059e-06,3.830157e-06,3.818621e-06,3.813211e-06,3.796379e-06,3.774348e-06,3.752547e-06,3.730988e-06,3.709685e-06,3.688648e-06,3.667888e-06,3.647413e-06,3.627229e-06,3.607343e-06,3.587759e-06,3.568482e-06,3.549515e-06,3.530860e-06,3.512519e-06,3.494492e-06,3.476781e-06,3.459384e-06,3.442302e-06,3.425533e-06,3.409076e-06,3.392928e-06,3.377087e-06,3.361552e-06,3.346318e-06
0.000000e+00,6.715112e-12,3.321854e-11,3.491256e-10,1.621181e-09,3.247271e-09,1.421394e-08,1.498049e-08,4.719531e-08,6.210023e-08,1.171074e-07,1.862265e-07,2.469864e-07,4.421848e-07,4.633655e-07,7.962186e-07,8.970079e-07,1.278042e-06,1.625470e-06,1.942411e-06,2.703594e-06,2.821345e-06,3.941200e-06,4.195718e-06,5.317953e-06,6.136675e-06,6.953656e-06,8.518756e-06,8.835437e-06,1.093711e-05,1.129147e-05,1.322251e-05,1.437250e-05,1.564944e-05,1.766296e-05,1.817338e-05,2.075049e-05,2.106133e-05,2.333978e-05,2.447326e-05,2.590442e-05,2.781724e-05,2.841252e-05,3.083737e-05,3.102708e-05,3.315737e-05,3.405210e-05,3.535574e-05,3.685618e-05,3.742016e-05,3.934225e-05,3.941610e-05,4.111714e-05,4.171962e-05,4.274294e-05,4.376356e-05,4.422030e-05,4.555196e-05,4.674233e-05,4.709432e-05,4.779714e-05,4.840414e-05,4.872309e-05,4.949762e-05,4.952756e-05,5.021835e-05,5.039249e-05,5.080349e-05,5.110721e-05,5.129103e-05,5.166022e-05,5.168894e-05,5.200494e-05,5.206942e-05,5.224646e-05,5.235183e-05,5.242057e-05,5.252331e-05,5.253391e-05,5.259269e-05,5.259841e-05,5.260267e-05,5.259036e-05,5.256917e-05,5.251102e-05,5.249708e-05,5.239085e-05,5.237096e-05,5.225454e-05,5.217952e-05,5.209182e-05,5.194488e-05,5.190602e-05,5.170013e-05,5.167420e-05,5.147683e-05,5.137370e-05,5.123855e-05,5.104877e-05,5.098744e-05,5.072544e-05,5.070407e-05,5.045428e-05,5.034359e-05,5.017548e-05,4.997080e-05,4.989042e-05,4.960033e-05,4.958864e-05,4.930628e-05,4.919965e-05,4.900924e-05,4.880599e-05,4.871007e-05,4.840953e-05,4.810829e-05,4.801184e-05,4.780695e-05,4.761428e-05,4.750604e-05,4.721800e-05,4.720602e-05,4.690733e-05,4.682398e-05,4.661031e-05,4.643304e-05,4.631530e-05,4.604590e-05,4.602257e-05,4.573237e-05,4.566313e-05,4.544493e-05,4.528523e-05,4.516043e-05,4.491263e-05,4.487904e-05,4.460090e-05,4.454567e-05,4.432614e-05,4.418463e-05,4.405486e-05,4.382974e-05,4.378715e-05,4.352309e-05,4.348118e-05,4.326274e-05,4.313910e-05,4.300614e-05,4.280360e-05,4.275335e-05,4.250438e-05,4.247476e-05,4.225926e-05,4.215263e-05,4.201800e-05,4.183723e-05,4.178061e-05,4.154709e-05,4.152858e-05,4.131743e-05,4.122665e-05,4.109162e-05,4.093142e-05,4.086965e-05,4.065149e-05,4.064285e-05,4.043713e-05,4.036088e-05,4.022653e-05,4.008546e-05,4.001967e-05,3.981651e-05,3.955396e-05,3.929771e-05,3.904767e-05,3.880376e-05,3.856586e-05,3.833387e-05,3.810769e-05,3.788721e-05,3.767232e-05,3.746292e-05,3.725888e-05,3.706009e-05,3.686646e-05,3.667785e-05,3.649417e-05,3.631530e-05,3.614113e-05,3.597155e-05,3.580646e-05,3.564575e-05,3.548930e-05,3.533703e-05,3.518882e-05,3.504459e-05
0.000000e+00,4.970454e-11,2.306287e-10,2.132325e-09,8.859869e-09,1.673544e-08,6.345660e-08,6.650574e-08,1.839125e-07,2.340471e-07,4.074013e-07,6.096833e-07,7.787074e-07,1.288460e-06,1.341598e-06,2.141077e-06,2.373138e-06,3.221351e-06,3.963763e-06,4.620981e-06,6.137887e-06,6.365972e-06,8.464690e-06,8.926332e-06,1.090781e-05,1.230717e-05,1.367262e-05,1.622139e-05,1.672850e-05,2.004126e-05,2.059279e-05,2.357578e-05,2.534086e-05,2.729722e-05,3.038605e-05,3.117154e-05,3.516565e-05,3.565147e-05,3.924764e-05,4.106362e-05,4.338694e-05,4.655331e-05,4.755468e-05,5.172389e-05,5.205673e-05,5.586981e-05,5.751657e-05,5.997008e-05,6.288277e-05,6.400485e-05,6.795680e-05,6.811294e-05,7.181115e-05,7.317237e-05,7.555555e-05,7.803370e-05,7.917991e-05,8.267627e-05,8.603859e-05,8.708547e-05,8.926253e-05,9.125189e-05,9.234530e-05,9.517051e-05,9.528537e-05,9.808238e-05,9.883996e-05,1.007369e-04,1.022618e-04,1.032503e-04,1.054398e-04,1.056247e-04,1.078627e-04,1.083798e-04,1.099672e-04,1.110887e-04,1.119416e-04,1.135745e-04,1.137897e-04,1.155151e-04,1.158458e-04,1.171219e-04,1.179119e-04,1.186141e-04,1.197820e-04,1.199958e-04,1.212712e-04,1.214657e-04,1.224443e-04,1.229723e-04,1.235193e-04,1.243113e-04,1.245002e-04,1.253909e-04,1.254919e-04,1.261953e-04,1.265229e-04,1.269173e-04,1.274132e-04,1.275605e-04,1.281287e-04,1.281710e-04,1.286252e-04,1.288046e-04,1.290536e-04,1.293217e-04,1.294171e-04,1.297189e-04,1.297298e-04,1.299622e-04,1.300360e-04,1.301499e-04,1.302472e-04,1.302849e-04,1.303700e-04,1.304079e-04,1.304104e-04,1.304011e-04,1.303745e-04,1.303521e-04,1.302677e-04,1.302634e-04,1.301372e-04,1.300955e-04,1.299757e-04,1.298628e-04,1.297811e-04,1.295744e-04,1.295552e-04,1.293002e-04,1.292349e-04,1.290178e-04,1.288484e-04,1.287098e-04,1.284190e-04,1.283779e-04,1.280238e-04,1.279504e-04,1.276489e-04,1.274463e-04,1.272548e-04,1.269100e-04,1.268429e-04,1.264146e-04,1.263446e-04,1.259710e-04,1.257531e-04,1.255136e-04,1.251383e-04,1.250433e-04,1.245614e-04,1.245028e-04,1.240688e-04,1.238490e-04,1.235667e-04,1.231792e-04,1.230559e-04,1.225374e-04,1.224956e-04,1.220120e-04,1.218001e-04,1.214805e-04,1.210946e-04,1.209438e-04,1.204025e-04,1.203808e-04,1.198574e-04,1.196604e-04,1.193091e-04,1.189348e-04,1.187583e-04,1.182054e-04,1.174736e-04,1.167405e-04,1.160072e-04,1.152748e-04,1.145442e-04,1.138162e-04,1.130916e-04,1.123712e-04,1.116557e-04,1.109456e-04,1.102415e-04,1.095438e-04,1.088531e-04,1.081698e-04,1.074941e-04,1.068264e-04,1.061671e-04,1.055163e-04,1.048743e-04,1.042412e-04,1.036173e-04,1.030026e-04,1.023973e-04,1.018014e-04
0.000000e+00,4.425670e-12,2.211328e-11,2.373640e-10,1.124208e-09,2.277034e-09,1.027064e-08,1.083825e-08,3.526487e-08,4.683507e-08,9.051378e-08,1.470241e-07,1.978535e-07,3.666999e-07,3.854465e-07,6.884133e-07,7.827205e-07,1.147175e-06,1.487718e-06,1.803212e-06,2.573161e-06,2.693348e-06,3.844875e-06,4.108106e-06,5.272979e-06,6.126298e-06,6.980494e-06,8.625052e-06,8.959276e-06,1.119234e-05,1.157173e-05,1.365618e-05,1.491270e-05,1.632282e-05,1.858160e-05,1.916160e-05,2.214052e-05,2.250587e-05,2.522729e-05,2.661141e-05,2.839010e-05,3.082575e-05,3.159825e-05,3.482256e-05,3.508037e-05,3.803578e-05,3.931227e-05,4.121283e-05,4.346510e-05,4.433107e-05,4.737036e-05,4.749003e-05,5.031326e-05,5.134617e-05,5.314496e-05,5.500071e-05,5.585335e-05,5.842884e-05,6.086433e-05,6.161328e-05,6.315501e-05,6.454370e-05,6.529815e-05,6.721596e-05,6.729291e-05,6.914011e-05,6.963117e-05,7.084203e-05,7.179484e-05,7.240213e-05,7.371597e-05,7.382485e-05,7.511546e-05,7.540618e-05,7.627978e-05,7.687897e-05,7.732410e-05,7.814901e-05,7.825494e-05,7.907901e-05,7.923161e-05,7.980304e-05,8.014221e-05,8.043369e-05,8.089607e-05,8.097751e-05,8.144084e-05,8.150791e-05,8.182978e-05,8.199178e-05,8.215017e-05,8.236085e-05,8.240754e-05,8.260711e-05,8.262741e-05,8.275380e-05,8.280278e-05,8.285220e-05,8.289734e-05,8.290660e-05,8.292096e-05,8.292049e-05,8.289897e-05,8.288077e-05,8.284403e-05,8.278583e-05,8.275926e-05,8.264754e-05,8.264255e-05,8.251152e-05,8.245708e-05,8.235362e-05,8.223490e-05,8.217607e-05,8.198089e-05,8.176994e-05,8.169939e-05,8.154492e-05,8.139424e-05,8.130738e-05,8.106887e-05,8.105872e-05,8.080026e-05,8.072629e-05,8.053315e-05,8.036919e-05,8.025848e-05,7.999995e-05,7.997722e-05,7.969028e-05,7.962066e-05,7.939846e-05,7.923320e-05,7.910252e-05,7.883922e-05,7.880313e-05,7.850092e-05,7.844019e-05,7.819646e-05,7.803742e-05,7.789026e-05,7.763206e-05,7.758280e-05,7.727451e-05,7.722513e-05,7.696578e-05,7.681754e-05,7.665698e-05,7.641010e-05,7.634843e-05,7.604043e-05,7.600352e-05,7.573326e-05,7.559843e-05,7.542717e-05,7.519541e-05,7.512239e-05,7.481913e-05,7.479494e-05,7.451757e-05,7.439746e-05,7.421789e-05,7.400337e-05,7.392024e-05,7.362477e-05,7.361300e-05,7.333160e-05,7.322665e-05,7.304086e-05,7.284459e-05,7.275265e-05,7.246705e-05,7.209422e-05,7.172628e-05,7.136337e-05,7.100561e-05,7.065311e-05,7.030596e-05,6.996422e-05,6.962795e-05,6.929719e-05,6.897196e-05,6.865229e-05,6.833818e-05,6.802963e-05,6.772662e-05,6.742914e-05,6.713716e-05,6.685065e-05,6.656958e-05,6.629389e-05,6.602355e-05,6.575851e-05,6.549871e-05,6.524409e-05,6.499460e-05
0.000000e+00,1.279152e-10,4.314565e-10,2.322597e-09,6.582797e-09,1.043113e-08,2.735085e-08,2.829880e-08,5.953658e-08,7.115448e-08,1.076250e-07,1.460016e-07,1.760157e-07,2.598342e-07,2.681595e-07,3.873255e-07,4.202545e-07,5.360447e-07,6.326816e-07,7.152909e-07,8.975314e-07,9.240714e-07,1.159905e-06,1.210048e-06,1.419688e-06,1.563189e-06,1.700268e-06,1.949809e-06,1.998619e-06,2.311845e-06,2.363153e-06,2.637136e-06,2.796751e-06,2.971741e-06,3.244326e-06,3.312977e-06,3.658249e-06,3.699834e-06,4.005085e-06,4.157584e-06,4.351163e-06,4.612351e-06,4.694343e-06,5.032689e-06,5.059495e-06,5.364489e-06,5.495035e-06,5.688252e-06,5.915667e-06,6.002715e-06,6.306831e-06,6.318768e-06,6.599760e-06,6.702346e-06,6.880855e-06,7.064990e-06,7.149640e-06,7.405798e-06,7.649146e-06,7.724299e-06,7.879623e-06,8.020388e-06,8.097268e-06,8.294251e-06,8.302207e-06,8.494637e-06,8.546310e-06,8.674814e-06,8.777163e-06,8.843041e-06,8.987548e-06,8.999659e-06,9.145033e-06,9.178292e-06,9.279549e-06,9.350284e-06,9.403608e-06,9.504454e-06,9.517618e-06,9.621994e-06,9.641749e-06,9.717147e-06,9.763118e-06,9.803488e-06,9.869501e-06,9.881422e-06,9.951347e-06,9.961818e-06,1.001365e-05,1.004096e-05,1.006872e-05,1.010780e-05,1.011691e-05,1.015859e-05,1.016317e-05,1.019410e-05,1.020785e-05,1.022377e-05,1.024262e-05,1.024793e-05,1.026688e-05,1.026818e-05,1.028092e-05,1.028523e-05,1.029034e-05,1.029440e-05,1.029540e-05,1.029637e-05,1.029633e-05,1.029350e-05,1.029157e-05,1.028702e-05,1.028067e-05,1.027716e-05,1.026415e-05,1.024818e-05,1.024248e-05,1.022945e-05,1.021611e-05,1.020816e-05,1.018546e-05,1.018447e-05,1.015857e-05,1.015094e-05,1.013060e-05,1.011290e-05,1.010073e-05,1.007169e-05,1.006910e-05,1.003585e-05,1.002764e-05,1.000110e-05,9.981043e-06,9.964993e-06,9.932178e-06,9.927633e-06,9.889134e-06,9.881307e-06,9.849602e-06,9.828671e-06,9.809138e-06,9.774495e-06,9.767834e-06,9.725780e-06,9.718988e-06,9.683061e-06,9.662343e-06,9.639755e-06,9.604738e-06,9.595937e-06,9.551677e-06,9.546340e-06,9.507043e-06,9.487301e-06,9.462096e-06,9.427763e-06,9.416895e-06,9.371495e-06,9.367856e-06,9.325949e-06,9.307700e-06,9.280304e-06,9.247404e-06,9.234606e-06,9.188899e-06,9.187071e-06,9.143221e-06,9.126792e-06,9.097610e-06,9.066652e-06,9.052102e-06,9.006728e-06,8.947092e-06,8.887806e-06,8.828930e-06,8.770514e-06,8.712608e-06,8.655252e-06,8.598485e-06,8.542341e-06,8.486849e-06,8.432037e-06,8.377926e-06,8.324537e-06,8.271887e-06,8.219991e-06,8.168860e-06,8.118505e-06,8.068932e-06,8.020149e-06,7.972159e-06,7.924964e-06,7.878565e-06,7.832962e-06,7.788154e-06,7.744138e-06
0.000000e+00,8.826749e-11,2.166326e-10,8.015964e-10,1.885910e-09,2.784497e-09,6.435674e-09,6.632458e-09,1.289775e-08,1.515614e-08,2.209476e-08,2.922098e-08,3.470242e-08,4.969105e-08,5.115849e-08,7.183446e-08,7.745582e-08,9.697816e-08,1.130393e-07,1.266436e-07,1.563717e-07,1.606776e-07,1.987879e-07,2.068685e-07,2.406215e-07,2.637224e-07,2.858032e-07,3.260594e-07,3.339445e-07,3.846450e-07,3.929674e-07,4.374959e-07,4.635072e-07,4.920855e-07,5.367351e-07,5.480067e-07,6.048653e-07,6.117333e-07,6.622866e-07,6.876392e-07,7.199214e-07,7.636690e-07,7.774504e-07,8.345863e-07,8.391323e-07,8.910754e-07,9.134395e-07,9.466974e-07,9.861015e-07,1.001264e-06,1.054618e-06,1.056725e-06,1.106630e-06,1.125006e-06,1.157197e-06,1.190715e-06,1.206237e-06,1.253691e-06,1.299516e-06,1.313832e-06,1.343686e-06,1.371078e-06,1.386185e-06,1.425412e-06,1.427013e-06,1.466175e-06,1.476843e-06,1.503685e-06,1.525408e-06,1.539566e-06,1.571159e-06,1.573843e-06,1.606547e-06,1.614165e-06,1.637711e-06,1.654504e-06,1.667372e-06,1.692261e-06,1.695568e-06,1.722340e-06,1.727527e-06,1.747727e-06,1.760395e-06,1.771772e-06,1.790962e-06,1.794516e-06,1.816001e-06,1.819324e-06,1.836268e-06,1.845576e-06,1.855360e-06,1.869814e-06,1.873316e-06,1.890178e-06,1.892130e-06,1.905985e-06,1.912615e-06,1.920775e-06,1.931360e-06,1.934587e-06,1.947459e-06,1.948449e-06,1.959426e-06,1.963967e-06,1.970523e-06,1.977995e-06,1.980786e-06,1.990248e-06,1.990611e-06,1.998942e-06,2.001890e-06,2.006899e-06,2.011904e-06,2.014150e-06,2.020724e-06,2.026652e-06,2.028416e-06,2.031959e-06,2.035044e-06,2.036675e-06,2.040669e-06,2.040824e-06,2.044433e-06,2.045350e-06,2.047525e-06,2.049142e-06,2.050124e-06,2.052099e-06,2.052253e-06,2.053934e-06,2.054273e-06,2.055188e-06,2.055712e-06,2.056036e-06,2.056462e-06,2.056497e-06,2.056590e-06,2.056567e-06,2.056334e-06,2.056069e-06,2.055746e-06,2.055009e-06,2.054844e-06,2.053642e-06,2.053424e-06,2.052158e-06,2.051350e-06,2.050406e-06,2.048822e-06,2.048401e-06,2.046156e-06,2.045872e-06,2.043686e-06,2.042531e-06,2.041002e-06,2.038828e-06,2.038118e-06,2.035045e-06,2.034791e-06,2.031794e-06,2.030446e-06,2.028376e-06,2.025818e-06,2.024803e-06,2.021083e-06,2.020931e-06,2.017226e-06,2.015806e-06,2.013243e-06,2.010465e-06,2.009140e-06,2.004928e-06,1.999213e-06,1.993337e-06,1.987319e-06,1.981172e-06,1.974913e-06,1.968554e-06,1.962109e-06,1.955591e-06,1.949011e-06,1.942379e-06,1.935706e-06,1.929001e-06,1.922274e-06,1.915532e-06,1.908784e-06,1.902037e-06,1.895296e-06,1.888570e-06,1.881863e-06,1.875182e-06,1.868531e-06,1.861914e-06,1.855337e-06,1.848803e-06
0.000000e+00,1.531974e-12,3.507951e-12,1.206702e-11,2.746810e-11,4.009135e-11,9.112317e-11,9.387466e-11,1.820002e-10,2.140806e-10,3.137954e-10,4.178859e-10,4.988736e-10,7.223888e-10,7.443083e-10,1.050931e-09,1.133187e-09,1.414370e-09,1.640631e-09,1.829099e-09,2.232565e-09,2.290195e-09,2.793208e-09,2.898455e-09,3.333730e-09,3.628110e-09,3.907167e-09,4.410761e-09,4.508687e-09,5.133285e-09,5.235024e-09,5.775902e-09,6.089289e-09,6.431555e-09,6.962240e-09,7.095461e-09,7.763141e-09,7.843318e-09,8.430500e-09,8.723076e-09,9.093870e-09,9.593367e-09,9.750033e-09,1.039622e-08,1.044742e-08,1.103012e-08,1.127979e-08,1.164980e-08,1.208629e-08,1.225373e-08,1.284071e-08,1.286382e-08,1.340984e-08,1.361024e-08,1.396050e-08,1.432417e-08,1.449226e-08,1.500491e-08,1.549839e-08,1.565226e-08,1.597275e-08,1.626640e-08,1.642819e-08,1.684785e-08,1.686496e-08,1.728341e-08,1.739734e-08,1.768391e-08,1.791577e-08,1.806690e-08,1.840418e-08,1.843284e-08,1.878220e-08,1.886364e-08,1.911550e-08,1.929532e-08,1.943323e-08,1.970037e-08,1.973591e-08,2.002405e-08,2.007997e-08,2.029815e-08,2.043530e-08,2.055871e-08,2.076749e-08,2.080624e-08,2.104122e-08,2.107768e-08,2.126411e-08,2.136695e-08,2.147540e-08,2.163637e-08,2.167552e-08,2.186493e-08,2.188695e-08,2.204404e-08,2.211969e-08,2.221326e-08,2.233552e-08,2.237301e-08,2.252367e-08,2.253535e-08,2.266562e-08,2.272004e-08,2.279921e-08,2.289043e-08,2.292481e-08,2.304274e-08,2.304730e-08,2.315333e-08,2.319141e-08,2.325690e-08,2.332347e-08,2.335374e-08,2.344416e-08,2.352843e-08,2.355414e-08,2.360682e-08,2.365402e-08,2.367959e-08,2.374439e-08,2.374699e-08,2.380926e-08,2.382580e-08,2.386662e-08,2.389879e-08,2.391932e-08,2.396384e-08,2.396754e-08,2.401151e-08,2.402145e-08,2.405141e-08,2.407204e-08,2.408743e-08,2.411607e-08,2.411976e-08,2.414856e-08,2.415391e-08,2.417401e-08,2.418597e-08,2.419626e-08,2.421260e-08,2.421548e-08,2.423179e-08,2.423414e-08,2.424535e-08,2.425092e-08,2.425629e-08,2.426324e-08,2.426474e-08,2.427082e-08,2.427140e-08,2.427466e-08,2.427567e-08,2.427636e-08,2.427630e-08,2.427604e-08,2.427380e-08,2.427354e-08,2.426974e-08,2.426763e-08,2.426396e-08,2.425878e-08,2.425654e-08,2.424758e-08,2.424719e-08,2.423716e-08,2.423307e-08,2.422537e-08,2.421660e-08,2.421227e-08,2.419794e-08,2.417728e-08,2.415475e-08,2.413050e-08,2.410468e-08,2.407742e-08,2.404882e-08,2.401902e-08,2.398812e-08,2.395621e-08,2.392341e-08,2.388979e-08,2.385545e-08,2.382046e-08,2.378490e-08,2.374884e-08,2.371235e-08,2.367548e-08,2.363831e-08,2.360087e-08,2.356323e-08,2.352543e-08,2.348752e-08,2.344954e-08,2.341154e-08
0.000000e+00,4.670668e-12,1.070088e-11,3.678503e-11,8.355886e-11,1.217485e-10,2.748781e-10,2.830798e-10,5.430462e-10,6.364653e-10,9.232751e-10,1.218046e-09,1.445164e-09,2.068575e-09,2.129820e-09,2.997084e-09,3.234317e-09,4.063022e-09,4.750197e-09,5.335675e-09,6.623470e-09,6.810677e-09,8.470303e-09,8.822104e-09,1.028764e-08,1.128504e-08,1.223280e-08,1.394460e-08,1.427731e-08,1.639566e-08,1.673991e-08,1.856540e-08,1.961921e-08,2.076666e-08,2.253839e-08,2.298172e-08,2.519476e-08,2.545951e-08,2.739170e-08,2.834999e-08,2.956011e-08,3.118231e-08,3.168918e-08,3.376967e-08,3.393376e-08,3.579384e-08,3.658627e-08,3.775537e-08,3.912602e-08,3.964925e-08,4.147168e-08,4.154305e-08,4.321993e-08,4.383076e-08,4.489220e-08,4.598543e-08,4.648754e-08,4.800569e-08,4.944699e-08,4.989211e-08,5.081228e-08,5.164674e-08,5.210280e-08,5.327280e-08,5.332011e-08,5.446604e-08,5.477438e-08,5.554260e-08,5.615614e-08,5.655197e-08,5.742319e-08,5.749641e-08,5.837825e-08,5.858084e-08,5.919986e-08,5.963455e-08,5.996363e-08,6.058979e-08,6.067194e-08,6.132713e-08,6.145200e-08,6.193153e-08,6.222651e-08,6.248741e-08,6.291848e-08,6.299699e-08,6.346243e-08,6.353295e-08,6.388583e-08,6.407473e-08,6.426921e-08,6.454843e-08,6.461455e-08,6.492373e-08,6.495849e-08,6.519859e-08,6.530910e-08,6.544087e-08,6.560427e-08,6.565228e-08,6.583442e-08,6.584778e-08,6.598886e-08,6.604322e-08,6.611709e-08,6.619399e-08,6.622053e-08,6.630056e-08,6.630329e-08,6.635847e-08,6.637415e-08,6.639552e-08,6.640941e-08,6.641291e-08,6.641177e-08,6.639319e-08,6.638373e-08,6.635821e-08,6.632767e-08,6.630782e-08,6.624583e-08,6.624297e-08,6.616455e-08,6.614029e-08,6.607343e-08,6.601300e-08,6.597042e-08,6.586582e-08,6.585630e-08,6.573180e-08,6.570046e-08,6.559764e-08,6.551853e-08,6.545447e-08,6.532155e-08,6.530294e-08,6.514365e-08,6.511092e-08,6.497718e-08,6.488796e-08,6.480407e-08,6.465391e-08,6.462484e-08,6.443998e-08,6.440991e-08,6.424996e-08,6.415704e-08,6.405521e-08,6.389630e-08,6.385617e-08,6.365322e-08,6.362862e-08,6.344674e-08,6.335487e-08,6.323710e-08,6.307585e-08,6.302462e-08,6.280962e-08,6.279232e-08,6.259242e-08,6.250498e-08,6.237328e-08,6.221447e-08,6.215249e-08,6.193030e-08,6.192139e-08,6.170695e-08,6.162630e-08,6.148266e-08,6.132972e-08,6.125765e-08,6.103212e-08,6.073395e-08,6.043561e-08,6.013748e-08,5.983990e-08,5.954319e-08,5.924764e-08,5.895353e-08,5.866109e-08,5.837055e-08,5.808211e-08,5.779596e-08,5.751227e-08,5.723118e-08,5.695284e-08,5.667736e-08,5.640485e-08,5.613542e-08,5.586914e-08,5.560609e-08,5.534634e-08,5.508994e-08,5.483695e-08,5.458739e-08,5.434131e-08
0.000000e+00,2.919121e-12,6.684280e-12,2.298300e-11,5.225500e-11,7.618876e-11,1.723870e-10,1.775483e-10,3.415235e-10,4.006071e-10,5.824481e-10,7.699551e-10,9.148043e-10,1.313867e-09,1.353177e-09,1.911622e-09,2.064922e-09,2.602105e-09,3.049419e-09,3.431803e-09,4.276711e-09,4.399942e-09,5.496217e-09,5.729355e-09,6.702645e-09,7.366435e-09,7.997845e-09,9.139062e-09,9.360916e-09,1.077330e-08,1.100276e-08,1.221913e-08,1.292095e-08,1.368485e-08,1.486390e-08,1.515886e-08,1.663107e-08,1.680719e-08,1.809276e-08,1.873057e-08,1.953635e-08,2.061736e-08,2.095538e-08,2.234436e-08,2.245404e-08,2.369874e-08,2.422995e-08,2.501482e-08,2.593702e-08,2.628968e-08,2.752108e-08,2.756941e-08,2.870741e-08,2.912323e-08,2.984758e-08,3.059619e-08,3.094097e-08,3.198737e-08,3.298690e-08,3.329690e-08,3.393994e-08,3.452576e-08,3.484710e-08,3.567558e-08,3.570921e-08,3.652720e-08,3.674847e-08,3.730214e-08,3.774692e-08,3.803518e-08,3.867363e-08,3.872755e-08,3.938050e-08,3.953149e-08,3.999533e-08,4.032347e-08,4.057334e-08,4.105258e-08,4.111585e-08,4.162417e-08,4.172185e-08,4.209960e-08,4.233425e-08,4.254342e-08,4.289272e-08,4.295688e-08,4.334124e-08,4.340011e-08,4.369769e-08,4.385922e-08,4.402741e-08,4.427273e-08,4.433156e-08,4.461126e-08,4.464323e-08,4.486757e-08,4.497322e-08,4.510156e-08,4.526509e-08,4.531424e-08,4.550660e-08,4.552113e-08,4.567957e-08,4.574354e-08,4.583409e-08,4.593441e-08,4.597103e-08,4.609125e-08,4.609572e-08,4.619557e-08,4.622938e-08,4.628477e-08,4.633719e-08,4.635962e-08,4.642085e-08,4.646917e-08,4.648201e-08,4.650524e-08,4.652220e-08,4.652972e-08,4.654288e-08,4.654322e-08,4.654635e-08,4.654545e-08,4.653968e-08,4.653120e-08,4.652375e-08,4.650138e-08,4.649909e-08,4.646621e-08,4.645715e-08,4.642559e-08,4.639963e-08,4.637769e-08,4.632986e-08,4.632294e-08,4.626178e-08,4.624881e-08,4.619460e-08,4.615743e-08,4.612180e-08,4.605657e-08,4.604374e-08,4.596077e-08,4.594707e-08,4.587324e-08,4.582969e-08,4.578145e-08,4.570517e-08,4.568572e-08,4.558634e-08,4.557418e-08,4.548358e-08,4.543737e-08,4.537772e-08,4.529535e-08,4.526901e-08,4.515768e-08,4.514866e-08,4.504396e-08,4.499786e-08,4.492808e-08,4.484342e-08,4.481024e-08,4.469063e-08,4.468581e-08,4.456945e-08,4.452547e-08,4.444687e-08,4.436280e-08,4.432306e-08,4.419819e-08,4.403197e-08,4.386448e-08,4.369603e-08,4.352689e-08,4.335734e-08,4.318762e-08,4.301796e-08,4.284856e-08,4.267962e-08,4.251132e-08,4.234382e-08,4.217728e-08,4.201183e-08,4.184760e-08,4.168471e-08,4.152326e-08,4.136335e-08,4.120507e-08,4.104849e-08,4.089368e-08,4.074071e-08,4.058964e-08,4.044051e-08,4.029336e-08
0.000000e+00,4.044637e-12,1.978715e-11,2.033625e-10,9.260892e-10,1.835979e-09,7.837520e-09,8.252204e-09,2.542830e-08,3.327538e-08,6.195731e-08,9.763899e-08,1.288139e-07,2.282824e-07,2.390302e-07,4.070092e-07,4.575368e-07,6.470414e-07,8.176211e-07,9.713470e-07,1.333466e-06,1.388646e-06,1.903770e-06,2.018705e-06,2.518062e-06,2.876302e-06,3.230099e-06,3.901241e-06,4.036389e-06,4.931905e-06,5.083067e-06,5.910432e-06,6.407536e-06,6.964794e-06,7.857539e-06,8.086999e-06,9.268363e-06,9.413668e-06,1.049964e-05,1.105473e-05,1.177115e-05,1.275831e-05,1.307299e-05,1.439517e-05,1.450152e-05,1.572783e-05,1.626167e-05,1.706142e-05,1.801706e-05,1.838686e-05,1.969570e-05,1.974759e-05,2.098021e-05,2.143533e-05,2.223351e-05,2.306481e-05,2.344957e-05,2.462329e-05,2.575045e-05,2.610075e-05,2.682773e-05,2.748981e-05,2.785261e-05,2.878560e-05,2.882338e-05,2.973900e-05,2.998543e-05,3.059910e-05,3.108855e-05,3.140382e-05,3.209580e-05,3.215381e-05,3.285009e-05,3.300936e-05,3.349405e-05,3.383241e-05,3.408730e-05,3.456888e-05,3.463169e-05,3.512921e-05,3.522327e-05,3.558193e-05,3.580037e-05,3.599203e-05,3.630516e-05,3.636168e-05,3.669307e-05,3.674269e-05,3.698837e-05,3.711792e-05,3.724970e-05,3.743569e-05,3.747912e-05,3.767863e-05,3.770066e-05,3.785016e-05,3.791724e-05,3.799553e-05,3.808959e-05,3.811649e-05,3.821471e-05,3.822164e-05,3.829177e-05,3.831700e-05,3.834915e-05,3.837907e-05,3.838826e-05,3.841040e-05,3.841095e-05,3.841683e-05,3.841552e-05,3.840869e-05,3.839539e-05,3.838707e-05,3.835300e-05,3.830740e-05,3.829053e-05,3.825118e-05,3.821000e-05,3.818516e-05,3.811327e-05,3.811010e-05,3.802673e-05,3.800199e-05,3.793572e-05,3.787771e-05,3.783769e-05,3.774180e-05,3.773322e-05,3.762285e-05,3.759554e-05,3.750709e-05,3.744009e-05,3.738641e-05,3.727649e-05,3.726125e-05,3.713201e-05,3.710571e-05,3.699908e-05,3.692861e-05,3.686280e-05,3.674598e-05,3.672351e-05,3.658151e-05,3.655856e-05,3.643709e-05,3.636699e-05,3.629052e-05,3.617189e-05,3.614205e-05,3.599191e-05,3.597379e-05,3.584031e-05,3.577320e-05,3.568746e-05,3.557057e-05,3.553354e-05,3.537873e-05,3.536631e-05,3.522319e-05,3.516080e-05,3.506707e-05,3.495439e-05,3.491052e-05,3.475367e-05,3.474739e-05,3.459663e-05,3.454008e-05,3.443953e-05,3.433272e-05,3.428248e-05,3.412556e-05,3.391880e-05,3.371264e-05,3.350726e-05,3.330282e-05,3.309946e-05,3.289732e-05,3.269652e-05,3.249717e-05,3.229936e-05,3.210317e-05,3.190870e-05,3.171600e-05,3.152514e-05,3.133618e-05,3.114916e-05,3.096412e-05,3.078110e-05,3.060014e-05,3.042126e-05,3.024448e-05,3.006982e-05,2.989729e-05,2.972691e-05,2.955868e-05
0.000000e+00,1.034801e-10,2.613876e-10,9.975625e-10,2.384128e-09,3.543981e-09,8.322602e-09,8.582732e-09,1.698654e-08,2.007055e-08,2.971534e-08,3.987104e-08,4.784169e-08,7.024673e-08,7.248162e-08,1.045251e-07,1.133616e-07,1.442043e-07,1.695647e-07,1.909277e-07,2.370373e-07,2.436430e-07,3.012865e-07,3.133244e-07,3.629599e-07,3.963713e-07,4.279199e-07,4.845548e-07,4.955249e-07,5.651945e-07,5.764966e-07,6.363889e-07,6.709540e-07,7.086021e-07,7.667875e-07,7.813617e-07,8.542322e-07,8.629649e-07,9.268190e-07,9.585750e-07,9.987704e-07,1.052838e-06,1.069779e-06,1.139583e-06,1.145108e-06,1.207960e-06,1.234870e-06,1.274731e-06,1.321730e-06,1.339752e-06,1.402911e-06,1.405398e-06,1.464126e-06,1.485676e-06,1.523339e-06,1.562441e-06,1.580513e-06,1.635632e-06,1.688693e-06,1.705239e-06,1.739706e-06,1.771289e-06,1.788693e-06,1.833840e-06,1.835682e-06,1.880710e-06,1.892971e-06,1.923817e-06,1.948778e-06,1.965048e-06,2.001366e-06,2.004452e-06,2.042079e-06,2.050851e-06,2.077981e-06,2.097352e-06,2.112209e-06,2.140988e-06,2.144817e-06,2.175855e-06,2.181879e-06,2.205377e-06,2.220146e-06,2.233434e-06,2.255908e-06,2.260078e-06,2.285357e-06,2.289278e-06,2.309320e-06,2.320369e-06,2.332016e-06,2.349291e-06,2.353490e-06,2.373788e-06,2.376147e-06,2.392955e-06,2.401041e-06,2.411033e-06,2.424069e-06,2.428063e-06,2.444087e-06,2.445327e-06,2.459144e-06,2.464904e-06,2.473270e-06,2.482886e-06,2.486504e-06,2.498879e-06,2.499357e-06,2.510431e-06,2.514395e-06,2.521193e-06,2.528076e-06,2.531196e-06,2.540472e-06,2.549049e-06,2.551651e-06,2.556957e-06,2.561680e-06,2.564223e-06,2.570620e-06,2.570874e-06,2.576936e-06,2.578531e-06,2.582432e-06,2.585469e-06,2.587388e-06,2.591489e-06,2.591826e-06,2.595767e-06,2.596642e-06,2.599234e-06,2.600975e-06,2.602246e-06,2.604536e-06,2.604823e-06,2.606985e-06,2.607369e-06,2.608749e-06,2.609514e-06,2.610132e-06,2.611013e-06,2.611153e-06,2.611826e-06,2.611902e-06,2.612167e-06,2.612218e-06,2.612192e-06,2.611994e-06,2.611915e-06,2.611349e-06,2.611263e-06,2.610509e-06,2.610055e-06,2.609405e-06,2.608399e-06,2.608052e-06,2.606461e-06,2.606323e-06,2.604642e-06,2.603853e-06,2.602607e-06,2.601015e-06,2.600367e-06,2.597932e-06,2.597830e-06,2.595310e-06,2.594323e-06,2.592512e-06,2.590513e-06,2.589546e-06,2.586421e-06,2.582067e-06,2.577467e-06,2.572640e-06,2.567602e-06,2.562367e-06,2.556951e-06,2.551367e-06,2.545628e-06,2.539748e-06,2.533736e-06,2.527606e-06,2.521367e-06,2.515029e-06,2.508601e-06,2.502093e-06,2.495514e-06,2.488870e-06,2.482170e-06,2.475421e-06,2.468630e-06,2.461803e-06,2.454945e-06,2.448064e-06,2.441164e-06
0.000000e+00,2.938951e-11,6.907620e-11,2.442032e-10,5.627087e-10,8.247409e-10,1.885239e-09,1.942375e-09,3.766647e-09,4.427649e-09,6.472191e-09,8.594244e-09,1.024132e-08,1.480116e-08,1.525117e-08,2.163025e-08,2.337035e-08,2.940506e-08,3.434430e-08,3.850416e-08,4.751860e-08,4.881639e-08,6.023203e-08,6.263861e-08,7.265057e-08,7.947254e-08,8.597553e-08,9.779749e-08,1.001090e-07,1.149492e-07,1.173822e-07,1.303898e-07,1.379826e-07,1.463215e-07,1.593462e-07,1.626338e-07,1.792174e-07,1.812205e-07,1.959661e-07,2.033616e-07,2.127791e-07,2.255419e-07,2.295625e-07,2.462304e-07,2.475564e-07,2.627054e-07,2.692258e-07,2.789194e-07,2.903984e-07,2.948134e-07,3.103372e-07,3.109499e-07,3.254492e-07,3.307819e-07,3.401154e-07,3.498199e-07,3.543092e-07,3.680106e-07,3.812051e-07,3.853187e-07,3.938835e-07,4.017244e-07,4.060408e-07,4.172203e-07,4.176757e-07,4.287902e-07,4.318097e-07,4.393892e-07,4.455038e-07,4.494793e-07,4.583204e-07,4.590694e-07,4.681696e-07,4.702819e-07,4.767911e-07,4.814145e-07,4.849461e-07,4.917468e-07,4.926474e-07,4.999084e-07,5.013090e-07,5.067427e-07,5.101325e-07,5.131641e-07,5.182492e-07,5.191865e-07,5.248238e-07,5.256910e-07,5.300898e-07,5.324895e-07,5.349980e-07,5.386761e-07,5.395619e-07,5.437947e-07,5.442810e-07,5.477092e-07,5.493340e-07,5.513181e-07,5.538640e-07,5.546336e-07,5.576678e-07,5.578987e-07,5.604322e-07,5.614651e-07,5.629383e-07,5.645888e-07,5.651969e-07,5.672188e-07,5.672949e-07,5.690141e-07,5.696068e-07,5.705928e-07,5.715475e-07,5.719646e-07,5.731387e-07,5.741240e-07,5.744009e-07,5.749294e-07,5.753541e-07,5.755630e-07,5.760171e-07,5.760329e-07,5.763468e-07,5.764078e-07,5.765123e-07,5.765433e-07,5.765364e-07,5.764397e-07,5.764261e-07,5.761880e-07,5.761125e-07,5.758284e-07,5.755763e-07,5.753536e-07,5.748450e-07,5.747693e-07,5.740813e-07,5.739318e-07,5.732950e-07,5.728490e-07,5.724156e-07,5.716086e-07,5.714481e-07,5.703972e-07,5.702217e-07,5.692677e-07,5.686989e-07,5.680639e-07,5.670502e-07,5.667901e-07,5.654502e-07,5.652852e-07,5.640483e-07,5.634127e-07,5.625880e-07,5.614413e-07,5.610728e-07,5.595063e-07,5.593788e-07,5.578916e-07,5.572330e-07,5.562320e-07,5.550108e-07,5.545303e-07,5.527895e-07,5.527191e-07,5.510123e-07,5.503641e-07,5.492013e-07,5.479518e-07,5.473591e-07,5.454879e-07,5.429776e-07,5.404260e-07,5.378376e-07,5.352171e-07,5.325683e-07,5.298954e-07,5.272019e-07,5.244913e-07,5.217668e-07,5.190314e-07,5.162880e-07,5.135391e-07,5.107873e-07,5.080348e-07,5.052838e-07,5.025364e-07,4.997944e-07,4.970596e-07,4.943336e-07,4.916178e-07,4.889138e-07,4.862227e-07,4.835459e-07,4.808843e-07
0.000000e+00,8.685765e-11,3.260108e-10,2.063811e-09,6.469930e-09,1.070779e-08,3.073808e-08,3.190795e-08,7.247173e-08,8.841536e-08,1.410149e-07,1.999857e-07,2.482297e-07,3.895307e-07,4.038902e-07,6.105747e-07,6.672392e-07,8.626161e-07,1.020513e-06,1.151951e-06,1.432268e-06,1.472161e-06,1.818745e-06,1.890914e-06,2.188261e-06,2.388452e-06,2.577649e-06,2.917892e-06,2.983899e-06,3.403938e-06,3.472214e-06,3.834633e-06,4.044230e-06,4.272854e-06,4.626791e-06,4.715545e-06,5.159798e-06,5.213083e-06,5.602915e-06,5.796887e-06,6.042452e-06,6.372760e-06,6.476241e-06,6.902408e-06,6.936122e-06,7.319368e-06,7.483272e-06,7.725813e-06,8.011346e-06,8.120697e-06,8.503206e-06,8.518240e-06,8.872737e-06,9.002505e-06,9.228871e-06,9.463251e-06,9.571348e-06,9.900047e-06,1.021496e-05,1.031283e-05,1.051617e-05,1.070182e-05,1.080384e-05,1.106747e-05,1.107819e-05,1.133950e-05,1.141038e-05,1.158809e-05,1.173127e-05,1.182429e-05,1.203096e-05,1.204846e-05,1.226099e-05,1.231031e-05,1.246226e-05,1.257020e-05,1.265266e-05,1.281153e-05,1.283258e-05,1.300242e-05,1.303522e-05,1.316257e-05,1.324214e-05,1.331340e-05,1.343317e-05,1.345528e-05,1.358860e-05,1.360916e-05,1.371369e-05,1.377092e-05,1.383092e-05,1.391927e-05,1.394062e-05,1.404311e-05,1.405494e-05,1.413872e-05,1.417869e-05,1.422775e-05,1.429119e-05,1.431049e-05,1.438724e-05,1.439313e-05,1.445827e-05,1.448514e-05,1.452384e-05,1.456781e-05,1.458420e-05,1.463961e-05,1.464173e-05,1.469030e-05,1.470744e-05,1.473650e-05,1.476546e-05,1.477842e-05,1.481628e-05,1.485027e-05,1.486036e-05,1.488059e-05,1.489815e-05,1.490741e-05,1.493005e-05,1.493093e-05,1.495130e-05,1.495646e-05,1.496869e-05,1.497776e-05,1.498326e-05,1.499429e-05,1.499514e-05,1.500450e-05,1.500638e-05,1.501145e-05,1.501435e-05,1.501614e-05,1.501848e-05,1.501868e-05,1.501919e-05,1.501906e-05,1.501780e-05,1.501635e-05,1.501460e-05,1.501059e-05,1.500970e-05,1.500319e-05,1.500201e-05,1.499519e-05,1.499084e-05,1.498576e-05,1.497727e-05,1.497501e-05,1.496301e-05,1.496149e-05,1.494984e-05,1.494370e-05,1.493558e-05,1.492406e-05,1.492030e-05,1.490406e-05,1.490272e-05,1.488693e-05,1.487984e-05,1.486897e-05,1.485556e-05,1.485024e-05,1.483080e-05,1.483001e-05,1.481070e-05,1.480332e-05,1.478999e-05,1.477559e-05,1.476872e-05,1.474694e-05,1.471747e-05,1.468727e-05,1.465644e-05,1.462505e-05,1.459318e-05,1.456091e-05,1.452831e-05,1.449542e-05,1.446233e-05,1.442907e-05,1.439570e-05,1.436227e-05,1.432881e-05,1.429538e-05,1.426200e-05,1.422872e-05,1.419556e-05,1.416256e-05,1.412974e-05,1.409713e-05,1.406474e-05,1.403261e-05,1.400075e-05,1.396917e-05
0.000000e+00,9.729690e-12,4.723733e-11,4.779026e-10,2.145666e-09,4.221143e-09,1.767004e-08,1.859036e-08,5.621675e-08,7.319921e-08,1.346350e-07,2.101542e-07,2.755888e-07,4.822656e-07,5.044642e-07,8.495962e-07,9.530180e-07,1.340390e-06,1.688991e-06,2.003279e-06,2.743739e-06,2.856507e-06,3.906495e-06,4.139789e-06,5.147461e-06,5.863331e-06,6.563722e-06,7.872735e-06,8.133093e-06,9.830051e-06,1.011163e-05,1.162811e-05,1.251943e-05,1.350134e-05,1.503747e-05,1.542516e-05,1.737674e-05,1.761178e-05,1.933514e-05,2.019405e-05,2.128140e-05,2.274189e-05,2.319849e-05,2.507141e-05,2.521893e-05,2.688713e-05,2.759487e-05,2.863465e-05,2.984548e-05,3.030493e-05,3.189087e-05,3.195247e-05,3.338719e-05,3.390319e-05,3.479034e-05,3.569018e-05,3.609831e-05,3.731049e-05,3.842749e-05,3.876507e-05,3.945095e-05,4.005802e-05,4.038340e-05,4.119587e-05,4.122801e-05,4.198850e-05,4.218691e-05,4.266895e-05,4.304058e-05,4.327366e-05,4.376695e-05,4.380711e-05,4.427381e-05,4.437638e-05,4.467824e-05,4.487916e-05,4.502479e-05,4.528528e-05,4.531775e-05,4.556120e-05,4.560430e-05,4.575906e-05,4.584517e-05,4.591504e-05,4.601625e-05,4.603262e-05,4.611509e-05,4.612523e-05,4.616548e-05,4.617912e-05,4.618664e-05,4.618430e-05,4.618120e-05,4.615160e-05,4.614653e-05,4.610008e-05,4.607101e-05,4.602871e-05,4.596238e-05,4.593940e-05,4.583388e-05,4.582479e-05,4.571377e-05,4.566197e-05,4.558053e-05,4.547723e-05,4.543551e-05,4.527993e-05,4.527351e-05,4.511493e-05,4.505343e-05,4.494155e-05,4.481933e-05,4.476071e-05,4.457329e-05,4.438007e-05,4.431714e-05,4.418179e-05,4.405252e-05,4.397908e-05,4.378090e-05,4.377257e-05,4.356280e-05,4.350355e-05,4.335028e-05,4.322164e-05,4.313547e-05,4.293618e-05,4.291879e-05,4.270062e-05,4.264808e-05,4.248133e-05,4.235815e-05,4.226123e-05,4.206710e-05,4.204061e-05,4.181976e-05,4.177558e-05,4.159891e-05,4.148414e-05,4.137829e-05,4.119330e-05,4.115811e-05,4.093855e-05,4.090349e-05,4.071979e-05,4.061512e-05,4.050199e-05,4.032852e-05,4.028527e-05,4.006978e-05,4.004401e-05,3.985562e-05,3.976185e-05,3.964291e-05,3.948228e-05,3.943175e-05,3.922221e-05,3.920552e-05,3.901437e-05,3.893174e-05,3.880832e-05,3.866110e-05,3.860410e-05,3.840179e-05,3.839373e-05,3.820142e-05,3.812977e-05,3.800303e-05,3.786929e-05,3.780668e-05,3.761240e-05,3.735915e-05,3.710960e-05,3.686380e-05,3.662178e-05,3.638357e-05,3.614918e-05,3.591862e-05,3.569190e-05,3.546900e-05,3.524992e-05,3.503464e-05,3.482315e-05,3.461541e-05,3.441140e-05,3.421110e-05,3.401445e-05,3.382144e-05,3.363201e-05,3.344613e-05,3.326376e-05,3.308485e-05,3.290935e-05,3.273722e-05,3.256842e-05
0.000000e+00,4.983630e-11,1.175558e-10,4.177448e-10,9.667339e-10,1.420581e-09,3.274286e-09,3.374868e-09,6.620840e-09,7.812296e-09,1.154197e-08,1.547036e-08,1.854727e-08,2.711463e-08,2.795998e-08,3.986116e-08,4.307351e-08,5.409751e-08,6.300249e-08,7.043529e-08,8.637675e-08,8.865617e-08,1.085689e-07,1.127387e-07,1.299953e-07,1.416766e-07,1.527584e-07,1.727800e-07,1.766770e-07,2.015657e-07,2.056254e-07,2.272371e-07,2.397828e-07,2.535058e-07,2.748299e-07,2.801923e-07,3.071270e-07,3.103683e-07,3.341525e-07,3.460350e-07,3.611255e-07,3.815108e-07,3.879184e-07,4.144191e-07,4.165236e-07,4.405312e-07,4.508485e-07,4.661731e-07,4.843054e-07,4.912768e-07,5.157873e-07,5.167548e-07,5.396607e-07,5.480923e-07,5.628631e-07,5.782443e-07,5.853694e-07,6.071620e-07,6.282300e-07,6.348176e-07,6.485676e-07,6.611997e-07,6.681738e-07,6.863103e-07,6.870515e-07,7.052066e-07,7.101616e-07,7.226477e-07,7.327742e-07,7.393858e-07,7.541745e-07,7.554331e-07,7.708034e-07,7.743931e-07,7.855111e-07,7.934639e-07,7.995720e-07,8.114231e-07,8.130020e-07,8.258177e-07,8.283086e-07,8.380360e-07,8.441589e-07,8.496736e-07,8.590131e-07,8.607478e-07,8.712753e-07,8.729102e-07,8.812733e-07,8.858891e-07,8.907583e-07,8.979881e-07,8.997470e-07,9.082556e-07,9.092452e-07,9.163004e-07,9.196972e-07,9.238970e-07,9.293802e-07,9.310610e-07,9.378074e-07,9.383296e-07,9.441513e-07,9.465793e-07,9.501070e-07,9.541627e-07,9.556887e-07,9.609102e-07,9.611118e-07,9.657850e-07,9.674575e-07,9.703261e-07,9.732299e-07,9.745462e-07,9.784579e-07,9.820730e-07,9.831691e-07,9.854033e-07,9.873904e-07,9.884601e-07,9.911475e-07,9.912543e-07,9.937968e-07,9.944650e-07,9.960978e-07,9.973666e-07,9.981672e-07,9.998750e-07,1.000015e-06,1.001650e-06,1.002012e-06,1.003082e-06,1.003798e-06,1.004319e-06,1.005254e-06,1.005371e-06,1.006244e-06,1.006398e-06,1.006948e-06,1.007249e-06,1.007489e-06,1.007824e-06,1.007875e-06,1.008114e-06,1.008139e-06,1.008212e-06,1.008211e-06,1.008176e-06,1.008054e-06,1.008012e-06,1.007726e-06,1.007684e-06,1.007325e-06,1.007113e-06,1.006814e-06,1.006355e-06,1.006198e-06,1.005484e-06,1.005422e-06,1.004675e-06,1.004327e-06,1.003778e-06,1.003080e-06,1.002797e-06,1.001736e-06,1.001692e-06,1.000599e-06,1.000173e-06,9.993923e-07,9.985330e-07,9.981183e-07,9.967813e-07,9.949265e-07,9.929769e-07,9.909402e-07,9.888239e-07,9.866350e-07,9.843802e-07,9.820658e-07,9.796978e-07,9.772817e-07,9.748229e-07,9.723265e-07,9.697971e-07,9.672393e-07,9.646572e-07,9.620549e-07,9.594361e-07,9.568042e-07,9.541626e-07,9.515144e-07,9.488625e-07,9.462096e-07,9.435583e-07,9.409110e-07,9.382699e-07
0.000000e+00,7.958305e-12,3.907818e-11,4.047084e-10,1.855575e-09,3.691997e-09,1.589756e-08,1.674414e-08,5.195781e-08,6.809607e-08,1.271681e-07,2.006703e-07,2.648186e-07,4.688589e-07,4.908491e-07,8.335301e-07,9.363863e-07,1.322166e-06,1.670312e-06,1.985367e-06,2.733850e-06,2.848759e-06,3.932600e-06,4.177118e-06,5.250083e-06,6.029642e-06,6.806729e-06,8.298033e-06,8.600764e-06,1.062406e-05,1.096823e-05,1.286327e-05,1.400980e-05,1.530100e-05,1.738046e-05,1.791681e-05,2.068814e-05,2.103003e-05,2.359110e-05,2.490380e-05,2.660118e-05,2.894535e-05,2.969382e-05,3.284503e-05,3.309896e-05,3.603176e-05,3.731150e-05,3.923235e-05,4.153404e-05,4.242676e-05,4.559681e-05,4.572286e-05,4.872626e-05,4.984013e-05,5.180092e-05,5.385409e-05,5.480860e-05,5.773904e-05,6.058384e-05,6.147495e-05,6.333630e-05,6.504698e-05,6.599128e-05,6.844487e-05,6.854505e-05,7.099511e-05,7.166233e-05,7.334008e-05,7.469637e-05,7.557946e-05,7.754672e-05,7.771360e-05,7.974346e-05,8.021528e-05,8.167061e-05,8.270566e-05,8.349701e-05,8.502276e-05,8.522501e-05,8.685723e-05,8.717242e-05,8.839650e-05,8.916117e-05,8.984580e-05,9.099595e-05,9.120823e-05,9.248692e-05,9.268396e-05,9.368507e-05,9.423250e-05,9.480584e-05,9.564889e-05,9.585242e-05,9.682791e-05,9.694034e-05,9.773540e-05,9.811393e-05,9.857789e-05,9.917652e-05,9.935831e-05,1.000795e-04,1.001347e-04,1.007442e-04,1.009949e-04,1.013552e-04,1.017632e-04,1.019150e-04,1.024260e-04,1.024455e-04,1.028908e-04,1.030472e-04,1.033116e-04,1.035738e-04,1.036907e-04,1.040301e-04,1.043320e-04,1.044210e-04,1.045983e-04,1.047509e-04,1.048309e-04,1.050241e-04,1.050315e-04,1.052020e-04,1.052446e-04,1.053440e-04,1.054162e-04,1.054591e-04,1.055424e-04,1.055487e-04,1.056143e-04,1.056266e-04,1.056573e-04,1.056719e-04,1.056789e-04,1.056814e-04,1.056806e-04,1.056634e-04,1.056578e-04,1.056284e-04,1.056036e-04,1.055769e-04,1.055215e-04,1.055097e-04,1.054280e-04,1.054136e-04,1.053326e-04,1.052822e-04,1.052244e-04,1.051292e-04,1.051042e-04,1.049730e-04,1.049566e-04,1.048314e-04,1.047660e-04,1.046802e-04,1.045593e-04,1.045201e-04,1.043517e-04,1.043379e-04,1.041757e-04,1.041033e-04,1.039927e-04,1.038568e-04,1.038031e-04,1.036077e-04,1.035997e-04,1.034068e-04,1.033332e-04,1.032009e-04,1.030584e-04,1.029906e-04,1.027762e-04,1.024877e-04,1.021938e-04,1.018951e-04,1.015926e-04,1.012869e-04,1.009787e-04,1.006687e-04,1.003572e-04,1.000450e-04,9.973236e-05,9.941988e-05,9.910791e-05,9.879683e-05,9.848699e-05,9.817870e-05,9.787226e-05,9.756793e-05,9.726595e-05,9.696653e-05,9.666989e-05,9.637620e-05,9.608562e-05,9.579829e-05,9.551435e-05
0.000000e+00,6.370880e-11,1.540671e-10,5.610896e-10,1.310368e-09,1.929770e-09,4.445071e-09,4.580738e-09,8.911849e-09,1.047955e-08,1.531941e-08,2.032611e-08,2.420028e-08,3.487810e-08,3.592875e-08,5.078180e-08,5.482382e-08,6.881461e-08,8.022584e-08,8.979750e-08,1.103770e-07,1.133187e-07,1.389387e-07,1.442788e-07,1.662607e-07,1.810226e-07,1.949331e-07,2.198273e-07,2.246367e-07,2.550752e-07,2.599949e-07,2.859733e-07,3.008923e-07,3.170773e-07,3.419535e-07,3.481574e-07,3.790097e-07,3.826880e-07,4.094569e-07,4.226855e-07,4.393482e-07,4.616160e-07,4.685586e-07,4.969868e-07,4.992247e-07,5.245530e-07,5.353240e-07,5.511967e-07,5.697840e-07,5.768744e-07,6.015567e-07,6.025230e-07,6.252266e-07,6.334982e-07,6.478766e-07,6.626961e-07,6.695075e-07,6.901268e-07,7.097480e-07,7.158186e-07,7.283881e-07,7.398124e-07,7.460679e-07,7.621587e-07,7.628107e-07,7.786417e-07,7.829146e-07,7.935874e-07,8.021412e-07,8.076752e-07,8.199027e-07,8.209335e-07,8.333910e-07,8.362647e-07,8.450760e-07,8.512928e-07,8.560169e-07,8.650517e-07,8.662418e-07,8.757783e-07,8.776054e-07,8.846538e-07,8.890167e-07,8.928950e-07,8.993466e-07,9.005280e-07,9.075785e-07,9.086541e-07,9.140710e-07,9.169965e-07,9.200300e-07,9.244287e-07,9.254788e-07,9.304401e-07,9.310038e-07,9.349361e-07,9.367725e-07,9.389881e-07,9.417833e-07,9.426167e-07,9.458417e-07,9.460829e-07,9.486825e-07,9.497154e-07,9.511576e-07,9.527233e-07,9.532849e-07,9.550816e-07,9.551468e-07,9.565642e-07,9.570242e-07,9.577488e-07,9.583919e-07,9.586506e-07,9.592844e-07,9.596644e-07,9.597346e-07,9.598041e-07,9.597735e-07,9.597167e-07,9.594306e-07,9.594145e-07,9.589097e-07,9.587336e-07,9.582138e-07,9.577090e-07,9.573377e-07,9.563816e-07,9.562920e-07,9.550868e-07,9.547749e-07,9.537319e-07,9.529111e-07,9.522364e-07,9.508111e-07,9.506092e-07,9.488588e-07,9.484946e-07,9.469932e-07,9.459802e-07,9.450202e-07,9.432853e-07,9.429471e-07,9.407811e-07,9.404263e-07,9.385287e-07,9.374188e-07,9.361964e-07,9.342771e-07,9.337903e-07,9.313162e-07,9.310151e-07,9.287798e-07,9.276453e-07,9.261861e-07,9.241798e-07,9.235404e-07,9.208473e-07,9.206299e-07,9.181114e-07,9.170060e-07,9.153370e-07,9.133179e-07,9.125282e-07,9.096890e-07,9.095749e-07,9.068230e-07,9.057854e-07,9.039338e-07,9.019576e-07,9.010247e-07,8.980988e-07,8.942160e-07,8.903156e-07,8.864037e-07,8.824858e-07,8.785672e-07,8.746525e-07,8.707462e-07,8.668524e-07,8.629749e-07,8.591171e-07,8.552821e-07,8.514730e-07,8.476924e-07,8.439427e-07,8.402261e-07,8.365447e-07,8.329002e-07,8.292943e-07,8.257284e-07,8.222039e-07,8.187218e-07,8.152833e-07,8.118892e-07,8.085402e-07
0.000000e+00,4.546537e-09,2.351189e-08,2.711723e-07,1.371895e-06,2.881546e-06,1.427794e-05,1.512463e-05,5.398887e-05,7.351246e-05,1.511494e-04,2.578829e-04,3.581381e-04,7.109067e-04,7.515421e-04,1.437958e-03,1.661160e-03,2.557872e-03,3.438452e-03,4.286935e-03,6.477102e-03,6.833399e-03,1.043195e-02,1.129993e-02,1.533528e-02,1.848739e-02,2.180491e-02,2.864116e-02,3.010208e-02,4.047933e-02,4.234881e-02,5.317304e-02,6.015260e-02,6.839693e-02,8.252363e-02,8.633672e-02,1.071458e-01,1.098417e-01,1.309423e-01,1.423812e-01,1.578066e-01,1.803025e-01,1.877807e-01,2.208680e-01,2.236487e-01,2.570341e-01,2.723479e-01,2.962085e-01,3.262194e-01,3.382867e-01,3.831335e-01,3.849828e-01,4.305857e-01,4.482709e-01,4.804560e-01,5.156438e-01,5.325368e-01,5.866036e-01,6.424196e-01,6.606101e-01,6.997386e-01,7.370956e-01,7.583092e-01,8.154790e-01,8.178777e-01,8.781912e-01,8.951785e-01,9.390008e-01,9.756232e-01,1.000063e+00,1.056263e+00,1.061144e+00,1.122019e+00,1.136575e+00,1.182475e+00,1.216072e+00,1.242311e+00,1.294307e+00,1.301342e+00,1.359395e+00,1.370874e+00,1.416313e+00,1.445414e+00,1.471954e+00,1.517611e+00,1.526190e+00,1.578910e+00,1.587197e+00,1.630015e+00,1.653947e+00,1.679422e+00,1.717677e+00,1.727060e+00,1.772874e+00,1.778246e+00,1.816817e+00,1.835551e+00,1.858857e+00,1.889521e+00,1.898972e+00,1.937149e+00,1.940119e+00,1.973386e+00,1.987338e+00,2.007687e+00,2.031194e+00,2.040068e+00,2.070547e+00,2.071727e+00,2.099152e+00,2.108996e+00,2.125914e+00,2.143079e+00,2.150871e+00,2.174064e+00,2.195538e+00,2.202054e+00,2.215341e+00,2.227161e+00,2.233523e+00,2.249503e+00,2.250138e+00,2.265240e+00,2.269204e+00,2.278883e+00,2.286392e+00,2.291124e+00,2.301197e+00,2.302021e+00,2.311629e+00,2.313750e+00,2.320007e+00,2.324181e+00,2.327209e+00,2.332620e+00,2.333292e+00,2.338312e+00,2.339193e+00,2.342322e+00,2.344025e+00,2.345375e+00,2.347238e+00,2.347523e+00,2.348817e+00,2.348949e+00,2.349307e+00,2.349270e+00,2.349038e+00,2.348309e+00,2.348058e+00,2.346412e+00,2.346171e+00,2.344141e+00,2.342955e+00,2.341288e+00,2.338754e+00,2.337891e+00,2.333990e+00,2.333657e+00,2.329621e+00,2.327750e+00,2.324818e+00,2.321110e+00,2.319615e+00,2.314044e+00,2.313814e+00,2.308135e+00,2.305931e+00,2.301917e+00,2.297526e+00,2.295418e+00,2.288662e+00,2.279395e+00,2.269778e+00,2.259860e+00,2.249687e+00,2.239302e+00,2.228743e+00,2.218046e+00,2.207245e+00,2.196368e+00,2.185445e+00,2.174499e+00,2.163555e+00,2.152632e+00,2.141751e+00,2.130927e+00,2.120177e+00,2.109513e+00,2.098949e+00,2.088496e+00,2.078162e+00,2.067958e+00,2.057889e+00,2.047963e+00,2.038185e+00
0.000000e+00,1.756011e-10,6.017712e-10,3.312856e-09,9.510145e-09,1.514839e-08,4.012817e-08,4.153379e-08,8.809551e-08,1.055143e-07,1.604964e-07,2.187936e-07,2.646650e-07,3.937857e-07,4.066726e-07,5.916170e-07,6.427033e-07,8.214758e-07,9.691715e-07,1.094190e-06,1.366209e-06,1.405441e-06,1.750726e-06,1.823507e-06,2.126042e-06,2.331859e-06,2.527747e-06,2.882985e-06,2.952303e-06,3.396138e-06,3.468698e-06,3.855603e-06,4.080613e-06,4.327002e-06,4.710241e-06,4.806659e-06,5.290990e-06,5.349259e-06,5.776581e-06,5.989810e-06,6.260247e-06,6.624745e-06,6.739080e-06,7.210483e-06,7.247804e-06,7.672185e-06,7.853703e-06,8.122244e-06,8.438156e-06,8.559041e-06,8.981264e-06,8.997835e-06,9.387886e-06,9.530295e-06,9.778137e-06,1.003387e-05,1.015148e-05,1.050758e-05,1.084629e-05,1.095100e-05,1.116759e-05,1.136415e-05,1.147162e-05,1.174743e-05,1.175859e-05,1.202881e-05,1.210152e-05,1.228267e-05,1.242731e-05,1.252060e-05,1.272583e-05,1.274307e-05,1.295059e-05,1.299823e-05,1.314369e-05,1.324572e-05,1.332290e-05,1.346955e-05,1.348877e-05,1.364185e-05,1.367098e-05,1.378268e-05,1.385125e-05,1.391180e-05,1.401160e-05,1.402974e-05,1.413702e-05,1.415323e-05,1.423415e-05,1.427731e-05,1.432162e-05,1.438496e-05,1.439991e-05,1.446947e-05,1.447725e-05,1.453076e-05,1.455522e-05,1.458420e-05,1.461983e-05,1.463021e-05,1.466919e-05,1.467201e-05,1.470151e-05,1.471266e-05,1.472755e-05,1.474260e-05,1.474765e-05,1.476216e-05,1.476262e-05,1.477138e-05,1.477347e-05,1.477564e-05,1.477584e-05,1.477521e-05,1.477040e-05,1.476145e-05,1.475775e-05,1.474863e-05,1.473850e-05,1.473218e-05,1.471318e-05,1.471233e-05,1.468930e-05,1.468231e-05,1.466330e-05,1.464636e-05,1.463453e-05,1.460579e-05,1.460319e-05,1.456945e-05,1.456101e-05,1.453348e-05,1.451243e-05,1.449545e-05,1.446040e-05,1.445551e-05,1.441381e-05,1.440527e-05,1.437048e-05,1.434736e-05,1.432567e-05,1.428696e-05,1.427949e-05,1.423206e-05,1.422437e-05,1.418350e-05,1.415982e-05,1.413392e-05,1.409358e-05,1.408340e-05,1.403206e-05,1.402585e-05,1.397997e-05,1.395684e-05,1.392723e-05,1.388676e-05,1.387391e-05,1.382009e-05,1.381577e-05,1.376584e-05,1.374404e-05,1.371123e-05,1.367173e-05,1.365633e-05,1.360118e-05,1.359897e-05,1.354586e-05,1.352590e-05,1.349040e-05,1.345264e-05,1.343487e-05,1.337930e-05,1.330598e-05,1.323277e-05,1.315977e-05,1.308704e-05,1.301466e-05,1.294271e-05,1.287122e-05,1.280027e-05,1.272990e-05,1.266015e-05,1.259107e-05,1.252269e-05,1.245504e-05,1.238815e-05,1.232204e-05,1.225675e-05,1.219228e-05,1.212865e-05,1.206587e-05,1.200397e-05,1.194294e-05,1.188280e-05,1.182355e-05,1.176519e-05
0.000000e+00,4.585500e-11,2.111077e-10,1.921906e-09,7.884316e-09,1.479972e-08,5.540234e-08,5.804144e-08,1.595662e-07,2.030256e-07,3.542256e-07,5.324243e-07,6.823797e-07,1.136010e-06,1.183145e-06,1.881580e-06,2.079507e-06,2.782087e-06,3.370757e-06,3.873204e-06,4.976032e-06,5.135925e-06,6.549193e-06,6.848055e-06,8.091967e-06,8.938483e-06,9.743448e-06,1.119948e-05,1.148283e-05,1.328924e-05,1.358310e-05,1.514195e-05,1.604176e-05,1.702085e-05,1.852999e-05,1.890691e-05,2.078275e-05,2.100640e-05,2.263289e-05,2.343532e-05,2.444410e-05,2.578772e-05,2.620537e-05,2.790798e-05,2.804144e-05,2.954528e-05,3.018079e-05,3.111255e-05,3.219588e-05,3.260678e-05,3.402636e-05,3.408158e-05,3.537091e-05,3.583667e-05,3.664102e-05,3.746283e-05,3.783803e-05,3.896389e-05,4.002097e-05,4.034513e-05,4.101193e-05,4.161277e-05,4.193965e-05,4.277351e-05,4.280709e-05,4.361729e-05,4.383429e-05,4.437324e-05,4.480200e-05,4.507790e-05,4.568337e-05,4.573415e-05,4.634477e-05,4.648483e-05,4.691243e-05,4.721251e-05,4.743967e-05,4.787214e-05,4.792892e-05,4.838245e-05,4.846907e-05,4.880245e-05,4.900828e-05,4.919095e-05,4.949437e-05,4.954989e-05,4.988105e-05,4.993158e-05,5.018616e-05,5.032382e-05,5.046679e-05,5.067469e-05,5.072445e-05,5.096054e-05,5.098748e-05,5.117637e-05,5.126524e-05,5.137318e-05,5.151074e-05,5.155211e-05,5.171425e-05,5.172653e-05,5.186062e-05,5.191497e-05,5.199217e-05,5.207820e-05,5.210978e-05,5.221429e-05,5.221821e-05,5.230648e-05,5.233680e-05,5.238710e-05,5.243566e-05,5.245683e-05,5.251632e-05,5.256618e-05,5.258019e-05,5.260698e-05,5.262858e-05,5.263926e-05,5.266269e-05,5.266352e-05,5.268024e-05,5.268363e-05,5.268987e-05,5.269242e-05,5.269283e-05,5.269001e-05,5.268952e-05,5.268031e-05,5.267726e-05,5.266556e-05,5.265500e-05,5.264559e-05,5.262396e-05,5.262073e-05,5.259127e-05,5.258485e-05,5.255750e-05,5.253831e-05,5.251967e-05,5.248494e-05,5.247803e-05,5.243283e-05,5.242529e-05,5.238429e-05,5.235987e-05,5.233262e-05,5.228917e-05,5.227802e-05,5.222068e-05,5.221363e-05,5.216079e-05,5.213366e-05,5.209850e-05,5.204967e-05,5.203399e-05,5.196740e-05,5.196199e-05,5.189889e-05,5.187098e-05,5.182859e-05,5.177694e-05,5.175664e-05,5.168314e-05,5.168017e-05,5.160824e-05,5.158095e-05,5.153203e-05,5.147952e-05,5.145462e-05,5.137612e-05,5.127099e-05,5.116432e-05,5.105631e-05,5.094715e-05,5.083700e-05,5.072602e-05,5.061437e-05,5.050218e-05,5.038958e-05,5.027669e-05,5.016363e-05,5.005051e-05,4.993742e-05,4.982445e-05,4.971169e-05,4.959922e-05,4.948712e-05,4.937546e-05,4.926430e-05,4.915369e-05,4.904371e-05,4.893440e-05,4.882580e-05,4.871796e-05
0.000000e+00,4.327521e-12,2.176126e-11,2.366183e-10,1.133238e-09,2.308592e-09,1.055165e-08,1.114008e-08,3.659733e-08,4.869446e-08,9.437630e-08,1.533251e-07,2.061193e-07,3.798043e-07,3.989340e-07,7.044910e-07,7.984380e-07,1.157767e-06,1.489755e-06,1.795339e-06,2.537440e-06,2.653125e-06,3.763697e-06,4.018619e-06,5.153674e-06,5.993425e-06,6.841690e-06,8.497173e-06,8.837240e-06,1.114037e-05,1.153693e-05,1.374204e-05,1.509212e-05,1.662506e-05,1.911796e-05,1.976519e-05,2.313256e-05,2.355033e-05,2.669300e-05,2.831128e-05,3.040945e-05,3.331452e-05,3.424324e-05,3.815530e-05,3.847049e-05,4.210721e-05,4.369080e-05,4.606210e-05,4.889197e-05,4.998543e-05,5.384554e-05,5.399821e-05,5.761407e-05,5.894345e-05,6.126629e-05,6.367248e-05,6.478117e-05,6.814140e-05,7.133333e-05,7.231744e-05,7.434676e-05,7.617833e-05,7.717472e-05,7.971131e-05,7.981319e-05,8.226075e-05,8.291192e-05,8.451829e-05,8.578272e-05,8.658867e-05,8.833197e-05,8.847640e-05,9.018733e-05,9.057239e-05,9.172836e-05,9.251998e-05,9.310722e-05,9.419302e-05,9.433217e-05,9.541186e-05,9.561115e-05,9.635514e-05,9.679468e-05,9.717089e-05,9.776401e-05,9.786792e-05,9.845486e-05,9.853912e-05,9.894008e-05,9.913924e-05,9.933164e-05,9.958262e-05,9.963721e-05,9.986410e-05,9.988637e-05,1.000192e-04,1.000664e-04,1.001090e-04,1.001372e-04,1.001395e-04,1.001164e-04,1.001123e-04,1.000448e-04,1.000038e-04,9.992977e-05,9.982248e-05,9.977562e-05,9.958649e-05,9.957825e-05,9.936618e-05,9.927991e-05,9.911814e-05,9.893527e-05,9.884555e-05,9.855130e-05,9.823805e-05,9.813419e-05,9.790820e-05,9.768940e-05,9.756394e-05,9.722176e-05,9.720727e-05,9.684001e-05,9.673551e-05,9.646380e-05,9.623441e-05,9.608014e-05,9.572174e-05,9.569036e-05,9.529571e-05,9.520040e-05,9.489729e-05,9.467290e-05,9.449609e-05,9.414147e-05,9.409303e-05,9.368893e-05,9.360805e-05,9.328452e-05,9.307433e-05,9.288047e-05,9.254179e-05,9.247738e-05,9.207578e-05,9.201170e-05,9.167616e-05,9.148517e-05,9.127894e-05,9.096315e-05,9.088451e-05,9.049321e-05,9.044648e-05,9.010536e-05,8.993586e-05,8.972121e-05,8.943190e-05,8.934103e-05,8.896501e-05,8.893511e-05,8.859334e-05,8.844593e-05,8.822618e-05,8.796471e-05,8.786369e-05,8.750597e-05,8.749176e-05,8.715313e-05,8.702732e-05,8.680526e-05,8.657158e-05,8.646242e-05,8.612468e-05,8.568674e-05,8.525784e-05,8.483801e-05,8.442728e-05,8.402564e-05,8.363306e-05,8.324950e-05,8.287489e-05,8.250915e-05,8.215221e-05,8.180396e-05,8.146428e-05,8.113308e-05,8.081021e-05,8.049556e-05,8.018899e-05,7.989036e-05,7.959953e-05,7.931636e-05,7.904068e-05,7.877237e-05,7.851126e-05,7.825722e-05,7.801007e-05
0.000000e+00,5.140206e-12,2.574267e-11,2.775941e-10,1.319719e-09,2.677899e-09,1.212081e-08,1.279187e-08,4.165534e-08,5.530211e-08,1.066347e-07,1.726111e-07,2.315607e-07,4.250714e-07,4.463643e-07,7.863587e-07,8.909069e-07,1.290994e-06,1.660934e-06,2.001626e-06,2.829174e-06,2.958155e-06,4.195245e-06,4.478819e-06,5.739222e-06,6.669178e-06,7.606302e-06,9.428784e-06,9.802144e-06,1.232238e-05,1.275495e-05,1.515377e-05,1.661751e-05,1.827557e-05,2.096431e-05,2.166105e-05,2.527889e-05,2.572704e-05,2.909456e-05,3.082676e-05,3.307150e-05,3.617879e-05,3.717225e-05,4.135940e-05,4.169701e-05,4.559648e-05,4.729740e-05,4.984861e-05,5.290103e-05,5.408315e-05,5.827013e-05,5.843623e-05,6.238258e-05,6.384015e-05,6.639675e-05,6.905967e-05,7.029218e-05,7.405173e-05,7.766149e-05,7.878312e-05,8.111061e-05,8.322995e-05,8.439113e-05,8.737683e-05,8.749771e-05,9.042737e-05,9.121581e-05,9.317925e-05,9.474535e-05,9.575425e-05,9.796915e-05,9.815486e-05,1.003848e-04,1.008951e-04,1.024489e-04,1.035344e-04,1.043527e-04,1.059004e-04,1.061025e-04,1.077049e-04,1.080083e-04,1.091669e-04,1.098741e-04,1.104957e-04,1.115141e-04,1.116983e-04,1.127820e-04,1.129448e-04,1.137538e-04,1.141825e-04,1.146205e-04,1.152427e-04,1.153888e-04,1.160651e-04,1.161404e-04,1.166555e-04,1.168896e-04,1.171659e-04,1.175038e-04,1.176019e-04,1.179686e-04,1.179951e-04,1.182711e-04,1.183751e-04,1.185139e-04,1.186543e-04,1.187015e-04,1.188380e-04,1.188424e-04,1.189272e-04,1.189484e-04,1.189726e-04,1.189803e-04,1.189778e-04,1.189456e-04,1.188792e-04,1.188511e-04,1.187811e-04,1.187029e-04,1.186540e-04,1.185067e-04,1.185000e-04,1.183215e-04,1.182674e-04,1.181204e-04,1.179897e-04,1.178987e-04,1.176779e-04,1.176580e-04,1.174000e-04,1.173357e-04,1.171263e-04,1.169666e-04,1.168382e-04,1.165737e-04,1.165369e-04,1.162239e-04,1.161599e-04,1.159001e-04,1.157278e-04,1.155666e-04,1.152797e-04,1.152244e-04,1.148744e-04,1.148177e-04,1.145174e-04,1.143438e-04,1.141543e-04,1.138598e-04,1.137857e-04,1.134124e-04,1.133673e-04,1.130349e-04,1.128676e-04,1.126539e-04,1.123622e-04,1.122698e-04,1.118833e-04,1.118523e-04,1.114948e-04,1.113389e-04,1.111047e-04,1.108231e-04,1.107134e-04,1.103214e-04,1.103057e-04,1.099289e-04,1.097876e-04,1.095363e-04,1.092695e-04,1.091440e-04,1.087521e-04,1.082360e-04,1.077218e-04,1.072100e-04,1.067011e-04,1.061954e-04,1.056933e-04,1.051952e-04,1.047013e-04,1.042120e-04,1.037274e-04,1.032479e-04,1.027735e-04,1.023045e-04,1.018410e-04,1.013832e-04,1.009310e-04,1.004847e-04,1.000443e-04,9.960993e-05,9.918156e-05,9.875927e-05,9.834308e-05,9.793302e-05,9.752910e-05
0.000000e+00,6.082859e-11,2.520276e-10,1.883671e-09,6.609149e-09,1.148506e-08,3.611371e-08,3.759214e-08,8.960477e-08,1.101166e-07,1.771908e-07,2.510423e-07,3.105856e-07,4.832004e-07,5.007698e-07,7.586520e-07,8.316318e-07,1.092339e-06,1.313253e-06,1.503473e-06,1.924891e-06,1.986298e-06,2.530667e-06,2.645956e-06,3.125734e-06,3.451921e-06,3.761780e-06,4.321572e-06,4.430434e-06,5.124298e-06,5.237195e-06,5.836581e-06,6.183135e-06,6.560912e-06,7.145000e-06,7.291281e-06,8.022068e-06,8.109540e-06,8.748103e-06,9.064833e-06,9.464727e-06,1.000052e-05,1.016784e-05,1.085390e-05,1.090796e-05,1.151998e-05,1.178026e-05,1.216367e-05,1.261219e-05,1.278310e-05,1.337688e-05,1.340008e-05,1.394406e-05,1.414160e-05,1.448404e-05,1.483554e-05,1.499655e-05,1.548159e-05,1.593940e-05,1.608020e-05,1.637037e-05,1.663237e-05,1.677508e-05,1.713950e-05,1.715419e-05,1.750846e-05,1.760331e-05,1.783872e-05,1.802571e-05,1.814583e-05,1.840871e-05,1.843070e-05,1.869423e-05,1.875440e-05,1.893734e-05,1.906490e-05,1.916094e-05,1.934229e-05,1.936593e-05,1.955321e-05,1.958861e-05,1.972362e-05,1.980584e-05,1.987800e-05,1.999589e-05,2.001717e-05,2.014191e-05,2.016058e-05,2.025299e-05,2.030166e-05,2.035112e-05,2.042078e-05,2.043701e-05,2.051133e-05,2.051950e-05,2.057471e-05,2.059930e-05,2.062778e-05,2.066158e-05,2.067113e-05,2.070530e-05,2.070766e-05,2.073085e-05,2.073877e-05,2.074828e-05,2.075607e-05,2.075807e-05,2.076068e-05,2.076065e-05,2.075657e-05,2.075353e-05,2.074615e-05,2.073566e-05,2.072982e-05,2.070795e-05,2.068090e-05,2.067121e-05,2.064903e-05,2.062624e-05,2.061264e-05,2.057375e-05,2.057205e-05,2.052756e-05,2.051444e-05,2.047943e-05,2.044892e-05,2.042793e-05,2.037779e-05,2.037331e-05,2.031580e-05,2.030159e-05,2.025562e-05,2.022084e-05,2.019300e-05,2.013601e-05,2.012811e-05,2.006116e-05,2.004754e-05,1.999233e-05,1.995584e-05,1.992177e-05,1.986129e-05,1.984966e-05,1.977613e-05,1.976424e-05,1.970134e-05,1.966502e-05,1.962541e-05,1.956393e-05,1.954847e-05,1.947065e-05,1.946125e-05,1.939205e-05,1.935724e-05,1.931277e-05,1.925214e-05,1.923293e-05,1.915261e-05,1.914617e-05,1.907190e-05,1.903953e-05,1.899088e-05,1.893241e-05,1.890964e-05,1.882824e-05,1.882498e-05,1.874675e-05,1.871741e-05,1.866524e-05,1.860983e-05,1.858377e-05,1.850240e-05,1.839521e-05,1.828840e-05,1.818206e-05,1.807628e-05,1.797115e-05,1.786675e-05,1.776315e-05,1.766041e-05,1.755858e-05,1.745773e-05,1.735789e-05,1.725910e-05,1.716140e-05,1.706483e-05,1.696941e-05,1.687516e-05,1.678211e-05,1.669026e-05,1.659965e-05,1.651027e-05,1.642213e-05,1.633525e-05,1.624963e-05,1.616526e-05
0.000000e+00,9.721132e-12,4.879641e-11,5.287707e-10,2.525733e-09,5.139136e-09,2.344214e-08,2.474843e-08,8.132556e-08,1.082667e-07,2.103422e-07,3.427849e-07,4.619927e-07,8.571392e-07,9.008755e-07,1.602852e-06,1.819448e-06,2.648657e-06,3.413876e-06,4.116277e-06,5.811643e-06,6.074505e-06,8.578673e-06,9.148795e-06,1.166839e-05,1.351477e-05,1.536672e-05,1.894900e-05,1.968033e-05,2.460017e-05,2.544222e-05,3.010266e-05,3.294049e-05,3.615108e-05,4.135086e-05,4.269727e-05,4.968353e-05,5.054842e-05,5.704468e-05,6.038431e-05,6.471019e-05,7.069426e-05,7.260639e-05,8.065848e-05,8.130716e-05,8.879256e-05,9.205304e-05,9.693729e-05,1.027701e-04,1.050254e-04,1.129949e-04,1.133104e-04,1.207900e-04,1.235438e-04,1.283614e-04,1.333605e-04,1.356671e-04,1.426721e-04,1.493483e-04,1.514116e-04,1.556745e-04,1.595323e-04,1.616354e-04,1.670055e-04,1.672217e-04,1.724289e-04,1.738190e-04,1.772574e-04,1.799741e-04,1.817109e-04,1.854833e-04,1.857968e-04,1.895251e-04,1.903680e-04,1.929077e-04,1.946561e-04,1.959584e-04,1.983803e-04,1.986922e-04,2.011246e-04,2.015764e-04,2.032721e-04,2.042816e-04,2.051511e-04,2.065340e-04,2.067780e-04,2.081691e-04,2.083709e-04,2.093403e-04,2.098289e-04,2.103071e-04,2.109432e-04,2.110842e-04,2.116859e-04,2.117469e-04,2.121257e-04,2.122712e-04,2.124164e-04,2.125452e-04,2.125702e-04,2.125984e-04,2.125956e-04,2.125118e-04,2.124473e-04,2.123204e-04,2.121229e-04,2.120334e-04,2.116597e-04,2.116430e-04,2.112072e-04,2.110265e-04,2.106835e-04,2.102903e-04,2.100955e-04,2.094497e-04,2.087521e-04,2.085188e-04,2.080080e-04,2.075099e-04,2.072227e-04,2.064342e-04,2.064007e-04,2.055463e-04,2.053019e-04,2.046636e-04,2.041219e-04,2.037562e-04,2.029024e-04,2.028273e-04,2.018802e-04,2.016505e-04,2.009176e-04,2.003728e-04,1.999421e-04,1.990749e-04,1.989561e-04,1.979618e-04,1.977621e-04,1.969612e-04,1.964389e-04,1.959560e-04,1.951094e-04,1.949480e-04,1.939387e-04,1.937771e-04,1.929294e-04,1.924453e-04,1.919214e-04,1.911168e-04,1.909160e-04,1.899140e-04,1.897941e-04,1.889166e-04,1.884794e-04,1.879245e-04,1.871745e-04,1.869385e-04,1.859593e-04,1.858813e-04,1.849877e-04,1.846012e-04,1.840240e-04,1.833354e-04,1.830689e-04,1.821228e-04,1.820851e-04,1.811861e-04,1.808513e-04,1.802592e-04,1.796346e-04,1.793424e-04,1.784359e-04,1.772557e-04,1.760944e-04,1.749524e-04,1.738301e-04,1.727276e-04,1.716452e-04,1.705828e-04,1.695406e-04,1.685185e-04,1.675166e-04,1.665347e-04,1.655727e-04,1.646305e-04,1.637079e-04,1.628048e-04,1.619208e-04,1.610559e-04,1.602097e-04,1.593821e-04,1.585726e-04,1.577812e-04,1.570074e-04,1.562510e-04,1.555117e-04
0.000000e+00,9.029229e-11,2.218646e-10,8.279330e-10,1.981927e-09,2.969159e-09,7.270120e-09,7.514990e-09,1.596284e-08,1.928486e-08,3.014459e-08,4.186052e-08,5.096217e-08,7.533389e-08,7.765526e-08,1.090148e-07,1.171335e-07,1.441993e-07,1.653751e-07,1.826985e-07,2.190383e-07,2.241599e-07,2.682802e-07,2.773968e-07,3.147546e-07,3.397445e-07,3.632579e-07,4.053156e-07,4.134436e-07,4.649501e-07,4.732892e-07,5.174114e-07,5.428259e-07,5.704678e-07,6.131094e-07,6.237752e-07,6.770131e-07,6.833828e-07,7.298897e-07,7.529730e-07,7.821458e-07,8.213053e-07,8.335557e-07,8.839277e-07,8.879076e-07,9.331019e-07,9.524063e-07,9.809490e-07,1.014519e-06,1.027367e-06,1.072277e-06,1.074042e-06,1.115625e-06,1.130840e-06,1.157372e-06,1.184834e-06,1.197496e-06,1.235989e-06,1.272855e-06,1.284310e-06,1.308104e-06,1.329825e-06,1.341758e-06,1.372588e-06,1.373841e-06,1.404384e-06,1.412665e-06,1.433421e-06,1.450135e-06,1.460988e-06,1.485087e-06,1.487126e-06,1.511874e-06,1.517611e-06,1.535273e-06,1.547804e-06,1.557367e-06,1.575763e-06,1.578198e-06,1.597807e-06,1.601586e-06,1.616238e-06,1.625370e-06,1.633531e-06,1.647209e-06,1.649729e-06,1.664872e-06,1.667199e-06,1.678999e-06,1.685431e-06,1.692150e-06,1.701993e-06,1.704362e-06,1.715674e-06,1.716973e-06,1.726121e-06,1.730453e-06,1.735739e-06,1.742514e-06,1.744561e-06,1.752622e-06,1.753234e-06,1.759952e-06,1.762687e-06,1.766585e-06,1.770945e-06,1.772549e-06,1.777875e-06,1.778075e-06,1.782591e-06,1.784144e-06,1.786723e-06,1.789214e-06,1.790300e-06,1.793345e-06,1.795885e-06,1.796594e-06,1.797942e-06,1.799016e-06,1.799539e-06,1.800662e-06,1.800700e-06,1.801444e-06,1.801581e-06,1.801794e-06,1.801822e-06,1.801767e-06,1.801427e-06,1.801384e-06,1.800662e-06,1.800441e-06,1.799620e-06,1.798902e-06,1.798274e-06,1.796850e-06,1.796640e-06,1.794733e-06,1.794321e-06,1.792570e-06,1.791348e-06,1.790164e-06,1.787965e-06,1.787529e-06,1.784678e-06,1.784203e-06,1.781624e-06,1.780090e-06,1.778379e-06,1.775654e-06,1.774955e-06,1.771363e-06,1.770921e-06,1.767613e-06,1.765916e-06,1.763717e-06,1.760663e-06,1.759682e-06,1.755520e-06,1.755182e-06,1.751239e-06,1.749495e-06,1.746848e-06,1.743622e-06,1.742354e-06,1.737766e-06,1.737581e-06,1.733091e-06,1.731388e-06,1.728337e-06,1.725062e-06,1.723509e-06,1.718616e-06,1.712065e-06,1.705424e-06,1.698704e-06,1.691918e-06,1.685076e-06,1.678190e-06,1.671269e-06,1.664322e-06,1.657358e-06,1.650386e-06,1.643411e-06,1.636442e-06,1.629485e-06,1.622546e-06,1.615631e-06,1.608744e-06,1.601891e-06,1.595076e-06,1.588303e-06,1.581576e-06,1.574899e-06,1.568274e-06,1.561704e-06,1.555193e-06
0.000000e+00,2.660833e-11,6.198056e-11,2.188078e-10,5.116078e-10,7.609147e-10,1.850060e-09,1.912344e-09,4.077609e-09,4.935418e-09,7.749330e-09,1.078317e-08,1.312953e-08,1.934696e-08,1.993380e-08,2.777152e-08,2.977452e-08,3.638116e-08,4.148002e-08,4.560969e-08,5.416272e-08,5.535707e-08,6.554302e-08,6.762616e-08,7.609150e-08,8.169431e-08,8.692484e-08,9.618638e-08,9.796286e-08,1.091240e-07,1.109157e-07,1.203275e-07,1.256973e-07,1.314958e-07,1.403565e-07,1.425568e-07,1.534451e-07,1.547373e-07,1.641030e-07,1.687064e-07,1.744810e-07,1.821556e-07,1.845382e-07,1.942425e-07,1.950028e-07,2.035689e-07,2.071893e-07,2.124992e-07,2.186770e-07,2.210217e-07,2.291300e-07,2.294457e-07,2.368224e-07,2.394898e-07,2.440997e-07,2.488136e-07,2.509669e-07,2.574313e-07,2.635022e-07,2.653635e-07,2.691903e-07,2.726354e-07,2.745077e-07,2.792754e-07,2.794670e-07,2.840815e-07,2.853135e-07,2.883646e-07,2.907811e-07,2.923301e-07,2.957098e-07,2.959919e-07,2.993633e-07,3.001308e-07,3.024580e-07,3.040750e-07,3.052890e-07,3.075723e-07,3.078691e-07,3.102109e-07,3.106517e-07,3.123263e-07,3.133407e-07,3.142270e-07,3.156659e-07,3.159243e-07,3.174290e-07,3.176525e-07,3.187515e-07,3.193245e-07,3.199017e-07,3.207044e-07,3.208893e-07,3.217234e-07,3.218136e-07,3.224128e-07,3.226724e-07,3.229657e-07,3.232997e-07,3.233903e-07,3.236940e-07,3.237133e-07,3.238842e-07,3.239300e-07,3.239678e-07,3.239656e-07,3.239513e-07,3.238411e-07,3.238348e-07,3.236431e-07,3.235514e-07,3.233630e-07,3.231283e-07,3.230061e-07,3.225776e-07,3.220824e-07,3.219106e-07,3.215250e-07,3.211377e-07,3.209098e-07,3.202688e-07,3.202411e-07,3.195227e-07,3.193131e-07,3.187583e-07,3.182791e-07,3.179515e-07,3.171746e-07,3.171056e-07,3.162238e-07,3.160072e-07,3.153092e-07,3.147836e-07,3.143644e-07,3.135103e-07,3.133923e-07,3.123953e-07,3.121931e-07,3.113758e-07,3.108375e-07,3.103361e-07,3.094487e-07,3.092783e-07,3.082045e-07,3.080313e-07,3.071165e-07,3.065897e-07,3.060161e-07,3.051280e-07,3.049050e-07,3.037847e-07,3.036498e-07,3.026569e-07,3.021586e-07,3.015228e-07,3.006575e-07,3.003838e-07,2.992411e-07,2.991496e-07,2.980959e-07,2.976374e-07,2.969493e-07,2.961235e-07,2.958023e-07,2.946559e-07,2.946100e-07,2.935109e-07,2.930992e-07,2.923681e-07,2.915928e-07,2.912285e-07,2.900926e-07,2.886002e-07,2.871170e-07,2.856444e-07,2.841834e-07,2.827352e-07,2.813008e-07,2.798809e-07,2.784764e-07,2.770879e-07,2.757160e-07,2.743613e-07,2.730243e-07,2.717052e-07,2.704045e-07,2.691225e-07,2.678593e-07,2.666152e-07,2.653904e-07,2.641848e-07,2.629986e-07,2.618319e-07,2.606846e-07,2.595567e-07,2.584483e-07
0.000000e+00,6.129634e-11,2.739919e-10,2.356584e-09,9.223253e-09,1.690062e-08,5.971954e-08,6.242474e-08,1.628131e-07,2.042992e-07,3.443937e-07,5.038709e-07,6.351184e-07,1.024512e-06,1.064722e-06,1.664471e-06,1.837188e-06,2.464726e-06,3.009765e-06,3.489156e-06,4.584473e-06,4.747813e-06,6.234360e-06,6.557479e-06,7.929590e-06,8.885181e-06,9.807932e-06,1.150767e-05,1.184268e-05,1.400863e-05,1.436579e-05,1.628270e-05,1.740638e-05,1.864371e-05,2.058175e-05,2.107184e-05,2.354841e-05,2.384800e-05,2.605572e-05,2.716434e-05,2.857709e-05,3.049310e-05,3.109694e-05,3.360093e-05,3.380016e-05,3.607608e-05,3.705543e-05,3.851084e-05,4.023316e-05,4.089515e-05,4.322037e-05,4.331205e-05,4.547931e-05,4.627514e-05,4.766611e-05,4.910951e-05,4.977614e-05,5.180591e-05,5.375296e-05,5.435826e-05,5.561568e-05,5.676315e-05,5.739325e-05,5.901946e-05,5.908552e-05,6.069293e-05,6.112791e-05,6.221637e-05,6.309064e-05,6.365711e-05,6.491094e-05,6.501678e-05,6.629724e-05,6.659299e-05,6.750056e-05,6.814154e-05,6.862895e-05,6.956182e-05,6.968476e-05,7.067040e-05,7.085932e-05,7.158834e-05,7.203974e-05,7.244107e-05,7.310880e-05,7.323109e-05,7.396088e-05,7.407221e-05,7.463287e-05,7.493561e-05,7.524950e-05,7.570453e-05,7.581313e-05,7.632610e-05,7.638436e-05,7.679068e-05,7.698033e-05,7.720907e-05,7.749747e-05,7.758341e-05,7.791577e-05,7.794061e-05,7.820818e-05,7.831440e-05,7.846259e-05,7.862329e-05,7.868088e-05,7.886487e-05,7.887154e-05,7.901632e-05,7.906320e-05,7.913691e-05,7.920212e-05,7.922827e-05,7.929195e-05,7.932947e-05,7.933618e-05,7.934226e-05,7.933811e-05,7.933171e-05,7.930085e-05,7.929914e-05,7.924583e-05,7.922735e-05,7.917299e-05,7.912040e-05,7.908179e-05,7.898264e-05,7.897335e-05,7.884874e-05,7.881654e-05,7.870897e-05,7.862445e-05,7.855503e-05,7.840857e-05,7.838784e-05,7.820829e-05,7.817098e-05,7.801724e-05,7.791362e-05,7.781550e-05,7.763833e-05,7.760383e-05,7.738297e-05,7.734683e-05,7.715362e-05,7.704072e-05,7.691646e-05,7.672153e-05,7.667211e-05,7.642118e-05,7.639066e-05,7.616425e-05,7.604944e-05,7.590186e-05,7.569912e-05,7.563453e-05,7.536276e-05,7.534084e-05,7.508700e-05,7.497568e-05,7.480771e-05,7.460467e-05,7.452530e-05,7.424017e-05,7.422872e-05,7.395271e-05,7.384872e-05,7.366326e-05,7.346547e-05,7.337216e-05,7.307973e-05,7.269221e-05,7.230353e-05,7.191432e-05,7.152511e-05,7.113643e-05,7.074873e-05,7.036246e-05,6.997801e-05,6.959575e-05,6.921601e-05,6.883909e-05,6.846526e-05,6.809478e-05,6.772788e-05,6.736475e-05,6.700558e-05,6.665053e-05,6.629975e-05,6.595335e-05,6.561146e-05,6.527417e-05,6.494156e-05,6.461370e-05,6.429065e-05
0.000000e+00,2.129908e-11,9.580634e-11,8.329414e-10,3.283244e-09,6.033114e-09,2.139747e-08,2.236770e-08,5.825024e-08,7.300148e-08,1.224839e-07,1.782368e-07,2.237053e-07,3.566913e-07,3.702778e-07,5.701880e-07,6.269172e-07,8.304095e-07,1.004278e-06,1.155320e-06,1.494729e-06,1.544727e-06,1.993173e-06,2.089166e-06,2.491310e-06,2.766367e-06,3.028244e-06,3.501448e-06,3.593351e-06,4.177122e-06,4.271690e-06,4.771312e-06,5.058089e-06,5.368773e-06,5.844876e-06,5.963264e-06,6.549327e-06,6.618855e-06,7.122217e-06,7.369047e-06,7.677886e-06,8.086584e-06,8.212973e-06,8.724800e-06,8.764676e-06,9.211343e-06,9.398547e-06,9.671198e-06,9.985275e-06,1.010352e-05,1.050798e-05,1.052358e-05,1.088465e-05,1.101353e-05,1.123399e-05,1.145629e-05,1.155672e-05,1.185381e-05,1.212638e-05,1.220862e-05,1.237566e-05,1.252357e-05,1.260295e-05,1.280171e-05,1.280960e-05,1.299694e-05,1.304611e-05,1.316629e-05,1.325980e-05,1.331894e-05,1.344568e-05,1.345612e-05,1.357900e-05,1.360649e-05,1.368870e-05,1.374476e-05,1.378625e-05,1.386283e-05,1.387264e-05,1.394875e-05,1.396282e-05,1.401544e-05,1.404665e-05,1.407347e-05,1.411606e-05,1.412357e-05,1.416637e-05,1.417259e-05,1.420250e-05,1.421763e-05,1.423250e-05,1.425244e-05,1.425688e-05,1.427611e-05,1.427809e-05,1.429061e-05,1.429559e-05,1.430076e-05,1.430580e-05,1.430694e-05,1.430946e-05,1.430951e-05,1.430862e-05,1.430741e-05,1.430470e-05,1.430012e-05,1.429796e-05,1.428862e-05,1.428819e-05,1.427689e-05,1.427212e-05,1.426297e-05,1.425235e-05,1.424705e-05,1.422928e-05,1.420983e-05,1.420327e-05,1.418882e-05,1.417463e-05,1.416641e-05,1.414366e-05,1.414269e-05,1.411779e-05,1.411062e-05,1.409181e-05,1.407574e-05,1.406484e-05,1.403924e-05,1.403698e-05,1.400830e-05,1.400131e-05,1.397889e-05,1.396213e-05,1.394882e-05,1.392186e-05,1.391815e-05,1.388694e-05,1.388064e-05,1.385526e-05,1.383861e-05,1.382315e-05,1.379589e-05,1.379067e-05,1.375787e-05,1.375260e-05,1.372479e-05,1.370882e-05,1.369147e-05,1.366466e-05,1.365795e-05,1.362426e-05,1.362021e-05,1.359044e-05,1.357553e-05,1.355653e-05,1.353070e-05,1.352254e-05,1.348852e-05,1.348579e-05,1.345447e-05,1.344086e-05,1.342044e-05,1.339595e-05,1.338644e-05,1.335249e-05,1.335113e-05,1.331861e-05,1.330644e-05,1.328483e-05,1.326191e-05,1.325115e-05,1.321760e-05,1.317352e-05,1.312973e-05,1.308624e-05,1.304308e-05,1.300027e-05,1.295785e-05,1.291582e-05,1.287421e-05,1.283303e-05,1.279230e-05,1.275202e-05,1.271222e-05,1.267290e-05,1.263406e-05,1.259573e-05,1.255790e-05,1.252057e-05,1.248376e-05,1.244747e-05,1.241170e-05,1.237645e-05,1.234173e-05,1.230752e-05,1.227385e-05
0.000000e+00,6.274957e-11,1.613734e-10,6.242593e-10,1.493490e-09,2.216428e-09,5.161149e-09,5.320104e-09,1.039558e-08,1.223281e-08,1.790503e-08,2.377293e-08,2.831305e-08,4.081963e-08,4.204941e-08,5.941108e-08,6.412593e-08,8.039551e-08,9.358074e-08,1.045555e-07,1.277953e-07,1.310707e-07,1.590347e-07,1.647309e-07,1.876880e-07,2.026667e-07,2.164689e-07,2.404440e-07,2.449727e-07,2.729023e-07,2.773020e-07,3.000345e-07,3.127238e-07,3.262019e-07,3.463576e-07,3.512821e-07,3.751906e-07,3.779781e-07,3.978751e-07,4.074614e-07,4.193112e-07,4.347657e-07,4.394969e-07,4.584483e-07,4.599120e-07,4.761961e-07,4.829671e-07,4.927813e-07,5.040297e-07,5.082522e-07,5.226624e-07,5.232175e-07,5.360677e-07,5.406587e-07,5.485255e-07,5.564847e-07,5.600927e-07,5.708254e-07,5.807773e-07,5.838055e-07,5.899999e-07,5.955422e-07,5.985420e-07,6.061455e-07,6.064502e-07,6.137679e-07,6.157166e-07,6.205358e-07,6.243485e-07,6.267918e-07,6.321259e-07,6.325715e-07,6.379078e-07,6.391260e-07,6.428314e-07,6.454190e-07,6.473707e-07,6.510686e-07,6.515524e-07,6.554005e-07,6.561321e-07,6.589373e-07,6.606604e-07,6.621835e-07,6.646999e-07,6.651584e-07,6.678796e-07,6.682926e-07,6.703639e-07,6.714766e-07,6.726263e-07,6.742861e-07,6.746811e-07,6.765412e-07,6.767520e-07,6.782190e-07,6.789024e-07,6.797257e-07,6.807630e-07,6.810720e-07,6.822675e-07,6.823569e-07,6.833214e-07,6.837052e-07,6.842422e-07,6.848272e-07,6.850378e-07,6.857156e-07,6.857403e-07,6.862825e-07,6.864608e-07,6.867451e-07,6.870032e-07,6.871094e-07,6.873810e-07,6.875653e-07,6.876067e-07,6.876673e-07,6.876915e-07,6.876916e-07,6.876461e-07,6.876427e-07,6.875248e-07,6.874799e-07,6.873416e-07,6.872020e-07,6.870970e-07,6.868205e-07,6.867943e-07,6.864368e-07,6.863433e-07,6.860278e-07,6.857772e-07,6.855699e-07,6.851290e-07,6.850662e-07,6.845190e-07,6.844046e-07,6.839311e-07,6.836099e-07,6.833045e-07,6.827502e-07,6.826418e-07,6.819448e-07,6.818303e-07,6.812157e-07,6.808549e-07,6.804563e-07,6.798283e-07,6.796685e-07,6.788541e-07,6.787546e-07,6.780145e-07,6.776376e-07,6.771514e-07,6.764807e-07,6.762664e-07,6.753607e-07,6.752874e-07,6.744358e-07,6.740607e-07,6.734929e-07,6.728036e-07,6.725333e-07,6.715581e-07,6.715188e-07,6.705685e-07,6.702089e-07,6.695655e-07,6.688763e-07,6.685501e-07,6.675234e-07,6.661521e-07,6.647647e-07,6.633629e-07,6.619486e-07,6.605235e-07,6.590891e-07,6.576470e-07,6.561985e-07,6.547450e-07,6.532877e-07,6.518278e-07,6.503665e-07,6.489047e-07,6.474434e-07,6.459836e-07,6.445262e-07,6.430718e-07,6.416214e-07,6.401756e-07,6.387352e-07,6.373006e-07,6.358726e-07,6.344517e-07,6.330384e-07
0.000000e+00,1.847193e-12,9.298468e-12,1.013251e-10,4.862481e-10,9.916816e-10,4.546549e-09,4.800729e-09,1.582636e-08,2.107983e-08,4.097380e-08,6.674377e-08,8.989768e-08,1.664643e-07,1.749295e-07,3.108716e-07,3.529177e-07,5.146883e-07,6.653773e-07,8.050345e-07,1.147643e-06,1.201462e-06,1.723140e-06,1.844065e-06,2.387131e-06,2.793211e-06,3.206570e-06,4.020867e-06,4.189193e-06,5.336576e-06,5.535221e-06,6.644097e-06,7.325770e-06,8.101508e-06,9.365461e-06,9.693891e-06,1.140279e-05,1.161472e-05,1.320738e-05,1.402603e-05,1.508551e-05,1.654821e-05,1.701466e-05,1.897271e-05,1.912996e-05,2.093853e-05,2.172258e-05,2.289246e-05,2.428179e-05,2.481659e-05,2.669504e-05,2.676903e-05,2.851403e-05,2.915200e-05,3.026191e-05,3.140492e-05,3.192918e-05,3.350838e-05,3.499397e-05,3.544893e-05,3.638221e-05,3.721855e-05,3.767097e-05,3.881395e-05,3.885957e-05,3.994860e-05,4.023589e-05,4.093972e-05,4.148843e-05,4.183549e-05,4.257822e-05,4.263921e-05,4.335476e-05,4.351384e-05,4.398643e-05,4.430523e-05,4.453882e-05,4.496315e-05,4.501673e-05,4.542504e-05,4.549877e-05,4.576862e-05,4.592330e-05,4.605229e-05,4.624773e-05,4.628076e-05,4.645856e-05,4.648260e-05,4.659002e-05,4.663787e-05,4.667924e-05,4.672281e-05,4.673009e-05,4.674620e-05,4.674596e-05,4.673095e-05,4.671511e-05,4.668746e-05,4.663732e-05,4.661863e-05,4.652712e-05,4.651890e-05,4.641536e-05,4.636549e-05,4.628557e-05,4.618210e-05,4.613978e-05,4.597981e-05,4.597314e-05,4.580735e-05,4.574249e-05,4.562389e-05,4.549357e-05,4.543082e-05,4.522935e-05,4.502061e-05,4.495244e-05,4.480558e-05,4.466509e-05,4.458518e-05,4.436929e-05,4.436022e-05,4.413142e-05,4.406676e-05,4.389945e-05,4.375899e-05,4.366489e-05,4.344728e-05,4.342829e-05,4.319011e-05,4.313276e-05,4.295079e-05,4.281641e-05,4.271071e-05,4.249911e-05,4.247024e-05,4.222967e-05,4.218158e-05,4.198931e-05,4.186449e-05,4.174940e-05,4.154840e-05,4.151018e-05,4.127184e-05,4.123381e-05,4.103459e-05,4.092114e-05,4.079859e-05,4.061078e-05,4.056398e-05,4.033090e-05,4.030304e-05,4.009948e-05,3.999821e-05,3.986983e-05,3.969653e-05,3.964204e-05,3.941620e-05,3.939822e-05,3.919239e-05,3.910345e-05,3.897068e-05,3.881238e-05,3.875113e-05,3.853379e-05,3.852514e-05,3.831871e-05,3.824185e-05,3.810594e-05,3.796259e-05,3.789550e-05,3.768744e-05,3.741646e-05,3.714970e-05,3.688719e-05,3.662896e-05,3.637502e-05,3.612538e-05,3.588003e-05,3.563898e-05,3.540219e-05,3.516966e-05,3.494135e-05,3.471723e-05,3.449728e-05,3.428145e-05,3.406970e-05,3.386199e-05,3.365827e-05,3.345849e-05,3.326261e-05,3.307056e-05,3.288230e-05,3.269777e-05,3.251692e-05,3.233968e-05
0.000000e+00,3.273325e-11,7.564716e-11,2.625625e-10,5.996266e-10,8.758677e-10,1.990230e-09,2.050181e-09,3.962503e-09,4.654923e-09,6.795761e-09,9.016485e-09,1.073929e-08,1.550682e-08,1.597739e-08,2.265717e-08,2.448361e-08,3.083156e-08,3.603298e-08,4.040533e-08,4.980495e-08,5.114593e-08,6.276605e-08,6.517145e-08,7.500064e-08,8.153179e-08,8.763349e-08,9.842586e-08,1.004924e-07,1.134375e-07,1.155087e-07,1.263526e-07,1.325119e-07,1.391401e-07,1.492228e-07,1.517182e-07,1.640194e-07,1.654742e-07,1.759889e-07,1.811389e-07,1.875836e-07,1.961245e-07,1.987709e-07,2.095272e-07,2.103686e-07,2.198371e-07,2.238338e-07,2.296915e-07,2.365024e-07,2.390867e-07,2.480240e-07,2.483720e-07,2.565079e-07,2.594524e-07,2.645457e-07,2.697616e-07,2.721473e-07,2.793240e-07,2.860885e-07,2.881682e-07,2.924543e-07,2.963256e-07,2.984355e-07,3.038292e-07,3.040468e-07,3.093030e-07,3.107130e-07,3.142186e-07,3.170106e-07,3.188082e-07,3.227548e-07,3.230859e-07,3.270658e-07,3.279781e-07,3.307615e-07,3.327119e-07,3.341863e-07,3.369862e-07,3.373530e-07,3.402740e-07,3.408298e-07,3.429615e-07,3.442705e-07,3.454269e-07,3.473345e-07,3.476815e-07,3.497360e-07,3.500469e-07,3.516008e-07,3.524315e-07,3.532858e-07,3.545107e-07,3.548004e-07,3.561539e-07,3.563059e-07,3.573548e-07,3.578371e-07,3.584116e-07,3.591233e-07,3.593322e-07,3.601243e-07,3.601823e-07,3.607950e-07,3.610310e-07,3.613515e-07,3.616851e-07,3.618002e-07,3.621476e-07,3.621595e-07,3.623996e-07,3.624681e-07,3.625621e-07,3.626241e-07,3.626404e-07,3.626397e-07,3.625651e-07,3.625264e-07,3.624212e-07,3.622949e-07,3.622126e-07,3.619553e-07,3.619435e-07,3.616179e-07,3.615171e-07,3.612397e-07,3.609890e-07,3.608125e-07,3.603793e-07,3.603399e-07,3.598251e-07,3.596956e-07,3.592712e-07,3.589450e-07,3.586812e-07,3.581344e-07,3.580579e-07,3.574040e-07,3.572698e-07,3.567220e-07,3.563570e-07,3.560142e-07,3.554015e-07,3.552830e-07,3.545305e-07,3.544082e-07,3.537586e-07,3.533819e-07,3.529694e-07,3.523267e-07,3.521646e-07,3.513459e-07,3.512468e-07,3.505149e-07,3.501457e-07,3.496731e-07,3.490271e-07,3.488220e-07,3.479630e-07,3.478939e-07,3.470972e-07,3.467493e-07,3.462259e-07,3.455958e-07,3.453502e-07,3.444712e-07,3.444360e-07,3.435899e-07,3.432722e-07,3.427071e-07,3.421065e-07,3.418239e-07,3.409409e-07,3.397770e-07,3.386167e-07,3.374613e-07,3.363122e-07,3.351707e-07,3.340379e-07,3.329149e-07,3.318024e-07,3.307014e-07,3.296126e-07,3.285367e-07,3.274742e-07,3.264257e-07,3.253917e-07,3.243724e-07,3.233683e-07,3.223797e-07,3.214067e-07,3.204496e-07,3.195086e-07,3.185837e-07,3.176751e-07,3.167828e-07,3.159069e-07
0.000000e+00,3.448492e-11,1.772940e-10,2.019698e-09,1.010006e-08,2.107616e-08,1.026181e-07,1.086235e-07,3.806258e-07,5.155531e-07,1.045645e-06,1.763496e-06,2.430024e-06,4.736479e-06,4.999208e-06,9.374661e-06,1.077754e-05,1.634456e-05,2.173033e-05,2.686362e-05,3.993069e-05,4.203678e-05,6.308597e-05,6.811413e-05,9.130580e-05,1.092522e-04,1.280153e-04,1.663627e-04,1.745116e-04,2.320283e-04,2.423311e-04,3.016996e-04,3.397600e-04,3.845311e-04,4.608505e-04,4.813759e-04,5.929173e-04,6.073155e-04,7.196557e-04,7.803221e-04,8.619021e-04,9.804609e-04,1.019775e-03,1.193202e-03,1.207742e-03,1.381927e-03,1.461610e-03,1.585519e-03,1.740983e-03,1.803383e-03,2.034779e-03,2.044305e-03,2.278835e-03,2.369609e-03,2.534568e-03,2.714591e-03,2.800903e-03,3.076689e-03,3.360724e-03,3.453156e-03,3.651770e-03,3.841140e-03,3.948572e-03,4.237750e-03,4.249873e-03,4.554430e-03,4.640123e-03,4.861027e-03,5.045472e-03,5.168486e-03,5.451139e-03,5.475680e-03,5.781535e-03,5.854627e-03,6.085042e-03,6.253628e-03,6.385261e-03,6.646041e-03,6.681322e-03,6.972428e-03,7.029989e-03,7.257857e-03,7.403818e-03,7.536961e-03,7.766100e-03,7.809168e-03,8.073973e-03,8.115626e-03,8.330945e-03,8.451398e-03,8.579715e-03,8.772620e-03,8.819980e-03,9.051496e-03,9.078680e-03,9.274072e-03,9.369137e-03,9.487573e-03,9.643708e-03,9.691910e-03,9.887036e-03,9.902248e-03,1.007295e-02,1.014474e-02,1.024967e-02,1.037126e-02,1.041728e-02,1.057586e-02,1.058201e-02,1.072552e-02,1.077725e-02,1.086642e-02,1.095731e-02,1.099871e-02,1.112258e-02,1.123820e-02,1.127350e-02,1.134580e-02,1.141054e-02,1.144558e-02,1.153422e-02,1.153776e-02,1.162258e-02,1.164505e-02,1.170027e-02,1.174357e-02,1.177107e-02,1.183032e-02,1.183522e-02,1.189295e-02,1.190587e-02,1.194450e-02,1.197076e-02,1.199012e-02,1.202554e-02,1.203004e-02,1.206449e-02,1.207075e-02,1.209371e-02,1.210691e-02,1.211792e-02,1.213455e-02,1.213734e-02,1.215220e-02,1.215416e-02,1.216270e-02,1.216625e-02,1.216904e-02,1.217127e-02,1.217145e-02,1.217010e-02,1.216969e-02,1.216519e-02,1.216195e-02,1.215691e-02,1.214847e-02,1.214543e-02,1.213093e-02,1.212965e-02,1.211358e-02,1.210588e-02,1.209354e-02,1.207753e-02,1.207097e-02,1.204600e-02,1.204496e-02,1.201880e-02,1.200849e-02,1.198950e-02,1.196845e-02,1.195824e-02,1.192514e-02,1.187884e-02,1.182982e-02,1.177835e-02,1.172466e-02,1.166899e-02,1.161154e-02,1.155252e-02,1.149212e-02,1.143052e-02,1.136789e-02,1.130437e-02,1.124013e-02,1.117529e-02,1.110998e-02,1.104432e-02,1.097843e-02,1.091240e-02,1.084634e-02,1.078032e-02,1.071444e-02,1.064876e-02,1.058336e-02,1.051830e-02,1.045364e-02
0.000000e+00,4.329681e-11,1.001831e-10,3.491082e-10,8.016779e-10,1.175610e-09,2.707969e-09,2.791409e-09,5.500655e-09,6.502715e-09,9.664070e-09,1.303441e-08,1.570610e-08,2.332352e-08,2.409126e-08,3.524101e-08,3.835972e-08,4.937815e-08,5.857013e-08,6.638349e-08,8.338308e-08,8.582693e-08,1.071631e-07,1.116123e-07,1.299000e-07,1.421447e-07,1.536517e-07,1.741700e-07,1.781237e-07,2.030831e-07,2.071084e-07,2.283354e-07,2.405100e-07,2.537109e-07,2.739972e-07,2.790573e-07,3.042363e-07,3.072404e-07,3.291231e-07,3.399515e-07,3.536061e-07,3.718823e-07,3.775873e-07,4.009819e-07,4.028259e-07,4.237187e-07,4.326156e-07,4.457390e-07,4.611235e-07,4.669964e-07,4.874556e-07,4.882570e-07,5.070911e-07,5.139547e-07,5.258858e-07,5.381811e-07,5.438308e-07,5.609242e-07,5.771691e-07,5.821894e-07,5.925733e-07,6.019961e-07,6.071487e-07,6.203756e-07,6.209107e-07,6.338768e-07,6.373673e-07,6.460666e-07,6.530166e-07,6.575013e-07,6.673735e-07,6.682032e-07,6.781956e-07,6.804908e-07,6.875021e-07,6.924231e-07,6.961468e-07,7.032260e-07,7.041539e-07,7.115473e-07,7.129543e-07,7.183503e-07,7.216623e-07,7.245862e-07,7.294030e-07,7.302780e-07,7.354482e-07,7.362285e-07,7.401188e-07,7.421896e-07,7.443114e-07,7.473351e-07,7.480466e-07,7.513448e-07,7.517121e-07,7.542257e-07,7.553660e-07,7.567083e-07,7.583402e-07,7.588113e-07,7.605525e-07,7.606766e-07,7.619491e-07,7.624151e-07,7.630180e-07,7.635937e-07,7.637751e-07,7.642361e-07,7.642486e-07,7.644160e-07,7.644147e-07,7.643290e-07,7.641247e-07,7.639892e-07,7.634099e-07,7.626039e-07,7.623002e-07,7.615836e-07,7.608236e-07,7.603608e-07,7.590069e-07,7.589468e-07,7.573527e-07,7.568755e-07,7.555888e-07,7.544532e-07,7.536652e-07,7.517628e-07,7.515916e-07,7.493771e-07,7.488256e-07,7.470306e-07,7.456620e-07,7.445605e-07,7.422910e-07,7.419749e-07,7.392816e-07,7.387306e-07,7.364879e-07,7.349978e-07,7.336009e-07,7.311086e-07,7.306273e-07,7.275737e-07,7.270781e-07,7.244461e-07,7.229204e-07,7.212505e-07,7.186487e-07,7.179924e-07,7.146771e-07,7.142757e-07,7.113099e-07,7.098130e-07,7.078954e-07,7.052717e-07,7.044384e-07,7.009432e-07,7.006620e-07,6.974140e-07,6.959937e-07,6.938547e-07,6.912756e-07,6.902693e-07,6.866611e-07,6.865164e-07,6.830338e-07,6.817238e-07,6.793904e-07,6.769053e-07,6.757340e-07,6.720676e-07,6.672172e-07,6.623601e-07,6.575016e-07,6.526471e-07,6.478011e-07,6.429681e-07,6.381522e-07,6.333571e-07,6.285862e-07,6.238427e-07,6.191296e-07,6.144494e-07,6.098046e-07,6.051974e-07,6.006298e-07,5.961036e-07,5.916205e-07,5.871819e-07,5.827890e-07,5.784431e-07,5.741452e-07,5.698961e-07,5.656967e-07,5.615475e-07
0.000000e+00,5.540782e-11,1.410033e-10,5.422337e-10,1.299494e-09,1.932618e-09,4.531536e-09,4.672496e-09,9.195997e-09,1.084147e-08,1.594036e-08,2.123975e-08,2.535603e-08,3.677504e-08,3.790510e-08,5.403633e-08,5.848501e-08,7.411958e-08,8.717060e-08,9.833362e-08,1.229708e-07,1.265577e-07,1.583721e-07,1.651153e-07,1.931924e-07,2.122870e-07,2.304234e-07,2.631716e-07,2.695369e-07,3.100844e-07,3.166786e-07,3.516814e-07,3.719205e-07,3.939918e-07,4.281521e-07,4.367172e-07,4.795904e-07,4.847335e-07,5.223730e-07,5.411134e-07,5.648542e-07,5.968239e-07,6.068496e-07,6.482006e-07,6.514767e-07,6.887736e-07,7.047593e-07,7.284574e-07,7.564278e-07,7.671620e-07,8.048176e-07,8.063012e-07,8.413702e-07,8.542511e-07,8.767806e-07,9.001936e-07,9.110230e-07,9.440825e-07,9.759535e-07,9.859015e-07,1.006638e-06,1.025658e-06,1.036146e-06,1.063378e-06,1.064490e-06,1.091688e-06,1.099102e-06,1.117763e-06,1.132879e-06,1.142739e-06,1.164769e-06,1.166642e-06,1.189501e-06,1.194834e-06,1.211343e-06,1.223141e-06,1.232198e-06,1.249758e-06,1.252096e-06,1.271068e-06,1.274754e-06,1.289143e-06,1.298197e-06,1.306351e-06,1.320157e-06,1.322721e-06,1.338282e-06,1.340699e-06,1.353063e-06,1.359889e-06,1.367092e-06,1.377791e-06,1.380395e-06,1.393000e-06,1.394467e-06,1.404932e-06,1.409976e-06,1.416216e-06,1.424375e-06,1.426878e-06,1.436940e-06,1.437719e-06,1.446425e-06,1.450063e-06,1.455356e-06,1.461456e-06,1.463755e-06,1.471643e-06,1.471948e-06,1.479039e-06,1.481585e-06,1.485963e-06,1.490412e-06,1.492435e-06,1.498472e-06,1.504091e-06,1.505805e-06,1.509311e-06,1.512450e-06,1.514148e-06,1.518444e-06,1.518616e-06,1.522732e-06,1.523823e-06,1.526510e-06,1.528620e-06,1.529964e-06,1.532868e-06,1.533108e-06,1.535956e-06,1.536596e-06,1.538519e-06,1.539835e-06,1.540810e-06,1.542610e-06,1.542841e-06,1.544622e-06,1.544950e-06,1.546166e-06,1.546877e-06,1.547481e-06,1.548418e-06,1.548579e-06,1.549469e-06,1.549593e-06,1.550161e-06,1.550424e-06,1.550662e-06,1.550933e-06,1.550983e-06,1.551130e-06,1.551137e-06,1.551113e-06,1.551055e-06,1.550939e-06,1.550706e-06,1.550614e-06,1.550147e-06,1.550104e-06,1.549544e-06,1.549266e-06,1.548812e-06,1.548208e-06,1.547956e-06,1.546983e-06,1.546942e-06,1.545899e-06,1.545482e-06,1.544709e-06,1.543842e-06,1.543418e-06,1.542032e-06,1.540065e-06,1.537952e-06,1.535702e-06,1.533325e-06,1.530831e-06,1.528228e-06,1.525524e-06,1.522728e-06,1.519847e-06,1.516887e-06,1.513856e-06,1.510760e-06,1.507605e-06,1.504396e-06,1.501138e-06,1.497837e-06,1.494498e-06,1.491125e-06,1.487722e-06,1.484294e-06,1.480843e-06,1.477374e-06,1.473891e-06,1.470395e-06
0.000000e+00,2.099027e-10,6.266925e-10,2.880945e-09,7.521238e-09,1.155285e-08,2.871918e-08,2.966813e-08,6.070051e-08,7.220353e-08,1.083890e-07,1.467152e-07,1.769058e-07,2.621492e-07,2.706777e-07,3.933601e-07,4.273090e-07,5.461812e-07,6.443993e-07,7.275181e-07,9.082958e-07,9.343612e-07,1.163738e-06,1.212089e-06,1.413138e-06,1.550014e-06,1.680403e-06,1.917246e-06,1.963531e-06,2.260548e-06,2.309225e-06,2.569434e-06,2.721307e-06,2.888113e-06,3.148684e-06,3.214466e-06,3.546358e-06,3.586457e-06,3.881681e-06,4.029779e-06,4.218386e-06,4.474002e-06,4.554524e-06,4.888271e-06,4.914817e-06,5.217957e-06,5.348351e-06,5.542074e-06,5.771235e-06,5.859290e-06,6.168453e-06,6.180637e-06,6.468582e-06,6.574257e-06,6.758871e-06,6.950308e-06,7.038669e-06,7.307477e-06,7.564928e-06,7.644869e-06,7.810771e-06,7.961952e-06,8.044870e-06,8.258513e-06,8.267179e-06,8.477736e-06,8.534599e-06,8.676647e-06,8.790469e-06,8.864075e-06,9.026551e-06,9.040235e-06,9.205379e-06,9.243406e-06,9.359792e-06,9.441690e-06,9.503782e-06,9.622133e-06,9.637678e-06,9.761823e-06,9.785512e-06,9.876566e-06,9.932636e-06,9.982266e-06,1.006433e-05,1.007928e-05,1.016797e-05,1.018141e-05,1.024869e-05,1.028470e-05,1.032178e-05,1.037500e-05,1.038760e-05,1.044647e-05,1.045309e-05,1.049874e-05,1.051973e-05,1.054472e-05,1.057565e-05,1.058472e-05,1.061904e-05,1.062155e-05,1.064798e-05,1.065811e-05,1.067182e-05,1.068597e-05,1.069082e-05,1.070526e-05,1.070574e-05,1.071537e-05,1.071800e-05,1.072141e-05,1.072331e-05,1.072361e-05,1.072219e-05,1.071736e-05,1.071513e-05,1.070933e-05,1.070259e-05,1.069829e-05,1.068503e-05,1.068443e-05,1.066792e-05,1.066285e-05,1.064895e-05,1.063645e-05,1.062767e-05,1.060619e-05,1.060424e-05,1.057880e-05,1.057241e-05,1.055150e-05,1.053545e-05,1.052247e-05,1.049560e-05,1.049184e-05,1.045973e-05,1.045314e-05,1.042626e-05,1.040835e-05,1.039153e-05,1.036147e-05,1.035565e-05,1.031873e-05,1.031273e-05,1.028084e-05,1.026235e-05,1.024210e-05,1.021053e-05,1.020256e-05,1.016233e-05,1.015746e-05,1.012147e-05,1.010332e-05,1.008006e-05,1.004826e-05,1.003816e-05,9.995840e-06,9.992438e-06,9.953157e-06,9.935996e-06,9.910170e-06,9.879061e-06,9.866933e-06,9.823496e-06,9.821755e-06,9.779907e-06,9.764187e-06,9.736212e-06,9.706460e-06,9.692453e-06,9.648670e-06,9.590902e-06,9.533236e-06,9.475747e-06,9.418500e-06,9.361557e-06,9.304974e-06,9.248801e-06,9.193086e-06,9.137868e-06,9.083185e-06,9.029072e-06,8.975557e-06,8.922669e-06,8.870429e-06,8.818860e-06,8.767978e-06,8.717800e-06,8.668338e-06,8.619603e-06,8.571605e-06,8.524350e-06,8.477844e-06,8.432091e-06,8.387093e-06
0.000000e+00,7.333262e-11,2.430364e-10,1.278842e-09,3.591587e-09,5.684045e-09,1.502371e-08,1.555483e-08,3.355031e-08,4.048599e-08,6.307666e-08,8.810003e-08,1.084825e-07,1.685951e-07,1.747846e-07,2.664707e-07,2.925395e-07,3.853372e-07,4.630158e-07,5.289061e-07,6.711484e-07,6.914362e-07,8.665859e-07,9.026476e-07,1.049184e-06,1.145803e-06,1.235542e-06,1.393106e-06,1.423120e-06,1.610129e-06,1.639905e-06,1.795252e-06,1.883138e-06,1.977485e-06,2.120656e-06,2.156042e-06,2.330306e-06,2.350906e-06,2.499803e-06,2.572776e-06,2.664175e-06,2.785509e-06,2.823166e-06,2.976610e-06,2.988642e-06,3.124412e-06,3.181945e-06,3.266544e-06,3.365379e-06,3.403028e-06,3.533924e-06,3.539045e-06,3.659327e-06,3.703150e-06,3.779357e-06,3.857977e-06,3.894150e-06,4.003858e-06,4.108641e-06,4.141158e-06,4.208664e-06,4.270258e-06,4.304096e-06,4.391548e-06,4.395105e-06,4.481862e-06,4.505414e-06,4.564531e-06,4.612239e-06,4.643277e-06,4.712395e-06,4.718259e-06,4.789632e-06,4.806241e-06,4.857547e-06,4.894123e-06,4.922150e-06,4.976372e-06,4.983581e-06,5.041976e-06,5.053303e-06,5.097466e-06,5.125215e-06,5.150177e-06,5.192394e-06,5.200229e-06,5.247737e-06,5.255110e-06,5.292814e-06,5.313618e-06,5.335565e-06,5.368159e-06,5.376091e-06,5.414492e-06,5.418962e-06,5.450860e-06,5.466241e-06,5.485284e-06,5.510199e-06,5.517850e-06,5.548640e-06,5.551029e-06,5.577732e-06,5.588910e-06,5.605200e-06,5.624012e-06,5.631116e-06,5.655548e-06,5.656495e-06,5.678561e-06,5.686511e-06,5.700218e-06,5.714200e-06,5.720578e-06,5.739697e-06,5.757631e-06,5.763128e-06,5.774431e-06,5.784610e-06,5.790146e-06,5.804256e-06,5.804824e-06,5.818511e-06,5.822171e-06,5.831248e-06,5.838453e-06,5.843079e-06,5.853196e-06,5.854042e-06,5.864175e-06,5.866487e-06,5.873514e-06,5.878409e-06,5.882093e-06,5.889041e-06,5.889946e-06,5.897103e-06,5.898454e-06,5.903596e-06,5.906719e-06,5.909453e-06,5.913901e-06,5.914701e-06,5.919367e-06,5.920062e-06,5.923476e-06,5.925258e-06,5.927053e-06,5.929546e-06,5.930119e-06,5.932698e-06,5.932976e-06,5.934810e-06,5.935597e-06,5.936476e-06,5.937456e-06,5.937716e-06,5.938547e-06,5.938596e-06,5.938987e-06,5.939058e-06,5.939055e-06,5.938881e-06,5.938765e-06,5.938133e-06,5.938101e-06,5.937175e-06,5.936753e-06,5.935905e-06,5.934871e-06,5.934337e-06,5.932484e-06,5.929623e-06,5.926315e-06,5.922586e-06,5.918462e-06,5.913966e-06,5.909120e-06,5.903946e-06,5.898464e-06,5.892692e-06,5.886650e-06,5.880353e-06,5.873820e-06,5.867063e-06,5.860100e-06,5.852943e-06,5.845606e-06,5.838101e-06,5.830441e-06,5.822636e-06,5.814698e-06,5.806637e-06,5.798463e-06,5.790185e-06,5.781812e-06
0.000000e+00,1.016917e-11,2.322827e-11,7.909808e-11,1.778051e-10,2.574528e-10,5.710741e-10,5.876629e-10,1.105097e-09,1.287648e-09,1.838969e-09,2.393219e-09,2.812848e-09,3.936224e-09,4.044560e-09,5.545160e-09,5.945766e-09,7.316539e-09,8.423354e-09,9.347791e-09,1.132948e-08,1.161228e-08,1.406893e-08,1.457904e-08,1.666849e-08,1.806004e-08,1.936106e-08,2.166096e-08,2.210075e-08,2.484731e-08,2.528501e-08,2.756612e-08,2.885248e-08,3.022782e-08,3.229948e-08,3.280797e-08,3.528666e-08,3.557650e-08,3.764831e-08,3.864724e-08,3.988134e-08,4.148738e-08,4.197776e-08,4.393289e-08,4.408312e-08,4.574481e-08,4.642952e-08,4.741402e-08,4.852880e-08,4.894297e-08,5.033567e-08,5.038861e-08,5.159728e-08,5.202052e-08,5.273387e-08,5.343869e-08,5.375204e-08,5.465878e-08,5.546120e-08,5.569711e-08,5.616643e-08,5.657001e-08,5.678146e-08,5.729335e-08,5.731309e-08,5.776784e-08,5.788224e-08,5.815190e-08,5.835086e-08,5.847113e-08,5.871230e-08,5.873103e-08,5.893673e-08,5.897857e-08,5.909299e-08,5.916057e-08,5.920425e-08,5.926817e-08,5.927458e-08,5.930775e-08,5.931024e-08,5.930724e-08,5.929472e-08,5.927621e-08,5.922871e-08,5.921759e-08,5.913405e-08,5.911854e-08,5.902805e-08,5.896986e-08,5.890183e-08,5.878766e-08,5.875742e-08,5.859671e-08,5.857642e-08,5.842141e-08,5.834007e-08,5.823308e-08,5.808212e-08,5.803315e-08,5.782293e-08,5.780570e-08,5.760361e-08,5.751358e-08,5.737627e-08,5.720819e-08,5.714192e-08,5.690147e-08,5.689173e-08,5.665574e-08,5.656613e-08,5.640549e-08,5.623310e-08,5.615143e-08,5.589418e-08,5.563432e-08,5.555070e-08,5.537238e-08,5.520388e-08,5.510886e-08,5.485478e-08,5.484418e-08,5.457875e-08,5.450435e-08,5.431294e-08,5.415342e-08,5.404709e-08,5.380274e-08,5.378151e-08,5.351646e-08,5.345296e-08,5.325222e-08,5.310468e-08,5.298901e-08,5.275840e-08,5.272703e-08,5.246649e-08,5.241457e-08,5.220756e-08,5.207360e-08,5.195039e-08,5.173584e-08,5.169513e-08,5.144190e-08,5.140158e-08,5.119081e-08,5.107109e-08,5.094198e-08,5.074460e-08,5.069549e-08,5.045143e-08,5.042231e-08,5.020987e-08,5.010439e-08,4.997087e-08,4.979099e-08,4.973450e-08,4.950080e-08,4.948222e-08,4.926980e-08,4.917818e-08,4.904156e-08,4.887895e-08,4.881610e-08,4.859345e-08,4.858460e-08,4.837362e-08,4.829518e-08,4.815663e-08,4.801071e-08,4.794250e-08,4.773123e-08,4.745673e-08,4.718723e-08,4.692272e-08,4.666317e-08,4.640857e-08,4.615889e-08,4.591408e-08,4.567412e-08,4.543895e-08,4.520852e-08,4.498278e-08,4.476168e-08,4.454516e-08,4.433316e-08,4.412561e-08,4.392245e-08,4.372361e-08,4.352903e-08,4.333863e-08,4.315235e-08,4.297012e-08,4.279187e-08,4.261753e-08,4.244702e-08
0.000000e+00,2.950633e-11,1.226490e-10,9.216333e-10,3.244156e-09,5.643421e-09,1.774560e-08,1.847045e-08,4.382409e-08,5.374113e-08,8.585218e-08,1.206721e-07,1.483672e-07,2.269894e-07,2.348696e-07,3.485587e-07,3.802152e-07,4.922895e-07,5.868144e-07,6.684436e-07,8.516211e-07,8.786802e-07,1.123570e-06,1.176656e-06,1.402208e-06,1.559645e-06,1.712016e-06,1.993412e-06,2.048945e-06,2.408038e-06,2.467199e-06,2.784070e-06,2.969098e-06,3.172041e-06,3.487946e-06,3.567412e-06,3.966179e-06,4.014088e-06,4.364839e-06,4.539416e-06,4.760348e-06,5.057194e-06,5.150075e-06,5.531768e-06,5.561898e-06,5.903524e-06,6.049080e-06,6.263764e-06,6.515277e-06,6.611210e-06,6.944864e-06,6.957912e-06,7.263977e-06,7.375192e-06,7.568030e-06,7.766011e-06,7.856700e-06,8.129840e-06,8.387452e-06,8.466625e-06,8.629662e-06,8.776696e-06,8.856701e-06,9.060680e-06,9.068887e-06,9.266601e-06,9.319427e-06,9.450280e-06,9.553947e-06,9.620398e-06,9.765361e-06,9.777457e-06,9.921979e-06,9.954857e-06,1.005449e-05,1.012366e-05,1.017554e-05,1.027299e-05,1.028564e-05,1.038534e-05,1.040408e-05,1.047515e-05,1.051811e-05,1.055558e-05,1.061625e-05,1.062712e-05,1.069026e-05,1.069961e-05,1.074545e-05,1.076925e-05,1.079314e-05,1.082619e-05,1.083377e-05,1.086773e-05,1.087138e-05,1.089544e-05,1.090574e-05,1.091726e-05,1.093013e-05,1.093355e-05,1.094466e-05,1.094534e-05,1.095092e-05,1.095213e-05,1.095263e-05,1.095121e-05,1.095009e-05,1.094358e-05,1.094325e-05,1.093338e-05,1.092884e-05,1.091972e-05,1.090859e-05,1.090286e-05,1.088301e-05,1.086040e-05,1.085261e-05,1.083523e-05,1.081786e-05,1.080768e-05,1.077918e-05,1.077796e-05,1.074621e-05,1.073698e-05,1.071261e-05,1.069163e-05,1.067732e-05,1.064347e-05,1.064047e-05,1.060220e-05,1.059282e-05,1.056265e-05,1.053998e-05,1.052193e-05,1.048522e-05,1.048015e-05,1.043743e-05,1.042878e-05,1.039387e-05,1.037091e-05,1.034955e-05,1.031182e-05,1.030458e-05,1.025903e-05,1.025170e-05,1.021299e-05,1.019073e-05,1.016652e-05,1.012909e-05,1.011970e-05,1.007260e-05,1.006693e-05,1.002526e-05,1.000438e-05,9.977755e-06,9.941569e-06,9.930132e-06,9.882442e-06,9.878625e-06,9.834731e-06,9.815651e-06,9.787043e-06,9.752744e-06,9.739417e-06,9.691892e-06,9.689994e-06,9.644502e-06,9.627481e-06,9.597279e-06,9.565279e-06,9.550254e-06,9.503454e-06,9.442066e-06,9.381170e-06,9.320813e-06,9.261038e-06,9.201885e-06,9.143386e-06,9.085573e-06,9.028470e-06,8.972102e-06,8.916487e-06,8.861643e-06,8.807583e-06,8.754318e-06,8.701859e-06,8.650211e-06,8.599381e-06,8.549372e-06,8.500185e-06,8.451821e-06,8.404280e-06,8.357560e-06,8.311656e-06,8.266565e-06,8.222283e-06
0.000000e+00,1.306475e-10,5.361041e-10,3.936960e-09,1.362948e-08,2.353412e-08,7.300727e-08,7.596076e-08,1.793678e-07,2.200030e-07,3.526931e-07,4.987389e-07,6.165648e-07,9.587255e-07,9.935995e-07,1.506171e-06,1.651360e-06,2.169930e-06,2.608689e-06,2.985603e-06,3.816485e-06,3.936992e-06,4.997936e-06,5.220822e-06,6.141186e-06,6.760200e-06,7.343192e-06,8.384186e-06,8.584834e-06,9.850481e-06,1.005430e-05,1.112693e-05,1.174003e-05,1.240268e-05,1.341590e-05,1.366756e-05,1.491256e-05,1.506024e-05,1.612984e-05,1.665488e-05,1.731267e-05,1.818510e-05,1.845546e-05,1.955375e-05,1.963958e-05,2.060408e-05,2.101019e-05,2.160393e-05,2.229161e-05,2.255166e-05,2.344640e-05,2.348108e-05,2.428791e-05,2.457787e-05,2.507651e-05,2.558291e-05,2.581296e-05,2.649838e-05,2.713419e-05,2.732745e-05,2.772207e-05,2.807398e-05,2.826381e-05,2.874225e-05,2.876133e-05,2.921662e-05,2.933680e-05,2.963166e-05,2.986221e-05,3.000848e-05,3.032308e-05,3.034904e-05,3.065531e-05,3.072392e-05,3.092918e-05,3.106908e-05,3.117249e-05,3.136274e-05,3.138702e-05,3.157447e-05,3.160886e-05,3.173648e-05,3.181119e-05,3.187460e-05,3.197325e-05,3.199032e-05,3.208506e-05,3.209836e-05,3.216015e-05,3.218960e-05,3.221688e-05,3.224984e-05,3.225644e-05,3.227998e-05,3.228178e-05,3.228857e-05,3.228788e-05,3.228323e-05,3.227046e-05,3.226493e-05,3.223458e-05,3.223165e-05,3.219301e-05,3.217343e-05,3.214105e-05,3.209763e-05,3.207945e-05,3.200892e-05,3.200592e-05,3.193014e-05,3.189988e-05,3.184374e-05,3.178093e-05,3.175030e-05,3.165040e-05,3.154456e-05,3.150952e-05,3.143327e-05,3.135939e-05,3.131698e-05,3.120106e-05,3.119615e-05,3.107117e-05,3.103548e-05,3.094243e-05,3.086353e-05,3.081028e-05,3.068600e-05,3.067508e-05,3.053712e-05,3.050363e-05,3.039670e-05,3.031711e-05,3.025412e-05,3.012704e-05,3.010961e-05,2.996343e-05,2.993402e-05,2.981581e-05,2.973854e-05,2.966695e-05,2.954111e-05,2.951706e-05,2.936632e-05,2.934214e-05,2.921491e-05,2.914203e-05,2.906298e-05,2.894117e-05,2.891069e-05,2.875817e-05,2.873986e-05,2.860557e-05,2.853843e-05,2.845300e-05,2.833714e-05,2.830058e-05,2.814841e-05,2.813625e-05,2.799659e-05,2.793599e-05,2.784522e-05,2.773655e-05,2.769437e-05,2.754412e-05,2.753813e-05,2.739456e-05,2.734089e-05,2.724573e-05,2.714499e-05,2.709772e-05,2.695057e-05,2.675774e-05,2.656661e-05,2.637729e-05,2.618985e-05,2.600438e-05,2.582093e-05,2.563957e-05,2.546035e-05,2.528331e-05,2.510849e-05,2.493591e-05,2.476560e-05,2.459757e-05,2.443185e-05,2.426844e-05,2.410735e-05,2.394857e-05,2.379212e-05,2.363797e-05,2.348614e-05,2.333660e-05,2.318935e-05,2.304437e-05,2.290165e-05
0.000000e+00,3.194036e-12,7.280786e-12,2.476196e-11,5.575201e-11,8.089112e-11,1.811926e-10,1.865589e-10,3.571355e-10,4.188112e-10,6.098516e-10,8.090885e-10,9.646172e-10,1.399631e-09,1.442913e-09,2.062131e-09,2.232441e-09,2.824629e-09,3.307738e-09,3.711097e-09,4.568126e-09,4.689260e-09,5.728257e-09,5.941188e-09,6.805068e-09,7.374484e-09,7.903865e-09,8.835602e-09,9.013498e-09,1.012542e-08,1.030304e-08,1.123241e-08,1.176008e-08,1.232796e-08,1.319205e-08,1.340597e-08,1.446070e-08,1.458545e-08,1.548682e-08,1.592799e-08,1.647950e-08,1.720892e-08,1.743447e-08,1.834813e-08,1.841935e-08,1.921760e-08,1.955249e-08,2.004067e-08,2.060370e-08,2.081587e-08,2.154237e-08,2.157042e-08,2.221998e-08,2.245199e-08,2.284902e-08,2.324943e-08,2.343032e-08,2.396509e-08,2.445487e-08,2.460239e-08,2.490145e-08,2.516550e-08,2.530681e-08,2.565912e-08,2.567304e-08,2.600233e-08,2.608821e-08,2.629687e-08,2.645784e-08,2.655887e-08,2.677305e-08,2.679051e-08,2.699389e-08,2.703872e-08,2.717104e-08,2.725952e-08,2.732391e-08,2.743982e-08,2.745435e-08,2.756409e-08,2.758370e-08,2.765478e-08,2.769491e-08,2.772793e-08,2.777688e-08,2.778498e-08,2.782725e-08,2.783272e-08,2.785595e-08,2.786525e-08,2.787222e-08,2.787700e-08,2.787711e-08,2.787157e-08,2.787024e-08,2.785648e-08,2.784702e-08,2.783265e-08,2.780915e-08,2.780081e-08,2.776165e-08,2.775822e-08,2.771579e-08,2.769569e-08,2.766378e-08,2.762282e-08,2.760614e-08,2.754335e-08,2.754074e-08,2.747585e-08,2.745048e-08,2.740405e-08,2.735298e-08,2.732835e-08,2.724909e-08,2.716662e-08,2.713959e-08,2.708123e-08,2.702518e-08,2.699320e-08,2.690643e-08,2.690277e-08,2.681018e-08,2.678389e-08,2.671562e-08,2.665801e-08,2.661928e-08,2.652922e-08,2.652133e-08,2.642195e-08,2.639790e-08,2.632127e-08,2.626436e-08,2.621941e-08,2.612889e-08,2.611649e-08,2.601264e-08,2.599178e-08,2.590800e-08,2.585330e-08,2.580267e-08,2.571375e-08,2.569677e-08,2.559038e-08,2.557332e-08,2.548357e-08,2.543218e-08,2.537643e-08,2.529052e-08,2.526902e-08,2.516143e-08,2.514851e-08,2.505374e-08,2.500634e-08,2.494601e-08,2.486416e-08,2.483832e-08,2.473071e-08,2.472211e-08,2.462323e-08,2.458029e-08,2.451593e-08,2.443881e-08,2.440885e-08,2.430204e-08,2.429777e-08,2.419554e-08,2.415728e-08,2.408939e-08,2.401743e-08,2.398363e-08,2.387829e-08,2.373992e-08,2.360241e-08,2.346579e-08,2.333013e-08,2.319547e-08,2.306187e-08,2.292935e-08,2.279797e-08,2.266774e-08,2.253870e-08,2.241088e-08,2.228430e-08,2.215897e-08,2.203493e-08,2.191217e-08,2.179071e-08,2.167057e-08,2.155176e-08,2.143428e-08,2.131813e-08,2.120333e-08,2.108987e-08,2.097775e-08,2.086698e-08
0.000000e+00,2.304765e-11,5.315682e-11,1.839916e-10,4.192862e-10,6.116834e-10,1.384632e-09,1.426086e-09,2.742379e-09,3.216388e-09,4.674486e-09,6.176864e-09,7.336587e-09,1.052680e-08,1.084059e-08,1.528654e-08,1.650235e-08,2.074265e-08,2.424571e-08,2.721758e-08,3.370470e-08,3.464161e-08,4.287794e-08,4.460809e-08,5.175980e-08,5.657876e-08,6.112449e-08,6.925858e-08,7.082884e-08,8.075077e-08,8.235129e-08,9.078593e-08,9.561602e-08,1.008440e-07,1.088537e-07,1.108462e-07,1.207243e-07,1.218985e-07,1.304194e-07,1.346140e-07,1.398814e-07,1.468908e-07,1.490689e-07,1.579482e-07,1.586444e-07,1.664932e-07,1.698129e-07,1.746839e-07,1.803540e-07,1.825067e-07,1.899529e-07,1.902428e-07,1.970181e-07,1.994681e-07,2.037018e-07,2.080300e-07,2.100065e-07,2.159374e-07,2.215015e-07,2.232059e-07,2.267076e-07,2.298562e-07,2.315657e-07,2.359121e-07,2.360866e-07,2.402820e-07,2.414000e-07,2.441637e-07,2.463474e-07,2.477441e-07,2.507826e-07,2.510356e-07,2.540504e-07,2.547342e-07,2.568009e-07,2.582302e-07,2.592991e-07,2.612982e-07,2.615568e-07,2.635858e-07,2.639651e-07,2.653973e-07,2.662569e-07,2.670021e-07,2.681983e-07,2.684110e-07,2.696342e-07,2.698134e-07,2.706816e-07,2.711247e-07,2.715626e-07,2.721539e-07,2.722865e-07,2.728620e-07,2.729215e-07,2.732976e-07,2.734470e-07,2.736013e-07,2.737487e-07,2.737809e-07,2.738438e-07,2.738440e-07,2.737970e-07,2.737491e-07,2.736474e-07,2.734795e-07,2.734012e-07,2.730648e-07,2.730496e-07,2.726440e-07,2.724729e-07,2.721442e-07,2.717621e-07,2.715710e-07,2.709292e-07,2.702238e-07,2.699854e-07,2.694593e-07,2.689411e-07,2.686401e-07,2.678059e-07,2.677702e-07,2.668536e-07,2.665891e-07,2.658940e-07,2.652991e-07,2.648949e-07,2.639438e-07,2.638597e-07,2.627915e-07,2.625306e-07,2.616933e-07,2.610663e-07,2.605680e-07,2.595573e-07,2.594181e-07,2.582463e-07,2.580095e-07,2.570549e-07,2.564284e-07,2.558462e-07,2.548190e-07,2.546223e-07,2.533852e-07,2.531861e-07,2.521368e-07,2.515340e-07,2.508788e-07,2.498668e-07,2.496131e-07,2.483410e-07,2.481880e-07,2.470641e-07,2.465011e-07,2.457838e-07,2.448093e-07,2.445014e-07,2.432181e-07,2.431154e-07,2.419350e-07,2.414221e-07,2.406533e-07,2.397318e-07,2.393738e-07,2.380976e-07,2.380466e-07,2.368254e-07,2.363686e-07,2.355582e-07,2.346997e-07,2.342967e-07,2.330415e-07,2.313954e-07,2.297629e-07,2.281452e-07,2.265434e-07,2.249583e-07,2.233910e-07,2.218422e-07,2.203125e-07,2.188025e-07,2.173127e-07,2.158436e-07,2.143955e-07,2.129687e-07,2.115635e-07,2.101800e-07,2.088183e-07,2.074786e-07,2.061609e-07,2.048652e-07,2.035915e-07,2.023397e-07,2.011097e-07,1.999014e-07,1.987147e-07
0.000000e+00,8.456810e-12,4.221159e-11,4.521934e-10,2.138036e-09,4.326538e-09,1.946803e-08,2.054181e-08,6.665647e-08,8.845191e-08,1.705374e-07,2.763820e-07,3.713119e-07,6.852064e-07,7.199423e-07,1.278934e-06,1.452203e-06,2.119595e-06,2.741066e-06,3.315791e-06,4.717009e-06,4.935765e-06,7.035087e-06,7.516204e-06,9.652576e-06,1.122613e-05,1.280930e-05,1.588135e-05,1.650969e-05,2.074373e-05,2.146937e-05,2.548949e-05,2.794032e-05,3.071562e-05,3.521658e-05,3.638342e-05,4.244873e-05,4.320103e-05,4.886344e-05,5.178361e-05,5.557686e-05,6.084680e-05,6.253688e-05,6.969103e-05,7.027018e-05,7.698740e-05,7.993440e-05,8.437553e-05,8.972458e-05,9.180711e-05,9.923660e-05,9.953313e-05,1.066217e-04,1.092620e-04,1.139239e-04,1.188242e-04,1.211085e-04,1.281448e-04,1.350063e-04,1.371612e-04,1.416703e-04,1.458230e-04,1.481183e-04,1.540911e-04,1.543351e-04,1.603091e-04,1.619371e-04,1.660318e-04,1.693423e-04,1.714975e-04,1.762961e-04,1.767029e-04,1.816471e-04,1.827949e-04,1.863310e-04,1.888412e-04,1.907572e-04,1.944423e-04,1.949297e-04,1.988537e-04,1.996091e-04,2.025350e-04,2.043557e-04,2.059806e-04,2.086981e-04,2.091978e-04,2.121943e-04,2.126537e-04,2.149781e-04,2.162412e-04,2.175575e-04,2.194794e-04,2.199408e-04,2.221364e-04,2.223876e-04,2.241525e-04,2.249848e-04,2.259972e-04,2.272896e-04,2.276786e-04,2.292046e-04,2.293201e-04,2.305827e-04,2.310942e-04,2.318203e-04,2.326285e-04,2.329247e-04,2.339028e-04,2.339394e-04,2.347612e-04,2.350421e-04,2.355063e-04,2.359514e-04,2.361443e-04,2.366811e-04,2.371223e-04,2.372441e-04,2.374733e-04,2.376530e-04,2.377392e-04,2.379192e-04,2.379251e-04,2.380356e-04,2.380536e-04,2.380751e-04,2.380665e-04,2.380479e-04,2.379675e-04,2.379581e-04,2.378096e-04,2.377656e-04,2.376059e-04,2.374691e-04,2.373506e-04,2.370859e-04,2.370470e-04,2.366983e-04,2.366234e-04,2.363074e-04,2.360884e-04,2.358772e-04,2.354873e-04,2.354103e-04,2.349093e-04,2.348262e-04,2.343767e-04,2.341104e-04,2.338146e-04,2.333453e-04,2.332254e-04,2.326111e-04,2.325357e-04,2.319735e-04,2.316861e-04,2.313146e-04,2.308006e-04,2.306361e-04,2.299396e-04,2.298832e-04,2.292268e-04,2.289374e-04,2.284991e-04,2.279667e-04,2.277579e-04,2.270045e-04,2.269741e-04,2.262401e-04,2.259625e-04,2.254661e-04,2.249347e-04,2.246833e-04,2.238930e-04,2.228399e-04,2.217774e-04,2.207076e-04,2.196322e-04,2.185529e-04,2.174713e-04,2.163888e-04,2.153068e-04,2.142264e-04,2.131487e-04,2.120749e-04,2.110058e-04,2.099422e-04,2.088850e-04,2.078349e-04,2.067926e-04,2.057585e-04,2.047333e-04,2.037174e-04,2.027113e-04,2.017153e-04,2.007298e-04,1.997551e-04,1.987914e-04
0.000000e+00,7.275005e-11,1.814062e-10,6.839195e-10,1.629586e-09,2.423458e-09,5.731244e-09,5.913077e-09,1.188190e-08,1.411572e-08,2.123564e-08,2.892509e-08,3.507676e-08,5.278876e-08,5.458205e-08,8.061425e-08,8.785845e-08,1.132075e-07,1.340291e-07,1.515068e-07,1.889642e-07,1.942979e-07,2.404930e-07,2.500637e-07,2.892684e-07,3.154425e-07,3.400135e-07,3.838094e-07,3.922504e-07,4.455770e-07,4.541859e-07,4.996336e-07,5.257415e-07,5.540873e-07,5.977260e-07,6.086265e-07,6.629606e-07,6.694539e-07,7.168217e-07,7.403072e-07,7.699668e-07,8.097441e-07,8.221796e-07,8.732715e-07,8.773054e-07,9.230820e-07,9.426167e-07,9.714778e-07,1.005385e-06,1.018351e-06,1.063619e-06,1.065395e-06,1.107219e-06,1.122499e-06,1.149110e-06,1.176606e-06,1.189266e-06,1.227677e-06,1.264345e-06,1.275713e-06,1.299284e-06,1.320747e-06,1.332515e-06,1.362837e-06,1.364067e-06,1.393975e-06,1.402059e-06,1.422277e-06,1.438506e-06,1.449018e-06,1.472278e-06,1.474241e-06,1.497994e-06,1.503482e-06,1.520326e-06,1.532228e-06,1.541284e-06,1.558630e-06,1.560918e-06,1.579277e-06,1.582800e-06,1.596409e-06,1.604849e-06,1.612362e-06,1.624886e-06,1.627184e-06,1.640919e-06,1.643019e-06,1.653613e-06,1.659350e-06,1.665310e-06,1.673979e-06,1.676053e-06,1.685882e-06,1.687002e-06,1.694838e-06,1.698512e-06,1.702959e-06,1.708596e-06,1.710284e-06,1.716847e-06,1.717340e-06,1.722685e-06,1.724824e-06,1.727830e-06,1.731124e-06,1.732315e-06,1.736172e-06,1.736314e-06,1.739431e-06,1.740463e-06,1.742119e-06,1.743636e-06,1.744266e-06,1.745898e-06,1.747040e-06,1.747306e-06,1.747717e-06,1.747917e-06,1.747953e-06,1.747785e-06,1.747770e-06,1.747190e-06,1.746959e-06,1.746234e-06,1.745488e-06,1.744922e-06,1.743416e-06,1.743272e-06,1.741304e-06,1.740786e-06,1.739035e-06,1.737638e-06,1.736481e-06,1.734011e-06,1.733658e-06,1.730583e-06,1.729939e-06,1.727269e-06,1.725457e-06,1.723732e-06,1.720596e-06,1.719983e-06,1.716036e-06,1.715387e-06,1.711904e-06,1.709858e-06,1.707598e-06,1.704035e-06,1.703129e-06,1.698508e-06,1.697943e-06,1.693745e-06,1.691607e-06,1.688850e-06,1.685048e-06,1.683833e-06,1.678702e-06,1.678287e-06,1.673465e-06,1.671343e-06,1.668132e-06,1.664236e-06,1.662709e-06,1.657203e-06,1.656982e-06,1.651623e-06,1.649597e-06,1.645975e-06,1.642098e-06,1.640264e-06,1.634497e-06,1.626809e-06,1.619046e-06,1.611220e-06,1.603341e-06,1.595421e-06,1.587468e-06,1.579492e-06,1.571500e-06,1.563502e-06,1.555503e-06,1.547511e-06,1.539532e-06,1.531572e-06,1.523637e-06,1.515731e-06,1.507859e-06,1.500025e-06,1.492234e-06,1.484488e-06,1.476793e-06,1.469149e-06,1.461561e-06,1.454031e-06,1.446561e-06
0.000000e+00,4.712824e-11,1.993398e-10,1.545620e-09,5.574800e-09,9.818392e-09,3.186395e-08,3.320990e-08,8.170136e-08,1.013463e-07,1.673369e-07,2.427473e-07,3.053762e-07,4.942172e-07,5.139164e-07,8.088556e-07,8.933597e-07,1.194963e-06,1.447674e-06,1.661998e-06,2.124614e-06,2.190612e-06,2.760914e-06,2.878492e-06,3.356985e-06,3.673185e-06,3.967403e-06,4.485261e-06,4.584086e-06,5.201033e-06,5.299437e-06,5.813444e-06,6.104572e-06,6.417236e-06,6.891628e-06,7.008804e-06,7.584945e-06,7.652908e-06,8.142852e-06,8.381923e-06,8.680132e-06,9.073443e-06,9.194817e-06,9.685377e-06,9.723544e-06,1.015073e-05,1.032966e-05,1.059025e-05,1.089054e-05,1.100366e-05,1.139102e-05,1.140597e-05,1.175269e-05,1.187671e-05,1.208927e-05,1.230421e-05,1.240154e-05,1.269045e-05,1.295703e-05,1.303781e-05,1.320240e-05,1.334882e-05,1.342767e-05,1.362610e-05,1.363400e-05,1.382254e-05,1.387230e-05,1.399441e-05,1.408999e-05,1.415071e-05,1.428167e-05,1.429251e-05,1.442079e-05,1.444968e-05,1.453651e-05,1.459617e-05,1.464057e-05,1.472317e-05,1.473381e-05,1.481701e-05,1.483251e-05,1.489091e-05,1.492589e-05,1.495618e-05,1.500481e-05,1.501347e-05,1.506335e-05,1.507068e-05,1.510638e-05,1.512474e-05,1.514304e-05,1.516811e-05,1.517381e-05,1.519912e-05,1.520181e-05,1.521935e-05,1.522674e-05,1.523488e-05,1.524374e-05,1.524604e-05,1.525314e-05,1.525354e-05,1.525648e-05,1.525682e-05,1.525631e-05,1.525416e-05,1.525288e-05,1.524643e-05,1.524612e-05,1.523717e-05,1.523318e-05,1.522528e-05,1.521580e-05,1.521096e-05,1.519437e-05,1.517567e-05,1.516926e-05,1.515500e-05,1.514081e-05,1.513251e-05,1.510931e-05,1.510831e-05,1.508254e-05,1.507505e-05,1.505529e-05,1.503828e-05,1.502668e-05,1.499923e-05,1.499679e-05,1.496573e-05,1.495810e-05,1.493356e-05,1.491511e-05,1.490039e-05,1.487041e-05,1.486627e-05,1.483128e-05,1.482419e-05,1.479549e-05,1.477658e-05,1.475896e-05,1.472774e-05,1.472174e-05,1.468389e-05,1.467778e-05,1.464547e-05,1.462683e-05,1.460651e-05,1.457500e-05,1.456708e-05,1.452721e-05,1.452240e-05,1.448694e-05,1.446911e-05,1.444632e-05,1.441523e-05,1.440537e-05,1.436414e-05,1.436083e-05,1.432265e-05,1.430600e-05,1.428095e-05,1.425080e-05,1.423905e-05,1.419698e-05,1.419530e-05,1.415478e-05,1.413956e-05,1.411246e-05,1.408364e-05,1.407006e-05,1.402758e-05,1.397145e-05,1.391529e-05,1.385913e-05,1.380303e-05,1.374701e-05,1.369111e-05,1.363536e-05,1.357980e-05,1.352445e-05,1.346933e-05,1.341448e-05,1.335991e-05,1.330564e-05,1.325169e-05,1.319809e-05,1.314484e-05,1.309196e-05,1.303947e-05,1.298738e-05,1.293569e-05,1.288443e-05,1.283360e-05,1.278320e-05,1.273326e-05
0.000000e+00,1.021893e-11,5.073824e-11,5.375466e-10,2.516048e-09,5.063648e-09,2.247597e-08,2.370306e-08,7.598754e-08,1.005378e-07,1.925782e-07,3.107908e-07,4.166376e-07,7.664988e-07,8.052352e-07,1.429504e-06,1.623297e-06,2.370253e-06,3.065456e-06,3.707126e-06,5.263269e-06,5.504918e-06,7.803306e-06,8.324511e-06,1.061323e-05,1.227231e-05,1.391921e-05,1.705358e-05,1.768507e-05,2.186058e-05,2.256286e-05,2.638758e-05,2.866740e-05,3.120472e-05,3.522609e-05,3.625072e-05,4.146648e-05,4.210108e-05,4.679608e-05,4.916359e-05,5.218732e-05,5.629596e-05,5.759179e-05,6.296483e-05,6.339207e-05,6.826550e-05,7.035702e-05,7.345647e-05,7.710700e-05,7.850407e-05,8.337837e-05,8.356936e-05,8.805323e-05,8.968295e-05,9.250639e-05,9.539836e-05,9.671946e-05,1.006779e-04,1.043711e-04,1.054957e-04,1.077920e-04,1.098366e-04,1.109369e-04,1.136960e-04,1.138055e-04,1.164002e-04,1.170782e-04,1.187259e-04,1.199953e-04,1.207901e-04,1.224658e-04,1.226017e-04,1.241713e-04,1.245133e-04,1.255106e-04,1.261647e-04,1.266322e-04,1.274494e-04,1.275491e-04,1.282748e-04,1.283982e-04,1.288228e-04,1.290419e-04,1.292064e-04,1.294112e-04,1.294387e-04,1.295326e-04,1.295355e-04,1.295000e-04,1.294430e-04,1.293528e-04,1.291599e-04,1.291019e-04,1.287576e-04,1.287105e-04,1.283297e-04,1.281172e-04,1.278270e-04,1.274002e-04,1.272580e-04,1.266303e-04,1.265778e-04,1.259509e-04,1.256662e-04,1.252264e-04,1.246800e-04,1.244624e-04,1.236644e-04,1.236319e-04,1.228372e-04,1.225332e-04,1.219853e-04,1.213938e-04,1.211124e-04,1.202223e-04,1.193180e-04,1.190262e-04,1.184026e-04,1.178120e-04,1.174785e-04,1.165854e-04,1.165481e-04,1.156134e-04,1.153512e-04,1.146763e-04,1.141135e-04,1.137384e-04,1.128761e-04,1.128012e-04,1.118660e-04,1.116419e-04,1.109339e-04,1.104137e-04,1.100060e-04,1.091937e-04,1.090832e-04,1.081663e-04,1.079837e-04,1.072560e-04,1.067855e-04,1.063530e-04,1.056004e-04,1.054576e-04,1.045706e-04,1.044294e-04,1.036922e-04,1.032737e-04,1.028228e-04,1.021340e-04,1.019628e-04,1.011123e-04,1.010109e-04,1.002717e-04,9.990493e-05,9.944102e-05,9.881653e-05,9.862055e-05,9.781036e-05,9.774599e-05,9.701056e-05,9.669356e-05,9.622121e-05,9.565938e-05,9.544236e-05,9.467406e-05,9.464355e-05,9.391631e-05,9.364610e-05,9.316911e-05,9.266703e-05,9.243245e-05,9.170629e-05,9.076378e-05,8.983938e-05,8.893295e-05,8.804430e-05,8.717325e-05,8.631959e-05,8.548308e-05,8.466349e-05,8.386057e-05,8.307406e-05,8.230368e-05,8.154917e-05,8.081024e-05,8.008661e-05,7.937801e-05,7.868413e-05,7.800470e-05,7.733943e-05,7.668803e-05,7.605021e-05,7.542570e-05,7.481421e-05,7.421546e-05,7.362918e-05
0.000000e+00,1.418858e-11,7.302349e-11,8.336681e-10,4.177053e-09,8.725441e-09,4.259166e-08,4.508866e-08,1.583455e-07,2.145913e-07,4.357420e-07,7.354233e-07,1.013744e-06,1.976741e-06,2.086406e-06,3.911494e-06,4.496166e-06,6.814347e-06,9.054889e-06,1.118931e-05,1.662231e-05,1.749832e-05,2.626557e-05,2.836397e-05,3.806740e-05,4.560617e-05,5.351676e-05,6.977379e-05,7.324346e-05,9.787229e-05,1.023083e-04,1.280011e-04,1.445807e-04,1.641812e-04,1.978120e-04,2.068997e-04,2.565672e-04,2.630106e-04,3.135070e-04,3.409271e-04,3.779491e-04,4.320283e-04,4.500269e-04,5.297764e-04,5.364866e-04,6.171381e-04,6.541834e-04,7.119610e-04,7.847235e-04,8.140079e-04,9.229628e-04,9.274594e-04,1.038438e-03,1.081521e-03,1.159986e-03,1.245851e-03,1.287102e-03,1.419243e-03,1.555829e-03,1.600378e-03,1.696257e-03,1.787863e-03,1.839910e-03,1.980268e-03,1.986160e-03,2.134385e-03,2.176158e-03,2.283968e-03,2.374119e-03,2.434309e-03,2.572790e-03,2.584824e-03,2.734959e-03,2.770875e-03,2.884184e-03,2.967167e-03,3.032004e-03,3.160556e-03,3.177957e-03,3.321616e-03,3.350037e-03,3.462592e-03,3.534721e-03,3.600533e-03,3.713827e-03,3.735125e-03,3.866089e-03,3.886691e-03,3.993186e-03,4.052756e-03,4.116207e-03,4.211573e-03,4.234981e-03,4.349365e-03,4.362791e-03,4.459250e-03,4.506151e-03,4.564551e-03,4.641480e-03,4.665214e-03,4.761204e-03,4.768681e-03,4.852513e-03,4.887727e-03,4.939151e-03,4.998653e-03,5.021146e-03,5.098543e-03,5.101544e-03,5.171404e-03,5.196536e-03,5.239799e-03,5.283801e-03,5.303815e-03,5.363545e-03,5.419091e-03,5.436000e-03,5.470563e-03,5.501420e-03,5.518077e-03,5.560077e-03,5.561752e-03,5.601713e-03,5.612254e-03,5.638086e-03,5.658240e-03,5.670999e-03,5.698334e-03,5.700581e-03,5.726964e-03,5.732834e-03,5.750276e-03,5.762038e-03,5.770647e-03,5.786242e-03,5.788204e-03,5.803073e-03,5.805736e-03,5.815379e-03,5.820805e-03,5.825243e-03,5.831728e-03,5.832784e-03,5.838118e-03,5.838775e-03,5.841361e-03,5.842206e-03,5.842621e-03,5.842275e-03,5.842007e-03,5.839622e-03,5.839221e-03,5.835567e-03,5.833279e-03,5.829939e-03,5.824668e-03,5.822832e-03,5.814337e-03,5.813600e-03,5.804540e-03,5.800276e-03,5.793525e-03,5.784886e-03,5.781373e-03,5.768160e-03,5.767611e-03,5.753961e-03,5.748621e-03,5.738846e-03,5.728079e-03,5.722883e-03,5.706136e-03,5.682934e-03,5.658608e-03,5.633285e-03,5.607082e-03,5.580109e-03,5.552470e-03,5.524261e-03,5.495572e-03,5.466485e-03,5.437078e-03,5.407424e-03,5.377587e-03,5.347631e-03,5.317611e-03,5.287580e-03,5.257585e-03,5.227671e-03,5.197878e-03,5.168243e-03,5.138800e-03,5.109578e-03,5.080606e-03,5.051908e-03,5.023506e-03
0.000000e+00,8.510256e-11,2.028827e-10,7.303752e-10,1.703709e-09,2.513028e-09,5.846231e-09,6.028108e-09,1.194127e-08,1.413017e-08,2.103439e-08,2.837652e-08,3.416570e-08,5.040225e-08,5.201083e-08,7.473316e-08,8.088612e-08,1.020594e-07,1.192304e-07,1.336117e-07,1.646153e-07,1.690667e-07,2.081549e-07,2.163865e-07,2.506254e-07,2.739619e-07,2.962204e-07,3.367332e-07,3.446634e-07,3.956573e-07,4.040323e-07,4.488882e-07,4.751387e-07,5.040323e-07,5.493059e-07,5.607636e-07,6.187612e-07,6.257912e-07,6.777164e-07,7.038842e-07,7.373374e-07,7.829273e-07,7.973536e-07,8.575178e-07,8.623304e-07,9.176073e-07,9.415772e-07,9.774249e-07,1.020227e-06,1.036797e-06,1.095572e-06,1.097908e-06,1.153621e-06,1.174319e-06,1.210834e-06,1.249214e-06,1.267119e-06,1.322400e-06,1.376615e-06,1.393730e-06,1.429714e-06,1.463093e-06,1.481657e-06,1.530408e-06,1.532415e-06,1.581965e-06,1.595621e-06,1.630293e-06,1.658699e-06,1.677390e-06,1.719627e-06,1.723250e-06,1.767874e-06,1.778401e-06,1.811266e-06,1.835030e-06,1.853432e-06,1.889531e-06,1.894381e-06,1.934125e-06,1.941930e-06,1.972677e-06,1.992257e-06,2.010051e-06,2.040546e-06,2.046263e-06,2.081331e-06,2.086837e-06,2.115272e-06,2.131169e-06,2.148106e-06,2.173588e-06,2.179851e-06,2.210528e-06,2.214138e-06,2.240156e-06,2.252865e-06,2.268756e-06,2.289817e-06,2.296348e-06,2.322954e-06,2.325041e-06,2.348595e-06,2.358585e-06,2.373290e-06,2.390498e-06,2.397062e-06,2.419931e-06,2.420827e-06,2.441917e-06,2.449620e-06,2.463042e-06,2.476925e-06,2.483326e-06,2.502788e-06,2.521450e-06,2.527256e-06,2.539331e-06,2.550374e-06,2.556450e-06,2.572186e-06,2.572828e-06,2.588482e-06,2.592738e-06,2.603432e-06,2.612073e-06,2.617697e-06,2.630231e-06,2.631295e-06,2.644244e-06,2.647257e-06,2.656561e-06,2.663189e-06,2.668263e-06,2.678067e-06,2.679369e-06,2.689894e-06,2.691931e-06,2.699855e-06,2.704817e-06,2.709268e-06,2.716763e-06,2.718149e-06,2.726514e-06,2.727805e-06,2.734377e-06,2.737977e-06,2.741753e-06,2.747314e-06,2.748657e-06,2.755104e-06,2.755847e-06,2.761106e-06,2.763610e-06,2.766678e-06,2.770633e-06,2.771833e-06,2.776584e-06,2.776947e-06,2.780944e-06,2.782581e-06,2.784925e-06,2.787563e-06,2.788539e-06,2.791798e-06,2.791921e-06,2.794714e-06,2.795681e-06,2.797297e-06,2.798870e-06,2.799560e-06,2.801512e-06,2.803631e-06,2.805251e-06,2.806394e-06,2.807082e-06,2.807337e-06,2.807179e-06,2.806627e-06,2.805701e-06,2.804418e-06,2.802797e-06,2.800855e-06,2.798607e-06,2.796070e-06,2.793260e-06,2.790191e-06,2.786876e-06,2.783330e-06,2.779566e-06,2.775597e-06,2.771434e-06,2.767089e-06,2.762574e-06,2.757900e-06,2.753076e-06
0.000000e+00,1.677741e-11,3.858950e-11,1.336457e-10,3.059919e-10,4.481806e-10,1.029850e-09,1.061493e-09,2.088225e-09,2.467898e-09,3.666410e-09,4.946083e-09,5.962042e-09,8.863619e-09,9.156186e-09,1.339650e-08,1.457739e-08,1.872422e-08,2.215362e-08,2.505099e-08,3.132059e-08,3.221998e-08,4.007686e-08,4.171926e-08,4.849700e-08,5.306507e-08,5.738352e-08,6.515076e-08,6.665781e-08,7.625180e-08,7.781229e-08,8.610312e-08,9.090573e-08,9.615273e-08,1.042971e-07,1.063440e-07,1.166227e-07,1.178596e-07,1.269375e-07,1.314748e-07,1.372399e-07,1.450335e-07,1.474848e-07,1.576321e-07,1.584385e-07,1.676450e-07,1.716052e-07,1.774916e-07,1.844624e-07,1.871442e-07,1.965791e-07,1.969517e-07,2.057767e-07,2.090266e-07,2.147210e-07,2.206519e-07,2.233993e-07,2.318019e-07,2.399217e-07,2.424594e-07,2.477540e-07,2.526145e-07,2.552962e-07,2.622628e-07,2.625473e-07,2.695080e-07,2.714051e-07,2.761800e-07,2.800459e-07,2.825664e-07,2.881928e-07,2.886709e-07,2.944981e-07,2.958559e-07,3.000530e-07,3.030469e-07,3.053413e-07,3.097792e-07,3.103689e-07,3.151422e-07,3.160669e-07,3.196675e-07,3.219249e-07,3.239516e-07,3.273687e-07,3.280011e-07,3.318229e-07,3.324137e-07,3.354237e-07,3.370756e-07,3.388104e-07,3.413701e-07,3.419897e-07,3.449683e-07,3.453126e-07,3.477529e-07,3.489184e-07,3.503501e-07,3.522025e-07,3.527662e-07,3.550076e-07,3.551795e-07,3.570805e-07,3.578639e-07,3.589911e-07,3.602695e-07,3.607452e-07,3.623487e-07,3.624098e-07,3.638073e-07,3.642980e-07,3.651266e-07,3.659468e-07,3.663119e-07,3.673685e-07,3.683016e-07,3.685749e-07,3.691161e-07,3.695774e-07,3.698169e-07,3.703871e-07,3.704087e-07,3.708961e-07,3.710144e-07,3.712835e-07,3.714697e-07,3.715752e-07,3.717627e-07,3.717754e-07,3.718882e-07,3.719027e-07,3.719174e-07,3.718987e-07,3.718669e-07,3.717594e-07,3.717403e-07,3.715412e-07,3.714930e-07,3.712730e-07,3.711074e-07,3.709391e-07,3.706101e-07,3.705426e-07,3.700866e-07,3.700083e-07,3.695742e-07,3.693090e-07,3.690082e-07,3.685187e-07,3.683914e-07,3.677265e-07,3.676436e-07,3.670161e-07,3.666898e-07,3.662627e-07,3.656628e-07,3.654687e-07,3.646364e-07,3.645683e-07,3.637681e-07,3.634112e-07,3.628659e-07,3.621965e-07,3.619319e-07,3.609681e-07,3.609289e-07,3.599763e-07,3.596128e-07,3.589585e-07,3.582524e-07,3.579164e-07,3.568517e-07,3.554144e-07,3.539442e-07,3.524444e-07,3.509183e-07,3.493688e-07,3.477989e-07,3.462113e-07,3.446086e-07,3.429931e-07,3.413671e-07,3.397328e-07,3.380921e-07,3.364471e-07,3.347994e-07,3.331507e-07,3.315027e-07,3.298567e-07,3.282141e-07,3.265763e-07,3.249443e-07,3.233194e-07,3.217026e-07,3.200948e-07,3.184968e-07
0.000000e+00,1.945207e-10,6.040051e-10,2.922675e-09,7.867709e-09,1.226039e-08,3.161425e-08,3.271008e-08,6.980344e-08,8.410589e-08,1.306458e-07,1.817390e-07,2.226396e-07,3.379428e-07,3.493340e-07,5.088228e-07,5.515496e-07,6.973157e-07,8.143609e-07,9.117635e-07,1.120242e-06,1.150035e-06,1.410436e-06,1.465031e-06,1.691348e-06,1.844958e-06,1.991035e-06,2.255887e-06,2.307583e-06,2.638904e-06,2.693139e-06,2.982778e-06,3.151623e-06,3.336906e-06,3.626039e-06,3.698979e-06,4.066737e-06,4.111146e-06,4.438019e-06,4.601973e-06,4.810804e-06,5.093978e-06,5.183238e-06,5.553655e-06,5.583156e-06,5.920580e-06,6.066078e-06,6.282728e-06,6.539895e-06,6.639003e-06,6.988479e-06,7.002305e-06,7.330399e-06,7.451519e-06,7.664153e-06,7.886192e-06,7.989262e-06,8.305357e-06,8.612163e-06,8.708345e-06,8.909484e-06,9.094732e-06,9.197198e-06,9.464317e-06,9.475254e-06,9.743661e-06,9.817091e-06,1.000247e-05,1.015318e-05,1.025176e-05,1.047281e-05,1.049166e-05,1.072231e-05,1.077631e-05,1.094390e-05,1.106412e-05,1.115666e-05,1.133675e-05,1.136080e-05,1.155649e-05,1.159464e-05,1.174397e-05,1.183827e-05,1.192341e-05,1.206811e-05,1.209505e-05,1.225910e-05,1.228466e-05,1.241577e-05,1.248841e-05,1.256527e-05,1.267985e-05,1.270782e-05,1.284362e-05,1.285947e-05,1.297288e-05,1.302774e-05,1.309582e-05,1.318514e-05,1.321262e-05,1.332350e-05,1.333212e-05,1.342863e-05,1.346913e-05,1.352823e-05,1.359660e-05,1.362246e-05,1.371151e-05,1.371497e-05,1.379556e-05,1.382463e-05,1.387479e-05,1.392599e-05,1.394936e-05,1.401944e-05,1.408518e-05,1.410533e-05,1.414676e-05,1.418404e-05,1.420431e-05,1.425590e-05,1.425798e-05,1.430792e-05,1.432125e-05,1.435427e-05,1.438041e-05,1.439716e-05,1.443368e-05,1.443673e-05,1.447309e-05,1.448136e-05,1.450639e-05,1.452373e-05,1.453672e-05,1.456107e-05,1.456422e-05,1.458899e-05,1.459363e-05,1.461115e-05,1.462167e-05,1.463079e-05,1.464542e-05,1.464801e-05,1.466293e-05,1.466511e-05,1.467563e-05,1.468096e-05,1.468620e-05,1.469319e-05,1.469474e-05,1.470133e-05,1.470200e-05,1.470606e-05,1.470756e-05,1.470899e-05,1.471008e-05,1.471022e-05,1.470982e-05,1.470972e-05,1.470786e-05,1.470666e-05,1.470441e-05,1.470104e-05,1.469954e-05,1.469331e-05,1.469303e-05,1.468579e-05,1.468277e-05,1.467703e-05,1.467040e-05,1.466710e-05,1.465605e-05,1.463985e-05,1.462192e-05,1.460237e-05,1.458131e-05,1.455884e-05,1.453508e-05,1.451009e-05,1.448399e-05,1.445685e-05,1.442876e-05,1.439978e-05,1.437000e-05,1.433949e-05,1.430830e-05,1.427650e-05,1.424416e-05,1.421132e-05,1.417804e-05,1.414437e-05,1.411037e-05,1.407606e-05,1.404150e-05,1.400673e-05,1.397178e-05
0.000000e+00,2.018242e-09,1.045095e-08,1.208630e-07,6.129243e-07,1.289011e-06,6.405945e-06,6.786565e-06,2.428204e-05,3.307962e-05,6.808052e-05,1.162029e-04,1.613887e-04,3.201948e-04,3.384671e-04,6.464961e-04,7.464167e-04,1.146809e-03,1.538612e-03,1.915077e-03,2.883218e-03,3.040328e-03,4.623023e-03,5.003956e-03,6.772542e-03,8.152463e-03,9.604315e-03,1.259689e-02,1.323680e-02,1.778841e-02,1.860973e-02,2.337447e-02,2.645564e-02,3.010438e-02,3.637995e-02,3.807891e-02,4.738788e-02,4.859843e-02,5.810812e-02,6.328870e-02,7.030185e-02,8.058373e-02,8.401550e-02,9.927895e-02,1.005675e-01,1.161051e-01,1.232729e-01,1.344901e-01,1.486818e-01,1.544136e-01,1.758395e-01,1.767271e-01,1.987169e-01,2.072962e-01,2.229817e-01,2.402356e-01,2.485573e-01,2.753570e-01,3.032848e-01,3.124432e-01,3.322374e-01,3.512547e-01,3.621057e-01,3.915358e-01,3.927766e-01,4.241340e-01,4.330212e-01,4.560607e-01,4.754412e-01,4.884395e-01,5.185274e-01,5.211542e-01,5.540911e-01,5.620166e-01,5.871393e-01,6.056551e-01,6.201923e-01,6.492016e-01,6.531478e-01,6.859091e-01,6.924298e-01,7.183847e-01,7.351306e-01,7.504894e-01,7.771126e-01,7.821441e-01,8.132760e-01,8.182040e-01,8.438187e-01,8.582521e-01,8.737124e-01,8.971237e-01,9.029034e-01,9.313443e-01,9.347048e-01,9.589938e-01,9.708995e-01,9.858164e-01,1.005630e+00,1.011782e+00,1.036867e+00,1.038835e+00,1.061050e+00,1.070468e+00,1.084318e+00,1.100498e+00,1.106661e+00,1.128071e+00,1.128908e+00,1.148547e+00,1.155690e+00,1.168090e+00,1.180849e+00,1.186705e+00,1.204399e+00,1.221182e+00,1.226362e+00,1.237066e+00,1.246768e+00,1.252067e+00,1.265652e+00,1.266201e+00,1.279485e+00,1.283055e+00,1.291940e+00,1.299023e+00,1.303586e+00,1.313604e+00,1.314444e+00,1.324538e+00,1.326850e+00,1.333891e+00,1.338813e+00,1.342526e+00,1.349549e+00,1.350467e+00,1.357738e+00,1.359114e+00,1.364365e+00,1.367564e+00,1.370371e+00,1.374954e+00,1.375781e+00,1.380618e+00,1.381341e+00,1.384907e+00,1.386778e+00,1.388672e+00,1.391321e+00,1.391935e+00,1.394719e+00,1.395022e+00,1.397047e+00,1.397933e+00,1.398940e+00,1.400102e+00,1.400420e+00,1.401507e+00,1.401578e+00,1.402222e+00,1.402407e+00,1.402583e+00,1.402635e+00,1.402610e+00,1.402320e+00,1.402303e+00,1.401733e+00,1.401452e+00,1.400864e+00,1.400121e+00,1.399730e+00,1.398347e+00,1.396166e+00,1.393609e+00,1.390710e+00,1.387497e+00,1.383999e+00,1.380243e+00,1.376252e+00,1.372050e+00,1.367659e+00,1.363100e+00,1.358391e+00,1.353551e+00,1.348596e+00,1.343542e+00,1.338403e+00,1.333192e+00,1.327923e+00,1.322606e+00,1.317252e+00,1.311872e+00,1.306474e+00,1.301066e+00,1.295658e+00,1.290255e+00
0.000000e+00,6.243247e-11,2.631036e-10,2.030646e-09,7.315569e-09,1.288826e-08,4.194377e-08,4.372198e-08,1.079447e-07,1.339993e-07,2.214572e-07,3.210607e-07,4.033997e-07,6.493441e-07,6.748053e-07,1.052630e-06,1.160075e-06,1.542883e-06,1.865017e-06,2.140757e-06,2.748210e-06,2.836536e-06,3.620441e-06,3.787041e-06,4.484176e-06,4.962483e-06,5.420641e-06,6.258642e-06,6.423230e-06,7.485346e-06,7.660357e-06,8.600172e-06,9.151946e-06,9.760649e-06,1.071705e-05,1.095956e-05,1.218969e-05,1.233907e-05,1.344397e-05,1.400175e-05,1.471564e-05,1.568982e-05,1.599835e-05,1.728625e-05,1.738934e-05,1.857401e-05,1.908800e-05,1.985690e-05,2.077519e-05,2.113073e-05,2.239189e-05,2.244202e-05,2.363726e-05,2.408122e-05,2.486423e-05,2.568691e-05,2.607057e-05,2.725446e-05,2.841440e-05,2.878032e-05,2.954922e-05,3.026191e-05,3.065804e-05,3.169738e-05,3.174014e-05,3.279506e-05,3.308552e-05,3.382246e-05,3.442562e-05,3.482218e-05,3.571739e-05,3.579413e-05,3.673836e-05,3.696086e-05,3.765499e-05,3.815632e-05,3.854422e-05,3.930427e-05,3.940629e-05,4.024152e-05,4.040538e-05,4.105025e-05,4.146044e-05,4.183286e-05,4.247035e-05,4.258974e-05,4.332134e-05,4.343608e-05,4.402810e-05,4.435866e-05,4.471049e-05,4.523917e-05,4.536897e-05,4.600405e-05,4.607871e-05,4.661619e-05,4.687840e-05,4.720591e-05,4.763940e-05,4.777370e-05,4.832005e-05,4.836285e-05,4.884547e-05,4.904989e-05,4.935045e-05,4.970167e-05,4.983550e-05,5.030109e-05,5.031931e-05,5.074772e-05,5.090396e-05,5.117587e-05,5.145670e-05,5.158602e-05,5.197865e-05,5.235422e-05,5.247087e-05,5.271318e-05,5.293442e-05,5.305600e-05,5.337033e-05,5.338312e-05,5.369498e-05,5.377963e-05,5.399202e-05,5.416329e-05,5.427464e-05,5.452230e-05,5.454328e-05,5.479835e-05,5.485758e-05,5.504023e-05,5.517007e-05,5.526933e-05,5.546066e-05,5.548602e-05,5.569069e-05,5.573022e-05,5.588371e-05,5.597960e-05,5.606544e-05,5.620962e-05,5.623622e-05,5.639641e-05,5.642108e-05,5.654634e-05,5.661476e-05,5.668635e-05,5.679142e-05,5.681674e-05,5.693785e-05,5.695177e-05,5.704997e-05,5.709653e-05,5.715340e-05,5.722638e-05,5.724844e-05,5.733537e-05,5.734199e-05,5.741447e-05,5.744398e-05,5.748601e-05,5.753298e-05,5.755025e-05,5.760745e-05,5.760960e-05,5.765786e-05,5.767439e-05,5.770172e-05,5.772793e-05,5.773927e-05,5.777075e-05,5.780336e-05,5.782628e-05,5.783997e-05,5.784491e-05,5.784154e-05,5.783029e-05,5.781158e-05,5.778580e-05,5.775334e-05,5.771457e-05,5.766985e-05,5.761951e-05,5.756388e-05,5.750327e-05,5.743799e-05,5.736832e-05,5.729455e-05,5.721694e-05,5.713574e-05,5.705120e-05,5.696355e-05,5.687302e-05,5.677982e-05,5.668415e-05
0.000000e+00,1.152148e-11,5.802756e-11,6.332197e-10,3.044093e-09,6.215646e-09,2.860857e-08,3.021367e-08,1.001473e-07,1.336289e-07,2.610835e-07,4.273968e-07,5.777559e-07,1.079828e-06,1.135722e-06,2.041325e-06,2.323914e-06,3.418941e-06,4.446869e-06,5.403887e-06,7.760935e-06,8.131799e-06,1.172765e-05,1.256068e-05,1.629721e-05,1.908631e-05,2.192204e-05,2.750366e-05,2.865747e-05,3.653288e-05,3.789939e-05,4.555325e-05,5.028545e-05,5.570138e-05,6.460765e-05,6.694034e-05,7.921591e-05,8.075550e-05,9.245902e-05,9.857187e-05,1.065881e-04,1.178624e-04,1.215111e-04,1.371282e-04,1.384044e-04,1.533335e-04,1.599558e-04,1.700172e-04,1.822633e-04,1.870681e-04,2.043750e-04,2.050710e-04,2.218285e-04,2.281272e-04,2.393232e-04,2.511914e-04,2.567583e-04,2.740396e-04,2.910797e-04,2.964684e-04,3.077992e-04,3.182982e-04,3.241269e-04,3.393749e-04,3.400004e-04,3.553656e-04,3.595704e-04,3.701772e-04,3.787826e-04,3.843980e-04,3.969339e-04,3.979986e-04,4.109571e-04,4.139697e-04,4.232582e-04,4.298562e-04,4.348932e-04,4.445781e-04,4.458586e-04,4.561562e-04,4.581361e-04,4.657920e-04,4.705443e-04,4.747760e-04,4.818281e-04,4.831210e-04,4.908429e-04,4.920217e-04,4.979595e-04,5.011663e-04,5.044906e-04,5.093080e-04,5.104572e-04,5.158812e-04,5.164967e-04,5.207853e-04,5.227844e-04,5.251926e-04,5.282242e-04,5.291263e-04,5.326094e-04,5.328693e-04,5.356650e-04,5.367725e-04,5.383154e-04,5.399854e-04,5.405829e-04,5.424890e-04,5.425580e-04,5.440545e-04,5.445386e-04,5.452996e-04,5.459732e-04,5.462438e-04,5.469057e-04,5.473032e-04,5.473774e-04,5.474534e-04,5.474274e-04,5.473727e-04,5.470924e-04,5.470766e-04,5.465799e-04,5.464068e-04,5.458967e-04,5.454027e-04,5.450402e-04,5.441100e-04,5.440230e-04,5.428572e-04,5.425565e-04,5.415539e-04,5.407680e-04,5.401238e-04,5.387685e-04,5.385771e-04,5.369230e-04,5.365801e-04,5.351706e-04,5.342233e-04,5.333283e-04,5.317171e-04,5.314040e-04,5.294050e-04,5.290787e-04,5.273384e-04,5.263244e-04,5.252107e-04,5.234688e-04,5.230281e-04,5.207964e-04,5.205255e-04,5.185209e-04,5.175072e-04,5.162068e-04,5.144251e-04,5.138587e-04,5.114811e-04,5.112898e-04,5.090782e-04,5.081109e-04,5.066539e-04,5.048972e-04,5.042118e-04,5.017553e-04,5.016567e-04,4.992875e-04,4.983969e-04,4.968113e-04,4.951242e-04,4.943296e-04,4.918449e-04,4.885645e-04,4.852880e-04,4.820200e-04,4.787645e-04,4.755253e-04,4.723057e-04,4.691088e-04,4.659373e-04,4.627935e-04,4.596796e-04,4.565975e-04,4.535488e-04,4.505351e-04,4.475577e-04,4.446175e-04,4.417156e-04,4.388528e-04,4.360297e-04,4.332470e-04,4.305049e-04,4.278038e-04,4.251441e-04,4.225258e-04,4.199489e-04
0.000000e+00,7.388594e-10,3.831526e-09,4.444457e-08,2.260105e-07,4.760277e-07,2.374771e-06,2.516257e-06,9.035739e-06,1.232104e-05,2.541490e-05,4.345254e-05,6.041115e-05,1.201044e-04,1.269790e-04,2.429931e-04,2.806670e-04,4.317947e-04,5.799173e-04,7.224503e-04,1.089893e-03,1.149637e-03,1.753174e-03,1.898867e-03,2.577272e-03,3.108684e-03,3.669596e-03,4.831010e-03,5.080203e-03,6.860403e-03,7.182976e-03,9.061588e-03,1.028254e-02,1.173407e-02,1.424382e-02,1.492596e-02,1.868210e-02,1.917274e-02,2.304313e-02,2.516299e-02,2.804465e-02,3.229275e-02,3.371650e-02,4.008229e-02,4.062209e-02,4.715895e-02,5.019115e-02,5.495655e-02,6.101925e-02,6.347821e-02,7.272017e-02,7.310471e-02,8.267200e-02,8.642539e-02,9.331690e-02,1.009399e-01,1.046321e-01,1.165893e-01,1.291552e-01,1.332989e-01,1.422925e-01,1.509811e-01,1.559596e-01,1.695372e-01,1.701120e-01,1.847029e-01,1.888603e-01,1.996833e-01,2.088375e-01,2.150028e-01,2.293524e-01,2.306104e-01,2.464548e-01,2.502869e-01,2.624847e-01,2.715237e-01,2.786498e-01,2.929475e-01,2.949005e-01,3.111885e-01,3.144465e-01,3.274676e-01,3.359142e-01,3.436930e-01,3.572497e-01,3.598222e-01,3.758152e-01,3.783589e-01,3.916341e-01,3.991549e-01,4.072437e-01,4.195586e-01,4.226113e-01,4.377069e-01,4.394988e-01,4.525030e-01,4.589120e-01,4.669749e-01,4.777428e-01,4.811002e-01,4.948593e-01,4.959437e-01,5.082349e-01,5.134743e-01,5.212121e-01,5.303018e-01,5.337783e-01,5.459230e-01,5.463999e-01,5.576381e-01,5.617490e-01,5.689169e-01,5.763351e-01,5.797552e-01,5.901499e-01,6.001001e-01,6.031903e-01,6.096060e-01,6.154573e-01,6.186693e-01,6.269565e-01,6.272930e-01,6.354814e-01,6.376968e-01,6.432395e-01,6.476904e-01,6.505736e-01,6.569524e-01,6.574906e-01,6.639985e-01,6.655004e-01,6.701056e-01,6.733538e-01,6.758209e-01,6.805339e-01,6.811540e-01,6.861149e-01,6.870633e-01,6.907139e-01,6.929659e-01,6.949616e-01,6.982661e-01,6.988689e-01,7.024468e-01,7.029894e-01,7.057063e-01,7.071612e-01,7.086588e-01,7.108073e-01,7.113155e-01,7.136874e-01,7.139534e-01,7.157859e-01,7.166254e-01,7.176219e-01,7.188485e-01,7.192064e-01,7.205504e-01,7.206478e-01,7.216644e-01,7.220480e-01,7.225590e-01,7.230730e-01,7.232444e-01,7.237307e-01,7.237462e-01,7.240278e-01,7.240903e-01,7.241453e-01,7.241273e-01,7.240924e-01,7.238784e-01,7.233640e-01,7.226036e-01,7.216161e-01,7.204194e-01,7.190305e-01,7.174659e-01,7.157409e-01,7.138702e-01,7.118678e-01,7.097467e-01,7.075195e-01,7.051977e-01,7.027923e-01,7.003136e-01,6.977713e-01,6.951745e-01,6.925316e-01,6.898504e-01,6.871384e-01,6.844023e-01,6.816484e-01,6.788827e-01,6.761105e-01,6.733369e-01
0.000000e+00,7.513771e-12,3.794898e-11,4.164540e-10,2.011740e-09,4.117959e-09,1.906169e-08,2.013525e-08,6.701432e-08,8.948773e-08,1.750405e-07,2.865331e-07,3.871232e-07,7.214556e-07,7.585320e-07,1.355753e-06,1.540951e-06,2.254682e-06,2.920573e-06,3.538252e-06,5.055035e-06,5.293478e-06,7.607806e-06,8.145233e-06,1.056466e-05,1.238131e-05,1.423825e-05,1.792201e-05,1.868803e-05,2.395362e-05,2.487324e-05,3.005102e-05,3.327147e-05,3.697092e-05,4.307681e-05,4.467906e-05,5.311863e-05,5.417711e-05,6.221404e-05,6.640100e-05,7.187531e-05,7.953528e-05,8.200285e-05,9.249185e-05,9.334341e-05,1.032363e-04,1.075822e-04,1.141324e-04,1.220157e-04,1.250813e-04,1.359908e-04,1.364252e-04,1.467774e-04,1.506158e-04,1.573665e-04,1.644210e-04,1.676936e-04,1.777034e-04,1.873504e-04,1.903546e-04,1.965981e-04,2.022938e-04,2.054185e-04,2.134649e-04,2.137911e-04,2.217025e-04,2.238339e-04,2.291455e-04,2.333855e-04,2.361183e-04,2.421201e-04,2.426235e-04,2.486678e-04,2.500509e-04,2.542610e-04,2.572007e-04,2.594156e-04,2.636003e-04,2.641461e-04,2.684685e-04,2.692855e-04,2.724001e-04,2.742960e-04,2.759589e-04,2.786736e-04,2.791633e-04,2.820319e-04,2.824610e-04,2.845834e-04,2.857009e-04,2.868362e-04,2.884354e-04,2.888082e-04,2.905171e-04,2.907053e-04,2.919797e-04,2.925495e-04,2.932125e-04,2.940054e-04,2.942312e-04,2.950506e-04,2.951079e-04,2.956850e-04,2.958900e-04,2.961479e-04,2.963822e-04,2.964521e-04,2.966097e-04,2.966131e-04,2.966320e-04,2.966090e-04,2.965298e-04,2.963942e-04,2.963129e-04,2.959910e-04,2.955727e-04,2.954199e-04,2.950664e-04,2.946997e-04,2.944796e-04,2.938474e-04,2.938196e-04,2.930931e-04,2.928787e-04,2.923064e-04,2.918078e-04,2.914652e-04,2.906478e-04,2.905749e-04,2.896406e-04,2.894104e-04,2.886670e-04,2.881062e-04,2.876583e-04,2.867449e-04,2.866187e-04,2.855518e-04,2.853354e-04,2.844611e-04,2.838856e-04,2.833498e-04,2.824026e-04,2.822209e-04,2.810771e-04,2.808929e-04,2.799210e-04,2.793623e-04,2.787549e-04,2.778162e-04,2.775809e-04,2.764012e-04,2.762593e-04,2.752175e-04,2.746958e-04,2.740315e-04,2.731296e-04,2.728448e-04,2.716588e-04,2.715640e-04,2.704749e-04,2.700022e-04,2.692943e-04,2.684468e-04,2.681180e-04,2.669471e-04,2.669004e-04,2.657825e-04,2.653650e-04,2.646251e-04,2.638426e-04,2.634757e-04,2.623349e-04,2.608433e-04,2.593692e-04,2.579137e-04,2.564778e-04,2.550623e-04,2.536679e-04,2.522953e-04,2.509449e-04,2.496171e-04,2.483122e-04,2.470306e-04,2.457723e-04,2.445375e-04,2.433262e-04,2.421385e-04,2.409743e-04,2.398336e-04,2.387161e-04,2.376218e-04,2.365505e-04,2.355020e-04,2.344760e-04,2.334723e-04,2.324907e-04
0.000000e+00,8.996325e-12,2.059666e-11,7.104264e-11,1.629224e-10,2.393741e-10,5.588503e-10,5.765332e-10,1.165052e-09,1.388686e-09,2.106814e-09,2.876839e-09,3.477847e-09,5.100227e-09,5.255328e-09,7.350750e-09,7.892100e-09,9.690640e-09,1.109024e-08,1.223001e-08,1.460539e-08,1.493847e-08,1.779042e-08,1.837583e-08,2.076067e-08,2.234335e-08,2.382322e-08,2.644760e-08,2.695142e-08,3.011861e-08,3.062724e-08,3.329902e-08,3.482313e-08,3.646848e-08,3.898132e-08,3.960502e-08,4.268923e-08,4.305500e-08,4.570443e-08,4.700558e-08,4.863673e-08,5.080283e-08,5.147491e-08,5.421024e-08,5.442441e-08,5.683624e-08,5.785497e-08,5.934844e-08,6.108512e-08,6.174404e-08,6.402175e-08,6.411040e-08,6.618144e-08,6.693018e-08,6.822400e-08,6.954687e-08,7.015111e-08,7.196508e-08,7.366871e-08,7.419107e-08,7.526513e-08,7.623216e-08,7.675778e-08,7.809644e-08,7.815026e-08,7.944627e-08,7.979238e-08,8.064960e-08,8.132870e-08,8.176405e-08,8.271410e-08,8.279340e-08,8.374138e-08,8.395720e-08,8.461168e-08,8.506645e-08,8.540788e-08,8.605002e-08,8.613348e-08,8.679188e-08,8.691579e-08,8.738638e-08,8.767133e-08,8.792017e-08,8.832389e-08,8.839633e-08,8.881783e-08,8.888040e-08,8.918756e-08,8.934744e-08,8.950824e-08,8.973124e-08,8.978251e-08,9.001291e-08,9.003772e-08,9.020185e-08,9.027245e-08,9.035166e-08,9.044072e-08,9.046457e-08,9.054272e-08,9.054753e-08,9.058812e-08,9.059755e-08,9.060271e-08,9.059517e-08,9.058833e-08,9.054671e-08,9.054450e-08,9.047953e-08,9.044940e-08,9.038841e-08,9.031355e-08,9.027487e-08,9.014035e-08,8.998624e-08,8.993300e-08,8.981385e-08,8.969449e-08,8.962441e-08,8.942761e-08,8.941910e-08,8.919905e-08,8.913494e-08,8.896532e-08,8.881893e-08,8.871891e-08,8.848184e-08,8.846078e-08,8.819184e-08,8.812578e-08,8.791295e-08,8.775273e-08,8.762492e-08,8.736451e-08,8.732853e-08,8.702450e-08,8.696284e-08,8.671354e-08,8.654931e-08,8.639628e-08,8.612539e-08,8.607336e-08,8.574536e-08,8.569244e-08,8.541283e-08,8.525176e-08,8.507629e-08,8.480451e-08,8.473624e-08,8.439314e-08,8.435178e-08,8.404743e-08,8.389460e-08,8.369952e-08,8.343389e-08,8.334981e-08,8.299866e-08,8.297051e-08,8.264641e-08,8.250528e-08,8.229340e-08,8.203892e-08,8.193992e-08,8.158626e-08,8.157211e-08,8.123269e-08,8.110548e-08,8.087947e-08,8.063960e-08,8.052683e-08,8.017499e-08,7.971213e-08,7.925147e-08,7.879340e-08,7.833830e-08,7.788648e-08,7.743826e-08,7.699390e-08,7.655365e-08,7.611772e-08,7.568631e-08,7.525959e-08,7.483773e-08,7.442085e-08,7.400906e-08,7.360248e-08,7.320119e-08,7.280526e-08,7.241475e-08,7.202970e-08,7.165016e-08,7.127615e-08,7.090769e-08,7.054478e-08,7.018743e-08
0.000000e+00,2.147129e-12,1.078744e-11,1.171637e-10,5.611930e-10,1.144003e-09,5.251639e-09,5.546020e-09,1.839507e-08,2.456626e-08,4.817613e-08,7.924441e-08,1.075603e-07,2.034486e-07,2.142366e-07,3.915947e-07,4.477871e-07,6.684573e-07,8.788806e-07,1.076844e-06,1.569844e-06,1.647880e-06,2.407424e-06,2.583664e-06,3.373025e-06,3.959619e-06,4.552725e-06,5.708546e-06,5.945397e-06,7.542050e-06,7.815501e-06,9.327512e-06,1.024596e-05,1.128215e-05,1.295258e-05,1.338341e-05,1.560710e-05,1.588100e-05,1.792841e-05,1.897433e-05,2.032264e-05,2.217624e-05,2.276583e-05,2.523514e-05,2.543316e-05,2.770917e-05,2.869564e-05,3.016822e-05,3.191932e-05,3.259436e-05,3.497162e-05,3.506549e-05,3.728598e-05,3.810138e-05,3.952541e-05,4.100020e-05,4.167982e-05,4.374105e-05,4.570274e-05,4.630865e-05,4.756022e-05,4.869285e-05,4.931044e-05,5.088818e-05,5.095174e-05,5.248376e-05,5.289323e-05,5.390729e-05,5.471002e-05,5.522407e-05,5.634340e-05,5.643665e-05,5.754827e-05,5.780044e-05,5.856269e-05,5.908986e-05,5.948410e-05,6.022155e-05,6.031697e-05,6.106595e-05,6.120610e-05,6.173583e-05,6.205449e-05,6.233139e-05,6.277770e-05,6.285738e-05,6.331848e-05,6.338654e-05,6.371922e-05,6.389142e-05,6.406396e-05,6.430226e-05,6.435689e-05,6.460199e-05,6.462837e-05,6.480302e-05,6.487842e-05,6.496350e-05,6.506039e-05,6.508674e-05,6.517583e-05,6.518157e-05,6.523364e-05,6.524860e-05,6.526282e-05,6.526749e-05,6.526583e-05,6.524494e-05,6.524364e-05,6.520224e-05,6.518190e-05,6.513963e-05,6.508660e-05,6.505889e-05,6.496163e-05,6.484931e-05,6.481042e-05,6.472331e-05,6.463605e-05,6.458485e-05,6.444126e-05,6.443507e-05,6.427501e-05,6.422848e-05,6.410561e-05,6.399986e-05,6.392775e-05,6.375733e-05,6.374222e-05,6.354976e-05,6.350261e-05,6.335103e-05,6.323723e-05,6.314665e-05,6.296257e-05,6.293718e-05,6.272315e-05,6.267984e-05,6.250504e-05,6.239015e-05,6.228327e-05,6.209447e-05,6.205827e-05,6.183040e-05,6.179370e-05,6.160002e-05,6.148863e-05,6.136743e-05,6.117998e-05,6.113295e-05,6.089684e-05,6.086841e-05,6.065936e-05,6.055450e-05,6.042075e-05,6.023878e-05,6.018122e-05,5.994100e-05,5.992175e-05,5.970025e-05,5.960385e-05,5.945917e-05,5.928547e-05,5.921791e-05,5.897664e-05,5.896699e-05,5.873549e-05,5.864874e-05,5.849460e-05,5.833101e-05,5.825410e-05,5.801410e-05,5.769825e-05,5.738369e-05,5.707064e-05,5.675928e-05,5.644980e-05,5.614235e-05,5.583708e-05,5.553412e-05,5.523359e-05,5.493559e-05,5.464023e-05,5.434758e-05,5.405773e-05,5.377075e-05,5.348670e-05,5.320563e-05,5.292759e-05,5.265262e-05,5.238076e-05,5.211203e-05,5.184647e-05,5.158409e-05,5.132491e-05,5.106893e-05
0.000000e+00,1.041058e-11,2.381441e-11,8.200120e-11,1.878742e-10,2.759991e-10,6.452235e-10,6.657121e-10,1.350113e-09,1.610851e-09,2.445686e-09,3.329659e-09,4.009121e-09,5.804399e-09,5.973770e-09,8.238636e-09,8.818789e-09,1.073748e-08,1.222392e-08,1.343128e-08,1.594038e-08,1.629153e-08,1.929196e-08,1.990650e-08,2.240536e-08,2.405954e-08,2.560319e-08,2.833306e-08,2.885599e-08,3.213444e-08,3.265947e-08,3.541039e-08,3.697418e-08,3.865767e-08,4.121899e-08,4.185281e-08,4.497536e-08,4.534433e-08,4.800809e-08,4.931032e-08,5.093701e-08,5.308675e-08,5.375122e-08,5.644263e-08,5.665246e-08,5.900573e-08,5.999423e-08,6.143718e-08,6.310546e-08,6.373557e-08,6.590104e-08,6.598491e-08,6.793502e-08,6.863551e-08,6.983996e-08,7.106324e-08,7.161910e-08,7.327628e-08,7.481580e-08,7.528433e-08,7.624221e-08,7.709795e-08,7.756029e-08,7.872822e-08,7.877488e-08,7.989087e-08,8.018634e-08,8.091311e-08,8.148345e-08,8.184637e-08,8.263040e-08,8.269532e-08,8.346450e-08,8.363772e-08,8.415827e-08,8.451543e-08,8.478087e-08,8.527310e-08,8.533635e-08,8.582858e-08,8.591976e-08,8.626128e-08,8.646394e-08,8.663800e-08,8.691365e-08,8.696211e-08,8.723682e-08,8.727639e-08,8.746517e-08,8.755917e-08,8.765006e-08,8.776853e-08,8.779424e-08,8.790029e-08,8.791057e-08,8.797068e-08,8.799096e-08,8.800774e-08,8.801498e-08,8.801367e-08,8.799056e-08,8.798751e-08,8.794035e-08,8.791311e-08,8.786492e-08,8.779598e-08,8.776602e-08,8.764529e-08,8.764003e-08,8.750430e-08,8.744887e-08,8.734452e-08,8.722584e-08,8.716733e-08,8.697405e-08,8.676590e-08,8.669634e-08,8.654404e-08,8.639536e-08,8.630956e-08,8.607353e-08,8.606348e-08,8.580677e-08,8.573311e-08,8.554034e-08,8.537618e-08,8.526504e-08,8.500463e-08,8.498168e-08,8.469101e-08,8.462025e-08,8.439375e-08,8.422464e-08,8.409055e-08,8.381932e-08,8.378204e-08,8.346882e-08,8.340566e-08,8.315144e-08,8.298493e-08,8.283041e-08,8.255829e-08,8.250623e-08,8.217934e-08,8.212682e-08,8.185018e-08,8.169150e-08,8.151915e-08,8.125323e-08,8.118662e-08,8.085295e-08,8.081284e-08,8.051846e-08,8.037110e-08,8.018346e-08,7.992869e-08,7.984823e-08,7.951306e-08,7.948625e-08,7.917818e-08,7.904436e-08,7.884383e-08,7.860355e-08,7.851023e-08,7.817758e-08,7.816430e-08,7.784607e-08,7.772704e-08,7.751588e-08,7.729218e-08,7.718716e-08,7.686007e-08,7.643105e-08,7.600539e-08,7.558338e-08,7.516524e-08,7.475118e-08,7.434140e-08,7.393607e-08,7.353532e-08,7.313929e-08,7.274809e-08,7.236181e-08,7.198053e-08,7.160433e-08,7.123326e-08,7.086736e-08,7.050666e-08,7.015120e-08,6.980099e-08,6.945603e-08,6.911632e-08,6.878187e-08,6.845265e-08,6.812866e-08,6.780985e-08
0.000000e+00,6.050938e-11,2.376505e-10,1.617993e-09,5.308156e-09,8.944169e-09,2.638365e-08,2.740362e-08,6.239620e-08,7.589659e-08,1.194006e-07,1.665702e-07,2.042351e-07,3.122034e-07,3.231140e-07,4.820145e-07,5.266180e-07,6.848353e-07,8.176445e-07,9.311478e-07,1.180045e-06,1.216041e-06,1.532495e-06,1.598958e-06,1.873728e-06,2.059028e-06,2.234044e-06,2.547984e-06,2.608724e-06,2.993681e-06,3.055977e-06,3.385219e-06,3.574480e-06,3.779913e-06,4.095795e-06,4.174582e-06,4.566301e-06,4.612981e-06,4.952428e-06,5.119940e-06,5.330630e-06,5.611515e-06,5.698899e-06,6.055556e-06,6.083544e-06,6.399247e-06,6.532847e-06,6.728920e-06,6.957165e-06,7.043809e-06,7.343392e-06,7.355052e-06,7.627373e-06,7.725763e-06,7.895654e-06,8.069140e-06,8.148290e-06,8.385460e-06,8.607464e-06,8.675364e-06,8.814686e-06,8.939752e-06,9.007567e-06,9.179701e-06,9.186603e-06,9.352327e-06,9.396419e-06,9.505291e-06,9.591179e-06,9.646061e-06,9.765292e-06,9.775210e-06,9.893307e-06,9.920068e-06,1.000091e-05,1.005679e-05,1.009857e-05,1.017671e-05,1.018682e-05,1.026619e-05,1.028104e-05,1.033717e-05,1.037093e-05,1.040025e-05,1.044746e-05,1.045588e-05,1.050451e-05,1.051168e-05,1.054657e-05,1.056454e-05,1.058246e-05,1.060698e-05,1.061255e-05,1.063722e-05,1.063983e-05,1.065681e-05,1.066390e-05,1.067164e-05,1.067993e-05,1.068204e-05,1.068828e-05,1.068861e-05,1.069066e-05,1.069059e-05,1.068943e-05,1.068645e-05,1.068484e-05,1.067714e-05,1.067677e-05,1.066653e-05,1.066204e-05,1.065323e-05,1.064275e-05,1.063743e-05,1.061933e-05,1.059910e-05,1.059220e-05,1.057690e-05,1.056173e-05,1.055288e-05,1.052826e-05,1.052721e-05,1.050000e-05,1.049213e-05,1.047139e-05,1.045361e-05,1.044151e-05,1.041299e-05,1.041047e-05,1.037837e-05,1.037052e-05,1.034532e-05,1.032643e-05,1.031141e-05,1.028093e-05,1.027673e-05,1.024137e-05,1.023422e-05,1.020540e-05,1.018648e-05,1.016890e-05,1.013787e-05,1.013193e-05,1.009456e-05,1.008854e-05,1.005685e-05,1.003864e-05,1.001885e-05,9.988291e-06,9.980630e-06,9.942226e-06,9.937607e-06,9.903686e-06,9.886697e-06,9.865055e-06,9.835658e-06,9.826372e-06,9.787674e-06,9.784579e-06,9.748997e-06,9.733540e-06,9.710373e-06,9.682613e-06,9.671832e-06,9.633402e-06,9.631867e-06,9.595109e-06,9.581362e-06,9.556977e-06,9.531151e-06,9.519028e-06,9.481284e-06,9.431806e-06,9.382755e-06,9.334169e-06,9.286078e-06,9.238510e-06,9.191491e-06,9.145042e-06,9.099183e-06,9.053929e-06,9.009295e-06,8.965292e-06,8.921932e-06,8.879221e-06,8.837167e-06,8.795774e-06,8.755045e-06,8.714984e-06,8.675590e-06,8.636865e-06,8.598806e-06,8.561412e-06,8.524681e-06,8.488608e-06,8.453190e-06
0.000000e+00,4.119988e-12,1.927391e-11,1.809072e-10,7.603208e-10,1.443848e-09,5.533148e-09,5.800965e-09,1.613578e-08,2.055113e-08,3.579458e-08,5.351373e-08,6.825720e-08,1.123849e-07,1.169575e-07,1.852116e-07,2.048574e-07,2.761790e-07,3.381438e-07,3.927761e-07,5.185587e-07,5.374703e-07,7.119113e-07,7.504274e-07,9.164317e-07,1.034268e-06,1.149584e-06,1.365124e-06,1.407969e-06,1.686515e-06,1.732554e-06,1.979139e-06,2.122735e-06,2.279526e-06,2.521443e-06,2.581789e-06,2.880874e-06,2.916347e-06,3.172718e-06,3.298007e-06,3.454233e-06,3.659881e-06,3.723197e-06,3.978104e-06,3.997858e-06,4.218025e-06,4.309677e-06,4.442479e-06,4.594425e-06,4.651337e-06,4.844735e-06,4.852154e-06,5.023015e-06,5.083587e-06,5.186674e-06,5.289918e-06,5.336322e-06,5.472647e-06,5.596391e-06,5.633458e-06,5.708324e-06,5.774122e-06,5.809224e-06,5.896429e-06,5.899868e-06,5.981012e-06,6.002131e-06,6.053389e-06,6.092900e-06,6.117698e-06,6.170308e-06,6.174603e-06,6.224724e-06,6.235809e-06,6.268643e-06,6.290732e-06,6.306900e-06,6.336278e-06,6.339992e-06,6.368379e-06,6.373530e-06,6.392481e-06,6.403449e-06,6.412681e-06,6.426892e-06,6.429331e-06,6.442750e-06,6.444617e-06,6.453230e-06,6.457294e-06,6.461033e-06,6.465510e-06,6.466399e-06,6.469546e-06,6.469784e-06,6.470671e-06,6.470572e-06,6.469952e-06,6.468274e-06,6.467553e-06,6.463620e-06,6.463244e-06,6.458288e-06,6.455792e-06,6.451679e-06,6.446193e-06,6.443904e-06,6.435064e-06,6.434690e-06,6.425252e-06,6.421498e-06,6.414551e-06,6.406807e-06,6.403040e-06,6.390788e-06,6.377861e-06,6.373592e-06,6.364320e-06,6.355355e-06,6.350217e-06,6.336199e-06,6.335606e-06,6.320531e-06,6.316233e-06,6.305036e-06,6.295555e-06,6.289162e-06,6.274254e-06,6.272945e-06,6.256419e-06,6.252410e-06,6.239616e-06,6.230097e-06,6.222566e-06,6.207379e-06,6.205296e-06,6.187832e-06,6.184319e-06,6.170198e-06,6.160969e-06,6.152416e-06,6.137380e-06,6.134507e-06,6.116490e-06,6.113598e-06,6.098383e-06,6.089665e-06,6.080204e-06,6.065618e-06,6.061967e-06,6.043689e-06,6.041493e-06,6.025382e-06,6.017322e-06,6.007060e-06,5.993134e-06,5.988736e-06,5.970420e-06,5.968956e-06,5.952124e-06,5.944813e-06,5.933857e-06,5.920728e-06,5.915629e-06,5.897448e-06,5.896722e-06,5.879323e-06,5.872813e-06,5.861261e-06,5.849019e-06,5.843269e-06,5.825355e-06,5.801837e-06,5.778478e-06,5.755290e-06,5.732283e-06,5.709469e-06,5.686855e-06,5.664451e-06,5.642264e-06,5.620301e-06,5.598567e-06,5.577068e-06,5.555809e-06,5.534793e-06,5.514024e-06,5.493506e-06,5.473241e-06,5.453232e-06,5.433480e-06,5.413986e-06,5.394752e-06,5.375779e-06,5.357067e-06,5.338616e-06,5.320427e-06
0.000000e+00,2.307092e-11,5.323204e-11,1.840042e-10,4.184065e-10,6.095938e-10,1.375193e-09,1.416176e-09,2.715464e-09,3.182808e-09,4.620092e-09,6.101638e-09,7.246016e-09,1.039531e-08,1.070491e-08,1.507608e-08,1.626340e-08,2.036395e-08,2.369719e-08,2.648532e-08,3.245743e-08,3.330875e-08,4.070010e-08,4.223577e-08,4.854060e-08,5.276026e-08,5.672649e-08,6.380096e-08,6.516430e-08,7.376751e-08,7.515389e-08,8.245512e-08,8.663275e-08,9.115159e-08,9.806821e-08,9.978741e-08,1.082999e-07,1.093104e-07,1.166338e-07,1.202317e-07,1.247418e-07,1.307282e-07,1.325844e-07,1.401300e-07,1.407200e-07,1.473542e-07,1.501497e-07,1.542394e-07,1.589802e-07,1.607742e-07,1.669525e-07,1.671922e-07,1.727727e-07,1.747806e-07,1.782370e-07,1.817522e-07,1.833510e-07,1.881227e-07,1.925620e-07,1.939143e-07,1.966805e-07,1.991536e-07,2.004905e-07,2.038704e-07,2.040055e-07,2.072391e-07,2.080960e-07,2.102052e-07,2.118622e-07,2.129177e-07,2.152009e-07,2.153902e-07,2.176362e-07,2.181430e-07,2.196688e-07,2.207185e-07,2.215005e-07,2.229560e-07,2.231436e-07,2.246096e-07,2.248826e-07,2.259098e-07,2.265238e-07,2.270546e-07,2.279036e-07,2.280542e-07,2.289181e-07,2.290443e-07,2.296552e-07,2.299665e-07,2.302741e-07,2.306896e-07,2.307829e-07,2.311890e-07,2.312312e-07,2.314997e-07,2.316079e-07,2.317217e-07,2.318349e-07,2.318612e-07,2.319242e-07,2.319261e-07,2.319161e-07,2.318942e-07,2.318423e-07,2.317511e-07,2.317075e-07,2.315164e-07,2.315076e-07,2.312732e-07,2.311737e-07,2.309820e-07,2.307585e-07,2.306465e-07,2.302704e-07,2.298568e-07,2.297170e-07,2.294088e-07,2.291054e-07,2.289294e-07,2.284422e-07,2.284213e-07,2.278870e-07,2.277331e-07,2.273289e-07,2.269836e-07,2.267492e-07,2.261986e-07,2.261500e-07,2.255332e-07,2.253828e-07,2.249006e-07,2.245401e-07,2.242540e-07,2.236746e-07,2.235949e-07,2.229247e-07,2.227895e-07,2.222450e-07,2.218881e-07,2.215569e-07,2.209733e-07,2.208617e-07,2.201604e-07,2.200477e-07,2.194542e-07,2.191138e-07,2.187441e-07,2.181737e-07,2.180308e-07,2.173154e-07,2.172294e-07,2.165985e-07,2.162827e-07,2.158808e-07,2.153354e-07,2.151632e-07,2.144462e-07,2.143889e-07,2.137304e-07,2.134445e-07,2.130163e-07,2.125035e-07,2.123044e-07,2.115953e-07,2.115670e-07,2.108894e-07,2.106361e-07,2.101870e-07,2.097116e-07,2.094885e-07,2.087943e-07,2.078850e-07,2.069843e-07,2.060928e-07,2.052110e-07,2.043394e-07,2.034784e-07,2.026284e-07,2.017895e-07,2.009621e-07,2.001465e-07,1.993427e-07,1.985510e-07,1.977715e-07,1.970042e-07,1.962492e-07,1.955067e-07,1.947765e-07,1.940587e-07,1.933533e-07,1.926602e-07,1.919795e-07,1.913110e-07,1.906547e-07,1.900105e-07
0.000000e+00,3.052091e-11,7.088008e-11,2.477718e-10,5.698579e-10,8.365040e-10,1.935401e-09,1.995537e-09,3.962328e-09,4.694214e-09,6.997091e-09,9.403554e-09,1.125260e-08,1.619901e-08,1.667193e-08,2.311045e-08,2.479309e-08,3.044638e-08,3.491064e-08,3.858485e-08,4.634118e-08,4.743841e-08,5.691570e-08,5.887744e-08,6.691799e-08,7.229211e-08,7.734073e-08,8.634221e-08,8.807658e-08,9.901956e-08,1.007828e-07,1.100685e-07,1.153819e-07,1.211300e-07,1.299315e-07,1.321201e-07,1.429657e-07,1.442544e-07,1.536044e-07,1.582062e-07,1.639849e-07,1.716762e-07,1.740668e-07,1.838185e-07,1.845836e-07,1.932167e-07,1.968733e-07,2.022456e-07,2.085118e-07,2.108951e-07,2.191602e-07,2.194828e-07,2.270402e-07,2.297831e-07,2.345376e-07,2.394198e-07,2.416576e-07,2.484073e-07,2.547956e-07,2.567651e-07,2.608323e-07,2.645163e-07,2.665283e-07,2.716864e-07,2.718949e-07,2.769436e-07,2.783019e-07,2.816864e-07,2.843902e-07,2.861352e-07,2.899786e-07,2.903018e-07,2.941979e-07,2.950940e-07,2.978350e-07,2.997629e-07,3.012244e-07,3.040108e-07,3.043770e-07,3.073035e-07,3.078626e-07,3.100143e-07,3.113419e-07,3.125192e-07,3.144715e-07,3.148281e-07,3.169502e-07,3.172730e-07,3.188945e-07,3.197672e-07,3.206697e-07,3.219735e-07,3.222839e-07,3.237452e-07,3.239107e-07,3.250613e-07,3.255962e-07,3.262394e-07,3.270468e-07,3.272866e-07,3.282096e-07,3.282782e-07,3.290148e-07,3.293052e-07,3.297083e-07,3.301419e-07,3.302961e-07,3.307838e-07,3.308013e-07,3.311768e-07,3.312961e-07,3.314801e-07,3.316377e-07,3.316987e-07,3.318373e-07,3.319002e-07,3.319051e-07,3.318918e-07,3.318509e-07,3.318162e-07,3.316838e-07,3.316771e-07,3.314783e-07,3.314124e-07,3.312232e-07,3.310446e-07,3.309153e-07,3.305881e-07,3.305578e-07,3.301535e-07,3.300499e-07,3.297056e-07,3.294366e-07,3.292166e-07,3.287544e-07,3.286892e-07,3.281260e-07,3.280092e-07,3.275292e-07,3.272064e-07,3.269012e-07,3.263510e-07,3.262440e-07,3.255598e-07,3.254479e-07,3.248504e-07,3.245015e-07,3.241177e-07,3.235160e-07,3.233635e-07,3.225894e-07,3.224953e-07,3.217970e-07,3.214430e-07,3.209879e-07,3.203625e-07,3.201633e-07,3.193247e-07,3.192571e-07,3.184734e-07,3.181296e-07,3.176106e-07,3.169829e-07,3.167374e-07,3.158549e-07,3.158194e-07,3.149642e-07,3.146418e-07,3.140663e-07,3.134521e-07,3.131621e-07,3.122524e-07,3.110448e-07,3.098310e-07,3.086126e-07,3.073913e-07,3.061685e-07,3.049455e-07,3.037236e-07,3.025039e-07,3.012875e-07,3.000754e-07,2.988684e-07,2.976675e-07,2.964733e-07,2.952866e-07,2.941081e-07,2.929382e-07,2.917776e-07,2.906268e-07,2.894861e-07,2.883561e-07,2.872369e-07,2.861291e-07,2.850329e-07,2.839484e-07
0.000000e+00,5.684730e-12,2.842772e-11,3.056706e-10,1.449855e-09,2.938690e-09,1.327094e-08,1.400467e-08,4.555110e-08,6.046778e-08,1.166178e-07,1.888994e-07,2.535945e-07,4.666721e-07,4.901812e-07,8.671436e-07,9.836357e-07,1.431846e-06,1.849655e-06,2.237281e-06,3.190120e-06,3.340051e-06,4.796771e-06,5.135270e-06,6.658795e-06,7.801121e-06,8.966144e-06,1.126619e-05,1.174228e-05,1.499117e-05,1.555407e-05,1.869716e-05,2.062929e-05,2.282728e-05,2.640578e-05,2.733493e-05,3.216425e-05,3.276251e-05,3.725424e-05,3.956028e-05,4.254233e-05,4.665592e-05,4.796718e-05,5.347073e-05,5.391278e-05,5.899963e-05,6.120737e-05,6.450600e-05,6.843283e-05,6.994785e-05,7.528912e-05,7.550023e-05,8.049951e-05,8.233827e-05,8.555418e-05,8.889210e-05,9.043331e-05,9.512164e-05,9.960798e-05,1.009996e-04,1.038847e-04,1.065097e-04,1.079474e-04,1.116444e-04,1.117941e-04,1.154253e-04,1.164036e-04,1.188431e-04,1.207930e-04,1.220515e-04,1.248226e-04,1.250555e-04,1.278610e-04,1.285055e-04,1.304747e-04,1.318573e-04,1.329039e-04,1.348951e-04,1.351563e-04,1.372397e-04,1.376368e-04,1.391620e-04,1.401007e-04,1.409314e-04,1.423051e-04,1.425556e-04,1.440425e-04,1.442682e-04,1.453997e-04,1.460073e-04,1.466346e-04,1.475392e-04,1.477543e-04,1.487656e-04,1.488800e-04,1.496752e-04,1.500448e-04,1.504893e-04,1.510479e-04,1.512140e-04,1.518549e-04,1.519027e-04,1.524174e-04,1.526217e-04,1.529068e-04,1.532165e-04,1.533278e-04,1.536851e-04,1.536981e-04,1.539830e-04,1.540764e-04,1.542255e-04,1.543609e-04,1.544167e-04,1.545600e-04,1.546589e-04,1.546817e-04,1.547167e-04,1.547334e-04,1.547363e-04,1.547219e-04,1.547206e-04,1.546723e-04,1.546533e-04,1.545939e-04,1.545334e-04,1.544878e-04,1.543675e-04,1.543561e-04,1.542008e-04,1.541603e-04,1.540241e-04,1.539164e-04,1.538276e-04,1.536397e-04,1.536131e-04,1.533821e-04,1.533341e-04,1.531362e-04,1.530029e-04,1.528768e-04,1.526493e-04,1.526051e-04,1.523223e-04,1.522762e-04,1.520297e-04,1.518861e-04,1.517283e-04,1.514814e-04,1.514190e-04,1.511028e-04,1.510645e-04,1.507806e-04,1.506372e-04,1.504532e-04,1.502013e-04,1.501213e-04,1.497856e-04,1.497586e-04,1.494468e-04,1.493106e-04,1.491055e-04,1.488585e-04,1.487623e-04,1.484176e-04,1.484038e-04,1.480720e-04,1.479474e-04,1.477259e-04,1.474905e-04,1.473797e-04,1.470339e-04,1.465785e-04,1.461250e-04,1.456742e-04,1.452265e-04,1.447827e-04,1.443430e-04,1.439081e-04,1.434782e-04,1.430537e-04,1.426348e-04,1.422219e-04,1.418152e-04,1.414147e-04,1.410208e-04,1.406335e-04,1.402530e-04,1.398792e-04,1.395124e-04,1.391525e-04,1.387995e-04,1.384535e-04,1.381144e-04,1.377823e-04,1.374572e-04
0.000000e+00,4.860241e-11,1.365985e-10,5.814101e-10,1.451967e-09,2.187185e-09,5.209066e-09,5.372516e-09,1.057947e-08,1.245497e-08,1.820899e-08,2.410744e-08,2.863898e-08,4.101548e-08,4.222635e-08,5.926886e-08,6.389363e-08,7.990325e-08,9.298813e-08,1.039912e-07,1.277298e-07,1.311306e-07,1.608017e-07,1.669941e-07,1.924981e-07,2.096294e-07,2.257710e-07,2.546465e-07,2.602227e-07,2.954898e-07,3.011852e-07,3.312316e-07,3.484609e-07,3.671254e-07,3.957445e-07,4.028665e-07,4.381710e-07,4.423655e-07,4.727792e-07,4.877255e-07,5.064598e-07,5.313119e-07,5.390120e-07,5.702676e-07,5.727078e-07,6.000912e-07,6.115955e-07,6.283795e-07,6.477547e-07,6.550601e-07,6.800885e-07,6.810549e-07,7.034458e-07,7.114454e-07,7.251353e-07,7.389423e-07,7.451795e-07,7.636164e-07,7.804970e-07,7.855799e-07,7.958822e-07,8.049751e-07,8.098401e-07,8.219646e-07,8.224437e-07,8.337695e-07,8.367222e-07,8.438950e-07,8.494265e-07,8.528980e-07,8.602553e-07,8.608551e-07,8.678412e-07,8.693815e-07,8.739283e-07,8.769703e-07,8.791856e-07,8.831777e-07,8.836786e-07,8.874693e-07,8.881484e-07,8.906161e-07,8.920162e-07,8.931734e-07,8.949032e-07,8.951919e-07,8.967188e-07,8.969205e-07,8.977978e-07,8.981686e-07,8.984694e-07,8.987384e-07,8.987707e-07,8.987362e-07,8.987110e-07,8.983970e-07,8.981588e-07,8.977822e-07,8.971468e-07,8.969181e-07,8.958289e-07,8.957327e-07,8.945369e-07,8.939679e-07,8.930622e-07,8.918978e-07,8.914234e-07,8.896374e-07,8.895631e-07,8.877195e-07,8.869996e-07,8.856840e-07,8.842394e-07,8.835438e-07,8.813107e-07,8.789954e-07,8.782387e-07,8.766076e-07,8.750456e-07,8.741564e-07,8.717512e-07,8.716500e-07,8.690957e-07,8.683730e-07,8.665007e-07,8.649266e-07,8.638710e-07,8.614261e-07,8.612125e-07,8.585305e-07,8.578838e-07,8.558297e-07,8.543107e-07,8.531146e-07,8.507167e-07,8.503892e-07,8.476573e-07,8.471104e-07,8.449222e-07,8.434998e-07,8.421871e-07,8.398916e-07,8.394547e-07,8.367278e-07,8.362921e-07,8.340086e-07,8.327069e-07,8.312995e-07,8.291407e-07,8.286023e-07,8.259190e-07,8.255980e-07,8.232511e-07,8.220826e-07,8.206003e-07,8.185978e-07,8.179678e-07,8.153549e-07,8.151468e-07,8.127629e-07,8.117321e-07,8.101927e-07,8.083562e-07,8.076452e-07,8.051214e-07,8.050210e-07,8.026220e-07,8.017283e-07,8.001477e-07,7.984798e-07,7.976990e-07,7.952766e-07,7.921199e-07,7.890106e-07,7.859495e-07,7.829372e-07,7.799743e-07,7.770611e-07,7.741978e-07,7.713846e-07,7.686217e-07,7.659089e-07,7.632461e-07,7.606333e-07,7.580701e-07,7.555564e-07,7.530917e-07,7.506758e-07,7.483081e-07,7.459883e-07,7.437158e-07,7.414901e-07,7.393107e-07,7.371771e-07,7.350885e-07,7.330445e-07
0.000000e+00,1.206621e-11,5.881484e-11,6.000097e-10,2.714697e-09,5.363466e-09,2.270587e-08,2.389959e-08,7.310914e-08,9.549893e-08,1.770835e-07,2.782587e-07,3.664950e-07,6.476630e-07,6.780426e-07,1.153873e-06,1.297604e-06,1.840228e-06,2.334172e-06,2.784018e-06,3.860367e-06,4.026247e-06,5.593287e-06,5.946500e-06,7.489688e-06,8.600471e-06,9.696229e-06,1.176113e-05,1.217367e-05,1.486981e-05,1.531765e-05,1.772695e-05,1.913864e-05,2.068793e-05,2.309587e-05,2.370008e-05,2.671740e-05,2.707791e-05,2.970124e-05,3.099518e-05,3.262021e-05,3.477981e-05,3.544960e-05,3.817058e-05,3.838313e-05,4.076940e-05,4.177247e-05,4.323657e-05,4.492796e-05,4.556616e-05,4.775520e-05,4.783982e-05,4.980311e-05,5.050601e-05,5.171121e-05,5.293027e-05,5.348236e-05,5.512054e-05,5.663064e-05,5.708770e-05,5.801814e-05,5.884450e-05,5.928892e-05,6.040477e-05,6.044913e-05,6.150500e-05,6.178280e-05,6.246275e-05,6.299286e-05,6.332852e-05,6.404892e-05,6.410827e-05,6.480778e-05,6.496434e-05,6.543258e-05,6.575181e-05,6.598794e-05,6.642318e-05,6.647885e-05,6.691004e-05,6.698950e-05,6.728594e-05,6.746096e-05,6.761074e-05,6.784694e-05,6.788834e-05,6.812238e-05,6.815601e-05,6.831626e-05,6.839601e-05,6.847317e-05,6.857406e-05,6.859604e-05,6.868763e-05,6.869664e-05,6.875047e-05,6.876963e-05,6.878693e-05,6.879835e-05,6.879920e-05,6.878932e-05,6.878763e-05,6.875916e-05,6.874182e-05,6.871047e-05,6.866486e-05,6.864488e-05,6.856386e-05,6.856032e-05,6.846881e-05,6.843140e-05,6.836101e-05,6.828102e-05,6.824163e-05,6.811179e-05,6.797250e-05,6.792608e-05,6.782469e-05,6.772602e-05,6.766923e-05,6.751354e-05,6.750693e-05,6.733852e-05,6.729037e-05,6.716471e-05,6.705809e-05,6.698612e-05,6.681810e-05,6.680334e-05,6.661691e-05,6.657168e-05,6.642734e-05,6.631999e-05,6.623510e-05,6.606405e-05,6.604060e-05,6.584426e-05,6.580480e-05,6.564642e-05,6.554308e-05,6.544744e-05,6.527963e-05,6.524762e-05,6.504724e-05,6.501515e-05,6.484658e-05,6.475023e-05,6.464586e-05,6.448541e-05,6.444533e-05,6.424518e-05,6.422120e-05,6.404561e-05,6.395802e-05,6.384678e-05,6.369627e-05,6.364886e-05,6.345199e-05,6.343629e-05,6.325630e-05,6.317839e-05,6.306193e-05,6.292285e-05,6.286897e-05,6.267753e-05,6.266990e-05,6.248770e-05,6.241977e-05,6.229956e-05,6.217263e-05,6.211319e-05,6.192865e-05,6.168798e-05,6.145073e-05,6.121700e-05,6.098689e-05,6.076046e-05,6.053779e-05,6.031890e-05,6.010385e-05,5.989266e-05,5.968534e-05,5.948191e-05,5.928236e-05,5.908669e-05,5.889489e-05,5.870694e-05,5.852282e-05,5.834250e-05,5.816595e-05,5.799314e-05,5.782403e-05,5.765858e-05,5.749675e-05,5.733850e-05,5.718377e-05
0.000000e+00,5.486902e-11,1.279599e-10,4.525459e-10,1.057445e-09,1.570025e-09,3.779386e-09,3.904360e-09,8.183026e-09,9.854894e-09,1.531599e-08,2.123980e-08,2.587710e-08,3.843211e-08,3.963651e-08,5.600924e-08,6.027269e-08,7.453957e-08,8.574895e-08,9.494481e-08,1.143006e-07,1.170351e-07,1.406539e-07,1.455478e-07,1.656490e-07,1.791375e-07,1.918600e-07,2.146931e-07,2.191174e-07,2.472446e-07,2.518138e-07,2.760630e-07,2.900891e-07,3.053957e-07,3.291183e-07,3.350737e-07,3.649380e-07,3.685272e-07,3.948432e-07,4.079801e-07,4.246581e-07,4.471854e-07,4.542671e-07,4.835695e-07,4.858978e-07,5.124792e-07,5.239163e-07,5.409233e-07,5.610805e-07,5.688416e-07,5.961852e-07,5.972664e-07,6.229153e-07,6.323818e-07,6.490008e-07,6.663578e-07,6.744169e-07,6.991458e-07,7.231751e-07,7.307153e-07,7.464969e-07,7.610495e-07,7.691072e-07,7.901435e-07,7.910058e-07,8.121950e-07,8.180014e-07,8.326794e-07,8.446344e-07,8.524657e-07,8.700599e-07,8.715626e-07,8.899822e-07,8.943036e-07,9.077367e-07,9.173924e-07,9.248362e-07,9.393516e-07,9.412929e-07,9.571189e-07,9.602095e-07,9.723269e-07,9.799950e-07,9.869298e-07,9.987385e-07,1.000941e-06,1.014374e-06,1.016471e-06,1.027243e-06,1.033223e-06,1.039560e-06,1.049026e-06,1.051340e-06,1.062596e-06,1.063912e-06,1.073341e-06,1.077911e-06,1.083589e-06,1.091054e-06,1.093354e-06,1.102649e-06,1.103373e-06,1.111486e-06,1.114896e-06,1.119880e-06,1.125655e-06,1.127841e-06,1.135384e-06,1.135677e-06,1.142520e-06,1.144992e-06,1.149262e-06,1.153627e-06,1.155621e-06,1.161609e-06,1.167239e-06,1.168966e-06,1.172520e-06,1.175723e-06,1.177465e-06,1.181905e-06,1.182084e-06,1.186388e-06,1.187537e-06,1.190386e-06,1.192643e-06,1.194090e-06,1.197246e-06,1.197509e-06,1.200653e-06,1.201368e-06,1.203531e-06,1.205030e-06,1.206153e-06,1.208255e-06,1.208527e-06,1.210663e-06,1.211062e-06,1.212568e-06,1.213471e-06,1.214252e-06,1.215501e-06,1.215722e-06,1.216986e-06,1.217170e-06,1.218052e-06,1.218496e-06,1.218928e-06,1.219496e-06,1.219620e-06,1.220136e-06,1.220186e-06,1.220483e-06,1.220583e-06,1.220666e-06,1.220701e-06,1.220694e-06,1.220572e-06,1.220556e-06,1.220306e-06,1.220161e-06,1.219903e-06,1.219530e-06,1.219367e-06,1.218705e-06,1.218676e-06,1.217922e-06,1.217611e-06,1.217023e-06,1.216349e-06,1.216014e-06,1.214899e-06,1.213274e-06,1.211484e-06,1.209539e-06,1.207449e-06,1.205223e-06,1.202871e-06,1.200401e-06,1.197821e-06,1.195139e-06,1.192363e-06,1.189499e-06,1.186555e-06,1.183537e-06,1.180452e-06,1.177304e-06,1.174101e-06,1.170848e-06,1.167549e-06,1.164210e-06,1.160835e-06,1.157428e-06,1.153995e-06,1.150538e-06,1.147062e-06
0.000000e+00,4.080232e-11,1.507935e-10,9.292204e-10,2.853718e-09,4.673700e-09,1.306106e-08,1.354285e-08,2.985997e-08,3.610375e-08,5.618414e-08,7.795394e-08,9.532367e-08,1.446917e-07,1.496212e-07,2.196315e-07,2.386415e-07,3.039570e-07,3.566500e-07,4.005141e-07,4.941239e-07,5.074526e-07,6.232729e-07,6.473858e-07,7.466618e-07,8.133958e-07,8.763552e-07,9.892349e-07,1.011074e-06,1.149514e-06,1.171922e-06,1.290367e-06,1.358455e-06,1.432350e-06,1.545927e-06,1.574242e-06,1.714914e-06,1.731663e-06,1.853352e-06,1.913324e-06,1.988672e-06,2.088967e-06,2.120130e-06,2.247118e-06,2.257069e-06,2.369166e-06,2.416520e-06,2.485925e-06,2.566580e-06,2.597159e-06,2.702735e-06,2.706839e-06,2.802600e-06,2.837156e-06,2.896776e-06,2.957602e-06,2.985338e-06,3.068413e-06,3.146159e-06,3.169942e-06,3.218764e-06,3.262626e-06,3.286432e-06,3.346950e-06,3.349380e-06,3.407833e-06,3.423425e-06,3.462017e-06,3.492572e-06,3.512158e-06,3.554906e-06,3.558476e-06,3.601189e-06,3.610927e-06,3.640505e-06,3.661114e-06,3.676626e-06,3.705921e-06,3.709743e-06,3.740039e-06,3.745775e-06,3.767687e-06,3.781073e-06,3.792852e-06,3.812184e-06,3.815687e-06,3.836339e-06,3.839450e-06,3.854945e-06,3.863187e-06,3.871634e-06,3.883686e-06,3.886526e-06,3.899735e-06,3.901212e-06,3.911368e-06,3.916013e-06,3.921524e-06,3.928312e-06,3.930296e-06,3.937772e-06,3.938316e-06,3.944033e-06,3.946215e-06,3.949157e-06,3.952182e-06,3.953214e-06,3.956273e-06,3.956376e-06,3.958397e-06,3.958944e-06,3.959643e-06,3.960019e-06,3.960069e-06,3.959725e-06,3.958660e-06,3.958175e-06,3.956920e-06,3.955472e-06,3.954548e-06,3.951714e-06,3.951584e-06,3.948066e-06,3.946987e-06,3.944030e-06,3.941373e-06,3.939508e-06,3.934946e-06,3.934532e-06,3.929132e-06,3.927776e-06,3.923336e-06,3.919927e-06,3.917169e-06,3.911456e-06,3.910657e-06,3.903823e-06,3.902419e-06,3.896688e-06,3.892866e-06,3.889273e-06,3.882843e-06,3.881598e-06,3.873681e-06,3.872393e-06,3.865540e-06,3.861557e-06,3.857190e-06,3.850371e-06,3.848648e-06,3.839928e-06,3.838870e-06,3.831044e-06,3.827086e-06,3.822008e-06,3.815048e-06,3.812835e-06,3.803534e-06,3.802785e-06,3.794118e-06,3.790321e-06,3.784596e-06,3.777681e-06,3.774979e-06,3.765276e-06,3.764887e-06,3.755497e-06,3.751959e-06,3.745649e-06,3.738917e-06,3.735740e-06,3.725779e-06,3.712560e-06,3.699278e-06,3.685946e-06,3.672578e-06,3.659186e-06,3.645782e-06,3.632377e-06,3.618981e-06,3.605604e-06,3.592254e-06,3.578940e-06,3.565669e-06,3.552448e-06,3.539283e-06,3.526182e-06,3.513149e-06,3.500190e-06,3.487309e-06,3.474511e-06,3.461800e-06,3.449181e-06,3.436655e-06,3.424227e-06,3.411900e-06
0.000000e+00,2.218851e-12,1.132071e-11,1.269010e-10,6.251453e-10,1.293613e-09,6.160015e-09,6.514501e-09,2.230770e-08,3.002146e-08,5.988769e-08,9.960967e-08,1.359887e-07,2.594170e-07,2.732914e-07,5.004773e-07,5.720842e-07,8.519362e-07,1.117561e-06,1.367119e-06,1.990348e-06,2.089476e-06,3.064904e-06,3.294455e-06,4.339763e-06,5.135961e-06,5.958646e-06,7.614268e-06,7.962204e-06,1.038527e-05,1.081385e-05,1.325544e-05,1.479795e-05,1.659209e-05,1.960477e-05,2.040594e-05,2.469889e-05,2.524602e-05,2.946436e-05,3.170736e-05,3.468772e-05,3.895051e-05,4.034711e-05,4.641423e-05,4.691624e-05,5.285542e-05,5.552824e-05,5.963264e-05,6.469719e-05,6.670453e-05,7.402744e-05,7.432494e-05,8.155642e-05,8.430856e-05,8.924611e-05,9.454391e-05,9.705154e-05,1.049289e-04,1.128359e-04,1.153659e-04,1.207328e-04,1.257641e-04,1.285822e-04,1.360408e-04,1.363495e-04,1.440035e-04,1.461224e-04,1.515159e-04,1.559448e-04,1.588616e-04,1.654537e-04,1.660189e-04,1.729690e-04,1.746044e-04,1.796963e-04,1.833612e-04,1.861877e-04,1.916970e-04,1.924331e-04,1.984248e-04,1.995921e-04,2.041571e-04,2.070342e-04,2.096266e-04,2.140167e-04,2.148317e-04,2.197725e-04,2.205385e-04,2.244503e-04,2.266030e-04,2.288680e-04,2.322173e-04,2.330293e-04,2.369392e-04,2.373917e-04,2.406030e-04,2.421388e-04,2.440271e-04,2.464732e-04,2.472182e-04,2.501834e-04,2.504111e-04,2.529302e-04,2.539695e-04,2.554663e-04,2.571662e-04,2.577995e-04,2.599378e-04,2.600194e-04,2.618892e-04,2.625475e-04,2.636616e-04,2.647685e-04,2.652628e-04,2.667006e-04,2.679827e-04,2.683613e-04,2.691165e-04,2.697677e-04,2.701094e-04,2.709365e-04,2.709684e-04,2.717005e-04,2.718836e-04,2.723123e-04,2.726244e-04,2.728104e-04,2.731735e-04,2.732009e-04,2.734900e-04,2.735449e-04,2.736832e-04,2.737517e-04,2.737864e-04,2.738068e-04,2.738046e-04,2.737432e-04,2.737218e-04,2.736069e-04,2.735081e-04,2.734005e-04,2.731762e-04,2.731284e-04,2.727949e-04,2.727362e-04,2.724041e-04,2.721973e-04,2.719598e-04,2.715683e-04,2.714657e-04,2.709254e-04,2.708576e-04,2.703422e-04,2.700728e-04,2.697192e-04,2.692211e-04,2.690596e-04,2.683661e-04,2.683093e-04,2.676416e-04,2.673436e-04,2.668885e-04,2.663300e-04,2.661093e-04,2.653063e-04,2.652738e-04,2.644818e-04,2.641801e-04,2.636378e-04,2.630537e-04,2.627763e-04,2.618990e-04,2.607200e-04,2.595204e-04,2.583038e-04,2.570733e-04,2.558321e-04,2.545827e-04,2.533277e-04,2.520695e-04,2.508101e-04,2.495517e-04,2.482958e-04,2.470442e-04,2.457984e-04,2.445598e-04,2.433295e-04,2.421087e-04,2.408984e-04,2.396995e-04,2.385129e-04,2.373392e-04,2.361791e-04,2.350332e-04,2.339020e-04,2.327859e-04
0.000000e+00,3.028645e-11,6.998951e-11,2.433946e-10,5.574439e-10,8.157667e-10,1.864193e-09,1.920844e-09,3.739038e-09,4.402268e-09,6.467694e-09,8.631856e-09,1.032423e-08,1.505554e-08,1.552546e-08,2.222465e-08,2.406070e-08,3.044225e-08,3.567226e-08,4.007672e-08,4.960980e-08,5.098043e-08,6.301234e-08,6.554297e-08,7.604881e-08,8.318735e-08,8.997784e-08,1.022894e-07,1.046921e-07,1.200848e-07,1.226034e-07,1.360486e-07,1.438824e-07,1.524759e-07,1.658799e-07,1.692604e-07,1.862986e-07,1.883555e-07,2.034921e-07,2.110822e-07,2.207482e-07,2.338521e-07,2.379818e-07,2.551161e-07,2.564804e-07,2.720820e-07,2.788074e-07,2.888195e-07,3.006997e-07,3.052768e-07,3.214096e-07,3.220477e-07,3.371811e-07,3.427645e-07,3.525613e-07,3.627838e-07,3.675261e-07,3.820570e-07,3.961402e-07,4.005506e-07,4.097661e-07,4.182439e-07,4.229289e-07,4.351267e-07,4.356256e-07,4.478560e-07,4.511972e-07,4.596223e-07,4.664608e-07,4.709283e-07,4.809280e-07,4.817796e-07,4.921829e-07,4.946139e-07,5.021462e-07,5.075367e-07,5.116783e-07,5.197171e-07,5.207883e-07,5.294861e-07,5.311771e-07,5.377819e-07,5.419404e-07,5.456863e-07,5.520312e-07,5.532098e-07,5.603634e-07,5.614744e-07,5.671579e-07,5.702949e-07,5.736041e-07,5.785176e-07,5.797129e-07,5.854950e-07,5.861674e-07,5.909610e-07,5.932687e-07,5.961215e-07,5.998455e-07,6.009868e-07,6.055670e-07,6.059214e-07,6.098721e-07,6.115193e-07,6.139119e-07,6.166617e-07,6.176960e-07,6.212337e-07,6.213703e-07,6.245343e-07,6.256661e-07,6.276065e-07,6.295696e-07,6.304591e-07,6.331006e-07,6.355392e-07,6.362780e-07,6.377829e-07,6.391202e-07,6.398396e-07,6.416450e-07,6.417168e-07,6.434218e-07,6.438694e-07,6.449619e-07,6.458097e-07,6.463439e-07,6.474816e-07,6.475746e-07,6.486604e-07,6.489002e-07,6.496077e-07,6.500799e-07,6.504225e-07,6.510347e-07,6.511108e-07,6.516783e-07,6.517778e-07,6.521304e-07,6.523218e-07,6.524726e-07,6.526788e-07,6.527100e-07,6.528475e-07,6.528606e-07,6.528900e-07,6.528780e-07,6.528421e-07,6.527418e-07,6.527084e-07,6.524930e-07,6.524619e-07,6.522003e-07,6.520480e-07,6.518342e-07,6.515092e-07,6.513985e-07,6.508971e-07,6.508542e-07,6.503334e-07,6.500913e-07,6.497111e-07,6.492284e-07,6.490333e-07,6.483033e-07,6.482730e-07,6.475241e-07,6.472322e-07,6.466988e-07,6.461127e-07,6.458301e-07,6.449209e-07,6.436630e-07,6.423446e-07,6.409713e-07,6.395481e-07,6.380801e-07,6.365717e-07,6.350274e-07,6.334513e-07,6.318472e-07,6.302189e-07,6.285697e-07,6.269029e-07,6.252216e-07,6.235286e-07,6.218266e-07,6.201182e-07,6.184056e-07,6.166912e-07,6.149770e-07,6.132649e-07,6.115568e-07,6.098542e-07,6.081588e-07,6.064719e-07
0.000000e+00,3.586251e-11,1.608622e-10,1.392930e-09,5.481759e-09,1.007199e-08,3.579589e-08,3.742457e-08,9.794564e-08,1.229622e-07,2.073283e-07,3.030506e-07,3.815342e-07,6.127806e-07,6.365281e-07,9.881575e-07,1.088645e-06,1.451618e-06,1.765035e-06,2.040013e-06,2.668343e-06,2.762237e-06,3.621456e-06,3.809614e-06,4.615315e-06,5.183339e-06,5.737492e-06,6.773070e-06,6.979443e-06,8.331576e-06,8.557474e-06,9.783824e-06,1.051343e-05,1.132583e-05,1.261694e-05,1.294699e-05,1.463650e-05,1.484332e-05,1.638344e-05,1.716747e-05,1.817689e-05,1.956440e-05,2.000611e-05,2.186067e-05,2.200983e-05,2.373061e-05,2.448078e-05,2.560658e-05,2.695610e-05,2.747989e-05,2.934264e-05,2.941683e-05,3.118771e-05,3.184637e-05,3.300880e-05,3.423058e-05,3.480037e-05,3.655769e-05,3.827673e-05,3.881818e-05,3.995416e-05,4.100460e-05,4.158726e-05,4.311132e-05,4.317387e-05,4.471234e-05,4.513431e-05,4.620148e-05,4.707093e-05,4.764047e-05,4.891967e-05,4.902887e-05,5.036651e-05,5.067999e-05,5.165347e-05,5.235215e-05,5.289008e-05,5.393702e-05,5.407682e-05,5.521434e-05,5.543600e-05,5.630342e-05,5.685088e-05,5.734492e-05,5.818373e-05,5.833982e-05,5.928914e-05,5.943687e-05,6.019396e-05,6.061279e-05,6.105540e-05,6.171408e-05,6.187460e-05,6.265273e-05,6.274340e-05,6.339097e-05,6.370346e-05,6.409050e-05,6.459698e-05,6.475250e-05,6.537814e-05,6.542666e-05,6.596860e-05,6.619519e-05,6.652502e-05,6.690521e-05,6.704854e-05,6.754029e-05,6.755931e-05,6.800135e-05,6.816004e-05,6.843282e-05,6.870985e-05,6.883575e-05,6.921117e-05,6.956010e-05,6.966632e-05,6.988352e-05,7.007756e-05,7.018239e-05,7.044708e-05,7.045765e-05,7.071022e-05,7.077700e-05,7.094098e-05,7.106934e-05,7.115080e-05,7.132606e-05,7.134052e-05,7.151094e-05,7.154907e-05,7.166287e-05,7.174016e-05,7.179707e-05,7.190108e-05,7.191428e-05,7.201522e-05,7.203352e-05,7.210059e-05,7.213906e-05,7.217107e-05,7.221924e-05,7.222731e-05,7.226995e-05,7.227555e-05,7.229959e-05,7.230938e-05,7.231683e-05,7.232208e-05,7.232224e-05,7.231638e-05,7.231495e-05,7.229978e-05,7.228920e-05,7.227294e-05,7.224602e-05,7.223638e-05,7.219057e-05,7.218652e-05,7.213597e-05,7.211177e-05,7.207303e-05,7.202280e-05,7.200219e-05,7.192384e-05,7.192056e-05,7.183841e-05,7.180599e-05,7.174626e-05,7.167995e-05,7.164777e-05,7.154330e-05,7.139682e-05,7.124126e-05,7.107735e-05,7.090576e-05,7.072714e-05,7.054211e-05,7.035123e-05,7.015507e-05,6.995414e-05,6.974894e-05,6.953992e-05,6.932753e-05,6.911219e-05,6.889429e-05,6.867419e-05,6.845224e-05,6.822878e-05,6.800410e-05,6.777851e-05,6.755228e-05,6.732564e-05,6.709886e-05,6.687216e-05,6.664574e-05
0.000000e+00,3.239085e-10,1.063183e-09,5.510895e-09,1.531926e-08,2.412803e-08,6.309998e-08,6.530558e-08,1.397057e-07,1.682810e-07,2.611981e-07,3.639205e-07,4.473475e-07,6.906281e-07,7.153412e-07,1.071665e-06,1.169475e-06,1.506119e-06,1.776467e-06,1.999694e-06,2.468887e-06,2.534831e-06,3.098699e-06,3.214080e-06,3.682295e-06,3.991277e-06,4.278910e-06,4.786104e-06,4.883074e-06,5.489965e-06,5.587020e-06,6.095143e-06,6.383791e-06,6.694459e-06,7.167084e-06,7.284049e-06,7.860390e-06,7.928508e-06,8.420363e-06,8.660857e-06,8.961278e-06,9.358227e-06,9.480887e-06,9.977408e-06,1.001609e-05,1.044950e-05,1.063127e-05,1.089622e-05,1.120184e-05,1.131704e-05,1.171173e-05,1.172698e-05,1.208039e-05,1.220680e-05,1.242338e-05,1.264222e-05,1.274123e-05,1.303459e-05,1.330433e-05,1.338579e-05,1.355133e-05,1.369795e-05,1.377661e-05,1.397339e-05,1.398119e-05,1.416613e-05,1.421454e-05,1.433249e-05,1.442383e-05,1.448132e-05,1.460365e-05,1.461366e-05,1.473050e-05,1.475635e-05,1.483284e-05,1.488415e-05,1.492159e-05,1.498919e-05,1.499768e-05,1.506195e-05,1.507345e-05,1.511521e-05,1.513882e-05,1.515824e-05,1.518702e-05,1.519177e-05,1.521649e-05,1.521967e-05,1.523305e-05,1.523828e-05,1.524205e-05,1.524420e-05,1.524407e-05,1.523965e-05,1.523871e-05,1.522929e-05,1.522297e-05,1.521345e-05,1.519803e-05,1.519259e-05,1.516710e-05,1.516488e-05,1.513738e-05,1.512439e-05,1.510379e-05,1.507738e-05,1.506665e-05,1.502628e-05,1.502460e-05,1.498297e-05,1.496672e-05,1.493700e-05,1.490434e-05,1.488861e-05,1.483805e-05,1.478552e-05,1.476833e-05,1.473123e-05,1.469566e-05,1.467538e-05,1.462046e-05,1.461814e-05,1.455967e-05,1.454310e-05,1.450013e-05,1.446395e-05,1.443966e-05,1.438331e-05,1.437838e-05,1.431642e-05,1.430146e-05,1.425390e-05,1.421868e-05,1.419091e-05,1.413518e-05,1.412757e-05,1.406394e-05,1.405119e-05,1.400013e-05,1.396690e-05,1.393620e-05,1.388247e-05,1.387223e-05,1.380828e-05,1.379806e-05,1.374442e-05,1.371382e-05,1.368070e-05,1.362986e-05,1.361717e-05,1.355388e-05,1.354631e-05,1.349088e-05,1.346326e-05,1.342820e-05,1.338080e-05,1.336588e-05,1.330395e-05,1.329901e-05,1.324245e-05,1.321797e-05,1.318140e-05,1.313774e-05,1.312083e-05,1.306076e-05,1.305837e-05,1.300121e-05,1.297991e-05,1.294221e-05,1.290240e-05,1.288376e-05,1.282589e-05,1.275040e-05,1.267595e-05,1.260258e-05,1.253031e-05,1.245914e-05,1.238908e-05,1.232016e-05,1.225237e-05,1.218571e-05,1.212020e-05,1.205582e-05,1.199258e-05,1.193048e-05,1.186951e-05,1.180965e-05,1.175091e-05,1.169328e-05,1.163674e-05,1.158129e-05,1.152692e-05,1.147360e-05,1.142134e-05,1.137011e-05,1.131991e-05
0.000000e+00,2.522035e-11,5.844348e-11,2.023553e-10,4.594394e-10,6.685582e-10,1.503425e-09,1.548054e-09,2.962454e-09,3.471550e-09,5.040175e-09,6.662974e-09,7.920940e-09,1.140261e-08,1.174634e-08,1.662151e-08,1.795112e-08,2.255034e-08,2.628678e-08,2.940307e-08,3.602991e-08,3.696793e-08,4.503133e-08,4.668763e-08,5.341763e-08,5.785961e-08,6.199061e-08,6.925701e-08,7.064288e-08,7.928595e-08,8.066278e-08,8.784392e-08,9.190166e-08,9.625025e-08,1.028266e-07,1.044465e-07,1.123818e-07,1.133144e-07,1.200132e-07,1.232653e-07,1.273052e-07,1.326028e-07,1.342301e-07,1.407679e-07,1.412737e-07,1.469052e-07,1.492463e-07,1.526353e-07,1.565080e-07,1.579571e-07,1.628745e-07,1.630629e-07,1.673955e-07,1.689281e-07,1.715314e-07,1.741309e-07,1.752962e-07,1.787057e-07,1.817773e-07,1.826918e-07,1.845292e-07,1.861312e-07,1.869799e-07,1.890668e-07,1.891484e-07,1.910532e-07,1.915417e-07,1.927124e-07,1.935975e-07,1.941438e-07,1.952739e-07,1.953642e-07,1.963898e-07,1.966087e-07,1.972360e-07,1.976369e-07,1.979173e-07,1.983911e-07,1.984471e-07,1.988380e-07,1.989006e-07,1.991019e-07,1.991925e-07,1.992495e-07,1.992912e-07,1.992912e-07,1.992362e-07,1.992190e-07,1.990932e-07,1.989956e-07,1.988701e-07,1.986390e-07,1.985744e-07,1.982127e-07,1.981652e-07,1.977913e-07,1.975885e-07,1.973160e-07,1.969219e-07,1.967920e-07,1.962241e-07,1.961770e-07,1.956169e-07,1.953639e-07,1.949744e-07,1.944921e-07,1.943004e-07,1.935982e-07,1.935696e-07,1.928711e-07,1.926038e-07,1.921220e-07,1.916014e-07,1.913535e-07,1.905681e-07,1.897680e-07,1.895092e-07,1.889553e-07,1.884294e-07,1.881319e-07,1.873329e-07,1.872995e-07,1.864597e-07,1.862234e-07,1.856140e-07,1.851043e-07,1.847637e-07,1.839785e-07,1.839102e-07,1.830544e-07,1.828488e-07,1.821974e-07,1.817174e-07,1.813402e-07,1.805865e-07,1.804837e-07,1.796287e-07,1.794579e-07,1.787759e-07,1.783335e-07,1.779259e-07,1.772146e-07,1.770794e-07,1.762369e-07,1.761026e-07,1.753990e-07,1.749986e-07,1.745662e-07,1.739038e-07,1.737387e-07,1.729171e-07,1.728189e-07,1.721017e-07,1.717449e-07,1.712927e-07,1.706825e-07,1.704906e-07,1.696954e-07,1.696321e-07,1.689076e-07,1.685945e-07,1.681272e-07,1.675700e-07,1.673544e-07,1.665895e-07,1.665591e-07,1.658325e-07,1.655620e-07,1.650837e-07,1.645791e-07,1.643430e-07,1.636106e-07,1.626566e-07,1.617174e-07,1.607930e-07,1.598834e-07,1.589889e-07,1.581092e-07,1.572446e-07,1.563948e-07,1.555599e-07,1.547398e-07,1.539344e-07,1.531436e-07,1.523673e-07,1.516053e-07,1.508576e-07,1.501240e-07,1.494043e-07,1.486984e-07,1.480061e-07,1.473272e-07,1.466615e-07,1.460090e-07,1.453693e-07,1.447423e-07
0.000000e+00,2.549686e-12,5.829194e-12,1.995632e-11,4.516185e-11,6.566235e-11,1.473805e-10,1.517396e-10,2.891878e-10,3.382847e-10,4.882101e-10,6.411819e-10,7.583581e-10,1.077196e-09,1.108307e-09,1.544820e-09,1.662893e-09,2.070747e-09,2.403538e-09,2.683375e-09,3.288258e-09,3.375125e-09,4.136030e-09,4.295593e-09,4.955717e-09,5.401827e-09,5.824121e-09,6.584147e-09,6.731575e-09,7.668743e-09,7.820840e-09,8.626611e-09,9.091190e-09,9.596553e-09,1.037571e-08,1.057043e-08,1.154070e-08,1.165655e-08,1.250051e-08,1.291792e-08,1.344379e-08,1.414635e-08,1.436526e-08,1.526045e-08,1.533082e-08,1.612570e-08,1.646274e-08,1.695809e-08,1.753579e-08,1.775540e-08,1.851606e-08,1.854571e-08,1.923906e-08,1.949000e-08,1.992387e-08,2.036765e-08,2.057038e-08,2.117884e-08,2.174978e-08,2.192468e-08,2.228398e-08,2.260702e-08,2.278240e-08,2.322824e-08,2.324614e-08,2.367642e-08,2.379108e-08,2.407452e-08,2.429850e-08,2.444179e-08,2.475361e-08,2.477958e-08,2.508926e-08,2.515956e-08,2.537221e-08,2.551948e-08,2.562977e-08,2.583648e-08,2.586327e-08,2.607400e-08,2.611353e-08,2.626322e-08,2.635352e-08,2.643213e-08,2.655917e-08,2.658190e-08,2.671362e-08,2.673310e-08,2.682839e-08,2.687776e-08,2.692722e-08,2.699546e-08,2.701108e-08,2.708090e-08,2.708838e-08,2.713756e-08,2.715854e-08,2.718190e-08,2.720785e-08,2.721471e-08,2.723675e-08,2.723807e-08,2.724872e-08,2.725085e-08,2.725131e-08,2.724772e-08,2.724516e-08,2.723086e-08,2.723013e-08,2.720899e-08,2.719937e-08,2.718009e-08,2.715668e-08,2.714467e-08,2.710320e-08,2.705614e-08,2.703997e-08,2.700392e-08,2.696798e-08,2.694694e-08,2.688810e-08,2.688557e-08,2.682017e-08,2.680119e-08,2.675109e-08,2.670799e-08,2.667862e-08,2.660923e-08,2.660308e-08,2.652473e-08,2.650554e-08,2.644385e-08,2.639754e-08,2.636067e-08,2.628577e-08,2.627544e-08,2.618836e-08,2.617074e-08,2.609964e-08,2.605292e-08,2.600947e-08,2.593273e-08,2.591803e-08,2.582548e-08,2.581059e-08,2.573200e-08,2.568683e-08,2.563771e-08,2.556180e-08,2.554277e-08,2.544729e-08,2.543580e-08,2.535140e-08,2.530911e-08,2.525522e-08,2.518198e-08,2.515884e-08,2.506236e-08,2.505464e-08,2.496588e-08,2.492730e-08,2.486948e-08,2.480016e-08,2.477324e-08,2.467723e-08,2.467339e-08,2.458152e-08,2.454715e-08,2.448617e-08,2.442157e-08,2.439125e-08,2.429680e-08,2.417295e-08,2.405011e-08,2.392839e-08,2.380787e-08,2.368862e-08,2.357071e-08,2.345420e-08,2.333914e-08,2.322557e-08,2.311354e-08,2.300307e-08,2.289418e-08,2.278692e-08,2.268128e-08,2.257729e-08,2.247495e-08,2.237427e-08,2.227526e-08,2.217792e-08,2.208225e-08,2.198823e-08,2.189588e-08,2.180517e-08,2.171610e-08
0.000000e+00,7.106546e-12,1.631656e-11,5.627988e-11,1.282671e-10,1.873044e-10,4.261848e-10,4.390732e-10,8.522919e-10,1.002900e-09,1.471488e-09,1.961011e-09,2.341866e-09,3.391983e-09,3.494881e-09,4.933650e-09,5.319686e-09,6.640471e-09,7.705097e-09,8.593345e-09,1.049956e-08,1.077237e-08,1.315916e-08,1.365984e-08,1.573515e-08,1.714291e-08,1.848052e-08,2.090198e-08,2.137396e-08,2.439281e-08,2.488590e-08,2.751355e-08,2.904071e-08,3.071239e-08,3.331185e-08,3.396579e-08,3.725104e-08,3.764638e-08,4.054675e-08,4.199501e-08,4.383314e-08,4.631348e-08,4.709232e-08,5.030845e-08,5.056345e-08,5.346770e-08,5.471277e-08,5.655830e-08,5.873539e-08,5.957034e-08,6.249569e-08,6.261081e-08,6.532811e-08,6.632407e-08,6.806283e-08,6.986481e-08,7.069639e-08,7.322653e-08,7.565201e-08,7.640597e-08,7.797243e-08,7.940248e-08,8.018810e-08,8.221749e-08,8.229999e-08,8.430952e-08,8.485410e-08,8.621855e-08,8.731662e-08,8.802925e-08,8.961030e-08,8.974401e-08,9.136547e-08,9.174103e-08,9.289636e-08,9.371517e-08,9.433955e-08,9.553932e-08,9.569795e-08,9.697451e-08,9.722026e-08,9.817219e-08,9.876480e-08,9.929395e-08,1.001797e-07,1.003427e-07,1.013214e-07,1.014716e-07,1.022328e-07,1.026472e-07,1.030797e-07,1.037126e-07,1.038648e-07,1.045908e-07,1.046741e-07,1.052603e-07,1.055376e-07,1.058758e-07,1.063089e-07,1.064396e-07,1.069542e-07,1.069934e-07,1.074219e-07,1.075963e-07,1.078447e-07,1.081227e-07,1.082249e-07,1.085645e-07,1.085773e-07,1.088655e-07,1.089648e-07,1.091297e-07,1.092894e-07,1.093590e-07,1.095552e-07,1.097199e-07,1.097662e-07,1.098548e-07,1.099262e-07,1.099614e-07,1.100385e-07,1.100412e-07,1.100956e-07,1.101065e-07,1.101261e-07,1.101334e-07,1.101338e-07,1.101221e-07,1.101202e-07,1.100865e-07,1.100755e-07,1.100336e-07,1.099961e-07,1.099629e-07,1.098866e-07,1.098753e-07,1.097718e-07,1.097493e-07,1.096534e-07,1.095863e-07,1.095211e-07,1.093998e-07,1.093757e-07,1.092181e-07,1.091918e-07,1.090490e-07,1.089640e-07,1.088693e-07,1.087183e-07,1.086796e-07,1.084808e-07,1.084563e-07,1.082733e-07,1.081795e-07,1.080580e-07,1.078894e-07,1.078353e-07,1.076059e-07,1.075873e-07,1.073703e-07,1.072744e-07,1.071290e-07,1.069520e-07,1.068825e-07,1.066314e-07,1.066212e-07,1.063759e-07,1.062830e-07,1.061167e-07,1.059384e-07,1.058540e-07,1.055883e-07,1.052335e-07,1.048749e-07,1.045131e-07,1.041488e-07,1.037827e-07,1.034154e-07,1.030475e-07,1.026793e-07,1.023114e-07,1.019443e-07,1.015782e-07,1.012137e-07,1.008511e-07,1.004905e-07,1.001324e-07,9.977703e-08,9.942457e-08,9.907527e-08,9.872931e-08,9.838688e-08,9.804814e-08,9.771323e-08,9.738228e-08,9.705540e-08
0.000000e+00,5.375151e-12,1.231425e-11,4.233588e-11,9.621416e-11,1.402542e-10,3.173428e-10,3.268512e-10,6.295064e-10,7.388662e-10,1.076528e-09,1.426312e-09,1.697414e-09,2.446030e-09,2.519739e-09,3.560664e-09,3.843289e-09,4.819213e-09,5.613501e-09,6.279668e-09,7.715462e-09,7.921355e-09,9.724260e-09,1.010254e-08,1.166989e-08,1.273213e-08,1.374053e-08,1.556362e-08,1.591860e-08,1.818633e-08,1.855628e-08,2.052577e-08,2.166892e-08,2.291907e-08,2.486071e-08,2.534872e-08,2.779793e-08,2.809239e-08,3.025088e-08,3.132755e-08,3.269295e-08,3.453342e-08,3.511087e-08,3.749290e-08,3.768159e-08,3.982879e-08,4.074821e-08,4.210978e-08,4.371397e-08,4.432860e-08,4.647929e-08,4.656383e-08,4.855718e-08,4.928668e-08,5.055874e-08,5.187489e-08,5.248147e-08,5.432367e-08,5.608446e-08,5.663068e-08,5.776368e-08,5.879573e-08,5.936171e-08,6.082021e-08,6.087938e-08,6.231794e-08,6.270676e-08,6.367893e-08,6.445903e-08,6.496415e-08,6.608135e-08,6.617560e-08,6.731542e-08,6.757856e-08,6.838587e-08,6.895589e-08,6.938928e-08,7.021873e-08,7.032804e-08,7.120455e-08,7.137259e-08,7.202121e-08,7.242302e-08,7.278042e-08,7.337550e-08,7.348455e-08,7.413594e-08,7.423542e-08,7.473687e-08,7.500806e-08,7.528959e-08,7.569852e-08,7.579628e-08,7.625907e-08,7.631175e-08,7.668001e-08,7.685249e-08,7.706113e-08,7.732532e-08,7.740434e-08,7.771152e-08,7.773459e-08,7.798447e-08,7.808446e-08,7.822494e-08,7.837891e-08,7.843460e-08,7.861506e-08,7.862169e-08,7.876787e-08,7.881640e-08,7.889451e-08,7.896641e-08,7.899642e-08,7.907495e-08,7.913143e-08,7.914506e-08,7.916711e-08,7.917959e-08,7.918320e-08,7.918127e-08,7.918083e-08,7.916112e-08,7.915264e-08,7.912511e-08,7.909611e-08,7.907382e-08,7.901395e-08,7.900819e-08,7.892915e-08,7.890828e-08,7.883756e-08,7.878111e-08,7.873427e-08,7.863432e-08,7.862006e-08,7.849569e-08,7.846967e-08,7.836189e-08,7.828881e-08,7.821933e-08,7.809330e-08,7.806867e-08,7.791054e-08,7.788458e-08,7.774551e-08,7.766401e-08,7.757415e-08,7.743287e-08,7.739700e-08,7.721455e-08,7.719232e-08,7.702729e-08,7.694349e-08,7.683567e-08,7.668739e-08,7.664012e-08,7.644106e-08,7.642499e-08,7.623886e-08,7.615718e-08,7.603389e-08,7.588480e-08,7.582650e-08,7.561703e-08,7.560861e-08,7.540576e-08,7.532933e-08,7.519300e-08,7.504762e-08,7.497903e-08,7.476410e-08,7.447933e-08,7.419384e-08,7.390812e-08,7.362260e-08,7.333770e-08,7.305380e-08,7.277123e-08,7.249031e-08,7.221133e-08,7.193455e-08,7.166020e-08,7.138850e-08,7.111964e-08,7.085380e-08,7.059112e-08,7.033175e-08,7.007581e-08,6.982340e-08,6.957461e-08,6.932953e-08,6.908821e-08,6.885073e-08,6.861711e-08,6.838741e-08
0.000000e+00,1.822327e-10,9.385110e-10,1.072993e-08,5.383626e-08,1.125472e-07,5.505536e-07,5.828831e-07,2.051667e-06,2.782232e-06,5.658977e-06,9.564452e-06,1.319669e-05,2.578994e-05,2.722601e-05,5.116721e-05,5.885009e-05,8.935734e-05,1.188942e-04,1.470651e-04,2.188616e-04,2.304458e-04,3.464264e-04,3.741883e-04,5.025295e-04,6.021749e-04,7.066603e-04,9.211439e-04,9.668799e-04,1.291182e-03,1.349539e-03,1.687285e-03,1.905070e-03,2.162439e-03,2.603947e-03,2.723255e-03,3.375567e-03,3.460237e-03,4.124300e-03,4.485339e-03,4.973384e-03,5.687602e-03,5.925678e-03,6.982927e-03,7.072067e-03,8.145746e-03,8.640355e-03,9.413620e-03,1.039068e-02,1.078494e-02,1.225703e-02,1.231796e-02,1.382624e-02,1.441408e-02,1.548802e-02,1.666819e-02,1.723699e-02,1.906708e-02,2.097160e-02,2.159560e-02,2.294337e-02,2.423711e-02,2.497483e-02,2.697393e-02,2.705815e-02,2.918535e-02,2.978772e-02,3.134834e-02,3.265997e-02,3.353909e-02,3.557226e-02,3.574965e-02,3.797228e-02,3.850667e-02,4.019947e-02,4.144599e-02,4.242401e-02,4.437397e-02,4.463906e-02,4.683814e-02,4.727551e-02,4.901523e-02,5.013674e-02,5.116470e-02,5.294515e-02,5.328142e-02,5.536070e-02,5.568962e-02,5.739830e-02,5.836043e-02,5.939047e-02,6.094925e-02,6.133389e-02,6.322567e-02,6.344910e-02,6.506337e-02,6.585428e-02,6.684493e-02,6.816033e-02,6.856868e-02,7.023332e-02,7.036391e-02,7.183789e-02,7.246274e-02,7.338172e-02,7.445547e-02,7.486447e-02,7.628603e-02,7.634162e-02,7.764655e-02,7.812146e-02,7.894642e-02,7.979596e-02,8.018619e-02,8.136663e-02,8.248863e-02,8.283550e-02,8.355324e-02,8.420501e-02,8.456163e-02,8.547795e-02,8.551505e-02,8.641486e-02,8.665739e-02,8.726248e-02,8.774661e-02,8.805939e-02,8.874906e-02,8.880711e-02,8.950720e-02,8.966831e-02,9.016124e-02,9.050799e-02,9.077083e-02,9.127177e-02,9.133757e-02,9.186304e-02,9.196333e-02,9.234885e-02,9.258632e-02,9.279657e-02,9.314435e-02,9.320775e-02,9.358392e-02,9.364095e-02,9.392657e-02,9.407957e-02,9.423718e-02,9.446356e-02,9.451718e-02,9.476797e-02,9.479617e-02,9.499091e-02,9.508052e-02,9.518732e-02,9.531963e-02,9.535847e-02,9.550562e-02,9.551639e-02,9.562995e-02,9.567356e-02,9.573263e-02,9.579377e-02,9.581476e-02,9.587742e-02,9.587953e-02,9.592164e-02,9.593323e-02,9.594840e-02,9.595712e-02,9.595866e-02,9.595334e-02,9.592390e-02,9.587073e-02,9.579561e-02,9.570024e-02,9.558621e-02,9.545502e-02,9.530807e-02,9.514667e-02,9.497208e-02,9.478543e-02,9.458781e-02,9.438023e-02,9.416363e-02,9.393890e-02,9.370687e-02,9.346829e-02,9.322389e-02,9.297434e-02,9.272026e-02,9.246222e-02,9.220077e-02,9.193641e-02,9.166960e-02,9.140078e-02
0.000000e+00,1.927206e-10,7.719584e-10,5.445405e-09,1.835319e-08,3.133063e-08,9.514740e-08,9.893096e-08,2.306502e-07,2.821719e-07,4.498827e-07,6.337855e-07,7.817369e-07,1.209763e-06,1.253284e-06,1.891820e-06,2.072605e-06,2.719680e-06,3.270491e-06,3.747320e-06,4.814072e-06,4.970833e-06,6.376430e-06,6.677893e-06,7.946934e-06,8.823136e-06,9.665543e-06,1.121227e-05,1.151677e-05,1.348610e-05,1.381122e-05,1.555955e-05,1.658773e-05,1.772334e-05,1.951030e-05,1.996391e-05,2.226796e-05,2.254810e-05,2.462266e-05,2.567159e-05,2.701577e-05,2.885315e-05,2.943584e-05,3.187233e-05,3.206766e-05,3.431560e-05,3.529285e-05,3.675706e-05,3.850945e-05,3.918905e-05,4.160486e-05,4.170107e-05,4.399864e-05,4.485402e-05,4.636540e-05,4.795718e-05,4.870091e-05,5.100160e-05,5.326448e-05,5.398020e-05,5.548711e-05,5.688754e-05,5.766752e-05,5.971950e-05,5.980410e-05,6.189564e-05,6.247306e-05,6.394120e-05,6.514617e-05,6.594009e-05,6.773747e-05,6.789187e-05,6.979626e-05,7.024625e-05,7.165316e-05,7.267229e-05,7.346260e-05,7.501577e-05,7.522473e-05,7.693980e-05,7.727719e-05,7.860814e-05,7.945735e-05,8.023017e-05,8.155723e-05,8.180636e-05,8.333723e-05,8.357800e-05,8.482334e-05,8.552096e-05,8.626532e-05,8.738754e-05,8.766379e-05,8.901942e-05,8.917925e-05,9.033291e-05,9.089767e-05,9.160496e-05,9.254445e-05,9.283629e-05,9.402765e-05,9.412125e-05,9.517976e-05,9.562979e-05,9.629340e-05,9.707181e-05,9.736930e-05,9.840824e-05,9.844904e-05,9.941098e-05,9.976324e-05,1.003783e-04,1.010162e-04,1.013109e-04,1.022096e-04,1.030751e-04,1.033451e-04,1.039081e-04,1.044247e-04,1.047096e-04,1.054498e-04,1.054800e-04,1.062203e-04,1.064223e-04,1.069311e-04,1.073437e-04,1.076131e-04,1.082158e-04,1.082671e-04,1.088937e-04,1.090401e-04,1.094936e-04,1.098182e-04,1.100675e-04,1.105517e-04,1.106162e-04,1.111402e-04,1.112421e-04,1.116401e-04,1.118909e-04,1.121168e-04,1.124995e-04,1.125706e-04,1.130024e-04,1.130695e-04,1.134127e-04,1.136021e-04,1.138020e-04,1.140988e-04,1.141711e-04,1.145203e-04,1.145610e-04,1.148505e-04,1.149898e-04,1.151619e-04,1.153866e-04,1.154554e-04,1.157312e-04,1.157525e-04,1.159901e-04,1.160889e-04,1.162324e-04,1.163969e-04,1.164587e-04,1.166695e-04,1.166776e-04,1.168652e-04,1.169321e-04,1.170464e-04,1.171615e-04,1.172134e-04,1.173668e-04,1.175491e-04,1.177093e-04,1.178484e-04,1.179673e-04,1.180669e-04,1.181480e-04,1.182116e-04,1.182584e-04,1.182892e-04,1.183047e-04,1.183058e-04,1.182930e-04,1.182672e-04,1.182289e-04,1.181788e-04,1.181175e-04,1.180456e-04,1.179636e-04,1.178722e-04,1.177719e-04,1.176631e-04,1.175464e-04,1.174223e-04,1.172911e-04
0.000000e+00,4.197518e-12,2.107633e-11,2.286627e-10,1.094484e-09,2.230658e-09,1.024286e-08,1.081748e-08,3.594983e-08,4.805283e-08,9.451786e-08,1.559837e-07,2.122652e-07,4.042701e-07,4.259837e-07,7.852986e-07,8.998628e-07,1.352055e-06,1.785679e-06,2.195085e-06,3.218454e-06,3.380774e-06,4.963043e-06,5.330507e-06,6.976399e-06,8.198733e-06,9.433367e-06,1.183448e-05,1.232560e-05,1.562732e-05,1.619113e-05,1.929956e-05,2.118006e-05,2.329460e-05,2.668769e-05,2.755970e-05,3.204025e-05,3.258980e-05,3.668213e-05,3.876217e-05,4.143341e-05,4.508752e-05,4.624552e-05,5.107401e-05,5.145976e-05,5.587892e-05,5.778624e-05,6.062504e-05,6.398852e-05,6.528185e-05,6.982343e-05,7.000237e-05,7.422824e-05,7.577701e-05,7.847884e-05,8.127404e-05,8.256157e-05,8.646622e-05,9.018564e-05,9.133595e-05,9.371544e-05,9.587397e-05,9.705357e-05,1.000779e-04,1.002001e-04,1.031566e-04,1.039508e-04,1.059264e-04,1.075004e-04,1.085138e-04,1.107376e-04,1.109240e-04,1.131631e-04,1.136757e-04,1.152375e-04,1.163298e-04,1.171542e-04,1.187159e-04,1.189202e-04,1.205427e-04,1.208507e-04,1.220291e-04,1.227507e-04,1.233866e-04,1.244324e-04,1.246221e-04,1.257427e-04,1.259118e-04,1.267550e-04,1.272043e-04,1.276654e-04,1.283247e-04,1.284803e-04,1.292054e-04,1.292866e-04,1.298465e-04,1.301033e-04,1.304089e-04,1.307869e-04,1.308978e-04,1.313179e-04,1.313487e-04,1.316739e-04,1.317993e-04,1.319701e-04,1.321485e-04,1.322104e-04,1.323988e-04,1.324053e-04,1.325387e-04,1.325779e-04,1.326337e-04,1.326741e-04,1.326867e-04,1.327009e-04,1.326789e-04,1.326647e-04,1.326234e-04,1.325715e-04,1.325369e-04,1.324267e-04,1.324215e-04,1.322796e-04,1.322353e-04,1.321130e-04,1.320020e-04,1.319236e-04,1.317308e-04,1.317132e-04,1.314835e-04,1.314256e-04,1.312359e-04,1.310901e-04,1.309720e-04,1.307272e-04,1.306930e-04,1.304003e-04,1.303402e-04,1.300949e-04,1.299315e-04,1.297780e-04,1.295038e-04,1.294507e-04,1.291139e-04,1.290592e-04,1.287685e-04,1.285999e-04,1.284153e-04,1.281277e-04,1.280551e-04,1.276888e-04,1.276444e-04,1.273169e-04,1.271516e-04,1.269401e-04,1.266508e-04,1.265590e-04,1.261742e-04,1.261432e-04,1.257862e-04,1.256302e-04,1.253955e-04,1.251128e-04,1.250025e-04,1.246078e-04,1.245920e-04,1.242117e-04,1.240688e-04,1.238145e-04,1.235440e-04,1.234167e-04,1.230185e-04,1.224929e-04,1.219678e-04,1.214440e-04,1.209218e-04,1.204019e-04,1.198846e-04,1.193704e-04,1.188596e-04,1.183525e-04,1.178496e-04,1.173509e-04,1.168569e-04,1.163676e-04,1.158833e-04,1.154042e-04,1.149304e-04,1.144620e-04,1.139993e-04,1.135421e-04,1.130908e-04,1.126452e-04,1.122056e-04,1.117719e-04,1.113442e-04
0.000000e+00,4.517159e-11,1.666425e-10,1.018440e-09,3.090687e-09,5.021327e-09,1.368515e-08,1.417369e-08,3.029522e-08,3.628525e-08,5.504380e-08,7.471462e-08,9.006046e-08,1.327964e-07,1.370347e-07,1.976526e-07,2.144040e-07,2.733863e-07,3.227569e-07,3.650805e-07,4.587212e-07,4.723668e-07,5.931446e-07,6.186062e-07,7.235851e-07,7.936479e-07,8.588953e-07,9.729041e-07,9.944423e-07,1.126567e-06,1.147209e-06,1.252813e-06,1.310873e-06,1.371758e-06,1.461182e-06,1.482721e-06,1.585487e-06,1.597269e-06,1.680126e-06,1.719248e-06,1.766871e-06,1.827716e-06,1.846048e-06,1.918040e-06,1.923501e-06,1.983258e-06,2.007544e-06,2.042132e-06,2.080839e-06,2.095100e-06,2.142597e-06,2.144389e-06,2.185054e-06,2.199185e-06,2.222888e-06,2.246180e-06,2.256501e-06,2.286272e-06,2.312556e-06,2.320285e-06,2.335680e-06,2.348964e-06,2.355950e-06,2.372987e-06,2.373649e-06,2.389031e-06,2.392954e-06,2.402324e-06,2.409384e-06,2.413737e-06,2.422739e-06,2.423458e-06,2.431655e-06,2.433412e-06,2.438475e-06,2.441744e-06,2.444052e-06,2.448027e-06,2.448505e-06,2.451939e-06,2.452512e-06,2.454449e-06,2.455418e-06,2.456120e-06,2.456930e-06,2.457026e-06,2.457230e-06,2.457202e-06,2.456792e-06,2.456369e-06,2.455765e-06,2.454551e-06,2.454196e-06,2.452126e-06,2.451846e-06,2.449595e-06,2.448344e-06,2.446638e-06,2.444124e-06,2.443285e-06,2.439567e-06,2.439255e-06,2.435509e-06,2.433797e-06,2.431136e-06,2.427805e-06,2.426470e-06,2.421531e-06,2.421328e-06,2.416339e-06,2.414412e-06,2.410912e-06,2.407095e-06,2.405265e-06,2.399415e-06,2.393375e-06,2.391404e-06,2.387158e-06,2.383093e-06,2.380779e-06,2.374511e-06,2.374247e-06,2.367575e-06,2.365683e-06,2.360772e-06,2.356632e-06,2.353849e-06,2.347382e-06,2.346815e-06,2.339678e-06,2.337951e-06,2.332447e-06,2.328360e-06,2.325130e-06,2.318625e-06,2.317734e-06,2.310265e-06,2.308764e-06,2.302731e-06,2.298790e-06,2.295139e-06,2.288719e-06,2.287492e-06,2.279799e-06,2.278564e-06,2.272063e-06,2.268336e-06,2.264290e-06,2.258049e-06,2.256485e-06,2.248652e-06,2.247711e-06,2.240796e-06,2.237333e-06,2.232921e-06,2.226926e-06,2.225031e-06,2.217129e-06,2.216496e-06,2.209219e-06,2.206054e-06,2.201305e-06,2.195605e-06,2.193389e-06,2.185475e-06,2.185158e-06,2.177565e-06,2.174719e-06,2.169663e-06,2.164295e-06,2.161771e-06,2.153890e-06,2.143512e-06,2.133164e-06,2.122851e-06,2.112578e-06,2.102349e-06,2.092168e-06,2.082038e-06,2.071962e-06,2.061944e-06,2.051987e-06,2.042092e-06,2.032264e-06,2.022502e-06,2.012811e-06,2.003191e-06,1.993645e-06,1.984173e-06,1.974778e-06,1.965460e-06,1.956221e-06,1.947062e-06,1.937984e-06,1.928987e-06,1.920073e-06
0.000000e+00,1.563192e-11,3.662308e-11,1.285611e-10,2.942615e-10,4.296753e-10,9.725705e-10,1.001643e-09,1.923327e-09,2.254796e-09,3.273861e-09,4.323469e-09,5.133260e-09,7.354338e-09,7.571894e-09,1.062402e-08,1.144656e-08,1.426886e-08,1.654765e-08,1.844796e-08,2.251477e-08,2.309505e-08,2.814906e-08,2.920372e-08,3.355410e-08,3.648559e-08,3.925644e-08,4.423694e-08,4.520244e-08,5.133789e-08,5.233349e-08,5.760826e-08,6.065007e-08,6.395961e-08,6.906379e-08,7.033968e-08,7.669896e-08,7.745846e-08,8.299173e-08,8.572867e-08,8.917672e-08,9.378273e-08,9.521767e-08,1.010836e-07,1.015445e-07,1.067488e-07,1.089539e-07,1.121927e-07,1.159664e-07,1.173998e-07,1.223590e-07,1.225521e-07,1.270633e-07,1.286936e-07,1.315091e-07,1.343844e-07,1.356962e-07,1.396268e-07,1.433053e-07,1.444301e-07,1.467377e-07,1.488087e-07,1.499316e-07,1.527811e-07,1.528954e-07,1.556384e-07,1.563682e-07,1.581704e-07,1.595924e-07,1.605012e-07,1.624768e-07,1.626412e-07,1.646003e-07,1.650446e-07,1.663885e-07,1.673189e-07,1.680156e-07,1.693217e-07,1.694910e-07,1.708240e-07,1.710742e-07,1.720231e-07,1.725967e-07,1.730969e-07,1.739079e-07,1.740533e-07,1.748999e-07,1.750256e-07,1.756437e-07,1.759663e-07,1.762917e-07,1.767452e-07,1.768500e-07,1.773248e-07,1.773765e-07,1.777217e-07,1.778731e-07,1.780460e-07,1.782470e-07,1.783026e-07,1.784962e-07,1.785092e-07,1.786312e-07,1.786698e-07,1.787117e-07,1.787380e-07,1.787414e-07,1.787240e-07,1.787224e-07,1.786629e-07,1.786307e-07,1.785610e-07,1.784700e-07,1.784215e-07,1.782469e-07,1.780399e-07,1.779673e-07,1.778029e-07,1.776366e-07,1.775382e-07,1.772598e-07,1.772477e-07,1.769336e-07,1.768416e-07,1.765975e-07,1.763861e-07,1.762413e-07,1.758972e-07,1.758666e-07,1.754748e-07,1.753783e-07,1.750673e-07,1.748328e-07,1.746456e-07,1.742636e-07,1.742107e-07,1.737640e-07,1.736733e-07,1.733064e-07,1.730645e-07,1.728390e-07,1.724395e-07,1.723627e-07,1.718784e-07,1.718003e-07,1.713871e-07,1.711489e-07,1.708893e-07,1.704870e-07,1.703860e-07,1.698777e-07,1.698164e-07,1.693651e-07,1.691384e-07,1.688489e-07,1.684544e-07,1.683295e-07,1.678075e-07,1.677657e-07,1.672835e-07,1.670734e-07,1.667579e-07,1.663787e-07,1.662311e-07,1.657035e-07,1.656824e-07,1.651755e-07,1.649854e-07,1.646475e-07,1.642886e-07,1.641198e-07,1.635928e-07,1.628985e-07,1.622065e-07,1.615173e-07,1.608314e-07,1.601493e-07,1.594715e-07,1.587983e-07,1.581301e-07,1.574673e-07,1.568100e-07,1.561587e-07,1.555135e-07,1.548746e-07,1.542423e-07,1.536167e-07,1.529979e-07,1.523862e-07,1.517815e-07,1.511840e-07,1.505939e-07,1.500111e-07,1.494357e-07,1.488678e-07,1.483074e-07
0.000000e+00,3.017245e-11,6.930720e-11,2.390234e-10,5.454558e-10,7.980171e-10,1.834640e-09,1.891283e-09,3.746381e-09,4.440694e-09,6.656222e-09,9.044923e-09,1.094187e-08,1.626440e-08,1.678898e-08,2.409593e-08,2.603641e-08,3.258343e-08,3.775032e-08,4.198700e-08,5.086893e-08,5.211847e-08,6.284861e-08,6.505759e-08,7.408020e-08,8.009086e-08,8.572976e-08,9.578008e-08,9.771755e-08,1.099628e-07,1.119405e-07,1.223829e-07,1.283819e-07,1.348934e-07,1.449099e-07,1.474095e-07,1.598478e-07,1.613313e-07,1.721282e-07,1.774621e-07,1.841758e-07,1.931336e-07,1.959216e-07,2.073039e-07,2.081972e-07,2.182702e-07,2.225301e-07,2.287767e-07,2.360366e-07,2.387881e-07,2.482773e-07,2.486457e-07,2.572251e-07,2.603113e-07,2.656198e-07,2.710093e-07,2.734561e-07,2.807345e-07,2.874605e-07,2.894977e-07,2.936439e-07,2.973226e-07,2.992981e-07,3.042437e-07,3.044397e-07,3.090868e-07,3.103019e-07,3.132586e-07,3.155425e-07,3.169766e-07,3.200151e-07,3.202626e-07,3.231389e-07,3.237707e-07,3.256278e-07,3.268608e-07,3.277518e-07,3.293362e-07,3.295324e-07,3.309911e-07,3.312461e-07,3.321486e-07,3.326382e-07,3.330250e-07,3.335580e-07,3.336394e-07,3.340103e-07,3.340482e-07,3.341550e-07,3.341491e-07,3.340902e-07,3.338981e-07,3.338316e-07,3.333941e-07,3.333303e-07,3.327917e-07,3.324779e-07,3.320377e-07,3.313709e-07,3.311444e-07,3.301236e-07,3.300368e-07,3.289862e-07,3.285009e-07,3.277424e-07,3.267863e-07,3.264017e-07,3.249731e-07,3.249142e-07,3.234649e-07,3.229040e-07,3.218850e-07,3.207734e-07,3.202406e-07,3.185384e-07,3.167848e-07,3.162137e-07,3.149855e-07,3.138126e-07,3.131461e-07,3.113471e-07,3.112715e-07,3.093665e-07,3.088282e-07,3.074354e-07,3.062659e-07,3.054823e-07,3.036691e-07,3.035108e-07,3.015245e-07,3.010459e-07,2.995265e-07,2.984036e-07,2.975198e-07,2.957488e-07,2.955071e-07,2.934909e-07,2.930875e-07,2.914736e-07,2.904248e-07,2.894573e-07,2.877658e-07,2.874439e-07,2.854353e-07,2.851145e-07,2.834331e-07,2.824748e-07,2.814388e-07,2.798501e-07,2.794539e-07,2.774796e-07,2.772434e-07,2.755170e-07,2.746574e-07,2.735672e-07,2.720944e-07,2.716311e-07,2.697096e-07,2.695566e-07,2.678035e-07,2.670456e-07,2.659135e-07,2.645631e-07,2.640403e-07,2.621842e-07,2.621104e-07,2.603460e-07,2.596886e-07,2.585259e-07,2.572989e-07,2.567244e-07,2.549419e-07,2.526183e-07,2.503288e-07,2.480737e-07,2.458533e-07,2.436678e-07,2.415175e-07,2.394023e-07,2.373222e-07,2.352772e-07,2.332670e-07,2.312916e-07,2.293507e-07,2.274440e-07,2.255712e-07,2.237320e-07,2.219260e-07,2.201528e-07,2.184120e-07,2.167032e-07,2.150259e-07,2.133797e-07,2.117641e-07,2.101786e-07,2.086227e-07
0.000000e+00,9.457437e-12,4.754606e-11,5.170454e-10,2.479263e-09,5.057137e-09,2.325617e-08,2.456175e-08,8.164805e-08,1.091174e-07,2.144241e-07,3.533790e-07,4.803035e-07,9.114760e-07,9.600845e-07,1.761040e-06,2.015316e-06,3.015229e-06,3.969897e-06,4.868517e-06,7.106507e-06,7.460629e-06,1.090333e-05,1.170079e-05,1.526455e-05,1.790328e-05,2.056208e-05,2.571461e-05,2.676554e-05,3.380399e-05,3.500119e-05,4.157603e-05,4.553202e-05,4.996021e-05,5.701971e-05,5.882449e-05,6.803401e-05,6.915604e-05,7.745715e-05,8.163868e-05,8.696985e-05,9.418913e-05,9.645863e-05,1.058223e-04,1.065633e-04,1.149731e-04,1.185567e-04,1.238366e-04,1.300055e-04,1.323516e-04,1.404696e-04,1.407855e-04,1.481538e-04,1.508086e-04,1.553781e-04,1.600193e-04,1.621262e-04,1.683899e-04,1.741687e-04,1.759163e-04,1.794681e-04,1.826129e-04,1.842987e-04,1.885087e-04,1.886752e-04,1.926156e-04,1.936435e-04,1.961402e-04,1.980645e-04,1.992711e-04,2.018236e-04,2.020313e-04,2.044444e-04,2.049745e-04,2.065340e-04,2.075716e-04,2.083235e-04,2.096682e-04,2.098358e-04,2.110928e-04,2.113155e-04,2.121156e-04,2.125615e-04,2.129241e-04,2.134514e-04,2.135371e-04,2.139722e-04,2.140265e-04,2.142459e-04,2.143245e-04,2.143734e-04,2.143797e-04,2.143688e-04,2.142450e-04,2.142228e-04,2.140140e-04,2.138812e-04,2.136867e-04,2.133796e-04,2.132729e-04,2.127818e-04,2.127394e-04,2.122216e-04,2.119800e-04,2.115999e-04,2.111181e-04,2.109235e-04,2.101985e-04,2.101686e-04,2.094306e-04,2.091446e-04,2.086248e-04,2.080576e-04,2.077857e-04,2.069175e-04,2.060240e-04,2.057333e-04,2.051086e-04,2.045126e-04,2.041743e-04,2.032623e-04,2.032240e-04,2.022602e-04,2.019883e-04,2.012852e-04,2.006957e-04,2.003011e-04,1.993893e-04,1.993098e-04,1.983130e-04,1.980731e-04,1.973122e-04,1.967505e-04,1.963088e-04,1.954247e-04,1.953042e-04,1.942994e-04,1.940985e-04,1.932956e-04,1.927743e-04,1.922937e-04,1.914542e-04,1.912946e-04,1.902990e-04,1.901401e-04,1.893077e-04,1.888336e-04,1.883214e-04,1.875362e-04,1.873405e-04,1.863657e-04,1.862492e-04,1.853975e-04,1.849737e-04,1.844362e-04,1.837106e-04,1.834823e-04,1.825361e-04,1.824608e-04,1.815980e-04,1.812250e-04,1.806682e-04,1.800040e-04,1.797469e-04,1.788345e-04,1.787982e-04,1.779311e-04,1.776081e-04,1.770369e-04,1.764342e-04,1.761520e-04,1.752767e-04,1.741359e-04,1.730120e-04,1.719053e-04,1.708158e-04,1.697437e-04,1.686889e-04,1.676517e-04,1.666318e-04,1.656293e-04,1.646442e-04,1.636763e-04,1.627256e-04,1.617920e-04,1.608753e-04,1.599754e-04,1.590922e-04,1.582255e-04,1.573750e-04,1.565407e-04,1.557223e-04,1.549197e-04,1.541326e-04,1.533609e-04,1.526043e-04
0.000000e+00,1.785941e-11,8.787674e-11,9.144442e-10,4.214704e-09,8.414145e-09,3.662643e-08,3.859698e-08,1.215943e-07,1.601638e-07,3.034980e-07,4.856595e-07,6.474469e-07,1.175397e-06,1.233282e-06,2.152509e-06,2.433096e-06,3.496616e-06,4.464771e-06,5.343387e-06,7.428694e-06,7.747905e-06,1.074027e-05,1.141030e-05,1.432797e-05,1.642585e-05,1.850013e-05,2.243846e-05,2.323176e-05,2.848742e-05,2.937415e-05,3.422394e-05,3.713415e-05,4.039268e-05,4.560378e-05,4.694129e-05,5.381534e-05,5.465947e-05,6.095965e-05,6.417466e-05,6.831967e-05,7.402494e-05,7.584254e-05,8.347807e-05,8.409235e-05,9.117946e-05,9.426872e-05,9.890385e-05,1.044578e-04,1.066126e-04,1.142716e-04,1.145765e-04,1.218508e-04,1.245548e-04,1.293248e-04,1.343356e-04,1.366716e-04,1.438735e-04,1.509155e-04,1.531332e-04,1.577860e-04,1.620888e-04,1.644759e-04,1.707217e-04,1.709782e-04,1.772880e-04,1.790198e-04,1.834022e-04,1.869760e-04,1.893189e-04,1.945872e-04,1.950374e-04,2.005581e-04,2.018538e-04,2.058822e-04,2.087784e-04,2.110114e-04,2.153658e-04,2.159481e-04,2.206953e-04,2.216222e-04,2.252559e-04,2.275549e-04,2.296336e-04,2.331721e-04,2.338319e-04,2.378548e-04,2.384824e-04,2.417061e-04,2.434950e-04,2.453900e-04,2.482193e-04,2.489105e-04,2.522719e-04,2.526648e-04,2.554784e-04,2.568412e-04,2.585340e-04,2.607581e-04,2.614431e-04,2.642097e-04,2.644250e-04,2.668379e-04,2.678513e-04,2.693318e-04,2.710465e-04,2.716954e-04,2.739326e-04,2.740196e-04,2.760474e-04,2.767795e-04,2.780436e-04,2.793351e-04,2.799248e-04,2.816948e-04,2.833572e-04,2.838670e-04,2.849155e-04,2.858597e-04,2.863731e-04,2.876808e-04,2.877334e-04,2.889998e-04,2.893379e-04,2.901753e-04,2.908384e-04,2.912632e-04,2.921892e-04,2.922664e-04,2.931881e-04,2.933974e-04,2.940309e-04,2.944696e-04,2.947979e-04,2.954121e-04,2.954916e-04,2.961148e-04,2.962312e-04,2.966700e-04,2.969328e-04,2.971599e-04,2.975226e-04,2.975867e-04,2.979530e-04,2.980061e-04,2.982609e-04,2.983887e-04,2.985128e-04,2.986754e-04,2.987108e-04,2.988570e-04,2.988712e-04,2.989535e-04,2.989807e-04,2.990022e-04,2.990085e-04,2.990051e-04,2.989639e-04,2.989588e-04,2.988806e-04,2.988359e-04,2.987568e-04,2.986436e-04,2.985943e-04,2.983947e-04,2.983859e-04,2.981595e-04,2.980664e-04,2.978903e-04,2.976886e-04,2.975886e-04,2.972558e-04,2.967713e-04,2.962380e-04,2.956590e-04,2.950371e-04,2.943748e-04,2.936749e-04,2.929396e-04,2.921715e-04,2.913726e-04,2.905451e-04,2.896911e-04,2.888125e-04,2.879111e-04,2.869887e-04,2.860470e-04,2.850875e-04,2.841117e-04,2.831212e-04,2.821174e-04,2.811014e-04,2.800745e-04,2.790380e-04,2.779929e-04,2.769404e-04
0.000000e+00,3.888493e-11,1.805805e-10,1.671962e-09,6.953307e-09,1.313872e-08,4.984377e-08,5.223932e-08,1.444708e-07,1.838497e-07,3.199989e-07,4.788577e-07,6.115968e-07,1.011851e-06,1.053558e-06,1.680108e-06,1.861456e-06,2.521249e-06,3.093895e-06,3.596556e-06,4.741058e-06,4.911315e-06,6.457805e-06,6.793570e-06,8.219658e-06,9.214122e-06,1.017609e-05,1.195337e-05,1.230453e-05,1.458181e-05,1.495842e-05,1.698452e-05,1.817549e-05,1.948920e-05,2.155063e-05,2.207245e-05,2.471120e-05,2.503051e-05,2.738313e-05,2.856376e-05,3.006696e-05,3.210241e-05,3.274293e-05,3.539300e-05,3.560339e-05,3.800112e-05,3.902944e-05,4.055337e-05,4.234967e-05,4.303793e-05,4.544508e-05,4.553964e-05,4.776710e-05,4.858100e-05,4.999811e-05,5.146101e-05,5.213391e-05,5.417179e-05,5.611030e-05,5.670956e-05,5.794913e-05,5.907391e-05,5.968887e-05,6.126706e-05,6.133089e-05,6.287714e-05,6.329326e-05,6.433010e-05,6.515825e-05,6.569257e-05,6.686879e-05,6.696765e-05,6.815863e-05,6.843232e-05,6.926889e-05,6.985667e-05,7.030190e-05,7.114981e-05,7.126114e-05,7.215005e-05,7.231970e-05,7.297206e-05,7.337417e-05,7.373050e-05,7.432083e-05,7.442861e-05,7.506955e-05,7.516699e-05,7.565635e-05,7.591965e-05,7.619194e-05,7.658542e-05,7.667912e-05,7.712057e-05,7.717059e-05,7.751886e-05,7.768107e-05,7.787643e-05,7.812239e-05,7.819562e-05,7.847863e-05,7.849977e-05,7.872757e-05,7.881805e-05,7.894443e-05,7.908178e-05,7.913112e-05,7.928942e-05,7.929518e-05,7.942104e-05,7.946221e-05,7.952760e-05,7.958652e-05,7.961061e-05,7.967152e-05,7.971170e-05,7.972039e-05,7.973244e-05,7.973607e-05,7.973496e-05,7.972131e-05,7.972042e-05,7.968990e-05,7.967864e-05,7.964445e-05,7.961042e-05,7.958504e-05,7.951883e-05,7.951258e-05,7.942795e-05,7.940592e-05,7.933197e-05,7.927356e-05,7.922542e-05,7.912350e-05,7.910904e-05,7.898351e-05,7.895736e-05,7.884949e-05,7.877665e-05,7.870760e-05,7.858276e-05,7.855842e-05,7.840251e-05,7.837697e-05,7.824038e-05,7.816049e-05,7.807253e-05,7.793443e-05,7.789941e-05,7.772147e-05,7.769982e-05,7.753913e-05,7.745760e-05,7.735276e-05,7.720866e-05,7.716274e-05,7.696941e-05,7.695381e-05,7.677310e-05,7.669382e-05,7.657413e-05,7.642938e-05,7.637277e-05,7.616931e-05,7.616114e-05,7.596401e-05,7.588969e-05,7.575710e-05,7.561561e-05,7.554882e-05,7.533939e-05,7.506151e-05,7.478241e-05,7.450249e-05,7.422212e-05,7.394165e-05,7.366139e-05,7.338164e-05,7.310265e-05,7.282469e-05,7.254797e-05,7.227270e-05,7.199907e-05,7.172726e-05,7.145741e-05,7.118969e-05,7.092421e-05,7.066109e-05,7.040044e-05,7.014235e-05,6.988691e-05,6.963420e-05,6.938428e-05,6.913722e-05,6.889307e-05
0.000000e+00,1.561254e-11,7.829614e-11,8.469393e-10,4.039791e-09,8.214161e-09,3.741474e-08,3.949776e-08,1.296826e-07,1.726235e-07,3.353744e-07,5.467553e-07,7.372744e-07,1.370909e-06,1.441254e-06,2.576128e-06,2.928406e-06,4.285161e-06,5.547091e-06,6.712403e-06,9.547280e-06,9.989207e-06,1.422491e-05,1.519489e-05,1.950226e-05,2.267750e-05,2.587630e-05,3.209945e-05,3.337532e-05,4.200276e-05,4.348689e-05,5.173945e-05,5.679619e-05,6.254590e-05,7.192319e-05,7.436461e-05,8.712242e-05,8.871249e-05,1.007330e-04,1.069671e-04,1.150992e-04,1.264584e-04,1.301158e-04,1.456722e-04,1.469366e-04,1.616547e-04,1.681413e-04,1.779491e-04,1.898111e-04,1.944433e-04,2.110287e-04,2.116925e-04,2.276024e-04,2.335473e-04,2.440684e-04,2.551585e-04,2.603386e-04,2.763338e-04,2.919837e-04,2.969085e-04,3.072273e-04,3.167457e-04,3.220128e-04,3.357361e-04,3.362974e-04,3.500464e-04,3.537963e-04,3.632332e-04,3.708671e-04,3.758384e-04,3.869104e-04,3.878492e-04,3.992584e-04,4.019068e-04,4.100642e-04,4.158527e-04,4.202692e-04,4.287576e-04,4.298798e-04,4.389054e-04,4.406414e-04,4.473586e-04,4.515326e-04,4.552536e-04,4.614659e-04,4.626066e-04,4.694352e-04,4.704804e-04,4.757578e-04,4.786185e-04,4.815935e-04,4.859247e-04,4.869619e-04,4.918827e-04,4.924440e-04,4.963756e-04,4.982219e-04,5.004602e-04,5.033033e-04,5.041558e-04,5.074816e-04,5.077322e-04,5.104559e-04,5.115513e-04,5.130969e-04,5.148018e-04,5.154220e-04,5.174481e-04,5.175231e-04,5.191915e-04,5.197529e-04,5.206678e-04,5.215269e-04,5.218922e-04,5.228790e-04,5.236421e-04,5.238412e-04,5.241945e-04,5.244435e-04,5.245490e-04,5.247142e-04,5.247176e-04,5.247115e-04,5.246801e-04,5.245419e-04,5.243658e-04,5.242189e-04,5.237948e-04,5.237525e-04,5.231520e-04,5.229889e-04,5.224262e-04,5.219683e-04,5.215837e-04,5.207520e-04,5.206324e-04,5.195798e-04,5.193578e-04,5.184332e-04,5.178020e-04,5.171993e-04,5.161001e-04,5.158846e-04,5.144951e-04,5.142662e-04,5.130367e-04,5.123137e-04,5.115147e-04,5.102549e-04,5.099344e-04,5.083005e-04,5.081011e-04,5.066177e-04,5.058630e-04,5.048904e-04,5.035503e-04,5.031226e-04,5.013182e-04,5.011723e-04,4.994808e-04,4.987374e-04,4.976139e-04,4.962532e-04,4.957207e-04,4.938043e-04,4.937272e-04,4.918675e-04,4.911658e-04,4.899131e-04,4.885753e-04,4.879436e-04,4.859614e-04,4.833292e-04,4.806837e-04,4.780292e-04,4.753698e-04,4.727092e-04,4.700509e-04,4.673981e-04,4.647535e-04,4.621198e-04,4.594995e-04,4.568946e-04,4.543072e-04,4.517390e-04,4.491918e-04,4.466668e-04,4.441655e-04,4.416889e-04,4.392382e-04,4.368142e-04,4.344177e-04,4.320495e-04,4.297102e-04,4.274003e-04,4.251202e-04
0.000000e+00,3.701465e-10,1.290647e-09,7.296711e-09,2.133854e-08,3.431499e-08,9.335394e-08,9.674059e-08,2.122157e-07,2.568857e-07,4.021665e-07,5.615653e-07,6.893385e-07,1.051019e-06,1.086832e-06,1.587165e-06,1.720264e-06,2.169219e-06,2.522925e-06,2.812266e-06,3.416062e-06,3.500642e-06,4.222425e-06,4.369893e-06,4.967687e-06,5.361552e-06,5.727647e-06,6.371563e-06,6.494399e-06,7.260919e-06,7.383120e-06,8.021112e-06,8.382213e-06,8.769845e-06,9.357735e-06,9.502930e-06,1.021707e-05,1.030136e-05,1.090974e-05,1.120723e-05,1.157914e-05,1.207153e-05,1.222401e-05,1.284358e-05,1.289204e-05,1.343747e-05,1.366780e-05,1.400557e-05,1.439873e-05,1.454806e-05,1.506527e-05,1.508544e-05,1.555767e-05,1.572898e-05,1.602585e-05,1.633069e-05,1.647043e-05,1.689214e-05,1.729170e-05,1.741501e-05,1.766989e-05,1.790106e-05,1.802746e-05,1.835205e-05,1.836519e-05,1.868384e-05,1.876975e-05,1.898418e-05,1.915589e-05,1.926693e-05,1.951216e-05,1.953283e-05,1.978259e-05,1.984021e-05,2.001690e-05,2.014161e-05,2.023642e-05,2.041789e-05,2.044182e-05,2.063370e-05,2.067051e-05,2.081269e-05,2.090086e-05,2.097937e-05,2.111027e-05,2.113430e-05,2.127802e-05,2.130001e-05,2.141106e-05,2.147127e-05,2.153392e-05,2.162520e-05,2.164708e-05,2.175101e-05,2.176289e-05,2.184615e-05,2.188534e-05,2.193293e-05,2.199354e-05,2.201176e-05,2.208302e-05,2.208841e-05,2.214709e-05,2.217079e-05,2.220434e-05,2.224153e-05,2.225510e-05,2.229971e-05,2.230137e-05,2.233848e-05,2.235106e-05,2.237170e-05,2.239128e-05,2.239967e-05,2.242266e-05,2.244094e-05,2.244583e-05,2.245475e-05,2.246135e-05,2.246433e-05,2.246977e-05,2.246992e-05,2.247172e-05,2.247158e-05,2.246996e-05,2.246727e-05,2.246482e-05,2.245728e-05,2.245650e-05,2.244517e-05,2.244203e-05,2.243102e-05,2.242192e-05,2.241420e-05,2.239732e-05,2.239488e-05,2.237319e-05,2.236859e-05,2.234929e-05,2.233604e-05,2.232331e-05,2.229998e-05,2.229539e-05,2.226563e-05,2.226071e-05,2.223417e-05,2.221849e-05,2.220111e-05,2.217358e-05,2.216656e-05,2.213062e-05,2.212622e-05,2.209339e-05,2.207662e-05,2.205496e-05,2.202501e-05,2.201542e-05,2.197485e-05,2.197156e-05,2.193334e-05,2.191648e-05,2.189095e-05,2.185993e-05,2.184776e-05,2.180383e-05,2.180206e-05,2.175924e-05,2.174304e-05,2.171405e-05,2.168300e-05,2.166831e-05,2.162208e-05,2.156039e-05,2.149805e-05,2.143517e-05,2.137185e-05,2.130818e-05,2.124426e-05,2.118015e-05,2.111594e-05,2.105170e-05,2.098749e-05,2.092337e-05,2.085941e-05,2.079564e-05,2.073212e-05,2.066890e-05,2.060602e-05,2.054350e-05,2.048140e-05,2.041974e-05,2.035855e-05,2.029786e-05,2.023769e-05,2.017806e-05,2.011901e-05
0.000000e+00,1.667426e-11,3.841088e-11,1.330626e-10,3.044980e-10,4.459339e-10,1.025827e-09,1.057456e-09,2.089300e-09,2.473586e-09,3.694955e-09,5.008651e-09,6.054183e-09,9.021704e-09,9.317763e-09,1.351407e-08,1.464966e-08,1.853446e-08,2.164694e-08,2.422235e-08,2.967163e-08,3.044253e-08,3.709360e-08,3.846840e-08,4.409789e-08,4.785798e-08,5.139082e-08,5.769714e-08,5.891401e-08,6.661184e-08,6.785606e-08,7.443021e-08,7.821031e-08,8.231643e-08,8.864006e-08,9.021974e-08,9.809209e-08,9.903254e-08,1.058889e-07,1.092850e-07,1.135697e-07,1.193072e-07,1.210985e-07,1.284440e-07,1.290229e-07,1.355798e-07,1.383704e-07,1.424841e-07,1.473022e-07,1.491399e-07,1.555342e-07,1.557843e-07,1.616574e-07,1.637943e-07,1.675039e-07,1.713196e-07,1.730704e-07,1.783566e-07,1.833639e-07,1.849079e-07,1.880959e-07,1.909820e-07,1.925573e-07,1.965914e-07,1.967543e-07,2.006937e-07,2.017516e-07,2.043833e-07,2.064804e-07,2.078311e-07,2.107970e-07,2.110458e-07,2.140360e-07,2.147213e-07,2.168108e-07,2.182738e-07,2.193789e-07,2.214750e-07,2.217493e-07,2.239308e-07,2.243451e-07,2.259318e-07,2.269039e-07,2.277610e-07,2.291706e-07,2.294264e-07,2.309361e-07,2.311637e-07,2.322978e-07,2.329010e-07,2.335189e-07,2.343995e-07,2.346068e-07,2.355682e-07,2.356754e-07,2.364099e-07,2.367440e-07,2.371384e-07,2.376200e-07,2.377596e-07,2.382796e-07,2.383170e-07,2.387039e-07,2.388481e-07,2.390379e-07,2.392255e-07,2.392869e-07,2.394556e-07,2.394607e-07,2.395488e-07,2.395647e-07,2.395709e-07,2.395475e-07,2.395262e-07,2.394189e-07,2.392526e-07,2.391876e-07,2.390312e-07,2.388622e-07,2.387581e-07,2.384504e-07,2.384367e-07,2.380701e-07,2.379598e-07,2.376613e-07,2.373971e-07,2.372133e-07,2.367687e-07,2.367287e-07,2.362100e-07,2.360808e-07,2.356598e-07,2.353388e-07,2.350804e-07,2.345481e-07,2.344740e-07,2.338426e-07,2.337135e-07,2.331883e-07,2.328396e-07,2.325129e-07,2.319306e-07,2.318182e-07,2.311059e-07,2.309904e-07,2.303776e-07,2.300228e-07,2.296348e-07,2.290310e-07,2.288788e-07,2.281112e-07,2.280183e-07,2.273331e-07,2.269877e-07,2.265457e-07,2.259418e-07,2.257502e-07,2.249476e-07,2.248832e-07,2.241390e-07,2.238141e-07,2.233254e-07,2.227369e-07,2.225075e-07,2.216863e-07,2.216534e-07,2.208626e-07,2.205656e-07,2.200371e-07,2.194751e-07,2.192105e-07,2.183835e-07,2.172922e-07,2.162026e-07,2.151160e-07,2.140333e-07,2.129557e-07,2.118841e-07,2.108193e-07,2.097622e-07,2.087133e-07,2.076734e-07,2.066431e-07,2.056228e-07,2.046130e-07,2.036142e-07,2.026266e-07,2.016507e-07,2.006866e-07,1.997347e-07,1.987952e-07,1.978682e-07,1.969539e-07,1.960524e-07,1.951638e-07,1.942882e-07
0.000000e+00,5.659579e-11,2.518166e-10,2.146345e-09,8.336416e-09,1.521525e-08,5.325866e-08,5.565111e-08,1.439553e-07,1.802650e-07,3.024077e-07,4.408270e-07,5.543593e-07,8.892676e-07,9.236746e-07,1.432030e-06,1.576528e-06,2.093578e-06,2.532483e-06,2.911197e-06,3.754477e-06,3.877989e-06,4.981683e-06,5.217617e-06,6.208171e-06,6.889701e-06,7.543080e-06,8.737683e-06,8.972043e-06,1.048059e-05,1.072837e-05,1.205407e-05,1.282807e-05,1.367774e-05,1.500299e-05,1.533700e-05,1.701772e-05,1.722020e-05,1.870651e-05,1.944891e-05,2.039102e-05,2.166148e-05,2.206011e-05,2.370399e-05,2.383415e-05,2.531426e-05,2.594734e-05,2.688392e-05,2.798570e-05,2.840731e-05,2.988002e-05,2.993782e-05,3.129875e-05,3.179582e-05,3.266124e-05,3.355486e-05,3.396608e-05,3.521261e-05,3.640080e-05,3.676877e-05,3.753115e-05,3.822461e-05,3.860454e-05,3.958256e-05,3.962221e-05,4.058565e-05,4.084592e-05,4.149652e-05,4.201856e-05,4.235664e-05,4.310475e-05,4.316790e-05,4.393224e-05,4.410892e-05,4.465165e-05,4.503562e-05,4.532807e-05,4.588933e-05,4.596347e-05,4.655976e-05,4.667449e-05,4.711879e-05,4.739537e-05,4.764238e-05,4.805609e-05,4.813228e-05,4.859017e-05,4.866057e-05,4.901768e-05,4.921255e-05,4.941635e-05,4.971554e-05,4.978769e-05,5.013310e-05,5.017287e-05,5.045394e-05,5.058766e-05,5.075150e-05,5.096283e-05,5.102701e-05,5.128164e-05,5.130114e-05,5.151650e-05,5.160514e-05,5.173264e-05,5.187724e-05,5.193107e-05,5.211273e-05,5.211966e-05,5.227853e-05,5.233450e-05,5.242932e-05,5.252370e-05,5.256591e-05,5.268908e-05,5.279955e-05,5.283234e-05,5.289802e-05,5.295504e-05,5.298514e-05,5.305867e-05,5.306153e-05,5.312778e-05,5.314459e-05,5.318445e-05,5.321407e-05,5.323207e-05,5.326831e-05,5.327113e-05,5.330213e-05,5.330842e-05,5.332551e-05,5.333543e-05,5.334169e-05,5.335030e-05,5.335108e-05,5.335407e-05,5.335393e-05,5.335102e-05,5.334717e-05,5.334228e-05,5.333078e-05,5.332818e-05,5.330902e-05,5.330551e-05,5.328511e-05,5.327202e-05,5.325672e-05,5.323096e-05,5.322412e-05,5.318756e-05,5.318292e-05,5.314729e-05,5.312845e-05,5.310353e-05,5.306807e-05,5.305649e-05,5.300639e-05,5.300225e-05,5.295341e-05,5.293146e-05,5.289775e-05,5.285611e-05,5.283957e-05,5.277905e-05,5.277659e-05,5.271635e-05,5.269327e-05,5.265160e-05,5.260649e-05,5.258497e-05,5.251658e-05,5.242384e-05,5.232854e-05,5.223095e-05,5.213132e-05,5.202987e-05,5.192681e-05,5.182236e-05,5.171669e-05,5.160998e-05,5.150239e-05,5.139409e-05,5.128520e-05,5.117586e-05,5.106620e-05,5.095634e-05,5.084638e-05,5.073642e-05,5.062656e-05,5.051689e-05,5.040749e-05,5.029842e-05,5.018978e-05,5.008161e-05,4.997399e-05
0.000000e+00,1.256420e-09,6.477476e-09,7.421873e-08,3.731427e-07,7.809646e-07,3.832092e-06,4.057650e-06,1.433028e-05,1.945199e-05,3.966762e-05,6.719663e-05,9.286225e-05,1.821752e-04,1.923858e-04,3.631730e-04,4.181608e-04,6.371290e-04,8.498357e-04,1.053157e-03,1.572598e-03,1.656521e-03,2.497563e-03,2.698981e-03,3.629994e-03,4.352331e-03,5.109005e-03,6.659351e-03,6.989392e-03,9.323803e-03,9.742776e-03,1.216116e-02,1.371483e-02,1.554528e-02,1.867176e-02,1.951377e-02,2.409706e-02,2.468953e-02,2.931778e-02,3.182084e-02,3.519028e-02,4.009325e-02,4.172048e-02,4.890581e-02,4.950867e-02,5.673548e-02,6.004383e-02,6.519082e-02,7.165176e-02,7.424585e-02,8.386793e-02,8.426408e-02,9.401853e-02,9.779387e-02,1.046541e-01,1.121390e-01,1.157268e-01,1.271855e-01,1.389768e-01,1.428113e-01,1.510456e-01,1.588895e-01,1.633361e-01,1.752915e-01,1.757923e-01,1.883590e-01,1.918901e-01,2.009824e-01,2.085619e-01,2.136104e-01,2.251892e-01,2.261930e-01,2.386832e-01,2.416621e-01,2.510367e-01,2.578796e-01,2.632126e-01,2.737502e-01,2.751729e-01,2.868837e-01,2.891931e-01,2.983140e-01,3.041378e-01,3.094367e-01,3.185245e-01,3.202279e-01,3.306672e-01,3.323037e-01,3.407375e-01,3.454358e-01,3.504245e-01,3.578907e-01,3.597173e-01,3.686075e-01,3.696470e-01,3.770894e-01,3.806912e-01,3.851598e-01,3.910172e-01,3.928175e-01,4.000634e-01,4.006254e-01,4.069005e-01,4.095217e-01,4.133331e-01,4.177173e-01,4.193671e-01,4.250097e-01,4.252274e-01,4.302693e-01,4.320708e-01,4.351553e-01,4.382694e-01,4.396777e-01,4.438473e-01,4.476756e-01,4.488304e-01,4.511743e-01,4.532461e-01,4.543556e-01,4.571226e-01,4.572320e-01,4.598159e-01,4.604887e-01,4.621199e-01,4.633732e-01,4.641567e-01,4.658052e-01,4.659387e-01,4.674784e-01,4.678132e-01,4.687880e-01,4.694253e-01,4.698795e-01,4.706690e-01,4.707647e-01,4.714550e-01,4.715706e-01,4.719616e-01,4.721560e-01,4.722952e-01,4.724496e-01,4.724665e-01,4.724855e-01,4.724751e-01,4.723621e-01,4.722549e-01,4.721055e-01,4.718105e-01,4.717248e-01,4.712288e-01,4.711619e-01,4.706256e-01,4.703283e-01,4.699232e-01,4.693277e-01,4.691291e-01,4.682505e-01,4.681768e-01,4.672943e-01,4.668915e-01,4.662668e-01,4.654864e-01,4.651743e-01,4.640225e-01,4.639753e-01,4.628171e-01,4.623710e-01,4.615631e-01,4.606852e-01,4.602656e-01,4.589291e-01,4.571126e-01,4.552451e-01,4.533353e-01,4.513910e-01,4.494194e-01,4.474272e-01,4.454205e-01,4.434046e-01,4.413846e-01,4.393650e-01,4.373500e-01,4.353432e-01,4.333479e-01,4.313671e-01,4.294035e-01,4.274594e-01,4.255369e-01,4.236378e-01,4.217639e-01,4.199163e-01,4.180965e-01,4.163054e-01,4.145438e-01,4.128125e-01
0.000000e+00,1.878224e-10,5.252316e-10,2.234044e-09,5.626355e-09,8.546821e-09,2.110172e-08,2.180619e-08,4.559287e-08,5.478100e-08,8.483634e-08,1.180864e-07,1.448129e-07,2.198868e-07,2.272348e-07,3.278680e-07,3.540104e-07,4.404564e-07,5.069115e-07,5.603521e-07,6.696335e-07,6.847310e-07,8.118235e-07,8.374503e-07,9.403501e-07,1.007390e-06,1.069238e-06,1.177060e-06,1.197501e-06,1.324210e-06,1.344280e-06,1.448492e-06,1.507049e-06,1.569554e-06,1.663610e-06,1.686695e-06,1.799325e-06,1.812514e-06,1.906973e-06,1.952664e-06,2.009283e-06,2.083317e-06,2.106014e-06,2.197030e-06,2.204063e-06,2.282286e-06,2.314781e-06,2.361816e-06,2.415587e-06,2.435721e-06,2.504150e-06,2.506776e-06,2.567294e-06,2.588774e-06,2.625374e-06,2.662102e-06,2.678637e-06,2.727340e-06,2.771743e-06,2.785084e-06,2.812094e-06,2.835913e-06,2.848654e-06,2.880414e-06,2.881669e-06,2.911379e-06,2.919137e-06,2.938013e-06,2.952608e-06,2.961788e-06,2.981313e-06,2.982909e-06,3.001568e-06,3.005700e-06,3.017944e-06,3.026182e-06,3.032208e-06,3.043138e-06,3.044516e-06,3.055015e-06,3.056909e-06,3.063838e-06,3.067806e-06,3.071112e-06,3.076111e-06,3.076954e-06,3.081470e-06,3.082077e-06,3.084761e-06,3.085933e-06,3.086919e-06,3.087887e-06,3.088029e-06,3.088171e-06,3.088126e-06,3.087417e-06,3.086819e-06,3.085834e-06,3.084117e-06,3.083487e-06,3.080432e-06,3.080158e-06,3.076723e-06,3.075068e-06,3.072411e-06,3.068959e-06,3.067541e-06,3.062157e-06,3.061932e-06,3.056299e-06,3.054080e-06,3.050002e-06,3.045488e-06,3.043302e-06,3.036231e-06,3.028819e-06,3.026380e-06,3.021093e-06,3.015996e-06,3.013079e-06,3.005138e-06,3.004802e-06,2.996283e-06,2.993857e-06,2.987544e-06,2.982203e-06,2.978604e-06,2.970218e-06,2.969482e-06,2.960194e-06,2.957943e-06,2.950758e-06,2.945414e-06,2.941187e-06,2.932665e-06,2.931496e-06,2.921698e-06,2.919727e-06,2.911805e-06,2.906627e-06,2.901829e-06,2.893393e-06,2.891781e-06,2.881670e-06,2.880047e-06,2.871506e-06,2.866611e-06,2.861298e-06,2.853106e-06,2.851054e-06,2.840783e-06,2.839549e-06,2.830492e-06,2.825959e-06,2.820187e-06,2.812350e-06,2.809875e-06,2.799562e-06,2.798737e-06,2.789254e-06,2.785133e-06,2.778956e-06,2.771551e-06,2.768674e-06,2.758411e-06,2.758001e-06,2.748172e-06,2.744493e-06,2.737963e-06,2.731038e-06,2.727785e-06,2.717644e-06,2.704318e-06,2.691068e-06,2.677901e-06,2.664822e-06,2.651838e-06,2.638953e-06,2.626171e-06,2.613498e-06,2.600936e-06,2.588489e-06,2.576161e-06,2.563953e-06,2.551869e-06,2.539910e-06,2.528078e-06,2.516375e-06,2.504803e-06,2.493362e-06,2.482053e-06,2.470878e-06,2.459837e-06,2.448929e-06,2.438157e-06,2.427520e-06
0.000000e+00,9.618444e-11,2.795093e-10,1.238206e-09,3.160395e-09,4.806801e-09,1.171400e-08,1.209302e-08,2.441885e-08,2.896991e-08,4.326541e-08,5.838274e-08,7.025996e-08,1.034563e-07,1.067372e-07,1.528185e-07,1.651709e-07,2.070763e-07,2.402597e-07,2.674542e-07,3.242138e-07,3.321585e-07,3.998400e-07,4.136384e-07,4.694604e-07,5.061391e-07,5.401595e-07,5.998245e-07,6.111806e-07,6.818407e-07,6.930708e-07,7.515260e-07,7.844670e-07,8.196958e-07,8.728270e-07,8.858878e-07,9.497227e-07,9.572096e-07,1.010904e-06,1.036925e-06,1.069216e-06,1.111524e-06,1.124516e-06,1.176727e-06,1.180769e-06,1.225828e-06,1.244602e-06,1.271846e-06,1.303104e-06,1.314844e-06,1.354917e-06,1.356461e-06,1.392179e-06,1.404929e-06,1.426757e-06,1.448807e-06,1.458790e-06,1.488420e-06,1.515792e-06,1.524097e-06,1.541047e-06,1.556164e-06,1.564324e-06,1.584933e-06,1.585757e-06,1.605471e-06,1.610700e-06,1.623589e-06,1.633740e-06,1.640222e-06,1.654305e-06,1.655477e-06,1.669453e-06,1.672628e-06,1.682242e-06,1.688918e-06,1.693930e-06,1.703366e-06,1.704594e-06,1.714308e-06,1.716142e-06,1.723138e-06,1.727401e-06,1.731146e-06,1.737280e-06,1.738390e-06,1.744923e-06,1.745906e-06,1.750793e-06,1.753388e-06,1.756044e-06,1.759828e-06,1.760718e-06,1.764854e-06,1.765316e-06,1.768487e-06,1.769934e-06,1.771648e-06,1.773755e-06,1.774370e-06,1.776679e-06,1.776847e-06,1.778602e-06,1.779268e-06,1.780162e-06,1.781074e-06,1.781383e-06,1.782285e-06,1.782314e-06,1.782887e-06,1.783034e-06,1.783208e-06,1.783274e-06,1.783264e-06,1.783072e-06,1.782646e-06,1.782463e-06,1.782000e-06,1.781477e-06,1.781147e-06,1.780145e-06,1.780100e-06,1.778869e-06,1.778493e-06,1.777465e-06,1.776544e-06,1.775899e-06,1.774323e-06,1.774180e-06,1.772318e-06,1.771850e-06,1.770319e-06,1.769144e-06,1.768194e-06,1.766224e-06,1.765949e-06,1.763591e-06,1.763106e-06,1.761127e-06,1.759806e-06,1.758564e-06,1.756338e-06,1.755907e-06,1.753163e-06,1.752716e-06,1.750337e-06,1.748953e-06,1.747434e-06,1.745060e-06,1.744460e-06,1.741418e-06,1.741048e-06,1.738313e-06,1.736929e-06,1.735150e-06,1.732710e-06,1.731933e-06,1.728665e-06,1.728402e-06,1.725351e-06,1.724013e-06,1.721993e-06,1.719551e-06,1.718595e-06,1.715161e-06,1.715023e-06,1.711693e-06,1.710436e-06,1.708193e-06,1.705798e-06,1.704666e-06,1.701113e-06,1.696389e-06,1.691630e-06,1.686842e-06,1.682030e-06,1.677197e-06,1.672349e-06,1.667490e-06,1.662622e-06,1.657751e-06,1.652878e-06,1.648008e-06,1.643143e-06,1.638286e-06,1.633439e-06,1.628606e-06,1.623788e-06,1.618988e-06,1.614207e-06,1.609448e-06,1.604712e-06,1.600001e-06,1.595316e-06,1.590659e-06,1.586031e-06
0.000000e+00,1.365301e-10,3.331555e-10,1.225989e-09,2.880150e-09,4.253056e-09,9.860383e-09,1.016402e-08,1.990978e-08,2.345959e-08,3.448134e-08,4.596471e-08,5.489189e-08,7.957805e-08,8.200718e-08,1.161989e-07,1.254362e-07,1.571676e-07,1.828149e-07,2.042152e-07,2.500431e-07,2.565847e-07,3.135759e-07,3.254708e-07,3.745360e-07,4.075935e-07,4.388330e-07,4.949660e-07,5.058451e-07,5.749634e-07,5.861781e-07,6.456009e-07,6.798824e-07,7.172040e-07,7.748369e-07,7.892620e-07,8.613135e-07,8.699393e-07,9.329508e-07,9.642469e-07,1.003820e-06,1.056981e-06,1.073621e-06,1.142103e-06,1.147518e-06,1.209062e-06,1.235380e-06,1.274332e-06,1.320208e-06,1.337786e-06,1.399327e-06,1.401748e-06,1.458884e-06,1.479829e-06,1.516410e-06,1.554352e-06,1.571876e-06,1.625269e-06,1.676591e-06,1.692578e-06,1.725852e-06,1.756307e-06,1.773073e-06,1.816511e-06,1.818281e-06,1.861509e-06,1.873263e-06,1.902794e-06,1.926650e-06,1.942179e-06,1.976770e-06,1.979705e-06,2.015420e-06,2.023727e-06,2.049371e-06,2.067631e-06,2.081606e-06,2.108592e-06,2.112174e-06,2.141125e-06,2.146725e-06,2.168508e-06,2.182145e-06,2.194374e-06,2.214963e-06,2.218770e-06,2.241746e-06,2.245294e-06,2.263351e-06,2.273247e-06,2.283630e-06,2.298932e-06,2.302633e-06,2.320403e-06,2.322455e-06,2.336987e-06,2.343919e-06,2.352428e-06,2.363426e-06,2.366770e-06,2.380055e-06,2.381073e-06,2.392324e-06,2.396956e-06,2.403617e-06,2.411165e-06,2.413973e-06,2.423431e-06,2.423791e-06,2.432027e-06,2.434918e-06,2.439797e-06,2.444628e-06,2.446777e-06,2.453001e-06,2.458500e-06,2.460112e-06,2.463307e-06,2.466035e-06,2.467454e-06,2.470840e-06,2.470969e-06,2.473882e-06,2.474594e-06,2.476221e-06,2.477361e-06,2.478013e-06,2.479201e-06,2.479285e-06,2.480060e-06,2.480175e-06,2.480364e-06,2.480338e-06,2.480221e-06,2.479743e-06,2.479653e-06,2.478681e-06,2.478441e-06,2.477328e-06,2.476480e-06,2.475613e-06,2.473908e-06,2.473556e-06,2.471176e-06,2.470767e-06,2.468491e-06,2.467099e-06,2.465519e-06,2.462945e-06,2.462276e-06,2.458778e-06,2.458342e-06,2.455041e-06,2.453325e-06,2.451079e-06,2.447928e-06,2.446908e-06,2.442541e-06,2.442183e-06,2.437990e-06,2.436122e-06,2.433269e-06,2.429772e-06,2.428390e-06,2.423364e-06,2.423160e-06,2.418202e-06,2.416313e-06,2.412916e-06,2.409254e-06,2.407514e-06,2.402007e-06,2.394593e-06,2.387032e-06,2.379343e-06,2.371545e-06,2.363653e-06,2.355685e-06,2.347654e-06,2.339576e-06,2.331462e-06,2.323325e-06,2.315176e-06,2.307026e-06,2.298885e-06,2.290761e-06,2.282665e-06,2.274602e-06,2.266582e-06,2.258609e-06,2.250692e-06,2.242834e-06,2.235043e-06,2.227322e-06,2.219675e-06,2.212108e-06
0.000000e+00,2.140099e-11,1.045780e-10,1.072196e-09,4.872546e-09,9.650386e-09,4.113222e-08,4.330758e-08,1.335676e-07,1.749283e-07,3.268015e-07,5.171424e-07,6.845204e-07,1.223168e-06,1.281645e-06,2.197479e-06,2.472639e-06,3.498993e-06,4.412579e-06,5.226355e-06,7.106480e-06,7.388509e-06,9.967438e-06,1.053022e-05,1.292605e-05,1.459874e-05,1.621582e-05,1.919561e-05,1.978260e-05,2.357036e-05,2.419317e-05,2.752344e-05,2.946370e-05,3.158784e-05,3.488482e-05,3.571208e-05,3.984788e-05,4.034279e-05,4.395073e-05,4.573503e-05,4.798048e-05,5.097229e-05,5.190183e-05,5.568463e-05,5.598049e-05,5.930413e-05,6.070168e-05,6.274093e-05,6.509416e-05,6.598088e-05,6.901469e-05,6.913167e-05,7.183752e-05,7.280180e-05,7.444844e-05,7.610394e-05,7.684987e-05,7.904695e-05,8.104699e-05,8.164681e-05,8.285893e-05,8.392447e-05,8.449284e-05,8.590394e-05,8.595954e-05,8.727018e-05,8.761073e-05,8.843600e-05,8.907059e-05,8.946805e-05,9.030861e-05,9.037705e-05,9.117324e-05,9.134863e-05,9.186630e-05,9.221277e-05,9.246529e-05,9.292129e-05,9.297863e-05,9.341409e-05,9.349248e-05,9.377880e-05,9.394267e-05,9.407926e-05,9.428637e-05,9.432142e-05,9.451068e-05,9.453638e-05,9.465191e-05,9.470396e-05,9.474954e-05,9.479895e-05,9.480756e-05,9.482958e-05,9.482996e-05,9.481885e-05,9.480452e-05,9.477831e-05,9.472922e-05,9.471063e-05,9.461821e-05,9.460981e-05,9.450322e-05,9.445136e-05,9.436765e-05,9.425831e-05,9.421329e-05,9.404176e-05,9.403457e-05,9.385457e-05,9.378361e-05,9.365307e-05,9.350851e-05,9.343850e-05,9.321199e-05,9.297461e-05,9.289650e-05,9.272729e-05,9.256421e-05,9.247094e-05,9.221710e-05,9.220637e-05,9.193434e-05,9.185692e-05,9.165554e-05,9.148529e-05,9.137063e-05,9.110363e-05,9.108021e-05,9.078483e-05,9.071326e-05,9.048502e-05,9.031537e-05,9.018126e-05,8.991105e-05,8.987401e-05,8.956368e-05,8.950128e-05,8.925067e-05,8.908697e-05,8.893535e-05,8.866894e-05,8.861806e-05,8.829913e-05,8.824796e-05,8.797885e-05,8.782472e-05,8.765751e-05,8.739986e-05,8.733538e-05,8.701270e-05,8.697395e-05,8.668970e-05,8.654753e-05,8.636660e-05,8.612110e-05,8.604360e-05,8.572091e-05,8.569511e-05,8.539869e-05,8.526997e-05,8.507711e-05,8.484606e-05,8.475633e-05,8.443650e-05,8.442373e-05,8.411776e-05,8.400330e-05,8.380022e-05,8.358506e-05,8.348403e-05,8.316928e-05,8.275619e-05,8.234603e-05,8.193898e-05,8.153525e-05,8.113498e-05,8.073833e-05,8.034544e-05,7.995642e-05,7.957139e-05,7.919044e-05,7.881365e-05,7.844110e-05,7.807286e-05,7.770897e-05,7.734949e-05,7.699446e-05,7.664390e-05,7.629785e-05,7.595632e-05,7.561932e-05,7.528686e-05,7.495895e-05,7.463559e-05,7.431676e-05
0.000000e+00,1.018799e-11,5.247998e-11,6.002466e-10,3.012787e-09,6.299696e-09,3.083518e-08,3.264677e-08,1.150001e-07,1.559886e-07,3.175059e-07,5.370084e-07,7.413367e-07,1.450804e-06,1.531795e-06,2.884092e-06,3.318765e-06,5.047549e-06,6.724937e-06,8.327530e-06,1.242200e-05,1.308380e-05,1.972378e-05,2.131634e-05,2.869006e-05,3.442460e-05,4.044323e-05,5.280604e-05,5.544251e-05,7.412650e-05,7.748533e-05,9.689591e-05,1.093810e-04,1.240992e-04,1.492483e-04,1.560217e-04,1.928776e-04,1.976392e-04,2.348057e-04,2.548796e-04,2.818676e-04,3.210614e-04,3.340479e-04,3.912572e-04,3.960469e-04,4.533367e-04,4.794842e-04,5.200634e-04,5.708291e-04,5.911575e-04,6.662896e-04,6.693738e-04,7.450888e-04,7.742772e-04,8.271507e-04,8.845981e-04,9.120457e-04,9.993269e-04,1.088537e-03,1.117417e-03,1.179217e-03,1.237812e-03,1.270910e-03,1.359473e-03,1.363169e-03,1.455560e-03,1.481396e-03,1.547669e-03,1.602635e-03,1.639103e-03,1.722310e-03,1.729494e-03,1.818501e-03,1.839621e-03,1.905810e-03,1.953854e-03,1.991137e-03,2.064385e-03,2.074230e-03,2.154865e-03,2.170679e-03,2.232846e-03,2.272292e-03,2.308009e-03,2.368866e-03,2.380215e-03,2.449353e-03,2.460124e-03,2.515336e-03,2.545868e-03,2.578102e-03,2.625970e-03,2.637610e-03,2.693839e-03,2.700366e-03,2.746788e-03,2.769049e-03,2.796471e-03,2.832064e-03,2.842918e-03,2.886174e-03,2.889498e-03,2.926293e-03,2.941476e-03,2.963341e-03,2.988156e-03,2.997394e-03,3.028534e-03,3.029721e-03,3.056851e-03,3.066371e-03,3.082437e-03,3.098327e-03,3.105393e-03,3.125819e-03,3.143818e-03,3.149082e-03,3.159496e-03,3.168360e-03,3.172958e-03,3.183895e-03,3.184310e-03,3.193657e-03,3.195929e-03,3.201103e-03,3.204702e-03,3.206752e-03,3.210446e-03,3.210702e-03,3.213053e-03,3.213390e-03,3.213900e-03,3.213752e-03,3.213337e-03,3.211746e-03,3.211453e-03,3.208337e-03,3.207573e-03,3.204072e-03,3.201426e-03,3.198738e-03,3.193489e-03,3.192414e-03,3.185173e-03,3.183935e-03,3.177087e-03,3.172926e-03,3.168223e-03,3.160615e-03,3.158646e-03,3.148416e-03,3.147147e-03,3.137592e-03,3.132655e-03,3.126228e-03,3.117263e-03,3.114377e-03,3.102089e-03,3.101088e-03,3.089409e-03,3.084238e-03,3.076382e-03,3.066810e-03,3.063048e-03,3.049446e-03,3.048897e-03,3.035613e-03,3.030583e-03,3.021582e-03,3.011944e-03,3.007385e-03,2.993052e-03,2.973969e-03,2.954756e-03,2.935465e-03,2.916145e-03,2.896838e-03,2.877585e-03,2.858420e-03,2.839375e-03,2.820477e-03,2.801753e-03,2.783223e-03,2.764908e-03,2.746823e-03,2.728984e-03,2.711404e-03,2.694092e-03,2.677058e-03,2.660310e-03,2.643854e-03,2.627693e-03,2.611833e-03,2.596276e-03,2.581022e-03,2.566074e-03
0.000000e+00,5.535817e-12,2.750946e-11,2.919261e-10,1.367834e-09,2.753548e-09,1.221027e-08,1.287554e-08,4.108069e-08,5.423575e-08,1.031113e-07,1.649858e-07,2.196455e-07,3.962406e-07,4.154643e-07,7.184251e-07,8.103684e-07,1.158386e-06,1.476068e-06,1.766108e-06,2.463908e-06,2.572067e-06,3.605054e-06,3.841210e-06,4.890432e-06,5.665451e-06,6.448078e-06,7.976156e-06,8.290270e-06,1.042000e-05,1.078710e-05,1.283016e-05,1.408206e-05,1.550394e-05,1.781601e-05,1.841605e-05,2.153474e-05,2.192118e-05,2.482394e-05,2.631538e-05,2.824541e-05,3.091042e-05,3.176057e-05,3.533194e-05,3.561900e-05,3.892422e-05,4.035963e-05,4.250505e-05,4.505973e-05,4.604542e-05,4.951994e-05,4.965723e-05,5.290681e-05,5.410102e-05,5.618782e-05,5.835072e-05,5.934810e-05,6.237592e-05,6.526245e-05,6.615520e-05,6.800140e-05,6.967495e-05,7.058879e-05,7.292824e-05,7.302264e-05,7.530268e-05,7.591366e-05,7.743010e-05,7.863425e-05,7.940730e-05,8.109655e-05,8.123767e-05,8.292540e-05,8.330976e-05,8.447529e-05,8.528497e-05,8.589260e-05,8.703459e-05,8.718291e-05,8.835202e-05,8.857182e-05,8.940586e-05,8.991028e-05,9.035038e-05,9.106363e-05,9.119151e-05,9.193510e-05,9.204541e-05,9.258688e-05,9.286877e-05,9.315242e-05,9.354638e-05,9.363710e-05,9.404612e-05,9.409036e-05,9.438446e-05,9.451217e-05,9.465687e-05,9.482262e-05,9.486790e-05,9.502186e-05,9.503183e-05,9.512283e-05,9.514925e-05,9.517468e-05,9.518367e-05,9.518109e-05,9.514550e-05,9.514325e-05,9.507117e-05,9.503553e-05,9.496116e-05,9.486745e-05,9.481834e-05,9.464541e-05,9.444488e-05,9.437528e-05,9.421914e-05,9.406246e-05,9.397039e-05,9.371189e-05,9.370073e-05,9.341208e-05,9.332811e-05,9.310627e-05,9.291525e-05,9.278499e-05,9.247710e-05,9.244981e-05,9.210221e-05,9.201709e-05,9.174356e-05,9.153837e-05,9.137514e-05,9.104381e-05,9.099815e-05,9.061370e-05,9.053600e-05,9.022281e-05,9.001732e-05,8.982645e-05,8.948993e-05,8.942550e-05,8.902080e-05,8.895575e-05,8.861310e-05,8.841655e-05,8.820312e-05,8.787393e-05,8.779150e-05,8.737886e-05,8.732930e-05,8.696576e-05,8.678398e-05,8.655270e-05,8.623911e-05,8.614017e-05,8.572861e-05,8.569574e-05,8.531842e-05,8.515481e-05,8.490996e-05,8.461715e-05,8.450359e-05,8.409960e-05,8.408350e-05,8.369828e-05,8.355451e-05,8.329989e-05,8.303078e-05,8.290467e-05,8.251281e-05,8.200106e-05,8.149590e-05,8.099769e-05,8.050670e-05,8.002320e-05,7.954737e-05,7.907940e-05,7.861942e-05,7.816753e-05,7.772382e-05,7.728835e-05,7.686114e-05,7.644221e-05,7.603156e-05,7.562918e-05,7.523502e-05,7.484904e-05,7.447119e-05,7.410139e-05,7.373957e-05,7.338564e-05,7.303951e-05,7.270108e-05,7.237024e-05
0.000000e+00,8.958964e-12,4.385935e-11,4.514144e-10,2.058408e-09,4.083802e-09,1.746681e-08,1.839244e-08,5.678661e-08,7.435156e-08,1.386338e-07,2.187300e-07,2.887982e-07,5.128479e-07,5.371017e-07,9.174207e-07,1.032312e-06,1.465326e-06,1.857844e-06,2.213591e-06,3.057769e-06,3.187032e-06,4.399209e-06,4.670649e-06,5.852014e-06,6.700219e-06,7.537389e-06,9.121698e-06,9.439896e-06,1.153921e-05,1.189183e-05,1.381206e-05,1.495741e-05,1.623363e-05,1.826088e-05,1.877848e-05,2.142117e-05,2.174368e-05,2.413668e-05,2.534829e-05,2.690077e-05,2.901967e-05,2.969028e-05,3.248346e-05,3.270645e-05,3.526013e-05,3.636202e-05,3.800200e-05,3.994534e-05,4.069273e-05,4.331807e-05,4.342155e-05,4.586593e-05,4.676220e-05,4.832628e-05,4.994519e-05,5.069115e-05,5.295447e-05,5.511196e-05,5.577953e-05,5.716093e-05,5.841468e-05,5.910010e-05,6.085837e-05,6.092944e-05,6.264996e-05,6.311244e-05,6.426352e-05,6.518138e-05,6.577272e-05,6.707171e-05,6.718070e-05,6.849102e-05,6.879139e-05,6.970756e-05,7.034937e-05,7.083439e-05,7.175514e-05,7.187572e-05,7.283580e-05,7.301843e-05,7.371885e-05,7.414898e-05,7.452905e-05,7.515631e-05,7.527048e-05,7.594711e-05,7.604961e-05,7.656274e-05,7.683766e-05,7.712104e-05,7.752876e-05,7.762550e-05,7.807945e-05,7.813068e-05,7.848604e-05,7.865071e-05,7.884825e-05,7.909558e-05,7.916889e-05,7.945063e-05,7.947156e-05,7.969595e-05,7.978441e-05,7.990720e-05,8.003945e-05,8.008659e-05,8.023616e-05,8.024155e-05,8.035787e-05,8.039522e-05,8.045353e-05,8.050457e-05,8.052483e-05,8.057337e-05,8.060064e-05,8.060510e-05,8.060802e-05,8.060292e-05,8.059683e-05,8.056976e-05,8.056830e-05,8.052355e-05,8.050827e-05,8.046368e-05,8.042091e-05,8.038968e-05,8.030993e-05,8.030249e-05,8.020300e-05,8.017739e-05,8.009204e-05,8.002518e-05,7.997038e-05,7.985505e-05,7.983876e-05,7.969785e-05,7.966861e-05,7.954830e-05,7.946732e-05,7.939072e-05,7.925256e-05,7.922567e-05,7.905369e-05,7.902556e-05,7.887527e-05,7.878748e-05,7.869089e-05,7.853940e-05,7.850100e-05,7.830601e-05,7.828228e-05,7.810631e-05,7.801705e-05,7.790227e-05,7.774453e-05,7.769426e-05,7.748259e-05,7.746550e-05,7.726757e-05,7.718069e-05,7.704950e-05,7.689076e-05,7.682867e-05,7.660531e-05,7.659633e-05,7.637969e-05,7.629796e-05,7.615204e-05,7.599619e-05,7.592257e-05,7.569150e-05,7.538435e-05,7.507517e-05,7.476434e-05,7.445224e-05,7.413919e-05,7.382550e-05,7.351148e-05,7.319740e-05,7.288349e-05,7.256999e-05,7.225713e-05,7.194509e-05,7.163407e-05,7.132423e-05,7.101574e-05,7.070873e-05,7.040335e-05,7.009972e-05,6.979796e-05,6.949816e-05,6.920043e-05,6.890486e-05,6.861153e-05,6.832052e-05
0.000000e+00,1.673548e-11,3.853908e-11,1.332678e-10,3.038325e-10,4.435380e-10,1.007029e-09,1.037351e-09,2.005568e-09,2.356781e-09,3.445384e-09,4.579243e-09,5.461952e-09,7.914346e-09,8.156805e-09,1.159406e-08,1.253034e-08,1.576803e-08,1.840491e-08,2.061578e-08,2.537519e-08,2.605688e-08,3.201640e-08,3.326457e-08,3.842813e-08,4.192064e-08,4.523125e-08,5.120538e-08,5.236708e-08,5.977746e-08,6.098472e-08,6.740437e-08,7.112527e-08,7.519033e-08,8.149589e-08,8.307931e-08,9.101753e-08,9.197098e-08,9.895439e-08,1.024340e-07,1.068433e-07,1.127805e-07,1.146419e-07,1.223129e-07,1.229200e-07,1.298236e-07,1.327766e-07,1.371463e-07,1.422892e-07,1.442581e-07,1.511401e-07,1.514104e-07,1.577778e-07,1.601054e-07,1.641602e-07,1.683503e-07,1.702795e-07,1.761311e-07,1.817127e-07,1.834418e-07,1.870245e-07,1.902831e-07,1.920682e-07,1.966607e-07,1.968468e-07,2.013645e-07,2.025834e-07,2.056265e-07,2.080634e-07,2.096387e-07,2.131151e-07,2.134078e-07,2.169410e-07,2.177547e-07,2.202460e-07,2.220000e-07,2.233305e-07,2.258689e-07,2.262026e-07,2.288706e-07,2.293804e-07,2.313427e-07,2.325537e-07,2.336280e-07,2.354101e-07,2.357358e-07,2.376737e-07,2.379685e-07,2.394494e-07,2.402463e-07,2.410703e-07,2.422606e-07,2.425438e-07,2.438768e-07,2.440276e-07,2.450762e-07,2.455633e-07,2.461487e-07,2.468828e-07,2.471005e-07,2.479380e-07,2.480003e-07,2.486670e-07,2.489295e-07,2.492933e-07,2.496837e-07,2.498223e-07,2.502594e-07,2.502751e-07,2.506097e-07,2.507155e-07,2.508780e-07,2.510161e-07,2.510691e-07,2.511873e-07,2.512370e-07,2.512392e-07,2.512223e-07,2.511810e-07,2.511472e-07,2.510215e-07,2.510152e-07,2.508301e-07,2.507692e-07,2.505953e-07,2.504319e-07,2.503139e-07,2.500167e-07,2.499892e-07,2.496241e-07,2.495308e-07,2.492214e-07,2.489804e-07,2.487837e-07,2.483718e-07,2.483137e-07,2.478138e-07,2.477105e-07,2.472863e-07,2.470018e-07,2.467334e-07,2.462508e-07,2.461571e-07,2.455595e-07,2.454620e-07,2.449424e-07,2.446399e-07,2.443077e-07,2.437883e-07,2.436569e-07,2.429918e-07,2.429111e-07,2.423137e-07,2.420117e-07,2.416242e-07,2.410934e-07,2.409247e-07,2.402162e-07,2.401592e-07,2.395002e-07,2.392119e-07,2.387777e-07,2.382541e-07,2.380498e-07,2.373176e-07,2.372882e-07,2.365819e-07,2.363164e-07,2.358437e-07,2.353406e-07,2.351037e-07,2.343629e-07,2.333850e-07,2.324083e-07,2.314345e-07,2.304647e-07,2.295003e-07,2.285423e-07,2.275918e-07,2.266496e-07,2.257166e-07,2.247935e-07,2.238810e-07,2.229797e-07,2.220900e-07,2.212125e-07,2.203476e-07,2.194956e-07,2.186568e-07,2.178314e-07,2.170197e-07,2.162219e-07,2.154380e-07,2.146682e-07,2.139126e-07,2.131711e-07
0.000000e+00,5.445990e-11,2.798361e-10,3.184390e-09,1.591057e-08,3.318712e-08,1.614429e-07,1.708860e-07,5.984811e-07,8.105670e-07,1.643820e-06,2.772376e-06,3.820413e-06,7.447927e-06,7.861200e-06,1.474451e-05,1.695156e-05,2.570946e-05,3.418143e-05,4.225553e-05,6.280648e-05,6.611856e-05,9.921716e-05,1.071222e-04,1.435707e-04,1.717562e-04,2.012000e-04,2.612783e-04,2.740257e-04,3.637773e-04,3.798105e-04,4.719209e-04,5.307134e-04,5.996068e-04,7.163781e-04,7.476385e-04,9.164589e-04,9.381220e-04,1.106152e-03,1.196174e-03,1.316456e-03,1.489726e-03,1.546791e-03,1.796284e-03,1.817039e-03,2.063809e-03,2.175573e-03,2.348024e-03,2.562146e-03,2.647410e-03,2.960314e-03,2.973086e-03,3.284979e-03,3.404390e-03,3.619590e-03,3.851863e-03,3.962297e-03,4.311254e-03,4.664638e-03,4.778365e-03,5.020675e-03,5.249140e-03,5.377659e-03,5.719745e-03,5.733964e-03,6.088064e-03,6.186620e-03,6.438534e-03,6.646522e-03,6.784060e-03,7.096545e-03,7.123444e-03,7.455604e-03,7.534138e-03,7.779576e-03,7.957102e-03,8.094510e-03,8.363588e-03,8.399669e-03,8.694425e-03,8.752080e-03,8.978253e-03,9.121380e-03,9.250728e-03,9.470585e-03,9.511515e-03,9.760366e-03,9.799062e-03,9.997114e-03,1.010642e-02,1.022167e-02,1.039250e-02,1.043399e-02,1.063413e-02,1.065733e-02,1.082216e-02,1.090110e-02,1.099823e-02,1.112415e-02,1.116251e-02,1.131523e-02,1.132695e-02,1.145663e-02,1.151008e-02,1.158699e-02,1.167418e-02,1.170661e-02,1.181582e-02,1.181997e-02,1.191495e-02,1.194823e-02,1.200435e-02,1.205977e-02,1.208438e-02,1.215541e-02,1.221780e-02,1.223601e-02,1.227194e-02,1.230242e-02,1.231818e-02,1.235549e-02,1.235690e-02,1.238845e-02,1.239606e-02,1.241321e-02,1.242495e-02,1.243153e-02,1.244298e-02,1.244374e-02,1.245019e-02,1.245091e-02,1.245120e-02,1.244951e-02,1.244710e-02,1.243951e-02,1.243819e-02,1.242478e-02,1.242158e-02,1.240715e-02,1.239641e-02,1.238559e-02,1.236462e-02,1.236035e-02,1.233170e-02,1.232681e-02,1.229988e-02,1.228355e-02,1.226512e-02,1.223536e-02,1.222766e-02,1.218771e-02,1.218276e-02,1.214547e-02,1.212620e-02,1.210113e-02,1.206614e-02,1.205488e-02,1.200689e-02,1.200299e-02,1.195734e-02,1.193712e-02,1.190638e-02,1.186889e-02,1.185415e-02,1.180079e-02,1.179864e-02,1.174645e-02,1.172667e-02,1.169124e-02,1.165326e-02,1.163528e-02,1.157868e-02,1.150317e-02,1.142695e-02,1.135022e-02,1.127316e-02,1.119595e-02,1.111874e-02,1.104167e-02,1.096487e-02,1.088845e-02,1.081251e-02,1.073715e-02,1.066246e-02,1.058849e-02,1.051533e-02,1.044303e-02,1.037163e-02,1.030118e-02,1.023173e-02,1.016329e-02,1.009591e-02,1.002960e-02,9.964382e-03,9.900268e-03,9.837270e-03
0.000000e+00,4.456905e-12,1.020480e-11,3.503127e-11,7.947883e-11,1.157335e-10,2.609695e-10,2.687456e-10,5.152384e-10,6.038558e-10,8.761455e-10,1.156359e-09,1.372463e-09,1.965767e-09,2.023998e-09,2.845043e-09,3.067920e-09,3.838406e-09,4.466717e-09,4.994432e-09,6.133374e-09,6.296805e-09,7.728215e-09,8.028526e-09,9.272327e-09,1.011464e-08,1.091365e-08,1.235642e-08,1.263706e-08,1.442750e-08,1.471919e-08,1.626997e-08,1.716848e-08,1.814968e-08,1.967058e-08,2.005226e-08,2.196401e-08,2.219342e-08,2.387215e-08,2.470754e-08,2.576500e-08,2.718684e-08,2.763207e-08,2.946415e-08,2.960896e-08,3.125334e-08,3.195549e-08,3.299303e-08,3.421187e-08,3.467780e-08,3.630341e-08,3.636715e-08,3.786662e-08,3.841364e-08,3.936514e-08,4.034638e-08,4.079745e-08,4.216278e-08,4.346098e-08,4.386226e-08,4.469238e-08,4.544576e-08,4.585775e-08,4.691544e-08,4.695823e-08,4.799522e-08,4.827441e-08,4.897034e-08,4.952646e-08,4.988539e-08,5.067584e-08,5.074230e-08,5.154307e-08,5.172713e-08,5.228977e-08,5.268508e-08,5.298450e-08,5.355455e-08,5.362937e-08,5.422649e-08,5.434036e-08,5.477791e-08,5.504727e-08,5.528568e-08,5.567994e-08,5.575180e-08,5.617822e-08,5.624289e-08,5.656683e-08,5.674047e-08,5.691947e-08,5.717688e-08,5.723792e-08,5.752390e-08,5.755611e-08,5.777905e-08,5.788197e-08,5.800498e-08,5.815807e-08,5.820320e-08,5.837519e-08,5.838785e-08,5.852234e-08,5.857456e-08,5.864602e-08,5.872126e-08,5.874751e-08,5.882804e-08,5.883084e-08,5.888878e-08,5.890603e-08,5.893088e-08,5.894940e-08,5.895539e-08,5.896335e-08,5.895573e-08,5.895016e-08,5.893347e-08,5.891195e-08,5.889745e-08,5.885071e-08,5.884852e-08,5.878748e-08,5.876832e-08,5.871509e-08,5.866653e-08,5.863210e-08,5.854697e-08,5.853919e-08,5.843701e-08,5.841118e-08,5.832620e-08,5.826060e-08,5.820735e-08,5.809656e-08,5.808102e-08,5.794775e-08,5.792031e-08,5.780806e-08,5.773304e-08,5.766241e-08,5.753581e-08,5.751128e-08,5.735509e-08,5.732966e-08,5.719427e-08,5.711553e-08,5.702918e-08,5.689431e-08,5.686022e-08,5.668772e-08,5.666680e-08,5.651203e-08,5.643379e-08,5.633344e-08,5.619597e-08,5.615227e-08,5.596878e-08,5.595401e-08,5.578325e-08,5.570853e-08,5.559593e-08,5.546008e-08,5.540705e-08,5.521684e-08,5.520921e-08,5.502551e-08,5.495639e-08,5.483325e-08,5.470209e-08,5.464027e-08,5.444672e-08,5.419066e-08,5.393428e-08,5.367790e-08,5.342183e-08,5.316634e-08,5.291169e-08,5.265811e-08,5.240583e-08,5.215504e-08,5.190591e-08,5.165862e-08,5.141330e-08,5.117009e-08,5.092912e-08,5.069049e-08,5.045430e-08,5.022064e-08,4.998958e-08,4.976120e-08,4.953554e-08,4.931267e-08,4.909263e-08,4.887545e-08,4.866117e-08
0.000000e+00,9.422529e-11,2.995492e-10,1.489187e-09,4.044115e-09,6.303398e-09,1.605105e-08,1.659243e-08,3.430754e-08,4.085856e-08,6.135779e-08,8.286701e-08,9.966562e-08,1.465279e-07,1.511806e-07,2.177745e-07,2.361790e-07,3.009120e-07,3.549536e-07,4.011573e-07,5.030883e-07,5.179322e-07,6.498321e-07,6.778779e-07,7.951548e-07,8.754656e-07,9.522209e-07,1.092076e-06,1.119455e-06,1.295358e-06,1.324210e-06,1.478482e-06,1.568528e-06,1.667404e-06,1.821777e-06,1.860728e-06,2.057100e-06,2.080806e-06,2.255217e-06,2.342622e-06,2.453852e-06,2.604456e-06,2.651865e-06,2.848217e-06,2.863825e-06,3.041978e-06,3.118570e-06,3.232330e-06,3.366871e-06,3.418567e-06,3.600094e-06,3.607250e-06,3.776421e-06,3.838547e-06,3.947154e-06,4.059900e-06,4.111990e-06,4.270705e-06,4.423146e-06,4.470586e-06,4.569224e-06,4.659355e-06,4.708902e-06,4.836982e-06,4.842191e-06,4.969140e-06,5.003560e-06,5.089830e-06,5.159284e-06,5.204369e-06,5.304424e-06,5.312887e-06,5.415529e-06,5.439306e-06,5.512455e-06,5.564299e-06,5.603833e-06,5.679796e-06,5.689839e-06,5.770655e-06,5.786211e-06,5.846464e-06,5.883968e-06,5.917451e-06,5.973488e-06,5.983800e-06,6.045693e-06,6.055194e-06,6.103311e-06,6.129501e-06,6.156831e-06,6.196814e-06,6.206428e-06,6.252270e-06,6.257527e-06,6.294523e-06,6.312019e-06,6.333348e-06,6.360657e-06,6.368899e-06,6.401326e-06,6.403790e-06,6.430777e-06,6.441755e-06,6.457390e-06,6.474872e-06,6.481303e-06,6.502646e-06,6.503448e-06,6.521545e-06,6.527774e-06,6.538121e-06,6.548125e-06,6.552490e-06,6.564764e-06,6.575051e-06,6.577940e-06,6.583454e-06,6.587888e-06,6.590071e-06,6.594832e-06,6.594997e-06,6.598324e-06,6.598980e-06,6.600137e-06,6.600533e-06,6.600520e-06,6.599679e-06,6.599553e-06,6.597313e-06,6.596594e-06,6.593871e-06,6.591445e-06,6.589298e-06,6.584390e-06,6.583660e-06,6.577020e-06,6.575578e-06,6.569441e-06,6.565147e-06,6.560978e-06,6.553229e-06,6.551689e-06,6.541625e-06,6.539947e-06,6.530838e-06,6.525417e-06,6.519374e-06,6.509748e-06,6.507281e-06,6.494601e-06,6.493042e-06,6.481376e-06,6.475395e-06,6.467646e-06,6.456897e-06,6.453449e-06,6.438820e-06,6.437632e-06,6.423794e-06,6.417679e-06,6.408402e-06,6.397112e-06,6.392677e-06,6.376648e-06,6.376001e-06,6.360342e-06,6.354409e-06,6.343786e-06,6.332397e-06,6.327004e-06,6.310022e-06,6.287337e-06,6.264389e-06,6.241226e-06,6.217889e-06,6.194419e-06,6.170851e-06,6.147221e-06,6.123561e-06,6.099899e-06,6.076262e-06,6.052677e-06,6.029166e-06,6.005751e-06,5.982452e-06,5.959286e-06,5.936270e-06,5.913420e-06,5.890750e-06,5.868271e-06,5.845996e-06,5.823935e-06,5.802098e-06,5.780492e-06,5.759126e-06
0.000000e+00,1.138968e-11,5.859866e-11,6.685093e-10,3.347259e-09,6.989398e-09,3.408234e-08,3.607892e-08,1.265675e-07,1.714731e-07,3.479129e-07,5.867973e-07,8.085039e-07,1.574829e-06,1.662035e-06,3.111910e-06,3.575883e-06,5.413494e-06,7.186826e-06,8.873891e-06,1.315889e-05,1.384861e-05,2.073426e-05,2.237782e-05,2.995658e-05,3.582133e-05,4.195444e-05,5.449514e-05,5.716110e-05,7.598541e-05,7.935828e-05,9.879466e-05,1.112525e-04,1.259006e-04,1.508464e-04,1.575488e-04,1.939122e-04,1.985981e-04,2.350877e-04,2.547374e-04,2.810958e-04,3.192638e-04,3.318832e-04,3.873270e-04,3.919585e-04,4.472408e-04,4.724053e-04,5.113819e-04,5.600193e-04,5.794592e-04,6.511416e-04,6.540788e-04,7.260662e-04,7.537590e-04,8.038469e-04,8.581647e-04,8.840821e-04,9.663619e-04,1.050275e-03,1.077405e-03,1.135414e-03,1.190363e-03,1.221383e-03,1.304338e-03,1.307798e-03,1.394294e-03,1.418480e-03,1.480525e-03,1.532003e-03,1.566171e-03,1.644191e-03,1.650933e-03,1.734539e-03,1.754405e-03,1.816743e-03,1.862081e-03,1.897323e-03,1.966736e-03,1.976086e-03,2.052861e-03,2.067964e-03,2.127502e-03,2.165430e-03,2.199885e-03,2.258869e-03,2.269911e-03,2.337497e-03,2.348080e-03,2.402581e-03,2.432919e-03,2.465120e-03,2.513298e-03,2.525084e-03,2.582459e-03,2.589170e-03,2.637245e-03,2.660533e-03,2.689453e-03,2.727419e-03,2.739104e-03,2.786228e-03,2.789890e-03,2.830865e-03,2.848033e-03,2.873060e-03,2.901956e-03,2.912864e-03,2.950334e-03,2.951785e-03,2.985530e-03,2.997656e-03,3.018517e-03,3.039719e-03,3.049360e-03,3.078130e-03,3.104894e-03,3.113047e-03,3.129725e-03,3.144635e-03,3.152693e-03,3.173056e-03,3.173870e-03,3.193327e-03,3.198476e-03,3.211133e-03,3.221054e-03,3.227358e-03,3.240948e-03,3.242071e-03,3.255338e-03,3.258314e-03,3.267224e-03,3.273301e-03,3.277794e-03,3.286056e-03,3.287110e-03,3.295232e-03,3.296718e-03,3.302219e-03,3.305422e-03,3.308127e-03,3.312297e-03,3.313012e-03,3.316926e-03,3.317466e-03,3.319921e-03,3.321046e-03,3.322045e-03,3.323149e-03,3.323345e-03,3.323868e-03,3.323880e-03,3.323655e-03,3.323340e-03,3.322750e-03,3.321623e-03,3.321192e-03,3.319019e-03,3.318820e-03,3.316268e-03,3.315013e-03,3.312973e-03,3.310284e-03,3.309169e-03,3.304886e-03,3.304705e-03,3.300156e-03,3.298349e-03,3.295007e-03,3.291281e-03,3.289467e-03,3.283562e-03,3.275251e-03,3.266402e-03,3.257065e-03,3.247290e-03,3.237119e-03,3.226594e-03,3.215754e-03,3.204636e-03,3.193272e-03,3.181695e-03,3.169932e-03,3.158012e-03,3.145960e-03,3.133799e-03,3.121551e-03,3.109236e-03,3.096872e-03,3.084477e-03,3.072068e-03,3.059658e-03,3.047261e-03,3.034891e-03,3.022558e-03,3.010273e-03
0.000000e+00,1.227129e-10,3.466444e-10,1.491174e-09,3.763207e-09,5.704612e-09,1.384371e-08,1.429027e-08,2.880417e-08,3.415677e-08,5.094042e-08,6.864092e-08,8.252062e-08,1.212817e-07,1.251172e-07,1.793205e-07,1.940063e-07,2.445219e-07,2.854107e-07,3.195701e-07,3.928794e-07,4.033649e-07,4.949912e-07,5.141850e-07,5.936507e-07,6.474796e-07,6.985787e-07,7.909916e-07,8.089933e-07,9.240748e-07,9.428639e-07,1.042963e-06,1.101122e-06,1.164770e-06,1.263711e-06,1.288594e-06,1.413540e-06,1.428567e-06,1.538738e-06,1.593690e-06,1.663362e-06,1.757217e-06,1.786644e-06,1.907886e-06,1.917478e-06,2.026464e-06,2.073026e-06,2.141838e-06,2.222662e-06,2.253549e-06,2.361217e-06,2.365435e-06,2.464542e-06,2.500630e-06,2.563296e-06,2.627753e-06,2.657318e-06,2.746506e-06,2.830815e-06,2.856761e-06,2.910242e-06,2.958530e-06,2.984826e-06,3.051939e-06,3.054642e-06,3.119788e-06,3.137209e-06,3.180388e-06,3.214624e-06,3.236582e-06,3.284522e-06,3.288525e-06,3.336379e-06,3.347275e-06,3.380316e-06,3.403274e-06,3.420509e-06,3.452921e-06,3.457133e-06,3.490365e-06,3.496620e-06,3.520378e-06,3.534770e-06,3.547343e-06,3.567760e-06,3.571427e-06,3.592791e-06,3.595967e-06,3.611592e-06,3.619751e-06,3.627982e-06,3.639455e-06,3.642105e-06,3.654100e-06,3.655403e-06,3.664100e-06,3.667900e-06,3.672231e-06,3.677235e-06,3.678613e-06,3.683362e-06,3.683674e-06,3.686584e-06,3.687469e-06,3.688384e-06,3.688854e-06,3.688858e-06,3.688098e-06,3.688044e-06,3.686192e-06,3.685240e-06,3.683220e-06,3.680630e-06,3.679260e-06,3.674385e-06,3.668664e-06,3.666665e-06,3.662160e-06,3.657616e-06,3.654935e-06,3.647374e-06,3.647047e-06,3.638547e-06,3.636065e-06,3.629488e-06,3.623803e-06,3.619916e-06,3.610695e-06,3.609875e-06,3.599408e-06,3.596837e-06,3.588554e-06,3.582321e-06,3.577350e-06,3.567227e-06,3.565829e-06,3.554024e-06,3.551631e-06,3.541965e-06,3.535604e-06,3.529681e-06,3.519208e-06,3.517199e-06,3.504542e-06,3.502502e-06,3.491734e-06,3.485539e-06,3.478797e-06,3.468369e-06,3.465752e-06,3.452616e-06,3.451035e-06,3.439408e-06,3.433578e-06,3.426145e-06,3.416037e-06,3.412841e-06,3.399511e-06,3.398444e-06,3.386168e-06,3.380830e-06,3.372825e-06,3.363224e-06,3.359493e-06,3.346183e-06,3.345652e-06,3.332905e-06,3.328135e-06,3.319669e-06,3.310696e-06,3.306482e-06,3.293352e-06,3.276122e-06,3.259020e-06,3.242061e-06,3.225256e-06,3.208617e-06,3.192152e-06,3.175872e-06,3.159783e-06,3.143892e-06,3.128205e-06,3.112727e-06,3.097461e-06,3.082412e-06,3.067582e-06,3.052974e-06,3.038588e-06,3.024428e-06,3.010493e-06,2.996784e-06,2.983301e-06,2.970044e-06,2.957012e-06,2.944204e-06,2.931620e-06
0.000000e+00,3.455856e-12,7.915762e-12,2.725530e-11,6.212378e-11,9.076159e-11,2.070134e-10,2.133018e-10,4.157134e-10,4.898543e-10,7.217718e-10,9.662400e-10,1.158224e-09,1.697012e-09,1.750588e-09,2.513040e-09,2.721166e-09,3.440611e-09,4.025373e-09,4.514468e-09,5.563173e-09,5.712901e-09,7.016886e-09,7.288905e-09,8.410493e-09,9.165917e-09,9.879807e-09,1.116312e-08,1.141198e-08,1.299469e-08,1.325181e-08,1.461600e-08,1.540452e-08,1.626434e-08,1.759502e-08,1.792866e-08,1.959857e-08,1.979887e-08,2.126448e-08,2.199394e-08,2.291770e-08,2.416087e-08,2.455050e-08,2.615617e-08,2.628327e-08,2.772894e-08,2.834773e-08,2.926401e-08,3.034368e-08,3.075746e-08,3.220616e-08,3.226314e-08,3.360773e-08,3.410041e-08,3.496042e-08,3.585171e-08,3.626305e-08,3.751491e-08,3.871572e-08,3.908920e-08,3.986554e-08,4.057481e-08,4.096471e-08,4.197282e-08,4.201384e-08,4.301369e-08,4.328495e-08,4.396522e-08,4.451338e-08,4.486948e-08,4.566065e-08,4.572763e-08,4.654091e-08,4.672956e-08,4.731059e-08,4.772305e-08,4.803798e-08,4.864418e-08,4.872444e-08,4.937130e-08,4.949604e-08,4.997992e-08,5.028174e-08,5.055165e-08,5.100436e-08,5.108781e-08,5.158973e-08,5.166694e-08,5.205869e-08,5.227246e-08,5.249597e-08,5.282383e-08,5.290282e-08,5.328044e-08,5.332385e-08,5.363003e-08,5.377527e-08,5.395274e-08,5.418071e-08,5.424969e-08,5.452197e-08,5.454272e-08,5.477064e-08,5.486373e-08,5.499673e-08,5.514609e-08,5.520123e-08,5.538510e-08,5.539204e-08,5.554927e-08,5.560373e-08,5.569465e-08,5.578321e-08,5.582209e-08,5.593244e-08,5.602651e-08,5.605330e-08,5.610507e-08,5.614756e-08,5.616888e-08,5.621692e-08,5.621865e-08,5.625509e-08,5.626300e-08,5.627887e-08,5.628732e-08,5.629062e-08,5.629136e-08,5.629098e-08,5.628054e-08,5.627649e-08,5.625986e-08,5.624402e-08,5.622951e-08,5.619521e-08,5.619000e-08,5.614185e-08,5.613123e-08,5.608555e-08,5.605320e-08,5.602155e-08,5.596217e-08,5.595031e-08,5.587225e-08,5.585916e-08,5.578779e-08,5.574510e-08,5.569733e-08,5.562088e-08,5.560123e-08,5.549986e-08,5.548736e-08,5.539356e-08,5.534532e-08,5.528267e-08,5.519552e-08,5.516751e-08,5.504836e-08,5.503867e-08,5.492553e-08,5.487543e-08,5.479929e-08,5.470644e-08,5.466990e-08,5.453762e-08,5.453227e-08,5.440268e-08,5.435350e-08,5.426532e-08,5.417063e-08,5.412574e-08,5.398417e-08,5.379457e-08,5.360226e-08,5.340765e-08,5.321111e-08,5.301300e-08,5.281366e-08,5.261338e-08,5.241247e-08,5.221118e-08,5.200976e-08,5.180846e-08,5.160749e-08,5.140704e-08,5.120731e-08,5.100847e-08,5.081067e-08,5.061406e-08,5.041877e-08,5.022494e-08,5.003267e-08,4.984207e-08,4.965323e-08,4.946623e-08,4.928116e-08
0.000000e+00,1.070004e-10,5.522617e-10,6.343164e-09,3.196606e-08,6.699447e-08,3.300006e-07,3.494832e-07,1.239738e-06,1.685063e-06,3.448708e-06,5.861027e-06,8.118098e-06,1.601529e-05,1.692153e-05,3.215618e-05,3.708641e-05,5.681097e-05,7.608311e-05,9.458498e-05,1.421215e-04,1.498308e-04,2.274222e-04,2.460767e-04,3.325690e-04,3.999089e-04,4.706125e-04,6.158537e-04,6.468231e-04,8.662149e-04,9.056390e-04,1.133385e-03,1.279809e-03,1.452378e-03,1.747187e-03,1.826584e-03,2.258650e-03,2.314484e-03,2.750438e-03,2.986042e-03,3.302987e-03,3.763721e-03,3.916509e-03,4.590406e-03,4.646890e-03,5.323300e-03,5.632528e-03,6.113082e-03,6.715414e-03,6.956972e-03,7.851592e-03,7.888378e-03,8.793041e-03,9.142602e-03,9.776978e-03,1.046794e-02,1.079871e-02,1.185327e-02,1.293551e-02,1.328681e-02,1.404016e-02,1.475645e-02,1.516192e-02,1.625002e-02,1.629552e-02,1.743580e-02,1.775558e-02,1.857770e-02,1.926161e-02,1.971640e-02,2.075721e-02,2.084729e-02,2.196602e-02,2.223224e-02,2.306852e-02,2.367743e-02,2.415106e-02,2.508444e-02,2.521020e-02,2.624283e-02,2.644592e-02,2.724617e-02,2.775552e-02,2.821780e-02,2.900789e-02,2.915558e-02,3.005771e-02,3.019864e-02,3.092270e-02,3.132433e-02,3.174932e-02,3.238236e-02,3.253664e-02,3.328400e-02,3.337097e-02,3.399095e-02,3.428915e-02,3.465730e-02,3.513657e-02,3.528306e-02,3.586841e-02,3.591350e-02,3.641372e-02,3.662075e-02,3.691952e-02,3.725959e-02,3.738646e-02,3.781534e-02,3.783171e-02,3.820703e-02,3.833912e-02,3.856252e-02,3.878411e-02,3.888286e-02,3.916919e-02,3.942269e-02,3.949707e-02,3.964456e-02,3.977054e-02,3.983606e-02,3.999252e-02,3.999847e-02,4.013307e-02,4.016595e-02,4.024115e-02,4.029381e-02,4.032401e-02,4.037905e-02,4.038291e-02,4.041914e-02,4.042460e-02,4.043395e-02,4.043334e-02,4.042855e-02,4.040805e-02,4.040416e-02,4.036195e-02,4.035148e-02,4.030307e-02,4.026623e-02,4.022862e-02,4.015483e-02,4.013967e-02,4.003726e-02,4.001969e-02,3.992239e-02,3.986310e-02,3.979601e-02,3.968725e-02,3.965906e-02,3.951240e-02,3.949419e-02,3.935689e-02,3.928586e-02,3.919331e-02,3.906408e-02,3.902245e-02,3.884503e-02,3.883057e-02,3.866172e-02,3.858691e-02,3.847320e-02,3.833458e-02,3.828007e-02,3.808292e-02,3.807496e-02,3.788230e-02,3.780932e-02,3.767872e-02,3.753884e-02,3.747267e-02,3.726460e-02,3.698759e-02,3.670871e-02,3.642880e-02,3.614859e-02,3.586878e-02,3.558997e-02,3.531271e-02,3.503751e-02,3.476481e-02,3.449498e-02,3.422839e-02,3.396532e-02,3.370605e-02,3.345079e-02,3.319973e-02,3.295305e-02,3.271087e-02,3.247331e-02,3.224044e-02,3.201233e-02,3.178903e-02,3.157056e-02,3.135694e-02,3.114816e-02
0.000000e+00,2.932458e-11,1.302436e-10,1.105125e-09,4.270626e-09,7.769924e-09,2.694201e-08,2.814040e-08,7.197799e-08,8.982958e-08,1.493357e-07,2.159747e-07,2.701406e-07,4.280982e-07,4.442134e-07,6.811448e-07,7.483521e-07,9.894355e-07,1.195469e-06,1.374494e-06,1.776832e-06,1.836091e-06,2.367172e-06,2.480692e-06,2.955296e-06,3.278769e-06,3.585689e-06,4.137300e-06,4.243950e-06,4.917482e-06,5.025935e-06,5.595792e-06,5.920489e-06,6.270273e-06,6.802295e-06,6.933836e-06,7.580610e-06,7.656855e-06,8.205745e-06,8.472901e-06,8.805293e-06,9.241893e-06,9.376142e-06,9.915964e-06,9.957756e-06,1.042316e-05,1.061667e-05,1.089678e-05,1.121679e-05,1.133649e-05,1.174245e-05,1.175799e-05,1.211525e-05,1.224152e-05,1.245585e-05,1.266968e-05,1.276546e-05,1.304551e-05,1.329753e-05,1.337253e-05,1.352319e-05,1.365454e-05,1.372414e-05,1.389538e-05,1.390208e-05,1.405864e-05,1.409887e-05,1.419543e-05,1.426866e-05,1.431399e-05,1.440821e-05,1.441577e-05,1.450214e-05,1.452072e-05,1.457439e-05,1.460913e-05,1.463371e-05,1.467611e-05,1.468122e-05,1.471794e-05,1.472407e-05,1.474481e-05,1.475519e-05,1.476272e-05,1.477140e-05,1.477244e-05,1.477471e-05,1.477443e-05,1.477021e-05,1.476581e-05,1.475953e-05,1.474691e-05,1.474323e-05,1.472183e-05,1.471894e-05,1.469579e-05,1.468297e-05,1.466553e-05,1.463995e-05,1.463144e-05,1.459388e-05,1.459073e-05,1.455317e-05,1.453607e-05,1.450960e-05,1.447661e-05,1.446345e-05,1.441495e-05,1.441297e-05,1.436435e-05,1.434565e-05,1.431184e-05,1.427514e-05,1.425762e-05,1.420186e-05,1.414473e-05,1.412618e-05,1.408638e-05,1.404845e-05,1.402693e-05,1.396895e-05,1.396652e-05,1.390527e-05,1.388798e-05,1.384327e-05,1.380576e-05,1.378064e-05,1.372253e-05,1.371745e-05,1.365381e-05,1.363848e-05,1.358978e-05,1.355379e-05,1.352545e-05,1.346863e-05,1.346087e-05,1.339611e-05,1.338314e-05,1.333122e-05,1.329745e-05,1.326627e-05,1.321169e-05,1.320130e-05,1.313635e-05,1.312596e-05,1.307147e-05,1.304037e-05,1.300671e-05,1.295500e-05,1.294209e-05,1.287765e-05,1.286993e-05,1.281342e-05,1.278523e-05,1.274943e-05,1.270098e-05,1.268571e-05,1.262229e-05,1.261723e-05,1.255918e-05,1.253403e-05,1.249641e-05,1.245144e-05,1.243400e-05,1.237196e-05,1.236949e-05,1.231032e-05,1.228823e-05,1.224909e-05,1.220769e-05,1.218827e-05,1.212790e-05,1.204889e-05,1.197068e-05,1.189330e-05,1.181676e-05,1.174108e-05,1.166627e-05,1.159235e-05,1.151933e-05,1.144721e-05,1.137600e-05,1.130570e-05,1.123632e-05,1.116786e-05,1.110033e-05,1.103371e-05,1.096802e-05,1.090324e-05,1.083938e-05,1.077643e-05,1.071438e-05,1.065324e-05,1.059299e-05,1.053364e-05,1.047516e-05
0.000000e+00,1.762673e-11,9.033433e-11,1.022312e-09,5.081808e-09,1.056946e-08,5.102015e-08,5.398681e-08,1.875093e-07,2.533512e-07,5.105642e-07,8.564176e-07,1.175780e-06,2.271969e-06,2.396145e-06,4.449205e-06,5.102613e-06,7.678291e-06,1.014956e-05,1.249060e-05,1.840344e-05,1.935153e-05,2.877446e-05,3.101419e-05,4.130589e-05,4.923696e-05,5.750691e-05,7.435871e-05,7.793312e-05,1.031148e-04,1.076185e-04,1.335392e-04,1.501336e-04,1.696350e-04,2.028384e-04,2.117604e-04,2.601939e-04,2.664399e-04,3.151283e-04,3.413888e-04,3.766671e-04,4.278655e-04,4.448244e-04,5.195260e-04,5.257807e-04,6.006138e-04,6.347865e-04,6.878507e-04,7.542980e-04,7.809278e-04,8.794726e-04,8.835223e-04,9.830576e-04,1.021492e-03,1.091210e-03,1.167103e-03,1.203419e-03,1.319150e-03,1.437849e-03,1.476367e-03,1.558952e-03,1.637460e-03,1.681896e-03,1.801135e-03,1.806122e-03,1.931084e-03,1.966134e-03,2.056256e-03,2.131248e-03,2.181132e-03,2.295345e-03,2.305234e-03,2.428113e-03,2.457376e-03,2.549355e-03,2.616391e-03,2.668576e-03,2.771542e-03,2.785428e-03,2.899600e-03,2.922087e-03,3.010813e-03,3.067393e-03,3.118826e-03,3.206929e-03,3.223429e-03,3.324445e-03,3.340265e-03,3.421730e-03,3.467066e-03,3.515167e-03,3.587086e-03,3.604668e-03,3.690171e-03,3.700161e-03,3.771639e-03,3.806201e-03,3.849054e-03,3.905180e-03,3.922420e-03,3.991761e-03,3.997135e-03,4.057114e-03,4.082150e-03,4.118532e-03,4.160354e-03,4.176082e-03,4.229842e-03,4.231914e-03,4.279897e-03,4.297028e-03,4.326344e-03,4.355918e-03,4.369284e-03,4.408825e-03,4.445080e-03,4.456007e-03,4.478165e-03,4.497730e-03,4.508198e-03,4.534270e-03,4.535299e-03,4.559589e-03,4.565903e-03,4.581189e-03,4.592909e-03,4.600221e-03,4.615563e-03,4.616803e-03,4.631053e-03,4.634139e-03,4.643089e-03,4.648905e-03,4.653024e-03,4.660118e-03,4.660970e-03,4.667036e-03,4.668032e-03,4.671327e-03,4.672891e-03,4.673946e-03,4.674927e-03,4.674992e-03,4.674563e-03,4.674363e-03,4.672749e-03,4.671414e-03,4.669641e-03,4.666280e-03,4.665324e-03,4.659880e-03,4.659154e-03,4.653387e-03,4.650217e-03,4.645921e-03,4.639640e-03,4.637553e-03,4.628352e-03,4.627582e-03,4.618382e-03,4.614194e-03,4.607707e-03,4.599616e-03,4.596384e-03,4.584469e-03,4.583981e-03,4.572016e-03,4.567410e-03,4.559074e-03,4.550018e-03,4.545690e-03,4.531910e-03,4.513184e-03,4.493929e-03,4.474231e-03,4.454165e-03,4.433803e-03,4.413209e-03,4.392444e-03,4.371561e-03,4.350611e-03,4.329638e-03,4.308684e-03,4.287787e-03,4.266979e-03,4.246290e-03,4.225750e-03,4.205380e-03,4.185205e-03,4.165242e-03,4.145509e-03,4.126022e-03,4.106793e-03,4.087833e-03,4.069153e-03,4.050762e-03
0.000000e+00,1.938381e-10,4.934405e-10,1.894070e-09,4.525702e-09,6.717507e-09,1.565901e-08,1.614188e-08,3.154946e-08,3.711744e-08,5.426765e-08,7.194692e-08,8.558860e-08,1.230642e-07,1.267457e-07,1.788114e-07,1.930194e-07,2.424742e-07,2.832210e-07,3.177129e-07,3.927600e-07,4.035713e-07,4.983132e-07,5.181475e-07,5.998913e-07,6.547564e-07,7.063561e-07,7.983191e-07,8.160181e-07,9.274457e-07,9.453539e-07,1.039419e-06,1.093046e-06,1.150887e-06,1.239085e-06,1.260945e-06,1.368814e-06,1.381579e-06,1.473840e-06,1.519007e-06,1.575481e-06,1.650194e-06,1.673304e-06,1.766973e-06,1.774280e-06,1.856244e-06,1.890681e-06,1.940950e-06,1.999056e-06,2.020995e-06,2.096342e-06,2.099258e-06,2.167003e-06,2.191303e-06,2.233031e-06,2.275326e-06,2.294512e-06,2.351558e-06,2.404301e-06,2.420293e-06,2.452887e-06,2.481874e-06,2.497475e-06,2.536670e-06,2.538229e-06,2.575316e-06,2.585067e-06,2.608907e-06,2.627455e-06,2.639173e-06,2.664223e-06,2.666279e-06,2.690392e-06,2.695752e-06,2.711674e-06,2.722413e-06,2.730280e-06,2.744563e-06,2.746364e-06,2.760073e-06,2.762542e-06,2.771547e-06,2.776677e-06,2.780924e-06,2.787274e-06,2.788333e-06,2.793898e-06,2.794626e-06,2.797740e-06,2.799005e-06,2.799971e-06,2.800670e-06,2.800701e-06,2.800031e-06,2.799862e-06,2.798062e-06,2.796808e-06,2.794885e-06,2.791718e-06,2.790590e-06,2.785258e-06,2.784789e-06,2.778969e-06,2.776202e-06,2.771797e-06,2.766126e-06,2.763813e-06,2.755084e-06,2.754720e-06,2.745672e-06,2.742128e-06,2.735638e-06,2.728487e-06,2.725036e-06,2.713921e-06,2.702340e-06,2.698544e-06,2.690342e-06,2.682464e-06,2.677969e-06,2.665778e-06,2.665263e-06,2.652263e-06,2.648576e-06,2.639005e-06,2.630941e-06,2.625523e-06,2.612949e-06,2.611849e-06,2.598012e-06,2.594670e-06,2.584040e-06,2.576167e-06,2.569959e-06,2.557498e-06,2.555794e-06,2.541567e-06,2.538715e-06,2.527298e-06,2.519868e-06,2.513007e-06,2.501000e-06,2.498713e-06,2.484432e-06,2.482150e-06,2.470180e-06,2.463353e-06,2.455971e-06,2.444644e-06,2.441818e-06,2.427734e-06,2.426049e-06,2.413730e-06,2.407596e-06,2.399815e-06,2.389307e-06,2.386001e-06,2.372294e-06,2.371202e-06,2.358703e-06,2.353301e-06,2.345236e-06,2.335619e-06,2.331898e-06,2.318696e-06,2.318171e-06,2.305634e-06,2.300967e-06,2.292718e-06,2.284020e-06,2.279951e-06,2.267337e-06,2.250926e-06,2.234794e-06,2.218945e-06,2.203384e-06,2.188113e-06,2.173134e-06,2.158449e-06,2.144058e-06,2.129960e-06,2.116155e-06,2.102643e-06,2.089420e-06,2.076484e-06,2.063834e-06,2.051466e-06,2.039377e-06,2.027562e-06,2.016020e-06,2.004744e-06,1.993732e-06,1.982979e-06,1.972481e-06,1.962233e-06,1.952230e-06
0.000000e+00,1.617307e-11,3.714069e-11,1.281676e-10,2.921112e-10,4.264395e-10,9.682583e-10,9.974043e-10,1.926904e-09,2.263377e-09,3.303637e-09,4.383156e-09,5.221436e-09,7.548256e-09,7.778704e-09,1.107231e-08,1.198191e-08,1.518243e-08,1.785778e-08,2.014815e-08,2.520774e-08,2.594475e-08,3.248320e-08,3.386899e-08,3.963618e-08,4.355392e-08,4.727036e-08,5.396643e-08,5.526548e-08,6.351930e-08,6.485797e-08,7.194568e-08,7.602967e-08,8.047118e-08,8.731992e-08,8.903219e-08,9.757307e-08,9.859425e-08,1.060451e-07,1.097398e-07,1.144057e-07,1.206624e-07,1.226181e-07,1.306511e-07,1.312852e-07,1.384786e-07,1.415472e-07,1.460793e-07,1.514017e-07,1.534363e-07,1.605365e-07,1.608150e-07,1.673706e-07,1.697644e-07,1.739322e-07,1.782365e-07,1.802177e-07,1.862259e-07,1.919575e-07,1.937336e-07,1.974149e-07,2.007653e-07,2.026016e-07,2.073308e-07,2.075226e-07,2.121836e-07,2.134429e-07,2.165909e-07,2.191164e-07,2.207515e-07,2.243676e-07,2.246727e-07,2.283622e-07,2.292141e-07,2.318278e-07,2.336736e-07,2.350774e-07,2.377646e-07,2.381189e-07,2.409602e-07,2.415052e-07,2.436094e-07,2.449135e-07,2.460741e-07,2.480074e-07,2.483619e-07,2.504804e-07,2.508042e-07,2.524370e-07,2.533207e-07,2.542387e-07,2.555734e-07,2.558926e-07,2.574054e-07,2.575778e-07,2.587837e-07,2.593492e-07,2.600339e-07,2.609021e-07,2.611620e-07,2.621741e-07,2.622502e-07,2.630758e-07,2.634069e-07,2.638728e-07,2.643848e-07,2.645704e-07,2.651736e-07,2.651959e-07,2.656875e-07,2.658515e-07,2.661168e-07,2.663627e-07,2.664660e-07,2.667396e-07,2.669417e-07,2.669920e-07,2.670765e-07,2.671291e-07,2.671477e-07,2.671597e-07,2.671591e-07,2.671142e-07,2.670920e-07,2.670165e-07,2.669338e-07,2.668691e-07,2.666924e-07,2.666753e-07,2.664379e-07,2.663748e-07,2.661599e-07,2.659874e-07,2.658439e-07,2.655364e-07,2.654925e-07,2.651082e-07,2.650276e-07,2.646934e-07,2.644664e-07,2.642503e-07,2.638578e-07,2.637810e-07,2.632876e-07,2.632066e-07,2.627720e-07,2.625172e-07,2.622362e-07,2.617940e-07,2.616817e-07,2.611103e-07,2.610407e-07,2.605236e-07,2.602610e-07,2.599231e-07,2.594583e-07,2.593101e-07,2.586862e-07,2.586358e-07,2.580524e-07,2.577965e-07,2.574101e-07,2.569430e-07,2.567604e-07,2.561044e-07,2.560781e-07,2.554431e-07,2.552040e-07,2.547775e-07,2.543229e-07,2.541085e-07,2.534369e-07,2.525478e-07,2.516575e-07,2.507675e-07,2.498792e-07,2.489941e-07,2.481134e-07,2.472382e-07,2.463695e-07,2.455083e-07,2.446555e-07,2.438117e-07,2.429777e-07,2.421541e-07,2.413415e-07,2.405403e-07,2.397509e-07,2.389739e-07,2.382094e-07,2.374577e-07,2.367191e-07,2.359938e-07,2.352818e-07,2.345835e-07,2.338987e-07
0.000000e+00,2.583177e-11,1.324194e-10,1.499233e-09,7.454417e-09,1.550558e-08,7.485678e-08,7.920967e-08,2.751272e-07,3.717407e-07,7.491984e-07,1.256835e-06,1.725695e-06,3.335770e-06,3.518228e-06,6.536581e-06,7.497784e-06,1.128874e-05,1.492801e-05,1.837631e-05,2.708471e-05,2.848051e-05,4.233738e-05,4.562576e-05,6.070440e-05,7.228574e-05,8.432408e-05,1.087331e-04,1.138896e-04,1.500154e-04,1.564403e-04,1.932153e-04,2.165851e-04,2.438857e-04,2.899867e-04,3.022967e-04,3.685874e-04,3.770736e-04,4.427667e-04,4.778790e-04,5.247179e-04,5.920585e-04,6.142066e-04,7.108913e-04,7.189245e-04,8.143358e-04,8.574929e-04,9.240230e-04,1.006538e-03,1.039369e-03,1.159740e-03,1.164650e-03,1.284464e-03,1.330296e-03,1.412844e-03,1.501873e-03,1.544178e-03,1.677760e-03,1.812899e-03,1.856362e-03,1.948925e-03,2.036150e-03,2.085197e-03,2.215686e-03,2.221108e-03,2.356090e-03,2.393646e-03,2.489619e-03,2.568838e-03,2.621217e-03,2.740208e-03,2.750451e-03,2.876935e-03,2.906843e-03,3.000330e-03,3.067971e-03,3.120343e-03,3.222956e-03,3.236722e-03,3.349260e-03,3.371291e-03,3.457787e-03,3.512590e-03,3.562170e-03,3.646576e-03,3.662310e-03,3.758139e-03,3.773068e-03,3.849617e-03,3.891976e-03,3.936730e-03,4.003284e-03,4.019488e-03,4.097918e-03,4.107041e-03,4.172067e-03,4.203353e-03,4.241999e-03,4.292371e-03,4.307787e-03,4.369521e-03,4.374287e-03,4.427295e-03,4.449319e-03,4.481214e-03,4.517711e-03,4.531389e-03,4.577935e-03,4.579723e-03,4.620973e-03,4.635631e-03,4.660623e-03,4.685713e-03,4.697009e-03,4.730256e-03,4.760488e-03,4.769546e-03,4.787830e-03,4.803868e-03,4.812403e-03,4.833501e-03,4.834329e-03,4.853727e-03,4.858722e-03,4.870714e-03,4.879797e-03,4.885404e-03,4.896985e-03,4.897908e-03,4.908334e-03,4.910538e-03,4.916786e-03,4.920696e-03,4.923368e-03,4.927691e-03,4.928177e-03,4.931309e-03,4.931743e-03,4.932855e-03,4.933062e-03,4.932904e-03,4.931850e-03,4.931541e-03,4.928846e-03,4.928297e-03,4.924899e-03,4.922582e-03,4.919775e-03,4.914876e-03,4.913545e-03,4.906278e-03,4.905340e-03,4.898041e-03,4.894126e-03,4.888896e-03,4.881376e-03,4.878903e-03,4.868120e-03,4.867225e-03,4.856601e-03,4.851800e-03,4.844399e-03,4.835218e-03,4.831563e-03,4.818140e-03,4.817591e-03,4.804175e-03,4.799023e-03,4.789711e-03,4.779612e-03,4.774789e-03,4.759447e-03,4.738614e-03,4.717193e-03,4.695257e-03,4.672874e-03,4.650109e-03,4.627022e-03,4.603666e-03,4.580094e-03,4.556353e-03,4.532486e-03,4.508535e-03,4.484536e-03,4.460525e-03,4.436532e-03,4.412587e-03,4.388718e-03,4.364947e-03,4.341298e-03,4.317792e-03,4.294447e-03,4.271279e-03,4.248304e-03,4.225536e-03,4.202988e-03
0.000000e+00,2.541280e-10,7.032840e-10,2.959074e-09,7.396069e-09,1.117563e-08,2.699802e-08,2.786608e-08,5.610913e-08,6.654405e-08,9.934731e-08,1.341108e-07,1.615258e-07,2.390751e-07,2.468432e-07,3.586742e-07,3.896222e-07,4.978318e-07,5.868861e-07,6.618676e-07,8.233622e-07,8.464440e-07,1.047134e-06,1.088864e-06,1.260204e-06,1.374864e-06,1.482622e-06,1.674806e-06,1.711844e-06,1.945636e-06,1.983329e-06,2.181962e-06,2.295740e-06,2.418937e-06,2.607806e-06,2.654814e-06,2.887994e-06,2.915724e-06,3.117031e-06,3.216160e-06,3.340651e-06,3.506298e-06,3.557757e-06,3.767427e-06,3.783856e-06,3.968915e-06,4.047083e-06,4.161639e-06,4.294730e-06,4.345175e-06,4.519242e-06,4.526006e-06,4.683688e-06,4.740519e-06,4.838449e-06,4.938167e-06,4.983559e-06,5.119138e-06,5.245363e-06,5.283815e-06,5.362464e-06,5.432743e-06,5.470710e-06,5.566573e-06,5.570401e-06,5.661855e-06,5.686032e-06,5.745410e-06,5.791895e-06,5.821411e-06,5.884959e-06,5.890206e-06,5.952144e-06,5.966027e-06,6.007570e-06,6.035892e-06,6.056825e-06,6.095328e-06,6.100241e-06,6.138142e-06,6.145088e-06,6.170841e-06,6.185890e-06,6.198642e-06,6.218421e-06,6.221834e-06,6.240698e-06,6.243333e-06,6.255502e-06,6.261242e-06,6.266502e-06,6.272728e-06,6.273943e-06,6.278056e-06,6.278337e-06,6.279064e-06,6.278579e-06,6.277177e-06,6.273931e-06,6.272596e-06,6.265509e-06,6.264839e-06,6.256096e-06,6.251718e-06,6.244528e-06,6.234955e-06,6.230965e-06,6.215560e-06,6.214908e-06,6.198456e-06,6.191910e-06,6.179790e-06,6.166269e-06,6.159688e-06,6.138273e-06,6.115657e-06,6.108184e-06,6.091948e-06,6.076248e-06,6.067247e-06,6.042688e-06,6.041648e-06,6.015242e-06,6.007714e-06,5.988110e-06,5.971517e-06,5.960333e-06,5.934272e-06,5.931985e-06,5.903133e-06,5.896141e-06,5.873844e-06,5.857273e-06,5.844178e-06,5.817805e-06,5.814191e-06,5.783938e-06,5.777859e-06,5.753467e-06,5.737551e-06,5.722825e-06,5.696985e-06,5.692055e-06,5.661197e-06,5.656255e-06,5.630290e-06,5.615447e-06,5.599368e-06,5.574640e-06,5.568462e-06,5.537604e-06,5.533906e-06,5.506821e-06,5.493308e-06,5.476140e-06,5.452904e-06,5.445583e-06,5.415172e-06,5.412746e-06,5.384929e-06,5.372883e-06,5.354871e-06,5.333354e-06,5.325016e-06,5.295380e-06,5.294199e-06,5.265976e-06,5.255450e-06,5.236818e-06,5.217137e-06,5.207917e-06,5.179284e-06,5.141916e-06,5.105051e-06,5.068707e-06,5.032896e-06,4.997632e-06,4.962925e-06,4.928781e-06,4.895207e-06,4.862208e-06,4.829787e-06,4.797944e-06,4.766682e-06,4.735998e-06,4.705892e-06,4.676360e-06,4.647400e-06,4.619008e-06,4.591177e-06,4.563905e-06,4.537184e-06,4.511008e-06,4.485371e-06,4.460266e-06,4.435684e-06
0.000000e+00,9.260023e-12,4.438442e-11,4.373502e-10,1.918263e-09,3.727560e-09,1.515523e-08,1.592734e-08,4.706992e-08,6.098760e-08,1.111055e-07,1.725907e-07,2.258716e-07,3.938362e-07,4.117964e-07,6.868947e-07,7.674072e-07,1.059719e-06,1.310119e-06,1.526118e-06,2.002615e-06,2.071618e-06,2.676414e-06,2.802649e-06,3.319844e-06,3.663346e-06,3.983132e-06,4.544036e-06,4.650545e-06,5.309525e-06,5.413493e-06,5.950359e-06,6.249290e-06,6.565747e-06,7.036120e-06,7.150394e-06,7.700682e-06,7.764291e-06,8.214420e-06,8.428593e-06,8.690624e-06,9.027424e-06,9.129326e-06,9.531384e-06,9.562007e-06,9.898297e-06,1.003565e-05,1.023203e-05,1.045305e-05,1.053487e-05,1.080925e-05,1.081967e-05,1.105767e-05,1.114122e-05,1.128258e-05,1.142331e-05,1.148635e-05,1.167115e-05,1.183902e-05,1.188947e-05,1.199178e-05,1.208236e-05,1.213104e-05,1.225338e-05,1.225825e-05,1.237468e-05,1.240550e-05,1.248142e-05,1.254123e-05,1.257944e-05,1.266264e-05,1.266958e-05,1.275254e-05,1.277146e-05,1.282897e-05,1.286912e-05,1.289940e-05,1.295681e-05,1.296432e-05,1.302414e-05,1.303553e-05,1.307924e-05,1.310613e-05,1.312993e-05,1.316933e-05,1.317651e-05,1.321925e-05,1.322574e-05,1.325837e-05,1.327593e-05,1.329409e-05,1.332034e-05,1.332660e-05,1.335608e-05,1.335942e-05,1.338270e-05,1.339354e-05,1.340660e-05,1.342304e-05,1.342793e-05,1.344682e-05,1.344823e-05,1.346338e-05,1.346938e-05,1.347774e-05,1.348676e-05,1.348999e-05,1.350025e-05,1.350062e-05,1.350860e-05,1.351115e-05,1.351513e-05,1.351858e-05,1.351993e-05,1.352308e-05,1.352466e-05,1.352485e-05,1.352474e-05,1.352403e-05,1.352338e-05,1.352078e-05,1.352065e-05,1.351661e-05,1.351525e-05,1.351133e-05,1.350758e-05,1.350485e-05,1.349789e-05,1.349724e-05,1.348854e-05,1.348630e-05,1.347880e-05,1.347292e-05,1.346808e-05,1.345786e-05,1.345641e-05,1.344383e-05,1.344122e-05,1.343040e-05,1.342309e-05,1.341615e-05,1.340357e-05,1.340111e-05,1.338532e-05,1.338273e-05,1.336883e-05,1.336067e-05,1.335165e-05,1.333744e-05,1.333383e-05,1.331539e-05,1.331314e-05,1.329637e-05,1.328782e-05,1.327678e-05,1.326155e-05,1.325667e-05,1.323605e-05,1.323438e-05,1.321496e-05,1.320639e-05,1.319340e-05,1.317762e-05,1.317142e-05,1.314903e-05,1.314813e-05,1.312625e-05,1.311796e-05,1.310310e-05,1.308716e-05,1.307961e-05,1.305579e-05,1.302388e-05,1.299147e-05,1.295860e-05,1.292531e-05,1.289163e-05,1.285760e-05,1.282325e-05,1.278861e-05,1.275371e-05,1.271857e-05,1.268323e-05,1.264770e-05,1.261202e-05,1.257620e-05,1.254026e-05,1.250423e-05,1.246812e-05,1.243196e-05,1.239576e-05,1.235954e-05,1.232332e-05,1.228710e-05,1.225091e-05,1.221475e-05
0.000000e+00,3.351438e-11,7.884199e-11,2.788586e-10,6.433012e-10,9.442197e-10,2.175114e-09,2.242072e-09,4.416196e-09,5.221339e-09,7.768216e-09,1.049555e-08,1.266448e-08,1.885359e-08,1.947563e-08,2.840620e-08,3.085861e-08,3.933890e-08,4.620483e-08,5.191327e-08,6.402090e-08,6.573372e-08,8.048027e-08,8.351859e-08,9.591472e-08,1.041506e-07,1.118553e-07,1.255272e-07,1.281535e-07,1.446794e-07,1.473366e-07,1.613144e-07,1.693053e-07,1.779482e-07,1.911847e-07,1.944775e-07,2.108076e-07,2.127497e-07,2.268525e-07,2.338019e-07,2.425359e-07,2.541726e-07,2.577920e-07,2.725659e-07,2.737256e-07,2.868136e-07,2.923575e-07,3.005016e-07,3.099967e-07,3.136058e-07,3.261088e-07,3.265963e-07,3.380023e-07,3.421342e-07,3.492842e-07,3.566084e-07,3.599585e-07,3.700336e-07,3.795219e-07,3.824367e-07,3.884388e-07,3.938537e-07,3.968018e-07,4.043273e-07,4.046305e-07,4.119454e-07,4.139044e-07,4.187679e-07,4.226341e-07,4.251197e-07,4.305666e-07,4.310228e-07,4.364989e-07,4.377520e-07,4.415694e-07,4.442395e-07,4.462551e-07,4.500765e-07,4.505765e-07,4.545530e-07,4.553086e-07,4.582037e-07,4.599794e-07,4.615467e-07,4.641298e-07,4.645994e-07,4.673783e-07,4.677985e-07,4.698991e-07,4.710219e-07,4.721769e-07,4.738338e-07,4.742259e-07,4.760595e-07,4.762657e-07,4.776906e-07,4.783472e-07,4.791311e-07,4.801056e-07,4.803926e-07,4.814857e-07,4.815662e-07,4.824207e-07,4.827526e-07,4.832072e-07,4.836866e-07,4.838542e-07,4.843703e-07,4.843883e-07,4.847635e-07,4.848765e-07,4.850415e-07,4.851684e-07,4.852114e-07,4.852800e-07,4.852536e-07,4.852261e-07,4.851383e-07,4.850205e-07,4.849397e-07,4.846757e-07,4.846632e-07,4.843137e-07,4.842034e-07,4.838961e-07,4.836146e-07,4.834147e-07,4.829192e-07,4.828738e-07,4.822775e-07,4.821265e-07,4.816293e-07,4.812451e-07,4.809329e-07,4.802828e-07,4.801916e-07,4.794086e-07,4.792472e-07,4.785867e-07,4.781449e-07,4.777288e-07,4.769824e-07,4.768376e-07,4.759155e-07,4.757653e-07,4.749649e-07,4.744992e-07,4.739880e-07,4.731890e-07,4.729869e-07,4.719636e-07,4.718394e-07,4.709199e-07,4.704547e-07,4.698576e-07,4.690388e-07,4.687784e-07,4.676838e-07,4.675956e-07,4.665753e-07,4.661283e-07,4.654543e-07,4.646402e-07,4.643222e-07,4.631801e-07,4.631342e-07,4.620293e-07,4.616131e-07,4.608709e-07,4.600793e-07,4.597059e-07,4.585353e-07,4.569832e-07,4.554250e-07,4.538625e-07,4.522976e-07,4.507318e-07,4.491665e-07,4.476032e-07,4.460431e-07,4.444875e-07,4.429373e-07,4.413935e-07,4.398572e-07,4.383291e-07,4.368100e-07,4.353006e-07,4.338016e-07,4.323135e-07,4.308371e-07,4.293726e-07,4.279206e-07,4.264815e-07,4.250558e-07,4.236436e-07,4.222453e-07
0.000000e+00,1.913497e-10,5.255550e-10,2.197026e-09,5.489045e-09,8.304200e-09,2.020639e-08,2.086470e-08,4.255580e-08,5.068938e-08,7.657336e-08,1.043111e-07,1.262178e-07,1.873313e-07,1.933432e-07,2.773399e-07,2.998080e-07,3.763760e-07,4.377567e-07,4.887591e-07,5.976596e-07,6.131907e-07,7.485832e-07,7.768852e-07,8.938862e-07,9.729967e-07,1.047994e-06,1.183378e-06,1.209713e-06,1.377772e-06,1.405161e-06,1.550844e-06,1.635304e-06,1.727584e-06,1.870723e-06,1.906665e-06,2.086810e-06,2.108442e-06,2.266825e-06,2.345703e-06,2.445611e-06,2.580061e-06,2.622190e-06,2.795702e-06,2.809427e-06,2.965408e-06,3.032083e-06,3.130694e-06,3.246680e-06,3.291063e-06,3.446126e-06,3.452213e-06,3.595585e-06,3.647975e-06,3.739231e-06,3.833521e-06,3.876936e-06,4.008631e-06,4.134286e-06,4.173225e-06,4.253935e-06,4.327387e-06,4.367643e-06,4.471300e-06,4.475504e-06,4.577640e-06,4.605232e-06,4.674193e-06,4.729508e-06,4.765314e-06,4.844488e-06,4.851166e-06,4.931919e-06,4.950560e-06,5.007748e-06,5.048128e-06,5.078831e-06,5.137601e-06,5.145347e-06,5.207473e-06,5.219387e-06,5.265385e-06,5.293891e-06,5.319255e-06,5.361508e-06,5.369254e-06,5.415547e-06,5.422620e-06,5.458294e-06,5.477600e-06,5.497653e-06,5.526803e-06,5.533776e-06,5.566809e-06,5.570572e-06,5.596895e-06,5.609234e-06,5.624169e-06,5.643100e-06,5.648765e-06,5.670809e-06,5.672466e-06,5.690423e-06,5.697615e-06,5.707725e-06,5.718814e-06,5.722827e-06,5.735837e-06,5.736316e-06,5.746860e-06,5.750361e-06,5.755994e-06,5.761176e-06,5.763336e-06,5.768975e-06,5.773001e-06,5.773962e-06,5.775496e-06,5.776326e-06,5.776540e-06,5.776249e-06,5.776210e-06,5.774580e-06,5.773900e-06,5.771719e-06,5.769439e-06,5.767694e-06,5.763018e-06,5.762569e-06,5.756406e-06,5.754779e-06,5.749262e-06,5.744854e-06,5.741194e-06,5.733371e-06,5.732254e-06,5.722493e-06,5.720447e-06,5.711960e-06,5.706193e-06,5.700701e-06,5.690715e-06,5.688760e-06,5.676179e-06,5.674110e-06,5.662999e-06,5.656470e-06,5.649256e-06,5.637883e-06,5.634989e-06,5.620232e-06,5.618430e-06,5.605018e-06,5.598187e-06,5.589378e-06,5.577225e-06,5.573342e-06,5.556940e-06,5.555613e-06,5.540198e-06,5.533413e-06,5.523143e-06,5.510683e-06,5.505799e-06,5.488190e-06,5.487481e-06,5.470338e-06,5.463856e-06,5.452265e-06,5.439859e-06,5.433990e-06,5.415533e-06,5.390923e-06,5.366067e-06,5.341004e-06,5.315767e-06,5.290389e-06,5.264900e-06,5.239329e-06,5.213703e-06,5.188045e-06,5.162378e-06,5.136725e-06,5.111104e-06,5.085534e-06,5.060032e-06,5.034615e-06,5.009296e-06,4.984089e-06,4.959007e-06,4.934062e-06,4.909263e-06,4.884622e-06,4.860146e-06,4.835844e-06,4.811724e-06
0.000000e+00,7.107856e-12,1.639961e-11,5.685322e-11,1.297825e-10,1.895174e-10,4.300044e-10,4.429171e-10,8.533636e-10,1.001292e-09,1.456495e-09,1.925577e-09,2.287634e-09,3.283311e-09,3.381230e-09,4.768730e-09,5.148372e-09,6.474118e-09,7.572412e-09,8.507122e-09,1.055908e-08,1.085689e-08,1.349168e-08,1.404899e-08,1.636654e-08,1.794035e-08,1.943360e-08,2.212591e-08,2.264859e-08,2.597289e-08,2.651263e-08,2.937321e-08,3.102372e-08,3.282060e-08,3.559529e-08,3.628976e-08,3.975856e-08,4.017384e-08,4.320767e-08,4.471465e-08,4.662041e-08,4.918096e-08,4.998260e-08,5.328230e-08,5.354328e-08,5.650974e-08,5.777866e-08,5.965704e-08,6.186994e-08,6.271803e-08,6.568804e-08,6.580490e-08,6.856373e-08,6.957542e-08,7.134286e-08,7.317682e-08,7.402414e-08,7.660708e-08,7.909185e-08,7.986635e-08,8.147916e-08,8.295639e-08,8.377013e-08,8.588023e-08,8.596627e-08,8.806934e-08,8.864178e-08,9.008131e-08,9.124566e-08,9.200434e-08,9.369691e-08,9.384068e-08,9.559267e-08,9.600086e-08,9.726271e-08,9.816305e-08,9.885325e-08,1.001891e-07,1.003667e-07,1.018056e-07,1.020846e-07,1.031723e-07,1.038552e-07,1.044692e-07,1.055064e-07,1.056987e-07,1.068632e-07,1.070436e-07,1.079649e-07,1.084721e-07,1.090061e-07,1.097970e-07,1.099890e-07,1.109157e-07,1.110232e-07,1.117883e-07,1.121557e-07,1.126089e-07,1.131990e-07,1.133794e-07,1.141018e-07,1.141576e-07,1.147779e-07,1.150357e-07,1.154095e-07,1.158376e-07,1.159983e-07,1.165461e-07,1.165672e-07,1.170545e-07,1.172282e-07,1.175252e-07,1.178244e-07,1.179595e-07,1.183591e-07,1.187253e-07,1.188357e-07,1.190595e-07,1.192573e-07,1.193632e-07,1.196271e-07,1.196375e-07,1.198837e-07,1.199478e-07,1.201031e-07,1.202223e-07,1.202967e-07,1.204531e-07,1.204657e-07,1.206112e-07,1.206428e-07,1.207343e-07,1.207937e-07,1.208358e-07,1.209082e-07,1.209168e-07,1.209783e-07,1.209883e-07,1.210210e-07,1.210362e-07,1.210459e-07,1.210537e-07,1.210538e-07,1.210455e-07,1.210428e-07,1.210218e-07,1.210051e-07,1.209833e-07,1.209424e-07,1.209309e-07,1.208651e-07,1.208563e-07,1.207867e-07,1.207483e-07,1.206962e-07,1.206198e-07,1.205943e-07,1.204816e-07,1.204721e-07,1.203586e-07,1.203066e-07,1.202259e-07,1.201245e-07,1.200839e-07,1.199332e-07,1.199270e-07,1.197742e-07,1.197150e-07,1.196074e-07,1.194898e-07,1.194333e-07,1.192523e-07,1.190033e-07,1.187439e-07,1.184748e-07,1.181968e-07,1.179108e-07,1.176173e-07,1.173171e-07,1.170108e-07,1.166990e-07,1.163823e-07,1.160611e-07,1.157361e-07,1.154077e-07,1.150764e-07,1.147425e-07,1.144065e-07,1.140688e-07,1.137296e-07,1.133894e-07,1.130484e-07,1.127070e-07,1.123655e-07,1.120240e-07,1.116828e-07
0.000000e+00,3.343279e-11,1.544030e-10,1.414002e-09,5.825311e-09,1.095261e-08,4.103904e-08,4.299022e-08,1.174781e-07,1.490108e-07,2.571855e-07,3.821232e-07,4.856743e-07,7.942422e-07,8.261278e-07,1.300572e-06,1.436656e-06,1.928989e-06,2.354532e-06,2.727959e-06,3.581196e-06,3.708676e-06,4.874524e-06,5.129523e-06,6.218940e-06,6.983278e-06,7.724670e-06,9.095014e-06,9.365295e-06,1.110870e-05,1.139492e-05,1.292121e-05,1.380629e-05,1.477102e-05,1.625878e-05,1.663018e-05,1.847536e-05,1.869491e-05,2.028784e-05,2.107105e-05,2.205292e-05,2.335567e-05,2.375940e-05,2.539895e-05,2.552702e-05,2.696561e-05,2.757091e-05,2.845537e-05,2.947897e-05,2.986581e-05,3.119582e-05,3.124734e-05,3.244532e-05,3.287555e-05,3.361507e-05,3.436565e-05,3.470650e-05,3.572153e-05,3.666248e-05,3.694835e-05,3.753192e-05,3.805212e-05,3.833264e-05,3.903935e-05,3.906752e-05,3.973953e-05,3.991684e-05,4.035166e-05,4.069143e-05,4.090687e-05,4.136991e-05,4.140809e-05,4.185820e-05,4.195893e-05,4.225999e-05,4.246490e-05,4.261617e-05,4.289398e-05,4.292938e-05,4.320213e-05,4.325204e-05,4.343684e-05,4.354464e-05,4.363585e-05,4.377706e-05,4.380138e-05,4.393555e-05,4.395425e-05,4.404039e-05,4.408086e-05,4.411781e-05,4.416125e-05,4.416966e-05,4.419768e-05,4.419952e-05,4.420352e-05,4.419947e-05,4.418875e-05,4.416465e-05,4.415484e-05,4.410321e-05,4.409835e-05,4.403519e-05,4.400367e-05,4.395203e-05,4.388345e-05,4.385491e-05,4.374497e-05,4.374032e-05,4.362326e-05,4.357675e-05,4.349076e-05,4.339499e-05,4.334842e-05,4.319713e-05,4.303769e-05,4.298509e-05,4.287091e-05,4.276065e-05,4.269751e-05,4.252545e-05,4.251817e-05,4.233355e-05,4.228099e-05,4.214424e-05,4.202865e-05,4.195082e-05,4.176970e-05,4.175382e-05,4.155373e-05,4.150530e-05,4.135101e-05,4.123650e-05,4.114609e-05,4.096428e-05,4.093939e-05,4.073127e-05,4.068951e-05,4.052210e-05,4.041301e-05,4.031218e-05,4.013551e-05,4.010184e-05,3.989134e-05,3.985766e-05,3.968095e-05,3.958008e-05,3.947092e-05,3.930329e-05,3.926145e-05,3.905277e-05,3.902779e-05,3.884505e-05,3.875401e-05,3.863848e-05,3.848235e-05,3.843321e-05,3.822939e-05,3.821315e-05,3.802715e-05,3.794672e-05,3.782661e-05,3.768334e-05,3.762789e-05,3.743109e-05,3.742325e-05,3.723629e-05,3.716667e-05,3.704358e-05,3.691376e-05,3.685303e-05,3.666470e-05,3.641961e-05,3.617861e-05,3.594179e-05,3.570922e-05,3.548097e-05,3.525707e-05,3.503756e-05,3.482246e-05,3.461177e-05,3.440549e-05,3.420360e-05,3.400610e-05,3.381295e-05,3.362411e-05,3.343955e-05,3.325922e-05,3.308308e-05,3.291106e-05,3.274312e-05,3.257920e-05,3.241922e-05,3.226314e-05,3.211087e-05,3.196236e-05
0.000000e+00,2.259054e-10,8.100847e-10,4.775858e-09,1.431840e-08,2.325692e-08,6.440930e-08,6.678227e-08,1.480700e-07,1.796715e-07,2.831046e-07,3.981007e-07,4.917720e-07,7.659072e-07,7.938360e-07,1.198705e-06,1.310713e-06,1.699863e-06,2.017017e-06,2.282325e-06,2.850748e-06,2.931849e-06,3.637819e-06,3.785067e-06,4.392444e-06,4.801953e-06,5.189415e-06,5.887388e-06,6.022986e-06,6.887489e-06,7.028296e-06,7.777136e-06,8.211359e-06,8.685993e-06,9.422875e-06,9.608056e-06,1.053735e-05,1.064908e-05,1.146808e-05,1.187662e-05,1.239472e-05,1.309305e-05,1.331212e-05,1.421558e-05,1.428713e-05,1.510091e-05,1.544913e-05,1.596445e-05,1.657092e-05,1.680306e-05,1.761416e-05,1.764600e-05,1.839566e-05,1.866943e-05,1.914593e-05,1.963766e-05,1.986379e-05,2.054842e-05,2.119936e-05,2.140051e-05,2.181646e-05,2.219369e-05,2.239984e-05,2.292844e-05,2.294980e-05,2.346682e-05,2.360576e-05,2.395149e-05,2.422706e-05,2.440453e-05,2.479406e-05,2.482673e-05,2.521899e-05,2.530879e-05,2.558230e-05,2.577348e-05,2.591766e-05,2.619045e-05,2.622608e-05,2.650861e-05,2.656210e-05,2.676633e-05,2.689089e-05,2.700030e-05,2.717932e-05,2.721167e-05,2.740164e-05,2.743012e-05,2.757121e-05,2.764562e-05,2.772131e-05,2.782805e-05,2.785294e-05,2.796696e-05,2.797950e-05,2.806427e-05,2.810202e-05,2.814573e-05,2.819753e-05,2.821214e-05,2.826431e-05,2.826789e-05,2.830301e-05,2.831488e-05,2.832896e-05,2.834016e-05,2.834288e-05,2.834544e-05,2.834531e-05,2.833729e-05,2.833185e-05,2.831905e-05,2.830119e-05,2.829132e-05,2.825466e-05,2.820964e-05,2.819355e-05,2.815676e-05,2.811902e-05,2.809652e-05,2.803220e-05,2.802939e-05,2.795584e-05,2.793415e-05,2.787629e-05,2.782585e-05,2.779115e-05,2.770822e-05,2.770081e-05,2.760565e-05,2.758214e-05,2.750603e-05,2.744841e-05,2.740227e-05,2.730780e-05,2.729470e-05,2.718363e-05,2.716102e-05,2.706934e-05,2.700873e-05,2.695211e-05,2.685155e-05,2.683220e-05,2.670985e-05,2.669007e-05,2.658531e-05,2.652481e-05,2.645879e-05,2.635629e-05,2.633050e-05,2.620064e-05,2.618496e-05,2.606940e-05,2.601126e-05,2.593696e-05,2.583560e-05,2.580348e-05,2.566913e-05,2.565835e-05,2.553405e-05,2.547985e-05,2.539839e-05,2.530042e-05,2.526227e-05,2.512583e-05,2.512037e-05,2.498918e-05,2.493995e-05,2.485242e-05,2.475943e-05,2.471568e-05,2.457903e-05,2.439898e-05,2.421945e-05,2.404064e-05,2.386271e-05,2.368581e-05,2.351006e-05,2.333560e-05,2.316254e-05,2.299098e-05,2.282100e-05,2.265270e-05,2.248613e-05,2.232138e-05,2.215848e-05,2.199749e-05,2.183846e-05,2.168142e-05,2.152639e-05,2.137342e-05,2.122251e-05,2.107368e-05,2.092695e-05,2.078233e-05,2.063981e-05
0.000000e+00,1.425014e-12,3.282221e-12,1.129408e-11,2.556292e-11,3.714423e-11,8.318335e-11,8.563569e-11,1.628957e-10,1.904879e-10,2.748092e-10,3.610076e-10,4.271775e-10,6.079530e-10,6.256541e-10,8.753417e-10,9.433425e-10,1.179916e-09,1.374940e-09,1.540257e-09,1.900951e-09,1.953027e-09,2.410245e-09,2.506064e-09,2.900685e-09,3.164835e-09,3.412380e-09,3.850757e-09,3.934652e-09,4.458942e-09,4.542555e-09,4.978730e-09,5.225147e-09,5.489145e-09,5.888264e-09,5.986569e-09,6.468333e-09,6.524994e-09,6.932502e-09,7.130798e-09,7.377734e-09,7.702904e-09,7.803175e-09,8.208378e-09,8.239915e-09,8.593236e-09,8.741514e-09,8.957923e-09,9.208222e-09,9.302834e-09,9.628543e-09,9.641182e-09,9.935756e-09,1.004198e-08,1.022527e-08,1.041247e-08,1.049795e-08,1.075469e-08,1.099639e-08,1.107071e-08,1.122396e-08,1.136259e-08,1.143828e-08,1.163234e-08,1.164019e-08,1.183052e-08,1.188185e-08,1.201004e-08,1.211287e-08,1.217948e-08,1.232704e-08,1.233951e-08,1.249078e-08,1.252585e-08,1.263388e-08,1.271066e-08,1.276936e-08,1.288268e-08,1.289772e-08,1.301944e-08,1.304303e-08,1.313495e-08,1.319270e-08,1.324465e-08,1.333258e-08,1.334891e-08,1.344807e-08,1.346348e-08,1.354243e-08,1.358611e-08,1.363229e-08,1.370112e-08,1.371791e-08,1.379954e-08,1.380908e-08,1.387739e-08,1.391050e-08,1.395168e-08,1.400587e-08,1.402259e-08,1.409031e-08,1.409559e-08,1.415499e-08,1.418005e-08,1.421679e-08,1.425959e-08,1.427586e-08,1.433231e-08,1.433451e-08,1.438627e-08,1.440511e-08,1.443786e-08,1.447164e-08,1.448718e-08,1.453434e-08,1.457941e-08,1.459342e-08,1.462250e-08,1.464907e-08,1.466369e-08,1.470150e-08,1.470304e-08,1.474063e-08,1.475085e-08,1.477654e-08,1.479730e-08,1.481082e-08,1.484098e-08,1.484354e-08,1.487475e-08,1.488202e-08,1.490451e-08,1.492056e-08,1.493287e-08,1.495671e-08,1.495989e-08,1.498560e-08,1.499059e-08,1.501005e-08,1.502229e-08,1.503329e-08,1.505191e-08,1.505536e-08,1.507629e-08,1.507954e-08,1.509613e-08,1.510527e-08,1.511490e-08,1.512918e-08,1.513265e-08,1.514940e-08,1.515134e-08,1.516519e-08,1.517184e-08,1.518004e-08,1.519073e-08,1.519400e-08,1.520707e-08,1.520808e-08,1.521930e-08,1.522396e-08,1.523071e-08,1.523843e-08,1.524132e-08,1.525116e-08,1.525153e-08,1.526024e-08,1.526333e-08,1.526860e-08,1.527388e-08,1.527625e-08,1.528322e-08,1.529141e-08,1.529848e-08,1.530448e-08,1.530945e-08,1.531344e-08,1.531647e-08,1.531859e-08,1.531983e-08,1.532022e-08,1.531981e-08,1.531860e-08,1.531665e-08,1.531398e-08,1.531060e-08,1.530656e-08,1.530188e-08,1.529658e-08,1.529069e-08,1.528422e-08,1.527721e-08,1.526967e-08,1.526163e-08,1.525310e-08,1.524410e-08
0.000000e+00,6.181161e-11,1.510207e-10,5.556121e-10,1.303088e-09,1.921835e-09,4.437666e-09,4.573466e-09,8.913837e-09,1.048732e-08,1.535367e-08,2.040178e-08,2.431747e-08,3.514526e-08,3.621281e-08,5.132011e-08,5.543099e-08,6.964274e-08,8.121353e-08,9.091091e-08,1.117692e-07,1.147545e-07,1.408269e-07,1.462814e-07,1.688228e-07,1.840467e-07,1.984597e-07,2.244208e-07,2.294614e-07,2.615515e-07,2.667685e-07,2.944542e-07,3.104560e-07,3.278977e-07,3.548652e-07,3.616198e-07,3.953731e-07,3.994146e-07,4.289296e-07,4.435782e-07,4.620836e-07,4.868990e-07,4.946539e-07,5.264848e-07,5.289952e-07,5.574452e-07,5.695610e-07,5.874285e-07,6.083632e-07,6.163502e-07,6.441464e-07,6.452342e-07,6.707716e-07,6.800639e-07,6.961964e-07,7.127911e-07,7.204051e-07,7.433943e-07,7.651701e-07,7.718843e-07,7.857470e-07,7.982967e-07,8.051463e-07,8.226860e-07,8.233942e-07,8.405214e-07,8.451207e-07,8.565614e-07,8.656785e-07,8.715503e-07,8.844439e-07,8.855255e-07,8.985255e-07,9.015047e-07,9.105890e-07,9.169502e-07,9.217553e-07,9.308701e-07,9.320630e-07,9.415504e-07,9.433528e-07,9.502553e-07,9.544848e-07,9.582144e-07,9.643500e-07,9.654637e-07,9.720379e-07,9.730294e-07,9.779708e-07,9.806004e-07,9.832949e-07,9.871371e-07,9.880417e-07,9.922415e-07,9.927101e-07,9.959232e-07,9.973863e-07,9.991149e-07,1.001229e-06,1.001843e-06,1.004134e-06,1.004299e-06,1.006012e-06,1.006653e-06,1.007500e-06,1.008343e-06,1.008621e-06,1.009396e-06,1.009420e-06,1.009846e-06,1.009932e-06,1.009990e-06,1.009923e-06,1.009847e-06,1.009435e-06,1.008769e-06,1.008506e-06,1.007868e-06,1.007173e-06,1.006744e-06,1.005471e-06,1.005415e-06,1.003892e-06,1.003432e-06,1.002189e-06,1.001086e-06,1.000319e-06,9.984606e-07,9.982931e-07,9.961231e-07,9.955820e-07,9.938194e-07,9.924748e-07,9.913922e-07,9.891616e-07,9.888510e-07,9.862049e-07,9.856638e-07,9.834625e-07,9.820011e-07,9.806319e-07,9.781918e-07,9.777209e-07,9.747368e-07,9.742530e-07,9.716864e-07,9.702006e-07,9.685762e-07,9.660493e-07,9.654126e-07,9.622012e-07,9.618129e-07,9.589475e-07,9.575039e-07,9.556568e-07,9.531342e-07,9.523340e-07,9.489836e-07,9.487145e-07,9.456100e-07,9.442550e-07,9.422173e-07,9.397649e-07,9.388094e-07,9.353898e-07,9.352528e-07,9.319620e-07,9.307266e-07,9.285292e-07,9.261935e-07,9.250943e-07,9.216603e-07,9.171330e-07,9.126172e-07,9.081182e-07,9.036406e-07,8.991887e-07,8.947664e-07,8.903772e-07,8.860244e-07,8.817109e-07,8.774392e-07,8.732116e-07,8.690304e-07,8.648972e-07,8.608138e-07,8.567815e-07,8.528016e-07,8.488752e-07,8.450032e-07,8.411863e-07,8.374252e-07,8.337204e-07,8.300721e-07,8.264808e-07,8.229466e-07
0.000000e+00,1.946143e-11,8.947552e-11,8.123061e-10,3.322418e-09,6.223713e-09,2.311690e-08,2.420788e-08,6.564319e-08,8.309843e-08,1.427394e-07,2.112953e-07,2.679235e-07,4.359420e-07,4.532559e-07,7.101641e-07,7.836711e-07,1.049239e-06,1.278565e-06,1.479819e-06,1.940256e-06,2.009162e-06,2.641351e-06,2.780216e-06,3.376545e-06,3.798470e-06,4.211087e-06,4.984104e-06,5.138366e-06,6.149877e-06,6.318908e-06,7.236090e-06,7.781074e-06,8.386982e-06,9.347399e-06,9.592333e-06,1.084189e-05,1.099432e-05,1.212548e-05,1.269847e-05,1.343315e-05,1.443713e-05,1.475525e-05,1.608260e-05,1.618876e-05,1.740658e-05,1.793343e-05,1.871925e-05,1.965329e-05,2.001340e-05,2.128264e-05,2.133281e-05,2.252137e-05,2.295891e-05,2.372483e-05,2.452098e-05,2.488904e-05,2.601078e-05,2.708753e-05,2.742226e-05,2.811742e-05,2.875135e-05,2.909918e-05,2.999567e-05,3.003204e-05,3.091570e-05,3.115431e-05,3.175024e-05,3.222756e-05,3.253609e-05,3.321667e-05,3.327396e-05,3.396477e-05,3.412368e-05,3.460965e-05,3.495120e-05,3.520989e-05,3.570226e-05,3.576686e-05,3.628205e-05,3.638021e-05,3.675699e-05,3.698858e-05,3.719327e-05,3.753103e-05,3.759248e-05,3.795622e-05,3.801123e-05,3.828609e-05,3.843286e-05,3.858367e-05,3.879952e-05,3.885050e-05,3.908810e-05,3.911472e-05,3.929796e-05,3.938189e-05,3.948152e-05,3.960430e-05,3.964017e-05,3.977527e-05,3.978510e-05,3.988810e-05,3.992729e-05,3.997993e-05,4.003372e-05,4.005196e-05,4.010536e-05,4.010712e-05,4.014121e-05,4.015004e-05,4.016060e-05,4.016489e-05,4.016452e-05,4.015396e-05,4.012983e-05,4.011939e-05,4.009303e-05,4.006320e-05,4.004438e-05,3.998728e-05,3.998469e-05,3.991471e-05,3.989338e-05,3.983518e-05,3.978317e-05,3.974679e-05,3.965819e-05,3.965017e-05,3.954596e-05,3.951989e-05,3.943474e-05,3.936961e-05,3.931707e-05,3.920860e-05,3.919347e-05,3.906445e-05,3.903804e-05,3.893048e-05,3.885900e-05,3.879200e-05,3.867250e-05,3.864944e-05,3.850319e-05,3.847948e-05,3.835364e-05,3.828078e-05,3.820113e-05,3.807723e-05,3.804601e-05,3.788859e-05,3.786956e-05,3.772916e-05,3.765845e-05,3.756801e-05,3.744455e-05,3.740540e-05,3.724158e-05,3.722843e-05,3.707677e-05,3.701062e-05,3.691120e-05,3.679164e-05,3.674508e-05,3.657858e-05,3.657192e-05,3.641190e-05,3.635188e-05,3.624519e-05,3.613190e-05,3.607862e-05,3.591233e-05,3.569348e-05,3.547565e-05,3.525908e-05,3.504403e-05,3.483069e-05,3.461927e-05,3.440993e-05,3.420282e-05,3.399809e-05,3.379585e-05,3.359621e-05,3.339926e-05,3.320508e-05,3.301373e-05,3.282528e-05,3.263976e-05,3.245723e-05,3.227770e-05,3.210121e-05,3.192776e-05,3.175736e-05,3.159002e-05,3.142574e-05,3.126450e-05
0.000000e+00,1.544917e-11,7.350056e-11,7.141084e-10,3.096125e-09,5.980459e-09,2.395219e-08,2.515697e-08,7.317991e-08,9.437407e-08,1.697439e-07,2.607245e-07,3.386661e-07,5.818187e-07,6.077553e-07,1.008635e-06,1.128218e-06,1.575161e-06,1.976838e-06,2.338918e-06,3.192174e-06,3.322133e-06,4.531528e-06,4.799917e-06,5.956841e-06,6.775823e-06,7.574305e-06,9.058508e-06,9.352398e-06,1.125720e-05,1.157151e-05,1.325607e-05,1.424012e-05,1.531948e-05,1.699923e-05,1.742165e-05,1.954046e-05,1.979490e-05,2.165701e-05,2.258335e-05,2.375526e-05,2.532924e-05,2.582162e-05,2.784464e-05,2.800431e-05,2.981483e-05,3.058633e-05,3.172445e-05,3.305837e-05,3.356736e-05,3.533885e-05,3.540818e-05,3.703557e-05,3.762762e-05,3.865530e-05,3.971212e-05,4.019689e-05,4.166007e-05,4.304527e-05,4.347222e-05,4.435356e-05,4.515120e-05,4.558649e-05,4.670103e-05,4.674603e-05,4.783441e-05,4.812674e-05,4.885412e-05,4.943407e-05,4.980779e-05,5.062919e-05,5.069816e-05,5.152799e-05,5.171845e-05,5.230007e-05,5.270824e-05,5.301715e-05,5.360486e-05,5.368196e-05,5.429715e-05,5.441446e-05,5.486529e-05,5.514296e-05,5.538887e-05,5.579600e-05,5.587029e-05,5.631184e-05,5.637894e-05,5.671572e-05,5.689683e-05,5.708405e-05,5.735445e-05,5.741881e-05,5.772190e-05,5.775623e-05,5.799514e-05,5.810635e-05,5.824024e-05,5.840869e-05,5.845882e-05,5.865242e-05,5.866687e-05,5.882250e-05,5.888426e-05,5.897044e-05,5.906398e-05,5.909754e-05,5.920504e-05,5.920895e-05,5.929409e-05,5.932185e-05,5.936580e-05,5.940519e-05,5.942121e-05,5.946129e-05,5.948698e-05,5.949231e-05,5.949915e-05,5.950023e-05,5.949863e-05,5.948692e-05,5.948620e-05,5.946259e-05,5.945407e-05,5.942850e-05,5.940329e-05,5.938459e-05,5.933605e-05,5.933148e-05,5.926975e-05,5.925371e-05,5.919995e-05,5.915754e-05,5.912262e-05,5.904872e-05,5.903824e-05,5.894728e-05,5.892834e-05,5.885018e-05,5.879740e-05,5.874735e-05,5.865684e-05,5.863920e-05,5.852608e-05,5.850754e-05,5.840835e-05,5.835031e-05,5.828635e-05,5.818588e-05,5.816038e-05,5.803074e-05,5.801495e-05,5.789772e-05,5.783818e-05,5.776157e-05,5.765617e-05,5.762255e-05,5.748089e-05,5.746945e-05,5.733682e-05,5.727857e-05,5.719055e-05,5.708398e-05,5.704228e-05,5.689219e-05,5.688615e-05,5.674047e-05,5.668548e-05,5.658729e-05,5.648237e-05,5.643280e-05,5.627715e-05,5.607018e-05,5.586175e-05,5.565215e-05,5.544164e-05,5.523048e-05,5.501889e-05,5.480709e-05,5.459526e-05,5.438360e-05,5.417227e-05,5.396142e-05,5.375121e-05,5.354176e-05,5.333320e-05,5.312564e-05,5.291919e-05,5.271395e-05,5.251000e-05,5.230743e-05,5.210631e-05,5.190671e-05,5.170869e-05,5.151231e-05,5.131762e-05
0.000000e+00,1.523755e-11,6.671870e-11,5.514670e-10,2.088656e-09,3.763763e-09,1.278555e-08,1.334471e-08,3.362836e-08,4.183096e-08,6.905352e-08,9.941284e-08,1.240348e-07,1.957056e-07,2.030129e-07,3.105022e-07,3.410456e-07,4.509999e-07,5.456677e-07,6.286312e-07,8.181261e-07,8.464420e-07,1.105423e-06,1.162049e-06,1.403684e-06,1.572786e-06,1.736351e-06,2.037273e-06,2.096396e-06,2.475935e-06,2.537953e-06,2.867399e-06,3.057554e-06,3.264184e-06,3.581752e-06,3.660854e-06,4.053071e-06,4.099668e-06,4.437422e-06,4.603333e-06,4.811235e-06,5.086992e-06,5.172438e-06,5.519450e-06,5.546560e-06,5.851095e-06,5.979255e-06,6.166548e-06,6.383343e-06,6.465283e-06,6.747031e-06,6.757946e-06,7.011734e-06,7.102875e-06,7.259522e-06,7.418493e-06,7.490674e-06,7.705592e-06,7.904770e-06,7.965274e-06,8.088777e-06,8.198866e-06,8.258235e-06,8.407836e-06,8.413800e-06,8.556148e-06,8.593730e-06,8.685963e-06,8.758122e-06,8.803930e-06,8.902577e-06,8.910725e-06,9.007008e-06,9.028623e-06,9.093418e-06,9.137727e-06,9.170574e-06,9.231285e-06,9.239066e-06,9.299461e-06,9.310616e-06,9.352297e-06,9.376954e-06,9.398083e-06,9.431450e-06,9.437304e-06,9.470413e-06,9.475172e-06,9.497841e-06,9.509108e-06,9.519991e-06,9.534168e-06,9.537244e-06,9.549955e-06,9.551191e-06,9.558458e-06,9.560947e-06,9.563064e-06,9.564141e-06,9.564068e-06,9.561743e-06,9.561421e-06,9.556344e-06,9.553378e-06,9.548110e-06,9.540553e-06,9.537265e-06,9.524017e-06,9.523440e-06,9.508561e-06,9.502492e-06,9.491079e-06,9.478120e-06,9.471739e-06,9.450699e-06,9.428108e-06,9.420574e-06,9.404102e-06,9.388056e-06,9.378811e-06,9.353431e-06,9.352352e-06,9.324838e-06,9.316959e-06,9.296372e-06,9.278876e-06,9.267051e-06,9.239398e-06,9.236965e-06,9.206197e-06,9.198720e-06,9.174826e-06,9.157022e-06,9.142925e-06,9.114467e-06,9.110561e-06,9.077796e-06,9.071200e-06,9.044690e-06,9.027359e-06,9.011297e-06,8.983063e-06,8.977668e-06,8.943850e-06,8.938424e-06,8.909885e-06,8.893543e-06,8.875816e-06,8.848510e-06,8.841679e-06,8.807510e-06,8.803409e-06,8.773340e-06,8.758313e-06,8.739201e-06,8.713292e-06,8.705119e-06,8.671120e-06,8.668405e-06,8.637229e-06,8.623708e-06,8.603468e-06,8.579251e-06,8.569856e-06,8.536412e-06,8.535078e-06,8.503153e-06,8.491229e-06,8.470096e-06,8.447739e-06,8.437254e-06,8.404642e-06,8.361964e-06,8.319731e-06,8.277966e-06,8.236687e-06,8.195913e-06,8.155656e-06,8.115931e-06,8.076748e-06,8.038116e-06,8.000042e-06,7.962533e-06,7.925592e-06,7.889224e-06,7.853431e-06,7.818214e-06,7.783574e-06,7.749509e-06,7.716020e-06,7.683103e-06,7.650757e-06,7.618979e-06,7.587764e-06,7.557109e-06,7.527009e-06
0.000000e+00,1.556946e-10,5.987113e-10,3.937109e-09,1.262325e-08,2.106138e-08,6.097318e-08,6.329256e-08,1.424586e-07,1.728852e-07,2.707664e-07,3.768017e-07,4.614820e-07,7.044249e-07,7.289896e-07,1.086688e-06,1.186970e-06,1.541832e-06,1.838583e-06,2.091537e-06,2.645275e-06,2.725363e-06,3.431065e-06,3.579841e-06,4.197765e-06,4.617450e-06,5.016254e-06,5.737793e-06,5.878331e-06,6.776217e-06,6.922689e-06,7.702250e-06,8.154505e-06,8.648817e-06,9.415804e-06,9.608411e-06,1.057375e-05,1.068964e-05,1.153790e-05,1.196008e-05,1.249444e-05,1.321269e-05,1.343750e-05,1.436189e-05,1.443489e-05,1.526307e-05,1.561618e-05,1.613725e-05,1.674815e-05,1.698129e-05,1.779267e-05,1.782441e-05,1.856949e-05,1.884040e-05,1.931039e-05,1.979321e-05,2.001448e-05,2.068131e-05,2.131078e-05,2.150435e-05,2.190310e-05,2.226289e-05,2.245873e-05,2.295826e-05,2.297836e-05,2.346283e-05,2.359231e-05,2.391312e-05,2.416733e-05,2.433030e-05,2.468586e-05,2.471553e-05,2.507001e-05,2.515065e-05,2.539498e-05,2.556454e-05,2.569170e-05,2.593044e-05,2.596142e-05,2.620541e-05,2.625123e-05,2.642489e-05,2.652974e-05,2.662108e-05,2.676873e-05,2.679514e-05,2.694824e-05,2.697087e-05,2.708149e-05,2.713872e-05,2.719598e-05,2.727475e-05,2.729273e-05,2.737276e-05,2.738128e-05,2.743702e-05,2.746055e-05,2.748645e-05,2.751464e-05,2.752193e-05,2.754430e-05,2.754554e-05,2.755437e-05,2.755513e-05,2.755292e-05,2.754516e-05,2.754069e-05,2.751838e-05,2.751728e-05,2.748665e-05,2.747304e-05,2.744614e-05,2.741389e-05,2.739746e-05,2.734119e-05,2.727786e-05,2.725619e-05,2.720800e-05,2.716008e-05,2.713209e-05,2.705397e-05,2.705061e-05,2.696399e-05,2.693888e-05,2.687265e-05,2.681575e-05,2.677699e-05,2.668548e-05,2.667738e-05,2.657417e-05,2.654890e-05,2.646769e-05,2.640675e-05,2.635826e-05,2.625976e-05,2.624618e-05,2.613172e-05,2.610857e-05,2.601515e-05,2.595378e-05,2.589672e-05,2.579597e-05,2.577666e-05,2.565519e-05,2.563563e-05,2.553251e-05,2.547326e-05,2.540883e-05,2.530928e-05,2.528432e-05,2.515915e-05,2.514409e-05,2.503348e-05,2.497807e-05,2.490747e-05,2.481155e-05,2.478124e-05,2.465494e-05,2.464484e-05,2.452869e-05,2.447822e-05,2.440259e-05,2.431196e-05,2.427676e-05,2.415129e-05,2.414628e-05,2.402627e-05,2.398139e-05,2.390179e-05,2.381750e-05,2.377793e-05,2.365476e-05,2.349335e-05,2.333339e-05,2.317502e-05,2.301835e-05,2.286347e-05,2.271047e-05,2.255943e-05,2.241041e-05,2.226348e-05,2.211868e-05,2.197604e-05,2.183561e-05,2.169741e-05,2.156146e-05,2.142777e-05,2.129636e-05,2.116722e-05,2.104037e-05,2.091579e-05,2.079348e-05,2.067343e-05,2.055563e-05,2.044006e-05,2.032671e-05
0.000000e+00,9.365860e-11,2.852077e-10,1.337786e-09,3.512974e-09,5.398383e-09,1.335896e-08,1.379594e-08,2.793146e-08,3.310292e-08,4.916704e-08,6.589126e-08,7.888869e-08,1.149371e-07,1.185018e-07,1.692466e-07,1.831703e-07,2.317223e-07,2.716793e-07,3.053849e-07,3.782260e-07,3.886634e-07,4.796441e-07,4.986058e-07,5.765822e-07,6.288496e-07,6.780167e-07,7.657824e-07,7.827041e-07,8.895357e-07,9.067584e-07,9.974894e-07,1.049423e-06,1.105610e-06,1.191627e-06,1.213008e-06,1.318868e-06,1.331432e-06,1.422457e-06,1.467149e-06,1.523137e-06,1.597368e-06,1.620362e-06,1.713687e-06,1.720974e-06,1.802767e-06,1.837151e-06,1.887346e-06,1.945358e-06,1.967255e-06,2.042402e-06,2.045308e-06,2.112762e-06,2.136925e-06,2.178368e-06,2.220304e-06,2.239300e-06,2.295678e-06,2.347651e-06,2.363380e-06,2.395392e-06,2.423812e-06,2.439089e-06,2.477419e-06,2.478942e-06,2.515156e-06,2.524672e-06,2.547938e-06,2.566047e-06,2.577497e-06,2.602016e-06,2.604033e-06,2.627742e-06,2.633033e-06,2.648815e-06,2.659531e-06,2.667432e-06,2.681921e-06,2.683766e-06,2.697980e-06,2.700582e-06,2.710228e-06,2.715869e-06,2.720656e-06,2.728109e-06,2.729400e-06,2.736585e-06,2.737599e-06,2.742332e-06,2.744612e-06,2.746751e-06,2.749398e-06,2.749943e-06,2.752006e-06,2.752182e-06,2.753027e-06,2.753168e-06,2.753090e-06,2.752543e-06,2.752270e-06,2.750638e-06,2.750474e-06,2.748260e-06,2.747114e-06,2.745197e-06,2.742599e-06,2.741505e-06,2.737236e-06,2.737054e-06,2.732439e-06,2.730591e-06,2.727157e-06,2.723311e-06,2.721434e-06,2.715307e-06,2.708811e-06,2.706661e-06,2.701981e-06,2.697448e-06,2.694846e-06,2.687736e-06,2.687435e-06,2.679774e-06,2.677587e-06,2.671887e-06,2.667057e-06,2.663798e-06,2.656196e-06,2.655528e-06,2.647096e-06,2.645050e-06,2.638520e-06,2.633661e-06,2.629817e-06,2.622066e-06,2.621003e-06,2.612093e-06,2.610300e-06,2.603099e-06,2.598394e-06,2.594036e-06,2.586377e-06,2.584914e-06,2.575744e-06,2.574273e-06,2.566537e-06,2.562107e-06,2.557302e-06,2.549899e-06,2.548047e-06,2.538782e-06,2.537669e-06,2.529513e-06,2.525435e-06,2.520247e-06,2.513212e-06,2.510992e-06,2.501753e-06,2.501015e-06,2.492536e-06,2.488856e-06,2.483345e-06,2.476748e-06,2.474187e-06,2.465066e-06,2.464702e-06,2.455985e-06,2.452726e-06,2.446949e-06,2.440831e-06,2.437960e-06,2.429024e-06,2.417311e-06,2.405700e-06,2.394196e-06,2.382804e-06,2.371529e-06,2.360375e-06,2.349345e-06,2.338443e-06,2.327671e-06,2.317031e-06,2.306526e-06,2.296157e-06,2.285926e-06,2.275834e-06,2.265881e-06,2.256069e-06,2.246397e-06,2.236866e-06,2.227475e-06,2.218226e-06,2.209117e-06,2.200149e-06,2.191320e-06,2.182630e-06
0.000000e+00,9.278481e-11,2.360744e-10,9.064441e-10,2.170002e-09,3.226887e-09,7.582993e-09,7.820298e-09,1.550247e-08,1.833054e-08,2.720851e-08,3.661147e-08,4.402845e-08,6.502852e-08,6.713385e-08,9.747359e-08,1.058774e-07,1.352688e-07,1.594454e-07,1.797781e-07,2.234609e-07,2.296899e-07,2.836819e-07,2.948702e-07,3.406752e-07,3.712133e-07,3.998360e-07,4.507179e-07,4.605018e-07,5.221180e-07,5.320316e-07,5.841987e-07,6.140324e-07,6.463065e-07,6.957445e-07,7.080449e-07,7.690567e-07,7.763138e-07,8.290243e-07,8.550060e-07,8.876693e-07,9.312081e-07,9.447555e-07,1.000087e-06,1.004433e-06,1.053507e-06,1.074312e-06,1.104896e-06,1.140589e-06,1.154168e-06,1.201267e-06,1.203105e-06,1.246164e-06,1.261786e-06,1.288853e-06,1.316627e-06,1.329348e-06,1.367676e-06,1.403881e-06,1.415027e-06,1.438015e-06,1.458802e-06,1.470138e-06,1.499146e-06,1.500317e-06,1.528621e-06,1.536221e-06,1.555126e-06,1.570196e-06,1.579905e-06,1.601243e-06,1.603034e-06,1.624588e-06,1.629535e-06,1.644640e-06,1.655241e-06,1.663263e-06,1.678525e-06,1.680528e-06,1.696502e-06,1.699548e-06,1.711252e-06,1.718459e-06,1.724841e-06,1.735404e-06,1.737330e-06,1.748779e-06,1.750517e-06,1.759242e-06,1.763930e-06,1.768773e-06,1.775761e-06,1.777423e-06,1.785240e-06,1.786125e-06,1.792272e-06,1.795128e-06,1.798561e-06,1.802869e-06,1.804148e-06,1.809075e-06,1.809442e-06,1.813378e-06,1.814932e-06,1.817092e-06,1.819422e-06,1.820252e-06,1.822890e-06,1.822985e-06,1.825035e-06,1.825692e-06,1.826717e-06,1.827609e-06,1.827962e-06,1.828797e-06,1.829245e-06,1.829311e-06,1.829330e-06,1.829204e-06,1.829074e-06,1.828526e-06,1.828497e-06,1.827619e-06,1.827322e-06,1.826459e-06,1.825634e-06,1.825033e-06,1.823502e-06,1.823359e-06,1.821452e-06,1.820962e-06,1.819328e-06,1.818048e-06,1.816999e-06,1.814792e-06,1.814480e-06,1.811783e-06,1.811224e-06,1.808921e-06,1.807370e-06,1.805903e-06,1.803257e-06,1.802742e-06,1.799447e-06,1.798908e-06,1.796028e-06,1.794345e-06,1.792493e-06,1.789589e-06,1.788852e-06,1.785113e-06,1.784658e-06,1.781282e-06,1.779570e-06,1.777368e-06,1.774342e-06,1.773378e-06,1.769317e-06,1.768990e-06,1.765193e-06,1.763526e-06,1.761010e-06,1.757966e-06,1.756775e-06,1.752493e-06,1.752320e-06,1.748168e-06,1.746601e-06,1.743805e-06,1.740820e-06,1.739410e-06,1.734985e-06,1.729106e-06,1.723193e-06,1.717252e-06,1.711291e-06,1.705317e-06,1.699337e-06,1.693355e-06,1.687379e-06,1.681412e-06,1.675459e-06,1.669525e-06,1.663614e-06,1.657729e-06,1.651874e-06,1.646052e-06,1.640266e-06,1.634518e-06,1.628811e-06,1.623147e-06,1.617528e-06,1.611956e-06,1.606433e-06,1.600960e-06,1.595539e-06
0.000000e+00,1.483163e-11,7.527962e-11,8.349760e-10,4.075900e-09,8.394895e-09,3.956119e-08,4.182275e-08,1.422546e-07,1.912466e-07,3.811967e-07,6.349358e-07,8.685381e-07,1.668868e-06,1.759477e-06,3.256191e-06,3.731624e-06,5.598207e-06,7.374359e-06,9.041217e-06,1.317816e-05,1.383166e-05,2.018472e-05,2.165863e-05,2.826932e-05,3.319799e-05,3.820029e-05,4.801360e-05,5.003613e-05,6.378082e-05,6.615467e-05,7.938814e-05,8.751616e-05,9.676743e-05,1.118614e-04,1.157901e-04,1.362962e-04,1.388481e-04,1.581014e-04,1.680556e-04,1.810034e-04,1.990111e-04,2.047883e-04,2.292361e-04,2.312139e-04,2.541265e-04,2.641580e-04,2.792435e-04,2.973510e-04,3.043793e-04,3.293385e-04,3.303306e-04,3.539402e-04,3.626772e-04,3.780206e-04,3.940225e-04,4.014344e-04,4.240555e-04,4.457778e-04,4.525243e-04,4.665142e-04,4.792359e-04,4.861966e-04,5.040532e-04,5.047746e-04,5.222144e-04,5.268907e-04,5.384973e-04,5.477090e-04,5.536180e-04,5.665082e-04,5.675833e-04,5.804104e-04,5.833223e-04,5.921253e-04,5.982119e-04,6.027610e-04,6.112584e-04,6.123563e-04,6.209544e-04,6.225585e-04,6.286021e-04,6.322195e-04,6.353482e-04,6.403550e-04,6.412430e-04,6.463371e-04,6.470813e-04,6.506810e-04,6.525144e-04,6.543246e-04,6.567679e-04,6.573163e-04,6.597033e-04,6.599512e-04,6.615307e-04,6.621687e-04,6.628418e-04,6.635184e-04,6.636778e-04,6.640775e-04,6.640917e-04,6.640774e-04,6.639732e-04,6.637118e-04,6.632404e-04,6.630128e-04,6.620101e-04,6.619641e-04,6.607315e-04,6.602087e-04,6.592028e-04,6.580325e-04,6.574476e-04,6.554879e-04,6.533440e-04,6.526221e-04,6.510344e-04,6.494773e-04,6.485763e-04,6.460913e-04,6.459853e-04,6.432759e-04,6.424979e-04,6.404613e-04,6.387271e-04,6.375536e-04,6.348058e-04,6.345638e-04,6.315022e-04,6.307577e-04,6.283779e-04,6.266042e-04,6.251996e-04,6.223641e-04,6.219749e-04,6.187110e-04,6.180541e-04,6.154145e-04,6.136894e-04,6.120912e-04,6.092830e-04,6.087466e-04,6.053858e-04,6.048469e-04,6.020133e-04,6.003915e-04,5.986332e-04,5.959262e-04,5.952494e-04,5.918653e-04,5.914593e-04,5.884842e-04,5.869982e-04,5.851089e-04,5.825493e-04,5.817422e-04,5.783865e-04,5.781185e-04,5.750439e-04,5.737111e-04,5.717167e-04,5.693316e-04,5.684066e-04,5.651152e-04,5.649840e-04,5.618443e-04,5.606720e-04,5.585951e-04,5.563987e-04,5.553689e-04,5.521669e-04,5.479791e-04,5.438373e-04,5.397435e-04,5.356992e-04,5.317059e-04,5.277646e-04,5.238763e-04,5.200419e-04,5.162620e-04,5.125370e-04,5.088674e-04,5.052535e-04,5.016953e-04,4.981929e-04,4.947463e-04,4.913554e-04,4.880200e-04,4.847398e-04,4.815145e-04,4.783438e-04,4.752273e-04,4.721645e-04,4.691548e-04,4.661979e-04
0.000000e+00,4.780679e-12,2.161565e-11,1.900000e-10,7.566378e-10,1.398280e-09,5.032745e-09,5.264081e-09,1.390620e-08,1.749363e-08,2.962112e-08,4.340582e-08,5.471349e-08,8.801355e-08,9.143029e-08,1.419383e-07,1.563441e-07,2.082958e-07,2.530898e-07,2.923795e-07,3.822751e-07,3.957343e-07,5.193400e-07,5.465215e-07,6.633454e-07,7.460467e-07,8.268952e-07,9.780726e-07,1.008169e-06,1.204641e-06,1.237296e-06,1.413437e-06,1.517179e-06,1.631656e-06,1.811175e-06,1.856573e-06,2.085739e-06,2.113419e-06,2.317003e-06,2.418933e-06,2.548497e-06,2.723586e-06,2.778610e-06,3.005963e-06,3.023996e-06,3.229386e-06,3.317428e-06,3.447896e-06,3.601722e-06,3.660686e-06,3.867104e-06,3.875220e-06,4.066639e-06,4.136709e-06,4.258908e-06,4.385358e-06,4.443640e-06,4.620662e-06,4.789885e-06,4.842385e-06,4.951293e-06,5.050509e-06,5.104927e-06,5.245190e-06,5.250883e-06,5.389292e-06,5.426716e-06,5.520320e-06,5.595473e-06,5.644158e-06,5.751919e-06,5.761016e-06,5.871117e-06,5.896561e-06,5.974694e-06,6.029936e-06,6.071985e-06,6.152595e-06,6.163233e-06,6.248681e-06,6.265095e-06,6.328568e-06,6.367992e-06,6.403134e-06,6.461828e-06,6.472612e-06,6.537230e-06,6.547133e-06,6.597212e-06,6.624421e-06,6.652774e-06,6.694183e-06,6.704127e-06,6.751472e-06,6.756893e-06,6.795005e-06,6.813001e-06,6.834916e-06,6.862936e-06,6.871384e-06,6.904585e-06,6.907105e-06,6.934686e-06,6.945894e-06,6.961847e-06,6.979668e-06,6.986220e-06,7.007954e-06,7.008771e-06,7.027189e-06,7.033528e-06,7.044059e-06,7.054245e-06,7.058692e-06,7.071212e-06,7.081734e-06,7.084698e-06,7.090372e-06,7.094960e-06,7.097231e-06,7.102236e-06,7.102413e-06,7.106014e-06,7.106752e-06,7.108128e-06,7.108718e-06,7.108841e-06,7.108333e-06,7.108238e-06,7.106397e-06,7.105780e-06,7.103396e-06,7.101235e-06,7.099305e-06,7.094859e-06,7.094194e-06,7.088127e-06,7.086805e-06,7.081168e-06,7.077215e-06,7.073373e-06,7.066222e-06,7.064800e-06,7.055502e-06,7.053951e-06,7.045530e-06,7.040517e-06,7.034930e-06,7.026030e-06,7.023749e-06,7.012031e-06,7.010590e-06,6.999815e-06,6.994292e-06,6.987141e-06,6.977225e-06,6.974045e-06,6.960564e-06,6.959470e-06,6.946729e-06,6.941103e-06,6.932572e-06,6.922197e-06,6.918123e-06,6.903410e-06,6.902817e-06,6.888460e-06,6.883025e-06,6.873298e-06,6.862878e-06,6.857947e-06,6.842431e-06,6.821731e-06,6.800826e-06,6.779757e-06,6.758564e-06,6.737283e-06,6.715948e-06,6.694591e-06,6.673239e-06,6.651920e-06,6.630657e-06,6.609474e-06,6.588390e-06,6.567424e-06,6.546595e-06,6.525916e-06,6.505403e-06,6.485069e-06,6.464926e-06,6.444983e-06,6.425251e-06,6.405738e-06,6.386451e-06,6.367398e-06,6.348584e-06
0.000000e+00,6.016263e-12,3.017255e-11,3.262950e-10,1.555244e-09,3.160256e-09,1.435644e-08,1.515355e-08,4.953034e-08,6.582585e-08,1.272717e-07,2.064919e-07,2.774461e-07,5.111763e-07,5.369554e-07,9.497360e-07,1.077003e-06,1.564967e-06,2.017025e-06,2.433750e-06,3.446689e-06,3.604598e-06,5.119039e-06,5.466121e-06,7.008451e-06,8.146137e-06,9.292485e-06,1.152203e-05,1.197887e-05,1.506407e-05,1.559394e-05,1.853455e-05,2.033099e-05,2.236808e-05,2.567677e-05,2.653529e-05,3.100097e-05,3.155507e-05,3.572550e-05,3.787534e-05,4.066602e-05,4.453768e-05,4.577763e-05,5.101453e-05,5.143752e-05,5.633101e-05,5.846982e-05,6.168239e-05,6.553285e-05,6.702584e-05,7.232111e-05,7.253138e-05,7.753113e-05,7.937930e-05,8.262241e-05,8.600142e-05,8.756541e-05,9.233469e-05,9.690901e-05,9.832870e-05,1.012712e-04,1.039455e-04,1.054082e-04,1.091590e-04,1.093105e-04,1.129723e-04,1.139540e-04,1.163907e-04,1.183250e-04,1.195660e-04,1.222745e-04,1.225005e-04,1.251989e-04,1.258121e-04,1.276676e-04,1.289525e-04,1.299142e-04,1.317146e-04,1.319477e-04,1.337777e-04,1.341202e-04,1.354145e-04,1.361927e-04,1.368686e-04,1.379567e-04,1.381508e-04,1.392718e-04,1.394369e-04,1.402423e-04,1.406577e-04,1.410725e-04,1.416425e-04,1.417726e-04,1.423521e-04,1.424140e-04,1.428203e-04,1.429933e-04,1.431858e-04,1.434002e-04,1.434571e-04,1.436417e-04,1.436529e-04,1.437469e-04,1.437683e-04,1.437796e-04,1.437617e-04,1.437459e-04,1.436518e-04,1.436469e-04,1.435026e-04,1.434364e-04,1.433033e-04,1.431416e-04,1.430586e-04,1.427725e-04,1.424492e-04,1.423384e-04,1.420920e-04,1.418472e-04,1.417043e-04,1.413063e-04,1.412892e-04,1.408493e-04,1.407220e-04,1.403872e-04,1.401003e-04,1.399053e-04,1.394462e-04,1.394056e-04,1.388901e-04,1.387642e-04,1.383606e-04,1.380586e-04,1.378187e-04,1.373329e-04,1.372660e-04,1.367038e-04,1.365904e-04,1.361334e-04,1.358340e-04,1.355560e-04,1.350662e-04,1.349725e-04,1.343841e-04,1.342896e-04,1.337916e-04,1.335060e-04,1.331958e-04,1.327173e-04,1.325975e-04,1.319973e-04,1.319252e-04,1.313961e-04,1.311313e-04,1.307942e-04,1.303368e-04,1.301923e-04,1.295910e-04,1.295429e-04,1.289905e-04,1.287507e-04,1.283914e-04,1.279612e-04,1.277941e-04,1.271989e-04,1.271752e-04,1.266062e-04,1.263935e-04,1.260162e-04,1.256167e-04,1.254293e-04,1.248456e-04,1.240806e-04,1.233223e-04,1.225710e-04,1.218272e-04,1.210911e-04,1.203632e-04,1.196435e-04,1.189325e-04,1.182302e-04,1.175369e-04,1.168526e-04,1.161774e-04,1.155116e-04,1.148551e-04,1.142080e-04,1.135703e-04,1.129421e-04,1.123233e-04,1.117140e-04,1.111142e-04,1.105237e-04,1.099427e-04,1.093709e-04,1.088084e-04
0.000000e+00,4.328336e-11,1.051360e-10,3.844781e-10,9.031801e-10,1.337702e-09,3.164112e-09,3.265561e-09,6.661884e-09,7.963373e-09,1.218990e-08,1.681110e-08,2.048257e-08,3.060658e-08,3.158485e-08,4.483528e-08,4.824744e-08,5.949284e-08,6.812615e-08,7.507545e-08,8.933165e-08,9.130753e-08,1.080162e-07,1.114031e-07,1.250691e-07,1.340329e-07,1.423469e-07,1.569479e-07,1.597318e-07,1.771052e-07,1.798761e-07,1.943508e-07,2.025503e-07,2.113573e-07,2.247213e-07,2.280225e-07,2.442560e-07,2.461712e-07,2.599807e-07,2.667217e-07,2.751341e-07,2.862387e-07,2.896685e-07,3.035500e-07,3.046316e-07,3.167577e-07,3.218496e-07,3.292822e-07,3.378768e-07,3.411241e-07,3.522922e-07,3.527251e-07,3.628019e-07,3.664280e-07,3.726738e-07,3.790347e-07,3.819324e-07,3.906049e-07,3.987202e-07,4.012043e-07,4.063080e-07,4.109013e-07,4.133984e-07,4.197645e-07,4.200208e-07,4.262044e-07,4.278609e-07,4.319770e-07,4.352544e-07,4.373653e-07,4.420051e-07,4.423948e-07,4.470894e-07,4.481688e-07,4.514716e-07,4.537971e-07,4.555625e-07,4.589372e-07,4.593818e-07,4.629476e-07,4.636318e-07,4.662769e-07,4.679200e-07,4.693855e-07,4.718368e-07,4.722879e-07,4.749975e-07,4.754140e-07,4.775268e-07,4.786802e-07,4.798873e-07,4.816612e-07,4.820895e-07,4.841433e-07,4.843803e-07,4.860578e-07,4.868582e-07,4.878413e-07,4.891139e-07,4.895015e-07,4.910458e-07,4.911645e-07,4.924807e-07,4.930254e-07,4.938124e-07,4.947106e-07,4.950467e-07,4.961889e-07,4.962328e-07,4.972441e-07,4.976035e-07,4.982167e-07,4.988332e-07,4.991112e-07,4.999316e-07,5.006817e-07,5.009075e-07,5.013650e-07,5.017688e-07,5.019849e-07,5.025232e-07,5.025444e-07,5.030465e-07,5.031772e-07,5.034940e-07,5.037374e-07,5.038895e-07,5.042094e-07,5.042353e-07,5.045339e-07,5.045988e-07,5.047874e-07,5.049104e-07,5.049979e-07,5.051490e-07,5.051673e-07,5.052975e-07,5.053190e-07,5.053903e-07,5.054243e-07,5.054474e-07,5.054688e-07,5.054703e-07,5.054605e-07,5.054561e-07,5.054197e-07,5.053894e-07,5.053490e-07,5.052718e-07,5.052498e-07,5.051234e-07,5.051065e-07,5.049710e-07,5.048960e-07,5.047937e-07,5.046430e-07,5.045926e-07,5.043688e-07,5.043500e-07,5.041233e-07,5.040192e-07,5.038570e-07,5.036530e-07,5.035709e-07,5.032659e-07,5.032533e-07,5.029427e-07,5.028221e-07,5.026023e-07,5.023614e-07,5.022454e-07,5.018728e-07,5.013580e-07,5.008187e-07,5.002563e-07,4.996724e-07,4.990682e-07,4.984450e-07,4.978041e-07,4.971468e-07,4.964740e-07,4.957869e-07,4.950865e-07,4.943738e-07,4.936497e-07,4.929151e-07,4.921708e-07,4.914176e-07,4.906564e-07,4.898877e-07,4.891124e-07,4.883311e-07,4.875444e-07,4.867530e-07,4.859573e-07,4.851581e-07
0.000000e+00,1.870103e-11,4.301758e-11,1.486978e-10,3.393563e-10,4.959114e-10,1.130874e-09,1.165197e-09,2.268917e-09,2.672757e-09,3.934659e-09,5.262378e-09,6.302691e-09,9.206017e-09,9.493139e-09,1.354529e-08,1.464099e-08,1.840117e-08,2.143405e-08,2.396010e-08,2.935737e-08,3.012668e-08,3.682141e-08,3.821757e-08,4.397548e-08,4.785575e-08,5.152470e-08,5.812534e-08,5.940609e-08,6.755674e-08,6.888163e-08,7.591396e-08,7.998068e-08,8.441631e-08,9.128285e-08,9.300467e-08,1.016234e-07,1.026572e-07,1.102213e-07,1.139856e-07,1.187521e-07,1.251653e-07,1.271750e-07,1.354547e-07,1.361100e-07,1.435616e-07,1.467503e-07,1.514710e-07,1.570323e-07,1.591632e-07,1.666230e-07,1.669164e-07,1.738391e-07,1.763757e-07,1.808037e-07,1.853934e-07,1.875119e-07,1.939613e-07,2.001519e-07,2.020784e-07,2.060852e-07,2.097490e-07,2.117644e-07,2.169814e-07,2.171938e-07,2.223785e-07,2.237872e-07,2.273246e-07,2.301803e-07,2.320384e-07,2.361759e-07,2.365268e-07,2.407970e-07,2.417902e-07,2.448563e-07,2.470402e-07,2.487121e-07,2.519427e-07,2.523718e-07,2.558427e-07,2.565149e-07,2.591321e-07,2.607733e-07,2.622472e-07,2.647343e-07,2.651949e-07,2.679821e-07,2.684136e-07,2.706154e-07,2.718266e-07,2.731012e-07,2.749879e-07,2.754458e-07,2.776553e-07,2.779116e-07,2.797354e-07,2.806112e-07,2.816919e-07,2.830995e-07,2.835301e-07,2.852553e-07,2.853886e-07,2.868725e-07,2.874902e-07,2.883865e-07,2.894153e-07,2.898020e-07,2.911234e-07,2.911743e-07,2.923549e-07,2.927771e-07,2.935008e-07,2.942331e-07,2.945649e-07,2.955511e-07,2.964628e-07,2.967394e-07,2.973036e-07,2.978060e-07,2.980768e-07,2.987584e-07,2.987855e-07,2.994329e-07,2.996035e-07,3.000218e-07,3.003482e-07,3.005549e-07,3.009985e-07,3.010351e-07,3.014647e-07,3.015606e-07,3.018463e-07,3.020398e-07,3.021821e-07,3.024417e-07,3.024745e-07,3.027256e-07,3.027710e-07,3.029373e-07,3.030325e-07,3.031116e-07,3.032306e-07,3.032505e-07,3.033557e-07,3.033695e-07,3.034288e-07,3.034530e-07,3.034716e-07,3.034850e-07,3.034856e-07,3.034722e-07,3.034688e-07,3.034329e-07,3.034078e-07,3.033692e-07,3.033051e-07,3.032821e-07,3.031731e-07,3.031635e-07,3.030433e-07,3.029858e-07,3.028938e-07,3.027746e-07,3.027257e-07,3.025401e-07,3.025324e-07,3.023380e-07,3.022613e-07,3.021202e-07,3.019637e-07,3.018878e-07,3.016415e-07,3.012966e-07,3.009309e-07,3.005460e-07,3.001436e-07,2.997251e-07,2.992919e-07,2.988455e-07,2.983869e-07,2.979175e-07,2.974384e-07,2.969505e-07,2.964548e-07,2.959524e-07,2.954439e-07,2.949304e-07,2.944124e-07,2.938908e-07,2.933661e-07,2.928391e-07,2.923104e-07,2.917804e-07,2.912497e-07,2.907188e-07,2.901881e-07
0.000000e+00,1.939829e-11,4.447304e-11,1.531822e-10,3.494778e-10,5.112216e-10,1.174005e-09,1.210157e-09,2.389924e-09,2.829287e-09,4.223298e-09,5.713212e-09,6.887585e-09,1.014971e-08,1.046922e-08,1.490039e-08,1.607427e-08,2.003656e-08,2.317083e-08,2.574784e-08,3.117320e-08,3.193893e-08,3.853754e-08,3.990064e-08,4.548192e-08,4.921023e-08,5.271361e-08,5.896751e-08,6.017413e-08,6.780421e-08,6.903677e-08,7.554424e-08,7.928119e-08,8.333549e-08,8.956721e-08,9.112135e-08,9.884858e-08,9.976951e-08,1.064680e-07,1.097750e-07,1.139361e-07,1.194870e-07,1.212148e-07,1.282720e-07,1.288262e-07,1.350813e-07,1.377308e-07,1.416218e-07,1.461553e-07,1.478775e-07,1.538374e-07,1.540696e-07,1.594946e-07,1.614564e-07,1.648459e-07,1.683097e-07,1.698909e-07,1.746321e-07,1.790743e-07,1.804336e-07,1.832236e-07,1.857291e-07,1.870879e-07,1.905377e-07,1.906760e-07,1.939974e-07,1.948810e-07,1.970624e-07,1.987825e-07,1.998813e-07,2.022665e-07,2.024648e-07,2.048237e-07,2.053576e-07,2.069687e-07,2.080804e-07,2.089103e-07,2.104588e-07,2.106587e-07,2.122242e-07,2.125162e-07,2.136165e-07,2.142752e-07,2.148450e-07,2.157571e-07,2.159189e-07,2.168469e-07,2.169824e-07,2.176374e-07,2.179703e-07,2.182984e-07,2.187393e-07,2.188377e-07,2.192626e-07,2.193063e-07,2.195801e-07,2.196875e-07,2.197968e-07,2.198980e-07,2.199190e-07,2.199528e-07,2.199519e-07,2.199039e-07,2.198624e-07,2.197776e-07,2.196417e-07,2.195791e-07,2.193133e-07,2.193013e-07,2.189847e-07,2.188518e-07,2.185977e-07,2.183032e-07,2.181564e-07,2.176647e-07,2.171263e-07,2.169447e-07,2.165446e-07,2.161512e-07,2.159230e-07,2.152916e-07,2.152645e-07,2.145721e-07,2.143726e-07,2.138485e-07,2.134005e-07,2.130964e-07,2.123812e-07,2.123181e-07,2.115159e-07,2.113201e-07,2.106922e-07,2.102222e-07,2.098488e-07,2.090920e-07,2.089878e-07,2.081109e-07,2.079337e-07,2.072198e-07,2.067514e-07,2.063162e-07,2.055486e-07,2.054015e-07,2.044773e-07,2.043286e-07,2.035447e-07,2.030945e-07,2.026051e-07,2.018491e-07,2.016596e-07,2.007093e-07,2.005950e-07,1.997553e-07,1.993346e-07,1.987985e-07,1.980701e-07,1.978399e-07,1.968802e-07,1.968034e-07,1.959202e-07,1.955363e-07,1.949608e-07,1.942706e-07,1.940024e-07,1.930459e-07,1.930077e-07,1.920918e-07,1.917491e-07,1.911407e-07,1.904959e-07,1.901930e-07,1.892493e-07,1.880104e-07,1.867801e-07,1.855592e-07,1.843485e-07,1.831487e-07,1.819604e-07,1.807841e-07,1.796203e-07,1.784694e-07,1.773317e-07,1.762077e-07,1.750975e-07,1.740014e-07,1.729196e-07,1.718522e-07,1.707994e-07,1.697612e-07,1.687378e-07,1.677291e-07,1.667352e-07,1.657561e-07,1.647917e-07,1.638420e-07,1.629070e-07
0.000000e+00,2.574154e-11,1.208115e-10,1.142101e-09,4.834642e-09,9.220113e-09,3.576787e-08,3.751934e-08,1.058723e-07,1.354301e-07,2.387005e-07,3.606972e-07,4.635458e-07,7.773683e-07,8.103348e-07,1.310333e-06,1.456506e-06,1.992867e-06,2.463318e-06,2.879411e-06,3.835529e-06,3.978622e-06,5.286072e-06,5.571448e-06,6.787967e-06,7.639705e-06,8.465690e-06,9.996106e-06,1.029907e-05,1.226800e-05,1.259429e-05,1.435285e-05,1.538910e-05,1.653441e-05,1.833655e-05,1.879372e-05,2.111187e-05,2.139311e-05,2.347011e-05,2.451568e-05,2.585003e-05,2.766222e-05,2.823373e-05,3.060418e-05,3.079276e-05,3.294547e-05,3.387051e-05,3.524303e-05,3.686281e-05,3.748382e-05,3.965646e-05,3.974180e-05,4.175126e-05,4.248474e-05,4.376024e-05,4.507405e-05,4.567710e-05,4.749708e-05,4.921689e-05,4.974572e-05,5.083457e-05,5.181587e-05,5.234932e-05,5.370685e-05,5.376138e-05,5.507185e-05,5.542082e-05,5.628260e-05,5.696218e-05,5.739607e-05,5.833708e-05,5.841522e-05,5.934335e-05,5.955296e-05,6.018409e-05,6.061813e-05,6.094122e-05,6.154145e-05,6.161867e-05,6.222043e-05,6.233205e-05,6.275051e-05,6.299915e-05,6.321288e-05,6.355182e-05,6.361146e-05,6.395007e-05,6.399893e-05,6.423242e-05,6.434903e-05,6.446210e-05,6.461025e-05,6.464256e-05,6.477710e-05,6.479031e-05,6.486887e-05,6.489649e-05,6.492090e-05,6.493563e-05,6.493605e-05,6.491703e-05,6.491411e-05,6.486640e-05,6.483785e-05,6.478659e-05,6.471233e-05,6.467985e-05,6.454834e-05,6.454260e-05,6.439407e-05,6.433333e-05,6.421894e-05,6.408884e-05,6.402472e-05,6.381309e-05,6.358561e-05,6.350971e-05,6.334373e-05,6.318200e-05,6.308881e-05,6.283300e-05,6.282213e-05,6.254488e-05,6.246551e-05,6.225817e-05,6.208204e-05,6.196305e-05,6.168493e-05,6.166047e-05,6.135135e-05,6.127627e-05,6.103650e-05,6.085798e-05,6.071671e-05,6.043179e-05,6.039270e-05,6.006515e-05,5.999927e-05,5.973468e-05,5.956187e-05,5.940186e-05,5.912088e-05,5.906724e-05,5.873131e-05,5.867747e-05,5.839453e-05,5.823270e-05,5.805732e-05,5.778751e-05,5.772007e-05,5.738315e-05,5.734276e-05,5.704689e-05,5.689922e-05,5.671158e-05,5.645756e-05,5.637752e-05,5.604495e-05,5.601842e-05,5.571412e-05,5.558233e-05,5.538525e-05,5.514977e-05,5.505852e-05,5.473411e-05,5.472118e-05,5.441219e-05,5.429694e-05,5.409291e-05,5.387737e-05,5.377639e-05,5.346276e-05,5.305337e-05,5.264940e-05,5.225104e-05,5.185845e-05,5.147175e-05,5.109104e-05,5.071640e-05,5.034790e-05,4.998558e-05,4.962946e-05,4.927957e-05,4.893589e-05,4.859842e-05,4.826714e-05,4.794201e-05,4.762300e-05,4.731005e-05,4.700312e-05,4.670214e-05,4.640704e-05,4.611776e-05,4.583423e-05,4.555636e-05,4.528408e-05
0.000000e+00,3.009983e-11,6.962910e-11,2.424160e-10,5.556926e-10,8.136946e-10,1.863801e-09,1.920680e-09,3.753640e-09,4.425773e-09,6.530263e-09,8.752033e-09,1.049945e-08,1.541556e-08,1.590529e-08,2.288782e-08,2.479763e-08,3.141331e-08,3.681103e-08,4.134407e-08,5.113371e-08,5.254016e-08,6.489234e-08,6.749365e-08,7.831408e-08,8.569033e-08,9.272804e-08,1.055460e-07,1.080568e-07,1.242179e-07,1.268751e-07,1.411226e-07,1.494734e-07,1.586760e-07,1.731188e-07,1.767782e-07,1.953260e-07,1.975767e-07,2.142154e-07,2.226083e-07,2.333434e-07,2.479784e-07,2.526097e-07,2.719185e-07,2.734623e-07,2.911803e-07,2.988531e-07,3.103123e-07,3.239645e-07,3.292394e-07,3.478940e-07,3.486336e-07,3.662166e-07,3.727212e-07,3.841555e-07,3.961121e-07,4.016668e-07,4.187133e-07,4.352649e-07,4.404528e-07,4.512973e-07,4.612768e-07,4.667919e-07,4.811482e-07,4.817352e-07,4.961179e-07,5.000438e-07,5.099349e-07,5.179526e-07,5.231842e-07,5.348731e-07,5.358670e-07,5.479869e-07,5.508125e-07,5.595497e-07,5.657843e-07,5.705630e-07,5.798074e-07,5.810359e-07,5.909787e-07,5.929047e-07,6.004028e-07,6.051023e-07,6.093202e-07,6.164286e-07,6.177437e-07,6.256865e-07,6.269137e-07,6.331622e-07,6.365886e-07,6.401844e-07,6.454852e-07,6.467672e-07,6.529245e-07,6.536354e-07,6.586702e-07,6.610714e-07,6.640181e-07,6.678249e-07,6.689819e-07,6.735753e-07,6.739272e-07,6.778116e-07,6.794091e-07,6.817039e-07,6.843007e-07,6.852652e-07,6.885079e-07,6.886312e-07,6.914446e-07,6.924292e-07,6.940873e-07,6.957224e-07,6.964477e-07,6.985373e-07,7.003674e-07,7.008999e-07,7.019487e-07,7.028350e-07,7.032918e-07,7.043666e-07,7.044069e-07,7.053041e-07,7.055176e-07,7.059929e-07,7.063101e-07,7.064828e-07,7.067654e-07,7.067826e-07,7.069014e-07,7.069038e-07,7.068474e-07,7.067447e-07,7.066288e-07,7.063068e-07,7.062538e-07,7.057297e-07,7.056077e-07,7.050642e-07,7.046645e-07,7.042642e-07,7.034934e-07,7.033368e-07,7.022884e-07,7.021099e-07,7.011255e-07,7.005285e-07,6.998544e-07,6.987634e-07,6.984808e-07,6.970106e-07,6.968280e-07,6.954492e-07,6.947347e-07,6.938020e-07,6.924958e-07,6.920740e-07,6.902702e-07,6.901227e-07,6.883951e-07,6.876262e-07,6.864535e-07,6.850167e-07,6.844495e-07,6.823874e-07,6.823038e-07,6.802712e-07,6.794969e-07,6.781047e-07,6.766047e-07,6.758916e-07,6.736355e-07,6.705971e-07,6.674969e-07,6.643419e-07,6.611388e-07,6.578936e-07,6.546123e-07,6.513004e-07,6.479631e-07,6.446052e-07,6.412312e-07,6.378456e-07,6.344522e-07,6.310549e-07,6.276572e-07,6.242624e-07,6.208734e-07,6.174933e-07,6.141246e-07,6.107698e-07,6.074312e-07,6.041110e-07,6.008110e-07,5.975332e-07,5.942791e-07
0.000000e+00,1.682339e-11,3.890597e-11,1.356160e-10,3.116976e-10,4.573580e-10,1.055476e-09,1.088094e-09,2.149671e-09,2.543479e-09,3.789580e-09,5.123003e-09,6.182142e-09,9.198562e-09,9.501366e-09,1.384657e-08,1.504040e-08,1.917724e-08,2.254250e-08,2.535548e-08,3.137799e-08,3.223685e-08,3.970890e-08,4.126641e-08,4.768709e-08,5.201254e-08,5.610248e-08,6.346381e-08,6.489304e-08,7.399924e-08,7.548159e-08,8.336244e-08,8.793104e-08,9.292485e-08,1.006803e-07,1.026302e-07,1.124245e-07,1.136034e-07,1.222572e-07,1.265836e-07,1.320816e-07,1.395163e-07,1.418553e-07,1.515406e-07,1.523106e-07,1.611047e-07,1.648898e-07,1.705190e-07,1.771910e-07,1.797596e-07,1.888064e-07,1.891640e-07,1.976433e-07,2.007705e-07,2.062571e-07,2.119819e-07,2.146379e-07,2.227780e-07,2.306723e-07,2.331460e-07,2.383173e-07,2.430785e-07,2.457113e-07,2.525730e-07,2.528539e-07,2.597458e-07,2.616308e-07,2.663886e-07,2.702558e-07,2.727850e-07,2.784545e-07,2.789379e-07,2.848510e-07,2.862350e-07,2.905285e-07,2.936065e-07,2.959747e-07,3.005798e-07,3.011943e-07,3.061923e-07,3.071658e-07,3.109737e-07,3.133762e-07,3.155437e-07,3.192229e-07,3.199075e-07,3.240704e-07,3.247181e-07,3.280377e-07,3.298741e-07,3.318147e-07,3.347030e-07,3.354068e-07,3.388192e-07,3.392169e-07,3.420571e-07,3.434278e-07,3.451257e-07,3.473477e-07,3.480300e-07,3.507751e-07,3.509880e-07,3.533660e-07,3.543602e-07,3.558073e-07,3.574753e-07,3.581041e-07,3.602608e-07,3.603442e-07,3.622821e-07,3.629775e-07,3.641725e-07,3.653854e-07,3.659363e-07,3.675779e-07,3.691015e-07,3.695647e-07,3.705110e-07,3.713552e-07,3.718106e-07,3.729584e-07,3.730041e-07,3.740954e-07,3.743831e-07,3.750880e-07,3.756377e-07,3.759856e-07,3.767306e-07,3.767918e-07,3.775099e-07,3.776695e-07,3.781432e-07,3.784620e-07,3.786950e-07,3.791156e-07,3.791683e-07,3.795663e-07,3.796372e-07,3.798919e-07,3.800336e-07,3.801480e-07,3.803114e-07,3.803373e-07,3.804625e-07,3.804768e-07,3.805263e-07,3.805359e-07,3.805313e-07,3.804944e-07,3.804797e-07,3.803742e-07,3.803580e-07,3.802169e-07,3.801319e-07,3.800101e-07,3.798212e-07,3.797560e-07,3.794567e-07,3.794308e-07,3.791142e-07,3.789655e-07,3.787304e-07,3.784297e-07,3.783074e-07,3.778468e-07,3.778276e-07,3.773506e-07,3.771635e-07,3.768204e-07,3.764413e-07,3.762579e-07,3.756646e-07,3.748372e-07,3.739623e-07,3.730434e-07,3.720835e-07,3.710856e-07,3.700526e-07,3.689871e-07,3.678918e-07,3.667691e-07,3.656213e-07,3.644507e-07,3.632595e-07,3.620495e-07,3.608228e-07,3.595812e-07,3.583263e-07,3.570599e-07,3.557834e-07,3.544984e-07,3.532063e-07,3.519083e-07,3.506058e-07,3.492999e-07,3.479917e-07
0.000000e+00,8.446325e-11,3.427724e-10,2.472719e-09,8.472699e-09,1.458247e-08,4.522328e-08,4.706407e-08,1.125040e-07,1.387529e-07,2.264643e-07,3.262282e-07,4.088535e-07,6.570579e-07,6.828786e-07,1.068191e-06,1.178253e-06,1.570589e-06,1.899559e-06,2.179361e-06,2.787777e-06,2.875214e-06,3.639044e-06,3.798546e-06,4.455517e-06,4.896905e-06,5.312975e-06,6.058146e-06,6.202233e-06,7.115539e-06,7.263428e-06,8.045955e-06,8.496726e-06,8.987040e-06,9.743510e-06,9.932742e-06,1.087741e-05,1.099045e-05,1.181582e-05,1.222550e-05,1.274325e-05,1.343814e-05,1.365549e-05,1.454889e-05,1.461945e-05,1.542033e-05,1.576216e-05,1.626724e-05,1.686065e-05,1.708756e-05,1.787971e-05,1.791079e-05,1.864249e-05,1.890974e-05,1.937511e-05,1.985581e-05,2.007709e-05,2.074824e-05,2.138858e-05,2.158702e-05,2.199835e-05,2.237274e-05,2.257795e-05,2.310646e-05,2.312790e-05,2.364883e-05,2.378958e-05,2.414144e-05,2.442374e-05,2.460651e-05,2.501076e-05,2.504486e-05,2.545733e-05,2.555257e-05,2.584479e-05,2.605117e-05,2.620812e-05,2.650858e-05,2.654819e-05,2.686589e-05,2.692682e-05,2.716208e-05,2.730788e-05,2.743762e-05,2.765374e-05,2.769336e-05,2.793012e-05,2.796629e-05,2.814870e-05,2.824739e-05,2.834989e-05,2.849883e-05,2.853445e-05,2.870312e-05,2.872233e-05,2.885663e-05,2.891954e-05,2.899565e-05,2.909205e-05,2.912088e-05,2.923294e-05,2.924136e-05,2.933247e-05,2.936891e-05,2.942008e-05,2.947610e-05,2.949634e-05,2.956180e-05,2.956421e-05,2.961702e-05,2.963449e-05,2.966250e-05,2.968813e-05,2.969875e-05,2.972623e-05,2.974542e-05,2.974987e-05,2.975673e-05,2.976005e-05,2.976061e-05,2.975771e-05,2.975745e-05,2.974764e-05,2.974375e-05,2.973155e-05,2.971903e-05,2.970953e-05,2.968434e-05,2.968193e-05,2.964907e-05,2.964043e-05,2.961126e-05,2.958803e-05,2.956879e-05,2.952781e-05,2.952196e-05,2.947104e-05,2.946039e-05,2.941628e-05,2.938637e-05,2.935793e-05,2.930632e-05,2.929623e-05,2.923140e-05,2.922075e-05,2.916366e-05,2.913018e-05,2.909322e-05,2.903505e-05,2.902027e-05,2.894500e-05,2.893582e-05,2.886758e-05,2.883288e-05,2.878818e-05,2.872662e-05,2.870698e-05,2.862411e-05,2.861741e-05,2.853973e-05,2.850558e-05,2.845397e-05,2.839145e-05,2.836697e-05,2.827886e-05,2.827531e-05,2.818974e-05,2.815744e-05,2.809974e-05,2.803809e-05,2.800896e-05,2.791751e-05,2.779593e-05,2.767354e-05,2.755055e-05,2.742713e-05,2.730346e-05,2.717969e-05,2.705597e-05,2.693243e-05,2.680919e-05,2.668638e-05,2.656409e-05,2.644242e-05,2.632147e-05,2.620131e-05,2.608202e-05,2.596367e-05,2.584632e-05,2.573003e-05,2.561485e-05,2.550082e-05,2.538800e-05,2.527641e-05,2.516608e-05,2.505706e-05
0.000000e+00,1.900681e-10,9.778648e-10,1.117013e-08,5.612472e-08,1.175679e-07,5.812393e-07,6.157554e-07,2.213194e-06,3.024627e-06,6.299527e-06,1.089988e-05,1.529834e-05,3.115631e-05,3.300929e-05,6.471570e-05,7.511247e-05,1.169436e-04,1.578637e-04,1.970080e-04,2.965418e-04,3.125273e-04,4.710020e-04,5.084828e-04,6.794808e-04,8.097923e-04,9.443121e-04,1.214348e-03,1.270964e-03,1.663898e-03,1.733161e-03,2.126498e-03,2.373997e-03,2.661020e-03,3.141216e-03,3.268590e-03,3.949221e-03,4.035767e-03,4.701858e-03,5.055334e-03,5.524443e-03,6.194589e-03,6.413999e-03,7.366731e-03,7.445548e-03,8.378132e-03,8.797995e-03,9.443103e-03,1.023994e-02,1.055607e-02,1.171111e-02,1.175810e-02,1.290204e-02,1.333836e-02,1.412259e-02,1.496625e-02,1.536643e-02,1.662730e-02,1.789910e-02,1.830742e-02,1.917595e-02,1.999317e-02,2.045223e-02,2.167201e-02,2.172265e-02,2.298228e-02,2.333241e-02,2.422658e-02,2.496406e-02,2.545140e-02,2.655783e-02,2.665302e-02,2.782811e-02,2.810585e-02,2.897375e-02,2.960149e-02,3.008743e-02,3.103933e-02,3.116702e-02,3.221076e-02,3.241507e-02,3.321722e-02,3.372548e-02,3.418531e-02,3.496827e-02,3.511424e-02,3.600348e-02,3.614205e-02,3.685276e-02,3.724620e-02,3.766204e-02,3.828076e-02,3.843148e-02,3.916141e-02,3.924637e-02,3.985233e-02,4.014413e-02,4.050487e-02,4.097560e-02,4.111980e-02,4.169795e-02,4.174264e-02,4.224026e-02,4.244737e-02,4.274774e-02,4.309215e-02,4.322144e-02,4.366246e-02,4.367944e-02,4.407193e-02,4.421184e-02,4.445100e-02,4.469200e-02,4.480083e-02,4.512258e-02,4.541740e-02,4.550625e-02,4.568645e-02,4.584564e-02,4.593085e-02,4.614333e-02,4.615173e-02,4.635016e-02,4.640185e-02,4.652722e-02,4.662363e-02,4.668394e-02,4.681103e-02,4.682133e-02,4.694036e-02,4.696630e-02,4.704197e-02,4.709161e-02,4.712708e-02,4.718900e-02,4.719654e-02,4.725121e-02,4.726044e-02,4.729189e-02,4.730777e-02,4.731934e-02,4.733273e-02,4.733432e-02,4.733752e-02,4.733698e-02,4.732961e-02,4.732206e-02,4.731124e-02,4.728943e-02,4.728303e-02,4.724555e-02,4.724046e-02,4.719937e-02,4.717642e-02,4.714500e-02,4.709852e-02,4.708295e-02,4.701370e-02,4.700786e-02,4.693769e-02,4.690550e-02,4.685536e-02,4.679240e-02,4.676712e-02,4.667335e-02,4.666949e-02,4.657441e-02,4.653759e-02,4.647065e-02,4.639751e-02,4.636240e-02,4.624998e-02,4.609567e-02,4.593523e-02,4.576924e-02,4.559825e-02,4.542278e-02,4.524329e-02,4.506024e-02,4.487401e-02,4.468501e-02,4.449358e-02,4.430004e-02,4.410470e-02,4.390785e-02,4.370975e-02,4.351064e-02,4.331075e-02,4.311028e-02,4.290943e-02,4.270839e-02,4.250731e-02,4.230635e-02,4.210567e-02,4.190538e-02,4.170561e-02
0.000000e+00,1.631451e-10,4.724900e-10,2.095925e-09,5.379882e-09,8.214334e-09,2.024006e-08,2.090459e-08,4.268507e-08,5.078999e-08,7.639070e-08,1.036029e-07,1.250154e-07,1.847344e-07,1.906204e-07,2.732211e-07,2.954425e-07,3.715874e-07,4.330887e-07,4.844916e-07,5.951106e-07,6.109781e-07,7.502005e-07,7.794969e-07,9.012709e-07,9.841826e-07,1.063187e-06,1.206750e-06,1.234812e-06,1.414890e-06,1.444398e-06,1.602072e-06,1.694034e-06,1.794961e-06,1.952432e-06,1.992145e-06,2.192240e-06,2.216383e-06,2.393916e-06,2.482831e-06,2.595931e-06,2.748980e-06,2.797140e-06,2.996516e-06,3.012359e-06,3.193153e-06,3.270860e-06,3.386265e-06,3.522745e-06,3.575187e-06,3.759369e-06,3.766631e-06,3.938366e-06,4.001465e-06,4.111829e-06,4.226487e-06,4.279498e-06,4.441189e-06,4.596787e-06,4.645280e-06,4.746232e-06,4.838643e-06,4.889517e-06,5.021305e-06,5.026675e-06,5.157772e-06,5.193406e-06,5.282905e-06,5.355171e-06,5.402193e-06,5.506892e-06,5.515772e-06,5.623792e-06,5.648908e-06,5.726416e-06,5.781591e-06,5.823812e-06,5.905332e-06,5.916152e-06,6.003614e-06,6.020537e-06,6.086375e-06,6.127612e-06,6.164612e-06,6.226965e-06,6.238502e-06,6.308219e-06,6.318997e-06,6.373932e-06,6.404102e-06,6.435810e-06,6.482660e-06,6.494015e-06,6.548706e-06,6.555040e-06,6.600038e-06,6.621598e-06,6.648159e-06,6.682673e-06,6.693214e-06,6.735343e-06,6.738591e-06,6.774680e-06,6.789663e-06,6.811356e-06,6.836184e-06,6.845494e-06,6.877215e-06,6.878435e-06,6.906634e-06,6.916683e-06,6.933863e-06,6.951181e-06,6.959006e-06,6.982168e-06,7.003444e-06,7.009870e-06,7.022929e-06,7.034501e-06,7.040713e-06,7.056264e-06,7.056881e-06,7.071515e-06,7.075349e-06,7.084695e-06,7.091936e-06,7.096495e-06,7.106195e-06,7.106988e-06,7.116241e-06,7.118285e-06,7.124322e-06,7.128358e-06,7.131291e-06,7.136554e-06,7.137210e-06,7.142136e-06,7.143007e-06,7.146122e-06,7.147842e-06,7.149222e-06,7.151177e-06,7.151485e-06,7.152958e-06,7.153124e-06,7.153687e-06,7.153786e-06,7.153715e-06,7.153260e-06,7.153083e-06,7.151830e-06,7.151640e-06,7.149994e-06,7.149010e-06,7.147610e-06,7.145452e-06,7.144712e-06,7.141332e-06,7.141042e-06,7.137502e-06,7.135851e-06,7.133251e-06,7.129944e-06,7.128606e-06,7.123593e-06,7.123386e-06,7.118240e-06,7.116233e-06,7.112568e-06,7.108541e-06,7.106601e-06,7.100362e-06,7.091742e-06,7.082727e-06,7.073358e-06,7.063675e-06,7.053714e-06,7.043509e-06,7.033091e-06,7.022491e-06,7.011736e-06,7.000851e-06,6.989861e-06,6.978787e-06,6.967651e-06,6.956471e-06,6.945265e-06,6.934049e-06,6.922838e-06,6.911647e-06,6.900488e-06,6.889374e-06,6.878314e-06,6.867319e-06,6.856399e-06,6.845561e-06
0.000000e+00,2.007305e-12,1.012302e-11,1.107530e-10,5.335943e-10,1.090777e-09,5.034540e-09,5.317589e-09,1.767218e-08,2.359698e-08,4.618529e-08,7.571593e-08,1.024524e-07,1.919196e-07,2.018947e-07,3.638359e-07,4.144770e-07,6.110916e-07,7.960914e-07,9.685928e-07,1.394021e-06,1.460988e-06,2.109908e-06,2.260027e-06,2.931752e-06,3.431015e-06,3.936438e-06,4.924153e-06,5.127091e-06,6.500422e-06,6.736583e-06,8.047535e-06,8.848058e-06,9.754917e-06,1.122482e-05,1.160547e-05,1.357947e-05,1.382364e-05,1.565551e-05,1.659555e-05,1.781124e-05,1.948896e-05,2.002404e-05,2.227164e-05,2.245230e-05,2.453256e-05,2.543608e-05,2.678655e-05,2.839455e-05,2.901487e-05,3.120054e-05,3.128686e-05,3.332851e-05,3.407789e-05,3.538577e-05,3.673863e-05,3.736134e-05,3.924634e-05,4.103383e-05,4.158436e-05,4.271876e-05,4.374171e-05,4.429784e-05,4.571256e-05,4.576935e-05,4.713298e-05,4.749557e-05,4.838968e-05,4.909317e-05,4.954145e-05,5.051084e-05,5.059114e-05,5.154235e-05,5.175644e-05,5.239921e-05,5.283952e-05,5.316626e-05,5.377079e-05,5.384832e-05,5.445039e-05,5.456165e-05,5.497752e-05,5.522369e-05,5.543477e-05,5.576850e-05,5.582711e-05,5.615938e-05,5.620728e-05,5.643623e-05,5.655076e-05,5.666213e-05,5.680901e-05,5.684131e-05,5.697774e-05,5.699142e-05,5.707517e-05,5.710658e-05,5.713707e-05,5.716236e-05,5.716669e-05,5.716701e-05,5.716586e-05,5.714080e-05,5.712346e-05,5.709058e-05,5.704088e-05,5.701869e-05,5.692725e-05,5.692321e-05,5.681819e-05,5.677496e-05,5.669329e-05,5.660014e-05,5.655416e-05,5.640226e-05,5.623893e-05,5.618445e-05,5.606538e-05,5.594946e-05,5.588271e-05,5.569970e-05,5.569192e-05,5.549392e-05,5.543730e-05,5.528953e-05,5.516414e-05,5.507950e-05,5.488188e-05,5.486452e-05,5.464520e-05,5.459198e-05,5.442211e-05,5.429573e-05,5.419578e-05,5.399429e-05,5.396666e-05,5.373519e-05,5.368865e-05,5.350176e-05,5.337973e-05,5.326673e-05,5.306831e-05,5.303043e-05,5.279317e-05,5.275514e-05,5.255522e-05,5.244083e-05,5.231683e-05,5.212597e-05,5.207825e-05,5.183967e-05,5.181105e-05,5.160132e-05,5.149655e-05,5.136335e-05,5.118286e-05,5.112594e-05,5.088925e-05,5.087035e-05,5.065341e-05,5.055934e-05,5.041854e-05,5.025012e-05,5.018478e-05,4.995223e-05,4.994296e-05,4.972099e-05,4.963808e-05,4.949115e-05,4.933571e-05,4.926280e-05,4.903602e-05,4.873918e-05,4.844534e-05,4.815462e-05,4.786714e-05,4.758300e-05,4.730227e-05,4.702505e-05,4.675139e-05,4.648133e-05,4.621494e-05,4.595224e-05,4.569325e-05,4.543801e-05,4.518652e-05,4.493879e-05,4.469482e-05,4.445462e-05,4.421818e-05,4.398548e-05,4.375651e-05,4.353125e-05,4.330968e-05,4.309177e-05,4.287751e-05
0.000000e+00,4.566947e-12,2.220568e-11,2.252849e-10,1.013480e-09,1.995349e-09,8.357545e-09,8.792585e-09,2.652617e-08,3.449551e-08,6.315210e-08,9.803126e-08,1.279691e-07,2.210058e-07,2.308742e-07,3.817198e-07,4.261071e-07,5.898051e-07,7.344881e-07,8.634477e-07,1.163996e-06,1.209536e-06,1.632985e-06,1.727218e-06,2.136169e-06,2.429271e-06,2.718531e-06,3.266426e-06,3.376576e-06,4.104225e-06,4.226591e-06,4.893404e-06,5.291332e-06,5.734685e-06,6.438392e-06,6.617883e-06,7.532532e-06,7.643908e-06,8.468267e-06,8.884079e-06,9.415106e-06,1.013633e-05,1.036367e-05,1.130532e-05,1.138012e-05,1.223230e-05,1.259742e-05,1.313777e-05,1.377307e-05,1.401589e-05,1.486177e-05,1.489488e-05,1.567152e-05,1.595359e-05,1.644216e-05,1.694273e-05,1.717155e-05,1.785837e-05,1.850196e-05,1.869877e-05,1.910231e-05,1.946403e-05,1.965988e-05,2.015576e-05,2.017561e-05,2.065074e-05,2.077671e-05,2.108681e-05,2.133041e-05,2.148555e-05,2.182100e-05,2.184881e-05,2.217854e-05,2.225291e-05,2.247673e-05,2.263068e-05,2.274537e-05,2.295888e-05,2.298641e-05,2.320178e-05,2.324193e-05,2.339331e-05,2.348407e-05,2.356277e-05,2.368929e-05,2.371183e-05,2.384209e-05,2.386128e-05,2.395501e-05,2.400347e-05,2.405199e-05,2.411897e-05,2.413433e-05,2.420322e-05,2.421064e-05,2.425978e-05,2.428102e-05,2.430503e-05,2.433244e-05,2.433992e-05,2.436533e-05,2.436697e-05,2.438205e-05,2.438648e-05,2.439083e-05,2.439262e-05,2.439234e-05,2.438721e-05,2.438688e-05,2.437601e-05,2.437059e-05,2.435925e-05,2.434493e-05,2.433742e-05,2.431097e-05,2.428029e-05,2.426964e-05,2.424575e-05,2.422179e-05,2.420771e-05,2.416817e-05,2.416647e-05,2.412232e-05,2.410947e-05,2.407553e-05,2.404628e-05,2.402634e-05,2.397916e-05,2.397498e-05,2.392165e-05,2.390859e-05,2.386656e-05,2.383500e-05,2.380988e-05,2.375881e-05,2.375176e-05,2.369237e-05,2.368036e-05,2.363185e-05,2.359997e-05,2.357032e-05,2.351795e-05,2.350791e-05,2.344472e-05,2.343455e-05,2.338087e-05,2.335002e-05,2.331645e-05,2.326457e-05,2.325155e-05,2.318626e-05,2.317840e-05,2.312064e-05,2.309169e-05,2.305478e-05,2.300460e-05,2.298874e-05,2.292259e-05,2.291729e-05,2.285637e-05,2.282988e-05,2.279015e-05,2.274250e-05,2.272398e-05,2.265791e-05,2.265527e-05,2.259197e-05,2.256827e-05,2.252620e-05,2.248161e-05,2.246066e-05,2.239536e-05,2.230961e-05,2.222443e-05,2.213986e-05,2.205598e-05,2.197283e-05,2.189046e-05,2.180891e-05,2.172821e-05,2.164839e-05,2.156950e-05,2.149154e-05,2.141455e-05,2.133854e-05,2.126353e-05,2.118953e-05,2.111656e-05,2.104463e-05,2.097374e-05,2.090389e-05,2.083510e-05,2.076737e-05,2.070069e-05,2.063507e-05,2.057051e-05
0.000000e+00,1.465975e-11,7.561345e-11,8.671585e-10,4.362864e-09,9.134278e-09,4.484854e-08,4.748910e-08,1.677364e-07,2.276701e-07,4.640846e-07,7.856642e-07,1.085131e-06,2.124967e-06,2.243642e-06,4.223345e-06,4.858828e-06,7.381519e-06,9.821574e-06,1.214569e-05,1.805281e-05,1.900361e-05,2.848767e-05,3.074851e-05,4.115603e-05,4.918947e-05,5.757237e-05,7.466124e-05,7.828599e-05,1.038130e-04,1.083760e-04,1.346196e-04,1.514028e-04,1.711073e-04,2.046095e-04,2.136017e-04,2.623434e-04,2.686203e-04,3.174827e-04,3.437890e-04,3.790771e-04,4.301875e-04,4.470912e-04,5.213999e-04,5.276108e-04,6.017935e-04,6.355927e-04,6.879844e-04,7.534337e-04,7.796158e-04,8.762705e-04,8.802347e-04,9.774816e-04,1.014936e-03,1.082742e-03,1.156359e-03,1.191515e-03,1.303245e-03,1.417364e-03,1.454293e-03,1.533303e-03,1.608200e-03,1.650501e-03,1.763683e-03,1.768406e-03,1.886488e-03,1.919512e-03,2.004238e-03,2.074529e-03,2.121178e-03,2.227661e-03,2.236860e-03,2.350867e-03,2.377937e-03,2.462821e-03,2.524489e-03,2.572378e-03,2.666562e-03,2.679232e-03,2.783112e-03,2.803510e-03,2.883783e-03,2.934796e-03,2.981045e-03,3.059988e-03,3.074732e-03,3.164709e-03,3.178753e-03,3.250871e-03,3.290850e-03,3.333142e-03,3.396122e-03,3.411471e-03,3.485832e-03,3.494489e-03,3.556222e-03,3.585938e-03,3.622654e-03,3.670518e-03,3.685165e-03,3.743802e-03,3.748328e-03,3.798631e-03,3.819512e-03,3.849726e-03,3.884253e-03,3.897177e-03,3.941077e-03,3.942761e-03,3.981531e-03,3.995272e-03,4.018649e-03,4.042042e-03,4.052545e-03,4.083338e-03,4.111148e-03,4.119437e-03,4.136099e-03,4.150624e-03,4.158314e-03,4.177181e-03,4.177917e-03,4.195031e-03,4.199394e-03,4.209779e-03,4.217542e-03,4.222280e-03,4.231899e-03,4.232653e-03,4.241014e-03,4.242734e-03,4.247475e-03,4.250305e-03,4.252147e-03,4.254863e-03,4.255137e-03,4.256547e-03,4.256648e-03,4.256477e-03,4.255888e-03,4.255023e-03,4.252800e-03,4.252278e-03,4.248329e-03,4.247591e-03,4.243262e-03,4.240456e-03,4.237157e-03,4.231578e-03,4.230092e-03,4.222139e-03,4.221129e-03,4.213370e-03,4.209271e-03,4.203851e-03,4.196153e-03,4.193644e-03,4.182810e-03,4.181918e-03,4.171405e-03,4.166695e-03,4.159482e-03,4.150605e-03,4.147091e-03,4.134281e-03,4.133761e-03,4.121096e-03,4.116265e-03,4.107577e-03,4.098215e-03,4.093765e-03,4.079697e-03,4.060792e-03,4.041575e-03,4.022113e-03,4.002468e-03,3.982696e-03,3.962848e-03,3.942971e-03,3.923106e-03,3.903293e-03,3.883564e-03,3.863951e-03,3.844481e-03,3.825178e-03,3.806065e-03,3.787160e-03,3.768480e-03,3.750040e-03,3.731853e-03,3.713930e-03,3.696280e-03,3.678912e-03,3.661831e-03,3.645043e-03,3.628553e-03
0.000000e+00,3.814974e-12,1.925895e-11,2.111575e-10,1.019269e-09,2.085667e-09,9.648109e-09,1.019133e-08,3.391761e-08,4.529783e-08,8.866250e-08,1.452735e-07,1.964374e-07,3.670095e-07,3.859678e-07,6.921868e-07,7.873795e-07,1.154726e-06,1.497568e-06,1.815242e-06,2.592456e-06,2.714166e-06,3.887749e-06,4.158185e-06,5.365876e-06,6.262547e-06,7.170718e-06,8.949621e-06,9.316081e-06,1.180727e-05,1.223787e-05,1.464132e-05,1.612058e-05,1.780752e-05,2.056793e-05,2.128813e-05,2.505923e-05,2.552994e-05,2.909170e-05,3.094035e-05,3.335231e-05,3.672070e-05,3.780476e-05,4.241082e-05,4.278477e-05,4.713134e-05,4.904282e-05,5.192725e-05,5.540552e-05,5.676042e-05,6.159442e-05,6.178731e-05,6.639517e-05,6.810918e-05,7.113138e-05,7.430065e-05,7.577492e-05,8.030102e-05,8.468839e-05,8.606004e-05,8.891921e-05,9.153798e-05,9.297905e-05,9.670518e-05,9.685667e-05,1.005439e-04,1.015413e-04,1.040352e-04,1.060346e-04,1.073276e-04,1.101803e-04,1.104204e-04,1.133147e-04,1.139801e-04,1.160133e-04,1.174405e-04,1.185203e-04,1.205721e-04,1.208410e-04,1.229815e-04,1.233886e-04,1.249487e-04,1.259056e-04,1.267500e-04,1.281403e-04,1.283929e-04,1.298854e-04,1.301107e-04,1.312354e-04,1.318351e-04,1.324508e-04,1.333316e-04,1.335396e-04,1.345093e-04,1.346180e-04,1.353674e-04,1.357115e-04,1.361212e-04,1.366285e-04,1.367775e-04,1.373429e-04,1.373844e-04,1.378238e-04,1.379938e-04,1.382261e-04,1.384702e-04,1.385554e-04,1.388171e-04,1.388262e-04,1.390162e-04,1.390734e-04,1.391573e-04,1.392225e-04,1.392449e-04,1.392831e-04,1.392758e-04,1.392644e-04,1.392265e-04,1.391744e-04,1.391385e-04,1.390206e-04,1.390151e-04,1.388590e-04,1.388098e-04,1.386731e-04,1.385482e-04,1.384597e-04,1.382412e-04,1.382213e-04,1.379600e-04,1.378941e-04,1.376779e-04,1.375114e-04,1.373767e-04,1.370973e-04,1.370582e-04,1.367241e-04,1.366556e-04,1.363759e-04,1.361897e-04,1.360149e-04,1.357027e-04,1.356424e-04,1.352596e-04,1.351974e-04,1.348676e-04,1.346765e-04,1.344675e-04,1.341422e-04,1.340602e-04,1.336466e-04,1.335966e-04,1.332275e-04,1.330416e-04,1.328037e-04,1.324790e-04,1.323760e-04,1.319449e-04,1.319103e-04,1.315111e-04,1.313369e-04,1.310752e-04,1.307602e-04,1.306376e-04,1.301989e-04,1.301813e-04,1.297595e-04,1.296013e-04,1.293199e-04,1.290210e-04,1.288805e-04,1.284415e-04,1.278633e-04,1.272874e-04,1.267142e-04,1.261444e-04,1.255785e-04,1.250169e-04,1.244601e-04,1.239084e-04,1.233621e-04,1.228217e-04,1.222872e-04,1.217590e-04,1.212372e-04,1.207220e-04,1.202136e-04,1.197121e-04,1.192176e-04,1.187302e-04,1.182499e-04,1.177769e-04,1.173111e-04,1.168526e-04,1.164014e-04,1.159576e-04
0.000000e+00,1.226208e-11,6.281759e-11,7.101682e-10,3.525679e-09,7.326796e-09,3.527483e-08,3.732144e-08,1.291998e-07,1.743900e-07,3.504638e-07,5.864013e-07,8.036623e-07,1.546219e-06,1.630081e-06,3.010706e-06,3.448053e-06,5.163719e-06,6.798470e-06,8.337623e-06,1.218749e-05,1.280009e-05,1.882418e-05,2.023996e-05,2.667411e-05,3.155922e-05,3.659199e-05,4.667508e-05,4.878664e-05,6.342468e-05,6.600213e-05,8.062418e-05,8.981113e-05,1.004509e-04,1.182137e-04,1.229168e-04,1.479812e-04,1.511597e-04,1.755530e-04,1.884452e-04,2.054955e-04,2.297300e-04,2.376321e-04,2.717519e-04,2.745603e-04,3.076178e-04,3.223960e-04,3.449726e-04,3.726388e-04,3.835464e-04,4.230631e-04,4.246594e-04,4.632461e-04,4.778226e-04,5.038242e-04,5.315089e-04,5.445357e-04,5.851324e-04,6.253825e-04,6.381540e-04,6.650730e-04,6.900913e-04,7.040110e-04,7.405241e-04,7.420250e-04,7.789648e-04,7.890974e-04,8.147018e-04,8.355210e-04,8.491283e-04,8.795675e-04,8.821566e-04,9.137182e-04,9.210687e-04,9.437622e-04,9.599105e-04,9.722541e-04,9.960272e-04,9.991743e-04,1.024516e-03,1.029396e-03,1.048286e-03,1.060030e-03,1.070500e-03,1.087975e-03,1.091182e-03,1.110367e-03,1.113300e-03,1.128092e-03,1.136095e-03,1.144403e-03,1.156466e-03,1.159349e-03,1.172981e-03,1.174531e-03,1.185354e-03,1.190414e-03,1.196525e-03,1.204246e-03,1.206550e-03,1.215488e-03,1.216158e-03,1.223395e-03,1.226282e-03,1.230328e-03,1.234749e-03,1.236344e-03,1.241496e-03,1.241685e-03,1.245839e-03,1.247214e-03,1.249423e-03,1.251453e-03,1.252299e-03,1.254515e-03,1.256115e-03,1.256505e-03,1.257145e-03,1.257523e-03,1.257645e-03,1.257664e-03,1.257655e-03,1.257213e-03,1.257013e-03,1.256355e-03,1.255653e-03,1.255113e-03,1.253659e-03,1.253520e-03,1.251605e-03,1.251100e-03,1.249396e-03,1.248040e-03,1.246919e-03,1.244538e-03,1.244199e-03,1.241259e-03,1.240647e-03,1.238120e-03,1.236417e-03,1.234803e-03,1.231892e-03,1.231325e-03,1.227705e-03,1.227114e-03,1.223958e-03,1.222119e-03,1.220099e-03,1.216942e-03,1.216143e-03,1.212102e-03,1.211612e-03,1.207989e-03,1.206158e-03,1.203813e-03,1.200605e-03,1.199587e-03,1.195318e-03,1.194975e-03,1.191017e-03,1.189289e-03,1.186690e-03,1.183564e-03,1.182346e-03,1.177991e-03,1.177817e-03,1.173632e-03,1.172063e-03,1.169274e-03,1.166315e-03,1.164923e-03,1.160584e-03,1.154881e-03,1.149215e-03,1.143595e-03,1.138027e-03,1.132518e-03,1.127073e-03,1.121698e-03,1.116396e-03,1.111171e-03,1.106026e-03,1.100963e-03,1.095985e-03,1.091094e-03,1.086290e-03,1.081575e-03,1.076949e-03,1.072414e-03,1.067969e-03,1.063615e-03,1.059351e-03,1.055177e-03,1.051093e-03,1.047098e-03,1.043191e-03
0.000000e+00,4.914009e-12,2.530352e-11,2.892109e-10,1.450579e-09,3.031791e-09,1.481950e-08,1.568917e-08,5.516855e-08,7.478956e-08,1.519856e-07,2.566667e-07,3.539306e-07,6.906240e-07,7.289739e-07,1.367160e-06,1.571525e-06,2.381078e-06,3.162061e-06,3.904481e-06,5.786651e-06,6.089081e-06,9.100036e-06,9.816562e-06,1.311069e-05,1.564978e-05,1.829702e-05,2.368892e-05,2.483209e-05,3.288068e-05,3.431926e-05,4.259432e-05,4.788837e-05,5.410685e-05,6.468834e-05,6.753057e-05,8.295325e-05,8.494149e-05,1.004359e-04,1.087903e-04,1.200112e-04,1.362916e-04,1.416833e-04,1.654278e-04,1.674156e-04,1.911930e-04,2.020484e-04,2.189014e-04,2.399989e-04,2.484520e-04,2.797230e-04,2.810077e-04,3.125747e-04,3.247589e-04,3.468525e-04,3.708918e-04,3.823907e-04,4.190148e-04,4.565454e-04,4.687170e-04,4.948008e-04,5.195807e-04,5.335996e-04,5.711920e-04,5.727634e-04,6.121189e-04,6.231499e-04,6.514995e-04,6.750738e-04,6.907472e-04,7.266097e-04,7.297134e-04,7.682602e-04,7.774348e-04,8.062611e-04,8.272597e-04,8.436009e-04,8.758309e-04,8.801765e-04,9.158966e-04,9.229308e-04,9.506817e-04,9.683772e-04,9.844634e-04,1.012022e-03,1.017184e-03,1.048798e-03,1.053751e-03,1.079267e-03,1.093477e-03,1.108564e-03,1.131144e-03,1.136669e-03,1.163571e-03,1.166718e-03,1.189265e-03,1.200189e-03,1.213754e-03,1.231564e-03,1.237046e-03,1.259152e-03,1.260870e-03,1.280091e-03,1.288144e-03,1.299884e-03,1.313438e-03,1.318554e-03,1.336130e-03,1.336811e-03,1.352641e-03,1.358330e-03,1.368118e-03,1.378069e-03,1.382595e-03,1.396104e-03,1.408681e-03,1.412514e-03,1.420361e-03,1.427381e-03,1.431178e-03,1.440785e-03,1.441169e-03,1.450369e-03,1.452807e-03,1.458811e-03,1.463527e-03,1.466531e-03,1.473023e-03,1.473561e-03,1.479934e-03,1.481369e-03,1.485682e-03,1.488639e-03,1.490836e-03,1.494903e-03,1.495425e-03,1.499479e-03,1.500228e-03,1.503026e-03,1.504678e-03,1.506091e-03,1.508313e-03,1.508701e-03,1.510881e-03,1.511191e-03,1.512654e-03,1.513367e-03,1.514043e-03,1.514892e-03,1.515069e-03,1.515753e-03,1.515813e-03,1.516115e-03,1.516176e-03,1.516172e-03,1.516024e-03,1.515944e-03,1.515447e-03,1.515396e-03,1.514696e-03,1.514328e-03,1.513707e-03,1.512857e-03,1.512496e-03,1.511074e-03,1.511013e-03,1.509455e-03,1.508827e-03,1.507652e-03,1.506327e-03,1.505677e-03,1.503539e-03,1.500487e-03,1.497194e-03,1.493680e-03,1.489966e-03,1.486069e-03,1.482006e-03,1.477792e-03,1.473443e-03,1.468971e-03,1.464389e-03,1.459709e-03,1.454942e-03,1.450097e-03,1.445184e-03,1.440212e-03,1.435189e-03,1.430121e-03,1.425017e-03,1.419883e-03,1.414724e-03,1.409547e-03,1.404356e-03,1.399156e-03,1.393953e-03
0.000000e+00,9.491143e-11,4.030242e-10,3.151907e-09,1.146761e-08,2.030322e-08,6.693406e-08,6.981131e-08,1.751399e-07,2.185612e-07,3.667052e-07,5.389082e-07,6.831237e-07,1.117555e-06,1.162514e-06,1.822392e-06,2.006774e-06,2.650710e-06,3.177644e-06,3.618918e-06,4.563496e-06,4.698026e-06,5.865188e-06,6.107607e-06,7.103307e-06,7.770572e-06,8.398770e-06,9.522473e-06,9.739574e-06,1.111428e-05,1.133663e-05,1.251167e-05,1.318721e-05,1.392069e-05,1.504907e-05,1.533064e-05,1.673140e-05,1.689842e-05,1.811366e-05,1.871380e-05,1.946905e-05,2.047667e-05,2.079031e-05,2.207129e-05,2.217188e-05,2.330700e-05,2.378770e-05,2.449352e-05,2.531567e-05,2.562791e-05,2.670820e-05,2.675026e-05,2.773320e-05,2.808857e-05,2.870249e-05,2.932982e-05,2.961619e-05,3.047495e-05,3.127982e-05,3.152620e-05,3.203209e-05,3.248665e-05,3.273332e-05,3.336012e-05,3.338527e-05,3.398979e-05,3.415082e-05,3.454884e-05,3.486328e-05,3.506443e-05,3.550213e-05,3.553858e-05,3.597328e-05,3.607196e-05,3.637052e-05,3.657733e-05,3.673223e-05,3.702264e-05,3.706030e-05,3.735655e-05,3.741214e-05,3.762274e-05,3.774985e-05,3.786057e-05,3.803961e-05,3.807166e-05,3.825755e-05,3.828506e-05,3.841974e-05,3.848959e-05,3.855963e-05,3.865640e-05,3.867857e-05,3.877783e-05,3.878847e-05,3.885861e-05,3.888861e-05,3.892208e-05,3.895940e-05,3.896931e-05,3.900135e-05,3.900328e-05,3.901915e-05,3.902250e-05,3.902365e-05,3.901914e-05,3.901571e-05,3.899617e-05,3.899516e-05,3.896579e-05,3.895235e-05,3.892532e-05,3.889239e-05,3.887545e-05,3.881682e-05,3.875007e-05,3.872708e-05,3.867576e-05,3.862450e-05,3.859446e-05,3.851030e-05,3.850667e-05,3.841289e-05,3.838562e-05,3.831358e-05,3.825151e-05,3.820916e-05,3.810895e-05,3.810006e-05,3.798664e-05,3.795882e-05,3.786928e-05,3.780196e-05,3.774831e-05,3.763914e-05,3.762406e-05,3.749683e-05,3.747105e-05,3.736690e-05,3.729836e-05,3.723453e-05,3.712165e-05,3.709999e-05,3.696350e-05,3.694150e-05,3.682529e-05,3.675839e-05,3.668556e-05,3.657282e-05,3.654451e-05,3.640233e-05,3.638520e-05,3.625918e-05,3.619594e-05,3.611524e-05,3.600540e-05,3.597064e-05,3.582554e-05,3.581391e-05,3.568007e-05,3.562180e-05,3.553434e-05,3.542934e-05,3.538849e-05,3.524262e-05,3.523678e-05,3.509682e-05,3.504437e-05,3.495120e-05,3.485233e-05,3.480585e-05,3.466085e-05,3.447012e-05,3.428029e-05,3.409152e-05,3.390395e-05,3.371770e-05,3.353288e-05,3.334959e-05,3.316793e-05,3.298796e-05,3.280978e-05,3.263343e-05,3.245898e-05,3.228648e-05,3.211597e-05,3.194748e-05,3.178106e-05,3.161673e-05,3.145450e-05,3.129440e-05,3.113645e-05,3.098065e-05,3.082701e-05,3.067553e-05,3.052623e-05
0.000000e+00,3.992375e-12,1.980963e-11,2.095697e-10,9.793520e-10,1.968874e-09,8.706037e-09,9.179547e-09,2.924725e-08,3.861068e-08,7.345078e-08,1.176956e-07,1.569162e-07,2.844689e-07,2.984277e-07,5.201197e-07,5.879710e-07,8.467636e-07,1.085160e-06,1.304108e-06,1.833803e-06,1.916097e-06,2.701720e-06,2.880855e-06,3.672702e-06,4.252377e-06,4.832641e-06,5.950269e-06,6.177514e-06,7.696980e-06,7.955343e-06,9.375971e-06,1.023327e-05,1.119621e-05,1.274057e-05,1.313750e-05,1.517869e-05,1.542933e-05,1.729838e-05,1.825045e-05,1.947547e-05,2.115585e-05,2.168954e-05,2.392108e-05,2.409980e-05,2.615179e-05,2.703999e-05,2.836469e-05,2.993821e-05,3.054431e-05,3.267678e-05,3.276092e-05,3.474991e-05,3.547964e-05,3.675322e-05,3.807106e-05,3.867797e-05,4.051712e-05,4.226523e-05,4.280473e-05,4.391844e-05,4.492550e-05,4.547429e-05,4.687521e-05,4.693160e-05,4.829036e-05,4.865326e-05,4.955153e-05,5.026212e-05,5.071694e-05,5.170671e-05,5.178913e-05,5.277117e-05,5.299384e-05,5.366662e-05,5.413168e-05,5.447934e-05,5.512933e-05,5.521340e-05,5.587302e-05,5.599639e-05,5.646249e-05,5.674270e-05,5.698605e-05,5.737800e-05,5.744792e-05,5.785220e-05,5.791181e-05,5.820285e-05,5.835323e-05,5.850366e-05,5.871088e-05,5.875828e-05,5.897014e-05,5.899284e-05,5.914248e-05,5.920659e-05,5.927836e-05,5.935900e-05,5.938062e-05,5.945192e-05,5.945636e-05,5.949474e-05,5.950441e-05,5.951137e-05,5.950834e-05,5.950395e-05,5.947445e-05,5.947284e-05,5.942468e-05,5.940213e-05,5.935633e-05,5.930003e-05,5.927094e-05,5.916994e-05,5.905465e-05,5.901494e-05,5.892628e-05,5.883778e-05,5.878595e-05,5.864094e-05,5.863469e-05,5.847344e-05,5.842662e-05,5.830308e-05,5.819682e-05,5.812441e-05,5.795333e-05,5.793817e-05,5.774506e-05,5.769776e-05,5.754570e-05,5.743156e-05,5.734069e-05,5.715603e-05,5.713056e-05,5.691581e-05,5.687235e-05,5.669691e-05,5.658158e-05,5.647429e-05,5.628470e-05,5.624834e-05,5.601943e-05,5.598255e-05,5.578791e-05,5.567594e-05,5.555409e-05,5.536558e-05,5.531827e-05,5.508073e-05,5.505212e-05,5.484172e-05,5.473616e-05,5.460148e-05,5.441822e-05,5.436024e-05,5.411819e-05,5.409880e-05,5.387554e-05,5.377835e-05,5.363246e-05,5.345727e-05,5.338911e-05,5.314567e-05,5.313593e-05,5.290226e-05,5.281467e-05,5.265904e-05,5.249381e-05,5.241612e-05,5.217362e-05,5.185436e-05,5.153627e-05,5.121955e-05,5.090441e-05,5.059102e-05,5.027954e-05,4.997013e-05,4.966291e-05,4.935800e-05,4.905552e-05,4.875556e-05,4.845821e-05,4.816354e-05,4.787164e-05,4.758255e-05,4.729634e-05,4.701304e-05,4.673272e-05,4.645539e-05,4.618110e-05,4.590986e-05,4.564169e-05,4.537662e-05,4.511466e-05
0.000000e+00,1.536692e-11,7.927311e-11,9.094996e-10,4.578234e-09,9.588642e-09,4.714011e-08,4.991887e-08,1.766722e-07,2.399666e-07,4.901858e-07,8.316319e-07,1.150500e-06,2.262993e-06,2.390408e-06,4.526853e-06,5.216466e-06,7.969068e-06,1.065089e-05,1.322010e-05,1.980283e-05,2.086840e-05,3.156960e-05,3.413717e-05,4.602171e-05,5.525613e-05,6.493814e-05,8.479271e-05,8.902128e-05,1.189384e-04,1.243083e-04,1.553005e-04,1.752045e-04,1.986448e-04,2.386523e-04,2.494202e-04,3.079765e-04,3.155389e-04,3.745572e-04,4.064330e-04,4.492945e-04,5.115664e-04,5.322083e-04,6.232078e-04,6.308318e-04,7.220950e-04,7.637949e-04,8.285716e-04,9.097179e-04,9.422465e-04,1.062645e-03,1.067594e-03,1.189222e-03,1.236186e-03,1.321368e-03,1.414076e-03,1.458427e-03,1.599706e-03,1.744484e-03,1.791432e-03,1.892027e-03,1.987565e-03,2.041597e-03,2.186412e-03,2.192463e-03,2.343905e-03,2.386318e-03,2.495230e-03,2.585690e-03,2.645771e-03,2.783033e-03,2.794897e-03,2.942014e-03,2.976961e-03,3.086574e-03,3.166221e-03,3.228073e-03,3.349696e-03,3.366054e-03,3.500107e-03,3.526414e-03,3.629874e-03,3.695552e-03,3.755040e-03,3.856429e-03,3.875340e-03,3.990554e-03,4.008504e-03,4.100505e-03,4.151370e-03,4.205057e-03,4.284745e-03,4.304113e-03,4.397615e-03,4.408460e-03,4.485535e-03,4.522451e-03,4.567878e-03,4.626748e-03,4.644676e-03,4.715989e-03,4.721460e-03,4.781898e-03,4.806770e-03,4.842502e-03,4.882920e-03,4.897923e-03,4.948293e-03,4.950204e-03,4.993759e-03,5.008957e-03,5.034480e-03,5.059543e-03,5.070621e-03,5.102356e-03,5.129865e-03,5.137804e-03,5.153328e-03,5.166308e-03,5.172932e-03,5.188292e-03,5.188861e-03,5.201300e-03,5.204183e-03,5.210435e-03,5.214405e-03,5.216447e-03,5.219374e-03,5.219516e-03,5.219817e-03,5.219496e-03,5.217522e-03,5.215166e-03,5.212799e-03,5.206763e-03,5.205809e-03,5.196711e-03,5.194652e-03,5.185655e-03,5.179181e-03,5.172787e-03,5.160680e-03,5.158247e-03,5.142168e-03,5.139461e-03,5.124678e-03,5.115818e-03,5.105901e-03,5.090029e-03,5.085950e-03,5.064939e-03,5.062351e-03,5.042970e-03,5.033026e-03,5.020143e-03,5.002279e-03,4.996552e-03,4.972285e-03,4.970317e-03,4.947425e-03,4.937332e-03,4.922049e-03,4.903501e-03,4.896231e-03,4.870040e-03,4.868985e-03,4.843539e-03,4.833934e-03,4.816788e-03,4.798483e-03,4.789843e-03,4.762756e-03,4.726863e-03,4.690907e-03,4.654979e-03,4.619161e-03,4.583526e-03,4.548138e-03,4.513057e-03,4.478333e-03,4.444011e-03,4.410130e-03,4.376723e-03,4.343821e-03,4.311446e-03,4.279620e-03,4.248360e-03,4.217680e-03,4.187589e-03,4.158096e-03,4.129206e-03,4.100924e-03,4.073249e-03,4.046183e-03,4.019723e-03,3.993866e-03
0.000000e+00,1.046347e-11,5.352910e-11,6.034162e-10,2.987939e-09,6.200594e-09,2.974737e-08,3.146886e-08,1.085784e-07,1.464300e-07,2.936703e-07,4.906261e-07,6.717924e-07,1.290305e-06,1.360126e-06,2.509620e-06,2.873959e-06,4.305207e-06,5.672824e-06,6.964588e-06,1.021523e-05,1.073517e-05,1.588843e-05,1.711008e-05,2.271106e-05,2.701517e-05,3.149340e-05,4.059110e-05,4.251635e-05,5.603870e-05,5.844985e-05,7.228617e-05,8.110873e-05,9.144285e-05,1.089564e-04,1.136454e-04,1.389798e-04,1.422326e-04,1.674802e-04,1.810208e-04,1.991297e-04,2.252505e-04,2.338622e-04,2.715661e-04,2.747065e-04,3.120883e-04,3.290448e-04,3.552387e-04,3.878111e-04,4.007957e-04,4.485113e-04,4.504611e-04,4.981168e-04,5.163830e-04,5.493280e-04,5.849192e-04,6.018511e-04,6.553869e-04,7.096360e-04,7.270980e-04,7.643033e-04,7.993767e-04,8.191014e-04,8.715741e-04,8.737541e-04,9.279995e-04,9.430813e-04,9.815920e-04,1.013339e-03,1.034305e-03,1.081844e-03,1.085929e-03,1.136280e-03,1.148155e-03,1.185190e-03,1.211895e-03,1.232514e-03,1.272750e-03,1.278130e-03,1.321933e-03,1.330469e-03,1.363840e-03,1.384860e-03,1.403786e-03,1.435791e-03,1.441724e-03,1.477623e-03,1.483177e-03,1.511468e-03,1.526982e-03,1.543256e-03,1.567212e-03,1.572998e-03,1.600715e-03,1.603907e-03,1.626441e-03,1.637139e-03,1.650214e-03,1.667004e-03,1.672081e-03,1.692097e-03,1.693620e-03,1.710320e-03,1.717121e-03,1.726812e-03,1.737652e-03,1.741639e-03,1.754870e-03,1.755367e-03,1.766573e-03,1.770426e-03,1.776821e-03,1.782993e-03,1.785682e-03,1.793229e-03,1.799531e-03,1.801295e-03,1.804657e-03,1.807351e-03,1.808674e-03,1.811550e-03,1.811650e-03,1.813648e-03,1.814040e-03,1.814730e-03,1.814964e-03,1.814956e-03,1.814457e-03,1.814384e-03,1.813069e-03,1.812649e-03,1.811064e-03,1.809660e-03,1.808421e-03,1.805604e-03,1.805186e-03,1.801406e-03,1.800588e-03,1.797124e-03,1.794713e-03,1.792382e-03,1.788071e-03,1.787218e-03,1.781670e-03,1.780748e-03,1.775771e-03,1.772825e-03,1.769555e-03,1.764374e-03,1.763052e-03,1.756291e-03,1.755464e-03,1.749299e-03,1.746156e-03,1.742101e-03,1.736508e-03,1.734722e-03,1.727182e-03,1.726573e-03,1.719503e-03,1.716397e-03,1.711705e-03,1.706025e-03,1.703804e-03,1.695817e-03,1.695496e-03,1.687761e-03,1.684846e-03,1.679649e-03,1.674108e-03,1.671495e-03,1.663311e-03,1.652482e-03,1.641645e-03,1.630821e-03,1.620030e-03,1.609290e-03,1.598615e-03,1.588020e-03,1.577516e-03,1.567115e-03,1.556825e-03,1.546656e-03,1.536614e-03,1.526705e-03,1.516936e-03,1.507309e-03,1.497830e-03,1.488500e-03,1.479324e-03,1.470301e-03,1.461435e-03,1.452725e-03,1.444173e-03,1.435779e-03,1.427541e-03
0.000000e+00,9.271720e-11,2.418985e-10,9.531100e-10,2.305033e-09,3.436565e-09,8.072196e-09,8.323037e-09,1.633979e-08,1.924105e-08,2.818641e-08,3.741882e-08,4.454837e-08,6.414120e-08,6.606496e-08,9.319510e-08,1.005607e-07,1.260289e-07,1.468112e-07,1.642831e-07,2.020709e-07,2.075039e-07,2.552208e-07,2.652635e-07,3.069786e-07,3.353387e-07,3.623211e-07,4.112344e-07,4.207763e-07,4.818510e-07,4.918321e-07,5.450354e-07,5.759613e-07,6.098119e-07,6.624333e-07,6.756661e-07,7.420986e-07,7.500865e-07,8.086354e-07,8.378298e-07,8.748362e-07,9.246764e-07,9.403010e-07,1.004674e-06,1.009768e-06,1.067647e-06,1.092384e-06,1.128958e-06,1.171949e-06,1.188390e-06,1.245770e-06,1.248021e-06,1.300966e-06,1.320282e-06,1.353881e-06,1.388526e-06,1.404450e-06,1.452640e-06,1.498438e-06,1.512590e-06,1.541856e-06,1.568405e-06,1.582919e-06,1.620164e-06,1.621670e-06,1.658162e-06,1.667983e-06,1.692456e-06,1.712006e-06,1.724621e-06,1.752395e-06,1.754730e-06,1.782860e-06,1.789326e-06,1.809090e-06,1.822979e-06,1.833501e-06,1.853540e-06,1.856171e-06,1.877181e-06,1.881190e-06,1.896608e-06,1.906110e-06,1.914529e-06,1.928474e-06,1.931019e-06,1.946149e-06,1.948449e-06,1.959990e-06,1.966196e-06,1.972610e-06,1.981869e-06,1.984071e-06,1.994438e-06,1.995611e-06,2.003769e-06,2.007560e-06,2.012120e-06,2.017845e-06,2.019546e-06,2.026098e-06,2.026586e-06,2.031826e-06,2.033897e-06,2.036776e-06,2.039883e-06,2.040993e-06,2.044518e-06,2.044646e-06,2.047393e-06,2.048276e-06,2.049655e-06,2.050862e-06,2.051340e-06,2.052483e-06,2.053115e-06,2.053215e-06,2.053269e-06,2.053129e-06,2.052972e-06,2.052289e-06,2.052253e-06,2.051137e-06,2.050758e-06,2.049651e-06,2.048590e-06,2.047816e-06,2.045840e-06,2.045655e-06,2.043190e-06,2.042555e-06,2.040440e-06,2.038783e-06,2.037424e-06,2.034564e-06,2.034160e-06,2.030665e-06,2.029939e-06,2.026954e-06,2.024945e-06,2.023044e-06,2.019615e-06,2.018948e-06,2.014680e-06,2.013982e-06,2.010252e-06,2.008074e-06,2.005677e-06,2.001919e-06,2.000966e-06,1.996130e-06,1.995542e-06,1.991180e-06,1.988968e-06,1.986124e-06,1.982217e-06,1.980972e-06,1.975734e-06,1.975311e-06,1.970416e-06,1.968268e-06,1.965027e-06,1.961106e-06,1.959574e-06,1.954063e-06,1.953842e-06,1.948502e-06,1.946489e-06,1.942897e-06,1.939063e-06,1.937253e-06,1.931576e-06,1.924041e-06,1.916468e-06,1.908868e-06,1.901250e-06,1.893624e-06,1.885996e-06,1.878376e-06,1.870770e-06,1.863185e-06,1.855625e-06,1.848098e-06,1.840607e-06,1.833158e-06,1.825754e-06,1.818400e-06,1.811098e-06,1.803853e-06,1.796667e-06,1.789543e-06,1.782482e-06,1.775488e-06,1.768563e-06,1.761707e-06,1.754923e-06
0.000000e+00,7.767918e-11,4.021311e-10,4.648701e-09,2.357343e-08,4.958340e-08,2.466988e-07,2.613766e-07,9.377207e-07,1.278802e-06,2.640481e-06,4.521560e-06,6.294395e-06,1.255362e-05,1.327553e-05,2.546141e-05,2.941451e-05,4.522903e-05,6.064973e-05,7.541126e-05,1.131349e-04,1.192268e-04,1.801926e-04,1.947686e-04,2.620255e-04,3.140894e-04,3.685353e-04,4.798522e-04,5.035157e-04,6.706359e-04,7.005917e-04,8.733376e-04,9.842038e-04,1.114741e-03,1.337572e-03,1.397566e-03,1.724062e-03,1.766265e-03,2.095963e-03,2.274309e-03,2.514452e-03,2.864062e-03,2.980145e-03,3.493096e-03,3.536162e-03,4.052803e-03,4.289565e-03,4.658242e-03,5.121643e-03,5.307898e-03,5.999812e-03,6.028336e-03,6.731631e-03,7.004344e-03,7.500658e-03,8.043338e-03,8.303912e-03,9.138181e-03,1.000008e-02,1.028115e-02,1.088609e-02,1.146414e-02,1.179263e-02,1.267888e-02,1.271610e-02,1.365288e-02,1.391708e-02,1.459942e-02,1.517059e-02,1.555227e-02,1.643157e-02,1.650806e-02,1.746358e-02,1.769252e-02,1.841576e-02,1.894644e-02,1.936171e-02,2.018682e-02,2.029870e-02,2.122423e-02,2.140776e-02,2.213597e-02,2.260391e-02,2.303179e-02,2.377056e-02,2.390976e-02,2.476817e-02,2.490359e-02,2.560547e-02,2.599947e-02,2.642032e-02,2.705525e-02,2.721156e-02,2.797820e-02,2.806851e-02,2.871943e-02,2.903735e-02,2.943459e-02,2.996036e-02,3.012317e-02,3.078479e-02,3.083655e-02,3.141922e-02,3.166534e-02,3.202633e-02,3.244653e-02,3.260612e-02,3.315867e-02,3.318021e-02,3.368418e-02,3.386679e-02,3.418291e-02,3.450692e-02,3.465520e-02,3.510147e-02,3.552216e-02,3.565147e-02,3.591782e-02,3.615815e-02,3.628899e-02,3.662284e-02,3.663628e-02,3.696032e-02,3.704698e-02,3.726178e-02,3.743209e-02,3.754132e-02,3.777974e-02,3.779964e-02,3.803746e-02,3.809156e-02,3.825549e-02,3.836920e-02,3.845444e-02,3.861432e-02,3.863504e-02,3.879801e-02,3.882855e-02,3.894406e-02,3.901356e-02,3.907390e-02,3.917094e-02,3.918822e-02,3.928771e-02,3.930230e-02,3.937304e-02,3.940916e-02,3.944487e-02,3.949306e-02,3.950386e-02,3.955061e-02,3.955543e-02,3.958576e-02,3.959771e-02,3.960990e-02,3.962124e-02,3.962360e-02,3.962743e-02,3.962733e-02,3.962193e-02,3.961723e-02,3.960761e-02,3.959214e-02,3.958500e-02,3.955456e-02,3.955319e-02,3.951677e-02,3.950146e-02,3.947209e-02,3.943798e-02,3.942093e-02,3.936372e-02,3.927960e-02,3.918649e-02,3.908520e-02,3.897651e-02,3.886114e-02,3.873976e-02,3.861302e-02,3.848151e-02,3.834579e-02,3.820637e-02,3.806373e-02,3.791834e-02,3.777060e-02,3.762091e-02,3.746963e-02,3.731709e-02,3.716360e-02,3.700945e-02,3.685490e-02,3.670020e-02,3.654556e-02,3.639120e-02,3.623729e-02,3.608402e-02
0.000000e+00,8.220307e-11,4.252358e-10,4.908313e-09,2.485555e-08,5.224100e-08,2.594326e-07,2.748475e-07,9.843313e-07,1.341768e-06,2.767567e-06,4.735452e-06,6.588961e-06,1.312754e-05,1.388125e-05,2.659374e-05,3.071413e-05,4.718334e-05,6.322291e-05,7.856120e-05,1.176996e-04,1.240128e-04,1.871019e-04,2.021633e-04,2.715648e-04,3.251937e-04,3.811985e-04,4.954864e-04,5.197477e-04,6.907943e-04,7.214037e-04,8.976546e-04,1.010553e-03,1.143286e-03,1.369416e-03,1.430209e-03,1.760445e-03,1.803059e-03,2.135470e-03,2.314925e-03,2.556191e-03,2.906721e-03,3.022932e-03,3.535447e-03,3.578405e-03,4.092931e-03,4.328237e-03,4.694064e-03,5.152914e-03,5.337046e-03,6.019648e-03,6.047740e-03,6.739270e-03,7.006843e-03,7.492995e-03,8.023399e-03,8.277653e-03,9.089872e-03,9.926141e-03,1.019824e-02,1.078286e-02,1.134022e-02,1.165640e-02,1.250744e-02,1.254311e-02,1.343943e-02,1.369164e-02,1.434184e-02,1.488481e-02,1.524698e-02,1.607930e-02,1.615158e-02,1.705257e-02,1.726794e-02,1.794704e-02,1.844407e-02,1.883227e-02,1.960164e-02,1.970576e-02,2.056519e-02,2.073520e-02,2.140847e-02,2.183995e-02,2.223369e-02,2.291169e-02,2.303918e-02,2.382345e-02,2.394687e-02,2.458520e-02,2.494252e-02,2.532335e-02,2.589625e-02,2.603697e-02,2.672531e-02,2.680618e-02,2.738778e-02,2.767095e-02,2.802395e-02,2.848965e-02,2.863351e-02,2.921631e-02,2.926178e-02,2.977230e-02,2.998719e-02,3.030153e-02,3.066611e-02,3.080418e-02,3.128049e-02,3.129900e-02,3.173080e-02,3.188662e-02,3.215550e-02,3.242991e-02,3.255507e-02,3.293002e-02,3.328091e-02,3.338822e-02,3.360837e-02,3.380593e-02,3.391302e-02,3.418465e-02,3.419554e-02,3.445660e-02,3.452596e-02,3.469693e-02,3.483147e-02,3.491723e-02,3.510284e-02,3.511823e-02,3.530066e-02,3.534176e-02,3.546524e-02,3.554989e-02,3.561271e-02,3.572889e-02,3.574378e-02,3.585915e-02,3.588041e-02,3.595954e-02,3.600605e-02,3.604562e-02,3.610738e-02,3.611808e-02,3.617757e-02,3.618593e-02,3.622474e-02,3.624319e-02,3.626022e-02,3.628058e-02,3.628460e-02,3.629849e-02,3.629948e-02,3.630246e-02,3.630121e-02,3.629706e-02,3.628702e-02,3.628282e-02,3.626026e-02,3.625811e-02,3.622987e-02,3.621563e-02,3.619213e-02,3.616066e-02,3.614750e-02,3.609640e-02,3.609423e-02,3.603928e-02,3.601731e-02,3.597651e-02,3.593081e-02,3.590850e-02,3.583560e-02,3.573249e-02,3.562224e-02,3.550556e-02,3.538313e-02,3.525557e-02,3.512346e-02,3.498734e-02,3.484774e-02,3.470510e-02,3.455989e-02,3.441249e-02,3.426329e-02,3.411264e-02,3.396085e-02,3.380823e-02,3.365505e-02,3.350156e-02,3.334800e-02,3.319457e-02,3.304147e-02,3.288888e-02,3.273696e-02,3.258587e-02,3.243572e-02
0.000000e+00,1.673516e-10,5.164795e-10,2.468607e-09,6.559283e-09,1.013359e-08,2.537356e-08,2.621498e-08,5.360950e-08,6.369827e-08,9.520101e-08,1.282020e-07,1.539559e-07,2.256777e-07,2.327820e-07,3.338219e-07,3.614615e-07,4.574386e-07,5.360386e-07,6.022146e-07,7.454475e-07,7.660441e-07,9.469084e-07,9.849634e-07,1.142993e-06,1.250400e-06,1.352573e-06,1.537773e-06,1.573902e-06,1.805172e-06,1.842974e-06,2.044511e-06,2.161697e-06,2.290003e-06,2.489540e-06,2.539735e-06,2.791831e-06,2.822155e-06,3.044498e-06,3.155416e-06,3.296060e-06,3.485557e-06,3.544981e-06,3.789886e-06,3.809268e-06,4.029576e-06,4.123755e-06,4.263022e-06,4.426751e-06,4.489371e-06,4.707937e-06,4.716510e-06,4.918186e-06,4.991760e-06,5.119727e-06,5.251661e-06,5.312296e-06,5.495743e-06,5.670013e-06,5.723844e-06,5.835135e-06,5.936054e-06,5.991206e-06,6.132664e-06,6.138382e-06,6.276865e-06,6.314113e-06,6.406891e-06,6.480957e-06,6.528726e-06,6.633825e-06,6.642656e-06,6.748979e-06,6.773399e-06,6.848003e-06,6.900386e-06,6.940042e-06,7.015505e-06,7.025407e-06,7.104409e-06,7.119473e-06,7.177354e-06,7.212991e-06,7.244541e-06,7.296742e-06,7.306262e-06,7.362799e-06,7.371383e-06,7.414425e-06,7.437539e-06,7.461403e-06,7.495808e-06,7.503984e-06,7.542411e-06,7.546754e-06,7.576914e-06,7.590909e-06,7.607713e-06,7.628773e-06,7.635019e-06,7.659032e-06,7.660817e-06,7.679942e-06,7.687478e-06,7.697930e-06,7.709169e-06,7.713167e-06,7.725817e-06,7.726271e-06,7.736033e-06,7.739143e-06,7.743961e-06,7.748117e-06,7.749740e-06,7.753502e-06,7.755370e-06,7.755588e-06,7.755462e-06,7.754641e-06,7.753890e-06,7.750911e-06,7.750757e-06,7.746163e-06,7.744629e-06,7.740204e-06,7.736009e-06,7.732966e-06,7.725252e-06,7.724535e-06,7.714990e-06,7.712542e-06,7.704406e-06,7.698051e-06,7.692853e-06,7.681939e-06,7.680399e-06,7.667107e-06,7.664353e-06,7.653037e-06,7.645432e-06,7.638245e-06,7.625301e-06,7.622785e-06,7.606707e-06,7.604080e-06,7.590058e-06,7.581878e-06,7.572885e-06,7.558797e-06,7.555229e-06,7.537130e-06,7.534930e-06,7.518627e-06,7.510366e-06,7.499754e-06,7.485186e-06,7.480547e-06,7.461036e-06,7.459463e-06,7.441252e-06,7.433268e-06,7.421223e-06,7.406666e-06,7.400977e-06,7.380537e-06,7.379716e-06,7.359929e-06,7.352473e-06,7.339174e-06,7.324988e-06,7.318294e-06,7.297308e-06,7.269479e-06,7.241539e-06,7.213526e-06,7.185476e-06,7.157419e-06,7.129385e-06,7.101402e-06,7.073494e-06,7.045683e-06,7.017992e-06,6.990439e-06,6.963043e-06,6.935819e-06,6.908782e-06,6.881946e-06,6.855323e-06,6.828924e-06,6.802759e-06,6.776838e-06,6.751169e-06,6.725758e-06,6.700613e-06,6.675739e-06,6.651142e-06
0.000000e+00,1.855473e-10,5.360421e-10,2.371134e-09,6.081174e-09,9.286194e-09,2.293097e-08,2.368733e-08,4.861036e-08,5.794694e-08,8.764412e-08,1.195555e-07,1.449363e-07,2.171330e-07,2.243629e-07,3.276140e-07,3.558157e-07,4.530504e-07,5.316690e-07,5.971046e-07,7.364390e-07,7.562289e-07,9.275773e-07,9.631076e-07,1.108889e-06,1.206463e-06,1.298243e-06,1.462228e-06,1.493883e-06,1.694153e-06,1.726519e-06,1.897463e-06,1.995684e-06,2.102301e-06,2.266317e-06,2.307252e-06,2.511018e-06,2.535334e-06,2.712433e-06,2.800042e-06,2.910473e-06,3.058181e-06,3.104261e-06,3.293072e-06,3.307943e-06,3.476313e-06,3.547942e-06,3.653521e-06,3.777175e-06,3.824348e-06,3.988548e-06,3.994976e-06,4.145967e-06,4.200962e-06,4.296533e-06,4.394988e-06,4.440220e-06,4.577056e-06,4.707126e-06,4.747336e-06,4.830539e-06,4.906095e-06,4.947438e-06,5.053682e-06,5.057984e-06,5.162353e-06,5.190495e-06,5.260734e-06,5.316969e-06,5.353323e-06,5.433562e-06,5.440321e-06,5.521931e-06,5.540738e-06,5.598356e-06,5.638965e-06,5.669800e-06,5.728708e-06,5.736462e-06,5.798540e-06,5.810422e-06,5.856226e-06,5.884550e-06,5.909709e-06,5.951520e-06,5.959172e-06,6.004792e-06,6.011747e-06,6.046744e-06,6.065626e-06,6.085193e-06,6.113539e-06,6.120301e-06,6.152225e-06,6.155849e-06,6.181114e-06,6.192901e-06,6.207112e-06,6.225024e-06,6.230359e-06,6.250989e-06,6.252531e-06,6.269131e-06,6.275718e-06,6.284906e-06,6.294867e-06,6.298435e-06,6.309829e-06,6.310242e-06,6.319199e-06,6.322097e-06,6.326649e-06,6.330668e-06,6.332277e-06,6.336181e-06,6.338451e-06,6.338846e-06,6.339174e-06,6.338865e-06,6.338435e-06,6.336424e-06,6.336314e-06,6.332886e-06,6.331702e-06,6.328226e-06,6.324867e-06,6.322402e-06,6.316074e-06,6.315482e-06,6.307529e-06,6.305473e-06,6.298604e-06,6.293203e-06,6.288765e-06,6.279395e-06,6.278067e-06,6.266564e-06,6.264171e-06,6.254304e-06,6.247647e-06,6.241338e-06,6.229932e-06,6.227709e-06,6.213462e-06,6.211128e-06,6.198639e-06,6.191330e-06,6.183278e-06,6.170628e-06,6.167418e-06,6.151095e-06,6.149107e-06,6.134342e-06,6.126844e-06,6.117193e-06,6.103914e-06,6.099678e-06,6.081827e-06,6.080385e-06,6.063668e-06,6.056324e-06,6.045227e-06,6.031790e-06,6.026530e-06,6.007601e-06,6.006839e-06,5.988463e-06,5.981526e-06,5.969137e-06,5.955899e-06,5.949644e-06,5.930004e-06,5.903886e-06,5.877583e-06,5.851135e-06,5.824575e-06,5.797936e-06,5.771249e-06,5.744542e-06,5.717840e-06,5.691169e-06,5.664551e-06,5.638006e-06,5.611554e-06,5.585213e-06,5.558998e-06,5.532926e-06,5.507011e-06,5.481264e-06,5.455699e-06,5.430325e-06,5.405153e-06,5.380191e-06,5.355447e-06,5.330930e-06,5.306646e-06
0.000000e+00,1.712975e-10,4.411564e-10,1.711485e-09,4.105212e-09,6.101171e-09,1.426341e-08,1.470524e-08,2.887129e-08,3.402618e-08,5.003263e-08,6.674099e-08,7.977611e-08,1.161727e-07,1.197897e-07,1.715352e-07,1.857929e-07,2.355992e-07,2.766178e-07,3.112011e-07,3.858161e-07,3.964905e-07,4.893294e-07,5.086292e-07,5.878139e-07,6.407297e-07,6.903939e-07,7.787971e-07,7.958081e-07,9.029909e-07,9.202403e-07,1.011005e-06,1.062895e-06,1.119002e-06,1.204862e-06,1.226203e-06,1.331898e-06,1.344448e-06,1.435439e-06,1.480164e-06,1.536252e-06,1.610734e-06,1.633837e-06,1.727769e-06,1.735114e-06,1.817692e-06,1.852477e-06,1.903339e-06,1.962238e-06,1.984503e-06,2.061048e-06,2.064013e-06,2.132901e-06,2.157613e-06,2.200037e-06,2.243008e-06,2.262483e-06,2.320304e-06,2.373598e-06,2.389716e-06,2.422490e-06,2.451538e-06,2.467127e-06,2.506126e-06,2.507672e-06,2.544299e-06,2.553877e-06,2.577191e-06,2.595211e-06,2.606534e-06,2.630558e-06,2.632517e-06,2.655328e-06,2.660351e-06,2.675151e-06,2.685015e-06,2.692168e-06,2.704961e-06,2.706554e-06,2.718480e-06,2.720584e-06,2.728108e-06,2.732259e-06,2.735595e-06,2.740338e-06,2.741090e-06,2.744734e-06,2.745154e-06,2.746661e-06,2.747014e-06,2.746999e-06,2.746205e-06,2.745867e-06,2.743377e-06,2.742992e-06,2.739637e-06,2.737620e-06,2.734745e-06,2.730314e-06,2.728794e-06,2.721874e-06,2.721281e-06,2.714065e-06,2.710709e-06,2.705443e-06,2.698774e-06,2.696082e-06,2.686047e-06,2.685632e-06,2.675401e-06,2.671430e-06,2.664202e-06,2.656299e-06,2.652504e-06,2.640358e-06,2.627812e-06,2.623719e-06,2.614907e-06,2.606480e-06,2.601686e-06,2.588732e-06,2.588187e-06,2.574443e-06,2.570556e-06,2.560489e-06,2.552028e-06,2.546354e-06,2.533214e-06,2.532066e-06,2.517651e-06,2.514175e-06,2.503134e-06,2.494968e-06,2.488537e-06,2.475641e-06,2.473880e-06,2.459183e-06,2.456240e-06,2.444463e-06,2.436805e-06,2.429736e-06,2.417372e-06,2.415018e-06,2.400322e-06,2.397973e-06,2.385661e-06,2.378640e-06,2.371047e-06,2.359396e-06,2.356490e-06,2.342000e-06,2.340266e-06,2.327587e-06,2.321271e-06,2.313258e-06,2.302429e-06,2.299021e-06,2.284882e-06,2.283756e-06,2.270849e-06,2.265266e-06,2.256926e-06,2.246973e-06,2.243119e-06,2.229431e-06,2.228886e-06,2.215868e-06,2.211017e-06,2.202433e-06,2.193371e-06,2.189128e-06,2.175958e-06,2.158782e-06,2.141848e-06,2.125160e-06,2.108722e-06,2.092536e-06,2.076603e-06,2.060924e-06,2.045501e-06,2.030332e-06,2.015418e-06,2.000758e-06,1.986350e-06,1.972194e-06,1.958287e-06,1.944627e-06,1.931212e-06,1.918040e-06,1.905108e-06,1.892413e-06,1.879952e-06,1.867722e-06,1.855720e-06,1.843943e-06,1.832387e-06
0.000000e+00,2.943037e-10,8.564743e-10,3.823876e-09,9.851886e-09,1.506478e-08,3.720120e-08,3.842404e-08,7.841674e-08,9.324520e-08,1.398905e-07,1.892518e-07,2.280701e-07,3.371972e-07,3.480687e-07,5.033711e-07,5.459731e-07,6.938617e-07,8.146069e-07,9.158304e-07,1.133200e-06,1.164247e-06,1.434514e-06,1.490841e-06,1.722795e-06,1.878706e-06,2.025778e-06,2.289443e-06,2.340461e-06,2.664046e-06,2.716469e-06,2.993917e-06,3.153768e-06,3.327651e-06,3.595929e-06,3.663042e-06,3.998121e-06,4.038225e-06,4.331162e-06,4.476662e-06,4.660678e-06,4.907973e-06,4.985416e-06,5.304335e-06,5.329571e-06,5.616585e-06,5.739459e-06,5.921486e-06,6.136166e-06,6.218514e-06,6.507259e-06,6.518632e-06,6.787424e-06,6.886142e-06,7.058807e-06,7.238261e-06,7.321277e-06,7.574767e-06,7.819266e-06,7.895610e-06,8.054802e-06,8.200872e-06,8.281444e-06,8.490737e-06,8.499283e-06,8.708437e-06,8.765462e-06,8.909041e-06,9.025360e-06,9.101244e-06,9.270792e-06,9.285210e-06,9.461110e-06,9.502146e-06,9.629124e-06,9.719836e-06,9.789436e-06,9.924289e-06,9.942235e-06,1.008771e-05,1.011595e-05,1.022606e-05,1.029525e-05,1.035747e-05,1.046264e-05,1.048215e-05,1.060027e-05,1.061858e-05,1.071205e-05,1.076350e-05,1.081766e-05,1.089784e-05,1.091729e-05,1.101115e-05,1.102203e-05,1.109940e-05,1.113650e-05,1.118224e-05,1.124168e-05,1.125983e-05,1.133236e-05,1.133795e-05,1.140000e-05,1.142573e-05,1.146293e-05,1.150540e-05,1.152129e-05,1.157527e-05,1.157734e-05,1.162501e-05,1.164191e-05,1.167067e-05,1.169947e-05,1.171240e-05,1.175036e-05,1.178468e-05,1.179492e-05,1.181551e-05,1.183347e-05,1.184298e-05,1.186631e-05,1.186722e-05,1.188837e-05,1.189376e-05,1.190655e-05,1.191609e-05,1.192189e-05,1.193358e-05,1.193449e-05,1.194449e-05,1.194651e-05,1.195198e-05,1.195512e-05,1.195708e-05,1.195967e-05,1.195990e-05,1.196052e-05,1.196040e-05,1.195907e-05,1.195752e-05,1.195562e-05,1.195126e-05,1.195028e-05,1.194313e-05,1.194182e-05,1.193426e-05,1.192941e-05,1.192375e-05,1.191422e-05,1.191169e-05,1.189814e-05,1.189642e-05,1.188320e-05,1.187620e-05,1.186693e-05,1.185372e-05,1.184940e-05,1.183069e-05,1.182914e-05,1.181085e-05,1.180261e-05,1.178995e-05,1.177427e-05,1.176805e-05,1.174520e-05,1.174427e-05,1.172148e-05,1.171273e-05,1.169693e-05,1.167979e-05,1.167160e-05,1.164554e-05,1.161012e-05,1.157363e-05,1.153617e-05,1.149783e-05,1.145871e-05,1.141889e-05,1.137846e-05,1.133749e-05,1.129606e-05,1.125423e-05,1.121208e-05,1.116966e-05,1.112702e-05,1.108424e-05,1.104135e-05,1.099840e-05,1.095545e-05,1.091253e-05,1.086968e-05,1.082694e-05,1.078435e-05,1.074193e-05,1.069973e-05,1.065775e-05
0.000000e+00,2.664791e-11,1.178771e-10,9.932958e-10,3.820363e-09,6.936554e-09,2.396035e-08,2.502308e-08,6.384880e-08,7.963942e-08,1.322073e-07,1.909554e-07,2.386137e-07,3.771212e-07,3.912135e-07,5.976391e-07,6.559528e-07,8.644223e-07,1.041955e-06,1.196018e-06,1.542901e-06,1.594195e-06,2.058325e-06,2.158890e-06,2.586205e-06,2.884902e-06,3.174773e-06,3.713477e-06,3.820469e-06,4.519350e-06,4.635822e-06,5.267075e-06,5.641949e-06,6.058879e-06,6.720594e-06,6.889587e-06,7.753654e-06,7.859309e-06,8.645247e-06,9.044720e-06,9.558342e-06,1.026292e-05,1.048684e-05,1.142466e-05,1.149991e-05,1.236590e-05,1.274207e-05,1.330489e-05,1.397654e-05,1.423627e-05,1.515513e-05,1.519156e-05,1.605698e-05,1.637670e-05,1.693783e-05,1.752299e-05,1.779415e-05,1.862299e-05,1.942186e-05,1.967084e-05,2.018879e-05,2.066215e-05,2.092227e-05,2.159392e-05,2.162120e-05,2.228489e-05,2.246435e-05,2.291298e-05,2.327273e-05,2.350546e-05,2.401929e-05,2.406256e-05,2.458475e-05,2.470496e-05,2.507271e-05,2.533131e-05,2.552726e-05,2.590040e-05,2.594938e-05,2.634013e-05,2.641462e-05,2.670067e-05,2.687661e-05,2.703221e-05,2.728918e-05,2.733597e-05,2.761323e-05,2.765522e-05,2.786526e-05,2.797764e-05,2.809332e-05,2.825934e-05,2.829865e-05,2.848247e-05,2.850314e-05,2.864599e-05,2.871180e-05,2.879035e-05,2.888794e-05,2.891667e-05,2.902603e-05,2.903408e-05,2.911946e-05,2.915259e-05,2.919795e-05,2.924573e-05,2.926243e-05,2.931381e-05,2.931560e-05,2.935293e-05,2.936417e-05,2.938060e-05,2.939327e-05,2.939759e-05,2.940462e-05,2.940237e-05,2.939980e-05,2.939148e-05,2.938027e-05,2.937257e-05,2.934740e-05,2.934621e-05,2.931292e-05,2.930243e-05,2.927323e-05,2.924653e-05,2.922760e-05,2.918076e-05,2.917648e-05,2.912029e-05,2.910609e-05,2.905942e-05,2.902344e-05,2.899425e-05,2.893362e-05,2.892512e-05,2.885236e-05,2.883740e-05,2.877626e-05,2.873547e-05,2.869712e-05,2.862849e-05,2.861521e-05,2.853076e-05,2.851704e-05,2.844403e-05,2.840165e-05,2.835523e-05,2.828283e-05,2.826456e-05,2.817221e-05,2.816103e-05,2.807838e-05,2.803666e-05,2.798322e-05,2.791011e-05,2.788690e-05,2.778956e-05,2.778173e-05,2.769134e-05,2.765184e-05,2.759237e-05,2.752072e-05,2.749278e-05,2.739267e-05,2.738865e-05,2.729215e-05,2.725588e-05,2.719132e-05,2.712262e-05,2.709027e-05,2.698908e-05,2.685545e-05,2.672190e-05,2.658858e-05,2.645564e-05,2.632320e-05,2.619138e-05,2.606028e-05,2.593001e-05,2.580064e-05,2.567226e-05,2.554494e-05,2.541874e-05,2.529371e-05,2.516991e-05,2.504738e-05,2.492616e-05,2.480629e-05,2.468780e-05,2.457070e-05,2.445503e-05,2.434081e-05,2.422804e-05,2.411674e-05,2.400693e-05
0.000000e+00,4.398577e-12,1.005589e-11,3.456054e-11,7.905758e-11,1.160704e-10,2.712741e-10,2.798979e-10,5.688473e-10,6.794316e-10,1.035941e-09,1.418480e-09,1.716172e-09,2.513169e-09,2.588762e-09,3.597967e-09,3.854798e-09,4.696013e-09,5.337783e-09,5.852257e-09,6.901893e-09,7.046724e-09,8.264425e-09,8.509601e-09,9.492517e-09,1.013129e-08,1.071923e-08,1.174057e-08,1.193363e-08,1.312580e-08,1.331388e-08,1.428697e-08,1.483109e-08,1.540975e-08,1.627629e-08,1.648820e-08,1.751783e-08,1.763794e-08,1.849550e-08,1.890869e-08,1.941932e-08,2.008487e-08,2.028847e-08,2.110304e-08,2.116587e-08,2.186385e-08,2.215343e-08,2.257231e-08,2.305095e-08,2.323017e-08,2.383952e-08,2.386292e-08,2.440265e-08,2.459453e-08,2.492197e-08,2.525133e-08,2.539992e-08,2.583898e-08,2.624154e-08,2.636303e-08,2.660994e-08,2.682883e-08,2.694643e-08,2.724142e-08,2.725314e-08,2.753210e-08,2.760551e-08,2.778523e-08,2.792546e-08,2.801432e-08,2.820529e-08,2.822104e-08,2.840697e-08,2.844867e-08,2.857358e-08,2.865896e-08,2.872224e-08,2.883920e-08,2.885420e-08,2.897065e-08,2.899218e-08,2.907269e-08,2.912040e-08,2.916134e-08,2.922614e-08,2.923753e-08,2.930215e-08,2.931147e-08,2.935602e-08,2.937827e-08,2.939988e-08,2.942824e-08,2.943444e-08,2.946035e-08,2.946291e-08,2.947822e-08,2.948368e-08,2.948861e-08,2.949183e-08,2.949204e-08,2.948901e-08,2.948850e-08,2.947996e-08,2.947475e-08,2.946531e-08,2.945153e-08,2.944547e-08,2.942079e-08,2.941971e-08,2.939162e-08,2.938008e-08,2.935828e-08,2.933337e-08,2.932106e-08,2.928024e-08,2.923609e-08,2.922129e-08,2.918884e-08,2.915708e-08,2.913872e-08,2.908811e-08,2.908595e-08,2.903072e-08,2.901484e-08,2.897322e-08,2.893771e-08,2.891363e-08,2.885710e-08,2.885212e-08,2.878882e-08,2.877338e-08,2.872390e-08,2.868688e-08,2.865748e-08,2.859789e-08,2.858969e-08,2.852066e-08,2.850671e-08,2.845049e-08,2.841359e-08,2.837930e-08,2.831877e-08,2.830717e-08,2.823422e-08,2.822247e-08,2.816051e-08,2.812490e-08,2.808615e-08,2.802623e-08,2.801120e-08,2.793574e-08,2.792666e-08,2.785985e-08,2.782633e-08,2.778358e-08,2.772540e-08,2.770700e-08,2.763016e-08,2.762401e-08,2.755313e-08,2.752227e-08,2.747595e-08,2.742032e-08,2.739868e-08,2.732135e-08,2.731826e-08,2.724402e-08,2.721618e-08,2.716672e-08,2.711419e-08,2.708949e-08,2.701237e-08,2.691080e-08,2.680955e-08,2.670869e-08,2.660828e-08,2.650839e-08,2.640905e-08,2.631034e-08,2.621228e-08,2.611492e-08,2.601830e-08,2.592245e-08,2.582740e-08,2.573319e-08,2.563983e-08,2.554736e-08,2.545579e-08,2.536514e-08,2.527543e-08,2.518667e-08,2.509888e-08,2.501207e-08,2.492625e-08,2.484142e-08,2.475760e-08
0.000000e+00,1.084543e-10,3.131136e-10,1.382644e-09,3.538502e-09,5.395538e-09,1.325648e-08,1.369030e-08,2.788673e-08,3.315972e-08,4.978660e-08,6.742951e-08,8.130985e-08,1.201112e-07,1.239443e-07,1.777732e-07,1.922184e-07,2.413835e-07,2.805814e-07,3.129305e-07,3.811983e-07,3.908390e-07,4.738335e-07,4.909433e-07,5.608029e-07,6.072525e-07,6.507127e-07,7.277856e-07,7.425757e-07,8.354566e-07,8.503529e-07,9.284869e-07,9.729604e-07,1.020881e-06,1.093872e-06,1.111950e-06,1.201106e-06,1.211651e-06,1.287861e-06,1.325169e-06,1.371827e-06,1.433590e-06,1.452707e-06,1.530280e-06,1.536338e-06,1.604400e-06,1.633059e-06,1.674977e-06,1.723575e-06,1.741972e-06,1.805386e-06,1.807849e-06,1.865254e-06,1.885949e-06,1.921635e-06,1.958021e-06,1.974607e-06,2.024264e-06,2.070712e-06,2.084915e-06,2.114061e-06,2.140233e-06,2.154430e-06,2.190490e-06,2.191937e-06,2.226702e-06,2.235962e-06,2.258847e-06,2.276925e-06,2.288490e-06,2.313652e-06,2.315748e-06,2.340736e-06,2.346408e-06,2.363565e-06,2.375447e-06,2.384343e-06,2.401016e-06,2.403176e-06,2.420164e-06,2.423349e-06,2.435405e-06,2.442671e-06,2.448992e-06,2.459193e-06,2.461016e-06,2.471562e-06,2.473117e-06,2.480713e-06,2.484633e-06,2.488547e-06,2.493919e-06,2.495142e-06,2.500568e-06,2.501143e-06,2.504894e-06,2.506466e-06,2.508186e-06,2.510035e-06,2.510506e-06,2.511915e-06,2.511990e-06,2.512468e-06,2.512461e-06,2.512219e-06,2.511573e-06,2.511220e-06,2.509519e-06,2.509437e-06,2.507163e-06,2.506163e-06,2.504196e-06,2.501850e-06,2.500658e-06,2.496591e-06,2.492030e-06,2.490473e-06,2.487012e-06,2.483577e-06,2.481571e-06,2.475978e-06,2.475738e-06,2.469543e-06,2.467748e-06,2.463015e-06,2.458950e-06,2.456181e-06,2.449646e-06,2.449067e-06,2.441696e-06,2.439891e-06,2.434091e-06,2.429739e-06,2.426275e-06,2.419237e-06,2.418267e-06,2.410086e-06,2.408431e-06,2.401751e-06,2.397361e-06,2.393278e-06,2.386067e-06,2.384685e-06,2.375984e-06,2.374583e-06,2.367192e-06,2.362943e-06,2.358321e-06,2.351177e-06,2.349384e-06,2.340393e-06,2.339311e-06,2.331359e-06,2.327373e-06,2.322292e-06,2.315385e-06,2.313202e-06,2.304099e-06,2.303370e-06,2.294990e-06,2.291346e-06,2.285883e-06,2.279333e-06,2.276787e-06,2.267709e-06,2.267346e-06,2.258654e-06,2.255401e-06,2.249629e-06,2.243512e-06,2.240639e-06,2.231690e-06,2.219948e-06,2.208296e-06,2.196743e-06,2.185297e-06,2.173966e-06,2.162756e-06,2.151673e-06,2.140724e-06,2.129911e-06,2.119240e-06,2.108713e-06,2.098334e-06,2.088105e-06,2.078029e-06,2.068106e-06,2.058338e-06,2.048726e-06,2.039270e-06,2.029972e-06,2.020830e-06,2.011846e-06,2.003018e-06,1.994347e-06,1.985830e-06
0.000000e+00,1.873772e-12,4.316747e-12,1.494396e-11,3.408683e-11,4.975196e-11,1.126696e-10,1.160407e-10,2.228009e-10,2.610886e-10,3.782853e-10,4.981096e-10,5.899731e-10,8.400589e-10,8.644681e-10,1.207325e-09,1.300288e-09,1.622811e-09,1.888286e-09,2.113625e-09,2.608578e-09,2.680620e-09,3.322569e-09,3.459691e-09,4.036042e-09,4.433536e-09,4.815435e-09,5.515589e-09,5.653194e-09,6.540267e-09,6.686118e-09,7.466729e-09,7.922445e-09,8.422482e-09,9.201669e-09,9.397889e-09,1.038422e-08,1.050295e-08,1.137390e-08,1.180872e-08,1.236051e-08,1.310497e-08,1.333873e-08,1.430424e-08,1.438082e-08,1.525354e-08,1.562808e-08,1.618387e-08,1.684072e-08,1.709305e-08,1.797944e-08,1.801440e-08,1.884180e-08,1.914620e-08,1.967929e-08,2.023426e-08,2.049132e-08,2.127761e-08,2.203803e-08,2.227591e-08,2.277266e-08,2.322937e-08,2.348169e-08,2.413855e-08,2.416542e-08,2.482426e-08,2.500434e-08,2.545866e-08,2.582779e-08,2.606914e-08,2.661012e-08,2.665624e-08,2.722055e-08,2.735265e-08,2.776265e-08,2.805676e-08,2.828316e-08,2.872384e-08,2.878270e-08,2.926188e-08,2.935533e-08,2.972131e-08,2.995261e-08,3.016161e-08,3.051711e-08,3.058337e-08,3.098719e-08,3.105018e-08,3.137365e-08,3.155316e-08,3.174332e-08,3.202735e-08,3.209676e-08,3.243452e-08,3.247402e-08,3.275711e-08,3.289438e-08,3.306506e-08,3.328962e-08,3.335888e-08,3.363904e-08,3.366087e-08,3.390602e-08,3.400922e-08,3.416028e-08,3.433572e-08,3.440227e-08,3.463241e-08,3.464137e-08,3.485113e-08,3.492715e-08,3.505883e-08,3.519397e-08,3.525590e-08,3.544271e-08,3.561965e-08,3.567424e-08,3.578705e-08,3.588934e-08,3.594526e-08,3.608881e-08,3.609462e-08,3.623543e-08,3.627338e-08,3.636802e-08,3.644374e-08,3.649267e-08,3.660059e-08,3.660968e-08,3.671931e-08,3.674456e-08,3.682185e-08,3.687626e-08,3.691754e-08,3.699629e-08,3.700664e-08,3.708939e-08,3.710520e-08,3.716602e-08,3.720352e-08,3.723675e-08,3.729176e-08,3.730180e-08,3.736138e-08,3.737042e-08,3.741569e-08,3.743995e-08,3.746493e-08,3.750079e-08,3.750927e-08,3.754891e-08,3.755336e-08,3.758402e-08,3.759807e-08,3.761476e-08,3.763530e-08,3.764129e-08,3.766378e-08,3.766541e-08,3.768238e-08,3.768876e-08,3.769722e-08,3.770567e-08,3.770846e-08,3.771622e-08,3.771646e-08,3.772063e-08,3.772143e-08,3.772183e-08,3.772088e-08,3.771994e-08,3.771507e-08,3.770427e-08,3.768873e-08,3.766869e-08,3.764437e-08,3.761600e-08,3.758378e-08,3.754792e-08,3.750858e-08,3.746597e-08,3.742026e-08,3.737160e-08,3.732015e-08,3.726607e-08,3.720950e-08,3.715057e-08,3.708942e-08,3.702617e-08,3.696095e-08,3.689386e-08,3.682501e-08,3.675452e-08,3.668248e-08,3.660898e-08,3.653412e-08
0.000000e+00,6.278212e-12,3.173076e-11,3.487004e-10,1.686513e-09,3.454533e-09,1.601883e-08,1.692227e-08,5.642855e-08,7.539495e-08,1.477065e-07,2.421401e-07,3.274909e-07,6.119882e-07,6.436049e-07,1.154387e-06,1.313285e-06,1.927495e-06,2.502731e-06,3.037831e-06,4.356325e-06,4.564020e-06,6.582946e-06,7.052093e-06,9.162732e-06,1.074401e-05,1.235559e-05,1.553459e-05,1.619230e-05,2.067943e-05,2.145687e-05,2.579923e-05,2.847051e-05,3.151183e-05,3.646997e-05,3.775879e-05,4.446740e-05,4.529961e-05,5.155513e-05,5.477124e-05,5.893387e-05,6.468097e-05,6.651368e-05,7.420601e-05,7.482369e-05,8.192632e-05,8.500444e-05,8.959603e-05,9.504662e-05,9.714398e-05,1.045074e-04,1.047973e-04,1.116322e-04,1.141298e-04,1.184735e-04,1.229448e-04,1.249950e-04,1.311691e-04,1.369756e-04,1.387537e-04,1.424017e-04,1.456716e-04,1.474410e-04,1.519140e-04,1.520926e-04,1.563605e-04,1.574876e-04,1.602523e-04,1.624115e-04,1.637794e-04,1.667139e-04,1.669555e-04,1.697962e-04,1.704299e-04,1.723186e-04,1.735989e-04,1.745409e-04,1.762629e-04,1.764815e-04,1.781592e-04,1.784648e-04,1.795925e-04,1.802474e-04,1.807997e-04,1.816520e-04,1.817985e-04,1.826058e-04,1.827183e-04,1.832379e-04,1.834836e-04,1.837101e-04,1.839825e-04,1.840369e-04,1.842317e-04,1.842468e-04,1.843072e-04,1.843056e-04,1.842750e-04,1.841852e-04,1.841460e-04,1.839301e-04,1.839093e-04,1.836365e-04,1.834992e-04,1.832736e-04,1.829738e-04,1.828491e-04,1.823699e-04,1.823497e-04,1.818425e-04,1.816419e-04,1.812726e-04,1.808635e-04,1.806654e-04,1.800259e-04,1.793582e-04,1.791392e-04,1.786663e-04,1.782124e-04,1.779537e-04,1.772532e-04,1.772237e-04,1.764791e-04,1.762684e-04,1.757225e-04,1.752638e-04,1.749563e-04,1.742447e-04,1.741826e-04,1.734033e-04,1.732156e-04,1.726201e-04,1.721804e-04,1.718346e-04,1.711425e-04,1.710481e-04,1.702620e-04,1.701049e-04,1.694772e-04,1.690701e-04,1.686950e-04,1.680404e-04,1.679161e-04,1.671413e-04,1.670178e-04,1.663714e-04,1.660038e-04,1.656071e-04,1.650000e-04,1.648489e-04,1.640973e-04,1.640075e-04,1.633527e-04,1.630275e-04,1.626157e-04,1.620608e-04,1.618865e-04,1.611655e-04,1.611082e-04,1.604529e-04,1.601702e-04,1.597489e-04,1.592476e-04,1.590538e-04,1.583678e-04,1.583406e-04,1.576910e-04,1.574496e-04,1.570234e-04,1.565749e-04,1.563653e-04,1.557167e-04,1.548752e-04,1.540504e-04,1.532423e-04,1.524511e-04,1.516766e-04,1.509189e-04,1.501777e-04,1.494530e-04,1.487446e-04,1.480525e-04,1.473763e-04,1.467160e-04,1.460713e-04,1.454420e-04,1.448279e-04,1.442287e-04,1.436442e-04,1.430741e-04,1.425183e-04,1.419764e-04,1.414482e-04,1.409334e-04,1.404317e-04,1.399430e-04
0.000000e+00,1.807846e-11,8.822576e-11,9.023326e-10,4.092221e-09,8.095768e-09,3.439268e-08,3.620602e-08,1.111527e-07,1.453393e-07,2.702008e-07,4.254848e-07,5.611672e-07,9.941023e-07,1.040869e-06,1.770737e-06,1.989755e-06,2.808551e-06,3.541947e-06,4.200087e-06,5.741183e-06,5.975011e-06,8.147223e-06,8.629604e-06,1.071750e-05,1.220859e-05,1.367650e-05,1.645016e-05,1.700715e-05,2.068632e-05,2.130551e-05,2.468586e-05,2.671007e-05,2.897340e-05,3.258675e-05,3.351301e-05,3.826592e-05,3.884869e-05,4.319135e-05,4.540241e-05,4.824738e-05,5.215140e-05,5.339194e-05,5.858370e-05,5.899987e-05,6.378297e-05,6.585633e-05,6.895243e-05,7.263657e-05,7.405773e-05,7.906797e-05,7.926601e-05,8.395596e-05,8.568110e-05,8.869838e-05,9.182999e-05,9.327577e-05,9.767244e-05,1.018763e-04,1.031792e-04,1.058784e-04,1.083312e-04,1.096731e-04,1.131179e-04,1.132572e-04,1.166298e-04,1.175363e-04,1.197921e-04,1.215898e-04,1.227471e-04,1.252861e-04,1.254989e-04,1.280530e-04,1.286372e-04,1.304156e-04,1.316575e-04,1.325935e-04,1.343632e-04,1.345942e-04,1.364252e-04,1.367718e-04,1.380946e-04,1.389013e-04,1.396101e-04,1.407699e-04,1.409796e-04,1.422109e-04,1.423956e-04,1.433117e-04,1.437959e-04,1.442894e-04,1.449876e-04,1.451510e-04,1.459036e-04,1.459869e-04,1.465537e-04,1.468089e-04,1.471077e-04,1.474682e-04,1.475717e-04,1.479514e-04,1.479783e-04,1.482522e-04,1.483516e-04,1.484794e-04,1.486001e-04,1.486378e-04,1.487321e-04,1.487346e-04,1.487666e-04,1.487652e-04,1.487455e-04,1.487013e-04,1.486726e-04,1.485517e-04,1.483861e-04,1.483243e-04,1.481792e-04,1.480264e-04,1.479339e-04,1.476650e-04,1.476531e-04,1.473395e-04,1.472461e-04,1.469956e-04,1.467757e-04,1.466238e-04,1.462590e-04,1.462263e-04,1.458052e-04,1.457009e-04,1.453625e-04,1.451058e-04,1.448999e-04,1.444779e-04,1.444193e-04,1.439222e-04,1.438210e-04,1.434101e-04,1.431384e-04,1.428845e-04,1.424335e-04,1.423467e-04,1.417979e-04,1.417091e-04,1.412392e-04,1.409679e-04,1.406719e-04,1.402124e-04,1.400968e-04,1.395150e-04,1.394447e-04,1.389273e-04,1.386671e-04,1.383346e-04,1.378812e-04,1.377376e-04,1.371371e-04,1.370890e-04,1.365339e-04,1.362919e-04,1.359284e-04,1.354914e-04,1.353213e-04,1.347131e-04,1.346888e-04,1.341044e-04,1.338853e-04,1.334957e-04,1.330820e-04,1.328874e-04,1.322799e-04,1.314798e-04,1.306827e-04,1.298893e-04,1.291002e-04,1.283161e-04,1.275375e-04,1.267649e-04,1.259987e-04,1.252393e-04,1.244872e-04,1.237425e-04,1.230056e-04,1.222768e-04,1.215562e-04,1.208440e-04,1.201405e-04,1.194456e-04,1.187596e-04,1.180825e-04,1.174144e-04,1.167554e-04,1.161055e-04,1.154646e-04,1.148329e-04
0.000000e+00,1.807527e-10,9.357361e-10,1.081573e-08,5.482170e-08,1.152611e-07,5.724051e-07,6.063984e-07,2.168209e-06,2.953252e-06,6.075467e-06,1.036646e-05,1.439430e-05,2.854111e-05,3.016791e-05,5.756007e-05,6.643253e-05,1.019232e-04,1.365654e-04,1.697815e-04,2.549510e-04,2.687440e-04,4.073668e-04,4.406602e-04,5.949787e-04,7.151664e-04,8.414768e-04,1.101530e-03,1.157102e-03,1.552199e-03,1.623476e-03,2.036974e-03,2.304425e-03,2.621249e-03,3.166521e-03,3.314228e-03,4.124279e-03,4.229713e-03,5.058745e-03,5.510955e-03,6.123774e-03,7.023536e-03,7.324190e-03,8.663399e-03,8.776599e-03,1.014332e-02,1.077484e-02,1.176439e-02,1.301841e-02,1.352552e-02,1.542420e-02,1.550296e-02,1.745651e-02,1.821989e-02,1.961726e-02,2.115673e-02,2.190007e-02,2.429752e-02,2.680126e-02,2.762344e-02,2.940218e-02,3.111329e-02,3.209054e-02,3.474414e-02,3.485612e-02,3.768835e-02,3.849185e-02,4.057647e-02,4.233165e-02,4.350962e-02,4.623861e-02,4.647701e-02,4.946796e-02,5.018812e-02,5.247204e-02,5.415627e-02,5.547914e-02,5.812018e-02,5.847957e-02,6.146405e-02,6.205825e-02,6.442384e-02,6.595042e-02,6.735072e-02,6.977827e-02,7.023706e-02,7.307582e-02,7.352516e-02,7.586055e-02,7.717629e-02,7.858542e-02,8.071868e-02,8.124519e-02,8.383524e-02,8.414117e-02,8.635151e-02,8.743438e-02,8.879052e-02,9.059066e-02,9.114932e-02,9.342550e-02,9.360396e-02,9.561712e-02,9.646975e-02,9.772273e-02,9.918492e-02,9.974130e-02,1.016722e-01,1.017476e-01,1.035153e-01,1.041573e-01,1.052705e-01,1.064142e-01,1.069385e-01,1.085198e-01,1.100155e-01,1.104762e-01,1.114267e-01,1.122863e-01,1.127550e-01,1.139536e-01,1.140019e-01,1.151692e-01,1.154820e-01,1.162588e-01,1.168761e-01,1.172727e-01,1.181404e-01,1.182130e-01,1.190820e-01,1.192802e-01,1.198819e-01,1.203005e-01,1.206150e-01,1.212067e-01,1.212836e-01,1.218902e-01,1.220042e-01,1.224370e-01,1.226986e-01,1.229265e-01,1.232951e-01,1.233610e-01,1.237428e-01,1.237992e-01,1.240743e-01,1.242162e-01,1.243577e-01,1.245513e-01,1.245952e-01,1.247891e-01,1.248096e-01,1.249415e-01,1.249959e-01,1.250545e-01,1.251152e-01,1.251300e-01,1.251701e-01,1.251719e-01,1.251767e-01,1.251704e-01,1.251517e-01,1.251151e-01,1.250968e-01,1.250138e-01,1.250099e-01,1.249043e-01,1.248587e-01,1.247699e-01,1.246651e-01,1.246122e-01,1.244327e-01,1.241647e-01,1.238642e-01,1.235342e-01,1.231774e-01,1.227964e-01,1.223937e-01,1.219715e-01,1.215319e-01,1.210770e-01,1.206086e-01,1.201284e-01,1.196381e-01,1.191391e-01,1.186328e-01,1.181206e-01,1.176035e-01,1.170828e-01,1.165593e-01,1.160341e-01,1.155080e-01,1.149818e-01,1.144563e-01,1.139319e-01,1.134095e-01
0.000000e+00,1.161485e-10,6.009508e-10,6.938252e-09,3.513385e-08,7.383133e-08,3.662494e-07,3.879845e-07,1.386190e-06,1.887828e-06,3.882970e-06,6.625910e-06,9.202047e-06,1.826340e-05,1.930686e-05,3.692632e-05,4.265399e-05,6.566526e-05,8.827294e-05,1.100743e-04,1.664556e-04,1.756436e-04,2.687012e-04,2.912166e-04,3.962274e-04,4.786098e-04,5.656222e-04,7.458100e-04,7.844577e-04,1.060238e-03,1.110135e-03,1.400178e-03,1.588141e-03,1.811016e-03,2.194852e-03,2.298844e-03,2.868976e-03,2.943143e-03,3.525844e-03,3.843275e-03,4.272923e-03,4.902593e-03,5.112682e-03,6.046559e-03,6.125354e-03,7.074964e-03,7.512693e-03,8.197301e-03,9.062705e-03,9.412007e-03,1.071661e-02,1.077062e-02,1.210780e-02,1.262906e-02,1.358150e-02,1.462835e-02,1.513296e-02,1.675687e-02,1.844741e-02,1.900145e-02,2.019837e-02,2.134770e-02,2.200325e-02,2.378044e-02,2.385534e-02,2.574780e-02,2.628399e-02,2.767374e-02,2.884253e-02,2.962632e-02,3.144038e-02,3.159875e-02,3.358443e-02,3.406224e-02,3.557693e-02,3.669341e-02,3.757010e-02,3.931993e-02,3.955802e-02,4.153511e-02,4.192877e-02,4.349613e-02,4.450786e-02,4.543616e-02,4.704624e-02,4.735067e-02,4.923547e-02,4.953403e-02,5.108678e-02,5.196248e-02,5.290115e-02,5.432400e-02,5.467554e-02,5.640724e-02,5.661206e-02,5.809390e-02,5.882122e-02,5.973349e-02,6.094706e-02,6.132433e-02,6.286502e-02,6.298607e-02,6.435445e-02,6.493568e-02,6.579179e-02,6.679409e-02,6.717647e-02,6.850812e-02,6.856028e-02,6.978662e-02,7.023388e-02,7.101204e-02,7.181513e-02,7.218463e-02,7.330479e-02,7.437309e-02,7.470410e-02,7.539022e-02,7.601469e-02,7.635698e-02,7.723854e-02,7.727430e-02,7.814317e-02,7.837792e-02,7.896467e-02,7.943532e-02,7.973996e-02,8.041344e-02,8.047023e-02,8.115673e-02,8.131512e-02,8.180075e-02,8.214333e-02,8.240359e-02,8.290109e-02,8.296659e-02,8.349109e-02,8.359149e-02,8.397843e-02,8.421761e-02,8.442997e-02,8.478258e-02,8.484705e-02,8.523099e-02,8.528944e-02,8.558313e-02,8.574124e-02,8.590476e-02,8.614097e-02,8.619717e-02,8.646162e-02,8.649153e-02,8.669935e-02,8.679579e-02,8.691156e-02,8.705650e-02,8.709943e-02,8.726412e-02,8.727633e-02,8.740673e-02,8.745785e-02,8.752837e-02,8.760354e-02,8.763007e-02,8.771285e-02,8.771578e-02,8.777770e-02,8.779685e-02,8.782558e-02,8.784891e-02,8.785740e-02,8.787404e-02,8.787422e-02,8.785131e-02,8.780709e-02,8.774325e-02,8.766138e-02,8.756297e-02,8.744945e-02,8.732214e-02,8.718230e-02,8.703111e-02,8.686968e-02,8.669904e-02,8.652017e-02,8.633396e-02,8.614126e-02,8.594288e-02,8.573954e-02,8.553194e-02,8.532071e-02,8.510644e-02,8.488969e-02,8.467097e-02,8.445075e-02,8.422948e-02
0.000000e+00,1.010587e-11,2.321190e-11,8.019761e-11,1.834118e-10,2.686342e-10,6.188186e-10,6.379516e-10,1.263149e-09,1.495944e-09,2.231016e-09,3.004820e-09,3.603086e-09,5.213667e-09,5.368142e-09,7.475416e-09,8.027036e-09,9.882438e-09,1.134992e-08,1.255939e-08,1.511836e-08,1.548106e-08,1.862188e-08,1.927394e-08,2.195408e-08,2.375256e-08,2.544764e-08,2.848391e-08,2.907106e-08,3.279245e-08,3.339486e-08,3.658059e-08,3.841382e-08,4.040584e-08,4.347433e-08,4.424091e-08,4.806126e-08,4.851765e-08,5.184537e-08,5.349405e-08,5.557484e-08,5.836310e-08,5.923425e-08,6.281104e-08,6.309330e-08,6.629524e-08,6.766119e-08,6.967916e-08,7.205025e-08,7.295716e-08,7.612534e-08,7.624974e-08,7.918126e-08,8.025364e-08,8.212371e-08,8.405964e-08,8.495251e-08,8.766828e-08,9.027232e-08,9.108231e-08,9.276646e-08,9.430604e-08,9.515291e-08,9.734494e-08,9.743420e-08,9.961312e-08,1.002053e-07,1.016926e-07,1.028938e-07,1.036756e-07,1.054176e-07,1.055654e-07,1.073650e-07,1.077838e-07,1.090776e-07,1.099998e-07,1.107063e-07,1.120726e-07,1.122542e-07,1.137244e-07,1.140094e-07,1.151199e-07,1.158170e-07,1.164436e-07,1.175020e-07,1.176982e-07,1.188867e-07,1.190709e-07,1.200117e-07,1.205300e-07,1.210759e-07,1.218850e-07,1.220816e-07,1.230315e-07,1.231418e-07,1.239278e-07,1.243058e-07,1.247728e-07,1.253822e-07,1.255688e-07,1.263179e-07,1.263758e-07,1.270220e-07,1.272915e-07,1.276832e-07,1.281338e-07,1.283034e-07,1.288843e-07,1.289067e-07,1.294277e-07,1.296145e-07,1.299354e-07,1.302609e-07,1.304088e-07,1.308496e-07,1.312592e-07,1.313840e-07,1.316391e-07,1.318673e-07,1.319907e-07,1.323027e-07,1.323151e-07,1.326138e-07,1.326930e-07,1.328879e-07,1.330410e-07,1.331385e-07,1.333493e-07,1.333668e-07,1.335738e-07,1.336205e-07,1.337606e-07,1.338567e-07,1.339281e-07,1.340603e-07,1.340772e-07,1.342089e-07,1.342332e-07,1.343240e-07,1.343775e-07,1.344233e-07,1.344951e-07,1.345076e-07,1.345776e-07,1.345875e-07,1.346341e-07,1.346566e-07,1.346778e-07,1.347039e-07,1.347092e-07,1.347291e-07,1.347308e-07,1.347381e-07,1.347387e-07,1.347366e-07,1.347289e-07,1.347254e-07,1.347048e-07,1.347027e-07,1.346754e-07,1.346613e-07,1.346377e-07,1.346056e-07,1.345921e-07,1.345391e-07,1.345368e-07,1.344791e-07,1.344558e-07,1.344125e-07,1.343636e-07,1.343396e-07,1.342609e-07,1.341487e-07,1.340277e-07,1.338985e-07,1.337619e-07,1.336186e-07,1.334691e-07,1.333139e-07,1.331537e-07,1.329889e-07,1.328200e-07,1.326474e-07,1.324715e-07,1.322928e-07,1.321116e-07,1.319282e-07,1.317430e-07,1.315562e-07,1.313682e-07,1.311792e-07,1.309894e-07,1.307991e-07,1.306086e-07,1.304179e-07,1.302273e-07
0.000000e+00,2.806868e-11,8.514367e-11,3.993426e-10,1.053730e-09,1.625343e-09,4.070302e-09,4.205700e-09,8.635241e-09,1.027572e-08,1.542294e-08,2.084357e-08,2.508456e-08,3.689009e-08,3.805641e-08,5.454815e-08,5.902903e-08,7.451895e-08,8.716299e-08,9.780567e-08,1.208902e-07,1.242183e-07,1.535573e-07,1.597574e-07,1.856038e-07,2.032577e-07,2.201128e-07,2.508057e-07,2.568132e-07,2.954123e-07,3.017441e-07,3.356048e-07,3.553722e-07,3.770813e-07,4.109822e-07,4.195377e-07,4.626824e-07,4.678928e-07,5.062420e-07,5.254743e-07,5.499662e-07,5.831672e-07,5.936299e-07,6.370349e-07,6.404908e-07,6.800092e-07,6.970449e-07,7.224068e-07,7.525064e-07,7.641054e-07,8.050047e-07,8.066229e-07,8.450244e-07,8.592035e-07,8.841013e-07,9.101103e-07,9.221879e-07,9.592495e-07,9.952628e-07,1.006563e-06,1.030214e-06,1.052022e-06,1.064097e-06,1.095621e-06,1.096913e-06,1.128668e-06,1.137370e-06,1.159372e-06,1.177295e-06,1.189039e-06,1.215432e-06,1.217686e-06,1.245333e-06,1.251821e-06,1.271999e-06,1.286511e-06,1.297706e-06,1.319554e-06,1.322478e-06,1.346339e-06,1.351003e-06,1.369311e-06,1.380914e-06,1.391419e-06,1.409340e-06,1.412688e-06,1.433141e-06,1.436340e-06,1.452803e-06,1.461966e-06,1.471697e-06,1.486275e-06,1.489846e-06,1.507274e-06,1.509318e-06,1.524004e-06,1.531149e-06,1.540057e-06,1.551818e-06,1.555454e-06,1.570219e-06,1.571373e-06,1.584370e-06,1.589863e-06,1.597928e-06,1.607334e-06,1.610913e-06,1.623344e-06,1.623830e-06,1.635240e-06,1.639394e-06,1.646618e-06,1.654068e-06,1.657496e-06,1.667891e-06,1.677819e-06,1.680901e-06,1.687298e-06,1.693134e-06,1.696341e-06,1.704627e-06,1.704965e-06,1.713183e-06,1.715413e-06,1.721010e-06,1.725525e-06,1.728460e-06,1.734992e-06,1.735546e-06,1.742280e-06,1.743846e-06,1.748676e-06,1.752113e-06,1.754744e-06,1.759823e-06,1.760497e-06,1.765946e-06,1.767000e-06,1.771101e-06,1.773669e-06,1.775974e-06,1.779855e-06,1.780573e-06,1.784910e-06,1.785580e-06,1.788993e-06,1.790866e-06,1.792832e-06,1.795734e-06,1.796436e-06,1.799812e-06,1.800203e-06,1.802970e-06,1.804292e-06,1.805917e-06,1.808020e-06,1.808661e-06,1.811209e-06,1.811405e-06,1.813569e-06,1.814462e-06,1.815747e-06,1.817207e-06,1.817751e-06,1.819586e-06,1.819656e-06,1.821259e-06,1.821823e-06,1.822776e-06,1.823721e-06,1.824143e-06,1.825365e-06,1.826766e-06,1.827937e-06,1.828888e-06,1.829632e-06,1.830178e-06,1.830536e-06,1.830716e-06,1.830728e-06,1.830579e-06,1.830279e-06,1.829834e-06,1.829253e-06,1.828544e-06,1.827712e-06,1.826764e-06,1.825707e-06,1.824547e-06,1.823290e-06,1.821941e-06,1.820505e-06,1.818988e-06,1.817394e-06,1.815727e-06,1.813993e-06
0.000000e+00,1.666224e-11,8.536610e-11,9.656136e-10,4.799625e-09,9.984704e-09,4.828565e-08,5.109961e-08,1.782988e-07,2.413559e-07,4.893713e-07,8.263402e-07,1.140459e-06,2.236102e-06,2.361690e-06,4.472768e-06,5.156329e-06,7.893409e-06,1.056993e-05,1.313959e-05,1.973244e-05,2.079955e-05,3.149338e-05,3.405029e-05,4.582717e-05,5.490523e-05,6.435158e-05,8.349278e-05,8.753016e-05,1.157186e-04,1.207112e-04,1.491538e-04,1.671049e-04,1.879516e-04,2.228531e-04,2.321097e-04,2.815158e-04,2.877881e-04,3.359578e-04,3.614333e-04,3.951364e-04,4.430529e-04,4.586788e-04,5.261516e-04,5.317052e-04,5.970754e-04,6.262971e-04,6.709371e-04,7.256374e-04,7.472028e-04,8.253291e-04,8.284852e-04,9.047735e-04,9.335931e-04,9.850035e-04,1.039745e-03,1.065505e-03,1.145787e-03,1.225391e-03,1.250651e-03,1.303892e-03,1.353373e-03,1.380902e-03,1.453103e-03,1.456071e-03,1.529092e-03,1.549115e-03,1.599697e-03,1.640804e-03,1.667659e-03,1.727686e-03,1.732788e-03,1.794934e-03,1.809391e-03,1.853979e-03,1.885659e-03,1.909842e-03,1.956327e-03,1.962470e-03,2.011837e-03,2.021319e-03,2.057943e-03,2.080636e-03,2.100811e-03,2.134346e-03,2.140481e-03,2.177014e-03,2.182572e-03,2.210482e-03,2.225483e-03,2.240971e-03,2.263281e-03,2.268576e-03,2.293403e-03,2.296200e-03,2.315560e-03,2.324493e-03,2.335162e-03,2.348423e-03,2.352327e-03,2.367175e-03,2.368267e-03,2.379826e-03,2.384298e-03,2.390400e-03,2.396794e-03,2.399016e-03,2.405791e-03,2.406025e-03,2.410839e-03,2.412255e-03,2.414271e-03,2.415737e-03,2.416195e-03,2.416716e-03,2.415933e-03,2.415423e-03,2.413943e-03,2.412078e-03,2.410837e-03,2.406887e-03,2.406703e-03,2.401624e-03,2.400043e-03,2.395678e-03,2.391727e-03,2.388942e-03,2.382105e-03,2.381484e-03,2.373371e-03,2.371333e-03,2.364665e-03,2.359553e-03,2.355426e-03,2.346898e-03,2.345708e-03,2.335562e-03,2.333486e-03,2.325037e-03,2.319429e-03,2.314177e-03,2.304826e-03,2.303023e-03,2.291616e-03,2.289770e-03,2.279990e-03,2.274342e-03,2.268180e-03,2.258619e-03,2.256215e-03,2.244126e-03,2.242668e-03,2.231938e-03,2.226550e-03,2.219676e-03,2.210322e-03,2.207363e-03,2.195019e-03,2.194031e-03,2.182663e-03,2.177722e-03,2.170314e-03,2.161435e-03,2.157986e-03,2.145695e-03,2.145205e-03,2.133454e-03,2.129062e-03,2.121276e-03,2.113035e-03,2.109170e-03,2.097148e-03,2.081422e-03,2.065875e-03,2.050524e-03,2.035382e-03,2.020462e-03,2.005773e-03,1.991324e-03,1.977122e-03,1.963172e-03,1.949479e-03,1.936047e-03,1.922876e-03,1.909970e-03,1.897328e-03,1.884951e-03,1.872838e-03,1.860989e-03,1.849401e-03,1.838072e-03,1.827000e-03,1.816183e-03,1.805617e-03,1.795299e-03,1.785225e-03
0.000000e+00,2.473662e-11,9.818929e-11,6.793858e-10,2.249471e-09,3.803191e-09,1.127765e-08,1.171529e-08,2.674949e-08,3.256028e-08,5.133020e-08,7.176306e-08,8.813810e-08,1.353374e-07,1.401259e-07,2.101780e-07,2.299296e-07,3.002114e-07,3.593599e-07,4.099089e-07,5.202504e-07,5.361051e-07,6.737080e-07,7.021187e-07,8.174309e-07,8.931070e-07,9.629745e-07,1.084375e-06,1.107289e-06,1.248346e-06,1.270516e-06,1.384815e-06,1.448419e-06,1.515816e-06,1.616284e-06,1.640770e-06,1.759309e-06,1.773091e-06,1.871222e-06,1.918340e-06,1.976430e-06,2.051917e-06,2.074960e-06,2.166929e-06,2.174008e-06,2.252525e-06,2.285032e-06,2.331990e-06,2.385567e-06,2.405609e-06,2.473689e-06,2.476302e-06,2.536557e-06,2.557977e-06,2.594544e-06,2.631357e-06,2.647983e-06,2.697198e-06,2.742501e-06,2.756221e-06,2.784190e-06,2.809103e-06,2.822542e-06,2.856464e-06,2.857819e-06,2.890262e-06,2.898870e-06,2.920096e-06,2.936829e-06,2.947524e-06,2.970796e-06,2.972736e-06,2.995902e-06,3.001176e-06,3.017182e-06,3.028327e-06,3.036716e-06,3.052566e-06,3.054635e-06,3.071058e-06,3.074173e-06,3.086092e-06,3.093394e-06,3.099836e-06,3.110450e-06,3.112380e-06,3.123803e-06,3.125532e-06,3.134182e-06,3.138813e-06,3.143585e-06,3.150445e-06,3.152072e-06,3.159703e-06,3.160563e-06,3.166528e-06,3.169289e-06,3.172597e-06,3.176731e-06,3.177954e-06,3.182639e-06,3.182986e-06,3.186691e-06,3.188142e-06,3.190145e-06,3.192280e-06,3.193033e-06,3.195386e-06,3.195470e-06,3.197233e-06,3.197778e-06,3.198598e-06,3.199265e-06,3.199508e-06,3.199984e-06,3.200049e-06,3.199987e-06,3.199724e-06,3.199319e-06,3.199026e-06,3.198023e-06,3.197974e-06,3.196586e-06,3.196139e-06,3.194876e-06,3.193702e-06,3.192861e-06,3.190749e-06,3.190554e-06,3.187969e-06,3.187308e-06,3.185119e-06,3.183412e-06,3.182016e-06,3.179087e-06,3.178673e-06,3.175100e-06,3.174358e-06,3.171307e-06,3.169251e-06,3.167305e-06,3.163789e-06,3.163103e-06,3.158711e-06,3.157992e-06,3.154138e-06,3.151881e-06,3.149391e-06,3.145474e-06,3.144479e-06,3.139410e-06,3.138791e-06,3.134191e-06,3.131848e-06,3.128828e-06,3.124661e-06,3.123330e-06,3.117702e-06,3.117246e-06,3.111950e-06,3.109616e-06,3.106081e-06,3.101786e-06,3.100101e-06,3.094014e-06,3.093769e-06,3.087827e-06,3.085576e-06,3.081544e-06,3.077220e-06,3.075171e-06,3.068711e-06,3.060061e-06,3.051280e-06,3.042376e-06,3.033359e-06,3.024238e-06,3.015021e-06,3.005716e-06,2.996330e-06,2.986871e-06,2.977345e-06,2.967759e-06,2.958119e-06,2.948431e-06,2.938701e-06,2.928933e-06,2.919134e-06,2.909308e-06,2.899459e-06,2.889593e-06,2.879712e-06,2.869823e-06,2.859927e-06,2.850029e-06,2.840133e-06
0.000000e+00,3.962029e-11,1.405994e-10,8.144712e-10,2.412631e-09,3.898378e-09,1.069715e-08,1.108847e-08,2.450460e-08,2.973328e-08,4.690358e-08,6.606958e-08,8.171055e-08,1.274039e-07,1.320381e-07,1.983825e-07,2.163948e-07,2.776362e-07,3.259762e-07,3.653594e-07,4.467226e-07,4.580169e-07,5.533202e-07,5.725584e-07,6.497814e-07,7.000317e-07,7.463236e-07,8.268404e-07,8.420754e-07,9.362844e-07,9.511694e-07,1.028293e-06,1.071506e-06,1.117536e-06,1.186618e-06,1.203541e-06,1.285935e-06,1.295566e-06,1.364442e-06,1.397702e-06,1.438875e-06,1.492651e-06,1.509128e-06,1.575169e-06,1.580271e-06,1.637025e-06,1.660612e-06,1.694772e-06,1.733867e-06,1.748522e-06,1.798416e-06,1.800334e-06,1.844615e-06,1.860375e-06,1.887292e-06,1.914395e-06,1.926631e-06,1.962813e-06,1.996025e-06,2.006055e-06,2.026446e-06,2.044531e-06,2.054250e-06,2.078638e-06,2.079607e-06,2.102678e-06,2.108748e-06,2.123613e-06,2.135210e-06,2.142558e-06,2.158348e-06,2.159650e-06,2.175019e-06,2.178465e-06,2.188784e-06,2.195833e-06,2.201055e-06,2.210701e-06,2.211936e-06,2.221526e-06,2.223297e-06,2.229915e-06,2.233831e-06,2.237187e-06,2.242490e-06,2.243421e-06,2.248689e-06,2.249447e-06,2.253060e-06,2.254858e-06,2.256597e-06,2.258866e-06,2.259359e-06,2.261399e-06,2.261598e-06,2.262770e-06,2.263173e-06,2.263517e-06,2.263696e-06,2.263686e-06,2.263317e-06,2.263266e-06,2.262449e-06,2.261970e-06,2.261116e-06,2.259888e-06,2.259353e-06,2.257189e-06,2.257094e-06,2.254653e-06,2.253655e-06,2.251774e-06,2.249631e-06,2.248574e-06,2.245079e-06,2.241309e-06,2.240048e-06,2.237285e-06,2.234586e-06,2.233027e-06,2.228735e-06,2.228552e-06,2.223876e-06,2.222534e-06,2.219017e-06,2.216018e-06,2.213987e-06,2.209221e-06,2.208801e-06,2.203472e-06,2.202173e-06,2.198012e-06,2.194901e-06,2.192431e-06,2.187430e-06,2.186742e-06,2.180954e-06,2.179785e-06,2.175075e-06,2.171986e-06,2.169116e-06,2.164053e-06,2.163083e-06,2.156986e-06,2.156005e-06,2.150831e-06,2.147858e-06,2.144625e-06,2.139628e-06,2.138375e-06,2.132086e-06,2.131329e-06,2.125765e-06,2.122975e-06,2.119417e-06,2.114577e-06,2.113046e-06,2.106658e-06,2.106146e-06,2.100257e-06,2.097693e-06,2.093847e-06,2.089228e-06,2.087432e-06,2.081016e-06,2.080760e-06,2.074603e-06,2.072296e-06,2.068196e-06,2.063843e-06,2.061797e-06,2.055410e-06,2.047002e-06,2.038625e-06,2.030285e-06,2.021986e-06,2.013734e-06,2.005531e-06,1.997383e-06,1.989293e-06,1.981263e-06,1.973297e-06,1.965397e-06,1.957567e-06,1.949807e-06,1.942120e-06,1.934509e-06,1.926973e-06,1.919516e-06,1.912137e-06,1.904839e-06,1.897621e-06,1.890486e-06,1.883433e-06,1.876464e-06,1.869578e-06
0.000000e+00,7.661315e-11,3.053363e-10,2.130834e-09,7.111783e-09,1.207730e-08,3.622933e-08,3.765309e-08,8.698126e-08,1.062174e-07,1.688317e-07,2.376578e-07,2.932153e-07,4.548223e-07,4.713095e-07,7.134466e-07,7.818266e-07,1.024639e-06,1.227944e-06,1.400897e-06,1.776872e-06,1.830845e-06,2.300889e-06,2.398602e-06,2.798967e-06,3.065788e-06,3.315536e-06,3.758228e-06,3.843117e-06,4.375614e-06,4.460912e-06,4.907819e-06,5.161808e-06,5.435149e-06,5.850757e-06,5.953542e-06,6.459425e-06,6.519138e-06,6.949706e-06,7.159801e-06,7.421791e-06,7.767095e-06,7.873578e-06,8.303443e-06,8.336848e-06,8.710217e-06,8.866278e-06,9.093141e-06,9.353846e-06,9.451825e-06,9.786200e-06,9.799072e-06,1.009647e-05,1.020234e-05,1.038305e-05,1.056470e-05,1.064655e-05,1.088771e-05,1.110738e-05,1.117328e-05,1.130646e-05,1.142351e-05,1.148593e-05,1.164070e-05,1.164679e-05,1.179005e-05,1.182714e-05,1.191671e-05,1.198515e-05,1.202776e-05,1.211697e-05,1.212416e-05,1.220686e-05,1.222476e-05,1.227673e-05,1.231059e-05,1.233465e-05,1.237638e-05,1.238144e-05,1.241787e-05,1.242398e-05,1.244468e-05,1.245506e-05,1.246258e-05,1.247121e-05,1.247222e-05,1.247423e-05,1.247389e-05,1.246919e-05,1.246443e-05,1.245766e-05,1.244409e-05,1.244013e-05,1.241711e-05,1.241400e-05,1.238904e-05,1.237520e-05,1.235635e-05,1.232865e-05,1.231942e-05,1.227864e-05,1.227522e-05,1.223435e-05,1.221572e-05,1.218686e-05,1.215087e-05,1.213649e-05,1.208351e-05,1.208134e-05,1.202817e-05,1.200772e-05,1.197073e-05,1.193059e-05,1.191141e-05,1.185043e-05,1.178796e-05,1.176770e-05,1.172421e-05,1.168281e-05,1.165933e-05,1.159614e-05,1.159349e-05,1.152682e-05,1.150803e-05,1.145947e-05,1.141878e-05,1.139156e-05,1.132868e-05,1.132319e-05,1.125449e-05,1.123797e-05,1.118555e-05,1.114687e-05,1.111646e-05,1.105560e-05,1.104730e-05,1.097815e-05,1.096433e-05,1.090908e-05,1.087322e-05,1.084017e-05,1.078243e-05,1.077146e-05,1.070301e-05,1.069209e-05,1.063488e-05,1.060230e-05,1.056711e-05,1.051318e-05,1.049974e-05,1.043281e-05,1.042481e-05,1.036636e-05,1.033728e-05,1.030041e-05,1.025065e-05,1.023501e-05,1.017016e-05,1.016500e-05,1.010590e-05,1.008036e-05,1.004224e-05,9.996796e-06,9.979211e-06,9.916820e-06,9.914338e-06,9.855084e-06,9.833022e-06,9.794015e-06,9.752874e-06,9.733624e-06,9.673919e-06,9.596175e-06,9.519656e-06,9.444371e-06,9.370330e-06,9.297534e-06,9.225987e-06,9.155686e-06,9.086629e-06,9.018810e-06,8.952222e-06,8.886857e-06,8.822704e-06,8.759752e-06,8.697989e-06,8.637401e-06,8.577976e-06,8.519696e-06,8.462548e-06,8.406515e-06,8.351580e-06,8.297727e-06,8.244938e-06,8.193197e-06,8.142485e-06
0.000000e+00,2.980952e-10,1.545587e-09,1.792286e-08,9.112149e-08,1.919054e-07,9.573156e-07,1.014356e-06,3.643665e-06,4.969303e-06,1.025657e-05,1.754841e-05,2.441115e-05,4.860743e-05,5.139707e-05,9.853058e-05,1.138507e-04,1.753295e-04,2.355808e-04,2.935290e-04,4.427243e-04,4.669545e-04,7.112875e-04,7.701557e-04,1.043755e-03,1.257542e-03,1.482761e-03,1.947874e-03,2.047480e-03,2.757422e-03,2.885790e-03,3.631976e-03,4.115794e-03,4.689971e-03,5.680469e-03,5.949235e-03,7.426191e-03,7.618771e-03,9.135492e-03,9.964511e-03,1.108970e-02,1.274508e-02,1.329905e-02,1.577121e-02,1.598051e-02,1.851119e-02,1.968278e-02,2.152126e-02,2.385559e-02,2.480094e-02,2.834702e-02,2.849433e-02,3.215374e-02,3.358644e-02,3.621283e-02,3.911188e-02,4.051376e-02,4.504393e-02,4.978891e-02,5.135008e-02,5.473264e-02,5.799296e-02,5.985775e-02,6.493135e-02,6.514576e-02,7.057737e-02,7.212125e-02,7.613267e-02,7.951681e-02,8.179141e-02,8.707128e-02,8.753320e-02,9.333771e-02,9.473788e-02,9.918485e-02,1.024705e-01,1.050550e-01,1.102245e-01,1.109290e-01,1.167884e-01,1.179570e-01,1.226158e-01,1.256277e-01,1.283943e-01,1.331990e-01,1.341083e-01,1.397430e-01,1.406362e-01,1.452847e-01,1.479080e-01,1.507209e-01,1.549862e-01,1.560402e-01,1.612322e-01,1.618462e-01,1.662876e-01,1.684666e-01,1.711983e-01,1.748293e-01,1.759572e-01,1.805582e-01,1.809193e-01,1.849961e-01,1.867247e-01,1.892669e-01,1.922364e-01,1.933672e-01,1.972947e-01,1.974482e-01,2.010478e-01,2.023560e-01,2.046256e-01,2.069584e-01,2.080281e-01,2.112556e-01,2.143093e-01,2.152500e-01,2.171908e-01,2.189456e-01,2.199023e-01,2.223477e-01,2.224463e-01,2.248258e-01,2.254630e-01,2.270441e-01,2.282992e-01,2.291048e-01,2.308649e-01,2.310119e-01,2.327696e-01,2.331696e-01,2.343820e-01,2.352233e-01,2.358538e-01,2.370363e-01,2.371896e-01,2.383939e-01,2.386195e-01,2.394718e-01,2.399839e-01,2.404279e-01,2.411405e-01,2.412672e-01,2.419944e-01,2.421007e-01,2.426145e-01,2.428755e-01,2.431322e-01,2.434759e-01,2.435524e-01,2.438796e-01,2.439129e-01,2.441186e-01,2.441970e-01,2.442739e-01,2.443386e-01,2.443499e-01,2.443509e-01,2.443479e-01,2.442812e-01,2.442345e-01,2.441450e-01,2.440079e-01,2.439461e-01,2.436885e-01,2.436770e-01,2.433759e-01,2.432506e-01,2.430119e-01,2.427369e-01,2.426001e-01,2.421437e-01,2.414786e-01,2.407486e-01,2.399603e-01,2.391202e-01,2.382341e-01,2.373076e-01,2.363459e-01,2.353539e-01,2.343361e-01,2.332968e-01,2.322398e-01,2.311689e-01,2.300873e-01,2.289981e-01,2.279042e-01,2.268082e-01,2.257125e-01,2.246193e-01,2.235305e-01,2.224480e-01,2.213733e-01,2.203080e-01,2.192533e-01,2.182104e-01
0.000000e+00,2.084182e-11,1.071746e-10,1.221549e-09,6.112975e-09,1.276279e-08,6.226355e-08,6.591420e-08,2.317227e-07,3.142315e-07,6.395977e-07,1.082605e-06,1.495895e-06,2.937065e-06,3.102125e-06,5.870777e-06,6.764753e-06,1.033283e-05,1.380637e-05,1.712945e-05,2.561674e-05,2.698658e-05,4.067852e-05,4.394631e-05,5.898900e-05,7.058896e-05,8.267497e-05,1.072392e-04,1.124358e-04,1.488885e-04,1.553779e-04,1.925491e-04,2.161891e-04,2.438195e-04,2.905065e-04,3.029785e-04,3.701783e-04,3.787851e-04,4.454439e-04,4.810949e-04,5.286765e-04,5.971324e-04,6.196594e-04,7.180670e-04,7.262483e-04,8.234750e-04,8.674865e-04,9.353726e-04,1.019632e-03,1.053176e-03,1.176242e-03,1.181264e-03,1.303881e-03,1.350812e-03,1.435373e-03,1.526611e-03,1.569978e-03,1.706951e-03,1.845552e-03,1.890128e-03,1.985054e-03,2.074484e-03,2.124758e-03,2.258440e-03,2.263992e-03,2.402126e-03,2.440525e-03,2.538571e-03,2.619399e-03,2.672783e-03,2.793862e-03,2.804270e-03,2.932587e-03,2.962867e-03,3.057343e-03,3.125520e-03,3.178195e-03,3.281082e-03,3.294851e-03,3.407067e-03,3.428959e-03,3.514645e-03,3.568700e-03,3.617430e-03,3.699982e-03,3.715309e-03,3.808205e-03,3.822603e-03,3.896078e-03,3.936468e-03,3.978918e-03,4.041579e-03,4.056745e-03,4.129604e-03,4.138016e-03,4.197564e-03,4.225936e-03,4.260712e-03,4.305551e-03,4.319154e-03,4.373009e-03,4.377123e-03,4.422410e-03,4.440954e-03,4.467497e-03,4.497374e-03,4.508423e-03,4.545342e-03,4.546738e-03,4.578416e-03,4.589413e-03,4.607809e-03,4.625777e-03,4.633685e-03,4.656210e-03,4.675550e-03,4.681093e-03,4.691869e-03,4.700801e-03,4.705326e-03,4.715701e-03,4.716081e-03,4.724289e-03,4.726151e-03,4.730099e-03,4.732495e-03,4.733658e-03,4.735065e-03,4.735107e-03,4.734584e-03,4.734179e-03,4.732218e-03,4.730137e-03,4.728138e-03,4.723223e-03,4.722462e-03,4.715307e-03,4.713709e-03,4.706783e-03,4.701845e-03,4.696995e-03,4.687870e-03,4.686043e-03,4.674021e-03,4.672005e-03,4.661020e-03,4.654457e-03,4.647125e-03,4.635419e-03,4.632415e-03,4.616968e-03,4.615068e-03,4.600855e-03,4.593572e-03,4.584143e-03,4.571080e-03,4.566895e-03,4.549171e-03,4.547734e-03,4.531027e-03,4.523664e-03,4.512515e-03,4.498986e-03,4.493684e-03,4.474580e-03,4.473811e-03,4.455246e-03,4.448237e-03,4.435721e-03,4.422355e-03,4.416043e-03,4.396247e-03,4.369987e-03,4.343645e-03,4.317281e-03,4.290951e-03,4.264704e-03,4.238586e-03,4.212635e-03,4.186889e-03,4.161378e-03,4.136131e-03,4.111173e-03,4.086524e-03,4.062204e-03,4.038230e-03,4.014615e-03,3.991370e-03,3.968507e-03,3.946033e-03,3.923954e-03,3.902275e-03,3.881001e-03,3.860132e-03,3.839672e-03,3.819620e-03
0.000000e+00,9.015258e-12,4.621784e-11,5.233350e-10,2.602330e-09,5.413248e-09,2.613817e-08,2.765836e-08,9.610104e-08,1.298659e-07,2.618539e-07,4.395234e-07,6.037669e-07,1.168699e-06,1.232799e-06,2.295160e-06,2.634146e-06,3.973539e-06,5.262141e-06,6.484898e-06,9.577508e-06,1.007357e-05,1.500030e-05,1.616954e-05,2.152931e-05,2.564301e-05,2.991578e-05,3.856868e-05,4.039484e-05,5.317268e-05,5.544240e-05,6.841982e-05,7.665540e-05,8.626644e-05,1.024752e-04,1.067994e-04,1.300609e-04,1.330360e-04,1.560484e-04,1.683361e-04,1.847159e-04,2.082433e-04,2.159762e-04,2.497041e-04,2.525043e-04,2.857400e-04,3.007591e-04,3.238946e-04,3.525582e-04,3.639534e-04,4.056822e-04,4.073826e-04,4.488315e-04,4.646634e-04,4.931424e-04,5.238025e-04,5.383506e-04,5.841917e-04,6.304048e-04,6.452298e-04,6.767363e-04,7.063381e-04,7.229436e-04,7.669726e-04,7.687972e-04,8.140831e-04,8.266341e-04,8.586044e-04,8.848751e-04,9.021826e-04,9.413043e-04,9.446584e-04,9.858915e-04,9.955887e-04,1.025761e-03,1.047454e-03,1.064166e-03,1.096683e-03,1.101022e-03,1.136264e-03,1.143114e-03,1.169841e-03,1.186633e-03,1.201722e-03,1.227174e-03,1.231884e-03,1.260322e-03,1.264712e-03,1.287040e-03,1.299258e-03,1.312054e-03,1.330854e-03,1.335387e-03,1.357072e-03,1.359566e-03,1.377148e-03,1.385482e-03,1.395657e-03,1.408708e-03,1.412651e-03,1.428181e-03,1.429362e-03,1.442302e-03,1.447569e-03,1.455073e-03,1.463465e-03,1.466552e-03,1.476799e-03,1.477184e-03,1.485874e-03,1.488865e-03,1.493836e-03,1.498644e-03,1.500744e-03,1.506656e-03,1.511629e-03,1.513032e-03,1.515719e-03,1.517897e-03,1.518977e-03,1.521372e-03,1.521457e-03,1.523208e-03,1.523574e-03,1.524277e-03,1.524610e-03,1.524710e-03,1.524584e-03,1.524550e-03,1.523840e-03,1.523592e-03,1.522618e-03,1.521724e-03,1.520921e-03,1.519064e-03,1.518786e-03,1.516244e-03,1.515690e-03,1.513328e-03,1.511674e-03,1.510067e-03,1.507082e-03,1.506489e-03,1.502620e-03,1.501976e-03,1.498485e-03,1.496412e-03,1.494107e-03,1.490443e-03,1.489506e-03,1.484705e-03,1.484116e-03,1.479720e-03,1.477474e-03,1.474571e-03,1.470557e-03,1.469273e-03,1.463842e-03,1.463402e-03,1.458291e-03,1.456041e-03,1.452635e-03,1.448505e-03,1.446886e-03,1.441056e-03,1.440821e-03,1.435154e-03,1.433014e-03,1.429192e-03,1.425107e-03,1.423178e-03,1.417121e-03,1.409074e-03,1.400983e-03,1.392864e-03,1.384730e-03,1.376594e-03,1.368468e-03,1.360362e-03,1.352284e-03,1.344244e-03,1.336248e-03,1.328304e-03,1.320417e-03,1.312593e-03,1.304837e-03,1.297153e-03,1.289544e-03,1.282014e-03,1.274567e-03,1.267203e-03,1.259926e-03,1.252737e-03,1.245639e-03,1.238632e-03,1.231717e-03
0.000000e+00,1.995990e-11,1.029237e-10,1.179889e-09,5.935764e-09,1.242876e-08,6.108587e-08,6.468683e-08,2.290477e-07,3.111965e-07,6.363889e-07,1.081113e-06,1.497295e-06,2.954649e-06,3.122022e-06,5.939742e-06,6.853147e-06,1.051383e-05,1.409876e-05,1.754646e-05,2.642438e-05,2.786625e-05,4.239869e-05,4.589662e-05,6.212586e-05,7.476790e-05,8.804267e-05,1.153048e-04,1.211155e-04,1.622458e-04,1.696298e-04,2.122403e-04,2.395935e-04,2.717877e-04,3.266802e-04,3.414410e-04,4.216061e-04,4.319459e-04,5.125354e-04,5.559849e-04,6.143258e-04,6.989211e-04,7.269207e-04,8.501157e-04,8.604199e-04,9.835670e-04,1.039718e-03,1.126803e-03,1.235665e-03,1.279235e-03,1.440175e-03,1.446779e-03,1.608850e-03,1.671306e-03,1.784416e-03,1.907281e-03,1.965975e-03,2.152593e-03,2.343312e-03,2.405050e-03,2.537164e-03,2.662430e-03,2.733189e-03,2.922538e-03,2.930440e-03,3.128000e-03,3.183250e-03,3.324986e-03,3.442552e-03,3.520561e-03,3.698565e-03,3.713937e-03,3.904381e-03,3.949575e-03,4.091219e-03,4.194043e-03,4.273839e-03,4.430617e-03,4.451690e-03,4.624285e-03,4.658135e-03,4.791200e-03,4.875627e-03,4.952070e-03,5.082306e-03,5.106592e-03,5.254520e-03,5.277563e-03,5.395662e-03,5.460957e-03,5.529878e-03,5.632200e-03,5.657076e-03,5.777210e-03,5.791150e-03,5.890274e-03,5.937790e-03,5.996301e-03,6.072215e-03,6.095357e-03,6.187537e-03,6.194618e-03,6.272964e-03,6.305275e-03,6.351783e-03,6.404534e-03,6.424161e-03,6.490280e-03,6.492797e-03,6.550336e-03,6.570512e-03,6.604538e-03,6.638161e-03,6.653102e-03,6.696251e-03,6.734215e-03,6.745306e-03,6.767224e-03,6.785857e-03,6.795511e-03,6.818438e-03,6.819307e-03,6.838843e-03,6.843580e-03,6.854346e-03,6.861805e-03,6.866041e-03,6.873625e-03,6.874146e-03,6.878877e-03,6.879534e-03,6.880443e-03,6.880011e-03,6.879043e-03,6.875515e-03,6.874875e-03,6.868126e-03,6.866483e-03,6.858979e-03,6.853332e-03,6.847605e-03,6.836455e-03,6.834174e-03,6.818843e-03,6.816224e-03,6.801764e-03,6.792989e-03,6.783083e-03,6.767077e-03,6.762937e-03,6.741455e-03,6.738794e-03,6.718762e-03,6.708424e-03,6.694974e-03,6.676231e-03,6.670201e-03,6.644547e-03,6.642459e-03,6.618108e-03,6.607335e-03,6.590979e-03,6.571065e-03,6.563243e-03,6.534982e-03,6.533842e-03,6.506272e-03,6.495840e-03,6.477183e-03,6.457220e-03,6.447781e-03,6.418128e-03,6.378696e-03,6.339045e-03,6.299284e-03,6.259513e-03,6.219819e-03,6.180283e-03,6.140974e-03,6.101958e-03,6.063290e-03,6.025020e-03,5.987192e-03,5.949843e-03,5.913008e-03,5.876715e-03,5.840988e-03,5.805848e-03,5.771312e-03,5.737393e-03,5.704104e-03,5.671452e-03,5.639443e-03,5.608082e-03,5.577371e-03,5.547310e-03
0.000000e+00,1.672978e-10,8.643944e-10,9.959059e-09,5.040719e-08,1.059859e-07,5.284096e-07,5.599561e-07,2.025031e-06,2.771016e-06,5.786288e-06,1.002940e-05,1.409412e-05,2.882576e-05,3.055567e-05,6.043309e-05,7.033751e-05,1.106530e-04,1.507110e-04,1.895128e-04,2.899067e-04,3.062296e-04,4.704649e-04,5.098698e-04,6.918950e-04,8.327609e-04,9.798470e-04,1.279511e-03,1.343004e-03,1.789171e-03,1.868728e-03,2.325094e-03,2.615897e-03,2.956325e-03,3.532845e-03,3.687132e-03,4.520437e-03,4.627410e-03,5.457797e-03,5.903298e-03,6.499407e-03,7.360108e-03,7.644141e-03,8.889604e-03,8.993494e-03,1.023222e-02,1.079546e-02,1.166733e-02,1.275476e-02,1.318930e-02,1.479166e-02,1.485733e-02,1.646722e-02,1.708685e-02,1.820820e-02,1.942526e-02,2.000639e-02,2.185326e-02,2.374011e-02,2.435091e-02,2.565815e-02,2.689803e-02,2.759864e-02,2.947466e-02,2.955300e-02,3.151284e-02,3.206147e-02,3.347012e-02,3.464004e-02,3.541714e-02,3.719310e-02,3.734665e-02,3.925185e-02,3.970478e-02,4.112646e-02,4.216070e-02,4.296469e-02,4.454808e-02,4.476132e-02,4.651164e-02,4.685578e-02,4.821151e-02,4.907428e-02,4.985731e-02,5.119570e-02,5.144593e-02,5.297476e-02,5.321368e-02,5.444169e-02,5.512333e-02,5.584506e-02,5.692115e-02,5.718363e-02,5.845657e-02,5.860489e-02,5.966342e-02,6.017346e-02,6.080407e-02,6.162679e-02,6.187871e-02,6.288783e-02,6.296576e-02,6.383219e-02,6.419200e-02,6.471274e-02,6.530789e-02,6.553068e-02,6.628734e-02,6.631636e-02,6.698425e-02,6.722082e-02,6.762304e-02,6.802510e-02,6.820545e-02,6.873332e-02,6.920856e-02,6.934984e-02,6.963313e-02,6.987919e-02,7.000903e-02,7.032598e-02,7.033828e-02,7.062291e-02,7.069489e-02,7.086496e-02,7.099060e-02,7.106647e-02,7.121775e-02,7.122942e-02,7.135580e-02,7.138091e-02,7.144756e-02,7.148453e-02,7.150659e-02,7.153295e-02,7.153476e-02,7.153388e-02,7.153038e-02,7.150572e-02,7.148086e-02,7.145197e-02,7.138826e-02,7.137429e-02,7.127427e-02,7.125630e-02,7.115344e-02,7.108848e-02,7.101327e-02,7.088815e-02,7.085516e-02,7.068047e-02,7.065846e-02,7.049049e-02,7.040237e-02,7.028644e-02,7.012267e-02,7.006949e-02,6.984077e-02,6.982199e-02,6.960132e-02,6.950277e-02,6.935216e-02,6.916728e-02,6.909422e-02,6.882842e-02,6.881763e-02,6.855559e-02,6.845581e-02,6.827654e-02,6.808361e-02,6.799202e-02,6.770274e-02,6.731473e-02,6.692100e-02,6.652287e-02,6.612154e-02,6.571808e-02,6.531351e-02,6.490871e-02,6.450452e-02,6.410166e-02,6.370082e-02,6.330258e-02,6.290749e-02,6.251602e-02,6.212859e-02,6.174559e-02,6.136734e-02,6.099412e-02,6.062619e-02,6.026376e-02,5.990701e-02,5.955609e-02,5.921111e-02,5.887220e-02,5.853941e-02
0.000000e+00,2.488592e-11,1.070304e-10,8.565286e-10,3.166841e-09,5.643037e-09,1.873277e-08,1.953694e-08,4.848267e-08,6.012063e-08,9.863850e-08,1.415251e-07,1.763037e-07,2.776315e-07,2.879708e-07,4.401049e-07,4.832962e-07,6.383118e-07,7.708835e-07,8.862113e-07,1.146477e-06,1.185012e-06,1.534098e-06,1.609822e-06,1.931914e-06,2.157403e-06,2.376527e-06,2.784617e-06,2.865812e-06,3.397438e-06,3.486258e-06,3.968802e-06,4.256328e-06,4.576989e-06,5.087890e-06,5.218769e-06,5.890626e-06,5.973095e-06,6.588818e-06,6.903364e-06,7.309442e-06,7.869668e-06,8.048514e-06,8.802045e-06,8.862834e-06,9.566118e-06,9.873841e-06,1.033693e-05,1.089404e-05,1.111085e-05,1.188448e-05,1.191537e-05,1.265467e-05,1.293054e-05,1.341857e-05,1.393309e-05,1.417358e-05,1.491741e-05,1.564803e-05,1.587875e-05,1.636371e-05,1.681321e-05,1.706297e-05,1.771765e-05,1.774456e-05,1.840747e-05,1.858962e-05,1.905088e-05,1.942731e-05,1.967418e-05,2.022946e-05,2.027691e-05,2.085875e-05,2.099527e-05,2.141954e-05,2.172435e-05,2.195919e-05,2.241665e-05,2.247776e-05,2.297537e-05,2.307239e-05,2.345220e-05,2.369202e-05,2.390851e-05,2.427619e-05,2.434462e-05,2.476088e-05,2.482566e-05,2.515767e-05,2.534133e-05,2.553541e-05,2.582418e-05,2.589454e-05,2.623552e-05,2.627524e-05,2.655883e-05,2.669560e-05,2.686493e-05,2.708637e-05,2.715432e-05,2.742749e-05,2.744866e-05,2.768493e-05,2.778361e-05,2.792713e-05,2.809235e-05,2.815457e-05,2.836774e-05,2.837597e-05,2.856711e-05,2.863560e-05,2.875316e-05,2.887230e-05,2.892635e-05,2.908713e-05,2.923594e-05,2.928111e-05,2.937324e-05,2.945526e-05,2.949944e-05,2.961053e-05,2.961495e-05,2.972020e-05,2.974788e-05,2.981557e-05,2.986822e-05,2.990146e-05,2.997242e-05,2.997824e-05,3.004628e-05,3.006135e-05,3.010593e-05,3.013580e-05,3.015754e-05,3.019658e-05,3.020145e-05,3.023799e-05,3.024444e-05,3.026747e-05,3.028011e-05,3.029020e-05,3.030429e-05,3.030648e-05,3.031659e-05,3.031765e-05,3.032082e-05,3.032084e-05,3.031943e-05,3.031446e-05,3.031269e-05,3.030085e-05,3.029910e-05,3.028416e-05,3.027534e-05,3.026284e-05,3.024370e-05,3.023714e-05,3.020726e-05,3.020470e-05,3.017343e-05,3.015884e-05,3.013584e-05,3.010657e-05,3.009470e-05,3.005020e-05,3.004835e-05,3.000251e-05,2.998460e-05,2.995183e-05,2.991573e-05,2.989831e-05,2.984212e-05,2.976414e-05,2.968213e-05,2.959643e-05,2.950735e-05,2.941519e-05,2.932024e-05,2.922275e-05,2.912299e-05,2.902119e-05,2.891758e-05,2.881238e-05,2.870579e-05,2.859800e-05,2.848919e-05,2.837953e-05,2.826918e-05,2.815830e-05,2.804702e-05,2.793548e-05,2.782380e-05,2.771210e-05,2.760049e-05,2.748907e-05,2.737795e-05
0.000000e+00,4.771935e-11,2.469471e-10,2.852581e-09,1.445472e-08,3.039054e-08,1.510267e-07,1.600041e-07,5.732725e-07,7.814941e-07,1.612132e-06,2.758966e-06,3.839985e-06,7.664298e-06,8.106439e-06,1.561027e-05,1.806136e-05,2.794561e-05,3.769296e-05,4.711111e-05,7.149838e-05,7.547321e-05,1.156928e-04,1.254091e-04,1.706320e-04,2.060004e-04,2.432552e-04,3.200997e-04,3.365325e-04,4.533501e-04,4.744103e-04,5.964306e-04,6.751792e-04,7.682629e-04,9.279174e-04,9.710438e-04,1.206630e-03,1.237180e-03,1.476503e-03,1.606402e-03,1.781742e-03,2.037801e-03,2.123012e-03,2.500557e-03,2.532325e-03,2.914207e-03,3.089661e-03,3.363391e-03,3.708287e-03,3.847159e-03,4.364211e-03,4.385563e-03,4.912922e-03,5.117850e-03,5.491389e-03,5.900654e-03,6.097460e-03,6.728780e-03,7.382827e-03,7.596493e-03,8.056956e-03,8.497677e-03,8.748432e-03,9.425985e-03,9.454471e-03,1.017227e-02,1.037499e-02,1.089905e-02,1.133828e-02,1.163206e-02,1.230963e-02,1.236863e-02,1.310616e-02,1.328303e-02,1.384218e-02,1.425281e-02,1.457433e-02,1.521365e-02,1.530038e-02,1.601826e-02,1.616068e-02,1.672604e-02,1.708949e-02,1.742194e-02,1.799613e-02,1.810435e-02,1.877182e-02,1.887714e-02,1.942304e-02,1.972951e-02,2.005687e-02,2.055073e-02,2.067231e-02,2.126850e-02,2.133872e-02,2.184475e-02,2.209182e-02,2.240045e-02,2.280877e-02,2.293517e-02,2.344855e-02,2.348869e-02,2.394037e-02,2.413103e-02,2.441050e-02,2.473555e-02,2.485891e-02,2.528566e-02,2.530228e-02,2.569086e-02,2.583150e-02,2.607473e-02,2.632371e-02,2.643754e-02,2.677959e-02,2.710127e-02,2.719998e-02,2.740300e-02,2.758584e-02,2.768523e-02,2.793828e-02,2.794845e-02,2.819317e-02,2.825845e-02,2.841993e-02,2.854760e-02,2.862929e-02,2.880702e-02,2.882182e-02,2.899809e-02,2.903804e-02,2.915868e-02,2.924199e-02,2.930420e-02,2.942025e-02,2.943523e-02,2.955236e-02,2.957417e-02,2.965616e-02,2.970507e-02,2.974723e-02,2.981430e-02,2.982613e-02,2.989342e-02,2.990314e-02,2.994965e-02,2.997287e-02,2.999536e-02,3.002470e-02,3.003107e-02,3.005730e-02,3.005983e-02,3.007454e-02,3.007940e-02,3.008328e-02,3.008452e-02,3.008398e-02,3.007710e-02,3.007623e-02,3.006307e-02,3.005555e-02,3.004231e-02,3.002344e-02,3.001524e-02,2.998223e-02,2.998080e-02,2.994367e-02,2.992850e-02,2.989991e-02,2.986737e-02,2.985130e-02,2.979817e-02,2.972164e-02,2.963846e-02,2.954928e-02,2.945471e-02,2.935531e-02,2.925160e-02,2.914410e-02,2.903326e-02,2.891950e-02,2.880323e-02,2.868483e-02,2.856463e-02,2.844295e-02,2.832009e-02,2.819633e-02,2.807191e-02,2.794707e-02,2.782202e-02,2.769695e-02,2.757205e-02,2.744748e-02,2.732338e-02,2.719989e-02,2.707714e-02
0.000000e+00,8.726306e-11,4.497357e-10,5.151186e-09,2.590392e-08,5.423862e-08,2.668030e-07,2.825498e-07,1.003092e-06,1.364326e-06,2.799872e-06,4.774544e-06,6.632051e-06,1.319093e-05,1.394857e-05,2.679712e-05,3.099078e-05,4.788435e-05,6.451184e-05,8.054396e-05,1.218962e-04,1.286142e-04,1.962640e-04,2.125226e-04,2.878079e-04,3.462828e-04,4.075348e-04,5.329035e-04,5.595595e-04,7.477015e-04,7.813910e-04,9.753866e-04,1.099609e-03,1.245572e-03,1.493975e-03,1.560691e-03,1.922614e-03,1.969257e-03,2.332626e-03,2.528465e-03,2.791418e-03,3.172809e-03,3.299093e-03,3.855181e-03,3.901733e-03,4.458669e-03,4.713010e-03,5.108031e-03,5.602878e-03,5.801280e-03,6.536009e-03,6.566223e-03,7.309452e-03,7.596785e-03,8.118535e-03,8.687382e-03,8.959936e-03,9.830142e-03,1.072550e-02,1.101673e-02,1.164229e-02,1.223854e-02,1.257674e-02,1.348694e-02,1.352510e-02,1.448367e-02,1.475340e-02,1.544884e-02,1.602965e-02,1.641712e-02,1.730782e-02,1.738518e-02,1.834984e-02,1.858052e-02,1.930812e-02,1.984091e-02,2.025721e-02,2.108278e-02,2.119455e-02,2.211777e-02,2.230052e-02,2.302469e-02,2.348920e-02,2.391339e-02,2.464453e-02,2.478212e-02,2.562936e-02,2.576283e-02,2.645377e-02,2.684104e-02,2.725422e-02,2.787668e-02,2.802975e-02,2.877956e-02,2.886778e-02,2.950304e-02,2.981290e-02,3.019970e-02,3.071101e-02,3.086920e-02,3.151133e-02,3.156151e-02,3.212600e-02,3.236418e-02,3.271323e-02,3.311910e-02,3.327312e-02,3.380588e-02,3.382663e-02,3.431178e-02,3.448740e-02,3.479118e-02,3.510223e-02,3.524447e-02,3.567213e-02,3.607466e-02,3.619825e-02,3.645261e-02,3.668187e-02,3.680656e-02,3.712435e-02,3.713713e-02,3.744494e-02,3.752714e-02,3.773065e-02,3.789175e-02,3.799493e-02,3.821970e-02,3.823844e-02,3.846186e-02,3.851257e-02,3.866589e-02,3.877193e-02,3.885121e-02,3.899935e-02,3.901849e-02,3.916842e-02,3.919638e-02,3.930166e-02,3.936457e-02,3.941888e-02,3.950544e-02,3.952073e-02,3.960784e-02,3.962046e-02,3.968087e-02,3.971109e-02,3.974041e-02,3.977874e-02,3.978707e-02,3.982145e-02,3.982478e-02,3.984412e-02,3.985052e-02,3.985563e-02,3.985726e-02,3.985654e-02,3.984736e-02,3.984621e-02,3.982862e-02,3.981856e-02,3.980081e-02,3.977544e-02,3.976441e-02,3.971988e-02,3.971794e-02,3.966768e-02,3.964710e-02,3.960824e-02,3.956390e-02,3.954198e-02,3.946929e-02,3.936418e-02,3.924942e-02,3.912582e-02,3.899415e-02,3.885514e-02,3.870948e-02,3.855783e-02,3.840081e-02,3.823899e-02,3.807293e-02,3.790314e-02,3.773010e-02,3.755429e-02,3.737611e-02,3.719597e-02,3.701426e-02,3.683131e-02,3.664746e-02,3.646302e-02,3.627826e-02,3.609345e-02,3.590884e-02,3.572466e-02,3.554110e-02
0.000000e+00,9.776601e-11,4.046121e-10,3.017003e-09,1.056191e-08,1.832981e-08,5.741252e-08,5.975223e-08,1.417105e-07,1.738645e-07,2.784375e-07,3.926677e-07,4.841483e-07,7.467387e-07,7.732828e-07,1.160345e-06,1.269371e-06,1.659009e-06,1.991265e-06,2.280171e-06,2.932417e-06,3.028989e-06,3.901839e-06,4.090267e-06,4.885267e-06,5.433559e-06,5.958283e-06,6.911254e-06,7.096850e-06,8.277970e-06,8.469525e-06,9.481874e-06,1.006298e-05,1.069246e-05,1.165700e-05,1.189685e-05,1.308475e-05,1.322578e-05,1.424788e-05,1.475006e-05,1.537962e-05,1.621543e-05,1.647465e-05,1.752885e-05,1.761133e-05,1.853910e-05,1.893036e-05,1.950316e-05,2.016784e-05,2.041958e-05,2.128760e-05,2.132131e-05,2.210700e-05,2.239012e-05,2.287805e-05,2.337508e-05,2.360144e-05,2.427816e-05,2.490946e-05,2.510212e-05,2.549680e-05,2.585036e-05,2.604177e-05,2.652664e-05,2.654605e-05,2.701140e-05,2.713497e-05,2.743961e-05,2.767946e-05,2.783248e-05,2.816424e-05,2.819179e-05,2.851931e-05,2.859338e-05,2.881675e-05,2.897081e-05,2.908579e-05,2.930034e-05,2.932804e-05,2.954506e-05,2.958557e-05,2.973834e-05,2.982995e-05,2.990933e-05,3.003673e-05,3.005938e-05,3.018981e-05,3.020894e-05,3.030185e-05,3.034945e-05,3.039668e-05,3.046092e-05,3.047543e-05,3.053915e-05,3.054584e-05,3.058885e-05,3.060653e-05,3.062548e-05,3.064513e-05,3.064993e-05,3.066306e-05,3.066364e-05,3.066565e-05,3.066392e-05,3.065848e-05,3.064766e-05,3.064224e-05,3.061761e-05,3.061646e-05,3.058522e-05,3.057178e-05,3.054567e-05,3.051497e-05,3.049951e-05,3.044727e-05,3.038944e-05,3.036983e-05,3.032648e-05,3.028371e-05,3.025885e-05,3.018989e-05,3.018693e-05,3.011113e-05,3.008926e-05,3.003179e-05,2.998264e-05,2.994926e-05,2.987079e-05,2.986386e-05,2.977587e-05,2.975440e-05,2.968559e-05,2.963412e-05,2.959326e-05,2.951052e-05,2.949914e-05,2.940345e-05,2.938414e-05,2.930640e-05,2.925547e-05,2.920819e-05,2.912494e-05,2.910902e-05,2.900904e-05,2.899298e-05,2.890843e-05,2.885996e-05,2.880734e-05,2.872620e-05,2.870589e-05,2.860424e-05,2.859203e-05,2.850249e-05,2.845771e-05,2.840075e-05,2.832351e-05,2.829914e-05,2.819775e-05,2.818965e-05,2.809666e-05,2.805634e-05,2.799597e-05,2.792376e-05,2.789575e-05,2.779606e-05,2.779208e-05,2.769698e-05,2.766146e-05,2.759855e-05,2.753203e-05,2.750085e-05,2.740391e-05,2.727720e-05,2.715200e-05,2.702840e-05,2.690645e-05,2.678624e-05,2.666780e-05,2.655119e-05,2.643644e-05,2.632359e-05,2.621266e-05,2.610366e-05,2.599662e-05,2.589155e-05,2.578844e-05,2.568730e-05,2.558814e-05,2.549093e-05,2.539568e-05,2.530238e-05,2.521100e-05,2.512154e-05,2.503399e-05,2.494831e-05,2.486449e-05
0.000000e+00,6.670713e-11,3.416701e-10,3.862323e-09,1.918376e-08,3.988840e-08,1.925703e-07,2.037754e-07,7.092036e-07,9.591774e-07,1.939735e-06,3.266885e-06,4.499931e-06,8.777196e-06,9.265508e-06,1.742591e-05,2.005155e-05,3.049929e-05,4.063159e-05,5.029624e-05,7.487545e-05,7.883009e-05,1.181973e-04,1.275538e-04,1.704563e-04,2.033698e-04,2.375226e-04,3.065473e-04,3.210884e-04,4.225647e-04,4.405407e-04,5.430454e-04,6.078620e-04,6.832881e-04,8.100022e-04,8.437093e-04,1.024390e-03,1.047425e-03,1.225092e-03,1.319614e-03,1.445275e-03,1.625155e-03,1.684131e-03,1.940608e-03,1.961851e-03,2.213449e-03,2.326851e-03,2.501222e-03,2.716790e-03,2.802361e-03,3.115199e-03,3.127931e-03,3.438000e-03,3.556307e-03,3.768994e-03,3.997843e-03,4.106406e-03,4.448480e-03,4.793506e-03,4.904267e-03,5.139838e-03,5.361449e-03,5.485910e-03,5.816528e-03,5.830251e-03,6.171492e-03,6.266310e-03,6.508376e-03,6.707936e-03,6.839762e-03,7.138897e-03,7.164624e-03,7.482055e-03,7.557042e-03,7.791260e-03,7.960564e-03,8.091559e-03,8.347994e-03,8.382375e-03,8.663235e-03,8.718178e-03,8.933761e-03,9.070250e-03,9.193661e-03,9.403611e-03,9.442727e-03,9.680826e-03,9.717898e-03,9.907890e-03,1.001296e-02,1.012391e-02,1.028881e-02,1.032894e-02,1.052308e-02,1.054565e-02,1.070646e-02,1.078378e-02,1.087925e-02,1.100362e-02,1.104167e-02,1.119394e-02,1.120569e-02,1.133631e-02,1.139056e-02,1.146907e-02,1.155886e-02,1.159249e-02,1.170688e-02,1.171127e-02,1.181253e-02,1.184848e-02,1.190976e-02,1.197122e-02,1.199888e-02,1.208020e-02,1.215404e-02,1.217615e-02,1.222072e-02,1.225978e-02,1.228054e-02,1.233179e-02,1.233380e-02,1.238081e-02,1.239289e-02,1.242185e-02,1.244374e-02,1.245722e-02,1.248499e-02,1.248719e-02,1.251203e-02,1.251726e-02,1.253201e-02,1.254117e-02,1.254738e-02,1.255729e-02,1.255838e-02,1.256526e-02,1.256616e-02,1.256825e-02,1.256833e-02,1.256756e-02,1.256429e-02,1.256340e-02,1.255599e-02,1.255452e-02,1.254552e-02,1.253947e-02,1.253218e-02,1.251956e-02,1.251614e-02,1.249759e-02,1.249520e-02,1.247668e-02,1.246677e-02,1.245357e-02,1.243463e-02,1.242842e-02,1.240136e-02,1.239912e-02,1.237254e-02,1.236055e-02,1.234209e-02,1.231923e-02,1.231013e-02,1.227678e-02,1.227542e-02,1.224215e-02,1.222939e-02,1.220635e-02,1.218140e-02,1.216949e-02,1.213165e-02,1.208038e-02,1.202777e-02,1.197401e-02,1.191929e-02,1.186374e-02,1.180753e-02,1.175079e-02,1.169366e-02,1.163624e-02,1.157864e-02,1.152098e-02,1.146333e-02,1.140579e-02,1.134844e-02,1.129134e-02,1.123455e-02,1.117815e-02,1.112218e-02,1.106669e-02,1.101172e-02,1.095733e-02,1.090353e-02,1.085037e-02,1.079786e-02
0.000000e+00,7.260099e-12,3.723525e-11,4.224805e-10,2.108990e-09,4.401255e-09,2.153304e-08,2.280148e-08,8.100504e-08,1.103302e-07,2.277794e-07,3.913471e-07,5.469275e-07,1.105931e-06,1.171255e-06,2.294125e-06,2.664908e-06,4.169673e-06,5.659131e-06,7.096993e-06,1.079538e-05,1.139372e-05,1.736830e-05,1.878966e-05,2.529724e-05,3.027076e-05,3.540922e-05,4.571788e-05,4.787617e-05,6.280952e-05,6.543199e-05,8.026064e-05,8.953190e-05,1.002239e-04,1.179661e-04,1.226415e-04,1.474094e-04,1.505329e-04,1.743831e-04,1.869057e-04,2.033851e-04,2.266578e-04,2.342103e-04,2.666332e-04,2.692889e-04,3.004129e-04,3.142490e-04,3.352997e-04,3.609609e-04,3.710393e-04,4.073781e-04,4.088406e-04,4.440673e-04,4.573145e-04,4.808662e-04,5.058347e-04,5.175457e-04,5.538904e-04,5.897012e-04,6.010176e-04,6.247960e-04,6.468047e-04,6.590114e-04,6.908968e-04,6.922032e-04,7.242461e-04,7.329974e-04,7.550340e-04,7.728672e-04,7.844794e-04,8.103231e-04,8.125124e-04,8.390803e-04,8.452342e-04,8.641461e-04,8.775178e-04,8.876872e-04,9.071347e-04,9.096946e-04,9.301714e-04,9.340841e-04,9.491312e-04,9.583981e-04,9.665971e-04,9.801365e-04,9.826002e-04,9.971785e-04,9.993817e-04,1.010376e-03,1.016234e-03,1.022241e-03,1.030809e-03,1.032826e-03,1.042186e-03,1.043229e-03,1.050377e-03,1.053627e-03,1.057459e-03,1.062135e-03,1.063490e-03,1.068528e-03,1.068890e-03,1.072632e-03,1.074025e-03,1.075860e-03,1.077673e-03,1.078267e-03,1.079909e-03,1.079960e-03,1.080839e-03,1.081010e-03,1.081108e-03,1.080938e-03,1.080765e-03,1.079856e-03,1.078427e-03,1.077866e-03,1.076519e-03,1.075066e-03,1.074174e-03,1.071546e-03,1.071429e-03,1.068320e-03,1.067388e-03,1.064880e-03,1.062670e-03,1.061141e-03,1.057462e-03,1.057132e-03,1.052881e-03,1.051827e-03,1.048413e-03,1.045826e-03,1.043754e-03,1.039511e-03,1.038923e-03,1.033943e-03,1.032931e-03,1.028832e-03,1.026129e-03,1.023608e-03,1.019145e-03,1.018288e-03,1.012885e-03,1.012014e-03,1.007414e-03,1.004768e-03,1.001888e-03,9.974356e-04,9.963187e-04,9.907161e-04,9.900420e-04,9.850903e-04,9.826100e-04,9.794505e-04,9.751598e-04,9.738047e-04,9.681604e-04,9.677092e-04,9.625246e-04,9.602740e-04,9.569033e-04,9.528683e-04,9.513023e-04,9.457266e-04,9.455042e-04,9.401810e-04,9.381927e-04,9.346695e-04,9.309431e-04,9.291959e-04,9.237637e-04,9.166616e-04,9.096428e-04,9.027128e-04,8.958761e-04,8.891363e-04,8.824969e-04,8.759602e-04,8.695285e-04,8.632033e-04,8.569860e-04,8.508775e-04,8.448782e-04,8.389885e-04,8.332084e-04,8.275377e-04,8.219762e-04,8.165232e-04,8.111780e-04,8.059398e-04,8.008077e-04,7.957806e-04,7.908572e-04,7.860365e-04,7.813170e-04
0.000000e+00,1.282255e-11,6.578633e-11,7.463079e-10,3.719247e-09,7.747969e-09,3.759542e-08,3.979147e-08,1.392313e-07,1.885908e-07,3.828690e-07,6.468934e-07,8.929201e-07,1.749540e-06,1.847546e-06,3.488448e-06,4.017050e-06,6.120753e-06,8.159658e-06,1.010243e-05,1.503371e-05,1.582590e-05,2.369691e-05,2.556426e-05,3.411457e-05,4.066417e-05,4.745430e-05,6.116650e-05,6.405415e-05,8.420428e-05,8.777429e-05,1.081395e-04,1.210265e-04,1.360342e-04,1.612775e-04,1.679993e-04,2.040821e-04,2.086886e-04,2.442662e-04,2.632290e-04,2.884752e-04,3.246858e-04,3.365757e-04,3.883827e-04,3.926808e-04,4.436655e-04,4.666926e-04,5.021543e-04,5.460826e-04,5.635467e-04,6.275156e-04,6.301231e-04,6.937154e-04,7.180250e-04,7.617894e-04,8.089657e-04,8.313758e-04,9.021136e-04,9.736479e-04,9.966505e-04,1.045634e-03,1.091790e-03,1.117743e-03,1.186793e-03,1.189662e-03,1.261099e-03,1.280978e-03,1.331784e-03,1.373730e-03,1.401469e-03,1.464504e-03,1.469931e-03,1.536972e-03,1.552830e-03,1.602414e-03,1.638307e-03,1.666108e-03,1.720608e-03,1.727923e-03,1.787751e-03,1.799470e-03,1.845505e-03,1.874693e-03,1.901116e-03,1.946136e-03,1.954534e-03,2.005724e-03,2.013706e-03,2.054666e-03,2.077357e-03,2.101353e-03,2.137084e-03,2.145792e-03,2.187998e-03,2.192914e-03,2.227996e-03,2.244904e-03,2.265820e-03,2.293137e-03,2.301510e-03,2.335112e-03,2.337712e-03,2.366678e-03,2.378746e-03,2.396262e-03,2.416368e-03,2.423922e-03,2.449720e-03,2.450714e-03,2.473719e-03,2.481930e-03,2.495981e-03,2.510160e-03,2.516572e-03,2.535556e-03,2.552999e-03,2.558265e-03,2.568964e-03,2.578435e-03,2.583515e-03,2.596212e-03,2.596715e-03,2.608625e-03,2.611737e-03,2.619305e-03,2.625147e-03,2.628814e-03,2.636577e-03,2.637209e-03,2.644545e-03,2.646155e-03,2.650876e-03,2.654002e-03,2.656254e-03,2.660237e-03,2.660727e-03,2.664346e-03,2.664971e-03,2.667155e-03,2.668310e-03,2.669199e-03,2.670356e-03,2.670521e-03,2.671161e-03,2.671203e-03,2.671160e-03,2.670942e-03,2.670554e-03,2.669658e-03,2.669379e-03,2.667669e-03,2.667430e-03,2.665457e-03,2.664333e-03,2.662774e-03,2.660439e-03,2.659650e-03,2.656112e-03,2.655812e-03,2.652188e-03,2.650516e-03,2.647903e-03,2.644608e-03,2.643282e-03,2.638347e-03,2.638143e-03,2.633120e-03,2.631172e-03,2.627623e-03,2.623741e-03,2.621876e-03,2.615896e-03,2.607678e-03,2.599124e-03,2.590272e-03,2.581155e-03,2.571802e-03,2.562244e-03,2.552508e-03,2.542618e-03,2.532597e-03,2.522467e-03,2.512248e-03,2.501958e-03,2.491614e-03,2.481233e-03,2.470828e-03,2.460413e-03,2.450001e-03,2.439603e-03,2.429230e-03,2.418891e-03,2.408595e-03,2.398350e-03,2.388165e-03,2.378044e-03
0.000000e+00,4.523344e-12,2.267083e-11,2.449315e-10,1.166966e-09,2.371283e-09,1.078167e-08,1.138104e-08,3.728918e-08,4.960469e-08,9.620174e-08,1.565850e-07,2.109141e-07,3.912179e-07,4.112135e-07,7.337492e-07,8.339611e-07,1.220854e-06,1.582388e-06,1.917835e-06,2.740284e-06,2.869286e-06,4.115640e-06,4.403414e-06,5.690794e-06,6.648836e-06,7.620970e-06,9.530333e-06,9.924527e-06,1.261234e-05,1.307841e-05,1.568847e-05,1.730255e-05,1.915084e-05,2.219397e-05,2.299198e-05,2.719955e-05,2.772834e-05,3.175698e-05,3.386795e-05,3.664388e-05,4.056380e-05,4.183656e-05,4.730853e-05,4.775750e-05,5.303094e-05,5.538322e-05,5.897315e-05,6.336974e-05,6.510321e-05,7.138839e-05,7.164256e-05,7.779573e-05,8.012595e-05,8.429248e-05,8.874496e-05,9.084661e-05,9.742717e-05,1.040047e-04,1.061042e-04,1.105513e-04,1.147130e-04,1.170414e-04,1.231967e-04,1.234513e-04,1.297596e-04,1.315051e-04,1.359473e-04,1.395950e-04,1.419976e-04,1.474300e-04,1.478960e-04,1.536300e-04,1.549806e-04,1.591896e-04,1.622235e-04,1.645662e-04,1.691413e-04,1.697536e-04,1.747468e-04,1.757219e-04,1.795427e-04,1.819579e-04,1.841394e-04,1.878463e-04,1.885364e-04,1.927342e-04,1.933875e-04,1.967345e-04,1.985851e-04,2.005395e-04,2.034451e-04,2.041526e-04,2.075772e-04,2.079757e-04,2.108178e-04,2.121864e-04,2.138787e-04,2.160879e-04,2.167649e-04,2.194814e-04,2.196916e-04,2.220336e-04,2.230096e-04,2.244266e-04,2.260542e-04,2.266661e-04,2.287573e-04,2.288380e-04,2.307058e-04,2.313733e-04,2.325169e-04,2.336727e-04,2.341959e-04,2.357481e-04,2.371786e-04,2.376115e-04,2.384925e-04,2.392744e-04,2.396946e-04,2.407480e-04,2.407899e-04,2.417828e-04,2.420431e-04,2.426780e-04,2.431699e-04,2.434797e-04,2.441385e-04,2.441923e-04,2.448198e-04,2.449582e-04,2.453662e-04,2.456382e-04,2.458353e-04,2.461870e-04,2.462306e-04,2.465559e-04,2.466128e-04,2.468144e-04,2.469235e-04,2.470094e-04,2.471265e-04,2.471441e-04,2.472215e-04,2.472287e-04,2.472444e-04,2.472369e-04,2.472156e-04,2.471572e-04,2.471378e-04,2.470136e-04,2.469957e-04,2.468453e-04,2.467579e-04,2.466353e-04,2.464493e-04,2.463860e-04,2.460993e-04,2.460748e-04,2.457774e-04,2.456392e-04,2.454222e-04,2.451469e-04,2.450356e-04,2.446194e-04,2.446022e-04,2.441753e-04,2.440090e-04,2.437051e-04,2.433711e-04,2.432101e-04,2.426920e-04,2.419751e-04,2.412235e-04,2.404402e-04,2.396278e-04,2.387891e-04,2.379264e-04,2.370421e-04,2.361384e-04,2.352173e-04,2.342806e-04,2.333303e-04,2.323679e-04,2.313951e-04,2.304133e-04,2.294239e-04,2.284283e-04,2.274275e-04,2.264229e-04,2.254153e-04,2.244059e-04,2.233955e-04,2.223851e-04,2.213753e-04,2.203670e-04
0.000000e+00,1.698278e-11,8.772387e-11,1.009296e-09,5.094253e-09,1.068569e-08,5.275049e-08,5.586963e-08,1.985983e-07,2.700804e-07,5.534578e-07,9.414734e-07,1.304762e-06,2.576796e-06,2.722825e-06,5.178516e-06,5.973421e-06,9.154059e-06,1.226214e-05,1.524625e-05,2.291450e-05,2.415831e-05,3.668012e-05,3.969167e-05,5.366069e-05,6.454362e-05,7.597716e-05,9.948703e-05,1.045040e-04,1.400840e-04,1.464849e-04,1.835033e-04,2.073400e-04,2.354683e-04,2.836064e-04,2.965885e-04,3.673619e-04,3.765226e-04,4.481647e-04,4.869640e-04,5.392453e-04,6.154174e-04,6.407211e-04,7.525797e-04,7.619737e-04,8.746825e-04,9.263379e-04,1.006771e-03,1.107854e-03,1.148476e-03,1.299326e-03,1.305542e-03,1.458762e-03,1.518141e-03,1.626150e-03,1.744160e-03,1.800788e-03,1.981929e-03,2.168785e-03,2.229653e-03,2.360544e-03,2.485461e-03,2.556380e-03,2.747451e-03,2.755467e-03,2.956982e-03,3.013731e-03,3.160121e-03,3.282458e-03,3.364103e-03,3.551863e-03,3.568175e-03,3.771621e-03,3.820278e-03,3.973763e-03,4.086155e-03,4.173968e-03,4.348076e-03,4.371646e-03,4.566255e-03,4.604764e-03,4.757300e-03,4.855086e-03,4.944337e-03,5.098055e-03,5.126964e-03,5.304832e-03,5.332828e-03,5.477634e-03,5.558700e-03,5.645105e-03,5.775096e-03,5.807027e-03,5.963217e-03,5.981567e-03,6.113532e-03,6.177780e-03,6.257864e-03,6.363508e-03,6.396139e-03,6.528310e-03,6.538619e-03,6.654361e-03,6.703069e-03,6.774301e-03,6.856890e-03,6.888161e-03,6.995993e-03,7.000182e-03,7.097869e-03,7.133102e-03,7.193876e-03,7.255861e-03,7.284117e-03,7.368707e-03,7.447773e-03,7.471928e-03,7.521448e-03,7.565838e-03,7.589878e-03,7.650773e-03,7.653210e-03,7.711601e-03,7.727087e-03,7.765208e-03,7.795144e-03,7.814194e-03,7.855318e-03,7.858720e-03,7.898952e-03,7.907987e-03,7.935053e-03,7.953527e-03,7.967189e-03,7.992316e-03,7.995521e-03,8.020210e-03,8.024725e-03,8.041417e-03,8.051119e-03,8.059296e-03,8.071856e-03,8.074002e-03,8.085685e-03,8.087284e-03,8.094491e-03,8.097739e-03,8.100564e-03,8.103547e-03,8.104042e-03,8.105060e-03,8.105023e-03,8.103749e-03,8.102467e-03,8.100236e-03,8.096169e-03,8.094644e-03,8.087090e-03,8.086404e-03,8.077689e-03,8.073435e-03,8.066550e-03,8.057513e-03,8.053778e-03,8.039476e-03,8.038874e-03,8.023741e-03,8.017743e-03,8.006665e-03,7.994334e-03,7.988339e-03,7.968847e-03,7.941471e-03,7.912385e-03,7.881757e-03,7.849745e-03,7.816494e-03,7.782145e-03,7.746825e-03,7.710656e-03,7.673751e-03,7.636214e-03,7.598143e-03,7.559629e-03,7.520757e-03,7.481604e-03,7.442243e-03,7.402741e-03,7.363161e-03,7.323557e-03,7.283985e-03,7.244491e-03,7.205119e-03,7.165912e-03,7.126904e-03,7.088132e-03
0.000000e+00,1.151759e-10,4.822718e-10,3.676557e-09,1.311097e-08,2.297889e-08,7.387968e-08,7.697663e-08,1.881160e-07,2.329525e-07,3.829332e-07,5.533107e-07,6.941358e-07,1.116050e-06,1.159887e-06,1.814062e-06,2.001161e-06,2.669897e-06,3.233455e-06,3.715246e-06,4.771850e-06,4.924785e-06,6.273294e-06,6.557823e-06,7.740851e-06,8.545875e-06,9.312344e-06,1.070370e-05,1.097550e-05,1.271923e-05,1.300497e-05,1.453259e-05,1.542449e-05,1.640447e-05,1.793640e-05,1.832339e-05,2.027768e-05,2.051401e-05,2.225561e-05,2.313040e-05,2.424564e-05,2.575931e-05,2.623667e-05,2.821817e-05,2.837598e-05,3.018037e-05,3.095782e-05,3.211438e-05,3.348494e-05,3.401230e-05,3.586727e-05,3.594049e-05,3.767338e-05,3.831063e-05,3.942567e-05,4.058439e-05,4.112012e-05,4.275358e-05,4.432364e-05,4.481238e-05,4.582865e-05,4.675722e-05,4.726757e-05,4.858623e-05,4.863983e-05,4.994537e-05,5.029901e-05,5.118456e-05,5.189650e-05,5.235808e-05,5.338058e-05,5.346693e-05,5.451236e-05,5.475397e-05,5.549576e-05,5.601995e-05,5.641869e-05,5.718219e-05,5.728284e-05,5.808998e-05,5.824473e-05,5.884195e-05,5.921180e-05,5.954062e-05,6.008769e-05,6.018788e-05,6.078563e-05,6.087680e-05,6.133577e-05,6.158348e-05,6.184018e-05,6.221203e-05,6.230072e-05,6.271921e-05,6.276669e-05,6.309745e-05,6.325157e-05,6.343718e-05,6.367068e-05,6.374011e-05,6.400792e-05,6.402787e-05,6.424221e-05,6.432689e-05,6.444454e-05,6.457130e-05,6.461645e-05,6.475939e-05,6.476453e-05,6.487479e-05,6.490986e-05,6.496402e-05,6.501042e-05,6.502840e-05,6.506919e-05,6.508763e-05,6.508900e-05,6.508489e-05,6.507256e-05,6.506212e-05,6.502241e-05,6.502039e-05,6.496076e-05,6.494099e-05,6.488422e-05,6.483059e-05,6.479175e-05,6.469339e-05,6.468426e-05,6.456265e-05,6.453145e-05,6.442775e-05,6.434670e-05,6.428038e-05,6.414099e-05,6.412131e-05,6.395129e-05,6.391604e-05,6.377103e-05,6.367348e-05,6.358121e-05,6.341484e-05,6.338247e-05,6.317544e-05,6.314158e-05,6.296070e-05,6.285506e-05,6.273882e-05,6.255654e-05,6.251034e-05,6.227577e-05,6.224723e-05,6.203559e-05,6.192826e-05,6.179028e-05,6.160068e-05,6.154027e-05,6.128599e-05,6.126548e-05,6.102784e-05,6.092359e-05,6.076620e-05,6.057587e-05,6.050144e-05,6.023389e-05,6.022313e-05,5.996388e-05,5.986613e-05,5.969172e-05,5.950558e-05,5.941772e-05,5.914214e-05,5.877641e-05,5.840897e-05,5.804034e-05,5.767103e-05,5.730149e-05,5.693213e-05,5.656336e-05,5.619553e-05,5.582897e-05,5.546400e-05,5.510089e-05,5.473991e-05,5.438129e-05,5.402524e-05,5.367196e-05,5.332164e-05,5.297442e-05,5.263047e-05,5.228991e-05,5.195285e-05,5.161940e-05,5.128965e-05,5.096368e-05,5.064157e-05
0.000000e+00,3.849228e-10,1.993159e-09,2.305095e-08,1.169176e-07,2.459307e-07,1.223322e-06,1.296077e-06,4.645704e-06,6.333213e-06,1.306245e-05,2.234619e-05,3.109004e-05,6.197419e-05,6.554030e-05,1.259362e-04,1.456167e-04,2.247736e-04,3.025545e-04,3.774890e-04,5.707396e-04,6.021494e-04,9.189644e-04,9.952813e-04,1.349707e-03,1.626241e-03,1.917101e-03,2.516187e-03,2.644201e-03,3.553783e-03,3.717731e-03,4.667765e-03,5.281170e-03,6.006661e-03,7.252302e-03,7.589088e-03,9.431324e-03,9.670527e-03,1.154695e-02,1.256727e-02,1.394653e-02,1.596479e-02,1.663745e-02,1.962372e-02,1.987543e-02,2.290599e-02,2.430127e-02,2.648151e-02,2.923422e-02,3.034427e-02,3.448516e-02,3.465642e-02,3.889213e-02,4.054103e-02,4.355052e-02,4.685323e-02,4.844329e-02,5.355134e-02,5.885390e-02,6.058820e-02,6.432877e-02,6.791242e-02,6.995273e-02,7.546976e-02,7.570182e-02,8.155167e-02,8.320435e-02,8.747780e-02,9.105995e-02,9.345587e-02,9.898096e-02,9.946192e-02,1.054726e-01,1.069134e-01,1.114654e-01,1.148055e-01,1.174188e-01,1.226089e-01,1.233123e-01,1.291265e-01,1.302783e-01,1.348437e-01,1.377727e-01,1.404471e-01,1.450550e-01,1.459217e-01,1.512537e-01,1.520928e-01,1.564308e-01,1.588576e-01,1.614423e-01,1.653258e-01,1.662786e-01,1.709318e-01,1.714776e-01,1.753952e-01,1.772975e-01,1.796633e-01,1.827738e-01,1.837319e-01,1.875980e-01,1.878985e-01,1.912597e-01,1.926669e-01,1.947160e-01,1.970773e-01,1.979669e-01,2.010133e-01,2.011309e-01,2.038568e-01,2.048312e-01,2.064998e-01,2.081840e-01,2.089453e-01,2.111970e-01,2.132590e-01,2.138795e-01,2.151358e-01,2.162421e-01,2.168324e-01,2.182965e-01,2.183541e-01,2.197064e-01,2.200555e-01,2.208952e-01,2.215324e-01,2.219264e-01,2.227411e-01,2.228060e-01,2.235404e-01,2.236957e-01,2.241357e-01,2.244107e-01,2.245982e-01,2.249004e-01,2.249342e-01,2.251499e-01,2.251792e-01,2.252515e-01,2.252613e-01,2.252451e-01,2.251606e-01,2.251366e-01,2.249320e-01,2.248907e-01,2.246370e-01,2.244650e-01,2.242572e-01,2.238960e-01,2.237981e-01,2.232649e-01,2.231962e-01,2.226628e-01,2.223773e-01,2.219967e-01,2.214505e-01,2.212713e-01,2.204913e-01,2.204267e-01,2.196610e-01,2.193158e-01,2.187847e-01,2.181276e-01,2.178665e-01,2.169100e-01,2.168710e-01,2.159191e-01,2.155546e-01,2.148972e-01,2.141864e-01,2.138477e-01,2.127737e-01,2.113234e-01,2.098421e-01,2.083357e-01,2.068096e-01,2.052689e-01,2.037183e-01,2.021621e-01,2.006041e-01,1.990478e-01,1.974966e-01,1.959531e-01,1.944202e-01,1.929000e-01,1.913947e-01,1.899061e-01,1.884359e-01,1.869855e-01,1.855560e-01,1.841487e-01,1.827643e-01,1.814036e-01,1.800673e-01,1.787559e-01,1.774697e-01
0.000000e+00,6.131932e-11,1.438460e-10,5.078977e-10,1.172087e-09,1.721306e-09,3.973110e-09,4.095780e-09,8.082533e-09,9.557881e-09,1.419978e-08,1.908874e-08,2.288919e-08,3.325165e-08,3.425580e-08,4.810774e-08,5.177479e-08,6.420965e-08,7.413927e-08,8.237784e-08,9.995533e-08,1.024618e-07,1.243146e-07,1.288836e-07,1.477761e-07,1.605531e-07,1.726669e-07,1.945348e-07,1.987883e-07,2.259273e-07,2.303492e-07,2.538620e-07,2.674873e-07,2.823679e-07,3.054355e-07,3.112246e-07,3.402210e-07,3.437004e-07,3.691594e-07,3.818268e-07,3.978595e-07,4.194120e-07,4.261596e-07,4.539178e-07,4.561112e-07,4.810130e-07,4.916422e-07,5.073445e-07,5.257835e-07,5.328302e-07,5.574051e-07,5.583684e-07,5.810200e-07,5.892793e-07,6.036401e-07,6.184413e-07,6.252424e-07,6.458148e-07,6.653545e-07,6.713898e-07,6.838668e-07,6.951801e-07,7.013619e-07,7.172139e-07,7.178547e-07,7.333659e-07,7.375363e-07,7.479187e-07,7.562011e-07,7.615390e-07,7.732702e-07,7.742549e-07,7.860954e-07,7.888103e-07,7.970908e-07,8.028904e-07,8.072715e-07,8.155814e-07,8.166687e-07,8.253132e-07,8.269545e-07,8.332358e-07,8.370804e-07,8.404669e-07,8.460286e-07,8.470365e-07,8.529737e-07,8.538670e-07,8.583073e-07,8.606613e-07,8.630652e-07,8.664752e-07,8.672745e-07,8.709615e-07,8.713701e-07,8.741518e-07,8.754046e-07,8.768701e-07,8.786350e-07,8.791402e-07,8.809851e-07,8.811150e-07,8.824269e-07,8.828956e-07,8.834870e-07,8.840255e-07,8.841859e-07,8.845433e-07,8.845508e-07,8.845782e-07,8.845153e-07,8.843087e-07,8.839605e-07,8.837522e-07,8.829254e-07,8.818443e-07,8.814472e-07,8.805243e-07,8.795608e-07,8.789798e-07,8.772990e-07,8.772249e-07,8.752731e-07,8.746930e-07,8.731370e-07,8.717719e-07,8.708288e-07,8.685632e-07,8.683601e-07,8.657421e-07,8.650927e-07,8.629853e-07,8.613846e-07,8.600998e-07,8.574617e-07,8.570951e-07,8.539804e-07,8.533451e-07,8.507644e-07,8.490548e-07,8.474553e-07,8.446095e-07,8.440610e-07,8.405889e-07,8.400266e-07,8.370461e-07,8.353224e-07,8.334393e-07,8.305121e-07,8.297749e-07,8.260589e-07,8.256098e-07,8.222971e-07,8.206287e-07,8.184948e-07,8.155812e-07,8.146572e-07,8.107892e-07,8.104786e-07,8.068954e-07,8.053316e-07,8.029800e-07,8.001499e-07,7.990471e-07,7.951008e-07,7.949427e-07,7.911444e-07,7.897184e-07,7.871816e-07,7.844849e-07,7.832156e-07,7.792493e-07,7.740182e-07,7.687978e-07,7.635937e-07,7.584111e-07,7.532545e-07,7.481285e-07,7.430367e-07,7.379829e-07,7.329702e-07,7.280016e-07,7.230797e-07,7.182068e-07,7.133850e-07,7.086162e-07,7.039021e-07,6.992439e-07,6.946432e-07,6.901007e-07,6.856176e-07,6.811945e-07,6.768320e-07,6.725306e-07,6.682907e-07,6.641124e-07
0.000000e+00,7.798590e-10,2.071085e-09,8.379390e-09,2.072554e-08,3.132261e-08,7.681228e-08,7.936184e-08,1.652039e-07,1.982452e-07,3.061926e-07,4.263696e-07,5.245285e-07,8.133392e-07,8.428908e-07,1.273489e-06,1.393162e-06,1.809674e-06,2.148969e-06,2.432064e-06,3.034939e-06,3.120471e-06,3.859305e-06,4.012083e-06,4.637446e-06,5.054817e-06,5.446701e-06,6.145704e-06,6.280527e-06,7.133262e-06,7.271103e-06,7.999727e-06,8.419071e-06,8.875064e-06,9.578630e-06,9.754687e-06,1.063430e-05,1.073966e-05,1.150994e-05,1.189302e-05,1.237799e-05,1.303064e-05,1.323523e-05,1.407883e-05,1.414565e-05,1.490635e-05,1.523239e-05,1.571574e-05,1.628630e-05,1.650529e-05,1.727363e-05,1.730390e-05,1.801967e-05,1.828263e-05,1.874261e-05,1.922070e-05,1.944186e-05,2.011703e-05,2.076792e-05,2.097106e-05,2.139445e-05,2.178268e-05,2.199669e-05,2.255212e-05,2.257478e-05,2.312898e-05,2.327991e-05,2.365959e-05,2.396679e-05,2.416700e-05,2.461366e-05,2.465161e-05,2.511387e-05,2.522154e-05,2.555428e-05,2.579154e-05,2.597333e-05,2.632484e-05,2.637154e-05,2.674945e-05,2.682264e-05,2.710759e-05,2.728619e-05,2.744651e-05,2.771674e-05,2.776674e-05,2.806883e-05,2.811552e-05,2.835333e-05,2.848379e-05,2.862076e-05,2.882278e-05,2.887167e-05,2.910657e-05,2.913370e-05,2.932598e-05,2.941774e-05,2.953041e-05,2.967608e-05,2.972037e-05,2.989635e-05,2.990984e-05,3.005883e-05,3.012015e-05,3.020828e-05,3.030808e-05,3.034517e-05,3.046995e-05,3.047469e-05,3.058306e-05,3.062101e-05,3.068494e-05,3.074801e-05,3.077600e-05,3.085667e-05,3.092733e-05,3.094790e-05,3.098839e-05,3.102260e-05,3.104022e-05,3.108164e-05,3.108319e-05,3.111766e-05,3.112584e-05,3.114399e-05,3.115601e-05,3.116250e-05,3.117293e-05,3.117354e-05,3.117743e-05,3.117733e-05,3.117446e-05,3.116992e-05,3.116495e-05,3.115141e-05,3.114919e-05,3.112747e-05,3.112243e-05,3.110005e-05,3.108363e-05,3.106720e-05,3.103561e-05,3.102919e-05,3.098625e-05,3.097894e-05,3.093864e-05,3.091419e-05,3.088658e-05,3.084189e-05,3.083031e-05,3.077003e-05,3.076254e-05,3.070597e-05,3.067663e-05,3.063832e-05,3.058463e-05,3.056728e-05,3.049304e-05,3.048697e-05,3.041579e-05,3.038408e-05,3.033570e-05,3.027637e-05,3.025294e-05,3.016767e-05,3.016421e-05,3.008006e-05,3.004797e-05,2.999025e-05,2.992801e-05,2.989840e-05,2.980465e-05,2.967820e-05,2.954897e-05,2.941724e-05,2.928329e-05,2.914736e-05,2.900969e-05,2.887053e-05,2.873008e-05,2.858856e-05,2.844615e-05,2.830303e-05,2.815939e-05,2.801539e-05,2.787117e-05,2.772689e-05,2.758267e-05,2.743865e-05,2.729494e-05,2.715166e-05,2.700891e-05,2.686679e-05,2.672540e-05,2.658480e-05,2.644509e-05
0.000000e+00,1.628738e-11,8.293489e-11,9.261597e-10,4.549538e-09,9.402982e-09,4.470910e-08,4.728197e-08,1.622221e-07,2.185933e-07,4.381801e-07,7.330980e-07,1.005644e-06,1.943989e-06,2.050549e-06,3.817188e-06,4.380452e-06,6.600023e-06,8.723404e-06,1.072591e-05,1.573650e-05,1.653328e-05,2.435361e-05,2.618704e-05,3.449730e-05,4.078444e-05,4.724391e-05,6.014122e-05,6.283599e-05,8.147536e-05,8.475168e-05,1.033210e-04,1.149813e-04,1.284883e-04,1.510630e-04,1.570484e-04,1.890288e-04,1.930960e-04,2.244141e-04,2.410489e-04,2.631466e-04,2.947633e-04,3.051287e-04,3.502244e-04,3.539617e-04,3.982626e-04,4.182571e-04,4.490397e-04,4.871662e-04,5.023241e-04,5.578597e-04,5.601241e-04,6.153706e-04,6.365024e-04,6.745659e-04,7.156273e-04,7.351441e-04,7.967983e-04,8.592201e-04,8.793072e-04,9.221044e-04,9.624550e-04,9.851530e-04,1.045567e-03,1.048078e-03,1.110607e-03,1.128008e-03,1.172480e-03,1.209189e-03,1.233458e-03,1.288578e-03,1.293321e-03,1.351870e-03,1.365705e-03,1.408926e-03,1.440166e-03,1.464333e-03,1.511621e-03,1.517957e-03,1.569684e-03,1.579793e-03,1.619420e-03,1.644471e-03,1.667092e-03,1.705500e-03,1.712644e-03,1.756038e-03,1.762779e-03,1.797251e-03,1.816255e-03,1.836274e-03,1.865919e-03,1.873113e-03,1.907783e-03,1.911799e-03,1.940313e-03,1.953956e-03,1.970737e-03,1.992477e-03,1.999099e-03,2.025449e-03,2.027471e-03,2.049842e-03,2.059065e-03,2.072339e-03,2.087398e-03,2.093003e-03,2.111900e-03,2.112620e-03,2.129099e-03,2.134888e-03,2.144668e-03,2.154360e-03,2.158678e-03,2.171199e-03,2.182300e-03,2.185564e-03,2.192051e-03,2.197615e-03,2.200520e-03,2.207505e-03,2.207772e-03,2.213874e-03,2.215385e-03,2.218888e-03,2.221400e-03,2.222876e-03,2.225689e-03,2.225896e-03,2.228007e-03,2.228385e-03,2.229263e-03,2.229613e-03,2.229717e-03,2.229493e-03,2.229419e-03,2.228418e-03,2.228138e-03,2.226761e-03,2.225654e-03,2.224491e-03,2.222141e-03,2.221650e-03,2.218279e-03,2.217693e-03,2.214415e-03,2.212396e-03,2.210095e-03,2.206333e-03,2.205352e-03,2.200219e-03,2.199578e-03,2.194726e-03,2.192203e-03,2.188903e-03,2.184273e-03,2.182776e-03,2.176372e-03,2.175848e-03,2.169714e-03,2.166986e-03,2.162827e-03,2.157737e-03,2.155730e-03,2.148446e-03,2.148151e-03,2.140992e-03,2.138271e-03,2.133387e-03,2.128138e-03,2.125647e-03,2.117790e-03,2.107261e-03,2.096584e-03,2.085787e-03,2.074898e-03,2.063940e-03,2.052937e-03,2.041908e-03,2.030873e-03,2.019848e-03,2.008849e-03,1.997890e-03,1.986984e-03,1.976142e-03,1.965374e-03,1.954691e-03,1.944100e-03,1.933608e-03,1.923224e-03,1.912951e-03,1.902796e-03,1.892763e-03,1.882857e-03,1.873079e-03,1.863435e-03
0.000000e+00,6.193634e-10,3.204811e-09,3.701285e-08,1.875352e-07,3.942803e-07,1.959542e-06,2.076035e-06,7.439679e-06,1.014252e-05,2.092565e-05,3.581352e-05,4.984549e-05,9.947179e-05,1.052080e-04,2.025479e-04,2.343477e-04,3.626713e-04,4.894276e-04,6.121508e-04,9.311707e-04,9.833379e-04,1.513716e-03,1.642483e-03,2.244619e-03,2.718333e-03,3.219519e-03,4.259057e-03,4.482197e-03,6.074982e-03,6.363144e-03,8.037223e-03,9.120832e-03,1.040404e-02,1.260910e-02,1.320538e-02,1.646530e-02,1.688822e-02,2.020161e-02,2.199966e-02,2.442563e-02,2.796530e-02,2.914223e-02,3.434998e-02,3.478764e-02,4.004148e-02,4.245079e-02,4.620373e-02,5.092211e-02,5.281871e-02,5.986386e-02,6.015426e-02,6.731272e-02,7.008749e-02,7.513550e-02,8.065210e-02,8.329973e-02,9.177081e-02,1.005126e-01,1.033611e-01,1.094881e-01,1.153376e-01,1.186595e-01,1.276136e-01,1.279894e-01,1.374403e-01,1.401033e-01,1.469758e-01,1.527228e-01,1.565603e-01,1.653920e-01,1.661597e-01,1.757413e-01,1.780348e-01,1.852742e-01,1.905804e-01,1.947292e-01,2.029636e-01,2.040792e-01,2.132990e-01,2.151253e-01,2.223656e-01,2.270125e-01,2.312578e-01,2.385787e-01,2.399568e-01,2.484456e-01,2.497832e-01,2.567091e-01,2.605918e-01,2.647345e-01,2.709756e-01,2.725103e-01,2.800272e-01,2.809115e-01,2.872774e-01,2.903814e-01,2.942547e-01,2.993720e-01,3.009544e-01,3.073731e-01,3.078743e-01,3.135087e-01,3.158835e-01,3.193605e-01,3.233981e-01,3.249286e-01,3.302143e-01,3.304199e-01,3.352197e-01,3.369536e-01,3.399477e-01,3.430062e-01,3.444020e-01,3.485869e-01,3.525073e-01,3.537068e-01,3.561685e-01,3.583784e-01,3.595764e-01,3.626154e-01,3.627372e-01,3.656573e-01,3.664327e-01,3.683434e-01,3.698457e-01,3.708026e-01,3.728707e-01,3.730419e-01,3.750686e-01,3.755242e-01,3.768899e-01,3.778228e-01,3.785131e-01,3.797836e-01,3.799456e-01,3.811948e-01,3.814233e-01,3.822679e-01,3.827586e-01,3.831720e-01,3.838062e-01,3.839144e-01,3.845020e-01,3.845821e-01,3.849417e-01,3.851022e-01,3.852403e-01,3.853820e-01,3.854044e-01,3.854405e-01,3.854365e-01,3.853548e-01,3.852801e-01,3.851535e-01,3.849269e-01,3.848425e-01,3.844277e-01,3.843902e-01,3.839146e-01,3.836831e-01,3.833087e-01,3.828178e-01,3.826151e-01,3.818390e-01,3.818063e-01,3.809852e-01,3.806597e-01,3.800584e-01,3.793888e-01,3.790632e-01,3.780038e-01,3.765143e-01,3.749295e-01,3.732580e-01,3.715080e-01,3.696871e-01,3.678028e-01,3.658616e-01,3.638701e-01,3.618343e-01,3.597597e-01,3.576517e-01,3.555151e-01,3.533545e-01,3.511743e-01,3.489783e-01,3.467703e-01,3.445537e-01,3.423318e-01,3.401073e-01,3.378832e-01,3.356619e-01,3.334456e-01,3.312366e-01,3.290368e-01
0.000000e+00,1.291611e-11,6.611084e-11,7.461492e-10,3.699559e-09,7.683717e-09,3.695850e-08,3.910206e-08,1.353794e-07,1.827755e-07,3.677103e-07,6.161224e-07,8.454071e-07,1.632338e-06,1.721497e-06,3.196374e-06,3.666090e-06,5.518948e-06,7.298087e-06,8.984136e-06,1.324252e-05,1.392503e-05,2.069851e-05,2.230501e-05,2.966465e-05,3.530779e-05,4.116302e-05,5.299700e-05,5.548988e-05,7.287986e-05,7.595836e-05,9.349378e-05,1.045605e-04,1.174127e-04,1.389307e-04,1.446376e-04,1.750935e-04,1.789592e-04,2.086368e-04,2.243234e-04,2.450642e-04,2.745242e-04,2.841235e-04,3.255243e-04,3.289282e-04,3.689487e-04,3.868103e-04,4.140613e-04,4.473947e-04,4.605182e-04,5.079755e-04,5.098898e-04,5.560963e-04,5.735192e-04,6.045558e-04,6.375442e-04,6.530468e-04,7.012826e-04,7.489999e-04,7.641202e-04,7.959601e-04,8.255180e-04,8.419506e-04,8.850153e-04,8.867843e-04,9.303000e-04,9.422291e-04,9.723613e-04,9.968520e-04,1.012855e-03,1.048647e-03,1.051691e-03,1.088798e-03,1.097441e-03,1.124127e-03,1.143120e-03,1.157642e-03,1.185622e-03,1.189327e-03,1.219176e-03,1.224926e-03,1.247197e-03,1.261052e-03,1.273409e-03,1.294049e-03,1.297839e-03,1.320523e-03,1.323993e-03,1.341502e-03,1.350980e-03,1.360824e-03,1.375122e-03,1.378539e-03,1.394704e-03,1.396542e-03,1.409374e-03,1.415371e-03,1.422609e-03,1.431745e-03,1.434470e-03,1.445017e-03,1.445805e-03,1.454310e-03,1.457691e-03,1.462412e-03,1.467540e-03,1.469381e-03,1.475276e-03,1.475491e-03,1.480156e-03,1.481674e-03,1.484075e-03,1.486220e-03,1.487089e-03,1.489251e-03,1.490612e-03,1.490886e-03,1.491220e-03,1.491237e-03,1.491125e-03,1.490412e-03,1.490370e-03,1.488999e-03,1.488511e-03,1.487055e-03,1.485630e-03,1.484577e-03,1.481858e-03,1.481602e-03,1.478167e-03,1.477278e-03,1.474306e-03,1.471970e-03,1.470051e-03,1.466006e-03,1.465434e-03,1.460482e-03,1.459455e-03,1.455225e-03,1.452379e-03,1.449688e-03,1.444838e-03,1.443895e-03,1.437870e-03,1.436886e-03,1.431635e-03,1.428573e-03,1.425210e-03,1.419947e-03,1.418615e-03,1.411868e-03,1.411049e-03,1.404987e-03,1.401921e-03,1.397987e-03,1.392597e-03,1.390883e-03,1.383690e-03,1.383112e-03,1.376422e-03,1.373496e-03,1.369089e-03,1.363777e-03,1.361705e-03,1.354279e-03,1.353981e-03,1.346823e-03,1.344133e-03,1.339345e-03,1.334252e-03,1.331854e-03,1.324359e-03,1.314471e-03,1.304604e-03,1.294774e-03,1.284993e-03,1.275273e-03,1.265624e-03,1.256057e-03,1.246579e-03,1.237198e-03,1.227921e-03,1.218754e-03,1.209701e-03,1.200768e-03,1.191957e-03,1.183273e-03,1.174718e-03,1.166294e-03,1.158003e-03,1.149846e-03,1.141824e-03,1.133939e-03,1.126190e-03,1.118577e-03,1.111101e-03
0.000000e+00,4.180577e-10,1.107478e-09,4.442356e-09,1.085638e-08,1.626698e-08,3.871506e-08,3.994111e-08,7.967292e-08,9.430065e-08,1.401854e-07,1.887243e-07,2.269838e-07,3.353287e-07,3.462017e-07,5.033907e-07,5.471479e-07,7.011247e-07,8.289880e-07,9.374071e-07,1.173075e-06,1.206981e-06,1.503913e-06,1.566111e-06,1.823055e-06,1.996371e-06,2.160247e-06,2.454924e-06,2.512073e-06,2.875571e-06,2.934631e-06,3.248031e-06,3.429238e-06,3.626886e-06,3.932910e-06,4.009663e-06,4.393973e-06,4.440083e-06,4.777521e-06,4.945477e-06,5.158136e-06,5.444186e-06,5.533787e-06,5.902614e-06,5.931773e-06,6.262941e-06,6.404356e-06,6.613296e-06,6.858657e-06,6.952411e-06,7.279221e-06,7.292025e-06,7.592861e-06,7.702412e-06,7.892656e-06,8.088349e-06,8.178111e-06,8.448890e-06,8.704807e-06,8.783549e-06,8.945806e-06,9.092240e-06,9.171947e-06,9.375210e-06,9.383388e-06,9.580371e-06,9.632976e-06,9.763207e-06,9.866271e-06,9.932268e-06,1.007599e-05,1.008797e-05,1.023076e-05,1.026316e-05,1.036112e-05,1.042888e-05,1.047955e-05,1.057430e-05,1.058655e-05,1.068265e-05,1.070060e-05,1.076835e-05,1.080898e-05,1.084418e-05,1.090062e-05,1.091064e-05,1.096824e-05,1.097666e-05,1.101745e-05,1.103824e-05,1.105877e-05,1.108644e-05,1.109264e-05,1.111951e-05,1.112229e-05,1.113983e-05,1.114679e-05,1.115399e-05,1.116088e-05,1.116240e-05,1.116544e-05,1.116546e-05,1.116347e-05,1.116136e-05,1.115684e-05,1.114937e-05,1.114589e-05,1.113092e-05,1.113024e-05,1.111224e-05,1.110466e-05,1.109013e-05,1.107327e-05,1.106486e-05,1.103669e-05,1.100586e-05,1.099547e-05,1.097259e-05,1.095013e-05,1.093712e-05,1.090117e-05,1.089963e-05,1.086032e-05,1.084902e-05,1.081938e-05,1.079410e-05,1.077697e-05,1.073679e-05,1.073325e-05,1.068838e-05,1.067745e-05,1.064249e-05,1.061640e-05,1.059572e-05,1.055394e-05,1.054820e-05,1.050003e-05,1.049033e-05,1.045134e-05,1.042584e-05,1.040221e-05,1.036068e-05,1.035275e-05,1.030304e-05,1.029507e-05,1.025316e-05,1.022919e-05,1.020320e-05,1.016322e-05,1.015323e-05,1.010330e-05,1.009731e-05,1.005348e-05,1.003161e-05,1.000383e-05,9.966234e-06,9.954392e-06,9.905225e-06,9.901305e-06,9.856369e-06,9.836922e-06,9.807863e-06,9.773178e-06,9.759746e-06,9.712050e-06,9.710151e-06,9.664806e-06,9.647914e-06,9.618042e-06,9.586530e-06,9.571783e-06,9.526052e-06,9.466529e-06,9.408000e-06,9.350500e-06,9.294058e-06,9.238696e-06,9.184434e-06,9.131286e-06,9.079262e-06,9.028369e-06,8.978610e-06,8.929986e-06,8.882495e-06,8.836133e-06,8.790892e-06,8.746764e-06,8.703739e-06,8.661806e-06,8.620950e-06,8.581157e-06,8.542413e-06,8.504700e-06,8.468002e-06,8.432301e-06,8.397578e-06
0.000000e+00,1.934120e-12,9.665288e-12,1.037266e-10,4.908141e-10,9.932146e-10,4.461547e-09,4.707024e-09,1.519959e-08,2.012986e-08,3.856416e-08,6.207491e-08,8.295448e-08,1.508871e-07,1.583160e-07,2.760194e-07,3.119284e-07,4.484340e-07,5.736730e-07,6.884108e-07,9.655312e-07,1.008582e-06,1.420390e-06,1.514601e-06,1.932887e-06,2.241161e-06,2.551530e-06,3.154086e-06,3.277312e-06,4.106456e-06,4.248217e-06,5.030715e-06,5.504750e-06,6.038136e-06,6.894173e-06,7.114078e-06,8.242309e-06,8.380413e-06,9.406027e-06,9.925020e-06,1.058871e-05,1.149061e-05,1.177479e-05,1.295013e-05,1.304331e-05,1.410231e-05,1.455428e-05,1.522080e-05,1.600035e-05,1.629699e-05,1.732412e-05,1.736411e-05,1.829721e-05,1.863359e-05,1.921284e-05,1.980160e-05,2.006906e-05,2.086509e-05,2.160123e-05,2.182431e-05,2.227861e-05,2.268211e-05,2.289904e-05,2.344321e-05,2.346483e-05,2.397869e-05,2.411367e-05,2.444359e-05,2.470030e-05,2.486261e-05,2.521033e-05,2.523894e-05,2.557573e-05,2.565102e-05,2.587608e-05,2.602948e-05,2.614298e-05,2.635245e-05,2.637928e-05,2.658769e-05,2.662625e-05,2.677071e-05,2.685664e-05,2.693069e-05,2.704885e-05,2.706979e-05,2.718999e-05,2.720759e-05,2.729310e-05,2.733701e-05,2.738077e-05,2.744081e-05,2.745451e-05,2.751565e-05,2.752220e-05,2.756541e-05,2.758400e-05,2.760490e-05,2.762866e-05,2.763510e-05,2.765690e-05,2.765831e-05,2.767109e-05,2.767480e-05,2.767838e-05,2.767973e-05,2.767943e-05,2.767480e-05,2.767450e-05,2.766501e-05,2.766032e-05,2.765054e-05,2.763824e-05,2.763180e-05,2.760918e-05,2.758303e-05,2.757396e-05,2.755365e-05,2.753329e-05,2.752133e-05,2.748778e-05,2.748633e-05,2.744890e-05,2.743801e-05,2.740924e-05,2.738446e-05,2.736756e-05,2.732758e-05,2.732404e-05,2.727885e-05,2.726777e-05,2.723214e-05,2.720538e-05,2.718406e-05,2.714073e-05,2.713475e-05,2.708432e-05,2.707411e-05,2.703288e-05,2.700578e-05,2.698056e-05,2.693599e-05,2.692744e-05,2.687362e-05,2.686495e-05,2.681919e-05,2.679287e-05,2.676423e-05,2.671992e-05,2.670880e-05,2.665299e-05,2.664627e-05,2.659686e-05,2.657208e-05,2.654047e-05,2.649748e-05,2.648388e-05,2.642714e-05,2.642260e-05,2.637030e-05,2.634755e-05,2.631342e-05,2.627246e-05,2.625653e-05,2.619968e-05,2.619741e-05,2.614290e-05,2.612249e-05,2.608624e-05,2.604779e-05,2.602973e-05,2.597340e-05,2.589936e-05,2.582575e-05,2.575263e-05,2.568005e-05,2.560806e-05,2.553669e-05,2.546600e-05,2.539601e-05,2.532676e-05,2.525827e-05,2.519058e-05,2.512370e-05,2.505766e-05,2.499247e-05,2.492814e-05,2.486470e-05,2.480215e-05,2.474050e-05,2.467976e-05,2.461994e-05,2.456103e-05,2.450305e-05,2.444599e-05,2.438986e-05
0.000000e+00,8.583815e-12,4.161326e-11,4.194904e-10,1.876238e-09,3.682836e-09,1.532524e-08,1.611959e-08,4.848150e-08,6.304714e-08,1.156604e-07,1.802865e-07,2.362927e-07,4.132922e-07,4.323035e-07,7.272466e-07,8.152195e-07,1.142118e-06,1.432104e-06,1.689833e-06,2.283094e-06,2.371782e-06,3.178216e-06,3.352976e-06,4.091408e-06,4.601295e-06,5.089595e-06,5.977242e-06,6.150245e-06,7.252165e-06,7.431008e-06,8.376534e-06,8.919352e-06,9.507155e-06,1.040685e-05,1.063029e-05,1.173439e-05,1.186512e-05,1.280974e-05,1.327166e-05,1.384830e-05,1.460887e-05,1.484344e-05,1.578993e-05,1.586342e-05,1.668381e-05,1.702598e-05,1.752235e-05,1.809090e-05,1.830396e-05,1.902813e-05,1.905590e-05,1.969527e-05,1.992169e-05,2.030660e-05,2.069139e-05,2.086404e-05,2.137002e-05,2.182733e-05,2.196389e-05,2.223906e-05,2.248013e-05,2.260842e-05,2.292615e-05,2.293864e-05,2.323296e-05,2.330936e-05,2.349448e-05,2.363688e-05,2.372616e-05,2.391535e-05,2.393078e-05,2.411094e-05,2.415081e-05,2.426900e-05,2.434868e-05,2.440713e-05,2.451374e-05,2.452727e-05,2.463120e-05,2.465018e-05,2.472049e-05,2.476161e-05,2.479656e-05,2.485114e-05,2.486064e-05,2.491385e-05,2.492143e-05,2.495719e-05,2.497474e-05,2.499152e-05,2.501302e-05,2.501762e-05,2.503619e-05,2.503795e-05,2.504785e-05,2.505094e-05,2.505315e-05,2.505323e-05,2.505259e-05,2.504660e-05,2.504590e-05,2.503560e-05,2.502988e-05,2.501995e-05,2.500598e-05,2.499997e-05,2.497598e-05,2.497494e-05,2.494825e-05,2.493740e-05,2.491703e-05,2.489393e-05,2.488256e-05,2.484506e-05,2.480473e-05,2.479125e-05,2.476175e-05,2.473294e-05,2.471631e-05,2.467051e-05,2.466856e-05,2.461866e-05,2.460433e-05,2.456676e-05,2.453471e-05,2.451299e-05,2.446197e-05,2.445747e-05,2.440033e-05,2.438639e-05,2.434168e-05,2.430821e-05,2.428162e-05,2.422769e-05,2.422026e-05,2.415769e-05,2.414504e-05,2.409401e-05,2.406048e-05,2.402929e-05,2.397419e-05,2.396363e-05,2.389709e-05,2.388636e-05,2.382975e-05,2.379716e-05,2.376167e-05,2.370673e-05,2.369294e-05,2.362360e-05,2.361524e-05,2.355371e-05,2.352280e-05,2.348334e-05,2.342956e-05,2.341253e-05,2.334134e-05,2.333563e-05,2.326982e-05,2.324113e-05,2.319801e-05,2.314615e-05,2.312595e-05,2.305369e-05,2.305079e-05,2.298126e-05,2.295516e-05,2.290871e-05,2.285932e-05,2.283607e-05,2.276337e-05,2.266737e-05,2.257140e-05,2.247552e-05,2.237979e-05,2.228427e-05,2.218901e-05,2.209407e-05,2.199948e-05,2.190529e-05,2.181154e-05,2.171827e-05,2.162551e-05,2.153330e-05,2.144165e-05,2.135061e-05,2.126020e-05,2.117043e-05,2.108133e-05,2.099293e-05,2.090523e-05,2.081826e-05,2.073202e-05,2.064654e-05,2.056183e-05
0.000000e+00,1.358738e-11,6.898022e-11,7.664775e-10,3.753397e-09,7.749038e-09,3.682133e-08,3.894198e-08,1.339881e-07,1.807963e-07,3.640795e-07,6.120629e-07,8.426262e-07,1.643271e-06,1.734688e-06,3.259333e-06,3.748030e-06,5.681454e-06,7.539415e-06,9.297205e-06,1.371441e-05,1.441904e-05,2.136305e-05,2.299798e-05,3.043897e-05,3.609978e-05,4.194208e-05,5.368176e-05,5.614656e-05,7.329985e-05,7.633294e-05,9.361786e-05,1.045490e-04,1.172810e-04,1.387168e-04,1.444312e-04,1.751697e-04,1.791028e-04,2.095561e-04,2.258478e-04,2.476082e-04,2.789665e-04,2.893027e-04,3.345776e-04,3.383515e-04,3.833339e-04,4.037827e-04,4.354394e-04,4.749391e-04,4.907317e-04,5.490228e-04,5.514139e-04,6.101025e-04,6.327304e-04,6.737429e-04,7.183583e-04,7.397025e-04,8.077298e-04,8.775673e-04,9.002550e-04,9.489544e-04,9.953353e-04,1.021631e-03,1.092375e-03,1.095340e-03,1.169830e-03,1.190794e-03,1.244856e-03,1.290031e-03,1.320184e-03,1.389558e-03,1.395588e-03,1.470855e-03,1.488876e-03,1.545784e-03,1.587527e-03,1.620189e-03,1.685093e-03,1.693895e-03,1.766742e-03,1.781195e-03,1.838582e-03,1.875497e-03,1.909283e-03,1.967702e-03,1.978724e-03,2.046797e-03,2.057556e-03,2.113409e-03,2.144839e-03,2.178476e-03,2.229369e-03,2.241927e-03,2.303701e-03,2.310999e-03,2.363749e-03,2.389612e-03,2.422029e-03,2.465119e-03,2.478509e-03,2.533167e-03,2.537461e-03,2.585987e-03,2.606599e-03,2.636961e-03,2.672517e-03,2.686086e-03,2.733367e-03,2.735220e-03,2.778813e-03,2.794727e-03,2.822438e-03,2.851073e-03,2.864262e-03,2.904307e-03,2.942599e-03,2.954488e-03,2.979169e-03,3.001683e-03,3.014046e-03,3.045969e-03,3.047267e-03,3.078866e-03,3.087429e-03,3.108882e-03,3.126148e-03,3.137354e-03,3.162220e-03,3.164323e-03,3.189829e-03,3.195737e-03,3.213913e-03,3.226796e-03,3.236620e-03,3.255494e-03,3.257989e-03,3.278065e-03,3.281929e-03,3.296889e-03,3.306197e-03,3.314504e-03,3.328397e-03,3.330951e-03,3.346272e-03,3.348622e-03,3.360507e-03,3.366967e-03,3.373697e-03,3.383523e-03,3.385882e-03,3.397099e-03,3.398382e-03,3.407387e-03,3.411629e-03,3.416783e-03,3.423350e-03,3.425323e-03,3.433043e-03,3.433626e-03,3.439976e-03,3.442537e-03,3.446157e-03,3.450159e-03,3.451618e-03,3.456390e-03,3.456567e-03,3.460503e-03,3.461829e-03,3.463989e-03,3.466014e-03,3.466874e-03,3.469188e-03,3.471411e-03,3.472743e-03,3.473241e-03,3.472957e-03,3.471943e-03,3.470249e-03,3.467918e-03,3.464997e-03,3.461525e-03,3.457542e-03,3.453086e-03,3.448192e-03,3.442892e-03,3.437219e-03,3.431202e-03,3.424869e-03,3.418246e-03,3.411358e-03,3.404229e-03,3.396881e-03,3.389334e-03,3.381608e-03,3.373722e-03,3.365693e-03
0.000000e+00,1.347020e-10,3.361755e-10,1.260477e-09,2.973632e-09,4.390960e-09,1.014015e-08,1.044995e-08,2.033413e-08,2.391206e-08,3.497114e-08,4.644332e-08,5.534741e-08,8.001311e-08,8.244924e-08,1.170129e-07,1.264437e-07,1.590872e-07,1.856419e-07,2.078244e-07,2.551443e-07,2.618623e-07,3.198598e-07,3.318332e-07,3.807166e-07,4.131938e-07,4.435537e-07,4.973271e-07,5.076366e-07,5.723180e-07,5.826825e-07,6.370086e-07,6.679024e-07,7.011662e-07,7.517739e-07,7.642953e-07,8.259511e-07,8.332317e-07,8.857442e-07,9.113758e-07,9.433444e-07,9.854855e-07,9.984816e-07,1.050946e-06,1.055023e-06,1.100584e-06,1.119625e-06,1.147298e-06,1.179089e-06,1.191033e-06,1.231779e-06,1.233347e-06,1.269562e-06,1.282449e-06,1.304437e-06,1.326528e-06,1.336479e-06,1.365788e-06,1.392473e-06,1.400477e-06,1.416654e-06,1.430875e-06,1.438460e-06,1.457279e-06,1.458020e-06,1.475466e-06,1.479990e-06,1.490928e-06,1.499307e-06,1.504535e-06,1.515521e-06,1.516410e-06,1.526675e-06,1.528912e-06,1.535445e-06,1.539744e-06,1.542829e-06,1.548262e-06,1.548929e-06,1.553843e-06,1.554691e-06,1.557662e-06,1.559244e-06,1.560472e-06,1.562111e-06,1.562353e-06,1.563380e-06,1.563470e-06,1.563622e-06,1.563479e-06,1.563145e-06,1.562286e-06,1.562008e-06,1.560268e-06,1.560021e-06,1.557976e-06,1.556806e-06,1.555181e-06,1.552747e-06,1.551926e-06,1.548253e-06,1.547943e-06,1.544201e-06,1.542481e-06,1.539803e-06,1.536442e-06,1.535094e-06,1.530103e-06,1.529898e-06,1.524858e-06,1.522912e-06,1.519384e-06,1.515544e-06,1.513706e-06,1.507846e-06,1.501824e-06,1.499866e-06,1.495658e-06,1.491645e-06,1.489367e-06,1.483223e-06,1.482965e-06,1.476469e-06,1.474635e-06,1.469891e-06,1.465910e-06,1.463244e-06,1.457079e-06,1.456540e-06,1.449790e-06,1.448165e-06,1.443004e-06,1.439191e-06,1.436190e-06,1.430178e-06,1.429358e-06,1.422514e-06,1.421145e-06,1.415667e-06,1.412107e-06,1.408822e-06,1.403080e-06,1.401987e-06,1.395166e-06,1.394076e-06,1.388365e-06,1.385108e-06,1.381588e-06,1.376187e-06,1.374840e-06,1.368124e-06,1.367321e-06,1.361445e-06,1.358519e-06,1.354806e-06,1.349789e-06,1.348210e-06,1.341659e-06,1.341137e-06,1.335156e-06,1.332569e-06,1.328703e-06,1.324090e-06,1.322303e-06,1.315957e-06,1.315705e-06,1.309667e-06,1.307417e-06,1.303435e-06,1.299231e-06,1.297262e-06,1.291148e-06,1.283172e-06,1.275304e-06,1.267547e-06,1.259901e-06,1.252368e-06,1.244948e-06,1.237643e-06,1.230452e-06,1.223376e-06,1.216414e-06,1.209567e-06,1.202834e-06,1.196214e-06,1.189707e-06,1.183313e-06,1.177030e-06,1.170858e-06,1.164795e-06,1.158840e-06,1.152993e-06,1.147252e-06,1.141617e-06,1.136084e-06,1.130655e-06
0.000000e+00,6.456710e-11,2.275393e-10,1.306284e-09,3.846886e-09,6.192972e-09,1.673465e-08,1.733166e-08,3.719333e-08,4.464094e-08,6.813537e-08,9.297048e-08,1.124383e-07,1.668955e-07,1.723074e-07,2.497597e-07,2.711504e-07,3.463312e-07,4.090791e-07,4.627807e-07,5.817219e-07,5.991211e-07,7.549154e-07,7.883537e-07,9.295080e-07,1.027465e-06,1.122099e-06,1.297095e-06,1.331739e-06,1.557318e-06,1.594807e-06,1.797565e-06,1.917681e-06,2.051060e-06,2.262366e-06,2.316267e-06,2.591562e-06,2.625196e-06,2.875272e-06,3.002336e-06,3.165713e-06,3.389923e-06,3.461219e-06,3.760177e-06,3.784196e-06,4.061050e-06,4.181609e-06,4.362395e-06,4.578902e-06,4.662879e-06,4.961287e-06,4.973165e-06,5.256531e-06,5.361853e-06,5.547642e-06,5.742802e-06,5.833778e-06,6.114210e-06,6.388324e-06,6.474619e-06,6.655606e-06,6.822884e-06,6.915637e-06,7.158138e-06,7.168087e-06,7.412699e-06,7.479759e-06,7.649287e-06,7.787333e-06,7.877724e-06,8.080624e-06,8.097937e-06,8.309900e-06,8.359544e-06,8.513624e-06,8.624127e-06,8.709156e-06,8.874507e-06,8.896571e-06,9.075968e-06,9.110896e-06,9.247468e-06,9.333570e-06,9.411205e-06,9.542854e-06,9.567329e-06,9.716001e-06,9.739109e-06,9.857391e-06,9.922723e-06,9.991674e-06,1.009410e-05,1.011903e-05,1.023964e-05,1.025367e-05,1.035370e-05,1.040186e-05,1.046139e-05,1.053910e-05,1.056291e-05,1.065842e-05,1.066581e-05,1.074813e-05,1.078243e-05,1.083222e-05,1.088938e-05,1.091087e-05,1.098425e-05,1.098708e-05,1.105255e-05,1.107593e-05,1.111595e-05,1.115633e-05,1.117460e-05,1.122868e-05,1.127835e-05,1.129334e-05,1.132377e-05,1.135068e-05,1.136510e-05,1.140107e-05,1.140249e-05,1.143609e-05,1.144484e-05,1.146604e-05,1.148232e-05,1.149249e-05,1.151384e-05,1.151557e-05,1.153542e-05,1.153971e-05,1.155216e-05,1.156023e-05,1.156592e-05,1.157567e-05,1.157683e-05,1.158500e-05,1.158632e-05,1.159055e-05,1.159244e-05,1.159359e-05,1.159429e-05,1.159423e-05,1.159257e-05,1.159210e-05,1.158872e-05,1.158612e-05,1.158277e-05,1.157657e-05,1.157483e-05,1.156497e-05,1.156366e-05,1.155329e-05,1.154760e-05,1.153988e-05,1.152858e-05,1.152482e-05,1.150818e-05,1.150679e-05,1.149006e-05,1.148241e-05,1.147052e-05,1.145561e-05,1.144963e-05,1.142747e-05,1.142656e-05,1.140410e-05,1.139541e-05,1.137959e-05,1.136231e-05,1.135400e-05,1.132739e-05,1.129081e-05,1.125267e-05,1.121311e-05,1.117224e-05,1.113018e-05,1.108702e-05,1.104286e-05,1.099780e-05,1.095194e-05,1.090534e-05,1.085810e-05,1.081029e-05,1.076199e-05,1.071325e-05,1.066415e-05,1.061474e-05,1.056508e-05,1.051523e-05,1.046523e-05,1.041514e-05,1.036500e-05,1.031485e-05,1.026474e-05,1.021469e-05
0.000000e+00,4.847446e-12,2.413950e-11,2.574137e-10,1.212492e-09,2.449020e-09,1.097639e-08,1.158031e-08,3.749362e-08,4.974009e-08,9.590362e-08,1.555472e-07,2.091481e-07,3.869150e-07,4.066215e-07,7.240493e-07,8.224133e-07,1.200483e-06,1.550939e-06,1.873460e-06,2.653416e-06,2.774401e-06,3.925835e-06,4.187479e-06,5.340622e-06,6.181975e-06,7.022556e-06,8.639095e-06,8.967629e-06,1.116546e-05,1.153959e-05,1.360061e-05,1.484823e-05,1.625378e-05,1.851841e-05,1.910272e-05,2.212311e-05,2.249586e-05,2.528926e-05,2.672176e-05,2.857479e-05,3.113531e-05,3.195319e-05,3.539840e-05,3.567614e-05,3.888523e-05,4.028623e-05,4.238984e-05,4.491159e-05,4.588996e-05,4.936522e-05,4.950345e-05,5.279727e-05,5.401903e-05,5.616986e-05,5.842198e-05,5.946890e-05,6.268240e-05,6.580042e-05,6.677666e-05,6.881492e-05,7.068691e-05,7.171963e-05,7.440054e-05,7.450991e-05,7.718253e-05,7.790948e-05,7.973554e-05,8.120955e-05,8.216811e-05,8.429977e-05,8.448034e-05,8.667313e-05,8.718179e-05,8.874805e-05,8.985930e-05,9.070723e-05,9.233760e-05,9.255323e-05,9.428895e-05,9.462313e-05,9.591756e-05,9.672322e-05,9.744243e-05,9.864571e-05,9.886707e-05,1.001951e-04,1.003988e-04,1.014301e-04,1.019910e-04,1.025758e-04,1.034305e-04,1.036358e-04,1.046137e-04,1.047257e-04,1.055131e-04,1.058849e-04,1.063375e-04,1.069159e-04,1.070902e-04,1.077745e-04,1.078264e-04,1.083937e-04,1.086239e-04,1.089509e-04,1.093154e-04,1.094491e-04,1.098912e-04,1.099078e-04,1.102801e-04,1.104075e-04,1.106183e-04,1.108207e-04,1.109085e-04,1.111532e-04,1.113548e-04,1.114106e-04,1.115156e-04,1.115981e-04,1.116378e-04,1.117207e-04,1.117234e-04,1.117746e-04,1.117830e-04,1.117932e-04,1.117896e-04,1.117811e-04,1.117444e-04,1.117401e-04,1.116718e-04,1.116515e-04,1.115778e-04,1.115145e-04,1.114597e-04,1.113370e-04,1.113189e-04,1.111569e-04,1.111221e-04,1.109749e-04,1.108729e-04,1.107743e-04,1.105923e-04,1.105562e-04,1.103219e-04,1.102829e-04,1.100723e-04,1.099474e-04,1.098085e-04,1.095880e-04,1.095316e-04,1.092425e-04,1.092070e-04,1.089420e-04,1.088064e-04,1.086310e-04,1.083882e-04,1.083104e-04,1.079809e-04,1.079542e-04,1.076432e-04,1.075060e-04,1.072980e-04,1.070453e-04,1.069461e-04,1.065879e-04,1.065735e-04,1.062242e-04,1.060920e-04,1.058554e-04,1.056020e-04,1.054821e-04,1.051049e-04,1.046016e-04,1.040931e-04,1.035806e-04,1.030648e-04,1.025465e-04,1.020266e-04,1.015057e-04,1.009845e-04,1.004636e-04,9.994353e-05,9.942484e-05,9.890799e-05,9.839342e-05,9.788152e-05,9.737265e-05,9.686716e-05,9.636534e-05,9.586747e-05,9.537381e-05,9.488458e-05,9.439997e-05,9.392019e-05,9.344539e-05,9.297571e-05
